ICP-MS可以分析元素周期表中所有金属元素,检出限在1ppt 以下。同时可以分析绝大部分非金属元素,例如As、Se、P、S、Si、Te等,检出限低于1ppb,如果配合使用氢化物发生器,这些非金属的检出限可以改善10倍以上。被广泛应用于半导体、地质、环境以及食品检测等行业中。
ICP-MS的组成及工作条件:
ICP-MS由ICP焰炬,接口装置和质谱仪三部分组成;若使其具有好的工作状态,必须设置各部分的工作条件。
ICP工作条件:主要包括ICP功率,载气、辅助气和冷却气流量。样品提升量等。ICP功率一般为1KW左右,冷却气流量为15L/min,辅助气流量和载气流量约为1L/min,调节载气流量会影响测量灵敏度。样品提升量为1ml/min。
接口装置工作条件:ICP产生的离子通过接口装置进入质谱仪,接口装置的主要参数是采样深度,也即采样锥孔与焰炬的距离,要调整两个锥孔的距离和对中,同时要调整透镜电压,使离子有很好的聚焦。
质谱仪工作条件:主要是设置扫描的范围。为了减少空气中成分的干扰,一般要避免采集N2、O2、Ar等离子。进行定量分析时,质谱扫描要挑选没有其它元素及氧化物干扰的质量, 同时还要有合适的倍增器电压。
事实上,在每次分析之前,需要用多元素标准溶液对仪器整体性能进行测试,如果仪器灵敏度能达到预期水平,则仪器不再需要调整;如果灵敏度偏低,则需要调节载气流量,锥孔位置和透镜电压等参数。