氦氖混合气体被密封在一个特制的石英管中,在外界高频振荡器的激励下,混合气体的原子间发生非弹性碰撞,被激发的原子之间发生能量传递,进而产生电子跃迁,并发出与跃迁相对应的受激辐射波,近红外光。氦-氖激光器可应用于测量和通讯。稀有气体可用于准分子激光器,这是因为它们可形成短暂存在的电子激发态受激子(英语:excimer)。这些用于激光器的受激子可能是稀有气体二聚体,例如Ar2、Kr2或Xe2,更有可能是与卤素结合的受激子,例如ArF、KrF、XeF或XeCl。这些激光器产生波长较短的紫外线,其中ArF产生的紫外线波长为193纳米,而KrF为248纳米。这种高频率的激光使高精密成像成为现实。