LabVIEW(laboratory　virtual　instrument　engineering　workbench)　,作为美国　国家仪器公司的代表性产品,也是目前应用最广、市场占有率最高的图形化编程　软件,承担着越来越多的虚拟仪器任务。它与其他计算机语言(如C、BASIC　等)有着显著区别:其他语言都是采用基于文本的语言产生代码,而LabVIEW　使用的是图形化编辑语言　G　语言编写程序,产生的程序是框图的形式,搭建系　统方便,简明易懂;同时像其他高级语言(如VC、VB　等)一样,LabVIEW　也　是一种带有扩展库函数的通用程序开发系统,其主要包括数据采集、GPIB　1　厦门大学博硕士论文摘要库厦门大学硕士论文　(General　Purpose　Interface　Bus,通用接口总线)和串口仪器控制数据分析、显　示与存储等;更为难能可贵的是,LabVIEW　开发系统不但能够完成一般的数学　运算、逻辑运算和输入输出功能,还带有专门用于数据采集和仪器控制的库函数　和开发工具,和与之对应的专业的数学分析程序包,基本上可以满足任何复杂工　程计算和分析的要求。使用　LabVIEW　编程时,不需要编写复杂的程序代码,取　而代之的是连线般轻松的流程图,　这为非专业编程工程师和科研人员提供了一个　便捷、轻松的设计环境,设计者可以轻松的组建自己的测量系统和仪器面板,而　无需在程序编写上花费过多精力,　从而能够使工程师或科学家们更能专注于本专　业所需考虑的事情。总得来说　LabVIEW　有如下优势和特点[4]　。　1.提供丰富的图形控件,并采用图形化的编程方法,规避了令人烦恼的语　法规则,减轻编程者的负担。　2.软件开发周期短,只需通过交互式图形面板进行系统控制和结果显示,　省去硬件面板的制作。　3.兼容性好,LabVIEW　提供了　650　多种仪器的驱动程序,几乎能与任何接　口的硬件轻松连接。　4.提供大量与外部软件或代码连接的库函数,如DLL(动态链接库)、DDE　(共享库)等,使编程不必都从底层做起。　5.内置的编译器可加快程序执行速度,支持条件断点与自定义探针,自动　错误处理,修改方便。　6.最为显著的特点就是在对应一个或几个硬件的情况下,可以通过改变软　件来增强硬件的功能。　LabVIEW　自诞生以来,在研发设计、实验室构建、生产测控等方向取得了　广泛的应用,编译的软件遍布电子、机械、半导体、科研、教育等诸多行业和领　域。尤其是在测试测控领域,LabVIEW　已经作为一种新的工业标准出现;在教　学领域,它已成为国际国内各理工科专业的必修或选修课。目前虚拟仪器在发达　国家中的设计、生产、应用已经相当普及。在国内也有不少公司、科研院所采用　LabVIEW　系统进行研究。如上海航虹高科技有限公司的爱迪克自动控制原理教　学实验系统和北京精仪达盛科技有限公司的自动控制原理实验系统等[5]　。在研究　领域方面,　自1986年第一篇关于LabVIEW的报道刊登出来后[6]　,　1991年,　Wieslaw　2　厦门大学博硕士论文摘要库第一章　绪论　等人就利用　LabVIEW　搭建了一套关于荧光衰减测量的数据采集系统[7]　。此后基　于LabVIEW　的应用研究系统在各个领域都有数量可观的论文出现[8-11]　。　基于　LabVIEW　的虚拟仪器技术将沿着高性能、多功能、集成化和网络化的　方向发展。首先,为了满足不同领域、不同客户的需要,LabVIEW　的性能将不　断增强,实时性也越来越好。其次,目前虚拟仪器的硬件和软件都制定了开发的　工业标准,使得资源的可重复利用率提高,功能易于扩展,生产、维护、开发的　费用降低,这些都有利于　LabVIEW　的应用范围扩大。最后,随着网络技术的发　展,虚拟仪器技术必将朝着网络化方向发展。　1.2　光电材料检测技术及LabVIEW应用　1959　年,外延生长首先用来制备硅单晶薄膜,很快应用到化合物半导体中,　并成为不可或缺的手段[12]　。相较于之前的拉单晶生长技术外延生长有如下优点:　可在低于衬底熔点的温度下生长半导体单晶薄膜;可以生长薄层、异质外延层和　低维结构材料;可生长组分或杂质分布陡变或渐变的外延层;可在衬底指定区域　进行选择性外延生长。外延技术的发展使得半导体器件从杂质工程走向能带工　程,　它的应用和发展对于提高半导体材料的质量和器件的性能有着非常重要的意　义。目前该技术已经发展出很多种类的生长方法,如液相外延、分子束外延、金　属有机化合物气相外延(MOVPE)等。其中　MOVPE　在GaN　基材料生长方面的　成就尤为突出。从第一支　p-n　结GaN　蓝光发光二极管诞生,到实现了　InGaN　异　质结　LED　的产业化,再到研制成功　InGaN　量子阱激光器,GaN　基材料市场化应　用的每一步都与　MOVPE　生长技术的成熟密不可分。　因此工业中生产　GaN　基LED　外延片大多使用该方法。　如今,　MOVPE　技术不仅成为制备化合物半导体异质结、　超晶格、量子阱等低维结构的主要手段,而且还是生产化合物半导体、光电子、　微电子器件的重要方法。用MOVPE　生产半导体激光器、发光管、太阳能电池等　都已形成产业,并继续发展中,成为现代外延技术的重要组成部分[13]　。本文所　涉及到的样品均采用　MOVPE　生长。　在一般　LED　工业流程中,经过复杂的外延片生长过程后,为保证生产质量,　生长完毕后需要进行一系列的检测,这在商品化生长外延片的公司中尤为重要。　3　厦门大学博硕士论文摘要库厦门大学硕士