荷兰ASML公司所生产的EUV光刻机,当前已经能够实现5nm工艺制程芯片的生产。台积电使用的就是荷兰ASML公司的EUV光刻机产品,华为麒麟9000处理器芯片也诞生于该光刻机之下。
通过比较,国内光刻机的产品尚处于较低阶段,只能够称得上是中低端产品。
荷兰ASML公司的崛起与美国之间有着纤丝万缕的联系!荷兰ASML公司并不是最早踏入光刻机领域的公司,尼康与佳能在光刻机领域同样有着不可忽视的地位。那么,为何ASML公司这家名不转经传的小公司,能够在竞争中脱颖而出呢?最主要的因素在于美国成立的 EUV LLC 组织。上世纪末,英特尔公司联合美国能源部成立了EUV LLC 组织,汇集了美国顶级的芯片研究资源,包括美国三大国家实验室、摩托罗拉、AMD等众多企业。荷兰ASML公司想方设法进入了该组织,尼康则没能够成功进入,两家公司的分水岭从此开始!2000年、2013年分别收购美国光刻机巨头SVGL、准分子激光源企业Cymer则奠定了荷兰ASML公司成功的基础。
荷兰ASML公司进入EUV LLC 组织不仅获得了相关的研究成果,也结交到了众多的美国高科技公司与顶尖的技术人才。荷兰ASML公司并没有放弃如此多的优势资源,通过入股的方式建立起一个利益共享体。例如英特尔、台积电、三星等均为荷兰ASML公司的股东,三家分别投入了41美元、14美元、9.75亿美元。发展至今,荷兰ASML所生产的光刻机相当抢手,属于有钱也买不到的产品,台积电能够轻易够得所需光刻机也不足为怪(中芯国际好不容易订购了一台EUV光刻机,也因为美国的关系迟迟无法到货)。
奠定了技术与资金优势之外,荷兰ASML公司的光刻机硬件有90%来自全球各地,使用全球顶端工艺来打造自家的光刻机产品。例如光刻机中较为重要的光源,来自美国的Cymer公司(现已被收购),光刻机的镜头则来自德国的蔡司等等。从这个角度来看,荷兰ASML公司的强项并不是在于硬件产品的制造,而是对现有零部件产品的设计和组装。既可以使用全球顶尖的工艺,也可避免自身额外的投资,这或许也是荷兰ASML公司的高明之处。