"周辺部が実質的に拘束されていなくて、中心部から周辺部にかけて屈曲振動するアクチュエータと、前記アクチュエータに近接対向して配置される平面部と、前記平面部のうち前記アクチュエータと対向するアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近に配置された1つまたは複数の中心通気孔と、を備えた流体ポンプ。前記アクチュエータは円板状である、請求項1に記載の流体ポンプ。前記アクチュエータ対向領域は、中心又は中心付近が屈曲振動可能な薄板部であり、周辺部が実質的に拘束された厚板部である、請求項1又は2に記載の流体ポンプ。前記薄板部と対向して前記厚板部と接合され、前記薄板部および前記厚板部とともに内部空間を形成するカバー板部を備え、前記カバー板部には、前記内部空間と流体ポンプ筐体の外部とを連通させる通気溝が形成された、請求項3に記載の流体ポンプ。前記アクチュエータ対向領域の周辺部分に、1つまたは複数の周辺通気孔を備えた、請求項1乃至4の何れかに記載の流体ポンプ。前記アクチュエータは、当該アクチュエータと前記平面部との間に一定の隙間をあけて弾性構造により保持されている、請求項1乃至5の何れかに記載の流体ポンプ。前記平面部上に前記アクチュエータを位置決めする開口部を有する位置保持構造が設けられ、前記アクチュエータは前記開口部内に収められている、請求項1乃至5の何れかに記載の流体ポンプ。図1に示したような構造の圧電ポンプは、構造が簡単で薄型に構成でき、例えば燃料電池システムの空気輸送用ポンプとして用いられる。ところが、組み込み先の電子機器は常に小型化の傾向があり、それに伴いポンプの能力流量と圧力を低下させることなく更なる小型化が要求される。また、組み込み先の電子機器の電源電圧の低下に伴い、駆動電圧も低電圧化が要求される。小型化する程、また駆動電圧を低くする程、ポンプの能力流量と圧力は低下するので、ポンプの能力を維持しつつ小型化しようとすれば、又は大型化することなくポンプの能力を高めようとすれば、従来構造の流体ポンプでは限界があった。また、ダイヤフラムを備えた従来構造の流体ポンプにおいて、流量を大きくするにはダイヤフラムを大きくすることが有効であるが、流体ポンプ全体のサイズが大きくなるだけでなく、適する動作周波数が低いため可聴音が発生するという問題も生じる。本発明の目的は、小型低背でポンプ能力の高い流体ポンプを提供することにある。従来の流体ポンプは、圧力に耐えうる硬さをもつダイヤフラムを駆動させ、かつ、ダイヤラムの外周部がポンプ本体に固定されている構造であるため、駆動電圧が高いわりに、得られる圧力が小さく流量が小さい。この点に鑑みて、本発明の流体ポンプは次のように構成する。周辺部が実質的に拘束されていなくて、中心部から周辺部にかけて屈曲振動するアクチュエータと、前記アクチュエータに近接対向して配置される平面部と、前記平面部のうち前記アクチュエータと対向するアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近に配置された1つまたは複数の中心通気孔と、を備える。このように、アクチュエータの周辺部が勿論中心部も実質的に拘束されていないので、アクチュエータの屈曲振動に伴う損失が少なく、小型低背でありながら高い圧力と大きな流量が得られる。前記アクチュエータは円板状とすれば、回転対称形同心円状の振動状態となるため、アクチュエータと平面部との間に不要な隙間が発生せず、ポンプとしての動作効率が高まる。前記平面部におけるアクチュエータ対向領域のうち、例えば中心又は中心付近が屈曲振動可能な薄板部であり、周辺部が実質的に拘束された厚板部とする。この構造によれば、アクチュエータの振動に伴い、通気孔を中心とした対向面の薄板部分が振動するため、実質的に振動振幅を増すことができ、そのことにより圧力と流量を増加させることができる。また、前記薄板部と対向して前記厚板部と接合され、前記薄板部および前記厚板部とともに内部空間を形成するカバー板部を備え、前記カバー板部には、前記内部空間と流体ポンプ筐体の外部とを連通させる通気溝が形成された。この構造によれば、発生可能な圧力と流量、即ちポンプ能力を大幅に向上させることができる。この構造では、平面部の中心通気孔付近における、アクチュエータと平面部の薄板部との振動に起因する圧力波や、シンセティックジェットの流れの発生をカバー板部により抑制することができるためであると考えられる。また、前記アクチュエータ対向領域の周辺部分に、1つまたは複数の周辺通気孔を備えれば、アクチュエータ対向領域の周辺部分で発生している正圧を利用することができ、同一面で吸引/吐出が可能となる。また、前記アクチュエータは、当該アクチュエータと前記平面部との間に一定の隙間をあけて弾性構造により保持する構成とすれば、負荷変動に応じてアクチュエータと平面部との隙間を自動的に変化させることができる。たとえばアクチュエータに対して低負荷時には積極的に隙間を確保して流量を増大させることができ、高付加時にはバネ端子がたわんでアクチュエータと平面部との対向領域の隙間が自動的に減少し、高い圧力で動作することが可能である。また、前記平面部上に前記アクチュエータを位置決めする開口部を有する位置保持構造を設け、前記アクチュエータは前記開口部内に収められていることで、アクチュエータを平面部に拘束することなく、アクチュエータの位置ずれすることを防ぐことができる。本発明によれば、屈曲振動に伴う損失が少なく、小型低背でありながら高い圧力と大きな流量が得られる。《第1の実施形態》図2Aは第1の実施形態に係る流体ポンプに備えるアクチュエータ40の中央断面図である。図2Bは第1の実施形態に係る流体ポンプ101の主要部の非駆動時の断面図である。アクチュエータ40は円板状の振動板41に円板状の圧電素子42を貼着したものである。振動板41は例えばステンレススチールやりん青銅等の金属製である。圧電素子42の上下面にはそれぞれほぼ全面の電極膜が形成されている。下面の電極は振動板41と電気的に導通している。または容量結合している。上面の電極には導体線が接続され、この導体線と振動板41とに駆動回路が電気的に接続され、矩形波状または正弦波状の駆動電圧が印加される。アクチュエータ40は中心部から周辺部にかけて回転対称形同心円状の屈曲振動する。図2Bに示すように、流体ポンプ101はアクチュエータ40とステンレススチールやりん青銅等の金属板による平面部51とで構成されている。アクチュエータ40は平面部51上に載置されている接触している。ここでは非駆動時を表しているため、図2Bではアクチュエータ40は平面部51上に固定されているように見えるが、アクチュエータ40は、その周辺部が平面部51に拘束されていない。非駆動時にはアクチュエータ40は平面部51上に接触して対向配置されているにすぎない。平面部51のうちアクチュエータ40と対向する平面部51のアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近には一つの中心通気孔52が配置されている。図3A、図3Bは流体ポンプ101の動作原理を示す模式図である。但し、例えば20kHz程度の周波数で動作させた例であり、アクチュエータの変形量は誇張している。アクチュエータに電圧を印加させることによりアクチュエータが凹凸に屈曲変形するが、先ず、図3Aに示すようにアクチュエータ40が上に凸に屈曲変形すれば、アクチュエータ40の周辺部と平面部51との間隙が中央部と平面部51との間隙に比べて狭まり、その間隙付近の圧力が高まる。一方、アクチュエータ40の中央部と平面部51との間隙が広がり、アクチュエータ40の中央部と平面部51との間の空間の圧力が低くなって負圧となって、この空間に中心通気孔52から流体例えば空気が流入する。このとき、アクチュエータ40の周辺部と平面部51との間隙を通して流体が流れ込もうとするか又は少しは流れ込む。しかし、アクチュエータ40の周辺部と平面部51との間隙は狭く、その間隙の流路抵抗は大きい。そのためアクチュエータ40の周辺部と平面部51との間隙から流れこもうとする流量よりも、外部から中心通気孔52を通って流入する流量が支配的になり、中心通気孔52を通って流入する流量を所定量確保できる。次に、図3Bに示すようにアクチュエータ40が下に凸に屈曲変形すれば、アクチュエータ40の中央部と平面部51との間隙が周辺部と平面部51との間隙に比べて狭まり、その間隙付近の圧力が高まる。一方、アクチュエータ40の周辺部と平面部51との間隙が広がり、アクチュエータ40の周辺部と平面部51との間の圧力が低下する。そのため、アクチュエータ40の中央部と平面部51との間の空間から周辺方向放射方向へ流体が流れる。このとき、中心通気孔52から外部方向へ流体が逆流しようとするか又は少しは逆流する。しかし、アクチュエータ40の周辺部と平面部51との間隙は広く、その間隙の流路抵抗は小さい。そのため中心通気孔52から流れ出ようとする流量よりも、アクチュエータ40の周辺部と平面部51との間隙から流れ出ようとする流量が支配的になり、中心通気孔52を通って外部へ逆流する流量は抑えられる。上記アクチュエータは重心の高さを平均高さとして中心部と周辺部が数μm~数10μm上下に振動する。上記の動作をアクチュエータ40の1次モードの共振周波数、例えば20kHz程度の周波数で繰り返すことにより、中心通気孔52から流体を吸引し、周辺部へ吐出するポンプ動作を行う。アクチュエータ40は、その周辺部が平面部51に保持されていないので、小型でも充分な振幅を得ることができる。アクチュエータ40の中心部の圧力も周辺部の圧力も、アクチュエータ40の屈曲振動に伴い刻々と変動するが、時間平均して見れば、中心部では負圧が発生し、周辺部ではそれに対抗して釣り合う正圧が発生する。そのため、アクチュエータ40が駆動している間は、アクチュエータ40が平面部51に近接して非接触状態で保持される。但し、中心部と周辺部の圧力は、吸引側、吐出側の外部圧力によって変化する。すなわちポンプの負荷変動に依存して変化する。図2A、図2Bに示した流体ポンプ101では、高負荷になるほど、すなわちアクチュエータ40の中心部と周辺部の圧力差が大きくなるほど、平面部51に対するアクチュエータ40の平均高さが低くなる。高負荷状態、すなわち大きい圧力差を発生させてポンプ動作している場合には、アクチュエータ40と平面部51との隙間が減少してアクチュエータ40が平面部51に接触する場合もあるが、このような場合でもポンプ動作に支障はない。特許文献1のようにダイヤフラムを用いた従来の流体ポンプは、屈曲振動するダイヤフラムの周辺部が平面部に拘束状態で固定保持されたものである。これに対し本発明の流体ポンプは、屈曲振動を用いながらも、アクチュエータの周辺部を拘束状態には保持せず、自由振動により非接触浮上させる。このことで、ダイヤフラムを用いた従来の流体ポンプでは得られなかった、小型低背構造で高い圧力と大きな流量をもつ流体ポンプが構成できる。また、アクチュエータの周辺部を平面部で保持していないので、高い固有振動数となるように設計しても充分な振幅を得ることができ、20kHz以上の非可聴域で共振駆動させるような設計も容易である。図2A、図2Bに示した流体ポンプによれば、厚み方向に平面部51、アクチュエータ40及び間隙分が積層されるだけであるので、例えば0.5mm程度の極めて低背な流体ポンプが構成できる。なお、アクチュエータ40が非接触状態で保持される原理は、いわゆるスクイズ効果やスクイズ膜効果と呼ばれる現象に近いが、本発明では屈曲振動を利用しているため、中心部と周辺部とで圧力の位相が異なることや、非接触状態を維持しながらポンプの負荷変動に応じて自律的に隙間が調整される、という点で異なる。《第2の実施形態》図4は第2の実施形態に係る流体ポンプ102の主要部の非駆動時の断面図である。この流体ポンプ102は円板状の振動板41に円板状の圧電素子42を貼着したアクチュエータ40と平面部51を備えている。平面部51の上部にはアクチュエータ40の周囲を囲むスペーサ53及び蓋部54を設けている。蓋部54には吐出孔55を形成している。アクチュエータ40は、実施例1と同様であり、その周辺部が平面部51に拘束されていない。非駆動時には、アクチュエータ40は平面部51上に接触して対向配置されているにすぎない。アクチュエータ40が屈曲振動すると、第1の実施形態で述べた原理により、中心通気孔52を通して流体が吸引される。この吸引された流体は吐出孔55から吐出される。したがって、この流体ポンプ102は吸引/吐出の両方の機能を備える。《第3の実施形態》図5は第3の実施形態に係る流体ポンプ103の主要部の断面図である。流体ポンプ103はアクチュエータ40とステンレススチールやりん青銅等の金属板による平面部51とで構成されている。アクチュエータ40は、その周辺部が平面部51に拘束されていない。非駆動時にはアクチュエータ40は平面部51上に接触して対向配置されているにすぎない。平面部51のうちアクチュエータ40と対向する平面部51におけるアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近には一つの中心通気孔52が配置されている。また、同アクチュエータ対向領域の周辺部分に複数の周辺通気孔56A,56B等を備えている。アクチュエータ対向領域の隙間の圧力は、中心部、周辺部ともに、アクチュエータ40の屈曲振動に伴い刻々と変動するが、時間平均して見れば、中心部では負圧を発生し、周辺部ではそれに対抗して釣り合う正圧を発生して、アクチュエータ40が駆動している間はアクチュエータ対向領域に近接して非接触で保持する状態が得られる。従って、アクチュエータ対向領域のうち周辺部分に周辺通気孔を配置することで、周辺通気孔に正圧が発生する。このように、アクチュエータ対向領域の周辺部に周辺通気孔56A,56B等を備えれば、周辺部で発生している正圧を利用することができ、中心部での負圧との差を利用できるため、より大きな圧力差を取り出すことができる。そのため、周辺通気孔56A,56B等をそのままポンプの吐出孔としてもよいし、図示しない筺体の吐出孔を別に一箇所に設け、周辺通気孔に連通させて集中排気する構成にしてもよい。このように、アクチュエータ対向領域の周辺部分に周辺通気孔を備えれば、周辺部で発生している正圧を利用することができ、同一面で吸引/吐出が可能となる。但し、アクチュエータ40の中心部と周辺部の圧力差が小さくなる低負荷時には、周辺部の隙間が減少して圧力損失が大きくなるため、第1第2の実施形態と比較して流量は減少する傾向がある。《第4の実施形態》図6は第4の実施形態に係る流体ポンプ104の一部の分解斜視図、図7は第4の実施形態に係る流体ポンプ104の主要部の断面図である。円板状の振動板41の上面には圧電素子42が貼着されて、この振動板41と圧電素子42とによってアクチュエータが構成される。振動板41の周囲には振動板支持枠61が設けられていて、振動板41は振動板支持枠61に対して連結部62で連結されている。連結部62は細いリング状に形成されたものであり、小さなバネ定数の弾性をもたせて弾性構造としている。したがって振動板41は二つの連結部62で振動板支持枠61に対して2点で柔軟に支持されている。そのため、振動板41の屈曲振動を殆ど妨げない。すなわち、アクチュエータの周辺部が勿論中心部も実質的に拘束されていない状態となっている。スペーサ53Aは振動板ユニット60を平面部51と一定の隙間をあけて保持するために設けられる。振動板支持枠61には電気的に接続するための外部端子63が形成されている。振動板41、振動板支持枠61、連結部62及び外部端子63は金属板の打ち抜き加工により成形されていて、これらによって振動板ユニット60が構成されている。圧電素子42の線膨張係数に合わせて、振動板ユニット60は圧電素子42と線膨張係数の差が小さい材料、たとえば42ニッケル42Ni残Feで構成している。これにより、接着時の加熱硬化に伴う反りの発生を抑制できる。振動板ユニット60の外周部の上には、樹脂製のスペーサ53Bが接着固定されている。スペーサ53Bの厚さは圧電素子42と同じか少し厚く、筺体の一部を構成するとともに、次に述べる電極導通用板70と振動板ユニット60とを電気的に絶縁する。スペーサ53Bの上には、金属製の電極導通用板70が接着固定されている。電極導通用板70はほぼ円形の開口と、この開口内に突出する内部端子73と、外部へ突出する外部端子72とで構成されている。内部端子73の先端は圧電素子42の表面にはんだ付けされる。はんだ付け位置をアクチュエータの屈曲振動の節に相当する位置とすることにより内部端子73の振動は抑制できる。電極導通用板70の上には、樹脂製のスペーサ53Cが接着固定される。スペーサ53Cはここでは圧電素子42と同程度の厚さを有する。スペーサ53Cの上には、図示しない筺体の蓋部が接着固定され、筺体蓋部の一部には通気孔が設けられていて、そこから流体が吐出される。スペーサ53Cは、アクチュエータが振動したときに、内部端子73のはんだ部分が、図示しない筺体蓋部に接触しないようにするためのスペーサである。また、圧電素子42表面が図示しない筺体蓋部に過度に接近して、空気抵抗により振動振幅の低下するのを防止する。そのため、スペーサ53Cの厚さは、前述のとおり、圧電素子42と同程度の厚さであればよい。平面部51の中心には中心通気孔52が形成されている。この平面部51と振動板ユニット60との間に厚さ数10μm程度のスペーサ53Aが挿入されている。このように、スペーサ53Aが存在しても、振動板41は振動板支持枠61に拘束されているわけではないので、負荷変動に応じて間隙は自動的に変化する。但し、バネ端子の拘束の影響を多少は受けるので、このようにスペーサ53Aを挿入することで、低負荷時には積極的に隙間を確保して流量を増大することができる。また、スペーサ53Aを挿入した場合でも、高負荷時にはバネ端子がたわんで、アクチュエータ40と平面部51との対向領域の隙間が自動的に減少し、高い圧力で動作することが可能である。なお、図6に示した例では、連結部62を二箇所に設けたが、三箇所以上に設けてもよい。連結部62はアクチュエータ40の振動を妨げるものではないが、振動に多少の影響を与えるため、例えば三箇所で連結保持することにより、より自然な保持が可能となり、圧電素子の割れを防止することもできる。《第5の実施形態》図8は第5の実施形態に係る流体ポンプ105の分解斜視図、図9は流体ポンプ105の斜視図、図10はその主要部の断面図である。この流体ポンプ105は、基板91、平面部51、スペーサ53A、振動板ユニット60、補強板43、圧電素子42、スペーサ53B、電極導通用板70、スペーサ53C及び蓋部54を備えている。これらの部材のうち、振動板ユニット60、圧電素子42、スペーサ53A、電極導通用板70及びスペーサ53Cの構成は図6に示したものと同様である。圧電素子42と振動板41との間には補強板43を挿入している。補強板43を圧電素子42および振動板41よりも線膨張係数の大きな金属板としておき、接着時に加熱硬化させることにより、全体が反ることなく、圧電素子42に適切な圧縮応力を残留させることができ、圧電素子42の割れを防止できる。例えば、振動板41を42ニッケル42Ni残Feまたは36ニッケル36Ni残Feなど線膨張係数の小さな材料とし、補強板43をステンレススチールSUS430などとするのがよい。補強板を用いる場合には、スペーサ53Bの厚さは、圧電素子42と補強板43の厚さを加えたものと同じか、少し厚くしておくとよい。なお、振動板41、圧電素子42、補強板43については、上から圧電素子42、振動板41、補強板43の順に配置してもよい。この場合も圧電素子42に適切な圧縮応力が残留するように、それぞれの線膨張係数が調整されている。平面部51の下部には、中心に円筒形の開口部92が形成された基板91が設けられている。平面部51の一部は基板91の開口部92で露出する。この円形の露出部は、アクチュエータ40の振動に伴う圧力変動により、アクチュエータ40と実質的に同一周波数で振動することができる。この平面部51と基板91との構成により、平面部51のアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近は屈曲振動可能な薄板部であり、周辺部は実質的に拘束された厚板部となる。この円形の薄板部の固有振動数は、アクチュエータ40の駆動周波数と同一か、やや低い周波数になるように設計している。従って、アクチュエータ40の振動に呼応して、中心通気孔52を中心とした平面部51の露出部も大きな振幅で振動する。平面部51の振動位相がアクチュエータ40の振動位相よりも遅れた例えば90°遅れの振動となれば、平面部51とアクチュエータ40との間の隙間空間の厚さ変動が実質的に増加する。そのことによってポンプの能力をより向上させることができる。蓋部54はスペーサ53Cの上部に被せられ、アクチュエータ40の周囲を覆う。そのため、中心通気孔52を通して吸引された流体は吐出孔55から吐出される。吐出孔55は蓋部54の中心に設けてもよいが、蓋部54を含む筐体内の正圧を開放する吐出孔であるので、蓋部54の中心に設ける必要はない。図9に表れている外部端子63,72に駆動電圧を印加することによって前記アクチュエータ40が屈曲振動し、底面の中心通気孔52から流体が吸引され、吐出孔55から吐出される。図11は第5の実施形態に係る流体ポンプ105の吐出孔55を大気開放して中心通気孔52から空気を吸引する負圧動作をさせた場合のP-Q特性図である。横軸は流量、縦軸は圧力であり、30Vppで駆動した場合と50Vppで駆動した場合とについて表している。ダイヤフラムを用いた従来構造の流体ポンプにおいては、ほぼ同一サイズとしたとき駆動電圧90Vppで最大圧力10kPa、最大流量002lmin程度の能力であったのに対し、その半分の駆動電圧で、約2倍の圧力、約10倍の流量が得られることが分かる。第5の実施形態に係る流体ポンプ105は例えば燃料電池のカソード空気ブロアとして用いることができる。《第6の実施形態》図12A、図12Bは、第6の実施形態に係る流体ポンプのアクチュエータ40の位置保持構造の例を示す図である。この第6の実施形態は、第2の実施形態の流体ポンプのアクチュエータ40の周辺を位置保持枠80で囲む構造を有するものである。アクチュエータ40は平面部図示せず上に固定された位置保持枠80の開口部81内に、収められている。図12Aの例では、位置保持枠80に円形の開口部81を設け、この開口部81内に円板状のアクチュエータ40を配置している。開口部81の内径はアクチュエータ40の外径より僅かに大きい。そのため、アクチュエータ40は周辺が拘束されることなく、位置保持枠80の開口部81内に収まる。なお、図12Aのアクチュエータ40の圧電素子の電極との接続は例えば導体線を介して行うこともできる。これによりアクチュエータ40を実質的に平面部に固定せずに駆動をしたとしても、アクチュエータ40が位置ずれすることを防げる。図12Bの例では、位置保持枠80にほぼ円形の開口部81を設け、この開口部81内に円板状のアクチュエータ40を配置した際に、アクチュエータ40を3点で接触するように、位置保持枠80に3つの突起82を設けている。これらの突起82は、それら3つの突起82がアクチュエータ40に同時に接しないようにクリアランスを持たせている。そのため、アクチュエータ40は周辺が拘束されることなく、位置保持枠80の開口部82内に収まる。これによりアクチュエータ40を実質的に平面部に固定せずに駆動をしたとしても、アクチュエータ40が位置ずれすることを防げる。また、突起82が形成されているため、アクチュエータ40と位置保持枠80との接触面積が小さいので、アクチュエータの圧電素子への衝撃を少なくすることができる。なお、第6の実施形態における上記位置保持枠80の高さ方向の厚みは、アクチュエータ40の周辺部の最大変位位置よりも大きいことが好ましい。また、アクチュエータ40の圧電素子の電極に対する電気的接続は図示されていないが、例えば導体線等の弾性を有する導体を介して接続して行うことができる。《第7の実施形態》図13は第7の実施形態に係る流体ポンプ107の主要部の断面図である。この流体ポンプ107は円板状の振動板41に円板状の圧電素子42を貼着したアクチュエータ40と平面部51を備えている。なお、アクチュエータ40は第4及び第5の実施形態のように、弾性構造である連結部62を有する振動板支持枠61により保持されている。平面部51の上部にはアクチュエータ40の周囲を囲むスペーサ53及び蓋部54を設けている。スペーサ53には吐出孔57を形成している。アクチュエータ40が屈曲振動すると、第1の実施形態で述べた原理により、中心通気孔52を通して流体が吸引される。この吸引された流体は吐出孔57から吐出される。したがって、この流体ポンプ107は厚み方向に対して直交方向、すなわち側方に吐出吐出させることができる。《第8の実施形態》図14は第8の実施形態に係る流体ポンプ108の主要部の断面図である。この流体ポンプ108は、第4の実施形態で示した流体ポンプ104を二つ積層した構造である。なお、ここでは蓋部が形成されている。但し、この例は、上部のポンプの平面部が下部のポンプの蓋部を兼ねている。また、上部のポンプの中心通気孔52Bが下部のポンプの吐出孔を兼ねている。このように二つの流体ポンプを直列に連結することによって、単一の流体ポンプに比べて、流量は変わらないが、吸引吐出の圧力が2倍となる。同様にして、直列接続するポンプの数をN個にすることによって、吸引吐出の圧力をN倍にすることができる。その場合も平面部と蓋部を兼用することができ、全体にコンパクトな構成とすることができる。《第9の実施形態》図15は第9の実施形態に係る流体ポンプ109の主要部の断面図である。この流体ポンプ109は、図13に示した流体ポンプ107を4つ積層した構造である。但し、各中心通気孔52A,52B,52C,52Dが閉塞されないように、流入路58B,58C,58Dを設けている。また、各吐出孔57A,57B,57C,57Dから吐出される流体の流出路59を設けている。このように4つの流体ポンプを並列に連結することによって、単一の流体ポンプに比べて、吸引吐出の圧力は変わらないが、流量が4倍となる。《第10の実施形態》図16は第10の実施形態に係る流体ポンプ110の主要部の断面図である。この流体ポンプ110は、一つの筐体内に二つのアクチュエータ40A,40Bを設けた例である。なお、アクチュエータ40A及び40Bは、第4及び第5の実施形態のように、弾性構造である連結部62を有する振動板支持枠61がそれぞれ設けられており、それぞれ保持されている。スペーサ53の一部に吐出孔57が形成されている。このような構造により、平面部51Aとアクチュエータ40Aとによってポンプ動作し、平面部51Bとアクチュエータ40Bとによってポンプ動作する。二つのアクチュエータ40A,40Bは同期して屈曲振動するので、中心通気孔52A,52Bから同時に吸気され、吐出孔57から吐出される。実質的に二つのポンプが内蔵されているので、単一のアクチュエータを備えた流体ポンプに比べて流量が2倍になる。《第11の実施形態》図17は第11の実施形態に係る流体ポンプ111の分解斜視図である。図18は第11の実施形態に係る流体ポンプ111の主要部の断面図である。この実施形態に係る流体ポンプ111が第5の実施形態に係る流体ポンプ105と相違する点は、アクチュエータ40とカバー板部95である。その他の構成については、流体ポンプ105と同じである。なお、スペーサ53Aの厚みは、補強板43の厚みに数10μm程度を加えた長さである。また、スペーサ53Bの厚みは、圧電素子42の厚みと同じか、少し厚くするのが好ましい。詳述すると、まず、アクチュエータ40は、上から圧電素子42、振動板41、補強板43の順に接合された構造となっている。次に、カバー板部95は、流路板96及びカバー板99を接合したものである。カバー板部95は薄板部と対向して厚板部と接合されており、薄板部および厚板部とともに内部空間94を形成する。ここで、当該薄板部は、上述したように、図10において基板91の開口部92で露出する、平面部51の円形の中央部である。当該薄板部は、アクチュエータ40の振動に伴う圧力変動により、アクチュエータ40と実質的に同一周波数で振動する。また、当該厚板部は、上述したように、平面部51における当該中央部より外周の外周部と基板91とからなる部分である。また、カバー板部95には、内部空間94と流体ポンプ111の筐体の外部とを連通させる通気溝97が形成されている。この実施形態では、外部端子63,72に駆動電圧を印加することによってアクチュエータ40が屈曲振動し、通気溝97から中心通気孔52を介して空気が吸引され、吐出孔55から吐出される。図19は第11の実施形態に係る流体ポンプ111の吐出孔55を大気開放して中心通気孔52から空気を吸引する負圧動作をさせた場合のP-Q特性図である。この図では、カバー板部95を設けた構造の流体ポンプ111とこの流体ポンプ111からカバー板部95を除いた構造の流体ポンプとを、30Vppで駆動した場合における流量と圧力を測定した実験結果を表している。実験により、流体ポンプ111からカバー板部95を除いた構造の流体ポンプでは、最大圧力18kPa、最大流量0.195lminの能力であったのに対し、カバー板部95を設けた流体ポンプ111では最大圧力40kPa、最大流量0.235lminまで能力が向上することが明らかとなっている。以上の実験結果は、平面部51の中心通気孔52付近において、アクチュエータ40と平面部51の中央部即ち薄板部との振動に起因する圧力波や、シンセティックジェットの流れの発生を、カバー板部95を設けることにより、抑制できたためであると考えられる。また、これ以外にも、カバー板部95を設けることで、平面部51の中央部の振動の位相や振動振幅の中心が変位することなど、種々の要因が想定される。以上より、この実施形態に係る流体ポンプ111によれば、発生可能な圧力と流量、即ちポンプ能力を大幅に向上させることができる。《他の実施形態》以上の各実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータを設けたが、振動板の両面に圧電素子を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。また、本発明は圧電素子を備えたアクチュエータに限らず、電磁駆動で屈曲振動するアクチュエータを備えたものにも適用できる。また、以上の各実施形態では、圧電素子と振動板との大きさをほぼ等しくした例を示したが、圧電素子より振動板のほうが大きくてもよい。また、本発明は可聴音の発生が問題とならない用途では、可聴音周波数帯域でアクチュエータを駆動してもよい。また、以上の各実施形態では、平面部51のアクチュエータ対向領域の中心付近に1個の中心通気孔52を配置した例を示したが、アクチュエータ対向領域の中心付近に複数の中心通気孔を配置してもよい。また、以上の各実施形態において、吐出孔を有する流体ポンプは、その吐出孔を大気開放して、中心通気孔から空気を吸引する負圧動作を行ってもよいし、逆に、中心通気孔を大気開放して、吐出孔から空気を送り出す正圧動作を行ってもよい。また、以上の各実施形態では、アクチュエータ40が1次モードで振動させるように駆動電圧の周波数を定めたが、アクチュエータ40を3次モード等の他のモードで振動させるように駆動電圧の周波数を定めてもよい。また、以上の各実施形態では円板状の圧電素子及び円板状の振動板を用いたが、これらは一方が矩形又は多角形であってもよい。なお、吸引する、又は吸引/吐出する流体は気体に限らず液体であってもよい。"