Terbit online pada laman web jurnal http://ejournal2.pnp.ac.id/index.php/jtm

## J URNAL T eknik M esin
Vol. 17 No. 1 (2024) 100 - 105      ISSN Media Elektronik: 2655-5670
Pengaruh Sputtering TiN Terhadap Kekerasan Permukaan dan Struktur Mikro Pada Material Stainless Steel 316L
Jemssy Ronald Rohi 1 , Elkana Bilak Lopo 2* , Boy Bistolen 3 1,2,3, Permesinan Kapal, Fakultas Logistik Militer, Universitas Pertahanan RI
2 ellblp4@gmail.com

## Abstract
Metal-based biomaterials are highly rust-resistant. A key property that metal-based biomaterials must possess is excellent biocompatibility with living cells. AISI 316L is widely used for implantation purposes in orthopedic surgery due to its good mechanical properties and low price, but AISI 316L lacks good biocompability with the body so that implant materials with AISI 316L material cannot be used for a long period of time. This research aims  to  study  the  effect  of  TiN  sputtering  process  on  AISI  316L  stainless  steel  material  and  titanium  target material as a coating on the surface. The sputtering process was carried out on the 316L surface a variation of sputtering time of 60, 90, 120 and 150 minutes with a gas variation ratio of 20% N 2 and 30% N 2 , using a voltage of 5 kV and the current used was 5-10 mA at a pressure of 0.079 mbar. The results of hardness testing on 316L material  with  TiN  sputtering  treatment  can  increase  the  hardness  on  the  surface  of  the  material.  The  surface hardness value of the effect 30% N 2 gas ratio and sputtering duration of 90, 120 and 150 minutes respectively is 305 kgf/mm 2 , 310 kgf/mm 2 and 334 kgf/mm 2 , this treatment has significant increase in hardness at 90, 120, and 150 minutes. Microstructure testing to measure the thickness of the electroplating layer results, showing that the thickness  of  the  layer  resulting  from  the  sputtering  process  with  a  gas  ratio  of  30%  N 2 and  a  TiN  sputtering duration of 120 minutes shows there are vacancies on the surface inserted by hard TiN atoms.
Keywords: TiN sputtering, hardness, AISI 316L, microstructure

## Abstrak
Biomaterial berbasis logam adalah material yang memiliki sifat tahan karat yang tinggi. Sifat utama yang harus dimiliki oleh biomaterial berbasis logam adalah kesesuaian dengan sel hidup ( excellent biocompatibility ). AISI 316L  banyak  digunakan  untuk  tujuan  implantasi  dalam  operasi  bedah  ortopedis  karena  ketahanan  korosi  dan propertis  mekanik  yang  baik  serta  harga  yang  murah.  Penelitian  ini  bertujuan  mendapatkan  nilai  kekerasan permukaan  dan  struktur  mikro  pada  penampang  316L  dalam  media  infus.  Proses sputtering dilakuan  pada permukaan  316L  dengan  variasi  lama sputtering 60,  90,  120  dan  150  menit  dengan  perbandingan  variasi  gas 20% N 2 dan 30% N 2 , menggunakan tegangan 5 kV dan arus yang digunakan yaitu 5-10 mA pada tekanan 0.079 mbar.  Hasil  penelitian  menunjukan  nilai  kekerasan  pada  permukaan  material  terjadi  peningkatan  kekerasan permukaan  karena  pengaruh  perbandingan  gas  30%  N 2 dan  durasi  sputtering  90,  120  dan  150  menit  secara berturut-turut  yaitu  305  kgf/mm 2 ,  310  kgf/mm 2 dan  334  kgf/mm 2 .  Pada  perlakuan  ini  terjadi  peningkatan kekerasan yang signifikan pada menit 90, 120 dan 150 menit. Pengujian struktur mikro menunjukan hasil proses sputtering dengan perbandingan gas 30 % N 2 dan durasi sputtering TiN 120 menit. Kekosongan pada permukaan disisipi oleh atom TiN.
Kata-kata kunci : sputtering TiN, struktur mikro, kekerasan Vikers , AISI 316L
Jurnal Teknik Mesin (JTM)  Vol . 17 No. 1 (2024) 100 - 105

## 1. Pendahuluan
Komponen permukaan dan material lapisan tipis yang direkayasa semakin didorong dan meningkatkan suatu kebutuhan  yang  ditingkatkan  dan  perbaiki  nilai kekerasan  dan  struktur  mikro  yang  terbentuk  pada suatu  permukaan  material.  Material  SS  ( stainless steel )  316L  merupakan  kelompok  material  yang sangat  penting  pemanfaatannya  yang  sangat  luas dalam  bidang  kedokteran  dan  terlebihnya  dalam bidang  dunia  industri  [1].  [2]  AISI  316L  banyak digunakan  untuk  tujuan  implantasi  dalam  operasi bedah ortopedis karena ketahanan korosi dan propertis mekanik  yang  baik  serta  harga  yang  murah,  tetapi AISI  316L  kurang  baik  sifat  biokompatibilitasnya dengan tubuh sehingga untuk material implan dengan bahan stainless steel AISI 316L tidak dapat digunakan untuk  jangka  waktu  lama  karena  pada  lingkungan cairan  tubuh    ( body  fluid )  terjadi  korosi  lokal  serta adanya  peristiwa  pelepasan  ion  menuju  jaringan  di sekitar implan sehingga dapat menimbulkan ancaman baru  bagi  pasien  [2].  Biomaterial  implan  digunakan sebagai pengganti  patah tulang  atau  untuk penunjang proses penyembuhan pasien patah tulang (Elmqvist R. Cardiac  Pacemakers  and  Defibrillators). Paduan metal  yang  umumnya  digunakan  untuk  pencakokan ortopedi ada tiga yaitu stainless steel , paduan kobalt- khrom ,  titanium  dan  paduannya  [3] .  Stainless  steel adalah  material  yang  sudah  sangat  lama  dikenal  dan paling disukai untuk piranti ortopedik fiksasi internal karena ketahanan korosi yang tinggi, sifat mekaniknya yang baik, harganya tidak mahal dibandingkan dengan kobalt-khrom,  titanium  dan  paduannya,  serta biokompatibel [4]. Juga telah dilaporkan  bahwa jenis stainless  steel  AISI  316L  untuk  cangkok  ortopedik menimbulkan korosi dalam lingkungan tubuh manusia dan  melepaskan  ion-ion  krom,  besi  dan  nikel  [5]. Khrom  dan  nikel  dikenal  karosinogen,  dan  mereka tidak  hanya  ditemukan  dalam  jaringan  sekitar  piranti cangkok,  tetapi  juga  dalam  sampel  darah  dan  urin, sering  pada  tingkat  lebih  tinggi  dari  pada  individu profesional  yang  terkena  logam  ini.  Salah  satu  cara yang dilakukan untuk meningkatkan ketahanan korosi dan  sifat  mekanis  dari stainless  steel AISI  316L adalah  dengan  cara  melakukan  perlakuan  permukaan ( surface treatment ) [6] .
Perlakuan sputtering TiN  dengan  empat  variasi  lama waktu sputtering serta dua  perbandingan  komposisi gas  Argon  dan  Nitrogen.  Pengujian  yang  akan dilakukan  meliputi  uji  struktur  mikro  dan  uji kekerasan,  parameter  proses sputtering kuat  arus ditetapkan sebesar  5-10  mA,  tegangan  5  KV  dengan jarak  antara substrat dan  target  10  mm,dan  variasi lama  waktu sputerring yaitu  60,  90,  120  dan  150 menit dengan gas sputter berupa campuran gas Ar dan N 2 .  Perlakuan  permukaan  pada  material  dapat merubah  sifat  mekanis  dan  ketahanan  korosi permukaan  material.  Perlakuan  permukaan  yang pernah  dilakukan  salah  satunya  adalah Surface mechanical  attrition  treatment (SMAT). Surface
mechanical  attrition  treatment (SMAT)  adalah  salah satu  perlakuan  permukaan  yang  digunakan  pada biomedis.  Durasi  waktu  SMAT  meningkatkan kekerasan  permukaan,  kekasaran  permukaan,  dan kemampuan wettability pada  AISI  316L.  SMAT merubah  permukaan  awal  dengan  sifat  yang  kurang hydrophilic [7].
Metode sputtering sangat  baik  untuk  meningkatkan sifat  keras,  tahan  aus,  tahan  korosi  dan  tahan  suhu tinggi.  Metode sputtering telah  terbukti  mampu meningkatkan  kekerasan  permukaan  logam  dengan beberapa  keuntungan  antara  lain;  dapat  melapisi lapisan tipis dari bahan dengan titik leleh tinggi, dapat melapisi  bahan  logam,  paduan,  semi  konduktor  dan bahan  isolator,  daya  rekat  tinggi,  ketebalan  lapisan dapat  dikontrol,  dan  penghematan  bahan  yang dideposisikan [6].
Menganalisa  sifat  mikro  lapisan  tipis  TiN  pada substrat Al  hasil  plasma sputtering dengan  variasi suhu (150, 200, 250 dan 300 o C ), waktu deposisi (0.5, 1.0, 1.5 dan 2 jam) gas reaktif nitrogen (5, 6, 7 dan 8 sccm). Karakterisasi nilai kekerasan lapisan tipis TiN pada substrat Al  hasil  deposisi sputtering diperoleh sebesar  142,05  KHN,  pada  kondisi  suhu  300 , waktu deposisi 2 jam dan aliran gas N 2 = 5 sccm dan untuk  cuplikan  standar  116  KHN  dilakukan  dengan mikrohardness  tester .  Karakterisasi  struktur  mikro hasil lapisan tipis TiN pada substrat Al dengan SEM diperoleh  permukaan  lapisan  yang  tidak  merata, ketebalan  lapisan  sekitar  22,05 dan  komposisi unsur  kimia  di  permukaan  dengan  EDS  diperoleh kandungan Ti = 15,43 %; N 2 = 5,64 % dan Al = 78,94 %  atom.  Tujuan  penelitian  ini  adalah  mempelajari pengaruh  proses sputteting TiN  pada  material stainless  steel AISI  316L,  suatu  lapisan  baru  akan terbentuk  pada  permukaan  dan  akan  dianalisis pengaruh  sifat stainless steel AISI 316L ditinjau dari struktur  mikro  dan  permukaan  kekerasan  untuk aplikasi  bahan biomaterial alternatif  dan  sebagai referensi  untuk  dunia  medis,  terutama  bahan pembuatan plat penyambung patah tulang.

## 2. Metode Penelitian
Penelitian  ini  menggunakan  material  penguji  yaitu stainless steel 316L sedangkan material pelapis adalah material  titanium  target yang  digunakan  pada  proses sputtering dan  gas  nitrogen  merupakan  gas  yang reaktif yang mengakibatkan reaksi kimia dengan atom titanium  dalam  proses  sputtering  akan  membentuk senyawa  TiN,  gas  argon  digunakan  sebagai  gas sputter ,  alat  dan  bahan  disiapkan  dalam  eksperimen ini  sehingga  membantu  dalam  proses  pengerjaan sketsa  dan  spesimen.  Penelitian  ini  menggunakan variasi  lama  waktu sputtering yaitu  60,  90,  120  dan 150  menit,  proses  sputtering  TiN  pada  lapisan menggunakan  arus  sebesar  5-10  mA  dan  tegangan  5 kV,  jarak  antar  target  dan  substrat  10  mm,  serta variasi perbandingan 20% N 2 dan 30% N 2 , dimana N 2
Jemssy Ronald Rohi 1 , Elkana Bilak Lopo 2* , Boy Bistolen 3
Jurnal Teknik Mesin (JTM)  Vol . 17 No. 1 (2024) 100 - 105
merupakan  aliran  gas  reaktif.  Dan  Gambar  1 menunjukan diagram alir langkah penelitian dibawah.
Gambar  1. Diagram alir penelitian
Lokasi  penelitian  ini  dilakukan  di  Badan Tenaga Nuklir  Nasional  (PSTA)  untuk  proses  perlakuan permukaan sputtering TiN,  sedangkan  untuk pengujian  struktur  mikro  dan  uji  kekerasan  diuji  di laboratorium bahan Teknik Mesin dan Industri UGM. Spesimen stainless  steel 316L  dipotong  berbentuk persegi  empat  dengan  ketebalan  3  mm  sebanyak  4 buah spesimen dapat dilihat pada Gambar   2, setelah dipotong  spesimen  dihaluskan  menggunakan  amplas grade 400, 800, 1200, 2000 mesh , dibantu dengan alat orbital sander.
Gambar  2. Spesimen stainless steel 316L sudah dipotong
Gambar    3  menunjukan  proses finishing spesimen , autosol metal polish digunakan untuk menghilangkan goresan  dan  membuat  permukaan  spesimen  lebih halus,  agar  permukaan  spesimen  lebih  mengkilap, setelah  spesimen  mengkilap  selanjutnya  di  cuci dengan  cairan  alkohol  dan  digetarkan  selama  kurang lebih  15  menit  didalam ultra  sonic  cleaner lalu dikeringkan.  Preparasi  spesimen  dibalut  rapi  dengan tissue dan  disimpan  pada  tempat  yang  kedap  udara sehingga  dapat  terhindar  dari  proses  oksidasi  agar dapat  dilanjutkan  pada  proses sputtering. Parameter
yang  ditetapkan  untuk  proses  sputtering  TiN  dengan kuat  arus adalah sebesar 5-10 mA dengan tegangan 5 kV,  variasi  lama  waktu sputtering yaitu  60,  90,  120 dan 150 menit, jarak antar target dan substrat 10 mm, serta variasi perbandingan 20% N2 dan 30% N2.
Gambar  3. Spesimen siap di Uji
Tabung reaktor dari stainless steel digunakan sebagai alat sputtering yang dilengkapi dengan sebuah jendela kaca, pemegang  substrat, pemegang  target, catu daya arus  searah,  vakum,  pompa  vakum  (turbo)  alat  ukur arus,  tegangan,  pendinginan  target  dan  pemanas substrat.  Gambar    4  menunjukan  skema  alat  proses sputtering yang digunakan dalam penelitian ini.
Gambar  4. Skema sistem deposisi sputtering DC (Wirjoadi, dkk. 2009)
Uji  struktur  mikro  dilakukan  untuk  mengetahui struktur    mikro  pada  spesimen stainless  steel yang terbentuk setelah di sputtering. Pemotongan dilakukan dalam  arah  lateral  untuk  mendapatkan  penampang melintang,  kemudian  spesimen  di  haluskan  dengan kertas amplas 400, 800, 1200, 2000, dan 5000 mesh .
Gambar  5. Hasil mounting spesimen uji struktur mikro
Proses  selanjutnya  spesimen  dipoles  menggunakan autosol dengan  bantuan  kain  beludru  sampai  tanpa adanya  goresan.  Kemudian  spesimen  diamati  dengan
Jurnal Teknik Mesin (JTM)  Vol . 17 No. 1 (2024) 100 - 105
262 266 283 329 274 305 310 334 254,09 250 275 300 325 350 0 30 60 90 120 150 180 V H N (k g/ m m ²) Waktu Sputtering  (Menit) 20N2 30N2 Raw
menggunakan  mikroskop  optik  yang  dilengkapi dengan optilab yang dihubungkan dengan komputer.
Sedangkan  uji  kekerasan  (Gambar    6)  dilakukan dengan  metode  uji  kekerasan  mikro Vickers, pengujian  kekerasan  akan  dilakukan  dengan  metode uji kekerasn mikro vicker dan menggunakan indentor berbentuk  piramida  yang  terbuat  intan  dan  dasarnya berbentuk  bujur  sangkar  (Gambar  6b).  Pengujian menggunakan standar ASTM E384 dengan pemberian beban  100  gram  selama  10  detik.  Setiap  spesimen diberi  jarak  5  kali  diagonal  bekas  pada  titik  injakan indentor  pada  permukaan  specimen  dan  di  dapatkan rata-ratanya.  Titik  pertama  adalah  permukaan  yang terkena  perlakuan  permukaan.  Foto  dan  Skematik pengujian pada Gambar  4.
Gambar  6. (a) Foto alat Uji kekerasan mikro Vickers (b) skema
bentuk indentor

## 3.   Hasil dan Pembahasan

## 3.1. Hasil Uji Kekerasan Permukaan
Hasil  pengujian  kekerasan  pada  material  baja  tahan karat  316L  dengan  perlakuan sputtering TiN dapat meningkatkan  nilai  kekerasan  pada  permukaan material.  Nilai  kekerasan  yang  terjadi  sangatlah bervariasi  tergantung  parameter sputtering TiN . Pengujian  kekerasan  yang  digunakan  pada  penelitian ini menggunakan metode vickers, sehingga data yang dihasilkan merupakan nilai kekerasan vickers (HVN).
Gambar  7. Pengaruh proses sputtering TiN pada kekerasan permukaan.
Gambar    7  terlihat  bahwa  spesimen  mengalami kenaikan  kekerasan  permukaan  setalah sputtering. Proses sputtering dapat meningkatkan nilai kekerasan permukaan  [8];  [1].  Nilai  dari  material  sebelum perlakuan  ( raw  material )  sebesar  254,09  kgf/mm 2 menjadi  262  kgf/mm 2 setalah  60  menit  perlakuan sputtering dengan  perbandingan  gas  20%  N 2 ,  tetapi pada perbandingan gas 30% N 2 pada waktu yang sama
meningkat  menjadi  274  kgf/mm 2 .  Peningkatan  nilai kekerasan  permukaan  tersebut  tidak  signifikan. Peningkatan nilai kekerasan hanya 3,1% dari material awal untuk perlakuan sputtering dengan perbandingan gas  20%  N 2 ,  tetapi  untuk  perbandingan  gas  30%  N 2 meningkat 7,04% dari material awal. Nilai  kekerasan akan  meningkat  seiring  dengan  meningkatnya  durasi sputtering [9] . Nilai  kekerasan  permukaan  pengaruh perbandingan  gas  20%  N 2 dan  durasi sputtering 90, 120  dan  150  menit secara  berturut  turut  yaitu  266 kgf/mm 2 , 283 kgf/mm 2 dan 329 kgf/mm 2 . Peningkatan kekerasan  permukaan  pada  durasi  sebelum  90  menit tidak  terlalu  signifikan,  tapi  durasi  di  atas  90  menit (120  dan  150  menit)  memiliki  peningkatan  nilai kekerasan  permukaan  yang  signifikan.  Nilai kekerasan  permukaan  pengaruh  perbandingan  gas 30% N 2 dan durasi sputtering 90, 120 dan 150 menit secara berturut turut yaitu 305 kgf/mm 2 , 310 kgf/mm 2 dan  334  kgf/mm 2 .  Pada  perlakuan  ini  terjadi peningkatan kekerasan yang signifikan pada menit 90, 120  dan  150  menit.  Peningkatan  kekerasan  tersebut disebabkan karena terjadi kesetimbangan antara atom nitrogen yang terdeposisi kepermukaan serta bereaksi dengan unsur Fe dan unsur-unsur lainnya dari subtrat untuk membentuk fase baru.
Pada  waktu sputtering TiN  selama  60  menit  nilai kekerasannya masih relatif rendah, karena kemungkinan  terbentuknya  lapisan  senyawa  yang masih  kecil;  tetapi  dengan  bertambahnya  waktu sputtering akan  memperbesar  lapisan  senyawa  dan mencapai optimum pada waktu sputtering 150 menit. Lapisan  senyawa  yang  terbentuk  bergantung  pada kandungan  nitrogen  dalam  plasma,  dan  ketebalannya bergantung  pada  perbandingan  gas  dan  waktu sputtering .  Maka  dapat  dikatakan  bahwa  pada  waktu 60 menit ini masih dalam tahap penataan butiran saja atau  belum  sampai  pada  tahap  perenggangan  celah antara  batas  butir,  sehingga  atom-atom  TiN  yang terdeposit  masih  sangat  sedikit  menyebabkan  nilai kekerasan  tidak  naik  secara  signifikan.  Untuk  waktu deposisi  90,  120,  dan  150  menit  nilai  kekerasan semakin  meningkat  dengan  signifikan,  hal  ini  terjadi karena  pada  waktu  deposisi  90  menit  sudah  masuk dalam  tahap  perenggangan  celah  diantara  batas  butir dan atom Ti  berinteraksi dengan  atom N  membentuk ikatan  TiN,  kemudian  atom-atom  TiN  terdifusi  dan menyisip  masuk  kedalam  substrat,  sehingga  semakin lama  waktu  deposisi  nilai  kekerasannya  semakin meningkat.  Nilai  kekerasan  permukaan  meningkat seiring  dengan  bertambahnya  durasi sputtering .  Nilai kekerasan  meningkat  seiring  dengan  berkurangnya ukuran  butiran  dan  fraksi  volume  yang  lebih  tinggi pada  batas  butir  [10].  Semakin  lama  waktu  deposisi berarti  lapisan  yang  terbentuk  akan  semakin  banyak dan  lapisan  menjadi  semakin  tebal.  Dengan  semakin tebalnya  lapisan,  maka  kerapatan  pada  batas  butir menjadi  semakin  meningkat.  Karena  kerapatan semakin  tinggi  akan  menyebabkan  terjadinya
Jurnal Teknik Mesin (JTM)  Vol . 17 No. 1 (2024) 100 - 105
pertumbuhan butir yang disertai dengan pembentukkan kekosongan dan pori-pori mikro [11].
3.2 . Uji Struktur Mikro
Pengujian sturktur mikro pada penelitian ini bertujuan untuk  mengetahui  lapisan  TiN  yang  terdifusi  ke permukaan  specimen  dan  membentuk  lapisan  tipis pada  arah  melintang  dari  spesimen  yang  telah  diberi perlakuan sputtering TiN.
Gambar  8. Struktur mikro penampang melintang AISI 316lL dengan perbandingan gas 30 % N 2 dan durasi s puttering TiN 20 menit.
Gambar    8  menunjukan  pengujian  struktur  mikro dapat  digunakan  untuk  mengukur  ketebalan  lapisan hasil  elektroplating.  Ketebalan  pada  permukaan  hasil elektroplating dilihat tanpa menggunakan larutan etsa. Pengambilan Gambar  hasil elektroplating didapatkan pada  permukaan  yang  terkena  perlakuan sputtering. Gambar  5.13 memperlihatkan ketebalan lapisan hasil proses sputtering dengan  perbandingan  gas  30  %  N 2 dan  durasi  s puttering TiN  120  menit.  Kekosongan pada  permukaan  disisipi  oleh  atom  TiN,  sehingga meningkatkan densitas permukaan specimen. Lapisan tipi  TiN  bersifat  keras  dan  berfungsi  sebagai  lapisan pelindung  oksidasi  pada  permukaan substrat .  Hal  ni sesuai  dengan  hasil  uji  kekerasan  dan  uji  korosi, lapisan  TiN  tersebut  dapat  meningkatkan  kekerasan dan ketahanan terhadap korosi.
Keadaan  permukaan  kasar  ini  dapat  meningkatkan daya lekat lapisan pada permukaan [12]. Jadi, semakin kasar permukaan yang akan di sputtering kemungkinan  dapat  meningkatan  ketebalan  lapisan pada permukaan.

## 4. Kesimpulan
Penelitian  di  atas  dapat  disimpulkan  bahwa  suatu lapisan  baru  terbentuk  pada  permukaan  dengan merujuk  pada  kesimpulan  hasil  pengujian  kekerasan pada material baja tahan karat 316L dengan perlakuan sputtering TiN  menunjukan  bahwa  nilai  kekerasan pada  perlakuan  sputtering  meningkat  dengan bertambahnya  waktu  variasi  dan  bertambahnya perbandingan gas N 2 .
Pengujian  struktur  mikro  dapat  digunakan  untuk mengukur ketebalan lapisan hasil electroplating pada permukaan  yang  terkena  perlakuan sputtering. ketebalan  lapisan  hasil  proses sputtering dengan perbandingan gas 30 % N 2 dan durasi s puttering TiN 120 menit. Kekosongan pada permukaan disisipi oleh atom TiN.

## Daftar Rujukan
[1] Wirjoadi,  Siswanto,  Bambang,  dan  Sudjatmoko.  (2009). Analisis sifat mikro lapisan tipis tin pada substrat al hasil plasma, Pros. PPI - PDIPTN- Batan Yogyakarta ,  1–7
[2] Sridhar,  T.  M.,  Mudali,  Kamachi,  U.,  Subbaiyan,  M.,
Corrosion Science , 45 (2003) 237-252.
[2] U. Kamachi Mudali, T. M. Sridhar, and R. A. J. Baldev, “Corrosion  of  bio  implants,” Sadhana  -  Acad.  Proc. Eng.  Sci. ,  vol.  28,  no.  3–4,  pp.  601–637,  2003,  doi: 10.1007/BF02706450.
[3] T. Sundararajan and Z. Praunseis, “The effect of nitrogen- ion implantation on  the corrosion  resistance  of  titanium in comparison with oxygen- and argon-ion implantations,” Mater.  Tehnol. ,  vol.  38,  no.  1/2,  p.  str.
19-24, 2004
[4] Yeung, K.W.K., Poon, R.W.Y., Chu, P.K., Chung, C.Y.,
Liu,  X.Y.,  Lu,  W.W.,  Chan,  D.,  Chan,  S.C.W.,  Luk,
K.D.K.,  Cheung,  K.M.C.,  2007, Journal  of  Biomedical
Materials Research Part A. DOI 10.1002/jbm.a, 403-414
[5] A.  Ziębowicz  and  J.  Marciniak, “The  preoperative miniplates  treatment  -  influence  on  the  corrosion behavior,” J. Achiev. Mater. Manuf. Eng. , vol. 18, no. 1– 2, pp. 199–202, 2006.
[6] T.  Sujitno,  W.  Andriyanti,  Suprapto,  V.  HR,  and  D. Priyantoro,  “Pelapisan  TiN  Pada  Biomaterial  Berbasis Logam  Tipe  SS  316  Menggunakan  Teknik  D-C Sputtering ,” Pus. Sains dan Teknologi. Akselerator Badan Teknologi Nuklir Nasasional., vol. 75, pp. 33–34
[7] B.  Arifvianto,  Suyitno,  M.  Mahardika,  P.  Dewo,  P.  T. Iswanto, and U. A. Salim, “Effect of surface mechanical attrition  treatment (SMAT) on  microhardness,  surface roughness  and  wettability  of AISI  316L,” Mater.  Chem. Phys. ,  vol.  125,  no.  3,  pp.  418–426,  2011,  doi: 2010.10.038.
[8] S. Soeharto, D. I. Rahmawati, dan T. Suyitno, “Pengaruh Implantasi Ion Titanium Nitrida Terhadap Sifat Mekanik Biomaterialaisi  316L,” J.  Sains  Mater.  Indonesia. ,  vol. 13, no. 4, pp. 22–26, 2018.
[9] J.  S. Widiatmo  and J.  Hendrarsakti. “Process  control of milk  pasteurization  using  Geothermal  brine  under Geothermal  brine  temperature and  flow  rate disturbance,” IOP  Conf.  Ser.  Earth  Environ.  Sci. ,  vol. 254, no. 1, 2019, doi: 10.1088/1755-1315/254/1/01.2018.
[10] H.  N.  Shah,  V.  Chawla,  R.  Jayaganthan,  and  D.  Kaur. “Microstructural characterizations and hardness evaluation of d.c. reactive magnetron sputtered CrN thin films on stainless steel substrate,” Bull. Mater. Sci. , vol. 33, no.  2,  pp.  103–110,  2010,  doi:  10.1007/s12034-010- 0014-z.
[11] A. M. Ohring, Materials Science of Thin  Films , 3rd ed.,
San Diego and  p. 147. Press, 2002, “M.Ohring,materials Science  of  Thin  Films, 3rd.,  San  Diego,  AcademicPress, 2002,pp.170-172.,” Angew.  Chemie  Int.  Ed.  6(11),  951– 952. , pp. 10–27, 2018.
Jemssy Ronald Rohi 1 , Elkana Bilak Lopo 2* , Boy Bistolen 3
Jurnal Teknik Mesin (JTM)  Vol . 17 No. 1 (2024) 100 - 105
[12] V.  Azar,  B.  Hashemi,  R.  Yazdi,  and  Mahboobeh, “The effect of shot peening on fatigue  and corrosion behavior of  316L  stainless  steel  in  Ringer’s  solution,” Surf.
Coatings  Technol. ,  vol.  204,  no.  21–22,  pp.  3546–3551, 2010, doi: 10.1016/j.surfcoat.2010.04.015.