"チタン、マグネシウム、ハロゲン原子および下記一般式1;式中、Rは水素原子、ハロゲン原子、メチル基またはエチル基であり、複数のRは互いに同じであっても異なってもよい。R1およびR2は、それぞれ炭素数1~12のアルキル基であり、互いに同じであっても異なってもよい。で表わされるエステル化合物を含有するオレフィン類重合用固体触媒成分。前記Rが、水素原子であることを特徴とする請求項1に記載のオレフィン類重合用固体触媒成分。前記R1およびR2は、炭素数1~5のアルキル基であることを特徴とする請求項1または2に記載のオレフィン類重合用固体触媒成分。マグネシウム化合物、チタン化合物、必要に応じて前記チタン化合物以外のハロゲン化合物および下記一般式1;式中、Rは水素原子、ハロゲン原子、メチル基またはエチル基であり、複数のRは互いに同じであっても異なってもよい。R1およびR2は、それぞれ炭素数1~12のアルキル基であり、互いに同じであっても異なってもよい。で表わされるエステル化合物を相互に接触させる工程を有することを特徴とするオレフィン類重合用固体触媒成分の製造方法。I請求項1~3のいずれか1項に記載のオレフィン類重合用固体触媒成分、II一般式2;R3pAlQ3-p2式中、R3は炭素数1~4のアルキル基を示し、Qは水素原子あるいはハロゲン原子を示し、pは0<p≦3の実数であり、R3が複数の場合、各R3は同一であっても異なっていてもよく、Qが複数の場合、各Qは同一であっても異なっていてもよい。で表わされる有機アルミニウム化合物、およびIII外部電子供与体から形成されることを特徴とするオレフィン類重合用触媒。前記IIIの外部電子供与性化合物が、下記一般式3;R4qSiOR54-q3式中、R4は炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、フェニル基、炭素数1~12のアルキルアミノ基または炭素数1~12のジアルキルアミノ基であり、qは0≦q≦3の整数で、qが2以上の場合、複数のR4は同一であっても異なっていてもよい。R5は炭素数1~4のアルキル基、炭素数3~6のシクロアルキル基、フェニル基、ビニル基、アリル基またはアラルキル基を示し、複数のR5は同一であっても異なっていてもよい。で表される有機ケイ素化合物および下記一般式4;R6R7NsSiR84-s4式中、R6およびR7は水素原子、炭素数1~20の直鎖または炭素数3~20の分岐状アルキル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、アリール基であり、R6およびR7は同一であっても異なっていてもよく、またR6およびR7が互いに結合して環を形成してもよい。R8は炭素数1~20の直鎖または炭素数3~20の分岐状アルキル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基、炭素数1~20の直鎖または分岐状アルコキシ基、ビニルオキシ基、アリロキシ基、炭素数3~20のシクロアルキル基、アリール基、アリールオキシ基を示し、R8が複数ある場合、複数のR8は同一であっても異なっていてもよい。sは1から3の整数である。で表されるアミノシラン化合物から選択される少なくとも1種または2種以上であることを特徴とする請求項5記載のオレフィン類重合用触媒。請求項5または6のオレフィン類重合触媒の存在下に、オレフィン類の重合を行うことを特徴とするオレフィン類重合体の製造方法。従って、本発明の目的は、重合時に大量の水素を使用することなく、溶融時の流れ性が高く、分子量分布が広いポリオレフィンを収率よく得ることができるオレフィン類重合用固体触媒成分、その製造方法、オレフィン類重合用触媒およびこれを用いたオレフィン類重合体の製造方法を提供することにある。かかる実情において、本発明者は、鋭意検討を行った結果、前記一般式1で表されるエステル化合物を内部電子供与体として用いたオレフィン類重合用固体触媒成分が、上記技術課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、チタン、マグネシウム、ハロゲン原子および下記一般式1;式中、Rは水素原子、ハロゲン原子、メチル基またはエチル基であり、複数のRは互いに同じであっても異なってもよい。R1およびR2は、それぞれ炭素数1~12のアルキル基であり、互いに同じであっても異なってもよい。で表わされるエステル化合物を含有するオレフィン類重合用固体触媒成分を提供するものである。また、本発明は、マグネシウム化合物、チタン化合物、必要に応じて前記チタン化合物以外のハロゲン化合物および前記一般式1で表わされるエステル化合物を相互に接触させる工程を有することを特徴とするオレフィン類重合用固体触媒成分の製造方法を提供するものである。また、本発明は、I前記オレフィン類重合用固体触媒成分、II一般式2;R3pAlQ3-p2式中、R3は炭素数1~4のアルキル基を示し、Qは水素原子あるいはハロゲン原子を示し、pは0<p≦3の実数であり、R3が複数の場合、各R3は同一であっても異なっていてもよく、Qが複数の場合、各Qは同一であっても異なっていてもよい。で表わされる有機アルミニウム化合物、およびIII外部電子供与体から形成されることを特徴とするオレフィン類重合用触媒を提供するものである。また、本発明は、前記オレフィン類重合触媒の存在下に、オレフィン類の重合を行うことを特徴とするオレフィン類重合体の製造方法を提供するものである。本発明によれば、オレフィン類の重合の際、従来のフタル酸ジエステルやコハク酸ジエステルを含有する固体触媒成分が有していた課題を克服し、重合時に大量の水素を使用することなく、溶融時の流れ性が高く、広分子量分布の特性を有するオレフィン類重合体を、収率良く得ることができる。オレフィン類重合用固体触媒成分の説明本発明のオレフィン類重合用固体触媒成分以下、単に固体触媒成分Iとも言う。に含まれるハロゲン原子としては、例えば、フッ素、塩素、臭素またはヨウ素の各原子が挙げられ、中でも好ましくは塩素、臭素またはヨウ素であり、特に好ましくは塩素またはヨウ素である。また、上記一般式1中、Rのハロゲン原子としては、例えば、フッ素、塩素、臭素またはヨウ素の各原子が挙げられ、中でも好ましくは塩素、臭素またはヨウ素であり、特に好ましくは塩素または臭素である。また、上記一般式1中、R1およびR2の炭素数1~12のアルキル基としては、炭素数1~12、好ましくは炭素数1~5、特に好ましくは炭素数1~4の直鎖状アルキル基が挙げられ、炭素数3~12、好ましくは3~8の分岐状アルキル基が挙げられる。具体的には、メチル基、エチル基、n-プロピル基、n-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ヘプチル基、n-オクチル基、n-ノニル基、n-デシル基、イソプロピル基、イソブチル基、t-ブチル基、イソペンチル基、テキシル基、イソノニル基、ネオペンチル基等が挙げられ、その中、メチル基、エチル基、n-プロピル基、n-ブチル基、イソプロピル基、イソブチル基、t-ブチル基、2-エチルヘキシル基が好ましく、中でも、エチル基、イソブチル基が特に好ましい。好ましいエステル化合物Aは、一般式1中のRが全て水素原子である2,2-ビフェニルジカルボン酸ジエステルである。この中、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジメチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸エチル-n-プロピル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジ-n-プロピル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸エチル-n-ブチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジ-n-ブチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジイソブチルが特に好ましい。これらの化合物は、1種単独または2種以上を組み合わせて用いることもできる。本発明における固体触媒成分I中には、前記一般式1で示されるエステル化合物A以外の電子供与性化合物以下、電子供与性化合物Dということがある。が含まれていてもよい。このような電子供与性化合物Dとしては、酸ハライド類、酸アミド類、ニトリル類、酸無水物、ジエーテル化合物類およびフタル酸エステル類、コハク酸エステル類、マレイン酸エステル類、マロン酸エステル類、グルタル酸エステル、シクロヘキサンジカルボン酸エステル類、シクロへキセンジカルボン酸エステル類などのエステル化合物A以外の有機酸エステルなどが挙げられる。このような電子供与性化合物Dは、2種以上併用することもできる。本発明における固体触媒成分I中には、ポリシロキサン以下、単にポリシロキサンEということがある。が含まれていてもよい。ポリシロキサンを用いることにより生成ポリマーの立体規則性あるいは結晶性を向上させることができ、さらには生成ポリマーの微粉を低減することが可能となる。ポリシロキサンは、主鎖にシロキサン結合-Si-O-Si-結合を有する重合体であるが、シリコーンオイルとも総称され、25°Cにおける粘度が0.02~100cm2/s2~10000センチストークス、より好ましくは0.03~5cm2/s3~500センチストークスを有する、常温で液状あるいは粘稠状の鎖状、部分水素化、環状あるいは変性ポリシロキサンである。鎖状ポリシロキサンとしては、ジメチルポリシロキサン、メチルフェニルポリシロキサンが、部分水素化ポリシロキサンとしては、水素化率10~80のメチルハイドロジェンポリシロキサンが、環状ポリシロキサンとしては、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、2,4,6-トリメチルシクロトリシロキサン、2,4,6,8-テトラメチルシクロテトラシロキサンなどが挙げられる。また、本発明における固体触媒成分I中のチタン、マグネシウム、ハロゲン、エステル化合物Aの含有量は特に規定されないが、好ましくは、チタンが0.1~10重量、好ましくは0.5~8.0重量、より好ましくは1.0~8.0重量であり、マグネシウムが10~70重量、より好ましくは10~50重量、特に好ましくは15~40重量、更に好ましくは15~25重量であり、ハロゲン原子が20~88重量、より好ましくは30~85重量、特に好ましくは40~80重量、更に好ましくは45~75重量であり、またエステル化合物Aは合計0.5~40重量、より好ましくは合計1~30重量、特に好ましくは合計2~25重量である。本発明の固体触媒成分Iは、例えば、マグネシウムの含有量が15~25重量、エステル化合物Aの含有量が2~20重量、ハロゲン原子の含有量が45~75重量、チタンの含有量が3~8重量である場合に、固体触媒成分としての性能をバランスよく発揮することができ、水素活性および重合活性が高く、より少ない水素量で高い溶融流れ性を示し、しかも分子量分布の広いポリマーを収率よく得ることができる。オレフィン類重合用固体触媒成分Iの製造方法の説明本発明のオレフィン類重合用固体触媒成分Iの製造方法は、下記のようなマグネシウム化合物、チタン化合物、必要に応じて前記チタン化合物以外のハロゲン化合物および前記一般式1のエステル化合物Aを相互に接触させることで調製される。本発明の固体触媒成分の製造方法において使用されるマグネシウム化合物以下、単にマグネシウム化合物Bということがある。としては、ジハロゲン化マグネシウム、ジアルキルマグネシウム、ハロゲン化アルキルマグネシウム、ジアルコキシマグネシウム、ジアリールオキシマグネシウム、ハロゲン化アルコキシマグネシウムあるいは脂肪酸マグネシウム等から選ばれる一種以上が挙げられる。これらのマグネシウム化合物の中、ジハロゲン化マグネシウム、ジハロゲン化マグネシウムとジアルコキシマグネシウムの混合物、ジアルコキシマグネシウムが好ましく、特にジアルコキシマグネシウムが好ましい。ジアルコキシマグネシウムとしては、ジメトキシマグネシウム、ジエトキシマグネシウム、ジプロポキシマグネシウム、ジブトキシマグネシウム、エトキシメトキシマグネシウム、エトキシプロポキシマグネシウム、ブトキシエトキシマグネシウム等が挙げられる。また、これらのジアルコキシマグネシウムは、金属マグネシウムを、ハロゲンあるいはハロゲン含有金属化合物等の存在下にアルコールと反応させてなるものでもよい。また、上記のジアルコキシマグネシウムは、一種以上併用することもできる。更に、本発明の固体触媒成分の調製において、ジアルコキシマグネシウムを用いる場合は、顆粒状または粉末状であることが好ましく、その形状は不定形あるいは球状のものを使用し得る。例えば球状のジアルコキシマグネシウムを使用した場合、重合時により良好な粒子形状と狭い粒度分布を有する重合体粉末が得られ、重合操作時の生成重合体粉末の取扱い操作性が向上し、生成重合体粉末に含まれる微粉に起因する閉塞等の問題が解消される。上記の球状のジアルコキシマグネシウムは、必ずしも真球状である必要はなく、楕円形状あるいは馬鈴薯形状のものを用いることもできる。具体的にその粒子の形状は、長軸径lと短軸径wとの比l/wが3以下であり、好ましくは1から2であり、より好ましくは1から1.5である。また、上記ジアルコキシマグネシウムの平均粒径は、レーザー光散乱回折法粒度測定機を用いて測定したときの、平均粒子径D50体積積算粒度分布における積算粒度で50の粒径で1~200μmのものが好ましく、5~150μmのものがより好ましい。球状のジアルコキシマグネシウムの場合、その平均粒径は1~100μmが好ましく、5~50μmがより好ましく、10~40μmがさらに好ましい。また、その粒度については、微粉および粗粉の少ない、粒度分布の狭いものが望ましい。具体的には、レーザー光散乱回折法粒度測定機を用いて測定したときに、5μm以下の粒子が20以下であるものが好ましく、10以下であるものがより好ましい。一方、100μm以上の粒子が10以下であるものが好ましく、5以下であるものがより好ましい。更にその粒度分布をlnD90/D10ここで、D90は体積積算粒度分布における積算粒度で90の粒径、D10は体積積算粒度分布における積算粒度で10の粒径である。で表すと3以下であることが好ましく、2以下であることがより好ましい。上記の如き球状のジアルコキシマグネシウムの製造方法は、例えば特開昭58-41832号公報、同62-51633号公報、特開平3-74341号公報、同4-368391号公報、同8-73388号公報などに例示されている。本発明では、マグネシウム化合物Bは、溶液状のマグネシウム化合物、またはマグネシウム化合物懸濁液のいずれも用いることができる。マグネシウム化合物Bが固体である場合には、マグネシウム化合物Bの可溶化能を有する溶媒に溶解して溶液状のマグネシウム化合物とするか、マグネシウム化合物Bの可溶化能を有さない溶媒に懸濁してマグネシウム化合物懸濁液として用いる。マグネシウム化合物Bが液体である場合には、そのまま溶液状のマグネシウム化合物として用いることができ、マグネシウム化合物の可溶化能を有する溶媒にこれを溶解して溶液状のマグネシウム化合物として用いることもできる。固体のマグネシウム化合物Bを可溶化しうる化合物としては、アルコール、エーテルおよびエステルからなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物が挙げられる。具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、2-エチルヘキサノール、オクタノール、ドデカノール、オクタデシルアルコール、オレイルアルコール、ベンジルアルコール、フェニルエチルアルコール、クミルアルコール、イソプロピルアルコール、イソプロピルベンジルアルコール、エチレングリコールなどの炭素原子数が1~18のアルコール;トリクロロメタノール、トリクロロエタノール、トリクロロヘキサノールなどの炭素原子数が1~18のハロゲン含有アルコール;メチルエーテル、エチルエーテル、イソプロピルエーテル、ブチルエーテル、アミルエーテル、テトラヒドロフラン、エチルベンジルエーテル、ジブチルエーテル、アニソール、ジフェニルエーテルなどの炭素原子数が2~20のエーテル;テトラエトキシチタン、テトラ-n-プロポキシチタン、テトライソプロポキシチタン、テトラブトキシチタン、テトラヘキソキシチタン、テトラブトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコニウムなどの金属アルコキシドなどが挙げられ、中でも、エタノール、プロパノール、ブタノール、2-エチルヘキサノールなどのアルコールが好ましく、2-エチルヘキサノールが特に好ましい。一方、マグネシウム化合物Bの可溶化能を有さない媒体としては、マグネシウム化合物を溶解することがない、飽和炭化水素溶媒または不飽和炭化水素溶媒が用いられる。飽和炭化水素溶媒または不飽和炭化水素溶媒は、安全性や工業的汎用性が高いことから、具体的にはヘキサン、ヘプタン、デカン、メチルヘプタンなどの沸点50~200°Cの直鎖状または分岐状脂肪族炭化水素化合物、シクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、デカヒドロナフタレンなどの沸点50~200°Cの脂環式炭化水素化合物、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの沸点50~200°Cの芳香族炭化水素化合物が挙げられ、中でも、ヘキサン、ヘプタン、デカンなどの沸点50~200°Cの直鎖状脂肪族炭化水素化合物や、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの沸点50~200°Cの芳香族炭化水素化合物が、好ましく用いられる。また、これらは単独で用いても、2種以上混合して使用してもよい。本発明における成分Iの調製に用いられるチタン化合物以下チタン化合物Cということがある。としては、例えば、一般式5;TiOR9jX4-j5R9は、炭素数1~10の炭化水素基であり、OR9基が複数存在する場合、複数のR9は同一であっても異なっていてもよく、Xはハロゲン原子であり、Xが複数存在する場合、各Xは同一であっても異なっていてもよく、jは0または1~4の整数である。で表わされる4価のチタン化合物を挙げることができる。前記一般式5で表わされる4価のチタン化合物は、アルコキシチタン、チタンハライドもしくはアルコキシチタンハライド群から選択される化合物の1種あるいは2種以上である。具体的には、チタンテトラフルオライド、チタンテトラクロライド、チタンテトラブロマイド、チタンテトラアイオダイド等のチタンテトラハライド、アルコキシチタンハライドとしてメトキシチタントリクロライド、エトキシチタントリクロライド、プロポキシチタントリクロライド、n-ブトキシチタントリクロライド等のアルコキシチタントリハライド、ジメトキシチタンジクロライド、ジエトキシチタンジクロライド、ジプロポキシチタンジクロライド、ジ-n-ブトキシチタンジクロライド、等のジアルコキシチタンジハライド、トリメトキシチタンクロライド、トリエトキシチタンクロライド、トリプロポキシチタンクロライド、トリ-n-ブトキシチタンクロライド等のトリアルコキシチタンハライドが挙げられる。これらの中ではハロゲン含有チタン化合物が好ましく用いられ、チタンテトラクロライド、チタンテトラブロマイド、チタンテトラアイオダイド等のチタンテトラハライドが好ましく、特に好ましくはチタンテトラクロライドである。これらのチタン化合物は単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせてもよい。さらに、これら一般式5で表わされる4価のチタン化合物は、炭化水素化合物あるいはハロゲン化炭化水素化合物等で希釈して使用してもよい。本発明の固体触媒成分Iの調製において、必要に応じ、上記チタン化合物C以外のハロゲン化合物を使用してもよい。このようなハロゲン化合物としては、四価のハロゲン含有ケイ素化合物が挙げられる。より具体的には、テトラクロロシラン四塩化ケイ素、テトラブロモシラン等のシランテトラハライド、メトキシトリクロロシラン、エトキシトリクロロシラン、プロポキシトリクロロシラン、n-ブトキシトリクロロシラン、ジメトキシジクロロシラン、ジエトキシジクロロシラン、ジプロポキシジクロロシラン、ジ-n-ブトキシジクロロシラン、トリメトキシクロロシラン、トリエトキシクロロシラン、トリプロポキシクロロシラン、トリ-n-ブトキシクロロシラン等のアルコキシ基含有ハロゲン化シランが挙げられる。本発明の固体触媒成分Iの製造方法で使用されるエステル化合物A、必要に応じて使用される電子供与性化合物Dは、本発明の固体触媒成分Iのエステル化合物A、電子供与性化合物Dと同様であり、その説明を省略する。また、本発明の固体触媒成分Iの製造方法で必要に応じて使用されるポリシロキサンEは、本発明の固体触媒成分IのポリシロキサンEと同様であり、その説明を省略する。本発明において、好適な固体触媒成分Iの製造方法としては、例えば、還元性を有しない固体マグネシウム化合物、エステル化合物Aおよびハロゲン化チタンを共粉砕する方法や、アルコール等の付加物を有するハロゲン化マグネシウム化合物、エステル化合物Aおよびハロゲン化チタンを不活性炭化水素溶媒の共存下、接触させる方法、ジアルコキシマグネシウム、エステル化合物Aおよびハロゲン化チタンを不活性炭化水素溶媒共存下で接触させる方法、還元性を有するマグネシウム化合物、エステル化合物Aおよびハロゲン化チタンを接触させて固体触媒を析出させる方法などが挙げられる。以下に、オレフィン類重合用固体触媒成分Iの具体的な調製方法を例示する。なお、以下の1~16の方法において、エステル化合物Aに加え、エステル化合物A以外の電子供与性化合物Dを併用してもよい。さらに、上記接触は、例えば、ケイ素、リン、アルミニウム等の他の反応試剤や界面活性剤の共存下に行ってもよい。1ハロゲン化マグネシウムをアルコキシチタン化合物に溶解させた後、有機ケイ素化合物を接触させて固体生成物を得、該固体生成物とハロゲン化チタンを反応させ、次いでエステル化合物Aを接触反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、成分Iに対し、さらに有機アルミニウム化合物、有機ケイ素化合物及びオレフィン類で予備的な重合処理を行なうこともできる。2ハロゲン化マグネシウム及びアルコールを反応させて均一溶液とした後、該均一溶液にハロゲン化チタンを接触反応させて固体物を得、該固体物に更にハロゲン化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法であって、上記ハロゲン化チタンを接触するいずれかの段階において、エステル化合物Aを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。3金属マグネシウム、ブチルクロライド及びジアルキルエーテルを反応させることによって有機マグネシウム化合物を合成し、該有機マグネシウム化合物にアルコキシチタンを接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物にエステル化合物A及びハロゲン化チタンを接触反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、該固体触媒成分Iに対し、有機アルミニウム化合物、有機ケイ素化合物及びオレフィンで予備的な重合処理を行ない、オレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製することもできる。4ジアルキルマグネシウム等の有機マグネシウム化合物と、有機アルミニウム化合物を、炭化水素溶媒の存在下、アルコールと接触反応させて均一溶液とし、この溶液に四塩化ケイ素等のケイ素化合物を接触させて固体生成物を得、次いで芳香族炭化水素溶媒の存在下で該固体生成物に、ハロゲン化チタン及びエステル化合物Aを接触反応させた後、更に四塩化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。5塩化マグネシウム、テトラアルコキシチタン及び脂肪族アルコールを、炭化水素溶媒の存在下で接触反応させて均質溶液とし、その溶液とハロゲン化チタンを接触した後昇温して固体物を析出させ、該固体物にエステル化合物Aを接触させ、更にハロゲン化チタンと反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。6金属マグネシウム粉末、アルキルモノハロゲン化合物及びヨウ素を接触反応させ、その後テトラアルコキシチタン、酸ハロゲン化物、及び脂肪族アルコールを、炭化水素溶媒の存在下で接触反応させて均質溶液とし、その溶液に四塩化チタンを加えた後昇温し、固体生成物を析出させ、該固体生成物にエステル化合物Aを接触させ、更に四塩化チタンと反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。7ジアルコキシマグネシウムを炭化水素溶媒に懸濁させた後、四塩化チタンと接触させた後に昇温し、エステル化合物Aと接触させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度四塩化チタンと接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、該固体触媒成分Iを、炭化水素溶媒の存在下又は不存在下で加熱処理することもできる。8ジアルコキシマグネシウムを炭化水素溶媒に懸濁させた後、ハロゲン化チタン及びエステル化合物Aと接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物を不活性有機溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンと接触反応させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。なおこの際、該固体触媒成分Iとハロゲン化チタンとを2回以上接触させることもできる。9ジアルコキシマグネシウム、塩化カルシウム及びアルコキシ基含有ケイ素化合物を共粉砕し、得られた粉砕固体物を炭化水素溶媒に懸濁させた後、ハロゲン化チタン及びエステル化合物Aと接触反応させ、次いで更にハロゲン化チタンを接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。10ジアルコキシマグネシウム及びエステル化合物Aを炭化水素溶媒に懸濁させ、その懸濁液をハロゲン化チタンと接触、反応させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄後、さらに炭化水素溶媒の存在下、ハロゲン化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。11ステアリン酸マグネシウムのような脂肪酸マグネシウムを、ハロゲン化チタン及びエステル化合物Aと接触反応させ、その後更にハロゲン化チタンと接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。12ジアルコキシマグネシウムを炭化水素溶媒に懸濁させ、ハロゲン化チタンと接触させた後昇温し、エステル化合物Aと接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンと接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法であって、上記懸濁接触並びに接触反応のいずれかの段階において、塩化アルミニウムを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。13ジアルコキシマグネシウム、2-エチルヘキシルアルコール及び二酸化炭素を、炭化水素溶媒の存在下で接触反応させて均一溶液とし、この溶液にハロゲン化チタン及びエステル化合物Aを接触反応させて固体物を得、更にこの固体物をテトラヒドロフランに溶解させ、その後更に固体生成物を析出させ、この固体生成物にハロゲン化チタンを接触反応させ、必要に応じハロゲン化チタンとの接触反応を繰り返し行い、オレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、上記接触接触反応溶解のいずれかの段階において、例えばテトラブトキシシラン等のケイ素化合物を使用することもできる。14塩化マグネシウム、有機エポキシ化合物及びリン酸化合物を炭化水素溶媒中に懸濁させた後、加熱して均一溶液とし、この溶液に、カルボン酸無水物及びハロゲン化チタンを接触反応させて固体生成物を得、該固体生成物にエステル化合物Aを接触させて反応させ、得られた反応生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンを接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。15ジアルコキシマグネシウム、チタン化合物及びエステル化合物Aを炭化水素溶媒の存在下に接触反応させ、得られた反応生成物にポリシロキサン等のケイ素化合物を接触反応させ、更にハロゲン化チタンを接触反応させ、次いで有機酸の金属塩を接触反応させた後、再度ハロゲン化チタンを接触させることによりオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法。16ジアルコキシマグネシウムとエステル化合物Aを炭化水素溶媒に懸濁させた後、昇温してハロゲン化ケイ素と接触させ、その後ハロゲン化チタンと接触させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄した後、炭化水素溶媒の存在下、再度ハロゲン化チタンと接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを調製する方法。なおこの際、該固体触媒成分Iを、炭化水素溶媒の存在下又は不存在下で加熱処理してもよい。なお、オレフィン重合時の重合活性、生成ポリマーの立体規則性をさらに向上させるため、これら1~16の方法において、洗浄後の上記固体触媒成分Iに、新たにハロゲン化チタンおよび炭化水素溶媒を20~100°Cで接触させ、昇温して、反応処理第2次反応処理を行った後、常温で液体の不活性有機溶媒で洗浄する操作を1~10回繰り返してもよい。本発明における成分Iの調製方法としては、上記のいずれの方法であっても好適に用いることができ、中でも1、2、3、4、5、7、8または10の方法が好ましく、2、3、4、7、8、10の方法が、高立体規則性を有するオレフィン類重合用固体触媒成分が得られる点で特に好ましい。最も好ましい調製方法は、ジアルコキシマグネシウムおよびエステル化合物Aを、直鎖状炭化水素または分岐状脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素および芳香族炭化水素から選ばれる炭化水素溶媒に懸濁させ、その懸濁液をハロゲン化チタン中に添加し、反応させて固体生成物を得、該固体生成物を炭化水素溶媒で洗浄後、さらに炭化水素溶媒の存在下、ハロゲン化チタンを接触させてオレフィン類重合用固体触媒成分Iを得る方法である。得られたオレフィン類重合用固体触媒成分Iは、該固体成分に対する重量比で1/3以下、好ましくは1/20~1/6になるまで残留する溶媒を除くことで粉末状固体成分とし、篩別や気流分級等の手段により、該粉末固体成分に混在する粒径11μm以下の微粉を除去することが好ましい。前記固体触媒成分Iを調製する際の各成分の使用量比は、調製法により異なるため一概には規定できないが、例えばマグネシウム化合物B1モル当たり、4価のチタンハロゲン化合物Cが0.5~100モル、好ましくは0.5~50モル、より好ましくは1~10モルであり、エステル化合物A、またはエステル化合物Aと電子供与性化合物Dの合計量が0.01~10モル、好ましくは0.01~1モル、より好ましくは0.02~0.6モルであり、溶媒が0.001~500モル、好ましくは0.001~100モル、より好ましくは0.005~10モルであり、ポリシロキサンEが0.01~100g、好ましくは0.05~80g、より好ましくは1~50gである。本発明のオレフィン類重合用固体触媒成分Iの調製において、ジアルコキシマグネシウム、チタン化合物、チタン化合物以外のハロゲン化合物およびエステル化合物Aを接触、反応させた際、エステル化合物Aのエステル残基に含まれるアルコキシ基が、ジアルコキシマグネシウム成分またはチタン化合物以外のハロゲン化合物に含まれるアルコキシ基と交換するエステル交換反応が生じることがある。例えば、ジアルコキシマグネシウムとしてジエトキシマグネシウムを使用し、エステル化合物AのR1およびR2がブチル基の場合、固体触媒成分I中には、エステル化合物A、エステル化合物AのR1またはR2のいずれかのブチル基がエチル基に置換した非対称エステル化合物、およびエステル化合物AのR1およびR2が両方のブチル基がエチル基に置換したエステル化合物の3種の電子供与体が存在することになる。オレフィン類重合触媒の説明本発明のオレフィン類重合用触媒は、I固体触媒成分、II有機アルミニウム化合物以下、有機アルミニウム化合物Fということがある。およびIII外部電子供与性化合物以下、単に外部電子供与性化合物Gということがある。を接触させることでオレフィン重合用触媒を形成し、該触媒の存在下にオレフィン類の重合もしくは共重合を行うことができる。II有機アルミニウム化合物Fとしては、下記一般式2;R3pAlQ3-p2R3は炭素数1~4のアルキル基を示し、Qは水素原子あるいはハロゲン原子を示し、pは0<p≦3の実数であり、R3が複数存在する場合各R3は同一であっても異なっていてもよく、Qが複数存在する場合、各Qは同一であっても異なっていてもよい。で表される化合物であれば、特に制限されないが、R3としては、エチル基、イソブチル基が好ましく、Qとしては、水素原子、塩素原子、臭素原子が好ましく、qは、2又は3が好ましく、3であることが特に好ましい。このような有機アルミニウム化合物Fの具体例としては、トリエチルアルミニウム、トリイソプロピルアルミニウム、トリ-n-ブチルアルミニウム、トリ-n-ヘキシルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなどのトリアルキルアルミニウム、ジエチルアルミニウムクロライド、ジエチルアルミニウムブロマイドなどのハロゲン化アルキルアルミニウム、ジエチルアルミニウムハイドライドなどが挙げられ、中でもジエチルアルミニウムクロライドなどのハロゲン化アルキルアルミニウム、またはトリエチルアルミニウム、トリ-n-ブチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムなどのトリアルキルアルミニウムが好ましく用いられ、特に好ましくはトリエチルアルミニウムおよびトリイソブチルアルミニウムである。これらのアルミニウム化合物は、1種あるいは2種以上が使用できる。本発明のオレフィン類重合用触媒を形成する際に用いられるIII外部電子供与性化合物としては、酸素原子あるいは窒素原子を含有する有機化合物が挙げられ、例えばアルコール類、フェノール類、エーテル類、エステル類、ケトン類、酸ハライド類、アルデヒド類、アミン類、アミド類、ニトリル類、イソシアネート類、有機ケイ素化合物等が挙げられる。上記のなかでも、安息香酸エチル、p-メトキシ安息香酸エチル、p-エトキシ安息香酸エチル、p-トルイル酸メチル、p-トルイル酸エチル、アニス酸メチル、アニス酸エチル、上記エステル化合物A等のエステル類、1,3-ジエーテル類、Si-O-C結合を含む有機ケイ素化合物、Si-N-C結合を含むアミノシラン化合物が好ましく、特にSi-O-C結合を有する有機ケイ素化合物、Si-N-C結合を有するアミノシラン化合物、および2,2’-ビフェニルジカルボン酸エステルが好ましい。上記IIIの外部電子供与性化合物のうち、Si-O-C結合を有する有機ケイ素化合物としては、下記一般式3;R4qSiOR54-q3式中、R4は炭素数1~12のアルキル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基、炭素数3~12のシクロアルキル基、フェニル基、炭素数1~12のアルキルアミノ基、炭素数1~12のジアルキルアミノ基のいずれかで、同一または異なっていてもよい。R5は炭素数1~4のアルキル基、炭素数3~6のシクロアルキル基、フェニル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基を示し、同一または異なっていてもよい。qは0≦q≦3の整数である。で表わされる有機ケイ素化合物が挙げられる。上記IIIの外部電子供与性化合物のうち、Si-N-C結合を有するアミノシラン化合物としては、下記一般式4;R6R7NsSiR84-s4式中、R6とR7は水素原子、炭素数1~20の直鎖または炭素数3~20の分岐状アルキル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、アリール基であり、R6とR7は同一でも異なってもよく、またR6とR7が互いに結合して環を形成してもよい。R8は炭素数1~20の直鎖または炭素数3~20の分岐状アルキル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基、炭素数1~20の直鎖または分岐状アルコキシ基、ビニルオキシ基、アリロキシ基、炭素数3~20のシクロアルキル基、アリール基、アリールオキシ基、およびそれらの誘導体を示し、R8が複数ある場合、複数のR8は同一でも異なってもよい。sは1から3の整数である。で表わされるアミノシラン化合物が挙げられる。このような有機ケイ素化合物としては、フェニルアルコキシシラン、アルキルアルコキシシラン、フェニルアルキルアルコキシシラン、シクロアルキルアルコキシシラン、アルキルシクロアルキルアルコキシシラン、アルキルアミノアルコキシシラン、アルキルアルキルアミノアルコキシシラン、シクロアルキルアルキルアミノアルコキシシラン、テトラアルコキシシラン、テトラキスアルキルアミノシラン、アルキルトリスアルキルアミノシラン、ジアルキルビスアルキルアミノシラン、トリアルキルアルキルアミノシラン等を挙げることができ、具体的には、フェニルトリメトキシシラン、t-ブチルトリメトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、イソプロピルイソブチルジメトキシシラン、ジイソペンチルジメトキシシラン、ビス2-エチルヘキシルジメトキシシラン、t-ブチルメチルジメトキシシラン、t-ブチルエチルジメトキシシラン、ジシクロペンチルジメトキシシラン、ジシクロヘキシルジメトキシシラン、シクロヘキシルシクロペンチルジメトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブトキシシラン、ビスエチルアミノメチルエチルシラン、t-ブチルメチルビスエチルアミノシラン、ビスエチルアミノジシクロヘキシルシラン、ジシクロペンチルビスエチルアミノシラン、ビスメチルアミノメチルシクロペンチルアミノメチルシラン、ジエチルアミノトリエトキシシラン、ビスシクロヘキシルアミノジメトキシシラン、ビスパーヒドロイソキノリノジメトキシシラン、ビスパーヒドロキノリノジメトキシシラン、エチルイソキノリノジメトキシシラン、等が挙げられ、中でも、フェニルトリメトキシシラン、t-ブチルメチルジメトキシシラン、t-ブチルエチルジメトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、イソプロピルイソブチルジメトキシシラン、ジイソペンチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジシクロペンチルジメトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、t-ブチルメチルビスエチルアミノシラン、ビスエチルアミノジシクロヘキシルシラン、ジシクロペンチルビスエチルアミノシラン、ビスパーヒドロイソキノリノジメトキシシラン、ジエチルアミノトリエトキシシラン等が好ましく用いられる。上記IIIの外部電子供与性化合物のうち、上記エステル化合物Aの2,2’-ビフェニルジカルボン酸エステルとしては本発明の固体触媒成分Iのエステル化合物Aと同様の化合物を用いることができる。例えば、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジメチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸エチル-n-プロピル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジ-n-プロピル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸エチル-n-ブチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジ-n-ブチル、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジイソブチル等が好ましく用いられる。なお、上記IIIの外部電子供与性化合物は2種以上を選択し、組み合わせて用いることもできる。例えば、前記一般式3で表わされる有機ケイ素化合物および前記一般式4で表わされる有機ケイ素化合物の中から2種以上を選択し、組み合わせて用いることもできる。また、上記IIIの外部電子供与性化合物は前記一般式3で表わされる有機ケイ素化合物、前記一般式4で表わされる有機ケイ素化合物、前記一般式1で表わされる2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエステル、及び2-イソプロピル-2-イソブチル-1,3-ジメトキシプロパン、9,9-ビスメトキシメチルフルオレン等の1,3-ジエーテル類の中から2種以上を選択し、組み合わせて用いることもできる。本発明においては、前記オレフィン重合触媒の存在下に、オレフィン類の重合もしくは共重合を行なう。オレフィン類としては、エチレン、プロピレン、1-ブテン、1-ペンテン、4-メチル-1-ペンテン、ビニルシクロヘキサン等が挙げられ、これらのオレフィン類は1種あるいは2種以上併用することができ、中でもエチレン、プロピレンおよび1-ブテンが好適に用いられる。特に好ましいものはプロピレンである。プロピレンの重合を行う場合、他のオレフィン類との共重合を行なうこともできる。共重合されるオレフィン類としては、エチレン、1-ブテン、1-ペンテン、4-メチル-1-ペンテン、ビニルシクロヘキサン等であり、これらのオレフィン類は1種あるいは2種以上併用することができる。とりわけ、エチレンおよび1-ブテンが好適に用いられる。各成分の使用量比は、本発明の効果に影響を及ぼすことのない限り任意であり、特に限定されるものではないが、通常有機アルミニウム化合物Fは固体触媒成分I中のチタン原子1モル当たり、1~2000モル、好ましくは50~1000モルの範囲で用いられる。外部電子供与性化合物Gは、有機アルミニウム化合物F1モル当たり、0.002~10モル、好ましくは0.01~2モル、特に好ましくは0.01~0.5モルの範囲で用いられる。各成分の接触順序は任意であるが、重合系内にまず有機アルミニウム化合物Fを装入し、次いで外部電子供与性化合物Gを接触させた後に固体触媒成分Iを接触させることが望ましい。本発明におけるオレフィンの重合は、有機溶媒の存在下でも不存在下でも行なうことができ、またプロピレン等のオレフィンモノマーは、気体および液体のいずれの状態でも用いることができる。重合温度は200°C以下、好ましくは100°C以下であり、重合圧力は10MPa以下、好ましくは5MPa以下である。また、連続重合法、バッチ式重合法のいずれでも可能である。更に、重合反応は1段で行なってもよいし、2段以上で行なってもよい。更に、本発明においてオレフィン類重合用固体触媒成分、有機アルミニウム化合物、および外部電子供与性化合物を含有する触媒を用いてオレフィンを重合するにあたり本重合ともいう。、触媒活性、立体規則性および生成する重合体の粒子性状等を一層改善させるために、本重合に先立ち予備重合を行なうことが望ましい。予備重合の際には、本重合と同様のオレフィン類あるいはスチレン等のモノマーを用いることができる。予備重合を行なうに際して、各成分およびモノマーの接触順序は任意であるが、好ましくは、不活性ガス雰囲気あるいはオレフィンガス雰囲気に設定した予備重合系内にまず有機アルミニウム化合物Fを装入し、次いで固体触媒成分Iを接触させた後、プロピレン等のオレフィン、またはプロピレンと1種あるいは2種以上の他のオレフィン類の混合物を接触させる。なお、外部電子供与性化合物Gを組み合わせて予備重合を行なう場合は、不活性ガス雰囲気あるいはオレフィンガス雰囲気に設定した予備重合系内にまず有機アルミニウム化合物Fを装入し、次いで外部電子供与性化合物Gを接触させ、更に固体触媒成分Iを接触させた後、プロピレン等のオレフィン、またはプロピレンと1種あるいは2種以上の他のオレフィン類の混合物を接触させる方法が望ましい。プロピレンブロック共重合体を製造する場合は、2段階以上の多段重合により行い、通常第1段目で重合用触媒の存在下にプロピレンを重合し、第2段目でエチレン及びプロピレンを共重合することにより得られる。第2段目あるいはこれ以降の重合時にプロピレン以外のα-オレフィンを共存あるいは単独で重合させることも可能である。α-オレフィンの例としては、エチレン、1-ブテン、4-メチル-1-ペンテン、ビニルシクロヘキサン、1-ヘキセン、1-オクテン等が挙げられる。具体的には、第1段目でポリプロピレン部の割合が20~80重量になるように重合温度および時間を調整して重合を行ない、次いで第2段目において、エチレンおよびプロピレンあるいは他のα-オレフィンを導入し、エチレン-プロピレンゴムEPRなどのゴム部割合が20~80重量になるように重合する。第1段目及び第2段目における重合温度は共に、200°C以下、好ましくは100°C以下であり、重合圧力は10MPa以下、好ましくは5MPa以下である。また、各重合段階での重合時間あるいは連続重合の場合、滞留時間は通常1分~5時間である。重合方法としては、シクロヘキサン、ヘプタン等の不活性炭化水素化合物の溶媒を使用するスラリー重合法、液化プロピレン等の溶媒を使用するバルク重合法、及び実質的に溶媒を使用しない気相重合法が挙げられる。好ましい重合方法としては、バルク重合法、気相重合法である。実施例次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。<固体触媒成分I-1の調製>攪拌機を具備し、窒素ガスで充分に置換された容量500mlの丸底フラスコに、ジエトキシマグネシウム20g、トルエン140ml、四塩化チタン40ml、および2,2-ビフェニルジカルボン酸ジエチル7.3ml24ミリモルを装填し、この懸濁液を攪拌しながら100°Cまで昇温後、攪拌しながら2時間、反応処理した。次いで、静置後に上澄液を除去し、得られた固体物を90°Cのトルエン200mlで洗浄する操作を4回繰り返した後、新たにトルエン80ml及び四塩化チタン20mlを加えて、攪拌しながら100°Cで30分間反応処理した第2処理。さらに、この第2処理を2度繰り返した。次いで、生成物を60°Cのヘプタン150mlで7回洗浄し、濾過、乾燥して、粉末状の固体触媒成分I-1を得た。この固体触媒成分中のチタン含有量を測定したところ、3.3重量であった。また、固体触媒成分中には、2,2-ビフェニルジカルボン酸ジエチルが12.5wtが含まれていた。<重合触媒の形成およびオレフィンの重合>窒素ガスで完全に置換された内容積2.0リットルの撹拌機付オートクレーブに、トリエチルアルミニウム1.32ミリモル、ジシクロペンチルジメトキシシラン0.13ミリモルおよび上記固体触媒成分I-1をチタン原子換算で0.0026ミリモル装入し、重合触媒を調製した。次に、水素ガス2.0リットルと液化プロピレン1.4リットルをオートクレーブ内に装入し、攪拌下、20°Cで5分間予備重合を行なった後に昇温し、70°Cで1時間重合反応を行うことにより、重合体ポリプロピレンを得た。<重合体の評価>固体触媒成分1g当たりの重合活性、得られた重合体のキシレン可溶分XS、重合体のかさ密度、重合体の溶融流れ性MFRおよび重合体の分子量分布を下記方法により測定した。その結果を表1に示す。固体触媒成分1g当たりの重合活性固体触媒成分1g当たりの重合活性については、下記式により求めた。重合活性g-pp/g-触媒=重合体の質量g/固体触媒成分の質量g重合体のキシレン可溶分XSの測定攪拌装置を具備したフラスコ内に、4.0gの重合体ポリプロピレンと、200mlのp-キシレンを装入し、外部温度をキシレンの沸点以上とすることにより、フラスコ内部のpキシレンの温度を沸点下137~138°Cに維持しつつ、2時間かけて重合体を溶解した。その後1時間かけて液温を23°Cまで冷却し、不溶解成分と溶解成分とを濾過分別した。上記溶解成分の溶液を採取し、加熱減圧乾燥によりp-キシレンを留去し、得られた残留物をキシレン可溶分XSとし、その重量を重合体ポリプロピレンに対する相対値重量で求めた。重合体の溶融流れ性MFR重合体の溶融流れ性を示すメルトフローレートMFRは、ASTMD1238、JISK7210に準じて測定した。重合体の分子量分布測定重合体の分子量分布は、ゲルパーミエションクロマトグラフィGPCWaters社製AllianceGPC/V2000にて以下の条件で測定して求めた重量平均分子量Mw及び数平均分子量Mnの比Mw/Mnによって評価した。溶媒:oジクロロベンゼン測定温度:140°Cカラム:昭和電工社製UT-806×3本、HT-803×1本サンプル濃度:1mg/mL-ODCB注入量:0.5ml流量:1.0ml/minかさ密度BDの測定重合体のかさ密度は、JISK6721に準じて測定した。2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエステル化合物の測定固体触媒成分中に含まれる2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエステル化合物の含有量は、ガスクロマトグラフィー島津株社製、GC-14Bを用いて下記の条件にて測定することで求めた。また、各成分のモル数については、ガスクロマトグラフィーの測定結果より、予め既知濃度において測定した検量線を用いて求めた。カラム:パックドカラムφ2.6×2.1mSiliconeSE3010,ChromosorbWAWDMCS80100、ジーエルサイエンス株社製検出器:FIDFlameIonizationDetector,水素炎イオン化型検出器キャリアガス:ヘリウム、流量40ml/分測定温度:気化室280°C、カラム225°C、検出器280°C2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルに代えて、同モルの2,2’-ビフェニルジカルボン酸-ジ-n-ブチルを用いた以外は、実施例1と同様にして、固体触媒成分の調製、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。なお、得られた固体触媒成分中には、チタンが2.9重量、2,2-ビフェニルジカルボン酸ジエチルが0.1wt、2,2-ビフェニルジカルボン酸エチル-n-ブチルが0.6wt、2,2-ビフェニルジカルボン酸ジ-n-ブチルが11.8wt含有されていた。2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルに代えて、同モルの2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジイソブチルを用いた以外は、実施例1と同様にして、固体触媒成分の調製、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。なお、得られた固体触媒成分中のチタン含有量は3.2重量であった。2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルに代えて、同モルの2,2’-ビフェニルジカルボン酸-ジ-n-プロピルを用いた以外は、実施例1と同様にして、固体触媒成分の調製、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。なお、得られた固体触媒成分中のチタン含有量は2.8重量であった。2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルの添加量7.3ml24ミリモルに代えて、2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルの添加量9.4ml32ミリモルとした以外は、実施例1と同様にして固体触媒成分の調製、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。なお、得られた固体触媒成分中のチタン含有量は2.6重量であった。トルエンに代えてn-ヘプタンを用い、さらに反応温度100°Cに代えて90°Cとした以外は、実施例1と同様にして固体触媒成分の調製、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。得られた固体触媒成分中のチタン含有量は3.3重量であった。<固体触媒成分I-2の調製>撹拌機を具備し、窒素ガスで充分に置換された容量200mlの丸底フラスコに、ジエトキシマグネシウム20g、トルエン100ml及び2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチル7.3ml24ミリモルを装入し、懸濁状態とした。次いで、該懸濁液を、攪拌機を具備し、窒素ガスで充分に置換された、容量500mlの丸底フラスコに予め装填されたトルエン60ml及び四塩化チタン40mlの溶液中に全量添加した。上記混合液を-5°Cに保持しつつ1時間攪拌した後、100°Cまで昇温し、100°Cを保持した状態で2時間撹拌しながら反応させた。次いで、静置後に上澄液を除去し、得られた固体物を90°Cのトルエン200mlで洗浄する操作を3回繰り返した後、新たにトルエン80ml及び四塩化チタン20mlを加えて、攪拌しながら100°Cで30分の反応処理を行った第2処理。さらに、この第2処理を2度繰り返した。次いで、生成物を60°Cのヘプタン150mlで7回洗浄し、濾過、乾燥して、粉末状の固体触媒成分I-2を得た。得られた固体触媒成分中のチタン含有量は2.8重量であった。<重合触媒の形成、オレフィンの重合および重合体の評価>固体触媒成分I-1に代えて、固体触媒成分I-2を使用した以外は、実施例1と同一の方法で、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。その結果を表1に示す。<固体触媒成分I-3の調製>撹拌機を具備し、窒素ガスで充分に置換された、容量200mlの丸底フラスコに、ジエトキシマグネシウム20g、トルエン100ml及び2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチル7.2ml24ミリモルを装入し、懸濁液を形成した。次いで、攪拌機を具備し窒素ガスで充分に置換された容量500mlの丸底フラスコ中に予め装入されたトルエン60ml及び四塩化チタン40mlの混合溶液中に、反応系の温度を5°Cに保持しつつ、該懸濁液を1時間かけて連続的に添加した。上記混合液を5°Cに保持しつつ1時間攪拌した後、液温を80°Cまで約80分かけて昇温し、該懸濁液の液温が60°Cに到達した時点と80°Cに到達した時点で、それぞれ1.2ml4.0ミリモルの2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルを添加した後、さらに100°Cまで昇温し、100°Cに保持した状態で2時間撹拌しながら反応させた。次いで、静置後に上澄液を除去し、得られた固体物を90°Cのトルエン200mlで洗浄する操作を3回繰り返した後、新たにトルエン80ml及び四塩化チタン20mlを加えて、攪拌しながら100°Cで30分の反応処理を行った。さらに、この第2処理を2度繰り返した。次いで、静置後に上澄液を除去し、得られた固体生成物を70°Cのn-ヘプタン200mlで洗浄する操作を3回繰り返した後、さらに上澄液を除去し、40°Cのn-ヘプタン200mlで洗浄する操作を4回繰り返し、得られた固体生成物を減圧乾燥して粉末状の固体触媒成分I-3を得た。得られた固体触媒成分中のチタン含有量は2.5重量であった。<重合触媒の形成、オレフィンの重合および重合体の評価>固体触媒成分I-1に代えて、固体触媒成分I-3を使用した以外は、実施例1と同一の方法で、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。その結果を表1に示す。<固体触媒成分I-4の調製>攪拌機を具備し、内部を窒素で十分に置換した内容積500mlの丸底フラスコに、無水塩化マグネシウム19.0g、デカン97.0mlおよび2-エチルヘキシルアルコール78.2gを装入し、攪拌下に140°Cで2時間加熱して均一溶液とした。次いで、この溶液中に2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチル7.3ml24ミリモルを加えた後に130°Cまで昇温し、130°Cにて1時間の撹拌混合を行った。このようにして得られた均一溶液を室温まで冷却後、-20°Cに保持した四塩化チタン80ml中に、この均一溶液の内、30mlを20分間にわたって滴下装入した。装入終了後、さらにメチルハイドロジェンポリシロキサン7.5mlを添加し、この混合液の温度を4時間かけて110°Cまで昇温し、温度を110°Cに保持した状態で、撹拌しながら2時間反応させた。反応終了後、熱濾過にて固体部を採取し、この固体部を110mlの四塩化チタンに再懸濁させた後、攪拌下に110°Cまで昇温し、温度を110°Cに保持した状態で、撹拌しながら2時間反応させた。反応終了後、再び熱濾過にて固体部を採取し、110°Cのデカンで洗浄後、さらに洗液中に遊離のチタン化合物が検出されなくなるまで、室温のヘキサンで充分洗浄し、得られた固体生成物を減圧乾燥して粉末状の固体触媒成分I-4を得た。得られた固体触媒成分中のチタン含有量は2.4重量であった。<重合触媒の形成、オレフィンの重合および重合体の評価>固体触媒成分I-1に代えて、固体触媒成分I-4を使用した以外は、実施例1と同一の方法で、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。その結果を表1に示す。比較例12,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルに代えて、同モルのn-ヘキシルコハク酸ジエチルを用いた以外は、実施例1と同様にして、固体触媒成分の調製、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。得られた固体触媒成分中のチタン含有量は3.2重量であった。比較例22,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルに代えて、同モルのアジピン酸ジ-n-ブチルを用いた以外は、実施例1と同様にして、固体触媒成分の調製、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。得られた固体触媒成分中のチタン含有量は3.7重量であった。比較例32,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチルに代えて、同モルのフタル酸ジ-n-ブチルを用いた以外は、実施例1と同様にして、固体触媒成分の調製、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行った。その結果を表1に示す。得られた固体触媒成分中のチタン含有量は3.2重量であった。<重合触媒の形成、オレフィンの重合および重合体の評価>シジシクロペンチルジメトキシシラン0.13ミリモルに代えて、ジシクロペンチルジメトキシシラン0.065ミリモルおよび2,2’-ビフェニルジカルボン酸ジエチル0.065ミリモルを用いた以外は、実施例1と同一の方法で、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。その結果を表1に示す。<重合触媒の形成、オレフィンの重合および重合体の評価>ジシクロペンチルジメトキシシラン0.13ミリモルに代えて、同モルのビスエチルアミノトリエトキシシランを用いた以外は、実施例1と同一の方法で、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。その結果を表1に示す。比較例4<重合触媒の形成、オレフィンの重合および重合体の評価>固体触媒成分I-1に代えて、比較例3において得られた固体触媒成分を用い、ジシクロペンチルジメトキシシラン0.13ミリモルに代えて、同モルのジエチルアミノトリエトキシシランを用いた以外は、実施例1と同一の方法で、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。その結果を表1に示す。<重合触媒の形成、オレフィンの重合および重合体の評価>ジシクロペンチルジメトキシシラン0.13ミリモルに代えて、同モルのジシクロペンチルビスエチルアミノシランを用いた以外は、実施例1と同一の方法で、重合触媒の形成、オレフィンの重合および得られた重合体の評価を行なった。その結果を表1に示す。DCPDMS:ジシクロペンチルジメトキシシランDEATES:ジエチルアミノトリエトキシシランBEADCPS:ジシクロペンチルビスシラン"