帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先部とを備えるプローブであって、該プローブの一方の面は該面を部分的に覆う絶縁膜により覆われており、他方の面はその全面が露出面であることを特徴とする、プローブ。前記絶縁膜は、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成する、請求項1に記載のプローブ。前記絶縁膜は点状に分散された絶縁膜領域を構成する、請求項1に記載のプローブ。支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含み、隣接するプローブの互いに対向する面のうち、一方の面は、該面を部分的に覆う絶縁膜により、覆われており、他方の面はその全面が露出面であることを特徴とする、プローブ組立体。さらに、前記支持体の縁部に前記支持バーの長手方向に沿って配置される一対のスリットバーであって該スリットバーの長手方向に相互に間隔をおきかつそれぞれが下方に開放し、対応する前記プローブの前記針先部をその針先がスリットバーから突出するように受け入れる複数のスリット溝を有するスリットバーを含む、請求項4に記載のプローブ組立体。そこで、本発明の目的は、狭配列ピッチに好適なプローブ組立体のためのプローブおよびプローブの取り換えが可能でありかつ狭配列ピッチに適したプローブ組立体を提供することにある。本発明に係るプローブは、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先部を備え、プローブの一方の面には、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、前記プローブの他方の面には、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とする。本発明に係るプローブの一方の面は、その全面にわたって絶縁膜で覆われることはなく、部分的に覆われ、その他の領域が前記絶縁膜から露出している。また、他方の面は、同様に、その全面にわたって絶縁膜で覆われることはなく、部分的に覆われ、その他の領域が前記絶縁膜から露出ている。しかも、前記他方の面の絶縁膜は、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を覆うように形成されている。そのため、本発明に係る前記プローブの両面のいずれか一方の面のみが、その全面にわたって絶縁膜で覆われることがない。したがって、前記絶縁膜によって前記プローブに反り返りが生じるほどに強い表面応力が前記プローブのいずれか一方の面に作用することはなく、この絶縁膜による前記プローブの反り返りを防止してプローブの電気的短絡を防止することが可能になる。しかも、前記したように、前記他方の面の絶縁膜は、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を覆うように形成されていることから、前記一方の面および他方の面を有する複数のプローブのうち、一のプローブの前記一方の面と他のプローブの前記他の面とを対向させるように近接して配置することにより、両プローブの対向面に形成された各絶縁膜を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができる。その結果、両プローブ間に実質的に単一の前記絶縁膜の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブを重ね合わせることができるので、両プローブ間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。前記プローブの一方の面の一半を覆って絶縁膜を形成し、またその他方の面の他半を覆って絶縁膜を形成することができる。これにより、前記プローブの取付け部の一方の面に該面の一半を覆う絶縁膜領域を構成し、その一方の面の他半に対応する前記他方の面に該面の他半を覆う絶縁膜領域を構成することができる。前記絶縁膜により、前記一方の面の一半および前記一方の面の他半に対応する前記他方の面の他半のそれぞれに、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔を置きかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の絶縁膜領域を構成することができる。また前記絶縁膜により、前記一方の面に、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成し、前記他方の面に前記一方の面の前記絶縁膜領域間に対応する領域で前記取付け部の幅寸法に沿って伸びる帯状絶縁膜領域を構成することができる。また、前記したように両面に絶縁膜を形成することに代えて、前記一方の面を絶縁膜により部分的に覆い、他方の面の全面を露出面とすることができる。この場合、前記一方の面はその全面にわたって絶縁膜で覆われていないことから、その全面を絶縁膜で覆った場合のような反り返りが生じることはない。この場合、前記絶縁膜により、前記一方の面に、該取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成することができる。また、帯状の絶縁膜領域を形成することに代えて、前記一方の面上で点状に分散された絶縁膜領域を構成することができる。本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含み、隣接するプローブの少なくとも前記取付け部における互いに対向する面部分には、相互にずれた領域で該プローブの各対向面部分を部分的に覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とする。本発明に係る前記プローブ組立体によれば、隣接する両プローブの対向面に形成された各絶縁膜を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができるので、両プローブ間に実質的に単一の前記絶縁膜の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブを重ね合わせることができる。したがって、両プローブ間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。また、前記プローブは樹脂で全体的に一体化されておらず、個々の前記プローブが支持バーで取り外し可能に支持されていることから、例えば欠損したプローブを正常なそれに容易に取り替えることができる。このプローブ組立体においても、隣接するプローブの対向する一方の面を絶縁膜で部分的に覆い、また他方の面の全面を露出面とすることができる。前記支持体の縁部に前記支持バーの長手方向に沿って配置される一対のスリットバーを配置し、該スリットバーの長手方向に相互に間隔をおきかつそれぞれが下方に開放し、対応する前記プローブの前記針先部をその針先がスリットバーから突出するように受け入れる複数のスリット溝を形成することができる。このスリットバーの配置により、隣接するプローブの針先部分の直接的な短絡を確実に防止することができる。したがって、この場合、プローブの両面における針先部分での絶縁膜の形成を不要とすることができる。本発明によれば、前記したように、プローブに反り返りが生じるほどに強い表面応力が絶縁膜によってプローブに作用することが無いので、この絶縁膜による前記プローブの反り返りを確実に防ぐことができる。また、この絶縁膜の領域が隣接するプローブ間での電気的短絡を確実に防止する。さらに隣接するプローブの互いに対向する面に重複して絶縁膜領域が形成されることがない。したがって、隣接するプローブ間に実質的に単一の絶縁膜の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブを取り替え可能に重ね合わせることができるので、狭ピッチでのプローブの配置が可能となる。図1には、本発明に係る多数のプローブ組立体10を組み込んだ検査装置12の平面図が示されている。図1は、矩形の液晶表示パネル14の通電試験に用いられる検査装置12の例を示す。検査装置12は、液晶表示パネル14の外形に相似のこれよりも小さな矩形開口16aが設けられた検査台16を有する。液晶表示パネル14は、検査台16の矩形開口16aを通して背面よりバックライト光の照射を受けるように、矩形開口16aを覆って検査台16上に配置される。検査台16上には、その矩形開口16aの一方の長辺および一方の短辺のそれぞれに沿って伸びるプローブベース1818a、18bが配置されており、各プローブベース18上には、液晶表示パネル14の表面の縁部に整列して配置された多数の電極パッド図示せずに電気的に接続可能のプローブ組立体10が支持機構20を介してそれぞれ支持されている。各支持機構20は、図2に示すように、それぞれのプローブ組立体10に設けられた後述する多数のプローブ22の針先を液晶表示パネル14へ向けて突出させるように、対応するそれぞれのプローブ組立体10を取り外し可能に支持する。これにより、各プローブ組立体10のプローブ22は、その針先を液晶表示パネル14の縁部に配列されたそれぞれに対応する前記電極パッドに接触するように、各支持機構20を介して液晶表示パネル14へ向けて下降可能に保持される。この支持機構20と同様な支持機構の構成は、例えば特開2004-191064号公報に記載されている。各支持機構20により支持されるプローブ組立体10は、図2および図3に示されているように、支持機構20により着脱可能に取り付けられるプローブブロック24と、該プローブブロックの下方に配置される多数の前記プローブ22とを備える。また、プローブ組立体10は、図3に示すように、プローブ22をプローブブロック24に支持するための一対の支持バー2626a、26bと、支持体たる前記プローブブロック24の下面24aに設けられる一対のスリットバー2828a、28bとを備える。プローブブロック24は、絶縁膜で被覆された金属材料で構成されている。また、一対のスリットバー2828a、28bはセラミックのような絶縁材料で構成されている。支持バー2626a、26bも、従来におけると同様に、棒状のセラミックのような絶縁材料で構成されている。プローブブロックすなわち支持体24の下面24aは、全体に矩形形状を有し、その前縁である一辺30aが液晶表示パネル14上で該液晶表示パネル14の縁部に沿って配置されている。一方のスリットバー28aは、支持体24の下面24aの前縁30aに沿って配置されており、該スリットバーの上面で支持体24の下面24aに固定されている。また他方のスリットバー28bは、前記一方のスリットバー28aから間隔を置くように、支持体24の下面24aの後縁30bに沿って配置され、その上面で支持体24の下面24aに固定されている。各スリットバー28a、28bのそれぞれの下面には、プローブ22の個数に一致した数のスリット溝32a、32bが、各スリットバー28a、28bの長手方向に相互に間隔を置いて、形成されている。各スリット溝32a、32bは、対応するスリットバー28a、28bをその幅方向へ横切って伸び、下方にそれぞれ開放する。一対のスリットバー28a、28bの対応するスリット溝32a、32bは、対応するプローブ22を受け入れるべく相互に整列して配置されている。支持体24の下面24aの下方に配置される各プローブ22は、図3に示されているように、その長手方向へ一様な幅寸法Wを有し中央領域として作用する帯状の取付け部34と、該取付け部の先端および後端からそれぞれさらに先方および後方へ伸長する帯状の一対の針先部3636a、36bとを備える板状の導電部材からなる。各プローブ22の取付け部34には、一対の支持バー2626a、26bのための一対のガイド穴3838a、38bが形成されている。一対のガイド穴3838a、38bは、取付け部34の長手方向へ相互に間隔をおいて配置され、それぞれが取付け部34を貫通すべく該取付け部の両端部に形成されている。各一方の針先部36aは、取付け部34の長手方向の一端における下縁部から前方へ伸長し、また各他方の針先部36bは、取付け部34の他端における上縁部から後方へ伸長する。各針先部3636a、36bは、取付け部34の幅寸法Wよりも小さな幅寸法を有する。プローブ22は、それらの一方の針先部36aが一方のスリットバー28aの対応するスリット溝32aに受け入れられ、またそれらの他方の針先部36bが他方のスリットバー28bの対応するスリット溝32bに受け入れられるように、支持体24の下面24aから間隔をおいて該下面の下方に配置される。これらのプローブ22は、各取付け部34の幅寸法Wの方向が上下方向となるように、相互に間隔をおいて並列的に揃えられており、また各取付け部34の各ガイド穴38a、38bが整列する。整列した各ガイド穴3838a、38bには、対応する各支持バー2626a、26bが貫通する。各支持バー2626a、26bは、その両端で、支持体24の両側に固定される一対のサイドカバー40図2参照に支持されている。これにより、各プローブ22は、スリットバー2828a、28bと平行に配置された各支持バー2626a、26bを介して、支持体24の下側に所定の姿勢で保持されている。プローブ22の前記他方の針先部36bは、該針先部の後端に形成された後方の針先42bをスリットバー28bから支持体24の後方へ突出させる。この後方の針先42bは、支持機構20に支持された支持ブロック44の下面に固定された回路板46の対応する接続パッドに接続されることから、各プローブ22は、回路板46を経て図示しないテスタ本体に接続される。針先42bは、図示の例では、回路板46への誤接触を防止するためのガイドフィルム48の穴48aを経て前記接続パッドに接続されている。プローブ22の前記一方の針先部36aは、該針先部の先端に形成された前方の針先42aをスリットバー28aの前方からその下方へ突出させる。また、図示の例では、スリットバー28aのスリット溝32aの後縁部には、平坦な段差面50aを規定する段部50が形成されている。また、段部50は、スリット溝32aの頂面よりも上方に位置する段差面50aを規定する。また、プローブ22の取付け部34と一方の針先部36aとの間には、前記段差面50aに対向する平坦な段差面52aを規定する段部52が形成されている。この両面50a、52aの当接状態では、スリット溝32aの前記頂面に針先部36aが当接することはなく、段差面50aを除く領域と、針先部36aとの間には間隔が保持された状態で、該針先部の針先42aがスリットバー28aの前縁より斜め下方へ突出して保持されている。したがって、プローブ組立体10の各プローブ22の前記一方の針先部36aが液晶表示パネル14の対応する前記電極パッドに押圧されると、各プローブ22の針先42aに作用する押圧力の少なくとも一部は、その針先部36aの段差面52aに対向するスリットバー28aの段部50の段差面50aで反力が担われることから、該段差面が剛的支点として作用する。また、各針先部36aは、スリット溝32aの前記頂部における段差面50aを除く領域に当接する迄、針先部36aにおける弾性変形が許される。これにより、各プローブ22は、この弾性変形量に応じたオーバドライブ力でもって、液晶表示パネル14の対応する前記電極パッドに押圧される。この剛的支点50aおよび段部52を不要とすることができる。しかしながら、一対の支持バー2626a、26bに作用するオーバドライブ力の軽減を図り、この支持バー2626a、26bの撓み変形に伴う針先42aのずれを防止するる上で、前記したような剛的支点を設けることが望ましい。本発明に係るプローブ組立体10が組み込まれた検査装置12では、各プローブ組立体10に設けられた各プローブ22の針先42aが液晶表示パネル14の対応する前記電極パッドに押圧される。このとき、各プローブ22は、弾性を伴う撓み変形を生じ、この撓み変形に応じたオーバドライブ力で対応する前記電極パッドに接続されることから、該各電極パッドはプローブ組立体10を経て前記テスタ本体に確実接続される。このとき、相互に隣接するプローブ22間での電気的短絡を防止するために、図4および図5に示すように、板状の各プローブ22の両面22a、22b図5参照には、該プローブの長手方向で見てその一半に位置する領域54aと、プローブ22の長手方向でみて前記一半と反対側に位置する他半に位置する領域54bとに絶縁膜56、58で覆われた絶縁膜領域が形成されている。なお、図4および図5および以下に示す各図面には、図面の簡素化のために図3では省略されていた容量低減用穴60a、60bが示されている。容量低減用穴60a、60bは、隣接するプローブ22間での静電容量の低減を図ることにより、パルス状信号の漏れによる隣接するプローブ22間でのクロストークを低減する。図4および図5を参照するに、各プローブ22の一方の面22aは、図示の例では、前方の針先42aを除き、該針先が形成される一方の針先部36aを含むプローブ22の長手方向に沿って見た一半54aが絶縁膜56により覆われている。この一方の面22aの他半54bは、絶縁膜56に覆われることはなく、したがって、後方の針先42bが形成された他方の針先部36bを含む他半54bが露出する。また、プローブ22の他方の面22bは、後方の針先42bを除き、該針先が形成される他方の針先部36bを含むプローブ22の長手方向に沿って見た他半54bが絶縁膜58により覆われている。この他方の面22bの一半54aは、絶縁膜58に覆われることはなく、したがって、前方の針先42aが形成された前記一方の針先部36aを含む一半54aが露出する。複数のプローブ22は、図5に示すように、それぞれの一方の面22aを他のプローブ22の他方の面22bに対向させて配置され、前記したとおり、ガイド穴3838a、38bを貫通する一対の支持バー2626a、26bを介して、支持体24に支持される。このとき、隣接する各プローブ22の一方の面22aの絶縁膜56で覆われた絶縁膜領域が、隣接する各プローブ22の他方の面22bの絶縁膜58からの露出領域に対向する。また、隣接する各プローブ22の一方の面22aの絶縁膜56からの露出領域が、隣接する各プローブ22の他方の面22bの絶縁膜58で覆われた絶縁膜領域に対向する。したがって、隣接するプローブ22は、面22aおよび面22bを互いに対向させて配置されるとき、それぞれの対向面22a、22bの互いにずれた領域54a、54bに絶縁膜56、58が位置することになる。これにより、前記プローブ組立体10によれば、隣接する両プローブ22の対向面22a、22bに形成された各絶縁膜56、58を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができるので、両プローブ22間に実質的に単一の前記絶縁膜56または58の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブ22を重ね合わせることができる。したがって、両プローブ22間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。この狭ピッチ化について、図5および図6の実施例では、プローブ22が例えば20μmの厚さ寸法を有し、絶縁膜56、58がそれぞれ10μmの厚さ寸法を有するとき、図5に示す配置ピッチPを約30μmとすることができる。また、プローブ22は、そのいずれか一方の面22aまたは22bのみがその全面にわたって絶縁膜56または58で覆われていないことから、該絶縁膜による表面応力差による大きな反り返り力がプローブ22に生じることはない。さらに、プローブ22は樹脂で全体的に一体化されておらず、個々のプローブ22が支持バー26a、26bで取り外し可能に支持されていることから、例えば欠損したプローブ22を正常なそれに容易に取り替えることができる。図6および図7に示すように、各スリットバー2828a、28bの隔壁32cおよび32d図3参照に対応する部分56a、58aを絶縁膜56または58から露出させることができる。図8には、他方のスリットバー28bと、プローブ22の他方の面22bの他半54bに形成された絶縁膜58から露出する部分58aとの関係が拡大して示されている。隣接するプローブ22の針先部36b間には、スリットバー28bの隔壁部32dが介在することから、該隔壁部に対応する領域58aの短絡が隔壁部32dにより防止されることから、この領域58aの絶縁膜を不要とすることができる。スリットバー28aの隔壁32cに対応する部分56a図6参照についても、同様に絶縁膜を不要とすることができる。また、一対のスリットバー2828a、28bが配置される場合、針先部3636a、36bの各絶縁膜56、58を不要とすることができる。しかしながら、プローブ22間のより確実な絶縁性を確保する上で、一方の面22aの一半54aおよび他方の面22bの他半54bを針先部3636a、36bを含めて、前記したように、各絶縁膜56、58で覆うことが望ましい。図9および図10に示す例では、プローブ22の一方の面22aの一半54aには、絶縁膜56からなる帯状の複数の絶縁膜領域が形成されている。また、他方の面22bの他半54bには、絶縁膜58からなる帯状の複数の絶縁膜領域が形成されている。帯状の各絶縁膜領域56、58は、取付け部34の長手方向へ相互に間隔を置いて形成され、それぞれが取付け部34の幅方向Wに伸長する。各絶縁膜56、58を帯状に形成することにより、絶縁膜56、58によってプローブ22に導入される表面応力の影響をより低減することができる。また、絶縁膜56、58の材料の使用量を低減することができる。プローブ22の一方の面22aの一半54aおよび他方の面22bの他半54bに絶縁膜56、58を集合的に形成することに代えて、図11および図12に示すように、一方の面22aおよび他方の面22bに帯状の絶縁膜56、58を取付け部34の長手方向へ均等に分散させることができる。図11および図12に示す例では、各プローブ22の一方の面22aには、プローブ22の長手方向すなわち取付け部34の長手方向へ相互に間隔をおいて複数の帯状の絶縁膜56がプローブ22の一半54aから他半54bにわたって形成されている。また、プローブ22の他方の面22bには、同様に、複数の帯状の絶縁膜58がプローブ22の一半54aから他半54bにわたって形成されている。一方の面22aに形成された絶縁膜56は、他方の面22bに形成された絶縁膜58間の領域に形成されており、他方の面22bに形成された絶縁膜58は、一方の面22aに形成された絶縁膜58間の領域に形成されている。これにより、絶縁膜56は、一方の面22aに、取付け部34の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成し、他方の面22bに、一方の面22aの前記絶縁膜領域間に対応する領域で取付け部34の幅方向Wに沿って伸びる帯状絶縁膜領域を構成する。したがって、図11に示すように、隣接する両プローブ22の対向面22a、22bに形成された各絶縁膜56、58を対向させることなく、相互にずれを以て重ね合わせることができる。図13および図14に示すように、プローブ22の両面22a、22bのいずれか一方の面に帯状の絶縁膜を形成し、他方の面に絶縁体を形成することなくその全面を露出面とすることができる。図示の例では、一方の面22aに絶縁膜が形成されておらず、その全面が露出する。これに対し、他方の面22bには、前記した例におけると同様な帯状の絶縁膜58が取付け部34の長手方向に間隔をおいて形成されている。プローブ22の両面22a、22bのいずれか一方の面に絶縁膜を形成することなく、その他方の面を全面にわたって絶縁膜で覆うと、プローブの片面に該片面を覆う絶縁膜によって強い表面応力が作用し、表面応力差によってプローブに大きな反りを生じる。しかしながら、図13および14に示すように、他方の面22bに形成される絶縁膜58を帯状とすることにより、この絶縁膜58で他方の面22bの全面を覆うことがないので、該面に絶縁膜58からの露出面を確保することができ、プローブ22に大きな反り返りが生じることを防止できる。したがって、このような絶縁膜58によっても、プローブ22に反り返りを生じさせることなく、隣接する両プローブ22間に実質的に単一の絶縁膜58の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブ22を重ね合わせることができるので、両プローブ22間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。また、プローブ22の両面22a、22bのいずれか一方の面に絶縁膜を形成することなく、その他方の面に絶縁膜を形成するについて、図15に示すように、その一方の面22bに、絶縁膜58を点状に分散させることができる。このような点状に分散された絶縁膜58によっても、プローブ22に反り返りを生じさせることなく、隣接する両プローブ22間に実質的に単一の絶縁膜58の厚さ寸法分の間隔を保持させて、両プローブ22を重ね合わせることができる。したがって、両プローブ22間に対応した狭ピッチでの配置が可能となる。