由上述平面度误差的测量方法和评定方法阐述可知,测量方法和评定方法不同,数据处理的方法也不相同。选定某一测量方法和评定方法,可能直接得到实际表面的平面度误差值,如采用打表法进行测量,再用对角线法评定其平面度误差,则可不必进行数据处理,可直接得到测量结果;采用水平仪进行测量,则不论采用何种评定方法,均需进行数据处理;而对于任何一种测量方法,如果按最小区域法来评定其平面度误差,都必须进行数据处理才能得到平面度误差值。另外,还应注意到,测量基准面和评定基准面一般是不重合的(或说不平行的)。尤其是符合最小条件的评定基准面的位置是按实际表面的形状确定的,不可能在测量之前预先确定。且测量所得到的原始数据中的最大值与最小值并不一定是实际表面上的最高点和最低点,故在数据处理之前,一般应根据所测数据对实际表面的形状特征进行大致分析,初步判断实际表面是凸形、凹形、鞍形或其它复杂形态,以免过多重复计算花费时间,必要时还可画出其数据空间分布示意图,进而确定其评定基准面。数据处理方法有:解析法、坐标变换法和投影作图法等。其中坐标变换法对数据处理带有一般性。