Public procurement notice: Contract Notice
Published: 2023-08-29
Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Country: DE
Contract type: Supplies
Procedure: Open procedure
CPV classification: 42990000
Submission deadline: 2023-09-27
Award criteria: The most economic tender

Technical requirements: This document defines all Fraunhofer IZM requirements and acceptance criteria for a TSV plating system that must be achieved during start-up and the warranty period. These criteria are designed to demonstrate the capability of the equipment and to fulfill the requirements of the void-free TSV filling process on 200mm wafers using a novel bottom-up Cu plating electrolyte. In addition, the system must have a vacuum pre-wetting station for 200mm wafers (F /1) and a rinse & dry station for 200mm wafers (F / 2). an additional chemical pretreatment chamber (BP / 3) can also be offered as an option.
The equipment must meet the specific process requirements described below using appropriate sample structures, e.g. patterned and unpatterned test wafer material. The final sample structures used for acceptance will be defined by Fraunhofer-IZM prior to equipment acceptance. The criteria for the system reliability performance shall be demonstrated during the warranty period. In addition, basic requirements are specified for clean room environment, transportation, installation and support.
Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a26f0662b-5c200c1c912b26a2
In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents under III.1). Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; their share in the scope of the contractual object must be stated.
Applications for review are not permitted if more than 15 calendar days have passed since receipt of notification from the contracting authority that it is unwilling to redress an objection (section 160 (3) sentence 1 no. 4 of the German Competition Act (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen, GWB)). Additionally, applications for review are not permitted if an award has been made before the public procurement tribunal has informed the contracting authority about the application for review (sections 168 (2) sentence 1 and 169 (1) GWB). Contracts may be awarded 15 calendar days after the tenderer information pursuant to section 134 (1) GWB has been sent. If the information is sent electronically or by fax, the period shall be reduced to ten calendar days (section 134 (2) GWB). The period shall begin on the day after which the contracting authority sends the information; the date of receipt by the tenderer and candidate in question shall be irrelevant. The admissibility of a review application also requires that the applicant notified the contracting authority about the claimed violations of public procurement provisions within ten calendar days of becoming aware of them (section 160 (3) sentence 1 no. 1 GWB). Violations of public procurement provisions which become apparent from the tender notice must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender specified in the notice (section 160 (3) sentence 1 no. 2 GWB). Violations of public procurement provisions which only become apparent from the procurement documents must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender (section 160 (3) sentence 1 no. 3 GWB).
Dieses Dokument definiert alle Anforderungen und Abnahmekriterien des Fraunhofer IZM für eine TSV-Beschichtungsanlage, die während der Inbetriebnahme und der Garantiezeit erfüllt werden müssen. Diese Kriterien sollen die Leistungsfähigkeit der Anlage demonstrieren und die Anforderungen des lunkerfreien TSV-Füllprozesses auf 200mm-Wafern unter Verwendung eines neuartigen Bottom-up-Cu-Galvanisierungselektrolyten erfüllen. Darüber hinaus muss die Anlage über eine Vakuum-Vorbenetzungsstation für 200mm-Wafer (F/1) und eine Spül- und Trockenstation für 200mm-Wafer (F/2) verfügen. Eine zusätzliche chemische Vorbehandlungskammer (BP/3) kann ebenfalls als Option angeboten werden.
Die Ausrüstung muss die unten beschriebenen spezifischen Prozessanforderungen unter Verwendung geeigneter Probenstrukturen, z. B. strukturiertes und unstrukturiertes Testwafermaterial, erfüllen. Die endgültigen Probenstrukturen, die für die Abnahme verwendet werden, werden vom Fraunhofer-IZM vor der Geräteabnahme festgelegt. Die Kriterien für die Zuverlässigkeit des Systems müssen während der Garantiezeit nachgewiesen werden. Darüber hinaus werden grundlegende Anforderungen an die Reinraumumgebung, den Transport, die Installation und den Support festgelegt.
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a26f0662b-5c200c1c912b26a2
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Eligibility requirements: Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a26f0662b-5c200c1c912b26a2
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