"流体の通る流路に配置された一対の超音波センサと、前記超音波センサを駆動する送信手段と、前記超音波センサからの信号を受信する受信手段と、閾値と受信信号を比較して受信を検知する比較手段と、超音波の伝播時間を計る計時手段と、一方の超音波センサから他方の超音波センサへ送信した時の超音波の受信波と、逆方向に送信した時の超音波の受信波との波数をそれぞれ求め、それらの波数の比較で受信波の正誤を判断し、伝搬波の伝搬時間差に基づいて流速および/または流量を求める判断手段と、を備えた流体の流れ計測装置。前記判断手段は受信波のピークを検知するピークホールド回路を有し、このピークホールド回路のピーク値更新回数で波数比較を行うようにした請求項1記載の流体の流れ計測装置。前記判断手段は比較手段を有し、この比較手段は前記ピークホールド回路の出力と受信波とを比較して、波数を求めるためのパルス信号を形成する構成とした請求項2記載の流体の流れ計測装置。波数を求めるために形成されたパルス間隔の時間を計時することで、形成されたパルス信号の前記正誤を判断手段で判断するようにした請求項3記載の流体の流れ計測装置。しかしながら、2つの超音波センサを交互に送信と受信に入れ替えて、それぞれの超音波が伝播する時間を求めて、それらの逆数の差から流速を算出し、さらに流体を通る管路流路ともいうの断面積を考慮して流量を求める従来の計測装置は、受信波形が計測精度に大きな影響を与える。この点について図を用いて詳しく説明する。今、計測システムを図19に示されるような流路50に超音波センサ51,52が配置され、切り替え回路53により超音波センサ51に送信回路54、超音波センサ52に受信回路55が接続され、気体中の超音波の伝播時間T1を測定し、次に、切り替え回路53により超音波センサ52に送信回路54、超音波センサ51に受信回路55が接続され、気体中の超音波の伝播時間T2を測定し、両方の時間差から流速を求めるものとする。図20は超音波センサへの送信信号と、それの受信信号および時間を計測するためのクロック動作を示したタイミングチャートである。同図a-1、a-2,a-3は超音波センサ51が送信側、超音波センサ52が受信側の場合で、同図b-1、b-2、b-3は超音波センサ51が受信側、超音波センサ52が送信側の場合である。気体に図19に示した方向の流れがあるために、超音波の伝播時間T1はT2よりも短くなる。受信波形の検出について図18を用いて詳細に説明する。同図は受信波形を示しており、これの検出は受信波形の第2波と第3波のピーク値のおよそ中間になるように設けられた閾値があり、この閾値を超えた信号があることで、それを受信信号とみなす。閾値を超えた波形がくると受信波形と判断し、次にこの受信波形が基準値と交わるポイントP1を検出ポイントとする。送信信号から検出ポイントまでのクロックをカウントして超音波の伝播時間を計測する。実際の受信ポイントはPTであるので、PTから第3波までの時間は固定値として扱い、検出ポイントP1までの時間からこの固定値を差し引いて超音波の伝播時間を求める。超音波センサから放射される超音波は、いくらかの広がりを持っており、超音波が伝播する際に流路を構成する壁面に当たるような場合、受信波形は様々な経路で進入する超音波の合成波となるので、気体の流速により合成波の状態が変化することがある。このような波形の変化があると、設定した固定の閾値では第2波と第3波を区別できなくなり、第3波でない波で伝播時間を検出すると大きな測定誤差となるという課題がある。また、前述したように超音波センサの温度特性、あるいはノイズなどが原因で定められた第3波でない波で伝播時間を検出した場合も大きな測定誤差となるという課題がある。本発明はこのような従来の課題を解決したもので、高精度な計測を可能とした流体の流れ計測装置を提供することを目的とする。前記従来の課題を解決するために、本発明の超音波流量計は、流体の通る流路に配置された一対の超音波センサと、前記超音波センサを駆動する送信手段と、前記超音波センサからの信号を受信する受信手段と、閾値と受信信号を比較して受信を検知する比較手段と、超音波の伝播時間を計る計時手段と、一方の超音波センサから他方の超音波センサへ送信した時の超音波の受信波と、逆方向に送信した時の超音波の受信波との波数を求め、それらの波数の比較で受信波の正誤を判断し、伝搬波の伝搬時間差に基づいて流速および/または流量を求める判断手段と、を備えることで、大きな計測誤差の発生を解消できる。本発明の超音波流量計は、超音波の受信波形が流速、温度の影響で変化しても適確に受信波を検知して、その正誤を判断することで、計測の精度を向上することができるという効果がある。第1の発明は、流体の通る流路に配置された一対の超音波センサと、前記超音波センサを駆動する送信手段と、前記超音波センサからの信号を受信する受信手段と、閾値と受信信号を比較して受信を検知する比較手段と、超音波の伝播時間を計る計時手段と、一方の超音波センサから他方の超音波センサへ送信した時の超音波の受信波と、逆方向に送信した時の超音波の受信波との波数をそれぞれ求め、それらの波数の比較で受信波の正誤を判断し、伝搬波の伝搬時間差に基づいて流速および/または流量を求める判断手段と、を備える。これにより、一方の超音波センサから他方の超音波センサへ送信した時の波数と、逆向きに送信した時の波数が異なれば、比較手段の比較結果は誤りであることが判断できる。第2の発明は、特に、第5の発明において、ピークホールド回路を用いた判断手段とする。これにより、ピーク値の更新回数で波数を求めるようにすることができる。第3の発明は、特に、第6の発明において、ピークホールド回路と比較手段を有した判断手段とする。前記ピークホールド回路出力と受信波とを比較して、波数を求めるためのパルス信号を形成することができる。第4の発明は、特に、第7の発明において、計時手段を有し、波数を求めるために形成されたパルス間隔の時間を計時することで、形成されたパルス信号の正誤を判断手段で判断できるようになる。実施の形態1以下、本発明の実施の形態1について図面を参照して説明する。なお、この実施の形態において本発明が限定されるものではない。図1において、気体が流れる流路71に超音波センサ72,73とが配置される。超音波センサ72,73には、送信手段74から送信信号が送られる。また、超音波センサの受信信号は受信手段75に伝えられる。送信と受信は切換手段77で選択される。一方の超音波センサ72が送信手段74に接続するように選択された場合は、他方の超音波センサ73は受信手段75に接続するように選択される。今、同図に示されるように気体の流れが左から右方向の場合、超音波センサ72が送信した超音波は伝播時間T1後に超音波センサ73に到達する。反対に超音波センサ73が送信した超音波は伝播時間T2後に超音波センサ72に到達するが、気体の流れの方向から、T1<T2となる。これらの伝播時間T1、T2は計時手段76によって計時される。演算手段79は計時手段76からのデータを基にして流量を求める。以上が超音波計測装置78の主要部である。図2は、超音波センサの送信送信手段波形と、受信受信手段波形とクロック計時手段波形を示し、同図a-1、a-2、a-3は、それぞれ超音波センサ72から送信して超音波センサ73で受信する場合である。同図a-1によれば送信信号は3波となっており、受信波形は同図a-2のような波形となる。超音波の伝播時間T1は、受信波形が基準値と交わる点であるTA1からTA7の時間を同図a-3のクロックでカウントして、あらかじめ定めた規定値T0を引くことで補正して求められる。同図b-1、b-2、b-3は、それぞれ超音波センサ73から送信して超音波センサ72で受信する場合で、同様にして超音波の伝播時間T2が求められる。同図に示される閾値は受信波を検知するために、設けられるもので受信手段の比較手段への入力信号となるものである。比較手段を用いて受信を検知すると、さらに別の比較手段を用いて、基準値と交差する点、TA1からTA7および、TB1からTB7を検知するようにしている。次に図3を用いて受信手段について説明する。超音波センサ72,73の受信信号は切換手段77を介して、受信手段75の増幅手段80に入力される。増幅された信号は、増幅手段81でさらに増幅され、比較手段83,84に入力される。基準値設定部85は基準値を与える。これは、交流の受信信号に重畳されるとともに、比較手段87へも入力される。比較手段83、84の信号は判断手段86に入力される。比較手段83,84で受信を検知し、その受信の正誤を判断手段86で判断する。判断が正であれば、基準値が与えられている比較手段87で受信波と基準値を比較して、交わるポイント図2のTA1からTA7および、TB1からTB7を検知する。比較手段87の信号は、計時手段76に伝達され、伝播時間が算定される。図4は超音波センサ72から送信して、超音波センサ73で受信した場合の、比較手段の入力信号と出力信号の波形を示し、同図aは入力信号で、比較手段83の閾値Aと、比較手段84の閾値Bとを合わせて記載している。同図bは比較手段83の出力信号、同図cは比較手段84の出力信号である。正常な動作では、比較手段83の出力信号から先にHIになり、後から比較手段84の出力信号がHIとなる。また、比較手段83の出力信号と、比較手段84の出力信号が同時にHIになることはない。このような判断は判断手段が行い受信の正誤を判断する。受信が正しいと判断されれば、比較手段87で基準値との交差点TA1からTA7を検知して、送信からの伝播時間を求める。図5は同じく超音波センサ72から送信して、超音波センサ73で受信した場合の比較手段の入力信号と出力信号の波形を示し、同図aは受信信号である入力信号で、第1波目にノイズなどが重畳して、閾値Aを超えずに同図bの比較手段83の出力がHIにならない状態から、先に同図cの比較手段84の出力がHIになった状態を示したものである。この場合、判断手段は受信信号が誤っていると判断して、伝播時間の算出は行わず計測をやり直す。図6は同じく超音波センサ72から送信して、超音波センサ73で受信した場合の比較手段の入力信号と出力信号の波形を示し、同図aは受信信号である入力信号、同図bは比較手段83の出力、同図cは比較手段84の出力、同図dは比較手段87の出力を表している。正常に受信を検知した場合は、比較手段87は必ず、比較手段83,84の出力がLOWのときHIに立ち上がり、同様に比較手段A83,84の出力がLOWのときLOWに下がる。判断手段はこのような論理が成り立っているかを判断することで、受信信号の正誤を判断することができる。図7aは同じく超音波センサ72から送信して、超音波センサ73で受信した場合の比較手段の入力信号と出力信号の波形を示し、同図aは受信信号である入力信号、同図bは比較手段83の出力、同図cは比較手段84の出力、同図dはクロックを表している。クロックは、比較手段83の出力の立ち上がりから、比較手段84の出力の立ち上がりまで動作する。判断手段はクロック数をカウントして、その動作時間を求めることで、比較手段83,84の出力信号の正誤を判断する。図8は同じく比較手段の入力信号と出力信号の波形を示し、同図aの受信波形入力信号は図7aに比べてその振幅が小さくなっている。図8bは比較手段83の出力、同図cは比較手段Bの出力、同図dはクロックを表している。クロックは、比較手段83の出力の立ち上がりから、比較手段84の出力の立ち上がりまで動作しているが、図7dの場合に比べ、クロック数が少なくなっている。このように受信波形によってクロック数動作時間は異なるが、正常な場合動作時間は、ほぼ受信波の1/4周期から1/2周期の中に入るので、判断手段はこの時間外であるものを誤った受信波形であると判断する。図9は受信波形の正誤を判断する他の構成を示し、図3で示される回路ブロック図と共通する部分は同じ符号を用いており、詳細な説明は図3のものを援用する。増幅手段81からの増幅された受信信号をピークホールド回路88で受け、ピーク値が更新される回数を判断手段86がカウントする。また、増幅手段81からの増幅された受信信号は、比較手段87にも入力される。この比較手段87は受信波と基準値との比較結果を出力する。図9で示された回路ブロック図の各部波形を図10に示す。同図aは増幅手段81からの増幅された受信信号であり、ピークホールド回路88の入力信号となる信号である。この受信信号は、超音波センサ72から送信され、超音波センサ73で受信した場合の波形である。同図bはピークホールド回路88の出力信号であり、入力信号である受信波形のピーク毎にピーク値が更新されている様子を示している。また、同図cは判断手段86の内部信号で、ピークホールド回路88の信号を受けて、ピーク値が更新される毎にパルスを発生する回路部の信号波形である。判断手段86はこのパルスにより、ピーク値の更新回数を記憶する。この場合は更新回数が4回である。同図aの増幅手段81からの増幅された受信信号は、比較手段87の入力信号でもある。比較手段87によって、基準値と受信信号との比較が行われ、その出力が計時手段76に入力される。ただし、比較手段87の動作は同図cの判断手段内部信号Aの1つ目のパルスが出力されてから行われる。計時手段76は図に示される基準値と受信信号との交差するポイントTA1からTA7の時間を求める。求められた時間TA1からTA7はいったん記憶される。次に、超音波センサ73から送信され、超音波センサ72で受信する動作に移る。図は図10と同等なものになるので図は省略するが、同様に計時手段76が求める基準値と受信信号との交差するポイントの時間をTB1からTB7とする。式6で示されるように時間の逆数差から伝播時間を求める場合は、例えばTA1とTB1の一対のデータから伝播時間をもとめ、同様に、TA2とTB2、TA3とTB3のようなそれぞれ一対のデータから求める。ただし、TA2とTB2は2波目の伝播時間であるので、計算する場合はこのことを考慮しておく。また、TA3とTB3は3波目であることを同様に考慮しておく。このようにして伝播時間を求めると、7つのデータが得られるので、この7つのデータを平均すれば、超音波センサ72および超音波センサ73においてそれぞれ1回の送受信で、従来例のように一つの一対の伝播時間データから流速を求める場合に比べ、よりばらつきの少ない計測データを得ることができる。図11は図10と同様な各部波形を示しているが、同図aの受信信号は超音波センサ73から送信され、超音波センサ72で受信した場合の波形である。流速の関係で、受信波形のピーク値は図10に比べて低くなっているが、ピークに達すまでの波数は変わらない波数がかわるのは、温度変化で超音波センサの特性変化があるときに生じるが、この場合も超音波センサ72から送信して超音波センサ73で受信する場合と、その反対の場合とで、受信波形がピークに達するまでの波数は同じである。このため、ピークホールド回路では同図bに示されるように、受信波形の1波目をとらえることかできずに、2波目からとらえている。従って、判断手段の内部信号も受信波の2波目から出力されているので、比較手段87は、基準値と受信信号との交差するポイントTB2からTB7の時間を求めることになる。この場合のピーク値の更新回数は3回で、図10cに比べ、更新回数が1回少ないので判断手段86は、TB1が検知できなかったものと判断し、これらのデータは適用せずに最初から計測をやり直すか、または、TA2とTB2の一対のデータから以降を適用する。図12も同様に図9で示された回路ブロック図の各部波形を示している。同図aは超音波センサ72の送信信号、同図bは超音波センサ73の受信信号、cはピークホールド回路出力信号、dは断手段内部信号A、eはクロックを表している。同図bにおいて、特に送信から受信の間にノイズが重畳されている様子を表している。同図cのピークホールド回路出力は、ノイズを検知している様子を表している。同図dは、ピークホールド回路出力に応じて、電圧変化があったタイミングでパルスを出力している。ノイズを検知しているので、同図eのクロックで計時される同図eのパルス間隔は一定周期の無いものとなる。このパルスに送信信号に近い周期が見出されない場合は、ピークホールド回路出力をリセットしている。また、正しい受信信号が検知されている部分では、パルス間隔は一定周期を持つ。このように、クロックを用いてパルス周期を計時することで、受信信号の正しい信号とノイズとを見分けることができる。一定周期を持ったパルスの数で、受信信号がピークに達するまでの波数を知ることができる。実施の形態2図13において、ピークホールド回路88と比較手段89を有する。この比較手段89は、ピークホールド回路88の出力と、増幅手段81からの信号である受信波信号とを比較することで、受信波の波数を数えるためのパルス信号を出力する。図14は図13で示される回路ブロック図の一部の波形を示した波形図である。a受信波信号比較手段D入力信号とbピークホールド回路出力信号比較手段D入力信号とを比較手段Dで比較して得られた信号がcの波数を求めるためのパルス信号{比較手段D出力信号判断手段内部信号}となる。図では受信波のピークから次の一つの波まで検知するように、aとbの信号レベルを調整している。cの波数を求めるためのパルス信号の立ち上がりの間隔は、ほぼ受信波の周期に近い値であるので、これをdのクロックを用いて確認し、受信波の正誤を判断する。受信波の波数はbパルス信号をカウントすることで得ることができる。"