"電気特性検査の検査対象に接触させるプローブの先端を研磨しクリーニングするプローブクリーニング装置であって、プローブ取付面に長さ寸法の等しい複数本の前記プローブが密集して配置されたプローブ治具を保持するプローブユニットと、前記プローブ取付面と対向して配置されたクリーニングシートを固定するステージがテーブル上に搭載された搬送ユニットと、前記プローブユニット及び前記搬送ユニットの動作を制御する制御装置を備え、前記テーブルの前記ステージ搭載面に平行な平面を基準面とし、前記基準面内で直交する2方向をX方向とY方向、前記基準面に対して垂直な方向をZ方向と呼ぶとき、前記プローブユニットは、前記プローブ治具を前記Z方向に移動させる直動Z軸駆動手段と、前記プローブ治具を前記X方向に回転可能に移動させる回転X軸駆動手段と、前記プローブ治具を前記Y方向に回転可能に移動させる回転Y軸駆動手段を有し、前記搬送ユニットは、前記テーブルを前記X方向に移動させる直動X軸駆動手段と、前記テーブルを前記Y方向に移動させる直動Y軸駆動手段と、前記テーブルの前記ステージ搭載面に設置され、前記ステージ搭載面に対する前記プローブ取付面内の座標を測定する位置測定手段を有し、前記制御装置は、前記位置測定手段による複数箇所の測定結果に基づいて前記基準面に対する前記プローブ取付面の傾きを算出し、前記X方向の傾きを前記回転X軸駆動手段により補正し、前記Y方向の傾きを前記回転Y軸駆動手段により補正することを特徴とするプローブクリーニング装置。前記制御装置は、前記基準面に対する前記プローブ取付面の傾きを補正した後、前記基準面に対する前記ステージの傾きを、前記回転X軸駆動手段及び前記回転Y軸駆動手段により前記プローブ治具を回転移動させることで補正し、前記プローブ取付面と前記クリーニングシートを平行にすることを特徴とする請求項1記載のプローブクリーニング装置。前記制御装置は、前記プローブと前記ステージの導通を検知する機能を有し、前記基準面に対する前記プローブ取付面の傾きと、前記基準面に対する前記ステージの傾きを補正した後、前記プローブを前記ステージ上の前記クリーニングシートがない部分に接近させ、導通を検知した時の前記プローブの前記Z方向の座標を記憶し、これに前記クリーニングシートの厚みに相当するZ座標を加えた位置をクリーニング開始時の前記プローブの基準位置とし、この位置における前記プローブの前記クリーニングシートに対する押し当て量を基準押し当て量とすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブクリーニング装置。前記制御装置は、クリーニング時の前記クリーニングシートの研磨面に対する前記プローブの軌跡を複数パターン記憶しており、前記プローブの種類に応じて前記軌跡を選択可能であることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれか一項に記載のプローブクリーニング装置。前記位置測定手段は、前記プローブ取付面内の、前記プローブが配置されていない周辺部の複数箇所の座標を測定することを特徴とする請求項1~請求項4のいずれか一項に記載のプローブクリーニング装置。特許文献1に提示された方法では、プローブ治具に複数本のプローブが配置されたものについては適用が難しい。特に、プローブ治具がクリーニングシートの研磨面に対して傾いて設置された場合、一部のプローブのみがクリーニングシートに接触し、接触したプローブに対してのみ、押し当て量の制御が可能となる。クリーニングシートに接触していないその他のプローブについては、押し当て量の制御ができないため、プローブ毎にクリーニングシートへの押し当て量が異なることになる。このように、従来のプローブクリーニング装置では、プローブ治具に複数本のプローブが配置されたものについて、全てのプローブに対して均一なクリーニングを行うことが困難であった。そのため、プローブ毎にクリーニングによる研磨量が異なり、クリーニング後のプローブの長さ寸法にばらつきが生じていた。その結果、電気特性検査の際にベアチップとプローブとの間に接触不良が発生しやすくなり、正確で安定した電気特性検査を妨げる要因となっていた。本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、プローブ治具に配置された複数本のプローブ全てに対し、クリーニングシートへの押し当て量を一定にすることにより、プローブ先端に堆積した付着物を効率良く均一に除去することができ、クリーニング後のプローブの長さ寸法のばらつきを抑えることが可能なプローブクリーニング装置を得ることを目的とする。本発明に係るプローブクリーニング装置は、電気特性検査の検査対象に接触させるプローブの先端を研磨しクリーニングするプローブクリーニング装置であって、プローブ取付面に長さ寸法の等しい複数本のプローブが密集して配置されたプローブ治具を保持するプローブユニットと、プローブ取付面と対向して配置されたクリーニングシートを固定するステージがテーブル上に搭載された搬送ユニットと、プローブユニット及び搬送ユニットの動作を制御する制御装置を備え、テーブルのステージ搭載面に平行な平面を基準面とし、基準面内で直交する2方向をX方向とY方向、基準面に対して垂直な方向をZ方向と呼ぶとき、プローブユニットは、プローブ治具をZ方向に移動させる直動Z軸駆動手段と、プローブ治具をX方向に回転可能に移動させる回転X軸駆動手段と、プローブ治具をY方向に回転可能に移動させる回転Y軸駆動手段を有し、搬送ユニットは、テーブルをX方向に移動させる直動X軸駆動手段と、テーブルをY方向に移動させる直動Y軸駆動手段と、テーブルのステージ搭載面に設置され、ステージ搭載面に対するプローブ取付面内の座標を測定する位置測定手段を有し、制御装置は、位置測定手段による複数箇所の測定結果に基づいて基準面に対するプローブ取付面の傾きを算出し、X方向の傾きを回転X軸駆動手段により補正し、Y方向の傾きを回転Y軸駆動手段により補正するものである。本発明に係るプローブクリーニング装置によれば、テーブルのステージ搭載面に設置された位置測定手段により、ステージ搭載面に対するプローブ取付面内の複数箇所の座標を測定し、これに基づいて基準面に対するプローブ取付面の傾きを算出し、X方向、Y方向それぞれの傾きを補正するようにしたので、プローブ治具のプローブ取付面とクリーニングシートを高精度で平行にすることができ、プローブ治具に配置された複数本のプローブに対し、クリーニングシートへの押し当て量を一定にすることができる。従って、プローブ先端に堆積した付着物を効率良く均一に除去することができ、クリーニング後のプローブの長さ寸法のばらつきを抑えることが可能である。実施の形態1.以下に、本発明の実施の形態1に係るプローブクリーニング装置について、図面に基づいて説明する。図1は、本実施の形態1に係るプローブクリーニング装置の全体構成を示している。また、図2はプローブユニット、図3は搬送ユニットの構成をそれぞれ示している。なお、図中、同一、相当部分には同一符号を付している。本実施の形態1に係るプローブクリーニング装置は、電気特性検査の検査対象に接触させる導電端子であるプローブの先端を研磨しクリーニングするものであり、図1に示すように、上治具であるプローブユニット1、下治具である搬送ユニット2、及びそれらの動作を制御する制御装置3から構成される。プローブユニット1は、図2に示すように、プローブ取付面12aに長さ寸法の等しい複数本のプローブ11が密集して配置されたプローブ治具12を保持するプローブホルダ13を備えている。プローブホルダ13によるプローブ治具12の固定方法は、特に限定するものではないが、着脱作業が容易なエアシリンダによるものが好ましい。搬送ユニット2は、図3に示すように、クリーニングシート21を固定するステージ22が、テーブル23上に搭載されている。以下の説明において、テーブル23のステージ搭載面23aに平行な平面を基準面とし、基準面内で直交する2方向をX方向とY方向、基準面に対して垂直な方向をZ方向と呼ぶ。プローブユニット1は、モータにより駆動される直動1軸Zと回転2軸θx、θyの駆動手段を備えている。すなわち、図2に示すように、直動Z軸駆動手段14はプローブ治具12をZ方向に移動させ、回転X軸駆動手段15はプローブ治具12をX方向に、回転Y軸駆動手段16はプローブ治具12をY方向に、それぞれ回転可能に移動させる。一方、搬送ユニット2は、モータにより駆動される直動2軸X、Yの駆動手段を備えている。すなわち、図3に示すように、直動X軸駆動手段25はテーブル23をX方向に移動させ、直動Y軸駆動手段26はテーブル23をY方向に移動させる。テーブル23上に搭載されたステージ22には、プローブ11の先端を研磨するクリーニングシート21が固定されている。クリーニングシート21の研磨面21aは、プローブ治具12のプローブ取付面12aと対向して配置される。また、テーブル23のステージ搭載面23aには、ステージ搭載面23aに対するプローブ取付面12a内の座標を測定する位置測定手段である計測器24が設置されている。計測器24としては、例えば接触式リニアゲージが用いられるが、これに限定されるものではない。制御装置3は、プローブユニット1の各駆動手段14、15、16、及び搬送ユニット2の各駆動手段25、26を制御する。また、計測器24による複数箇所の測定結果に基づいて、基準面に対するプローブ取付面12aの傾きを算出し、X方向の傾きを回転X軸駆動手段15により補正し、Y方向の傾きを回転Y軸駆動手段16により補正する。さらに、制御装置3は、プローブ11とステージ22の導通を検知する機能を有する。以上のように構成されたプローブクリーニング装置において、プローブ治具12に配置された複数本のプローブ11に対し、プローブ11先端に堆積した付着物を効率良く均一に除去するには、全てのプローブ11に対し、クリーニングシート21への押し当て量を一定にする必要がある。そのためには、プローブ治具12をプローブホルダ13に固定した状態で、プローブ取付面12aとクリーニングシート21の研磨面21aを高精度で平行にすることが重要である。そこで、本実施の形態1に係るプローブクリーニング装置は、プローブ治具12をプローブホルダ13に固定する際に生じるプローブ取付面12aの基準面に対する傾きと、装置固有のものであるステージ22の基準面に対する傾きを補正する機能を備え、プローブ取付面12aとクリーニングシート21の研磨面21aが高精度で平行となるようにしたものである。以下に、本実施の形態1に係るプローブクリーニング装置において、基準面に対するプローブ治具12の傾きを補正する方法について、図4及び図5を用いて説明する。なお、複数本のプローブ11は長さ寸法が等しいので、それらの先端は揃っているこれをプローブ先端面11aと呼ぶ。すなわち、プローブ先端面11aとプローブ治具12のプローブ取付面12aは平行である。まず、搬送ユニット2の直動X軸駆動手段25及び直動Y軸駆動手段26により、テーブル23上に設置された計測器24をプローブ治具12直下の所定の位置まで移動させる。次に、図4に示すように、プローブユニット1の直動Z軸駆動手段14によりプローブ治具12を下方に移動させ、プローブ取付面12a内の所定の計測箇所に計測器24を接触させる。なお、所定の計測箇所とは、プローブ取付面12a内のプローブ11が配置されていない周辺部である。所定の計測箇所のX座標とY座標は、予め制御装置3に記憶されており、これに基づいて制御装置3は計測器24を移動させる。計測器24は、プローブ取付面12a内の複数の計測箇所3~4箇所のZ座標を測定する。続いて、制御装置3は、図5に示すように、計測器24により測定された複数箇所のZ座標を取得し、各計測箇所の座標X,Y,Zから、基準面Aに対するプローブ取付面12aの傾きである傾斜角△θx1、△θy1を算出する。なお、傾斜角△θx1は、プローブ取付面12aの基準面Aに対するX方向の傾き、傾斜角△θy1は、プローブ取付面12aの基準面Aに対するY方向の傾きである。次に、制御装置3は、算出したX方向の傾きを回転X軸駆動手段15により補正し、Y方向の傾きを回転Y軸駆動手段16により補正する。具体的には、算出した傾斜角△θx1を回転X軸駆動手段15のモータ回転数に変換し駆動させることで、傾斜角△θx1を補正する。同様にY軸方向の傾斜角△θy1を回転Y軸駆動手段16のモータ回転数に変換し駆動させることで、傾斜角△θy1を補正する。これにより、プローブ取付面12aは基準面Aと平行になる。制御装置3は、基準面Aに対するプローブ取付面12aの傾きを補正した後、さらに、基準面Aに対するステージ22の傾きを補正する。ステージ22上面すなわちクリーニングシート21が固定された面の基準面Aに対する傾きX軸方向の傾斜角△θx2、Y軸方向の傾斜角△θy2は、装置固有の傾斜パラメータであり、制御装置3に予め記憶されている。このステージ22の傾きは、プローブユニット1側で補正する。すなわち、回転X軸駆動手段15及び回転Y軸駆動手段16によりプローブ治具12を回転移動させることでステージ22の傾きを補正し、プローブ取付面12aとステージ22上面を平行にする。基準面Aに対するステージ22の傾きを補正する方法について、図6を用いて説明する。図6に示すように、プローブ取付面12a及びプローブ先端面11aは、前述の傾き補正動作により、基準面Aと平行になっている。この状態で、制御装置3は、ステージ22上面のX軸方向の傾斜角△θx2、及びY軸方向の傾斜角△θy2を補正するためのモータ回転数を、それぞれ回転X軸駆動手段15及び回転Y軸駆動手段16に与え、各駆動手段15、16を駆動させる。これにより、プローブ治具12を回転移動させ、プローブ取付面12aとステージ22上面を平行にする。以上の傾き補正動作により、プローブ取付面12aとステージ22上面は平行となり、その結果、プローブ先端面11aとクリーニングシート21の研磨面21aが平行になる。なお、上記の傾き補正動作を、プローブ治具12を交換する度に行うことにより、プローブ治具12を交換した場合でも、プローブ先端面11aとクリーニングシート21の研磨面21aを常に平行にすることができる。上記の傾き補正動作の後、制御装置3は、プローブ先端面11aとクリーニングシート21の研磨面21aの相対位置を求め、これに基づいてプローブ11の基準押し当て量を設定する。図7に示すように、プローブ11を直動Z軸駆動手段14によりステージ22上のクリーニングシート21がない部分に接近させ、導通を検知した時のプローブ11のZ方向の座標を記憶する。このZ座標にクリーニングシート21の厚みに相当するZ座標を加えた位置を、クリーニング開始時のプローブ11の基準位置とし、この位置におけるプローブ11のクリーニングシート21に対する押し当て量を基準押し当て量とする。このように、プローブ先端面11aとクリーニングシート21の研磨面21aの相対位置を求め、これに基づいてプローブ11の基準押し当て量を設定することにより、プローブ治具12を交換した場合でも常に同じ条件押し当て量でクリーニングを行うことが可能である。制御装置3は、上記の傾き補正動作と基準押し当て量設定動作を行った後、図8に示すように、プローブ11をクリーニング開始時の基準位置に移動させる。これにより、複数本のプローブ11は全て、基準押し当て量でクリーニングシート21の研磨面21aに接触する。次に、本実施の形態1に係るプローブクリーニング装置におけるクリーニング時の動作について、図9を用いて説明する。図9aに示すように、プローブ11の先端は、プローブユニット1の直動Z軸駆動手段14により、基準押し当て量でクリーニングシート21の研磨面21aに押し当てられている。この状態で、搬送ユニット2の直動X軸駆動手段25と直動Y軸駆動手段26によりテーブル23を移動させ、プローブ11の先端とクリーニングシート21に相対運動を与える。なお、クリーニングシート21の研磨面21aに対するプローブ11先端の軌跡を閉ループとすることにより、プローブ11の先端を偏りなくクリーニングシート21に接触させることができる。制御装置3は、クリーニング時の研磨面21aに対するプローブ11の軌跡を複数パターン記憶しており、プローブ11の種類、本数、及び配置等に応じて軌跡を適宜選択可能である。また、各運動に対する移動量についても適宜変更できる。クリーニングシート21に対するプローブ11の軌跡の例として、図9bに直進運動による閉ループ、図9cに円弧運動による閉ループを示している。このような相対運動を続けているうちに、プローブ11の先端は直動Z軸駆動手段14により徐々にクリーニングシート21の厚さ方向へ移動し、プローブ11の先端に堆積した付着物は研磨により除去される。以上のように、本実施の形態1に係るプローブクリーニング装置によれば、テーブル23のステージ搭載面23aに設置された計測器24により、プローブ治具12のプローブ取付面12a内の複数の計測箇所の座標を測定し、この測定結果に基づいて算出した基準面に対するプローブ取付面12aの傾きを補正すると共に、基準面に対するステージ22の傾きを補正するようにしたので、プローブ先端面11aとクリーニングシート21の研磨面21aを高精度で平行にすることができる。さらに、制御装置3の導通検知機能により、プローブ先端面11aとクリーニングシート21の研磨面21aの相対位置を求め、これに基づいてプローブ11の基準押し当て量を設定するようにしたので、プローブ治具12に配置された複数本のプローブ11に対し、クリーニングシート21への押し当て量を一定にすることができ、プローブ治具12を交換した場合でも常に同じ条件押し当て量でクリーニングを行うことができる。これらのことから、プローブ11先端に堆積した付着物を効率良く均一に除去することができ、クリーニング後のプローブ11の長さ寸法のばらつきを抑えることが可能である。その結果、プローブ治具12の延命化によりコストダウンが図られる。また、本実施の形態1に係るプローブクリーニング装置によりクリーニングされたプローブ11を用いることにより、電気特性検査の際にベアチップとプローブ11との間に接触不良が発生し難く、正確で安定した電気特性検査を行うことが可能である。なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。"