試料に機械的に与える負荷力を設定する負荷力設定工程と、前記試料と対向配置されたプローブを該試料に対して水平な方向XY方向および/または垂直な方向Z方向に振動させる振動工程と、振動させた前記プローブを前記試料に接触させて前記負荷力を負荷する負荷工程と、該負荷力の負荷による痕跡の深さを測定する痕跡深さ測定工程と、該痕跡深さ測定工程により得られた痕跡の深さのデータおよび前記設定した負荷力のデータから前記試料の機械的特性を評価する評価工程とを有することを特徴とする機械的特性評価方法。前記負荷力設定工程が、負荷力として衝撃力を設定する工程であり、前記痕跡深さ測定工程が、前記衝撃力由来の痕跡深さを測定する工程であり、前記評価工程で評価する機械的特性が耐衝撃性である請求項1に記載の機械的特性評価方法。前記負荷力設定工程が、負荷力として摩擦力を設定する工程であり、前記痕跡深さ測定工程が、前記摩擦力由来の痕跡深さを測定する工程であり、前記評価工程で評価する機械的特性が耐摩耗性である請求項1に記載の機械的特性評価方法。前記負荷力設定工程が、負荷力として衝撃力および摩擦力の両方を設定する工程であり、前記痕跡深さ測定工程が、該衝撃力および該摩擦力の両方に由来する痕跡深さを測定する工程であり、前記評価工程で評価する機械的特性が耐衝撃性および耐摩耗性の両方である請求項1に記載の機械的特性評価方法。前記負荷力設定工程で設定される衝撃力が、前記プローブが前記試料と接触している時の前記プローブのZ方向の振動振幅と前記プローブが前記試料と接触していない時の前記プローブのZ方向の振動振幅とにより設定されるものである請求項2または4に記載の機械的特性評価方法。前記負荷力設定工程で設定される摩擦力が、前記試料に対して水平な方向XY方向の前記プローブと前記試料との前記相対的な振動の振幅により設定されるものである請求項3または4に記載の機械的特性評価方法。プローブと、該プローブと対向配置する試料を載置する試料台と、前記プローブと前記試料とを相対的に三次元XYZ方向に走査する微動機構と、前記プローブを前記試料に対して垂直な方向Z方向に振動させる第一の振動源と、前記Z方向の振動量を設定する振動量設定手段と、を有する請求項1または2に記載の機械的特性評価方法を実施する機械的特性評価装置。プローブと、該プローブと対向配置する試料を載置する試料台と、前記プローブと前記試料とを相対的に三次元XYZ方向に走査する微動機構と、前記プローブと前記試料とを、前記試料に対して水平な方向XY方向に相対的に振動させる第二の振動源と、前記XY方向の振動量を設定する振動量設定手段と、を有する請求項1または3に記載の機械的特性評価方法を実施する機械的特性評価装置。プローブと、該プローブと対向配置する試料を載置する試料台と、前記プローブと前記試料とを相対的に三次元XYZ方向に走査する微動機構と、前記プローブを前記試料に対して垂直な方向Z方向に振動させる第一の振動源と、前記プローブと前記試料とを、前記試料に対して水平な方向XY方向に相対的に振動させる第二の振動源と、前記Z方向の振動量を設定する第一の振動量設定手段と、前記XY方向の振動量を設定する第二の振動量設定手段と、を有する請求項1または4に記載の機械的特性評価方法を実施する機械的特性評価装置。前記プローブが、それに備わるレバー部の先端に探針を有すると共に、該レバー部の基端側が本体部に片持ち状態に支持されたカンチレバーである請求項7または9に記載の機械的特性評価装置。前記第一の振動源が、前記カンチレバーを共振周波数またはその近傍の周波数で振動させるものである請求項10に記載の機械的特性評価装置。しかし、これらの装置や方法には、次のような課題があった。特許文献1の装置では、エキソ電子を利用して耐衝撃性を評価しているが、エキソ電子の計数には通常、ガイガーミュラー計数管またはガイガーカウンターと呼称される測定器が用いられる。しかし、エキソ電子はエネルギーが小さいため、その測定は通常、試料を直接ガイガーミュラー計数管の計数室内に挿入して行われる。従って、これをSPMと複合する特許文献1の装置は実現が困難だった。また、特許文献1の装置では、負荷する衝撃力の大きさをどのように設定するかの記載がなく、負荷した衝撃力と計数されたエキソ電子の量の関係、すなわち耐衝撃性を適切に評価することができなかった。さらに、特許文献1の装置では、試料の垂直方向への力の負荷のみに注目しており、面内方向への力の負荷については何ら考慮されていない。このため、耐摩耗性を同時に評価することができなかった。一方、特許文献2の方法では、試料の硬度のみに注目しており、耐摩耗性を評価することができなかった。また、コンタクトモードAFMを利用しており、振動源を有さないため、耐衝撃性の評価もできなかった。この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、負荷する衝撃力の大きさを予め設定することができ、試料の耐衝撃性や耐摩耗性等の機械的特性を適切に評価することができる、SPMの技術を利用した機械的特性評価方法および装置を提供することである。上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。本発明に係る機械的特性評価方法は、試料に機械的に与える負荷力を設定する負荷力設定工程と、前記試料と対向配置されたプローブを該試料に対して水平な方向XY方向および/または垂直な方向Z方向に振動させる振動工程と、振動させた前記プローブを前記試料に接触させて前記負荷力を負荷する負荷工程と、該負荷力の負荷による痕跡の深さを測定する痕跡深さ測定工程と、該痕跡深さ測定工程により得られた痕跡の深さのデータおよび前記設定した負荷力のデータから前記試料の機械的特性を評価する評価工程とを有することを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価方法は、上記本発明の機械的特性評価方法において、前記負荷力設定工程が、負荷力として衝撃力を設定する工程であり、前記痕跡深さ測定工程が、前記衝撃力由来の痕跡深さを測定する工程であり、前記評価工程で評価する機械的特性が耐衝撃性であることを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価方法は、上記本発明の機械的特性評価方法において、前記負荷力設定工程が、負荷力として摩擦力を設定する工程であり、前記痕跡深さ測定工程が、前記摩擦力由来の痕跡深さを測定する工程であり、前記評価工程で評価する機械的特性が耐摩耗性であることを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価方法は、上記本発明の機械的特性評価方法において、前記負荷力設定工程が、負荷力として衝撃力および摩擦力の両方を設定する工程であり、前記痕跡深さ測定工程が、該衝撃力および該摩擦力の両方に由来する痕跡深さを測定する工程であり、前記評価工程で評価する機械的特性が耐衝撃性および耐摩耗性の両方であることを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価方法は、上記本発明の機械的特性評価方法において、前記負荷力設定工程で設定される衝撃力が、前記プローブが前記試料と接触している時の前記プローブのZ方向の振動振幅と前記プローブが前記試料と接触していない時の前記プローブのZ方向の振動振幅とにより設定されるものであることを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価方法は、上記本発明の機械的特性評価方法において、前記負荷力設定工程で設定される摩擦力が、前記試料に対して水平な方向XY方向の前記プローブと前記試料との前記相対的な振動の振幅により設定されるものであることを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価装置は、上記本発明の機械的特性評価方法を実施する機械的特性評価装置であって、プローブと、該プローブと対向配置する試料を載置する試料台と、前記プローブと前記試料とを相対的に三次元XYZ方向に走査する微動機構と、前記プローブを前記試料に対して垂直な方向Z方向に振動させる第一の振動源と、前記Z方向の振動量を設定する振動量設定手段とを有することを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価装置は、上記本発明の機械的特性評価方法を実施する機械的特性評価装置であって、プローブと、該プローブと対向配置する試料を載置する試料台と、前記プローブと前記試料とを相対的に三次元XYZ方向に走査する微動機構と、前記プローブと前記試料とを、前記試料に対して水平な方向XY方向に相対的に振動させる第二の振動源と、前記XY方向の振動量を設定する振動量設定手段とを有することを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価装置は、上記本発明の機械的特性評価方法を実施する機械的特性評価装置であって、プローブと、該プローブと対向配置する試料を載置する試料台と、前記プローブと前記試料とを相対的に三次元XYZ方向に走査する微動機構と、前記プローブを前記試料に対して垂直な方向Z方向に振動させる第一の振動源と、前記プローブと前記試料とを、前記試料に対して水平な方向XY方向に相対的に振動させる第二の振動源と、前記Z方向の振動量を設定する第一の振動量設定手段と、前記XY方向の振動量を設定する第二の振動量設定手段とを有することを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価装置は、上記本発明の機械的特性評価装置において、前記プローブが、それに備わるレバー部の先端に探針を有すると共に、該レバー部の基端側が本体部に片持ち状態に支持されたカンチレバーであることを特徴とするものである。また、本発明に係る機械的特性評価装置は、上記本発明の機械的特性評価装置において、前記第一の振動源が、前記カンチレバーを共振周波数またはその近傍の周波数で振動させるものであることを特徴とするものである。本発明に係る機械的特性評価方法または装置によれば、負荷する衝撃力や摩擦力の大きさを予め設定することができるので、試料の耐衝撃性や耐摩擦力を適切に評価することができる。また、本発明に係る機械的特性評価方法または装置によれば、衝撃力と摩擦力を同時に負荷できるので、耐衝撃性と耐摩耗性を同時に評価することができる。以下、本発明に係る機械的特性評価方法および装置の一である、耐衝撃性評価方法および装置、並びに耐衝撃性耐摩耗性評価方法および装置の実施形態を、図面を参照して説明する。実施例1本発明の第1実施形態を、図1を参照して説明する。図1に示す装置20は、本発明に係る耐衝撃性評価装置の一実施形態である。本装置20は、試料7を載置する試料台8と、試料7に対向配置される探針4を先端に有するカンチレバー5と、カンチレバー5の変位を検出する光てこ系を構成する光源2および受光部3と、カンチレバー5を試料7に対して平行な方向XY方向および垂直な方向Z方向に走査する微動機構1と、カンチレバー5をZ方向に振動させる振動板6と、振動板6に電圧を供給する第1加振電源9と、その振動量を設定し第1加振電源9を駆動する第1振動量設定部10と、微動機構1をXY方向に駆動するXY駆動部11およびZ方向に駆動するZ駆動部12と、第1振動量設定部10からの駆動信号および受光部3からの出力信号に基づいてZ駆動部12を制御する制御部13と、XY駆動部11およびZ駆動部12から出力される各駆動信号のデータ、および受光部3からの出力信号のデータを処理して試料7の耐衝撃性を示すデータを出力するデータ処理部14と、データ処理部14から出力されたデータを表示する表示部15とを備えている。次に、このように構成された耐衝撃性評価装置20により試料7の耐衝撃性を評価する場合について説明する。Z方向に振動させたカンチレバー5の自由端の探針4を試料7に接触させると、カンチレバー5の振動振幅は減衰する。すなわち、この振動振幅の減衰量が、試料7に負荷された衝撃力を示す。従って、振動振幅の減衰量を予め設定し、これが一定になるよう微動機構1のZ方向の動きを制御することにより、一定の衝撃力を負荷することができる。このことを基に、まず始めに、探針4が試料7と接触していない時のカンチレバー5の振動振幅A0および探針4が試料7と接触している時のカンチレバー5の振動振幅Aを、第1振動量設定部10に設定する。次に、設定に基づいて第1振動量設定部10が第1加振電源9を駆動し、振動板6によりカンチレバー5を振動振幅A0で振動させる。次に、図示しない粗動機構がカンチレバー5と試料7を近づけ、探針4と試料7を接触させる。このとき、制御部13は、カンチレバー5の振動振幅が一定値Aになるよう、Z駆動部12を介して微動機構1を制御する。これにより、衝撃力による痕跡が試料7に刻まれる。その後、SPMの形状測定手法によって本装置20を動作させることにより、データ処理部14が痕跡の深さを測定する。そして、データ処理部14が、測定された痕跡の深さ値と振動振幅の減衰量A0-Aとを関連づける処理を行い、結果を表示部15に表示する。以上の工程を、振動振幅Aを変えながら複数回繰り返すことで、痕跡の深さと振動振幅の減衰量の関係がわかるので、それにより試料の耐衝撃性を評価することができる。実施例2本発明の第2実施形態を、図2を参照して説明する。図2に示す装置21は、本発明に係る耐衝撃性耐摩耗性評価装置の一実施形態である。本装置21は、図1の耐衝撃性評価装置20の構成に加えて、微動機構1をX方向またはY方向に振動させる第2加振電源16と、その振動量を設定し第2加振電源16を駆動する第2振動量設定部17とを備えている。次に、このように構成された耐衝撃性耐摩耗性評価装置21により試料7の耐衝撃性耐摩耗性を評価する場合について説明する。探針4と試料7を接触させた状態で、両者をX方向またはY方向に相対的に振動させると、試料7にX方向またはY方向の摩擦力が負荷される。この摩擦力の大きさは、相対的な振動の振幅による。従って、この振動の振幅を予め設定することにより、一定の摩擦力を負荷することができる。このことを基に、まず始めに、X方向またはY方向への相対的な振動の振幅A1を、第2振動量設定部17に設定する。また、実施例1と同様、探針4が試料7と接触していない時のカンチレバー5の振動振幅A0および探針4が試料7と接触している時のカンチレバー5の振動振幅Aを、第1振動量設定部10に設定する。次に、設定に基づいて第2振動量設定部17が第2加振電源16を駆動し、微動機構1をX方向またはY方向に振動振幅A1で振動させる。また、設定に基づいて第1振動量設定部10が第1加振電源9を駆動し、振動板6によりカンチレバー5を振動振幅A0で振動させる。次に、図示しない粗動機構がカンチレバー5と試料7を近づけ、探針4と試料7を接触させる。このとき、制御部13は、カンチレバー5の振動振幅が一定値Aになるよう、Z駆動部12を介して微動機構1を制御する。これにより、衝撃力および摩擦力による痕跡が試料7に刻まれる。その後、SPMの形状測定手法によって本装置21を動作させることにより、データ処理部14が痕跡の深さを測定する。そして、データ処理部14が、測定された痕跡の深さ値とカンチレバー5のZ方向の振動振幅の減衰量A0-A、および痕跡の深さ値と微動機構1のX方向またはY方向の振動振幅を、それぞれ関連づける処理を行い、結果を表示部15に表示する。以上の工程を、振動振幅Aを変えながら複数回繰り返すことで、痕跡の深さとカンチレバーのZ方向の振動振幅の減衰量の関係、および痕跡の深さと微動機構のX方向またはY方向の振動振幅の関係がわかるので、それらにより試料の耐衝撃性耐摩耗性を評価することができる。なお、本発明の技術範囲は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、先端に探針を有するカンチレバーをプローブとして用いているが、カンチレバー形状ではない探針金属針等を用いることもできる。また、上記実施形態では、プローブ側に微動機構を有し、プローブを試料に対して三次元XYおよびZ方向に移動させるプローブスキャン方式を採っているが、試料側に微動機構を有する試料スキャン方式を採ることもできる。また、上記実施形態では、カンチレバーの変位を光てこ系で検出しているが、光てこ系を用いずに、自己検知方式のカンチレバーを用いることもできる。この他、上記実施形態において、カンチレバーを共振周波数またはその近傍の周波数で振動させることもできる。このようにすると、衝撃力の負荷と痕跡の深さの測定の両方に、SPMの一である振動モードAFMの手法を共通的に用いることができるので、装置構成がよりシンプルになり、小型化もより容易になる。また、動的手法で痕跡の深さを測定できるので、静的手法に比べて測定の精度を上げることができ、よって評価の精度も上げることができる。