"ウォームギヤとウォームホイールとを備えるウォーム減速機であって、前記ウォームギヤの前記ウォームホイールに対する摺動面と、前記ウォームホイールの前記ウォームギヤに対する摺動面との少なくともいずれか一方または両方にDLC膜が形成され、前記DLC膜は、シリコンおよびグラファイト結晶子を含み、ラマンスペクトルにおけるGバンドの面積に対するDバンドの面積比R=Id/Igが0.6以上である、ウォーム減速機。請求項1記載のウォーム減速機において、前記グラファイト結晶子は、フラーレンから生成される、ウォーム減速機。請求項1または2記載のウォーム減速機において、前記DLC膜は、芳香族炭化水素と、シリコンと、フラーレンとを含有する原料液をエアロゾル化して真空容器中に導入するとともに前記真空容器内でプラズマを発生させることにより、前記真空容器中に配置された前記ウォームギヤまたは前記ウォームホイールの少なくともいずれか一方の前記摺動面に成膜される、ウォーム減速機。請求項3記載のウォーム減速機において、前記芳香族炭化水素はトルエンまたはキシレンであり、前記シリコンは、ヘキサメチルジシランとして前記原料液に含有されている、ウォーム減速機。請求項1乃至4のいずれか1項記載のウォーム減速機において、前記摺動表面と前記DLC膜との間にSiC膜が形成されている、ウォーム減速機。請求項1乃至5のいずれか1項記載のウォーム減速機において、前記摺動表面がラジカル窒化処理されている、ウォーム減速機。請求項1乃至6のいずれか1項記載のウォーム減速機において、前記DLC膜は、炭素のsp2結合にシリコンが作用して炭素とシリコンが結合することにより炭素のsp3結合を主体としたマトリクスを形成し、前記グラファイト結晶子が前記マトリクス中に分散されている、ウォーム減速機。発明が解決しようとする課題特許文献1および特許文献2に記載のウォームギヤあるいはウォームホイールの摺動面にはDLC膜が形成されているので、DLC膜の潤滑性によってウォーム減速機の作動時における摩擦抵抗が軽減される。しかし、例えば伝達効率が80以上であるウォーム減速機を作製しようとすると、上記特許文献に記載されたDLC膜では摩擦力の低減効果が不十分である。そのため摺動面間にグリースを塗布しなければならない。この場合、グリースの購入費用やグリースの塗布工数が発生し、製造コストの増加を招く。本発明は、グリースを塗布せずとも十分に摩擦力の低減効果が得られる高効率のウォーム減速機を提供することを目的とする。課題を解決するための手段本発明は、ウォームギヤとウォームホイールとを備えるウォーム減速機であって、前記ウォームギヤの前記ウォームホイールに対する摺動面と、前記ウォームホイールの前記ウォームギヤに対する摺動面との少なくともいずれか一方または両方にDLC膜が形成され、前記DLC膜は、シリコンおよびグラファイト結晶子を含み、ラマンスペクトルにおけるGバンドの面積に対するDバンドの面積比R=Id/Igが0.6以上である、ウォーム減速機を提供する。この場合、前記グラファイト結晶子は、フラーレンから生成されるとよい。特にフラーレンが微細化することにより生成されるとよい。また、前記DLC膜は、炭素のsp2結合にシリコンが作用して炭素とシリコンが結合することにより炭素のsp3結合を主体としたマトリクスを形成し、前記グラファイト結晶子が前記マトリクス中に分散されているのがよい。本発明によれば、ウォームギヤの摺動面とウォームホイールの摺動面の少なくともいずれか一方に、シリコンSiおよびグラファイト結晶子好ましくはフラーレンが微細化されることにより生成されたグラファイト結晶子が含有されたDLC膜が形成されている。このDLC膜のラマンスペクトルを波形分離ピーク分離した場合に、波数1560cm-1付近にGピークグラファイトに起因するピークを有する波形Gバンドと、波数1360cm-1付近にDピーク規則性の乱れたグラファイトに起因するピークを有する波形Dバンドが得られる。本発明のDLC膜においては、Gバンドの面積に対するDバンドの面積比R=Id/Igが0.6以上である。面積比Rが0.6以上であると、フラーレンから生成されるグラファイト結晶子がより微細化され、より多くのグラファイト結晶子がDLC膜中マトリクス中に分散される。また、DLC膜構造中に4配位のシリコンを添加することで、DLC膜を構成する炭素のsp2結合にシリコンが作用する。その結果、DLC膜中の炭素がシリコンと結合し、炭素のsp3結合を主体としたマトリクスネットワーク構造が形成される。このためDLC膜中の炭素のダングリングボンドが減少し、フラーレン由来のグラファイト結晶子が炭素に結合することができずにマトリクスから脱落する。こうして脱落したグラファイト結晶子がマトリクス中に分散されてDLC膜表面に露出する。表面に露出したグラファイト結晶子はマトリクスに結合されていないので、自由に動くことができる。したがって、表面に露出したグラファイト結晶子が表面に塗布されたグリースと同等の役割を果たす。よって、DLC膜の潤滑性能が向上する。この結果、摺動面にグリースを塗布せずとも、十分に摩擦力の低減効果が得られ、伝達効率が向上した高効率のウォーム減速機を提供することができる。また、ラマンスペクトルにおけるGバンドの面積に対するDバンドの面積比Rを0.6以上としてフラーレンから生成されるグラファイト結晶子を微細化しているので、微細化されたグラファイト結晶子がDLC膜のマトリクス中の炭素に結合し難くなる。さらに、微細化されたグラファイト結晶子がDLC膜中に大量に分散されるので、相手材との摺動によりDLC膜表面のグラファイト結晶子が削られて剥がれ落ちても、次々にグラファイト結晶子がDLC膜表面に露出してくる。このため良好な潤滑性を長時間維持することができる。前記DLC膜は、芳香族炭化水素と、シリコンと、フラーレンとを含有する原料液をエアロゾル化して真空容器中に導入するとともに前記真空容器内でプラズマを発生させることにより、前記真空容器中に配置された前記ウォームギヤまたは前記ウォームホイールの少なくともいずれか一方の前記摺動面に成膜されるとよい。原料液中の芳香族炭化水素は、DLC膜を生成し得るものであればどのようなものでもよいが、フラーレンの溶媒または分散媒になり得るものであるのがよい。より好ましくは、トルエンまたはキシレンであるのがよい。また、原料液中のシリコンは、ヘキサメチルジシランHMDSとして原料液に含有されているのがよい。原料液中のフラーレンは、好ましくはフラーレンC60が用いられるとよい。前記摺動面と前記DLC膜との間には、SiC膜が形成されているのが好ましい。これによれば、SiC膜の存在によって、摺動面とDLC膜との密着性を高めることができる。また、前記摺動面はラジカル窒化処理されているのがよい。これによれば、摺動面を硬化させることができる。摺動面を硬化することで、硬度の高いDLC膜と摺動面との密着性をより向上させることができる。本実施形態に係るウォーム減速機を示す図である。ウォームギヤの歯面の表面近傍の材料組成を表す断面図である。C60-Si-DLC膜の構造を模式的に表わす図である。C60-Si-DLC膜のマトリクスの一例を示す図である。C60-Si-DLC膜の成膜装置を示す概略図である。C60-Si-DLC膜のラマンスペクトルの一例を示す図である。表1の実施例1~3に示される強度比Rと伝達効率ηとの関係を表すグラフである。以下、本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るウォーム減速機を示す図である。この図からわかるようにウォーム減速機1は、互いに噛み合っているウォームギヤ2およびウォームホイール3を備える。ウォームギヤ2は、その一端にてモータ4の出力軸に同軸的に連結している。ウォームギヤ2の他端側は図示しないベアリング等を介して回転可能にハウジング等に支持されている。ウォームホイール3の中心に出力軸5が取り付けられている。モータ4が回転するとその回転がウォームギヤ2に伝達されて、ウォームギヤ2が回転する。ウォームギヤ2の回転は、ウォームギヤ2とウォームホイール3が互いに噛み合い回転することで所定の減速比率でウォームホイール3に伝達され、さらにウォームホイール3の中心に取り付けられた出力軸5に伝達される。このようにしてモータ4の回転がウォーム減速機1で減速されて出力軸5に伝達される。ウォーム減速機1の作動中、ウォームギヤ2の歯面2aとウォームホイール3の歯面3aが摺動する。本実施形態では、歯面間の摺動時における摩擦抵抗力を低減するために、ウォームギヤ2の歯面2a摺動面に潤滑膜としてのDLC膜が形成されている。図2は、ウォームギヤ2の歯面2aの表面近傍の材料組成を表す断面図である。図2に示すように、ウォームギヤ2の母材21は機械構造用炭素鋼材S35Cで構成されている。この母材21の表面層が、後述するDLC膜24との密着性を向上させるためにラジカル窒化処理により硬化される。なお、イオン窒化により母材を表面処理した場合、母材表面に脆い窒化膜が形成される可能性がある。一方、ラジカル窒化により母材を表面処理した場合、母材表面には窒化膜が形成される可能性が低い。よって、イオン窒化により表面を硬化させるよりも、ラジカル窒化により表面を硬化させた方が良い。母材表面の硬化層である窒化層22上にSiC膜23が形成されている。本実施形態において、SiC膜23は、電子ビーム励起プラズマ法により形成した。SiC膜23は、母材表面摺動面と後述するDLC膜との密着性を向上させるために設けられる。SiC膜23上に、本実施形態に係るDLC膜24が成膜されている。本実施形態に係るDLC膜を、以下、C60-Si-DLC膜と表現する。図3は、C60-Si-DLC膜の構造を模式的に表わす図である。図3に示すように、C60-Si-DLC膜は、炭素原子を中心とするマトリクスネットワーク構造に、フラーレンC60から生成された微小なグラファイト結晶子がいたるところに分散配置するように構成されている。図4は、C60-Si-DLC膜のマトリクスの一例を示す図である。図4に示すように、C60-Si-DLC膜は、炭素Cと、水素Hと、シリコンSiが主要な構成元素であるマトリクスを形成する。図3に示すように、C60-Si-DLC膜の表面にグラファイト結晶子が露出している。グラファイト結晶子は潤滑性に優れるので、C60-Si-DLC膜の摩擦抵抗が大きく低減される。また、C60-Si-DLC膜の表面にSi-OH基が形成される。このSi-OH基が水分を吸着することによる強制潤滑効果によっても、C60-Si-DLC膜の摩擦抵抗が低減される。本実施形態のC60-Si-DLC膜においては、炭素のsp2結合部位に4配位のシリコンが作用して炭素とシリコンが結合することにより、図4に示すように炭素のsp3結合を主体としたマトリクスが形成されている。炭素とシリコンとの結合によりマトリクス中の炭素のダングリングボンドが減少する。このため多くのグラファイト結晶子がマトリクスを構成する炭素と結合することができず、マトリクスの結合から脱落する。こうして脱落したグラファイト結晶子がいたるところに分散されることにより、C60-Si-DLC膜の表面にもグラファイト結晶子が露出される。表面に露出されたグラファイト結晶子はマトリクスに結合されていないためにC60-Si-DLC膜の表面で自由に動くことができる。つまり、表面に露出したグラファイト結晶子は表面に塗布されたグリースと同じ様な働きをする。このためより一層摩擦抵抗が低減され、潤滑性の向上に寄与する。このC60-Si-DLC膜の成膜方法について、以下に説明する。図5は、C60-Si-DLC膜の成膜装置を示す概略図である。図5に示すように、この成膜装置60は、原料タンク61と、噴霧器62と、エアロゾル槽63と、真空容器64と、電子ビーム発生装置65を備える。原料タンク61には原料液が充填される。原料タンク61内の気相部分が導管601を通じてヘリウムガスボンベ602に連通するとともに、液層部分が導管603を通じて噴霧器62に連通する。また、導管604を通じてアルゴンガスボンベ605が噴霧機62に連通している。噴霧器62はエアロゾル槽63に装着されていて、噴霧機62から噴出されるエアロゾルがエアロゾル槽63に放出される。エアロゾル槽63は導管606を通じて真空容器64に連通される。なお、導管603および導管604の途中に質量流量制御器607,608がそれぞれ介装されている。真空容器64にはバキュームポンプ66が取り付けられている。バキュームポンプ66が作動することにより真空容器64内の気体が吸引されて真空容器64内の圧力が低下される。さらに、真空容器64内に試料載置台67が取り付けられる。試料載置台67には電源装置RFジェネレータ68が接続されている。電源装置68は、試料載置台67に載置された試料に所定のバイアス電圧を印加する。電子ビーム発生装置65は真空容器64に取り付けられている。電子ビーム発生装置65は電子ビームガンを備えており、この電子ビームガンから電子が放出される。また、真空容器64内には、電子ビーム発生装置65が真空容器64に取り付けられている位置と対峙する位置に加速電極69が取り付けられている。電子ビームガンからの電子は加速電極69に向けて真空容器64内に放出される。上記構成の成膜装置60を用い、電子ビーム励起プラズマ法によりC60-Si-DLC膜を成膜した。具体的には、以下の工程を経ることによりC60-Si-DLC膜を試料表面ウォームギヤまたはウォームホイールの摺動面に成膜した。原料液調製工程まず、溶媒あるいは分散媒としてのトルエンに、フラーレンC60およびHMDSヘキサメチルジシランを混入させることにより原料液を調製した。トルエンに溶解分散するフラーレンC60の量濃度は1mg/ml以上とした。また、HMDSの量は15体積以上とした。こうして調製した原料液を原料タンク61内に充填した。準備工程バキュームポンプ66を作動させて真空容器64内の気体を吸引し、真空容器64内の圧力を所定の低圧に設定した。また、試料載置台67に試料としてのウォームギヤを取り付けることにより、ウォームギヤを真空容器64内に配置した。さらに、電源装置68を作動させて、試料にバイアス電圧を印加した。成膜工程ヘリウムガスボンベ602からヘリウムを原料タンク61内に供給して原料タンク61内の気相部分を加圧した。これにより原料タンク61内の原料液が導管603を経由して噴霧器62に流入される。このとき質量流量制御器607により噴霧機62に流入する原料液量を所定量に調整した。また、アルゴンガスボンベ605からアルゴンガスを噴霧器62に供給した。このとき質量流量制御器608により噴霧器62に供給されるアルゴンガス量を所定量に調整した。噴霧器62に流入した原料液は、アルゴンガスの噴流でエアロゾル化される。こうしてエアロゾル化された原料液がエアロゾル槽63に噴出される。エアロゾル槽63は導管606で真空容器64に連通されている。また、真空容器64はバキュームポンプ66の作動によって低圧にされているので、エアロゾル槽63に噴出されたエアロゾル原料は導管606を経由して真空容器64内に導入される。また、電子ビーム発生装置65を作動させるとともに加速電極69に電圧加速電圧を印加させて、電子ビーム発生装置65から電子を所定の電流放電電流で真空容器64内に放出させた。これにより、真空容器64内に導入されたエアロゾルに電子が作用してプラズマが生成される。プラズマ中でエアロゾル化された原料が活性化され、あるいは帯電、イオン化される。プラズマにより活性化、帯電、イオン化された原料は、バイアス電圧が印加された試料に引き寄せられて試料表面に堆積する。この場合において、堆積した原料のうち、トルエンを構成する炭素および水素と、HDMSを構成するシリコンとにより、図4に示すような炭素原子のsp3結合を主体としたDLC膜のマトリクスが形成される。また、フラーレンC60がプラズマの作用によって破砕されて微小のグラファイト結晶子が生成される。このグラファイト結晶子も試料表面に堆積する。上述したように、グラファイト結晶子がマトリクス中の炭素に結合しようとしても、マトリクス中に4配位のシリコンが入り込むことにより炭素のダングリングボンドが減少しているので多くのグラファイト結晶子は炭素マトリクスに結合することができずに、マトリクス中の結合から脱落する。こうして脱落したグラファイト結晶子がマトリクス中に分散される。このようにして、試料表面ウォームギヤの摺動面に、炭素、水素およびシリコンからなり炭素のsp3結合を主体としたマトリクスと、マトリクスに結合せずにマトリクス中に分散した微小なグラファイト結晶子とを備えるC60-Si-DLC膜が成膜される。図6は、上記のようにしてウォームギヤ2の歯面2a摺動面に成膜したC60-Si-DLC膜をラマン分光分析した場合に得られるラマンスペクトルの一例を示す図である。周知のように、DLC膜のラマンスペクトルをガウス関数を利用したカーブフィッティング法で波形分離ピーク分離した場合、波数ラマンシフト1560cm-1近傍にGピークグラファイトに起因するピークを有する波形Gバンドと、1360cm-1近傍にDピーク規則性の乱れたグラファイトに起因するピークを有する波形Dバンドが得られる。図に示したラマンスペクトルにおいては、Gバンドの面積Igに対するDバンドの面積Idの比RId/Igは1.4である。面積比Rは、成膜条件や原料組成により変化する。本実施形態においては、面積比Rが0.6以上であるC60-Si-DLC膜が、ウォームギヤ2の歯面2a摺動面に成膜される。比較実験C60-Si-DLC膜の摩擦低減効果を確認するために、上記した原料液および成膜装置60を用い、以下に示す成膜条件の範囲で条件を種々変更して電子ビーム励起プラズマ法により複数のサンプル試料材質:S35CにC60-Si-DLC膜を成膜した。成膜条件放電電流:10A加速電圧:60V真空容器内の圧力:0.65Pa又は0.33Paバイアス電圧:-200V~-700V基板距離:200~450mm成膜時間:12min.なお、基板距離とは、基板サンプル試料と電子ビーム入射軸との距離を示す。また、成膜した各DLC膜をラマン分光分析装置日本分光株式会社社製:型式NRS-2100でラマン分光分析し、得られたラマンスペクトルにおけるGバンドの面積に対するDバンドの面積比RId/Igを計測した。また、ボールオンディスク摩擦摩耗試験にて、成膜した各DLC膜の摩擦特性を評価した。摩擦特性評価条件、摩擦特性評価項目は、以下の通りである。摩擦特性評価条件潤滑条件:無潤滑グリース塗布無し温度:21°C相手材ボールの材質:SUJ2φ6mm荷重:1N面圧換算で660MPa摺動速度:0.1m/sec.摩擦特性評価項目摩擦係数μ伝達効率ηなお、伝達効率ηはウォーム減速機の伝達効率であり、次式により求められる。ここで、νはウォームギヤの進み角であり、本例ではν=15°とした。上式からわかるように、伝達効率は摩擦係数μ摺動面の摩擦係数および進み角νに依存する。表1に、摩擦特性評価結果を各DLC膜の組成および面積比Rとともに示す。表1において、実施例1~3に示される測定結果が、本実施形態のC60-Si-DLC膜についての測定結果である。比較例1に示される測定結果は、トルエンにヘキサメチルジシランを混入して調製したすなわちフラーレンを混入せずに調製した原料液から成膜したDLC膜Si-DLC膜についての測定結果である。比較例2に示される測定結果は、トルエンのみから成膜したDLC膜についての測定結果である。表1から、本実施形態のC60-Si-DLC膜実施例1~3は、比較例1および2に示すDLC膜と比較して、摩擦係数μが低く、伝達効率ηが高いことが理解される。この理由は上記したように、C60-Si-DLC膜の表面に微小なグラファイト結晶子が露出し、露出したグラファイト結晶子がグリースの機能を果たして潤滑性を高めるためと推察される。図7は、表1の実施例1~3に示される面積比Rと伝達効率ηとの関係を表すグラフである。このグラフから理解されるように、面積比Rと伝達効率ηとは相関関係を有し、面積比Rが高いほど伝達効率ηが高い。この理由は、面積比Rが高いほど原料中のフラーレンC60が破砕されて生成されたグラファイト結晶子がより微細化し、その結果、グラファイト結晶子がDLC膜中の炭素と結合し難くなり、且つ、C60-Si-DLC膜表面により多くのグラファイト結晶子が露出するためと推察される。また、図7に示す面積比Rと伝達効率ηとの相関関係から、面積比Rが0.6以上であれば、伝達効率ηが約80以上進み角νが15°の場合であることが理解される。したがって、面積比Rを0.6以上とすることにより、高効率なウォーム減速機を提供することができる。この場合において、面積比R=Id/Igが0.6以上となるような原料液の条件、成膜条件を以下に示す。原料液の条件原料液中の溶媒分散媒がトルエンまたはキシレンフラーレンC60の濃度が溶媒分散媒1ml当たり1mg以上原料液中のHMDSの濃度が15体積以上成膜条件バイアス電圧が-300V~-700V基板距離が150~450mmしたがって、上記の条件下で、ウォームギヤあるいはウォームホイールの摺動面にC60-Si-DLC膜を成膜することにより、高効率例えば伝達効率ηが80以上のウォーム減速機を提供することができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるべきものではない。例えば、上記実施形態においては、ウォームギヤ2の歯面2aにC60-Si-DLC膜を成膜する例について説明したが、ウォームホイール3の歯面3aにC60-Si-DLC膜を成膜してもよい。さらに、ウォームギヤ2の歯面2aおよびウォームホイール3の歯面3aにC60-Si-DLC膜を成膜してもよい。また、本発明のC60-Si-DLC膜が歯面に被覆されたウォーム減速機は、自動車部品に用いられる減速機パワーシートスライド用減速機、パワースライドドア用減速機、パワーバックドア用減速機、ウィンドウレギュレータ用減速機等や、その他の部品に用いられる減速機に広く適用されることができる。また、上記比較実験では、面積比Rが0.6以上のC60-Si-DLC膜を進み角が15°のウォームギヤに成膜した場合に、ウォーム減速機の伝達効率が80以上となる例について説明した。しかしながら、進み角が何度であっても、面積比Rが0.6以上のC60-Si-DLC膜をウォームギヤの摺動面および/またはウォームホイールの摺動面に被覆することにより、従来のウォーム減速機と比較して伝達効率を大きく向上させることができることは明らかである。このように、本発明は、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、変形可能である。1...ウォーム減速機、2...ウォームギヤ、21...母材、22...窒化層、23...Si-C膜、24...C60-Si-DLC膜、2a...歯面摺動面、3...ウォームホイール、3a...歯面摺動面、60...成膜装置、61...原料タンク、62...噴霧器、63...エアロゾル槽、64...真空容器、65...電子ビーム発生装置、66...バキュームポンプ、67...試料載置台、68...電源装置、69...加速電極以下、本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るウォーム減速機を示す図である。この図からわかるようにウォーム減速機1は、互いに噛み合っているウォームギヤ2およびウォームホイール3を備える。ウォームギヤ2は、その一端にてモータ4の出力軸に同軸的に連結している。ウォームギヤ2の他端側は図示しないベアリング等を介して回転可能にハウジング等に支持されている。ウォームホイール3の中心に出力軸5が取り付けられている。モータ4が回転するとその回転がウォームギヤ2に伝達されて、ウォームギヤ2が回転する。ウォームギヤ2の回転は、ウォームギヤ2とウォームホイール3が互いに噛み合い回転することで所定の減速比率でウォームホイール3に伝達され、さらにウォームホイール3の中心に取り付けられた出力軸5に伝達される。このようにしてモータ4の回転がウォーム減速機1で減速されて出力軸5に伝達される。ウォーム減速機1の作動中、ウォームギヤ2の歯面2aとウォームホイール3の歯面3aが摺動する。本実施形態では、歯面間の摺動時における摩擦抵抗力を低減するために、ウォームギヤ2の歯面2a摺動面に潤滑膜としてのDLC膜が形成されている。図2は、ウォームギヤ2の歯面2aの表面近傍の材料組成を表す断面図である。図2に示すように、ウォームギヤ2の母材21は機械構造用炭素鋼材S35Cで構成されている。この母材21の表面層が、後述するDLC膜24との密着性を向上させるためにラジカル窒化処理により硬化される。なお、イオン窒化により母材を表面処理した場合、母材表面に脆い窒化膜が形成される可能性がある。一方、ラジカル窒化により母材を表面処理した場合、母材表面には窒化膜が形成される可能性が低い。よって、イオン窒化により表面を硬化させるよりも、ラジカル窒化により表面を硬化させた方が良い。母材表面の硬化層である窒化層22上にSiC膜23が形成されている。本実施形態において、SiC膜23は、電子ビーム励起プラズマ法により形成した。SiC膜23は、母材表面摺動面と後述するDLC膜との密着性を向上させるために設けられる。SiC膜23上に、本実施形態に係るDLC膜24が成膜されている。本実施形態に係るDLC膜を、以下、C60-Si-DLC膜と表現する。図3は、C60-Si-DLC膜の構造を模式的に表わす図である。図3に示すように、C60-Si-DLC膜は、炭素原子を中心とするマトリクスネットワーク構造に、フラーレンC60から生成された微小なグラファイト結晶子がいたるところに分散配置するように構成されている。図4は、C60-Si-DLC膜のマトリクスの一例を示す図である。図4に示すように、C60-Si-DLC膜は、炭素Cと、水素Hと、シリコンSiが主要な構成元素であるマトリクスを形成する。図3に示すように、C60-Si-DLC膜の表面にグラファイト結晶子が露出している。グラファイト結晶子は潤滑性に優れるので、C60-Si-DLC膜の摩擦抵抗が大きく低減される。また、C60-Si-DLC膜の表面にSi-OH基が形成される。このSi-OH基が水分を吸着することによる強制潤滑効果によっても、C60-Si-DLC膜の摩擦抵抗が低減される。本実施形態のC60-Si-DLC膜においては、炭素のsp2結合部位に4配位のシリコンが作用して炭素とシリコンが結合することにより、図4に示すように炭素のsp3結合を主体としたマトリクスが形成されている。炭素とシリコンとの結合によりマトリクス中の炭素のダングリングボンドが減少する。このため多くのグラファイト結晶子がマトリクスを構成する炭素と結合することができず、マトリクスの結合から脱落する。こうして脱落したグラファイト結晶子がいたるところに分散されることにより、C60-Si-DLC膜の表面にもグラファイト結晶子が露出される。表面に露出されたグラファイト結晶子はマトリクスに結合されていないためにC60-Si-DLC膜の表面で自由に動くことができる。つまり、表面に露出したグラファイト結晶子は表面に塗布されたグリースと同じ様な働きをする。このためより一層摩擦抵抗が低減され、潤滑性の向上に寄与する。このC60-Si-DLC膜の成膜方法について、以下に説明する。図5は、C60-Si-DLC膜の成膜装置を示す概略図である。図5に示すように、この成膜装置60は、原料タンク61と、噴霧器62と、エアロゾル槽63と、真空容器64と、電子ビーム発生装置65を備える。原料タンク61には原料液が充填される。原料タンク61内の気相部分が導管601を通じてヘリウムガスボンベ602に連通するとともに、液層部分が導管603を通じて噴霧器62に連通する。また、導管604を通じてアルゴンガスボンベ605が噴霧機62に連通している。噴霧器62はエアロゾル槽63に装着されていて、噴霧機62から噴出されるエアロゾルがエアロゾル槽63に放出される。エアロゾル槽63は導管606を通じて真空容器64に連通される。なお、導管603および導管604の途中に質量流量制御器607,608がそれぞれ介装されている。真空容器64にはバキュームポンプ66が取り付けられている。バキュームポンプ66が作動することにより真空容器64内の気体が吸引されて真空容器64内の圧力が低下される。さらに、真空容器64内に試料載置台67が取り付けられる。試料載置台67には電源装置RFジェネレータ68が接続されている。電源装置68は、試料載置台67に載置された試料に所定のバイアス電圧を印加する。電子ビーム発生装置65は真空容器64に取り付けられている。電子ビーム発生装置65は電子ビームガンを備えており、この電子ビームガンから電子が放出される。また、真空容器64内には、電子ビーム発生装置65が真空容器64に取り付けられている位置と対峙する位置に加速電極69が取り付けられている。電子ビームガンからの電子は加速電極69に向けて真空容器64内に放出される。上記構成の成膜装置60を用い、電子ビーム励起プラズマ法によりC60-Si-DLC膜を成膜した。具体的には、以下の工程を経ることによりC60-Si-DLC膜を試料表面ウォームギヤまたはウォームホイールの摺動面に成膜した。原料液調製工程まず、溶媒あるいは分散媒としてのトルエンに、フラーレンC60およびHMDSヘキサメチルジシランを混入させることにより原料液を調製した。トルエンに溶解分散するフラーレンC60の量濃度は1mg/ml以上とした。また、HMDSの量は15体積以上とした。こうして調製した原料液を原料タンク61内に充填した。準備工程バキュームポンプ66を作動させて真空容器64内の気体を吸引し、真空容器64内の圧力を所定の低圧に設定した。また、試料載置台67に試料としてのウォームギヤを取り付けることにより、ウォームギヤを真空容器64内に配置した。さらに、電源装置68を作動させて、試料にバイアス電圧を印加した。成膜工程ヘリウムガスボンベ602からヘリウムを原料タンク61内に供給して原料タンク61内の気相部分を加圧した。これにより原料タンク61内の原料液が導管603を経由して噴霧器62に流入される。このとき質量流量制御器607により噴霧機62に流入する原料液量を所定量に調整した。また、アルゴンガスボンベ605からアルゴンガスを噴霧器62に供給した。このとき質量流量制御器608により噴霧器62に供給されるアルゴンガス量を所定量に調整した。噴霧器62に流入した原料液は、アルゴンガスの噴流でエアロゾル化される。こうしてエアロゾル化された原料液がエアロゾル槽63に噴出される。エアロゾル槽63は導管606で真空容器64に連通されている。また、真空容器64はバキュームポンプ66の作動によって低圧にされているので、エアロゾル槽63に噴出されたエアロゾル原料は導管606を経由して真空容器64内に導入される。また、電子ビーム発生装置65を作動させるとともに加速電極69に電圧加速電圧を印加させて、電子ビーム発生装置65から電子を所定の電流放電電流で真空容器64内に放出させた。これにより、真空容器64内に導入されたエアロゾルに電子が作用してプラズマが生成される。プラズマ中でエアロゾル化された原料が活性化され、あるいは帯電、イオン化される。プラズマにより活性化、帯電、イオン化された原料は、バイアス電圧が印加された試料に引き寄せられて試料表面に堆積する。この場合において、堆積した原料のうち、トルエンを構成する炭素および水素と、HDMSを構成するシリコンとにより、図4に示すような炭素原子のsp3結合を主体としたDLC膜のマトリクスが形成される。また、フラーレンC60がプラズマの作用によって破砕されて微小のグラファイト結晶子が生成される。このグラファイト結晶子も試料表面に堆積する。上述したように、グラファイト結晶子がマトリクス中の炭素に結合しようとしても、マトリクス中に4配位のシリコンが入り込むことにより炭素のダングリングボンドが減少しているので多くのグラファイト結晶子は炭素マトリクスに結合することができずに、マトリクス中の結合から脱落する。こうして脱落したグラファイト結晶子がマトリクス中に分散される。このようにして、試料表面ウォームギヤの摺動面に、炭素、水素およびシリコンからなり炭素のsp3結合を主体としたマトリクスと、マトリクスに結合せずにマトリクス中に分散した微小なグラファイト結晶子とを備えるC60-Si-DLC膜が成膜される。図6は、上記のようにしてウォームギヤ2の歯面2a摺動面に成膜したC60-Si-DLC膜をラマン分光分析した場合に得られるラマンスペクトルの一例を示す図である。周知のように、DLC膜のラマンスペクトルをガウス関数を利用したカーブフィッティング法で波形分離ピーク分離した場合、波数ラマンシフト1560cm-1近傍にGピークグラファイトに起因するピークを有する波形Gバンドと、1360cm-1近傍にDピーク規則性の乱れたグラファイトに起因するピークを有する波形Dバンドが得られる。図に示したラマンスペクトルにおいては、Gバンドの面積Igに対するDバンドの面積Idの比RId/Igは1.4である。面積比Rは、成膜条件や原料組成により変化する。本実施形態においては、面積比Rが0.6以上であるC60-Si-DLC膜が、ウォームギヤ2の歯面2a摺動面に成膜される。比較実験C60-Si-DLC膜の摩擦低減効果を確認するために、上記した原料液および成膜装置60を用い、以下に示す成膜条件の範囲で条件を種々変更して電子ビーム励起プラズマ法により複数のサンプル試料材質:S35CにC60-Si-DLC膜を成膜した。成膜条件放電電流:10A加速電圧:60V真空容器内の圧力:0.65Pa又は0.33Paバイアス電圧:-200V~-700V基板距離:200~450mm成膜時間:12min.なお、基板距離とは、基板サンプル試料と電子ビーム入射軸との距離を示す。また、成膜した各DLC膜をラマン分光分析装置日本分光株式会社社製:型式NRS-2100でラマン分光分析し、得られたラマンスペクトルにおけるGバンドの面積に対するDバンドの面積比RId/Igを計測した。また、ボールオンディスク摩擦摩耗試験にて、成膜した各DLC膜の摩擦特性を評価した。摩擦特性評価条件、摩擦特性評価項目は、以下の通りである。摩擦特性評価条件潤滑条件:無潤滑グリース塗布無し温度:21°C相手材ボールの材質:SUJ2φ6mm荷重:1N面圧換算で660MPa摺動速度:0.1m/sec.摩擦特性評価項目摩擦係数μ伝達効率ηなお、伝達効率ηはウォーム減速機の伝達効率であり、次式により求められる。ここで、νはウォームギヤの進み角であり、本例ではν=15°とした。上式からわかるように、伝達効率は摩擦係数μ摺動面の摩擦係数および進み角νに依存する。表1に、摩擦特性評価結果を各DLC膜の組成および面積比Rとともに示す。表1において、実施例1~3に示される測定結果が、本実施形態のC60-Si-DLC膜についての測定結果である。比較例1に示される測定結果は、トルエンにヘキサメチルジシランを混入して調製したすなわちフラーレンを混入せずに調製した原料液から成膜したDLC膜Si-DLC膜についての測定結果である。比較例2に示される測定結果は、トルエンのみから成膜したDLC膜についての測定結果である。表1から、本実施形態のC60-Si-DLC膜実施例1~3は、比較例1および2に示すDLC膜と比較して、摩擦係数μが低く、伝達効率ηが高いことが理解される。この理由は上記したように、C60-Si-DLC膜の表面に微小なグラファイト結晶子が露出し、露出したグラファイト結晶子がグリースの機能を果たして潤滑性を高めるためと推察される。図7は、表1の実施例1~3に示される面積比Rと伝達効率ηとの関係を表すグラフである。このグラフから理解されるように、面積比Rと伝達効率ηとは相関関係を有し、面積比Rが高いほど伝達効率ηが高い。この理由は、面積比Rが高いほど原料中のフラーレンC60が破砕されて生成されたグラファイト結晶子がより微細化し、その結果、グラファイト結晶子がDLC膜中の炭素と結合し難くなり、且つ、C60-Si-DLC膜表面により多くのグラファイト結晶子が露出するためと推察される。また、図7に示す面積比Rと伝達効率ηとの相関関係から、面積比Rが0.6以上であれば、伝達効率ηが約80以上進み角νが15°の場合であることが理解される。したがって、面積比Rを0.6以上とすることにより、高効率なウォーム減速機を提供することができる。この場合において、面積比R=Id/Igが0.6以上となるような原料液の条件、成膜条件を以下に示す。原料液の条件原料液中の溶媒分散媒がトルエンまたはキシレンフラーレンC60の濃度が溶媒分散媒1ml当たり1mg以上原料液中のHMDSの濃度が15体積以上成膜条件バイアス電圧が-300V~-700V基板距離が150~450mmしたがって、上記の条件下で、ウォームギヤあるいはウォームホイールの摺動面にC60-Si-DLC膜を成膜することにより、高効率例えば伝達効率ηが80以上のウォーム減速機を提供することができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるべきものではない。例えば、上記実施形態においては、ウォームギヤ2の歯面2aにC60-Si-DLC膜を成膜する例について説明したが、ウォームホイール3の歯面3aにC60-Si-DLC膜を成膜してもよい。さらに、ウォームギヤ2の歯面2aおよびウォームホイール3の歯面3aにC60-Si-DLC膜を成膜してもよい。また、本発明のC60-Si-DLC膜が歯面に被覆されたウォーム減速機は、自動車部品に用いられる減速機パワーシートスライド用減速機、パワースライドドア用減速機、パワーバックドア用減速機、ウィンドウレギュレータ用減速機等や、その他の部品に用いられる減速機に広く適用されることができる。また、上記比較実験では、面積比Rが0.6以上のC60-Si-DLC膜を進み角が15°のウォームギヤに成膜した場合に、ウォーム減速機の伝達効率が80以上となる例について説明した。しかしながら、進み角が何度であっても、面積比Rが0.6以上のC60-Si-DLC膜をウォームギヤの摺動面および/またはウォームホイールの摺動面に被覆することにより、従来のウォーム減速機と比較して伝達効率を大きく向上させることができることは明らかである。このように、本発明は、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、変形可能である。"