"部品を先端に吸着して保持する吸着ノズルを備え、部品供給位置に配置された前記部品を前記吸着ノズルで保持して基板上の実装位置に実装する実装ヘッドと、前記実装ヘッドに備えられた撮像装置と、複数の反射面を備え、前記複数の反射面が前記撮像装置の視野に対して相対的に進入して撮像装置の撮像の光軸を屈折させ、それによって前記撮像装置が前記吸着ノズルの先端と前記吸着ノズルに保持された部品の少なくともいずれか一方を撮影可能となる進入位置と、前記複数の反射面が前記撮像装置の視野から退避し、それによって前記撮影装置が前記部品供給位置と前記実装位置の少なくともいずれか一方を撮像可能となる退避位置とに移動する、前記実装ヘッドに備えられたミラーユニットとを備える部品実装装置。前記実装ヘッドに複数の前記吸着ノズルが一方向に並んで配置され、前記ミラーユニットは、前記吸着ノズルの並び方向に沿って移動することで前記進入位置と前記退避位置に移動する、請求項1に記載の部品実装装置。前記反射面は、前記複数の吸着ノズルのうちの1個について前記進入位置となる寸法及び形状を備え、前記ミラーユニットは、前記吸着ノズルの並び方向に沿って移動することで、前記複数の吸着ノズルに対して順次1個ずつ前記進入位置となる、請求項2に記載の部品実装装置。前記実装ヘッドに複数の前記吸着ノズルが一方向に並んで配置され、前記ミラーユニットは、前記吸着ノズルの並び方向に対して交差する方向に移動することで前記進入位置と前記退避位置とに移動する、請求項1に記載の部品実装装置。前記実装ヘッドはX方向に移動可能にXビームに支持され、前記吸着ノズルの並び方向はこのX方向を向いており、前記反射面は、前記複数の吸着ノズルのすべてについて同時に前記進入位置となる寸法及び形状を備え、前記ミラーユニットは、前記退避位置では前記Xビームの下方に位置する、請求項4に記載の部品実装装置。部品供給位置に配置された部品を実装ヘッドに備えられた吸着ノズルの先端に吸着保持し、基板上の実装位置に実装する部品実装方法であって、前記実装ヘッドに、撮像装置とミラーユニットとを設け、このミラーユニットは、複数の反射面を備え、これら複数の反射面が前記撮像装置の視野に対して相対的に進入して撮像装置の撮像の光軸を屈折させる進入位置と、前記複数の反射面が前記撮像装置の視野から退避する退避位置とに移動可能であり、前記部品供給での部品の保持後に前記実装ヘッドが前記実装位置に向かうときの前記吸着ノズルに保持された部品、及び前記実装位置への前記部品の実装後に前記実装ヘッドが前記部品供給位置に戻るときの吸着ノズルの先端のうちの少なくともいずれか1つを、前記ミラーユニットを前記進入位置に移動させて前記撮像装置で撮像し、前記部品供給位置にある前記部品、前記部品を実装する前の前記基板の前記実装位置、及び前記部品を実装した後の前記基板の前記実装位置のうちの少なくともいずれか1つを、前記ミラーユニットを前記退避位置に移動させて前記撮像装置で撮像する、部品実装方法。実装状態の良否判定の精度や、実装不良の原因解析の精度を向上して実装品質向上を図るには、吸着ノズルに保持された部品と、部品供給位置、実装位置等のその他の対象との両方を撮像することが好ましい。しかし、特許文献1,2に開示されたものを含め、従来知られている部品実装装置は、これら2種類の対象毎に別個のカメラを備えており、構造が複雑である。本発明は、吸着ノズルの先端及び/又は吸着ノズルに保持された部品と、部品供給位置及び又は実装位置との両方を共通の撮像装置で撮像可能であり、簡易な構成でありながら、実装状態の良否判定の精度や、実装不良の原因解析の精度の向上による実装品質向上を実現できる部品実装装置及びその方法を提供することを課題とする。本発明の第1の態様は、部品を先端に吸着して保持する吸着ノズルを備え、部品供給位置に配置された前記部品を前記吸着ノズルで保持して基板上の実装位置に実装する実装ヘッドと、前記実装ヘッドに備えられた撮像装置と、複数の反射面を備え、前記複数の反射面が前記撮像装置の視野に対して相対的に進入して撮像装置の撮像の光軸を屈折させ、それによって前記撮像装置が前記吸着ノズルの先端と前記吸着ノズルに保持された部品の少なくともいずれか一方を撮影可能となる進入位置と、前記複数の反射面が前記撮像装置の視野から相対的に退避し、それによって前記撮影装置が前記部品供給位置と前記実装位置の少なくともいずれか一方を撮像可能となる退避位置とに移動する、前記実装ヘッドに備えられたミラーユニットとを備える部品実装装置を提供する。ミラーユニットが進入位置と退避位置に移動することで、吸着ノズルの先端及び/又は吸着ノズルに保持された部品と、部品供給位置及び/又は実装位置との両方を、共通の撮像装置で撮像可能である。つまり、これらの撮像対象毎に別個の撮像装置を設ける必要がなく、部品実装装置の構成を簡易化できる。吸着ノズルの先端及び/又は吸着ノズルに保持された部品と、部品供給位置及び/又は実装位置との両方を撮像することで、実装状態の良否判定の精度や、実装不良の原因解析の精度を向上できる。具体的には、前記実装ヘッドに複数の前記吸着ノズルが一方向に並んで配置され、前記ミラーユニットは、前記吸着ノズルの並び方向に沿って移動することで前記進入位置と前記退避位置に移動する。この場合、前記反射面は、前記複数の吸着ノズルのうちの1個について前記進入位置となる寸法及び形状を備え、前記ミラーユニットは、前記吸着ノズルの並び方向に沿って移動することで、前記複数の吸着ノズルに対して順次1個ずつ前記進入位置となることが好ましい。この構成により、ミラーユニットを小型軽量化できる。代案としては、前記実装ヘッドに複数の前記吸着ノズルが一方向に並んで配置され、前記ミラーユニットは、前記吸着ノズルの並び方向に対して交差する方向に移動することで前記進入位置と前記退避位置とに移動する。前記実装ヘッドはX方向に移動可能にXビームに支持され、前記吸着ノズルの並び方向はこのX方向を向いており、前記反射面は、前記複数の吸着ノズルのすべてについて同時に前記進入位置となる寸法及び形状を備え、前記ミラーユニットは、前記退避位置では前記Xビームの下方に位置することが好ましい。この構成により、実装ヘッドのX方向の寸法を小型化できる。本発明の第2の態様は、部品供給位置に配置された部品を実装ヘッドに備えられた吸着ノズルの先端に吸着保持し、基板上の実装位置に実装する部品実装方法であって、前記実装ヘッドに、撮像装置とミラーユニットとを設け、このミラーユニットは、複数の反射面を備え、これら複数の反射面が前記撮像装置の視野に対して相対的に進入して撮像装置の撮像の光軸を屈折させる進入位置と、前記複数の反射面が前記撮像装置の視野から相対的に退避する退避位置とに移動可能であり、前記部品供給での部品の保持後に前記実装ヘッドが前記実装位置に向かうときの前記吸着ノズルに保持された部品、及び前記実装位置への前記部品の実装後に前記実装ヘッドが前記部品供給位置に戻るときの吸着ノズルの先端のうちの少なくともいずれか1つを、前記ミラーユニットを前記進入位置に移動させて前記撮像装置で撮像し、前記部品供給位置にある前記部品、前記部品を実装する前の前記基板の前記実装位置、及び前記部品を実装した後の前記基板の前記実装位置のうちの少なくともいずれか1つを、前記ミラーユニットを前記退避位置に移動させて前記撮像装置で撮像する、部品実装方法を提供する。本発明の部品実装装置及びその方法によれば、ミラーユニットが進入位置と退避位置に移動することで、吸着ノズルの先端及び/又は吸着ノズルに保持された部品と、部品供給位置及び/又は実装位置との両方を共通の撮像装置で撮像可能であるので、簡易な構成でありながら、実装状態の良否判定等の精度向上による実装品質向上を実現できる。次に、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。第1実施形態図1を参照すると、部品実装装置1は、実装ヘッド2、実装ヘッド2をXY方向に位置決めするヘッド位置決め装置3、基板保持テーブル4、基板搬送部5、及び例えば複数のカセットフィーダの集合体である部品供給部6を基台7上に備える。実装ヘッド2は、部品100を吸着保持する複数の吸着ノズル11A,11B,11Cを備える。個々の吸着ノズル11A~11CはZ方向に昇降可能であり、かつZ方向の軸線周りに回転可能である。X方向とY方向は共に基板101の表面沿いの方向本実施形態では実質的に水平面内であって互いに直交する。Z方向はX方向及びY方向に直交する方向本実施形態では実質的に鉛直方向である。なお、図1では図において手前側の実装ヘッドとその位置決め装置の図示を省略している。基板搬送部5により搬入された基板101が基板保持テーブル4に保持される。実装ヘッド2はヘッド位置決め装置3によりXY方向に移動することで、部品供給部6の部品供給位置6a例えばカセットフィーダの部品取出位置や部品供給トレイの部品取出対象となる凹部に対して位置決めされる。個々の吸着ノズル11A~11Cが降下して部品100を吸着保持する。その後、ヘッド位置決め装置3による実装ヘッド2のXY方向の移動により、基板101上の実装位置101aに対して吸着ノズル11A~11Cが位置決めされ、吸着保持された部品100が実装される。すべての部品100の実装が完了するまで、部品供給部6における吸着ノズル11A~11Cによる部品100の吸着保持と、それに続く基板101への部品100の実装とが繰り返される。実装完了後の基板101は基板搬送部5によって基板保持テーブル4から搬出される。実装ヘッド2、ヘッド位置決め装置3、基板搬送部5、並びに後述するミラー駆動機構36を含む部品実装装置1の動作は図1にのみ模式的に示す制御装置12により制御される。図2Aから図3Aをさらに参照すると、ヘッド位置決め装置3は、X方向に延在してX方向直動ガイド13によりX方向に移動可能に実装ヘッド2を支持するXビーム14と、Y方向に延在してXビーム14をその両端でY方向直動ガイド15によりY方向に移動可能に支持する一対のYビーム16A,16Bとを備える。個々のYビーム16A,16Bは両端が基台7に固定されている。実装ヘッド2は例えばリニアモータであるX方向駆動機構18によりX方向直動ガイド13上を移動し、Xビーム14も同様に例えばリニアモータであるY方向駆動機構19によりY方向直動ガイド15A,15B上を移動する。以下、主として図2C及び図3Bを参照して実装ヘッド2について詳細に説明する。実装ヘッド2は、前述のX方向直動ガイド13を介してXビーム14に搭載されたキャリッジプレート21に固定されるヘッド本体22を備える。ヘッド本体22には複数本本実施形態では3本の吸着ノズル11A,11B,11Cが備えられている。これらの吸着ノズル11A~11Cは、ヘッド本体22から実質的に鉛直方向下向きに延びており、吸着孔が開口した先端面11a図2A参照は下向きである。また、本実施形態では、吸着ノズル11A~11Cは平面視で直線をなすように一方向に沿って並べられており、その並び方向はX方向実装ヘッド2がXビーム14上を移動する方向に設定されている。ヘッド本体22内には、吸着ノズル11A~11CをZ方向に昇降させるための機構と、それ自体の軸線回りに回転させるための機構とが内蔵されている。また、ヘッド本体22には、個々の吸着ノズル11A~11Cと真空源との間に介在する真空弁が内蔵されている。個々の吸着ノズル11A~11Cは、真空弁が開弁されると真空源と連通されて先端面11aに部品100を吸着保持し、真空弁が閉弁されると真空源との連通が遮断されて部品100の吸着保持を解除する。個々の吸着ノズル11A~11C毎に、例えばCCD型撮像素子のような撮像素子を備える撮像カメラ撮像装置23A,23B,23Cが設けられている。本実施形態では、個々の撮像カメラ23A~23Cは、カメラブラケット24を介してヘッド本体22に固定されている。図3A及び図3Bに最も明瞭に示されているように、個々の撮像カメラ23A~23Cは対応する吸着ノズル11A~11Cの側方に隣接して配置されている。また、本実施形態では、撮像カメラ23A~23Cの視野方向は斜め下向きに固定されている。撮像カメラ23A~23C毎に、例えば複数のLEDのような発光素子を備える照明装置25が設けられている。実装ヘッド2にはX方向に移動するミラーユニット27が設けられている。ヘッド本体22の下端付近には、X方向に突出し図2Aから図2C参照、かつY方向に突出する図3A,図3B参照板状のレールブラケット28が設けられている。このレールブラケット28のY方向の先端部分の下面にX方向に延びるガイドレール29Aが設けられ、このガイドレール29Aと平行になるようにレールブラケット28及びヘッド本体22の下面にもう1本のガイドレール29Bが設けられている。これらのガイドレール29A,29Bには、ガイドブロック30A,30BがX方向に進退可能にそれぞれ係合している。これらガイドブロック30A,30Bにミラーユニット27の中空状のケーシング32が懸架されている。ミラーユニット27のケーシング32は、概ねXY平面に拡がる板状の基部32aと、この基部32aのY方向の先端側図3A及び図3Bにおいて左端側から上向きに突出するX方向に間隔を隔てて配置された一対の支柱32b,32cを備える。また、ケーシング32は、基部32aのY方向の後端側図3A及び図3Bにおいて右端側から上向きに突出する支持壁32dを備える。支柱32b,32cの上端にそれぞれガイドブロック30Aが固定され、支持壁32dに上端にガイドブロック30Bが固定されている。基部32aと支柱32b,32cで囲まれた前面開口33により、ミラーユニット27が後述する進入位置に相対的に移動されたときに、撮像カメラ23A~23Cによる撮像対象に対しての撮像の光軸は、ケーシング32の内部空間32eへの通過が許容される。また、支持壁32dと支柱32b,32cで囲まれた側面開口34A,34Bにより、ミラーユニット27の移動に伴う吸着ノズル11A~11Cの内部空間32eに対する進入と退出が許容される。つまり、これら側面開口34A,34Bにより、ミラーユニット27のケーシング32は吸着ノズル11A~11Cと干渉することとなくX方向に移動可能となっている。ミラーユニット27は、例えばリニアモータやモータ-ボールネジ機構等により構成されるミラー駆動機構36によってガイドレール29A,29Bに沿ってX方向に進退移動する。具体的には、ミラーユニット27は、図2Aに示すように3本の吸着ノズル11A~11Cのうち最も左側の吸着ノズル11Aよりさらに左側-X側に位置してミラーユニット27の内部空間32e内にいずれの吸着ノズル11A~11Cも配置されない、言い換えれば、撮像対象の吸着ノズル11A~11Cに対して配置されない退避位置から、図2Bに示すように最も左側の吸着ノズル11Aがミラーユニット27の内部空間32eに進入する位置、及び中央の吸着ノズル11Bが内部空間32eに位置する位置図示せずを経て、図2Cに示すように最も右側の吸着ノズル11Cがミラーユニット27の内部空間32eに位置する進入位置までX方向に移動可能である。また、これとは逆に、ミラーユニット27は図2Cで示す最も右側の吸着ノズル11Cがミラーユニット27の内部空間32eに進入する位置から、例えば、図2Aに示す退避位置まで-X方向に移動可能である。ミラーユニット27のケーシング32の内部空間32eには、反射光学系37が収容されている。本実施形態における反射光学系37は、いずれも平面ミラーであるケーシング32の基部32aに固定された2枚のミラー38A,38Bを備える。ミラー38A,38Bの反射面はいずれも上向きである。図2A及び図3Aに示すように、ミラーユニット27が退避位置にあるときには、ミラー38A,38Bの反射面は撮像カメラ23A~23Cの視野から相対的に退避している撮像カメラ23A~23Cの視野に介在しない。従って、図3Aにおいて、一点鎖線A1で示すように、撮像カメラ23A~23Cの撮像の光軸は、折れ曲がることなく真っ直ぐに斜め下向きに延びる。撮像カメラ23A~23Cの焦点距離は、ミラーユニット27が退避位置にあるときに、吸着ノズル11A~11Cの下方に配置されている撮像対象41上の吸着ノズル11A~11Cの軸線が交差する位置である撮像位置42に焦点深度内で焦点が合うように設定されている。後述するように、撮像対象41は部品供給部6又は基板保持テーブル4上の基板101であり、前者の場合の撮像位置42は部品供給位置6aで、後者の場合の撮像位置42は実装位置101aである。なお、ミラーユニット27の内部空間32eに吸着ノズル11A~11Cが配置されない位置としてミラーユニット27の退避位置を説明したが、撮像対象の吸着ノズル11A~11Cに対して配置されないような領域に位置している場合もミラーユニット27の退避位置に含まれる。図2B、図2C、及び図3Bを参照すると、ミラーユニット27が吸着ノズル11A~11Cのいずれかの進入位置にあるときには、ミラーユニット27のミラー38A,38Bの反射面は対応する撮像カメラ23A~23Cの視野内に相対的に進入する。そのため、図3Bにおいて一点鎖線A2で示すように、撮像カメラ23A~23Cの撮像の光軸が折れ曲げられ、吸着ノズル1111A~11Cの先端面11aに向けられる。撮像カメラ23A~23C側から撮像の光軸A2をたどると、まず、斜め下向きである光軸A2はミラー38Aの反射面での反射により概ね水平方向-Y方向となってミラー38Bの反射面に進入する。そして、ミラー38の反射面のうち吸着ノズル1111A~11Cの軸線が交差する位置で反射されることで、概ね水平方向の撮像の光軸A2が鉛直方向上向きZ方向となって吸着ノズル1111A~11Cの先端面11aに向かう。ミラー38A,38Bの位置及び姿勢は、ミラーユニット27が進入位置となったときに、吸着ノズル1111A~11Cの先端面11a先端面11aに部品100が吸着保持されているときには部品100に対して焦点深度内で撮像カメラ23A~23Cの焦点が合うように設定されている。本実施形態におけるミラー38A,38Bの反射面の寸法及び形状は、吸着ノズル11A~11Cのうちの1個についてのみ進入位置となるように設定している。つまり、ミラーユニット27がいずれかの吸着ノズル11A~11Cに対して進入位置であるとき、ミラー38A,38Bの反射面はその吸着ノズル11A~11Cに対応する撮像カメラ23A~23Cの視野に対して相対的に進入して撮像の光軸を折り曲げるが、それ以外の吸着ノズル11A~11Cに対応する撮像カメラ23A~23Cの視野には進入しない。例えば、ミラーユニット27が吸着ノズル11Aについて進入位置にあるとき、ミラー38A,38Bの反射面は撮像カメラ23Aの視野に進入して撮像の光軸を折り曲げるが、残りの撮像カメラ23B,23Cの視野には進入しない。実装ヘッド2のヘッド本体22には、基板100に設けられている基板マークを撮像するため下向きの視野を有する撮像カメラ43が備えられている。現像カメラ43は、ミラーユニット27が退避位置及び進入位置のいずれにあっても視野が遮られない位置に固定されている。次に、撮像カメラ23A~23による撮像に着目して部品実装装置の動作を説明する。基板搬送部5により搬入された基板101が基板保持テーブル4に保持された後、ヘッド位置決め装置3によりXY方向に移動することで、実装ヘッド2が基板101の上方に移動する。実装ヘッド2の撮像カメラ43が基板101の基板マークを撮像し、得られた画像に基づいて、制御部12が基板101の位置及び姿勢を認識する。次に、実装ヘッド2は部品供給部6の上方へ移動する。続いて、吸着ノズル11A~11Cが順次いずれかの部品供給位置6aに位置決めされる。吸着ノズル11A~11Cが部品供給位置6aに位置決めされた時点で、撮像カメラ23A~23Cにより部品供給位置6aにある部品100吸着ノズル11A~11Cで吸着保持しようとしている部品100が撮像される。具体的には、図2A及び図3Aに示すように、ミラーユニット27は退避位置に移動し、撮像カメラ23A~23Cの撮像の光軸A1は折れ曲がりのない斜め下向きの直線となり、この状態で部品供給位置6aにある部品100が撮像される。制御部12は、得られた画像に基づいて部品100の位置及び姿勢を認識し、さらに認識結果に基づいて必要に応じてヘッド位置決め装置3による吸着ノズル11A~11Cの部品100に対する位置等の補正を実行する。その後、吸着ノズル11A~11Cは部品吸着位置6aの部品100に先端面11aが当接するまでZ方向に降下し、吸着保持を開始した後Z方向に上昇する。すべての吸着ノズル11A~11Cに部品100が吸着保持された後、あるいは吸着ノズル1111A~11Cに部品100が吸着される毎に、撮像カメラ2323A~23Cにより吸着ノズル1111A~11Cに吸着保持された部品100が撮像される。具体的には、ミラー駆動機構36で駆動されたミラーユニット27が図2Aに示す退避位置から図において右側X方向に移動しつつ、吸着ノズル11A~11Cに対して順次1個ずつに進入位置となり、進入位置となった吸着ノズル11A~11Cに吸着保持された部品100を下面から撮像する。例えば、図2C及び図3Bに示すように、ミラーユニット27が吸着ノズル11Cに対して進入位置となると、反射光学系37のミラー38A,38Bが撮像カメラ23Cの視野に進入することで撮像の光軸A2が折り曲げられ吸着ノズル11Cの先端面11aに吸着保持された部品100の下面に向けられる。制御部12は得られた画像に基づいて吸着ノズル11A~11Cに吸着保持された部品100の姿勢等を認識し、必要に応じて吸着ノズル11A~11Cをそれ自体の軸線回りZ軸回りに回転させて部品100の姿勢を補正する。また、制御部12は認識した部品100の姿勢等が補正できないものである場合、図示しない部品廃棄部へ移動して当該部品100を廃棄する。次に、実装ヘッド2は基板保持テーブル4の保持された基板101の上方に移動する。続いて、吸着ノズル11A~11Cに吸着保持された部品100が基板101上の対応する実装位置101aに対して位置決めされ、位置決め後にその実装位置101aに実装される。部品100の実装位置101aに対する位置決めから実装までの動作を、吸着ノズル11Aを例に具体的に説明する。まずヘッド位置決め装置3により実装ヘッド2がXY方向に移動することで、吸着ノズル11Aに吸着保持された部品100が対応する実装位置101aに対して位置決めされる。この位置決め後、撮像カメラ23Aにより実装位置101a、より具体的には実装位置101aにある認識マーク、電極、バンプ、あるいははんだボール等が撮像される。この実装位置101aの撮像の際には、ミラーユニット27が退避位置図2A及び図3Aとなり、反射光学系37のミラー38A,38Bが撮像カメラ23Aの視野から相対的に退避する。制御部12は得られた画像に基づいて認識マーク、電極、バンプ、あるいははんだボール等の位置及び形状を認識し、さらに認識結果に基づいて必要に応じて吸着ノズル11Aに吸着保持された部品100の実装位置101aに対する位置等の補正を実行する。次に、吸着ノズル11Aが降下して実装位置101aに部品を実装する。部品100の実装後、撮像カメラ23Aは再び実装位置101aを撮像する。制御部12は得られた画像に基づいて実装位置101aに実装済みの部品100の姿勢等を認識し、認識に結果に基づいて実装状態の良否判定や判定結果に応じたエラー処理等の必要な処理を実行する。すべの吸着ノズル11A~11Cについて部品100の実装が完了した後、実装ヘッド2は再び部品供給部6へ移動し、前述した吸着ノズル11A~11Cによる部品100の吸着保持を繰り返す。実装ヘッド2が実装完了後に部品供給部6へ移動するまでの間に、撮像カメラ23A~23Cにより吸着ノズル11A~11Cが先端面11a側から撮像される。具体的には、ミラー駆動機構36で駆動されたミラーユニット27が図2Aに示す退避位置から図において右側X方向あるいは左側-X方向に移動しつつ、吸着ノズル11A~11Cに対して順に進入位置となり、進入位置となった吸着ノズル11A~11Cを撮像する。制御部12は得られた画像から吸着ノズル11A~11Cにはんだ詰まり、実装されない部品100の存在の有無等を認識し、認識結果に応じて必要なエラー処理を実行する。基板101のすべての実装位置101aに対する部品100の実装が完了するまで、以上の動作が繰り返される。すべての部品100の実装が完了した基板101は基板搬送部5によって基板保持部4から搬出される。本実施形態の部品実装装置1では、ミラーユニット27が進入位置と退避位置に移動することで、吸着ノズル11A~11Cの先端面及び吸着ノズル11A~11Cに保持された部品100に加え、部品供給位置6a及び実装位置101a部品100を実装する前及び部品100を実装後を、共通の撮像カメラ23A~23Cで撮像可能である。つまり、これらの撮像対象毎に別個の撮像カメラを設ける必要がなく、部品実装装置1の構成を簡易化できる。吸着ノズル11A~11Cの先端面11a及び/又はそれに保持された部品100と、部品供給位置6a及び/又は実装位置101aとの両方を撮像することで、実装状態の良否判定の精度や、実装不良の原因解析の精度を向上できる。以上のように、本実施形態の部品実装装置1は、簡易な構成でありながら、実装状態の良否判定等の精度向上による実装品質向上を実現できる。本実施形態の部品実装装置1が備えるミラーユニット27は、吸着ノズル11A~11Cに対して順次1個ずつに進入位置となり、進入位置となった吸着ノズル11A~11Cに吸着保持された部品100を下面から撮像する。つまり、反射光学系37を構成するミラー38A,38Bの寸法及び形状は、すべての撮像カメラ23A~23Cの視野に進入するように設定する必要がなく、これらに対して順次1個ずつ視野に進入するように設定すればよい。その結果、ミラー38A,38Bとして小型のミラーを使用すればよくミラーユニット27を小型軽量化できる。第2実施形態図4及び図5は、本発明の第2実施形態に係る部品実装装置1を示す。本実施形態における実装ヘッド2はすべての吸着ノズル11A~11Cに共通の1個の可動の撮像カメラ23を備える。実装ヘッド2のヘッド本体22にはX方向に延びる互いに平行なガイドレール51A,51Bが設けられている。これらのガイドレール51A,51Bには、ガイドブロック52A,52BがX方向に進退可能にそれぞれ係合している。これらのガイドブロック52A,52Bにはキャリッジプレート53が固定されている。先端に撮像カメラ23を備えるカメラブラケット24の基端はキャリッジプレート53に固定されている。キャリッジプレート53は例えばリニアモータである駆動機構54によりガイドレール51A,51Bに沿ってX方向に進退移動し、それによって撮像カメラ23がX方向に移動する。本実施形態における撮像カメラ23はミラーユニット27と同様にX方向に移動する。具体的には、撮像カメラ23はミラーユニット27と同期してX方向に移動し、ミラーユニット27が吸着ノズル11A~11Cに対して順次1個ずつ進入位置になるのと同時に撮像カメラ23も吸着ノズル11A~11Cに順次1個ずつ移動し、吸着ノズル11A~11Cの先端面11aやそれに吸着された部品100を撮像する。または、ミラーユニット27が吸着ノズル11A~11Cに対して順次1個ずつ進入位置し、ミラーユニット27の移動に続いて、ミラーユニット27が進入位置に位置している吸着ノズル11A~11Cへ撮像カメラ23が移動することで、吸着ノズル11A~11Cの先端面11aやそれに吸着された部品100の撮像を実行してもよい。あるいは、撮像カメラ23が吸着ノズル11A~11Cに対して順次1個ずつ移動し、撮像カメラ23の移動に続いて、撮像カメラ23が位置している吸着ノズル11A~11Cへミラーユニット27が位置することで、吸着ノズル11A~11Cの先端面11aやそれに吸着された部品100を撮像を実行してもよい。要するに、ミラーユニット27と撮像カメラ23は、同期して移動してもよいし、一方が他方よりも先に移動してもよい。本実施形態のように可動式の撮像カメラ23を採用することで、撮像カメラの台数を低減でき、特に吸着ノズルの本数が多い場合に部品実装装置1の構造の簡易化とコスト低減を図ることができる。第2実施形態のその他の構成及び作用は第1実施形態と同様であるので、同一の要素には同一の符号を付して説明を省略する。第3実施形態図6Aから図7は、本発明の第3実施形態に係る部品実装装置1を示す。本実施形態における実装ヘッド2のヘッド本体22の下端付近には、Y方向図6A及び図Bにおいて左側で、図7において紙面手前側に突出する板状のレールブラケット61が設けられている。レールブラケット61はXビーム14の下方まで延びている。ヘッド本体22及びレールブラケット61の下面にはY方向に延びる互い平行なガイドレール62A,62Bが設けられている。これらのガイドレール62A,62Bには、ガイドブロック63A,63BがY方向に進退可能にそれぞれ係合している。これらのガイドブロック63A,63Bにミラーユニット28のケーシング64が懸架されている。本実施形態におけるミラーユニット27のケーシング64は、概ねXY平面に拡がる板状の基部64aと、この基部64aの後端側図6A及び図6Bにおいて右端側から上向きに突出する支持壁64bを備える。また、支持壁64bの上端側からY方向に突出する一対の腕部65c,65dが設けられている。腕部65c,65dの基端側にガイドブロック63Aが固定され、腕部65c,65dの先端側にガイドブロック63Bが固定されている。ミラーユニット27はミラー駆動機構36によってガイドレール62A,62Bに沿ってY方向に進退移動する。具体的には、ミラーユニット27は、図6Aに示す進入位置と、図6Bに示すようにXビーム14の下方の退避位置との間で可能である。つまり、本実施形態におけるミラーユニット27は吸着ノズル11A~11Bの並び方向であるX方向と直交する方向に移動することで、進入位置と退避位置とに移動する。ミラーユニット27のケーシング64に収容された反射光学系37は、個々の吸着ノズ11A~11C毎に2枚のミラー38A,38Bを備える。図6Aに示すように、ミラーユニット27が進入位置となると、すべての吸着ノズル11A~11Cについて撮像カメラ23A~23Cの視野に相対的に進入し、撮像カメラ23A~23Cの撮像の光軸は一点鎖線A2で示すように折れ曲げられ、吸着ノズル11A~11Cの先端面11aに向けられる。つまり、ミラーユニット27が進入位置となると、すべての吸着ノズル11A~11Cについて先端面11aやそれに吸着された部品100を対応する撮像する撮像カメラ23A~23Cで撮像可能となる。つまり、ミラーユニット27が進入位置となると、一度に複数の吸着ノズル11A~11Cについて先端面11aやそれに吸着された部品100の撮像が可能となる。一方、図6Bに示すように、ミラーユニット27が退避位置となると、いずれの吸着ノズル11A~11Cについても2枚のミラー38A,38Bは撮像カメラ23A~23Cの視野から相対的に退避し、撮像カメラ23A~23Cの撮像の光軸は、一点鎖線A1で示すように真っ直ぐに斜め下向きに延び、撮影対象部品供給部6,基板101の撮像位置42部品供給位置6a,実装位置101aに達する。本実施形態では、ミラーユニット27は吸着ノズル11A~11Bの並び方向であるX方向と直交する方向に移動することで、進入位置と退避位置とに移動し、退避位置におけるミラーユニット27はXビームス14の下方に位置する。従って、図7に最も明瞭に示されているように、退避位置を確保するために実装ヘッド2のヘッド本体22からX方向幅方向に突出させてガイドレールを設ける必要がなく、実装ヘッド2のX方向の寸法を小型化できる。実施ヘッド2のX方向の寸法小型化により、基板101の搬送方向ライン長さ方向の部品実装装置1を寸法の小型化を図ることができる。本実施形態では、図6A及び図6Bに示すように吸着ノズル1111A~11CはX方向に対して1列に配置されているが、実装ヘッド2はX方向に対して2列に配置された吸着ノズルを備えてもよい。第3実施形態のその他の構成及び作用は第1実施形態と同様であるので、同一の要素には同一の符号を付して説明を省略する。本発明は前記実施形態に限定されず、以下に例示的に列挙するように種々の変形が可能である。第1及び第2実施形態では吸着ノズル11A~11Cと撮像カメラ23A~23Cに対してミラーユニット27を移動させ、第2実施形態では吸着ノズル11A~11Cに対してミラーユニット27と撮像カメラ23を移動させている。しかし、ミラーユニット27に対して吸着ノズル1111A~11Cを撮像カメラ2323A~23Cと共に移動させてもよい。この場合、吸着ノズル1111A~11Cが撮像カメラ2323A~23Cと共にミラーユニット27に対して配置されると、撮像カメラ23の視野にミラーユニット27のミラー38A,38Bの反射面が相対的に進入し、吸着ノズル11の先端面11aやそれに吸着された部品100が撮像カメラ23によって撮像される。また、いずれの吸着ノズル11もミラーユニット27に対して配置されていないときには、ミラーユニット27のミラー38A,38Bの反射面がいずれの撮像カメラ23の視野から相対的に退避し、実装位置101aや部品供給位置6aあるいはこれらの位置の部品100が撮像カメラ23によって撮像される。ミラーユニットが備える反射光学系の構成は実施形態のものに限定されず、3枚以上のミラーを備えてもよく、その逆に2以上の反射面を1枚のミラーの角度の異なる領域により構成してもよい。また、ミラーの反射面は、平面に限らず、凹面又は凸面でもよい。前記実施形態におけるミラーユニットは、いずれも直線移動により進入位置と退避位置に移動する。しかし、ミラーユニットは水平面又はそれに対して傾斜する面内で、旋回ないし回転により進入位置と退避位置とに移動してもよい。さらに、ミラーユニットは、2以上の直線及び/又は曲線の組合せの経路の移動曲線の組合せで構成された移動経路上を移動することで、進入位置と退避位置の間を移動するものでもよい。"