Verbundprojekt: "Präzise Materialbearbeitung mit Ultrakurzpuls-Strahlquellen (PRIMUS)" : Abschlussbericht für das Teilvorhaben "Systemtechnik für das hochpräzise Bohren und Oberflächenabtragen mit ultrakurzen Laserpulsen" ; Laufzeit: 01.01.2000 bis 30.06.2003 (2003)