"振動板と、前記振動板の周囲を囲む枠板と、前記振動板と前記枠板とを連結し、前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する連結部と、を有する振動板ユニットと、前記振動板の一方主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、孔が設けられており、前記振動板の他方主面に対向して前記枠板に固定されている可撓板と、を備え、少なくとも前記振動板の一部および前記連結部は、前記振動板の一部および前記連結部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記枠板の厚みより薄い厚みに形成されている、流体制御装置。前記振動板ユニットは一体形成されている、請求項1に記載の流体制御装置。少なくとも前記振動板の一部および前記連結部は、エッチングにより前記枠板の厚みより薄い厚みに形成されている、請求項1または2に記載の流体制御装置。前記振動板の一部は、前記振動板の周縁部である、請求項1から3のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記可撓板の前記連結部と対向する領域には孔部が形成された、請求項1から4のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記振動板および前記駆動体はアクチュエータを構成し、前記アクチュエータは円板状である、請求項1から5のいずれか1項に記載の流体制御装置。前記可撓板は、前記可撓板の前記振動板に対向する領域の中心又は中心付近に位置し、屈曲振動可能な可動部と、前記領域の前記可動部より外側に位置し、実質的に拘束された固定部と、を有する、請求項1から6のいずれか1項に記載の流体制御装置。図1に示したような構造の流体ポンプは、構造が簡単で薄型に構成でき、例えば燃料電池システムの空気輸送用ポンプとして用いられる。ところが、組み込み先の電子機器は常に小型化の傾向があるため、流体ポンプの能力流量と圧力を低下させることなく更なる流体ポンプの小型化が要求される。流体ポンプが小型化する程、ポンプの能力流量と圧力は低下するため、ポンプの能力を維持しつつ小型化しようとすれば、従来構造の流体ポンプでは限界があった。そこで、本願の発明者は、以下に示す構造の流体ポンプを考案した。図2は、同流体ポンプの主要部の構成を示す断面図である。流体ポンプ901は、可撓板35、振動板ユニット38、圧電素子32を備え、それらを順に積層した構造を有している。振動板ユニット38は、金属製であり、振動板31と、枠板33と、連結部34とによって構成される。また、圧電素子32と圧電素子32に接合された振動板31とがアクチュエータ30を構成する。この振動板31の周囲には枠板33が設けられており、振動板31は枠板33に対して連結部34で連結されている。そして、枠板33は、中心に吸引孔35Aが形成された可撓板35の端部に、接着剤層37によって固定されている。そのため、振動板31及び連結部34は、可撓板35から接着剤層37の厚み分離れて枠板33に支持されている。また、連結部34は、小さなバネ定数の弾性をもつ弾性構造となっている。したがって、振動板31は、2つの連結部34で枠板33に対して2点で柔軟に弾性支持されており、圧電素子32の伸縮による振動板31の屈曲振動は殆ど妨げられない。すなわち、流体ポンプ901は、アクチュエータ30の周辺部が実質的に拘束されていない構造となっている。このため、アクチュエータ30の屈曲振動に伴う損失が少なくなる。また、アクチュエータ30の駆動に伴って可撓板35が振動するため、実質的に振動振幅を増すことができる。これにより、流体ポンプ901は、小型低背でありながら高い圧力と大きな流量を得ることができる。しかしながら、上記流体ポンプ901では、枠板33と可撓板35とを接着剤によって固定する際、余分な接着剤が接着剤層37から連結部34と可撓板35との隙間に流れ込み、両者が接着してアクチュエータ30の振動を阻害してしまうおそれがある。また、接着剤層37の厚みによって振動板31と可撓板35との間の距離を規定するようにしているが、接着剤の塗布量によって当該距離を一意に規定することは非常に困難である。そのため、流体ポンプ901の圧力-流量特性に影響を与える振動板31と可撓板35との間の距離を、一意に規定することができず、流体ポンプ901の圧力-流量特性が流体ポンプ901の個体毎にバラついてしまうという問題がある。そこで本発明は、接着剤によって振動板の振動が阻害されることを抑制し、圧力-流量特性のバラつきを抑制することができる流体制御装置を提供することを目的とする。本発明の流体制御装置は、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。1振動板と、前記振動板の周囲を囲む枠板と、前記振動板と前記枠板とを連結し、前記枠板に対して前記振動板を弾性支持する連結部と、を有する振動板ユニットと、前記振動板の一方主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、孔が設けられており、前記振動板の他方主面に対向して前記枠板に固定されている可撓板と、を備え、少なくとも前記振動板の一部および前記連結部は、前記振動板の一部および前記連結部の前記可撓板側の面が前記可撓板から離れるよう、前記枠板の厚みより薄い厚みに形成されている。この構成では、連結部と可撓板との隙間へ上記接着剤の余剰分が流れ込んでも、連結部の可撓板側の面が可撓板から離れて配置されているため、連結部と可撓板との接着を抑制できる。同様に、振動板の一部と可撓板との隙間へ上記接着剤の余剰分が流れ込んでも、振動板の一部の可撓板側の面が可撓板から離れているため、振動板の一部と可撓板との接着を抑制できる。そのため、振動板の一部および連結部と可撓板とが接着して振動板の振動を阻害してしまうことを抑制できる。また、この構成では、振動板の一部の厚みと枠板の厚みとの差が、振動板の一部と可撓板との間の距離に相当する。すなわち、この構成では、圧力-流量特性に影響を与える当該距離を、振動板ユニットの可撓板側の厚みを部分的に異ならせることによって規定することができる。よって、この構成では、振動板の一部と可撓板との間の距離を精密に規定できるため、圧力-流量特性が流体制御装置の個体毎にバラつくことを抑制できる。以上より、この構成によれば、接着剤によって振動板の振動が阻害されることを抑制し、圧力-流量特性のバラつきを抑制することができる。2前記振動板ユニットは一体形成されていることが好ましい。この構成では、圧力-流量特性に影響を与える当該距離を、一体形成された振動板ユニットの可撓板側の厚みを部分的に異ならせることによって規定することができるため、より圧力-流量特性が流体制御装置の個体毎にバラつくことを抑制できる。3少なくとも前記振動板の一部および前記連結部は、エッチングにより前記枠板の厚みより薄い厚みに形成されることが好ましい。この構成では、前記振動板の一部および前記連結部の前記可撓板側の面をエッチングすることで、振動板の一部および連結部と可撓板との間の距離をエッチングの深さによって規定できる。よって、この構成によれば、振動板の一部と可撓板との間の距離を精密に規定できるため、圧力-流量特性が流体制御装置の個体毎にバラつくことを一層抑制できる。4前記振動板の一部は、前記振動板全体のうち可撓板と枠板の接着部分に最も近い前記振動板の周縁部であることが好ましい。この構成では、振動板の周縁部と可撓板との隙間へ上記接着剤の余剰分が流れ込んでも、振動板の周縁部の可撓板側の面が可撓板から離れているため、振動板の周縁部と可撓板とが接着することを抑制できる。そのため、この構成によれば、振動板の周縁部と可撓板とが接着して振動板の振動を阻害してしまうことを抑制できる。5前記可撓板の前記連結部と対向する領域には孔部が形成されることが好ましい。この構成では、枠板を可撓板に接着固定する際に、上記接着剤の余剰分が孔部に流れ込む。そのため、この構成によれば、振動板の一部および連結部と可撓板とが接着することを一層抑制することができる。即ち振動板の振動を阻害してしまうことを一層抑制できる。6前記振動板および前記駆動体はアクチュエータを構成し、前記アクチュエータは円板状であることが好ましい。この構成では、アクチュエータが回転対称形同心円状の振動状態となるため、アクチュエータと可撓板との間に不要な隙間が発生せず、ポンプとしての動作効率が高まる。7前記可撓板における前記振動板に対向する領域のうち、例えば中心又は中心付近が屈曲振動可能な可動部であり、周辺部が実質的に拘束された固定部とすることが好ましい。この構成によれば、アクチュエータの振動に伴い、可動部が振動するため、実質的に振動振幅を増すことができ、そのことにより圧力と流量を増加させることができる。本発明によれば、接着剤によって振動板の振動が阻害されることを抑制し、圧力-流量特性のバラつきを抑制することができる。以下、本発明の実施形態に係る圧電ポンプ101について説明する。図3は、本発明の実施形態に係る圧電ポンプ101の外観斜視図である。図4は、図3に示す圧電ポンプ101の分解斜視図であり、図5は、図3に示す圧電ポンプ101のT-T線の断面図である。図6は、図4に示す振動板ユニット160を可撓板51側から見た同振動板ユニット160の外観斜視図である。図3~図5に示すように、圧電ポンプ101は、カバー板195、基板191、可撓板151、振動板ユニット160、圧電素子142、スペーサ135、電極導通用板170、スペーサ130及び蓋部110を備え、それらを順に積層した構造を有している。円板状の振動板141の上面には圧電素子142が接着固定されて、振動板141と圧電素子142とによって円板状のアクチュエータ140が構成される。ここで、振動板141を含む振動板ユニット160は、圧電素子142の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する金属材料で形成されている。振動板141及び圧電素子142を接着時に加熱硬化させることにより、振動板141が圧電素子142側へ凸に反りながら、圧電素子142に適切な圧縮応力を残留させることができ、圧電素子142の割れを防止できる。例えば、振動板ユニット160は、SUS430などで形成するのがよい。例えば、圧電素子142は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスなどで形成するのがよい。圧電素子142の線膨張係数はほぼゼロであり、SUS430の線膨張係数は10.4×10-6K-1程度である。なお、圧電素子142が、本発明の駆動体に相当する。スペーサ135の厚みは、圧電素子142の厚みと同じか、少し厚くしておくとよい。振動板ユニット160は、図4~図6に示すように、振動板141と、枠板161と、連結部162とによって構成される。振動板ユニット160は、金属板のエッチング加工により一体成型することで形成されている。振動板141の周囲には枠板161が設けられていて、振動板141は枠板161に対して連結部162で連結されている。そして、枠板161は接着剤によって可撓板151に固定される。振動板141および連結部162は、図5、図6に示すように、振動板141および連結部162の可撓板151側の面が可撓板151から離れるよう、枠板161の厚みより薄い厚みに形成されている。振動板141および連結部162は、振動板141および連結部162の可撓板151側の面に対してハーフエッチングを行うことにより、枠板161の厚みより薄い厚みに形成されている。このため、振動板141および連結部162と可撓板151との間の距離は、ハーフエッチングの深さによって所定寸法例えば15μmに精密に規定できる。また、連結部162は、小さなバネ定数の弾性を持つ弾性構造となっている。したがって、振動板141は3つの連結部162で枠板161に対して3点で柔軟に弾性支持されており、振動板141の屈曲振動は殆ど妨げられない。すなわち、圧電ポンプ101は、アクチュエータ140の周辺部が勿論中心部も実質的に拘束されていない構造となっている。枠板161の上面には、樹脂製のスペーサ135が接着固定されている。スペーサ135の厚みは圧電素子142と同じか少し厚く、ポンプ筺体180の一部を構成するとともに、次に述べる電極導通用板170と振動板ユニット160とを電気的に絶縁する。スペーサ135の上には、金属製の電極導通用板170が接着固定されている。電極導通用板170は、ほぼ円形に開口した枠部位171と、この開口内に突出する内部端子173と、外部へ突出する外部端子172とで構成されている。内部端子173の先端は圧電素子142の表面にはんだ付けされる。はんだ付け位置をアクチュエータ140の屈曲振動の節に相当する位置とすることにより内部端子173の振動は抑制できる。電極導通用板170の上には、樹脂製のスペーサ130が接着固定される。スペーサ130はここでは圧電素子142と同程度の厚みを有する。スペーサ130は、アクチュエータが振動したときに、内部端子173のはんだ部分が、蓋部110に接触しないようにするためのスペーサである。また、圧電素子142表面が蓋部110に過度に接近して、空気抵抗により振動振幅が低下することを抑制する。そのため、スペーサ130の厚みは、前述の通り、圧電素子142と同程度の厚みであればよい。蓋部110はスペーサ130の上端部に接合され、アクチュエータ140の上部を覆う。そのため、後述する可撓板151の通気孔152を通して吸引された流体は吐出孔111から吐出される。吐出孔111は蓋部110の中心に設けてもよいが、蓋部110を含むポンプ筺体180内の正圧を開放する吐出孔であるので、蓋部110の中心に設ける必要はない。可撓板151には電気的に接続するための外部端子153が形成されている。また、可撓板151の中心には通気孔152が形成されている。可撓板151の下部には、中心に円柱形の開口部192が形成された基板191が接合されている。可撓板151の一部は基板191の開口部192で露出する。この円形に露出した可撓板151の一部は、アクチュエータ140の振動に伴う空気の圧力変動により、アクチュエータ140と実質的に同一周波数で振動することができる。すなわち、この可撓板151と基板191との構成により、可撓板151のアクチュエータに対向する領域の中心又は中心付近は屈曲振動可能な可動部154露出部となり、当該アクチュエータに対向する領域の可動部154より外側の周辺部は基板191に拘束された固定部155となる。この円形の可動部154の固有振動数は、アクチュエータ140の駆動周波数と同一か、やや低い周波数になるように設計している。従って、アクチュエータ140の振動に呼応して、通気孔152を中心とした可撓板151の可動部154も大きな振幅で振動する。可撓板151の振動位相がアクチュエータ140の振動位相よりも遅れた例えば90°遅れの振動となれば、可撓板151とアクチュエータ140との間の隙間空間の厚み変動が実質的に増加する。そのことによってポンプの能力をより向上させることができる。基板191の下部には、カバー板195が接合されている。カバー板195には、3つの吸引孔197が設けられている。吸引孔197は、基板191に形成された流路193によって、開口部192と連通している。可撓板151、基板191、及びカバー板195は、振動板ユニット160の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する材料で形成されている。可撓板151、基板191、及びカバー板195は、ほぼ同一の線膨張係数からなる。例えば、可撓板151はベリリウム銅、基板191はリン青銅、カバー板195は銅などで形成するのが良い。これらの線膨張係数は概略17×10-6K-1程度である。また、振動板ユニット160はSUS430などで形成するのがよい。SUS430の線膨張係数は10.4×10-6K-1程度である。この場合、枠板161に対する、可撓板151、基板191、カバー板195の線膨張係数の違いから、接着時に加熱硬化させることにより、可撓板151が圧電素子142側に凸に反りながら、中心付近の屈曲振動可能な可動部154に適切な張力が与えられる。これによって、屈曲振動可能な可動部154の張力が適切に調整されるとともに、屈曲振動可能な可動部154がたるんで、振動が妨げられることがない。可撓板151を構成するベリリウム銅はバネ材なので、円形の可動部154が大きな振幅で振動しても、へたりなどが生じることがなく、耐久性に優れる。以上の構造において外部端子153,172に駆動電圧が印加されると、圧電ポンプ101では、アクチュエータ140が同心円状に屈曲振動し、吸引孔197から通気孔152を介して空気をポンプ室145へ吸引し、ポンプ室145の空気を吐出孔111から吐出する。このとき、圧電ポンプ101では、振動板141の周辺部が実質的に拘束されていないため、振動板141の振動に伴う損失が少なく、小型低背でありながら高い圧力と大きな流量が得られる。さらに、この実施形態の圧電ポンプ101では、連結部162と可撓板151との隙間へ上記接着剤の余剰分が流れ込んでも、連結部162の可撓板151側の面が可撓板151から離れているため、連結部162と可撓板151とが接着することを抑制できる。同様に、振動板141と可撓板151との隙間へ上記接着剤の余剰分が流れ込んでも、振動板141の可撓板151側の面が可撓板151から離れているため、振動板141と可撓板151とが接着することを抑制できる。そのため、振動板141および連結部162と可撓板151とが接着してアクチュエータ140の振動を阻害してしまうことを抑制できる。また、この実施形態の圧電ポンプ101では、振動板141の厚みと枠板161の厚みとの差が、振動板141と可撓板151との間の距離に相当する。即ち、この実施形態の圧電ポンプ101では、圧力-流量特性に影響を与える当該距離を、振動板141に対するハーフエッチングの深さによって規定している。よって、この実施形態の圧電ポンプ101では、振動板141と可撓板151との間の距離を精密な設定が可能なエッチングの深さによって規定できるため、圧力-流量特性が圧電ポンプ101の個体毎にバラつくことを抑制できる。以上より、この実施形態の圧電ポンプ101によれば、接着剤によって振動板141の振動が阻害されることを抑制し、圧力-流量特性のバラつきを抑制することができる。また、アクチュエータ140及び可撓板151は、いずれも常温では圧電素子142側を凸にして、ほぼ等しい量だけ反っている。ここで、圧電ポンプ101の駆動時の発熱による温度上昇、又は環境温度の上昇によってアクチュエータ140及び可撓板151はいずれも反りが減少するが、アクチュエータ140及び可撓板151はいずれも等しい量だけ平行に変形する。即ち、振動板141に対するハーフエッチングの深さによって規定した、振動板141と可撓板151との間の距離が温度によって変化しない。従って、この実施形態の圧電ポンプ101によれば、ポンプの適正な圧力-流量特性を、幅広い温度範囲にわたって維持することが可能である。図7は、図4に示す振動板ユニット160及び可撓板151の接合体の平面図である。図4~図7に示すように、可撓板151及び基板191の連結部162と対向する領域に孔部198を設けておくとよい。これにより、枠板161を可撓板151に接着固定する際に、余剰の接着剤が孔部198に流れ込む。そのため、この実施形態の圧電ポンプ101によれば、振動板141及び連結部162と可撓板151とが接着することを一層抑制できる。即ち振動板141の振動を阻害してしまうことを一層抑制できる。《他の実施形態》前記実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータ140を設けたが、振動板141の両面に圧電素子142を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。また、前記実施形態では、圧電素子142の伸縮によって屈曲振動するアクチュエータ140を設けたが、これに限るものではない。例えば、電磁駆動で屈曲振動するアクチュエータを設けてもよい。また、前記実施形態では、圧電素子142はチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成しているが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などから構成してもよい。また、前記実施形態では、圧電素子142と振動板141との大きさをほぼ等しくした例を示したが、これに限るものではない。例えば、圧電素子142より振動板141のほうが大きくてもよい。また、前記実施形態では円板状の圧電素子142及び円板状の振動板141を用いたが、これに限るものではない。例えば、一方が矩形や多角形であってもよい。また、前記実施形態では、振動板141全体の厚みが枠板161の厚みより薄く形成されているが、これに限るものではない。例えば、少なくとも振動板141の一部の厚みが枠板161の厚みより薄く形成されていても構わない。ただし、振動板141の一部は、振動板141全体のうち可撓板151と枠板161の接着部分に最も近い振動板141の周縁部であることが好ましい。また、前記実施形態では、連結部162を3箇所に設けたが、これに限るものではない。例えば、2箇所だけ、あるいは、4箇所以上設けてもよい。連結部162はアクチュエータ140の振動を妨げるものではないが、振動に多少の影響を与えるため、3箇所で連結保持することにより、高精度に位置を保持しつつ自然な保持が可能となり、圧電素子142の割れを防止することもできる。また、本発明は可聴音の発生が問題とならない用途では、可聴音周波数帯域でアクチュエータ140を駆動してもよい。また、前記実施形態では、可撓板151のアクチュエータ140に対向する領域の中心に1個の通気孔152を配置した例を示したが、これに限るものではない。例えば、アクチュエータ140に対向する領域の中心付近に複数の孔を配置してもよい。また、前記実施形態では、アクチュエータ140を1次モードで振動させるように駆動電圧の周波数を定めたが、これに限るものではない。例えば、アクチュエータ140を3次モード等の他のモードで振動させるように駆動電圧の周波数を定めてもよい。また、前記実施形態では流体として空気を用いているが、これに限るものではない。例えば、当該流体が、液体、気液混合流、固液混合流、固気混合流などのいずれであっても適用できる。最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"