"発振させた振動子に対して測定対象の液滴を付着させる液滴付着工程と、前記発振させた振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1を測定するとともに、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定する周波数測定工程と、前記測定された前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1と前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2との差に基づいて、前記振動子に付着させた液滴の質量又は前記振動子に付着させた液滴に含まれる固形物の質量を算出する演算工程と、を含み、前記液滴付着工程は、前記振動子の測定対象の液滴を付着させる面の表面積AQ、液滴を付着させないときの共振周波数F、測定対象の液滴の粘度η、測定対象の液滴の密度ρを用いて表される、前記振動子に付着させる測定対象の液滴の総量Vが、次式V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2の条件を満たし、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれに対して少なくとも一滴の測定対象の液滴を付着させるとともに、異なる付着位置に付着させた測定対象の液滴同士が合一しない条件を満たし、かつ、先に付着させた測定対象の液滴が前記振動子上で平衡状態に達した後に、次の液滴の付着位置に次の測定対象の液滴を付着させ、前記周波数測定工程は、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれについて、前記振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の共振周波数F1を測定し、前記振動子に付着させた前記測定対象の液滴が平衡状態に達した後に、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定することを特徴とする質量測定方法。前記周波数測定工程は、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2の変動が1ヘルツ以下になった状態で、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数を測定することを特徴とする請求項1に記載の質量測定方法。前記液滴付着工程は、異なる付着位置に付着させる液滴の付着時間間隔を10分以上とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の質量測定方法。前記測定対象の液滴が平衡状態で液体である場合は、前記測定対象の液滴の体積VA、前記測定対象の液滴の平衡状態における最大高さh、前記測定対象の液滴の平衡状態における半径r、前記測定対象の液滴の平衡状態における密度ρL前記振動子の液滴を付着させないときの共振周波数Fを用いて、前記振動子に対する前記測定対象の液体の接触角θは、次式{3×VA×1cosθ×sinθ}/{π×1-cosθ×2cosθ}1/3×tanθ/2≦{η/π×ρL×F}1/2の条件を満たすことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の質量測定方法。前記振動子は電極対によって水晶片をはさみこんだ構造を有する水晶振動子であり、前記測定対象の液滴を付着させる面は前記電極対のいずれか一方の電極であり、前記演算工程は、前記測定対象の液滴の質量mを算出する際に、前記水晶振動子の厚みにカット面で決められる定数を乗じて求められる基本周波数F0、前記水晶振動子の弾性率μ、前記水晶振動子の密度ρ、前記電極の表面積AEにより規定される、次式ΔF=-2×F02×{m/AE×ρ×μ1/2}を用いることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の質量測定方法。前記液滴付着工程は、異なる付着位置に付着させた測定対象の液滴同士が合一しない条件として、先に付着させた液滴の付着位置と後に付着させる液滴の付着位置との間隔が、後に付着させる液滴の直径を超えるように、前記後に付着させる液滴の付着位置を選択することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の質量測定方法。前記液滴付着工程は、複数のノズルを備えたインクジェットヘッドから測定対象の液滴を打滴し、同一のノズルから複数の異なる付着位置に測定対象の液滴を打滴することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の質量測定方法。前記液滴付着工程は、複数のノズルを備えたインクジェットヘッドから測定対象の液滴を打滴し、異なるノズルから複数の異なる付着位置に測定対象の液滴を打滴することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の質量測定方法。測定対象の液滴を付着させる振動子と、前記振動子を発振させる発振手段と、前記発振させた振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1を測定するとともに、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定する周波数測定手段と、前記測定された前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1と前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2との差に基づいて、前記振動子に付着させた液滴の質量又は前記振動子に付着させた液滴に含まれる固形物の質量を算出する演算手段と、を備え、前記振動子に測定対象の液滴を付着させる際に、前記振動子の測定対象の液滴を付着させる面の表面積AQ、液滴を付着させていときの共振周波数F、測定対象の液滴の粘度η、測定対象の液滴の密度ρを用いて表される、前記振動子に付着させる測定対象の液滴の総量Vが、次式V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2の条件を満たし、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれに対して少なくとも一滴の測定対象の液滴を付着させるとともに、異なる付着位置に付着させた測定対象の液滴同士が合一しない条件を満たし、かつ、先に付着させた測定対象の液滴が前記振動子上で平衡状態に達した後に、次の液滴の付着位置に次の測定対象の液滴を付着させ、前記周波数測定手段は、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれについて、前記振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の共振周波数F1を測定し、前記振動子に付着させた前記測定対象の液滴が平衡状態に達した後に、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定することを特徴とする質量測定装置。複数のノズルを備えたインクジェットヘッドから前記振動子に測定対象の液滴を付着させることを特徴とする請求項9に記載の質量測定装置。しかしながら、非特許文献1、及び特許文献1から特許文献5は、微小量の液滴の質量測定、又は微小量の液滴の蒸発量測定が可能である旨を開示しているものの、実用的かつ具体的な構成形態についての開示がされていない。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、インクジェット方式により打滴される液滴又は液滴内固形物の質量を正確に測定しうる、質量測定方法及び質量測定装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明に係る質量測定方法は、発振させた振動子に対して測定対象の液滴を付着させる液滴付着工程と、前記発振させた振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1を測定するとともに、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定する周波数測定工程と、前記測定された前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1と前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2との差に基づいて、前記振動子に付着させた液滴の質量又は前記振動子に付着させた液滴に含まれる固形物の質量を算出する演算工程と、を含み、前記液滴付着工程は、前記振動子の測定対象の液滴を付着させる面の表面積AQ、液滴を付着させないときの共振周波数F、測定対象の液滴の粘度η、測定対象の液滴の密度ρを用いて表される、前記振動子に付着させる測定対象の液滴の総量Vが、次式V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2の条件を満たし、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれに対して少なくとも一滴の測定対象の液滴を付着させるとともに、異なる付着位置に付着させた測定対象の液滴同士が合一しない条件を満たし、かつ、先に付着させた測定対象の液滴が前記振動子上で平衡状態に達した後に、次の液滴の付着位置に次の測定対象の液滴を付着させ、前記周波数測定工程は、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれについて、前記振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の共振周波数F1を測定し、前記振動子に付着させた前記測定対象の液滴が平衡状態に達した後に、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定することを特徴とする。本発明によれば、V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2で表される振動子に付着させる測定対象の液滴の総量以下となるように振動子に測定対象の液滴を付着させ、異なる付着位置に付着させた液体同士が合一しない条件を満たし、先に付着させた液滴が平衡状態に達した後に次の付着位置に次の液滴を付着させる条件を満たすように測定対象の液滴を付着させ、測定対象の液滴が平衡状態に達した後の振動子の共振周波数が液滴を付着させた後の振動子の共振周波数として測定されるので、液滴を付着させた後の振動子の共振周波数が正確に測定され、測定対象の液滴の質量が正確に求められる。以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。質量測定装置システムの全体構成図1は、本発明の実施形態に係る質量測定装置システムの概略構成を示す全体構成図である。以下に示す質量測定装置は、水晶振動子マイクロバランスQCMQuartzCrystalMicrobalance法を用いて、インクジェットヘッドから打滴した液滴の質量を正確かつ高精度に測定するものである。図1に示す質量測定装置10は、インクジェットヘッド12から打滴された測定対象の液滴を付着させる水晶振動子14と、水晶振動子14のインクジェットヘッド12と対向する面の反対側面を支持する支持部15と、水晶振動子14を発振させる発振回路16と、水晶振動子14の共振周波数を測定する周波数測定部18と、周波数測定部18による測定結果に基づいて演算を行い、測定対象の液滴の質量を算出する質量算出部20と、を備えて構成されている。インクジェットヘッド12は、打滴制御部22により打滴が制御される。打滴制御部22はインクジェットヘッド12に対して駆動電圧を印加して、液滴を打滴するノズルを選択し、当該ノズルの打滴量、打滴タイミングを指令する。インクジェットヘッド12の詳細な構造の図示は省略するが、圧力発生素子として圧電素子を備えた圧電方式や、液滴を加熱するヒータを備え、液滴の膜沸騰現象を利用するサーマル方式など、各種の打滴方式を適用することができる。インクジェットヘッド12は、移動部24によって水晶振動子14の液滴着弾面14Aと平行な面内において移動可能に支持されている。インクジェットヘッド12を移動させて、水晶振動子14の液滴着弾面14A上における液滴の着弾位置を適宜変更することができる。図1に図示した矢印線は、インクジェットヘッド12の移動方向を表している。図示は省略するが、インクジェットヘッド12のノズル面水晶振動子14と対向する面には複数のノズルが設けられている。かかるノズルから水晶振動子14に対して測定対象の液滴が打滴される。インクジェットヘッド12のノズル配置の一例として、一列配置、二列の千鳥配置、マトリクス配置などが挙げられる。移動部24の詳細な図示は省略するが、インクジェットヘッド12を支持するガイドと、ボールネジ、ベルト駆動系等の駆動機構と、駆動機構の駆動源モータと、を含んで構成される。なお、駆動機構と駆動源とを一体構成にしたリニアアクチュエータを適用してもよい。ヘッド移動制御部26は、該駆動源を動作させてインクジェットヘッド12の移動を制御する。ヘッド移動制御部26は、該駆動源に電力を供給する駆動回路ドライバー回路と、該駆動回路へ送られる指令信号を生成する指令信号生成部と、を含んで構成される。周波数測定部周波数カウンター18により測定された水晶振動子14の共振周波数の測定データは、システム制御部28を介して記憶部30へ記憶される。また、該測定データはシステム制御部28を介して質量算出部20へ送られ、質量算出部20は、該測定データに基づく演算を行って測定対象の液滴の質量を算出する。なお、周波数測定部18と記憶部30とを一体構成とすることも可能である。また、質量算出部20により算出された質量のデータを記憶部30に記憶してもよいし、質量算出部20に付随して該質量のデータを記憶する記憶部を備えてもよい。図2は、図1に示す水晶振動子14の構成を示す平面図である。図2に示すように、水晶振動子14は平面形状が正方形の水晶片40を備え、水晶片40の表面同図に図示された面及び裏面同図に図示された面の反対面の両面に一対の電極42,44が設けられている。同図における電極42は同図における表面に設けられ、電極44は同図における裏面に設けられている。すなわち、水晶振動子14は一対の電極42,44に水晶片40がはさまれた構造を有している。電極42,44は金AuやプラチナPt、クロムCrなどの導電率が高い金属であり、測定対象の液滴より腐食しない所定の耐液性能を有する金属が好ましい。水晶片40は、L字形状の支持体46,48によって振動自在に支持されるとともに、支持体46,48に支持された状態で絶縁体50に固定される。支持体46,48は導電性を有しており、電極42は支持体46と導通し、電極44は支持体48と導通している。さらに、支持体46は端子52と導通し、支持体48は端子54と導通している。図2の端子52,54の一方は、水晶振動子14を発振させるため発振回路図1参照接続され、他方は周波数測定部18に接続される。図3は、水晶振動子14の等価回路図である。水晶振動子14は、誘導成分L1と、容量成分C1と、抵抗成分R1との直列接続回路に、コンデンサC0を並列接続させた電気回路と電気的に等価である。コンデンサC0は水晶片40の両面に設けられた電極42,44による容量成分電気的な並列容量であり、誘導成分L1、容量成分C1、抵抗成分R1は、電気的振動に対応する因子であり、これらの因子は機械的振動に対応付けされる。すなわち、誘導成分L1は質量、容量成分C1はバネ定数、抵抗成分R1は機械的抵抗に対応している。また、水晶片40は電気的な固有周波数を有しており、水晶片40に両面の設けられた電極4244に通電すると、該LRC共振回路等価回路は固有振動数で発振を開始し、水晶片40も発振周波数と同じ周波数で振動する。水晶片40の発振周波数固有振動数は、主として、結晶の成長軸に対して水晶片40を切り出した角度と、水晶片40の厚さによって決まる。また、水晶片40の振動形態は、薄板を切り出した角度によって決められる。QCMでは、機械的高調波振動オーバートーンが発生しやすい、ATカットと呼ばれる所定の角度で切り出された水晶が適用される。ATカットされた水晶片40の振動形態は、いわゆる厚みすべり振動であり、水晶片40の表面と裏面が水晶の厚み方向と直交する方向に、互いにずれるように振動する形態となる。水晶振動子14は、自身に作用する外力が一定であれば、一定の共振周波数で振動するが、電極4244に液滴が付着して外力が変化すると、外力の変化量に応じて共振周波数が変化する特性を有している。すなわち、水晶片40をはさむ電極42,44のいずれか一方に液滴が付着すると、付着した液滴の質量及び粘度に応じて水晶振動子14の共振周波数が変化する。図4は、図1に示す周波数測定部18の一構成例を示すブロック図であり、外部発振方式を用いた測定回路の概略構成が図示されている。図4に示すように、水晶振動子14の一方の電極42に発振回路16を接続し、振動電圧Vinを印加して水晶振動子14を励起させる。電圧計60は、励起された水晶振動子14の他方の電極44とGND間に接続された抵抗器RLの両端電圧Vpを測定する。電圧計60の測定電圧Vpから抵抗器RLに流れる電流、すなわち、水晶振動子14に流れる電流Ip=Vp/RLが把握される。水晶振動子14に印加された振動電圧Vinと、水晶振動子14に流れる電流Ipと、の関係からその周波数に対する水晶振動子14の電気的なインピーダンス=Vin/Ipが求められる。該インピーダンスは共振周波数付近で大きく変化するので、インピーダンスの変化から共振周波数を把握することができる。図4に図示された外部発振方式の他に、インピーダンスアナライザーやネットワークアナライザーを用いることによって、水晶振動子14のアドミッタンス特性を測定し、共振周波数を求めることも可能である。なお、共振周波数そのものは等価共振回路の誘導成分L1図3参照に反映している測定対象の液滴の質量変化によって変化するが、液滴の粘性による影響を考慮することが好ましい。図5は、図1に示す発振回路16の具体例を示すブロック図である。同図に示す発振回路は、PLLPhaseLockLoopと呼ばれる高周波発振回路であり、増幅器70,72に正帰還をかけて共振させる共振回路74,76が用いられる。図5に示す水晶振動子14を含む発振回路16を共振状態としておき、水晶振動子14の電極4244に液滴が付着したことによって変化する共振周波数を、周波数測定部18により計測することができる。質量算出部20は、周波数測定部18によって測定された水晶振動子14に液滴を付着させる前の共振周波数F1ヘルツと、液滴を付着させた後の共振周波数F2ヘルツの変化ΔFF2-F1ヘルツから、演算によって測定対象の液滴の質量mを算出する。ここで、共振周波数の変化ΔFと、液滴の質量mグラムとの関係は、次式ΔF=-2×F02×{m/AE×ρ×μ1/2}により表される。なお、F0は基本周波数ヘルツ、μは水晶片40の弾性率ダイン毎平方センチメートル、ρは水晶片40の密度グラム毎立方センチメートル、AEは電極4244の総面積平方センチメートルである。ATカットされた水晶片40における弾性率μは、2.95×1015ダイン毎平方センチメートルであり、水晶石英の単結晶の密度ρは、2.6グラム毎立方センチメートルである。また、基本振動数F0と水晶片40の厚みtミリメートルとの関係は、次式F0=K/tにより表される。なお、Kメガヘルツミリメートルは水晶片40のカット面で決まる定数であり、ATカットの場合は1.66メガヘルツミリメートルである。周波数質量測定の具体例次に、質量測定の具体例について説明する。図6は、周波数測定部18により得られた水晶振動子14の共振周波数の測定データであり、時間経過に対する共振周波数の変化を示している。図6の横軸は経過時間秒、縦軸は周波数ヘルツである。インクジェットヘッドシステムとして、DMP-2831FUJIFILMDimatix社製を使用し、常温25°C環境化において、同システムのインクジェットヘッドDMC-11610からUVインク紫外線の照射により硬化するインクを打滴した。このUVインクの粘度は12センチポアズミリパスカル秒、表面張力は28ミリニュートンメートルである。図6に示す共振周波数の測定データは、水晶振動子14の電極42図1参照の略中央位置に、1滴あたり10ピコリットルの体積を有する液滴が連続して10滴打滴され、合計で100ピコリットルの液滴を測定したものである。図6に示すように、共振周波数が最小値となるタイミングは10滴目の打滴が終了してから所定時間が経過した後となっている。この10滴目の打滴が終了したタイミングから同一位置に着弾した10滴の液滴は合一して一滴となって濡れ広がるとともに溶媒の蒸発が進み、平衡状態に達する。水晶振動子14に着弾した液滴が平衡状態になると、水晶振動子14の共振周波数の変化が収束して、一定の共振周波数を示す。この平衡状態に達した液滴の共振周波数が液滴を付着させた後の共振周波数F2として測定される。液滴が平衡状態となるまでの時間は、液体の条件測定対象の液滴の体積、粘度などの物性値等、環境条件温度、湿度等により異なる。また、平衡状態に達すると溶媒成分が完全に揮発してしまい、固形物のみが残留するもの、溶媒成分が完全に揮発せずに液体状態を維持したまま平衡状態に達するもの、いずれの場合もありうる。すなわち、溶媒成分が完全に揮発してしまい固形物のみが残留して平衡状態に達する液滴は液滴内固形物の質量が測定され、液体状態を維持したまま平衡状態に達する液滴は液滴の質量が測定される。本例に示す質量測定方法により測定可能な液滴として、インクジェット記録装置用の各種インク、感光性樹脂を含有する樹脂液レジスト液、電気配線を形成する金属材料Au、Agなどを含有する金属液が挙げられる。溶媒成分が完全に揮発してしまい固形物のみが残留して平衡状態に達する液として、水などの揮発性溶媒が用いられる液が挙げられる。また、溶媒成分が完全に揮発せずに液体状態を維持したまま平衡状態に達する液として、高沸点溶媒高沸点溶媒を含む混合溶媒が用いられる液体が挙げられる。ここで、水晶振動子14は付着させることができる液滴の限界体積が決められている。例えば、100滴の測定をする場合に100滴の総量がこの限界体積以下となるように、液滴の打滴条件一回の打滴の体積、一打滴位置に付着させる液滴の体積が決められる。液滴の限界体積をVmax立方メートル、水晶振動子14の表面積をAQ平方メートル、水晶振動子14の液滴を付着させないときの共振周波数Fヘルツ、液滴の粘度をηパスカル秒、液滴の密度をρLキログラム毎立方メートルとすると、次式Vmax=AQ×{η/π×ρL×F}1/2で表される。つまり、測定対象の液滴の総体積Vは、次式V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2...1の条件を満たす。液滴が平衡状態に達した否かの判断は、液滴を着弾させた後の共振周波数F2の変動が所定範囲内に収まっているか否かで判断することができる。液滴を着弾させた後の共振周波数F2の変動が1ヘルツ以内であれば液滴が平衡状態に達したと判断することができる。すなわち、図6に示すように、水晶振動子14の発振開始からの共振周波数測定対象の液滴付着前の共振周波数F1を所定の時間間隔でサンプリングして監視しながら液滴を付着させ、当該測定対象の液滴を付着させた後の共振周波数F2を所定の時間間隔でサンプリングして監視しながら、共振周波数F2が平衡状態に達したか否かを判断することができる。次に、連続して打滴される複数の液滴について、それぞれの質量を測定する方法について説明する。図7は、水晶振動子14電極42,44上で異なる打滴位置に打滴された液滴80、80が合一せずに平衡状態となった複数の液滴80、80を模式的に図示した説明図であり、10ヶ所の打滴位置に10個の液滴80、80を着弾させた状態が図示されている。各液滴80、80の体積は10ピコリットルである。複数の液滴について、液滴ごと打滴ごとの質量を測定するには、水晶振動子14で各液滴80、80が合一しないように、一回の打滴ごとに打滴位置が変更される。また、先に打滴した液滴80が平衡状態に達した後に先の液滴に対応する水晶振動子14の共振周波数が測定できる条件で、次の液滴80が打滴される。例えば、液滴ごとの着弾位置間隔が液滴の直径を超える条件を満たすことで、先に打滴された液滴と次に打滴された液滴との合一を回避しうる。また、液滴ごとの着弾時間間隔が、一滴が単独で平衡状態に達するまでの時間を超える条件を満たすことで、先の液滴に対応する水晶振動子14の共振周波数が測定できる条件で次の液滴80を打滴しうる。図7に示す10個の液滴80、80は、互いに合一せずに10ヶ所の打滴位置に着弾し、互いに孤立して平衡状態に達している。図8は、図7に示す液滴の測定結果を示す図であり、図9は図8の一部拡大図である。図8に符号90を付した共振周波数は1滴目の液滴80に対応している。また、符号92,94,96を付した共振周波数は、2滴目、5滴目、10滴目に対応している。図8に示す測定結果における1滴目から10滴目のそれぞれの打滴時間間隔は、10分600秒となっている。1滴目から10滴目のいずれの液滴80、80においても、次の液滴が打滴されるまでに共振周波数の変動が収束し、当該液滴の共振周波数の測定が可能となっている。すなわち、いずれの場合も液滴の付着タイミング周波数が急激に降下しているタイミングから約300秒5分以内に共振周波数の変動が収束している。測定誤差を考慮すると、液滴の付着タイミングから600秒10分以内に共振周波数の変動がヘルツ以内に収束しているといえる。図9aは、符号90を付した共振周波数を拡大したものであり、図9bからdはそれぞれ、図8の符号92,94,96を付した共振周波数を拡大したものである。図9aからdに示す共振周波数の変動はいずれも1ヘルツ以内となっており、共振周波数測定の共振周波数の変動条件を満たしている。図8及び図9より、1滴目の共振周波数F2は-2.5ヘルツ中心値、2滴目の共振周波数F2は-7.5ヘルツΔF=5ヘルツ、5滴目の共振周波数F2は-22ヘルツ、10滴目の共振周波数F2は-44.5ヘルツである。なお、測定値の符号はデータ処理の都合により付されたものであり、ΔFを算出する際には、F1とF2との大小関係を考慮した上で、絶対値として取り扱えばよい。このようにして求められた液滴を付着させてから平衡状態に達するまでの時間を、液滴の種類、温度、湿度等の環境条件、一打滴位置あたりの体積をパラメータとして記憶しておくことで、このデータを利用することができる。図10及び図11を用いて、本例の比較例について説明する。図10は、水晶振動子14上で合一した液滴80’、80’を模式的に図示した説明図であり、図11は図10に示す液滴80’、80’の測定結果を示す図である。また、図12aからcは、図11の一部拡大図である。図12aは図11に符号90’を付した1滴目の共振周波数であり、図12b、cは図11に符号92’,94’を付した2滴目、5滴目の共振周波数である。図10に図示した液滴は、6個の液滴80破線により図示を異なる打滴位置に打滴したものの、隣接する液滴80、80同士が合一してしまい、3個の液滴80’、80’実線により図示となって平衡状態に達したものである。水晶振動子14上に着弾した液滴80、80が合一してしまうと、図12aに示す1滴目の共振周波数はその変動が1ヘルツ以内に収まっているので、共振周波数の測定が可能であるものの、2滴目以降の液滴80、80は共振周波数の変動が1ヘルツ以内に収束しない。また、液滴ごと打滴ごとに共振周波数の変動が異なる挙動を示しているので、共振周波数の測定は困難である。以上説明したQCMを用いた質量測定方法を用いて、複数の液滴のそれぞれの質量を測定するには、各液滴80、80が合一しないように液滴80、80の着弾位置の間隔が各液滴80、80の直径を超える条件を満たし、かつ、水晶振動子14に液滴80を着弾させてから平衡状態に達した後に次の液滴80を着弾させる条件を満たす必要がある。上述したように、本例に示す質量測定方法は、溶媒成分が完全に蒸発した後の液滴の固形物の質量だけでなく、溶媒成分が完全に蒸発せずに液体のまま平衡状態に達した液滴の質量も測定することができる。すなわち、液滴の濡れ広がりが収束した状態濡れ広がりが進行しない状態を平衡状態として、当該液体の質量共振周波数の測定が可能である。次に、図13を用いて着弾後の液滴の接触角の条件について説明する。図13は、液滴ドットの断面を示している。液滴の体積をVA、高さをh、半径をr、接触角をθとする。接触角θは、次式θ=2×arctanh/rで表される。したがって、次式VA/r3=π/3×[{1-cosθ×2cosθ}/{1cosθ×sinθ}]が導出される。また、液滴の高さhは、次式h=r×tanθ/2と表され、これは、h={3×VA×1cosθ×sinθ}/{π×1-cosθ×2cosθ}1/3×tanθ/2と表すことができる。ここで、液滴の高さhは、液滴の界面の振動が液滴に侵入する距離を平均化した深さである粘性侵入度次式右辺以下であるので、h≦{η/π×ρL×F}1/2となる。したがって、接触角θは、次式{3×VA×1cosθ×sinθ}/{π×1-cosθ×2cosθ}1/3×tanθ/2≦{η/π×ρL×F}1/2...2の条件を満たしている。上記式2に基づいて、インクジェットヘッドから打滴される液体の粘度ηと、液滴の体積VAと、を用いて接触角θの計算を行うと、10ミリパスカル秒の粘度を有する液滴を打滴した場合に上記式1の条件を満たす液滴の接触角θは1度以下であり、かかる状態は拡張濡れ超親液状態と考えられる。図14は、拡張濡れの説明図であり、着弾後の経過時間に対する接触角、直径の関係を示している。同図は、親液基板に銀Agナノインクをインクジェット方式により打滴したときの、時間経過に伴う接触角の変化符号100を付して図示、液滴の直径の変化符号102を付して図示を示している。同図に示すように、着弾後60秒経過後には、接触角、直径とも変化が収束しているといえるので、拡張濡れ超親液状態においても、液滴の濡れ広がりが着弾後60秒程度で収束すると考えられる。図15は、不揮発性溶媒を用いた液滴における共振周波数の測定データであり、図16a、bは図15の一部拡大図である。図15は、同一の打滴位置に10ピコリットルの液滴を10滴打滴した場合の共振周波数の測定データである。図16aは図15の符号110を付した共振周波数を拡大したものであり、図16bは図15の符号112を付した共振周波数を拡大したものである。600秒のタイミングで液滴が着弾し、700秒のタイミング以降は、共振周波数の変動が収束しているといえる。すなわち、液滴が着弾してから10分後600秒後には、共振周波数の変動は1ヘルツ以内に収束しているといえる。以上説明した質量測定方法は、同一のノズルにおける打滴ごとのばらつきの検証に利用することができる。また、ノズル間の打滴のばらつきの検証に利用することも可能である。図17は、同一のノズルから複数の液滴を異なる打滴位置に打滴して、当該ノズル単体の吐出特性打滴のばらつきの検証に利用する場合における、共振周波数の測定の流れを示すフローチャートである。同図に示すように、共振周波数測定が開始されるとステップS10、水晶振動子14の発振を開始させステップS12、共振周波数の測定周波数計測が開始されるステップS14。対象ノズルから水晶振動子14の第1位置に1滴目が打滴されステップS16、1滴目の液滴が着弾した後の水晶振動子14の共振周波数が監視されるステップS18。ステップS18において、共振周波数の変動が1ヘルツを超えている場合にはNo判定、水晶振動子14の共振周波数の監視が継続されステップS18、ステップS18において、共振周波数の変動が1ヘルツ以下になるとYes判定、当該共振周波数が記憶部30図1参照記憶される図17のステップS20。記憶部30に記憶される共振周波数は、変動の最大値でもよいし、最小値でもよい。また、平均値、中心値としてもよい。その後、ステップS22において次の測定があるか否かが判断され、次の測定があると判断されるとYes判定、次の打滴位置に対応してインクジェットヘッド図1参照の位置を移動させステップS24、次の打滴位置に次の液滴が打滴されステップS26、ステップS18からステップS22の処理が繰り返される。一方、ステップS22において次の測定がないと判断されるとNo判定、当該共振周波数測定は終了される。このようにして測定された打滴ごとの共振周波数の測定値は、図1に示す記憶部30に記憶される。質量算出部20は、打滴ごとの共振周波数の測定値を参照して、打滴ごとの液滴の質量又は液滴固形物の質量を算出する。図18は、異なるノズルから複数の液滴を異なる打滴位置に打滴して、ノズル間の吐出特性打滴のばらつきの検証に利用する場合における、共振周波数の測定の流れを示すフローチャートである。図18に示すフローチャートは、図17に示したフローチャートのステップS24がステップS24’に代わり、ステップS22とステップS24’の間にステップS23が追加されている。すなわち、ステップS22において次の測定があると判断されるとYes判定、打滴を行うノズルが変更されステップS23、変更後のノズルに合わせて打滴位置が変更されるステップS24’。一方、ステップS22において次の測定がないと判断されるとNo判定、当該共振周波数測定は終了される。このようにして測定されたノズルごとの共振周波数の測定値は、ノズルノズル番号と関連付けされて、図1に図示した記憶部30に記憶される。質量算出部20は、記憶部30に記憶されているノズルごとの共振周波数の測定値を参照して、ノズルごとの液滴の質量又は液滴固形物の質量を算出する。なお、測定対象の液滴は、上記数1に示す測定可能な最大体積Vmaxを超えない範囲で複数の液滴を合一させた液滴とすることができる。つまり、同一の打滴位置に複数回の打滴により複数の液滴を打滴して、当該打滴位置に複数の液滴が合一して一体となった液滴の質量を測定することができる。上記の如く構成された質量測定装置及び質量測定方法によれば、水晶振動子14上の複数の打滴位置のそれぞれに複数の液滴を打滴する際に、測定対象の複数の液滴の総体積は限界体積Vmax以下であり、測定対象の複数の液滴同士が合一しない打滴位置間隔で、先に打滴された液滴の打滴タイミングから次の液滴の打滴タイミングまでの打滴時間間隔が、先に打滴された液滴が着弾してから平衡状態に達するまでの時間を超えるように打滴されるので、液滴ごとに対応する共振周波数が高精度に測定され、該測定された共振周波数に基づき測定対象の液滴の質量が求められる。測定対象の液滴を付着させた後の共振周波数の変動が1ヘルツ以下になると、測定対象の液滴が平衡状態になったと判断されるので、共振周波数の変動が収束して安定となった状態で共振周波数を正確に把握することができる。本例に示す質量測定方法は、カラー画像の形成に用いられる水性インク、溶媒インク、マスクパターンや配線パターンを形成する機能性液体レジスト液、金属インクなどの液体の微小質量の測定に適用可能である。以上説明した質量測定方法システムは、当該装置を構成する各手段に対応する工程を含む方法発明として把握することも可能である。付記上記に詳述した発明の実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書は少なくとも以下に示す発明を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。発明1:発振させた振動子に対して測定対象の液滴を付着させる液滴付着工程と、前記発振させた振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1を測定するとともに、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定する周波数測定工程と、前記測定された前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1と前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2との差に基づいて、前記振動子に付着させた液滴の質量又は前記振動子に付着させた液滴に含まれる固形物の質量を算出する演算工程と、を含み、前記液滴付着工程は、前記振動子の測定対象の液滴を付着させる面の表面積AQ、液滴を付着させないときの共振周波数F、測定対象の液滴の粘度η、測定対象の液滴の密度ρを用いて表される、前記振動子に付着させる測定対象の液滴の総量Vが、次式V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2の条件を満たし、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれに対して少なくとも一滴の測定対象の液滴を付着させるとともに、異なる付着位置に付着させた測定対象の液滴同士が合一しない条件を満たし、かつ、先に付着させた測定対象の液滴が前記振動子上で平衡状態に達した後に、次の液滴の付着位置に次の測定対象の液滴を付着させ、前記周波数測定工程は、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれについて、前記振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の共振周波数F1を測定し、前記振動子に付着させた前記測定対象の液滴が平衡状態に達した後に、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定することを特徴とする質量測定方法。本発明によれば、V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2で表される振動子に付着させる測定対象の液滴の総量以下となるように振動子に測定対象の液滴を付着させ、異なる付着位置に付着させた液体同士が合一しない条件を満たし、先に付着させた液滴が平衡状態に達した後に次の付着位置に次の液滴を付着させる条件を満たすように測定対象の液滴を付着させ、測定対象の液滴が平衡状態に達した後の振動子の共振周波数が液滴を付着させた後の振動子の共振周波数として測定されるので、液滴を付着させた後の振動子の共振周波数が正確に測定され、測定対象の液滴の質量が正確に求められる。本発明では、平衡状態で溶媒成分が完全に蒸発している場合には、液滴内固体物の質量が測定され、平衡状態で溶媒成分が完全に蒸発していない場合には、液滴の質量が測定される。発明2:発明1に記載の質量測定方法おいて、前記周波数測定工程は、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2の変動が1ヘルツ以下になった状態で、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数を測定する態様が好ましい。かかる態様によれば、測定対象の液滴を付着させた後の振動子の共振周波数の変動が収束した状態で当該共振周波数が測定されるので、測定対象の液滴を付着させた後の振動子の共振周波数がより正確に測定される。発明3:発明1又は2に記載の質量測定方法において、前記液滴付着工程は、異なる付着位置に付着させる液滴の付着時間間隔を10分以上とする態様が好ましい。かかる態様によれば、先に付着させた液滴が確実に平衡状態となった後に、次の付着位置に次の測定対象の液滴を付着させることができるので、先に付着させた液滴の該液滴付着後の共振周波数を正確に測定しうる。発明4:発明1から3のいずれかに記載の質量測定方法において、前記測定対象の液滴が平衡状態で液体である場合は、前記測定対象の液滴の体積VA、前記測定対象の液滴の平衡状態における最大高さh、前記測定対象の液滴の平衡状態における半径r、前記測定対象の液滴の平衡状態における密度ρL前記振動子の液滴を付着させないときの共振周波数Fを用いて、前記振動子に対する前記測定対象の液体の接触角θは、次式{3×VA×1cosθ×sinθ}/{π×1-cosθ×2cosθ}1/3×tanθ/2≦{η/π×ρL×F}1/2の条件を満たす態様が好ましい。かかる態様によれば、振動子に対する液滴の接触角θが上記条件を満たすことで、振動子上に着滴した液体の全質量が、振動子の共振周波数変化に寄与することとなる。発明5:発明1から4のいずれかに記載の質量測定方法において、前記振動子は電極対によって水晶片をはさみこんだ構造を有する水晶振動子であり、前記測定対象の液滴を付着させる面は前記電極対のいずれか一方の電極であり、前記演算工程は、前記測定対象の液滴の質量mを算出する際に、前記水晶振動子の厚みにカット面で決められる定数を乗じて求められる基本周波数F0、前記水晶振動子の弾性率μ、前記水晶振動子の密度ρ、前記電極の表面積AEにより規定される、次式ΔF=-2×F02×{m/AE×ρ×μ1/2}を用いる態様が好ましい。かかる態様によれば、振動子に液滴を付着させた前後の共振周波数を用いて演算により液滴内固形分の質量又は液滴の質量を算出しうる。かかる態様において、ATカットされた水晶片を用いる場合は、水晶振動子の弾性率μは2.95×1015ダイン毎平方センチメートルとなる。発明6:発明1から5のいずれかに記載の質量測定方法において、前記液滴付着工程は、異なる付着位置に付着させた測定対象の液滴同士が合一しない条件として、先に付着させた液滴の付着位置と後に付着させる液滴の付着位置との間隔が、後に付着させる液滴の直径を超えるように、前記後に付着させる液滴の付着位置を選択する態様が好ましい。かかる態様によれば、異なる付着位置に付着させた液滴が合一せず、好ましい共振周波数測定が実現される。発明7:発明1から6のいずれか1項に記載の質量測定方法において、前記液滴付着工程は、複数のノズルを備えたインクジェットヘッドから測定対象の液滴を打滴し、同一のノズルから複数の異なる付着位置に測定対象の液滴を打滴する態様が好ましい。かかる態様において測定された質量に基づいて、同一のノズルにおける吐出特性を把握することができる。発明8:発明1から6のいずれかに記載の質量測定方法において、前記液滴付着工程は、複数のノズルを備えたインクジェットヘッドから測定対象の液滴を打滴し、異なるノズルから複数の異なる付着位置に測定対象の液滴を打滴する態様が好ましい。かかる態様において測定された質量に基づいて、ノズル間の吐出特性を把握することができる。発明9:測定対象の液滴を付着させる振動子と、前記振動子を発振させる発振手段と、前記発振させた振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1を測定するとともに、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定する周波数測定手段と、前記測定された前記測定対象の液滴を付着させる前の前記振動子の共振周波数F1と前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2との差に基づいて、前記振動子に付着させた液滴の質量又は前記振動子に付着させた液滴に含まれる固形物の質量を算出する演算手段と、を備え、前記振動子に測定対象の液滴を付着させる際に、前記振動子の測定対象の液滴を付着させる面の表面積AQ、液滴を付着させていときの共振周波数F、測定対象の液滴の粘度η、測定対象の液滴の密度ρを用いて表される、前記振動子に付着させる測定対象の液滴の総量Vが、次式V≦AQ×{η/π×ρL×F}1/2の条件を満たし、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれに対して少なくとも一滴の測定対象の液滴を付着させるとともに、異なる付着位置に付着させた測定対象の液滴同士が合一しない条件を満たし、かつ、先に付着させた測定対象の液滴が前記振動子上で平衡状態に達した後に、次の液滴の付着位置に次の測定対象の液滴を付着させ、前記周波数測定手段は、前記振動子の複数の付着位置のそれぞれについて、前記振動子に前記測定対象の液滴を付着させる前の共振周波数F1を測定し、前記振動子に付着させた前記測定対象の液滴が平衡状態に達した後に、前記測定対象の液滴を付着させた後の前記振動子の共振周波数F2を測定することを特徴とする質量測定装置。本発明において、発明2から8に記載された各工程に対応する手段を備える態様が好ましい。発明10:発明9記載の質量測定装置において、複数のノズルを備えたインクジェットヘッドから前記振動子に測定対象の液滴を付着させる態様が好ましい。本発明に係る質量測定方法及び装置は、インクジェットヘッドのノズルか打滴される液滴又は液滴内固形分の質量を測定する場合に有効である。"