Abschlussbericht zum BMBF-Projekt "Prozesse und Equipment für 300-mm-Wafer", Unterprojekt: 1.3 Materialfluß/Logistik: "Los-Identifikations- und Lagersystem (LILA)" und Unterprojekt: 1.5 FOUP-Management: "Front opening unified pod mit hoher Präzision, Lebensdauer und Stabilität (FOUP PLUS)" : Berichtszeitraum: 1. April 1998 bis 30. September 2000 (2000)