"複数の紫外線ランプを備え、流入した処理水が紫外線を照射した後に排出する紫外線照射装置と、前記紫外線照射装置の流入口側または排出口側の前記処理水の流量を測定する流量計と、前記紫外線照射装置における紫外線照射量監視と前記紫外線ランプの出力制御とを行う紫外線照射量監視制御装置と、を備え、前記複数の紫外線ランプの1つから発光された紫外線の強度を測定する第1測定ヘッドと、前記複数の紫外線ランプのそれぞれから発光された紫外線の強度を測定する複数の第2測定ヘッドと、を備え、前記第1測定ヘッドでの紫外線強度測定値と前記第1測定ヘッドにより測定される紫外線ランプの出力制御値が100のときの紫外線強度との比と、等価換算紫外線照射量との関係が1つの一次関数直線となるように、前記紫外線ランプと第1測定ヘッドまでの距離が設定されていることを特徴とする紫外線照射装置の監視制御システム。前記第1測定ヘッドは、前記紫外線照射装置内の紫外線照射量監視と、紫外線照射装置内に配置された全ての前記紫外線ランプの出力を制御する指標となる紫外線ランプから発光された紫外線の強度を測定し、円柱形状の第1本体軸と、前記第1本体軸の軸方向に対して垂直に設けられた第1受光面と、を有し、前記第2測定ヘッドは、円柱形状の第2本体軸と、前記第2本体軸の軸方向と水平に設けられた第2受光面と、を有し、前記第2測定ヘッドと前記第2測定ヘッドにより発光した紫外線を測定される紫外線ランプとの距離は、前記第1測定ヘッドと前記第1測定ヘッドにより発光した紫外線を測定される紫外線ランプとの距離以下であることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置の監視制御システム。前記第1測定ヘッドおよび前記第2測定ヘッドは、柱形状の本体軸と、前記本体軸の軸方向に対して垂直に設けられた受光面と、を備え、第2測定ヘッドと前記第2測定ヘッドにより発光した紫外線を測定される紫外線ランプとの距離は、前記第1測定ヘッドと前記第1測定ヘッドにより発光した紫外線を測定される紫外線ランプとの距離と略同一であることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置の監視制御システム。前記複数の紫外線ランプは前記処理水の経路に配置され、前記複数の第2測定ヘッドは、それぞれが監視対象とする前記紫外線ランプとの受光面との距離が略等しくなるように配置されていることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置の監視制御システム。前記第1測定ヘッドは、前記第1測定ヘッドの固定および処理水との接触を防ぐために設置される測定窓の窓外面と、前記紫外線ランプの外周を覆う保護管外面との距離は135mm±5mmになるように設置されていることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置の監視制御システム。前記紫外線照射量監視制御装置は、前記流量計によって測定された流量と、前記第1測定ヘッドによる測定値とによって、前記第1測定ヘッドにより発光した紫外線を測定される紫外線ランプの出力を調整し、かつ、前記第1測定ヘッドにより発光した紫外線を測定される紫外線ランプが発光した紫外線を測定する第2測定ヘッドによる測定値を目標値として、他の紫外線ランプを監視対象とする第2測定ヘッドの測定値が、前記目標値と一致するように、個々の紫外線ランプの出力を調整することを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置の監視制御システム。前記第1測定ヘッドおよび第2測定ヘッドで測定される値を監視する複数の紫外線モニターをさらに備え、前記紫外線照射量監視制御装置は、予め設定された目標紫外線照射量を達成するために必要な複数の紫外線モニター出力値を算出するための演算式に、前記目標紫外線照射量と前記流量計で測定された処理水流量を代入して算出された値を目標紫外線モニター出力値とし、前記複数の紫外線モニターの中で、最も低値を示した前記紫外線モニターを第1紫外線モニターとし、さらに、前記第1紫外線モニターによる測定値が、目標紫外線モニター出力値と一致するように、第1紫外線モニターが監視対象とする紫外線ランプの出力を調整し、さらに、他の紫外線ランプの出力は、前記第1紫外線モニターの監視対象紫外線ランプの出力調整値と略同一の出力調整値に設定することを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置の監視制御システム。一般に、紫外線ランプは、同じ電気入力でも点灯累積時間に応じて紫外線放射量が減衰することが知られている。そのため、紫外線照射装置に内蔵される紫外線ランプ個々の能力変化を監視し、また、そのために装着される紫外線モニターの劣化を軽減する必要があった。さらに、紫外線ランプの紫外線照射量の低下が、被処理流体の紫外線透過率の低下によるものであるか、紫外線ランプの経年変化によるものであるか、紫外線モニターの劣化によるものであるか、の判定が困難であった。このことから、紫外線ランプを1台の紫外線モニターで監視するだけでは不十分であった。一方、紫外線発光源として中圧紫外線ランプを用いる場合には、ランプ1本当たりの投入電力を大きくできるので、動作温度が高く600°C~900°Cなり水銀原子同士の衝突頻度が増加し広範囲の波長多波長の紫外線が高光度で発生するため、一般的な低圧紫外線ランプを用いる場合と比べてランプの使用本数を少なくでき、装置を小型化できるとともに、メンテナンス作業工数を軽減できる等の利点がある。その反面、処理水流量や水質の変動が大きい施設に適用する場合、常に定格で運転していると、流量が低下した場合や処理水の浄化度が上がり紫外線透過率が計画条件よりも改善した場合には、必要以上の紫外線が照射されることになり、紫外線を発光させるための電力の無駄が発生することがあった。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、紫外線照射装置の信頼性を向上し、安全な処理水を提供することができる紫外線照射装置の監視制御システムを提供することを目的とする。実施形態による紫外線照射装置の監視制御システムは、複数の紫外線ランプを備え、流入した処理水が紫外線を照射した後に排出する紫外線照射装置と、前記紫外線照射装置の流入口側または排出口側の前記処理水の流量を測定する流量計と、前記紫外線照射装置における紫外線照射量監視と前記紫外線ランプの出力制御とを行う紫外線照射量監視制御装置と、を備え、前記複数の紫外線ランプの1つから発光された紫外線の強度を測定する第1測定ヘッドと、前記複数の紫外線ランプのそれぞれから発光された紫外線の強度を測定する複数の第2測定ヘッドと、を備え、前記第1測定ヘッドでの紫外線強度測定値と前記第1測定ヘッドにより測定される紫外線ランプの出力制御値が100のときの紫外線強度との比と、等価換算紫外線照射量との関係が1つの一次関数直線となるように、前記紫外線ランプと第1測定ヘッドまでの距離が設定されている。以下、実施形態について、図面を参照して説明する。図1に、第1実施形態に係る紫外線照射装置2の監視制御システムを含む紫外線処理設備1の一構成例を示す。紫外線処理設備1は、紫外線照射装置2と、流量計3と、流量調整弁4と、ランプ電源5と、紫外線照射量監視制御装置6と、紫外線処理設備監視制御装置7と、紫外線測定ヘッド8と、紫外線モニター9と、を備えている。紫外線測定ヘッド8は、紫外線照射装置2に取り付けられ、紫外線モニター9と専用線により接続されている。紫外線モニター9は、紫外線測定ヘッド8により測定された紫外線強度に対応した電流信号、あるいは電圧信号を取得し、電流信号、あるいは電圧信号を紫外線強度に変換して紫外線照射量監視制御装置6へ出力する。紫外線モニター9は、後述する第1紫外線モニター21と第2紫外線モニター24とを備えている。紫外線測定ヘッド8は、後述する第1紫外線モニター用測定ヘッド22と、第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6と、を備えている。第1紫外線モニター用測定ヘッド22は第1紫外線モニター21と有線あるいは無線により接続され、第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6は第2紫外線モニター24と有線あるいは無線により接続されている。流量調整弁4は、弁の開閉により、紫外線照射装置2に流入する処理流体の量を調整する。流量調整弁4の弁の開閉動作は、紫外線処理設備監視制御装置7により制御される。流量計3は、流量調整弁4を通過して紫外線照射装置に流入する処理流体の流量を計測する。流量計3は、計測した流量を紫外線照射量監視制御装置6へ出力する。紫外線照射量監視制御装置6は、流量計3で計測された処理流体の流量と、紫外線モニター9から取得した紫外線強度と、に基づいて、ランプ電源5を制御する。ランプ電源5は、紫外線照射装置2に搭載された紫外線ランプに電源を供給する。ランプ電源5が紫外線ランプに供給する電源電力は、紫外線照射量監視制御装置6により制御される。図2に、紫外線照射装置2の一構成例を概略的に示す。図3に、図2に示す紫外線照射装置2の線A-Aにおける断面の一例を示す。紫外線照射装置2は、通水胴10と、ランプハウジング11と、複数の保護管12と、複数の紫外線ランプ13と、ランプハウジング蓋14と、Oリング押さえ15と、洗浄板駆動軸16と、移動コマ17と、駆動モータ18と、洗浄ワイパー19と、洗浄板20と、第1紫外線モニター21と、第1紫外線モニター用測定ヘッド22と、測定ヘッド保護管23と、第2紫外線モニター24と、第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6と、を備えている。通水胴10は略円筒形状であって、処理流体が流入する流入口と処理流体が排出される排出口と、流入口と排出口との間に延びる壁を備える。通水胴10の流入口は、流量調整弁4の排出口と流路を介して接続されている。一対のランプハウジング11は、通水胴10内を処理流体が流れる方向と略直交する方向において、通水胴10の壁の互いに対向する位置から通水胴10の外側に向かって突出している。ランプハウジング11の突出する方向と略直交する面における断面形状は略円形である。すなわち、通水胴10とランプハウジング11とは、2つの円筒がそれぞれの軸の中心部分で交差するように結合した略十字形状の構造となる。一対のランプハウジング蓋14は略円形状であって、ランプハウジング11の両端の開口に取り付けられて、ランプハウジング11を封止する。一対のランプハウジング蓋14は、互いに対向する位置に設けられた開口を備えている。複数の保護管12は、両端が一対のランプハウジング蓋14の開口において保持されている。本実施形態では、保護管12はたとえば石英ガラス管であり、6つの保護管12の軸が略平行であって互いに等間隔になるように配置されている。複数の紫外線ランプ13は、複数の保護管12の中に挿入されている。これら複数の紫外線ランプ13を内蔵した保護管12の両端部は、ランプハウジング蓋14の開口に取り付けられる図示していない水密OリングとOリング押さえ15とにより水封シールされている。洗浄板駆動軸16は、ランプハウジング11の円筒の略中心軸に設置されている。洗浄板駆動軸16には、移動コマ17が取り付けられている。移動コマ17は、駆動モータ18により駆動されて洗浄板駆動軸16上を移動する。洗浄板20は、複数の保護管12の周囲を囲むように配置された洗浄ワイパー19を備えている。洗浄板20は移動コマ17に取り付けられて、移動コマ17の動きに合わせてランプハウジング11の軸方向に移動する。洗浄板20が移動することにより、洗浄ワイパー19が保護管12の軸方向に渡って外周面に接触し、保護管12の外周面に付着した汚れが洗浄される。紫外線照射装置2の通水胴10と、ランプハウジング11とには、紫外線照射装置2の内部における紫外線照射量を監視するための第1紫外線モニター21に接続された第1紫外線モニター用測定ヘッド22が取り付けられている。さらに、紫外線照射装置2の内部には、ランプハウジング11の中心軸と各紫外線ランプ13-1~13-6それぞれの中心軸を結ぶ線上に石英ガラス管製の測定ヘッド保護管23が配置されている。測定ヘッド保護管23はその内部に個々の紫外線ランプ13-1~13-6から発光される紫外線強度を監視するための第2紫外線モニター24に接続された第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6が内蔵されている。ここで、個々の紫外線ランプ13-1~13-6から発光される紫外線強度を監視するための第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6の取り付け構造の一例について図面を参照して詳細に説明する。図4は、本実施形態の紫外線照射装置2に設置された個々の紫外線ランプから発光される紫外線強度を監視するための第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6の取付け方法の一例を示す構成図である。図4において第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6は、紫外線照射装置2のランプハウジング11の略中心軸と各紫外線ランプ13-1~13-6の略中心軸とを結ぶ線上に紫外線ランプ13-1~13-6と平行に配置された石英ガラス管の測定ヘッド保護管23内部に、測定ヘッド支持部材26によって所定の位置に固定されている。図5は第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6の構成の一例を示す図である。第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-6は、先端部に360°どの方向からの紫外線を検知可能な受光部27を有している。受光部27には紫外線の入射方向を限定するための導光孔28が開けられた円筒状の遮光キャップ29が、導光孔28が監視対象の紫外線ランプ13-1~13-6の方向に向くように取り付けられている。紫外線照射装置2における紫外線照射量を監視するための第1紫外線モニター21に接続された第1紫外線モニター用測定ヘッド22は、通水胴10あるいはランプハウジング11の壁に設けられた測定窓図6Aに一例を示す内に収納され、紫外線ランプ13-1と対向した測定窓面と監視対象である紫外線ランプ13-1の保護管12表面との距離が135mmになるように設置されている。この距離135mmは、任意の処理流量において処理水の紫外線透過率や紫外線ランプ13-1の出力が変化した場合でも第1紫外線モニター21による紫外線強度測定値と流量のみの関数により、紫外線照射装置2における紫外線照射量が計算可能となる最適な位置であり、以下の試験および紫外線照射装置における紫外線照射量解析結果に基づいて決定されたものである。以下に説明する試験は、監視対象である紫外線ランプ13と第1紫外線モニター用測定ヘッド22との位置関係、すなわち、紫外線ランプ13を覆う保護管12の外周面と第1紫外線モニター用測定ヘッド22を収納する測定窓30の窓面31との間の距離が異なる複数の場合について、処理水中1cmの間隔を波長253.7nmの紫外線が透過する割合である紫外線透過率と紫外線ランプ出力が変化したときの第1紫外線モニター21測定値の変化とを調べる目的で実施したものである。図6Aに、第1紫外線モニター用測定ヘッド22の保護管12の外周面から測定窓30の窓面31までの距離を35mm、135mm、241mmの位置にそれぞれ設定した場合の試験条件の一例を説明する図を示す。この試験では、第1紫外線モニター用測定ヘッド22と紫外線ランプ13とを、保護管12の外周面から測定窓の窓面31までの距離35mm、135mm、241mmの位置にそれぞれ設置し、処理水の波長253.7nmの紫外線透過率を約80~100、紫外線ランプ13の出力制御値を50~100の間で変化させた。図6Bに、図6Aに示す試験条件において試験を実施した場合の測定結果の一例を示す。図7Aに、紫外線照射装置の紫外線照射量を解析する方法の一例を説明するための図を示す。紫外線照射装置における紫外線照射量の解析は一例として図7Aに示す紫外線照射装置の紫外線照射量について、大腸菌ファージMS2を指標菌とし、菌1つ1つが紫外線照射装置の流入口から排出口まで通過する間の軌跡を流動解析で求め、紫外線ランプ13から発光される紫外線のうち波長200nm~300nmの間で5nm毎の紫外線強度、保護管波長別紫外線透過率、処理水波長別紫外線透過率特性を考慮し、紫外線放射式1を用いて紫外線照射装置内部における分布を計算し、その間に菌が照射される紫外線強度と通過時間の積として求められる紫外線照射量分布に基づく等価換算紫外線照射量REDReductionEquivalentUVDoseを試験と同じ条件について解析した。なお、図7Aに示した紫外線照射装置において、紫外線ランプ13-1、13-2は消費電力3kWの中圧紫外線ランプ、保護管12は外径34mm,肉厚2mmの特殊波長240nm以下の紫外線をカットするような処理がなされている石英ガラス管とし、2本設置している紫外線ランプ13-1、13-2のうち図7Aの右側に示した中圧紫外線ランプ13-2のみ点灯紫外線ランプ13-1は消灯させた場合とした。紫外線強度分布の解析方法は、例えば下式1により紫外線照射装置内部の紫外線強度分布を求めた。ここで、kλ:ランプから発する紫外線の強さに関するランプ固有の定数PX:発光点からの距離r:紫外線強度を計算する位置におけるランプからの半径距離q:保護管の半径T:処理水の紫外線透過率fL:ランプ劣化係数fQ:保護管透過率fD:保護管汚れ係数fA:その他の係数なお、上記の解析方法の妥当性は、非特許文献2により検証済みである。図7Bに、上記紫外線強度分布の解析方法による解析結果の一例を示す。図8に、図6Bに示した第1紫外線モニター用測定ヘッド22の各位置に紫外線強度Sと、図7Bに示した等価換算紫外線照射量REDとの関係に基づいて、保護管12の外周面から測定窓面31までの距離L=35mmの場合について、流量が5,000m3/日のときの紫外線モニター相対出力SS0と等価換算紫外線照射量REDとの関係の一例を示す。ここで、S0は処理水の紫外線透過率100、かつ、紫外線ランプ出力制御値が100のときの紫外線強度mW/cm2である。図9に、保護管12の外周面と測定窓面31との間の距離L=135mmの場合について、流量が5,000m3/日の紫外線モニター相対出力SS0と等価換算紫外線照射量REDとの関係の一例を示す。図10に、保護管12の外周面と測定窓面31との間の距離L=241mmの場合について、流量が5,000m3/日の紫外線モニター相対出力SS0と等価換算紫外線照射量REDとの関係の一例を示す。図8乃至図10に示した紫外線モニター相対出力SS0と等価換算紫外線照射量REDとの関係の一例を見比べると、図8と図10とに示す場合では、紫外線モニター相対出力S/S0と等価換算紫外線照射量REDとの関係を示す処理水の紫外線透過率UTV毎のグラフがそれぞれ異なる一次関数直線となっている。これに対し、図9に示す紫外線ランプ保護管12の外周面から第1紫外線モニター用測定ヘッド22を内蔵した測定窓30の測定窓面31までの距離がL=135mmの場合は、紫外線モニター相対出力S/S0と等価換算紫外線照射量REDとの関係が1本の一次関数直線となる特性を示している。これは、紫外線ランプ保護管12の外周面から測定窓面31までの距離をL=135mmとすると、処理水の紫外線透過率UTVに関わらす、紫外線モニター相対出力S/S0と等価換算紫外線照射量REDが所定の一次関数で表せることとなり、この一次関数を特定することにより、所定の相対出力に対する等価換算紫外線照射量REDを演算することが可能となる。したがって、紫外線ランプ保護管12の外周面から紫外線モニター用測定ヘッドを内蔵した測定窓の窓面31までの距離がL=135mmの位置が、第1紫外線モニター用測定ヘッド22の最適な設置位置であることが分かる。この結果から、紫外線ランプ保護管12の外周面から紫外線モニター用測定ヘッドを内蔵した測定窓の窓面31までの距離がLは、誤差を含めて135mm±5mmとすることが好ましい。なお、この場合に、第2紫外線モニター用測定ヘッドとその第2紫外線モニター用測定ヘッドにより発光した紫外線強度を測定される紫外線ランプとの距離は、第1紫外線モニター用測定ヘッドとその第1紫外線モニター用測定ヘッドにより発光した紫外線強度を測定される紫外線ランプとの距離L以下である。第1紫外線モニター用測定ヘッド22が上記最適位置に設置されている場合、等価換算紫外線照射量REDは第1紫外線モニター21の相対出力S/S0と処理流量との関数として2式より求めることができ、処理水の紫外線透過率のオンライン監視が不要となる。ここで、RED:等価換算紫外線照射量mJ/cm2S:紫外線強度測定値W/m2S0:紫外線ランプ出力制御値100における紫外線強度W/m2Q:流量m3/日aQ5000:図9に示す一次関数から求められる係数図11は、保護管12の外周面と測定窓面31との間の距離L=135mmの場合について、複数の流量について2式の関係を調べ、それぞれの流量条件のときの係数aQを流量Qの逆数を横軸に、係数aQを縦軸としたグラフ上にプロットした場合の関係を示す一例である。さらに、図11中の曲線は3式により近似した近似線である。ここで、aQ:任意の流量毎の紫外線モニター相対出力SS0と等価換算紫外線照射量REDとの関係を2式で近似したときの係数b:図11に示す累乗関数によ近似式の定数c:図11に示す累乗関数によ近似式の指数Q:流量m3/日上記の2,3の関係に基づけは、第1紫外線モニター用測定ヘッド22が上記最適位置に設置されている場合、等価換算紫外線照射量REDは第1紫外線モニター21の相対出力S/S0と処理流量との関数として4式より求めることができ、処理水の紫外線透過率のオンライン監視が不要となる。次に、上記のように構成された紫外線処理設備の紫外線照射量監視制御装置6における紫外線ランプ13の出力制御方法について図1、図2および図12を用いて説明する。本実施形態では、紫外線照射量監視制御装置6は、流量計3によって測定された流量と、第1紫外線ランプモニター用測定ヘッドによる測定値とによって、第1紫外線ランプモニター用測定ヘッドにより発光した紫外線強度を測定される紫外線ランプの出力を調整し、かつ、第1紫外線ランプモニター用測定ヘッドにより発光した紫外線強度を測定される紫外線ランプが発光した紫外線強度を測定する第2紫外線ランプモニター用測定ヘッドによる測定値を目標値として、他の紫外線ランプを監視対象とする第2紫外線ランプモニター用測定ヘッドの測定値が、その目標値と一致するように、個々の紫外線ランプの出力を調整する。図12は、第1実施形態の紫外線処理設備1の監視および紫外線ランプ出力制御手順の一例を示すフローチャートである。以下に、第1実施形態における監視制御手順を説明する。まず、監視制御を開始すると、目標紫外線照射量目標REDを設定するステップSTA1。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は流量計3の出力流量Qを読み込むステップSTA2。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、上記式2に目標REDと流量Qとを代入し、第1紫外線モニター21の相対出力目標値S/S0DSを計算するステップSTA3。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21から相対出力S/S0Dmを読み込みステップSTA4、第1紫外線モニター21の監視対象である紫外線ランプ13-1の出力制御値Dsを読み込むステップSTA5。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21の監視対象である紫外線ランプ13-1の出力制御値Dsが100以上Ds≧100であるか否か、および、第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dmが相対出力目標値S/S0DS以下S/S0Dm≦S/S0DSであるか否か判断するステップSTA6。出力制御値Dsが100以上Ds≧100であり、かつ、相対出力S/S0Dmが相対出力目標値S/S0DS未満S/S0Dm<S/S0DSである場合、紫外線照射量監視制御装置6は、重警報UV強度不足を紫外線処理設備監視制御装置7へ発報しステップSTA7、紫外線処理設備1の運転を停止するステップSTA8。出力制御値Dsが100未満Ds<100、あるいは、相対出力S/S0Dmが相対出力目標値S/S0DS以上S/S0Dm≧S/S0DSである場合、第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSを比較し、一致しているS/S0Dm=S/S0DSか否か判断するステップSTA9。相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSとが一致しない場合、紫外線照射量監視制御装置6は、ランプ電源5の出力電力を制御して、紫外線ランプ13-1のランプ出力を以下の条件に従って調整するステップSTA10。すなわち、S/S0Dm>S/S0DSである場合、紫外線ランプ13-1の出力制御値を下げる。S/S0Dm<S/S0DSである場合、紫外線ランプ13-1の出力制御値を上げる。上記のように紫外線ランプ13-1のランプ出力を調整した後、再び、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21から相対出力S/S0Dmを読み込みステップSTA4、第1紫外線モニター21の監視対象である紫外線ランプ13-1の出力制御値Dsを読み込みステップSTA5、ステップSTA6およびステップSTA9の判断を、相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSとが一致するまで繰り返す。相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSとが一致した後、紫外線照射量監視制御装置6は、第2紫外線モニター24-1~24-6の相対出力S/S0Im1~Im6を読み込むステップSTA11。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、ランプ電源5より全紫外線ランプ出力制御値DI1~I6を読み込みステップSTA12、紫外線ランプ13-1~13-6の何れかの出力制御値DI1~DI6が100以上DI1~DI6≧100か否か、かつ、出力制御値DIiが100以上となった紫外線ランプ13を監視対象とする第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Imiが第1の紫外線モニターの監視対象ランプ13-1を監視対象とする第2紫外線モニター24-1の相対出力S/S0Im1より小さいS/S0Im2~Im6<S/S0Im1か否か判断するステップSTA13。紫外線ランプ13-1~13-6の何れかの出力制御値DI1~DI6が100以上であって、かつ、出力制御値DIiが100以上となった紫外線ランプ13を監視対象とする第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Imiが第1の紫外線モニターの監視対象ランプ13-1を監視対象とする第2紫外線モニター24-1の相対出力S/S0Im1より小さい場合、紫外線照射量監視制御装置6は重警報UV強度不足を紫外線処理設備監視制御装置7へ発報しステップSTA7、紫外線処理設備1の運転を停止するステップSTA8。紫外線ランプ13-1~13-6の何れかの出力制御値DI1~DI6が100未満、あるいは、出力制御値DIiが100以上となった紫外線ランプ13を監視対象とする第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Imiが第1の紫外線モニターの監視対象ランプ13-1を監視対象とする第2紫外線モニター24-1の相対出力S/S0Im1以上である場合、第1紫外線モニター21の監視対象である紫外線ランプ13-1を監視対象とする第2紫外線モニター24-1の相対出力S/S0Im1と、それ以外の第2紫外線モニター24-2~24-6の相対出力S/S0Im2~Im6とを比較し、一致しているS/S0Im1=S/S0Im2~Im6か否か判断するステップSTA14。相対出力S/S0Im1と、それ以外の第2紫外線モニター24-2~24-6の相対出力S/S0Im2~Im6とが一致しない場合は、紫外線照射量監視制御装置6は紫外線ランプ13-2~13-6のランプ出力を以下の条件に従って調整するステップSTA15。すなわち、S/S0Im2~Im6>S/S0Im1である場合、この条件に合致した紫外線ランプの出力制御値を下げ、S/S0Im2~Im6<S/S0Im1である場合、この条件に合致した紫外線ランプの出力制御値を上げる。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、各紫外線ランプの出力調整値の最大値DImaxと最小値DIminとの差が許容差ΔDI以下であるDImax-DImin≦ΔDIか否か判断するステップSTA16。最大値DImaxと最小値DIminとの差が許容差ΔDIより大きい場合、紫外線照射量監視制御装置6は、軽警報ランプNo.該当番号能力不足を紫外線処理設備監視制御装置7へ発しステップSTA17、紫外線ランプ交換を促す。最大値DImaxと最小値DIminとの差が許容差ΔDI以下である場合、紫外線照射量監視制御装置6は、第2紫外線モニター24-1~24-6の相対出力S/S0Im1~6を再び読み込みステップSTA11、続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、ランプ電源5より全紫外線ランプ出力制御値DI1~I6を読み込みステップSTA12、ステップSTA13およびステップSTA14の判断を、相対出力S/S0Im1と、相対出力S/S0Im2~Im6とが一致するまで繰り返す。相対出力S/S0Im1と、相対出力S/S0Im2~Im6とが一致したら、紫外線照射量監視制御装置6は、紫外線ランプ13の紫外線照射量監視と、紫外線ランプ出力制御動作を終了する。第1実施形態によれば、紫外線照射装置2内の照射量の常時監視と制御が可能となり、流量が計画流量より小さい場合や、処理水の紫外線透過率が設計条件より高い条件で起こる得る紫外線が過剰となる条件になった場合は、紫外線ランプの出力を下げて運転できる。このことにより、紫外線ランプを駆動するための無駄な電量消費を防ぎ、省エネルギーを実現することができる。また、処理水の流量が計画流量より大きい場合や、処理水の紫外線透過が計画条件より低い場合に起こりうる紫外線の照射不足を防止することができる。このことにより、紫外線照射量不足により、処理水内に病原性を保持した微生物が生存することに起因する感染拡大を防止することができる。したがって、本実施形態の紫外線処理装置の監視制御システムによれば、紫外線照射装置の信頼性を向上し、安全な処理水を提供することができる。さらに、第1実施形態の紫外線照射装置2によれば、紫外線照射装置2内に配置された紫外線ランプ個々の紫外線発光能力の監視、および制御が可能となり、紫外線照射装置2内全ての紫外線ランプから発光される紫外線の強度を均一にすることができる。このことにより、紫外線照射装置2の安定した運転を実現できるとともに、能力の低下した紫外線ランプの特定が可能となり、紫外線照射量不足により処理水内に病原性を保持した微生物が生存することに起因する感染拡大を防止することができる。したがって、本実施形態によれば、紫外線照射装置の信頼性が向上し、安全な処理水を提供することができる。次に、第2実施形態の紫外線照射装置について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において上述の第1実施形態の紫外線照射装置と同様の構成には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。図13は、第2実施形態の紫外線照射装置の一構成例を示す図である。本実施形態の紫外線照射装置では、第2紫外線モニター24と第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-5とを第1紫外線モニター21および第1紫外線モニター用測定ヘッド22と同一仕様の機器を用い、第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-5の中心軸の延長線が監視対象である紫外線ランプ13-2~13-6の略中心軸に達する向きに設置されている。さらに、第1紫外線モニター用測定ヘッド22と第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-5とを収納する全ての測定窓30の測定窓面31から監視対象である紫外線ランプ13-1~13-6用の保護管12外周面までの距離Lが等しく、好ましくは距離L=135mm程度になるように設置されている。上記の構成以外は上述の第1実施形態に係る紫外線照射装置2と同様の構成である。上記のように構成された紫外線照射装置2においては、第1紫外線モニター21が第2紫外線モニター24の基準モニターとして紫外線照射装置2の監視、制御が構成される。具体的には、紫外線照射装置2の紫外線照射量監視と、紫外線ランプ出力制御を行う。図14は、第2実施形態の紫外線処理設備1の監視および紫外線ランプ出力制御手順の一例を示すフローチャートである。以下に、第2実施形態における監視制御手順を説明する。すなわち、まず、監視制御を開始すると、目標紫外線照射量目標REDを設定するステップSTB1。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は流量計3の出力流量Qを読み込むステップSTB2。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、上記式2に目標REDと流量Qとを代入し、第1紫外線モニター21の相対出力目標値S/S0DSを計算するステップSTB3。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21から相対出力S/S0Dmを読み込みステップSTA4、第1紫外線モニター21の監視対象である紫外線ランプ13-1の出力制御値Dsを読み込むステップSTB5。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21の監視対象である紫外線ランプ13-1の出力制御値Dsが100以上Ds≧100であるか否か、および、第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dmが相対出力目標値S/S0DS未満S/S0Dm<S/S0DSであるか否か判断するステップSTB6。出力制御値Dsが100以上Ds≧100であり、かつ、相対出力S/S0Dmが相対出力目標値S/S0DS未満S/S0Dm<S/S0DSである場合、紫外線照射量監視制御装置6は、重警報UV強度不足を紫外線処理設備監視制御装置7へ発報しステップSTB7、紫外線処理設備1の運転を停止するステップSTB8。出力制御値Dsが100未満Ds<100、あるいは、相対出力S/S0Dmが相対出力目標値S/S0DS以上S/S0Dm≧S/S0DSである場合、第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSを比較し、一致しているS/S0Dm=S/S0DSか否か判断するステップSTB9。相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSとが一致しない場合、紫外線照射量監視制御装置6は、ランプ電源5の出力電力を制御して、紫外線ランプ13-1のランプ出力を以下の条件に従って調整するステップSTB10。すなわち、S/S0Dm>S/S0DSである場合、紫外線ランプ13-1の出力制御値を下げる。S/S0Dm<S/S0DSである場合、紫外線ランプ13-1の出力制御値を上げる。上記のように紫外線ランプ13-1のランプ出力を調整した後、再び、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21から相対出力S/S0Dmを読み込みステップSTB4、第1紫外線モニター21の監視対象である紫外線ランプ13-1の出力制御値Dsを読み込みステップSTB5、ステップSTB6およびステップSTA9の判断を、相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSとが一致するまで繰り返す。続いて、相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSとが一致した後、紫外線照射量監視制御装置6は、第2紫外線モニター24-1~24-6の相対出力S/S0Im1~Im6を読み込みステップSTB11、全紫外線ランプの出力制御値DI1~I6を読み込むステップSTB12。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、紫外線ランプ13-1~13-6の何れかの出力制御値DI1~I6が100以上、かつ、出力制御値DIiが100以上となった紫外線ランプ13を監視対象とする第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Imiが第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dmより小さいか否か判断するS/S0Im1~Im5<S/S0DmステップSTB13。相対出力S/S0Imiが第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dmより小さい場合は、紫外線照射量監視制御装置6は、重警報UV強度不足を紫外線処理設備監視制御装置7へ発報しステップSTB7、紫外線処理設備の運転を停止するステップSTB8。紫外線ランプ13-1~13-6の何れかの出力制御値DI1~I6が100未満である場合、あるいは、出力S/S0Imiが第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dm以上である場合は、第1紫外線モニター21の相対出力S/S0Dmと、第2紫外線モニター24-1~24-5の相対出力S/S0Im1~5とが一致しているか否か判断しステップSTB14、相対出力S/S0Dmと相対出力S/S0Im1~5とが一致している場合は、紫外線照射量監視と、紫外線ランプ出力制御を終了する。相対出力S/S0Dmと相対出力S/S0Im1~5とが一致していない場合、紫外線照射量監視制御装置6は、紫外線ランプ13-2~13-6のランプ出力を以下の条件に従って調整するステップSTB15。すなわち、S/S0Im1~5>S/S0Dmである場合、この条件に合致したランプの出力制御値を下げ、S/S0Im1~5<S/S0Dmである場合、この条件に合致したランプの出力制御値を上げる。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、各ランプの出力調整値の最大値DImaxと最小値DIminとの差が許容差ΔDI以下であるか否か判断しステップSTB16、最大値DImaxと最小値DIminとの差が許容差ΔDIより大きい場合、軽警報ランプNo.該当番号能力不足を紫外線処理設備監視制御装置7へ発しステップSTB17、ランプ交換を促す。最大値DImaxと最小値DIminとの差が許容差ΔDI以下である場合、相対出力S/S0Dmと相対出力目標値S/S0DSとが一致した後、紫外線照射量監視制御装置6は、第2紫外線モニター24-1~24-5の相対出力S/S0Im1~5を読み込み、全紫外線ランプの出力制御値DI1~I6を読み込んで、相対出力S/S0Dmと相対出力S/S0Im1~5とが一致するまでステップSTB13およびステップSTB14の判断を繰り返す。本実施形態では、上述の第1実施形態の紫外線照射装置2と同様の効果が得られるとともに、第1実施形態による紫外線照射装置に対して、第1紫外線モニター21が第2紫外線モニター24の1つを兼用することができるので、紫外線モニター、測定ヘッドおよび測定ヘッド用保護管や、その他関連部品を減らすことができる。さらに、第2実施形態の紫外線照射装置2よれば、第2紫外線モニター用測定ヘッド25を設置するための保護管23が不要となるため、紫外線照射装置2内部における処理水の流動に対する影響を軽減することができるとともに、測定ヘッド保護管23の影となっていた領域がなくなるため、内部での紫外線有効照射域を拡大することができる。さらに、第2紫外線モニター24-1~24-5、および第2紫外線モニター用測定ヘッド25-1~25-5は、第1紫外線モニター21および第1紫外線モニター用測定ヘッド22と同じ仕様の機器を使用しているため、どの紫外線モニターでも、第1紫外線モニター21兼第2紫外線モニター24の基準モニターとして使用することができる。例えば、紫外線ランプ13-1~13-6を必要数の倍数設置しておき、その内の半数のランプセットを常時点灯ランプとして、点灯ランプセットを切替えて運転するように構成された紫外線照射装置において、点灯ランプ能力が許容能力設計能力以下になったり、点灯ランプの累積点灯時間が期待寿命時間に達したりすることにより、点灯ランプセットを切替えた場合には、第1紫外線モニター21を担当する紫外線モニターを変更するだけで、同様の監視、制御を実行することができる。次に、第3実施形態の紫外線照射装置について図面を参照して説明する。本実施形態における紫外線照射装置の構造および紫外線モニターの設置方法は、第2の実施形態と同一の構造であり、紫外線照射量監視と、紫外線ランプ出力制御の動作が第1実施形態、および第2実施形態と異なる。本実施形態では、紫外線照射量監視制御装置6は、目標紫外線量が予め設定され、処理水の流量や、紫外線透過率の変動に応じて、予め設定された目標紫外線照射量を達成するために必要な第1紫外線モニター出力値を算出するための演算式に、目標紫外線照射量と処理水流量を代入して算出された値を目標紫外線モニター出力値とし、複数の紫外線ランプをそれぞれ監視する紫外線モニターの中で、最も低い値を示した紫外線モニターをそのときの第1紫外線モニターとする。さらに、そのときの第1紫外線モニターによる測定値が、目標紫外線モニター出力値と一致するように、第1紫外線モニターが監視対象とする紫外線ランプの出力を調整し、さらに、他の紫外線ランプの出力は、そのときの第1紫外線モニターの監視対象紫外線ランプの出力調整値と同一の出力調整値に設定する。図15は、本実施形態による紫外線処理設備の監視および紫外線ランプ出力制御手順の一例を示すフローチャートである。以下に、図14を参照して本実施形態における監視制御手順の一例を説明する。すなわち、まず、監視制御を開始すると、目標紫外線照射量目標REDを設定するステップSTC1。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は流量計3の出力流量Qを読み込むステップSTC2。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、上記式2に目標REDと流量Qとを代入し、第1紫外線モニター21の相対出力目標値S/S0DSを計算するステップSTC3。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21および第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Dm、S/S0Im1~Im5を読み込むステップSTC4。次に、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21および第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Dm、S/S0Im1~Im5から、最小の相対出力値S/S0minを求めるステップSTC5。S/S0min=MINS/S0Dm、S/S0Im1~Im5続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、全ての紫外線ランプ13-1~13-6の紫外線ランプ出力制御値DS,DI1~I5をランプ電源5から読み込むステップSTC6。続いて、紫外線照射量監視制御装置6は、全ての紫外線ランプ13-1~13-6の出力制御値DS、DI1~I5が100以上、かつ、最小の紫外線モニター相対出力S/S0minが相対出力目標値S/S0DS未満であるか否か判断するステップSTC7。紫外線ランプ13-1~13-6の出力制御値DS、DI1~I5が100以上、かつ、最小の紫外線モニター相対出力S/S0minが相対出力目標値S/S0DS未満である場合、紫外線照射量監視制御装置6は、重警報UV強度不足を紫外線処理設備監視制御装置7へ発報しステップSTC8、紫外線処理設備の運転を停止するステップSTC9。紫外線ランプ13-1~13-6の出力制御値DS、DI1~I5が100未満、あるいは、最小の紫外線モニター相対出力S/S0minが相対出力目標値S/S0DS以上の場合、最小の紫外線モニター相対出力S/S0minと相対出力目標値S/S0DSとを比較し、相対出力S/S0minと相対出力目標値S/S0DSとが一致しているか否か判断するステップSTC10。相対出力S/S0minと相対出力目標値S/S0DSとが一致していない場合、紫外線照射量監視制御装置6は、全紫外線ランプ13の出力を以下の条件に従って調整するステップSTC11。すなわち、S/S0min>S/S0DSである場合、紫外線照射量監視制御装置6は、全紫外線ランプ13-1~13-6の出力制御値を下げ、S/S0min<S/S0DSである場合、紫外線照射量監視制御装置6は、全紫外線ランプ13-1~13-6の出力制御値を上げる。その後、紫外線照射量監視制御装置6は、第1紫外線モニター21および第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Dm、S/S0Im1~Im5を読み込みステップSTC4、第1紫外線モニター21および第2紫外線モニター24の相対出力S/S0Dm、S/S0Im1~Im5から、最小の相対出力値S/S0minを求め、ステップSTC5。全ての紫外線ランプ13-1~13-6の紫外線ランプ出力制御値DS,DI1~I5をランプ電源5から読み込みステップSTC6、上記ステップSTC7およびステップSTC10の判断を相対出力S/S0minと相対出力目標値S/S0DSとが一致するまで繰り返す。ステップSTC10において、相対出力S/S0minと相対出力目標値S/S0DSとが一致している場合、紫外線照射量監視制御装置6は、紫外線照射量監視と、紫外線ランプ出力制御を終了する。本実施形態によれば、第1実施形態、第2実施形態と同様の効果が得られるとともに、紫外線モニターによる測定値の最小値が目標紫外線強度以上になるように全紫外線ランプの出力を制御するので、紫外線処理設備を常に十分な能力で運転することができる。さらに、紫外線ランプを個別に制御する必要が無いため紫外線照射量監視と紫外線ランプ出力制御動作を簡略化することができる。なお、以上の実施形態では、紫外線モニターの出力を相対出力値としているが、相対出力値の代わりに紫外線モニターで測定される紫外線強度の絶対値を用いた場合にも同様効果が得られる。さらに、紫外線照射装置の構造として、紫外線ランプが処理流体の流れに対して直交する方向に配置する構造を例として示したが、紫外線照射装置の構造は上記構造になんら限定するものではなく、紫外線ランプを流れに対して平行に設置する場合でも同様の効果を得ることができる。すなわち、上記第1乃至第3実施形態に係る紫外線照射装置によれば、紫外線照射装置内の紫外線照射状況を常時監視するための紫外線モニターと、紫外線照射装置内に紫外線を照射する光源として配置された紫外線ランプの能力を個別に監視するための、ランプ能力監視用紫外線モニターを設置することにより、紫外線照射装置の能力を正確に監視でき、これに基づいて紫外線ランプの出力制御することで紫外線照射量の過不足を防止でき、信頼性を確保しながら省エネ運転を実現可能な紫外線照射装置および、紫外線照射装置の監視制御システムを提供することができる。また、紫外線照射装置内の紫外線照射量を監視するための紫外線モニターとは別に、個々の紫外線ランプの能力を監視するための紫外線モニターを設置しているので、常時監視に対する要求と、紫外線ランプ個々の監視に対する要求を同時に対応することができる紫外線照射装置および、紫外線照射装置の監視制御システムを提供することができる。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。例えば、紫外線照射装置に要求される紫外線照射量を確保するために必要な紫外線ランプ数が決まっている場合は、紫外線照射装置内には必要本数の複数倍の紫外線ランプを実装し、紫外線ランプの発光能力低下や、期待寿命到達時に順番に切替える方式の紫外線照射装置において、切替え前のランプセットと、切替え後のランプセットとの照射能力が大きく変化しないように点灯する紫外線ランプの組合せを予め決めておき、それぞれの組合せごとに代表ランプを定め、紫外線処理設備における紫外線照射量監視と、点灯している全ての紫外線ランプの出力を制御する指標となる代表ランプを監視するための第1紫外線モニター21および第1紫外線モニター用測定ヘッド22を設置してもよい。この場合、紫外線照射装置における目標紫外線量が予め設定され、処理水の流量や、紫外線透過率の変動に応じて、予め設定された目標紫外線照射量を達成するために必要な第1紫外線モニター出力値を算出する演算式に目標紫外線照射量と処理水流量を代入して目標紫外線モニター出力値を算出するための演算式が、予め設定された紫外線ランプの組合せ毎に設定されてもよい。さらに、紫外線照射装置における目標紫外線量が予め設定され、処理水の流量や、紫外線透過率の変動に応じて、予め設定された目標紫外線照射量を達成するために必要な第1紫外線モニター出力値を算出する演算式に目標紫外線照射量と処理水流量を代入して目標紫外線モニター出力値を算出するための演算式は、予め設定された紫外線ランプの組合せのなかで、紫外線照射量が最も低くなる紫外線ランプの組合せの特性に合わせた演算式を設定してもよい。"