レーザ光源からのレーザ光を平行光束としてビームスプリッタを介して走査ミラーに導き、該走査ミラーで前記レーザ光を走査光に変換してテレセントリックfθレンズに入射させ、該テレセントリックfθレンズの焦点面近傍に近接配置したカム表面からの反射光を前記テレセントリックfθレンズにより平行光束に変換し、前記走査ミラーで反射させた後に前記ビームスプリッタでレーザ光源からのレーザ光と分離し、結像レンズによって集光して前記テレセントリックfθレンズの焦点面と共役の位置に設置したピンホールを通過させ、該ピンホールを通過した前記反射光の光量を受光素子で計測するカム表面の観察方法であって、前記カム表面を有するカムシャフトをその軸を中心に回転させるとともに、前記レーザ光に対して前記カム表面が常に垂直になり、かつ、前記レーザ光の焦点が常に前記カム表面に位置するように、前記カムシャフトを移動させながら観察することを特徴とするカム表面の観察方法。前記走査光を前記カム表面の母線に沿って走査させることを特徴とする請求項1記載のカム表面の観察方法。前記走査光が前記カム表面の母線を1回走査する毎に、前記走査光の走査方向に直交する方向に、前記走査光のスポット径に対応する量だけ前記カムシャフトをその軸を中心に回転させることを特徴とする請求項2記載のカム表面の観察方法。前記受光素子で計測された光量に対応した光量信号とこの光量信号が得られた前記カム表面上の位置情報に基づいて、前記カム表面の3次元画像を作成して表示手段に表示することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項記載のカム表面の観察方法。そこで、本発明は、カム表面を観察することのできる、広視野レーザ顕微鏡を用いた新規のカム表面の観察方法を提供することを目的とする。本発明のカム表面の観察方法は、レーザ光源からのレーザ光を平行光束としてビームスプリッタを介して走査ミラーに導き、該走査ミラーで前記レーザ光を走査光に変換してテレセントリックfθレンズに入射させ、該テレセントリックfθレンズの焦点面近傍に近接配置したカム表面からの反射光を前記テレセントリックfθレンズにより平行光束に変換し、前記走査ミラーで反射させた後に前記ビームスプリッタでレーザ光源からのレーザ光と分離し、結像レンズによって集光して前記テレセントリックfθレンズの焦点面と共役の位置に設置したピンホールを通過させ、該ピンホールを通過した前記反射光の光量を受光素子で計測するカム表面の観察方法であって、前記カム表面を有するカムシャフトをその軸を中心に回転させるとともに、前記レーザ光に対して前記カム表面が常に垂直になり、かつ、前記レーザ光の焦点が常に前記カム表面に位置するように、前記カムシャフトを移動させながら観察することを特徴とする。また、前記走査光を前記カム表面の母線に沿って走査させることを特徴とする。また、前記走査光が前記カム表面の母線を1回走査する毎に、前記走査光の走査方向に直交する方向に、前記走査光のスポット径に対応する量だけ前記カムシャフトをその軸を中心に回転させることを特徴とする。また、前記受光素子で計測された光量に対応した光量信号とこの光量信号が得られた前記カム表面上の位置情報に基づいて、前記カム表面の3次元画像を作成して表示手段に表示することを特徴とする。本発明のカム表面の観察方法によれば、カム表面を有するカムシャフトをその軸を中心に回転させるとともに、レーザ光に対してカム表面が常に垂直になり、かつ、レーザ光の焦点が常にカム表面に位置するように、カムシャフトを移動させながら計測することにより、カム表面の全面を簡単に、かつ、短時間で計測することができる。また、走査光をカム表面の母線に沿って走査させることにより、カム表面を一回転させるだけでカム表面の観察が可能となり、短時間で計測することができる。また、走査光がカム表面の母線を1回走査する毎に、走査光の走査方向に直交する方向に、走査光のスポット径に対応する量だけカムシャフトをその軸を中心に回転させることにより、カム表面の全面にわたって、カム表面の形状を正確に測定することができ、同時にカム表面の表面画像を得ることすることができる。また、受光素子で計測された光量に対応した光量信号とこの光量信号が得られたカム表面上の位置情報に基づいて、カム表面の3次元画像を作成して表示手段に表示することにより、測定結果を視覚的に分かりやすく表示することができる。以下、本発明のカム表面の観察方法の一実施例について、添付した図面を参照しながら説明する。本発明の円筒面の形状計測方法に用いられる共焦点レーザ走査型顕微鏡の原理を利用した広視野レーザ顕微鏡の一例を示す図1において、1はレーザ光源例えば、波長488nmの固体レーザであり、このレーザ光源1から出力されたレーザ光は、コリメータレンズ2により平行レーザ光束となり、この平行レーザ光束は、固定ミラー3により反射されて向きを変え、ビームスプリッタ4と1/4波長板5を通過し、モータ6によって回転する走査ミラー7に導かれるようになっている。そして、平行レーザ光束は、矢印Aの向きに回転する走査ミラー7により反射されることによって走査光に変換され、テレセントリックfθレンズ8を通過し、その焦点面近傍に近接配置されたカムシャフト9のカム表面10にて反射されるようになっている。ここで、走査ミラー7が矢印Aの向きに回転すると、走査光はカム表面10の母線に沿って、カム表面10を矢印Bの向きに走査するようになっている。また、カムシャフト9は、図示しない保持手段により保持され、図示しない回転手段により軸zを中心に矢印Cの向きに回転するとともに、図示しない光軸方向移動手段によりレーザ光の光軸方向xに移動し、図示しない鉛直方向移動手段により鉛直方向yに移動するようになっている。なお、図1は平面図であり、光軸方向x、鉛直方向y、軸zは相互に直交している。カム表面10にて反射された反射光である測定光は、テレセントリックfθレンズ8を通過して反射平行光束に変換され、走査ミラー7により反射され、1/4波長板5を通過して、ビームスプリッタ4に導かれるようになっている。そして、反射平行光束は、ビームスプリッタ4により反射されることによりレーザ光源1からのレーザ光と分岐され、結像レンズ11に入射して集光され、テレセントリックfθレンズ8の焦点面と共役の位置に設置されたピンホール板12のピンホール12aを通過して、ホトマル等の受光素子13に入射するようになっている。受光素子13は、入射した反射平行光束の光量を計測して光電変換を行い、光量に対応した光量信号をA/D変換ボード14へ送信し、A/D変換ボード14は、この光量信号をA/D変換して演算手段15へ送信するようになっている。また、走査ミラー7を回転させるモータ6の動作、カムシャフト9の回転及び移動は、図示しない制御手段により制御され、走査ミラー7の回転角度、カムシャフト9の回転角度及び移動の情報は制御手段から演算手段15へ送信されるようになっている。そして、演算手段15は、走査ミラー7の回転角度、カムシャフト9の回転角度及び移動量から光量信号が得られたカム表面10上の位置情報を算出し、光量信号とその位置情報に基づいて画像データを作成し、この画像データを表示手段16に出力するようになっている。つぎに、上記の広視野レーザ顕微鏡を用いた本発明のカム表面の観察方法の原理について説明する。観察対象となるカムの断面の一例を図2に示す。カムの断面は円形ではなく卵形をしている。カムの断面の半分は円形をしているために、この円形の部分ではレーザ光は垂直に反射して元の経路を戻り、カム表面の観察が可能である。しかしながら、図3に示すように、円形の部分以外ではレーザ光は垂直に反射しないので、カム表面を観察することができない。そこで、光軸方向移動手段と鉛直方向移動手段により、図4に示すように、レーザ光が垂直に反射する位置にカムを移動させて、カム表面を観察する。以下、本発明のカム表面の観察方法について詳細に説明する。カムシャフト9を保持手段に保持させる。そして、図示しない制御手段に指令を与えて、レーザ光源1からのレーザ光を点灯させるとともに、モータ6を矢印Aの向きに回転させる。これにより、走査光がカム表面10の母線に沿って矢印Bの向きに走査され、カム表面10にて反射された測定光が発生する。また、走査光がカム表面10の母線を1回走査する毎に、走査光の走査方向である矢印Bに直交する方向である矢印Cの向きに、走査光のスポット径に対応する量だけカムシャフト9をその軸zを中心に回転させる。なお、カムシャフト9は、矢印Cの向きに連続的に回転させてもよく、走査光の走査毎に非連続的に回転させてもよい。連続的に回転させる場合は、カムシャフト9の回転に起因してカム表面10上の走査線が捩れることになるので、データ処理により補正する必要がある。ここで、単にカムシャフト9を回転させたのみでは、光軸方向の焦点のずれが生じてしまい観察画像を取得することができない。これはレーザ光がカム表面10に垂直に当たらず反射光を検出できない場合が生じるためである。そのために、予め取得しておいたカム表面10の大まかな形状のデータを使用する。なお、カム表面10の大まかな形状のデータは、例えばディジタルゲージやレーザ計測器を用いて測定することができる。そして、制御手段は、回転手段を動作させてカムシャフト9を回転させるときに、カム表面10の大まかな形状のデータに基づいて、レーザ光に対してカム表面10が常に垂直になるように、鉛直方向移動手段を動作させてカムシャフト9を鉛直方向yに移動させ、同時に、レーザ光の焦点が常にカム表面10に位置するように、光軸方向移動手段を動作させてカムシャフト9を光軸方向xに移動させる。測定光は、テレセントリックfθレンズ8により反射平行光束となり、ビームスプリッタ4によりレーザ光源1からのレーザ光と分岐される。そして、測定光は、結像レンズ11により集光され、ピンホール12aにより余分な光がカットされて、焦点の合った光のみが受光素子13に入射する。受光素子13から送信された光量信号は、A/D変換ボード14によりA/D変換された後、演算手段15へ送信される。また、演算手段15は、図示しない制御手段から送信された走査ミラー7の回転角度及びカムシャフト9の回転角度等の情報に基づき、光量信号が得られたカム表面10上の位置情報を算出する。演算手段15は、光量信号とその位置情報を記憶する。そして、カムシャフト9が一回転するまで計測を続けることにより、カム表面10の全周の光量信号とその位置情報が演算手段15に蓄積される。演算手段15は、光量信号とその位置情報に基づいて、画像データを作成し表示手段16に出力する。その結果、カム表面10の全周の画像データが得られる。ここで得られた画像データは、カム表面10を展開した2次元画像として表示手段16に表示される。また、演算手段15によるデータ処理により、カム表面10を展開していないカム形状の3次元画像が作成され、表示手段16に表示される。なお、この3次元画像の座標値は、サブミクロン単位で特定可能である。以下、実際の観察例について説明する。はじめに、分解能0.1μmのディジタルゲージを使用し、カム表面10の大まかな形状のデータを取得した。ディジタルゲージをカム表面10に接触させ、カムシャフト9を回転手段により一定のパルス量で回転させた。そのパルス量ごとの変位量をディジタルゲージで測定しパソコンへ出力した。なお、図2はその変位量に基づいて作成したカム表面10の大まかな形状である。そして、得られたデータから、各パルスにおけるカム表面10へのレーザ光照射位置の接線を求め、レーザ光に対してカム表面10が常に垂直になるように、また、レーザ光の焦点が常にカム表面10上に位置するように、各パルスにおける光軸方向、鉛直方向、回転方向の絶対位置のデータを作成した。そのデータを用いて、回転手段、鉛直方向移動手段、光軸方向移動手段を動作させて観察を行った。カム表面10の全周の観察結果を図5に示す。一部で、レーザ光の反射強度が強くなりすぎて白く現れている部分が見られるが、全周の観察ができた。また、カム表面10には、無数の傷が付いており、カムシャフト9の回転方向に研磨痕が確認できた。研磨痕は母線方向にうねっており、これは研磨時の工具の動きによるものではないかと推測できる。図5のAの部分を拡大すると、図6に示すように、小さな傷も確認することができた。ここで、観察画像中の各画素は、カムを移動させるための光軸方向、鉛直方向、回転方向の絶対位置のデータより3次元空間の座標とサブミクロン単位で結びつけることができる。そのため、傷の位置が高精度に特定できる。つぎに、DirectXを利用して作成した3次元表示プログラムを使用して、観察画像を3次元表示した。すなわち、カム表面10の3次元骨組み構造のメッシュを作成し、その上に観察画像を貼り付けて3次元表示を行った。メッシュの作成には、先にディジタルゲージで得たカム表面10のデータを用いた。3次元表示の例を図7に示す。図5の観察画像よりも、傷の位置が直感的に分かりやすくなった。また、プログラム上で自由に拡大や回転させることにより、カム表面の全周の状態や傷も確認することが可能であった。以上のように、本実施例のカム表面の観察方法は、レーザ光源1からのレーザ光を平行光束としてビームスプリッタ4を介して走査ミラー7に導き、該走査ミラー7で前記レーザ光を走査光に変換してテレセントリックfθレンズ8に入射させ、該テレセントリックfθレンズ8の焦点面近傍に近接配置したカム表面10からの反射光を前記テレセントリックfθレンズ8により平行光束に変換し、前記走査ミラー7で反射させた後に前記ビームスプリッタ4でレーザ光源1からのレーザ光と分離し、結像レンズ11によって集光して前記テレセントリックfθレンズ8の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12aを通過させ、該ピンホール12aを通過した前記反射光の光量を受光素子13で計測するカム表面の観察方法であって、前記カム表面10を有するカムシャフト9をその軸zを中心に回転させるとともに、レーザ光に対してカム表面10が常に垂直になり、かつ、レーザ光の焦点が常にカム表面10に位置するように、カムシャフト9を移動させながら観察するものであり、カム表面10の全面を簡単に、かつ、短時間で観察することができる。また、走査光をカム表面10の母線に沿って走査させることにより、カム表面10を一回転させるだけでカム表面10の観察が可能となり、短時間で計測することができる。また、走査光がカム表面10の母線を1回走査する毎に、走査光の走査方向に直交する方向に、走査光のスポット径に対応する量だけカムシャフト9をその軸zを中心に回転させることにより、カム表面10の全面にわたって、カム表面10の形状を正確に測定することができ、同時にカム表面10の表面画像を得ることすることができる。また、受光素子13で計測された光量に対応した光量信号とこの光量信号が得られたカム表面10上の位置情報に基づいて、カム表面10の3次元画像を作成して表示手段に表示することにより、測定結果を視覚的に分かりやすく表示することができる。以上、本発明について上記実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の思想の範囲内で種々の変形実施が可能である。なお、上記実施例では、レーザ走査干渉計に用いられる光学系の基本的な要素のみを例示したものであり、この種の光学系に設置される各種部材を必要に応じて追加してもよいし、適宜配置を変更してもよい。また、ビームスプリッタの反射側にレーザ光源を、通過側に受光素子を配置してもよい。さらに、余分な光をカットするためにピンホールを用いたが、その代わりにスリットを用いてもよい。