各種処理を行う複数種の処理別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送装置を介して配置され、この処理別処理装置は処理に応じて複数個の個別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置された多色混流型カラーフィルタ製造装置であって、製造ライン内に存在する各種処理工程の基板在荷状況を管理し、分岐/合流箇所での滞留や交互化処理の失敗により顕著化する各工程基板分布の偏りを、分布マップとして視覚化するシステムを備えることを特徴とする多色混流型カラーフィルター製造装置。前記基板在荷状況を、それぞれの分岐箇所などをベースにゾーン単位で管理することで、前記各工程基板分布の偏りを強調表現することを可能とするシステムを備えることを特徴とする請求項1に記載する多色混流型カラーフィルター製造装置。順調に生産が行えた際の前記分布マップをチャンピオンマップとしてベンチマーク登録し、現在の状況とのリアルタイム比較を行うことで異常傾向の検知を行うシステムを備えることを特徴とする請求項1に記載する多色混流型カラーフィルター製造装置である。前記リアルタイム比較にて異常傾向を検知した際にアラームを発報することで、異常発生の通知を速やかに現場作業者に行うシステムを備えることを特徴とする請求項3に記載する多色混流型カラーフィルター製造装置。従来技術では製造ラインにおける流動状況を、特定区間における基板の在籍枚数や在籍時間にて管理を行うが、判断基準を設定値にて行うため、処理タクトが異なる製品を流す場合や、生産量アップのためにラインタクトを上げた場合などに都度設定値を変更する必要があり柔軟性に欠ける。また、特定区間での監視であるためライン全体としての流動状況が把握し辛いといった問題点が挙げられる。本発明は上記した問題点に鑑みてなされたもので、製造ライン全体としての滞留状況を早期に検知するためのシステムを備え、効率的にカラーフィルタの製造が可能な多色混流型カラーフィルター製造装置を提供することを課題としている。本発明の請求項1に係る発明は、各種処理を行う複数種の処理別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送装置を介して配置され、この処理別処理装置は処理に応じて複数個の個別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置された多色混流型カラーフィルタ製造装置であって、製造ライン内に存在する各種処理工程の基板在荷状況を管理し、分岐/合流箇所での滞留や交互化処理の失敗により顕著化する各工程基板分布の偏りを、分布マップとして視覚化するシステムを備えることを特徴とする多色混流型カラーフィルター製造装置である。また、本発明の請求項2に係る発明は、前記基板在荷状況を、それぞれの分岐箇所などをベースにゾーン単位で管理することで、前記各工程基板分布の偏りを強調表現することを可能とするシステムを備えることを特徴とする請求項1に記載する多色混流型カラーフィルター製造装置である。また、本発明の請求項3に係る発明は、順調に生産が行えた際の前記分布マップをチャンピオンマップとしてベンチマーク登録し、現在の状況とのリアルタイム比較を行うことで異常傾向の検知を行うシステムを備えることを特徴とする請求項1に記載する多色混流型カラーフィルター製造装置である。また、本発明の請求項4に係る発明は、前記リアルタイム比較にて異常傾向を検知した際にアラームを発報することで、異常発生の通知を速やかに現場作業者に行うシステムを備えることを特徴とする請求項3に記載する多色混流型カラーフィルター製造装置である。本発明の多色混流型カラーフィルタ製造装置における流動状況監視手法によれば、各工程基板分布の偏りを分布マップとして視覚化し、またゾーン単位で管理し、各工程基板分布の偏りを強調表現することで、滞留などで発生する各工程の基板在荷分布の偏りが瞬時に把握可能となる。さらに、各工程の基板在荷分布状況をチャンピオンマップと比較し偏りを求めることで、ライン全体としてのスループット低下等の異常傾向を捉えることが可能となり、さらに、アラームを発報することで、異常発生の通知を速やかに現場作業者に行って、ライン停止に至る重大な異常の前に対処することで効率的にカラーフィルタの製造が可能になる。本発明の多色混流型カラーフィルタ製造装置を、その一実施形態に基づいて以下に詳細に説明する。以下の説明では、本発明に係るカラーフィルタの着色画素の製造は、フォトリソグラフィー法によるものを例として説明する。カラーフィルタの着色画素を形成する感光性樹脂組成物は、少なくとも着色顔料、着色染料のいずれかないし両方あるいは透明体質顔料を含み、透明樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、溶剤からなる感光性着色組成物であって、大型ガラス基板等の基板上に溶剤を75~90質量含むこの感光性樹脂組成物を塗布した後、この感光性樹脂組成物を減圧下にて溶剤を乾燥する。その後、公知のプレベーク、露光、現像、ポストベーク等の工程を経てパターニングされ、色数の分だけ同様の操作を繰り返すことでカラーフィルタ基板が製造される。図1は、本発明の多色混流型カラーフィルタ製造装置を適用するライン配置の一例を示したものである。基板洗浄やコート等の各種処理を行う複数種の処理別処理装置は、処理すべき基板の流れ方向に対して直列に搬送装置を介して配置されている。また、この処理別処理装置は処理に応じて複数個の個別処理装置が処理すべき基板の流れ方向に対して並列に配置されている。ここで、LDはロ-ダーLoader、ULDはアンローダーUnloaderである。矢印の方向は基板の流れ方向を示している。本発明の多色混流型カラーフィルタ製造装置を適用した実施形態例として、A工程、B工程、C工程、D工程の4工程を、図1で示したラインでアルファベット順に処理する場合、以下に示す処理装置の前提条件で、次に示すような基板搬送方法を行うことで多色混流生産が可能となる。[処理装置の前提条件]A工程/B工程処理装置:洗浄1、コート1、検査1-1、露光1、現像1、ベーク1C工程/D工程処理装置:洗浄2、コート2、検査1-2、露光2、現像2、ベーク2D工程処理装置:検査2、抜取検査3~4全工程処理装置:抜取検査1~2[基板搬送方法]A工程:LD→搬送1-1→洗浄1→搬送2-1→コート1→搬送装置3→抜取検査1→検査1-1→搬送装置4→露光1→搬送装置5→現像1→搬送装置6→抜取検査2→ベーク1→搬送装置7→搬送8-1→搬送1-1へ循環しB工程へB工程:搬送1-1→洗浄1→搬送2-1→コート1→搬送装置3→抜取検査1→検査1-1→搬送装置4→露光1→搬送装置5→現像1→搬送装置6→抜取検査2→ベーク1→搬送装置7→搬送8-1→搬送1-2へ循環しC工程へC工程:搬送1-2→洗浄2→搬送2-2→コート2→搬送装置3→抜取検査1→検査1-2→搬送装置4→露光2→搬送装置5→現像2→搬送装置6→抜取検査2→ベーク2→搬送装置7→搬送8-2→搬送1-2へ循環しD工程へD工程:搬送1-2→洗浄2→搬送2-2→コート2→搬送装置3→抜取検査1→検査1-2→搬送装置4→露光2→搬送装置5→現像2→搬送装置6→抜取検査2→ベーク2→搬送装置7→検査2→搬送8-2→抜取検査3→抜取検査4→ULD次に、本発明の多色混流型カラーフィルタ製造装置の実施形態に係る、流動状況監視手法を実現するためのシステム構成の一例を図2に示す。製造ライン内に存在する各種処理工程の基板在荷状況を管理するために、各処理装置を結んだ、例えばMelsecNet三菱電機株式会社によるやDeviceNet米国Allen-Bradley社によるなどのシステムネットワークを構築することで、各処理装置内の在荷情報を各処理装置装置からデータサーバーへ吸い上げる。吸い上げたデータサーバー上の基板在荷情報は流動状況監視PCにて視覚化を行う。ここで、データサーバーが基板在荷情報を管理するため、各処理装置では、処理装置内で存在しうる最大数をもってデータ上の区画以降、ポジションと称すを切り、ポジション毎の基板在荷有無と、在荷有の場合にはどの工程であるかをデータサーバーに通知する。なお、60段カセットの移載ポートと基板抜き取り用シングルハンドロボットから構成されるLD設備を例に、ポジション定義方法の一例を図3に示す。ここでは、60段カセットのポジション数が1~60、シングルハンドロボットが61と定義される。本発明に係る、流動状況監視手法においては、流動状況管理PCにて、ライン内における基板在荷分布の偏りを視覚的に強調表示するために、滞留危険箇所別で幾つかに区分けゾーンし管理を行う。合流箇所を区分けポイントとした1~6の点線で囲ったゾーンの設定例を図4に示す。なお、ゾーンの切り方は合流箇所基準に限定するものではなく、分岐箇所や前述した交互化必要箇所を基準としても構わない。流動状況監視PCでは、先に説明した装置内の各ポジション情報をもとに、各ゾーン内における各工程基板在荷状況が管理可能となる。表1に、内部で持つ各工程基板在荷状況のデータ管理リストの一例を示す。なお、管理を行うデータとしては、ゾーン毎の総ポジション数、各工程の基板在荷数と各工程での基板在荷率があれば良く、その他の情報基板の判定情報などは必要に応じて付与しても構わない。次に、赤色R、緑色G、青色Bの三原色の画素が形成されているRGB3階調にて表現する通常のカラーフィルタを製造する際の、在荷分布マップ上で各工程を表現する場合の例を表2に示す。なお、本発明に係るカラーフィルタは、それ以外にシアンC、マゼンタM、イエローY等の補色や更にはホワイトWを組み合わせたものであってもかまわない。各ゾーン内における各工程の基板分布状態を、各工程表現色とそれぞれの基板在荷率とを掛け合わせて表現する。例えば、表2に示すように各工程色を設定した時、表1に記載されたゾーン1の表現色は以下の通り算出される。[ゾーン1]Red:25517.525515.0015.0012.5/100≒83Green:25517.5015.025515.0012.5/100≒83Blue:25517.5015.0015.025512.5/100≒77また、各ゾーンでの基板充填状態の表示も行うことが可能である。その表示方法としては、例えば表1の各ゾーン基板在荷率累計をもとに、在荷マップのゾーン縁取りの太さを変える方法や数値表示する方法などが挙げられる。上述した表現方法および設定を行うことで、図4に示した多色混流型カラーフィルター製造ラインでの基板分布マップを、例えば、図5に示すような表示例として示すことができる。以上説明したように、本発明の多色混流型カラーフィルター製造装置ではライン内における各工程の基板の分布状況を、分布マップとして視覚的に表示出来るようになる。また、順調な製造時の分布マップと比較することで、ゾーンの色/枠の太さの違いにて、工程別の基板数や、ゾーンに存在する基板数自体の偏りにて滞留状態が把握可能となる。その結果、ライン全体としての異常傾向を捉える傾向値管理が可能となり、さらに、アラーム発報と組み合わせることで事前の適切な対処を可能とすることで効率的にカラーフィルタの製造が可能になる。また、製造装置の設置面積を抑制でき設備費用の増大抑制にもつながる。