"内部を還元雰囲気に保持しうるとともに,外気と遮断可能な円筒状縦型反応容器と、この縦型反応容器内に配置された鉄系材料からなる円筒と、この円筒の内壁に生成されるカーボンナノチューブを掻き取る螺旋状の掻き取り羽根と、この掻き取り羽根を駆動する駆動源と、円筒を加熱する加熱手段と、縦型反応容器内に炭素原料を供給する炭素原料供給手段と、縦型反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、鉄触媒系材料からなる円筒鉄板に生成されたカーボンナノチューブを回収する回収手段と、縦型反応容器内のガスを排気するガス排気手段とを具備することを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置。内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器と、この反応容器内に設けられ,表面にカーボンナノチューブが生成される円板形状の鉄板と、この鉄板を駆動する駆動手段と、前記鉄板を加熱する加熱手段と、反応容器内に炭素原料を供給する炭素原料供給手段と、反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記鉄板に生成されたカーボンナノチューブを回収する掻き取り回収手段と、前記鉄板を活性化させる鉄板活性化手段と、反応容器内のガスを排気するガス排気手段とを具備することを特徴とするカーボンナノチューブ製造装置。本発明はこうした事情を考慮してなされたもので、純度および安定性の高い高機能のナノカーボンを低コストで効率よく量産することができるナノカーボン製造装置を提供することを目的とする。本願第1の発明に係るナノカーボン製造装置は、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器と、この反応容器内に設けられ,ローラにより駆動するとともに表面にナノカーボンが生成される無端状の帯状鉄板と、帯状鉄板を加熱する加熱手段と、反応容器内に炭化水素を供給する炭化水素供給手段と、反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、帯状鉄板に生成されたナノカーボンを回収する掻き取り回収手段と、反応容器内のガスを排気するガス排気手段とを具備することを特徴とする。また、本願第2の発明に係るナノカーボン製造装置は、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器と、この反応容器内に設けられ,ローラにより駆動するとともに表面にナノカーボンが生成される表面処理された帯状鉄板と、帯状鉄板を加熱する加熱手段と、反応容器内に炭化水素を供給する炭化水素供給手段と、反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、帯状鉄板に生成されたナノカーボンを回収する掻き取り回収手段と、反応容器内のガスを排気するガス排気手段とを具備することを特徴とする。更に、本願第3の発明に係るナノカーボン製造装置は、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器と、この反応容器内に設けられ,表面にナノカーボンが生成される円板形状の鉄板と、この鉄板を駆動する駆動手段と、前記鉄板を加熱する加熱手段と、反応容器内に炭化水素を供給する炭化水素供給手段と、反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記鉄板に生成されたナノカーボンを回収する掻き取り回収手段と、前記鉄板を活性化させる鉄板活性化手段と、反応容器内のガスを排気するガス排気手段とを具備することを特徴とする。更には、本願第4の発明に係るナノカーボン製造装置は、内部を還元雰囲気に保持しうるとともに,外気と遮断可能な円筒状縦型反応容器と、この縦型反応容器内に配置された鉄系材料からなる円筒と、この円筒の内壁に生成されるナノカーボンを掻き取る螺旋状の掻き取り羽根と、この掻き取り羽根を駆動する駆動源と、円筒を加熱する加熱手段と、縦型反応容器内に炭化水素を供給する炭化水素供給手段と、縦型反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、鉄系材料からなる円筒鉄板に生成されたナノカーボンを回収する掻き取り回収手段と、縦型反応容器内のガスを排気するガス排気手段とを具備することを特徴とする。本発明によれば、純度および安定性の高い高機能のナノカーボンを低コストで効率よく量産することができる。以下、本発明のナノカーボン製造装置について更に詳しく説明する。本願第1,第2の発明において、帯状鉄板としては鉄の純度の高い鉄板もしくは鉄を含んだ炭素鋼からなる鉄板を用いることができる。ここで、鉄の純度が高い鉄板とは、純度が90以上であることを意味する。本願第2の発明において、表面処理されたとは、帯状鉄板をサンドペーパー等で磨いた後、塩酸等により処理することを意味する。本発明において、不活性ガスとしては、例えば窒素ガス,アルゴンガスが挙げられる。また、炭化水素としては、例えばエタノールバイオエタノールを含むが挙げられる。本発明において、炭化水素供給手段は、一般にエタノール等の炭化水素を供給するための炭化水素供給ノズルと、炭化水素を収容する炭化水素収容タンクと、このタンク内の炭化水素を鉄板上に送るためのポンプとから構成されている。不活性ガス供給手段は、例えば窒素等の不活性ガスを供給するための不活性ガス供給ノズルと、不活性ガスを収容する不活性ガス収容タンクと、このタンク内の不活性ガスを反応容器内に送るためのポンプとから構成されている。鉄板活性化手段は、例えば塩酸等の酸液を供給するための酸液供給ノズルと、酸液を収容する酸液収容タンクと、このタンク内の酸液を生成されたナノカーボンを落とした後の鉄板に送るためのポンプとから構成されている。ガス排気手段は、反応容器に設けられた排気ノズルと、水等の液体を収容する液封タンクと、排気ノズルと液封タンクを接続する配管と、反応容器内のガスを排気するためのポンプにより構成されている。液封タンクに液体を収容するのは、ナノカーボン製造装置で発生するガスの逆流を防ぐためである。次に、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。なお、本実施形態は下記に述べることに限定されない。第1の実施形態図1は、本発明の第1の実施形態に係るカーボンナノチューブCNT製造装置の概略図である。同製造装置は、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器1と、表面にナノカーボン例えばカーボンナノチューブ2が生成される無端状の帯状鉄板3と、加熱手段としてのヒータ4と、炭化水素供給手段5と、不活性ガス供給手段6と、カーボンナノチューブ掻き取り回収手段以下、CNT掻き取り回収手段と呼ぶ7と、鉄板活性化手段8と、ガス排気手段9を備えている。前記帯状鉄板3は例えば鉄の純度の高い鉄板純度:99.5であり、駆動ローラ10と従動ローラ11により矢印Aのように回転移動するようになっている。帯状鉄板3は、ヒータ4、該ヒータ4を固定して保温する耐熱材12、及び熱を遮断する断熱材13で囲まれている。ヒータ4には、ヒータ制御手段14が電気的に接続されている。ヒータ4と帯状鉄板3との空間には、炭化水素供給手段5から炭化水素例えばエタノールBが供給されるようになっている。炭化水素供給手段5は、例えばエタノールBをヒータ4と帯状鉄板3との空間に供給する炭化水素供給ノズル16と、このノズル16に接続する炭化水素収容タンク17と、図示しない液送用ポンプとを備えている。前記帯状鉄板3,駆動ローラ10,従動ローラ11,ヒータ4,耐熱材12,断熱材13,後述する掻き取り板,研磨ブラシ,酸液塗布ブラシは、筐体18により囲まれている。この筐体18の外周部には、例えばロックウールからなる保温材19が設けられている。前記不活性ガス供給手段6は、反応容器1内に不活性ガス例えば窒素ガスCを供給する不活性ガス供給ノズル20と、このノズル20に接続する不活性ガス収容タンク21と、図示しないポンプとを備えている。前記CNT掻き取り回収手段7は、従動ローラ11の真下で帯状鉄板3に近接して配置されたカーボンナノチューブ掻き取り板以下、CNT掻き取り板と呼ぶ22と、掻き取り板22により掻き取ったカーボンナノチューブ以下、CNTと呼ぶ2を収容するカーボンナノチューブ回収缶以下、CNT回収缶と呼ぶ23により構成されている。前記ガス排気手段8は、反応容器1の下流側図中の右側に設けられた排気ノズル24と、水25を収容する水封タンク26と、排気ノズル24と水封タンク26を接続する配管27と、図示しないガス吸引用ポンプにより構成されている。前記反応容器1の下部側で且つ掻き取り板22の更に下流側には、帯状鉄板2の表面を研磨する研磨ブラシ29、及び研磨を終えた帯状鉄板2の表面に酸液を塗布する酸液塗布ブラシ30が夫々設けられている。研磨ブラシ29の真下には、帯状鉄板3を磨いた研磨粉31を回収する研磨粉回収缶32が配置されている。酸液塗布ブラシ30の真下には、帯状鉄板3の表面を酸処理した酸液33を回収する酸液回収缶34が配置されている。酸液塗布ブラシ30には、酸液供給ノズル35と酸液例えば塩酸Dを収容する酸液収容タンク37からなる鉄板活性化手段8により塩酸Dが供給されるようになっている。前記従動ローラ10の近くの反応容器1には、帯状鉄板3に生成されるCNT2を直接観察するための覗き窓38が設けられている。次に、CNTを生成する方法について検証した試験について、図2の概略的な工程図を参照して説明する。1まず、図2のAのように純度99.5の鉄板41の表面S1をサンドペーパーで磨いた後、図2のBのように表面S2を塩酸で表面処理する。つづいて、表面処理した鉄板41を、原料供給手段42,不活性ガス供給手段43,排気ガス回収手段44及び加熱手段45を備えた反応容器46の中に入れ、500~1000°C程度まで加熱する図2のC参照。2次に、鉄板41を冷却してから取り出したところ、鉄板41の表面にCNT47が生成された図2のD参照。つづいて、図2のEに示すような鉄板41上のCNT47を、カッター48により掻き落とす図2のF参照。その結果、図2のGのようにCNT47が回収された。図3は、前記生成方法でCNT47を生成した写真の外形を描いたものである。即ち、図3は、鉄板41をステンレス線49で天板50に吊り下げた状態で加熱してCNT47を生成したことを示している。次に、図1のCNT製造装置での製造方法を説明する。まず、装置内部を不活性雰囲気にするために、不活性供給手段6を使って例えば窒素ガスを供給し、内部を窒素雰囲気に置換する。その後、帯状鉄板3を回転移動させ、ヒータ制御手段14の電源を入れ、カーボンナノチューブ生成雰囲気が500~1000°Cの生成温度に達するまで昇温する。生成温度に達したら、窒素の供給を止めると同時に、炭素原料供給手段5を起動し、例えばエタノールBを炭素原料供給ルズル16から供給し、雰囲気の温度で瞬間に蒸発して炭化水素を含んだ気体となる。その気体と十分に暖められた鉄板表面の鉄触媒と反応してCNT2を還元雰囲気で生成して生長する。帯状鉄板3の表面に生長したCNT2は、従動ローラ11の下部に設けられたCNT掻き取り板22で掻き落とされ、下部のCNT回収缶23に回収される。帯状鉄板3は、従動ローラ11で冷却された後、右へ移動し、研磨ブラシ29で磨き金属表面を露出させ、酸液塗付ブラシ30で表面を活性化して触媒効果を向上させる。その状態で鉄板3とヒータ4間のカーボンナノチューブ生成部に戻され、再度カーボンを生成する。第1の実施形態に係るナノカーボン製造装置は、図1に示すように、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器1と、表面にCNT2が生成される無端状の帯状鉄板3と、ヒータ4と、炭化水素供給手段5と、不活性ガス供給手段6と、CNT掻き取り回収手段7と、鉄板活性化手段8と、ガス排気手段9を備えた構成となっているので、触媒が少なく純度が極めて高いCNTが得られる。また、本発明によれば、反応容器1内の不活性雰囲気化、昇温、帯状鉄板3表面へのCNT生成、CNT2の掻き落とし、帯状鉄板3の活性化を順次自動的に行うことができるので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。第2の実施形態図4は、本発明の第2の実施形態に係るCNT製造装置の概略図である。但し、図1と同部材は同符番を付して説明を省略し、要部のみを説明する。第2の実施形態に係るナノカーボン製造装置は、図1の場合と比べて、研磨ブラシ,酸液塗布ブラシ,研磨粉回収缶,酸液回収缶及び鉄板活性化手段を省いた点、及びCNTを掻き取り板で掻き取る際,鉄触媒の一部残す点が異なることを特徴とする。次に、図4のCNT製造装置でのCNTの製造方法について説明する。まず、装置内部を不活性雰囲気にするために、不活性供給手段6を使って例えば窒素を供給し、内部を窒素雰囲気に置換する。その後、帯状鉄板3を回転移動させ、ヒータ制御手段14の電源を入れ、CNT生成雰囲気が500~1000°Cの生成温度に達するまで昇温する。生成温度に達したら、窒素の供給を止めると同時に、炭素原料供給手段5を起動し、例えばエタノールBを炭素原料供給ルズル16から供給し、雰囲気の温度で瞬間に蒸発して炭化水素を含んだ気体となる。その気体と十分に暖められた鉄板表面の鉄触媒と反応してCNT2を還元雰囲気で生成して生長する。帯状鉄板3の表面に生長したCNT3は、従動ローラ10の下部に設けられたCNT掻き取り板22で掻き落とされ、下部のCNT回収缶23に回収される。この掻き取りの際に触媒として機能する鉄触媒を殆ど残す。これが元になり再度CNT2が生成することになる。第2の実施形態に係るCNT製造装置は、図4に示すように、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器1と、表面にCNT2が生成される無端状の帯状鉄板3と、ヒータ4と、炭化水素供給手段5と、不活性ガス供給手段6と、CNT掻き取り回収手段7と、ガス排気手段9を備えた構成となっているので、触媒が少なく純度が極めて高いCNTが得られる。また、本発明によれば、CNT掻き取り板22で掻き取る際、鉄触媒の殆どを残すため、この残った鉄触媒が元になり、CNT生成部で再度CNT3を生成することができる。更に、反応容器1内の不活性雰囲気化、昇温、帯状鉄板3表面へのCNT生成、CNT2の掻き落としを順次自動的に行うことができるので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。第3の実施形態図5は、本発明の第3の実施形態に係るCNT製造装置の概略図である。但し、図1と同部材は同符番を付して説明を省略し、要部のみを説明する。図5中の符番51は、CNTを生成し、CNT掻き取り後の帯状鉄板3aを巻き取る駆動巻取りローラである。また、符番52は、例えば塩酸等により表面処理した帯状鉄板3が巻回された従動ローラである。表面処理した帯状鉄板3aは、従動ローラ52から第1の支持ローラ53aを経てCNT生成部でCNTを生成し、CNT掻き取り後、第2の支持ローラ53bを経て巻取りローラ51で巻き取るようになっている。次に、図5のナノカーボン製造装置でのCNTの製造方法について説明する。まず、装置内部を不活性雰囲気にするために、不活性ガス供給手段6を使って例えば窒素を供給し、内部を窒素雰囲気に置換する。次に、ヒータ制御手段14の電源を入れ、カーボンナノチューブ生成雰囲気が500~1000°Cの生成温度に達するまで昇温する。生成温度に達したら、窒素の供給を止めると同時に、表面処理した帯状鉄板3aを回転移動させ、炭素原料供給手段5を起動し、例えばエタノールBを炭素原料供給ルズル16から供給し、雰囲気の温度で瞬間に蒸発して炭化水素を含んだ気体となる。その気体と十分に暖められた鉄板表面の鉄触媒と反応してCNT2を還元雰囲気で生成して生長する。帯状鉄板3aの表面に生長したCNT2は、駆動巻き取りローラ51の下部に設けられたCNT掻き取り板22で掻き落とされ、下部のCNT回収缶23に回収される。第3の実施形態に係るCNT製造装置は、図5に示すように、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器1と、表面にCNT2が生成される表面処理された帯状鉄板3aと、ヒータ4と、炭化水素供給手段5と、不活性ガス供給手段6と、CNT掻き取り回収手段7と、ガス排気手段9と、表面処理された帯状鉄板3を巻回する従動ローラ52と、CNTを生成し掻き取った後の帯状鉄板3を巻き取る駆動巻取りローラ51を備えた構成となっているので、触媒が少なく純度が極めて高いCNTが得られる。また、本発明によれば、反応容器1内の不活性雰囲気化、昇温、帯状鉄板3表面へのCNT生成、CNT2の掻き落としを順次自動的に行うことができるので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。第4の実施形態図6は、本発明の第4の実施形態に係るCNT製造装置の要部のみを示す概略図である。但し、図1と同部材は同符番を付して説明を省略し、要部のみを説明する。同製造装置は、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器図示せずと、表面にCNT2が生成される円板形状の鉄板60と、加熱手段としてのヒータ4と、炭化水素供給手段5を構成する炭素原料供給ノズル16と、不活性ガス供給手段図示せずと、CNT掻き取り回収手段を構成するCNT掻き取り板22と、鉄板活性化手段8を構成する酸液供給ノズル35と、ガス排気手段図示せずと、鉄板60をゆっくり回転させる回転手段61を備えている。回転手段61は、一端が複数のスポーク62を介して鉄板3bの内側端部に連結する主軸63と、この主軸63を矢印Fのように回転させる駆動モータ64とから構成されている。図中の符番65a,65bは断熱材図示せずを貼った仕切り板であり、鉄板60の上部を領域A1,A2に区切っている。一方の領域A1には炭素原料供給ノズル16が配置され、例えばエタノールが鉄板60上に供給される。他方の領域A2の鉄板60の上部には研磨ブラシ66が設けられている。また、領域A2では、研磨後の鉄板60の表面に例えば塩酸Dを供給するように酸液供給ノズル35が配置され、これにより鉄板表面が活性化面Sとなる。なお、図中の符番67はCNT生成部を示す。また、周辺部品である研磨ブラシ66,酸液供給ノズル35,炭素原料供給ノズル16及びCNT掻き取り板22等は全て筐体18に囲まれ、外気と遮断して還元雰囲気を維持できるように構成されている。次に、図6のCNT製造装置での製造方法を説明する。まず、装置内部を不活性雰囲気にするために、筐体18内に窒素供給手段を用いて例えば窒素を供給し、内部を窒素雰囲気に置換する。次に、駆動モータ64を矢印Fの方向に回転させる。次に、ヒータ4の電源を入れ、鉄板60がカーボンナノチューブ生成雰囲気が500~1000°Cの生成温度に達するまで昇温する。生成温度に達したら、窒素の供給を止めると同時に、炭素原料供給手段を起動し、例えばエタノールBを炭素原料供給ルズル16から供給する。エタノール16は、雰囲気の温度で瞬間に蒸発して炭化水素を含んだ気体となる。その気体と十分に暖められた鉄板60表面の鉄触媒と反応してCNT2を還元雰囲気で生成して生長する。鉄板60の表面に生長したCNT2は、CNT掻き取り板22で掻き落とされ、下部のCNT回収缶24に回収される。鉄板60は仕切り板65aを通り過ぎ、冷却された後に研磨ブラシ66で磨き、さらに、酸液塗付ノズル35で例えば塩酸Dを鉄板50表面に噴霧して表面を活性化活性化面Sし、触媒効果を向上させる。その後、鉄板60は、仕切り板65bを通過し再度CNT2の生成を繰り返す。第4の実施形態に係るナノカーボン製造装置は、図6に示すように、内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器と、表面にCNT2が生成される円形状の鉄板60と、ヒータ4と、炭化水素供給手段と、不活性ガス供給手段と、CNT掻き取り回収手段と、ガス排気手段と、鉄板60を回転駆動する回転手段61とを備えた構成となっているので、触媒が少なく純度が極めて高いCNTが得られる。また、本発明によれば、反応容器1内の不活性雰囲気化、昇温、鉄板60表面へのCNT生成、CNT2の掻き落としを順次自動的に行うことができるので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。なお、第4の実施形態では、1枚の円形の鉄板を用いてCNTの生成を行う場合について述べたが、これに限らない。例えば、複数枚の円形の鉄板を一定の間隔をおいて主軸の軸方向に平行に配置して主軸により回転可能にするとともに、各鉄板毎に研磨ブラシ,酸液供給手段,炭素原料供給手段,加熱手段等を配置することにより、1枚の鉄板を用いる場合に比べてよりCNTの量産化が可能となる。第5の実施形態図7は、本発明の第5の実施形態に係るCNT製造装置の要部のみを示す概略図である。但し、図1,図6と同部材は同符番を付して説明を省略し、要部のみを説明する。第5の実施形態に係るナノカーボン製造装置は、図6の場合と比べ、円形の鉄板60を縦型にし、酸液供給ノズル35から鉄板60に横方向から塩酸Dを噴霧するようにした点が異なり、他は図6の場合と同様である。また、CNT2の製造の仕方も第4の実施形態で述べたとおりである。第5の実施形態に係るCNT製造装置によれば、第4の実施形態と同様な効果が得られる。また、第5の実施形態の場合も、第4の実施形態と同様に、複数枚の円形の鉄板を一定の間隔をおいて主軸の軸方向に平行に配置して主軸により回転可能にするとともに、各鉄板毎に研磨ブラシ,酸液供給手段,炭素原料供給手段,加熱手段等を配置することにより、1枚の鉄板を用いる場合に比べてよりCNTの量産化が可能となる。第6の実施形態図8は、本発明の第6の実施形態に係るCNT製造装置の概略図である。但し、図1と同部材は同符番を付して説明を省略し、要部のみを説明する。図中の符番71は、回転しないステンレス製の円筒状縦型反応容器である。この反応容器71の内側には、鉄製の円筒72が反応容器71と同軸状に固定して配置されている。円筒72の内側には、回転軸73により回転する掻き取り羽根74が設けられている。この掻き取り羽根74は、回転軸73に連結した駆動源としての駆動モータ75により矢印Fの方向に回転し、円筒72の内壁に生成されるCNT2を掻き取るように配置されている。反応容器71の上部には回転軸73を通すための開口穴が設けられ、この開口穴部分の回転軸73と反応容器71間には反応容器内を外気と遮断して還元雰囲気を保持するためのリング状のシール材76が設けられている。次に、図8のCNT製造装置での製造方法を説明する。まず、装置内部を不活性雰囲気にするために、不活性供給手段を用いて例えば窒素を供給し、内部を窒素雰囲気に置換する。次に、ヒータ4の電源を入れ、円筒72が500~1000°Cのカーボンナノチューブ生成温度に達するまで昇温する。生成温度に達したら、窒素の供給を止めると同時に、炭素原料供給手段を起動し、例えばエタノールを炭素原料供給ルズルから供給する。エタノールは、雰囲気の温度で瞬間に蒸発して炭化水素を含んだ気体となる。その気体と十分に暖められた円筒72の内表面の鉄触媒と反応してCNT2を還元雰囲気で生成して生長する。CNT2が十分成長したら駆動モータ75を矢印Fの方向に回転させ、円筒72の内面に生長したCNT2を掻き取り羽根74で掻き落とし、下部のCNT回収缶24に回収される。なお、カーボン製造装置内で発生するガスは、ガス排気手段8で水封を介してガスが逆流しないように排気される。第6の実施形態に係るCNT製造装置は、図8に示すように、内部を還元雰囲気に保持しうる円筒状縦型反応容器71と、この反応容器71内に配置された鉄製の円筒72と、この円筒72内に配置されて円筒内壁に生成されるCNT2を掻き取る掻き取り羽根74と、この掻き取り羽根74を駆動する駆動モータ75と、ヒータ4と、炭化水素供給手段と、不活性ガス供給手段と、ガス排気手段8とを備えた構成となっているので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。また、本発明によれば、反応容器71内の不活性雰囲気化、昇温、円筒72内壁へのCNT生成、CNT2の掻き落としを順次自動的に行うことができるので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。更に、CNT2の生成量が減少して生成能力が落ちた場合には、反応容器71内の円筒72のみを取り替えれば新たにCNT2を生成することができ、装置のメンテナンスを低コストに抑えることができる。ところで、第6の実施形態において、前記円筒は筒状である場合について述べたが、これに限らず、例えば縦方向に2分割された断面形状が半円の半円筒部材を一体化して筒状とした円筒を用いてもよい。第7の実施形態図9は、本発明の第7の実施形態に係るCNT製造装置の概略図である。但し、図1,8と同部材は同符番を付して説明を省略し、要部のみを説明する。図9のCNT製造装置は、図8と比べ、内部を還元雰囲気に保持しうる鉄製の円筒81のみを用いる点が異なり、この円筒81の内壁にCNTを生成することを特徴とする。その他の構成部材及び製造方法は、図8の場合と同様である。第7の実施形態に係るCNT製造装置は、図9に示すように、内部を還元雰囲気に保持しうる鉄製の円筒81と、この円筒81内に配置されて円筒内壁に生成されるCNT2を掻き取る掻き取り羽根74と、この掻き取り羽根74を駆動する駆動モータ75と、ヒータ4と、炭化水素供給手段と、不活性ガス供給手段と、ガス排気手段8とを備えた構成となっているので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。また、本発明によれば、反応容器71内の不活性雰囲気化、昇温、円筒72内壁へのCNT生成、CNT2の掻き落としを順次自動的に行うことができるので、純度および安定性の高い高機能のCNT2を低コストで効率よく量産することができる。なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。具体的には、上記実施形態では、CNTを生成する基板材質又は円筒を鉄、炭化水素原料をエタノールとした場合に多量のCNTを生成できた。しかし、基板又は円筒は鉄に限定するものではなく、炭素原料もエタノールに限定するものではなく、基板又は円筒と炭素原料の最適組み合わせで本発明の構造を用いることにより最適なカーボンナノチューブ製造装置を構成することができる。"