"受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有し、かつ第1の面に金属薄膜を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に金属材料を介して接合され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段に接着され、前記圧力導入手段は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に、当該圧力導入手段と一体化される他の部材が当接される支持部を有し、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする圧力センサ装置。受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に接着剤により接着され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段に接着され、前記圧力導入手段は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に、当該圧力導入手段と一体化される他の部材が当接される支持部を有し、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする圧力センサ装置。前記樹脂ケースの平面形状が矩形状であり、当該矩形状の対向する二辺において前記支持部を有し、前記信号端子は、前記支持部を有する前記矩形状の対向する二辺と隣接する辺から突出するように設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ装置。上記請求項1~3のいずれか一つに記載の圧力センサセルと、前記圧力センサセルを収容するハウジング部と、前記圧力センサセルを配置する配置部と、を備え、一端が前記圧力センサセルの信号端子と電気的に接続され、他端が外部へ突出する信号端子が一体成形されたコネクタ部材と、貫通孔を有するねじ部と、前記コネクタ部材を固定する固定部を有し前記コネクタ部材に配置される圧力センサセルを格納する格納部と、を備えた継ぎ手部材と、を具備し、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記コネクタ部材に配置され、前記継ぎ手部材は前記支持部の第1の面に当接し、前記ハウジング部の第1の面側の端部は前記支持部の第2の面に当接し、前記圧力センサセルの信号端子と前記コネクタ部材に一体成形された前記信号端子が電気的に接続され、前記ねじ部の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記継ぎ手部材との間を封止手段により封止されていることを特徴とする圧力センサ装置。前記コネクタ部材と前記樹脂ケースが接着剤により接着されることを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ装置。上記請求項1~3のいずれか一つに記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、前記筐体を固定するねじ部材を有する固定治具と、を具備し、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記筐体は前記支持部の第1の面に当接し、前記固定治具の第1の面側の端面は前記支持部の第2の面に当接し、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする圧力センサ装置。上記請求項1~3のいずれか一つに記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、を具備し、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記筐体は前記支持部の第1の面に当接し、前記筐体から起立するかしめ部は前記支持部の第2の面に当接し、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする圧力センサ装置。前記台座部材はガラスでできており、圧力センサチップは前記台座部材に静電接合によって接合されていることを特徴とする請求項1~7のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。前記台座部材および前記圧力センサチップはシリコンでできており、前記圧力センサチップは前記台座部材に低融点ガラスによって接合されていることを特徴とする請求項1~7のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。前記圧力導入手段は42アロイでできており、その表面にニッケルメッキまたはニッケルメッキと金メッキが施されていることを特徴とする請求項1~9のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有し、かつ第1の面に金属薄膜を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に金属材料を介して接合され、前記圧力導入手段の第1の面の全面が露出され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段の第2の面に接着され、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする圧力センサ装置。受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に接着剤により接着され、前記圧力導入手段の第1の面の全面が露出され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段の第2の面に接着され、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする圧力センサ装置。前記圧力導入手段の第2の面および側面が前記樹脂ケースと接着されていることを特徴とする請求項11または12に記載の圧力センサ装置上記請求項11または12に記載の圧力センサセルと、前記圧力センサセルを配置する配置部を備え、一端が前記圧力センサセルの信号端子と電気的に接続され、他端が外部へ突出する信号端子が一体成形されたコネクタ部材と、貫通孔を有するねじ部と、前記コネクタ部材を固定する固定部を有し前記コネクタ部材に配置される圧力センサセルを格納する格納部と、を備えた継ぎ手部材と、を具備し、前記樹脂ケースの第1の面と第2の面とが、継ぎ手部材と前記コネクタ部材とで挟み込まれ、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記コネクタ部材に配置され、前記圧力センサセルの信号端子と前記コネクタ部材に一体成形された前記信号端子が電気的に接続され、前記ねじ部の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記継ぎ手部材との間を封止手段により封止されていることを特徴とする請求項13に記載の圧力センサ装置。上記請求項11または12に記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、前記筐体を固定するねじ部材を有する固定治具と、を具備し、前記樹脂ケースの第1の面と第2の面とが、前記筐体と固定治具とで挟み込まれ、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする請求項13に記載の圧力センサ装置。上記請求項11または12に記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、を具備し、前記樹脂ケースの第1の面と第2の面とが、前記筐体と当該筐体から起立するかしめ部とで挟み込まれ、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする請求項13に記載の圧力センサ装置。前記台座部材はガラスでできており、圧力センサチップは前記台座部材に静電接合によって接合されていることを特徴とする請求項11~16のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。前記台座部材および前記圧力センサチップはシリコンでできており、前記圧力センサチップは前記台座部材に低融点ガラスによって接合されていることを特徴とする請求項11~16のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。前記圧力導入手段は42アロイでできており、その表面にニッケルメッキまたはニッケルメッキと金メッキが施されていることを特徴とする請求項11~18のいずれか一つに記載の圧力センサ装置。前記金属薄膜は、クロムと白金と金の3層で構成されていることを特徴とする請求項1または11に記載の圧力センサ装置。しかしながら、図16または図17に示す圧力センサ装置では、部品点数が多いため、部材コストおよび組み立てコストが高くなるという問題点がある。また、信号の伝達経路が、図16に示す装置では圧力センサ2、ワイヤボンディング5、回路基板4、回路チップ、端子6および端子7であり、一方、図17に示す装置ではトランスデューサ12、可撓性回路17、回路チップおよびベース部材18であるというように、いずれの装置でも多くの部品および部品同士の接続点から構成されているため、故障確率が高くなり、長期的な信頼性に欠けるという問題点がある。さらに、図16に示す装置では継ぎ手1に圧力センサ2を直接、接合しているため、継ぎ手1をねじ込む際の応力が圧力センサ2に伝わり、測定信号の精度および信頼性が低下するという問題点がある。また、図18に示す圧力センサ装置では、端子と外部とに印加される外部ノイズなどの影響によりシリコンオイルが分極し、圧力センサチップ25の表面に電荷が溜まることがある。そのため、圧力センサチップ25の信号が変動してしまい、測定信号の信頼性が低下するという問題点がある。また、高温環境下でのシリコンオイルの膨張による内部圧力の増加や、高圧印加時のシリコンオイルの圧縮により、金属ダイアフラム26に繰返し疲労が起こるため、長期信頼性に欠けるという問題点がある。また、図19に示す圧力センサ装置では、圧力を受ける部分の面積が広いため、印加される荷重が大きくなってしまう。この荷重を支えるためには、金属ハウジング28の剛性を高くする必要がある。そのため、コストが高くなり、装置が大型化してしまうという問題点がある。また、前記特許文献4に開示された圧力センサ装置では、外部に出力信号を取り出すための外部信号端子が容器底部にガラス封止されていることから、容器が金属でできていると推察されるが、金属製の容器は高価であるという欠点がある。また、圧力センサ装置をオイル封入ブロックやアクチュエータのブロックなどに取り付けて圧力を計測するような用途の場合、前記特許文献4に開示された圧力センサ装置のように圧力導入口と外部信号端子が同じ側に設けられていると、外部信号端子に邪魔されて圧力センサ装置をオイル封入ブロック等に取り付けることができない。従って、圧力導入口が設けられている側と反対側に外部信号端子を突出させる必要があるが、上述したように金属製の容器の場合には、外部信号端子を圧力導入口の反対側に設けるのは困難であるという問題点がある。この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、低コストで、長期的な信頼性が高く、かつ測定信号の精度および信頼性の高い圧力センサ装置、さらには外部への信号端子が圧力導入口の反対側に配置される圧力センサ装置を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するため、請求項1の発明にかかる圧力センサ装置は、受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有し、かつ第1の面に金属薄膜を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に金属材料を介して接合され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段に接着され、前記圧力導入手段は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に、当該圧力導入手段と一体化される他の部材が当接される支持部を有し、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする。また、上述した課題を解決し、目的を達成するため、請求項2の発明にかかる圧力センサ装置は、受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に接着剤により接着され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段に接着され、前記圧力導入手段は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に、当該圧力導入手段と一体化される他の部材が当接される支持部を有し、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする。請求項3の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項1または2に記載の発明において、前記樹脂ケースの平面形状が矩形状であり、当該矩形状の対向する二辺において前記支持部を有し、前記信号端子は、前記支持部を有する前記矩形状の対向する二辺と隣接する辺から突出するように設けられていることを特徴とする。請求項4の発明にかかる圧力センサ装置は、上記請求項1~3のいずれか一つに記載の圧力センサセルと、前記圧力センサセルを収容するハウジング部と、前記圧力センサセルを配置する配置部と、を備え、一端が前記圧力センサセルの信号端子と電気的に接続され、他端が外部へ突出する信号端子が一体成形されたコネクタ部材と、貫通孔を有するねじ部と、前記コネクタ部材を固定する固定部を有し前記コネクタ部材に配置される圧力センサセルを格納する格納部と、を備えた継ぎ手部材と、を具備し、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記コネクタ部材に配置され、前記ハウジング部の第1の面側の端部は前記支持部に当接し、前記圧力センサセルの信号端子と前記コネクタ部材に一体成形された前記信号端子が電気的に接続され、前記ねじ部の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記継ぎ手部材との間を封止手段により封止されていることを特徴とする。請求項5の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項4に記載の発明において、前記コネクタ部材と前記樹脂ケースが接着剤により接着されることを特徴とする。請求項6の発明にかかる圧力センサ装置は、上記請求項1~3のいずれか一つに記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、前記筐体を固定するねじ部材を有する固定治具と、を具備し、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記固定治具の第1の面側の端面は前記支持部に当接し、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする。請求項7の発明にかかる圧力センサ装置は、上記請求項1~3のいずれか一つに記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、を具備し、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記筐体から起立するかしめ部は前記支持部に当接し、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする。請求項8の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項1~7のいずれか一つに記載の発明において、前記台座部材はガラスでできており、圧力センサチップは前記台座部材に静電接合によって接合されていることを特徴とする。請求項9の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項1~7のいずれか一つに記載の発明において、前記台座部材および前記圧力センサチップはシリコンでできており、前記圧力センサチップは前記台座部材に低融点ガラスによって接合されていることを特徴とする。請求項10の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項1~9のいずれか一つに記載の発明において、前記圧力導入手段は42アロイでできており、その表面にニッケルメッキまたはニッケルメッキと金メッキが施されていることを特徴とする。また、上述した課題を解決し、目的を達成するため、請求項11の発明にかかる圧力センサ装置は、受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有し、かつ第1の面に金属薄膜を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に金属材料を介して接合され、前記圧力導入手段の第1の面の全面が露出され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段の第2の面に接着され、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする。また、上述した課題を解決し、目的を達成するため、請求項12の発明にかかる圧力センサ装置は、受圧部に圧力を受けることにより、受圧部の歪みを電気信号に変換する手段を有する半導体圧力センサチップと、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する台座部材と、第1の面と第2の面を貫通する貫通孔を有する金属板部材からなる圧力導入手段と、圧力センサチップからの前記電気信号を取り出す信号端子を有する樹脂ケースと、を具備し、前記受圧部が前記台座部材の貫通孔に臨む状態で、前記圧力センサチップが前記台座部材の第2の面に接合され、前記圧力導入手段の貫通孔が前記台座部材の貫通孔につながる状態で、前記圧力導入手段の第2の面が前記台座部材の前記第1の面に接着剤により接着され、前記圧力導入手段の第1の面の全面が露出され、前記樹脂ケースが前記圧力導入手段の第2の面に接着され、前記信号端子は、前記樹脂ケースの端面よりも外側に突出し、前記圧力センサチップと前記信号端子とがワイヤボンディングにより電気的に接続されてなる圧力センサセルからなることを特徴とする。請求項13の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項11または12に記載の発明において、前記圧力導入手段の第2の面および側面が前記樹脂ケースと接着されていることを特徴とする。請求項14の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項13に記載の発明において、上記請求項11または12に記載の圧力センサセルと、前記圧力センサセルを配置する配置部を備え、一端が前記圧力センサセルの信号端子と電気的に接続され、他端が外部へ突出する信号端子が一体成形されたコネクタ部材と、貫通孔を有するねじ部と、前記コネクタ部材を固定する固定部を有し前記コネクタ部材に配置される圧力センサセルを格納する格納部と、を備えた継ぎ手部材と、を具備し、前記樹脂ケースの第1の面と第2の面とが、継ぎ手部材と前記コネクタ部材とで挟み込まれ、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記コネクタ部材に配置され、前記圧力センサセルの信号端子と前記コネクタ部材に一体成形された前記信号端子が電気的に接続され、前記ねじ部の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記継ぎ手部材との間を封止手段により封止されていることを特徴とする。請求項15の発明にかかる圧力センサ装置は、上記請求項13に記載の発明において、上記請求項11または12に記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、前記筐体を固定するねじ部材を有する固定治具と、を具備し、前記樹脂ケースの第1の面と第2の面とが、前記筐体と固定治具とで挟み込まれ、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする。請求項16の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項13に記載の発明において、上記請求項11または12に記載の圧力センサセルと、貫通孔を有し、前記圧力センサセルを収容する筐体と、を具備し、前記樹脂ケースの第1の面と第2の面とが、前記筐体と当該筐体から起立するかしめ部とで挟み込まれ、前記圧力センサセルは前記圧力導入手段の第1の面の開口が開放されるように前記筐体に収容され、前記圧力センサセルの信号端子は、前記筐体から外部へ突出し、前記筐体の貫通孔が前記圧力導入手段の貫通孔につながり、前記圧力導入手段の第1の面と前記筐体との間を封止手段により封止されていることを特徴とする。請求項17の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項11~16のいずれか一つに記載の発明において、前記台座部材はガラスでできており、圧力センサチップは前記台座部材に静電接合によって接合されていることを特徴とする。請求項18の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項11~16のいずれか一つに記載の発明において、前記台座部材および前記圧力センサチップはシリコンでできており、前記圧力センサチップは前記台座部材に低融点ガラスによって接合されていることを特徴とする。請求項19の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項11~18のいずれか一つに記載の発明において、前記圧力導入手段は42アロイでできており、その表面にニッケルメッキまたはニッケルメッキと金メッキが施されていることを特徴とする。請求項20の発明にかかる圧力センサ装置は、請求項1または11に記載の発明において、前記金属薄膜は、クロムと白金と金の3層で構成されていることを特徴とする。請求項1、2、11または12の発明によれば、圧力センサチップから直接外部へ出力するための信号が出力される。そして、圧力センサチップから出力された信号は、ワイヤボンディングを経由して信号端子へ到達するため、信号伝達経路上の接続箇所の数が最小になり、故障確率が低くなるので、圧力センサセルの長期的な信頼性が高くなる。従って、この圧力センサセルを用いた圧力センサ装置の長期的な信頼性が高くなる。また、圧力センサセルの部品点数が少ないので、低コストの圧力センサセルが得られる。従って、この圧力センサセルを用いることによって、圧力センサ装置の低コスト化を図ることができる。また、請求項1、2、11または12の発明によれば、圧力導入手段を通って圧力媒体が圧力センサチップの受圧部へ導かれるので、圧力センサチップに大きな影響を及ぼすシリコンオイルを用いなくても受圧部で圧力を直接受けることができる。従って、シリコンオイルの影響による出力信号の変動を回避することができるので、測定信号の精度および信頼性を高くすることができる。また、圧力を受ける部位の面積がシリコンチップの受圧部の裏面に限定されるので、圧力センサ本体に印加される荷重が小さくなる。従って、圧力センサ装置を小型化し、また構造を簡素化することができる。請求項4、6、7、14~16の発明によれば、部品点数の少ない簡素な構成で、圧力媒体による防爆のファイルセーフ構造を実現することができるので、高信頼性の圧力センサ装置を得ることができる。また、部材コストおよび組み立てコストを低く抑えることができる。さらに、圧力センサ装置をオイル封入ブロック等にねじ込んで取り付ける際のねじ部からの応力が、封止手段である例えばOリングによって緩和されるので、測定信号の精度および信頼性を高くすることができる。また、外部への信号端子が、圧力導入手段の開放端の開口部、すなわち圧力導入口の反対側に配置された圧力センサ装置が得られる。請求項20の発明によれば、圧力導入手段をガラス製の台座部材に接合する場合、クロムはガラスとの密着性に優れている。また、圧力導入手段と台座部材との接合に金/錫共晶半田や高温半田などを用いる場合、金属薄膜の半田側の表面が金であるとよいが、金とクロムを接触させるのは好ましくないので、金とクロムの接触を避けるために金とクロムの間に白金が設けられている。このような理由で3層構造の金属薄膜を設けることにより、圧力導入手段と台座部材との接合強度が高くなる。請求項2、12の発明によれば、台座部材と圧力導入手段とを接着剤で固定することによって、部材のコストを下げることができる。請求項1、2、11、12の発明によれば、圧力導入手段を金属板部材で構成することによって、圧力導入手段を金属パイプ部材で構成する場合よりも、部材のコストを下げることができる。請求項1、2、11、12の発明によれば、圧力導入手段の、樹脂ケースよりも外側に突出する端部を、この端部にコネクタ部材などの他の部材を当接させた状態で、圧力導入手段にその他の部材を固定するための支持部として利用することができるので、そのようにすることによって、高い圧力範囲まで圧力を測定可能な圧力センサセルまたは圧力センサ装置が得られる。請求項1、2、11、12の発明によれば、圧力導入手段の、樹脂ケースよりも外側に突出する支持部に、コネクタ部材などの他の部材を当接させた状態で、圧力導入手段にその他の部材を固定することができるので、高い圧力範囲まで圧力を測定可能な圧力センサセルまたは圧力センサ装置が得られる。本発明にかかる圧力センサ装置によれば、外部への信号伝達経路上の接続箇所の数が最小になり、故障確率が低くなるので、長期的な信頼性の高い圧力センサ装置が得られるという効果を奏する。また、部品点数の少ない低コストの圧力センサ装置が得られるという効果を奏する。また、シリコンオイルの影響による出力信号の変動を回避することができるので、測定信号の精度および信頼性が高くなるという効果を奏する。さらに、圧力センサ装置をねじ込んで取り付ける際のねじ部からの応力が緩和されるので、測定信号の精度および信頼性が高くなるという効果を奏する。また、外部への信号端子を圧力導入口の反対側に配置した圧力センサ装置が得られるという効果を奏する。以下に添付図面を参照して、この発明にかかる圧力センサ装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、以下の各実施の形態の説明において、他の実施の形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1にかかる圧力センサセルの構成を示す断面図である。図1に示すように、圧力センサセル100は、圧力センサチップ41、台座部材42、金属パイプ部材43および樹脂ケース44を備えている。圧力センサチップ41は、例えば半導体シリコンの第1の面図1では下面から凹加工して形成された受圧部であるダイアフラム45を有する。このダイアフラム45で圧力を受ける。半導体シリコンの第2の面図1では上面の、ダイアフラム45の裏側に相当する箇所には、拡散抵抗よりなる少なくとも4つのゲージ図示せずが形成されている。これらのゲージは、ダイアフラム45の凹面に圧力が印加された際に半導体シリコンの第2の面に発生する歪を抵抗値に変換する。なお、圧力センサチップ41は他の半導体材料でできていてもよい。また、図示省略するが、圧力センサチップ41には、前記ゲージによって構成されるホイートストーンブリッジ回路、ホイートストーンブリッジ回路の出力信号を増幅する回路、感度を補正する回路、オフセットを補正する回路、感度およびオフセットの温度特性を補正する回路などが形成されている。また、圧力センサチップ41には、サージ保護素子やフィルタ図示省略なども形成されている。台座部材42は、特に限定しないが、例えばガラス材料、すなわちパイレックス登録商標ガラスやテンパックスガラスなどでできている。台座部材42の中心には、空気や油等の圧力媒体が通る貫通孔46が設けられている。台座部材42と圧力センサチップ41とは、400°C/400Vの接合条件を用いた静電接合によって接合されている。その際、ダイアフラム45が貫通孔46に臨むように位置合わせして接合される。このように静電接合することによって、圧力センサチップ41と台座部材42とを、それらの間を高い気密性を保った状態で接合することができる。従って、気密性の高い構造を実現することができる。台座部材42の、圧力導入手段である金属パイプ部材43と接合される側の面には、台座部材42側から順にクロム、白金および金の3層よりなる金属薄膜47が積層されている。クロムはガラス材料との密着性に優れているので、金属薄膜47が剥離することはない。また、白金により、クロムと金とが接触するのを防いでいる。また、金は、金/錫共晶半田や高温半田などを介して台座部材42と金属パイプ部材43とを接合するのに適している。金属パイプ部材43は、特に限定しないが、例えば42アロイでできており、その表面にニッケルメッキが施されている。あるいは、ニッケルメッキと金メッキの組み合わせでもよい。金属パイプ部材43の中心には、空気や油等の圧力媒体が通る貫通孔48が設けられている。金属パイプ部材43と台座部材42とは、それらの貫通孔46,48が一続きとなるように位置合わせされて、金/錫共晶半田や高温半田などの金属材料49によって接合されている。金属パイプ部材43にメッキを施す理由は、台座部材42との接合強度が高くなるからである。金属材料49として金/錫共晶半田や高温半田などを用いる理由は、高温下での使用に耐え得るようにするためである。また、これらの半田のヤング率は低いので、台座部材42と金属パイプ部材43との間の応力を緩和することができるからである。ここで、クロム、白金および金の熱膨張係数はそれぞれ4.5×106/°C、9×106/°Cおよび14.3×106/°Cである。また、台座部材42のガラス材料の熱膨張係数は3.2×106/°Cである。金属パイプ部材43の42アロイ材料の熱膨張係数は4.3×106/°Cである。また、金属パイプ部材43は、台座部材42に接合された側の端部からもう一方の端部、すなわち金属パイプ部材43の貫通孔48が開口する開放端側の端部へ向かう途中に外向きに突出する段差部50を有している。なお、以下の説明では、金属パイプ部材43の開放端51における貫通孔48の開口部を圧力導入口52とする。樹脂ケース44は、その一方の端部側に凹部53を有する。この凹部53には、圧力センサチップ41および台座部材42が収容されている。また、凹部53の底から反対側の端部へ貫通する孔部54が設けられている。この孔部54には、金属パイプ部材43が納められている。樹脂ケース44の、凹部53と反対側の端部には、金属パイプ部材43の段差部50が入る凹部55が形成されている。この凹部55に段差部50が入った状態で、段差部50の、圧力導入口52と反対側の面56と、この面56が当接する凹部55の面57とが接着されている。これらの面56,57が接着されていることによって、圧力導入口52から導入された圧力媒体により圧力が印加された場合に、その圧力が金属パイプ部材43の段差部50を樹脂ケース44に押し付けるように作用するので、圧力に対する構造的な信頼性が高い。また、樹脂ケース44は外部への信号端子58を有しており、その信号端子58の基端は前記凹部53の側方に露出している。その信号端子58の露出箇所と圧力センサチップ41とは、ワイヤボンディング59により電気的に接続されている。上述した構成の圧力センサセル100では、圧力導入口52から圧力媒体が導入され、圧力センサチップ41のダイアフラム45で圧力を受けると、ダイアフラム45が変形する。そして、ダイアフラム45上のゲージ抵抗値が変化し、それに応じた電圧信号が発生する。その電圧信号は、感度補正回路やオフセット補正回路や温度特性補正回路などの調整回路によって調整された増幅回路により増幅され、圧力センサチップ41から出力される。そして、その出力信号は、ワイヤボンディング59を介して信号端子58に出力される。その際、圧力媒体が接するのは、金属パイプ部材43の内壁と台座部材42の内壁と圧力センサチップ41のダイアフラム45だけである。従って、圧力媒体がR134aガスやCO2ガスなどのエアコン媒体であっても、オイルや潤滑油等であっても、圧力センサセル100が劣化することはなく、長期にわたって高い信頼性を得ることができる。また、高圧を計測する場合でも、圧力を受ける面積受圧面積がダイアフラム45だけであるため、圧力センサセル100を用いた圧力センサ装置の構造および材料を極力小型化し、軽量化することができる。従って、低コストの圧力センサ装置を実現することができる。具体的には、例えば測定圧力が20MPaであり、ダイアフラム45の径がφ1mmであるとする。この場合、受圧面積は0.78mm2であり、圧力センサセル100が受ける荷重は、20MPa×0.78mm2で計算される。樹脂ケース44の凹部55の面57、すなわち圧力により金属パイプ部材43の段差部50が押し付けられる面57以下、裏面支持部とするの面積を14.9mm2とすると、樹脂ケース44の裏面支持部に発生する圧縮応力は、20MPa×0.78mm2/14.9mm2で計算され、1.05MPaとなる。一般的にこのような用途、すなわち樹脂ケース44などに用いられる樹脂材料としては、エポキシ樹脂、ポリフェニレンサルファイドPPS樹脂、ポリブチエンテレフタレートPBT樹脂またはナイロン樹脂などがある。これらの樹脂の破壊応力は98~196Paレベルである。従って、樹脂ケース44の裏面支持部に1.05MPa程度の圧縮応力が発生しても、安全が十分確保されるので、長期にわたって極めて高い信頼性が得られる。また、外部に出力するまでの信号伝達経路の接続箇所を最小限に抑えることができるので、故障確率が各段に低くなる。なお、台座部材42の材料としてシリコンを用いることもできる。その場合には、圧力センサチップ41と台座部材42とを低融点ガラスを用いて接合すればよい。このようにすれば、圧力センサチップ41が金属パイプ部材43から受ける熱応力が台座部材42で吸収されるので、金属パイプ部材43からの熱応力を低減することができる。実施の形態2.図2は、本発明の実施の形態2にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図2に示すように、実施の形態2の圧力センサ装置200は、実施の形態1の圧力センサセル100をコネクタ部材61と継ぎ手部材62とで挟み込み、継ぎ手部材62をかしめることにより、圧力センサセル100とコネクタ部材61と継ぎ手部材62とを一体化したものである。コネクタ部材61は、圧力センサセル100を収容するハウジング部63と、圧力センサ装置200の出力を外部へ取り出すためのソケット部64とが一体成形された構成となっている。ソケット部64はハウジング部63よりも細くなっており、ハウジング部63とソケット部64との間に段差部65が形成されている。ハウジング部63とソケット部64との間の仕切り部分には、外部への信号端子66が埋め込まれている。信号端子66の一端はハウジング部63内に露出し、他端はソケット部64内に露出している。コネクタ部材61と圧力センサセル100とは、ハウジング部63とソケット部64との間の仕切り部分のハウジング部63内に露出する端面配置部に、圧力センサセル100の圧力導入口52が開口する開放端51と反対側の端面をシリコン接着剤やエポキシ接着剤などで接着することにより一体化されている。このようにコネクタ部材61に圧力センサセル100が接着されていることにより、振動や衝撃などのメカニカルな衝撃に対する信頼性がより一層向上する。また、ハウジング部63内に露出する信号端子66の基端部分は、圧力センサセル100の信号端子58にレーザー溶接により電気的に接続されている。ハウジング部63とソケット部64との間の仕切り部分には、貫通孔67が設けられている。この貫通孔67は、圧力センサセル100の樹脂ケース44の、圧力センサチップ41を納めた凹部53の空間が密閉状態とならないようにするために設けられている。この貫通孔67を設けない場合には、圧力センサセル100にコネクタ部材61を取り付ける際にこの凹部53に閉じ込められた気体が温度変化によって収縮し、圧力センサの特性が変動してしまう。本実施の形態では、貫通孔67があることによって、温度変化により凹部53内の気体が収縮しても、貫通孔67を介して気体の出入りが行われるので、圧力センサの特性変動が起こらない。また、図2に示す例では、圧力センサチップ41を納めた凹部53はゲル68で満たされている。ゲル68については、なくてもよいが、圧力センサチップ41を保護するのに有効であるので、好ましくは凹部53内にゲル68が充填されているとよい。継ぎ手部材62は、コネクタ部材61のハウジング部63を固定する固定部を有し、圧力センサセル100を格納する格納部69と、格納部69の底部から格納部69の外へ突出するねじ部70とが一体成形された構成となっている。ねじ部70の中心には、空気や油等の圧力媒体が通る貫通孔71が設けられている。継ぎ手部材62およびコネクタ部材61は、圧力センサセル100を接着したコネクタ部材61のハウジング部63に継ぎ手部材62の格納部69を被せ、格納部69の先端縁を機械等によりコネクタ部材61の段差部65に沿うようにかしめることで固定できる。固定はかしめ以外の方法、例えば接着などで行うようにしてもよい。固定されることによって、圧力センサセル100の圧力導入口52がねじ部70の貫通孔71につながるように構成されている。そして、図2に示すように、圧力センサ装置200は、圧力媒体を封入した筐体300を貫通するねじ孔301にねじ部70をねじ込むことによって、筐体300に取り付けられる。取り付けられた状態では、ねじ部70の貫通孔71は、筐体300内の圧力媒体が封入された空間につながる。従って、圧力媒体は、ねじ部70の貫通孔71、圧力センサセル100の金属パイプ部材43および台座部材42の貫通孔48,46を通って圧力センサチップ41のダイアフラム45に導かれる。なお、筐体300は、例えばトランスミッションのオイル封入ブロックや油圧アクチュエータのブロックなどである。また、格納部69の底部には、凹部72が形成されている。この凹部72には、金属パイプ部材43の圧力導入口52側の端部が入る。また、凹部72内には、金属パイプ部材43と継ぎ手部材62との間を封止する封止手段であるOリング73が納められている。Oリング73は、格納部69の凹部72内において、この凹部72の少なくとも側面と、金属パイプ部材43の側面との間を封止している。このOリング73により、ねじ部70の貫通孔71を通って金属パイプ部材43へ導かれた圧力媒体が、金属パイプ部材43の貫通孔48以外の部分に流れ込むのを防いでいる。また、封止する手段としては、金属パイプ部材43と継ぎ手部材62との間をプロジェクション溶接やレーザ溶接などで封止することも可能である。また、コネクタ部材61のハウジング部63と継ぎ手部材62の格納部69との間にも、その間を封止するOリング74が設けられている。このOリング74により、圧力媒体が金属パイプ部材43から漏れた場合や、圧力センサチップ41が破損した場合や、圧力センサチップ41と台座部材42との接合界面が剥離した場合などに圧力媒体が外部に漏れ出すのを防いでいる。このように、簡素な構成であるので、部材コストおよび組み立てコストを低く抑えることができる。また、圧力センサ装置200を筐体300にねじ込んで取り付ける際のねじ部70からの応力がOリング73を介して圧力センサチップ41に伝わるので、その応力がOリング73により緩和される。従って、測定信号の精度および信頼性が高くなる。また、外部への信号端子66が、圧力媒体を導入するための開口に対して反対側に配置される。実施の形態3.図3は、本発明の実施の形態3にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図3に示すように、実施の形態3の圧力センサ装置は、実施の形態1の圧力センサセル100を、圧力媒体を封入した筐体300に固定治具310を用いて固定したものである。すなわち、筐体300には凹部302が設けられており、この凹部302内に圧力センサセル100が納められている。そして、固定治具310が筐体300および圧力センサセル100の上から被せられ、ねじ部材311によって筐体300に止めつけられている。圧力センサセル100は、圧力導入口52から印加される圧力と、それに対する固定治具310からの反力によって固定されている。凹部302の底部には、2段目の凹部303が形成されている。この凹部303には、圧力センサセル100の金属パイプ部材43の圧力導入口52側の端部が入る。そして、2段目の凹部303の底部には、空気や油等の圧力媒体が通る貫通孔304が設けられている。この貫通孔304は、金属パイプ部材43の貫通孔48につながっている。従って、圧力媒体は、筐体300の貫通孔304、圧力センサセル100の金属パイプ部材43および台座部材42の貫通孔48,46を通って圧力センサチップ41のダイアフラム45に導かれる。また、2段目の凹部303内には、金属パイプ部材43と筐体300との間を封止するOリング75が納められている。Oリング75は、2段目の凹部303内において、この凹部303の少なくとも側面と、金属パイプ部材43の側面との間を封止している。このOリング75により、筐体300の貫通孔304を通って金属パイプ部材43へ導かれた圧力媒体が、金属パイプ部材43の貫通孔48以外の部分に流れ込むのを防いでいる。また、1段目の凹部302内には、圧力センサセル100の樹脂ケース44と筐体300との間を封止するOリング76が納められている。このOリング76により、圧力媒体が金属パイプ部材43から漏れた場合や、圧力センサチップ41が破損した場合や、圧力センサチップ41と台座部材42との接合界面が剥離した場合などに圧力媒体が外部に漏れ出すのを防いでいる。図3に示すように、実施の形態3では、圧力センサセル100の信号端子58は折り曲げられて、筐体300の近くに設置されたプリント基板400に直接半田付けなどによって接続される。ここで、固定治具310が筐体300の凹部302を完全に塞ぐ構成の場合には、図には現れていないが、固定治具310に貫通孔が設けられており、圧力センサセル100の樹脂ケース44の、圧力センサチップ41を納めた凹部53の空間を密閉状態としないようになっている。あるいは、固定治具310は樹脂ケース44の凹部53を完全には塞がずに、凹部53の一部を開放する構成となっている。なお、凹部53がゲルで満たされていてもよい。実施の形態4.図4は、本発明の実施の形態4にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図4に示すように、実施の形態4の圧力センサ装置は、実施の形態3において固定治具310およびねじ部材311を用いて圧力センサセル100を固定する代わりに、筐体300の凹部302,303内に入れた圧力センサセル100を、筐体300から起立するかしめ部321を機械等を用いてかしめることにより固定したものである。従って、実施の形態4では、固定治具310およびねじ部材311は不要であり、部品点数を減らすことができる。実施の形態4においても、Oリング75は、筐体300の2段目の凹部303内において、この凹部303の少なくとも側面と、金属パイプ部材43の側面との間を封止している。その他の構成は実施の形態3と同じである。実施の形態5.図5は、本発明の実施の形態5にかかる圧力センサセルの構成を示す断面図である。図5に示すように、圧力センサセル101は、圧力センサチップ41、台座部材42、金属板部材143および樹脂ケース144を備えている。圧力センサチップ41と台座部材42の構成は、実施の形態1と同じである。金属板部材143は、特に限定しないが、例えば42アロイでできており、その表面にニッケルメッキが施されている。あるいは、ニッケルメッキと金メッキの組み合わせでもよい。金属板部材143の中心には、空気や油等の圧力媒体が通る貫通孔148が設けられている。金属板部材143と台座部材42は、台座部材42の貫通孔46と金属板部材143の貫通孔148とが一続きとなるように位置合わせされて、金/錫共晶半田や高温半田などの金属材料49によって接合されている。金属板部材143にメッキを施す理由は、台座部材42との接合強度が高くなるからである。樹脂ケース144は、その一方の端部側に第1の凹部153を有する。この第1の凹部153には、圧力センサチップ41および台座部材42が収容されている。また、樹脂ケース144の、第1の凹部153と反対側の端部には、第1の凹部153よりも開口面積が大きく、かつ第1の凹部153につながる第2の凹部155が形成されている。つまり、第1の凹部153と第2の凹部155により、樹脂ケース144を貫通する孔部が形成されている。第2の凹部155には、金属板部材143が納められている。金属板部材143の開放端151における貫通孔148の開口部を圧力導入口152とすると、この圧力導入口152と反対側の面156と、この面156が当接する第2の凹部155の底面157とが接着されている。これらの面156,157が接着されていることによって、圧力導入口152から導入された圧力媒体により圧力が印加された場合に、その圧力が金属板部材143を樹脂ケース144に押し付けるように作用するので、圧力に対する構造的な信頼性が高い。また、樹脂ケース144は外部への信号端子158を有しており、その信号端子158の基端は前記第1の凹部153の側方に露出している。その信号端子158の露出箇所と圧力センサチップ41とは、ワイヤボンディング59により電気的に接続されている。上述した構成の圧力センサセル101では、圧力導入口152から圧力媒体が導入され、圧力センサチップ41のダイアフラム45で圧力を受けると、ダイアフラム45が変形する。そして、ダイアフラム45上のゲージ抵抗値が変化し、それに応じた電圧信号が発生する。その電圧信号は、感度補正回路やオフセット補正回路や温度特性補正回路などの調整回路によって調整された増幅回路により増幅され、圧力センサチップ41から出力される。そして、その出力信号は、ワイヤボンディング59を介して信号端子158に出力される。その際、圧力媒体が接するのは、金属板部材143の内壁と台座部材42の内壁と圧力センサチップ41のダイアフラム45だけである。従って、圧力媒体がエアコン媒体やオイルや潤滑油等であっても、圧力センサセル101が劣化することはなく、長期にわたって高い信頼性を得ることができる。また、高圧を計測する場合でも、圧力を受ける面積受圧面積がダイアフラム45だけであるため、圧力センサセル101を用いた圧力センサ装置の構造および材料を極力小型化し、軽量化することができる。従って、低コストの圧力センサ装置を実現することができる。具体的には、例えば測定圧力が20MPaであり、ダイアフラム45の径がφ1mmである場合、受圧面積が0.78mm2であるから、圧力センサセル101が受ける荷重は、20MPa×0.78mm2で計算される。樹脂ケース144の第2の凹部155の底面157、すなわち圧力により金属板部材143が押し付けられる裏面支持部の面積を14.9mm2とすると、樹脂ケース144の裏面支持部に発生する圧縮応力は、20MPa×0.78mm2/14.9mm2で計算され、1.05MPaとなる。実施の形態1と同様に、樹脂ケース144に用いられる樹脂材料は、エポキシ樹脂、ポリフェニレンサルファイドPPS樹脂、ポリブチエンテレフタレートPBT樹脂またはナイロン樹脂などである。これらの樹脂の破壊応力は98~196Paレベルであるので、樹脂ケース144の裏面支持部に1.05MPa程度の圧縮応力が発生しても、安全が十分確保される。従って、長期にわたって極めて高い信頼性が得られる。また、実施の形態1と同様に、外部に出力するまでの信号伝達経路の接続箇所を最小限に抑えることができるので、故障確率が各段に低くなる。また、台座部材42の材料としてシリコンを用い、圧力センサチップ41と台座部材42とを低融点ガラスを用いて接合する場合には、圧力センサチップ41が金属板部材143から受ける熱応力が台座部材42で吸収されるので、金属板部材143からの熱応力を低減することができる。また、金属パイプ部材43に代えて金属板部材143を用いたことにより、実施の形態1よりも部材コストを下げることができる。実施の形態6.図6は、本発明の実施の形態6にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図6に示すように、実施の形態6の圧力センサ装置201は、実施の形態5の圧力センサセル101を、実施の形態2と同様に、コネクタ部材61と継ぎ手部材62とで挟み込み、継ぎ手部材62をかしめることにより、圧力センサセル101とコネクタ部材61と継ぎ手部材62とを一体化したものである。コネクタ部材61と継ぎ手部材62の構成は、実施の形態2と同じである。コネクタ部材61と圧力センサセル101とは、コネクタ部材61のハウジング部63とソケット部64との間の仕切り部分のハウジング部63内に露出する端面配置部に、圧力センサセル101の圧力導入口152が開口する開放端151と反対側の端面をシリコン接着剤やエポキシ接着剤などで接着することにより一体化されている。このようにコネクタ部材61に圧力センサセル101が接着されていることにより、振動や衝撃などのメカニカルな衝撃に対する信頼性がより一層向上する。また、ハウジング部63内に露出する信号端子66の基端部分は、圧力センサセル101の信号端子158にレーザー溶接により電気的に接続されている。また、図6に示す例では、圧力センサチップ41を納めた第1の凹部153はゲル68で満たされている。ゲル68については、なくてもよいが、圧力センサチップ41を保護するのに有効であるので、好ましくは第1の凹部153内にゲル68が充填されているとよい。圧力センサ装置201では、筐体300内の空間に封入された圧力媒体は、継ぎ手部材62のねじ部70の貫通孔71、圧力センサセル101の金属板部材143および台座部材42の貫通孔148,46を通って圧力センサチップ41のダイアフラム45に導かれる。継ぎ手部材62の格納部69の底部に形成された凹部72内には、金属板部材143と継ぎ手部材62との間を封止する封止手段であるOリング173が納められている。Oリング173は、格納部69の凹部72内において、この凹部72の少なくとも底面と、金属板部材143の開放端151との間を封止している。このOリング173により、ねじ部70の貫通孔71を通って金属板部材143へ導かれた圧力媒体が、金属板部材143の貫通孔148以外の部分に流れ込むのを防いでいる。このように、実施の形態6によれば、簡素な構成であるので、部材コストおよび組み立てコストを低く抑えることができる。また、圧力センサ装置201を筐体300にねじ込んで取り付ける際のねじ部70からの応力がOリング173を介して圧力センサチップ41に伝わるので、その応力がOリング173により緩和される。従って、測定信号の精度および信頼性が高くなる。また、外部への信号端子66が、圧力媒体を導入するための開口に対して反対側に配置される。さらに、実施の形態6では、圧力媒体により圧力センサセル101に作用する荷重は、金属板部材143の開放端151とOリング173との接線でできる形状の面積S1で決まる。それに対して、実施の形態2では、圧力媒体により圧力センサセル100に作用する荷重が、継ぎ手部材62の凹部72の側面とOリング73との接線でできる形状の面積S2で決まる。S1はS2よりも小さいので、実施の形態6では、圧力センサセル102に作用する荷重が実施の形態2よりも小さくなる。従って、実施の形態6は、実施の形態2よりも高い圧力を計測するのに適している。実施の形態7.図7は、本発明の実施の形態7にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図7に示すように、実施の形態7の圧力センサ装置は、実施の形態5の圧力センサセル101を、実施の形態3と同様に、筐体300に形成された凹部302内に圧力センサセル101を入れ、その上から固定治具310をねじ部材311により筐体300にねじ止めしたものである。圧力センサセル101は、圧力導入口152から印加される圧力と、それに対する固定治具310からの反力によって固定されている。凹部302の底部に形成された2段目の凹部303内には、金属板部材143と筐体300との間を封止するOリング175が納められている。Oリング175は、2段目の凹部303内において、この凹部303の少なくとも底面と、金属板部材143の開放端151との間を封止している。このOリング175により、筐体300の貫通孔304を通って金属板部材143へ導かれた圧力媒体が、金属板部材143の貫通孔148以外の部分に流れ込むのを防いでいる。また、圧力センサセル101の信号端子158は折り曲げられており、筐体300の近くに設置されたプリント基板400に直接半田付けなどによって接続される。実施の形態8.図8は、本発明の実施の形態8にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図8に示すように、実施の形態8の圧力センサ装置は、実施の形態7において固定治具310およびねじ部材311を用いて圧力センサセル101を固定する代わりに、実施の形態4と同様に、筐体300の凹部302,303内に入れた圧力センサセル101を、筐体300から起立するかしめ部321を機械等を用いてかしめることにより固定したものである。従って、実施の形態8では、固定治具310およびねじ部材311は不要であり、実施の形態7よりも部品点数を減らすことができる。実施の形態8においても、Oリング175は、筐体300の2段目の凹部303内において、この凹部303の少なくとも底面と、金属板部材143の開放端151との間を封止している。その他の構成は実施の形態7と同じである。実施の形態9.図9は、本発明の実施の形態9にかかる圧力センサセルの構成を示す平面図であり、図10および図11は、それぞれ図9の切断線A-AおよびB-Bにおける構成を示す断面図である。これらの図に示すように、圧力センサセル102は、圧力センサチップ41、台座部材42、金属板部材243および樹脂ケース244を備えている。圧力センサチップ41と台座部材42の構成は、実施の形態1と同じである。樹脂ケース244は、特に限定しないが、例えば平面形状が矩形状をしており、相対する一対の辺から例えば4本ずつの信号端子258が突出している。樹脂ケース244の一方の辺に並ぶ信号端子258は、圧力センサセル102の出力を外部へ取り出すための外部接続用端子である。樹脂ケース244のもう一方の辺に並ぶ信号端子258は、圧力センサセル102の特性を調整する際に使用される内部調整用端子であり、例えば外部接続用端子よりも短くてもよい。また、樹脂ケース244は、凹部253を有する。この凹部253には、圧力センサチップ41および台座部材42が収容されており、信号端子258の基端が露出している。信号端子258の露出箇所と圧力センサチップ41とは、ワイヤボンディング59により電気的に接続されている。樹脂ケース244の裏面は、金属板部材243の一方の面に接着されている。金属板部材243は、樹脂ケース244の、信号端子258が突出していない両端面よりも外側に突出している。この金属板部材243の、樹脂ケース244の両端面よりも外側に突出している部分は、金属板部材243と一体化される他の部材例えば、後述する実施の形態10のコネクタ部材161などが当接される支持部245となる。信号端子258は、金属板部材243の、樹脂ケース244から信号端子258が突出している両端面よりも外側に突出している。また、金属板部材243は、特に限定しないが、例えば42アロイでできており、その表面に、台座部材42との接合強度を高めるためのニッケルメッキが施されている。あるいは、ニッケルメッキと金メッキの組み合わせでもよい。金属板部材243の中心には、空気や油等の圧力媒体が通る貫通孔248が設けられている。台座部材42は、金属板部材243の一方の面に、台座部材42の貫通孔46と金属板部材243の貫通孔248とが一続きとなるように位置合わせされて、金/錫共晶半田や高温半田などの金属材料49によって接合されている。上述した構成の圧力センサセル102では、金属板部材243の貫通孔248を介して圧力媒体が導入され、圧力センサチップ41のダイアフラム45で圧力を受けると、ダイアフラム45が変形する。そして、ダイアフラム45上のゲージ抵抗値が変化し、それに応じた電圧信号が発生する。その電圧信号は、感度補正回路やオフセット補正回路や温度特性補正回路などの調整回路によって調整された増幅回路により増幅され、圧力センサチップ41から出力される。そして、その出力信号は、ワイヤボンディング59を介して信号端子258に出力される。その際、圧力媒体が接するのは、金属板部材243の内壁と台座部材42の内壁と圧力センサチップ41のダイアフラム45だけである。従って、圧力媒体がエアコン媒体やオイルや潤滑油等であっても、圧力センサセル102が劣化することはなく、長期にわたって高い信頼性を得ることができる。また、高圧を計測する場合でも、圧力を受ける面積受圧面積がダイアフラム45だけであるため、圧力センサセル102を用いた圧力センサ装置の構造および材料を極力小型化し、軽量化することができる。従って、低コストの圧力センサ装置を実現することができる。具体的には、樹脂ケース244が、エポキシ樹脂、ポリフェニレンサルファイドPPS樹脂、ポリブチエンテレフタレートPBT樹脂またはナイロン樹脂などでできている場合、実施の形態5と同様に、樹脂ケース244に1.05MPa程度の圧縮応力が発生しても、安全が十分確保される。従って、長期にわたって極めて高い信頼性が得られる。また、実施の形態1と同様に、外部に出力するまでの信号伝達経路の接続箇所を最小限に抑えることができるので、故障確率が各段に低くなる。また、台座部材42の材料としてシリコンを用い、圧力センサチップ41と台座部材42とを低融点ガラスを用いて接合する場合には、圧力センサチップ41が金属板部材243から受ける熱応力が台座部材42で吸収されるので、金属板部材243からの熱応力を低減することができる。また、金属パイプ部材43に代えて金属板部材243を用いたことにより、実施の形態1よりも部材コストを下げることができる。実施の形態10.図12および図13は、本発明の実施の形態10にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図であり、それぞれ図9の切断線A-AおよびB-Bに相当する切断面における構成を示す断面図である。これらの図に示すように、実施の形態10の圧力センサ装置202は、実施の形態9の圧力センサセル102を、実施の形態2と同様に、コネクタ部材161と継ぎ手部材62とで挟み込み、継ぎ手部材62をかしめることにより、圧力センサセル102とコネクタ部材161と継ぎ手部材62とを一体化したものである。継ぎ手部材62の構成は、実施の形態2と同じである。コネクタ部材161は、圧力センサセル102を収容するハウジング部163と、圧力センサ装置202の出力を外部へ取り出すためのソケット部164とが一体成形された構成となっている。ソケット部164はハウジング部163よりも細くなっており、ハウジング部163とソケット部164との間に段差部165が形成されている。ハウジング部163とソケット部164との間の仕切り部分には、外部への信号端子166が埋め込まれている。信号端子166の一端はハウジング部163内に露出し、他端はソケット部164内に露出している。ハウジング部163の高さは、金属板部材243の、信号端子258のある側とない側とで異なっている。図12に示すように、金属板部材243の、信号端子258がある側、すなわち金属板部材243の長辺に沿う側では、ハウジング部163の下端は、金属板部材243の外側で、継ぎ手部材62の底面に当接している。一方、図13に示すように、金属板部材243の、信号端子258がない側、すなわち金属板部材243の短辺に沿う側では、ハウジング部163の下端は、金属板部材243の支持部245に当接している。このように、コネクタ部材161が、継ぎ手部材62および金属板部材243により支持されていることにより、高い圧力を計測する場合に、樹脂ケース244に過大な荷重がかかるのを防いでいる。コネクタ部材161と圧力センサセル102とは、コネクタ部材161のハウジング部163とソケット部164との間の仕切り部分のハウジング部163内に露出する端面配置部に、圧力センサセル102の圧力導入口252が開口する開放端251と反対側の端面をシリコン接着剤やエポキシ接着剤などで接着することにより一体化されている。このようにコネクタ部材161に圧力センサセル102が接着されていることにより、振動や衝撃などのメカニカルな衝撃に対する信頼性がより一層向上する。また、ハウジング部163内に露出する信号端子166の基端部分は、圧力センサセル102の信号端子258にレーザー溶接により電気的に接続されている。ハウジング部163とソケット部164との間の仕切り部分には、貫通孔167が設けられている。この貫通孔167は、圧力センサセル102の樹脂ケース244の、圧力センサチップ41を納めた凹部253の空間が密閉状態とならないようにするために設けられている。また、この凹部253は、例えば圧力センサチップ41を保護するためのゲル68で満たされている。継ぎ手部材62は、コネクタ部材161のハウジング部163を固定する固定部を有している。継ぎ手部材62およびコネクタ部材161は、圧力センサセル102を接着したコネクタ部材161のハウジング部163に継ぎ手部材62の格納部69を被せ、格納部69の先端縁を機械等によりコネクタ部材161の段差部165に沿うようにかしめることで固定できる。固定はかしめ以外の方法、例えば接着などで行うようにしてもよい。圧力センサ装置202では、筐体300内の空間に封入された圧力媒体は、継ぎ手部材62のねじ部70の貫通孔71、圧力センサセル102の金属板部材243および台座部材42の貫通孔248,46を通って圧力センサチップ41のダイアフラム45に導かれる。また、継ぎ手部材62の格納部69の底部に形成された凹部72内には、封止手段であるOリング173が納められている。Oリング173は、格納部69の凹部72内において、この凹部72の少なくとも底面と、金属板部材243の開放端251との間を封止している。このOリング173により、ねじ部70の貫通孔71を通って金属板部材243へ導かれた圧力媒体が、金属板部材243の貫通孔248以外の部分に流れ込むのを防いでいる。また、コネクタ部材161のハウジング部163の外側側面と継ぎ手部材62の格納部69の内側側面との間にも、その間を封止するOリング174が設けられている。このOリング174により、圧力媒体が金属板部材143から漏れた場合や、圧力センサチップ41が破損した場合や、圧力センサチップ41と台座部材42との接合界面が剥離した場合などに圧力媒体が外部に漏れ出すのを防いでいる。このように、実施の形態10によれば、簡素な構成であるので、部材コストおよび組み立てコストを低く抑えることができる。また、圧力センサ装置202を筐体300にねじ込んで取り付ける際のねじ部70からの応力がOリング173を介して圧力センサチップ41に伝わるので、その応力がOリング173により緩和される。従って、測定信号の精度および信頼性が高くなる。また、外部への信号端子166が、圧力媒体を導入するための開口に対して反対側に配置される。さらに、実施の形態10では、圧力媒体により圧力センサセル102に作用する荷重は、金属板部材243の開放端251とOリング173との接線でできる形状の面積S3で決まる。それに対して、実施の形態2では、上述したS2で決まる。S3はS2よりも小さいので、実施の形態10では、圧力センサセル102に作用する荷重が実施の形態2よりも小さくなる。従って、実施の形態10は、実施の形態2よりも高い圧力を計測するのに適している。さらに、実施の形態10は、上述したように、樹脂ケース244に過大な荷重がかからない構成となっているので、実施の形態6よりも高い圧力を計測するのに適している。実施の形態11.図14は、本発明の実施の形態11にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図14に示すように、実施の形態11の圧力センサ装置は、実施の形態9の圧力センサセル102を、実施の形態3と同様に、筐体300に形成された凹部302内に圧力センサセル102を入れ、その上から固定治具312をねじ部材311により筐体300にねじ止めしたものである。固定治具312の下面には、垂下片313が突出して設けられている。この垂下片313は、金属板部材243の支持部245に当接する。圧力センサセル102は、圧力導入口252から印加される圧力と、それに対する固定治具312からの反力によって固定されている。凹部302の底部に形成された2段目の凹部303内には、金属板部材243と筐体300との間を封止するOリング175が納められている。Oリング175は、2段目の凹部303内において、この凹部303の少なくとも底面と、金属板部材243の開放端251との間を封止している。このOリング175により、筐体300の貫通孔304を通って金属板部材243へ導かれた圧力媒体が、金属板部材243の貫通孔248以外の部分に流れ込むのを防いでいる。また、圧力センサセル102の信号端子258は折り曲げられており、筐体300の近くに設置されたプリント基板400に直接半田付けなどによって接続される。実施の形態11では、金属板部材243は円盤状でもよいし、また、その外周の全体にわたって支持部245が設けられていてもよい。実施の形態12.図15は、本発明の実施の形態12にかかる圧力センサ装置の構成を示す断面図である。図15に示すように、実施の形態12の圧力センサ装置は、実施の形態11において固定治具312およびねじ部材311を用いて圧力センサセル102を固定する代わりに、筐体300の凹部302内に入れた金属板部材243の支持部245を、筐体300から起立するかしめ部322を機械等を用いてかしめることにより固定したものである。従って、実施の形態12では、固定治具312およびねじ部材311は不要であり、実施の形態11よりも部品点数を減らすことができる。実施の形態12においても、Oリング175は、筐体300の2段目の凹部303内において、この凹部303の少なくとも底面と、金属板部材243の開放端251との間を封止している。その他の構成は実施の形態11と同じである。以上において、本発明は、上述した各実施の形態に限らず、種々変更可能である。例えば、実施の形態2または実施の形態6において、コネクタ部材61のハウジング部63の下端と継ぎ手部材62の格納部69の内側底面との間を封止するOリング74の代わりとして、あるいはこのOリング74とともに、実施の形態10のように、コネクタ部材61のハウジング部63の外側側面と継ぎ手部材62の格納部69の内側側面との間を封止するOリングを設けてもよい。また、各実施の形態において、台座部材42の裏面に金属薄膜47を設けずに、金属パイプ部材43もしくは金属板部材143,243と台座部材42とを、エポキシなどの接着剤により接着して一体化する構成としてもよい。このようにすれば、部材コストを下げることができる。なお、金属パイプ部材43もしくは金属板部材143,243と台座部材42とを半田付けにより固定するか、または接着剤により固定するかは、測定対象となる圧力媒体によって適宜選択される。"