"a機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル、b噴出口を多数設けたクーラント液供給管1対を前記ワークテーブルの前後の機枠に取り付けたワーク表面クーラント液供給機構、cコラムに上下昇降可能に取り付けた工具軸に軸承された研削研磨工具、d前記研削工具の近傍に設けられ、研削工具とワークとが接する加工点に研削液を供給する研削液供給ノズル、を備える研削装置を用い、前記ワークテーブル上にワークを固定し、ワークテーブルを左右方向に往復反転移動させ前記一対のワーク表面クーラント液供給機構よりクーラント液を前記ワーク表面に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させるとともに、前記研削液供給ノズルより前記研削工具に向けて研削液を供給し、回転する前記研削工具を下降させて前記左右方向に往復反転移動するワークテーブル上に固定されたワーク表面に当接させてワーク表面の研削加工を開始し、前記ワークと研削工具の相対的な動きにより研削工具でワーク表面を研削加工することを特徴とする長尺状ワークピースの研削方法。本願発明者らは、上記特許文献1に記載のピッチ研磨装置、特許文献2に記載の平面研磨装置および特許文献3に記載の平面記載装置は、長尺状ワークピースの左右方向の長さが5000mm程度のものなら反りのない鏡面を有する研削研磨加工されたワークピースを与えるが、長さが7000~12000mmと長尺のワークピースでは、ワークに反りが生じ、左右の長手方向の真直度が1.3~2.5μmと前後方向の真直度0.1~0.3μmと比較して大きい値を示す原因は、工具直径が250~360mm径、または砥石車の直径が200~360mm径、砥石車幅が25~60mm幅では、工具とワークピースが接する加工点に供給される研削液の量では、研削作用点から遠く離れているワークピース部分の表面がワークテーブルの左右往復反転移動する間に乾燥してしまうことが原因で機械加工中のワークピースの表面温度が一定していないことに起因すると推量した。ワークピースの電磁チャックの温度管理のみでは、かかるユーザーの希望を解決することが出来ないので、ワークピースの研削研磨加工中においてもワークピースおよび電磁チャックの温度が一定プラスマイナス1.0°C以内に保たてるように、ワークテーブル前後の機枠にクーラント液供給管1対を研削研磨装置に取り付け、温度管理が為されたクーラント液をワークピースの表面に常時供給してワークピース表面に常時クーラント液膜が形成されることによりワークピースおよび電磁チャックの温度を一定に保つことができることを実験し、本願発明に想到した。本発明の請求項1は、a機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられたワークテーブル、b噴出口を多数設けたクーラント液供給管1対を前記ワークテーブルの前後の機枠に取り付けたワーク表面クーラント液供給機構、cコラムに上下昇降可能に取り付けた工具軸に軸承された研削研磨工具、d前記研削工具の近傍に設けられ、研削工具とワークとが接する加工点に研削液を供給する研削液供給ノズル、を備える研削装置を用い、前記ワークテーブル上にワークを固定し、ワークテーブルを左右方向に往復反転移動させ前記一対のワーク表面クーラント液供給機構よりクーラント液を前記ワーク表面に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させるとともに、前記研削液供給ノズルより前記研削工具に向けて研削液を供給し、回転する前記研削工具を下降させて前記左右方向に往復反転移動するワークテーブル上に固定されたワーク表面に当接させてワーク表面の研削加工を開始し、前記ワークと研削工具の相対的な動きにより研削工具でワーク表面を研削加工することを特徴とする長尺状ワークピースの研削方法を提供するものである。研削加工中において、常時、ワーク表面全域にクーラント液膜が形成され、ワークの温度を一定に保つことができるので、反りの小さい、真直度のバラツキが小さい研削加工ワークを製作することができる。本発明を実施する研削装置は、研削装置が噴出口を多数設けたクーラント液供給管1対20a,20bを前記ワークテーブルの前後の機枠に取り付けたワーク表面クーラント液供給機構20を備える点を除いては、前記特許文献1、特許文献2、特許文献3記載および既知のコラム式、サドル式、門型の平面研磨研削装置100が使用できる。研削工具3としては、砥石車、カップホイール型ダイヤモンド砥石、平砥石、ピッチポリシャ、PCD研削砥石などを使用することができる。図1において、ワーク表面クーラント液供給機構20は、孔径2~5mmの噴出口20dを30cm間隔に多数設けた口径8~15mmのクーラント液供給管一対20a,20bを前記ワークテーブル4の前後の機枠2に取り付けており、クーラント液供給管20a,20bの長さは、ワークテーブル4の左右移動幅より10~20cm若干長い長さとなっている。前記クーラント液供給管一対20a,20bの先端は分岐管20cに結合され、この分岐管にクーラント液タンクからポンプでクーラント液が供給され、噴出口20dより噴流20eがワークw上面に供給される。この噴出口20dのクーラント液供給管上での穿孔位置は、噴出口より10~250リットル/分の割合で噴流されるクーラント液がワーク上表面に届くように設けられ、供給されたクーラント液がワークテーブル4の左右移動によりワーク上表面に液膜を形成するとともに、電磁チャック13にも垂下、もしくは電磁チャック13にもクーラント液の噴流20eがかかって電磁チャックを冷却する。更に、ワークテーブル4をも冷却する。研削工具砥石車3の近傍には、研削工具3とワークwとが接する加工点に研削液を供給する研削液供給ノズル11が設けられ、研削液クーラント液が2~30リットル/分の割合で供給される。クーラント液、研削液はそれぞれ別のクーラント液タンクに貯蔵され、それらの保管温度は、コラム9やワークテーブル4、電磁チャックを冷却するクーラント液と略同一温度に保たてられる。実施例コラム型超精密平面研削盤UPG12000商品名のワークテーブル4の前後の機枠6に、孔径4mmの噴出口を30cm間隔に多数設けた口径12mm、長さ12050mmのクーラント液供給管一対20a,20bを取り付け、これらクーラント液供給管の一方の端を分岐管に連結し、分岐管の先をクーラント液タンクに臨ませ、ポンプによりクーラント液を分岐管に供給できる構造とした。研削工具3として、砥石径300mm、砥石幅50mmの砥石車を用い、前後幅4800mm、左右長さ12000mm寸法のワークテーブル4上にワークwを電磁チャックを介して固定した。前記ワークテーブル4を左右方向に往復反転移動させ、前記一対のワーク表面クーラント液供給機構20よりクーラント液を1つの噴出孔より40リットル/分の割合で前記ワーク表面上に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させるとともに、前記研削液供給ノズル11より前記砥石車3に向けて10リットル/分量の研削液を供給した。回転する前記砥石車3を下降させて前記左右方向に往復反転移動するワークテーブル4上に固定されたワーク表面に当接させてワーク表面の研削加工を開始した。前記ワークwと砥石車3の相対的な動き前後、左右、上下により砥石車3でワーク表面を研削加工し、ワークの前後方向の真直度が0.3μm、ワークの左右方向の真直度が0.6μmの研削加工ワークを得た。"