"変位又は角度を計測するエンコーダであって、光を射出する光源と、複数のマークが一定のピッチで配列され、前記光源に対して相対移動するスケールと、前記光源から射出された光を偏光方向が互いに異なる2つの偏光に分割し、該分割された2つの偏光を前記マークで回折させることによって正の次数の回折光および負の次数の回折光を生成し、該生成された2つの回折光を互いに逆向きの円偏光状態で干渉させることによって前記マークのピッチと前記スケールの相対移動速度とによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する光学系と、前記光学系により生成された直線偏光を第1直線偏光と第2直線偏光とに分割する分割部と、固定配置された第1偏光板を含み、前記スケールが相対移動する間における、前記第1偏光板を通過した前記第1直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第1ユニットと、前記直線偏光の偏光方向に対して回転する第2偏光板を含み、前記スケールが静止したときにおける前記第2直線偏光の偏光方向を検出することによって前記スケールが静止したときにおける前記直線偏光の1回転内の位相を得る第2ユニットと、前記第1ユニットおよび前記第2ユニットにより得られた結果を統合して前記スケールの移動量を出力する出力部と、を備える、ことを特徴とするエンコーダ。前記第2偏光板は、所定の角速度で回転する偏光板であり、前記第2ユニットは、前記第2偏光板を通過した前記第2直線偏光の強度の時間に対する変化を検出し、該検出結果から前記第2直線偏光の偏光方向を得る、ことを特徴とする請求項1記載のエンコーダ。前記第2偏光板は、回転する偏光板であり、前記第2ユニットは、前記第2偏光板を通過した前記第2直線偏光の強度の時間変化と前記第2偏光板の回転角とを検出し、該検出結果から前記第2直線偏光の偏光方向を得る、ことを特徴とする請求項1記載のエンコーダ。前記第2ユニットは、前記第2偏光板の回転角を検出するロータリーエンコーダを含む、ことを特徴とする請求項3記載のエンコーダ。前記第2ユニットは、回転する波長板と固定配置された偏光板とを含み、前記回転する波長板と前記固定配置された偏光板とを順次通過した前記第2直線偏光の強度の時間に対する変化を検出し、該検出結果から前記第2直線偏光の偏光方向を得る、ことを特徴とする請求項1記載のエンコーダ。前記エンコーダは、ロータリーエンコーダである、ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のエンコーダ。エンコーダを校正する方法であって、校正すべき第1エンコーダと請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の第2エンコーダとの双方を用いて、対象物の位置または角度を計測する工程と、前記第1エンコーダによる計測結果と前記第2エンコーダによる計測結果とを比較することによって前記第1エンコーダの出力の補正値を決定する工程と、を含む方法。ポリゴンミラーを校正する方法であって、ポリゴンミラーと請求項6に記載のロータリーエンコーダのディスクとを同軸で回転可能なように結合する工程と、前記ポリゴンミラーと前記回転ディスクとを同軸で回転させて前記ポリゴンミラーの各ミラー面の法線が所定方向を向くように前記ポリゴンミラーを位置決めしたときの前記ディスクの回転角を前記ロータリーエンコーダで計測する工程と、前記ロータリーエンコーダの計測結果に基づいて前記ポリゴンミラーの各ミラー面に関する校正データを出力する工程と、を含む方法。本発明は、対象物の校正に使用されるエンコーダに有用な技術を提供することを例示的目的とする。本発明は、変位又は角度を計測するエンコーダであって、光を射出する光源と、複数のマークが一定のピッチで配列され、前記光源に対して相対移動するスケールと、前記光源から射出された光を偏光方向が互いに異なる2つの偏光に分割し、該分割された2つの偏光を前記マークで回折させることによって正の次数の回折光および負の次数の回折光を生成し、該生成された2つの回折光を互いに逆向きの円偏光状態で干渉させることによって前記マークのピッチと前記スケールの相対移動速度とによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する光学系と、前記光学系により生成された直線偏光を第1直線偏光と第2直線偏光とに分割する分割部と、固定配置された第1偏光板を含み、前記スケールが相対移動する間における、前記第1偏光板を通過した前記第1直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第1ユニットと、前記直線偏光の偏光方向に対して回転する第2偏光板を含み、前記スケールが静止したときにおける前記第2直線偏光の偏光方向を検出することによって前記スケールが静止したときにおける前記直線偏光の1回転内の位相を得る第2ユニットと、前記第1ユニットおよび前記第2ユニットにより得られた結果を統合して前記スケールの移動量を出力する出力部と、を備える、ことを特徴とする。本発明によれば、例えば、対象物の校正に使用されるエンコーダに有用な技術を提供することができる。以下に、本発明の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。[第1実施形態]図1は、静止状態のポリゴンミラーやエンコーダの校正する基準エンコーダとして使用可能な第1実施形態の変位又は角度を計測するエンコーダの構成図である。図2は、図1の基準エンコーダを用いてポリゴンミラーを校正する場合の説明図である。半導体レーザ光源1から射出された光は、コリメータレンズ2にて略平行光にされ、第1の偏光プリズム31の屋根部に入射し、内部で反射後に、偏光ビームスプリッタ面41にて偏光方向が互いに異なる2つの偏光P波、S波に分割される。偏光ビームスプリッタ面41を透過したP波は、光路L1を通り、反射プリズム63で反射された後、1/4波長板71を透過し、回転ディスクスケール101の位置P1に斜入射する。回転ディスク101には、複数のマークが一定のピッチで配列され、半導体レーザ1を含むヘッドに対して相対移動する。回転ディスクスケール101は、斜入射したP波、S波をマークで回折させることによって正の次数の回折光および負の次数の回折光を生成する。回転ディスク101の位置P1に斜入射されたP波の1次回折光は、元の光路を戻って、1/4波長板71を再透過して、偏光プリズム31内の偏光ビームスプリッタ面41にて今度は反射され、プリズム3への光路にS波となって出力される。一方、偏光ビームスプリッタ面41にて反射されたS波は光路L2を通り、反射プリズム63で反射された後、1/4波長板71を透過し、回転ディスク101の放射状回折格子5上の位置P1に斜入射する。放射状回折格子5上の位置P1に斜入射されたS波の-1次回折光は元の光路を戻って、1/4波長板71を再透過して、偏光プリズム31内の偏光ビームスプリッタ面41にて今度は透過して、プリズム3への光路にP波、S波となる。P波、S波は、その後、第2の偏光プリズム32の屋根部に入射し、内部で反射後に、偏光ビームスプリッタ面42にて2つの偏光が分割される。まず偏光ビームスプリッタ面42を透過したP波は、光路L3を通り、反射プリズム66で反射された後、1/4波長板72を透過し、回転ディスク101の位置P2に斜入射する。回転ディスク101の位置P2に斜入射されたP波の1次再回折光は、1/4波長板72を再透過し、偏光プリズム32内の偏光ビームスプリッタ面42にて今度は反射され、1/4波長板73への光路にS波11次回折となって出力される。一方、偏光ビームスプリッタ面42にて反射したS波は、光路L4を通り、反射プリズム66で反射された後、1/4波長板72を透過し、回転ディスク101の位置P2に斜入射する。回転ディスク101の位置P2に斜入射され反射されたS波の-1次再回折光は、元の光路を戻って、1/4波長板72を再透過して、偏光ビームスプリッタ面42にて今度は透過して、1/4波長板73への光路にP波-1-1次回折となって出力される。なお、ここで回折次数の符号の意味は、回折格子5が時計回りに回転するとき回転方向寄りに回折された光束の回折次数をとするルールを適用し、例えばS波11次回折の意味は1次回折を2回行った光束でS偏光を意味する。1/4波長板73を透過する前のS波11次回折とP波-1-1次回折は互いに偏光方位が90°ずれた独立した直線偏光である。回転ディスク101が1ピッチ分回転すると、S波11次回折は波面の位相が2π×だけずれ、P波-1-1次回折は波面の位相が2π×だけずれる。よってこの2光束間の位相差の変化は、8πピッチである。なお、ピッチとはディスク101上の隣接するマーク間のピッチの意味である。1/4波長板73を透過することによって、S波11次回折とP波-1-1次回折の両光束は、互いに逆向きの円偏光状態にあり、互いに干渉しあって偏光方向が回転する1つの直線偏光が生成される。この直線偏光の光束の偏光方向は、元の2光束間の位相差に依存し、位相差が2πずれると、直線偏光の偏光方向が半回転する。すなわち本実施形態の光学系では、元の2光束間の位相差の変化は、8πピッチだったので、直線偏光の偏光方向の回転が4回転ピッチとなる。第1の偏光プリズム31,32、1/4波長板71,72,73等を含む光学系は、マークのピッチとスケールの相対移動速度とによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する。したがって、光学系は、スケール回転ディスク101の移動の計測分解能を整数倍に向上させている。なお、ディスク101の回転が停止すると、この直線偏光光束の偏光方向は2光束間の位相差で決定される向きに固定される。こうした特性を有する直線偏光の光束は非偏光ビームスプリッタ分割部9にて同一の偏光特性を有する第1直線偏光と第2直線偏光との2つの光束に分割される。非偏光ビームスプリッタ9を透過した第1直線偏光は、固定配置された偏光板第1偏光板10を透過して受光素子51に入射する。受光素子51で得られた信号はコンパレータ91にて2値化されてインクリメンタル信号S0となる。従来と同様に原点信号にて零にリセットしてカウンター96にてインクリメンタル信号S0を計数する。第1偏光板10、受光素子51、コンパレータ91、カウンター96は、スケールとしてのディスク101が相対移動する間における、前記偏光板10を通過した第1直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第1ユニットを構成している。非偏光ビームスプリッタ9を反射した第2直線偏光は、回転体に連結された偏光板11を透過して受光素子52に入射する。偏光板11は、第2直線偏光の偏光方向に対して所定の角速度で回転する第2偏光板を構成している。偏光板11の透過軸の向きがモータMおよびそのモータドライバー93により高速に等速回転しているとする。そうすると、偏光板11の透過軸の向きが第2直線偏光の偏光方向と一致したときに受光素子52の出力が最大になり、直交したときに受光素子52の出力が最小になる。受光素子52の出力をコンパレータ92で2値化すると第2直線偏光の偏光方向の回転周期信号S2が得られる。また偏光板11の透過軸の向きがモータドライバー93によって時間で制御されているとすると、その制御系からタイミング信号S1が得られる。直線偏光の回転周期信号S2の立ち上がり時間Tr1、Tr2、と、タイミング信号S1の立ち上がり時間T1、T2、T3、とは、図3に示されるようになる。スケールとしてのディスク101の相対移動が停止されると、第2直線偏光の偏光方向は特定の方向で静止する。第2直線偏光のその静止した偏光方向は、回転する偏光板11の回転角を検出することによって取得することができる。演算器95は、直線偏光の偏光方向を検出することによって、ディスク101が静止したときにおける直線偏光の1回転周期内の位相φを算出する。なお、時間Tr1、Tr2、及び時間T1、T2、T3、は、偏光回転周期信号S2及びタイミング信号S1の立ち上がり時間ではなく、立下り時間でもよい。偏光板11、モータM、受光素子52、コンパレータ92、モータドライバー93、演算器95は、スケールが静止したときにおける直線偏光の1回転内の位相を得る第2ユニットを構成している。カウンター96は、従来と同様に原点信号にて零にリセットしてインクリメンタル信号S0を計数することで、整数部の位置情報N回折格子5の格子本数の4倍で全周360°を分割したときの序数を得る。位置情報演算部97は、これら整数部の位置情報Nと演算器95により算出された位相情報φを統合して、エンコーダの位置情報POSを出力する。位置情報演算部97は、第1ユニットおよび第2ユニットにより得られた結果を統合してスケールの移動量を出力する出力部を構成している。第1実施形態では、ディスク101が静止したときにおける偏光板11を通過した第2直線偏光の強度の時間変化を受光素子52により検出し、該検出結果から演算部95により第2直線偏光の偏光方向を算出している。図2は、上述のロータリーエンコーダ基準エンコーダを用いてポリゴンミラー対象物を校正する場合の構成の側面図である。基準エンコーダの回転ディスク101は、空気軸受け102の下面に結合されていて、更にその下部に基準エンコーダのヘッド100が図1とは逆さまに設置されている。なお、この基準エンコーダのヘッド100は、等分割平均法で用いられる設置ルールに従い、サブ回転ステージに搭載され、ヘッド100の設置方位が変更できるようになっている。ここでは詳細は説明しない。また、空気軸受け102の上部にメイン回転ステージ105が取り付けられていて、その上部にポリゴンミラー201が置かれている。ポリゴンミラー201がワーク面106に設置されたオートコリメータ202に正対するタイミングでオートコリメータ202より零クロス信号203が発生するようにしてある。また、メイン回転ステージ105は、この零クロス信号203にて位置決めできるようにコントローラ104およびモータ103で制御されている。以上のポリゴンミラー201と基準エンコーダとを結合する工程により、ポリゴンミラー201と基準エンコーダの回転ディスク101は同軸で回転可能である。まず、メイン回転ステージ105を回転制御して、ポリゴンミラー201の各ミラー面の法線が所定方向オートコリメータ202に対向する方向を向くように順に位置決めする。位置決めの都度、ポリゴンミラー201の各ミラー面の形成位置と基準エンコーダのヘッド100の回転角POSとを計測する。そして、演算器107は、計測する工程での各ミラー面の形成位置の計測結果と基準エンコーダによる回転角の計測結果とを比較し、所定の演算等分割平均法などを行うことで、各ミラー面の角度制御データの補正値を決定する。また、エンコーダを校正する場合も同様である。まず、校正すべき第1エンコーダと基準エンコーダとなる第2エンコーダとの双方を用いて、対象物の位置または角度を計測する。前記計測工程の後、第1エンコーダによる計測結果と第2エンコーダによる計測結果とを比較することによって第1エンコーダの出力の補正値校正データを決定する。例えば、アブソリュートエンコーダを校正する場合、アブソリュートエンコーダの角度点ごとにメイン回転ステージ105を位置決めする。そして、位置決めの都度、アブソリュートエンコーダの絶対位置情報と基準エンコーダのヘッド100の位置情報POSと比較し、所定の演算等分割平均法などを行うことで、アブソリュートエンコーダの校正ができる。[第2実施形態]図3は、図1の第1実施形態の基準位相を検出する第2ユニットを変更した第2実施形態のエンコーダの構成図である。第2実施形態では、偏光板11の回転制御系にロータリーエンコーダEを設置し、ロータリーエンコーダEにより偏光板11の回転角を検出する。そして、ロータリーエンコーダEが第2直線偏光の偏光方向と一致する偏光板11の偏光方向を検出することにより第2直線偏光の偏光方向が算出される。第2実施形態の場合、第1実施形態のように偏光板11の回転が等速回転である必要はなく、ロータリーエンコーダEの測定精度が、そのまま位相の計算精度になる。内挿信号に求められる精度は1回転を1000分割程度で十分であるが、これを一般的なロータリーエンコーダEで実現することは非常に容易である。なお図3では、偏光板11の外周部にロータリーエンコーダEの放射状格子を一体的に記録しておき、その放射状格子に回転角読取エンコーダヘッドEを近接配置しているので小型化も可能である。なおこのロータリーエンコーダEは光学式だけではなく磁気式、静電式なども使用できる。[第3実施形態]図4は、第3実施形態のエンコーダの構成図である。第3実施形態では、放射状格子を用いたロータリーエンコーダEの代わりに偏光を用いた2つのロータリーエンコーダE1、E2を設置し、それらの値により偏光板11の回転角を検出する。図4では、偏光板11の外周部に0°および45°方位の2つの基準偏光板を近接配置する。そして、偏光板11と2つの基準偏光板の1つとの透過光を受光することで1回転に2周期の位相が90°ずれた2相信号を発生させる。この2相信号を元に算出された偏光板11の回転角度位置に基づいて、サーボドライバー93およびモータMを介して偏光板11の回転を制御する。他の実施形態本発明は、第1~第3実施形態の構成に限定されることなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。第1~3実施形態では、偏光を用いた格子干渉方式のロータリーエンコーダの光学系を、2つの偏光ビームスプリッタ面と3つの1/4波長板と1つの1/2波長板とで構成した。しかし、偏光ビームスプリッタ面、1/4波長板、1/2波長板の数は変更し得る。また、第1~3実施形態では、偏光ビームスプリッタ面として偏光プリズムの膜面を使用したが、ミラーを用いてもよい。さらに、第1~3実施形態では、回折格子を反射格子としたが、透過格子としてもよい。第1実施例形態では、インクリメンタル信号用の受光素子51の数は、1つのみであった。しかし、受光素子51として、90°の位相差がある2又は4つの受光素子を用いて、2相又は4相信号を出力するように構成し、1相をメインの計数相とし、他の相をカウントアップ/ダウンの不安定性を除くための判定に用いるように設けても良い。回転する偏光板11は、回転する波長板に変えることもできる。すなわち、第2ユニットは、回転する波長板と固定配置された偏光板とを含み、回転する波長板と固定配置された偏光板とを順次通過した第2直線偏光の強度の時間に対する変化を検出し、該検出結果から第2直線偏光の偏光方向を算出する。第1実施形態における時間を用いた内挿位相を演算する演算器95は、同等な機能を他のアルゴリズムやフローで実現させても良い。例えば、タイマーを内蔵し、基準位相信号の立ち上がりパルスの発生時間を順に検出し、回転制御信号の制御時間と比較する手法、回転制御系の制御信号を矩形波に変換し、基準位相信号の矩形波とのANDの時間または積分値から位相を算出する手法など様々な手法が採用し得る。第1実施形態のメイン回転ステージ105の位置決め停止動作は説明を判りやすくするためのものであり、実際には連続的に測定を繰り返すことで完全な停止状態でなくても計測は可能である。但し、その場合、基準エンコーダ内部の偏光板の回転速度との関係で精度が低下することに留意が必要である。第1~3実施形態において基準エンコーダをロータリーエンコーダとした。しかし、本発明は、直進型のエンコーダであるリニアエンコーダにおいても適用が可能である。リニアエンコーダの場合は角度点を座標点に読み替えることで内容は同じである。また、本発明では以下の作用効果を得ることができる。基準エンコーダの内部で、通常の角度点信号生成のための光束と基準位相生成のための光束が、同じ光束から分割されている。そして、角度点信号がこれまでと同じパルス発生時間として得られ、基準位相が別途内蔵された等速回転体によるパルス信号の時間関数として得られる。そのため、不確かさが基準エンコーダや被測定体エンコーダ、ポリゴンミラーの信号歪みに依存せず等速回転体の回転ムラだけに依存するため、角度点間の内挿信号の不確かさを見積もることが可能である。被測定体が静止状態で内挿測定が可能であるため、ポリゴンミラーやアブソリュートエンコーダの校正が可能になる。"