Task: Translation
Input (Czech): Zpusob cinnosti mikroskopu s cásticovým svazkem obsahuje: detekování svetelných paprsku vyzarovaných ze struktury a/nebo cástic vyzarovaných ze struktury, kde tato struktura obsahuje alespon cást povrchu objektu a/nebo alespon cást povrchu držáku objektu mikroskopu s cásticovým svazkem; generování modelu povrchu struktury v závislosti na detekovaných svetelných paprscích a/nebo cásticích; stanovení polohy a orientace modelu povrchu struktury vzhledem k oblasti objektu; stanovení mericího místa vzhledem k modelu povrchu struktury a polohování objektu v závislosti na vygenerovaném modelu povrchu struktury, v závislosti na stanovené poloze a orientaci modelu povrchu struktury a v závislosti na stanoveném mericím míste. Vynález se týká též i zarízení pro provádení zpusobu.
Output (English): The operation of the particle beam microscope comprises: detecting light beams emitted from the structure and / or particles emitted from the structure, wherein the structure comprises at least a portion of the object surface and / or at least a portion of the particle beam object holder; generating a surface model of the structure depending on the detected light beams and / or particles; determining the position and orientation of the surface model of the structure relative to the object area; determining the measurement location with respect to the surface model of the structure and positioning the object depending on the generated surface model of the structure, depending on the position and orientation of the surface model of the structure and depending on the measurement location. The invention also relates to apparatus for carrying out the method.