複合型光学素子の基板に樹脂層を成形するための光学有効部と、前記光学有効部外において、同心円状に配置された少なくとも2つの土手と、前記2つの土手の間に配置された溝と、を備えた型を準備する工程と、前記型に樹脂を滴下し、前記基板を前記型の前記2つの土手のうちの一方に突き当てながら加圧して前記光学有効部に前記樹脂を充填し、複合型光学素子の樹脂層を成形する工程と、前記樹脂層を硬化させる工程と、硬化した前記樹脂層と前記基板を一体として前記型から離型する工程と、を有することを特徴とする複合型光学素子の成形方法。複合型光学素子の基板に樹脂層を成形するための光学有効部と、前記光学有効部外において、同心円状に配置された少なくとも2つの土手と、前記2つの土手の間に配置された溝と、を備えた型を準備する工程と、前記型に樹脂を滴下し、前記基板を前記型の前記2つの土手に突き当てながら加圧して前記光学有効部に前記樹脂を充填し、複合型光学素子の樹脂層を成形する工程と、前記樹脂層を硬化させる工程と、硬化した前記樹脂層と前記基板を一体として前記型から離型する工程と、を有することを特徴とする複合型光学素子の成形方法。複合型光学素子の基板に樹脂層を成形するための型において、前記樹脂層を成形するための光学有効部と、前記光学有効部外において同心円状に配置された少なくとも2つの土手と、前記2つの土手の間に配置された溝と、を備え、前記2つの土手のうちの少なくとも一方は、前記光学有効部に樹脂を滴下して前記基板を加圧し、複合型光学素子の樹脂層を成形する工程で前記基板に突き当たるように構成されていることを特徴とする型。しかしながら、透過率が悪い樹脂、たとえば微粒子を分散させた樹脂を使う場合、光学素子として用いるためには樹脂層の厚みを薄く均一に規定する必要がある。薄く均一に樹脂を充填するためには、基板を加圧しながら充填する必要がある。加圧しながら樹脂を充填する場合、成形機の加圧面と基板面と型面の軸は平行ではないため、軸の傾きに応じてある方向に樹脂が偏ってしまい、光学有効部内に樹脂が未充填な状態になるか、型の外に樹脂がはみ出すという課題がある。この課題に対し、特許文献1に開示されたように、たとえば、型または基板に凸部を設けている場合、凸部に沿って樹脂が回りこむが、その許容量は少なく、特に薄肉の樹脂層の場合、型の外に樹脂がはみ出してしまうという課題があった。本発明は、型の光学有効部内に樹脂を不足なく充填することができ、しかも型の外に樹脂があふれることを防ぐことができる複合型光学素子の成形方法および型を提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明の複合型光学素子の成形方法は、複合型光学素子の基板に樹脂層を成形するための光学有効部と、前記光学有効部外において、同心円状に配置された少なくとも2つの土手と、前記2つの土手の間に配置された溝と、を備えた型を準備する工程と、前記型に樹脂を滴下し、前記基板を前記型の前記2つの土手のうちの一方に突き当てながら加圧して前記光学有効部に前記樹脂を充填し、複合型光学素子の樹脂層を成形する工程と、前記樹脂層を硬化させる工程と、硬化した前記樹脂層と前記基板を一体として前記型から離型する工程と、を有することを特徴とする。樹脂を加圧充填するとき、光学有効部に近い一つ目内側の土手に樹脂が到達したとき、一つ目の土手より内側の未充填領域に向けて樹脂が回り込むような樹脂の流れと、外側に向かう樹脂の流れが生じる。そして、溝と二つ目外側の土手により、外側に向かう樹脂の流れが弱くなるため、光学有効部の未充填領域にむけて樹脂が回りこむ流れが大きくなる。その結果、光学有効部内に樹脂を不足なく充填することができ、また型の外に樹脂があふれ出すことを防ぐことができる。本発明の複合型光学素子の成形方法を説明する。図1に示すような複合型光学素子成形用の型10を準備する。型10は、光学有効部外に同心円状の少なくとも2つの土手11、土手13があり、土手11、13の間に溝12があり、光学有効部内には同心円状の格子14が配置されている。図2に示すように、図1の型10を用いて成形された複合型光学素子20は、基板ガラス基板24と、樹脂層である同心円状の格子25Aと、を有し、格子25Aの外側には樹脂の無い基板領域24Aおよび樹脂層突起25Bを備える。樹脂層突起25Bは樹脂の滴下量によっては、左右非対称の形状になる。図3に示すように、樹脂層である格子25Aの成形工程では、溝12が樹脂を溜め込むバッファーとして機能するとともに、樹脂の未充填領域に向けて樹脂の流れを作る機能も有する。すなわち、図3aのように、内側の土手11に樹脂25が充填されてきたとき、土手11の周方向に回り込む樹脂の流れと、土手11を乗り越えて溝12に向かう樹脂の流れが生じる。図3bのように、溝12に流れ込んだ樹脂が外側の土手13まで充填されてきたとき、溝12の周方向に回り込む流れと、土手13を乗り越えて型10の外側に向かう樹脂の流れが生じる。樹脂には粘性があるため、この溝12の周方向に回り込む流れが内側の土手11の周方向に回り込む樹脂の流れに影響を与える。そして、図3cのように、内側の土手11の周方向に回り込む樹脂の流れが増幅され、内側の土手11を乗り越えて溝12に向かう樹脂の流れが弱まる。そのため、型10の光学有効部内における未充填領域に優先的に樹脂が流れ込む効果が生じる。ここで、溝12の深さや幅を調整することで、外側の土手13を樹脂が乗り越えて型10の外側に流れ出てしまう前に、外側の土手13と基板ガラス24を接触させることができる。これにより、溝12が部分的な密閉空間となり、型10の外側に向かう樹脂の流れのインピーダンスが上がり、溝12の周方向に回り込む流れのみとなり、型10の外側に樹脂があふれ出ないようにすることができる。さらに、上記の土手、溝、土手の構造を複数設けることで、前述の効果が増し、より効果的に光学有効部内の樹脂を不足なく充填することができ、また型の外側に樹脂があふれ出るのを防ぐことができる。図4aに示すように、光学有効部を構成する同心円状に格子が切削加工された型30に、微粒子分散光硬化性樹脂35を滴下し、基板レンズ基板34を用いて型30の型面との間に加圧充填する。使用する微粒子分散光硬化性樹脂はフッ素系光硬化性樹脂にナノサイズのITO微粒子を分散させたものである。基板レンズ34の樹脂が接する面にはシランカップリング剤を薄く均等に塗布することにより、基板レンズ34と樹脂層35Aが一体となって型30から離型するようにする。また、型30の光学有効部外の全周に基板レンズ34を突き当てるための、ベース面からの高さ2μm幅0.5mmの土手31が、さらにその外側にベース面からの高さ2μm幅0.5mmの土手33が配置されている。土手31と土手33の間にはベース面からの深さ40μm幅0.5mmの溝32が設けられている。型30の直径は、98mmで基板レンズ34より小さくしてある。さらに、離型を容易にするために、土手31、土手33の光学有効部側の側面には、ベース面の法線に対して67°のテーパを加工してある。図4bのように加圧ガラス37を介して基板レンズ34を加圧する。このとき、加圧ガラス37と型30のベース面の平行度は10μmである。まず、294Nの荷重で、加圧ガラス37と基板レンズ34を接触させ、その後、図4cのように基板レンズ34と型30を接触させる。加圧ガラス37にはコンプライアンス機構がついており、加圧ガラス37、基板レンズ34は型30の土手31、33にならうようになっている。ここで、接触荷重が大きいと、樹脂が加圧ガラス37の傾きの方向に流れてしまうため、極力小さくする。このとき、図4dのように樹脂厚は土手31に近い外側に比べ中心の方が厚い状態になる。次に中心側の樹脂厚を外側の樹脂厚にそろえるため、加圧する荷重を4900Nにする。このとき、溝32および外側の土手33の効果により土手31の内側の樹脂が未充填の領域へ優先的に回りこみやすくなる。土手31の内側の領域がすべて埋まった後、基板レンズ34と土手31のわずかな隙間から溝32に流れ込む。溝32の外側に土手33があるため、溝32の未充填部に優先的に樹脂が流れ込む。充填する樹脂量を型3-のキャビティ体積以下にすれば型30の外に樹脂があふれることがない。充填が終了したら、加圧したまま、図4fに示す高圧水銀ランプ38から光を照射して硬化させ、樹脂層35Aを成形する。硬化後、図4g、hに示すように、基板レンズ34と樹脂層35Aを一体とし型30から離型する。上記の方法で、複合型光学素子である回折光学素子を成形し、光学顕微鏡で充填領域および樹脂あふれの確認を行った。光学有効部内の樹脂未充填に関しては、目視および光学顕微鏡倍率4倍で、成形した回折光学素子を観察し、光学有効部内に少しでも未充填な部分が確認されれば、ありとした。また、型外への樹脂のはみ出しに関しては、目視で型の外周側面を観察し、樹脂の付着が確認されれば、ありとした。さらに、目視および光学顕微鏡倍率4倍で、成形した回折光学素子を観察し、型よりも径の大きい領域98mmより外側に樹脂の付着が確認されれば、ありとした。その結果、表1のように樹脂の滴下量が120mgから135mgの間で、すべての素子で光学有効部内に樹脂を不足なく充填することができ、また型の外に樹脂があふれることを防ぐことができた。比較のため、120mg以下および135mg以上の場合も同様に成形した結果、120mg以下では、光学有効部内で樹脂が未充填の領域が発生した。135mg以上では、樹脂の体積が、型の樹脂充填部の体積より大きくなってしまうため型の外に樹脂のはみ出しが確認された。比較例1光学有効部外に土手が1つしかない場合、図6aのように土手101まで樹脂105が充填されてきたとき、土手101の周方向に回りこむ樹脂の流れと、土手101を乗り越えて型100の外側に向かう樹脂の流れが生じる。樹脂は流れのインピーダンスが小さいほうへ流れ込むため、図6bのように型100の外側に樹脂105があふれ出てしまう。この場合を比較例として説明する。まず、図7aのように光学有効部内に同心円状に格子が切削加工され、光学有効部外の全周に基板レンズ104を突き当てるためのベース面からの高さ2μm幅0.5mmの土手101が加工されている型100を用意する。型100の直径は、98mmで基板レンズ104より小さくしてある。この型100を用いて、実施例1と同様の工程で回折光学素子を成形した。成形した回折光学素子を、光学顕微鏡で充填領域および樹脂あふれの確認を行った。その結果、樹脂の滴下量がおおよそ125mg以下の素子は光学有効部内の樹脂未充填が発生し、樹脂の滴下量がおおよそ129mg以上の素子では、型の外に樹脂105Bがはみ出した。図5aに示す型40を用いて複合型光学素子である回折光学素子を成形する。型40は、光学有効部に同心円状に格子44を有し、光学有効部外の全周高さ1.5μm幅0.5mmの土手41が、その外側に基板である基板レンズ44を突き当てるためのベース面からの高さ2μm、幅0.5mmの土手43が加工されている。土手41と土手43の間にはベース面からの深さ40μm、幅0.5mmの溝42が加工されている。型40の直径は、98mmで基板レンズ44より小さくしてある。このように、2つの土手のうちの一方を基板に突き当てるように構成した型40を用いて、実施例1と同様の工程で回折光学素子を成形した。その結果、表2のように、樹脂の滴下量がおおよそ122mg以下の素子は光学有効部内の樹脂未充填が発生した。樹脂の滴下量がおおよそ135mg以下の素子では、型40の外に樹脂がはみ出しはなかった。光学有効部内の樹脂未充填に関しては、比較例に対して効果が得られた。また。型の外への樹脂のはみ出しに関しては、比較例に対して大幅な改善がみられ、実施例1と同様の効果を得られた。