"複数の吸着パッドを備えた板材吸着搬送装置による板状ワークの吸着搬送方法であって、吸着搬送すべきワークに対応した吸着パッドにより吸着動作を行い、ワークに非対応の吸着パッドによりエアー噴出動作を行ってワークの吸着を行った後、吸着したワークを所望高さに持上げたときに、又は吸着したワークを持上げて所定時間経過したときに、前記非対応の吸着パッドのエアー噴出動作を停止してワークの搬送を行うことを特徴とする吸着搬送方法。請求項1に記載の吸着搬送方法に使用するために、複数の吸着パッドを備えた板材吸着搬送装置であって、エアー圧力源と前記各吸着パッドとを接続したそれぞれの第1接続路に、当該第1接続路を連通遮断自在な第1ソレノイドバルブをそれぞれ備え、前記エアー圧力源と前記各吸着パッドに対応した各エゼクターとを接続したそれぞれの第2接続路に、当該第2接続路を連通遮断自在な第2ソレノイドバルブをそれぞれ備え、前記各第1接続路から前記各第2接続路に分岐接続したそれぞれの分岐接続路に、前記各吸着パッドから前記各エゼクター方向へのエアーの流れを許容する逆止弁を備えると共に各分岐接続路を連通遮断自在な第3ソレノイドバルブをそれぞれ備え、吸着搬送すべきワークに対応した複数の吸着パッドにそれぞれ対応して備えられている第1ソレノイドバルブを閉、第2、第3ソレノイドバルブを開に制御すると共に、ワークに非対応の各吸着パッドにそれぞれ対応して備えられている第1ソレノイドバルブを開、第2、第3ソレノイドバルブを閉に制御し、かつ吸着したワークを所定高さに持上げたとき、又は吸着したワークを持上げて所定時間経過したときに、前記非対応の各吸着パッドにそれぞれ対応して備えられている第1ソレノイドバルブを閉に制御するためのバルブ開閉制御手段を備えていることを特徴とする板材吸着搬送装置。前記特許文献1に記載の構成においては、搬送すべきワークに対応したバキュームパッドのみに吸着作動を行ってワークの吸着搬送を行うものであるから、ワークの外側に位置するバキュームパッドが下側の大きなワークを同時に吸着することを防止できる。しかし、上側の小さな板状のワークが下側の大きな板状のワークに密着した状態になると、大きなワークから小さなワークを分離することが難しいものである。そこで、最上部のワークの1枚取りを行うために、前記特許文献1に記載されているように、例えばワークの角部をめくり上げることや、ワークに上下の振動を付与するなど種々の手段が講じられている。しかし、本実施形態においては、小さなワークの外側に位置するバキュームパッドからエアーを噴出して、ワークの分離を行なおうとするものである。この場合、エアーの噴出時間が長いと、場合によってはエアーを無駄に噴出することになる。本発明は、上述のごとき問題に鑑みてなされたもので、複数の吸着パッドを備えた板材吸着搬送装置による板状ワークの吸着搬送方法であって、吸着搬送すべきワークに対応した吸着パッドにより吸着動作を行い、ワークに非対応の吸着パッドによりエアー噴出動作を行ってワークの吸着を行った後、吸着したワークを所望高さに持上げたときに、前記非対応の吸着パッドのエアー噴出動作を停止してワークの搬送を行うことを特徴とするものである。また、前記吸着搬送方法に使用するために、複数の吸着パッドを備えた板材吸着搬送装置であって、エアー圧力源と前記各吸着パッドとを接続したそれぞれの第1接続路に、当該第1接続路を連通遮断自在な第1ソレノイドバルブをそれぞれ備え、前記エアー圧力源と前記各吸着パッドに対応した各エゼクターとを接続したそれぞれの第2接続路に、当該第2接続路を連通遮断自在な第2ソレノイドバルブをそれぞれ備え、前記各第1接続路から前記各第2接続路に分岐接続したそれぞれの分岐接続路に、前記各吸着パッドから前記各エゼクター方向へのエアーの流れを許容する逆止弁を備えると共に各分岐接続路を連通遮断自在な第3ソレノイドバルブをそれぞれ備え、吸着搬送すべきワークに対応した複数の吸着パッドにそれぞれ対応して備えられている第1ソレノイドバルブを閉、第2、第3ソレノイドバルブを開に制御すると共に、ワークに非対応の各吸着パッドにそれぞれ対応して備えられている第1ソレノイドバルブを開、第2、第3ソレノイドバルブを閉に制御し、かつ吸着したワークを所定高さに持上げたとき、又は吸着したワークを持上げて所定時間経過したときに、前記非対応の各吸着パッドにそれぞれ対応して備えられている第1ソレノイドバルブを閉に制御するためのバルブ開閉制御手段を備えていることを特徴とするものである。本発明によれば、ワークの外側に位置するバキュームパッド吸着パッドからエアーを噴出してワークの吸着を行うものであるから、大きなワーク上に小さなワークが積載してあって密着する傾向にある場合であっても、小さなワークの分離を効果的に行うことができる。そして、吸着したワークを持上げた後には、エアーの噴出を停止するものであるから、エアーの噴出を無駄に行うようなことがないものである。以下、図面を用いて本発明の実施形態に係る板材吸着搬送装置について説明するに、理解を容易にするために、先ず、全体的構成及びその作用について概略的に説明する。図1に概念的、概略的に示すように、板材吸着搬送装置1は、上下動自在かつ少なくともX、Yの一方向へ移動自在な移動部材3を備えている。ところで、板材吸着搬送装置1を産業用ロボットによって構成した場合には、前記移動部材3は、ロボットアームの先端部が相当することとなり、X、Y、Zの3軸方向すなわち左右、前後、上下に移動自在なものである。前記移動部材3には、架枠5が備えられており、この架枠5には、X、Y軸方向に適宜間隔に配置した複数の吸着パッドバキュームパッド7が上下動可能に吊下支持されている。さらに前記板材吸着搬送装置1には、前記吸着パッド7が板状のワークWを吸着して所定高さに持上げたことを検知するワーク持上げ検知手段9が備えられている。このワーク持上げ検知手段9は、本実施形態においては、前記架枠5に上下動自在に備えられた昇降部材11と、この昇降部材11の上下動によって作動される、例えばリミットスイッチや近接スイッチなどのごとき、検出センサ13によって構成してある。なお、前記昇降部材11は、搬送対象とする最小のワークWをも吸着する位置に対応して備えられている。前記昇降部材11の下端部は、前記バキュームパッド7の下面とほぼ同一高さに設けてあり、前記検出センサ13は、前記バキュームパッド7がワークWの上面に当接した後に、架枠5に対して前記昇降部材11が相対的に上昇したときに、昇降部材11によって作動される位置において架枠5に備えられている。前記ワークWは、上下動自在なリフトテーブル15上の基準位置に対応して積載積層してある。なお、ワークWは、リフトテーブル15上に大きなワークWを積載し、この大きなワークW上に小さなワークWが積載してあるものである。前記構成において、図1Aに示すように、ワークWの上方に架枠5を位置決めした状態において、最上部の小さなワークWを吸着搬送すべく、架枠5を下降し、小さなワークWの上面に複数のバキュームパッド7が当接すると共に昇降部材11の下端部が当接した後、架枠5をさらに下降すると、当該架枠5に対して昇降部材11が相対的に上昇して検出センサ13をON作動する図1B参照。このように、検出センサ13がON作動すると、予め原点位置に位置する小さなワークWに対応して予め選択されているバキュームパッド7には吸着動作を行われ、前記ワークWに非対応のバキュームパッド7、すなわち前記ワークWの外側に位置するバキュームパッド7からは下方向へのエアーの噴出動作が行われる。前述のように、ワークWに対応したバキュームパッド7がワークWの吸着動作を行い、ワークWに非対応のバキュームパッド7からエアーを下方向に噴出した状態において前記架枠5を上昇すると、下側の大きなワークWから上側の小さなワークWの分離が行われる。この際、バキュームパッド7から下方向へ噴出されたエアーは、大きなワークWの上面に沿って広がる流れとなり、小さなワークWの下面と大きなワークWの上面との間に流入する傾向にあるので、大きなワークWから小さなワークWの分離を効果的に行うことができるものである。前述のごとく、小さなワークWをバキュームパッド7によって吸着し持上げると、各バキュームパッド7は架枠5に対して相対的に下降すると共に、昇降部材11が相対的に下降する。このように、昇降部材11が下降すると、前記検知センサ13はOFF動作する。このように、検知センサ13がOFF動作するのと同時に、又は予めタイマ図示省略に設定してある所定時間の経過後に、ワークWの外側に位置するバキュームパッド7からのエアーの噴出を停止するものである。したがって、エアーの無駄な噴出がなく、エアーの消費を抑制することができるものである。ところで、前記説明においては、検知センサ13がON作動、OFF作動することを条件として、小さなワークWの吸着、エアーの噴出開始、エアー噴出停止を行う旨、説明した。しかし、次のごとき構成とすることも可能である。すなわち、例えば前述したごとき板材吸着搬送装置1に備えた複数のバキュームパッド7によって最上部のワークWを吸着して持上げる構成においては、光電センサによって最上部のワークWの高さ位置を検出し、前記リフトテーブル15の上下位置を調節することが一般的に行われている。したがって、前記光電センサ又は当該光電センサとは別個に備えた光電センサを使用して前記ワーク持上げ検知手段9に代えることができる。すなわち、架枠5が下降してバキュームパッド7がワークWの上面に当接することによって光電センサがOFF作動されたときに、前記検知センサ13がON作動されたとき図1B参照と同様の作動を行う。そして、バキュームパッド7にワークWが吸着されて持上げられることにより、前記光電センサが再びON作動状態になったときには、前記検知センサ13が再びOFF作動状態となったとき図1C参照と同様の作動を行うものである。さらには、最上部のワークWの高さ位置を一定に調節した状態においては、架枠5を下降してリフトテーブル15上の最上部のワークWをバキュームパッド7によって吸着して持上げるものであるから、例えばバキュームパッド7がワークWを吸着する基準高さ位置とし、この基準高さ位置に対する前記架枠5の高さ位置を検出する適宜の高さ位置検出手段を採用して、この高さ位置検出手段を前記ワーク持上げ検知手段9に代えることも可能である。すなわち、ワーク持上げ検知手段9の構成としては種々の構成を採用することができるものである。さて、前述のごとき構成において、各バキュームパッド7においてワークWの吸着を行う吸着動作とエアーの噴出を行う噴出動作を行う構成について説明する。前記各バキュームパッド7は、図2に示すように、第1接続路17を介してエアー圧力源19と接続してあり、この第1接続路17には、当該第1接続路を連通遮断自在な開閉弁としての第1ソレノイドバルブ21が備えられている。そして、前記バキュームパッド7に吸着動作を行わせるためのエゼクター23が各バキュームパッド7に対応して備えられている。なお、エゼクター23には消音器23Sが備えられている。このエゼクター23と前記エアー圧力源19は、第2接続路25を介して接続してあり、この第2接続路には、前記第1ソレノイドバルブ21と同様の第2ソレノイドバルブ27が開閉弁として備えられている。そして、前記バキュームパッド7と前記第1ソレノイドバルブ21との間において第1接続路17に分岐接続した分岐接続路29は、前記エゼクター23の二次側吸込ガス側、真空ポート側に接続してある。なお、一次側は、圧縮空気駆動ガス側、供給ポート側を供給する側であり、前記第2接続路25が相当する。前記分岐接続路29には、前記バキュームパッド7から吸入したエアー用のフイルタ31が備えられていると共に、前記バキュームパッド7側から前記エゼクター23側へのエアーの流れは許容するが、逆方向へのエアーの流れを阻止するための逆止弁33及び分岐接続路29を連通遮断自在な開閉弁としての第3ソレノイドバルブ35が備えられている。なお、本実施形態においては、第3ソレノイドバルブ35におけるスプールに前記逆止弁33を備えた構成で例示してある。しかし、開閉弁としての第3ソレノイドバルブ35と逆止弁33とを別個に備えた構成としてもよいものである。前記第1、第2、第3のソレノイドバルブ21,27,35における各ソレノイド21S,27S,35Sを励磁して各ソレノイドバルブ21,27,35の開閉の切換え動作を制御するために、前記板材吸着搬送装置1には、例えばコンピュータから構成してあるバルブ開閉制御手段37が備えられている。このバルブ開閉制御手段37には、前記架枠5のX,Y方向の原点位置に対する各バキュームパッド7の配置位置データ及び各バキュームパッド7の大きさのデータを予め格納したデータテーブル39が備えられている。また、前記バルブ開閉制御手段37には、入力手段41から吸着搬送すべきワークWの形状寸法データが入力されると、前記データテーブル39を参照して前記ワークWに対応した複数のバキュームパッド7を選択するためのパッド選択手段43が備えられている。さらに、前記バルブ開閉制御手段37には、ワークWに対応した各バキュームパッド7に対応して備えられている第1、第2、第3のソレノイドバルブ21,27,35におけるそれぞれのソレノイド21S,27S,35S及びワークWに非対応の各バキュームパッド7に対応して備えられている第1、第2、第3のソレノイドバルブ21,27,35におけるそれぞれのソレノイド21S,27S,35SのON,OFFを制御するためのソレノイドON,OFF制御手段45が備えられている。前記ソレノイドON,OFF制御手段45は、前記ワーク持上げ検知手段9からの入力信号や、板材吸着搬送装置1の全体的動作を制御する上位の制御手段図示省略からのON,OFF制御信号の入力によって、各バキュームパッド7に対応して備えられている各第1、第2、第3のソレノイドバルブ21,27,35におけるそれぞれのソレノイド21S,27S,35SのON,OFFを制御するものである。前記構成において、前記リフトテーブル15上の原点位置に位置決め積載されている最上部の小さなワークWの形状、寸法を入力手段41からバルブ開閉制御手段37に入力すると、データテーブル39に格納してあるバキュームパッド7の配置位置データ及び大きさのデータを参照して、パッド選択手段43によって前記ワークWの形状、寸法に対応した複数のバキュームパッド7が選択される。したがって、選択されなかったバキュームパッド7は、前記ワークWに対して非対応のバキュームパッド7となるものである。ワークWに対応しているバキュームパッド7においては、図3に示すように、第1ソレノイドバルブ21におけるソレノイド21SはOFF、第2、第3のソレノイドバルブ27,35におけるソレノイド27S,35SはONに制御される。したがって、エアー圧力源19からエゼクター23へ圧縮エアーが供給されて、バキュームパッド7は吸着動作を行うことになる。そして、ワークWに対して非対応の各バキュームパッド7においては、図4に示すように、第1ソレノイドバルブ21におけるソレノイド21SはON、第2、第3ソレノイドバルブ27,35におけるソレノイド27S,35SはOFFに制御される。したがって、エアー圧力源19からバキュームパッド7へ圧縮エアーが供給されて、バキュームパッド7からエアーを下方向へ噴出されることになるものである。そして、ワークWに対応した複数のバキュームパッド7によってワークWを吸着して持上げた後、ワーク持上げ検知手段9が、前述したようにON状態からOFF状態に変化すると、第1ソレノイドバルブ21における第1ソレノイド21SがOFFになり、第1接続路17が遮断されて、非対応の各バキュームパッド7からのエアーの噴出が停止されるものである。以上のごとき説明より理解されるように、大きな板状のワークW上に載置してある小さなワークWを吸着搬送しようとするとき、小さなワークWの外側に位置する非対応のバキュームパッド7からエアーを下方向に噴出するものであるから、小さなワークWと同時に大きなワークWを同時に吸着するようなことはないものである。そして、前記非対応のバキュームパッド7からエアーを下方向へ噴出していることにより、大きなワークW上から小さなワークWを分離しようとするとき、効果的に行うことができるものである。さらに、小さなワークWを吸着して持上げた後は、ワークWに非対応のバキュームパッド7からのエアーの噴出を停止するものであるから圧縮エアーの消費を抑制することができ、ワークWの吸着搬送時の省エネ化を図ることができるものである。"