ICP-MS所用 电离源是感应耦合 等离子体(ICP),它与 原子发射光谱仪所用的ICP 是一样的,其主体是一个由三层石英套管组成的炬管,炬管上端绕有负载线圈,三层管从里到外分别通载气,辅助气和冷却气,负载线圈由高频电源耦合供电,产生垂直于线圈平面的磁场。如果通过高频装置使氩气电离,则氩离子和电子在 电磁场作用下又会与其它氩原子碰撞产生更多的离子和电子,形成 涡流。强大的电流产生高温,瞬间使 氩气形成温度可达10000k的等离子焰炬。