繊維強化プラスチックによって形成され、外周面にポリイミドをコーティングすることによって形成したコーティング層を有するフォークを備えることを特徴とするハンド。前記フォークは、ポリイミドを含むフィルム素材であるポリイミドフィルムがらせん状に巻回されることを特徴とする請求項1に記載のハンド。前記フォークは、前記外周面の一部に前記コーティング層を有することを特徴とする請求項1または2に記載のハンド。前記フォークは、基板を載置する部材であって、前記基板を載置する領域の外周面に前記コーティング層を有することを特徴とする請求項3に記載のハンド。前記フォークは、当該フォークの部位によって前記コーティング層の厚みが異なることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載のハンド。前記フォークは、前記部位それぞれについて、あらかじめ想定される温度分布に応じた厚みの前記コーティング層を有することを特徴とする請求項5に記載のハンド。前記フォークは、先端部の前記コーティング層の厚みが、基部の前記コーティング層の厚みと比べて大きいことを特徴とする請求項5または6に記載のハンド。請求項1~7のいずれか一つに記載のハンドを備えることを特徴とするロボット。しかしながら、上述の繊維強化プラスチックは耐熱性の面で課題の残る素材である。したがって、従来のハンドは、一般に焼成炉において焼成されるガラス基板の搬送作業において、焼成炉の輻射熱などを受けて劣化しやすいという問題があった。実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、高温環境下における劣化を防止することができるハンドおよびロボットを提供することを目的とする。実施形態の一態様に係るハンドは、繊維強化プラスチックによって形成されたフォークを備える。フォークは、外周面にポリイミドをコーティングすることによって形成したコーティング層を有する。実施形態の一態様によれば、高温環境下における劣化を防止することができる。以下、添付図面を参照して、本願の開示するハンドおよびロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。図1は、実施形態に係るハンド15およびロボット10を含む基板搬送システム1の構成例を示す図である。なお、図1には、説明を分かりやすくするために、鉛直上向きを正方向とするZ軸を含む3次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、以下の説明に用いる他の図面においても示す場合がある。図1に示すように、基板搬送システム1は、ロボット10と、コントローラ20と、カセット30とを備える。ロボット10は、カセット30へ多段に収納された基板100を1枚ずつ出し入れして搬送する。ここで、ロボット10の構成例について説明しておく。図1に示すように、ロボット10は、昇降機構11と、旋回機構12と、伸縮機構13と、支持部材14と、ハンド15と、ベース16とを備える。昇降機構11は、フロアなどに固定されるベース16に支持され、図中のX軸およびZ軸を含むXZ平面に沿って昇降する動作を行う機構である。旋回機構12は、昇降機構11に支持され、Z軸に平行な回転軸まわりに旋回する動作を行う機構である。伸縮機構13は、旋回機構12に支持され、XY平面に沿って伸縮する動作を行う機構である。なお、図1には、1対の伸縮機構13を図示しているが、図を分かりやすくするために、一方の伸縮機構13については途中から図示を省略している。ロボット10は、これら昇降機構11、旋回機構12および伸縮機構13によっていわゆる多関節アームを構成する。なお、かかる多関節アームの各関節は図示しないサーボモータによって駆動される。コントローラ20は、かかるサーボモータの指示プログラムを格納し、かかる指示プログラムによって多関節アームの動作を制御する制御装置である。そして、かかる多関節アームの終端部には、支持部材14を介してハンド15が取り付けられる。ハンド15は、1対の板状のフォーク150を備え、かかるフォーク150へ基板100を載置する。なお、以下では、フォーク150の基板100を載置する側の面を、載置面と記載する場合がある。また、フォーク150は、伸縮機構13の端部すなわち、多関節アームの終端部に支持される支持部材14によって支持される。カセット30は、基板100の収納装置であり、基板100の板面を図中のXY平面へ平行に向けて基板100を多段に収納する。そして、ロボット10は、基板100をカセット30から搬出する際には、多段に収納された基板100のピッチに、搬出対象である基盤100の下面に沿うようにフォーク150を挿し入れて基板100を載置し、搬出する。また、ロボット10は、基板100をカセット30へ搬入する際には、搬入対象である基板100を載置したままフォーク150をカセット30へ挿し入れ、基板100を搬入する。なお、かかるロボット10の搬出入動作は、図示しない焼成炉へ基板100を搬出入する場合についても同様である。すなわち、焼成前の基板100を焼成炉の基板搬入口へ1枚ずつセットし、焼成後の基板100を焼成炉の基板搬出口から1枚ずつ取り出す。このとき、焼成炉から輻射熱などを受けることとなる。次に、実施形態に係るハンド15の構成例について、図2Aおよび図2Bを用いて説明する。図2Aおよび図2Bは、実施形態に係るハンド15の構成例を示す図である。なお、図2Aには、ハンド15をZ軸の正方向からみた場合の平面図を、図2Bには、ハンド15をY軸の正方向からみた場合の側面図を、それぞれ示している。図2Aおよび図2Bに示すように、ハンド15は、フォーク150を備える。フォーク150は、基板100を載置する部材である。なお、ここでは、フォーク150が1対である場合を示しているが、その個数を限定するものではない。ここで、フォーク150は、繊維強化プラスチックなど、所定の剛性を有し、かつ軽量な素材で形成されることが好ましい。かかる素材で形成することにより、大型の基板100を載置する場合であっても、基板100やハンド15自体の重量によって生じるたわみなどを抑制することができる。なお、本実施形態では、フォーク150が、炭素繊維を強化材とするCFRPCarbonFiberReinforcedPlastics、いわゆる炭素繊維強化プラスチックによって形成されているものとする。また、フォーク150の基部は、上述の多関節アームの終端部に取り付けられる支持部材14へ固定される。また、図2Aおよび図2Bに示すように、1つのフォーク150は、ガイド151と、受け座152と、センサ153とを備える。ガイド151は、ポリイミド樹脂などの超耐熱性素材からなる部材であり、フォーク150の先端部からX軸方向について所定の間隔を空けて1組配置される。そして、かかる1組のガイド151は、載置される基板100の前後方向すなわち、X軸方向へのずれを防止する。なお、ガイド151の配置位置は、基板100のサイズに応じて適宜調整可能としてもよい。受け座152は、やはり超耐熱性素材からなり、フォーク150の長手方向すなわち、X軸方向に沿って複数配置される。なお、図2Aおよび図2Bには、フォーク150の中心線Pを挟んだ対称位置に配置された2個1組の受け座152が、フォーク150の長手方向すなわち、X軸方向に沿って計6組配置されている例を示している。かかる受け座152は、載置される基板100を、かかる基板100の下面から多点支持する。センサ153は、基板100がフォーク150に載置されているか否か、すなわちフォーク150の在荷状態を検出する耐熱型センサである。なお、ここでは図示していないが、フォーク150は、その先端部に取り付けられるキャップを有する。かかるキャップの詳細については、図5A~図5Cを用いて後述する。次に、フォーク150の内部構造について、図3Aを用いて説明する。図3Aは、フォーク150の内部構造を示す図である。なお、図3Aには、フォーク150の先端部を斜め上方からみた場合の斜視図を示している。図3Aに示すように、フォーク150の内部は中空構造となっている。かかる中空構造は、CFRPの成形過程における芯材によって形成される。そして、かかる中空構造を利用することで、フォーク150の内部には、前述のセンサ153などの接続ケーブル類を配線することができる。また、フォーク150の外殻には、ネジ穴154が貫設される。かかるネジ穴154は、前述のキャップの取り付けに用いられる。この点については、図5Bを用いて後述する。ここで、フォーク150の外殻構造について、図3Aの破線の矩形に示すM1部の拡大図である図3Bを用いて説明する。図3Bに示すように、フォーク150の外殻構造は、CFRP層150aと、ポリイミドコーティング層150bとの2層に大別される。CFRP層150aは、フォーク150の外殻の主材であり、炭素繊維強化プラスチックを積層して形成される。ポリイミドコーティング層150bは、かかるCFRP層150aの最外層、すなわち、フォーク150の外周面にポリイミドをコーティングすることによって形成される。かかるコーティングは、たとえば、ポリイミドを含むフィルム素材であるポリイミドフィルムをフォーク150の外周面全体に渡って巻回することによって行うことができる。本実施形態では、かかるポリイミドフィルムによってポリイミドコーティング層150bを形成するものとする。なお、ポリイミドフィルムを巻回する場合、図3Bに示すように、CFRP層150aの最外層には、接着剤150baが塗布され、その上にポリイミドフィルムが接着されることとなる。ここで、ポリイミドフィルムを巻回する場合の巻回方向について、図4Aを用いて説明しておく。図4Aは、ポリイミドフィルムの巻回方向を示す図である。たとえば、図4Aに示すように、ポリイミドフィルムは、フォーク150を軸とするらせん状に巻回される図中のらせん状の矢印参照。このとき、フォーク150の外周面上において隣り合うポリイミドフィルムの端同士が、重なるように巻回されることが好ましい。このようにポリイミドフィルムを巻回することにより、CFRP層150a図3B参照が、フォーク150の外周面に露出するのを防ぐことができるので、高温環境下におけるフォーク150の劣化を防止することができる。なお、ポリイミドフィルムのフォーク150への巻回回数は、ポリイミドフィルム自体の幅などに応じたものとすればよい。また、ポリイミドフィルムは、2重巻や3重巻のように積層して巻回してもよい。すなわち、積層回数によってポリイミドコーティング層150bの厚みを大きくすることで、フォーク150の耐熱性をより高め、高温環境下におけるフォーク150の劣化を防止することができる。なお、巻回することなく、カットしたポリイミドフィルムをフォーク150の外周面へ貼り付けることとしてもよい。かかる変形例を、図4Bに示す。図4Bは、カットしたポリイミドフィルムPfを貼り付ける変形例を示す図である。図4Bに示すように、ポリイミドフィルムPfを、CFRP層150aの最外層、すなわち、フォーク150の外周面を覆うように貼り付けてもよい。このとき、図4Bの破線の矢印Cに示すように、ポリイミドフィルムPfは、フォーク150の外周面の角部を覆うように貼り付けられることが好ましい。このようにフォーク150の外周面の角部を覆うことにより、CFRP層150aが、フォーク150の各端面の境界である角部において露出するのを防止することができる。かかる点は、角部がR形状でない場合により効果的である。また、図4Bの破線の閉曲線M2部およびM3部に示すように、ポリイミドフィルムPfそれぞれの端部を重ねるように貼り付けることで、やはりCFRP層150aが露出するのを防止することができる。次に、上述の図2Aおよび図2Bを用いた説明で触れたキャップの詳細について、図5Aおよび図5Bを用いて説明する。図5Aは、キャップ155の平面図および取り付け前後の様子を示す図であり、図5Bは、図5Aに示すA-A’断面図である。なお、図5Aには、Z軸の正方向からみた場合を、図5Bには、Y軸の正方向から見た場合を、それぞれ示している。図5Aに示すように、キャップ155は、露出部155aと、挿入部155bと、ネジ穴155cとを備える。露出部155aは、キャップ155がフォーク150に取り付けられた場合に、フォーク150の最先端部として露出する部材である。挿入部155bは、キャップ155がフォーク150に取り付けられる場合に、フォーク150先端の中空部分に挿し込まれる部材である。ネジ穴155cは、図5Bに示すように、キャップ155がフォーク150に取り付けられた場合に、フォーク150のネジ穴154と連接する連接孔となる。そして、かかるネジ穴154およびネジ穴155cの連接孔へネジ200が螺合されることによって、キャップ155は、フォーク150の先端部に固定される。このように、キャップ155は、中空のフォーク150の先端部を塞ぐことによってフォーク150の内部を保護する保護部材である。すなわち、フォーク150の内周面に対して熱が伝達するのを抑える役割を果たし、フォーク150の内部からの劣化を防止する。したがって、キャップ155は、前述のガイド151などと同様に、ポリイミド樹脂などの超耐熱性素材によって成形されることが好ましい。また、図5Aに網掛け部分として示したように、露出部155aの外周面にポリイミドコーティングを施すこととしてもよい。なお、このようにキャップ155を取り付けた場合、フォーク150とキャップ155との間に接ぎ目Bが生じる。ここで、かかる接ぎ目Bからの熱の伝達を抑えるために、キャップ155に対し、たとえば、次の図5Cに示すような加工をあらかじめ施してもよい。図5Cは、変形例に係るキャップ155を示す図である。なお、図5Cは、図5Bに示した破線の閉曲線M4部近傍の拡大図に相当する。図5Cに示すように、キャップ155に対して、切り欠きahを設けることとしてもよい。かかる場合、キャップ155がフォーク150へ取り付けられた際に、フォーク150の端面および露出部155aの接触箇所を減らすことができるので、熱の伝達を抑えることができる。あわせて、切り欠きahが空気溜りとして作用するため、同じく熱の伝達を抑えることができる。ところで、これまでは、フォーク150の外周面全体に渡ってポリイミドコーティング層150bを形成する場合について述べてきたが、かかるポリイミドコーティング層150bをフォーク150の外周面の一部に設けることとしてもよい。かかる変形例について、図6Aおよび図6Bを用いて説明する。図6Aおよび図6Bは、部分的にポリイミドコーティング層150bを形成する変形例を示す図である。図2Aおよび図2Bを用いた説明でも述べたが、図6Aに示すように、載置される基板100は、フォーク150の有する1組のガイド151の間において、複数個の受け座152によって多点支持される。すなわち、これは、1組のガイド151の間の領域が、焼成後の基板100の余熱などを受けやすい、言い換えれば、熱による劣化を生じやすいことを示している。したがって、図6Aの網掛け部分に示すように、かかる1組のガイド151の間にのみ、ポリイミドコーティング層150bを形成することによって、少なくとも熱による劣化を生じやすい領域を保護することができる。また、このように部分的にポリイミドコーティングを施すことで、たとえば、ポリイミドフィルムの使用量を減らすことができるので、低コストでフォーク150の耐熱性を高めることが可能となる。また、フォーク150の部位によって、ポリイミドコーティング層150bの厚みを異ならせてもよい。かかる場合の判断材料は、たとえば、あらかじめ想定される温度分布などによることができる。図6Bに示すように、あらかじめ想定される温度分布の相対的な比較結果が、フォーク150の先端部から基部にかけて順に、高温を示す高、中温を示す中、低温を示す低であったものとする。かかる場合、たとえば、高領域には、3重巻のポリイミドコーティング層150b1を、中領域には、2重巻のポリイミドコーティング層150b2を、低領域には、1重巻のポリイミドコーティング層150b3を、それぞれ設けることができる。このように部分的に厚みを異ならせることによっても、低コストでフォーク150の耐熱性を高めることが可能である。上述してきたように、実施形態に係るハンドは、繊維強化プラスチックによって形成されたフォークを備える。フォークは、外周面にポリイミドをコーティングすることによって形成したコーティング層を有する。したがって、実施形態に係るハンドによれば、高温環境下における劣化を防止することができる。なお、上述した実施形態では、主としてポリイミドフィルムを例に挙げて説明を行ったが、一般にポリイミドフィルムは見た目もよく、巻き付けやすい素材として知られている。したがって、かかるポリイミドフィルムを用いることによって、フォークの見た目を損なわず、かつ、容易に耐熱性を高められるという効果も生むことができる。また、上述した実施形態では、フォークの外殻の主材がCFRPである場合について説明したが、これに限られるものではなく、繊維強化プラスチックであればその母材たとえば、熱硬化性樹脂およびその強化材たとえば、炭素繊維などを問わない。また、上述した実施形態では、フォークが中空構造である場合を例に挙げたが、これに限られるものではない。たとえば、フォークが中実構造である場合に、その外周面にポリイミドコーティングを施すこととしてもよい。また、上述した実施形態では、搬送される基板が、主に液晶パネルのガラス基板である場合を例に挙げて説明したが、薄板状の基板全般を含むことができるのは言うまでもない。さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。