"光ビームを発する光源と、該光源から発せられる光ビームを偏向するMEMSミラーと、該MEMSミラーによって偏向された光ビームを走査面上に結像させる複数の走査レンズを備えた光走査装置において、前記MEMSミラーに最も近い走査レンズの光学特性を、該走査レンズに対して光ビームが次式:θt=A1sinωtA2sinnωtここに、n=2又は3、θ:走査レンズ光軸と光ビームの成す角度A1,A2:各成分の振幅ω:角周波数t:時間で表される偏向角特性で入射し、且つ、次式;ここに、γ:像高f:焦点距離を満たすように光ビームを走査面上に結像させるよう設定したことを特徴とする光走査装置。走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部と走査端部で最も大きく、最小径は最大径の0.9倍よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の光走査装置。走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部で最も小さく、走査端部で最も大きく、その最大径は最小径の1.1倍よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の光走査装置。請求項1~3の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする画像形成装置。特許文献2に記載されている画像品質を悪化させる要因は、ビーム径の変動と走査速度の変動である。特許文献2においては、ビーム径の変動と走査速度の変動の限界値は、ビーム径の変動が±25請求項2、走査速度の変動が±10請求項3と規定されている。又、MEMSミラーの1周期に要する時間に対して実際の走査時間の割合を高く設定することが望ましいとされている請求項5。しかしながら、dy/dθとdθ/dtに関する前記大小関係を満足することによって、画像品質を悪化させることなく更に走査時間を最長にすることができる訳ではない。又、走査速度の変動はビーム径の変動よりも画像品質に対する感度が高く、走査速度の数変動によっても画像は劣化する。本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、走査面上での主走査方向のビーム径の変動を小さく抑えつつ等速走査を行うことができる光走査装置とこれを備えた画像形成装置を提供することにある。上記目的を達成するため、請求項1記載の発明は、光ビームを発する光源と、該光源から発せられる光ビームを偏向するMEMSミラーと、該MEMSミラーによって偏向された光ビームを走査面上に結像させる複数の走査レンズを備えた光走査装置において、前記MEMSミラーに最も近い走査レンズの光学特性を、該走査レンズに対して光ビームが次式:θt=A1sinωtA2sinnωtここに、n=2又は3、θ:走査レンズ光軸と光ビームの成す角度A1,A2:偏向角の振幅ω:角周波数t:時間で表される偏向角特性で入射し、且つ、次式;ここに、γ:像高f:焦点距離を満たすように光ビームを走査面上に結像させるよう設定したことを特徴とする。請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部と走査端部で最も大きく、最小径は最大径の0.9倍よりも大きいことを特徴とする。請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明において、走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部で最も小さく、走査端部で最も大きく、その最大径は最小径の1.1倍よりも小さいことを特徴とする。請求項4記載の発明は、請求項1~3の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする。本発明によれば、偏向角θtが次式:θt=A1sinωtA2sinnωtで表されるMEMSミラーを備える光走査装置において、数1で表される光学特性を有する走査レンズを用いることによって、像高yは、次式:y=fA1nA2ωtで表されるようになり、等速走査が可能になることが分かる。又、走査面上の主走査方向のビーム径Dは、次式:で表され、偏向角θの振幅A1とA2の比によって傾向が異なる。具体的には、正弦波であるA2=0からA2を負の方向に大きくしていくと等角速度に近づくとビーム径Dの変動は、1走査中央部が最も小さく、走査端部に向かうに連れて単調に増加する2走査中央部から走査端部に向かって一旦小さくなって極小値を示した後に単調に増加する傾向を示す。従って、偏向角θの振幅A1とA2の比を適当に設定することによって、1走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部と走査端部で最も大きく、最小径は最大径の0.9倍よりも大きい2走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部で最も小さく、走査端部で最も大きく、その最大径は最小径の1.1倍よりも小さいものとすることが可能となり、走査面上の主走査方向のビーム径の変動を±10以内の範囲に小さく抑えることができる。以上の結果、本発明によれば、走査面上での主走査方向のビーム径の変動を小さく抑えつつ等速走査を行うこと可能となる。以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。[画像形成装置]図1は本発明に係る画像形成装置の一形態としてのカラーレーザープリンターの断面図であり、図示のカラーレーザープリンターはタンデム型であって、その本体100内の中央部には、マゼンタ画像形成ユニット1M、シアン画像形成ユニット1C、イエロー画像形成ユニット1Y及びブラック画像形成ユニット1Kが一定の間隔でタンデムに配置されている。上記各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kには、像担持体である感光ドラム2a,2b,2c,2dがそれぞれ配置されており、各感光ドラム2a~2dの周囲には、帯電器3a,3b,3c,3d、現像装置4a,4b,4c,4d、転写ローラ5a,5b,5c,5d及びドラムクリーニング装置6a,6b,6c,6dがそれぞれ配置されている。ここで、前記感光ドラム2a~2dは、ドラム状の感光体であって、不図示の駆動モーターによって図示矢印方向時計方向に所定のプロセススピードで回転駆動される。又、前記帯電器3a~3dは、不図示の帯電バイアス電源から印加される帯電バイアスによって感光ドラム2a~2dの表面を所定の電位に均一に帯電させるものである。更に、前記現像装置4a~4dは、マゼンタMトナー、シアンCトナー、イエローYトナー、ブラックKトナーをそれぞれ収容しており、各感光ドラム2a~2d上に形成された各静電潜像に各色のトナーを付着させて各静電潜像を各色のトナー像として可視像化するものである。又、前記転写ローラー5a~5dは、各一次転写部にて中間転写ベルト7を介して各感光ドラム2a~2dに当接可能に配置されている。ここで、中間転写ベルト7は、駆動ローラー8とテンションローラー9との間に張設されて各感光ドラム2a~2dの上面側に走行可能に配置されており、前記駆動ローラー8は、二次転写部において中間転写ベルト7を介して二次転写ローラー10に当接可能に配置されている。又、テンションローラー9の近傍にはベルトクリーニング装置11が設けられている。ところで、プリンター本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの上方には、前記各現像装置4a~4dにトナーを補給するためのトナーコンテナー12a,12b,12c,12dが一列に並設されている。又、プリンター本体100内の各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kの下方には、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kに対応して本発明に係る計4つの光走査装置レーザースキャナーユニットLSU13がそれぞれ配置され、これらの下方のプリンター本体100の底部には給紙カセット14が着脱可能に設置されている。そして、給紙カセット14には複数枚の不図示の用紙が積層収容されており、この給紙カセット14の近傍には、該給紙カセット14から用紙を取り出すピックアップローラー15と、取り出された用紙を分離して搬送パスSへと1枚ずつ送り出すフィードローラー16とリタードローラー17が設けられている。又、プリンター本体100の側部を上下方向に延びる前記搬送パスSには、用紙を搬送する搬送ローラー対18と、用紙を一時待機させた後に所定のタイミングで前記二次転写対向ローラー8と二次転写ローラー10との当接部である二次転写部へと供給するレジストローラー対19が設けられている。尚、搬送パスSの横には、用紙の両面に画像を形成する場合に使用される別の搬送パスS’が形成されており、この搬送パスS’には複数の反転ローラー対20が適当な間隔で設けられている。ところで、プリンター本体100内の一側部に縦方向に配置された前記搬送パスSは、プリンター本体100の上面に設けられた排紙トレイ21まで延びており、その途中には定着装置22と排紙ローラー対23,24が設けられている。次に、以上の構成を有するカラーレーザープリンターによる画像形成動作について説明する。画像形成開始信号が発せられると、各画像形成ユニット1M,1C,1Y,1Kにおいて各感光ドラム2a~2dが図示矢印方向時計方向に所定のプロセススピードで回転駆動され、これらの感光ドラム2a~2dは、帯電器3a~3dによって一様に帯電される。又、各光走査装置13は、各色毎のカラー画像信号によって変調されたレーザービームを出射し、そのレーザービームを各感光ドラム2a~2dの表面に照射し、各感光ドラム2a~2d上に各色のカラー画像信号に対応した静電潜像をそれぞれ形成する。そして、先ず、マゼンタ画像形成ユニット1Mの感光ドラム2a上に形成された静電潜像に、該感光ドラム2aの帯電極性と同極性の現像バイアスが印加された現像装置4aによってマゼンタトナーを付着させ、該静電潜像をマゼンタトナー像として可視像化する。このマゼンタトナー像は、感光ドラム2aと転写ローラー5aとの間の一次転写部転写ニップ部において、トナーと逆極性の一次転写バイアスが印加された転写ローラー5aの作用によって、図示矢印方向に回転駆動されている中間転写ベルト7上に一次転写される。上述のようにしてマゼンタトナー像が一次転写された中間転写ベルト7は、次のシアン画像形成ユニット1Cへと移動する。そして、シアン画像形成ユニット1Cにおいても、前記と同様にして、感光ドラム2b上に形成されたシアントナー像が一次転写部において中間転写ベルト7上のマゼンタトナー像に重ねて転写される。以下同様にして、中間転写ベルト7上に重畳転写されたマゼンタ及びシアントナー像の上に、イエロー及びブラック画像形成ユニット1Y,1Kの各感光ドラム2c,2d上にそれぞれ形成されたイエロー及びブラックトナー像が各一次転写部において順次重ね合わせられ、中間転写ベルト7上にはフルカラーのトナー像が形成される。尚、中間転写ベルト7上に転写されないで各感光ドラム2a~2d上に残留する転写残トナーは、各ドラムクリーニング装置6a~6dによって除去され、各感光ドラム2a~2dは次の画像形成に備えられる。そして、中間転写ベルト7上のフルカラートナー像の先端が駆動ローラー8と二次転写ローラー10間の二次転写部転写ニップ部に達するタイミングに合わせて、給紙カセット14からピックアップローラー15とフィードローラー16及びリタードローラー17によって搬送パスSへと送り出された用紙がレジストローラー対19によって二次転写部へと搬送される。そして、二次転写部に搬送された用紙に、トナーと逆極性の二次転写バイアスが印加された二次転写ローラー10によってフルカラーのトナー像が中間転写ベルト7から一括して二次転写される。而して、フルカラーのトナー像が転写された用紙は、定着装置22へと搬送され、フルカラーのトナー像が加熱及び加圧されて用紙の表面に熱定着され、トナー像が定着された用紙は、排紙ローラー対23,24によって排紙トレイ21上に排出されて一連の画像形成動作が完了する。尚、用紙上に転写されないで中間転写ベルト7上に残留する転写残トナーは、前記ベルトクリーニング装置11によって除去され、中間転写ベルト7は次の画像形成に備えられる。[光走査装置]次に、本発明に係る前記光走査装置13の構成の詳細を図2に基づいて説明する。尚、4つの光走査装置13の構成は全て同じであるため、以下、1つの光走査装置13についてのみ説明する。図2は本発明に係る光走査装置要部の構成を示す平面図であり、図示の光走査装置13は、光源であるレーザーダイオード25を備えており、このレーザーダイオード25からの光ビームの出射方向に沿ってコリメータレンズ26、シリンドリカルレンズ27及び偏向手段であるMEMSミラー28が一直線上に配置されている。上記コリメータレンズ26は、レーザーダイオード25から出射される発散光束である光ビームを集光させる集光レンズであり、前記シリンドリカルレンズ27は、副走査方向にのみ特定のパワーを有するレンズであって、コリメータレンズ26を通過して光ビームを副走査断面内で前記MEMSミラー28の偏向面に線像として結像させる機能を果たす。前記MEMSミラー28は、Si基板にエッチングや成膜等のマイクロマシニング技術MEMS技術を利用して一体に形成されており、固有振動数の異なる複数2つ又は3つの偏向面を有している。各振動面は、重畳駆動によって各固有振動数で共振してそれぞれ往復振動正弦振動し、シリンドリカルレンズ27を通過した光ビームを反射させて偏向走査する。尚、MEMSミラー28の各偏向面反射面にはアルミニウム膜等が成膜されてその反射率が高められている。又、図2に示すように、MEMSミラー28によって偏向される光ビームの進行方向に沿って円弧状の2つの走査レンズ29,30が配設されている。尚、走査レンズ29,30は、MEMSミラー28によって偏向された光ビームを走査面である感光ドラム2a2b,2c,2d上に等速度で集光させるためのfθ特性を有している。而して、図2に示す光走査装置13において、レーザーダイオード25が画像データに応じてON/OFF制御されると、該レーザーダイオード25から画像データに対応して変調された光ビームが出射され、この光ビームは、コリメータレンズ26を通過することによって集光された後、シリンドリカルレンズ27を通過することによって副走査断面内でMEMSミラー28の各偏向面に線像として結像する。尚、シリンドリカルレンズ27に入射した光ビームは、主走査断面においてはそのままの状態でシリンドリカルレンズ27を通過する。上述のようにMEMSミラー28の各偏向面上に線状に結像した光ビームは、MEMSミラー28の各偏向面が共振によってそれぞれの固有振動数で往復振動することによって主走査方向に偏向され、この偏向された光ビームは、走査レンズ29,30を通過することによって図1に示す各画像形成ユニット1M1C,1Y,1Kの感光ドラム2a2b~2d上に結像され、図2に示す有効走査範囲Rの一端を書出点走査端部P1、他端を書終点走査端部P2として感光ドラム2a2b~2d上を主走査方向に往復走査する。すると、前述のように各感光ドラム2a2b~2d上には各色のカラー画像信号に対応した静電潜像がそれぞれ形成される。而して、本実施の形態においては、MEMSミラー28に近い側の走査レンズ29の光学特性を、該走査レンズ29に対して光ビームが次式:θt=A1sinωtA2sinnωtここに、n=2又は3、θ:走査レンズ光軸と光ビームの成す角度A1,A2:各成分の振幅ω:角周波数t:時間で表される偏向角特性で入射し、且つ、次式;ここに、γ:像高f:焦点距離を満たすように光ビームを感光ドラム2a2b~2d走査面上に結像させるよう設定している。従って、本実施の形態においては、偏向角θtは次式:θt=A1sinωtA2sinnωtで表されるMEMSミラー28を備える光走査装置13において、数3で表される光学特性を有する走査レンズ29を用いることによって、像高yは、次式:y=fA1nA2ωtで表されるようになり、等速走査が可能になることが分かる。又、感光ドラム2a2b~2d上の主走査方向のビーム径Dは、次式:で表され、偏向角θの振幅A1とA2の比によって傾向が異なる。具体的には、正弦波であるA2=0からA2を負の方向に大きくしていくと等角速度に近づくとビーム径Dの変動は、1走査中央部が最も小さく、走査端部に向かうに連れて単調に増加する2走査中央部から走査端部に向かって一旦小さくなって極小値を示した後に単調に増加する傾向を示す。従って、偏向角θの振幅A1とA2の比を適当に設定することによって、1走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部と走査端部で最も大きく、最小径は最大径の0.9倍よりも大きい2走査面上の主走査方向のビーム径は走査中央部で最も小さく、走査端部で最も大きく、その最大径は最小径の1.1倍よりも小さ。ものとすることが可能となり、感光ドラム2a2b~2d上の主走査方向のビーム径Dの変動を±10以内の範囲に小さく抑えることができる。以上の結果、本発明に係る光走査装置13によれば、感光ドラム2a2b~2d上での主走査方向のビーム径Dの変動を小さく抑えつつ等速走査を行うこと可能となる。ここで、下記3条件:1像高中央y=0と像高端部y=110mmにおけるビーム径が等しく最大である。2ビーム径の最小値は最大値の90である。3偏向角θの最大値θmaxはθmax=45degである。の下で走査レンズの焦点距離fと偏向角θの振幅A1,A2を求めた結果を表1に示す。而して、走査レンズ29の焦点距離fと偏向角θの振幅A1,A2を表1のように設定したときの走査速度の変動リニアリティと感光ドラム2a2b~2d上での主走査方向のビーム径比は像高に対して図3に示す傾向を示す。図3から明らかなように、走査レンズ29の焦点距離fと偏向角θの振幅A1,A2を適当に設定することによって走査速度の変動リニアリティをほぼ0とすることができるとともに、感光ドラム2a2b~2d上での主走査方向のビーム径の変動を±10以内に抑えることができる。尚、以上は本発明をカラーレーザープリンターとこれに備えられた光走査装置に対して適用した形態について説明したが、本発明は、モノクロプリンターや複写機等を含む他の任意の画像形成装置及びこれに備えられた光走査装置に対しても同様に適用可能であることは勿論である。"