本词条由“科普中国”科学百科词条编写与应用工作项目 审核 。 简介 净室,又称无尘室、洁净室或清净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是净室中的灰尘。 净室的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,净室可以占据厂房很多位置。 [1] 净室系统 净室系统,制造匹配规格之洁净空气,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,净室内的制造区(FAB)。一般而言,制造洁净空气之气源为外气(OUTSIDE AIR),经过净室系统各种处理单元设备之处理后进而得到匹配规格之洁净空气。以下简单介绍其处理流程:外气经由外气空调箱(Make-up Air Unit或MAU)初步过滤微尘(particle)并控制其温湿度后,经由回风管道间(Mech. Chase),将净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管(Dry Cooling Coil)将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,透过循环风扇(Fan Filter Unit或FFU)带动净室的气流循环带走微尘及热量,最后经过超高性能过滤网(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)过滤后,供应至Fab区。 [1] 净室空调的特性 温湿度要求比一般空调高 一般空调要求在18°C~26 °C之间,相对湿度则在40%~65%之间;净室空调必须控制在22°C~24 °C之间,相对湿度则在45%~55%。 恒温恒湿控制 由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感,故在净室大部分区域必须控制在± 1°C及± 3%之内。 所需的外气较多 由于半导体工厂中,制程系统需使用大量的化学品和毒气,这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除,故排气量相当大,