Pengaruh Waktu Sputtering Terhadap Peningkatan Ketahanan Korosi Suhu Tinggi Bahan Corten (Wagiyo H.)

## PENGARUH WAKTU SPUTTERING TERHADAP PENINGKATAN KETAHANAN KOROSI SUHU TINGGI BAHAN CORTEN
Wagiyo H. 1 , Syahril 2 dan Suparyadi 3
1 Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN) - BATAN Kawasan Puspuiptek, Serpong 15314, Tangerang
2 Pusat Kemitraan Teknologi Nuklir (PKTN) - BATAN Kawasan Puspuiptek, Serpong 15314, Tangerang
3 Jurusan Fisika, FMIPA -UAD Jl. Semaki No. 9, Yogyakarta

## ABSTRAK
PENGARUH WAKTU SPUTTERING TERHADAP PENINGKATAN KETAHANAN KOROSI SUHU TINGGI BAHAN CORTEN . Telah dilakukan deposisi lapisan tipis Al pada bahan Corten . Sampel yang telah dideposisi Al kemudian di uji korosi suhu tinggi (oksidasi). Deposisi lapisan tipis Al menggunakan teknik sputtering selama 30 menit, 60 menit, 90 menit, 120 menit, 150 menit dan 180 menit. Kemudian masing-masing sampel yang telah dideposisi Al, dioksidasi menggunakan alat Thermal Gravimetry Analysis/ Magnetic Suspension Balance ( TGA / MSB ) selama 50 jam pada suhu 400 ºC. Sampel yang telah dioksidasi dikarakterisasi struktur kristalnya menggunakan alat X-Ray Diffractometer (XRD) dan strukturmikro menggunakan alat Scanning Electron Microscope ( SEM ). Hasil uji korosi suhu tinggi menunjukkan bahwa sampel yang laju oksidasinya paling kecil atau ketahanan korosinya tinggi adalah sampel yang dideposisi Al selama 3 jam dengan lapisan lindung berupa Al 2 O 3 .
Kata kunci : Sputtering , Korosi suhu tinggi, TGA/MSB, XRD, SEM-EDS

## ABSTRACT
TIME SPUTTERING INFLUENCE TO INCREASE HARDNESS AND HIGH TEMPERATURE CORROSION RESISTANT OF CORTEN SUBSTANCE. Samples of Corten steels have been subjected to surface treatment, with Al coating followed by high-temperature oxidation. The Al deposition process used the sputtering technique of 30, 60, 90, 120, 150 and 180 minutes. High-temperature corrosion tests were then carried out using a Thermo Gravimetry Analysis called Magnetic Suspension Balance (TGA/MSB), which performed for 50 hours at 400 ºC. Oxidized sample are then characterized using X-Ray Diffractometer (XRD) to determine its crystal structure, and using Scanning Electron Microscope (SEM) for observing its microstructure. It appears that samples sputtered for 3 hours, show the lowest rate of corrosion or highest corrosion resistance. Where as for Cor-Ten steel the corrosion barrier was a Al 2 O 3 protective layer.
Key words : Sputtering, high temperature corrosion, TGA/MSB, XRD, SEM-EDS

## PENDAHULUAN
Korosi dapat diartikan sebagai perusakan logam karena keadaan sekitar yang bersifat korosif. Korosi pada logam bersifat merugikan, karena dapat mengurangi mutu logam [1]. Akan tetapi kerugian akibat korosi dapat ditekan sekecil mungkin apabila ahli desain teknik mengerti tentang penyebab terjadinya korosi dan cara penanggulangannya. Oleh sebab itu korosi merupakan hal yang menarik untuk diteliti, karena dampak yang ditimbulkan dapat menyebabkan kerugian yang sangat besar.
Sebagai contoh sejak tahun tahun 1985, Amerika setiap tahunnya mengalami kerugian sekitar 3 persen dari GPD ( gross domestic product ) atau sekitar 287 milyar
dolar yang diakibatkan oleh korosi. Korosi juga sangat memboroskan sumber daya alam. Jerman telah menghitung kerugian akibat korosi sekitar 4 persen dari GPD -nya atau sekitar 64 milyar euro [2]. Bahan corten steel merupakan bahan yang banyak dipakai untuk bahan struktur. Penggunaan bahan corten steel antara lain: cerobong asap, tower transmisi listrik suhu tinggi, jembatan, rel kereta api dan peti kemas. Bahan corten juga banyak dipakai pada komponen pengambil panas pada pembangkit daya (PLTN, PLTU dan PLTG), cerobong asap, penyimpan limbah radio aktif [3]. Meskipun dirancang sebagai bahan tahan korosi atmosferik, dalam pemakaiannya bahan ini tetap
mengalami korosi sehingga diperlukan usaha pencegahan dengan cara membuat lapisan tipis terutama pada permukaan. Lapisan tipis yang terbentuk pada permukaan corten steel harus tahan terhadap korosi. Aluminium merupakan logam yang luas penggunaannya setelah baja. Aluminium mempunyai beberapa sifat-sifat yang istimewa yaitu keras, kuat, dan mudah dibentuk. Meskipun sangat elektronegatif (kecenderungan atom untuk menarik elektron dari atom luar), aluminium tahan terhadap korosi karena lapisan oksida yang kuat dan mudah terbentuk pada permukaan. Oleh karena daya tahannya terhadap korosi, maka aluminium sering dilapiskan pada besi, baja atau logam lainnya untuk membentuk lapisan oksida[4].
Dalam penelitian ini dipilih metode sputtering, karena metode ini memiliki keunggulan dibandingkan metode deposisi lainnya. Beberapa keunggulan diantaranya bahan yang diperoleh dari proses deposisi memiliki karakteristik yang serupa dengan bahan target, dapat diperoleh lapisan yang memiliki titik leleh tinggi dengan mudah dan umumnya lapisan yang terdeposisi terikat kuat pada substrat. Selain sputtering masih banyak cara untuk meningkatkan ketahanan korosi pada suhu tinggi, diantaranya pencelupan pada logam cair ( hot dip aluminizing) , nitridisasi, pelapisan dengan teknik PVD (Physical Vapor Deposition) , CVD ( Chemical Vapor Deposition), penambahan unsur pemadu atau memilih bahan yang tahan terhadap korosi suhu tinggi seperti stainless steel dan Inconel [5,6].
Penelitian ini bertujuan untuk mencari parameter proses sputtering pada bahan corten yang dilapis Al yang di uji korosi pada suhu tinggi, dengan terbentuknya lapisan alumina dipermukaan, diharapkan meningkatkan ketahanan korosinya[7]. Bahan pelapis Al pada substrat corten ini selain dapat membentuk lapis lindung oksida aluminium yang kuat, lapisan ini juga mempunyai daya hantar panas yang baik. Sehingga sangat menguntungkan dalam aplikasinya sebagai komponen pengambil panas terutama pada instalasi pembangkit daya. Untuk meningkatkan ketahanan korosinya pada suhu tinggi bahan corten , dapat juga dilakukan dengan meningkatkan kandungan unsur pemadu khrom dan menambah unsur vanadium, sehingga diperoleh bahan yang masih tahan terhadap oksidasi sampai suhu 650 o C [8]. Untuk mengetahui ketahanan korosi pada suhu tinggi, sampel corten yang telah dilapis Al dengan teknik Sputtering diuji dengan alat TGA/MSB . Hasil pelapisan Al yang telah dioksidasi selanjutnya dikarakterisasi menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM), X-Ray Diffractometer (XRD) dan Micro Hardness Tester.

## TEORI
Teknik Sputtering
Proses sputtering adalah proses dimana permukaan logam dari target dibombardir oleh ion, atom
atau partikel netral yang berenergi tinggi, maka atom- atom penyusun target tersebut akan terpental keluar melalui proses transfer momentum. Atom-atom target tersebut akan terhambur dari permukaan dan membentuk lapisan tipis pada permukaan substrat [9]. Ketebalan lapisan tipis yang terbentuk pada substrat dipengaruhi oleh beberapa parameter diantaranya jarak, posisi relatif substrat terhadap target, waktu deposisi, arus yang dipakai sewaktu Sputtering dan jenis gas yang digunakan untuk sputtering. Keuntungan teknik ini adalah tidak memerlukan vakum yang tinggi, sedang kelemahannya adalah kadang-kadang hasilnya kurang bersih dan daya adhesinya juga tidak begitu baik, sehingga untuk meningkatkan daya adhesinya, sampel perlu dilakukan perlakuan lebih lanjut.

## Pengertian Korosi
Bila logam berada pada lingkungan gas oksidan dan ketika suhunya naik, maka korosi dapat langsung terjadi dengan gas, meskipun tidak ada cairan elektrolit. Laju korosi (oksidasi) biasanya bertambah dengan naiknya suhu. Di permukaan akan terbentuk lapisan tipis berupa kerak (scale) sebagai hasil reaksi gas dengan logam, logam/kerak dapat berfungsi sebagai penyesuai (interface) pada pemindahan anion atau kation yang melewatinya yang juga menjadi elektrolit padat. Pada mulanya terbentuk lapisan tipis sangat cepat, berbentuk kerak padat tidak porous dan menutup seluruh logam. Kecepatan reaksi akan turun ketika lapisan kerak telah mencapai beberapa ribu angstrom.Untuk selanjutnya, pada kerak yang tidak porous, transport ionik melewati kerak akan mengontrol laju proses korosi. Kestabilan termodinamik, struktur ionik yang cacat dan corak morfologi dari bentuk kerak menjadi faktor kunci pada perhitungan ketahanan korosi dari paduan pada lingkungan tertentu [10].
Laju oksidasi dapat dihitung dari kurva perubahan massa persatuan luas terhadap waktu oksidasi. Untuk bahan yang mempunyai ketahanan korosi pada tempuratur tinggi, karena dipermukaannya mempunyai lapis lindung yang kuat dan stabil biasanya kurvanya berbentuk parabolik, dengan persamaan parabolik standard dapat dituliskan [11]:
m = (k p t) 1/2 ................................................................... (1) m : perubahan massa per satuan luas (g/m 2 ) k p
: konstanta parabolik (g 2 m -4 s -1 ) t : lama oksidasi (s)
Sedang bahan yang kurang/tidak tahan korosi suhu tinggi kurvanya cenderung linier.

## METODE PERCOBAAN

## Preparasi Sampel
Sampel yang digunakan dalam penelitian ini adalah corten steel berbentuk lempeng dengan ukuran
panjang dan lebar (14x10) mm dan tebal 2,6 mm. Untuk mendapatkan permukaan yang halus, maka sampel diamplas dengan mesin poles dari grit 80, 120, 400, 600, 800, 1000, 1200 dan 1500. Setelah halus sampel dibersihkan dengan aseton kemudian dikeringkan dan dimasukkan ke dalam plastik klip.

## Proses Deposisi Lapisan Al
Dalam proses pendeposisian dengan metode sputtering , atom-atom target dibombardir dengan partikel-partikel berat (ion-ion +) yang bergerak cepat dalam ruang vakum bertekanan sekitar 0,25 torr, dengan arus 20 mA, sehingga atom bahan target akan terpercik dan memancar keberbagai arah dimana sebagian akan bergerak menuju substrat. Atom-atom target terpercik dengan energi yang cukup tinggi tersebut selanjutnya menumbuk permukaan substrat dan bergerak masuk ke dalam bahan substrat untuk menempati kekosongan pada batas butir. Komposisi corten seperti ditunjukkan Tabel 1 [8].

## Pengujian Korosi Suhu Tinggi dan Karakterisasi Bahan
Pengujian korosi
dilakukan
dengan menggunakan peralatan Thermal Gravimetry Analysis /Magnetic Suspension Balance ( TGA/MSB ) merek Rubotherm Präzisonsmesstichnik GMBH, yang berkerja berdasarkan perubahan massa. Alat ini mempunyai kelebihan bila dibandingkan dengan peralatan termal gravimetri lainnya karena metoda penimbangan pada alat ini menggunakan suspensi magnetik dimana sampel yang ditimbang tidak kontak langsung dengan timbangannya. Besar kecilnya sampel akan berpengaruh pada besar kecilnya medan elektromagnet yang dihasilkan dan akan berpengaruh pada jarak magnet permanen.
Dengan kondisi demikian maka memungkinkan untuk menimbang dalam kondisi, atmosferik, vakum dan bertekanan. Sampel dan timbangan yang terpisah ini akan
menguntungkan untuk uji korosi pada suhu dan tekanan yang tinggi atau media yang korosif dalam waktu yang lama, karena timbangan tidak ikut terkorosi. Berat sampel maksimal untuk timbangan ini adalah 25 g, suhu maksimalnya 1100 °C dan resolusinya sebesar 10 g. Pengujian ketahanan korosi dengan TGA/MSB ini dilakukan selama 50 jam dengan suhu 400 o C untuk sampel Corten . Untuk mengetahui ketahanan korosi pada suhu tinggi, sampel Corten yang telah dilapis Al dengan teknik Sputtering diuji dengan alat TGA/MSB . Hasil pelapisan Al yang telah dioksidasi selanjutnya dikarakterisasi menggunakan Scanning Electron Microscope ( SEM ), X-Ray Diffractometer ( XRD ) dan Micro Hardness Tester.

## HASIL DAN PEMBAHASAN

## Hasil Deposisi Lapisan Tipis Aluminium
Hasil deposisi lapisan tipis aluminium pada corten steel dengan teknik sputtering, tebal lapisan dihitung dari selisih berat sebelum dan sesudah pelapisan, dengan hasil seperti ditampilkan pada Gambar1. Dari Gambar 1 terlihat semakin lama waktu Sputtering tebal lapisan semakin bertambah. Penambahan tebal lapisan dari lama sputtering 1,5 jam ke 2 jam cukup tinggi, tetapi setelah 2 jam pertambahannya sedikit. Hal ini disebabkan karena semakin lama waktu sputtering suhu chamber / sampel cenderung naik, ini dapat dilihat setelah selesai pelapisan sampelnya cukup panas. Dengan naiknya suhu maka gas yang tereksitasi/terionisasi yang merupakan gas pengion jumlahnya berkurang, sehingga arus ion menjadi menurun, dengan demikian bertambahnya tebal menjadi lambat.

## Hasil Pengujian Korosi
Pengujian oksidasi (korosi suhu tinggi) sampel corten yang telah dideposisi Al, dilakukan menggunakan alat TGA/MSB , yang dialiri udara dengan kecepatan alir 21 mL/menit dan suhu dibuat tetap pada 400 ºC, selama 50 jam. Data pengukuran dihitung menggunakan
No. Sampel Cor-Ten (% berat) 1. C 0,094 2. S mak 0,005 3. Pmak 0,090 4. Si 0,447 5. Al 0,044 6. Mn 0,316 7. Cu 0,318 8. Ni 0,192 9. V 0,008 10. Cr 0,907 11.
Fe sisanya Tabel 1 . Komposisi kimia sampel Corten .
Gambar 1 . Kurva hubungan ketebalan terhadap waktu.
Grafik pertambahan tebal terhadap waktu sputtering 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0 1 2 3
4 Wak tu Sputte ring (Jam )
rumus (1) dan hasilnya seperti ditampilkan pada Gambar 2. Dari Gambar 2 terlihat bahwa sampel corten yang tidak dideposisi Al, menunjukkan laju oksidasi yang paling tinggi (tidak tahan terhadap korosi), sedang yang dideposisi Al lebih tahan terhadap korosi, yaitu berturut turut 3 jam, 2 jam, 2,5 jam, 1 jam dan 1,5 jam. Aluminium hasil deposisi pada permukaan sampel sangat mudah bereaksi dengan oksigen, membentuk lapisan pelindung Al 2 O 3 yang menghambat terjadinya oksidasi dan melindungi logam dari korosi selanjutnya. Al 2 O 3 merupakan oksida logam yang sangat baik untuk melindungi korosi pada suhu tinggi.
pada oksidasi suhu 400ºC selama 50 jam belum memberikan hasil yang signifikan, namun ada kecenderungan makin tebal lapisan tipisnya akan lebih tahan terhadap korosinya dan juga tahan lebih lama

## Hasil Pengamatan Dengan SEM-EDS
Hasil pengamatan struktur mikro menggunakan alat SEM pada sampel corten as received , (sebelum sputtering ) dan sputtering Al selama 3 jam, seperti ditampilkan pada Gambar 3 dan Gambar 4. Dari Gambar 3 terlihat goresan-goresan yang merupakan akibat dari proses pengamplasan, dan sedikit pori, meskipun pengamplasan dilakukan menggunakan amplas grit 1500. Dari analisis unsur dengan EDS diperoleh hasil kandungan Al sebesar 0,06 % dan Fe
97,73 % berat, sisanya unsur lainnya. Komposisi ini mendekati dengan yang ada pada Tabel 1. Gambar 4 adalah strukturmikro sampel corten yang sudah dilakukan pelapisan Al selama 3 jam.
Dari Gambar 4 terlihat goresan-goresan yang tidak begitu dalam karena sebagian telah terisi oleh lapisan Al. Dari analisis unsur menggunakan EDS diperoleh hasil unsur Al sebesar 3,99 dan Fe sebesar 93.97% berat, sisanya unsur lainnya, ini menunjukkan terjadinya lapisan Al dipermukaan. Juga terlihat bercak hitam yang diduga merupakan oksida pengotor. Sedang strukturmikro corten as recieved dan hasil sputtering Al 3 jam yang dioksidasi pada suhu 400ºC selama 50 jam seperti ditampilkan pada Gambar 5 dan Gambar 6.
Dari Gambar 5 terlihat pori-pori yang besar-besar butir-butir oksida tidak terlihat jelas, dengan pori-pori yang besar dapat mempermudah terjadinya oksidasi, sehingga pertumbuhan oksida tidak dapat dihambat.
Gambar 2 . Kurva hubungan antara pertambahan massa persatuan luas terhadap waktu oksidasi.
Grafik pe rtambahan massa te rhadap waktu pada Tempe ratur oksidasi 400 *C 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0 10 20 30 40 50 60
Waktu (jam) corten corsput1j corsput1,5j corsput2j corsput2,5j corsput3j
Gambar 3 . Strukturmikro permukaan corten sebelum pelapisan (500x).
Gambar 4 . Strukturmikro permukaan corten , hasil sputtering Al selama 3 jam (500x).
Gambar 5 . Strukturmikro sampel corten as received setelah oksidasi 400 ºC selama 50 jam
Gambar 6 . Strukturmikro permukaan bahan corten sputtering 3 jam dan oksidasi 400 ºC, selama 50 jam
Hal ini menunjukkan bahwa bahan tersebut tidak tahan terhadap korosi. Bila dibandingkan dengan Gambar 6 yang sudah dilapisi Al selama 3 jam, butiran-butiran oksida terlihat jelas dan merata juga pori-porinya relatif sedikit, sehingga pertumbuhan oksida dapat dihambat dengan demikian laju oksidasinya menjadi lebih kecil, hal ini seperti yang ditunjukkan Gambar 1, dimana laju oksidasi yang paling besar adalah sampel tanpa pelapisan Al. Dari hasil pengamatan di permukaan menggunakan SEM-EDS diperoleh unsur Al sebesar 5,93 % dan Fe 87.66 % berat, sisanya unsur lainnya. Hasil ini lebih besar bila dibandingkan dengan sebelum dilakukan oksidasi yaitu sebesar 3,99 % berat. Hal ini dimungkinkan karena interaksi antara elektron primer dengan material untuk menghasilkan komposisi tersebut ada oksida yang mengandung unsur oksigen yang oleh alat tersebut tidak terlihat, sehingga secara relatif kandungan Fe menjadi menurun, dengan demikian kandungan Al akan naik.

## Hasil Difraksi Sinar-X
Dari hasil pengukuran bahan corten as received , sputtering Al 3 jam dan sputtering Al 3 jam yang dilanjutkan oksidasi selama 50 jam, dengan sinar X, diperoleh pola difraksi sinar-X seperti ditampilkan pada Gambar 7, Gambar 8 dan Gambar 9.
Gambar 7 adalah pola difraksi sinar-X corten as received . Dari Gambar 7 dapat terlihat bahwa baja corten merupakan baja yang mempunyai fasa Ferit. Gambar 8 adalah pola difraksi sinar X, hasil sputtering 3 jam. Dari Gambar tersebut tidak terlihat adanya puncak Al, semua masih terlihat fasa Ferit, meskipun dari hasil analisis EDS menunjukkan adanya kandungan Al sebesar 3,99 % berat. Bila dilihat dengan mata biasa (tanpa bantuan alat mikroskop) sudah terlihat adanya lapisan Al, namun karena terlalu tipis/sedikit atau masih bersifat amorf maka tidak terdeteksi oleh alat XRD . Biasanya kalau sudah dilakukan perlakuan panas baru muncul puncak-puncak dari bahan pelapis.
Pola Difraksi Sinar-X Cor-Ten Steel 0 500 1000 1500 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 2 theta (derajat)
Gambar 7 . Pola difraksi sinar-X Cor-Ten as received.
Pola Difraksi Sinar-X Cor-Ten Deposisi Al
0 1000 2000 3000 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 2 theta (derajat) -Fe Gambar 8 . Pola difraksi sinar-X corten setelah sputtering 3 jam.
Gambar 9 adalah Pola difraksi sinar X hasil as recieved yang dioksidasi pada 400ÚC selama 50 jam. Dari Gambar 9 nampak intersitas dari dari oksida besi (Fe 2 O 3 ) besi cukup tinggi namun intensitas Feritnya masih dominan. Gambar 10 Pola difraksi sinar-X bahan corten yang di sputtering Al 3 jam dan telah dioksidasi selama 50 jam pada suhu 400 ºC. Dari Gambar tersebut terlihat pola difraksi alfa ferit yang paling tinggi. Bila dibandingkan instensitas oksida besi pada Gambar 9 dan Gambar 10, intensitas pada Gambar 10 relatif jauh lebih kecil dari Gambar 9. Hal ini menunjukkan bahwa pertumbuhan oksida besi pada bahan yang telah dilapisi Al, pertumbuhan oksida besinya dihambat oleh oksida aluminium sehingga intensitasnya menjadi kecil.
Pada pola difraksi oksida aluminium tidak muncul hal ini diduga masih amorf, hal ini disebabkan suhu oksidasi kurang tinggi dan atau waktunya kurang lama, karena dari hasil analisis elemental menggunakan EDS diperoleh unsur Al sebesar 5,93 % berat. Dan dari penelitian sebelumnya [12], yang dioksidasi pada suhu 650ºC, dengan waktu yang sama selama 50 jam, menunjukkan adanya oksida aluminium dan krom. Oksida aluminium dan oksida krom ini dapat tersebar merata
Pola Difraksi Sinar-X Cor-Ten (Oksidasi)
0 100 200 300 400 500 20 30 40 50 60
70 80 2 theta (derajat) Fe Fe 2 O 3
Gambar 9 . Pola difraksi sinar-X corten oksidasi 50 jam pada suhu 400 °C.
dengan daya adhesi yang kuat sehingga dapat mengurangi terjadinya korosi selanjutnya.

## KESIMPULAN
Dari hasil uji korosi suhu tinggi dengan alat TGA/MSB pada sampel corten yang dideposisi Al dengan suhu oksidasi 400 ºC, menggunakan media udara dengan kecepatan aliran 21 mL/menit selama 50 jam. Diperoleh ketahanan korosi bahan corten yang terdeposisi Al yang paling tinggi adalah hasil sputtering selama 3 jam dengan ketebalan lapisan Al sebesar sputtering paling lama. Dan dari hasil pengamatan strukturmikro pada permukaan, menunjukkan pori-pori dan butir-butir oksida besi, alfa ferit dan oksida aluminiun yang masih amorf yang berfungsi sebagai lapis lindung.

## DAFTAR ACUAN
[1]. TRETHEWAY K.R. and CHAMBERLAIN J., Korosi untuk Mahasiswa Sains dan Rekayasa , alih bahasa
Widodo, Gramedia Pustaka Utama, Jakarta (1988)
[2]. http://www.nace.org/nace/index.asp
[3]. http://www.osti.gov/bridge (20004)
[4]. DANI M., WAGIYO H., TEGUH S.P.P., SUSI I., J. Mikroskopi dan Mikroanalisis, 6 (1) (2003)
[5]. LI YAJIANG, WANG JUAN, ZHANG YONGLAN and X HOLLY Bull. Mater. Sci ., 25 (7) (2002)
635-639
[6]. LAI G.Y., High Temperature Corrosion of Engineer- ing Alloys , Group Leader High Temperature Alloys Haynes International, Inc. Kokomo, Indiana, (1990)
[7]. THELNING K. E., Steel and its Heat Traetment , Butterworth & Co, Landon (1975)
[8]. http://www.adq.it/eng/products/prodo3.htm, (2003)
[9]. WASA K. and HAYAKAWA S., Handbook of Sputter Deposition Technology, Principle, Technology and Applications , Noyes Publication,
(1992)
[10]. I.G. WRIGHT I.G., High-Temperature Corrosion,
Metal Handbook , 13 (1990)
Pola Difraksi Sinar-X Cor-Ten Deposisi Al 3 jam (Oksidasi)
0 300 600 900 1200 20 30 40 50 60 70 80 2 theta (derajat) Fe Fe 2 O 3
Gambar 10 . Pola difraksi sinar-X corten sputtering Al 3 jam, oksidasi 50 jam pada suhu 400 ºC.
[11]. STREHL G., NAUMENKO D., AL-BADAIRY H., RODRIQUEZ LOBO L. M., BORCHARDT G., TATLOCK G. J. and QUADAKKERS W. , J., Materials at High Temperature , 17 (1) (2000)
[12]. WAGIYO H., SYAHRIL, ARI H., M. TRISAMTIONO, Deposisi Al dan Nitridisasi
Permukan Bahan Cor-Ten Untuk Meningkatkan Kekerasan dan Ketahanan Korosi Pada Temperatur Tinggi, Seminar Internasional Mikroskopi dan Mikroanalisis, 15 September 2005 (belum terbit).