"微粒子を含むダーティ液を濾過するための濾過装置であって、前記ダーティ液が導入される濾過槽と、磁性材料からなる多数の球形の金属球を集合させてなり、各金属球が互いに動きうる状態で前記濾過槽の内部に収容された磁性球濾材と、前記磁性球濾材に対し第1の位置と上側の第2の位置とに相対移動可能で前記第1の位置において前記金属球に磁界を与えることによって前記各金属球どうしを磁気的に吸着させて互いに固定し、前記第2の位置において前記各金属球どうしの磁気的な吸着を解除し前記各金属球どうしを動きうる状態とする磁石と、前記濾過槽内の磁石収容部に挿入された有底容器状の磁石ガイドであって、前記濾過槽内において上下方向に延びかつ両側に前記磁性球濾材が配置され、前記磁石を上下方向に移動可能に収容する磁石ガイドと、前記ダーティ液の濾過時に前記磁石を前記磁石ガイドに沿って前記第1の位置に移動させ、前記磁性球濾材の洗浄時に前記磁石を前記磁石ガイドに沿って前記第2の位置に移動させる保持手段と、前記磁性球濾材の下側に形成され前記ダーティ液を導入するダーティ室と、前記磁性球濾材の上側に形成され前記磁性球濾材を通って濾過されたクリーン液を収容するクリーン室と、を具備したことを特徴とする濾過装置。しかし特許文献1のフィルタ装置は、切り屑からなるフィルタエレメントを用いるため濾過精度のばらつきが大きく、しかも濾過できる微粒子は磁性材料からなる切り屑など金属性の微粒子に限定され、カーボンやアルミニウムなどの非磁性体微粒子、特に数十μm程度の超微粒子に対しては濾過能力を発揮することができない。また、切り屑からなるフィルタエレメントを用いる場合、切り屑の表面状態がきわめて荒いため、濾過能力が低下したとき、濾過能力を回復させるためのフィルタエレメントの洗浄をすることが困難である。このためフィルタエレメント切り屑自体はコストがかからなくても、このフィルタエレメント切り屑を頻繁に交換する必要があり、そのための手数とコストが高くつくという問題がある。洗浄を効果的に行うには濾材の表面が滑らかな方がよい。しかし一般常識では、濾過性能を高めるには濾材の表面に多数の凹凸あるいはポーラスが存在することが望ましいと考えられていたため、表面の滑らかな材料をあえて濾材に使用することはなかった。すなわち、濾過効率と洗浄のしやすさは両立できないと考えられていた。しかし本発明者が鋭意研究したところによれば、本明細書で詳細に述べるように、表面が滑らかなスチールボールなどからなる球形の磁性金属球と磁石とを組合わせることにより、精密濾過に適しかつ洗浄の容易な高性能の濾過装置が得られることを見出した。従って本発明の目的は、磁性を有する微粒子だけでなく非磁性の微粒子も除去でき、しかも洗浄を容易に行うことのできる濾過装置を提供することにある。本発明は、微粒子を含むダーティ液を濾過するための濾過装置であって、前記ダーティ液が導入される濾過槽と、磁性材料からなる多数の球形の金属球を集合させてなり各金属球が互いに動きうる状態で前記濾過槽の内部に収容された磁性球濾材と、前記磁性球濾材に対し第1の位置と上側の第2の位置とに相対移動可能で前記第1の位置において前記金属球に磁界を与えることによって前記各金属球どうしを磁気的に吸着させて互いに固定し前記第2の位置において前記各金属球どうしの磁気的な吸着を解除し前記各金属球どうしを動きうる状態とする磁石と、前記濾過槽内の磁石収容部に挿入された有底容器状の磁石ガイドであって前記濾過槽内において上下方向に延びかつ両側に前記磁性球濾材が配置され前記磁石を上下方向に移動可能に収容する磁石ガイドと、前記ダーティ液の濾過時に前記磁石を前記磁石ガイドに沿って前記第1の位置に移動させ前記磁性球濾材の洗浄時に前記磁石を前記磁石ガイドに沿って前記第2の位置に移動させる保持手段と、前記磁性球濾材の下側に形成され前記ダーティ液を導入するダーティ室と、前記磁性球濾材の上側に形成され前記磁性球濾材を通って濾過されたクリーン液を収容するクリーン室とを具備している。この明細書で言う球は理想的には幾何学で言う球形の立体であるが、その直径球径や真球度について、球体を製造する上での誤差等の不可避的要因による多少のばらつきがあっても差し支えない。前記金属球の一例は、表面が滑らかに仕上げられたスチールボールであり、これらスチールボールの直径が互いに同等であることが望ましい。しかし互いに直径が異なる複数種類のスチールボールが混合されていてもよい。前記金属球は、波形に形成されたメッシュ部材からなる仕切り板の間に収容されるとよい。この場合、メッシュ部材の孔径を前記スチールボールの直径よりも小さくする。この構成により、メッシュ部材の孔がスチールボールによって塞がれてしまうことを回避でき、液が通る開口部を常に確保できる。前記濾過槽は、前記磁性球濾材の下側に形成されたダーティ室と、前記磁性球濾材の上側に形成されたクリーン室とを有し、前記磁性球濾材の洗浄時に前記クリーン室内のクリーン液を前記磁性球濾材を経て前記ダーティ室に落下させることで、前記金属球間の隙間に捕捉されていた微粒子を洗い流してスラッジ処理装置等に送るとよい。こうすることにより、必要に応じて、濾過槽内のクリーン液を利用して磁性球濾材の洗浄を容易に行うことができ、濾過能力を回復させることができる。この場合、濾過装置をそのまま洗浄に利用することができるためランニングコストが安くつく。本発明によれば、磁性球濾材に磁界を与えたときに各金属球が互いに接した状態で固定され、球面どうしの接触点に向かって奥が狭まった狭小な隙間が形成される。この隙間等に微粒子を捕らえることができるため、磁性、非磁性を問わず微粒子を捕捉できる。しかも磁性球濾材に表面が滑らかな金属球を用いているため、洗浄を行う際に磁界を解除して金属球どうしを動きうる状態にすることで、金属球の表面に捕捉されていた微粒子が容易に金属球から離れることができ、洗浄を効果的に行うことができる。以下に本発明の一実施形態について、図1~図9を参照して説明する。図1と図2に示された濾過装置10は、濾過槽11と濾材ユニット12を備えている。濾過槽11の材料は鉄系などの磁性材料である。濾過槽11の上部にカバー筐体13が設けられている。濾過槽11の内部に、濾材ユニット12の下側に位置するダーティ室15と、濾材ユニット12の上側に位置するクリーン室16とが形成されている。クリーン室16の上部は隔壁17によって気密に閉塞されている。濾過槽11の下部に、ダーティ室15に開口するダーティ液入口20が形成されている。濾過すべき微粒子を含むダーティ液は、このダーティ液入口20からダーティ室15に導入される。濾過槽11の上部に、クリーン室16に開口するクリーン液出口21が形成されている。図2に示すようにクリーン液出口21にクリーン液管22が接続されている。このクリーン液管22に、大気圧開放手段であるエアバルブ23を備えたエア供給管24が接続されている。エアバルブ23を開放することにより、クリーン室16を大気に開放することができる。なお、エア供給管24に圧搾空気の供給源が接続されていてもよい。その場合には、クリーン室16内に圧搾空気を供給することができる。濾過槽11の底部に、ドレンバルブ25を備えたドレンポート26が設けられている。濾材ユニット12は、以下に説明するように構成されている。図3は、濾材ユニット12の一部を拡大して示す断面図である。この濾材ユニット12は、波形に形成されたメッシュ部材パンチングメタルからなる仕切り板30,31と、これら仕切り板30,31によって囲まれるケースである濾材収容部32と、濾材収容部32に収容された磁性球濾材33とを備えている。仕切り板30,31の材料であるメッシュ部材の孔径d図3に示すは、後述する金属球35の直径よりも小さい。一例として、金属球35の直径が2.2mmあるいは2.8mmの場合に、メッシュ部材の孔径dは1.5mmである。これにより、メッシュ部材に形成されている孔が金属球35によって塞がれてしまうことを回避でき、液が通る開口部を必ず確保することができる。磁性球濾材33は、磁性材料からなる多数の球形の金属球例えばスチールボール35を集合させたものであり、濾材収容部32の内部において、磁界を与えない自由状態のもとでは各金属球35が相対的に動くことができるように、上側の仕切り板30と金属球35との間に、ある程度の隙間が存在するように余裕をもたせて収容されている。これらの金属球35は、表面が滑らかに仕上げられたスチールボールである。これら金属球35はボールベアリングの転動体ボールに似た外観であるが、表面粗度や直径ばらつきなどに関してボールベアリングほどの精度はなくても十分使用できる。濾材収容部32に収容される全ての金属球35の直径は互いに同等であるが、直径が異なる複数種類のスチールボールを混ぜて使用すると好ましい場合もある。この濾材ユニット12に磁石収容部40が形成されている。磁石収容部40に有底の容器状をなす磁石ガイド41が挿入されている。磁石ガイド41は磁石収容部40から濾過槽11の上部付近まで延びている。磁石ガイド41に磁石45が収容されている。磁石45の一例は、強力な永久磁石である。この磁石45は磁石ガイド41に沿って上下方向に相対移動することが可能であり、磁性球濾材33に対し、図1に実線で示す下部側の第1の位置Aと、図1に2点鎖線で示す上部側の第2の位置Bにわたって移動することができる。この磁石45は、磁性球濾材33に対して第1の位置Aにあるとき、金属球35に磁界を与えることによって各金属球35どうしを磁気的に吸着させて互いに固定する。また、磁石45が第2の位置Bに移動すると、各金属球35どうしの磁気的な吸着が解除され、金属球35が動きうるようになっている。磁石45を第1の位置Aと第2の位置Bとに相対移動させるための保持手段として、それぞれの磁石45に取付けられた昇降ロッド50と、各昇降ロッド50の上端部どうしをつなぐ水平方向の連結部材51と、連結部材51に固定されて上方に延びる操作部材52などを備えている。操作部材52は手動あるいは図示しないアクチュエータによって上下方向に駆動され、磁石45を前記第1の位置Aと第2の位置Bとに移動させることができるように構成されている。図4と図6は、前記濾過装置10を有する濾過設備60の概要を示している。この濾過設備60は、ダーティタンク61と、クリーンタンク62と、前記濾過装置10と、スラッジ処理装置63などを備えている。図4に示すように、濾過すべき微粒子を含むダーティ液Q1は、ポンプ65と配管66およびバルブ67を経て、濾過装置10のダーティ液入口20に供給される。濾過装置10のクリーン室16内のクリーン液Q2は、バルブ70と配管71を経てクリーンタンク62に回収される。ダーティ液Q1を濾過するための濾過工程では、図4に示すようにバルブ67,70を開弁させ、ドレンバルブ25を閉じる。そしてダーティタンク61内のダーティ液Q1をポンプ65によって濾過装置10のダーティ室15に供給する。また、濾材ユニット12の磁石45を前記第1の位置A図1に示すに移動させることにより、磁性球濾材33に磁界を与える。この磁界によって、図5に示すように各金属球35が互いに接した状態で固定され、各金属球35の球面どうしの接触点Cに向かって、奥が狭いくさび状の狭小な隙間Gが形成される。ダーティ液Q1が各金属球35の間の接触点C付近を流れる際に、この隙間Gの奥などに微粒子Sが入り込み、微粒子Sが捕捉される。このため、磁性、非磁性を問わず微粒子Sを捕捉できる。この微粒子Sが磁性体の場合には、磁石45によって磁気を帯びた金属球35の表面に微粒子Sを付着させることもできる。磁性球濾材33に捕捉された微粒子Sの量が増すと濾過性能が低下する。濾過性能を回復させるために洗浄工程を実施する。洗浄工程では、図6に示すようにバルブ67,70を閉じ、エアバルブ23図2に示すを開弁させることにより、クリーン室16の内部を大気に開放する。またポンプ65を停止させ、ドレンバルブ25を開弁させる。そして濾材ユニット12の磁石45を前記第2の位置B図1に示すに移動させることにより、それまでの濾過工程で磁性球濾材33に与えていた磁界を解除し、図7に誇張して示すように各金属球35どうしを動きうる状態にする。こうすることにより、クリーン室16内のクリーン液Q2が、自重によって濾材ユニット12を通りながらダーティ室15に向かって落下する。このとき、エア供給管24図2に示すから圧搾エアをクリーン室16に供給することにより、クリーン室16内のクリーン液Q2をエアの圧力によって速やかにダーティ室15に向けて押し出してもよい。クリーン室16からダーティ室15に向かってクリーン液Q2が流れることにより、金属球35の表面がクリーン液Q2によって洗い流される。すなわち図7に示すように、球面間の隙間G ́が広がることにより、それまで金属球35間に捕捉されていた微粒子Sが金属球35の滑らかな表面から離れることができ、洗浄を容易にかつ効果的に行うことができる。ドレンポート26からスラッジ処理装置63に排出された微粒子等を大量に含むスラッジは、スラッジ処理装置63によって液から分離されて回収される。以上説明したように本実施形態の濾過装置10は、濾過能力が低下したときに、必要に応じて濾過槽11内のクリーン液Q2を利用して磁性球濾材33の洗浄を容易にかつ迅速に行うことができ、短時間に濾過能力を回復することができる。しかも濾過装置10自体をそのまま利用して洗浄を行うことができるため、ランニングコストが安くつく。図8は、前記濾過装置10を用いて実際にサンプル液を濾過した場合に、濾過前と濾過後の液中の微粒子の数を光学顕微鏡によって観察した結果を示している。サンプル液は磁性体微粒子FCD切粉が混入されている油性クーラント液であり、流量は30リットル/分である。濾過前のダーティ液では、等価円直径で2.6μmから56.8μmまでの大きさの磁性体微粒子が多数観察されたが、濾過後のクリーン液では、2.6μmから5.8μmの磁性体微粒子が少数観察されたに過ぎず、比較的大きな微粒子から10μm付近までの超微粒子を十分除去できることが確認された。この例では、ダーティ液のSS濃度mg/リットル299ppm、クリーン液のSS濃度4ppmで、微粒子の除去率切粉除去率98.7であった。図9は、前記濾過装置10を用いて非磁性体アルミニウムからなる微粒子を含む水溶性のサンプル液を濾過した場合に、液中の微粒子の数を光学顕微鏡によって観察した結果を示している。流量は20リットル/分である。濾過前のダーティ液では、2.6μmから50.9μmまでの大きさの微粒子が多数観察されたが、濾過後のクリーン液では、2.6μmから9.8μmの非磁性体微粒子が少数観察されたに過ぎず、比較的大きな微粒子から10μm付近までの超微粒子も十分除去できることが確認された。この例では、ダーティ液のSS濃度が123ppm、クリーン液のSS濃度が2ppmで、微粒子の除去率98.4であった。なお本発明を実施するに当たって、濾過槽や磁性球濾材の金属球、磁石、保持手段などの本発明の構成要素を、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜に変更して実施できることは言うまでもない。"