"アームを有するマニピュレータと、3次元センサと、この3次元センサの内側の検知空間内に位置する入力体に関連して生じる、発光素子から受光素子に到達する光の遮断を検知することにより、この検知空間内における上記入力体の位置の3次元情報を出力する操作入力手段と、上記操作入力手段から得られた入力体の位置の3次元情報にもとづいて、上記マニピュレータのアームを上記検知空間内の入力体の位置に対応する位置に移動させる制御手段と、を備えるマニピュレータ装置であって、上記3次元センサが、枠状のフレームと、この枠状のフレームにおいて互いに対向する一方の部分に配設された発光側光導波路と、他方の部分に配設された受光側光導波路と、上記発光側光導波路に接続される発光素子と、上記受光側光導波路に接続される受光素子とを備え、上記発光素子からの光を出射する発光側光導波路のコアの各先端部が、上記枠状のフレームの一側部の内縁に位置決めされ、上記受光側光導波路のコアの各先端部が、この枠状のフレームの他側部の内縁に位置決めされ、上記発光側光導波路のコアの各先端部から出射された光により、上記フレーム内の検知領域に、枠の縦横に交差する光の格子が形成される光学式センサを、上記フレームの厚さ方向に同軸的に複数枚積み重ねて形成された3次元センサ、であることを特徴とするマニピュレータ装置。しかしながら、上記のようなジョイスティック等を備える従来のマニピュレータ装置においては、その操作入力手段に、ばねやリンク機構およびスイッチやセンサ等が多数使用されているため、上記操作入力手段マスタの構造が複雑で重いうえ、その入力精度感度を高めようとすると、さらに重くて高価な構成となってしまう。しかも、上記スイッチやセンサ等には、接触式のものが用いられているため、継続使用による入力精度感度の低下は避けられず、高い精度を維持しようとすれば、これらを定期的にメンテナンスするか、あるいは交換するか等の手間が生じる。また、衛生管理を求められる工場や、手術等の医療分野においては、上記ジョイスティック等の操作入力手段マスタに触れずに、マニピュレータ等スレーブを操縦したいという要望もあり、それに対応できるマニピュレータ装置の開発が望まれている。本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、操作入力手段に直接触れずに、非接触で操縦することのできるマニピュレータ装置の提供をその目的とする。上記の目的を達成するため、本発明のマニピュレータ装置は、アームを有するマニピュレータと、3次元センサと、この3次元センサの内側の検知空間内に位置する入力体に関連して生じる、発光素子から受光素子に到達する光の遮断を検知することにより、この検知空間内における上記入力体の位置の3次元情報を出力する操作入力手段と、上記操作入力手段から得られた入力体の位置の3次元情報にもとづいて、上記マニピュレータのアームを上記検知空間内の入力体の位置に対応する位置に移動させる制御手段と、を備えるマニピュレータ装置であって、上記3次元センサが、枠状のフレームと、この枠状のフレームにおいて互いに対向する一方の部分に配設された発光側光導波路と、他方の部分に配設された受光側光導波路と、上記発光側光導波路に接続される発光素子と、上記受光側光導波路に接続される受光素子とを備え、上記発光素子からの光を出射する発光側光導波路のコアの各先端部が、上記枠状のフレームの一側部の内縁に位置決めされ、上記受光側光導波路のコアの各先端部が、この枠状のフレームの他側部の内縁に位置決めされ、上記発光側光導波路のコアの各先端部から出射された光により、上記フレーム内の検知領域に、枠の縦横に交差する光の格子が形成される光学式センサを、上記フレームの厚さ方向に同軸的に複数枚積み重ねて形成された3次元センサ、である構成をとる。要約すれば、本発明のマニピュレータ装置は、操縦者オペレータから離れた位置にあるマニピュレータアーム等のスレーブに指示を出す操作入力手段として、手指やペン等の入力体の外形形状や位置あるいは軌跡を、非接触状態で検知して操作入力とすることのできる光学式の3次元センサ立体センサを用いることにより、所期の目的を達成するものである。すなわち、本発明のマニピュレータ装置では、操作入力手段の入力部として、枠状のフレームの内側に物体検知用の光の格子が形成される光学式センサを、その厚さ方向に複数枚積み重ねて形成した3次元センサを用いており、この3次元センサの内側空間には、各光学式枠状センサによる検知領域光の格子による平面が軸方向に所定の間隔で連なる検知空間が形成されている。そのため、この検知空間に、マニピュレータの操作に用いる入力体操縦者の手指やペン等を挿入したり通過させたりすると、その入力体が上記各光の格子の一部を遮断するため、その遮断された部分が上記受光素子により検知され、上記入力体の2次元位置情報上記軸に直交するx,y方向位置、大きさ等を取得することができる。また、入力体が上記軸方向に所定の間隔で形成された光の格子を順次通過することにより、積み重ねられた各光学式センサの受光素子で順次検知されることから、上記入力体特にその先端部位の3次元位置情報上記軸に沿ったz方向位置や、傾き、速度加速度等を取得することができる。したがって、本発明のマニピュレータ装置は、これら3次元センサから得られた情報にもとづいて、操作入力手段に直接触れることなく、マニピュレータを操作することができる。つぎに、本発明の実施の形態を、図面にもとづいて詳しく説明する。図1は、本発明の実施形態におけるマニピュレータ装置の全体構成を説明する図である。また、図2は、上記マニピュレータ装置の操作入力手段に用いられている3次元センサの構造を説明する分解斜視図であり、図3aは、上記3次元センサを構成する枠状の光学式センサの1つの構造を説明する図である。なお、図2においては、説明を容易にするために、3次元センサの入口開口を上向きに図示している。また、図2,図3aにおいては、フレーム1の長辺方向横方向をx方向とし、フレーム1の短辺方向縦方向をy方向とするとともに、フレーム1の厚さ方向をz方向としている。そして、これらの図では、光導波路コア2a,3aを鎖線で、フレーム1内側の格子状の光不可視の赤外光を一点鎖線で表示しており、光導波路コアの本数と格子状の光の本数とは、数を省略して描いている。本実施形態におけるマニピュレータ装置は、衛生管理が必要な工場や医療分野等で用いられるものであり、図1に示すように、アーム40aを有するマニピュレータ40スレーブと、このマニピュレータ40の動作動きを制御する制御手段スレーブコントローラ30と、光学式の入力インターフェース100を備える、上記マニピュレータ40操作用の入力手段マスタコントローラ20とから構成されている。また、上記光学式の入力インターフェースとして、図2に示すような、枠状のフレーム1と、このフレーム1に配置された発光側光導波路2および受光側光導波路3と、発光側光導波路2に接続される発光素子光源4と、受光側光導波路3に接続される受光素子アレイイメージセンサ5とを備える光学式センサ10を、その厚さ方向に複数枚積み重ねて形成された3次元センサ100を用いている。そして、図1のように、上記マスタコントローラ20は、3次元センサ100の内側の検知空間s内に位置する入力体この例では手指に関連して生じる、発光素子4から受光素子5に到達する光の遮断を検知することにより、この検知空間s内における上記入力体の位置の3次元情報を取得するとともに、このマスタコントローラ20が出力する上記入力体の位置の3次元情報にもとづいて、上記スレーブコントローラ30が、マニピュレータ40のアーム40aを、マニピュレータ40の周囲の可動域仮想空間S内の所定位置上記検知空間s内の入力体手指の位置に対応する位置に移動させるようになっている。これが、本実施形態におけるマニピュレータ装置の特徴である。上記マニピュレータ装置について、より詳しく説明すると、マニピュレータ40スレーブは、自由に折り曲げることのできる関節回転軸等を複数有するタイプのもので、その先端部に各種アタッチメント等図示省略を取り付けることにより、様々な作業に対応できるようになっている。なお、上記マニピュレータ40の関節回転軸等は、上記スレーブコントローラ30からの指令信号にもとづき、モータ,アクチュエータ等により駆動される。上記マニピュレータ40を制御するスレーブコントローラ30は、マニピュレータ40に指令信号を送信する制御部、上記マスタコントローラ20が出力する入力体手指等の位置の3次元情報等を演算する演算部、マニピュレータ40の位置や姿勢をモニタリングするフィードバック部や、通信部、メモリ部、電源部等を備えている。なお、上記スレーブコントローラ30には、上記入力体手指等の位置の3次元情報にもとづいて、マニピュレータ40が安全に動き回ることのできる可動域仮想空間Sが記憶されている。また、上記例図1では、スレーブコントローラ30とマニピュレータ40との間の通信回線は、ケーブル等の有線接続であるが、無線接続としてもよい。上記3次元センサ100を制御して、入力体手指等の位置の3次元情報を取得するマスタコントローラ20は、3次元センサ100における個々の光学式センサ10の光源4の発光を制御する制御部、上記個々の光学式センサ10のイメージセンサ5から得られる信号強度を解析して、検知空間s内における入力体の3次元位置を特定する演算部や、通信部、メモリ部、電源部等からなる。なお、上記例図1では、このマスタコントローラ20と3次元センサ100との間の通信は、ケーブル等の有線接続で行われ、マスタコントローラ20と上記スレーブコントローラ30との間が、無線接続で行われるようになっているが、これらはいずれも、有線接続あるいは無線接続のどちらでもよい。また、マニピュレータ40が、遠隔地にある場合、または、マスタコントローラ20側から直接見通せないほど離れている場合は、スレーブコントローラ30との間は有線接続とすることが好ましく、その場合、上記有線接続の回線を通じて上記マニピュレータ40の位置や姿勢等をモニタリングすることのできる、モニタ手段等を併設することが望ましい。つぎに、検知空間s立方体内の入力体の位置を検出する3次元センサ100は、図2に示すように、枠状のフレーム1と、この枠状の、相対する枠辺部に設けられた光導波路とからなる光学式センサ1010A,10B,10C,を、このフレームの厚さ方向z方向に複数枚この例においては10枚あるいは10層重ねて形成されている。そして、各光学式センサ10に配置された発光側光導波路2のコア2a鎖線で表示から分岐した各先端部2x,2yから出射された光一点鎖線、矢印は光の進行方向を示すにより、それぞれのフレーム1内の検知領域平面Tに、枠の縦横に交差する光の格子が形成される。上記3次元センサ100を構成する枠状の光学式センサ10の単体一枚について、より詳しく説明すると、この光学式センサ10は、図3aの平面図に示すように、枠状のフレーム1と、フレーム1内に配置された発光側光導波路2および受光側光導波路3と、上記フレーム1に取り付けられた発光素子光源4および受光素子アレイイメージセンサ5とを備えている。上記フレーム1は、後記の光導波路2,3を正確に位置決めするためのものであり、図3aのように、所定の幅を持った枠状で、その一面に形成された光導波路2,3により、枠状の内側に、平面状の検知領域Tが形成されるようになっている。なお、このフレーム1は、各フレーム1を軸方向に所定の間隔で積み重ねるためのスペーサとしての役割も兼用する。上記フレーム1の形成材料としては、ガラス,シリコン,金属や、比較的硬質な樹脂等、寸法安定性に優れる材料が用いられる。上記樹脂としては、例えば、ポリプロピレン,ポリエチレン,ポリエチレンナフタレート,ポリエステル,ポリアクリレート,ポリカーボネート,ポリノルボルネン,ポリイミド等があげられる。フレーム1への光導波路からの光の漏れを抑える観点からは、構成材料の屈折率は低い方が好ましく、ポリプロピレン,ガラス,シリコン等や、不透明な金属等が用いられる。上記発光側光導波路2および受光側光導波路3は、上記フレーム1上にもしくはフレーム1と一体に形成するか、あるいは、硬質のフレーム1上に別途作製した光導波路を貼り付けることにより、上記枠状のフレーム1において互いに対向する一方の部分と他方の部分とに配設されている。なお、これら光導波路2,3は、略L字状の光導波路2個を組み合わせて構成してもよい。また、上記光導波路2,3がフレーム1と一体の枠状の場合、この光導波路2,3に共通のクラッド層後記アンダークラッド層自体をフレーム1として、その上に光路となるコアを形成すればよい。上記発光側光導波路2のコア2a鎖線は、図3aのように、フレーム1において隣り合う2辺図においては上辺と左辺に光を分配できるように、光源4に接する光入射側の端部から、フレーム1の長辺側x方向および短辺側y方向の2方向に分岐する形状に形成されており、光出射側の各先端部2x,2yが、枠状のフレーム1の一側部の内縁図3aにおいては上側縁と左側縁の所定位置に、それぞれ位置決めされている。そして、光源4からの光を上記各先端部2x,2yから出射発光させることにより、上記フレーム1の内側の検知領域Tに、枠の縦横xy方向に交差する光の格子が形成される。一方、上記受光側光導波路3のコア3a鎖線は、上記発光側光導波路2のコア2aに対して検知領域Tを挟んで対向するフレーム1部分図においては下辺と右辺に配設されており、そのコア3aの各先端部3x,3yも、上記発光側のコア2の各先端部2x,2yに対向する、フレーム1の他側部の内縁図3aにおいては下側縁と右側縁の所定位置にそれぞれ位置決めされている。そして、上記検知領域Tを通過して、上記各先端部3x,3yに入射した光が、これら各先端部3x,3yのひとつひとつに対応する多数の受光素子を有する受光素子アレイイメージセンサ5に導かれるようになっている。上記光学式センサ10を構成する発光側光導波路2および受光側光導波路3としては、コアの正確なパターニングが容易な、ポリマー系の光導波路が好ましい。このポリマー系の光導波路は、樹脂材料を用いて形成されたアンダークラッド層図3aにおいてはフレーム1とオーバークラッド層図示せずの間に、フォトリソグラフィ法等により、上記各形状のコア2a,3aを精密にパターニングすることができる。なお、上記発光側光導波路2の出射側端部コア2aの各先端部2x,2yと、上記受光側光導波路3の入射側端部コア3aの各先端部3x,3yとは、フレーム1の内側に向かって反るレンズ状平面視円弧状になっていることが望ましい。上記発光側光導波路2のコア2aの各先端部2x,2yを上記レンズ状とすることにより、これら先端部2x,2yから、フレーム1の内縁に垂直でかつ互いに平行な光線を出射することができる。また、上記受光側光導波路3のコア3aの各先端部3x,3yを上記レンズ状とすることにより、これら先端部3x,3yの集光効率を高めることができる。また、光導波路の各コア2a,3aを形成する材料としては、樹脂材料高分子材料の他にも、例えばガラス等、周囲に配設されるクラッド層より屈折率の高い材料で構成することもできる。ただし、コア2a,3aと周囲のクラッド層との屈折率の差は、0.01以上であることが好ましく、上記形状のパターンニング性等も考慮すると、紫外線硬化樹脂等の感光性樹脂が最も好ましい。使用する紫外線硬化樹脂としては、アクリル系,エポキシ系,シロキサン系,ノルボルネン系,ポリイミド系等があげられる。さらに、コア2a,3aの周囲のクラッド層は、上記紫外線硬化樹脂等の感光性樹脂のうち、コア2a,3aより屈折率の低い材料を用いればよい。その他にも、クラッド層には、ガラス,シリコン,金属,樹脂等、平坦性を有する基板を兼用する材料を用いることもできる。クラッド層は、コア2a,3a下側のアンダークラッド層この場合はフレーム1のみとしてもよく、コア2a,3aを覆うオーバークラッド層は、形成しなくてもよい。そして、上記光導波路は、プラズマを用いたドライエッチング法,転写法,露光現像を用いたフォトリソグラフィ法,フォトブリーチ法等により作製することが可能である。上記光学式センサ10に使用する発光素子光源4には、発光ダイオードLEDまたは半導体レーザー等が用いられ、なかでも、光伝送性に優れるVCSEL垂直共振器面発光レーザーが好適に用いられる。上記光源4が出射する光の波長としては、近赤外波長:700~2500nmが好ましい。また、上記受光素子アレイイメージセンサ5としては、CCD,CMOS等のイメージセンサや、多数の受光素子が一列に並ぶCMOSリニアセンサアレイ等を用いることができる。つぎに、上記3次元センサ100を用いた入力体手指等の位置の3次元情報座標等の取得方法について述べる。図4a~図4dは、本発明のマニピュレータ装置の入力手段における入力体の座標の検知方法を説明する図である。入力体の位置の3次元情報を取得する方法を説明する前に、まず、3次元センサ100を構成する枠状の光学式センサ10一枚を用いて、入力体の2次元座標を検出する方法について説明する。前記マスタコントローラ20の指令等により、各光学式センサ10の光源4が光例えば赤外光を出射した場合、その光は上記発光側光導波路2のコア2aを通じて各先端部2x,2yからフレーム1内に出光され、前記図3aに示すように、検知領域T内に光の格子一点鎖線を形成する。この時、上記検知領域T内に、図のような物体手指等の入力体が存在すると、図3aのように、上記検知領域T内を通る格子状の光の一部が物体により遮断され、その遮断部分が、図3bに示すような、上記イメージセンサ5における該当受光素子の信号受光強度の低下となって現れる。そして、この信号の低下した個所素子を、上記マスタコントローラ20等の走査で検出することにより、上記検知領域T内における物体の2次元座標x方向位置およびy方向位置、図3a中の手指の触れ位置を特定することができる。つぎに、上記枠状の光学式センサ10を複数枚積み重ねて構成された3次元センサ100を使用して、入力体Pの位置の3次元情報z方向位置を検出する場合、例えば、図4aの原理図のように、上開口側から順に10A,10B,10C,の光学式センサ10が積層された3次元センサ100の検知空間sに、図の位置まで入力体P入力体のモデルが挿入される場合を考えると、まず、開口側の第1枚目一層目の光学式センサ10Aにおいて、図4bのように、上記入力体Pによる光の遮断に相当する位置の受光素子の信号受光強度が、しきい値点線で表示以下に低下する。この信号の低下を、上記マスタコントローラ20等の走査により検出した場合、上記入力体Pが光学式センサ10Aのz方向位置を通過した、すなわち、入力体Pが光学式センサ10Aの位置を越えて挿入されたことが分かる。ついで、前記マスタコントローラ20の制御等により、上記10Aより下方向の光学式センサ10B,10C,を順次走査すると、図4cおよび図4dのように、上記入力体Pが光を遮断した位置x,y座標が、上記光学式センサ10Aと同様に特定される。ここで、上記入力体Pによる光の遮断が充分な光学式センサ10B図4c参照は、上記イメージセンサ5における受光素子の信号が、上記光学式センサ10A同様、しきい値点線以下まで低下しているのに対し、上記入力体Pの先端部による光の遮断が不充分な光学式センサ10C図4d参照は、イメージセンサ5における受光素子の信号が、しきい値点線まで低下せず、入力体Pの存在が検知できない状態となっている。このように、上記枠状の光学式センサ10を複数枚積み重ねて構成した3次元センサ100においては、積み重ねられた光学式センサ10をz方向に走査することにより、開口側上側から何枚目までの光学式センサ10が、上記入力体Pによる信号の低下を検知したかを検出でき、これにより、上記入力体Pの先端位置z方向位置を特定することができる。なお、上記入力体Pによる光の遮断を判定するためのしきい値は、通常、光源4を発光させて光を遮らない時キャリブレーションあるいはブランクの信号強度を100とした場合、40~80相対受光強度の範囲で設定される。また、上記マスタコントローラ20の演算部等により、各光学式センサ10A,10B,10Cから得られる2次元情報x方向およびy方向に幅を持った面積的情報に、上記z方向の座標物体の高さに相当する情報を加味することによって、入力体Pの輪郭や軌跡等を検出することもできる。上記のように、本実施形態のマニピュレータ装置によれば、上記マスタコントローラ20が備える3次元センサ100内側の検知空間s内で、操縦者の手指やペン等の入力体Pを動かすことにより、この入力体のx,y,z座標等の3次元情報を取得することができる。したがって、このマニピュレータ装置は、これら3次元センサ100から得られた情報にもとづいて、操作入力手段に直接触れることなく、非接触で、マニピュレータ40のアーム40aを、直感的に操作することができる。つぎに、上記マニピュレータ装置の操作入力手段入力インターフェースに用いられる、3次元センサ100を作製する方法の一例について説明する。ただし、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。まず、上記3次元センサ100に用いる光学式センサ10一枚の製法を説明する。図5a~fはいずれも、発光側光導波路2および受光側光導波路3を備える光学式センサ10の製法を説明する図である。なお、上記発光側光導波路2と受光側光導波路3とは、そのコア2aと3aの形状のみの違いであり、同様にして作製することができるため、後記の製法および図5a~fでは、受光側光導波路3の図示を省略し、発光側光導波路2のみを主体に説明している。本実施例においては、光出射用のコア2aを有する発光側光導波路2と、光入射用のコア3aを有する受光側光導波路3とを、枠状にかつ一体に形成する図3a参照。作業用基台の準備まず、光導波路2および3を作製するのに用いる基台フラットベースBを準備する。この基台Bとしては、例えば、金属,樹脂,ガラス,石英,シリコン等、硬質なものが用いられる。なお、上記基台Bは、光導波路作製後に剥離除去されるものである。アンダークラッド層の作製ついで、図5aに示すように、上記基台Bの表面に、後に光導波路のフレーム1となるアンダークラッド層11を形成する。このアンダークラッド層11は、感光性樹脂を形成材料として、フォトリソグラフィ法により形成することができる。アンダークラッド層11の厚さは、例えば、5~50μmの範囲内に設定される。コアの作製つぎに、図5bに示すように、上記アンダークラッド層11の表面に、フォトリソグラフィ法により前記パターンの光出射用のコア2aと、光入射用のコア3a:図示省略を形成する。なお、コア2a,3aの形成材料としては、上記アンダークラッド層11および後記のオーバークラッド層12図5f参照の形成材料よりも屈折率が高い感光性樹脂が用いられる。オーバークラッド層の作製ついで、図5cに示すような、オーバークラッド層形成用の、透光性を有する四角枠状の成形型13を準備する。この成形型13には、オーバークラッド層12図5eの表面形状に対応する型面を有する凹部13aが形成されている。そして、その凹部13aを上にして、成形型13を成形ステージ図示せずの上に設置し、その凹部13aに、オーバークラッド層12の形成材料である感光性樹脂組成物ワニス12’を充填する。ついで、図5dに示すように、上記アンダークラッド層11の表面にパターン形成したコア2a,3aを、上記成形型13の凹部13aに対して位置決めし、その状態で、上記アンダークラッド層11を上記成形型13に押圧し、上記オーバークラッド層12の形成材料である感光性樹脂組成物12’内に、上記コア2a,3aを浸す。そして、この状態で、紫外線等の照射線を、上記成形型13を透して上記感光性樹脂組成物12’に照射し、その感光性樹脂組成物12’を露光する。これにより、上記感光性樹脂組成物12’が硬化し、四角枠状の内周縁部がレンズ形状に形成された四角枠状のオーバークラッド層12が形成される。光導波路の脱型、打ち抜きつぎに、図5e図5dとは上下を逆に図示しているに示すように、上記成形型13から、オーバークラッド層12を、上記フレーム1,アンダークラッド層11およびコア2a,3aとともに脱型する。その後、刃型を用いた打ち抜き等により、基台Bごと、アンダークラッド層11を所定の四角形の枠状フレーム1の所定形状に切断する。そして、図5fのように、光導波路2および3を上記基台Bから剥離することにより、四角枠状でかつ一体の光導波路2,3を得る図3a参照。なお、上記実施例では、発光側光導波路2と受光側光導波路3とを一体に作製した例を示したが、これらは別々に作製してもよく、L字型光導波路等、さらに多くの光導波路パーツを組み合わせて形成してもよい。つぎに、上記四角枠状でかつ一体の光導波路2,3を用いて、光学式センサ10を作製する。光学式センサの作製まず、図3のように、上記発光側光導波路2の入射側端部に、光源4となるVCSEL垂直共振器面発光レーザーをアライメント光軸合わせして取り付けるとともに、上記受光側光導波路3の出射側端部に、受光素子アレイイメージセンサ5を、各コア3aと対応する受光素子1個の光軸が一致するようにアライメントして取り付ける。ついで、上記オーバークラッド層12のレンズ部を除く光導波路の上面を、保護板等により被覆することにより、枠状の光学式センサ10が得られる。上記保護板の形成材料としては、例えば、樹脂,金属,ガラス,石英,シリコン等があげられる。なお、保護板は設けなくてもよい。また、光源4やイメージセンサ5等には、これらを制御するマスタコントローラ20との接続線図示省略が配設される。3次元センサの作製そして、上記光学式センサ10を必要枚数準備し、図2のように、これらを同軸状に積み重ねることにより、本実施例の3次元センサ100を得ることができた。なお、図2においても、各光源4や各イメージセンサ5等の制御のための接続線は、図示を省略している。また、これら各光学式センサ10同士の間には、その軸方向の間隔距離を調整するスペーサ等を介在配置してもよい。3次元センサの動作確認上記3次元センサ100を、指示入力手段入力インターフェースとして利用することにより、本発明のマニピュレータ装置は、手指等の入力体の3次元情報座標を、x方向に1mm/ピッチ,y方向に1mm/ピッチ,z方向に1mm/ピッチの高精細な状態で取得することができた。これにより、マニピュレータ40のアーム40aは、入力体の繊細でかつ微妙な動きにも追随することができる。[実施例1]つぎに、上記実施例の3次元センサに用いた枠状光学式センサについて、その詳細を説明する。光導波路のアンダークラッド層の形成材料成分A:脂環骨格を含むエポキシ樹脂ダイセル化学工業社製,EHPE315075重量部成分B:エポキシ基含有アクリル系ポリマー日油社製,マープルーフG-0150M25重量部成分C:光酸発生剤サンアプロ社製,CPI-200K4重量部これら成分A~Cを、紫外線吸収剤チバジャパン社製,TINUVIN4795重量部とともに、シクロヘキサノン溶剤に溶解することにより、アンダークラッド層の形成材料を調製した。光導波路のコアの形成材料成分D:BisA骨格を含むエポキシ樹脂ジャパンエポキシレジン社製,157S7085重量部成分E:BisA骨格を含むエポキシ樹脂ジャパンエポキシレジン社製,エピコート8285重量部成分F:エポキシ基含有スチレン系ポリマー日油社製,マープルーフG-0250SP10重量部これら成分D~Fと上記成分C4重量部とを、乳酸エチルに溶解することにより、コアの形成材料を調製した。光導波路のオーバークラッド層の形成材料成分G:脂環骨格を有するエポキシ樹脂ADEKA社製,EP4080E100重量部この成分Gと上記成分C2重量部とを混合することにより、オーバークラッド層の形成材料を調製した。光導波路の作製ガラス製基台の表面に、上記アンダークラッド層の形成材料ワニスを塗布した後、160°C×2分間の加熱処理を行い、感光性樹脂層を形成した。ついで、上記感光性樹脂層に対し、紫外線を照射して積算光量1000mJ/cm2の露光を行い、厚さ10μmの四角状のアンダークラッド層波長830nmにおける屈折率1.510を形成した。ついで、上記アンダークラッド層の表面に、上記コアの形成材料を塗布した後、170°C×3分間の加熱処理を行い、感光性樹脂層を形成した。つぎに、フォトマスクを介してギャップ100μm、紫外線を照射し、積算光量3000mJ/cm2の露光を行った。続いて、120°C×10分間の加熱処理を行い、その後、現像液γ-ブチロラクトンを用い現像することにより、未露光部分を溶解除去した。その後、120°C×5分間の乾燥処理を行い、幅30μm×高さ50μmのコア波長830nmにおける屈折率1.570をパターン形成した。つぎに、オーバークラッド層形成用の、透光性を有する四角枠状の成形型を準備した。この成形型には、オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹部が形成されている図5c参照。そして、その凹部を上にして、成形型を成形ステージの上に設置し、その凹部に、上記オーバークラッド層の形成材料を充填した。ついで、上記アンダークラッド層の表面にパターン形成したコアを、上記成形型の凹部に対して位置決めし、その状態で、上記アンダークラッド層を上記成形型に押圧し、上記オーバークラッド層の形成材料内に、上記コアを浸した。そして、この状態で、紫外線を、上記成形型を透して上記オーバークラッド層の形成材料に照射して積算光量8000mJ/cm2の露光を行い、四角枠状の内周縁部が凸状のレンズ部に形成された四角枠状のオーバークラッド層を形成した。その凸状のレンズ部は、側断面形状が略1/4円弧状のレンズ曲面曲率半径1.4mmを有するものであった。つぎに、上記成形型から、上記オーバークラッド層を、上記基台,アンダークラッド層およびコアとともに脱型し、刃型により所定の枠型形状に打ち抜いた後、ガラス製基台から剥離して、四角枠状の光導波路総厚1mmを得た図5f参照。光学式センサの作製つぎに、上記四角枠状の外縁に、発光素子Optowell社製,SM85-2N001および受光素子アレイ浜松ホトニクス社製,S-10226をアライメントして位置決め固定接着した。その後、上記光導波路の上に、これらを保護するポリカーボネート製保護板厚さ1mmを取り付け、光学式センサを得た。この光学式センサにおいて、光導波路部分は、上記保護板とを合わせて、総厚2mmであった。"