## PENDAHULUAN
Material feroelektrik memiliki kemampuan untuk mengubah arah listrik internalnya, dapat terpolarisasi secara spontan dan menunjukkan efek histerisis yang berkaitan dengan pergeseran dielektrik dalam menanggapi medan listrik internal [1-2]. Penelitian material feroelektrik saat ini di arahkan pada pengembangan device generasi baru sehubungan
dengan sifat-sifat yang dimilikinya. Sifat histeresis dan konstanta dielektrik yang tinggi dapat diterapkan pada sel memori Dynamic Random Acsess Memory ( DRAM ) dengan kapasitas penyimpanan melampaui 1 Gbit, sifat piezo-elektrik dapat digunakan sebagai mikroaktuator dan sensor, sifat piroelektrik dapat diterapkan pada sensor infra merah dan sifat elektro
Akreditasi LIPI Nomor : 536/D/2007 Tanggal 26 Juni 2007

## STUDI FOTODIODE FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR
Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 DIDADAH TANTALUM

## Irzaman
Departemen Fisika FMIPA - IPB Kampus IPB Darmaga, Bogor 16680

## ABSTRAK
STUDI FOTODIODE FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 DIDADAH TANTALUM . Telah dilakukan penumbuhan film tipis Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 ( BST ) murni dan yang didadah tantalum pentoksida 5% ( BSTT ) di atas substrat silikon (100) tipe-p dan di atas substrat Transparant Conductive Oxyde ( TCO ) tipe- 7056 menggunakan metode Chemical Solution Deposition ( CSD ) dan spin coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Film tipis di atas substrat silikon dipanaskan pada suhu 850 o C, 900 o C dan 950 o C, sedangkan film tipis di atas substrat TCO tipe- 7059 dipanaskan pada suhu 400 o C, 450 o C dan 500 o C. Dari hasil karaktrisasi ketebalan menunjukkan ketebalan meningkat dengan naiknya suhu pemanasan dari 400 o C sampai 500 o C sedangkan pada suhu pemanasan 850 o C sampai 950 o C ketebalan turun. Energy gap film tipis naik dengan naiknya suhu pemanasan dari 400 o C sampai 500 o C, tetapi dengan penambahan doping dapat menurunkan energy gap film tipis. Nilai koduktivitas listrik film tipis BST dan BSTT berada pada rentang material semikonduktor. Konduktivitas listrik film tipis secara umum turun dengan naiknya suhu pemanasan. Doping tantalum yang diberikan, secara umum dapat menaikkan konduktivitas listrik film tipis. Nilai konduktivitas ini berubah terhadap perubahan intensitas cahaya yang jatuh pada film tipis. Dengan demikian film tipis ini bersifat fotokonduktiv. Konstanta dielektrik film tipis turun jika suhu pemanasan dinaikkan, namun doping tantalum dapat menaikkan konstanta dielektrik film tipis. Dari hasil karakterisasi arus-tegangan didapatkan film tipis BSTT bersifat fotodiode.
Kata kunci : Fotodiode, Semikonduktor, BSTT , Energi bandgap , Konstanta dielektrik

## ABSTRACT
PHOTODIODE STUDY OF Ta-DOPED Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 THIN FILM SEMICONDUCTOR . Growth of pure Ba 0.6 Sr 0.4 TiO 3 (BST) thin film and 5% Tantalum Pentoxyde (BSTT) doped thin film on tipe-p (100) silicon substrate and on 7056 type-TCO subsrate using chemical solution deposition (CSD) methode and spin coating at 3000 rpm rotation speed for 30 seconds have been done. Thin film on silicon substrates were heated at 850 o C, 900 o C and 950 o C while thin film on TCO substrate were heated at 400 o C, 450 o C and 500 o C. Thickness characterizations showed increasing thickness with increasing of temperature from 400 o C to 500 o C but decreasing for heating temperature of 850 o C to 950 o C. Energy gap of thin film were also in creasing with increasing heating temperature from 400 o C to 500 o C, but doping addition could increase this energy. Conductivity value of BST and BSTT thin films were within semiconductor materials value range. In general the conductivity decreased with heating temperature. Tantalum doping also increased conductivity value. This conductivity value changed with the intensity ligth and gave the photo conductive properties to this materials. Dielectric constant of thin film decreased with increasing heating temperature while Ta-doping will decrease it. Current-voltage characterization gave BSTT thin film photodiode properties.
Key words : Photodiode, Semiconductor, BSTT, Energy bandgap, Dielectric constant
Studi Fotodiode Film Tipis Semikonduktor Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 Didadah Tantalum (Irzaman)
optik untuk diterapkan pada switch termal infra merah, sifat polaryzability dapat diterapkan sebagai Non Volatile Ferroelectric Random Acsess Memory ( NVFRAM ) [1-2].
Dalam makalah ini disampaikan hasil penelitian tentang pembuatan film tipis Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 ( BST ) dan film tipis Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 yang didadah Tantalum Pentoksida (Ta 2 O 5 ) 5% ( BSTT ) dengan metode Chemical Solution Deposition ( CSD ) yang dipanaskan pada suhu 850 o C, 900 o C dan 950 o C, di atas substrat silikon (400) type- p . Sedangkan pada suhu pemanasan 400 o C, 450 o C dan 500 o C di atas substrat Trasparant Conductive Oxide ( TCO ) type- 7059 . Film tipis yang didapatkan dikarakterisasi ketebalan, energy bandgap , konduktivitas listrik, konstanta dielektrik dan arus fotodiodenya.

## TEORI
Film tipis Barium Stronsium Titanat ( BST ) memiliki konstanta dielektrik tinggi, kebocoran arus rendah dan tahan terhadap tegangan breakdown yang tinggi pada suhu Curie. Suhu Curie pada barium titanat adalah 130 o C. Dengan adanya doping stronsium suhu Curie menurun menjadi suhu kamar. Film tipis BST telah difabrikasi dengan beberapa teknik seperti sputtering , laser ablation , dan sol gel process [3].
Penambahan sedikit pendadah dapat menjadikan perubahan parameter kisi, konstanta dielektrik, sifat elektro-kimia, sifat elektro-optik dan sifat piroelektrik dari keramik pada film tipis. Penambahan tantalum akan memberikan bahan piroelektrik yang bersifat menyerupai semikonduktor tipe -n (donor doping ) [4].
Fotodiode adalah semikonduktor sensor cahaya yang menghasilkan arus atau tegangan ketika sambungan semikonduktor p-n dikenai cahaya. Piranti fotokonduktivitas dibuat dengan tujuan menghasilkan perubahan resistansi atau tegangan ketika disinari cahaya. Dengan demikian devices banyak digunakan sebagai ON-OFF devices, measuring devices, atau limited power sources [5]. Kapasitansi adalah kemampuan penyimpanan muatan untuk suatu perbedaan potensial tertentu. Ketika suatu dielektrik diletakkan antara keping-keping kapasitor, medan listrik dari kapasitor mempolarisasikan molekul-molekul dielektrik. Pengukuran sifat optik merupakan hal yang sangat penting dalam penentuan energy bandgap material semikonduktor [6-7].

## METODE PERCOBAAN
Bahan yang digunakan dalam penelitian ini adalah bubuk Barium Asetat [Ba(CH 3 COO) 2 , 99%], Stronsium Asetat [Sr(CH 3 COO) 2 , 99%]Titanium Isopropoksida [Ti(C 12 O 4 H 28 ), 99.999%], Tantalum Pentoksida [(Ta 2 O 5 )], pelarut 2-metoksietanol [H 3 COCH 2 CH 2 OH, 99%], substrat Si (100) tipe- p dan substrat Trasparant Conductive Oxide ( TCO ) tipe- 7059.
Metode penumbuhan film tipis pada penelitian ini menggunakan metode Chemical Solution Deposition ( CSD ) dengan pelapisan satu kali. Film tipis yang ditumbuhkan kemudian dipanaskan pada suhu 400 o C, 450 o C dan 500 o C untuk film tipis yang ditumbuhkan pada substrat TCO . Film yang telah dipanaskan dilakukan karakterisasi ketebalan dengan menggunakan metode volumetrik dan persen transmitansi untuk kemudian dihitung energy bandgap nya. Sedangkan film tipis yang ditumbuhkan pada substrat silikon dipanaskan pada suhu 850 o C, 900 o C dan 950 o C. Setelah dipanaskan film ini dikarakterisasi ketebalannya dengan metode volumetrik , karakterisasi konduktivitas listrik dengan terlebih dahulu mengukur konduktansi listrik menggunakan LCR -meter. Pengukuran konduktansi film tipis ini dilakukan pada kondisi gelap dan kondisi terang dengan daya 1,17 x 10 -3 watt dan 1,05 x 10 -2 watt.
Perhitungan Karaketrisasi konstanta dielektrik film tipis dilakukan dengan terlebih dahulu mengukur nilai kapasitansi dari grafik waktu pengisian dan pengosongan muatan pada layar osiloskop dengan menggunakan metode rangkaian RC, di mana resistor yang digunakan bernilai 10 kOhm dan frekuensi tegangan kotak yang diberikan sebesar 10 kHz. Selanjutnya dilakukan karaketrisasi arus tegangan fotodiode menggunakan alat I-V meter.

## HASIL DAN PEMBAHASAN

## Hasil Perhitungan Ketebalan Film Tipis
Perhitungan ketebalan ini menggunakan nilai kerapatan dari BaTiO 3 yaitu 6,02 g/cm 3 [8]. Diambil nilai kerapatan BaTiO 3 karena belum ditemukannya literatur nilai kerapatan Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 . Dari hasil perhitungan (Tabel 1) didapatkan ketebalan film tipis yang ditumbuhkan di atas substrat silikon tipe- p semakin menurun jika suhu pemanasan dinaikkan dari 850 o C sampai dengan 950 o C.
Menurunnya ketebalan film tipis karena pada suhu tinggi film tipis yang telah terdeposisi pada permukaan substrat mengalami titik uap yang menyebabkan lapisan yang terdeposisi menjadi berkurang [4]. Sebaliknya, ketebalan film tipis pada substrat TCO tipe- 7059 (Tabel 2) semakin meningkat jika suhu pemanasan dinaikkan dari suhu 400 o C sampai
Ketebalan (μm) Suhu Pemanasan Silikon 0% Silikon 5% 850 o C 1,247 1,116 900 o C 0,821 0,800 950 o C 0,486 0,492 Tabel 1 . Ketebalan film tipis BSTT di atas substrat silikon tipe- p terhadap suhu pemanasan menggunakan metode volumetrik.
dengan 500 o C. Meningkatnya ketebalan film tipis karena pada suhu rendah film tipis yang telah terdeposisi pada permukaan substrat mengalami pembentukan lapisan tipis yang menyebabkan lapisan yang terdeposisi menjadi bertambah [4].

## Hasil Perhitungan Energy Bandgap
Dari hasil pengukuran didapatkan data persen transmitansi. Untuk perhitungan energy gap menggunakan plot Tauc dari grafik hubungan   h sebagai fungsi panjang gelombang. Digunakan metode ini karena koefisien absorbansi yang didapatkan ( α    cm -1  , untuk masing-masing film tipis, seperti yang terdapat pada Gambar 1.
Dari grafik hubungan   h sebagai fungsi dilakukan plot Tauc dan didapatkan nilai energi bandgap film tipis yang dipanaskan pada suhu 400 o C, 450 o C dan 500 o C masing-masing-masing 2,92 eV, 2,94 eV dan 3,08 eV untuk film tipis tanpa doping .
Akibat adanya doping tantalum menurunkan energi bandgap masing-masing film tipis yang dipanaskan pada suhu pada 400 o C, 450 o C, dan 500 o C menjadi 2,88 eV, 2,92 eV, dan 2,98 eV. Apabila atom donor ditambahkan pada suatu semikonduktor, tingkat energi yang diperkenankan akan berada sedikit di bawah pita konduksi [9]. Hadirnya pita baru ini yang menyebabkan energi bandgap film tipis turun dengan di doping tantalum yang bervalensi lima.
Dari Gambar 2 terlihat energi bandgap semakin meningkat dengan kenaikan suhu pemanasan dari 400 o C sampai 500 o C. Hasil ini sama seperti yang didapatkan oleh penelitian sebelumnya untuk film tipis BaTiO 3 . Energi gap naik jika suhu pemanasan dinaikkan dari 300 o C sampai 400 o C, karena terjadi peningkatan energi kinetik [10]. Dari Gambar 2 terlihat pula bahwasanya doping tantalum yang diberikan pada film tipis BST menurunkan energi gap film tipis, karena elektron-elektron yang dihasilkan pada pita konduksi menurun.

## Hasil Perhitungan Konduktivitas Listrik Film Tipis
Pengaruh suhu pemanasan doping tantalum dan intensitas cahaya terhadap konduktivitas film tipis dapat dilihat pada Tabel 3 dan Tabel 4. Dari tabel tersebut diketahui konduktivitas maksimum terjadi pada suhu 850 o C untuk film tipis BST dan pada suhu 900 o C untuk film tipis BSTT . Secara umum suhu pemanasan menurunkan konduktivitas listrik film tipis BST dan BSTT . Penurunan ini disebabkan terjadinya peningkatan evaporasi lapisan film tipis sehingga ketebalan lapisan film tipis berkurang. Penipisan lapisan film tipis ini menyebabkan jarak difusi bagi elektron pada semikonduktor tipe- p berkurang, dengan demikian perpindahan elektron dari pita valensi menuju pita konduksi lebih mudah [11].
Peningkatan intensitas yang jatuh pada film tipis meningkatkan arus pada film tipis, akhirnya menaikkan
Gambar 2 . Energi gap terhadap variasi suhu pemanasan film tipis BST (tanpa doping ) dan BSTT ( doping 5%). Grafik Hubungan Suhu Annealing Vs Enery Band Gab
Tabel 2 . Ketebalan film tipis BSTT di atas substrat TCO tipe- 7059 terhadap suhu pemanasan menggunakan metode volumetrik.
Ketebalan (μm) Suhu Pemanasan TCO 0% TCO 5% 400 o C 0,670 0,659 450 o C 1,074 0,810 500 o C 1,201 0,909
Gambar 1 . Kurva  koefisien  absorpsi  (α)  sebagai  fungsi panjang gelombang pada film tipis BSTT ( doping 5%). (a) Film tipis BSTT dipanaskan pada suhu 500 o C, (b) Film tipis BSTT dipanaskan pada suhu 450 o C, (c) Film tipis BSTT dipanaskan pada suhu 400 o C.
Tabel 3 . Nilai konduktivitas listrik film tipis tanpa di doping
Doping 0%
Konduktivitas listrik (S/cm -1 ) Suhu 0 watt 1,17x10 -3 watt 1,05x10 -2 watt 850 o C 4,45x10 -5 4,75 x10 -5 4,84 x10 -5 900 o C 9,85x10 -6 4,04 x10 -7 2,91 x10 -7 950 o C 1,83x10 -7 1,92 x10 -7 3,35 x10 -7
Studi Fotodiode Film Tipis Semikonduktor Ba 0,6 Sr 0,4 TiO 3 Didadah Tantalum (Irzaman)
konduktivitas listrik film tipis. Tetapi pada film tipis BST yang dipanaskan 900 o C, konduktivitas listriknya turun jika intensitas cahaya dinaikkan. Sedangkan pada film tipis BSTT konduktivitas listriknya turun jika intensitas cahaya dinaikkan pada suhu pemanasan 950 o C.
Turunnya konduktivitas listrik film tipis jika intensitas dinaikkan terjadi karena proses jatuhnya elektron (dari film tipis BSTT ) ke hole (pada substrat silikon tipe -p ) mengakibatkan rekombinasi sehingga menurunkan nilai arus. Menurunnya nilai arus menyebabkan konduktivitas listrik film tipis BSTT menurun ketika diberi cahaya [12].
Secara umum penambahan doping tantalum meningkatkan konduktivitas listrik film tipis. Peningkatan konduktivitas listrik akibat penambahan doping tantalum karena doping atom pentavalen menghasilkan banyak elektron pada pita konduksi karena tiap atom pentavalen menyokong satu elektron pita konduksi. Tetapi pada suhu pemanasan 850 o C penambahan doping tantalum menurunkan konduktivitas listrik film tipis [6].
Gambar 3 . Kurva arus Vs tegangan fotodiode pada film tipis. (A) Film tipis BST (tanpa doping ) dipanaskan pada suhu 400 o C, (B) Film tipis BST (tanpa doping ) dipanaskan pada suhu 400 o C, (C) Film tipis BST (tanpa doping ) dipanaskan pada suhu 400 o C. (a) Film tipis BSTT ( doping 5%) dipanaskan pada suhu 400 o C, (b) Film tipis BSTT ( doping 5%) dipanaskan pada suhu 400 o C, (c) Film tipis BSTT ( doping 5%) dipanaskan pada suhu 400 o C.
(A) (B)
(C) (b) (c) (a)
Tabel 4 . Nilai Konduktivitas listrik film tipis di doping 5%
Doping 5%
Konduktivitas listrik (S/cm -1 ) Suhu 0 watt 1,17x10 -3 watt 1,05x10 -2 watt 850 o C 6,95 x10 -6 7,34 x10 -6 7,59 x10 -6 900 o C 3,76 x10 -5 3,85 x10 -5 5,55 x10 -5 950 o C 2,83 x10 -6 2,42 x10 -6 1,68 x10 -6
Tampak dalam Tabel 3 dan Tabel 4 bahwa orde nilai konduktivitas listrik film tipis BST dan BSTT termasuk material semikonduktor.

## Hasil Perhitungan Konstanta Dielektrik Film Tipis
Tabel 5 menunjukkan bahwa konstanta dielektrik semakin kecil dengan bertambahnya suhu pemanasan dan bertambah besar dengan adanya penambahan doping tantalum. Menurunnya konstanta dielektrik ini akibat ketebalan film tipis semakin kecil dengan kenaikan suhu pemanasan. Sedangkan dengan adanya penambahan doping tantalum menaikkan kapasitansi [2].
Doping tantalum menambah konsentrasi pembawa muatan negatif menyebabkan medan listrik dalam daerah deplesi bertambah, akibatnya molekul dielektrik bertambah besar. Meningkatnya medan listrik ini menurunkan medan listrik eksternal yang dikenakan padanya. Pada film BST nilai kapasitansi terbesar terdapat pada suhu 900 o C, tetapi konstanta dielektrikya lebih besar dari pada suhu 850 o C. Hal ini disebabkan ketebalan pada suhu 850 o C lebih besar dari pada suhu 900 o C dan konstanta dielektrik bertambah dengan naiknya ketebalan bahan dielektrik.

## Hasil Pengukuran Arus Tegangan Fotodiode Film Tipis
Dari hasil karaktrisasi arus tegangan fotodiode pada film tipis didapatkan film tipis BST dan BSTT yang ditumbuhkan pada substrat Si tipe- p memiliki sifat diode. Dari hasil ini pula didapatkan film tipis BST dan BSTT sensitif terhadap cahaya. Hal ini ditunjukkan dengan adanya pergesaran kurva arus tegangan pada saat kondisi gelap dan pada saat kondisi terang, meskipun pergeseran ini kecil. Pergeseran yang kecil ini menunjukkan bahwasanya arus foto yang dihasilkan kecil. Dengan adanya pergeseran kurva arus-tegangan film tipis BST dan BSTT saat diberi cahaya maka film tipis ini merupakan piranti fotodiode.

## KESIMPULAN
Nilai energi bandgap film tipis dipanaskan pada suhu 400 o C, 450 o C, dan 500 o C masing-masing 2,92 eV,
2,94 eV dan 3,08 eV untuk film tipis tanpa doping . Akibat adanya doping tantalum menurunkan energy bandgap masing-masing film tipis yang dipanaskan pada suhu pada 400 o C, 450 o C, dan 500 o C menjadi 2,88 eV, 2,92 eV, dan 2,98 eV. Ini diduga karena atom donor yang ditambahkan pada suatu semikonduktor, menyebabkan tingkat energi yang diperkenankan akan berada sedikit di bawah pita konduksi. Hadirnya pita baru ini yang menyebabkan energi bandgap film tipis menurun dengan didadah tantalum yang bervalensi lima. Dari kurva arus tegangan film tipis DST dan BSTT, film tipis yang ditumbuhkan bersifat fotodiode.

## DAFTAR ACUAN
[1]. AZIZAHWATI, Jurnal Nasional Indonesia , 5 (1)
(2002) 50-56
[2]. IRZAMAN, Y.DARVINA, A FUAD, P.ARIFIN, M.BUDIMAN and M BARMAWI, Physical and Pyroelectric properties of Tantalum-oxide doped lead Zirconium titanate [Pb 0,995O (Zr 0,525 Ti 0,465 Ta 0,010 )O 3 ] Thin film and Their Application for IR Sensor, Phys., Stat., Sol. (A), 199 (3) (2003) 416-424
[3]. N. V. GIRIDHARAN, R. JAYAVEL, P. RAMASAMY, Structural, Morphological and Electrical Studies on Barium Strontium Titanate Thin Films Prepared by Sol-Gel Technique . Crystal Growth Centre, Anna University, Chennai, India, 36 (2001) 65-72
[4]. A. C. W. UTAMI, Studi Efek Fotovoltaik Film Tipis Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 yang Didadah Tantalum (BSTT) di Atas Substrat Si (100) Tipe-p, Skripsi, Departemen Fisika - IPB, Bogor (2007)
[5]. S. M. SZE, Physics of Semiconductor Devices , John Wiley & Sons Inc, United States of America, (1981)
[6]. S. R. RIO, MASAMORI IIDA, Fisika dan Teknologi Semikonduktor , PT. Pradnya Paramita, Jakarta (1999)
[7]. IRZAMAN, Studi Lapisan Tipis Pyroelektrik PbZr 0,52 TiO 0,48 O 3 (PZT) yang Didadah Tantalum dan Penerapannya sebagai Detektor Infra Merah,
Disertasi , ITB, Bandung (2005)
[8]. A n o n i m , h t t p : / / e n . w i k i p e d i a . o r g / w i k i / Barium_Titanate. (8 Maret 2008), P. MALVINO, Electronic Principles 2 nd Edition, McGraw-Hill Inc., (1979)
[9]. R. SETIABUDY, Material Teknik Listrik . Universitas Indonesia (UI-Press), Jakarta, (2007)
[10]. H. FRIMASTO, IRZAMAN, M KURNIATI, Sifat Optik Film Tipis Bahan Ferroelektrik BaTiO 3 yang didadah tantalum (BTT), Skripsi, Departemen Fisika - IPB, Bogor, (2006)
[11]. MARWAN, Studi Efek Fotovoltaik Bahan Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 yang Didadah Galium ( BGST ) di Atas Substrat Si (100) Tipe-n, Skripsi, Departemen Fisika-IPB, Bogor, (2007)
Tabel 5 . Nilai kapasitansi dan konstanta dielektrik pada film tipis BST (tanpa doping ) dan BSTT ( doping 5 %Ta) untuk masing-masing suhu pemanasan.
Tanpa doping Doping 5% Suhu pema- nasan C (nF) Dielek- trik (ε) C (nF) Dielek- trik (ε) 850 o C 0,50 17,62 1,11 34,98 900 o C 0,68 15,76 0,9 20,33 950 o C 0,498 6,84 0,63 8,76