真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜するアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置であって、内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁面に上下方向へ移動可能に設けられ、前記真空チャンバーの幅方向へ延びてあって、基準のレール高さ位置において前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容された可動ガイドレールと前記可動ガイドレールを上下方向へ移動させる上下移動機構と、前記可動ガイドレールに前記幅方向に移動可能に支持され、前記真空チャンバーの側面側から前記可動ガイドレールに対して送り出し及び引き出し可能であって、複数の保持孔が前記幅方向に沿って形成された複数のホルダと、前記ホルダにおける複数の前記保持孔に挿通した状態でそれぞれ保持され、上端部に対応関係にある天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた誘導結合型電極と、を具備し、前記可動ガイドレールに前記ホルダがセットされると、鉛直状態で同一平面上に間隔を置いて配列された複数の前記誘導結合型電極からなりかつプラズマを発生させるアレイアンテナが形成され、前記アレイアンテナの少なくとも片側に鉛直状態の基板をセット可能な基板エリアが形成されてあって、前記可動ガイドレールに前記ホルダをセットした状態で、記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっていることを特徴とするアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記ホルダは、前記幅方向に沿って分割された複数の分割ホルダからなることを特徴とする請求項1に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記可動ガイドレールに支持された複数の前記ホルダの前記幅方向の移動を規制するホルダ用ストッパと、を具備したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記基準のレール高さ位置を越える前記可動ガイドレールの上方向の移動を規制するレール用ストッパと、を具備したことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。複数の前記天井側コネクタは、前記高周波電源の供給側に電気的に接続された複数の第1天井側コネクタと、前記高周波電源の接地側に電気的に接続された複数の第2天井側コネクタとからなり、前記第1天井側コネクタと前記第2天井側コネクタが前記幅方向に沿って交互に配設されてあって、複数の前記保持孔は、複数の第1保持孔と複数の第2保持孔からなり、前記ホルダに前記第1保持孔及び前記第2保持孔が前記幅方向に沿って交互に形成され、各第1保持孔は前記第1電極棒を挿通した状態で支持可能であって、各誘導結合型電極は、前記ホルダの前記第1保持孔に挿通した状態で保持されかつ上端部に前記第1天井側コネクタに接続可能な第1アンテナ側コネクタが設けられた第1電極棒、前記ホルダの前記第2保持孔に挿通した状態で保持されかつ前記第1電極棒に対して平行であってかつ上端部に前記第2天井側コネクタに接続可能な第2アンテナ側コネクタが設けられた第2電極棒、及び前記第1電極棒の下端部と前記第2電極棒の下端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具を備え、前記可動ガイドレールに複数の前記ホルダをセットした状態で、前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第1天井側コネクタに接続しかつ各第2アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第2天井側コネクタに接続するようになっていることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。各第2電極棒がパイプ状を呈しており、各第2電極棒の内部が前記ガス供給源に接続されあって、各第2電極棒の外周面に材料ガスを噴出する噴出孔が貫通して形成されてあって、各第2電極棒は、前記噴出孔が指定の向きを指向するように前記第2保持孔に対して回転位置決め可能になっていることを特徴とする請求項4に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。ところで、誘導結合型電極の表面に皮膜等が付着し易く、通常、誘導結合型電極のメンテナンスが定期的に行われており、誘導結合型電極のメンテナンスの際、真空チャンバーに対する誘導結合型電極の着脱取付と取外しが1本ずつ行われている。そのため、複数本の誘導結合型電極の着脱作業を含む一連の誘導結合型電極のメンテナンス作業が煩雑化して、誘導結合型電極のメンテナンス時間が長くなると共に、アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置の停止によるスループットの低下量が大きくなるという問題がある。そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成のCVDプラズマ装置を提供することを目的とする。本発明の特徴は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜形成するアレイアンテナ式誘導結合型のCVDプラズマ装置であって、内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続した複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁面に上下方向へ移動可能に設けられ、前記真空チャンバーの幅方向へ延びてあって、基準のレール高さ位置において前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容された可動ガイドレールと、前記可動ガイドレールを上下方向へ移動させる上下移動機構と、前記可動ガイドレールに前記幅方向に移動可能に支持され、前記真空チャンバーの側面側から前記可動ガイドレールに対して送り出し及び引き出し可能であって、複数の保持孔電極保持部が前記幅方向に沿って形成された複数のホルダと、前記ホルダにおける複数の前記保持孔に挿通した状態で保持され、上端部に対応関係にある天井側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた誘導結合型電極と、を具備し、前記可動ガイドレールに前記ホルダがセットされると、鉛直状態で同一平面上に間隔を置いて配列配設された複数の前記誘導結合型電極からなりかつプラズマを発生させるアレイアンテナが形成構成され、前記アレイアンテナの少なくとも片側に鉛直状態の基板をセット可能な基板エリアが形成されてあって、前記可動ガイドレールに前記ホルダをセットした状態支持させた状態で、前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっていることを要旨とする。なお、特許請求の範囲及び明細書において、設けられとは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、配設されとは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、支持されとは、直接的に支持されたことの他に、別部材を介して間接的に支持されたことを含む意である。本発明の特徴による前記誘導結合型電極の着脱取付と取外しに関する作用前記真空チャンバーの外側において、前記ホルダの複数の前記保持孔に前記誘導結合型電極を挿通させた状態でそれぞれ保持させることにより、複数本の前記誘導結合型電極をまとめることができる。次に、前記ホルダを前記真空チャンバーの側面側から前記可動ガイドレールに送り出すことにより、前記ホルダを前記可動ガイドレールにセットする。そして、前記上下移動機構によって前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させることにより、前記アレイアンテナを上方向へ移動させて、各アンテナ側コネクタを対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続させる。これにより、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側に取付けることができる。また、前述の動作と反対の動作を行うことにより、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側から取外すことができる。要するに、前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁面に前記可動ガイドレールが上下方向へ移動可能に設けられ、前記可動ガイドレールに前記ホルダが前記幅方向に移動可能に支持され、前記ホルダの複数の前記保持孔に前記誘導結合型電極が挿通した状態でそれぞれ保持され、前記可動ガイドレールに前記ホルダをセットした状態で、前記可動ガイドレールを前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各アンテナ側コネクタが対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続するようになっているため、前述のように、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して着脱することができる。本発明の特徴による成膜処理に関する作用前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧して、前記基板エリアに基板をセットする。また、前記ガス供給源によって前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給する。そして、前記高周波電源によって複数本の誘導結合型電極に高周波波電力を供給することにより、前記アレイアンテナの周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させる。これにより、基板の表面に薄膜を成膜形成することができる。なお、前記基板エリアに基板をセットした状態で、前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧しても構わない。ここで、前記可動ガイドレールが前記基準のレール高さ位置において前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容され、前記ホルダが前記可動ガイドレールに対して前記幅方向へ移動可能であるため、成膜処理中に、前記可動ガイドレール及び前記ホルダの前記幅方向に熱膨張を構造的に逃がすことができる。本発明によれば、複数本の前記誘導結合型電極をまとめた状態で前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して着脱できるため、複数本の前記誘導結合型電極の着脱作業を含む一連の前記誘導結合型電極のメンテナンス作業を簡略化して、前記誘導結合型電極のメンテナンス時間を大幅に短縮すると共に、前記アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置の停止によるスループットの低下量が極力小さくすることができる。また、成膜処理中に、前記可動ガイドレール及び前記ホルダの前記幅方向に熱膨張を構造的に逃がすことができるため、前記可動ガイドレール及び前記ホルダに過度の応力が働くことを抑えて、前記可動ガイドレール及び前記ホルダの耐久性を十分に確保することができる。本発明の実施形態について図1から図11を参照して説明する。なお、図面中、FFは前方向、FRは後方向、Lは左方向、Rは右方向、Uは上方向、Dは下方向をそれぞれ指してある。図1から図4に示すように、本発明の実施形態に係るアレイアンテナ方式誘導結合型のCVDプラズマ装置1は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板Wの表面に付着させることにより、基板Wの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜図示省略を成膜形成する装置である。アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置1は、箱型の真空チャンバー3を具備しており、この真空チャンバー3は、真空圧を発生させる真空ポンプ等の真空圧発生源5に接続されてあって、内部を真空状態に減圧可能である。また、真空チャンバー3は、チャンバー本体7の備えており、このチャンバー本体7は、正面側前側にフロント開口部7a、背面側後側にリア開口部7b、両側面側左側面側及び右側面側にサイド開口部7cをそれぞれ有している。更に、チャンバー本体7の正面部前部には、フロント開口部7aを開閉可能なフロント壁9が設けられており、チャンバー本体7の背面部後部には、リア開口部7bを開閉可能なリア壁11が設けられている。そして、チャンバー本体7の両側部左側部及び右側部には、サイド開口部7cを開閉可能なサイド壁ゲートバルブを含む13がそれぞれ設けられており、チャンバー本体7の上部には、天井壁15が設けられている。真空チャンバー3の天井壁15には、第1天井側コネクタ17と第2天井側コネクタ19が真空チャンバー3の幅方向左右方向に交互に配設されており、換言すれば、真空チャンバー3の天井壁15には、複数の天井側コネクタ複数の第1天井側コネクタ17と複数の第2天井側コネクタ19が左右方向に間隔を置いて配設されている。ここで、各第1天井側コネクタ17は、高周波電力を供給する高周波電源21の供給側非接地側に電気的に接続されており、各第2天井側コネクタ19は、高周波電源21の接地側に電気的に接続されている。真空チャンバー3の外側の適宜位置には、真空チャンバー3の内部側へ材料ガスを供給するガス供給ボンベ等のガス供給源23が配設されている。真空チャンバー3の天井壁15の内壁面には、複数のブラケット25が左右方向に間隔を置いて配設されており、複数のブラケット25の配設状態は、前後に2列になっている。また、各ブラケット25には、ガイド長穴27が形成されており、各ガイド長穴27は、上下方向鉛直方向へ延びた鉛直部27aと、鉛直部27aに連通しかつ水平な左右方向へ延びた水平部27bとを有している。各列の複数のブラケット25には、左右方向へ延びた断面L型の可動ガイドレール29が上下方向へ移動可能に設けられており、具体的には、可動ガイドレール29の前面又は後面には、複数のスライドピン31が左右方向に間隔を置いて配設されており、各スライドピン31は、対応関係にあるブラケット25のガイド長穴27の鉛直部27aに上下方向へ移動可能に案内支持されている。換言すれば、真空チャンバー3の天井壁15の内周面には、一対の可動ガイドレール29が複数のブラケット25等を介して上下方向へ移動可能に設けられている。ここで、可動ガイドレール29は、複数のブラケット25のガイド長穴27によって基準のレール高さ位置図1において実線で示す位置を越える上方向の移動が規制されており、換言すれば、複数のブラケット25のガイド長穴27はレール用ストッパとしての機能を有している。また、各可動ガイドレール29は、複数のブラケット25のガイド長穴27の水平部27bによって前記基準のレール高さ位置において左右方向の変位が許容されるようになっている。真空チャンバー3の内部には、手動操作によって一対の可動ガイドレール29を上下方向へ移動させる上下移動機構33が配設されている。具体的には、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面には、一対のガイド支柱35が左右方向に離隔しかつ垂下して設けられており、一方のガイド支柱右側のガイド支柱35は、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面に対して取外し可能着脱可能である。また、各ガイド支柱35には、一対の可動ガイドレール29の左端部又は右端部を下方向から支持する可動支持部材37が嵌挿して設けられており、各可動支持部材37は、ガイド支柱35に対して上下方向へ移動可能でかつ着脱可能である。更に、各ガイド支柱35における可動支持部材37の下側には、手動操作回転操作によって可動支持部材37を上下方向へ移動させる操作ナット操作部材の一例39が螺合して設けられており、各操作ナット39は、ガイド支柱35に対して着脱可能である。なお、手動操作によって一対の可動ガイドレール29を上下方向へ移動させる上下移動機構33の代わりに、自動操作によって一対の可動ガイドレール29を上下方向へ移動させるアクチュエータ等の別の上下移動機構を用いても構わない。図2から図5に示すように、一対の可動ガイドレール29には、ホルダ41が左右方向に移動可能に支持されており、このホルダ41は、左右方向に沿って分割した複数の分割ホルダ41Sからなり、各分割ホルダ41Sの前側面及び後側面には、可動ガイドレール29の上面を転動する複数のローラ車輪43が回転可能に設けられており、各ローラ43の外周側には、可動ガイドレール29に対して分割ホルダ41Sの前後方向の移動を規制するテーパ状のフランジ部43fが形成されている。また、各分割ホルダ41Sは、真空チャンバー3の右側面側からチャンバー本体7のサイド開口部7cを介して一対の可動ガイドレール29に対して送り出し及び引き出し可能である。更に、各分割ホルダ41Sには、第1保持孔第1電極保持部45及び第2保持孔第2電極保持部47が左右方向に沿って交互に形成されており、換言すれば、各分割ホルダ41Sには、複数の保持孔複数の第1保持孔45及び複数の第2保持孔47が左右方向に沿って形成されている。一対の可動ガイドレール29の左端部側の所定位置には、分割ホルダ41Sの左方向の移動を規制する第1ホルダ用ストッパ49が設けられており、この第1ホルダ用ストッパ49は、可動ガイドレール29に対して取外し可能着脱可能である。また、可動ガイドレール29の右端部側の所定位置には、分割ホルダ41Sの右方向の移動を規制する第2ホルダ用ストッパ51が設けられており、この第2ホルダ用ストッパ51は、可動ガイドレール29に対して取外し可能着脱可能である。各分割ホルダ41Sにおける各一対の第1保持孔45及び第2保持孔47には、U字形状の誘導結合型電極アンテナ素子53が挿通した状態で保持されており、各誘導結合型電極53は、対応関係にある一対の第1保持孔45及び第2保持孔47に対して着脱可能である。そして、一対の可動ガイドレール29に複数の分割ホルダ41Sがセットさせると、複数の誘導結合型電極53からなりかつプラズマを発生させるアレイアンテナ55が形成構成されるようになっている。また、アレイアンテナ55の前後両側前側及び後側には、鉛直状態の基板Wをセット可能な基板エリアAが形成されている。図5から図7に示すように、各誘導結合型電極53は、分割ホルダ41Sの第1保持孔45に挿通した状態で保持されかつ上端部基端部に対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続可能な第1アンテナ側コネクタ57が設けられた第1電極棒59、分割ホルダ41Sの第2保持孔47に挿通した状態で保持されかつ第1電極棒59に対して平行であってかつ上端部基端部に対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続可能な第2アンテナ側コネクタ61が設けられたパイプ状の第2電極棒63、及び第1電極棒59の下端部先端部と第2電極棒63の端部先端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具65を備えている。また、各第2電極棒63の外周面には、材料ガスを噴出する噴出孔69が形成されている。更に、各第2電極棒63は、噴出孔69が指定の向きを指向するように位置決めピン等によって第2保持孔47に対して回転位置決め可能になっている。なお、分割ホルダ41S毎にグループ化された複数本の第1電極棒59の下端部及び複数本の第2電極棒63の下端部には、左右方向へ延びた連結棒71が連結されている。そして、一対の可動ガイドレール29に複数の分割ホルダ41Sをセットした状態で、一対の可動ガイドレール29を前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタ57が対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続しかつ各第2アンテナ側コネクタ61が対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続するようになっている。図1及び図2に示すように、真空チャンバー3の内部の床面には、左右方向へ延びた一対の下部ガイドレール73が設けられており、一対の下部ガイドレール73には、台車75が左右方向へ移動可能に設けられている。換言すれば、真空チャンバー3の内部の床面には、台車75が一対の下部ガイドレール73を介して左右方向へ移動可能に設けられている。また、台車75は、チャンバー本体7のサイド開口部7cを介して真空チャンバー3の内部に送り出し及び引き出し可能である。そして、台車75には、鉛直状態の基板Wを保持する枠状の一対の基板ホルダ77が立設されてある。なお、台車75を真空チャンバー3の内部における基準の台車送り出し位置図1に実線で示す台車75の位置に送り出すことによって各基板エリアAに基板Wがセットされるようになっている。なお、本発明の実施形態にあっては、基板エリアAに基板Wをセットするために台車75等を用いているが、別のセット手段を用いて基板エリアAに基板Wをセットするようにしても構わない。続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。作業者による誘導結合型電極53の着脱取付と取外しに関する作用複数本の誘導結合型電極53を真空チャンバー3の天井壁15側に取付ける場合には、まず、真空チャンバー3の外側において、各分割ホルダ41Sの各第1保持孔45に第1電極棒59第1アンテナ側コネクタ57を挿通した状態で保持させると共に、各分割ホルダ41Sの各第2保持孔47に第2電極棒63第2アンテナ側コネクタ61を挿通した状態で保持させる。これにより、図8に示すように、複数本の誘導結合型電極53をグループ単位分割ホルダ41Sの個数に応じたグループ単位でまとめることができる。複数本の誘導結合型電極53をまとめた後に、図9に示すように、複数の分割ホルダ41Sを真空チャンバー3の右側面側からチャンバー本体7のサイド開口部7cを介して一対の可動ガイドレール29に順次送り出す。これにより、複数の分割ホルダ41Sホルダ41を一対の可動ガイドレール29にセットすることができる。このとき、第1ホルダ用ストッパ49は一対の可動ガイドレール29の左端部側の所定位置に装着されており、第2ホルダ用ストッパ51は一対の可動ガイドレール29の右端部側から取外されあって、一方のガイド支柱35は真空チャンバー3の天井壁15の内壁面から取外されてある。また、各スライドピン31は、対応関係にあるブラケット25のガイド穴27の鉛直部27aの底面下側面に支持されてあって、可動ガイドレール29は、前記基準のレール高さ位置よりも低い高さ位置に位置している。複数の分割ホルダ41Sを一対の可動ガイドレール29にセットした後に、図10に示すように、第2ホルダ用ストッパ51を一対の可動ガイドレール29の右端部側の所定位置に装着すると共に、一方のガイド支柱35を真空チャンバー3の天井壁15の内壁面に装着する。次に、一方のガイド支柱35に可動支持部材37を下方向から嵌挿させて、一方のガイド支柱35における可動支持部材37の下側に操作ナット39を螺合させる締め付ける。そして、図11に示すように、各操作ナット39の回転操作によって一対の可動支持部材37を上方向へ移動させることにより、一対の可動ガイドレール29を前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させる。これにより、アレイアンテナ55を上方向へ移動させて、各第1アンテナ側コネクタ57が対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続させかつ各第2アンテナ側コネクタ61を対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続させることができる。これにより、複数本の誘導結合型電極53をグループ単位でまとめた状態で真空チャンバー3の天井壁15側に取付けることができる。複数本の誘導結合型電極53を真空チャンバー3の天井壁15側から取外して、真空チャンバー3から取り出す場合には、各操作ナット39の回転操作によって一対の可動支持部材37を下方向へ移動させることにより、一対の可動ガイドレール29を前記基準のレール高さ位置から下方向へ移動させる。これにより、アレイアンテナ55を下方向へ移動させて、第1アンテナ側コネクタ57と第1天井側コネクタ17との接続状態を解除する共に、第2アンテナ側コネクタ61と第2天井側コネクタ19との接続状態を解除する。第1アンテナ側コネクタ57と第1天井側コネクタ17との接続状態等を解除した後に、一方のガイド支柱35における可動支持部材37の下側から操作ナット39を緩めて取外し、一方のガイド支柱35から可動支持部材37を取外す。続いて、第2ホルダ用ストッパ51を一対の可動ガイドレール29の右端部側の所定位置から取外すと共に、一方のガイド支柱35を真空チャンバー3の天井壁15の内壁面から取外す。そして、複数の分割ホルダ41Sを真空チャンバー3の右側面側からチャンバー本体7のサイド開口部7cを介して一対の可動ガイドレール29から順次引き出す。これにより、複数本の誘導結合型電極53をまとめた状態で真空チャンバー3の天井壁15側から取外して、真空チャンバー3から取り出すことができる。なお、複数本の誘導結合型電極53の着脱作業の終了後に、第1ホルダ用ストッパ49及び第2ホルダ用ストッパ51を一対の可動ガイドレール29から取外しておく。要するに、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面に一対の可動ガイドレール29が上下方向へ移動可能に設けられ、一対の可動ガイドレール29に複数の分割ホルダ41Sが左右方向に移動可能に支持され、各分割ホルダ41Sにおける各一対の第1保持孔45及び第2保持孔47に誘導結合型電極53が挿通した状態で保持され、一対の可動ガイドレール29に複数の分割ホルダ41Sをセットした状態で、一対の可動ガイドレール29を前記基準のレール高さ位置まで上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタ57が対応関係にある第1天井側コネクタ17に接続しかつ各第2アンテナ側コネクタ61が対応関係にある第2天井側コネクタ19に接続するようになっているため、前述のように、複数本の誘導結合型電極53をグループ単位でまとめた状態で真空チャンバー3の天井壁15側に対して着脱することができる。成膜処理に関する作用まず、真空圧発生源5によって真空チャンバー3の内部を真空状態に減圧する。次に、台車75を真空チャンバー3の内部における前記基準の台車送り出し位置に送り出すことにより、各基板エリアAに基板Wをセットする。次に、また、ガス供給源23によって真空チャンバー3の内部側へ材料ガスを供給することにより、各第2電極棒63の各噴出孔69から基板エリアAに向かって材料ガスを噴射する。そして、高周波電源21によって複数本の誘導結合型電極53に高周波波電力を供給することにより、アレイアンテナ55の周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を2枚の基板Wの表面に付着させる。これにより、2枚の基板Wの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜を成膜形成することができる。ここで、各可動ガイドレール29が複数のブラケット25のガイド長穴27の水平部27bによって前記基準のレール高さ位置において真空チャンバー3に対する左右方向の変位が許容され、各分割ホルダ41Sが一対の可動ガイドレール29に対して左右方向へ移動可能であるため、成膜処理中に、各可動ガイドレール29及び各分割ホルダ41Sの左右方向に熱膨張を構造的に逃がすことができる。本発明の実施形態の効果以上の如く、本発明の実施形態によれば、複数本の誘導結合型電極53をグループ単位でまとめた状態で真空チャンバー3の天井壁15側に対して着脱できるため、複数本の誘導結合型電極53の着脱作業を含む一連の誘導結合型電極53のメンテナンス作業を簡略化して、誘導結合型電極53のメンテナンス時間を大幅に短縮すると共に、アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置1の停止によるスループットの低下量が極力小さくすることができる。また、成膜処理中に、各可動ガイドレール29及び各ホルダの前記幅方向に熱膨張を構造的に逃がすことができるため、各可動ガイドレール29及び各分割ホルダ41Sに過度の応力が働くことを抑えて、各可動ガイドレール29及び各分割ホルダ41Sの耐久性を十分に確保することができる。なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、例えば、アレイアンテナ55にU字形状の複数本の誘導結合型電極53を用いる代わりに、I字形状の複数本の誘導結合型電極を用いる等、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。