由于原子穿过空隙有吸引力的相互作用,薄膜中的微孔产生拉伸应力。薄膜半导体结构中的应力导致晶片的翘曲。应力结构的曲率半径与结构中的应力张量有关,可以用修正的Stoney公式来描述。可以使用光学扫描仪测量包括曲率半径的应力结构的形貌。现代扫描仪工具具有测量基板全貌和测量两个主曲率半径的能力,同时为90米及以上的曲率半径提供0.1%的精度。