"垂直方向に延びる垂直プローブと、垂直方向と交差する方向に延び直線又は曲線形状を有し一端が固定端と接続し他端は前記垂直プローブと接続する1対の水平梁とから構成されるリンク機構を含むプローブで、前記1対の相対する水平梁間距離が連続に又は不連続に変化するプローブにおいて、前記水平梁間距離が固定端近傍で最大となり、前記垂直プローブ近傍で最小となることを特徴とするプローブ。前記1対の水平梁のうち、前記垂直プローブ先端側被検査電極パッド側の水平梁の水平方向に対する初期角度プローブ動作前の角度が0度であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ。前記リンク機構の各部変位量が、以下に示すマトリクス解析法の各式に則って算出されるものであって、前記垂直プローブ先端座標変位のX方向変位量が概略0であることを特徴とする請求項2に記載のプローブ。ただし、Fx:X方向荷重、Fy:Y方向荷重、δx:X方向変位、δy:Y方向変位、E:梁のヤング率、I:梁の断面2次モーメント、A:梁の断面積、L:梁の長さである。被検査パッドと接触する垂直プローブの先端が概略平面であり、前記先端平面の水平方向被検査電極パッド面方向に対する角度が、5度乃至10度の範囲であり、かつ、被検査パッドと接触する鋭角側の曲率半径が2μm以下であることを特徴とする請求項3に記載のプローブ。前記垂直プローブ先端の水平方向変位スクラブが2μm以下であることを特徴とする請求項3に記載のプローブ。しかしながら、LCDドライバLSI等におけるようなスクラブ動作を不要とするLSIに対しては、従来のようなスクラブ設計されたプローブを使用することにより、スクラブ動作が発生することによりパッド素材である金が削られてしまい、定期的なクリーニングが必要となるだけでなく、導通不良等の原因となるという問題が生じる。又、従来スクラブ動作を必要とするアルミ電極パッドにおいては、従来のスクラブ設計されたプローブを使用することにより、電極パッド表面の酸化皮膜を必要以上に剥離するだけでなく電極パッド素材も破壊するため、定期的なクリーニングが必要となり、又、ワイヤボンディング不良の原因となるという問題が生じる。本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、主として垂直移動のみの動作を行う平行ばね変形構造部と、垂直プローブ延長部に、平行ばね構造部の挙動により生じた水平方向変位を補正し、水平方向変位を限りなくゼロに近づける機能を有する小変形構造を形成することにより、スクラブ機能を極力排除し、かつ、最小限の接触力で電気的導通が得られるプローブの提供を目的とする。第1の発明は、垂直方向に延びる垂直プローブと、垂直方向と交差する方向に延び直線又は曲線形状を有し一端が固定端と接続し他端は前記垂直プローブと接続する1対の水平梁とから構成されるリンク機構を含むプローブで、前記1対の相対する水平梁間距離が連続に又は不連続に変化するプローブにおいて、前記水平梁間距離が固定端近傍で最大となり、前記垂直プローブ近傍で最小となることを特徴とするプローブである。このため、第2の変形部を設けずにオーバードライブの全動作範囲において前記垂直プローブ先端の水平方向変位を生じ難くするという作用を有する。第2の発明は、前記1対の水平梁のうち、前記垂直プローブ先端側被検査電極パッド側の水平梁の水平方向に対する初期角度プローブ動作前の角度が0度であることを特徴とするプローブである。このため、第2の変形部を設けずにオーバードライブの全動作範囲において前記垂直プローブ先端の水平方向変位を生じ難くするという作用を有する。第3の発明は、前記リンク機構の各部変位量が、以下に示すマトリクス解析法の各式に則って算出されるものであって、前記垂直プローブ先端座標変位のX方向変位量が概略0であることを特徴とするプローブである。ただし、Fx:X方向荷重、Fy:Y方向荷重、δx:X方向変位、δy:Y方向変位、E:梁のヤング率、I:梁の断面2次モーメント、A:梁の断面積、L:梁の長さとする。本発明のプローブによれば、第1の変形部の先端に、第1の変形部の挙動により生じた水平方向変位又は回転移動に伴う水平方向変位を補正し、水平方向変位すなわちスクラブ量を2μm以下のレベルまで微細に制御可能な機能を有する第2の変形部である小変形構造を形成することにより、LCDドライバLSI等におけるようなスクラブ動作を不要とするLSIに対しては、従来のスクラブ動作による電極パッド素材が削られてしまうことがなく、又、従来スクラブ動作を必要とする電極パッドにおいては、適切なスクラブ量の確保により、電極パッド表面の酸化皮膜を剥離することなく突き破り電極パッドとの電気的導通を行うことができるため、定期的なクリーニングが不要となり、検査コストを低減できるという効果が生じる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。実施の形態1以下に図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の実施形態に係るプローブ構造の基本的な説明図である。図1において、11は垂直プローブ、12は固定端、13及び14は水平梁であり、垂直プローブ11、固定端12、水平梁13及び水平梁14によりリンク機構を原理とする概略平行四辺形型ばねを形成している。本構成を第1の変形部1と称する。垂直プローブ11の片端に直列に第2の変形部2が構成されている。第2の変形部2は、垂直プローブ11の下端15より垂直方向にL21の長さの垂直部21を有し、連続して固定端12方向に向かってL22の長さの水平梁部22を有し、さらに連続して垂直方向にL23の長さの垂直部23を有する。図1においてL21、L22、L23の長さは、概ねL21≒L22≒L23の関係で図示しているが、これに限定するものではない。次に図1の例におけるプローブの動作について図2を用いて説明する。図2では、図1に示す梁形状を簡略化した形状に置き換えたものである。また、図2a~dは本発明の形態であるプローブ構造を示し、図2a ́~c ́は同一の第1の変形部1において第2の変形部を設けず、第2の変形部2と同じ垂直方向長さの垂直延長部25を設けたものであり、両者の比較で説明する。後述する従来型カンチレバー構造では、オーバードライブに伴うZ方向荷重Pに対して水平梁のY軸まわりの曲げモーメントによる曲げ変形が支配的となるのに対し、平行四辺形型ばね構造では、2つの水平梁13、14のせん断変形が加わるため曲げ変形が微小であるため,Z方向の大きな変位に対しても垂直プローブ11の回転移動が極めて小さいことが知られている。したがって,多数のプローブ組立後のプローブ先端位置ばらつきを吸収するために十分な大きさのオーバードライブ量を想定したプローブの挙動としては,平行四辺形型カンチレバー構造が適している。これらの変位量は、水平梁13,14の長さL13、L14及び幅D13、D14、水平梁の水平方向に対する初期確度、水平梁間距離W等をパラメータとすることにより決定される。図2においてまず、第1の変形部1の動作を説明する。パッド6が相対的に垂直方向Z方向に移動し垂直プローブ先端部24に接触するまでは、プローブの水平梁13及び14は概略水平を維持した状態にある図2a及びa ́。次に、パッド6が垂直プローブ先端部24と接触を開始し、ある一定量だけ垂直方向に押し上げるオーバードライブが作用すると、2つの平行梁13、14がせん断変形と-θy方向の微小曲げモーメントM11の合成により概略平行に回転移動し、それに伴い垂直プローブ11が垂直方向に移動すると共に微小角度Δθ1iだけ回転移動する図2b。このとき、図2b ́において、垂直延長部25は垂直プローブと共に回転移動し、その結果先端部24はΔS1 ́iだけX方向に水平移動、すなわちスクラブ動作が行われる。さらに、平行梁13、14の弾性限界内における最大のオーバードライブ量ODmaxまで垂直プローブ先端部24が垂直方向に押し上げられたとき、垂直プローブ11はさらに垂直移動と角度Δθ1iiの回転移動を行うことになる図2c。このとき、図2c ́において、垂直延長部25は垂直プローブと共に回転移動し、その結果先端部24はΔS1 ́iiだけX方向に水平移動する。この回転移動量Δθ1は、平行ばねにおける各梁の長さL13、L14、各梁の幅D13、D14、金属箔の厚さT、梁間距離Wおよび材質に伴うばね定数kをパラメータとすることにより任意に設定することができる。さらに図2a~dにおいて第2の変形部2の動作を説明する。第2の変形部2は、垂直プローブ11の片端15を固定端とし、水平梁部22を梁とした微小カンチレバーと見做すことが出来る。図2dに示すように、第2の変形部2の片端を固定部とした場合の単独動作において、パッド6が垂直プローブ先端部24と接触を開始しオーバードライブが作用すると、梁部21、22、23がθy方向の曲げモーメントM12の作用により実線に示す如く回転移動し、その結果、垂直プローブ先端部24が水平方向に微小距離ΔS1r移動する。この水平方向距離ΔS1rは、各梁長さL21、L22、L23、梁の幅D21、D22、D23をパラメータとして決定される。一方、第1の変形部1における垂直プローブ11の回転移動に伴い、第2の変形部2が、既に回転角度Δθ1の回転移動を生じていることになる。したがって、第2の変形部2は全体の回転移動Δθ1を生じるとともに、さらに、微小カンチレバーとして垂直プローブ先端24が相対的に-X方向へ水平移動を生じることになる。ここで、実際に使用するプローブ動作範囲においては、Δθ1が微小であるため、図2dにおける水平方向移動距離ΔS1rは、図2b、cにおける第2の変形部2の回転移動時に生じる相対的水平移動距離ΔS1と概略等しいものと見做すことができる。したがって、第1の変形部1に加わる曲げモーメントM11に伴う第2の変形部2全体の回転移動を相殺する方向に、第2の変形部2の梁22、23に曲げモーメントM12を作用させ、第2の変形部2の回転移動時に生じる相対的水平移動距離ΔS1が、図2a ́~c ́にて説明した第2の変形部を設けない場合の先端部24の水平移動距離ΔS1 ́と同一になるように各パラメータを決定することにより、垂直プローブ先端部24の水平方向の移動距離を2μm以下のレベルまで微小に制御することが可能となる。実施の形態2実施形態2について図3を用いて説明する。図3において、第1の変形部1が従来型カンチレバーであり、第2の変形部2が前記カンチレバーの開放端から-Z方向に概略垂直に接続されていることを特徴とするプローブである。また、図3a~cは本発明の形態であるプローブ構造を示し、図3a ́~c ́は同一の第1の変形部において第2の変形部を設けず、第2の変形部と同じ垂直方向長さの垂直延長部25を設けたものであり、両者の比較で説明する。従来型カンチレバー構造では、オーバードライブに伴うZ方向荷重に対して水平梁のY軸まわりのモーメントによる曲げ変形が支配的となるため,Z方向の変位が増加するにつれて接触部である垂直プローブ先端の回転確度Δθ2が増加してくる.この増加は,第2の変形部2の垂直方向長さが長く,または水平梁33の長さL33が短いほど顕著であることは容易に予測される。図3においてまず、第1の変形部1の動作を説明する。パッド6が相対的に垂直方向Z方向に移動し垂直プローブ先端部24に接触するまでは、カンチレバーの水平梁33は概略水平を維持した状態にある図3a及びa ́。次に、パッド6が垂直プローブ先端部24と接触を開始し、さらにある一定量だけ垂直方向に押し上げるオーバードライブが作用すると、カンチレバーの水平梁33が-θy方向の曲げモーメントM21により回転移動し、カンチレバー開放端31が微小角度Δθ1iだけ回転移動する図3b。このとき、図3b ́において、垂直延長部25はカンチレバー開放端31と共に回転移動し、その結果先端部24はΔS2 ́iだけX方向に水平移動、すなわちスクラブ動作が行われる。さらに、水平梁33の弾性限界内における最大のオーバードライブ量ODmaxまで押し上げられたとき、さらに回転移動し、その結果カンチレバー開放端31が回転角度Δθ2iiだけ回転移動することになる図3c。このとき、図3c ́において、垂直延長部25はカンチレバー開放端31と共に回転移動し、その結果先端部24はΔS1 ́iiだけX方向に水平移動する。この回転方向移動量Δθ2は、カンチレバーにおける水平梁の長さL33、梁の幅D33、材料の厚さT、及び材質に伴うばね定数kをパラメータとすることにより任意に設定することができる。図3a~dにおいて第2の変形部2の動作を説明する。第2の変形部は、カンチレバー開放端31を固定端とし、水平梁部22を梁とした微小カンチレバーと見做すことが出来る。図3dに示すように、第2の変形部2の片端を固定部とした場合の単独動作において、パッド6が垂直プローブ先端部24と接触を開始しオーバードライブが作用すると、梁部21、22、23がθy方向の曲げモーメントM22により回転移動し、その結果、垂直プローブ先端部24が水平方向に微小距離ΔS2r移動することになる。この水平方向距離ΔS2rは、各梁長さL21、L22、L23、梁の幅D21、D22、D23をパラメータとして決定される。一方、第1の変形部1における水平梁33の回転方向移動に伴い、第2の変形部2が、既に回転角度Δθ2の回転移動を生じている。したがって、第2の変形部2は全体の回転移動Δθ2を生じるとともに、さらに、微小カンチレバーとして垂直プローブ先端24が相対的に-X方向へ水平移動を生じることになる。ここで、実際に使用するプローブ動作範囲においては、Δθ2が微小であるため、図3dにおける水平方向移動距離ΔS2dは、図3b、cにおける第2の変形部2の回転移動時に生じる相対的水平移動距離ΔS2と概略等しいものと見做すことができる。したがって、第1の変形部1に加わる曲げモーメントM21に伴う第2の変形部2全体の回転移動を相殺する方向に、第2の変形部2の梁22、23に曲げモーメントM22を作用させることにより、第2の変形部2の回転移動時に生じる相対的水平移動距離ΔS2が、図3a ́~c ́にて説明した第2の変形部を設けない場合の先端部24の水平移動距離ΔS2 ́と同一になるように各パラメータを決定することにより、垂直プローブ先端部24の水平方向の移動距離を2μm以下のレベルまで微小に制御することができる。実施の形態3実施形態3について図4を用いて説明する。図4において、41は垂直プローブ、42は固定端、43及び44は水平梁、45はプローブ先端部、6は被検査電極パッドであり、垂直プローブ41、固定端42、水平梁43及び44によりリンク機構を原理とする平行ばねを形成している。本実施例では水平梁43と水平梁44との距離Wが水平方向に沿って異なる例を示したものである。また本実施形態は、実施の形態1で前述した平行四辺形ばね構造において、水平梁43に初期角度θhを設けた実施例である。図4の例においてその動作を説明する。相対的にパッド6が垂直方向Z方向に移動し垂直プローブ先端部45に接触するまでは、プローブの水平梁43及び44は概略水平図示の実線を維持した状態にある。次に、パッド6が垂直プローブ先端部45と接触を開始し、さらにある一定量だけ垂直方向に押し上げるオーバードライブが作用すると、プローブの二つの水平梁43、44が各々回転移動し、それに伴い垂直プローブ41が移動する。このとき水平梁43及び44は平行でなく初期角度を有するため回転移動の軌跡も異なり、その結果、図示の点線に示すように垂直プローブ41は水平梁43、44が平行の場合とは異なる軌跡をたどることになる。次に、実施の形態3における動作を具体的数値で説明する。図4において、水平方向全長1.3mm、垂直プローブ41の幅0.07mm、水平梁43及び44の幅0.03mm、垂直プローブ41の水平梁間距離0.17mmとし、材質は板厚0.02mmのベリリウム銅とした。その他の寸法値は図示のとおりである。また、水平梁44の水平方向に対する角度を0°とし、水平梁43の水平方向に対する角度θhを可変とした。以上説明したようなモデルについて、プローブ先端部45に図のZ方向に接触荷重Pを負荷し、水平梁43の水平方向に対する角度θhの変化に対するプローブ先端部45のスクラブ量を有限要素法により算出した結果を図5に示す。図5に示すように、接触荷重Pの大きさに係らずθhの値が-2°近辺にていずれもスクラブ量がほぼ0となった。このことから、垂直方向に延びる垂直プローブと、垂直方向と交差する方向に延び直線又は曲線形状を有し一端が固定端と接続し他端は前記垂直プローブと接続する1対の水平梁とから構成されるリンク機構を含むプローブで、前記1対の相対する水平梁間距離が連続に又は不連続に変化するプローブにおいて、前記水平梁間距離が固定端近傍で最大となり、前記垂直プローブ近傍で最小とすることができることが明らかとなる。また、上記1対の水平梁のうち、前記垂直プローブ先端側被検査電極パッド側の水平梁の水平方向に対する初期角度プローブ動作前の角度が0度とすることができることも明らかになる。また、前記リンク機構の各部変位量が、以下に示すマトリクス解析法の各式に則って算出されるものであって、前記垂直プローブ先端座標変位のX方向変位量が概略0にすることも可能であることも明らかとなる。ただし、Fx:X方向荷重、Fy:Y方向荷重、δx:X方向変位、δy:Y方向変位、E:梁のヤング率、I:梁の断面2次モーメント、A:梁の断面積、L:梁の長さである。実施の形態4実施形態4について図6を用いて説明する。図6において、51は垂直プローブ先端部、52は垂直プローブ先端面、53は垂直プローブ片端である。垂直プローブ先端面52は概略平面を成しており、電極パッド6の接触面61とθpの角度をもって電極パッドと接触する例を示している。一方、電極パッド6と接触を開始する垂直プローブ先端面の片端53は曲率半径Rpを有している。プローブカードの検査において、電極パッドとの接触回数は約10万回にも及ぶため、プローブ先端部の磨耗、変形が懸念される。実施の形態1乃至実施の形態3にて述べたように、本発明のプローブ構造によればスクラブ動作を限りなく排除することが可能である。したがって、垂直プローブ先端51と電極パッド6との接触部は常に同一箇所となる。そのため、垂直プローブ先端面52が電極パッドの接触面61と常にθpの角度を保持し、かつ、電極パッド6と接触を開始する垂直プローブ先端面の片端53の曲率半径Rpを極力小さくすることにより、プローブ接触部53が磨耗しても常に微小範囲で電極パッドと接触することが可能となる。具体的な数値としては実験により、θp=8°近辺、曲率半径Rp=2μm以下であることが望ましい。実施の形態5実施形態5について図7を用いて説明する。図7において、53は垂直プローブ先端部、62は電極パッド6の表面に生じた酸化皮膜、63は電極パッド素材例えばアルミである。実施形態1乃至4にて説明した方法により、スクラブ動作を限りなく排除し、プローブ先端部の微小部分のみを電極パッドとの接触部とすることが可能であることを説明した。図7において、一般的に電極パッドの酸化皮膜酸化アルミ等62は、おおよそ20nm前後の薄膜で形成されている。この酸化皮膜62を垂直プローブ先端部53が突き破り、垂直プローブ先端部53と電極パッド素材63が接触することで電気的導通を得ることができる。このとき、大きなスクラブが作用したり、必要以上に大きい荷重Pが作用したりした場合、酸化皮膜62が剥離しプローブ先端に付着するため、常にプローブ先端部のクリーニングが必要となる。そのため、荷重Pは必要最小限の値でなければならない。このときの動作について図7を用いて説明する。図7aは相対的にパッド6が垂直方向Z方向に移動し垂直プローブ先端部53に接触するまでの状態を示す。次に、パッド6が垂直プローブ先端部53と接触を開始し、オーバードライブが作用し、最適な最大荷重Pmaxが負荷されたとき、図7bに示すように、パッド表面の酸化皮膜62が破壊され、垂直プローブ先端部53とパッド素材63が接触し、電気的導通が得られる。検査が終了し、荷重Pが解除され垂直プローブ先端部53がパッド6から離れたとき、最適な最大荷重であれば、図7cに示すように、破壊された酸化皮膜64が垂直プローブ先端部53に付着することなく検査を終了することができる。この荷重Pの最適値は実験により20mN以下、とりわけ10mN乃至20mNであることが望ましい。"