振動体と、前記振動体を支持している支持部と、前記支持部と前記振動体とを連結している梁と、を備えている振動片と、前記振動体に設けられている少なくとも2つの電極と、前記支持部に設けられ、前記梁に設けられている配線を介して前記電極と電気的に接続されている少なくとも2つの端子と、を備え、前記2つの端子は、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って、離間して並設されており、前記2つの端子の間には、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って離間するとともに、前記梁の延出方向に沿って延在する複数の溝が設けられていることを特徴とする振動子。前記梁の延出方向と交わる方向において、前記複数の溝が設けられている領域に、前記梁と前記支持部との接続部が含まれている請求項1に記載の振動子。前記複数の溝のうちの少なくとも1つの溝は、独立して設けられている請求項1または2に記載の振動子。前記複数の溝の前記振動体と反対側の端は、前記支持部の側面に開放している請求項1ないし3のいずれかに記載の振動子。前記複数の溝の前記振動体側の端は、閉じている請求項1ないし4のいずれかに記載の振動子。前記複数の溝の前記振動体側の端は、前記支持部の前記振動体側の縁と離間している請求項5に記載の振動子。前記溝の前記振動体側の端と前記支持部の前記振動体側の縁との離間距離は、3μm以上35μm以下である請求項6に記載の振動子。前記複数の溝のうちの少なくとも1つの溝の前記振動体側の端は、第1支持部の側面に開放している請求項1ないし4のいずれかに記載の振動子。前記複数の溝のうち、一方の前記端子側に位置している少なくとも1つの溝の前記振動体側の端は、前記一方の端子と接続されている前記配線に接触し、他方の前記端子側に位置している少なくとも1つの溝の前記振動体側の端は、前記他方の端子と接続されている前記配線に接触している請求項8に記載の振動子。前記振動体は、基部と、前記基部から両側へ第1方向に沿って延出している第1検出振動腕および第2検出振動腕と、前記基部から両側へ前記第1方向と直交する第2方向に沿って延出している第1連結腕および第2連結腕と、前記第1連結腕から両側へ前記第1方向に沿って延出している第1駆動振動腕および第2駆動振動腕と、前記第2連結腕から両側へ前記第1方向に沿って延出している第3駆動振動腕および第4駆動振動腕と、を備え、前記第1検出振動腕および前記第2検出振動腕にて検出振動系が構成され、前記第1駆動振動腕、前記第2駆動振動腕、前記第3駆動振動腕および前記第4駆動振動腕にて駆動振動系が構成され、前記支持部は、前記振動体を挟んで前記第1方向に沿って対向配置され、前記第2方向に延在している第1支持部および第2支持部を備え、前記梁は、前記第1検出振動腕と前記第1駆動振動腕との間を通って、前記第1支持部と前記基部とを連結している第1梁と、前記第1検出振動腕と前記第3駆動振動腕との間を通って、前記第1支持部と前記基部とを連結している第2梁と、前記第2検出振動腕と前記第2駆動振動腕との間を通って、前記第2支持部と前記基部とを連結している第3梁と、前記第2検出振動腕と前記第4駆動振動腕との間を通って、前記第2支持部と前記基部とを連結している第4梁とを有し、前記電極は、前記検出振動系に設けられている第1検出信号電極、第2検出信号電極、第1検出接地電極および第2検出接地電極と、前記駆動振動系に設けられている駆動信号電極および駆動接地電極と、を備え、前記端子は、前記第1検出信号電極と接続されている第1検出信号端子、前記第2検出信号電極と接続されている第2検出信号端子、前記第1検出接地電極と接続されている第1検出接地端子、前記第2検出接地電極と接続されている第2検出接地端子、前記駆動信号電極と接続されている駆動信号端子および前記駆動接地電極と接続されている駆動接地端子を備えている請求項1ないし9のいずれかに記載の振動子。少なくとも2つの接続パッドを備えている基板と、請求項1ないし10のいずれか一項に記載の振動子と、を備え、前記接続パッドと前記端子とが導電性固定部材により接合されていることを特徴とする振動デバイス。前記基板の平面視にて、前記接続パッドの輪郭と前記複数の溝が設けられている領域の一部とが重なり合っている請求項11に記載の振動デバイス。請求項1ないし10のいずれかに記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。本発明の目的は、実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供することにある。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本発明の振動子は、振動体と、前記振動体を支持している支持部と、前記支持部と前記振動体とを連結している梁と、を備えている振動片と、前記振動体に設けられている少なくとも2つの電極と、前記支持部に設けられ、前記梁に設けられている配線を介して前記電極と電気的に接続されている少なくとも2つの端子と、を備え、前記2つの端子は、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って、離間して並設されており、前記2つの端子の間には、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って離間するとともに、前記梁の延出方向に沿って延在する複数の溝が設けられていることを特徴とする。これにより、振動子を支持基板に固定するとともに、支持基板に設けられている電極端子と振動子に設けられている電極とを導通するための複数の導電性固定部材が互いに接触してしまうことを防止することができる。そのため、信頼性に優れた振動子を提供することができる。[適用例2]本発明の振動子では、前記梁の延出方向と交わる方向において、前記複数の溝が設けられている領域に、前記梁と前記支持部との接続部が含まれているのが好ましい。梁と支持部との接合部は、応力集中が起きやすい部分であるため、このような接合部を含むように複数の溝を設けることにより、接合部に発生する応力を複数の溝にて効果的に吸収または緩和することができる。そのため、振動子の破損を効果的に抑制することができる。[適用例3]本発明の振動子では、前記複数の溝のうちの少なくとも1つの溝は、独立して設けられているのが好ましい。これにより、各溝に入り込んだ導電性固定部材が溝を介して接触することを防止できるため、導電性固定部材同士の接触をより確実に防止することができる。[適用例4]本発明の振動子では、前記複数の溝の前記振動体と反対側の端は、前記支持部の側面に開放しているのが好ましい。これにより、2つの端子の間を溝によって明確に仕切ることができる。そのため、例えば溝の設けられていない領域を伝って導電性固定部材同士が接触するといった問題の発生を防止することができる。[適用例5]本発明の振動子では、前記複数の溝の前記振動体側の端は、閉じているのが好ましい。これにより、溝内に流入した導電性固定部材が梁に設けられている配線と接触してしまうのを防止することができる。[適用例6]本発明の振動子では、前記複数の溝の前記振動体側の端は、前記支持部の前記振動体側の縁と離間しているのが好ましい。これにより、溝内に流入した導電性固定部材が梁に設けられている配線と接触してしまうのを防止することができる。[適用例7]本発明の振動子では、前記溝の前記振動体側の端と前記支持部の前記振動体側の縁との離間距離は、3μm以上35μm以下であるのが好ましい。これにより、溝内に流入した導電性固定部材が梁に設けられている配線と接触してしまうのを防止することができる。加えて、2つの端子の間を溝によって明確に仕切ることができる。そのため、例えば溝の設けられていない領域を伝って導電性固定部材同士が接触するといった問題の発生を防止することができる。[適用例8]本発明の振動子では、前記複数の溝のうちの少なくとも1つの溝の前記振動体側の端は、第1支持部の側面に開放しているのが好ましい。これにより、2つの端子の間を溝によって明確に仕切ることができる。そのため、例えば溝の設けられていない領域を伝って導電性固定部材同士が接触するといった問題の発生を防止することができる。[適用例9]本発明の振動子では、前記複数の溝のうち、一方の前記端子側に位置している少なくとも1つの溝の前記振動体側の端は、前記一方の端子と接続されている前記配線に接触し、他方の前記端子側に位置している少なくとも1つの溝の前記振動体側の端は、前記他方の端子と接続されている前記配線に接触しているのが好ましい。これにより、短絡を防止することができる。[適用例10]本発明の振動子では、前記振動体は、基部と、前記基部から両側へ第1方向に沿って延出している第1検出振動腕および第2検出振動腕と、前記基部から両側へ前記第1方向と直交する第2方向に沿って延出している第1連結腕および第2連結腕と、前記第1連結腕から両側へ前記第1方向に沿って延出している第1駆動振動腕および第2駆動振動腕と、前記第2連結腕から両側へ前記第1方向に沿って延出している第3駆動振動腕および第4駆動振動腕と、を備え、前記第1検出振動腕および前記第2検出振動腕にて検出振動系が構成され、前記第1駆動振動腕、前記第2駆動振動腕、前記第3駆動振動腕および前記第4駆動振動腕にて駆動振動系が構成され、前記支持部は、前記振動体を挟んで前記第1方向に沿って対向配置され、前記第2方向に延在している第1支持部および第2支持部を備え、前記梁は、前記第1検出振動腕と前記第1駆動振動腕との間を通って、前記第1支持部と前記基部とを連結している第1梁と、前記第1検出振動腕と前記第3駆動振動腕との間を通って、前記第1支持部と前記基部とを連結している第2梁と、前記第2検出振動腕と前記第2駆動振動腕との間を通って、前記第2支持部と前記基部とを連結している第3梁と、前記第2検出振動腕と前記第4駆動振動腕との間を通って、前記第2支持部と前記基部とを連結している第4梁とを有し、前記電極は、前記検出振動系に設けられている第1検出信号電極、第2検出信号電極、第1検出接地電極および第2検出接地電極と、前記駆動振動系に設けられている駆動信号電極および駆動接地電極と、を備え、前記端子は、前記第1検出信号電極と接続されている第1検出信号端子、前記第2検出信号電極と接続されている第2検出信号端子、前記第1検出接地電極と接続されている第1検出接地端子、前記第2検出接地電極と接続されている第2検出接地端子、前記駆動信号電極と接続されている駆動信号端子および前記駆動接地電極と接続されている駆動接地端子を備えているのが好ましい。これにより、振動子によって角速度を検出することができる。[適用例11]本発明の振動デバイスは、少なくとも2つの接続パッドを備えている基板と、本発明の振動子と、を備え、前記接続パッドと前記端子とが導電性固定部材により接合されていることを特徴とする。これにより、信頼性の高い振動デバイスを提供することができる。[適用例12]本発明の振動デバイスでは、前記基板の平面視にて、前記接続パッドの輪郭と前記複数の溝が設けられている領域の一部とが重なり合っているのが好ましい。これにより、複数の溝を、目盛り目印として使用することができるため、基板に対する位置決めをより正確に行うことができる。[適用例13]本発明の電子機器は、本発明の振動子を備えていることを特徴とする。これにより、信頼性の高い電子機器を提供することができる。以下、本発明の振動子および振動デバイスを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。<第1実施形態>まず、本発明の振動子を適用した振動デバイス本発明の振動デバイスの第1実施形態について説明する。図1は、本発明の振動デバイスの第1実施形態を示す図断面図および平面図、図2および図3は、図1に示す振動デバイスが備えるジャイロ素子の平面図、図4は、図3に示すジャイロ素子の部分拡大図、図5は、図2に示すジャイロ素子の駆動を説明する平面図、図6は、従来のジャイロ素子の問題点を示す断面図、図7は、図4に示すジャイロ素子の効果を説明するための断面図である。なお、以下では、図1に示すように、互いに直交する3軸を、x軸、y軸およびz軸とし、z軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、x軸に平行な方向をx軸方向第2方向と言い、y軸に平行な方向をy軸方向第1方向と言い、z軸に平行な方向をz軸方向と言う。図1に示す振動デバイス1は、ジャイロ素子振動素子2と、ジャイロ素子2を収納するパッケージ9とを有している。以下、ジャイロ素子2およびパッケージ9について順次詳細に説明する。ジャイロ素子2図2は、上側からリッド92側から見たジャイロ素子の上面図であり、図3は、上側から見たジャイロ素子の下面図透過図である。また、図2および図3では、説明の便宜上、電極および端子にハッチングを入れている。また、図2および図3中、同じハッチングで示す電極および端子は電気的に接続されていることを示している。また、図4では、説明の便宜上、支持部、梁、電極等の図示を省略している。ジャイロ素子2は、z軸まわりの角速度を検出する面内検出型のセンサーであって、図2および図3に示すように、振動片3と、振動片3の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。振動片3は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性周波数特性を発揮することのできる振動片3が得られる。このような振動片3は、いわゆるダブルT型をなす振動体4と、振動体4を支持する第1支持部51および第2支持部52と、振動体4と第1、第2支持部51、52とを連結する第1梁61、第2梁62、第3梁63および第4梁64とを有している。振動体4は、xy平面に拡がりを有し、z軸方向に厚みを有している。このような振動体4は、中央に位置する基部41と、基部41からy軸方向に沿って両側に延出している第1、第2検出振動腕421、422と、基部41からx軸方向に沿って両側に延出している第1、第2連結腕431、432と、第1連結腕431の先端部からy軸方向に沿って両側に延出している第1、第2駆動振動腕441、442と、第2連結腕432の先端部からy軸方向に沿って両側に延出している第3、第4駆動振動腕443、444とを有している。第1、第2検出振動腕421、422および第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の重量部ハンマーヘッドが設けられている。このような重量部を設けることでジャイロ素子2の角速度の検出感度が向上する。なお、以下では、この重量部を先端部とも言う。なお、第1、第2駆動振動腕441、442は、第1連結腕431の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第3、第4駆動振動腕443、444は、第2連結腕432の延在方向の途中から延出してもよい。また、第1、第2支持部51、52は、それぞれ、x軸方向に沿って延在しており、これら第1、第2支持部51、52の間に振動体4が位置している。言い換えれば、第1、第2支持部51、52は、振動体4を介してy軸方向に沿って対向するように配置されている。第1支持部51は、第1、第2梁61、62を介して基部41と連結されており、第2支持部52は、第3、第4梁63、64を介して基部41と連結されている。第1梁61は、第1検出振動腕421と第1駆動振動腕441との間を通って第1支持部51と基部41を連結し、第2梁62は、第1検出振動腕421と第3駆動振動腕443との間を通って第1支持部51と基部41を連結し、第3梁63は、第2検出振動腕422と第2駆動振動腕442との間を通って第2支持部52と基部41を連結し、第4梁64は、第2検出振動腕422と第4駆動振動腕444との間を通って第2支持部52と基部41を連結している。このような各梁61、62、63、64は、それぞれ、x軸方向に沿って往復しながらy軸方向に沿って延びる蛇行部S字形状部を有しており、x軸方向およびy軸方向に弾性を有している。また、各梁61、62、63、64は、それぞれ、蛇行部を有する細長い形状を有しているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各梁61、62、63、64で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。以上、振動片3の構成について説明した。このような振動片3には、図2および図3に示すように、検出信号電極710、検出信号配線712、検出信号端子714、検出接地電極720、検出接地配線722、検出接地端子724、駆動信号電極730、駆動信号配線732、駆動信号端子734、駆動接地電極740、駆動接地配線742および駆動接地端子744が設けられている。便宜上、図2および図3において、検出信号電極710、検出信号配線712および検出信号端子714を右下斜線で示し、検出接地電極720、検出接地配線722および検出接地端子724をクロス斜線で示し、駆動信号電極730、駆動信号配線732および駆動信号端子734を左下斜線で示し、駆動接地電極740、駆動接地配線742および駆動接地端子744をクロス縦横線で示している。また、図2および図3において、振動片3の側面に設けられている電極、配線、端子を太線で示している。各電極710、720、730、740、各配線712、722、732、742および各端子714、724、734、744としては、例えば、クロムで構成された下地層と、金で構成された電極層とを積層した構成とすることができる。これにより、密着性の良い各電極710、720、730、740、各配線712、722、732、742および各端子714、724、734、744を形成することができる。各電極710、720、730、740は、互いに電気的に分離されている。これと同様に、各配線712、722、732、742は、互いに電気的に分離されており、各端子714、724、734、744も互いに電気的に分離されている。以下、これら各電極、各配線、各端子について順次説明する。また、以下では、説明の便宜上、図2で示す面を上面といい、図3で示す面を下面と言い、上面と下面とを連ける面を側面と言う。1検出信号電極、検出信号配線および検出信号端子検出信号電極710は、第1、第2検出振動腕421、422の上面および下面に設けられている。ただし、本実施形態では、検出信号電極710は、第1、第2検出振動腕421、422の先端部には設けられていない。検出信号電極710は、xz平面に関して面対称に配置されている。検出信号電極710は、第1、第2検出振動腕421、422の検出振動が励起されたときに、該振動によって発生する圧電材料の歪みを検出するための電極である。また、検出信号配線712は、第1、第3梁61、63に設けられている。より具体的には、検出信号配線712は、第1、第3梁61、63の上面に設けられている。さらに、検出信号配線712は、第1梁61と第1支持部51との接合部分の側面と、第3梁63と第2支持部52との接合部分の側面と、基部41の上面および下面とにも設けられている。このような検出信号配線712は、xy平面に関して、面対称に配置されている。また、検出信号端子714は、第1、第2支持部51、52に設けられている。より具体的には、検出信号端子714は、第1、第2支持部51、52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子714は、互いに電気的に接続されている。また、第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子714は、互いに電気的に接続されている。第1支持部51に設けられている検出信号端子714は、駆動接地電極740が設けられる第1駆動振動腕441の先端部に対して、y軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第1支持部51に設けられている検出信号端子714と、第1駆動振動腕441の先端部に設けられている駆動接地電極740とは、y軸方向において対向している。また、第2支持部52に設けられている検出信号端子714は、駆動接地電極740が設けられる第2駆動振動腕442の先端部に対して、y軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第2支持部52に設けられている検出信号端子714と、第2駆動振動腕442の先端部に設けられている駆動接地電極740とは、y軸方向において対向している。このような検出信号端子714は、xz平面に関して、面対称に配置されている。第1支持部51に設けられている検出信号端子第1検出信号端子714は、第1梁61に設けられている検出信号配線712を介して、第1検出振動腕421に設けられている検出信号電極第1検出信号電極710と電気的に接続されている。具体的には、第1支持部51に設けられている検出信号端子714は、第1梁61の上面に設けられている検出信号配線712と接続され、検出信号配線712は、第1梁61の上面から、第1梁61と基部41との接合部分の側面、そして基部41の上面および下面を通って、第1検出振動腕421の上面および下面に設けられている検出信号電極710に接続されている。これにより、第1検出振動腕421が振動することにより生じる第1検出信号を検出信号電極710から第1支持部51に設けられている検出信号端子714に伝達することができる。第2支持部52に設けられている検出信号端子第2検出信号端子714は、第3梁63に設けられている検出信号配線712を介して、第2検出振動腕422に設けられている検出信号電極第2検出信号電極710と電気的に接続されている。具体的には、第2支持部52に設けられている検出信号端子714は、第3梁63の上面に設けられている検出信号配線712と接続され、検出信号配線712は、第3梁63の上面から、第3梁63と基部41との接合部分の側面、そして基部41の上面および下面を通って、第2検出振動腕422の上面および下面に設けられている検出信号電極710に接続されている。これにより、第2検出振動腕422が振動することにより生じる第2検出信号を検出信号電極710から第2支持部52に設けられている検出信号端子714に伝達することができる。2検出接地電極、検出接地配線および検出接地端子検出接地電極720は、第1、第2検出振動腕421、422の先端部に設けられている。具体的には、検出接地電極720は、第1、第2検出振動腕421、422の先端部の上面および下面に設けられている。さらに、検出接地電極720は、第1、第2検出振動腕421、422の側面に設けられている。第1検出振動腕421の上面、下面および側面に設けられている検出接地電極720は、互いに電気的に接続されている。また、第2検出振動腕422の上面、下面および側面に設けられている検出接地電極720は、互いに電気的に接続されている。このような検出接地電極720は、xz平面に関して、面対称に配置されている。検出接地電極720は、検出信号電極710に対してグランドとなる電位を有する。また、検出接地配線722は、第1、第3梁61、63に設けられている。具体的には、検出接地配線722は、第1、第3梁61、63の下面および側面に設けられている。さらに、検出接地配線722は、基部41の上面および下面に設けられている。検出接地配線722は、xz平面に関して、面対称に配置されている。また、検出接地端子724は、第1、第2支持部51、52に設けられている。具体的には、検出接地端子724は、第1、第2支持部51、52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子724は、互いに電気的に接続されている。また、第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子724は、互いに電気的に接続されている。第1支持部51に設けられている検出接地端子724は、検出接地電極720が設けられている第1検出振動腕421の先端部に対して、y軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第1支持部51に設けられている検出接地端子724と、第1検出振動腕421の先端部に設けられている検出接地電極720とは、y軸方向において対向している。また、第2支持部52に設けられている検出接地端子724は、検出接地電極720が設けられている第2検出振動腕422の先端部に対して、y軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第2支持部52に設けられている検出接地端子724と、第2検出振動腕422の先端部に設けられている検出接地電極720とは、y軸方向において対向している。このような検出接地端子724は、xz平面に関して、面対称に配置されている。第1支持部51に設けられている検出接地端子第1検出接地端子724は、第1梁61に設けられている検出接地配線722を介して、第1検出振動腕421に設けられている検出接地電極第1検出接地電極720と電気的に接続されている。具体的には、第1支持部51に設けられている検出接地端子724は、第1梁61の下面および側面に設けられている検出接地配線722と接続され、検出接地配線722は、第1梁61の下面および側面から、基部41の上面および下面を通って、第1検出振動腕421の上面および下面に設けられている検出接地電極720に接続されている。第2支持部52に設けられている検出接地端子第2検出接地端子724は、第3梁63に設けられている検出接地配線722を介して、第2検出振動腕422に設けられている検出接地電極第2検出接地電極720と電気的に接続されている。具体的には、第2支持部52に設けられている検出接地端子724は、第3梁63の下面および側面に設けられている検出接地配線722と接続され、検出接地配線722は、第3梁63の下面および側面から、基部41の上面および下面を通って、第2検出振動腕422の上面および下面に設けられている検出接地電極720に接続されている。以上の通りに検出信号電極、配線、端子710、712、714と、検出接地電極、配線、端子720、722、724とが配置されている。これにより、第1検出振動腕421に生じた検出振動は、第1検出振動腕421に設けられている検出信号電極710と検出接地電極720との間の電荷として現れ、第1支持部51に設けられている検出信号端子714と検出接地端子724とから信号として取り出すことができる。また、第2検出振動腕422に生じた検出振動は、第2検出振動腕422に設けられている検出信号電極710と検出接地電極720との間の電荷として現れ、第2支持部52に設けられている検出信号端子714と検出接地端子724とから信号として取り出すことができる。3駆動信号電極、駆動信号配線および駆動信号端子駆動信号電極730は、第1、第2駆動振動腕441、442に設けられている。ただし、本実施形態では、駆動信号電極730は、第1、第2駆動振動腕441、442の先端部には設けられていない。具体的には、駆動信号電極730は、第1、第2駆動振動腕441、442の上面および下面に設けられている。さらに、駆動信号電極730は、第3、第4駆動振動腕443、444の側面と、第3、第4駆動振動腕443、444の先端部の上面および下面とにも設けられている。第3駆動振動腕443の上面、下面および側面に設けられている駆動信号電極730は、互いに電気的に接続されている。また、第4駆動振動腕444の上面、下面および側面に設けられている駆動信号電極730は、互いに電気的に接続されている。このような駆動信号電極730は、xz平面に関して、面対称に配置されている。駆動信号電極730は、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444の駆動振動を励起させるための電極である。駆動信号配線732は、第2、第4梁62、64に設けられている。具体的には、駆動信号配線732は、第2、第4梁62、64の上面に設けられている。さらに、駆動信号配線732は、基部41の上面と、第1連結腕431の上面と、第1、第2連結腕431、432の側面とに設けられている。このような駆動信号配線732は、xz平面に関して、面対称に配置されている。駆動信号端子734は、第2支持部52に設けられている。具体的には、駆動信号端子734は、第2支持部52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている駆動信号端子734は、互いに電気的に接続されている。第2支持部52に設けられている駆動信号端子734は、駆動信号電極730が設けられている第4駆動振動腕444の先端部に対して、y軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第2支持部52に設けられている駆動信号端子734と、第4駆動振動腕444の先端部に設けられている駆動信号電極730とは、y軸方向において対向している。第2支持部52に設けられている駆動信号端子734は、第4梁64に設けられている駆動信号配線732を介して、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444に設けられている駆動信号電極730と電気的に接続されている。具体的には、駆動信号端子734は、第4梁64の上面に設けられている駆動信号配線732と接続され、駆動信号配線732は、第4梁64の上面から、基部41の上面、そして第1連結腕431の上面を通って、第1、第2駆動振動腕441、442の上面に設けられている駆動信号電極730に接続されている。さらに、駆動信号配線732は、第1連結腕431の上面から、第1連結腕431の側面を通って、第1、第2駆動振動腕441、442の下面に設けられている駆動信号電極730に接続されている。また、さらに、駆動信号配線732は、基部41の上面から、第2連結腕432の上面および側面を通って、第3、第4駆動振動腕443、444の上面および下面に設けられている駆動信号電極730に接続されていることができる。これにより、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、44を駆動振動させるための駆動信号を駆動信号端子734から駆動信号電極730に伝達することができる。4駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子駆動接地電極740は、第1、第2駆動振動腕441、442の先端部に設けられている。具体的には、駆動接地電極740は、第1、第2駆動振動腕441、442の先端部の上面および下面に設けられている。さらに、駆動接地電極740は、第1、第2駆動振動腕441、442の側面にも設けられている。第1駆動振動腕441の上面、下面および側面に設けられている駆動接地電極740は、互いに電気的に接続されている。また、第2駆動振動腕442の上面、下面および側面に設けられている駆動接地電極740は、互いに電気的に接続されている。さらに、駆動接地電極740は、第3、第4駆動振動腕443、444の上面および下面に設けられていることができる。ただし、本実施形態では、駆動接地電極740は、第3、第4駆動振動腕443、444の先端部には設けられていない。このような駆動接地電極740は、xz平面に関して、面対称に配置されている。駆動接地電極740は、駆動信号電極730に対してグランドとなる電位を有する。また、駆動接地配線742は、第2、第4梁62、64に設けられている。具体的には、駆動接地配線742は、第2、第4梁62、64の下面および側面に設けられている。さらに、駆動接地配線742は、基部41の下面と、第1連結腕431の側面と、第2連結腕432の下面と、第2連結腕432の側面とに設けられている。このような駆動接地配線742は、xz平面に関して、面対称に配置されている。また、駆動接地端子744は、第1支持部51に設けられている。具体的には、駆動接地端子744は、第1支持部51の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている駆動接地端子744は、互いに電気的に接続されている。第1支持部51に設けられている駆動接地端子744は、駆動信号電極730が設けられている第3駆動振動腕443の先端部に対して、y軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第1支持部51に設けられている駆動接地端子744と、第3駆動振動腕443の先端部に設けられている駆動信号電極730とは、y軸方向において対向している。また、第1支持部51に設けられている駆動接地端子744は、第2梁62に設けられている駆動接地配線742を介して、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444に設けられている駆動接地電極740と電気的に接続されている。具体的には、駆動接地端子744は、第2梁62の下面および側面に設けられている駆動接地配線742と接続され、駆動接地配線742は、第2梁62の下面および側面から、基部41の下面、そして第1連結腕431の側面を通って、第1、第2駆動振動腕441、442の上面および下面に設けられている駆動接地電極740に接続されている。さらに、駆動接地配線742は、基部41の下面から、第2連結腕432の下面および側面を通って、第3、第4駆動振動腕443、444の上面および下面に設けられている駆動接地電極740に接続されている。以上の通りに、駆動信号電極、配線、端子730、732、734と、駆動接地電極、配線、端子740、742、744とが配置されている。これにより、第2支持部52に設けられている駆動信号端子734と、第1支持部51に設けられている駆動接地端子744との間に駆動信号を印加することで、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444に設けられている駆動信号電極730と駆動接地電極740との間に電界を生じさせ、これら各駆動振動腕441、442、443、444を駆動振動させることができる。以上、説明したように、第1支持部51には、検出信号端子714、検出接地端子724および駆動接地端子744がx軸方向に沿って並び、かつ離間して設けられている。具体的には、図4に示すように、x軸方向に沿って延在する第1支持部51の中央部第1梁61との接合部51aと第2梁62との接合部51bの間の領域S1に検出接地端子724が設けられており、第1支持部51の一端部接合部51aよりも図4中右側の領域S2に検出信号端子714が設けられており、第1支持部51の他端部接合部51bよりも図4中左側の領域S3に駆動接地端子744が設けられている。このような第1支持部51の下面後述する導電性固定部材8が塗布される面であって、検出信号端子714と検出接地端子724との間には複数の溝512が設けられている。また、複数の溝512が設けられている領域S4は、x軸方向において、接合部51aを含んでいる。複数の溝512は、それぞれ、y軸方向に沿って延在するとともに、互いにx軸方向に沿って離間して設けられている。すなわち、複数の溝512は、それぞれ、独立して設けられている。また、図4に示すように、各溝512の図4中上側の端振動体4と反対側の端512aは、第1支持部51の側面に開放しているが、図4中下側の端振動体4側の端512bは、第1支持部51の側面に開放しておらず閉じている。言い換えれば、端512bは、第1支持部51の縁と離間している。各溝512の端512bの位置は、溝512が接合部51aに設けられている各配線712、722に接触しない限り、なるべく振動体4側に位置するのが好ましい。具体的には、端512bと第1支持部51の側面縁との離間距離Lは、例えば、3μm以上35μm以下であるのが好ましい。溝512の本数としては、2本以上であれば特に限定されず、3本であっても、4本であっても、5本以上であってもよいが、5本以上であるのが好ましい。これにより、後述するような効果がより顕著となる。溝512の幅としては、特に限定されないが、20μm以上30μm以下であるのが好ましい。また、隣り合う溝512の離間距離としては、特に限定されないが、10μm以上20μm以下であるのが好ましい。また、溝512の深さとしては、特に限定されないが、10μm以上40μm以下であるのが好ましい。溝512をこのようなサイズ、配置とすることにより、後述するような効果がより顕著となる。また、第1支持部51の下面であって、駆動接地端子744と検出接地端子724との間には複数の溝514が設けられている。また、複数の溝514が設けられている領域S5は、x軸方向において接合部51bを含んでいる。複数の溝514の構成は、前述した複数の溝512と同様であるため、その説明を省略する。同様に、第2支持部52には、検出信号端子714、検出接地端子724および駆動信号端子734がx軸方向に沿って並び、かつ離間して設けられている。具体的には、図4に示すように、x軸方向に沿って延在する第2支持部52の中央部第3梁63との接合部52aと第4梁64との接合部52bの間の領域S6に検出接地端子724が設けられており、第2支持部52の一端部接合部52aよりも図4中右側の領域S7に検出信号端子714が設けられており、第2支持部52の他端部接合部52bよりも図4中左側の領域S8に駆動信号端子734が設けられている。また、第2支持部52の下面であって、検出信号端子714と検出接地端子724との間には複数の溝522が設けられている。また、複数の溝522が設けられている領域S9は、x軸方向において接合部52aを含んでいる。複数の溝522の構成は、前述した複数の溝512と同様であるため、その説明を省略する。また、第2支持部52の下面であって、検出接地端子724と駆動信号端子734の間には複数の溝524が設けられている。また、複数の溝524が設けられている領域S10は、x軸方向において接合部52bを含んでいる。複数の溝524の構成は、前述した複数の溝512と同様であるため、その説明を省略する。このような構成のジャイロ素子2は、次のようにしてz軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子2は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極730および駆動接地電極740の間に電界が生じると、図5aに示すように、各駆動振動腕441、442、443、444が矢印Aに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第1、第2駆動振動腕441、442と、第3、第4駆動振動腕443、444とは、中心点G重心Gを通るyz平面に関して面対称の振動を行っているため、基部41と、第1、第2連結腕431、432と、第1、第2検出振動腕421、422とは、ほとんど振動しない。この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子2にz軸まわり角速度ωが加わると、図5bに示すような振動が発生する。すなわち、駆動振動腕441、442、443、444および連結腕431、432に矢印B方向のコリオリの力が働き、この矢印B方向の振動に呼応して、矢印C方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕421、422の歪みを検出信号電極710および検出接地電極720が検出して角速度ωが求められる。パッケージパッケージ9は、ジャイロ素子2を収納するものである。なお、パッケージ9には、ジャイロ素子2の他に、ジャイロ素子2の駆動等を行うICチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ9は、その平面視xy平面視にて、略矩形状をなしている。パッケージ9は、上面に開放する凹部を有するベース91と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド蓋体92とを有している。また、ベース91は、板状の底板911と、底板911の上面周縁部に設けられている枠状の側壁912とを有している。このようなパッケージ9は、その内側に収納空間Sを有しており、この収納空間S内に、ジャイロ素子2が気密的に収納、設置されている。ジャイロ素子2は、第1、第2支持部51、52にて、半田、銀ペースト、導電性接着剤樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤などの導電性固定部材8を介して底板911の上面に固定されている。第1、第2支持部51、52は、ジャイロ素子2のy軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板911に固定することにより、ジャイロ素子2の振動体4が両持ち支持され、ジャイロ素子2を底板911に対して安定的に固定することができる。そのため、ジャイロ素子2の不要な振動検出したい振動以外の振動が抑制され、ジャイロ素子2による角速度ωの検出精度が向上する。また、導電性固定部材8は、第1、第2支持部51、52に設けられている2つの検出信号端子714、2つの検出接地端子724、駆動信号端子734および駆動接地端子744に対応接触して、かつ互いに離間して6つ設けられている。また、底板911の上面には、2つの検出信号端子714、2つの検出接地端子724、駆動信号端子734および駆動接地端子744に対応する6つの接続パッド10が設けられており、導電性固定部材8を介して、これら各接続パッド10とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。このような構成とすることにより、導電性固定部材8を、ジャイロ素子2を底板911に固定するための固定部材として用いることができるとともに、ジャイロ素子2との電気的な接続を行う接続部材として用いることができるため、振動デバイス1の構成の簡易化を図ることができる。また、導電性固定部材8は、ジャイロ素子2と底板911との間にギャップ隙間を形成し、これらの接触を防止するギャップ材としても用いられる。これにより、底板911との接触によるジャイロ素子2の破壊破損を防止することができ、正確な角速度の検出と、優れた信頼性を発揮することのできる振動デバイス1となる。なお、各接続パッド10は、図示しない導体ポストを介してパッケージ9の外部へ引き出されていたり、パッケージ9内にICチップ等を収納する場合には、そのICチップと電気的に接続されていたりする。ベース91の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。また、リッド92の構成材料としては、特に限定されないが、ベース91の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース91の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース91とリッド92の接合は、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合してもよいし、シーム溶接等により接合してもよい。ここで、前述したように、ジャイロ素子2の第1支持部52には、溝512、514が設けられており、第2支持部52には、溝522、524が設けられている。このような溝512、514、522、524を設けることにより、次のような効果を発揮することができる。前述したように、ジャイロ素子2は、導電性固定部材8を介して底板911に固定される。ここで、ジャイロ素子2を底板911に固定する工程は、例えば、底板911に設けられている6つの接続パッド10上にそれぞれ銀ペースト導電性固定部材8を塗布し、塗布した銀ペースト8と対応する端子714、724、734、744が接触するようにジャイロ素子2をその下面を底板911側に向けて載置するとともにジャイロ素子2を押し当て、銀ペーストを固化することにより、銀ペースト8を介してジャイロ素子2が底板911に固定される。そのため、例えば、銀ペースト8を所定位置に正確に塗布できなかった場合、従来のジャイロ素子ジャイロ素子2から溝512、514、522、524を除いたものでは、図6に示すように、ジャイロ素子2を押し当てた際に、銀ペースト8が濡れ広がり、濡れ広がった銀ペースト8同士が接触し、これらの間で短絡が生じるおそれがある。銀ペースト8の塗布位置や塗布量には、装置の精度上、ある程度のバラつきが存在するため、上記の問題は、比較的発生しやすい。そのため、ジャイロ素子2では、第1、第2の支持部51、52に溝512、514、524、524を設けることにより、このような問題の発生を防止している。以下、具体的に説明するが、各溝512、514、522、524の作用効果は、互いに同様であるため、溝512について代表して説明する。図7に示すように、検出接地端子724、検出信号端子714に対応する銀ペースト8は、それぞれ、ジャイロ素子2を押し込むことにより濡れ広がる。この時、検出接地端子724に対応する銀ペースト8の塗布位置が検出信号端子714側に偏っていたとしても、濡れ広がった銀ペースト8は、複数の溝512のうちの検出接地端子724側に位置する溝512512a内に入り込み、それ以上、検出信号端子714側へ濡れ広がらない。同様に、検出信号端子714に対応する銀ペースト8の塗布位置が検出接地端子724側に偏っていたとしても、濡れ広がった銀ペースト8は、複数の溝512のうちの検出信号端子714側に位置する溝512512b内に入り込み、それ以上、検出接地端子724側へ濡れ広がらない。このように、検出接地端子724と検出信号端子714との間に複数の溝512を設けることにより、隣り合う銀ペースト8同士の接触を防止することができる。また、前述したように、各溝512の振動体4側の端512bは、閉じている。そのため、この端によって、溝512内に溜まった銀ペースト8がそれ以上振動体4側へ流動するのが防止され、これにより、第1梁61に設けられている配線と銀ペースト8との接触が防止され、配線と銀ペースト8との短絡の発生を防止することができる。特に、前述したように、端512bと第1支持部51の側面縁との離間距離Lが3μm以上35μm以下である場合には、検出接地端子724と検出信号端子714の間をより明確に区切ることができ、例えば、溝512が設けられていない領域を伝って銀ペースト8同士が接触してしまうことを抑制することができる。また、前述したように、各溝512の振動体と反対側の端512aは、第1支持部51の側面に開放している。そのため、溝512によって、検出接地端子724と検出信号端子714の間が明確に区切られ、例えば、溝512が設けられていない領域を伝って銀ペースト8同士が接触してしまうことを防止することができる。そのため、銀ペースト8同士の接触を確実に防止することができる。また、複数の溝512を設けることにより、次のような効果を発揮することもできる。すなわち、複数の溝512を設けることにより、領域S4を他の部分よりも柔軟とすることができ、応力を吸収または緩和する緩衝部として機能させることができる。領域S4に含まれる第1梁61との接合部51aは、応力集中が起きやすい部分であるため、接合部51aに発生する応力を領域S4にて効果的に吸収または緩和することができる。そのため、ジャイロ素子2の破損を効果的に抑制することができる。また、ジャイロ素子2振動片3の構成材料と、底板911の構成材料とが異なっているため、振動デバイス1が昇温すると、導電性固定部材8を介して、熱膨張率の差から振動片3に応力が発生する。具体的には、底板911の熱膨張率が振動片3の熱膨張率よりも大きい場合には、第1、第2支持部51、52をx軸方向に伸長しようとする応力が加わり、底板911の熱膨張率が振動片3の熱膨張率よりも小さい場合には、第1、第2支持部51、52をx軸方向に収縮しようとする応力が加わる。このような応力を複数の溝512が設けられている領域S4によって吸収または緩和することができるため、ジャイロ素子2の不本意な歪みを抑制でき、ジャイロ素子2の検出精度の低下を防止することができる。ここで、xy平面視にて、接続パッド10の輪郭は、複数の溝512が設けられている領域S4の一部と重なり合っているのが好ましい。これにより、複数の溝512を、目盛り目印として使用することができるため、ジャイロ素子2振動片3の底板911に対する位置決めをより正確に行うことができる。<第2実施形態>次に、本発明の振動デバイスの第2実施形態について説明する。図8は、本発明の第2実施形態にかかる振動デバイスが有するジャイロ素子の部分拡大図である。以下、第2実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。本発明の第2実施形態にかかる振動デバイスは、ジャイロ素子が有する溝の構成が異なる以外は、前述した第1実施形態と同様である。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、複数の溝512、複数の溝514、複数の溝522、複数の溝524は、互いに同様の構成であるため、以下では、複数の溝512について代表して説明する。図8に示すように、複数の溝512のうち、検出信号端子714側に位置する溝512’は、その一端512b’が第1支持部51の側面に開放するとともに、検出信号配線712と接触している。また、複数の溝512のうち、検出接地端子724側に位置する溝512は、その一端512bが第1支持部51の側面に開放するとともに、検出端子配線722と接触している。このような構成とすることにより、検出信号端子714と検出接地端子724の間をy軸方向の全域にわたって複数の溝512特に、溝512’、512によって仕切ることができる。そのため、銀ペースト8同士の接触を確実に防止することができる。また、仮に、検出信号端子714に対応する銀ペースト8が溝512’内に流入しても、その銀ペースト8は、検出信号配線712と接触することとなるため、銀ペースト8による短絡は、発生しない。同様に、検出接地端子724に対応する銀ペースト8が溝512内に流入しても、その銀ペースト8は、検出接地配線722と接触することとなるため、銀ペースト8による短絡は、発生しない。このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。以上のような振動デバイス1は、各種電子機器に組み込むことができる。振動デバイス1を組み込んだ本発明の電子機器としては、特に限定されないが、パーソナルコンピューター例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置例えば、インクジェットプリンター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳通信機能付も含む、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラ、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、医療機器例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡、魚群探知機、各種測定機器、計器類例えば、車両、航空機、船舶の計器類、フライトシュミレータ、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、PDR歩行者位置方位計測等に適用することができる。以上、本発明の振動子および振動デバイスを図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。また、本発明の振動デバイスは、前記各実施形態のうち、任意の2以上の構成特徴を組み合わせたものであってもよい。