微粒子又は堆積物が乗っている表面から該微粒子又は該堆積物を除去するための方法であって、前記微粒子又は前記堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解しそして前記表面から除去するために十分な化学組成物を前記表面に接触させる工程を備え、前記化学組成物が前記表面と相性が良いことを特徴とする方法。前記化学組成物は化学溶液又は化学混合物を含む、請求項1に記載の方法。前記化学組成物は、液体、蒸気、又は気体を含む、請求項1に記載の方法。前記表面は、多孔性表面、カートリッジ用媒体、襞のある又は膜状の表面、及びタンク又はフィルターハウジングの内壁から選択される、請求項1に記載の方法。前記微粒子又は前記堆積物は、静電気的又は動的条件下で除去される、請求項1に記載の方法。前記化学組成物は約20°Cを超える温度まで加熱される、請求項1に記載の方法。前記化学組成物は溶液又はエッチング液を含み、前記溶液又は前記エッチング液は有機酸、無機酸、アルカリ、塩、界面活性剤、及びこれらの混合物から選択される、請求項1に記載の方法。前記微粒子又は前記堆積物はシリカ、アルミナ、セリア、金属及び金属酸化物、有機微粒子、又はこれらの混合物を含む、請求項1に記載の方法。前記微粒子又は前記堆積物はシリカを含み、前記化学組成物は、NaOH、KOH、又はこれらの化合物若しくは混合物を含有するアルカリを含む、請求項1に記載の方法。前記化学組成物は、i無機酸、有機酸、有機塩、無機塩、若しくはこれらの混合物、又はii無機ベース、有機ベース、有機塩、無機塩、若しくはこれらの混合物を含む、請求項1に記載の方法。前記微粒子又は前記堆積物の分解後に、再生するために前記化学組成物をイオン交換系に通過させる工程をさらに含む、請求項1に記載の方法。前記微粒子又は前記堆積物はCMP化学機械研磨スラリー又は溶液由来である、請求項1に記載の方法。前記除去は音波エネルギーにより補助される、請求項1に記載の方法。微粒子又は堆積物が乗っている表面から該微粒子又は該堆積物を除去するためのシステムであって、少なくとも1つの容器、前記微粒子又は前記堆積物が乗っている前記表面を有する少なくとも1つの筐体、1つ以上のポンプ、及び1つ以上の弁を備え、前記少なくとも1つの容器は化学組成物を保持することに適しており、前記少なくとも1つの容器は前記少なくとも1つの筐体に通流し少なくとも1つの第1化学組成物循環ループを形成していることを特徴とするシステム。前記化学組成物にエネルギーを供給することに適している少なくとも1つの熱源をさらに備え、少なくとも1つの第2化学組成物循環ループを形成するため、前記少なくとも1つの容器は前記少なくとも1つの熱源に通流しており、前記少なくとも1つの熱源は前記少なくとも1つの筐体に通流しており、前記少なくとも1つの筐体は前記少なくとも1つの熱源に通流しており、前記少なくとも1つの熱源は前記少なくとも1つの容器に通流している、請求項14に記載のシステム。前記化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換系をさらに備え、少なくとも1つの第2化学組成物循環ループを形成するため、前記少なくとも1つの容器は前記少なくとも1つの筐体に通流しており、前記少なくとも1つの筐体は前記少なくとも1つのイオン交換系に通流しており、前記少なくとも1つのイオン交換系は前記少なくとも1つの容器に通流している、請求項14に記載のシステム。前記化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換系をさらに備え、少なくとも1つの第3化学組成物循環ループを形成するため、前記少なくとも1つの容器は前記少なくとも1つの熱源に通流しており、前記少なくとも1つの熱源は前記少なくとも1つの筐体に通流しており、前記少なくとも1つの筐体は前記少なくとも1つの熱源に通流しており、前記少なくとも1つの熱源は前記少なくとも1つのイオン交換系に通流しており、前記少なくとも1つのイオン交換系は前記少なくとも1つの容器に通流している、請求項15に記載のシステム。可搬式又は常設式である、請求項14に記載のシステム。微粒子又は堆積物が乗っている表面から該微粒子又は該堆積物を除去するための方法であって、i化学組成物を保持することに適している少なくとも1つの容器、前記微粒子又は前記堆積物が乗っている前記表面を有する少なくとも1つの筐体、並びに前記化学組成物の流れを制御することに適している1つ以上のポンプ及び1つ以上の弁を準備する工程、ii前記少なくとも1つの容器から、前記微粒子又は前記堆積物が乗っている前記表面を有する前記少なくとも1つの筐体に、前記化学組成物を運ぶ工程、iii前記微粒子又は前記堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解しそして前記表面から除去するために十分な前記化学組成物を前記表面に接触させる工程であって、前記化学組成物が前記表面と相性が良い、工程、iv前記少なくとも1つの筐体から、前記少なくとも1つの容器に、使用済みの前記化学組成物を運ぶ工程、を備える方法。v前記化学組成物にエネルギーを供給することに適している少なくとも1つの熱源を提供する工程、vi前記化学組成物を前記少なくとも1つの容器から前記少なくとも1つの熱源に運ぶ工程、vii前記化学組成物を前記少なくとも1つの熱源から前記微粒子又は前記堆積物が乗っている前記表面を有する前記少なくとも1つの筐体に運ぶ工程、viii使用済みの前記化学組成物を前記少なくとも1つの筐体から前記少なくとも1つの熱源に運ぶ工程、ix使用済みの前記化学組成物を前記少なくとも1つの熱源から前記少なくとも1つの容器に運ぶ工程、をさらに備える、請求項19に記載の方法。x前記化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換系を提供する工程、xi使用済みの前記化学組成物を前記少なくとも1つの筐体から前記少なくとも1つのイオン交換系に運び、使用済みの前記化学組成物を再生する工程、xii再生された前記化学組成物を前記少なくとも1つのイオン交換系から前記少なくとも1つの容器に運ぶ工程、をさらに備える、請求項19に記載の方法。x前記化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換系を提供する工程、xi使用済みの前記化学組成物を前記少なくとも1つの熱源から前記少なくとも1つのイオン交換系に運び、使用済みの前記化学組成物を再生する工程、xii再生された前記化学組成物を前記少なくとも1つのイオン交換系から前記少なくとも1つの容器に運ぶ工程、をさらに備える、請求項20に記載の方法。微粒子又は堆積物が乗っている表面から該微粒子又は該堆積物を除去するための組成物であって、前記微粒子又は前記堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解しそして前記表面から除去するために十分な化学組成物を含み、前記化学組成物が前記表面と相性が良いことを特徴とする組成物。微粒子又は堆積物が乗っている表面を備える媒体であって、前記微粒子又は前記堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し前記表面から除去するために十分な化学組成物を前記表面に接触させることにより前記微粒子又は前記堆積物が乗っている前記表面から前記微粒子又は前記堆積物を除去する工程を備え、且つ、前記化学組成物が前記表面と相性が良い方法により処理されることを特徴とする媒体。媒体を前処理するための方法であって、該媒体は微粒子又は堆積物が乗っている表面を備え、前記方法は、前記微粒子又は前記堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解しそして前記表面から除去するために十分な化学組成物を前記表面に接触させる工程を備え、且つ、前記化学組成物が前記表面と相性が良いことを特徴とする方法。そこで、微粒子汚染表面を洗浄する方法、特に、フィルターの再利用を可能にして処理コストを減らし、また、ゴミ廃棄場に投棄されるフィルターの数を減らして環境負荷を最小化する洗浄方法の開発が必要とされていた。環境に優しく、また、洗浄対象の媒体に化学的及び/又は機械的損傷を与えない洗浄方法が必要とされていた。本発明は、例えば、多孔性表面、カートリッジ用媒体、襞のある膜状の表面、及びタンク又はフィルターハウジングの内壁などの微粒子汚染表面向けの洗浄方法に関する。例えば化学溶液及び化学混合物などの洗浄組成物は、微粒子汚染表面に損傷を与えずに微粒子を部分的に又は完全に分解するために使用される。これにより、効率的な洗浄及びフィルターなどの汚染媒体の再利用が可能となる。本発明は、一態様として、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去するための方法であって、微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し表面から除去するために十分な化学組成物を表面に接触させる工程を備え、この化学組成物が表面と相性が良いことを特徴とする方法に関する。また、本発明は、一態様として、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去するためのシステムであって、少なくとも1つの容器、微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する少なくとも1つの筐体、1つ以上のポンプ、及び1つ以上の弁を備え、少なくとも1つの容器は化学組成物を保持することに適しており、少なくとも1つの容器は少なくとも1つの筐体に通流し少なくとも1つの第1化学組成物循環ループを形成していることを特徴とするシステムに関する。本発明は、一態様として、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去するための方法であって、以下のi~ivの工程を備える方法に関する。i化学組成物を保持することに適している少なくとも1つの容器、微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する少なくとも1つの筐体、並びに化学組成物の流れを制御することに適している1つ以上のポンプ及び1つ以上の弁を準備する工程。ii少なくとも1つの容器から、微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する少なくとも1つの筐体に、化学組成物を運ぶ工程。iii微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し表面から除去するために十分な化学組成物を表面に接触させる工程であって、この化学組成物が表面と相性が良い、工程。iv少なくとも1つの筐体から、少なくとも1つの容器に、使用済みの化学組成物を運ぶ工程。さらに、本発明は、一態様として、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去するための組成物であって、微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し表面から除去するために十分な化学組成物を含み、この化学組成物が表面と相性が良いことを特徴とする組成物に関する。また、本発明は、一態様として、微粒子又は堆積物が乗っている表面を備える媒体であって、微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し表面から除去するために十分な化学組成物を表面に接触させることにより微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去する工程を備え、且つ、この化学組成物が表面と相性が良い方法により処理されることを特徴とする媒体に関する。さらに、本発明は、一態様として、微粒子又は堆積物が乗っている表面を備える媒体を前処理するための方法であって、微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し表面から除去するために十分な化学組成物を表面に接触させる工程を備え、且つ、この化学組成物が表面と相性が良いことを特徴とする方法に関する。以下の図面及び詳細な説明を参照することで、本発明のさらなる目的、特徴、及び利点を理解することができるだろう。本発明は、例えば、多孔性表面、カートリッジ用媒体、襞のある膜状の表面、及びタンク又はフィルターハウジングの内壁などの微粒子汚染表面向けの洗浄方法に関し、従来の洗浄方法に関連する諸問題を解決する。本発明の洗浄方法は、微粒子汚染表面を元の状態に戻し、再利用を可能とすることで、目覚ましい環境保全上の利点を提供するという利点を有する。さらに、本発明の方法は、濾過分野において、周期時間を減らすという利点を有する。本発明は、特に、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去する方法に関する。この方法は、表面から微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し除去するために十分な化学組成物を表面に接触させる工程を備える。化学組成物は表面と相性が良い。本方法は、任意に、化学組成物にエネルギーを供給することに適している熱源を用いることを含む。また、本方法は、任意に、化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換システムを用いることを含む。表面上の微粒子及び堆積物としては、例えば、半導体排水中でしばしば生じる有機及び無機の微粒子及び堆積物などを挙げることができる。本発明の方法によれば、界面活性剤、ポリマー、生体化合物、フォトレジスト処理残留物、塗料固形分、プラスチック残留物、染料、洗濯固形分、及び繊維残留物などの有機物を除去することができる。また、本発明の方法によれば、酸化鉄、水酸化鉄、アルミニウム並びにその酸化物及び水酸化物、カルシウム塩、シリカ、シリコン、裏面研削残留物、金属微粒子、金属塩、リン化合物、マイニング固形分、半導体製造に由来するCMP固形分、並びにガラス処理固形分などの無機物も除去することができる。半導体製造工場ではCMP溶液が大規模に使用される。こうした使用分野としては、他に、ガラス工業及び金属研磨工業などが挙げられる。CMP溶液は、しばしば、シリカ、アルミナ、セリウム、又はその他の研磨剤からなるコロイド状の又は極めて小さな粒径の懸濁液である。また、CMP溶液は、硝酸第二鉄、ヨウ素酸カリウム、又は過酸化水素などの酸化剤を含んでもよい。さらに、CMP溶液は、水酸化アンモニウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、及び有機酸などのpH調整剤を含んでもよい。また、カルボキシベンゾトリアゾールなどの耐変色剤、パッド残留物、シリコン微粒子、タングステン、タンタル、銅、アルミニウム、ヒ素、及びガリウムヒ素などの金属微粒子、フォトレジスト残留物、並びに有機及び無機低k層残留物などの金属粒子を含んでもよい。本発明は、例えば、多孔性表面、カートリッジ用媒体、襞のある膜状の表面、及びタンク又はフィルターハウジングの内壁などの微粒子汚染表面向けの洗浄方法に関する。フィルター媒体はこうした表面の一例である。フィルターは一般的に様々な用途で用いられる。典型的な深層フィルターを図1に示す。これはポリマー材料から製造されており、その中に何百万もの微小細孔を有する。コロイド分散液はこの媒体を通過し、細孔サイズよりも大きな粒子が細孔内に捕まる。そのため、1μmの絶対フィルターを用いる場合、1μmより大きい微粒子の大部分は細孔に捕捉される。濾過効率は、捕捉されなかった微粒子に対する捕捉された微粒子の量により定義される。良いフィルターは95を超える効率である。これらの細孔が微粒子で塞がるにつれて、コロイド分散液を濾過するために利用可能な細孔の数は減少する。そのため、これらのコロイド分散液をフィルターに通すための圧力が高くなる。このことを図4に示す。この差圧が上限に達した場合、濾過工程を止め、フィルターを交換する。目詰りしたフィルターは廃棄物として積み上げられる。本発明はこの問題への解決手段を提供する。限界圧力に達した場合、コロイド分散液をフィルターハウジングを迂回させて流す。別の化学配布ループを起動する図3参照。次に、加熱した化学組成物をハウジングに送りその内部に循環させる。この化学組成物は、フィルター媒体に損傷を与えることなくこれらの微粒子を部分的に又は完全に分解するよう処方されている。分解工程が始まると、微粒子は細孔から押し退けられそして洗い去られる。化学組成物の循環は細孔の完全洗浄を保証する。細孔が洗浄されると、濾過効率が戻る。本発明は、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去するための組成物に関する。この組成物は、表面から微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し除去するために十分な化学組成物を含む。化学組成物は表面と相性が良い。本発明の方法に使用するための化学組成物は、表面上の微粒子又は堆積物の性質に基づいて選択され、また、表面と相性が良い。媒体からの微粒子又は堆積物の洗浄又は除去が完了した後、媒体の本来の機能が少なくとも部分的に又は完全に戻っているはずである。例えば、フィルター媒体の洗浄前の濾過効率が95であるとき、処理された媒体は好ましくは同程度の効率を回復する。本来の水準まで濾過効率が回復することが望ましいものの、部分的な回復でも利益はあり得、これもまた本発明の範囲である。特に、本発明に有用な化学組成物としては、微粒子又は堆積物が乗った表面と相性が良い溶媒又はエッチング液を挙げることができる。この溶媒又はエッチング液は、例えば、有機酸、無機酸、アルカリ、無機塩、有機塩、界面活性剤、及びこれらの混合物を含んでもよい。また、化学組成物は、例えば、無機ベース、有機ベース、及びこれらの混合物を含んでもよい。本発明に使用される化学組成物は細孔内の微粒子の種類に適したものである必要がある。シリカ微粒子による汚染の場合、アルカリ、アルカリ化合物、HF、又はフッ化物化合物が適切である。適切な化合物としては、これらに限定されるものではないが、NaOH、KOH、NH4OH、これらの化合物、又は、これらの混合物が挙げられる。その他の適切な化合物としては、HF、フッ化物溶液などが挙げられる。微粒子を部分的に分解することができる化学物質の混合物であるエッチング液を用いてもよい。金属微粒子の場合、ASMのMetalsHandbookに記載されているように、酸、酸性化合物、又はエッチング液を用いてもよい。フィルター媒体に影響しないように化学組成物を選択することが重要である。実施例2で使用されるKOHはこれらの要求をどちらも満たす。液体、気体、及び蒸気などの化学組成物の例、並びにこれらが適している表面上の微粒子又は堆積物を以下に示す。微粒子化学組成物シリカアルカリ、アルカリ化合物、HF、アンモニアガスアルミナ無機酸、強アルカリセリア無機酸金属無機酸、有機酸、エッチング液本発明は、微粒子又は堆積物とのみ反応し且つこれらの微粒子又は堆積物が付着している表面には反応しない化学組成物を使用する。化学組成物は表面と相性が良い。表面がポリマー製である場合、有機溶媒の多くはポリマーを攻撃する可能性がある。これは望ましくない。そのため、化学組成物としては、基材に影響をあたえることなく微粒子又は堆積物のみを分解するものを選ぶ必要がある。シリカ分散液の濾過を例にとれば、シリカを分解しフィルター媒体ポリプロピレンに影響しないNaOH又はKOHが挙げられるだろう。化学組成物溶液のpHは、化学組成物溶液が基材に影響をあたえることなく微粒子又は堆積物のみを分解するために十分である必要がある。どのような微粒子又は堆積物についても、化学組成物溶液のpHは、好ましくは、約1から約6及び約8から約14である。本発明の化学組成物は液体、蒸気、又は気体であってもよい。化学組成物の例は本願明細書に記載されている。蒸気及び気体は、表面上の微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解するために使用することができる。好適な蒸気及び気体は表面と相性が良い。蒸気及び気体の例としては、アンモニアガス、HCl、及びSO2などが挙げられる。液体化学組成物と同様に、蒸気及び気体としては、基材に悪影響を与えることなく微粒子又は堆積物のみを分解するものを選ぶ必要がある。微粒子又は堆積物が乗っている表面を、表面から微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し除去するために十分な化学組成物と接触させる。本願明細書において、分解する及び分解とは、構成成分になるまで分離すること、又は、溶液に溶けることを意味し、溶解する及び溶解を含む。化学組成物は、微粒子又は堆積物が乗っている表面と相性が良い。本願明細書において、相性が良いとは、化学組成物が表面そのものと実質的に無反応であること、即ち、表面の化学的又は機械的変化が実質的にないことを意味する。微粒子又は堆積物が乗っている表面の例としては、例えば、フィルターなどの多孔性表面、カートリッジ用媒体、襞のある膜状の表面、及びタンク又はフィルターハウジングの内壁などが挙げられる。本発明の方法は、溜まった微粒子又は堆積物により目詰りした表面のほとんどの洗浄に使用することができる。CMP溶液、ガラス製造溶液、及び金属研磨溶液などの溶液を濾過する液体濾過システムでは、時間経過にともなってフィルター表面に微粒子又は堆積物が溜まる。これらの微粒子又は堆積物を本発明の方法によりフィルター表面から除去することができる。本発明の方法により洗浄することができるフィルターの例としては、例えば、中空繊維膜、サブミクロンレベルの濾過装置、フラットシート膜、又はその他の膜構造が挙げられる。膜は、一般的に用いられている膜ポリマーの他に、PVDFポリフッ化ビニリデンポリマー、ポリサルフォン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアクリロリトリルPAN、フッ化膜、酢酸セルロース膜、及びこれらの混合物から形成することができる。複数の膜を共に又は並行して用い1つのフィルターバンクを形成してもよい。複数のフィルターバンクを使用することもできる。本発明の方法は、様々な用途で用いられているフィルターの洗浄に適している。こうした用途としては、例えば、コロイドシリカCMPフィルター、コロイド分散液を含むインクプリンター用のフィルターなどが挙げられる。本発明により処理することができる微粒子又は堆積物が乗っている表面は多種多様であり得る。微粒子又は堆積物が乗っている多孔性表面などの実質的に任意の種類の表面を、本発明の化学組成物の1つ以上により処理することができ、これにより、表面から微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を分解し除去することができる。表面としては、様々な媒体の外部表面、様々な媒体の内部表面、及び/又は、これらの組み合わせを挙げることができる。例えば、固体多孔性媒体は外部表面及び内部表面の両方を備え得る。本発明は、それにより処理が可能な表面により限定されることを意図するものではない。ある実施形態では、本発明は、本発明の方法により処理された媒体に関する。媒体は、微粒子又は堆積物が乗っている表面を含む。本方法は、微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し表面から除去するために十分な化学組成物を表面に接触させることにより微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去する工程を備える。化学組成物は表面と相性が良い。本発明の方法により処理された媒体は、フィルターなどの未処理の媒体と比較して、使用回数や寿命が増加し得る。また、本発明は、媒体を前処理する方法に関する。媒体は、微粒子又は堆積物が乗っている表面を含む。この方法は、表面から微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し除去するために十分な化学組成物を表面に接触させる工程を備える。化学組成物は表面と相性が良い。本発明の前処理された媒体は、未処理の媒体、例えば、フィルターと比較して、効率が増加し得る。洗浄時間及び化学組成物温度は工程の実用面に即して決定される。時間が長すぎれば処理周期時間が増加する。高い化学組成物温度は分解処理を加速する。化学組成物は、好ましくは、約20°Cを超える温度まで加熱される。好ましい温度範囲は室温から約60°Cの間である。また、化学組成物の流速が早いと微粒子及び堆積物の分解が加速する。化学組成物は、典型的には、約0.1ガロン/分より大きい循環速度を有する。どのような微粒子又は堆積物についても、化学組成物溶液のpHは、好ましくは、約1から約6及び約8から約14である。化学組成物を加熱することが好ましいものの、本発明は、微粒子又は堆積物が乗っている媒体表面の少なくとも一部を加熱することも包含する。温度は、本願発明のシステムの任意の場所、例えば、化学組成物の個別の加熱器、汚染媒体表面、又は、システムのその他の場所などで、上げることができる。温度、圧力、及び接触時間などの化学組成物と微粒子又は堆積物との反応条件は種々変わり得る。こうした条件を適切に組み合わせて、微粒子又は堆積物が乗っている表面例えば、多孔性表面、カートリッジ用媒体、襞のある膜状の表面、及びタンク又はフィルターハウジングの内壁などから、微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を除去するために十分な条件として用いることができる。洗浄工程の間の圧力は、約0.1から約10トールでもよく、好ましくは、約0.1から約1.0トールであってもよい。洗浄工程の間の温度は、約20°Cから約100°Cでもよく、好ましくは、約22°Cから約60°Cであってもよい。化学組成物と微粒子又は堆積物との反応時間は、約30秒から約45分であってもよい。好ましい反応時間は、使用者が行う洗浄の頻度に依存して変わる。化学組成物の好ましい循環速度は、約0.1から約10ガロン/分でもよく、好ましくは、約0.1から約5ガロン/分であってもよい。化学組成物と微粒子又は堆積物との反応及び表面からの微粒子又は堆積物の少なくとも一部分の除去に続き、微粒子又は堆積物は化学組成物中での分解により表面から除去される。その後、特定の表面、例えば、タンク及びフィルターハウジングの内壁を空にし、洗浄処理を必要なだけ繰り返してもよい。排出された使用済み化学組成物を、再生のためにイオン交換システムに送ることができる。洗浄処理を繰り返すことで、洗浄処理を繰り返さなかった媒体と比較して、より効率的な媒体を提供することができる。微粒子又は堆積物は、表面から、静電気的な又は動的な条件下で除去することができる。特に、本発明の一態様例えば、静電気的条件は、微粒子及び堆積物が先行する処理中に形成された後にそれらを洗浄することに関する。別の態様例えば、動的条件では、例えば、濾過を用いる化学機械的研磨CMPスラリー製造処理などの主処理が進行している間に、化学組成物を連続して供給してもよい。表面からの微粒子又は堆積物の除去は、超音波又は音波による表面の振動などの除去促進法によって補助することができる。音波又は超音波装置は、フィルターハウジングの外側又は内側に配置することができる。図16参照。音波又は超音波装置の使用によって、微粒子及び堆積物除去効率を改善することができる。例えば、超音波装置を、KOHとともに、フィルターを振盪するために使用してもよい。コロイドシリカスラリーの場合、このスラリーを濾過コンパートメントから抜き、そこにKOHを供給し、KOHによりコロイド粒子を分解するとともにその除去を加速するため濾過コンパートメントを超音波により振盪し、濾過コンパートメント又はKOHを任意に加熱し、濾過コンパートメントを水で濯ぎ、その後、使用済みコロイドシリカスラリーを補充する。別の実施形態では、媒体中に溜まった微粒子又は堆積物を電解濾過により除去することができる。図17参照。電解濾過は、電解微粒子をフィルター媒体に添加すること、例えば、ポリプロピレン繊維分子上での電解微粒子の合成により添加することなどを含む。反対の例えばシリカの電荷と反対の電荷を帯びた粒子は、濾過処理中の微粒子例えばシリカと反発する。反発により、シリカがフィルター媒体からより高速で移動することを助ける高度に動的な環境が提供され、こうして、シリカ分解が促進される。帯電した微粒子は化学組成物を助け分解を促進する。また、本発明では、フィルター媒体内の完全にカプセル化された鉄などのナノ金属微粒子を用いることができる。メガ音波又は超音波などの音にフィルターを晒すことでフィルター洗浄を飛躍的に加速することができる。音は、フィルター媒体内にカプセル化された鉄微粒子を振動させ、極めて均一な動的運動をもたらす。この運動によりシリカ粒子のフィルター媒体からの離脱が加速し、こうしてシリカの分解が促進される。カプセル化された微粒子は、それらが化学組成物中に放出されないよう保証するため、媒体繊維内に取り外せないようにしっかりと設けられるべきである。本発明の方法は、静電容器内で媒体の表面を洗浄する工程を備える。例えば、目詰りしたフィルターを主処理から取り除き、化学組成物を含む静電容器に移し、そして、静電容器内で洗浄することができる。静電洗浄の場合、例えばフィルターなどの媒体は、微粒子又は堆積物を分解し除去するために十分な長さの時間、20°C以上で、化学組成物中に浸漬され得る。洗浄後のフィルターはその後主処理に戻すことができる。洗浄はその場で行うこともできるし他の場所で行うこともできる。上述したように、本発明の方法は、処理中に微粒子又は堆積物が溜まるフィルターなどの媒体を利用する主処理とともにその場で実行することができる。動的条件では、例えばフィルターなどの媒体は流れる化学組成物により洗浄することができる。さらに、微粒子を分解した後の化学組成物は、イオン交換処理に送ることで再生することができる。例えば、実施例で使用されたKOHはシリカに溶解しKシリケートを形成する。通常のイオン交換処理で、Kイオンを回収し、KOHに戻し、環境負荷の低いケイ酸ゲルのみを捨てることができる。図5に示すように、本発明は、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去する方法に関する。この方法では、以下の装置が用いられる。化学組成物を保持することに適している少なくとも1つの容器例えば、タンクなど、任意に、化学組成物にエネルギーを供給することに適している熱源例えば、加熱器など又はループの他の部分これに限定されるものではないが、微粒子又は堆積物汚染細孔表面など、微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する筐体例えば、微粒子汚染筐体など、化学組成物の流れを制御することに適している1つ以上のポンプ及び1つ以上の弁。化学組成物は、少なくとも1つの容器から、少なくとも1つの熱源へ運ばれ、加熱される。加熱後の化学組成物は、その後、少なくとも1つの熱源から、微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する少なくとも1つの筐体に運ばれる。表面から微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し除去するために十分な加熱後の化学組成物に表面は接触させられる。加熱後の化学組成物は表面と相性が良い。使用済み化学組成物は、その後、少なくとも1つの筐体から、少なくとも1つの熱源に運ばれる。本発明の方法は、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除外することに関する。この方法は、化学組成物を保持することに適している少なくとも1つの容器、微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する少なくとも1つの筐体、並びに化学組成物の流れを制御することに適している1つ以上のポンプ及び1つ以上の弁を準備する工程、微粒子又は堆積物の少なくとも一部分を選択的に分解し表面から除去するために十分な化学組成物を表面に接触させる工程であって、この化学組成物が表面と相性が良い、工程、並びに、使用済みの化学組成物を少なくとも1つの筐体から少なくとも1つの容器に運ぶ工程を備える。ある実施形態では、本発明の方法は、さらに、化学組成物にエネルギーを供給することに適している少なくとも1つの熱源を提供する工程、化学組成物を少なくとも1つの容器から少なくとも1つの熱源に運ぶ工程、化学組成物を少なくとも1つの熱源から微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する少なくとも1つの筐体に運ぶ工程、使用済みの化学組成物を少なくとも1つの筐体から少なくとも1つ熱源に運ぶ工程、使用済みの化学組成物を少なくとも1つの熱源から少なくとも1つの容器に運ぶ工程を備える。別の実施形態では、本発明の方法は、さらに、化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換系を提供する工程、使用済みの化学組成物を少なくとも1つの筐体から少なくとも1つのイオン交換系に運ぶ工程、使用済みの化学組成物を再生する工程、再生後の化学組成物を少なくとも1つのイオン交換系から少なくとも1つの容器に運ぶ工程を備える。また別の実施形態では、本発明の方法は、さらに、化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換系を提供する工程、使用済みの化学組成物を少なくとも1つの熱源から少なくとも1つのイオン交換系に運ぶ工程、使用済みの化学組成物を再生する工程、再生後の化学組成物を少なくとも1つのイオン交換系から少なくとも1つの容器に運ぶ工程を備える。図5に示すように、本方法は、任意に、化学組成物を再生することに適している少なくとも1つのイオン交換系を使用することを含む。使用済み化学組成物は、少なくとも1つの熱源から、それを再生する少なくとも1つのイオン交換系に運ばれる。再生後の化学組成物は、その後、少なくとも1つのイオン交換系から、少なくとも1つの容器に運ばれる。再生後の化学組成物は、少なくとも1つの容器から、少なくとも1つの熱源に運ばれる。また、本発明は、タンク表面を洗浄するために使用することもできる。例えば、高密度ポリエチレンタンクにコロイド分散液を一定期間以上貯蔵するとその表面にシリカの薄膜が形成される。これは極めて洗浄しづらく、特に、その場所にアクセスしづらい。本発明の加熱後の化学組成物によって、洗浄を簡単に行うことができる。本発明は、限定されるものではないが、種々の経済的及び環境的効用を有する。経済的効用は自明である。フィルターの再利用により処理コストが減少する。環境負荷はより重要であり得る。幾百幾千ものフィルターがゴミ廃棄場に捨てられている。これらは生分解性ではない。フィルターの再利用により環境負荷を低減することは極めて重要である。本発明は、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去するために特別に設計された装置からなるシステムに関する。特別に設計された装置を有するシステムの例を図5に示す。特に、本発明は、微粒子又は堆積物が乗っている表面から微粒子又は堆積物を除去するシステムに関する。本システムは、少なくとも1つの容器、微粒子又は堆積物が乗っている表面を有する少なくとも1つの筐体、1つ以上のポンプ、及び1つ以上の弁を備える。少なくとも1つの容器は、化学組成物を保持することに適している。少なくとも1つの容器は少なくとも1つの筐体と通流している。少なくとも1つの筐体は少なくとも1つの容器と通流している。この配置は、少なくとも1つの第1化学組成物循環ループを形成する。この第1化学組成物循環ループ含むシステムは可搬式であっても常設式であってもよい。本システムは任意に少なくとも1つの熱源を含む。少なくとも1つの熱源は化学組成物にエネルギーを供給することに適している。少なくとも1つの容器は少なくとも1つの熱源に通流している。少なくとも1つの熱源は少なくとも1つの筐体に通流している。少なくとも1つの筐体は少なくとも1つの熱源に通流している。少なくとも1つの熱源は少なくとも1つの容器に通流している。この配置は、少なくとも1つの第2化学組成物循環ループを形成する。図5参照。この第2化学組成物循環ループを含むシステムは可搬式であっても常設式であってもよい。本システムは任意に少なくとも1つのイオン交換系を含む。このイオン交換系は化学組成物を再生することに適している。少なくとも1つの容器は少なくとも1つの筐体と通流している。少なくとも1つの筐体は少なくとも1つのイオン交換系と通流している。少なくとも1つのイオン交換系は少なくとも1つの容器と通流している。この配置は、少なくとも1つの第2化学組成物循環ループを形成する。図5参照。この第2化学組成物循環ループを含むシステムは可搬式であっても常設式であってもよい。別の実施形態では、本発明のシステムは任意に熱源及びイオン交換系の両方を含む。少なくとも1つのイオン交換系は化学組成物を再生することに適している。少なくとも1つの熱源は化学組成物にエネルギーを供給することに適している。少なくとも1つの容器は少なくとも1つの熱源に通流している。少なくとも1つの熱源は少なくとも1つの筐体に通流している。少なくとも1つの筐体は少なくとも1つの熱源に通流している。少なくとも1つの熱源は少なくとも1つのイオン交換系に通流している。少なくとも1つのイオン交換系は少なくとも1つの容器と通流している。この配置は、少なくとも1つの第3化学組成物循環ループを形成する。図5参照。この第3化学組成物循環ループを含むシステムは可搬式であっても常設式であってもよい。化学組成物放出管が、少なくとも1つの容器の少なくとも1つの排出口から、少なくとも1つの熱源の少なくとも1つの注入口に、外側から延びていてもよい。化学組成物放出管は、その内部に化学組成物液の流れを制御するための化学組成物流制御弁を含んでもよい。化学組成物放出管は、微粒子又は堆積物が乗っている表面に化学組成物を分配できるように、少なくとも1つの熱源の少なくとも1つの排出口から、少なくとも1つの筐体の少なくとも1つの注入口に、外側から延びていてもよい。化学組成物放出管は、その内部に化学組成物液の流れを制御するための化学組成物流制御弁を含んでもよい。使用済み化学組成物放出管が、少なくとも1つの筐体の少なくとも1つの排出口から、少なくとも1つの熱源の少なくとも1つの注入口に、外側から延びていてもよい。使用済み化学組成物放出管は、その内部に使用済み化学組成物液の流れを制御するための化学組成物流制御弁を含んでもよい。使用済み化学組成物放出管が、少なくとも1つの熱源の少なくとも1つの排出口から、少なくとも1つのイオン交換系の少なくとも1つの注入口に、外側から延びていてもよい。使用済み化学組成物放出管は、その内部に使用済み化学組成物液の流れを制御するための化学組成物流制御弁を含んでもよい。再生後の化学組成物放出管が、少なくとも1つのイオン交換系の少なくとも1つの排出口から、少なくとも1つの容器の少なくとも1つの注入口に、外側から延びていてもよい。再生後の化学組成物放出管は、その内部に再生後の化学組成物液の流れを制御するための化学組成物流制御弁を含んでもよい。粒子汚染筐体フィルター、ハウジング、タンクなどは、2つの異なる循環ループ用に設計されている。標準的な分散液ループでは、分散液は投入された後取り除かれる。フィルターハウジングであれば、コロイド分散液はポンプ及び弁を介して押し出され、濾過後の分散液は排出を介してハウジングを離れる。ハウジングの微粒子汚染細孔表面の洗浄が必要な時は、分散液ループ用の弁を閉じ、洗浄ループ用の弁を開ける。このループは、化学組成物を貯蔵するためのタンク、加熱器などの熱源、イオン交換系、弁、及びポンプを含む。また、この装置は、工程管理用のメトロロジーを含んでもよい。筐体を通って循環した後の化学組成物は、再生のためにイオン交換系に送られてもよい。イオン交換ループは任意である。化学洗浄ループは可搬式であっても常設式であってもよい。また、イオン交換ループも可搬式であっても常設式であってもよい。別の実施形態では、図3に示すように、シリカは、フィルターが目詰りするまで、シリカ分散液タンクからフィルターを介してシリカパッケージングステーションに分配されるステップ1及び2を参照。フィルターの目詰まりの指標として、15psiの差圧を用いることができる。フィルターが目詰りすると、ステップ1及び2は中断され、シリカ分散液はフィルターハウジングからシリカ分散液タンクへポンプにより送り返される。加熱したKOHが、10分間、又は、シリカの全てが分解するまで、フィルターを再循環されるステップ3参照。KOHは、その後、フィルターからKOHタンクにポンプにより送り返される。ステップ3は、その後、中断され、pHが所望の水準に下がるまでフィルターをすすぐためにステップ4が使用される。水は、フィルターから水タンクにポンプにより送り返される。ステップ1-4は、約10回、又は、KOHが約10のシリカで飽和するまで、繰り返される。全てのステップは、その後、中断され、KOHタンク中の総固形分の割合を測る。KOH中の総固形分の割合が約10よりも高い場合、イオン交換してKOHを新鮮な状態に戻すためにステップ5が使用される。全濾過システムは、その後、ステップ1-5を繰り返す事ができる状態になる。所望の又は最適の動作条件を得るために動作パラメーターの自動的かつ実時間での最適化及び/又は調整ができるように構成された洗浄システムの操作において、任意に、制御システム及び制御方法論を用いることができる。適切な制御手段が当分野で周知であり、例えば、プログラマブルロジックコントローラーPLC又はマイクロプロセッサなどが挙げられる。化学組成物の供給率、化学組成物の加熱、圧力や安全弁の設定を制御するために、任意に、コンピューター実装システムを用いることができる。コンピューター制御システムは、微粒子又は堆積物が乗っている表面からの微粒子又は堆積物の除去を最適化するための異なるパラメーターを調節する能力を有していてもよい。このシステムは、パラメーターを自動的に調節するために実装されてもよい。洗浄システムの制御は、従来のハードウェア又はソフトウェアが実装されたコンピューター及び/又は電子制御システムを様々な電子センサーと併用することで行うことができる。この制御すステムは、化学組成物の供給率、化学組成物の加熱、圧力や安全弁の設定を制御するよう構成されていてもよい。この洗浄システムは、さらに、化学組成物の供給率、化学組成物の加熱、圧力や安全弁などの様々なパラメーターを計測するためのセンサーを備えていてもよい。制御ユニットは、センサーと、計測されたパラメーターの値に従ってシステムを介して化学組成物を運ぶための少なくとも1つの注入口及び排出口とに接続されていてもよい。コンピューターが実装されたシステムは、任意に、洗浄システムの一部であってもよいし、又は、洗浄システムと連結されていてもよい。このシステムは、システムの操作パラメーターを制御し操作するよう、また、値を解析し計算するよう構成され又はプログラムされていてもよい。コンピューターが実装されたシステムは、システムの操作パラメーターを設定し制御するため、制御信号を送受信できる。コンピューターが実装されたシステムは、洗浄システムに対して遠隔的に設置することができる。また、このシステムは、イーサーネット接続又はワイヤレス接続などの直接的な又は間接的な手段を介して1つ以上の遠隔洗浄システムからデータを受け取るよう構成されてもよい。この制御システムは、インターネットなどを介して遠隔操作できる。洗浄システムの制御の一部又は全てはコンピューターなしでも行うことができる。他種の制御は、物理的な制御により行うことができる。例えば、制御システムは使用者により操作される手動システムであってもよい。別の実施形態では、使用者は、上述の制御システムに入力を提供することができる。供給率例えば、化学組成物輸送割合などを監視するため、適切な圧力ゲージを用いることができる。効率的に連続して完全に自動的に操業できるよう循環吸着システム内で気体の流れを監視し自動的に制御するなどの循環処理の様々な機能を実行するために従来の装置を用いることができることは明らかだろう。本発明の種々の修正例及び変形例が当業者にとって明らかであり、こうした修正例及び変形例が本出願の範囲並びに請求項の要旨及び範囲に含まれることが理解されるだろう。[実施例1]0.1-1ミクロン径のフィルター細孔を有するフィルターハウジング3つにヒュームドシリカ分散液を循環させた。こうした細かい細孔は、1ミクロン径を超える細孔に比べて、再調整がより困難であると考えられる。フィルターが目詰りしたら、フィルターに加圧水を循環させた。その後、ヒュームドシリカ分散液を再濾過した。しかし、差圧は下がらなかった。これは細孔が目詰りしたままであることを示している。[実施例2]実施例1と同じフィルターに、加熱した50°CKOH水溶液を10分間循環させた。KOHを洗い落としてpHを下げるため続いて水ですすいだ。その後、フィルターを再調整し再利用可能な状態にした。その後、ヒュームドシリカ分散液を同フィルターで濾過した。ヒュームドシリカのLPC大粒子数、MPS平均粒子径、及びTS合計固形分のデータは、完全に洗浄がなされ、濾過効率が回復したことを示している。[実施例3]実施例2の工程を同じフィルターで数度繰り返した。洗浄毎に濾過効率の完全な回復がみられた。[実施例4]実施例2の工程を繰り返した。驚くべきことに、新しい周期を行うごとに、濾過効率の漸次的な改善が見られた。周期毎にLPCは低下した。[実施例5]各実験において、カートリッジフィルターポール社、0.5μmAを標準的な10インチのフィルターハウジングに装填した。スラリー即ち、ヒュームドシリカ分散液を、1.2リットル/分の定常速度でハウジングにポンプで通した。スラリーのポンプ輸送は、いずれかのフィルターで12psiの差圧が得られるまで続けた。未濾過の材料に浸かっていた浸漬管を引き抜き、ハウジングに圧力を送って、残ったスラリーを抜いた。その後、1回目の水すすぎ液を流した。22.5KOH溶液を50°Cで10分間再循環させその後押し出した。2回目の水すすぎ液を流し、ハウジングの残りの水を抜いた。スラリーで再びろ過を行い、上記のステップを所望の量この場合300キログラムが濾過されるまで繰り返した。12psiの差圧が得られるまでスラリーのカットを流した。LCP大粒子数を計測するため複合濾過スラリーを採取した。pH、MPS平均粒子径、LPC、及びカリウム含有量をスラリーの各カットから得た。対照試験として、フィルターのすすぎ又は洗浄を行わなかった点以外は上記同様のフィルターでサンプルを濾過した。フィルターが12psiの差圧となったら、取り外し交換した。結果を図6-10に示す。図6-10において、MPSはナノメートル単位で示した平均粒子径である。LPCは大粒子数である。Kはカリウムである。A/分は分あたりのオングストロームである。RRは除去率である。TEOSRRは酸化物TEOS層の除去率である。フィルターAはポール社製の0.5ミクロンフィルターである。フィルターBはポール社製の1.0ミクロンフィルターである。フィルターCはポール社製の0.5μmフィルターである。IPECは図10の研磨工具を製造している会社の名前である。8インチの銅ウェハー上の9点を200倍の顕微鏡で観察し平均損失数を求めることにより銅欠損率を決定した。動的フィルター洗浄工程後の濾過後スラリー100μL中の0.56μm超の大粒子数を図6に示す。洗浄周期毎のスラリー中のカリウムイオン含有量を図7に示す。洗浄周期毎のスラリーを濾過するのに掛る時間分を図8に示す。洗浄周期毎のスラリーの情報を図9に示す。同じフィルターを用いて13洗浄周期後のスラリーの研磨率及び欠陥率を対照プラント及び対照パイロットプラントと比較して図10に示す。図6-10に示したデータから、試験バッチのLPCが洗浄周期毎に改善して行くことが判別できた。スラリーが12psiの差圧になるまで濾過されるのに掛る分ふん数は、洗浄周期数の増加とともに増加する傾向にあった。カリウムイオンレベルは試験バッチの洗浄周期を通して変化しなかった。標準的な植物由来材料及び洗浄済みフィルターによる除去率又は欠損率への影響はなかった。洗浄溶液による最終製品への影響はなかった。このデータは本発明の洗浄法が濾過前のフィルターの前処理に使用することができることを示す。[実施例6]各実験において、カートリッジフィルターを標準的な1インチフィルターに装填した。スラリー即ち、ヒュームドシリカ分散液を、120ミリリットル/分の定常速度でハウジングにポンプで通した。スラリーのポンプ輸送は、いずれかのフィルターで15psiの差圧が得られるまで続けた。未濾過の材料に浸かっていた浸漬管を引き抜き、ハウジングに圧力を送って、残ったスラリーを抜いた。フィルターをハウジングから取り除き、1回目の水によるすすぎを手動で行った。その後、50°Cの22.5KOH溶液中で10分間フィルターを音波洗浄した。フィルターを取り除き、2回目の水によるすすぎを行い、その後、再びスラリーの濾過を開始した。上記のステップを所望の量が濾過されるまで繰り返した。15psiの差圧が得られるまでスラリーのカットを流した。pH、MPS平均粒子径、LPC大粒子数、及びカリウム含有量をスラリーの各カットから得た。対照試験として、音波洗浄をDI/RO脱イオン化/逆浸透水を用いて行った点以外は上記同様のフィルターでサンプルを濾過した。結果を図11-12に示す。DI/RO音波洗浄及びKOH音波洗浄の両方についてフィルターの洗浄に掛かった分ふん数を図11に示す。洗浄周期毎のDI/RO音波洗浄及びKOH音波洗浄したカットのLPCを図12に示す。図11及び12に示したデータから、KOHによりフィルターを簡単に洗浄できたことが分かった。フィルターはKOHによる各洗浄工程後に繰り返し使用することができ、スラリー及び工程の再現性がよいことが示された。RO/DI洗浄におけるLPCはすすぎに強く障害された。本発明に関して様々な実施形態を示し説明してきた。しかし、これらに種々の変更を加えてもよいことが当業者にとって明白であることを明瞭に理解することができるだろう。これまでに示し説明してきた詳細に限定されることを望むものではなく、むしろ、全ての変更及び修正が特許請求の範囲に収まることを意図するものである。