粘着シートの表面側の粘着層上に配置されたLEDチップもしくはLDチップを、前記粘着シートの裏面側から工具で突き上げ剥離させ、ピックアップして次工程へ搬送するLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置であって、前記した工具は上端を錐状としたホーン部材とし、その下方に配設された超音波振動子から振動を加えられるものとしたことを特徴とするLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置。前記したホーン部材及び超音波振動子は同期して上下動するものとし、その稼働力としてボールねじを用いてあることを特徴とする請求項1に記載のLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置。前記したピックアップ及び搬送はバキュームコレットチャックを用いてあることを特徴とする請求項1または2に記載のLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置。前記したホーン部材は粘着シートをドーム状に突き上げ変形させることを特徴とする請求項1から3のうち1項に記載のLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置。前記した超音波振動子はカバーケース内に収納されていることを特徴とする請求項1から4のうち1項に記載のLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置。本発明が解決しようとする問題点は、従来、粘着シート上に配置されているチップワークを精度よく良好にスピーディに剥離し、次工程へ搬送する装置が存在していなかったという点である。特許文献1に示される発明も、超音波を突き上げ治具に印加することとしているが、その突き上げ治具の先端は平坦で、単に粘着シートを押し上げるに止まり、剥離効果は大きくない。また、対象としてのチップワークもフラッシュメモリ等の比較的サイズの大きいものとなっており、加えて、ピックアップ機構もボールねじを用いての上下動を行うもので、作業の迅速性は望めない。上記した問題点を解決するために、本発明に係るLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置は、粘着シートの表面側の粘着層上に配置されたLEDチップもしくはLDチップを、前記粘着シートの裏面側から工具で突き上げ剥離させ、ピックアップして次工程へ搬送するLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置であって、前記した工具は上端を錐状としたホーン部材とし、その下方に配設された超音波振動子から振動を加えられるものとしたことを特徴としている。また、本発明に係るLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置は、前記したホーン部材及び超音波振動子は同期して上下動するものとし、その稼働力としてボールねじを用いてあることを特徴とし、前記したピックアップ及び搬送はバキュームコレットチャックを用いてあることを特徴としている。さらに、本発明に係るLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置は、前記したホーン部材は粘着シートをドーム状に突き上げ変形させることを特徴とし、前記した超音波振動子はカバーケース内に収納されていることを特徴としている。本発明に係るLEDチップもしくはLDチップの粘着シートからの剥離搬送装置は上記のように構成されている。そのため、粘着シート上に配置されているチップワークを精巧に、しかもそのチップワークを損傷することなく剥離し、次工程へ搬送することができる。そして、その作業スピードは迅速なものとすることができ、作業能率を向上させることができる。図面として示し、実施例で説明したように構成したことで実現した。次に、本発明の好ましい実施の一例を図1乃至図4を参照して説明する。図中10は粘着シートを示しており、この粘着シート10はLEDチップ、LDチップ等のチップワークWをダイシング加工するためのウエハーの裏面に貼設されているもので、支持リング11の外側にその端縁を挟持枠12によって挟み込まれ位置決めされ、所定の張力が付与されている。チップワークW、Wはウエハーをダイシングして得られたものである。また、図中13は、粘着シート10をチップワークWに対応して裏面から突き上げるホーン部材であり、このホーン部材13は先端を円錐状に形成されている。ホーン部材13はその下端を円板状をした受板14の中心に固定されている。一方、図中15は超音波振動子16を内蔵収納したカバーケースであり、前記した受板14はこのカバーケース14の上面で後述する取り付け板18との間に微少な隙間Sを設け、ねじ17、17..で止着されている。取り付け板18の下面には超音波振動子16からの振動を伝導する伝導シャフト19の先端が当接され、振動を取り付け板18及び受板14を介してホーン部材13に伝えるものとなっている。また、図中20は超音波振動子16へ入力するためのコネクタであり、コード21によって発振器図示せずと接続される。さらに、前記した取り付け板18とカバーケース14とは、ねじ17、17..で固定されている。取り付け板18は連結部材22を介してボールねじ23のナット24に固定されている。ボールねじ23の雄ねじ部25はその両端が位置決めされているので、駆動モータによってこの雄ねじ部25に与えられた直進推進力はナット24に伝えられ、ナット24が上下動する構成となっている。なお、ボールねじ23は、架台26に固定された構成とされている。このボールねじ23の作動、しいてはナット24の上下動と連動してカバーケース15も上下動し、同期してホーン部材13も上下動することとなる。ホーン部材13には、受板14が形成する微少な隙間Sの存在によって、先端を揺らす良好な超音波振動子からの振動が加えられる。この振動方向は、ホーン部材13の軸芯方向でも、軸芯方向に交差する方向でもよい。ホーン部材13の上方向への動きによって、先端を微少に揺らしながら粘着シート10の裏面を突き上げ、粘着シート10にドーム状の変形10aを形成し、チップワークWを精巧に、正確に剥離する。こうして剥離されたチップワークWはバキュームによるコレットチャック27により吸着され、その吸着状態のまま次工程、例えば製品に搭載するための前段階としてのトレイに搬送されることとなる。なお、この際の吸着ピックアップは照明により、各チップワークW、W間の隙間、それもエッジを見ることによって位置を確認、把握することとなる。