3.1 静电感应 在静电场影响下引起物体上电荷重新分布,并在其表面产生电荷 的现象。 3.2 静电耗散 将电子生产用的各类用品(装备)用ESD 防护材料来制备。当因 各种原因在其上产生静电时,通过静电消散使其静电不能在用品(装配)的某点或区域积聚,降低单位面积的静电电量,从而降低静电电 位作用,防止静电放电的发生。 3.3 静电泄露 将带电体上的电荷通过内部和其表面等途径,而使之部分或全部 消失的现象。 3.4 静电中和 将带电体上的电荷与其内部和外部相反极性的电荷(电子或离子) 的复合而使所带电荷部分或全部消失的现象。 3.5 表面电阻 在一给定的通电时间后,施加于材料表面上的标准电极之间的直 流电压对于电极之间的电流的比值,在电极上可能的极化现象忽略不 计,单位Ω 3.6系统电阻 被测物体测试表面与被测物体接地点之间电阻总和。 3.7 Q/FHD70-2013 静电消除器一种能产生消除带电上的电荷所必要的正负离子的设备或装置。 3.8 静电接地连接系统 带电体上的电荷向大地泄露、消散的外界导出通道的总和。 3.9 接地电阻 被测地体与地零电位面之间接地引线电阻、接地极电阻、接地极 与土壤之间电阻和土壤的溢流电阻之和。 3.10 人体接地 通过使用静电垫、防静电地面、防静电鞋或其他各种接地用具使 人体与大地保持通导状态的措施。 3.11 人体静电 人体由于自身行动或其它的带电物体相接近而在人体上产生并 积聚的静电。 3.12 防静电工作区 配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和 专门标记的适于从事静电防护操作的场所。 一般要求4.1 人体静电防护用品 防静电工作服、防静电鞋、手腕带、手套(指套)、帽子 生产现场人员配具见附表1:岗位作业工程人体防静电配具表。 固定岗位:在此,固定岗位指会接触静电敏感器件不用移动进行性操作的岗位。 4.2 测试条件 一般测试环境要求:环境温度为20~25,相对湿度(RH) 为40%~60%。对于产品有明确测试标准的,应优先考虑其相应测试 条件。 4.3 测试仪器 测试仪器包括:温度计、湿度计、万用表、人体综合电阻测试仪、 腕带测试仪、非接触式静电电压表、表面电阻测试仪、兆欧表。 Q/FHD70-2013 所使用仪器均应检定、计量合格和在有效期内。 4.4 检测项目 及检测人员 对EPA 的各项技术要求,必须经常性地进行检查、监测,以维持 其各项性能符合本标准的规定。检查的时间周期如下表2 所列。 检测项目表 4.5测试技术指标,如表3。 防静电工作区内各种器材的检查要求 各类防静电产品、设备的测试