アルミニウム材を陽極酸化するに際し、第一段階目の陽極酸化を実施した後、陽極酸化電圧、電解液濃度の少なくとも一方を変更して第二段階目以降の陽極酸化を実施することを特徴とする、陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化における陽極酸化電圧に対し、第二段階目以降の陽極酸化における陽極酸化電圧を連続的に変化させる、請求項1に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化層の厚さを10μm以上とする、請求項1または2に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化層の厚さを20μm以上とする、請求項3に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化層の厚さを30μm以上とする、請求項4に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化層の厚さを100μm以上とする、請求項5に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。細孔が縦、横3個×3個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製する、請求項1~6のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。細孔が縦、横4個×4個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製する、請求項7に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。細孔が縦、横6個×6個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製する、請求項8に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。細孔が縦、横10個×10個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製する、請求項9に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第二段階目以降の陽極酸化において、濃度02M以上のシュウ酸を用いる、請求項1~10のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第二段階目以降の陽極酸化において、濃度05M以上のシュウ酸を用いる、請求項1~10のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第二段階目以降の陽極酸化において、濃度08M以上のシュウ酸を用いる、請求項1~10のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第二段階目以降の陽極酸化において、40V~90Vの範囲の化成電圧で陽極酸化する、請求項1~13のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第一段階目の陽極酸化において、濃度01M以上のシュウ酸を用いる、請求項1~14のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化において、40V以上の化成電圧で陽極酸化する、請求項1~15のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第二段階目の陽極酸化層の厚さを10μm以上とする、請求項1~16のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第二段階目以降の陽極酸化において、濃度3M以上の硫酸を用いる、請求項1~10のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第二段階目以降の陽極酸化において、30V~50Vの範囲の化成電圧で陽極酸化する、請求項1~10、18のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第一段階目の陽極酸化において、濃度2M以上の硫酸を用いる、請求項1~10、18、19のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化において、10V以上の化成電圧で陽極酸化する、請求項1~10、18~20のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第二段階目の陽極酸化層の厚さを20μm以上とする、請求項1~10、18~21のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。第一段階目の陽極酸化から電解液が接触するアルミニウム材の陽極酸化部位の背面側部位を冷却することにより、第二段階目以降の陽極酸化のための化成電圧の上限値を高める、請求項1~22のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。第一段階目、第二段階目以降の陽極酸化後、酸化物層の少なくとも一部を一旦除去し、再度陽極酸化を行う、請求項1~23のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ製造方法。酸化物層を一旦除去した後、陽極酸化と孔径拡大処理を繰り返すことでテーパー形状の細孔を形成する、請求項24に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。請求項1~25のいずれかに記載の方法で得られた陽極酸化ポーラスアルミナ、または、それを鋳型として作製したネガ型をインプリント用モールドとして用い、ポリマーまたは無機材料の表面に凹凸パターンを形成することを特徴とする、規則表面を有するポリマーまたは無機材料の製造方法。請求項1~25のいずれかに記載の方法により製造され、細孔の少なくとも一部が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナ。細孔の周期が90~225nmの範囲にある、請求項1~17、23~25のいずれかに記載の方法により製造された陽極酸化ポーラスアルミナ。細孔の周期が60~160nmの範囲にある、請求項18~25のいずれかに記載の方法により製造された陽極酸化ポーラスアルミナ。規則配列した細孔が縦、横3個×3以上の範囲で理想三角格子状に配列されている、請求項27~29のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナ。規則配列した細孔が縦、横4個×4個以上の範囲で理想三角格子状に配列されている、請求項30に記載の陽極酸化ポーラスアルミナ。規則配列した細孔が縦、横6個×6個以上の範囲で理想三角格子状に配列されている、請求項31に記載の陽極酸化ポーラスアルミナ。規則配列した細孔が縦、横10個×10個以上の範囲で理想三角格子状に配列されている、請求項32に記載の陽極酸化ポーラスアルミナ。そこで本発明の課題は、大面積試料に対しても再現性よく、容易に最適化された陽極酸化条件に制御、維持することにより、細孔が高い規則性をもって配列されている所望の形態の陽極酸化ポーラスアルミナを確実に作製できるようにした陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法、並びにその方法により製造された陽極酸化ポーラスアルミナを提供することにある。ここで、細孔が規則的に配列した陽極酸化ポーラスアルミナとは、少なくとも、縦、横3×3個以上、好ましくは、4×4個以上、より好ましくは、6個×6個以上、さらに好ましくは、10個×10個以上にわたって細孔が欠陥をもたずに理想的な三角格子状に配列された状態を示す。上述の如く、陽極酸化ポーラスアルミナにおいて、これら理想配列部分はドメイン構造を形成し、隣接ドメイン間には欠陥や配列の乱れが存在することから、試料全面にわたっての細孔の理想配列を意味するものではないものの、陽極酸化ポーラスアルミナの細孔配列構造に鑑みれば、理想配列部分の形成およびその領域のサイズ細孔個数は、陽極酸化ポーラスアルミナにおける規則性を定量的に評価する際の指標となり得るものであり、陽極酸化ポーラスアルミナの各種分離用フィルター、ナノインプリント用モールドとしての利用など、様々な応用においても有益に寄与する。上記課題を解決するために、本発明は、以下のような知見、技術思想に基づき完成されたものである。すなわち、通常の陽極酸化手法においては、著しく高い陽極酸化電流を生じ、過剰な反応熱を発生するおそれのあった高濃度電解液、高化成電圧条件下における陽極酸化に関して、あらかじめ一定厚さ以上の陽極酸化皮膜を形成し、その後、所定の陽極酸化条件で陽極酸化を行うことにより電流を抑制し、同時に過剰な反応熱の発生を防止することにより、安定な陽極酸化を可能とし、さらに、電解液の濃度、化成電圧を適切に設定することにより、細孔が三角格子状に理想配列した陽極酸化ポーラスアルミナが得られることが明らかとなった。すなわち、上記課題を解決するために、本発明に係る陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法は、アルミニウム材を陽極酸化するに際し、第一段階目の陽極酸化を実施した後、陽極酸化電圧、電解液濃度の少なくとも一方を変更して第二段階目以降の陽極酸化を実施することを特徴とする方法からなる。なお、本発明においては、二段階の陽極酸化は勿論のこと、三段階等、二段階以上の陽極酸化を行う場合も含まれる。また、陽極酸化電圧、電解液濃度の少なくとも一方を変更したプロセスを段階的に実施する場合は勿論のこと、とくに陽極酸化電圧については、段階的ではなく、第一段階目の陽極酸化における陽極酸化電圧に対し、第二段階目以降の陽極酸化における陽極酸化電圧を連続的に変化させる場合も含まれる。この本発明に係る陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法においては、まず、第一段階目の陽極酸化により、所定厚さ以上の陽極酸化皮膜が形成され、しかる後に陽極酸化電圧、電解液濃度の少なくとも一方を変更した所定の陽極酸化条件で第二段階目以降の陽極酸化が実施される。互いに異なる陽極酸化条件にて二段階以上の陽極酸化を行うことにより、陽極酸化工程全体を通して陽極酸化電流が高くなりすぎないようにし、それにともなって過剰な反応熱により温度上昇が大きくなりすぎることを防止できるようにしたものである。このような本発明に係る方法を用いれば、陽極酸化にともなう著しく高い電流を抑制し、過剰な反応熱の発生を抑えることで、安定な陽極酸化を可能とし、所定の細孔周期、細孔径で細孔が三角格子状に規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを確実に作製することが可能になる。陽極酸化において、過剰な発熱は、試料表面の著しい荒れ、更には、試料の破壊を引き起こす。本発明に係る方法手法によれば、陽極酸化のみにより細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナが得られることになり、各種分野において、より効率のよい利用が可能になる。ここで、陽極酸化のみによりとは、前述のようなテクスチャリング処理を行うことなく、陽極酸化の条件を特定の条件に制御することのみによりということを意味する。本発明に係る陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法においては、第一段階目の陽極酸化により所定厚さ以上の陽極酸化皮膜陽極酸化層を形成してから第二段階目以降の陽極酸化に移行するが、この第一段階目の陽極酸化層の厚さとしては、例えば、10μm以上とすることができる。より広い化成範囲で安定な第二段階目以降の陽極酸化を可能にし、より高い規則性を実現するため、第一段階目の陽極酸化層の厚さを10μm以上とすること、さらには、第一段階目の陽極酸化層の厚さを30μm以上とすること、さらには、第一段階目の陽極酸化層の厚さを100μm以上とすることができる。第一段階目の陽極酸化層の厚さを何μm以上とするかは、第二段階目以降の陽極酸化条件と関連させて、さらには、得ようとする細孔の理想三角格子状配列の目標形態と関連させて選択することができる。本発明における細孔の理想三角格子状の配列としては、例えば、細孔が縦、横3個×3個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製することができる。より好ましくは、細孔が縦、横4個×4個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製することができる。さらに好ましくは、細孔が縦、横6個×6個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製することができる。さらに好ましくは、細孔が縦、横10個×10個以上の範囲で理想三角格子状に配列された陽極酸化ポーラスアルミナを作製することができる。本発明において使用される電解液の種類は、とくに限定されず、代表的な電解液として、シュウ酸水溶液、硫酸水溶液、リン酸水溶液を挙げることができる。電解液にシュウ酸を用いた場合には、通常、化成電圧を60V以上に設定して低電圧化成を安定して行うことは、アルミニウム材から生じる反応熱の影響により困難である。特に、濃度が、03M以上の高濃度シュウ酸を用いる陽極酸化においては、反応にともなう発熱が著しく、試料の安定な陽極酸化は、困難となる。また、硫酸においても、30V以上の化成電圧においては、同様に過剰な反応熱による安定な陽極酸化が困難となる。本発明における二段階以上の陽極酸化条件を採る方法を用いることにより、陽極酸化にともなう電流を抑制し、過剰な反応熱の除去が可能となることから、これら、高電圧条件下においても安定な陽極酸化を行うことができる。例えば、電解液としてシュウ酸水溶液を用いる場合には、第二段階目以降の陽極酸化において、濃度02M以上のシュウ酸、あるいは濃度05M以上のシュウ酸、あるいは濃度08M以上のシュウ酸を用いることができる。また、第二段階目以降の陽極酸化において、40V~90Vの範囲の化成電圧で陽極酸化することができ、さらには、シュウ酸の濃度に対応させて40V~90Vの範囲から最適な化成電圧を設定することができる。また、第一段階目の陽極酸化においては、濃度01M以上のシュウ酸を用いることができ、第一段階目の陽極酸化において、40V以上の化成電圧で陽極酸化することができる。また、例えば、電解液として硫酸水溶液を用いる場合には、第二段階目以降の陽極酸化において、濃度3M以上の硫酸を用いることができ、第二段階目以降の陽極酸化において、30V~50Vの範囲の化成電圧で陽極酸化することができる。また、第一段階目の陽極酸化において、濃度2M以上の硫酸を用いることができ、第一段階目の陽極酸化において、10V以上の化成電圧で陽極酸化することができる。また、本発明に係る陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法においては、第一段階目の陽極酸化から電解液が接触するアルミニウム材の陽極酸化部位の背面側部位を冷却することにより例えば、電解液とは別の熱媒体で冷却することにより、第二段階目以降の陽極酸化のための化成電圧の上限値を高めることが可能であり、より広い化成範囲で安定な第二段階目以降の陽極酸化を行うことが可能である。また、本発明に係る陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法においては、上記第一段階目、第二段階目以降の陽極酸化を実施した後、酸化物層の少なくとも一部を一旦除去しあるいは酸化物層の全部を一旦除去し、酸化物層の形成により残されている窪みを起点に再度陽極酸化を行うこともできる。第一段階目、第二段階目以降の陽極酸化による規則配列された細孔の一部またはその細孔に基づく規則配列された窪みを開始点として再度の陽極酸化が行われることになるので、最終的に形成される細孔も規則的に配列されたものとなる。さらに、酸化物層を一旦除去した後、陽極酸化と細孔の孔径拡大処理を繰り返すことでテーパー形状の細孔を形成することもできる。また、本発明では、上記のような陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法で得られた陽極酸化ポーラスアルミナ、または、それを鋳型として作製したネガ型をインプリント用モールドとして用い、インプリントプロセスにより、ポリマーまたは無機材料の表面に所望の凹凸パターンを形成することを特徴とする、規則表面を有するポリマーまたは無機材料の製造方法についても提供される。本発明に係る陽極酸化ポーラスアルミナは、上記のような方法により製造され、細孔の少なくとも一部が規則配列したものからなる。この場合、前述の如くシュウ酸浴で化成する場合には、例えば、細孔の周期が90~225nmの範囲にある陽極酸化ポーラスアルミナとして作製可能である。また、前述の如く硫酸浴で化成する場合には、例えば、細孔の周期が60~160nmの範囲にある陽極酸化ポーラスアルミナとして作製可能である。また、陽極酸化ポーラスアルミナにおける規則配列した細孔については、縦、横3個×3個以上の範囲で理想三角格子状に配列されている形態とすることが可能であり、縦、横4個×4個以上の範囲で理想三角格子状に配列されている形態、縦、横6個×6個以上の範囲で理想三角格子状に配列されている形態、さらには縦、横10個×10個以上の範囲で理想三角格子状に配列されている形態とすることも可能である。このように、本発明によれば、条件を変更した二段階以上での陽極酸化を行うことにより、細孔が三角格子状に規則的に配列した所望の陽極酸化ポーラスアルミナを容易にかつ確実に得ることが可能となる。また、従来の手法では困難であった、大面積のアルミニウム材の陽極酸化も安定に行うことが可能となるため、細孔が三角格子状に規則配列した大面積陽極酸化ポーラスアルミナの作製も可能となる。以下に、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。図1は、比較のために、通常の陽極酸化の様子を示している。通常の陽極酸化においては、アルミニウム材1に対して、目的の幾何学形状の細孔2を有する陽極酸化ポーラスアルミナを得るためには、所定の電解条件電解液種類、濃度、化成電圧、または化成電流、温度において一定時間陽極酸化を施すことで、所望の厚さの陽極酸化皮膜3を得るが、陽極酸化条件を変化させて陽極酸化を行うことはない。図2は、本発明の一実施態様に係る陽極酸化の様子を示している。本発明においては、目的とする幾何学構造を形成するプロセスに先立ち、アルミニウム材1に対して、所定の厚さの第一段階目の陽極酸化を行う。その後、第二段階目以降の陽極酸化を施すことにより、所定の幾何学構造を有する陽極酸化ポーラスアルミナを得る。以下、二段階の陽極酸化の場合について説明する。このとき、第二段階目の陽極酸化においては、化成電圧、浴濃度の少なくとも一つを変化させる。第一段階目の陽極酸化により形成された酸化層4陽極酸化ポーラスアルミナ層は、第二段階目の陽極酸化時に、過剰な電流が流れ、過剰に発熱するのを阻害するのに有効に機能する。これによって、第二段階目の陽極酸化が望ましい状態にて安定して行われ、所望の酸化層5陽極酸化ポーラスアルミナ層が形成される。過剰な電流の抑制に有効な第一段階目の陽極酸化層4の厚さは、10μm以上、好ましくは20μm以上、より好ましくは30μm以上、さらに好ましくは100μm以上が望ましい。これまでも、陽極酸化皮膜をAl地金から剥離し、フィルター等の機能材料として用いることを目的に陽極酸化電圧を減少させる手法が、知られているが例えば、特開61-88495号公報、これは、化成電圧を低下させることにより、皮膜底部のバリア層の厚みを低減させ、皮膜の剥離を容易にするための処理であり、第二段階目の陽極酸化アルミナの細孔配列に規則性は得られない。本発明に係る方法においては、第一段階目の陽極酸化層の形成により安定に第二段階目の陽極酸化を実施することが可能となることから、広範な条件から規則化に適した陽極酸化条件を選択することが可能となり、特に、比較的大きな細孔周期で規則化に適する高化成電圧、高濃度条件下における陽極酸化が可能となる。本手法のこのような利点は、高化成電圧条件、高濃度条件下で細孔配列の規則化が進行する条件下で細孔配列が規則化した陽極酸化ポーラスアルミナの形成を可能にする。シュウ酸を例にとれば、濃度03M以上の電解液中において、化成電圧60V以上の化成電圧を印加した場合、高電流密度にともなう過剰な発熱により安定な陽極酸化が困難となり、規則配列有する陽極酸化ポーラスアルミナを得ることはできない。一方、第一段階目の陽極酸化により20μm以上の陽極酸化層を形成した場合には、同様の条件においても安定な陽極酸化が可能となり、この結果、規則細孔配列を有する陽極酸化ポーラスアルミナが得られる。シュウ酸を電解液として用いる陽極酸化において、規則配列を有するポーラスアルミナを形成するためには、第二段階目の化成電圧40Vから90Vの範囲で、より好ましくは、70V~90Vの範囲で陽極酸化することが好ましい。また、第二段階目の陽極酸化に用いるシュウ酸電解液の濃度を02M以上、より好ましくは、07M以上の濃度とすることが望ましい。また、第二段階目の陽極酸化層を厚さ10μm、より好ましくは20μm以上、さらに好ましくは50μm以上形成することが望ましい。これは、第二段階目の陽極酸化において、酸化層の増大に伴い細孔配列の規則化が進行することによる。第二段階目の陽極酸化ポーラスアルミナにおいては、細孔底部で最も高い規則性を有することから、陽極酸化終了後、地金アルミニウムをヨード飽和メタノール溶液等のエッチング溶液により選択的に溶解除去し、更に、細孔底部の孔が塞がったバリア層部分をリン酸等によりエッチングを施すことで、開孔貫通孔を有するポーラスアルミナを得ることもできる。得られたポーラスアルミナの細孔配列は、試料を走査型電子顕微鏡で観察を行うことで確認することができる。また、図3に示すように、第二段階目の陽極酸化終了後、例えばクロム酸リン酸混合溶液を用い酸化皮膜6を溶解除去した後、同一の電圧条件下再度陽極酸化を行うことで、バリア層7の配列に対応した窪み8の配列から細孔が発生することで、試料表面から細孔9が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナ10を得ることができる。本プロセスにより得られるポーラスアルミナの細孔配列は、第二段階目の陽極酸化により形成されたポーラスアルミナ底部と同一の細孔配列を有することから、上記地金アルミニウムを溶解し、バリア層を溶解除去して細孔配列を観察する手法に代え、細孔配列の観察評価法としても用いることができる。陽極酸化により形成された酸化物層を一旦溶解除去した後、陽極酸化と孔径拡大処理を施せば、テーパー形状を有する細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得ることもできる。シュウ酸を電解液として用いる陽極酸化において、形成される陽極酸化ポーラスアルミナの規則化条件につい詳細な検討を加えた結果、一定厚さ以上の第一段階目の陽極酸化を行うことに加え、第一段階目の陽極酸化条件が、第二段階目に上記条件のもと形成される陽極酸化ポーラスアルミナの規則性に影響を及ぼすことが明らかとなった。すなわち、第一段階目の陽極酸化をシュウ酸濃度01M以上、化成電圧40V以上の条件で、より好ましくは、01Mにおいては、化成電圧50V以下、03Mにおいては、化成電圧60V以下で陽極酸化することが規則ポーラスアルミナを得るために望ましい図4。これは、第一段階目の陽極酸化により形成されるポーラスアルミナの構造が、第二段階目の陽極酸化において安定な陽極酸化の維持、細孔配列の規則化に影響を及ぼすことによる。硫酸を電解液として用いる陽極酸化においては、第二段階目の陽極酸化における化成電圧を30Vから50Vの範囲で、より好ましくは、40~50Vとして陽極酸化することが好ましい。また、第二段階目の硫酸濃度を、3M以上、より好ましくは5M以上、さらに好ましくは8M以上とすることが望ましい。第二段階目の陽極酸化層を厚さ20μm、より好ましくは、30μm以上形成することが望ましい。第二段階目の陽極酸化において、酸化層の増大に伴い、細孔配列の規則化が進行する。硫酸を電解液として用いる陽極酸化において、形成される陽極酸化ポーラスアルミナの規則化条件について詳細な検討を加えた結果、一定厚さ以上の第一段階目の陽極酸化を行うことに加え、第一段階目の陽極酸化条件が、第二段階目に上記条件のもと形成される陽極酸化ポーラスアルミナの規則性に影響を及ぼすことが明らかとなった。すなわち、第一段階目の陽極酸化を硫酸濃度2M以上、化成電圧10V以上の条件で陽極酸化することが規則ポーラスアルミナを得るために望ましい。本発明に係る方法を前述した特願2009-222660号、2010-2151000号に記載の試料背面から冷却を行う手法と組み合わせることで、第二段階目の陽極酸化において安定に陽極酸化が可能な陽極範囲を拡大することができる。すなわち、シュウ酸を電解液として用いた場合、背面冷却法を併用することで陽極酸化が可能な電圧範囲が100Vに、また硫酸を電解液として用いた場合には、陽極酸化可能な電圧範囲は、80Vまで拡大され、細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナが得られる。このほか、陽極酸化により形成された酸化物層を一旦溶解除去したのち、同一の電圧条件で再度陽極酸化を行うことで、試料表面から細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得ることができる。また、陽極酸化により形成された酸化物層を一旦溶解除去した後、陽極酸化と孔径拡大処理を所定の回数施せば、テーパー形状の細孔が規則的に配列した、陽極酸化ポーラスアルミナを得ることもできる。陽極酸化処理の後、地金アルミニウムを除去し、さらに少なくとも細孔の一部に対して底部を除去すれば、細孔が貫通したメンブレンを得ることができる。また、本発明により得られた陽極酸化ポーラスアルミナ、またはそれを鋳型として作製したネガ型をインプリント用モールドとして用いれば、表面に、周期150nmから250nmの凹凸パターンを有する有機系材料例えば、ポリマー、無機系材料の作製が可能である。このように、本発明に係る陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法によれば、著しく高い陽極酸化電流、並びに過剰な反応熱のため安定な陽極酸化が困難であった陽極酸化条件下において安定な陽極酸化を可能とし、細孔が理想三角格子状に配列されたポーラスアルミナを得ることを可能とする。本手法により形成された高規則性配列の細孔を有するポーラスアルミナは、ナノインプリントをはじめとする機能性材料として幅広い分野に適用することができる。以下、実施例に基づき、本発明のより具体的な実施の形態について説明する。実施例1[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、08Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で16時間陽極酸化を行い酸化皮膜を150μm形成した。その後、化成電圧を80Vに変化させ、同様の電解液を用いて1時間化成を行ない、皮膜底面で、200nm周期で細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例2[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、08Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、60Vの定電圧で酸化皮膜を150μm形成した。化成時間は、5時間15分で行った。その後、化成電圧を80Vに変化させ、08Mシュウ酸電解液を用いて1時間化成を行ない、200nm周期で細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例3[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、05Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で酸化皮膜を150μm形成した。化成時間は、19時間30分で行った。その後、化成電圧を80Vに変化させ、08Mシュウ酸電解液を用いて1時間化成を行ない周期200nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例4[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、03Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で酸化皮膜を150μm形成した。化成時間は、25時間30分で行った。その後、化成電圧を80Vに変化させ、08Mシュウ酸電解液を用いて1時間化成を行ない周期200nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例5[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、03Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、60Vの定電圧で酸化皮膜を150μm形成した。化成時間は、13時間30分で行った。その後、化成電圧を80Vに変化させ、08Mシュウ酸電解液を用いて1時間化成を行なうことで周期200nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例6[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、01Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で酸化皮膜を150μm形成した。化成時間は、46時間30分で行った。その後、化成電圧を80Vに変化させ、08Mシュウ酸電解液を用いて1時間化成を行なうことで周期200nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例7[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、08Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で3時間陽極酸化を行ない酸化皮膜を30μm形成した。その後、化成電圧を80Vに変化させ、同様の電解液を用いて1時間化成を行ない、皮膜底面で、200nm周期で細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例8[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、08Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で5時間10分陽極酸化を行ない酸化皮膜を50μm形成した。その後、化成電圧を80Vに変化させ、同様の電解液を用いて1時間化成を行ない、皮膜底面で、200nm周期で細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例9[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、08Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で16時間陽極酸化を行った。その後、化成電圧を90Vに変化させ、08Mシュウ酸電解液を用いて1時間化成を行なうことで周期200nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例10[シュウ酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、08Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、中攪拌条件下において、40Vの定電圧で16時間陽極酸化を行った。その後、化成電圧を80Vに変化させ、同様の電解液を用いて1時間化成を行った。得られた皮膜をクロム酸リン酸混合液を用い選択的に除去し、同一の化成電圧で再度陽極を行った。この際陽極酸化は、005Mシュウ酸電解液を用いて、5分間行った。この結果、周期200nmで、皮膜最表面から細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。図5に、得られた規則性陽極酸化ポーラスアルミナを走査型電子顕微鏡により観察した結果を示す。実施例11[硫酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、8M硫酸を電解液とし、浴温16°C、強攪拌条件下において、20Vの定電圧で11分30秒陽極酸化を行った。その後、化成電圧を30Vに変化させ、同様の電解液を用いて30分化成を行なうことにより周期63nmの細孔周期で細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例12[硫酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、8M硫酸を電解液とし、浴温16°C、強攪拌条件下において、20Vの定電圧で11分30秒陽極酸化を行った。その後、化成電圧を50Vに変化させ、同様の電解液を用いて30分化成を行なうことで周期90nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例13[硫酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、8M硫酸を電解液とし、浴温16°C、強攪拌条件下において、10Vの定電圧で36分陽極酸化を行った。その後、化成電圧を、50Vに変化させ、同様の電解液を用いて30分化成を行なうことで周期90nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例14[硫酸電解液を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、8M硫酸を電解液とし、浴温16°C、強攪拌条件下において、20Vの定電圧で11分30秒陽極酸化を行った。その後、化成電圧を50Vに変化させ、同様の電解液を用いて30分化成を行った。得られた皮膜をクロム酸リン酸子混合液を用い選択的に除去し、005Mシュウ酸を電解液として用い同一の化成電圧で再度陽極酸化を行った。この結果、周期90nmで皮膜最表面から細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。図6に、得られた規則性陽極酸化ポーラスアルミナを走査型電子顕微鏡により観察した結果を示す。実施例15[シュウ酸電解液と背面冷却法を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、背面冷却陽極酸化装置に装着し、陽極酸化を行った。08Mシュウ酸を電解液とし、浴温16°C、背面冷却水温16°Cで、流量は約5Lminで行った。40Vの定電圧で16時間陽極酸化を行い、その後、化成電圧を100Vに変化させ、同様の電解液を用いて1時間化成を行なうことで周期210nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。実施例16[硫酸電解液と背面冷却法を用いた陽極酸化ポーラスアルミナの形成]純度9999のAl板を、過塩素酸エタノールを用い電解研磨を施した後、背面冷却陽極酸化装置に装着し、陽極酸化を行った。8M硫酸を電解液とし、浴温16°C、背面冷却水温16°Cで、流量は約5Lminで行った。20Vの定電圧で11分30秒陽極酸化を行い、その後、化成電圧を80Vに変化させ、同様の電解液を用いて30分化成を行なうことで周期160nmで細孔が規則配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。