光共振器を構成する第一及び第二のグレーティングを有する光ファイバグレーティングの製造方法であって、照射強度Zが、下記式1を満たすように紫外光を光ファイバに照射して前記第一のグレーティングを形成することを特徴とする光ファイバグレーティングの製造方法。Z≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y1ここで、Zは前記紫外光の照射強度mJ/mm2であり;ΔλSは、前記第一のグレーティング及び前記第二のグレーティングの反射波長が互いに重なり合う限りにおいて許容される、前記第一のグレーティングの反射中心波長の最大変化量であり;xは、前記第一のグレーティングにおける温度変化1°Cあたりの前記反射中心波長の変化量nm/°Cであり;Yは導波光の強度Wである。前記ΔλSは、前記第二のグレーティングの反射中心波長と、前記第一のグレーティングにおいて反射スペクトル強度が半値となる各波長との差の絶対値のうちの、小さい方の値であることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバグレーティングの製造方法。前記第一のグレーティングにおける温度変化がプラスの場合、前記ΔλSは、前記第二のグレーティングの反射中心波長と、前記第一のグレーティングにおいて反射スペクトル強度が半値となる短波長側の波長との差の絶対値であることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバグレーティングの製造方法。前記紫外光の照射強度が、1~3mJ/mm2であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の光ファイバグレーティングの製造方法。請求項1~4のいずれか1項に記載の製造方法で得られた光ファイバグレーティングであって、下記式4~6の少なくとも一つを満たすことを特徴とする光ファイバグレーティング。L700≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/17.8254L750≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/26.3165L800≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/406ここで、L700は、波長700nmの導波光伝搬時における前記第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L750は、波長750nmの導波光伝搬時における前記第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L800は、波長800nmの導波光伝搬時における前記第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmである。前記式4~6のすべてを満たすことを特徴とする請求項5に記載の光ファイバグレーティング。請求項5又は6に記載の光ファイバグレーティングを備えたことを特徴とするファイバレーザ。一方、紫外光の照射強度を大きくして、十分な屈折率変調を得ようとする場合、通常は3mJ/mm2程度の強度で紫外光を照射することが多い。しかしながら、このような条件で形成されたグレーティングは、使用時において反射波長が変化してしまい、安定してレーザ発振できない光ファイバグレーティングが得られることがあるという問題点があった。本発明者らは、その原因について鋭意検討した結果、グレーティング形成時に紫外光が照射される領域において、導波光を吸収する部位が生じ、この吸収部位が原因でグレーティングの反射波長が変化することを突き止めた。すなわち、ファイバレーザ動作時の導波光がこの吸収部位で吸収されることで、グレーティング自体が発熱すると共に、この時の導波光の強度に応じて発熱の程度が変化して、グレーティングの反射波長が、変化してしまう。これに対して、先に説明したように、光ファイバ自体及びその周辺環境の温度の変化を抑制するために、温度補償機構を光ファイバグレーティングに設ける手法は提案されている。しかしながら、グレーティング自体の発熱を抑制する手法は、これまでに開示されていないのが実情である。グレーティングの発熱を抑制できれば、光ファイバグレーティングの反射波長の変化を十分且つ容易に抑制できると考えられる。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、グレーティングの発熱を抑制することで、反射波長の変化を十分に抑制できる光ファイバグレーティングと、その製造方法、並びに該光ファイバグレーティングを備え、安定してレーザ発振できるファイバレーザを提供することを課題とする。上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る光ファイバグレーティングの製造方法は、光共振器を構成する第一及び第二のグレーティングを有し、照射強度Zが、下記式1を満たすように紫外光を光ファイバに照射して前記第一のグレーティングを形成する。Z≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y1ここで、Zは前記紫外光の照射強度mJ/mm2であり;ΔλSは、前記第一のグレーティング及び前記第二のグレーティングの反射波長が互いに重なり合う限りにおいて許容される、前記第一のグレーティングの反射中心波長の最大変化量であり;xは、前記第一のグレーティングにおける温度変化1°Cあたりの前記反射中心波長の変化量nm/°Cであり;Yは導波光の強度Wである。前記ΔλSは、前記第二のグレーティングの反射中心波長と、前記第一のグレーティングにおいて反射スペクトル強度が半値となる各波長との差の絶対値のうちの、小さい方の値であってもよい。前記第一のグレーティングにおける温度変化がプラスの場合、前記ΔλSは、前記第二のグレーティングの反射中心波長と、前記第一のグレーティングにおいて反射スペクトル強度が半値となる短波長側の波長との差の絶対値であってもよい。上記光ファイバグレーティングの製造方法において、前記紫外光の照射強度が、1~3mJ/mm2であってもよい。また、本発明の一態様に係る光ファイバグレーティングは、上記製造方法で得られた光ファイバグレーティングであって、下記式4~6の少なくとも一つを満たす。L700≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/17.8254L750≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/26.3165L800≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/406ここで、L700は、波長700nmの導波光伝搬時における前記第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L750は、波長750nmの導波光伝搬時における前記第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L800は、波長800nmの導波光伝搬時における前記第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmである。上記光ファイバグレーティングにおいて、前記式4~6のすべてを満たしてもよい。また、本発明の一態様に係るファイバレーザは、上記光ファイバグレーティングを備える。上記本発明の態様によれば、光ファイバグレーティングにおいて、グレーティングの発熱を抑制し、反射波長の変化を十分に抑制できる。そして、かかる光ファイバグレーティングを使用することで、レーザの発振効率が高く、安定してレーザ発振できるファイバレーザ等の光部品や光学装置が得られる。<光ファイバグレーティングの製造方法>本発明の一実施形態に係る光ファイバグレーティングの製造方法は、光共振器を構成する第一及び第二のグレーティングを有する光ファイバグレーティングの製造方法であって、照射強度Zが、下記式1を満たすように紫外光を光ファイバに照射して前記第一のグレーティングを形成する。Z≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y1ここで、Zは紫外光の照射強度mJ/mm2であり;ΔλSは、第一のグレーティング及び第二のグレーティングの反射波長が互いに重なり合う限りにおいて許容される、第一のグレーティングの反射中心波長の最大変化量であり;xは、第一のグレーティングにおける温度変化1°Cあたりの反射中心波長の変化量nm/°Cであり;Yは導波光の強度Wである。前記第一のグレーティングは、例えば、反射率が99以上で、且つ反射スペクトル強度半値幅以下、Δλと略記することがあるが0.1nm以上である。本発明の一実施形態に係る製造方法では、反射波長の変化が許容範囲内に抑制される時の、反射率が99以上のグレーティングの温度上昇値グレーティングの許容される温度上昇値を、グレーティング形成時における紫外光の照射強度Zと、導波光の強度Wとの関数で近似し、その関係から、前記式1に示すように、紫外光の照射強度Zの上限値を規定する。前記式1の関係は、本発明者らにより、初めて見出されたものである。グレーティングの形成に供する光ファイバは、例えば、ゲルマニウムGe等のドーパントが添加された石英ガラスコアと、石英ガラスクラッドとを有する公知のもので良い。グレーティングは、光ファイバに紫外光を照射することにより形成できる。紫外光が照射された部位では屈折率が上昇して、所望の屈折率変調構造をもたらすことで形成できる。この時、屈折率上昇速度を速めるため、光ファイバ中に水素分子を拡散させた光ファイバを使用することが好ましい。このような光ファイバも、公知の方法で得られたもので良い。本実施形態においては、光ファイバに形成する第一のグレーティング及び第二のグレーティングのうち、少なくとも第一のグレーティングの反射率は99以上であり、且つそのΔλは0.1nm以上である。反射率及びΔλは、紫外光の照射条件を適宜調節することで、調節できる。反射率を99以上であるグレーティングで光共振器を構成することにより、ファイバレーザは、高い発振効率で安定してレーザ発振できる。例えば、図1に示すファイバレーザ1では、少なくともポンプレーザ11に近い方の第一のグレーティング131を、反射率99以上とすれば良い。第二のグレーティング132は、導波光の伝搬により発熱しないものとする。また、Δλが0.1nm以上であるグレーティングで光共振器を構成することにより、二つのグレーティングの反射波長が容易に重なり合い、ファイバレーザは、高い発振効率で安定してレーザ発振できる。例えば、図2Aでは、ファイバレーザ1において、反射率を99以上で且つΔλが0.1nm以上である第一のグレーティング131と、第二のグレーティング132との反射波長が重なり合っている様子を示している。Δλは、0.4~0.6nmであることが好ましく、0.5nm程度であることがより好ましい。第一のグレーティング131及び第二のグレーティング132の反射中心波長のずれは小さいほど好ましく、ずれがない反射中心波長が一致することがより好ましい。次に、前記式1の根拠について説明する。反射率が99以上のグレーティング部位を導波光が伝搬する時、一部の導波光がグレーティング部位で吸収され、その結果発熱することがある。このようなグレーティングでの温度変化は、グレーティングの周辺環境の温度変化と同様に、グレーティングの反射波長の変化をもたらす。ここで導波光とは、光ファイバ中を伝搬する光であり、ファイバレーザの場合であれば、増幅媒体を励起するための励起光ポンプ光、増幅された信号光レーザ発振光等が該当する。グレーティング部位で導波光が吸収されるのは、グレーティング形成時に、紫外光の照射によって吸収部位が生じるからであると考えられる。ここで吸収部位としては、石英ガラスコア中のゲルマニウムGe等のドーパントに起因する構造欠陥や、石英ガラスの体積変化に由来するものが考えられる。そして、前記吸収部位では、ガラスの構造不整合に伴う散乱吸収レイリー散乱が生じると考えられる。前記吸収部位の発熱に起因する温度上昇値は、導波光の強度にほぼ比例する。図3は、水素処理された光ファイバに、紫外光を照射して形成したグレーティングの、導波光の吸収特性を示すグラフである。グレーティングの形成に供した光ファイバは、GeO2が2.3molの濃度で添加された石英ガラスコアと、石英ガラスクラッドとを有し、コア径が9μm、クラッド径が125μm、コアの比屈折率差Δが0.23、カットオフ波長が945nmである。ここに示す光ファイバは、本発明に好適な光ファイバの一例である。前記光ファイバは、300気圧、50°C、100時間の条件で水素処理が施されている。照射した紫外光の波長は248nm、照射強度は1mJ/mm2実験例1、2mJ/mm2実験例2、3mJ/mm2実験例3であり、照射時間は120分実験例1、60分実験例2、40分実験例3である。また、導波光として波長400~1800nmの白色光を使用し、これを光ファイバグレーティングの一端から入射させ、他端で透過光のスペクトルをスペクトルアナライザで計測している。図3に示すように、特に実験例2及び3では、波長が800nmよりも低波長の領域で、導波光の吸収が急激に増加しており、さらに、吸収は1000nm以上の領域にまで広範囲に渡っている。したがって、例えば、波長915nm、980nm、1063nm等の導波光も吸収され、グレーティング部位は発熱する。一方、実験例1では、同様の傾向が見られるものの、導波光の吸収は抑制されている。このように、紫外光照射部位グレーティングにおいては、導波光の吸収部位が生じており、紫外光の照射強度が大きいほど、導波光の吸収量が多くなっている。さらに、図3に示す吸収特性を有する上記光ファイバグレーティングについて、導波光として波長1050nmのレーザを一端から入射させ、他端でカロリーメータにより導波光の強度を測定すると共に、グレーティングの温度を側面からサーモカメラで測定した時の温度特性を図4に示す。図4に示すように、紫外光の照射強度が大きいほど、グレーティングの温度上昇値が大きい。また、同じ照射強度では、導波光の強度が大きいほど、グレーティングの温度上昇値が大きい。なお、図3及び4に示す結果は、例えば、グレーティング形成時に位相マスクを介して紫外光を照射した場合にも見られ、位相マスクの有無によらない。位相マスクを介して紫外光を照射するグレーティングの形成方法は、例えば、日本国特開2002-48927号公報に開示されている。先に述べたように、従来は、グレーティングの反射率を高めるために、グレーティング形成時に光ファイバに照射する紫外光の照射強度を3mJ/mm2程度としていた。そして、この時形成されたグレーティングは、使用時において反射波長が変化してしまうという問題点があった。その原因は、上記のような吸収部位に起因するグレーティングの発熱であると考えられる。一方、先に述べたように、グレーティング形成時の紫外光の照射時間を長くした場合には、照射中の空気の揺らぎや温度変化によって、光ファイバにおける紫外光の照射位置に微小なずれが生じることで、屈折率変調部位がぼやけてしまうという問題点があった。しかし、導波光の吸収部位の発生は抑制されていると考えられる。そこで、反射率が99以上で、且つΔλが0.1nm以上のグレーティングを形成する時の紫外光の照射強度、グレーティングにおける導波光の強度を種々変化させ、グレーティングの温度を測定し、グレーティングにおける反射波長の変化の様子について考察した結果、導波光が伝搬した時のグレーティング第一のグレーティングの温度上昇値ΔTは、下記式2で近似される関係を満たすことが見出された。ΔTが小さいということは、グレーティングの発熱が抑制されていることを意味する。下記式2は、全く新しい新規なものであり、後述する実施例から導出できる。ΔT=0.05625Z-0.04556Y21.6125Z-1.2225Y2ここで、ΔTは導波光が伝搬した時のグレーティングの温度上昇値°Cであり;Zは紫外光の照射強度mJ/mm2であり;Yは導波光の強度Wである。上記式2のYは導波光の強度Wであり、本実施形態に係る光ファイバグレーティングを備えた光部品や光学装置の使用目的に応じて設定される値であり、特に限定されない。ただし、光ファイバグレーティングの汎用性等を考慮すると、たとえば、Yの数値範囲は、好ましくは25W以下、より好ましくは20W以下である。Zは、グレーティング形成時の紫外光の照射強度mJ/mm2であり、Yに応じて適宜調節すればよい。例えば、Yが上記数値範囲である場合、Zは0.2~5mJ/mm2であることが好ましく、0.5~4mJ/mm2であることがより好ましく、1~3mJ/mm2であることが特に好ましい。例えば、図2Aに示す第一のグレーティング131及び第二のグレーティング132の場合を考える。光ファイバグレーティングに所望の光を入射させる前の段階Yが0、すなわち、第一のグレーティング131の温度上昇値ΔTが0°Cの場合では、第二のグレーティング132の反射中心波長と、第一のグレーティング131におけるΔλの端の波長との差の絶対値を、それぞれΔλ1及びΔλ2とした場合、Δλ=Δλ1Δλ2の関係が満たされる。Δλ1は、第二のグレーティング132の反射中心波長と、Δλの両端のうちの短波長側の波長との差の絶対値であり、Δλ2は、第二のグレーティング132の反射中心波長と、Δλの両端のうちの長波長側の波長との差の絶対値である。光ファイバグレーティングに光を入射し、反射率が99以上の第一のグレーティング131を導波光が伝搬する時に、第一のグレーティング131での温度上昇をΔT°C、第一のグレーティング131における温度変化1°Cあたりの反射中心波長の変化量をxnm/°Cとすると、第一のグレーティング131の反射中心波長の変化量はx×ΔTnmである。すなわち、x×ΔTnmだけ第一のグレーティング131の反射中心波長が長波長側へシフトする。Δλ1及びΔλ2のうちの、小さい方の値をΔλSとした場合図2Aでは、Δλ2がΔλSとなる、x×ΔT≦ΔλSの関係が満たされれば、第一のグレーティング131及び第二のグレーティング132の反射波長が重なり合う。このようなグレーティングで光共振器を構成することにより、光ファイバグレーティングは安定してレーザ発振できる。したがって、下記式3で表される関係が満たされれば良い。ΔT≦ΔλS/x3ここで、ΔλSは前記と同様であり:ΔTは、導波光が伝搬した時の第一のグレーティングの温度上昇値であり:xは、第一のグレーティングにおける温度変化1°Cあたりの反射中心波長の変化量nm/°Cである。なお、一般的に導波光が伝搬した時の第一のグレーティング131の温度変化はプラスである。この場合、図2Aの例Δλ1>Δλ2では、第一のグレーティング131の反射中心波長の変化量がΔλ1以下であれば、第一のグレーティング131及び第二のグレーティング132の反射波長は重なり合う。すなわち、導波光が伝搬した時の第一のグレーティング131の温度変化はプラスである場合には、上記式3において、第一のグレーティング131の反射中心波長の変化量ΔλSは、第二のグレーティング132の反射中心波長と、第一のグレーティング131において反射スペクトル強度が半値となる短波長側の波長との差の絶対値Δλ1であってもよい。グレーティングの反射波長は、光ファイバを構成する材質に応じた実効屈折率に比例し、温度に依存する。xは、例えば、グレーティングの温度が1°C変化した時の、グレーティングの反射中心波長のずれnmを測定することにより求められる。xは0.005~0.02であることが好ましく、0.01程度であることがより好ましい。通常使用される光ファイバのほとんどは、上記xの数値範囲を満たす。前記ΔλS及びxは、公知の方法に従って、グレーティングの構造や光ファイバを構成する材質等により調節できる。上記式2に示されているΔTを上記式3に代入し、さらにZについて整理することで、下記式1が得られる。Z≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y1ここで、Z、ΔλS、x及びYは前記と同様である。すなわち、紫外光を前記式1の関係を満たすように照射して形成された第一のグレーティング、及び第二のグレーティングは、反射波長の重なり合いが妨げられないものとなる。本実施形態によれば、前記式1を満たすように光ファイバに紫外光を照射することにより、反射波長の変化を抑制することができる。前記式1を満たすことで、第一のグレーティングの発熱が許容範囲内に抑制される。また、本実施形態では、光ファイバグレーティングにおいて想定される導波光の強度と、ΔλS及びxの値とを考慮して、紫外光の照射強度を決定する。したがって、例えば、第一のグレーティングにおける反射波長の変化が許容範囲内に抑制されるように照射強度を決定すれば、従来のような必要以上に大きい強度の紫外光を照射することによる問題が生じない。また、必要以上に紫外光の照射強度を小さくせず、第一のグレーティングにおける反射波長の変化が許容範囲内に抑制されるように照射強度を決定すれば、従来のような紫外光の照射時間が長過ぎることによる問題が生じない。本実施形態に係る製造方法は、上記のように、真に必要とされる紫外光の照射強度を特定できる点で、従来の製造方法とは全く異なる。例えば、紫外光の照射強度を3mJ/mm2程度の大きい値としても、光ファイバグレーティングを光部品や光学装置に適用可能な光ファイバグレーティングを作製できる。本実施形態に係る製造方法によれば、紫外光の照射強度を上記のように調節する点を除けば、従来と同様の方法で光ファイバグレーティングを形成できる。照射する紫外光としては、例えば、KrFエキシマレーザ光、Arガスレーザの二倍波等が用いられる。本実施形態に係る製造方法においては、さらに、グレーティングを安定して形成するための公知の方法を併用しても良い。併用する方法は、本発明の効果を妨げない限り特に限定されない。i光ファイバをその長手方向に沿って紫外光でスキャンするように照射する方法特開2002-48927号公報参照、ii位相マスクに紫外光を照射して、回折光同士の干渉によって生じた周期的な強度分布を有する紫外光を、光ファイバの長手方向に沿って照射する方法特開2004-279477号公報、特開2004-271689号公報参照が例示できる。前記iの方法では、紫外光で光ファイバをスキャンすることで、紫外光の照射強度のばらつきが平均化される。すなわち、前記iの方法によれば、紫外光照射手段の経時的な状態変化等に基づく紫外光の照射強度のばらつきや、照射面内における紫外光の経時的な強度のばらつきが抑制されるので、照射時間が長くなっても、グレーティングを一層安定して形成できる。前記iiの方法では、位相マスク内で紫外光が反射して生ずる回折光同士の干渉を妨げないように位相マスクの厚さを設定することで、照射時間を短縮できると共に、グレーティングを一層安定して形成できる。また、光ファイバと位相マスクとの間にアルゴンAr、窒素N2又はヘリウムHe等の不活性ガスを流し、紫外光照射時に発生する蒸散物の、位相マスクへの付着を防止することで、照射時間を短縮できると共に、グレーティングを一層安定して形成できる。本実施形態に係る方法により製造された光ファイバグレーティングでは、導波光を所定の強度とすることにより、第一のグレーティングにおける温度上昇値が許容範囲内に抑制されるので、反射波長の変化が抑制される。そして、かかる光ファイバグレーティングを使用して構成した光部品や光学装置は、光学特性に極めて優れたものとなる。例えば、かかる光ファイバグレーティングで光共振器を構成したファイバレーザは、レーザの発振効率や安定性に極めて優れたものとなる。<光ファイバグレーティング>本発明の一実施形態に係る光ファイバグレーティングは、上記実施形態に係る製造方法で得られた光ファイバグレーティングであって、下記式4~6の少なくとも一つを満たすことを特徴とする。L700≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/17.8254L750≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/26.3165L800≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/406ここで、L700は、波長700nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L750は、波長750nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L800は、波長800nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり;ΔλSは、第一のグレーティング及び第二のグレーティングの反射波長が互いに重なり合う限りにおいて許容される、第一のグレーティングの反射中心波長の最大変化量であり;xは、第一のグレーティングにおける温度変化1°Cあたりの反射中心波長の変化量nm/°Cであり;Yは導波光の強度Wである。前記式4~6の関係は、本発明者らにより、初めて見出されたものである。上記式4~6において、L700は、波長700nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L750は、波長750nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmであり、L800は、波長800nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmである。また、ΔλS、x、Yは、いずれも前記式1におけるΔλS、x、Yと同様である。ΔλSは、たとえば、第二のグレーティングの反射中心波長と、第一のグレーティングにおいて反射スペクトル強度が半値となる各波長との差の絶対値のうちの、小さい方の値であればよい。第一のグレーティングにおける温度変化がプラスの場合、ΔλSは、第二のグレーティングの反射中心波長と、第一のグレーティングにおいて反射スペクトル強度が半値となる短波長側の波長との差の絶対値であってもよい。次に、前記式4~6の根拠について説明する。上記実施形態に係る方法で製造された光ファイバグレーティングにおいて、例えば、第一のグレーティングは、反射率が99以上で、且つΔλが0.1nm以上である。図7には、このような光ファイバグレーティングにおいて、伝搬する導波光の波長と、導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmとの関係吸収特性について、第一のグレーティング形成時の紫外光の照射強度ごとに得られた結果が示されている。ここでグレーティングの形成に供した光ファイバは、図3に示す導波光の吸収特性を有するグレーティングの形成に供したものと同様である。すなわち、GeO2が2.3molの濃度で添加された石英ガラスコアと、石英ガラスクラッドとを有する光ファイバであって、コア径が9μm、クラッド径が125μm、コアの比屈折率差Δが0.23、カットオフ波長が945nmである。そして、その光ファイバには、300気圧、50°C、100時間の条件で水素処理が施されている。さらに、図7に示す結果から、波長が700nm、750nm及び800nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmと、第一のグレーティング形成時の紫外光の照射強度との関係を求めると、図8に示す結果が得られる。図8に示す結果から、下記式7~9で近似される関係が見出される。下記式7~9は、これまでに知られていない全く新規なものであり、後述する実施例から導出できる。なお、図8における波長700nm、750nm及び800nmの場合下記式7、8及び9の、前記損失量と紫外光の照射強度に関する相関係数は、それぞれ0.9956、0.9997及び0.9849である。L700=0.0561×Z7L750=0.0380×Z8L800=0.0250×Z9ここで、L700、L750、L800、Zは前記と同様である。さらに、前記式7~9をそれぞれZについて整理すると、下記式10~12が得られる。下記式10~12も全く新規なものである。Z=17.825×L70010Z=26.316×L75011Z=40.000×L80012ここで、L700、L750、L800、Zは前記と同様である。光ファイバグレーティングは前記式1を満たすので、前記式10~12に示されているZをそれぞれ前記式1に代入し、さらにL700、L750、L800について整理すると、下記式4~6が得られる。L700≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/17.8254L750≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/26.3165L800≦ΔλS/x0.04556Y21.2225Y/0.05625Y21.6125Y/406ここで、L700、L750、L800、ΔλS、x、Yは、前記と同様である。本実施形態に係る光ファイバグレーティングは、前記式4~6の少なくとも一つを満たす。前記式4~6のいずれか二つ以上を満たすことがより好ましく、前記式4~6のすべてを満たすことが特に好ましい。本実施形態において、第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量を規定する導波光の波長として、700nm、750nm及び800nmを選択している。その理由は、図7のグラフから明らかなように、同一波長における前記損失量が、第一のグレーティング形成時の紫外光の照射強度間で比較的大きく異なり、図8に示すような前記損失量dB/mmと紫外光の照射強度との関係の近似式を、一層正確且つ容易に導出できるためである。このように前記近似式を導出するのに好適な波長域は、図7から概ね850nm以下であり、このような波長域から、700nm、750nm及び800nmの三つの波長を特に選択している。また、図7から明らかなように、紫外光の照射強度によらず、850nm以下の波長域においては、前記損失量は概ね波長が短くなるのに伴って増加する。さらに、その波長域では、同一波長における前記損失量は、紫外光の照射強度が大きくなるほど多くなるという共通の傾向を有する。したがって、本実施形態に係る光ファイバグレーティングを特定するためには、この波長域における少なくとも一つの波長での前記損失量を規定すれば前記式4~6の少なくとも一つを満たせば良い。そして、好ましくは二つ、より好ましくは三つの波長での前記損失量を規定することで、一層好ましい光ファイバグレーティングを特定できる。光ファイバグレーティングは、伝搬する導波光の波長が、例えば、950~1100nm付近、特に1063nmである場合の前記損失量の値も、光部品や光学装置に適用を考慮すると重要である。しかし、このような波長域における前記損失量は値が小さいため、正確に測定することは困難である。そこで、850nm以下の波長を選択して光ファイバグレーティングを特定している。なお、損失量を規定する導波光の波長として、700nm、750nm及び800nm以外の波長を選択する場合には、この選択された波長における、前記式7~9に代わる新たな関係式を求めれば良い。<ファイバレーザ>本発明の一実施形態に係るファイバレーザは、上記実施形態に係る光ファイバグレーティングを備えたことを特徴とする。本実施形態に係るファイバレーザは、従来の光ファイバグレーティングの代わりに、上記実施形態に係る光ファイバグレーティングを備える点以外は、従来のファイバレーザと同様の構成とすることができる。図5は、本実施形態に係るファイバレーザを例示する概略構成図である。ここに示すファイバレーザ2は、第一のポンプレーザ211、第一のポンプコンバイナ221、第一のグレーティング231、希土類添加光ファイバ等の増幅媒体24、第二のグレーティング232、第二のポンプコンバイナ222及び第二のポンプレーザ212が、この順に光ファイバ25で接続されている。第一のグレーティング231は、上記実施形態に係る方法で形成されたものであり、反射率が99以上で、且つΔλが0.1nm以上である。第二のグレーティング232における反射率、Δλ等は、目的に応じて任意に設定できる。増幅媒体24の一端には第一のグレーティング231が接続され、他端には第二のグレーティング232が接続されており、これら全体で光共振器が構成されている。複数の第一のポンプレーザ211が並列に配置され、それぞれ第一のポンプコンバイナ221に接続されている。同様に、複数の第二のポンプレーザ212が並列に配置され、それぞれ第二のポンプコンバイナ222に接続されている。第一のポンプレーザ211及び第二のポンプレーザ212の数は、目的に応じて任意に設定できる。第一のポンプレーザ211、第一のポンプコンバイナ221、増幅媒体24、第二のグレーティング232、第二のポンプコンバイナ222、第二のポンプレーザ212及び光ファイバ25は、いずれも公知もので良く、目的に応じて任意に選択できる。ファイバレーザ2において、第一のポンプレーザ211からの励起光は第一のポンプコンバイナ221を通じて増幅媒体24に導波される。第二のポンプレーザ212からの励起光も第二のポンプコンバイナ222を通じて増幅媒体24に導波される。光共振器で増幅されたレーザは、図中の矢印で示すように、最終的に第二のポンプコンバイナ222から出射する。本実施形態に係るファイバレーザは、ここに示すものに限定されず、本発明の効果を妨げない範囲内において、適宜一部構成が修正又は付加されていても良い。例えば、従来のファイバレーザとして例示した図1のファイバレーザ1において、第一のグレーティング131に上記実施形態に係る方法で形成されたグレーティングを適用して得られたファイバレーザであっても良い。本実施形態に係るファイバレーザは、従来の光ファイバグレーティングの代わりに、上記実施形態に係る光ファイバグレーティングを使用すること以外は、従来のファイバレーザと同様の方法で製造できる。本実施形態に係るファイバレーザは、上記実施形態に係る光ファイバグレーティングを備えるので、所定の強度で光を導波させることにより、第一のグレーティングにおける温度上昇値が許容範囲内に抑制され、反射波長の変化が抑制される。その結果、レーザの発振効率や安定性に極めて優れる。以下、具体的実施例により、本発明についてより詳細に説明する。ただし、本発明は、以下に示す実施例に、何ら限定されるものではない。[実施例1]使用時の導波光の強度を想定し、光ファイバに上記実施形態に係る方法に基づき紫外光を照射して、反射率が99以上で、且つΔλが0.1nm以上のグレーティングを形成した。光ファイバとしては、GeO2が2.3molの濃度で添加された石英ガラスコアと、石英ガラスクラッドとを有し、コア径が9μm、クラッド径が125μm、コアの比屈折率差Δが0.23、カットオフ波長が945nmのものを使用した。この光ファイバを300気圧、50°C、100時間の条件で水素処理してから、紫外光の照射に供した。照射した紫外光の波長は248nmであり、照射時間は、99以上の反射率が得られるように適宜調節した。また、照射強度は1.0mJ/mm2実施例1-1、1.1mJ/mm2実施例1-2、1.2mJ/mm2実施例1-3、1.3mJ/mm2実施例1-4、1.4mJ/mm2実施例1-5、1.6mJ/mm2実施例1-6、1.8mJ/mm2実施例1-7、2.0mJ/mm2実施例1-8、2.5mJ/mm2実施例1-9、3.0mJ/mm2実施例1-10の十通りである。得られた光ファイバグレーティングについて、波長1050nmのレーザを一端から入射させ、他端でカロリーメータにより導波光の強度を測定すると共に、グレーティングの温度を側面からサーモカメラで測定した。この時の温度特性を示すグラフを図6に示す。図6に示す実施例1-1~1-10の場合の温度特性は、すべて前記式2で近似される関係を満たしていた。そして、前記式1を満たすようにYを設定して、光を入射させ、導波光を伝搬させた結果、いずれも、グレーティングの発熱が抑制され、反射波長の変化が抑制されていた。このように、特定の導波光強度Yに対して、紫外光の照射強度Zを所定の値以下とすることにより、グレーティングの発熱が抑制され、反射波長の変化が抑制されることを確認できた。例えば、本実施例では、ΔλSが約0.25、xが約0.01であるので、Yが15の場合には、Zを1.45以下とすれば良い。[比較例1]前記式1を満たさないようにZを設定したこと以外は、実施例1と同様にグレーティングを形成した。光を入射させた結果、グレーティングの発熱抑制は不十分であり、反射波長の変化が大きくなってしまった。例えば、Yが15の場合に、Zを2.0としたことにより、グレーティングの温度上昇値が大きくなってしまった。[実施例2]実施例1で作製した光ファイバグレーティングについて、波長400~1800nmの白色光を導波光とし、グレーティングにおける損失スペクトルを、スペクトルアナライザを使用して測定した。伝搬する導波光の波長と、導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmとの関係吸収特性を、第一のグレーティング形成時の紫外光の照射強度ごとに図7に示す。さらに、図7に示す結果から、波長が700nm、750nm及び800nmの導波光伝搬時における第一のグレーティングの長さ1mmあたりの損失量dB/mmと、第一のグレーティング形成時の紫外光の照射強度との関係を求めた。結果を図8に示す。図8に示す吸収特性は、前記式7~9で近似される関係をすべて満たしていた。そして、得られた光ファイバグレーティングは、前記式4~6のすべてを満たしていた。[実施例3]グレーティング形成時の紫外光の照射強度を、表1に示す通りとしたこと以外は、実施例1と同様の方法で第一のグレーティングを形成し、この光ファイバグレーティングを備えた図5に示すファイバレーザ2を作製した。第一のグレーティング231は、反射率を99.5、Δλを0.5nmとした。第二のグレーティング232は、反射率を10、Δλを0.1nmとした。そして、第一のグレーティング231及び第二のグレーティング232について、いずれも反射中心波長を1063.00nmに一致させた。第一のポンプレーザ211及び第二のポンプレーザ212として、波長915nmでの1個あたりの最大出力が6mWのポンプレーザを使用した。第一のポンプレーザ211及び第二のポンプレーザ212として、それぞれ14個ずつ、合計で28個の上記ポンプレーザを配置した。光ファイバ25としては、図9に示すように、コア25aに第一クラッド25b、第二クラッド25c及び保護被覆層25dがこの順に積層されたダブルクラッド光ファイバを使用した。この光ファイバ25を使用して、第一のグレーティング231及び第二のグレーティング232を形成した。増幅媒体24としては、光ファイバ25においてコア25aにイッテルビウムYbが添加された構造のものを使用した。ファイバレーザ2を作動させることで、第一のポンプレーザ211及び第二のポンプレーザ212からの励起光は、それぞれ第一のポンプコンバイナ221及び第二のポンプコンバイナ222を通じて、光ファイバ25の第一クラッド25bに結合され、増幅媒体24に導波される。また、光ファイバグレーティング第一のグレーティング231及び第二のグレーティング232はコア中に形成されている。したがって、ほとんどの励起光は光ファイバの第一クラッド中を導波し、コア中を導波しないため、コア中に形成されている第一のグレーティング231の発熱には関与しない。一方、光共振器で増幅されたレーザは、コア中を導波するため、第一のグレーティング231を発熱させ得る。次いで、ファイバレーザ2を作動させ、ファイバレーザ2のレーザ出力Wを測定し、第一のポンプレーザ211及び第二のポンプレーザ212からの励起光総量ポンプパワーWとの関係を確認した。これらの関係を示すグラフを図10~12にそれぞれ示す。図10は実施例3-1、3-2及び3-8、図11は実施例3-3~3-8、図12は実施例3-8におけるレーザ出力とポンプパワーとの関係をそれぞれ示すグラフである。図10から明らかなように、実施例3-1及び3-2においてレーザ出力は、ポンプパワーの増大に伴って増大したが、ある特定の値を超えたところで急激に減少してゼロとなり、レーザ発振できなくなってしまった、これは、増幅されたレーザによって第一のグレーティング231が発熱し、その結果、第一のグレーティング231と第二のグレーティング232との間で反射中心波長がずれて、第一のグレーティング231と第二のグレーティング232が光共振器として機能できなくなったためであると考えられる。また、図10~11から明らかなように、グレーティング形成時の紫外光の照射強度を小さくするに従い、レーザ発振できなくなるレーザ出力値が大きくなる傾向が確認された。これは、紫外光の照射強度が小さくなるに従って、増幅されたレーザによる第一のグレーティング231の発熱が抑制され、より大きなレーザ出力値までグレーティングが光共振器として機能できることを示している。すなわち、特定の導波光強度Yに対して、紫外光の照射強度Zを所定の値以下とすることにより、グレーティングの発熱が抑制され、反射波長の変化が抑制されている。例えば、レーザ出力50Wで安定してレーザ発振させるためには、実施例3-6~3-8の結果から明らかなように、第一のグレーティング形成時の紫外光の照射強度を0.90mJ/mm2以下とすれば良い。そして、図15実施例3-8から明らかなように、第一のグレーティング形成時の紫外光の照射強度を0.90mJ/mm2とした場合には、500W以上のレーザ出力でも安定してレーザ発振させることができた。このように、前記式1を満たすように紫外光を照射して形成した光ファイバグレーティングは、前記式4~6のすべてを満たし、かかる光ファイバグレーティングを備えたファイバレーザは、第一のグレーティングにおける温度上昇値が許容範囲内に抑制され、反射波長の変化が抑制されるので、レーザの発振効率や安定性に極めて優れることを確認できた。