"成膜用液体材料供給系と、前記液体材料をキャリアガスと混合して気化させる気化器と、前記気化器から出る材料気化ガスを基板に流して膜を成膜させる成膜室と、前記気化器からのガスを、前記成膜室に供給する材料気化ガス供給配管とで構成される成膜装置であって、前記気化器が、前記成膜室の側面と並行に配置されことを特徴とする成膜装置。前記気化器が設置される床面と、前記成膜室とが設置される床面とが共通であることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。前記気化器の構造が、前記床面から垂直方向に、分散部本体と、接続部と、気化部とが順次接続されたことを特徴とする請求項1または2記載の成膜装置。気化器を成膜室の側面と並行に配置し、かつ、気化器の構造を、垂直方向に、分散部本体と、接続部と、気化部とが順次上側に接続された構造とし、前記気化器から材料気化ガスを、材料気化ガス供給配管にて、前記成膜室に供給することを特徴とする気化器の設置方法。従来の成膜装置は、成膜室の上に気化器が配置されており、建物内での設置の高さが必要であって、建物の建設コストがかかり、また、保守を行う場合、気化器が高い位置にあるので、保守が煩雑で、作業時間を要するという問題点があった。本発明の課題は、設置する場合に、建物内での設置の高さ制限が、緩和された、またメンテナンス保守が簡単である成膜装置および気化器の設置方法を提供することである。本発明の請求項1に係る成膜装置は、成膜用液体材料供給系と、前記液体材料をキャリアガスと混合して気化させる気化器と、前記気化器から出る材料気化ガスを基板に流して膜を成膜させる成膜室と、前記気化器からのガスを、前記成膜室に供給する材料気化ガス供給配管とで構成される成膜装置であって、前記気化器が、前記成膜室の側面と並行に配置されことを特徴とする成膜装置である。本発明の請求項2に係る成膜装置は、前記気化器が設置される床面と、前記成膜室とが設置される床面とが共通であることを特徴とする請求項1記載の成膜装置である。本発明の請求項3に係る成膜装置は、前記気化器の構造が、前記床面から垂直方向に、分散部本体と、接続部と、気化部とが順次接続されたことを特徴とする請求項1または2記載の成膜装置である。また、必要に応じて気化器に接続される気化輸送管である材料気化ガス供給配管内に内部ヒータを設置し、気化輸送管である材料気化ガス供給配管外壁からの熱エネルギー供給量を補い、原料の気化をより完全なものとすることも出来る構造とすることができる特徴を有するものである。本発明の請求項4に係る気化器の設置方法は、床面から垂直方向に、分散部本体と、接続部と、気化部とが順次上側に積層接続された気化器を、成膜室の側面と並行に配置し、材料気化ガス供給配管にて、前記気化器から材料気化ガスを、前記成膜室に供給することを特徴とする気化器の設置方法である。この様にすることにより気流の流れが噴流層的な様相を呈し、よりスムーズな気化が進行することが期待される。本発明の請求項1、2,3による成膜装置によれば、建物内での設置の高さ制限が、緩和された、またメンテナンス保守が簡単である成膜装置を提供できる。本発明の請求項4による気化器の設置方法によれば、成膜装置を、建物内での設置の高さ制限が、緩和された、またメンテナンス保守が簡単にすることが可能となる。本発明によれば、建物内での設置の高さ制限が、緩和された、またメンテナンス保守が簡単である成膜装置および気化器の設置方法を提供できる。本発明の成膜装置は、成膜用液体材料供給系と、前記液体材料をキャリアガスと混合して気化させる気化器と、前記気化器から出る材料気化ガスを基板に流して膜を成膜させる成膜室と、前記気化器からのガスを、前記成膜室に供給する材料気化ガス供給配管とで構成される成膜装置であって、前記気化器が、前記成膜室の側面と並行に配置されことを特徴とする成膜装置である。また、本発明の成膜装置は、前記気化器が設置される床面と、前記成膜室とが設置される床面とが共通であることを特徴とする請求項1記載の成膜装置である。また、本発明の成膜装置は、前記気化器の構造が、前記床面から垂直方向に、分散部本体と、接続部と、気化部とが順次接続されたことを特徴とする請求項1または2記載の成膜装置である。また、本発明の気化器の設置方法は、気化器を成膜室の側面と並行に配置し、かつ、気化器の構造を、垂直方向に、分散部本体と、接続部と、気化部とが順次上側に接続された構造とし、前記気化器から材料気化ガスを、材料気化ガス供給配管にて、前記成膜室に供給することを特徴とする気化器の設置方法である。以下、本発明の成膜装置および気化器の設置方法の実施例について説明する。実施例1図1は、本発明の成膜装置100の図である。成膜装置100は、成膜用液体材料供給系と、前記液体材料をキャリアガスと混合して気化させる気化器30aと、前記気化器30aから出る材料気化ガスを基板に流して膜を成膜させる成膜室40aと、前記気化器からのガスを、前記成膜室40aに供給する材料気化ガス供給配管50aとで構成されている。ここで、気化器30aが、成膜室40aの側面と並行に配置されことを特徴とする成膜装置である。この構造によって、成膜装置100の高さは、1,5メートルから1,6メートルの範囲に収まり、成膜装置100の保守、メンテナンスの作業が、容易にできる。従来の図3の成膜装置101では、気化器30が、成膜室40bの上部にあるため、装置全体の高さが、2メートル以上であり、メンテナンスの作業が、困難であった。図2は、図1の実施例1の成膜装置に使用される気化器30aの断面図である前記気化器30aの構造は、床面70から垂直方向に、分散部8aと、接続部23aと、気化部22aとが順次接続された構造である。"