现代的射频电源有了长足发展,由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源,功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦,频率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等,而应用也从以前的真空领域扩展到其他领域,半导体、美容等。
等离子体
【等离子体】是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间,空间物理,地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。