Task: Translation
Input (German): Die hochvakuumseitige Pumpeinheit (14) kann beispielsweise als Turbomolekularpumpe und die der Seite mit hohem Druck zugewandte Pumpeinheit (18) als Seitenkanalpumpe ausgebildet sein.
Output (English): The molecular pump stages are arranged one behind the other axially and are connected by common connection channels (34), for a parallel supply.