Task: Translation
Input (Czech): Vynález poskytuje technologii, která dovoluje SEM pozorování v reálném case bez zhoršení úcinnosti FIB zpracování. Prístroj s kompozitním svazkem nabitých cástic, obsahuje tubus iontového svazku, který vyzaruje iontový svazek, tubus elektronového svazku, který vyzaruje elektronový svazek, vzorkovou komoru, k níž jsou tubus iontového svazku a tubus elektronového svazku pripojeny, detektor SE3 terciálních elektronu, který zjištuje terciální elektrony, které jsou sekundárními elektrony, které se generují pri srážkách zpetne odražených elektronu, které se indukují pri ozarování vzorku elektronovým svazkem, se strukturami prítomnými uvnitr vzorkové komory a rídicí jednotku, která na základe zjištených terciálních elektronu generuje obraz a tento obraz zobrazuje na zobrazovací jednotce, pricemž je vzorek soucasne ozarován iontovým svazkem.
Output (English): The invention provides a technology that allows real-time SEM observation without compromising FIB processing efficiency. The composite particle beam apparatus includes an ion beam tube that emits an ion beam, an electron beam tube that emits an electron beam, a sample chamber to which the ion beam tube and the electron beam tube are connected, a tertiary electron SE3 detector that detects tertiary electrons that are secondary electrons that are generated in retracted electron collisions that are induced by electron beam irradiation of the sample, structures present inside the sample chamber, and a control unit that generates an image based on the detected tertiary electrons, and displays the image on the imaging unit, wherein the sample is simultaneously irradiated with an ion beam.