"流体の中に曝される筐体と、当該筐体に設けられた収容空間と、前記筐体の先端部に設けられた動圧導入口と、前記筐体の側面部に設けられた静圧導入口と、を備え、前記動圧導入口を前記流体の流れる方向に向け、前記静圧導入口を前記流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けてなる流速センサーであって、前記収容空間の第1の開口部を封止する第1のダイアフラムと、前記収容空間の第2の開口部を封止する第2のダイアフラムと、前記収容空間にて前記第1及び第2のダイアフラム同士の中央領域を接続する力伝達手段と、当該力伝達手段に固定された可動部と、前記収容空間の内面に設けた固定部と、前記収容空間に収容され、感圧部と、当該感圧部の両端に接続される一対の基部と、を有し、前記一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子と、を有し、前記感圧素子は、前記一対の基部の一方の基部を前記可動部に接続し、他方の基部を前記固定部に接続され、前記検出軸は前記力伝達手段と平行であり、前記第1のダイアフラムは、前記動圧導入口から導入された圧力を受圧し、前記第2のダイアフラムは、前記静圧導入口から導入された圧力を受圧し、前記第1及び第2のダイアフラムの受圧面側に断熱部が設けられたことを特徴とする流速センサー。前記筐体の側壁に断熱層を設けたことを特徴とする請求項1に記載の流速センサー。前記感圧素子は、前記一対の基部の少なくともいずれか一方の基部に一体化された温度検出用感圧素子を有し、当該温度検出用感圧素子の検出値に基づいて前記感圧素子の温度特性を補正する温度補償回路と、を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の流速センサー。前記収容空間に設置したヒータ抵抗と、前記温度検出用感圧素子の検出値に基づいて前記収容空間の温度を制御する温度制御回路と、を備えたことを特徴とする請求項3に記載の流速センサー。このような圧力センサーを用いて河川、堰、ダム、水路等の流体の流速を測定する場合、特許文献4乃至6に開示されているように、流体中に曝される筐体の中に前記圧力センサーを収容し、前記2つのダイアフラムの受圧面に、それぞれ、動圧Paを導入する動圧導入口を供えた第1のキャップと、静圧Pbを導入する静圧導入口を供えた第2のキャップと、を取り付ける構成となる。前述の通りこの圧力センサーは、前記2つのダイアフラムの受圧面とは反対側の裏面同士を前記力伝達手段で接続させた構成を有しており、前記2つのダイアフラムで夫々受圧した動圧Paと静圧Pbの差圧を検出している。しかし、流体の流速を測定するために流速センサーを水中へ配置するとき、流速センサーの流速検出精度に関して、水中における水温の温度変化に応じて、感圧素子が収容された容器内部の雰囲気の温度が変化する追従性には限界がある。このため、流体の温度と容器内雰囲気の温度との差が生じて、圧力変化に伴う感圧素子の発振周波数を正確に測定することができないという問題があった。流速センサーを水中に配置した後、ハウジング内の温度が安定するまでの所定の間、流速を測定することができなかった。そこで本発明は、上記従来技術の問題点に着目し、測定環境の温度変化による測定誤差を回避できる流速センサーを提供することを目的としている。また本発明は、測定環境の温度変化の影響を受けずにハウジング内部の温度を設定温度に維持することができる流速センサーを提供することを目的としている。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。[適用例1]流体の中に曝される筐体と、当該筐体に設けられた収容空間と、前記筐体の先端部に設けられた動圧導入口と、前記筐体の側面部に設けられた静圧導入口と、を備え、前記動圧導入口を前記流体の流れる方向に向け、前記静圧導入口を前記流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けてなる流速センサーであって、前記収容空間の第1の開口部を封止する第1のダイアフラムと、前記収容空間の第2の開口部を封止する第2のダイアフラムと、前記収容空間にて前記第1及び第2のダイアフラム同士の中央領域を接続する力伝達手段と、当該力伝達手段に固定された可動部と、前記収容空間の内面に設けた固定部と、前記収容空間に収容され、感圧部と、当該感圧部の両端に接続される一対の基部と、を有し、前記一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子と、を有し、前記感圧素子は、前記一対の基部の一方の基部を前記可動部に接続し、他方の基部を前記固定部に接続され、前記検出軸は前記力伝達手段と平行であり、前記第1のダイアフラムは、前記動圧導入口から導入された圧力を受圧し、前記第2のダイアフラムは、前記静圧導入口から導入された圧力を受圧し、前記第1及び第2のダイアフラムの受圧面側に断熱部が設けられたことを特徴とする流速センサー。上記構成により、動圧導入口又は静圧導入口から導入された圧力が加わるダイアフラムの受圧面に対して断熱部で熱伝導を遮断して、収容空間の雰囲気の温度が水温の温度変化の影響を受け難くすることができる。感圧素子が水温の温度変化の影響を受けることなく、圧力変化に伴う発振周波数の変化を正確に測定することができる。[適用例2]前記筐体の側壁に断熱層を設けたことを特徴とする適用例1に記載の流速センサー。上記構成により、筐体に形成した断熱層で熱伝導を遮断して、側面からの流体の温度変化の影響を回避することができる。従って、温度変化の影響を受けることなく圧力変化に伴う発振周波数の変化を正確に測定することができる。[適用例3]前記感圧素子は、前記一対の基部の少なくともいずれか一方の基部に一体化された温度検出用感圧素子を有し、当該温度検出用感圧素子の検出値に基づいて前記感圧素子の温度特性を補正する温度補償回路と、を備えたことを特徴とする適用例1又は適用例2に記載の流速センサー。これにより、温度変化による誤差を補正して、動圧導入口又は静圧導入口から導入された圧力の圧力検出精度を上げて圧力感度を改善することができる。[適用例4]前記収容空間に設置したヒータ抵抗と、前記温度検出用感圧素子の測定値に基づいて前記収容空間の温度を制御する温度制御回路と、を備えたことを特徴とする適用例3に記載の流速センサー。上記構成により、収容空間を所定の設定温度に維持することができる。従って、温度変化の影響を受けることがなく、圧力変化に伴う発振周波数の変化を正確に測定することができる。本発明の流速センサーの実施形態を添付の図面を参照しながら、以下詳細に説明する。図1は第1実施形態に係る流速センサーの構成概略を示す断面図である。図2の1は第1実施形態に係る流速センサーの部分分解斜視図であり、2は1の正反対から見た部分分解斜視図である。第1実施形態に係る流速センサー10は、ハウジング12と、ダイアフラム20と、センターシャフト力伝達手段14と、感圧素子40と、発振回路50と、キャップ52と、を主な基本構成としている。ハウジング12は、中空円筒形状の容器であり、両端面に後述する一対のダイアフラム20の周縁部20eを支持する第1及び第2の開口部17a,17bが設けられている。ハウジング12は、流体の中に曝される筐体としての役割をなしている。ハウジング12は第1及び第2の開口部17a,17bを一対のダイアフラムで閉塞することにより内部に収容空間18が形成される。収容空間18は、内部の側面から軸心に向かって延出された固定部16が形成されている。なお、ハウジング12は、ステンレス等の金属で形成することが好ましい。固定部16は、ハウジング12と同一の金属で形成することが好ましく、溶接等によりハウジング12に形成することができる。ダイアフラム20は、ハウジング12の第1及び第2の開口部17a,17bを封止している。ダイアフラム20は、ハウジング12の外部に面した一方の主面が受圧面22となっており、前記受圧面22が被測定圧力環境例えば液体の圧力を受けて撓み変形する可撓部20dを有している。ダイアフラム20は、可撓部20dがハウジング12内部側又は外部側に撓み変形することにより、感圧素子40に圧縮力又は引張力を伝達している。ダイアフラム20は、第1及び第2のダイアフラム20a,20bから構成されている。第1及び第2のダイアフラム20a,20bには、それぞれ、中心から外周に向かって、外部からの圧力によって変位する中央部20cと、外部からの圧力により撓み変形する可撓部20dと、ハウジング12に形成された開口の内壁に接合して固定される周縁部20eが形成されている。なお、周縁部20eは圧力を受けても変位しないものとする。また、周縁部20eとハウジング12は、溶接等により接続することができる。ダイアフラム20の材質は、ステンレスのような金属やセラミックなどの耐腐食性に優れたものがよい。例えば、金属で形成する場合は、金属母材をプレス加工して形成すればよい。なお、ダイアフラム20は、液体やガス等により腐食しないように、外部に露出する表面をコーティングしてもよい。例えば、金属製のダイアフラム20であれば、ニッケルの化合物をコーティングしてもよい。ハウジング12の内部には、第1及び第2のダイアフラム20a,20bの中央部20cを相互に接続するセンターシャフト力伝達手段14がハウジング12の軸心に沿って配置されている。センターシャフト14は、第1及び第2のダイアフラム20a,20bの中央部20cに接着して接続するようにしている。そして、センターシャフト14の途中には、可動部15が一体的に取り付けられている。可動部15は、後述する感圧素子40の第1の基部40aが接続され、受け台として用いられる。なお、センターシャフト14及び可動部15は、受圧手段となるダイアフラム20と同質の材料、すなわちステンレスのような金属やセラミックなどの耐腐食性に優れたもので形成されている。感圧素子40は、感圧部となる振動腕40cとその両端に形成された第1の基部40aと第2の基部40bを有し、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等の圧電材料により形成されている。感圧素子40は、第1の基部40aを可動部15の側面に接続させている。また、第2の基部40bを固定部16の先端端部に接続させている。よって、感圧素子40は、その長手方向、すなわち第1の基部40aと第2の基部40bとが並ぶ方向がダイアフラム20の変位方向と平行になるように配置され、その変位方向が検出軸となっている。つまり、感圧素子40の検出軸は、力伝達手段と平行に配置されている。そして、感圧素子40は可動部15及び固定部16により固定されている。このため、感圧素子40はダイアフラム20の変位による力を受けても、検出軸方向以外の方向に曲がることが無いので、検出軸方向の変位がそのまま感圧素子に作用して、感圧素子40の検出軸方向の感度の低下を抑制することができる。感圧素子40の振動腕40cには励振電極不図示が形成され、励振電極不図示と電気的に接続する電極部不図示を有する。感圧素子40は、後述する発振回路IC50から供給される交流電圧により、固有の共振周波数で振動する。そして感圧素子40は、その長手方向から圧縮応力又は引張応力を受けることにより共振周波数が変動する。本実施形態においては感圧部となる振動腕40eとして双音叉型振動子を適用することができる。双音叉型振動子は、振動腕40cである前記2つの振動ビームに圧縮応力又は引張応力が印加されると、その共振周波数が印加される応力にほぼ比例して変化するという特性がある。そして双音叉型圧電振動片は、厚みすべり振動子などに比べて、圧縮応力に対する共振周波数の変化が極めて大きく共振周波数の可変幅が大きいので、わずかな圧力差を検出するような分解能力に優れる圧力センサーにおいては好適である。双音叉型圧電振動子は、圧縮応力を受けると振動腕の振幅幅が大きくなるので共振周波数は低くなる。一方、双音叉型圧電振動子は、引張応力を受けると振動腕の振幅幅が小さくなるので共振周波数は高くなる。また本実施形態においては2つの振動ビームを有する感圧部のみならず、一本の振動ビームシングルビームからなる感圧部を適用することができる。感圧部振動腕40cをシングルビーム型の振動子として構成すると、長手方向検出軸方向から同一の応力を受けた場合、その変位が2倍になるため、双音叉の場合よりさらに高感度な圧力センサーとすることができる。なお、上述の圧電材料のうち、双音叉型またはシングルビーム型の圧電振動子の圧電基板用としては温度特性に優れた水晶が望ましい。発振回路50は、感圧素子40を発振させる回路であり、固定部16に取り付けている。発振回路50は、ボンディングワイヤ不図示等を介して、感圧素子40の励振電極と電気的に接続し、感圧素子40を発振させることができる。キャップ52は、ハウジング12と略同一径となるように形成した皿状の容器である。キャップ52は、第1及び第2のキャップ52a,52bから構成されており、第1及び第2のダイアフラム20a,20bの受圧面22を覆うようにハウジング12に取り付けられている。なお、第1及び第2のキャップ52a,52bの取り付け方法は、接続箇所に雄ねじ部と雌ねじ部を形成して螺合する構造や、溶接手段、接着手段等を適用することができる。第1のキャップ52aは、動圧が導入される動圧導入口54が形成されている。本実施形態の動圧導入口54は、第1のダイアフラム20aの受圧面22と対向する壁面に1つ形成している。なお、動圧導入口54は、流体の上流側に向く方向であれば第1のキャップ52aのいずれかの場所でよい。第2のキャップ52bは、静圧が導入される静圧導入口56が形成されている。本実施形態の静圧導入口56は、第2のダイアフラム20bの受圧面22と垂直となる壁面に2つ形成している。なお、静圧導入口56は、動圧が導入されなければ第2のキャップ52bのいずれかの場所でよい。また第1実施形態に係る流速センサー10は、第1及び第2のダイアフラム20a,20bの受圧面22側に断熱部60となるシリコンオイルを塗布している。断熱部60の形成方法は動圧導入口54又は静圧導入口56から充填して形成することができる。またはハウジング12に第1及び第2のキャップ52a,52bを接続させる前段で、ダイアフラム20の受圧面22側に断熱部60を形成し、その後、第1及び第2のキャップ52a,52bをハウジング12に取り付けるようにしてもよい。なお断熱部60は、シリコンオイルの他にも、熱伝達係数が低く、水と混ざり合うことがなく、ダイアフラム20の受圧面22を覆うことができる物質であれば、これに限らず、シリコン樹脂等を適用しても良い。上記構成による第1実施形態の流速センサー10は、一対の同心配置された第1及び第2のダイアフラム20a,20bを、中心部20cを結ぶ軸線上に配置したセンターシャフト14により接続して、ダイアフラム20の周縁部20eをハウジング12により固定している。これにより、ハウジング12内には、第1及び第2のダイアフラム20a,20bで囲まれた密閉空間が形成される。なお、密閉空間は減圧させることにより、感圧素子40の測定精度を向上させることができる。また密閉空間内には、感圧素子40がセンターシャフト14と平行に配置され、その一端第1の基部40aがセンターシャフト14の可動部15に支持固定され、他端第2の基部40bがハウジング12の固定部16に支持固定されている。これにより、感圧素子40の検出軸はセンターシャフト14と平行となるように配置される。このような流速センサー10は、第1及び第2のダイアフラム20a,20bにかかる圧力の差圧分だけ、ダイアフラム20に接続されているセンターシャフト14が第1及び第2のダイアフラム20a,20bの中心部20cを結ぶ軸線方向に移動する。このセンターシャフト14の移動に連動して、可動部15が軸線方向に移動することにより、感圧素子40には、圧縮力又は引張力が作用し、この力により内部に生じた圧縮応力又は引張応力によって、感圧素子40の共振周波数が変化する。例えば、第1のダイアフラム20aにかかる圧力が第2のダイアフラム20bにかかる圧力よりも大きい場合には、可動部15が第2のダイアフラム20b側に移動して、感圧素子40に圧縮力が作用する。一方、第1のダイアフラム20aにかかる圧力が第2のダイアフラム20bにかかる圧力よりも小さい場合には、可動部15が第1のダイアフラム20a側に移動して、感圧素子40に引張力が作用する。上記構成による第1実施形態の流速センサー10の作用について以下説明する。図3は本発明の流速センサーを用いた測定方法の説明図である。第1実施形態の流速センサー10の動圧導入口54が河川等の水流体の流れる方向に向くように安定した状態で流体中に設置する。このとき静圧導入口56は流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向いた位置に設置される。流速センサー10の動圧導入口54は、開口から第1のキャップ52a内に水が導入されて、室内に生じた圧力が第1のダイアフラム20aに加わる。一方、流速センサー10の静圧導入口56は、直線上に2つの開口が形成され、開口から第2のキャップ52b内に水が流入する。第2のキャップ52b内では、室内に生じた圧力が第2のダイアフラム20bに加わる。このとき第1及び第2のダイアフラム20a,20bの受圧面22側には断熱部60が形成されているため、水温の温度変化が断熱部60によって遮断されるため、収容空間18の雰囲気の温度が水温の温度変化の影響を受け難くなる。第1のダイアフラム20aに作用する動圧と、第2のダイアフラム20bに作用する静圧の差圧分、すなわち動圧に相当する圧力分だけ、ダイアフラム20に接続されているセンターシャフト14が、第1及び第2のダイアフラム20a,20bの中心部20cを結ぶ軸線方向に移動する。このセンターシャフト14の移動に連動して可動部15が軸線方向に移動する。例えば、動圧導入口54側の圧力が静圧導入口56側の圧力よりも大きい場合、感圧素子40には圧縮力が作用し、この力により内部に生じた圧縮応力によって感圧素子40の共振周波数が変化する。この共振周波数の変化から動圧が求まり、以下に示すベルヌーイの定理により流体の流速を求めることができる。流体に大気圧が付加されている場合の流速は、Pa:動圧導入口から導入され、第1のダイアフラムで受圧する圧力Pb:静圧導入口から導入され、第2のダイアフラムで受圧する圧力P0:大気圧P1:静圧P2:動圧V:流体の速度g:重力加速度w:流体の単位重量とすると、ここで、流体が水であれば、水の密度は1であるから、w=1より、従ってここで、動圧孔の形状による補正係数をkとすると、流速Vは、により求めることができる。また、流体に大気圧が付加されていない場合の流速は、ここで、流体が水であれば、水の密度は1であるから、w=1より、従ってここで、動圧孔の形状による補正係数をkとすると、流速Vは、により求めることができる。このような第1実施形態に係る流速センサー10によれば、センサー本体を水流の中に設置して水温の温度変化が生じた場合、流体と直に接触するダイアフラム20の受圧面22から伝わる温度変化が断熱部60によって遮断されハウジング12内の収容空間18へ熱伝導が起こらない。よって動圧と静圧の差圧を測定するときに水温の温度変化が生じても断熱部60を介して熱を遮断することができる。これにより水温の温度変化の影響を感圧素子40が受けることがなく、圧力変化に伴う発振周波数の変化を正確に測定することができる。図4は第1実施形態の流速センサーを流体中に設置した一例図である。図示のように、流速センサー10は筐体110の内部に設けられている。筐体110は、全体形状を流線型とし、後端部に尾翼112が設けられている。筐体110の先端部には、流体の流れる方向に向けて動圧導入口114が設けられている。また筐体110の側面部には、流体の流れる方向とほぼ直行した方向に向けて静圧導入口116が設けられている。一方、流体センサーの第1及び第2のキャップ52c,52dは、第1又は第2ダイアフラム20a,20bの受圧面と対向する壁面に一つの開口を設けている。動圧導入口114には、流速センサー10の第1のキャップ52cに接続している配管118が設けられている。静圧導入口116には、流速センサー10の第2のキャップ52dと接続している配管119が設けられている。このような構成による流速センサー10は、筐体110を流体中に曝すと、先端部が上流側を向いて、尾翼112側が下流側を向くように配置される。このとき動圧導入口114は、流体中の流れに向けて配置され、静圧導入口116は、流体の流れに対してほぼ直行した方向に向けて配置され易くなる。従って動圧導入口又は静圧導入口から導入された圧力を第1又は第2ダイアフラム20a,20bで検出することができる。図5は第2実施形態に係る流速センサーの構成概略を示す断面図である。第2実施形態に係る流速センサー100は、ハウジング120の側壁に断熱層を形成している。その他の構成は第1実施形態に係る流速センサー10と同一の構成であり、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。第2実施形態の流速センサー100は、ハウジング120の側面に断熱層70となる円筒状の密閉空間を設けて、この密閉空間内を真空に保持している。このため、ハウジング120の内側と外側の間で、真空の密閉空間が断熱材の役割を担って熱伝導が生じない。従って、流速センサー100の検出環境の温度変化で感圧素子40の発振周波数の変化が起こることがなく、正確な圧力測定を行うことができる。上記構成による第2実施形態の流速センサー100によれば、センサー本体を水流の中に設置して水温の温度変化が生じた場合、流体と直に接触するダイアフラム20の受圧面22からの温度変化が断熱部60によって遮断され、また、ハウジング12の側面からの温度変化が断熱層70によって遮断されて、熱伝導が起こらない。従って動圧と静圧の差圧を測定するときに、水温の温度変化が生じてもハウジング12の断熱部60、断熱層70を介して熱を遮断することができる。これにより感圧素子40が測定環境の温度変化の影響を受けることがなく、圧力変化に伴う発振周波数の変化を正確に測定することができる。図6の1は第3実施形態に係る流速センサーの部分分解斜視図であり、2は1の正反対から見た部分分解斜視図である。第3実施形態に係る流速センサー200は、ハウジング12内に温度センサーを取り付けている。その他の構成は、第2実施形態の流速センサー100の構成と同一であり、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。第3実施形態に係る流速センサー200は、圧力検出用の感圧素子40に温度検出用感圧素子80を一体化させている。感圧素子40は、一対の基部40a、40bの少なくとも何れか一方の基部本実施形態では基部40bと一体的に形成され、収容空間18の温度変化により共振周波数が変化する温度検出用感圧素子80を備えている。このような構成の温度検出用感圧素子80には、センターシャフト14の可動部15の移動による応力は加わらない構成としている。なお、温度検出用感圧素子80には素子を発振させる発振回路不図示が取り付けられている。また、収容空間18の固定部16には、温度補償回路82が取り付けられている。温度補償回路82は、温度検出用感圧素子80の測定値に基づいて、圧力検出用の感圧素子40の温度特性の補正を行っている。なお、温度補償回路82は、温度検出用感圧素子80を発振させるための発振回路とともに、発振回路50と一体に形成した構成としても良い。上記構成による第3実施形態の流速センサー200は、動圧導入口又は静圧導入口から導入された圧力の差圧を測定する際、収容空間18の温度を温度検出用感圧素子80により検出している。この温度測定値が温度補償回路82に入力されて、収容空間18の設定温度又は初期温度と測定温度の差分に基づいて、圧力検出用の感圧素子40の周波数温度特性を補正している。このような第3実施形態の流速センサー200によれば、温度変化による誤差を補正して、動圧と静圧の差圧の圧力検出精度を上げて圧力感度を改善することができる。また、温度センサーの取り付けが容易となり、センサー全体を小型化することができる。なお、第1実施形態の流速センサー10に本実施形態の温度検出用感圧素子80と温度補償回路82を適用する構成としても良い。図7は第4実施形態に係る流速センサーの構成概略を示す断面図である。第4実施形態に係る流速センサー300は、収容空間18にヒータ抵抗90及び温度制御回路92を取り付けている。その他の構成は、第3実施形態の流速センサー200の構成と同一であり、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。第4実施形態の流速センサー300は、収容空間18の固定部16に、ヒータ抵抗90と温度制御回路92を取り付けている。ヒータ抵抗90は、一例としてセラミック抵抗素子を用いることができる。温度制御回路92は、ヒータ抵抗90と、温度検出用感圧素子80と、発振回路50と電気的に接続させている。上記構成による第4実施形態の流速センサー300は、ヒータ抵抗90によって収容空間18を加熱すると共に、温度検出用感圧素子80によって収容空間18の温度を検出している。温度制御回路92では、検出温度が、予め定めた設定温度の範囲となるようにヒータ抵抗90のヒータ加熱を制御している。そして、温度補償回路82では、温度検出用感圧素子80の測定値に基づいて、前記設定温度の範囲における微小な温度誤差を検知して、感圧素子40の周波数温度特性を補正している。これにより、断熱部60と、断熱層70によって外部と断熱されたハウジング12の収容空間18を所定の温度に維持することができる。このような第4実施形態の流速センサー300によれば、ハウジング12の収容空間18を所定の設定温度に維持することができる。従って、測定環境の温度変化の影響を受けることがなく、動圧と静圧の差圧に伴う発振周波数の変化を正確に測定することができる。またハウジング120は、断熱部60及び断熱層70により外部からの温度の影響を受け難くなると共に、ヒータ抵抗の熱の拡散を抑制することができる。従って、外部の温度変化の影響を受けることがなく、圧力変化に伴う発振周波数の変化を正確に測定することができる。"