工艺主要包括:SiHCl3的合成、SiHCl3的提纯及SiHCl3还原制备高纯硅。硅片的加工工艺硅片一般分为单晶硅片和多晶硅片,硅片的制备分为单晶硅,多晶硅的生产工艺以及加工工艺。硅片加工过程中包含的制造步骤,根据不同的硅片生产商有所变化。这里介绍的硅片加工主要包括开方,切片,清洗等工艺。常见单晶硅片,多晶硅片如下图所示。单晶硅片和多晶硅片的加工过程中,腐蚀,清洗工艺几乎一样,不同点主要表现在前段工序。