"粘着層が3層以上積層した構成を備え、中央の粘着層は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して80質量部以上500質量部以下であり、両側の粘着層は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して0質量部以上80質量部未満であることを特徴とする熱伝導性粘着シート。前記熱伝導性フィラーは、酸化物類粒子、窒化物類粒子、炭化物類粒子、シリカ粉類粒子のいずれか又は2種類以上からなることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導性粘着シート。前記熱伝導性フィラーは、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム及び窒化ケイ素のいずれか又は2種類以上からなることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導性粘着シート。前記粘着剤は、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤又はシリコーン系粘着剤からなることを特徴とする請求項1に記載の熱伝導性粘着シート。したがって、本発明は、以上のような問題点に鑑みて成されたものであり、高い熱伝導性と、強力な粘着性とを同時に兼ね備えた熱伝導性粘着シートを提供することを目的としている。本発明の熱伝導性粘着シートは、粘着層が3層以上積層した構成を備え、中央の粘着層は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して80質量部以上500質量部以下であり、両側の粘着層は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して0質量部以上80質量部未満であることを特徴としている。従来の単に放熱フィラーを添加した構成では、熱伝導性の増加に反比例して粘着力が低下するといった問題を有していた。そこで、本発明においては、粘着剤及び熱伝導性フィラーを含有する粘着層を三層構造とし、中央の粘着層における熱伝導性フィラーの含有率を増加させて熱伝導性を向上させるとともに、両側の粘着層における熱伝導性フィラーの含有率を低下させて粘着性を向上させることにより、熱伝導度を1W/mk以上とし、かつ180度引き剥がし粘着力を7N/15mm以上とすることができる。本発明の熱伝導性粘着シートによれば、高い熱伝導性と、強力な粘着性とを同時に兼ね備えた熱伝導性粘着シートを提供することができる。次に、本発明の熱伝導性粘着シートの実施形態について具体的に説明する。図1は本発明の熱伝導性粘着シートの一実施形態を模式的に示した断面図である。図1に示されているように、本発明の熱伝導性粘着シートは、粘着剤及び熱伝導性フィラーを含有する粘着層が3層以上積層した構成を備えており、中央の粘着層1と両側の粘着層2では、粘着剤と熱伝導性フィラーの質量比が異なるように構成されている。より詳細には、中央の粘着層1は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して80質量部以上500質量部以下であり、熱伝導性フィラーの含有率を増加させることにより、本発明の熱伝導性シートの熱伝導性を向上させ、1W/mk以上の熱伝導度を実現している。一方、両側の粘着層2は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して0質量部以上80質量部未満であり、熱伝導性フィラーの含有率を低下させることにより、本発明の熱伝導性シートの粘着性を向上させ、7N/15mm以上の180度引き剥がし粘着力を実現している。このように、本発明の熱伝導性粘着シートによれば、高い熱伝導性と、強力な粘着性とを同時に兼ね備えることができる。なお、図1においては、本発明の熱伝導性シートにおける中央の粘着層1及び両側の粘着層2は剥離シート3間に積層された構成であり、使用の際には、これらの剥離シート3は剥離され取り除かれる。また、本発明における粘着層は、上記のように3層以上であれば、各層が複数層あってもよく、その場合、両側の粘着層から中央の粘着層に向かって次第に熱伝導性フィラーの含有率が増加するような構成であることが好ましい。以下、本発明の熱伝導性粘着シートにおける構成要素について詳述する。<粘着剤>本発明における粘着剤としては、エチレン-酢酸ビニル系、オレフィン系、ポリエステル系、アクリル系、シリコーン系、ウレタン系等の粘着剤が挙げられる。これらの中でも、耐久性が良いことから、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤及びシリコーン系粘着剤が好ましく、アクリル系粘着剤であることが最も好ましい。このアクリル系粘着剤は、アクリル系モノマー及びアクリル系ポリマーから構成されるものである。アクリル系粘着剤を構成するアクリル系モノマーは、炭素数1~12のアルキル基を有するアクリレート単量体のことであり、具体的には、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、n-プロピルメタアクリレート、イソプロピルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、イソブチルメタアクリレート、ペンチルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、n-オクチルメタアクリレート、イソオクチルメタアクリレート、ラウリルメタアクリレートなどが挙げられ、これらは単独または2種類以上組み合わせて用いられる。アクリル系粘着剤を構成するアクリル系ポリマーは、上記アクリレート単量体が重合したものであり、さらに、上記アクリレート単量体と官能基を有する単量体とが共重合した共重合体であって、前記官能基と反応する架橋剤によって架橋されたものであってもよい。アクリレート単量体と共重合できる官能基を有する単量体としては、例えば、カルボキシル基を有するメタアクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、クロトン酸、ヒドロキシル基を有するアクリル酸-2-ヒドロキシエチルエステル、アクリル酸-2-ヒドロキシプロピルエステル、2-ヒドロキシビニルエーテル、アミノ基を有するN,N-ジメチルアミノエチルアクリレート、N-ターシャリーブチルアミノエチルアクリレート、エポキシ基を有するグリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどが挙げられる。また、架橋剤としては、例えば、多官能イソシアネート系架橋剤であるトリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパン変成トリレンジイソシアネート、多官能エポキシ架橋剤であるエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、多官能アジリジン系架橋剤であるN,N’-ヘキサメチレン-1,6-ビス1-アジリジンカルボキシアミド、トリメチロールプロパン-トリ-β-アジリジニルプロピオネート、金属キレート系架橋剤であるアルミニウムのアセチルアセトン錯体、過酸化物であるベンゾイルパーオキサイド、メラミン系架橋剤などが挙げられ、これらは単独または2種類以上組み合わせて使用できる。さらに、アクリル系粘着剤においては、分子内に2個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーが配合されてもよい。この分子内に2個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーは、紫外線照射された際にアクリル系モノマーまたはポリマーと重合する。分子内に2個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーとしては、例えば、ジシクロペンテニルメタアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルメタアクリレート、1,3-ブタンジオールジメタアクリレート、1,4-ブタンジオールジメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレートなどが挙げられ、これらは単独または2種類以上組み合わせて使用できる。この分子内に2個以上の不飽和二重結合を含有する多官能モノマーの配合量は、粘着剤中の5質量以下が好ましい。5質量を超えると粘着層が固くなりやすく好ましくない。本発明における粘着剤には、必要に応じて、光反応開始剤を含んでもよく、この光反応開始剤によって重合硬化することで粘着層を形成することできる。光反応開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ジフェニルスルファイド、アントラセン、ベンゾフェノン、ジフェニルジスルファイド、ジアセチル、ヘキサクロルブタジエン、アセトフェノン、チオキサントンなどが挙げられ、これらは単独または2種類以上組み合わせて使用できる。また、本発明における粘着剤には、必要に応じて、可塑剤を添加してもよい。可塑剤としては、例えば、フタル酸エステル系、アジピン酸エステル系、リン酸エステル系、トリメリット酸エステル系、クエン酸エステル系、エポキシ系及びポリエステル系等が挙げられ、これらは単独または2種類以上組み合わせて使用できる。可塑剤の添加量は、粘着剤100質量部に対して1~50質量部であることが好ましく、5~30質量部であることがさらに好ましい。可塑剤の添加量が1質量部より少ないと可塑剤の効果が十分に発揮されず、50質量部を超えると樹脂の凝集力が弱くなり好ましくない。<熱伝導性フィラー>本発明における熱伝導性フィラーとしては、熱が伝導することができれば特に限定されないが、例えば、金、銅、銀、鉄、アルミニウム、コバルト、すず、ニッケル、チタン、インジウムなどの金属および各種合金などの粒子;酸化アルミニウムアルミナ、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、酸化チタン、酸化インジウムすずITOなどの酸化物類粒子;窒化ホウ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウムなどの窒化物類粒子;炭化ケイ素、黒鉛、ダイヤモンド、非晶カーボン、カーボンブラック、炭素繊維などの炭化物類粒子;石英、石英ガラスなどのシリカ粉類粒子などが挙げられる。これらの中でも、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム及び窒化ケイ素のいずれか又は2種類以上が好ましい。ただし、熱伝導性粘着シートを絶縁性を必要とする用途に用いる場合、上記金属および各種合金などの金属系フィラーは絶縁性に劣るため、他の無機フィラー、すなわち、酸化物類粒子、窒化物類粒子、炭化物類粒子を用いることが好ましい。なお、本発明の熱伝導性シートにおいて、適切な絶縁性を発揮するためには、表面抵抗が1011Ωcm以上であることが必要であり、1014Ωcm以上であればより好ましい。また、熱伝導性フィラーの粒径は、平均一次粒子径が0.05μm~100μmであることが好ましく、0.1μm~50μmであることがより好ましい。フィラー粒径が0.05μmよりも小さいと、二次凝集が生じ、粘着剤への分散が困難になってしまい、一方、フィラー粒径が100μmよりも大きいと、薄膜の粘着層を形成させたときにフィラーが表面に突出しやすく塗工性が悪くなり好ましくない。<粘着剤と熱伝導性フィラーの比率>本発明における中央の粘着層は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して80質量部以上500質量部以下、好ましくは100質量部以上400質量部以下である。熱伝導性フィラーが80質量部未満の場合は熱伝導性が悪く、500質量部より熱伝導性フィラーが多いと粘着性が悪く好ましくない。一方、両側の粘着層は、熱伝導性フィラーの含有量が粘着剤100質量部に対して0質量部以上80質量部未満、好ましくは10質量部以上60質量部以下である。熱伝導性フィラーが80質量部以上の場合は粘着性が悪く好ましくない。<熱伝導性粘着シートの製造方法>熱伝導性フィラーの粘着剤への分散は、ディスパー、アジター、ボールミル、アトライター等の各種混合攪拌装置、分散装置を使用して行われる。また、熱伝導性フィラーと粘着剤との混合物からなる塗料は塗工前に脱泡することが好ましい。塗料は、ポリエチレンテレフタレート等の剥離シートに両側に配置される粘着層を塗工し、その上に中央に配置される粘着層を、さらに、両側に配置される粘着層を順次塗工すればよい。また、これらの粘着層の各々の塗料を剥離シートに塗工し、上記の順番にこれらを貼り合わせてもよい。塗料の塗工は、リバースコーター、ダムコーター、コンマコーター、ダイコーター、ドクターバーコーター、グラビアコーター、マイクログラビアコーター、ロールコーター等のコーターを使用して行われる。本発明の熱伝導性粘着シートは、様々な用途に適用することができるが、特に、半導体素子CPUと基板との粘着固定、放熱に適用したり、LED光源ユニットにおけるLED素子と基板筐体との間を粘着固定して、LED素子から発する熱を基板に逃がす用途に適用することが可能である。次に、本発明の熱伝導性粘着シートについて、実施例を用いてさらに詳細に説明する。なお、以下に記載の部は質量部を表す。1.熱伝導性粘着シートの作製<実施例1>アクリル酸2-エチルヘキシル1000部、アクリル酸40部、分子量調整剤としてn-ドデシルメルカプタン0.1部、重合開始剤として2,2’-アゾビス4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリル0.03部をフラスコに投入し、重合した。さらに、アクリル酸2-エチルヘキシル200部及びアクリル酸10部を投入し、冷却してアクリル系液状樹脂からなる粘着剤を得た。この粘着剤100部に対し、イソシアネート系硬化剤3.0部、平均一次粒子径が8μmの窒化ホウ素粒子50部を投入して混合し、塗工液aを得た。次いで、剥離処理した50μmのポリエチレンテレフタレート以下、剥離PETというシートの片面に、この塗工液aを塗工し、熱風乾燥を行い、厚さ25μmの粘着層A1を作製した。また、上記粘着層A1の作製工程において、窒化ホウ素の量を120部にした以外は同様にして厚さ75μmの粘着層B1を作製した。次に、剥離PETシート上の粘着層B1の表面に、PETシート上の粘着層A1を貼り合わせた。そして、粘着層B1側の剥離PETシートを剥離した後、粘着層B1の露出面に別に用意したPETシート上の粘着層A1を貼り合わせて、総厚125μmとなる本発明の実施例1の熱伝導性粘着シートを得た。<実施例2>前記実施例1において、塗工液aの窒化ホウ素の量を30部にして粘着層A2を作製し、粘着層B1における窒化ホウ素の量を100部にして粘着層B2を得た以外は同様にして、本発明の実施例2の熱伝導性粘着シートを得た。<実施例3>前記実施例1において、塗工液aの窒化ホウ素の量を30部にして粘着層A2を作製し、粘着層B1における窒化ホウ素の量を80部にして粘着層B3を得た以外は同様にして、本発明の実施例3の熱伝導性粘着シートを得た。<実施例4>前記実施例1において、塗工液aの窒化ホウ素の量を30部にして粘着層A2を作製し、粘着層B1における窒化ホウ素をアルミナ300部にして粘着層B4を得た以外は同様にして、本発明の実施例4の熱伝導性粘着シートを得た。<実施例5>前記実施例1において、塗工液aの窒化ホウ素の量を30部にして粘着層A2を作製し、粘着層B1における窒化ホウ素をアルミナ400部にして粘着層B5を得た以外は同様にして、本発明の実施例5の熱伝導性粘着シートを得た。<実施例6>前記実施例1において、塗工液aの窒化ホウ素の量を30部にして粘着層A2を作製し、粘着層B1における窒化ホウ素をアルミナ500部にして粘着層B6を得た以外は同様にして、本発明の実施例6の熱伝導性粘着シートを得た。<比較例1>実施例1における塗工液aを剥離PETシート上に塗工して厚さ125μmの粘着層を形成し、この粘着層を比較例1の熱伝導性粘着シートとした。<比較例2>前記比較例1において、塗工液aの窒化ホウ素の量を120部にした以外は同様にして、厚さ125μmの比較例2の熱伝導性粘着シートを得た。2.熱伝導性粘着シートの評価上記のようにして得られた実施例1~6並びに比較例1及び2の熱伝導性粘着シートに対して、以下の測定方法にしたがって各熱伝導性粘着シートを評価した。これらの測定結果を表1に示した。1熱伝導率の測定方法各熱伝導性粘着シートの熱伝導率は、ISO22007-4に準拠するレーザーフラッシュ法に基づいて測定し、評価した。具体的には、直径8~10mm、厚さ0.5~3mmの円盤状の各熱伝導性粘着シートにパルスレーザ光を照射し、裏面の温度を測定し、温度履歴曲線を求めた。なお、この温度履歴曲線は、熱伝導性粘着シートの温度が時間の経過と共に上昇した後、緩やかに下降する曲線であった。次いで、この温度履歴曲線から温度上昇量θmを求め、次式に示すように、この温度上昇量θm、熱入量Q及び試料の質量Mから比熱Cpを求めた。Cp=Q/また、次式に示すように、温度上昇量の1/2に達するのに要する時間t1/2及び熱伝導性粘着シートの厚さdから熱拡散率αを求めた。α=0.1388d2/t1/2そして、熱拡散率α、比熱Cp及び密度ρから、次式に示したように熱伝導率λを求めた。λ=αCpρ2粘着力の測定方法各熱伝導性粘着シートの粘着力は、JISZ0237:2000に準拠する180度引き剥がし法に基づいて測定し、評価した。具体的には、幅15mmの各熱伝導性粘着シートをステンレス板に貼り付け、2kgロールを1往復させて圧着させ、その後、23°C、50RHの雰囲気下で熱伝導性粘着シートを180度方向に引き剥がす時に要する力N/15mmを測定した。380°C保持力の測定各熱伝導性粘着シートの80°C保持力は、JISZ0237:2000に準拠する保持力の測定法に基づいて測定し、評価した。具体的には、各熱伝導性粘着シートをステンレス板の一端に25mm角の面積が接するように貼り付け、80°Cの雰囲気下で鉛直に垂れ下がった熱伝導性粘着シートの端に1kgの荷重を掛けて、1時間内にずれた距離を測定した。4表面抵抗率の測定方法各熱伝導性粘着シートの表面抵抗率は、JISK6911に準拠する2重リングプローブ法に基づいて測定し、評価した。具体的には、直径約100mm、厚さ約2mmの各熱伝導性粘着シートに錫箔電極処理を施し、その表面上に、直径50mmの表面電極及び直径80mm、幅5mmのガード電極を設け、その裏面上に、直径83mmの裏面電極を設け、熱伝導性粘着シートに直流電圧を加え、熱伝導性粘着シート表面を通過した電流を計測し、表面抵抗率を求めた。その結果、表1から明らかなように、本発明の実施例1~6の熱伝導性粘着シートでは、熱伝導率が0.72W/mk以上であり、且つ粘着力も850N/15mm以上有することが示された。つまり、本発明の熱伝導性シートは、熱伝導率と粘着力とが両者ともに優れており、バランスがとれた特性を有するものであることが確認された。なお、本発明の熱伝導性シートでは、80°C保持力及び表面抵抗率についても従来の好適な値を損なうことがないことが示された。これに対して、比較例1の熱伝導性粘着シートでは、窒化ホウ素の含有量が50部である粘着層を一層のみ備えた構成であることから、熱伝導率が実施例に比べて極めて悪いものであった。また、比較例2の熱伝導性粘着シートは、窒化ホウ素の含有量が120部である粘着層を一層のみ備えた構成であることから、粘着力が実施例に比べて極めて悪いものであった。"