外縁に切欠部が形成された板状部材の支持装置であって、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、当該複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有することを特徴とする支持装置。前記制御手段の出力によって前記切欠部の位置を所定の位置に変位させる位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の支持装置。外縁に切欠部が形成された板状部材の支持方法であって、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含む支持方法。外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記板状部材を支持する支持装置と、前記接着シートに剥離用テープを貼付して前記接着シートを保持するシート保持手段と、前記支持装置と前記シート保持手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材から接着シートを剥離する移動手段とを備え、前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する位置決め手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成されて当該回路上に接着シートが貼付され、前記制御手段は、剥離される前記接着シートの剥離縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御することを特徴とする請求項4記載のシート剥離装置。外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記板状部材を支持装置によって支持する支持工程と、前記接着シートに剥離用テープをシート保持手段によって貼付して、前記接着シートを保持するシート保持行程と、前記支持装置と前記シート保持手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材から接着シートを剥離する移動工程とを備え、前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記板状部材を支持する支持装置と、前記接着シートを繰り出して当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給手段と、前記支持装置と前記シート供給手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材に接着シートを貼付する移動手段とを備え、前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する位置決め手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成され、前記制御手段は、貼付される前記接着シートの貼付縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御することを特徴とする請求項7記載のシート貼付装置。外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記板状部材を支持手段によって支持する支持工程と、前記接着シートをシート供給手段によって繰り出して、当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給工程と、前記支持装置と前記シート供給手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材に接着シートを貼付する移動工程とを備え、前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。特許文献1の支持装置は、サポートテーブルで支持したウエハの位置決めを行うために、サポートテーブルの外部から切欠部を検出してウエハの位置決めを行うため、サポートテーブルの外部にセンサを設ける必要性があり、装置が大型化するという不都合がある。また、特許文献2は、回路形成面に貼付された保護シートを剥離するにあたり、回路の角部から保護シートを剥離するために、切欠部を検出するためのセンサをテーブルの外部に配置しているため、特許文献1と同様に大型化するという不都合がある。更に、特許文献3も、ウエハに接着シートを貼付するにあたり、ウエハを所定角度回転させるために、ノッチを検出するためのセンサをテーブルの外部に配置しているため、特許文献1と同様に大型化するという不都合がある。本発明の目的は、板状部材を吸着保持し、その減圧状態を検出することで、支持装置の外部に検出手段を設けることなく、当該板状部材の切欠部の位置を認識することのできる支持装置及び支持方法を提供することにある。また、本発明の目的は、板状部材を吸着保持し、その減圧状態を検出することで、当該板状部材の切欠部の位置を認識し、当該切欠部を基準として接着シートの剥離方向を決定することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。更に、本発明の目的は、板状部材を吸着保持し、その減圧状態を検出することで、当該板状部材の切欠部の位置を認識し、当該切欠部を基準として接着シートの貼付方向を決定することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の支持装置であって、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、当該複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有する、という構成を採っている。前記支持装置は、前記制御手段の出力によって前記切欠部の位置を所定の位置に変位させる位置決め手段を備えている。また、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の支持方法であって、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含む、という手法を採っている。更に、本発明は、外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記板状部材を支持する支持装置と、前記接着シートに剥離用テープを貼付して前記接着シートを保持するシート保持手段と、前記支持装置と前記シート保持手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材から接着シートを剥離する移動手段とを備え、前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する位置決め手段を備える、という構成を採っている。前記シート剥離装置の前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成されて当該回路上に接着シートが貼付され、前記制御手段は、剥離される前記接着シートの剥離縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御するように構成されている。また、本発明は、外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記板状部材を支持装置によって支持する支持工程と、前記接着シートに剥離用テープをシート保持手段によって貼付して、前記接着シートを保持するシート保持行程と、前記支持装置と前記シート保持手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材から接着シートを剥離する移動工程とを備え、前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する工程とを備える、という手法を採っている。更に、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記板状部材を支持する支持装置と、前記接着シートを繰り出して当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給手段と、前記支持装置と前記シート供給手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材に接着シートを貼付する移動手段とを備え、前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する位置決め手段を備える、という構成を採っている。前記シート貼付装置の前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成され、前記制御手段は、貼付される前記接着シートの貼付縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御するように構成されている。また、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記板状部材を支持手段によって支持する支持工程と、前記接着シートをシート供給手段によって繰り出して、当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給工程と、前記支持装置と前記シート供給手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材に接着シートを貼付する移動工程とを備え、前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する工程とを備える、という構成を採っている。本発明によれば、板状部材の外縁部を吸着保持したときに、切欠部の存在する位置に対応する吸引手段は、他の吸引手段に対して減圧が十分に行われないことになり、これが検出手段によって検出される。これにより、支持装置の外部に検出手段を設けることなく、当該板状部材の切欠部の位置を認識することができる。また、切欠部の位置を基にして、シート保持手段が接着シートに対して剥離用テープを貼付する位置、及び、移動手段の相対移動方向を決定するように構成すれば、各板状部材に対してそれぞれ同じ位置から接着シートを剥離することができるので、例えば、接着シートが引っ張られることで、各板状部材に付与される残留応力の量や方向を全て同じとすることができ、板状部材の品質の均等化を図ることができる。更に、板状部材が例えば半導体ウエハのように回路を有し、当該回路形成面に貼付された接着シートを剥離する場合、接着シートの剥離縁が回路の辺部と平行とならないように当該接着シートを剥離すれば、回路の凹凸部に極力接着剤を残すことなく接着シートを剥離することが可能となる。また、切欠部の位置を基にして、シート供給手段が板状部材に対して接着シートを接触させる位置、及び、移動手段の相対移動方向を決定するように構成すれば、各板状部材に対してそれぞれ同じ位置から接着シートを貼付することができるので、例えば、接着シートが押圧されることで、各板状部材に付与される残留応力の量や方向を全て同じとすることができ、板状部材の品質の均等化を図ることができる。更に、板状部材が例えば半導体ウエハのように回路を有し、当該回路形成面に接着シートを貼付する場合、接着シートの貼付縁が回路の辺部と平行とならないように当該接着シートを押圧すれば、回路の凹凸部によって接着剤を押圧する単位面積あたりの力が不足しないように接着シートを貼付することが可能となる。第1実施形態以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態では、図1中左右方向をX軸方向とし、図1の紙面に直交する方向でありX軸に直交する方向をY軸とし、X軸及びY軸に直交する方向をZ軸とする。また、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。図1に示されるように、シート剥離装置10は、板状部材としてのウエハWFを支持する支持装置11と、ウエハWFに貼付された接着シートASに剥離用テープPTを貼付して接着シートASを保持するシート保持手段12と、支持装置11とシート保持手段12とを所定の相対移動方向に相対移動させてウエハWFから接着シートASを剥離する移動手段13と、支持手段11を所定の平面内で回転させて変位可能とする位置決め手段23とを備えて構成されている。前記ウエハWFは、図3A、Bに示される2つのタイプを含む。これらウエハWFは、切欠部CUとしてのノッチ20、又は、オリフラ21が形成され、この切欠部CUを基準位置とし、片側の面に外枠CTOで囲まれる領域を1単位とし、各外枠CTOの領域内に、プリント配線、プリント部品、搭載部品等から構成され、全て同じ形状に設けられた多数の回路CTが形成されており、当該回路CTを保護するように接着シートASが貼付されている。なお、図3AのウエハWFを第1ウエハWF1、図3BのウエハWFを第2ウエハWF2とする。前記支持装置11は、図1及び図2に示されるように、ウエハWFにおいて回路CTが形成されていない一方の面下側の面を支持する支持面14を備えたテーブル16と、支持面14に開口してウエハWFの外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該ウエハWFを吸引可能な複数の吸引手段17と、複数の吸引手段17におけるそれぞれの圧力すなわち減圧状態を検出する検出手段としての圧力センサ22と、切欠部CUによって圧力が低下しない吸引手段17を圧力センサ22が検出することで、切欠部CUの位置を認識するコンピュータやシーケンサ等からなる制御手段18とを備えて構成されている。前記テーブル16は、ウエハWFの平面形状に対応した平面視円形をなし、その上面が支持面14とされる。前記各吸引手段17は、支持面14の外周に沿う円弧状の縦穴35と、縦穴35からテーブル16の中心方向に向かう横穴34と、横穴34に連なる吸引ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とにより構成され、各縦穴35は、隔壁17Bによって遮られ、各横穴34の道中に圧力センサ22がそれぞれ設けられている。なお、縦穴35は、ポーラス体や微細な孔を有する図示しない孔形成体によって支持面14に開口し、当該孔形成体は、支持面14と同一平面内に平坦面を有している。また、各圧力センサ22は、制御手段18に接続されており、当該制御手段18が圧力の下がらない吸引手段17を特定して切欠部CUの位置を認識するようになっている。本実施形態では、周方向に沿って10度間隔で縦穴35が合計36個設けられている。前記シート保持手段12は、駆動機器としての回動モータ40Aにより剥離用テープPTを繰出可能に設けられた繰出部40と、駆動機器としての回動モータ41Aにより剥離用テープPTを巻き取り可能に設けられた巻取部41と、これら繰出部40及び巻取部41間に配置され、駆動機器としてのエアシリンダ44の出力軸先端に支持されたローラ等からなる貼付部材43とからなる。前記移動手段13は駆動機器としてのリニアモータ50により構成され、当該リニアモータ50のスライダ51がベーステーブル30の下面側に固定されており、ベーステーブル30の上面に支持装置11が支持されている。なお、ベーステーブル30には、テーブル16の中心点を基準として周方向120度間隔で配置された駆動機器としてのリニアモータ32と、各リニアモータ32のスライダ32Aに設けられ、テーブル16の中心点に向かって進退可能に設けられたセンタリングピン32Bとからなるセンタリング手段31が設けられている。前記位置決め手段23は、ベーステーブル30の上面に設けられ、出力軸23Bがテーブル16の下面に接続されてテーブル16を支持面14の面内で回転可能な駆動機器としての回動モータ23Aからなる。次に、本実施形態における支持方法及びシート剥離方法について説明する。図1に示されるように、接着シートASが上面側となる向きでウエハWFがテーブル16上に配置されると、3つのセンタリングピン32Bが図2中実線位置から点線位置に向かって移動することで、ウエハWFの中心点CPがテーブル16の中心点に一致するようにセンタリングが行われる。このとき、各縦穴35は、切欠部CUの形成部位に対応するものを除き、ウエハWFの外縁部によって閉塞された状態となる図4参照。次いで、図示しない減圧手段が作動して、吸引手段17によりウエハWFの外縁部を吸引することで当該ウエハWFが支持面14に吸着保持されるとともに、センタリングピン32Bが図2中実線位置に復帰する。吸引手段17により吸引が行われると、各圧力センサ22の検出値が制御手段18にそれぞれ出力される。このとき、第1ウエハWF1の場合、図4Aに示すように、ノッチ20の形成部位に対応する縦穴35Aは、ノッチ20によって外気がリークするので圧力が下がらず、縦穴35Aに対応する圧力センサ22の検出値は他の圧力センサ22の検出値に対して極端に異なる値となる。また、第2ウエハWF2の場合、図4Bに示すように、オリフラ21の形成部位に対応する3つの縦穴35B、35C、35Dは、オリフラ21によって外気がリークするので圧力が下がらず、縦穴35B、35C、35Dに対応する圧力センサ22の検出値は他の圧力センサ22の検出値に対して極端に異なる値となる。これにより制御手段18は、テーブル16に対して何れの位置に切欠部CUが位置しているのかを認識することができる。ここで、第1ウエハWF1の場合、図3Aに示すように、ノッチ20の谷部中心と当該ウエハWFの中心点CPとを結ぶ直線をY軸と平行にし、回路面をX軸と平行とした場合、各回路CTには、X軸方向に延びる辺部としての回路部分CTXと、Y軸方向に延びる辺部としての回路部分CTYと、X軸から観て左回転方向に45度進んだ方向に延びる辺部としての回路部分CT45が存在することが解っている。これら各回路部分CTX、CTY、CT45の存在は、オペレータが制御手段18に直接または間接的に入力したり、図示しないカメラ等の撮像手段や光学センサ等の検出手段によって検出したりすることによって、制御手段18に記憶させることができる。よって、第1ウエハWF1の場合、X軸方向、Y軸方向及び、X軸から観て左回転方向に135度進んだ方向X軸から観て右回転方向に45度進んだ方向からの剥離を行うと、図1中二点鎖線で示す接着シートASの剥離縁SEが微細に凹凸している各辺部と平行となってしまう。このように接着シートASの剥離縁SEと各辺部とが平行となると、各辺部によって形成された凹凸部に入り込んでいる接着剤は、剥離される接着シートAS側にうまく引き寄せられることなく取り残されてしまい、半導体の製造における歩止りが低下してしまうことがある。この様な場合、制御手段18は、接着シートASの剥離縁SEが各辺部と平行とならないように、例えば、X軸から観て左回転方向に112.5度進んだ方向DR112.5からウエハWFの中心点CPに向かう剥離を行うように回動モータ23Aを制御する。すなわち、図4Aに示すように、テーブル16の中心点ウエハWFの中心点CPから縦穴35Aにおける支持面14内の中心に延びる仮想中心線L1が、X軸から観て右回転方向に22.5度進んだ位置となるようにテーブル16を回動させる制御が行われる。なお、前記方向DR112.5度は一例に過ぎない。すなわち、接着シートASの剥離縁SEが回路部分CTX、CTY、CT45の何れに対しても平行とならない角度で剥離できる限りにおいて任意に決定できる。また、第2ウエハWF2の場合、図3Bに示すように、オリフラ21における同図中左右方向の中心と当該ウエハWFの中心点CPとを結ぶ直線をY軸と平行にし、回路面をX軸と平行とした場合、X軸方向及びY軸方向に延びる辺部としての回路部分CTX及びCTYと、X軸から観て左回転方向に50度進んだ方向に延びる辺部としての回路部分CT50と、X軸から観て左回転方向に120度進んだ方向に延びる辺部としての回路部分CT120とが存在することが解っている。よって、第2ウエハWF2の場合、X軸方向、Y軸方向、X軸から観て左回転方向に30度進んだ方向及び、X軸から観て左回転方向に140度進んだ方向からの剥離を行うと、接着シートASの剥離縁SEが各辺部と平行となってしまう。そこで、制御手段18は、接着シートASの剥離縁SEが各辺部と平行とならないように、例えば、X軸から観て左回転方向に60度進んだ方向DR60からウエハWFの中心点CPに向かう剥離を行うように回動モータ23Aを制御する。すなわち、図4Bに示すように、テーブル16の中心点ウエハWFの中心点CPから縦穴35Cにおける支持面14内の中心に延びる仮想中心線L2が、X軸から観て右回転方向に30度進んだ位置となるようにテーブル16を回動させる制御が行われる。なお、上記のような場合、所定の位置に対して最大で5度の位置決め誤差がでるものの、この誤差範囲内で各辺部が剥離縁SEと平行とならないようにテーブル16の変位角度を決定すればよく、それでも各辺部が剥離縁SEと平行となってしまう場合には、縦穴35の数を増やせばよい。ここで、図5Aに示されるように、2つの縦穴35E、35Fに跨ってノッチ20が位置する場合があるが、このような場合、テーブル16の中心点ウエハWFの中心点CPから縦穴35E、35F間に位置する隔壁17Bの中心に延びる仮想中心線L3がX軸から観て左右の回転方向に所定角度進むようにテーブル16を回動させる制御が行われる。また、図5Bに示されるように、オリフラ21が4つの縦穴35G~35Jに跨って検出された場合には、テーブル16の中心点から縦穴35H、35I間に位置する隔壁17Bの中心に延びる仮想中心線L4がX軸から観て左右の回転方向に所定角度進むようにテーブル16を回動させる制御が制御される。このようにして位置決めが完了すると、リニアモータ50によってテーブル16がX軸方向に移動され、X軸と接着シートASとの交点が貼付部材43の直下に位置するように制御される。その後、エアシリンダ44によって剥離用テープPTを接着シートASの右端部に貼付して接着シートASを保持する。次いで、リニアモータ50によってテーブル16をX軸方向右側に移動する動作に同期して、回動モータ40A、41Aも駆動することで、図1中二点鎖線で示すように、接着シートASが剥離縁SEでウエハWFから剥離されつつ、巻取部41に巻き取られる。従って、本実施形態によれば、支持装置の外部に光学系のセンサ等を配置することなく切欠部CUの位置を検出して認識でき、当該切欠部CUを基準として接着シートASを最適な方向に向かって剥離することができる。第2実施形態図6に示されるように、シート貼付装置50は、シート保持手段12に代えてシート供給手段60が設けられている点で第1実施形態のシート剥離装置10と相違するのみであり、ここではシート供給手段60のみの説明とする。前記シート供給手段60は、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADを有する接着シートASが当該接着剤層ADを介して帯状の剥離シートRLの一方の面に仮着された原反RSを支持する支持軸61と、2個のガイドローラ62と、剥離シートRLを折り返して当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離板63と、駆動機器としての回動モータ64によって剥離シートRLに繰出力を付与する駆動ローラ65と、駆動ローラ65とで剥離シートRLを挟み込むピンチローラ66と、剥離シートRLを回収する回収ローラ67と、接着シートASをウエハWFに押圧して接触させる押圧ローラ68とを備えている。このようなシート貼付装置50によってウエハWFに接着シートASを貼付するには、第1実施形態と同様に回路面が上面側となる向きでウエハWFがテーブル16上に配置され、センタリングと吸着保持が行われ、切欠部CUが認識されて当該切欠部CUが所定の位置となるようにテーブル16が回動させる制御が行われて位置決めが行われる。その後、リニアモータ50によってテーブル16をX軸方向右側に移動すると、図示しないセンサによってウエハWFが所定の位置に到達したことを検知し、この検知によって制御手段18が回動モータ64を駆動させ、剥離板63で剥離した接着シートASを押圧ローラ68で押圧して貼付する。このとき、接着シートASは、貼付縁SFを先頭にウエハWFに接着される。よって、貼付縁SFが各辺部と平行になって貼付されると、押圧ローラ68の押圧力が一度に広い範囲の凹凸に乗り上げたり、下ったりするので、この一瞬に接着シートASを押圧する単位面積あたりの押圧力が不足し、気泡を巻き込んで接着シートASがウエハWFに貼付され、接着シートASの貼付不良が発生してしまう。このような不都合を避けるために、制御手段18は、第1実施形態と同様に、貼付縁SFが何れの辺部とも平行とならないようにテーブル16を所定角度変位させる。従って、本実施形態によれば、切欠部CUを基準として接着シートASを最適な方向に向かって貼付することができる。本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、前記実施形態では、テーブル16をウエハWFと同じ大きさとしたが、吸引手段17がウエハWRの外縁部に沿って位置する限り、テーブルの平面形状や大きさは限定されるものではない。また、吸引手段17の配置間隔、形成数及び形状は、前記実施形態のものに限定されることはなく、板状部材の形状や材質等によって適宜変更することができる。更に、前述のテーブル16の回動角は一例であって、剥離縁が各辺部と平行にならなければよく、例えば、第1ウエハWF1の場合、X軸から観て左回転方向170度や、右回転方向65度の方向から剥離するように構成してもよい。また、第2ウエハWF2のウエハの場合、X軸から観て左回転方向100度や、右回転方向103度の方向から剥離するように構成してもよい。また、移動手段13は、テーブル16を停止させておき、シート保持手段12を移動させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ移動させる構成としてもよい。更に、移動手段13は、テーブル16を停止させておき、シート供給手段60を移動させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ移動させる構成としてもよい。また、位置決め手段23は、テーブル16を停止させておき、シート保持手段12及び移動手段13を変位させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ変位させる構成としてもよい。更に、位置決め手段23は、テーブル16を停止させておき、シート供給手段60及び移動手段13を変位させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ変位させる構成としてもよい。また、前記実施形態では、支持装置11をシート剥離装置10やシート貼付装置50に組み込んだ例を示したが、支持装置11を単体で使用してもよい。この場合、制御手段18は、認識した板状部材の切欠部CUの位置を例えば、図示しない搬送装置に出力し、当該搬送装置が当該板状部材を別の場所に搬送するときに、切欠部CUの位置を揃えて搬送することができる。また、制御手段18が図示しないカメラ等の撮像手段に出力し、当該板状部材の所定の位置を撮像するといったことも可能である。更に、切欠部CUは、ノッチ20、又は、オリフラ21以外のものであってもよく、板状部材の外縁を吸着保持したときに、一定の条件下で吸引の減圧によって圧力が下がらない領域ができるものであれば足りる。また、前記実施形態では、縦穴35を周方向に沿って10度間隔で36個設けたが、37個以上設けてもよいし、2個以上35個以下の範囲で設けてもよく、例えば、周方向に沿って5度間隔で72個設けたり、周方向に沿って30度間隔で12個設けたり、周方向に沿って180度間隔で2個設けたりすることができる。更に、本発明における被着体板状部材および接着シートASの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートASは、基材シートBSと接着剤層ADとの間に中間層を有するものや、基材シートBSの上面にカバー層を有するもの等3層以上のものでもよい。また、被着体が適宜な物品例えば、食品や樹脂容器等であって、接着シートASがラベルであってもよく、被着体が半導体ウエハであって、接着シートSが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等が例示でき、このような半導体ウエハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。