多孔質のフィルタを湿気を含む空気にさらす加湿工程と、前記加湿工程を経て湿った状態にある前記フィルタの内部に水粒子を導入し、前記フィルタの前記内部を通過して流出した前記水粒子を検出して前記フィルタの欠陥を検知する検知工程と、を有するフィルタの検査方法。前記加湿工程において、前記湿気を含む空気に含まれた水分によって前記フィルタの質量を前記フィルタの体積1リットル当たり0.05g~600g増加させる請求項1に記載のフィルタの検査方法。前記加湿工程において、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気をさらしながら、前記フィルタの他の側から前記湿気を含む空気を吸引する請求項1または2に記載のフィルタの検査方法。前記加湿工程において、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気を圧入する請求項1または2に記載のフィルタの検査方法。前記加湿工程にて一の前記フィルタを前記湿気を含む空気にさらしながら、前記検知工程にて前記加湿工程を既に経た他の前記フィルタについて欠陥を検知する請求項1~4のいずれか一項に記載のフィルタの検査方法。多孔質のフィルタを湿気を含む空気にさらす加湿手段と、前記加湿手段によって前記湿気を含む空気にさらされて湿った状態にある前記フィルタの内部に水粒子を導入し、前記フィルタの前記内部を通過して流出した前記水粒子を検出して前記フィルタの欠陥を検知する検知工程と、を備えるフィルタの検査装置。前記加湿手段が、前記湿気を含む空気に含まれた水分によって前記フィルタの質量を前記フィルタの体積1リットル当たり0.05g~600g増加させる請求項6に記載のフィルタの検査装置。前記加湿手段が、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気をさらしながら、前記フィルタの他の側から前記湿気を含む空気を吸引する請求項6または7に記載のフィルタの検査装置。前記加湿手段が、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気を圧入する請求項6または7に記載のフィルタの検査装置。前記加湿手段が一の前記フィルタを前記湿気を含む空気にさらしながら、前記検知手段が他の前記フィルタについて欠陥を検知する請求項6~9のいずれか一項に記載のフィルタの検査装置。しかしながら、特許文献1の検査方法及び検査装置では、検査後に、香類の燃焼によって生じる微粒子をフィルタから取り除く作業を要する。特許文献2、3の水粒子を用いる検査方法及び検査装置では、検査結果にムラが生じたり、水粒子がフィルタを透過して流出するまでに時間を要したりする。上記の問題に鑑みて、本発明の目的は、フィルタの欠陥を検知する感度が良く、かつ作業効率に優れるフィルタの検査方法及びフィルタの検査装置を提供することにある。本発明は、上記目的を達成するために完成に至ったものであり、以下に示すフィルタの検査方法およびフィルタの検査装置である。[1]多孔質のフィルタを湿気を含む空気にさらす加湿工程と、前記加湿工程を経て湿った状態にある前記フィルタの内部に水粒子を導入し、前記フィルタの前記内部を通過して流出した前記水粒子を検出して前記フィルタの欠陥を検知する検知工程と、を有するフィルタの検査方法。[2]前記加湿工程において、前記湿気を含む空気に含まれた水分によって前記フィルタの質量を前記フィルタの体積1リットル当たり0.05g~600g増加させる前記[1]に記載のフィルタの検査方法。[3]前記加湿工程において、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気をさらしながら、前記フィルタの他の側から前記湿気を含む空気を吸引する前記[1]または[2]に記載のフィルタの検査方法。[4]前記加湿工程において、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気を圧入する前記[1]または[2]に記載のフィルタの検査方法。[5]前記加湿工程にて一の前記フィルタを前記湿気を含む空気にさらしながら、前記検知工程にて前記加湿工程を既に経た他の前記フィルタについて欠陥を検知する前記[1]~[4]のいずれかに記載のフィルタの検査方法。[6]多孔質のフィルタを湿気を含む空気にさらす加湿手段と、前記加湿手段によって前記湿気を含む空気にさらされて湿った状態にある前記フィルタの内部に水粒子を導入し、前記フィルタの前記内部を通過して流出した前記水粒子を検出して前記フィルタの欠陥を検知する検知工程と、を備えるフィルタの検査装置。[7]前記加湿手段が、前記湿気を含む空気に含まれた水分によって前記フィルタの質量を前記フィルタの体積1リットル当たり0.05g~600g増加させる前記[6]に記載のフィルタの検査装置。[8]前記加湿手段が、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気をさらしながら、前記フィルタの他の側から前記湿気を含む空気を吸引する前記[6]または[7]に記載のフィルタの検査装置。[9]前記加湿手段が、前記フィルタの一の側から前記湿気を含む空気を圧入する前記[6]または[7]に記載のフィルタの検査装置。[10]前記加湿手段が一の前記フィルタを前記湿気を含む空気にさらしながら、前記検知手段が他の前記フィルタについて欠陥を検知する前記[6]~[9]のいずれかに記載のフィルタの検査装置。本発明のフィルタの検査方法およびフィルタの検査装置は、フィルタの欠陥を検知する感度が良く、作業効率にも優れる。以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、変更、修正、改良を加え得るものである。本発明のフィルタの検査方法は、多孔質のフィルタ以下、特に言及のない限り多孔質のフィルタを、単にフィルタと称するを対象とし、フィルタに欠陥が存在すると、この欠陥を検知することができる。本発明のフィルタの検査方法は、フィルタを湿気を含む空気にさらす加湿工程を有する。さらに、本発明のフィルタの検査方法は、加湿工程を経て湿った状態にあるフィルタの内部に水粒子を導入し、フィルタの内部を通過して流出した水粒子を検出してフィルタの欠陥を検知する検知工程を有する。水粒子を一方の側からフィルタに当てると、フィルタに存在する細孔を通過可能な粒子径を有した水粒子については、細孔を通過して、フィルタの反対側から流出していく傾向がある。ここで、フィルタを本来通過することができない大きな粒子状の物質でも通過させてしまうような穴やひびなどの欠陥が存在すると、この欠陥が存在する箇所からは、欠陥のない箇所と比べ、より多くの水粒子が通り抜けてしまったり、細孔を通過できない大きな粒子径の水粒子が通り抜けてしまったりする傾向がある。したがって、フィルタの一方の側から水粒子を当て、フィルタの反対側から流出してくる水粒子の数や水粒子の大きさを観察すると、フィルタにおける欠陥の有無の判別や、フィルタの形状や検知する条件によっては欠陥の存在する場所の識別をすることができる。水粒子を当ててフィルタの欠陥を検知する方法では、検知されるフィルタが乾燥していると、水粒子がフィルタに吸収されてしまってフィルタを通り抜けにくくなる傾向がある。例えば、フィルタの一部分で水粒子の吸収が生じてしまった場合、その一部分が他の部分よりも多くの水粒子を通過させてしまうはずの欠陥に該当していていると、この欠陥のある部分と他の正常な部分との間で水粒子の流出の様子が異ならなくなってしまうことが起こり得る。このようなときには、欠陥の存在を検知することができなくなってしまう。また、フィルタの大半の部分で水粒子の吸収が生じてしまっているもののフィルタの一部分で水粒子の吸収が生じない場合には、フィルタに欠陥が存在しなくても、水粒子の吸収が生じない一部分で他の部分よりも多くの水粒子を流出させてしまうことも生じ得る。このようなときには、欠陥が存在しないはずの正常なフィルタに対して欠陥ありと誤認定してしまうことになる。本発明のフィルタの検査方法のように、加湿工程を経てフィルタの表面が湿った状態となっていると、水粒子をフィルタに当てた場合に、水粒子がフィルタに吸収されにくい。したがって、本発明のフィルタの検査方法では、上記した例のように、フィルタが水粒子を吸収してしまうことに起因した、欠陥の検知を漏らしてしまう事や正常なものを欠陥ありとする検知してしまう事などを生じにくくすることができる。また、検知工程では、加湿工程を経て湿った状態のフィルタを検知工程の対象としているため、フィルタの内部に導入された水粒子は、フィルタの表面に付着して留まったり、フィルタの内部に染み込んだままフィルタに保持されたりしにくい傾向がある。そのため、本発明では、検知工程の際にフィルタの内部に水微粒子を導入すると、水粒子が速やかにフィルタの内部を通過して流出してくる傾向にあるため、検知工程に要する時間を短縮することが可能となる。また、フィルタの内部に水粒子を導入し始めた後、フィルタを流出する水粒子の状態が安定するまでに要する時間についても短くなる傾向にある。すなわち、本発明のフィルタの検査方法では、フィルタの内部に水粒子を導入し始めると、短時間のうちに欠陥の検知が可能となる状態にすることができる。さらに、加湿工程を経て湿った状態にあるフィルタでは、フィルタに付いた水が気化するときに、フィルタから熱が奪われていく。したがって、フィルタの温度を下げてから検知工程を行うことができる。そして、検知工程において、温度が下がったフィルタの内部に水粒子を導入すれば、水粒子はフィルタの熱を受けて蒸発しにくくなる。そのために、検知工程で検出される水粒子の数が増え、フィルタの欠陥を検知する感度を高めることができる。また、本発明のフィルタの検査方法では、加湿工程を経たフィルタに対して直ちに検知工程を行う必要はなく、加湿工程を経て湿った状態のフィルタに対して検知工程を行うことができればよい。例えば、加湿工程を経たフィルタをしばらく待機させ、その後、検知工程を行ってもよい。本発明のフィルタの検査方法においては、加湿工程後の待機時間の長さを調節することができる場合には、作業者の作業時間や検知工程で用いる装置の混雑具合などの状況に応じて検査を行うことができる。ここで、加湿工程の後から検知工程を行うまでの時間は、1時間以内にすることが望ましい。本発明のフィルタの検査方法は、加湿工程において、湿気を含む空気に含まれた水分によってフィルタの質量をフィルタの体積1リットル当たり0.05g~600g増加させることが好ましい。このようにすることで、フィルタは、乾いているでもなく、湿り過ぎるでもない状態となり、水粒子を用いた欠陥の検知に適した状態となる。さらに、上述した数値範囲については、フィルタを湿り過ぎないようにできる観点からは、湿気を含む空気に含まれた水分によって増加するフィルタの体積1リットル当たりの質量の上限値が500gであることがより好ましく、特に、100gであることがより一層好ましい。また、フィルタを乾かないようにできる観点からは、湿気を含む空気に含まれた水分によって増加するフィルタの体積1リットル当たりの質量の下限値が0.1gであることがより好ましく、特に、10gであることがより一層好ましい。本発明のフィルタの検査方法は、加湿工程において、フィルタの一の端面から湿気を含む空気をさらしながら、フィルタの他の端面から前記湿気を含む空気を吸引することが好ましい。このようにすることで、フィルタをムラなく湿らせることができるため、検知工程において、フィルタの一部分で水粒子を吸収してしまうことも少なくなる。したがって、検知工程でフィルタから流出してくる水粒子の様子を欠陥の有無により鮮明に反映させることができる。なお、フィルタの一の側およびフィルタの他の側は、流体がフィルタの内部を一方向で通過するときの、フィルタ内に流体が流入する側と、この流入した流体がフィルタ外へ流出する側との関係を表す。本発明のフィルタの検査方法は、加湿工程において、フィルタの一の端面から湿気を含む空気を圧入することが好ましい。このようにすることで、フィルタをムラなく湿らせることができるため、検知工程において、フィルタの一部分で水粒子を吸収してしまうことも少なくなる。したがって、検知工程でフィルタから流出してくる水粒子の様子を欠陥の有無により鮮明に反映させることができる。本発明のフィルタの検査方法は、効率を上げる観点から、加湿工程にて一のフィルタを湿気を含む空気にさらしながら、検知工程にて加湿工程を既に経た他のフィルタについて欠陥を検知することが好ましい。このように、一のフィルタについての加湿工程と、他のフィルタについての検知工程とを行う時間が、全部または一部重複していることにより、所定の時間内により多くのフィルタを検査できるようになる。本発明のフィルタの検査装置は、多孔質のフィルタを湿気を含む空気にさらす加湿手段と、加湿手段によって湿気を含む空気にさらされて湿った状態にあるフィルタの内部に水粒子を導入し、フィルタの内部を通過して流出した水粒子を検出してフィルタの欠陥を検知する検知工程と、を備える。フィルタが加湿手段によって湿気を含む空気にさらされて湿った状態となっていると、上述した理由から、欠陥の検知を漏らしてしまうことや正常なものを欠陥ありとする検知してしまうことなどが生じにくくできる。また、フィルタが加湿手段によって湿気を含む空気にさらされて湿った状態となっていると、検知手段によって導入した水粒子が速やかにフィルタの内部を通過して流出してくる傾向にあり、また、フィルタを流出する水粒子の状態が安定するまでに要する時間についても短くなる傾向にある。そのため、検知に要する時間を短くすることも可能となる。また、本発明のフィルタの検査装置は、フィルタが水粒子を用いた欠陥の検知に適した状態となるため、加湿手段が湿気を含む空気に含まれた水分によってフィルタの質量をフィルタの体積1リットル当たり0.05g~600g増加させることが好ましい。このようにすることで、フィルタは、乾いているでもなく、湿り過ぎるでもない状態となり、水粒子を用いた欠陥の検知に適した状態となる。さらに、上述した数値範囲については、フィルタを湿り過ぎないようにできる観点からは、湿気を含む空気に含まれた水分によって増加するフィルタの体積1リットル当たりの質量の上限値が500gであることがより好ましく、特に、100gであることがより一層好ましい。また、フィルタを乾かないようにできる観点からは、湿気を含む空気に含まれた水分によって増加するフィルタの体積1リットル当たりの質量の下限値が0.1gであることがより好ましく、特に、10gであることがより一層好ましい。また、本発明のフィルタの検査装置は、フィルタから流出する水粒子の様子を欠陥の有無により鮮明に反映させることができるため、加湿手段がフィルタの一の側から湿気を含む空気をさらしながらフィルタの他の側から湿気を含む空気を吸引することが好ましい。また、本発明のフィルタの検査装置は、フィルタから流出する水粒子の様子を欠陥の有無により鮮明に反映させることができるため、加湿手段がフィルタの一の側から湿気を含む空気を圧入することが好ましい。また、本発明のフィルタの検査装置は、効率を上げる観点から、加湿手段が一のフィルタを湿気を含む空気にさらしながら、検知手段が他のフィルタについて欠陥を検知することが好ましい。以下、本発明のフィルタの検査方法の一実施形態について説明することにより、本発明の内容をより詳しく述べる。本実施形態では、ハニカムフィルタを検査対象としている。図1は、検査対象となるハニカムフィルタ1の斜視図を示す。図示されるように、ハニカムフィルタ1は、2つの端面2a、2bを、筒状の外周壁8がつなぐ外観を備える。図2は、ハニカムフィルタ1の断面の模式図として、図1中のA-A’断面の一部を示す。その内部では、複数のセル3が、多孔質の隔壁4によって区画形成されて、2つの端面2a、2b間を貫通する。セル3は、端面2aの側と端面2bの側のうち、いずれかの端部が目封止部10によって封止される。さらに、端面2aおよび端面2bを正面からみると、目封止部10が互い違いに配置されている。図3は、本実施形態における欠陥検知の様子を模式的に示す。この図を参照し、本実施形態における欠陥検知の原理を説明する。ハニカムフィルタ1の端面2aでは、セル3a、3cが開口している。ハニカムフィルタ1の端面2aからセル3a、3c内に水粒子7を導入すると、水粒子7は、セル3a、3cを区画する隔壁4の細孔を通り抜け、隣のセル3b、3dに流入する図3中の矢印。そして、水粒子7は、端面2bに開口したセル3b、3dから流出する。図3に示したハニカムフィルタ1では、欠陥6となる大きな穴がセル3bとセル3cとを隔てる隔壁4に存在している。この欠陥6を多数の水粒子7が通り抜けてセル3bに流入していく。また、薄壁4に阻まれてしまうはずの大きな水粒子7も、セル3bに流入していく。したがって、端面2bにおいて、セル3bからは、多数の水粒子7が流出し、また大きな水粒子7も流出してくる。一方、セル3cとセル3dとを隔てる隔壁4には欠陥が存在していないため、大きな水粒子7はセル3dに流入できず、多数の小さな水粒子7がセル3dに入り込むこともない。したがって、端面2bにおいて、セル3dからは、小さな水粒子7が適量で流出し、大きな水粒子7が流出することはない。本実施形態では、端面2bから流出する水粒子7の様子をレーザー装置21を用いて検知する。レーザー装置21は、端面2bの近傍に設けられ、端面2b上に端面2bと平行な面状のレーザー光30を照射する。レーザー光30は、セル3b、3dから流出した水粒子7によって回折散乱する。この光の散乱によって水粒子7の存在を可視化し、検出することができる。レーザー光30の散乱による輝度の強弱は、その場所に存在する水粒子7の数や大きさに相関する。セル3bの位置の輝度L1は、多数の水粒子7の存在や大きな水粒子7の存在を反映しているために強くなる。対して、セル3dの位置の輝度L2は、セル3bの位置の輝度L1と比べると、少数の水粒子7の存在や小さな水粒子7の存在を反映しているため弱くなる。このような輝度L1と輝度L2との強度の差から、セル3bとセル3cとを隔てる隔壁4に欠陥6が生じていることを検知できる。図4は、本実施形態を実施するために用いることができるフィルタの検査装置の模式図である。この図に示された検査装置100は、本発明のフィルタの検査装置の一実施形態にも相当している。検査装置100には、加湿空気供給部53が設けられている。加湿空気供給部53には、湿気を含む空気を作る加湿器61、湿気を含む空気を貯留する加湿空気貯留用チャンバ63、加湿器60から加湿器空気貯留用チャンバ63へと湿気を含む空気を流すためのダクト65と送風ファン62が設けられている。検査装置100には、コンベア67が備えられており、このコンベア67に備えられたベルト69は、空気が通り抜けられるようにメッシュ状になっている。コンベア67には、ハニカムフィルタ1がベルト69の外側面70上に端面2aを合わせて載置される。加湿空気貯留用チャンバ63は、ベルト69の環の内側に設けられ、ベルト69の内側面68に向かって湿気を含む空気を排出することができる。そして、ベルト69に載せられたハニカムフィルタ1が加湿空気貯留用チャンバ63上にまで来ると、ハニカムフィルタ1に対してメッシュ状のベルト69ごしに湿気を含む空気をさらすことができる。湿気を含む空気は、ハニカムフィルタ1の端面2aからセル3内に速やかに流入し、隔壁4の細孔を通り抜け、端面2bから流出していく。これにより、ハニカムフィルタ1では、細孔が開口する隔壁4表面や細孔の内壁が湿った状態になる。ここで、ベルト69のメッシュについては、目開きはハニカムフィルタのセル密度より細かいことが好ましく、ハニカムフィルタ1を支えつつ湿気を含む空気を通過させることに支障がない範囲で適宜選択できる。また、メッシュ状のベルト69の材質は、金属製、樹脂製など、ハニカムフィイルタ1を載せて支えることができるものであればよい。さらに、メッシュ状のベルト69の色については、レーザー光などの反射を防ぐため、黒色であることが好ましい。また、検査装置100には、吸引部55が設けられており、加湿空気貯留用チャンバ63からハニカムフィルタ1の端面2aに向かって湿気を含む空気が排出されているときに、この吸引部55がハニカムフィルタ1の端面2bからセル3内の湿気を含む空気を吸引することができる。図4に示した例の吸引部55について詳しく述べると、吸引部55は、吸引用カップ71、ダクト73、排気ファン75、および昇降用シリンダ77を備えている。吸引用カップ71は、略円錐状に拡がった開口を有する形状を備えており、この開口をハニカムフィルタ1の端面2bに当てて空気を吸引することができる。吸引用カップ71をハニカムフィルタ1の端面2bに当てる際には、昇降用シリンダ77によって吸引用カップ71の位置を上下に移動させることができる。また、吸引用カップ71によって吸引された空気を、吸引用カップに連通するダクト71、さらにダクトに連通する排気ダクト75を経て排気することができる。検査装置100では、以上のように湿気を含む空気にさらされたハニカムフィルタ1を検出部33に送って欠陥の検知を行う。図4に示されるように、検査装置100は、検出部33を備えている。そして、検出部33は、水粒子導入部23と測定部25とを有している。水粒子導入部23は、フィルタ1の内部に水粒子7を導入するためのものであり、加湿器11、水煙タンク12、およびダクト13を備える。加湿器11は、水と空気を原料として水粒子7が浮遊する水煙20を発生させ、水煙20は、ダクト13を介して水煙タンク12内に送られる。水煙タンク12内では水煙20が加圧され、加圧された水煙20は、水煙タンク12から排出されて、フィルタ1の内部に導入される。フィルタ1は、内部に水煙20が導入されているとき、載置部37に設けられた載置台39に載せられている。なお、載置台39には、流通穴41が設けられているため、水煙タンク12から排出された水煙20をフィルタ1の内部に導入することができる。載置台39に載せたハニカムフィルタ1は、ハニカムフィルタ1の外周壁8が流通穴41の縁にちょうど架かった状態で置かれており、ハニカムフィルタ1の端面2aが流通穴41から水煙タンク12に向かって露わになった状態になっている。したがって、水煙タンク12は、水煙20をハニカムフィルタ1の端面2aに直接噴きつけることができる。図3を参照し先に述べたように、水煙20は、ハニカムフィルタ1の端面2からセル3内の流入し、反対側の端面2bから外部へ流出する。検査装置100では、端面2bから流出した水煙20中に浮遊する水粒子7を測定部25によって解析し、ハニカムフィルタ1における欠陥を検知する。測定部25は、レーザー装置21、カメラ15、および画像解析装置17を備える。レーザー装置21は、先に図3を参照して欠陥検知の原理について説明したように、ハニカムフィルタ1の端面2bの近傍に設けられてレーザー光30を照射する。レーザー装置21は、レーザーを照射する位置を変更できるように昇降機14に取り付けるとよい。カメラ51は、水粒子7より散乱した光を撮影する。カメラ51は、上下左右に移動させて位置を調節できるように、アーム16に取り付けるとよい。画像解析装置17は、カメラ51から撮影した情報を受け、輝度の強度の分布を表示する。図4に示すように、検出部33は、少なくとも対象物たるハニカムフィルタ1a及びカメラ15を閉鎖された収容室19内に収容できるようになっているとよい。これより、水粒子7の動きの乱れを少なくできる。その結果、フィルタ1ハニカムフィルタ1の欠陥6の生じた位置は、水粒子7の数や粒子径の大きさなどに差の生じた位置から正確に照合できる。また、収容室19には、扉18を設け、ハニカムフィルタ1の出し入れを行うときは、扉18を開き、水粒子7の検出を行うときは、扉18を閉じておくとよい。また、検査装置100では、ハニカムフィルタ1の内部を端面2aから端面2bに向かって水粒子7を通過させて1回目の検知をした後、逆に、端面2bから端面2aに向かって水粒子7を通過させて2回目の検知することも可能である。このように1つのハニカムフィルタ1について2回の検知を行うことで欠陥を見つける精度を高めることができる。図4に示した載置部37は、載置台39が中心を軸部43に支えられており、ハニカムフィルタ1を載置したまま軸部43を中心にルーレットのように回転することができる。検出部33にあったハニカムフィルタ1は、載置台39を半回転させると、収容室19外にある反転部35に送られる。図5は、図4のフィルタの検査装置の全容を俯瞰した模式図である。なお、この図を用いた説明に不要なものは省略している。図示されるように、載置台39において軸部43を中心として対称な場所にそれぞれ1つずつハニカムフィルタ1a、1bを置くと、一方のハニカムフィルタ1aが検出部33に配置し、もう一方のハニカムフィルタ1bを反転部35に配置することができる。反転部35では、ハニカムフィルタ1bを上下反転させることができる。また、反転させたハニカムフィルタ1bを、検出部33に配置されるまで反転部35にそのまま待機させることも可能である。ハニカムフィルタ1bは、図5に表すように、作業者38による人力で上下反転させてもよい。あるいは、反転部35では、把持具などの機械によってハニカムフィルタ1bの上下反転を行ってもよい図示せず。検出部33でハニカムフィルタ1aについて欠陥の検知をしている間に、反転部35でハニカムフィルタ1bを上下反転すれば検査の処理効率を高めることができる。検査装置100では、例えば、以下の手順で1つのハニカムフィルタに2回の検知を行うことができる。まず、コンベア67の終点まで来たハニカムフィルタ1を反転部35で載置台39に載せる。このとき、ハニカムフィルタ1は、端面2aが下側、端面2bが上側にあるものとする。続いて、載置台39を半回転させてハニカムフィルタ1を検出部33に移し、ハニカムフィルタ1の端面2aから水煙20を導入し、端面2bから流出した水煙20中の水粒子7を検出することで、1回目の欠陥の検知を行う。このとき、反転部35側の載置台39上には別のハニカムフィルタ1を載せる。1回目の検知の終了後、載置台39を半回転し、1回目の検知を終えたハニカムフィルタ1を反転部35に移し、ハニカムフィルタ1を上下反転させる図4中のハニカムフィルタ1bの状態と同じ。このとき、入れ替わりで検出部33に配置されたハニカムフィルタ1に対して端面2aから水煙20を導入し、このハニカムフィルタ1についての1回目の欠陥の検知を行う図4中のハニカムフィルタ1aの状態と同じ。その後、さらに載置台39を半回転し、1回目の検知を終えて反転部35で待機していたハニカムフィルタ1を検出部33に移す。そして、このハニカムフィルタ1に対して端面2bから水煙20を導入し、2回目の欠陥の検知を行う。上記の2回目の欠陥の検知を終了したハニカムカムフィルタ1については、載置台39を半回転させて反転部35に移し、乾燥部81のコンベア85に載せる。コンベア85に載せたハニカムフィルタ1は、搬送される途中で、送風部83によって乾燥した空気にさらされる。これにより、ハニカムフィルタ1から水分を除くことができる。以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。本実施例においては、多孔質体からなる隔壁を有し、隔壁によって流体の流路となる多数のセルが区画形成された筒状のハニカム構造体を検査対象のハニカムフィルタに用いた。このハニカム構造体は、円筒状の外周壁外径250mm、内径1mmの内部が隔壁による区画されてハニカム構造が形作られている。また、外周壁および隔壁はともにコージェライトから形成され、セルの断面形状が四角形、隔壁厚さは0.3mm、セル密度は46.5セル/cm2であった。このハニカム構造体の端面の対角線上には、85個のセルが存在している。このハニカム構造体は、適当な粘度に調整した坏土を、上述したセル形状、隔壁厚さ、セル密度を有する口金を用いて押出成形し、乾燥後、両端面を切断して平滑面とすることにより製造した。さらに、このハニカム構造体の端面をセラミックスラリーに押し付けることにより、所定のセル内にセラミックススラリーを充填し、セルの端部を目封止した。その後、1450°Cで焼成し、検査対象となるハニカムフィルタを得た。なお、この製造方法によれば、正常欠陥無しのハニカムフィルタを製造できる。また、上述したハニカムフィルタを製造する過程において、さらに所定の処理を行うことにより、20個のセルに欠陥が生じているハニカムフィルタを製造した。実施例1~6、比較例1上述した2種のハニカムフィルタ正常なハニカムフィルタ、20個のセルに欠陥があるハニカムフィルタのそれぞれに対し、ハニカムフィルタの一方の端面から湿気を含んだ空気を導入し、ハニカムフィルタの内部を目的の状態になるまで加湿した。なお、比較例1では、加湿を行わなかった。この加湿によって、ハニカムフィルタの体積1リットルあたりに増加した質量を表1に示す。加湿後、ハニカムフィルタの一方の端面から水粒子を内部に導入し、他方の端面より流出した水粒子にレーザー光を照射して、レーザー光の散乱による輝度の強弱を測定した。検出精度については、優良、可、不可の4段階で評価した。20個のセルに欠陥があるハニカムフィルタについて、20個中で18個以上の欠陥を検出した場合を優欠陥検出精度90以上、20個中で14~17個の欠陥を検出できた場合を良欠陥検出精度70以上90未満、20個中で10~13個の欠陥を検出できた場合を可欠陥検出精度50以上70未満、20個中で9個以下の欠陥しか検出できなかった場合を不可欠陥検出精度50未満と判定した。結果を表1に示す。また、正常のハニカムフィルタについてのレーザー光の散乱による輝度は、欠陥検出精度の高さと相関関係があることが判明した。すなわち、欠陥検出精度が高くなるにつれて、正常のハニカムフィルタについてのレーザー光の散乱による輝度もより高くなり、また、セルが開口している箇所と目封止されている箇所とのコントラストがより明瞭になる傾向にあった。