ワークを搬送する搬送装置の動作状態を表示する表示装置であって、前記搬送装置は、前記ワークを支持し駆動するワーク駆動部を複数備え、各ワーク駆動部の協働により前記ワークを移動させるものであり、前記搬送装置による前記ワークの搬送行程に含まれる行程を、所定の分類で分類して設定すると共に、分類設定された前記行程のうち何れの行程が前記搬送装置で現在進行中であるかを表示し、更に同時に、前記現在進行中の行程における更に詳細な進行状況として、前記ワーク駆動部の各動作を1動作ごとに表示することを特徴とする表示装置。請求項1に記載の表示装置と、前記搬送装置と、を備え、前記表示装置は、ユーザによる指示入力を受け付け、前記搬送行程における前記ワーク駆動部の各動作を、1動作ずつ前記ワーク駆動部に実行させるステップ実行指示部を、有することを特徴とする搬送システム。前記表示装置は、ユーザによる指示入力を受け付け、前記搬送行程における前記ワーク駆動部の各動作と逆の動作を、1動作ずつ逆順で前記ワーク駆動部に実行させる逆順ステップ実行指示部を、更に有することを特徴とする請求項2に記載の搬送システム。前記表示装置は、前記搬送装置における搬送行程の進行状況を画面表示するディスプレイ画面と、前記ユーザの操作を前記指示入力として受け付ける操作受付手段と、を備えたことを特徴とする請求項2又は3に記載の搬送システム。前記表示装置は、前記ディスプレイ画面と前記操作受付手段とを含むタッチパネルディスプレイ装置を有し、前記ステップ実行指示部は、前記タッチパネルディスプレイ装置に画面表示されたタッチ入力部であり、タッチ入力によって前記指示入力を受け付けることを特徴とする請求項4に記載の搬送システム。請求項2~5の何れか1項に記載の搬送システムと、前記搬送システムで搬送されるワークに対向して、マスクを保持し駆動するマスク駆動部と、前記マスクを通じて前記ワークに照射光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする露光装置。この種の露光装置に用いられる基板搬送装置は、基板を水平に搬送するのみならず、基板の位置合わせ等の機能も有しており、基板を駆動するための各駆動部が所定の手順で複雑な動作を行うことで、基板の搬送位置合わせ等を実現している。しかも、露光装置では、基板が連続的に搬送され複数の基板が装置内に滞留している状態である。従って、例えば、何らかのエラーによって搬送装置が停止した場合などは、停止時における駆動部の状態を把握することが難しく、復旧処理を柔軟に行うことはできない。すなわち、基板を搬送下流側に排出するといった画一的な復旧処理を行うしかなく、基板の無駄が発生する場合もある。本発明は、現在進行中のワークの搬送行程を表示し、搬送装置の停止からの復旧処理を柔軟に行うことができる表示装置、搬送システム及び露光装置を提供することを目的とする。本発明の表示装置は、ワークを搬送する搬送装置の動作状態を表示する表示装置であって、搬送装置は、ワークを支持し駆動するワーク駆動部を複数備え、各ワーク駆動部の協働によりワークを移動させるものであり、搬送装置によるワークの搬送行程に含まれる行程を、所定の分類で分類して設定すると共に、分類設定された行程のうち何れの行程が搬送装置で現在進行中であるかを表示し、更に同時に、現在進行中の行程における更に詳細な進行状況として、ワーク駆動部の各動作を1動作ごとに表示することを特徴とする。この表示装置が用いられる搬送装置では、複数のワーク駆動部の協働でワークが移動される。そして、表示装置には、搬送装置における現在進行中の行程が表示され、更に同時に、現在進行中の行程におけるワーク駆動部の各動作が1動作ごとに表示される。よって、ワーク駆動部の動作ごとの単位で搬送行程の進行状況を細かく把握することができる。従って、例えば、何らかのエラーにより搬送装置が停止した場合においても、停止時における搬送行程の進行状態を把握することができ、当該停止時における進行状況に応じて柔軟な復旧処理が可能になる。本発明の搬送システムは、上記の表示装置と、搬送装置と、を備え、表示装置は、ユーザによる指示入力を受け付け、搬送行程におけるワーク駆動部の各動作を、1動作ずつワーク駆動部に実行させるステップ実行指示部を、有することを特徴とする。この構成によれば、例えば、搬送装置の停止からの復旧処理において、ユーザは、ステップ実行指示部からの指示入力によって、ワーク駆動部の1動作ずつ行程を進め、搬送システムを所望の状態まで進めて搬送処理を再開させることができる。従って、搬送装置の柔軟な復旧処理が可能になる。また、表示装置は、ユーザによる指示入力を受け付け、搬送行程におけるワーク駆動部の各動作と逆の動作を、1動作ずつ逆順でワーク駆動部に実行させる逆順ステップ実行指示部を、更に有することとしてもよい。この構成によれば、例えば、搬送装置の停止からの復旧処理において、ユーザは、ステップ実行指示部からの指示入力によって、ワーク駆動部の1動作ずつ行程を戻し、搬送システムを所望の状態まで戻して搬送処理を再開させることもできる。従って、搬送装置の更に柔軟な復旧処理が可能になる。また、表示装置は、搬送装置における搬送行程の進行状況を画面表示するディスプレイ画面と、ユーザの操作を指示入力として受け付ける操作受付手段と、を備えたこととしてもよい。また、表示装置は、ディスプレイ画面と操作受付手段とを含むタッチパネルディスプレイ装置を有し、ステップ実行指示部は、タッチパネルディスプレイ装置に画面表示されたタッチ入力部であり、タッチ入力によって指示入力を受け付けることとしてもよい。表示装置にタッチパネルディスプレイ装置を用いることにより、画面のタッチ入力による容易な操作が可能になる。本発明の露光装置は、上記の何れかの搬送システムと、搬送システムで搬送されるワークに対向して、マスクを保持し駆動するマスク駆動部と、マスクを通じてワークに照射光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする。本発明の表示装置、搬送システム及び露光装置によれば、現在進行中のワークの搬送行程を表示し、搬送装置の停止からの復旧処理を柔軟に行うことができる。以下、図面を参照しつつ本発明に係る表示装置、搬送システム及び露光装置の好適な実施形態について詳細に説明する。図1は、本発明の露光装置100を示す側面図である。なお、図に示すように、Z軸を鉛直軸としXY平面を水平面とするXYZ座標系を設定し、X、Y、Zを便宜的に以下の説明に用いる場合がある。図に示すように、露光装置100は、搬送システム1と、マスク駆動部3と、照射部5と、を備えている。搬送システム1は、基板例えば、液晶ディスプレイ用基板としてのカラーフィルタ基板Wを浮上させX方向に搬送する。搬送システム1は、例えば、吸排気エアパッド等からなる公知の浮上ユニット1a等を備える。マスク駆動部3は、露光処理位置Pにおいて、基板Wに対向する露光マスクMを駆動し、基板Wとの位置合わせを行う。照射部5は、マスク駆動部3の上方に配置されており、露光用の紫外線照射光Uを基板Wに照射する。搬送システム1で露光処理位置Pに搬送された基板Wに対し、照射部5からの紫外線がマスクMを通して照射されることで、基板W上に配向部が形成される。マスク駆動部3及び照射部5としては、公知のものを採用すればよいので、マスク駆動部3及び照射部5についての更なる詳細な説明は省略する。本実施形態の搬送システム1には、基板Wの搬送路に沿って上記のような露光処理位置Pが複数箇所例えば4箇所設定されており、それぞれの露光処理位置Pの上方にマスク駆動部3及び照射部5が設置されている。図1には、1箇所の露光処理位置Pのみを拡大して示しているが、他の露光処理装置Pも同等の構成を有しているので、他の露光処理装置Pについては図示を省略し、重複する説明を省略する。図2に示すように、搬送システム1は、基板Wを実際に搬送する搬送装置7と、当該搬送装置7の動作状態を画面表示すると共に操作パネルとして機能するタッチパネルディスプレイ装置表示装置9と、搬送装置7及びタッチパネルディスプレイ装置以下タッチパネルという9の制御を行うコンピュータ11と、を備えている。搬送装置7は、互いに協働して基板Wを駆動するワーク駆動部を複数備えている。具体的には、搬送装置7は、搬送軸WXと、第1回動軸PY1と、露光搬送軸PXと、第2回動軸PY2と、を主たるワーク駆動部として備えている。搬送軸WXと、第1回動軸PY1と、露光搬送軸PXと、第2回動軸PY2と、は、互いの間で基板Wを受け渡ししながら基板Wを搬送する。以下、搬送軸WX、第1回動軸PY1、露光搬送軸PX、及び第2回動軸PY2をはじめとして、協働して基板Wを駆動する駆動部分を総称してワーク駆動部という。搬送軸WXは、基板Wを吸着により保持してX方向に移動することで基板WをX方向に搬送し、露光処理位置Pの直ぐ上流側の位置以下、第1ポジションというまで移動させる。第1回動軸PY1は、第1ポジションにおいて基板Wを吸着により保持し、基板Wを水平面上で回動させる。これにより、露光処理前における基板Wの回転位置以下、θ位置というの位置補正が行われる。露光搬送軸PXは、基板Wを吸着により保持し、照射部5による紫外線照射中にX方向に移動することで、露光処理中の基板WをX方向に搬送する。これにより、基板WはX方向に移動しながら露光処理される。露光搬送軸PXは、最終的に基板Wを露光処理位置Pの直ぐ下流側の位置以下、第2ポジションというまで移動する。第2回動軸PY2は、第2ポジションにおいて基板Wを吸着により保持し、基板Wを水平面上で回動させる。これにより、後段の処理部に引き渡す前に、基板Wのθ位置の位置補正が行われる。ここで、後段の処理部とは、例えば、下流側の次の露光処理位置Pに設置された露光搬送軸PX等が該当する。そしてこの場合、第2回動軸PY2によるθ位置補正は、下流側の次の露光処理位置Pにおける露光処理前のθ位置補正である。第1回動軸PY1及び第2回動軸PY2としては、例えば、Y方向に駆動する複数のアクチュエータを備えた構成を採用することができる。搬送軸WX、第1回動軸PY1、及び第2回動軸PY2は、それぞれ搬送路に向かって昇降し、上昇位置において搬送路上の基板Wを吸着保持し、下降位置に移動することで吸着保持を解除する。更に、搬送装置7は、基板Wの一部位を下方から支持し基板Wの搬送をガイドするガイドローラ図示せずを複数有している。そして搬送装置7は、上記のようなガイドローラを上下させて搬送路上に出没させる複数のシリンダCを有している。また、搬送装置7は、搬送路上の基板Wを検出し、基板Wの現在位置を検知可能とするセンサ類Sを有している。また、このセンサ類Sにより、基板Wの向き搬送方向に対して縦長の長方形であるか横長の長方形であるかも検知可能である。また、センサ類Sには、基板Wの厚み等を検知する厚みセンサ等も含まれている。以上の構成に基づき、搬送システム1では、各ワーク駆動部の以下のような動作によって、基板Wの搬送処理が行われる。まず、搬送軸WXで吸着保持された基板Wが、当該搬送軸WXの移動によって、前段の処理部から第1ポジションに搬送される以下第1ステップという。次に、第1回動軸PY1が上昇する以下第2ステップという。次に、第1回動軸PY1が基板Wを吸着保持する以下第3ステップという。次に、搬送軸WXが基板Wの吸着保持を解除する以下第4ステップという。次に、搬送軸WXが下降する以下第5ステップという。次に、第1回動軸PY1が基板Wを回動させて露光処理前のθ位置補正を行う以下第6ステップという。次に、露光搬送軸PXが基板Wを吸着保持する以下第7ステップという。次に、第1回動軸PY1が基板Wの吸着保持を解除する以下第8ステップという。次に、第1回動軸PY1が下降する以下第9ステップという。次に、露光搬送軸PXが基板WをX方向に移動させる以下第10ステップという。この移動で基板Wは露光処理位置Pを通過し、移動中の基板Wに対して露光処理が行われる。基板Wは第2ポジションに到達する。次に、第2回動軸PY2が上昇する以下第11ステップという。次に、第2回動軸PY2が基板Wを吸着保持する以下第12ステップという。次に、露光搬送軸PXが基板Wの吸着保持を解除する以下第13ステップという。次に、第2回動軸PY2が基板Wを回動させて露光処理前のθ位置補正を行い、その後、第2回動軸PY2から後段の搬送軸に基板Wが引き渡され、基板Wは更に後段の露光処理位置Pに搬送されていく。コンピュータ11には、搬送装置7による搬送処理の各行程が、上記の第1~第13ステップのように、1つのワーク駆動部の1つの動作ごとに分類され第1分類、細分化されて設定されている。更に、コンピュータ11には、第1分類よりも更に上位階層の分類方法第2分類によっても基板搬送行程が分類され、設定されている。具体的には、第2分類は、基板Wを取り扱う処理ごとに基板搬送行程を分けたものであり、以下の第1~第5ブロックに基板搬送行程を分類するものである。第1ブロックは、搬送軸WXから第1回動軸PY1へ基板Wを受け渡す行程であり、上記第1~第5ステップが第1ブロックに含まれる。第2ブロックは、露光処理前の基板Wのθ位置補正行程であり、上記第6ステップが第2ブロックに含まれる。第3ブロックは、第1回動軸PY1から露光搬送軸PXへ基板Wを受け渡す行程であり、上記第7~第9ステップが第3ブロックに含まれる。第4ブロックは、露光処理中における基板Wの搬送行程であり、上記第10ステップが第4ブロックに含まれる。第5ブロックは、露光搬送軸PXから第2回動軸PY2へ基板Wを受け渡す行程であり、上記第11~第13ステップが第5ブロックに含まれる。以上のような搬送処理の各工程の分類設定が、コンピュータ11の記憶装置に電子情報として記憶されている。タッチパネル9は、各露光処理位置Pに設置されており、図3に示すように、各露光処理位置Pで行われる搬送処理について、現在進行中の行程をリアルタイムで画面表示する。図3に示す画面領域A1には、露光処理位置P近傍における基板Wの現在位置と、現在どのワーク駆動部が基板Wを保持しているかといった情報と、がリアルタイムで表示される。画面領域A1は、露光処理位置P近傍の平面図のイメージを示すものであり、基板Wの搬送が画面の左から右に向かうように設定されている。画面領域A1中に破線で示した四角枠の基板表示W1’~W6’のうちの何れかが点灯することで、基板Wが存在する搬送路上の位置が表される。そして、基板Wの移動に対応して、画面上に示される基板表示の表示も移動することになる。本実施形態では、基板Wが第1ポジションよりも上流側の位置にある場合W1’又はW2’、基板Wが第1ポジションにある場合W3’又はW4’、基板Wが第2ポジションにある場合W5’又はW6’の3段階に対応して、基板表示の位置が3段階で移動する。また、基板表示W’の長方形の向き画面上で縦長の長方形であるか横長の長方形であるかも、搬送路上の基板Wの向き搬送方向に対して縦長の長方形であるか横長の長方形であるかに対応して表示される。すなわち、搬送方向と基板Wの長辺方向が一致する場合には、横長の長方形の基板表示W1’、W3’、又はW5’が表示され、搬送方向と基板Wの短辺方向が一致する場合には、縦長の長方形の基板表示W2’、W4’、又はW6’が表示される。従って、基板Wを90°水平回転させるステージが搬送路に存在する場合には、基板Wの回転に対応して基板表示も90°回転する。また、画面領域A1には、露光処理位置PにおけるマスクMの着脱状態や、マスク駆動部の駆動状態を示すマスク状態表示M’も一緒に示されている。更に、画面領域A1には、各センサ類Sによる基板Wの検出状態が基板検出表示S’として示されている。すなわち、各位置のセンサ類Sが基板Wを検出しているときに、基板検出表示S’が点灯する。なお、更に、シリンダCの動作状態を、画面領域A1に表示するようにしてもよい。更に、画面領域A1には、各ワーク駆動部の動作状態が表示される。表示される動作状態には、各ワーク駆動部が基板Wを保持しているか否か、上昇位置にあるか下降位置にあるか、といった情報が含まれる。例えば、画面上の第1回動軸表示PY1’は、第1回動軸PY1が基板Wを吸着保持している場合に点灯表示され、第1回動軸PY1が基板Wを吸着保持していない場合には消灯表示される。また、第1回動軸PY1が上昇位置にある場合には、画面上の第1回動軸表示PY1’内のUPの表示が点灯表示され、第1回動軸PY1が下降位置にある場合には、上記UPの表示が消灯表示される。なお、他のワーク駆動部の動作状態についても、画面上の表示の規則は同様であるので、重複する説明は省略する。なお、露光搬送軸PXに対応して、3箇所左、中央、右の露光搬送軸表示PX’が存在する。このうち、左の露光搬送軸表示PX’が点灯している場合には、基板Wが露光処理前であることを示し、中央の露光搬送軸表示PX’が点灯している場合には、基板Wが露光処理中であることを示し、右の露光搬送軸表示PX’が点灯している場合には、基板Wが露光処理後であることを示す。従って、ユーザは、何らかのエラー例えば、基板Wの吸着の失敗などで搬送処理が停止した場合においても、タッチパネル9の画面表示を確認することにより、基板Wの露光処理が完了済みか否かを知ることができる。よって、基板Wの露光処理が完了済みか否かに応じた適切な復旧処理を選択することができる。更に、このタッチパネル9において、ユーザが画面上のワーク駆動部の動作状態表示WX’、PY1、PX’、PY2をタッチした場合には、そのワーク駆動部が搬送中の基板Wに関する情報が別ウインドウで表示される。基板Wに関する情報以下、基板情報というとしては、基板Wごとにユニークに採番された基板ID、基板Wの厚み、露光方向長手方向に搬送しながら露光するか短手方向に搬送しながら露光するか、露光状態露光処理が完了しているか否か等が含まれる。基板情報は、露光装置100への導入前にコンピュータ11に予め登録され、基板情報のうち一部の情報は、搬送や露光処理の進行に従って順次更新されていく。例えば、センサ類Sによって測定された基板Wの厚みと、基板情報に示される基板Wの厚みとの間に不整合があった場合には、エラーとしてユーザへの警告を画面表示してもよい。また、センサ類Sによって検出された基板Wの向き搬送方向に対して縦長の長方形であるか横長の長方形であるかと、基板情報に示される露光方向との間に不整合があった場合には、エラーとしてユーザへの警告を画面表示してもよい。以上のような画面表示により、ユーザは、搬送装置7の露光処理位置Pにおける状態を、リアルタイムに、各ワーク駆動部の動作単位で詳細に把握することができる。従って、例えば、何らかのエラーにより搬送装置7が停止した場合においても、停止時における搬送行程の進行状態を把握することができ、当該停止時における進行状況に応じて柔軟な復旧処理が可能になる。タッチパネル9の画面領域A2には、現在進行中の基板搬送行程が、前述の第1~第5ブロックの何れの行程に該当するかといった情報が表示される。すなわち、画面上の第1~第5ブロックに対応する数字が記載された矢印表示の何れかが点灯することにより、現在進行中のブロックを表示する。画面領域A3には、現在進行中の基板搬送行程が、前述の第1~第13ステップの何れの行程に該当するかといった情報が表示される。すなわち、画面上の第1~第13ステップに対応する数字が記載された四角枠の何れかが点灯することにより、現在進行中の行程を表示する。このような表示により、ユーザは、基板搬送行程における現在の搬送装置7の状態を、リアルタイムで、画像として直感的に把握することができる。また、タッチパネル9には、第1~第5ブロックのブロック単位で進行状況が表示されるばかりでなく、ブロック内における更に詳細な進行状況として、第1~第13ステップの何れのステップが進行中であるかといった情報も同時に画面表示される。この第1~第13ステップは、ワーク駆動部の1動作単位で設定されているので、ワーク駆動部のどのような動作が現在進行中であるかといった情報を、ユーザが画面表示から得ることができる。よって、何らかのエラーで搬送処理が停止した場合においても、ユーザは、タッチパネル9の画面表示を確認し、停止直前における搬送処理の進行状況の詳細をブロック単位で、或いは更に細かいステップ単位でワーク駆動部の1動作単位で把握することができる。また、センサ類Sによる基板検出表示S’を確認することにより、停止時の基板Wの位置及び向きを把握することができる。よって、ユーザは、より適切な復旧処理を選択することができる。画面領域A4には、ユーザの操作を受け付ける操作ボタンタッチ入力部が表示される。ユーザは、画面表示された操作ボタンにタッチすることで、各種の指示入力を行うことができる。操作ボタンには、ステップ運転ボタンステップ実行指示部B1、戻すボタン逆順ステップ実行指示部B2、ブロック動作ボタンB3が含まれる。何らかのエラーによって、搬送処理が停止した場合には、上記操作ボタンが有効化される。搬送処理が停止した状態でステップ運転ボタンB1をタッチした場合、前述の第1~第13ステップ単位で細分化されたワーク駆動部の動作を、1ステップずつ実行させることができる。また、搬送処理が停止した状態で戻すボタンB2をタッチした場合、前述の第1~第13ステップ単位で細分化されたワーク駆動部の動作と逆の動作を、1ステップずつ逆順で実行することができる。また、搬送処理が停止した状態でブロック動作ボタンB3をタッチした場合、前述の第1~第5ブロック単位に細分化されたワーク駆動部の動作を、1ブロックずつ一纏めで実行させることができる。上記のような機能によれば、停止した搬送処理の復旧処理において、ユーザは、ステップ運転ボタンB1からの指示入力によって、ワーク駆動部の動作ごとに1ステップずつ行程を進め、搬送装置7を所望の状態まで進めて搬送処理を再開させることができる。このとき、ブロック動作ボタンB3からの指示入力によって、1ブロック分の行程を一纏めで進めることもできる。また、ユーザは、戻すボタンB2からの指示入力によって、ワーク駆動部の動作ごとに1ステップずつ行程を戻し、搬送装置7を停止前の所望の状態に戻して搬送処理を再開させることもできる。以上のような指示入力機能を用いることで、搬送装置7の柔軟な復旧処理が可能になる。例えば、通常の画一的な復旧処理では、基本的に基板を下流側に排出するので、排出された露光未完了の基板は無駄になってしまう場合がある。これに対し、搬送システム1によれば、ユーザの判断によって、例えば、露光処理が未完了の基板Wについて、露光処理前の所定の状態から搬送処理を再開することで、基板Wの無駄を避けることができる。また、画面領域A5には、全体ボタンB4が表示されている。搬送処理の進行中において全体ボタンB4をタッチした場合、図4に示すように、画面全体が搬送装置7全体を示す表示画面に切り替わる。この全体表示画面では、複数箇所例えば4箇所の露光処理位置Pをすべて含む搬送装置7全体が表示される。図4では細密な点の図示は省略しているが、他の露光処理位置Pにおける各ワーク駆動部についても、先に説明した第1回動軸表示PY1’の表示と同様の規則で、基板Wの位置向きやワーク駆動部の動作状態等が縮小して表示される。このような機能によれば、ユーザは、比較的大きい装置である露光装置100の状態を、1箇所の露光処理位置Pで確認することができる。なお、例えばタッチパネル9の画面上に初期化ボタン等を表示し、ユーザの初期化指示に基づいて、所定の画一的な初期化処理を行うようにしてもよい。例えば、画一的な初期化処理では、基本的に基板を下流側に排出する処理が行われる。また、前述した画面領域A1~A5を1画面中にすべて表示することは必須ではなく、タッチパネル9の画面表示を階層構造として、メイン画面から、正常時に運転状態を示す画面や、停止からの復旧に必要な操作画面を呼び出す構成としてもよい。また、上述の実施形態では、基板搬送行程の進行状況を画面表示するディスプレイ画面と、ユーザの指示入力の操作を受け付ける操作受付手段と、を併せ持つタッチパネルディスプレイ装置を採用しているが、本発明の表示装置は、この構成には限定されない。すなわち、例えば、基板搬送行程の進行状況を画面表示する機能を通常のディスプレイ画面で実現すると共に、操作受付手段をマウス、キーボードといった通常のポインタ操作入力デバイスで構成してもよい。