① 在超高真空和高温烘烤下的密封,采用氟橡胶26低压缩变形的胶料,试制不同规格的O形圈,分别在中科院和机电工业部等有关单位装配于电子能谱仪、超高真空电子束区熔炉、超高真空机电机组和涡轮分子泵等真空仪器设备上,经过调试和长时间的应用考核,在200-250℃的烘烤温度下,无论是固定密封,还是动密封处的零件,均达到10-7Pa超高真空的密封要求。
② 在北京正负电子对撞机同步辐射实验区的EXAFS光速线双平晶单色仪法兰密封采用
我们研制的Φ608×8的氟橡胶O形圈,真空室的真空度达到10-5Pa,满足了工程的设计要求。
③ 北京有色金属研究总院研制的太阳能电池非晶硅沉积装置采用的氟橡胶圈,在10-5Pa的真空度下,运行一年多,密封情况良好。
④ 三型分子束外延设备(MBE)是中科院沈阳科仪研制中心承接的国家"七五"攻关项目,是我国表面科学研究的重要手段。该设备分子泵插板阀Φ200氟胶圈是MBE设备运行一年,均保持10-8Pa的真空度 ,达到设计要求。
(3)低温密封的应用
通常氟橡胶在-20℃左右就失去橡胶的高弹性,它在动态下的使用温度极限为-29℃,在-34℃
就变硬发脆。所以,氟橡胶的低温性能不理想。但是,由于氟橡胶的韧性(低温下),在低温下还可以发挥作用的。
① 低温氟橡胶的开发研究
为了解决氟橡胶在低温下的应用问题,美国从1957年由杜邦公司开发氟橡胶以来,美国空军致力于寻找-54~204℃工作的氟橡胶密封材料,以求解决,高寒地区施工机械(美国阿拉斯加油田的开发和苏联第二西伯利亚铁路的施工,要求-48~-58℃下长期工作)的密封问题。另外,航空、航天技术装备也需要耐寒性好的橡胶。基于以上情况,美国杜邦公司和3M公司进行了大量工作,到1978年所投产的VitonGLT,其动态使用最低温度为-46℃;而VitonECD-487,则满足航空密封剂-54℃的使用要求。
② KH-1热释电仪的低温密封
中科院化学研究所使用的KH-1热释电仪,要求在-150~+250℃的低真空下对高分子化合物进行检测。我们采用了国产氟橡胶O形圈和控制其压缩率,解决了该仪器的高低温密封要求,经反复使用,性能可靠。
③ 大型粒子加速器真空室的密封,采用氟橡胶作为密封材料,其真空度达到10-5Pa,并成功地用于-253℃、7M