"炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、a下部層が、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、かつ、3~20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層、b中間層が0.5~2.0μmの平均層厚および化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有するTi含有α型Al2O3層但し、原子比で、Ti/AlTiOの比の値は0.0001~0.001、c上部層が、1~15μmの平均層厚を有し、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有するAl2O3層、以上a~cからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、d上記中間層を構成する結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるTi含有Al2O3結晶粒以下、0001配向Ti含有Al2O3結晶粒というの占める面積割合は、前記測定範囲の面積の15~35面積であり、かつ、該0001配向Ti含有Al2O3結晶粒の横方向平均粒径は0.3~1.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有し、eまた、上記中間層のTi含有Al2O3結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である11-20面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるTi含有Al2O3結晶粒以下、11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒というの占める面積割合は、前記測定範囲の面積の55~75面積であり、かつ、該11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒の横方向平均粒径は1.0~2.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有し、f上記上部層のAl2O3結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるAl2O3結晶粒の占める面積割合は、前記測定範囲の面積の70面積以上であり、かつ、上部層のAl2O3結晶粒の横方向平均粒径は1.0~2.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有する、ことを特徴とする表面被覆切削工具。上記下部層の最表面層が、少なくとも500nm以上の層厚を有するTi炭窒化物層からなり、該Ti炭窒化物層と上部層との界面から、該Ti炭窒化物層の層厚方向に500nmまでの深さ領域にのみ酸素が含有されており、かつ、該深さ領域に含有される平均酸素含有量は、該深さ領域に含有されるTi,C,N,Oの合計含有量の0.5~3原子であることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。近年の切削装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削加工は一段と高速化すると共に、断続切削等で切刃に高負荷が作用する傾向にあるが、上記の従来被覆工具においては、これを鋼や鋳鉄などの通常の条件での連続切削や断続切削に用いた場合には問題はないが、特にこれを高速断続切削条件で用いた場合には、硬質被覆層を構成するTi化合物層からなる下部層とAl2O3層あるいはTi含有Al2O3層からなる上部層の密着強度が不十分となり、上部層と下部層間での剥離、チッピング等の異常損傷の発生により、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。そこで、本発明者等は、上述のような観点から、下部層と上部層の密着性を改善し、もって、剥離、チッピング等の異常損傷の発生を防止するとともに、工具寿命の長寿命化を図るべく鋭意研究を行った結果、Ti化合物層からなる下部層と、Ti含有Al2O3層からなる中間層と、Al2O3層からなる上部層とを被覆形成した被覆工具において、下部層の最表面層直上のTi含有Al2O3結晶粒の配向性と粒径を制御することで、下部層と中間層、また、中間層と上部層の密着性を向上させ得るとともに、さらに、上部層全体のAl2O3結晶粒についての配向性と結晶粒径を制御することで、上部層全体の高温硬さと高温強度を維持することができるため、切刃に断続的衝撃的負荷が作用する高速断続切削に用いた場合でも、下部層、中間層および上部層からなる硬質被覆層間でのチッピング、剥離等の異常損傷の発生が抑え、長期の使用にわたってすぐれた切削性能を発揮する被覆工具を得られることを見出したのである。この発明は、上記知見に基づいてなされたものであって、1炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、a下部層が、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層および炭窒酸化物層のうちの1層または2層以上からなり、かつ、3~20μmの合計平均層厚を有するTi化合物層、b中間層が0.5~2.0μmの平均層厚および化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有するTi含有α型Al2O3層但し、原子比で、Ti/AlTiOの比の値は0.0001~0.001、c上部層が、1~15μmの平均層厚を有し、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有するAl2O3層、以上a~cからなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、d上記中間層を構成する結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるTi含有Al2O3結晶粒以下、0001配向Ti含有Al2O3結晶粒というの占める面積割合は、前記測定範囲の面積の15~35面積であり、かつ、該0001配向Ti含有Al2O3結晶粒の横方向平均粒径は0.3~1.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有し、eまた、上記中間層のTi含有Al2O3結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である11-20面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるTi含有Al2O3結晶粒以下、11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒というの占める面積割合は、前記測定範囲の面積の55~75面積であり、かつ、該11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒の横方向平均粒径は1.0~2.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有し、f上記上部層のAl2O3結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるAl2O3結晶粒の占める面積割合は、前記測定範囲の面積の70面積以上であり、かつ、上部層のAl2O3結晶粒の横方向平均粒径は1.0~2.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有する、ことを特徴とする表面被覆切削工具。2上記下部層の最表面層が、少なくとも500nm以上の層厚を有するTi炭窒化物層からなり、該Ti炭窒化物層と上部層との界面から、該Ti炭窒化物層の層厚方向に500nmまでの深さ領域にのみ酸素が含有されており、かつ、該深さ領域に含有される平均酸素含有量は、該深さ領域に含有されるTi,C,N,Oの合計含有量の0.5~3原子であることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。に特徴を有するものである。以下に、この発明の被覆工具の硬質被覆層の構成層について詳細に説明する。下部層のTi化合物層:Ti化合物層例えば、TiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層およびTiCNO層は、基本的にはAl2O3層の下部層として存在し、自身の具備するすぐれた高温強度によって硬質被覆層が高温強度を具備するようになるほか、工具基体、Al2O3層のいずれにも密着し、硬質被覆層の工具基体に対する密着性を維持する作用を有するが、その合計平均層厚が3μm未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その合計平均層厚が20μmを越えると、特に高熱発生を伴う高速重切削高速断続切削では熱塑性変形を起し易くなり、これが偏摩耗の原因となることから、その合計平均層厚を3~20μmと定めた。下部層の最表面:この発明において、下部層上に中間層を形成するに先立って、例えば、下部層の最表面に以下のような処理を施すことにより、中間層のTi含有α型Al2O3に所定の配向性および横方向平均粒径を付与することができる。即ち、まず、通常の化学蒸着装置を使用して、TiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層およびTiCNO層のうちの1層または2層以上からなる種々のTi化合物層を蒸着形成なお、TiCN層のみを蒸着形成することも勿論可能であるした後、同じく通常の化学蒸着装置を使用して、反応ガス組成容量:TiCl42.5~10、CH3CN0.5~1.0、N240~60、残部H2、反応雰囲気温度:800~900°C、反応雰囲気圧力:6~10kPa、の条件で化学蒸着して、下部層の最表面層として、例えば、酸素を含有するTiCN以下、酸素含有TiCNという層を形成する。この際、所定層厚を得るに必要とされる蒸着時間終了前の5分~30分の間は、全反応ガス量に対して1~5容量となるようにCOガスを添加して化学蒸着を行うことにより、層厚方向に500nmまでの深さ領域にのみ0.5~3原子の酸素を含有する酸素含有TiCN層を蒸着形成する。酸素含有TiCN層からなる上記下部層の最表面層は、例えば、その上に、本発明で規定する配向性および横方向平均粒径を有する中間層を形成するためには、少なくとも500nm以上の層厚として形成するとともに、さらに、該酸素含有TiCN層と中間層との界面から、該酸素含有TiCN層の層厚方向に500nmまでの深さ領域にのみ、0.5~3原子の酸素を含有させ、500nmを超える深さ領域には酸素を含有させていない酸素含有TiCN層で構成することが望ましい。ここで、酸素含有TiCN層の500nmまでの深さ領域における平均酸素含有量を上記のように限定したのは、膜の深さ方向に500nmより深い領域において酸素が含有されていると、TiCN最表面の組織形態が柱状組織から粒状組織に変化するとともに、中間層のTi含有Al2O3結晶粒の配向性、横方向平均粒径を所望のものとできなくなるためである。ただ、深さ領域500nmまでの平均酸素含有量が0.5原子未満では、上部層と下部層TiCNの付着強度の向上を望むことはできないばかりか、中間層のTi含有Al2O3結晶粒の配向性、横方向平均粒径を満足させることはできず、一方、該深さ領域における平均酸素含有量が3原子を超えると、中間層のTi含有Al2O3において、0001配向Al2O3結晶粒の占める面積割合が少なくなり、上部層の高温強度が低下するからである。ここで、平均酸素含有量は、下部層の最表面層を構成する上記TiCN層と上部層との界面から、該TiCN層の層厚方向に500nmまでの深さ領域におけるチタンTi,炭素C,窒素N及び酸素Oの合計含有量に占める酸素O含有量を原子=O/TiCNO×100で表したものをいう。上記した処理は、下部層の最表面層として、酸素含有TiCN層を形成するものであるが、以下に示すように、別の形態の下部層の最表面層を形成することもできる。即ち、まず、通常の化学蒸着装置を使用して、下部層として、TiC層、TiN層、TiCN層、TiCO層およびTiCNO層のうちの1層または2層以上からなる種々のTi化合物層を蒸着形成した後、該蒸着形成した下部層の表面に対して、反応ガス組成容量:CO5~10、CO25~10、残部H2、雰囲気温度:900~970°C、雰囲気圧力:5~15kPa、時間:1~5min、という条件でCOとCO2混合ガスによる酸化処理を行うことによって、αAl2O3核生成に必要なAl化合物の核をTi化合物層最表面に均一分散させることで、Al2O3核生成前の工程において、Ti化合物層最表面にαAl2O3核を均一分散させることができる。中間層:本発明では、下部層と上部層との間に、0.5~2.0μmの平均層厚および化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有するTi含有α型Al2O3層但し、原子比で、Ti/AlTiOの比の値は0.0001~0.001からなる中間層が介在形成することにより、下部層と中間層、さらには、中間層と上部層の密着性を向上することができ、その結果として、被覆工具の耐チッピング性、耐剥離性はさらに向上する。中間層Ti含有α型Al2O3層の層厚が0.5μmよりも小さいと、11-20配向を有したTi含有α型Al2O3結晶粒を得ることが難しくなり、Ti含有α型Al2O3層の層厚が2.0μmよりも大きいと、上部層の0001配向Al2O3結晶粒の占める面積割合が、全体の70面積以下になり、上部層Al2O3の高温強度が低下する。上記組成式において、Tiの含有割合Xを0.0001≦X≦0.001原子比と限定したのは、次のような理由による。つまり、Ti成分は、Ti含有Al2O3の結晶粒界面強度を向上させ、高温強度の向上に寄与するが、Ti成分の含有割合Xが0.0001未満では、このような作用を期待することはできず、一方、Ti成分の含有割合が0.001を超えた場合には、層中にTi酸化物の析出が始まるとによって粒界面強度が低下するため、Al成分との合量に占めるTi成分の含有割合Xは、0.0001~0.001但し、原子比であることが必要である。上記Ti含有Al2O3は、酸素含有TiCN層を形成した後、あるいは、下部層最表面にαAl2O3核を均一分散させた下部層の上に、例えば、反応ガス組成:容量で、AlCl3:1.5~5、TiCl4:0.1~0.4、CO2:1~5、HCl:1.5~3、H2:残り、反応雰囲気温度:900~970°C、反応雰囲気圧力:5~15kPa、時間:5~30minの条件で蒸着することにより、α型の結晶構造を有するTi含有α型Al2O3層但し、原子比で、Ti/AlTiOの比の値は0.0001~0.001からなる中間層を形成し得る。このTi含有Al2O3層は、それ自体で、高温強度を向上させ、かつ、耐衝撃性に優れるが、これに加えて、上記Ti含有Al2O3からなる中間層は、特定の配向性と特定の横方向平均粒径を有し、このため、中間層の上に形成する上部層の配向性および横方向平均粒径に対して、好ましい影響を与える。より具体的にいえば、上記で形成されたTi含有Al2O3層は、該中間層を構成するTi含有Al2O3結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるTi含有Al2O3結晶粒0001配向Ti含有Al2O3結晶粒の占める面積割合は、測定範囲の面積の15~35面積であり、かつ、該0001配向Ti含有Al2O3結晶粒の工具基体表面に平行方向横方向の平均粒径は0.3~1.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有している。0001配向Ti含有Al2O3結晶粒の占める面積割合が、測定範囲の面積の15面積以下である場合は、上部層の0001配向Al2O3結晶粒の占める面積割合が全体の70以下になり、上部層Al2O3の高温強度が低下する。一方、0001配向Ti含有Al2O3結晶粒の占める面積割合が、測定範囲の面積の35面積以上である場合は、上部層Al2O3結晶粒の柱状組織が層厚方向に対して、傾斜した状態で形成され、所望の0001配向の面積割合を得ることができない。また、0001配向Ti含有Al2O3結晶粒の横方向の平均粒径が0.3μm未満の場合は、粒径が小さすぎて、下部層直上Ti化合物表面の凹凸との結合性が悪くなるため、上部層Al2O3結晶粒との付着強度が弱くなる。平均粒径が1.0μm以上の場合は、上部層のAl2O3結晶粒が粗粒化し、耐チッピング性が低下してしまう。また、同様に、該中間層のTi含有Al2O3結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である11-20面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるTi含有Al2O3結晶粒11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒の占める面積割合は、測定範囲の面積の55~75面積であり、かつ、該11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒の横方向平均粒径は1.0~2.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有している。11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒の占める面積割合が55未満である、または該Ti含有Al2O3結晶粒の横方向平均粒径が1.0μm未満である場合、上部層Al2O3結晶粒の柱状組織が層厚方向に対して、傾斜した状態で形成され、所望の0001配向の面積割合を得ることができない。また、11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒の占める面積割合が75以上である、または該Ti含有Al2O3結晶粒の横方向平均粒径が2.0μm以上である場合、上部層0001配向Al2O3結晶粒の占める面積割合が全体の70以下になり、上部層Al2O3の高温強度が低下する。中間層のTi含有Al2O3結晶粒が、前記のような配向性と特定の横方向平均粒径を有することにより、この上に蒸着形成された上部層との界面の付着強度が一段と向上するとともに、上部層に所定の配向性、横方向平均粒径を有するAl2O3結晶粒が形成され、上部層はより高硬度となり、耐摩耗性も向上する。その結果、この発明の被覆工具は、高速断続切削加工時の断続的衝撃的負荷に対してすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮するようになる。上部層のAl2O3層:Ti化合物層からなる下部層の最表面層に、例えば、0.5~3原子の酸素を含有する酸素含有TiCN層を形成し、該下部層の最表面層の上に、所定の配向性と横方向平均粒径を有するTi含有Al2O3層を中間層として介在形成し、この表面に、例えば、次のような条件でAl2O3を蒸着することによって、本発明で規定する配向性を備えた、また、制御された横方向平均粒径を備えた柱状結晶組織のAl2O3層からなる上部層が得られる。上部層は、中間層の表面に、例えば、反応ガス組成容量:AlCl31~5、CO25~10、HCl1~5、H2S0.5~1、残部H2、反応雰囲気温度:960~1040°C、反応雰囲気圧力:5~15kPa、時間:目標とする上部層層厚になるまでという条件で蒸着することにより、層厚方向とほぼ平行に成長した微細な縦長柱状Al2O3結晶粒で構成され、0001配向Al2O3結晶粒の面積割合が、上部層全体のAl2O3結晶粒に対して70面積以上を占めるAl2O3層からなる上部層が形成される。しかも、この上部層においては、Al2O3結晶粒の横方向平均粒径は1.0~2.0μmであって、膜厚方向に成長した柱状結晶組織を有している。ここで、0001配向Al2O3結晶粒とは、上部層のAl2O3結晶粒について、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線がなす傾斜角を測定した場合、その傾斜角が0~10度であるAl2O3結晶粒のことをいう。つまり、上部層のAl2O3結晶粒は、層厚方向とほぼ平行な方向に微細な縦長柱状Al2O3結晶粒として成長し、しかも、0001配向Al2O3結晶粒が形成される。上部層全体のAl2O3結晶粒に対する0001配向Al2O3結晶粒の面積割合は、上記蒸着条件のうちの、特に、AlCl3ガス量とCO2ガス量が影響する。形成される0001配向Al2O3結晶粒の面積割合が、70面積以上を占める場合に、上部層Al2O3の高温硬さ、高温強度が維持されることから、本発明では、上部層の0001配向Al2O3結晶粒の面積割合を、70面積以上と定めた。上記0001配向Al2O3結晶粒の面積割合は、上部層全体のAl2O3結晶粒について、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線がなす傾斜角を測定し、その傾斜角が0~10度である結晶粒の面積割合の測定平均値として求められる。さらに、この発明の上部層においては、Al2O3結晶粒の横方向平均粒径が1.0~2.0μmの範囲である縦長の柱状結晶組織を形成する。Al2O3結晶粒の横方向平均粒径が1.0μm未満では、上部層と下部層、あるいは、上部層と中間層の界面における結晶粒の結晶面の凹凸の結合性が悪くなり、付着強度の低下を招きやすくなるとともにポアが発生しやすくなる。一方、横方向平均粒径が2.0μmを超えると、相対的に上部層のAl2O3結晶粒のサイズが大きすぎて、上部層のAl2O3形成時にポアが形成されやすくなり、そのため上部層の硬さ、強度が低下するともに、上部層と中間層との付着強度が低下する。そこで、この発明においては、上部層のAl2O3結晶粒の横方向平均粒径を1.0~2.0μmの範囲に定めた。上部層のAl2O3結晶粒の横方向平均粒径は、上部層の測定領域において、電子線後方散乱回折装置を用いて、その断面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射することにより横方向粒径を測定し、その測定値の平均値を算出することにより求めることができる。また、上部層の層厚については、1μm未満であると長期の使用にわたってすぐれた高温強度および高温硬さを発揮することができず、一方、15μmを越えると、チッピングが発生し易くなることから、上部層の層厚は1~15μmと定めた。この発明の被覆工具は、硬質被覆層の下部層最表面に、例えば、酸素含有TiCN層を形成し、そしてこの上に、所定面積割合、所定横方向平均粒径を有するTi含有Al2O3結晶粒からなる中間層を形成し、さらに、上部層として、所定面積割合、所定横方向平均粒径のAl2O3結晶粒からなる縦長の柱状結晶組織を形成することにより、下部層、中間層、上部層の密着強度を高めることができるため、各種の鋼や鋳鉄などの切削加工を、切れ刃に対して断続的衝撃的負荷が作用する高速断続切削条件で行っても、すぐれた高温強度と高温硬さを示し、硬質被覆層の剥離チッピングの発生もなく、長期の使用にわたって切削性能を発揮するものである。つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。原料粉末として、いずれも1~3μmの平均粒径を有するWC粉末、TiC粉末、ZrC粉末、VC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr3C2粉末、TiN粉末、およびCo粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で24時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、98MPaの圧力で所定形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を5Paの真空中、1370~1470°Cの範囲内の所定の温度に1時間保持の条件で真空焼結し、焼結後、切刃部にR:0.07mmのホーニング加工を施すことによりISOCNMG120408に規定するインサート形状をもったWC基超硬合金製の工具基体A~Fをそれぞれ製造した。また、原料粉末として、いずれも0.5~2μmの平均粒径を有するTiCN質量比でTiC/TiN=50/50粉末、Mo2C粉末、ZrC粉末、NbC粉末、TaC粉末、WC粉末、Co粉末、およびNi粉末を用意し、これら原料粉末を、表2に示される配合組成に配合し、ボールミルで24時間湿式混合し、乾燥した後、98MPaの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を1.3kPaの窒素雰囲気中、温度:1540°Cに1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分に幅:0.1mm、角度:20度のチャンファーホーニング加工を施すことによりISO規格CNMG120408のインサート形状をもったTiCN基サーメット製の工具基体a~fを形成した。ついで、これらの工具基体A~Fおよび工具基体a~fのそれぞれを、通常の化学蒸着装置に装入し、aまず、表3表3中のl-TiCNは特開平6-8010号公報に記載される縦長成長結晶組織をもつTiCN層の形成条件を示すものであり、これ以外は通常の粒状結晶組織の形成条件を示すものであるに示される条件にて、表5に示される目標層厚のTi化合物層を蒸着形成した。b表4に示される条件にて、下部層の最表面層としての酸素含有TiCN層即ち、該層の表面から500nmまでの深さ領域にのみ、0.5~3原子O/TiCNO×100の酸素が含有されるを表5に示される目標層厚で形成し、cついで、表6に示される条件にて、中間層のTi含有Ti含有Al2O3層を目標層厚で形成し、dついで、表7に示される条件にて、上部層のAl2O3層を表8に示される目標層厚で形成することにより、本発明被覆工具1~13をそれぞれ製造した。また、比較の目的で、上記本発明被覆工具1~13の上記工程c,dから外れた条件で、あるいは、これらの工程を行わずに、表6~7に示される条件にて硬質被覆層を形成することにより、表9に示す比較被覆工具1~7を製造した。ついで、上記の本発明被覆工具1~13と比較被覆工具1~13について、下部層の最表面層を構成するTiCN層について、該TiCN層の層厚方向に500nmまでの深さ領域における平均酸素含有量=O/TiCNO×100、さらに、500nmを超える深さ領域における平均酸素含有量=O/TiCNO×100を、オージェ電子分光分析器を用い、被覆工具の断面研磨面に下部層Ti炭窒化物層の最表面からTi炭化物層の膜厚相当の距離の範囲に直径10nmの電子線を照射させていき、TiCNOのオージェピークの強度を測定し、それらのピーク強度の総和からOのオージェピークの割合から算出した。表5にこれらの値を示す。上記の本発明被覆工具1~13と比較被覆工具1~13について、中間層のTi含有Al2O3結晶粒の0001配向Ti含有Al2O3、11-20配向Ti含有Al2O3の面積割合、横方向平均粒径、さらには、上部層の0001配向Al2O3結晶粒の面積割合、横方向平均粒径を測定し求めた。より具体的にいえば、中間層のTi含有Al2O3結晶粒、11-20配向Ti含有Al2O3粒、上部層の0001配向Al2O3結晶粒の面積割合については、工具基体表面と平行方向に50μmの断面研磨面の上部層の測定範囲0.3μm×50μmを、電界放出型走査電子顕微鏡の鏡筒内にセットし、前記研磨面に70度の入射角度で15kVの加速電圧の電子線を1nAの照射電流で、それぞれの前記研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に照射して、工具基体の表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面の法線あるいは11-20がなす傾斜角を測定し、その傾斜角が0~10度である結晶粒の面積割合を測定することによって求めた。表8、表9にこれらの値を示す。また、横方向平均粒径については、Al2O3結晶粒について、電界放出型走査電子顕微鏡と電子後方散乱回折像装置を用い、断面研磨面の測定範囲内に存在するAl2O3結晶粒の六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射する。観察倍率10,000倍で測定し、その菊池線回折図形から、工具基体表面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である0001面および10-10面の法線がなす傾斜角を測定し、この結果得られた測定傾斜角から、それぞれ隣接する結晶粒相互間の界面における0001面の法線同士、および10-10面の法線同士の交わる角度を求め、さらに、前記0001面の法線同士、および10-10面の法線同士の交わる角度が2度以上の場合を結晶粒として定義し、0001配向Al2O3結晶粒における横方向の線分測定点10箇所の測定値の平均から、それぞれのAl2O3結晶粒の横方向平均粒径を求めた。表8、表9にこれらの値を示す。また、本発明被覆工具1~13、比較被覆工具1~13の硬質被覆層の各構成層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて観察倍率2,000倍にて観察したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均層厚5点測定の平均値を示した。つぎに、上記の本発明被覆工具1~13、比較被覆工具1~13の各種の被覆工具について、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、被削材:JISSCM445の長さ方向等間隔8本縦溝入り、切削速度:400m/min.、切り込み:2.5mm、送り:0.32mm/rev.、切削時間:5分、の条件切削条件Aというでの合金鋼の湿式高速断続切削試験通常の切削速度は、200m/min.、、被削材:JISFCD500の長さ方向等間隔8本縦溝入り、切削速度:420m/min.、切り込み:3.0mm、送り:0.40mm/rev.、切削時間:5分、の条件切削条件Bというでのダグタイル鋳鉄の乾式高速断続切削試験通常の切削速度は、180m/min.、、を行い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。表10にこの測定結果を示した。表5、8~10に示される結果から、本発明被覆工具1~13は、下部層と上部層の間に、所定面積割合の11-20配向Ti含有Al2O3結晶粒および0001配向Ti含有Al2O3結晶粒を形成し、さらに、それぞれの結晶粒の横方向平均粒径を、それぞれ、10~2.0μm、0.3~1.0μmとして、さらに、上部層全体のAl2O3結晶粒に占める0001配向Al2O3結晶粒の面積割合は70面積以上であって、しかも、Al2O3結晶粒の横方向平均粒径は1.0~2.0μmであって、縦長柱状結晶構造を有することから、高熱発生を伴い、かつ、切刃に断続的衝撃的負荷が作用する高速断続切削条件に用いた場合でも、硬質被覆層の各層間の付着強度がすぐれ、その結果、硬質被覆層の耐チッピング性、耐剥離性に優れるとともに、すぐれた耐摩耗性を発揮する。これに対して、比較被覆工具1~13では、高速断続切削加工においては、硬質被覆層のチッピング発生、剥離発生により、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。"