ノズルを有するインクジェットヘッドと、塗布基板を載置するステージと、前記ステージに隣接して設けられるインク受けユニットと、を有するインクジェット装置において、前記インク受けユニットは、前記ノズルから吐出するインクに対して耐溶剤性を有する樹脂材料からなり、前記樹脂材料の被インク塗布側表面は、前記インクに対して親液性を有する親液膜で覆われていること、を特徴とするインクジェット装置。前記樹脂材料はフッ素樹脂である、請求項1記載のインクジェット装置。前記樹脂材料は多孔質である、請求項1記載のインクジェット装置。前記親液膜は金属酸化膜である、請求項1記載のインクジェット装置。前記金属酸化膜は、SiO2またはTiO2である、請求項4記載のインクジェット装置。特許文献2には、ミスト対策として、フラッシングユニット117が基板113より低い位置にし、ミスト119を吸引することによりミストを防止する技術が記載されている。しかしながら、特許文献2に記載の方法では、ミスト119を減少させる効果はあるが、浮遊しているミスト119を完全には吸引しきれないという問題を生じることになる。また、同様に低い位置にフラッシングユニットを設置しても、基板113上に到達するミスト119は少なくなるが、やはり浮遊し基板113上に到達する。ミスト119が発生する原因は、初期吐出時によるミスト119とフラッシングユニット117上に吐出されたインクが、フラッシングユニット面で跳ね返り、その跳ね返りのインクが浮遊し、ミスト119となる場合である。そのため、基板113を塗布したときに、浮遊したミスト119も基板113上に到達着弾する。結果として、インクの混色が発生し、点灯したときにRGBの高精細な点灯ではなく、混色により所望の色にならず白色となる場合が生じる。また、同文献には、ミストを吸引するエアー吸引口を設けることが記載されているが、吸引することによりノズル面116が乾燥し、逆に不吐出の原因ともなる。実際、吸引を行うことにより、ノズル面116が乾燥し、液滴の不吐出ノズルが増加することが実験で確かめられている。本発明は、上記かかる点を課題を解決するものであり、ミストの発生が少ないインクジェット装置を提供することを目的とする。本発明のインクジェット装置は、インクジェットヘッドとステージとステージに隣接するインク受けとを有し、インク受けは、インクジェットヘッドに用いられるインクに対し耐溶剤性の有る樹脂材料からなり前記樹脂材料の表面は、前記インクジェットヘッドに用いられるインクに対して親液性の膜で覆われていることを特徴とするものである。その結果、本発明のインクジェット装置は、ミストの発生を抑制でき、安定したインク塗布を行うことを可能とする。本発明によれば、事前吐出したインクの跳ね返りによるインクのミスト発生を少なくすることができる。以下の実施の形態では、本発明のインクジェット装置を、有機ELパネルの発光層の塗布工程に用いられるインクジェット装置に適用する場合について説明するが、ノズルからインクを吐出するインクジェット装置に広く適用できるものである。例えば、プリンタの記録工程に用いられるインクジェット装置等にも適用できる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。実施の形態11.主要部構成:図1に、本発明のインクジェット装置の主要部の構成を示す。インクジェット装置10は、インクジェットヘッド11と、インクジェットヘッド11に駆動電圧を供給することによりインク液滴11eの吐出動作を制御する制御部図示せずと、塗布基板12を載置するステージ13と、インクジェットヘッド11から吐出されたインクを受けるインク受けユニット14を有する。インク受けユニット14には、樹脂材料からなる板材15が設置されている。板材15の樹脂材料は、耐溶剤性のあるフッ素樹脂からなる。たとえば、フッ素樹脂の材料として、PTFE4フッ化エチレン樹脂が用いられる。また、樹脂材料からなる板材15の表面は、表面処理膜16で覆われている、表面処理膜16の材質は、親水性である金属酸化膜TiО2酸化チタンからなる。TiО2の水接触角は約20度である。金属酸化膜の成膜方法として、スパッタ法、CVD法、ゾルゲル法やプラズマ溶射法などがある。ステージ13とインク受けユニット14は、連結されている。インク受けユニット14にはインクを廃棄除外する排気口図示せずが設置されている。インクジェットヘッド11と板材15の間の間隔は、インクジェットヘッド11が板材15に接触しないように10mmに保たれている。インクジェットヘッド11は、内部空間に、圧電素子ピエゾ素子11aを有する。圧電素子11aの下側には、インク11cが充填される圧力室11bが形成されている。圧力室11bは、ノズル11dを介して外部に連通されている。これにより、圧電素子11aが上下に振動されると、これによって生じる圧力によって圧力室11b内のインク11cがノズル11dから外部に吐出される。なお、圧力室11b内には、図示しないインク補給部を介して、吐出された量のインクが補給されるようになっている。2.動作及び効果:次に、本実施の形態によるインク装置の動作及び効果について説明する。インクジェット装置10は、塗布工程を終了してから時間が経過するにつれて、ノズル11d内及び圧力室11b内のインク粘度が高くなる。一般には、ノズル11dの先端ほど、粘度が高くなる。そのため、塗布工程終了後の再塗布における最初の吐出では、吐出されたインクは、吐出角度が大きくなったり、或いは、吐出しなかったりする場合がある。すなわち、数滴吐出する動作を行ってはじめて安定吐出が可能となる。そこで、インクジェット装置10は、塗布工程を停止した後に、次に塗布するときは、事前に吐出を行い再び塗布工程に移る。以下、具体的に説明する。先ず、塗布基板12に塗布する前に、事前にインクジェットヘッド11からダミー吐出をインク受けユニット14に吐出する。その後、ステージ13を移動させながら塗布基板12上にインクを塗布していく。事前にインクジェットヘッド11からダミー吐出をインク受けユニット14に吐出したとき、板材15の表面は、TiО2で覆われているため親液となり、板材15に吐出したインクは板材15上で跳ね返ることなく板材15表面上に吸着することになる。図2に板材15に表面が親水性でない場合図2aと、親水性の場合図2bとのインク液滴11eが着弾したときの状態を示す。図2aのように板材15の表面が親水性でない場合は、着弾後跳ね返りが発生するが、図2bのように親水性の場合、着弾後基板に吸着し、濡れ広がるため跳ね返りが発生しない。その結果、板材15上部の空間にはミストの発生がないため、ステージ13が移動しながら塗布基板12にインクを塗布するときにも、塗布基板12にミストが着弾することがない。また、フッ素樹脂を使用することにより、インクの溶媒により膨潤が起こらないので、インクジェットヘッド11と板材15の隙間を小さくしても使用中に接触することがないという効果もある。また、板材15の材質としてセラミックを採用した場合に比べて、粉塵の発生が少ない。また、板材15として布を使用した場合に比べて、繊維クズの発生が少ない。以上説明したように、本実施の形態によれば、インクジェットヘッド11のノズル11dから吐出されるインク液滴11eが事前吐出によって吐出しても、ミストの発生が少なく混色のない塗布基板12への塗布を実現することができる。実施の形態2本実施の形態では、インク塗布工程において、事前に吐出するインク受けユニット上の板材に気孔を有する樹脂材料を用いる。これにより、よりインクの跳ね返りを防止することができる。1.主要部構成:本実施の形態は、実施の形態1の図1と主要部の構成は同じである。図1と異なる点は、板材15の樹脂材料が気孔を有することである。2.動作及び効果:先ず、塗布基板12に塗布する前に、事前にインクジェットヘッド11からダミー吐出をインク受けユニット14に吐出する。その後、ステージ13を移動させながら塗布基板12上にインクを塗布していく。事前にインクジェットヘッド11からダミー吐出をインク受けユニット14に吐出したとき、板材15の表面は、TiО2で覆われているため親水性となり、板材15に吐出したインクは板材15上で跳ね返ることが少ない。すなわち、板材15には気孔があるため、気孔がない板材より剛性が低くなり、跳ね返り少なくなる。また、板材15の樹脂材料は、気孔を有するため板材15に吸着したインクは、気孔内に浸透していくことになる。インクが浸透していくことにより、インクは板材15の上に盛り上がらないので、インクジェットヘッドを同じ位置で打ち続けることが可能となる。その結果、板材15上部の空間にはミストの発生が少ないため、ステージ13が移動しながら塗布基板12にインクを塗布するときにも塗布基板12にミストが着弾することがない。以上の説明のように、本実施の形態によれば、インクジェットヘッド11のノズル11dから吐出されるインク液滴11eが事前吐出によって吐出しても、ミストの発生がなく混色のない塗布基板12への塗布を実現することができる。実施の形態3本実施の形態では、インク塗布工程において、事前に吐出するインク受けユニット上の板材である樹脂材料の表面を、金属酸化膜であるSiO2シリカで処理した板材を用いる。これによりインクの跳ね返りを防止することができる。1.主要部構成:本実施の形態は、実施の形態1の図1と主要部の構成は同じである。実施の形態1との相違点は、板材15の樹脂材料の表面処理膜16がTiО2ではなく、金属酸化膜であるSiO2であることである。なお、SiO2の水接触角は、約30度となり、TiО2の20度より若干、劣るが、同様の効果を有する。また、TiО2に比べてSiO2は、低価格であり、コストメリットもある。2.動作及び効果:上述の実施の形態1及び2との違いを以下に説明する。本実施の形態のインクジェット装置は、事前にインクジェットヘッド11からダミー吐出をインク受けユニット14に吐出したとき、板材15の表面が、SiO2で覆われているため、親水性となり、板材15に吐出したインクは板材15上で跳ね返ることない。その結果、板材15上部の空間にはミストの発生がないため、ステージ13が移動しながら塗布基板12にインクを塗布するときにも塗布基板12にミストが着弾することがない。以上のように、本実施の形態によれば、インクジェットヘッド11のノズル11dから吐出されるインク液滴11eが事前吐出によって吐出しても、ミストの発生がなく混色のない塗布基板12への塗布を実現することができる。実施例実施の形態1において、表面処理膜16としてフッ素樹脂からなる板材15の表面をスパッタリング法により膜厚1μmのTiO2膜を形成した。フッ素樹脂としては、PTFEのスポンジを用いた。板材15の厚さは10mmのものを用い、孔径は1~10μmで、気孔率は約70のものを使用した。また、板材15の皮膜面硬度は25度で、密度は0.3g/cm3である。また、インクジェットヘッド11と板材15間の距離を10mmとして、事前吐出し塗布基板12に塗布してミストの付着確認を行った。条件は、吐出周波数は30kHzで3秒吐出した。インクの吐出速度は、飛翔観測装置にて測定し、7~9m/sであった。ミストの基板への着弾状態の観察は、光学顕微鏡を用い、対物レンズとモニタ倍率含め100倍で測定した。測定領域は、1.7mm×1.3mmで評価した。測定領域1.7mm×1.3mmの領域を10mmピッチで40箇所の測定位置を決めて個数を測定した。ミストの個数は、直径が10μm以上の個数を数えた。表面処理膜16がない場合は、塗布基板12上にミストの付着が領域測定領域1.7mm×1.3mm内で平均8個に対して、表面処理膜16を形成することにより、ミストの付着の発生を平均2個以下に抑えることができた。実施の形態2において、板材15として、気孔率70を超えた場合、表面処理膜16を処理しなくても、ミスト防止する効果があることがわかった。すなわち、板材15の樹脂材料として気孔有し、表面処理膜16として親水性の膜を形成することにより、よりミストを防止する効果があることがわかる。他の実施の形態以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記1乃至3の実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、本実施の形態1乃至3における表面処理膜16は、TiO2膜、SiO2膜に限定されることなく、インクの溶媒に対して親液性であれば同様の効果を得ることができる。また、フッ素樹脂の材料として、PTFE4フッ化エチレン樹脂としたが、PFA4フッ化エチレンペルフルオロアルコキシビニルエーテル共重合体PVDFポロビニリデンフロライドなどフッ素樹脂材料であれば、同様の効果がある。また、本実施の形態1乃至3において、インク受けユニット14とステージ13は連結した構成であるが、連結せず別々に分離していても問題はない。また、本実施の形態1乃至3において、インクジェットヘッド11と板材15の間の間隔を10mmとしたが、インクジェットヘッド11が板材15に接触しない程度であれば、できるだけ間隔が狭い方がミストの発生は少ないが、特に限定されるものではない。