Vakuum-mikrosxemalar. Vakuum-mikrosxemalar - mikroelektron texnologiya asosida yaratilgan koʻp funksiyali elektron asbob. V.-m. yuqori vakuumli ballonchadan iborat boʻlib, ichida maʼlum tartibda koʻplab mikroelektrodlar joylashgan. Millionlab metall katodlarni kimyoviy usulda yaratish texnologiyasiga asoslangan. Mikroelektrodlar kremniy taglikka mahkamlanadi, soʻngra taglik ustiga ketma-ket kremniy oksid (SiO2) va yupqa metall (koʻpincha, molibden) qatlamlari joylashtiriladi. Shu usulda har 1 mm2 taglikka 10 mingtacha mikrokatod joylashtirish mumkin. Mikrokatodlar niobiy, molibden, oltin va tantaldan tayyorlanadi. Vakuumli integral mikrosxemalar quyidagi afzalliklarga ega: V.-m. yarim oʻtkazgichli mikrosxemalarga qaraganda 20 marta tezroq ishlaydi, radiatsiyaga. kuchlanish va temperatura oʻzgarishlariga chidamli; emitter atrofidagi elektr maydonini boshqarish natijasida kvant-mexanik effektlarga oson erishish mumkin; tannarxi esa oʻxshash mikrosxemalarga nisbatan yuqori boʻlmaydi. V.-m. koʻchma radioaloqa tizimlarida, issiqlikka chidamli datchiklarda, reaktiv dvigatellar yoki atom reaktorlari va b. elektron qurilmalarda qoʻllanadi.