基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、支持フレームと、前記支持フレームに前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記支持フレームに前記搬送方向に沿って配設され、基板を前記搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニットと、を具備し、前記搬送方向に隣接するいずれかの前記浮上ユニット間に、前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びかつ複数の前記浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップが区画形成され、各ローラ駆動ユニットは、前記支持フレームに設けられ、上側に開口部を有したユニットケースと、前記ユニットケース内に前記搬送方向に離隔して設けられ、前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能であって、前記ユニットケースの前記開口部から上方向へ突出し、基板の裏面を支持する一対の搬送ローラと、前記一対の搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータと、前記ユニットケース内の空気を下方向から吸引する吸引ファンと、を備え、前記吸引ファンの吸引中心位置は、前記一対の搬送ローラの間で基板を凹状に変形させるように前記搬送方向における前記一対の搬送ローラの中間位置に設定されていることを特徴とする浮上搬送装置。いずれかの前記ローラ駆動ユニットは、前記挿入ギャップの直上流側に配設されていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。各浮上ユニットの前記ノズルが鉛直方向に対して各浮上ユニットの中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に用いられるローラ駆動ユニットにおいて、上側に開口部を有したユニットケースと、前記ユニットケース内に前記搬送方向に離隔して設けられ、前記搬送方向に対して直交する搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能であって、前記ユニットケースの前記開口部から上方向へ突出してあって、基板の裏面を支持する一対の搬送ローラと、前記一対の搬送ローラを軸心周りに回転させる搬送モータと、前記ユニットケース内の空気を下方向から吸引する吸引ファンと、を備え、前記吸引ファンの吸引中心位置は、前記一対の搬送ローラの間で基板を凹状に変形させるように前記搬送方向における前記一対の搬送ローラの中間位置に設定されていることを特徴とするローラ駆動ユニット。ところで、近年、ガラス基板等の基板の大型薄型化傾向に伴い、基板の剛性は低くなってきており、基板の搬送中において、基板の端部先端部が先行の浮上ユニット側から挿入ギャップを越えて後続の浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向へ大きく撓んで、後続の浮上ユニット等と干渉して、基板に傷等の損傷が発生する。一方、浮上ユニットによる基板の浮上高さ浮上量を大きくして、基板の先端部と後続の浮上ユニット等との干渉を回避しようとすると、浮上ガスとしての圧縮空気の消費量が増大して、浮上搬送装置のランニングコストが高くなる。つまり、浮上搬送装置のランニングコストの低減を図りつつ、先行の浮上ユニット側から挿入ギャップを越えて後続の浮上ユニット側へ乗り継ぐ際における基板の損傷を抑えることは困難であるという問題がある。そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置及びローラ駆動ユニットを提供することを目的とする。本発明の第1の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、支持フレーム装置フレームと、前記支持フレームに前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、前記支持フレームに前記搬送方向に沿って配設され、基板を前記搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニットと、を具備し、前記搬送方向に隣接するいずれかの前記浮上ユニット間に、前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びかつ複数の前記浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップが区画形成され、各ローラ駆動ユニットは、前記支持フレームに設けられ、上側上面に開口部を有したユニットケースと、前記ユニットケース内に前記搬送方向に離隔して設けられ、前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能であって、前記ユニットケースの前記開口部から上方向へ突出し、基板の裏面を支持する一対の搬送ローラと、前記一対の搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータと、前記ユニットケース内の空気を下方向から吸引する吸引ファンと、を備え、前記吸引ファンの吸引中心位置ファン中心位置は、前記一対の搬送ローラの間で基板を凹状に変形させるように前記搬送方向における前記一対の搬送ローラの中間位置に設定されていることを要旨とする。なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、配設されとは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、設けられとは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたこと及び一体形成されたこと含む意である。また、浮上ガスとは、圧縮空気エア、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意であって、基板の裏面を支持するとは、基板の裏面を直接的に支持する他に、基板の裏面を別部材を介して間接的に支持することを含む意である。更に、一対の搬送ローラの中間位置とは、一対の搬送ローラの間の中央位置に限らず、一対の搬送ローラの間の位置を含む意である。第1の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させる。また、各吸引ファンの作動によって各ユニットケース内の空気を吸引して、各搬送ローラの周辺域に負圧力を発生させると共に、各搬送モータの駆動によって各一対の搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、各一対の搬送ローラの周辺域の負圧力換言すれば、各吸引ファンの吸引力によって基板の裏面と複数の前記搬送ローラとの接触を保った状態で、基板を搬送方向へ浮上搬送することができる。ここで、各ローラ駆動ユニットにおいて、前記一対の搬送ローラの間で基板を凹状に変形させるように前記吸引ファンの吸引中心位置が前記搬送方向における前記一対の搬送ローラの中間位置に設定されているため、いずれかの前記ローラ駆動ユニットを前記挿入ギャップの上流側の適切な箇所例えば直上流側に予め配設しておくことにより、基板の端部先端部が先行上流寄りの前記浮上ユニットから前記挿入ギャップを越えて後続下流寄りの前記浮上ユニットに乗り継ぐ前に、基板の端部側を上方向へ変位させることができる。これにより、前記浮上ユニットの浮上高さを大きく設定しなくても、先行の前記浮上ユニット側から前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部と後続の前記浮上ユニット等との干渉を回避することができる。なお、本願の明細書において、上流とは、前記搬送方向から見て上流のことをいう。また、先行とは、前記搬送方向から見て先行することをいい、後続とは、前記搬送方向から見て後続することをいう。本発明の第2の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に用いられるローラ駆動ユニットにおいて、上側上面に開口部を有したユニットケースと、前記ユニットケース内に前記搬送方向に離隔して設けられ、前記搬送方向に直交する搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能であって、前記ユニットケースの前記開口部から上方向へ突出してあって、基板の裏面を支持する一対の搬送ローラと、前記一対の搬送ローラを軸心周りに回転させる搬送モータと、前記ユニットケース内の空気を下方向から吸引する吸引ファンと、を備え、前記吸引ファンの吸引中心位置ファン中心位置は、前記一対の搬送ローラの間で基板を凹状に変形させるように前記搬送方向における前記一対の搬送ローラの中間位置に設定されていることを要旨とする。第2の特徴からなる前記ローラ駆動ユニットを複数用意し、複数の前記ローラ駆動ユニットを第1の特徴からなる前記浮上搬送装置の構成要素として用いた場合には、第1の特徴による作用と同様の作用を奏する本発明によれば、前記浮上ユニットの浮上高さを大きく設定しなくても、先行の前記浮上ユニット側から後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部と後続の前記浮上ユニット等との干渉を回避できるため、浮上ガスの消費量の増大を抑えて、前記浮上搬送装置のランニングコストの低減を図りつつ、基板の搬送中における基板の損傷を十分に防止して、基板の品質を維持することができる。本発明の実施形態について図1から図6を参照して説明する。なお、図面中、FFは、前方向を、FRは、後方向を、Lは、左方向を、Rは、右方向をそれぞれ指してある。図4、図5、及び図6に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置1は、例えばガラス基板等の基板Wを搬送方向本発明の実施形態にあっては、前後方向へ浮上搬送する装置であって、搬送方向に沿って並んだ複数の支持フレーム装置フレーム3を具備している。また、各支持フレーム3は、支持台5と、この支持台5の下側に一体的に設けられた複数の支柱7と、複数の支柱7に連結するように設けられた複数の補強部材9とを備えている。なお、浮上搬送装置1が搬送方向に沿って並んだ複数の支持フレーム3を具備する代わりに、搬送方向へ延びた共通の支持フレーム図示省略を具備しても構わない。各支持台5には、浮上ガスとしての圧縮空気エアを収容する複数のチャンバー11が設けられており、各チャンバー11の下面には、チャンバー11内に圧縮空気を供給する圧縮空気供給源としての1つ又は複数の供給ファン本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット13が設けられている。各チャンバー11の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Wを浮上させる中空状の浮上ユニット15が配設されており、換言すれば、複数の支持フレーム3には、複数の浮上ユニット15が複数のチャンバー11等を介して搬送方向及び搬送方向に直交する搬送幅方向本発明の実施形態にあっては、左右方向に間隔を置いて配設されており、複数の浮上ユニット15の配設状態は、搬送幅方向に複数列本発明の実施形態にあっては、8列になっている。また、各浮上ユニット15の正面視形状図5参照及び側面視形状図6参照は、それぞれT字形状を呈してあって、各浮上ユニット15の内部は、チャンバー11を介して供給ファン13に接続されている。各浮上ユニット15の上面には、圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル17が浮上ユニット15の外縁平面視形状に沿って形成されており、各浮上ユニット15は、基板Wとの間に浮上ガス溜まり層としてのエア溜まり層圧力溜まり層S図3参照を生成可能である。ここで、各ノズル17は、特開2006-182563号公報に示すように、垂直方向浮上ユニット15の上面に垂直な方向に対して浮上ユニット15の中心側へ傾斜するようになっている。なお、各浮上ユニット15の上面に矩形枠状のノズル17が浮上ユニット15の外縁に沿って設けられる代わりに、スリット状又は小孔状の複数のノズル図示省略が浮上ユニット15の外縁に沿って形成されるようにしても構わない。支持台5には、基板Wを搬送方向へ搬送する複数のローラ駆動ユニット19が搬送方向に沿って配設されており、複数のローラ駆動ユニット19の配設状態は、搬送幅方向に2列になっている。なお、各ローラ駆動ユニット19の具体的な構成は、後述する。搬送方向に隣接関係するいずれかの浮上ユニット15間であって搬送方向に間隔を置いた複数箇所には、複数の浮上ユニット15に対して基板Wの受渡し又は受取りを行う基板受け部材Pを挿入するための挿入ギャップ乗り継ぎ溝Gがそれぞれ区画形成形成されており、挿入ギャップGは、搬送幅方向へ延びている。ここで、基板受け部材Pの例としては、特開平7-311375号公報等に示すような基板受けフォーク、特開2005-159141号公報等に示すような基板カセットにおける基板支持部材基板カセットの一部分等が挙げられる。そして、各列のローラ駆動ユニット19のうちのいずれかのローラ駆動ユニット19は、各挿入ギャップGの直上流側に配設されている。続いて、本発明の実施形態に係るローラ駆動ユニット19の具体的な構成について説明する。図1から図3に示すように、適宜のチャンバー11の側部には、ユニットケース21が設けられており、換言すれば、適宜の支持台5には、ユニットケース21がチャンバー11を介して設けられており、ユニットケース21は、上側上面に、搬送方向に離隔した一対の開口部23を有している。なお、ユニットケース21の上面に複数の通孔図示省略が形成されるようにしたり、ユニットケース21が上側に搬送方向に離隔した一対の開口部23を有する代わりに、搬送方向へ延びた開口部図示省略を有するようにしたりしても構わない。ユニットケース21内には、取付プレート25が設けられており、この取付プレート25の上部には、基板Wの裏面を支持する一対の搬送ローラ27が搬送方向に離隔して設けられており、換言すれば、ユニットケース21内の上部には、一対の搬送ローラ27が取付プレート25を介して搬送方向に離隔して設けられている。また、各搬送ローラ27は、搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能であって、各搬送ローラ27各搬送ローラ27の一部は、ユニットケース21の対応する開口部23から上方向へ突出してある。なお、各搬送ローラ27が外周側に交換可能なOリング図示省略を備えるようにしたり、一対の搬送ローラ27の間にOリング図示省略が掛け回すように設けられたりしても構わない。取付プレート25の下部には、一対の搬送ローラ27を搬送幅方向に平行な軸心周り回転させる搬送モータ29が設けられており、換言すれば、ユニットケース21内の下部には、搬送モータ29が取付プレート25を介して設けられている。そして、搬送モータ29の出力軸31は、連動機構33によって一対の搬送ローラ27に連動連結してあり、この連動機構33は、搬送モータ29の出力軸31に一体的に設けられた主動プーリ35と、各搬送ローラ27に一体的に設けられた従動プーリ37と、主動プーリ35と一対の従動プーリ37に掛け回されたベルト39と備えている。なお、ベルト39の代わりに、Oリング図示省略を用いたり、主動プーリ35及び従動プーリ37等を備えた連動機構33の代わりに、主動マグネットギア及び従動マグネットギア等を備えた別の連動機構図示省略を用いたりしても構わない。ユニットケース21の下面には、ユニットケース21内の空気を吸引して一対の搬送ローラ27の周辺域に負圧負圧力を発生させる吸引ファン41が設けられている。また、吸引ファン41の吸引中心位置ファン中心位置は、一対の搬送ローラ27の間で基板Wを凹状に変形させるように搬送方向における一対の搬送ローラ27の中間位置本発明の実施形態にあっては、一対の搬送ローラ27の間の中央位置に設定されている。続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。各供給ファン13の作動によって各チャンバー11の内部換言すれば、各浮上ユニット15の内部へ圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット15のノズル17から圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファン41の作動によって各ユニットケース21内の空気を吸引して、各一対の搬送ローラ27の周辺域に負圧力を発生させると共に、各搬送モータ29の駆動によって各一対の搬送ローラ27を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、各一対の搬送ローラ27の周辺域の負圧力によって基板Wの裏面と複数の搬送ローラ27との接触を保った状態で、基板Wと複数の浮上ユニット15の間にエア溜まり層Sを生成しつつ、基板Wを搬送方向へ浮上搬送することができる。ここで、各ローラ駆動ユニット19において、一対の搬送ローラ27の間で基板Wを凹状に変形させるように吸引ファン41の吸引中心位置が搬送方向における一対の搬送ローラ27の中間位置に設定され、各列のローラ駆動ユニット19のうちのいずれかのローラ駆動ユニット19が各挿入ギャップGの直上流側に配設されているため、図1に示すように、基板Wの端部先端部が先行上流寄りの浮上ユニット15から挿入ギャップGを越えて後続下流寄りの浮上ユニット15に乗り継ぐ前に、基板Wの端部側を上方向へ変位させることができる。これにより、前記浮上ユニットの浮上高さを大きく設定しなくても、先行の浮上ユニット15側から挿入ギャップGを越えて後続の浮上ユニット15側へ乗り継ぐ際に、基板Wの端部と後続の浮上ユニット15等との干渉を回避することができる。従って、本発明の実施形態によれば、圧縮空気の消費量の増大を抑えて、浮上搬送装置1のランニングコストの低減を図りつつ、基板Wの搬送中における基板Wの損傷を十分に防止して、基板Wの品質を維持することができる。なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。