真空容器内で放射性廃棄樹脂を燃焼させて、この樹脂を減容化処理する高周波誘導結合プラズマ処理装置であって、真空容器内で発生するプラズマに電力を供給するための高周波誘導コイルと、この高周波誘導コイルを冷却するための冷却手段と、この高周波誘導コイルにより発生する電磁界を透過し、境界壁により外部空間から遮断された窓材と、を備え、窓材と高周波誘導コイルとの間には絶縁性の熱伝導材を備えたことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ処理装置。熱伝導材と窓材との間に、1枚以上のシート状緩衝材を備えたこと、を特徴とする請求項1に記載の高周波誘導結合プラズマ処理装置。窓材と熱伝導材とを接触させたときに、窓材と熱伝導材との間にできる隙間の大きさが、シート状緩衝材の厚さ以下となること、を特徴とする請求項2に記載の高周波誘導結合プラズマ処理装置。熱伝導材が、厚さ方向に複数個に分割して形成した素材を組み合わせたものであること、を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の高周波誘導結合プラズマ処理装置。熱伝導材が、窒化アルミニウムであること、を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の高周波誘導結合プラズマ処理装置。緩衝材が、石英ガラス繊維であること、を特徴とする請求項2ないし請求項5のいずれか一項に記載の高周波誘導結合プラズマ処理装置。原子力関連設備では、放射性物質の格納性能が求められる。そのため、窓材が破損した場合に備えて、高周波誘導コイルの外側に境界壁以下で、密閉構造あるいはバウンダリとも言うが必要となる。ヒータステージやプラズマ燃焼ガスから窓材に加えられた熱は、図2における従来の構造の除熱方法では、高周波誘導コイル10の水冷構造高周波誘導コイル10を緩衝材11により巻いた構造によって、熱が除去される他に、輻射や対流によって、熱が外部へと放熱されている。ところが、密閉構造4付加した場合には、輻射と対流による放熱が妨げられて、窓材の温度が著しく上昇するため、従来よりも高い除熱能力が求められる。密閉構造4で窓材1の冷却を、高周波誘導コイル10の冷却構造のみで行う場合には、従来の図2の構造では、窓材1と高周波誘導コイル10との接触面での熱流束が増加し、高周波誘導コイル10に接している部分と接していない部分とで、窓材1に加わる温度に、大きな温度差が生じてしまい、熱応力によって窓材1が破損する可能性が大きくなる。従来の方法として、特許文献1には、水冷されたアルミの冷却部材を、チャンバーに接触させる方法が開示されている。しかしながら、アルミは、電磁界を遮蔽してしまうため、窓材の冷却に用いることはできない。また、窓材は、真空圧力に耐えるように、外に凸となるような湾曲した形状となっている。このため、冷却部材を窓材と同じ曲面形状に加工して接触させると、微細な形状の相違により、窓材と接触している部分と接触していない部分とができる。このため、接触している部分と接触していない部分とでは、窓材の温度が大きく相違するため、窓材に加わる熱応力による、窓材の破損の可能性が高くなる。特許文献2においては、窓材の破損を防ぐために、窓材を圧縮空気により冷却する方法が開示されている。しかし、この方法では、高周波誘導コイルの冷却構造とは別に、空冷のための設備が必要となる。また、空冷では、冷却能力が小さいため、十分な冷却効果が得られないという問題もある。本発明は、以上の問題を解決し、密閉構造においても、窓材を効果的に冷却でき、窓材の熱応力による破損を防止する装置を提供することを、目的とするものである。本発明によれば、真空容器内で放射性廃棄樹脂を燃焼させて、この樹脂を減容化処理する高周波誘導結合プラズマ処理装置であって、真空容器内で発生するプラズマに電力を供給するための高周波誘導コイルと、この高周波誘導コイルを冷却するための冷却手段と、この高周波誘導コイルにより発生する電磁界を透過し、境界壁により外部空間から遮断された窓材と、を備え、窓材と高周波誘導コイルとの間には絶縁性の熱伝導材を備えたこととする。ここで、熱伝導材としては、代表的なものとして、窒化アルミニウムが挙げられる。窒化アルミニウムは、電気伝導度が小さく10-11S/cm程度で絶縁体に近い、熱伝導率が高い150W/mK。電気伝導度が大きい材料を用いると、外部から供給した電力が、渦電流となってしまい、好ましくない。窒化アルミニウムの他には、チタンの窒化物が挙げられる。また、熱伝導率は低下するが、アルミナ熱伝導率:32W/mKを用いることもできる。また、本発明によれば、熱伝導材と窓材との間に、1枚以上のシート状緩衝材を備えたこととする。緩衝材としては、代表的なものとして、石英ガラス繊維が挙げられる。石英ガラス繊維は、電気伝導度が小さいので、誘導電流が流れ難い。アルミナを繊維状に焼結したものも、用いることができる。いずれにしろ、窓材である石英の熱膨張率は約10-7/Kであるが、この石英と熱膨張率が近い材料であれば、窓材との熱膨張率の差がなくなるので好ましい石英ガラス繊維の熱膨張率は、5×10-7/K程度である。さらに、緩衝材としては、弾性率GPaが小さい石英ガラス繊維の弾性率は、72.5GPa程度である、柔らかい材料が好ましい。熱伝導材と窓材との間に挟まれたときに、なじみが良いからである。このような構成を採用することにより、窓材と熱伝導材との接触面積は、窓材と高周波誘導コイルとの接触面積よりも増大する。そのため、窓材表面における熱流束を低減することができる。また、シート状の緩衝材が、窓材と熱伝導材との間の、微細な形状の差異を吸収するので、窓材と緩衝材との間の熱流束を均一化することができる。その結果として、密閉構造においても、窓材の内部に発生する熱応力を緩和して、窓材の破損の可能性を低減する。なお、緩衝材は、後述する実施例で示すように、非常に薄いので、窓材からの熱が熱伝導材に移行することを妨げない。この結果、上記した構成を採用することにより、従来よりも格段に窓材の破損の可能性が小さい高周波誘導結合プラズマ処理装置を実現することができる。また、本発明によれば、窓材と熱伝導材とを接触させたときに、窓材と熱伝導材との間にできる隙間の大きさが、シート状緩衝材の厚さ以下となることとする。このような構成を採用すれば、シート状緩衝材を介して熱伝導材に到達する熱の量が増加する。ただし、本発明においては、必ずしも隙間が皆無であることを必要としない。緩衝材と窓材との間、ならびに緩衝材と熱伝導材との間には、それぞれ、緩衝材の厚さと同程度の隙間が有ってもよい。これは、空気と緩衝材との熱伝導率の値は、それ程相違しないからである。この構成の採用により、より窓材からの熱の移行を促すことができるようになり、窓材の温度が上昇せず、窓材の破損を防止することができる。さらに、本発明によれば、熱伝導材が、厚さ方向に複数個に分割して形成した素材を組み合わせたものであることとする。このようにすれば、厚い熱伝導材の素材から熱伝導材を削り出すよりも、コストを低減することができる。本発明によれば、熱伝導材と緩衝材とを用いた簡単な構成により、窓材の破損の可能性を低減することが可能となる。図1に、本発明の実施例である、高周波誘導結合プラズマ処理装置の中央断面図を示す。図1において、1は窓材で、バウンダリ境界壁4によって、外部空間から遮断されている。2はチャンバー真空容器で、この内部で、樹脂の減容化処理が行われる。3はガラス押さえで、窓材1を押圧している。5はヒータステージで、このヒータステージの上に樹脂6が載置される。樹脂6は、図示しない樹脂投入口からヒータステージ上に投入され、減容化された樹脂は、図示しない吸引口から排出される。7は酸素供給口であり、この酸素がプラズマ化されて樹脂6を減容する。8は燃焼ガス排出口であり、ここから燃焼してガスとなった部分の樹脂6が排出される。10は水冷手段付高周波誘導コイルであり、このコイルは、螺旋状の銅板に銅管をロウ付けした構造の水冷手段によって冷却されている。11は、熱伝導材12と窓材1との間に介挿されたシート状緩衝材である。[実施例]図1において、ステンレス製の円筒形状のチャンバー2の上面に、石英ガラス製の窓材1を置き、ガラス窓押さえ3とOリングとで、真空に封止する。窓材1の上面には、円形シート状の、石英ガラス繊維織布から成る緩衝材11を介して、窒化アルミニウム製の熱伝導材12を設置し、この熱伝導材12の上に、水冷された高周波誘導コイル10を載せる。冷却水の温度は、20°C~40°Cが好ましいが、特にこの温度範囲に限定されるものではなく、0°C~100°C程度であっても良い。窓材1の上部は、境界壁であるバウンダリ4によって密閉する。チャンバー2の内部には、放射性廃棄物であるイオン交換樹脂が、図示しない投入口から投入されて載置される、回転可能なヒータステージ5がある。この高周波誘導結合プラズマ処理装置全体の直径は、本実施例では1.1mとし、窓材1の直径は、0.8mとした。直径0.6mの熱伝導材12は、厚さ30mmの上部部材と最大厚さ15mmの下部部材とに分かれていて、この上部部材と下部部材とは、セラミックス製の螺子で緩やかに締結する。熱伝導材12を分割構造とするのは、窒化アルミニウムの素材コストを低減するためである。熱伝導材12の下面は、窓材1の表面形状に合わせて切削加工してあるが、窓材1との微細な形状の相違を吸収するために、厚さ1.2mmの緩衝材11を、窓材1と熱伝導材12との間に挟む。緩衝材11によって、熱伝導材12と窓材1との間の隙間が充填されるので、熱伝導材12の全面に亘って、均等に近い冷却が可能になる。典型的なプラズマ処理の概要を以下に示す。チャンバー2の内部圧力を1~4kPaに保ちつつ、酸素供給口7から、30~50NL/minNLはノーマルリッターの略で、0°C1気圧での量である。の酸素を供給する。高周波誘導コイル10に、周波数450kHz~13.6MHzで、1~4kWの電力を供給し、チャンバー2の内部の酸素をプラズマ化させる。ヒータステージ5を、400°C~700°Cに加熱すると、樹脂6は気化蒸発し、酸素プラズマ雰囲気中で燃焼して、燃焼ガス排出口8から、二酸化炭素と水蒸気となって排出される。減容化された固体部分は、図示しない吸引口から排出される。プラズマ処理の過程では、ヒータステージ5からの輻射熱やプラズマ燃焼ガスからの熱は窓材に流入するが、これらの熱は、殆ど全てが熱伝導材12を経由して、高周波誘導コイル10に付加されている水冷手段によって除去される。本発明の窓材1と熱伝導材12との間に緩衝材11を介在させた構造によれば、熱伝導材12の材料にもよるが、本実施例では窓材1の温度が、従来の556°Cから372°Cまで、200°C近く低下した。また、窓材1の内部に発生する熱応力は、従来の3.7MPaから2.7MPaにまで低下した。これにより、本発明によれば、窓材1の熱による破損の可能性を、著しく低下させることができる。