"被測定対象物上のパターンの線幅あるいは線間隔などを測定した測定値の良否を判定する判定方法において、被測定対象物上のパターンの信号強度分布を取得するステップと、前記取得した信号強度分布から当該パターンのエッジ位置を検出するステップと、前記エッジ位置の検出に用いたと同一の信号強度分布から当該パターンのエッジ部分のスロープ値を検出するステップと、前記検出したスロープ値が予め設定した所定範囲内のときに前記検出したエッジ位置をもとに算出した測定値が正しいと判定し、一方、所定範囲外のときに前記検出したエッジ位置をもとに算出した測定値が不良と判定するステップとを有する測定値の判定方法。前記スロープ値は、前記信号強度分布のエッジ部分における最大ピーク値P1と最小ピーク値P2との間の幅を、当該最大ピーク値P1のときの閾値と当該最小ピーク値P2のときの閾値との差で割った値としたことを特徴とする請求項1記載の測定値の判定方法。前記スロープ値は、前記信号強度分布のエッジ部分に対応する最大ピーク値P1と最小ピーク値P2の間に予め2つの閾値を設定し、当該2つの閾値の間の幅を、当該2つの閾値の差で割った値としたことを特徴とする請求項1記載の測定値の判定方法。前記パターンのエッジ位置として、前記信号強度分布のエッジ部分に対応する最大ピーク値P1と最小ピーク値P2との間の位置としたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の測定値の判定方法。前記パターンのエッジ位置として、前記信号強度分布のエッジ部分に対応する最大ピーク値P1と最小ピーク値P2との間に予め2つの閾値を設定し、当該2つの閾値の間の位置としたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の測定値の判定方法。前記パターンのエッジ位置として、前記信号強度分布のエッジ部分に対応する最大ピーク値P1と最小ピーク値P2との間の所定個数の値をもとに直線回帰法によってエッジ位置を求めたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の測定値の判定方法。前記パターンの信号強度分布が、被測定対象物上のパターンから放射された2次電子を検出して生成した信号強度分布であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の測定値の判定方法。前記パターンの描画露光量に対応づけて、前記測定値が正しいと判定する所定範囲を予め設定したことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の測定値の判定方法。上述した1から3の方法で測定された寸法が正しいか否かの判定はこれまで次のような方法で行われていた。a測定対象の画像を人が見て測定が正しく行われたか否かを判定する。自動化は不可能.b期待される寸法を中心とした測定値のある範囲を設定し、この範囲外のものを測定の失敗とみなしていた自動化可能。しかし、aの方法の場合には、自動化ができないだけでなく、判定者による個人差などを排除できないという問題があった。また、bの方法の場合には、自動化は可能であり、一定の判断基準が適用され、客観的なデータが得られる。しかし、測定対象のもつ分散、あるいはプロセスバイアスなど系統的な変化などに対しては単純な範囲設定では対応できないという問題があった。本発明は、これらの問題を解決するため、パターンの線幅などの測定値の判定の良否を測定値自体によらず、パターンのエッジ部分の信号強度分布のテーパ幅が所定範囲内のときに正しい測定値と判定するようにしている。従って、画像撮影時の焦点合わせの不良による画像の不明瞭、更にチャージによる画像ドリフトによる画像の不明瞭などによる、パターンの線幅などの測定不良を自動判定することが可能となる。本発明は、画像撮影時の焦点合わせの不良による画像の不明瞭、更にチャージによる画像ドリフトによる画像の不明瞭などによる、パターンの線幅などの測定不良を自動判定できる。本発明は、パターンの線幅などの測定値の判定の良否を測定値自体によらず、パターンのエッジ部分の信号強度分布のテーパ幅が所定範囲内のときに正しい測定値と判定し、画像撮影時の焦点合わせの不良による画像の不明瞭、更にチャージによる画像ドリフトによる画像の不明瞭などによる、パターンの線幅などの測定不良を自動判定することを実現した。図1は、本発明のシステム構成図を示す。図1において、画像取得装置1は、画像を取得するものであって、例えば加速された電子線ビームスポットを被測定サンプル2上に走査X走査、Y走査し、そのときに当該被測定サンプル2から放出された2次電子を収集して画像を生成するものであり、走査型電子顕微鏡SEMなどである。被測定サンプル2は、パターンが形成されて当該パターンの線幅、線間隔、ホール寸法などを測定する対象のサンプル例えばフォトマスクである。走査系3は、画像取得装置1である例えば走査型電子顕微鏡で加速された電子線ビームスポットを、被測定サンプル2上でX走査、Y走査するものであって、走査偏向系である。信号アンプ4は、被測定サンプル2上を電子線ビームスポットで走査したときに放出された2次信号などを収集して増幅するものである。画像5は、信号アンプ4で増幅されたアナログの信号画像信号をA/D変換器でデジタルの画像に変換してメモリに記憶できるようにしたものである。コンピュータ6は、デジタルの画像5を取り込んで画像処理し、ここでは、被測定サンプル2のパターンの線幅、線間隔などを測定およびその測定値が正しいか否かを判定するものであって、測定パラメータ設定手段7、画像取得手段8、測定手段9、測定結果ファイル10、入力装置11、および表示装置12などから構成されるものである。測定パラメータ設定手段7は、被測定サンプル2上のパターンの線幅などを測定するための各種パラメータを設定するものであって、ここでは、例えば図6で後述する1測定点座標:x,y2測定種別:ラインスペースホールドットその他3測定ボックス:4テンプレート:5その他:を設定するものである。画像取得手段8は、画像取得装置1を制御し被測定サンプル2の該当場所のデジタルの画像5を取得するものである。測定手段9は、画像取得手段8で取得したデジタルの画像をもとに、パターンの線幅、線間隔などの値を測定すると共に、当該測定時のエッジ部分のテーパ幅を求めて所定範囲内のときに測定値が正しい、所定範囲外のときに測定値が不良の旨を判定するものである図2から図8を用いて後述する。測定結果ファイル10は、画像5をもとに指定されたパターンの線幅、線間隔などの測定値およびテーパ幅をもとに判定した測定値の正否を格納するものである図5参照。入力装置11は、各種指示やデータを入力するものであって、例えばキーボードやマウスなどである。表示装置12は、画像、測定結果などを表示する表示装置である。次に、図2のフローチャートの順番に従い、図1の構成の全体の動作を詳細に説明する。図2は、本発明の動作説明フローチャート全体を示す。図2において、Slは、準備:測定ジョブの入力とサンプルのロードを行う。これは、被測定サンプル2上のパターンの測定ジョブとして、1測定点座標:x,y2測定種別:ラインスペースホールドットその他3測定ボックス:4テンプレート:を指定入力、および被測定サンプル2を画像取得装置1にロード装着する。ここで、1測定点座標は被測定サンプル2上の測定する対象となるパターンの位置の座標X,Y被測定サンプル2上の座標、あるいはCADデータ上の測定対象のパターンの位置点である。2測定種別は1で指定された測定点座標に対する、ライン線幅、スペース線と線の間隔、ホール矩形の内側の相対する辺間の距離、ドット矩形の外側の相対する辺間の距離である。3測定ボックスは、矩形内について所定本数のライン線幅を測定するための当該矩形測定ボックスである。4テンプレートビットマップは、CAD上の測定対象のパターンについて、画像上でパターンマッチングして一致したパターンについて測定するためのテンプレートである。S2は、グローバルアライメントを行う。これは、画像取得装置1にロードした被測定サンプル2の画像上の複数のアライメントマークをもとに当該画像の座標系と、CADデータ上の座標系との変換式行列式を決定するものである。以降は、通常、CADデータ上の測定対象のパターンの位置中心位置、測定種別などに従い当該CADデータ上の位置などの座標を、変換式で画像上の座標系に変換してステージを移動させて所定の位置に被測定サンプル2を移動させて画像を取得などする。S3は、第1の測定点へ移動する。これは、Slで指定された第1の測定点へ移動する。具体的には、指定されたCADデータ上の第1の測定点を、行列式で画像上の測定点に変換して当該変換した測定点がほぼ画像の中央に位置するように画像取得装置1の図示外のステージX,Yで被測定サンプル2を移動する。S4は、画像取得する。これは、画像取得装置1の走査系3が電子線ビームスポットで被測定サンプル2を面走査してそのときに放出された2次電子信号を信号アンプ4で検出増幅し、更に、デジタルの画像5を生成し、コンピュータ6の画像取得手段8がデジタルの当該画像を取り込む。S5は、画像取得の先行か測定か判別する。画像取得が先行の場合には、S10に進む。測定が先行の場合には、S6に進む。S10は、画像取得が先行と判明予め指定されていると判明したので、次の測定点があるか判別し、有りのときはS9で次の測定点へ移動し、S4以降を繰り返し、無しのときはSllで測定実行図3で後述し、S12で次の画像があるか判別し、有りのときはSllを繰り返し、無しのときはS13で後処理で結果出力とサンプルアンロード被測定サンプル2を画像取得装置1から外部に排出する。S6は、測定が先行と判明予め指定されていると判明したので、測定実行図3で後述し、S7で次の測定点があるか判別し、有りのときはS9で次の測定点へ移動し、S4以降を繰り返し、無しのときはS8で後処理で結果出力とサンプルアンロード被測定サンプル2を画像取得装置1から外部に排出する。以上のようにして、測定ジョブ1から4のパラメータを設定、被測定サンプル2をロードし、当該被測定サンプル2の複数のアライメントマークの画像をもとに画像の座標系と、CADデータの座標系とを変換する行列式を求めた後、指定された測定点に移動して画像を取得し当該画像をもとに測定点の位置のエッジ位置を求めると共にテーパ幅を求めて当該テーパ幅が所定範囲内に入ったときにエッジ位置から算出した線幅などの測定値が正しいと判定し、これら測定結果測定値と当該測定値が正しい、不良の区別を自動的に出力することが可能となる。以下順次詳細に説明する。図3は、本発明の動作説明フローチャート測定を示す。これは、既述した図2のS6、Sllの測定実行の詳細フローチャートを示す。図3において、S21は、測定対象の画像データ、および測定条件を読み出す。これは、図1の画像取得手段8が画像データ画像5を読み出すと共に、入力指定された測定条件既述した1から4の測定条件を読み出す。S22は、測定条件に従って画像データから信号強度分布を読み出す。これは、S21で読み出した測定条件のうちの、例えば指定された測定点を通るラインの信号強度分布を読み出す図4のa-2信号強度分布を参照。S23は、測定条件で指定された測定範囲内で信号強度分布上のエッジ位置を求める。これは、例えば図4のa-3のエッジ部分の画像上で、最大ピークPlの値xplと最小ピークP2の値xplとの間の値xe=xpl-xp2/2をエッジ位置として求める。S24は、エッジ位置を含む信号強度分布上のテーパ幅を求める。これは、例えば図4のa-3のエッジ部分の画像上で、最大ピークP1の値xplと最小ピークP2の値xp2との差をテーパ幅xt=xpl-xp2として求める。S25は、テーパ幅をあらかじめ設定された参照値と比較し、比較結果はOKあるいはNGなど符号化し、寸法測定値などと共通の測定結果ファイルに保存する。これは、S24で求めたテーパ幅xtが予め実験で求めた、例えば図4のcのテーパ幅22nm~33nmの範囲内に入るときはOK、範囲内に入らないときはNGと判定し、S23で求めたエッジ位置から算出した線幅と一緒にして後述する図5のaの測定結果ファイルに保存する。S26は、比較判定の結果は測定結果とともに表示出力する。例えば後述する図5のbに示すように、測定結果線幅などの測定値と判定OKあるいはNGを一緒に表示する。以上によって、測定対象の画像および測定条件をもとに、信号強度分布を生成し図4のa-2、当該信号強度分布上でエッジ部分の最大ピークPlと最小ピークP2を求めてこれらからエッジ位置xe,およびテーパ幅を求め、当該テーパ幅が予め設定した所定範囲内に入るときはOK、入らないときはNGと判定し、エッジ位置から求めた線幅などの測定値と判定結果を一緒にして保存、表示することが自動的に可能となる。図4は、本発明の説明図その1を示す。図4のa-1は被測定サンプル2上のパターンの例を示す。これは、図1の被測定サンプル2上に形成されたパターンの例であって、ここでは、基板上に形成された凸状のパターン手前から向こう側に向かうライン線を横切るパターンを示す。図4のa-2は図4のa-1のパターンの信号強度分布の正常時の波形の例を示す。ここでは、加速された電子線ビームスポットで図4のa-1のパターンを左右方向に走査してそのときに放出された2次電子を収集検出増幅して生成した画像5のうちの、図4のa-1のパターンに対応する部分の信号強度分布であって、パターンのエッジ部分で上方向の最大ピークPlと下方向の最小ピークP2とが図示のように表れる分布となるパターンから放出された2次電子検出による特有の周知の分布となる。この場合には、電子ビームスポットがパターン上に正確にフォーカスされ、かつ電子ビームスポットを左右方向に走査しているときにドリフトが発生していない場合のものであって、後述する測定値の判定がOKとなる場合である。このとき、パターンの左側のエッジ部分を拡大すると、図4のbに示す信号強度分布となる。図4のa-3は図4のa-1のパターンで、焦点ずれによる信号分布の変化の例を示す。この場合には、電子ビームスポットが焦点ずれしており、大きなサイズで図4のa-1のパターンを左右方向に走査し、そのときに放出された2次電子を収集検出増幅して生成した画像5のうちの、図4のa-1のパターンに対応する部分の信号強度分布であって、パターンのエッジ部分の上方向の最大ピークPlと下方向の最小ピークP2とがなだらか、かつその位置がずれておりその結果、測定値が不正確となる場合であって、焦点すれしている様子が判る信号強度分布である。この場合には、後述する図4のcのテーパ幅が所定範囲外となり、測定値がNGと判定される場合の信号強度分布の例を示す。図4のbは、エッジ部分の拡大図を示す。これは、図4のa-2の信号強度分布の左側のエッジ部分の拡大図を示す。ここで、最大ピークPlの位置をxpl,最小ピークP2の位置をxp2とすると、エッジ位置xe=xpl-xp2/2と定義する。同様に、図4のa-2の右側のエッジ部分についても、エッジ位置とテーパ幅を測定する。そして、パターンの幅線幅は2つのエッジ位置の間隔差であり、テーパ幅は左側および右側の2つのテーパ幅となる。図4のcは、ラインエッジテーパ幅の分布例を示す。これは、フォトマスク上のラインパターンを実際に計測し、エッジのテーパ幅を求めてプロットした例であって、ライン幅160nm~600nmで合計900本のラインを測定したものであり、最大ピークPlと最小ピークP2の位置の差間隔である。この図4のcから判明するように、テーパ幅は22nm~33nmの範囲、ほぼ±5nmの範囲に入っている。図中の3点のみがこの範囲外にでており、これらの点の測定値は、焦点ずれ、あるいはドリフトによるエッジ部分のボケ図4のa-3参照による当該エッジ部分の信号強度分布の変化ずれによるものである。従って、測定値自身により当該測定値の良否を判定するのではなく、エッジ部分のテーパ幅が所定範囲内図4のcの例では、22nm~33nmの範囲内のときに焦点ずれがなく、更に、ドリフトがなく正常な信号強度分布と判定でき、そのときのエッジ位置をもとに算出した測定値が正常OKと判定できることとなる。図5は、本発明のファイル/表示例を示す。図5のaは、測定結果ファイルの例を示す。これは、既述した図3のS25で測定結果および判定結果を保存する測定結果ファイル10であって、図示の下記の情報を対応づけて保存するものである。サンプルNo:種別:測定点:XY測定値Wt:テーパ幅:左WtL右WtR判定OKあるいはNGその他:ここで、サンプルNoは被測定サンプル2の一意の番号である。種別は測定種別であって、ライン、スペース、ホール、ドットなどである。測定点は測定指示する点座標である。測定値Wtは測定した線幅、線間隔などの測定値である。テーパ幅はエッジ部分のテーパ幅図4のb参照である。判定はテーパ幅が所定範囲内のときにOK、所定範囲外のときにNGとして設定したものである。図5のbは、結果の表示例を示す。これは、図5のaの測定結果ファイル10に保存された結果の表示例であって、ここでは、サンプルNo,測定値、判定を対応づけてリスト表示する。以上のように、測定値に対応づけて判定テーパ幅による判定を併せて表示することにより、測定値について当該測定値自身ではなく、焦点ずれあるいはドリフトによりテーパ幅が変化して所定範囲外となったときに当該測定値をNGと判定して表示することが可能となる。図6は、本発明の説明図その2を示す。図6のaは、測定点の指定例を示す。ここでは、被測定サンプル2上の測定点を指定した様子を示すCADデータ上で指定。図6のbは、図6のaで指定された点を拡大した様子を示す。ここでは、配線の線の幅を測定する点点とラインを指定したものである。また、下方に、線と線との間隔を指定する点点とスペースの例を示す。図6のcは、図6のaで指定された点を拡大した様子を示す。ここでは、矩形内に指定した複数本の線の幅を測定する点点とボックス幅と高さを指定したものである。図6のdは、図6のaで指定された点を拡大した様子を示す。ここでは、矩形内の縦と横の幅を測定する点点とホールを指定したものである。図6のeは、図6のaで指定された点を拡大した様子を示す。ここでは、矩形外の縦と横の幅を測定する点点とドットを指定したものである。図7は、本発明の説明図その3を示す。図7のaは、テーパ幅とエッジ位置の例を示す。これは、既述した図4のbと同じものであって、パターンの左側のエッジ部分の信号強度波形の例であり、最大ピークPlの位置と最小ピークP2の位置との間隔がテーパ幅Wtであり、最大ピークPlの位置と最小ピークP2の位置との中間点直線近似してthr閾値が0.5の点の位置がエッジ位置xtである。図7のbは、thr閾値とそのときの幅測定値の例を示す。パターンの左側のエッジ部分と、右側のエッジ部分とで図示のthr閾値=0.2、0.5,0.8の場合のそれぞれの線幅W0.2,W0.5,W0.8を示す。いずれの線幅を採用するかは、実験でパターンの線幅を測定して決定する。通常は、thr=0.5のときの測定値線幅W0.5を使用する。図7のcは、ボックスの測定例を示す。点とボックス縦と横のサイズで図示のような矩形が指定されたとすると、当該指定された矩形内について指定された本数例えば10本のライン例えば等間隔のラインについて、それぞれ線幅例えば図7のbのthr開催=0.5のときのW0.5を測定する。図7のdは、テーパ幅例を示す。ここでは、パターンの左側のエッジ部分と、右側のエッジ部分とのthr閾値=0.2、0.5、0.8の値W0.2、W0.5、W0.8をそれぞれ測定する。そして、テーパ幅=W0.8-W0.2/2測定値線幅=W0.5とする。以上のようにして、異なる3つのthr閾値のときのパターンの左側と右側のエッジ部分の間の値距離を測定し、これらから上述したように、テーパ幅、測定値線幅などを算出することが可能となる。図8は、本発明の説明図その4を示す。これは、直線回帰法を説明するものであって、パターンの左側のエッジ部分の信号強度分布を例に抽出したものであって、エッジ部分の最大ピークPlと最小ピークP2の間のデータをデータin=ixnとして所定個数抽出する。そして、αx-x0となる係数α、x0を公知の最小自乗法で決める。そして、Ipl=αxpl-x0Ip2=αxp2-x0It=thrIpl-Ip2Ip2=αxt-x0と表されるので、このうちのxtを求め、当該xtエッジ位置をもとに線幅などの測定値を算出する。また、テーパ幅=|xpl-xp2|として算出する。図9は、本発明の説明図スロープ値を示す。図9において、横軸はパターンの線幅を測定するための所定の閾値を表し、縦軸はパターンの線幅閾値間の線幅を表す。スロープ値は、閾値を変えたときの線幅をプロットした線分スロープを持つ線分であって、閾値が大きくなるに従いパターンの線幅が狭くなることが判明する。ここで、測長するSEMのビームスポットの焦点が被測定試料例えばマスク上の測定対象のパターンに合っている状態では、図示の下段のスロープ値となってスロープの全体が小さくなる。一方、焦点ズレの場合には、図示の上段のスロープ値となってスロープの全体が大きくなる。従って、閾値を変えたときの線幅を図9のようにプロットすることで、焦点が合っている、あるいは焦点があっていない焦点ズレを判り易く表示すると共に、焦点の合っているあるいは合っていない状態を予め実験で求めた値と比較し自動判定することが可能となる。図10は、本発明の説明図テーパ幅を示す。図10において、横軸はパターンの測定位置を表し、縦軸はテーパ幅を表す。図示のプロットは、パターンの測定位置に対応づけてテーパ幅例えば既述した図7参照をプロットした様子を示す。テーパ幅が所定の範囲内実験で予め求めた正常とする範囲内を正しい測定データと判定し、それ以外を正しくない測定データと判定する。従って、パターンの測定位置に対応づけてテーパ幅を図10のようにプロットし、所定の範囲内のときに正しい測定データと判定し、それ以外を正しくない測定データを自動的に判定することが可能となる。図11は、本発明の説明図スロープ値を示す。スロープ値は、任意の閾値2点におけるパターンの線幅の値の差を閾値で除算した値であって、例えば下記の式で求める閾値0.9、0.1などは任意の値でよいが、ここでは、例として0.9と0.1を用いる。リスロープ値=閾値0.9のときのパターン幅-閾値0.1のときのパターン幅/0.9-0.1スロープ値は、マスクのパターン上に照射するビームスポットの焦点がずれてくると、スロープ値が大きくなる図9の焦点があっている状態から焦点ズレの状態のようにスロープ値が大きくなる。スロープ値は、焦点ズレの他に、測定対象のマスクのパターンの形成時の電子ビームの描画条件でも異なってくるので、当該影響をも併せて評価できる。図11のaは、パターンの測定位置に対応づけてスロープ位置をプロットした1例を示す。ここで、スロープ値について測定データが図示の点線の設定値実験で求めた値の範囲内のときに正しいと判定し、範囲外のときに異常と自動判定できる。図11のbは、描画露光量の小さい場合と大きい場合のスロープ値をプロットした例を示す。図中の上段のスロープ値は、パターンの描画時の露光量が大きいときの測定値に対するスロープ値をプロットしたものであり、設定値範囲内を正しい測定データと判定し、設定値範囲外を正しくない測定データと判定する。また、図中の下段のスロープ値は、パターンの描画時の露光量が小さいときの測定値に対するスロープ値をプロットしたものであり、設定値範囲内を正しい測定データと判定し、設定値範囲外を正しくない測定データと判定する。以上のように、スロープ値は、パターンの描画時の条件描画条件、ここでは、描画時の電子ビームの露光量の大小によってスロープ値の正しい範囲が図示のように異なるので、描画条件などに対応づけた設定値実験で予め求めた設定値を設定し、測定データが正しい、正しくないを自動判定することが可能となる。"