微粒子検出装置が設置される抗微粒子付着性配管が設けられた試験室と、前記試験室内部に微粒子を注入する注入装置と、を備える、環境提供装置。前記抗微粒子付着性配管がステンレス鋼からなる、請求項1に記載の環境提供装置。前記抗微粒子付着性配管の表面が研磨加工されている、請求項1又は2に記載の環境提供装置。前記抗微粒子付着性配管がサニタリ配管である、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の環境提供装置。前記試験室内部の気体を攪拌する攪拌装置を更に備える、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の環境提供装置。前記試験室内部の気体を清浄化する清浄化装置を更に備える、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の環境提供装置。抗微粒子付着性配管を介して試験室に微粒子検出装置を接続することと、前記試験室内部に微粒子を注入することと、前記微粒子検出装置で、前記試験室内部を飛散する微粒子を検出することと、を含む、環境評価方法。前記抗微粒子付着性配管がステンレス鋼からなる、請求項7に記載の環境評価方法。前記抗微粒子付着性配管の表面が研磨加工されている、請求項7又は8に記載の環境評価方法。前記抗微粒子付着性配管がサニタリ配管である、請求項7乃至9のいずれか1項に記載の環境評価方法。前記試験室内部の気体を攪拌することを更に含む、請求項7乃至10のいずれか1項に記載の環境評価方法。前記試験室内部に前記微粒子を注入することの前に、前記試験室内部の気体を清浄化することを更に含む、請求項7乃至11のいずれか1項に記載の環境評価方法。そこで、本発明は、飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置及び環境評価方法を提供することを目的の一つとする。本発明の態様によれば、a微粒子検出装置が設置される抗微粒子付着性配管が設けられた試験室と、b試験室内部に微粒子を注入する注入装置と、を備える、環境提供装置が提供される。また、本発明の態様によれば、a抗微粒子付着性配管を介して試験室に微粒子検出装置を接続することと、b試験室内部に微粒子を注入することと、c微粒子検出装置で、試験室内部を飛散する微粒子を検出することと、を含む、環境評価方法が提供される。本発明によれば、飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置及び環境評価方法を提供可能である。以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。図1及び図2に示す実施の形態に係る環境提供装置は、複数の微粒子検出装置20A、20B、20C、20Dがそれぞれ設置される複数の抗微粒子付着性配管120A、120B、120C、120Dが設けられた試験室1と、試験室1内部に微粒子を注入する注入装置2と、を備える。試験室1は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなす帯電防止ポリカーボネート製の透明パネルと、を備えるチャンバである。ただし、試験室1の形状は、ダクト等であってもよい。試験室1内部の体積は、例えば3m3であるが、これに限定されない。試験室1には、例えば給気装置11A、11Bが設けられている。給気装置11A、11Bは、HEPAHighEfficiencyParticulateAirFilter及びULPAUltraLowPenetrationAirFilter等の超高性能エアフィルタを通して、試験室1内部に清浄な空気を送り込む。試験室1の側壁には、扉が設けられていてもよい。注入装置2は、例えばジェット式ネブライザ等の噴霧装置である。注入装置2は、例えば所定の濃度で微粒子を含む流体を内部に貯蔵しており、所定の流量で圧縮ガス等の気流の供給を受ける。注入装置2は、供給された気流を、微粒子を含む流体に吹きつけることによってエアロゾルを発生させ、試験室1内部に微粒子を含む流体をミスト状にして噴霧する。流体に含まれる微粒子とは、例えば、細菌、真菌、ウイルス、及びアレルゲン物質等の微生物である。あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、無害又は有害な化学物質である。また、あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、ごみ、ちり、及び埃等のダストである。なお、図1及び図2においては、注入装置2は試験室1内部に配置されているが、注入装置2を試験室1の外部に配置し、注入装置2が噴霧したエアロゾルを、配管等で試験室1内部に誘導してもよい。図2に示すように、実施の形態に係る環境提供装置は、注入装置2に供給される気流の流量の計測値を計測する流量計3と、計測値に基づき、注入装置2に供給される気流の流量を制御する流量制御装置4と、圧縮ガスを貯蔵する貯蔵槽5と、をさらに備える。貯蔵槽5、流量計3、流量制御装置4、及び注入装置2は、例えばパイプ12で接続されている。また、貯蔵槽5と、流量計3と、の間には、圧縮ガスに含まれ得る微粒子等を除去するための、例えばHEPA等の超高性能エアフィルタが設けられている。なお貯蔵槽5は、コンプレッサーやポンプなどの圧縮ガス供給源でもよい。流量計3は、マスフローメータ等が使用可能であり、貯蔵槽5から供給される圧縮ガスの流量の計測値を計測する。図3に示すように、流量計3は、パイプ12と連通するパイプ状の流路31が設けられた筐体32と、流路31を流れる圧縮ガスの流量を検出するための流れセンサ38と、を備える。図4及び図5に示す流れセンサ38は、キャビティ66が設けられた基板60、及び基板60上にキャビティ66を覆うように配置された絶縁膜65を備える。基板60の厚みは、例えば0.5mmである。また、基板60の縦横の寸法は、例えばそれぞれ1.5mm程度である。絶縁膜65のキャビティ66を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。さらに流れセンサ38は、絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた発熱素子61と、発熱素子61を挟むように絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた第1の測温素子62及び第2の測温素子63と、基板60上に設けられた保温素子64と、を備える。発熱素子61は、キャビティ66を覆う絶縁膜65のダイアフラムの部分の中心に配置されている。発熱素子61は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、発熱素子61に接する圧縮ガスを加熱する。第1の測温素子62及び第2の測温素子63は、例えば抵抗器等の受動素子等の電子素子であり、圧縮ガスの温度に依存した電気信号を出力する。第1の測温素子62は発熱素子61より流路31の上流側の温度を検出するために用いられ、第2の測温素子63は発熱素子61より流路31の下流側の温度を検出するために用いられる。図3に示す流路31中のガスが静止している場合、図4及び図5に示す発熱素子61から圧縮ガスに加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に伝播する。したがって、第1の測温素子62及び第2の測温素子63の温度は等しくなり、白金等からなる第1の測温素子62及び第2の測温素子63の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図3に示す流路31中の圧縮ガスが上流から下流に流れている場合、図4及び図5に示す発熱素子61から圧縮ガスに加えられた熱は、圧縮ガスによって下流方向に運ばれる。したがって、上流側の第1の測温素子62の温度よりも、下流側の第2の測温素子63の温度が高くなる。そのため、第1の測温素子62の電気抵抗と、第2の測温素子63の電気抵抗と、に差が生じる。第2の測温素子63の電気抵抗と、第1の測温素子62の電気抵抗と、の差は、図3に示す流路31中の圧縮ガスの速度と相関する。そのため、第2の測温素子63の電気抵抗と、第1の測温素子62の電気抵抗と、の差から、流路31を流れる圧縮ガスの流量が求められる。図4及び図5に示す保温素子64は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、基板60の温度を一定に保つ。基板60の材料としては、シリコンSi等が使用可能である。絶縁膜65の材料としては、酸化ケイ素SiO2等が使用可能である。キャビティ66は、異方性エッチング等により形成される。また発熱素子61、第1の測温素子62、第2の測温素子63、及び保温素子64のそれぞれの材料には白金Pt等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。流れセンサ38は、流れセンサ38の底面に配置されたガラス等からなる断熱部材68を介して、図3に示す流路31に固定される。断熱部材68を介して流れセンサ38を流路31に固定することにより、流れセンサ38の温度が、流路31の内壁の温度変動の影響を受けにくくなる。図2に示す流量制御装置4は、流量計3によって計測された流量の計測値に基づいて、パイプ12を流れる圧縮ガスの流量を、所定の値に制御する。図6に示すように、流量制御装置4は、例えば、流路43と、流路44と、流路43及び流路44の間に設けられた弁室45と、が設けられた弁座42を備える。さらに流量制御装置4は、磁性体のプランジャ47と、通電されてプランジャ47を上下させるソレノイドコイル48と、弁室45に収納され、プランジャ47に接続され、流路44を開閉する弁体46と、を備える。例えば、流量計3によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも大きい場合、流量制御装置4は、ソレノイドコイル48に通電して弁体46と、弁座42と、の間を狭め、圧縮ガスの流量を減少させる。また、流量計3によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも小さい場合、流量制御装置4は、ソレノイドコイル48に通電して弁体46と、弁座42と、の間を広げ、圧縮ガスの流量を増加させる。これにより、パイプ12を流れ、注入装置2に供給される圧縮ガスの流量が、所定の値の近傍に制御される。なお、図2においては、流量制御装置4は、流量計3の下流に配置されているが、流量制御装置4を、流量計3の上流に配置してもよい。図1及び図2に示すように、試験室1内には、攪拌装置としての攪拌ファン10A、10B、10C、10Dが配置されている。攪拌ファン10A-10Dは、試験室1内部の空気を攪拌し、試験室1内部に散布された微粒子の自重による自然沈降を防止する。さらに、試験室1内には、清浄化装置としてのエアクリーナー6が配置されている。エアクリーナー6は、試験室1内部の空気等の気体に含まれる微粒子を除去して、気体を清浄化する。例えば、注入装置2から試験室1内に微粒子を含む流体を噴霧する前に、エアクリーナー6を運転することによって、噴霧装置2が噴霧する微粒子以外の微粒子をあらかじめ試験室1内部から除去することが可能である。なお、図1及び図2においては、エアクリーナー6は試験室1内部底面に配置されているが、エアクリーナー6を試験室1の壁面または天井部に配置してもよい。微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれは、試験室1内部の空気を吸引して微粒子を捕捉し、試験室1内部を飛散する微粒子の数、密度、又は濃度等の量を計測する。抗微粒子付着性配管120Aは、例えば図7に示すように、試験室1の側壁の内側に設置されたフランジ付きのダクト121A、試験室1の側壁の外側に設置され、ダクト121Aと連通しているフランジ付き接続器具122A、接続器具122Aに接続されたボールバルブ123A、及びボールバルブ123Aに接続され、微粒子検出装置20Aに接続可能な接続器具124Aを備える。抗微粒子付着性配管120Aは、例えばこれらの構成要素の少なくとも一つが、表面研磨加工されたステンレス鋼SUSからなるサニタリ配管である。図1及び図2に示す抗微粒子付着性配管120Bは、例えば図8に示すように、試験室1の側壁の内側に設置されたフランジ付きのダクト121B、試験室1の側壁の外側に設置され、ダクト121Bと連通しているフランジ付き接続器具122B、接続器具122Bに接続されたボールバルブ123B、ボールバルブ123Bに接続されたフェルールコネクタ125B、フェルールコネクタ125Bに接続されたスレッドコネクタ126B、及びスレッドコネクタ126Bに接続され、微粒子検出装置20Bに接続可能な接続器具127Bを備える。抗微粒子付着性配管120Bは、例えばこれらの構成要素の少なくとも一つが、表面研磨加工されたステンレス鋼SUSからなるサニタリ配管である。図1及び図2に示す抗微粒子付着性配管120Cは、例えば図9に示すように、試験室1の側壁の内側に設置されたフランジ付きのダクト121C、試験室1の側壁の外側に設置され、ダクト121Cと連通しているフランジ付き接続器具122C、接続器具122Cに接続されたボールバルブ123C、及びボールバルブ123Cに接続され、微粒子検出装置20Cに接続可能なフェルールコネクタ125Cを備える。抗微粒子付着性配管120Cは、例えばこれらの構成要素の少なくとも一つが、表面研磨加工されたステンレス鋼SUSからなるサニタリ配管である。図1及び図2に示す抗微粒子付着性配管120Dの詳細は、例えば抗微粒子付着性配管120A-120Cのいずれかと同様である。ここで、試験室1と、微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれと、を接続する配管に微粒子が付着すると、付着した微粒子が再び飛散することにより、試験室1内部を飛散する微粒子を計測する際のバックグラウンドノイズとなるために、試験室1内部の環境を正確に測定することが困難になることを、本発明者らは見出した。これに対し、実施の形態に係る環境提供装置によれば、試験室1と、微粒子検出装置20A-20Dと、が、それぞれ抗微粒子付着性配管120A-120Dで接続されているため、抗微粒子付着性配管120A-120Dへの微粒子の付着が抑制される。そのため、配管に付着した微粒子が再飛散することによるバックグラウンドノイズを低減させることで、試験室1内部の環境を正確に測定することが可能となる。また、サニタリ配管である抗微粒子付着性配管120A-120Dは、洗浄ならびに滅菌が容易であるため、万一微粒子が付着した際にも除染が可能である。そのため、実施の形態に係る環境提供装置は、バックグラウンドノイズが発生した際にも、これを洗浄により低減させることが可能となる。実施例400研磨仕上げのステンレスSUS304製のプレートと、鉄SS400製のプレートと、帯電防止処理されたポリカーボネート製のプレートと、ポリエチレンテレフタレート製のプレートと、を用意した。次に、用意した4つのプレートを試験室内に、噴霧装置から等距離となるよう配置した。また、HEPAユニットを用いて、試験室内部の空気を清浄化した。その後、噴霧装置から枯草菌の芽胞を含む流体を1分間噴霧し、4分間噴霧を停止することを30分間繰り返した。その間、攪拌ファンによって、試験室内部の空気を攪拌し、試験室内に枯草菌を浮遊させた。30分経過後、HEPAユニットを用いて、試験室内部の空気を清浄化し、4つのプレートを回収した。栄研化学の拭き取り検査キットを用いて、回収した4つのプレートのそれぞれの100cm2の領域から付着菌を拭き取り、メンブレンフィルタで菌を捕集した後、メンブレンフィルタを培地に載せ、菌を培養した。培養後、菌数を計測した。その結果、図10及び図11に示すように、研磨処理されたステンレス製のプレート上の付着菌の数が最も少なかった。よって、研磨処理されたステンレスを環境提供装置の配管の材料とすることにより、環境提供装置の配管に菌が付着することを防止可能であることが示された。その他の実施の形態上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、図1に示す微粒子検出装置20A、20B、20C、20Dが試験室1の側面に設置されている例を示したが、微粒子検出装置20A、20B、20C、20Dは、試験室1の底面に設置されていてもよい。さらに、実施の形態では、図1に示す流量計3として、マスフローセンサを用いる例を示したが、他の種類の流量計も使用可能である。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。