ハイブリッド方式のアクチュエータを制御するアクチュエータ制御装置であって、フィードバック制御とフィードフォワード制御とを組み合わせて前記アクチュエータの推力を制御すると共に、前記アクチュエータの変位、速度或いは加速度の少なくとも1つに基づいてフィードバックゲインを設定することを特徴とするアクチュエータ制御装置。前記アクチュエータが油圧シリンダ、油圧ポンプ及びサーボモータを備える場合、前記油圧シリンダの圧力検出結果に基づいて前記油圧シリンダの発生推力を算出し、前記油圧シリンダの発生推力と推力指令値との偏差に前記フィードバックゲインを乗算することでフィードバック指令値を算出し、前記油圧シリンダの速度に基づいてフィードフォワード指令値を算出し、前記フィードバック指令値と前記フィードフォワード指令値とを加算した値を最終的な要求指令値として算出し、前記要求指令値を前記油圧シリンダに発生させるためのモータ指令信号を前記サーボモータのドライバに出力する、ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ制御装置。ハイブリッド方式のアクチュエータを制御するアクチュエータ制御方法であって、フィードバック制御とフィードフォワード制御とを組み合わせて前記アクチュエータの推力を制御すると共に、前記アクチュエータの変位、速度或いは加速度の少なくとも1つに基づいてフィードバックゲインを設定することを特徴とするアクチュエータ制御方法。ハイブリッドアクチュエータを推力制御状態で作動させる場合、アクチュエータ推力を作用させるべき対象物の特性弾性、粘性等によって、アクチュエータ変位がその発生推力状態に応じて任意に変化する。従来では、このようなアクチュエータ変位が任意に変化する状態において、その推力制御を安定的に実現する手法が確立されていなかった。本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであり、ハイブリッド方式のアクチュエータを制御するに当たって、アクチュエータ変位の変化に影響されずに安定的な推力制御を実現することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明では、アクチュエータ制御装置に係る第1の解決手段として、ハイブリッド方式のアクチュエータを制御するアクチュエータ制御装置であって、フィードバック制御とフィードフォワード制御とを組み合わせて前記アクチュエータの推力を制御すると共に、前記アクチュエータの変位、速度或いは加速度の少なくとも1つに基づいてフィードバックゲインを設定する、という手段を採用する。また、本発明では、アクチュエータ制御装置に係る第2の解決手段として、上記第1の解決手段において、前記アクチュエータが油圧シリンダ、油圧ポンプ及びサーボモータを備える場合、前記油圧シリンダの圧力検出結果に基づいて前記油圧シリンダの発生推力を算出し、前記油圧シリンダの発生推力と推力指令値との偏差に前記フィードバックゲインを乗算することでフィードバック指令値を算出し、前記油圧シリンダの速度に基づいてフィードフォワード指令値を算出し、前記フィードバック指令値と前記フィードフォワード指令値とを加算した値を最終的な要求指令値として算出し、前記要求指令値を前記油圧シリンダに発生させるためのモータ指令信号を前記サーボモータのドライバに出力する、という手段を採用する。一方、本発明では、アクチュエータ制御方法に係る第1の解決手段として、ハイブリッド方式のアクチュエータを制御するアクチュエータ制御方法であって、フィードバック制御とフィードフォワード制御とを組み合わせて前記アクチュエータの推力を制御すると共に、前記アクチュエータの変位、速度或いは加速度の少なくとも1つに基づいてフィードバックゲインを設定する、という手段を採用する。本発明によれば、ハイブリッド方式のアクチュエータを制御するに当たって、アクチュエータ変位の変化に影響されずに安定的な推力制御を実現することができる。図1は、本実施形態に係るアクチュエータ制御システムの概略構成図である。この図1に示すように、本実施形態に係るアクチュエータ制御システムは、油圧式と電動式を組み合わせたハイブリッド方式のアクチュエータ以下、ハイブリッドアクチュエータと称す1と、モータドライバ2と、信号変換増幅器3と、アクチュエータ制御装置4とから構成されている。ハイブリッドアクチュエータ1は、油圧シリンダ11と、油圧ポンプ12と、サーボモータ13と、シャトル弁14と、貯油タンク15と、第1圧力センサ16と、第2圧力センサ17と、直線型センサ18とから構成されている。さらに、上記の油圧シリンダ11は、シリンダ11a、ピストン11b及びロッド11cから構成されている。シリンダ11aは、作動流体として油を内部に収容する円筒状の部品である。ピストン11bは、シリンダ11aの内部空間を2つの部屋第1室R1、第2室R2に分割すると共にシリンダ11aの内壁に沿って往復移動自在に収容された円盤状の部品である。ロッド11cは、自身の中心軸線とピストン11bの中心軸線とが一致するように一端がピストン11bに固定された棒状の部品である。なお、ロッド11cの他端は、シリンダ11aの第1室R1側から外側に貫通して、油圧シリンダ11で発生する推力を作用させるべき対象物図示省略と連結されている。油圧ポンプ12は、例えば二方向吐出型の可変容量ポンプであり、入力軸がサーボモータ13の回転軸に接続されていると共に、一方の吐出口が第1流路L1を介して油圧シリンダ11の第1室R1に接続され、他方の吐出口が第2流路L2を介して油圧シリンダ11の第2室R2に接続されている。なお、このような二方向吐出型の油圧ポンプ12においては、入力軸の回転方向によって油の吐出方向言い換えれば、どちらの吐出口から油が吐出されるかが決定され、入力軸の回転数によって吐出流量が決定される。サーボモータ13は、例えばACサーボモータであり、モータドライバ2から供給されるモータ駆動信号に応じて回転する回転軸を有している。前述のように、サーボモータ13の回転軸は油圧ポンプ12の入力軸に接続されているので、サーボモータ13の回転方向及び回転数回転速度を制御することにより、油圧ポンプ12による油の吐出方向及び吐出流量を任意に制御できる。つまり、サーボモータ13の回転方向及び回転数を制御することにより、油圧シリンダ11の第1室R1と第2室R2の間に任意の圧力差を生じさせることができ、その結果、油圧シリンダ11の推力を任意に制御できるようになる。なお、周知のように、サーボモータ13にはエンコーダが内蔵されており、そのエンコーダの出力パルス信号はモータドライバ2にフィードバックされている。シャトル弁14は、一方が第1流路L1に接続され、他方が第2流路L2に接続された2つの入力ポートと、貯油タンク15に連通する1つの出力ポートと、2つの入力ポートの圧力差に応じて入力ポート間を移動する弁体とを有しており、2つの入力ポートの圧力差が規定値以上となった場合に上記の弁体が低圧側に移動することで、高圧側の入力ポートと出力ポートとが連通し、高圧側の入力ポートに導入された油が出力ポートから貯油タンク15へ排出される構成となっている。貯油タンク15は、シャトル弁14から排出される油を貯留するための容器である。第1圧力センサ16は、油圧シリンダ11の第1室R1の内部圧力Prを検出し、その検出結果に応じた信号を信号変換増幅器3に出力する。第2圧力センサ17は、油圧シリンダ11の第2室R2の内部圧力Phを検出し、その検出結果に応じた信号を信号変換増幅器3に出力する。直線型センサ18は、油圧シリンダ11のピストン11bの変位xを検出し、その検出結果に応じた信号を信号変換増幅器3に出力する。モータドライバ2は、アクチュエータ制御装置4から入力されるモータ指令信号PWM変調されたパルス信号に応じてサーボモータ13を駆動するためのモータ駆動信号駆動電流を生成してサーボモータ13に出力する。なお、前述のように、モータドライバ2には、サーボモータ13のエンコーダ出力がフィードバックされており、モータドライバ2において、モータ指令信号とエンコーダ出力との偏差がゼロとなるようにフィードバック制御が行われる。信号変換増幅器3は、第1圧力センサ16、第2圧力センサ17及び直線型センサ18から入力される信号の変換及び増幅を行った後、それらの信号をアクチュエータ制御装置4に出力する。アクチュエータ制御装置4は、CPUやメモリ、入出力インターフェイス等が一体的に組み込まれたマイクロコントローラであり、第1圧力センサ16、第2圧力センサ17及び直線型センサ18から信号変換増幅器3を介して入力される信号に基づいて、ハイブリッドアクチュエータ1の推力油圧シリンダ11の推力を推力指令値と一致させるためのモータ指令信号を生成してモータドライバ2に出力する。次に、上記のように構成されたアクチュエータ制御システムの動作について、図2及び図3を参照しながら詳細に説明する。アクチュエータ制御装置4は、図2aに示すメインルーチンに従ってハイブリッドアクチュエータ1の推力制御を実施する。この図2aに示すように、アクチュエータ制御装置4は、まず、ステップS1の処理として、第1圧力センサ16、第2圧力センサ17及び直線型センサ18から信号変換増幅器3を介して入力される信号を基に、油圧シリンダ11ピストン11bの変位x、油圧シリンダ11の第1室R1の内部圧力Pr及び第2室R2の内部圧力Phの各検出値を取得する。そして、アクチュエータ制御装置4は、ステップS2の処理であるフィードバック演算処理と、ステップS3の処理であるフィードフォワード演算処理とを並列的に実施する。具体的には、アクチュエータ制御装置4は、図2bに示すサブルーチンに従ってフィードバック演算処理を実施し、図2cに示すサブルーチンに従ってフィードフォワード演算処理を実施する。図2bに示すように、アクチュエータ制御装置4は、フィードバック演算処理におけるステップS21の処理として、油圧シリンダ11の変位xに基づいてフィードバックゲインGを設定する。ここで、フィードバックゲインGは、図3aに示すように、油圧シリンダ11の変位xに比例する値で設定しても良い。なお、図3bに示すように、油圧シリンダ11の変位xがx1からx2に変化する時、油圧シリンダ11の第2室R2の圧力変化量ΔPは、下記1式で表される。ΔP=KΔV/Vp=KQ/Vp1上記1式において、Kは体積弾性係数、ΔVは第2室R2の体積変化量、Vpは油圧ポンプ12の押し退け容積、Qは油圧ポンプ12の吐出流量Q=Vpn=ΔV;nはサーボモータ13の回転数である。ここで、圧力P1=P2=一定とすると、V→Qの場合、P1=KQ/Vpとなり、2V→2Qの場合、P2=K2Q/Vp=2P1となる。そして、アクチュエータ制御装置4は、フィードバック演算処理におけるステップS22の処理として、油圧シリンダ11の変位x、油圧シリンダ11の第1室R1の内部圧力Pr及び第2室R2の内部圧力Ph、ピストン11bの第1室R1側の受圧面積Ar及び第2室R2側の受圧面積Ahに基づいて、現在、油圧シリンダ11に発生している推力シリンダ発生推力faを算出する図3c参照。具体的には、アクチュエータ制御装置4は、例えば変位x>0の場合、ピストン11bの第1室R1側の受圧面積Arm2及び第1室R1の内部圧力PrMPaを含む下記2式に基づいて、シリンダ発生推力fakNを算出する。fa=-ArPr106/10002また、アクチュエータ制御装置4は、例えば変位x<0の場合、ピストン11bの第2室R2側の受圧面積Ahm2及び第2室R2の内部圧力PhMPaを含む下記3式に基づいて、シリンダ発生推力fakNを算出する。fa=AhPh106/10003そして、アクチュエータ制御装置4は、フィードバック演算処理におけるステップS23の処理として、推力指令値fckNと上記ステップS22にて算出したシリンダ発生推力faとの偏差Δf=fc-faを算出する。なお、推力指令値fcは、予めアクチュエータ制御装置4に設定されている値でも良いし、或いは外部の上位制御装置から指示される値でも良い。そして、アクチュエータ制御装置4は、フィードバック演算処理におけるステップS24の処理として、上記ステップS21にて設定したフィードバックゲインGと、上記ステップS23にて算出した推力偏差Δfとからフィードバック指令値Fbを算出する。例えば、変位x>0の場合に設定したフィードバックゲインGをG1とすると、Fb=G1Δfとなり、変位x<0の場合に設定したフィードバックゲインGをG2とすると、Fb=G2Δfとなる。一方、図2cに示すように、アクチュエータ制御装置4は、フィードフォワード演算処理におけるステップS31の処理として、油圧シリンダ11の変位xを微分することにより、油圧シリンダ11の速度ピストン11bの移動速度を算出する。そして、アクチュエータ制御装置4は、フィードフォワード演算処理におけるステップS32の処理として、油圧シリンダ11の変位x、上記ステップS31にて算出したシリンダ速度dx/dt、ピストン11bの第1室R1側の受圧面積Ar及び第2室R2側の受圧面積Ah、油圧ポンプ12の押し退け容積Vp、サーボモータ13の最大回転数Nmaxに基づいて、フィードフォワード指令値速度偏差Ffを算出する図3c参照。具体的には、アクチュエータ制御装置4は、例えば変位x>0の場合、ピストン11bの第1室R1側の受圧面積Arm2、シリンダ速度dx/dt、油圧ポンプ12の押し退け容積Vpm3/rev及びサーボモータ13の最大回転数Nmaxrpmを含む下記4式に基づいて、フィードフォワード指令値Ffを算出する。Ff=Ardx/dt/Vp60/Nmax4また、アクチュエータ制御装置4は、例えば変位x<0の場合、ピストン11bの第2室R2側の受圧面積Ahm2、シリンダ速度dx/dt、油圧ポンプ12の押し退け容積Vpm3/rev及びサーボモータ13の最大回転数Nmaxrpmを含む下記5式に基づいて、フィードフォワード指令値Ffを算出する。Ff=Ahdx/dt/Vp60/Nmax5アクチュエータ制御装置4は、上記のようなサブルーチンの実施によってフィードバック指令値Fbとフィードフォワード指令値Ffを算出すると、図2aのメインルーチンに戻り、メインルーチンにおけるステップS4の処理として、フィードバック指令値Fbとフィードフォワード指令値Ffとを加算することにより、最終的な要求指令値F=FbFfを算出する。なお、要求指令値Fを算出するには、フィードフォワード指令値Ffが無次元であるので、フィードバック指令値Fbも無次元とする必要がある。フィードバック指令値Fbの推力偏差Δfの単位はkNであるので、この単位を無次元化するようにフィードバックゲインGの単位を設定すれば良い。そして、アクチュエータ制御装置4は、メインルーチンにおけるステップS5の処理として、上記ステップS4にて算出した要求指令値Fを油圧シリンダ11に発生させるためのモータ指令信号つまり、油圧シリンダ11の発生推力を推力指令値と一致させるためのモータ指令信号を生成してモータドライバ2に出力する。以上のようなメインルーチンの各処理をアクチュエータ制御装置4が一定周期で繰り返し実施することにより、油圧シリンダ11の発生推力は推力指令値に維持されることになる。油圧シリンダ11の発生推力圧力の変化は、油圧シリンダ11の動作速度に相当する油圧シリンダ11の吐出流量シリンダ吐出流量と、サーボモータ13の回転状態から決定される油圧ポンプ12の吐出流量ポンプ吐出流量とのバランスにより決定される。すなわち、シリンダ吐出流量>ポンプ吐出流量の場合にはシリンダ発生推力圧力が上昇し、シリンダ吐出流量<ポンプ吐出流量の場合にはシリンダ発生推力圧力が低下し、シリンダ吐出流量=ポンプ吐出流量の場合にはシリンダ発生推力圧力が現状に維持される、という動作となるため、シリンダ発生推力のフィードバック制御の演算出力は、シリンダ吐出流量と同等のポンプ吐出流量を発生させるモータ回転速度を基準とするのが望ましい。従って、制御演算出力であるモータ回転速度指令値は、シリンダ推力偏差に基づくフィードバック制御演算出力に、シリンダ速度からシリンダ吐出流量を推定して、その流量と同等のポンプ吐出流量を発生させるモータ回転速度を加えた値とする。また、フィードバックゲインGの最適値は、油圧シリンダ11の変位xに応じて異なるため、その値を油圧シリンダ11の変位xに応じて設定する機能を持たせることにより、アクチュエータ変位の変化に影響されずに安定的な推力制御を実現することができる。なお、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。例えば、上記実施形態では、油圧シリンダ11、油圧ポンプ12及びサーボモータ13を備えるハイブリッドアクチュエータ1を例示したが、作動流体として油以外の流体の圧力にて作動する液圧或いは気圧シリンダとサーボモータ13とのハイブリッド方式としても良い。また、サーボモータ13の代わりに他方式のモータを使用しても良い。また、上記実施形態では、油圧シリンダ11の変位に基づいてフィードバックゲインを設定する場合を例示したが、システムに要求される性能に応じて、油圧シリンダ11の変位、速度或いは加速度のどの値に基づいてフィードバックゲインを設定すれば最適なのかが変化するため、システムに要求される性能に応じて、油圧シリンダ11の変位、速度或いは加速度の少なくとも1つに基づいてフィードバックゲインを設定することが望ましい。