"バルブシートを有するハウジングと、支持シェルによって支持されたバルブピンと、を備え、上記支持シェルおよび上記バルブピンは、温度変化に晒されたときに各々の動きが異なるように異なる熱膨張係数を有し、上記バルブピンがバルブシートに接近および離間してバルブとして動作するように構成されているバルブ。上記バルブピンは上記支持シェルよりも小さい熱膨張係数を有することを特徴とする請求項1に記載のバルブ。上記支持シェルおよび上記バルブピンの一方の熱膨張係数が、他方の熱膨張係数の少なくとも2倍大きいことを特徴とする請求項1に記載のバルブ。上記バルブシートから離れた方のバルブピンの端部と支持シェルの端部とが互いに固定されており、支持シェルの動きによってバルブシートに対するバルブピンの相対的な動きが生じることを特徴とする請求項1に記載のバルブ。上記バルブシートに対する上記バルブピンの相対的な動きを生じさせるように、ヒータを備えていることを特徴とする請求項1に記載のバルブ。上記ヒータが上記支持シェルを加熱し、該支持シェルを膨張させて上記バルブピンの動きを生じさせることを特徴とする請求項5に記載のバルブ。上記支持シェルは上記バルブシートを有する上記ハウジングに固定されており、上記支持シェルが上記バルブピンよりも大きな割合で膨張することで上記バルブピンの動きが生じることを特徴とする請求項6に記載のバルブ。上記バルブシートがダイアフラム部材内に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のバルブ。上記バルブシートは上記ダイアフラムにおける開口として形成されており、漏れ調整材料が該材料を通過して上記開口へ向かう流体を非常に精密な漏れ量として許容するように構成され、上記バルブピンが上記バルブシートから引き離されることで、非常に精密な量の流体が上記材料を通過してサンプリング用出口へと漏れることができる請求項8に記載のバルブ。上記バルブピンがタングステンから形成され、上記支持シェルがステンレススチールから形成されていることを特徴とする請求項1に記載のバルブ。上記支持シェルは、上記バルブピンを囲む円筒形の要素であることを特徴とする請求項1に記載のバルブ。バルブシートを有するハウジングと、支持シェルによって支持されたバルブピンと、を備え、上記支持シェルは上記バルブピンよりも大きな熱膨張係数を有し、温度変化に晒されたときに上記支持シェルの膨張が上記バルブピンよりも大きく、上記バルブピンがバルブシートに接近および離間してバルブとして動作し、上記バルブシートから離れた方のバルブピンの端部と支持シェルの端部とが互いに固定されており、支持シェルの動きによってバルブシートに対するバルブピンの相対的な動きが生じるように構成され、さらに、上記バルブシートに対する上記バルブピンの相対的な動きを生じさせるように、ヒータを備えているバルブ。上記バルブピンがタングステンから形成され、上記支持シェルがステンレススチールから形成されていることを特徴とする請求項12に記載のバルブ。バルブの作動方法であって、aバルブシートを有するハウジングを設け、b互いに異なる熱膨張係数を有するバルブピンと支持シェルとを接続し、c上記バルブピンおよび上記支持シェルが温度変化に応答して互いに異なる動きを生じ、上記バルブピンが上記バルブシートに接近および離間してバルブとして動作するようにしたバルブの作動方法。上記支持シェルおよび上記バルブピンに熱を与えて上記バルブピンの動きを生じさせることを特徴とする請求項14に記載のバルブの作動方法。一般的に、バルブピンを動かすためのアクチュエータを備えている。アクチュエータを用いることで付加的な構成要素が必要であり、高価となる。さらに、アクチュエータでは精密な動きや十分なシールを実現できないことがあり得る。バルブピンを構成する材料として、加熱および冷却によって膨張および収縮する材料を用いることが既に提案されている。このようなバルブでは、バルブピンが加熱されたときに該バルブピンが動き、流体の流れを許容する。本発明のバルブは、バルブシートを有するハウジングを備える。バルブピンが支持シェルによって支持されている。上記支持シェルおよび上記バルブピンは、温度変化に晒されたときに、支持シェルがバルブピンとは別に動くように、異なる熱膨張係数を有している。これにより、上記バルブピンがバルブシートに接近する動きおよびバルブシートから離間する動きが生じ、該バルブの動作が得られる。図1Aは、バルブピン22を備えたバルブ20を示している。バルブピン22は、バルブシート26に選択的に着座する頭部24を有しており、この選択的な着座により、上流側位置35のポート36からバルブシート26を介して下流側接続部40のポート38へと向かう流体の流れを制御している。上記バルブピン22は、符号28で示す箇所において支持シェル30に接続されている。この支持シェル30は、ハウジング34の孔31内に収容され、かつ符号32で示す箇所においてハウジング34に接続されている。これらの符号28,32の箇所での接続は、溶接や公知の他の技術を用いて行われ得る。上記支持シェル30は、バルブピン22の材料とは異なる熱膨張係数を有する材料でもって形成されている。この熱膨張係数の差は、例えば、一方の材料の熱膨張係数が他方の材料の熱膨張係数の少なくとも2倍となるように選択され得る。これによって比較的短い時間の間に十分な動きが得られ、例えば流体のサンプリング量を良好に制御することが可能となる。一実施例においては、支持シェル30およびハウジング34はステンレススチール、特にステンレススチール304から形成されている。そして、バルブピン22は、例えば、タングステンから形成されている。これらの材料によれば、ステンレススチールがタングステンの3倍ないし4倍の熱膨張係数でもって膨張する。図1Aの実施例では、支持シェル30は円柱形のバルブピン22を囲む円筒形の要素として示されているが、バルブピン22をバルブシート26に対し相対的に動くように支持する他の形態の支持シェル30を用いることもできる。一例としては、間隙を有する複数の支持脚部、あるいは単一の支持脚部、によってバルブピン22を支持し、該バルブピン22とバルブシート26との間の相対的な動きを生じさせるように構成することもできる。熱に晒されたときに、支持シェル30がバルブピン22よりも熱膨張する。両者が互いに接続されていることから、バルブピン22は図1Aの左側へ動き、これにより、バルブピン22の頭部24が、図1Bに示すようなシール位置から図1Aに示すような流体の流れを許容する位置へと移動する。このような膨張を生じさせるためにヒータ42を設けることができる。あるいは、バルブ20は、周囲環境の熱に応答してこのような動きを生じるものとすることもできる。本発明は、バルブピン22の非常に精密な動きを達成することができ、ポート36とポート38との間で極めて少量の流体を計量することが可能となる。このバルブ20は、特に、少量に計量したガスを集めることが必要な用途に好適である。上記実施例では、バルブピン22の熱膨張係数が支持シェル30やハウジング34の熱膨張係数よりも小さいものとして説明したが、逆の関係とすることも可能である。さらに、上記実施例では、バルブ20を動作させるために加熱を用いているが、他の実施例として、バルブ20を動作させるために冷却を用いることも可能である。例えば、バルブピン22および支持シェル30の各々の選択した材料によっては、温度の上昇および下降に応答して受動的に開閉するようにバルブ20を構成することができる。図2は、バルブ51の他の実施例を示しており、バルブピン43が支持シェル44内に収容され、かつヒータコイル46を備えている。バルブピン43は、ダイアフラム50の開口54に選択的に受容される頭部48を有しており、上記ダイアフラム50は、その開口54において、バルブピン43に対するバルブシートとして機能する。このダイアフラム50は、ハウジング52内に固定されている。入口56がチャンバ57内へと延び、かつ出口58がチャンバ57の外へと延びている。負圧接続部62が、ダイアフラム50を挟んで反対側に設けられている。図2の実施例においては、支持シェル44およびバルブピン43の材料や基本的構成は、図1Aの実施例における支持シェル30およびバルブピン22と同様である。図2に示すように、支持シェル44はハウジング52内に支持されている。溶接部100によってダイアフラム50はハウジング52内に固定されている。粉末焼結金属などから構成されたフリット70が設けられており、このフリット70によって、所定時間内にその表面面積を通る漏洩量が、制御された量となる。この実施例では、負圧を与えた状態において、頭部48が開口54から引き離されるようにバルブ51を単純に動作させることによって、非常に精密な量のガスをサンプリングすることができる。つまり、入口56と出口58との間を流れる流体の微少量のサンプリングが行える。このサンプルは、フリット70を通して引き出され、かつ負圧接続部62へと向かう。図1Aおよび図2の実施例においては、バルブピン22,43を、バルブシート26あるいはダイアフラム50の開口54に対して、漏洩を防止すべく堅固な密接状態として確実なシールを得るように保持することができる。ダイアフラム50を用いた実施例では、極低温環境での使用が可能となる。このような低温環境では、熱膨張に基づき支持シェル44およびバルブピン43がダイアフラム50へ向かって引き寄せられ、強く密接する。柔軟性を有するダイアフラム50はこのような動きを許容し、バルブ全体の損傷を回避する。バルブピンをバルブシートに対して堅固に強い力で押し付けるように可動バルブ部品を備えた従来のバルブでは、同じ強い力に打ち勝つ必要がある。しかしながら、材料の熱膨張によって動きを生じさせる開示した実施例では、従来のものよりも、大きな問題とならない。また、上記実施例では、ハウジングに対するバルブ要素の非常に精密な動きが得られ、精密な計量が達成される。ある用途において、図1Aの実施例のバルブ20を、内部寸法が100μm0.0039インチの溶融シリカ毛細管を封鎖するように形成した。2インチ50.8mmの長さのタングステン製バルブピン22を用い、温度を200°F93.33°C上昇させたときに、バルブピン22とバルブシート26との間の間隙は0.0029インチ73.66μmであった。この間隙は、100μmの毛細管の用途では好適なものである。バルブピン22の径や支持シェル30の壁の厚さは、バルブシート26が材料の弾性限界範囲内で使用され得るとともに、ヘリウムの漏れ率が1010SCCS立方センチメートル毎秒標準状態下未満となるように、選択され得る。当業者であれば、構成要素の熱膨張係数および具体的な寸法によって、上記のような気密状態の制御を達成するためのバルブピン22と支持シェル30との相対的な動きを計算することが可能である。多くのバルブ用途においては、バルブピンおよびバルブシートの双方が製造後に研磨される。しかしながら、本実施例においては、バルブピンのみを研磨し、バルブシートは研磨しないことが望ましい。そして、初期のならし運転の間に、バルブシートの実際の形状が、漏れを阻止する非常に密でかつ正確な着座が得られるように形成される。図1Aおよび図2に示したバルブ20,51は、可動部品を具備せず、従って、信頼性が高いとともに、製造が単純となる。いわゆるデッドボリュームが非常に小さく、従って、漏れ率が低く、デッドボリュームが小さく、かつ高信頼性であることが要求される用途、例えば、ガスクロマトグラフィ、流れ切換デバイス、負圧システム、などの用途に最適である。勿論、他の寸法や材料を用いることも可能である。以上、この発明の一実施例を説明したが、この発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。"