## PENGARUH POST-TREATMENT PLASMA CVD LAPISAN DIAMOND-LIKE CARBON TERHADAP SIFAT KEKERASAN PERMUKAAN BAJA AISI 410
Wahyu Anhar 1 ,Nurwahidah Jamal 2 , Suprapto 3
1 Program Studi Alat BeratJurusan Teknik Mesin Politeknik Negeri Balikpapan
2 Program Studi Elektronika Jurusan Teknik Elektronika Politeknik Negeri Balikpapan
3 Pusat Sains dan Teknologi Akselerator (PSTA) -BATAN Yogyakarta
Email: wahyu.anhar@poltekba.ac.id

## ABSTRACT
This study is aimed to determine the effect of post-treatment plasma CVD on diamond-like carbon films of surface hardness AISI 410 steel. Enhancement of surface hardness on AISI 410 can be done with deposition thin layer by plasma CVD, and continued by post-treatment plasma CVD. Mixture of Ar (90%) with CH 4 (10%), and He (76%) with CH 4 (24%) are used as thin layer material. Deposition parameter of pressure, temperature, and time that been used are 1.6 mbar, 300 °C, and 4 hours, respectively. Furthermore, post-treatment process parameter is used by Ar gas, with pressure of 1 mbar, temperature 300 °C, and variation time of 10, 20, 30 minutes. Surface hardness test is used  by  Vickers  microhardness  tester.  Cross-section  microstructure  and  chemical  compositions  are  examined  by scanning  electron  microscopy  coupled  with  energy  dispersive  spectroscopy.  Based  on  surface  hardness  test,  the surface  hardness  on  AISI  410  is  increased  by  post-treatment  process.  The  surface  hardness  from  232.3  VHN increase to 301.2 VHN is produced by post-treatment of compound Ar-CH 4 in 20 minutes. Futhermore, the surface hardness  from  1,035.8  VHN  increase  to  1,743.2  VHN  is  produced  by  post-treatment  of  compound  He-CH 4 in  30 minutes.
Keywords: Post-treatment, Surface hardness, AISI 410, Ar-CH 4 , He-CH 4

## PENDAHULUAN
Penelitian  ini  dilakukan  dengan  tujuan  untuk mengetahui  pengaruh post-treatment (perlakuan setelah)  proses  plasma chemical  vapor  deposition (CVD) terhadap sifat kekerasan permukaan baja AISI 410. Penggunaan  bahan  baja  AISI  410  paling  utama adalah  sebagai  peralatan  potong  seperti  mata  pisau [1].  Selain  itu,  bahan  baja  AISI  410  juga  digunakan sebagai  peralatan  potong  maupun non-cutting alat bedah  [2].  Dalam  penggunaan  sebagai  peralatan potong  maupun non-cutting ,  baja  AISI  410  harus memiliki  kekerasan  dan  ketahanan  aus  yang  baik agar  dapat  bertahan  lama.  Salah  satu  metode peningkatan kekerasan khususnya kekerasan permukaan dapat menggunakan plasma CVD.
Plasma  CVD  merupakan  proses  CVD  yang dibantu/ditingkatkan  dengan  bantuan  plasma  untuk dapat  mendeposisikan  lapisan  [3].  Pendeposisian lapisan  menggunakan  plasma  CVD  memberikan keuntungan  yaitu  proses  pendeposisian  dapat dilakukan  pada  temperatur  rendah  [4-7].  Proses plasma  CVD  menggunakan  gas  hidrokarbon  (seperti metana,  asetilen,  benzana,  dan  lain-lain)  yang diuraikan  dalam  ruang  vakum  menjadi  ion  hidrogen dan  karbon  sehingga  menubruk  permukaan  substrat karena  adanya  pemberian  tenaga  [8].  Sumber  tenaga yang  digunakan  dalam  proses  plasma  CVD  dapat berupa  arus  bolak-balik  (dengan  penggunaan  radio frekuensi), atau arus searah [9-13].
Gas  asetilen  banyak  digunakan  sebagai  bahan pelapis dalam proses plasma CVD karena kandungan H  yang  sedikit,  yang  selanjutnya  akan  menurunkan kecenderungan  terbentuknya  a-C:H.  Tetapi  apabila
dibandingkan  dengan  gas  metana,  kekurangan  gas asetilen adalah mengandung pengotor, dan membutuhkan  energi  yang  besar  untuk  proses ionisasi  dibandingkan  gas  metana  [14].  Penggunaan gas  hidrokarbon  (metana,  asetilen)  sebagai  bahan pelapis dalam proses plasma CVD dapat menghasilkan lapisan yang dikenal sebagai diamond- like  carbon (DLC)  [15-18].  Karakteristik  lapisan DLC  antara  lain  adalah  lapisan  tipis  yang  keras, tahan aus, tahan korosi, dan biocompatible [19-23]. Proses post-treatment plasma  CVD  mampu mempengaruhi karakteristik suatu lapisan. Tzeng dkk [24]  menghasilkan  penelitian  tentang  pengaruh penambahan tekanan post-treatment terhadap ketebalan  lapisan,  kekasaran  permukaan,  kekerasan permukaan,  dan residual  stress lapisan.  Gas  yang digunakan  dalam post-treatment adalah  gas  N 2 . Penambahan tekanan proses post-treatment menyebabkan  penurunan  ketebalan  lapisan,  dan peningkatan  kekasaran  permukaan.  Hasil  pengujian kekerasan  permukaan  menunjukkan  peningkatan kekerasan  permukaan  walaupun  secara  keseluruhan lebih  rendah  daripada  kekerasan  permukaan  tanpa proses post-treatment .  Penurunan  kekerasan  lapisan dalam post-treatment dikarenakan  ketika  adanya tumbukan  oleh  gas  N 2 terjadi  peningkatan  rasio  sp 2 terhadap  sp 3 pada  lapisan.  Selan  itu,  gas  N 2 yang digunakan  dalam post-treatment ikut  bergabung  di lapisan  dan  memacu  terbentuknya  grafit.Demikian pula residual  stress hasil post-treatment mengalami peningkatan,  tetapi  secara  keseluruhan  masih dibawah residual stress tanpa post-treatment .
Tzeng  dkk  [25]  melakukan  penelitian  tentang pengaruh  rasio  gas  asetilen/nitrogen,  tekanan pendeposisian  pada  proses  plasma  CVD,  maupun post-treatment plasma  CVD  terhadap  kekasaran permukaan,  dan  sifat  mekanis  lapisan.  Proses post- treatment menggunakan gas Ar, N 2 , dan H 2 .Berdasarkan  hasil  dari  proses  plasma  CVD didapatkan  bahwa  kekasaran  lapisan  menurun,  dan kekerasan  menurun  seiring  dengan  pengurangan jumlah  C 2 H 2 terhadap  N 2 .  Penambahan  tekanan pendeposisian  menyebabkan  peningkatan  kekasaran permukaan  dan residual  stress lapisan.Selanjutnya hasil  proses post-treatment menggunakan  gas  H 2 mampu menurunkan kekasaran permukaan dibandingkan penggunaan gas N 2 dan Ar. Selain itu, post-treatment menggunakan gas H 2 mampu mengurangi kekasaran permukaan tanpa menurunkan kekerasan  lapisan.Tebal  lapisan  setelah post- treatment mengalami  penipisan,  yang  disebabkan terjadinya  erosi  lapisan  akibat  tumbukan  gas  dalam post-treatment .  Berdasarkan  uraian  tersebut  ada peluang  untuk  mencari  parameter post-treatment plasma  CVD  lainnya  untuk  mendapatkan  kekerasan permukaan  yang  optimum,  khususnya  terhadap lapisan DLC.

## METODOLOGI Bahan dan Persiapan Benda Uji
Bahan  yang  digunakan  dalam  penelitian  ini adalah  baja  AISI  410,  dengan  komposisi  kimia seperti  ditunjukkan  dalam  Tabel  1  [26].  Benda  uji berbentuk  lingkaran  pejal,  dengan  ukuran  diameter 14  mm  dan  tebal  4  mm.  Selanjutnya  benda  uji dilakukan  pemolesan  menggunakan  amplas  dengan urutan  kekasaran  amplas  180,  400,  600,  800,  1000, 1500  hingga  2000.  Langkah finishing dilakukan pemolesan  menggunakan  kain  beludru  ( velvet ) dengan pasta metal polish , dan alkohol 96%.
Tabel 1. Komposisi kimia baja AISI 410[26]
Unsur C Si S P Mn Ni
Cr Fe Berat % 0,12 0,34 0,03 0,02 0,43 0,21 12,83 85,9
Pendeposisian Lapisan dan Post-Treatment
Benda  uji  yang  akan  dilakukan  pendeposisian lapisan  terlebih  dahulu  dibersihkan  menggunakan ultrasonic cleaner . Media larutan pembersih menggunakan  alkohol  96%,  dan  pembersihan dilakukan  selama  15  menit.  Proses  pendeposisian pada benda uji baja AISI 410 menggunakan alat DC plasma  CVD  milik  PSTA-BATAN  Yogyakarta. Skema  alat  plasma  CVD  seperti  ditunjukkan  dalam Gambar 1.
Gambar 1. Skema alat plasma CVD
Bahan pelapis yang digunakan dalam penelitian ini  adalah  campuran  gas  argon  (Ar)  dengan  gas metana (CH 4 ), dan campuran gas helium (He) dengan metane  (CH 4 ).  Gas  Ar  dan  He  berperan  sebagai  gas inert  dalam  pembentukan  plasma.  Perbandingan untuk campuran gas Ar dengan gas CH 4 adalah 90% Ar  dan  10%  CH 4 ,  sedangkan  perbandingan  untuk campuran  gas  He  dengan  gas  CH 4 adalah  76%  He dan 24% CH 4 Parameter pendeposisian lapisan yakni tekanan  1,6  mbar,  temperatur  300  °C,  dan  waktu pendeposisian  selama  4  jam.  Setelah  waktu pendeposisian tercapai, kemudian dilanjutkan dengan post-treatment .  Dalam  proses post-treatment bahan yang  digunakan  adalah  gas  argon.  Parameter post- treatment menggunakan  tekanan  1  mbar,  temperatur 300  °C,  dan  variasi  waktu  pendeposisian  yaitu  10, 20, dan 30 menit.

## Pengujian Kekerasan
Pengujian kekerasan
mikro Vickers menggunakan alat Matsuzawadigital micro hardness tester MMT-X7  milik  PSTA-BATAN  Yogyakarta. Pengujian kekerasan permukaan menggunakan microindentation dikarenakan  permukaan  benda  uji terdapat  lapisan  tipis  [27].  Beban  yang  digunakan adalah 10-50 gf, dengan waktu indentasi selama 10 s.

## Pengamatan SEM dan EDS
Pengamatan scanning  electron  microscopy (SEM)  dan  uji  e lectron  dispersive  spectroscopy (EDS)  menggunakan  alat  JEOL  JSM-6510LA  milik LPPT  UGM.  Benda  uji  yang  menghasilkan  angka kekerasan  tertinggi  untuk  lapisan  Ar-CH 4 dan  He- CH 4 dilakukan  pemotongan melintang.  Hasil pemotongan selanjutnya dilakukan pengamatan SEM dan  uji  EDS  dengan  menggunakan  tegangan  sebesar 10 kV.

## HASIL DAN PEMBAHASAN
Hasil pengujian kekerasan permukaan baja AISI 410  dengan  lapisan  DLC  hasil  pelapisan  dengan plasma  gas  Ar-CH 4 ditunjukkan  pada  Gambar  2. Penambahan  waktu post-treatment menggunakan parameter  tekanan  1  mbar,  dan  temperatur  300  °C menyebabkan  peningkatan  kekerasan  permukaan lapisan.  Dalam post-treatment ,  gas  Ar  membentur lapisan DLC hasil pelapisan plasma gas Ar-CH 4 yang menyebabkan  jarak  partikel  lapisan  menjadi  lebih rapat sehingga kekerasan lapisan meningkat.
Gambar 2. Efek waktu post-treatment terhadap angka kekerasan permukaan lapisan DLC (plasma gas Ar- CH 4 )
Fenomena  ini  mirip  dengan  proses shot peening ,  dimana  permukaan  benda  kerja  mengalami compressive stress akibat tumbukan gas Ar sehingga jarak  partikel  di  permukaan  menjadi  lebih  rapat  [3]. Penambahan waktu post-treatment sebelum mencapai kekerasan
permukaan optimum meningkatkan  intensitas  tumbukan  ke  permukaan lapisan,  yang  berdampak  terhadap  perubahan susunan butiran permukaan. Dengan susunan butiran permukaan yang lebih rapat maka terjadi peningkatan kekerasan  permukaan  [28-31].  Selain  itu,  belum terjadi  perubahan  rasio  kandungan  antara  sp 3 terhadap  sp 2 [24].  Setelah  melewati  20  menit post- treatment ,  terjadi  penurunan  kekerasan  permukaan. Butiran  lapisan  mulai  mengalami  rekristalisasi karena  pengaruh  tumbukan,  waktu  dan  temperatur post-treatment . Hubungan antara waktu dan temperatur  terhadap  terjadinya  rekristalisasi  butiran ditunjukkan  dalam  Gambar  3  [32].  Rekristalisasi merubah  sifat  mekanis  material  dan  menyebabkan lapisan  menjadi  lebih  lunak  [32].  Rasio  kandungan sp 3 menjadi  lebih  sedikit  dibandingkan  kandungan sp 2 setelah terjadinya tumbukan oleh gas Ar.
Gambar 3. Persentase rekristalisasi terhadap fungsi waktu dan temperatur [32]
Demikian  pula  untuk  pengujian  kekerasan permukaan  lapisan  DLC  hasil  pelapisan  dengan plasma  gas  He-CH 4 ,  seperti  ditunjukkan  pada Gambar 4. Terjadi peningkatan kekerasan permukaan seiring  dengan  penambahan  waktu post-treatment menggunakan parameter 1 mbar, dan temperatur 300 °C. Dalam penelitian ini waktu post-treatment hingga 30  menit  untuk  lapisan  DLC  hasil  pelapisan  dengan
plasma  gas  He-CH 4 ,  belum  terjadi  rekristalisasi butiran.  Rasio  kandungan  sp 3 dimungkinkan  masih lebih tinggi dari pada sp 2 .
Gambar 4. Efek waktu post-treatment terhadap angka kekerasan permukaan lapisan DLC (plasma gas He- CH 4 )
Gambar 5. Lapisan DLC pada permukaan baja AISI 410; (a) dengan plasma Ar-CH 4 ; (b) dengan plasma He-CH 4
Hasil  pengamatan  SEM  terhadap  lapisan  DLC dengan  plasma  gas  Ar-CH 4 dan  He-CH 4 yang menghasilkan  angka  kekerasan  tertinggi  ditunjukkan pada  Gambar  5.  Ketebalan  lapisan  DLC  dengan plasma  gas  Ar-CH 4 setelah post-treatment berkisar 17,2  μm,  sedangkan  ketebalan  lapisan  DLC  dengan plasma  gas  He-CH 4 berkisar  2,9  μm.  Lapisan  DLC dengan plasma gas He-CH 4 yang terbentuk lebih tipis dan rapat karena proses tumbukan oleh gas Ar dalam post-treatment .  Sesuai  dengan  hasil  pengujian  angka kekerasan  permukaan,  bahwa  lapisan  DLC  dengan plasma  gas  He-CH 4 menghasilkan  angka  kekerasan
200 220 240 260 280 300 320 0 10 20 30 40 A n g k a K e k e ra s a n P e rm u k a a n (V H N ) Waktu Post-treatment (menit) 600 800 1.000 1.200 1.400 1.600 1.800 2.000 0 10 20 30 40 A n g k a K e k e ra s a n P e rm u k a a n (V H N ) Waktu Post-treatment (menit) (a)
(b)
tertinggi  sebesar  1.743,2  VHN  dari  pada  lapisan DLC dengan plasma gas Ar-CH 4 yang hanya sebesar 301,2 VHN.
Lapisan yang terbentuk di permukaan baja AISI 410berdasarkan  hasil  uji  EDS  adalah  lapisan  DLC. Lapisan  tersebut  banyak  mengandung  unsur  karbon. Hasil  lapisan  DLC  dengan  plasma  gas  Ar-
CH 4 mengandung  karbon  berkisar  73%,  sedangkan hasil  lapisan  He-CH 4 mengandung  karbon  berkisar 42,19%.  Posisi  uji  EDS,  dan  hasil  uji  EDS  terhadap potongan melintang benda uji ditunjukkan dalamGambar 6.
Gambar 6. Posisi uji EDS terhadap potongan melintang benda uji lapisan DLC; (a) dengan plasma Ar-CH 4 ; (b) dengan plasma He-CH 4

## KESIMPULAN
Penambahan waktu post-treatment plasma CVD menggunakan  paramater  tekanan  1  mbar,  dan temperatur 300 °C menyebabkan terjadinya peningkatan  kekerasan  permukaan.  Peningkatan kekerasan permukaan dikarenakan perubahan susunan  butiran  lapisan  DLC  yang  menjadi  lebih rapat  akibat  tumbukan  oleh  gas  Ar.Penambahan waktu post-treatment setelah  terjadinya  kekerasan optimum, menyebabkan kekerasan permukaan menurun.  Penurunan  kekerasan  ini  dikarenakan butiran  lapisan  mengalami  rekristalisasi  sehingga rasio  kandungan  sp 3 dimungkinkan  menjadi  lebih sedikit dibandingkan sp 2 .

## SARAN
Perlu  dilakukan  penelitian  lebih  lanjut  terkait pengaruh post-treatment CVD terhadap karakterisasi lainnya seperti laju keausan, dan ketahanan korosi.

## UCAPAN TERIMA KASIH
Penelitian  ini  dapat  terlaksana  berkat  dana penelitian  yang  bersumber  dari  Kementerian  Riset, Teknologi, dan Pendidikan Tinggi Tahun 2015.Kami juga mengucapkan terima kasih kepada Bapak Tjipto Sujitno,  Ibu  Wiwien  Andriyanti,  dan  Bapak  Sayono atas bantuannya dalam penelitian ini.

## DAFTAR PUSTAKA
[1] Cardarelli,  F.,  2008, Materials  Handbook ,
Springer-Verlag, London, hal. 97. [2] ASTM F 889-95, StandardSpecificationforStainlessSteelBillet,Ba
r,andWire for Surgical Instruments
[3] ASM  Handbook,  1994, Surface  Engineering , vol. 5.
[4] Ladwig,  A.M.,  Koch,  R.D.,  Wenski,  E.G., Hicks,  R.F.,  2009,  “Atmospheric  plasma deposition  of  diamond-like  carbon  coatings”, Diamond  &  Related  Materials 18,  hal.  1129- 1133.
[5] Viana,  G.A.,  Motta,  E.F.,  da  Costa,  M.E.H.M., Freire,  F.L.,  Marques,  F.C.,  2010,  “Diamond- like carbon deposited by plasma technique as a function  of  methane  flow  rate”, Diamond  & Related Materials 19, hal. 756-759.
[6] Chiou,  A.H.,  Chang,  Y.M.,  Wu,  W.F.,  Chou, C.P.,  Hsu,  C.Y.,  2012,  “Induced  NH 2 bonding of  carbon  nanotubes  using  NH 3 plasma- enhanced  chemical  vapor  deposition”, J.  Mater Sci: Matter Electron 23, hal. 889-896.
[7] Hadinata, S.S., Lee, M.T., Pan S.J., Tsai, W.T., Tai,  C.Y.,  Shih,  C.F.,  2013,  “Electrochemical performances  of  diamond-like  carbon  coatings

## (a)
(b)
on carbon steel, stainless steel, and brass”, Thin Solid Films 529, hal. 412-416.
[8] Oohira, K., 2009, “Characteristic and application  of  DLC  films”, NTN  Technical Review 77, hal. 90-95.
[9] Martinez,  D.M.,  Schenkel,  M.,  Pei,  Y.T.,  De Hosson,  J.Th.M.,  2011,  “Microstructural  and friction  control  of  diamond-like  carbon  films deposited  on  acrylic  rubber  by  plasma  assisted chemical  vapor  deposition”, Thin  Solid  Films 519, hal. 2213-2217.
[10] Vaghri,  E.,  Khalaj,  Z.,  Ghoranneviss,  M., Borghei,  M.,  2011,  “Characterization  of diamond-like  carbon  films  synthesized  by  DC- plasma enhanced chemical vapor deposition”, J. Fusion Energ y 30, hal. 447-452.
[11] Dwivedi, N., Kumar, S., Sreekumar, C., Dayal, S.,  Rauthan,  C.M.S.,  Panwar,  O.S.,  2012, “Effect  of  metallic  interfacial  layers  on  the properties  of  diamond-like  carbon  thin  films”, Met. Mater. Int. 18, hal. 231-236.
[12] Honda,  Y.,  Akamaru,  S.,  Inoue,  M.,  Abe,  T., 2012,  “Development  of  a  polygonal  barrel- plasma  enhanced  chemical  vapor  deposition method for preparing powdered materials with a diamond-like carbon film”, Chemical Engineering Journal 209, hal. 616-622.
[13] Maheswaran, R., Thiruvadigal, D.J., Gopalakrishnan,  C.,  Ramaswamy,  S.,  2013, “Effect of deposition temperature on the surface morphology  of  the  radio  frequency  plasma enhanced  chemical  vapour  deposition  grown diamond  like  carbon  films”, Asian  Journal  of Chemistry 25, hal. S276-S278.
[14] Robertson, J., 2008, “Classification of diamond- like  carbons”,  in Tribology  of  Diamond-Like Carbon  Films ,  C.  Donnet,  A.  Erdemir,  Ed., Springer Science+Business Media, New York.
[15] Caschera, D., Cossari, P., Federici, F., Kaciulis, S.,  Mezzi,  A.,  Padeletti,  G.,  Trucchi,  D.M., 2011,  “Influence  of  PECVD  parameters  on  the properties  of  diamond-like  carbon  films”, Thin Solid Films 519, hal. 4087-4091.
[16] Ahmed,  M.H.,  Byrne,  J.A.,  McLaughlin,  J., 2012,  “Evaluation  of  glycine  adsorption  on diamond  like  carbon  (DLC)  and  fluorinated DLC  deposited  by  plasma-enhanced  chemical vapour  deposition  (PECVD)”, Surface  & Coatings Technology 209, hal. 8-14.
[17] Suzuki,  M.,  Saito,  T.,  Tanaka,  A.,  2012, “Tribological  properties  of  DLC  films  against different steels”, Wear 304, hal. 83-87.
[18] Nakazawa,  H.,  Miura,  S.,  Kamata,  R.,  Okuno, S.,  Suemitsu,  M.,  Abe,  T.,  2013,  “Effect  of pulse  bias  on  structure  and  properties  of silicon/nitrogen-incorporated diamond-like carbon  films  prepared  by  plasma-enhanced chemical  vapor  deposition”, Applied  Surface Science 264, hal. 625-632.
[19] Jia, Z., Xia, Y., Li, J., Pang, X., Shao, X., 2010, “Friction  and  wear  behavior  of  diamond-like carbon  coating  on  plasma  nitrided  mild  steel
under boundary lubrication”, Tribology International 43, hal. 474-482.
[20] Dayal, S., Kumar, S., Dwivedi, N., Chockalingam,  S.,  Rauthan,  C.M.S.,  Panwar, O.S.,  2013,  “Structural  and  nano-mechanical properties  of  nanostructured  diamond-like carbon  thin  films”, Met.  Mater.  Int. 19,  hal. 405-410.
[21] Sharma,  R.,  Barhai,  P.K.,  Kumari,  N.,  2008, “Corrosion  resistant  behaviour  of  DLC  films”, Thin Solid Films 516, hal. 5397-5403.
[22] Sharma, R., Pandey, A.Kr., Sharma, N., Sasmal, D.,  Barhai,  P.K.,  2010,  “Diamond-like  carbon films  as  a  protective  surface  on  PMMA  for biomedical  applications”, Surface  &  Coatings Technology 205, hal. 2495-2502.
[23] Jongwannasiri, C., Moolsradoo, N., Khantachawana,  A.,  Kaewtatip,  P.,  Watanabe, S.,  2012,  “The  comparison  of  biocompatibility properties  between  Ti  alloys  and  fluorinated- like carbon films”, Adv. in Materials Science & Engineering 2012, hal. 1-8.
[24] Tzeng, S.S., Fang, Y.L., Chih, Y.K., Lin, Y.C., Tuan, C.F., 2010, “Influence of nitrogen plasma post-treatment  on  diamond-like  carbon  films synthesized  by  RF  plasma  enhanced  chemical vapor  deposition”, Diamond & Related Materials 19, hal. 783-786.
[25] Tzeng, S.S.,  Fang, Y.L.,  Chih, Y.K., Hu, Y.G., Hsu,  J.S.,  Wu,  C.L.,  Wu,  G.J.,  2011,  “Surface characterization  and  nanomechanical  properties of diamond-like carbon films synthesized by RF plasma  enhanced  chemical  vapor  deposition”, Thin Solid Films 519, hal. 4870-4873.
[26] Jatisukamto,  G.,  Malau,  V.,  Ilman,  M.N., Iswanto, P.T., 2013, “Characteristicof AlNlayer depositedbyd.c.magnetronsputteringonAISI410 ”, Int.  Journal  of  Engineering  &  Technology IJET-IJENS 13, hal. 129-133.
[27] ASM Handbook, 2000, Mechanical Testing and Evaluation , vol. 8.
[28] Singh, L., Khan, R.A., Anggarwal, M.L., 2011, “Relationship  between  damping  factor  and compressive  residual  stress  for  shot-peened austenitic  stainless  steel”, ISRN  Mechanical Engineering 2011, hal. 1-7.
[29] Jeon,  C.,  Son,  C.Y.,  Kim,  C.P.,  Lee,  S.,  2012, “Effects of shot peening on fatigue properties of Zr  based  amorphous  alloys  containing  ductile crystalline particles”,
Metallurgical & Materials Transactions A 43A, hal. 471-478.
[30] Trsko,  L.,  2013,  “The  effect  of  different  shot peening  intensities  on  fatigue  life  of  AW  7075 aluminium  alloy”, Materials  Engineering 20, hal. 167-173.
[31] Fouad,  Y.,  Metwally,  M.E.,  2013,  “Shot- peening effect on high cycling fatigue of Al-Cu alloy”, Metallurgical  & Materials Transactions A 44A, hal. 5488-5492.
[32] Callister,  Jr.W.D.,  2001, Fundamentals  of Materials Science and Engineering , John Wiley
& Sons, New York, hal. 213-216, 326.