"開口部を有するペリクル枠と、前記ペリクル枠の一端面上に設けられた前記開口部を覆うペリクル膜と、前記ペリクル枠の他端面上に設けられた粘着剤層と、を有するペリクルであって、前記粘着剤層の応力緩和率が25以上であることを特徴とするペリクル。前記粘着剤層に深紫外線を照射した後の前記粘着剤層の剥離力が0.45~4.0kgfであることを特徴とする請求項1に記載のペリクル。前記粘着剤層が、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数1~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルと、反応性モノマーと、をモノマー単位として含むメタアクリル酸アルキルエステル共重合体であることを特徴とする請求項1または2に記載のペリクル。前記硬化材が、多官能性エポキシ化合物及びイソシアネート化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物を含むことを特徴とする請求項3に記載のペリクル。前記粘着剤層が、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体100質量部と前記硬化材0.01~3重量部との反応生成物であることを特徴とする請求項3または4に記載のペリクル。前記反応性モノマーがアクリル酸を含み、該アクリル酸に由来するモノマー単位の量が、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し2~7質量であることを特徴とする請求項3~5のいずれか1項に記載のペリクル。前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルと炭素数4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルとを含むことを特徴とする請求項3~6のいずれか1項に記載のペリクル。ペリクルの耐荷重性の低下は、露光中または露光後におこることがある。そのため、深紫外線DUVの露光中及び照射後の耐荷重性が特に重要である。しかし、ペリクルの耐荷重性を改善すると粘着剤が硬くなる傾向にあり、マスクの平坦性が低下することが多かった。そのため、どちらも兼ね備えた粘着剤及びペリクルの開発が望まれていた。そこで、本発明は、良好な耐荷重性を有するとともにマスクの平坦性にも優れたペリクルを提供することを目的とする。本発明者らは、鋭意検討した結果、ペリクルの粘着剤層の応力緩和性特定の値にすることで、マスクの平坦性が改善され、しかも、耐荷重性が改善できることを見出し、本願発明を完成させるに至った。粘着剤層の応力が緩和されれば、ペリクルを貼り付ける際に加わる荷重によって生じるひずみを粘着剤が吸収するため、マスクの平坦性を維持でき、さらに、ペリクルやマスクにひずみを生じさせないことから、粘着剤層の接着性に影響を与えない為、耐荷重性も改善されることが解った。すなわち本発明は、以下に関する。[1]開口部を有するペリクル枠と、前記ペリクル枠の一端面上に設けられた前記開口部を覆うペリクル膜と、前記ペリクル枠の他端面上に設けられた粘着剤層と、を有するペリクルであって、前記粘着剤層の応力緩和率が25以上であることを特徴とするペリクル。[2]前記粘着剤層に深紫外線を照射した後の前記粘着剤層の剥離力が0.45~4.0kgfであることを特徴とする[1]に記載のペリクル。[3]前記粘着剤層が、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含み、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数1~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルと、反応性モノマーと、をモノマー単位として含むメタアクリル酸アルキルエステル共重合体であることを特徴とする[1]または[2]に記載のペリクル。[4]前記硬化材が、多官能性エポキシ化合物及びイソシアネート化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物を含むことを特徴とする[3]に記載のペリクル。[5]前記粘着剤層が、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体100質量部と前記硬化材0.01~3重量部との反応生成物であることを特徴とする[3]または[4]に記載のペリクル。[6]前記反応性モノマーがアクリル酸を含み、該アクリル酸に由来するモノマー単位の量が、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体を構成する全モノマー単位に対し2~7質量であることを特徴とする[3]から[5]のいずれか1つに記載のペリクル。[7]前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルと炭素数4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルとを含むことを特徴とするの[3]から[6]のいずれか1つに記載のペリクル。本発明のペリクルは、耐荷重性とマスクの平坦性の両方に優れている。以下、本発明を実施するための形態以下、単に本実施形態という。について詳細に説明する。以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨の範囲内で適宜に変形して実施できる。本実施形態のペリクルの粘着剤層は、応力緩和率が25以上である。応力緩和率がこの値にあると、マスクに貼り付ける際の荷重に対して力を緩和できるため、マスクに掛かる応力を粘着剤層自身が吸収し、マスクに与える平坦性の影響が緩和される。粘着剤層の応力緩和率は、35~95であることがより好ましく、40~90であると更に好ましい。応力緩和率が95以下であれば、粘着剤が柔らかくなりすぎることもなくハンドリング時に問題が生じることもない。粘着剤層は、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と、硬化材との反応生成物を含んでなる粘着剤から形成されることが好ましい。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体は、炭素数1~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステル及び硬化材との反応性を有する官能基を有する反応性モノマーをモノマー単位として含むものが好ましい。前記アルキル基の炭素数が1~14のメタアクリル酸アルキルエステルとして具体的には、メタアクリル酸ブチル、メタアクリル酸ヘキシル、メタアクリル酸オクチル、メタアクリル酸デシル、メタアクリル酸ドデシル、メタアクリル酸ラウリルなどの直鎖脂肪族アルコールのメタアクリル酸エステル、メタアクリル酸イソブチル、メタアクリル酸イソアミル、メタアクリル酸2-エチルヘキシル、メタアクリル酸イソオクチル、メタアクリル酸イソノニル、メタアクリル酸メチル、メタアクリル酸エチル、メタアクリル酸プロピル、メタアクリル酸イソプロピルなどがあげられる。これらは単独でも2種以上併せて用いてもよい。なかでも、炭素数が1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルと炭素数が4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルを有する2種を用いることがより好ましい。例えば、メタアクリル酸ブチル、メタアクリル酸オクチルなどと、メタアクリル酸メチルやメタアクリル酸エチルやメタアクリル酸プロピルやメタアクリル酸イソプロピルとの組み合わせなどである。また、硬化材との反応性を有する官能基を有する反応性モノマーとしては、メタアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマーや、メタアクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタアクリル酸3-ヒドロキシプロピル、メタアクリル酸2-ヒドロキシプロピル、メタアクリル酸4-ヒドロキシブチル等のヒドロキシル基含有モノマーである。これらは単独でも2種以上併せて用いてもよい。なかでも、共重合性、汎用性等の点から、メタアクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタアクリル酸4-ヒドロキシブチル等の炭素数2~4のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシル基含有メタアクリレート、メタアクリル酸等のカルボキシル基含有モノマーが好ましく用いられる。特に糊残りの点からメタアクリル酸が好ましい。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体は、単量体混合物の全量を基準として、メタアクリル酸アルキルエステル成分が80~99質量、前記反応性モノマーが1~20質量である単量体混合物の共重合体であることが、マスクへの適度な接着力を発現することができ、より好ましい。中でも、メタアクリル酸アルキルエステル成分が93~98質量、前記反応性モノマーが2~7質量である単量体混合物の共重合体であることが最も好ましい。特に、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体の構成としては、炭素数1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルが5~25質量であることが好ましく、更に5~20質量であることが好ましい。また、炭素数4~14のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルが68~93質量であることが好ましく、更に74~92質量であることが好ましい。前記反応性モノマーは、3~6質量であることがより好ましい。炭素数1~3のアルキル基を有するメタアクリル酸アルキルエステルがこれらの範囲内であると、前記反応性モノマーに対して立体障害が小さくなり接着性が向上するため耐加重性が増し、また共重合体のガラス転移温度が著しく低くなり接着性が向上するため耐加重性に優れるため好ましい。また、前記反応性モノマーが、これらの範囲内であると、水素結合が強くなり凝集力が強まるため、DUV照射後の糊残りや露光中での耐荷重性が良好になる。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体の重量平均分子量が70万以上、250万以下であると、粘着剤層の凝集力、接着力が適度な大きさになり、糊残りしにくく、且つ、特に優れた接着力、耐荷重性を持つ粘着剤となり、好ましい。重量平均分子量は、好ましくは75万以上230万以下、さらに好ましくは100万以上200万以下が好ましい。重量平均分子量は、通常の方法で制御できる。具体的には、一般に重合反応するときのモノマー濃度が高いほど重量平均分子量は大きくなる傾向にあり、重合開始剤量の量が少ないほど、又、重合温度が低いほど重量平均分子量は大きくなる傾向にある。このようなメタアクリルエステル共重合体の製造は、溶液重合、塊状重合、乳化重合、各種ラジカル重合などの公知の製造方法を適宜選択できる。また、得られるメタアクリル酸アルキルエステル共重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体などいずれでもよい。なお、溶液重合においては、重合溶媒として、たとえば、酢酸エチル、トルエンなどが用いられる。具体的な溶液重合例としては、反応は窒素などの不活性ガス気流下で、重合開始剤として、たとえば、モノマー全量100重量部に対して、アゾビスイソブチロニトリル0.01~2.0重量部加え、通常、50~70°C程度で、8~30時間程度行われる。ラジカル重合に用いられる重合開始剤、連鎖移動剤、乳化剤などは特に限定されず適宜選択して使用することができる。好ましい重合開始剤としては、たとえば、アゾ系の2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル、2,2’-アゾビス2-メチルプロピオン酸ジメチル、4,4′-アゾビス-4-シアノバレリアン酸などや過酸化物系のベンゾイルパーオキサイドなどが挙げられる。本実施形態のペリクルが有する粘着剤層に使用する粘着剤は、特に、上記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と硬化材との反応生成物を含む組成物からなることが好ましい。粘着剤層の応力緩和率はポリマーの架橋度にも依存する。架橋度が低すぎると、柔らかすぎて糊残りがひどくなる傾向がある。架橋度が高すぎると、硬くなりすぎてマスクへの平坦性が低下する傾向がある。この架橋度をコントロールするために硬化材の量を、前記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体100質量部に対して、0.01~3質量部にするとよい。硬化材の量は、より好ましくは0.03質量部~2.5質量部、更に好ましくは0.05質量部~1.0質量部である。硬化材の量が0.01質量部~3質量部であれば、適度な架橋密度となるため、フォトマスクの平坦性に特に影響を与えにくいフォトマスクの変形を特に抑止できる粘着剤層を形成することができる。更には、糊残りの少ない粘着剤層を形成することができる。これは、硬化材の量が3質量部以下であれば、架橋密度が大きくなりすぎないため、マスクに掛かる応力を粘着剤が吸収し、フォトマスクに与える平坦性の影響が緩和されると考えられる。一方で、硬化材の量が0.01質量部以上であれば、架橋密度が小さくなり過ぎないため、製造工程中でのハンドリング性を維持し、マスクからペリクルを剥離するときに起こる糊残りの問題が発生しないと考えられる。かかる硬化材としては、金属塩、金属アルコキシド、アルデヒド系化合物、非アミノ樹脂系アミノ化合物、尿素系化合物、イソシアネート化合物、金属キレート系化合物、メラミン系化合物、アジリジン系化合物など、通常の粘着剤に使用される硬化材をあげることができる。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基成分との反応性の点から、イソシアネート化合物及び多官能性エポキシ化合物からなる群から選択される少なくとも1つの硬化材が好ましく、多官能性エポキシ化合物がより好ましい。具体的には、イソシアネート化合物としては、トリレンジイソシアネートが挙げられる。多官能性エポキシ化合物としては、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、N、N、N’、N’-テトラグリシジルm-キシレンジアミン、1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、N,N,N’,N’-テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどがあげられる。これらの中でも2~4個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物が好ましく、4個のエポキシ基を有する含窒素エポキシ化合物が反応性の点から好適に用いられる。反応性が良いと粘着剤と塗布後、架橋反応が速やかに終了するので、特性が短時間で安定し、生産性の面で優れる。上記メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物を含む粘着剤の場合、ポリマーの架橋度を適度にコントロールすることで応力緩和率を調整することが出来る。メタアクリル酸アルキルエステル共重合体と多官能性エポキシ化合物との反応生成物を得るための反応は、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体溶液と多官能性エポキシ化合物溶液を秤量し、均一に混ざるように混合攪拌し、溶剤を加熱乾燥除去した後に、加温することで迅速に進行する。粘着剤層は、DUVを照射された後の剥離力が0.45~4kgfであることが好ましい。この範囲であれば、露光後の張替え時に剥離がし易くなりまた糊残りも少ない。さらに、露光中に耐荷重性が良いため、ペリクルが落下する問題もない。更に、0.7~3.5kgfであることが好ましく、0.75~3.0kgfであることがより好ましい。更に、好ましくは、DUV照射後の粘着剤層の剥離力が0.7~3.5kgfの範囲である。この範囲であれば、露光後の張替え時に剥離がしやすくなり、マスクへの糊残りが少ない。更には、耐荷重性もよいため露光時にペリクルが落下せず、更に、DUV照射後の剥離力が0.75~3.0kgfの範囲が好ましい。本実施形態のペリクルは、開口部を有するペリクル枠と、ペリクル枠の一端面上に支持され、開口部を覆うペリクル膜と、ペリクル膜の他端面上に設けられた上述の粘着剤層とから構成される。本実施形態のペリクルは、例えば以下の方法で好適に製造することができる。第一に、上述のメタアクリル酸アルキルエステル共重合体溶液と硬化材溶液とを混合し粘着剤前駆体組成物を得る。この場合、所定の厚み幅の粘着剤層を塗布するために、粘着剤前駆体組成物をさらに溶媒で希釈し、溶液濃度粘度を調整する。希釈のための溶媒は、溶解性、蒸発速度などの観点から選ばれる。好ましい溶媒の具体例としては、アセトン、酢酸エチル、トルエンがあげられるが、これらに限定されるものではない。第二に、該粘着剤前駆体組成物を、一端面に接着されたペリクル膜を有するペリクル枠の他端面に塗布する。塗布方法は、特に限定されるものではないが、ディスペンサーを用いて塗布することが好ましい。前記粘着剤前駆体組成物中のアクリル共重合体溶液溶媒とメタアクリル酸アルキルエステル共重合体からなる溶液をいう。粘度については特に限定はされないが、好ましくは50P以下、より好ましくは10~40P、さらに好ましくは20~30P程度の粘度であるB型粘度計、25°C。ディスペンサーでの塗布において溶媒で希釈することによって、塗布液の糸引きが少なく、安定した幅厚みに調整することが容易となる。第三に、塗布した粘着剤層を加熱乾燥させることにより、溶媒及び/又は残存モノマーを除去することができる。さらに、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体が有する官能基と硬化材とが加熱反応して架橋構造を形成すると、ペリクル枠粘着剤組成物とが一体化し、ペリクル枠表面に密着する。かかる乾燥温度については、溶媒および残存モノマーの沸点、メタアクリル酸アルキルエステル共重合体の分解温度を考慮し、50~200°Cであることが好ましく、60~190°Cであることが好ましい。また、粘着剤中に含まれる溶媒が下記アウトガス試験で50ppb以下となるように、粘着剤は十分に乾燥させた状態でペリクルに使用することが好ましい。乾燥、架橋後に、粘着面を保護するための離型シートを粘着剤層に貼っても良い。離型シートとしては、一般的にはポリエステルなどの厚さ30~200μm程度のフィルムを用いる。また、粘着剤層から離型シートを剥がす際の剥離力が大きいと、剥がす際に粘着剤が変形する恐れがあるので、適切な剥離力になるように、粘着剤と接するフィルム表面にシリコーンやフッ素などの離型処理を行っても良い。粘着面を保護するための離型シートを貼った後、荷重をかけて、粘着剤表面を略平坦に成型しても良い。以下、実施例および比較例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されない。<実施例1>粘着剤組成物の調整メタアクリル酸アルキルエステル共重合体1を、通常の方法により調整した。具体的には、攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル30質量部を入れ、ブチルアクリレートBA/メチルアクリレートMA/アクリル酸AA/2、2’-アゾビスイソブチロニトリルの混合物32質量部を77/19/4/0.3の質量比で仕込んで、反応溶液を調製した。窒素雰囲気下中、この反応溶液を8時間還流させて反応を行った。反応終了後、トルエン38質量部を添加して、不揮発分濃度32質量のアクリル酸アルキルエステル共重合体1の溶液アクリル共重合体溶液を得た重量平均分子量80万。得られたアクリル共重合体溶液100質量部に、多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液を0.1質量部添加し、攪拌混合して、粘着剤前駆体組成物の溶液を得た。粘着剤層付ペリクルの作製その後、一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠外径113mm×149mm、内径109mm×145mm、高さ4.8mmの他端面の全面に、調合した上記粘着剤前駆体組成物の溶液をディスペンサーで塗布した。塗布された溶液を2段階1段階:100°C、8分;2段階:180°C、8分の加熱によって乾燥及びキュアして、実施例1のペリクル用粘着剤組成物からなる粘着剤層厚み0.3mmを有する実施例1のペリクルを得た。ついで、シリコーン離型処理した厚さ100μmのポリエステル製保護フィルムを粘着剤層に貼り合わせた。その状態で室温20±3°Cにて3日間養生させて粘着力を安定化させ、粘着剤層付ペリクルを作製した。得られた粘着剤層付ペリクルについて、以下の方法で評価を実施した。分子量測定ペリクルの粘着剤層から採取した粘着剤組成物の試料を真空乾燥し、溶剤を除去した。残った試料に溶離液を加えて、濃度1.0mg/mLとなるように調整した。これを0.5ミクロンフィルターでろ過し、ろ液をGPC試料とした。GPCの測定条件は下記の通りである。データ処理:東ソーGPC8020装置:東ソーHLC8220GPCカラム:TSKgelSuperHZNM1本TSKgelSuperHZ20001本オーブン40°C溶離液:035mLminCHCl3試料量:50μl10mgmL検出器:RI較正曲線:ポリスチレン応力緩和性の評価上記ペリクルから、厚みが0.3mm、幅が1.5mm、長さが30mmの粘着剤層のサンプルを準備した。この粘着剤層のサンプルに対して、オートグラフを用いてチャック間10mm、引っ張り速度30mm/分にて引っ張り応力を加え、粘着剤層に100mNの荷重が加えられた時点からそのまま保持し、2分後に残留する荷重fを測定し、下式により応力緩和率を算出した。応力緩和率=100-f×100/100フォトマスクの変形の評価フォトマスクの変形の評価は、Tropel社製のFlatMaster200を用いて行った。フォトマスク6025石英の平坦度を測定した後、フォトマスクにペリクルを貼り付け、ペリクル貼り付け後のフォトマスクの平坦度を測定した測定範囲:135mm×110mm。貼り付け前後の平坦度の差を、ペリクルを貼り付けたことによるフォトマスクの変形量として算出した。ペリクルの石英への貼り付けは簡易型マウンターで行った荷重:30kgf、60秒。フォトマスクの変形の程度を、以下の基準で評価した。○:ペリクルを貼り付けたことによるフォトマスクの変形量が100nmより小さい×:ペリクルを貼り付けたことによるフォトマスクの変形量が100nm以上深紫外線DUV環境下での耐荷重テスト上記ペリクル粘着剤層付ペリクルから保護フィルムを剥がし、6025石英ブランクス基材および6025クロム付きマスクブランクス基材に、簡易型マウンターを用いて30kgf、60秒の荷重を加えることでペリクルを貼り付けた。ペリクルを貼り付けた基材に1kgの錘を取り付け、その状態で深紫外線DUV照射下で放置した。基材からペリクルが剥離するまでの時間により、耐荷重性を以下の基準で評価した。○:3日経過してもエアパスなし△:1日経過後にペリクルが基材から落下する×:3時間経過後にペリクルが基材から落下する深紫外線DUV照射後の剥離力粘着剤層付ペリクルを、保護フィルムを剥がしてから切断して、幅1.5mm、長さ5cmのペリクル片を準備した。このペリクル片を6012石英ブランクス基材に貼り付けた。基材に貼り付けられたペリクル片の粘着剤層に対して、DeepUVランプを用いて、15mW/cm2の照度にて積算照射量40J/cm2の深紫外線を照射した。照射後のペリクル片を、オートグラフを用いて、引張速度5mm/分にて引張り、その時の最大剥離力を評価した。<実施例2>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を0.3質量部に変えたこと以外は実施例1と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<実施例3>攪拌機、温度計、還流冷却器、滴下装置、窒素導入管を備えた反応容器に酢酸エチル30質量部を入れ、ブチルアクリレート/アクリル酸/2、2’-アゾビスイソブチロニトリルの混合物32質量部を96/4/1.0の質量比で仕込んで、反応溶液を調製した。窒素雰囲気下中、この反応溶液を60°Cで8時間加熱して、反応を行った。反応終了後、トルエン38質量部を添加して、不揮発分濃度32質量のアクリル酸アルキルエステル共重合体2の溶液アクリル共重合体溶液を得た重量平均分子量80万。得られたアクリル共重合体溶液100質量部に、多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液を0.1質量部添加し、攪拌混合して、粘着剤前駆体組成物の溶液を得た。以下は実施例1と同様にしてペリクルを作製し、その評価を行った。<実施例4>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を0.03質量部に変えたこと以外は実施例1と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<実施例5>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を0.6質量部に変えたこと以外は実施例1と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<比較例1>多官能性エポキシ化合物1,3-ビスN,N-ジグリシジルアミノメチルシクロヘキサン、不揮発分濃度5、トルエン溶液の量を3.0質量部に変えたこと以外は実施例1と同様の方法でペリクルを作製し、その評価を行った。<比較例2>ブチルアクリレート/メチルアクリレート/アクリル酸/2、2’-アゾビスイソブチロニトリルの質量比を77/15/8/0.3に変えたこと以外は、実施例1と同様の方法でペリクルの作製を試みたが作製できなかった。<比較例3>一端面にペリクル膜を接着したアルミ合金製のペリクル枠外径113mm×149mm、内径109mm×145mm、高さ4.8mmの他端面に、スチレンエチレンブチレンスチレンのゴム系ホットメルト粘着剤SEBSポリマーゴム系粘着剤を塗布した。以下は実施例1と同様にしてペリクルを作製し、その評価を行った。"