表面に同一点を通る複数の放射方向の計測線と当該点を検出するためのマークを表示した測定用基板を回転角度の誤差を測定しようとするテーブルに固定し、所定位置に設定したカメラで前記マークを読み取ってその読み取り位置から前記テーブルの旋回中心と前記点との2次元方向の位置偏差を計測し、次に前記カメラを計測線を読み取る所定位置に設定した後、テーブルを前記所定角旋回する毎に当該カメラで撮影した計測線の方向とそれが本来あるべき方向とのずれを前記位置偏差及び角度偏差で補正して測定することを特徴とする、ワークテーブルの回転角度誤差の測定方法。測定用基板か、加工されるワークの1枚に前記計測線及びマークを印刷したフィルムを貼り付けた基板である、請求項1記載のワークテーブルの回転角度誤差の測定方法。前記マークが、測定用基板の対角方向の両角部に、前記点に対して点対称に設けられている、請求項1又は2記載のワークテーブルの回転角度誤差の測定方法。測定用基板が、前記テーブルに固定されて加工される素材ワークと同形で、テーブルに搬入された素材ワークの搬入誤差を検出するのに用いるカメラの画像から搬入された基板が素材ワークであるか測定用基板であるから判定し、測定用基板であると判定したときにテーブルの回転角度誤差を測定する、請求項1、2又は3記載のワークテーブルの回転角度誤差の測定方法。前記テーブルに自動搬入されて連続加工される多数の素材ワーク中に測定用基板を入れておくことにより、複数のワークの連続自動加工を行う際にテーブルの回転角度誤差を自動測定する、請求項4記載のワークテーブルの回転角度誤差の測定方法。ガラス基板の加工機などにおけるワークテーブル12は、テーブル上に搭載されたワークを真空吸着などにより、テーブル12上に固定するようにしている。従って、ワークをテーブルに固定する際にチャックで固定する場合のような自動芯出し機能、すなわちワークの中心をテーブルの中心に一致させる機能が働かない。そのため、ピッチエラーを測定するためにポリゴンミラー81をテーブル12に搭載する際にも、その中心を正確に一致させて搭載する必要があり、作業に熟練が必要である。また、レーザ発信器、ポリゴンミラー、受光アレイなどピッチエラーの測定のために特殊な装置が必要であり、機械を出荷した後や設置した後に再測定することが困難であるので、出荷後に経時的に、あるいは突発的に生じたピッチエラーの変化に対応することが困難で、機械の経年変化などによる加工誤差の増大を防止することができない。また、測定に必要な装置が高価であり、測定に必要な作業負担も大きいという問題がある。この発明は、上記のような従来方法の問題点を解決するためになされたもので、簡単な装置でテーブルのピッチエラーを測定することができ、特に板状のワークの場合には、ワークを連続加工している途中においても自動でワークテーブルのピッチエラーを測定することができ、従ってその測定値を用いて制御器に設定されている補正値を自動で変更することにより、経時的な誤差の発生ないし変動を補正して、高い加工精度を維持することを可能にする技術手段を得ることを課題としている。この発明の方法では、ピッチエラーを測定するための測定用基板を用いる。測定用基板woは、図4に示すように、加工されるワークと略同形で、その表面に所定角度例えば15度毎に引いた放射状の計測線Lと、この放射状の計測線の中心全ての計測線が通る点Qを検出させるためのマークMMa、Mbが表示されている。真空吸着などによりワークをテーブル12上に固定して加工を行う加工機は、テーブル上に固定されたワークの中心と、テーブル12の回転中心との偏差を検出するための手段を備えている。この手段は、例えば加工機に設けたカメラ5でワークの角や角付近に設けられたマークを読み取って、カメラの画像上における角やマークの基準位置からの偏差により、テーブル12上でのワークwの中心位置の偏差及び角度偏差を検出する。この発明のワークテーブルのピッチエラーの測定は、テーブル12上に人手により又はローダによって自動的に搬入されてテーブル12上に固定された測定用基板woの搬入誤差テーブル上での基板の位置偏差及び角度偏差の検出と、テーブル12を所定角ずつ回転した各位置における計測線Lの方向のずれの検出によって行う。すなわち、測定用基板woをテーブル12上に搬入して固定した後、加工機に設けられている搬入誤差検出手段により、テーブル12上の測定用基板woの中心計測線の放射中心Qのテーブル中心Pに対する位置偏倚及び角度偏倚を検出し、次にテーブルを測定用基板woに表示された計測線Lの分割角度に相当する角度例えば15度ずつ回動したときのカメラ5の画像上での各計測線Lの位置を検出し、画像上の各計測線を先に検出した基板中心の位置偏差及び角度偏差で補正した計測線の方向と、その本来の方向との差から、当該角度におけるテーブル12の角度誤差ピッチエラーを測定する。計測線L及びマークMは、1枚のフィルムに印刷して、加工するワークの1つに貼り付けて測定用基板としてやればよく、計測線L及びマークMを正確な位置に表示することが可能である。ワークの角ないし角付近に設けたマークを検出して、マークとテーブルとの位置偏差及び角度偏差を検出する搬入誤差検出手段は、その角ないしマークを撮影するためのカメラを備えているので、当該カメラを用いて、この発明における計測線Lの検出を行ってやればよい。測定用基板に設けた基板中心測定用のマークMは、加工機に設けられている搬入誤差検出手段に適合したものを設ける。ワークの連続自動加工を行う場合、搬入された個々のワークの搬入誤差は、搬入されたワーク1枚ごとに行われる。従って、ワークの搬入誤差検出手段に、搬入された基板が素材ワークかピッチエラー測定用の基板かを判別する手段を付加することにより、搬入された基板が測定用の基板であるときのみワークの加工に代えて、テーブルのピッチエラーの測定及びその測定値に基づく補正値の修正を行うようにすればよい。測定用の基板であるかどうかの判定は、搬入誤差検出手段のカメラが、搬入誤差の検出を行うときに、測定用基板に設けられている計測線やマークを検出したかどうかで判定すればよい。測定用の基板をテーブル上に搬送し、この発明の方法を実行する手順を記録した測定プログラムを実行することにより、テーブルの角度誤差ピッチエラーの値を自動で測定することが可能となり、その測定値を用いてピッチエラーを自動補正することが可能となる。そして、加工機へのワークの自動搬送と加工とを繰り返す連続加工時において、加工機に順次搬送される加工前の素材ワークの中に測定用の基板を1枚入れておくことにより、ワークの連続加工中に自動でテーブルのピッチエラーの補正を行うことができ、据付後に経時的に又は突発的に生じたピッチエラーによる加工誤差を速やかに補正することが可能になる。すなわち、この発明により、加工機の出荷時や据付時におけるテーブル回転角の調整ないし補正の時間や作業負担を大幅に低減できると共に、据付後やワークの連続加工中においてもテーブル回転角の誤差に対する補正値を修正できるので、高い加工精度を維持することが容易に可能となる。以下、コンタリング方式で板材の周縁の加工を行う加工機を例にして、この発明の方法によるワークテーブルのピッチエラーの測定方法について具体的に説明する。図の周縁加工機は、図3に示すコンタリング方式、すなわちワークwを搭載したテーブルの回転中心P回りの回転角θと当該中心Pに近接離隔する方向の工具3の一次元方向の移動量xとを関連付けて制御することにより、ワークwの周縁aを加工する装置である。図1及び2は、そのような周縁加工機の機器構成を模式的に示した図である。図1、2を参照すると、ワーク軸1は、鉛直方向の中空軸で、フレームに軸受11で回転自在に軸支されている。ワーク軸1の上端には、テーブル12が固定されており、このテーブルの上面は、水平なワーク保持面13となっている。ワーク保持面13には、ワーク軸1の中空孔を通して負圧が供給されており、ワーク保持面13に載せたワークwは、下面を真空吸着されてテーブル12に固定される。ワーク軸1の下端には、主軸モータサーボモータ15が連結されている。主軸モータ15は、サーボアンプ41を介して制御器4に接続され、制御器4の指令によってワーク軸1の回転角が制御されている。ワーク軸1の上方には、横送り台21が設けられている。横送り台21は、図示しないフレームに設けた水平方向の横ガイドに移動自在に案内され、横送りモータサーボモータ23で回転駆動される横送りねじ24に螺合している。横送りモータ23は、サーボアンプ42を介して制御器4に接続されており、横送り台21の移動位置が制御器4によって制御されている。横送り台21には、縦送り台25が設けられている。縦送り台25は、横送り台21に固定した鉛直方向、すなわちワーク軸1と平行な方向の縦ガイド図示されていないに移動自在に装着され、縦送りモータ26で回転駆動される縦送りねじ27に螺合している。縦送り台25には、砥石軸31が軸支され、この砥石軸の下端に砥石3が装着されている。砥石軸31は、鉛直方向の軸受け32でワーク軸1と平行に軸支されている。砥石軸31の上端は、歯付ベルト33を介して砥石駆動モータ34に連結されている。ワーク軸1の軸心及び砥石軸31の軸心は、横送り台21の移動方向と平行な同一鉛直面s上に位置している。図3は、コンタリング方式によるワークwの外周加工を模式的に示した図で、制御器4で横送り台21の移動量xとワーク軸1の回転角θとを関連付けて制御することにより、所望の平面形状の周縁加工を行う。なお図には示してないが、ワークに貫通孔や内径加工を行う装置では、縦送り台25に、砥石3に対して相対昇降可能な小径の砥石を設けて、貫通孔や内径加工を行う。横送り台21には、テーブル12上のワークの角部A、Bの画像を取得するカメラ5が装着されている。図1、2の例では、カメラ5は、横送り台21にY方向図1の紙面直角方向に移動位置決めされる移動台51を介して横送り台21に装着されている。移動台51は、移動モータ52で駆動される送りねじ53に螺合しており、移動モータ52は、サーボアンプ43を介して制御器4に接続されている。測定用基板woには、図4に示すように、中心Q必ずしも基板woの中心に一致している必要はない。から15度刻みの放射方向の計測線Lが付され、更に、第1の角部A及びこれと180度反対の側の第2の角部Bとに、マークMMa、Mbが付されている。これらの計測線L及びマークMは、透明シートに印刷して当該シートを素材ワークに貼り付けることにより正確な位置関係で付すことができる。図の周縁加工機における搬入誤差検出手段は、1個のカメラ5と当該カメラの画像中のワークの角Ca、Cb図5を検出して、そのあるべき位置CoからのX方向及びY方向の偏差δxa、δya、δxb、δybを検出する手段とを備えている。搬入されるワークの大きさや測定用基板に付されたマークMの位置は分かっているから、テーブル12上に搬入されたワークwの角やマークのあるべき位置は、演算によって求めることができる。制御器4で横送りモータ23と移動モータ52を制御することにより、カメラ5が取得する画像領域をワークwの角部A、Bの領域に位置決めすることができる。そこで、カメラ5が取得した図5aに示す画像上のワークの第1の角Caにおける上記偏差δxa、δyaと、これを180度回転したときの図5bに示す画像上の第2の角Cbにおける上記偏差δxb、δybとの4個の偏差から、制御器に登録された演算式を用いて、テーブル中心に対するワーク中心の位置偏差とワークの角度偏差とを検出する。カメラ5は、例えば20mm×25mm程度の撮影領域を備えているので、このときの撮影画像内に入る位置に測定用基板のマークMを付けることができる。従って、搬入されたワークの角部を検出する動作で、マークMの存否を検出することができ、搬入された基板が素材ワークであるか測定用基板であるかが判定できる。次に図6及び図7を参照して、上述した周縁加工機における、この発明のピッチエラーの測定方法を説明する。図7において、テーブル12上にワークwが搬入され、テーブル12に固定されると、画像取得位置に移動しているカメラ5は、ワークの第1の角部Aの画像を取得するステップ61。測定用基板woには、角部に中心検出用のマークMが付されているから、このマークの存否により、搬入された基板が測定用基板であるかどうかは、制御器4が認識できる。ワークが素材ワークであれば、ステップ62で分岐してステップ63でワークの加工を行う。ワークが測定用基板であれば、ステップ64で、当該基板の搬入誤差を検出する。すなわち、図6aに示すように、カメラ5が取得した第1の角部Aの画像のマークMaと、それがあるべき位置MoとのX方向及びY方向の偏差δxa、δyaを検出し、次にテーブル12を180度回転して、図6bに示す第2の角部BのマークMbについても同様に、そのあるべき位置MoとのX方向及びY方向の偏差δxb、δybを検出し、この4個の検出値からテーブル中心Pに対する基板正確には、計測線Lの放射中心中心QのX方向及びY方向の位置偏差と、テーブル12上での測定用基板woの角度偏差を制御器4に予め登録した演算式により求める。この演算式は、搬入誤差検出手段の演算式と同じものを用いることができる。次にカメラ5を測定用基板woに付した計測線Lの画像を取得する位置に移動し、テーブル角度0度から開始してテーブル12を計測線Lの分割角度例えば15度回動する毎に計測線Lの画像を取得してステップ65、その計測線の画像の位置を先に検出したワークの中心位置の偏差と角度偏差に基づいて補正して、当該補正後の方向と本来あるべき計測線の方向との差から、当該角度におけるテーブルのピッチエラーを測定する。この操作をテーブル12を所定角回動する毎に行って、0度~360度の間における15度毎のテーブルのピッチエラーを演算するステップ66。演算されたピッチエラーが、補正値として登録する必要がないほど小さければ、ステップ67で補正値の調整書き換え不要として、手順を終了する。調整が必要であれば、測定したピッチエラーが補正されるように、NC装置に登録されている補正値を書き換えるステップ68。図7の例では、ピッチエラーの測定及び補正値の校正手続きを5回行うようになっておりステップ69、その間にステップ67の調整不要の判定が為されないとき校正した補正値を用いて補正してもピッチエラーがステップ67の判定基準より小さくならない。ときは、測定されたピッチエラーの値は信頼できないので、ステップ71、72でNC装置に設定される補正値を元の値に戻し、ピッチエラーの自動測定が失敗したことを示すフラグを立てて、手順を終了測定用基板の搬出と次のワークの搬入をする。正常にピッチエラーの校正が行われた後のワークの加工においては、新しく設定された補正値に基づいてテーブル12に対する回転角の指令値が補正されて、テーブル駆動モータ15に与えられる。テーブル駆動モータに与える角度指令が補正値が登録されている角度の間の角度であれば、その両者の補正値の直線補間などにより、当該角度における補正値を演算して、制御器の指令値を補正する。以上のように、制御器4からテーブル12に与える角度の指令値を測定したピッチエラーに対する補正値で補正すると共に、当該ワーク毎に検出されるテーブル12上でのワークの中心位置偏差と角度偏差に対応する補正値で補正して加工を行うことにより、搬入されたワーク1枚毎の周縁加工を誤差のない正確な形状に加工することができる。