样品由 载气带入等离子体焰炬会发生蒸发、分解、激发和 电离,辅助气用来维持等离子体,需要量大约为1 L/min。冷却气以切线方向引入外管,产生螺旋形气流,使负载线圈处外管的内壁得到冷却,冷却气流量为10-15 L/min。最常用的进样方式是利用同心型或直角型气动雾化器产生气溶胶,在载气载带下喷入焰炬,样品进样量大约为1 mL/min,是靠蠕动泵送入雾化器的。在负载线圈上面约10 mm处,焰炬温度大约为8000 K,在这么高的温度下, 电离能低于7 eV的元素完全电离,电离能低于10.5 eV的元素 电离度大于20%。由于大部分重要的元素电离能低于10.5 eV,因此具有很高的灵敏度,少数电离能较高的元素,如C、O、Cl、Br等也能检测,只是灵敏度较低。