"作業空間を形成するチャンバに対し、当該チャンバの底面部よりも下方から引き上げられて前記底面部に連結されるベースユニットと、前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入され、前記チャンバの底面部に連結された前記ベースユニットに対して上方から連結されるアームユニットと、を備えることを特徴とするロボット。前記ベースユニットの高さ寸法および前記アームユニットの高さ寸法の和は、前記チャンバ上方の搬入スペースの高さ寸法よりも大きく、前記ベースユニットの高さ寸法は、前記チャンバの設置面から当該チャンバの底面部までの高さ寸法よりは小さく、前記搬入スペースの高さ寸法よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のロボット。作業空間を形成し、底面部にユニット連結用開口を形成したチャンバに対し、ロボットのベースユニットを前記底面部よりも下方から引き上げて前記底面部に連結し、前記ベースユニットの連結面を前記ユニット連結用開口から臨ませるベースユニット連結工程と、前記ロボットのアームユニットを、前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入し、前記ユニット連結用開口から連結面を臨ませて前記底面部に連結された前記ベースユニットに連結するアームユニット連結工程と、を有することを特徴とするロボットの設置方法。前記ベースユニット連結工程では、前記ベースユニットを、前記チャンバの底面部に対して当該底面部の裏側から連結する一方、前記アームユニット連結工程では、前記アームユニットを、前記ベースユニットに対して当該ベースユニットの上方から連結することを特徴とする請求項3に記載のロボットの設置方法。前記ベースユニット連結工程は、前記ベースユニットを、前記チャンバの底面部の下方へ移送する移送工程と、前記底面部の下方へ移送されたベースユニットを、前記ユニット連結用開口を介して上方へ吊り上げる吊上工程と、吊り上げられた状態の前記ベースユニットを、前記底面部に対して位置決めする位置決め工程と、を含むことを特徴とする請求項3または4に記載のロボットの設置方法。しかしながら、近年、ガラス基板や半導体ウエハ等のワークが大型化しつつあり、これらのワークの大型化に伴って、搬送ロボットおよび真空チャンバも大型化しつつある。このため、搬送ロボットの真空チャンバ内への設置が困難となる可能性がある。たとえば、搬送ロボットは、大型化するほど高さ寸法が大きくなり易い。このため、大型化した搬送ロボットを真空チャンバの上方へ位置させるためには、搬送ロボットの搬入スペース、すなわち、真空チャンバ上面と、当該真空チャンバが設置された部屋の天井面との間のスペースをより広く確保することが好ましい。しかしながら、搬送ロボットの高さ寸法が大きくなると、搬送ロボットを収容する真空チャンバの高さ寸法も大きくなるのに対し、天井面の高さは変わらないため、搬送ロボットの搬入スペースを広く確保することが困難となる。このように、搬送ロボットが大型化するほど、搬送ロボットの真空チャンバ内への設置が困難となる可能性がある。実施形態の一態様は、チャンバ内への設置を容易に行うことができるロボットおよびロボットの設置方法を提供することを目的とする。実施形態の一態様に係るロボットは、作業空間を形成するチャンバに対し、当該チャンバの底面部よりも下方から引き上げられて前記底面部に連結されるベースユニットを備える。また、ロボットは、前記チャンバの上方から前記チャンバ内へ搬入され、前記チャンバの底面部に連結された前記ベースユニットに対して上方から連結されるアームユニットを備える。実施形態の一態様によれば、チャンバ内への設置を容易に行うことが可能なロボットおよびロボットの設置方法を提供することができる。以下、添付図面を参照して、本願の開示するロボットおよびロボットの設置方法の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。まず、本実施形態に係るロボットの構成について図1を用いて説明する。図1は、実施形態に係るロボットの模式的説明図である。図1に示すように、ロボット1は、水平方向に伸縮する2つの伸縮アームを具備するアームユニット20と、このアームユニット20を支持する胴体部10とを備える水平多関節ロボットである。本実施形態では、胴体部10がベースユニットを構成している。胴体部10は、筒状の筐体11内に、後述する昇降装置40図3を参照を備えており、かかる昇降装置40を用いてアームユニット20を鉛直方向に沿って昇降させる。なお、昇降装置40については、図3を用いて後に詳述する。筐体11の上部には、フランジ部12が形成されている。かかるフランジ部12が、内部に作業空間を形成する真空チャンバ30図2を参照に形成されたユニット連結用開口としての開口部31の周縁近傍に対してボルトなどで連結されることによって、ロボット1は真空チャンバ30に設置された状態となる。なお、かかる構成については、図2を用いて、また、胴体部10の真空チャンバ30への取付けについては、図5A~図5Cを用いて後に詳述する。アームユニット20は、後述する昇降フランジ部15を介して胴体部10と連結するユニットである。すなわち、アームユニット20は、アームベース21と、第1アーム22と、第2アーム23と、ハンドベース24と、補助アーム部25とを備えている。アームベース21は、昇降フランジ部15に回転可能に支持されている。また、アームベース21は、モータ61aや減速機61b、旋回用シャフト62等を具備する旋回装置60図3を参照を備えており、かかる旋回装置60を用いて回転する。なお、旋回装置60の構成については、図3を用いて後に詳述する。アームベース21の上部には、第1アーム22の基端部が減速機を介して回転可能に連結される。また、第1アーム22の先端上部には、第2アーム23の基端部が減速機を介して回転可能に連結される。そして、第2アーム23の先端部には、ハンドベース24が回転可能に連結されている。ハンドベース24は、ガラス基板や半導体ウェハなどのワークを保持するためのハンド24aをエンドエフェクタとして上部に備えており、第1アーム22および第2アーム23の回転動作に伴って移動する。ロボット1は、第1アーム22の基端部に設けられた減速機および第1アーム22の先端部に設けられた減速機を1つのモータを用いて同期的に動作させることで、ハンド24aを直線的に移動させる。具体的には、ロボット1は、第1アーム22に対する第2アーム23の回転量がアームベース21に対する第1アーム22の回転量の2倍となるように、第1アーム22および第2アーム23を回転させる。たとえば、ロボット1は、第1アーム22がアームベース21に対してα度回転した場合に、第2アーム23が第1アーム22に対して2α度回転するように第1アーム22および第2アーム23を回転させる。これにより、ハンド24aは、直線的に移動する。なお、真空チャンバ30の内部の汚染防止等の観点から、減速機やモータといった駆動機構は、大気圧に保たれた第1アーム22の内部に収納される。これにより、ロボット1を減圧環境下に置く場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することができる他、発塵による真空チャンバ30内の汚染を防止することができる。補助アーム部25は、移動中のハンド24aが常に一定の方向を向くように、第1アーム22および第2アーム23の回転動作と連動してハンドベース24の回転を規制するリンク機構である。具体的には、補助アーム部25は、第1リンク25aと、中間リンク25bと、第2リンク25cとを備える。第1リンク25aは、基端部がアームベース21に回転可能に連結され、先端部において中間リンク25bの先端部と回転可能に連結される。また、中間リンク25bは、基端部が第1アーム22と第2アーム23との連結軸と同軸上に軸支され、先端部が第1リンク25aの先端部と回転可能に連結される。第2リンク25cは、基端部において中間リンク25bと回転可能に連結され、先端部においてハンドベース24の基端部と回転可能に連結される。また、ハンドベース24は、先端部において第2アーム23の先端部と回転可能に連結され、基端部において第2リンク25cと回転可能に連結される。第1リンク25aは、アームベース21、第1アーム22および中間リンク25bと共に第1平行リンク機構を形成する。すなわち、第1アーム22が基端部を中心として回転すると、第1リンク25aおよび中間リンク25bが、それぞれ第1アーム22およびアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。また、第2リンク25cは、第2アーム23、ハンドベース24および中間リンク25bと共に第2平行リンク機構を形成する。すなわち、第2アーム23が基端部を中心として回転すると、第2リンク25cおよびハンドベース24が、それぞれ第2アーム23および中間リンク25bと平行な状態を保ちながら回転する。中間リンク25bは、第1平行リンク機構によってアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。このため、第2平行リンク機構のハンドベース24もアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。この結果、ハンドベース24の上部に取り付けられるハンド24aは、アームベース21と平行な状態を保ちながら直線的に移動することとなる。このように、ロボット1は、第1平行リンク機構および第2平行リンク機構の2つの平行リンク機構を用いて、ハンド24aの向きを一定に保つことができる。したがって、たとえば第2アーム23内にプーリや伝達ベルトを設け、これらプーリや伝達ベルトを用いてエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、プーリや伝達ベルトに起因する発塵を抑えることができる。また、補助アーム部25によってアーム全体の剛性を高めることができるため、ハンド24aの動作時の振動を低減することができる。このため、プーリや伝達ベルトを用いてエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、ハンド24aの動作時の振動に起因する発塵も抑えることができる。また、本実施形態に係るロボット1におけるアームユニット20は、第1アーム22、第2アーム23、ハンドベース24および補助アーム部25で構成される伸縮アームを二組備える。このため、ロボット1は、たとえば、一方の伸縮アームを用いてある搬送位置からワークを取り出しつつ、他方の伸縮アームを用いてかかる搬送位置へ新たなワークを搬入する等、2つの作業を同時平行で行うことができる。次に、本実施形態に係るロボット1および同ロボット1と、このロボット1の作業空間を内部に形成する真空チャンバ30とを備える半導体製造装置の一例の構成について説明し、その後、ロボット1の真空チャンバ30への設置方法について具体的に説明する。図2は、半導体製造装置100の一例構成を示す断面視による模式的説明図である。図2に示すように、半導体製造装置100は、ロボット1と、ロボット1を収容する真空チャンバ30とを備える。ロボット1は、胴体部10に形成されたフランジ部12が設置面S上に設置された真空チャンバ30の底部の略中央に形成された開口部31の縁部に対し、図示しないシール部材を介して固定される。これにより、真空チャンバ30は密閉された状態となり、真空ポンプ等の減圧装置によって内部が減圧状態に保たれる。なお、胴体部10の筐体11は、真空チャンバ30の下部から突出しており、真空チャンバ30を支持する支持部35内の空間に位置する。なお、支持部35は壁体から構成されているが、複数本の脚体で構成することもできる。ロボット1は、かかる真空チャンバ30内においてワークの搬送作業を行う。たとえば、ロボット1は、第1アーム22および第2アーム23を用いてハンド24aを直線的に移動させることで、図示しないゲートバルブを介して真空チャンバ30と接続される他の真空チャンバからワークを取り出す。つづいて、ロボット1は、ハンド24aを引き戻したのち、旋回軸Oを中心にアームベース21を水平方向に回転させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバに対してアームユニット20を正対させる。そして、ロボット1は、第1アーム22および第2アーム23を用いてハンド24aを直線的に移動させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバへワークを搬入する。真空チャンバ30は、ロボット1の形状に合わせて形成される。たとえば、図2に示すように、真空チャンバ30には、底面部に凹部が形成されており、かかる凹部に対して、アームベース21や昇降フランジ部15といった下方へ突出するロボット1の部位が納められる。このように、真空チャンバ30をロボット1の形状に合わせて形成することで、チャンバ内の容積を小さくすることができ、真空チャンバ30の減圧状態を容易に維持することが可能となる。真空チャンバ30の上部には、真空チャンバ30を外部と連通可能に閉塞する蓋部32が設けられる。詳しくは後述するが、本実施形態に係るロボット1のアームユニット20は、蓋部32が取り外された真空チャンバ30の上方から真空チャンバ30内へ搬入されることになる。すなわち、本実施形態に係るロボット1は、胴体部10とアームユニット20とが昇降フランジ部15において分割可能に構成されている。具体的には、ロボット1の昇降フランジ部15は、図示するように、第1ドッキングフランジ15aおよび第2ドッキングフランジ15bの2つのフランジで構成される。第1ドッキングフランジ15aは、胴体部10側に固定されるフランジであり、第2ドッキングフランジ15bは、アームユニット20側に固定されるフランジである。本実施形態に係るロボット1は、これら第1ドッキングフランジ15aおよび第2ドッキングフランジ15bを、ボルト等で締結して連結することによって、胴体部10とアームユニット20とが一体化した状態となる。そして、本実施形態では、ロボット1を、胴体部10とアームユニット20とに分割した状態で真空チャンバ30に設置する。これにより、ロボット1を真空チャンバ30へ容易に設置できるようにしている。ここで、第1ドッキングフランジ15aを備える胴体部10および第2ドッキングフランジ15bを備えるアームベース21の各構成について、図3を用いて説明する。図3は、胴体部10およびアームベース21の構成を示す断面視による模式的説明図である。図3に示すように、胴体部10は、内部に昇降装置40を備えている。この昇降装置40は、モータ図示せずおよび変換機構42を用いて昇降用シャフト43を鉛直方向に移動させる装置である。第1ドッキングフランジ15aは、フランジ部12に形成されたフランジ開口121から突出する昇降用シャフト43の上端部に固定される。また、アームユニット20は旋回装置60を備えている。旋回装置60は、たとえば、モータ61aと減速機61bとが一体化された減速機付モータ61の回転をプーリ64,65および伝達ベルト63を介して旋回用シャフト62へ伝達する。こうして、旋回用シャフト62を回転させようとする。しかし、旋回用シャフト62は、軸受け211を介してアームベース21に回転可能に支持されているものの、回転方向には固定されているため、結果的にアームベース21が旋回用シャフト62の中心軸を旋回軸Oとしてアームベース21が水平方向に回転することとなる。第2ドッキングフランジ15bは、アームベース21の下部から鉛直下向きに突出する旋回用シャフト62の先端部に固定されている。そして、胴体部10およびアームユニット20が、第1ドッキングフランジ15aおよび第2ドッキングフランジ15bをボルト等で固定され、両者が一体化することによってロボット1となる。ところで、図3に示すように、第1ドッキングフランジ15aの上面には位置決めピン151が設けられ、第2ドッキングフランジ15bには、位置決めピン151と係合する係合孔153が形成されている。アームユニット20は、位置決めピン151と係合孔153とを係合させた状態で第1ドッキングフランジ15aと第2ドッキングフランジ15bとを固定することにより、胴体部10に対して適切な位置で連結されることになる。このように、本実施形態に係るロボット1では、胴体部10の上部に、当該胴体部10よりも大径の第1ドッキングフランジ15aを備え、アームユニット20の下部には、第1ドッキングフランジ15aと略同径の第2ドッキングフランジ15bを備えている。そして、本実施形態に係るロボット1では、第1ドッキングフランジ15aと第2ドッキングフランジ15bとを連結することによって胴体部10とアームユニット20とを一体化している。したがって、互いに分離された胴体部10とアームユニット20とであっても、これらを一体化する連結作業を容易に行うことができる。また、本実施形態に係るロボット1では、第1ドッキングフランジ15aに対して位置決め用の凸部である位置決めピン151を設け、かかる位置決めピン151と係合する係合孔153を第2ドッキングフランジ15bに形成している。したがって、胴体部10に対してアームユニット20を正確な位置で連結することができる。なお、ここでは、第1ドッキングフランジ15aに位置決めピン151を設け、第2ドッキングフランジ15bに係合孔153を形成したが、第1ドッキングフランジ15aに挿通孔を形成し、第2ドッキングフランジ15bに位置決めピンを設けてもよい。また、ここでは、位置決め用の凸部および位置決め用の凹部の一例として、位置決めピン151および係合孔153を用いて説明したが、位置決め用の凸部および凹部は、ピンおよび挿通孔に限定されるものではない。また、ここでは、旋回装置60が減速機付モータ61を備える場合の例について説明したが、モータと減速機とは、必ずしも一体化されていなくてもよい。次に、旋回装置60および昇降装置40の具体的な構成について説明する。図3に示すように、旋回装置60の旋回用シャフト62には、旋回用シャフト62の上端から下端まで貫通する貫通孔622が旋回軸Oに沿って形成され、第2ドッキングフランジ15bにも同様の貫通孔154が形成される。そして、これらの貫通孔622,154には、アームユニット20の配線ケーブル300が挿通される。かかる配線ケーブル300は、旋回用シャフト62の上方から貫通孔622,154を通ってアームベース21の下部から垂れ下がった状態となる。昇降装置40は、変換機構42と、昇降用シャフト43と、リニアガイド44とを備える。変換機構42は、図示しないモータの回転運動を直線運動へ変換する機構部である。具体的には、変換機構42は、ボールねじ421およびボールナット422を備える。ボールねじ421は、軸受112を介して筐体11に回転可能に支持され、ボールナット422は、ボールねじ421に貫装される。昇降用シャフト43は、鉛直方向に沿って延在する筒状の部材である。かかる昇降用シャフト43の筒内には、変換機構42が配設されており、変換機構42のボールナット422が昇降用シャフト43の内周面に固定される。また、昇降用シャフト43は、外周面においてリニアガイド44に固定される。図示しないモータを作動させると、モータの回転は、図示しない伝達ベルトやプーリを介して変換機構42のボールねじ421へ伝達される。そして、ボールねじ421およびボールナット422によってモータの回転運動が直線運動へ変換されて、ボールナット422に連結された昇降用シャフト43が、リニアガイド44に沿って昇降する。第1ドッキングフランジ15aには、貫通孔152が旋回軸Oに沿って形成されており、かかる貫通孔152を介してアームユニット20の配線300が昇降用シャフト43内へ挿入される。昇降用シャフト43内へ挿入された配線300は、昇降用シャフト43の下部に形成された切欠部431から昇降用シャフト43外へ引き出され、昇降用シャフト43外に設けられたコネクタパネル図示せずに接続される。ここで、変換機構42は、昇降用シャフト43の内周面に寄せた状態で配設される。具体的には、変換機構42は、ボールねじ421の中心軸を昇降用シャフト43の中心軸すなわち、旋回軸Oからずらして偏心させた位置に配設される。これにより、変換機構42と昇降用シャフト43の内周面との間には、配線300の配線空間Qが形成される。昇降用シャフト43には、上方から挿入される配線300を配線空間Qへ案内するガイド体450が設けられる。ガイド体450は、配線空間Qと変換機構42との間においてボールねじ421の上部および側面を覆うように設けられた部材であり、配線空間Qへ向けて傾斜が形成されている。このように、昇降用シャフト43の筒内にガイド体450を設けることで、ボールねじ421やボールナット422に阻害されることなく、配線300を配線空間Qへ容易に導くことができる。また、ロボット1の動作中において配線300と変換機構42とが接触することを防止することもできる。次に、上述してきた構成からなるロボット1の真空チャンバ30への設置方法について説明する。図4は、真空チャンバ30上方の搬入スペースの高さ寸法とロボット1の高さ寸法との比較図である。まず、この図4を用いて、真空チャンバ30と天井750との間に形成される搬入スペースの高さ寸法X1とロボット1の高さ寸法Hとの比較について説明する。なお、図示するように、ロボット1の搬入作業は、真空チャンバ30上部の蓋部32図2参照が取り外された状態で行う。ロボット1を、たとえば、天井クレーン700を用いて吊り上げたとする。なお、天井クレーン700は、フック701を用いて対象物を所定の高さまで吊り上げ、天井750に設けられた走行レーン751に沿って可能に構成された、所望する位置で吊り上げた対象物を降ろすことのできるクレーン装置である。対象物を天井クレーン700で吊り上げて真空チャンバ30内へ搬入するためには、対象物の高さ寸法が真空チャンバ30上方に形成される搬入スペースの高さ寸法X1よりも小さい必要がある。ここで、搬入スペースとは、真空チャンバ30の上方に位置させたロボット1などの対象物を、真空チャンバ30内へ搬入するための空間であり、具体的には、最高位置まで引き上げたフック701の下部から真空チャンバ30の上端部までの空間を指す。図示するように、本実施形態に係るロボット1の高さ寸法Hは、この搬入スペースの高さ寸法X1よりもはるかに大きい。このような場合、天井クレーン700を用いてロボット1を搬入スペースまで移動させようとしても、ロボット1は真空チャンバ30の側壁に当たってしまう。そこで、胴体部10とアームユニット20とに分割可能に構成したロボット1を、それぞれ個別に真空チャンバ30へ搬送することとした。このとき、本実施形態に係るロボット1は、アームユニット20の高さ寸法h2は搬入スペースの高さ寸法X1よりも小さいものの、胴体部10の高さ寸法h1は搬入スペースの高さ寸法X1よりも大きい。なお、アームユニット20の高さ寸法h2は、アームユニット20の上面から後述する天井クレーン700のフック701の下端までの距離を含むものとする。すなわち、本実施形態に係るロボット1は、胴体部10とアームユニット20とに分割可能に構成されているとはいえ、胴体部10を真空チャンバ30の上方から搬入することはできない。そのため、本実施形態では、胴体部10は真空チャンバ30の下方から、アームユニット20は真空チャンバ30の上方から搬送して、その後両者を連結して、最終的にロボット1を真空チャンバ30に設置するようにしている。そのために、本実施形態では、胴体部10の高さ寸法h1は、真空チャンバ30の設置面Sから当該真空チャンバ30の底面部までの高さ寸法X2よりは小さくしている。このように、本実施形態に係るロボット1は、真空チャンバ30に対し、この真空チャンバ30の底面部よりも下方から引き上げられて前記底面部に連結される胴体部10と、真空チャンバ30の上方から当該真空チャンバ30内へ搬入され、真空チャンバ30の底面部に連結された胴体部10に対して上方から連結されるアームユニット20とを備えることになる。以下では、本実施形態に係るロボット1の真空チャンバ30への設置方法を図5A~図図5Cを用いて説明する。図5Aおよび図5Bは、胴体部10の真空チャンバ30への設置方法を示す説明図、図5Cは、アームユニット20の真空チャンバ30への設置方法を示す説明図である。図5Aに示すように、作業者は、まず、車輪910を有する所定の台車900上に、予めアームユニット20と共に分割された状態で用意された胴体部10を載置して、これを真空チャンバ30の開口部31の直下位置に移送する。このとき、真空チャンバ30における、壁体などから構成されている支持部35の一部を取外自在に構成しておき、胴体部10の移送時には搬入口35aを形成しておくとよい。なお、胴体部10のフランジ部12の上面の取付面やOリングなどのシール部材装着面については、予め清掃しておくものとする。また、胴体部10の下面には、台車900に安定的に載置するために、スペーサ920を取り付けておくこととする。なお、所定の台車900としては、フォークリフトなども好適に用いることができる。また、予め、真空チャンバ30の設置面Sに、当該真空チャンバ30の中心位置まで至るレールなどを敷設しておき、かかるレール上を、胴体部10を載置可能とした移送体が進退できるようにしてもよい。こうして、胴体部10は、真空チャンバ30の底面部の開口部31の直下に位置し、この位置においては、第1ドッキングフランジ15aを開口部31の上方から臨むことができる。次に、作業者は、吊治具であるアイボルト810を胴体部10のフランジ部12に予め形成されたボルト孔に螺合した後、アイボルト810のリング部に天井クレーン700のフック701から垂下させたワイヤ820を掛止する。なお、本実施形態では、4本のアイボルト810を用いており、胴体部10は4本のワイヤ820によって吊下されることになる。そして、図5Bに示すように、天井クレーン700によって胴体部10をわずかに吊り上げる。この状態では、作業者によって、胴体部10を容易に動かすことができるため、位置合わせも比較的に容易に行える。具体的には、胴体部10のフランジ部12に設けたボルト挿通孔と真空チャンバ30の開口部31の周縁近傍に設けた連結孔共に図示せずとの位置が一致するように、胴体部10を水平方向へ直線移動したり、周方向へ回転移動したりして位置合わせを行う。そして、作業者等は、胴体部10のフランジ部12と開口部31の周縁近傍に設けた連結孔とをボルト等を用いて連結して固定する。これにより、胴体部10の真空チャンバ30への設置が完了する。なお、真空チャンバ30へ設置された胴体部10には、アームユニット20の位置決めのためのガイド部材125,126図6を参照が取り付けられるが、かかる点については、図6を用いて後に説明する。胴体部10の真空チャンバ30への設置が完了すると、作業者等は、図5Cに示すようにアームユニット20の真空チャンバ30への設置を行う。まず、作業者等は、予め胴体部10と共に分割された状態で用意されたアームユニット20に、リング610を備えた吊治具600を装着させた後、リング610に天井クレーン700のフック701を引っ掛けてアームユニット20を吊り上げる。このとき、アームユニット20の配線300は、アームユニット20の下部から垂れ下がった状態となっている。つづいて、作業者等は、走行レーン751に沿って天井クレーン700を走行させ、アームユニット20を真空チャンバ30上方の搬入スペースまで移動させる。ここで、図5Cに示すように、吊治具600を含むアームユニット20の高さ寸法h2は、搬入スペースの高さ寸法X1よりも小さい。このため、アームユニット20は、真空チャンバ30に当たることなく搬入スペースまで移動することができ、真空チャンバ30の中央上方まで移動させることができる。つづいて、作業者等は、天井クレーン700を操作し、既に真空チャンバ30に設置されている胴体部10へ向けてアームユニット20を降下させる。これにより、アームユニット20の下部から垂れ下がった配線300は、胴体部10が備える昇降装置40の昇降用シャフト43内へ挿入される図3参照。前述したように、昇降用シャフト43内には、配線300の配線空間Qと変換機構42との間にガイド体450が設けられている。このため、作業者等は、変換機構42に阻害されることなく配線300を配線空間Qへ通すことができる。つづいて、作業者等は、アームユニット20をさらに降下させ、アームユニット20の下部に設けられた第2ドッキングフランジ15bを、胴体部10の上部に設けられた第1ドッキングフランジ15aへ近づける。ここで、アームユニット20の吊治具600には、胴体部10に設けられたガイド部材125,126と対をなす位置決め用の目印が形成されており、作業者等は、後述するように、これらガイド部材125,126および位置決め用の目印を用いて、アームユニット20の大まかな位置決めを行う。図6は、胴体部10に対するアームユニット20の大まかな位置決め方法を示す説明図である。図示するように、胴体部10のフランジ部12上の所定位置には、円柱状のガイド部材125,126が取り付けられる。また、アームユニット20の吊治具600には、位置決め用の目印として、貫通孔602a,603aが、ガイド部材125,126間の間隔と等しい間隔で形成される。作業者等は、これらガイド部材125,126および貫通孔602a,603aを目印としてアームユニット20の位置決めを行う。具体的には、作業者等は、貫通孔602a,603aを上方から見た場合に、ガイド部材125,126がそれぞれ貫通孔602a,603a内に収まるようにアームユニット20の位置を調整しながら、アームユニット20を胴体部10へ向けて降下させる。このように、本実施形態では、胴体部10のフランジ部12に対して着脱可能な位置決め用のガイド部材125,126を設け、吊治具600に対してガイド部材125,126に対応する貫通孔602a,603aを形成している。そして、本実施形態では、これらガイド部材125,126および貫通孔602a,603aを用いてアームユニット20の胴体部10に対する位置決めを行うこととしている。したがって、作業者等は、アームユニット20を胴体部10へ向けて降下させつつ、胴体部10に対するアームユニット20の大まかな取り付け位置を容易に把握することができる。また、上述したように、胴体部10の第1ドッキングフランジ15aには、位置決め用の凸部である位置決めピン151が設けられており、アームユニット20の第2ドッキングフランジ15bには、位置決めピン151と係合する係合孔153が形成される。これにより、作業者等は、第1ドッキングフランジ15aに対して第2ドッキングフランジ15bを正確に設置することができる。第1ドッキングフランジ15a上に第2ドッキングフランジ15bを載置した後、作業者等は、第1ドッキングフランジ15aと第2ドッキングフランジ15bとをボルト等で固定する。これにより、胴体部10およびアームユニット20は、一体化してロボット1を構成することとなる。なお、図6に示すように、アームユニット20の吊治具600は、上側支持部材601と、下側支持部材602,603と、連結シャフト604~606を備える。作業者等は、まず、下側支持部材602,603をアームベース21の下部に取り付ける。アームベース21に取り付けられた下側支持部材602,603は、その一部がアームベース21からY軸負方向へ向けて突出した状態となる。かかる下側支持部材602,603のアームベース21から突出した部分に、貫通孔602a,603aがそれぞれ形成される。つづいて、作業者等は、連結シャフト604,605をそれぞれ下側支持部材602,603に取り付け、連結シャフト606をアームベース21に取り付ける。そして、作業者等は、上側支持部材601を連結シャフト604~606に取り付け、ボルト等でこれらを締結する。これにより、吊治具600は、アームユニット20に取り付けられた状態となる。上述してきたように、本実施形態に係るロボット1は、真空チャンバ30に対し、この真空チャンバ30の底面部よりも下方から引き上げられて前記底面部に連結される胴体部10を備えている。また、このロボット1は、真空チャンバ30の上方から当該真空チャンバ30内へ搬入され、真空チャンバ30の底面部に連結された胴体部10に対して上方から連結されるアームユニット20を備えている。そして、かかるロボット1の真空チャンバ30への設置を、作業空間を形成し、底面部にユニット連結用開口の開口部31を形成した真空チャンバ30に対し、下記の2つの工程を有する設置方法で行うようにしている。すなわち、1つの工程は、ロボット1のベースユニットである胴体部10を、真空チャンバ30の底面部よりも下方から引き上げて底面部に連結し、胴体部10の連結面となるフランジ部12の上面を開口部31から臨ませるベースユニット連結工程である。また、2つ目の工程は、ロボット1のアームユニット20を、真空チャンバ30の上方から当該真空チャンバ30内へ搬入し、開口部31から連結面を臨ませて真空チャンバ30の底面部に連結された胴体部10に連結するアームユニット連結工程である。かかる真空チャンバ30への設置方法としたことにより、丈の高いロボット1であっても、真空チャンバ30内への設置を容易に行うことができる。また、ベースユニット連結工程は、さらに下記の3つの工程を含むこととしている。1つ目の工程は、胴体部10を、真空チャンバ30の底面部の下方へ移送する移送工程である。また、2つ目の工程は、真空チャンバ30の底面部の下方へ移送された胴体部10を、真空チャンバ30の底面部に設けられている開口部31を介して上方へ吊り上げる吊上工程である。さらに、3つ目の工程は、吊り上げられた状態の胴体部10を、真空チャンバ30の底面部に対して位置決めする位置決め工程である。したがって、胴体部10を、容易かつ正確に真空チャンバ30の底面部に連結して固定させることができる。また、本実施形態では、胴体部10の高さ寸法h1およびアームユニット20の高さ寸法h2の和が、真空チャンバ30の上方に形成される搬入スペースの高さ寸法X1よりも大きいこととした。しかも、胴体部10の高さ寸法h1は、真空チャンバ30の設置面Sから当該真空チャンバ30の底面部までの高さ寸法X2よりは小さく、搬入スペースの高さ寸法X1よりも大きい。したがって、たとえば、特に胴体部10の丈が高くなってロボット1が大型化するとともに、それに伴って真空チャンバ30が大型化して、真空チャンバ30と天井750との間に形成される搬入スペースを確保することが困難となった場合であっても、ロボット1を真空チャンバ30内へ容易に設置することが可能となる。また、上述してきた実施形態では、ロボット1の高さ寸法Hが搬送スペースの高さ寸法X1よりも大きい場合の例について説明したが、ロボット1の高さ寸法Hは、搬送スペースの高さ寸法X1より小さくてもよい。このような場合であっても、ロボット1を分割して真空チャンバ30内へ搬入することで、1回の搬入動作で搬入させる対象物の重量および大きさを減らすことができ、ロボット1の真空チャンバ30内への搬入を容易に行うことができる。なお、上述してきた実施形態では、ロボット1が、ガラス基板や半導体ウェハなどのワークを搬送する搬送ロボットである場合の例について説明したが、ロボット1は、ワークの搬送以外の作業を行うロボットであってもよい。また、上述してきた実施形態では、ロボット1が、真空チャンバ30内に設置される場合の例について説明してきたが、ロボット1が設置されるチャンバとしては、真空チャンバ30以外のチャンバであってもよい。また、上述してきた実施形態では、建屋などに設けられた天井クレーン700を用いて胴体部10やアームユニット20を吊下して搬入作業を行う場合の例について説明した。しかし、胴体部10やアームユニット20の搬入作業に用いるクレーンは、必ずしも天井クレーン700でなくても構わない。さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。"