液体状物質を含む気体を吸引するポンプに取り付けられる消音チャンバーであって、前記ポンプの吐出口に連通される第1室と、該第1室に隣接する第2室と、前記第1室及び第2室の間に設けられた第1の仕切りと、を備え、前記第1の仕切りは、前記第1室の底面に隣接し前記第1室及び第2室を連通する第1通路と、該第1通路よりも上方位置にあり前記第1室及び第2室を連通する第2通路とを有し、前記第2室は、前記気体を該第2室の外に排出する気体排出口、及び該消音チャンバー内で前記気体から分離し凝集した液体を前記第2室の外に排出する液体排出口を有する、消音チャンバー。前記第2通路は前記第2室内に突出しており、且つ前記第1通路よりも長い通路である、請求項1に記載の消音チャンバー。前記第2通路はL字状の通路であり、該第2通路の出口が前記第2室内で前記気体排出口とは反対側を向いている、請求項2に記載の消音チャンバー。前記第2通路は、弾性材料からなる管を前記第1の仕切りに取り付けて形成されている、請求項1乃至3のいずれかに記載の消音チャンバー。前記気体排出口と前記液体排出口とが、ひとつの排出口で構成されている、請求項1乃至4のいずれかに記載の消音チャンバー。前記第1室の底面は、前記第1通路に向かって低くなるように傾斜しており、前記第2室の底面は、前記第1の仕切りに沿って前記液体排出口まで延在する液体排出溝を有し、また前記第1の仕切りに向かって低くなるように傾斜している、請求項1乃至5のいずれかに記載の消音チャンバー。前記ポンプの吸引口に連通される第3室を備えるとともに前記第2室及び第3室の間に設けられた第2の仕切りを更に備えた請求項1乃至6のいずれかに記載の消音チャンバーと、ポンプと、を備えたポンプ装置であって、前記第3室は、前記液体状物質を含む気体を吸引する吸入口を有し、前記ポンプは、該ポンプの前記吸引口が前記第3室と連通し且つ該ポンプの前記吐出口が前記第1室に連通するように前記消音チャンバーに取り付けられている、ポンプ装置。上述した低周波治療器においては、導子と皮膚との間の導電性を良くするために皮膚にジェルが塗られる。このため、真空ポンプで吸引され吐出されるガス空気にはジェルの粒子が連行され、吐出されたガスを上述の如き複数のチャンバーを通した場合、ジェル粒子がチャンバー間の通気孔等に付着してしまい消音効果の低下や、ポンプ効率の低下などの不都合が生じる虞がある。本発明は、このような点に鑑み、吸引ガスに液体状物質が含まれている場合であっても、吐出ガスの脈動による騒音の消音効果にほとんど影響を受けない消音チャンバー又は、該消音チャンバーを備えたポンプ装置を提供することを主要な目的とする。すなわち、本発明は、液体状物質を含む気体を吸引するポンプに取り付けられる消音チャンバーであって、前記ポンプの吐出口に連通される第1室と、該第1室に隣接する第2室と、前記第1室及び第2室の間に設けられた第1の仕切りと、を備え、前記第1の仕切りは、前記第1室の底面に隣接し前記第1室及び第2室を連通する第1通路と、該第1通路よりも上方位置にあり前記第1室及び第2室を連通する第2通路とを有し、前記第2室は、前記気体を該第2室の外に排出する気体排出口、及び該消音チャンバー内で前記気体から分離し凝集した液体を前記第2室の外に排出する液体排出口を有する、消音チャンバーを提供する。この消音チャンバーにおいては、ポンプにより吸引された上述のジェルなどの液体状物質を含む気体は、ポンプの吐出口から第1室に吐出された際に第1室内で液体と気体とに分離される。分離した液体は第1の仕切りの第1室の底面に隣接した位置にある第1通路を通って第2室に流入し、気体は第1通路の上方にある第2通路を主に通って第2室に流入する。このように、液体は第2通路を通ることなく第1通路のみを通って第2室に流入するため、該液体が第2通路に付着して、又は第2通路が塞がれるなどして消音効果やポンプ効率が低減することがない。具体的には、前記第2通路は前記第2室内に突出しており、且つ前記第1通路よりも長い通路であるようにすることができる。気体が通過する第2通路を第2室内に突出させるようにすることで、第2室の容積を大きくとりつつも、第2通路から出る気体を第2室の壁に当てて気体を拡散させるような設計が容易になる。また第2通路をより長くすることができ、消音効果を高めることが可能となる。さらに具体的には、前記第2通路はL字状の通路であり、該第2通路の出口が前記第2室内で前記気体排出口とは反対側を向いているようにすることができる。気体がL字状通路の屈曲部を通過する際に脈動が低減する効果を得られるので、脈動による騒音を更に低減させることが可能となる。また、L字状通路の出口が第2室の気体排出口の反対側を向いていることで、L字状通路から出た気体に残っている脈動を第2室内で広く拡散させて、さらに騒音を小さくすることが可能となる。より具体的には、前記第2通路は、弾性材料からなる管を前記第1の仕切りに取り付けて形成されているようにすることができる。第2通路が弾性材料で形成されていることにより、該通路を脈動気体が通過する際に気体の脈動エネルギーが弾性材料に吸収されるので、消音効果を更に高めることが可能となる。また、別部材とすることで材料選択の幅が広がるとともに、経路を複雑な形状とする場合でも設計製作が容易となる。また、前記気体排出口と前記液体排出口とが、ひとつの排出口で構成されているようにすることができる。排出口の構成が単純化されて製造が容易になる。また消音チャンバーを周辺配管等と接続する際の手間が省ける。さらには、前記第1室の底面は、前記第1通路に向かって低くなるように傾斜しており、前記第2室の底面は、前記第1の仕切りに沿って前記液体排出口まで延在する液体排出溝を有し、また前記第1の仕切りに向かって低くなるように傾斜しているようにすることができる。第1室で分離凝集した液体がより確実に第1通路を通って第2室に流入するようになり、また第2室に流入した液体がより確実に液体排出口から排出されるようになるので、チャンバー内の液体を効率的にチャンバー外に排出することが可能となる。本発明はまた、前記ポンプの吸引口に連通される第3室を備えるとともに前記第2室及び第3室の間に設けられた第2の仕切りを更に備えた請求項1乃至6のいずれかに記載の消音チャンバーと、ポンプと、を備えたポンプ装置であって、前記第3室は、前記液体状物質を含む気体を吸引する吸入口を有し、前記ポンプは、該ポンプの前記吸引口が前記第3室と連通し且つ該ポンプの前記吐出口が前記第1室に連通するように前記消音チャンバーに取り付けられている、ポンプ装置を提供する。上記の消音チャンバーに第3室を更に設けた消音チャンバーとポンプとを一体としてポンプ装置とすることで、液体状物質を含む気体を吸引する吸入口から、該気体を排出する排出口までの流路及びチャンバー設計を最適化するなどして、ポンプ装置全体としての騒音低減を図ることが可能となる。以下、本発明に係る消音チャンバー及び消音チャンバーを備えたポンプ装置の実施形態を図面に基づき説明する。図1及び図2に示す本発明の実施形態に係るポンプ装置1は、ポンプ10と、該ポンプを支持する基台としての消音チャンバー20とからなる。ポンプ10はダイヤフラム式真空ポンプで、図3に示すように、水平方向で往復動する可動子16の両端に固着された一対のダイヤフラム17を備える一対のポンプ室18を備えており、該一対のポンプ室18がそれぞれの可動子16の往復動に伴って、気体を相互に逆位相で吸引吐出するようになっている。消音チャンバー20は、ポンプ10の各ポンプ室18からの一対の吐出ダクト14の吐出口から吐出される気体を受け入れて、その膨張作用等により、当該気体の脈動エネルギーを減衰して排出プラグ52から外部に排出するものであるが、吸入プラグ50を備えた吸気チャンバーをも備え、ポンプ10は該吸気チャンバーから各ポンプ室に延びる吸引ダクト12を介して気体を吸引するようになっている。図4に示すように、本発明に係る消音チャンバー20には、ポンプの一対の吐出ダクト14の吐出口から吐出される気体を受け入れる第1室22と、該第1室22に連通しており排出プラグ52が取り付けられる排出口46を有する第2室24とを備え、吐出ダクト14から吐出される気体を膨張させて該気体の脈動エネルギーを減衰するようになっており、更に、前述の吸入プラグ50が取り付けられる吸入口44を有しポンプの吸引ダクト12に連通された吸気チャンバーとしての第3室26を備えている。第1室22と第2室24との間は第1の仕切り28によって区切られており、第2室24と第3室26との間は第2の仕切り30によって区切られている。第1の仕切り28には第1室22と第2室24を連通させる第1通路32及び第2通路34が設けられている。該第1通路32は第1室の底面38に隣接する位置に配置され、第2通路34は該第1通路32の上方に設けられた切り欠き部に弾性材料であるゴム材で形成されたL字状円管部材36を嵌め込むことで構成されている。当該ポンプ装置1が吸引した気体に液体状物質が含まれている場合には、ポンプの吐出ダクト14から該気体が第1室22に吐出された際に、気体は膨張し流速が低下し、気体に含まれる液体状物質は、その大部分が、第1室の底面38に沈殿して凝集する。凝集した液体は第1室の底面38に沿って流れ、該底面38に隣接した高さにある第1通路32を通って第2室34に流入する。ここで、本明細書における液体状物質とは、水滴のような粘度の比較的低い液体から、ジェル状の粘度の比較的高い液体まで、その粒子径を問わず気体中に存在しうる液体を意味する。第2通路34を形成するL字状円管部材36は、第2室24内に突出するように配置されている。第2通路34が屈曲部を有するL字状であることにより、気体が通路内を通過する間に脈動エネルギーをより効率的に減衰させることが可能となる。また、該第2通路34の出口は、第2室24に設けられた排出口46とは反対側の壁に向かうように配置されている。このような構造により、第2通路34の出口から出る気体が排出口46に直接向かわずに、一旦第2室内の壁に当って拡散し気体が有していた脈動エネルギーを大きく減衰させ、さらに拡散後の気体は排出口46に至るまでの長い距離を流れる間にスムーズな流れとなるため、脈動による騒音を小さくすることが可能となる。なお、本実施形態では第2通路34をL字状としたが、単にまっすぐな通路として気体を第2の仕切り30に当てるようにすることも可能である。第1通路32及び第2通路34は、ポンプの2つの吐出ダクト14の吐出口からの距離が等しくなる位置、すなわち第1の仕切り28の中央に設けられている。これにより、2つの吐出ダクト14の吐出口からの同周期でほぼ逆位相の脈動を互いに干渉させて脈動を相殺する効果が得られる。第1室の底面38は、図5で見て、該底面の左右両側からそれぞれ第1通路32に向かって低くなるような傾斜が形成されており、第1室22で分離した液体を効率的に第1通路32に集めるようになっている。また、第2室の底面40は、図6に示すように、該底面40の幅方向で第1の仕切り28に向かって低くなるような傾斜が形成されているので、第2室内で底面40上に付着又は凝集した液体が第1の仕切り28に向かって流れ、該第1の仕切り28に沿って形成された液体排出溝42に集められて、第2室24の排出口46から効率的に排出されるようにされている。加えて、第2室内の壁に当って排出口46に向かう気体の流れは、液体が液体排出溝42及び排出口46に向かって流れるのを促進し、また第2室24内の圧力は、液体が排出口46から第2室24外に排出されるのを促進する。このように、気体の流れ及び圧力によっても液体が効率的に排出されるようになる。以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、第2室の底面40や液体排出溝42は排出口46に向かって低くなるような傾斜としていないが、もちろんそのようにしても良い。また、第2室24に配置された1つの排出口46が液体排出口と気体排出口を兼ねているが、液体と気体を別々の排出口から第2室24の外に排出するようにしても良い。さらには、第2室の排出口46に連通する消音用の第4室をさらに設けるようにしても良い。