"光源から射出された光を2つの光束に分割し、該分割された2つの光束をスケールに配列されたマークに照射し、該マークで回折された2つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動に基づいて被検物の変位または角度を検出する干渉計測装置であって、前記干渉光を受光して撮像する撮像素子と、前記撮像素子における前記干渉光の位相分布の均一性を示す指標の値を求める処理部と、前記処理部により算出された指標の値に基づいて前記撮像素子と前記スケールとの相対位置を調整する必要性についての情報を出力する出力部と、を備え、前記処理部は、前記撮像素子が受光した全体領域から第1部分領域および第2部分領域を抽出し、抽出された前記第1部分領域で受光した干渉光の強度と前記第2部分領域で受光した干渉光の強度とを複数の時刻のそれぞれにおいて取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれXY座標系のX座標値およびY座標値としたときの複数の前記Y座標値のうちの最大値と最小値との差分を第1差分として算出し、複数の前記X座標値および前記Y座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きを算出し、前記近似された一次関数の傾きがゼロとなるように前記XY座標系を回転し、回転後のXY座標系における複数の前記Y座標値のうちの最大値と最小値との差分を第2差分として算出し、前記第1差分をAとし、前記第2差分をB’とし、前記傾きをαとするとき、δ=asinAで表される角度δを算出し、当該角度δを前記指標として決定する、ことを特徴とする干渉計測装置。前記処理部は、少なくとも4つの時刻における前記強度を取得する、ことを特徴とする請求項1に記載の干渉計測装置。複数の前記X座標値をXiただし、iは自然数とし、複数の前記Y座標値をYiとするとき、前記処理部は、式α=atanを用いて前記傾きαを算出する、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の干渉計測装置。複数の前記X座標値をXiただし、iは自然数とし、その最大値をXmaxとし、その最小値をXminとし、複数の前記Y座標値をYiとし、その最大値をYmaxとし、その最小値をYminとするとき、前記処理部は、式α=atan{を用いて前記傾きαを算出する、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の干渉計測装置。複数の前記X座標値をXiただし、iは自然数とし、複数の前記Y座標値をYiとするとき、前記処理部は、式ΣYi-αXi2を最小にする値αを前記傾きαとして算出する、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の干渉計測装置。前記処理部は、前記角度δを、前記X座標値および前記Y座標値の組み合わせのデータが前記XY座標系でリサージュ波形を形成するとしたときの該リサージュ波形の位相差として決定する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の干渉計測装置。しかし、従来技術では、干渉計測装置の調整手法は定型化されておらず最良の状態に調整するには勘や経験を必要としていた。例えばどの調整箇所をどの程度調整するかは不明なので、実際にやってみて信号の増減を判定し、より望ましい信号の状態になる位置を探し続けるようなものである。特に干渉測長装置や高精度な回折干渉型エンコーダの場合に、理想的なワンカラー状態まで調整する必要があるものの、組み込み者のスキルに頼っていた。そこで、本発明は、調整の容易な干渉計測装置を提供することを目的とする。本発明は、光源から射出された光を2つの光束に分割し、該分割された2つの光束をスケールに配列されたマークに照射し、該マークで回折された2つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動に基づいて被検物の変位または角度を検出する干渉計測装置であって、前記干渉光を受光して撮像する撮像素子と、前記撮像素子における前記干渉光の位相分布の均一性を示す指標の値を求める処理部と、前記処理部により算出された指標の値に基づいて前記撮像素子と前記スケールとの相対位置を調整する必要性についての情報を出力する出力部と、を備え、前記処理部は、前記撮像素子が受光した全体領域から第1部分領域および第2部分領域を抽出し、抽出された前記第1部分領域で受光した干渉光の強度と前記第2部分領域で受光した干渉光の強度とを複数の時刻のそれぞれにおいて取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれXY座標系のX座標値およびY座標値としたときの複数の前記Y座標値のうちの最大値と最小値との差分を第1差分として算出し、複数の前記X座標値および前記Y座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きを算出し、前記近似された一次関数の傾きがゼロとなるように前記XY座標系を回転し、回転後のXY座標系における複数の前記Y座標値のうちの最大値と最小値との差分を第2差分として算出し、前記第1差分をAとし、前記第2差分をB’とし、前記傾きをαとするとき、δ=asinAで表される角度δを算出し、当該角度δを前記指標として決定する、ことを特徴とする。本発明によれば、調整の容易な干渉計測装置を提供することができる。以下に、本発明に係る干渉計測装置の実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。干渉計測装置は、光源から射出された光を2つの光束に分割し、分割された光束をスケールに一定のピッチで配列されたマークで回折させ、回折された2つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動に基づいて変位又は角度を検出する。第1~第2実施形態に示される干渉計測装置は、角度変化を計測する回折干渉型のロータリーエンコーダである。しかし、本発明の干渉計測装置は、リニアーに移動した被検物の変位を計測する装置であってもよい。第1実施形態図1は第1実施形態の回折干渉型ロータリーエンコーダのヘッド部およびディスク部の構成図である。図1に示すように、レーザ光源LDから光ファイバーFBRを経由して発散光として光束を射出する。射出された光束は、コリメータレンズCOLにて平行光にされてから回折格子GT1にて±1次回折光の2つの光束に分割される。偏光素子POLP,POLSは、1次光をP偏光、-1次光をS偏光に変換する。P偏光およびS偏光は、平行ミラーM1、M2をそれぞれ経由して、ヘッド部HEADに対して相対的に回転するディスクDSK上の放射状の回折格子マークGT2に斜めに照射される。回折格子GT1と放射状の回折格子GT2のピッチが等しくなる位置に照射され、回折格子GT2で回折された±1次回折光は、その光路を同軸に重ね合わせて垂直に射出される。これら2光束は、互いに偏光面を直交させる直線偏光と成っているので、1/4波長板QWPを透過し、さらに回折格子GT3により0次、1次、-1次の3光束に分割される。分割された3光束は、さらに0度、60度、-60度方位に偏光透過軸を有する3チャンネル偏光板アレイPOLAを透過させることで、干渉位相が互いに120°ずつずれた3相信号光が3つの受光部撮像素子により受光される。この光学系自体は、格子干渉計として公知であるが、この光学系で扱われる撮像素子へ入射される干渉光は所謂ワンカラー状態を前提にしている。すなわち撮像素子の受光面上で光束を観測したとき、回折格子GT2が移動するに従って、全面一様に干渉位相明暗がずれることを想定している。しかし、実際にこうしたエンコーダ光学系を構成すると、平行ミラーM1の角度ずれや、回折格子GT1と回折格子GT2のピッチの不一致、平行光束のコリメート性の誤差等の影響で図2のように明暗分布が生じることがある。この明暗分布は、これら誤差が大きければ明瞭な干渉縞として観測できるが、誤差が少ないとき、明暗のタイミングに分布を生じるようになる。その様子を図3に示す。図3は、エンコーダのディスク部DSKが回転し明暗が1周期分変化したときの明暗分布が生じる様子を表している。よってワンカラー状態に近い干渉縞は、明暗の位相が変化していないと元々有している光量むらと分離することができない。こうした干渉縞が生じたり、明暗の変化の分布位相ずれが生じたりしているとき、図1の光学系においては、ヘッド部HEADをディスク部DSKに対して相対的に角度Δθを付与すると、横縞の干渉縞の程度が調整できる。また、ディスク部DSKの径方向にヘッド位置のずれΔrを付与すると、縦縞の干渉縞の程度が調整できる。よって、3つの光束のうちいずれかの光束を受光して撮像する撮像素子受光部で観察し、その観察結果からこれらΔθ、Δrの2つの調整を組合せることで、干渉光をワンカラー状態に収束させ、ヘッド位置を固定することができる。しかし、画像情報のままだと強度むらや様々なパターンが重なっているため、人の感性的な調整になってしまう。また本来の信号検知用の受光部とは別に干渉縞の明暗の変化の位相ずれを別途検出するための受光部を用いるのは不合理である。そこで本実施形態では、3つの光束を、それぞれ受光部PDAPDBPDCでそれぞれ受光し、それらの出力を後述の信号処理部にて合成する。それによって、本来のエンコーダの3相信号を出力するとともに、干渉縞に関する情報縞の向き、縞の混み具合を出力する。なお、3つの受光部の出力のうち、いずれか1つについて干渉縞に関する情報を算出すればよい。以下、信号処理部に関して以下に説明する。図4は、第1実施形態の信号処理部RVRのブロック図で、特に受光部PDCの演算処理について説明したものである。信号処理部RVRは、たとえばマイクロコンピュータやDSPなどであり信号を処理する機能を有する。後述の算出部はその演算機能により信号処理および演算を行う。他の受光部PDAPDBは各撮像素子の総和としてA相信号、B相信号を出力している。ヘッド部HEADに内蔵されている受光部PDの出力は、2次元配列された受光セルの信号がクロック信号に基づいて周期的にシリアル信号として出力され、信号処理部RVRに入力される。入力されたシリアル信号はAD変換され、メモリ部にPD画像データとして蓄積される。PDの画像データは、抽出分割部に送られる。切抜き分割部は、領域設定部の指示に従い、受光部PDが受光した全体領域から干渉縞が観測される領域を図5のように切抜き、画像データとして時系列的に出力すると同時にその切抜きされた領域をX軸方向及びY軸方向に2等分する中心位置の情報を出力する。領域設定部は、画像メモリ上の切抜きするアドレスエリアを手動で設定することができる。または、領域設定部は、自動で、例えば、初期状態などを指定したタイミングで、受光部PD上の干渉縞が図3の様にサイクリック変化する中で、PD全体の加算値が最大になる受光画像データを抽出することができる。切抜き分割部は、図5に示すように干渉縞が当たっている領域のX軸及びY軸上の最大、最小値Xmin、Ymin、Xmax、Ymaxを抽出して、切抜きする領域を決める。そして、切抜き分割部は、その抽出領域をX軸方向及びY軸方向に各2等分することで、PDPDPDPDの4分割領域を決める。切抜きされ4分割された画像データは、干渉縞カウント部、差分算出部に送られる。干渉縞カウント部は、抽出された画像データに干渉縞の明暗がX軸方向、Y軸方向に何本あるか、カウントする。カウントする方法としては、例えば、画像データを2次元高速FFTで周波数領域に変換して、0次を除いたピーク値に相当する周波数を求めて、各々X軸方向、Y軸方向の干渉縞本数とする。例えば、切抜きされた画像のX軸方向に1サイクルの干渉縞coscosがあれば、フーリエ変換すればcoscos12cos2であるから、干渉縞は2本になる。半サイクルの干渉縞はcoscos12cos2であるから、1本になる。各々半位相ずれた場合は、干渉縞sinsinであれば、sinsin12cos2であるから-2本と算出でき、sinsin12cos2であるから、-1本になる。他の方法として、直接的に、X軸方向、Y軸方向に沿って画像をスキャンして明暗をカウントする方法もある。明部スタートの干渉縞は、プラスの干渉縞とし、暗部スタートはマイナスの干渉縞とする。差分算出部は、まず4つの領域PDPDPDPDごとに時系列で画像データの加算値を求める。その際の波形の例を図6に示す。干渉縞がワンカラー状態からずれているため明暗のタイミングがずれ、正弦波状の波形に位相ずれが生じることがわかる。入力された4つの信号C1~C4は、上側2つの和の信号および下側2つの和の信号、また、左側2つの和の信号および右側2つの和の信号に変換される。PDおよびPDの上側領域、PDおよびPDの下側領域はそれぞれ、受光部PDCが受光した全体領域から抽出された第1部分領域と第2部分領域とを構成している。また、PDおよびPDに左側領域、PDおよびPDの右側領域もそれぞれ、受光部PDCが受光した全体領域から抽出された別の第1部分領域と第2部分領域とを構成している。その後、上下の差信号DEFC1C2C3C4、左右の差信号DEFC1C4C2C3、総和信号CC1C2C3C4を求め、更にCで規格化したDEFC、DEFCを求める。この値は、ワンカラーに近い状態では、1以下の値になり、完全なワンカラー状態では、零になる。ここでディスクDSKを何らかの操作で回転させたとき実際は調整時のわずかな振動で回転させたとき、干渉光の明暗位相が変動するため、周期信号が得られる。干渉縞がワンカラー状態であれば、差信号の振幅が最小値になり、総和信号Cの振幅が最大値になる。受光部PDへの入射光束で干渉縞を撮像素子CCDで撮像すれば干渉縞が形成されている場合は、その縞が揺れるように見えるはずである。また横縞H軸方位が形成されている場合は、差信号DEFの振幅が零になっていないし、また縦縞V軸方位が形成されている場合は、差信号DEFの振幅が零になっていない。しかし、干渉縞を理想的なワンカラー状態に調整できれば、総和信号Cが最大でかつ差信号DEF、DEFが零になる。また、必要があればDEFDEFCの各信号を、オシロスコープで波形としてモニタすることで、縞の方位と量が判定できるので、調整を効果的に収束させることができる。しかし、作業簡便性を向上させるため、本実施形態では、さらにワンカラー度算出部と2つのLED表示部LEDC,LEDCを信号処理部RVRに具備する。差分算出部およびワンカラー度算出部は、複数の部分領域のそれぞれでの受光結果に基づいて受光領域における干渉光の位相分布の均一性を示す指標を求める処理部を構成している。また、2つのLED表示部LEDC,LEDCは、算出部により算出された指標の値に基づいて前記受光部と前記スケールとの相対位置を調整する必要性についての情報を出力する出力部を構成している。そうすれば、作業者は、LED表示部LEDC,LEDCから出力された情報を手がかりにエンコーダの姿勢調整をすることができる。その相対位置を調整する必要性についての情報とは、調整すべきか否かの0、1の2値の情報でもよいし、調整すべき部材の情報でも、調整パラメータや調整量でも良い。ワンカラー度算出部は、干渉縞カウント部がカウントした干渉縞本数Nと差分算出部が算出したDEFCを用いて、V軸方位のワンカラー度OCVを次式1のように算出し、算出された値に応じて表示部LEDCVの点灯状態を変化させる。OC=NOC=DEFV/C1例えば、LED表示として5個の発光ダイオードアレイを使うとする。そうすると、ワンカラー度OCの値が0の状態がワンカラー状態なので、例えばワンカラー度が0.2以下になれば5個が点灯し、0.4~0.2ならば4個が点灯し、その値が1に近い場合は全灯が消灯するように設定される。また、ワンカラー度算出部は、H軸方位のワンカラー度OCVを干渉縞カウント部がカウントした干渉縞本数Nと差分算出部が算出したDEFCを用いて、H軸方位のワンカラー度OCVを次式2のように算出する。そして、ワンカラー度算出部により算出された値に応じて、表示部LEDCHは、点灯状態を変化させる。OC=NOC=DEFV/C2例えば、LED表示として5個の発光ダイオードアレイを使うとする。そうすると、ワンカラー度OCの値が0の状態がワンカラー状態なので、例えばワンカラー度が0.2以下になれば5個が点灯し、0.4~0,2ならば4個が点灯し、その値が1に近い場合は全灯が消灯するように設定される。よって、ヘッドの角度Δθを調整しながらLED表示部LEDCが全灯点灯するようにし、ヘッドの位置Δrを調整しながらLED表示部LEDCが全灯点灯するようにすれば、干渉縞をワンカラー状態に追い込むことが可能である。なお、ワンカラー度の情報の表示は、発光ダイオードの点灯数ではなく、赤、橙、黄、緑、青等の色の変化や、発光ダイオードの点滅状態の変化で表示しても良い。また干渉計測装置の仕様により必要なワンカラー度が異なる場合はその閾値を適宜変更することも可能である。また、LED表示部LEDCHLEDCとして、数値表示LEDを使うとすれば、OCOCの数値を直接表示してもよい。図7に基づいて、本実施形態におけるワンカラー度の判定手法について説明する。実際には光束断面内で光量むらがあるため、前述の差信号の振幅のみを手がかりにする手法では、ワンカラー度を零近傍に追い込みきれない。そこで、光束断面内における位相差を検出すると、位相差が上下左右で零になる状態がより正しい意味のワンカラー状態となる。実際、例えば光束の右半分と左半分で光量比が1:2の場合、ワンカラー状態であっても差信号は零にならない。そこで、本実施形態では、リサージュ波形を処理するために信号処理部RVRにリサージュ算出部、分割設定部を置く。リサージュ算出部もワンカラー度算出部とともに、複数の部分領域のそれぞれでの受光結果に基づいて受光領域における干渉光の位相分布の均一性を示す指標を求める処理部を構成している。ディスクDSKを何らかの操作で回転させ実際は調整時のわずかな振動で回転させたとき、明暗位相を変動させて、周期信号を発生させる。すると、受光部PDCの受光領域から切抜きされ分割された4つの受光領域PDPDPDPDにおける受光量の領域加算値C1C2C3C4が得られる。この領域加算値C1~C4より、図8に示す、上側2つの和信号C1C2と下側2つの和信号C3C4からのリサージュ波形と、右側2つの和信号C2C3と左側2つの和信号C1C4からのリサージュ波形とが得られる。これら2つのリサージュ波形が楕円ではなく直線になるように追い込めばワンカラー状態への調整が可能となる。ここで、リサージュ算出部での処理を説明する。1周期分の複数の時刻のそれぞれにおけるM個の静止画像が切抜き、4分割処理されリサージュ算出部に送られてくる。リサージュ算出部は、領域PDPDPDPDの各々の加算値C1mC2mC3mC4mを求める。リサージュ算出部は、更にM個の時刻における2つの和C1mC2m、C3mC4mの値を取得する。そして、リサージュ算出部は、2つの和のうちの一方C1mC2mおよび他方C3mC4mをそれぞれXY座標系のX座標値およびY座標値とし、それらの点C1mC2m,C3mC4mを通るべき下記の式3で表されるリサージュ波形を求めてそのパラメータXv0Xv1Yv0Yv1δvを決める。C3mC4mXv0Xv1C1mC2mYv0Yv13式3中の位相差のパラメータδvをリサージュ波形のV軸方位のワンカラー度と定義すれば、ヘッドの位置Δrに対応したV軸方位のワンカラー度が算出される。完全にワンカラー状態のときにワンカラー度δvは零になる。ワンカラー状態に近ければ、ワンカラー度の他の表現として直線度を用いることも可能である。図9のリサージュ波形のC1C2方向の長さすなわち、複数のY座標値のうちの最大値と最小値との差分である第1差分をAとする。リサージュ波形の中心をC1C2方向に横切る切片の長さをBとする。そうすると、リサージュ波形の位相差δvは、δvasinで表される。なお、δv≒BAであるので、BAをリサージュ波形の直線度とすれば、ワンカラー度として直線度も使うことが可能である。また、受光部上の干渉縞を2平行光束の傾き量Tiltvによる干渉縞とする。そして、PDとPDの間隔または、PDとPDの間隔をLvとすると、Tiltvλ×δvLvである為、ワンカラー度として傾き量Tiltvを用いつこともできる。リサージュ波形のH軸方位のワンカラー度の算出方法も同様である。2つの和信号C2mC3m、C1mC4mの値の組を算出し、ディスクをΔθだけ相対回転させて、下記の式4で表されるリサージュ波形を求めてそのパラメータXh0Xh1Yh0Yh1δhを決める。C1mC4mXh0Xh1C2mC3mYh0Yh14式4中の位相差δhから、H軸方位のワンカラー度δhが算出される。また、H軸方位のリサージュ波形の直線度をワンカラー度と定義してもよいし、H方向の傾き量Tilthを用いてもよい。これらのワンカラー度の情報は前述した様にLED表示部の点灯数で情報表現される。よって同様に、ヘッドの角度Δθを調整しながらLED表示部LEDCが全灯点灯するように、ヘッドの位置Δrを調整しながらLED表示部LEDCが全灯点灯するようにすれば、リサージュ波形をワンカラー状態に追い込むことが可能である。次の1周期の処理も、上記と同様に1周期ごとにC1mC2mC3mC4mから周期ごとにワンカラー度を算出してもよい。1周期を待たなくても、シフトレジスターのように、前の1周期データのm1を捨てて、順次m2をm1にシフトし、mMをmM1にシフトする。そして、次の周期のm1を前の周期のmMにシフトして、上記の処理を行うことで、ワンカラー度を求めることもでき、より早く調整が可能である。上述した様に、リサージュ算出部でリサージュ波形を処理することによりワンカラー度を算出し、調整することが可能であるが、ワンカラー度の算出に誤差が生じると、調整誤差が発生することになる。以下に、ワンカラー度を高精度に算出するアルゴリズムに関して説明する。前述した様に、ディスクDSKを何らかの操作で回転させ実際は調整時のわずかな振動で回転させたとき、周期信号を発生させて画像を取得した場合、取得画像のサンプリングタイミング、及び、取得画像枚数により、ワンカラー度の算出誤差が生じ得る。図10の丸点は、画像より処理した2つの和信号C1mC2m、C3mC4mの関係を示すM個の点C1mC2m,C3mC4mを示し、実線は和信号より算出したリサージュ信号を示す。図10の場合の様に、取得画像点数が少ない、もしくは、画像のサンプリング周期に偏りがある場合、点線で示した真のリサージュ波形からずれた実線のリサージュ波形が算出されるおそれがある。上記誤差を低減するためにリサージュ算出部により行われるリサージュ波形のフィッティングアルゴリズムに関して、図11を用いて説明する。以下の説明において、mは1~Mとし、Mは画像取得枚数とする。また、各取得画像のC1C2をYmC1mC2mとし、各取得画像のC3C4をXmC3mC4mとする。まず、リサージュ算出部は、S1にて、リサージュ波形を下記の式5にて定義する。XXv0Xv1×YYv0Yv1×5式5において、-1≦cosθcos≦1であるから、X座標値の最小値はXv0、最大値はXv02Xv1、Y座標値の最小値はYv0、最大値はYv02Yv1である。ここで、図13に示したように、全取得画像データから求めたC3C4の最小値をXmin、C1C2の最小値をYmin、C3C4の最大値をXmax、C1C2の最大値をYmaxとする。そして、X座標値の最小値Xv0、最大値Xv02Xv1が全取得画像データから求めたC3C4の最小値Xmin、最大値Xmaxとそれぞれ等しいと仮定する。また、Y座標値の最小値Yv0、最大値Yv02Yv1が全取得画像データから求めたC1C2の最小値Ymin、最大値をYmaxと等しいと仮定する。リサージュ算出部は、S2にて、前記の仮定に基づき下記の式6を用いて、定数Xv0、Xv1、Yv0、Yv1を暫定的に設定する。Xv0XminXv12Yv0YminYv126Yv1は、図9におけるリサージュ波形のC1C2方向の長さAを用いて、Yv1A2と表すことができる。次に、リサージュ算出部は、S3にて、図13のX座標値C3C4およびY座標値C1C2の組み合わせのデータを一次直線で近似した場合の傾きαを算出する。傾きαは以下の3種の方法で算出可能である。<平均化法>複数のX座標値をXiただし、iは自然数とし、複数の前記Y座標値C1C2をYiとするとき、リサージュ算出部は、式α=atanを用いて傾きαを算出する。<暫定定数法>S2で設定された定数Xv1、Yv1を用いて傾きαは、下記の式7で算出される。αatan7<最小二乗法>複数のX座標値をXiただし、iは自然数とし、複数の前記Y座標値をYiとするとき、リサージュ算出部は、式ΣYi-αXi2を最小にする値αを前記傾きαとして算出する。すなわち、各取得画像のデータをとした場合、傾きαに対する各点の差分値σmをσmα×と定義する。次に、リサージュ算出部は、各取得画像の差分値σmの二乗を全取得画像分積算したΣσm2を下記の式8で算出する。傾きαは、このΣσm2を最小とする傾きとして算出される。Σσm2Σα×28次に、リサージュ算出部は、S4にて、図14に示したように、近似された一次関数の傾きαがゼロとなるようにXY座標系を回転する。回転後の図14におけるX座標値およびY座標値と回転前の図13におけるX座標値およびY座標値とは、下記9の関係式を満たす。Xm’Xm×cosαYm×sinαYm’Xm×cosαYm×cosα9このXm’Ym’データを基に、回転後のX’Y’座標系におけるY’座標値の最大値Y’maxと最小値Y’minとの差分である第2差分B’を算出する。リサージュ波形の中心をY方向に横切る切片の長さBは第2差分B’、傾きαを用いて下記の式10で表される。BB’cosα10次に、リサージュ算出部は、S5にて、式11で表される角度δvを算出し、当該角度δvを位相差として決定する。δvasin{A}=asin11また、位相差δvは、下記の式12により2平行光束の傾き量Tiltvへの変換が可能である。ここでλはエンコーダ計測に用いている光源波長である。TiltvλδvとPDの間隔12また、図15に示すように、本方式では、Aを、Bをcosαにて定義している。よって、Ymax、Ymin、Y’max、Y’minを定義可能な少なくとも4つの時刻における画像データがあれば、リサージュ波形の位相差を算出することが可能となる。第2実施形態前述した様に、第1の実施形態によりδ=asinAからワンカラー度δδv及びδhを求めることが可能である。しかし、以下の手法を用いてさらに高精度にワンカラー度δvを算出することも可能である。図12を用いて第2実施形態におけるワンカラー度の算出手法について説明する。まず、リサージュ算出部によりS11でリサージュ波形の定義を行うのは、図11に示す第1実施形態のS1と同じである。次にS12において、リサージュ算出部は、定数Xv0、Xv1、Yv0、Yv1の初期値を設定する。第2実施形態では、リサージュ算出部は、定数Xv0、Xv1、Yv0、Yv1の初期値を任意の値に設定することができる。ここで、4つの定数の数値の設定範囲に制限はないが、以下の式13で表される範囲としておけば算出処理の時間の短縮が可能となる。Xv0Xmin~XminXv12~Yv0Ymin~YminYv12~13次にS13~S15は、図11で説明した第1実施形態のS3~S5と同一である。S16において、リサージュ算出部は、S11~S15において算出したリサージュ波形と各データ点の差分の二乗和の平方根で表されるフィッティング残差を算出する。次にS17において、リサージュ算出部は、算出されたフィッティング残差が前回算出されたフィッティング残差よりも小さいかどうかを判断する。フィッティング残差が減少している場合、リサージュ算出部は、S18において、フィッティング残差を更新し保存する。リサージュ算出部は、そのときのABの値も合わせて保存しておく。S17においてフィッティング残差が増大している場合、S18をスキップし、S19に進む。S19で、リサージュ算出部は、さらにS12~S18を行うか否かの判断を行う。S19でさらにS12~S18を行うと判断された場合、S12に戻る。一方、S19でさらにS12~S18を行わないと判断された場合、リサージュ波形の算出処理は終了する。上記算出処理により、定数Xv0、Xv1、Yv0、Yv1の設定範囲内において、近似リサージュ波形と各データ点との差分が最小となる様にリサージュ波形を決定することが可能となり、高精度にワンカラー度を算出することが可能となる。リサージュ波形の算出に際して、データ点が多い方がワンカラー度の算出誤差は小さくなるが、計測時間が増加する。その為、ディスクを回転させてデータ点を取得する際には、ディスクを等速に回転させ同一の位相差でデータ点を取得するのが望ましい。図12のS12では、下記の式14を用いて各種定数を設定している。Xv0XminXv12Yv0YminYv1214つまり、データ点のXmin、Xmax、Ymin、Ymaxのデータより、リサージュ波形の近似を行っていることになる。そのため、Xmin、Xmax、Ymin、Ymaxが真のリサージュ波形と合致する様にXmin、Xmax、Ymin、Ymax近傍のデータ点数を増加させるのが良い。[その他の実施形態]また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェアプログラムを、ネットワーク又は各種記憶媒体を介して干渉計測装置に供給し、その干渉計測装置のコンピュータまたはCPUやMPU等がプログラムを読み出して実行する処理である。"