"被測定孔に挿入される測定子の内部に、軸方向に沿って延びる複数の縦通路と、前記測定子の軸方向の複数箇所において径方向に沿って延びて前記各縦通路に連通し、かつ前記測定子の外面で開口する複数の横通路と、が形成されているエアマイクロメータの測定ヘッドであって、前記測定子が、同心状に配置されかつ径方向に重合された複数の管からなり、前記縦通路が、径方向の最内側の管の中心と、互いに重合する管の間とに形成されていることを特徴とするエアマイクロメータの測定ヘッド。互いに重合する2つの管の間に形成された前記縦通路は、当該2つの管のうち径方向内側の管の外周面に形成された溝によって構成されている請求項1に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記溝が、前記管の全周に形成されている請求項2に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記横通路は、前記測定子の軸方向の各箇所において、当該測定子の軸心上で互いに交差する2本以上の直径線上に形成され、かつ前記測定子の外面における周方向の4箇所以上で開口している請求項1~3のいずれかに記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。少なくとも1つの前記横通路は、互いに重合する2つの管に跨って形成されており、当該2つの管の対向する周面の少なくとも一方には、当該横通路に連通する円周溝が形成されている請求項1~4のいずれかに記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。少なくとも一組の互いに重合する2つの管が、締まり嵌めにより嵌合されている請求項1~5のいずれかに記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。互いに締まり嵌めにより嵌合される2つの管が、熱膨張係数の異なる材料で形成されている請求項6に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記測定子は、当該測定子を取り付けるための取付孔と、前記縦通路にエアを供給するために前記取付孔の内面で開口したエア供給通路とを有するエア供給部材に取り付けられており、前記測定子は、前記取付孔に対して締まり嵌めによって嵌合されることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。前記エア供給部材と、前記測定子を構成する径方向最外側の管とが熱膨張係数の異なる材料で形成されている請求項8に記載のエアマイクロメータの測定ヘッド。被測定孔に挿入される測定子を、複数の管を同心状に配置して径方向に重合させることによって形成し、複数の管のうち、少なくとも1組の互いに重合する2つの管を締まり嵌めによって嵌合し、この2つの管の間にエアを流通させる縦通路を形成することを特徴とするエアマイクロメータの測定ヘッドの製造方法。図14aに示されるように、従来のエアマイクロメータは、1つの棒状の測定子117に対して複数の縦通路T1~T3を形成しなければならないので、複雑な孔加工が必要であり、製造に要する時間や費用も増大する。特に、複数の縦通路T1~T3は、測定子117の限られた横断面積内に収まるように形成しなければならないので、その数が多くなるほど加工が困難となる。また、図14bに示されるように、複数の縦通路T1~T3は、それぞれ測定子の軸心Oから偏心した位置に形成されているので、各縦通路T1~T3から径方向の一方側に延びる横通路Y1~Y3と、径方向他方側に延びる横通路Y1~Y3とが互いに異なる長さa1,a2となる。そのため、各横通路Y1~Y3を通ってノズル口119から噴出されるエアの圧力や流量等にばらつきが生じ、これが精度の高い測定の妨げになる。また、一般にこの種のエアマイクロメータは、軸方向の各箇所A~Cにおいてノズル口119の数が多いほど精度の高い測定が可能になるが、図14に示されるエアマイクロメータでは、縦通路T1~T3が測定子117の軸心Oから偏心して形成されているので、軸方向の各箇所A~Cにおいて1つの直径線L1~L3上に2本の横通路Y1~Y3しか形成することができず、ノズル口119の数も最大で2つとなる。そのため、ノズル口119を増やして測定精度を高めることは実質的に不可能である。本発明は、製造が容易で精度の高い測定を可能にするエアマイクロメータの測定ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。1本発明は、被測定孔に挿入される測定子の内部に、軸方向に沿って延びる複数の縦通路と、前記測定子の軸方向の複数箇所において径方向に沿って延びて前記各縦通路に連通し、かつ前記測定子の外面で開口する複数の横通路と、が形成されているエアマイクロメータの測定ヘッドであって、前記測定子が、同心状に配置されかつ径方向に重合された複数の管からなり、前記縦通路が、径方向の最内側の管の中心と、互いに重合する管の間とに形成されていることを特徴とする。本発明の測定ヘッドの測定子は、同心状に配置されかつ径方向に重合された複数の管から構成され、縦通路が、径方向の最内側の管の中心と、互いに重合する管の間とに形成されている。そのため、いずれの縦通路も測定子の軸心を中心に形成され、測定子の外面までの距離が一定となる。したがって、各縦通路から径方向外方へ延びる複数の横通路を互いに同一の長さに形成することができ、この複数の横通路から吹き出されるエアの圧力等のばらつきを抑制し、精度の高い測定を行うことが可能となる。また、互いに重合する管の間に形成される縦通路は、例えば、2つの管の間に隙間や溝を形成することによって構成することができる。そのため、測定子に対して縦通路を形成するために複雑な加工が不要となり、測定ヘッドの製造を容易に行うことが可能となる。2互いに重合する2つの管の間に形成された前記縦通路は、当該2つの管のうち径方向内側の管の外周面に形成された溝により構成されていることが好ましい。このように、縦通路を構成する溝を径方向内側の管の外周面に形成することによって、当該溝を径方向外側の管の内周面に形成する場合に比べて、加工を容易に行うことができる。したがって、測定子に対してより容易に縦通路を形成することができる。3前記溝は、前記管の全周に形成されていることが好ましい。このような構成によって、縦通路の流路面積を十分に確保することができるとともに、周方向のどの位置においても横通路を縦通路に連通させることができる。したがって、横通路を形成する位置の自由度が増すと共に、横通路の数の増量にも容易に対応可能となる。また、当該溝が、軸方向に延びる細溝である場合に比べて加工を容易に行うことができる。4前記横通路は、前記測定子の軸方向の各箇所において、前記測定子の軸心上で互いに交差する2本以上の直径線上に形成され、かつ前記測定子の外面における周方向の4箇所以上で開口していることが好ましい。本発明の測定子は、いずれの縦通路も測定子の軸心を中心として形成されるため、測定子の軸心を通る2本以上の直径線上に横通路を形成し、測定子の外面における周方向の4箇所以上で横通路を開口させ、各開口からエアを吹き出して測定を行うことができる。したがって、より精度の高い測定を行うことが可能となる。5前記測定子に形成された少なくとも1つの横通路は、互いに重合する2つの管に跨って形成されており、当該2つの管の対向する周面の少なくとも一方には、横通路に連通する円周溝が形成されていることが好ましい。このような構成によって、互いに重合する2つの管が周方向に位置ずれしていても、横通路を当該2つの管に跨がって形成することができる。6少なくとも一組の互いに重合する2つの管は、締まり嵌めにより嵌合されていることが好ましい。このような構成によって、シール部材を用いなくても当該2つの管の間に形成された縦通路の気密性を保つことが可能となり、これによって部品点数を少なくし、構造の簡素化及び製造の容易化を図ることができる。7互いに締まり嵌めにより嵌合される2つの管が、熱膨張係数の異なる材料で形成されていることが好ましい。このような構成によって、締まり嵌めにより嵌合させた2つの管を加熱又は冷却することによって容易に分解することができる。そのため、分解した管の一方を交換することが可能となる。8前記測定子は、当該測定子を取り付けるための取付孔と、前記縦通路にエアを供給するために前記取付孔の内面で開口したエア供給通路とを有するエア供給部材に取り付けられており、前記測定子は、前記取付孔に対して締まり嵌めにより嵌合されることが好ましい。この構成によれば、エア供給部材に形成された取付孔に測定子が締まり嵌めにより嵌合されているので、両者の間のシール部材を設けなくても気密性を保つことができ、エア供給通路から縦通路へ流れるエアの漏れを防止することができる。9前記エア供給部材と、前記測定子を構成する径方向最外側の管とは、熱膨張係数の異なる材料で形成されていることが好ましい。このような構成によって、エア供給部材と測定子とを冷却又は加熱することによって両者を容易に分解することができる。したがって、測定子が損傷等した場合には、エア供給部材から測定子を取り外し、新たな測定子に交換することが可能となる。10本発明のエアマイクロメータの測定ヘッドの製造方法は、複数の管を同心状に配置するとともに径方向に重合させて、被測定孔に挿入される測定子を形成し、複数の管のうち、少なくとも1組の互いに重合する2つの管を締まり嵌めによって嵌合し、この2つの管の間にエアを流通させる縦通路を形成していることを特徴とする。この構成によれば、互いに締まり嵌めによって嵌合された2つの管の間に縦通路が形成されているので、この縦通路の気密性を保つために2つの管の間の嵌合面にシール部材を設ける必要がなくなり、部品点数を低減させることができるとともに、構造の簡素化及び製造の容易化を図ることができる。本発明のエアマイクロメータの測定ヘッドによれば、製造が容易で精度の高い測定を行うことが可能となる。[第1の実施の形態]図1は、本発明の第1の実施の形態に係るエアマイクロメータ10の測定ヘッド13を示す側面図である。エアマイクロメータ10は、エア供給源11と、測定部12と、測定ヘッド13とを備えており、エア供給源11と測定部12、及び測定部12と測定ヘッド13とがエア配管14により接続されている。そして、エア供給源11により生成されたエア圧縮空気がエア配管14を介して測定部12及び測定ヘッド13に供給され、測定ヘッド13から吹き出したエアの流量変化又は背圧変化を測定部12により測定することで、被測定物Wにおける所定の寸法を測定するように構成されている。本実施の形態のエアマイクロメータ10は、被測定物Wに形成された孔被測定孔Whの内径や真円度等を測定するために使用される。<測定ヘッド13の構成>測定ヘッド13は、エア供給源11からエアの供給を受ける本体部16と、被測定物Wの被測定孔Whに挿入されると共に、被測定孔Whの内周面に向けてエアを吹き出す測定子17と、を備えている。本体部16は、軸心Oを中心とする略円柱形状に形成され、その外周面には、エア配管14が接続される3個の継手第1~第3の継手J1~J3が取り付けられている。したがって、本体部16には3系統でエアが供給される。また、本体部16の内部には、測定子17にエアを供給するための第1~第3のエア供給通路R1~R3図2参照が形成されている。測定子17は、本体部16と同心状に設けられ、本体部16の軸方向の一端面から突出している。測定子17は略円柱形状に形成されると共に、その外周面にはエアを吹き出すためのノズル口19が形成されている。本実施の形態の測定子17には、軸方向に離れた3箇所第1~第3の軸方向位置A~Cにそれぞれ複数のノズル口19が形成されており、この3箇所A~Cにおいて同時に被測定孔Whの寸法を測定することができる。図2は、図1に示される測定ヘッド13の側面断面図である。測定ヘッド13の測定子17の内部には、軸心Oに沿って延びる複数の縦通路T1~T3と、各縦通路T1~T3に連通し、径方向に延びる複数の横通路Y1~Y3とが形成されている。縦通路T1~T3は、3系統の第1~第3のエア供給通路R1~R3に対応するように3本形成されている。以下、これらの3本の縦通路T1~T3を、それぞれ第1の縦通路T1、第2の縦通路T2、第3の縦通路T3と呼称する。また、横通路Y1~Y3は、第1~第3の軸方向位置A~Cに形成されている。各横通路Y1~Y3は、測定子17の外周面において開口しており、この開口が前述のノズル口19とされている。また、各軸方向位置A~Cの横通路Y1~Y3は、第1~第3の縦通路T1~T3にそれぞれ連通されている。<測定子17の構造>測定子17は、同心状に配置されかつ径方向に重合された複数の管により構成されている。具体的に、本実施の形態の測定子17は、3つの管P1~P3により構成されている。以下の説明においては、3つの管を、径方向内側から第1の管P1、第2の管P2、第3の管P3と呼称する。第1の管P1は、測定ヘッド13の全長にわたる軸方向の長さを有している。第1の管P1の中心には、第1の縦通路T1が形成されている。この第1の縦通路T1の先端部図2における右端部と基端部図2における左端部とは密封栓22によって閉鎖され、当該端部からのエア漏れが防止されている。第1の管P1のうち、基端側の約2/3程の範囲には、外径の小さい小径部24が形成されている。そして、この小径部24の先端側には段部25を介して外径の大きい大径部26が形成されている。第1の管P1の小径部24には、第2の管P2が嵌合されることによって取り付けられる。第2の管P2は、第1の管P1における小径部24の外径よりも僅かに小さい内径と、大径部26の外径と略同じ外径とを有している。また、第2の管P2は、第1の管P1における小径部24と略同じ軸方向長さに形成されている。そして、この第2の管P2は、第1の管P1の小径部24に対して締まり嵌めによって嵌合されている。すなわち、第2の管P2を熱膨張させるか、又は第1の管P1を熱収縮させた状態で、第2の管P2の内部に第1の管P1の小径部24を挿入し、常温に戻すことによって両者が締め代をもって嵌合される。したがって、第1の管P1と第2の管P2とは、後述する通路形成溝38を除いて隙間なく密着し、気密性が保たれている。測定子17における径方向の最外側に配置された第3の管P3は、本体部16に一体に形成されている。そして、嵌合により一体化された第1の管P1及び第2の管P2は、第3の管P3の筒内と、本体部16に形成された取付孔29とに嵌合されている。具体的に、第1の管P1及び第2の管P2は、すきま嵌め又は中間嵌めによって第3の管P3及び本体部16の取付孔29に嵌合されている。第1の管P1及び第2の管P2と、第3の管P3及び取付孔29との間は、軸方向の適所に設けられたOリング等のシール部材30によって気密性が保たれている。なお、測定子17は、先端側の第1の軸方向位置Aにおいては、第1の管P1と第3の管P3とが互いに径方向に重合しており、第2,第3の軸方向位置B,Cにおいては、第1の管P1と第2の管P2、及び第2の管P2と第3の管P3がそれぞれ径方向に重合している。<第1の縦通路及び第1の横通路の構成>図2に示されるように、第1の管P1の中心に形成された第1の縦通路T1は、少なくとも第1のエア供給通路R1から第1の軸方向位置Aにわたる軸方向長さを有している。第1の縦通路T1の基端側左端側は、第1の管P1及び第2の管P2に径方向に形成された連絡通路31を介して第1のエア供給通路R1に連通されている。測定子17における第1の軸方向位置Aには、径方向に延びるとともに第1の縦通路T1に連通された第1の横通路Y1が形成されている。図3及び図6に示されるように、第1の横通路Y1は、測定子17の軸心Oを通る直径線L1,L2に沿って形成されている。本実施の形態の測定子17には、互いに直交する2本の直径線L1,L2に沿って第1の縦通路T1から径方向外方に延びる4本の第1の横通路Y1が形成されている。また、第1の縦通路T1は測定子17の軸心Oを中心として形成されているので、この第1の縦通路T1から径方向外方に延びる4本の第1の横通路Y1は、互いに同一の長さに形成されている。また、各第1の横通路Y1は、第1の管P1に形成された径内部分Y1aと、第3の管P3に形成された径外部分Y1bとからなり、第1の管P1と第3の管P3とに跨って形成されている。第1の横通路Y1における径内部分Y1aは、径外部分Y1bよりもやや大径に形成されている。また、第1の管P1の外周面全周には、径内部分Y1aよりも軸方向に幅広の円周溝34が形成されている。この円周溝34によって、第1の横通路Y1における径内部分Y1aと径外部分Y1bとが相互に連通されている。このような円周溝34が形成されていない場合、径内部分Y1aと径外部分Y1bとが軸方向にも周方向にも厳密に位置合わせされることが要求されるが、円周溝34を形成することによって、径内部分Y1aと径外部分Y1bとが若干軸方向又は周方向に位置ずれしていたとしても、両部分Y1a,Y1bを相互に連通させることができる。第1の横通路Y1は、第3の管P3の外周面において開口し、この開口がノズル口19とされている。本実施の形態では、互いに直交する2本の直径線L1,L2上に4本の第1の横通路Y1が形成されているので、第1の軸方向位置Aにおいて、第3の管P3の外周面には合計4個のノズル口19が90°間隔で形成されている。そして、図2に示されるように、第1の継手J1から第1のエア供給通路R1及び連絡通路31を経て第1の縦通路T1に供給されたエアは、4本の第1の横通路Y1を通って4個のノズル口19から吐出され、被測定孔Whの内周面に吹き付けられる。なお、ノズル口19から被測定孔Whの内周面までの距離は数十μmとされる。図6に示されるように、ノズル口19の周囲には、環状溝36が形成されている。また、環状溝36の一側部には、長溝37が重複して形成されている。この長溝37は、図1に示されるように、第3の管P3の長手方向の大部分にわたって軸方向に延びている。環状溝36及び長溝37は、ノズル口19から吹き出されたエアを被測定孔Whの外側へ逃がすためのものである。また、図3に示されるように、第1の横通路Y1の軸方向両側には、Oリングからなるシール部材30が設けられ、径内部分Y1aと径外部分Y1bとの間からのエア漏れが防止されている。<第2の縦通路及び第2の横通路の構成>図2に示されるように、第1の管P1における小径部24の外周面には、第2の縦通路T2を形成するための通路形成溝38が形成されている。この通路形成溝38は、第2のエア供給通路R2と、第2の軸方向位置Bとの間にわたる軸方向の長さを有し、且つ第1の管P1の小径部24の全周に形成されている。そして、第1の管P1の小径部24と第2の管P2とを重合させることによって、通路形成溝38と第2の管P2の内周面とに囲まれた第2の縦通路T2が形成される。したがって、第2の縦通路T2は、測定子17の軸心Oを中心とし、第1の管P1と第2の管P2との間に形成された円筒形状の通路図7参照とされている。第2の縦通路T2の基端側左端側は、第2の管P2に形成された連絡通路39を介して第2のエア供給通路R2に連通されている。測定子17における第2の軸方向位置Bには、径方向に延びるとともに第2の縦通路T2に連通された第2の横通路Y2が形成されている。図4及び図7に示されるように、第2の横通路Y2は、測定子17の軸心Oを通る直径線L1,L2に沿って形成されている。本実施の形態では、互いに直交する2本の直径線L1,L2に沿って第2の縦通路T2から径方向外方に延びる4本の第2の横通路Y2が形成されている。また、第2の縦通路T2は測定子17の軸心Oを中心として形成されているので、この第2の縦通路T2から径方向外方に延びる4本の第2の横通路Y2は、互いに同一の長さに形成されている。各第2の横通路Y2は、第2の管P2に形成された径内部分Y2aと、第3の管P3に形成された径外部分Y2bとからなり、第2の管P2と第3の管P3とに跨って形成されている。第2の横通路Y2における径内部分Y2aは、径外部分Y2bよりもやや大径に形成されている。また、第2の管P2の外周面全周には、径内部分Y2aよりも軸方向に幅広の円周溝42が形成されている。この円周溝42によって、第2の横通路Y2における径内部分Y2aと径外部分Y2bとが相互に連通されている。また、円周溝42によって、径内部分Y2aと径外部分Y2bとが若干軸方向又は周方向に位置ずれしていたとしても、両部分Y2a,Y2bを相互に連通させることができる。第2の横通路Y2は、第3の管P3の外周面において開口し、この開口がノズル口19とされている。本実施の形態では、互いに直交する2本の直径線L1,L2上に4本の第2の横通路Y2が形成されているので、第2の軸方向位置Bにおいて、第3の外周面には合計4個のノズル口19が90°間隔で形成されている。そして、図2に示されるように、第2の継手J2から第2のエア供給通路R2及び連絡通路39を経て第2の縦通路T2に供給されたエアは、4本の第2の横通路Y2を通って4個のノズル口19から吐出され、被測定孔Whの内周面に吹き付けられる。<第3の縦通路及び第3の横通路の構成>図2に示されるように、第2の管P2の外周面には、第3の縦通路T3を形成するための通路形成溝44が形成されている。この通路形成溝44は、第3のエア供給通路R3と、第3の軸方向位置Cとの間にわたる軸方向の長さを有し、且つ第2の管P2の全周に形成されている。そして、第2の管P2と第3の管P3とを重合させることによって、通路形成溝44と第3の管P3の内周面及び取付孔29の内周面とに囲まれた第3の縦通路T3が形成される。したがって、第3の縦通路T3は、測定子17の軸心Oを中心として第2の管P2と第3の管P3との間に形成された円筒形状の通路図8参照とされている。また、第3の縦通路T3の基端側左端側は、第3のエア供給通路R3に連通されている。測定子17における第3の軸方向位置Cには、径方向に延びるとともに第3の縦通路T3に連通された第3の横通路Y3が形成されている。図5及び図8に示されるように、第3の横通路Y3は、測定子17の軸心Oを通る直径線L1,L2に沿って形成されている。本実施の形態では、互いに直交する2本の直径線L1,L2に沿って第3の縦通路T3から径方向外方に延びる4本の第3の横通路Y3が形成されている。また、第3の縦通路T3は測定子17の軸心Oを中心として形成されているので、この第3の縦通路T3から径方向外方に延びる4本の第3の横通路Y3は、互いに同一の長さに形成される。第3の横通路Y3は、第3の管P3に対して形成され、この第3の管P3の外周面において開口し、この開口がノズル口19とされている。本実施の形態では、互いに直交する2本の直径線L1,L2上に4本の第3の横通路Y3が形成されているので、第3の軸方向位置Cにおいて、第3の外周面には合計4個のノズル口19が90°間隔で形成されている。そして、図2に示されるように、第3の継手J3から第3のエア供給通路R3を経て第3の縦通路T3に供給されたエアは、第3の横通路Y3を通ってノズル口19から吐出され、被測定孔Whの内周面に吹き付けられる。以上の構成を有するエアマイクロメータ10は、測定子17が第1~第3の管P1~P3を同心状にかつ径方向に重合させることによって構成され、第1の管P1の中心と、第1~第3の管P1~P3の各間とに複数の縦通路T1~T3が形成されている。そのため、複数の縦通路T1~T3は、いずれも測定子17の軸心Oを中心として形成され、各縦通路T1~T3から測定子17の外周面までの距離を周方向のどの位置においても一定とすることができる。したがって、各軸方向位置A~Cにおいて、各縦通路T1~T3から径方向外方へ延びる複数の横通路Y1~Y3を互いに同じ長さに形成することができ、各縦通路T1~T3から複数の横通路Y1~Y3を経て被測定孔Whに吹き付けられるエアの圧力等にばらつきが生じるのを防止し、精度の高い測定を実現することが可能となる。また、従来技術のように、1つの棒状の部材からなる測定子17に対して複数の縦通路を並べて形成する場合、非常に複雑な孔加工が必要となるが、本実施の形態の測定子17のように複数の管P1~P3を径方向に重合させることによって、各管P1~P3の隙間溝を利用して縦通路を形成することができる。そのため、測定子17に対して複数の縦通路を容易に形成することができる。また、第2の縦通路T2を形成する通路形成溝38は、互いに重合する第1の管P1と第2の管P2のうち、径方向内側に位置する第1の管P1の外周面に形成されている。これとは逆に、径方向外側に位置する第2の管P2の内周面に対して通路形成溝38を形成することも可能ではあるが、この場合、管P2の内周面に対する加工となるので作業が困難となる。したがって、径方向内側の第1の管P1の外周面に通路形成溝38を形成することによって第2の縦通路T2を容易に形成することができる。同様に、第3の縦通路T3を構成する通路形成溝44は、互いに重合する第2の管P2と第3の管P3のうち、径方向内側に位置する第2の管P2の外周面に形成されているので、当該通路形成溝44の加工が容易となり、第3の縦通路T3を容易に形成することができる。また、第2及び第3の縦通路T1~T3は、測定子17の軸心Oを中心として全周に形成されているので、周方向のどの位置からでも径方向外方に延びる横通路Y2,Y3を形成することができる。よって、横通路Y2,Y3を形成する位置の自由度が増すと共に、横通路Y2,Y3の数を増やす場合にも容易に対応することができる。また、第1の管P1と第2の管P2とは締まり嵌めによって密に嵌合されているので、両者の間にシール部材30は不要となる。したがって、部品点数を減らすことができるとともに、測定子17の構造の簡素化及び製造の容易化を図ることができる。ここで、締まり嵌めによって嵌合される第1の管P1と第2の管P2の材質について説明する。第1の管P1の材質は、焼結によって形成された単一の部材焼結体等から形成することができる。例えば、第1の管P1の材質は、一般耐摩耗用超硬合金V10,V20,V30又はセラミックスアルミナ、ジルコニアとすることができる。超硬合金の場合、その熱膨張係数は5~6×10-6/°Cであり、アルミナは8×10-6/°Cであり、ジルコニアは10.4×10-6/°Cである。これに対し、第2の管P2の材質は、例えばオーステナイト系ステンレス鋼SUS303,SUS304、合金工具鋼SKS3,SKD11、又は高速度工具鋼である。SUS303の場合、その熱膨張係数は17.2×10-6/°Cであり、SUS304は17.3×10-6/°Cであり、SKS3は14×10-6/°Cであり、SKD11は12.2×10-6/°Cである。このように、第2の管P2は、第1の管P1よりも熱膨張係数が大きい材質からなる。なお、熱膨張係数の各値は、1~100°Cの場合である。したがって、第1の管P1と第2の管P2とを締まり嵌めによって嵌合する場合、第2の管P2を加熱して膨張させることにより第2の管P2の内側に第1の管P1を取り付けることが可能となる。また、第1の管P1と第2の管P2とは分解が可能となっている。すなわち、一体化された第1の管P1と第2の管P2とを加熱することによって、第2の管P2が第1の管P1よりも大きく膨張するため、両管を容易に分解することができる。したがって、第1の管P1と第2の管P2のいずれか一方を交換することが可能となる。なお、第1の管P1と第2の管P2とは、同一の材質によって形成されていてもよい。しかし、この場合、第1の管P1と第2の管P2とを分解する際に、両者の間に熱膨張差をつけることが困難となるため、異なる熱膨張係数を有する材質で形成することが好ましい。また、第3の管P3の材質は、特に限定されず、第2の管P2と同じ材質例えば工具鋼SKS3やSKD11等のものを使用してもよい。[第2の実施の形態]図9は、本発明の第2の実施の形態に係るエアマイクロメータ10の測定ヘッド13を示す側面断面図である。本実施の形態の測定ヘッド13は、測定子17が、同心状に配置されかつ径方向に重合された2つの管第1の管P1及び第2の管P2から構成されている。また、測定子17の外周面には、軸方向の2箇所第1の軸方向位置A及び第2の軸方向位置Bにノズル口19が形成されている。さらに、測定子17は、本体部16とは別体に形成され、この本体部16に形成された取付孔29に測定子17が取り付けられている。したがって、本実施の形態においては、実質的に測定子17によって測定ヘッド13が構成され、この測定子17が、エア供給通路R1,R2を有する本体部エア供給部材16に取り付けられているものとして説明する。本体部16には、エア配管14が接続される継手J1,J2が取り付けられ、この継手J1,J2に連通するエア供給通路R1,R2が形成されている。測定子17は、第1の管P1と、この第1の管P1の外周に嵌合された第2の管P2とを有している。そして、第1の管P1の中心には第1の縦通路T1が形成され、第1の管P1と第2の管P2との間には、第2の縦通路T2が形成されている。また、第1の軸方向位置Aと第2の軸方向位置Bとには、それぞれ横通路Y1,Y2とノズル口19とが形成されている。第1の管P1と第2の管P2とはすきま嵌め又は中間嵌めによって嵌合されている。そして、両者の間の軸方向の適宜箇所にはOリングからなるシール部材46が設けられている。また、第1の管P1に形成された第1の縦通路T1の先端側と基端側とは密封栓22によって塞がれている。第1の縦通路T1の基端側は、連絡通路31を介して第1のエア供給通路R1に連通されている。図10及び図12に示されるように、第1の横通路Y1は、測定子17の軸心Oを通り、互いに直交する2本の直径線L1,L2上に形成されている。したがって、第1の縦通路T1から径方向外方へ延びる4本の第1の横通路Y1が形成され、この第1の横通路Y1が第2の管P2の外周面で開口することによって4個のノズル口19が90°間隔で形成されている。4本の第1の横通路Y1は、互いに同一の長さに形成されている。また、第1の横通路Y1は、第1の管P1に形成された径内部分Y1aと、第2の管P2に形成された径外部分Y1bとからなり、第1の管P1と第2の管P2とに跨って形成されている。また、第1の管P1の外周面には、円周溝34が形成されており、この円周溝34によって、径内部分Y1aと径外部分Y1bとが相互に連通している。第2の管P2の外周面には、複数の長溝37が形成されている。図9に示されるように、第1の管P1の外周面には、第2の縦通路T2を形成するための通路形成溝38が形成されている。この通路形成溝38は、第2のエア供給通路R2と、第2の軸方向位置Bとの間にわたる軸方向長さを有し、かつ第1の管P1の外周面の全周に形成されている。そして、第1の管P1と第2の管P2とを重合させることによって、通路形成溝38と第2の管Pの内周面との間に囲まれた第2の縦通路T2が形成される。したがって、第2の縦通路T2は、測定子17の軸心Oを中心とし、第1の管P1と第2の管P2との間に形成された円筒状の通路図13参照とされている。図11及び図13に示されるように、第2の横通路Y2は、測定子17の軸心Oを通り、互いに直交する2本の直径線L1,L2上に形成されている。したがって、第2の縦通路T2から径方向外方に延びる4本の第2の横通路Y2が形成され、この第2の横通路Y2が第2の管P2の外周面で開口することによって4個のノズル口19が90°間隔で形成されている。また、第2の横通路Y2は第2の管P2のみに形成されている。また、4本の第2の横通路Y2は互いに同一の長さに形成されている。前述したように、測定子17の第2の管P2は、本体部16の取付孔29に対して締まり嵌めにより嵌合されている。すなわち、図9に示されるように、本体部16を熱膨張させるか、又は第2の管P2を熱収縮させた状態で、本体部16の取付孔29に第2の管P2を挿入し、常温に戻すことによって両者が締め代をもって嵌合される。したがって、本体部16と測定子17とは、隙間なく密着し、気密性が保たれている。そのため、本体部16の取付孔29と第2の管P2との間にはシール部材を設ける必要がなく、部品点数を減らすことができるとともに、構造の簡素化及び製造の容易化を図ることができる。また、本体部16と第2の管P2とは熱膨張係数が異なる材質により形成されていることが望まれる。第2の管P2は、例えば、上述したような一般体摩耗用超硬合金やセラミックス等から形成することができる。本体部16は、第2の管P2よりも熱膨張係数の大きな材料、例えば、上述したようなステンレス鋼や合金工具鋼、高速度工具鋼等から形成することができる。そして、本体部16と測定子17とを分解する際には、本体部16を加熱し、熱膨張させることによって測定子17を容易に取り外すことができる。したがって、測定子17が使用によって損傷した場合には、当該測定子17を容易に交換することが可能となる。第2の実施の形態におけるその他の作用効果は第1の実施の形態と略同様である。本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内において適宜変更可能である。例えば、測定子17の各軸方向位置A~Cにおける横通路の数やノズル口の数は4個に限らず、これよりも多く又は少なく形成することができる。例えば、測定孔17の軸心Oを通り、互いに等角度で交差する3本以上の直径線上に横通路を形成することができる。この場合、横通路の本数は6本以上となり、ノズル口19の数は6個以上となるため、より高精度な測定を行うことが可能となる。また、測定子17は、軸方向の3箇所第1の実施の形態又は2箇所第2の実施の形態において同時に測定を行うものに限らず、軸方向の4箇所以上において同時に測定を行うものであってもよい。この場合、測定箇所の数に応じた数の管を径方向に重合させればよい。前述の第1,第2の実施の形態においては、径方向に重合された2つの管の間に形成される縦通路が、少なくとも一方の管の周面の全周に形成された通路形成溝によって構成されていたが、この通路形成溝は、例えば、周方向に複数の細溝によって構成することも可能である。また、図2に示される測定子17において、第2の管P2は、第1の管P1と同等の長さに形成されていてもよく、測定子17の先端側においても第1の管P1及び第3の管P3と径方向に重合されていてもよい。"