"第1取付具と、筒状をなす第2取付具と、前記第1取付具と前記第2取付具を連結するゴム状弾性体からなる防振基体と、前記第2取付具の軸方向において前記防振基体と対向した状態に前記第2取付具に取り付けられて前記第2取付具の内側に前記防振基体との間で液体封入室を形成する液室形成部材と、前記液室形成部材を挟んで前記液体封入室と反対側に配されて可動軸が前記液室形成部材に連結されたアクチュエータと、を備え、前記液室形成部材が外周部に前記第2取付具に固定されるリング状の取付部材を有し、前記第2取付具が、前記液体封入室を内部に持つ筒状部材と、前記アクチュエータを内部に収容する椀状部材とを、両者の開口端部同士でかしめ固定してなり、前記筒状部材の開口端部が、軸直角方向外方に張り出した第1フランジ部と、前記第1フランジ部の先端から軸方向外方に延出されて前記液室形成部材の取付部材を内側に嵌合保持する嵌合筒部とからなり、前記椀状部材の開口端部が、軸直角方向外方に張り出した第2フランジ部と、前記第2フランジ部の先端から軸方向外方に延出されたかしめ用筒部とからなり、前記取付部材の外周面又は前記嵌合筒部の内周面にゴム状弾性体からなるシール材が設けられて、前記取付部材を前記嵌合筒部に対し前記シール材を介して嵌合した状態に圧入し、前記取付部材が嵌合した前記嵌合筒部を前記椀状部材の前記第2フランジ部上に載せて、前記椀状部材に前記アクチュエータを収容しかつ前記可動軸を前記液室形成部材に連結させた状態で、前記かしめ用筒部により前記筒状部材の開口端部を包み込むようにかしめ固定してあり、前記可動軸が、軸直角方向外方に突出する被ストッパ部を備え、前記アクチュエータを前記椀状部材内に吊り下げ状態に保持する保持板を有し、前記保持板は、外周端部が前記前記かしめ用筒部によりかしめ固定されるとともに、中央部に前記可動軸が貫通する開口部を有し、前記可動軸の前記軸方向における変位により前記被ストッパ部が当たることで当該変位を制限するストッパ部が前記開口部に設けられた液封入式防振装置。前記被ストッパ部が前記軸方向に離間して一対設けられ、前記ストッパ部が前記一対の被ストッパ部の間に配された、請求項1記載の能動型液封入式防振装置。前記液室形成部材がゴム状弾性膜からなるダイヤフラムであり、前記防振基体と前記ダイヤフラムの間において前記防振基体と前記軸方向に対向した状態にゴム状弾性支持部を介して前記第2取付具側に連結された加振板が設けられ、前記液体封入室が、前記加振板により、前記防振基体が室壁の一部をなす第1液室と、前記ダイヤフラムが室壁の一部をなすとともにオリフィス通路を介して前記第1液室と連通された第2液室と、に仕切り構成され、前記可動軸が、前記ダイヤフラムを貫通した状態で前記ダイヤフラムに結合されるとともに、前記加振板に連結されて前記加振板を前記軸方向に加振駆動するよう構成された請求項1又は2記載の液封入式防振装置。前記可動軸が、前記ダイヤフラムに対する結合部である軸部材を備え、前記軸部材に、前記ダイヤフラムが一体に成形されるとともに、前記被ストッパ部が設けられ、前記保持板が、前記ダイヤフラムを前記椀状部材内の前記アクチュエータの収容空間から区画するように設けられた請求項3記載の液封入式防振装置。上記のような防振装置を製造する場合、第1取付具101と防振基体103を一体に加硫成形してなる本体ゴムに対し、液槽中で、ダイヤフラム105及び加振板108を組み付けて液体封入室104,106を持つ防振装置本体を組み立てる。次いで、大気中で、アクチュエータ109及び第2取付具102の椀状部材114を組み付ける。この場合に、アクチュエータ109が取り付けられる加振板108の表面に液体が付着したままであると、アクチュエータ109がショート等により破損するおそれがあるため、防振装置本体の表面に付着した液体を取り除いてから組み立てなければならない。液体を取り除く作業としては、例えばエアーを吹き付けることが考えられるが、その際、液体封入室104,106から液体が漏れないようにシールしておく必要がある。そのため、図11に示す例では、椀状部材114を上下2分割114A,114Bにして、上側の部材114Aを、液槽から取り出した後に、筒状部材113とともにかしめ固定して、液体封入室104,106をシールするようにしている。そして、その後、付着した液体を取り除いてから、アクチュエータ109とともに下側の部材114Bを取り付けている。しかしながら、このように椀状部材114を2分割とした構成では、部品点数が多くなるとともに、液槽から取り出した後のかしめ固定作業と、その後の椀状部材114の連結一体化作業とが必要であり、工数が増えてしまう。また、上側の部材114Aに対して下側の部材114Bを外嵌装着させる作業は、両者間の寸法バラツキにより装着しにくかったり、あるいは、両者の密着性が損なわれたりするという問題がある。椀状部材114の内部は、外部からアクチュエータ109への水や異物の侵入を防止するために、密閉されることが実用上求められるが、上記従来の構造ではこの要求に応えることも難しい。本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、組み立て作業性に優れるとともにアクチュエータ収容空間の密閉性に優れる液封入式防振装置を提供することを目的とする。本発明に係る液封入式防振装置は、第1取付具と、筒状をなす第2取付具と、前記第1取付具と前記第2取付具を連結するゴム状弾性体からなる防振基体と、前記第2取付具の軸方向において前記防振基体と対向した状態に前記第2取付具に取り付けられて前記第2取付具の内側に前記防振基体との間で液体封入室を形成する液室形成部材と、前記液室形成部材を挟んで前記液体封入室と反対側に配されて可動軸が前記液室形成部材に連結されたアクチュエータと、を備え、前記液室形成部材が外周部に前記第2取付具に固定されるリング状の取付部材を有し、前記第2取付具が、前記液体封入室を内部に持つ筒状部材と、前記アクチュエータを内部に収容する椀状部材とを、両者の開口端部同士でかしめ固定してなり、前記筒状部材の開口端部が、軸直角方向外方に張り出した第1フランジ部と、前記第1フランジ部の先端から軸方向外方に延出されて前記液室形成部材の取付部材を内側に嵌合保持する嵌合筒部とからなり、前記椀状部材の開口端部が、軸直角方向外方に張り出した第2フランジ部と、前記第2フランジ部の先端から軸方向外方に延出されたかしめ用筒部とからなり、前記取付部材の外周面又は前記嵌合筒部の内周面にゴム状弾性体からなるシール材が設けられて、前記取付部材を前記嵌合筒部に対し前記シール材を介して嵌合した状態に圧入し、前記取付部材が嵌合した前記嵌合筒部を前記椀状部材の前記第2フランジ部上に載せて、前記椀状部材に前記アクチュエータを収容しかつ前記可動軸を前記液室形成部材に連結させた状態で、前記かしめ用筒部により前記筒状部材の開口端部を包み込むようにかしめ固定したものである。上記構成によれば、液室形成部材の取付部材を筒状部材の嵌合筒部に対しシール材を介して嵌合した状態に圧入することで、該取付部材が嵌合筒部に内嵌保持されるので、液体封入室のシール性を保ちつつ、液室形成部材を筒状部材に仮止めすることができる。そのため、この仮止め状態でエアーを吹き付けるなどして、防振装置本体の表面に付着した液体を取り除くことができ、組み立て作業性に優れる。その後、椀状部材にアクチュエータを収容しかつ可動軸を液室形成部材に連結させた状態で、椀状部材の開口端部のかしめ用筒部により筒状部材の開口端部をかしめ固定する。このように最終的にはかしめ固定されるので、製品状態での液体封入室のシール性を確実なものとすることができ、また、アクチュエータ収容空間の密閉性を向上することも容易である。上記防振装置においては、前記液室形成部材がゴム状弾性膜からなるダイヤフラムであり、前記防振基体と前記ダイヤフラムの間において前記防振基体と前記軸方向に対向した状態にゴム状弾性支持部を介して前記第2取付具側に連結された加振板が設けられ、前記液体封入室が、前記加振板により、前記防振基体が室壁の一部をなす第1液室と、前記ダイヤフラムが室壁の一部をなすとともにオリフィス通路を介して前記第1液室と連通された第2液室と、に仕切り構成され、前記可動軸が、前記ダイヤフラムを貫通した状態で前記ダイヤフラムに結合されるとともに、前記加振板に連結されて前記加振板を前記軸方向に加振駆動するよう構成されてもよい。また、前記アクチュエータが、前記椀状部材内に収容された環状の固定子と、前記固定子の中央部において前記軸方向に往復動可能に支持された前記可動軸とを備えてなり、前記アクチュエータを前記椀状部材内に吊り下げ状態に保持する保持板を有し、前記保持板は周方向の複数箇所に設けられたスペーサーを介して前記固定子の上面に連結され、前記保持板の外周端部が前記第2フランジ部上に重合配置されて前記筒状部材の開口端部とともに前記かしめ用筒部によりかしめ固定されてもよい。このようにアクチュエータを上記保持板を介して椀状部材内に吊り下げ状態に保持させることにより、上記かしめ固定によりアクチュエータを椀状部材内の所定位置に固定することができる。その際、アクチュエータの上面は、コイルや板バネ等の存在により凹凸があるため、スペーサーを介して固定子の上面に連結することにより、保持板の形状を全周にわたって平らな形状にすることができ、保持板を成形しやすい。上記防振装置においては、前記可動軸が、前記ダイヤフラムに対する結合部である軸部材を備え、前記軸部材に、前記ダイヤフラムが一体に成形されるとともに、軸直角方向外方に突出する被ストッパ部が設けられ、前記保持板が、前記ダイヤフラムを前記椀状部材内の前記アクチュエータの収容空間から区画するように設けられるとともに、中央部に前記可動軸が貫通する開口部を有し、前記可動軸の前記軸方向における変位により前記被ストッパ部が当たることで当該変位を制限するストッパ部が前記開口部に設けられてもよい。この場合、軸方向での過大な入力により可動軸が軸方向に変位したときに、可動軸側に設けた被ストッパ部が第2取付具側に設けたストッパ部に当たることでその変位を一定範囲内に制限することができ、アクチュエータの破損を防止することができる。また、ダイヤフラムが一体に成形された軸部材に被ストッパ部を設けたので、部品点数を増やすことなく、被ストッパ部を設けることができる。また、アクチュエータを保持するための保持板を利用してこれにストッパ部を設けたので、部品点数を増やすことなく、ストッパ部を設けることができる。更に、該保持板により、ダイヤフラムをアクチュエータの収容空間から区画するようにしたので、ダイヤフラムが液体の流動でアクチュエータ側に膨らんだときに、発熱したアクチュエータに直接接触するのを防ぐことができる。そのため、熱によるダイヤフラムの経年劣化を防止することができ、ダイヤフラムの耐久性を向上することができる。本発明の防振装置においては、前記アクチュエータが、前記椀状部材内に収容された環状の固定子と、前記固定子の中央部において前記軸方向に往復動可能に支持されるとともに前記液室形成部材に連結された前記可動軸とを備えてなり、前記アクチュエータを前記椀状部材内に吊り下げ状態に保持する保持板を有し、前記保持板は周方向の複数箇所に設けられたスペーサーを介して前記固定子の上面に連結され、前記保持板の外周端部が前記第2フランジ部上に重合配置されて前記筒状部材の開口端部とともに前記かしめ用筒部によりかしめ固定されてもよい。このようにアクチュエータを上記保持板を介して椀状部材内に吊り下げ状態に保持させることにより、上記かしめ固定によりアクチュエータを椀状部材内の所定位置に固定することができる。その際、アクチュエータの上面は、コイルや板バネ等の存在により凹凸があるため、スペーサーを介して固定子の上面に連結することにより、保持板の形状を全周にわたって平らな形状にすることができ、保持板を成形しやすい。本発明の液封入式防振装置であると、組み立て作業性に優れ、またアクチュエータ収容空間の密閉構造を容易に得ることができる。以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。第1実施形態図1は自動車のエンジンマウントとして組付けられる第1実施形態に係る能動型液封入式防振装置の断面図である。この液封入式防振装置は、エンジン側に取り付けられる上側の第1取付具10と、車体側のフレームに取り付けられる有底筒状をなす下側の第2取付具12と、両取付具10,12を連結するゴム状弾性体からなる防振基体14と、該防振基体14が室壁の一部をなす第1液室16と、第1液室16の室壁の別の一部をなす加振板18と、該加振板18を加振駆動して第1液室16の圧力を制御するアクチュエータ20と、室壁の一部がゴム膜からなるダイヤフラム22で形成された第2液室24と、第1液室16と第2液室24を連通させるオリフィス通路26と、を備えて構成されている。第1取付具10は、上端部に径方向外方側に張り出したフランジ部10Aを有して下端ほど先細の略円錐台状に形成された金具であり、第2取付具12の軸心L上において第2取付具12の上部側に離間して配置されている。第1取付具10は、その上面にネジ穴10Bを有し、該ネジ穴10Bに不図示のボルトが螺合されることによりエンジン側のブラケット不図示に連結されるようになっている。第2取付具12は、防振基体14が内周部に加硫接着された円筒状で金属製の筒状部材28と、アクチュエータ20を収容する有底円筒状で金属製の椀状部材30とからなる。両部材28,30は、筒状部材28の下端の開口端部28Aと、椀状部材30の上端の開口端部30Aとをかしめ固定することにより、連結一体化されている。椀状部材30の底部には、下向きに連結ボルト32が突設されており、該連結ボルト32によって車体側のフレーム不図示に連結するよう構成されている。防振基体14は、下方ほど軸直角方向外方に広がる略傘状をなし、その上端部に第1取付具10の下面側が埋設された状態に加硫接着されている。また、防振基体14は、第2取付具12の上部開口部側に固着されており、詳細には、防振基体14の下端外周部が筒状部材28の上部内周面の全周に加硫接着されている。加振板18は、円板状をなす金属部材であり、防振基体14とダイヤフラム22の間において、第2取付具12の軸方向Xで防振基体14と対向して配置されている。加振板18は、その周りを取り囲む環状のゴム状弾性支持部34を介して第2取付具12側に連結されている。詳細には、第2取付具12の内周には、防振基体14から連なるシールゴム層36を介して、金属製の環状部材38が嵌着されている。ゴム状弾性支持部34は、その外周部が環状部材38の内周部に加硫接着されるとともに、内周部が加振板18の外周部に加硫接着されており、これにより、加振板18がゴム状弾性支持部34を介して第2取付具12に支持されている。ダイヤフラム22は、加振板18を挟んで第1液室16と反対側において第2取付具12に連結して設けられており、第2取付具12の軸方向Xにおいて、防振基体14及び加振板18に対向して配設されている。ダイヤフラム22は、第2取付具12の内側において、防振基体14との間で液体封入室即ち、第1液室16及び第2液室24を形成する隔膜状の液室形成部材である。ダイヤフラム22は、その外周部に、第2取付具12に固定されるリング状で金属製の取付部材40を有する。第1液室16は、第2取付具12の内側において、防振基体14の下面と加振板18の上面との間に形成された主液室受圧室である。また、第2液室24は、加振板18とダイヤフラム22の間に設けられて、これら加振板18とダイヤフラム22が室壁の一部をなす副液室平衡室である。従って、両液室16,24は加振板18により上下に仕切られており、すなわち、加振板18は両液室16,24を軸方向Xに仕切る仕切壁として機能している。なお、両液室16,24は、筒状部材28の内側に設けられている。第1液室16と第2液室24を連通させるオリフィス通路26は、第2取付具12の内周面に上記シールゴム層36を介して嵌着されたオリフィス形成部材42により、第2取付具12の周方向に沿って設けられている。オリフィス形成部材42は、外向きに開かれた断面コの字状をなす環状部材であり、加振板18の外周の環状部材38とダイヤフラム22の外周の取付部材40との間で軸方向Xに挟持されている。アクチュエータ20は、鉄心可動形の電磁石式のリニアアクチュエータであり、加振板18を挟んで第1液室16と反対側に配されている。より詳細には、ダイヤフラム22を挟んで第2液室24と反対側にアクチュエータ収容空間44が設けられ、該収容空間44にアクチュエータ20が収容保持されている。アクチュエータ収容空間44は外部から密閉された状態に設けられている。アクチュエータ20は、椀状部材30内において第2取付具12に固定して配された固定子46と、固定子46に対して往復動可能に支持されるとともに加振板18に連結されてこれを加振駆動する可動子としての可動軸48とを備えて構成されている。かかるアクチュエータ20自体は、上記特許文献1に記載のものと同様の構成を持つものが用いることができる。可動軸48は、第2取付具12の軸心Lに沿って図の例では同軸に縦姿勢に配されており、その先端部48Aが加振板18の中央部に垂直に結合されて、該加振板18を軸方向Xに加振するよう構成されている。詳細には、加振板18をダイヤフラム22の内側に配置したことにより、可動軸48は、ダイヤフラム22を貫通した状態でダイヤフラム22と結合された上で、その先端部48Aが加振板18に連結されている。可動軸48は、このダイヤフラム22に対する結合部としての軸部材50を軸心L上に有し、該軸部材50の外周面にダイヤフラム22が一体に加硫成形されている。軸部材50は、固定子46によって取り囲まれる下側の可動軸本体51の上端部にボルト52によって連結固定されている。また、軸部材50の上端部は加振板18の下面に対してボルト53で締結固定されている。可動軸48の外周面には、電磁鋼板等の磁性金属よりなる多数の金属板を積層してなる可動子鉄心としての磁性材部54が固設されている。磁性材部54は、上記特許文献1のように1個のみ設けることもできるが、この例では軸方向Xに離間して複数個図では2個が設けられている。また、可動軸48は、上下一対の弾性支持材である板バネ56を介して、固定子46に対して、軸方向上下方向Xに往復動可能に、かつ軸方向Xに位置決めした状態に支持されている。固定子46は、可動軸48の外周を同軸に取り囲む環状をなし、その中空部において可動軸48を軸方向Xに往復動可能に支持している。固定子46は、電磁鋼板等の磁性金属よりなる多数の環状の金属板を積層してなるヨーク58と、ヨーク58の中央部において磁性材部54を挟んで相対向するように両側より径方向内方に向かって突出する一対の磁極部60を有している。磁性材部54に対向する固定子46の磁極部60の先端つまり内端には、可動軸48の往復動方向上下方向に隣合った状態で並んで可動軸48に対向する上下一対の円弧板状をなす永久磁石62,64が、それらの磁極が互いにNS交互の異極をなすように、前記往復移動方向と直交する方向左右方向に磁極を並べて、かつ互いの磁極N極とS極の並びが逆になる状態に配設されている。上下一対の永久磁石62,64は、この例では、磁性材部54に対応させて、軸方向Xに2組並べて設けられている。固定子46の一対の磁極部60には、それぞれその周りにコイル66を巻回、つまり前記往復動方向と直交する方向の軸心周りにコイル66を巻回して、前記一対の永久磁石62,64を通る磁束を発生可能に構成してある。この例では、一対の永久磁石62,64が、磁性材部54を挟んで対向する固定子46の一対の磁極部60の内端部にそれぞれ設けられており、両磁極部60それぞれの永久磁石62,64は、前記往復動方向と直交する方向で可動軸48を挟んで対向するとともに、この対向する磁極が互いに異極をなすように磁極の並びを左右で逆にして配設されている。これによりアクチュエータ20は、コイル66に正方向の電流が流れると、コイル66に発生する起磁力の向きと上側の永久磁石62の起磁力の向きとが同一となって、起磁力が強まる。一方、下側の永久磁石64の起磁力の向きとコイル66の起磁力の向きが反対になって、両者の起磁力が相殺されて弱まる。その結果、磁性材部54に上向きの力が作用して、可動軸48は上昇する。また、コイル66に逆方向の電流が流れると、前記とは反対に、磁性材部54に下向きの力が作用して、可動軸48は下降する。そのため、コイル66の電流の向きが正逆に交互に変わることで、可動軸48は上下に往復動する。以上の構成を持つものにおいて、本実施形態のものでは、図4に示すように、筒状部材28の開口端部下端部28Aが、軸直角方向外方Y1に張り出した第1フランジ部68と、第1フランジ部68の先端から軸方向外方即ち、下方X1に延出された嵌合筒部70とで構成されている。第1フランジ部68は全周にわたって鍔状に突出するリング板状をなしている。嵌合筒部70は、第1フランジ部68の外周端から全周にわたって下方X1に折曲形成された短円筒状部であり、その内側にダイヤフラム22の取付部材40を嵌合保持するように構成されている。図4に示されるように、嵌合筒部70の突出高さは、取付部材40の厚みと同じ寸法に設定されている。なお、取付部材40の厚みは、嵌合筒部70との嵌合代を長くして後述する仮止め時のシール性を確保するために、一般的なダイヤフラムの取付金具の厚みよりも大きく設定されている。椀状部材30の開口端部上端部30Aは、軸直角方向外方Y1に張り出した第2フランジ部72と、第2フランジ部72の先端から軸方向外方即ち、上方X2に延出されたかしめ用筒部74とで構成されている。第2フランジ部72は全周にわたって鍔状に突出するリング板状をなしている。かしめ用筒部74は、第2フランジ部72の外周端から全周にわたって上方X2に立ち上げられた円筒状部であり、その内側に上記嵌合筒部70が嵌合するように構成されている。取付部材40の外周面には、ゴム状弾性体からなるシール材76が全周にわたって加硫接着により固設されている。シール材76は、ダイヤフラム22を加硫成形する際に同時に成形することができる。そして、取付部材40は、嵌合筒部70に対し、このシール材76を介して嵌合した状態に圧入されている。詳細には、液槽内でダイヤフラム22を筒状部材28に装入する際の組み付け作業性が損なわれないように、取付部材40は嵌合筒部70よりも小径に設定され、これら剛体同士の間では隙間78が確保されており、この隙間78がシール材76によりシールされている。シール材76は、図4に示す断面形状において軸方向Xの中央部に凸条76Aを持つ山形状をなしており、この凸条76Aが嵌合筒部70との間での圧縮によってつぶれる程度の寸法関係に設定されている。このようにして取付部材40が嵌合した嵌合筒部70は椀状部材30の第2フランジ部72上に載せられて、かしめ用筒部74により筒状部材28の開口端部28Aを包み込むようにかしめ固定することで、筒状部材28と椀状部材30とが連結されている。また、本実施形態においては、図1に示すように、アクチュエータ20が、リング板状で金属製の保持板80により、椀状部材30内に吊り下げ状態に保持されている。保持板80は周方向C図5参照の複数箇所に設けられた円柱状のスペーサー82を介して、固定子46の上面に連結されている。スペーサー82は、図5に示すように、板バネ56を避けた周方向Cの2箇所軸心Lを挟んで相対する2箇所に配置されており、その頭部が保持板80に設けられた貫通孔に内嵌した状態に固設されている。固定子46は、それを軸方向Xに貫通するボルト84によってスペーサー82の下面に固定され、該スペーサー82を介して保持板80に連結されている。そして、保持板80の外周端部80Aが、上記第2フランジ部72上に重合配置されて、その上に重ねられた筒状部材28の開口端部28Aとともに、かしめ用筒部74によりかしめ固定されている。このようにして形成されたかしめ固定部では、取付部材40が内嵌した筒状部材28の開口端部28Aと保持板80の外周端部80Aが、椀状部材30の第2フランジ部72と、軸直角方向内向きに折り曲げられたかしめ用筒部74の先端の折り曲げ部74Aとの間で、軸方向Xに挟持される。その際、シール材76は取付部材40の外周面と嵌合筒部70の内周面間をシールするものであり、軸方向Xに挟持される各剛体部分の間には介在していないので、シール材76の経時的なへたりによるかしめ固定部の緩みを防止することができる。以上よりなる本実施形態の液封入式防振装置は次のようにして製造される。まず、図2に示すように、第1取付具10と筒状部材28と防振基体14とからなる加硫成形体に対して、液槽中で、加振板18とオリフィス形成部材42とダイヤフラム22を装入する。これら3部材18,22,42は、ダイヤフラム22の中央の軸部材50をボルト53で加振板18に固定することで予め組み立てておく。ダイヤフラム22は、その外周部の取付部材40を筒状部材28の嵌合筒部70に圧入することで上記加硫成形体に組み付けられ、これにより、筒状部材28の内部に液体封入室16,24がシールされた状態に保持される。このようにして作製された防振装置本体は、次いで、大気中で、表面、特にはダイヤフラム22の表面に付着した液体を、エアーを吹き付けることで除去する。その後、図3に示すように、保持板80を被せ、更には、ボルト52を用いてアクチュエータ20の可動軸本体51をダイヤフラム22側の軸部材50に固定して可動軸48を加振板18に連結させるとともに、ボルト84を用いて固定子46を保持板80に固定する。その後、椀状部材30を下方から被せ、これにより椀状部材30内にアクチュエータ20を収容しかつその可動軸48をダイヤフラム22及び加振板18に連結した状態で、かしめ用筒部74により筒状部材28の開口端部28Aをかしめ固定することにより、液封入式防振装置が組み立てられる。以上よりなる本実施形態の液封入式防振装置であると、大振幅の低周波数振動が生じたときには、液体がオリフィス通路26を通って第1液室16と第2液室24との間で流通することにより、その液体流動効果によって振動を減衰することができる。微振幅の高周波振動が生じたときには、不図示の制御部による制御によって、アクチュエータ20のコイル66に正弦波交流を流すことにより可動軸48を上下動させて、これに連結された加振板18に対して正弦波曲線の振動を与え、これにより第1液室16の圧力を制御する。例えば、エンジンからの振動によって第1取付具10が軸方向Xに振動したとき、この振動に同期させて、第1取付具10の下方への変位による第1液室16の液圧上昇をいなすように加振板18を下方に変位させることで、車体側への振動伝達を低減することができる。そして、特に本実施形態であると、ダイヤフラム22の取付部材40を筒状部材28の嵌合筒部70に対しシール材76を介して嵌合した状態に圧入することで、両液室16,24のシール性を保ちつつ、ダイヤフラム22を筒状部材28に簡単に仮止めすることができる。そして、この仮止め状態でエアーを吹き付けるなどして、ダイヤフラム22表面に付着した液体を取り除くことができるので、組み立て作業性に優れる。また、この仮止めされた嵌合部は、最終的にはかしめ用筒部74によりかしめ固定されるので、製品状態での両液室16,24のシール性を確実なものとすることができ、また、アクチュエータ収容空間44を密閉することができる。更に、上記構成であると、単一のかしめ工程により組み立て可能であるため、工数削減が図られる。また、アクチュエータ20を保持板80を介して椀状部材30内に吊り下げ状態に保持するので、上記かしめ固定によりアクチュエータ20を椀状部材30内の所定位置に固定することができる。また、スペーサー82を介してアクチュエータ20と保持板80を連結するので、保持板80の形状を全周にわたって平らな形状にすることができ、保持板80の製造コストを削減することができる。第2実施形態図6は第2実施形態に係る能動型液封入式防振装置の断面図である。第2実施形態は、ダイヤフラム22の取付部材40の形状が第1実施形態とは異なる。すなわち、この例では、取付部材40は、薄肉の金属板からなり、その外周端部を下方X1に折曲形成して短円筒部40Aを設けることで、該短円筒部40Aにより嵌合筒部70の内周面に嵌合保持される取付部材40の外周面が構成されている。そして、この外周面に、第1実施形態と同様のシール材76が加硫接着されている。このように構成したことで、短円筒部40Aの内側には取付部材40本体と保持板80との間に空洞が生じることになり、そのままでは、かしめ用筒部74でかしめ固定できないので、上記空洞を埋めるように環状スペーサー86が配されている。その他の構成は上記第1実施形態と基本的に同じであり、同様の作用効果が奏される。なお、環状スペーサー86を省略できるという点では、第1実施形態のように、取付部材40は、嵌合筒部70の内周面の高さと同一の厚みを持つものの方が有利である。第3実施形態図7は第3実施形態に係る能動型液封入式防振装置の断面図である。第3実施形態は、可動軸48の軸方向Xにおける変位を制限するストッパ手段88を設けた点で第1実施形態とは異なる。ストッパ手段88は、可動軸48の軸部材50に設けられた被ストッパ部90と、保持板80に設けられて可動軸48の軸方向Xにおける変位により被ストッパ部90が当たることで当該変位を制限するストッパ部92とで構成されている。被ストッパ部90は、軸部材50の外周面から軸直角方向外方Y1に突出形成されている。被ストッパ部90は、この例では、軸方向Xに離間して上下一対に設けられている。図8に示すように、上側の被ストッパ部90Aは、軸方向視円形状であるのに対し、下側の被ストッパ部90Bは、軸心Lを挟んで対向する部分が軸直角方向外方Y1に突出された軸方向視I字状をなしている。なお、ダイヤフラム22は、被ストッパ部90よりも加振板18側、即ち上方における軸部材50の外周面に連結して設けられている。また、上下の被ストッパ部90を含む軸部材50の外周面は、ダイヤフラム22から連なるゴム状弾性被膜94で被覆されている。保持板80は、この例では、ダイヤフラム22をアクチュエータ収容空間44から区画するように設けられている。すなわち、保持板80は、ダイヤフラム22の下面側の全体を覆う円板状をなし、ダイヤフラム22が変位する空間をアクチュエータ20が配された空間44から区画し、その外周端部80Aがかしめ用筒部74によりかしめ固定されている。保持板80は、可動軸48が貫通する中央開口部96を有し、この中央開口部96に上記ストッパ部92が設けられている。保持板80は、ストッパ部92が設けられた中央部が上方、即ち加振板18側に段付き凸状に形成されている。これにより、保持板80は、ストッパ部92の外周側が凹状に陥没した形状をなしており、ダイヤフラム22がたわみ変形するための空間を確保している。ストッパ部92は、段付き凸状に形成された上記中央部において軸直角方向内向きに延設されており、上記一対の被ストッパ部90A,90Bの間に外側から差し入れられた形状に設けられている。保持板80の中央開口部96は、上記下側の被ストッパ部90Bが挿通可能なように平面視I字状に開口しており図9参照、下側の被ストッパ部90Bを挿通させてから90度回転させることで図10参照、保持板80と軸部材50とが組み付けられるようになっている。そのため、中央開口部96の上記I字に直交する軸直角方向Yにおいて相対向する開口縁部がストッパ部92,92を構成する図9参照。本実施形態によれば、軸方向Xでの過大な入力により可動軸48が軸方向Xに変位したときに、可動軸48側に設けた上下一対の被ストッパ部90A,90Bが、第2取付具12側に設けたストッパ部92に当たることで、その変位を制限することができる。そのため、可動軸48の過大な変位を規制して、アクチュエータ20の破損を防止することができる。また、ダイヤフラム22が一体に成形された軸部材50に被ストッパ部90を設けたので、部品点数を増やすことなく、被ストッパ部90を設けることができる。しかも、ダイヤフラム22の加硫成形時に、被ストッパ部90を覆う弾性被膜94を設けることで、別途成形型を設けずとも、ストッパ部92との衝撃を緩和することができ、コストアップを抑えることができる。また、アクチュエータ20を保持するための保持板80を利用してストッパ部92を設けたので、部品点数を増やすことなく、ストッパ部92を設けることができる。しかも、該保持板80により、ダイヤフラム22をアクチュエータ収容空間44から区画するようにしたので、ダイヤフラム22が液体の流動でアクチュエータ20側、即ち下方に膨らんだときに、発熱したアクチュエータ20にダイヤフラム22が直接接触するのを防ぐことができる。そのため、熱によるダイヤフラム22の経年劣化を防止することができ、ダイヤフラム22の耐久性を向上することができる。その他の構成は、第1実施形態と同じであり、同様の作用効果が奏される。なお、ダイヤフラム22は、上側の被ストッパ部90Aの軸直角方向外周端に連結して設けることもできるが、本実施形態のように軸部材50の外周面に直接結合した状態に設けることで、ダイヤフラム22の可撓性膜部分の面積を大きくすることができる。そのため、他の部材構成はそのままでありながら、ダイヤフラム22の可動容積を大きくして、オリフィス通路26を介した液体の流動量をより大きく確保することができる。その他の実施形態上記実施形態では、シール材76をダイヤフラム22の取付部材40の外周面に固設したが、シール材は、嵌合筒部70の内周面に固設してもよい。その場合、防振基体14の加硫成形時に、嵌合筒部70の内周面にシール材を加硫接着させることができる。上記第3実施形態では、可動軸48側の被ストッパ部90を軸方向Xに離間して一対設けたが、これに代えて、保持板80側のストッパ部92を軸方向Xに離間して上下一対に設け、可動軸48側の被ストッパ部90を前記一対のストッパ部92の間に配するように構成することもできる。また、本発明は、図11に示した従来例のように、第2液室を防振基体の外周を取り囲むように設けた構成においても、適用することができる。その場合、加振板108が液室形成部材となる。"