利用针尖曲率半径为 2微米左右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑行,金刚石触针的上下位移量由电学式长度传感器转换为电信号,经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值,也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。一般将仅能显示表面粗糙度数值的测量工具称为表面粗糙度测量仪,同时能记录表面轮廓曲线的称为表面粗糙度轮廓仪(简称轮廓仪)这两种测量工具都有电子计算电路或电子计算机,它能自动计算出轮廓算术平均偏差Rα,微观不平度十点高度RZ,轮廓最大高度Ry和其他多种评定参数,测量效率高,适用于测量Rα为0.025~6.3微米的表面粗糙度。　　双管显微镜测量表面粗糙度,可用作Ry与Rz参数评定,测量范围0.5~50