Task: Translation
Input (German): Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von * die als aktinische Komponente von Photoresisten fuer die Strukturierung mikroelektronischer Bauelemente von Interesse sind.
Output (English): The invention relates to a process for the production of * which are of interest as an actinic component of photoresists for the structuring of microelectronic components.