本领域技术人员应该明了,所述实施例仅仅是帮助理解本发明,不应视为对本发明的具体限制。
制备例1
一种离子钯活化剂,由如下组分构成:硫酸四氨钯、表面活性剂、络合剂、ph调节剂和水。
其中,硫酸四氨钯的含量为20ppm,络合剂的含量为60ppm,表面活性剂的含量为15ppm,ph调节剂将离子钯活化剂的ph调节至7.0。
其中,络合剂为2,2-联吡啶和乙二胺以任意比例组合得到的组合物,表面活性剂为杜邦氟碳表面活性剂。
制备方法如下:
(1)将硫酸四氨钯、络合剂和表面活性剂加入水中,混合均匀,得到初步产物;
(2)利用ph调节剂调节步骤(1)得到的混合液的ph值至7.0,得到离子钯活化剂。
制备例2
一种离子钯活化剂,由如下组分构成:硫酸四氨钯、表面活性剂、络合剂、ph调节剂和水。
其中,硫酸四氨钯的含量为10ppm,络合剂的含量为30ppm,表面活性剂的含量为5ppm,ph调节剂将离子钯活化剂的ph调节至6.5。
其中,络合剂为亚氨基琥珀酸四钠、氨基磺酸和乙二胺以任意比例组合得到的组合物,表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚。
制备方法如下:
(1)将硫酸四氨钯、络合剂和表面活性剂加入水中,混合均匀,得到初步产物;
(2)利用ph调节剂调节步骤(1)得到的混合液的ph值至6.5,得到离子钯活化剂。
制备例3
一种离子钯活化剂,由如下组分构成:硫酸四氨钯、表面活性剂、络合剂、ph调节剂和水。
其中,硫酸四氨钯的含量为50ppm,络合剂的含量为100ppm,表面活性剂的含量为30ppm,ph调节剂将离子钯活化剂的ph调节至7.5。
其中,络合剂为甲基吡啶和甘氨酸以任意比例组合得到的组合物,表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠。
制备方法如下:
(1)将硫酸四氨钯、络合剂和表面活性剂加入水中,混合均匀,得到初步产物;
(2)利用ph调节剂调节步骤(1)得到的混合液的ph值至7.5,得到离子钯活化剂。
制备例4
与制备例1的区别仅在于,本制备例中不包括ph调节剂,在制备过程中也不进行步骤(2)。
制备例5
一种离子钯活化剂,由硫酸四氨钯和水组成;其中,硫酸四氨钯的含量为20ppm。
制备方法为:将硫酸四氨钯加入水中,混合均匀,得到离子钯活化剂。
实施例1-5
一种晶圆表面处理流程,包括:
(1)除油:用酸性除油液在35-45℃下浸泡2-3min,然后水洗;
(2)微蚀:常温下,在过硫酸钠(60g/l)和硫酸(20ml/l)的混合溶液中浸泡1-2min,然后水洗;
(3)预浸:在50ml/l的硫酸溶液中浸泡0.5-1min;
(4)活化:活化所用的活化剂为制备例1-5其中的一项提供的离子钯活化剂,活化温度为常温,活化时间见表1,然后水洗;
(5)化镍:经过活化处理后,进行化学镀镍(niso4·6h2o20g/l;nah2po2·h2o25g/l;苹果酸20g/l;其他配位剂15g/l;施镀温度80~85℃,时间:20~25min)。
对比例1
与实施例1的区别仅在于,本对比例中所用的活化剂不同,本对比例所用的活化剂为cn104947090a实施例1中提供的钯活化剂。
对比例2
与实施例1的区别仅在于,本对比例中所用的活化剂不同,本对比例所用的活化剂为cn104593751a实施例1中提供的钯活化剂。
实施例1-5和对比例1-2提供的处理流程中,对于除油过程均采用相同的温度以及相同的时间,微蚀、预浸、化镍过程采用相同的处理方法。
性能测试
对实施例1-5和对比例1-2提供的晶圆进行性能测试:
(1)观察实施例1提供的晶圆镀镍情况,结果见图1和图2,其中,在活化过程中的活化时间为20min。
由图1和图2可观察出,在活化剂中浸泡20min进行活化后化学镀镍,线路无长肥,无渗镀、漏镀情况。
(2)对实施例1-5和对比例1-2提供的晶圆的观察情况见表1:
观察情况见表1:
表1
由表1可知,本发明提供的离子钯活化剂具有较宽的活化时间范围,在1-20min内无漏镀、渗镀现象,当本发明提供的离子钯活化剂选用硫酸四氨钯、络合剂、表面活性剂和ph调节剂共同配合使用时,活化时间在0.5-20min范围内时,无漏镀、渗镀现象,可极大的提高活化可控性;由实施例和对比例的对比可知,本发明提供的离子钯活化剂具有较宽的活化时间窗口,且本发明的离子钯活化剂呈中性,ph值在6.5-7.5之间,对产品或设备腐蚀程度小。
申请人声明,本发明通过上述实施例来说明本发明的离子钯活化剂及其制备方法和应用,但本发明并不局限于上述实施例,即不意味着本发明必须依赖上述实施例才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了,对本发明的任何改进,对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等,均落在本发明的保护范围和公开范围之内。