搬送対象物を保持する第一のリンクを含む複数のリンクを関節部を介して水平面内で回動可能に接続して構成されるアーム機構と、前記アーム機構を構成する複数のリンクのうち前記第一のリンクよりも基端側のリンクに取り付けられ、取り付け位置に応じて定まる検出位置に前記搬送対象物があることを検出するセンサとを具備してなり、前記センサを取り付けたリンクに対し前記第一のリンクが近づく方向に前記関節部を回動駆動した場合に前記第一のリンクに正規に保持される搬送対象物が前記検出位置を通過して検出できるように、前記センサの取り付け位置が設定されていることを特徴とするロボットアーム型搬送装置。前記搬送対象物を所定速度で移動させて当該搬送対象物の一端から他端までが前記検出位置を通過するのに要する時間を計測し、計測した時間と前記第一のリンクの所定位置に保持されているときの所定時間との誤差に応じて前記搬送対象物が前記所定位置から位置ズレしているか否かを判定する判定部を設けた請求項1に記載のロボットアーム式搬送装置。しかしながら、上記のようなロボットアーム型搬送装置には、例えばウェハの収納ピッチの短い収納ケース内部等の狭い空間にエンドエフェクタが出入り可能となるように、エンドエフェクタに可能な限り小形化が求められているものの、上記のようにエンドエフェクタ自体にセンサを設ける構成では、センサを取り付けるためのスペースがエンドエフェクタに必要となり、エンドエフェクタ自体が大形化してしまう。しかも、例えば処理装置内部の高温領域や低温領域にエンドエフェクタを出入りさせる場合には、エンドエフェクタと共にセンサが高温領域や低温領域に出入りして、センサが損傷してしまうおそれがある。一方、上記不具合を回避する一つの手段として、エンドエフェクタにおける搬送対象物の有無を検出するためのセンサを、ロボットアーム型搬送装置以外の別の装置に取り付けることが考えられるが、センサを取り付ける場所を確保する必要や検出のたびに別装置に設けたセンサの所定検出位置まで搬送対象物を搬送する必要があり、搬送効率を損なってしまう。本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、搬送対象物を保持するエンドエフェクタの大形化やセンサの損傷、搬送効率の低減を伴うことなく、搬送対象物の保持状態を適切に検出可能なロボットアーム型搬送装置を提供することである。本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明のロボットアーム型搬送装置は、搬送対象物を保持する第一のリンクを含む複数のリンクを関節部を介して水平面内で回動可能に接続して構成されるアーム機構と、前記アーム機構を構成する複数のリンクのうち前記第一のリンクよりも基端側のリンクに取り付けられ、取り付け位置に応じて定まる検出位置に前記搬送対象物があることを検出するセンサとを具備してなり、前記センサを取り付けたリンクに対し前記第一のリンクが近づく方向に前記関節部を回動駆動した場合に前記第一のリンクに正規に保持される搬送対象物が前記検出位置を通過して検出できるように、前記センサの取り付け位置が設定されていることを特徴とする。このように、センサを取り付けたリンクに対し第一のリンクが近づく方向に関節部を回動駆動するだけで、第一のリンクに正規に保持される搬送対象物が検出位置を通過して検出できるように、センサの取り付け位置が設定されているので、第一のリンクが搬送対象物を保持しているか否かを検出することができ、搬送対象物の有無を検出するために搬送装置以外の別の装置に設けた所定検出位置まで搬送対象物を搬送する必要がなくなり、搬送効率を向上させることが可能となる。しかも、搬送対象物を保持する第一のリンクよりも基端側のリンクにセンサが取り付けられているので、従来のように第一のリンクエンドエフェクタにセンサを取り付けている場合に比べて第一のリンクを薄型化することができ、例えば収納ピッチの短い収納ケース内部等の狭い空間に第一のリンクを出入りさせる要求にも対応することが可能となる。さらに、搬送対象物を保持する第一のリンクよりも基端側のリンクにセンサが取り付けられているので、例えば処理装置内部の高温領域や低温領域に第一のリンクが出入りする場合であっても、第一のリンクと共にセンサが高温領域や低温領域に出入りすることを避けて、センサが損傷することを回避することが可能となる。搬送対象物Wが保持されているか否かだけでなく、搬送対象物が所定位置から位置ズレした状態で保持されているか否かを検出するためには、前記搬送対象物を所定速度で移動させて当該搬送対象物の一端から他端までが前記検出位置を通過するのに要する時間を計測し、計測した時間と前記第一のリンクの所定位置に保持されているときの所定時間との誤差に応じて前記搬送対象物が前記所定位置から位置ズレしているか否かを判定する判定部を設けていることが好ましい。本発明は、以上のように構成しているので、センサを取り付けたリンクに対し第一のリンクが近づく方向に関節部を回動駆動するだけで、搬送対象物を保持しているか否かを検出でき、余計な動作を極力低減して搬送効率を向上させることが可能となる。しかも、搬送対象物を保持する第一のリンクよりも基端側のリンクにセンサを取り付けているので、センサの設置スペースを無くして第一のリンクを小形化できるとともに、第一のリンクと共にセンサが高温低温領域に出入りすることを避けて、センサが損傷することを回避することが可能となる。したがって、これら不具合を伴うことなく、搬送対象物の保持状態を適切に検出可能なロボットアーム型搬送装置を提供することが可能となる。以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。本実施形態のロボットアーム型搬送装置は、図1及び図4に示すように、円盤状をなす半導体ウェハ等の搬送対象物Wを保持するエンドエフェクタとも呼ばれる第一のリンク21を含む複数のリンク212223を関節部242526を介して水平面内で回動可能に接続して構成されたアーム機構2と、第一のリンク21に保持される搬送対象物Wを検出するためのセンサ3と、アーム機構2における各々の関節部242526の回動駆動を制御することで、第一のリンク21で保持した搬送対象物Wを所望の位置に搬送する制御部4とを有している。アーム機構2は、図1及び図4に示すように、先端側で搬送対象物Wを保持する第一のリンク21と、第一のリンク21の基端部21bを先端部22aに水平面内で回動可能に接続した第二のリンク22と、第二のリンク22の基端部22bを先端部23aに水平面内で回動可能に接続した第三のリンク23と、第三のリンク23の基端部23bを水平面内で回動可能に支持する基台20とを有する。第一のリンク21は、平面視略Y字状且つ板状をなし、円盤状の搬送対象物Wの周縁に対応する形状の段差部21cが上面に形成されている。段差部23cは、搬送対象物Wが置かれる載置面であり、外周側よりも内周側を低く形成されることで、搬送対象物を保持する機能を発揮している。第一のリンク21の基端部21b及び第二のリンク22の先端部22aは、互いに鉛直方向に沿った回転軸C1回りに水平面内で回動可能に接続されて第一の関節部24を構成している。これと同様に、第二のリンク22の基端部22b及び第三のリンク23の先端部23a、第三のリンク23の基端部23b及び基台20も互いに鉛直方向に沿った回転軸C2C3回りに水平面内で回動可能に接続されてそれぞれ第二の関節部25、第三の関節部26を構成している。これら各々の関節部242526は、モータ等を用いた動力部Mにより、他の関節部と独立して回動駆動して各リンク212324の角度θを変更可能に構成されている図4参照。図3に示すように、搬送対象物Wを検出するためのセンサ3は、発光素子30及び受光素子31からなる光電センサ等のように、取り付け位置に応じた検出位置Seに搬送対象物Wがあることを検出するもので、発光素子30及び受光素子31を結ぶ光の通路である検出位置Seを搬送対象物Wが通過して、発光素子30から受光素子31に向かう光が遮光されるか否かに応じて搬送対象物Wを検出する。このセンサ3は、図1~図4に示すように、アーム機構2を構成する複数のリンク212223のうち第一のリンク21よりも基端側にある第二のリンク22の基端部22bに取り付けてあり、図2及び図4に示すように、センサ3を取り付けた第二のリンク22に対し第一のリンク21が近づく方向に第一の関節部24を回動駆動した場合に、第一のリンク21に正規に保持される搬送対象物Wが検出位置Seを通過して検出できるように、センサ3の取り付け位置が設定されている。さらに、センサ3は、関節部242526を回動駆動した際に、複数のリンク212223に干渉しないように、その取り付け位置が設定されている。すなわち、センサ3は、各々のリンク212223の回転軌道を避けた位置に取り付けられているとも言える。図1や図2に示す制御部4は、CPU、メモリ及びインターフェイスを具備する通常のマイクロコンピュータユニットにより構成されて、メモリ内に搬送制御ルーチン等の所要のプログラムが書き込まれており、CPUは適宜必要なプログラムを呼び出して実行することにより、周辺ハードリソースと協働して、所望の搬送動作や搬送対象物Wの保持状態を判定する判定部41を実現する。この判定部41によって、上記センサを用いた保持状態チェック処理が実行される。すなわち、図4aに示すように、搬送元のFOUPFrontOpenUnifiedPod等の収納ケースCaに対し第一のリンク21のみを挿入し、第一のリンク21で半導体ウェハ等の搬送対象物Wを保持し、収納ケースCaから搬送対象物Wを取り出す動作を実行した場合に、図2及び図4bに示すように、センサ3が取り付けられている第二のリンク22に対し第一のリンク21を近づける方向に第一の関節部24を回動駆動して、第一のリンク21に保持されているであろう搬送対象物Wを移動させ検出位置Seを通過させる。この場合、第二のリンク22に対する第一のリンク21の角度θが検出位置Seに搬送対象物Wがあるであろう所定角度例えば180度、図4b参照であるときのセンサ3の検出結果に応じて搬送対象物Wの保持状態を判定する。具体的には、センサ3により遮蔽状態が検出された場合には、搬送対象物Wが保持されていると判定して次の搬送動作に移る一方で、センサ3により透光状態が検出された場合には、搬送対象物Wが保持されていないと判定してエラー処理に移る。以上のように本実施形態に係るロボットアーム型搬送装置は、搬送対象物Wを保持する第一のリンク21を含む複数のリンク212223を関節部242526を介して水平面内で回動可能に接続して構成されるアーム機構2と、アーム機構2を構成する複数のリンク212223のうち第一のリンク21よりも基端側のリンク22に取り付けられ、取り付け位置に応じて定まる検出位置Seに搬送対象物Wがあることを検出するセンサ3とを具備してなり、センサ3を取り付けたリンク22に対し第一のリンク21が近づく方向に関節部24を回動駆動した場合に第一のリンク21に正規に保持される搬送対象物Wが検出位置Seを通過して検出できるように、センサ3の取り付け位置が設定されている。このように、センサ3を取り付けたリンク22に対し第一のリンク21が近づく方向に関節部24を回動駆動するだけで、第一のリンク21に正規に保持される搬送対象物Wが検出位置Seを通過して検出できるように、センサ3の取り付け位置が設定されているので、第一のリンク21が搬送対象物Wを保持しているか否かを検出することができ、搬送対象物Wの有無を検出するために搬送装置以外の別の装置に設けた所定検出位置まで搬送対象物を搬送する必要がなくなり、搬送効率を向上させることが可能となる。しかも、搬送対象物Wを保持する第一のリンク21よりも基端側のリンク22にセンサ3が取り付けられているので、従来のように第一のリンクエンドエフェクタにセンサを取り付けている場合に比べて第一のリンクを薄型化することができ、例えば収納ピッチの短い収納ケース内部等の狭い空間に第一のリンクを出入りさせる要求にも対応することが可能となる。さらに、搬送対象物Wを保持する第一のリンク21よりも基端側のリンク22にセンサが取り付けられているので、例えば処理装置内部の高温領域や低温領域に第一のリンクが出入りする場合であっても、第一のリンクと共にセンサが高温領域や低温領域に出入りすることを避けて、センサが損傷することを回避することが可能となる。以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。例えば、本実施形態では、センサ3は、第二のリンク22に取り付けられているが、第一のリンク21よりも基端側のリンクであれば、これに限定されず、例えば第三のリンク23に取り付けてもよい。本実施形態においてアーム機構は、三つのリンク21~23を水平面内で回動可能に接続して構成しているが、二つ又は四つ以上のリンクを接続して構成したものでもよい。また、本実施形態では、搬送対象物Wが第一のリンク21に保持されているか否かを検出するように構成されているが、図5に示すように、搬送対象物Wが第一のリンク21における正規の所定位置p1から位置ズレした状態で保持されているか否かを判定するように構成してもよい。すなわち、搬送対象物Wを所定速度例えば速度Vで移動させて搬送対象物Wの一端eg1から他端eg2までが検出位置Seを通過するのに要する時間tを計測し、計測した時間tと第一のリンク21の所定位置p1に保持されているときの所定時間tsとの誤差|t-ts|に応じて搬送対象物Wが所定位置p1から位置ズレしているか否かを判定する判定部41を設けている。具体的には、判定部41は、搬送対象物Wの中心Pが所定位置p1と一致する所定位置で保持されている状態ときに、搬送対象物Wの一端eg1から他端eg2までが検出位置Seを通過するのに要する所定時間tsを予め設定しておき、計測した時間tと所定時間tsとの誤差|t-ts|が所定範囲内であれば|t-ts|≦th、thは所定閾値を示す、搬送対象物Wが所定位置p1で保持されていると判定する一方、上記誤差|t-ts|が所定範囲内でなければ|t-ts|>th、搬送対象物Wが所定位置p1から位置ズレした状態で保持されていると判定する。このように構成すれば、関節部24を回転駆動して搬送対象物Wを所定速度で検出位置Seを通過させるだけで、第一のリンク21に搬送対象物Wが保持されているか否かを検出できるだけでなく、搬送対象物Wが第一のリンク21における所定位置p1から位置ズレした状態で保持されているか否かを検出することが可能となる。なお、搬送対象物Wであるウェハの周縁部エッジに切り欠きノッチがある場合には、この切り欠きノッチを避けた部位が検出位置Seを通過するようにすればよい。さらに、本実施形態では、センサとして透過式の光電センサを用いているが、反射式の光電センサを用いてもよい。さらにまた、上記に述べた軌道補正は、複数のリンクを回転可能に直列接続して構成されるアーム機構を備えた搬送装置に適用しているが、これ以外のアーム機構を用いた搬送装置にも適用可能である。例えば、複数のリンクを並列接続したパラレルマニピュレータ等の搬送装置が挙げられる。その他、本実施形態では、ウェハ等の搬送対象物Wを第一のリンクエンドエフェクタに載置することで搬送対象物Wを保持するように構成しているが、真空吸着やメカチャック等で搬送対象物Wを保持するように構成してもよい。各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。