Abschlußbericht MIKROMAK : Optisches 3D-Inspektionssystem zur ortsaufgelösten Materialkennwertermittlung an strukturierten Mikrokomponenten, Teilprojekt: "Grundlegende Untersuchungen zur ortsaufgelösten Erfassung von Materialparametern an Mikrokomponenten" ; Berichtszeitraum: 01.10.1995 - 31.12.1999 (2000)