観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、該透過照明機構と前記観察光学系との間に前記観察面に沿う平坦面を形成する保持機構と、を備える検査装置であって、前記保持機構は、前記透過照明機構からの照明光の透過を許しかつ前記平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材と、該透過部材を取り囲んで保持する保持部材と、を有し、該保持部材は、前記平坦面よりも前記観察光学系側へと突出しつつ前記平坦面を取り囲む環状突部と、該環状突部と前記平坦面とにより規定される内方凹所を外部に連通させる吸引孔と、を有し、該吸引孔には、前記内方凹所の空気を吸引する吸引装置が接続されていることを特徴とする検査装置。前記吸引孔は、前記環状突部における前記内方凹所に臨む内周面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。前記保持部材は、前記透過部材の外方であって前記平坦面の他部を形成する環状底面を有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。前記吸引孔は、前記環状底面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする請求項3に記載の検査装置。前記保持機構では、前記平坦面に対する前記環状突部の突出量が、検査対象物が貼付されるテープを前記環状突部の突出端面上に配置した際、前記テープが自重で撓み変形することにより前記平坦面に接することを防止することを可能とするとともに、前記テープが前記吸引装置での空気の吸引で撓み変形することにより前記平坦面の中心位置から所定の領域に渡り前記テープが接することを可能とすべく設定されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検査装置。ここで、観察光学系では、検査対象物を適切に観察するためには、その検査対象物を合焦位置に適切に配置させる必要がある。ところが、上述したように、検査対象物が環状部材に保持されたテープに貼り付けられた状態である場合、検査対象物を含む自重によりテープが撓んでしまうことから、検査対象物を合焦位置に適切に配置することが困難である。このため、透過照明の透過を許す材料から為り、検査対象物が貼り付けられたテープの略全体を載せることのできる大きさ寸法の平坦な載置面を形成する透過部材を用いるとともに、その載置面にテープを吸引により吸着させることが考えられる。しかしながら、透過部材では、透過照明の透過を許す材料で形成する必要があることから、載置面全体に吸引のための構成を設けることは困難である。このため、環状部材の近傍位置から載置面とテープとの間を吸引することが考えられるが、載置面とテープとの間に空気溜りが生じてしまうので、テープを載置面に沿わせることができず、検査対象物を合焦位置に適切に配置することが困難である。本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることのできる検査装置を提供することにある。請求項1に記載の発明は、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、該透過照明機構と前記観察光学系との間に前記観察面に沿う平坦面を形成する保持機構と、を備える検査装置であって、前記保持機構は、前記透過照明機構からの照明光の透過を許しかつ前記平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材と、該透過部材を取り囲んで保持する保持部材と、を有し、該保持部材は、前記平坦面よりも前記観察光学系側へと突出しつつ前記平坦面を取り囲む環状突部と、該環状突部と前記平坦面とにより規定される内方凹所を外部に連通させる吸引孔と、を有し、該吸引孔には、前記内方凹所の空気を吸引する吸引装置が接続されていることを特徴とする。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の検査装置であって、前記吸引孔は、前記環状突部における前記内方凹所に臨む内周面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする。請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の検査装置であって、前記保持部材は、前記透過部材の外方であって前記平坦面の他部を形成する環状底面を有していることを特徴とする。請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の検査装置であって、前記吸引孔は、前記環状底面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする。請求項5に記載の発明は、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検査装置であって、前記保持機構では、前記平坦面に対する前記環状突部の突出量が、検査対象物が貼付されるテープを前記環状突部の突出端面上に配置した際、前記テープが自重で撓み変形することにより前記平坦面に接することを防止することを可能とするとともに、前記テープが前記吸引装置での空気の吸引で撓み変形することにより前記平坦面の中心位置から所定の領域に渡り前記テープが接することを可能とすべく設定されていることを特徴とする。本発明の検査装置によれば、テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることができる。上記した構成に加えて、前記吸引孔は、前記環状突部における前記内方凹所に臨む内周面を開口して前記内方凹所に通じていることとすると、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープが平坦面に吸着されていっても、そのテープにより吸引孔の内方凹所に通じる箇所開口が塞がれることを防止することができるので、テープにおけるより広い領域を平坦面に吸着させることができる。上記した構成に加えて、前記保持部材は、前記透過部材の外方であって前記平坦面の他部を形成する環状底面を有していることとすると、平坦面のうち透過部材により形成される箇所の全領域に渡ってテープを吸着させることができる。上記した構成に加えて、前記吸引孔は、前記環状底面を開口して前記内方凹所に通じていることとすると、内方凹所の空気を吸引する吸引孔の形成を容易なものとすることができる。上記した構成に加えて、前記保持機構では、前記平坦面に対する前記環状突部の突出量が、検査対象物が貼付されるテープを前記環状突部の突出端面上に配置した際、前記テープが自重で撓み変形することにより前記平坦面に接することを防止することを可能とするとともに、前記テープが前記吸引装置での空気の吸引で撓み変形することにより前記平坦面の中心位置から所定の領域に渡り前記テープが接することを可能とすべく設定されていることとすると、環状凸部の内方の内方凹所とテープとにより規定された空間の圧力の低下による押圧力を利用して、テープの中央位置から放射方向の外側に向けてテープと透過部材が形成する平坦面との間の空気を押し出しつつテープを平坦面に吸着することをより確実なものとすることができる。以下に、本願発明に係る検査装置の一例について図面を参照しつつ説明する。先ず、本願発明に係る一実施例の検査装置10の概略的な構成について説明する。図1は、本願発明に係る検査装置の一例としての検査装置10の構成を模式的に示す説明図である。図2は、検査装置10の機能構成を示すブロック図である。なお、図6では、理解容易のために、検査対象ワーク40におけるウェハ41およびテープ42を省略して示している。検査装置10は、図1および図2に示すように、観察機構11と、反射照明機構12と、保持機構13と、透過照明機構14と、制御機構15と、から大略構成されている。この検査装置10は、図1に示すように、本体部21を有する。この本体部21には、図示は略すが、リレーレンズやレボルバー式のターレット部が設けられており、そのターレット部には複数個の対物レンズ鏡筒22図1では1個のみ図示が設けられている。この各対物レンズ鏡筒22には、対物レンズ23が設けられている。この本体部21の上部に、撮像カメラ24が取り付けられている。この撮像カメラ24は、設定された対物レンズ23により定まる倍率にしたがって、当該対物レンズ23および本体部21リレーレンズを経て、その光軸観察光軸Oa上の所定の位置の画像データを取得することができる。このため、撮像カメラ24、本体部21、各対物レンズ鏡筒22およびその対物レンズ23は、観察機構11における観察光学系として機能し、その光軸が観察光軸Oaとなる。この観察機構11観察光学系は、観察光軸Oaが鉛直方向と一致されて配置されている。また、観察光軸Oa上における撮像カメラ24が適切な画像を取得可能な位置すなわち観察光学系における焦点位置を含み当該観察光軸Oaに直交する平面物体側の結像面が観察面Fpとなる。以下では、観察光軸Oaの方向をZ軸方向とし、そこに直交する面をX-Y平面とする。この撮像カメラ24により取得された画像データは、後述する画像制御部61により、適宜解析されるとともにモニタ39に表示可能とされている図2参照。その本体部21の内部には、観察光軸Oa上に反射部材25が設けられている。この反射部材25は、ハーフミラーまたはプリズムで構成することができる。本体部21では、反射部材25による観察光軸Oaからの反射方向に、コネクタ部26を介して導光ファイバ27が取り付けられている。この導光ファイバ27は、同軸用光源28から出射された照射光を反射部材25へと導光することが可能とされている。その同軸用光源28は、図2に示すように、ハロゲンランプ28aとストロボ28bとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ27へと出射させることが可能とされている。この同軸用光源28から出射された照射光は、図1に示すように、導光ファイバ27および反射部材25を経て観察光軸Oa上を進行し、各対物レンズ鏡筒22の対物レンズ23を経て観察光軸Oa上で観察面Fpを照明することができる。このため、同軸用光源28、導光ファイバ27および反射部材25は、各対物レンズ鏡筒22の対物レンズ23との協働により、観察光学系に対して、後述する検査対象物44からの同軸方向での反射光を生成するための反射照明機構12、すなわち同軸落射照明機構29として機能する。この本体部21は、後述するZ軸駆動機構67図2参照により、観察光軸Oa方向Z軸方向に移動可能とされている。このため、観察機構11における観察光学系と、同軸落射照明機構29とは、一体的に観察光軸Oa方向Z軸方向に移動可能とされている。また、本体部21には、図1に示すように、対物レンズ鏡筒22の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤30が設けられている。この照明光導出用リング盤30は、図示は略すが観察光軸Oaと所定の間隔を置いて当該観察光軸Oaを取り囲むように複数の発光部が設けられており、各発光部は観察光軸Oaに対して傾斜する方向から観察面Fpへ向けて照射可能とされている。照明光導出用リング盤30には、導光ファイバ31が取り付けられている。この導光ファイバ31は、リング用光源32から出射された照射光を照明光導出用リング盤30の各発光部図示せずへと導光することが可能とされている。そのリング用光源32は、図2に示すように、ハロゲンランプ32aとストロボ32bとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ31へと出射させることが可能とされている。このリング用光源32から出射された照射光は、図1に示すように、導光ファイバ31を経て、照明光導出用リング盤30の各発光部図示せずから観察光軸Oaに対して傾斜する方向で観察面Fpを照明することができる。このため、リング用光源32、導光ファイバ31および照明光導出用リング盤30その各発光部は、観察光学系に対して、後述する検査対象物44からの観察光軸Oaに傾斜する方向での反射光を生成するための反射照明機構12、すなわち斜光照明機構33として機能する。この照明光導出用リング盤30は、後述するZ軸駆動機構67図2参照により、観察光軸Oa方向Z軸方向に移動可能とされている。この観察光軸Oa方向への移動は、本体部21と一体的なものであってもよく、互いに独立するものであってもよい。この本体部21および照明光導出用リング盤30の下方に、保持機構13が設けられている。この保持機構13は、保持ステージ34と透過ステージ35と吸引装置36とを備える。この保持ステージ34は、図3および図4に示すように、全体に円筒形状を呈し、外観形状が、上側観察機構11側となる一端側が相対的に径寸法観察光軸Oa方向に直交する方向径方向で見た観察光軸Oaを基準とする外径寸法の小さい段付きの形状とされている。この保持ステージ34では、径寸法の大きい拡径部に複数の固定部材34aが設けられている。この各固定部材34aは、図示を略す基台に保持ステージ34を固定するものである。保持ステージ34では、透過ステージ35の保持のために、中心位置を観察光軸Oa方向に沿って貫通する貫通孔34bが設けられている。この貫通孔34bは、図4に示すように、上側観察機構11側が透過ステージ35よりも大きな内径寸法の大内径部34cとされており、その下側が大内径部34cよりも小さな内径寸法であって透過ステージ35に適合する内径寸法の中内径部34dとされており、その下側が中内径部34d透過ステージ35よりも小さな内径寸法の小内径部34eとされている。貫通孔34bでは、大内径部34cと中内径部34dとの内径寸法の差異により、観察光軸Oaを取り巻く環状底面34fが形成され、中内径部34dと小内径部34eとの内径寸法の差異により、観察光軸Oaを取り巻く環状係合面34gが形成されている。この環状底面34fおよび環状係合面34gは、観察光軸Oaに直交する面に沿って存在している。このため、保持ステージ34では、環状底面34fを基準とすると、大内径部34cを規定する壁部により、環状底面34fよりも観察機構11側に突出しつつ環状底面34fを取り囲む環状凸部34hが形成されていることとなる。この環状凸部34hの突出端、すなわち保持ステージ34において照明光導出用リング盤30に最も近接する位置で対向される箇所には、観察光軸Oaに直交する突出端面34iが設けられている。保持ステージ34では、環状底面34fと突出端面34iとの観察光軸Oa方向で見た設定位置の差分環状凸部34hの高さ寸法が、後述するように検査対象ワーク40そのテープ42の特性を考慮して適宜設定され、本実施例では2.5mmとされている。この保持ステージ34では、環状係合面34g後述する内方凹所34lに封止部材37が設けられる。この封止部材37は、環状のシール部材である。保持ステージ34では、吸引孔38が設けられている。この吸引孔38は、保持ステージ34に孔加工が施されて形成されており、本実施例では、観察光軸Oaに直交する面に沿う方向で見て、観察光軸Oaを中心とする直交方向上の4箇所図3および図4にはそれぞれ2箇所を図示に設けられている。この各吸引孔38は、周面孔部38aと底面孔部38bと合流孔部38cとを有する。その周面孔部38aは、一端が大内径部34cの内周面34jを開口し、他端が合流孔部38cに連通している。底面孔部38bは、一端が環状底面34fを開口し、他端が合流孔部38cに連通している。合流孔部38cは、周面孔部38aと底面孔部38bとを合流させた後、保持ステージ34における下端面34kを開口している。このため、各吸引孔38は、大内径部34c環状凸部34hの内方の空間後述する内方凹所34lを、保持ステージ34の内部を通じて当該保持ステージ34の外部へと連通させている。この保持ステージ34は、図1に示すように、後述するXY駆動機構65図2参照により、観察光軸Oa観察光学系に対して、そこに直交するX-Y平面上で移動可能とされている。また、保持ステージ34は、後述する回転駆動機構66図2参照により、Z軸回りに回転可能とされている。この保持ステージ34では、その内方に透過ステージ35が設けられる。透過ステージ35は、図1、図3、図4、図6および図7に示すように、円板形状を呈し、上側観察光学系側の上端面35aが平坦面とされており、下側透過照明機構14側の下端面35bが散乱面とされている。この上端面35aは、本実施例では、研磨された平坦面とされており、下端面35bは、後述するような散乱効果を得る観点から拡散率等を適宜考慮して設定される。この透過ステージ35は、少なくとも透過照明機構14その出射部53から出射された透過光の透過を許す透明な部材透過部材で形成されており、本実施例では、ガラスで形成されている。透過ステージ35は、保持ステージ34の大内径部34c側観察機構11側の開口から貫通孔34bへと挿入されて、中内径部34dに嵌め込まれつつ周縁部の下端が環状係合面34gに押し当てられることにより、貫通孔34b内に収容される。このとき、封止部材37は、透過ステージ35の下端面35bと環状係合面34gその凹所とで適切に圧縮されることにより、その下端面35bと環状係合面34gその凹所との間、すなわち透過ステージ35と保持ステージ34との間での空気の出入りを防止する。このため、保持ステージ34では、透過ステージ35の周囲における十分な封止性能を有している。このとき、透過ステージ35の上端面35aは、環状底面34fと同一の平坦面を形成している。このため、保持機構13では、透過ステージ35の上端面35aと保持ステージ34の環状底面34fとにより、観察光学系の観察光軸Oaに直交する観察面Fpに平行な平坦面が規定される。また、保持機構13では、大内径部34cの内方の空間に、当該平坦面と保持ステージ34の環状凸部34hとにより、後述するようにテープ42が載置される載置面としての保持ステージ34の環状凸部34hの突出端面34iの内方を凹ませる内方凹所34lが規定される。透過ステージ35では、厚さ寸法すなわち上端面35aと下端面35bとの間隔貫通孔34bの中内径部34dの長さ寸法が、透過ステージ35における光学的な特性および硬度特性を勘案しつつ、全体に均等なものとされるとともに、以下の3点を考慮して設定されている。1点目は、透過照明機構14から出射されて下端面35bへと入射し上端面35aから出射した透過光において、所定の光量を確保することができることである。これは、透過ステージ35では、観察光学系を経て撮像カメラ24で取得した画像で見て、後述する検査対象物44が適切に照明されている必要があることによる。この点は、主に透過ステージ35の厚さ寸法の上限値に影響する。2点目は、周縁部の下端が下方から支持されていることに起因して、中央位置において、落ち込むような撓み変形の変形量が所定の範囲以内であることである。これは、透過ステージ35では、後述するように、上端面35aが、後述する検査対象物44を観察光学系における適切な位置である観察面Fp上に存在配置させる機能を有していることから、上端面35aを全面に渡って観察面Fpに沿うものとする必要があることによる。このため、上述した変形量における所定の範囲とは、最大で観察光学系における被写界深度となる。この点は、主に透過ステージ35の厚さ寸法の下限値に影響する。3点目は、散乱面とされた下端面35bによる散乱効果が、上端面35aから出射される透過光において十分に得られていることである。この散乱効果とは、観察光学系を経て観察面Fp上を取得することにより得た撮像カメラ24からの画像データにおいて、観察面Fp上で透過照明機構14からの透過光が照射された後述するテープ42が一様に明るい状態となることを言う。これは、後述するテープ42では、透過照明が照射された状態を観察光学系撮像カメラ24からの画像データで観察すると、何らの部材が貼り付けられていない状態であっても、一様に明るい状態ではなく線状や点状の部分的に暗い箇所が存在してしまうことによる。この暗い箇所は、テープ42に塵埃等が付着していたり接着剤の斑が存在したりすることに起因するものと考えられる。検査装置10では、上述した散乱効果を十分に得ることにより、テープ42に影の部分が生じることを防止することができるので、画像データ上におけるノイズ成分を除去することができる。この保持機構13では、図1に示すように、保持ステージ34の各吸引孔38に吸引装置36が接続されている。この吸引装置36は、各吸引孔38の合流孔部38cにおいて、保持ステージ34における下端面34kを開口する箇所に接続されている。吸引装置36は、後述する保持制御部64図2参照の制御下で、各吸引孔38から空気を吸引する真空引きすることが可能とされている。このため、保持機構13では、吸引装置36による吸引により、各吸引孔38を経て、内方凹所34l大内径部34c環状凸部34hの内方の空間を真空引きすることができる。この各吸引孔38と吸引装置36とは、内方凹所34lの空気を吸引可能な吸引機構として機能する。このため、保持機構13では、保持ステージ34が透過ステージ35を封止して保持した状態において、その環状凸部34hの突出端面34i上に載置した検査対象ワーク40を吸着保持することができる図10等参照。この吸着保持およびその作用については、後に詳細に説明する。検査対象ワーク40は、図5に示すように、ウェハ41ガラス基板等も含むものとするが貼り付けられたテープフィルム42を、環状部材43の内方で保持して構成されている。この検査対象ワーク40では、aに示すように、ウェハ41から形成される複数の半導体素子44が、テープ42に貼り付けられたまま各境界面で切断ダイシングされた状態であるものと、bに示すように、テープ42に貼り付けられて切断された後にテープ42が引き伸ばされて各個に分断エキスパンドされた状態であるものとがある。ここで、環状部材43は、本実施例では、状態の差異検査対象ワーク40の種類に拘らず、保持ステージ34の環状凸部34h図3参照よりも大きな径寸法とされて、その突出端面34iの外側と一部が重複可能な径寸法とされている。検査装置10では、それらのいずれの状態であっても、各半導体素子44が適切に形成されているか否かを検査するために用いられる。このため、各半導体素子44を検査対象物として、検査対象ワーク40の状態を維持したまま当該検査対象物の検査を行うことができる。この検査対象ワーク40は、上述したように、保持機構13により吸着保持される。このとき、検査対象ワーク40では、後述するように、テープ42が透過ステージ35の上端面35aに張り付くように平坦化されて、観察面Fp上に配置される図10等参照。この透過ステージ35は、後述するように、上端面35aに張り付くように平坦化されるテープ42に貼り付けられた検査対象物各半導体素子44を、観察面Fp上の位置に存在させることを可能とすべく、保持ステージ34とともに観察光軸Oaに関して位置調整が為されて設けられている。その透過ステージ35保持ステージ34の下方に透過照明機構14が設けられている図1参照。透過照明機構14は、図1に示すように、保持ステージ34により吸着保持された検査対象物検査対象ワーク40の各半導体素子44に対して、観察光学系観察機構11とは反対側から透過光を照射するものである。この透過照明機構14は、後述する導光部52を経て透過用光源51から出射された透過光を後述する出射部53へと導光することが可能とされている。その透過用光源51は、図2に示すように、ハロゲンランプ51aとストロボ51bとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光部52へと出射させることが可能とされている。透過照明機構14は、上述した透過用光源51図2参照に加えて、図6および図7に示すように、導光部52と出射部53と支持部54とを有する。導光部52は、図示は略すが一端側に設けられた入射面が透過用光源51図2参照のハロゲンランプ51aおよびストロボ51bから発光された光透過光を入射可能とすべくそれぞれに対向されて設けられており、当該入射面から入射された透過用光源51図2参照からの透過光を他端側に設けられた出射面52a図7参照へと導く。この導光部52は、本実施例では、光ファイバで形成されている。導光部52の出射面52aに出射部53が接続されている図7参照。その出射部53は、筒状の筐体53aに少なくとも1つ以上の光学素子53bが収容されて構成されている。この光学素子53bは、導光部52の出射面52aに対向する入射面53cと、そこから入射された透過光を出射する出射面53dと、を構成している。光学素子53bは、入射面53cから入射された透過光を所望の状態として出射面53dから出射すべく、所定の光学的特性を有するものとされている。この光学素子53bの中心軸位置となる回転対称軸を、透過照明機構14透過照明系の透過光軸Pa図1参照とする。この透過照明機構14では、導光部52から出射部53へと透過光が入射されると、出射部53から透過光軸Paに沿う透過光を出射する。光学素子53bにおける所定の光学的特性とは、進行方向となる透過光軸Paに直交する断面で見た光量分布が均一化されていることと、照射領域の拡がり拡散が抑制されていることと、を言う。この光学素子53bは、上述した所定の光学的特性インテグレータ機能および拡散防止集光機能を有する光学素子で構成されており、本実施例では、光学素子53bは、ロッドインテグレータ光学部材で構成されている。また、本実施例では、筐体53aにおいて光学素子53bの入射面53cよりも下方の下端部53eが筒状とされており、導光部52の他端部出射面52aが設けられている側の端部を内方に嵌入可能とされている。このため、出射部53と導光部52とは、導光部52の他端部を出射部53の下端部53eに嵌入することにより、導光部52の出射面52aと出射部53の入射面53cとが突き合わされて連結接続される。この状態において、導光部52と出射部53とが、支持部54により固定的に支持されている。このため、透過照明機構14では、透過用光源51から出射した透過光を、導光部52を経て出射部53へと進行させ、均一な光量分布の略平行光として出射部53から透過光軸Pa図1参照方向へ向けて出射させて、透過ステージ35の下端面35bを照射することができる。この透過光は、散乱面とされた下端面35bにより、散乱光とされて観察面Fpを裏面側から照射する。この透過光は、少なくとも保持機構13に吸着保持された検査対象ワーク40のテープ42を透過して、観察光学系撮像カメラ24により観察可能とされている図1参照。このため、透過照明機構14透過用光源51、導光部52および出射部53は、散乱面とされた透過ステージ35の下端面35bと協働として、観察光学系とは反対側から観察面Fp検査対象物半導体素子44を照射する適切に散乱された透過光を生成する。本実施例では、透過光軸PaがZ軸方向に平行に設定されており、透過光軸Paと観察光軸Oaとが一致するように、観察光学系に対する透過照明機構14の位置が設定されている。また、透過照明機構14は、ロッドインテグレータ光学部材で構成された光学素子53bにより、観察面Fp上で見た透過光の照射領域で、観察光学系撮像カメラ24により観察可能な観察領域を充足することを可能とするように設定されている。この検査装置10では、上述したように構成された観察機構11、反射照明機構12、保持機構13および透過照明機構14が、制御機構15図2参照の制御下で統括的に制御される。この制御機構15は、図2に示すように、画像制御部61と、照明制御部62と、駆動制御部63と、保持制御部64と、を有している。画像制御部61は、撮像カメラ24により取得された画像データを適宜解析する。この解析とは、テープ42に貼り付けられた複数の検査対象物半導体素子44の輪郭線を認識することや、観察点におけるフォーカス状態を判断することや、各検査対象物における欠陥を認識することや、各検査対象物に設けられた電極や配線等の不備を認識することや、ウェハ41からの各検査対象物半導体素子44の切り出し不良を認識すること等があげられる。また、画像制御部61は、撮像カメラ24により取得された画像データに基づく映像をモニタ39に表示させる。照明制御部62は、同軸用光源28とリング用光源32と透過用光源51とを適宜点消灯制御を行う。すなわち、照明制御部62は、同軸用光源28、リング用光源32および透過用光源51において、ハロゲンランプ28a、32a、51aもしくはストロボ28b、32b、51bを選択的に適宜点消灯させるとともに、同軸用光源28、リング用光源32および透過用光源51を、同時にまたは個別に点灯および消灯させる。このハロゲンランプ28a、32a、51aは、観察用照明として用いるものであり、ストロボ28b、32b、51bは検査用照明として用いるものである。また、照明制御部62は、各光源28、32、51において、検査用照明としてのストロボ28b、32b、51bの明るさ調整が可能とされている。この明るさ調整は、例えば、複数のNDフィルタのいずれかを適宜選択することで、実現することができる。駆動制御部63は、XY駆動機構65、回転駆動機構66およびZ軸駆動機構67を適宜駆動制御する。すなわち、駆動制御部63は、Z軸駆動機構67を駆動制御することにより、観察機構11における観察光学系および同軸落射照明機構29を観察光軸Oa方向Z軸方向に適宜移動させることができるとともに、斜光照明機構33を観察光軸Oa方向Z軸方向に適宜移動させることができる。これにより、保持機構13に吸着保持された検査対象ワーク40の検査対象物各半導体素子44を、適切な照明の下で、適切に観察することを可能とする。また、駆動制御部63は、XY駆動機構65および回転駆動機構66を駆動制御することにより、保持ステージ34すなわちそこに吸着保持された検査対象ワーク40を、観察光軸Oa観察光学系および透過光軸Pa透過照明機構14に対して、そこに直交するX-Y平面上で適宜移動させることができるとともに、観察光軸Oa透過光軸PaZ軸方向回りに適宜回転させることができる。これにより、保持ステージ34に吸着保持された検査対象ワーク40における任意の位置の検査対象物半導体素子44を検査することが可能となる。保持制御部64は、吸引装置36を適宜駆動制御する。すなわち、保持制御部64は、吸引装置36を適宜駆動制御することにより、保持機構13が検査対象ワーク40を吸着保持することと、それを解除することと、を切り替えることができる。制御機構15では、この他にも、検査のための画像データの比較等が可能とされている。この制御機構15の制御下で統括的に制御される検査装置10では、次のように検査対象ワーク40のテープ42に貼り付けられたすべての検査対象物半導体素子44の検査を行う。検査装置10では、先ず、保持制御部64により吸引装置36を駆動させることにより、保持機構13で検査対象ワーク40を吸着保持して、チップスキャンを行う。このチップスキャンでは、保持機構13における透過ステージ35の上端面35aすなわち検査対象ワーク40テープ42において上端面35aに吸着された箇所を全面に渡って走査するように、駆動制御部63により、観察光軸Oaに直交する面X-Y平面に沿って保持ステージ34を移動させる。この走査では、透過照明機構14からの透過光を照射しつつ撮像カメラ24による画像の取得を行う。次に、チップマップの作成を行う。このチップマップとは、検査対象ワーク40テープ42における各検査対象物半導体素子44の位置、および姿勢を示すものである。制御機構15では、チップスキャンにより、輪郭線を認識することでテープ42に貼り付けられた複数の検査対象物半導体素子44を判別するとともに、駆動制御部63による移動位置情報を加味することで、各検査対象物半導体素子44の位置および姿勢を取得する。次に、検査対象物半導体素子44の判定を行う。この判定では、作成したチップマップに基づいて、観察光学系による観察位置を決定し、その決定に応じて駆動制御部63により保持ステージ34を移動させる。その後、その観察位置にある検査対象物半導体素子44を、その検査対象物の良品のデータと比較し、当該検査対象物半導体素子44の良否の判断を行う。この良否の判断は、撮像カメラ24からの画像データを画像制御部61で解析することにより行う。この検査対象物半導体素子44の判定を、作成したチップマップに基づいて、検査対象ワーク40テープ42上のすべての検査対象物半導体素子44に対して順次行うことにより、当該検査対象ワーク40に対する検査が終了する。なお、この検査は、画像制御部61の制御下でモニタ39に表示された、撮像カメラ24により取得された画像データに基づく映像を目視することにより、行うこともできる。技術の課題次に、従来の検査装置における技術の課題について、図8を用いて説明する。この図8は、比較のための他の構成の検査装置90における保持機構91を示す図4と同様の説明図である。この検査装置90は、保持機構91の構成を除くと他の構成は検査装置10と同様であることから図示を略しており、その図示を略す他の構成に関しては検査装置10と同様の名称および符号を用いて説明する。なお、図8では、理解容易のために、空気溜りApを強調して示しているが、実際に形成される空気溜りApと必ずしも一致するものではない。検査装置10と同様の検査装置では、観察光学系観察機構11で検査対象物を適切に観察するためには、その検査対象物を合焦位置に適切に配置させる必要がある。ここで、上述したようなテープ42に貼り付けられた各半導体素子44を検査対象物として、検査対象ワーク40の状態を維持したまま当該検査対象物の検査を行う場合、その検査対象物を含む自重によりテープが撓んでしまうことから、観察光学系観察機構11の合焦位置となる観察面Fpに沿う状態としつつその観察面Fp上に存在させることが困難であるので、その観察面Fp上に検査対象物を適切に配置することが困難である。このため、検査対象ワーク40のテープ42を平坦な状態で保持するために、図示は略すが平坦な載置面を有する載置台を用いるとともに、その載置面に複数の吸着孔を設けることにより、テープ42を載置面に吸着させて保持する構成とすることが考えられる。ところが、載置台では、少なくとも透過照明機構14から出射された透過光の透過を許す透明な部材透過部材で形成し、その透過照明機構14からの透過光による検査対象物各半導体素子44の照射を可能とする必要がある。このため、載置台の載置面に複数の吸着孔を設ける構成とすることは困難である。このことから、検査装置90では、図8に示すように、保持機構91を用いることが考えられる。この保持機構91は、少なくとも透過照明機構14から出射された透過光の透過を許す透明な部材透過部材で形成された透過ステージ92を、全体に円筒形状を呈する保持ステージ93で保持する構成とされている。その透過ステージ92は、上側観察機構11側となる上端面92aが平坦とされており、載置面を構成している。保持ステージ93は、上側観察機構11側となる上端面93aが透過ステージ92の上端面92aと同一の平面を形成している。その保持ステージ93には、複数の吸引孔94図8では2つのみを図示しているが設けられている。各吸引孔94は、一端が上端面93aを開口するとともに、他端が保持ステージ93の下端面93bを開口している。この各吸引孔94の他端には、空気を吸引する真空引きすることのできる吸引装置95が接続されている。この保持機構91では、検査対象ワーク40のテープ42を、透過ステージ92の上端面92aおよび保持ステージ93の上端面93aに載置させた状態で、吸引装置95により各吸引孔94の空気を吸引する真空引きすることにより、テープ42を上端面92aおよび上端面93aに吸着させて保持することができる。ところが、このような構成の保持機構91では、透過ステージ92の上端面92a上において、テープ42を平坦な状態とする、すなわちテープ42を上端面92aに満遍なく沿わせつつ張り付かせることが困難である。これは、保持ステージ93の各吸引孔94から吸引すると、テープ42と透過ステージ92の上端面92aとの間には、複数の空気溜りApが生じてしまうことによる。この各空気溜りApは、各吸引孔94に近い箇所から、テープ42が上端面92aに吸着することに起因して生じるものと考えられる。このため、保持機構91を用いる検査装置90では、各空気溜りApによりテープ42を平坦な状態とすることができないので、観察光学系観察機構11の合焦位置となる観察面Fp上に検査対象物各半導体素子44を適切に配置することが困難であり、正確な検査を行うことができなくなってしまう。保持機構13における作用次に、検査装置10の保持機構13における作用について、図9および図10を用いて説明する。この図9は、保持機構13による検査対象ワーク40の吸着保持の過程を示す図4と同様の説明図であり、aは保持機構13に検査対象ワーク40を載置した様子を示し、bは吸引が開始された後の様子を示し、cはbの後に吸引が継続された様子を示す。図10は、保持機構13において、載置された検査対象ワーク40を吸着保持した様子を示す図4と同様の説明図である。なお、図9および図10では、理解容易のために、検査対象ワーク40におけるテープ42の撓み状態を強調して示しているが、実際のテープ42の撓み状態と必ずしも一致するものではない。検査装置10の保持機構13では、図9aに示すように、各半導体素子44を検査対象物として検査対象ワーク40の状態を維持したまま、保持ステージ34の突出端面34i上に検査対象ワーク40の環状部材43の一部とともに内方位置のテープ42を載置する。すると、検査対象ワーク40では、テープ42の周縁部が下方から支持されていることに起因して、テープ42上に大きな偏りなく貼り付けられた各半導体素子44検査対象物の重さを含む自重により、中央位置が落ち込むように撓み変形する。ここで、保持機構13では、内方凹所34lが形成されている、すなわち透過ステージ35の上端面35aおよび保持ステージ34の環状底面34fが、保持ステージ34の突出端面34iに対して、観察光軸Oa方向鉛直方向の下方側に同一の平坦面を形成していることから、テープ42における中央位置が落ち込むように撓み変形することを可能としている。この内方凹所34lは、保持機構13において載置面としての保持ステージ34の突出端面34iに載置された検査対象ワーク40のテープ42の中央位置が落ち込むように撓み変形することを許容する機能を有する。その後、保持機構13では、保持制御部64図2参照の制御下で、吸引装置36を駆動させて各吸引孔38から空気を吸引する真空引きする。このとき、保持機構13では、保持ステージ34が透過ステージ35を封止して保持するとともに、平坦とされた保持ステージ34の突出端面34iにテープ42が載置されていることにより、内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間の気密性が確保されている。このため、内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間、すなわち透過ステージ35の上端面35a、保持ステージ34の環状底面34f、保持ステージ34の環状凸部34hおよび保持ステージ34の突出端面34iに載置されたテープ42により規定された空間の圧力が低下する。すると、テープ42は、当該空間とその周辺雰囲気との圧力の差により、中央近傍から透過ステージ35の上端面35aに張り付き図9b参照、そのテープ42の上端面35aに張り付く領域が放射状に広がっていく図9c参照。これは、次のことが考えられる。当該空間とその周辺雰囲気との間で圧力差が生じると、当該空間を規定する部材には外方から内方へ向けた押圧力が作用する。すると、当該空間を規定する部材のうち、最も柔軟なテープ42が変形する。ここで、テープ42は、周辺雰囲気から当該空間に向けて同一の力が全体に均等に作用すると、環状部材43により周辺が全周に渡って保持されていることから、中央部分が最も大きく変位して、透過ステージ35の上端面35aに到達する。その後、さらに当該空間の圧力が低下することにより、テープ42における上端面35aに到達した箇所の周辺が上端面35aに到達する。このため、テープ42では、中央近傍から放射方向へと環状部材43突出端面34iへ向かう順に、透過ステージ35の上端面35aに張り付く図9bからc参照。すると、保持機構13では、図10に示すように、透過ステージ35の上端面35aから、そこと同一の平坦面を形成する保持ステージ34の環状底面34fに渡って、テープ42が張り付くこととなる。このとき、テープ42では、中央近傍から放射方向へと環状部材43突出端面34iへ向かう順に上端面35aおよび環状底面34fに張り付くことから、上端面35aおよび環状底面34fとの間の空気を放射方向外側すなわち各吸引孔38側へと押し出すことができるので、上端面35aおよび環状底面34fとの間に空気溜りが形成されることを防止することができる図9bからc参照。このため、保持機構13では、内方凹所34lとテープ42とにより規定される空間の空気を吸引することにより、テープ42を透過ステージ35の上端面35aおよび保持ステージ34の環状底面34fに張り付くように平坦化させて保持吸着保持することができ、このテープ42に貼り付けられた各半導体素子44検査対象物を観察面Fp上に適切に配置することができる。この内方凹所34lの観察光軸Oa方向で見た段差、すなわち保持ステージ34の突出端面34iと、透過ステージ35の上端面35a保持ステージ34の環状底面34fと、の観察光軸Oa方向で見た設定位置の差分は、以下の2点を考慮して設定している。1点目は、対象とする検査対象ワーク40のテープ42を突出端面34iに載置した状態において、自重による撓み変形により、テープ42の中央位置が上端面35aに接することのないものとする、もしくは上端面35aとの間の空気を放射方向外側各吸引孔38側へと押し出すことを可能とする観点から、上端面35aへの接触箇所を少なくする。ここで自重による撓み変形とは、テープ42とそこに貼付された検査対象物本実施例では各半導体素子44との重さに起因して撓み変形することをいう。この点は、主に内方凹所34lの段差当該設定位置の差分の下限値に影響する。2点目は、対象とする検査対象ワーク40のテープ42を突出端面34iに載置した状態において、吸引装置36での空気の吸引による撓み変形により、少なくとも上端面35aの中心位置から所定の領域に渡ってテープ42が平坦化して接する状態とすることを可能とする。このテープ42における中心位置からの所定の領域とは、検査対象物本実施例では各半導体素子44が貼付されている領域をいう。この点は、主に内方凹所34lの段差当該設定位置の差分の上限値に影響する。なお、テープ42における撓み変形の量および状態と、変形可能な量とは、テープ42の材質や、環状部材43によるテープ42の保持位置テープ42の突出端面34iに載置された位置、テープ42に貼付された各半導体素子44の位置および個数等に応じて異なるものであることから、検査対象ワーク40の種類に応じて異なるものとなる。このため、当該設定位置の差分は、対象とする検査対象ワーク40そのテープ42に応じて、適宜設定する必要がある。本実施例では、上述したように、この設定位置の差分を2.5mmとしている。なお、2.5mm以外の差分としても良く、適時設定可能である。このように、本発明に係る検査装置10では、保持機構13において、透過ステージ35を取り囲んで保持する保持ステージ34の環状凸部34hその突出端面34iに検査対象ワーク40のテープ42を載置するとともに、その保持ステージ34に形成した各吸引孔38から吸引装置36で空気を吸引することにより、環状凸部34h大内径部34cの内方の内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間の圧力の低下による押圧力を利用して、テープ42の中央位置から放射方向の外側に向けてテープ42と透過ステージ35の上端面35aとの間の空気を押し出しつつテープ42を上端面35aに吸着することができる。このため、空気溜りが形成されることを防止して、テープ42を上端面35aに張り付くように平坦化させることができるので、テープ42に貼り付けられた検査対象物本実施例では各半導体素子44を観察面Fp上に適切に配置することができ、当該検査対象物を観察光学系により適切に観察することができ、その情報を正確に得ることができる。また、検査装置10では、保持機構13において、透過ステージ35を取り囲んで保持する保持ステージ34の環状凸部34h大内径部34cの内方に内方凹所34lを形成していることから、保持ステージ34の環状凸部34hの突出端面34iに検査対象ワーク40のテープ42を載置して、内方凹所34lの空気を吸引装置36で吸引することにより、テープ42の中央位置が落ち込むように撓み変形することを許容することができるので、中央位置から放射方向の外側に向けてテープ42を上端面35aに吸着させることができる。さらに、検査装置10では、保持機構13において、環状凸部34h大内径部34cの内方に内方凹所34lを形成していることから、透過ステージ35を取り囲んで保持する保持ステージ34の環状凸部34hの突出端面34iに検査対象ワーク40のテープ42を載置した際、自重によりテープ42の中央位置が落ち込むように撓み変形した状態とすることができるので、各吸引孔38からの吸引によるテープ42の中央位置からの上端面35aへの吸着をより確実なものとすることができる。検査装置10では、保持機構13において、透過ステージ35を取り囲んで保持する保持ステージ34に形成した各吸引孔38から内方凹所34lの空気を吸引するものであることから、テープ42の中央位置が上端面35aに吸着されてもその吸着箇所を取り囲む環状の空間の圧力を均一に低下させることができるので、テープ42の中央位置から放射方向の外側に向けた上端面35aへの吸着をより確実なものとすることができる。検査装置10では、保持機構13の各吸引孔38が、透過ステージ35を取り囲んで保持する保持ステージ34に形成されていることから、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープ42が上端面35aに吸着されていっても、当該吸着箇所が保持ステージ34その各吸引孔38が設けられた位置に至るまでは上述した環状の空間の圧力を均一に低下させることができるので、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープ42における保持ステージ34の各吸引孔38が設けられた位置まで偏りなく吸着させることができ、テープ42を透過ステージ35の上端面35aの全領域に渡ってより確実に吸着させることができる。検査装置10では、保持機構13の各吸引孔38が、一端が大内径部34cの内周面34jを開口する周面孔部38aを有するものであることから、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープ42が上端面35aに吸着されていっても、テープ42により周面孔部38aが塞がれることを防止することができるので、テープ42におけるより広い領域を透過ステージ35の上端面35aおよびそこと同一の平坦面を形成する保持ステージ34の環状底面34fに吸着させることができる。これは、テープ42の撓み変形の量には限界があることによる。検査装置10では、保持機構13の各吸引孔38が、一端が大内径部34cの内周面34jを開口する周面孔部38aと、一端が環状底面34fを開口する底面孔部38bと、を有するものであることから、環状凸部34h大内径部34cの内方の内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間の空気を効率よく吸引することができる。検査装置10では、保持機構13の各吸引孔38として、一端が環状底面34fを開口する底面孔部38bが設けられていることから、透過ステージ35を取り囲んで保持する保持ステージ34に内方凹所34lの空気を吸引する各吸引孔38の形成を容易なものとすることができる。検査装置10では、保持機構13の保持ステージ34が、透過ステージ35の上端面35aと同一の平坦面を形成する環状底面34fを有するものとされていることから、透過ステージ35の上端面35aの全領域に渡ってテープ42を吸着させることができ、観察光軸Oa透過光軸Paに直交する方向で見て透過ステージ35の全領域で検査対象物本実施例では各半導体素子44を適切に検査することができる。これは、環状底面34fが設けられていることにより、検査対象ワーク40のテープ42が載置される保持ステージ34の環状凸部34hの突出端面34iと、透過ステージ35の上端面35aの最外位置と、を観察光軸Oaに直交する方向で見て間隔を置くものとすることができるので、撓み変形の量には限界があるテープ42であっても最外位置まで上端面35aに吸着させることが可能となることによる。検査装置10では、保持機構13の保持ステージ34の環状凸部34hの突出端面34iにテープ42を載置することにより、環状凸部34h大内径部34cの内方の内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間の気密性を確保するものであることから、簡易な構成とすることができるとともに検査作業を簡易なものとすることができる。検査装置10では、保持機構13において、保持ステージ34が透過ステージ35を封止して保持するものであることから、簡易な構成で環状凸部34h大内径部34cの内方の内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間の気密性を確保することができる。検査装置10では、上端面35aが設けられた透過ステージ35の下端面35bが散乱面とされていることから、透明のテープ42に貼り付けられた検査対象物本実施例では各半導体素子44を検査する場合、そのテープ42の画像データ上におけるノイズ成分を除去することができるので、より適切な検査を行うことができる。したがって、本発明に係る検査装置10では、テープ42に貼り付けられた検査対象物各半導体素子44を、透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることができる。なお、上記した実施例では、本発明に係る検査装置の一例について説明したが、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、該透過照明機構と前記観察光学系との間に前記観察面に沿う平坦面を形成する保持機構と、を備える検査装置であって、前記保持機構は、前記透過照明機構からの照明光の透過を許しかつ前記平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材と、該透過部材を取り囲んで保持する保持部材と、を有し、該保持部材は、前記平坦面よりも前記観察光学系側へと突出しつつ前記平坦面を取り囲む環状突部と、該環状突部と前記平坦面とにより規定される内方凹所を外部に連通させる吸引孔と、を有し、該吸引孔には、前記内方凹所の空気を吸引する吸引装置が接続されている検査装置であればよく、上記した実施例に限定されるものではない。また、上記した実施例では、各吸引孔38が、周面孔部38aと底面孔部38bとを有する構成とされていたが、吸引装置36により環状凸部34h大内径部34cの内方の内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間の空気を吸引することを可能とすべく保持ステージ34に設けられているものであれば、周面孔部38aのみを有する構成であっても、底面孔部38bのみを有する構成であっても、他の構成であってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。さらに、上記した実施例では、観察光軸Oaを中心とする直交方向上の4箇所に吸引孔38が設けられていたが、内方凹所34lの空気を吸引することにより保持ステージ34の環状凸部34hの突出端面34iに載置したテープ42を、中央位置から放射方向の外側に向けて上端面35aに吸着させることを可能とするものであれば、個数および配置位置は適宜設定すればよく、上記した実施例に限定されるものではない。上記した実施例では、保持機構13の保持ステージ34が、透過ステージ35の上端面35aと同一の平坦面を形成する環状底面34fを有するものとされていたが、透過ステージ35を取り囲んで保持するとともに、その透過ステージ35の平坦面である上端面35aよりも観察光学系側へと突出しつつ当該平坦面上端面35aを取り囲む環状凸部34h大内径部34cを有するものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。上記した実施例では、保持ステージ34の環状凸部34hの突出端面34iに、環状部材43の一部とその内方位置のテープ42を載置していたが、テープ42を利用して環状凸部34h大内径部34cの内方の内方凹所34lとテープ42とにより規定された空間の気密性を確保することを可能とするものであれば、環状部材43全体を突出端面34iに載置するものであってもよく、テープ42のみを突出端面34iに載置するものであってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。上記した実施例では、透過ステージ35の下端面35bと環状係合面34gその凹所との間に環状の封止部材37を設けていたが、透過ステージ35と保持ステージ34との間での空気の出入りを防止することができるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。以上、本発明の検査装置を実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については、この実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。