上下端部に段部が形成された一対の側板と、前記段部に嵌合する上下板からなる真空容器の製造方法において、前記側板と上下板の接合面に形成された垂直開先面を溶接により接合することを特徴とする真空容器の製造方法。前記側板と上下板の接合面に凹凸部を設けたことを特徴とする請求項1記載の真空容器の製造方法。前記接合面に形成された垂直開先面と水平開先面を溶接により接合することを特徴とする請求項1又は2記載の真空容器の製造方法。前記上下板の上下面に形成される溶融部の両端近傍に溝部を設けたことを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の真空容器の製造方法。前記側板と上下板の接合面に凹部を設け、当該凹部内に溶融材を配置したことを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の真空容器の製造方法。上下端部に傾斜段部が形成された一対の側板と、左右端部に傾斜段部が形成された上下板からなる真空容器の製造方法において、前記側板と上下板の接合面に形成された傾斜開先面を溶接により接合することを特徴とする真空容器の製造方法。前記接合面に形成された傾斜開先面と水平開先面を溶接により接合することを特徴とする請求項6記載の真空容器の製造方法。前記接合面に形成された傾斜開先面に対しクロスする方向から当該傾斜開先面と水平開先面を溶接により接合することを特徴とする請求項6記載の真空容器の製造方法。前記上下板の上下面に形成される溶融部の両端近傍に溝部を設け、当該溝部内に冷却構造体と溶融材を配置したことを特徴とする請求項1乃至8いずれかに記載の真空容器の製造方法。上述したTIG溶接、MIG溶接、電子ビーム溶接等を用いた溶接によって導波管等の真空容器を製造する際の課題についてさらに詳しく説明する。溶融接合で導波管を製作した場合、不具合の要因として大きく3点が挙げられる。第1は導波管全体の歪みである。溶融接合による入熱により加熱冷却時において板が歪んでしまう。これにより導波管に要求される高い寸法精度や形状精度が得られないという問題がある。このため、完成した導波管を組み合わせ回路とする時にガスケットの厚さの調整や導波管を矯正するなどの施策をとり時間を費やし位置あわせをしているのが現状である。第2は溶融接合により発生するスパッタが導波管内面側に付着することにより急激な形状変化が生まれ、放電の原因となってしまうことである。また導波管内面に不連続や形状変化の多い裏波が出た場合も放電の原因となってしまう。導波管においては内面の平滑性という問題は極めて重要な問題となる。第3は溶接の融合不足や開先の形状不良等の理由により発生する導波管内面の口開きである。これによっても放電が起こってしまうほか、切り欠きが存在するために応力の集中が発生し、強度低下の原因となってしまう。一般的にこのような切り欠きが存在する場合、フィレットがある場合のように連続的で滑らかな形状変化である場合と比べ強度が低下する。本発明は上記課題を解決するためになされたもので、上述した3つの主要な課題を解決し高品質かつ低コストの真空容器の製造方法を提供することを目的とする。上述した課題を解決するために、本発明に係る真空容器の製造方法は、上下端部に段部が形成された一対の側板と、前記段部に嵌合する上下板からなる真空容器の製造方法において、前記側板と上下板の接合面に形成された垂直開先面を溶接により接合することを特徴とする。また、本発明に係る真空容器の製造方法は、上下端部に傾斜段部が形成された一対の側板と、左右端部に傾斜段部が形成された上下板からなる真空容器の製造方法において、前記側板と上下板の接合面に形成された傾斜開先面を溶接により接合することを特徴とする。本発明によれば、上下板と側板を段部により接合することにより、外側からの溶融接合のみで、歪みが小さく、形状精度が高い、低コストの導波管等の真空容器を製造することができる。以下、本発明に係る真空容器の製造方法の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態では真空容器として導波管の製造方法について説明するが、一般の真空容器にも適用できることはもちろんである。第1の実施形態第1の実施形態に係る導波管の製造方法を図1により説明する。本第1の実施形態に係る導波管は、図1a、bに示すとおり、上下板1と一対の側板2からなり、一対の側板2の内側上下に所定幅の段部を設け上下板1をこの段部に嵌合する構成となっている。これにより開先面は接合面の垂直部垂直開先面aと水平部水平開先面bに形成される。具体的な実施例として、上下板1と側板2の板厚は約10mmで、基材は無酸素銅CLASS1等の導電性が高くガスの発生が低いものを用い、垂直開先面aの先端から導波管内面側までの距離は約3mmとした。この構造で溶融接合又ははんだろう付等の接合を実施した。3は溶融部である。また、接合に際しては、上下板1の両端面からそれぞれ垂直開先面aと水平開先面bの一部を含むように実施した。これにより、垂直開先面aと水平開先面bの両方が含まれるように接合するため、全体の変形を抑制するとともに、強固な構造の導波管を得ることができる。なお、水平開先面aの部分のみを接合しても同様の効果が得られる。その結果、図10~図13に示す従来例では接合時の応力に対し変形をおさえる機能がなく歪み易い形状となったり、スパッタ、口開き部等が発生するのに対し、本第1の実施形態では、接合時の応力の一部を側板2に受けさせることができるため、全体の変形を抑制することができる。また、上下板1は溶接時の変形を側板2が抑える構造になっており、特に内面側角部において直角形状を保ち易い構造となることから角部の口開きや歪みを防止することが可能となるとともに、容器内面にスパッタが付着するのも抑制することができる。また、第1の実施形態の変形例では、図2に示すように、上下板1と側板2の接合部に凹凸部4を設けている。これにより内面側角部がさらに強固に密着し、口開きを防止することができるほか導波管の矩形形状を保ち易い構造とすることができる。以上説明したように、本第1の実施形態によれば、上下板及び側板の接合面を、段部を用いた嵌合構造として溶接接合を行うことにより、従来のものと比較し全体的な歪みが小さく、内面側角部の形状を保つことが可能な導波管を製造することができる。第2の実施形態第2の実施形態に係る導波管の製造方法を図3、図4により説明する。本第2の実施形態では、図3に示すように、一対の側板2の上下端部に傾斜段部を形成するとともに、上下板1の左右端部にも傾斜段部を形成することにより、上下板1と一対の側板2の接合面を傾斜段部構造としている。開先面は傾斜部傾斜開先面cと垂直部垂直開先面aに形成される。これにより接合時の歪みを抑制し、また内面側角部をより強固に密着させる方向に応力を向けることが可能となる。また、内面側角部が強固に密着するので、口開きを防止することができるほか管の矩形形状を保ち易い構造とすることができる。また、第2の実施形態の変形例として図4に示すように、傾斜開先面cの溶接と当該傾斜開先面cにクロスし垂直開先面aを含む溶接を併用することにより、溶接接合時の歪みをさらに抑制し、内面側角部をより強固に密着させる方向に応力を向けることが可能となる。これにより内面側角部が強固に密着し、口開きを防止することができるほか導波管の矩形形状を保ち易い構造とすることができる。第3の実施形態第3の実施形態に係る導波管の製造方法を図5により説明する。本第3の実施形態では、図5に示すように溶融部3の両端近傍に溝部5を設け、強度的に弱い部分をあえて形成することにより、溶接接合時にその部分で歪みを吸収し、全体の歪みを防止する。これにより導波管の矩形形状をさらに保ち易い構造とすることができる。第4の実施の形態第4の実施形態に係る導波管の製造方法を図6により説明する。本第4の実施形態では、図6に示すように側板2と上下板1との接合面に凹部6を設け、接合時に上下板1と側板2の内面接合部がより強固に密着し易い構造とする。これにより導波管の矩形形状を保ち易い構造とするとともに、内面側角部における口開きの発生を防止することができる。第5の実施形態第5の実施形態に係る導波管の製造方法を図7a、bにより説明する。本第5の実施形態では、図7a、bに示すように、側板2と上下板1との接合面において、側板2又は上下板1のいずれかに凹部7を設け、その部分に、はんだ材ろう材等からなる溶融材8を配置した後に導波管を組立て、溶接する。この時の溶接時の入熱により、凹部7内に配置された溶融材8は溶融し、図7bのように接合面の空隙を補填する。その際、溶融材8の選定と接合条件を調節することによりフィレット部9を形成することも可能である。これにより容器の内面側が確実にシールされ、例えば、真空容器等に必要とされる内面側のシール溶接が不必要となりコストを大幅に減らすことができると同時に内面側での作業がなくなることから内面側を傷つけてしまうという品質リスクを回避することが可能となる。また、接合面の空隙がなくなることにより、空気溜まりもなくなるため、真空に引く時間の短縮や、導波管内への不純物質の混入防止の効果も有する。また、フィレット部9が形成されることにより、接合面の強度が低下するというリスクを回避することができる。一般的にはこのような接合方法は従来別々の工程で実施されているが、本第5の実施形態によれば、垂直開先面a及び水平開先面bの溶接と、接合面のシールを同時に実施しているため、工程の短縮化と低コスト化を実現することができる。また、リードタイムも短縮することができる。例えば、従来の方法では溶接前後に内部の真空ろう付を行うとすると、真空引き、昇温、ろう付、冷却と真空加熱炉内での拘束時間が長い。特に対象物が大きくなればなるほどこの拘束時間は長く、かつ大きなものが入る真空加熱炉も別途必要となってしまう。しかしながら、本第5の実施形態によればこれらの問題を回避することが可能となる。第6の実施の形態第6の実施形態に係る導波管の製造方法を図8により説明する。本第6の実施形態では、図8に示すように、溶融部3の両端近傍に冷却パイプ等の冷却構造体10を溝部11内に配置するとともに、溝部内にはんだ材ろう材等の溶融材図示せずを配置する。これにより、導波管を溶接する際の入熱を利用して冷却構造体10を溝11内に固着することができる。なお、冷却構造体10は、導波管を冷却するために設置される。以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、組み合わせ、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。