"基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第1貫通孔及び第2貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔とに挟まれたロボット載置部とを備え、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部を備えるトレイ搬送装置。前記第1貫通孔上にて前記トレイが載置される第1載置部と、前記第2貫通孔上にて前記トレイが載置される第2載置部と、前記第1載置部に供給されるトレイが貯められる第1ストッカーと、前記第2載置部から回収されるトレイが貯められる第2ストッカーとを備え、前記第1ストッカーから前記第1載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、前記第2載置部から前記第2ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部とを更に備える請求項1に記載のトレイ搬送装置。前記第1載置部は、前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第1載置部材を有し、前記一対の第1載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、前記一対の第1載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、前記第1載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第1載置部の前記トレイを前記第2載置部側へ搬送するとき、前記一対の第1載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第1載置部材の間にトレイを通過させる請求項2に記載のトレイ搬送装置。前記供給搬送部は、前記トレイが載置され、前記第1ストッカーから前記第1載置部へ前記トレイを搬送する供給搬送ベルトを有し、前記第1載置部材が、前記供給搬送ベルトに対し当該供給搬送ベルトの搬送方向に並設されて前記トレイを載置する供給載置ベルトを有し、前記供給載置ベルトが、前記供給搬送ベルトと連動する請求項3に記載のトレイ搬送装置。前記第2載置部は、前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第2載置部材を有し、前記一対の第2載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、前記一対の第2載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、前記第2載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第2載置部の前記トレイを前記第1載置部側へ搬送するとき、前記一対の第2載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第2載置部材の間にトレイを通過させる請求項2~4のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。前記回収搬送部が、前記トレイが載置され、前記第2載置部から前記第2ストッカーへ前記トレイを搬送する回収搬送ベルトを有し、前記第2載置部材が、前記回収搬送ベルトに対し当該回収搬送ベルトの搬送方向とは反対方向に並設されてトレイを載置する回収載置ベルトを有し、前記回収載置ベルトが、前記回収搬送ベルトと連動する請求項5に記載のトレイ搬送装置。前記制御部は、前記内部搬送部が前記第1貫通孔から前記第2貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、前記供給搬送部に前記第1ストッカーから前記第1載置部への前記トレイの供給を開始させる請求項3~6のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。前記制御部は、前記内部搬送部が前記第1貫通孔から前記第2貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、前記回収搬送部に前記トレイの回収を開始させる請求項5~7のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。前記制御部は、前記ロボットの駆動の態様を制御し、前記トレイが前記第1載置部又は前記第2載置部に載置されているときに、前記トレイに載置された対象物の外部装置への供給、及び、前記外部装置から前記トレイへの対象物の回収の少なくとも一方を前記ロボットに実行させる請求項3~8のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第1貫通孔及び第2貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔とに挟まれたロボット載置部とが形成され、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備えるトレイ搬送システム。前記水平多関節ロボットが、対象物を保持する保持部を有し、前記保持部と前記対象物との少なくとも一方を撮像する撮像部と、前記水平多関節ロボットの駆動の態様を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記保持部に対する前記対象物の位置を把握する請求項10に記載のトレイ搬送システム。基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第1貫通孔及び第2貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔とに挟まれたロボット載置部と、前記第1貫通孔上にて前記トレイが載置される第1載置部と、前記第2貫通孔上にて前記トレイが載置される第2載置部と、前記第1載置部に供給されるトレイが貯められる第1ストッカーと、前記第2載置部から回収されるトレイが貯められる第2ストッカーとを備え、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、前記第1ストッカーから前記第1載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、前記第2載置部から前記第2ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部と、前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備えるトレイ搬送システム。ところで、上述した水平多関節ロボット105の配置や構造は、トレイに対する部品の供給や回収、及びトレイそのものの搬送を実現するうえで下記の2つの制約を受ける。まず、第1トレイ保持部102に保持されたトレイが第2トレイ保持部103に搬送される場合、搬送面100S上では、第1トレイ保持部102から第2トレイ保持部103に向けてトレイが平行移動する。そのため、第1トレイ保持部102と第2トレイ保持部103との間には、トレイが平行移動するための経路である搬送経路が予め確保される必要がある。そして、搬送面100Sに搭載される水平多関節ロボット105には、通常、搬送面100Sに立設された主軸が備えられるため、1つ目の制約として、搬送面100S上にて搬送経路と主軸とが重ならないように、水平多関節ロボット105は配置される必要がある。次いで、こうした水平多関節ロボット105のエンドエフェクターには、第1トレイ保持部102及び第2トレイ保持部103の各々に到達することが求められる。それゆえに、2つ目の制約として、水平多関節ロボット105の動作範囲105Sには、水平多関節ロボット105の主軸を中心として、少なくとも第1トレイ保持部102及び第2トレイ保持部103の含まれる範囲が必要になる。この際、水平多関節ロボット105の動作範囲105Sとは、通常、主軸を中心とした略環状に定められる。そして、第1トレイ保持部102及び第2トレイ保持部103の含まれる範囲となれば、第1トレイ保持部102と第2トレイ保持部103との中間に主軸が配置される形態にて、水平多関節ロボット105の動作範囲105Sは最小になる。しかしながら、上述したように、水平多関節ロボット105の主軸に対しては、1つ目の制約としてトレイの搬送経路と重ならないことが求められる。そのため、第1トレイ保持部102と第2トレイ保持部103との中間から主軸が離れる分だけ、水平多関節ロボット105の動作範囲105Sを広げること、ひいては水平多関節ロボット105のアーム長を長くすることが余儀なくされている。なお、図11bに示されるように、水平多関節ロボット105の主軸が、搬送経路に対して外部装置110とは反対側に配置されることになれば、水平多関節ロボット105の動作範囲105Sが外部装置110から離れてしまう。そのため、エンドエフェクターが外部装置110に到達する動作範囲106Sとなるように、水平多関節ロボット105のアーム長をさらに長くすることが余儀なくされる。また、こうした問題は、トレイに対する処理を行うロボットが、上述した水平多関節ロボットである場合に限らず、垂直多関節ロボット等の他のロボットである場合であっても、概ね共通するものである。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、トレイを搬送する搬送部を有し、当該トレイに対し処理を行うロボットが搭載されるトレイ搬送装置、及びこのトレイ搬送装置に水平多関節ロボットが搭載されたトレイ搬送システムにて、ロボットのアーム長が長くなることを抑えることの可能なトレイ搬送装置、及びトレイ搬送システムを提供することを目的とする。以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。本発明におけるトレイ搬送装置の一態様は、基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第1貫通孔及び第2貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔とに挟まれたロボット載置部とを備え、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部を備える。本発明におけるトレイ搬送装置の一態様によれば、ロボットを挟む2つの貫通孔の間でトレイを搬送する際に、載置板に対してロボットの載置側とは異なる同載置部の反対側にて、内部搬送部を用いてトレイを搬送することが可能になる。そして、ロボットを挟む2つの貫通孔の間に、これらの間でトレイを搬送するための経路を確保する必要がないため、これら2つの貫通孔の間にロボットを配置することが可能にもなる。その結果、トレイを搬送する内部搬送部と当該トレイに対し処理を行うロボットとが搭載されたトレイ搬送装置にて、ロボットのアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記第1貫通孔上にて前記トレイが載置される第1載置部と、前記第2貫通孔上にて前記トレイが載置される第2載置部と、前記第1載置部に供給されるトレイが貯められる第1ストッカーと、前記第2載置部から回収されるトレイが貯められる第2ストッカーとを備え、前記第1ストッカーから前記第1載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、前記第2載置部から前記第2ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部とを更に備える。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、内部搬送部によって搬送されるトレイが第1載置部及び第2載置部に載置されるため、トレイがこれら載置部に載置されている間には、他のトレイの搬送を内部搬送部で担うことが可能になる。それゆえに、例えば載置部に載置されたトレイに対してロボットが処理を行う間に、内部搬送部によるトレイの搬送を行うことが可能になる。また、内部搬送部によってトレイの搬送が行われる間に、後続するトレイを予め第1載置部や第2載置部に載置することが可能になる。このようにして、内部搬送部における搬送処理の待ち時間を少なくすることができるため、搬送部によるトレイの搬送の効率を高めることが可能ともなる。また、上記態様によれば、第1載置部に載置されるトレイが第1ストッカーに貯められ、且つ第2載置部に載置されたトレイが第2ストッカーに貯められる。そのため、第1載置部に載置されるトレイが供給されないことによって、内部搬送部による搬送が遅れること、及び、第2載置部に載置されたトレイが回収されないことによって、同じく内部搬送部による搬送が遅れることを抑えることが可能にもなる。すなわち、内部搬送部による搬送を円滑に行うことが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記第1載置部は、前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第1載置部材を有し、前記一対の第1載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、前記一対の第1載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、前記第1載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第1載置部の前記トレイを前記第2載置部側へ搬送するとき、前記一対の第1載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第1載置部材の間にトレイを通過させる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、トレイの載置される一対の載置部材でこれらの間隔が変わることにより、一対の載置部材によるトレイの載置と一対の載置部材の間を通じた搬送部へのトレイの供給とが可能になる。一方、載置部が固定されている構成では、こうした載置部を避けるように搬送部がトレイを搬送する必要があるため、トレイの搬送される経路を複雑にすることが余儀なくされる。この点、上述した態様であれば、トレイの供給される経路を避けるように載置部が移動する分、トレイの供給される経路が簡略化されるため、搬送部の構成が複雑になることを抑えることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記供給搬送部は、前記トレイが載置され、前記第1ストッカーから前記第1載置部へ前記トレイを搬送する供給搬送ベルトを有し、前記第1載置部材が、前記供給搬送ベルトに対し当該供給搬送ベルトの搬送方向に並設されて前記トレイを載置する供給載置ベルトを有し、前記供給載置ベルトが、前記供給搬送ベルトと連動する。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、供給搬送ベルトと供給載置ベルトとが連動するため、第1ストッカーから第1載置部へのトレイの供給が円滑になる。そして、こうした供給載置ベルトにトレイが載置されるため、トレイを載置するための第1載置部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記第2載置部は、前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第2載置部材を有し、前記一対の第2載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、前記一対の第2載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、前記第2載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第2載置部の前記トレイを前記第1載置部へ搬送するとき、前記一対の第2載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第2載置部材の間にトレイを通過させる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、トレイの載置される一対の載置部材でこれらの間隔が変わることにより、一対の載置部材によるトレイの載置と一対の載置部材の間を通じた内部搬送部からのトレイの回収とが可能になる。一方、載置部が固定されている構成では、こうした載置部を避けるように内部搬送部がトレイを搬送する必要があるため、トレイの搬送される経路を複雑にすることが余儀なくされる。この点、上述した態様であれば、トレイの回収される経路を避けるように載置部が移動する分、トレイの回収される経路が簡略化されるため、内部搬送部の構成が複雑になることを抑えることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記回収搬送部が、前記トレイが載置され、前記第2載置部から前記第2ストッカーへ前記トレイを搬送する回収搬送ベルトを有し、前記第2載置部材が、前記回収搬送ベルトに対し当該回収搬送ベルトの搬送方向とは反対方向に並設されてトレイを載置する回収載置ベルトを有し、前記回収載置ベルトが、前記回収搬送ベルトと連動する。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、回収搬送ベルトと回収載置ベルトとが連動するため、第2載置部から第2ストッカーへのトレイの回収が円滑になる。そして、こうした回収載置ベルトにトレイが載置されるため、トレイを載置するための第2載置部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記制御部は、前記内部搬送部が前記第1貫通孔から前記第2貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、前記供給搬送部に前記第1ストッカーから前記第1載置部への前記トレイの供給を開始させる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、内部搬送部によるトレイの搬送と供給搬送部によるトレイの供給とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記制御部は、前記内部搬送部が前記第1貫通孔から前記第2貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、前記回収搬送部に前記トレイの回収を開始させる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、内部搬送部によるトレイの搬送と回収搬送部によるトレイの回収とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記制御部は、前記ロボットの駆動の態様を制御し、前記トレイが前記第1載置部又は前記第2載置部に載置されているときに、前記トレイに載置された対象物の外部装置への供給、及び、前記外部装置から前記トレイへの対象物の回収の少なくとも一方を前記ロボットに実行させる。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、第1載置部又は第2載置部に載置されたトレイに対しロボットが処理を行うため、搬送部におけるトレイの搬送とロボットにおける処理との干渉を抑えることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送システムの一態様は、基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第1貫通孔及び第2貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔とに挟まれたロボット載置部とが形成され、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備える。本発明におけるトレイ搬送システムの一態様によれば、水平多関節ロボットを挟む2つの貫通孔の間でトレイを搬送する際に、載置板に対してロボットの載置側とは異なる同載置部の反対側にて、内部搬送部を用いてトレイを搬送することが可能になる。そして、水平多関節ロボットを挟む2つの貫通孔の間に、これらの間でトレイを搬送するための経路を確保する必要がないため、これら2つの貫通孔の間に水平多関節ロボットを配置することが可能にもなる。その結果、トレイを搬送する内部搬送部と当該トレイに対し処理を行う水平多関節ロボットとが搭載されたトレイ搬送装置にて、水平多関節ロボットのアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。本発明におけるトレイ搬送システムの他の態様は、前記水平多関節ロボットが、対象物を保持する保持部を有し、前記保持部と前記対象物との少なくとも一方を撮像する撮像部と、前記水平多関節ロボットの駆動の態様を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記保持部に対する前記対象物の位置を把握する。本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、水平多関節ロボットによって搬送される対象物の位置の精度を高めることが可能にもなる。本発明におけるトレイ搬送システムの一態様は、基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第1貫通孔及び第2貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔とに挟まれたロボット載置部と、前記第1貫通孔上にて前記トレイが載置される第1載置部と、前記第2貫通孔上にて前記トレイが載置される第2載置部と、前記第1載置部に供給されるトレイが貯められる第1ストッカーと、前記第2載置部から回収されるトレイが貯められる第2ストッカーとを備え、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第1貫通孔と前記第2貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、前記第1ストッカーから前記第1載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、前記第2載置部から前記第2ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部と、前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備える。本発明におけるトレイ搬送システムの一態様によれば、水平多関節ロボットを挟む2つの貫通孔の間でトレイを搬送する際に、載置板に対してロボットの載置側とは異なる同載置部の反対側にて、内部搬送部を用いてトレイを搬送することが可能になる。そして、水平多関節ロボットを挟む2つの貫通孔の間に、これらの間でトレイを搬送するための経路を確保する必要がないため、これら2つの貫通孔の間に水平多関節ロボットを配置することが可能にもなる。その結果、トレイを搬送する内部搬送部と当該トレイに対し処理を行う水平多関節ロボットとが搭載されたトレイ搬送装置にて、水平多関節ロボットのアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。以下、本発明のトレイ搬送装置、及び、トレイ搬送システムを具体化した一実施形態について、図1~図10を参照して説明する。まず、トレイ搬送装置、及びトレイ搬送システムの全体構成について図1を参照して説明する。[トレイ搬送装置及びトレイ搬送システムの全体構成]図1に示されるように、直方体形状をなす基台11の上面には、一つの方向に延びる帯状をなす供給側搬送板12と、同じく一つの方向に延びる帯状をなす回収側搬送板13とが並んで配置されている。これら供給側搬送板12と回収側搬送板13とによって、載置板が構成される。供給側搬送板12における長手方向の一方には、供給側搬送板12を上下方向であって上述の上面と交差する方向に貫通する第1昇降孔12aが形成されている。また、供給側搬送板12における長手方向の他方には、同じく供給側搬送板12を上下方向であって上面と交差する方向に貫通する第1貫通孔としての第2昇降孔12bが形成されている。第1昇降孔12aと第2昇降孔12bとの各々は、供給側搬送板12の長手方向に延びる矩形孔である。第1昇降孔12aは、平面視にてトレイ10の通過できない大きさである一方、第2昇降孔12bは、平面視にてトレイ10の通過できる大きさである。供給側搬送板12上には、第1昇降孔12aの短辺方向にて第1昇降孔12aが挟まれるように、一対の第1搬送ガイド14が搭載され、また第2昇降孔12bの短辺方向にて第2昇降孔12bが挟まれるように、一対の第2搬送ガイド15が搭載されている。回収側搬送板13における長手方向の一方には、回収側搬送板13を上下方向であって上述の上面と交差する方向に貫通する第3昇降孔13aが形成されている。また、回収側搬送板13における長手方向の他方には、同じく回収側搬送板13を上下方向であって上面と交差する方向に貫通する第2貫通孔としての4昇降孔13bが形成されている。回収側搬送板13は、第3昇降孔13aが第1昇降孔12aと並び、また、第4昇降孔13bが第2昇降孔12bと並ぶように配置される。第3昇降孔13aと第4昇降孔13bとは、それぞれ回収側搬送板13の長手方向に延びる矩形孔であって、第3昇降孔13aは、平面視にてトレイ10の通過できない大きさである一方、第4昇降孔13bは、平面視にてトレイ10の通過できる大きさである。回収側搬送板13上には、第3昇降孔13aの短辺方向にて第3昇降孔13aが挟まれるように、一対の第3搬送ガイド16が搭載され、また第4昇降孔13bの短辺方向にて第4昇降孔13bが挟まれるように、一対の第4搬送ガイド17が搭載されている。一対の第2搬送ガイド15と一対の第4搬送ガイド17との間には、供給側搬送板12と回収側搬送板13とに跨るロボット載置部18Aに水平多関節ロボット18が搭載されている。水平多関節ロボット18は、供給側搬送板12の第2昇降孔12b上に配置されたトレイ10、または回収側搬送板13の第4昇降孔13b上に配置されたトレイ10に対し、トレイ10に収容された対象物である部品の外部装置への搬出や、外部装置に収容された部品のトレイ10への搬入を行う。基台11の内部である搬送空間11Aには、供給側搬送板12上にて搬送されたトレイ10を搬入して回収側搬送板13上へ搬出する内部搬送部としての内部搬送系20と、水平多関節ロボット18における駆動の態様を含め、トレイ搬送装置における駆動の態様を制御する制御部を構成する制御装置21とが搭載されている。なお、基台11の上面側が、載置板に対する水平多関節ロボットの載置側であり、基台11の内側が、載置板に対する載置側とは反対側である上述の搬送空間11Aである。[供給側搬送ガイド周辺の詳細構成]以下、各搬送ガイド14~17周辺の構成について、図2を参照してより詳しく説明する。図2に示されるように、一対の第1搬送ガイド14の各々には、空圧駆動式の2つの供給側爪駆動部22が、第1搬送ガイド14の延びる方向に間隔を空けて固定されている。一対の第1搬送ガイド14に固定された4つの供給側爪駆動部22の各々には、一つのトレイ支持爪23が、一対の第1搬送ガイド14に挟まれた空間である第1搬送空間14Sの直上に進入及び退出可能に連結されている。そして、第1搬送空間14Sの直上にトレイ支持爪23を進出させるための駆動圧が各供給側爪駆動部22に供給されると、各供給側爪駆動部22に連結されたトレイ支持爪23が第1搬送空間14Sの直上に進入する。このように、4つのトレイ支持爪23が第1搬送空間14Sの直上に進入することによって、積み重ねられた状態の複数のトレイ10が、4つのトレイ支持爪23により第1搬送空間14Sの直上で支持される。他方、第1搬送空間14Sの直上からトレイ支持爪23を退出させるための解除圧が各供給側爪駆動部22に供給されると、各供給側爪駆動部22に連結されたトレイ支持爪23が、第1搬送空間14Sの直上から第1搬送ガイド14上に退出し、4つのトレイ支持爪23に支持されたトレイ10が、第1搬送空間14Sに向けて下降可能になる。一対の第1搬送ガイド14の両端部には、第1搬送空間14S上に積み上げられるトレイ10をその四隅で保持するための4つのトレイ保持枠24が立設されている。また、一対の第1搬送ガイド14の各々の両端部には、他方の第1搬送ガイド14に向けて延びる平行な一対の第1回転軸25が軸支されている。また、一対の第1搬送ガイド14の各々における第1搬送空間14S側には、第1搬送ガイド14に沿って延びる供給搬送ベルトとしての第1搬送ベルト26が、プーリーを介して一対の第1回転軸25に掛け渡されている。これら一対の第1搬送ベルト26に挟まれた隙間の下方には、一対の第1回転軸25の一方に回転力を加える供給モーター27と、第1搬送ガイド14に沿って延びる板状をなすストッカーステージ28とが配置されている。さらに、ストッカーステージ28の下方には、ストッカーステージ28から下方に延びる連結軸29を介して空圧駆動式のストッカーステージ駆動部30が連結され、このストッカーステージ駆動部30には、下記最上位置駆動圧、中間位置駆動圧、及び最下位置駆動圧が供給される。ここで、ストッカーステージ28が移動する範囲のうち、ストッカーステージ28から数えて1段目のトレイ10がトレイ支持爪23よりも高くなる場合のストッカーステージ28の位置を最上位置とする。また、1段目のトレイ10と2段目のトレイ10との隙間がトレイ支持爪23と同じ高さになる場合のストッカーステージ28の位置を中間位置とし、第1搬送ベルト26よりも低いストッカーステージ28の位置を最下位置とする。そして、ストッカーステージ駆動部30に供給される駆動圧のうち、ストッカーステージ28を最上位置に配置するための駆動圧を最上位置駆動圧とし、ストッカーステージ28を中間位置に配置するための駆動圧を中間位置駆動圧とし、ストッカーステージ28を最下位置に配置するための駆動圧を最下位置駆動圧とする。そして、4つのトレイ支持爪23が複数のトレイ10を支持している状態で最上位置駆動圧が各ストッカーステージ駆動部30に供給されると、ストッカーステージ28が最上位置に移動し、トレイ支持爪23に支持されたトレイ10がトレイ支持爪23から持ち上げられる。この状態から、4つのトレイ支持爪23の各々が第1搬送空間14Sの直上から退出し、中間位置駆動圧がストッカーステージ駆動部30に供給されると、ストッカーステージ28が中間位置に配置され、1段目のトレイ10と2段目のトレイ10との隙間と4つのトレイ支持爪23とが互いに向かい合う。続いて、4つのトレイ支持爪23の各々が第1搬送空間14Sの直上に進入し、最下位置駆動圧がストッカーステージ駆動部30に供給されると、ストッカーステージ28が最下位置に到達するまでに、2段目以上のトレイ10が4つのトレイ支持爪23に支持され、1段目のトレイ10が一対の第1搬送ベルト26上に載置される。ここで、供給モーター27が正転すると、供給モーター27の回転力が第1回転軸25を介して第1搬送ベルト26に伝わり、第1搬送ベルト26上に載置されたトレイ10が第1搬送ベルト26の回転に合わせて第1搬送空間14Sから搬出される。なお、供給側爪駆動部22、トレイ支持爪23、及びトレイ保持枠24によって第1ストッカーが構成されている。また、供給モーター27、ストッカーステージ28、及びストッカーステージ駆動部30によって供給搬送部が構成されている。一対の第2搬送ガイド15の各々の両端部には、他方の第2搬送ガイド15に向けて延びる互いに平行な一対の第2回転軸31が挿通されている。一対の第2搬送ガイド15の各々は、第2回転軸31に対して軸方向に摺動可能に連結され、これら一対の第2搬送ガイド15で挟まれた空間である第2搬送空間15Sに対し、第2回転軸31の軸方向における幅を変更可能に構成されている。一対の第2回転軸31の各々は、一対の第2搬送ガイド15を挟む一対の軸支部32によって軸支され、一対の第2回転軸31のうちで第1回転軸25に近い方の第2回転軸31には、第1回転軸25の回転を当該第2回転軸31に伝える伝達機構33が連結されている。また、一対の第2搬送ガイド15の各々における第2搬送空間15S側には、第2搬送ガイド15に沿って延びる供給載置ベルトとしての第2搬送ベルト34が、第2回転軸31の軸方向へ移動可能なプーリー35を介して一対の第2回転軸31に掛け渡されている。さらに、一対の第2回転軸31の各々に連結された各プーリー35の下側には、当該プーリー35を第2回転軸31の軸方向にて変位させる空圧駆動式の第2ガイド駆動部36が連結され、この第2ガイド駆動部36には、下記載置状態駆動圧、及び非載置状態駆動圧が供給される。ここで、第2回転軸31の軸方向にて第2搬送ガイド15の内側間の距離がトレイ10の幅よりも例えば0.5mm程度広く、且つ、第2搬送ベルト34間がトレイ10の幅よりも小さくなる状態を載置状態とし、第2回転軸31の軸方向にて第2搬送ベルト34間の距離がトレイ10の幅よりも大きくなる状態を非載置状態とする。そして、第2ガイド駆動部36に供給される駆動圧のうち、一対の第2搬送ベルト34を載置状態にする駆動圧を載置状態駆動圧とし、一対の第2搬送ベルト34を非載置状態にする駆動圧を非載置状態駆動圧とする。そして、4つのガイド駆動部36の各々に載置状態駆動圧が供給された状態で供給モーター27が正転すると、供給モーター27の回転が第1回転軸25、伝達機構33、及び第2回転軸31を介して第2搬送ベルト34に伝わり、第1搬送空間14Sから搬出されるトレイ10が、第2搬送ベルト34の回転に合わせて第2搬送空間15Sに搬入される。次いで、第2搬送空間15Sに搬入されたトレイ10が第2昇降孔12bと対向する位置に到達するタイミングで供給モーター27の正転が停止すると、第2搬送空間15Sに搬入されたトレイ10が第2昇降孔12bの直上で保持される。この状態から4つのガイド駆動部36の各々に非載置状態駆動圧が供給されると、一対の第2搬送ベルト34間の距離がトレイ10の幅よりも大きくなるように、4つのガイド駆動部36がプーリー35を第2回転軸31の軸方向へ変位させる。これにより、第2搬送空間15Sに搬入されたトレイ10は、一対の第2搬送ベルト34に妨げられることなく、供給側搬送板12の上方から基台11の内部に向けて、第2昇降孔12bを通過することが可能になる。なお、一対の第2搬送ベルト34によって第1載置部材が構成され、第2回転軸31、一対の第2搬送ベルト34、プーリー35、及び第2ガイド駆動部36によって第1載置部が構成されている。[回収側搬送ガイド周辺の詳細構成]同じく図2に示されるように、一対の第3搬送ガイド16の各々には、空圧駆動式の2つの回収側爪駆動部42が、第3搬送ガイド16の延びる方向に間隔を空けて固定されている。一対の第3搬送ガイド16に固定された4つの回収側爪駆動部42の各々には、一つのトレイ支持爪43が、一対の第3搬送ガイド16に挟まれた空間である第3搬送空間16Sの直上に進入及び退出可能に連結されている。そして、第3搬送空間16Sの直上にトレイ支持爪43を進出させるための駆動圧が各回収側爪駆動部42に供給されると、各回収側爪駆動部42に連結されたトレイ支持爪43が第3搬送空間16Sの直上に進入する。このように、4つのトレイ支持爪43が第3搬送空間16Sの直上に進入することによって、積み重ねられた状態の複数のトレイ10が、4つのトレイ支持爪43により第3搬送空間16Sの直上で支持される。他方、第3搬送空間16Sの直上からトレイ支持爪43を退出させるための解除圧が各回収側爪駆動部42に供給されると、各回収側爪駆動部42に連結されたトレイ支持爪43が、第3搬送空間16Sの直上から第3搬送ガイド16上に退出し、4つのトレイ支持爪43に支持されたトレイ10が、第3搬送空間16Sに向けて下降可能になる。一対の第3搬送ガイド16の両端部には、第3搬送空間16S上に積み上げられるトレイ10をその四隅で保持するための4つのトレイ保持枠44が立設されている。また、一対の第3搬送ガイド16の各々の両端部には、他方の第3搬送ガイド16に向けて延びる平行な一対の第3回転軸45が軸支されている。そして、一対の第3搬送ガイド16の各々における第3搬送空間16S側には、第3搬送ガイド16に沿って延びる回収搬送ベルトとしての第3搬送ベルト46が、プーリーを介して一対の第3回転軸45に掛け渡されている。これら一対の第3搬送ベルト46に挟まれた隙間の下方には、一対の第3回転軸45の一方に回転力を加える回収モーター47と、第3搬送ガイド16に沿って延びる板状をなすストッカーステージ48とが配置されている。さらに、ストッカーステージ48の下方には、ストッカーステージ48から下方に延びる連結軸49を介して空圧駆動式のストッカーステージ駆動部50が連結され、このストッカーステージ駆動部50には、下記最上位置駆動圧、中間位置駆動圧、及び最下位置駆動圧が供給される。ここで、ストッカーステージ48が移動する範囲のうち、ストッカーステージ48から数えて1段目のトレイ10がトレイ支持爪43よりも高くなる場合のストッカーステージ48の位置を最上位置とする。また、1段目のトレイ10と2段目のトレイ10との隙間がトレイ支持爪43と同じ高さになる場合のストッカーステージ48の位置を中間位置とし、第3搬送ベルト46よりも低いストッカーステージ48の位置を最下位置とする。そして、ストッカーステージ駆動部50に供給される駆動圧のうち、ストッカーステージ48を最上位置に配置するための駆動圧を最上位置駆動圧とし、ストッカーステージ48を中間位置に配置するための駆動圧を中間位置駆動圧とし、ストッカーステージ48を最下位置に配置するための駆動圧を最下位置駆動圧とする。そして、4つのトレイ支持爪43が複数のトレイ10を支持している状態で回収モーター47が正転すると、回収モーター47の回転力が第3回転軸45を介して第3搬送ベルト46に伝わり、第3搬送ベルト46における第4搬送ガイド17側に載置されたトレイ10が、第3搬送ベルト46の回転に合わせて第3搬送空間16Sに搬入される。これにより、新たなトレイ10が複数のトレイ10の直下にまで搬送される。続いて、中間位置駆動圧が各ストッカーステージ駆動部50に供給されると、ストッカーステージ48が中間位置に移動し、トレイ支持爪43が新たに1段目となるトレイ10と複数のトレイ10の1段目であって新たに2段目となるトレイ10との間に位置する。ここで、4つのトレイ支持爪43の各々が第3搬送空間16Sの直上から退出し、最上位置駆動圧が各ストッカーステージ駆動部50に供給されると、ストッカーステージ48が最上位置に移動し、複数のトレイ10における1段目のトレイ10がトレイ支持爪43よりも高い位置まで持ち上げられる。続いて、4つのトレイ支持爪43の各々が第3搬送空間16Sの直上に進入し、最下位置駆動圧がストッカーステージ駆動部50に供給されると、ストッカーステージ48が最下位置に到達するまでに、複数のトレイ10が4つのトレイ支持爪23によって支持される。なお、回収側爪駆動部42、トレイ支持爪43、及びトレイ保持枠44によって第2ストッカーが構成されている。また、回収モーター47、ストッカーステージ48、及びストッカーステージ駆動部50によって回収搬送部が構成されている。一対の第4搬送ガイド17の各々の両端部には、他方の第4搬送ガイド17に向けて延びる互いに平行な一対の第4回転軸51が挿通されている。一対の第4搬送ガイド17の各々は、第4回転軸51に対して軸方向に摺動可能に連結され、これら一対の第4搬送ガイド17で挟まれた空間である第2位置としての第4搬送空間17Sに対し、第4回転軸51の軸方向における幅を変更可能に構成されている。一対の第4回転軸51の各々は、一対の第4搬送ガイド17を挟む一対の軸支部52によって軸支され、一対の第4回転軸51のうちで第3回転軸45に近い方の第4回転軸51には、第3回転軸45の回転を当該第4回転軸51に伝える伝達機構53が連結されている。また、一対の第4搬送ガイド17の各々における第4搬送空間17S側には、第4搬送ガイド17に沿って延びる回収載置ベルトとしての第4搬送ベルト54が、第4回転軸51の軸方向へ移動可能なプーリー55を介して一対の第4回転軸51に掛け渡されている。さらに、一対の第4回転軸51の各々に連結された各プーリー55の下側には、当該プーリー55を第4回転軸51の軸方向にて変位させる空圧駆動式の第4ガイド駆動部56が連結され、この第4ガイド駆動部56には、下記載置状態駆動圧、及び非載置状態駆動圧が供給される。ここで、第4回転軸51の軸方向にて第4搬送ガイド17の内側間の距離がトレイ10の幅より例えば0.5mm程度広く、且つ、第4搬送ベルト54間の距離がトレイ10の幅よりも小さくなる状態を載置状態とし、第4回転軸51の軸方向にて第4搬送ベルト54間の距離がトレイ10の幅よりも大きくなる状態を非載置状態とする。そして、第4ガイド駆動部56に供給される駆動圧のうち、一対の第4搬送ベルト54を載置状態にする駆動圧を載置状態駆動圧とし、一対の第4搬送ベルト54を非載置状態にする駆動圧を非載置状態駆動圧とする。そして、4つのガイド駆動部56の各々に非載置状態駆動圧が供給されると、一対の第4搬送ベルト54間の距離がトレイ10の幅よりも大きくなるように、4つのガイド駆動部56がプーリー55を第4回転軸51の軸方向へ変位させる。これにより、第4搬送空間17Sに搬入されるトレイ10は、一対の第4搬送ベルト54に妨げられることなく、基台11の内部から回収側搬送板13の上方に向けて、第4昇降孔13bを通過することが可能になる。この状態から、4つのガイド駆動部56に載置状態駆動圧が供給されると、一対の第4搬送ガイド17の内側間の距離がトレイ10の幅よりも例えば0.5mm程度広くなるように、4つのガイド駆動部56がプーリー55を第4回転軸51の軸方向へ変位させる。これにより、第4搬送ベルト54間の幅がトレイ10の幅よりも小さくなり、第4搬送空間17Sに搬入されたトレイ10は、一対の第4搬送ベルト54上に保持される。そして、4つのガイド駆動部56の各々に載置状態駆動圧が供給された状態で回収モーター47が正転すると、回収モーター47の回転が第3回転軸45、伝達機構53、及び第4回転軸51を介して第4搬送ベルト54に伝わり、第4搬送空間17Sから搬出されるトレイ10が、第4搬送ベルト54の回転に合わせて第3搬送空間16Sに搬入される。次いで、第3搬送空間16Sに搬入されたトレイ10が第3昇降孔13aと対向する位置に到達するタイミングで回収モーター47の正転が停止すると、第3搬送空間16Sに搬入されたトレイ10が第3昇降孔13aの直上で保持される。なお、一対の第4搬送ベルト54によって第2載置部材が構成され、第4回転軸51、一対の第4搬送ベルト54、プーリー55、及び第4ガイド駆動部56によって第2載置部が構成されている。[内部搬送系の詳細構成]以下、トレイ搬送装置の有する内部搬送系20について、図3を参照してより詳しく説明する。図3aに示されるように、内部搬送系20を構成する平行移動レール61は、上述した第2昇降孔12bの直下から第4昇降孔13bの直下に向けて延びる板状に形成されている。平行移動レール61には、平行移動レール61の延びる方向へ往復移動可能に、平行移動スライダー62が連結されている。平行移動スライダー62は、図示されない平行移動モーターの駆動軸に連結され、平行移動モーターが正転及び反転することによって、第2昇降孔12bの直下であるトレイ搬入位置と第4昇降孔13bの直下であるトレイ搬出位置との間を平行移動する。平行移動スライダー62には、平行移動スライダー62から上方へ延びる昇降機構支持プレート63が固定され、昇降機構支持プレート63の上端部には、平行移動レール61に沿って延びる帯状をなす一対の平行移動保持枠64が固定されている。一対の平行移動保持枠64の各々の先端には、上方に延びる平行移動保持爪65が形成され、これら一対の平行移動保持爪65の間には、平行移動スライダー62の移動する方向にてトレイ10の幅と同じ程度の隙間が空けられている。昇降機構支持プレート63の一側面には、上下方向に延びる昇降レール66が固定され、昇降レール66には、上下方向へ延びる昇降スライダー67が、昇降レール66に沿って上下方向へ往復移動可能に連結されている。昇降スライダー67は、図示されない昇降モーターの駆動軸に連結され、昇降モーターが正転及び反転することによってトレイ保持位置とトレイ離脱位置との間を上昇及び下降する。昇降スライダー67の上端部には、平板状をなす昇降ステージ68が固定されている。昇降ステージ68は、平行移動保持枠64の延びる方向と直交する方向に延びる平板状をなし、且つ、平行移動保持枠64の延びる方向にて第2搬送ベルト34間よりも小さい幅を有している。また、昇降ステージ68の延びる方向における両端部には、一対の昇降保持爪69が折り曲げ形成されている。これら一対の昇降保持爪69の間には、昇降ステージ68の延びる方向にてトレイ10の幅と同じ程度の隙間が空けられている。そして、平行移動スライダー62がトレイ搬入位置に配置される状態で昇降モーターが正転すると、昇降スライダー67に固定された昇降ステージ68が、昇降機構支持プレート63の上端部であるトレイ保持位置からトレイ離脱位置まで昇降スライダー67とともに上昇し、第2搬送ベルト34によって支持されているトレイ10を第2搬送ベルト34の上に持ち上げる。この状態から、第2搬送ベルト34間が広げられて昇降モーターが反転すると、昇降スライダー67に固定された昇降ステージ68が、トレイ離脱位置からトレイ保持位置まで昇降スライダー67とともに下降し、図3aに示されるように、第2搬送ベルト34の上に持ち上げたトレイ10を第2搬送ベルト34の下に移動させる。この際、昇降ステージ68が下降する間、昇降ステージ68に載置されたトレイ10の昇降ステージ68に対する移動は、昇降ステージ68の有する昇降保持爪69によって係止される。続いて、平行移動モーターが正転すると、平行移動レール61に連結された平行移動スライダー62が、トレイ搬入位置の下方からトレイ搬出位置まで移動する。この際、平行移動スライダー62が平行移動する間、昇降ステージ68に載置されたトレイ10では、昇降ステージ68の有する昇降保持爪69と平行移動保持枠64の有する平行移動保持爪65とによって、昇降ステージ68に対する移動が係止される。そして、昇降モーターが正転すると、図3bに示されるように、昇降スライダー67に固定された昇降ステージ68が、トレイ保持位置からトレイ離脱位置まで昇降スライダー67とともに上昇する。この状態から、第4搬送ベルト54間が狭められて昇降モーターが反転すると、昇降スライダー67に固定された昇降ステージ68が、トレイ離脱位置からトレイ保持位置まで昇降スライダー67とともに下降し、昇降ステージ68に載置されていたトレイ10が第4搬送ベルト54上に載置される。[トレイ搬送装置の電気的構成]以下、上述したトレイ搬送装置の電気的構成について、図4を参照して説明する。制御装置21に備えられた制御部71は、中央処理装置CPU、不揮発性メモリROM、及び揮発性メモリRAMを有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御部71は、主制御部71A、副制御部71B、記憶部71C、モーター駆動用入出力部71D、電磁弁駆動用入出力部71E、及び外部入出力部71Fを有している。主制御部71Aは、記憶部71Cに記憶された搬送プログラムを解釈し、搬送プログラムに基づく水平多関節ロボット18の軌道を生成する。また、主制御部71Aは、各モーターに対する位置指令を生成し、この位置指令を副制御部71Bに出力する。また、主制御部71Aは、空圧式の供給部を構成する電磁弁に対する開閉指令を生成し、この開閉指令に基づく開閉制御信号を生成して電磁弁駆動用入出力部71Eに出力する。副制御部71Bは、主制御部71Aから入力された位置指令と、各モーターに接続された回転検出器からのフィードバック信号とに基づいて電流指令を生成し、この電流指令に基づくPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。記憶部71Cには、トレイ搬送システムを駆動するための搬送プログラムが記憶され、搬送プログラムには、例えば、内部搬送系20を駆動するための平行移動プログラム、水平多関節ロボット18のエンドエフェクターを駆動するためのピックプログラム、及び、水平多関節ロボット18のアームを駆動するためのアーチプログラム等が含まれる。モーター駆動用入出力部71Dには、各モーターを回転駆動させるモーター駆動部72~76が接続されている。モーター駆動部72~76の各々には、水平多関節ロボット18を駆動するロボットモーター18M、供給モーター27、回収モーター47、平行移動スライダー62を駆動する平行移動モーター62M、及び昇降スライダー67を駆動する昇降モーター67Mが、一対一で順に接続されている。モーター駆動用入出力部71Dは、副制御部71Bから入力されたPWM信号を各モーター駆動部72~76に出力し、各モーター駆動部72~76は、入力されたPWM信号に基づいて各モーター18M,27,47,62M,67Mの駆動電流を生成して各モーター18M,27,47,62M,67Mに供給する。また、モーター駆動用入出力部71Dには、各モーター18M,27,47,62M,67Mの回転検出器が接続され、この回転検出器からのフィードバック信号が入力される。電磁弁駆動用入出力部71Eには、電磁弁を開閉駆動させる電磁弁駆動部77~82が接続されている。電磁弁駆動部77~82の各々には、供給側爪駆動部22、ストッカーステージ駆動部30,50、第2ガイド駆動部36、回収側爪駆動部42、及び第4ガイド駆動部56の各々を構成する電磁弁が、一対一で順に接続されている。電磁弁駆動用入出力部71Eは、副制御部71Bから入力された開閉制御信号を各電磁弁駆動部77~82に出力し、各電磁弁駆動部77~82は、入力された開閉制御信号に基づいて各電磁弁の駆動電圧を生成して各電磁弁に供給する。外部入出力部71Fには、トレイ10に収容される部品に対して所定の処理を行う外部装置の制御部である外部装置制御部85が接続されている。外部入出力部71Fには、回収されるべき部品が外部装置の搬出部にあるときに、回収開始信号が外部装置制御部85から入力される。また、外部入出力部71Fには、外部装置に対して供給されるべき部品があるときに、供給開始信号が外部装置制御部85から入力される。外部入出力部71Fは、上述の回収開始信号及び供給開始信号を主制御部71Aに出力する。[トレイ搬送装置の作用]次に、トレイ搬送装置にて行われるトレイの搬送態様について図5及び図6を参照して説明する。外部装置制御部85が供給開始信号を生成して外部入出力部71Fに出力すると、外部入出力部71Fが主制御部71Aに供給開始信号を出力する。主制御部71Aは、供給開始信号が入力されると、上述した搬送プログラムの解釈を開始する。これにより、主制御部71Aが供給モーター27に対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部73にPWM信号を出力し、モーター駆動部73がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して供給モーター27に出力する。これにより、供給モーター27が駆動され、図5aに示されるように、第1搬送空間14S上のトレイ10が、第1搬送ベルト26及び第2搬送ベルト34に沿って第2搬送空間15Sに搬入される。このとき、内部搬送系20の平行移動スライダー62がトレイ搬入位置にあり、且つ、昇降スライダー67がトレイ保持位置にある。次いで、主制御部71Aがロボットモーター18Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部72にPWM信号を出力し、モーター駆動部72がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成してロボットモーター18Mに出力する。これにより、ロボットモーター18Mが駆動され、水平多関節ロボット18のエンドエフェクターが、第2搬送空間15S上のトレイ10に収容された部品と外部装置110との間を移動する。なお、このとき、主制御部71Aが、エンドエフェクターに対する保持指令と解除指令とを生成することにより、エンドエフェクターによる部品の保持と保持の解除とが行われる。外部装置110への部品の供給が終了すると、主制御部71Aが、昇降モーター67Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部76にPWM信号を出力し、モーター駆動部76がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター67Mに出力する。これにより、昇降モーター67Mが駆動され、図5bに示されるように、昇降スライダー67がトレイ離脱位置にまで上昇し、第2搬送空間15S上のトレイ10が、昇降ステージ68によって第2搬送ベルト34上から持ち上げられる。昇降スライダー67が上昇すると、主制御部71Aが第2ガイド駆動部36に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部71Eに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部71Eが電磁弁駆動部79に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部79がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第2ガイド駆動部36に出力する。これにより、第2ガイド駆動部36に非載置状態駆動圧が供給され、第2搬送ベルト34間の距離がトレイ10の幅よりも大きくなる。次いで、主制御部71Aが昇降モーター67Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部76にPWM信号を出力し、モーター駆動部76がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター67Mに出力する。これにより、昇降モーター67Mが駆動され、図5cに示されるように、昇降スライダー67がトレイ保持位置にまで下降し、これに伴い、トレイ10が昇降ステージ68に保持された状態で下降する。昇降スライダー67が下降すると、主制御部71Aが第2ガイド駆動部36に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部71Eに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部71Eが電磁弁駆動部79に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部79がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第2ガイド駆動部36に出力する。これにより、第2ガイド駆動部36に載置状態駆動圧が供給され、第2搬送ベルト34間の距離がトレイ10の幅よりも小さくなる。次いで、主制御部71Aが平行移動モーター62Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部75にPWM信号を出力し、モーター駆動部75がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して平行移動モーター62Mに出力する。これにより、平行移動モーター62Mが駆動され、図5c及び図6aに示されるように、平行移動スライダー62がトレイ搬出位置にまで移動し、これに伴い、トレイ10が昇降ステージ68に保持された状態でトレイ搬出位置にまで移動する。続いて、主制御部71Aが第4ガイド駆動部56に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部71Eに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部71Eが電磁弁駆動部82に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部82がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第4ガイド駆動部56に出力する。これにより、第4ガイド駆動部56に昇降搬送駆動圧が供給され、第4搬送ベルト54間の距離がトレイ10の幅よりも大きくなる。次いで、主制御部71Aが昇降モーター67Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部76にPWM信号を出力し、モーター駆動部76がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター67Mに出力する。これにより、昇降モーター67Mが駆動され、図6aに示されるように、昇降スライダー67がトレイ離脱位置にまで上昇し、これに伴い、トレイ10が昇降ステージ68に保持された状態で上昇する。昇降スライダー67が上昇すると、主制御部71Aが第4ガイド駆動部56に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部71Eに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部71Eが電磁弁駆動部82に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部82がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第4ガイド駆動部56に出力する。これにより、第4ガイド駆動部56に載置状態駆動圧が供給され、第4搬送ベルト54間の距離がトレイ10の幅よりも小さくなる。次いで、主制御部71Aが昇降モーター67Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部76にPWM信号を出力し、モーター駆動部76がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター67Mに出力する。これにより、昇降モーター67Mが駆動され、図6bに示されるように、昇降スライダー67がトレイ保持位置にまで下降し、これに伴い、昇降ステージ68に保持されていたトレイ10が、第4搬送ベルト54に載置されることで、第4搬送空間17S上に保持される。続いて、主制御部71Aが回収モーター47に対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部74にPWM信号を出力し、モーター駆動部74がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して回収モーター47に出力する。これにより、回収モーター47が駆動され、図6cに示されるように、第4搬送空間17S上のトレイ10が、第4搬送ベルト54と第3搬送ベルト46とに沿って第3搬送空間16S上に搬入される。次いで、主制御部71Aが平行移動モーター62Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部75にPWM信号を出力し、モーター駆動部75がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して平行移動モーター62Mに出力する。これにより、平行移動モーター62Mが駆動され、図6cに示されるように、平行移動スライダー62が、トレイ搬出位置からトレイ搬入位置まで移動する。こうして、平行移動スライダー62がトレイ搬入位置にまで移動することにより、主制御部71Aによる搬送プログラム解釈が終了される。以上説明した実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。1水平多関節ロボット18を挟む2つの貫通孔の間でトレイ10を搬送する際に、水平多関節ロボット18が搭載される基台11の上面とは異なる基台11の内側を通じてトレイ10を搬送することが可能になる。そして、水平多関節ロボット18を挟む2つの貫通孔の間に、これらの間でトレイ10を搬送するための経路を確保する必要がないため、これら2つの貫通孔の間に水平多関節ロボット18を配置することが可能にもなる。その結果、水平多関節ロボット18のアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。2内部搬送系20によって搬送されるトレイ10が予め第2搬送ベルト34に載置されるため、トレイ10が第2搬送ベルト34に載置されている間には、他のトレイ10の搬送を内部搬送系20で担うことが可能になる。それゆえに、例えば第2搬送ベルト34に載置されたトレイ10に対して水平多関節ロボット18が処理を行う間に、内部搬送系20によるトレイ10の搬送を行うことが可能になる。3また、内部搬送系20によって搬送されたトレイ10が第4搬送ベルト54に載置されるため、トレイ10が第4搬送ベルト54に載置されている間には、他のトレイ10の搬送を内部搬送系20で担うことが可能になる。このようにして、内部搬送系20における搬送処理の待ち時間を少なくすることができるため、内部搬送系20によるトレイ10の搬送の効率を高めることが可能ともなる。4第2搬送ベルト34に載置されるトレイ10が予め第1ストッカーに貯められ、且つ第4搬送ベルト54に載置されたトレイ10が逐次第2ストッカーに貯められる。そのため、第2搬送ベルト34に載置されるトレイ10が供給されないことによって、内部搬送系20による搬送が遅れること、第4搬送ベルト54に載置されたトレイ10が回収されないことによって、同じく内部搬送系20による搬送が遅れること、これらを抑えることが可能にもなる。すなわち、内部搬送系20による搬送を円滑に行うことが可能にもなる。5トレイ10の載置される一対の第2搬送ベルト34及び一対の第4搬送ベルト54でこれらの間隔が変わることにより、一対の第2搬送ベルト34及び一対の第4搬送ベルト54によるトレイ10の載置と一対の第2搬送ベルト34及び一対の第4搬送ベルト54の間を通じた内部搬送系20へのトレイの供給とが可能になる。これにより、トレイ10の供給される経路を避けるように第2搬送ベルト34が移動する分、トレイ10の供給される経路が簡略化される。また、トレイ10の回収される経路を避けるように第4搬送ベルト54が移動する分、トレイ10の回収される経路が簡略化される。そのため、内部搬送系20の構成が複雑になることを抑えることが可能にもなる。6第1搬送ベルト26と第2搬送ベルト34とが連動するため、第1ストッカーから第2搬送ベルト34へのトレイ10の供給が円滑になる。そして、こうした第2搬送ベルト34にトレイ10が載置されるため、トレイ10を載置するための部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。7第3搬送ベルト46と第4搬送ベルト54とが連動するため、第3搬送ベルト46から第2ストッカーへのトレイ10の回収が円滑になる。そして、こうした第4搬送ベルト54にトレイ10が載置されるため、トレイ10を載置するための部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。なお、上述した実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。第1載置部及び第2載置部の少なくとも1つが割愛される構成であってもよい。例えば、内部搬送系20によって第2位置に搬送されたトレイが外部の搬送ロボットによってトレイ搬送装置から搬出される構成であってもよい。また、内部搬送系20が第1位置に配置されたときに、当該内部搬送系20に対して外部の搬送ロボットからトレイが供給される構成であってもよい。第1ストッカー及び第2ストッカーの少なくとも1つが割愛される構成であってもよい。第1位置でトレイを載置する載置部は、第2搬送ベルト34に限らず、第1位置に進入及び退出する載置ステージ等に具体化することも可能である。要は、搬送部がトレイを受け取る際に、当該搬送部と干渉しない構造でトレイを載置する構成であればよい。第2位置でトレイを載置する載置部は、第4搬送ベルト54に限らず、第2位置に進入及び退出する載置ステージ等に具体化することも可能である。要は、搬送部がトレイを受け渡す際に、当該搬送部と干渉しない構造でトレイを載置する構成であればよい。トレイの供給態様は、第1搬送ベルト26と第2搬送ベルト34とが互いに異なるモーターによって各別に駆動される態様であってもよい。トレイの回収態様は、第3搬送ベルト46と第4搬送ベルト54とが互いに異なるモーターによって各別に駆動される態様であってもよい。制御部71は、内部搬送系20が基台11の内側でトレイ10を搬送する間に、供給モーター27を駆動し、第2搬送ベルト34の回転によりトレイ10の供給を開始することも可能である。つまり、第2搬送空間15S上のトレイ10から外部装置110に対して部品の供給が行われた後、昇降モーター67Mが駆動され、図7aに示されるように、昇降スライダー67がトレイ離脱位置にまで上昇し、第2搬送空間15S上のトレイ10が、昇降ステージ68によって第2搬送ベルト34から持ち上げられる。続いて、第2ガイド駆動部36に非載置状態駆動圧が供給され、第2搬送ベルト34間の距離がトレイ10の幅よりも大きくなる。次いで、図7bに示されるように、昇降スライダー67がトレイ保持位置にまで下降し、これに伴い、トレイ10が昇降ステージ68に保持された状態で下降する。そして、第2ガイド駆動部36に載置状態駆動圧が供給され、第2搬送ベルト34間の距離がトレイ10の幅よりも小さくなる。次いで、供給モーター27が駆動され、第1搬送空間14S上のトレイ10が、第1搬送ベルト26及び第2搬送ベルト34を介して第2搬送空間15Sに搬入され始める。この際、主制御部71Aが平行移動モーター62Mに対する位置指令を生成して副制御部71Bに出力し、副制御部71Bが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部71Dに出力する。そして、モーター駆動用入出力部71Dがモーター駆動部75にPWM信号を出力し、モーター駆動部75がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成して平行移動モーター62Mに出力する。これにより、平行移動モーター62Mが駆動され、平行移動スライダー62のトレイ搬出位置にまでの移動と第2搬送空間15Sへのトレイ10の供給とが同時に行われる。そして、昇降モーター67Mが駆動され、図7cに示されるように、昇降スライダー67がトレイ離脱位置にまで上昇し、これに伴い、トレイ10が昇降ステージ68に保持された状態で上昇する。このような搬送の態様によれば、内部搬送系20によるトレイ10の搬送と第2搬送ベルト34によるトレイ10の供給とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。制御部71は、内部搬送系20が基台11の内側でトレイ10を搬送する間に、回収モーター47を駆動し、第4搬送ベルト54の回転によりトレイ10の回収を開始することも可能である。このような搬送の態様によれば、内部搬送系20によるトレイ10の搬送と第4搬送ベルト54によるトレイ10の回収とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。制御部71は、第2搬送空間15S及び第4搬送空間17Sにトレイ10が配置されていないときに、外部装置に対する部品の供給、及び回収の少なくとも一方を水平多関節ロボット18に実行させることも可能である。水平多関節ロボット18がトレイ10に対して行う処理は、部品の収容されたトレイから外部装置110への部品の供給に限らず、部品を供給する外部装置110からトレイ10への部品の供給、部品に処理を行う外部装置110への部品の供給と処理後の部品の回収等、トレイ10に収容される対象物をトレイ10に搬入する、又は、対象物をトレイ10から搬出する処理であればよい。水平多関節ロボット18が行う処理の対象は、第2搬送空間15S上のトレイ10に限らず、第4搬送空間17S上のトレイ10、あるいは第2搬送空間15Sのトレイ10及び第4搬送空間17Sのトレイ10の両方であってもよい。なお、図8に示されるように、第4搬送空間17Sのトレイ10が空のトレイ10である場合、第4搬送空間17Sのトレイ10に行われる処理の一例には、トレイ10に収容される対象物の搬入処理があげられる。また、第4搬送空間17Sのトレイ10に対象物が収容されている場合、第4搬送空間17Sのトレイ10に行われる処理の一例には、トレイ10に収容される対象物の搬出処理、トレイ10に収容される対象物の搬出処理とその後の搬入処理があげられる。図9に示されるように、水平多関節ロボット18に保持される対象物を撮像する撮像部としての撮像装置91が、供給側搬送板12や回収側搬送板13に搭載されてもよい。この他、水平多関節ロボット18に保持される対象物を検査する検査装置や水平多関節ロボット18に保持される対象物に加工処理を行う加工装置等の他の処理装置が、供給側搬送板12や回収側搬送板13に搭載されてもよい。また、第2搬送空間15Sのトレイ10から搬出される対象物の搬出先や第2搬送空間15Sのトレイ10から搬入される対象物の搬入元は、外部装置110に限らず、上述のような他の処理装置のみであってもよい。さらに、図10に示されるように、第2搬送空間15Sのトレイ10から搬出される対象物の搬送先が第4搬送空間17Sのトレイ10であってもよい。載置板は、供給側搬送板12及び回収側搬送板13の2つの搬送板からなるようにしたが、単一の板状部材からなるものであってもよい。この場合、2つの貫通孔の間にロボット載置部が設けられていればよい。トレイ搬送システムに搭載されるロボットは、上述の水平多関節ロボットに限らず、例えば六軸ロボットを含む垂直多関節ロボット等、他のロボットであってもよい。"