《微机电系统基础》是2007年机械工业出版社出版的图书，作者是（美）刘（ChangLiu）

三元组：
predicate: 出版社
object: 机械工业
subject: 微机电系统基础
predicate: 作者
object: Chang
subject: 微机电系统基础
predicate: 作者
object: Liu
subject: 微机电系统基础