てん輪-ひげぜんまい振動子のためのひげぜんまい5の、トルクの動的または静的測定のための装置であって、その上に座部が配置される心棒2と、前記心棒2に関連付けられた、基準要素1、基準のはずみ車、またはひげぜんまいと、前記心棒2を枢動させるための枢動手段3、4と、前記ひげぜんまい5の外側端部を、前記測定中に前記心棒2に対して固定したままにするための手段と、前記座部の一部分の上に設けられた弾性要素2bと、前記弾性要素2b上に作用する手段7とを備え、前記ひげぜんまい5の前記内側端部が、ひげ玉5aに固定されることと、前記心棒2の前記座部の直径が、前記ひげ玉5aの軸方向開口の前記壁部との摩擦による駆動連結を可能にする寸法であることと、前記手段7の作用の下で、前記駆動連結を形成する前記座部の前記部分の断面を前記ひげ玉5aの前記軸方向開口の寸法より大きい寸法からより小さい寸法にするように、前記弾性要素2bが形成されることとを特徴とする装置。前記座部が、前記弾性要素2bを形成するために少なくとも1つの直径方向の溝を有する、前記心棒の部分2a内に形成される、請求項1に記載の装置。前記座部が、前記心棒2の部分2a内に形成され、前記部分2aの前記断面が、この座部と前記心棒2の端部との間で縮小され、前記座部へのアクセスをもたらす、請求項1または2のいずれか一項に記載の装置。前記心棒2の枢動軸が、垂直であり、前記枢動手段が、前記心棒2の前記底端部が内部に係合される軸受3を備える、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。前記枢動手段が、第2の軸受を備える、請求項4に記載の装置。前記第2の軸受が、空気軸受4である、請求項5に記載の装置。前記座部の前記断面を前記ひげ玉5aの前記軸方向開口の寸法より小さい寸法にするために、前記弾性要素2b上に作用する前記手段7が、締付けピンサを備える、請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。前記ひげ玉5aが、前記ひげぜんまい5と一体に製作された、請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。前記ひげぜんまい5が、以下の材料、すなわちシリコン、酸化シリコン膜を有するシリコン、クウォーツ、ダイヤモンドのうちの1つで製作される、請求項1から8のいずれか一項に記載の装置。前記測定中に、前記ひげぜんまい5の前記外側端部が、前記ひげぜんまい5が内部にエッチングされた前記材料のウエハ5bに固定され、このウエハ5bが、フレームBに固定される、請求項1から9の一項に記載の装置。請求項1から10のいずれか一項に記載の装置を用いてひげぜんまいのトルクを測定するための方法であって、以下の、前記測定装置が、測定されるべき前記ひげぜんまい5の下に配置されるステップと、前記軸2の前記部分2a前記直径が、前記手段7の前記作用によって縮小されるステップと、前記心棒2の前記部分2aが、前記ひげ玉5aの前記軸方向開口を通して挿入されるステップと、前記手段7の前記作用が緩められるステップと、前記心棒2が、前記基準のはずみ車1から解放されるステップと、前記心棒‐はずみ車‐ひげぜんまいアセンブリが振動させられるステップと、前記振動数が測定されるステップと、前記心棒2が停止されるステップと、前記心棒2の前記部分2a前記直径が、前記手段7の前記作用によって縮小されるステップと、前記心棒2が、前記ひげ玉5aから引き抜かれるステップとを含む方法。前記ひげぜんまい5の前記外側端部が、このひげぜんまい5がエッチングされた材料で製作されたウエハ5bに固定され、このウエハ5bが、フレームBに固定される、請求項11に記載のひげぜんまい5のトルクを測定するための方法。前記ウエハ5bが、いくつかのひげぜんまい5を備える、請求項11または12のいずれか一項に記載のひげぜんまい5のトルクを測定するための方法。前記心棒2が、前記ひげ玉5aから引き抜かれると、前記測定装置が、前記シリコンウエハ5bからエッチングされた次のひげぜんまい5へと動かされる、請求項13に記載のひげぜんまい5のトルクを測定するための方法。前記はずみ車1の前記慣性を決定する事前ステップも含む、請求項11から14のいずれか一項に記載のひげぜんまい5のトルクを測定するための方法。ロボットにより実行される、請求項11から15のいずれか一項に記載のひげぜんまい5のトルクを測定するための方法。本発明の目的は、特に、上述のKiesewetterシステムの多くの欠点をなくすことであり、上述の破損の危険性を少なくとも部分的に是正することである。したがって、本発明の主題は、請求項1に記載の、てん輪‐ひげぜんまい振動子のためのひげぜんまいのトルクを測定するための装置である。好ましくは、この装置は、てん輪‐ひげぜんまい振動子のためのひげぜんまいのトルクを動的に測定するために使用され、前記心棒は、所定の慣性のはずみ車に固定される。本発明は、測定されるべきひげぜんまいが、シリコン、ダイヤモンド、またはクウォーツなど、弾性変形の範囲をもたない材料で製作されるひげぜんまいであるときに、特に有用である。本発明がより具体的にしかし排他的にではなく意図するシリコンひげぜんまいの製造は、マイクロエレクトロニクス構成要素の製造用と同じフォトリソグラフィー技術を用いる。樹脂マスクが、シリコンウエハの表面上に形成され、構成要素の幾何学形状を規定する。次に、ディープエッチングを用いて、マスクによって保護されない場所の材料を除去して、単一レベル上構成要素の厚さ全体上と同じまたは複数のレベル上のいずれかに、構成要素を製作する。次いで、このひげぜんまいを通常の単一金属のてん輪と結合させることにより、熱補正されたてん輪-ひげぜんまい振動子、すなわち特許文献7に記載されるような、熱に伴う動作のばらつきをほとんどまたはまったく示さない振動子を製作することを可能にするように、ひげぜんまいの結果的な熱係数を得るために、熱酸化を実施してシリコンを酸化シリコン層で覆う。次いでこのひげぜんまいは、計測および等級分けされる。好ましくはひげぜんまいが基準のてん輪に結合された後にその振動数を測定することにより実行される、それぞれのひげぜんまいのトルクの点検は、ひげぜんまいが、シリコンウエハに依然固定されたままである間に、測定装置の振動心棒に対する固定点に固定されたままである間に、またはひげぜんまいがウエハから取り外された後にも、実行できることが有利である。理想的な状況は、ひげぜんまいがエッチングされたシリコンウエハにひげぜんまいが依然取り付けられている間に、振動数を測定することにより、測定、すなわち静的または好ましくは動的測定を実行できることである。ただしこれは、測定を行うために用いられる手段に関する制約を課す。通常直径150mmのウエハ6インチウエハ上でこの測定を行うためには、適用を単純にするために、機械的測定手段がウエハの1つの同じ面上にあることが有利である。添付の図面は、本発明の主題である測定装置の一実施形態を概略的に例として示す。本発明による測定装置は、好ましくは、基準のてん輪を備え、このてん輪は、心棒2に取り付けられた所定の慣性のはずみ車1を備え、心棒2の底端部は、軸受3内に載る。この装置は、ひげぜんまいのトルクの動的測定用に設計されている。図示しない変形形態によれば、はずみ車1の代わりに、心棒2を所定のトルクの基準のひげぜんまいに結合させることができ、それにより、精度がより低いトルクの静的測定を行うことが可能になる。第2の枢動部4を、たとえばはずみ車1のすぐ上に配置される空気軸受によって設けることができる。第2の枢動部はまた、シリコンウエハ5b内にエッチングされ依然固定されており、測定装置が取り付けられるフレームBに固定されるひげぜんまい5のみによって設けることができる。この変形形態は、品質係数を低下させるが、振動数測定中に得られる精度は組合せを実行するのに十分なままであることを、試験が示している。ひげぜんまい5は、好ましくは、ひげ玉5aとともにシリコンウエハ5b内にエッチングされ、ひげ玉5aは、ひげぜんまい5の内側端部とともに1つの部片として製作され、座部として働く心棒2の上方部分2aに係合するために、軸方向開口を備える。はずみ車1の上方にある心棒2の部分2aは、直径方向で分割され、弾性要素2bを構成する。2つの直径方向の分割部は、図3に示すように構成される90°の角度をそれらの間で形成することが有利である。弾性要素2bは、締付けピンサ7と結合される。ピンサ7は、心棒2の上方部分2aの断面を、前記ひげ玉5aの軸方向開口の寸法より大きい寸法から小さい寸法へと変えることを可能にし、それにより、ひげぜんまいが心棒2の部分2aに取り付けられるとき、およびそこから分離されるときに、ひげ玉およびひげぜんまいに機械的に応力を加えないことを可能にし、シリコンが弱さにより破損することを防止する。上記の測定装置の振動数は、光学手段8により既知のやり方で測定することができることが有利である。振動数の測定は、本発明の部分を形成せず、本発明を理解するために必要ではないので説明しない。ひげぜんまい5のひげ玉5aを受けるように設計された、心棒2の上方部分2aの座部は、ひげぜんまい5を心棒2に沿って正確に位置決めすることを可能にするための軸受表面2cを備えることが有利である。好ましくは、心棒2の上方部分2aは、ひげ玉5aの軸方向開口との係合をより容易にするために、その上方端部に円錐部分を有する。したがって、Kiesewetterシステムと比較すると、このシステムは大幅に単純であり、心棒はより少ない要素を有する。ひげ玉を心棒に固定するために広く動くことは、Kiesewetterシステムの作り付けの動く要素ばねおよびコーンを、てん輪のバランスを変化させない心棒上に配置される弾性要素で有利に置き換えることが可能になる。さらに、直径を縮小および拡大するステップを逆転することは、いくつかの重要な結果をもたらす。具体的には、ひげ玉-ひげぜんまいアセンブリを装置に固定するために心棒の直径を拡大することは、Kiesewetterシステムの心棒上の、測定ごとおよびひげぜんまいごとに異なる可能性がある、さらなるおよび制御不可能なバランス上の欠陥をもたらす作り付けの可動部品を除去すること、Kiesewatterシステムでは不可能である、ひげ玉が作り付けられたひげぜんまいを心棒に固定すること、Kiesewetterシステムの場合の、無視できない機械的ストレスおよび歪みを伴う機械的運動の代わりに、摩擦のみによってひげぜんまいおよびそのひげ玉を駆動することを可能にする。1つの例示的実施形態では、締付けピンサ7は、心棒の直径を、その端部にて30以上減少することを可能にする。たとえば、ひげ玉の軸方向開口の直径は、0.5mmであり、点検装置の分割された心棒の外側直径は、0.6mmである。締付けピンサ7は、この直径を0.4mmに縮小することを可能にし、および心棒2の部分2aを、摩擦なくしてひげ玉5の軸方向開口を通して挿入することを可能にする。締付けピンサ7が緩められるときに、弾性要素2bによって生み出される力は、純粋に径方向であるので、ひげ玉5aの破損の危険性は極度に低い。締付けピンサ7を緩めた後のひげぜんまい5のひげ玉5aの摩擦による連結は、測定を可能にするために必要な摩擦力よりも数桁大きい。上記装置を用いてひげぜんまいのトルクを測定するための典型的な順序は、以下のやり方で進めることができる。測定装置が、測定されるべきひげぜんまい5の下に配置される、軸2の部分2aの直径が、締付けピンサ7により縮小される、心棒2の部分2aは、ひげ玉5aの軸方向開口を通して挿入される、締付けピンサ7が緩められる、心棒2が、基準のはずみ車1から解放される、心棒-はずみ車-ひげぜんまいアセンブリが振動させられる、振動数が測定される、心棒2が停止される、心棒2の部分2aの直径が、締付けピンサ7により縮小される、心棒2が、ひげ玉5aから引き抜かれる測定装置が、次の測定を行うことができるように、シリコンウエハ5b内にエッチングされた隣のひげぜんまい5へと移動する。当然、いくつかのステップを同時に実行することができる。測定装置は、3つの線形自由度3DDLを有するロボットにより動かすことができることが有利である。一例を挙げると、シリコンウエハ5bのひげぜんまいは、10mm離間され、ひげぜんまい5の外径は、8mmである。この装置は、1枚の同じウエハ上に製作された通常175個のひげぜんまいが直径150mmのウエハ上に製作されるすべてのひげぜんまいのトルクを測定すること可能にする。ひげぜんまい5は当然、ひげぜんまい5をウエハ5bに結合させる、外部付属部品によって保持されることが有利である。これにより、その凹地点を固定し続けることが可能になる。ひげぜんまいが測定のためにウエハ5bから取り外される場合、ひげぜんまいの外側端部の取付け点を固定するための手段を設けなくてはならない。