近年来在这些沉积技术和装备领域的主要技术进展包括:
1间歇式直接光控(intermittent measuring method)
间歇式直接光控(intermittent measuring method):以Leybold Optics公司的OMS5000系统为代表,光学镀膜过程中越来越多地使用间歇式信号采集系统,对镀膜过程产品片实现直接监控。相对于间接光控和晶控系统,间歇式直接光控系统有利于降低实际产品上的薄膜厚度分布误差,可以进一步提高产品良率并减少了工艺调试时间。
图3 Leybold Optics 公司OMS5000的间歇式直接光控系统
2渐变折射率结构薄膜技术与装备(Rguate filter and Coater)
渐变折射率结构薄膜技术与装备(Rguate filter and Coater):已经有大量研究工作已经证