基板上に薄膜を蒸着形成する蒸着装置において、有機材料からなる成膜材料を収容する容器と、前記容器に収容された前記成膜材料に混入される導電性の粒状混合物と、前記容器内の前記粒状混合物を誘導加熱する加熱部と、を備え、前記粒状混合物の前記成膜材料に対する体積比は、1/10000以上で1/100未満の範囲内の値であることを特徴とする蒸発装置。前記加熱部は、前記容器の周囲を取り囲むように巻回された誘導コイルであることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置。成膜材料の膜厚を計測する膜厚モニターと、前記膜厚モニターにより計測した膜厚を成膜速度に換算し、成膜速度の変化に応じて前記加熱部の出力を制御するモニター制御部と、を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の蒸発装置。前記容器は、セラミック製の坩堝であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の蒸発装置。前記セラミック製の坩堝は、石英、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化ケイ素、又は酸化アルミニウムで形成されていることを特徴とする請求項4に記載の蒸発装置。前記容器内で前記成膜材料を撹拌する撹拌機構を更に備えることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の蒸発装置。しかしながら、上記特許文献2、3の方法は何れも、微量な有機材料を蒸着させるため、気化させた蒸気の大半を回収するので、利用効率が悪いという問題があった。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、成膜材料を微量に蒸発させることで成膜材料の利用効率を高めることができる蒸発装置を提供することである。上記課題を解決するため、本発明は、基板上に薄膜を蒸着形成する蒸着装置において、有機材料からなる成膜材料を収容する容器と、前記容器に収容された前記成膜材料に混入される導電性の粒状混合物と、前記容器内の前記粒状混合物を誘導加熱する加熱部と、を備え、前記粒状混合物の前記成膜材料に対する体積比は、1/10000以上で1/100未満の範囲内の値であることを特徴とする。本発明によれば、有機材料からなる成膜材料を収容した容器に、成膜材料に対する体積比が1/10000以上で1/100未満の範囲内の値の導電性の粒状混合物を混入し、容器内の粒状混合物を加熱部により誘導加熱することで、粒状混合物の周辺の成膜材料のみを局所的に加熱させて蒸発させることができる。よって、成膜材料の利用効率を従来よりも高めることができる。また、熱ダメージによる成膜材料の破壊を抑制することができる。以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。本実施形態の蒸着装置10は、成膜材料Pを高周波誘導加熱以下、誘導加熱という方式によって加熱して蒸発させ、基板K上に薄膜を蒸着形成する蒸着装置である。蒸着装置10は、例えば、有機EL素子の有機層を形成する際の、有機化合物の蒸着などに用いることができる。基板Kは、例えば、可撓性を有するガラスフィルム等の透明基板上に、ITO等の透明導電膜からなる陽極が形成されることにより構成されている。なお、基板Kの幅や長さ等は、作成する有機ELパネル等の大きさに応じて適宜設定される。また、本実施形態においては、かかる基板Kとして、薄い平板形状に形成されているものを例示して説明するが、基板Kの形状に特に限定はなく、これ以外にも、例えば、長尺な帯状の基板をロール状に巻き取ったものを、ロールツーロール方式等により搬送させながら使用することとしても良い。蒸着装置10は、図1に示すように、真空容器1、蒸着源2、シャッター6、膜厚モニター7、等を備えている。真空容器1は、例えば、上面の開口した容器本体及び当該開口を塞ぐ蓋体何れも図示せずを備えており、蓋体を脱着して基板Kや成膜材料P図3参照の出し入れが行われる。また、真空容器1には、真空ポンプ11が接続されており、真空容器1は、蒸着に際してこの真空ポンプ11により内部が真空排気され、真空状態が保たれるようになっている。真空度は、成膜材料の種類により異なるが、例えば、10-2~10-7Paである。なお、真空容器1の構成はこれに限定されず、その細部構成は公知のものであれば適宜使用可能である。真空容器1内の上部には、上記した基板Kが、支持部材図示省略により支持されて設置されている。基板Kは、下方に設置された蒸着源2から放出される蒸気によって、蒸着が施されるようになっている。蒸着源2は、真空容器1内の下部に設置され、基板Kに対して、成膜材料Pを蒸気として放出する。蒸着源2は、図2、3に示すように、有機材料からなる成膜材料Pを収容する容器3、容器3に収容された成膜材料Pに混入される粒状混合物4、及び容器3内の粒状混合物4を誘導加熱する加熱部5、等を備えて構成されている。容器3は、例えば、石英、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化ケイ素、又は酸化アルミニウム等のセラミックを用いて形成された坩堝である。容器3には、その周囲を取り囲むように誘導コイル51が巻回されており、成膜材料Pを加熱する際には、内部に収容した成膜材料Pに粒状混合物4を混入させ、この粒状混合物4を誘導加熱するようになっている。即ち、容器3は絶縁物で形成されることで、誘導コイル51から生ずる磁束によって表面に電流が生じることが無いため、誘導加熱されることが無く、当該誘導コイル51により発生する磁束は容器3内の粒状混合物4に届き、この粒状混合物4が誘導加熱されることとなる。粒状混合物4は、成膜材料Pより熱伝導率が高く、且つ成膜材料Pより高い融点を持つ導電性の材質が用いられ、例えば、タンタル、タングステン等の高融点金属などを用いて形成されている。この粒状混合物4は、例えば、0.01μm~1mmの範囲内の値に粒径が規定された、複数個の粒状体から成り、成膜材料Pを加熱する際に、容器3に収容された成膜材料Pに混入されて、成膜材料P内に分散している。また、粒状混合物4を容器3に収容された成膜材料Pに混入する場合、粒状混合物4の成膜材料Pに対する体積比は、1/10000以上で1/100未満の範囲内の値となっており、好ましくは1/5000以上で1/200未満の範囲内の値であり、更に好ましくは1/1000以上で1/500である。このように、粒状混合物4の成膜材料Pに対する体積比を1/10000以上で1/100未満の範囲とすることで、容器3内の成膜材料Pを、全体ではなく局所的に加熱して蒸発させることができる。なお、粒状混合物4は、成膜材料Pに対する体積比が1/10000より小さいと体積比が小さすぎ、所望の蒸発量を得ることが困難である。成膜材料自体を多くすれば蒸発量を増やすことは可能であるが、効率が悪く実用的では無い。また、粒状混合物4の温度を上げて蒸着レートを増加させた場合、成膜材料の焦げ付きや劣化といった別の問題が生じることが分かっている。一方、1/100以上であると体積比が大きすぎて、一旦材料の蒸発が始まると温度調整でレート制御しようとしても低レートを実現することは困難であることがこれまでの検討結果から分かっている。また、粒状混合物4の粒径が0.01μm~1mmの範囲であるため、粒状混合物4の熱容量が小さく、微小な温度制御を好適に行うことができる。なお、粒径が0.01μmより小さいと、成膜材料Pとの接触面積が小さすぎて所望の蒸発量を得ることが困難であり、一方、粒径が1mmより大きいと、成膜材料Pとの接触面積が大きすぎて所望の蒸発量を得るための制御が困難となるため好ましくない。また、加熱する成膜材料Pによって体積比粒径は左右されるが、0.1Å/sec以下の低レートを実現しようとした場合、これまで様々な成膜材料を用いた検討から上記記載の範囲にすることで達成可能で有ることを確認している。よって、成膜材料Pは、当該成膜材料Pに混入された粒状混合物4の周辺のみが局所的に加熱されることになり、全体として微量の成膜材料が蒸発または昇華する。よって、粒状混合物4を長時間加熱したとしても、成膜材料Pの全体が加熱されて熱ダメージを受けることがなく、このため成膜材料Pが破壊するのを抑制することができることとなる。加熱部5は、容器3に巻回された誘導コイル51と、誘導コイル51に接続された交流電源52と、を備えている。交流電源52から誘導コイル51に交流電圧を印加すると、誘導コイル51に電流が流れて磁界が発生する。容器3内の粒状混合物4は、磁界によってその内部に渦電流が発生し、加熱されることとなる。シャッター6は、基板Kと蒸着源2との間に設置され、図示しない制御装置からの指示信号に基づき開閉を行うものである。具体的には、シャッター6は、膜厚モニター7による測定値が所望の一定値になるまで閉鎖され、当該所望の一定値となったところで開放される。シャッター6が開放されると、蒸着が開始される。膜厚モニター7は、例えば、水晶振動子である。膜厚モニター7は、シャッター6の下面の近傍に配され、当該膜厚モニター7に付着した材料の膜厚を計測する。膜厚モニター7には、モニター制御部7aが接続されており、モニター制御部7aは、膜厚モニター7により計測した膜厚を成膜速度に換算し、これを誘導コイル51と接続された交流電源52にフィードバックするようになっている。従って、成膜速度に変化があった場合には、交流電源52の出力誘導コイル51を流れる電流が制御され、これにより、粒状混合物4の発熱量が制御されるため、成膜材料Pの蒸発量が一定に保たれ、成膜速度も一定に保たれるようになっている。本実施形態の蒸着源2では、熱容量の小さな粒状混合物4の制御を行うだけで良く、成膜材料P全体を加熱する場合に比べて、熱応答性が良く、温度制御が容易である。なお、成膜材料Pとしては、例えば、有機EL素子に使用される公知のものの中から任意のものを選択して用いることができる。また、本実施形態においては、真空容器1内に設置される蒸着源は蒸着源2のみであるが、他の蒸着源を設置することもできる。例えば、真空容器1内に、発光層中のホストとなる有機材料を入れた他の蒸着源を設置し、蒸着源2に発光層中のドーパントとなる有機材料を入れて、共蒸着を行う構成とすることができる。次に、作用について説明する。本実施形態の蒸着装置10は、成膜材料Pを誘導加熱方式によって加熱して蒸発させ、基板K上に薄膜を蒸着形成する装置である。蒸着を実施する場合、最初に真空ポンプ11を稼動して真空容器1の内部を真空とする。そして、誘導コイル51に電流を流して誘導加熱によって容器3内の粒状混合物4を一定の温度にまで加熱すると、粒状混合物4の周囲の成膜材料Pが所定の温度にまで加熱され、蒸発または昇華して蒸気流が発生し、この蒸気流により基板Kの表面下面に薄膜が形成される。容器3は絶縁物で形成されているので、容器3自体が加熱されることはなく、内部の粒状混合物4のみ加熱される。従って、粒状混合物4の周囲の成膜材料Pから加熱される。このとき、粒状混合物4は、成膜材料Pに対する体積比が1/10000以上で1/100未満の範囲の値である。このため、粒状混合物4の周囲の成膜材料Pのみ局所的に加熱されることとなり、容器3内の成膜材料Pが全体として加熱されることは無い。よって、微量の成膜材料Pを蒸発または昇華させることが可能である。また、粒状混合物4の周囲以外、成膜材料Pが加熱されることが無いので、熱ダメージによる成膜材料Pの破壊を最小限に抑制することが可能である。更に、粒状混合物4は、その粒径が0.01μm~1mmの範囲であるため、個々の粒状混合物4は熱容量が小さく、温度変化に敏感である。このため、成膜材料Pの蒸発量が変化した場合に敏速な対応が可能である。以上のように、本実施形態によれば、有機材料からなる成膜材料Pを収容した容器3に、成膜材料Pに対する体積比が1/10000以上で1/100未満の範囲内の値の導電性の粒状混合物4を混入し、容器3内の粒状混合物4を当該容器3の周囲を取り囲むように巻回された誘導コイル51により誘導加熱することで、粒状混合物4の周辺の成膜材料Pのみを局所的に加熱させて蒸発させることができる。よって、成膜材料Pの利用効率を従来よりも高めることができる。また、熱ダメージによる成膜材料Pの破壊を抑制することができる。また、本実施形態によれば、成膜材料Pの膜厚を計測する膜厚モニター7と、膜厚モニター7により計測した膜厚を成膜速度に換算し、成膜速度の変化に応じて加熱部5の出力を制御するモニター制御部7aと、を備える。このため、成膜速度蒸気量を一定に保つことができる。また、本実施形態によれば、容器3は、石英、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化ケイ素、又は酸化アルミニウムで形成されたセラミック製の坩堝である。このため、容器3が誘導加熱されることは無く、容器3内の粒状混合物4のみで成膜材料Pを蒸発させることができる。なお、本発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、図4に示すように、容器3内で成膜材料Pを撹拌する撹拌機構8を備えることとしても良い。撹拌機構8としては、例えば、スターラーによる撹拌、気流による撹拌、プロペラを用いた撹拌などが挙げられる。撹拌機構8を備えることによって、成膜材料P内で複数の粒状体からなる粒状混合物4を分散することができ、隣接する粒状混合物4同士が影響しあって、成膜材料Pが全体的に加熱されてしまうのを防止することができる。また、上記実施形態においては、粒状混合物4は複数の粒状体によって構成されている場合を例示して説明したが、この粒状混合物4は、成膜材料Pに対する体積比が1/10000以上で1/100未満の範囲内の値であればその形状や数などは限定されない。例えば、図5に示すように、1つの塊体であっても良い。以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。実施例1周囲を誘導コイルで巻回された石英の坩堝に、成膜材料として100mlのトリス8-キノリノラトアルミニウムAlg3と、粒状混合物として0.01mlの粒径が1mmのタングステンとを入れて撹拌し、十分に混ざった状態で誘導コイルに電流を流して誘導加熱を行って、有機材料を蒸発させた。そして、水晶振動子を用いて蒸気量を測定し、その蒸気量を目標値の0.1Å/secに調整する制御を行った。実施例2粒状混合物の粒径を0.01mmとする以外は、上記実施例1と同様にした。比較例1粒状混合物の量を1mlとする以外は、上記実施例1と同様にした。比較例2粒状混合物の量を1mlとし、粒径を0.01mmとする以外は、上記実施例1と同様にした。評価上記の実施例1、2及び比較例1、2について、以下の基準で評価した。その結果を、表1に示す。○:蒸気量が0.1Å/secに調整可能×:蒸気量が0.1Å/secに調整不可能実施例1、2では、蒸気量を目標値に調整するのが容易であった。比較例1、2では、出始めの蒸気量が目標値よりも多かったため、誘導コイルの電流値を下げたところ蒸気が全く出なくなり、電流値を上げたところ目標値を超えてしまい、蒸気量の調整が困難であった。