ICP-MS 主要分为以下几类:四极杆ICP -MS,高分辨 ICP-MS(磁质谱),ICP-tof-MS。本文 主要介绍四极杆ICP-MS。 主要组成部分 是ICP-MS的主要组成模块。 样品通过离子源离子化,形成离子流,通过接口进入真空系统,在离子镜中,负离子、中性粒子以及光子被拦截,而正 离子正常通过,并且达到聚焦的效果。在分析器中,仪器通 过改变分析器参数的设置,仅使我们感兴趣的核质比的元素离子顺利通过并且进入检测器,在检测器中对进入的离子个 数进行计数,得到了最终的元素的含量。 离子源是产生等离子体并使样品离子化的部分,离子源结构如图2 所示,主要包括RF 工作线圈、等离子体、进样系统和气路控制四个组成部分。样品通过进样系统导入,溶液样品通过雾化器等设备进入等 离子体,气体样品直接导入等离子体,RF 工作线圈为等离 子体提供所需的能量,气路控制不断的产生新的等离子体, 达到平衡状态,不断的电离新的离子。