ヘッドと、前記ヘッドの下に位置して前記ヘッドと連結され、前記ヘッドの直径より小さな直径を有する第1反応管がその内部に位置する第1ボディ部と、前記第1ボディ部の下に位置して前記第1ボディ部と連結され、前記第1反応管の直径と実質的に同一の直径を有する第2反応管がその内部に位置する第2ボディ部と、前記第2ボディ部と連結された底面部と、を含み、前記第1ボディ部と前記第2ボディ部とは、互いに分離及び組み立て可能であることを特徴とする、流動層反応器。前記底面部は、順次に積層された基底プレートと、第1プレートと、第2プレートと、第3プレートと、を含み、前記第2プレートと前記第3プレートとは、それぞれ、複数の単位プレートを含むことを特徴とする、請求項1に記載の流動層反応器。前記第2プレートと前記第3プレートとのそれぞれは、複数の単位プレートを含むことを特徴とする、請求項2に記載の流動層反応器。前記第2プレートは、複数の単位プレートを含み、前記複数の単位プレートのうち隣接した単位プレートと接触されたヒーターを含み、前記隣接した単位プレートは、互いに絶縁されることを特徴とする、請求項2または3に記載の流動層反応器。前記ヒーターは、前記ヒーターの長さ方向に対して垂直の方向に延びた突出部を含み、前記突出部は、前記第3プレートに覆われることを特徴とする、請求項4に記載の流動層反応器。前記ヒーターにヒーターキャップが被せられ、前記ヒーターキャップは、前記ヒーターキャップの長さ方向に対して垂直の方向に延びた係止突起を含み、前記ヒーターキャップの係止突起は、前記第3プレートの複数の単位プレートの間に嵌められて固定されることを特徴とする、請求項4または5に記載の流動層反応器。前記ヒーターは、複数のグループでグルーピングされた複数のヒーターグループを含み、前記複数のヒーターグループは、互いに同一の電力を消費することを特徴とする、請求項4から6のいずれかに記載の流動層反応器。前記複数のヒーターグループのうち隣接した2つのヒーターグループは、1つの電極に共通に連結されることを特徴とする、請求項7に記載の流動層反応器。前記複数のヒーターグループのそれぞれは、個別的に2つの電極が連結されることを特徴とする、請求項7に記載の流動層反応器。前記第2プレートの周りを囲む絶縁リングが設けられることを特徴とする、請求項2または3に記載の流動層反応器。前記底面部は、ホールを有し、前記ホールに装着された流動ガス供給ノズルを含み、前記流動ガス供給ノズルは、前記流動ガス供給ノズルの長さ方向に対して垂直方向に延びたフランジ部を含み、第1緩衝物と第2緩衝物とは、前記フランジ部の上部と下部とにそれぞれ配置されて前記流動ガス供給ノズルを取り囲むことを特徴とする、請求項1に記載の流動層反応器。前記第1反応管と前記第2反応管とは、それぞれ、前記第1ボディ部と前記第2ボディ部との方向に突出された突出部を含み、前記第1反応管の突出部と前記第2反応管の突出部とは、互いに向き合うことを特徴とする、請求項1に記載の流動層反応器。前記第1反応管の突出部と前記第2反応管の突出部との間にシーリング材が位置することを特徴とする、請求項12に記載の流動層反応器。支持リングが前記第1反応管と前記第2反応管との間に嵌められることを特徴とする、請求項1、12、13のいずれかに記載の流動層反応器。前記支持リングと前記第1反応管との間、及び前記支持リングと前記第2反応管との間に、シーリング材が位置することを特徴とする、請求項14に記載の流動層反応器。本発明は、多結晶シリコンの大量生産が可能であり、組み立て、設置及びメンテナンスが容易な流動層反応器を提供することを目的とする。本発明の一側面による流動層反応器は、ヘッドと、前記ヘッドの下に位置して前記ヘッドと連結され、前記ヘッドの直径より小さな直径を有する第1反応管がその内部に位置する第1ボディ部と、前記第1ボディ部の下に位置して前記第1ボディ部と連結され、前記第1反応管の直径と実質的に同一の直径を有する第2反応管がその内部に位置する第2ボディ部と、前記第2ボディ部と連結された底面部と、を含み、前記第1ボディ部と前記第2ボディ部とは、互いに分離及び組み立て可能である。底面部は、順次に積層された基底プレートと、第1プレートと、第2プレートと、第3プレートとを含み、前記第2プレートと前記第3プレートとは、それぞれ、複数の単位プレートを含む。第2プレートと前記第3プレートとのそれぞれは、複数の単位プレートを含む。第2プレートは、複数の単位プレートを含み、前記複数の単位プレートのうち隣接した単位プレートと接触されたヒーターを含み、前記隣接した単位プレートは互いに絶縁される。ヒーターは、前記ヒーターの長さ方向に対して垂直の方向に延びた突出部を含み、前記突出部は、前記第3プレートに覆われる。ヒーターにヒーターキャップが被せられ、前記ヒーターキャップは、前記ヒーターキャップの長さ方向に対して垂直の方向に延びた係止突起を含み、前記ヒーターキャップの係止突起は、前記第3プレートの複数の単位プレートの間に嵌められて固定される。前記ヒーターは、複数のグループでグルーピングされた複数のヒーターグループを含み、前記複数のヒーターグループは、互いに同一の電力を消費する。複数のヒーターグループのうち隣接した2つのヒーターグループは、1つの電極に共通に連結される。複数のヒーターグループのそれぞれは、個別的に2つの電極が連結される。第2プレートの周りを囲む絶縁リングが設けられる。前記底面部は、ホールを有し、前記ホールに装着された流動ガス供給ノズルを含み、前記流動ガス供給ノズルは、前記流動ガス供給ノズルの長さ方向に対して垂直方向に延びたフランジ部を含み、第1緩衝物と第2緩衝物とは、前記フランジ部の上部と下部とにそれぞれ配置されて前記流動ガス供給ノズルを取り囲む。第1反応管と前記第2反応管とは、それぞれ、前記第1ボディ部と前記第2ボディ部の方向に突出された突出部を含み、前記第1反応管の突出部と前記第2反応管の突出部とは、互いに向き合う。第1反応管の突出部と前記第2反応管の突出部との間にシーリング材が位置する。支持リングが前記第1反応管と前記第2反応管との間に嵌められる。支持リングと前記第1反応管との間、及び前記支持リングと前記第2反応管との間に、シーリング材が位置する。本発明によると、流動層反応器の組み立て、設置及びメンテナンスなどが容易であり、かつ、組み立ての過程に伴う反応管内への球形石英ビーズの充填の際に、目視でその状態を確認しながら充填を容易に行うことができるという効果がある。また、本発明によると、流動層反応器の底面部を複数層のプレートで構成して多結晶シリコンの汚染が防止できるという効果がある。また、本発明によると、流動層反応器の高圧反応の途中に流動ガス供給ノズルが圧力に耐えられず離脱する事故を防止して流動層反応器の安定した運転が可能である。また、本発明によると、流動層反応器の反応管内部を加熱するために設けられるヒーターを流動層反応器の底面部に着設した固定部に嵌め込んで組み立てることができるため、組み立て、設置及びメンテナンスが非常に簡単であるという効果がある。以下、添付の図面を参照し、本発明による望ましい実施形態を詳細に説明する。図1a及び図1bは、本発明の実施形態による流動層反応器を示す。図1a及び図1bに示されたように、本発明の実施形態による流動層反応器500は、ヘッド100と、第1ボディ部200と、第2ボディ部300と、底面部400とを含む。ヘッド100は、第1ボディ部200と連結され、第1ボディ部200の第1反応管250の直径より大きい直径を有する。流動層反応器500内のガス及び微細粒子が第1反応管250からヘッド100を通る際に直径増加によってガス及び微細粒子の流速が減少する。これによって、排出されるガスあるいは微細粒子の後処理負担を軽減することができる。ヘッド100の内壁は、高温で変形しにくい無機材料からなることができる。例えば、ヘッド100の内壁は、石英、シリカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ジルコニア、炭化ケイ素、黒鉛、シリコン、ガラス質炭素のうち、少なくとも1つからなることができる。また、ヘッド100の外壁に対する冷却が可能な場合、ヘッド100の内壁に有機高分子を利用したコーティングまたはライニングのうち、少なくとも1つが行われることができる。ヘッド100の内壁が、炭化ケイ素、黒鉛、ガラス質炭素のような炭素含有材料からなった場合、多結晶シリコンが炭素不純物によって汚染される恐れがあるため、多結晶シリコンが接触できるヘッド100の内壁は、シリコン、シリカ、石英、窒化ケイ素などのような材料でコーティングまたはライニングされることができる。例えば、図1bのヘッド100は、複数の部分ヘッド100a、100bを含み、第1部分ヘッド100aの内面にライニング膜150が位置することができる。第1ボディ部200は、ヘッド100の下に位置してヘッド100と連結され、多結晶シリコン析出反応が起きる空間を提供する。第2ボディ部300は、第1ボディ部200の下に位置して第1ボディ部200と連結され、第1ボディ部200と共通に多結晶シリコン析出反応または加熱反応のうち、少なくとも1つが起きる空間を提供する。底面部400は、第2ボディ部300の下に位置して第2ボディ部300と連結され、多結晶シリコン析出のための各種ノズル600、650、ヒーター700、電極800などが組み立てられる。このとき、ヘッド100と、第1ボディ部200と、第2ボディ部300とは、炭素鋼、ステンレス鋼、その他合金鋼などの機械強度に優れ、加工の容易な金属材料からなることができる。このような材質からなる第1ボディ部200及び第2ボディ部300の保護膜は、金属、有機高分子、セラミックス、または石英などからなることができる。ヘッド100と第1ボディ部200と第2ボディ部300との組み立ての際、反応器の内部を外部空間から遮断するためにガスケットgasketまたはシーリング材sealingmaterialが利用されることができる。第1ボディ部200と第2ボディ部300とは、円筒状パイプ、フランジ、チューブ及びフィッティングfitting、板plate、円錐、楕円または二重壁の間に冷却媒体が流れるジャケットjacketなどのように、多様な形態を有することができる。また、ヘッド100と、第1ボディ部200と、第2ボディ部300とが金属材質からなった場合、その内部表面に保護膜がコーティングされるか、保護管または保護壁が追加で設けられることができる。保護膜、保護管または保護壁は、金属材質からなることができるが、反応器内部の汚染を防ぐために有機高分子、セラミックス、石英などのような非金属材料がコーティングまたはライニングされることができる。第1ボディ部200と第2ボディ部300とは、熱膨脹防止、作業者保護、その他事故防止などの目的で、水、オイル、ガス、空気などのような冷却流体によって一定温度範囲以下で維持されることができる。冷却が必要な第1ボディ部200と第2ボディ部300との要素の内部あるいは外壁に、冷却流体の循環が可能となるように製作されることができる。一方、第1ボディ部200と第2ボディ部300との外部表面に、作業者保護及び過多な熱損失防止のために断熱材が設けられることができる。上述のように、多結晶シリコンの大量生産のために流動層反応器の大きさ及び高さが増加する場合、流動層反応器の組み立て、設置及びメンテナンスが困難である。すなわち、流動層反応器が大きく高さが高く重量が重い1つのボディ部と反応管とを含む場合、流動層反応器の組み立て、設置及びメンテナンスの際にボディ部の取り扱いが困難になり、ボディ部とノズルや反応管とがぶつかって破損されることがある。一方に、本発明の実施形態による流動層反応器は、複数のボディ部200、300と反応管250、350とを含むため、流動層反応器の組み立て、設置及びメンテナンスが容易に行われることができる。次に、本発明の実施形態による流動層反応器の組み立て過程について詳細に説明する。第1反応管250は、第1ボディ部200の内部に位置するように組み立てる。第2反応管350は、第2ボディ部300の内部に位置するように組み立て、第2ボディ部300の下端を密閉するための底面部400に各種ノズル600、650と電極800とヒーター700とが組み立てられる。第2反応管350が位置する第2ボディ部300の下部には、底面部400が連結される。次いで、第1ボディ部200と第2ボディ部300とが互いに連結され、ヘッド100が第1ボディ部200に連結される。底面部400に設けられる電極800については、以後に図4a及び図4cを参照して説明する。底面部400に組み立てられる各種ノズルは、流動ガス供給ノズル600と反応ガス供給ノズル650とを含むことができる。図2a及び図2bは、本発明の実施形態による第1反応管と第2反応管との連結構造を示す。図2aに示されたように、第1反応管250及び第2反応管350は、それぞれ、前記第1反応管及び第2反応管の端で前記第1ボディ部200と第2ボディ部300との方向に突出された突出部250a、350aを含み、第1反応管250の突出部250aと第2反応管350の突出部350aとは互いに向き合うように位置する。これによって、第1反応管250と第2反応管350との間の接触面積が広くなるため、第1反応管250と第2反応管350との連結の際に破損危険が減る。図2bに示されたように、第1反応管250と第2反応管350との耐久的な脆弱性を考慮して、支持リングsupportingring270を第1反応管250と第2反応管350との間に嵌める。支持リング270の材質は、高温で変形しにくい無機材料からなることができ、石英、シリカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ジルコニア、炭化ケイ素、黒鉛、シリコン、ガラス質炭素またはこのような材料が混合した複合体などのような無機材料からなることができる。支持リング270が炭化ケイ素、黒鉛、ガラス質炭素などの炭素含有材質からなった場合、炭素含有材質は多結晶シリコンを汚染させる恐れがあるため、多結晶シリコンが接触できる支持リング270の表面は、シリコン、シリカ、石英、窒化ケイ素などでコーティングまたはライニングされることができる。支持リング270は、シーリング材275で仕上げをする。図2aに示されたように、第1反応管250と第2反応管350との間の部分や、図2bに示されたように、支持リング270と第1反応管250との間と、支持リング270と第2反応管350との間とに、シートsheet、ニットknit、あるいはフェルトfelt形状のシーリング材275が位置することができる。シーリング材275は、高温で耐えることができ、かつ汚染が防止できるように、シリコンを含んでいる繊維状の材質からなることができる。本発明の実施形態は、組み立て、設置及びメンテナンスの便宜性のために、第1反応管250と第2反応管350とを含む。したがって、第1反応管250と第2反応管350との間に間隙があり得る。本発明の実施形態におけるシーリング材275は、第1反応管250と第2反応管350との間の間隙を塞ぎ、シリコン粒子が外部に漏出することを防止することができる。また、シーリング材275は、第1反応管250と第2反応管350との連結の際に破損危険を減らすことができる。第1反応管250と第2反応管350とは、チューブ形状や、チューブ、円錐及び楕円部分を含む形状を有することができる。第1反応管250と第2反応管350との端の部分は、プランジ形で加工されることができる。第1反応管250と第2反応管350とは、複数の部分からなることができ、このような部分の一部が、第1ボディ部200及び第2ボディ部300の内壁面にライナーlinerのような形状で設けられることもできる。第1反応管250と第2反応管350との材質は、高温で変形しにくい無機材料からなることができ、石英、シリカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ジルコニア、イットリア、炭化ケイ素、黒鉛、シリコン、ガラス質炭素、またはこのような材料が混合した複合体などのような無機材料からなることができる。第1反応管250と第2反応管350とが炭化ケイ素、黒鉛、ガラス質炭素などの炭素含有材質からなった場合、炭素含有材質は多結晶シリコンを汚染させる恐れがあるため、多結晶シリコンが接触できる反応管の内壁面は、シリコン、シリカ、石英、窒化ケイ素などでコーティングまたはライニングされることができる。流動ガス供給ノズル600は、シリコン粒子を流動させる流動ガスを供給する。このとき、流動ガスは、水素、窒素、アルゴン、ヘリウム、塩化水素HCl、四塩化シランSiCl4のうち少なくとも1つを含むことができる。流動ガス供給ノズル600は、反応管として用いられることができる無機材質成分からなったチューブ、ライナーまたは成型品であることができる。反応ガス供給ノズル650は、シリコン粒子層にシリコン元素を含む反応ガスを供給する。反応ガスは、多結晶シリコンの析出に用いられる原料ガスとしてシリコン元素成分を含む。反応ガスは、モノシランSiH4、ジシランdisilane:Si2H6、高次シランSinH2n2、nは3以上の自然数、二塩化シランDCS:SiH2Cl2、三塩化シランTCS:SiHCl3、四塩化シランSTC:SiCl4、ジブロモシランSiH2Br2、トリブロモシランSiHBr3、silicontetrabromideSiBr4、diiodosilaneSiH2I2、triiodosilaneSiHI3、silicontetraiodideSiI4のうち少なくとも1つを含むことができる。このとき、反応ガスは、水素、窒素、アルゴン、ヘリウム、または塩化水素のうち少なくとも1つをさらに含むことができる。反応ガスの供給によって、0.5~3mm程度の多結晶シリコン種粒子の表面に多結晶シリコンが析出され、多結晶シリコン種粒子の大きさが増加する。多結晶シリコン種粒子の大きさが一定程度増加すると、流動層反応器の外部に放出される。ヒーター700は、流動層反応器500の内部に多結晶シリコン粒子の表面でシリコン析出反応が起きるための熱を供給する。ヒーター700は、グラパイトgraphite、炭化ケイ素のようなセラミックス、または金属材質のうち少なくとも1つを含むことができる。各種ノズル、電極800及びヒーター700などは、底面部400を構成するプレート410乃至440とともに組み立てられる。図1aと図1bとに示されたように、本発明の実施形態による底面部400は、基底プレート410と、第1乃至第3プレート420、430、440とを含む。基底プレート410は第2ボディ部300と連結され、流動ガス供給ノズル及び反応ガス供給ノズルが組み立てられる。基底プレート410は、炭素鋼、ステンレス鋼、その他合金鋼などの機械強度に優れ、加工の容易な金属材料からなることができる。第1プレート420は、基底プレート410上に位置し、基底プレート410を絶縁させる。これによって、第1プレート420はクオーツquartzのように絶縁性を持ちながらも析出される多結晶シリコンを汚染させない物質からなることができる。第1プレート420は、クオーツの以外に窒化ケイ素、アルミナ、イットリアなどの高温での耐熱性を有するセラミックス物質からなることができ、場合によってはこのようなセラミックス物質で第1プレート420の表面がコーティングまたはライニングされることができる。第2プレート430は、第1プレート420上に位置し、ヒーター700と接触してヒーター700に電気を供給する。これによって、第2プレート430は、グラパイト、シリコンカーバイドがコーティングされたグラパイト、シリコンカーバイド、及び窒化ケイ素がコーティングされたグラパイトのような導電性物質からなることができる。基底プレート410と第2プレート430との間には絶縁特性を有している第1プレート420が位置するため、基底プレート410と第2プレート430とは互いに絶縁される。第2プレート430がヒーター700と接触するため、第2プレート430で熱が発生することがあるが、第2プレート430で電流の流れる断面積がヒーター700に比べて非常に大きいため、第2プレート430で発生する熱はヒーター700で発生する熱に比べて非常に小さい。また、第2プレート430で発生する熱を減らすために軟性に優れたグラパイトシートsheetが第2プレート430とヒーター700との間に挿入されることもできる。基底プレート410と第2プレート430とが導電性を有する場合、基底プレート410と第2プレート430との接触によって基底プレート410に流れる漏洩電流が発生することがある。これによって、図1aと図1bとに示されたように、基底プレート410と第2プレート430との端は、隔離距離を有することができる。すなわち、第1プレート420には第2プレート430が装着されることができる溝が形成されることができる。例えば、第1プレート420には第2プレート430の長さと同じか大きい溝が形成され、第2プレート430が第1プレート420の溝の中に装着されることができる。これによって、基底プレート410と第2プレート430との端の間に第1プレート420の一部分が位置することができるため、基底プレート410と第2プレート430との間の絶縁が維持されることができる。図1aに示されたように、第1プレート420によって基底プレート410と第2プレート430とが絶縁されることができ、図1bに示されたように、第2プレート430の周りを囲む絶縁リング900が設けられることによって基底プレート410と第2プレート430とが絶縁されることもできる。このとき、絶縁リング900は、クオーツ、セラミックスからなることができる。第3プレート440は、第2プレート430上に位置して、第1反応管250及び第2反応管350の内部で析出された多結晶シリコンが第2プレート430によって汚染されることを防止し、絶縁機能を有している。これによって、第3プレート440は、高温で変形しにくい無機材料からなることができ、石英、シリカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ジルコニア、炭化ケイ素、黒鉛、シリコン、ガラス質炭素またはこのような材料が混合した複合体などのような無機材料からなることができる。第3プレート440が炭化ケイ素、黒鉛、ガラス質炭素などの炭素含有材質からなった場合、炭素含有材質は多結晶シリコンを汚染させる恐れがあるため、第3プレート440の表面は、シリコン、シリカ、石英、窒化ケイ素などでコーティングまたはライニングされることができる。また、底面部400の第2プレート430と第3プレート440とは1つのボディではなく複数個の単位プレートを含むため、流動層反応器の組み立て、設置及びメンテナンスが容易になる。すなわち、多結晶シリコンの大量生産のための流動層反応器の大きさが増加するため、第2プレート430と第3プレート440とが1つのボディからなった場合、流動層反応器の組み立て、設置及びメンテナンスが困難になる恐れがある。例えば、図1cに示されたように、第3プレート440は、同心円方向と直径方向に切られた単位プレートp11、p12、p21、p22、p31、p32で構成されることができる。また、図1dに示されたように、第3プレート440は、大きさの異なるリング形状の単位プレートp1、p2、p3で構成されることができる。図3は、本発明の実施形態による流動層反応器のプレートとヒーターとの組み立て構造を示す。図3に示されたように、基底プレート410と、第1プレート420と、第2プレート430と、第3プレート440とを貫通する固定ボルト450によって、基底プレート410と、第1プレート420と、第2プレート430と、第3プレート440とが固定されることができる。図3に示されたように、底面部400に含まれた複数のプレート410乃至440は、複数のプレート410乃至440を貫通する固定ボルト450によって固定される。このような固定ボルト450は、第1反応管250及び第2反応管350の内部で形成される多結晶シリコンの汚染を防止するために、高温で変形しにくい無機材料からなることができ、石英、シリカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ジルコニア、シリコン、またはこのような材料が混合した複合体などのような無機材料からなることができる。固定ボルト450が炭化ケイ素、黒鉛、ガラス質炭素などの炭素含有材質からなった場合、炭素含有材質による多結晶シリコンの汚染防止のために、固定ボルト450の表面は、シリコン、シリカ、石英、窒化ケイ素などでコーティングまたはライニングされるか、シリコン、シリカ、石英、窒化ケイ素からなったキャップが固定ボルト450に被せられることができる。固定ボルト450は、複数のプレート410乃至440とネジ締結方式で組み立てられる。一方、ヒーター700が組み立てられる底面部400には、ヒーター700に挿入される固定部720が着設されている。ピンやクリップのような固定部720は、底面部400のプレートのうちヒーター700と連結される第2プレート430に形成された穿孔部に組み立てられる。ヒーター700には固定部720が挿入される溝が形成され、製造者または使用者がヒーター700を固定部720に圧入してヒーター700を底面部400に固定することができる。したがって、ヒーター700の組み立てにはネジボルトなどの締結が不要であるため、ヒーター700の組み立てが簡単に行われることができる。本実施形態において、ヒーター700は、U字形状を有するため、1つのヒーター700ごとに2つの固定部720が必要であるが、ヒーター700の形状によって固定部720の個数は変わることができる。固定部720は、グラパイトや金属材質のように電気伝導性と軟性とに優れた材質からなることができる。第2プレート430は、複数の単位プレートを含み、ヒーター700の下部は、互いに隣接した単位プレート430a、430bと接触することによって第2プレート430の単位プレート430a、430bを通して電気の供給を受ける。このとき、ヒーター700において底面部400に連結される部分は、前記ヒーターの長さ方向に対して垂直の方向に前記ヒーターの下部から延びた突出部を含む。このような前記ヒーターの突出部700aは、前記固定部720と結合されると同時に、前記第3プレート440によって覆われてヒーター700の固定がより安定に行われることができる。隣接した単位プレート430a、430bは、互いに絶縁されている。例えば、ヒーター700の下部と接触する第2プレート430の単位プレート430a、430bの間には、絶縁体730が位置することができる。絶縁体730は、ヒーター700の下部と接触する単位プレート430a、430bの間を絶縁させて、漏洩電流の発生を防止する。単位プレート430a、430bについては、以後により詳細に説明する。本発明の実施形態において、ヒーター700は、単位体積当たり広い表面積を有することによって、加熱効率を高めるためにヒーター700の表面にしわが形成されることができる。表面積を広げて加熱効率を高めるために、しわの以外にヒーター700の表面に多様な形状の突起あるいはパターンが形成されることもできる。これによって、ヒーター700の表面に、しわ、突起またはパターンのうち少なくとも1つが形成されることができる。固定部720がヒーター700に挿入された後、ヒーター700の保護し、かつヒーター700による多結晶シリコンの汚染を防止するために、ヒーターキャップ710がヒーター700の外部を取り囲んでヒーター700が露出しないようにする。このようなヒーターキャップ710の役割を果たすために、ヒーターキャップ710は、高温で変形しにくい無機材料からなることができ、石英、シリカ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、ジルコニア、イットリア、シリコン、またはこのような材料が混合した複合体などのような無機材料からなることができる。ヒーターキャップ710が、炭化ケイ素、黒鉛、ガラス質炭素などの炭素含有材質からなった場合、炭素含有材質による多結晶シリコンの汚染防止のために、ヒーターキャップ710の表面は、シリコン、シリカ、石英、窒化ケイ素などでコーティングまたはライニングされることができる。ヒーターキャップ710は、前記ヒーターキャップの長さ方向に対して垂直の方向に延びた係止突起710aを含み、前記ヒーターキャップ710の係止突起710aは、第3プレート440の複数の単位プレート440a、440bの間に嵌められて固定される。次に、図面を参照し、ヒーターと第2プレートの電気的連結について説明する。図4a~図4cは、本発明の実施形態によるヒーターと第2プレートとの電気的連結を示す。図4a~図4cを参照すれば、各ヒーターグループHG1、HG2、HG3は、2つの電極800と連結され、ヒーターグループHG1~HG3の消費する電力量は同一であることができる。電極800は、黒鉛、炭化ケイ素、金属材質、またはこれらの複合物からなることができる。電極800の形態は、ケーブル、棒、ロッド、成形物、コンセント、結合器、バー、編組線やこれらの組合であることができる。このとき、図4a及び図4bに示されたように、1つの電極800には、2つのヒーターグループが連結されることができる。これによって、n個のヒーターグループの場合、流動層反応器はn個の電極800を含むことができる。ヒーターグループHG1~HG3の電気抵抗は、互いに同一であることができる。すなわち、各ヒーターグループHG1、HG2、HG3が含むヒーター700の個数は一定であり、ヒーターグループHG1、HG2、HG3が含むヒーター700の抵抗は、互いに同一であることができる。各ヒーターグループHG1、HG2、HG3が含むヒーター700の個数が互いに同一である場合、流動層反応器500の組み立て、設置及びメンテナンスが容易になることができる。図4aでは、各ヒーターグループHG1、HG2、HG3が含むヒーター700の個数は、2つで一定であり、ヒーターグループHG1、HG2、HG3が含むヒーター700の抵抗は、互いに同一である。ヒーターグループHG1~HG4を構成するヒーター700の抵抗が互いに異なっていても、複数のヒーターグループHG1~HG4のそれぞれの抵抗が互いに同一になるようにヒーター700が配列されれば、複数のヒーターグループHG1~HG4の消費する電力量が互いに同一になり、流動層反応器500の内部に均一の熱が供給されることができる。上述のように、多結晶シリコン製品の大量生産のために流動層反応器が大きくなるほど流動層反応器500の内部領域も大きくなる。これによって、複数のヒーターグループHG1~HG3は、流動層反応器500の内部領域に均一に熱を供給しなければならない。本発明の実施形態による流動層反応器のヒーターグループHG1、HG2、HG3は、流動層反応器の内部領域全体を均一に加熱することができるため、良質の多結晶シリコン製品を大量生産することができる。複数のヒーターグループHG1~HG3のそれぞれは、互いに異なる相を有した電源の供給を受けることができる。例えば、本発明の実施形態による流動層反応器が3つのヒーターグループHG1~HG3を含む場合、各ヒーターグループHG1、HG2、HG3は、3相電源の供給を受けることができる。このとき、各相の位相差は、120 ゚であることができる。また、各ヒーターグループHG1~HG3が互いに同一の電力量を消費するように、ヒーターグループHG1~HG3に供給される電源が独立的に制御されることができる。例えば、各ヒーターグループHG1、HG2、HG3の電気抵抗が異なるか同一の電力供給が困難である場合、ヒーターグループHG1、HG2、HG3が互いに同一の電力量を消費するように、互いに異なる大きさの単相電源が各ヒーターグループHG1~HG3に供給されることができる。多相電源が供給される場合、図4a及び図4bに示されたように、隣接したヒーターグループは電極800を共有することができるが、図4cのように単相電源が供給される場合、1つのヒーターグループは他のヒーターグループと共有しない2つの電極800と連結されることができる。上述のように、ヒーター700は、絶縁体730によって互いに絶縁された単位プレート430a、430bと接触する。例えば、図4aに示されたように、ヒーター700の一端は、1つの単位プレート430aに連結され、ヒーター700の他端は、他の1つの単位プレート430bに連結される。これによって、ヒーターグループのヒーター700は、直列連結されることができる。第2プレート430の単位プレート430a、430bは、ヒーター700と同一の物質からなることができる。例えば、ヒーター700と単位プレート430a、430bとの材質については上述したため、これについての説明は省略する。図4aの単位プレートは、図3の単位プレート430a、430bに当てはまることができる。一方、図4a及び図4bの流動層反応器のそれぞれは、3つのヒーターグループHG1、HG2、HG3及び4つのヒーターグループHG1、HG2、HG3、HG4を含むが、これに限定するものではない。図5は、本発明の実施形態による流動層反応器の流動ガス供給ノズルの組み立て構造を示す。図5に示されたように、流動ガス供給ノズル600には、流動ガス供給ノズル600の固定のためのフランジ部610が形成される。流動層反応器の底面部400には、流動ガス供給ノズル600を装着させることのできるホール405が形成される。流動ガス供給ノズル600のフランジ部610の上部と下部とに、第1緩衝物620と第2緩衝物630が配置される。このような第1緩衝物620と第2緩衝物630とは、流動ガス供給ノズル600のフランジ部610を取り囲んで外部衝撃から流動ガス供給ノズルを保護することができ、かつ、第1緩衝物620及び第2緩衝物630は、流動ガス供給ノズル600の組み立てを堅固にして堅固なシーリングを提供することができる。底面部400に形成されたホール405の表面の一部または全体には、ネジ山が形成され、流動ガス供給ノズル600が緩衝物620、630とともにホール405に装着された後、外面にネジ山を有するブッシング640がホール405の表面のネジ山によってネジ結合される。ネジ結合されるブッシング640によって流動層反応器の運転途中に高圧流動ガスによる流動ガス供給ノズル600の離脱や移動が防止されることができる。図6は、本発明の実施形態による流動層反応器の流動ガス供給ノズルの多様な変形例を示す。図6の及びは、一定の厚さのフランジ部610を有した流動ガス供給ノズル600を示す。図6のは、底面部400と接触する流動ガス供給ノズルの下部に行くほど厚さが増加するフランジ部を有した流動ガス供給ノズルを示す。図6のは、流動ガス供給ノズルの下部に行くほど厚さが減少するフランジ部を有した流動ガス供給ノズルを示す。図6のは、一定の厚さを有した複数のフランジ部を有した流動ガス供給ノズルを示す。第2反応管350と底面部400によって形成された空間のうち、各種ノズルとヒーター700とが占める空間を除いた残りの空間にビーズが充填される。ビーズ間の空間は、流動ガスが通るチャンネルの役割をするため、ビーズは、流動ガスを流動層反応器の内部に均一に分散させる。ビーズの形態は、球、楕円形、ペレット、ナゲット、チューブ、棒、リングまたは前記形態の複合形態であることができる。ビーズの材質は、高純度シリコンや反応管250、350の材質と同一であることができる。ビーズの大きさは、多結晶シリコンが流動層反応器の外部に排出される生産物排出口の直径より大きいことができ、このとき、ビーズの平均直径は、5mm以上50mm以下であることができる。これによって、ビーズが生産物排出口を通して外部に排出されないことができる。本発明の実施形態による流動層反応器は、第1ボディ部200と第2ボディ部300とを含み、流動層反応器の組み立て、設置及びメンテナンスが容易である。第1ボディ部200と第2ボディ部300とが組み立てられた状態でビーズが充填される場合に第1ボディ部200と第2ボディ部300との全体高さが大きいため、ビーズの充填が困難であり、落ちるビーズによって流動層反応器の内部に位置するヒーター700やノズルまたは第1反応管250及び第2反応管350が破損されることがある。これによって、本発明の実施形態においては、第1ボディ部200と第2ボディ部300とが組み立てられる前に、第2反応管350と底面部400とによって形成された空間にビーズが充填されることによって、ビーズの充填を安定的に行うことができる。ビーズの充填以後、第2ボディ部300と第1ボディ部200とが組み立てられる。第2ボディ部300と第1ボディ部200との組み立てによって、第1ボディ部200と第2ボディ部300とに挿入された第1反応管250と第2反応管300とが互いに連結される。第1ボディ部200と第1反応管250との間の空間、及び第2ボディ部300と第2反応管350との間の空間には、水素、窒素、アルゴン、ヘリウムのように多結晶シリコンと反応しない不活性ガスで満たされることができる。流動層反応器の内部に加えられる熱が外部に放出されることを遮断するために、第1ボディ部200と第1反応管250との間の空間、第2ボディ部300と第2反応管350との間の空間、または以外の必要な空間に、無機材質の断熱材が設けられることができる。断熱材の形態は、シリンダー、ブロック、布地Fabric、毛布、フェルトFelt、発泡体、充填層などであることができる。本発明の権利は、上述した実施形態に限定されず、請求範囲に記載したものにより定義され、本発明の分野における通常の知識を有した者が請求範囲に記載した権利範囲内で多様な変形と改作ができるということは自明である。