Abstrak —Telah  dilakukan  berbagai  macam  pengupayaan untuk mengoptimalkan potensi Titanium dioksida (TiO2) sebagai sensor  gas,  mengingat  TiO 2 merupakan  semikonduktor  metal oksida. Pada penelitian ini digunakan TiO 2 dalam bentuk serbuk, dengan  pelarutnya  H2SO4  yang  diencerkan  dengan  air  distilasi sehingga  terbentuk  variasi  pH  1,  3,  dan  5.  Metode  sol-gel dilakukan dengan perendaman dan dilanjutkan stiring selama 2,5 jam,  kecepatan  700  rpm,  dan  temperatur  200ºC  .  Drying dilakukan  selama  2  jam  pada  temperatur  350 º C,  selanjutnya serbuk  dikompaksi  pada  tekanan  200  bar  agar  terbentuk  pellet. Pelet  kemudian  disintering pada temperatur 700,800, dan 900ºC selama 1 jam. Karakterisasi material dilakukan dengan Scanning Electron  Microscope  (SEM)  dan  X-Ray  Diffraction  (XRD). Sedangkan  untuk  luas  permukaan  spesifik  sampel  TiO 2 diuji dengan  BET  Analyser.  Morfologi  TiO 2 yang  dihasilkan  dari proses sol-gel berbentuk bulat (spherical) dan memiliki fase stabil anatase.  Nilai  sensitivitas  didapatkan  dari  pengujian  pada temperatur operasi 100ºC dan variasi volume gas CO 5L, 12,5L, 25L.  Respon  tercepat  adalah  material  TiO 2 pH  3  yang  disinter dengan temperatur 900ºC, serta memiliki ukuran pori 50,83 nm.
Kata  kunci: gas  CO,  metode  sol-gel,  nilai  sensitivitas,  pH, sintering,  titanium dioksida (TiO 2 ).

## I. PENDAHULUAN
plikasi  semikonduktor  metal  oksida  (MO x )  sebagai sensor gas tidak lagi terbatas hanya untuk peringatan adanya  gas  ledak  saja.  Pengembangan  sensor  gas untuk  diaplikasikan  lebih  baik  mulai  dipertimbangkan,  salah satunya  adalah  untuk  pendeteksi  gas  polutan.  Sensor  dari semikonduktor  metal  oksida  lebih  dikenal  karena  responnya yang cepat.
Titanium  dioksida  (TiO 2 )  adalah  salah  satu  contoh  dari metal  oksida  (MO x )  yang  bersifat  tidak  toksik,  memiliki stabilitas  termal  cukup  tinggi  dan  kemampuannya  dapat digunakan berulang kali tanpa kehilangan aktivitas katalitiknya [1]. Titanium dioksida banyak diaplikasikan sebagai sensor gas untuk  mendeteksi  dan  mengukur  gas  CO  dan  H 2 .  Metode pembuatan  sensor  metal  oksida  dengan  sintesis  kimia  dan berbentuk  tidak  beraturan  diterapkan  hampir  seluruhnya  pada struktur nano sensor metal oksida. Metode sol-gel merupakan salah  satu  pilihan  dari  beberapa  metode  disebabkan  karena keunggulannya dalam proses, seperti waktu pelaksaannya lebih
singkat,  temperatur  yang  digunakan  lebih  rendah,  dapat menghasilkan serbuk metal oksida dengan ukuran nano partikel dan dapat menghasilkan karakteristik yang lebih baik dari pada proses metalurgi serbuk [2].
Untuk  aplikasi  penginderaan  gas,  selektivitas  gas, sensitivitas,  dan  daya  tahan  adalah  sifat  yang  sangat  penting. Untuk  memperbaiki  sifat-sifat  tersebut,  pengontrolan  struktur mikro  dengan  mempersiapkan  lapisan  tipis  nanostruktur  dan mesopori  yang  memiliki  luas  permukaan  tinggi  dikenal  lebih efektif,  karena  jumlah  gas  molekul  yang  berinteraksi  dengan semikonduktor dapat dinaikkan dengan cara ini [3]. Selain itu, penelitian tentang variasi pH terhadap fase dan ukuran kristal material keramik TiO 2 yang bertujuan membentuk fase anatase TiO 2 dan  memperkecil  ukuran  kristal  sehingga  terjadi penambahan defect [4].  Adanya defect menyebabkan ketidakseimbangan  elektron,  jika  ada  elektron  yang  mengalir maka  ada  arus  listrik  mengalir  dengan  arah  sebaliknya.  Hal inilah  yang  membuat  material  keramik  TiO 2 semikonduktor menjadi material konduktor, karena dapat mengalirkan elektron [5].
Penelitian  ini  akan  membahas  mengenai  material  keramik TiO 2 yang  dibuat  dengan  metode  sol-gel  dan  divariasikan pHnya.  Metode  ini  menggunakan  pelarut  H 2 SO 4 .  Kemudian diuji  sensitvitasnya  sebelum  dan  sesudah  dipapar  dengan  gas O                                                C.

## II. METODOLOGI PENELITIAN
Proses  pembentukan  sol  gel  dimulai  dengan  merendam  4 gram  serbuk  TiO 2 di  dalam  24  mL  larutan  H 2 SO 4 yang diencerkan  dengan  akuades  hingga  terbentuk  variasi  pH  1,3, dan 5. Serbuk TiO 2 kemudian direndam  dalam larutan H 2 SO 4 encer ini selama 4 hari. Setelah 4 hari, sampel dengan variasi pH,  diaduk  dengan magnetic  stirrer pada  temperatur  200°C selama 2,5 jam dengan kecepatan 700 rpm. Hasil dari proses ini berbentuk gel. Gel kemudian dicuci dengan air suling/aquades sehingga pHnya menjadi 7.
Proses drying dilakukan  pada  temperatur  350°C  selama  2 jam.  Kemudian  digerus  agar  gumpalan  dapat  menjadi  halus seperti serbuk. Serbuk tersebut kemudian diuji SEM dan XRD agar  dapat  diketahui  perubahan  struktur  kristal  setelah  proses stirring .

## Pengaruh Variasi pH dan Temperatur Sintering terhadap Nilai Sensitivitas Material TiO 2

## Sebagai Sensor Gas CO
Ika Silviana Widianti, dan Hariyati Purwaningsih, Jurusan Teknik Material dan Metalurgi, Fakultas Teknologi Industri, Institut Teknologi Sepuluh Nopember (ITS)
Jl. Arief Rahman Hakim, Surabaya 60111 Indonesia
e-mail : hariyati@mat-eng.its.ac.id
A
Setelah  digerus,  serbuk  dikompaksi  dengan  tekanan  20 MPa (200 bar) dan ditahan selama 10 menit. Proses kompaksi dilakukan  sebanyak  tiga  kali  sehingga  pelet  yang  terbentuk adalah  3  buah  dari  masing-masing  spesimen.  Pelet  berbentuk padatan seperti sekeping uang logam dengan diameter 14 mm dan  tebal  2-3  mm.  Pelet  hasil  kompaksi  mudah  pecah  karena tidak ada ikatan antar butir. Sehingga perlu dilakukan sintering agar  mendapatkan energi untuk  membentuk ikatan antar butir karena  memberikan  kesempatan  butir  berdifusi. Sintering dilakukan  dengan  meletakkan  pelet  pada  cawan  keramik  dan memanaskannya  di  dalam furnace pada  temperatur  700,  800, dan 900°C selama 1 jam. Setelah dingin, spesimen dikeluarkan dari furnace dan  diuji  karakterisasi  SEM,  XRD,  dan  BET Surface Analysis .
Pengujian  sensitivitas  dilakukan  dengan  memasukkan spesimen  ke test  chamber .  Sebelum  pengukuran  dimulai, test chamber diisi  dengan  spesimen  dan  dipanaskan  sampai C  untuk  mengukur  resistansi  udara  (R 0 ). Setelahnya  gas  CO  dimasukkan  dengan  variasi  volume  gas yaitu 5L, 12,5L, dan 25L ke dalam test chamber . Test chamber dengan  temperatur  100ºC  yang  berisikan  spesimen  kemudian diukur  resistansi  setelah  dipapar  dengan  gas  CO  (Rg). Rangkaian  pengukuran  sensitivitas  dapat  dilihat  pada Gambar1 .

## Gambar 1. Skema pengukuran sensitivitas

## III. HASIL DAN DISKUSI
Penelitian  ini  menggunakan  zat  pelarut  H 2 SO 4 yang kemudian diencerkan dengan menggunakan  aquades sehingga terbentuk variasi pH 1, 3, dan 5. Komposisi zat terlarut dan zat pelarut yang didapatkan dari hasil percobaan yaitu 4 gram TiO 2 dan  24  mL  H 2 SO 4 sesuai  dengan  persamaan  reaksi  (1). Kemudian  larutan  didiamkan  selama  4  hari.  Pada  tahap  ini spesimen  mengalami  proses  hidrolisis  oleh  air  yang ditunjukkan  oleh  persamaan  reaksi  (2).  Tahap  selanjutnya adalah  proses stiring dengan  menggunakan hot  plate  stirer dengan  kecepatan  700  RPM  dan  temperatur  operasi  200ᵒC selama  2,5  jam.  Proses stiring menyebabkan  zat  pelarut menguap (tidak seluruhnya) dan meninggalkan  Ti(SO 4 ) 2 yang menggumpal.
TiO 2 (s)+2H 2 SO 4(l) Ti(SO 4 ) 2( s) +2H 2 O (l) ................... (1)
TiO 2 (s)+2H 2 SO 4(l) +H 2 O (l) Ti(SO 4 ) 2( s) +3H 2 O (l) ........ (2)
Pada  proses stiring terjadi  reaksi  kondensasi  dan menghasilkan  gel  berwarna  putih.  Reaksi  kondensasi  adalah terjadinya  perpanjangan  ikatan  atau  jaringan  dan  membentuk larutan  yang  homogen.  Hasil  dari  reaksi  kondensasi  ini  akan dihasilkan  produk  berupa  penguapan  zat  pelarut  dan pembentukan gel.
Setelah  terbentuk  gel,  spesimen  tetap  belum  dapat  diuji karakterisasi.  Sehingga  kemudian  dilakukan  pencucian terhadap  gel  tersebut  dengan  menggunakan  akuades  untuk menetralkan pH gel agar dapat di drying (persamaan reaksi 3).
Ti(SO 4 ) 2 ( s ) + 2H 2 O (l) TiO 2 (s) + H 2 SO 4 (g) + OH - (g) (3)
Kemudian  dilakukan drying pada  temperatur  350ᵒC selama  2  jam  untuk  menghilangkan  kandungan  air  sesuai dengan  penelitian  Choi,  dkk  [6].  Proses drying dilakukan selama  2  jam,  material  yang  dihasilkan  adalah  serbuk  yang kering dan berwarna putih. Produk lalu digerus dengan mortar dan pestle untuk mendapatkan serbuk yang halus.
Serbuk  dikompaksi  dengan  tekanan  200  bar dan  ditahan selama 10 menit. Hasil yang didapatkan dari proses kompaksi berupa pellet. Pellet-pellet yang dihasilkan masih tetap mudah retak/pecah. Sehngga harus dilakukan proses sintering dengan 3  variasi  temperatur  yaitu  700 º C,  800ºC,  900ºC  dan  waktu tahan  1  jam.  Perlakuan  sintering  ini  diharapkan  dapat membentuk ikatan antar partikel yang lebih padat, tetapi tidak membuat  pelet  kehilangan  porositas  sepenuhnya  mengingat aplikasinya sebagai sensor.

## A. Hasil Pengujian XRD
Gambar  2.  Hasil  pengujian  XRD  serbuk  TiO 2 (a)  raw  material, (b) pH 1, (c) pH 3, dan (d) pH 5
Hasil  pengujian  XRD  titanium  dioksida  murni  (  TiO 2 raw material) pada gambar 2 menyatakan bahwa spesimen memiliki fase  tunggal  anatase  sesuai  dengan  nomor  PDF  00-021-1272. Serta  memiliki  struktur  kristal  tetragonal  dan  rumus  kimia titanium  oksida  (TiO 2 ).  Begitu  pula  dengan  ketiga  variasi  pH lainnya,  memiliki  fase  tunggal  anatase  sesuai  dengan  nomor PDF  00-021-1272.  Sehingga  secara  otomatis  juga  memiliki struktur  kristal  berbentuk  tetragonal  sama  seperti  titanium dioksida murni ( raw material ).
Grafik hasil pengujian XRD setelah sintering dapat dilihat pada gambar 3. Nilai B adalah lebar setengah puncak (FWHM)
dalam  radian.  D  adalah  crystal  size  dalam  nm, adalah panjang  gelombang  yang  digunakan  dalam  uji  XRD  yaitu 1,54056  Ǻ,  dan   adalah  posisi  sudut  terbentuknya  puncak,
serta   nilai  microstrain.  Persamaan  (6)  adalah  rumus  Debye Scharrer untuk perhitungan ukuran kristal yang terbentuk pada sample.
B (radian) = ......... (4) B (radian) = .................................... (5) D (Ǻ) = .............................................. (6)
Gambar  3  Hasil  pengujian  XRD  serbuk  TiO2  variasi  temperatur sintering 900ºC dengan variasi pH pH (a) 1, (b) 3, dan (c) 5
Tabel 1. Analisa hasil XRD TiO2 variasi temperatur sintering 900ºC
Variasi Fase 2 θ FWHM B (rad) D (nm) ɛ (10 -3 ) pH 1 anatase 25,26 0,244 0,001900 74,9438 2,12 pH 3 anatase 25,29 0,167 0,001090 130,8367 1,21 pH 5 anatase 25,44 0,201 0,004004 97,7404 1,61
Serbuk  dengan  variasi  pH  1,  pH  3,  dan  pH  5  dengan temperatur  sintering  900ºC  memiliki  fase  tunggal  anatase dengan struktur kristal tetragonal, rumus kimianya TiO 2 dengan nomor PDF 00-021-1272. Tidak ada perbedaan signifikan yang ditemukan dari hasil karakterisasi fasa pada ketiga variasi pH ini. Hasil pencocokan dengan kartu PDF 00-021-1272 terbukti benar  setelah  paramater  kisi  untuk  semua  sampel  dihitung menggunakan    program CellCalc Ver.  1.51,  di  mana  semua sample  memiliki  struktur  kristal  tetragonal  ( a=b≠c ).  Namun spesimen hasil sintering dengan temperatur  900ºC mengalami pengecilan ukuran kristal.

## B. Hasil Pengujian SEM
Pengamatan  morfologi  graphene  dilakukan  dengan pengujian  SEM.  Instrumen  SEM  yang  digunakan  adalah Inspect  S50.  Morfologi  yang  ditemukan  adalah  partikel berbetuk spherical (bulat/bola).  Namun  ukuran  butir  yang diidentifikasi tidak valid dikarenakan kecenderungan serbuk TiO 2 untuk membentuk gumpalan (aglomerasi). Kecenderungan  aglomerasi  serbuk  TiO 2 tampak  pada
keempat sample yang ditunjukkan oleh Gambar 4 . Setelahnya  TiO 2 dengan  variasi  pH  1,  pH  3,  dan  pH  5 diberi perlakuan pemanasan ( sintering ) dengan menggunakan temperatur  900 º C.  Hasil  SEM  perlakuan sintering ditunjukkan  oleh Gambar  5,  Gambar  6, dan Gambar  7. Tidak ada perbedaan signifikan kecuali ukuran partikel yang terbentuk  dari  masing-masing  variasi  pH  ketika  di sinter dengan temperatur 900 º C tersebut.
Gambar 4. Serbuk TiO 2 (a )raw material dan setelah drying (b)pH 1, (c)pH 3, (d)pH 5 perbesaran 15000x
Gambar  5.  Hasil  SEM  serbuk  TiO 2 variasi  pH  1  dengan  temperatur sintering 900ºC perbesaran 25000x
Gambar  6.  Hasil  SEM  serbuk  TiO 2 variasi  pH  3  dengan  temperatur sintering 900ºC perbesaran 25000x
Gambar  7.  Hasil  SEM  serbuk  TiO 2 variasi  pH  5  dengan  temperatur sintering 900ºC perbesaran 25000x
Tabel 2. Hasil pengukuran grain size SEM dengan temperatur sintering 900ºC Variasi pH Range ukuran partikel (nm) 1 157,5 – 279,8 3 249,5 – 336,2 5 169,6 – 237,2
Dari  ketiga  variasi  pH  yang  disinter  dengan  temperatur 900ºC,  terlihat  pada  keempat  gambar  hasil  SEM  bahwa penggunaan  temperatur  sintering  900ºC  menghasilkan  ukuran partikel  >150  nanometer.  Namun  dari  ketiga  variasi  pH didapatkan bahwa variasi pH 3 memiliki ukuran partikel yang paling  besar  daripada  variasi  pH  1  dan  pH  5.  Sedangkan sebaran  dan  ukuran  partikel  yang  lebih  baik  dihasilkan  oleh TiO 2 variasi  pH  1.  Besarnya  ukuran  partikel  disebabkan  oleh kenaikan  variasi  temperatur  sintering.  Sehingga  dapat dikatakan  bahwa  TiO 2 variasi  pH  1  dan  dengan  digunakan temperatur  900ºC  sebagai  temperatur  tertinggi  maka  pH  1 bertindak  sebagai  elektrolit  dan  mencegah  pertumbuhan  butir dan/atau  penggumpalan  partikel  [4].  Sedangkan  karena  TiO 2 variasi pH 3 memiliki ukuran partikel yang paling besar artinya
pH 3 tidak dapat bertindak sebagai elektrolit untuk mencegah pertumbuhan butir pada partikel serbuk TiO 2 .

## C. Hasil Pengujian BET
Pengujian  BET  digunakan  untuk  menganalisa  luas permukaan  spesifik  (SSA)  dan  distribusi  serta  ukuran  pori serbuk  TiO 2 setelah  sintering  yang  dihasilkan  dari  metode sol-gel. Hasil pengujian BET dapat dilihat pada Tabel 3 . Berdasarkan  hasil  uji  BET  tersebut  diketahui  bahwa  pH berpengaruh  pada  luas  permukaan  aktif  material.  Hal  ini dikarenakan  semakin  banyak  partikel  yang  berikatan  pada temperatur  yang  lebih  tinggi  sehingga  berakibat  pada berkurangnya  luas  permukaan  aktif.  Namun  dalam  penelitian ini  diketahui  bahwa  terdapat  spesimen  yang  memiliki  luas permukaan  aktif  terbesar  yaitu  TiO 2 pH  3  dan  temperatur sintering  900 º C.  Luas  permukaan  aktif  mempengaruhi  nilai sensitivitas  sensor  TiO 2 .  Semakin  besar  luas  permukaan  aktif artinya  semakin  banyak  luasan  yang  mampu  mengabsorbsi molekul  gas  CO.  Pori  yang  teridentifikasi  adalah  pori  pada partikel  serbuk  TiO 2 .  Sehingga  partikel  TiO 2 dengan  ukuran yang hampir sama besar belum pasti memiliki ukuran pori yang hampir  sama  juga.  Berdasarkan  hasil  pengujian  BET surface analysis didapatkan  hasil  dan  TiO 2 pH  3  dan  temperatur sintering  900 º C  memiliki  ukuran  pori  rata-rata  45,20 nanometer dan 50,83 nanometer yang artinya kedua spesimen ini memiliki pori berukuran mesopori (2-50 nm) dan makropori (>50 nm).
Tabel 3. Hasil pengujian BET serbuk TiO2 Spesimen (pH;Tsinter) Luas permukaan aktif SSA (m 2 /g) Ukuran pori Dv(r) nm 1;900 0,345 2,90 3;900 9,022 50,83 5;900 8,006 1,54

## D. Hasil Pengujian Sensitivitas
Tegangan  sebesar  1,5  volt  tersebut  diberikan  selama  60 detik  sehingga  dapat  diketahui  perubahan  resistansi  yang terjadi pada spesimen. Perubahan resistansi ini yang digunakan untuk  menentukan  nilai  sensitivitas pellet TiO 2 . Pengujian ini menggunakan  temperatur  operasi  sensor  100ºC  dan  variasi volume gas CO yaitu 5 L, 12,5 L, dan 25 L. Sebelum terpapar gas  CO,  spesimen  diukur  terlebih  dahulu  resistansi  awalnya. Kemudian mengukur resistansi setelah dipapar dengan gas CO 5 L, 12,5 L, dan 25 L. Nilai resistivitas sensor dapat dihitung menggunakan persamaan (7).
…....(7)
Hasil pengujian sensitivitas sensor yang ditunjukkan oleh gambar  8  menjelaskan  bahwa  kenaikan  nilai  sensitivitas  di setiap penambahan gas CO dapat ditemukan pada pellet  TiO 2 pH  5  dan  temperatur  sintering  900ºC.  Pellet  TiO 2 pH  1  dan temperatur  sintering  900ºC,  nilai  sensitivitasnya  turun  ketika dipapar  gas  CO  sampai  12,5L  dan  kembali  naik  saat  gas  CO ditambah  sampai  25L.  Pellet  TiO 2 pH  3  dan  temperatur sintering 900ºC mengalami kebalikannya, nilai sensitivitasnya
naik  ketika  dipapar  gas  CO  12,5  L  dan  turun  setelah  gas  CO ditambah sampai 25 L.
Mekanisme sensor gas hampir mendekati mekanisme suatu material semikonduktor. Pada penelitian ini digunakan material TiO 2 dalam bentuk serbuk tanpa ada penambahan senyawa lain (tidak  menggunakan  doping).  Sehingga  TiO 2 di  penelitian  ini termasuk sebagai material semikonduktor intrinsik. Semikonduktor intrinsik terbentuk ketika perlakuan panas yang diberikan  mengganggu  elektron  pada  kulit  terluar  sehingga elektron  tersebut  akan  lepas.  Karena  elektron  terlepas  maka terjadi kekosongan (hole) dan sebagaimana partikel yang dapat menghantarkan listrik hole ini dapat berpindah serta dianggap sebagai  partikel  yang  bermuatan  positif.  Perpindahan  hole menyebabkan  gerakan  elektron  yang  berikatan.    Berdasarkan hasil  pengujian  XRD,  TiO 2 setelah  disintering  dengan  tiga variasi  temperatur  berbeda  tidak  mengalami  perubahan  fase, struktur  kristal,  maupun  rumus  kimia.  Sehingga  mekanisme perpindahan  elektron  yang  mungkin  terjadi  adalah  melalui defect yang terbentuk karena ukuran kristal yang kecil. Ada dua macam defect yang  mungkin  terjadi  pada  TiO 2 murni,  yaitu Shotkky defect dan  Frenkel defect .  Shao,  dkk.  (2004) menjelaskan bahwa dengan berkurangnya ukuran kristal, akan banyak defect yang terbentuk di dalam  material itu dalam  hal ini adalah TiO 2 .
Gambar 8. Hasil pengujian sensitivitas pada temperatur operasi 100 º C dengan variasi volume gas CO
Penambahan  gas  CO  pada test  chamber yang  berisi  O 2 mengakibatkan tekanan parsial O 2 (PO 2 ) berkurang. Hal inilah yang terjadi pada TiO 2 pH 3 dan temperatur sintering 900 º C, di dalam  material  TiO 2 yang  merupakan  semikonduktor  jenis intrinsik terdapat vakansi kation (Ti 4+ ) dan vakansi anion (O 2- ). Pada material TiO 2 pH 3 dan temperatur sintering 900 º C, ketika di sinter dengan  temperatur  yang  tinggi  akan  menghasilkan banyak defect yang  mana  membuat  material  TiO 2 mengalami kehilangan  kation  maupun  anion.  Karena  vakansi  anion berbanding  terbalik  dengan  tekanan  parsial  O 2 (PO 2 )  maka dengan  berkurangnya  PO 2 vakansi/kehilangan  anion  O 2- akan bertambah.  Vakansi  anion  juga  berbanding  lurus  dengan temperatur.  Sehingga  dari  hasil  pengujian  ini  dapat
disimpulkan bahwa TiO 2 pH 3 yang di sinter dengan temperatur 900 º C memiliki respon yang bagus setelah dipapar dengan gas CO  karena  penggunaan  temperatur sintering yang  tinggi menghasilkan  banyak defect ,  dalam  hal  ini  adalah  vakansi anion yang berbanding lurus dengan temperatur sintering .

## IV. KESIMPULAN/RINGKASAN
Sintesis material TiO 2 dengan metode sol-gel yang divariasikan pH  dapat  menghasilkan  struktur  mikro  berbentuk  bulat  kecil ( spherical )  dan  fase  anatase.  Fase  stabil  anatase  diperoleh ketika  TiO 2 dengan  variasi  pH  disinter  dengan  menggunakan temperatur 900 º C selama 1 jam. Pada penelitian ini diperoleh TiO 2 yang dapat digunakan sebagai aplikasi sensor gas terbaik dengan  variasi    pH  3  dan  temperatur  sintering  900 º C  melalui pengujian  sensitivitas  pada  temperatur  operasi  100 º C  dan dengan variasi volume gas CO 5L, 12,5L, dan 25L.

## DAFTAR PUSTAKA
[1] I.  Fatimah.  “Di     i  TiO 2 ke  dalam  SiO 2 Montmorillonit:  Efek  Jenis P      o ”. Jurnal Penelitian Saintek . Vol. 14 No. 1 April 2009: 41-58. [2] S.Widodo.  “T   ologi  Sol  G l        P          N  o  K i   li   M   l O  i         A li   i S   o  G  ”. Seminar Rekayasa Kimia dan Proses 2010. Bandung: PPET – LIPI.
[3] M.R.  Mohammadi,  D.J.  Fray,  and  M.C.  Cordero-Cabrera.  “S   o Performance  of  Nanosctructured  TiO 2 Thin  Films  Derived  from Particulate  Sol-Gel  Route  and  Polymeric  Fugitive  Agen  ”. Journal Sensor & Actuators B 124 (2007) 78-83.
[4] A. Molea, V. Popescu, N.A. Rowson, and A.M. Dinescu. “I fl   c  of pH  on  The  Formulation  of  TiO 2 Nano-crystalline  Powder  with  High Pho oc   l  ic Ac ivi  ”. Powder Technology Vol. 253: 22-28.
[5] D.  Ratnasari.  “P  g   h  V  i  i  K c        S i i g  &  T Sintering  Terhadap  Perubahan  Struktur  Mikro  &  Fase  Material  Sensor Gas TiO 2 ”    l    i   li   i   .
[6] Y.J.  Choi,  Z.  Seely,  A.  Bandyopahyay,  S.  Bose,  and  S.A.  Akbar. “Al  i i  -doped TiO 2 Nano- ow    fo  G   S   o ”. Journal Sensors and Actuators B 124 (2007) 111–117