アクチュエータの作動に伴う弁棒の移動により弁本体内の流体通路が開閉される自動弁に設置される自動弁用開度検知装置において、自動弁に着脱可能に取り付けられるベース部材と、弁棒とともに移動する変位センサと、変位センサによって検出される傾斜状の検知面を有するターゲットとを備えており、ターゲットがベース部材に固定され、変位センサが移動可能にベース部材に支持されていることを特徴とする自動弁用開度検知装置。変位センサは、センサ支持部材を介して弁棒に支持され、センサ支持部材は、案内手段を介してベース部材に支持されており、案内手段は、ベース部材に立設された案内軸と、センサ支持部材に設けられて案内軸に挿通される案内軸挿通孔とを有しており、センサ支持部材が案内軸に案内されて弁棒と一体で移動するようになされていることを特徴とする請求項1の自動弁用開度検知装置。自動弁は、弁棒上端部がケーシングよりも上方に突出しているものとされて、弁棒上端部に、センサ支持部材の下端を受けるセンサ位置決め面が設けられており、センサ支持部材およびターゲットがベース部材に取り付けられ、ベース部材が弁棒上端部に着脱可能に取り付けられている請求項2の自動弁用開度検知装置。案内軸が1対とされて、その各上端部が連結部材に固定されており、ターゲットは、長方形の板状とされて、弁棒の移動方向に対して傾斜するように、その下端部がベース部材に、上端部が連結部材に取り付けられ、これにより、変位センサに対向する傾斜状の検知面が形成されている請求項2または3の自動弁用開度検知装置。センサ支持部材の案内軸挿通孔に、案内軸を案内する円筒状リニアブッシュが挿入されており、センサ支持部材を下方に付勢する圧縮コイルばねが案内軸に嵌め被せられていることを特徴とする請求項2から4までのいずれかに記載の自動弁用開度検知装置。センサ支持部材に、おねじ部材がその下端部をセンサ支持部材の下面から下方に突出するようにねじ合わされており、おねじ部材は、下端部が弁棒上端のセンサ位置決め面で受けられることで、弁棒と一体で上下移動可能とされている請求項3から5までのいずれかに記載の自動弁用開度検知装置。ベース部材に支持されて連結部材を支持する1対の支柱が設けられており、各支柱に、センサ支持部材に弾性力を作用させる付勢部材が設けられていることを特徴とする請求項4から6までのいずれかに記載の自動弁用開度検知装置。自動弁が樹脂製のダイヤフラムを弁体とするものとされ、流体通路の全閉位置における変位センサの出力信号の経時変化を求めて、これが所定値を超えた時に樹脂製のダイヤフラムの交換時期が来たことを知らせる弁体交換時期判定手段が設けられていることを特徴とする請求項1から7までのいずれかに記載の自動弁用開度検知装置。上記特許文献1の弁ストロークの連続監視装置この明細書において、自動弁用開度検知装置と称すは、自動弁を専用の形状に形成して、これに変位センサおよびターゲットをそれぞれ取り付けていく必要があり、既存の自動弁に適用できないという問題があり、また、配管施工時、交換時、メンテナンス時などに開度検知装置を組み込む作業が面倒という問題があり、また、組込み時に検出精度を確保することが困難という問題もあった。この発明の目的は、自動弁への組込み作業および組込み時の検出精度の確保が容易であり、既存の自動弁にも容易に適用することができる自動弁用開度検知装置を提供することにある。この発明による自動弁用開度検知装置は、アクチュエータの作動に伴う弁棒の移動により弁本体内の流体通路が開閉される自動弁に設置される自動弁用開度検知装置において、弁本体に着脱可能に取り付けられるベース部材と、弁棒とともに移動する変位センサと、変位センサによって検出される傾斜状の検知面を有するターゲットとを備えており、変位センサおよびターゲットがベース部材に支持されていることを特徴とするものである。自動弁としては、弁棒上端部がケーシングよりも上方に突出しているものが必要となる。また、弁棒上端部には、変位センサが取り付けられたセンサ支持部材の下端を受けるセンサ位置決め面が設けられていることが好ましい。このようにするには、例えば、弁棒の上端部を加工して平坦な面を形成したり、上端部に軸方向にのびるめねじ部が設けられている弁棒に平坦な頂面を有するおねじ部材をねじ込むようにすればよい。センサ位置決め面は、平坦な面に限定されるものではなく、センサ支持部材の下端を受けることができる面であれば、どのような面であってもよい。自動弁は、弁棒上端部がケーシングよりも上方に突出していること以外の構成については限定されるものではなく、通常、流体通路が設けられた弁本体と、弁本体の上方に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体と、上昇または下降することにより弁体を開または閉方向に移動させる弁棒と、弁棒を駆動するアクチュエータとを備えているものとされる。アクチュエータは、弁棒を上下移動させる駆動手段のことで、例えば、圧縮空気を利用したもの空圧式アクチュエータとされるが、ソレノイドを使用したもの電磁式アクチュエータまたはその他の駆動手段を利用したものであってもよい。傾斜状の検知面は、例えば、弁棒の軸方向移動方向に対して例えば1~10°程度傾斜した直線状の傾斜面とされるが、弁棒が移動した際に変位センサの計測値が変化するものであればよく、直線状の傾斜面に限定されるものではない。この開度検知装置を自動弁に取り付けるに際しては、変位センサおよびターゲットをベース部材に予め組み込んでおいてから、これを自動弁のケーシングの頂面に着脱可能に取り付ければよく、自動弁への組込み作業が容易に行える。また、変位センサおよびターゲットの位置決めが自動弁への組込み作業前にできるので、組込み時の検出精度の確保が容易となる。また、弁棒上端部がケーシングよりも上方に突出している自動弁であれば、この自動弁用開度検知装置の設置が可能であるので、既存の自動弁にも容易に適用することができる。自動弁は、弁棒上端部がケーシングよりも上方に突出しているものとされて、弁棒上端部に、センサ支持部材の下端を受けるセンサ位置決め面が設けられており、センサ支持部材およびターゲットがベース部材に取り付けられ、ベース部材が弁棒上端部に着脱可能に取り付けられていることが好ましい。変位センサとしては、例えば、平面コイル、発振回路および積算回路を有し、対向する導電体との距離変化に応じて発振周波数が変化し、この周波数を積算回路で積算値に変換してデジタル出力するもの非接触磁気センサとされるが、これに限定されるものではない。弁棒の移動上下移動に伴って、変位センサが上下移動することで、変位センサと傾斜状検知面との距離が変化し、これを弁棒の上下移動距離に換算することで、流体通路の開度を検知することができる。変位センサは、センサ支持部材を介して弁棒に支持され、センサ支持部材は、案内手段を介して上下移動可能にベース部材に支持されることが好ましい。案内手段は、例えば、センサ支持部材を介して対向するようにベース部材に立設された案内軸と、センサ支持部材に設けられかつ各案内軸に挿通される案内軸挿通孔とを有しており、センサ支持部材が案内軸に案内されて弁棒と一体で移動するようになされているものとされる。なお、案内軸は、2本で1対になるように配置することが好ましいが、摺動等に問題がなければ、1本でも2本以上でもよい。このようにすると、センサ支持部材がベース部材に対して上下移動する際に、傾いたり引っ掛かったりすることがなく、スムーズなセンサ支持部材変位センサの移動が確保され、検知精度に優れたものとなる。また、案内軸が1対とされて、その各上端部が連結部材に固定されており、ターゲットは、長方形の板状とされて、弁棒の移動方向に対して傾斜するように、その下端部がベース部材に、上端部が連結部材に取り付けられ、これにより、変位センサに対向する傾斜状の検知面が形成されていることがある。このようにすると、ターゲット自体を特殊な形状に加工する必要がなく、加工の手間および部品コストが低減される。ターゲットは、ベース部材に立設された四角柱状体とされて、変位センサに対向する面が傾斜面とされたものであってももちろんよい。ターゲットの上端部の連結部材への取付け位置およびターゲットの下端部のベース部材への取付け位置は、調整可能とされていることが好ましい。このようにするには、例えば、ターゲットは、上下に長い長方形板状本体を有しており、本体の上下端部に、内周にめねじが形成された円筒状とされて本体に対して相対回転可能な上下回転軸が挿通されており、べース部材および連結部材にそれぞれターゲット収納用凹部が設けられて、ターゲットは、その上端部が連結部材のターゲット収納用凹部に嵌められて、調整ねじによって連結部材に取り付けられ、調整ねじには、ターゲット収納用凹部の底面とターゲットとで受けられている圧縮コイルばねが巻装されており、ターゲットの上端部は、この圧縮コイルばねの付勢力に抗して移動させることで、位置調整が可能となっており、ターゲットの上端部は、連結部材に設けられた長孔から止めねじを挿通して上側回転軸にねじ合わせることで連結部材に固定され、ターゲットの下端部は、ベース部材に設けられた長孔から止めねじを挿通して下側回転軸にねじ合わせることでベース部材に固定されているものとされる。また、センサ支持部材の各案内軸挿通孔に、案内軸を案内する円筒状リニアブッシュが挿入されており、センサ支持部材を下方に付勢する圧縮コイルばねが各案内軸に嵌め被せられていることが好ましい。リニアブッシュは、軌道溝が設けられた案内軸に対して相対的に直線移動可能に組み付けられる外筒と、案内軸の軌道溝と外筒に設けられた軌道溝との間に設けられた複数のボールとを備えているもので、複数のボールが転動することによって円滑な相対移動が確保される。案内軸とリニアブッシュとの隙間は、両者間のガタをなくすために極力小さいものとされ、ボールが内部で転動するリニアブッシュが使用されることで、案内軸に対するセンサ支持部材の相対移動がガタ無くかつスムーズなものとなる。そして、圧縮コイルばねがリニアブッシュを押えることで、センサ支持部材全体が常に下方に付勢され、センサ支持部材のガタも防止される。センサ支持部材に、おねじ部材がその下端部をセンサ支持部材の下面から下方に突出するようにねじ合わされており、おねじ部材は、下端部が弁棒上端のセンサ位置決め面で受けられることで、弁棒と一体で上下移動可能とされていることがある。このようにすると、おねじ部材の軸線を基準として、センサ支持部材を位置決めすることができ、センサ支持部材の位置決めが容易となる。ベース部材に支持されて連結部材を支持する1対の支柱が設けられており、各支柱に、センサ支持部材に弾性力を作用させる付勢部材が設けられていることがある。センサ支持部材変位センサがターゲットに対して移動する際にがたつくと、精度が低下する。ターゲットは、その下端部がベース部材に、上端部が連結部材に取り付けられているので、ベース部材に支持されて連結部材を支持する1対の支柱を使用し、各支柱に設けられた付勢部材によってセンサ支持部材に弾性力を作用させることで、ターゲットと変位センサとの間の距離が安定し、検知精度がより一層向上する。この発明の自動弁用開度検知装置には、プログラムに応じた所定の処理を実行するCPUが設けられて、CPUと内蔵メモリにより、全開から全閉の変位値を記憶、直線補正をすることが好ましく、これにより、弁のばらつきを吸収することができる。また、LED表示灯を取り付けることで弁の動作状況を視認することもできる。また、自動弁が樹脂製のダイヤフラムを弁体とするものとされ、流体通路の全閉位置における変位センサの出力信号の経時変化を求めて、これが所定値を超えた時に樹脂製のダイヤフラムの交換時期が来たことを知らせる弁体交換時期判定手段が設けられていることが好ましい。弁体交換時期判定手段は、所要のプログラムとされて、CPUに設置される。樹脂製例えばPTFE製のダイヤフラムは、通常、バックアップゴムとの2層構造とされ、開閉が繰り返されることで、経時変化バックアップゴムがへたってくるし、シール性能が悪化し、さらに、使用を続けた場合には、破損することになる。開度を検知することで、ダイヤフラムの経時変化バックアップゴムのへたりは、閉位置の変動バックアップゴムのへたりに伴って閉位置が下に下がるとして現れることから、これを自動弁用開度検知装置で自動診断し、ダイヤフラム交換のアラームを出すことで、ダイヤフラムの交換を適切な時期に行うことが可能となる。なお、この明細書において、上下は、自動弁の弁棒の弁体に近い側を上として、これと反対側を下というものとするが、この上下は、便宜的なものであり、自動弁は、上下を逆にして設置されることもあり、また、水平面だけでなく、垂直面に設置されることもある。この発明の自動弁用開度検知装置によると、自動弁に着脱可能に取り付けられるベース部材と、弁棒とともに移動する変位センサと、変位センサによって検出される傾斜状の検知面を有するターゲットとを備えており、ターゲットがベース部材に固定され、変位センサが移動可能にベース部材に支持されているので、変位センサおよびターゲットをベース部材に予め組み込んでおいてから、これを自動弁に取り付ければよく、自動弁への組込み作業が容易であり、また、変位センサおよびターゲットの位置決めが自動弁への組込み作業前にできるので、組込み時の検出精度の確保が容易となる。また、弁棒上端部がケーシングよりも上方に突出している自動弁であれば、この自動弁用開度検知装置の設置が可能であるので、既存の自動弁にも容易に適用することができる。この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。図1は、この発明による自動弁用開度検知装置を有する流体制御器を示しており、流体制御器は、空圧式アクチュエータによって流体通路が開閉される自動弁と、自動弁の頂部に設置された自動弁用開度検知装置とからなる。自動弁は、流体流入通路および流体流出通路が設けられた弁本体と、弁本体の上方にボンネットを介して取り付けられたケーシングと、ボンネットおよびケーシング内に上下移動可能に配置された弁棒と、流体流入通路と流体流出通路との境界部分に設けられた弁座と、弁座に押圧または離間されて流体通路を開閉するダイヤフラムと、弁棒下端部に固定されるとともにダイヤフラムと連結されたコンプレッサーと、弁棒の中間部に固定されたピストンと、ピストンを下向きに付勢する圧縮コイルばね弾性部材と、ボンネットの頂壁、ピストンおよびケーシングの周壁の下端部によって形成された操作エア導入室とを備えている。自動弁の構成は、公知のものであり、ピストン、操作エア導入室などによって、空圧式アクチュエータが構成されている。ダイヤフラムは、樹脂製例えばPTFE製であり、コンプレッサーに接する側のバックアップゴムとの2層構造とされている。この自動弁によると、操作エア導入室に圧縮空気が導入されていない図1に示す状態では、圧縮コイルばねで付勢されることで弁棒が下方に位置させられており、ダイヤフラムが弁座に当接することで流体通路が閉とされており、操作エア導入室に圧縮空気が導入されると、これによってピストンに上向きの力が作用し、弁棒が上方に移動することで、流体通路が開の状態が得られる。開度検知装置は、自動弁の流体通路の開度を数値化して外部に取り出すもので、ベースプレートベース部材と、ベースプレートに上下移動可能に支持された変位センサと、変位センサに対向するようにベース部材に傾斜状態で固定されたターゲットと、これらを覆うキャップとを備えている。変位センサおよびターゲットは、いずれもベースプレートに保持されており、このベースプレートが自動弁のケーシングの頂壁に着脱可能に取り付けられている。キャップの頂壁には、流体通路の開閉状態を示す青色LED表示灯と、異常を示す赤色LED表示灯とが取り付けられている。変位センサは、例えば、非接触磁気センサとされ、弁棒の上下移動に伴って、変位センサが上下移動することで、変位センサとターゲットの検知面との距離が変化し、これを弁棒の上下移動距離に換算することで、流体通路の開度を検知することができる。以下では、図2から図6までを参照して、この発明による自動弁用開度検知装置の第1実施形態の詳細な構成を説明する。以下の説明において、図2の左右を左右というものとし、図4の右を前、左を後というものとする。なお、図4は、図1の開度検知装置を拡大した断面図であり、図2は、図4に直交する方向の断面図、図3は、図2に対応する平面図、図5は、図4が流体通路開の状態を示しているのに対し、流体通路閉の状態を示す断面図である。開度検知装置は、弁棒上端部挿通用の貫通孔を中央部に有し自動弁のケーシングの頂面に着脱可能に取り付けられるベースプレートベース部材と、弁棒とともに上下移動するセンサ支持部材と、センサ支持部材の上下移動を案内する案内手段と、センサ支持部材に取り付けられた変位センサと、変位センサに対向するようにベースプレートの後部に固定され変位センサによって検出される傾斜状の検知面を前面に有するターゲットと、ターゲットにセンサ支持部材を介して前後に対向するようにベースプレートに支持された1対の支柱と、1対の支柱に支持されかつターゲットの上端部が取り付けられているアッパプレート連結部材と、青色LED表示灯および赤色LED表示灯が設けられた頂壁を有しベースプレートに固定された円筒状のキャップとを備えている。ベースプレートは、その左右縁部がキャップの周壁下端から露出する大きさとされており、アッパプレートは、キャップ内に収容可能な大きさとされている。弁棒上端部は、自動弁のケーシングよりも上方に突出しており、平坦な頂面を有しているおねじ部材がねじ合わされていることで形成されており、この頂面がセンサ支持部材の下端を受けるセンサ位置決め面とされている。センサ支持部材は、左右に長い略直方体状とされて、左右長さ方向の中央部に変位センサが配置されている。センサ支持部材の中央部には、おねじ部材がその下端部をセンサ支持部材の下面から突出するようにねじ合わされている。センサ支持部材の左右両側には、おねじ部材変位センサが配置されている部分を挟むようにして、センサ支持部材を上下方向に貫通する1対の案内軸挿通孔が設けられている。センサ支持部材は、おねじ部材の下端が弁棒上端の平坦な頂面で受けられることで、弁棒と一体で上下移動可能とされている。案内手段は、センサ支持部材を介して左右に対向するようにベースプレートとアッパプレートとの間に渡し止められた1対の案内軸と、センサ支持部材に設けられた上記の1対の案内軸挿通孔とによって形成されている。各案内軸は、ベースプレートおよびアッパプレートに対して垂直となるように上下方向にのびており、各案内軸挿通孔にそれぞれ挿通されて、その下端部がベースプレートの上面に設けられた凹所に嵌め入れられている。各案内軸の上端部は、アッパプレートの下面に設けられた凹所に嵌め入れられており、アッパプレートは、1対の案内軸の上端部同士を連結する連結部材の機能を有している。こうして、1対の案内軸がベースプレートに立設されて、センサ支持部材が1対の案内軸に案内されて弁棒と一体で上下移動するようになされている。これにより、センサ支持部材がベースプレートに対して上下移動する際に、傾いたり引っ掛かったりすることがなく、スムーズなセンサ支持部材および変位センサの移動が確保されている。センサ支持部材の各案内軸挿通孔には、案内軸を案内する円筒状リニアブッシュが挿入されており、圧縮コイルばねが各案内軸の上部に嵌め被せられて、その上端がアッパプレート下面で受けられ、その下端がリニアブッシュ上面で受けられている。支柱は、ターゲットにセンサ支持部材を介して対向するようにベースプレートの前部に左右1対設けられている。支柱は、垂直状とされて、その下端部に設けられたおねじ部がベースプレート上面に設けられためねじ部にねじ合わされ、その上端部がアッパプレートにボルト図3参照によって固定されることで、アッパプレートを支持している。ターゲットは、上下に長い長方形板状本体を有しており、本体の上下端部にはこれを左右方向幅方向に貫通する回転軸挿通孔が設けられて、各回転軸挿通孔に、本体に対して相対回転可能な上下回転軸が挿通されている。上下回転軸は、いずれも内周にめねじが形成された円筒状とされている。アッパプレートの後部の中央部には、後方に開口するターゲット収納用凹部が設けられている。ベースプレートの後部の中央部にも、後方に開口するターゲット収納用凹部が設けられている。ターゲットの本体上端部の左右方向中央部および上側回転軸の左右方向中央部には、これらを前後方向に貫通する調整ねじ挿通孔が設けられ、アッパプレートのターゲット収納用凹部の底面の中央部には、前後方向にのびる調整ねじ用めねじ部が設けられており、ターゲットは、その上端部がアッパプレートのターゲット収納用凹部に嵌められて、前後方向の調整ねじによってアッパプレートに取り付けられている。調整ねじには、ターゲット収納用凹部の底面とターゲットの前面とで受けられている圧縮コイルばねが巻装されており、ターゲットの上端部は、この圧縮コイルばねの付勢力に抗して前後方向に移動させることで、前後方向の位置調整が可能となっている。ターゲットの下端部は、ベースプレートのターゲット収納用凹部に嵌め入れられている。ターゲットの上端部は、アッパプレートの左右側面からターゲット収納用凹部の左右側面までのびる前後に長い長孔から止めねじを挿通して上側回転軸にねじ合わせることでアッパプレートに固定され、ターゲットの下端部は、ベースプレートの左右側面からターゲット収納用凹部の左右側面までのびる前後に長い長孔から止めねじを挿通して下側回転軸にねじ合わせることでベースプレートに固定されている。アッパプレートに設けられた長孔およびベースプレートに設けられた長孔により、ターゲットの上端部および下端部の前後方向位置が調整可能とされ、これにより、ターゲットの検知面の傾斜角度が調整可能とされるとともに、センサ支持部材の上下移動時に変位センサとターゲットの検知面とが干渉することが防止可能とされている。こうして、ターゲットは、弁棒の移動方向に対して傾斜するように、その下端部がベースプレートに、上端部がアッパプレートに取り付けられている。これにより、検知面を別途加工することなく、変位センサに対向する傾斜状の検知面がターゲットに形成されている。図6に示すように、開度検知装置は、データ処理を行う基板CPUをさらに有しており、基板には、24Vの直流電源を供給するための電源回路と、変位センサの計測値を処理する制御回路とが組み込まれている。制御回路は、内蔵されているプログラムに応じた所定の処理を実行して、弁棒の上下移動量ストロークをアナログ信号として出力するとともに、全開位置および全閉位置の検出結果を出力する。この開度検知装置によると、弁棒が上下移動すると、ベースプレートに固定されたターゲットに対して変位センサが上下移動することで、ターゲットの検知面との距離が変化し、この距離の変化が変位センサによって計測される。したがって、この変位センサの計測値を検知面の角度を用いて弁棒の移動量に換算することで、弁棒の上下移動量流体通路の開度を連続的に検出することができる。開度検知装置には、全閉位置全開位置を設定するための手動スイッチが設けられており、流体通路の開度については、開度検知装置を自動弁に取り付けた状態配管施工後、パッキン交換時、メンテナンス時などで、弁棒を全閉位置に操作して、開度0のポイントを設定し、さらに、弁棒を全開位置に操作して、開度100のポイントを設定する。そして、制御回路および内蔵メモリにより、全開から全閉の変位値を記憶、直線補正をすることにより、ばらつきを吸収することができる。開度検知装置は、正常作動時には、全閉または全開であることを表示する青色LED表示灯を点灯させるとともに、異常時には、アラーム出力を行って、赤色LED表示灯を点灯させる。制御回路には、流体通路の全閉位置における変位センサの出力信号の経時変化を求めて、これが所定値を超えた時に樹脂製のダイヤフラムの交換時期が来たことを知らせるプログラム弁体交換時期判定手段が内蔵されており、流体通路の開度の判定までが実施される。樹脂製のダイヤフラムは、開閉操作が繰り返されることで、経時変化バックアップゴムがへたってくるし、シール性能が悪化し、さらに、使用を続けた場合には、破損することになる。ダイヤフラムの経時変化バックアップゴムのへたりは、閉位置の変動バックアップゴムのへたりに伴って閉位置が下に下がるとして現れることから、これを開度検知装置で自動診断し、ダイヤフラム交換のアラームを出すことで、ダイヤフラムの適切なタイミングでの交換が可能となる。ダイヤフラムの寿命は、プロセスの条件温度、圧力、開閉速度、開閉回数により異なるため、その予測が困難であり、使用可能期間を設定しておいて、一定期間使用後にダイヤフラムを交換していたのでは、使用可能であっても交換することになったり、交換が遅れてダイヤフラムが破損する可能性があり、開度を検知して、これに基づいて、ダイヤフラムの交換を行うことにより、ダイヤフラムが破損する前に無駄のない交換が可能となる。上記の開度検知装置は、予め組み立てられ、自動弁の弁棒上端部におねじ部材がねじ合わされた後、ベースプレートに設けられたボルト挿通孔およびケーシングに設けられたねじ孔を使用してボルトによってケーシングに着脱可能に取り付けられる。また、開度検知装置組み立てるには、まず、センサ支持部材を案内する1対の案内軸の各下端部をベースプレートに設けられた案内軸挿入用凹所に嵌め入れて、さらに、1対の支柱の下端部に設けられたおねじ部をベースプレートに設けられためねじ部にねじ込み、次いで、変位センサが取り付けられたセンサ支持部材を1対の案内軸に嵌めて、リニアブッシュおよび圧縮コイルばねを配置し、次いで、アッパプレートを1対の支柱の上端部にボルトで固定し、次いで、上下回転軸を嵌め入れたターゲットを調整ねじによってアッパプレートに取り付け、次いで、アッパプレートの長孔およびベースプレートの長孔を使用して、止めねじによってターゲットを変位センサに干渉しないように固定する。図7および図8に、この発明による自動弁用開度検知装置の第2実施形態を示す。同図において、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付し、その説明を省略する。図7および図8に示すように、この実施形態では、各支柱に、センサ支持部材に弾性力を作用させるL字状板ばね付勢部材が設けられている。各板ばねは、その水平部分が支柱の上端面とアッパプレートの下面とで挟持され、水平部分に対して屈曲する部分が支柱とセンサ支持部材との間を下方に延びている。板ばねは、フリー状態において、垂直に対し下端がセンサ支持部材側に位置する傾斜状態とされており、センサ支持部材に当接することで、センサ支持部材に弾性力を及ぼすようになっている。この実施形態において、センサ支持部材が弁棒と一体で移動する可動部材となっており、ベースプレート、ターゲット、支柱およびアッパプレートは、固定部材となっている。ここで、センサ支持部材が移動する際に、ねじ合わせ部分のがたつきなどによってターゲットに対する変位センサの位置が変化する可能性があるが、これが板ばねによって抑えられる。こうして、この第2実施形態によると、ターゲットと変位センサとの間の距離が安定し、検知精度がより一層向上する。なお、この発明による自動弁用開度検知装置は、樹脂製のダイヤフラムの交換時期が来たことを知らせる弁体交換時期判定手段を有していることで、樹脂製のダイヤフラムを有する自動弁に特に好適なものであるが、弁体交換時期判定手段は付加的なものであり、この発明による自動弁用開度検知装置は、金属製のダイヤフラムを有する自動弁やその他の種々の構成の自動弁に対しても好適に使用することができる。