用PECVD 法镀氮化硅 膜后,不但能作为减反射膜可减小入射光的反射,而且,在氮化硅薄 膜的沉积过程中,反应产物氢原子进入氮化硅薄膜以及硅片内,起到 了钝化缺陷的作用。这里的氮化硅氮硅原子数目比并不是严格的4:3, 而是根据工艺条件的不同而在一定范围内波动,不同的原子比例对应 的薄膜的物理性质有所不同。 用于超高温燃气透平,飞机引擎,电炉等。 氮化硅的强度很高,尤其是热压氮化硅,是世界上最坚硬的物质 之一。它极耐高温,强度一直可以维持到1200的高温而不下降, 受热后不会熔成融体,一直到1900才会分解,并有惊人的耐化学腐蚀性能,能耐几乎所有的无机酸和30%以下的烧碱溶液,也能耐很 多有机酸的腐蚀;同时又是一种高性能电绝缘材料。 氮化硅陶瓷具有高强度、耐高温的特点,在陶瓷材料中其综合力 学性能最好,耐热震性能、抗氧化性能、耐磨损性能、耐蚀性能好, 是热机部件用陶瓷的第一候选材料。