"液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に荷電粒子を照射して得られる信号に基づいて液晶基板を撮像し、前記撮像で得られる撮像画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置であって、前記液晶基板を移動する移動部と、前記移動部による液晶基板の移動に伴って当該液晶基板が所定の移動間隔分を移動する毎に撮像を開始し、各撮像動作において当該移動間隔を撮像範囲とする撮像動作を繰り返して複数の分割撮像画像を取得する撮像部と、前記複数の分割撮像画像をつなぎ合わせて一つの結合撮像画像を形成する撮像画像形成部と、前記移動部の移動変動を検出する変動検出部と、前記変動検出部で検出した前記移動部の移動変動に基づいて前記撮像部が撮像画像を取得する際の撮像条件を補正する撮像補正部とを備え、前記撮像補正部は、前記移動変動の変動幅および変動方向に基づいて前記撮像条件を補正することを特徴とする、液晶アレイ検査装置。前記移動部は液晶基板を載置して移動する移動ステージを有し、前記撮像補正部は、撮像範囲を定める移動間隔を撮像条件とし、前記移動間隔を補正する移動間隔補正部と前記移動間隔補正部による移動間隔の補正誤差が累積することで生じる累積誤差を補正する累積誤差補正部とを備え、前記移動間隔補正部は、前記移動間隔を前記変動検出部が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正移動間隔を算出し、前記累積誤差補正部は、前記移動ステージの最小分解能の大きさを補正量とし、前記移動間隔補正部で算出した補正移動間隔に当該補正量を増減して前記累積誤差を補正することを特徴とする請求項1に記載の液晶アレイ検査装置。前記累積誤差補正部は、補正移動間隔に対する前記補正量の増減を所定回の撮像毎に行い、当該補正量の増減量および増減回数は移動変動の変動幅および変動方向に基づいて算出することを特徴とする請求項2に記載の液晶アレイ検査装置。前記変動検出部は、液晶アレイ検査装置上に固定した撮影手段を備え、前記撮影手段は、前記移動ステージ上に設けたマークを撮影し、当該撮影画像におけるマーク画像の位置ずれに基づいて移動部の移動変動を検出することを特徴とする請求項1から3の何れか一つに記載の液晶アレイ検査装置。前記撮像補正部は、前記移動ステージの移動速度を補正する速度補正部を備え、当該速度補正部は、前記変動検出部が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正速度を算出することを特徴とする請求項1から4の何れか一つに記載の液晶アレイ検査装置。液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に荷電粒子を照射して得られる信号に基づいて液晶基板を撮像し、前記撮像で得られる撮像画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の撮像画像取得方法であって、前記液晶基板を移動する移動工程と、前記移動工程による液晶基板の移動に伴って当該液晶基板が所定の移動間隔分を移動する毎に撮像を開始し、各撮像動作において当該移動間隔を撮像範囲とする撮像動作を繰り返して複数の分割撮像画像を取得する撮像工程と、前記複数の分割撮像画像をつなぎ合わせて一つの結合撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、前記移動工程の移動変動を検出する変動検出工程と、前記変動検出工程で検出した前記移動工程の移動変動に基づいて前記撮像工程が撮像画像を取得する際の撮像条件を補正する撮像補正工程とを備え、前記撮像補正工程は、前記移動変動の変動幅および変動方向に基づいて前記撮像条件を補正することを特徴とする、液晶アレイ検査装置の撮像画像取得方法。前記移動工程は液晶基板を移動ステージ上に載置して移動し、前記撮像補正工程は、撮像範囲を定める移動間隔を撮像条件とし、前記移動間隔を補正する移動間隔補正工程と前記移動間隔補正工程による移動間隔の補正誤差が累積することで生じる累積誤差を補正する累積誤差補正工程とを備え、前記移動間隔補正工程は、前記移動間隔を前記変動検出工程が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正移動間隔を算出し、前記累積誤差補正工程は、前記移動ステージの最小分解能の大きさを補正量とし、前記移動間隔補正工程で算出した補正移動間隔に当該補正量を増減して前記累積誤差を補正することを特徴とする請求項6に記載の液晶アレイ検査装置の撮像画像取得方法。前記累積誤差補正工程は、補正移動間隔に対する前記補正量の増減を所定回の撮像毎に行い、当該補正量の増減量および増減回数は移動変動の変動幅および変動方向に基づいて算出することを特徴とする請求項7に記載の液晶アレイ検査装置の撮像画像取得方法。前記変動検出工程は、液晶アレイ検査装置上に固定した撮影手段によって前記移動ステージ上に設けたマークを撮影し、当該撮影画像におけるマーク画像の位置ずれに基づいて移動工程の移動変動を検出することを特徴とする請求項6から8の何れか一つに記載の液晶アレイ検査装置の撮像画像取得方法。前記撮像補正工程は、前記移動ステージの移動速度を補正する速度補正工程を備え、当該速度補正工程は、前記変動検出工程が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正速度を算出することを特徴とする請求項6から9の何れか一つに記載の液晶アレイ検査装置の撮像画像取得方法。液晶基板の撮像画像は、液晶基板を載置した移動ステージを移動させながら、液晶基板上を荷電粒子で走査することで行われる。荷電粒子を基板上で走査することによって液晶基板の撮像画像を取得する場合には、一回の走査による撮像動作で取得される撮像範囲は限られている。そのため、液晶基板の全体について撮像画像を取得するには、撮像動作を繰り返すことによって各撮像範囲の撮像画像を取得し、これらの複数の撮像画像をつなぎ合わせる必要がある。このように複数の撮像画像をつなぎ合わせることによって液晶基板の全体について撮像画像を取得するには、各撮像画像に位置ずれがないことが求められる。しかしながら、一般にステージ動作等の機械動作は誤差を含むため、この誤差によって撮像画像に位置ずれが生じる。機械動作による位置ずれの要因として移動ステージを駆動するボールねじ等の駆動機構の膨張がある。このような撮像画像の位置ずれの発生を抑制するために、撮像動作の位置ずれを補正する必要がある。この撮像動作の位置ずれを補正するために、移動ステージ上の予め定めた位置にマークを設けておき、移動ステージの動作中にこのマークを検査装置側に固定したカメラ等の撮影手段で認識し、撮影画像上で検出されるマーク位置をマークの基準位置と比較することによって位置ずれを検出し、検出した位置ずれに基づいて撮像動作を補正することが考えられる。この撮像動作の補正として、マークの認識から求めた位置ずれに基づいて、移動ステージの実移動距離を算出し、算出した実移動間隔を用いて、移動ステージの移動速度や撮像範囲を補正することが考えられる。図11、12は、移動ステージの移動速度や撮像範囲を補正による位置ずれ補正を説明するための図である。図11は移動ステージが位置ずれしていない場合の例を示し、図12は移動ステージが位置ずれした場合の例を示している。図11において、移動ステージが位置ずれしていない場合には、マークの設定位置図11aと、固定カメラで撮影して検出されたマークの位置図11bとの間には位置ずれは生じない。この場合には、各撮像動作を行うステージ位置の移動間隔は一定のLoである図11c。撮像動作は、この一定の移動間隔Loに基づいて撮像トリガを発生し図11d、各撮像トリガに基づいて撮像を行う。なお、撮像トリガは、移動ステージの移動量をモニタし、この移動量が移動間隔Loとなった時点で発生させることができる。各撮像の撮像範囲は、移動ステージの移動間隔Loに対応して定まり図11e、この撮像範囲で撮像することで撮像画像が取得される図11f。移動ステージが位置ずれしない場合には、複数の撮像画像の間に位置ずれが生じないため、各撮像画像をつなぎ合わせることで基板の全体の撮像画像を取得することができる。図12において、移動ステージが位置ずれしている場合には、マークの設定位置図12aと、固定カメラで撮影して検出されたマークの位置図12bとの間には位置ずれΔlが検出される。この位置ずれΔlは、例えば移動ステージの端部等の基準位置からマークまでの距離の間において発生した位置ずれ量を示している。この位置ずれΔlに基づいて、移動ステージの移動速度を補正すると共に、撮像範囲を補正する。撮像範囲の補正によって、各撮像動作を行うステージ位置の移動間隔をLcに補正する図12c。撮像動作は、補正した補正移動間隔Lcに基づいて撮像トリガを発生し図12d、各撮像トリガに基づいて撮像を行う。なお、撮像トリガは、移動ステージの移動量をモニタし、この移動量が補正移動間隔Lcとなった時点で発生させることができる。各撮像の撮像範囲は、移動ステージの補正移動間隔Lcに対応して定まり図12e、各撮像範囲で得られる撮像画像をつなぎ合わせることで全撮像画像が取得される図12f。本出願の発明者は、上記したように移動ステージの移動速度や撮像範囲を補正することによっても移動ステージの位置ずれを十分に補正できない場合があること、およびこの要因として、補正量と移動ステージの移動分解能とのずれによって生じる補正誤差の累積があることを見出した。移動ステージの位置補正は移動分解能を最小単位として行われる。そのため、位置ずれの補正量が移動分解能の整数倍であれば正確に補正量を補正することができるが、位置ずれの補正量が移動分解能の整数倍でない場合には各撮像範囲において補正誤差が生じ、各撮像範囲の補正誤差が全撮像範囲について累積し累積誤差が発生する。この移動ステージの駆動機構の移動分解能を要因とする位置ずれの累積誤差は、単に移動ステージの移動速度や撮像範囲を補正しても補正されない位置誤差である。図13,14は、累積誤差を説明するための図であり、図13は正の累積誤差の例を示し、図14は負の累積誤差の例を示している。図13、14において、移動ステージの位置ずれを、マークの設定位置図13a,図14aと、固定カメラで撮影して検出されたマークの位置図13b,図14bとの間の位置ずれΔlによって検出する。この位置ずれΔlに基づいて、移動ステージの移動速度を補正すると共に、撮像範囲を補正する。撮像範囲の補正において、移動ステージが補正できる移動間隔の補正量は、移動ステージの移動分解能sの整数倍Nである。計算上で得られる補正後の移動間隔をLcに対して、実際の移動ステージの移動間隔には移動分解能に基づいてくdLの誤差が発生する。図13cは実際の移動ステージの補正移動間隔Lcが計算上で得られる補正後の移動間隔をLcよりも長い場合を示し、図14cは実際の移動ステージの補正移動間隔Lc-が計算上で得られる補正後の移動間隔をLcよりも短い場合を示している。撮像動作は、補正した補正移動間隔Lc、Lc-に基づいて撮像トリガを発生し図13d,図14d、各撮像トリガに基づいて撮像を行う。なお、撮像トリガは、移動ステージの移動量をモニタし、この移動量が補正移動間隔Lc、Lc-となった時点で発生させることができる。各撮像の撮像範囲は、移動ステージの補正移動間隔Lc、Lc-に対応して定まり図13e,図14e、各撮像範囲で得られる撮像画像をつなぎ合わせることで全撮像画像が取得される図13f,図14f。各撮像画像をつなぎ合わせて得られる全撮像画像は、各撮像画像で発生する誤差分dlが累積されてなる累積誤差を有することになり、図13に示す場合には全撮像画像は目的とする撮像範囲よりも累積誤差だけ長くなり、図14に示す場合には全撮像画像は目的とする撮像範囲よりも累積誤差だけ短くなる。図15は累積誤差を説明するための図である。図15aは移動ステージの移動機構の累積誤差が無い場合を示し、図15bは正の累積誤差が発生する場合を示し、図15cは負の累積誤差が発生する場合を示している。図15aの移動ステージの移動機構の膨張量が無い場合には、各撮像トリガで撮像される撮像範囲はLoであり、全撮像範囲はMLoとなる。なお、Mは全撮像範囲を取得するための撮像回数を表している。図15bの正の累積誤差が発生する場合には、各撮像で発生する誤差分dl=Lc-Lcが累積して累積誤差が発生し、図15cの負の累積誤差が発生する場合には、各撮像で発生する誤差分dl=Lc-Lc-が累積して累積誤差が発生する。このように、つなぎ合わせて得られる全撮像画像と、目的とする撮像範囲との間に、累積誤差の長さのずれが生じると、この全撮像画像に基づいてピクセル位置を定めると、実際のピクセル値との間に位置ずれが生じることになり、位置ずれを有したピクセル位置に基づいて欠陥検査を行った場合には、欠陥位置に誤りが発生することになる。そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、移動ステージの移動分解能に基づいて発生する撮像範囲の累積誤差を解消し、液晶アレイ検査における欠陥検出の位置精度を向上させることができる。本発明は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線等の荷電粒子を照射して得られる二次電子等の信号に基づいて液晶基板を撮像し、前記撮像で得られる撮像画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置において、液晶基板を移動させる移動部の移動変動を検出し、この移動変動に基づいて移動部の移動速度と、各撮像を行う際の移動間隔とを補正すると共に、移動間隔の補正に伴う移動分解能に基づいて発生する誤差分が累積して生じる累積誤差を補正する。累積誤差の補正は、複数回行う撮像において、所定の撮像回数毎に移動部の移動分解能だけ移動間隔を補正することで行う。移動間隔の補正は、例えば、全撮像範囲で生じる累積誤差を移動分解能で除算することによって補正回数を算出し、全撮像回数を算出した補正回数で除算することによって、移動間隔の補正を行う撮像間隔を求めることができる。本発明は、液晶アレイ検査装置の態様、および液晶アレイ検査方法の態様とすることができる。本発明の液晶アレイ検査装置の態様は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、液晶基板に荷電粒子線を照射して得られる信号に基づいて液晶基板を撮像し、この撮像で得られる撮像画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置において、移動部と、撮像部と、撮像画像形成部と、変動検出部と、撮像補正部の各部を備える。荷電粒子は電子線とすることができ、この際に得られる二次電子を検出信号として検出する。移動部は、液晶基板を移動する構成要素であり、例えば、液晶基板を載置して移動する移動ステージとすることができる。移動ステージは、XY方向の二次元方向に移動自在とするステージ機構とする他、XY方向の移動にZ方向の移動を加えた三次元方向に移動自在とするステージ機構としてもよい。撮像部は、液晶基板を分割して撮像する構成要素であり、移動部による液晶基板の移動に伴って、液晶基板が所定の移動間隔分の距離を移動する毎に撮像を開始する。撮像部は撮像を開始する度に、移動間隔分を撮像範囲として撮像を行い、各撮像動作において移動間隔を撮像範囲とする撮像動作を繰り返す。繰り返して行う撮像動作によって複数の分割撮像画像を取得する。撮像画像形成部は、撮像部で取得した複数の分割撮像画像をつなぎ合わせて一つの結合撮像画像を形成する。変動検出部は、移動部の移動変動を検出する。移動変動には、移動部の移動機構が膨張することによって生じる変動分も含まれている。撮像補正部は、変動検出部で検出した移動部の移動変動の変動幅および変動方向に基づいて、撮像部が撮像画像を取得する際の撮像条件を補正する。本発明の液晶アレイ検査装置に一形態において、移動部は液晶基板を載置して移動する移動ステージを有し、撮像補正部は、撮像範囲を定める移動間隔を撮像条件とし、移動部の移動変動に基づいて補正する。撮像補正部は、移動間隔を補正する移動間隔補正部と、移動間隔補正部による移動間隔の補正誤差が累積することで生じる累積誤差を補正する累積誤差補正部とを備える。移動間隔補正部は、移動間隔を変動検出部が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正移動間隔を算出する。累積誤差補正部は、移動ステージの最小分解能の大きさを補正量とし、移動間隔補正部で算出した補正移動間隔に補正量を増減して累積誤差を補正する。累積誤差補正部は、補正移動間隔に対する補正量の増減を所定回の撮像毎に行う。補正量の増減量および増減回数は、移動変動の変動幅および変動方向に基づいて算出する。変動検出部の一形態は、液晶アレイ検査装置上に固定した撮影手段を備える。撮影手段は、移動ステージ上に設けたマークを撮影し、撮影画像におけるマーク画像の位置ずれに基づいて移動部の移動変動を検出する。撮像補正部は、上記した移動間隔補正部および累積誤差補正部の他に、移動ステージの移動速度を補正する速度補正部を備えることができる。速度補正部は、変動検出部が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正速度を算出する。本発明の液晶アレイ検査装置は、撮像補正部において累積誤差補正部を備えることを特徴とし、移動ステージの最小分解能の大きさを補正量とし、移動間隔補正部で算出した補正移動間隔に補正量を増減することによって、分割撮像する際に、移動間隔補正部が補正を行う度に発生する誤差が全撮像画像分について累積して形成される累積誤差を補正する。次に、本発明の液晶アレイ検査方法の態様は、液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、液晶基板に電子線等の荷電粒子を照射して得られる二次電子等の信号に基づいて液晶基板を撮像し、撮像で得られる撮像画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の撮像画像取得方法において、移動工程と、撮像工程と、撮像画像形成工程と、変動検出工程と、撮像補正工程の各工程を備える。移動工程は、液晶基板を移動する。撮像工程は、移動工程による液晶基板の移動に伴って液晶基板が所定の移動間隔分を移動する毎に撮像を開始する。撮像を開始する毎に、移動間隔分を撮像範囲として撮像し、一分割撮像画像を取得する。各撮像動作において移動間隔を撮像範囲とする撮像動作を繰り返すことによって、複数の分割撮像画像を取得する。撮像画像形成工程において、撮像工程で取得した複数の分割撮像画像をつなぎ合わせて一つの結合撮像画像を形成する。変動検出工程は、移動工程で移動する液晶基板の移動変動を検出する。撮像補正工程は、変動検出工程で検出した移動工程における液晶基板の移動変動の変動幅および変動方向に基づいて、撮像工程が撮像画像を取得する際の撮像条件を補正する。液晶アレイ検査方法の一形態において、移動工程は液晶基板を移動ステージ上に載置して移動し、撮像補正工程は、撮像範囲を定める移動間隔を撮像条件として撮像動作を補正する。撮像補正工程は、移動間隔を補正する移動間隔補正工程と、移動間隔補正工程による移動間隔の補正誤差が累積することで生じる累積誤差を補正する累積誤差補正工程とを備える。移動間隔補正工程は、移動間隔を変動検出工程が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正移動間隔を算出する。累積誤差補正工程は、移動ステージの最小分解能の大きさを補正量とし、移動間隔補正工程で算出した補正移動間隔にこの補正量を増減して累積誤差を補正する。累積誤差補正工程は、補正移動間隔に対する補正量の増減を所定回の撮像毎に行う。補正量の増減量および増減回数は、移動変動の変動幅および変動方向に基づいて算出することができる。変動検出工程は、液晶アレイ検査装置上に固定した撮影手段によって移動ステージ上に設けたマークを撮影し、撮影画像におけるマーク画像の位置ずれに基づいて移動工程の移動変動を検出する。撮像補正工程は、移動間隔補正工程および累積誤差補正工程に加えて、移動ステージの移動速度を補正する速度補正工程を備えることができる。速度補正工程は、変動検出工程が検出した移動変動の変動幅および変動方向に基づいて補正速度を算出して速度補正を行う。本発明によれば、移動ステージの移動分解能に基づいて発生する撮像範囲の累積誤差を解消し、液晶基板の欠陥検出の位置精度を向上させることができる。以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。本発明の液晶検査装置の概略構成を図1の概略説明図を用いて説明し、本発明の液晶検査装置による概略処理を図2のフローチャートおよび図3の動作説明図を用いて説明する。図1は、本発明の液晶アレイ検査装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。なお、図1に示す例では、液晶基板に電子線を照射し、液晶基板から放出される二次電子を検出し、検出強度から撮像画像を取得する構成例を示している。図1において、液晶アレイ検査装置1は、液晶基板100を載置しXY方向に搬送自在とする移動ステージ2と、移動ステージ2の上方位置に移動ステージ2から離して配置された電子銃3Aと液晶基板100のパネル101のピクセル図示していないから放出される二次電子を検出する検出器3Bとを備える。移動ステージ2はステージ駆動制御部4によって駆動が制御され、電子銃3Aは撮像制御部3Cによって電子線の照射および液晶基板100上の走査が制御される。検出器3Bで検出された二次電子の検出信号は信号処理部10で処理され、検査部20においてピクセルの欠陥判定等の検査に用いられる。電子銃3A、検出器3B、および撮像制御部3Cは撮像部3を構成し、液晶基板の撮像画像を取得する。撮像制御部3C,ステージ駆動制御部4,信号処理部10、検査部20の各部の駆動動作は制御部9によって制御される。また、制御部9は、液晶アレイ検査装置1の全体の動作を含む制御を行う機能を有し、これらの制御を行うCPUおよびCPUを制御するプログラム記憶するメモリ等によって構成することができる。移動ステージ2は、液晶基板100を載置するとともに、ステージ駆動制御部4によってX軸方向およびY軸方向に移動自在である。また、電子銃3Aから照射される電子線は撮像制御部3CによってX軸方向あるいはY軸方向に振らせることができる。ステージ駆動制御部4および撮像制御部3Cは単独あるいは協働動作によって、電子線を液晶基板100上で走査し、液晶基板100の撮像画像を取得する。固定カメラ5は移動ステージ2上に設けたマークを撮像する。図2、3は本発明の液晶アレイ検査において、撮像画像の取得において、移動ステージの位置ずれを補正するための補正量を算出する手順を説明するためのフローチャートおよび説明図である。補正量を算出する手順は、S1~S4の工程によって移動ステージの位置ずれ量ΔLを求め、S5の工程によってS1~S4の工程で求めた位置ずれΔLに基づいて移動ステージの移動速度を補正する補正速度を算出し、S6S7の工程によって撮像間隔を定める移動ステージの移動間隔Lを補正する補正移動間隔、および累積誤差を補正する補正動作の頻度を算出する。S6の工程において、撮像間隔を定める移動ステージの移動間隔Lを補正する補正移動間隔Lcを、S1~S4の工程で求めた位置ずれΔLに基づいて算出する。S7の工程において、S6の工程で算出した補正移動間隔Lcで移動間隔を補正した際に、移動ステージの移動分解能によって生じる累積誤差を補正するために行う補正動作の頻度を算出する。ここで、移動ステージは、設定ステージ速度としてvoが予め設定され、各撮像間隔を定める移動ステージの移動距離としてLoが予め設定されているものとする。これによって、移動ステージは設定ステージ速度voで移動しながら、移動ステージが移動距離Loを移動する度に撮像トリガを発生し、この撮像トリガを受けて撮像動作を行って移動距離Loに対応する撮像範囲の撮像画像を取得する。この移動ステージの移動、撮像トリガの発生、および撮像トリガによる撮像画像の取得を繰り返すことによって、全撮像範囲の撮像画像を取得する。図3aは、撮像動作の概略を示す図であり、移動ステージ2を移動させながら基板100上のパネル101を走査して撮像し、全撮像範囲は複数回の撮像動作によって得られる複数の撮像画像をつなぎ合わせることで取得される。したがって、移動ステージの移動速度に変動が無く、また、移動ステージに位置ずれが無い場合には、移動ステージが移動距離Lo分を移動する毎に撮像トリガを発生して撮像動作を行い、各撮像動作で得られた複数の撮像画像を取得しつなぎ合わせることによって、ピクセルに位置ずれを有することなく全撮像画像を得ることができる。一方、移動ステージの移動速度の変動や移動ステージの位置ずれ等の誤差要因がある場合には、これら誤差によって各撮像動作で得られる撮像画像に位置ずれが含まれることになる。これらの位置ずれを有する複数の撮像画像を取得しつなぎ合わせて全撮像画像を形成し、この全撮像画像に基づいてピクセル位置を特定すると、ピクセル位置に位置ずれが生じ、正確なピクセル位置を定めることができない。そこで、移動ステージの位置ずれを検出するために、移動ステージの所定位置に位置ずれ検出用のマークを設けておき、このマークに基づいて、移動ステージの移動速度の変動や移動ステージの位置ずれを検出する。移動ステージを例えば端部位置等の基準位置に位置決めした後、移動ステージの移動を開始する。移動ステージの移動を開始した後、移動ステージの移動量をモニタする。移動ステージの移動量は、例えば移動ステージが備えるエンコーダの出力や、移動ステージの移動機構を駆動するモータの回転量に基づいてモニタすることができる。モニタした移動量が予め設定された移動距離Laに達した時点S2で、固定カメラによって移動ステージ上に設けたマークを撮影する。設定移動距離Laは、例えば基準位置とマークとの間の距離とすることができ、固定カメラによってマークを撮像することができる位置に設定する。移動ステージ上に設けたマークを液晶アレイ検査装置側に固定した固定カメラに撮影し、撮影画像上のマーク位置と予め設定されたマーク位置との差を求める。図3aにおいて、移動ステージ2に設けたマーク102を固定カメラ5によって撮影する。図3bは固定カメラによる画像例を示している。画像例では、画像上のマーク位置は予め定められたマーク位置から位置ずれΔlだけずれた位置にある。移動ステージの移動速度や位置にずれが無い場合には、撮影画像上のマーク位置と予め設定されたマーク位置とは同一位置となる。一方、移動ステージの移動速度や位置にずれがある場合には、撮影画像上のマーク位置は予め設定されたマーク位置からずれた位置となり、そのずれ量は移動速度や位置ずれ量に依存する。撮影画像上のマーク位置と予め設定されたマーク位置との位置ずれ量Δlは、基準位置からの移動距離Laに対する位置ずれ量であるため、撮像範囲の全体に対する位置ずれ量ΔLを算出する。この位置ずれ量ΔLは、例えば、マーク位置の位置ずれ量Δlに全撮像範囲の長さ/移動距離Laの比を積算することで求めることができる。なお、全撮像範囲の長さと移動距離Laとの比率が既知である場合には、マーク位置の位置ずれ量Δlと撮像範囲の全体に対する位置ずれ量ΔLとの関係を、演算式あるはデータテーブルの形式で予め求めて記憶しておき、前記比率をパラメータとして演算あるいは読み出すことで求めることができる。S5の速度の補正分を算出する工程において、変動速度vは、v=LoΔl/Δt=voΔvの式で表される。上記式において、Loは移動ステージの所定の移動距離、Δlはマーク位置の位置ずれ量、Δtは移動ステージが所定の移動距離Loを移動するに要した時間、voは設定ステージ速度、Δvは速度変動分である。移動ステージの速度補正は速度変動分Δvを削減することで行うことができるため、速度補正分vcは、vc=-Δvで表すことができる。次に、S6の工程において、移動間隔Lを補正した補正移動間隔を算出する。S4の工程で算出した位置ずれ量ΔLは撮像範囲の全体に対する位置ずれ量である。この位置ずれ量ΔLを各撮像画像に分散させて補正するには、位置ずれ量ΔLをM回で除算して各撮像において補正量ΔL/Mを算出し、各撮像の移動間隔を補正量ΔL/M分補正して補正移動間隔Lcを算出する。ここで、Mは複数の撮像画像の個数である。したがって、各撮像画像の撮像範囲を取得するために、移動ステージが移動する補正移動間隔LcはLc=LoΔL/Mで表される。ここで、ΔL/Mは各撮像範囲を補正する補正量を表している。図3cは、設定された移動間隔Loと補正移動間隔Lcと補正量ΔL/Mとの関係を示している。補正移動間隔Lcの補正は、撮像動作を開始する撮像トリガを補正量ΔL/M分だけずらせることで行うことができる。ここで、移動ステージが補正量ΔL/M分を正確に移動させることができる移動分解能を有している場合には、移動間隔を過不足無く補正することができる、しかしながら、移動ステージを駆動する駆動機構の移動分解能には限界があるため、補正量ΔL/M分が移動分解能の整数倍でない場合には、補正毎に補正誤差が発生する。移動ステージの移動分解能をsとしたとき、移動ステージが補正できる補正量は分解能sの整数倍のnsである。そのため、移動ステージが移動する補正移動間隔の補正量ΔL/Mは、以下の式ΔL/M=nsδで表される。ここで、δ<sは補正誤差分を表している。したがって、各撮像範囲では、補正を行う度に最大で移動分解能s未満の補正誤差が発生する。この補正誤差によって、撮像範囲の全体では最大でMs分に相当する累積誤差が発生する。なお、方向に累積誤差と-方向の累積誤差は、一撮像範囲の半分の大きさを境にして同じ大きさとなるため、累積誤差の最大は一撮像範囲の半分の大きさである。S6で算出した補正移動間隔を補正することによって累積誤差を解消する。この累積誤差の補正は、複数回の撮像動作において所定の撮像回数毎に、S6の工程で算出した補正移動間隔Lcをステージの移動分解能s分だけ補正した補正移動間隔Lccによって撮像範囲を設定することで行う。この補正移動間隔の補正によって、各撮像範囲を定める移動間隔は、S6で算出した補正移動間隔Lcと補正移動間隔Lccとの組み合わせとなる。補正移動間隔Lcと補正移動間隔Lccに変更する頻度は、累積誤差の大きさおよび移動分解能から算出することができる。補正移動間隔Lcを所定回数毎に補正移動間隔Lccに変更することによって、累積誤差を解消する。図3dは補正移動間隔Lccの導入した状態を示しているS7。次に、図4,5を用いて累積誤差の補正について説明する。図4は正の累積誤差を解消させる場合を示し、図5は負の累積誤差を解消する場合を示している。累積誤差が方向の正の累積誤差である場合には、全撮像範囲は累積誤差がない場合の撮像範囲よりも長くなる。この増加分を、補正移動間隔Lcを補正移動間隔Lcc<Lcとすることによって補正する。図4cにおいて、所定回数の補正移動間隔Lcの後に補正移動間隔Lcc<Lcを導入し、この補正移動間隔LcLccに基づいて撮像トリガを発生し図4d、撮像範囲について撮像を行う図4e。これによって、累積誤差を解消した全撮像範囲を取得する図4f。累積誤差が-方向の負の累積誤差である場合には、全撮像範囲は累積誤差がない場合の撮像範囲よりも短くなる。この減少分を、補正移動間隔Lcを補正移動間隔Lcc>Lcとすることによって補正する。図15dは、累積誤差を補正した場合を示している。図15dによれば、図15b,cの累積誤差が補正され、撮像画像による撮像範囲が図15aに示す累積誤差が無い場合と同じとなることを示している。図5cにおいて、所定回数の補正移動間隔Lcの後に補正移動間隔Lcc>Lcを導入し、この補正移動間隔LcLccに基づいて撮像トリガを発生し図5d、撮像範囲について撮像を行う図5e。これによって、累積誤差を解消した全撮像範囲を取得する図5f。次に、累積誤差の補正例について図6,8のフローチャートおよび図7,9の説明図を用いて説明する。累積誤差の第1の補正例について図6、7を用いて説明する。第1の補正例では、はじめに1回の撮像において発生する補正誤差分dLを算出する。この補正誤差分dLは、dL=ns-ΔL/Mで表される。ここで、ΔLは撮像範囲の全体に対する位置ずれ量であり、S4の工程で示したように、位置ずれ量ΔLはマーク位置の位置ずれ量Δlに全撮像範囲の長さ/移動距離Laの比を積算することで求めることができる。Mは複数の撮像画像の個数であり、位置ずれ量ΔLをMで除算したΔL/Mは、一撮像当たりの補正量を表している図7a。この補正量ΔL/Mを移動ステージの移動分解能sで補正する場合、移動ステージが補正できる間隔分は、移動分解能sの整数n倍のnsであるため、補正誤差分dLはns-ΔL/Mで表される図7b,。次に、M回の撮像を発生する累積誤差分dLLを算出する。S6aの工程で算出した補正誤差分dLは一撮像範囲で発生する補正誤差分であるため、各撮像範囲において補正誤差分dLが発生した場合には、全撮像範囲の累積誤差分dLLは、dLL=dLMで表すことができる図7。次に、補正移動間隔Lcを補正する頻度を算出する。累積誤差分dLLの補正は、補正移動間隔Lcを補正移動間隔Lccに切り替えることによって行う。ここで、補正移動間隔Lccへの切り替えを全移動間隔に対して均等に行う例を示し、補正移動間隔Lcを所定回数の毎に補正移動間隔Lccに切り替える。一つの補正移動間隔Lccの補正は、補正移動間隔Lcに対して移動分解能s分を増加あるいは減少させることで行う。したがって、一つの補正移動間隔Lcを補正移動間隔Lccに切り替えることによって、累積誤差分dLLは移動分解能s分だけ補正される。累積誤差分dLLは、M個の補正移動間隔Lcのうち、dLL/s=dLM/s個の補正移動間隔Lcを補正移動間隔Lccに切り替えることによって補正することができる。したがって、均等間隔で補正移動間隔の切り替えを行う場合には、M/dLLs=s/dL回毎に補正移動間隔Lcを補正移動間隔Lccに切り替えることによって、累積誤差dLLを補正する図7e,S6c。累積誤差の第2の補正例について図8、9を用いて説明する。第2の補正例では、第1の補正例と同様に、はじめに1回の撮像において発生する補正誤差分dLを算出する。この補正誤差分dLは、dL=ns-ΔL/Mで表される。ここで、ΔLは撮像範囲の全体に対する位置ずれ量であり、S4の工程で示したように、位置ずれ量ΔLはマーク位置の位置ずれ量Δlに全撮像範囲の長さ/移動距離Laの比を積算することで求めることができる。Mは複数の撮像画像の個数であり、位置ずれ量ΔLをMで除算したΔL/Mは、一撮像当たりの補正量を表している図9a。この補正量ΔL/Mを移動ステージの移動分解能sで補正する場合、移動ステージが補正できる間隔分は、移動分解能sの整数n倍のnsであるため、補正誤差分dlはns-ΔL/Mで表される図9b,。次に、累積誤差分dLLが移動分解能sとなる撮像回数を算出するS8B。一撮像によって発生する補正誤差分はdLであるため、s/dL回の撮像によって累積誤差分dLLは移動分解能sとなり、以下の式で表される。累積誤差分dLL=dLsdL=sしたがって、s/dL回の撮像毎に、補正移動間隔Lcを補正移動間隔Lccに切り替えることによって累積誤差を補正することができる図9c~e,S8C。図10を用いて本発明の液晶検査装置の信号処理部10の概略構成例について説明する。信号処理部10は、移動ステージの移動変動を検出する変動検出部10Aと、変動検出部10Aで検出した移動ステージの移動変動に基づいて撮像部が撮像画像を取得する際の撮像条件を補正する撮像補正部10Bと、複数の分割撮像画像をつなぎ合わせて一つの結合撮像画像を形成する撮像画像形成部10Cとを備える。変動検出部10Aは、固定カメラ5の撮影信号を取り込んで撮影画像を形成する固定カメラが形成部10aと、撮影画像に基づいて移動ステージ上に設けられたマークのずれ量を、移動ステージの移動変動として検出するステージマークずれ量検出部10bとを備える。撮像補正部10Bは、速度補正部10cと、移動間隔補正部10dおよび累積誤差補正部10eと、補正データ記憶部10fを備え、移動ステージの速度および撮像トリガを形成する移動間隔を撮像条件とし、これら撮像条件を変動検出部10Aで形成したずれ量に基づいて補正する。速度補正部10cは、ずれ量に基づいて移動ステージの速度を補正する。ステージ駆動制御部4は、速度補正部10cの補正速度に基づいて速度制御を行う。移動間隔補正部10dは、ずれ量に基づいて移動間隔を補正し、撮像を行う撮像トリガのタイミングを補正し、撮像範囲を補正する。撮像制御部3Cは、移動間隔補正部10dの補正移動間隔に基づいて撮像制御を行う。移動間隔補正部10dが形成する補正移動間隔は、累積誤差補正部10eによって累積誤差が補正される。移動間隔補正部10dおよび累積誤差補正部10eの補正処理は、補正データ記憶部10fに格納されたデータを用いて行うことができる。撮像画像形成部10Cは、検出部3Bの検出信号を受ける検出信号取得部10gおよび取得した検出信号から撮像画像を形成する撮像画像形成部10hを備える。撮像画像形成部10hは、撮像制御部3Cで形成した撮像トリガに基づいて撮像動作を行う。"