"基板に対してマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記マスクのパターンを露光する露光装置であって、前記マスクを保持するマスク保持部と、前記マスクを搬入又は搬出するための受け渡し位置と、前記マスク保持部の下面と対向する交換位置との間を移動可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーと、を備え、前記マスクトレー部は、前記マスクの下面にエアを供給して、前記マスクを浮上させるエア供給機構と、前記浮上したマスクの端面と当接して、前記マスクを位置決めする位置決め部と、前記浮上したマスクの端面を前記位置決め部に向けて押圧する押圧機構と、を有することを特徴とする露光装置。前記マスクトレー部は、ベース部と、前記チェイサー板と前記ベース部との間に配置された複数のばね部材と、を有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。前記露光装置は、複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であり、前記マスク保持部は、上流側に配置される複数の上流側マスク保持部と下流側に配置される複数の下流側マスク保持部とを有して、前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部とは、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置され、前記マスクトレー部は、前記受け渡し位置と各上流側マスク保持部の各交換位置との間を移動可能な上流側マスクトレー部と、前記受け渡し位置と各下流側マスク保持部の各交換位置との間を移動可能な下流側マスクトレー部と、を有し、前記マスクチェンジャーは、前記上流側マスクトレー部と前記下流側マスクトレー部の両方を同期駆動するマスク交換用駆動部を有することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。前記露光装置は、複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であり、前記マスク保持部は、上流側に配置される複数の上流側マスク保持部と下流側に配置される複数の下流側マスク保持部とを有して、前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部とは、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置され、前記マスクトレー部は、前記受け渡し位置と各上流側マスク保持部の各交換位置との間を移動可能な上流側マスクトレー部と、前記受け渡し位置と各下流側マスク保持部の各交換位置との間を移動可能な下流側マスクトレー部と、を有し、前記マスクチェンジャーは、前記上流側マスクトレー部と前記下流側マスクトレー部をそれぞれ駆動する一対のマスク交換用駆動部を有することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。ところで、露光装置では、マスクをプリアライメントする際にマスクとマスクが接する面との間の摩擦によりマスクが損傷するのを防止することが要求されている。特許文献1は、エアを使用してマスクの撓みを防止し、特許文献2は、エアを使用して基板の損傷を防止するものであり、摩擦によるマスクの損傷を防止するものではない。また、特許文献3も、帯電によるマスクの損傷を防止するものであり、摩擦によるマスクの損傷を防止するものではない。本発明は、上記事情に鑑みて為されたものであり、その目的は、マスクをプリアライメントする際に、マスクとマスクが接する面との間の摩擦によってマスクが損傷するのを防止することが可能な露光装置を提供することにある。本発明の上記目的は、下記の構成によって達成される。1基板に対してマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記マスクのパターンを露光する露光装置であって、前記マスクを保持するマスク保持部と、前記マスクを搬入又は搬出するための受け渡し位置と、前記マスク保持部の下面と対向する交換位置との間を移動可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーと、を備え、前記マスクトレー部は、前記マスクの下面にエアを供給して、前記マスクを浮上させるエア供給機構と、前記浮上したマスクの端面と当接して、前記マスクを位置決めする位置決め部と、前記浮上したマスクの端面を前記位置決め部に向けて押圧する押圧機構と、を有することを特徴とする露光装置。2前記マスクトレー部は、ベース部と、前記チェイサー板と前記ベース部との間に配置された複数のばね部材と、を有することを特徴とする1に記載の露光装置。3前記露光装置は、複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であり、前記マスク保持部は、上流側に配置される複数の上流側マスク保持部と下流側に配置される複数の下流側マスク保持部とを有して、前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部とは、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置され、前記マスクトレー部は、前記受け渡し位置と各上流側マスク保持部の下面と対向する各交換位置との間を移動可能な上流側マスクトレー部と、前記受け渡し位置と各下流側マスク保持部の下面と対向する各交換位置との間を移動可能な下流側マスクトレー部と、を有し、前記マスクチェンジャーは、前記上流側マスクトレー部と前記下流側マスクトレー部の両方を同期駆動するマスク交換用駆動部を有することを特徴とする1または2に記載の露光装置。4前記露光装置は、複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であり、前記マスク保持部は、上流側に配置される複数の上流側マスク保持部と下流側に配置される複数の下流側マスク保持部とを有して、前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部とは、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置され、前記マスクトレー部は、前記受け渡し位置と各上流側マスク保持部の下面と対向する各交換位置との間を移動可能な上流側マスクトレー部と、前記受け渡し位置と各下流側マスク保持部の下面と対向する各交換位置との間を移動可能な下流側マスクトレー部と、を有し、前記マスクチェンジャーは、前記上流側マスクトレー部と前記下流側マスクトレー部をそれぞれ駆動する一対のマスク交換用駆動部を有することを特徴とする1または2に記載の露光装置。本発明の露光装置によれば、マスクチェンジャーのマスクトレー部は、マスクの下面にエアを供給して、マスクを浮上させるエア供給機構と、浮上したマスクの端面と当接して、マスクを位置決めする位置決め部と、浮上したマスクの端面を前記位置決め部に向けて押圧する押圧機構と、を有する。従って、位置決め部と押圧機構によって位置決めしながら浮上したマスクをプリアライメントすることができるので、マスクとマスクが接する面との間の摩擦によってマスクが損傷するのを防止することができる。また、マスクトレー部によってマスクを浮上させた状態で、押圧機構によって位置決め部に向けてマスクを移動させることでマスクのプリアライメントを行うことができ、マスクの交換時間を短縮することができると共に、マスクのプリアライメントのための装置を別途設ける必要がない。以下、本発明の露光装置の一実施形態に係る近接スキャン露光装置について図面を参照して詳細に説明する。本実施形態の近接スキャン露光装置1は、図6に示すように、マスクMに近接しながら所定方向に搬送される略矩形状の基板Wに対して、パターンPを形成した複数のマスクMを介して露光用光ELを照射し、基板WにパターンPを露光転写する。即ち、該露光装置1は、基板Wを複数のマスクMに対して相対移動しながら露光転写が行われるスキャン露光装置である。なお、本実施形態で使用される略矩形状のマスクのサイズは、300mm×350mmに設定されており、パターンPのX方向長さは、有効露光領域のX方向長さに対応する。近接スキャン露光装置1は、図1及び図5に示すように、基板Wを浮上させて支持すると共に、基板Wを所定方向図において、X方向に搬送する基板搬送機構20と、複数のマスクMをそれぞれ保持し、所定方向と交差する方向図において、Y方向に沿って千鳥状に二列配置される複数のマスク保持部71を有するマスク保持機構70と、複数のマスク保持部71の上部にそれぞれ配置され、露光用光ELを照射する複数の照射部80と、複数の照射部80と複数のマスク保持部71との間にそれぞれ配置され、照射部80から出射された露光用光ELを遮光する複数の遮光装置90と、複数のマスク保持部71に保持される各マスクMを交換するためのマスクチェンジャー120と、これらを制御する制御部190を備える。これら基板搬送機構20、マスク保持機構70、複数の照射部80、遮光装置90、及び、マスクチェンジャー120は、レベルブロック3図4参照。を介して地面に設置される装置ベース2上に配置されている。ここで、基板搬送機構20が基板Wを搬送する領域のうち、上方にマスク保持機構70が配置される領域をマスク配置領域EA、マスク配置領域EAに対して上流側の領域を基板搬入側領域IA、マスク配置領域EAに対して下流側の領域を基板搬出側領域OAと称す。基板搬送機構20は、装置ベース2上に他のレベルブロック4を介して設置された複数の角パイプ等によってそれぞれ構成される搬入フレーム5、精密フレーム6、搬出フレーム7上に配置され図4参照。、エアで基板Wを浮上させて支持する浮上ユニット21と、浮上ユニット21のY方向側方で、装置ベース2上にさらに他のレベルブロック8を介して設置されたフレーム9上に配置され、基板Wを把持すると共に、基板WをX方向に搬送する基板駆動ユニット40と、基板搬入側領域IAに設けられ、この基板搬入側領域IAで待機される基板Wのプリアライメントを行う基板プリアライメント機構50と、基板Wのアライメントを行う基板アライメント機構60と、を有する。なお、各レベルブロック3,4,8は、除振台と置き換えられても良い。浮上ユニット21は、図3~図5に示すように、搬入出及び精密フレーム5,6,7の上面から上方に延びる複数の連結棒22が下面にそれぞれ取り付けられる長尺状の複数の排気エアパッド23,24及び長尺状の複数の吸排気エアパッド25a,25bと、各エアパッド23,24,25a,25bに形成された複数の排気孔26からエアを排出するエア排出系30及びエア排出用ポンプ31と、吸排気エアパッド25a,25bに形成された吸気孔27からエアを吸引するためのエア吸引系32及びエア吸引用ポンプ33と、を備える。基板搬入側領域IA及び基板搬出側領域OAに配置される排気エアパッド23は、長手方向が主にX方向に沿うように敷設されており、隣接するパッド同士の間隔を比較的大きくしてコストダウンを図っている。また、図3に示すように、マスク配置領域EAに配置されるエアパッド24,25a,25bのうち、排気エアパッド24は、長手方向がX方向に沿うように敷設される一方、吸排気エアパッド25a,25bは、長手方向がY方向に沿うように敷設されている。また、吸排気エアパッド25a,25bは、図5に示すように、複数の排気孔26及び複数の吸気孔27を有しており、エアパッド25a,25bの支持面34と基板Wとの間のエア圧をバランス調整し、所定の浮上量に高精度で設定することができ、安定した高さで水平支持することができる。図6に示すように、吸排気エアパッド25a,25bは、マスク保持部71に保持された露光時におけるマスクMの下方に位置するように対向配置され、マスクMのパターンPが形成された露光領域より大きく設計されている。このように吸排気エアパッド25a,25bが、マスクMの露光領域より大きく設計されることで、エアパッドによる露光むらが発生するのを抑制することができる。なお、精密フレーム6は、マスク配置領域EAに配置された吸排気エアパッド24,25a,25bからY方向一側に延設されており、後述するマスクプリアライメント機構140を構成する排気エアパッド141が、長手方向をY方向に沿うように連続配置されている。基板駆動ユニット40は、図2に示すように、真空吸着により基板Wを把持する把持部材41と、把持部材41をX方向に沿って案内するリニアガイド42と、把持部材41をX方向に沿って駆動する駆動モータ43及びボールねじ機構44と、フレーム9の上面から突出するように、基板搬入領域IAにおけるフレーム9の側方にZ方向に移動可能且つ回転自在に取り付けられ、マスク保持機構70への搬送待ちの基板Wの下面を支持する複数のワーク衝突防止ローラ45と、を備える。なお、基板駆動ユニット40は、基板Wの撓み等を考慮して、Y方向一側のみに設けられているが、Y方向両側に設けられる構成であってもよい。また、把持部材41は、基板Wのθ方向X,Y方向からなる水平面の法線回りの駆動を許容する構成であってもよい。基板プリアライメント機構50は、図7に示すように、基板搬入側領域IAのX方向上流側、及びY方向一側、即ち、基板搬入側領域IAで待機される基板Wの対向辺の一側近傍に配置される複数の基準ピン51,52と、X方向下流側、及びY方向他側、即ち、待機した基板Wの対向辺の他側近傍に配置される複数の押し当てピン53,54と、基板Wを吸着すると共に、吸着した基板Wと共にX方向に駆動可能なハンドシェイクピン55と、を有する。X方向に対向して配置された基準ピン51及び押し当てピン53は、上面視で複数のエアパッド23と重ならない位置に配置される。これら基準ピン51及び押し当てピン53はそれぞれ、図示しない駆動部により、搬入フレーム5の上面から上方に進退可能であると共に、X方向に移動可能である。Y方向に対向して配置された基準ピン52及び押し当てピン54は、Y方向両側の一対のフレーム10図1参照。に跨ってY方向に延びる一対の連結フレーム11に掛け渡されるX方向フレーム18に取り付けられる。基準ピン52は、図示しない駆動部により、下方に進退可能に設けられ、また、押し当てピン54は、図示しない駆動部により、下方に進退可能であると共に、Y方向に移動可能である。また、これら基準ピン51,52及び押し当てピン53,54は、基板Wの縁端面と当接する軸受ローラ58,59をそれぞれ有する。さらに、ハンドシェイクピン55は、エアパッド23が配置されていない基板Wと対向可能な位置で搬入フレーム5に設けられ、図示しない駆動部により基板搬入領域IAの略2/3程度に亘ってX方向に移動可能である。なお、基準ピン51のX方向位置は、基板Wのサイズ変更や、基板毎のアライメントマーク位置の変更、後述する遮光装置90との同期を図るための基板Wの搬送開始位置変更等によって調整される。また、各基準ピン及び押し当てピンの本数は、少なくとも図7に示された数、即ち、2本の基準ピン51と、それぞれ1本の基準ピン52、押し当てピン53,54だけ最低限あればよく、必要に応じて増加してもよい。基板アライメント機構60も、図7に示すように、基板Wに設けられた基準マークを検出する2つのアライメント用カメラ61と、基板Wを吸着すると共に、吸着した基板Wと共にY方向にそれぞれ駆動可能な一対のθ補正用吸着ピン62と、を有する。アライメント用カメラ61は、連結フレーム11にそれぞれ取り付けられ、図示しない駆動部によりY方向に沿って移動可能である。これにより、カメラ61が基準マークを検出することで、アライメント時の基板WのX,Y,θ方向の補正移動量が算出される。一対の吸着ピン62は、エアパッド23が配置されていない基板Wと対向可能な位置で搬入フレーム5に設けられ、図示しない駆動部によりY方向及びZ方向に移動可能である。従って、X方向に所定距離離れた一対の吸着ピン62がY方向に相対的に移動することで、吸着された基板Wのθ方向の位置合わせが行われる。なお、基板WのX,Y方向のアライメント調整は、把持部材41のX方向補正、後述するマスク保持部71のY方向補正によって行われる。マスク保持機構70は、図2及び図5に示すように、上述した複数のマスク保持部71と、マスク保持部71毎に設けられ、マスク保持部71をX,Y,Z,θ方向、即ち、所定方向、交差方向、所定方向及び交差方向との水平面に対する鉛直方向、及び、該水平面の法線回りに駆動する複数のマスク駆動部72と、を有する。Y方向に沿って千鳥状に二列配置される複数のマスク保持部71は、上流側に配置される複数の上流側マスク保持部71a本実施形態では、6個と、下流側に配置される複数の下流側マスク保持部71b本実施形態では、6個と、で構成され、装置ベース2のY方向両側に立設した柱部12図1参照。間で上流側と下流側に2本ずつ架設されたメインフレーム13にマスク駆動部72を介してそれぞれ支持されている。各マスク保持部71は、Z方向に貫通する開口77を有すると共に、その周縁部下面にマスクMが真空吸着されている。マスク駆動部72は、メインフレーム13に取り付けられ、X方向に沿って移動するX方向駆動部73と、X方向駆動部73の先端に取り付けられ、Z方向に駆動するZ方向駆動部74と、Z方向駆動部74に取り付けられ、Y方向に駆動するY方向駆動部75と、Y方向駆動部75に取り付けられ、θ方向に駆動するθ方向駆動部76と、を有し、θ方向駆動部76の先端にマスク保持部71が取り付けられている。従って、各駆動部73,74,75,76はX方向に並んで配置されており、マスク駆動部72は、マスク保持部71a,71bのX方向側方で、上流側マスク保持部71aと下流側マスク保持部71bとが対向する側と反対側に延びて、メインフレーム13に取り付けられている。複数の照射部80は、図5及び図8に示すように、筐体81内に図示しない光源、ミラー、オプチカルインテグレータ、シャッター等を備え、マスク保持部71に保持されたマスクMに露光用光ELを照射する。また、筐体81の下面には、ガイドレール82が取り付けられており、照射部80は、メインフレーム13や後述するサブフレーム15に固設されたスライダ83に案内され、マスク保持部71の上方に配置される露光位置EP図5の実線と、露光位置EPから外れた後退位置RP図5の二点鎖線との間をX方向に移動可能である。このため、照射部80が後退位置RPに位置される場合には、後述する中間連結フレーム16の上方にスペースが形成されるので、作業者が中間連結フレーム16上に乗って、マスク保持機構70、後述する遮光装置90、各種検出手段等の交換やメンテナンスを容易に行うことができる。なお、露光位置EPと後退位置RPでの照射部80の位置決めは、筐体81の下面に設けられた一対のストッパ部材84a,84bをメインフレーム13に設けられた固定部材85に当接させることで行われる。また、照射部80には、露光位置EPに移動したことを検出する位置検知センサが構成されている。具体的には、露光位置EPを規定するストッパ部材84aには、センサドグ86が取り付けられており、固定部材85近傍に設けられたフォトスイッチ87によって、照射部80が露光位置EPに位置決めされたことを検知する。なお、図8に一点鎖線で示された固定部材85及びフォトスイッチ87は、照射部80が露光位置EPに位置する際の筐体81との相対位置を示している。また、本実施形態では、各照射部80のX方向移動量は、670mmに設定されている。複数の遮光装置90は、図5、図9及び図10に示すように、マスク保持部71に保持されたマスクMの近傍で、照射部80から出射された露光用光ELを遮光するとともに、露光用光ELを遮光する所定方向における遮光幅、即ち、Z方向から見た投影面積が可変となるように、傾斜角度を変更する一対の板状のブラインド部材遮光部材108,109と、一対のブラインド部材108,109の傾斜角度を変更するブラインド駆動ユニット92と、を有する。ブラインド駆動ユニット92は、上流側及び下流側のメインフレーム13,13との間で、装置ベース2のY方向両側に立設した柱部14,14図1参照。間で上流側と下流側に架設されたサブフレーム15,15にZ軸駆動機構91を介してZ方向に昇降可能に固定される。図9に示すように、ブラインド駆動ユニット92は、開口93aを画成する筐体93のY方向両側で、且つ、上下に取り付けられた4つのモータ95a,95a,95b,95bと、モータ95a,95bの回転によってねじ軸96a,96bを回転させ、ナット97a,97bをX方向に移動させる4つのボールねじ機構98a,98a,98b,98bと、ナット97a,97bをスライダ99a,99bと固定し、スライダ99a,99bがレール100a,100bに案内される4つのリニアガイド101a,101a,101b,101bと、下側のナット97aにねじ固定された連結部102aを介して、ナット97aと共にX方向に移動し、一方のブラインド部材108が取り付けられる一対のアーム部103と、上側のナット97bにねじ固定された連結部102bを介して、ナット97bと共にX方向に移動し、他方のブラインド部材109が取り付けられる一対のアーム部104と、を備える。また、各アーム部103,104はそれぞれ、図10aに示すように、筐体93からナット97a,97bと共にX方向に移動する第1アーム部105a,105bと、各一端が第1アーム部105a,105bの下端とそれぞれ連結し、各他端同士が互いに連結される第2アーム部106a,106bと、を備える。Y方向両側に設けられた第2アーム部106aの下方には、その長手方向がY方向に沿うように一方のブラインド部材108が固定される。また、Y方向両側に設けられた第2アーム部106bの下方には、その長手方向がY方向に沿うように他方のブラインド部材109が固定される。従って、遮光装置90が照射部80から出射された露光用光ELを遮光する場合には、一対のブラインド部材108,109が、開口93a内の露光領域から外れた位置に収納された状態から、上側の一対のモータ95a,95aを駆動して、第1アーム部105bを第1アーム部105aから離間するようにX方向に移動させることで、一対のブラインド部材108,109が同一の傾斜角度を持って徐々に開かれる。これにより、ブラインド部材108,109が露光領域に進出した部分の露光用光ELが遮光される。さらに、下側の一対のモータ95b、95bを駆動して、第1アーム部105aを第1アーム部105bから離間するようにX方向に移動させることで、一対のブラインド部材108,109がさらに開かれ、露光領域全域をブラインド部材108,109によって遮光できる。また、図10bに示すように、一方のブラインド部材108の一端部108aは、略平板状に形成され、他方のブラインド部材109の一端部109aは、一方のブラインド部材108の一端部108aを覆う湾曲形状を有する。両ブラインド部材108,109は、駆動ユニット92によって傾斜角度を可変とするが、これら一端部108a,109aは、互いに近接対向し、傾斜角度に関わらず、上下方向から見て互いにオーバーラップしている。これにより、一対のブラインド部材108,109が傾斜角度を変えてX方向に移動した際に、互いの一端部側において露光用光ELが漏れることが防止される。また、一対のブラインド部材108,109は互いに平行となる位置まで傾斜角度を変更可能であるので、ブラインド部材108,109が露光領域を横切る際の露光量の低下を極力抑制することができる。マスクチェンジャー120は、図11及び図12に示すように、上流側マスク保持部71aと下流側マスク保持部71bとの間に配置されており、マスクMを保持すると共に、マスクMをマスク保持部71の下面に吸着させるべく、上流側及び下流側マスク保持部71a,71bの下面と対向可能な一対のマスクトレー部121と、上流側マスク保持部71aと下流側マスク保持部71bとの間で、これら一対のマスクトレー部121を連結する連結部122と、これら一対のマスクトレー部を連結部122と共にY方向に駆動するマスク交換用駆動部123と、を有する。一対のマスクトレー部121は、平板状のベース部191と、このベース部191の上方でベース部191に対して水平方向に相対移動可能に配置される平板状のチェイサー板192と、このチェイサー板192の周縁部の上面に設けられ、マスクMが載置可能であると共に、マスクMの下面にエアを供給して、マスクMを浮上させる複数のエア供給機構125と、を備える。また、一対のマスクトレー部121は、チェイサー板192とベース部191との間に配置された複数のばね部材194と、後述するマスクプリアライメントの際に、浮上したマスクMの端面と当接して、チェイサー板192に対してマスクMを水平方向に位置決めするための複数のマスク用位置決めピン位置決め部196と、同じくマスクプリアライメントの際に、浮上したマスクMの端面をマスク用位置決めピン196に向けて押圧する押圧機構198と、を備える。チェイサー板192は、ばね部材194を介してベース部191の上方で支持されている。このため、チェイサー板192は、ベース部191に対して相対移動可能であるとともに、マスクMとともにマスク保持部71の移動に追従させることができる。これにより、マスク保持部71にマスクMを取り付けるとき、マスク保持部71が一定の位置に降下する際、ばね部材194を伸縮させることで、マスクMの取付位置を変えることができ、マスクMの吸着力を一定にすることができる。また、マスク保持部71にマスクMを取り付けるときに、マスク保持部71がマスクMに衝突したとしても、ばね部材194を伸縮させることでマスクMに過大な力が掛かるのを抑制することができ、マスクMが変形したり、マスクMが破損したりするのを防止することができる。マスク用位置決めピン196は、複数のエア供給機構125によって浮上されるマスクMの端面がプリアライメントされる際に当接可能な位置で、X方向一方側及びY方向一方側でベース部191上に配置されている。押圧機構198は、マスク用位置決めピン196が配置される側と反対側のX方向他方側及びY方向他方側でベース部191上に配置されている。押圧機構198は、図示しない、シリンダ機構または、サーボ機構などによって構成され、浮上したマスクMの端面をマスク用位置決めピン196に向けてX方向及びY方向から押圧し、マスクMの端面をマスク用位置決めピン196に当接させることで、マスクMのプリアライメントが行われる。なお、マスク用位置決めピン196及び押圧機構198は、チェイサー板192上に配置されてもよい。連結部122は、上部にスライダ127が取り付けられる連結部本体128と、千鳥状に配置されるマスク保持部71の配置に併せて、一対のマスクトレー部121をX方向に対して斜めに連結する一対の腕部129と、を有している。マスク交換用駆動部123は、Y方向に延びる中間連結フレーム16の下部に同じくY方向に延設された支持部131内に収容され、駆動モータ132によって回転駆動されるベルト133と、連結部122に固定されると共に、ベルト133の一部と連結され、ベルト133の回転によりY方向に駆動される可動部134と、を有する。可動部134は、支持部131の開口部131aから側方に延び、下方に位置する連結部122に固定される。また、支持部131の下部にはガイドレール135が設けられ、ガイドレール135を跨ぐスライダ127によって一対のマスクトレー部121をY方向に案内する。なお、中間連結フレーム16は、上流側及び下流側のサブフレーム15,15をY方向両側で連結するX方向に延びるフレーム17,17の中間部に取り付けられている図1参照。。従って、連結部122を介して可動部134と連結された一対のマスクトレー部121は、マスクMを交換すべく、ベルト133を駆動して、マスクMを搬入又は搬出するための受け渡し位置WPと、各マスク保持部71の下面と対向する交換位置CPとの間でY方向に移動する。この受け渡し位置WPは、マスクトレー部121やマスク交換駆動部123等が基板駆動ユニット40の各部品と干渉しないように、基板駆動ユニット40が設置されるY方向の一端側と反対側に設けられている。また、図12に示すように、マスクトレー部121のベース部191は、複数の照射部80からの各露光用光ELが照射される各位置に、各露光用光ELの照度を検出する照度センサ199を備える。また、各照射部80には、照射部80内での露光用光ELの照度を検出する他の照度センサが設けられており、制御部190は、照度センサ199を用いて、各照射部80における照度が目標照度値となるように光源の電流値を制御し、また、複数の他の照度センサによって各照射部80における照度値が維持されるように制御することで、複数の照射部80における各光源の照度を同一に制御することができる。また、図4及び図11に示すように、近接スキャン露光装置1には、レーザー変位計160,161、マスクアライメント用カメラ171、追従用カメラ172、追従用照明173等の各種検出手段が配置されている。レーザー変位計160160a,160b,160cは、基板Wと各マスクMとが対向する領域で少なくとも3箇所の位置にそれぞれ設けられている。マスクMの上方に位置する一つのレーザー変位計160aは、マスク保持部71に取り付けられており、基板WとマスクMとのギャップを検出するギャップセンサを構成する。基板の下方に位置する2つのレーザー変位計160b,160cは、マスクMの下方に位置する露光領域より大きいエアパッド25aの側方で、基板WとマスクMとが対向する位置に配置され、基板Wの厚さを検出する図3参照。。なお、基板Wが素ガラスの場合には、レーザー変位計160b,160cは、上記ギャップも検出可能であり、レーザー変位計160a,160b,160cが、ギャップセンサを構成する。マスクアライメント用カメラ171は、マスクMに形成された基準マークを撮像して、後述する制御部190に送信する。追従用カメラ172は、マスクMと基板Wとの相対位置ズレを検出するため、基板W上の基準マーク、又は基板Wに形成された下地パターンを撮像して、後述する制御部190に送信する。これら2つのレーザー変位計160b,160c、マスクアライメント用カメラ171、追従用カメラ172は、マスク配置領域EAの隣接するエアパッド24,25a,25b間に、エアパッド24,25a,25bの上面より突出しないように精密フレーム6に取り付けられている。また、レーザー変位計161は、搬入フレーム5に取り付けられ、基板Wの厚さを検出する。追従用照明173は、ブラインド駆動ユニット92の筐体93に取り付けられる。ここで、図4に示すように、搬入、精密、搬出フレーム5,6,7は、装置ベース2上に水平方向に延びる複数の角パイプ180、及び鉛直方向に延びる複数の角パイプ181を連結して構成され、X方向及びY方向に貫通するスペース182を画成している。これにより、作業者は、このスペース182内に入り込んで、例えば、エアパッド22,23,24,25a,25bや、上述した各種検出手段、ワーク衝突防止ローラ45、また、基準ピン51、押し付けピン53、ハンドシェイクピン55、吸着ピン62、及びこれらピン51,53,55,62の駆動軸等、これら補機類の交換、メンテナンス作業等を容易に行うことができる。制御部190は、上記検出手段や上記各駆動部を含む基板搬送機構20、マスク保持機構70、照射部80、遮光装置90、マスクチェンジャー120等の各機構と接続されており、プログラムや各検出手段からの検出信号に基づいて各機構を駆動制御する。特に、制御部190は、露光時において、マスクMと基板Wとの相対位置ズレを検出し、検出された相対位置ズレに基づいてマスク駆動部72を駆動させ、マスクMの位置を基板Wにリアルタイムで追従させる。同時に、マスクMと基板Wとのギャップを検出し、検出されたギャップに基づいてマスク駆動部72を駆動させ、マスクMと基板Wのギャップをリアルタイムで補正する。次に、以上のように構成される近接スキャン露光装置1を用いて、基板Wの露光転写について説明する。なお、本実施形態では、下地パターン例えば、ブラックマトリクスが描画されたカラーフィルタ基板Wに対して、R赤、G緑、B青のいずれかのパターンを描画する場合について説明する。近接スキャン露光装置1は、図示しないローダ等によって、基板搬入領域IAに搬送された基板Wを排気エアパッド23からのエアによって浮上させて支持し、基板Wのプリアライメント作業、アライメント作業を行った後、基板駆動ユニット40の把持部材41にてチャックされた基板Wをマスク配置領域EAに搬送する。そして、基板Wがマスク配置領域EAに設けられた排気エアパッド24及び吸排気エアパッド25a,25b上に移動し、振動を極力排除した状態で浮上させて支持される。そして、照射部80内の光源から露光用光ELを出射すると、かかる露光用光ELは、マスク保持部71に保持されたマスクMを通過し、パターンを基板Wに露光転写する。このとき、基板Wの移動誤差によるパターンのズレが、追従用カメラ172によって検出された下地パターンの画像を処理することで与えられる。そして、マスク駆動部72が、この処理された画像データに応じてマスクMの位置を微調整することで、パターンのズレをリアルタイムに補正することができる。また、露光動作中、各マスク毎に設置されたレーザー変位計160a,160b,160cは、基板WとマスクMとの間のギャップを検出している。そして、検出されたギャップに基づいて、マスク駆動部72のZ方向駆動部74が、マスク保持部71を上下方向にリアルタイムに駆動制御する。このため、基板Wが基板搬送機構20によって搬送される際、基板Wの厚さばらつきにより、30μm~40μm程度の高さのばらつきが発生する場合があるが、上記制御によりリアルタイムでのギャップ調整を可能としている。以上、同様にして、連続露光することで、基板W全体にパターンの露光を行うことができる。マスク保持部71に保持されたマスクMは、千鳥状に配置されているので、上流側或いは下流側のマスク保持部71a,71bに保持されるマスクMが離間して並べられていても、基板Wに隙間なくパターンを形成することができる。また、マスクMを所定のタイミングで洗浄するために、マスクチェンジャー120を用いて随時マスクMの交換が行われる。該マスク交換は、図13に示すように、まず、Y方向一端に配置された1番目の上流側及び下流側のマスク保持部71a1,71b1において左右同時に行われ、順次、隣の上流側及び下流側のマスク保持部71a2,71b2,...,71a5,71b5にて行われ、最後に、Y方向他端に配置された6番目の上流側及び下流側のマスク保持部71a6,71b6にて行われる。具体的に、まず、マスク駆動部72は、全てのマスク保持部71を、マスク交換を行うための退避位置に上昇させる。この時、遮光装置90も筐体93を上昇して退避させる。そして、マスクMが搭載されていない空の一対のマスクトレー部121を1番目の上流側及び下流側のマスク保持部71a1,71b1の下方交換位置CPへ移動させる。そして、1番目の上流側及び下流側のマスク保持部71a1,71b1のマスク駆動部72を駆動して、マスク保持部71a1,71b1を着脱位置まで下降させる。次に、マスク保持部71a1,71b1に保持された使用済みのマスクMをマスクトレー部121が受け取る。具体的に、マスク保持部71a1,71b1が使用済みのマスクMの吸着を解除すると共に、マスクトレー部121では、エア供給機構125からエアをマスクMの下面に送り、押圧機構198によって浮上したマスクMの端面をマスク用位置決めピン196に向けて押圧することでチェイサー板192に対して浮上したマスクを位置決め保持する。その後、マスク保持部71a1,71b1を退避位置まで上昇させ、マスクトレー部121を受け渡し位置WPに移動させる。マスクMを搬送する際には、マスク用位置決めピン196と押圧機構198によって位置決めしつつ、浮上したマスクMを搬送してもよく、或いは、マスクMを浮上させずにエア供給機構125の上面に載置した状態でマスクMを搬送してもよい。特に、マスクMを浮上させながら、マスクトレー部121がマスクMの受け渡し位置WPと交換位置CPとの間を移動することで、摩擦によってマスクMが損傷するのを防止することができる。受け渡し位置WPでは、まず、図示しないマスクローダにより、浮上している使用済みのマスクMをマスクトレー部121から図示しないカセットに戻す。その後、未使用洗浄済みのマスクMをマスクローダによりカセットからマスクトレー部121に載置すると、マスクMのプリアライメントが行われる。具体的に、未使用のマスクMは、エア供給機構125から供給されたエアによって浮上して保持され、押圧機構198によって浮上したマスクMの端面をマスク用位置決めピン196に向けて押圧することでチェイサー板192に対して浮上したマスクMが位置決め保持される。これにより、未使用のマスクMのプリアライメントが完了する。なお、マスクMのプリアライメントは、各マスク保持部71a,71bの下方へ移動した際、マスクアライメント用カメラ171を用いて行うことも可能である。また、マスクMのプリアライメントは、マスクMの搬送中でも可能であり、これにより、タクトタイムの短縮、スループットの向上につながる。そして、マスクMが載置されたトレー部121を再び、1番目の上流側及び下流側マスク保持部71a1,71b1の下方へ移動させた後、1番目のマスク保持部71a1,71b1を再び着脱位置まで下降させる。また、1番目のマスク保持部71a1,71b1をマスク駆動部72により移動させ、未使用のマスクMの位置を微調整する。その後、未使用のマスクMがマスクトレー部121上で浮上した状態で、マスク保持部71a1,71b1でマスクMが吸着される。また、マスク保持部71a1,71b1が退避位置まで上昇する。これにより、1番目のマスクMの交換を完了する。なお、マスク保持部71a1,71b1でのマスクMの吸着は、マスクMを浮上させずに行うことも可能である。次に、空きとなったマスクトレー部121をY方向一端から隣の2番目の上流側及び下流側のマスク保持部71a2,71b2の下方へ移動させる。以降、上記動作を繰り返し行い、Y方向他端側の6番目のマスク保持部71a6,71b6のマスクMが交換されるまで行われ、マスクMの交換作業が完了する。交換作業の完了後は、マスクチェンジャー120のマスクトレー部121は受け渡し位置WPに移動する。従って、上記マスク交換によれば、一対のマスクトレー部121の1往復の動作で1対のマスクMの回収及び装着を実現でき、タクトタイムの短縮を図ることができる。以上説明したように、本実施形態の近接スキャン露光装置1によれば、マスクチェンジャー120のマスクトレー部121は、マスクMの下面にエアを供給して、マスクMを浮上させるエア供給機構125と、浮上したマスクMの端面と当接して、マスクMを位置決めするマスク用位置決めピン196と、浮上したマスクMの端面をマスク用位置決めピン196に向けて押圧する押圧機構198と、を有する。従って、マスク用位置決めピン196と押圧機構198によって位置決めしながら浮上したマスクをプリアライメントすることができるので、マスクMとマスクMが接する面との間の摩擦によってマスクMが損傷するのを防止することができる。また、マスクトレー部121によってマスクMを浮上させた状態で、押圧機構198によってマスク用位置決めピン196に向けてマスクMを移動させることでマスクMのプリアライメントを行うことができ、マスクMの交換時間を短縮することができると共に、マスクMのプリアライメントのための装置を別途設ける必要がない。また、一対のマスクトレー部121は、チェイサー板192とベース部191との間に配置された複数のばね部材194を有するので、マスクMを浮上させずにマスク保持部71にマスクMを取り付ける場合であっても、マスク保持部71が一定の位置に降下する際、ばね部材194を伸縮させることで、マスクMの取付位置を変えることができ、マスクMの吸着力を一定にすることができる。また、マスク保持部71にマスクMを取り付けるときに、マスク保持部71がマスクMに衝突したとしても、ばね部材194を伸縮させることでマスクMに過大な力が掛かるのを抑制することができ、マスクMが変形したり、マスクMが破損したりするのを防止することができる。なお、本実施形態では、複数のマスク駆動部72は、複数の上流側及び下流側マスク保持部71a,71bが互いに対向する側と反対側に延びて配置される場合、マスクトレー部121は、受け渡し位置WPと各上流側マスク保持部71aの各交換位置CPとの間を移動可能な上流側マスクトレー部と、受け渡し位置WPと各下流側マスク保持部71bの各交換位置CPとの間を移動可能な下流側マスクトレー部と、を有し、マスクチェンジャー120は、上流側マスクトレー部と下流側マスクトレー部の両方を同期駆動するマスク交換用駆動部123を有する。一方、図15に示すように、複数のマスク駆動部72が、複数の上流側及び下流側マスク保持部71a,71b間に位置するように配置されている場合には、マスクチェンジャー120は、上流側マスクトレー部と下流側マスクトレー部をそれぞれ駆動する一対のマスク交換用駆動部123を有するようにしてもよい。また、図16に示すように、複数のマスク駆動部72がすべて、上流側及び下流側マスク保持部71a,71bの下流側に延びて配置されている場合にも、マスクチェンジャー120は、上流側マスクトレー部と下流側マスクトレー部をそれぞれ駆動する一対のマスク交換用駆動部123を有するようにしてもよい。以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、その発明の範囲内で変更改良が可能であることはもちろんである。本発明の基板を浮上させて支持する機構は、本実施形態のように、低コストで入手でき取り扱いが容易なエアを利用した浮上ユニットであると好ましいが、それに限られない。また、本発明の基板を浮上させて支持する機構は、少なくとも露光領域に設けられていればよく、他の領域においては、支持面から突出する複数のローラで基板Wを支持し、支持面から浮上させる構成であってもよい。また、本発明のマスクチェンジャー120は、一対のマスクトレー部121がそれぞれ1枚ずつマスクMを搬送しているが、それぞれ複数枚ずつマスクMを搬送するように構成してもよい。"