此阶段惯性力起主导作用,胶液的黏度不足以束缚流体微团的紊乱状态,此时胶液在重力和离心力的共同作用下开始向球面边缘流动。第二步是加速及高速稳定阶段。离心机的加速度越大,胶膜的均匀性越好,因此要求离心机电机性能要好,能在数秒内达到高速( 3000~6000r/m i n) 状态。这个阶段离心力起主导的作用,胶液在离心力的作用下向球面的边缘方向流动。随着旋转速度的不断增加,胶层越来越薄,直至剩余的胶液与工件以共同的速度旋转,飞离工件表面。在胶液的变薄过程中,胶液的黏滞力起主导作用,流体微团受黏滞力的约束,处于层流状态,此时可以观察到薄膜的彩色干涉图案逐渐扩散的速度越来越慢。第三阶段是溶剂的挥发过程。随着胶液的缓慢流动变薄,溶剂挥发起主要作用,胶液逐渐形成凝固的胶膜。2.4球面涂胶厚度均匀性的理论分析涂胶的厚度在后两个阶段形成,高速旋转的离心力使涂胶面与胶液之间产生压力N ( 如图1) ,微团在切向力( 离心力在球面切向方向上产生的分力) 和重力共同作用下,使胶液不断沿着球面向边缘流动,同时微团具有的动能不断消耗,当层流附面层阻力与总切向分力相等时,胶液不再流动,即得到胶膜厚度。根据光刻胶旋涂的流动机理,涉及离心力、重力、黏性力、表面张力、溶剂挥发等多种力的作用结果。为简便分析先合理地假设( 1) 光刻胶属于牛顿流体;( 2) 光刻胶液属于黏性不可压缩流体;( 3) 胶液旋涂过程中黏度不变。