a検査支持基盤上に、多数の触圧棒が一列に直線状に配置された触圧棒配列かつ、この触圧棒配列が多段に配置された触圧棒多段配列を有し、b各触圧棒は、触圧棒多段配列の上部に設置された、プレート板の孔を通して、被検査試料の検査面に下方から上方に向けて突出すように支持基盤上に設置され、c各触圧棒の先端部は、検査面に対して面接触するように平面形状を有しかつ導電性材料で形成され、d被検査試料の検査面が下方に向けて、触圧棒と対向するように配置しうる被検査試料配置手段を有し、e各触圧棒は、所定の間隔で打点するようにした制御手段およびf各触圧棒の接触位置と検査結果とを判定する判断手段を有する静電容量式タッチパネルの高速検査評価装置。各触圧棒の先端部は、1本当り18~80mm2の面積を有する平面形状である請求項1記載の検査評価装置。各触圧棒の先端部は、その平面形状が検査面と接触した時、先端部の平面形状が検査面に追従して密着しうるように、先端部の平面形状の方向が触圧棒の軸に対して変動しうる構造を有する請求項1記載の検査評価装置。被検査試料は、その検査面と該プレート板の面が3~5mmの間隔を置いて維持されるように支持基盤上に設置される請求項1記載の検査評価装置。前記触圧棒多段配列は、被検査試料の検査面の全面を覆っている請求項1記載の検査評価装置。前記触圧棒配列は、各触圧棒が一定の等間隔で配置されている請求項1記載の検査評価装置。前記触圧棒多段配列は、各触圧棒配列が一定の等間隔で配置されている請求項1記載の検査評価装置。各触圧棒は、各触圧棒配列において、一端から他端へ順次突出すように制御されている請求項1記載の検査評価装置。各触圧棒配列において、触圧棒はソレノイド方式により上下に作動する請求項1記載の検査評価装置。各触圧棒配列において、各触圧棒は、6~20mmの間隔で配置されている請求項1記載の検査評価装置。本発明者は、静電容量式タッチパネルの生産拡大に伴い応答特性試験をより高速で行うことができる装置の開発について研究を進めた。また可動部分が少なくかつ精密かつ故障の少ない検査評価装置の開発について研究を進めた。従来の抵抗膜式タッチパネルの検査装置では、固定支持盤上に被検査試料タッチパネルを、検査面を上にして固定し、その検査面上に触圧棒を移動させながら、検査位置を制御していた。この従来の方式とは異なり、固定支持盤上に複数の触圧棒を上方に向けて一定の配列状態で配置すると共に、この配列された触圧棒群の上に、被検査試料の検査面が対向し接触するように配置した装置は、可動部分が各蝕圧棒の上下運動のみであり、故障が少なく極めて短時間で検査評価を実施できること、さらに、触圧棒の触圧による微量の静電容量変化を確実に検査面にて捕捉させるために、触圧棒の先端部の構造および材質の選択が重要であることが見出された。本発明は、かかる知見に基づいて達成されたものであり、本発明によれば下記1~10の静電容量式タッチパネルの高速検査評価装置が提供される。1a検査支持基盤上に、多数の触圧棒が一列に直線状に配置された触圧棒配列かつ、この触圧棒配列が多段に配置された触圧棒多段配列を有し、b各触圧棒は、触圧棒多段配列の上部に設置された、プレート板の孔を通して、被検査試料の検査面に下方から上方に向けて突出すように支持基盤上に設置され、c各触圧棒の先端部は、検査面に対して面接触するように平面形状を有しかつ導電性材料で形成され、d被検査試料の検査面が下方に向けて、触圧棒と対向するように配置しうる被検査試料配置手段を有し、e各触圧棒は、所定の間隔で打点するようにした制御手段およびf各触圧棒の接触位置と検査結果とを判定する判断手段を有する静電容量式タッチパネルの高速検査評価装置。2各触圧棒の先端部は、1本当り18~80mm2の面積を有する平面形状である前記1記載の検査評価装置。3各触圧棒の先端部は、その平面形状が検査面と接触した時、先端部の平面形状が検査面に追従して密着しうるように、先端部の平面形状の方向が触圧棒の軸に対して変動しうる構造を有する前記1記載の検査評価装置。4被検査試料は、その検査面と該プレート板の面が3~5mmの間隔を置いて維持されるように支持基盤上に設置される前記1記載の検査評価装置。5前記触圧棒多段配列は、被検査試料の検査面の全面を覆っている前記1記載の検査評価装置。6前記触圧棒配列は、各触圧棒が一定の等間隔で配置されている前記1記載の検査評価装置。7前記触圧棒多段配列は、各触圧棒配列が一定の等間隔で配置されている前記1記載の検査評価装置。8各触圧棒は、各触圧棒配列において、一端から他端へ順次突出すように制御されている前記1記載の検査評価装置。9各触圧棒配列において、触圧棒はソレノイド方式により上下に作動する前記1記載の検査評価装置。10各触圧棒配列において、各触圧棒は、6~20mmの間隔で配置されている前記1記載の検査評価装置。本発明の静電容量式タッチパネルの検査評価装置は、固定支持盤上に多数の触圧棒が配置された触圧棒多段配列が設置され、その上に被検査試料タッチパネルが検査面を下方に向けて配置される構造であり、作動部分は事実上各触圧棒の上下往復運動の部分のみである。本発明の装置では、前記触圧棒多段配列の上に被検査試料が配置されると、コンピューターにより制御された順序に従って触圧棒が所定の間隔で検査面を触圧する。前記触圧棒多段配列は、検査面のほぼ全体を覆う事が望ましく、そうすることによって触圧棒やその配列を検査面に沿って移動する必要はない。例えば被検査試料の応答特性試験の場合、10秒以下の短い時間で検査をすることが可能である。しかも可動部分が触圧棒の上下運動のみであるから、故障が少なく消費電力は僅かである。さらに、各触圧棒の先端部は、被検査試料の検査面に対して面接触するように平面形状を有しており微量の静電容量を確実に測定することに役立っている。また好ましい実施態様によれば、触圧棒の先端部における平面形状が検査面と接触した時、その平面形状が検査面に追従して密着しうるように先端部の平面形状の接触平面が検査面に追従して密着する構造であることによって僅かの静電容量変化を適確に検出することができる。本発明の静電容量式タッチパネルの検査評価装置を図面により説明する。図1は支持基盤1に固定して配置された触圧棒多段配列の上部に設置されたプレート板2を模式的に示した平面図である。本発明の検査評価装置は、支持基盤1上に触圧棒多段配列が固定され、この触圧棒多段配列は、触圧棒配列4が多段で配列されている。本発明において、触圧棒多段配列とは、多数の触圧棒が一列に直線状に配列された触圧棒配列が、多段で重ねられた状態で配列されたものを言う。触圧棒多段配列は、図1ではプレート板2と支持基盤1との間に配置されており、そのため図面上は示されていない。プレート板2の多数の孔3に対応して触圧棒が配置されている。図1では、説明を簡単にするために、支持基盤1、プレート板2およびプレート板2に設けられた孔3の平面図が示されている。図1のプレート板2の多数の孔3の配置の状態から理解されるように、図1の場合、10個の触圧棒が一列左右横方向に直線状に配置された触圧棒配列4が6段上下縦方向で配置されていることを示している。触圧棒多段配列の上面にプレート板2が設けられ、そのプレート板2に開けられた孔3を介して触圧棒の先端部6が突出されているようになっている。つまり、プレート板2には触圧棒多段配列に存在する触圧棒の数と同じ数の孔が開けられている図1では6×10の60個である。次にプレート板2について説明する。プレート板2の上面には、被検査試料タッチパネルの検査面が一定の間隔を置いて設置される。プレート板2のそれぞれの孔3から触圧棒の先端部6が突出し検査面と接触する。そのためプレート板2の孔3は、触圧棒の先端部6が貫通することができるに充分な形状と大きさを有している。孔3の形状は、通常は円形であることが望ましく、また触圧棒の先端部6の平面形状も円形であるのが好ましい。その先端部の平面形状検査面との接触面は、各先端部当り18~80mm2、好ましくは27~65mm2が有利である。プレート板2における孔3の形状および大きさは、触圧棒の先端部6が突出るのに充分な程度であればよく、好ましくは先端部と孔3とは僅かの空隙、例えば0.05~0.1mmを有していることが有利である。プレート板2に設けられている孔3の位置は、検査面の位置を決める役割を負っている。そのため、プレート板2の孔3の配列位置は、触圧棒多段配列の位置に合致している。プレート板2はタッチパネルのリニアリティーの検査評価のために、孔3が直線状でかつ等間隔で配置され、また多段配列においても同じ間隔となるように孔3が設けられていることが望ましい。最も好ましくは、検査面の全体が覆われるようにかつ縦と横が同じ間隔となるように孔の位置を配列する。隣接する孔3の間隔孔の中心部の距離;ピッチ間隔は、6~20mm、好ましくは7~18mmであるのが望ましい。このように孔3の配列が直線状であり、縦方向および横方向の間隔が一定であるように配列することによって、触圧棒の先端部6が検査面と接触し、微量の静電容量変化を高い感度で測定し判別することが可能となる。プレート板2は、平坦で表面が平滑なものが好ましく、プラスチック板または金属板好ましくはアルミ板が使用でき、その厚さは2mm~10mm、好ましくは3mm~5mmが望ましい。図2は、触圧棒配列4の部分断面拡大図を示す。図2には触圧棒配列4における隣り合う2つの触圧棒aおよびbが示されている。触圧棒は、いずれも触圧棒本体5および触圧棒の先端部6より構成されている。いずれの触圧棒も、触圧棒本体5と触圧棒の先端部6は同じ中心軸を有しているが両者は一体化されてはいないことが望ましい。つまりその場合、図2に示すように、プレート板2と触圧棒配列4間の適当な部分において、触圧棒本体5と触圧棒の先端部6とは接触しているが両者は結合してはいない。図2のプレート板2の下部には触圧棒が上下運動し、被検査試料13の検査面の表面に接触するソレノイド方式電磁式による触圧棒配列4が設置されている。触圧棒配列4は、ソレノイド支持体10中に配置されたソレノイド11および触圧棒本体5よりなり、ソレノイド11の作用により触圧棒本体5が上下方向に運動する。ソレノイド11の作用により触圧棒本体5が上方向に突上げられると、触圧棒の先端部6が押上げられ、図2の触圧棒aのように、プレート板2の表面上に触圧棒の先端部6が突出すことになる。一方ソレノイド11の作用により触圧棒bのように下方向に運動すると、触圧棒の先端部6は、プレート板2中に設置されている圧縮コイルバネ8の作用により下方に向けて下げられた状態となる。図2の触圧棒aおよびbに示すように各触圧棒における先端部6の下方には、リング9が固定されている。このリング9はソレノイド11の作用により触圧棒が突上げられた時、プレート板2の下方の面でストップさせる役割を有している。触圧棒aの状態。一方ソレノイド11が駆動を中止し触圧棒本体5の突上げ力が減失すると、圧縮コイルバネ8の作用により先端部6は下方に押し下げられることになる触圧棒bの状態。図2には、被検査試料12の検査面が下方に向けて触圧棒配列4と対向するように配置した場合の、仮想検査面7が示されている。図2では、この仮想検査面7に触圧棒aの先端部6が上方に突上げられて接触した状態が示されている。この触圧棒aの先端部6における仮想検査面7との接触部は平面形状であることが望ましい。この触圧棒の先端部6の平面形状は、検査面と面状で接触する限り、その平面形状は円形、楕円形、三角形、四角形などが例示できるが、実用上および工作上の点から円形であることが好ましい。この先端部の平面形状の面積検査面との接触面積は、各触圧棒当り18~80mm2、好ましくは27~65mm2であるのが有利である。なお触圧棒の先端部6が検査面の表面へ突上げられて接触する時の力は、触圧棒1本当り1~20g、好ましくは2~5gの範囲であるのがよい。また、被検査試料12は、プレート板2に検査面が下方となるように設置されるが、その場合被検査試料12はその検査面が、プレート板2の表面と或る間隔を置いて設置されることが望ましい。図2で示すと、プレート板2の表面と、その上部に示されている仮想検査面7とは3~5mmの間隔を有していることが好ましい。この間隔が3mmよりも狭くなると、プレート板2と被検査試料12との間の静電容量が無視できなくなり、検査の精度が低くなる恐れがある。一方この間隔が5mmを超えると、触圧棒の先端部6の突上げ距離が長くなり好ましいことではない。触圧棒の先端部6の材質は、導電性であればよく、例えば真鍮、銅、鉄、鉄合金、導電性ゴム弾性体またはアルミニウムなどであればよく、これらの中で真鍮が好ましい。図3は、支持基盤1上に触圧棒配列4およびプレート板2を設置し、さらにこれらの上部に被検査試料12を配置した状態における断面図を示すものである。すなわち支持基盤1の上に触圧棒配列4がプレート板2の孔3を介して触圧棒の先端部6が上方向に突上げられるように配置されている。図3には触圧棒やプレート板2の孔は図示されていない。被検査試料12は検査面が下方となるように配置され、その際検査面とプレート板2の表面とは前述したように一定の間隔を維持するように配置されている。図2において説明したように、触圧棒の先端部6はプレート板2の孔3を介して、その先端部が被検査試料12の検査面へ接触するようになっている。被検査試料12は支持基盤1上に設けられた固定台13によって一定の位置にプレート板2上に一定間隔を維持できるように固定される。本発明の検査評価装置は、図3に示すように被検査試料12が支持基盤1上に固定台13を介して固定されると機械的可動部分は、触圧棒の上下運動のみであり、触圧棒配列4や被検査試料12は固定されたままである。検査が終了すると、被検査試料12を取り出し、新しい被検査試料12を再び設置すればよい。本発明の検査評価装置を用いて被検査試料12を試験するに当っては、プレート板2に設けられた孔3の位置に対応してX軸およびY軸に基づいて触圧棒を一端から他端へ、また一般から多般へ連続的に押圧して得られた電気的位置信号の結果をコンピューターによって算出し、所定の基準値と対比して判別することにより、例えばリニアリティーなどの適否を評価する事ができる。また本発明の装置は、静電容量式タッチパネルの検査評価装置であるから、多数の触圧棒から任意に選ばれた2~4個の触圧棒を同時に接触して、その接触位置をコンピューターにより確認する試験も行うことも可能である。