成形孔12を形成する方法であって、タービン部品10を第1のステーションに配置する工程40と、3次元レーザスキャナで制御される第1の短パルスレーザを用いて、空気孔12の複数の成形部分38を上記タービン部品10に形成する工程46と、上記タービン部品10を第2のステーションに移動する工程と、各々の成形部分38に調量孔40を形成する工程50と、タービン部品10を第3のステーション又は第1のステーションに移動する工程と、成形部分38を平滑化する工程54とを含む方法。前記3次元レーザスキャナが、該3次元レーザスキャナに与えられるCADファイルに基づいて第1の短パルスレーザを制御する、請求項1記載の方法。前記空気孔12の成形部分38が、タービン部品10の少なくとも遮熱コーティング層36に形成される、請求項1記載の方法。ボリューム再構成62とCADファイル66とに基づいて、成形部分38、調量孔40又は仕上げ空気孔12の1以上を検証する工程56をさらに含む、請求項1記載の方法。成形孔12を形成する方法であって、3次元レーザスキャナで制御される短パルスレーザを用いて、空気孔12の複数の成形部分38をタービン部品10に形成する工程46と、3次元レーザスキャナで制御される短パルスレーザを用いて、成形部分38を平滑化する工程54であって、成形部分38を平滑化する際に、成形部分38を形成するときとは異なる走査速度で短パルスレーザを操作する、工程54と、タービン部品10を別のステーションに移動する工程と、各々の成形部分38に調量孔40を形成する工程50とを含む方法。成形部分38を平滑化する工程54が、各々の成形部分38に所定の表面テクスチャ、滑らかさ及び/又は表面輪郭を適用することを含む、請求項5記載の方法。成形部分38を平滑化する工程54が、各々の成形部分38の亀裂を除去することを含む、請求項5記載の方法。成形部分38のボリューム表現62を生成する工程と、ボリューム表現62をCADファイル66と比較する工程64とを含む、請求項5記載の方法。ボリューム表現62がCADファイル66に実質的に対応しない場合に、平滑化孔の形成に用いられるプロセス及び/又は平滑化プロセスを調整する工程68を含む、請求項8記載の方法。IRイメージング、共焦点顕微鏡検査又はX線撮影の1以上を用いて、成形部分38の仕上げ面を評価することを含む、請求項5記載の方法。以下、本発明の1以上の特定の実施形態について説明する。これらの実施形態を簡潔に説明するため、現実の実施に際してのあらゆる特徴について本明細書に記載しないこともある。実施化に向けての開発に際して、あらゆるエンジニアリング又は設計プロジェクトの場合と同様に、実施毎に異なる開発者の特定の目標システム及び業務に関連した制約に従うことなどを達成すべく、実施に特有の多くの決定を行う必要があることは明らかであろう。さらに、かかる開発努力は複雑で時間を要することもあるが、本明細書の開示内容に接した当業者にとっては日常的な設計、組立及び製造にすぎないことも明らかである。本発明の様々な実施形態の構成要素について紹介する際、単数形で記載したものは、その構成要素が1以上存在することを意味する。含む、備える及び有するという用語は内包的なものであり、記載した構成要素以外の追加の要素が存在していてもよいことを意味する。本発明は、フィルム冷却を必要とするタービンブレードその他の部品に空気孔を形成する方法に関する。図1は、3次元3D曲面を有するタービンブレード10であって、複数の成形空気孔12を含むタービンブレード10の一例を示す等角図である。これらの成形空気孔12はタービンブレード10の外面14に穿孔されており、その方法については後述する。空気孔12は、タービンブレード10の内部空洞16と流体連通する。これによって、空気が空気孔12を通して内部空洞16から流れ、冷却空気膜でタービンブレード10を覆って、ガスタービンエンジンで生じる高温燃焼ガスから遮熱する。タービンブレード10の表面に対するそれらの形状によって、成形空気孔12が、タービンブレード10の表面にさらに均一な空気流をもたらすのに役立つこともある。図2は成形空気孔12の一例を示す斜視図である。成形空気孔12はタービンブレード10の外面14に穿孔されている。例示した実施形態では、成形空気孔12は、タービンブレード10の外面14から内部に進むにつれて徐々に狭くなる。この実施形態では、成形空気孔12の表面周縁部20は、タービンブレード10の外面14で山形シェブロンに似た形状を有する。タービンブレード10の内部空洞16に近づくにつれて、成形空気孔12の断面積は小さくなり、場合によっては円形に近づく。本明細書で開示する方法を用いて、形状及び大きさの種々異なる様々な孔を形成できると考えられる。図3は、図2に示すタービンブレード10の成形空気孔12の矢視3-3断面図である。一実施形態では、タービンブレード10又はその特定の層は、合金を始めとする任意の数の材料から作ることができる。例えば、一実施形態では、タービンブレード10は基材層32からなり、基材層は金属又は合金から形成できる。一実施形態では、基材層32は厚さ約160ミル約4.064mmである。例示した実施形態では、基材層32はボンドコートのような中間層34で被覆される。この実施形態では、中間層34の上に遮熱コーティング36がある。遮熱コーティングはセラミック皮膜でも他の適切な耐熱皮膜でもよい。一実施形態では、遮熱コーティング36は厚さ約40ミル約1.016mmである。遮熱コーティング36及び/又は基材層32を中間層34でそれらの互いの結合力よりも強く結合させてもよい。従って、かかる実施形態では、中間層34は強固な多層構造をもたらす。別の実施形態では、中間層34は存在せず、遮熱コーティング36は基材層32に直接接触する。さらに、別の実施形態では、追加の皮膜又は層が存在していてもよい。また、別の実施形態では、遮熱コーティング又は層を含んでいなくてもよい。空気孔12の成形つまり非円形部分38は、遮熱コーティング36に限られていてもよいし、或いは遮熱コーティング36と中間層34に限られていてもよい。或いは、別の実施形態では、空気孔12の成形部分38は基材層32に広がっていてもよい。通例、成形部分38が基材層32及び/又は基材層32と中間層34を貫通していない限り、真っ直ぐな調量孔40円形又は楕円形断面を有するが、空気孔12の成形部分38からタービンブレード10の内側空洞16まで基材層32を貫通する。一実施形態では、真っ直ぐな調量孔40は、タービンブレード10の表面に対して30°の角度で穿孔される。上述の構造を念頭において、図4は、一実施形態に従って成形空気孔12を形成する方法42を示す。まず、タービンブレード10を穿孔装置上で位置決めするブロック44。タービンブレード10の位置決めは手作業で行っても機械的に行ってもよい。位置決めプロセスの一部として、成形空気孔12の形成に用いられるレーザを、タービンブレード10の3次元形状に対して位置調整してもよい。タービンブレード10の位置決めを終えたら、タービンブレード10に空気孔12の成形部分38を形成するブロック46。一実施形態では、成形部分38は、空気孔12の成形部分38の所定の3次元形状に従って遮熱コーティング36の一部を除去する短パルスレーザを用いて形成される。ある実施形態では、短パルスレーザで空気孔12の成形部分38を形成する際に、中間層34及び/又は基材層32の一部も除去してもよい。一実施形態では、適切な短パルスレーザの具体例は、10μs未満例えば1μs未満のパルス幅を有するものである。一実施形態では、パルス幅がフェムト秒及び/又はピコ秒のレーザを用いて、空気孔12の成形部分38を形成する。例えば、パルスレーザは、パルス幅がナノ秒域例えば、25nsの30Wグリーンレーザである。一実施形態では、短パルスは、リアルタイム焦点制御式3次元レーザスキャナで制御される。形状精度を保証するため、かかる焦点制御メカニズムで、パルス幅、パルスエネルギー、オーバラップ比、走査速度などを制御又は調整してもよい。一実施形態では、成形作業を制御するスキャナには、CADファイル例えば、3DSTLCADファイルがロードされ、任意又は設定可能な画層例えば、5μm、10μm、20μmなどにスライスされる。スキャナで短パルスレーザを制御して、CADファイルに従って空気孔12の成形部分38の望ましい幾何形状が加工されるように、CADファイルはレーザ制御と統合される。かかる実施形態では、幅約3mm、長さ約8mmの成形部分38を約6分で形成できる。別の実施形態では、幅約1mm及び長さ約8mmの成形部分38を約1.5分で形成できる。一実施形態では、タービンブレード10の曲面に形成される埋込み傾斜成形部分38を、品質管理のため、適切な方法を用いて測定及び/又は評価してもよい。例えば、ある実施形態では、幾何形状の忠実度の評価及び/又は成形プロセスに起因する微小亀裂の検出のために、IRイメージング、共焦点顕微鏡3D測定及び/又はX線撮影の1以上を用いてもよい。これらのプロセスは、タービンブレードを穿孔固定具に残したまま行うこともできるし、タービンブレードを穿孔用固定具から取り外して別のステーションで行ってもよい。例えば、一実施形態では、成形部分38の幾何形状を測定するために、3D共焦点光学形状測定及び/又はX線撮影を用いてもよい。かかる測定値を次いで品質管理の尺度としてCADファイル中の所定の測定値と比較してもよい。同様に、成形部分38の迅速なインライン品質監視のため、成形部分38のIRイメージングを断面解析で校正してもよい。かかる品質管理作業は、各々の成形部分38及び/又はタービンブレード10で実施してもよいし、適当な統計的サンプリング技術に従って限られた数の成形部分38及び/又はタービンブレード10で実施してもよい。例えば、一実施形態では、成形プロセスの定期的例えば、毎日1回、毎日2回又は毎週1回評価及び/又は校正のために、全体校正又は検証を実施してもよいブロック48。かかる検証プロセス58の一例を図5に示す。かかる一実施形態では、成形部分38が形成されたタービンブレード10は、適切な3次元光学又はX線イメージングモダリティ例えば、コンピュータ断層CT撮影システム、トモシンセシスtomosynthesis撮影システムその他のボリュームX線撮影モダリティを用いて撮影されるブロック60。かかる一実施形態では、取得したX線投影データ又は3次元光学測定値を用いて、さらなる解析のためタービンブレード10のボリュームレンダリング62を再構成する。ボリュームレンダリング62をCADモデル663次元STLCADファイルなどと比較してブロック64、タービンブレード10で形成された3次元表面特徴例えば、成形部分38がCADモデル66で表現される所定の形状に対応するか否かを判定してもよい。一実施形態では、X線画像により生成したボリュームレンダリング画像62及び/又は対応CADモデル66は、設定可能configurableな厚さの画層例えば、5μmレイヤー、20μmレイヤーなどにスライスしてもよく、タービンブレード10ボリュームレンダリング62で表示されるものとCADモデル66との詳細な画層毎の比較ができる。詳細な検査では、成形空気孔12の位置、形状、断面及び/又は寸法をCADモデル66と比較してもよく、さらに、空気孔12の成形部分38の形成に起因する亀裂その他の異常についてチェックしてもよい。CADモデル66に対して成形部分38の位置、形状又は寸法が不適正であると判定されたら、空気孔12の成形部分38の形成に用いたコンピュータ及び工具を調整及び/又は校正してブロック68、欠陥に対処する。かかる調整としては、レーザ強度、パルス幅、走査パターン、走査速度、タービンブレードの位置などの変更が挙げられる。撮影した成形部分38がCADモデルの所定の許容範囲内にあると判定されるまで、検証プロセスをその後で形成されたタービンブレード10で繰返してもよく、その時点で、調整は十分であると判断され、検証したプロセスパラメータが承認されるブロック70。図4に戻ると、空気孔12の成形部分38を形成した後、調量孔40を、各成形部分38で露出した基材層32の領域に穿孔してもよいブロック50。一実施形態では、調量孔40は、タービンブレード10の内部空洞16に至るまで基材層32の一部又は全体を貫通するほぼ真っ直ぐな円形の孔である。調量孔40は、タービンブレード10の表面に垂直又は所定の相対角度例えば30°で穿孔される。一実施形態では、調量孔40は、パルス幅1μm~1ms及び出力定格50W超例えば100W~1000W、一例では500Wのレーザのような高出力長パルスレーザを用いて穿孔される。別の実施形態では、調量孔40は、ウォータジェット、放電加工EDM、電解加工ECM、パーカッション穿孔、電子ビーム加工などの他の適切な方法を用いて穿孔してもよい。一実施形態では、EDM以外の方法を用いて調量孔40を形成する。成形部分38の形成に用いた方法とは異なるメカニズムを用いて調量孔40を形成する実施形態では、タービンブレードを、製造又は組立ラインの別のステーションに機械的又は手動で移動してもよい。成形部分38と同様に、調量孔40の形成後に調量孔40の位置及び貫入深さを評価するために、ピンゲージなどを用いて測定及び/又は品質管理プロセスを実施してもよい。品質管理の幾つかのアセスメントは、個々の調量孔40及び/又はタービンブレード10について行ってもよいが、別の実施形態では、品質管理は、限られた数の調量孔40及び/又はタービンブレード10の統計的サンプリングを用いて実施してもよい。さらに、成形部分38と同様に、調量孔40の形成に用いられる機器及び/又は穿孔手順の検証及び/又は校正のため、検証プロセスブロック52を定期的例えば、毎日、毎週などに実施してもよい。かかる検証プロセスで、調量孔40の位置、角度、貫入深さその他の特性を評価し、所定の品質許容範囲内に維持するために機器及び/又は穿孔プロセスを調整又は校正するのに用いてもよい。検証プロセスに基づいて行うことのできる調整の具体例には、レーザ強度、パルス幅、タービンブレードの位置、走査速度、走査パターンなどがある。調量孔40の検証プロセスブロック52は、成形部分38の検証プロセスブロック48とは別個のものとして示してあるが、ある実施形態では、これらの検証プロセスを同時に及び/又は同様に実施してもよい。例えば、調量孔40は、成形部分38の検証と同時又は別個に、3次元光学又はX線撮影技術CT又はトモシンセシスなどを用いて生成されるボリューム像62及びCADモデル66を用いて検証してもよい。別の実施形態では、調量孔40の検証は、ピンゲージのような調量孔40の位置及び貫入深さを評価する機械的手段を用いて実施し得る。図4に示すように、成形部分38と調量孔40とで形成される空気孔12は、成形プロセスで得られる輪郭形状に基づいて、空気孔12の成形部分38など、空気孔12に所望の表面テクスチャ、平滑さ及び/又は表面輪郭を与えるため、精密クリーニング又は仕上げしてもよいブロック54。例えば、仕上げプロセスで、調量孔40の形成時に発生した亀裂を除去してもよい。亀裂の除去によって、正常運転中に様々な応力が印加されたときのタービンブレードの健全性が向上する。一実施形態では、仕上げは、空気孔12の成形部分38の形成に関して述べた短パルスレーザのような短パルスレーザで実施できる。別の実施形態では、空気孔12の仕上げに機械研削又はEDMを用いる。成形部分38の形成と空気孔12の仕上げに短パルスレーザを用いるが、調量孔40の形成には短パルスレーザを使用しない実施形態では、タービンブレード10は、製造又は組立ラインの別の物理的ステーションへ機械的又は手動で移動してもよいし、或いは前のステーションに戻してもよい。例えば、一実施形態では、タービンブレード10をまず空気孔12の成形部分38を形成するため短パルスレーザステーションで処理し、次いで調量孔40を形成するために長パルスレーザステーションに移した後、成形部分38の形成に用いたものとは異なる処理又は走査プロトコルを用いて空気孔12を仕上げるため短パルスレーザステーションに戻してもよい。短パルスレーザを用いる実施形態では、仕上げプロセスに際して短パルスレーザは成形部分38の形成に用いた走査速度よりも速い走査速度で操作してもよい。同様に、一実施形態では、仕上げプロセスで用いる短パルスレーザは、所定の3次元形状に従って空気孔12を仕上げるようにレーザを作動させるリアルタイム焦点制御を備えたレーザスキャナの制御下で操作してもよい。かかる焦点制御メカニズムでは、孔の形状精度を担保すべくパルス幅、パルスエネルギー、オーバラップ比、走査速度などを制御又は調整できる。一実施形態では、品質管理のため、空気孔12の仕上げ面を適切な方法で測定及び/又は評価してもよい。例えば、ある実施形態では、形状の忠実度の評価及び/又は成形プロセスに起因する微小亀裂の検出のため、IRイメージング、共焦点顕微鏡3D測定及び/又はX線撮影の1以上の方法を使用できる。かかる品質管理作業は、各々の空気孔12で実施してもよいし、或いは適切な統計的サンプリング技術に従って限られた数の空気孔で実施してもよい。さらに、上述の成形部分38及び調量孔40と同様に、仕上げプロセスに用いられる機器及び/又は穿孔手順の検証及び/又は校正のため、検証プロセスを定期的例えば、毎日、毎週などに実施してもよいブロック56。かかる検証プロセスで、仕上げた空気孔12の表面、テクスチャ、輪郭形状などを評価し、所定の品質許容範囲内に維持するために機器及び/又は仕上げプロセスを調整又は校正するのに用いてもよい。検証プロセスに基づいて行うことのできる調整の具体例には、レーザ角度、レーザ強度、レーザ使用時間、タービンブレードの位置などがある。仕上げプロセスの検証プロセスブロック56は、成形部分38及び調量孔40の検証プロセスブロック48、52とは別個のものとして示してあるが、ある実施形態では、これらの検証プロセスを同時に及び/又は同様に実施してもよい。例えば、仕上げ空気孔12調量孔40及び成形部分38を含むは、上述の3次元光学イメージング技術又はX線撮影技術CT又はトモシンセシスなどを用いて生成したボリューム像62及びCADモデル66を用いてワンステップで検証することができる。或いは、これらの検証ステップの全部又は一部を、別個に及び/又はCADモデル66との比較を用いずに実施することもできる。以上、空気孔12の成形部分38を調量孔40の形成前に形成する実施形態について説明してきた。上述の通り、かかる実施形態は、タービンブレードを2つの別個のステーションに移動すること短パルスレーザステーションと、調量ステーションと、仕上げのための短パルスレーザステーションに戻すこと又は3つの別個のステーションに移動すること短パルスレーザステーションと、調量ステーションと、仕上げステーション短パルスレーザを用いても用いなくてもよいを含む。あるステーションから次のステーションにタービンブレードを移動する実施形態では、タービンブレードの位置決めは、成形、調量及び/又は仕上げステップを実施する装置の適正な整合を担保するための、孔の同定又は位置合わせを含んでもよい。別の実施形態では、空気孔12の各部分を形成する順序は異なっていてもよい。例えば図6を参照すると、一実施形態では、本明細書で説明した各種の調量、成形及び仕上げプロセスは異なる順序で実施してもよく、まず調量孔40を形成ブロック50してから、空気孔12の成形部分38の成形ブロック46及び空気孔12の仕上げブロック50を行ってもよい。かかる実施形態では、タービンブレードは2つの別個のステーション調量ステーションと成形/仕上げステーションに移動するだけでよく、成形プロセスと仕上げプロセスは同じステーションで実施されるが、異なる走査プロトコル成形走査プロトコル及び仕上げ操作プロトコルが用いられる。さらに、上述の通り長パルス及び短パルス形成作業の双方を実施するための単一の設定可能又は調整可能なレーザを用いる別の実施形態では、単一の物理的ステーションでタービンブレード10に空気孔12を形成することができ、設定可能なレーザの動作は、調量、成形及び/又は仕上げプロセスの各々での使用に適するように調整される。例えば、一実施形態では、空気孔12の成形、調量及び仕上げのために、1ms未満のパルス幅、適切な波長特性例えば、532nm、355nm、317nmなど及び高出力例えば、100W超を有するパルスレーザを用いることができる。かかるパルスレーザは、スキャナ上述のようなCAD駆動スキャナ又は並進ステージの制御下で動作し得る。一実施形態では、パルスレーザは、高出力ナノ秒エキシマレーザ或いは高出力ナノ秒又はピコ秒グリーンレーザのように、1ms未満のパルス幅と、高出力及び高繰返し速度を有する。本発明の技術的効果としては、タービンブレードの使用中の冷却のための成形空気孔を有するタービンブレードを形成することが挙げられる。成形空気孔は、2段階又は3段階プロセス、例えば、各成形空気孔の調量部分の形成に長パルスレーザを使用し、空気孔の成形部分の形成及び空気孔の仕上げ例えば、精密クリーニングに短パルスレーザを用いるプロセスなどによって、形成し得る。さらに、一つの技術的効果は、品質管理プロセスにIRイメージング、共焦点顕微鏡検査及び/又はX線撮影の1以上を使用することである。もう一つの技術的効果は、空気孔を形成したタービンブレードで生成されたボリューム表現を用いる検証プロセスであり、製造プロセスの検証及び/又は調整のためにボリューム表現をタービンブレードの既知のCAD表現と比較する。本明細書では、本発明を最良の形態を含めて開示するとともに、装置又はシステムの製造使用及び方法の実施を始め、本発明を当業者が実施できるようにするため、例を用いて説明してきた。本発明の特許性を有する範囲は、特許請求の範囲によって規定され、当業者に自明な他の例も包含する。かかる他の例は、特許請求の範囲の文言上の差のない構成要素を有しているか、或いは特許請求の範囲の文言と実質的な差のない均等な構成要素を有していれば、特許請求の範囲に記載された技術的範囲に属する。