"液体を貯留するメインタンクと、大気連通孔を有し、前記メインタンクから供給された液体を一時的に貯留するサブタンクと、前記サブタンクから供給された液体を吐出するノズルが形成された吐出面を有する液体吐出ヘッドと、前記メインタンクと前記サブタンクとを連通させる第1液体供給路と、前記サブタンクと前記液体吐出ヘッドとを連通させる第2液体供給路と、前記第1液体供給路に設けられ、前記メインタンクの液体を前記サブタンクに供給するポンプユニットとを備え、前記第1液体供給路は、前記ポンプユニットより上流側に配置された上流側供給路と、前記ポンプユニットより下流側に配置された下流側供給路とを有し、前記ポンプユニットは、第1室と、第2室と、前記第1室の内部の液体に、前記第2室に移送するための移送力を付与する移送力付与部と、を有し、前記第1室は、その入口である第1室入口とその出口である第1室出口を有し、前記第2室は、その入口である第2室入口とその出口である第2室出口を有し、前記第1室入口は、前記上流側供給路の下流側端部に接続され、前記第1室出口は、前記移送力付与部に接続され、前記第2室入口は、前記移送力付与部に接続され、前記第2室出口は、前記下流側供給路の上流側端部に接続され、前記第1室出口は、鉛直方向における前記第1室の上端部に設けられ、前記第2室出口は、鉛直方向における前記第2室の上端部に設けられる、液体吐出装置。鉛直方向における前記第1室の上端部には、複数の前記第1室出口が設けられており、鉛直方向における前記第2室の上端部には、複数の前記第1室出口に対応する複数の前記第2室入口が設けられており、複数の前記第1室出口とこれらに対応する複数の前記第2室入口との間に複数の前記移送力付与部が配置されており、複数の前記移送力付与部は、異なる位相で駆動される、請求項1に記載の液体吐出装置。前記移送力付与部はダイヤフラムポンプである、請求項1または2に記載の液体吐出装置。前記ポンプユニットを平面視したとき、前記第1室を囲むように前記第2室が配置されており、或いは、前記第2室を囲むように前記第1室が配置されている、請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐出装置。前記移送力付与部を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記移送力付与部の駆動速度を変更する、請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出装置。前記メインタンクが装着された直後の初期段階において、前記制御部は、前記移送力付与部の駆動速度を遅くするように前記移送力付与部を制御する、請求項5に記載の液体吐出装置。第1の前記メインタンクと、第1の前記サブタンクと、第1の前記液体吐出ヘッドと、第1の前記第1液体供給路と、第1の前記第2液体供給路と、第1の前記ポンプユニットとを有する第1系統と、第2の前記メインタンクと、第2の前記サブタンクと、第2の前記液体吐出ヘッドと、第2の前記第1液体供給路と、第2の前記第2液体供給路と、第2の前記ポンプユニットとを有する第2系統とを備え、第1の前記ポンプユニットの前記移送力付与部と第2の前記ポンプユニットの前記移送力付与部とは、駆動速度が異なる、請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出装置。特許文献2に記載されたインクジェット記録装置では、残存インクと共に気泡を排出することができるので、気泡を原因とする吐出不良を防止することができるが、真空ポンプを用いているため、装置が大型化するという課題があった。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、装置の大型化を招くことなく、気泡を原因とする吐出不良を防止することができる、液体吐出装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明に係る液体吐出装置は、液体を貯留するメインタンクと、大気連通孔を有し、前記メインタンクから供給された液体を一時的に貯留するサブタンクと、前記サブタンクから供給された液体を吐出するノズルが形成された吐出面を有する液体吐出ヘッドと、前記メインタンクと前記サブタンクとを連通させる第1液体供給路と、前記サブタンクと前記液体吐出ヘッドとを連通させる第2液体供給路と、前記第1液体供給路に設けられ、前記メインタンクの液体を前記サブタンクに供給するポンプユニットとを備え、前記第1液体供給路は、前記ポンプユニットより上流側に配置された上流側供給路と、前記ポンプユニットより下流側に配置された下流側供給路とを有し、前記ポンプユニットは、第1室と、第2室と、前記第1室の内部の液体に、前記第2室に移送するための移送力を付与する移送力付与部と、を有し、前記第1室は、その入口である第1室入口とその出口である第1室出口を有し、前記第2室は、その入口である第2室入口とその出口である第2室出口を有し、前記第1室入口は、前記上流側供給路の下流側端部に接続され、前記第1室出口は、前記移送力付与部に接続され、前記第2室入口は、前記移送力付与部に接続され、前記第2室出口は、前記下流側供給路の上流側端部に接続され、前記第1室出口は、鉛直方向における前記第1室の上端部に設けられ、前記第2室出口は、鉛直方向における前記第2室の上端部に設けられる。この構成において、第1室に与えられた液体は、第1室の下部に溜まり、第1室に与えられた空気は、第1室の上部に溜まる。また、第2室に与えられた液体は、第2室の下部に溜まり、第2室に与えられた空気は、第2室の上部に溜まる。したがって、移送力付与部を駆動すると、まず、第1室の上部に溜まった空気が第1室の上端部に設けられた第1室出口から排出されて第2室に与えられるとともに、第2室の上部に溜まった空気が第2室の上端部に設けられた第2室出口から排出されてサブタンクに与えられる。第1室の空気が完全に排出されて第1室が液体で満たされると、その後は、第1室の液体が第1室の上端部に設けられた第1室出口から排出されて第2室に与えられる。また、第2室の空気が完全に排出されて第2室が液体で満たされると、その後は、第2室の液体が第2室の上端部に設けられた第2室出口から排出されてサブタンクに与えられる。このように、ポンプユニットでは、空気と液体とが順に排出されるので、これらが激しく攪拌されることがなく、気泡が多量に含まれた液体がサブタンクおよび液体吐出ヘッドに供給されることはない。本発明によれば、上記の構成によって、装置の大型化を招くことなく、気泡の発生を抑制でき、気泡を原因とする吐出不良を防止することができる。以下に、本発明に係る液体吐出装置の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態では、本発明に係る液体吐出装置がインクジェットプリンタに適用されており、液体として処理液およびインクが用いられており、液体吐出ヘッドとして処理液吐出ヘッドおよびインク吐出ヘッドが用いられている。図1は、実施形態に係るインクジェットプリンタ10の全体構成を示す概念図である。図1に示すように、インクジェットプリンタ10は、所定の画像形成領域Qにおいて、用紙Pの表面に処理液R1を吐出した後、インクR2を吐出して画像を形成するものであり、用紙Pを水平方向に搬送して画像形成領域Qに通過させる用紙搬送機構12と、処理液R1を吐出するための第1系統S1と、インクR2を吐出するための第2系統S2と、各種の演算処理や制御動作を実行する制御部14とを備えている。処理液R1としては、インクR2の成分を凝集または析出させるものが用いられ、例えば、顔料系のインクR2に対しては、顔料色素を凝集させるものが用いられ、染料系のインクR2に対しては、染料色素を析出させるものが用いられる。処理液R1の材料としては、カチオン性化合物、とりわけカチオン系高分子やカチオン性界面活性剤、カルシウム塩、マグネシウム塩等の多価金属塩を含有する液体等を適宜選択可能であり、これらの処理液R1が塗布された用紙Pの表面にインクR2が着弾すると、多価金属塩等がインクR2の着色剤である染料または顔料に作用して、不溶性または難溶性の金属複合体等が凝集または析出により形成される。その結果、インクR2の用紙P内への浸透度が低下し、インクR2を用紙P上に定着させ易くなる。図1に示した制御部14は、CPUと、CPUが実行するプログラムや各種のデータを書き替え可能に記憶する不揮発メモリと、プログラムの実行時にデータを一時的に記憶するRAMとを有しており、CPUでプログラムが実行されることによって、画像形成に必要な各種の処理が行われる。図1に示すように、用紙搬送機構12は、一対のプーリー16a,16bと、プーリー16a,16b間に掛け渡された環状の無端ベルト18と、一方のプーリー16aを回転させるモータ20とを備えており、モータ20には、導電線22を介して制御部14が電気的に接続されている。図1に示すように、第1系統S1は、処理液R1を貯留するメインタンク26と、メインタンク26を着脱自在に保持するタンクホルダ28と、処理液R1を一時的に貯留するサブタンク30と、サブタンク30から供給された処理液R1を吐出するノズル60が形成された吐出面60aを有する処理液吐出ヘッド32と、サブタンク30から供給されたを用紙Pに向けて吐出する処理液吐出ヘッド32とを備えている。また、第1系統S1は、メインタンク26とサブタンク30とを連通させる第1液体供給路34と、サブタンク30と処理液吐出ヘッド32とを連通させる第2液体供給路36と、サブタンク30と処理液吐出ヘッド32とを連通させる戻り路38とを備えている。さらに、第1系統S1は、第1液体供給路34に設けられ、メインタンク26の処理液R1をサブタンク30に強制的に供給するポンプユニット40aと、第2液体供給路36に設けられ、サブタンク30の処理液R1を処理液吐出ヘッド32に強制的に供給するポンプ42と、戻り路38に設けられ、戻り路38を開閉する弁44とを備えている。そして、ポンプユニット40a、ポンプ42および弁44のそれぞれには、導電線22を介して制御部14が電気的に接続されている。図1に示すように、第1液体供給路34は、ポンプユニット40aより上流側に配置された上流側供給路34aと、ポンプユニット40aより下流側に配置された下流側供給路34bとを有しており、上流側供給路34aの下流側端部がポンプユニット40aの入口、すなわち後述する第1室入口102図9に接続されており、下流側供給路34bの上流側端部がポンプユニット40aの出口、すなわち後述する第2室出口116図9に接続されている。図1に示すように、サブタンク30は、処理液R1に混入した気泡を除去するための容器であり、サブタンク30の上面には、大気連通孔46が形成されており、大気連通孔46には、大気連通管48が挿通されている。そして、大気連通管48には、大気連通管48を開閉する弁50が設けられており、弁50には、導電線22を介して制御部14が電気的に接続されている。弁50が開状態である場合に、ポンプユニット40aからサブタンク30に空気が供給されると、当該空気は、サブタンク30の内部において処理液R1から分離され、大気連通管48を通して大気中に放散される。図2は、インクジェットプリンタ10に用いられる処理液吐出ヘッド32図1のヘッド部54の構成を示す平面図であり、図3は、ヘッド部54の構成を示す部分拡大断面図である。図1に示したインクジェットプリンタ10は、ライン式のプリンタであり、処理液吐出ヘッド32図1は、水平方向であって、かつ、用紙Pの搬送方向に対して直交する方向に延びて設けられている。処理液吐出ヘッド32図1の延びる方向が主走査方向であり、画像形成領域Qにおける用紙Pの搬送方向が副走査方向である。図1に示すように、処理液吐出ヘッド32は、主走査方向に延びて設けられた略直方体状のヘッドホルダ52と、ヘッドホルダ52の下面に主走査方向に延びて設けられたヘッド部54と、ヘッドホルダ52の内部におけるヘッド部54の上方に設けられたリザーバー57とを有している。図2および図3に示すように、ヘッド部54は、1つの流路ユニット56と、その上面に接合された複数本実施形態では8つのアクチュエータ58とを有している。図3に示すように、流路ユニット56は、複数の金属製プレートからなる積層体であり、最下層を構成するノズルプレート56aの下面が、複数のノズル60が形成された吐出面60aとなっている。また、図3に示すように、流路ユニット56の内部には、マニホールド62図2と、マニホールド62図2に連通する副マニホールド64と、副マニホールド64からアパーチャ66および圧力室68を経てノズル60に至る複数の個別流路70とが形成されている。そして、図2に示すように、流路ユニット56の上面56bには、マニホールド62に連通する複数の供給口62aが形成されており、当該供給口62aに対してリザーバー57図1から延びる流路が接続されている。図1に示すように、リザーバー57は、サブタンク30から供給された処理液R1を一時的に貯留する部分であり、第2液体供給路36および戻り路38は、リザーバー57に接続されている。図2に示すように、複数のアクチュエータ58のそれぞれは、平面視形状が略台形となるように形成されており、隣接するアクチュエータ58どうしは、上底および下底が互いに逆方向に位置するように、主走査方向に並べて配置されている。図3に示すように、複数のアクチュエータ58のそれぞれは、圧力室68に対応する複数の駆動部72図3中に格子線で示す。を有しており、複数の駆動部72のそれぞれは、圧電層72aと、これを挟むように配置された一対の電極72b,72cとを有している。そして、図1に示すように、複数の駆動部72図3のそれぞれには、ドライバIC図示省略を搭載したフレキシブル配線基板74を介して制御部14が電気的に接続されている。図3に示した駆動部72の電極72b,72c間に駆動電圧例えば28Vの電位差が供給されると、圧電層72aが厚み方向に対して直交する方向に収縮される。これにより、圧電層72aの下方に位置する部分が圧力室68の内側に凸となるように変形され、圧力室68の容積が小さくなる。この状態が基本状態である。基本状態において、電極72b,72c間にグランド電圧例えば0Vの電位差が供給されると、圧電層72aの収縮状態が解除される。すると、圧力室68の容積がもとの大きさに戻され、圧力室68の容積が大きくなる。基本状態が保持された状態で、電極72b,72c間にグランド電圧が瞬間的に供給されると、グランド電圧が供給されるタイミングで圧力室68の容積が駆動電圧の大きさに応じて瞬間的に変動され、圧力室68内に存在する処理液R1に吐出エネルギが付与される。この吐出エネルギによってノズル60から処理液R1が吐出される。しかし、ノズル60の付近に気泡が存在していると、駆動部72から付与される吐出エネルギが当該気泡によって吸収されたり、ノズル60が気泡で閉塞されたりするため、吐出不良を生じるおそれがある。図1に示すように、ポンプユニット40aは、第2系統S2のポンプユニット40bと一体となってポンプ組立体80を構成するものである。ポンプユニット40aについては後述する。図1に示すように、第2系統S2は、インクR2を吐出することを目的とする点で、処理液R1を吐出することを目的とする第1系統S1とは相違するが、第2系統S2の具体的な構成は、第1系統S1の具体的な構成とほぼ同じである。そこで、第2系統S2の構成要素のうち、第1系統S1の構成要素に対応する部分には、第1系統S1の構成要素と同じ参照番号を付すことにより、重複する説明を省略する。なお、第2系統S2のポンプユニット40bについては、説明の便宜上、第1系統S1のポンプユニット40aと類似の参照番号を付している。第2系統S2で用いられる液体はインクR2であり、第2系統S2で用いられる液体吐出ヘッドはインク吐出ヘッド32である。図4は、ポンプ組立体80の全体構成を示す斜視図であり、図5は、ポンプ組立体80におけるギアユニット86の構成を示す底面図である。なお、図5では、ギアユニット86を見せるために、基台82の一部とモータ84とを省略している。図4に示すように、ポンプ組立体80は、第1系統S1のポンプユニット40aと、第2系統S2のポンプユニット40bと、これらのポンプユニット40a,40bを支持する基台82と、ポンプユニット40a,40bのそれぞれに共通に用いられるモータ84とを備えている。また、図5に示すように、ポンプ組立体80は、モータ84図4の動力を、ポンプユニット40a,40bのいずれか一方に選択的に伝達するギアユニット86を備えている。つまり、第1系統S1のポンプユニット40aと、第2系統S2のポンプユニット40bとは、共通のモータ84で選択的に駆動されるように構成されている。したがって、本実施形態では、第1系統S1のポンプユニット40aが駆動されるとき、モータ84は、当該ポンプユニット40aの一部として機能し、第2系統S2のポンプユニット40bが駆動されるとき、モータ84は、当該ポンプユニット40bの一部として機能する。図6は、ポンプユニット40aの要部の構成を示す斜視図であり、図7は、ポンプユニット40aの要部の構成を示す側面図である。そして、図8は、図7におけるVIII-VIII線断面図であり、図9は、図7におけるIX-IX線断面図である。第1系統S1のポンプユニット40aの具体的な構成は、第2系統S2のポンプユニット40bの具体的な構成とほぼ同じである。そこで、以下では、第1系統S1のポンプユニット40aについてのみ説明する。なお、第1系統S1のポンプユニット40aが駆動されるとき、モータ84は、当該ポンプユニット40aの一部として機能するが、図6~図9では、モータ84を省略している。また、図6では、第1室90の蓋部100図8と、第2室92の蓋110図8とを省略している。図6に示すように、ポンプユニット40aは、第1室90と、第2室92と、第1室90の内部の処理液R1に、第2室92に移送するための移送力を付与する複数の移送力付与部としてのダイヤフラムポンプ94と、ギアユニット86図5の一部を構成するギア96と、モータ84図4とを有している。図9に示すように、第1室90は、略筐体状の本体部98と、略四角形の板状の蓋部100とを有している。図6に示すように、本体部98は、鉛直方向において対向する底板部98aおよび天板部98bと、水平方向において対向する第1側板部98cおよび第2側板部98dと、第1側板部98cおよび第2側板部98dと直角を成す第3側板部98e図8とを有しており、図8に示すように、第3側板部98eに対向する側面には、蓋部100が配置されている。そして、図9に示すように、第3側板部98eには、第1室入口102が形成されており、第1室入口102には、上流側供給路34aの下流側端部が接続されている。また、図8に示すように、鉛直方向における第1室90の上端部に位置する天板部98bには、図8および図9に示すように、複数本実施形態では3つの第1室出口104が形成されており、図8に示すように、第1室出口104のそれぞれには、所定条件下で空気または処理液R1の排出だけを許容する逆止弁106が装着されている。なお、図9に示す第1室出口104は、断面より上方に位置するものであり、実際に見えているものではない。図9に示すように、第2室92は、第1室90の内側に配置された室であり、略筐体状の本体部108と、略四角形の板状の蓋部110とを有している。図6に示すように、本体部108は、鉛直方向において対向する底板部108aおよび天板部108bと、水平方向において対向する第1側板部108cおよび第2側板部108dと、第1側板部108cおよび第2側板部108dと直角を成す第3側板部108e図8とを有しており、図8に示すように、第3側板部108eに対向する側面には、蓋部110が配置されている。そして、図8に示すように、第2室92における天板部108bには、図8および図9に示すように、複数本実施形態では3つの第2室入口112が形成されており、図8に示すように、第2室入口112のそれぞれには、所定条件下で空気または処理液R1の導入だけを許容する逆止弁114が装着されている。また、図9に示すように、第1側板部108cにおける第2室92の鉛直方向上端部に位置する部分には、第2室出口116が形成されており、第2室出口116には、下流側供給路34bの上流側端部が接続されている。なお、図9に示す第2室入口112は、断面より上方に位置するものであり、実際に見えているものではない。図8に示すように、複数本実施形態では3つのダイヤフラムポンプ94のそれぞれは、第1室出口104とこれに対応する第2室入口112との間に配置された圧力付与室118を有しており、第1室出口104および第2室入口112の両方が圧力付与室118ダイヤフラムポンプ94に接続されている。つまり、圧力付与室118は、第1室出口104を介して第1室90と連通されており、かつ、第2室入口112を介して第2室92と連通されている。圧力付与室118の天井部は、圧力付与室118の内部の空気または処理液R1に圧力を付与し得るように、可撓性を有するダイヤフラム120で構成されており、ダイヤフラム120の上面の中央部には、ダイヤフラム120の中央部を支持する突起状の支持部122が設けられている。そして、複数本実施形態では3つの支持部122のそれぞれには、これらの支持部122を異なる位相で上下に変位させる操作部124が接続されており、操作部124の上方には、操作部124に動力を付与するギア96が配置されている。図9に示すように、本実施形態では、3つのダイヤフラムポンプ94が、ギア96図8の中心軸Wの周囲に120度の角度を隔てて配置されている。したがって、モータ84図4の回転力がギア96図8を介して操作部124に伝達されると、3つのダイヤフラムポンプ94が120度の位相差で駆動され、ダイヤフラム120の上昇および降下が繰り返される。ダイヤフラム120が上昇すると、圧力付与室118の空気または処理液R1に負圧が付与され、逆止弁106が開いて、第1室90の空気または処理液R1が第1室出口104から圧力付与室118に供給される。一方、ダイヤフラム120が降下すると、圧力付与室118の空気または処理液R1に正圧が付与され、逆止弁114が開いて、圧力付与室118の空気または処理液R1が第2室入口112から第2室92に供給される。このようなダイヤフラムポンプ94の動作により、3つの第1室出口104のそれぞれから順に吸引された第1室90の空気または処理液R1が、3つの第2室入口112のそれぞれから順に第2室92に与えられる。これら3相のダイヤフラムポンプ94によって、3相の移送力付与部が構成されている。図10は、ポンプユニット40aの空気移送動作を示す図8に対応する断面図であり、図11は、ポンプユニット40aの液体移送動作を示す図8に対応する断面図である。図1に示したインクジェットプリンタ10において、工場出荷後、タンクホルダ28に最初にメインタンク26を装着するときや、空になったメインタンク26を新たなメインタンク26に交換するときには、第1液体供給路34の内部にその上流側端部から空気が流入する。図10に示すように、このような状況において、ポンプユニット40aのダイヤフラムポンプ94をモータ84図4によって駆動すると、第1室90に与えられた処理液液体R1は、第1室90の下部に溜まり、第1室90に与えられた空気Gは、第1室90の上部に溜まる。また、第2室92に与えられた処理液液体R1は、第2室92の下部に溜まり、第2室92に与えられた空気Gは、第2室92の上部に溜まる。したがって、ダイヤフラムポンプ94をさらに駆動すると、まず、第1室90の上部に溜まった空気Gが第1室90の上端部に設けられた第1室出口104から排出されて第2室92に与えられるとともに、第2室92の上部に溜まった空気Gが第2室92の上端部に設けられた第2室出口116から排出されてサブタンク30図1に与えられる。図11に示すように、第1室90の空気Gが完全に排出されて第1室90が処理液液体R1で満たされると、その後は、第1室90の処理液液体R1が第1室90の上端部に設けられた第1室出口104から排出されて第2室92に与えられる。また、第2室92の空気Gが完全に排出されて第2室92が処理液液体R1で満たされると、その後は、第2室92の処理液液体R1が第2室92の上端部に設けられた第2室出口116から排出されてサブタンク30図1に与えられる。図1に示した制御部14は、ダイヤフラムポンプ94の駆動速度を変更するように、ダイヤフラムポンプ94を制御する。つまり、制御部14は、液体の種類や、ダイヤフラムポンプ94を駆動する時期等に応じて、ダイヤフラムポンプ94を最適な駆動速度で駆動させる。例えば、液体処理液R1,インクR2の種類が気泡を生じさせ易いものであれば、制御部14は、ダイヤフラムポンプ94の駆動速度を遅くするようにダイヤフラムポンプ94を制御する。これにより、気泡の発生を抑制することができる。一方、液体の種類が気泡を生じさせ難いものであれば、制御部14は、ダイヤフラムポンプ94の駆動速度を速くするようにダイヤフラムポンプ94を制御する。これにより、サブタンク30図1に対する液体の供給を迅速に行うことができる。また、メインタンク26図1がタンクホルダ28に装着された直後の初期段階では、制御部14は、ダイヤフラムポンプ94の駆動速度を遅くするようにダイヤフラムポンプ94を制御する。当該初期段階では、第1室90に多量の空気が存在するおそれがあるが、ダイヤフラムポンプ94の駆動速度を遅くするようにダイヤフラムポンプ94を制御することにより、空気と液体との攪拌を抑制することができる。また、図1に示した制御部14は、第1のポンプユニット46aにおけるダイヤフラムポンプ94の駆動速度と、第2のポンプユニット46bにおけるダイヤフラムポンプ94の駆動速度とが異なるように、これらのダイヤフラムポンプ94を制御する。したがって、第1系統S1と第2系統S2との間で液体処理液R1,インクR2の種類が異なっているにもかかわらず、液体処理液R1,インクR2の種類に応じた最適な駆動速度を選択することができる。[実施形態の効果]本実施形態では、上記の構成により、以下の効果を奏することができる。なお、以下に記載する第1系統S1のポンプユニット40aで得られる効果は、第2系統S2のポンプユニット40bでも同様に得られるものである。図8に示すように、ポンプユニット40aの第1室出口104は、鉛直方向における第1室90の上端部に設けられており、第2室出口116は、鉛直方向における第2室92の上端部に設けられているので、図10および図11に示すように、ダイヤフラムポンプ94では、空気Gと処理液液体R1とを順に移送することができる。したがって、空気Gと処理液液体R1とがダイヤフラムポンプ94で激しく攪拌されることはなく、サブタンク30図1および処理液吐出ヘッド32図1に気泡が供給されることを抑制して、気泡を原因とする吐出不良を防止することができる。図8に示すように、ポンプユニット40aを回転羽根を有していないダイヤフラムポンプ94で構成しているので、空気Gと処理液液体R1との攪拌を抑制することが可能であり、処理液液体R1に対する気泡の混入を防止することができる。図9に示すように、複数相のダイヤフラムポンプ94によって、複数相の移送力付与部を構成しているので、ポンプユニット40aの動作を安定させることができる。図9に示すように、ポンプユニット40aを平面視したとき、第2室92を囲むように第1室90が配置されているので、ポンプユニット40aをコンパクトに構成することができる。[他の実施形態]図4に示すように、上述の実施形態では、第1系統S1のポンプユニット40aと、第2系統S2のポンプユニット40bとが、共通のモータ84で選択的に駆動されるように構成されているが、他の実施形態では、これらが別々のモータ図示省略で駆動されてもよい。また、移送力付与部としては、ダイヤフラムポンプ94に代えて、他のポンプが用いられてもよい。図9に示すように、上述の実施形態では、ポンプユニット40aをコンパクトに構成するために、第2室92を囲むように第1室90が配置されているが、第1室90と第2室92との位置関係は内外の関係であればよく、他の実施形態では、第1室90を囲むように第2室92が配置されてもよい。図1に示すように、上述の実施形態では、本発明に係る液体吐出装置を単色のラインプリンタに適用しているが、他の実施形態では、カラーのラインプリンタに適用してもよいし、シリアルプリンタに適用してもよい。また、上述の実施形態では、本発明に係る液体吐出装置を、インクジェットプリンタに適用しているが、他の実施形態では、ファクシミリおよびコピー機等のようなプリンタ以外の液体吐出装置に適用してもよい。さらに、液体吐出方式としては、アクチュエータ方式に代えて、発熱素子で液体の体積を膨張させたときの圧力を利用して吐出させる方式を用いてもよい。"