"エアーを噴射する噴射ノズル1と噴射したエアーを取り込む受けノズル2を検査部Aを間に挟んで対向させ、前記検査部Aに工具を導入する前に、前記噴射ノズル1から一定量のエアーを空打ち状態で噴射し、このときに前記受けノズル2に取り込まれるエアー量Q1に基づいて流量閾値を設定し、その後、前記検査部Aに工具を挿入し、この状態で、前記噴射ノズル1から再度一定量のエアーを噴射し、このときに前記受けノズル2に取り込まれるエアー量Q2を前記流量閾値と比較して検査対象工具の折損の有無を判断し、上記エアーの空打ちによる流量閾値の設定を毎回の検査、もしくは数回おきの検査において実施する小径工具の折損検査方法。前記流量閾値を、前記エアー量Q1に一定の係数を掛けて求める請求項1に記載の小径工具の折損検査方法。検査部Aに向けてエアーを噴射する噴射ノズル1と、噴射したエアーを対向位置で取り込む受けノズル2と、前記噴射ノズル1にエアーを供給するエアー源3及び供給エアー量を制御する流量制御弁4と、前記受けノズル2に取り込まれたエアー量を測定する流量センサ5と、装置の動作を制御する制御装置8と、演算判定装置9を備え、前記検査部Aに工具が無い状態でエアー噴射を実行して前記流量センサ5でエアー量Q1を計測し、前記演算判定装置9が計測されたエアー量Q1に一定の係数をかけて流量閾値を設定し、その流量閾値と前記検査部Aに工具10が導入された状態でエアー噴射がなされたときに前記流量センサ5によって計測されるエアー量Q2を比較して工具折損の有無を判定し、上記エアーの空打ちによる流量閾値の設定が毎回の検査、もしくは数回おきの検査において実施されるように構成された小径工具の折損検査装置。前記受けノズル2のエアー導入側の端面2aを、凸形曲面で形成した請求項3に記載の小径工具の折損検査装置。前記受けノズル2と前記流量センサ5との間に、噴射エアーに混入しているミストを捕集するミストフィルタ6を設置した請求項3又は4に記載の小径工具の折損検査装置。エアーを噴射する噴射ノズル1と噴射されたエアーの圧力を検出する圧力検出部を検査部Aを間に挟んで対向配置し、前記検査部Aに工具を導入する前に、前記噴射ノズル1から一定圧のエアーを空打ち状態で噴射し、このときに前記圧力検出部によって検出されるエアー圧P1に基づいて圧力閾値を設定し、その後、前記検査部Aに工具を挿入し、この状態で、前記噴射ノズル1から再度一定圧のエアーを噴射し、このときに前記圧力検出部によって検出されるエアー圧P2を前記圧力閾値と比較して検査対象工具の折損の有無を判断し、上記エアーの空打ちによる圧力閾値の設定を毎回の検査、もしくは数回おきの検査において実施するする小径工具の折損検査方法。近年、工具の小径化が進んで、直径が0.5mmにも満たない極細ドリルなども実用化されている。その極細ドリルなどの折損の有無を、タッチセンサを用いた装置を使用して検査すると、測定時の圧力で工具が損傷する虞がある。また、光電式センサを使用した検査装置は、工具を損傷させる心配はないが、ドリル加工などでは切削油やクーラント液が利用されることが多く、検査の時間を短縮するために検査装置を工作機械の内部に組み込むと、検査が否応なしに切削油やクーラント液が飛散する環境下で行われることになって検査精度の保証が難しくなる。光電式センサは、切削油などが付着すると感度が鈍り、それによって、検査の精度が低下する。この発明で言う折損には、先端の僅かな欠損も含まれ、そのような折損は特に、判断を誤って見落とす可能性が高い。この発明は、小径工具の折損の有無を、切削油などのミストが飛散する環境下においても、工具を破損させる心配の無い非接触式検査によって正確に検出できるようにすることを課題としている。上記の課題を解決するため、この発明においては、エアーを噴射する噴射ノズルと噴射したエアーを取り込む受けノズルを、検査部を間に挟んで対向させ、前記検査部に工具を導入する前に前記噴射ノズルから一定量のエアーを空打ち状態で噴射し、このときに前記受けノズルに取り込まれるエアー量Q1に基づいて流量閾値を設定し、その後、前記検査部に工具を挿入し、この状態で、前記噴射ノズルから再度一定量のエアーを噴射し、このときに前記受けノズルに取り込まれるエアー量Q2を前記流量閾値と比較して検査対象工具の折損の有無を判断し、上記エアーの空打ちによる流量閾値の設定を毎回の検査、もしくは数回おきの検査において実施する小径工具の折損検査方法を提供する。流量閾値は、エアーの空打ちで計測されるエアー量Q1これは変数に一定の係数を掛けて求めることができる。その流量閾値の算出に利用する係数は、噴射されたエアーが正常な工具によって遮られる割合をNとして{1-N/100}の式で求まる数値に公差を加算した値以上、1以下に設定する。ここで言う公差は、例えば、Nの10~-10程度で十分である。その他、流量閾値は、エアー量Q1に対して常に一定量小さい値としても構わない。かかる検査方法は、エアーの空打ちによる流量閾値の設定を毎回の検査で実施すると好ましい。この発明は、上記の方法を実行する折損検査装置も併せて提供する。その折損検査装置は、検査部に向けてエアーを噴射する噴射ノズルと、噴射したエアーを対向位置で取り込む受けノズルと、前記噴射ノズルにエアーを供給するエアー源及び供給エアー量を制御する流量制御弁と、前記受けノズルに取り込まれたエアー量を測定する流量センサと、装置の動作を制御する制御装置と、演算判定装置を備えている。そして、前記検査部に工具が無い状態でエアー噴射を実行して前記流量センサでエアー量流量Q1を計測し、前記演算判定装置が計測されたエアー量Q1に一定の係数をかけて流量閾値を設定し、その流量閾値と前記検査部に工具が導入された状態でエアー噴射がなされたときに前記流量センサによって計測されるエアー量Q2を比較して工具折損の有無を判定し、上記エアーの空打ちによる流量閾値の設定が毎回の検査、もしくは数回おきの検査において実施されるように構成されている。また、計測したエアー量Q1と1回前のエアー量とを比較し、その差が予め定めた所定値よりも大きいと判断した場合は、測定環境に大きな変化が生じていると考えられるため、機器の点検を行うようにしてもよい。この折損検査装置は、受けノズルのエアー導入側の端面を凸形曲面で形成したものや、前記受けノズルと前記流量センサとの間に、噴射エアーに混入しているミストを捕集するミストフィルタを設置したものが好ましい。なお、エアー量Q1,Q2は、エアー圧P1,P2に置き換えることができる。すなわち、エアーを噴射する噴射ノズルと噴射されたエアーの圧力を検出する圧力検出部を、検査部を間に挟んで対向配置し、前記検査部に工具を導入する前に、前記噴射ノズルから一定圧のエアーを空打ちして噴出させ、このときに前記圧力検出部によって検出されるエアー圧P1に基づいて圧力閾値を設定し、その後、前記検査部に工具を挿入し、この状態で、前記噴射ノズルから再度一定圧のエアーを噴出させ、このときに前記圧力検出部によって検出されるエアー圧P2を前記圧力閾値と比較して検査対象工具の折損の有無を判断する方法でも、小径工具の折損の有無を、工具を圧力センサに接触させずに正確に検出することができる。この発明は、かかる検査方法も併せて提供する。流量を圧力に置き換えたこの検査方法も、エアーの空打ちによる圧力閾値の設定を毎回の検査、もしくは数回おきの検査において実施する。この場合の圧力閾値も、空打ちで測定されるエアー圧P1に一定の係数を掛けて求めることができる。この発明の検査方法および検査装置は、検査に先立って一定量又は一定圧のエアーを空打ちし、そのときのエアー量Q1又はエアー圧P1に基づいて閾値を設定するので、使用環境や経時的要因による測定精度の低下が起こらない。例えば、ミストの付着などが原因で流路抵抗が増加して流量センサに流れるエアー量が検査を行なう度に減少したり、付着物の経時的増加で圧力センサの感度が鈍ったりしても、検査直前の閾値設定により補正がなされて測定結果を狂わせる因子ここではそれを誤差要因というが排除され、これにより、工具折損の有無の判断が正確になされる。受けノズルと流量センサとの間に、ミストフィルタを設置した検査装置は特に、ミストや異物の捕集によりフィルタが目詰まりして流路抵抗が次第に増加するが、それによる測定流量の減少が起こっても測定精度が維持され、工具折損の早期発見につながる。折損の原因を早期に突き止めて取り除くことで、同じ原因によって工具が連鎖的に欠損することを防止することもできる。流量や圧力の閾値は、空打ちで計測されるエアー量Q1やエアー圧P1に所定の係数を乗じて求めることができる。この時に使用する係数は、1以下、かつ、上式{1-N/100}で求まる値に公差を加えた値よりも大きな数値を選択する。その係数が{1-N/100}の式で求まる数値に公差を加えた値に近ければ、工具先端の一部が僅かに欠損しているときにも測定されるエアー量Q2が閾値を上回るため、工具欠損を見落とすことなく検出することができる。また、{1-N/100}の式で求まる数値に公差を加えた値を閾値の下限となすことで、正常な工具が折損品と誤認されることを防止することができる。なお、閾値の設定は、毎回行なうに越したことはないが、今回の検査で測定されたエアー量Q1エアー圧P1が前回の検査で測定されたエアー量Q1エアー圧P1と比較して大きく変動していなければ、前回検査から今回検査までの間での誤差要因の増加は少ないと考えてよいので、このようなときには、閾値の変更を数回おきの検査において行ってもよく、これでも発明の目的が達成される。閾値の設定を毎回行なうものは、常時最適閾値に基づく判定がなされるため、折損検出の遅延による加工不良の増加を抑制することができる。また、この発明の折損検査装置で、受けノズルのエアー導入側の端面を凸形曲面で形成したものは、受けノズルのエアー導入口にミストや異物が侵入し難く、さらに、エアー導入口の近傍に付着したミストや異物の吹流しも良好になされ、メンテナンスの手間の増加が抑えられる。以下、この発明の小径工具の折損検査方法と折損検査装置の実施の形態を、添付図面の図1~図5に基づいて説明する。図1は、折損検査装置の全体構成の概略を示している。この折損検査装置は、検査部Aを間に挟んで対向させた噴射ノズル1及び受けノズル2と、エアー源3と、その供給されるエアーの量を制御する流量制御弁電磁弁4を有する。また、受けノズル2によって取り込まれたエアーの量を計測する流量センサ5と、受けノズル2と流量センサ5との間に設置するミストフィルタ6と、流量センサ5による計測値を表示するモニタ7と、装置の動作を制御する制御装置8を有し、以上の要素を組み合わせて構成されている。流量制御弁4は、制御装置8から作動指令を受けて一定時間開弁し、エアー源3から供給されるエアーを噴射ノズル1に向けて一定量流す。そのエアーを噴射ノズル1が受けノズル2に向けて噴射し、そのエアーが受けノズル2に取り込まれる。噴射ノズル1と受けノズル2間に設けられる検査部Aには検査対象の工具10その工具の検査が必要な先端側が挿入される。その工具によって噴射ノズル1と受けノズル2間のエアー流路が遮られ、それにより、受けノズル2に取り込まれるエアー量が変動し、その変動量で工具の折損の有無を判定する。検査部Aに工具10を導入する前に噴射ノズル1から一定量のエアーが空打ち状態で噴射され、そのときに受けノズル2に取り込まれるエアー量が流量センサ5によって計測される。そして、そのエアー量Q1図5参照が基礎データとしてモニタ7に内蔵された演算判定部9に入力される。その演算判定部9では、そのエアー量Q1に基づいて判定の基準となす流量閾値T図5参照が算出される。その流量閾値は、空打ちで計測されたエアー量Q1に一定の係数、具体的には、{1-N/100}の式で求まる数値に公差を加算して得られる値以上、1以下の係数例えば0.9を掛けて求められる。その流量閾値Tを得た後に、図3に示すように、検査部Aに検査対象の工具10を挿入する。図3aは、折れていない正常な工具10が検査部Aに導入されて噴射ノズル1と受けノズル2間の流路が工具10によって遮られた状態を、また、図3bは、図4に示すように先端部10aの折れた工具10が検査部Aに導入された状態工具10が流路を遮ぎっていない状態をそれぞれ示している。そして、工具10を所定位置まで導入したこの状態で、噴射ノズル1から再度一定量空打ち時と同量のエアーを噴射し、このときに受けノズル2に取り込まれるエアー量Q2がモニタ7内の演算判定部において事前に設定した閾値Tと比較される。そのエアー量Q2が閾値Tを上回っていれば図5の中央のデータ参照、演算判定部9において工具に折損ありの判定が下され、エアー量Q2が閾値Tを下回っていれば図5の右端のデータ工具は折損なしと判定されてその結果がモニタ7に表示される。例示の検査装置は、エアーの空打ちによる流量閾値Tの設定を毎回の検査で実施するようにしており、各回の検査において流量閾値を設定し直すことで、前回検査から今回検査までの間の条件変動が補正され、毎回の検査が適正な条件の下で行なわれて正確な検査がなされる。なお、前回検査と今回検査でのエアー量Q1の差が小さければ、前回検査での閾値をそのまま使用して今回の検査を行っても構わない。各回の検査で空打ちしたときのエアー量Q1が、前回閾値を変更したときのエアー量Q1に対して所定値以上減少したときに閾値を設定し直す方法でも、検査条件の経時的変動を補正することができる。図2は、この発明の検査装置の要部の好ましい構造の一例を表している。図に示すように、受けノズル2は、エアー導入側の端面2aを凸形曲面で形成してその凸形曲面の端面2aにエアー導入口2bを開口させている。この構造によれば、エアー導入口2bにミストや異物が侵入し難く、エアー導入口2bの近傍に付着したミストや異物の吹流しも良好になされる。そのために、ミストや異物の付着、残留、取り込みが減少し、メンテナンスの手間の削減、ミストフィルタの交換時期延長などの効果を期待できる。なお、図2の検査装置の寸法諸元は、噴射ノズル1と受けノズル2の内径d=φ0.5mm、受けノズル2のエアー導入側端面2aの円弧半径R=20mm、噴射ノズル1と受けノズル2間の距離L=5mm、噴射ノズル1と受けノズル2に接続されたエアー配管の内径d1=φ1.5mm、ミストフィルタ濾過能力0.3μm、流量センサ5の測定能力:0~0.5リットル/minに設定されている。この装置の噴射ノズル1から噴射されるエアーは、10°程度の広がり角をもって前進して受けノズル2のエアー導入側の端面2aに衝突する。なお、図1、図2の装置は、エアー量の変動状況を調べて工具欠損の有無を判断するが、エアー量の変動状況を調べることに代えてエアー圧の変動状況を調べる方法でも、工具欠損の有無を従来法に見られる問題を生じさせずに検査することができる。図1の検査装置の流量制御弁4を圧力制御弁に、流量センサ5を圧力検出部に置き換え、受けノズル2を省いてその位置に圧力検出部圧力センサを配置し、噴射ノズル1から噴射する一定のエアー圧を対向配置された圧力検出部に衝突させる。そして、噴射ノズル1からエアーを空打ちして噴射させたときのエアー圧を圧力検出部で測定し、測定されたエアー圧P1に一定の係数を掛けて圧力閾値を設定する。その後、検査部Aに工具を挿入し、噴射ノズル1から再度一定圧のエアーを噴出させてこのときに圧力検出部によって検出されるエアー圧P2を前記圧力閾値と比較する。この方法も、毎回の検査や数回おきの検査毎に閾値を設定することで、誤差要因が取り込まれる前に設定された閾値が補正されるため、小径工具の折損の有無を、工具を圧力センサに接触させずに正確に検出することができる。図2の仕様の検査装置を、加工機のワーク搬送装置に組み付けた。そして、検査部Aに工具10が導入されていないときの流量センサ5による流量検出量が0.4リットル/minになるように装置を調整した。また、この検査装置の検査部Aに直径0.1mmの工具ドリル10を導入し、工具が無いときと同一条件で噴射ノズル1からエアーを噴射した。そのときに流量センサ5によって計測される流量は、0.3リットル/minであった。そして、さらに、工具無しでの測定流量0.4リットル/minを基礎データとしてこれに0.1を係数として掛け、初期検査での閾値を設定した。2回目以降の検査での閾値の設定にも、上記0.1が空打ちで測定される流量Q1に掛ける係数として利用される。この検査装置を使用して直径が0.1mmの工具の折損の有無を検査した。その結果、工具の先端が0.4mmの長さ欠けているものも折損として安定して検出することができた。この発明の検査方法と検査装置の評価のために、1ヶ月間の工具の折損数を目視検査による場合と比較した。目視検査は、オペレータが定期的に加工機を点検し、工具の折損状況を、工具顕微鏡を使用して調べる。その検査は全数検査であるが、微細径の工具の僅か0.4~0.5mm程度の欠損は目視検査では発見し難しいことから、発見が遅れて1ヶ月間に数百本単位で工具折損が生じることがあった。これに対し、この発明の検査方法では、折損の早期発見がなされ、工具折損を目視検査で発生する数の1割以下、少ないときには数本程度に抑えることができた。また、そのために、加工機の無人稼動が行えるようになり、生産性の向上に対して多大な恩恵がもたらされた。"