光刻胶旋涂单元包括胶喷嘴和输送管道。胶喷嘴和输送管道外是一个水套管,用来保持胶恒温。涂胶单元不仅仅局限于光刻胶的旋涂,也可以用于旋涂抗反射涂层和193nm浸没式光刻的防水顶盖涂层(topcoat)。转台用来放置晶圆,几个喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂,每一个喷嘴对应一种材料,并有专用的管路和胶泵。有机溶剂用来冲洗晶圆表面使之湿润,以后随后的光刻胶涂布,系统必须对转台的转速控制得极为准确。