配線基板用パネルを載置するテーブルと、前記配線基板用パネルの外周部を部分的に前記テーブル上に押しつけて固定する押圧板と、前記配線基板用パネル上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置とを具備して成る露光装置であって、前記押圧板は、前記レーザ光を透過する透明材料から成ることを特徴とする露光装置。請求項1記載の露光装置の前記テーブルに前記配線基板用パネルを載置するとともに該配線基板用パネルの外周部を前記押圧板により前記テーブル上に押しつけて固定する工程と、前記配線基板用パネルの上面に前記レーザ照射装置からレーザ光を照射して前記押圧板の下を含む領域を露光する工程とを行なうことを特徴とする露光方法。本発明は、配線基板用パネルの上面外周部を押圧板で押さえつけながら露光する場合であっても、押圧板の下の領域レジストを露光可能であり、エッチング時に外周部の導体層を残しておくことで、配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置および露光方法を提供することを課題とする。本発明における露光装置は、配線基板用パネルを載置するテーブルと、配線基板用パネルの外周部を部分的にテーブル上に押しつけて固定する押圧板と、配線基板用パネル上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置とを具備して成る露光装置であって、押圧板は、レーザ光を透過する透明材料から成ることを特徴とするものである。本発明における露光方法は、上述の露光装置のテーブルに配線基板用パネルを載置するとともに配線基板用パネルの外周部を押圧板によりテーブル上に押しつけて固定する工程と、配線基板用パネルの上面にレーザ照射装置からレーザ光を照射して押圧板の下を含む領域を露光する工程とを行なうことを特徴とするものである。本発明の露光装置によれば、配線基板用パネルをテーブルに押しつけて固定する押圧板がレーザ光を透過する透明材料から成ることから、押圧板の下の領域も露光することが可能となる。このため、押圧板の下のレジストを露光することにより、配線基板用パネルの外周部に導体層を残すことができる。これにより、配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置を提供することができる。また、本発明の露光方法によれば、配線基板用パネルの外周部をレーザ光が透過する透明な材料から成る押圧板によりテーブルに押しつけてテーブルに固定した状態で、レーザ照射装置からレーザを照射して押圧板の下を含む領域を露光する工程を行う。このため、配線基板用パネルの外周部に導体層を残すことができ、それにより配線基板用パネルの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光方法を提供することができる。次に、本発明の露光装置の実施形態の一例を図1および図2を基にして説明する。図1に示すように、本例の露光装置10は、例えば上面に感光性のレジストが被着された配線基板用パネルAを載置する水平なテーブル1と、テーブル1に載置された配線基板用パネルAの外周部をテーブル1に押しつけてテーブル1に固定する押圧板2と、テーブル1の上方に配置されたレーザ照射装置3とを筐体4内に備えている。テーブル1は、例えば平滑に研磨された表面にアルマイト処理が施されたアルミニウム製の平板から成り、筐体4内に上面が水平となるように配置されている。また、図2bに示すように、テーブル1には、後述する押圧板2が稼動するためのスリット5が、テーブル1の各辺外周部から中央部に向けて2本ずつ形成されている。そして、テーブル1には、複数の吸着孔6が配列形成されており、真空ポンプ7と接続されてテーブル1に載置される配線基板用パネルAを吸着可能となっている。さらに、テーブル1は、配線基板用パネルAの全領域を後述のレーザ照射装置3から照射されるレーザ光の照射範囲に通過させるため、露光装置10の前後方向にテーブル1を稼動させる移動装置を備えている。テーブル1の寸法は縦60~70cm、横70~80cm程度である。押圧板2は、支柱8上に接合された支持体9により支持された状態でテーブル1の上に配置されている。支柱8は、ステンレスやアルミニウム等の金属材料から成り、上述したスリット5の中を水平方向に移動可能であるとともに上下方向に伸縮可能になっており、図示しない駆動装置に繋がっている。支持体9は、ステンレスやアルミニウム等の金属から成り、押圧板2をネジ止めにより水平な状態で支持している。そして、支柱8が伸長した状態でテーブル1の上に載置される配線基板用パネルAのサイズに合わせて水平方向に移動した後、支柱8が縮退することにより押圧板2がテーブル1に載置された配線基板用パネルAの外周部を押しつける。ところで本発明の露光装置10においては、押圧板2は、レーザ光を透過可能な透明な材料から形成されている。押圧板2として、このような透明な材料を用いることによって、押圧板2の下の領域までレーザ光により露光することが可能となる。透明な材料としては、例えばアクリル樹脂が好ましい。押圧板2がアクリル樹脂から成る場合、押圧板2の厚みは10~30mm程度であることが好ましい。アクリル製の押圧板2の厚みが10mm未満の場合は、押圧板2の強度不足により配線基板用パネルAの外周部をテーブル1に良好に押しつけて固定することが困難となったり、押圧板2自体が破損しやすかったりする不具合が生じる恐れがある。また、厚みが30mmを超える場合は、レーザ光の透過量が少なくなり、押圧板2の下の領域における露光が不十分になる恐れがある。なお、押圧板2は配線基板用パネルAの外周端から5~10mm程度の位置を押圧する。レーザ照射装置3は、テーブル1の上方に配置されており、テーブル1の方向にレーザ光を照射する照射部と、レーザ光を照射するタイミングを制御する制御部とを備えている。露光時は、レーザ光の照射範囲を移動する配線基板用パネルAの上面にレーザ光を照射して露光する。このとき、上述したように、押圧板2がレーザ光を透過する透明材料から成るため、押圧板2の下の領域も露光することが可能となる。このため、押圧板2の下のレジストを露光することにより、配線基板用パネルAの外周部に導体層を残すことができる。これにより、配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させないことが可能となる露光装置10を提供することができる。レーザ光の波長は350~410nm程度である。次に、本発明の露光方法の実施形態の一例を図3a~fを基にして説明する。なお、図1および図2と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。まず、図3aに示すように、テーブル1の上に配線基板用パネルAを載置する。配線基板用パネルAは、例えばガラス繊維にエポキシ樹脂等を含浸させた絶縁層11の表面全体に、銅箔を圧着させたり、周知のめっき法により銅めっき膜を析出させたりすることで導体層12を形成して成る。また、導体層12の上には、感光性のレジスト13が被着されている。レジスト13は、導体層12の上に感光性樹脂のペーストを塗布した後、乾燥させることによって、または感光性のフィルムを導体層12上に張着することで形成される。レジスト13はアクリル系の紫外線硬化性樹脂を含有する電気絶縁材料から成る。次に図3bに示すように、配線基板用パネルAの外周部を押圧板2で下方に押しつけてテーブル1に固定する。このとき、押圧板2は、配線基板用パネルAの外周端から5~10mm程度の範囲を押圧する。また、配線基板用パネルAをテーブル1に固定するときは、押圧板2による押圧と並行して、テーブル1に具備された吸着孔6による吸着を行うことが好ましい。次に、図3cに示すように、レーザ照射装置3からレーザ光を照射し、押圧板2の下の領域を含む配線基板用パネルAの上のレジスト13を露光する。露光時は、配線基板用パネルAを載置したテーブル1が、レーザ光の照射範囲を移動することで配線基板用パネルAの上面全域を所定のパターンで露光する。このとき、押圧板2がレーザ光を透過する透明なアクリル板でできていることから、押圧板2の下のめっきレジスト13を露光して硬化させることが可能となる。次に、図3dに示すように、露光の終了した配線基板用パネルAを現像装置に投入し、アルカリ性の現像液によりめっきレジスト13の未露光部を除去して所定のレジストパターン13aに現像する。このとき、配線基板用パネルAの外周部上面に、レジストパターン13aが被着していることが重要である。現像方法としては、例えば露光の済んだめっきレジスト13の表面に、炭酸ナトリウム水溶液から成る現像液をシャワーで吹きつける方法が採用される。次に、図3eに示すように、レジストパターン13aから露出した導体層12をエッチング液により除去する。このとき、押圧板2の下の領域の導体層12はレジストパターン13aにより保護されていることから、エッチング液により除去されない。最後に、図3fに示すように、レジストパターン13aを、例えば水酸化ナトリウム水溶液から成る剥離液により除去することで、銅箔や銅めっき膜等から成る配線パターン14を形成するとともに、外周部が導体層12で被覆された配線基板用パネルAを作成することができる。これにより、配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂が露出しない配線基板の製造方法を提供することができる。