"固定ステージと、当該固定ステージの表面に沿ってスライドする可動ステージと、を含むステージ機構であって、前記固定ステージに形成した座繰り部に、送りネジおよび一つまたは二つ以上のバックラッシュ吸収部材が設けてあり、かつ、前記送りネジの送りに同期して、前記可動ステージをスライドさせるための連結部材が設けてあることを特徴とするステージ機構。前記バックラッシュ吸収部材が、前記送りネジの通過孔を有する円筒状の樹脂部材であることを特徴とする請求項1に記載のステージ機構。前記バックラッシュ吸収部材が、その周囲に、金属保護カバーを有することを特徴とする請求項1または2に記載のステージ機構。前記バックラッシュ吸収部材が、アミド樹脂、ウレタン樹脂、およびゴム系樹脂の少なくとも一つから構成してあることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のステージ機構。前記固定ステージと、可動ステージとの間に、ガイド部材としての金属片を備えることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載のステージ機構。前記固定ステージと、可動ステージとを、上下方向に連結するとともに、固定ステージと、可動ステージとの間の摺接力を調整するためのネジ部材を備えることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載のステージ機構。前記固定ステージおよび前記可動ステージが、それぞれ平板状であることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載のステージ機構。直方体状の固定ステージと、前記固定ステージの内部に収容された円柱状部材と、前記固定ステージの表面に沿ってスライドする可動ステージと、を含むステージ機構であって、前記円柱状部材の内部に、一つまたは二つ以上のバックラッシュ吸収部材が装着してあるとともに、連結部材によって、前記バックラッシュ吸収部材を装着した円柱状部材と、前記可動ステージと、が連結されており、かつ、前記固定ステージに取り付けた送りネジにより、前記バックラッシュ吸収部材を介して、前記円柱状部材をスライドさせることにより、前記可動ステージを同期させてスライドさせることを特徴とするステージ機構。しかしながら、特許文献1に開示された手動ステージは、アリ溝スライドレールを初めとして、摺動固定ネジや複数の摺動調節ネジ等が必要であって、部品点数が多くなったり、構造が複雑となったり、さらには、手動ステージを固定する際に、大きなバックラッシュが生じたり、手動ステージの固定性が未だ不十分であったりするという問題が見られた。また、特許文献2に開示されたステージ固定装置は、所定ステージの外部外周に突出して設ける必要があるため、当該ステージ固定装置を含むステージの場合、ステージ全体が大型化するとともに、ステージを固定する際に、大きなバックラッシュが生じたり、ステージの固定性が未だ不十分であったりするという問題が見られた。そこで、本発明者らは鋭意検討した結果、所定箇所に、所定のバックラッシュ吸収部材を設けることによって、小型かつ安価な簡易構造でありながら、優れた可動ステージの移動性、バックラッシュ防止性、および固定性がそれぞれ得られることを見出し、本発明を完成させたものである。すなわち、本発明は、小型かつ安価な簡易構造でありながら、可動ステージが容易かつ安定的にスライドするとともに、可動ステージを固定する際のバックラッシュや、可動ステージを固定した後の移動が少ないステージ機構を提供することを目的とする。本発明によれば、固定ステージと、当該固定ステージの表面に沿ってスライドする可動ステージと、を含むステージ機構であって、固定ステージに形成した座繰り部に、送りネジおよび一つまたは二つ以上のバックラッシュ吸収部材が設けてあり、かつ、送りネジの送りに同期して、可動ステージをスライドさせるための連結部材が設けてあることを特徴とするステージ機構が提供され、上述した問題点を解決することができる。このように、ステージ機構の所定箇所に、ネジ溝が形成された座繰り部を介して、所定のバックラッシュ吸収部材を設けることによって、小型かつ安価な簡易構造でありながら、送りネジを回転させるだけで、優れたステージの移動性を得ることができる。また、このように構成することにより、可動ステージを固定する際のバックラッシュや、固定後の移動が少ないステージ機構を提供することができる。また、本発明のステージ機構を構成するにあたり、バックラッシュ吸収部材が、送りネジの通過孔を有する円筒状の樹脂部材であることが好ましい。このようにバックラッシュ吸収部材を構成することによって、所定箇所に対するバックラッシュ吸収部材の取り付けが容易になるとともに、当該バックラッシュ吸収部材による応力吸収が容易になって、さらに優れたステージの移動性や固定性を得ることができる。また、本発明のステージ機構を構成するにあたり、バックラッシュ吸収部材が、その周囲に、金属保護カバーを有することが好ましい。このようにバックラッシュ吸収部材を構成することによって、所定箇所に対するバックラッシュ吸収部材の取り付けや固定性が容易になるとともに、当該バックラッシュ吸収部材の耐久性が向上し、長期間にわたって優れた可動ステージの移動性や固定性を得ることができる。また、本発明のステージ機構を構成するにあたり、バックラッシュ吸収部材が、アミド樹脂、ウレタン樹脂、およびゴム系樹脂の少なくとも一つから構成してあることが好ましい。このようにバックラッシュ吸収部材を構成することによって、バックラッシュ吸収部材の成形性やバックラッシュ吸収性等が高まり、さらに優れた可動ステージの移動性や固定性を得ることができる。また、本発明のステージ機構を構成するにあたり、固定ステージと、可動ステージとの間に、ガイド部材としての金属片を備えることが好ましい。このようにガイド部材としての金属片を設けることによって、固定ステージと、可動ステージとの間において、ガイドレールとしての機能を発揮し、さらに優れた可動ステージの移動性や固定性、さらには良好な耐久性を得ることができる。また、本発明のステージ機構を構成するにあたり、固定ステージと、可動ステージとを、上下方向に連結するとともに、固定ステージと、可動ステージとの間の摺接力を調整するためのネジ部材を備えることが好ましい。このようにネジ部材を設けることによって、固定ステージと、可動ステージとの間において、さらに優れた移動性や固定性、あるいは優れた耐久性を得ることができる。また、本発明のステージ機構を構成するにあたり、固定ステージおよび可動ステージが、それぞれ平板状であることが好ましい。このような固定ステージおよび可動ステージとすることによって、可動ステージに取り付けるワーク等が比較的大きく、重量物であったとしても、優れた移動性や固定性が得られるとともに、小型かつ安価なステージ機構を提供することができる。また、本発明の別の発明は、直方体状の固定ステージと、固定ステージの内部に収容された円柱状部材と、固定ステージの表面に沿ってスライドする可動ステージと、を含むステージ機構であって、円柱状部材の内部に、一つまたは二つ以上のバックラッシュ吸収部材が装着してあるとともに、連結部材によって、バックラッシュ吸収部材を装着した円柱状部材と、前記可動ステージと、が連結されており、かつ、固定ステージに取り付けた送りネジにより、バックラッシュ吸収部材を介して、円柱状部材をスライドさせることにより、可動ステージを同期させてスライドさせるステージ機構である。このように、所定形状の固定ステージと、可動ステージとが、所定の円柱状部材を介して、連結部材によって実質的に連結されており、かつ、固定ステージの送りネジによって、可動ステージを間接的に同期させてスライドさせることから、優れた移動性や固定性のみならず、優れた取り付け性等が得られるとともに、さらに小型かつ安価に、ステージ機構を提供することができる。[第1の実施形態]第1の実施形態は、図1に例示するように、固定ステージ11と、当該固定ステージ11の表面に沿ってスライドする可動ステージ12と、を含むステージ機構10であって、固定ステージ11に形成した座繰り部13に、送りネジ15および一つまたは二つ以上のバックラッシュ吸収部材16が設けてあり、かつ、送りネジ15の送りに同期して、可動ステージ12をスライドさせるための連結部材18が設けてあることを特徴とするステージ機構10である。そして、第1の実施形態は、固定ステージ11および可動ステージ12が、それぞれ平板状であるステージ機構10である。以下、適宜図面を参照しながら、第1の実施形態のステージ機構10について、具体的に説明する。1.固定ステージ1形態図1a~bに示す固定ステージ11の形態について、第1の実施形態のステージ機構10においては、平板状であれば、特に制限されるものではない。すなわち、通常、固定ステージ11の平面形状を四角形正方形を含むとするとともに、その寸法として、縦幅を2~10cmの範囲内の値、横幅を2~10cmの範囲内の値とし、かつ、厚さを1~10mmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、このような平面形状および寸法の固定ステージ11であれば、使い勝手や製造が容易になるばかりか、ワーク固定用貫通孔12b等を介して、所定のワーク図示せずを取り付けた可動ステージ12と組み合わせた場合であっても、それらを安定的に保持しながら、容易にスライドさせることができるためである。また、固定ステージの形態に関して、図2a~bに示すように、四角形状の固定ステージ11、11 ́を平面視した場合に、その一辺に、所定空間を形成するための切り込み11cを設けることが好ましい。この理由は、かかる切り込み11cのスペースを利用して、所定方向に移動して、可動ステージ12を押圧するための連結部材18を備えた送りネジ15の移動空間が形成され、それらを所定方向に回転移動させることができるためである。したがって、連結部材18を備えた送りネジ15を有する固定ステージ11、11 ́が、複数の連結部材用固定具1919a,19bによって、バランス良く、かつ強固に取り付けられた連結部材18を介して、可動ステージ12と連結されていることから、送りネジ15の回転移動に起因した送りに対応して、可動ステージ12のみを同期させてスライドさせることができる。すなわち、このような切り込み11cを形成することによって、固定ステージ11、11 ́は停止したままで、可動ステージ12のみを、所定方向にスライドさせることができる。ここで、固定ステージ11、11 ́に設ける切り込み11cの平面形状については、特に制限されるものではないが、例えば、矩形状、溝状、半円形状、半楕円形状、逆三角形状、異形状等とすることが好ましい。そして、固定ステージ11、11 ́の大きさにもよるが、その一辺から、切り込み11cの最深部までの距離、すなわち、図2a~b中、記号L1で表わされる距離を、通常、1~15mmの範囲内の値とすることが好ましく、3~12mmの範囲内の値とすることがより好ましく、5~10mmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。また、図2a~b中、記号L2で表わされる切り込み11cの間口長さを、通常、5~30mmの範囲内の値とすることが好ましく、8~25mmの範囲内の値とすることがより好ましく、10~20mmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。そして、固定ステージ11の構成材料についても特に制限されるものではないが、通常、アルミニウムアルマイト処理アルミニウムを含む。、銅、黄銅、鉄、ニッケル、マグネシウム、タングステン、セラミック、高分子樹脂材料等の少なくとも一つであることが好ましい。特に、アルマイト処理アルミニウムであれば、軽量性、耐食性、耐久性、加工性、熱伝導性、装飾性、および経済性等に触れていることから、固定ステージ11の構成材料として、好適である。その他、固定ステージ11の形態に関して、図1a~bに示すように、固定ステージ11は、その側面や裏面等に、小孔である取り付け孔やグリース注入孔11a,11bが一つまたは二つ以上設けてあることが好ましい。すなわち、かかる小孔が、取り付け孔であれば、当該取り付け孔を利用して、他の部品と固定したりすることができ、あるいは、グリース注入孔であれば、固定ステージ11と、可動ステージ12との界面等に、所定のグリースや潤滑オイルを供給することによって、可動ステージ12をさらに滑らかにスライドさせることができる。2送りネジまた、図1bに示す送りネジ15は、ワッシャー15 ́とともに、固定ステージ11に形成した座繰り部13に対して、取り付けてあり、かつ、かかる送りネジ15の端部には、連結部材用固定具19を有する連結部材18が設けてある。したがって、当該送りネジ15の送りに対応し、かかる連結部材18が直線的に移動し、それにより可動ステージ12を安定的にスライドさせることができる。また、図1bに示すように、送りネジ15は、ネジ回し等と係合する凹部を有する頭部15aと、ネジ溝を有するネジ部15bと、を含んでなる構成であることが好ましい。そして、送りネジ15は、モーター等を用いて、機械的駆動または電気的駆動力を利用して回転動作させることも好ましいが、より簡易な構成とすべく、ネジまわしや六角レンチ等を用いて、手動で回転動作させることが好ましい。なお、かかる送りネジ15と同様の作用効果を発揮できる部材であれば、所定形態に適宜置換したり、変形したりすることも可能であって、例えば、防錆処理された金属材料からなる棒状物、角柱物、線状物等を用いることもできる。3バックラッシュ吸収部材また、図1bに示すバックラッシュ吸収部材16は、可動ステージ12の良好な移動性を確保し、かつ、可動ステージ12等に発生する応力を吸収して、バックラッシュの発生を抑制しつつ、強固に固定状態を保持するための部材である。すなわち、かかるバックラッシュ吸収部材16によれば、可動ステージ12がスライドしている間には、所定のすべり性を発揮して、当該可動ステージ12のスライドを阻害することなく、その横揺れや捩れ等を防止することができる。そして、可動ステージ12を固定する際には、適度に変形して、可動ステージ12のバックラッシュを少なくし、かつ、固定した後には、十分に固化して、同様に可動ステージ12等に発生する応力を吸収し、強固に固定状態を保持できることができる。したがって、バックラッシュ吸収部材16の形態に関して、図3aに示すように、送りネジ15を通過させるための通過孔16aを有する円筒状のクッション樹脂部材16bであることが好ましい。すなわち、このようにバックラッシュ吸収部材16に構成することによって、送りネジ15の所定箇所に対するバックラッシュ吸収部材16の取り付けが容易になるとともに、当該バックラッシュ吸収部材16による応力吸収が容易になって、さらに優れた可動ステージ12の移動性や固定性を得ることができる。また、バックラッシュ吸収部材16におけるクッション樹脂部材16bの構成材料については特に制限されるものではないが、例えば、アミド樹脂ナイロン樹脂、ウレタン樹脂、エステル樹脂、カーボネート樹脂、アクリル樹脂、オレフィン樹脂、ゴム系樹脂天然ゴム、スチレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン-ブタジエン-スチレンブロックコポリマーSBS、スチレン-イソプレン-スチレンブロックコポリマーSIS、スチレン-エチレン-ブチレン-スチレンブロックコポリマーSEBS等、イミド樹脂、アミドーイミド樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、グアナミン樹脂、尿素樹脂、及びフェノール樹脂の少なくとも一つの樹脂材料から構成してあることが好ましい。この理由は、このような熱可塑性樹脂材料や熱硬化性樹脂材料からなるバックラッシュ吸収部材16であれば、バックラッシュ吸収部材16の成形性やバックラッシュ吸収性等が高まり、さらに優れた可動ステージ12の移動性や固定性を得ることができるためである。そして、特に、アミド樹脂ナイロン樹脂、ウレタン樹脂、およびゴム系樹脂の少なくとも一つであれば、可動ステージ12の移動性と、固定性とのバランスがさらに良好であって、耐久性等にも優れていることから、好適な樹脂材料である。また、バックラッシュ吸収部材16におけるクッション樹脂部材16bの構成材料樹脂材料のガラス転移点または融点を、通常、30~250°Cの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、かかる構成材料のガラス転移点または融点が30°C未満の値になると、耐熱性や機械的強度が不足して、バックラッシュ吸収性や可動ステージ12の固定性が低下する場合があるためである。一方、かかる構成材料のガラス転移点または融点が250°Cを超えた値になると、使用可能な樹脂材料の種類が過度に制限されたり、バックラッシュ吸収性が著しく低下したりする場合があるためである。したがって、バックラッシュ吸収部材16の構成材料のガラス転移点または融点を、50~200°Cの範囲内の値とすることがより好ましく、80~180°Cの範囲内の値とすることがさらに好ましい。なお、バックラッシュ吸収部材16の構成材料のガラス転移点は、DSC測定における比熱の変化点として測定することができるし、融点を有する構成材料であれば、JISK7121に準拠して、DSC融解熱ピーク温度として測定することができる。また、図3aおよびbに示すように、バックラッシュ吸収部材16は、その周囲に、所定形態の金属保護カバー16cを有することが好ましい。すなわち、クッション樹脂部材16bを収容するキャップ状の収容部16dと、ネジ溝を有するネジ部16eと、を一体的に含んでなる金属保護カバー16cを有し、図3aおよびb中の矢印方向にクッション樹脂部材16bを挿入して、バックラッシュ吸収部材16を構成することが好ましい。この理由は、このように金属保護カバー16cを設けることによって、送りネジ15の所定箇所に対するバックラッシュ吸収部材16の取り付けや固定性が容易になるとともに、当該バックラッシュ吸収部材16の耐久性が向上し、長期間にわたって優れた可動ステージ12の移動性や固定性を得ることができるためである。そして、図4aおよびbに示すように、金属保護カバー16cに、クッション樹脂部材16bを挿入した後、キャップ状の収容部16dの先端部を折り曲げることも好ましい。この理由は、このように折り曲げることによって、クッション樹脂部材16bの脱落を防止することができるとともに、バックラッシュ吸収部材16の送りネジ15における移動性や、バックラッシュ吸収部材16における応力吸収性がさらに良好となるためである。なお、かかる金属保護カバー16cの構成材料についても特に制限されるものではないが、軽量、安価であって、かつ、所定の変形性および耐久性が得られることから、アルミニウム、銅、ニッケル、鉄等の少なくとも一種であることが好ましい。ここで、図4a~cに言及して、バックラッシュ吸収部材16による応力吸収における作用効果を説明する。すなわち、図4aは、バックラッシュ吸収部材16による作用効果を説明するために供する図であって、固定ステージ11に形成した座繰り部13に、送りネジ15および二つのバックラッシュ吸収部材16金属保護カバー16cを有するクッション樹脂部材16bが取り付けられた状態を示している。また、図4bは、図4aに示す二つのバックラッシュ吸収部材16における部分拡大図であって、それぞれの金属保護カバー16cにおける収容部16d同士が対向して、重なり合うように配置された状態を示している。さらに、図4cは、金属保護カバー16cが、送りネジ15に対して、同方向図面上では、それぞれ右方向に向くように、二つのバックラッシュ吸収部材16を配置した状態を示している。したがって、一つのバックラッシュ吸収部材16を設けた場合はもちろんのこと、図4a~cに示すように、二つのバックラッシュ吸収部材16を設けた場合であっても、送りネジ15が所定方向に回転移動している間は、クッション樹脂部材16b等が所定のすべり性を発揮して、同期してスライドする可動ステージ12の動作を阻害することなく、その横揺れや捩れ等を有効に防止することができる。なお、送りネジ15の回転移動に伴って、発熱現象が生じる場合があるが、二つのバックラッシュ吸収部材16は、かかる発熱現象によって発生した熱を効率的に吸収することができる。すなわち、吸収した熱によって、バックラッシュ吸収部材16が一部可塑化される場合もあるが、所定のすべり性等はそのまま発揮することができる。さらに言えば、バックラッシュ吸収部材16を構成する円筒状のクッション樹脂部材16bの周囲に、所定の金属保護カバー16cが設けてあることから、クッション樹脂部材16bが過度に変形したり、所定場所から流出したりするおそれもない。一方、図4a~cに示すように、二つのバックラッシュ吸収部材16を設けた場合、送りネジ15の回転移動が停止し、同期する可動ステージ12が位置固定される際には、二つのバックラッシュ吸収部材16が適度に変形して、可動ステージ12のバックラッシュを少なくすることができる。すなわち、送りネジ15の回転移動に起因した押圧力の反作用として、可動ステージ12が逆戻りする反発応力が発生するが、バックラッシュ吸収部材16が適度に変形して、かかる反発応力を効率的に吸収し、可動ステージ12におけるバックラッシュを少なくすることができる。そして、さらに、可動ステージ12が所定位置に固定された後には、二つのバックラッシュ吸収部材16に含まれる円筒状のクッション樹脂部材16bが十分に固化した状態となる。したがって、図4a~cに示すバックラッシュ吸収部材16の場合、送りネジ15における頭部15aの側から付与された外部応力については、左方のバックラッシュ吸収部材16が効率的に吸収し、送りネジ15の頭部15aと反対側から付与された外部応力については、右方のバックラッシュ吸収部材16が効率的に吸収することができる。なお、二つのバックラッシュ吸収部材16のいずれかが緩むような応力が働いた場合であっても、いわゆるダブルナット効果が発揮される。したがって、二つのバックラッシュ吸収部材16における樹脂部材16bによる緩みの発生が効果的に防止されるとともに、可動ステージ12が移動するような応力が外部から付与されたとしても、その応力を効果的に吸収し、強固に固定状態を保持することができる。4ガイド部材また、図2a~b、あるいは図5~図6に示すように、ステージ機構10の所定箇所に、金属片20aおよびガイド溝20bから構成された一つまたは二つ以上のガイド部材20を設けることが好ましい。すなわち、かかるガイド部材20は、可動ステージ12を、左右にぶれることなく、所定方向のみに安定的にスライドさせるための部材である。したがって、ガイド部材20の構成材料や形態については特に制限されるものではないが、例えば、図1に示すステージ機構10におけるB-B断面図である図6に示すように、概四角形状の可動ステージ12の左右の両辺近傍に、それぞれガイド溝20b ́を形成し、その中に、所定長さの金属片20aを圧入することによって、可動ステージ12の表面に金属片20aが突出した構成とすることが好ましい。そして、後述するように、固定ステージ11においても、可動ステージ12のガイド溝20b ́と対向する位置に、同様のガイド溝20bが形成してある。したがって、上下方向のガイド溝20b、20b ́にそれぞれ圧入された、棒状円柱状または多角柱状の金属片20aによってガイド部材20が構成され、それに沿って、可動ステージ12が、固定ステージ11に対して、円滑にスライド可能な構成とすることができる。なお、図2bに示すように、取り扱い性が良好であることから、金属片20aが直線状であることも好ましいが、図2aに示すように、両端部に丸み曲率を持たせた、棒状の金属片20aを所定方向に湾曲させて、その平面形状が、緩やかな円弧を描くことが好ましい。この理由は、金属片20aが、このような湾曲状を描くことによって、金属片20aをガイド溝20a ́に圧入することが容易になるとともに、圧入した後は、所定の湾曲状態を維持することから、より強固に保持することが可能となるためである。さらに、図2aに示すように、それぞれの湾曲方向が一致するように湾曲させた二つの金属片20aを準備して、ガイド溝20a ́にそれぞれ圧入することが好ましい。この理由は、このように構成すると、可動ステージ12をスライドさせる際に、金属片20aが同一方向に湾曲していることから、それによるガイド性が、さらに良好となるためである。次いで、図7に言及して、ガイド部材20の一部を構成する金属片20aの長さと、固定ステージ11のガイド溝20bの長さとの関係を説明する。なお、固定ステージ11のガイド溝20bの長さと、可動ステージ12のガイド溝20b ́の長さとは、実質的に等しいことから、後述する関係は、固定ステージ11のガイド溝20bのみならず、可動ステージ12のガイド溝20b ́にもあてはまるものである。まず、金属片20aの長さL3は、ガイド溝20bの長さL4よりも短い値であるが、通常、ガイド溝20bの長さL4の50~90の範囲内の値であって、より具体的には、1.5~8cmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、かかる金属片20aの長さL3が1.5cm未満の値になると、ガイド部材20を構成した場合におけるガイド効果が著しく低下する場合があるためである。一方、かかる金属片20aの長さL3が8cmを超えた値になると、ステージ機構10の重量が過度に重くなったり、送りネジ15の送りに同期させて、可動ステージ12のみを円滑にスライドさせることが困難となったりする場合があるためである。したがって、かかる金属片20aの長さL3を2~7cmの範囲内の値とすることがより好ましく、3~5cmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。また、金属片20aの厚さt1についても、ガイド溝20bの厚さt2の約2倍の値であるが、通常、0.5~8mmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、かかる金属片20aの厚さt1が0.5mm未満の値になると、ガイド部材20を構成した場合におけるガイド効果が著しく低下する場合があるためである。一方、かかる金属片20aの厚さt1が8mmを超えた値になると、ステージ機構10の重量が過度に重くなったり、送りネジ15の送りに同期させて、可動ステージ12のみを円滑にスライドさせることが困難となったりする場合があるためである。したがって、かかる金属片20aの厚さt1を1~7mmの範囲内の値とすることがより好ましく、2~6mmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。それに対して、ガイド部材20の一部を構成するガイド溝20bの長さL4は、上述した金属片20aの長さL3や厚さt1、あるいは金属片20aの湾曲程度等を考慮して定めることができるが、通常、1.8~9cmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、かかるガイド溝20bの長さL4が1.8cm未満の値になると、ガイド部材20を構成した場合におけるガイド効果が著しく低下したり、金属片20aの圧入が困難となったりする場合があるためである。一方、かかるガイド溝20bの長さL4が9cmを超えた値になると、金属片20aの固定性が低下したり、送りネジ15の送りに同期させて、可動ステージ12のみを円滑にスライドさせたりすることが困難となる場合があるためである。したがって、かかるガイド溝20bの長さL4を2.2~7.5cmの範囲内の値とすることがより好ましく、3.5~5.5cmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。さらに、ガイド部材20の一部を構成するガイド溝20bの深さt2についても、金属片20aの厚さt1によるが、通常、0.1~8mmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、かかるガイド溝20bの深さt1が0.1mm未満の値になると、ガイド部材20を構成した場合におけるガイド効果が著しく低下したり、金属片20aの固定性が低下したりする場合があるためである。一方、かかるガイド溝20bの深さt1が8mmを超えた値になると、固定ステージ11の強度や安定性が低下したり、送りネジ15の送りに同期させて、可動ステージ12のみを円滑にスライドさせたりすることが困難となる場合があるためである。したがって、かかるガイド溝20bの深さt1を0.5~6mmの範囲内の値とすることがより好ましく、1~4mmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。なお、上述したガイド部材20のかわりに、あるいは併用して、ボールガイドやクロスローラガイド等を用いることも好ましい。すなわち、図示しないものの、固定ステージおよび可動ステージにおけるそれぞれの所定場所であって、かつ平行位置に、二本のV溝レールを設けて、その中に、複数のボールまたはローラを配列し、これらのボールまたはローラが、V溝レールに沿って転がりながら移動する構成とすることによって、所定のガイド効果を発揮させることも好ましい。2.可動ステージ1形態図1に示す可動ステージ12の形態についても、固定ステージ11の形態と同様に、特に制限されるものではないが、概ね平板状であることを特徴とする。すなわち、図5の分解図に示すように、通常、可動ステージ12の平面形状を四角形正方形を含むとするとともに、その寸法として、固定ステージ11と同様に、縦幅を2~10cmの範囲内の値、横幅を2~10cmの範囲内の値とし、かつ、厚さを1~10mmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、このような平面形状および寸法を有する可動ステージ12であれば、固定ステージ11と同様の寸法であって、コンパクトにまとまるとともに、送りネジ15の送りに対応した連結部材18の動きによって、可動ステージ12の端部のみを押圧して、可動ステージ12のみを所定方向にスライドさせることができるためである。よって、ステージ機構10の全体として、使い勝手や製造が容易になるばかりか、所定のワークを取り付けた可動ステージ12と組み合わせた場合であっても、それらを安定的に保持しながら、容易にスライドさせることができる。なお、可動ステージ12は、図1aに示すように、その表面側に、小孔であるグリース注入孔12aが一つまたは二つ以上設けてあることが好ましい。それを用いて、所定グリースを注入し、固定ステージ11と、可動ステージ12との間のスライド性をさらに向上させることができるためである。また、可動ステージ12は、図1aに示すように、その表面側に、例えば、直径1~5mmのワーク固定用貫通孔12bが一つまたは二つ以上設けてあることが好ましい。それを用いて、所定ワークを、ステージ機構10に対して、強固に取り付けることができるためである。さらに、可動ステージ12は、図1aに示すように、その表面側に、例えば、直径1~3mmの押圧部材用貫通孔12cが一つまたは二つ以上設けてあることが好ましい。それを用いて、押圧部材17を挿入し、固定ステージ11と、可動ステージ12と、を、所定押圧状態に維持することができるためである。2構成材料また、可動ステージ12の構成材料についても特に制限されるものではないが、固定ステージと同様に、通常、アルミニウムアルマイト処理アルミニウムを含む。、銅、黄銅、鉄、ニッケル、マグネシウム、タングステン、セラミック、高分子樹脂材料等の少なくとも一つであることが好ましい。3ガイド部材また、図5および図6に示唆するように、固定ステージ11ばかりでなく、それに上下方向で対向する位置に、可動ステージ12においても、一つまたは二つ以上のガイド溝20b ́を設け、そこに金属片20aを厚入して、ガイド部材20とすることが好ましい。この理由は、このようなガイド部材20を設けることによって、固定ステージ11と、可動ステージ12とが対向した状態で配置された後、送りネジ15の送りに対応する連結部材18の押圧動作によって、固定ステージ11の表面上、ガイド部材20に沿って、可動ステージ12のみを所定方向に、安定的にスライドさせることができるためである。3.連結部材また、図1a~bに示すように、連結部材18は、可動ステージ12に対して、複数の連結部材用固定具1919a,19bによって、バランス良く、かつ強固に取り付けられており、かつ、固定ステージ11に形成した座繰り部13に取りつけてある送りネジ15の動き回転直進運動に同期して、可動ステージ12をスライドさせるための部材である。したがって、連結部材18は、図1a~bに示すように、プレート状あるいは直方体状であることが好ましく、その平面形状についても、半円状、楕円状、矩形状、異形状等のいずれであっても良い。そして、かかる連結部材18の構成材料としては、可動ステージ12の構成材料と同様に、アルミニウムアルマイト処理アルミニウムを含む。、銅、黄銅、鉄、ニッケル、マグネシウム、タングステン、セラミック、高分子樹脂材料等の少なくとも一つであることが好ましい。なお、かかる連結部材18に対して、送りネジ15を所定圧となるように予圧調整できるように、図1bに示すように、予圧部材22が設けてあることが好ましい。すなわち、送りネジ15の頭部15aと、予圧部材22とで、連結部材18を挟み込むとともに、予圧ネジ22bを用いて、予圧部材22が、送りネジ15に対して押圧調整してあることが好ましい。この理由は、このように予圧部材22を設けることにより、送りネジ15の所定方向の送りを阻害することなく、連結部材18、ひいてはそれに固定された可動ステージ12を、円滑にスライドさせることが可能となるためである。4.押圧部材また、固定ステージ11と、可動ステージ12と、を上下方向に押圧し、送りネジ15の送りによって、両者が摺動しながら円滑にスライドするように、所定の押圧部材17を設けることが好ましい。より具体的には、図1に示すステージ機構10におけるC-C断面図である図8に示すように、固定ステージ11の下面の一部に、座繰り部17cを設けて、圧縮バネ17aおよびワッシャー17bを介して、押圧部材17としてのボルトを下方からねじ込み、固定ステージ11と、可動ステージ12と、を上下方向に圧接させることが好ましい。すなわち、押圧部材17のねじ込み量を調節し、押圧部材17としてのボルトと、圧縮バネ17aとの間の距離を所定範囲内の値とすることである。但し、押圧部材17の構成としては、このようなボルトに限らず、板バネやクリップ等であっても良い。[第2の実施形態]第2の実施形態は、図9a~bに例示するように、直方体状の固定ステージ111と、当該固定ステージ111の内部に収容された円柱状部材117と、固定ステージ111の表面に沿ってスライドする可動ステージ112と、を含むステージ機構100である。そして、円柱状部材117の内部に、一つまたは二つ以上のバックラッシュ吸収部材116が装着してあるとともに、連結部材118によって、バックラッシュ吸収部材116を装着した円柱状部材117と、可動ステージ112と、が連結されており、かつ、固定ステージ111に取り付けた送りネジ115により、バックラッシュ吸収部材116を介して、円柱状部材117をスライドさせることにより、可動ステージ112を同期させてスライドさせることを特徴とするステージ機構100である。以下、適宜図面を参照しながら、第2の実施形態のステージ機構100について、第1の実施形態のステージ機構10と異なる点を中心に、具体的に説明する。1.固定ステージ1形態第2の実施形態のステージ機構100の場合、図9aに示すように、固定ステージ111が、直方体状であることを特徴とする。すなわち、通常、平面寸法が0.8~5cm×1~10cmの四角形正方形を含むであって、かつ、厚さを1~10mmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、このような寸法の固定ステージ111であれば、使い勝手や製造が容易になるばかりか、所定のワークを取り付けた可動ステージ112と組み合わせた場合であっても、それらを安定的に保持しながら、容易に可動ステージ112のみをスライドさせることができるためである。2構成材料また、固定ステージ111の構成材料としては、優れた軽量性、耐久性、寸法安定性、加工性等がそれぞれ得られることから、アルミニウムアルマイト処理アルミニウムを含む。、銅、黄銅、鉄、ニッケル、マグネシウム、タングステン、セラミック、高分子樹脂材料等の少なくとも一つであることが好ましい。3送りネジまた、第2の実施形態のステージ機構100において、送りネジ115は、そのネジ部115bの所定位置に、後述するバックラッシュ吸収部材116を備えており、さらに後述する円柱状部材117に係合して、可動ステージ112を同期させてスライドさせるための部材である。ここで、図10a~cを参照して、送りネジ115に備えられたバックラッシュ吸収部材116を、円柱状部材117の端部に対する装着する方法について説明する。まずは、図10aに示すように、バックラッシュ吸収部材116を備えた送りネジ115を準備する。次いで、図10bに示すように、送りネジ115を矢印方向に回転させ、前方に送り出して、端部に凹部を有する円筒状部材117と接触させる。最後に、図10cに示すように、送りネジ115をさらに矢印方向に回転させ、前方に送り出して、円筒状部材117の端部に設けた凹部に挿入する。すなわち、このようにして、送りネジ115に備えられたバックラッシュ吸収部材116を、円柱状部材117の端部に容易かつ正確に装着することができる。そして、バックラッシュ吸収部材116と、送りネジ115のネジ部115bとの関係で、ダブルナット効果を容易に発揮することができ、すなわち、それによって、バックラッシュ吸収部材116における緩み等の発生を効果的に防止することができる。なお、かかる送りネジ115においても、図9bに示すように、所定圧力を与えるべく、予圧部材122が設けてあることが好ましい。すなわち、送りネジ115と、予圧部材122とで、固定ステージ111の一部を挟み込み、その状態で、予圧ネジ122bを用い、送りネジ115に対して、予圧部材122を押圧することによって、送りネジ115の送り動作を過度に防止せずに、予圧調整し、予圧部材122を固定することができる。4バックラッシュ吸収部材また、第2の実施形態のステージ機構100におけるバックラッシュ吸収部材116に関して、第1の実施形態のバックラッシュ吸収部材16金属保護カバー16cを有するクッション樹脂部材16bと基本的に同様の内容とすることができる。すなわち、図9bに示すように、所定構造のバックラッシュ吸収部材16が、送りネジ115の途中に設けてある。より具体的には、図10cに示すように、ネジ部116eを有する金属保護カバー16cの収容部に装着されたクッション樹脂部材116bが準備され、それを含んでなるバックラッシュ吸収部材116が、送りネジ115の途中に設けてある。したがって、送りネジ115が所定方向に送られて、可動ステージ112がスライドしている間には、バックラッシュ吸収部材116は、所定のすべり性を発揮して、当該可動ステージ112のスライドを阻害することなく機能する。そして、可動ステージ112を固定する際には、バックラッシュ吸収部材116が、適度に変形して、可動ステージ112のバックラッシュを少なくし、かつ、可動ステージ112を固定した後には、十分に固化して、同様に可動ステージ112等に発生する応力を吸収し、強固に固定状態を保持することができる。なお、図10cは、バックラッシュ吸収部材116が一つ設けられた例を示しているが、かかるバックラッシュ吸収部材116が二つ以上、図4b~cに準じて、配列されていても良い。5移動孔また、固定ステージ111の内部に、断面形状が概ね円柱状の移動孔117bを設け、その中を、後述する円筒状部材117がスライド可能な構成とすることを特徴とする。より具体的には、図11に示すように、固定ステージ111の内部に、概ね円筒状であって、かつ、上方に開口した、四角形状の開口部117cを有する移動孔117bを設けることが好ましい。すなわち、可動ステージ112を外した場合、移動孔117bにおける開口部117cを介して、円筒状部材117の平坦部117aが露出しているとともに、当該円筒状部材117の平坦部117aと、固定ステージ111の上面側の平坦面111aとの面位置が一致しており、同一平面をなす構成であることが好ましい。この理由は、このように移動孔117bを利用することによって、後述する円筒状部材117が円滑にスライドできるとともに、円筒状部材117の上面に、平板状の可動ステージ112を取り付けた場合であっても、円筒状部材117の円滑なスライドを阻害しないためである。2.可動ステージまた、可動ステージ112は、後述する連結部材118によって、さらに後述する円筒状部材117に対して連結されている平板状部品であって、固定ステージ111に取り付けた送りネジ115に同期して、ワーク図示せずを設置した状態で、所定方向にスライドする構成である。すなわち、かかる平板状の可動ステージ112の表面側に、加工機や顕微鏡等の対象物たるワーク図示せずを設置した状態で、送りネジ115によって、当該可動ステージ112の位置を微調整することができる。なお、可動ステージ112の形態について、さらに軽量化、小型化等するために、平面形状が所定寸法の長方形としてあることを除いて、第1の実施形態の可動ステージ12と同様の内容とすることができる。3.連結部材また、連結部材118は、直接的には、可動ステージ112と、バックラッシュ吸収部材116を装着した円筒状部材117と、を連結する固定部材であって、固定ステージ111に形成した座繰り部113に取り付けてある送りネジ115に同期させて、バックラッシュ吸収部材116を介して、円筒状部材117をスライドさせ、ひいては、可動ステージ112を同方向にスライドさせるための固定部材である。したがって、連結部材118は、図9bに示すようなネジ部材118であっても良く、あるいは、その他の形態であっても良い。そして、第2の実施形態のステージ機構100において、かかる連結部材118が、第1の実施形態のステージ機構10における押圧部材としての機能も果たしている。すなわち、連結部材118が、固定ステージ111と、可動ステージ112と、を上下方向に押圧し、両者が摺動しながら円滑にスライドするように、所定の押圧部材としての機能も果たしている。次いで、図12a~bを参照して、連結部材118による、バックラッシュ吸収部材116が装着された円筒状部材117と、可動ステージ112と、の間の連結方法の一例を説明する。まずは、図12aに示すように、固定ステージ117の移動孔117bに、研磨前のバックラッシュ吸収部材116を含む円筒状部材117を挿入するとともに、固定ステージ117の上面より上側に露出したバックラッシュ吸収部材16を含む円筒状部材117を、研磨部材図示せずによって、所定厚さ分研磨し、そこに平坦部117aを形成する。その際、移動孔117bに対して、円筒状部材117は滑合状態ではあるが、将来的なガタつきをなくすべく、固定ステージ117の移動孔117bの表面Zと、円筒状部材117の表面との間には、ほとんど隙間が無い状態である。次いで、図12bに示すように、円筒状部材117の平坦部117aおよび固定ステージ117の平坦面が同一面を形成する状態において、固定ステージ117を所定場所に載置した後、ネジ等の連結部材118によって、バックラッシュ吸収部材16を含む円筒状部材117と、可動ステージ112とを、強固に連結する。すなわち、このようにして、連結部材118によって、バックラッシュ吸収部材16を含む円筒状部材117と、可動ステージ112との間を、いわゆるがたつきがなく、強固に連結することができ、その上、移動孔117b内部における円筒状部材117の円滑なスライドを維持することができる。なお、図12aに示すように、固定ステージ117の移動孔117bに対して、円筒状部材117を挿入する前に、円筒状部材117に相当する位置の円筒状部材117を研磨または切削等によって、荒削りで良いから予め一部を除去しておくことも好ましい。この理由は、固定ステージ117の移動孔117bの外で、予め一部であっても平坦化処理することによって、固定ステージ117の移動孔117bに円筒状部材117を挿入した状態での精密な研磨作業や研磨時間を、著しく短縮することができるためである。4.円柱状部材第2の実施形態のステージ機構100の場合、図9bに示すように、固定ステージ111の内部に形成された移動孔117bをスライドする、断面形状が実質的に円状である円柱状部材117を設けることを特徴とする。すなわち、固定ステージ111の上面側の平坦部111aととともに、面位置の関係で、同一平面を形成する平坦部117aを備えた円柱状部材117と、上述した可動ステージ112が、連結部材118によって連結され、さらに、固定ステージ111に取り付けた送りネジ115により、円柱状部材117をスライドさせることによって、当該可動ステージ112を間接的にスライドさせる構成である。このように円柱状部材117を一つまたは二つ以上設けることによって、連結部材連結ネジ118をステージ機構100の内部に設けて、固定ステージ111と、可動ステージ112とを間接的に連結することが可能となり、ステージ機構100を、より小型化かつ軽量化することができる。なお、かかる円柱状部材117の構成材料については特に制限されるものではないが、固定ステージ111と同様に、軽量性、機械的特性、耐久性等に優れたアルミニウムやアルミニウム合金等から構成することが好ましい。さらに、円柱状部材117の変形例として、四角柱状部材を含む多角柱状部材、楕円柱状部材、および逆三角柱状部材等も使用可能である。5.側面カバーまた、第2の実施形態のステージ機構100において、図9bに示すように、固定ステージ111の移動孔117bの端部に、当該移動孔117bが隠ぺいされるように、側面カバー119を、固定部材固定ネジ等119aによって、強固に取り付けることが好ましい。すなわち、かかる側面カバー119によって、移動孔117bを隠ぺいし、水分やほこり成分等の侵入を防止して、ステージ機構100の耐久性を高めるためである。なお、かかる側面カバー119の形態や構成材料についても、特に制限されるものではないが、固定ステージ111と同様に、軽量性、機械的特性、耐久性等に優れたアルミニウムやアルミニウム合金等からなる矩形状物とすることが好ましい。"