"筒状に形成されて内部に液体供給空間を備え、前記液体供給空間の側面に連通する液体導入孔が形成されたポンプブロックと、前記ポンプブロックの一方の開口に取り付けられてその開口を塞ぐとともに、前記液体供給空間に開口する吐出口が形成されたバルブシートと、前記液体供給空間内に配置され、前記吐出口に向かって進退されて吐出口に当接あるいは吐出口から離れることで吐出口を開閉する吐出口開閉部材と、前記液体供給空間内において前記吐出口開閉部材の外側に同心円状に配置され、前記バルブシートに向かって進退されて液体の吐出および吸入を行う吐出用部材と、前記液体供給空間内において前記吐出用部材の外側に同心円状に配置され、前記バルブシートに向かって進退されて前記バルブシートに当接あるいは離れることで液体吸入路を開閉する吸入路開閉部材と、前記吐出口開閉部材、吐出量部材、吸入路開閉部材をそれぞれ所定動作で駆動させる駆動機構と、前記吸入路開閉部材の外周面および前記液体供給空間に面するポンプブロックの内周面間に配置されて液体供給空間内の液体が前記駆動機構側に漏れることを防止するシール部材と、を備え前記シール部材は、前記吸入路開閉部材の外周面に沿ってスライド移動可能に設けられ、前記吸入路開閉部材で液体吸入路が閉じられており、吸入路開閉部材の外周側の液体供給空間に前記液体導入孔から液体が供給されている状態では、前記バルブシートから離れる方向に移動し、前記吸入路開閉部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて液体吸入路が開かれ、前記吐出用部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて前記液体吸入路から液体を吸入する際に、前記バルブシートに近づく方向に移動することを特徴とする液体吐出装置。請求項1に記載の液体吐出装置において、前記シール部材の移動量は、シール部材の移動による容積の変動量が、前記吐出用部材の移動によって吸入される液体の容量以上となる移動量に設定されていることを特徴とする液体吐出装置。請求項1または請求項2に記載の液体吐出装置において、前記シール部材を前記バルブシート側に付勢する付勢手段を備え、前記シール部材は、前記吸入路開閉部材で液体吸入路が閉じられており、吸入路開閉部材の周囲の液体供給空間に前記液体導入孔から液体が供給されている状態で、前記液体から前記シール部材に加わる圧力が前記付勢手段の付勢力よりも大きくなると前記圧力で前記バルブシートから離れる方向に移動し、前記吸入路開閉部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて液体吸入路が開かれ、前記吐出用部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて前記液体吸入路から液体を吸入することで、前記液体から前記シール部材に加わる圧力が前記付勢手段の付勢力よりも小さくなると、前記付勢手段の付勢力で前記バルブシートに近づく方向に移動することを特徴とする液体吐出装置。ところで、吸入路開閉バルブの周囲からの液体の吸入は、吸入路開閉バルブの周囲360度の範囲から行われるのに対し、液体供給パイプから吸入路開閉バルブの周囲の空間への液体の供給はパイプが接続された液体導入孔の1箇所のみから行われる。このため、吸入路開閉バルブの周囲の空間への液体の流入に遅れが生じ、吐出用部材の移動による吸入路開閉バルブ内への液体の吸入にも遅れが生じ、液体吸入路に負圧が発生する虞があった。液体吸入路に負圧が発生すると、リップシールなどで液体吸入路と区画された駆動機構側から液体内に空気を巻き込む虞があり、吐出液に泡が混入してしまう虞があった。本発明の目的は、負圧の発生を抑制でき、吐出液への泡の混入を抑えることができる液体吐出装置を提供することにある。本発明の液体吐出装置は、筒状に形成されて内部に液体供給空間を備え、前記液体供給空間の側面に連通する液体導入孔が形成されたポンプブロックと、前記ポンプブロックの一方の開口に取り付けられてその開口を塞ぐとともに、前記液体供給空間に開口する吐出口が形成されたバルブシートと、前記液体供給空間内に配置され、前記吐出口に向かって進退されて吐出口に当接あるいは吐出口から離れることで吐出口を開閉する吐出口開閉部材と、前記液体供給空間内において前記吐出口開閉部材の外側に同心円状に配置され、前記バルブシートに向かって進退されて液体の吐出および吸入を行う吐出用部材と、前記液体供給空間内において前記吐出用部材の外側に同心円状に配置され、前記バルブシートに向かって進退されて前記バルブシートに当接あるいは離れることで液体吸入路を開閉する吸入路開閉部材と、前記吐出口開閉部材、吐出量部材、吸入路開閉部材をそれぞれ所定動作で駆動させる駆動機構と、前記吸入路開閉部材の外周面および前記液体供給空間に面するポンプブロックの内周面間に配置されて液体供給空間内の液体が前記駆動機構側に漏れることを防止するシール部材と、を備え、前記シール部材は、前記吸入路開閉部材の外周面に沿ってスライド移動可能に設けられ、前記吸入路開閉部材で液体吸入路が閉じられており、吸入路開閉部材の外周側の液体供給空間に前記液体導入孔から液体が供給されている状態では、前記バルブシートから離れる方向に移動し、前記吸入路開閉部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて液体吸入路が開かれ、前記吐出用部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて前記液体吸入路から液体を吸入する際に、前記バルブシートに近づく方向に移動することを特徴とする。このような本発明においては、吐出液が貯蔵されたタンクからパイプ等を介して液体が供給され、この液体は、液体導入孔を介して液体供給空間に供給される。この際、液体は加圧して送られる。特に、粘度の高い液体の場合、高い圧力で送られる。吸入路開閉部材がバルブシートに当接して液体吸入路が閉じられている状態で、前記液体導入路から液体供給空間内に液体が供給されると、吸入路開閉部材の外周側の液体の圧力が高まる。この際、吸入路開閉部材の外周側に配置されたシール部材は、液体から加わる圧力等により、バルブシートから離れる方向に移動する。このシール部材が移動した後の空間には前記液体が充填される。そして、吸入路開閉部材をバルブシートから離れる方向に移動して液体吸入路を開き、前記吐出用部材をバルブシートから離れる方向に移動すると、液体供給空間において吸入路開閉部材の外周側の液体が、前記液体吸入路から吸入路開閉部材の内周側に吸入される。この際、吸入側の液体の移動の遅れによって負圧が発生するおそれがあるが、吸入側の液体の圧力が低下するタイミングで前記シール部材がバルブシート側に移動し、前記シール部の移動後の空間に充填されていた液体を供給できる。従って、吸入側の液体の移動の遅れを緩和でき、負圧の発生も緩和することができる。すなわち、シール部材は、圧力の変動を押さえるダンパとして機能する。さらに、このシール部材は、吸入路開閉部材の外周面に沿ってスライド移動するため、液体吸入路のすぐ近くにダンパ機構を配置でき、負圧の発生の効果的に緩和できる。そして、液体供給空間において負圧の発生を抑えることができるため、液体内に空気を巻き込んで吐出液に泡が混入することを防止できる。本発明において、前記シール部材の移動量は、シール部材の移動による容積の変動量が、前記吐出用部材の移動によって吸入される液体の容量以上となる移動量に設定されていることが好ましい。ここで、シール部材の移動による容積の変動量とは、吸入路開閉部材の外周側の液体供給空間の容積の変動量を意味する。具体的には、シール部材でシールされる吸入路開閉部材の外周面およびポンプブロックの内周面間の空間の断面積に、前記シール部材の移動量を掛けて算出される容積である。すなわち、シール部材が最もバルブシートに近づいた位置から、バルブシートから離れた方向に移動したときに、その移動後の空間に充填される液体の容積である。このような発明によれば、前記吐出用部材がバルブシートから離れる方向に移動して液体吸入路から吸入路開閉部材の内周側に液体が吸入された際に、その吸入によって液体供給空間内の液体が減少するが、その減少分は前記シール部材がバルブシート側に移動することで押し出される液体で補填できる。従って、吐出液が貯蔵されたタンクからパイプを介して供給される液体に遅れが生じた場合でも、前記シール部材の移動によって液体が補填されることでその影響を無くすことができる。従って、負圧の発生を防止でき、シール部から液体内に空気泡が混入することを防止できる。なお、液体導入孔に液体を供給するパイプの径を大きくしたり、液体を圧送する際の圧力を高めることでも、液体の遅れをある程度解消でき、負圧の発生を抑制できるが、本発明を用いれば、負圧の発生をより一層防止できる。本発明において、前記シール部材を前記バルブシート側に付勢する付勢手段を備え、前記シール部材は、前記吸入路開閉部材で液体吸入路が閉じられており、吸入路開閉部材の周囲の液体供給空間に前記液体導入孔から液体が供給されている状態で、前記液体から前記シール部材に加わる圧力が前記付勢手段の付勢力よりも大きくなると前記圧力で前記バルブシートから離れる方向に移動し、前記吸入路開閉部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて液体吸入路が開かれ、前記吐出用部材が前記バルブシートから離れる方向に移動されて前記液体吸入路から液体を吸入することで、前記液体から前記シール部材に加わる圧力が前記付勢手段の付勢力よりも小さくなると、前記付勢手段の付勢力で前記バルブシートに近づく方向に移動することが好ましい。前記シール部材は、駆動機構を利用し、吸入路開閉部材や吐出用部材に連動して移動させてもよいが、本発明のように、コイルばね等の付勢手段と、液体の圧力とのバランスによってシール部材を移動させるようにすれば、シール部材の駆動機構を省略できて構造を簡易にでき、コストも低減できる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。液体吐出装置1は、図1に示すように、駆動機構を内蔵する駆動部2およびポンプ部3を備えて構成されている。なお、以下の説明では、液体吐出装置1の駆動部2を上側、ポンプ部3を下側に配置した状態で説明する。[駆動部の構成]駆動部2は、図2,3にも示すように、電動シリンダ装置10と、電動シリンダ装置10が固定される上カバー4と、下カバー5と、各カバー4,5間に配置された円筒状のカバー6と、シリンダブロック7と、継ぎ手8とを備えている。電動シリンダ装置10は、ボールネジ、リニアガイド、サーボ制御のモータ等を備え、ロッド11を進退させるものである。このロッド11の先端下端には、回り止め用のプレート12が固定されている。プレート12にはガイド孔121が形成され、ガイド孔121にはガイドロッド13が挿通されている。ガイドロッド13は、上カバー4および下カバー5間に固定されている。これにより、ロッド11に固定されたプレート12がガイドロッド13で回り止めされているので、電動シリンダ装置10が作動すると、ロッド11は上下方向に進退移動される。プレート12には金属製の磁石受け14がネジで固定されている。磁石受け14の先端側下側には、計量軸部材15が配置されている。計量軸部材15の上端には磁石151が固定されており、計量軸部材15は、この磁石151によって磁石受け14に対して着脱自在に取り付けられている。計量軸部材15は、全体として略円筒状に形成されている。磁石151の下側には、上下方向に沿った長孔152が形成されている。長孔152は、計量軸部材15の軸を挟んで対向位置に形成されている。計量軸部材15の先端下端には、連結凹部153が形成されている。磁石受け14および計量軸部材15の外周側には、ニードルねじ16が配置されている。ニードルねじ16は、シリンダブロック7の内周面に形成された雌ねじに螺合され、シリンダブロック7に対する上下位置を調整可能に取り付けられている。シリンダブロック7内において、ニードルねじ16の下側には、ニードルバネ座17が配置されている。ニードルバネ座17は、略円筒状に形成され、シリンダブロック7の突部701に係合するフランジ171を備える。また、ニードルバネ座17には直径方向に1本のピン172が取り付けられている。このピン172は、計量軸部材15の長孔152を挿通しており、ニードルバネ座17は、ピン172および長孔152のガイドによって計量軸部材15に対して相対的に上下方向にスライド移動可能に設けられている。ニードルねじ16およびニードルバネ座17間には、コイルばね18が配置されている。ニードルねじ16は、シリンダブロック7に固定されているため、ニードルバネ座17は、コイルばね18により下方に付勢されている。また、コイルばね18による付勢力は、シリンダブロック7に対するニードルねじ16の固定位置によって調整可能とされている。シリンダブロック7内において、ニードルバネ座17の下側には、ニードルピストン19が配置されている。ニードルピストン19は、シリンダブロック7に形成されたシリンダポート702からエア圧縮空気が供給されていない状態では、前記ニードルバネ座17を介してコイルばね18の付勢力で下方に移動されている。一方、シリンダポート702からエアが供給され、そのエアによってニードルピストン19に加わる圧力が前記コイルばね18の付勢力よりも大きくなると、ニードルピストン19およびニードルバネ座17は上方に移動する。計量軸部材15の内側には、ニードル継手20が配置されている。ニードル継手20の上端部には、前記ピン172が挿通されており、前記コイルばね18およびシリンダポート702からのエアでニードルバネ座17およびニードルピストン19が上下動すると、前記ピン172を介してニードル継手20も上下動する。ニードル継手20の外周にはガイドストッパ21が固定されている。また、ニードル継手20の先端部下端部には、連結凹部201が形成されている。ニードルピストン19の外周には、入口ピストン22が配置されている。入口ピストン22は、シリンダポート702から供給されるエアで下方に移動し、後述するポンプ部3に設けられたコイルばねによって上方に移動される。継ぎ手8は、シリンダブロック7の下端に固定されている。継ぎ手8の外周面には、ネジ801が形成されている。[ポンプ部の構成]ポンプ部3は、図2,4に示すように、略円筒状のポンプブロック30と、ポンプブロック30の下端にねじ込まれたバルブシート31と、ポンプブロック30の上端に係止された袋ナット32とを備える。この袋ナット32を前記継ぎ手8のネジ801にねじ込むことで駆動部2およびポンプ部3は着脱自在に連結される。ポンプブロック30の側面には、貫通孔301が形成された凹部302が設けられている。この凹部302には、吸入ポート331が形成された吸入ポート部材33が、図1に示すように、Uボルト34および袋ナット35で固定されている。吸入ポート331には、図示しない液体供給パイプが連結され、液体タンクからパイプを介して圧送された液体が、図4に示すように、吸入ポート331および貫通孔301を通じてポンプブロック30内の液体供給空間Aに供給される。バルブシート31の液体供給空間A側の面は、徐々に直径が小さくなるテーパ面311とされ、その中心軸部分には吐出口312が開口されている。吐出口312は、外部に液を出す図示しないノズルに連通されている。ポンプブロック30の中心軸部分には、前記吐出口312を開閉する吐出口開閉部材であるニードルバルブ40が配置されている。ニードルバルブ40の上端には、円筒状のニードルベース41が固定されている。ニードルベース41の上部側には、円周方向に6箇所の孔が形成されている。この孔にはボール412が配置されている。この際、孔のニードルベース41の内周面側の直径はボール412の直径よりも小さく、外周側の直径はボール412の直径よりも大きくされている。ニードルベース41の外周には、ニードル接続リング42が配置されている。ニードル接続リング42の内周上端部は、上方に向かうにしたがって直径が大きくなるテーパ面421とされている。また、ニードル接続リング42は、ニードルベース41との間に配置されたコイルばね43で上方に付勢されている。このため、ニードルベース41の孔に配置されたボール412は、ニードル接続リング42がコイルばね43で上方に付勢されているので、前記テーパ面421によってニードルベース41の内側に移動して突出している。ニードルベース41には、前記ニードル継手20の下端が挿入され、前記ボール412が連結凹部201に係合することで、ニードルベース41およびニードル継手20が連結される。ニードルバルブ40の同心円状外側には、吐出用部材である計量シール50、計量シール台51、計量台52、計量接続リング53、コイルばね54が配置されている。計量シール50はフッ素樹脂製であり、その中心軸に形成された貫通孔には、ニードルバルブ40が挿通されている。計量シール50の下面には、ニードルバルブ40の周囲を囲むようにリング状に形成され、かつ、下面に開口する溝501が形成されている。この溝501にはOリング502が嵌挿され、計量シール50の下面のリップ部をニードルバルブ40および後述する入口バルブ60に密着する。計量シール台51は、円筒状に形成され、その内部に前記ニードルバルブ40が挿通されている。計量シール台51の下端部は、計量シール50に圧入されて固定されている。計量シール台51の上端部には、計量台52が固定されている。この計量台52、計量接続リング53、コイルばね54は、前記ニードルベース41、ニードル接続リング42、コイルばね43と同様の構造とされている。すなわち、計量台52には、円周方向に6箇所の孔が形成され、ボール522が配置されている。計量台52の外周には、計量接続リング53が配置され、その内周上端部は、上方に向かうにしたがって直径が大きくなるテーパ面531とされている。また、計量接続リング53は、計量台52との間に配置されたコイルばね54で上方に付勢されている。この計量台52には、前記計量軸部材15の下端が挿入され、前記ボール522が連結凹部153に係合することで、計量軸部材15および計量台52が連結される。計量シール50、計量シール台51、計量台52、計量接続リング53の同心円状外側には、吸入路開閉部材である入口バルブ60、入口バルブ台61、コイルばね62、ばね受け63が配置されている。入口バルブ60は、円筒状に形成され、その先端下端はテーパ面311に密着可能なテーパ面とされている。入口バルブ60の上端には、入口バルブ台61が固定されている。入口バルブ台61は、下部側が小径、上部側が大径とされた段付きの筒状部材で構成されている。入口バルブ台61の上端は外側に折曲され、この折曲部とポンプブロック30内に配置されたばね受け63との間にコイルばね62が配置されている。このコイルばね62より、入口バルブ60、入口バルブ台61は、ポンプブロック30に対して上方に付勢されている。このため、図2に示すように、駆動部2およびポンプ部3を連結した際に、入口バルブ台61の上端面は、前記入口ピストン22の下端面に当接する。そして、シリンダポート702からエアが供給されていない場合は、前記コイルばね62の付勢力で、入口バルブ60、入口バルブ台61、入口ピストン22は上方に移動している。このため、入口バルブ60の下端縁は、テーパ面311から離れており、入口バルブ60の外周側の液体供給空間Aと、入口バルブ60の内周側つまり吐出口312に連通する計量空間Bとを繋ぐ液体吸入路Cが開かれる。一方、シリンダポート702からエアが供給され、入口ピストン22に加わる圧力が前記コイルばね62の付勢力よりも大きくなると、入口ピストン22は下方に移動し、連動して入口バルブ台61および入口バルブ60も下方に移動する。そして、入口バルブ60の下端縁がテーパ面311に当接することで、液体吸入路Cが閉じられる。入口バルブ60の外周側には、シール部材75が配置されている。シール部材75はフッ素樹脂製であり、その中心軸に形成された貫通孔には、入口バルブ60が挿通されている。シール部材75の下面には、入口バルブ60の周囲を囲むようにリング状に形成され、かつ、下面に開口する溝76が形成されている。この溝76にはOリング77が嵌挿され、シール部材75の下面のリップ部を入口バルブ60の外周面およびポンプブロック30の内周面に密着する。ポンプブロック30の内周面に形成された溝には、ストップリング36が嵌め込まれている。また、前記入口バルブ台61の段部およびシール部材75の上面間には、付勢手段であるコイルばね78が配置されている。このため、シール部材75は、液体供給空間Aに液体が供給されていない状態では、コイルばね78により下方に付勢され、前記ストップリング36に当接している。[吐出動作]次に、本実施形態の液体吐出装置1における液体の吐出動作について、図5から図10の動作説明図をも参照して説明する。[原点状態]運転開始前すなわち液体吐出装置1の停止状態原点状態においては、シリンダポート702にはエアが供給されていない。このため、図5に示すように、ニードルピストン19およびニードルバネ座17は、コイルばね18によって下方に移動され、ニードル継手20、ニードルバルブ40も下方に移動されている。また、計量シール50は、電動シリンダ装置10の制御によって、所定の初期位置に停止している。具体的には、計量軸部材15の段部をニードル継手20のガイドストッパ21に当接させ、前記ニードルバルブ40を吐出口312に当接させた状態を原点としている。このため、原点状態では、吐出口312はニードルバルブ40で塞がれている。また、入口ピストン22、入口バルブ台61、入口バルブ60は、コイルばね62によって上方に移動されている。このため、入口バルブ60は、テーパ面311から離れており、液体吸入路Cは開かれている。この原点状態で、吸入ポート331から液体が供給されると、液体供給空間Aから液体吸入路Cを介して計量空間Bまで液体が充填される。また、液体は液体供給空間Aに加圧して供給されるため、シール部材75に液体から加わる圧力がコイルばね78の付勢力よりも高まる。このため、シール部材75は、最も上方に移動した状態、つまりストップリング36から離れて最も引っ込んだ状態とされている。ここで、シール部材75が、ストップリング36に当接している位置から、図5に示す位置まで移動することで形成されるストップリング36からシール部材75までの空間の容積、つまりシール部材75の移動による液体供給空間Aの容積の変動量が、後述する吸入工程で計量空間Bに吸入される液体の容量以上となるように、入口バルブ60およびポンプブロック30間の液体供給空間Aの幅寸法や、コイルばね78の付勢力つまり液体圧力によるシール部材75の移動量が設定されている。具体的には、シール部材75の移動による液体供給空間Aの容積の変動量が、前記計量空間Bへの吸入量の設定最大値以上となるように設定すればよい。[吸入工程]液体吐出装置1の駆動を制御する制御装置から動作命令が入ると、電動シリンダ装置10は吐出量相当分だけロッド11を上方に移動して引っ込める。すると、図6に示すように、磁石受け14、計量軸部材15、計量台52、計量シール台51、計量シール50は上方に移動する。計量シール50が上方に移動することにより、液体供給空間Aから液体吸入路Cを介して入口バルブ60の内側の計量空間Bに液体が吸入される。このとき、特に液体の粘度が高いと、吸入ポート331の吸入側の液体の移動に遅れが生じやすい。液体の移動に遅れが生じて液体供給空間Aに負圧が発生し、液体供給空間Aの圧力がシール部材75の上側コイルばね78が配置された空間の圧力より低くなると、その空間の空気がシール部材75と入口バルブ60やポンプブロック30の間から液体供給空間A内に巻き込まれる虞がある。液体に空気泡が混入すると、その液体を用いた製品において欠陥となる可能性がある。たとえば、液体が光センサやLED等の光学部品用の接着剤等として用いられる場合、泡が混入すると光が散乱して欠陥商品となってしまう。一方、本実施形態では、液体の移動に遅れが生じて液体供給空間Aの圧力が低下すると、ダンパとして機能するシール部材75がコイルばね78によって下方に移動する。すると、ストップリング36からシール部材75の間に充填されていた液体が液体供給空間Aに押し出される。このため、液体供給空間Aにおける負圧の発生を緩和することができる。特に、シール部材75の移動による液体供給空間Aの容積の変動量が、吸入工程で計量空間Bに吸入される液体の容量以上となるように設定されているので、タンクからパイプを介して吸入ポート331までの液体全体を同時に動かして液体を液体供給空間A内に供給しなければならないために、負圧が容易に発生しやすい場合でも、前記シール部材75の移動によって液体を液体供給空間A内に押し出すことができるため、負圧の発生を防止できる。[計量工程]次に、制御装置は、シリンダポート702にエアを供給する。この際、絞り弁などを用いて制御したスピードでシリンダポート702に連通するシリンダブロック7内を加圧する。すると、コイルばね62、18の付勢力とのバランスで、図7に示すように、入口ピストン22、入口バルブ台61、入口バルブ60が下方に移動し、入口バルブ60の下端がテーパ面311に当接し、液体吸入路Cが閉じられる。このため、入口バルブ60内の計量空間Bに液体が区画されて容積計量される。[吐出工程:吐出口開口]入口バルブ60で液体吸入路Cが閉じられると、図8に示すように、前記シリンダポート702に供給されたエアによりニードルピストン19、ニードルバネ座17、ニードル継手20、ニードルベース41、ニードルバルブ40が上方に移動し、吐出口312が開かれる。[吐出工程:液体吐出]次に、電動シリンダ装置10によりロッド11を下方に移動すると、図9に示すように、磁石受け14、計量軸部材15、計量台52、計量シール台51、計量シール50が下方に移動する。そして、計量シール50が下方に移動した容積分の液体が、計量空間Bから吐出口312を介して吐出される。[吐出工程:吐出完了]電動シリンダ装置10によるロッド11を下方への移動により、計量軸部材15の内側の段部がガイドストッパ21に当接すると、ニードル継手20やニードルバルブ40は、計量軸部材15や計量シール台51、計量シール50とともに下方に移動する。このため、図10に示すように、ニードルバルブ40が吐出口312して吐出口312が閉じられると同時に、計量シール50も停止して液体の吐出が完了する。この際、ニードルバルブ40が吐出口312に当接すると、計量シール50もそれ以上下方に移動できないため、制御装置から入力される駆動パルスが残っていても電動シリンダ装置10は停止する。そして、ニードルバルブ40が吐出口312に当接すると、制御装置は、シリンダブロック7内の加圧状態を絞り弁などで制御したスピードで開放する。すると、入口ピストン22、入口バルブ台61、入口バルブ60は、コイルばね62により上方に移動し、液体吸入路Cが開かれる。また、ニードルバルブ40は、コイルばね18の付勢力で吐出口312に当接した状態が維持される。さらに、制御装置は、電動シリンダ装置10に残った溜まりパルスをリセットする。以上により、吐出工程が完了し、図5の原点状態に戻る。従って、図5~10の各工程を繰り返すことで、液体吐出装置1は所定量の液体を繰り返し吐出することができる。[シール部材ダンパの移動]なお、液体供給空間Aには、吸入ポート331から液体の供給が継続しているため、吸入工程が完了し、計量工程において入口バルブ60で液体吸入路Cが閉じられると、液体供給空間Aの圧力が徐々に高まる。従って、図7の計量工程から図8~10の吐出工程を経て図5の原点状態に戻る間に、入口バルブ台61とシール部材75との間に配置されたコイルばね78のばね力と、液体供給空間Aの液体の圧力とのバランスで、液体の圧力がコイルばね78のばね力付勢力よりも大きくなれば、シール部材75も上方に押される。このような本実施形態によれば、次のような効果がある。すなわち、吐出する液体を、入口バルブ60で液体吸入路Cを閉めることで、入口バルブ60内の計量空間Bに閉じ込めて容積計量をしているので、吐出量が微量であっても吐出量を高精度に制御することができる。また、吐出量の調整は、電動シリンダ装置10による計量シール50の移動量を調整するだけでよいため、簡単にかつ高精度に行うことができる。ダンパとして機能するシール部材75を、入口バルブ60の外側に配置したので、液体の吸入工程時に液体供給空間Aが負圧になることを緩和できる。特に、本実施形態では、シール部材75の移動による液体供給空間Aの容積の変動量が、吸入工程で計量空間Bに吸入される液体の容量以上となるように設定しているので、タンクから吸入ポート331まで液体全体を同時に動かして液体を液体供給空間A内に供給しなければならないために、負圧が容易に発生しやすい場合でも、前記シール部材75の移動によって液体を液体供給空間A内に押し出すことができるため、負圧の発生を防止できる。このため、液体内に空気を巻き込んで泡が混入することを防止できる。従って、特に泡の混入を防ぐ必要がある光学部品に用いられる各種液体の吐出に適している。その上、入口バルブ60およびポンプブロック30間に設けられるシール部材75をスライド移動可能に構成してダンパとして機能させているので、シール部材75をシール機能とダンパ機能とで兼用でき、部品点数の増加を抑え、コストも低減できる。さらに、シール部材75は、吸入路開閉部材である入口バルブ60のすぐ外側に配置されているので、ダンパ機能をポンプ機構の近くに配置でき、負圧発生を効果的に防止できる。吸入工程では、入口バルブ60の周囲の液体供給空間Aから同心円状に形成される液体吸入路Cを介して液体を吸入できる。すなわち、入口バルブ60を開いた際の開口面積が大きいため、接着剤のような粘度の高い液体でも吸入しやすい。さらに、計量シール50の移動による液体の吐出時は、計量シール50等からなるポンプ部3と吐出口312とが極めて近いため、高粘度の液体でも円滑に吐出することができる。駆動部2とポンプ部3とは、袋ナット32を継ぎ手8から外すことで容易に分離することができ、ポンプ部3のみを洗浄するなどのメンテナンスも容易に行うことができる。従って、吐出する液体の種類を変更する場合などでも、簡単に行うことができる。吐出工程は、計量軸部材15をガイドストッパ21に当接させてニードルバルブ40を計量シール50とともに移動させ、ニードルバルブ40が吐出口312を塞ぐことで終了するため、吐出液の液切れを良くでき、吐出量の精度を向上できかつ安定した吐出動作を実現できる。吐出液の液量は、計量工程において、電動シリンダ装置10による計量シール50の移動量を調整することで容易に設定変更できる。このため、吐出動作中であっても1回の吐出動作毎の吐出量を調整することができる。従って、例えば、基板上に複数の電子部品を取り付ける工程において、各電子部品の取付場所毎に異なる液量の接着剤を塗布するために、基板上に吐出する液体の量を変更する場合や、複数の製品が混在して送られる生産ラインにおいて、製品毎に液体の吐出量を変更しなければならない場合でも、容易に対応でき、使い勝手のよい液体吐出装置1を提供できる。なお、本発明は前記実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲の変形は本発明に含まれるものである。前記実施形態では、計量シール50は電動シリンダ装置10で上下に移動し、ニードルバルブ40、入口バルブ60は、ニードルピストン19、コイルばね18、入口ピストン22、コイルばね62およびシリンダポート702に供給するエアで上下に移動させていたが、計量シール50もピストンおよびコイルばねとエアで移動させても良い。さらに、ニードルバルブ40、計量シール50、入口バルブ60を駆動させる駆動機構としては、モータ等で駆動されるカムや圧電素子等を用いてもよい。すなわち、駆動機構は、ニードルバルブ40、計量シール50、入口バルブ60の上記動作を実現できるものであればよい。さらに、前記実施形態では、図5に示す状態を液体吐出装置1の原点状態つまり停止状態としていたが、電動シリンダ装置10の動作命令が入ってから液体吐出までの時間を短縮する場合には、図6に示すように、計量シール50を上方に移動して吸入工程を完了した状態を原点状態としてもよい。シール部材75は、コイルばね78の付勢力と、液体供給空間A内の液体の圧力とのバランスで進退されていたが、モータや、ピストンおよびエアなどを用いて進退駆動させてもよい。この場合、図7の計量工程で入口バルブ60がバルブシート31に当接して液体吸入路Cが閉じられると、シール部材75をバルブシート31ストップリング36から離れる方向に移動し、図6の吸入工程で計量シール50をバルブシート31から離れる方向に移動するタイミングで、シール部材75をバルブシート31側に移動するように駆動制御すればよい。前記実施形態では、シール部材75の移動量を、その移動による液体供給空間Aの容積の変動量、すなわち、シール部材75の移動によってストップリング36からシール部材75間に形成される空間の容積が、計量シール50の移動による計量空間Bへの液体吸入量の最大値以上となるように設定していたが、この最大値以下に設定してもよい。すなわち、このような設定としても、タンクからの液体の遅れは、パイプ径を大きくしたり、液体の移送用の圧力を高めることで緩和できるので、これらの対策と併用することで対応できるためである。また、実際の利用においては、液体の吐出量吸入量を設定可能な最大値で運用することは少なく、通常は、最大値よりも低い値で運用されることも多いため、前記のような設定をしても対応できるためである。"