内燃機関の吸気通路に配され、吸入空気流量に応じて信号を出力する検出部と、該検出部から出力される信号を処理する回路部とを有する熱式エアフロメータと、前記熱式エアフロメータの応答遅れを補償する応答遅れ補償手段とを備える内燃機関の吸入空気量検出装置であって、前記応答遅れ補償手段は、前記検出部において生じる応答遅れを補償する第1補償手段と、前記回路部において生じる応答遅れを補償する第2補償手段とを備えることを特徴とする内燃機関の吸入空気量検出装置。請求項1に記載の内燃機関の吸入空気量検出装置において、前記第2補償手段は、前記回路部での演算処理時間に基づいて設定されたディレイ時間を用いて、前記回路部において生じる応答遅れを補償することを特徴とする内燃機関の吸入空気量検出装置。請求項1または2に記載の内燃機関の吸入空気量検出装置において、前記第2補償手段は、移動平均処理によって前記回路部において生じる応答遅れを補償することを特徴とする内燃機関の吸入空気量検出装置。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、AFMの回路部において生じる応答遅れを補償することができる内燃機関の吸入空気量検出装置を提供することにある。請求項1の手段請求項1に記載の吸入空気量検出装置は、内燃機関の吸気通路に配され、吸入空気流量に応じて信号を出力する検出部と、検出部から出力される信号を処理する回路部とを有するAFMと、AFMの応答遅れを補償する応答遅れ補償手段とを備える。応答遅れ補償手段は、検出部において生じる応答遅れを補償する第1補償手段と、回路部において生じる応答遅れを補償する第2補償手段とを備える。これによれば、検出部において生じる応答遅れだけではなく、回路部において生じる応答遅れを補償することができるため、高精度にAFMの応答遅れを補償することができる。なお、検出部において生じる応答遅れには、放熱による遅れや流路に起因する遅れがあるため、例えば、放熱による遅れは、流量に応じた放熱量を算出し、この放熱量に基づいて、1次遅れ要素を用いることにより補償することができる。また、回路部において生じる応答遅れには、回路部において生じる遅れ要素を用いる。請求項2の手段請求項2に記載の吸入空気量検出装置によれば、第2補償手段は、回路部での演算処理時間に基づいて設定されたディレイ時間を用いて、回路部において生じる応答遅れを補償する。回路部において生じる遅れ要素として、演算処理時間に基づく所定のディレイ時間分だけ遅れるムダ時間要素がある。そこで、本手段を採用することで、回路部において生じる応答遅れの補償を高精度に行うことができる。請求項3の手段請求項3に記載の吸入空気量検出装置によれば、第2補償手段は、移動平均処理によって回路部において生じる応答遅れを補償する。すなわち、回路部において生じる応答遅れ要素として、移動平均による遅れを用いる。AFMでは、回路部において移動平均処理を行うことがあるため、移動平均による遅れを用いることによって、より高精度にAFMの応答遅れを補償することができる。実施形態の吸入空気量検出装置は、内燃機関の吸気通路に配され、吸入空気流量に応じて信号を出力する検出部と、検出部から出力される信号を処理する回路部とを有するAFMと、AFMの応答遅れを補償する応答遅れ補償手段とを備える。そして、応答遅れ補償手段は、検出部において生じる応答遅れを補償する第1補償手段と、回路部において生じる応答遅れを補償する第2補償手段とを備える。実施例1実施例1の吸入空気量検出装置以下、検出装置と呼ぶは、例えば、車両に搭載されるエンジン1内燃機関の吸入空気流量を検出するものである。図1に示すように、エンジン1は、各気筒の燃焼室2に空気を導入するための吸気通路3を有しており、吸気通路3には、上流側から順に、エアクリーナ5、AFM6、スロットルバルブ7、インジェクタ8が設けられている。スロットルバルブ7は、吸気通路3を開閉することによって吸入空気流量を調節するものである。スロットルバルブ7には、開度を検出するスロットル開度センサ図示せずが接続されている。AFM6は、吸気通路3を通過する吸入空気流量を検出するものであり、詳しい構成は後に説明する。また、エンジン1のシリンダヘッドには、先端部が各気筒の燃焼室2内の混合気に着火するための点火プラグ11が取り付けられている。また、エンジン1のシリンダブロックには、エンジン1のクランクシャフトの回転角度を検出するクランク角度センサ12が搭載されている。このクランク角度センサ12からの出力信号に基づいて、エンジン回転数が検出される。AFM6、スロットル開度センサ、クランク角度センサ12、インジェクタ8はECU13に接続され、各種センサからの信号に基づいてインジェクタ8の駆動が制御されている。ECU13は、制御処理および演算処理を行うCPU、各種プログラムおよびデータを記憶するROM、RAM等の記憶手段、入力回路、出力回路等により構成される周知構造のコンピュータとして構成されている。また、ECU13は、後述するAFM6の応答遅れを補償する応答遅れ補償手段としても機能する。AFM6の構成次に、AFM6の構成を図2を用いて説明する。AFM6は、いわゆる、熱式エアフロメータであり、吸気通路3を形成するダクト15に取り付けられ、吸気通路3を流れる吸入空気主流の一部を取り込んでバイパス流路を形成するハウジング17と、バイパス流路に置かれてバイパス流路を流れる吸入空気流量に応じて信号を出力する検出部18と、検出部18から出力される信号を処理する回路部19とを備える。ハウジング17は、吸気通路3を流れる吸入空気の一部を取り込む流入口20と、流入口20から主流方向に直進して流出口21へ到る第1流路22と、主流方向に略直交して第1流路22から分岐してダクト15の外径方向に向かった後にダクト15の内径方向に向かうようにUターンして流出口24へ到る第2流路25とを有する。そして、第2流路25が検出部18の配されるバイパス流路をなしている。なお、第1流路22は、吸入空気に含まれるダストを主流方向に直進させて、第2流路25へのダスト侵入を防止する役目をしている。検出部18は、例えば、半導体基板に設けられたメンブレン上に、薄膜抵抗体で形成された発熱素子と、発熱素子の上下流のそれぞれに設けられる測温抵抗体とを有するセンサチップとして形成された薄膜タイプのものである。検出部18は、第2流路25のUターンする部分に配置され、バイパス流路の流量に応じて電圧信号を出力する。回路部19は、発熱素子を設定温度に制御するための発熱体制御回路と、検出部18から出力される信号を演算及び増幅して出力する演算処理回路等を有する回路チップとして形成されている。すなわち、回路部19は、発熱素子および測温抵抗体に接続され、発熱抵抗体の発熱温度を制御すると共に、測温抵抗体の抵抗値を基に、空気の流量と流れ方向に応じたセンサ信号を出力する。なお、演算処理回路は、アナログ/デジタル変換部と、デジタル演算部を有しており、流量電圧信号のデジタルデータを用いて演算処理を行う回路である。AFM6の遅れ補償について次に、AFM6の遅れ補償について説明する。エンジン回転数とアクセル開度に基づいて算出した吸入空気流量推定空気量から噴射量を求める場合、推定空気量とAFM6で出力される吸入空気流量検出空気量との誤差を補正する必要がある。しかし、このAFM6には応答遅れがあるため、AFM6の応答遅れを補償する必要がある。本実施例では、推定空気量をAFM6の応答遅れ相当分を遅らせて遅れ補償をした上で、推定空気量と検出空気量との誤差を用いて、推定空気量の誤差補正をし、誤差補正された空気量に基づいて噴射量を求めている。本実施例では、AFM6の応答遅れを補償する応答遅れ補償手段として、検出部18において生じる応答遅れを補償する第1補償手段と、回路部19において生じる応答遅れを補償する第2補償手段とをECU13内に備える。以下、図3~図5を用いて、推定空気量をAFM6の応答遅れ相当分を遅らせる演算処理の流れ、すなわち、AFM6の応答遅れを考慮した吸入空気流量の演算処理の流れについて説明する。まず、クランク角度センサ12及びスロットル開度センサの出力から得られるエンジン回転数とアクセル開度に基づいて算出された推定空気量である吸入空気流量Gに対して、物理量変換マップを用いて、流量から放熱量に変換する図3のS1~S2、図4のA部。つまり、吸入空気流量Gに応じた応答遅れを含まない放熱量Wを求める。次に、第1補償手段によって、放熱量Wに対して検出部18において生じる応答遅れ分の遅れ処理を施し、応答遅れを含む放熱量wを得る図3のS3。なお、検出部18において生じる応答遅れは、主に、放熱の遅れによるため、検出部18において放熱される放熱量に関する1次遅れ要素を用いて応答遅れを補償する。すなわち、AFM6の出力に応じて時定数τを求め、時定数τを用いて放熱量Wに対して1次遅れ処理を施す。本実施例では、図4のB部に示すように、時定数τが、τ=u2logu1u3との数式によって求められている。ここで、u1は、AFM6の出力電圧Vgを変換して得られる流量gaであり、u2は定数α、u3は定数βである。そして、図4のA部で、応答遅れを含む放熱量wiが、wi=Wi-wi-1{1-exp-Δt/τ}wi-1との数式によって求められている。ここで、添え字iは今回値、添え字i-1は前回値を表す。Δtは演算周期である。なお、図4のC部中、C1部では、1-exp-u1との計算がなされているが、このu1はΔt/τである。次に、物理量変換マップを用いて、放熱量から流量に変換する図3のS4、図4のC部。これにより、図5に示すように、吸入空気流量Gに対して検出部18において生じる応答遅れ相当分だけ遅れた吸入空気流量G1が得られる。そして、第2補償手段によって、吸入空気流量G1に対して、回路部19において生じる応答遅れを補償する。すなわち、吸入空気流量G1に対して回路部19において生じる応答遅れ分の遅れ処理を施し、吸入空気流量G2を得る図3のS5~S6、図4のD部。本実施例では、回路部19での演算処理時間に基づいて設定されたディレイ時間Δtdを用いて、ムダ時間要素遅れ処理を施す。すなわち、図5に示すように、吸入空気流量G1に対して、波形形状はそのままに、ディレイ時間Δtd分遅らせる処理を施して、吸入空気流量G2を得ている。これにより、吸入空気流量G2は、エンジン回転数とアクセル開度に基づいて算出された応答遅れを含まない吸入空気流量Gに対して、検出部18での遅れに加えて回路部19での遅れを加えたAFM6の応答遅れ相当分の遅れ処理を施したものとなる。そして、吸入空気流量G2を用いて、検出空気量との誤差を補正し、誤差補正された空気量に基づいて噴射量を求める。実施例1の作用効果本実施例では、AFM6の応答遅れを補償する応答遅れ補償手段として、検出部18において生じる応答遅れを補償する第1補償手段と、回路部19において生じる応答遅れを補償する第2補償手段とをECU13内に備える。すなわち、エンジン回転数とアクセル開度に基づいて算出された応答遅れを含まない吸入空気流量Gに対して、検出部18での遅れに加えて回路部19での遅れを加えたAFM6の応答遅れ相当分の遅れ処理を施した吸入空気流量G2を算出している。これによれば、検出部18において生じる応答遅れだけではなく、回路部19において生じる応答遅れを補償することができるため、高精度にAFM6の応答遅れを補償することができる。実施例2本実施例の第2補償手段は、ディレイ時間Δtdを用いたムダ時間要素に加えて、応答遅れ要素として移動平均による遅れを用いる。すなわち、図6に示すように、吸入空気流量G1に対して、波形形状はそのままに、ディレイ時間Δtd分遅らせる処理を施し、さらに、移動平均処理を施すことにより、吸入空気流量G2を得ている。なお、得られた吸入空気流量G2の波形は、移動平均処理が施されたものであるため、実施例1のようにディレイ時間Δtdを用いたムダ時間要素によって遅らせた波形図6の破線で示す波形よりも波形形状がなまる。AFM6では、回路部19において移動平均処理を行うことが一般的であるため、吸入空気流量G1に対して、ディレイ時間Δtd分遅らせ、さらに、移動平均処理を施すことによって、よりAFM6からの出力特性に近い特性を吸入空気流量G2として得ることができ、吸入空気流量G2を用いた誤差補正の精度を向上することができる。つまり、より高精度にAFM6の応答遅れを補償することができる。変形例実施例では、検出部18として薄膜タイプが用いられていたが、発熱素子及び測温抵抗体としてそれぞれボビン状抵抗体を用いるタイプであってもよい。また、実施例2では、第2補償手段が、ディレイ時間Δtdを用いたムダ時間要素に加えて、移動平均処理によって回路部19において生じる応答遅れを補償していたが、移動平均処理のみによって回路部19において生じる応答遅れを補償してもよい。また、実施例では、第1補償手段において、流量に応じた放熱量を算出し、この放熱量に基づいて、1次遅れ要素を用いて、検出部18の放熱の遅れに起因する応答遅れを補償していたが、これに加えて、流路に起因する遅れ主流の流量変化に対するバイパス流の流量変化の遅れ等を補償してもよい特開2006-2581号公報参照。