"処理液を貯留する液溜手段と、該液貯留手段に貯留された処理液と燃焼装置から排出された排ガスとを気液接触させ、前記排ガス中に含有するダストを前記処理液中に吸収して捕捉させる気液接触手段と、前記気液接触手段の下流側に配置され、前記ダストを捕捉した処理液を含む処理後の排ガスから液体を分離する気液分離手段とを有する湿式排ガス浄化装置であって、前記気液分離手段を加熱する加熱手段を有することを特徴とする湿式排ガス浄化装置。前記気液分離手段に洗浄液を噴射し、該気液分離手段に付着した前記ダストを除去する洗浄手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の湿式排ガス浄化装置。前記加熱手段は、前記気液分離手段における予め設定された少なくとも2つの領域を個別に加熱するべく配置されており、前記洗浄手段は、前記加熱手段により加熱されている前記気液分離手段における加熱領域に洗浄水を噴射することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の湿式排ガス浄化装置。前記加熱手段は、電気抵抗加熱式ヒータ又は燃料と燃焼用空気を燃焼させるバーナであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の湿式排ガス浄化装置。前記燃焼装置は、ディーゼル機関であり、前記排ガスは、前記ディーゼル機関から排出される排ガスであって該排ガスに含まれるダストはパティキュレートマターであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の湿式排ガス浄化装置。特許文献1に記載されている排ガス浄化装置は、ディーゼル機関から排出される排ガス中のPMのような数μm以下の粒径の微細なダストの捕集効率が低く、また、ダストの量が多い場合にはフィルタが目詰まりを起こしやすいという問題がある。特許文献2に記載されている湿式排ガス浄化装置は、厨房空間から排出された被処理ガス中のオイルミストを除去するデミスタとフィルタを有し、デミスタとフィルタに付着した付着物を、加熱手段により加熱された洗浄液で洗浄する。また、特許文献3に記載されている湿式排ガス浄化装置は、水ポンプから供給される洗浄水でスクラバーに付着したダストを洗浄する。デミスタの洗浄水は、装置内の溜水を用いるので他の系統から洗浄水を供給する必要がない。従来の湿式排ガス浄化装置において、被処理ガスとしてディーゼル排ガスを処理する場合、以下のような問題が起こり得る。気体と霧状の液体との混合雰囲気がデミスタを通過する際、液滴は分離できる。しかし、液滴の中にはPMが捕捉されているため、液滴と一緒に滴下しないPMがデミスタに一部残留する。また、ディーゼル排ガスに含まれるPMは数μm以下の非常に小さな粒径であることから、装置内で処理水を噴霧してもPMがガス流に乗って処理水の噴霧液滴を容易に迂回するため、液滴と慣性衝突して捕捉されないPMがデミスタに付着してしまう。PMがデミスタに付着すると、時間経過とともにデミスタの空隙部が徐々に狭まり、デミスタを通過する排ガスの速度が低下する。この速度低下によりPMが更に堆積する悪循環が生じ、デミスタのガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失が高くなり、吸引ブロワの動力が増大する。さらに、デミスタ内でのPMの堆積が増加すると目詰まりが発生し、吸引ブロワの吸引能力をオーバーして排ガス吸引不足に陥ってしまう。このデミスタの目詰まりの問題は、捕集効率の高いデミスタ空隙率の低いデミスタであるほど早期に発生する。このため、従来の湿式排ガス浄化装置は、スプレーノズルによりデミスタの上下方向から洗浄水を噴霧し、デミスタ内に堆積しているPMを洗浄除去していた。しかし、デミスタの空隙部を塞ぐPMの堆積物には燃料や潤滑油の未燃焼分が含まれていることから、その堆積物は非常に高粘度であり、洗浄水に対して濡れ性が低い。しかし、単に洗浄水を噴霧するだけの従来の洗浄方法では、デミスタ内に堆積しているPMを完全に洗浄除去することデミスタを使用前の状態に洗浄除去することは困難であることに加えて、洗浄に時間を要し、多量の洗浄水を消費してしまう。このように、従来の湿式排ガス浄化装置では、デミスタに堆積したPMを完全に洗浄除去することが困難であるため、捕集効率の高いデミスタ空隙率の低いデミスタを用いることができず、排ガスの浄化効率の高い湿式排ガス浄化装置を提供できないという問題があった。一方、湿式排ガス浄化装置の操業中通ガス中にデミスタを洗浄する場合、デミスタの全域に洗浄水を噴霧すると洗浄水の水膜がデミスタの空隙部を塞いでしまい、洗浄中にデミスタのガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失が高くなる。このため、従来は洗浄範囲を部分的に切り替えて洗浄水を噴霧していた。しかし、このような方法でも、洗浄水量が多過ぎたり洗浄時間が長過ぎたりすると、結果的に洗浄水の水膜がデミスタの空隙部を塞ぐ領域が大きくなり、洗浄中にデミスタのガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失が高くなるという問題は依然として解消できなかった。したがって、本発明は、このような問題点を解決することを課題としてなされたものであり、その目的とするところは、デミスタに堆積したPMを容易に除去できるとともに、捕集効率の高い空隙率のデミスタを用いることが可能で、排ガスの浄化効率の高い湿式排ガス浄化装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、湿式排ガス浄化装置の操業中にデミスタを洗浄する場合であっても、デミスタのガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差が高くなる問題を回避できる湿式排ガス浄化装置を提供することである。本発明の湿式排ガス浄化装置は、処理液を貯留する液溜手段と、該液貯留手段に貯留された処理液と燃焼装置から排出された排ガスとを気液接触させ、排ガス中に含有するダストを処理液中に吸収して捕捉させる気液接触手段と、気液接触手段の下流側に配置され、ダストを捕捉した処理液を含む処理後の排ガスから液体を分離する気液分離手段とを有する湿式排ガス浄化装置である。この湿式排ガス浄化装置は、気液分離手段を加熱する加熱手段を有している。本発明によれば、デミスタに堆積したPMを容易に洗浄除去できる。このため、捕集効率の高い空隙率のデミスタを用いることが可能となり、排ガスの浄化効率の高い湿式排ガス浄化装置を提供できるという効果を奏する。また、湿式排ガス浄化装置の操業中にデミスタを洗浄する場合であっても、デミスタのガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差が高くなる問題を回避できる湿式排ガス浄化装置を提供できる。以下、本発明の実施の形態に係る湿式排ガス浄化装置以下、スクラバーと称する。について、添付図面に従って説明する。以下の実施の形態では、主として船舶用、陸上走行用、陸上定置用のディーゼル機関の燃焼装置から排出される排ガス中のダストを除去するのに好適なスクラバーを説明するが、本発明は例えば、工業用のボイラやガス化炉等の燃焼装置から排出される排ガス中のダストを除去するスクラバーにも同様に採用できる。以下の説明では、方向や位置を表す用語例えば、上部、下部等を便宜上用いるが、これらは、発明の理解を容易にするためであり、それらの用語によって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されるべきではない。なお、以下の実施の形態での気液分離における液体とは、最終的には液体の状態となって流体中から除去されるという程度の意味であり、除去前の流体中に含まれる状態において液体の状態であることを必ずしも必要としない。気液分離における液体は、空中に浮遊する粒子ではあるものの、単独の気体分子の状態ではない全てのものを含む。また、気液分離を行うものとしてデミスタの用語を使用するが、本発明のデミスタの概念は、ミストセパレータとして呼ばれるものも含む。図1に示すように、符号1はディーゼルエンジンを示し、本実施の形態においては、舶用の2サイクルディーゼルエンジンを示す。ディーゼルエンジン1は、シリンダヘッドや側壁部分等に図示しない水冷ジャケットを有し、冷却水が水冷ジャケット内を流れることにより当該部分が所定温度に冷却される。ディーゼルエンジン1の排気管10には、第1の管路100が接続されており、吸気管11には第2の管路110が接続されている。図示するように、ディーゼルエンジン1には過給機2が備えられている。過給機2は、タービンロータ20と圧縮機インペラ21とが軸体22により連結されて構成されている。タービンロータ20は第1の管路100排気側に接続され、圧縮機インペラ21が第2の管路110吸気側に接続されている。これにより、ディーゼルエンジン1の排ガスをタービンロータ20に供給することで該排ガスの熱エネルギが回転エネルギに変換され、該タービンロータ20に連結されている圧縮機インペラ21が回転して空気酸素を含む流体を大気より吸引する。過給機2の圧縮機インペラ21で圧縮された空気はエアクーラ3により冷却された後、ディーゼルエンジン1の燃焼室へ供給される。この過給機2の作用によりディーゼルエンジン1の燃焼室への充填率が高まり、該ディーゼルエンジン1の出力が増大する。ディーゼルエンジン1からNOxの発生量を抑制する手段として、燃焼排ガスの一部を吸気側へ導入する排気再循環EGRが用いられる。図示するように、EGRを適用したディーゼルエンジン1は第1の管路100と第2の管路110とをバイパスするように接続された第3の管路120を有する。第3の管路120には、ガス流上流側から順にディーゼルエンジン1の排ガス中に含まれるPMを処理水と接触させて捕捉するスクラバー4と、スクラバー4で浄化された処理ガスを吸引する吸引ブロワ7と、該処理ガスを冷却するガスクーラ8が接続されており、ディーゼルエンジン1の排ガスの一部例えば、全排ガス量の3割に相当する排ガス量を第2の管路110に還流させて該ディーゼルエンジン1に再循環するようにしてある。なお、スクラバー4では排ガスと処理水を接触させてSOx硫黄酸化物を捕捉することができる。次に、本実施の形態のスクラバー4について、図2及び図3を参照して説明する。スクラバー4は、縦型の筒状に形成され、下部ケーシング4aと、下部ケーシング4aの上部に設けられた上部ケーシング4bとを有する。下部ケーシング4aの底部には、処理水処理液40を貯留する液貯留部41が形成されている。液貯留部41には、処理水40を所定温度に加温するヒータ42が設置されているとともに、下部ケーシング4aの外側をグラスウール等の断熱材で外装し、処理水40が例えば、60°Cに保持されるようにしてある。液貯留部41の上方位置であって下部ケーシング4aの側壁には、ディーゼルエンジン1の排ガス以下、被処理ガスと称する。をスクラバー4内に導入する被処理ガス導入管43が接続されている。液貯留部41の上方位置には、スクラバー4内に導入された被処理ガスに対し下向きに霧状の処理水処理液40を噴霧する気液接触手段としてのスプレーノズル44が配置されている。スプレーノズル44には液貯留部41内の処理水40を移送するための循環ポンプ45を有する循環配管451が接続されている。これにより、スプレーノズル44から噴霧された処理水40を液貯留部41内に回収して循環させるようにしてある。図示のとおり、スプレーノズル44に移送される処理水40はフィルタ452により不純物が除去される。なお、スプレーノズル44から噴霧される処理水40の流量は、バルブ453の開度を調節することにより適宜に変更できる。本実施の形態では、スプレーノズル44から噴霧される霧状の処理水40を被処理ガスに接触させているが、これに代えて液貯留部41内の処理水40をバブリングさせて気体と霧状の液体との混合雰囲気を作り、これを被処理ガスに接触させてもよい。上部ケーシング4bの上部には、スクラバー4により浄化された処理ガスを排出する処理ガス排出管46が接続されている。上部ケーシング4b内には、気液分離手段としてのデミスタがガス流路47に沿って2つ配置されている。各デミスタはガス流上流からガス流下流に向かってデミスタ50、デミスタ51とされている。ガス流上流側のデミスタ50と、ガス流下流側のデミスタ51は、それぞれ所定距離をもって配置されている。なお、デミスタの個数は、スクラバー4における被処理ガスの処理量や被処理ガスの性状等に応じて適宜に変更できる。デミスタ50,51は、柔軟な金属素線を互いに絡め合わせて波形に形成し、その波形が互い違いになるように円板状の部材を重ね合わせた構造物である。デミスタ50,51は、下部ケーシング4a内から送り込まれてきた気体と霧状の液体との混合雰囲気をデミスタ50,51に通過させることにより液滴を分離する機能を有する。ここで、デミスタ50における空隙率と、デミスタ51における空隙率は、略同一でも構わないが、ガス流上流側のデミスタ50が目詰まりしやすい場合もあることから、ガス流上流側のデミスタ50の空隙率を、ガス流下流側のデミスタ51の空隙率よりも高く設定することが好ましい。なお、デミスタ5051における空隙率とは、例えば、金属素線で構成される格子の目の粗さであり、目が粗いほど空隙率が高いことを意味する。図2に示すように、本実施の形態のデミスタ50,51には、加熱手段であるヒータが組み込まれている。デミスタ50,51を加熱するためのヒータは、例えばシーズヒータ等の電気抵抗加熱式ヒータである。ヒータは、デミスタ50,51の中央領域を加熱する内側ヒータ52と、デミスタ50,51の外周領域を加熱する外側ヒータ53とに区画されている。内側ヒータ52と外側ヒータ53はそれぞれ、電源回路図示せずと電気的に接続され、熱電対501,511から出力される温度信号に基づき、各ヒータ52,53の出力が制御手段図示せずにより個別に制御される。制御手段には、デミスタ5051内に堆積している油分を含んだPMが低粘度となる第1の設定温度と、該油分を含んだPMが自己着火する第2の設定温度が設定されている。本実施の形態では、第1の設定温度は例えば、60°Cであり、第2の設定温度は600°C以上である。第1の設定温度と第2の設定温度は切り替え可能に構成されている。デミスタ5051に組み込まれる内側ヒータ52と外側ヒータ53は、例えば図3aに示すように、デミスタ5051を構成する円板状の部材500510間に、ヒータ素線525を挟み込んでデミスタ5051内に組み込んでもよい。また、例えば図3bに示すように、デミスタ5051を構成する円板状の部材500510内に、ヒータ素線525を編みこむようにしてデミスタ内に組み込むことも可能である。本実施の形態では、デミスタ5051に組み込まれるヒータはデミスタ5051の中央領域を加熱する内側ヒータ52と、デミスタ5051の外周領域を加熱する外側ヒータ53とに区画した例を説明したが、これは単なる一例であってこれに限定するものではない。例えば、加熱する区画を更に細分化してもよいし、1つのヒータでデミスタ5051の全部を加熱することも可能である。なお、本実施の形態では、デミスタ5051を加熱するための加熱手段として、デミスタ5051内に組み込まれる電気抵抗加熱式ヒータを例示したが、これは単なる一例であってこれに限定するものではない。電気抵抗加熱式ヒータに代えて、ガスバーナ又はオイルバーナでデミスタ5051を加熱してもよい。その具体例を図4に示す。図示するように、デミスタ5051が取り付けられている上部ケーシング4bの側壁に、バーナ取り付けフランジ400を介してバーナガス燃焼式又はオイル燃焼式526を設置し、デミスタ5051の側方から該デミスタ5051全体を加熱してもよい。この場合、バーナ526の燃焼容量を制御できる燃焼制御装置図示せずを組み込むことが好ましい。このように加熱手段を構成することにより、第1の設定温度を選択した場合にはデミスタ5051内に堆積している油分を含んだPMを低粘度にすることができ、第2の設定温度を選択した場合には該油分を含んだPMを燃焼バーンアウトできる。図2戻り、上部ケーシング4bの側壁には、各デミスタ50、51の内部に目詰まりが発生しているか否かを確認するため圧力計540,541が接続されている。圧力計540,541は各デミスタ50、51のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失を測定するようにしてある。デミスタ50,51に対しては、該デミスタ50,51を洗浄するための洗浄スプレーノズル洗浄手段が設けられている。具体的に、ガス流上流近傍からデミスタ50の中央領域に向けて上向きに洗浄水洗浄液を噴霧する2つの洗浄スプレーノズル55aaと、デミスタ50の外周領域に向けて上向きの洗浄水を噴霧する2つの洗浄スプレーノズル55abが配置されている。また、デミスタ50のガス流下流近傍には、該デミスタ50の中央領域に向けて下向きに洗浄水を噴霧する2つの洗浄スプレーノズル55baと、デミスタ50の外周領域に向けて下向きの洗浄水を噴霧する2つのスプレーノズル55bbが配置されている。さらに、デミスタ51のガス流下流近傍には、該デミスタ51の中央領域に向けて下向きの洗浄水を噴霧する2つの洗浄スプレーノズル55caと、デミスタ51の外周領域に向けて下向きの洗浄水を噴霧する2つのスプレーノズル55cbが配置されている。洗浄スプレーノズル55aa,55abのそれぞれを接続する分岐配管L1には、バルブV1,V2が設けられており、これらのバルブV1,V2の開閉をそれぞれ独立して制御することによりスプレーノズル55aa,55abの両方を同時に使用したり、いずれか一方を選択して使用したりできる。洗浄スプレーノズル55ba,55bbのそれぞれを接続する分岐配管L1にもバルブV3,V4が設けられ、同様にスプレーノズル55ba,55bbの両方を同時に使用したり、いずれか一方を選択して使用したりできる。同様に、洗浄スプレーノズル55ca,55cbのそれぞれを接続する分岐配管L1にもバルブV5,V6が設けられており、スプレーノズル55ca,55cbの両方を同時に使用したり、いずれか一方を選択して使用したりできるようにしてある。各分岐配管L1は、バルブV7,V8を有する分岐配管L2、温水供給配管56を介して洗浄液加熱手段である給湯器60に接続されている。給湯器60は洗浄水が例えば、60°Cの温水になるように設定してある。これにより、洗浄スプレーノズル55aa,55ab、55ba,55bb及び55ca,55cbから加温された洗浄水が噴霧される。なお、本実施の形態では、各ヒータ52,53の加熱により、デミスタ5051内に堆積している油分を含んだPMを第1の設定温度又は第2の設定温度で加熱した際、液体状に軟化して滴下し始めているPMを洗い流すこと、又は該PMを燃焼除去した後の残留物を完全に除去することを目的として、加温された洗浄水を用いているが、これに限定するものではない。上記残留物の除去には常温の洗浄水でも十分に目的を達成できる。なお、スプレーノズルの設置個数は、スクラバー4における被処理ガスの処理量、スクラバー4及びデミスタ50,51のサイズや、所望する洗浄範囲等に応じて適宜に変更できる。本実施の形態では、給湯器60で加温された洗浄水を作り、それを洗浄スプレーノズル55aa,55ab、55ba,55bb及び55ca,55cbに供給する例を説明しているがこれに限定するものではなく、他の熱媒体と熱交換することにより加温された洗浄水を得てもよい。具体的には、図2に示すように例えば、ディーゼルエンジン1の排ガス顕熱を回収するための熱交換器65を別途設け、洗浄水供給源70から供給される常温の洗浄水を熱交換器65に供給することで約60°Cに加温された洗浄水を作り、これを洗浄スプレーノズル55aa,55ab、55ba,55bb及び55ca,55cbに供給してもよい。この場合、熱交換器65はディーゼルエンジン1の排ガス顕熱を回収するものに代えて、ディーゼルエンジン1の冷却水約80~90°Cの顕熱を回収するものであってもよい。また、図示するように、バルブ671を有する配管67を循環配管451から分岐させて該配管67を温水供給配管56に接続し、液貯留部41に貯留されている約60°Cの処理水40を洗浄スプレーノズル55aa,55ab、55ba,55bb及び55ca,55cbに供給してもよい。次に、上述のように構成されたスクラバー4の作動について、図1及び図2を参照して説明する。図1に示すように、先ず、ディーゼルエンジン1を起動すると、該ディーゼルエンジン1から排出される排ガスは排気管10にて静圧され、第1の管路100を経て過給機2に導かれる。過給機2では、排ガスの持つ熱エネルギが回転エネルギに変換され、タービンロータ20に連結されている圧縮機インペラ21が回転して空気酸素を含む流体を大気より吸引する。過給機2の圧縮機インペラ21で圧縮された空気はエアクーラ3により冷却された後、ディーゼルエンジン1の燃焼室へ供給される。一方、過給機2より排出された排ガスは、図示しない排気消音器を介して大気放散される。一方、ディーゼルエンジン1の排ガスの一部例えば、全排ガス量の3割に相当する排ガス量は、被処理ガスとして第3の管路120を介してスクラバー4に導入される。スクラバー4では、被処理ガスに処理水を接触させることにより、被処理ガス中に含まれるPMが捕捉される。このスクラバー4での被処理ガスの処理については図2を用いて後述する。そして、スクラバー4で浄化された処理ガスは吸引ブロワ7により排出されるとともに、ガスクーラ8で所定温度に冷却され、第2の管路110を介してディーゼルエンジン1に再循環される。図2に示すように、スクラバー4内に導入された被処理ガスは、スプレーノズル44から噴霧された霧状の処理水40約60°Cと向流接触する。これにより、被処理ガス中に含まれるPMが処理水40中に吸収されて捕捉される。その後、気体と霧状の液体処理水40との混合雰囲気は、ガス流路47に沿って上部ケーシング4b内の気液分離手段としてのデミスタ50,51に送り込まれる。下部ケーシング4a内から送り込まれてきた気体と霧状の液体との混合雰囲気がデミスタ50,51を通過することにより液滴が分離され、該液滴が下部ケーシング4a内の液貯留部41に回収される。一方、デミスタ50,51を通過することにより浄化された処理ガスは、吸引ブロワ図示せずにより排出される。[背景技術]の説明で述べたように、気体と霧状の液体との混合雰囲気がデミスタ50,51を通過する際、該デミスタ50,51で液滴は分離される。しかし、液滴の中にはPMが捕捉されているため、液滴と一緒に滴下しないPMがデミスタ50,51に一部残留する。また、ディーゼル排ガスに含まれるPMは数μm以下の非常に小さな粒径であることから、装置内で処理水を噴霧してもPMがガス流に乗って処理水の噴霧液滴を容易に迂回するため、液滴と慣性衝突して捕捉されないPMがデミスタに付着してしまう。PMがデミスタ50,51に付着すると、時間経過とともにデミスタ50,51の空隙部が徐々に狭まり、デミスタ50,51を通過する排ガスの速度が低下する。この速度低下によりPMが更に堆積する悪循環が生じ、デミスタ50,51のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失が高くなるとともに、吸引ブロワ図示せずの動力が増大してスクラバー4の排ガス浄化効率が低下することになる。デミスタ50,51の目詰まりによるスクラバー4の操業停止を回避するため、スクラバー4の操業中は各デミスタ50、51のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失を測定する圧力計540,541の指示値を常時又は一定時間毎に監視することが好ましい。操業中にその指示値が所定値以上を示した場合、該当するデミスタ5051に目詰まりが発生している蓋然性が高い。本動作説明では、デミスタ50に目詰まりが発生したと仮定して説明する。この場合、先ず、給湯器60を起動する。次に、デミスタ50の中央領域を加熱する内側ヒータ52を通電させる。内側ヒータ52の加熱温度を第1の設定温度に選択した場合、デミスタ50の中央領域内に堆積している油分を含んだPMは内側ヒータ52の温度上昇に伴って低粘度の液体状になり滴下し始める。一方、内側ヒータ52の加熱温度を第2の設定温度に選択した場合、該油分を含んだPMは燃焼バーンアウトし、デミスタ50の中央領域には燃焼後の残留物が付着した状態となる。その後、分岐配管L2のバルブV7を開にし、洗浄スプレーノズル55aa、55baと連通している分岐配管L1のバルブV2,V3を開く。そうすると、デミスタ50のガス流上流側とガス流下流側から該デミスタ50の中央領域に対し約60°Cに加温された洗浄水が噴霧される。内側ヒータ52を第1の設定温度に選択した場合、油分を含んだPMは低粘度の液体状になり滴下し始めているため、洗浄水により容易に洗い流される。内側ヒータ52を第2の設定温度に選択した場合、該油分を含んだPMは燃焼バーンアウトするため、デミスタ50の中央領域内に付着していた燃焼後の残留物は短時間でしかも、極少量の洗浄水で簡単に洗い流される。このように、デミスタ50の中央領域を第1の設定温度と第2の設定温度のいずれかで加熱した場合であっても、極少量の洗浄水で上記堆積物を除去できるので、洗浄水の水膜がデミスタの空隙部を塞ぐという現象を抑制でき、その結果、デミスタ50のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失の上昇を抑えることができる。デミスタ50の中央領域内に堆積していた油分を含むPMが完全に除去されると、内側ヒータ52への通電を停止し、分岐配管L2のバルブV7と分岐配管L1のバルブV2,V3を閉にして洗浄スプレーノズル55aa、55baへの洗浄水の供給を停止させる。次に、デミスタ50の外周領域を加熱する外側ヒータ53を通電させる。外側ヒータ53の加熱温度を第1の設定温度に選択した場合、デミスタ50の外側領域内に堆積している油分を含んだPMは外側ヒータ53の温度上昇に伴って低粘度の液体状になり滴下し始める。一方、外側ヒータ53の加熱温度を第2の設定温度に選択した場合、該油分を含んだPMは燃焼バーンアウトし、デミスタ50の外周領域には燃焼後の残留物が付着した状態となる。その後、分岐配管L2のバルブV7を開にし、洗浄スプレーノズル55ab、55bbと連通している分岐配管L1のバルブV1,V4を開く。そうすると、デミスタ50のガス流上流側とガス流下流側から該デミスタ50の外周領域に対し約60°Cに加温された洗浄水が噴霧される。この場合も同様に、外側ヒータ53を第1の設定温度に選択した場合、油分を含んだPMは低粘度の液体状になり滴下し始めているため、洗浄水により容易に洗い流される。外側ヒータ53を第2の設定温度に選択した場合、該油分を含んだPMは燃焼バーンアウトするため、デミスタ50の外周領域内に付着していた燃焼後の残留物は短時間でしかも、極少量の洗浄水で簡単に洗い流される。上述と同様に、デミスタ50の外周領域を第1の設定温度と第2の設定温度のいずれかで加熱した場合であっても、極少量の洗浄水で上記堆積物を除去できるので、洗浄水の水膜がデミスタの空隙部を塞ぐという現象を抑制でき、その結果、デミスタ50のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失の上昇を抑えることができる。デミスタ50の外周領域内に堆積していた油分を含むPMが完全に洗浄除去されると、外側ヒータ53への通電を停止し、分岐配管L2のバルブV7と分岐配管L1のバルブV1,V4を閉にして洗浄スプレーノズル55ab、55bbへの洗浄水の供給を停止させる。なお、デミスタ51に堆積している油分を含んだPMを洗浄除去する場合も上述と同様の手順で実施するため、説明を省略する。なお、上述した各デミスタ50、51のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失の計測、デミスタ5051の目詰まりの判定、及び加温された洗浄水の噴霧は、作業者が実施してもよいし、例えば、スクラバー4の制御手段図示せずが圧力測定データを取り込んでデミスタ5051の目詰まりの判定を行った後、各ヒータの通電及び加温された洗浄水の噴霧制御を実行してもよい。洗浄スプレーノズル55aa,55ab、55ba,55bb及び55ca,55cbによる洗浄水の噴霧は、デミスタ5051に対して上下方向から互いに同時に噴霧してもよいし、同時でなくてもよい。また、これらの噴霧時間は互いに重ならせてもよいし、重ならせなくてもよい。さらに、デミスタ5051に対して洗浄水を連続的に噴霧してもよいし、所定時間毎に間欠噴霧することも可能である。このように、本実施の形態のスクラバー4によれば、デミスタ5051を加熱するための加熱手段により内部に堆積している油分を含んだPMを自己着火温度600°C以上まで昇温させ、PMを燃焼バーンアウトさせる。洗浄水常温又は加温の噴霧は、デミスタ5051に燃焼後の残留物が付着した状態で実行するので、除去に要する洗浄時間と洗浄水量が極僅かで済む。また、洗浄水が極少量に抑えられるので、洗浄水の水膜がデミスタ5051の空隙部を塞ぐという現象を抑制でき、その結果、デミスタ5051のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力損失の上昇を抑えることができる。除去された後のデミスタ5051は新品にほぼ近い状態で再使用できる。上述のように洗浄除去された後のデミスタ5051は新品にほぼ近い状態で再使用できるため、デミスタ5051のガス流上流側とガス流下流側の間における圧力差圧力損失の増大、圧力損失が高くなること起因する吸引ブロワ7の動力が増大、及び吸引ブロワ7の吸引能力をオーバーして排ガス吸引不足に陥るという問題を回避できる。また、本実施の形態のようにディーゼルエンジン1の排ガスの一部を該ディーゼルエンジン1に再循環させる場合であっても、排ガス再循環量が不足する事態に陥ることはない。従来、空隙率の低い捕集効率の高いデミスタは早期に目詰まりして使用することが困難であったが、本実施の形態ではデミスタ5051内に堆積している油分を含んだPMの洗浄除去を容易にできるため、空隙率の低い捕集効率の高いものを使用できる。これにより、スクラバー4の脱塵性能が向上する。スクラバー4の脱塵性能が向上するため、該スクラバー4の下流側に配置されている吸引ブロワ7、ガスクーラ8、及びこれらと接続しているディーゼルエンジン1に混入するダストを極めて少なくできる。その結果、それらの設備のメンテナンスが容易になるとともに、寿命を延ばすことができる今回、開示した実施の形態は例示であってこれに制限されるものではない。本発明は、上記で説明した範囲ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲での全ての変更を含む。"