レーザ装置から出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、ターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記ターゲット貯蔵部の内部と連通する貫通孔が形成され、ターゲット物質からなるターゲットを出力するノズル部と、前記ノズル部に対向して配置され、ターゲットが通過する貫通孔が形成された電極と、ターゲットを検出して検出信号を出力するターゲット検出器と、内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、前記ターゲット物質と前記電極との間に調整可能に直流電圧を印加する直流電圧調節器と、前記ターゲット物質に気体を介して調整可能に圧力印加する圧力調節器と、前記ターゲット検出器から出力される検出信号に基づいて、前記直流電圧調節器と前記圧力調節器との内の少なくとも1つを制御する制御装置と、を備える極端紫外光生成装置。前記ターゲット検出器から出力される検出信号を遅延し、遅延された検出信号に基づいて、前記レーザ装置がレーザ光を出力するタイミングを規定するトリガ信号を生成するトリガ信号生成回路をさらに備える、請求項1記載の極端紫外光生成装置。前記制御装置が、前記ターゲット検出器から出力される検出信号に基づいてターゲットの大きさを計測し、ターゲットが所定の大きさで生成されるように前記直流電圧調節器を制御する、請求項1記載の極端紫外光生成装置。前記制御装置が、前記ターゲット検出器から出力される検出信号に基づいてターゲットの生成周波数を計測し、ターゲットが所定の生成周波数で生成されるように前記圧力調節器を制御する、請求項1記載の極端紫外光生成装置。レーザ装置から出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、ターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記ターゲット貯蔵部の内部と連通する貫通孔が形成され、前記ターゲット貯蔵部に貯蔵されているターゲット物質を出力するノズル部と、前記ノズル部に取り付けられ、電圧が印加されたときに前記ノズル部に機械的な変形を生じさせる圧電素子と、前記ノズル部に対向して配置され、ターゲット物質との間に直流電圧が印加されたときに、前記ノズル部から出力されるターゲット物質をターゲットに分離することによってターゲットを生成する電極と、前記電極によって生成されたターゲットを検出して検出信号を出力するターゲット検出器と、前記レーザ装置から導入されるレーザ光がターゲットに照射されて、内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、ターゲット物質と前記電極との間に印加される直流電圧を調節する直流電圧調節器と、前記ターゲット貯蔵部に貯蔵されているターゲット物質に気体を介して印加される圧力を調節する圧力調節器と、前記圧電素子に印加されるパルス電圧を生成するパルス電圧生成回路と、を備える極端紫外光生成装置。前記ターゲット検出器から出力される検出信号を遅延し、遅延された検出信号に基づいて、前記レーザ装置がレーザ光を出力するタイミングを規定するトリガ信号を生成するトリガ信号生成回路をさらに備える、請求項5記載の極端紫外光生成装置。前記ターゲット検出器から出力される検出信号に基づいて、前記直流電圧調節器と前記圧力調節器と前記パルス電圧生成回路との内の少なくとも1つを制御する制御装置をさらに備える、請求項5記載の極端紫外光生成装置。前記制御装置が、前記ターゲット検出器から出力される検出信号に基づいて、ターゲットが所定の領域を通過するタイミングを計測し、ターゲットが所定のタイミングで前記所定の領域を通過するように前記パルス電圧生成回路を制御する、請求項7記載の極端紫外光生成装置。