回転可能な駆動軸、この駆動軸に固定されるロータコア及び、前記ロータコアの径外方向に設けられるステータを有するモータと、前記ステータを固定支持するとともに前記駆動軸の一端を回転可能に支持する後ハウジングと、前記駆動軸に対し軸中心線が偏心するとともに両端が当該駆動軸に平行に連結される偏心軸と、前記偏心軸の径外方向に前記駆動軸と同軸上に内歯を有するリングギヤと、前記内歯に噛み合う外歯を有するとともに、前記偏心軸に対し回転可能にかつ前記駆動軸の軸中心線周りに公転可能に支持されるプラネタリギヤと、前記プラネタリギヤの軸方向反ロータコア側で前記駆動軸と同軸上に回転可能に支持されるドライブギヤと、前記プラネタリギヤの自転成分を前記ドライブギヤに伝達する回転伝達手段と、前記ドライブギヤの外歯に噛み合う外歯を有するドリブンギヤと、前記ドリブンギヤに連結され、前記駆動軸に平行に設けられる出力軸と、前記ドライブギヤ、前記ドリブンギヤ、前記出力軸、および前記駆動軸の他端を回転可能に支持する前ハウジングと、前記前ハウジングと前記後ハウジングとの間に設けられ、前記リングギヤの径外方向で前記リングギヤ全周に亘り前記リングギヤの径方向の変位を規制する中ハウジングと、を備えることを特徴とする回転式アクチュエータ。前記回転伝達手段は、前記プラネタリギヤと前記ドライブギヤとの一方に設けられる係合部と、前記プラネタリギヤと前記ドライブギヤとの他方に設けられ前記係合部と係合関係にある被係合部とから構成されることを特徴とする請求項1に記載の回転式アクチュエータ。前記係合部は、前記プラネタリギヤに前記偏心軸の軸中心線と同心円上に設けられる複数のトルク伝達用突起であり、前記被係合部は、前記ドライブギヤに前記駆動軸の軸中心線と同心円上に設けられる複数のトルク伝達用穴であることを特徴とする請求項2に記載の回転式アクチュエータ。前記中ハウジングは、樹脂製の中ハウジング本体と、前記中ハウジング本体に埋め込まれ前記リングギヤの径方向の変位を規制するリングギヤ保持内壁を有する金属製の環状部材とからなることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の回転式アクチュエータ。前記中ハウジングと前記後ハウジングとの間に設けられる環状シール部材をさらに備え、前記環状部材は、前記環状シール部材に対し径方向で重なるように設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の回転式アクチュエータ。前記中ハウジングおよび前記後ハウジングが一体に設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の回転式アクチュエータ。ところで、特許文献1では、ドライブギヤおよびドリブンギヤは有底筒状のフロントハウジングの底部に収容され、またリングギヤは有底筒状のフロントハウジングの開口部に収容されている。しかしリングギヤのうち、周方向においてドリブンギヤに重なる部位は、フロントハウジングによる支持が欠落している。そのため、プラネタリギヤがリングギヤと噛み合いながら駆動軸まわりに公転するとき、リングギヤの支持欠落部がプラネタリギヤからの力を受けて径外方向へ変形する可能性がある。したがって、リングギヤの変形に起因するプラネタリギヤとリングギヤとの噛み合わせ不良が生じ、出力軸へのトルク伝達効率が低下するという問題がある。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、リングギヤの変形に起因するプラネタリギヤとリングギヤとの噛み合わせ不良を抑制することができる回転式アクチュエータを提供することにある。請求項1に記載の発明は、モータ、後ハウジング、偏心軸、リングギヤ、プラネタリギヤ、ドライブギヤ、回転伝達手段、ドリブンギヤ、出力軸、前ハウジング、および中ハウジングを備える。モータは、回転可能な駆動軸、この駆動軸に固定されるロータコア及び、ロータコアの径外方向に設けられるステータを有する。後ハウジングは、ステータを固定支持するとともに駆動軸の一端を回転可能に支持する。偏心軸は、駆動軸に対し軸中心線が偏心するとともに両端がその駆動軸に平行に連結される。リングギヤは、偏心軸の径外方向に駆動軸と同軸上に設けられ、内歯を有する。プラネタリギヤは、リングギヤの内歯に噛み合う外歯を有するとともに、偏心軸に対し回転可能にかつ駆動軸の軸中心線周りに公転可能に支持される。ドライブギヤは、プラネタリギヤの軸方向反ロータコア側で駆動軸と同軸上に回転可能に支持される。回転伝達手段は、プラネタリギヤの自転成分をドライブギヤに伝達する。ドリブンギヤは、ドライブギヤの外歯に噛み合う外歯を有する。出力軸は、ドリブンギヤに連結され、駆動軸に平行に設けられる。前ハウジングは、ドライブギヤ、ドリブンギヤ、出力軸、および駆動軸の他端を回転可能に支持する。中ハウジングは、前ハウジングと後ハウジングとの間に設けられ、リングギヤの径外方向でリングギヤ全周に亘りそのリングギヤの径方向の変位を規制する。そのため、プラネタリギヤがリングギヤと噛み合いながら駆動軸まわりに公転するとき、その公転位置に拘わらず中ハウジングがリングギヤを支持する。したがって、リングギヤの径外方向への変形が抑制されるので、リングギヤの変形に起因するプラネタリギヤとリングギヤとの噛み合わせ不良を抑制することができる。それにより出力軸へのトルク伝達効率の低下を抑制することができる。また、出力軸は駆動軸に平行に設けられるので、アクチュエータの外郭を扁平形状とすることが可能となり、アクチュエータの軸方向寸法を小さくすることができる。そのため、車両搭載上の制約に対応し易いアクチュエータを得ることができる。また、ドライブギヤとドリブンギヤとの間の減速比を適宜設定することにより出力軸からの出力トルクを大きくすることができる。請求項2に記載の発明では、回転伝達手段は、プラネタリギヤとドライブギヤとの一方に設けられる係合部と、プラネタリギヤとドライブギヤとの他方に設けられ係合部と係合関係にある被係合部とから構成される。そのため、駆動軸の回転速度に対し減速されたプラネタリギヤの自転成分を、係合部から被係合部を経由してドライブギヤに伝達することができる。請求項3に記載の発明では、係合部は、プラネタリギヤに偏心軸の軸中心線と同心円上に設けられる複数のトルク伝達用突起である。そして被係合部は、ドライブギヤに駆動軸の軸中心線と同心円上に設けられる複数のトルク伝達用穴である。そのため、駆動軸の回転速度に対し減速されたプラネタリギヤの自転成分を、トルク伝達用突起からトルク伝達用穴を経由してドライブギヤに伝達することができる。請求項4に記載の発明では、中ハウジングは、樹脂製の中ハウジング本体と、その中ハウジング本体に埋め込まれリングギヤの径方向の変位を規制するリングギヤ保持内壁を有する金属製の環状部材とからなる。そのため、リングギヤの保持力を十分に確保しつつ中ハウジングの軽量化を図ることができる。請求項5に記載の発明は、中ハウジングと後ハウジングとの間に設けられた環状シール部材をさらに備える。そして環状部材は、環状シール部材に対し径方向で重なるように設けられている。そのため、環状シール部材から中ハウジング本体に作用する力を環状部材が受けるようになっており、中ハウジングの剛性が高められているので、中ハウジング本体の変形を抑制することができる。請求項6に記載の発明では、中ハウジングおよび後ハウジングが一体に設けられている。そのため、ハウジングの部品点数を少なくすることができる。以下、本発明の複数の実施形態による回転式アクチュエータ以下アクチュエータというを図面に基づいて説明する。なお、複数の実施形態において、実質的に同一の構成部位には同一の符号を付して説明を省略する。第1実施形態本発明をシフトバイワイヤシステムに適用した第1実施形態について図1に基づいて説明する。シフトバイワイヤシステム7は、運転者により操作される例えばセレクトレバー等のレンジ選択部材の操作位置に応じてアクチュエータ1を作動させて車両用自動変速機のシフトレンジを切り換える。シフトバイワイヤシステム7は、レンジ選択部材とアクチュエータ1とがワイヤ電線を経由して電気的に接続されるバイワイヤシステムであり、電子制御ユニット71ElectricControlUnit;以下ECUという、アクチュエータ1、コントロールロッド72、ディテント機構73、およびパーキングロック機構74を備えている。第1実施形態の車両用自動変速機に採用する遊星歯車式の有段変速機は、入出力部材間に設けられる複数の遊星歯車装置の各回転要素と他部材との係合関係を油圧式クラッチで制御することにより、変速段およびシフトレンジを切り換える。油圧式クラッチに所定圧の作動油を供給する油圧制御装置には、レンジ切換弁としてのマニュアルバルブ70が設けられている。このマニュアルバルブ70は、バルブボディ700内に可動可能に収容された弁部材701を備え、この弁部材701が軸方向に移動することで油圧制御装置内の油路を切り換えて有段変速機のシフトレンジを切り換える。有段変速機のシフトレンジには、前進走行用のDレンジ、後進走行用のRレンジ、駐車用のPレンジ、および動力遮断用のNレンジが設定されている。ECU71は、図示しないCPU、ROM、およびRAMなどを有するマイクロコンピュータから構成されている。ECU71は、図示しないレバーポジションセンサおよびエンコーダ75図3参照に電気的に接続している。レバーポジションセンサは、セレクトレバーの操作位置を電気信号としてECU71に出力する。エンコーダ75は、アクチュエータ1のモータ2図3参照の回転角度量に対応する所定のカウント数を電気信号としてECU71に出力する。ECU71は、ROMに記録されている所定の制御プログラムにしたがって入力された信号に基づきアクチュエータ1を制御する。具体的には、ECU71は、アクチュエータ1を作動に先立って、実際のシフトレンジからセレクトレバーの操作位置に対応する指示シフトレンジへ切り換えるためのアクチュエータ1の回転角度量を算出する。そして、算出した回転角度量が得られるまでアクチュエータ1を回転駆動させる。アクチュエータ1は、その出力軸5図3参照がコントロールロッド72に機械的に連結されており、指示シフトレンジに応じてコントロールロッド72を回転させる。なおアクチュエータ1の構成は後に詳述する。コントロールロッド72は、その軸中心線まわりの回転可能に設けられた軸状部材であり、後述のディテントプレート730が一体的に固定されている。アクチュエータ1からコントロールロッド72に入力されたトルクはディテントプレート730に伝達される。ディテント機構73は、ディテントプレート730およびディテントスプリング733を備えている。ディテントプレート730は、コントロールロッド72から径外方向に突設された板状部材であり、突き出した先端面に複数の係合溝731を有している。またディテントプレート730は、コントロールロッド72の軸方向に平行な方向へ突設された係合突起732を形成している。この係合突起732は、マニュアルバルブ70の弁部材701に対して弁部材701の軸方向の係合可能である。ディテントスプリング733は、マニュアルバルブ70のバルブボディ700に基端部が固定された片持ち状のばね板である。二股に分かれるディテントスプリング733の先端部にはローラ734が設けられている。ディテントスプリング733のローラ734がディテントプレート730の複数の係合溝731のいずれか1つに係合することによりディテントプレート730およびコントロールロッド72の回動位置が固定されるようになっている。ディテント機構73はコントロールロッド72の回り止め手段として機能する。パーキングロック機構74は、パークロッド740、カム部材741、パーキングロックポール742、およびパーキングギヤ743を備えている。パークロッド740の基端部はディテントプレート730に連結されている。そしてパークロッド740の先端部は、ディテントプレート730が回動するにしたがってパーキングギヤ743の軸方向に略平行な方向へ往復移動する。カム部材741はパークロッド740の先端部に設けられ、その先端部と共に往復移動する。パーキングロックポール742にはパーキングギヤ743に接近および離間可能な噛合突起部742aが設けられている。この噛合突起部742aは、カム部材741がパーキングロックポール742の先端部と台座744との間に挿入されるとパーキングギヤ743側へ移動してそのパーキングギヤ743に噛み合い、パーキングギヤ743が固定された有段変速機の出力部材を回転不能に固定する。また噛合突起部742aは、カム部材741がパーキングロックポール742の先端部と台座744との間から抜け出すとパーキングギヤ743から離間してそのパーキングギヤ743との噛み合いを解除し、有段変速機の出力部材を回転可能とする。以上のように構成されたシフトバイワイヤシステム7は、セレクトレバーにより指示される指示シフトレンジが変更されると、ECU71からアクチュエータ1の作動指令信号を出力する。その作動指令信号に従いアクチュエータ1が作動すると、コントロールロッド72およびディテントプレート730が回動する。その回動によりディテントプレート730に係合された弁部材701が軸方向に移動すると、マニュアルバルブ70が作動してシフトレンジが切り換わると共にカム部材741が軸方向へ移動する。指示シフトレンジがPレンジである場合、カム部材741がパーキングロックポール742を押し上げることでパーキングロックポール742の噛合突起部742aとパーキングギヤ743とが噛み合い、有段変速機の出力部材を回転不能に固定する。以下、アクチュエータ1の構成を図2~図6に基づいて詳細に説明する。図2に模式的に示すように、アクチュエータ1は、モータ2、サイクロイド減速部3、平行軸歯車減速部4、および出力軸5を外郭部材6内に備えている。第1実施形態の外郭部材6は、平行軸歯車減速部4および出力軸5を主に収容する前ハウジング60と、サイクロイド減速部3を主に収容する中ハウジング61と、モータ2を主に収容する後ハウジング62との3つのハウジングから構成されている。なお本実施形態では、サイクロイド減速部3および平行軸歯車減速部4が減速機を構成している。先ずモータ2の構成を説明する。モータ2は、スイッチドリラクタンスモータSRモータであり、ロータ20およびステータ21を備えている。ロータ20は、駆動軸200およびロータコア201から構成されている。駆動軸200は、後ハウジング62側の一端部200aが第1転がり軸受80により回転可能に支持され、また前ハウジング60側の他端部200bが第2転がり軸受81により回転可能に支持されている。第1転がり軸受80は後ハウジング62に嵌合されている。また第2転がり軸受81は後述のドライブギヤ40の内側に嵌合されている。そして駆動軸220の一端部200aと他端部200bとの間には、一端部200a側から順に大径部200cおよび偏心部200dが設けられている。偏心軸としての偏心部200dは、一端部200a、大径部200c、および他端部200bの第1軸中心線φ1に対し偏心し且つ平行な第2軸中心線φ2上に設けられている。そして一端部200a、大径部200c、偏心部200d、および他端部200bは、隣接する部材同士が互いに連結されている。ロータコア201は、大径部200cの外壁に固定されている。そしてロータコア201は、周方向の45度毎に径外方向へ向けて突出する複数の突極図示せずを形成する。ステータ21は、ロータ20の径外方向に設けられ、後ハウジング62の内壁面に固定されており、ステータコア210およびコイル211から構成されている。ステータコア210は、周方向の30度毎に径内方向に向けて突出する複数のステータティース図示せずを形成する。コイル211は、各ステータティースに巻回されたU相、V相、およびW相のコイルから成る。以上のように構成されたモータ2では、ECU71によりU相→V相→W相の順にコイル211への通電が切り換えられるとロータ20が一方向へ回転する。そして、ECU71によりW相→V相→U相の順にコイル211への通電が切り換えられるとロータ20が他方向へ回転する。U相、V相、およびW相のコイルへの通電が一巡する毎にロータ20が45度回転する。エンコーダ75は、ロータ20に固定された磁石750、その磁石750の磁気を検出するホールIC751、及びそのホールIC751が実装された基板752から構成されている。エンコーダ75は、ロータ20の回転に伴いホールIC751に接近および離間する磁石750の磁気の大きさを検出し、ロータ20がホールIC751に最接近する回数をカウントしてECU71に出力する。ECU71は、上記カウントされた回数すなわちカウント数に応じてロータ20の回転角度量を算出する。次にサイクロイド減速部3の構成を説明する。サイクロイド減速部3は、遊星歯車減速機の一種であり、駆動軸200の偏心部200dの外側にモータ2に隣接して設けられ、リングギヤ30およびプラネタリギヤ31を備えている。リングギヤ30は、偏心部200dの径外方向において第1軸中心線φ1上に設けられ、径方向の移動不能且つ回動不能に中ハウジング61に固定された環状の内歯車である。図4および図5に示すように、リングギヤ30の内周部には内歯が形成されている。そしてリングギヤ30の外壁には、径外方向へ突出するように周方向の等間隔に複数個第1実施形態では6個設けられた回止め突起300が形成されている。なお、リングギヤ30と中ハウジング61との嵌合構造については後に詳述する。プラネタリギヤ31は、偏心部200dの外壁面に嵌合された第3転がり軸受82により自転可能に支持され、駆動軸200により第1軸中心線φ1まわりの公転可能に支持された外歯車である。図5に示すように、プラネタリギヤ31の外周部には、リングギヤ30の内歯に噛み合う外歯が形成されている。またプラネタリギヤ31には、係合部としてのトルク伝達用突起310が複数設けられている。このトルク伝達用突起310は、第2軸中心線φ2の同心円a上において周方向の等間隔にドライブギヤ40側へ突出する突起であり、後述のトルク伝達用穴402と共に、プラネタリギヤ31の自転成分をドライブギヤ40に伝達するための回転伝達手段として機能する。以上のように構成されているサイクロイド減速部3では、モータ2が作動して駆動軸200が第1軸中心線φ1まわりに回転すると、プラネタリギヤ31が、図6に矢印bで示すように第1軸中心線φ1まわりに公転しつつ図6に矢印cで示すように第2軸中心線φ2まわりに自転する。プラネタリギヤ31は、偏心部200dが第1軸中心線φ1まわりに1回転する毎に、プラネタリギヤ31の外歯とリングギヤ30の内歯との歯数差に応じた所定の角度だけプラネタリギヤ31の公転方向とは反対側へ自転する。そのプラネタリギヤ31の自転速度は、駆動軸200の第1軸中心線φ1まわりの回転速度に比べて大きく減速する。サイクロイド減速部3は、モータ2から入力される回転を減速してドライブギヤ40に出力する。次に平行軸歯車減速部4および出力軸5の構成を説明する。出力軸5は、駆動軸200に平行に設けられ、前ハウジング60に嵌合された第2すべり軸受84によって第1軸中心線φ1に平行な第3軸中心線φ3まわりに回転可能に支持された円筒状部材である。平行軸歯車減速部4は、ドライブギヤ40、およびドライブギヤ40に噛み合うドリブンギヤ41から構成されている。ドライブギヤ40は、第1軸中心線φ1上に設けられ、プラネタリギヤ31に対してモータ2とは反対側に隣接する位置において第1すべり軸受83により回転可能に支持された円筒状の第1ボス部400と、その第1ボス部400のプラネタリギヤ31側の端部から径外方向へ周方向に連続して突設された円環板状のフランジ部401とを備えている。第1すべり軸受83は、前ハウジング60の底部に嵌合されている。またドライブギヤ40は、前ハウジング60との間に設けられた円環板状のスラストすべり軸受85によりスラスト方向において支持されている。フランジ部401の外周部には第1外歯403が形成されている。またフランジ部401には、プラネタリギヤ31のトルク伝達用突起310が遊嵌する被係合部としてのトルク伝達用穴402が複数設けられている。このトルク伝達用穴402は、第1軸中心線φ1の同心円上において軸方向に貫通する貫通穴であり、トルク伝達用穴402と共に回転伝達手段を構成する。ドライブギヤ40は、トルク伝達用突起310とトルク伝達用穴402との周方向の係合によってプラネタリギヤ31にトルク伝達可能に連結されている。ドリブンギヤ41は、出力軸5の外壁に例えば圧入固定された第2ボス部410と、その第2ボス部410のうちモータ2側の端部からドライブギヤ40側へ突設されドライブギヤ40に噛み合う板状突出部411とを備えている。板状突出部411の突出先端部には、第1外歯403に噛み合う第2外歯412が形成されている。第2外歯412のピッチ円半径は、第1外歯403のピッチ円半径よりも小さく設定されている。また板状突出部411は、そのドリブンギヤ41の第2外歯412の位置よりも出力軸5との連結部の位置が軸方向ロータコア側にシフトする曲部411aを有する。以上のように構成された平行軸歯車減速部4は、プラネタリギヤ31の自転成分がトルク伝達用突起310およびトルク伝達用穴402を経由してドライブギヤ40に入力されると、そのプラネタリギヤ31の自転成分を減速してドライブギヤ40に伝達し、出力軸5に出力する。出力軸5に出力された回転はコントロールロッド72に伝達される。次に、外郭部材6を構成する前ハウジング60、中ハウジング61、および後ハウジング62について説明する。前ハウジング60は、ドライブギヤ40およびドリブンギヤ41の外側に設けられ、サイクロイド減速部3側に向けて開口する有底短筒状の樹脂製のハウジングである。前ハウジング60は、第1すべり軸受83が嵌合する有底嵌合孔600、および第2すべり軸受84が嵌合すると共にコントロールロッド72が挿入される貫通孔601を有している。また前ハウジング60は、第1すべり軸受83を介してドリブンギヤ41を回転可能に支持すると共に、第2転がり軸受81、ドリブンギヤ41、および第1すべり軸受83をそれぞれ介して駆動軸200の他端部200bを回転可能に支持している。また前ハウジング60は、第2すべり軸受84を介して出力軸5およびドリブンギヤ41を回転可能に支持している。前ハウジング60の底部には、第3軸中心線φ3に平行な方向へ突出する円筒状突出部602が設けられている。この円筒状突出部602は、図示しないミッションケースの開口部内に挿入される。円筒状突出部602とミッションケースの開口部との間に形成される隙間は、円筒状突出部602の外周部に嵌めつけられたOリング86により液密に封止される。後ハウジング62は、モータ2の外側に設けられサイクロイド減速部3側に向けて開口する有底短筒状の樹脂製の後ハウジング本体620と、その後ハウジング本体620に埋め込まれた金属製の有底短筒部材621とを備えている。有底短筒部材621は、その一部が後ハウジング本体620内にインサートモールドされている。モータ2のステータコア210は、有底短筒部材621の外側筒部の内壁面に嵌合することで径方向の移動不能に固定されている。有底短筒部材621の底部に設けられモータ2側へ突出する比較的小径の内側筒部は、その内側に嵌合された第1転がり軸受80を保持する。後ハウジング62は、第1転がり軸受80を介して駆動軸200の一端部200aを回転可能に支持する。後ハウジング本体620には、有底短筒部材621の他にもモータ2およびエンコーダ75からの配線部材622がインサートモールドされている。後ハウジング本体620には径外方向へ突設するコネクタ623が設けられており、配線部材622は後ハウジング本体620の底部を通ってコネクタ623内まで延びている。ECU71からの配線を収容する図示しないコネクタとコネクタ623とが接続されることにより、モータ2およびエンコーダ75がECU71に電気的に接続されるようになっている。中ハウジング61は、前ハウジング60と後ハウジング62との間に設けられてそれらに組み合わせられる環状の樹脂製の中ハウジング本体610と、その中ハウジング本体610にインサートモールドされた金属製の環状部材としての環状プレート611とを備えている。中ハウジング61の一部を切り欠いて断面で示す図4のように、環状プレート611は、回止め突起300に係合してリングギヤ30の回動を規制する複数の係合溝部611aと、回止め突起300を除くリングギヤ30の外壁すべての径外方向に設けられ、そのリングギヤ30が嵌合する複数の嵌合壁部611bとを有している。そして環状プレート611は、リングギヤ30の径外方向でリングギヤ30全周に亘りそのリングギヤ30の径方向の変位を規制するリングギヤ保持内壁612を有している。このリングギヤ保持内壁612は、係合溝部611aおよび嵌合壁部611bの内壁からなる。リングギヤ30は、リングギヤ保持内壁612に圧入されており、回止め突起300を除く外壁のすべてが環状プレート611に保持されている。なお、出力軸5と同軸上に設けられ中ハウジング本体610に嵌合されたオイルシール92は、その内側に挿入されるコントロールロッド72の先端部との間の隙間を液密に封止する。前ハウジング60、中ハウジング61、および後ハウジング62は、互いに組み合わせられて締結ボルト87により締結されている。中ハウジング本体610と前ハウジング60との組合せ面間には第1パッキン88が設けられ、また中ハウジング本体610と後ハウジング本体620との組合せ面間には環状シール部材としての第2パッキン89が設けられている。第1パッキン88および第2パッキン89は例えば合成ゴム等から成る。環状プレート611は、第2パッキン89に対し径方向で重なるように設けられている。外郭部材6内の内圧は、中ハウジング61に取り付けられた内圧調整部材90により調整される。次に、アクチュエータ1の組み付けについて図7に基づいて説明する。第1工程では、図7に矢印Aで示すように後ハウジング62にステータ21が組み付けられる。第2工程では、中ハウジング61にリングギヤ30が組み付けられる。第3工程では、図7に矢印Bで示すようにロータ20、プラネタリギヤ31、およびドライブギヤ40のサブアッシーが前ハウジング60に組み付けられ、続いて図7に矢印Cで示すようにドリブンギヤ41が前ハウジング60に組み付けられる。なお、第1工程~第3工程の順序は入れ替えても差し支えない。第4工程では、図7に矢印Dで示すようにリングギヤ30圧入済みの中ハウジング61がロータ20等組付済みの前ハウジング60に組み合わせられる。この第4工程では中ハウジング61と前ハウジング60との組合せ面間に第1パッキン88が配設される。第5工程では、図7に矢印Eで示すようにステータ21組付済みの後ハウジング62が中ハウジング61に組み合わせられる。この第5工程では中ハウジング61と後ハウジング62との組合せ面間に第2パッキン89が配設される。第6工程では、図7に矢印Fで示すように各ハウジング同士を一体に保持すると共にアクチュエータ1をミッションケースに固定するためのブラケット91を前ハウジング60に組み合わせつつ、複数の締結ボルト87で各ハウジングおよびブラケット91を互いに連結する。第7工程では、図7に矢印Gで示すようにOリング86および内圧調整部材90が組み付けられる。第1実施形態では、外郭部材6は、前ハウジング60、中ハウジング61、および後ハウジング62の3つのハウジングから構成されている。前ハウジング60は、ドライブギヤ40、ドリブンギヤ41、出力軸5、および駆動軸200の他端部200bを回転可能に支持する。後ハウジング62は、駆動軸200の一端部200aを回転可能に支持すると共にステータ21を保持する。中ハウジング61は、前ハウジング60と後ハウジング62との間に設けられ、リングギヤ30の全外周に亘りそのリングギヤ30の径方向の変位を規制する。そのため、プラネタリギヤ31がリングギヤ30と噛み合いながら駆動軸200まわりに公転するとき、その公転位置に拘わらず中ハウジング61がリングギヤ30を支持する。したがって、リングギヤ30の径外方向への変形が抑制されるので、リングギヤ30の変形に起因するプラネタリギヤ31とリングギヤ30との噛み合わせ不良を抑制することができる。それにより出力軸5へのトルク伝達効率の低下を抑制することができる。また第1実施形態では、出力軸5は駆動軸200に平行に設けられるので、アクチュエータ1の外郭を扁平形状とすることが可能となり、アクチュエータ1の軸方向寸法を小さくすることができる。そのため、アクチュエータ1を車両搭載上の制約に対応し易いものとすることができる。また、ドライブギヤ40とドリブンギヤ41との間の減速比を適宜設定することにより出力軸5からの出力トルクを大きくすることができる。また第1実施形態では、プラネタリギヤ31に偏心軸200dの第2軸中心線φ2と同心円上に設けられる複数のトルク伝達用突起310と、ドライブギヤ40に駆動軸200の第1軸中心線φ1と同心円上に設けられ、トルク伝達用突起310と周方向の係合関係にある複数のトルク伝達用穴402とから構成される回転伝達手段を備えている。そのため、駆動軸200の回転速度に対し減速されたプラネタリギヤ31の自転成分を、トルク伝達用突起310からトルク伝達用穴402を経由してドライブギヤ40に伝達することができる。また第1実施形態では、ドリブンギヤ41は、そのドリブンギヤ41の第2外歯412の位置よりも出力軸5との連結部の位置が軸方向ロータコア側にシフトする曲部411aを有する。そのため、アクチュエータ1の外郭を扁平形状とすることが可能となり、アクチュエータ1の軸方向寸法を小さくすることができる。また第1実施形態では、中ハウジング61は、樹脂製の中ハウジング本体610と、その中ハウジング本体610に埋め込まれリングギヤ30の径方向の変位を規制するリングギヤ保持内壁612を有する金属製の環状プレート611とからなる。そのため、リングギヤ30の保持力を十分に確保しつつ中ハウジング61の軽量化を図ることができる。また第1実施形態は、中ハウジング61と後ハウジング62との間に設けられた第2パッキン89を備える。そして環状プレート611は、第2パッキン89に対し径方向で重なるように設けられている。そのため、第2パッキン89から中ハウジング本体610に作用する力を環状プレート611が受けるようになっており、中ハウジング61の剛性が高められているので、中ハウジング本体610の変形を抑制することができる。また第1実施形態では、モータ2を保持する後ハウジング62とリングギヤ30を保持する中ハウジング61とが別部材で構成されている。そのため、リングギヤ30が組み付けられた中ハウジング61を、ドライブギヤ40およびプラネタリギヤ31等が組み付けられた前ハウジング60に組み合わせるときに、リングギヤ30とプラネタリギヤ31との噛み合わせを確認することができる。よって、中ハウジング61と前ハウジング60との組み合わせを簡単かつ確実に行うことができる。第2実施形態第2実施形態のアクチュエータの模式的な縦断面を図8に示す。第2実施形態では、外郭部材は、平行軸歯車減速部4および出力軸5を主に収容する前ハウジング60、サイクロイド減速部3およびモータ2を主に収容する一体ハウジング63の2つのハウジングから構成されている。一体ハウジング63は、第1実施形態の中ハウジング61および後ハウジング62が一体となった形状を有している。この一体ハウジング63は、駆動軸200の端部を回転可能に支持し、ステータ21の外壁を保持する。また一体ハウジング63は、リングギヤの全外周に亘り連続して形成され、リングギヤと当接することでそのリングギヤの径方向の変位を規制するリングギヤ保持内壁630を有している。リングギヤは、リングギヤ保持内壁630に圧入される。第2本実施形態では、一体ハウジング63は、全外周に亘りリングギヤの径方向の変位を規制するリングギヤ保持内壁630を有する。そのため、プラネタリギヤがリングギヤと噛み合いながら駆動軸まわりに公転するとき、その公転位置に拘わらず一体ハウジング63がリングギヤを支持する。したがって、リングギヤの径外方向への変形が抑制されるので、リングギヤの変形に起因するプラネタリギヤとリングギヤとの噛み合わせ不良を抑制することができる。それにより出力軸へのトルク伝達効率の低下を抑制することができる。また第2本実施形態では、前ハウジング60および一体ハウジング63の2つのハウジングから構成されている。そのため、ハウジングの部品点数を少なくすることができる。他の実施形態上述の第1および第2実施形態のアクチュエータは、シフトバイワイヤシステム7に備えられ、マニュアルバルブ70を駆動して変速機のシフトレンジを切り換えるシフトバイワイヤ用アクチュエータであった。これに対し本発明の他の実施形態では、例えば車両の他のバルブ装置等の駆動部として用いてもよいし、例えば産業ロボットや工作機械などの他の装置の駆動部として用いてもよい。上述の第1および第2実施形態では、中ハウジング61は、樹脂製の中ハウジング本体610および金属製の環状プレート611を備えていた。これに対し本発明の他の実施形態では、中ハウジング本体を例えば金属などの他の材質から構成してもよい。また、上述の中ハウジング本体および環状プレートを、例えば樹脂や金属などの材質からなる一体成形品としてもよい。また、係合溝部、嵌合壁部、およびリングギヤ保持内壁は、必ずしも環状プレートが形成する必要はなく、例えば中ハウジング本体が形成してもよい。上述の第1および第2実施形態では、後ハウジング62は、樹脂製の後ハウジング本体620および金属製の有底短筒部材621を備えていた。これに対し本発明の他の実施形態では、後ハウジング本体が例えば金属などの他の材質から構成してもよい。また、上述の後ハウジング本体および有底短筒部材を、例えば樹脂や金属などの材質からなる一体成形品としてもよい。上述の第1および第2実施形態では、前ハウジング60は樹脂製であった。これに対し本発明の他の実施形態では、例えば金属などの他の材質から構成してもよい。上述の第1および第2実施形態では、ドライブギヤ40とドリブンギヤ41との間のギヤ比が一定であった。これに対し本発明の他の実施形態では、ドライブギヤとドリブンギヤとの間のギヤ比を可変に構成してもよい。上述の第1および第2実施形態では、ドライブギヤ40からドリブンギヤ41には回転が減速されて伝達されていた。これに対し本発明の他の実施形態では、ドライブギヤ40からドリブンギヤ41には回転が維持あるいは増速されて伝達されることとしてもよい。上述の第1および第2実施形態では、モータ2にSRモータが採用されていた。これに対し本発明の他の実施形態では、SRモータ以外のモータを採用してもよい。上述の第1および第2実施形態では、運転者により操作されるレンジ選択部材としてセレクトレバーが採用されていた。これに対し本発明の他の実施形態では、例えばパドル型やボタン型のものを採用してもよい。また、運転者の音声を認識してシフトレンジが選択されるものを採用してもよい。上述の第1および第2実施形態では、車両用自動変速機として遊星歯車式の有段変速機が採用されていた。これに対し本発明の他の実施形態では、例えば平行軸歯車式の有段変速機、ベルト式やトロイダル式の無段変速機等の他の自動変速機を採用してもよい。このように本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態に適用可能である。