"レーザー光源と、試料にレーザー光を照射すると共に、該試料からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子と対物レンズとを有する顕微光学系と、該分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、該フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、該分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段とを備え、該フィルター光学素子は該試料からのレイリー光の一部を通過させるか、該試料からのレイリー光を遮断して散乱光を通過させるかの何れかに選択可能に設けたラマン分光測定装置において、上記試料としての円筒形状試料を軸方向に水平に把持する把持治具と、該把持冶具を上記レーザー光に対して垂直、且つ、該円筒形状試料の軸に対して垂直な方向に移動可能とする把持冶具駆動部と、該円筒形状試料表面を観察する表面観察用撮像素子とを有することを特徴とするラマン分光測定装置。請求項1のラマン分光測定装置において、上記顕微光学系の対物レンズとして、乾燥系対物レンズと、エマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズとが選択可能であることを特徴とするラマン分光測定装置。請求項1または2のラマン分光測定装置において、上記顕微光学系は、焦点面と共役な関係にあるピンホールを備える共焦点顕微光学系であることを特徴とするラマン分光測定装置。請求項1,2または3の何れかのラマン分光測定装置において、上記フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子を抜き差し可能に備えたことを特徴とするラマン分光測定装置。請求項1,2または3の何れかのラマン分光測定装置において、上記フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザー光を遮断する第一のレーザー光遮断光学素子と、該第一のレーザー光遮断光学素子よりも該レーザー光の波長の透過率を上げた第二のレーザー光遮断光学素子とを入れ替え可能に備えたことを特徴とするラマン分光測定装置。請求項4または5のラマン分光測定装置において、上記レーザー光遮断光学素子はノッチフィルターおよび/またはエッジフィルターであることを特徴とするラマン分光測定装置。請求項1,2,3,4,5または6の何れかのラマン分光測定装置において、上記分離光学素子はダイクロイックミラーであることを特徴とするラマン分光測定装置。請求項1,2,3,4,5,6または7の何れかのラマン分光測定装置において、上記顕微光学系に用いられる乾燥系対物レンズのNAは、0.8以下であることを特徴とするラマン分光測定装置。請求項1,2,3,4,5,6,7または8の何れかのラマン分光測定装置において、上記顕微光学系に用いられる油浸対物レンズとエマルジョンオイルの組み合わせのNAは1.2以上であることを特徴とするラマン分光測定装置。分離光学素子と対物レンズとを有する顕微光学系により、円筒形状試料にレーザー光を照射すると共に、該円筒形状試料からのレイリー光と散乱光とを受光し、フィルター光学素子により該受光したレイリー光の一部または該レイリー光を遮断した散乱光を通過させて分光手段に導き、該分光手段により分光された光の強度を光検出手段より検出して、ラマン散乱光とレイリー光とを測定するラマン分光測定方法において、上記円筒形状試料を上記レーザー光に対して垂直、且つ、該円筒形状試料の軸に対して垂直な方向に移動させながら、上記顕微光学系として乾燥系対物レンズを用いて表面観察用撮像素子で該円筒形状試料の表面を観察して該円筒形状試料の曲率中心と該レーザー光の光軸とを合わせた後、上記顕微光学系としてエマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズを用いて、上記ラマン散乱光とレイリー光との測定を行うことを特徴とするラマン分光測定方法。請求項1乃至9の何れかのラマン分光測定装置を用いて測定した該円筒形状試料のレイリー光に基づき該試料の膜界面における反射光強度を検出し、該ラマン散乱光による深さ毎の分光データプロファイルと関連付けることを特徴とするラマン分光測定方法。上記特許文献3のラマン分光測定装置は、単に、試料台上に円筒形状試料を軸心回りに回転自在に保持して各測定点に移動させることにより、円筒形状試料のマッピングを容易に行うものである。この構成を、特許文献1,2の微弱なラマン散乱光を検出器で検出しつつ、レイリー光を同一の系統の光学系により検出するラマン分光測定装置に用いても、上記感光体のような円筒形状基体の上に多層構造の透過性の膜を形成した円筒形状試料の各測定点において、深さ方向にミクロン単位で膜の構造解析をおこなうことはできない。詳しくは、レーザー光が照射される位置に測定点に移動させた円筒形状試料を試料台上に静置保持してラマン散乱光を検出すると、ラマン散乱光に関しては、平面状試料と同様な高い空間分解能を有するラマン散乱光が検出できる。しかし、レイリー光の測定では、レーザー光軸と円筒形状試料の曲率中心に僅かなずれによる影響で、レイリー光の強度が変化したり、測定位置がずれることにより膜の構造解析測定精度が低下したりする。円筒形状試料を静置するまでに機械的移動を伴う場合、駆動部に用いられている歯車のバックラッシュ分のずれ等により静止位置がずれ、レーザー光軸と円筒形状試料の曲率中心のずれが発生しやすい。また、正確な静置位置が再現されている場合でも、温度変化に依る把持治具の伸縮、円筒形状試料の真円度のバラツキによる中心軸の僅かなずれが生じ、レーザー光軸と円筒形状試料の曲率中心のずれが発生しやすい。特に、円筒形状試料の曲率半径が小さくなるほど、レーザー光軸と円筒形状試料の曲率中心のずれは顕著となる。このように、円筒形状試料の測定に際しては、レーザー光軸と円筒形状試料の曲率中心のずれが発生し、この影響でレイリー光測定の精度低下を引き起こしてしまう。すなわち、従来の技術では、ラマン分光測定装置において、円筒形状に形成された多層構造の透過性の膜からなる感光体等の解析に必要なレイリー光を精度良く取り出すことが困難であった。本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、円筒形状に形成された多層構造の透過性の膜のミクロン単位の膜構造解析をおこなうため、試料の深さ方向解析に必要な情報を含んだ微弱なラマン散乱光を取得しつつ、膜の界面位置情報を含んだレイリー光を精度良く取得することのできるラマン分光測定装置およびラマン分光測定方法を提供することである。上記目的を達成するために、請求項1の発明は、レーザー光源と、試料にレーザー光を照射すると共に、該試料からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子と対物レンズとを有する顕微光学系と、該分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、該フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、該分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段とを備え、該フィルター光学素子は該試料からのレイリー光の一部を通過させるか、該試料からのレイリー光を遮断して散乱光を通過させるかの何れかに選択可能に設けたラマン分光測定装置において、上記試料としての円筒形状試料を軸方向に水平に把持する把持治具と、該把持冶具を上記レーザー光に対して垂直、且つ、該円筒形状試料の軸に対して垂直な方向に移動可能とする把持冶具駆動部と、該円筒形状試料表面を観察する表面観察用撮像素子とを有することを特徴とするものである。また、請求項2の発明は、請求項1のラマン分光測定装置において、上記顕微光学系の対物レンズとして、乾燥系対物レンズと、エマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズとが選択可能であることを特徴とするものである。また、請求項3の発明は、請求項1または2のラマン分光測定装置において、上記顕微光学系は、焦点面と共役な関係にあるピンホールを備える共焦点顕微光学系であることを特徴とするものである。また、請求項4の発明は、請求項1,2または3の何れかのラマン分光測定装置において、上記フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子を抜き差し可能に備えたことを特徴とするものである。また、請求項5の発明は、請求項1,2または3の何れかのラマン分光測定装置において、上記フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザー光を遮断する第一のレーザー光遮断光学素子と、該第一のレーザー光遮断光学素子よりも該レーザー光の波長の透過率を上げた第二のレーザー光遮断光学素子とを入れ替え可能に備えたことを特徴とするものである。また、請求項6の発明は、請求項4または5のラマン分光測定装置において、上記レーザー光遮断光学素子はノッチフィルターおよび/またはエッジフィルターであることを特徴とするものである。また、請求項7の発明は、請求項1,2,3,4,5または6の何れかのラマン分光測定装置において、上記分離光学素子はダイクロイックミラーであることを特徴とするものである。また、請求項8の発明は、請求項1,2,3,4,5,6または7の何れかのラマン分光測定装置において、上記顕微光学系に用いられる乾燥系対物レンズのNAは、0.8以下であることを特徴とするものである。また、請求項9の発明は、請求項1,2,3,4,5,6,7または8の何れかのラマン分光測定装置において、上記顕微光学系に用いられる油浸対物レンズとエマルジョンオイルの組み合わせのNAは1.2以上であることを特徴とするものである。また、請求項10の発明は、分離光学素子と対物レンズとを有する顕微光学系により、円筒形状試料にレーザー光を照射すると共に、該円筒形状試料からのレイリー光と散乱光とを受光し、フィルター光学素子により該受光したレイリー光の一部または該レイリー光を遮断した散乱光を通過させて分光手段に導き、該分光手段により分光された光の強度を光検出手段より検出して、ラマン散乱光とレイリー光とを測定するラマン分光測定方法において、上記円筒形状試料を上記レーザー光に対して垂直、且つ、該円筒形状試料の軸に対して垂直な方向に移動させながら、上記顕微光学系として乾燥系対物レンズを用いて表面観察用撮像素子で該円筒形状試料の表面を観察して該円筒形状試料の曲率中心と該レーザー光の光軸とを合わせた後、上記顕微光学系としてエマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズを用いて、上記ラマン散乱光とレイリー光との測定を行うことを特徴とするものである。また、請求項11の発明は、請求項1乃至9の何れかのラマン分光測定装置を用いて測定した該円筒形状試料のレイリー光に基づき該試料の膜界面における反射光強度を検出し、該ラマン散乱光による深さ毎の分光データプロファイルと関連付けることを特徴とするものである。本発明においては、円筒形状に形成された多層構造の透過性の膜からなる円筒形状試料を測定する際、円筒形状試料の曲率中心とレーザー光軸を合わせるよう調整可能とすることにより、円筒形状試料のレイリー光を精度良く測定することができる。詳しくは、円筒形状試料を把持冶具により軸方向に水平に把持し、把持冶具をレーザー光に対して垂直、且つ、該円筒形状試料の軸に対して垂直な方向に移動させながら、円筒形状試料の表面を表面観察用撮像素子により観察し、レーザー光軸と円筒形状試料の曲率中心との一致点を探して、この位置に円筒形状試料を静止させる。このようにして、円筒形状試料の曲率中心とレーザー光軸を合わせることができるので、界面位置情報を含んだレイリー光を、円筒形状試料の曲率の影響を抑えて精度良く測定できる。精度良く測定したレイリー光による界面位置情報を、ラマン散乱光により多層構造の透過性の膜試料の深さ方向解析の情報に加味することで、円筒形状試料においても、多層構造の膜のミクロン単位の構造解析を、デバイス状態のまま非破壊で迅速におこなうことができる。本発明によれば、円筒形状に形成された多層構造の透過性の膜のミクロン単位の膜構造解析をおこなうため、試料の深さ方向解析に必要な情報を含んだ微弱なラマン散乱光を取得しつつ、膜の界面位置情報を含んだレイリー光を精度良く取得することができるという優れた効果が得られる。以下、図面を参照して、本発明のラマン分光測定装置及びラマン分光測定方法を実施形態により詳細に説明する。まず、本実施形態で円筒形状試料被検体となる多層構成の光透過性の膜構成として、代表的な感光体ドラムの例を以下に挙げる。図2は、感光体ドラムの層構成を示す図である。図2に示すように、感光体ドラムは、導電性基体となるアルミニウムドラム2上に中間層3、電荷発生層4、電荷輸送層5、表面層6を順次形成した多層構成の膜試料1であり、電荷発生層4、電荷輸送層5、表面層6により感光層をなしている。中間層3は、導電性基体であるアルミニウムドラム2に感光層を接着固定するバインダとしての機能をもち、帯電ムラ等の弊害を抑制するために顔料の微細粒子が含有されている。電荷発生層4は、特定の波長の光照射により正と負の電荷対を発生させる層であり、電荷輸送層5と表面層6は電荷発生層4で発生した正と負の電荷のうち、所定極性の電荷を感光層表面へ輸送する機能を持つ層である。表面層6は、感光体が実機内で物理的な接触摩耗により感光層が削れ、感光体特性が低下することを防ぐ機能も有している。中間層3、電荷発生層4、電荷輸送層5、表面層6の膜厚は好ましくはそれぞれ、2~6μm、1μm以下、15~35μm、3~10μm程度であり、従って、感光層としての好ましい厚さは18~46μm程度となる。中間層3の層厚は、上記のように、一般的に2~6μmの範囲であるが、バインダとしての十分な機能や、導電性基体に対する光遮蔽効果を良好にならしめるために、中間層3の厚さは3μm以上であることが好ましい。この内、本実施形態の装置または方法を、例えば光透過性の膜となる電荷輸送層5と表面層6中の成分傾斜を解析する構造解析に使用するニーズがある。レイリー光として、表面層6の表面と電荷輸送層5の表面及び中間層3の表面界面の反射光を受光することが可能である。次に、本実施形態に係るラマン分光測定装置の構成について説明する。図1は、本実施形態に係るラマン分光測定装置の構成を示す断面概略図である。図1aは、膜試料1からのレイリー光の一部を散乱光とともに測定可能に検出部36に導く構成を示しており、図1bは、膜試料1からのレイリー光を遮断してラマン散乱光を検出部36に導く構成を示している。ラマン分光測定装置は、レーザー光源30と、膜試料1にレーザー光を照射し、膜試料1からのレイリー光と散乱光を受光する分離光学素子ダイクロイックミラー33及び選択可能な対物レンズ34とを有する顕微光学系と、分離光学素子ダイクロイックミラー33を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段不図示と、分光された光の強度を検出する光検出手段検出部36と、を備える。顕微光学系の対物レンズ34としては、低倍率の乾燥系対物レンズと、試料の間にエマルジョンオイル不図示が充填される油浸レンズとを選択可能に有している。図1aのレイリー光の測定時、及び、図1bのラマン散乱光の測定時は、対物レンズ34は、エマルジョンオイル不図示が充填される油浸レンズを用いる。さらに、図1bのラマン散乱光の測定時は、フィルター光学素子の一部であるレーザー光遮断光学素子37を用いる。また、ラマン分光測定装置の顕微鏡ステージは、Z軸方向駆動部不図示が付帯されており、膜試料1のZ軸方向への移動が可能である。Z軸方向駆動部を駆動して、Z軸方向に光透過性の膜試料1の乗った顕微鏡ステージを移動させながら対物レンズでレイリー光または検出光ラマン散乱光を集光することで空間分解能を作り出す。顕微鏡ステージのZ軸方向駆動部としてはピエゾ素子或いはステッピングモータ移動機構が設置され光透過性の膜試料のZ方向厚み方向の走査が行われる。共焦点レーザーラマン分光測定装置の場合は、顕微鏡ステージを顕微鏡のZ方向に移動することによって、光透過性の膜試料1に対して光軸方向の走査を行うことが可能となる。空間分解能は、後述するように対物レンズのNAに大きく依存しており、高空間分解能を達成する為、測定時には低倍率の乾燥系の対物レンズではなく油浸対物レンズが用いられる。しかし、上記感光体ドラムのような円筒形状試料40を測定する場合、レイリー光測定時に円筒形状試料40の曲率半径中心とレーザー光軸が一致していないと、曲率の影響で、膜の界面位置情報を含む正確なレイリー光プロファイルを取得することが困難となる。そこで、本実施形態のラマン分光測定装置では、円筒形状試料40の曲率半径中心とレーザー光軸とを一致させる調整を可能とする構成を備える。ラマン分光測定装置の顕微鏡ステージは、円筒形状試料40を把持する把持治具試料受け部41と、円筒形状試料把握治具をレーザー光と垂直で、且つ、円筒形状試料40の軸方向と垂直となる方向に駆動する把持冶具駆動部42と、表面観察用撮像素子としての観察用CCD43を備えている。図3は、円筒形状試料の把持治具41および把持冶具駆動部42の構成を示す概略図である。円筒形状試料40を軸方向に水平に把持する把持治具41がモーター不図示を有する把持冶具駆動部42の上に設けられており、円筒形状試料40は把持冶具駆動部42により把持治具41を介して、レーザー光と垂直で、且つ、円筒形状試料40の軸方向と垂直となる方向に移動可能である。この構成では、把持冶具駆動部42をレーザー光と垂直で、且つ、円筒形状試料40の軸方向と垂直となる方向のみに移動可能としているが、これに限るものではなく、例えば機械的な移動機構を一つ付与し、円筒形状試料40の軸方向に移動可能としても良い。以下、上記ラマン分光測定装置の構成について詳しく説明する。レーザー光源30から出射されるレーザー光は、共焦点レーザーラマン分光法で励起に用いるレーザー光であり、検出対象となる膜に吸収や蛍光が無く、ラマン活性が有る波長が選択され、数枚のNDフィルターの組み合わせを用いて一般には減光された状態である。用いるレーザー光強度は、出射口で1~100mW/cm2程度であれば良く、その後、試料となる光透過性の膜試料1上での強度が数nW/μm2~数μW/μm2の範囲程度になるように調整すれば良い。一般には、レーザー光強度が高いほど検出されるラマン散乱光強度も強くなりS/N比は向上するが、試料破壊や褪色化、強光への応答などを考慮して決める必要も有る。光透過性の膜試料毎に吸収強度や光耐性などが異なり、レーザー光強度の条件決定は最も重要な項目の一つとなる。また波長が短ければ、波長の4乗に反比例してラマン散乱強度が強くなる。有機膜を対象とした場合は、レーザー波長は対象膜の光ダメージと、ラマン測定に好ましく無い膜の蛍光発生を考えると480nm以上であることが好ましく、また前述の様にラマン散乱強度を考えると、波長は短い程好ましく、検討の結果では900nm以下で有ると好適な測定が可能となってくることが判明している。また、レーザー光源30の出射口側には、レーザー光源30より発せられたレーザー光束を集光する集光レンズ31と、この集光レンズ31による焦点上に配置される第1のピンホール32と、が設けられている。分離光学素子として用いるダイクロイックミラー33は、誘電体多層膜により、2つ以上の波長域の光に分離するミラーである。ダイクロイックミラーとしては、レーザー光源30からレーザー光の波長域を反射して、円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料からのラマン散乱光の反射光を透過する特性を有した場合、逆にラマン散乱光となるレーザー光源30より長波長の波長域を透過して、レーザー光源30の波長域光を反射する特性も有する。図4は、励起レーザー光として488nmの波長光を用いた場合のレーザー光源30の波長域を反射する特性を有したダイクロイックミラーの特性図の例である。ラマン分光測定装置においては、波長を分光し得るダイクロイックミラー等を用いて、円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1に照射された励起光成分レイリー光と光透過性の膜試料から発生したラマン散乱光が一般に分離される。励起レーザー光の反射光レイリー光とラマン散乱光の分離のために用いられるダイクロイックミラー33は、特定の波長を境に二値的に変化する透過率特性を有していることが理想的で有るが、実際の透過率特性は比較的急峻に変化していても、その透過率は0と1とはならない。この為、ダイクロイックミラー33で分離された光にも、ラマン散乱光だけでなく、レイリー光が含まれる。このことから、ダイクロイックミラー33を配置した状態でも、検出部36側にレイリー光が漏れることとなるが、検出部36の検出器を飽和させてしまう非常に強いレイリー光が検出器に入射することは防いでおり、検出部36でレイリー光を検出可能な受光を実現している。対物レンズ34は、集光レンズ31に次ぐ第2の集光レンズである。すなわち、励起レーザー光の焦点を対物レンズ34の焦点と一致させ、励起レーザー光が円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1上の一点になるように照射されるようになっている。なお、対物レンズ34の後焦点に第2のピンホール35を置き、焦点以外のラマン散乱光を効率よくカットしている。高い光学系スループットと小さな集光ビームスポットを両立させるため、対物レンズ34への照射レーザー径は、対物レンズ34の入射径と等しい直径に設定される。また、顕微光学系における空間分解能は、対物レンズ34のNAとコンフォーカルピンホール径に大きく依存しており、本実施形態では高空間分解能を達成するために、測定時には油浸対物レンズを対物レンズ34として用いる。また、対物レンズ34と円筒形状基体上に形成された膜試料1の間にエマルジョンオイルが充填されており、油浸対物レンズエマルジョンオイルの構成となっている。図1に示すような反射型のラマン分光測定装置では、励起と検出を同一の対物レンズ34で行うことになる。焦点以外の深さからのラマン散乱光は、第2のピンホール35の位置で焦点を結ばないため、効率良く妨害光がカットされる図1に示すように、非焦点からの反射光の行路を示す破線部分のほとんどの反射光が第2のピンホール35により遮蔽される。但し、円筒形状基体上に形成された膜試料1の膜中では屈折率差に依る色収差や球面収差の影響でビーム径が拡がりを見せるため、これらを油浸対物レンズやエマルジョンオイルを用いて拡がりを押さえることが測定上必要となる。油浸対物レンズエマルジョンオイルの構成は、一般にはガラス程度の屈折率を持つ油をレンズと膜の間に満たして、空気とレンズの屈折の影響を排除する工夫がなされている。すなわち、乾燥系のレンズでは、レンズから空気、更に対象膜と二箇所で光が通る媒質が変化し屈折が生じる。これに対して、油浸対物レンズと合わせて使用するエマルジョンオイルをレンズや膜と近い屈折率となる1.5~1.6とすると、光の屈折の影響を排除できる様になる。このことは、NAの大きな対物レンズ34を用いた場合、円筒形状試料上に形成された膜試料1の膜中の空間分解能を高める為に有効な手立てとなる。また、対物レンズ34のNA開口数が1.2以上となる油浸レンズとエマルジョンオイルの組み合わせとなっている。NA1.2以上でなければ、深さ方向解析時の空間分解能:1μmを確保できず、特に5μm以下の薄膜の場合は、明瞭な膜構造解析が不可能になる。NAは対物レンズの性能を決める重要な値であり、焦点深度空間分解能、明るさに関係する値となる。NAが大きく成る程、空間分解能は向上する。NANumericalApertureとも呼び、以下の式で表されるものである。但し、通常、市販対物レンズであれば、単体のNAが記載されている。NA=nsinθここで、nは膜試料1における対象膜と対物レンズ34の間の媒質ここではエマルジョンオイルの屈折率、θは光軸と対物レンズ34の最も外側に入る光線とがなす角を示す。なお、エマルジョンオイルの屈折率に関しては、メーカー測定値を用いることも出来るし、エマルジョンオイルをスピンコーターでSiウェーハ上に超薄膜塗布して、その後に分光エリプソメータで測定したものを用いることもできる。図1に示すように、本実施形態のラマン分光測定装置における顕微光学系は、物体上の焦点面と共役な関係にあるピンホール第1のピンホール32,第2のピンホール35を備えた共焦点顕微光学系である。すなわち、第1のピンホール32が集光レンズ31とダイクロイックミラー33との間に設けられ、第2のピンホール35がダイクロイックミラー33と検出部36との前に設けられて、2つのピンホールはそれぞれ焦点を有する共焦点の位置に有る。これにより、共焦点顕微光学系において、合焦点以外からのラマン散乱光はピンホールによってブロックされるため、焦点以外の膜内からの不要光や光透過性の膜試料内部からのラマン散乱光をほぼ完全に取り除くことが可能となり、深さ方向に優れた空間分解能を達成することができる。本実施形態のラマン分光測定装置は、ラマン散乱光とレイリー光を同一の検出光学系で測定することが可能に構成している。フィルター光学素子37は、円筒形状基体上に形成された膜試料1からのレイリー光の一部を散乱光とともに測定可能に検出部36に導くか、円筒形状試料上に形成された膜試料1からのレイリー光を遮断して散乱光を検出部36に導くか、のいずれかに選択可能に設けられている。共焦点顕微光学系では、レーザー光を対物レンズ34により、狭い領域に集光して円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1に照射するため、通常の分光測定とは比較にならないくらい高強度の励起光になる。この為、ダイクロイックミラー33から洩れたレイリー光成分でも、あるいは更に1または複数のレーザー光遮断光学素子フィルター光学素子37を経たレイリー光成分でも、ラマン散乱光に匹敵する強度を持つこととなる。本実施形態のラマン分光測定装置では、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸を合わせた状態で、ダイクロイックミラー33、またはダイクロイックミラー33及び1または複数のレーザー光遮断光学素子により、円筒形状基体上に形成された膜試料1からのレイリー光成分を検出部36で検出可能な程度に弱め、ついでレイリー光成分を検出部36で検出して円筒形状基体上に形成された膜試料1の被検体である膜の深さ方向の界面位置情報を取得可能にするものである。本実施形態の顕微光学系では、フィルター光学素子は、1または複数のレーザー光遮断光学素子から構成され、そのうちの少なくとも1つは、レイリー光と等価なレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子が抜き差し可能に設けられてなることが好ましい。あるいは、前記フィルター光学素子の少なくとも1つは、レイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子と該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなることが好ましい。また、ここでいう抜き差し可能に設けられてなるレーザー光遮断光学素子、あるいはレイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子と該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられているもののうちの該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子は、図1bに示すレーザー光遮断光学素子37である。このレーザー光遮断光学素子37を、ダイクロイックミラー33と第2のピンホール35の間すなわち分光手段となる分光器の手前に配置されるものである。このレーザー光遮断光学素子37としては、例えばノッチフィルターやエッジフィルターが挙げられ、ノッチフィルターおよび/またはエッジフィルターからなるものである。このうち、ノッチフィルターは、レイリー光の除去に用いられるレーザー光遮断光学素子の一つであり、誘電体多層膜を用いたフィルターである。図5に、ノッチフィルターの光学特性を示す。図5に例示したように、ノッチフィルターは特定の波長のみを透過させないようにしたものであり、誘電体多層膜を積層して膜厚を最適化すれば、設計波長を中心にして20nm程度のバンド内の光を除去することができる。しかしながら、ノッチフィルターは、図5からもわかる様に、レイリー光を100除去できる訳ではない。このレイリー光のフィルターとなる波長領域における透過率を増すことに依って、検出部36の検出器を飽和させてしまう励起レーザー光波長近傍の非常に強いレイリー散乱光が検出器に入射することを防ぎながら、界面位置情報取得に必要なレイリー光を取得できるようにすることが可能である。これがレイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子と該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちのレイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子である。なおノッチフィルターとして、2つの互いにコヒーレントなレーザビームに依って出来る干渉パターンを記録して作られるホログラフィックノッチフィルターを用いることもできる。一方、エッジフィルターの特性は、例えば図6に示すようなものである。ここでは、レーザー光の波長を488nmとした場合の例を示すが、波長490nmより短波長側を完全に除去できるようになっている。例えば、エッジフィルターとして誘電体多層膜を用いたものでは、最適設計を行えば、波長分別設計位置の前後大体30nm程度の間隔を置いて、これより短波長側の光を除去し、反対にラマン散乱光を含む長波長側の光を透過させることが出来る。本実施形態によれば、エッジフィルターをノッチフィルターの代わりに挿入しても、ノッチフィルターと同様の効果をもたせることが可能となる。このように、レイリー光の情報取得時は、抜き差し可能なレーザー光遮断光学素子37を取り外す。或いは、レイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子と該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうち、レイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子に置き換える。そして、円筒形状試料の曲率半径とレーザー光軸を正確に一致させた後、円筒形状基体上に形成された膜試料1からの界面反射光即ちレイリー光を検出部36に測定可能に直接導くことで、後述する図7に示すように、充分な感度のレイリー光を受光することが可能となり、膜の界面位置情報を取得できる様になる。また、ラマン散乱光の情報取得時は、抜き差し可能なレーザー光遮断光学素子37を光路に戻す。或いは、レイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子と該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうち、該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子37に置き換える。これにより、円筒形状基体上に形成された膜試料1からの光のうち、ラマン散乱光測定時に妨害光となるレイリー光を完全に取り除くことが可能となり、感度の高いラマン分光法による膜構造解析が可能となる。以上のように、本実施形態のラマン分光測定装置によれば、ラマン散乱光とレイリー光を同一の検出光学系で測定することが可能である。なお、レーザー光遮断光学素子の透過率については、例えば分光反射率測定装置により透過率を求めることが出来る。検出部36は、分光手段と光検出手段とから構成される。このうち、分光手段としては、回折格子によりラマン散乱光を分光する分光器が挙げられる。分光器に入る直前光路上に焦点面と共役な点エリアがある場合には、その部分のX-Y平面内に2つの直行するスリットクロススリットを置くことで、スリットの組に共焦点光学系でいう共焦点ピンホール第2のピンホール35の役割を担わせることが可能であり、これにより、Z軸方向の空間分解能が生じる。またこのクロススリットは、ラマンスペクトル取得時の波長分解能にも寄与する。また、光検出手段としては、マルチチャネル検出器たとえば、CCD:ChargeCoupledDevice、シングルチャネル検出器たとえば、APD:AvalanchePhotodiodeが挙げられる。第2のピンホール35を透過した光は、検出部36に構成された分光器に入射し分散された後、この光検出手段で検出されるようになる。以上の状態で、レーザー光源30からのレーザー光の焦点位置を円筒形状基板上に形成された膜試料1の膜の深さ方向に走査することに依って、光透過性の膜試料1で、顕微鏡ステージのZ方向の移動によりステップ毎の深さ方向膜試料の厚み方向で明瞭なレイリー光プロファイル或いはラマンプロファイルが得られ、高分解能な三次元解析が可能となる。次に、上記構成のラマン分光測定装置による円筒形状基体上に形成された膜試料1における対象膜の構造解析に関する測定を詳細に説明する。1.円筒形状試料の曲率中心とレーザー光軸の軸合わせ図3の把持治具41試料受け部に円筒形状試料40を乗せ、対物レンズ34として低倍率40倍が好ましいの乾燥系対物レンズを選択する。円筒形状試料40の焦点位置の確認のために、観察用CCD43で観察して意図的に円筒形状試料40の中心で無い任意の位置に把持冶具駆動部42を移動させ、円筒形状試料40表面にZ方向移動機構を用いて焦点を合わせる。この時、顕微鏡筐体に付帯の視野絞りを操作し、観察用CCD43の視野内に視野絞りの羽根が見えるように予め視野絞りの大きさを調整しておく。レーザー光軸この場合、顕微鏡の対物レンズ光軸と円筒形状試料40の曲率半径が一致していない場合は、視野絞りの羽根が視野内で片側エッジだけ焦点が合い、片側だけ焦点が合わない像が観察される。この位置を座標Aとする。この状態でモーターを有する把持冶具駆動部42で焦点位置をレーザー光と垂直で、且つ、円筒形状試料40の軸方向と垂直となる方向図3中、X方向に移動させていくと焦点が合わない状態が暫く続き、その後、同様に視野絞りの羽根がフォーカスして見えてくるX方向位置が現れる。この位置を座標Bとする。この位置でも円筒形状試料40の曲率の影響に依り、視野絞りの羽根が視野内で片側だけ焦点が合う状態になる。この場合、円筒形状試料40のX方向の中心座標、すなわち曲率中心は下式より導かれる。座標A-座標B÷2座標B上式で求められた中心座標レーザー光軸と曲率中心の一致した座標に円筒形状試料40を移動後、Z方向に焦点を合わせることで、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸が一致し、次ステップで正確な深さプロファイル測定が可能になる。2.試料膜の界面位置情報取得レイリー光情報の取得ラマン分光測定装置を図1aの構成とする。対物レンズ34は、油浸対物レンズとして、膜試料との間にエマルジョンンオイル不図示を満たす。レーザー光源30より出射され、集光レンズ31、第1のピンホール32を経た拡散するレーザー光束を、ダイクロイックミラー33を介して油浸対物レンズに導き、油浸対物レンズによりエマルジョンオイルを透過させて円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1上に集光させる。膜試料1上に集光された光束は、膜試料1からラマン散乱光を含んだ光として反射され、エマルジョンオイル、油浸対物レンズ34を経て集束しつつダイクロイックミラー33に戻る。ダイクロイックミラー33に戻った光は、ダイクロイックミラー33の特性により、レイリー光の一部及びラマン散乱光以下、まとめて光が検出部36側に向かうようになる。さらに、この光は検出部36に導かれる前に一旦集光され、フィルター素子を透過する。このとき、フィルター素子は、抜き差し可能なレーザー光遮断光学素子37が取り外された構成か、或いは、レイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子と該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子37とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちのレイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子に置き換えられた構成である。このため、フィルター光学素子を透過する光は、検出部36で測定可能な程度に弱められたレイリー光の一部がラマン散乱光とともに透過するようになる。フィルター素子を透過したこのような光は、さらに集光位置に配置された第2のピンホール35を透過して、検出部36に導かれる。そして、検出部36に構成された分光器に入射し分散された後、検出器36でレイリー光の強度が検出される。このような状態で、円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1を載せた顕微鏡ステージを必要に応じてZ軸方向にピエゾ駆動或いはステッピングモータ移動機構により走査させて、円筒形状基体上に形成された膜試料1の対象膜のZ軸方向の所定位置での検出を行う。すなわち、レーザー励起光と同一波長の光強度プロファイルを検出部36の検出器で測定して膜における界面位置情報を取り出す。これにより、界面位置情報となるレイリー光0cm-1の光量変化を確認し、その光量がピークとなる位置から光軸方向の界面の位置を特定することができる。例えば、図7に示すような被検体である膜の界面位置情報を取得することができるが、ここでは、3つの反射強度のピークが見られ、それぞれのピーク位置を対象膜の表面層表面エマルジョンオイルとの界面と、表面層/電荷輸送層界面とその下層との界面中間層表面とに特定することができる。この時、界面反射であるレイリー光を膜界面から取得できるようにする為には、膜と媒体例えば油浸レンズを用いる場合はエマルジョンオイルとの屈折率差が重要となり、特に膜表面でのレイリー光を確保する為には、次式反射率R=N-N12κ2/NN12κ2N:測定対象膜の屈折率N1:媒体の屈折率κ:測定対象膜の消光係数より、界面での反射率:Rが0.1以上必要であることが見出されている。一般に、屈折率差が大きくなれば界面反射を確保しやすくなるが、その場合は、レンズ-媒体-膜間の屈折率差による収差の影響で、空間分解能とエネルギー密度の低下を誘発することとなる。この為、測定の為には対象となる膜の屈折率から決まる、-0.2~-0.1の屈折率差を有するエマルジョンオイルを用いることが好適となる。3.試料膜の構造解析ラマン散乱光情報の取得ラマン分光測定装置を図1bの構成とする。対物レンズ34は、油浸対物レンズとして、膜試料との間にエマルジョンンオイル不図示を満たす。レーザー光源30より出射され、集光レンズ31、第1のピンホール32を経た拡散するレーザー光束を、ダイクロイックミラー33を介して油浸対物レンズ34に導き、油浸対物レンズ34によりエマルジョンオイルを透過させて円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1上に集光させる。膜試料1上に集光された光束は、膜試料1からラマン散乱光を含んだ光として反射され、エマルジョンオイル、油浸対物レンズ34を経て集束しつつダイクロイックミラー33に戻る。ダイクロイックミラー33に戻った光は、ダイクロイックミラー33の特性により、レイリー光の一部及びラマン散乱光以下、まとめて光が検出部36側に向かうようになる。さらに、この光は検出部36に導かれる前に一旦集光され、フィルター素子を透過する。このとき、フィルター素子は、抜き差し可能なレーザー光遮断光学素子37が光路に戻された構成か、或いは、レイリー光と等価なレーザー光の波長に対する透過率を上げたレーザー光遮断光学素子と該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子とが入れ替え可能に設けられてなるもののうちの該波長のレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子に置き換えられた構成である。このため、フィルター光学素子を通過する光は、レイリー光が完全除外され検出対象のラマン散乱光に合った波長帯域の光のみが選択に透過するようになる。フィルター素子を透過したこのような光は、さらに集光位置に配置された第2のピンホール35を透過して、検出部36に導かれる。そして、検出部36に構成された分光器に入射し分散された後、検出器36で所定の波長帯域のラマン散乱光の強度が検出される。このような状態で、円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1を載せた顕微鏡ステージを必要に応じてZ軸方向にピエゾ駆動或いはステッピングモータ移動機構により走査させて、膜試料1の対象膜のZ軸方向のラマンスペクトルの検出を行う。そして、検出されたラマンスペクトルと、先だって取得された膜の界面位置情報とを用いて、任意のラマンバンドのピーク値を深さ方向の位置ごとにプロットして、ラマン分光による深さ方向の位置毎の分光データプロファイルを得る。以上の処理により、曲率を有した円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1から高い空間分解能条件下での膜構造解析が可能となる。以下、実施例、比較例に基づき説明する。<実施例>以下の条件で、円筒形状基体上に形成された膜試料1サンプルである感光体ドラムの膜構造解析を行った。1膜試料1図2において、円筒形状基体となる直径40mmのアルミニウムドラム2上に形成された光透過性の膜として任意の種類の成分を分散させて膜厚22μmの電荷輸送層5と膜厚2.5μmの表面層6を形成したもの表面層6と電荷輸送層5の屈折率:1.542ラマン分光測定装置図1に示す構成レーザー光源30;レーザー光波長488nm対物レンズ34;乾燥系対物レンズOLYMPUSPlanFLN40×NA06油浸対物レンズOLYMPUSMPlanApo100×NA1.4屈折率1.516のエマルジョンオイルを対象膜と対物レンズ34の間に充填することにより、屈折率1.525エマルジョンオイル;屈折率1.516対象膜とエマルジョンオイルとの屈折率差=0.024レーザー光遮断光学素子37;図5の特性488nmの波長をカットする機能を有するノッチフィルターなお、対象膜の屈折率は、Siウェーハ上に対象膜を超薄膜塗布し、分光エリプソメータで複素屈折率屈折率、消光係数を測定し求めた。また、エマルジョンオイルの屈折率は、メーカー測定値製品にデータ添付をそのまま用いた。また、ノッチフィルターの透過率は、分光透過率測定装置松下テクノトレーディングF20装置にて透過率値を測定して確認した。3測定手順まず、円筒形状基体上に電荷輸送層5と表面層6が形成された膜試料1である円筒形状試料40を把持治具41上に静置する。対物レンズ42としては、低倍率の乾燥系対物レンズを選択する。そして、把持冶具駆動部42、対物レンズ34、観察用CCD43を用いて、円筒形状試料40の表面観察をおこなう。先ず、意図的に円筒形状試料40の中心から離れた位置で、顕微鏡の視野絞りの機能を用いて羽根絞りの片側がはっきりと見えるように焦点合わせを実施する。その状態で把持冶具駆動部42を用いて円筒形状試料40を、レーザー光と垂直で、且つ、円筒形状試料40の軸方向と垂直となる方向X方向に移動させていくと羽根絞りは次第に焦点ボケていくが、移動に伴い再度、羽根絞りが明瞭に見える位置が出現する。その両座標を記録し、その中間位置に円筒形状試料40を移動し直して、観察用CCD43で再度焦点合わせをし直す。これにより、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸を一致させる。次に、図1aに示すように、ノッチフィルターを取り外した構成とし、対物レンズ34としては、油浸対物レンズを選択し、膜試料1との間にエマルジョンオイルを充填する。そして、レーザー励起光の光束を対物レンズ34で集光して円筒形状基体となる直径40mmのアルミニウムドラム2上に形成された光透過性の膜試料1の1点に照射し、膜試料1からのレイリー光の一部を検出部36の検出器に導いてレイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布図を取得した。図7に、取得したレイリー光洩れ光プロファイルを示す。次に、図1bに示すように、ノッチフィルターを取りつけた構成とし、対物レンズ34としては、油浸対物レンズを選択し、膜試料1との間にエマルジョンオイルを充填したものをそのまま使用する。そして、レーザー励起光の光束を対物レンズ34で集光して円筒形状基体となる直径40mmのアルミニウムドラム2上に形成された光透過性の膜試料1の1点に照射し、膜試料1からの光からレイリー光を取り除いた所定波長帯域のラマン散乱光を検出部36の検出器に導いて、深さ方向のラマンスペクトルを取得し、任意の分子の特徴的なラマンバンドのピークを追いかけることによって、膜中濃度プロファイルを取得した。ついで、上記レイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布図と上記膜中濃度プロファイルとを用いて、任意のラマンバンドのピーク値を深さ方向の位置ごとにプロットして、ラマン分光による深さ方向の位置毎の分光データプロファイルを得た。図8に、以上の測定手順で得られた実施例の測定結果を示す。図8は、円筒形状基体となる直径40mmのアルミニウムドラム2上に形成された光透過性の膜試料1における膜界面位置情報を付与した膜構造のプロファイルであり、電荷輸送層中に任意の一種類の成分を分散させて表面層6と電荷輸送層5の界面側から膜成分のプロファイルが検出される分散構造の電荷輸送層5が確認された。<比較例1>比較例1として、図1aの装置構成で円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸を一致させなかった場合の油浸レンズエマルジョンオイル使用条件下で界面反射光レイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布を図9に示す。図9に示すように、直径40mmの円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸が一致していない為、図7とは異なり光透過性の膜中の界面にあたる表面層6と電荷輸送層5との明瞭な界面反射光を取得することが出来なかった。また電荷輸送層5と電荷発生層4或いは中間層3との界面反射光がかなり乱れることが確認された。<比較例2>従来の、円筒形状試料40で把持冶具駆動部42を備えていない構成のラマン分光測定装置を用いた。円筒形状試料40を把持治具41上に静置した際に、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸にズレが生じた。このため、正確なレイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布が取得できず、電荷輸送層5におけるラマン分光による深さ方向の位置毎の分光データプロファイルが得られなかった。また、従来の、観察用CCD43が無いラマン分光測定装置を用いた。この場合、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸を合わせる際、顕微鏡の視野絞りの機能を用いた羽根絞りの焦点位置を確認することが出来なくなるため、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸を合わせることができなくなる、この軸のズレによって正確なレイリー光洩れ光プロファイル界面反射強度分布が取得できず、ラマン分光による深さ方向の位置毎の分光データプロファイルが得られなくなる。以上、本実施形態によれば、レーザー光源30と、膜試料1にレーザー光を照射すると共に、膜試料1からのレイリー光と散乱光とを受光する分離光学素子としてのダイクロイックミラー33及び対物レンズ34とを有する顕微光学系と、ダイクロイックミラー33を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、分光された光の強度を検出する光検出手段としての検出部36とを備えたラマン分光測定装置である。また、フィルター光学素子は、膜試料1からのレイリー光の一部を通過させるか、膜試料1からのレイリー光を遮断して散乱光を通過させるかの何れかに選択可能である。このラマン分光測定装置では、円筒形状試料40の曲率半径中心とレーザー光軸とを一致させる調整を可能とする構成として、円筒形状試料40を把持する把持治具試料受け部41と、把持治具41をレーザー光に対して垂直、且つ、円筒形状試料40の軸に対して垂直な方向に移動可能に駆動する把持冶具駆動部42と、表面観察用撮像素子としての観察用CCD43を備えている。このため、円筒形状試料40の曲率半径中心とレーザー光軸とを一致させた状態として、円筒形状試料40のレイリー光を精度良く測定することができる。これにより、多層構造の透過性の膜試料の深さ方向解析に必要な情報を付与するための微弱なラマン散乱光を検出しつつ、界面位置情報を含んだレイリー光を、円筒形状試料40の曲率の影響を抑えて精度良く測定可能となる。精度良く測定したレイリー光による界面位置情報を、ラマン散乱光により多層構造の透過性の膜試料の深さ方向解析の情報に加味することで、円筒形状試料においても、多層構造の膜のミクロン単位の構造解析を、デバイス状態のまま非破壊で迅速におこなうことができる。また、本実施形態によれば、顕微光学系の対物レンズ34としては、低倍率の乾燥系対物レンズと、試料の間にエマルジョンオイル不図示が充填される油浸レンズとを選択可能である。レイリー光やラマン散乱光の測定時は、エマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズを用いることで、インデックスマッチングを行い、空間分解能をあげることができる。一方、上記曲率中心と光軸合わせのために円筒形状試料表面を観察する時は、乾燥系対物レンズを用いることで、インデックスマッチングを行わず、低倍率低分解能を有するようにして、光軸と曲率中心との一致点を観察し易くする。さらに、乾燥系レンズが高倍率すぎると、拡大しすぎて曲面が認識し難くなることから、低倍率のものを用いて、光軸と曲率中心との一致点を観察し易くする。また、本実施形態によれば、顕微光学系は、物体上の焦点面と共役な関係にあるピンホール第1のピンホール32,第2のピンホール35を備えた共焦点顕微光学系である。共焦点顕微光学系において、合焦点以外からのラマン散乱光はピンホールによってブロックされるため、焦点以外の膜内からの不要光や光透過性の膜試料内部からのラマン散乱光をほぼ完全に取り除くことが可能となり、深さ方向に優れた空間分解能を達成することができる。また、本実施形態によれば、フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザー光を遮断するレーザー光遮断光学素子を抜き差し可能に備えている。このレーザー光遮断光学素子を取り外すことにより、膜試料1からの界面反射光即ちレイリー光を検出部36に測定可能に直接導くことができ、膜の界面位置情報を取得できる様になる。また、このレーザー光遮断光学素子を光路に戻すことにより、ラマン散乱光測定時に妨害光となるレイリー光を取り除くことが可能となり、感度の高いラマン分光法による膜構造解析が可能となる。また、本実施形態によれば、フィルター光学素子は、レイリー光と等価なレーザー光を遮断する第一のレーザー光遮断光学素子と、第一のレーザー光遮断光学素子よりもレーザー光の波長の透過率を上げた第二のレーザー光遮断光学素子とを入れ替え可能に備える。フィルター光学素子を、第二のレーザー光遮断光学素子に入れ替えることにより、膜試料1からの界面反射光即ちレイリー光を検出部36に測定可能に直接導くことができ、膜の界面位置情報を取得できる様になる。また、フィルター光学素子を、第一のレーザー光遮断光学素子に入れ替えることにより、ラマン散乱光測定時に妨害光となるレイリー光を取り除くことが可能となり、感度の高いラマン分光法による膜構造解析が可能となる。また、本実施形態によれば、レーザー光遮断光学素子はノッチフィルターおよび/またはエッジフィルターを用いる。ノッチフィルターは特定の波長のみを透過させないようにしたものであり、設計波長を中心にして20nm程度のバンド内の光を除去することができる。しかし、ノッチフィルターは、レイリー光を100除去できる訳ではない。このレイリー光のフィルターとなる波長領域における透過率を増すことに依って、検出部36の検出器を飽和させてしまう励起レーザー光波長近傍の非常に強いレイリー散乱光が検出器に入射することを防ぎながら、界面位置情報取得に必要なレイリー光を取得できるようにすることが可能である。エッジフィルターは、ある波長より短波長側を完全に除去できるものであり、最適設計を行えば、波長分別設計位置の前後大体30nm程度の間隔を置いて、これより短波長側の光を除去し、反対にラマン散乱光を含む長波長側の光を透過させることができる。また、本実施形態によれば、分離光学素子はダイクロイックミラー33である。ダイクロイックミラー33は、特定の波長を境に変化する透過率特性を有して波長を分光し得る特性を有しており、円筒形状基体上に形成された光透過性の膜試料1に照射された励起光成分レイリー光と光透過性の膜試料から発生したラマン散乱光が一般に分離される。また、本実施形態によれば、顕微光学系に用いられる乾燥系対物レンズのNAは、0.8以下である。これにより、低倍率低分解能を有するようにして、光軸と曲率中心との一致点を観察し易くできる。また、本実施形態によれば、顕微光学系に用いられる油浸対物レンズとエマルジョンオイルの組み合わせのNAは1.2以上である。このように、NAの大きなものを用いることで、光の屈折の影響を排除でき、膜試料1の膜中の空間分解能を高めることができる。また、本実施形態によれば、円筒形状試料40を把持冶具41により軸方向に水平に把持し、顕微光学系として比較的低倍率の乾燥系対物レンズを選択する。そして、円筒形状試料40をレーザー光に対して垂直、且つ、円筒形状試料40の軸に対して垂直な方向図3中、X方向に移動させながら、観察用CCD43撮像素子で円筒形状試料40の表面を観察し、円筒形状試料の曲率中心とレーザー光の光軸とを合わせる。その後、顕微光学系としてエマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズを用いて、ラマン散乱光とレイリー光との測定を行う。レイリー光やラマン散乱光の測定時は、エマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズを用いることで、インデックスマッチングを行い、空間分解能をあげることができる。一方、曲率中心と光軸合わせのために円筒形状試料表面を観察する時は、乾燥系対物レンズを用いることで、インデックスマッチングを行わず、低倍率低分解能を有するようにして、光軸と曲率中心との一致点を観察し易くする。さらに、乾燥系レンズが高倍率すぎると、拡大しすぎて曲面が認識し難くなることから、低倍率のものを用いて、光軸と曲率中心との一致点を観察し易くする。これにより、多層構造の透過性の膜試料の深さ方向解析に必要な情報を付与するための微弱なラマン散乱光を検出しつつ、界面位置情報を含んだレイリー光を、円筒形状試料の曲率の影響を抑えて精度良く測定可能となる。また、本実施形態によれば、上記ラマン分光測定装置を用いて測定した円筒形状試料のレイリー光に基づき試料の膜界面における反射光強度を検出し、ラマン散乱光による深さ毎の分光データプロファイルと関連付ける。これにより、円筒形状に形成された多層構造の透過性の膜試料においても、非破壊での迅速な、ミクロン単位で膜構造解析が可能となる。"