"フィルム基材に照射された照射光のうち斜め方向に反射する光を受光する第一の撮像光学系とフィルム基材に照射された照射光のうち垂直方向に透過する光を受光する第二の撮像光学系とを備え、第一の撮像光学系が欠陥を検出した場合、第二の撮像光学系もフィルム基材上の同じ位置に欠陥を検出していた場合に限り、当該部位に欠陥があると判定することを特徴とする反射防止フィルムの欠陥検査方法。フィルム基材に照射された照射光のうち斜め方向に反射する光を受光する第一の撮像光学系と、フィルム基材に照射された照射光のうち垂直方向に透過する光を受光する第二の撮像光学系と、第一の撮像光学系と第二の撮像光学系から得られる欠陥パターンをデジタル的に比較照合するための画像処理装置と、を備えることを特徴とする反射防止フィルムの欠陥検査装置。欠陥検査装置の概略構成例を図1に示したが、欠陥検査は、フィルム基材1が搬送ローラ2と搬送ローラ3の間を移動する際にCCDカメラ10でフィルム基材表面を撮像しデジタル画像処理して行われる。しかしながら、フィルム基材1の搬送時にローラ2とローラ3の間でフィルム基材に振動が発生しフィルムの面が暴れて波打ちが生じると波打ちを欠陥として認識検出してしまうという不具合が生じることがある。そこで本発明は、異物を伴わない単なるフィルム基材の波打ち現象を欠陥と誤認識することのない欠陥検査方法を提供することを課題とした。上記課題を達成するための請求項1に記載の発明は、フィルム基材に照射された照射光のうち斜め方向に反射する光を受光する第一の撮像光学系とフィルム基材に照射された照射光のうち垂直方向に透過する光を受光する第二の撮像光学系とを備え、第一の撮像光学系が欠陥を検出した場合、第二の撮像光学系もフィルム基材上の同じ位置に欠陥を検出していた場合に限り、当該部位に欠陥があると判定することを特徴とする反射防止フィルムの欠陥検査方法としたものである。請求項2に記載の発明は、フィルム基材に照射された照射光のうち斜め方向に反射する光を受光する第一の撮像光学系と、フィルム基材に照射された照射光のうち垂直方向に透過する光を受光する第二の撮像光学系と、第一の撮像光学系と第二の撮像光学系から得られる欠陥パターンをデジタル的に比較照合するための画像処理装置と、を備えることを特徴とする反射防止フィルムの欠陥検査装置としたものである。本発明になる欠陥検査装置を使用する欠陥判定方法によれば、欠陥検査装置がフィルム基材搬送時に発生する異物源を伴わない純粋なフィルム基材の波うち現象を欠陥と誤認識することがない。したがって、効率的な欠陥検査が可能となる。以下、本発明を図面を用いて説明する。図1は、本発明になる反射防止フィルムのインライン欠陥検出装置の構成の概略図である。フィルム基材5は、複数のローラ1~ローラ4からなる搬送ユニットローラの回転による搬送によりを矢印方向8に搬送され、LED、蛍光灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ等を用いた照明光源6及び照明光源7によって基材の全幅が照明される。フィルム基材5の表面状態を撮像する光学系として、少なくとも2系統を備えており、一方は反射像を捉える第一の撮像光学系以下、反射撮像光学系、他方は透過像を撮像する第二の撮像光学系以下、透過撮像光学系である。第一の撮像光学系は、第一の光源7、ラインCCDカメラ10、画像処理装置12を備え、第二の光学系は、第二の光源6、CCDカメラ9、画像処理装置11とを備えている。基材5の搬送距離に応じた信号をロータリーエンコーダ13より取得しつつ、一定の搬送距離毎に前記ラインCCDカメラ9及び10によって基材表面を複数の所定の方向から撮像する。第一のラインCCDカメラ10と第二のラインCCDカメラ9のフィルム基材5上の焦点は同じ位置であることが望ましいが、CCDカメラ装置の配置の関係上困難な場合もあり絶対条件ではない。ロータリーエンコーダによる搬送距離の算出から異なるタイミングで取得された同じ位置の位置合わせも電子的に行えるからである。撮像した画像は第一の画像処理装置11及び第二の画像処理装置12でデジタル画像処理され、第一の画像処理で欠陥部分の抽出および判定が行われ、欠陥と判定された部位については、第二の画像処理装置における当該部位の画像データとの比較が制御装置14またはいずれかの画像処理装置11,12で行われる。第二の画像処理装置においても欠陥と判定されていればこれは真正の欠陥と判定される。判定されていなければフィルム基材の波うちを誤認識したものと判断される。欠陥判定のアルゴリズムの一例は図3に記載したが、CCDカメラの分解能や異物の大きさ、外観形状、再現性など幾つかの条件を満たすものが欠陥と判定され、その点から実用上問題が無いものは欠陥とは判定されない。反射撮像光学系と透過撮像光学系の撮像効果の違いは、反射撮像系ついては図5aで示すとおり、フィルムの波打ちが生じた箇所では反射光の一部がCCDカメラ方向に反射されず、検出される反射光強度が低減して欠陥として誤検出されてしまう可能性がある。アナログデータからデジタル化する閾値については、フィルム基材と反射防止層の屈折率と厚みを考慮して純粋な波うち部分の反射光の挙動を予めシミュレーションして設定しておく必要がある。一方透過撮像光学系では、図5bに示すとおり、波打ちの影響は受けにくく、一部CCDカメラに到達する光量が若干低下するのが見られるが反射光学系ほどではない。斜めに入射して斜め方向に反射する光の方が直進光よりもフィルム基材の波うちの影響を受けやすいからと推察している。したがって、反射撮像系と透過撮像系の両方で欠陥と判定されない部位については波打ちに起因する誤判定とし、欠陥とは判定されない。上記のアルゴリズムの概要を図6に示した。透過撮像光学系で検出した欠陥情報及び反射撮像光学系で検出した欠陥情報を高速で比較照合する機能を持った検査装置とする必要がある。デジタル化された画像データの照合比較処理は、制御装置14で行ってもよいし、いずれかの画像処理装置でもよいし、別途特別な処理装置を設けてもよい。検査装置において透過光学系及び反射光学系を用いて通常通り検査を行い、欠陥として検出された箇所の座標等の欠陥情報を保存する。透過の光学系で検出した欠陥について、欠陥座標を用いて、反射光学系にて欠陥として検出されていないか確認を行い、透過反射光学系双方で検出した欠陥のみ、欠陥として出力するということである。"