"絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の感熱素子に接続された導電性の第1の配線膜及び前記第2の感熱素子に接続された導電性の第2の配線膜と、前記第2の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備え、前記絶縁性フィルムの前記第1の感熱素子及び前記第2の感熱素子の周囲に、複数の孔部が並んで形成されていることを特徴とする赤外線センサ。請求項1に記載の赤外線センサにおいて、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の配線膜に接続された一対の第1の電極パッド及び前記第2の配線膜に接続された一対の第2の電極パッドを備え、複数の前記孔部が、前記第1の電極パッドと前記第1の感熱素子との間及び前記第2の電極パッドと前記第2の感熱素子との間に形成されていることを特徴とする赤外線センサ。上記従来の技術には、以下の課題が残されている。すなわち、特許文献1の赤外線センサでは、赤外線を吸収し検出する温度検出器である第1の感熱素子と赤外線を反射し赤外線を検出しない温度検出器である第2の感熱素子との間に、熱バランスの差が有る場合、センサの応答性が悪化し、過渡特性にその影響が顕著に現れる不都合があった。この熱バランスを補正するために、従来は赤外線センサを各機械に組み上げた後に検出回路等を調整することにより対応する必要があった。この調整は赤外線センサを取り付けた機械一台毎の回路調整が必要である点と、調整のためのノウハウが必要であり、調整作業に時間がかかり、コストアップにつながると共に量産性の点で問題があった。また、特許文献2の技術では、赤外線受光窓部である導光部にネジ等の突出部を設置し、赤外線受光量を調整することにより対応しており、前述のノウハウや作業時間は不要又は軽減されるが、ネジ等を取り付ける機構が必要となり、センサ自体の大型化を招くと共にコストアップにつながる不都合があった。さらに、センサを設置する上でネジ等の突出部に留意が必要で、設置の際の自由度が大幅に低下してしまう問題もあった。本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、設置環境に応じて熱バランスの補正が容易にでき、ネジ等を用いずに低コストである赤外線センサを提供することを目的とする。本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第1の発明の赤外線センサは、絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の感熱素子に接続された導電性の第1の配線膜及び前記第2の感熱素子に接続された導電性の第2の配線膜と、前記第2の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備え、前記絶縁性フィルムの前記第1の感熱素子及び前記第2の感熱素子の周囲に、複数の孔部が並んで形成されていることを特徴とする。この赤外線センサでは、絶縁性フィルムの第1の感熱素子及び第2の感熱素子の周囲に、複数の孔部が並んで形成されているので、使用環境に応じて任意の孔部間を切断し、第1の感熱素子と第2の感熱素子との熱バランスを補正して、応答性過渡特性を改善することができる。すなわち、孔部が熱バランス補正機構として機能し、孔部を連結することで双方の感熱素子に入る熱量を調整し、機器へ組み込んだ際の精度及び応答性を改善可能である。また、孔部間を切断して繋げるだけで調整可能なため、外形の変化も小さく、設置状態や取付部位の自由度が高い。第2の発明の赤外線センサは、第1の発明において、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の配線膜に接続された一対の第1の電極パッド及び前記第2の配線膜に接続された一対の第2の電極パッドを備え、複数の前記孔部が、前記第1の電極パッドと前記第1の感熱素子との間及び前記第2の電極パッドと前記第2の感熱素子との間に形成されていることを特徴とする。すなわち、この赤外線センサでは、複数の孔部が、第1の電極パッドと第1の感熱素子との間及び第2の電極パッドと第2の感熱素子との間に形成されているので、外部と接続されて熱影響の大きい電極パッドに伝わる熱を孔部間の連結によって容易に調整することができる。本発明によれば、以下の効果を奏する。すなわち、本発明に係る赤外線センサによれば、絶縁性フィルムの第1の感熱素子及び第2の感熱素子の周囲に、複数の孔部が並んで形成されているので、孔部を連結することで熱バランスを調整し、機器へ組み込んだ際の精度及び応答性を改善可能である。したがって、ネジ等の他の部材を使用しないと共にセンサ自体の大きさや厚みを変えずに、任意の孔部間を連結するだけで熱バランスを容易にかつ低コストに調整することができる。以下、本発明に係る赤外線センサの一実施形態を、図1から図5を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能又は認識容易な大きさとするために縮尺を適宜変更している部分がある。本実施形態の赤外線センサ1は、図1から図4に示すように、絶縁性フィルム2と、該絶縁性フィルム2の一方の面下面、底面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、絶縁性フィルム2の一方の面に形成され第1の感熱素子3Aに接続された導電性金属膜である一対の第1の配線膜4A及び第2の感熱素子3Bに接続された導電性金属膜である一対の第2の配線膜4Bと、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6とを備えている。上記第1の配線膜4Aは、図1に示すように、第1の感熱素子3Aの周囲にまで配されて第2の配線膜4Bよりも大きな面積で形成されている。これらの第1の配線膜4Aは、一対の中央に第1の感熱素子3Aを配し、一対で外形状が赤外線反射膜6と略同じの四角形状に設定されている。すなわち、第1の配線膜4Aの面積及び形状は、絶縁性フィルム2の赤外線反射膜6が形成された部分と熱容量がほぼ等しくなるように設定している。また、一対の第1の配線膜4Aには、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された一対の第1の接着電極5Aが接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された一対の第1の電極パッド7Aが接続されている。また、一対の第2の配線膜4Bは、線状に形成されており、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された一対の第2の接着電極5Bが接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された一対の第2の電極パッド7Bが接続されている。なお、上記第1の接着電極5A及び第2の接着電極5Bには、それぞれ第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bの電極パッド3aが半田等の導電性接着剤で接着される。また、上記第1の電極パッド7A及び第2の電極パッド7Bは、外部の回路との接続を行うための電極である。上記絶縁性フィルム2は、ポリイミド樹脂シートで形成され、赤外線反射膜6、第1の配線膜4A及び第2の配線膜4Bが銅箔で形成されている。すなわち、これらは、絶縁性フィルム2とされるポリイミド基板の両面に、赤外線反射膜6、第1の配線膜4A及び第2の配線膜4Bとされる銅箔のフロート電極がパターン形成された両面フレキシブル基板によって作製されたものである。また、絶縁性フィルム2の第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bの周囲には、複数の孔部Hが並んで形成されている。これら複数の孔部Hは、第1の電極パッド7Aと第1の感熱素子3Aとの間及び第2の電極パッド7Bと第2の感熱素子3Bとの間に形成されている。例えば、本実施形態では、第1の電極パッド7Aと第1の感熱素子3Aとの間及び第2の電極パッド7Bと第2の感熱素子3Bとの間に、それぞれ6つの孔部Hが直線状に並んで形成されている。各孔部Hの間隔は、カッター、ニッパー又はドリル等で容易に切断可能で、孔部Hを連結可能な幅に設定されている。さらに、上記赤外線反射膜6は、図2に示すように、第2の感熱素子3Bの直上に略四角形状で配されており、図5に示すように、銅箔8と、該銅箔8上に積層された金メッキ膜9とで構成されている。この赤外線反射膜6は、絶縁性フィルム2よりも高い赤外線反射率を有する材料で形成され、上述したように、銅箔8上に金メッキ膜9が施されて形成されている。なお、金メッキ膜9の他に、例えば鏡面のアルミニウム蒸着膜やアルミニウム箔等で形成しても構わない。この赤外線反射膜6は、第2の感熱素子3Bよりも大きなサイズでこれを覆うように形成されている。上記第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bは、両端部に電極パッド3aが形成されたチップサーミスタである。このサーミスタとしては、NTC型、PTC型、CTR型等のサーミスタがあるが、本実施形態では、第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bとして、例えばNTC型サーミスタを採用している。このサーミスタは、Mn-Co-Cu系材料、Mn-Co-Fe系材料等のサーミスタ材料で形成されている。なお、これら第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bは、各電極パッド3aを対応する第1の接着電極5A上又は第2の接着電極5B上に接合させて絶縁性フィルム2に実装されている。このように本実施形態の赤外線センサ1は、絶縁性フィルム2の第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bの周囲に、複数の孔部Hが並んで形成されているので、使用環境に応じて任意の孔部H間を切断し、第1の感熱素子3Aと第2の感熱素子3Bとの熱バランスを補正して、応答性過渡特性を改善することができる。すなわち、孔部Hが熱バランス補正機構として機能し、孔部Hを連結することで双方の感熱素子3A,3Bに入る熱量を調整し、機器へ組み込んだ際の精度及び応答性を改善可能である。また、孔部H間を切断して繋げるだけで調整可能なため、外形の変化も小さく、設置状態や取付部位の自由度が高い。また、複数の孔部Hが、第1の電極パッド7Aと第1の感熱素子3Aとの間及び第2の電極パッド7Bと第2の感熱素子3Bとの間に形成されているので、外部と接続されて熱影響の大きい電極パッド7A,7Bに伝わる熱を孔部H間の連結によって容易に調整することができる。次に、上記実施形態の赤外線センサにより実際に熱バランスの補正を行った際の温度測定結果について、図6及び図7を参照して説明する。<実施例1>検出側温度検出器となる第1の感熱素子3Aが参照側温度検出器となる第2の感熱素子3Bより入熱量が少なくなる様な周囲温度25°Cの環境に本発明の実施例である赤外線センサ1を設置して、200°Cの黒体の前にアルミの遮熱板を置いた。そして、遮熱板を置いた5秒後にその遮蔽板を取り去った時、第2の感熱素子3B両横の孔部Hを2ケずつ連結して補正した場合図1中の仮想線K1で囲んだ孔部H間を切断し連結と、当該補正無しの場合とについて温度測定を行った。その際の算出温度両感熱素子で検出した温度及びその差分から算出した温度を図6に示す。この結果から、補正無しの場合では時定数12.5秒、基準熱電対に対して算出温度が200°C±3°C以内となるために約47秒要したが、孔部Hを使用して補正を行った本発明の実施例の場合、時定数が1秒であると共に、約10秒で算出温度が200°C±3°C以内となり、孔部H連結による補正が有効であることが確認された。<実施例2>第1の感熱素子3Aが第2の感熱素子3Bより入熱量が多くなる様な周囲温度25°Cの環境にセンサを設置して、200°Cの黒体の前にアルミの遮熱板を置いた。そして、遮熱板を置いた5秒後にその遮蔽板を取り去った時、第1の感熱素子3A両横の孔部Hを3ケずつ連結して補正した場合図1中の仮想線K2で囲んだ孔部H間を切断し連結と、補正無しの場合とについて温度測定を行った。その算出温度を図7に示す。この結果から、補正無しの場合では時定数0.75秒と見かけ上は応答性が良く見えるが、遮熱板撤去後、算出温度は大きなオーバーシュートを生じ、遮熱板撤去後60秒程度まで200°C以上の算出温度となり、黒体の温度に対して不正確であった。これに対して孔部Hを使用して補正を行った本発明の実施例の場合、時定数が1秒であると共に、約10秒で算出温度が200°C±3°C以内となり、この場合でも孔部H連結による補正が有効であることが確認された。なお、本発明の技術範囲は上記実施形態及び実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、第1の感熱素子が赤外線を直接吸収した絶縁性フィルムから伝導される熱を検出しているが、第1の感熱素子の直上であって絶縁性フィルム上に赤外線吸収膜を形成しても構わない。この場合、さらに第1の感熱素子における赤外線吸収効果が向上して、第1の感熱素子と第2の感熱素子とのより良好な温度差分を得ることができる。すなわち、この赤外線吸収膜によって測定対象物からの輻射による赤外線を吸収するようにし、赤外線を吸収し発熱した赤外線吸収膜から絶縁性フィルムを介した熱伝導によって、直下の第1の感熱素子の温度が変化するようにしてもよい。この赤外線吸収膜は、絶縁性フィルムよりも高い赤外線吸収率を有する材料で形成され、例えば、カーボンブラック等の赤外線吸収材料を含むフィルムや赤外線吸収性ガラス膜二酸化珪素を71含有するホーケー酸ガラス膜などで形成されているもの等が採用可能である。特に、赤外線吸収膜は、アンチモンドープ酸化錫ATO膜であることが望ましい。このATO膜は、カーボンブラック等に比べて赤外線の吸収率が良いと共に耐光性に優れている。また、ATO膜は、紫外線で硬化させるので、接着強度が強く、カーボンブラック等に比べて剥がれ難い。なお、この赤外線吸収膜は、第1の感熱素子よりも大きなサイズでこれを覆うように形成することが好ましい。また、チップサーミスタの第1の感熱素子及び第2の感熱素子を採用しているが、薄膜サーミスタで形成された第1の感熱素子及び第2の感熱素子を採用しても構わない。なお、感熱素子としては、上述したように薄膜サーミスタやチップサーミスタが用いられるが、サーミスタ以外に焦電素子等も採用可能である。さらに、上記実施形態では、孔部が直線上に一列に並んで形成されているが、千鳥配置等の他の配列で形成しても構わない。また、上記実施形態では、対になる電極パッドが互いに反対側に配されているが、同じ側に設置しても構わない。例えば、本発明の他の実施形態として、図8及び図9に示す赤外線センサでは、一対の第1の電極パッド27Aと一対の第2の電極パッド27Bとが共に絶縁性フィルム22の片側図8中の右側に配置されている。この赤外線センサの第1の配線膜24A及び第2の配線膜24Bでは、第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3B側から線状に延在した配線部分が絶縁性フィルム22の片側にある第1の電極パッド27A及び第2の電極パッド27Bまで上記実施形態よりも長く延在している。この実施形態の場合、絶縁性フィルム22の一辺側片側に全ての電極パッド27A,37Bが配置されているため、リード線等による外部との配線接続が容易となる。"