Überwachte und geregelte Prozeßführung bei der Oberflächenbehandlung mit Excimerlasern : Abschlußbericht für das F & E-Vorhaben 13N7050 im Rahmen des Leitprojektes UV-Laserphotonen-Technologie ; Berichtszeitraum: 01.01.1997 - 30.04.2000 ; industrielles Verbundprojekt: FLÄCHE- Gestaltung von Oberflächen durch Präzisionsbearbeitung mit UV-Photonen (2000)