サーボモータと、前記サーボモータの位置を検出する位置検出器と、前記サーボモータを駆動するサーボドライブと、前記サーボドライブを制御するサーボコントローラと、を備えるサーボシステムにおいて、前記サーボモータに同期して稼動する外部装置に対して作動を指示するトリガ信号を出力可能なトリガ発生装置であって、前記位置検出器のサンプリング開始から前記トリガ信号を発生させるタイマ設定時間を算出するまでに要する時間をサーボ側遅延時間とし、前記トリガ発生装置が前記トリガ信号を出力してから前記外部装置が作動を開始するまでに要する時間を外部装置側遅延時間とするとき、前記トリガ発生装置は、前記サーボモータの位置情報から算出された前記外部装置が作動開始位置に到達するまでの到達所要時間から前記サーボ側遅延時間及び前記外部装置側遅延時間を減算して前記タイマ設定時間を算出するタイマ設定時間算出部と、前記タイマ設定時間に基づき前記トリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、を有することを特徴とするトリガ発生装置。前記トリガ信号出力部は、前記タイマ設定時間が正値のときは前記タイマ設定時間が経過したときに前記トリガ信号を出力し、前記タイマ設定時間が0又は負値のときは前記タイマ設定時間の算出後直ちに前記トリガ信号を出力する請求項1に記載のトリガ発生装置。前記サーボドライブ、前記サーボコントローラ及び前記トリガ発生装置と前記位置検出器との間は、前記サーボモータの前記位置情報を受信可能に接続されている請求項1又は2に記載のトリガ発生装置。前記トリガ発生装置は、前記サーボドライブに備えられている請求項1~3のいずれか1項に記載のトリガ発生装置。前記外部装置は、部品実装装置の撮像手段を備える請求項1~4のいずれか1項に記載のトリガ発生装置。しかしながら、特許文献1に記載の発明では、エンコーダの出力信号を直線状の位置データに変換して補間するものであり、外部装置の到達位置トリガ位置までの所要時間を考慮したものではない。また、特許文献2に記載の発明では、所要時間の算出に要する計算時間は考慮されているものの、トリガ信号が出力されてから外部装置が実際に作動するまでの外部装置側の遅延時間については考慮されていない。そのため、特許文献1及び2に記載の発明は、いずれも外部装置に出力されるトリガ信号の出力精度が十分とは言えなかった。特に、部品実装装置においては、高速で移動する電子部品が所定位置に到達したときに電子部品を撮像して、電子部品の吸着状態を確認する必要がある。所定位置で正確に電子部品を撮像するためには、トリガ信号の出力精度をさらに向上させる必要がある。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、サーボモータに同期して稼動する外部装置に対して作動を指示するトリガ信号を高精度に出力することが可能なトリガ発生装置を提供することを課題とする。請求項1に係るトリガ発生装置は、サーボモータと、サーボモータの位置を検出する位置検出器と、サーボモータを駆動するサーボドライブと、サーボドライブを制御するサーボコントローラと、を備えるサーボシステムにおいて、サーボモータに同期して稼動する外部装置に対して作動を指示するトリガ信号を出力可能なトリガ発生装置であって、位置検出器のサンプリング開始からトリガ信号を発生させるタイマ設定時間を算出するまでに要する時間をサーボ側遅延時間とし、トリガ発生装置がトリガ信号を出力してから外部装置が作動を開始するまでに要する時間を外部装置側遅延時間とするとき、トリガ発生装置は、サーボモータの位置情報から算出された外部装置が作動開始位置に到達するまでの到達所要時間からサーボ側遅延時間及び外部装置側遅延時間を減算してタイマ設定時間を算出するタイマ設定時間算出部と、タイマ設定時間に基づきトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、を有することを特徴とする。請求項2に係るトリガ発生装置は、請求項1において、トリガ信号出力部は、タイマ設定時間が正値のときはタイマ設定時間が経過したときにトリガ信号を出力し、タイマ設定時間が0又は負値のときはタイマ設定時間の算出後直ちにトリガ信号を出力する。請求項3に係るトリガ発生装置は、請求項1又は2において、サーボドライブ、サーボコントローラ及びトリガ発生装置と位置検出器との間は、サーボモータの位置情報を受信可能に接続されている。請求項4に係るトリガ発生装置は、請求項1~3のいずれか1項において、トリガ発生装置は、サーボドライブに備えられている。請求項5に係るトリガ発生装置は、請求項1~4のいずれか1項において、外部装置は、部品実装装置の撮像手段を備える。請求項1に係るトリガ発生装置によれば、サーボ側遅延時間だけでなく外部装置側遅延時間も考慮してタイマ設定時間が設定されているので、外部装置の作動開始位置において、高精度に外部装置の作動を開始することができる。請求項2に係るトリガ発生装置によれば、タイマ設定時間が正値のときはタイマ設定時間が経過したときにトリガ信号を出力するので、所望の作動開始位置において外部装置の作動を開始することができる。また、タイマ設定時間が0又は負値のときはタイマ設定時間の算出後直ちにトリガ信号を出力するので、外部装置に対して直ちに作動開始を指示することができる。請求項3に係るトリガ発生装置によれば、サーボドライブ、サーボコントローラ及びトリガ発生装置と位置検出器との間は、サーボモータの位置情報を受信可能に接続されているので、サーボドライブ、サーボコントローラ及びトリガ発生装置の間で互いに位置情報を共有することができる。そのため、トリガ発生装置が備える演算機能をサーボドライブ又はサーボコントローラで実現することが容易である。また、位置情報を共有することができるので、複数のサーボモータを有するサーボシステムにおいて、各サーボモータ間の同期運転が容易である。請求項4に係るトリガ発生装置によれば、トリガ発生装置は、サーボドライブに備えられているので、サーボコントローラに備えられている場合と比べて、サーボモータの位置情報を短時間に取得することができる。そのため、サーボ側遅延時間を短縮することができる。請求項5に係るトリガ発生装置によれば、外部装置は、部品実装装置の撮像手段を備えるので、サーボモータに同期して稼動する撮像対象を所定位置で正確に撮像することができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。各実施形態について共通の箇所には共通の符号を付して対応させることにより重複する説明を省略する。なお、図面は概念図であり、細部構造の寸法まで規定するものではない。1第1実施形態1-1サーボシステム図1は本実施形態に係る構成図である。本実施形態におけるサーボシステム100は、サーボモータ1と、サーボモータ1の位置を検出する位置検出器2と、サーボモータ1を駆動するサーボドライブ3と、サーボドライブ3を制御するサーボコントローラ4と、を備えている。サーボモータ1には、位置検出器2が取り付けられており、位置検出器2は、サーボモータ1の回転に同期してサーボモータ1の位置情報21を出力することができる。サーボモータ1及び位置検出器2は、数値制御機において採用される公知のサーボモータ及び位置検出器を用いることができる。例えば、ACサーボモータやエンコーダを用いることができる。インクリメンタルエンコーダを用いる場合には、位置情報21は、サーボモータ1の回転変位量に応じたパルス列をカウントした計数値である。アブソリュートエンコーダを用いる場合には、位置情報21は、サーボモータ1の回転変位量に応じた出力コードである。位置情報21は、エラー情報などの種々のデータを含めることができ、所定の周期毎にサーボドライブ3に送信される。サーボドライブ3は、CPU300、メモリ301、入出力インターフェース302、303及び通信インターフェース304を有しており、各種データ及び制御信号を送受信可能にバス305で接続されている。位置検出器2から送信された位置情報21は、入出力インターフェース302、バス305を介してメモリ301に送信される。CPU300は、バス305、通信インターフェース304を介して、位置情報21をサーボコントローラ4に送信することができる。サーボコントローラ4は、CPU400、メモリ401及び通信インターフェース402を有しており、各種データ及び制御信号を送受信可能にバス403で接続されている。サーボドライブ3から送信された位置情報21は、通信インターフェース402、バス403を介してメモリ401に送信される。また、CPU400で演算されたサーボモータ1の移動指令411は、バス403、通信インターフェース402、304、バス305を介してサーボドライブ3のメモリ301に送信される。通信インターフェース402、304間は、位置情報21及び移動指令411をはじめとした種々のデータ及び制御信号を送受信可能に接続されている。通信手段、プロトコルは特に限定されず、シリアル通信であってもパラレル通信であっても良い。後述するサーボネットワーク等により、ネットワークを構成することもできる。なお、位置情報21などの入出力データは、ダイレクトメモリアクセスDMAによって送信することもできる。DMAは、CPU300、400を介さないで、入出力装置とメモリ301、401との間で種々のデータを送受信することができる。例えば、位置検出器2とメモリ301、401との間で位置情報21を直接送信することができる。図2は本実施形態に係る制御ブロック図である。制御ブロックとして捉えると、サーボコントローラ4は、サーボモータ1の移動指令411を演算する演算部41を有している。サーボドライブ3は、位置制御及び速度制御を行うサーボ制御部31と、サーボモータ1を駆動するサーボ駆動部32と、サーボモータ1に同期して稼動する外部装置5に対して作動を指示するトリガ発生装置6と、を有している。サーボ制御部31は、サーボコントローラ4からの移動指令411と、位置検出器2からの位置情報21と、に基づいて位置制御及び速度制御を行う。位置制御及び速度制御の方法は特に限定されない。例えば、PID制御などの公知のフィードバック制御を用いることができる。サーボ駆動部32は、位置制御及び速度制御の演算出力311に基づいて、サーボモータ1の電流指令である駆動信号を生成する。サーボモータ1の駆動信号は、例えば、PWM制御におけるパルスのON幅とOFF幅との比であるデューティ比を用いることができる。PWM制御においては、スイッチング素子がONのときに、対応する相にモータ電流IMが流れ、スイッチング素子がONしている時間ON幅に応じてモータ電流IMが変化する。つまり、ON幅が長くなるとモータ電流IMは大きくなり、ON幅が短くなるとモータ電流IMは小さくなる。サーボ駆動部32は、駆動信号に基づくモータ電流IMをインバータ等の電力変換器306からサーボモータ1に供給することにより、サーボモータ1を駆動することができる。本実施形態では、サーボドライブ3、サーボコントローラ4及びトリガ発生装置6と位置検出器2との間は、サーボモータ1の位置情報21を受信可能に接続されているので、サーボドライブ3、サーボコントローラ4及びトリガ発生装置6の間で互いに位置情報21を共有することができる。そのため、トリガ発生装置6が備える演算機能をサーボドライブ3又はサーボコントローラ4で実現することが容易である。また、本実施形態では、トリガ発生装置6は、サーボドライブ3に備えられているので、サーボコントローラ4に備えられている場合と比べて、サーボモータ1の位置情報21を短時間に取得することができる。そのため、後述するサーボ側遅延時間T2を短縮することができる。変形形態図1及び図2において、サーボシステム100はサーボモータ1をひとつ備えているが、複数のサーボモータ1を備えることができ、それらを同時に制御することもできる。サーボドライブ3、サーボコントローラ4及びトリガ発生装置6の間で互いに位置情報21を共有することができるので、複数のサーボモータ1を有するサーボシステムにおいて、各サーボモータ1間の同期運転が容易である。また、位置制御及び速度制御を行うサーボ制御部31は、サーボコントローラ4に設けることもできる。この場合、サーボモータ1の位置情報21は、サーボコントローラ4に直接入力され、サーボコントローラ4からサーボドライブ3に送信される。サーボコントローラ4は、サーボモータ1の移動指令411と、位置検出器2からの位置情報21と、に基づいて位置制御及び速度制御を行い、位置制御及び速度制御の演算出力311に基づいてトルク指令を生成する。トルク指令は、サーボドライブ3に送信され、サーボ駆動部32は、トルク指令に基づいてサーボモータ1の電流指令である駆動信号を生成する。サーボ駆動部32は、駆動信号に基づくモータ電流IMをインバータ等の電力変換器306からサーボモータ1に供給することにより、サーボモータ1を駆動することができる。1-2トリガ発生装置トリガ発生装置6は、サーボモータ1に同期して稼動する外部装置5に対して作動を指示するトリガ信号6Sを出力することができる。トリガ信号6Sは、図1に示すCPU300で演算された後、バス305、入出力インターフェース303を介して外部装置5に出力される。外部装置5は、サーボモータ1に同期して稼動する制御対象である。例えば、搬送装置、部品実装装置などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。なお、本実施形態では、トリガ発生装置6はサーボドライブ3に備えられているが、サーボコントローラ4に設けることもできる。図3はトリガ発生装置の一例を示すブロック図である。図4はトリガ発生装置の一例を示すフローチャートである。図3に示すようにトリガ発生装置6は、制御ブロックとして捉えると、速度推定部61、到達所要時間算出部62、タイマ設定時間算出部63及びトリガ信号出力部64を有しており、図1に示すメモリ301内に格納されたプログラムを実行することによって、トリガ信号6Sを出力することができる。プログラムは、図4に示すフローに従って所定時間の経過毎以下、制御周期という。に繰り返し実行される。具体的には、ステップS10において位置情報21の取得を行い、以下順に、ステップS11で外部装置5の速度推定を、ステップS12で到達所要時間T1の算出を、ステップS13でタイマ設定時間TMSの算出を、ステップS14でタイマ設定時間TMSの判定を行う。ステップS14の判定結果に応じて、タイマ設定トリガ信号6Sの出力を行うステップS15又はトリガ信号6Sの出力を行うステップS16が実行される。ステップS10、S11は速度推定部61が行い、ステップS12は到達所要時間算出部62が行う。ステップS13はタイマ設定時間算出部63が行い、ステップS14~S16はトリガ信号出力部64が行う。速度推定部61は、位置検出器2のサンプリング時刻Tpにおける外部装置5の移動速度Vnをサーボモータ1の位置情報21に基づいて推定する。時刻Tpにおいてサンプリングを開始したサーボモータ1の位置情報21は、演算に使用できるまでに後述する遅延時間を要する。時刻Tpから遅れて時刻Tnにおいて速度推定部61が取得したサーボモータ1の位置情報21を位置Pnとする。サンプリングの1周期前に相当する時刻Tkから遅れて時刻Tmにおいて速度推定部61が取得したサーボモータ1の位置情報21を位置Pmとする。サンプリング時刻Tpにおける外部装置5の移動速度Vnは、下記数1で表すことができる。数1Vn=Pn-Pm/Tn-Tm到達所要時間算出部62は、推定された移動速度Vnを用いて外部装置5が作動開始位置PSに到達するまでの到達所要時間T1を算出する。移動速度Vnで外部装置5が等速度で移動すると仮定すると、到達所要時間T1は、下記数2で表すことができる。数2T1=PS-Pn/Vnタイマ設定時間算出部63は、到達所要時間T1からサーボ側遅延時間T2及び外部装置側遅延時間T3を減算してタイマ設定時間TMSを算出する。サーボ側遅延時間T2は、位置検出器2のサンプリング開始からトリガ信号6Sを発生させるタイマ設定時間TMSを算出するまでに要する時間をいう。外部装置側遅延時間T3は、トリガ発生装置6がトリガ信号6Sを出力してから外部装置5が作動を開始するまでに要する時間をいう。サーボ側遅延時間T2及び外部装置側遅延時間T3は、サーボシステム100によって定まる固定時間であり、予め算出又は計測しておくことができる。外部装置側遅延時間T3は、外部装置5の動作モードなどによって可変することもできる。なお、タイマの割り込み周期は、例えば、制御周期が数十μsとすると、数μsとすることができる。これにより、タイマ設定時間TMSが制御周期より短い場合であっても、タイマ設定時間TMSの経過後に正確にトリガ信号6Sを出力することができる。トリガ信号出力部64は、タイマ設定時間TMSに基づきトリガ信号6Sを出力する。例えば、トリガ信号出力部64は、タイマ設定時間TMSが正値のときはタイマ設定時間TMSが経過したときにトリガ信号6Sを出力し、タイマ設定時間TMSが0又は負値のときはタイマ設定時間TMSの算出後直ちにトリガ信号6Sを出力する。タイマ設定時間TMSが負値のときは、サーボ側遅延時間T2と外部装置側遅延時間T3とを合算した遅延時間が到達所要時間T1と比べて長く、外部装置5に対して直ちに作動開始を指示する必要がある。そのため、タイマ設定時間TMSの算出後直ちにトリガ信号6Sを出力する。本実施形態では、タイマ設定時間TMSが正値のときはタイマ設定時間TMSが経過したときにトリガ信号6Sを出力するので、所望の作動開始位置PSにおいて外部装置5の作動を開始することができる。また、タイマ設定時間TMSが0又は負値のときはタイマ設定時間TMSの算出後直ちにトリガ信号6Sを出力するので、外部装置5に対して直ちに作動開始を指示することができる。図5はタイマ設定値とトリガ信号の出力タイミングとの関係を示す図である。曲線L1は、サーボモータ1の回転変位の一例を示し、曲線L2は、位置検出器2によって検出されたサーボモータ1の位置情報21の一例を示している。位置検出器2のサンプリング周期毎に位置情報21が更新されるので、曲線L2は、階段状になっている。線分L3は、時刻Tpから遅延した時刻Tnにおける位置Pnと、サンプリングの1周期前に相当する時刻Tkから遅延した時刻Tmにおける位置Pmと、を端点とする線分である。線分L3の傾きは、サンプリング時刻Tpにおける外部装置5の移動速度Vnを示している。直線L4は、時刻Tpにおいて位置Pnを通り、線分L3と同じ傾きの直線である。時刻Tpにおいて位置Pnのサーボモータ1は、時刻Tpから到達所要時間T1の経過後に、所望の作動開始位置PSに到達することが予測される。時刻Tpにおいて位置検出器2がサンプリングを開始してから、サンプリングが終了してサーボモータ1の位置情報21が生成されるまでに所定の検出時間及び処理時間を要する。そして、検出された位置情報21がサーボドライブ3へ送信されるまでに所定の通信時間を要する。さらに、速度推定部61が位置情報21を取得してから速度推定部61、到達所要時間算出部62及びタイマ設定時間算出部63の各演算が終了するまでに所定の演算時間を要する。このように、位置検出器2のサンプリング開始からトリガ信号6Sを発生させるタイマ設定時間TMSを算出するまでにサーボ側遅延時間T2を要する。また、トリガ発生装置6がトリガ信号6Sを出力してから外部装置5が作動を開始するまでに外部装置側遅延時間T3を要する。例えば、部品実装装置の撮像手段においては、撮像開始信号を出力してから実際に撮像対象を撮像するまでに、通信遅延や駆動部の作動遅延を生じる。高速で移動する撮像対象を所定位置で正確に撮像するためには、これらの遅延時間を無視することができない。本実施形態では、サーボ側遅延時間T2だけでなく外部装置側遅延時間T3も考慮してタイマ設定時間TMSが設定されているので、所望の作動開始位置PSにおいて、高精度に外部装置5の作動を開始することができる。同図aは、タイマ設定時間TMS1を到達所要時間T1からサーボ側遅延時間T2及び外部装置側遅延時間T3を減算した時間に設定した場合を示している。同図bは、タイマ設定時間TMS2を到達所要時間T1に設定した場合を示している。aの場合は、タイマ設定時間TMS1の経過後にトリガ信号6S1が出力されて、トリガ信号6S1の出力後さらに外部装置側遅延時間T3が経過したときに、外部装置5が実際に作動を開始する。外部装置5の作動開始位置は位置PS1である。一方、bの場合は、タイマ設定時間TMS2の経過後にトリガ信号6S2が出力され、トリガ信号6S2の出力後さらに外部装置側遅延時間T3が経過したときに、外部装置5が実際に作動を開始する。外部装置5の作動開始位置は位置PS2である。位置PS1は、位置PS2と比べて、所望の作動開始位置PSに近接している。変形形態本変形形態では、第1実施形態と比べて、速度推定部61及び到達所要時間算出部62が異なる。本変形形態では、外部装置5の移動速度Vnから移動加速度Anを推定する。そして、移動加速度Anで外部装置5が等加速度で移動すると仮定して、到達所要時間T1を算出する。時刻Tpから遅延した時刻Tnにおいて算出された外部装置5の移動速度をVnとし、サンプリングの1周期前に相当する時刻Tkから遅延した時刻Tmにおいて算出された外部装置5の移動速度をVmとすると、時刻Tpにおける外部装置5の移動加速度Anは、下記数3で表すことができる。数3An=Vn-Vm/Tn-Tm等加速度運動は、下記数4で表すことができるので、到達所要時間T1を算出することができる。数4Vn×T1An×T12/2=PS-Pnまた、搬送装置のように略一定速度で対象が移動する場合は、例えば、FIRフィルタなどのデジタルフィルタを用いて、時刻Tnにおける移動速度Vnを補正することもできる。例えば、時刻Tnにおいて算出された移動速度Vnが所定範囲を超えている場合は、時刻Tnにおける移動速度Vnは、過去に算出された移動速度Vnにデジタルフィルタを掛けた値を採用する。これにより、ノイズ等による推定誤差を軽減させることができる。なお、FIRフィルタは、直近の所定数の移動速度Vnの移動平均を算出することによって比較的簡単に実現することができる。2第2実施形態図6は、本実施形態に係る制御ブロック図である。本実施形態は、第1実施形態と基本的には同様の構成、作用効果を有する。共通する部位には共通の符号を付し、異なる部分を中心に説明する。本実施形態では、サーボドライブ3、サーボコントローラ4及びトリガ発生装置6が、位置情報21を送受信可能にネットワークを介して接続されていることに特徴がある。そのため、トリガ発生装置6は、図示しない独自のCPU及びメモリを有しており、メモリ内に格納されたプログラムを実行することによって、第1実施形態と同様にトリガ信号6Sを出力することができる。ネットワークを構成する通信手段、プロトコルは特に限定されない。例えば、サーボネットワークを用いてネットワークを構成することができる。サーボネットワークは、例えば、IEC61491やIEEE1394などの規格に準拠した同期通信機能を有すると好適である。これにより、サーボネットワークは、予め設定した周期毎に所定数のデータを送受信することができる。本実施形態では、サーボドライブ3、サーボコントローラ4及びトリガ発生装置6は、一定周期に同一タイミングで位置情報21を含む種々のデータ及び制御信号を互いに送受信することができる。また、サーボネットワークは、ネットワークに接続された各ノードに対して周期的に起動割り込みを発生させる起動割り込み機能を有するのが好ましい。これにより、サーボドライブ3におけるサーボ制御を周期的に同一タイミングで実行させることができ、複数のサーボモータ1間の同期運転が容易になる。本実施形態では、サーボドライブ3、サーボコントローラ4及びトリガ発生装置6が、ネットワークを介して位置情報21を共有しているので、ネットワークの伝送遅延、位置情報21の同期遅延が生じる可能性がある。サーボ側遅延時間T2は、これらの遅延時間も考慮されているので、所望の作動開始位置PSにおいて、高精度に外部装置5の作動を開始することができる。なお、図6において、トリガ発生装置6は、サーボドライブ3及びサーボコントローラ4と別体に記載されているが、トリガ発生装置6は、サーボドライブ3内又はサーボコントローラ4内に設けることもできる。3外部装置第1実施形態及び第2実施形態において、外部装置5は、例えば、部品実装装置の撮像手段50を備えることができる。図7は部品実装装置の一例を示す斜視図である。図8は部品装着ヘッドの一例を示す正面図である。図9は図8のA方向矢視図である。図10は側面画像の一例を示す図である。部品実装装置は、図7に示すように、部品供給装置770、基板搬送装置760及び部品移載装置780を備えている。部品供給装置770は、基枠790上に複数のカセット式フィーダ771を並設して構成したものである。カセット式フィーダ771は、基枠790に離脱可能に取付けた本体772と、本体772の後部に設けた供給リール773と、本体772の先端に設けた部品取出部774を備えている。供給リール773には電子部品Pが所定ピッチで封入された細長いテープが巻回保持され、このテープが図示しないスプロケットにより所定ピッチで引き出され、電子部品Pが封入状態を解除されて部品取出部774に順次送り込まれる。部品供給装置770と基板搬送装置760の間には、電子部品Pの保持位置を検出する撮像手段50としての部品カメラ775が設けられている。部品カメラ775は、後述する吸着ノズル718に吸着された電子部品Pの吸着ノズル718に対する位置ずれ及び角度ずれを検出することができる。位置ずれ及び角度ずれの検出結果は、電子部品Pの装着位置を補正するときに使用することができる。基板搬送装置760は、プリント基板を図7に示すX軸方向に搬送するもので、第1搬送装置761及び第2搬送装置762を2列並設したいわゆるダブルコンベアタイプのものである。第1搬送装置761及び第2搬送装置762は、基台763上にそれぞれ一対のガイドレール764a、764b、765a、765bを互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設し、これらガイドレール764a、764b、765a、765bによりそれぞれ案内されるプリント基板を支持して搬送する一対の図示しないコンベアベルトを互いに対向させて並設して構成されている。また、基板搬送装置760には所定位置まで搬送されたプリント基板を押し上げてクランプする図示しないクランプ装置が設けられ、このクランプ装置によってプリント基板が装着位置で位置決め固定される。部品移載装置780はXYロボットタイプのものであり、基枠790上に装架されて基板搬送装置760及び部品供給装置770の上方に配設され、Y軸サーボモータ711によりY軸方向に移動されるY軸スライダ712を備えている。Y軸スライダ712には、図8に示すように、X軸スライダ713がY軸方向と直交するX軸方向に移動可能に案内されている。X軸スライダ713は、Y軸スライダ712に固定されたX軸方向に延びる一対のガイドレール712aと、X軸スライダ713に固定された一対のガイドブロック713aを介して、Y軸スライダ712に移動可能に保持されている。Y軸スライダ712には図示しないX軸サーボモータが固定され、このX軸サーボモータの出力軸にはX軸方向に延びるボールねじ軸712bが連結されている。ボールねじ軸712bは、図示しないボールを介して、X軸スライダ713に固定されたボールナット713bに螺合されている。これにより、X軸サーボモータが回転するとボールねじ軸712bが回転し、X軸スライダ713はボールナット713bを介してガイドレール712aに案内されてX軸方向に移動する。X軸スライダ713上には、電子部品Pを吸着してプリント基板に装着する部品装着ヘッド710が取付けられている。部品装着ヘッド710は、図8に示すように、R軸モータ715、インデックス軸716、ノズルホルダ717、吸着ノズル718、θ軸モータ719、Z軸モータ720、CCDカメラ721を備えた撮像手段50等によって構成されている。X軸スライダ713には、水平方向に延びる第1、2フレーム725、726が上下方向Z軸方向に離間して一体的に設けられ、第1フレーム725にR軸モータ715が固定されている。R軸モータ715の出力軸には、鉛直軸線ALの回りR軸方向に回転可能に支持されたインデックス軸716が接続されている。インデックス軸716上には、従動ギヤ727とθ軸ギヤ729を形成した回転体728が回転可能に支持されている。インデックス軸716の下端部には、リボルバヘッドを構成する円筒状のノズルホルダ717が固定されている。ノズルホルダ717には、図9に示すように、鉛直軸線ALと同心の円周717a上において複数の吸着ノズル718がZ軸方向に移動可能に保持されている。各吸着ノズル718は、ノズルホルダ717にZ軸方向に摺動可能に支持されたノズルスピンドル733の下端に取付けられている。ノズルスピンドル733の下端部には大径部733aが形成され、ノズルスピンドル733の上端部にはノズルギヤ734が固定されている。ノズルギヤ734とノズルホルダ717との間には圧縮スプリング735が設けられ、この圧縮スプリング735によって、ノズルスピンドル733及び吸着ノズル718が上方に付勢されるとともに、大径部733aがノズルホルダ717の下面に当接することにより、ノズルスピンドル733及び吸着ノズル718の上方への移動が規制されている。また、各吸着ノズル718には、ノズルスピンドル733を介して図示しない吸着ノズル駆動装置から負圧が供給されるようになっている。これにより、各吸着ノズル718は、その先端部718aで電子部品Pを吸着することができる。ノズルホルダ717の下端中央部には、光を反射可能な円筒状の反射体731が固定されている。そのため、ノズルホルダ717及び反射体731は、インデックス軸716とともに鉛直軸線ALの回りに回動されることになる。これにより、R軸モータ715を回転させると、インデックス軸716を介して複数の吸着ノズル718を保持したノズルホルダ717を鉛直軸線ALの回りR軸方向に回動させることができ、複数の吸着ノズル718を装着ステーション7S1に順次割出すことができる。第1フレーム725にはθ軸モータ719が固定され、θ軸モータ719の出力軸には駆動ギヤ736が固定されている。駆動ギヤ736は、インデックス軸716に回転可能に支持された回転体728上の従動ギヤ727に噛合されている。また、回転体728上には軸方向の所定長さに亘ってθ軸ギヤ729が形成され、このθ軸ギヤ729は、ノズルスピンドル733に固定された各ノズルギヤ734にそれぞれ摺動可能に噛合されている。これにより、θ軸モータ719を回転させると、駆動ギヤ736、従動ギヤ727、θ軸ギヤ729及びノズルギヤ734を介して、全ての吸着ノズル718をノズルホルダ717に対して自転させることができる。また、第1フレーム725にはZ軸モータ720が固定され、Z軸モータ720の出力軸にはボールねじ軸737が接続されている。ボールねじ軸737は、第1フレーム725に固定された軸受738及び第2フレーム726に固定された軸受739により、鉛直軸線ALと平行な軸線の回りに回動可能に支持されている。ボールねじ軸737には、図示しないボールを介して、Z軸モータ720の回転運動を直線運動に変換するボールナット740が螺合されている。ボールナット740は、第1及び第2フレーム725、726に固定された上下方向に伸びるガイド742に上下方向に摺動可能にガイドされたノズルレバー741に固定されている。ノズルレバー741には、装着ステーション7S1に割出されたノズルスピンドル733の上端に当接して、ノズルスピンドル733をZ軸方向の下方に押圧する押圧部741aが突設されている。これにより、Z軸モータ720を回転させると、ボールねじ軸737が回転し、ノズルレバー741はボールナット740を介してガイド742に案内されて上下に移動する。ノズルレバー741が上下に移動すると、押圧部741aに対応するノズルスピンドル733及び吸着ノズル718を上下に移動させることができる。ノズルレバー741の押圧部741aは、ノズルホルダ717の回転方向に装着ステーション7S1を中心として所定の幅W1を有しており、吸着ノズル718が装着ステーション7S1の前後の所定の角度範囲に位置している状態において、その吸着ノズル718のノズルスピンドル733の上端に押圧部741aが当接可能となっている。これにより、装着ステーション7S1の前後の所定の角度範囲において、ノズルホルダ717の回動動作中に吸着ノズル718の上下方向Z軸方向の移動を可能にしている。第2フレーム726には支持ブラケット743が懸架され、支持ブラケット743には、ノズルホルダ717の装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に割出された2つの吸着ノズル718の先端部718aに吸着された電子部品Pの二次元画像を取得する1つのCCDカメラ721が固定されている。CCDカメラ721は、反射体731により反射された光により吸着ノズル718の先端部718aに吸着された電子部品Pの二次元画像を取得することができる。支持ブラケット743の吸着ノズル718に対応する側には、撮像ケース本体745が固定され、撮像ケース本体745の反射体731に対向する側には、図9に示すように、ノズルホルダ717を取巻くように鉛直軸線ALを円弧中心とする円弧状の壁面745aが、ノズルホルダ717の装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に亘って形成されている。撮像ケース本体745の円弧状壁面745aには、反射体731に向けて光を照射するLEDからなる複数の照射体746が装着されている。円弧状壁面745aには、装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に対応する位置に2つの入射部745a1、745a2が開口されている。撮像ケース本体745内には、入射部745a1、745a2を介して反射体731より反射された反射光をそれぞれ入射する2つの第1プリズム747a、747bと、これら2つの第1プリズム747a、747bによって屈折された屈折光を入射して、CCDカメラ721に向けた平行な光に屈折させる山形の第2プリズム748が設けられている。これら第1プリズム747a、747b及び第2プリズム748によって、照射体746から照射され、反射体731によって反射された反射光をCCDカメラ721に導入する光学機構749を構成している。また、反射体731、照射体746、第1及び第2プリズム747a、747b、748ならびにCCDカメラ721等によって、装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に位置決めされた2つの吸着ノズル718の先端部718aの側面画像を取得する撮像手段50を構成している。撮像手段50により、ノズルホルダ717の装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に割出された2つの吸着ノズル718が上昇端に位置決め停止されている状態において、照射体746から照射された光は反射体731により反射され、その反射光は電子部品Pの外周縁及び撮像ケース本体745の2つの入射部745a1、745a2を通過し、第1プリズム747a、747bにより第2プリズム748に向かう方向に偏光される。そして、第2プリズム748によってCCDカメラ721に向かう平行光に偏光され、CCDカメラ721によって画像認識される。これによって、1つのCCDカメラ721によって、装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に割出された2つの吸着ノズル718の先端部718aに吸着された電子部品Pの二次元画像を同時に取得することができる。部品実装装置は、図示しない制御装置によって制御される。制御装置は、撮像手段50によって撮像された吸着ノズル718の側面画像を認識する画像認識手段と、R軸モータ715及びZ軸モータ720を制御するオーバラップ制御手段と、シーケンス制御手段と、を有している。オーバラップ制御手段は、R軸モータ715とZ軸モータ720をオーバラップ制御同時動作制御することができる。シーケンス制御手段は、R軸モータ715とZ軸モータ720を順次動作制御することができる。次に上記した構成の部品実装装置によって、電子部品Pをプリント基板に装着する動作について説明する。まず、制御装置からの指令に基づいて、基板搬送装置760のコンベアベルトが駆動され、プリント基板がガイドレール764a、764b765a、765bに案内されて所定の位置まで搬送される。そして、クランプ装置により、プリント基板が押し上げられてクランプされ、所定位置に位置決め固定される。続いて、Y軸サーボモータ711及び図示しないX軸サーボモータが駆動されることにより、Y軸スライダ712及びX軸スライダ713が移動され、部品装着ヘッド710が部品供給装置770の部品取出部774まで移動される。その後、制御装置により、R軸モータ715が回転されることにより、ノズルホルダ717が回動され、所定の吸着ノズル718を装着したノズルスピンドル733がノズルレバー741の押圧部741aの下方に割出される。また、制御装置により、Z軸モータ720が正転されることにより、ノズルレバー741が圧縮スプリング735の付勢力に抗して下方に押下げられ、ノズルスピンドル733を介して吸着ノズル718の先端部718aが部品取出部774に搬送された電子部品Pに接近する位置まで押下げられる。その状態で、図示しない吸着ノズル駆動装置から吸着ノズル718に負圧が供給され、吸着ノズル718の先端部718aに電子部品Pが吸着保持される。その後、Z軸モータ720が逆転されることにより、ノズルレバー741が上方に移動され、圧縮スプリング735の付勢力により吸着ノズル718が上昇端位置まで押上げられる。このような動作を繰り返すことにより、複数の吸着ノズル718に電子部品Pがそれぞれ吸着保持される。続いて、Y軸サーボモータ711及び図示しないX軸サーボモータが駆動されることにより、Y軸スライダ712及びX軸スライダ713が移動され、部品装着ヘッド710がプリント基板の装着位置の上方まで移動される。次いで、θ軸モータ719の回転により、ノズルホルダ717の装着ステーション7S1に割出された吸着ノズル718の先端部718aに吸着保持された電子部品Pが所定の姿勢に制御されるとともに、Z軸モータ720が正転されることにより、ノズルレバー741が圧縮スプリング735の付勢力に抗して下方に押下げられ、吸着ノズル718の先端部718aの電子部品Pがプリント基板に装着されるまで押下げられる。その後、Z軸モータ720が逆転されることにより、ノズルレバー741が上方に移動され、圧縮スプリング735の付勢力により吸着ノズル718が最上端に移動した状態まで押上げられる。このような装着ステーション7S1に割出された吸着ノズル718の下降動作によって、プリント基板への電子部品Pの装着が行われるが、本実施形態においては、かかる電子部品Pの装着作業の間に、装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に位置決め停止されている2つの吸着ノズル718の先端部718aの側面画像が撮像手段50によって取得され、取得された2つの側面画像は画像認識手段に入力されて画像認識される。このように、装着ステーション7S1に割出された吸着ノズル718に吸着した電子部品Pをプリント基板に装着している間に、その直前直後のステーション7S1-1、7S11に割出された2つの吸着ノズル718の各先端部718aの側面画像を取得することにより、次のノズルホルダ717の回転割出し動作中に、吸着ノズル718の上下方向の進退移動を同時に行わせる、いわゆる、オーバラップ制御が可能になる。すなわち、装着ステーション7S1に割出されたノズルスピンドル733の下降動作により、吸着ノズル718に吸着保持された電子部品Pをプリント基板に装着している間に、装着ステーション7S1の直前直後のステーション7S1-1、7S11に位置決めされた停止状態の2つの吸着ノズル718の側面画像が、撮像手段50によって取得され、取得された2つの側面画像は画像認識手段に入力されて画像認識される。照射体746から光が照射された光は、反射体731により反射され、2つの吸着ノズル718に吸着された各電子部品Pの外周縁及び入射部745a1、745a2を通過して、CCDカメラ721に入射される。これにより、反射体731部分が明るい背景となり、電子部品P及び吸着ノズル718の先端部718aが暗くなった図10に示すような2つの側面画像二次元画像が取得できる。そして、装着ステーション7S1の直前のステーション7S1-1に位置決めされた吸着ノズル718の先端部718aの側面画像図10A参照は、グレースケールまたは白黒の2値の二次元画像データとして処理され、吸着ノズル718の先端部718aから各電子部品Pまでの距離が計算される。この計算データと、設計段階において予め計算された吸着ノズル718の先端部718aからの各電子部品Pの基準位置のデータとの差、すなわち位置ずれを求め、閾値と比較され、その結果、位置ずれが閾値を超えている場合は吸着ノズル718への電子部品Pの吸着ミス電子部品Pがない場合及び吸着姿勢が異常の場合とされ、位置ずれが閾値を超えていない場合は正常であると判断される。なお、吸着姿勢が異常の場合とは、電子部品Pの吸着姿勢がプリント基板に装着するための許容範囲にない場合をいう。この位置ずれのデータは、制御装置の記憶エリアに記憶され、電子部品Pのプリント基板への装着時に補正量として使用される。一方、装着ステーション7S1の直後のステーション7S11に位置決めされた吸着ノズル718の先端部718aの側面画像図10B参照に基づいて、吸着ノズル718によってプリント基板に正常に電子部品Pが装着されたか否かが判別される。すなわち、吸着ノズル718の先端部718aに電子部品Pが存在しない場合には、電子部品Pがプリント基板に正常に装着されたものと判断し、吸着ノズル718の先端部718aに電子部品Pが残存している場合には、装着異常とされ、例えば、電子部品Pの再装着が実行される。電子部品Pの保持位置の検出は、部品カメラ775によって行うこともできる。吸着ノズル718に電子部品Pが吸着された後、Y軸サーボモータ711及び図示しないX軸サーボモータが駆動されて、部品装着ヘッド710は、部品カメラ775の上方に移動される。このとき、吸着ノズル718に吸着された電子部品Pを撮像する。撮像後、部品装着ヘッド710は、プリント基板の装着位置上方まで移動される。本実施形態では、部品実装装置の撮像手段50を備えるので、サーボモータに同期して稼動する吸着ノズル718に吸着された電子部品Pを所定位置で正確に撮像することができる。また、本実施形態では、ノズルホルダ717の回転割出し中に吸着ノズル718の進退移動を同時に行うオーバラップ制御が行われる。このように、回転運動と直線運動とが同時に行われる場合においても、吸着ノズル718に吸着された電子部品Pを所定位置で正確に撮像することができる。なお、回転運動と直線運動とを個別に行うシーケンス制御においても、吸着ノズル718に吸着された電子部品Pを所定位置で正確に撮像することができる。4その他本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施可能である。