Abstrak—Penelitian material untuk sensor gas ini menggunakan bahan dasar TiO 2 dan zat pelarut H 2 SO 4 pekat 98% . Metode  pembentuk sol-gel dilakukan dengan sampel di stiring menggunakan magnetic stirrer selama 2,5 jam, kecepatan 600, 700 dan  800 rpm dengan temperatur 200 º C hingga terbentuk gel. Drying dilakukan selama 1 jam dengan temperatur 350 º C, proses kalsinasi selama 1 jam temperatur 500 ºC. Proses selanjutnya serbuk TiO 2 dikompaksi dengan tekanan 200 bar agar terbentuk padatan / pellet. Sintering dilakukan pada temperatur 700 ºC selama 1 jam. Karakterisasi material dilakukan dengan alat uji Scanning Electron microscope (SEM) dan X-ray diffraction (XRD) untuk menganalisa perubahan struktur mikro & fase material keramik TiO 2 . Berdasarkan hasil pengujian difraksi sinar–x (XRD), variasi stiring 600 rpm, 700 rpm & 800 rpm telah merubah fase anatase (raw material) menjadi unstabil fase orthohombik (TiOSO 4 ). Sintering pada temperatur  700 ͦ  C  telah  menyebabkan  unstabil  fase  TiOSO 4 menjadi stabil fase TiO 2 anatase. Sintesa sol-gel stiring 700 rpm dan 800 rpm dilanjutkan sintering 700 ͦ C menyebabkan reduksi kation Titanium. Berdasarkan hasil SEM, proses sol-gel dapat mereduksi raw material menjadi  130 nm pada kecepatan stiring 700 rpm temperatur operasi 200 ͦ C selama 150 menit.
Kata Kunci—sensor gas TiO 2, Sol-gel, Sintering, Stiring, SEM, XRD

## I. PENDAHULUAN
aat ini kerusakan lingkungan akibat kemajuan teknologi semakin tidak bisa dikendalikan, terutama kerusakan lingkungan udara/polusi udara. Hampir semua kegiatan manusia membuang limbah ke udara. Manusia bernafas pun membuang limbah ke udara, selain itu ada limbah dari sepeda motor, mobil, truk, bis, limbah asap dari hasil  proses industri, limbah udara dari kegiatan rumah tangga dll. Sehingga tidak bisa dipungkiri lagi semakin hari semakin tercemar. Apalagi udara merupakan hal yang sangat vital bagi bagi manusia. Jika kondisi udara buruk maka kesehatan masyarakat pun akan buruk juga
Titanium oksida dikenal tidak toksik (non toxic), memiliki stabilitas termal cukup tinggi, dan kemampuannya dipergunakan berulang kali tanpa kehilangan aktivitas
katalitiknya. Sebagaimana oksida logam yang lain, peningkatan sifat mekanik, sifat elektronik dan sifat katalitik TiO 2 dapat diupayakan melalui pembentukkannya dalam skala molecular atau dikenal sebagai nanopartikel (Iis Fatimah., 2006). Sehingga titanium dioksida merupakan material yang baik jika diaplikasikan sebagai sensor gas. Dari penelitian sebelumnya material keramik TiO 2 ditingkatkan sensitivitasnya menggunakan doping logam mulia (platina, perak), nikel, PbO, Bi 2 O 3 , Na 2 CO 3 .10H 2 O sehingga dapat terjadi aliran  elektron dari pita valensi ke pita conduksi akibat penambahan material dopant yang difungsikan sebagai tangga. Namun berbeda dengan penelitian ini, sebab tidak memberikan tambahan doping. [1]
Sedangkan untuk proses sintesis yang dipakai menggunakan metode sol-gel. Teknik sol-gel adalah teknik kimia basah untuk pembuatan bahan (biasanya logam oksida) mulai dari larutan kimia yang bereaksi untuk menghasilkan partikel koloid nanosize (atau sol) yang bertindak sebagai prekursor. Kelebihan menggunakan  metode sol gel yaitu,  kehomogenan yang  lebih baik, kemurnian yang tinggi, suhu  relatif  rendah , tidak  terjadi  reaksi  dengan  senyawa  sisa, kehilangan bahan akibat penguapan dapat diperkecil,  mengurangi pencemaran udara.[2]
Sementara di lain pihak masih sedikit sekali penelitian yang bergerak mengenai sensor gas. Material keramik juga masih sedikit sekali pengaplikasiannya dibidang sensor. Padahal sensor gas merupakan hal vital bagi masyarakat sebagai indicator kesehatan lingkungan udara bagi masyarakat. Sehingga hal tersebutlah yang melatar belakangi  untuk menganalisa perubahan struktur mikro & fase sensor gas dari material keramik TiO 2 menggunakan metode sol-gel dengan variasi kecepatan stiring dan variasi temperatur sintering.

## II. M ETODE PENELITIAN

## A. Prosedur Pembentukkan Sol-Gel
Material sensor TiO 2 berbentuk serbuk, untuk memperoleh nano partikel maka dilakukan proses sol gel dengan pelarut

## Pengaruh Variasi Kecepatan Stiring dan Temperatur Sintering terhadap Perubahan Struktur Mikro dan Fase Material Sensor Gas Tio 2
Della Dewi Ratnasari, Hariyati Purwaningsih S.Si, M.Si Teknik Material & Metalurgi, Fakultas Teknologi Industri, Institut Teknologi Sepuluh
Nopember
Jl. Arief Rahman Hakim, Surabaya 60111 E-mail : hariyati@mat-eng.its.ac.id
S
H 2 SO 4 pekat (98 %). TiO 2 ditimbang menggunakan neraca analitik 4 gram dimasukkan pada beaker glass kemudian ditambahkan H 2 SO 4 24 ml. Setelah itu direndam selama 3 hari, agar partikel zat terlarut dan pelarut dapat saling berdifusi. Kemudian diaduk sehingga terbentuk solution, lalu di stiring dengan temperatur 200 ºC selama 2,5 jam menggunakan 3 variasi kecepatan, yaitu 600 rpm, 700 rpm, 800 rpm, sehingga terbentuk zat pekat berwarna putih yang disebut gel.

## B. Drying dan Kalsinasi
Drying adalah proses penguapan cairan yang terkandung dalam gel sampai kering sehingga dapat berbentuk serbuk. Gel dipanaskan dalam furnace menggunakan cawan tanpa penutup cawan, agar uap dapat keluar. Drying dilakukan selama 1 jam dengan temperatur 350 ºC. Setelah dingin, cawan dikeluarkan dari furnace kemudian di gerus menggunakan mortar dan pestle agar gumpalan yang terbentuk menjadi halus seperti serbuk. Serbuk setelah drying di uji menggunakan SEM dan XRD agar dapat diketahui perubahan struktur kristal setelahproses stiring. Kalsinasi  adalah proses untuk menghilangkan semua zat yang tidak dibutuhkan dari dalam butiran gel.[3] Dalam penelitian ini untuk menghilangkan zat sisa dari larutan H 2 SO 4 yang sudah diuapkan melalui drying. Kalsinasi dilakukan pada temperatur 500 ºC selama 1 jam di dalam furnace. Setelah dingin, spesimen dikeluarkan dari furnace lalu di gerus agar gumpalan-gumpalan yang terbentuk setelah proses kalsinasi  berubah menjadi serbuk-serbuk yang halus. Kemudian di karakterisasi menggunakan SEM dan XRD untuk mengetahui ukuran butir dan struktur yang terbentuk.

## C. Proses Pembuatan Pelet & Sintering
Proses pembuatan bulks sensor gas TiO 2 dari serbuk dilakukan dengan kompaksi dari serbuk TiO 2 yang sudah dikalsinasi. Proses pembentukkan dengan cara serbuk TiO 2 dimasukkan dalam die kemudian dipasang pada mesin kompaksi kemudian diberi tekanan. Setelah dilakukan kompaksi serbuk membentuk green body yang sesuai dengan bentuk cetakan yang diinginkan. Kemudian  pellet tersebut disintering, proses sintering tujuannya adalah agar terjadi proses difusi antar partikel supaya menyatu , dan terbentuk material yang padat.[4]  Kompaksi pada serbuk TiO 2 dilakukan setelah proses kalsinasi dengan tekanan  20  Mpa atau setara dengan 200 bar.[5]
Setelah di kompaksi maka terbentuklah pelet berupa padatan (seperti kepingan uang), namun masih mudah pecah karena belum ada ikatan antar butir. Sehingga perlu dilakukan sintering agar  mendapatkan energi untuk membentuk ikatan antar butir, sebab diberi kesempatan untuk berdifusi. Sintering dilakukan dengan   meletakkan pelet di dalam cawan kemudian di panaskan dengan   temperatur, yaitu 700 ºC selama 1 jam. Setelah dingin, spesimen dikelurkan dari furnace kemudian dilakukan uji karakterisasi material yaitu, SEM dan XRD.
Grafik 1. Hasil Pengujian XRD TiO 2 murni
Grafik 2. Hasil pengujian difraksi sinar-x (XRD) serbuk TiO 2 setelah kalsinasi dengan variasi kecepatan (a)600 rpm (b)700 rpm (c)800 rpm

## III. A NALISA DATA & PEMBAHASAN

## A. Pengujian Difraksi Sinar-X (XRD)
Hasil penguian XRD titanium dioksida murni (raw material) menyatakan bahwa memiliki single fase anatase, sesuai dengan nomor PDF 01-076-3177. Dengan struktur  kristal tetragonal dan rumus kimianya adalah titanium dioksida ( TiO 2 ).  Proses selanjutnya adalah stiring dengan 3 variasi kecepatan yaitu 600 rpm, 700 rpm & 800 rpm selama ±2-3 jam dengan temperatur operasi 200 º C. Namun tidak ada data mengenai pengujian XRD gel dikarenakan gel bersifat basah & PH-nya rendah (asam) karena menggunakan H 2 SO 4 sebagai pelarutnya. Untuk menghilangkan zat pelarut dilakukan drying temperatur 350 º C selama 1 jam. Namun dari hasil drying belum didapatkan serbuk yang benar-benar kering sehingga tidak dapat dilakukan pengujian XRD.  Proses selanjutnya di kalsinasi untuk menghilangkan zat-zat sisa dari pelarut dengan temperatur 500 º C selama 1 jam. Hasilnya adalah serbuk yang sudah kering, namun terjadi agglomerasi ( saling menggumpal), kemudian dilakukan pengujian XRD dengan data hasil pengujian pada grafik 2.
Setelah dikalsinasi serbuk hasil sol-gel di uji XRD. Dari hasil uji XRD fase yang dimiliki ke-3 spesimen serbuk  dengan variasi 600 rpm, 700 rpm & 800 rpm adalah sama yaitu
Gambar 3. Hasil pengujian difraksi sinar-x (XRD) pellet variasi kecepatan stiring (a)600 rpm (b)700 rpm (c)800 rpm sintering temperatur 700 ͦ C.
Tabel 1. Analisa hasil pengujian XRD pellet kecepatan stiring 600, 700, 800
rpm temperatur sintering 700 ͦ C
Variasi kecepata n stiring (rpm) fase 2 θ FWHM (degree) B (radian) (10 -3 ) D (nm) ε (10 -3 )
600 Anatas e 25.31 3 0.289 5,245721 264, 7464 5,38 700 anatase 25.13 96 0.276 5,028165 276, 107 5,6376 800 anatase 47,72 33 0,3346 6,01423 246, 3635 3,20
titanium oksida sulfat (TiOSO 4 ) dengan nomor PDF 00-049- 0467. Struktur kristalnya adalah orthorhombic (tidak stabil), sedangkan  struktur kristal titanium dioksida adalah tetragonal dalam keadaan stabil. Untuk membentuk pelet dikompaksi dengan tekanan 200 bar holding time selama 5 menit. Hasilnya adalah pelet dengan diameter 14 mm dan tebal 4 mm. Kemudian pelet di sintering  temperatur  700 º C  holding timenya 1 jam. Bertujuan terbentuk ikatan antar butir agar lebih kuat namun tidak menghilangkan porositas seluruhnya. Untuk mengetahui fase, peak, struktur kristal, rumus kimia, crystal size,  mikrostrain dilakukan pengujian XRD dan analisa peak broadening.
Pelet dengan variasi kecepatan stiring 600 rpm & sintering 700 º C memiliki fase anatase dengan struktur  kristal tetragonal, rumus kimianya TiO 2 dengan nomor PDF 01-071- 1167. Variasi pelet dengan kecepatan stiring 700 rpm sintering dengan  temperatur  700 ͦ  C  memiliki  fase  yang  sama  yaitu anatase dan struktur kristal tetragonal. Namun memiliki nomor PDF yang berbeda 01-086-115 dan mengalami reduksi kation titanium sehingga rumus kimianya menjadi Ti 0.72 O 2 . Hal tersebut bisa terjadi karena proses sintering/pemanasan sehingga terjadi vacancy kation. Kombinasi antara kecepatan stiring  700  rpm  dan  variasi  temperatur  sintering  700 ͦ  C memungkinkan terjadinya deficien metal ( titanium) sehingga rumus kimianya menjadi Ti (1-x) O 2 . Pelet 800 rpm sintering 700 ͦ C memiliki fase anatase dengan sistem kristal tetragonal,
Gambar 4. Hasil pengujian SEM (a)raw material (b)drying kecepatan stiring 600 rpm (c)drying kecepatan stiring 700 rpm (d)drying kecepatan stiring 800
rpm perbesaran 20000 x
Gambar 5. Hasil pengujian SEM serbuk setelah kalsinasi kecepatan stiring (a) 600 rpm (b)700 rpm (c) 800 rpm
nomor PDFnya 01-086-1156. Spesimen ini sama seperti pelet 700 rpm sintering 700 rpm, mengalami reduksi kation titanium dalam senyawanya akibat proses pemanasan (sintering) sehingga rumus kimianya menjadi Ti 0.78 O 2
B. Pengujian Scanning Electron Microzcope (SEM)
TiO 2 memiliki sifat alami selalu menggumpal dalam bentuk serbuk. Dari hasil SEM perbesaran 150 x terlihat adanya gumpalan. Sedangkan dari hasil SEM perbesaran 20000 x dapat diketahui bentuk butir-butir TiO 2 (raw material) seperti bulatan-bulatan kecil dengan fasenya anatase.
Tahapan selanjutnya adalah proses drying temperatur 350 ͦ C selama 1 jam dengan tujuan untuk menghilangkan kandungan air. Setelah proses drying / pengeringan, dilakukan pengujian SEM untuk mengetahui morfologi material secara mikro. Dari uji SEM dapat dilihat pada gambar 4.6 bahwa proses stiring
A B C D A B C
(sol-gel) dengan pelarut asam sulfat dapat mereduksi ukuran butir TiO 2 dan terjadi perubahan bentuk butir dari bulat-bulat menjadi capsule. Hal ini juga dapat dilihat dari hasil XRD bahwa ada penurunan nilai ukuran kristal. Dari variasi 600 rpm, 700 rpm & 800 rpm tidak ada perbedaan yang mencolok dari serbuk hasil dryingnya, sama-sama menggumpal & sedikit bewarna kekuningan. Namun secara makro ukuran butir 800 rpm terlihat paling kecil & paling halus.
Spesimen dengan variasi stiring 600 rpm memiliki butir yang paling kasar ± 700 -900 nm. Hal ini dipengaruhi oleh kecepatan stiring sehingga semakin lambat putaran, benturan antar butir rendah sehingga reduksi ukuran butir tidak maksimal. Sedangkan untuk spesimen dengan variasi kecepatan stiring 700 rpm & 800 rpm memiliki ukuran yang tidak jauh berbeda. Ukuran terkecil serbuk variasi stiring 700 rpm adalah 132 nm dan serbuk variasi stiring 800 rpm 143 nm, rangenya juga tidak jauh berbeda hingga ± 600 –  700 nm ukuran serbuk yang paling besar.  Namun dari gambar SEM terlihat adanya gumpalan-gumpalan besar serbuk 700 rpm. Sehingga serbuk 700 rpm memiliki homogenitas yang kecil, karena memiliki ukuran serbuk yang besar dan ada yang kecil (tidak homogen). Sedangkan serbuk 600 rpm walaupun ukuran butirnya lebih besar namun lebih homogen. Serbuk dengan variasi kecepatan stiring 800 rpm selain memiliki ukuran serbuk yang kecil dan juga homogenitasnya tinggi. Pelet yang sudah dibentuk melalui kompaksi 200 bar, dilakukan uji SEM untuk mengetahui kontur permukaan (morfologi). Dari  spesimen dengan variasi kecepatan stiring 600 rpm, 700 rpm & 800 rpm menghasilkan kontur permukaan yang berbeda. Spesimen pelet dengan variasi 600 rpm  memiliki porositas yang besar & banyak bahkan ada ada lubang/porous yang berukuran 20 mikrometer. Untuk pelet dengan variasi kecepatan stiring 700 rpm memiliki banyak lubang/ porous berukuran 1 mikrometer hingga 5 mikrometer. Sedangkan pelet dengan variasi kecepatan stiring 800 rpm lebih padat (compact) dan memiliki sedikit porositas. Porositas di permukaan juga disebabkan oleh adanya benturan pelet dengan benda lain atau kontak dengan tangan sehingga ada sedikit bagian dari pelet yang terlepas. Hal ini dapat terjadi karena sifat pelet titanium dioksida yang mudah retak dan hancur ( getas).
Setelah dilakukan tahapan sintering yang merupakan peristiwa penghilangan pori-pori antara partikel bahan, pada saat yang sama terjadi penyusutan komponen, dan diikuti oleh pertumbuhan grain serta peningkatan ikatan antar partikel yang berdekatan, sehingga menghasilkan bahan yang lebih mampat/kompaksi.  Setelah proses sintering butiran titanium dioksida semakin tidak beraturan dapat dilihat di Gambar 7.

## IV. K ESIMPULAN
Dari penelitian ini dapat ditarik kesimpulan bahwa :
• Metode sol-gel pada material keramik TiO 2 yang dilarutkan dengan asam sulfat pekat ( H 2 SO 4 98 %) menghasilkan struktur mikro TiO 2 berbentuk kapsul seperti butiran beras.
• Mekanisme sol-gel menghasilkan unstabil fase TiOSO 4 orthohombik.
Gambar 6. Hasil SEM pelet variasi kecepatan (a)600 rpm (b)700 rpm (c)800
rpm perbesaran 15000 x
Gambar 7. Hasil SEM pelet variasi kecepatan stiring (a)600 (b)700 (c)800 rpm sintering 700 ͦ C perbesaran 15000x
Variasi kecepatan stiring mampu mereduksi ukuran serbuk hinga 130 nanometer pada variasi kecepatan stiring 700 rpm, temperature operasi 200 ͦ C selama 2,5 jam.
• Proses sintering mampu merubah unstabil fase menjadi anatase pada variasi temperatur 700 ͦ C
• Metode sol-gel dengan variasi kecepatan stiring 700 rpm & 800 rpm kemudian dilanjutkan sintering dengan  variasi  temperature  700 ͦ  C  dapat  mereduksi kation titanium ( vacancy kation).

## V. UCAPAN TERIMA KASIH
Penulis  mengucapkan terima kasih kepada ALLah SWT yang memberikan kesempatan dan kemudahan untuk dapat menyelesaikan jurnal ini.
Ucapan terima kasih kepada orang tua penulis atas
A B C A B C
dukungan dan doanya.
Ucapan terima kasih untuk dosen pembimbing ibu hariyati Purwaningsih atas bimbingan dan kesabarannya.
Ucapan terima kasih untuk Dino Kusuma Wardhana, Amd atas bantuan dan dukungannya juga kepada keluarga penulis, Watik Istanti, Agus Wiyono dan Setyawan hary Prasetyo.
Penulis mengucapkan terima kasih kepada semua pihak yang telah membantu atas selesainya jurnal ini. Semua pihak yang tidak bisa di ucapkan satu per satu.

## DAFTAR PUSTAKA
[1] Fatimah. Is, “Dispersi TiO 2 ke dalam SiO 2 -montmorillonit : Efek Jenis Prekursor”. Jurnal Penelitian Saintek, Vol.14, No.1, April 2009
[2] Fernandez, Benny Rio. Akan di publikasikan
[3] Herhady. R Didiek, Sukarsono. R, Masduki. Busron, “Pengaruh Suhu Kalsinsi Dalam Tungku Jenis Fluidized BED terhadap Sifat Fisi Kernel U 3 O 8 ”, Jurnal Kimia Indonesia, Vol.2(1), 2007, h.37-41
[4] Ramlan, Bama. Akhmad Aminuddin, “Pengaruh Suhu dan Waktu
Sintering terhadap Sifat Bahan Porselen untuk Bahan Elektrolit Padat (Komponen Elektronik)”, Jurnal Penelitian Sains, Vol. 14(3B) 14305, Juli 2011
[5] Radecka. Martha, dkk, “TiO 2 based Nanopowders for Gas Sensor”, Jornal Ceramics Materials, 62, 4, 2010, 545-549