"放射線源から放射され、試料を透過してくる放射線を放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検査装置において、前記検査装置の近傍に温度センサと気圧センサとを配置し、前記温度センサで検出した温度と前記気圧センサで検出した気圧に基づいて大気重量を計算する大気重量演算手段を備え、この大気重量演算手段で計算した大気重量に基づいて前記坪量を補正するように構成したことを特徴とする放射線検査装置。前記検査装置の近傍に湿度検出手段を配置し、この湿度検出手段で検出した湿度に基づいて水分重量を計算し、この水分重量に基づいて前記大気重量を補正するように構成したことを特徴とする放射線検査装置。前記大気重量の計算は飽和水蒸気量の近似式と気体の状態方程式を用いて行なうことを特徴とする請求項1または2記載の放射線検査装置。前記検査装置に線減弱係数比を演算する線減弱係数比演算手段を設け、この線減弱係数比演算手段からの出力に基づいて感度補正を行なうことを特徴とする請求項1乃至3記載の放射線検査装置。ところで、短期-中期に掛けての測定精度に一番影響を与える空気層の変化に対して、数時間おきに退避校正動作を行う事で、通常測定では、大きな問題は無い。但し、工場のコールドスタート時や台風通過等による短時間での大気変動が生じる場合には、数時間単位での校正動作では精度維持が難しい場合がある。校正動作の間隔を短くする事は解決策の一つであるが、退避位置での校正動作中は試料の測定ができなくなるというデメリットが存在する。また図4に示すような全面測定型の場合には、試料から外れるまで装置を引き出す必要があるため、装置自体の幅Wに対して2.5倍程度の幅が必要となり、また、退避動作そのものが行い難いと言う状況がある。比較的測定値に影響を与え易い温度変化を小さくするために測定ギャップの空気層に恒温化した空気を吹き付ける等の対策も行なわれているが、空気消費が多い恒温化のためのヒータ電力が掛かる等の問題がある。したがって本発明の目的は、温度、湿度、気圧などの大気変動を由来として生じる測定信号の変動を補償する事により、厚さ測定の精度安定性を向上させることを目的とする。このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の放射線検査装置の発明は、放射線源から放射され、試料を透過してくる放射線を放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検査装置において、前記検査装置の近傍に温度センサと気圧センサとを配置し、前記温度センサで検出した温度と前記気圧センサで検出した気圧に基づいて大気重量を計算する大気重量演算手段を備え、この大気重量演算手段で計算した大気重量に基づいて前記坪量を補正するように構成したことを特徴とする。請求項2においては、請求項1記載の放射線検査装置において、前記検査装置の近傍に湿度検出手段を配置し、この湿度検出手段で検出した湿度に基づいて水分重量を計算し、この水分重量に基づいて前記大気重量を補正するように構成したことを特徴とする。請求項3においては、請求項1または2記載の放射線検査装置において、前記大気重量の計算は飽和水蒸気量の近似式と気体の状態方程式を用いて行なうことを特徴とする。請求項4においては、請求項1乃至3記載の放射線検査装置において、前記検査装置に線減弱係数比を演算する線減弱係数比演算手段を設け、この線減弱係数比演算手段からの出力に基づいて感度補正を行なうことを特徴とする。本発明によれば以下のような効果がある。線源と検出器の間隔が離れていてその間に存在する大気の量が測定対象となる試料の坪量への影響が大きい場合、或いは、薄膜フィルムの様に測定対象となる試料の坪量が小さく大気変動の影響を受け易い場合等に測定精度を高める事ができる。また、全面測定型の測定器を用いる場合にも、退避操作を不要または最小限として連続的に精度良く測定することができ、坪量測定の安定化を図ることができる。また、工場内の温湿度変動が大きなコールドスタート時や台風通過等の気象変動の際にも安定した精度の良い坪量値を測定することができる。また、放射線源と放射線検出装置の間に恒温化したドライエアを吹き付ける必要が無くなり、圧縮空気の削減と電力の削減を図ることができる。以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の実施形態の一例を示す構成図でaは斜視図、bは検出器ヘッドと放射線源と試料及び大気の関係を示す模式図である。図3と異なる点は厚さ測定装置の近傍に温度センサ10、気圧センサ湿度センサ11を配置すると共にこれらのセンサからの出力を入力し、各種の演算気体の状態方程式や、水分重量、大気重量、坪量補正などを行う演算手段12を備えている点である。図1bに示すように、線源と検出器間に試料を置き、試料を透過したときの放射線減衰量から試料厚さを求める場合には、大気による減衰を含んで測定していることになる。試料の厚さを正確に求めたい場合には、大気による減衰分を補正する事が重要である。ここでは、検出器で得た試料と大気を含む重量から大気重量を下記の方法により算出した値を減算して試料重量を正確に得る方法について説明する。温度と気圧が坪量に与える影響については、気体の状態方程式から導く事ができる。PV=nRT=W/mRT1W=mPV/RT2ここで、m=平均分子量空気はO2とN2窒素が1:4で構成されているとして、その平均分子量は、32×1/528×4/5=28.8W=重量[g]n=モル数R=リュードベリ定数1モルの気体定数=8.31447275[Jmol-1K-1]P=気体の圧力[Pa]V=体積[m3]T=温度[K]線源と検出器との間に存在する空気の体積をVとする。ここでVは坪量に相当する量として計算するため、1m2の底面に対して線源と検出器ヘッド間の距離を高さとして算出する。気圧をPとし温度をTとし、m平均分子量に大気の平均分子量を用いる事で2式より線源-検出器間に存在する大気の重量を求める事ができる。予め算出体積を坪量に相当する底面1m2としておけば、大気重量はそのまま大気坪量と等価である。湿度の影響は、水蒸気量の重さとして算出することができる。水蒸気の重さは、飽和水蒸気量と湿度の積として計算されるため、ここでは近似的に飽和水蒸気圧を求めるAntoineの式アントワン式を用いる。log10P=A-B/TCここで、P=蒸気圧PaT=温度KA,B,C=アントワン定数で物質と蒸気圧と温度の単位に依存する定数例えば水においてはPの単位としてパスカル、Tの単位としてケルビンをとると333K~423Kの範囲ではA=10.09、B=1668.21、C=45.15となる。例えば、Antoineの式を用いて飽和水蒸気圧を得れば、飽和水蒸気量は、飽和水蒸気量を気体の状態方程式のPに代入して算出できる。これによって得た飽和水蒸気量と測定した湿度の積を取れば、大気中の水分重量を得ることができる。先に示したように1m2辺りの底面として体積を計算すれば、これが大気中の湿度による坪量となる。ここまで、空気の坪量と湿度の坪量の計算手法を述べたが、実際には、湿度がもたらす水蒸気の分圧に従って、乾燥空気のモル数が変化する。水蒸気1molの増加に対し、分子数比約空気28.8/水18に応じた乾燥空気が減じられる事になる。したがって、湿度を考慮した大気坪量を得るには、乾燥空気に対して湿度の変動に応じた分子数比の加減算を行なった後に水分重量の加算を行なえば良い。図2はこのような演算を行い、例えば30°C50を基準にした時の湿度変化による水蒸気量の変化と大気重量の変化を求めた図である。厚さ坪量測定装置には、内蔵または近傍に温度湿度気圧を測定できる検出手段を設置している。線源と検出器との距離に応じた乾燥空気の重量を気体の状態方程式を用いて、温度と気圧から計算する。具体的な例としては、Antoineアントワンの近似式等から飽和水蒸気量を求める。求めた飽和水蒸気量と得られた湿度から、気体の状態方程式を用いて空気中の水分量を求める事ができる。近似式には、他にもGoff-Gratchゴフ-グラッチェの式、Magnus-Tetenテーテンスの式、Wexler-HylandHylandandWexlerの式ほか、様々な式があるが、使い勝手に合わせて、適宜選択すれば良い。水蒸気分圧に相当する乾燥空気の重量を減じた後、水分重量を加算して、線源と検出器との距離に応じた大気重量を求める。求めた大気重量は、検出器感度等測定上の都合例えば大気と試料とで異なる線減弱係数比に代表される感度補正に合わせて感度補正を行なう。一方試料を測定した際の線源からの照射が減衰する量を測定し、あらかじめ作成された検量線を用いて、試料の坪量を得る。この坪量から感度補正後の大気重量を減じる事で試料の厚さを精度良く得ることができる。温度、湿度、気圧による大気重量の計算は、上記の計算方法による以外に予め用意した値の参照テーブルや検量線あるいは専用の近似式を用意して計算しても良い。また、大気重量の補正を行なうに際して、通常では天候の変化に対して、湿度が高い状態で気圧が低く湿度の低い状態で気圧の高い状態である傾向を持つ。このため、湿度か気圧のいずれか一方の測定値を元に他方の要因を含んだ値として補正を行なっても精度向上をはかることができる。図3a~cは本発明の放射線測定装置を用いた信号処理の流れを示すフローチャートである。図においてaは試料測定用センサで測定した信号処理の流れ、bは温度測定装置および気圧測定装置で測定した信号の流れ、cは湿度測定装置で測定した信号の流れを示す図である。なお、これらa~cによる各センサは放射線測定装置で測定を開始した時点で同時に測定を開始するものとする。図3aにおいて、Step1:試料用の検出器で試料を透過した際の線源からの信号を測定する。Step2:試料用検量線を用い、Step3:厚さ坪量を求める。図3bにおいて、Step1’:温度センサ気圧センサ11で測定した信号を演算手段12に入力し、Step2’:気体の状態方程式を用い、Step3’:乾燥空気重量を計算する。図3cにおいて、Step1’’:湿度センサで湿度を測定し、Step2’’:飽和水蒸気圧を計算する。Step3’’:飽和水蒸気圧から気体の状態方程式を用い、Step4’’:水分重量を計算する。図3bのステップ4’に進み、Step4’:Step3’で求めた乾燥空気重量とStep4’’で求めた水分重量から水蒸気分圧分を減算する。Step5’:tep4’’で求めた水分重量とStep4’で求めた水蒸気分圧分を減算した値から大気重量を計算し、Step6’:大気重量感度補正を行う。図3aに戻り、Step4:Step3で求めた坪量とStep6’で求めた大気重量感度補正の値から大気重量減算し、ステップ5:補正後の坪量を求め、ステップ6:補正された坪量を測定値として出力する。以上のステップにより厚さ測定の補償が行なうことができる。なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。実施例では温度センサ及び気圧センサと湿度センサにより測定した値を用いた例を示したが、気圧や湿度の変化による測定精度の低下は温度変化に比較して少ないので、ある平均的な気圧を用いることにより気圧センサはなくても良い。また測定精度は低下するが気圧センサに湿度の代表的な相関を取り込む運用をすれば湿度センサを用いずに補償を行うことも可能である。従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。"