"第1の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第2の電源とに接続される情報処理装置であって、前記第1の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断する判断部と、前記情報処理装置の起動中に、前記第1の電源からの電力供給が停止されていると前記判断部により判断された場合、前記情報処理装置を停止する停止部と、を備えることを特徴とする情報処理装置。前述したような半導体製造装置のコントローラで動作する従来の各アプリケーションプログラム以後、アプリケーションと称するは、コントローラの起動に伴い、起動する仕組みである。ある一つのアプリケーションが停電検知の役割を持ち、停電を検知した場合に他のアプリケーションへ終了要求を通知する。各アプリケーションは終了要求に応じてシャットダウン用の前処理を実行し、シャットダウンを実行する。しかしながら、このような場合、コントローラの起動時にすでに停電が検知された状態であっても、各アプリケーションは一旦起動し、シャットダウン用の前処理を実行して終了する。その為、各アプリケーションが一旦起動しシャットダウン用の前処理を実行して終了する間に、UPSの電力枯渇や故障等により電力供給が停止した場合、コントローラの構成部品やHDD、ファイル等が破損する問題がある。例えば、アプリケーションの起動に伴い、OSOperatingSystemのアップデートや、セキュリティパッチ等の更新を含む場合、更新処理が中断することとなり、OSが正常に動作しないなどの問題がある。本発明は、アプリケーション起動中に電力供給が停止することに起因する実害を未然に防ぐ情報処理装置を提供することを目的とする。上述した課題を解決するため、本発明の情報処理装置は、第1の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第2の電源とに接続される情報処理装置であって、前記第1の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断する判断部と、前記情報処理装置の起動中に、前記第1の電源からの電力供給が停止されていると前記判断部により判断された場合、前記情報処理装置を停止する停止部とを有する。また、前記情報処理装置と前記第2の電源との接続方法を定義する定義ファイルを予め記憶する記憶部と、前記定義ファイルが定義する接続方法に応じて第2の電源との通信を行い、第2の電源から電力の供給状態を示す給電情報を取得する取得部とを更に備え、前記判断部は、前記給電情報に基づいて第1の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断する。また、前記判断部により第1の電源からの電力供給が停止されていると判断された場合、第2の電源に対し、電力供給を停止するよう指示を行う指示部を更に有する。また、本発明の一態様にかかる情報処理装置の停電監視方法は、第1の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第2の電源とに接続される情報処理装置の停電監視方法であって、第1の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断し、前記情報処理装置の起動時に、第1の電源からの電力供給が停止されていると判断された場合、前記情報処理装置を停止する。また、本発明の一態様にかかる情報処理装置の停電監視プログラムは、第1の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第2の電源とに接続される情報処理装置の停電監視プログラムであって、第1の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断し、前記情報処理装置の起動時に、第1の電源からの電力供給が停止されていると判断された場合、前記情報処理装置を停止することをコンピュータに実行させる。また、本発明の一態様にかかる基板処理装置は、基板に対し所定の処理を施す基板処理装置であって、前記情報処理装置を少なくとも一台備え、前記情報処理装置が実行するプログラムは、前記所定の処理を実行するプログラムである。また、前記情報処理装置は、基板の温度を制御する温度制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内に供給されるガスの流量を制御するガス流量制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内の圧力を制御する圧力制御手段、及び、基板を搬送する際に各搬送機構を制御する搬送手段からなる群から選択される少なくとも一つの手段を適宜制御する。本発明によれば、アプリケーション起動中に電力供給が停止することに起因する実害を未然に防ぐことができる。以下、実施の形態1に係る情報処理装置1について図面を参照しつつ説明する。なお、以下では、実施の形態1の説明で用いるために必要な図のみ用いている。このため、本発明はこれらの図に限定されるものではない。また、以下では、UPSを用いて電力が供給される形態について説明する。実施の形態1.図1は、実施の形態1に係る情報処理装置1のハードウェア構成を示すブロック図である。図1に示されるように、情報処理装置1は、CPU11と、主記憶装置12と、HDD13記憶部とを有する。CPU11は主記憶装置12に展開されるOS、BIOS、アプリケーション等の各種プログラムを実行し、情報処理装置1の制御を行う。主記憶装置12はいわゆるRAMなどの揮発性のメモリであり、実行されるプログラムの作業領域として利用される。HDD13はハードディスクを不揮発性の記憶媒体として有しており、後述する停電通知通信定義ファイル132を含む停電監視プログラム131及び各種アプリケーションが記憶されている。情報処理装置1はさらに、シリアル回線を用いてシリアル回線通信を行う通信ポートであるCOM14及び15と、DI/O通信を行うDI/Oポート16と、外部電源2と接続されたUPS17とを有している。実施の形態1において情報処理装置1は、COM14にUPS17が接続されている。このUPS17を介して情報処理装置1は外部電源2からの電力供給を受ける。DI/Oポート16は図示しない停電検知リレー回路例えば、図6に示される停電検知リレー回路91が接続可能な通信ポートである。なお、CPU11、主記憶装置12、HDD13、COM14及び15、DI/Oポート16の夫々は、バス18に接続されている。次に、図2を用いて実施の形態1に係る情報処理装置1の機能構成を説明する。図2は、実施の形態1に係る情報処理装置1の機能を示す機能ブロック図である。図2に示されるように、情報処理装置1は、機能として、停電検知部101指示部,取得部と、シリアル回線通信部102と、DI/O通信部103と、アプリケーション通信部104とを有する。実施の形態1において情報処理装置1は、CPU11や主記憶装置12等のハードウェア資源が協働してHDD13に予め格納してある停電監視プログラム131を実行することにより、これら機能を実現する。停電監視プログラム131は情報処理装置1の起動時OSの起動時にサービスとして起動される。停電検知部101は、外部電源2からの電力供給が停止されているか否かを判断し、情報処理装置1の起動時に、外部電源2からの電力供給が停止されていると判断した場合、OSによるプログラムの起動に先立ってOSをシャットダウンすることで情報処理装置1を停止する。具体的には、停電検知部101は、情報処理装置1が起動状態である場合、停電検知通信定義ファイル132を読み込む。停電検知通信定義ファイル132は、情報処理装置1がUPS17との接続であるか図示しない停電検知リレー回路との接続であるかが定義されたデータである。さらに、停電検知通信定義ファイル132には、UPS17との接続の場合、シリアル回線接続であるかDI/O接続であるかが定義されている。実施の形態1においては、停電検知通信定義ファイル132には、COM14を用いたUPS17とのシリアル回線接続が定義されている。停電検知部101は、停電検知通信定義ファイル132にUPS17とのシリアル回線接続が定義されていた場合、UPS17とのシリアル回線通信用プログラムを有効にする。一方、UPS17とのDI/O接続が定義されていた場合、UPS17とのDI/O通信用プログラムを有効にする。また、図示しない停電検知リレー回路とのDI/O接続が定義されていた場合、当該停電検知リレー回路とのDI/O通信用プログラムを有効にする。停電検知部101は、シリアル回線通信部102またはDI/O通信部103のいずれかを介して、UPS17または図示しない停電検知リレー回路と通信を行い、UPS17または当該停電検知リレー回路から停電検知の通知停電通知を含む給電状態データ給電情報を取得することで停電を検知する。また、停電検知部101は、停電を検知した場合、アプリケーション通信部104へアプリケーションの終了を要求する。また、停電検知部101は、シリアル回線通信部102またはDI/O通信部103のいずれかを介して、バックアップ用の電力供給の停止を示す停止通知をUPS17へ送信し、OSをシャットダウンすることで情報処理装置1を停止する。シリアル回線通信部102は、シリアル回線通信用プログラムが有効にされた場合に実現される機能であり、情報処理装置1がPC/AT互換機の場合、COM14または15を介してUPS17と通信を行う。DI/O通信部103は、DI/O通信用プログラムが有効にされた場合に実現される機能であり、DI/Oポート16を介してUPS17または図示しない停電検知リレー回路と通信を行う。アプリケーション通信部104は、停電検知部101からのアプリケーション起動の要求に応じて、各種アプリケーションを起動する。アプリケーション通信部104は、動作中の各アプリケーションへ終了要求を送信し、各アプリケーションの終了を監視する。各アプリケーションは終了要求を受信すると、シャットダウン用の前処理を実行し、シャットダウン前処理完了後、自身のプログラムを終了する。アプリケーション通信部104は、各アプリケーションの終了を監視し、アプリケーション終了後に停電検知部101へアプリケーションの終了を通知する。次に、図3を用いて、情報処理装置1の停電監視処理の詳細を説明する。図3は、実施の形態1に係る情報処理装置1の停電監視処理を示すフローチャートである。まず、停電監視プログラム131が起動されると、停電検知部101は、停電監視プログラム131の状態が起動状態であるか否かを判断するS101。なお、停電監視プログラム131起動時、main関数が呼び出されるため、停電検知部101は当該main関数が呼び出されたか否かにより起動状態か否かの判断を行う。起動状態である場合S101,YES、停電検知部101は、停電検知通信定義ファイル132をHDD13から取得するS102。取得後、停電検知部101は、取得した停電検知通信定義ファイル132の内容に従って、シリアル回線通信部102へ停電中か否かを示す給電状態データの取得を要求し、シリアル回線通信部102が給電状態データをUPS17から取得するS103。取得後、停電検知部101は、取得した給電状態データが停電を示しているか否かを判断するS104。停電を示している場合S104,YES、停電検知部101は、シリアル回線通信部102を介して、停止通知をUPS17へ送信するS105。ここで、停止通知を受信したUPS17は、所定のシャットダウン猶予時間例えば、3分経過後に電力供給を停止する。停止通知送信後、停電検知部101は、HDD13に記憶されている各種アプリケーションを起動させずに、OSへシャットダウン要求を行いS106、本フローは終了となる。一方、停電を示していない場合S104,NO、停電検知部101は、アプリケーション通信部104にアプリケーション起動の要求を行う。アプリケーション通信部104は要求に応じてアプリケーションを起動させるS107。アプリケーション通信部104は、全アプリケーションが起動したか否かを判断するS108。全アプリケーションが起動したと判断された場合S108,YES、停電検知部101は、停電監視状態へ移行しS109、本フローは終了となる。一方、全アプリケーションが起動していないと判断された場合S108,NO、再度、ステップS107のアプリケーションを起動させる処理へ移行する。また、ステップS101の起動状態であるか否かを判断する処理において、起動状態でない、即ち、停電監視状態であると判断された場合S101,NO、停電検知部101は、停電監視状態を継続し、本フローは終了となる。このような停電監視処理は情報処理装置1において定期的に実行される。停電監視状態では、情報処理装置1が起動中に定期的に、停電検知部101により給電状態データが取得され、外部電源2の電力供給が停止されているか否かが判断される。停電監視状態において取得した給電状態データが停電を示している場合、停電検知部101により起動中の各アプリケーションに終了要求がなされ、各アプリケーションは、終了要求を受信すると、シャットダウン用の前処理を実行し、シャットダウン前処理完了後、自己のプログラムを終了する。各アプリケーションのシャットダウン終了後、停電検知部101は、UPS17へ停止通知を送信し、OSをシャットダウンする。なお、実施の形態1においては、全アプリケーションが起動したと判断された場合S108,YES、停電監視状態へ移行したが、この停電監視状態の処理を廃し、停電の監視を他のプログラムが行うようにしてもよい。また、情報処理装置1がUPS17を有していると説明したが、情報処理装置1がUPS17を構成要件として有していなくてもよい。また、停電監視プログラム131に停電検知通信定義ファイル132が含まれていると説明したが、これらが個別にHDD13内に記憶されていてもよいし、停電検知通信定義ファイル132がサーバ等の外部装置から受信されるようにしてもよい。また、シリアル回線通信用プログラム及びDI/O通信用プログラムは予めHDD13に格納されていてもよく、停電検知通信定義ファイル132に対応付けられていてもよい。これらプログラムはサーバ等の外部装置から受信されるようにしてもよい。また、HDD13が記憶する各種アプリケーションには、OSの起動に伴い、自動で起動するアプリケーションが含まれている場合がある。そのため、情報処理装置1は、アプリケーションの起動を抑制する抑制部を機能として更に有してもよい。この場合、ステップS101の停電監視プログラム131の状態が起動状態であるか否かを判断する処理において、起動状態であると判断された直後に抑制部による各種アプリケーションの起動を抑制する処理が行われる。また、実施の形態1においては、情報処理装置1がCOM14を用いたUPS17とのシリアル回線接続である場合を説明した。しかしながら、情報処理装置1がDI/Oポート16を用いたUPS17とのDI/O接続またはDI/Oポート16を用いた停電検知リレー回路とのDI/O接続であっても、前述した機能を実現できることは言うまでもない。この場合、シリアル回線通信部102に代わり、DI/O通信部103がステップS107及びS108の処理を行う。実施の形態1によれば、アプリケーション起動中に電力供給が停止することによる情報処理装置1のハードウェア資源の破損、ファイルやデータの損失等の実害を未然に防ぐことができ、もって停電復旧時の情報処理装置の安定稼働に貢献できる。実施の形態2.前述した実施の形態1では、情報処理装置1について説明した。実施の形態2では、情報処理装置1をコントローラとして複数有する基板処理装置について図を参照しつつ説明する。ここで、実施の形態2では、基板処理装置として、半導体ICの製造における成膜処理等の処理工程を実施する半導体製造装置を例にとり説明を行う。なお、実施の形態1と同一符号は実施の形態1で説明したものと同一又は相当物を示しており、重複する説明は割愛する。図4は、実施の形態2に係る半導体製造装置3のハードウェア構成を示すブロック図である。図4に示されるように、半導体製造装置3は、コントローラ31を複数有している。コントローラ31は、夫々CPU11と、主記憶装置12と、HDD13と、COM14及び15と、DI/Oポート16とを有する。これらコントローラ31は、それぞれ停電監視プログラム131を有しており、情報処理装置1と同様の機能を実現できる。なお、コントローラ31のそれぞれは、図2及び図3にて説明した情報処理装置1と同様の機能を有しているため、コントローラ31の停電監視処理の説明は割愛する。更に、コントローラ31の夫々は、前述した各機能に加え、ハードウェア資源を協働させてHDD13に記憶されている各種プログラムを起動することにより、基板の温度を制御する温度制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内に供給されるガスの流量を制御するガス流量制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内の圧力を制御する圧力制御手段、及び、基板を搬送する際に各搬送機構を制御する搬送手段等から選択される少なくとも一つの手段を実行する。半導体製造装置3は、前述した各手段の処理中において、UPS17のバックアップ用の電力が枯渇した場合、例えば、成膜処理等の処理が中断されるため、甚大な被害を受ける可能性が高い。しかしながら、実施の形態2によれば、アプリケーション起動中に電力供給が停止することによる半導体製造装置3等の基板処理装置のハードウェア資源の破損やファイルやデータの損失、処理が中断されることによる甚大な被害等の実害を未然に防ぐことができる。よって、停電復旧時の半導体製造装置等の基板処理装置の安定稼働に貢献できる。前述した実施の形態2においては、半導体製造装置3が情報処理装置1をコントローラとして有していると説明した。しかしながら、半導体製造装置に外部から情報処理装置1を接続し、半導体製造装置3において情報処理装置1が有する停電監視プログラム131を実行させて半導体製造装置3に各機能を持たせてもよい。また、半導体製造装置3を複数接続し、半導体製造装置3夫々の情報を一元管理する群管理装置が情報処理装置1をコントローラとして有していてもよい。なお、郡管理装置は、当該コントローラに加え、タッチパネルディスプレイやキーボード等の操作部、及び、ディスプレイ等の表示部を有する。この場合、郡管理装置が有する停電監視プログラム131は、半導体製造装置3の起動時に、各ハードウェア資源が協働することにより実行され、郡管理装置上に置いて各機能を実現することができる。即ち、郡管理装置上の停電検知部101が半導体製造装置と接続されているUPSまたは図6に示されるような停電検知リレー回路91と夫々通信を行い、各半導体製造装置の停電の検知及びOSのシャットダウンといった停電監視処理を行うことが出来る。ここで、シリアル回線通信部102及びDI/O通信部103の通信対象は、群管理装置の各半導体製造装置3におけるUPS17または図示しない停電検知リレー回路となる。また、アプリケーション通信部104の通信対象は各半導体製造装置3が記憶するアプリケーションとなる。なお、このような郡管理装置は、半導体製造装置と同じフロア例えばクリンルームに郡管理装置を配置する必要はなく、例えば、LAN接続され、事務所に配置してもよい。また、郡管理装置において、HDD等の格納部やCPU等の制御部と、操作部や表示部を一体にする必要はなく、夫々を別体にして、フロア上に配置された半導体製造装置を遠隔で事務所に配置された操作部により操作できるように構成してもよい。前述した実施の形態2では、基板処理装置として半導体製造装置を用いて説明した。しかしながら、実施の形態2に係る基板処理装置はLCD装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用することができる。この他、基板処理装置には、例えば、露光装置、リソグラフ装置、塗布装置、プラズマを利用したCVD装置が含まれる。成膜処理には、例えば、CVD、PVD、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理などが含まれる。更に、成膜処理には、アニール処理、酸化処理、窒化処理及び拡散処理なども含まれる。また、停電監視プログラム131を、コンピュータにより読み取り可能な可搬型の記録媒体に記憶させ、当該記録媒体を情報処理装置や基板処理装置のコントローラに読み込ませることにより、前述した機能を情報処理装置や基板処理装置に実現させることができる。コンピュータにより読み取り可能な可搬型の記録媒体としては、例えば、CDディスク、DVDディスク、フラッシュメモリ、ICカードが挙げられる。なお、特許請求の範囲に記載の第1の電源は、例えば前述の実施の形態1における外部電源2に対応し、第2の電源は、例えばUPS17または停電検知リレー回路92に対応する。情報処理装置は、例えば情報処理装置1やコントローラ31に対応し、起動部は、例えばCPU11やOSに対応する。判断部及び停止部は、例えば停電検知部101に対応する。"