"生体に光を照射する光源と、前記生体からの光を集光する複数のマイクロレンズが形成された透光性基板と、前記光源に近い領域よりも遠い領域において透過率が高くなるように設けられた開口部と遮光部とを有する透過率分布フィルターと、前記マイクロレンズにより集光された光を受光する複数の受光素子を備えたイメージセンサーと、を備え、前記透過率分布フィルターと前記マイクロレンズとが前記透光性基板に形成されていることを特徴とする生体情報取得装置。前記透光性基板の第1面側において、前記透過率分布フィルターと前記マイクロレンズとが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の生体情報取得装置。前記透光性基板の第1面側において、前記透過率分布フィルターと、前記透過率分布フィルターを覆い表面が平坦化された樹脂層と、が形成され、前記マイクロレンズが、前記樹脂層上に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の生体情報取得装置。前記透光性基板の第1面側において、前記透過率分布フィルターと、前記透過率分布フィルターを覆い表面が平坦化された樹脂層と、前記樹脂層の前記表面をエッチングして形成された前記マイクロレンズとを有することを特徴とする請求項1または2に記載の生体情報取得装置。前記マイクロレンズと平面視にて重なる前記受光素子との光軸に沿った光を透過し、前記光軸とは異なる斜め方向からの光を遮光する遮光層を有する遮光基板を備え、前記遮光基板は、前記透光性基板と前記イメージセンサーとの間に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の生体情報取得装置。前記透光性基板と、前記イメージセンサー、もしくは前記遮光基板とを、貼り合わせる際に使用する前記透光性基板に形成されたアライメントマークは、前記透過率分布フィルターと、同一層で形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の生体情報取得装置。請求項1乃至6のいずれか一項に記載の生体情報取得装置と、前記生体情報取得装置から得られた生体情報に基づいて、あらかじめ登録された正規使用者の認証を行う認証部と、を備えたことを特徴とする生体認証装置。しかしながら、薄型の生体情報取得装置にする為、特許文献2または特許文献3に記載の透過率分布フィルターと、イメージセンサーもしくは光学系とを精密に貼り合わせる必要があった。また、構成部材となる透過率分布フィルターの厚さ分だけ、生体情報取得装置が厚くなってしまうという課題があった。つまり、薄型で光量ムラを低減した生体情報取得装置を実現することが困難であるという課題があった。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例に係る生体情報取得装置は、生体に光を照射する光源と、前記生体からの光を集光する複数のマイクロレンズが形成された透光性基板と、前記光源に近い領域よりも遠い領域において透過率が高くなるように設けられた開口部と遮光部とを有する透過率分布フィルターと、前記マイクロレンズにより集光された光を受光する複数の受光素子を備えたイメージセンサーと、を備え、前記透過率分布フィルターと前記マイクロレンズとが前記透光性基板に形成されていることを特徴とする。本適用例によれば、従来の構成部材となっていた透過率分布フィルターが、マイクロレンズを形成する透光性基板に形成されているため、透過率分布フィルターが別部材として必要であった従来の生体情報取得装置よりも薄型化が可能となる。従って、薄型で光量むらを低減した生体情報取得装置を提供することができる。[適用例2]上記適用例に記載の生体情報取得装置は、前記透光性基板の第1面側において、前記透過率分布フィルターと前記マイクロレンズとが、形成されている事が好ましい。[適用例3]上記適用例に記載の生体情報取得装置は、前記透光性基板の第1面側において、前記透過率分布フィルターと、前記透過率分布フィルターを覆い表面が平坦化された樹脂層と、が形成され、前記マイクロレンズが、前記樹脂層上に形成されていることが好ましい。本適用例によれば、透過率分布フィルターの段差が、樹脂層により平坦化され、マイクロレンズを形成する工程において高精度にマイクロレンズを形成することができる。[適用例4]上記適用例に記載の生体情報取得装置は、前記透光性基板の第1面側において、前記透過率分布フィルターと、前記透過率分布フィルターを覆い表面が平坦化された樹脂層と、前記樹脂層の前記表面をエッチングして形成された前記マイクロレンズとを有することが好ましい。本適用例によれば、透過率分布フィルターの段差を、樹脂層により平坦化し、その樹脂層をエッチングするので、簡便な方法でマイクロレンズを形成することができる。[適用例5]上記適用例に記載の生体情報取得装置は、前記マイクロレンズと平面視にて重なる前記受光素子との光軸に沿った光を透過し、前記光軸とは異なる斜め方向からの光を遮光する遮光層を有する遮光基板を備え、前記遮光基板は、前記透光性基板と前記イメージセンサーとの間に配置されていることが好ましい。[適用例6]上記適用例に記載の生体情報取得装置は、前記透光性基板と、前記イメージセンサー、もしくは前記遮光基板とを、貼り合わせる際に使用する前記透光性基板に形成されたアライメントマークは、前記透過率分布フィルターと、同一層で形成されていることが好ましい。本適用例によれば、より簡便に透光性基板上にアライメントマークを形成することが可能で、遮光基板もしくはイメージセンサーとの高精度な貼り合わせが可能となる。[適用例7]本適用例に記載の生体認証装置は、上記適用例の生体情報取得装置と、前記生態情報取得装置から得られた生体情報に基づいて、あらかじめ登録された正規使用者の認証を行う認証部と、を備えたことを特徴とする。本適用例によれば、光源の配置によらず生体情報を正確に取得可能であると共に、薄型な生体認証装置を提供することができる。以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。実施形態1図1は、本発明の実施形態1としての生体認証装置を示したものである。図1に示すように、本実施形態の生体認証装置1は、生体4の静脈パターン生体情報17を取得する生体情報取得部生体情報取得装置2と、生体情報取得部2によって取得された静脈パターンによって個人認証を行う制御及び認証部3とを備えている。以下、生体4として指を利用した例を挙げて説明する。図2は生体情報取得部の断面模式図である。生体情報取得装置としての生体情報取得部2は、生体4の静脈パターン17を照明する光源10と、生体4からの光を集光する複数のマイクロレンズ111が形成された透光性基板11と、マイクロレンズ111と平面視にて重なる受光素子130との光軸に沿った光を透過し、光軸とは異なる斜め方向からの光を遮光する遮光層を有する遮光基板12と、集光された光に基づき、撮像データを生成する複数の受光素子130が形成されたイメージセンサーとしてのイメージセンサー基板13を有している。光源10は、例えばLEDからなっており、例えば、生体4に対してイメージセンサー基板13と同一の側に、例えば生体4の長手方向における両端位置に設けられている。図1に示すように、光源10は、光源制御部14に電気的に接続されており、光源制御部14による発光制御のもと、例えば近赤外光を生体4に向かって照射する。生体4の静脈パターン情報を有した、生体4から発した光は、透光性基板11に入射される。透光性基板11の1面光が入射する側と反対側の面には、透過率分布フィルター110が配置されており、詳しくは後述するが光源10からの距離に応じた領域によって透過率が異なるように設けられた開口部と遮光部とを有している。透過率分布フィルター110と同一面側に、マトリクス状に配置された複数のマイクロレンズ111を有しており、集光力を有したマイクロレンズ111がイメージセンサー基板13の受光素子130と、例えば、1対1の配置で同軸上に並んでいる。また、マイクロレンズ111は、例えば、屈折率nが1よりも大きな樹脂を用いて形成することが出来る。マイクロレンズ111を透過した光は、遮光基板12に入射される。遮光基板12は、マイクロレンズ111と受光素子130とを結ぶ光軸とは異なる斜め方向からの光50を遮光する為に、例えば、透光性樹脂層121を介して積層された遮光層120を有する。遮光基板12を透過した光は、イメージセンサー基板13の複数の受光素子130に入射され、電気信号に変換され静脈パターン17を得る。イメージセンサー基板13は図1に示すように、個人認証を行う認証制御部15に電気的に接続され、認証制御部15は、メモリー生体情報記憶部16に電気的に接続されている。メモリー16は、イメージセンサー基板13からの電気信号静脈パターンを記憶データとして記憶するようになっている。認証制御部15は、イメージセンサー基板13からの電気信号を静脈パターン取得データとし、メモリー16にあらかじめ記憶された静脈パターン17の記憶データと比較するようになっている。そして、認証制御部15は、両データが一致すると、認証が完了したものとして外部機器の利用を許可する許可信号を出力するようになっている。次に透過率分布フィルター110の概構成について図3~図7を用いて説明する。図3は、図1に示した生体認証装置の平面構成を表す模式図である。詳しくは、指側から見た概略平面図である。光源10は指の根本と指先部とに対応して、例えば2個ずつ並べられて配置されている。指の長手方向に配置された光源10の間の領域が撮像領域20となっている。図3において透過率分布フィルターが無い場合のA-A’断面の光量分布を図4に示す。透過率分布フィルター110が無い場合には、光源10に近い場所と遠い中心部とでは、100倍程度の光量差が発生し、撮像領域20全領域でほぼ均一な被写体像を得ることは困難となる。図5は、透光性基板に配置された透過率分布フィルターの一例を示す概略平面図である。本実施形態の透過率分布フィルター110は、図4の光量分布をほぼ均一に補正する様な透過率を有する。図6に、図5で示した透過率分布フィルターのB-B’断面での透過率を示し、図7に、透過率分布フィルター110を撮像領域20に配置した際の、図4で示した、A-A’断面での光強度分布を示す。この透過率分布フィルター110を配置することにより、撮像領域20でほぼ均一な光量になることがわかる。次に、透過率分布フィルター110の詳細構成について、図8~図11を用いて説明する。図8および図9は、図5で示した高濃度領域31光源に近い領域および、中濃度領域32、低濃度領域33光源から遠い領域の平面模式図である。ここで、開口部112は、マイクロレンズ111の内側で、マイクロレンズ111により集光された光が透過する部分である。開口部112以外の部分が遮光部である。この開口部112の大きさで、平面的に見た透過率が既定される。本実施形態における開口部112の面積は、高濃度領域31を基準とし、2次関数的に大きくなり、最終的に光源10から最も遠い低濃度領域33では、ほぼ平面的にみて、マイクロレンズ111全域で光が透過するようになっている。図8では、平面的に見てマイクロレンズ111の内側のみで、開口部112が配置されるが、図9では、光源配置方向と直交方向に開口部112が配置された例を示している。図10では、複数のマイクロレンズ111が形成された透光性基板11の断面模式図を、図8および図9で示したD-D’断面、E-E’断面、F-F’断面領域それぞれについて示す。透過率分布フィルター110は、遮光性能を有する、50nmから300nm程度に膜厚設定したCrやTiN等で形成され、フォトリソグラフィーやエッチングによって、高濃度領域光源10に近い領域31から低濃度領域光源10から遠い領域33まで開口部112を既定した平面形状で形成する。次にマイクロレンズ111は、感光性アクリル等、感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィーを利用する事で形成する。以上述べたように、本実施形態に係る生体認証装置1によれば、以下の効果を得ることができる。1透過率分布フィルター110やマイクロレンズ111を薄膜技術で形成することが可能となり、薄型が可能となる。2また、同一基板上において透過率分布フィルター110とマイクロレンズ111とを、共にフォトリソグラフィー技術を用いて形成する事が可能となり、透過率分布フィルター110とマイクロレンズ111とを、別基板で組立をすることなく、高精度に位置合わせして所望の透過率設定が可能となる。3さらに、透過率分布フィルター110は、他のイメージセンサー基板13や、遮光基板12との貼り合わせ時に使用する、アライメントマークとしても使用可能となり、わざわざ専用のアライメントマークを形成する必要がないので、工程数の削減に有効である。変形例1図11は、変形例1に関わる、透光性基板11の断面模式図である。上記実施形態1では、図10に示すとおり、透光性基板11上に形成された透過率分布フィルター110に重ねてマイクロレンズ111を形成した構成であるものとして説明したが、この構成に限定するものでない。以下、変形例1に関わる、生体認証装置1生体情報取得部2について説明する。なお、実施形態1と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。まず、透光性基板11上に透過率分布フィルター110を形成し、次に、透過率分布フィルター110の段差を埋めて表面を平坦化する為の平坦化樹脂層114を形成した後に、複数のマイクロレンズ111を形成する。このときマイクロレンズ111は、空気層より高屈折率な材料を使用することが最良であり、感光性アクリル樹脂やレジスト樹脂を用いることができる。このような方法によれば、透過率分布フィルター110を覆う平坦化樹脂層114上にマイクロレンズ111が形成されるので、透過率分布フィルター110の段差の影響を受けずに、マイクロレンズ111の球面形状を精密に既定することが可能となる。変形例2また、上記平坦化樹脂層114をアクリル樹脂やフォトレジストに代表される感光性樹脂材料を用いることによって、より簡便に精密なマイクロレンズ111を形成することができる。まず、透光性基板11上に透過率分布フィルター110を形成し、次に、透過率分布フィルター110の段差を埋めて表面を平坦化する為の平坦化樹脂層114を塗布する。その後、フォトリソグラフィーにて平坦化樹脂層114を露光し、現像、焼成をすることで、精密なマイクロレンズ111を形成でき、平坦化樹脂層114とマイクロレンズ111とを1つの層で形成することができる。実施形態2図12は、本発明の実施形態2に係る生体認証装置を示したものである。なお、実施形態1と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。図12に示すように、本実施形態の生体認証装置100は、円形板状に形成された円形基盤部126を備えている。円形基盤部126には、互いに同一直線上に延びるバンド部126a,126bが設けられている。一方のバンド部126bの先端には、他方のバンド部126aの先端を係止させるための係止部126cが設けられている。図15は、本実施形態のブロック図を示しており、生体4の静脈パターン生体情報を取得する上記実施形態の生体情報取得部生体情報取得装置2と、生体情報取得部2によって取得された静脈パターンによって個人認証を行う制御及び認証部3とを備えている。このような構成のもと、図13に示すように、バンド部126a,126bを手首に巻回し、係止部126cをバンド部126aの先端に係止することにより、生体認証装置100を手首に装着して、手首内の静脈パターンを取得することができるようになっている。本実施形態による、平面的に見た透光性基板11の平面模式図を図14に示す。光源10は円形基盤部126の中心に対して同心円上に複数配置されており、所謂環状光源となっている。透過率分布フィルター110は、複数の光源10によって囲まれた撮像領域20の中心部33に向かって、2次関数的に透過率が大きくなる平面配置となっている。この様な透過率の平面分布を示す透過率分布フィルター110の場合、同心円上の複数のマイクロレンズ111と透過率分布フィルター110とが必要となる。本構成によれば、同一基板上において、マイクロレンズ111と透過率分布フィルター110とをフォトリソグラフィーによって形成できるため、互に高精度に位置決めでき、所望の精密な透過率設定が可能となる。"