位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素を含む固体撮像装置であって、前記画素は、互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部を含む半導体領域と、第1マイクロレンズと、前記第1マイクロレンズと前記半導体領域との間に配置された第2マイクロレンズとを含み、前記第2マイクロレンズは、中央部と、前記中央部を取り囲む周辺部とを含み、前記周辺部のパワーは、前記中央部のパワーよりも大きく、かつ、正の値を有する、ことを特徴とする固体撮像装置。前記第2マイクロレンズと前記半導体領域との間に導波路を更に含む、ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。前記導波路は、第1部分と、前記第1部分の側面を取り囲む第2部分とを含み、前記第1部分の屈折率が前記第2部分の屈折率よりも高い、ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素を含む固体撮像装置であって、前記画素は、互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部を含む半導体領域と、マイクロレンズと、前記マイクロレンズと前記半導体領域との間であって隣接する画素との境界の近傍に配置された反射面とを含み、前記反射面は、それに入射した光が前記半導体領域に向けて反射されるように配置されている、ことを特徴とする固体撮像装置。請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、を備えることを特徴とするカメラ。焦点検出機能を有する固体撮像装置をレンズ交換式カメラに適用する場合、撮影レンズとして様々な開口数NA、即ちFナンバーを有するものが使用される可能性がある。カメラシステムとして実用化するためには、あらゆる交換レンズに対して、一定基準以上の特性を満たすことが要求される。固体撮像装置に設けられるマイクロレンズは、その焦点位置がフォトダイオードの表面付近に一致するように設計される。Fナンバーの大きい撮影レンズを通った光は、フォトダイオード上に小さい光スポットを形成する。一方、Fナンバーの小さいレンズを通った光は、フォトダイオード上に大きな光スポットを形成する。したがって、種々のFナンバーを有する撮影レンズで一定の光感度を得るためには、Fナンバーが小さい撮影レンズを使用するときにおいても光スポットがフォトダイオード部分からできるだけはみ出さないように、マイクロレンズを設計するべきである。一方、焦点検出用の位相差信号を得るために各画素に設けられた分割された2つのフォトダイオードは、互いに近接して配置される。2つのフォトダイオードの境界付近に入射した光が生成する電荷は、2つのフォトダイオードのいずれにも蓄積される可能性がある。一方のフォトダイオードに入射した光によって生成された電荷が他方のフォトダイオードに蓄積される現象は、クロストークとして考えることができ、これは、位相差検出の精度や速度を低下させうる。本発明は、上記の課題認識を契機としてなされたものであり、種々のFナンバーの撮影レンズとの組み合わせにおいて感度の向上とクロストークの低減とに有利な技術を提供することを目的とする。本発明の1つの側面は、位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素を含む固体撮像装置に係り、前記画素は、互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部を含む半導体領域と、第1マイクロレンズと、前記第1マイクロレンズと前記半導体領域との間に配置された第2マイクロレンズとを含み、前記第2マイクロレンズは、中央部と、前記中央部を取り囲む周辺部とを含み、前記周辺部のパワーは、前記中央部のパワーよりも大きく、かつ、正の値を有する。本発明によれば、種々のFナンバーの撮影レンズとの組み合わせにおいて感度の向上とクロストークの低減とに有利な技術が提供される。本発明の固体撮像装置は、位相差検出方式による焦点検出のための複数の画素以下、このような画素を焦点検出画素とも呼ぶを含む。焦点検出画素は、撮影のための画素即ち、画像を取得するための画素としても利用されうる。本発明の固体撮像装置は、第1の個数の画素を含み、本発明の固体撮像装置は、MOS型イメージセンサとして実施されてもよいし、CCDイメージセンサとして実施されてもよいし、他のイメージセンサとして実施されてもよい。なお、MOSイメージセンサには、裏面入射型MOSイメージセンサも含まれうる。各焦点検出画素は、互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部例えば、フォトダイオードを含む半導体領域を含む。該複数の光電変換部には、固体撮像装置の撮像面に被写体の像を形成するための撮影レンズの瞳における互いに異なる領域を通過した光がそれぞれ入射する。複数の焦点検出画素は、例えば、ライン状またはクロス状に配置され、複数の焦点検出画素から読み出された信号を処理することによって撮影レンズの瞳における互いに異なる領域を通過した光の相互の位相差が検出されうる。以下、本発明の固体撮像装置のいくつかの実施形態を説明する。なお、以下では、焦点検出画素の構成を説明するが、これは、固体撮像装置の全ての画素が焦点検出画素でなければならないことを意図するものではなく、固体撮像装置は、撮影のみに使用される画素を含んでもよい。図1を参照しながら本発明の第1実施形態の固体撮像装置の構成を説明する。図1には、固体撮像装置の1つの焦点検出画素および光線が示されている。焦点検出画素は、半導体領域SRと、第1マイクロレンズ表面マイクロレンズ101と、第1マイクロレンズ101と半導体領域SRとの間に配置された第2マイクロレンズインナーマイクロレンズ102とを含みうる。半導体領域SRは、互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部PD1、PD2を含む。図1に示す例では、1つの焦点検出画素が2つの光電変換部PDを含むが、1つの焦点検出画素が3個、4個または5個以上の光電変換部を含んでもよい。1つの焦点検出画素が4個の光電変換部を含む場合は、第1方向例えば、水平方向に沿って2個の光電変換部が配置され、第1方向に直交する第2方向例えば、垂直方向に沿って他の2個の光電変換部が配置されうる。半導体領域SRの表面103と第2マイクロレンズ102との間、および、第2マイクロレンズ102と第1マイクロレンズ101との間には、絶縁膜112が配置される。絶縁膜112の屈折率は、典型的には、第1マイクロレンズ101の屈折率および第2マイクロレンズ102の屈折率よりも小さい。なお、図1において、素子分離、配線パターン、トランジスタなどの要素は、簡単化のために省略されている。第2マイクロレンズ102は、中央部CPと、中央部CPを取り囲む周辺部典型的には環状部PPとを含み、周辺部PPのパワーは、中央部CPのパワーよりも大きく、かつ、正の値を有する。例えば、周辺部PPの曲率半径は、中央部CPの曲率半径より大きい。中央部CPは、例えば、平行平板でありうる。実線で示された光線は、撮影レンズのFナンバー値が1.4であるときに焦点検出画素に入射する光線のうち最大の入射角を有する光線である。107が主光線、108、109がそれぞれ撮影レンズの端部を通過する光線周辺構成である。点線で示された光線は、撮影レンズのFナンバーが5.6これは、一般的にカメラが焦点検出のために用いる最大のFナンバーであるであるときに焦点検出画素に入射する光線のうち最大の入射角を有する光線である。104が主光線、105、106がそれぞれ撮影レンズの端部を通過する光線周辺光線である。一点鎖線110、111は、第2マイクロレンズ102が存在しない場合に光線108、109が通過する軌跡を示している。なお、撮影レンズのFナンバーは絞り値とも呼ばれ、同一の撮影レンズを使用していても、絞り値を大きくすることで、より小さいFナンバー相当の光を固体撮像装置に入射させることができる。反対に、絞り値を小さくすることで、より大きなFナンバー相当の光を固体撮像装置に入射させることができる。この明細書でFナンバーと記述するときには、撮影レンズの最小Fナンバーのほか、撮影レンズの絞りを制御することによって定まる開口数も含むものとする。焦点検出精度位相差検出精度を向上させるためには、1つの焦点検出画素における2つの光電変換部PD1、PD2から読み出される信号に占めるクロストーク成分の割合を低減することが好ましい。そこで、2つの光電変換部PD1、PD2の間の分離部150に入射する光光電変換部PD1、PD2のいずれによって検出されるかが不明な光を低減することができる構成が採用される。分離部150に入射する光の割合は、第1マイクロレンズ101と第2マイクロレンズ102の曲率半径パワー、即ち半導体領域SRに入射する光によってその表面103に形成される光スポットの径に依存する。典型的には、Fナンバーが5.6F5.6と標記であるときに、光電変換部PD1、PD2の全域をカバーする光スポットが半導体領域SRの表面に形成されるように第1マイクロレンズ101が構成される。これは、分離部150に入射する光線の割合を低減しクロストークを低減するために有利であるほか、感度の向上に有利である。Fナンバーが1.4F1.4と標記であるときは、F5.6である場合によりも、光スポットが大きくなりうる。この場合、光線108、109のように主光線107に対する角度差が大きい光線周辺光線は、第2マイクロレンズ102によって中心軸第1マイクロレンズ101、第2マイクロレンズ102の中心軸方向に向けて光路が変更される。特に、光線108は、第2マイクロレンズ102が存在しない場合には、光電変換部PD2には入射しないが、第2マイクロレンズ102が存在する場合には光電変換部PD2には入射する。これは、感度の向上に有利であるほか、クロストークの低減に有利である。第2マイクロレンズ102は、例えば、F5.6である場合には、全光線が中央部CPを通過し、F1.4である場合には、主光線に対する角度差が大きい周辺光線が周辺部PPを通過し、それ以外が中央部CPを通過するように構成されうる。第1実施形態によれば、例えばF1.4、F5.6のような種々のFナンバーにおいて感度の向上とクロストークの低減とを実現することができる。なお、ここで挙げたFナンバーは、1.4と5.6であるが、これらは互いに異なるFナンバーの例に過ぎず、本発明を制限するものではない。第2マイクロレンズ102は、それに隣接する絶縁膜112よりも屈折率が高い材料で凸面を有するレンズとして構成されてもよいし、それに隣接する絶縁膜112よりも屈折率が低い材料で凹面を有するレンズとして構成されてもよい。第2マイクロレンズ102は、例えば、フォトニック結晶または回折格子によって構成されてもよい。上記の設計手法は、F1.4における周辺光線の焦点距離を短くする手法として理解することができるが、F5.6における中央光線主光線に対する角度差が小さい光線の焦点距離を長くするという設計手法を採用してもよい。その場合、F1.4において半導体領域SRの表面103に形成される光スポットの径が先に形成されうる。第2マイクロレンズ1027と絶縁膜112との界面には、反射防止構造が設けられうる。第2マイクロレンズ102は、例えば、面積階調露光もしくはグレースケール露光を用いて、またはエッチバック技術を用いて形成されうる。以下、図2を参照しながら本発明の第2実施形態の固体撮像装置の構成を説明する。なお、第2実施形態として言及されない事項は、第1実施形態に従いうる。第2実施形態の固体撮像装置は、焦点検出画素が、第2マイクロレンズ102と半導体領域SRとの間に導波路GWが設けられている点で第1実施形態の固体撮像装置と異なる。導波路GWは、第1部分202と、第1部分202の側面を取り囲む第2部分203とを含み、第1部分202の屈折率が第2部分203の屈折率よりも高い。第2実施形態によれば、第2マイクロレンズ102に設けることによっても光電変換部PD1、PD2に導くことができないような光線201を導波路GWによって光電変換部PD1、PD2に導く。これにより、第2実施形態では、第1実施形態よりも感度を向上させることができる。ここで、導波路GWは、第1部分202および第2部分203の双方を固体で構成することによって実現されてもよい。あるいは、導波路GWは、第1部分202を固体で構成し、第2部分203、もしくは第2部分203と第1部分202との間を空気等の気体または空間で構成することによって実現されてもよい。あるいは、導波路GWは、金属膜等の反射膜によって中心軸方向第1マイクロレンズ101、第2マイクロレンズ102の中心軸方向に向けて光線の光路を変更するように構成されてもよい。以下、図3を参照しながら本発明の第3実施形態の固体撮像装置の構成を説明する。なお、第3実施形態として言及されない事項は、第1または第2実施形態に従いうる。焦点検出画素は、半導体領域SRと、マイクロレンズ101と、マイクロレンズ101と半導体領域SRとの間に配置された反射面303とを含みうる。半導体領域SRは、互いに独立して信号の読み出しが可能な複数の光電変換部PD1、PD2を含む。反射面303は、マイクロレンズ101と半導体領域SRとの間であって隣接する画素との境界の近傍に、反射面303に入射した光が半導体領域SRに向けて反射されるように配置されている。反射面303は、例えば、配線材料として普通に用いられるアルミニウムあるいはアルミニウムに重量割合0.5~5程度の他の金属原子を混入させた材料で構成されたミラー部材Mによって実現されうる。F1.4における光線302は、反射面303でマイクロレンズ101の中心軸方向に向かって反射されて光電変換部PD2に入射する。F1.4における他の光線301は、導波路GWを構成する反射面で反射されて光電変換部PD2に入射する。なお、導波路GWを設けることが好ましいが、導波路GWは必須ではない。第3実施形態によれば、第1および第2実施形態のような第2マイクロレンズ102を設ける必要がないので、第2マイクロレンズ102の境界面における反射による感度低下が発生しないという利点がある。以下、上記の各実施形態に係る固体撮像装置の応用例として、該固体撮像装置が組み込まれたカメラについて例示的に説明する。カメラは、典型体には、レンズ交換式カメラであるが、撮影レンズがカメラ本体に固定されたものであってもよい。後者においても、設計仕様に応じて、固体撮像装置は、種々のFナンバーの撮影レンズとの組み合わせにおいて使用されうる。カメラの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末も含まれる。カメラは、上記の実施形態として例示された本発明に係る固体撮像装置と、該固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部とを含む。該処理部は、焦点検出画素から読み出した信号に基づいて撮影レンズの瞳における互いに異なる領域を通過した光線間の位相差を検出し、該位相差に基づいて撮像レンズ典型的には、その中のフォーカスレンズの駆動部を制御してオートフォーカスを実行する。