"基材フィルムと、前記基材フィルムの上に設けられた、ガスの透過を遮断する緻密な無機層と、前記無機層の上又は下に接して積層された、該無機層を保護し、柔軟性を与える有機層と、を備えたガスバリアフィルムにおいて、前記有機層は、フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩が重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂中に分散されてなる制電性組成物を硬化してなる、フィルムまたは粘着フィルムで形成されていることを特徴とするガスバリアフィルム。前記有機層と前記無機層は交互に積層されている、請求項1に記載のガスバリアフィルム前記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、前記制電性組成物100質量部に対して、0.01質量部以上50質量部以下の割合で、前記制電性組成物中に分散されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガスバリアフィルム。前記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンは、ビスフルオロアルキルスルホニルイミドイオン、トリスフルオロアルキルスルホニルメチドイオンおよびフルオロアルキルスルホン酸イオンからなる群から選ばれた陰イオンである請求項1から3のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。前記フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンと対になる陽イオンは、アルカリ金属、2A族元素、遷移金属及び両性金属からなる群の陽イオンから選ばれる請求項1から4のいずれか1項に記載のガスバリアフィルム。前記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、ビスフルオロアルキルスルホニルイミドのアルカリ金属塩、トリスフルオロアルキルスルホニルメチドのアルカリ金属塩およびトリフルオロアルキルスルホン酸のアルカリ金属塩からなる群より選ばれた塩である、請求項5に記載のガスバリアフィルム。前記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、下記一般式1で表されるポリアルキレングリコール含ホウ素エステルに溶解された状態で前記制電性組成物中に分散されていることを特徴とする、請求項1に記載のガスバリアフィルム。式1中、R1、R2およびR3は、互いに独立に、炭素数1~8の直鎖又は分岐状の低級アルキル基、アクリロイル基、メタクリロイル基および炭素数3~6のアルケニル基からなる有機基群の中から選ばれ、OA1,OA2およびOA3は炭素数2~4のオキシアルキレン基であり、l、m、nはオキシアルキレン基単位の平均付加モル数で、2~14である。前記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンは、該陰イオンが、下記一般式1で表されるポリアルキレングリコール含ホウ素エステルのホウ素原子の空のp軌道に、配位子として結合してなるホウ素錯体として分散されている請求項1に記載のガスバリアフィルム。式1中、R1、R2およびR3は、互いに独立に、炭素数1~8の直鎖又は分岐状の低級アルキル基、アクリロイル基、メタクリロイル基および炭素数3~6のアルケニル基からなる有機基群の中から選ばれ、OA1,OA2およびOA3は炭素数2~4のオキシアルキレン基であり、l、m、nはオキシアルキレン基単位の平均付加モル数で、2~14である。請求項1から8のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムを用いた有機EL。請求項1から8のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムを用いた電子ペーパ。請求項1から8のいずれか1項に記載のガスバリアフィルムを用いた太陽電池。しかしながら、特許文献1に記載の方法を、上記ガスバリアフィルムに応用した場合、制電性組成物に添加する金属塩類の種類によっては、制電性能が十分でない場合があった。また、特許文献2に記載の方法では、金属塩類を溶解するための補助溶剤エチレンカーボネート、ジメチルスルホキシド、テトラメチレンスルホン、N-メチル-2-ピロリドン等が制電性組成物の成形品の表面にブリーディングやブルーミングしてしまい、有機ELのディスプレイを汚染する。また、ディスプレイの表面を払拭することなどにより制電性が低下し、帯電防止性の耐久性が十分でない。特に、高温高湿度の雰囲気下では、ブリーディングやブルーミングが促進されるため、制電性の低下が著しいという課題があった。本発明は、樹脂を帯電防止するという研究の一貫として、上記課題に鑑みてなされたものであり、熱安定性に優れ、ブリーディング、ブルーミングおよび移行汚染が発生せず、透明性に優れ、湿度に依存せずに、即効性に優れ、物性の低下を招かず、かつ、優れた制電性が持続するガスバリアフィルムを提供することを目的とする。この発明の他の目的は、そのようなガスバリアフィルムを使用した有機ELを提供することにある。この発明の他の目的は、そのようなガスバリアフィルムを使用した電子ペーパを提供することにある。この発明の他の目的は、そのようなガスバリアフィルムを使用した太陽電池を提供することにある。本発明に係るガスバリアフィルムは、基材フィルムと、上記基材フィルムの上に設けられた、ガスの透過を遮断する緻密な無機層と、該無機層の上又は下に接して積層された、該無機層を保護し、柔軟性を与える有機層とを備えたガスバリアフィルムに係る。上記有機層は、フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩が重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂中に分散されてなる制電性組成物を硬化してなる、フィルムまたは粘着フィルムで形成されていることを特徴とする。上記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、いわゆる超強酸の塩であり、重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂を含む組成物中に溶解された状態で、分散されると、例えば陽イオンがリチウムイオンである場合、リチウムイオンが裸の状態シングルイオン化になって、上記フィルムまたは粘着フィルム中にイオン輸送され、制電性に大きく寄与する。また重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂を含む組成物中に溶解された状態のフルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、組成物を構成する分子と相溶性に優れるので、ブリーディング、ブルーミング、および移行汚染が発生せず、さらに湿度に依存せずに、即効性に優れ、かつ優れた制電性が持続する。本明細書で、分散とは、上記塩が、組成物中に微粒子上又は微液滴状になって散在あるいは溶込んでいる状態をいう。分散させる方法としては、上記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩をそのまま、あるいは、溶媒に溶解して、重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂を含む組成物中に散在させることによって行われる。上記重合性化合物とは、重合する官能基を有する化合物をいい、例えばアクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基などを有する重合性化合物が挙げられる。態様としては、モノマー、オリゴマー、あるいは活性エネルギー線硬化性官能基を分子内に3つ以上有するものが挙げられる。モノマーとしては、例えば、単官能性のもの:2-エチルヘキシルメタアクリレート、フェノキシエチルメタアクリレート、2-エトキシエチルメタアクリレート、2-エトキシエトキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、ポリカプロラクトン変性ヒドロキシエチルメタアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルメタアクリレート、N-ビニルピロリドン、アクリロイルモルホリン、イソボルニルメタアクリレート、酢酸ビニル、スチレンなど、二官能性のもの:ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、1,9-ノナンジオールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、1,4-ブタンジオールジメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、トリエチレングリコールジメタアクリレート、グリコールジメタアクリレート、ジプロピレングリコールジメタアクリレート、プロピレンなど、多官能性のもの:トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、トリメチロールプロパンの3モルプロピレンオキサイド付加物のトリメタアクリレート、トリメチルプロパンの6モルエチレンオキサイド付加物のトリメタアクリレート、グリセリンプロポキシトリメタアクリレート、ジペンタンエリスリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリスリトールのカプロラクトン付加物のヘキサメタアクリレートなどが挙げられる。粘着性を確保するという点では、炭素数が4~12のメタアクリロイルモノマーを共重合することが好ましい。さらに、活性化エネルギー線硬化性のメタアクリレート系化合物として、メタアクリル酸2-ビニロキシエチル、メタアクリル酸3-ビニロキシプロピル、メタアクリル酸1-メチル-2-ビニロキシエチル、メタアクリル酸2-ビニロキシプロピル、メタアクリル酸4-ビニロキシブチル、メタアクリル酸4-ビニロキシシクロヘキシル、メタアクリル酸5-ビニロキシペンチル、メタアクリル酸6-ビニロキシシクロヘキシル、メタアクリル酸4-ビニロキシメチルシクロヘキシル、メタアクリル酸p-ビニロキシメチルフェニルメチル、メタアクリル酸2-ビニロキシエトキシエチル、メタアクリル酸2-ビニロキシエトキシエトキシエチル、メタアクリル酸2-ビニロキシエトキシエトキシエトキシエチル等を挙げることができる。オリゴマーとしては、例えば、不飽和ポリエステル、ポリエステルメタアクリレート、ポリエーテルメタアクリレート、アルキルメタアクリレート、ウレタンメタアクリレート、エポキシメタアクリレートなどが挙げられる。この中でも、ポリエチレングリコールのモノ又はジメタアクリレートは好ましく用いられる。その中でもオキシエチレン単位を少なくとも2個有するものが特に好ましく用いられる。ポリエチレングリコールのモノ又はジメタアクリレートは帯電防止性を有しており、フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩と相乗してその効果を高める。3つ以上の官能基を有するオリゴマーとしては、例えば、ジイソシアネート:ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジシアネート、トリレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネートジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネートなどと、水酸基含有メタアクリレート:2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレートなどの単官能のもの、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートなどの3官能以上のものとを反応してなるものなどが挙げられる。上記樹脂は、ポリオレフィン系重合体、ポリスチレン系重合体、ポリアミド系重合体、塩化ビニル系重合体、ポリアセタール系重合体、ポリエステル系重合体、ポリウレタン系重合体、ポリカーボネート系重合体、アクリレート/メタクリレート系重合体、ポリアクリロニトリル系重合体、熱可塑性エラストマー系重合体、不飽和ポリエステル系重合体、エポキシ系重合体、フェノール系重合体、ジアリール系重合体、メラミン系重合体、液晶ポリエステル系重合体、フッ素系重合体、ポリスルホン系重合体、ポリフェニレンエーテル系重合体、ポリイミド系重合体及びシリコーン系重合体から選択された1種であればよい。この中でも極性基を有するものは特に好ましく用いられる。上記エラストマーは、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル-ブタジエンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、エピクロロヒドリンゴム、塩素化ポリエチレン、シリコーンゴム、フッ素ゴム及びウレタンゴムから選択された1種であればよい。上記粘着性樹脂としては、粘着性を有するメタアクリロイル系重合体を挙げることができる。炭素数が4~12のメタアクリロイル系モノマーを共重合に供することが好ましい。さらに好ましくは、ブチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレートである。必要に応じて、アクリル酸を共重合してもよい。上記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、上記制電性組成物100質量部に対して、0.01質量部以上50質量部以下の割合で、上記制電性組成物中に分散されるのが好ましい。上記組成物中の全ての重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂100質量部に対して、上記フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、0.01質量部以上50質量部以下、さらに好ましくは、0.1質量部以上15重量部以下の割合で配合されるのが好ましい。このように規制するのは、上記陰イオンを備えた塩の配合量が、0.01質量部未満であると、制電性が十分発揮されないからである。一方、上記陰イオンを備えた塩の配合量が、50質量部を超えると、制電性付与効果が飽和するので、コスト高を招来するという問題があるからである。上記フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンは、ビスフルオロアルキルスルホニルイミドイオン、トリスフルオロアルキルスルホニルメチドイオン及びフルオロアルキルスルホン酸イオンからなる群から選ばれた陰イオンであるのが好ましい。上記フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンと対になる陽イオンは、アルカリ金属、2A族元素、遷移金属及び両性金属からなる群の陽イオンから選ばれるのが好ましい。上記フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、特にビスフルオロアルキルスルホニルイミドのアルカリ金属塩、トリスフルオロアルキルスルホニルメチドのアルカリ金属塩及びトリフルオロアルキルスルホン酸のアルカリ金属塩からなる群から選ばれた塩であるのが好ましい。上記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、下記一般式1で表されるポリアルキレングリコール含ホウ素エステルに溶解された状態で前記組成物中に分散されるとさらに好ましい。式1中、R1、R2及びR3は、互いに独立に、炭素数1~8の直鎖若しくは分岐状の低級アルキル基、アクリロイル基、メタクリロイル基及び炭素数3~6のアルケニル基からなる有機基群の中から選ばれ、OA1,OA2およびOA3は炭素数2~4のオキシアルキレン基であり、l、m、nはオキシアルキレン基単位の平均付加モル数で、2~14である。上記式1中、R1、R2及びR3のうち、少なくとも1つは炭素数1~8の直鎖若しくは分岐状の低級アルキル基であり、かつもう1つはアクリロイル基又はメタクリロイル基であるのが特に好ましい。上記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンアニオンを備えた塩が、上記一般式1で表されるポリアルキレングリコール含ホウ素エステルに溶解された状態というのは、錯体が形成された状態、例えばCF3SO3LiのようなLiX塩を例示すると、ホウ素原子B空のp軌道に、アニオンXがトラップされている状態である。換言するとアニオンXがホウ素原子Bの空のp軌道に配位子として結合し、ホウ素錯体を形成している。その結果、リチウムイオンLiが、対イオンであるXイオンCF3SO3-イオンから解き放たれた状態になる。このような状態で、重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂を含む組成物中に分散されているので、リチウムイオンが裸の状態シングルイオン化になって組成物中にイオン輸送され、制電性に大きく寄与するのである。したがって、上記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンは、該陰イオンが、上記一般式1で表されるポリアルキレングリコール含ホウ素エステルのホウ素原子の空のp軌道に、配位子として結合してなるホウ素錯体として分散されていると言い換えることもできる。上記組成物は、さらに重合体型帯電防止剤を含んでもよい。上記組成物に重合体型帯電防止剤を含めると、上記陰イオンを備えた塩を安定化することができることが見出された。この塩は重合体型帯電防止剤の存在する所に、集まり、局在化し、2種類の帯電防止剤の相乗効果によって制電性を強く発揮するのである。このような重合体型帯電防止剤としては、ポリエーテルブロックポリオレフィン共重合体、ポリオキシアルキレン系共重合体又はエチレンオキサイド-プロピレンオキサイド-アリルグリシジル共重合体が挙げられる。上記重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂100質量部に対して、上記重合体型帯電防止剤を、0.05質量部以上65質量部以下、好ましくは、0.1質量部以上50質量部以下の割合で含有させればよい。このように規制するのは、上記重合体型帯電防止剤の配合量が0.05質量部未満であると、制電性が十分発揮されないからである。一方、上記重合体型帯電防止剤の配合量が65質量部を超えると、制電性付与効果が飽和するので、コスト高を招来するという問題があるからである。また、組成物の物性が失われることがあるからである。上記制電性組成物には、さらに酸化防止剤、熱安定剤、紫外線吸収剤、難燃剤、難燃助剤、着色剤、顔料、抗菌抗カビ剤、耐光剤、可塑剤、粘着付与剤、分散剤、消泡剤、硬化触媒、硬化剤、レベリング剤、撥水剤、カップリング剤、フィラー、加硫剤、キレート剤、加硫促進剤などの公知の添加剤を必要に応じて添加することができる。なお、重合性基の保護のために、従来から知られているハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ジ-t-ブチル-ヒドロキシトルエン、フェノチアジン等の重合禁止剤を、従来から知られているように20~1000ppmの添加量で用いることができる。本発明は、また上述のガスバリアフィルムを用いた有機EL、電子ペーパ、太陽電池に係る。硬化のための、メタアクリロイル基、アルケニル基の重合は、加熱、紫外線、可視光、電子線などのエネルギーによってなされるが、適宜、公知の重合開始剤を使用してもよい。本発明に係るガスバリアフィルムでは、ガスの透過を遮断する緻密な無機層を保護し、これに柔軟性を与える有機層を、重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂を含む組成物中に、フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩が分散されてなる制電性組成物を硬化してなる、フィルムまたは粘着フィルムで形成したので、ガスバリア性に富むことに加え、透明性にすぐれ、着色もほとんどなく、帯電性に優れるという効果を奏する。また、制電性熱安定性に優れ、金属を腐食せず、湿度などの環境によらないガスバリアフィルムを得ることができた。熱安定性に優れ、ブリディング、ブルミングおよび移行汚染が発生せず、湿度に依存せずに、即効性に優れ、物性の低下を招かず、かつ、優れた制電性が持続するガスバリアフィルムを得るという目的を、ガスの透過を遮断する緻密な無機層に柔軟性を与える有機層を、フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩が重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂中に分散されてなる制電性組成物を硬化してなる、フィルムまたは粘着フィルムで形成することによって実現した。図1は、本発明の実施の形態に係るガスバリアフィルムの断面図である。ガスバリアフィルム10は、基材フィルム11と、基材フィルム11の上に設けられたガスバリア層12とを備える。ガスバリア層12は、重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂を含む組成物中に、フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩例えばLi塩が分散されてなる制電性組成物を硬化させてなる有機層13フィルムまたは粘着フィルムと、ガスの透過を遮断する緻密な無機層14が交互に積層されてなる交互積層型のものである。有機層13は無機層14を保護し、これに柔軟性を与える役割と制電防止の役割を果たす。本実施の形態では、4層構造の交互積層型を例示したが、この発明はこれに限られるものでなく、無機層14、Li塩を含む有機層13は、それぞれ少なくとも1層あればよい。図2は、本発明に係るガスバリアフィルム10を、フレキシブル有機ELに適用した場合の概念図である。図2に係るフレキシブル有機ELにおいて、図6に示す有機ELと同一又は相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明を繰り返さない。図2に示す本発明に係るフレキシブル有機ELが、図6に示す従来の有機ELと異なる点は、ガラス基板の代わりにプラスチック基板15,15を用いている点と、それぞれのプラスチック基板15,15の内側に、つまり有機EL素子を封止する側に、本発明に係る、すなわち図1に示すガスバリアフィルム10を組み込んでいる点である。ガスバリアフィルム10は、ガスの透過を遮断する緻密な無機層14を有するので、水、酸素の透過を防ぐことができる。また、フレキシブル有機ELディスプレイの基板であるプラスチック基板15は、帯電し易い性質を有しているが、ガスバリアフィルム10は、重合性化合物、樹脂、エラストマー又は粘着性樹脂を含む組成物中に、フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩が分散されてなる制電性組成物を硬化させてなる有機層13を備えるので、制電性を強く発揮する。その結果、有機ELディスプレイの組み立て時、プラスチック基板15が変形カールすることはない。またプラスチック基板15に静電気が帯電しないので、有機発光層1が侵されない。また、綿ごみがディスプレイに付着しないので、透明性を損なう等の問題点が発生しない。フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、組成物を構成する分子と相溶性に優れるので、ブリディング、ブルミング、および移行汚染が発生せず、さらに湿度に依存せずに、即効性に優れ、かつ優れた制電性が持続する。上記フルオロ基およびスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は数多くあるが、中でも、ビスフルオロアルキルスルホニルイミドイオン、トリスフルオロアルキルスルホニルメチドイオン、フルオロアルキルスルホン酸イオンを含み、具体的には、ビストリフルオロメタンスルホニルイミドリチウムLiCF3SO22N、ビストリフルオロメタンスルホニルイミドリカリウムKCF3SO22N、ビストリフルオロメタンスルホニルイミドナトリウムNaCF3SO22N、トリストリフルオロメタンスルホニルメチドリチウムLiCF3SO23C、トリストリフルオロメタンスルホニルメチドカリウムKCF3SO23C、トリストリフルオロメタンスルホニルメチドナトリウムNaCF3SO23C、トリフルオロメタンスルホン酸リチウムLiCF3SO3、トリフルオロメタンスルホン酸カリウムKCF3SO3、トリフルオロメタンスルホン酸ナトリウムNaCF3SO3が好ましい。中でも、ビストリフルオロメタンスルホニルイミドリチウム、及びトリストリフルオロメタンスルホニルメチドリチウム、トリフルオロメタンスルホン酸リチウムが好ましく、特にトリフルオロメタンスルホン酸リチウムが好ましい。これを少量添加するだけで、上記効果が効率よく得られる。以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。図3Aを参照して、基材フィルム20ポリエチレンテレフタレートPET、厚み100μm、東レ製ルミラーT60を準備する。図3Bを参照して、基材フィルム20の上に、リアクティブスパッタリング装置を用いて、酸化アルミニウム無機層21膜厚50nm、膜密度3.Og/cm2を形成した。そして、別途に光重合性アクリレートとして、ウレタンアクリレートプレポリマー新中村化学製UKオリゴUA-53H30質量部:多分岐ポリアクリレート新中村化学製、NKエコノマーA-PG5027E70質量部の混合溶液に、リチウムビスフルオロメタンスルホニルイミド10質量部を添加溶解した溶液組成物に、光重合開始剤チバスペシャリティケミカルズ製、イルガキュアー9073重量を、添加溶解して塗布液を調整した。この塗布液を、図3Cを参照して、ワイヤーバーを用いて無機層21の上に塗布し、UV照射50mj×2パスして、Li塩を含む有機層22を形成した。得られたガスバリアフィルムの膜厚は、約10μmであった。この有機層22の表面抵抗率は、2×109Ω/sqであった。このガスバリアフィルムを図2に示す有機ELの素子を封止するときにガスバリアフィルム10として、組み込むことができる。図4Aを参照して、基材フィルム20ポリエチレンテレフタレートPET、厚み100μm、東レ製ルミラーT60を準備する。図4Bを参照して、基材フィルム20の上に、実施例1と同様の方法で、無機層21とLi塩を含む有機層22を交互に4層に積層したガスバリアフィルム27を作成した。先ず、ウレタンアクリレートプレポリマー新中村化学製UKオリゴUA-53H30質量部:多分岐ポリアクリレート新中村化学製、NKエコノマーA-PG5027E60質量部の混合溶液に、ポリエチレングリコール600ジアクリレートにトリフルオロメタンスルホン酸リチウムを50質量溶解した溶解溶液10質量部を添加した後、混合溶解して塗布液を調製した。有機層22の形成は、この塗布液を用いて作成した。無機層21の上に有機層22を積層するときは、上記塗布液を無機層21に塗布してUV照射で成膜した後、真空チャンパーに入れて減圧し、真空度が10-3Pa以下の状態で一定時間保持してから無機層21の上に有機層22を成膜した。有機層22の表面抵抗率は、5×1010Ω/sqであった。このガスバリアフィルム27に、外部電圧1000V印加時の静電気シール性試験EIA541Appendixを行った結果、10V以下で、良好な静電気シールド性を示した。得られたガスバリアフィルムを有機ELに使用したのが、図2に示す有機ELである。アクリル系共重合体の合成窒素ガスが還流され、温度調節が容易なように冷却装置を取り付けた反応器ILに、n-ブチルアクリレート80質量部、エチルアクリレート10質量部、ポリエチレングリコール含ホウ素ジメタクリレートリチウムビストリフルオロメタンスルホニルイミド50質量部溶解品10質量部を添加した後、溶媒として、エチルアセテート100質量部を添加した。その後、酸素を除去するために、窒素ガスを一時パージした後、62°Cに保持した。上記混含物を均一にした後に、反応開始剤としてエチルアセテートに50質量の濃度に希釈したアゾビスイソブチロニトリル0.03質量部を投入し、9時間反応させてアクリル系共重合体を製造した。配含およびコーティング過程上記製造したアクリル系共重合体100質量部、架橋剤としてイソシアネート系トリメチロールプロパンのトリレンジイソシアネート付加物0.6質量部、ポリエチレングリコール-2-エチルへキソネート0.1質量都を投入し、適切な温度で希釈し、均一に混合し、ついで、図5Aを参照して、剥離紙23にコーティングして乾燥した後、厚さ25μmの均一な粘着層24を形成させた。図5Bを参照して、この粘着層24をポリエチレンの保穫フィルム25に粘着加工し、その後、図5Cを参照して、剥離紙23を除去し粘着保護フィルム26を作成した。作成した粘着保護フィルム26の剥離帯電圧剥離角度180度、剥離速度10m/min、春日電機社製KSD-0103使用を測定した結果、O.OKVであった。180度ピール粘潜力は、3.2N/25mmであった。この粘着保護フィルム26を用いて、図5Dを参照して、実施例2のガスバリアフィルム27に粘着加工して貼り付けた。この粘着加工したガスバリアフィルムから、図5DとEを参照して、保護フィルム25を剥離し、ガスバリアフィルム10を得た。保護フィルム25を剥離剥離速度10m/minしたとき、ガスバリアフィルム10は変形しなかった。保護フィルム25を剥離した後の、基材フィルム20上に多層の積層構造有機層22,無機層21,有機層22,無機層21,粘着層24を有する、粘着層24付きのガスバリアフィルム10を使って、図2に示すように有機EL素子を封止する。ガスバリアフィルムの設置封止フィルムとして、実施例1と同様な方法で作成したガスバリアフィルムを用いて有機EL素子を封止した。具体的には、有機EL素子の素子面上に、ガスバリアフィルムを、接着剤層面が有機EL素子側に接するように重ね、窒素パージグローブボックス中に設置したバキュームラミネータでラミネートし、100°Cで1時間加熱して、有機EL素子を封止した。保護フィルムを有する実施例3のガスバリアフィルムを使用する場合は、予め、保護フィルムを剥離除去して粘着層面を露出させ、粘着層面が有機EL素子側に接するように重ねた後、上記と同様に封止を行った。[比較例1]案施例2に記載の塗布液の調整において、ポリエチレングリコール600ジアクリレートにトリフルオロメタンスルホン酸リチウムを50質量部の溶解溶液10質量部を添加しないこと以外は、実施例2と同様な方法で、ガスバリアフィルムを製造した。このガスバリアフィルムに、外部電圧1000V印加時の静電気シール性試験EIA541Appendixを行った結果、500V以上であった。[比較例2]実施例3に記載のアクリル系共重合体の合成において、ポリエチレングリコール含ホウ素ジメタクリレートリチウムビストリフルオロメタンスルホニルイミド50質量部溶解品10質量部を添加せず帯電防止性能の付与を行わなかったこと以外は、実施例3と同様な方法で製造した粘着層をポリエチレンの保謹フィルムに粘着加工した。この保護フィルムを用いて、実施例2のガスバリアフィルムに粘着加工した。この粘着加工したガスバリアフィルムから保護フィルム剥離剥離速度10m/minすると、ガスバリアフィルムは変形カールして、有機EL素子の封止が出来なかった。なお、上記実施例では、本発明に係るガスバリアフィルムをフレキシブル有機ELの素子の封止に使用する場合を例示したが、この発明はこれに限られるものでなく、電子ペーパや太陽電池等の素子の封止にも使用することができる。今回開示された実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"