1961年,德国图宾根大学的Claus Jnsson 在铜片上加工出一组300 nm 宽的狭缝,然后用电子显微镜的40 keV 电子束照射。由此产生的图像显示了一种干涉模式,就像杨在160 年前首次用光看到的那样。这是首次的电子双缝实验,证明电子束表现得像波。但是Jnsson 不能产生或测量单个电子,因而不能证明每个电子本身都有波的特性。
1965 年,费曼在加州理工学院做了一系列著名的讲座,其中讨论了,朝着双缝发射单电子,在原则上可以产生干涉图案——从而证明了物质的波粒二象性。费曼并不认为他的思想实验是可能的,但是制造技术的进步逐渐使这个前景接近现实。最终, 意大利的StefanoFrabboni 及其同事让电子通过只有83 nm宽的狭缝,证明了干涉。