ymhack　2021-04-17　09:57:49　　阅读:4　　1月10日,全国科技奖励大会在京召开,华润微电子旗下无锡华润尚华科技有限公司(以下简称“华润尚华”)参与的“高性能微机电系统器件设计制造关键技术及应用”项目获国家科技进步奖二等奖。　项目由东南大学、江苏天祥科技有限公司、无锡华润尚华科技有限公司共同完成.针对我国微机电系统(MEMS)产业链中的关键技术问题,项目成果系统研发了MEMS设计技术和设计工具、制造工艺和在线检测及高性能压力传感器技术,推动了我国MEMS技术的产业化发展。　该成果已形成高精度硅各向异性腐蚀模拟、厚光刻胶光刻工艺模拟、工艺流程模拟等11个软件模块,并已商业化,国内用户超过40家,出口美国、日本。关键技术已应用于华润在中国的大型生产线,形成批量生产能力,为国内外用户代工10多万件,配套生产压力传感器系列、麦克风系列等MEMS器件,产品已广泛应用于智能电子、工业控制、环境监测等领域。　在该项目中,华润尚华开发了微机电系统表面加工、车身加工和粘接加工等一整套制造技术和检测技术,优化了制造工艺和流程,实施了微机电系统制造技术、在线检测技术和代工服务。硅基微机电系统制造工艺仿真优化技术大大减少了工艺条件和参数的重复测试,降低了工艺开发成本,优化了工艺条件和工艺,缩短了制造工艺的开发周期。　“MEMS有很强的应用渗透力,但中国的MEMS产业化发展缓慢,设计制造的核心技术被国外垄断。”华润尚华副总经理苏伟表示:“我们很高兴看到公司多年来在微机电领域取得的成就,也很高兴能够继续与产业链合作伙伴共同努力,实现微机电的国产化。目前,华润尚华微机电技术正按计划从成熟的6英寸向8英寸转变,有望为更多的IC设计公司提供微机电产品和服务。”