自燃气体(Pyrophoric Gas) 气体工业名词术语,是指在气温≤54.15℃下,当与空气接触时能自发着火的气体。在半导体工业常用材料气体中,硅烷,磷烷,乙硼烷均属于自燃气体。在生产,运输,贮存和使用这些气体时,应特别注意气体不要泄漏,以防与空气混合自燃,甚至形成爆炸性混合气。