为输入正弦信号频率;F。为采样频率.在输入信号的频率为4.6 kH z,时钟频率为20 M H z时,每16个时钟周期采样一次,即采样频率为1.25 M S/s,采集15个信号周期,得到4 096个采样点.将得到的输出数字信号经M atl ab处理,FFT的输出频谱如图12所示.计算得信噪比为56.4 dB,有效位为9.1位,SFDR为69.2 dB,满足设计要求.图10SARAD C的仿真结果图Fi g.10Si m ul ati on resul ts of SA.RAD C图11单芯片真空传感器系统版图Fi g.11Layout of m onol i thi c vacuumsensor system要飞肚图12输出频谱图Fi g.12O ut put f requency spectrum4结论设计了一款适用于真空传感器的10位SAR型A/D转换器.详细描述了SAR算法、电荷再分配型DAC电路、比较器的电路设计及版图实现.仿真结果表明:在1.25 M S/s采样率和4.6 kH z的输入频率下,模数转换器信噪比为56.4 dB,SFD R为69.2dB.3 V电源电压供电时,功耗为3.1m W .电路采用0.5弘m2P3M 工艺设计,芯片面积为2 i ni n2,不含PAD部分的面积为0.911"111"12.经验证,性能指标良好,符合预期的设计要求.参考文献:[ 1] W ITVRO U WA,VAN STEEN KI STE F,M AES D,矗a1.W hy CM O S-i ntegrated transducers.' ?A revi ew口].M i crosystem Technol ogi es,2000,6( 5) :192· 199[ 2] ABD ELH ALIMK,M ACEACH ERN L,M AH M O U D& A nanow attsuccessi ve approxi m ati on AD Cw i thoffsetcorrecti on fori m pl antabl esensorappl i cati on[ C] //2007I EEEInternati onalSym posi umonCi rcui tsandSystem s.Pi scataw ay:IEEE,2007:235】一2354Z≯Z≯Z≯Z≯Z≯Z≯万方数据 第6期李金凤等:用于单片集成真空传感器的SAR型AD C设计963f3J SCoTT MD 。BO SER BE,PI STER K SJ .Anul tral ow - energy AD Cforsm artdustEJ ] .IEEEJ ournalofSol i d-stateCi rcui ts,2003,38( 7) :1123—1129[43