"少なくとも一軸方向に延伸されたポリエステルフィルムの片面に塗布層、離型層が順次設けられた離型フィルムであり、前記塗布層がジルコニウムを含む有機化合物と、有機珪素化合物とを含有し、離型層表面の表面固有抵抗Rが1012以下であることを特徴とする粘着剤層保護用離型フィルム。本発明は上記実情に鑑みなされたものであって、その解決課題は、良好な帯電防止性能を有し、オリゴマー析出量が極めて少なく、長期耐久密着性良好である離型フィルムを提供することが可能となり、例えば、LCD用偏光板、位相差板等の液晶構成部材製造用、PDP構成部材製造用、有機EL構成部材製造用等、各種ディスプレイ構成部材製造用のほか、各種粘着剤層保護用途に好適な離型フィルムを提供するものである。本発明者は、上記実状に鑑み、鋭意検討した結果、特定の構成からなる離型フィルムによれば、上記課題を容易に解決できることを知見し、本発明を完成させるに至った。すなわち、本発明の要旨は、少なくとも一軸方向に延伸されたポリエステルフィルムの片面に塗布層、離型層が順次設けられた離型フィルムであり、前記塗布層がジルコニウムを含む有機化合物と、有機珪素化合物とを含有し、離型層表面の表面固有抵抗Rが1012以下であることを特徴とする粘着剤層保護用離型フィルムに存する。本発明の離型フィルムによれば、オリゴマー析出量が少なく、良好な帯電防止性能を有し、長期耐久密着性良好な離型フィルムを提供することが可能となり、例えば、LCD用偏光板、位相差板等の液晶構成部材製造用、PDP構成部材製造用、有機EL構成部材製造用等、各種ディスプレイ構成部材製造用のほか、各種粘着剤層保護用途に好適な離型フィルムを提供するものでき、その工業的価値は高い。本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルムは単層構成であっても積層構成であってもよく、例えば、2層、3層構成以外にも本発明の要旨を超えない限り、4層またはそれ以上の多層であってもよく、特に限定されるものではない。本発明においてポリエステルフィルムに使用するポリエステルは、ホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,4-シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレートPET等が例示される。一方、共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オキシカルボン酸例えば、P-オキシ安息香酸など等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。何れにしても本発明でいうポリエステルとは、通常60モル以上、好ましくは80モル以上がエチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレート等であるポリエステルを指す。本発明において、ポリエステル層中には、易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することが好ましい。配合する粒子の種類は、易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の粒子が挙げられる。また、特公昭59-5216号公報、特開昭59-217755号公報等に記載されている耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらに、ポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて2種類以上を併用してもよい。また、用いる粒子の平均粒径は、通常0.01~3μm、好ましくは0.01~1μmの範囲である。平均粒径が0.01μm未満の場合には、粒子が凝集しやすく、分散性が不十分な場合があり、一方、3μmを超える場合には、フィルムの表面粗度が粗くなりすぎて、後工程において離型層を塗設させる場合等に不具合が生じる場合がある。さらに、ポリエステル層中の粒子含有量は、通常0.001~5重量、好ましく0.005~3重量の範囲である。粒子含有量が0.001重量未満の場合には、フィルムの易滑性が不十分な場合があり、一方、5重量を超えて添加する場合にはフィルムの透明性が不十分な場合がある。ポリエステル層中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または、混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行われる。なお、本発明におけるポリエステルフィルム中には上述の粒子以外に必要に応じて従来公知の酸化防止剤、帯電防止剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料等を添加することができる。本発明の離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常5~250μm、好ましくは5~188μmの範囲である。次に本発明におけるポリエステルフィルムの製造例について具体的に説明するが、以下の製造例に何ら限定されるものではない。まず、先に述べたポリエステル原料を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法および/または液体塗布密着法が好ましく採用される。次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸される。その場合、まず、前記の未延伸シートを一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常70~120°C、好ましくは80~110°Cであり、延伸倍率は通常2.5~7倍、好ましくは3.0~6倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する延伸温度は通常70~170°Cであり、延伸倍率は通常3.0~7倍、好ましくは3.5~6倍である。そして、引き続き180~270°Cの温度で緊張下または30以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。また、本発明におけるポリエステルフィルム製造に関しては同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は前記の未延伸シートを通常70~120°C、好ましくは80~110°Cで温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で4~50倍、好ましくは7~35倍、さらに好ましくは10~25倍である。そして、引き続き、170~250°Cの温度で緊張下または30以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来から公知の延伸方式を採用することができる。さらに上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法インラインコーティングを施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。次に本発明における離型フィルムを構成する塗布層の形成について説明する。塗布層に関しては上述の塗布延伸法インラインコーティングを用いてもよく、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用してもよく、何れの手法を採用してもよい。次に本発明における塗布層の形成について説明する。本発明は、ジルコニウムを含む有機化合物を塗布層中に含有することを必須の要件とするものである。ジルコニウム元素を有する有機化合物の具体例としては、例えば、ジルコニウムアセテート、ジルコニウムノルマルプロピレート、ジルコニウムノルマルブチレート、ジルコニウムテトラアセチルアセトナート、ジルコニウムモノアセチルアセトナート、ジルコニウムビスアセチルアセトナート等が挙げられる。塗布層に含まれるジルコニウム化合物の量は、通常0.001~70重量、好ましくは1~30重量であり、さらに好ましくは1~4重量の範囲である。ジルコニウム化合物の量が0.001重量以下であると、塗布層の硬化反応が迅速に進まず、塗布層の上に離型層を形成した後の離型面の塗膜の長期耐久密着性が悪化することがある。その中でも、特にオリゴマー析出防止性能が良好となる点でジルコニウムを含む有機化合物に関して、好ましくはキレート構造を有する有機化合物が好ましい。なお、架橋剤ハンドブック山下晋三、金子東助編者株大成社平成2年版にも具体的に記載されている。本発明の離型フィルムを構成する塗布層は、オリゴマー析出防止性を良好とすると共に、良好な帯電防止性能を良好とするために有機珪素化合物を併用することを必須の要件とするものであり、特に、アルコキシシラン化合物および/またはその部分加水分解物の縮合重合体を使用することが好ましい。アルコキシシラン化合物としては、一般式SiOR1xR24-xのものが使用される。上記一般式においてxは2~4の整数であることが好ましい。上記一般式において、R1は、アルキル基またはアシル基のいずれかである。アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基等の炭素数1~5のアルキル基、アシル基としては例えばアセチル基等の炭素数1~4のアシル基が挙げられる。上記一般式において、R2は、炭素数1~10の有機基であって、例えば無置換または置換の炭化水素基である。無置換の炭化水素基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、n-ブチル基、tert-ブチル基、n-ヘキシル基、シクロヘキシル基、n-オクチル基、tert-オクチル基、n-デシル基等のアルキル基、フェニル基等のアリール基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基等が挙げられる。また、置換炭化水素基としては、γ-グリシドキシプロピル基、γ-メルカプトプロピル基、3,4-エポキシシクロヘキシルエチル基、γ-メタクリロイルオキシプロピル基等が挙げられる。これらのアルコキシシラン化合物は、1種単独で、あるいいは2種以上が組み合わされて使用される。x=4のアルコキシシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ-n-プロポキシシラン、テトラ-n-ブトキシシラン、テトラ-アセトキシシランなどが挙げられる。x=3のアルコキシシラン化合物としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n-プロピルトリメトキシシラン、n-プロピルトリエトキシシラン、i-プロピルトリメトキシシラン、i-プロピルトリエトキシシラン、γ-クロロプロピルトリメトキシシラン、γ-クロロプロピルトリエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリエトキシシラン等が挙げられる。x=2のアルコキシシラン化合物としては、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジ-n-プロピルジメトキシシラン、ジ-n-プロピルジエトキシシラン、ジ-i-プロピルジメトキシシラン、ジ-i-プロピルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジビニルジエトキシシラン等が挙げられる。さらに塗布層の固着性、滑り性改良を目的として、無機系粒子を含有してもよく、具体例としてはシリカ、アルミナ、カオリン、炭酸カルシウム、酸化チタン、バリウム塩等が挙げられる。また、必要に応じて消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、有機系潤滑剤、有機系高分子粒子、酸化防止剤、紫外線吸収剤発泡剤、染料等が含有されてもよい。本発明の要旨を越えない範囲において、分散性改良、造膜性改良等を目的として、使用する有機溶剤は一種類のみでもよく、適宜、二種類以上を使用してもよい。本発明における離型フィルムを構成するポリエステルフィルム上に設けられる塗布層の塗布量乾燥後は通常、0.005~1g/m2、好ましくは0.005~0.5g/m2の範囲である。塗布量乾燥後が、0.005g/m2未満の場合には、塗布厚みの均一性が不十分な場合があり、熱処理後、塗布層表面から析出するオリゴマー量が多くなる場合がある。一方、1g/m2を超えて塗布する場合には、滑り性低下等の不具合を生じる場合がある。本発明において、塗布層を設ける方法はリバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコート、カーテンコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。塗工方式に関してはコーティング方式槇書店原崎勇次著1979年発行に記載例がある。本発明において、ポリエステルフィルム上に塗布層を形成する際の硬化条件に関しては、特に限定されるわけではなく、例えば、オフラインコーティングにより塗布層を設ける場合、通常、60~200°Cで3~40秒間、好ましくは80~180°Cで3~40秒間を目安として熱処理を行うのが良い。また、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。次に本発明における離型層の形成について説明する。本発明における離型フィルムを構成する離型層とは、離型性を有する層のことを指し、具体的にはアクリル系粘着テープと離型層との剥離力Fが5~500mN/cmであるのが、本発明のフィルムの用途上、好ましい。本発明における離型フィルムを構成する離型層は、上述の塗布延伸法インラインコーティング等のフィルム製造工程内において、ポリエステルフィルム上に設けられてもよく、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用しても良く、何れの手法を採用してもよい。塗布延伸法インラインコーティングについては以下に限定するものではないが、例えば、逐次二軸延伸においては特に1段目の延伸が終了して、2段目の延伸前にコーティング処理を施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に離型層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に離型層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。また、本発明における離型フィルムを構成する離型層は離型性を良好とするために硬化型シリコーン樹脂を含有するのが好ましい。硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプでもよいし、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ等を使用してもよい。硬化型シリコーン樹脂の種類としては付加型縮合型紫外線硬化型電子線硬化型無溶剤型等、何れの硬化反応タイプでも用いることができる。具体例を挙げると、信越化学工業株製KS-774、KS-775、KS-778、KS-779H、KS-847H、KS-856、X-62-2422、X-62-2461、X-62-1387、KNS-3051、X-62-1496、KNS320A、KNS316、X-62-1574A/B、X-62-7052、X-62-7028A/B、X-62-7619、X-62-7213、ダウコーニングアジア株製DKQ3-202、DKQ3-203、DKQ3-204、DKQ3-205、DKQ3-210、GE東芝シリコーン株製YSR-3022、TPR-6700、TPR-6720、TPR-6721、TPR6500、TPR6501、UV9300、UV9425、XS56-A2775、XS56-A2982、UV9430、TPR6600、TPR6604、TPR6605、東レダウコーニング株製SRX357、SRX211、SD7220、LTC750A、LTC760A、SP7259、BY24-468C、SP7248S、BY24-452等が例示される。さらに離型層の剥離性等を調整するために剥離コントロール剤を併用してもよい。本発明において、ポリエステルフィルムに離型層を設ける方法として、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコート、カーテンコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。塗工方式に関してはコーティング方式槇書店原崎勇次著1979年発行に記載例がある。本発明において、ポリエステルフィルム上に離型層を形成する際の硬化条件に関しては特に限定されるわけではなく、オフラインコーティングにより離型層を設ける場合、通常、120~200°Cで3~40秒間、好ましくは100~180°Cで3~40秒間を目安として熱処理を行うのが良い。また、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。なお、活性エネルギー線照射による硬化のためのエネルギー源としては、従来公知の装置,エネルギー源を用いることができる。離型層の塗工量は塗工性の面から、通常0.005~1g/m2、好ましくは0.005~0.5g/m2、さらに好ましくは0.01~0.2g/m2範囲である。塗工量が0.005g/m2未満の場合、塗工性の面より安定性に欠け、均一な塗膜を得るのが困難になる場合がある。一方、1g/m2を超えて厚塗りにする場合には離型層自体の塗膜密着性、硬化性等が低下する場合がある。本発明における離型フィルムにおいては、電子部品への静電気、剥離帯電等による影響を抑制するために離型層表面の表面固有抵抗Rは1012Ω以下である必要があり、好ましくは1011Ω以下がよい。R値が1012Ωを越える場合、離型フィルム剥離時に剥離帯電が発生し、例えば、粘着剤加工後、離型フィルム剥離時に剥離帯電等の不具合を生じるようになる。本発明における離型フィルムを構成する塗布層に関しては、ポリエステルフィルム上に塗布可能な材料で、かつ離型層表面の表面固有抵抗Rが1012Ω以下を満足することができるものであれば、従来公知の材料を用いることが可能であり、特に限定されるわけではない。例えば、株式会社シーエムシー出版2002年7月発行普及版帯電防止材料の技術と応用赤松清監修にも記載例がある。具体例を挙げると、シロキサン加水分解物から構成される塗布層、あるいはポリアニリン系、ポリピロール系、チオフェン系の導電性高分子材料を含む塗布層等を本発明の離型フィルムの構成材料として使用することができる。本発明における離型フィルムに関して、離型層が設けられていない面には本発明の主旨を損なわない範囲において、接着層、帯電防止層、オリゴマー析出防止層等の塗布層を設けてもよい。また、離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには、あらかじめ、コロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。本発明において塗布層上に離型層を設ける場合、塗布層を設けた後にフィルムを一旦巻き取り、改めて離型層を設けてもよく、また、塗布層を設けた後、連続して、離型層を塗布層上に設けてもよく、いずれの方法を採用してもよい。本発明の離型フィルムを熱処理180°C、10分間した後、離型層表面からジメチルホルムアミドにより抽出されるオリゴマー量OLは、2.0mg/m2以下であることが好ましく、さらに好ましくは1.0mg/m2以下、特に好ましくは0.3mg/m2以下である。OLが2.0mg/m2を超える場合、例えば、液晶構成部材製造時、粘着剤層保護用途に使用した場合、粘着剤の透明性低下、粘着剤層の粘着力低下、あるいは光学的評価を伴う検査工程において支障を来たす等の不具合を生じることがある。本発明においてオリゴマーとは、熱処理後、結晶化してフィルム表面に析出する低分子量物のうちの環状三量体と定義する。以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。また、本発明で用いた測定法は次のとおりである。1ポリエステルの固有粘度の測定ポリエステルに非相溶な他のポリマー成分および顔料を除去したポリエステル1gを精秤し、フェノール/テトラクロロエタン=50/50重量比の混合溶媒100mlを加えて溶解させ、30°Cで測定した。2平均粒径d50:μmの測定遠心沈降式粒度分布測定装置株式会社島津製作所社製SA-CP3型を使用して測定した等価球形分布における積算重量基準50の値を平均粒径とした。3湿熱処理後における離型フィルムの剥離力上昇率ΔF測定あらかじめ試料フィルムを80°C90RHの雰囲気に2週間保持した。次に試料フィルムの離型層表面に両面粘着テープ日東電工製No.502の片面を貼り付けた後、50mm×300mmのサイズにカットし、室温にて1時間放置後の剥離力を測定する。剥離力は引張試験機株インテスコ製インテスコモデル2001型を使用し、引張速度300mm/分の条件下、180°剥離を行って剥離力を求めたF1。さらに湿熱処理を行わない以外は同様にして剥離力F2を測定した。得られた各剥離力値を用いて、湿熱処理前後における剥離力の変化率ΔFを求めた後、下記判定基準により、判定を行った。ΔF=湿熱処理後の剥離力―湿熱処理前の剥離力/湿熱処理前の剥離力×100《判定基準》○:ΔFが20未満実用可能なレベル△:ΔFが20以上、50未満実用困難な場合があるレベル×:ΔFが50以上実用困難なレベル4離型フィルムの離型層表面から抽出されるオリゴマー量OLの測定あらかじめ、未熱処理の離型フィルムを空気中、180°Cで10分間加熱する。その後、熱処理をした該フィルムを上部が開いている縦横10cm、高さ3cmの箱の内面にできるだけ密着させて箱形の形状とする。塗布層を設けている場合は塗布層面が内側となるようにする。次いで、上記の方法で作成した箱の中にDMFジメチルホルムアミド4mlを入れて3分間放置した後、DMFを回収する。回収したDMFを液体クロマトグラフィー島津製作所製:LC-7Aに供給して、DMF中のオリゴマー量を求め、この値を、DMFを接触させたフィルム面積で割って、フィルム表面オリゴマー量mg/m2とする。DMF中のオリゴマー量は、標準試料ピーク面積と測定試料ピーク面積のピーク面積比より求めた絶対検量線法。標準試料の作成は、予め分取したオリゴマー環状三量体を正確に秤量し、正確に秤量したDMFに溶解し作成した。標準試料の濃度は、0.001~0.01mg/mlの範囲が好ましい。なお、液体クロマトグラフの条件は下記のとおりとした。移動相A:アセトニトリル移動相B:2酢酸水溶液カラム:三菱化学株製MCIGELODS1HUカラム温度:40°C流速:1ml/分検出波長:254nm5離型フィルムの離型面側からの金属元素量測定あらかじめ、試料サンプルの離型層が設けられた面より蛍光X線測定装置株島津製作所製型式XRF-1500を用いてFPFundamentalParameterMethod法により、下記表の測定条件下、金属元素量を測定した。6離型フィルムの塗膜密着性初期評価実用特性代用評価塗工直後の試料フィルムの離型面を触手により5回擦り、離型層の脱落程度を下記判定基準により判定を行った。《判定基準》○:塗膜の脱落が見られない実用可能なレベル△:塗膜が白くなるが脱落はしていない実用可能なレベル×:塗膜の脱落が確認された実用困難なレベル7離型フィルムの塗膜密着性促進評価実用特性代用評価試料フィルムを恒温恒湿槽中、80°C、90RH雰囲気下、2週間放置した後に試料フィルムを取り出した。その後、試料フィルムの離型面をMEKを染み込ませた脱脂綿で100回擦った後、触手により5回擦り、離型層の脱落程度を下記判定基準により判定を行った。《判定基準》○:塗膜の脱落が見られない実用可能なレベル△:塗膜が白くなるが脱落はしていない実用可能なレベル×:塗膜の脱落が確認された実用困難なレベル8離型フィルムの表面固有抵抗R測定試料フィルムにおいて、離型層が設けられたフィルム面の表面固有抵抗Rを測定し、下記判定基準により判定を行った。測定条件は23°C、50RHの雰囲気下にて。横河ヒューレットパッカード社の内側電極50mm径、外側電極70mm径の同心円電極である16008A商品名を23°C、50RHの雰囲気下で試料に設置し、100Vの電圧を印加し、同社の高抵抗計である4329A商品名で試料の表面固有抵抗値を測定した。《判定基準》◎:RΩが1010以下実用可能なレベルであり、特に良好○:RΩが1012以下実用可能なレベル×:RΩが1012を超える実用困難なレベル9総合評価実施例および比較例において製造した離型フィルムを用いて、離型フィルムの剥離力上昇率ΔF評価、離型フィルムの塗膜密着性初期評価、離型フィルムの塗膜密着性促進評価、表面固有抵抗Rの各評価項目につき、下記判定基準により、総合評価を行った。判定基準○:離型フィルムの剥離力上昇率ΔF評価、離型フィルムの塗膜密着性初期評価、離型フィルムの塗膜密着性促進評価、表面固有抵抗Rの全てが○実用上、問題ないレベル△:離型フィルムの剥離力上昇率ΔF評価、離型フィルムの塗膜密着性初期評価、離型フィルムの塗膜密着性促進評価、表面固有抵抗Rの内、少なくとも一つが△実用上、問題になる場合があるレベル×:離型フィルムの剥離力上昇率ΔF評価、離型フィルムの塗膜密着性初期評価、離型フィルムの塗膜密着性促進評価、表面固有抵抗Rの内、少なくとも一つが×実用上、問題あるレベル実施例および比較例において使用したポリエステルは、以下のようにして準備したものである。ポリエステルの製造製造例1ポリエチレンテレフタレートA1ジメチルテレフタレート100部、エチレングリコール60部および酢酸マグネシウム4水塩0.09部を反応器にとり、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、エステル交換反応を行い、反応開始から4時間を要して230°Cに昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。次いで、エチレングリコールスラリーエチルアシッドフォスフェート0.04部、三酸化アンチモン0.03部、平均粒径1.5μmのシリカ粒子を0.01部添加した後、100分で温度を280°C、圧力を15mmHgに達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に0.3mmHgとした。4時間後、系内を常圧に戻し、固有粘度0.61のポリエチレンテレフタレートA1を得た。実施例1:製造例1で製造したポリエチレンテレフタレートA1を180°Cで4時間、不活性ガス雰囲気中で乾燥し、溶融押出機により290°Cで溶融し、口金から押出し静電印加密着法を用いて表面温度を40°Cに設定した冷却ロール上で冷却固化して未延伸シートを得た。得られた未延伸シートにまず、95°Cで延伸倍率をMD方向に3.6倍延伸し、テンターに導き、TD方向に4.3倍の逐次二軸延伸を行った。その後、230°Cにて3秒間熱固定し、厚さ38μmのPETフィルムを得た。次に下記塗布剤を塗布量乾燥後が0.05g/m2になるようにリバースグラビアコート方式により塗布した後、120°C、30秒間熱処理した。塗布層を構成する化合物例は以下のとおりである。化合物例ジルコニウム元素を有する有機化合物:A1ジルコニウムテトラアセチルアセトネートアルコキシシラン化合物の部分加水分解物:A2コルコートN-103Xコルコート社製《塗布剤組成》ジルコニウム元素を有する有機化合物A1:1重量アルコキシシラン化合物の部分加水分解物A2:99重量上記塗布剤をメチルエチルケトンMEKにて希釈し、固形分濃度を2重量とした。その後、塗布層上に下記離型剤組成からなる離型剤を塗布量乾燥後が0.1g/m2になるようにリバースグラビアコート方式により塗設し、150°C、30秒間熱処理した後に離型フィルムを得た。《離型剤組成》硬化型シリコーン樹脂KS-847H:信越化学製:99重量硬化剤PL-50T:信越化学製:1重量上記離型剤をMEK/トルエン混合溶媒混合比率は1:1で希釈し、濃度2重量の塗布液を作成した。実施例2~3および比較例1~4:実施例1において、塗布剤組成を下記表1に示す塗布剤組成に変更する以外は実施例1と同様にして製造し、離型フィルムを得た。上記実施例および比較例で得られた各離型フィルムの特性を表2に示す。"