"アクチュエータの駆動に関する所定制御因子の上位目標値tg1を設定する上位制御部10と、前記上位目標値の入力を受けて該目標値とは値の異なる前記所定制御因子の下位目標値tg2を出力する指令入力要素21と、前記下位目標値の入力を受けて前記アクチュエータを制御するアクチュエータ制御要素22と、前記アクチュエータにおける前記所定制御因子の実際の値を前記下位目標値に追従させる追従要素23と、を有する下位制御部20と、前記アクチュエータにおける前記所定制御因子の実際の値を前記上位目標値に追従させる中間制御部30と、を備え、前記上位目標値は、前記中間制御部を介して前記下位制御部の前記指令入力要素に入力される、アクチュエータ制御装置100。前記中間制御部30は、前記所定制御因子の実際の値を前記上位目標値に合わせるために、前記指令入力要素21に入力される前記上位目標値を増減させる、請求項1に記載のアクチュエータ制御装置100。前記追従要素23に入力される値と前記中間制御部30に入力される値は、同じ因子であり、前記追従要素23及び前記中間制御部30は、それぞれ前記所定制御因子の実際の値をフィードバックするための閉ループを構成する、請求項1又は請求項2に記載のアクチュエータ制御装置100。前記中間制御部30による前記所定制御因子の実際の値の前記上位目標値への追従速度は、前記追従要素23による前記所定制御因子の実際の値の前記下位目標値への追従速度よりも遅い、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のアクチュエータ制御装置100。前記下位制御部20における前記指令入力要素21、前記アクチュエータ制御要素22及び前記追従要素23は、1つのパッケージ内にモジュール化されている、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のアクチュエータ制御装置100。前記中間制御部30は、前記上位制御部10に含まれている、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のアクチュエータ制御装置100。前記アクチュエータは、モータであって、前記所定制御因子は、前記モータの回転数である、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のアクチュエータ制御装置100。しかしながら、前者は、特許文献1でも指摘されているように電動機の電流容量に応じて電流検出器および電流調節器を選択しなければならないという不便さを伴い、後者は、電流マイナー制御ループでは電流値の推定値をフィードバックさせているので、実測値との誤差を含んでおり、上位制御部からの指令入力にモータ出力を精度よく追従させているとは言い難い。本発明の課題は、指令ばらつきの大きいICを使用してアクチュエータを制御する場合でも、上位制御部からの指令入力にアクチュエータの出力を精度よく追従させるアクチュエータ制御装置を提供することにある。本発明の第1観点に係るアクチュエータ制御装置は、上位制御部と、下位制御部と、中間制御部とを備えている。上位制御部は、アクチュエータの駆動に関する所定制御因子の上位目標値を設定する。下位制御部は、指令入力要素と、アクチュエータ制御要素と、追従要素とを有している。指令入力要素は、中間制御部を介して上位目標値の入力を受けてその目標値とは値の異なる所定制御因子の下位目標値を出力する。アクチュエータ制御要素は、下位目標値の入力を受けてアクチュエータを制御する。追従要素は、アクチュエータにおける所定制御因子の実際の値を下位目標値に追従させる。中間制御部は、アクチュエータにおける所定制御因子の実際の値を上位目標値に追従させる。その上位目標値は、中間制御部を介して下位制御部の指令入力要素に入力される。このアクチュエータ制御装置では、上位制御部が要求するアクチュエータの所定制御因子の目標値と実際の値との差が小さくなる。本発明の第2観点に係るアクチュエータ制御装置は、第1観点に係るアクチュエータ制御装置であって、中間制御部が、所定制御因子の実際の値を上位目標値に合わせるために、指令入力要素に入力される上位目標値を増減させる。このアクチュエータ制御装置では、上位制御部が要求するアクチュエータの所定制御因子の目標値と実際の値との差がさらに小さくなる。本発明の第3観点に係るアクチュエータ制御装置は、第1観点または第2観点に係るアクチュエータ制御装置であって、追従要素に入力される値と中間制御部に入力される値は、同じ因子である。また、追従要素および中間制御部は、それぞれ所定制御因子の実際の値をフィードバックするための閉ループを構成する。このアクチュエータ制御装置では、同じ制御因子を監視すればよいので、検出回路などの兼用化により、部品コストの低減およびプリント基板の小型化が図られる。本発明の第4観点に係るアクチュエータ制御装置は、第1観点から第3観点にいずれか1つに係るアクチュエータ制御装置であって、中間制御部による所定制御因子の実際の値の上位目標値への追従速度は、追従要素による所定制御因子の実際の値の下位目標値への追従速度よりも遅い。このアクチュエータ制御装置では、先の制御の結果を待って上位目標値に追従させる構成となっているので、上位目標値への追従制御と下位目標値への追従制御とが同時に行なわれることに起因するハンチング回転速度が上下に変動して振動を引き起こす現象を防止することができる。本発明の第5観点に係るアクチュエータ制御装置は、第1観点から第4観点のいずれか1つに係るアクチュエータ制御装置であって、下位制御部における指令入力要素、アクチュエータ制御要素および追従要素が、1つのパッケージ内にモジュール化されている。このアクチュエータ制御装置では、指令入力要素、アクチュエータ制御要素および追従要素が1つのパッケージ内にモジュール化されることによって、下位制御部の小型化および低コスト化を図ることができる。本発明の第6観点に係るアクチュエータ制御装置は、第1観点から第5観点のいずれか1つに係るアクチュエータ制御装置であって、中間制御部が上位制御部に含まれている。このアクチュエータ制御装置では、例えば、上位制御部、下位制御部、中間制御部が1枚のプリント基板上に実装されているような場合、中間制御部を上位制御部に含まれる形で構成することによって、上位制御部は若干大きくなるが、プリント基板上に占める実装品全体の占有面積が減少するので、プリント基板の小型化を図ることができる。本発明の第7観点に係るアクチュエータ制御装置は、第1観点から第6観点のいずれか1つに係るアクチュエータ制御装置であって、アクチュエータはモータである。また、所定制御因子はモータの回転数である。このアクチュエータ制御装置では、中間制御部が、モータの実際の回転数を上位目標値に合わせるために、指令入力要素に入力される前に、上位目標値を増減させるので、上位制御部が要求するモータの回転数に実際の回転数との差が小さくなる。本発明の第1観点または第2観点に係るアクチュエータ制御装置では、上位制御部が要求するアクチュエータの所定制御因子の目標値と実際の値との差が小さくなる。本発明の第3観点に係るアクチュエータ制御装置では、同じ制御因子を監視すればよいので、検出回路などの兼用化により、部品コストの低減およびプリント基板の小型化が図られる。本発明の第4観点に係るアクチュエータ制御装置では、先の制御の結果を待って上位目標値に追従させる構成となっているので、ハンチングを防止することができる。本発明の第5観点に係るアクチュエータ制御装置では、指令入力要素、アクチュエータ制御要素および追従要素が1つのパッケージ内にモジュール化されることによって、下位制御部の小型化および低コスト化を図ることができる。本発明の第6観点に係るアクチュエータ制御装置では、上位制御部、下位制御部、中間制御部が1枚のプリント基板上に実装されているような場合、プリント基板上に占める実装品全体の占有面積が減少するので、プリント基板の小型化を図ることができる。本発明の第7観点に係るアクチュエータ制御装置では、中間制御部が、モータの実際の回転数を上位目標値に合わせるため、指令入力要素に入力される前に、上位目標値を増減させるので、上位制御部が要求するモータの回転数に実際の回転数との差が小さくなる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の具体例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。1概要図1は、本発明の一実施形態に係るモータ制御装置100の回路図である。図1において、モータ制御装置100は、ブラシレスDCモータ50をインバータ40によって回転制御する、アクチュエータ制御装置である。ブラシレスDCモータ50は、ヒートポンプ式空気調和機の室内ユニットに搭載される室内ファン15の駆動用として利用される。ブラシレスDCモータ50は、3相のブラシレスDCモータであって、ステータ52と、ロータ53と、ロータ位置検知センサ54とを備えている。ステータ52は、スター結線されたU相、V相及びW相の駆動コイルLu,Lv,Lwを含む。各駆動コイルLu,Lv,Lwの一方端は、それぞれインバータ40から延びるU相、V相及びW相の各配線の駆動コイル端子TU,TV,TWに接続されている。各駆動コイルLu,Lv,Lwの他方端は、互いに端子TNとして接続されている。これら3相の駆動コイルLu,Lv,Lwは、ロータ53が回転することによりその回転速度とロータ53の位置に応じた誘起電圧を発生させる。ロータ53は、N極及びS極からなる複数極の永久磁石を含み、ステータ52に対し回転軸を中心として回転する。ロータ53の回転は、この回転軸と同一軸心上にある出力軸図示せずを介して室内ファン15に出力される。ロータ位置検知センサ54はロータ53の回転位置を検出する。ステータ52には、ホール素子が組み込まれており、ロータ位置検知センサ54は、そのホール素子に反応して検知信号を出力する。2モータ制御装置100の構成モータ制御装置100は、図1に示すように、商用電源91、整流部17及び平滑コンデンサ19により直流電源として構成された電源供給部と、マイクロコンピュータ10と回転数制御回路20と、ゲート駆動回路26と、中間制御部30と、インバータ40とを備えている。これらは、例えば1枚のプリント基板上に実装される。2-1整流部17整流部17は、4つのダイオードD1a,D1b,D2a,D2bによってブリッジ状に構成されている。具体的には、ダイオードD1aとD1b、D2aとD2bは、それぞれ互いに直列に接続されている。ダイオードD1a,D2aの各カソード端子は、共に平滑コンデンサ19のプラス側端子に接続されており、整流部17の正側出力端子として機能する。ダイオードD1b,D2bの各アノード端子は、共に平滑コンデンサ19のマイナス側端子に接続されており、整流部17の負側出力端子として機能する。ダイオードD1a及びダイオードD1bの接続点は、商用電源91の一方の極に接続されている。ダイオードD2a及びダイオードD2bの接続点は、商用電源91の他方の極に接続されている。整流部17は、商用電源91から出力される交流電圧を整流して直流電源を生成し、これを平滑コンデンサ19へ供給する。2-2平滑コンデンサ19平滑コンデンサ19は、一端が整流部17の正側出力端子に接続され、他端が整流部17の負側出力端子に接続されている。平滑コンデンサ19は、整流部17によって整流された電圧を平滑する。平滑コンデンサ19による平滑後の電圧平滑後電圧は、平滑コンデンサ19の出力側に接続されるインバータ40へ印加される。言い換えれば、商用電源91、整流部17、及び平滑コンデンサ19は、インバータ40に対する電源供給部を構成している。なお、コンデンサの種類としては、電解コンデンサやセラミックコンデンサ、タンタルコンデンサ等が挙げられるが、本実施形態においては、平滑コンデンサ19として電解コンデンサが採用される。2-3インバータ40インバータ40は、平滑コンデンサ19の出力側に接続される。図1において、インバータ40は、複数のIGBT絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ、以下、単にトランジスタというQ3a,Q3b,Q4a,Q4b,Q5a,Q5b及び複数の還流用ダイオードD3a,D3b,D4a,D4b,D5a,D5bを含む。トランジスタQ3aとQ3b、Q4aとQ4b、Q5aとQ5bは、それぞれ互いに直列に接続されており、各ダイオードD3a~D5bは、各トランジスタQ3a~Q5bに、トランジスタのコレクタ端子とダイオードのカソード端子が、また、トランジスタのエミッタ端子とダイオードのアノード端子が接続されるよう、並列接続されている。インバータ40は、平滑コンデンサ19からの平滑後電圧が印加され、かつゲート駆動回路26により指示されたタイミングで各トランジスタQ3a~Q5bがオン及びオフを行うことによって、ブラシレスDCモータ50を駆動する駆動電圧SU,SV,SWを生成する。この駆動電圧SU,SV,SWは、各トランジスタQ3aとQ3b、Q4aとQ4b、Q5aとQ5bの各接続点NU,NV,NWからブラシレスDCモータ50に出力される。2-4ゲート駆動回路26ゲート駆動回路26は、回転数制御回路20からの指令Vpwmに基づき、インバータ40の各トランジスタQ3a~Q5bのオン及びオフの状態を変化させる。具体的には、ゲート駆動回路26は、回転数制御回路20によって決定されたデューティを有するパルス状の駆動電圧SU,SV,SWがインバータ40からブラシレスDCモータ50に出力されるように、各トランジスタQ3a~Q5bのゲートに印加するゲート制御電圧Gu,Gx,Gv,Gy,Gw,Gzを生成する。生成されたゲート制御電圧Gu,Gx,Gv,Gy,Gw,Gzは、それぞれのトランジスタQ3a~Q5bのゲート端子に印加される。なお、本実施形態のインバータ40は、電圧形インバータであるが、それに限定されるものではなく、マトリックスコンバータや電流形インバータでもよい。2-5マイクロコンピュータ10マイクロコンピュータ10は、回転数制御回路20と接続されている。また、マイクロコンピュータ10は、例えば、ヒートポンプ式空気調和機を統括して制御する図示しないシステム制御部とも接続されており、各機器における異常の有無に応じて、ブラシレスDCモータ50の駆動を制御する。それゆえ、マイクロコンピュータ10は、上位制御部として機能する。なお、このマイクロコンピュータ10には、インバータ40とは別の電源が、ブラシレスDCモータ50の駆動状態に関係なく常に供給される。図2は、モータ制御装置100の制御ブロック図である。図2において、上位制御部であるマイクロコンピュータ10は、上位目標値tg1を設定し、後述する中間制御部30を介して下位制御部である回転数制御回路20に入力する。ここで、上位目標値tg1は、ブラシレスDCモータ50の目標回転数である。2-6回転数制御回路20下位制御部である回転数制御回路20は、マイクロコンピュータ10及びゲート駆動回路26と接続されている。回転数制御回路20は、マイクロコンピュータ10から中間制御部30を介して送られてきた回転数指令を含む運転指令Vfgに基づいて、ブラシレスDCモータ50を駆動させる回路である。下位制御部である回転数制御回路20には、指令入力要素21と、アクチュエータ制御要素22と、追従要素23とが含まれている。指令入力要素21は、後述する中間制御部30の調整部302を介して上位目標値tg1の入力を受ける。なお、中間制御部30の調整部302は、制御対象の実際の値を上位目標値tg1に合わせるために、指令入力要素21に入力する前に、上位目標値tg1を増減させた擬似上位目標値tg1sを作成し、それを指令入力要素21に入力する。指令入力要素21は、擬似上位目標値tg1sに対して内部演算に適応させるための処理を行う。この際、処理回路のばらつきによって擬似上位目標値tg1sとは異なる値が出力される。この値を下位目標値tg2とよぶ。例えば指令入力要素21において、入力側でブラシレスDCモータ50の目標回転数を1000r/mと設定しても、処理回路のばらつきによって950r/mが出力される。つまり、上位目標値tg1=1000r/m、下位目標値tg2=950r/mである。そして、下位目標値tg2は、追従要素23から送られてくる実際の回転数との間で減算処理が行われた後、アクチュエータ制御要素22に入力される。なお、処理回路のばらつきとしては、指令入力要素を構成する部品の特性ばらつきや、入力値の検出周期のばらつき、回転数制御回路の制御周期決定用の発振回路ばらつき、などに起因するものが考えられる。アクチュエータ制御要素22は、ブラシレスDCモータ50の回転数を制御する制御部であり、減算処理の結果が入力されると、回転数に対してPI制御を行って、ブラシレスDCモータ50に印加する電圧を決定する。一般に、ブラシレスDCモータ50の回転数は、インバータ40の各トランジスタのオン及びオフの状態を変化させることによって制御されている。アクチュエータ制御要素22は、駆動電圧SU,SV,SWのデューティを含む指令電圧Vpwmをゲート駆動回路26に入力することによってゲート駆動回路26を制御し、パルス状の駆動電圧がインバータ40からブラシレスDCモータ50に出力されるように、各トランジスタのゲートに印加するゲート制御電圧を生成させる。追従要素23は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数を下位目標値tg2に追従させるものである。追従要素23は、フィードバック要素として回転数演算部231を含む。回転数演算部231は、ロータ位置検知センサ54によって検知されたロータ位置を用いて、現時点でのブラシレスDCモータ50の回転数を演算する。演算結果は、下位目標値tg2との間で減算処理が行われた後、アクチュエータ制御要素22に入力される。このように、追従要素23は実際の回転数をフィードバックするための閉ループを構成し、下位制御部である回転数制御回路20は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数をフィードバックするための閉ループを有している。2-7中間制御部30中間制御部30は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数を上位目標値tg1に追従させるものである。中間制御部30は、回転数演算部301と調整部302を含む。回転数演算部301は、フィードバック要素であり、ロータ位置検知センサ54によって検知されたロータ位置を用いて、現時点でのブラシレスDCモータ50の回転数を演算する。調整部302は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数を上位目標値tg1に合わせるために、指令入力要素21に入力される前に、上位目標値tg1を増減させる。この増減後の値、すなわち擬似上位目標値tg1sが指令入力要素21に入力される。このように、中間制御部30は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数をフィードバックするための閉ループを構成している。なお、中間制御部30によるブラシレスDCモータ50の実際の回転数の上位目標値tg1への追従速度は、追従要素23によるブラシレスDCモータ50の実際の回転数の下位目標値tg2への追従速度よりも遅く設定されており、例えば追従速度に10倍程度の差をつけることで、下位制御部20が収束してから中間制御部30で指令入力要素21のばらつきを吸収することが可能となる。上記の通り、中間制御部30が、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数を上位目標値tg1に合わせるために、指令入力要素21に入力される前に、上位目標値tg1を増減させて指令入力要素のばらつきを吸収するので、マイクロコンピュータ10が要求するブラシレスDCモータ50の回転数と実際の回転数との差が小さくなり、指令入力要素21にばらつきがあっても、上位目標値tg1に正しく追従させることが可能となる。この効果を数値にたとえて具体的に言えば、従来なら、ブラシレスDCモータ50の目標回転数を1000r/mに設定しても、指令入力要素21の処理回路のばらつきによって本来の目標値よりも小さい950r/mが出力されるため、アクチュエータ制御要素22はブラシレスDCモータ50の回転数を950r/mへ収束するように制御していた。しかし、本実施形態では、中間制御部30が、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数を目標回転数1000r/mに合わせるために、例えば目標回転数tg1sをtg1より増加させて1050r/mとすることによって、指令入力要素21の出力tg2を1000r/mとするので、アクチュエータ要素22はブラシレスDCモータ50の回転数を1000r/mへ収束させるように制御し、上位制御部であるマイクロコンピュータ10が要求するブラシレスDCモータ50の回転数と実際の回転数とが一致するようになる。このことは、出願人の実験によっても確認されている。図3は、モータ制御装置100に制御されるモータの回転数応答性の一例を表したグラフである。図3において、横軸は時間、縦軸は回転数を示し、点線の曲線は従来のモータ制御装置に制御されるモータの回転数応答性、実線の曲線は、本実施形態に係るモータ制御装置に制御されるモータの回転数応答性を示す。図3のように、従来のモータ制御装置に制御されるモータの回転数は、時間の経過とともに目標値に対してばらつきに相当する一定の偏差を残したまま収束する。これに対し、本実施形態に係るモータ制御装置に制御されるモータの回転数は、時間の経過とともに目標値に近づいている。3特徴3-1モータ制御装置100では、マイクロコンピュータ10がブラシレスDCモータ50の上位目標回転数を設定する。回転数制御回路20の指令入力要素21は、中間制御部30を介して上位目標回転数の入力を受け、上位目標回転数とは値の異なる下位目標回転数を出力する。アクチュエータ制御要素22は、下位目標回転数の入力を受けてPI制御によってブラシレスDCモータ50を制御する。追従要素23は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数を下位目標回転数に追従させる。中間制御部30は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数を上位目標回転数に追従させる。その際、中間制御部30がブラシレスDCモータ50の実際の回転数を上位目標回転数に合わせるために、指令入力要素21に入力する前に、上位目標回転数を増減させた擬似上位目標回転数を作成し、それを指令入力要素21に入力する。その結果、このモータ制御装置100では、マイクロコンピュータ10が要求するブラシレスDCモータ50の目標回転数と実際の回転数との差が小さくなる。3-2モータ制御装置100では、中間制御部30によるブラシレスDCモータ50の実際の回転数の上位目標回転数への追従速度は、追従要素23によるブラシレスDCモータ50の実際の回転数の下位目標回転数への追従速度よりも遅く設定されている。つまり、先の制御の結果を待って上位目標回転数に追従させる構成となっているので、ハンチング回転速度が上下に変動して振動を引き起こす現象を防止することができる。3-3モータ制御装置100では、回転数制御回路20は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数をフィードバックするための閉ループを有している。さらに、中間制御部30は、ブラシレスDCモータ50の実際の回転数をフィードバックするための閉ループを構成している。この時、回転数制御回路20と中間制御部30へ入力される値は、同じ因子すなわち実際の回転数である。4変形例4-1第1変形例上記実施形態では、図2に示すように追従要素23及び中間制御部30それぞれがフィードバック要素を含んでいるが、これに限定されるものではない。以下、図4を参照しながら説明する。図4は、第1変形例に係るモータ制御装置100の制御ブロック図である。図4において、追従要素23及び中間制御部30はフィードバック要素である回転数演算部231を兼用している。これによって、モータ制御装置100の小型化および低コスト化を図ることができる。なお、中間制御部30における制御因子は、追従要素23と同じくブラシレスDCモータ50の回転数であるが、調整部302において、上位目標値tg1との間で減算処理できるような値に調整される場合がある。その場合には、制御因子は同じであるが値は異なることになる。4-2第2変形例回転数制御回路20における指令入力要素21、アクチュエータ制御要素22及び追従要素23は、1つのパッケージ内にモジュール化されてもよい。これによって、回転数制御回路20の小型化および低コスト化を図ることができる。4-3第3変形例中間制御部30が、上位制御部であるマイクロコンピュータ10に含まれてもよい。これによって、例えば、マイクロコンピュータ10、回転数制御回路20、ゲート駆動回路26、中間制御部30、及びインバータ40が1枚のプリント基板上に実装されているような場合、中間制御部30がマイクロコンピュータ10に含まれ、ソフトで中間制御部30を実現することによって、プリント基板上に占める実装品全体の占有面積が減少するので、プリント基板の小型化を図ることができる。また、第2変形例のようなモジュール化された回路を使用する場合は、中間制御部30をマイクロコンピュータ10のソフトで実現することにより、モジュール化された回路の仕様変更に対してもソフト上の制御定数を変えることで対応できるなど、拡張性が増す。"