典型的等离子体设备由四个部分组成:分别有真空室(vacuum chamber)、电极(electrode)、射频发生器(RFgenerator)、真空泵(vacuumpump)。
在处理PCB时,PCB悬挂于真空室内相邻一对电极之间。真空泵提供保持等离子产生时一定的真空度——低至毫托(milliTorr)加工气体以一定流量流入。一旦达到这个压力,射频发生器信号加在电极上便开始激发气体产生等离子体。