BMBF Verbundprojekt VESIMA Vertikal Strukturiertes Intelligentes Mikroschalter-Array, Teilprojekt: Technologieentwicklung zur Herstellung vertikal integrierter Sensoren in galvanischer Additivtechnik : Abschlußbericht ; Projektlaufzeit: 01.10.1996 - 30.09.1999 (verlängert bis 31.01.2000) (2000)