"レーザ光の2分岐された一方の分岐光の周波数を光周波数シフタで第1の変調用マイクロ波信号に従ってシフトした周波数シフト光と2分岐された他方の分岐光をと合波した合波光を伝送光ファイバで伝送さると共に、部分反射手段で前記伝送光ファイバにより伝送されてきた合波光の一部を前記伝送光ファイバ側へ部分反射光として反射し、位相比較手段および第1の変調用マイクロ波発生手段で前記部分反射光を電気信号に変換した第2のマイクロ波信号と基準マイクロ波信号との位相差に従って前記光周波数シフタへの前記第1の変調用マイクロ波信号の周波数を制御して出力することを特徴とする光ファイバマイクロ波伝送装置。レーザ光を2分岐する光分配手段と、前記光分配手段で分岐された一方の分岐光の周波数を入力される第1の変調用マイクロ波信号に従ってシフトする光周波数シフタと、前記光周波数シフタで周波数シフトされた周波数シフト光と、前記光分配手段で分岐された他方の分岐光とを合波する光合波手段と、前記光合波手段により合波された合波光を伝送する伝送光ファイバと、前記伝送光ファイバを伝送された合波光を光電変換して電気信号の第1のマイクロ波信号を出力する第1の光電変換手段と、前記伝送光ファイバと前記第1の光電変換手段の間で前記伝送光ファイバにより伝送されてきた合波光の一部を前記伝送光ファイバ側へ部分反射光として反射する部分反射手段と、前記光合波手段と前記伝送光ファイバの間で、前記光合波手段側から入力された合波光を前記伝送光ファイバへ出力し、前記伝送光ファイバ側から入力された部分反射光を第2の光電変換手段側に出力する光路調整手段と、前記光路調整手段からの部分反射光を光電変換して電気信号の第2のマイクロ波信号を出力する前記第2の光電変換手段と、前記第2の光電変換手段から出力された第2のマイクロ波信号と基準マイクロ波信号との位相を比較する位相比較手段と、前記位相比較手段の出力する位相差信号に従って前記光周波数シフタへの前記第1の変調用マイクロ波信号を周波数を制御して出力する第1の変調用マイクロ波発生手段と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバマイクロ波伝送装置。光路調整手段が光サーキュレータからなることを特徴とする請求項2に記載の光ファイバマイクロ波伝送装置。部分反射手段が、光合分波手段と偏波回転手段を含み、前記光合分波手段が伝送光ファイバにより伝送された合波光の一部を前記偏波回転手段に分岐し、前記偏波回転手段が分岐光の偏波方向を90度回転させて前記光合分波手段へ反射し、前記光合分波手段が反射光を伝送光ファイバへ戻し、光路調整手段が偏向ビームスプリッタからなる、ことを特徴とする請求項2に記載の光ファイバマイクロ波伝送装置。光分配手段で分岐された一方または他方の分岐光を第2の変調用マイクロ波信号発生手段から入力される第2の変調用マイクロ波信号に従って片側波帯変調する光変調手段と、第2の光電変換手段から出力された第2のマイクロ波信号と、前記第2の変調用マイクロ波信号発生手段から出力された第2の変調用マイクロ波信号との差周波信号を出力する周波数変換手段と、をさらに備え、位相比較手段が、前記周波数変換手段から出力された差周波信号と基準マイクロ波信号との位相比較を行うことを特徴とする請求項2から4までのいずれか1項に記載の光ファイバマイクロ波伝送装置。基準マイクロ波信号を発生する第1のマイクロ波信号源と、前記第1のマイクロ波信号源の基準マイクロ波信号の周波数を制御する周波数設定手段、および前記基準マイクロ波信号の移相を制御する移相制御手段の少なくとも一方と、をさらに備えたことを特徴とする請求項2から5までのいずれか1項に記載の光ファイバマイクロ波伝送装置。請求項1から6までのいずれか1項に記載の光ファイバマイクロ波伝送装置を複数備え、前記各光ファイバマイクロ波伝送装置間で基準マイクロ波信号を共用させたことを特徴とする複合型光ファイバマイクロ波伝送装置。従来の光ファイバマイクロ波伝送装置では、伝送路である光ファイバの光路長変動に対し、光ファイバストレッチャにより、光ファイバの長さを直接伸び縮みさせて光路長の変動を補償していた。このため、光路長の変動量に対する補償範囲は光ファイバストレッチャの長さ可変範囲に制限されている。通常、光ファイバストレッチャの可変範囲は数mm程度であり、長くてもcmオーダである。一方、光ファイバの遅延時間の温度特性は、数10ps/km/°C程度である。例えば、遅延の温度係数を10ps/km/°Cと仮定すると、1kmのファイバで10°Cの温度変動が生じた場合、100psの遅延時間変動が生じる。これはファイバ長約33mmに相当し、前記の光ファイバストレッチャでの可変範囲を超える。さらに、温度変動範囲が拡大した場合は、ファイバ長が長くなると光ファイバストレッチャでは対応できなくなる。さらに、光ファイバストレッチャで遅延時間を制御する場合、光ファイバを圧電素子などで引張るため、応答速度が高い場合は、長さの可変範囲は短く、可変範囲が長い場合は応答速度は遅くなる。このように、従来の構成では大きな光路長変動に対応することは困難であるとともに、高速制御に対応できないという問題点があった。この発明は、前記のような課題を解決するためになされたものであり、大きな光路長変動にも対応可能な、位相変動を補償することで光路長の変動の補償を行う光ファイバマイクロ波伝送装置、およびこれを複数設けた複合型光ファイバマイクロ波伝送装置を得ることを目的とする。この発明は、レーザ光の2分岐された一方の分岐光の周波数を光周波数シフタで第1の変調用マイクロ波信号に従ってシフトした周波数シフト光と2分岐された他方の分岐光をと合波した合波光を伝送光ファイバで伝送さると共に、部分反射手段で前記伝送光ファイバにより伝送されてきた合波光の一部を前記伝送光ファイバ側へ部分反射光として反射し、位相比較手段および第1の変調用マイクロ波発生手段で前記部分反射光を電気信号に変換した第2のマイクロ波信号と基準マイクロ波信号との位相差に従って前記光周波数シフタへの前記第1の変調用マイクロ波信号の周波数を制御して出力することを特徴とする光ファイバマイクロ波伝送装置等にある。この発明では、大きな光路長変動にも対応可能な、位相変動を補償することで光路長の変動の補償を行う光ファイバマイクロ波伝送装置、およびこれを複数設けた複合型光ファイバマイクロ波伝送装置を提供できる。以下、この発明による光ファイバマイクロ波伝送装置を各実施の形態に従って図面を用いて説明する。なお、各実施の形態において、同一もしくは相当部分は同一符号で示し、重複する説明は省略する。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1に係る光ファイバマイクロ波伝送装置の構成を示すブロック図である。図中、光ファイバを実線、電線を破線でそれぞれ描いている。図1において、レーザ1から出力したレーザ光は光分配器2により2つに分岐される。光分配器2で分岐された一方の分岐光は、外部から入力されるマイクロ波信号により入力光の周波数をシフトさせる光周波数シフタ10により、その周波数がシフトされた後、光分配器2で分岐された他方の分岐光と光合波器3により合波される。光合波器3で合波された合波光は光サーキュレータ4を通過後、伝送光ファイバ5により伝送される。伝送光ファイバ5により伝送された合波光は部分反射鏡6によりその一部が反射、他の部分が透過される。部分反射鏡6を透過した光は第1の光電変換手段7により、光周波数シフタ10から出力された周波数シフト光と周波数シフトされていない分岐光とのビート信号である第1のマイクロ波周波数の電気信号に復調され、出力される。一方、部分反射鏡6で反射した光は、伝送光ファイバ5を逆方向に伝搬され、光サーキュレータ4により光合波器3と異なる方向に出力される。光サーキュレータ4を出力した反射光は、第2の光電変換手段8により第1の光電変換手段7と同様に、光周波数シフタ10でシフトされた周波数相当の電気信号である第2のマイクロ波信号に復調され、出力される。ここで、第1および第2のマイクロ波信号は伝送光ファイバ5などの温度変化により位相が変動する。部分反射鏡6で反射した第2のマイクロ波信号の位相変動量は、位相比較手段11により、基準信号源9から出力された基準マイクロ波信号の位相と比較され、その位相差を電気信号に変換した位相差信号として出力される。位相差信号はループフィルタ12により短周期の変動分が抑圧された後、その入力電気信号に応じて出力周波数を制御するVCO13により、第2のマイクロ波信号と基準マイクロ波信号間の位相差を打ち消す方向に発振周波数が変化させられて、光周波数シフタ10へと入力される。光周波数シフタ10はマイクロ波信号であるこの入力された信号により入力光の周波数をシフトさせる。ここで、位相比較手段11、ループフィルタ12、VCO13により位相同期回路が構成されている。以下、動作の原理について説明する。レーザ1から出力したレーザ光は光分配器2で2分岐され、片方の分岐光は光周波数シフタ10により周波数がシフトされる。ここで、シフト周波数をωmとすると、光周波数シフタ10からはωcωmの周波数の光が出力される。従って、角周波数ωcとωcωmの2つの周波数成分が光合波器3で合波され、伝送光ファイバ5を伝送後、第1の光電変換手段7で、それらの差周波である角周波数ωmのマイクロ波信号が出力される。同様に、部分反射鏡6で反射した反射光は光ファイバを逆方向に伝送され、光サーキュレータ4で光路が切り替えられた後、第2の光電変換手段8で角周波数ωmのマイクロ波信号に変換される。ここで、上述の従来例と同様に伝送光ファイバ5に温度変化などの環境変動が生じると、光電変換手段8で出力されるマイクロ波信号の周波数にも位相変動が生じる。一方、マイクロ波の位相Φとその角周波数ωとの間には、ω=dΦ/dtの関係があることが知られている。これより、位相変動ΔΦはΔΦ=∫ωdtと表わされる。これより、角周波数ωを制御することにより、位相変動ΔΦを制御できることが分かる。このように、この発明では、基準信号源9から出力された基準マイクロ波信号と、第2の光電変換手段8から出力された第2のマイクロ波信号との位相を比較し、その位相差を打ち消す方向に、VCO13により光周波数シフタ10へ入力するマイクロ波周波数を制御する構成をとることにより、伝送光ファイバ5などを伝送後の位相変動を補償することができる。さらに、伝送光ファイバ5を往復した光路で位相変動を補償していることから、片方向のみ伝搬された第1の光電変換手段7から出力される第1のマイクロ波信号の位相も補償される。一方、従来の構成では、光ファイバストレッチャなどにより直接伝送路の位相変動分の長さを補償していたため、光ファイバストレッチャなどの光路長制御デバイスの制御可能な長さ、応答速度が制限されていたが、上述のように、入力マイクロ波信号の周波数制御により位相変動を補償できることから、位相補償可能な長さを拡大することができる。なお、光周波数シフタ10としては、例えば音響光学素子に超音波を加えることで入力光の周波数をシフトさせるAO変調器や、LiNbO3によるMach-Zehnder型光変調器などにより実現することができる。これらは、数MHzからGHz以上の応答速度が実現できるので、高速な位相変動の補償が可能である。実施の形態2.図2はこの発明の実施の形態2に係る光ファイバマイクロ波伝送装置の構成を示すブロック図である。図2では図1に対し、光サーキュレータ4の代わりに偏波ビームスプリッタ20、部分反射鏡6の代わりに光合分波器21とファラディ回転鏡22とが設けられている。この場合、光合波器3から出力された光は、PBS20を透過し、伝送光ファイバ5で伝送されたのち、光合分波器21で分岐され、片方の分岐光がファラディ回転鏡22に入力される。ファラディ回転鏡22は、入射光の偏波方向を90度回転させて反射させる。従って、ファラディ回転鏡22により入射時に対し偏波方向が90度回転された後、光合分波器21に逆方向から光が入射され、伝送光ファイバ5を逆方向に伝送される。このとき、PBS20へ到達した反射光は偏波方向が透過時に対して90度傾いているため、PBS20により反射される。これにより、伝送光ファイバ5中で光の偏波方向が変動しても、往復する過程で偏波方向は直交しているため、ファイバ伝送中の偏波の変動を打ち消すことができる。実施の形態3.図3はこの発明の実施の形態3に係る光ファイバマイクロ波伝送装置の構成を示すブロック図である。図3では図1に対し、光分配器2で分岐された一方の分岐光は、光SSB変調器23により、高周波信号源24から入力されたマイクロ波によりSSB変調される。SSB変調された変調光は光周波数シフタ10によりその周波数がさらにシフトされ、光合波器3で光分配器2の他方に分岐された光と合波され、伝送光ファイバ5を伝送された後、一部は第1の光電変換手段7によりマイクロ波信号に復調され、残りの部分は伝送光ファイバ5を往復し、第2の光電変換手段8によりマイクロ波信号に復調される。ここで、各光電変換手段7,8では、光SSB変調器23での変調周波数光周波数シフタ10への入力周波数相当のマイクロ波が発生する。ここで、レーザ1のレーザ光の角周波数をωc、高周波信号源24から出力されたSSB変調器23へ入力されたマイクロ波の角周波数をωRF、光周波数シフタ10のシフト周波数をωm、とすると、各光電変換手段7および8には、角周波数ωcとωcωRFωmの2つの成分が入力され、これらの光電変換により、ωRFωmのマイクロ波信号に変換される。次に、第2の光電変換手段8から出力されたマイクロ波信号と、高周波信号源24から出力されたマイクロ波信号の他方が周波数変換手段25に入力されることにより、それらの差周波成分であるIF信号が出力される。このIF信号と基準信号源9から出力された基準信号との位相差を位相比較手段11で比較し、光周波数シフタ10への入力信号の周波数を制御することにより、上述の実施の形態1および2と同様に、伝送光ファイバ5などによる位相変動を補償することができる。なお、周波数変換手段25の例としては、マイクロ波ミキサがある。このように、光SSB変調器23,高周波信号源24,周波数変換手段25を追加することにより、基準信号源9の周波数によらず、伝送させるマイクロ波周波数を大きく変えることや、変調信号の広帯域化が可能である。なお図3では光SSB変調器を、光周波数シフタの前段に設けたが、光周波数シフタの後段に設けてもよい。実施の形態4.図4はこの発明の実施の形態4に係る光ファイバマイクロ波伝送装置の構成を示すブロック図である。図4では図3に対し、光分配器2で分岐された一方の分岐光が、光SSB変調器23により、高周波信号源24から入力されたマイクロ波によりSSB変調される。光分配器2で分岐された他方の分岐光は、光周波数シフタ10によりその周波数がさらにシフトされ、光合波器3により、SSB変調された変調光と周波数シフト光とが合波された後、伝送光ファイバ5を伝送され、一部は第1の光電変換手段7によりマイクロ波信号に復調され、残りの部分は部分反射鏡6で反射されて、伝送光ファイバ5を往復し、第2の光電変換手段8によりマイクロ波信号に復調される。ここで、各光電変換手段7および8では、光SSB変調器23での変調周波数-光周波数シフタ10への入力周波数相当のマイクロ波が発生する。上述の実施の形態3と同様に、レーザ1のレーザ光の角周波数をωc、高周波信号源24から出力されたSSB変調器23へ入力されたマイクロ波の角周波数をωRF、光周波数シフタ10のシフト周波数をωm、とすると、各光電変換手段7および8には、角周波数ωcωRFとωcωmの2つの成分が入力され、これらの光電変換により、ωRF-ωmのマイクロ波信号に変換される。このように、光SSB変調器23,高周波信号源24,周波数変換手段25を追加することにより、実施の形態3と同様に、基準信号源9の周波数によらず、伝送させるマイクロ波周波数を大きく変えることや、変調信号の広帯域化が可能である。実施の形態5.図5はこの発明の実施の形態5に係る光ファイバマイクロ波伝送装置の構成を示すブロック図である。図5では図3に対しさらに、周波数設定手段30により設定した周波数で基準信号源9から出力する基準信号の周波数を制御する。これにより、各光電変換手段7および8から出力されるマイクロ波信号の周波数を制御することが可能である。例えば、基準信号源9の周波数ωvarを連続的に変化させることにより、チャープ信号を発生させることが可能となる。実施の形態6.図6はこの発明の実施の形態6に係る光ファイバマイクロ波伝送装置の構成を示すブロック図である。図6では図3に対しさらに、基準信号源9から出力した基準信号に対し、移相設定手段31により設定した位相に従って、可変移相器32により位相比較手段11に入力する基準信号の位相を制御する。これにより、各光電変換手段7および8から出力されるマイクロ波信号の位相を制御することが可能であり、第1の光電変換手段7から出力されたマイクロ波信号の位相を指定した値に制御することが可能となる。実施の形態7.図7はこの発明の実施の形態7に係る複合型光ファイバマイクロ波伝送装置の構成を示すブロック図である。図7では図6の光ファイバマイクロ波伝送装置を複数組備え、基準信号源9は共有する構成となっている。これにより、複数ある第1の光電変換手段7および7aから出力したマイクロ波信号の位相を同期させることが可能となる。また、移相設定手段31,31aおよび可変移相器32,32aにより、各マイクロ波の位相関係を所望の値に制御することが可能となる。なお、本実施の形態において、各組み合わせ構成にさらに、実施の形態4から6のように、光SSB変調器23、高周波信号源24、周波数変換手段25等を追加してもよいことは云うまでもない。さらに、上記実施の形態1から6までのいずれかの光ファイバマイクロ波伝送装置を複数組、同様に組み合わせ、基準信号源9は共有するように構成してもよい。なお、各実施の形態では光周波数シフタ10および光SSB変調器23により光の周波数を高周波側にシフトまたは片側波帯変調されるものとして説明したが、各々または片方を低周波側に変換させてもよい。その場合でも、各光電変換手段7および8で発生するマイクロ波信号のマイクロ波周波数は各光周波数のビート成分となる。また上記各実施の形態において、光分配器2は光分配手段を構成し、分岐光を出力する。光周波数シフタ10は周波数シフト光を出力する。光合波器3は光合波手段を構成し、合波光を出力する。第1の光電変換手段7は、電気信号の第1のマイクロ波信号を出力する。部分反射鏡6、および光合分波手段を構成する光合分波器21と偏波回転手段を構成するファラディ回転鏡22はそれぞれ部分反射手段を構成し、部分反射光を出力する。また光合分波手段は分岐光を出力し、偏波回転手段は反射光を出力し、光合分波手段はさらに反射光を元の方向に戻すように反射する。光サーキュレータ4、およびPBS20はそれぞれ光路調整手段を構成する。第2の光電変換手段8は、電気信号の第2のマイクロ波信号を出力する。位相比較手段11は、位相差信号を出力する。第1のマイクロ波信号源を構成する基準信号源9は、基準マイクロ波信号を出力する。ループフィルタ12とVCO13は第1の変調用マイクロ波発生手段を構成し、第1の変調用マイクロ信号を出力する。光SSB変調器23は光変調手段を構成する。高周波信号源24は第2の変調用マイクロ波信号発生手段を構成し、第2の変調用マイクロ波信号を出力する。周波数変換手段25は差周波信号を出力する。移相設定手段31と可変移相器32が移相制御手段を構成する。さらにこの発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、これらの実施の形態のそれぞれの特徴の可能な組み合わせを全て含む。"