"被駆動手段と、前記被駆動手段に付勢する突起を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を有するアクチュエーターと、前記アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備えるモーターであって、前記付勢手段の付勢方向が、前記振動板の振動面と交差する、ことを特徴とするモーター。前記付勢方向と、前記振動面と、の交差する角度θが、0<θ≦30°であることを特徴とする請求項1に記載のモーター。前記アクチュエーターを前記振動面に交差する方向に規制する規制手段を備える、ことを特徴とする請求項1または2に記載のモーター。請求項1から3のいずれか一項に記載のモーターを備えるロボットハンド。請求項4に記載のロボットハンドを備えるロボット。しかし、上述の特許文献1では付勢手段によって圧電アクチュエーターを被駆動体へ付勢する方向は補強板における面振動の振動面に沿って、被駆動体の駆動中心に向かって付勢されている。このようなモーターでは、装置本体に対して回転可能に固定される被駆動体の振れや、装置本体に対して摺動可能に固定される圧電アクチュエーターのがた量によって、被駆動体と圧電アクチュエーターの突起との接触部において、付勢方向に対して交差する方向に相対的にずれすべりを生じてしまう。このずれすべりによって、圧電アクチュエーターの振動の被駆動体への伝達効率を著しく低下させてしまうという課題があった。そこで、被駆動体と圧電アクチュエーターの突起との接触部において、付勢方向に対して交差する方向の相対的なずれによるアクチュエーターと被駆動体とのすべりを抑制し、圧電アクチュエーターの振動の被駆動体への伝達効率が高いモーターと、そのモーターを用いたロボットハンドおよびロボットを提供する。本発明は、少なくとも上述の課題の一つを解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。適用例1本適用例のモーターは、被駆動手段と、前記被駆動手段に付勢する突起を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を有するアクチュエーターと、前記アクチュエーターを前記被駆動手段に付勢する付勢手段と、を備えるモーターであって、前記付勢手段の付勢方向が、前記振動板の振動面と交差することを特徴とする。上述の適用例によれば、アクチュエーターを被駆動手段に付勢する付勢手段を、アクチュエーターに含む圧電体によって励起される振動板の振動面に対して交差する方向を付勢方向となるように配置することにより、振動板の振動面に沿って被駆動手段に対して付勢する付勢力と、振動板の振動面に交差する方向に付勢する付勢力と、がアクチュエーターに付加される。このうちアクチュエーターを振動板の振動面に交差する方向に付勢する付勢力によって、アクチュエーターと接触する被駆動手段もアクチュエーターの振動板の振動面に交差する方向に付勢され、被駆動手段を駆動可能とさせるために設けられた駆動部分における部品間の隙間を要因とするフレやガタ、アクチュエーターをモーター基台に対して摺動可能とさせるために設けられた摺動部分における部品間の隙間を要因とするフレやガタなどが、アクチュエーターを振動板の振動面に交差する方向の付勢力によって所定の方向に片寄せされ、被駆動手段の駆動時にフレやガタを抑制することができる。これにより、アクチュエーターの振動の伝達ロスを抑制し、効率よく被駆動手段を駆動させることができるモーターを得ることができる。適用例2上述の適用例において、前記付勢方向と、前記振動面と、の交差する角度θが、0<θ≦30°であることを特徴とする。上述の適用例によれば、アクチュエーターとモーター基台との摺動部における摩擦抵抗による振動の伝達ロスを抑え、アクチュエーターおよび被駆動手段のフレやガタなどが、アクチュエーターを振動板の振動面に交差する方向の付勢力によって所定の方向に片寄せされ、被駆動手段の駆動時にはフレやガタを抑制し、アクチュエーターの振動の伝達ロスの少ない、効率の良いモーターを得ることができる。適用例3上述の適用例において、前記アクチュエーターを前記振動面に交差する方向に規制する規制手段を備えることを特徴とする。上述の適用例によれば、アクチュエーターを振動板の振動面に交差する方向の付勢力によって生じるアクチュエーターの所定方向の片寄せが大きくなり過ぎないようにすることができ、被駆動手段とアクチュエーターとの接触を確実にすることができる。適用例4本適用例のロボットハンドは、上述の適用例のモーターを備える。本適用例のロボットハンドは、自由度を多くし、多数のモーターを備えても、小型、軽量にすることができる。適用例5本適用例のロボットは、上述の適用例のロボットハンドを備える。本適用例のロボットは、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等を可能にすることができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。第1実施形態本実施形態に係るモーター100を示す、図1は分解斜視図、図2aは組立平面図、図2bは組立側面図である。図1および図2a,bに示すように、モーター100は、基台10に回転可能に固定される被駆動体20と、基台10に摺動可能に固定される支持体40と、支持体40を被駆動体20側に付勢する付勢手段としてのコイルばね60と、付勢される支持体40に固定され振動によって被駆動体20を駆動するアクチュエーター30と、を備えている。また、アクチュエーター30は、電極が形成された矩形の圧電体からなる圧電素子32,33が、振動板31を挟持するように貼り合わされて形成される。圧電素子32,33は圧電性を有する材料、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛<PZT:PbZr,TiO3>、水晶、ニオブ酸リチウムLiNbO3などが挙げられ、特にPZTが好適に用いられる。また形成される電極は、Au,Ti,Agなどの導電性金属を蒸着、スパッタリングなどにより成膜して形成することができる。振動板31は、アクチュエーター30として支持体40に固定されコイルばね60によって被駆動体20へ付勢され、被駆動体20と接する突起部31aを端部に備えている。なお、振動板31は、ステンレス、ニッケル、ゴムメタルなどで形成され、加工性の容易さからステンレスが好適に用いられる。アクチュエーター30は、振動板31に形成された支持体40へ装着するための装着部31bの孔31cを挿通し、支持体40に形成された固定部40aのねじ孔40bとねじ嵌合するねじ51によって、支持体40に固定される。支持体40は、支持体40に備えるガイド孔40cを挿通する固定ピン70を基台10に固定することにより基台10に対して摺動可能に固定される。支持体40の被駆動体20側とは反対の端部には、付勢手段としてのコイルばね60が装着され付勢される付勢面40dを有するばね装着部40eを備えている。ばね装着部40eに装着されるコイルばね60は、一方の端部を基台10に備えるばね保持部11により保持され、コイルばね60のたわみによってばね装着部40e、すなわち支持体40を被駆動体20側に付勢する。図2bに示すように、付勢手段としてのコイルばね60は、支持体40の付勢方向、すなわちアクチュエーター30が被駆動体20に付勢される方向である矢印P方向に対して、支持体40のばね装着部40eを基台10側に押さえつける方向の力も生じさせるようにθの角度つけてばね保持部11とばね装着部40eとの間に保持されている。角度θは、支持体40と基台10との接触領域における摩擦力を大きくしないために、0°<θ≦30°とすることが好ましい。また、基台10には後述する支持体40の規制手段としての板ばね80を固定するばね支持部12を有し、板ばね80の孔80aを挿通しばね支持部12のねじ孔12aとねじ嵌合するねじ52によって、板ばね80がばね支持部12に固定される。被駆動体20は図示しない基台10に備える軸受けに回転軸21が装着され、基台10に回転可能に固定される。被駆動体20の駆動回転は回転軸21に接続される減速あるいは増速装置200を介して所望の回転数、あるいは出力トルクによって被駆動装置を駆動する。図2aに示すA-A ́部の断面を図3aに示す。図3aに示すように、基台10に固定されたばね支持部12に板ばね80がねじ52によって固定されている。本実施形態においては、板ばね80の先端部は固定部40aの図示上面40f以後、表面40fというに近接するように固定され、支持体40が基台10から離間する方向への挙動が規制される。基台10には支持体40との摺動性を向上させるため、基台10と支持体40との接触範囲を小さくするためのレール10aが、基台10のアクチュエーター30を装着する側の面10bに突起状に形成されている。本例では、レール10aはコイルばね60の付勢方向に沿って2本のレール10aが形成されているが、これに限定されず1本でも、3本以上であっても良い。このようにレール10aが形成されていることにより支持体40が基台10側に挙動する場合もあるため、支持体40は図3bに示すように表面40fの反対面40g以後、裏面40gというにばね81の先端部を近接させるように装着させることもできる。また図3cに示すように、板ばね80,81を用いず規制ブロック91,92によって、規制面91a,92aと、表面40f、裏面40gと、のすきまδを所定量とすることで、支持体40の挙動を規制することができる。この場合、δは0.01~0.02mmとすることが好ましく、0.01mm未満であると表面40fもしくは裏面40gとの干渉が多くなり、支持体40の摺動性を損なうこととなり、0.02mmを超えると、支持体40の図示における上下挙動が大きくなり、駆動効率を損なうこととなる。次にアクチュエーター30の動作について図4を用いて説明する。図4a,bはアクチュエーター30の振動挙動を示す概略平面図である。図4aに示すように、圧電素子32に形成された電極32a,32b,32c,32d,32eのうち、電極32c,32b,32dと、図示されない圧電体を挟んで反対側に形成された電極との間に交流電圧を印加することにより、電極32c,32b,32dが形成される領域の圧電体は図示矢印方向の縦振動が励振される。電極32bの領域では図示矢印方向にアクチュエーター30を縦振動させ、電極32c,32dの領域ではアクチュエーター30を形状Mで示す屈曲振動を励起し、振動板31の突起部31aは楕円軌道R1を描いて振動する。また、図4bに示すように、圧電素子32に形成された電極32a,32b,32c,32d,32eのうち、電極32a,32b,32eと、図示されない圧電体を挟んで反対側に形成された電極との間に交流電圧を印加することにより、電極32a,32b,32eが形成される領域の圧電体は図示矢印方向の縦振動が励振される。電極32bの領域では図示矢印方向にアクチュエーター30を縦振動させ、電極32a,32eの領域ではアクチュエーター30を形状Nで示す屈曲振動を励起し、振動板31の突起部31aは楕円軌道R2を描いて振動する。上述のアクチュエーター30の振動によって生じる突起部31aの楕円軌道R1,R2が、付勢力によって被駆動体20に付勢されて接触し、被駆動体20を図示矢印r1,r2方向に駆動する。このように駆動されるモーター100において、被駆動体20が基台10に回転可能に固定するためには、図示されない軸受けと回転軸21との間には、所定の隙間などが設けられる。また、基台10に対して摺動可能に固定される支持体40においても、基台10に設けたレール10aと固定ピン70とで形成される支持体40の装着部と支持体40とは適切な隙間を設けることで、摺動可能に固定される。このことが、被駆動体20および支持体40に固定されているアクチュエーター30のフレ、ガタの挙動を誘引する。この被駆動体20およびアクチュエーター30にフレ、ガタを生じさせる要因を持っていても、図2bに示すように付勢手段であるコイルばね60を角度θでモーター100に装着することで、被駆動体20の駆動時におけるフレ、ガタを抑制することができる。図5は、コイルばね60による、フレ、ガタの抑制を説明する模式図である。図5aは角度θ1で装着されているコイルばね60による付勢力F1の方向が、アクチュエーター30が支持体40に固定された状態における重心G1に対して基台10側にD1離れた場合を示している。この時、付勢力F1によって支持体40にはF1×D1のモーメント力が作用し、図示するTL方向に支持体40を回転させようとする。したがって、突起部31aは図示上方向に押し上げられ、突起部31aが接触する被駆動体20も突起部31aの接触部が図示上方向に押し上げられる。この状態は、常にコイルばね60によって付勢力F1が作用していることにより、突起部31aおよび被駆動体20の突起部31aが接触する部位は常に図示上方向に押し上げられた状態で被駆動体20が駆動される。言い換えると、図5aの状態を安定的に維持しながら被駆動体20が駆動される状態と言える。よって、上述したように支持体40および被駆動体20と、基台10と、の隙間を要因とするフレ、ガタが発生しても、付勢手段としてのコイルばね60をθ1の角度で装着することによって、常に同じ方向にアクチュエーター30、被駆動体20を付勢しながら駆動するモーター100を得ることができる。図5bは図5aに対して、角度θ2で装着されているコイルばね60による付勢力F2の方向が、アクチュエーター30が支持体40に固定された状態における重心G2に対して基台10側の反対方向にD2離れた場合を示している。従って、F2×D2のモーメント力により図示TR方向に支持体40を回転させようとし、突起部31aは図示下方向に押し下げられ、突起部31aが接触する被駆動体20も突起部31aの接触部が図示下方向に押し下げられる。よって、コイルばね60をθ2の角度で装着することによって、常に同じ方向にアクチュエーター30、被駆動体20を付勢しながら駆動するモーター100を得ることができる。図5aに示す状態において、アクチュエーター30の突起部31aが過大に押し上げられないように、図3aに示す支持体40の固定部40aの表面40fを規制するばね80により、図5aに示す方向p1に規制する。また、図5bに示す状態においては、アクチュエーター30の突起部31aが過大に押し下げられないように、図3bに示す支持体40の裏面40gを規制するばね81により、図5bに示す方向p2に規制する。上述の通り、本実施形態に係るモーター100は、可動要素である被駆動体20および支持体40が、基台10に対して可動させるための所定の隙間を有し、フレやガタの要因となっても、アクチュエーター30の付勢方向に対して所定の角度θを形成して付勢手段としてのコイルばね60を装着することにより、常に一定方向に被駆動体20および支持体40を付勢することにより、アクチュエーター30の突起部31aと被駆動体20との駆動に関与しない接触部での滑りを抑制し、アクチュエーター30の振動を効率良く被駆動体20の駆動力に変換することができる。第2実施形態図6は、第2実施形態に係るモーター100を備えたロボットハンド1000を示す外観図である。ロボットハンド1000は基部1100と、基部1100に接続された指部1200とを備えている。基部1100と指部1200との接続部1300と、指部1200の関節部1400とには、モーター100が組み込まれている。モーター100が駆動することによって、指部1200が屈曲し、物体を把持することができる。超小型モーターであるモーター100を用いることによって、小型でありながら多数のモーターを備えるロボットハンドを実現することができる。第3実施形態図7は、ロボットハンド1000を備えるロボット2000の構成を示す図である。ロボット2000は、本体部2100、アーム部2200およびロボットハンド1000等から構成されている。本体部2100は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部2200は、本体部2100に対して可動に設けられており、本体部2100にはアーム部2200を回転させるための動力を発生させる図示しないアクチュエーターや、アクチュエーターを制御する制御部等が内蔵されている。アーム部2200は、第1フレーム2210、第2フレーム2220、第3フレーム2230、第4フレーム2240および第5フレーム2250から構成されている。第1フレーム2210は、回転屈折軸を介して、本体部2100に回転可能または屈折可能に接続されている。第2フレーム2220は、回転屈折軸を介して、第1フレーム2210および第3フレーム2230に接続されている。第3フレーム2230は、回転屈折軸を介して、第2フレーム2220および第4フレーム2240に接続されている。第4フレーム2240は、回転屈折軸を介して、第3フレーム2230および第5フレーム2250に接続されている。第5フレーム2250は、回転屈折軸を介して、第4フレーム2240に接続されている。アーム部2200は、制御部の制御によって、各フレーム2210~2250が各回転屈折軸を中心に複合的に回転または屈折し動く。アーム部2200の第5フレーム2250のうち第4フレーム2240が設けられた他方には、ロボットハンド接続部2320が接続されており、ロボットハンド接続部2300にロボットハンド1000が取り付けられている。ロボットハンド接続部2300にはロボットハンド1000に回転動作を与えるモーター100が内蔵され、ロボットハンド1000は対象物を把持することができる。小型、軽量のロボットハンド1000を用いることによって、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等が可能なロボットを提供することができる。"