"表面のDBDプラズマ処理のための平坦電極1であって、前記電極1が、高電圧に上昇されることを意図され、かつ金属エンベロープ8を含み、前記金属エンベロープ8が、処理される表面27に対して平行に置かれることができる活性部分2を含み、前記活性部分2が誘電体シート4により外側を覆われているものにおいて、誘電体シート4がポリマー中間層6により活性部分2に固定されることを特徴とする電極。活性部分2の内部側が、金属エンベロープ8と熱交換器2,8を形成することを特徴とする請求項1に記載の電極。熱交換器2,8が、熱伝達流体10が流れる冷却回路34に連結されるように設計されていることを特徴とする請求項2に記載の電極。ポリマー中間層6が、0~100°Cの温度範囲に対して0.01×10-6/°C~1000×10-6/°Cの線熱膨張係数差に適合する破壊時の伸びを持つことを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載の電極。ポリマー中間層6が、その場での化学反応により製造されたポリマー、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、EVAエチレン酢酸ビニル、及びPVBポリビニルブチラールの群から選ばれた材料から作られることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載の電極。ポリマー中間層6がPVBポリビニルブチラールから作られることを特徴とする請求項5に記載の電極。熱伝達流体が、流体に低伝導率を持たせるために有利には低無機質含有量を持つ水であることを特徴とする請求項1~6のいずれか一つに記載の電極。金属エンベロープ8が、1~80m/Ωmm2の電気伝導率と50~400W/mKの熱伝導率の両方を持つ金属から作られることを特徴とする請求項1~7のいずれか一つに記載の電極。金属が銅であることを特徴とする請求項8に記載の電極。表面のDBDプラズマ処理のための平坦電極1を含む装置であって、前記電極が、少なくとも一つの冷却回路34に連結され、かつ高電圧に上昇されることを意図されており、前記電極1が金属エンベロープ8を含み、前記金属エンベロープ8が、処理される表面27に対して平行に置かれることができる活性部分2を含み、前記活性部分2が誘電体シート4により外側を覆われているものにおいて、誘電体シート4がポリマー中間層6により活性部分2に固定され、活性部分2の内部側が金属エンベロープ8と熱交換器2,8を形成し、熱交換器が、熱伝達流体10が流れる少なくとも一つの冷却回路34に連結されていることを特徴とする装置。電極が、二つの冷却回路、即ち第一熱交換器2,8を備えた一次冷却回路32と第二熱交換器28を備えた二次冷却回路34、に連結され、第二熱交換器28が、低電気伝導率を持つ材料から作られた導管20,22を介して一次冷却回路32を二次冷却回路34に連結し、これらの導管20,22の長さと断面が、これらの導管20,22の絶縁抵抗が第二熱交換器28を接地することにより無視できる漏れ電流しか起こさないほど十分な高さであるようなものであるように計算されていることを特徴とする請求項10に記載の装置。二次冷却回路34の供給20及び戻り22導管が、ドラム24の周りに巻かれていることを特徴とする請求項11に記載の装置。二次冷却回路34の供給20及び戻り22導管が、ドラム24上に並んで置かれていることを特徴とする請求項12に記載の装置。二次冷却回路34が、熱伝達流体10の伝導率を周期的に測定する制御システム38を含むことを特徴とする請求項10~13のいずれか一つに記載の装置。本発明の第一目的は、DBD法のための大きな平坦電極を提供することである。本発明の別の目的は、この電極を耐久性のあるものにすることである。本発明の別の目的は、この電極の局所的なアーク放電を防ぐことである。本発明の別の目的は、この電極の製造を比較的容易にしかつ合理的に安価にすることである。本発明の第一主題は、表面のDBDプラズマ処理のための平坦電極であり、前記電極は、高電圧に上昇されることを意図され、かつ金属エンベロープを含み、前記エンベロープは、処理される表面に対して平行に置かれることができる活性部分を含み、前記活性部分は誘電体シートにより外側を覆われており、前記電極は、誘電体シートがポリマー中間層により活性部分に固定されていることを特徴とする。有利には、活性部分の内部側は、金属エンベロープと熱交換器を形成し、この熱交換器は、熱伝達流体または冷媒冷却剤とも呼ばれるが流れる冷却回路に連結されるよう設計されることができる。本発明の別の主題は、表面のDBDプラズマ処理のための平坦電極を含む装置であり、この電極は、少なくとも一つの冷却回路に連結され、かつ高電圧に上昇されることを意図されており、前記電極は金属エンベロープを含み、金属エンベロープは、処理される表面に対して平行に置かれることができる活性部分を含み、前記活性部分は誘電体シートにより外側を覆われており、誘電体シートがポリマー中間層により活性部分に固定され、活性部分の内側が金属エンベロープと熱交換器を形成しており、この熱交換器が、熱伝達流体が流れる少なくとも一つの冷却回路に連結されていることを特徴とする。有利には、ポリマー中間層は、0~100°Cの温度範囲に対して0.01×10-6/°C~1000×10-6/°Cの線熱膨張係数差に適合する破壊時の伸びを持つ。これは、誘電体シートと電極の活性部分の間の良好な接着を可能にし、かつ加熱されたときに互いに対する引裂または剪断のようないかなる機械的劣化も防止する。一つの有利な実施態様によれば、ポリマー中間層は、その場での化学反応により製造されたポリマー、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、EVAエチレン酢酸ビニル、及びPVBポリビニルブチラールの群から選ばれたポリマーから作られる。有利には、この層は0.3~0.7mmの厚さである。なぜならこの層は誘電体シートと活性部分の寸法のいかなる変動も考慮に入れるのに十分な厚さでなければならないからである。一つの好適実施態様によれば、中間層はPVBポリビニルブチラールから作られる。別の好適実施態様によれば、冷却媒体は水である。この水は、水に低伝導率を持たせるために低無機質含有量を持つことが好ましい。電極は、良好な電気伝導率及び良好な熱伝導率の両方を持つ材料から作られることが極めて有利である。典型的には、金属エンベロープは1~80m/Ωmm2の電気伝導率と50~400W/mKの熱伝導率の両方を持つ金属から作られる。金属は銅であることが有利である。誘電体層は、例えばアルミナ、石英もしくはガラスセラミックのシート、または同一効果に対して使用されることができる別の好適な材料のシートである。好ましくは、この装置では、電極は、二つの冷却回路、即ち第一熱交換器を備えた一次冷却回路と第二熱交換器を備えた二次冷却回路に連結される。第二熱交換器は、低電気伝導率を持つ材料から作られた導管を介して一次冷却回路を二次冷却回路に連結し、これらの導管の長さと断面は、これらの導管の絶縁抵抗が第二熱交換器を接地することにより無視できる洩れ電流しか起こさないほど十分な高さであるようなものであるように計算される。この実施態様の一つの利点は、人員の安全に対する危険なしに作業が冷却回路上で実施されることができることである。別の有利な実施態様によれば、二次冷却回路の供給及び戻り導管はドラムの周りに巻かれる。この実施態様の一つの利点は、導管の長さがどうであれ、冷却システムが小さな設置面積を持つことである。好ましくは、二次冷却回路の供給及び戻り導管は、ドラム上に並んで置かれる。二次冷却回路はさらに、冷却剤の伝導率を周期的に測定する制御システムを含むことができる。かかる装置の好適でかつ有利な実施態様は、電極のために上述されたものである。本発明の別の態様は、上に規定されたような表面のDBDプラズマ処理のための平坦電極を製造するための方法であり、それは以下の操作を含む:a高電圧に上昇されることができる金属エンベロープを製造する、但し金属エンベロープは、外部平坦部分と、冷却剤が流れることができる内部容積を含む;bポリマー膜を平坦部分の外側に置く;cこのポリマー層上に誘電体シートを配置する;d電極をポリマー膜が柔らかくなるまで加熱する;eこのように形成された電極装置をいかなる泡も消えてしまうまで減圧内に置く;fこのように形成された電極装置を加圧下に置く;及びg電極を徐々に冷却する。工程aでは、このエンベロープは、多数の部品で製造されることができ、それらは、当業者に知られた種々の方法の一つを使用して一緒に結合される。工程bでは、この平坦エンベロープの外部側または外部部分はポリマー層で熱被覆される。ポリマーはまた、二つの予め置かれた表面間に注入されることができる。工程e及びfにおいてこのように形成された電極を減圧室内に置き、次いで加圧室内に置くことは、気泡が形成することを防ぐ利点を持つ。これらの泡は局所的な電気アーク放電を起こしやすい。有利な実施態様によれば、ポリマー層はポリビニルブチラールPVBから作られる。本発明の一つの利点は、PVBが、非常に高い温度に耐えることができないけれども、活性部分と誘電体の熱膨張係数間の差のために極めて実質的な膨張差が吸収されることを可能にすることである。本発明のこれらの及び他の態様は、図面を参照してなされる、その特別な実施態様の詳細な説明中に示されている。図は、縮尺どおりではない厚さは、特に読み易さのために拡大されている。一般的に、同様の要素は、図面中に同一の参照番号を与えられている。図1は、本発明の電極の概略図である。この電極1は特に大きな容積のガラスの表面を処理及び/または被覆するために開発されたので、それは典型的には長さ約4メートルであることができる。それが部分図しか示されていない理由である。この電極1は通常、別の電極に対面して取り付けられ、電極間に非常に高い電圧のHF電界を付与することにより、これらの二つの要素を分離する隙間でプラズマが発生される。電極の活性部分、即ちこの第二電極36の方に配向された部分は、本質的に平坦な領域2であり、それはここでは下方に配向して示される図4。当業者が直面する問題の一つは、イオン化されたガス内に形成されるスパークの危険である。かかるスパークは、非常に高い電流を伴ない、エネルギーを浪費するのみならず、処理される表面内に欠陥を起こし、電極を劣化する。誘電体層4、例えばアルミナ、石英、ガラスセラミック、または別の好適な材料のシートは、この現象を防ぐために電極間の隙間に置かれる。かかる誘電体層4を挿入することにより破損の問題を解決するが、誘電体層4を電極1の活性部分2にどのように結合するかのような他の問題を起こす。これらは容易に両立できない性質の材料から作られるので、極めて洗練された接着剤結合技術が一般的に使用され、それらは一般的に種々の材料から作られた介在中間層を採用し、それにより電極の製造費用を高くする。さらに、電極は特にジュール損失を減らすように優れた電気伝導体から作られることが極めて有利であり、それは銅、銀等のような金属の使用を意味する。しかし、これらの金属は一般的に誘導体と全く違った高い膨張係数を持つ。従って、結合層は高剪断力にさらされる。それゆえ、通常の技術溶接、適合性のある分子状被覆、純粋かつ簡単な接着剤結合を使用する代わりに、中間層6を使用してこの結合を形成することが考えられた。しかし、どの材料が好適な中間層を形成するかどうかは明らかでない。特に、この中間層6は、例えば誘電体絶縁を無効にする役割を有する微細な気泡の出現を防ぐ均一な結合を形成しなければならないし、結合される材料の側が絶対的に平行のままであることを確実にしなければならない。中間層6は、異常な応力条件温度及び圧力下で二つの材料を一緒に保持することを可能にする接着特性を持たなければならない。中間層6は、結合される材料の熱膨張差により起こされる機械的応力に耐えるために破壊時に高い伸びを持たなければならない。従って、この伸びは、結合される材料の線熱膨張係数差と適合するだろう。それは一般的に、0~100°Cの温度範囲に対して、0.01×10-6/°C~1000×10-6/°Cであり、好ましくは0.1×10-6/°C~100×10-6/°C、より好ましくは5×-6/°C~50×10-6/°Cである。前記中間層6はさらに、広い温度範囲にわたって非常に実質的に化学不活性でなければならず、それが連続的に使用されることができる最大温度は、おそらく80°Cほどである。好ましい実施態様によれば、中間層は、裂ける前に非常に実質的な歪みに耐えることができる弾性特性例えばエラストマーまたは粘弾性特性を持つポリマー層6である。選ばれた中間層6は、必ずしも商業的に入手可能な、使用準備のできた材料である必要はなく、それは、前述の要求に合致するためにその場で化学的に合成されることができる。より詳細には、これらの機械的基準に合致するポリマーの範囲のうち、一般的でない結合材料、即ちポリビニルブチラールの層6、本質的に透明であるために風防ガラスまたは防弾ガラスを製造するために一般的に使用されるポリマーを使用することが考えられる。このようにポリビニルブチラールを使用することは、ここではその光学的性質が絶対的に重要ではなく、かつ加えてそれがガラス板を結合するためではなくそこでは熱膨張係数差は明らかに問題ではない、金属と誘電体を結合するために使用されるので少し不合理である。驚くべきことに、試験結果は、ポリビニルブチラールがプラズマ反応器で遭遇する温度範囲と完全に適合しないことを除いて、確定的である。プラズマは少なくとも200°Cの温度に容易に達することができ、典型的には200°C~600°Cの温度に達することは注目されるだろう。従って、結合層6の温度増加を制限する特別な技術を開発することが必要であった。平坦表面2が一部である電極本体は、中空であり、かつ閉鎖されたエンベロープ8を形成し、その中を冷却剤10が流れ、従って第一熱交換器2,8を形成する。この冷却剤は入口導管12を介して電極1に入り、出口導管14を介してそこから出る。エンベロープ8は、バッフル16のような、冷却剤10との熱交換を促進する手段を備えている。しかし、電極1の全領域を横切ってから約30W/cm2を消散するために高い流速が要求されるので、冷却剤10の流れは妨げられるべきではない。ポリビニルブチラール層6の厚さ図では拡大されているは、二つの結合された表面間の膨張係数差による歪みに容易に耐えることができるようなものであるように計算される。さらに、中間層は厚すぎてはいけない。そうでなければ冷却回路への熱の移動及びプラズマへの電気エネルギーの移動は遅くなるだろう。良好な妥協は、約0.7mmの厚さで得られる。結合層6内の気泡の不存在を確実にするために特別な技術が開発されなければならなかった。特に、もし泡が存在したら、泡がこの全く同じ結合層内に破損を導くという危険がある。従って、装置は次の方法で実行される:ポリビニルブチラールシートを電極の平坦部分の外側に置き、前記平坦部分を誘電体シートで覆った後に、電極を封止室内に置き、ポリビニルブチラールシートを柔らかくなるまで加熱する。この室は次いで、PVB膜の脱ガスを促進するためにポンプで吸引される。従って、非常に小さい閉じ込められた気泡は粘稠なポリマーを通して外部に向けて移動し、そこでそれらは完全に消えてしまうまで除去される。この室は次いで、初期応力を付与しかつ組み立てられた要素を密着させるために加圧され、それらの要素は最後に冷却される。上述のように、プラズマにより電極に伝達された熱をできるだけ迅速に消散するためには理由がある。即ち、電極が単一片から作られるには理由がある。しかし、活性側2が熱交換器2,8として作用する密封されたエンベロープ8に結合されている実施態様は除外されない。電極1が組み立てられたとき、それはプラズマ発生ツール中に組み込まれることがなお必要であり、そこではそれは非常に高い電圧に上昇されるだろう。不均一な電圧分布を防ぐために、電極は、電極の種々の領域を平行に置くマルチポイント連結18を介して供給される。さらに、PVBが使用されているために冷却は必須であるので、熱伝達流体は非常に高い電圧、典型的には40000ボルトの下で流さなければならない。これは通常、接地から隔離された熱交換器をツール中に一体化することを含み、それにより熱交換回路をより複雑にかつ嵩高にし、事故の危険を増加する。従って、より簡単でかつ潜在的に危険性の少ないシステムを開発しようと努めた。電極を完全に隔離するよりむしろ、高い抵抗が電極と接地の間に置かれ、従ってそれからもたらされる漏れ電流は無視できる。従って、一連の物理的利点を持つ不合理な熱伝達流体純水を使用することができる。特に低無機物含有量を持つ水は非常に劣った伝導体である。この水は、電極にパイプ輸送され、かつ本質的に絶縁ポリマーから作られた二つの長い導管20及び22を介して電極から出る。必要な抵抗は、式R=ρl/sを使用して計算され、式中、ρ=109Ωm蒸留水の固有抵抗;lm=各導管の長さ;及びsm2各導管の断面積;である。従って、漏れ電流を許容値に制限する適切な抵抗は、導管20及び22が十分に長くかつ十分な断面積を持つことを確実にすることにより得られる。これらの導管の設置面積の問題は、図2及び3に概略的に示されたようにそれらをドラム24の周りに巻くことにより解決される。二つの導管20と22の間の、それら自身の巻きまたはそれらのそれぞれの巻き間の短絡を防ぐために、二つの導管20と22は、それらの間のゼロに近いΔVを得るために同一の長さを有し、かつ並んで巻かれる。さらに、二つの連続巻き26間のΔVは大きく減少される。従って、二つの導管の端部に到達したとき、それらは、一般的な熱交換器により形成された接地面に危険なしに連結されることができ、それらの熱交換器に対する潜在的な差はこの点でゼロに近い。図4は、DBDツールに取り付けられた電極の概略を示す。電極1は、処理される基板27に面して置かれる。二次冷却回路34の入口12及び出口14の導管は、巻き取りドラム24を出ると、接地され無視可能な漏れ電流を起こすため、かつ第二熱交換器28に連結される。一次冷却回路32及びこの熱交換器28は冷却機群30に連結され、この熱交換器28の二次冷却回路34は、ドラム24を介して電極1に連結されている。電極1自体は、高電圧かつ高周波回路の端子の一つに連結され、他の端子は、接地された対抗電極36に連結されている。本発明は、上に例示されかつ述べられた例に限定されないことは当業者には明らかであるだろう。本発明は、各新規な特徴及びそれらの組み合わせを含む。参照番号は非限定的であると考えられるべきである。用語含むcomprisesは、述べられた要素以外の追加の要素の存在を決して除外しないと理解される。要素を導入するために不定冠詞aの使用は、複数のこれらの要素の存在を除外しない。本発明は、特別な実施態様に関して述べられたが、それらは純粋に例示であり、限定として考えてはいけない。"