"被加工物に穿孔加工を行う穿孔装置の加工軸に装着される穿孔工具を、治具プレートに形成された位置決め穴に対して位置決めするクランプ装置であって、前記穿孔装置の先端部に前記加工軸に沿って進退自在に装着されるクランププレートと、前記クランププレートを進退させるクランププレート駆動手段と、前記穿孔工具を回転自在に支持するように前記クランププレートに配置され先端側が後端側よりも拡径されたテーパ部を有するブッシュと、前記穿孔装置の先端部に固定され前記ブッシュのテーパ部に適合する後端側が先端側よりも縮径されたテーパ部を有して前記位置決め穴に嵌入されるコレットと、を備え、前記クランププレート駆動手段により前記ブッシュを後退させ、当該ブッシュのテーパ部と前記コレットのテーパ部とを係合させることによって、前記穿孔工具を前記位置決め穴に位置決めすることを特徴とするクランプ装置。前記クランププレート駆動手段は、第1ピストンと、この第1ピストンが進退可能に内設された第1シリンダとからなる第1ピストンシリンダ装置と、第2ピストンと、この第2ピストンが進退可能に内設された第2シリンダとからなる第2ピストンシリンダ装置と、を備えたピストンシリンダ装置からなり、前記第2ピストンシリンダ装置には、エア供給源から供給されるエアを第2シリンダ内に供給するエア供給流路が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のクランプ装置。前記第1シリンダは、当該第1シリンダの一方のシリンダケース半体を形成する第1シリンダプレートと、当該第1シリンダの他方のシリンダケース半体を形成する第2シリンダプレートと、前記第1シリンダプレート及び前記第2シリンダプレートに内設された第1筒体と、から形成され、前記第2シリンダは、当該第2シリンダの一方のシリンダケース半体を形成する前記第2シリンダプレートと、当該第2シリンダの他方のシリンダケース半体を形成する第3シリンダプレートと、前記第2シリンダプレート及び前記第3シリンダプレートに内設された第2筒体と、から形成されていることを特徴とする請求項2に記載のクランプ装置。前記クランププレート駆動手段は、前記クランププレートに一端部が連結された連結ロッドと、前記連結ロッドの他端部に回動自在に連結されたカムレバーと、を備え、前記カムレバーは、回動操作することにより、前記連結ロッド及び前記クランププレートを介在して、前記ブッシュを進退させることを特徴とする請求項1に記載のクランプ装置。請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のクランプ装置を用いて前記被加工物を保持する前記治具プレートをクランプするクランプ方法であって、前記クランププレート駆動手段を進退駆動させる駆動工程と、前記クランププレート駆動手段の進退駆動に連動して前記クランププレートを進退移動させるクランププレート移動工程と、前記クランププレートの進退移動に連動して前記ブッシュを進退移動させるブッシュ移動工程と、前記ブッシュの進退移動によって前記コレットを拡径させるコレット拡径工程と、前記コレットを前記位置決め孔に嵌入させることで前記治具プレートをクランプするクランプ工程と、を含むことを特徴とするクランプ方法。前記駆動工程は、エア供給源から供給されるエアを第1シリンダ内に送る第1シリンダエア供給工程と、前記第1シリンダ内の第1ピストンを進退移動させる第1ピストン移動工程と、前記エア供給源から供給されるエア、または、第1ピストンに送られたエアを第2シリンダ内に送る第2シリンダエア供給工程と、前記第2シリンダ内の第2ピストンを移動させる第2ピストン移動工程と、を含むことを特徴とする請求項5に記載のクランプ方法。請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のクランプ装置を用いて前記被加工物を保持する前記治具プレートをクランプして、前記被加工物を穿孔する穿孔方法であって、前記クランププレート駆動手段を進退駆動させる駆動工程と、前記クランププレート駆動手段の進退駆動に連動して前記クランププレートを進退移動させるクランププレート移動工程と、前記クランププレートの進退移動に連動して前記ブッシュを進退移動させるブッシュ移動工程と、前記ブッシュの進退移動によって前記コレットを拡径させるコレット拡径工程と、前記コレットを前記位置決め孔に嵌入させることで前記治具プレートをクランプするクランプ工程と、前記被加工物を加工する前記穿孔工具を把持手段に保持させて、前記把持手段を移動させて、回転させることにより前記被加工物を穿孔する穿孔加工工程と、を含むことを特徴とする穿孔方法。特許文献3に記載のコレットは、被加工物に穿孔装置を固定させる部材である。この場合、コレットを利用して穿孔装置を高精度に被加工物に固定させるためには、コレットや穿孔装置を安定した状態で固定させることが必須になっている。また、特許文献1~3に記載されたコレット及び穿孔装置は、安定的な動作を実現させるためには、コレットを拡径させるのにエアクランプ機構が不可欠であるという問題点がある。さらに、クランプ機構に定量的な流体を作用させて移動を調整する必要があり、装置自体が複雑化し、大型化するという問題点があった。そこで、本発明は、このような問題点を解決するために創案されたものであり、被加工物と穿孔装置とを精度よくクランプさせることができると共に、小型で、安定した推力を維持することができるクランプ装置、クランプ方法及び穿孔方法を提供することを目的とする。前記課題を解決するために、本発明の請求項1に係るクランプ装置の発明は、被加工物に穿孔加工を行う穿孔装置の加工軸に装着される穿孔工具を、治具プレートに形成された位置決め穴に対して位置決めするクランプ装置であって、前記穿孔装置の先端部に前記加工軸に沿って進退自在に装着されるクランププレートと、前記クランププレートを進退させるクランププレート駆動手段と、前記穿孔工具を回転自在に支持するように前記クランププレートに配置され先端側が後端側よりも拡径されたテーパ部を有するブッシュと、前記穿孔装置の先端部に固定され前記ブッシュのテーパ部に適合する後端側が先端側よりも縮径されたテーパ部を有して前記位置決め穴に嵌入されるコレットと、を備え、前記クランププレート駆動手段により前記ブッシュを後退させ、当該ブッシュのテーパ部と前記コレットのテーパ部とを係合させることによって、前記穿孔工具を前記位置決め穴に位置決めすることを特徴とする。かかる構成によれば、クランプ装置は、クランププレート駆動手段が駆動すると、クランププレートが、このクランププレート駆動手段に連動して穿孔装置の加工軸に沿って進退する。ブッシュは、そのクランププレートと一体に移動して、コレットのテーパ部によって拡径される。すると、コレットは、穿孔工具の位置決めをする治具プレートの位置決め穴に係合されて、治具プレートに保持される。このため、コレット内のブッシュ及びブッシュ内の穿孔工具は、所定位置に位置決めされる。クランプ装置は、クランププレート駆動手段が穿孔装置の被加工物側の先端部に配置されて、クランププレート及びブッシュをクランププレート駆動手段に連動させて加工軸に沿って移動させることによって、ブッシュが治具プレートを保持する構造になっているため、クランププレート駆動手段を治具プレートの近傍に配置することができる。このため、治具プレートをコレットで保持する保持力を発生するクランププレート駆動手段は、クランププレート駆動手段が穿孔装置の被加工物側の先端部に配置されて、ブッシュ、治具プレート及びコレットの近傍に配置されているので、治具プレート及び被加工物を安定した状態に、かつ、位置決めした状態に正確に固定することができると共に、クランプ装置及び穿孔装置の小型化を図ることができる。その結果、クランプ装置は、狭い箇所であっても被加工物を安定した状態にしっかりと保持することができる。そのため、穿孔装置は、精度の高い穿孔を施すことができ、加工精度を向上させることができる。請求項2に係る発明は、請求項1に記載のクランプ装置であって、前記クランププレート駆動手段は、第1ピストンと、この第1ピストンが進退可能に内設された第1シリンダとからなる第1ピストンシリンダ装置と、第2ピストンと、この第2ピストンが進退可能に内設された第2シリンダとからなる第2ピストンシリンダ装置と、を備えたピストンシリンダ装置からなり、前記第2ピストンシリンダ装置には、エア供給源から供給されるエアを第2シリンダ内に供給するエア供給流路が設けられていることを特徴とする。かかる構成によれば、クランププレート駆動手段は、第1ピストンシリンダ装置と第2ピストンシリンダ装置との2つのピストンシリンダ機構を直列に連設したピストンシリンダ装置からなることによって、ピストンシリンダ装置全体を小型化及び軽量化を図ることができると共に、クランプ力を増強させることができる。請求項3に係る発明は、請求項2に記載のクランプ装置であって、前記第1シリンダは、当該第1シリンダの一方のシリンダケース半体を形成する第1シリンダプレートと、当該第1シリンダの他方のシリンダケース半体を形成する第2シリンダプレートと、前記第1シリンダプレート及び前記第2シリンダプレートに内設された第1筒体と、から形成され、前記第2シリンダは、当該第2シリンダの一方のシリンダケース半体を形成する前記第2シリンダプレートと、当該第2シリンダの他方のシリンダケース半体を形成する第3シリンダプレートと、前記第2シリンダプレート及び前記第3シリンダプレートに内設された第2筒体と、から形成されていることを特徴とする。かかる構成によれば、クランプ装置は、第1シリンダ及び第2シリンダが、第1シリンダ及び第2シリンダの一方のシリンダケース半体をそれぞれ形成する第2シリンダプレートで共用していることによって、部品点数及び組付工数を削減して、コスト及び重量の削減を図ることができると共に、装置全体の小型化及び軽量化を図ることができる。請求項4に係る発明は、請求項1に記載のクランプ装置であって、前記クランププレート駆動手段は、前記クランププレートに一端部が連結された連結ロッドと、前記連結ロッドの他端部に回動自在に連結されたカムレバーと、を備え、前記カムレバーは、回動操作することにより、前記連結ロッド及び前記クランププレートを介在して、前記ブッシュを進退させることを特徴とする。かかる構成によれば、前記クランププレート駆動手段は、カムレバーを回動操作すれば、連結ロッド及びクランププレートを介在してブッシュを進退させることができるので、部品点数を削減して装置全体の構造をシンプル化することができる。請求項5に係る発明は、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のクランプ装置を用いて前記被加工物を保持する前記治具プレートをクランプするクランプ方法であって、前記クランププレート駆動手段を進退駆動させる駆動工程と、前記クランププレート駆動手段の進退駆動に連動して前記クランププレートを進退移動させるクランププレート移動工程と、前記クランププレートの進退移動に連動して前記ブッシュを進退移動させるブッシュ移動工程と、前記ブッシュの進退移動によって前記コレットを拡径させるコレット拡径工程と、前記コレットを前記位置決め孔に嵌入させることで前記治具プレートをクランプするクランプ工程と、を含むことを特徴とする。かかる構成によれば、クランプ方法は、駆動工程でクランププレート駆動手段が進退駆動すると、クランププレート移動工程及びブッシュ移動工程でクランププレート及びコレットが進退移動して、これに連動してコレットコレット拡径工程がブッシュの移動に応じて拡径されて、治具プレートの位置決め孔に嵌入されて位置決めされることによって、コレットが、被加工物と一体の治具プレートをクランプするクランプ工程。このように、クランプ方法は、駆動工程でのクランププレート駆動手段が進退移動することによって、クランププレート及びコレットが連動してコレットがクランプされるので、構造が複雑ではなく、クランプ装置全体を小型化することができる。請求項6に係る発明は、請求項5に記載のクランプ方法であって、前記駆動工程は、エア供給源から供給されるエアを第1シリンダ内に送る第1シリンダエア供給工程と、前記第1シリンダ内の第1ピストンを進退移動させる第1ピストン移動工程と、前記エア供給源から供給されるエア、または、第1ピストンに送られたエアを第2シリンダ内に送る第2シリンダエア供給工程と、前記第2シリンダ内の第2ピストンを移動させる第2ピストン移動工程と、を含むことを特徴とする。かかる構成によれば、クランプ方法は、第1ピストン移動工程と第2ピストン移動工程とによって、2つの第1ピストン及び第2ピストンを移動させることで、簡単な構造でクランプ力を大きくすることができる。請求項7に係る発明は、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のクランプ装置を用いて前記被加工物を保持する前記治具プレートをクランプして、前記被加工物を穿孔する穿孔方法であって、前記クランププレート駆動手段を進退駆動させる駆動工程と、前記クランププレート駆動手段の進退駆動に連動して前記クランププレートを進退移動させるクランププレート移動工程と、前記クランププレートの進退移動に連動して前記ブッシュを進退移動させるブッシュ移動工程と、前記ブッシュの進退移動によって前記コレットを拡径させるコレット拡径工程と、前記コレットを前記位置決め孔に嵌入させることで前記治具プレートをクランプするクランプ工程と、前記被加工物を加工する前記穿孔工具を把持手段に保持させて、前記把持手段を移動させて、回転させることにより前記被加工物を穿孔する穿孔加工工程と、を含むことを特徴とする。かかる構成によれば、穿孔方法は、クランプ工程で被加工物と穿孔装置とをしっかりとクランプしてから、穿孔工程により穿孔工具を把持した把持手段を移動させて、回転させることによって被加工物を穿孔するので、穿孔精度を向上させることができる。本発明に係るクランプ装置、クランプ方法及び穿孔方法は、被加工物と穿孔装置とを精度よくクランプさせることができると共に、小型で、安定した推力を維持することができる。以下、図面を参照しながら本発明の実施形態に係るクランプ装置1Aを説明する。なお、クランプ装置1Aは、例えば、穿孔装置1等の装置自体と、その穿孔装置1によって加工される被加工物W図2参照に取り付けられた治具プレートPテンプレートと、をクランプする装置である。なお、このクランプ装置1Aが設けられる装置は、作業する際に、治具プレートPや被加工物W等に形成された穴や孔に後記するブッシュ13を内嵌させて作業を行う装置であればよく、穿孔装置1に限定されない。以下、本発明に係るクランプ装置1Aの実施形態の一例として、穿孔装置1に使用する場合を例に挙げて説明する。≪穿孔装置の構成≫図1に示すように、穿孔装置1は、工具を回転させて被加工物W図2参照を加工する加工装置であればよく、以下、ドリルT図3参照等の穿孔工具を有するドリル装置を例に挙げて説明する。穿孔装置1は、油圧や空気圧や電動モータ等の駆動力を利用して、ドリルT穿孔工具を回転及び進退往復動させることによって被加工物Wを加工する装置であり、以下、圧縮エアでドリルTを回転及び往復動させるドリル装置を例に挙げて説明する。なお、便宜上、作業者がグリップ1aを持った状態を基準として、ドリルTが装着される側を前側先端側、その反対側を後側、グリップ1aが固定された側を下側、その反対側を上側として説明する。≪穿孔装置の構成≫図2に示すように、穿孔装置1は、作業者図示省略がグリップ1aを持って位置決め用の治具プレートPテンプレートに形成された位置決め穴Paに、クランプ装置1Aのコレット11を挿入して穿孔装置1の先端部位を位置決めし、コレット11の外径を拡大することよりロックして穿孔作業を行なうハンドツールである。穿孔装置1は、ドリルT図3参照を回転させ、送りを与えて被加工物Wを穿孔する装置である。この穿孔装置1は、略シリンダ形状のボディ2と、ボディ2に進退自在に内装されたラム3図1参照と、ラム3の後部に延設されたセンタバー40と、ラム3図3参照を進退させる進退機構6と、この進退機構6によって進退するドリルT図3参照と、ドリルTを把持してラム3と一体に進退する把持手段5図3参照と、把持手段5を介在してドリルTを回転させる主軸モータM図1参照と、ボディ2の前部に配設されドリルTを覆うと共にクランプ装置1Aが取り付けられるノーズピース12と、を主に備えている。≪ボディの構成≫図1に示すボディ2は、往復移動送りと戻りするラム3、進退機構6、主軸モータM等を内装したハウジングである。ボディ2には、不図示のエア供給源からの圧縮エアでラム3を前進及び後退させるエアシリンダ室図示省略等が内設されている。ボディ2の上部には、油圧ダンパDが装着されている。ボディ2の下部には、ラム3の外周部に形成されたエア圧力室図示省略に連通するエア供給口図示省略を有するグリップ1aが固定されている。図2に示すように、センタバー40は、ラム3図1参照の後端部にねじ込まれて、ラム3の後端部を閉塞するようにして延設された軸棒部材からなる。このセンタバー40は、不図示の排気流路と、排気口と、モータ用流路等が設けられている。≪ラム及び油圧ダンパの構成≫図1に示すように、ラム3は、把持手段5図3参照を介在してドリルTを圧縮エアによって往復移動させるための略円筒状の部材であり、ボディ2に進退自在に内装されている。ラム3は、ボディ2の先端部と中央部と後端部とにシール材図示省略を介在して摺動自在に支持されている。また、ラム3の外周部中央には、圧縮エアによってボディ2内を前後方向に摺動する鍔状の拡径部図示省略が形成されている。油圧ダンパDは、例えば、ラム3の送り速度を調整し、ボディ2の上部に併設されている。≪進退機構の構成≫図1に示すように、進退機構6は、例えば、ラム3の外周部とボディ2の内周部との間に形成された不図示のエアシリンダ室に、圧縮エア供給源図示省略から供給される圧縮エアによってラム3、把持手段5図3参照及びドリルT図3参照を前進及び後退させるエアシリンダ機構からなる。≪主軸モータの構成≫主軸モータMは、ドリルTを回転させるモータであり、例えば、圧縮エア供給源図示省略からエアモータ室図示省略に供給された圧縮エアによって回転するエアモータからなる。主軸モータMの主軸図示省略の先端部は、図3に示すように、ドリルTを把持する把持手段5によって、ドリルTに連結されている。≪エア流路の構成≫図2に示すように、エア流路Lは、不図示の圧縮エア供給源から供給された圧縮エアを、ピストンシリンダ装置8クランププレート駆動手段80Aへ供給するための流路であり、エアホースからなる。ピストンシリンダ装置8は、そのエア流路Lからの圧縮エアによって、直線駆動するようになっている。エア流路Lは、ピストンシリンダ専用であり、メカニカルバルブスイッチのON/OFFによって、コレット11のクランプまたはアンクランプを行う。≪把持手段の構成≫図3に示すように、把持手段5は、ドリルTを把持すると共に、主軸モータM図1参照の回転をドリルTに伝達するための連結部材である。把持手段5は、ドリルTを把持するドリル用コレット51と、このドリル用コレット51が内嵌されて主軸図示省略の先端部に形成されたスピンドル52と、ドリル用コレット51をスピンドル52に固定するためのコレットナット53と、を備えて構成されている。<ドリル用コレット、スピンドル及びコレットナットの構成>図3に示すように、ドリル用コレット51は、ドリルTの後端面側が装着される略円筒状の部材であり、スピンドル52の内筒部に拡開して形成された拡開部52aに内嵌されるテーパ状の拡径部51aを外周面に有している。ドリル用コレット51には、前記拡径部51aと、ドリルTを挿通するためのドリル保持孔51bと、ドリル用コレット51の後端部から前側に向かって切欠形成された切欠溝状の複数のスリ割り51cと、環状溝からなる係合溝51dと、が形成されている。コレットナット53は、ドリル用コレット51をスピンドル52に固定するため固定具であり、ドリル用コレット51の頭部を内嵌させた状態で、スピンドル52の雄ねじ部52bに螺合する雌ねじ部53aと、ドリル用コレット51の外周部に形成された係合溝51dに係合する係止凸部と53bと、を有している。スピンドル52は、主軸図示省略の先端部に形成された略筒状の部材であり、コレットナット53を雄ねじ部52bに螺合させた際に、ドリル用コレット51の拡径部51aを軸心方向へ押圧して縮径させてドリル用コレット51にドリルTを固定させるための拡開部52aと、雌ねじ部53aが螺合することによってコレットナット53、ドリル用コレット51及びドリルTを連結させるための前記雄ねじ部52bとを備えている。<ノーズピースの構成>図1に示すように、ノーズピース12は、ボディ2の前部に配設されて、把持手段5図3参照、ドリルT図3参照及びブッシュガイド10の後端部側を覆うと共に、外周部にクランプ装置1Aが取り付けられたカバー部材である。ノーズピース12には、上側外周部にピストンシリンダ装置8の第1シリンダプレート83、第2シリンダプレート84及び第3シリンダプレート85の下端部が装着されるピストンシリンダ係合部12aが形成され、下側外周部に集塵パイプ1bが設置されている。ノーズピース12の上側外周部には、ピストンシリンダ装置8の後側に、クランプロック機構9が配置されている。≪クランプ装置の構成≫図3に示すように、クランプ装置1Aは、被加工物Wに穿孔装置1で穿孔加工を行う際に、治具プレートPの位置決め穴Paに位置決め挿入したコレット11を拡径することよって治具プレートPを保持する装置であり、穿孔装置1の先端部に配置されて、圧縮エアがピストンシリンダ装置8に供給されることと、また、後記するロックレバー91を手動で操作することによりクランプロック機構9が切換駆動することで、駆動する。このクランプ装置1Aは、エアピストンシリンダ機構からなるピストンシリンダ装置8と、ピストンシリンダ装置8に連動し穿孔装置1の主軸加工軸に沿って進退するクランププレート14と、ピストンシリンダ装置8及びクランププレート14を支持するクランプボルト16連結ロッドと、クランププレート14の移動を規制するロックボルトB4と、第1シリンダプレート83、クランププレート14及びロックバー15に挿通したロックボルトB4の先端側の雄ねじ部に螺着されるロックバー固定ナットN1と、このロックバー固定ナットN1とクランププレート14との間に介在されてロックボルトB4が挿入されるロックバー15と、クランププレート14に連結されたブッシュ13と、クランププレート14とブッシュ13とを連結するクランププレート連結具18図9参照と、このクランププレート連結具18と、ブッシュ13の進退によって拡径されて治具プレートPに係合されるコレット11と、を備えている。≪ピストンシリンダ装置の構成≫図3及び図4に示すように、ピストンシリンダ装置8クランププレート駆動手段80Aは、圧縮エアによって進退移動する左右一対の第1ピストン81及び第2ピストン82の動きを、ピストン固定バー88、クランプボルト16を介在して、コレット11拡径用のブッシュ13と一体に動くクランププレート14を進退させるエアシリンダ機構である。このピストンシリンダ装置8は、略円筒状のノーズピース12の先端部上部に設けられたピストンシリンダ係合部12aに設けられている。このピストンシリンダ装置8は、それぞれ後記する第1ピストンシリンダ装置8Aと、第2ピストンシリンダ装置8Bと、ばね部材SPと、ピストン固定バー88と、クランプボルト押え89と、クランプボルト16と、シリンダプレート固定ボルトB1図4参照と、ピストン固定ボルトB2と、クランプボルト押え固定ボルトB3と、シール部材O1,O2と、パッキンXと、を備えている。図4及び図5に示すように、ピストンシリンダ装置8は、横断面視してクランプボルト16を中心として、左右一対に2つの第1ピストンシリンダ装置8Aと第2ピストンシリンダ装置8Bとを前後方向に連設してなる。なお、ピストンシリンダ装置8の各構成部材は、それぞれ一対の部材がクランプボルト16を中心として略左右対称に配置されて一体に駆動するため、適宜にその一方側のみを説明して他方側の説明を省略する。<第1ピストンシリンダ装置の構成>図4に示すように、第1ピストンシリンダ装置8Aは、クランププレート14の近傍ノーズピース12の先端側に配置されるピストンシリンダ機構であり、クランプボルト16を中心として後記する各部材を左右対称に配置してなる。この第1ピストンシリンダ装置8Aは、ノーズピース12に対して固定された状態に配置された左右一対の第1ピストン81と、左右一対の第1ピストン81に対してその周部に配置された第1シリンダ8Aaと、この第1シリンダ8Aaと第1ピストン81との間に設置される第1筒体86と、を主に備えて構成されている。<第1ピストンの構成>第1ピストン81は、クランプボルト16を中心として左右に配置されて同一形状で同一作動するピストンであり、全体が略筒状に形成されている。各第1ピストン81は、厚板の略リング状のピストン部81aと、円筒状のピストンロッド部81bと、圧縮エアの供給路の一部を形成する中空部81cと、中空部81cに連通する横穴81dと、クランププレート14側の端面に突設された凸部81eと、を有し、第1シリンダ8Aaに内設されている。第1ピストン81は、第1シリンダ8Aa内に圧縮エアが供給されると、その圧縮エアに押されることによって、ばね部材SPに抗して第2ピストン82を押圧し、共に同一移動するようになっている。図4に示すように、ピストン部81aは、第1ピストン81の前端部に配置されたエア供給流路71に連通する供給口83cから供給された圧縮エアの空気圧を受ける部位であって、厚い円板状に形成されている。ピストン部81aは、外周面にパッキンXが装着され、第1筒体86内に、ピストンロッド部81bに沿って移動可能に設けられている。ピストンロッド部81bは、エア供給流路71から第1シリンダプレート83内に供給された圧縮エアを第2ピストン82側の第3シリンダプレート85内に供給するための管路と、第1ピストン81と第2ピストン82とを連結するための連結部と、ピストン部81aの移動をガイドするための案内部と、の機能を果たす。ピストンロッド部81bは、シール部材O2が装着された第2シリンダプレート84の内壁に移動自在に挿入されると共に後端部が第2ピストン82の連結穴82cに嵌着されている。中空部81c及び横穴81dは、前記圧縮エアが流れる管路となる流路である。中空部81cは、第1ピストン81の中心線に沿って形成されている。横穴81dは、その中空部81cと、第2シリンダプレート84と第2ピストン82との間の空間と、に連通するように形成されている。<第1シリンダの構成>図4に示すように、第1シリンダ8Aaは、左右一対の第1ピストン81の周部に配置されて、第1ピストン81を進退自在に収納するシリンダケースを形成する部材である。第1シリンダ8Aaは、この第1シリンダ8Aaの一方前側のシリンダケース半体を形成する第1シリンダプレート83と、この第1シリンダ8Aaの他方後側のシリンダケース半体を形成する第2シリンダプレート84と、第1シリンダプレート83及び第2シリンダプレート84に内設された第1筒体86と、から主に形成されている。<第1シリンダプレートの構成>第1シリンダプレート83は、シール部材O1を介して第1筒体86及び第1ピストン81が挿入される後側開口部83aが形成された厚板状の部材であり、クランプボルト16に沿って進退自在に設けられている。この第1シリンダプレート83は、第1ピストン81の先端側のシリンダケース半体を形成する。第1シリンダプレート83には、第1ピストン81側の端面に形成された一対の前記後側開口部83aと、クランプボルト16が進退自在に挿入される軸筒部83bと、エア供給源図示省略から供給される圧縮エアを第2シリンダ8Ba内に供給するエア供給流路71と、エア供給流路71に接続されてこのエア供給流路71が供給される圧縮エアが第1シリンダ8Aa内に吐出される供給口83cと、が形成されている。なお、エア供給流路71は、エア流路L図1参照に接続された流路であり、第1シリンダプレート83の外面から後側開口部83a内の供給口83cに連通するように設けられている。<第2シリンダプレートの構成>図4に示すように、第2シリンダプレート84は、第1ピストン81の基端側のシリンダケース半体と、第2ピストン82の先端側のシリンダケース半体と、を兼備する厚板状の部材である。第2シリンダプレート84は、第1筒体86及び第1ピストン81が挿入される第1開口部84aと、後記する第2筒体87及び第2ピストン82が挿入される第2開口部84bと、が形成されている。この第2シリンダプレート84には、前側の端面に開口するように形成された左右一対の前記第1開口部84aと、後側の端面に開口するように形成された左右一対の前記第2開口部84bと、第1開口部84aと第2開口部84bとに連通するピストンロッド挿通孔84cと、が形成されている。<第2ピストンシリンダ装置の構成>第2ピストンシリンダ装置8Bは、前記した第1ピストンシリンダ装置8Aの後側に連設されて、一体的に駆動して第1ピストンシリンダ装置8Aによって後押しされるように配置された左右一対のピストンシリンダ機構である。第2ピストンシリンダ装置8Bは、第2ピストン82と、この第2ピストン82が進退可能に内設された第2シリンダ8Baと、この第2シリンダ8Baと第2ピストン82との間に設置される第2筒体87と、第1ピストン81及び第2ピストン82を自動復帰させるためのばね部材SPと、第2シリンダ8Ba内のエア及び圧力を逃がすための排出口87aと、第2ピストンロッド挿通孔85bを閉塞するピストン固定バー88と、ピストン固定バー88に固定されるクランプボルト押え89と、を主に備えて構成されている。<第2ピストンの構成>図4に示すように、第2ピストン82は、前記第1ピストン81の中空部81cから供給された圧縮エアに押圧されて第1ピストン81と共にばね部材SPのばね力に抗して後退し、エア及び圧力を逃がすと、ばね部材SPのばね力で第1ピストン81と共に前進するようになっている。第2ピストン82は、厚板の略リング状のピストン部82aと、円筒状のピストンロッド部82bと、前記連結穴82cと、ピストン固定ボルトB2が螺着される締結穴82dと、を有し、第2シリンダ8Baに進退自在に内設されている。<第2シリンダの構成>第2シリンダ8Baは、この第2シリンダ8Baの前側一方のシリンダケース半体を形成する前記第2シリンダプレート84と、第2シリンダ8Baの後側他方のシリンダケース半体を形成する第3シリンダプレート85と、第2シリンダプレート84及び第3シリンダプレート85に内設された第2筒体87と、前記ピストン固定バー88と、前記クランプボルト押え89と、を備えて形成されている。<第3シリンダプレートの構成>第3シリンダプレート85は、第2筒体87、第2ピストン82のピストン部82a、及び、ばね部材SPが収納される前側開口部85aと、ピストンロッド部82bが挿入される第2ピストンロッド挿通孔85bと、が形成されている。<第1筒体及び第2筒体の構成>第1筒体86及び第2筒体87は、第1ピストン81のピストン部81a及び第2ピストン82のピストン部82aの外周に外嵌される円筒状の部材である。第1筒体86は、第1シリンダプレート83の後側開口部83a内から第2シリンダプレート84の第1開口部84a内に亘って配置されている。この第1筒体86の第2シリンダプレート84側寄りの部位には、第2シリンダ8Aa内のエアを排出する排出口86aが形成されている。第2筒体87は、第2シリンダプレート84の第2開口部84b内から第3シリンダプレート85の前側開口部85a内に亘って配置されている。この第2筒体87の第3シリンダプレート85側寄りの部位には、第2シリンダ8Ba内のエアを逃がす排出口87aが形成されている。<ばね部材の構成>前記ばね部材SPは、第2ピストン82のピストンロッド部82bに遊嵌されて、前端部が第2ピストン82のピストン部82aの後端面に圧接し、後端部が第3シリンダプレート85の前側開口部85aの底面に圧接した状態に組み付けられた弾性部材からなる。ばね部材SPは、第1ピストン81及び第2ピストン82を前側に押戻すばね力を有し、例えば、複数の皿ばね、あるいは、圧縮コイルばね等からなる。<ピストン固定バーの構成>図4に示すように、ピストン固定バー88は、左右一対の第2ピストン82のピストンロッド部82bがそれぞれ挿入された第3シリンダプレート85の第2ピストンロッド挿通孔85bを閉塞する蓋部材としての機能と、左右の第2ピストン82をクランプボルト16に連結させて同移動させるための連結部材の機能と、第3シリンダプレート85を押圧してクランプ装置1Aを手動で位置決め穴Paにコレット11が内嵌した状態であるクランプ状態、または、位置決め穴Paにコレット11が遊嵌した状態であるアンクランプ状態に切り換えるクランプロック機構9を設置するための基台の機能と、を果たす部材である。図8a、bに示すように、ピストン固定バー88は、縦断面視して略L字状段差状に形成された横長の厚板状部材からなり、例えば、ピストン固定ボルトB2図4及び図5参照によって第2ピストン82の後端面に固定される固定ボルト設置部88aと、クランプロック機構9を設置するためのクランプロック機構設置部88bと、を有している。図4~図6に示すように、固定ボルト設置部88aは、例えば、ピストン固定バー88の上側部位に横長に立設された厚い平板状の部位である。固定ボルト設置部88aには、中央部にクランプボルト16の頭部側が挿入されるボルト挿入孔88cが形成され、このボルト挿入孔88cの左右外側にクランプボルト押え固定ボルトB3,B3がそれぞれ螺着される雌ねじ部88d,88dが形成され、さらに、この雌ねじ部88d,88dの左右外側にピストン固定ボルトB2,B2の頭部側がそれぞれ挿入されるボルト挿入孔88eが形成されている。図6及び図7に示すように、クランプロック機構設置部88bには、左右一対の鋼球94,95が進退移動自在にそれぞれ挿入される鋼球挿設孔88f,88fと、左右の鋼球挿設孔88f,88fに直交するように横設されたロックレバーシャフト92挿設用のロックレバー設置孔88gと、が形成されている。<クランプボルト押えの構成>図4及び図5に示すように、クランプボルト押え89は、前記ピストン固定バー88に頭部を没入するようにして装着されたクランプボルト16の頭部を閉塞して、ピストン固定バー88の後端面に、左右一対のクランプボルト押え固定ボルトB3を螺着することによって、クランプボルト16をピストン固定バー88の固定ボルト設置部88aに固定するための部材である。クランプボルト押え89は、例えば、長方形の座金状の厚板部材からなり、左右一対のクランプボルト押え固定ボルトB3の雄ねじ部をそれぞれ挿通する孔が形成されている。図2に示すように、シリンダプレート固定ボルトB1は、第3シリンダプレート85の上下左右の端部からこの第3シリンダプレート85、及び、第2シリンダプレート84を挿通して先端が第1シリンダプレート83に螺着される連結具である。前記ピストン固定ボルトB2は、左右一対の第3シリンダプレート85をピストン固定バー88に固定するための固定具である。前記したように左右一対のクランプボルト押え固定ボルトB3は、ピストン固定バー88の固定ボルト設置部88aに頭部を没入させた状態に挿入したクランプボルト16の頭部を閉塞するクランプボルト押え89を、ピストン固定バー88の後端面に固定するための固定具である。前記シリンダプレート固定ボルトB1、ピストン固定ボルトB2及びクランプボルト押え固定ボルトB3は、例えば、キャップボルト六角穴付きボルトからなる。≪クランプロック機構の構成≫図7、図8a及びbに示すように、クランプロック機構9は、ロックレバー91を操作することによって、クランプ装置1Aを手動でクランプ状態、または、アンクランプ状態に切換駆動させると共に、クランプ状態及びアンクランプ状態にロックすることができる装置である。換言すると、このクランプロック機構9は、ロックレバー91を上方向または後方向に回動操作することにより、ロックレバーシャフト92の係合穴92aを鋼球94,95に係合離脱させて、鋼球95が第3シリンダプレート85の表面85dを非押圧または押圧することで、第2ピストン82を固定したピストン固定バー88を鋼球94,95が移動した分だけ移動させて、図8aに示すアンクランプ状態、または、図8bに示すクランプ状態に手動で切り換える装置である。つまり、クランプロック機構9は、圧縮エアで進退移動した左右一対の第1ピストン81及び第2ピストン82を、ロックレバー91を回動操作することにより手動で進退移動させて、コレット11拡径用のブッシュ13と一体に動くクランププレート14を進退させて、前記クランプ状態をロック状態及び手動でクランプ状態にしたり、アンロック状態及び手動でアンクランプ状態にしたりする安全装置である。クランプロック機構9は、前記ロックレバー91と、前記ロックレバーシャフト92と、前記鋼球94,95と、前記ピストン固定バー88と、前記第3シリンダプレート85と、を備えて構成されている。図1及び図2に示すように、ロックレバー91は、ピストン固定バー88の右側側面に配置された略L字形状の回動操作部材であり、このロックレバー91を回動操作すると、ロックレバーシャフト92の軸心線を中心として共に回動するようになっている。ロックレバー91は、例えば、アンロック時に、図4に示すように後方向を向いた状態になり、ロック時に図5、図6、図7、図8bに示すように、その状態から90度回動して上縦方向を向いた状態になる。図6及び図7に示すように、ロックレバーシャフト92は、ピストン固定バー88のロックレバー設置孔88gに挿入し、先端に形成された雄ねじ部図示省略にロックレバー固定ナット93を螺着することで、ピストン固定バー88に回動自在に設けられている。ロックレバーシャフト92には、一対の鋼球挿設孔88f,88fに直交する位置に、鋼球94,94がそれぞれ係合離脱する係合穴92a,92aが形成されている。係合穴92aは、例えば、開口縁の直径が、鋼球94の直径よりも小さな孔径の円錐形状の穴からなる。ロックレバーシャフト92は、ロックレバー91と一体に回動するように設けられ、ロックレバー91を後方向に回動操作したアンクランプ時には、図8aに示すように係合穴92aが前方向を向いた状態になって、係合穴92aに鋼球94が係合するアンロック状態になる。また、ロックレバー91を上方向に回動操作したクランプ時には、図8bに示すように、その状態から90度回動して係合穴92aが下方向を向いて、ロックレバーシャフト92の外表面と鋼球94の表面とが当接するクランプ状態にしたり、ピストンシリンダ装置8でクランプ状態にしたものをさらにクランプ状態にしてロック状態にする。図8a、bに示すように、鋼球94,95は、鋼球挿設孔88f内に進退移動自在に挿入される部材であり、例えば、二個の金属製の球体からなる。二つの鋼球94,95は、鋼球挿設孔88f内において、ロックレバーシャフト92と第3シリンダプレート85との間に介在されて互いに当接した状態に配置されると共に、ロックレバーシャフト92の鋼球94がロックレバーシャフト92に常に当接した状態にあり、第3シリンダプレート85側の鋼球95が第3シリンダプレート85に常に当接した状態に配置されている。つまり、ロックレバーシャフト92が設けられたピストン固定バー88は、ピストン固定ボルトB2によりばね部材SPのばね力によって第1ピストン81側矢印g方向側に常に付勢された状態で第2ピストン82に固定されている。このため、ロックレバーシャフト92は、ばね部材SPのばね力で常に鋼球94を第3シリンダプレート85側矢印g方向側へ押圧する付勢力を有する。その結果、アンクランプ時は、図8aに示すように、ロックレバーシャフト92の係合穴92aに鋼球94がばね部材SPのばね力で係合したアンクランプの状態が維持される。クランプ時は、図8bに示すように、ロックレバーシャフト92の回動に伴って係合穴92aの位置が鋼球94の位置から離れて、ロックレバーシャフト92の外表面が鋼球94,95を介在して第3シリンダプレート85をばね部材SPのばね力に抗して押圧して第2ピストン82を固定したピストン固定バー88を後方向矢印a方向へ距離L1移動させる。このため、クランプロック機構9は、ロックレバー91を上方向に回動操作すれば、後記するコレット11が治具プレートPの位置決め穴Paに内嵌されたクランプ状態にロックされ、ロックレバー91を後方向に回動操作すれば、コレット11が治具プレートPの位置決め穴Paに遊嵌したアンクランプ状態に手動で操作することができるようになっている。<シール部材及びシール部材の構成>図4に示すように、シール部材O1,O2は、圧縮エアの漏れを防止するための部材であり、第1シリンダプレート83、第2シリンダプレート84及び第3シリンダプレート85に内設される。パッキンXは、第1ピストン81及び第2ピストン82のピストン部81a,82aの外周面に装着される。<クランプボルトの構成>クランプボルト16連結ロッドは、ピストンシリンダ装置8の中心線に沿って前後方向に延設されたボルトナット状のシャフトであり、ボルト部位と、クランプボルト固定ナット16aとから構成されている。クランプボルト16は、第1シリンダプレート83、第2シリンダプレート84、及び、第3シリンダプレート85内に進退自在に軸支されている。そのクランプボルト16は、前端にクランププレート14が固定され、後端にピストン固定バー88及びクランプボルト押え89が固定されて、一体に前後方向に進退移動する。<クランププレートの構成>クランププレート14は、クランプボルト16を螺入して、クランプボルト16の前端部の雄ねじ部にクランプボルト固定ナット16aを螺着することによって、前記ピストンシリンダ装置8のクランプボルト16に連結されて一体に進退駆動する厚板状部材である。図3に示すように、クランププレート14には、このクランププレート14の上部に装着された前記クランプボルト16と、下部の左右に進退自在に装着されロックボルトB4、ロックバー15及びロックバー固定ナットN1と、クランププレート14の左右からそれぞれクランププレート14及びノーズピース12を介してブッシュ13に連結されるクランププレート連結具18図9参照と、を備えている。このクランププレート14の下半部は、ノーズピース12の外側先端部に進退自在に外嵌されている。<ロックボルト及びクランププレート連結具の構成>図3に示すように、左右一対のロックボルトB4は、第1シリンダプレート83とクランププレート14との間にクランププレート14が前進及び後退するストローク分の空間を介して、第1シリンダプレート83の後方側からクランププレート14、ロックバー15を挿通してその前端部にロックバー固定ナットN1が螺着されるボルトである。このロックボルトB4は、クランププレート14が前後方向に移動する際のガイドをして支持する役目と、このロックボルトB4とロックバー固定ナットN1とでクランププレート14が進退する範囲を規制する役目と、を果たす部材である。ロックボルトB4は、正面視して、クランププレート14に前面下方の左右にそれぞれ設置される。図9に示すように、クランププレート連結具固定ボルト17は、例えば、クランププレート14の左右側面にそれぞれクランププレート連結具18を介して挿入される上下一対の六角穴付きボルトからなる。クランププレート連結具18は、クランププレート14をブッシュ13に連結させるためのピンであり、そのピンを形成する突起部と、クランププレート連結具固定ボルト17の座金を兼用するように平板状の頭部と、一対のクランププレート連結具固定ボルト17が挿入される一対の挿入孔と、が形成されている。クランププレート連結具18は、その先端がブッシュ13に挿入され、ブッシュ13とクランププレート14とを連結させる。≪ロックバー及びロックバー固定ナットの構成≫図3に示すように、前記ロックバー15は、ロックバー固定ナットN1とクランププレート14との間に座金状に介在される部材であり、ロックバー固定ナットN1の厚さよりも厚く強度を有し、左右方向に延びて形成された厚板状の部材からなる。ロックバー15は、クランププレート14が前側に移動した際に、このクランププレート14がロックバー15に引っ掛かって前方への移動を抑止して、所定のストローク範囲内で進退するように、ロックボルトB4に螺合したロックバー固定ナットN1とで規制する。ロックボルトB4は、第1シリンダプレート83、隙間、クランププレート14を介してロックバー15に螺入されてロックバー固定ナットN1によって固定されており、ロックバー固定ナットN1の螺合位置を調整することにより、クランププレート14の位置調整が可能な構成になっている。ロックバー固定ナットN1は、クランププレート14の位置調整がブレないようにダブルナットロック機構が配置されている。なお、ロックバー15及びロックバー固定ナットN1は、クランププレート14の前進する範囲を規制できるものであればよく、その形状等は特に限定されない。<ブッシュの構成>ブッシュ13は、ピストンシリンダ装置8によって進退するクランププレート14と共に前後方向に進退移動する略円筒状の部材であり、ドリルTが進退自在に挿入されて、被加工物Wに対してドリルTの位置を位置決めする役目を果たす。ブッシュ13には、コレット11のテーパ部11aが摺接するテーパ部13aが形成されている。テーパ部13aは、ブッシュ13の前端部に形成され、前側に向かって拡径するように形成されている。テーパ部13aには、このテーパ部13aからブッシュ13の中央部後側に亘ってコレット11が外嵌されて、テーパ部13aにコレット11の内周部に前端側に向かって拡開するように形成されたコレット11のテーパ部11aが外嵌されている。そして、ブッシュ13は、後退矢印c方向に移動すれば、コレット11のテーパ部11aがブッシュ13のテーパ部13aによって外周方向矢印d方向に押圧されて、コレット11の外周面が治具プレートPの位置決め穴Paに圧嵌し、ブッシュ13がコレット11を介在して治具プレートPに位置決めされた状態で保持されるようになっている。なお、前記テーパ部11a,13aの傾斜角度θは、約4~8度である。傾斜角度θは、治具プレートPの厚み、位置決め穴Paの内径、加工径、加工推力に応じて予め設定された所定寸法で形成しているので、適宜要望に併せて形成する。<コレット及びドリルの構成>図9に示すように、前記コレット11は、被加工物Wを穿孔するドリルT穿孔工具の位置決めをする治具プレートPの位置決め穴Paに係合される部材である。コレット11は、ブッシュ13が後退した際に、テーパ部13aによって拡径されて位置決め穴Paの内壁を押圧するようにして係合される。コレット11には、このコレット11を径方向に弾性変形し易くするための複数のスリ割り11bと、ブッシュ13が内嵌される前記テーパ部11aと、が形成されている。スリ割り11bは、コレット11の前端部から後端部の手前まで前後方向に向けて形成された切欠溝と、コレット11の後端部から前端部の手前まで前後方向に向けて形成された切欠溝と、が前後の両方向から交互に向きを変えて適宜な間隔で複数形成されて、径方向に拡径できるように弾性を有している。テーパ部11aは、移動可能に内嵌されたブッシュ13が前進または後退した際に、ブッシュ13のテーパ部13aに押圧されて拡開して、コレット11の外周面が治具プレートPの位置決め穴Paに圧接するように形成された傾斜面である。図3及び図9に示すように、ドリルTは、被加工物Wを加工する工具であり、主軸モータMによって回転しながら、進退機構6により進退するようになっている。[作用]以上のように構成された本実施形態に係るクランプ装置1Aの動作を穿孔装置1による穿孔作業順に、図10を主に各図を参照しながら説明する。まず、クランプ装置1Aのコレット11で、治具プレートPを保持するクランプ時を説明する。≪クランプ時の説明≫図2に示すように、穿孔装置1で被加工物Wを穴あけする場合、準備工程ステップS1として、被加工物Wに穿設する孔に合わせて治具プレートPを被加工物Wに位置決めする。次に、治具プレートPの位置決め穴Pa内に穿孔装置1の先端のコレット11を挿入するコレット挿入工程を行うステップS2。次に、穿孔装置1の後端部に設置されたクランプスイッチSWをONして、エア供給源図示省略及びピストンシリンダ装置8を駆動させるピストンシリンダ駆動工程駆動工程ステップS3が行われる。このピストンシリンダ駆動工程は、詳述すると後記するステップS31~ステップS34になっている。まず、エア供給源からエア流路L、及びエア供給流路71を介して図4に示す供給口83cから第1シリンダ8Aa内に圧縮エアが供給される第1シリンダエア供給工程ステップS31が行われる。すると、その圧縮エアに押圧されて第1ピストン81が後退矢印a方向に移動する第1ピストン移動工程ステップS32が行われる。前記第1シリンダ8Aa内に供給された圧縮エアは、ピストンシリンダ装置8内を通って第2シリンダ8Ba側に供給される第2シリンダエア供給工程ステップS33。すると、第2ピストン82が圧縮エアに押圧されて後退矢印a方向に移動する第2ピストン移動工程ステップS34が行われる。前記第1ピストン81及び第2ピストン82の後退に連動して、この第2ピストン82に固定されたピストン固定バー88とクランプボルト16を介在してクランププレート14が後側に引っ張られて後退矢印b方向に移動するクランププレート移動工程ステップS4が行われる。これと同時に、図3に示すように、クランププレート14の後退に伴ってブッシュ13が一体に後退矢印c方向に移動するブッシュ移動工程ステップS5が行われる。このとき、クランププレート14は、上端部がクランプボルト16によって後方側に引っ張られることにより、クランププレート14の下端部が、ロックバー15を前方向へ押圧するてこの原理が働く。このため、クランププレート連結具固定ボルト17は、図9に示すように、後方矢印b方向へ引っ張られる引張力が、前記したクランプボルト16図3参照が後方側矢印b方向へ引っ張られる引張力よりも大きな力となって作用されて、ブッシュ13を後方向へ引っ張る。その引張力でブッシュ13が後退すると、ブッシュ13のテーパ部13aがコレット11のテーパ部11aを外周方向矢印d方向に押圧して、治具プレートPの位置決め穴Pa内でコレット11を拡径させるコレット拡径工程ステップS6が行われる。コレット11が拡径したことによって、コレット11の外周面が位置決め穴Paの内壁に押圧して、穿孔装置1の先端部が治具プレートPの予め設定された所定位置に固定されるクランプ工程ステップS7が行われる。治具プレートPが、被加工物Wに対して位置決めした状態で連結されているので、穿孔装置1の先端のコレット11も、被加工物Wに対して位置決めした状態に固定される。さらに、ロックレバー91を上方向に回動操作して、コレット11が治具プレートPの位置決め穴Paに内嵌されたクランプ状態に手動でロックするステップS8。ロックレバー91を上方向に回動操作すると、図8bに示すように、ロックレバーシャフト92の係合穴92aが鋼球94から離れ、ロックレバーシャフト92の外表面が鋼球94,95を介して第3シリンダプレート85をばね部材SPのばね力に抗して押圧して、ピストン固定バー88を後方向矢印a方向のロック位置に移動させる。このため、クランプロック機構9は、コレット11のクランプ状態をロックしてコレット11が治具プレートPから離脱するのを阻止することができる。次に、穿孔装置1のマニュアルスタートボタンを押圧操作すると、ドリルT穿孔工具が前進すると共に、主軸モータMが回転駆動して加工が開始されて、被加工物WをドリルTで穿孔する穿孔加工工程ステップS9が行われる。このクランプ装置1Aのクランプの状態は、圧縮エアを使用せずに、クランプロック機構9によっても行うことができると共に、クランプロック機構9によりクランプ状態にロックすることもできる。例えば、図4に示すアンクランプの後方向の状態であったロックレバー91を、図5~図7に示すクランプの上方向の状態にロックレバー91を操作する。すると、図8aに示すように、ロックレバーシャフト92の係合穴92aに係合していた鋼球94が、図8bに示すように、ロックレバーシャフト92が下方向へ90度回動することによって、係合穴92aから離脱して移動し、ロックレバーシャフト92の外表面に当接する。鋼球95は、係合穴92aから離脱した鋼球94に押圧移動されて、ロックレバーシャフト92及びピストン固定バー88に対して距離L1分だけ第3シリンダプレート85を第2ピストン82側矢印g方向側に押圧して移動させる。このため、ピストン固定バー88及びピストン固定バー88に固定された第2ピストン82は、第3シリンダプレート85に対して後方向矢印a方向へ距離L1移動したクランプ状態ステップS7のクランプ工程の状態にロックされる。つまり、クランプロック機構9のロックレバー91をロック方向上方向に回動操作すれば、クランプ状態が維持されるため、コレット11が治具プレートPの位置決め穴Paに内嵌された状態にロックされ、クランプ装置1Aが作業中に治具プレートPから落下するという不具合を解消することができる。≪アンクランプ時の説明≫そして、穿孔加工が終了したら、クランプスイッチSWをOFFにして、圧縮エア供給源図示省略からピストンシリンダ装置8内に供給していた圧縮エアの供給を停止するアンクランプ工程ステップS10。その後、ロックレバー91を後方向に回動操作してロックレバーシャフト92の係合穴92aに鋼球94が入り込むように手動ロックを解除してアンクランプの状態にする手動ロック解除工程ステップS10。すると、コレット11がクランプ状態から解除されて治具プレートPから離脱可能となる。この手動ロック解除工程ステップS10では、ピストンシリンダ装置8と手動のクランプロック機構9とが共にアンクランプの状態であるため、第1ピストン81及び第2ピストン82が、ばね部材SPのばね力で元の前方向のアンクランプの位置に押戻される。第1ピストン81及び第2ピストン82の前進に伴って、ピストン固定バー88及びクランプボルト16を介してクランププレート14も共に前進する。さらに、クランププレート14と一体にブッシュ13が前進して、広がった状態であったコレット11が縮径してアンクランプ状態になる。そして、穿孔装置1を後側に引いて、コレット11を治具プレートPの位置決め穴Paから取り外すことによって、穿孔作業が終了する。[変形例]なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。なお、既に説明した構成は同じ符号を付してその説明を省略する。図11は、本発明の実施形態に係るクランプ装置を有する穿孔装置の変形例を示す斜視図である。図12は、本発明の実施形態に係るクランプ装置を有する穿孔装置の変形例を示す側面図である。前記実施形態では、図3に示すように、圧縮エアで駆動するピストンシリンダ装置8によってクランププレート14及びブッシュ13を進退させることで、コレット11を拡径縮径させるクランプ装置1Aを備えた穿孔装置1を説明したが、これに限定されるものではない。つまり、穿孔装置1は、クランププレート14をピストンシリンダ装置8によって機械的に駆動されるクランプ装置1Aクランププレート駆動手段80Aを備えたものに限定されず、手動で駆動させるクランプ装置100Aクランププレート駆動手段80Bであって構わない。図11及び図12に示すように、この場合、穿孔装置100のクランププレート駆動手段80Bクランプ装置100Aは、クランププレート14に一端部が連結されたクランプボルト16連結ロッドと、このクランプボルト16の他端部に回動自在に連結されたカムレバー200と、を主に備えて構成されている。クランプ装置100Aは、作業者がアンクランプ位置hにあるカムレバー200をクランプ位置iまで手動で90度回動操作することによって、クランプボルト16連結ロッド、クランププレート14を介在して、ブッシュ13を進退させて、コレット11を拡径させる。そして、カムレバー200を元のアンクランプ位置hに戻せば、コレット11が縮径してアンクランプ状態に復帰するようになっている。カムレバー200は、基端部が、支軸210によってクランプボルト16の一端部に固定されると共に、その基端部の周囲にカム部200aが形成されて、先端部側に、把手部200bが形成されている。カム部200aは、例えば、クランププレート14と支持プレート300との間に介在された自動復帰用のばねのばね力で、支持プレート300に対して一体的に設けられているフランジ部410の表面に常に圧接した状態で配置されている。カム部200aは、カムレバー200をアンクランプ位置hに配置したときに、フランジ部410に当接する位置に半径R1に対して、カムレバー200をクランプ位置iに配置したときにフランジ部410に当接する位置に半径R2よりも大きく形成されている。クランプボルト16連結ロッドは、カムレバー200のアンクランプ位置hのカム部200aの半径R1よりも、カムレバー200のクランプ位置iのカム部200aの半径R2が小さいことによって、その長さの差の分だけ進退移動してクランププレート14を移動させるようになっている。円筒体400は、基端部側が支持プレート300に固定され、先端部側にフランジ部410が一体形成されている。その支持プレート300は、円筒体400及びクランプボルト16を支持するための厚板状部材からなり、ノーズピース12の先端に固定されている。クランプボルト16連結ロッドは、一端部が、クランプボルト固定ナット16aによってクランププレート14に固定され、他端部が、支持プレート300、円筒体400及びフランジ部410を挿通して支軸210に固定されている。このように構成された穿孔装置100は、手動式のクランプ装置100Aを備えたことにより、軽量でシンプルな構造の装置を提供することができる。また、穿孔装置100は、軽量化したことに伴って、作業者が手で持って作業を行い易くすることができる。[その他の変形例]また、往復運動体を有する穿孔装置1としては、図1に示すようなドリルユニットのラム3を送る場合を例に挙げて本発明の一実施例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、往復移動する往復運動体を有する機械であれば適用させることができ、その他の装置であっても構わない。穿孔装置1は、往復動するラム3等の往復運動体を備えた機械、または、工具や被加工物等の物体を往復移動させるラム3を搭載した機械であればよく、往復動するラム3を何によって作動させ、どのようなものに使用するかは、特に限定されない。つまり、主軸モータMは、ラム3、把持手段5及びドリルTを回転させるものであればよく、例えば、油圧式モータ、電動モータ等であっても構わない。また、進退機構6は、ラム3、把持手段5及びドリルTを前進及び後退させる装置であればよく、油圧シリンダ機構や、モータ歯車機構等のその他の機構を使用したものであっても構わない。また、前記実施形態では、第2シリンダ8Ba内に供給されて第2ピストン82を進退移動させる圧縮エアを、第1ピストン81の中空部81cを介して供給する場合を説明したが、第1ピストン81や第1シリンダ8Aaを介せずに、直接、圧縮エア供給源側から第2シリンダ8Ba内に供給して第2ピストン82を駆動させるようにしても構わない。前記実施形態では、工具の一例として、ドリルTを挙げて説明したが、タップ、リーマ、エンドミル等の回転工具を回転及び往復動させて被加工物Wを加工するものであれば、適用することが可能である。また、前記実施形態では、穿孔装置1の一例として、第1ピストン81及び第2ピストン82を前側に押戻すためのばね部材SPを配置して、圧縮エアの供給でピストンシリンダ装置8を駆動させてブッシュ13を後退させることによってコレット11を拡径させる場合を説明したが、これとは逆であってもよい。つまり、穿孔装置1は、ばね部材SPを第1ピストン81及び第2ピストン82の後側に配置してばね部材SPのばね力によりクランプし、圧縮エアの供給でピストンシリンダ装置8によってブッシュ13が前進してコレット11を縮径してアンクランプするようにしても構わない。また、図8a、bに示す2つの鋼球94,95は、二個からなる球体を例に挙げて説明したが、一個からなるプッシュロッドであっても構わない。この場合、プッシュロッドは、全体の長さを2つの鋼球94,95分の長さを同じにすると共に、プッシュロッドのロックレバーシャフト92側の面を鋼球94と同じ形状の球面に形成する。このような形状プッシュロッドであれば、鋼球94,95と同じ作用効果を奏する。"