表(1)-7 日本の半導体素子の上位30部門の間接排出係数とその割合(%)(PFCs)

A1000

| その他の電気機械器具 | 8.04E-04
1 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
2 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
3 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
4 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
5 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
6 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
7 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
8 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
9 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
10 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
11 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
12 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
13 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
14 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
15 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
16 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
17 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
18 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
19 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
20 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
21 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
22 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
23 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
24 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
25 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
26 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
27 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
28 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
29 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
30 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
31 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
32 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
33 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
34 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
35 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
36 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
37 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
38 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
39 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
40 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
41 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
42 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
43 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
44 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
45 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
46 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
47 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
48 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
49 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
50 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
51 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
52 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
53 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
54 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
55 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
56 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
57 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
58 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
59 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
60 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
61 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
62 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
63 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
64 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
65 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
66 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
67 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
68 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
69 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
70 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
71 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
72 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
73 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
74 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
75 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
76 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
77 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
78 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
79 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
80 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
81 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
82 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
83 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
84 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
85 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
86 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
87 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
88 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
89 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
90 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
91 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
92 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
93 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
94 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
95 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
96 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
97 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
98 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
99 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
100 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
101 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
102 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
103 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
104 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
105 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
106 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
107 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
108 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
109 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
110 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
111 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
112 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
113 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
114 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
115 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
116 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
117 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
118 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
119 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
120 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
121 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
122 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
123 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
124 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
125 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
126 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
127 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
128 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
129 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
130 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
131 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
132 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
133 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
134 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
135 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
136 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
137 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
138 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
139 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
140 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
141 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
142 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
143 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
144 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
145 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
146 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
147 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
148 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
149 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
150 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
151 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
152 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
153 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
154 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
155 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
156 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
157 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
158 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
159 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
160 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
161 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
162 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
163 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
164 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
165 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
166 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
167 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
168 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
169 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
170 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
171 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
172 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
173 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
174 | その他の電気機械器具 | 8.04E-04
175 | その

図(1)-24 日本の半導体素子の間接排出係数(PFCs)

以上から日本の半導体素子は日本の材料・サービスと中国、アメリカ、マレーシアなどの素材・部品を用いて生産されており、これらの国にPFCsの排出を誘発していることが分かる。

表(1)-8に各国の半導体・集積回路からのGHG各ガスの間接比率を示す。

エネルギー$\mathrm{CO}_{2}$、非エネルギー$\mathrm{CO}_{2}$、$\mathrm{CH}_{4}$、$\mathrm{N}_{2}\mathrm{O}$はどの国も1に近いが、HFCs、PFCs、$\mathrm{SF}_{6}$は国によって大きく異なる。HFCs、PFCs、$\mathrm{SF}_{6}$は半導体・集積回路の製造工程の中でクリーンルーム内でウェハーにCVDによる膜形成、ドライエッチングなどにより素子を形成する工程（前工程）における洗浄用、クリーニング用に多く用いられており、この数字が1に近いほど直接排出係数が0に近いため前工程が少ないと考えられる。これらの国では完成されたウェハーをチップに切断し、端子との配線形成や樹脂モールドなどの組み立てを行う後工程が中心になっていると考えられる。

表(1)-8 各国の半導体・集積回路からのGHG各ガスの間接比率

エネルギー-CO2	非エネルギ-CO2	CH4	N2O	HFCs	PFCs	SF6	GHG合計
Indonesia	0.819	1.000	0.999	0.994	1.000	1.000	1.000	0.861
Malaysia	0.878	1.000	0.996	0.980	0.771	0.641	0.879	0.878
Philippines	1.000	1.000	0.996	0.967	1.000	1.000	1.000	0.999
Singapore	0.999	1.000	0.999	0.998	0.638	0.372	0.657	0.917
Thailand	0.940	1.000	0.994	0.958	1.000	1.000	1.000	0.951
China	0.954	1.000	1.000	0.996	0.799	0.472	0.431	0.946
Taiwan	0.994	1.000	0.998	0.984	0.486	0.118	0.102	0.724
Korea	0.942	1.000	0.997	0.987	0.501	0.245	0.185	0.738
日本 半導体素子	0.855	1.000	0.997	0.938	0.074	0.004	0.011	0.310
日本 集積回路	0.909	1.000	0.998	0.960	0.955	0.119	1.000	0.839
U.S.A.	0.856	1.000	0.996	0.979	0.450	0.072	0.251	0.755