"筐体内部が仕切板により上下に仕切られ、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体的に備えたウエハ冷却保管庫。前記仕切板の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、前記上側空間の開口部を閉じる扉を備え、当該扉は、開いたときに前記下側空間の開口部を閉じる位置まで回転することを特徴とする請求項1記載のウエハ冷却保管庫。前記扉に、前記ウエハの製造工程に関わる情報、および前記ウエハを識別する情報のいずれか一方、または両方を持つ情報担体が付されていることを特徴とする請求項2記載のウエハ冷却保管庫。前記ウエハの製造工程に関わる情報は加熱処理の温度であって、前記扉に付された前記情報担体は、前記温度に応じた大きさ、かつ、当該温度に応じた数の同心状の模様が描かれた温度識別表示であることを特徴とする請求項3記載のウエハ冷却保管庫。前記カセットには、前記ウエハの製造工程に関わる情報、および前記ウエハを識別する情報のいずれか一方、または両方の情報を持つバーコードまたはICタグが付され、前記扉に付された前記情報担体は、前記カセットに付されたバーコードまたはICタグとの間で情報の照合が可能なバーコードまたはICタグリーダであることを特徴とする請求項3記載のウエハ冷却保管庫。前記上側空間の側方に設けられ、前記扉を、前記上側空間の開口部を閉じた状態に保持する扉保持部と、前記扉の、前記上側空間の開口部を閉じた状態で前記扉保持部に相対する位置に設けられた取手とを備えることを特徴とする請求項2から請求項5のうちのいずれか1項記載のウエハ冷却保管庫。従来は、冷却庫の場所と樹脂カセットの保管場所が離れているため、作業者が樹脂カセットを取り間違え易く、冷却工程後のウエハを間違った樹脂カセットに移し替える課題があった。この他にも、例えば、冷却庫の扉が横に開く場合または下から上へ開く場合、ベーク済みのウエハを出し入れする際に開ききっていない扉に接触して損傷する可能性があった。また例えば、ウエハはロットによってベーク温度と冷却時間が異なるので、冷却時間を間違えないために冷却庫の扉に色による温度識別表示または冷却時間識別表示がされている場合がある。しかしながら、冷却庫への出し入れ作業を、ウエハに塗布された感光性物質の露光を防止するために波長制限されたイエロールームで行うため、作業者が温度識別表示の色を見分けにくかった。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、冷却工程後のウエハを金属カセットから樹脂カセットに移し替える際の、樹脂カセットの取り間違えを防止することを目的とする。この発明に係るウエハ冷却保管庫は、筐体内部が仕切板により上下に仕切られ、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体的に備えるものである。この発明によれば、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体化するようにしたので、冷却場所と保管場所が近くなり、樹脂カセットの取り間違えを防止することができる。実施の形態1.図1は本実施の形態1に係るウエハ冷却保管庫1の上側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図2は下側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図3は開閉動作中の状態を示す外観斜視図、図4は上側空間を閉じた状態の断面図である。なお、図3および図4では被収容物の図示を省略している。このウエハ冷却保管庫1は、前面に開口部が形成された略箱形状の筐体2と、この筐体2の内部空間を上側空間と下側空間とに仕切る仕切板3と、上側空間の開口部と下側空間の開口部を交互に開閉する扉4とを備える。詳細は後述するが、上側空間は、ベーク工程後の金属カセット20A,20Bに入ったウエハ40を冷却する空間であり、下側空間は、冷却工程後のウエハ40を入れる樹脂カセット30A,30Bを、冷却工程のあいだ保管する空間である。筐体2内部の視認性を確保するために、扉4は透明素材または半透明素材で構成している。この扉4の端部と仕切板3の前面側とが、2つのヒンジ5により連結されている。よって、仕切板3の高さ位置を回転中心軸にして扉4が開閉動作し、上側空間の開口部を閉じたときに下側空間の開口部を開き、反対に上側空間の開口部を開いたときに下側空間の開口部を閉じる。この扉4は主に上側空間を閉じる目的で設置したものであるので、ここでは、上側空間を閉じたときに外部に露出する面を表、下側空間を閉じたときに外部に露出する面を裏と呼ぶ。図1に示すように、扉4の表面には、後述する温度識別表示11、ロットの種別を示すAおよびBの文字が提示されていると共に、表側取手6およびタイマ12A,12Bが取り付けられている。一方、図2に示すように、扉4の裏面には、温度識別表示11、AおよびBの文字が提示されていると共に、裏側取手7が取り付けられている。なお、図示例では扉4を仕切板3に連結したが、仕切板3の高さ位置と等しい位置で筐体2に連結してもよい。扉4の隅には、金属プレート8が取り付けられている。一方、筐体2の上側空間の隅であって扉4が閉じた状態で金属プレート8と対向する位置に、上段マグネット9が取り付けられている。また、筐体2の下側空間の隅であって扉4が閉じた状態で金属プレート8と対向する位置に、下段マグネット10が取り付けられている。この金属プレート8が上段マグネット9または下段マグネット10に接着することにより、扉4が上側空間または下側空間を閉じた状態に保持される。なお、図示例では、上段マグネット9と下段マグネット10の両方を設置する構成にしたが、少なくとも、上段マグネット9を設置して扉4を上側空間に保持できる構成であればよい。また、図示例では、扉4を上側空間で保持するための扉保持部を、金属プレート8と上段マグネット9とで構成したが、これに限定されるものではない。例えばヒンジ5に、扉4を付勢するばね部材等の機能を持たせて、扉保持部を構成してもよい。さらに、ヒンジ5に、開閉動作時のトルクを調整するためのダンパ機構等の機能を持たせて、扉4が自重で落下するときの衝突の衝撃を緩和するようにしてもよい。また、扉4の表裏面それぞれには同一形状、同一模様の温度識別表示11が貼付されている。この温度識別表示11の例を図5および図6に示す。図5aはベーク温度90°Cを表す温度識別表示11、図5bはベーク温度150°Cを表す温度識別表示11、図5cはベーク温度200°Cを表す温度識別表示11、図5dはベーク温度280°Cを表す温度識別表示11である。これら温度識別表示11をベーク温度に応じた大きさの円模様にすることで、作業者がベーク温度の高低を直感的に認識できる。また、これら温度識別表示11が複数並んだときに例えば図6、相対的な大きさの違いが明確になるように、ベーク温度に応じた数の同心円状の模様が描かれている。なお、図示例では、温度識別表示11を円形状にしたが、これに限定されるものではなく、例えば多角形状にしてもよい。また、ベーク温度の他、例えば、冷却時間の長さに応じた大きさの円模様、かつ、冷却時間の長さに応じた数の同心円状の模様を描いた冷却時間識別表示を扉4に貼付してもよい。次に、ウエハ冷却保管庫1の用途を説明する。この例ではロットAのウエハ40を樹脂カセット30Aに収納し、ロットBのウエハ40は樹脂カセット30Bに収納して、各製造工程を実施していくこととする。また、樹脂カセット30A,30Bには、ロットA,Bを識別するための識別情報をコード化したバーコード31A,31Bがそれぞれ貼付されている。識別情報の他、加熱温度、冷却時間等の製造工程に関わる情報等が貼付されていてもよい。ベーク工程において、作業者は、ウエハ40を樹脂カセット30Aから金属カセット20Aに移し替え、ベーク炉に入れて所定のベーク温度例えば90°Cで加熱する。ウエハ40を取り出した後の樹脂カセット30Aは、ベーク温度90°Cの温度識別表示11があるウエハ冷却保管庫1の下側空間の文字A側に収容して保管する。通常、イエロールーム内でベーク工程および冷却工程を実施するため、温度識別表示11として色による識別方式を採用した場合には色を見分けにくい。これに対し、本実施の形態1では大きさによる識別方式を採用したので、作業者はイエロールーム内でも温度識別表示11を見分けることができ、正しいウエハ冷却保管庫1に金属カセット20Aおよび樹脂カセット30Aを収容できる。ベーク工程後の冷却工程において、作業者は、高温の金属カセット20Aを、ベーク温度90°Cの温度識別表示11があるウエハ冷却保管庫1の上側空間に収容してタイマ12Aをセットし、所定時間、自然冷却する。金属カセット20Aをウエハ冷却保管庫1の上側空間に入れる際、作業者が扉4を途中まで開けば、自重により落下し、確実に上側空間を開口できる。そのため、開ききっていない扉4に金属カセット20Aが接触することを防止でき、ひいてはウエハ40の損傷を防止できる。冷却工程後、作業者はウエハ冷却保管庫1の上側空間に収容された金属カセット20Aのウエハ40を、同じウエハ冷却保管庫1の下側空間に保管されている樹脂カセット30Aに移し替える。バーコード31Aの貼付された正しい樹脂カセット30Aが、金属カセット20Aの冷却場所のすぐ近くに保管されているので、樹脂カセット30A以外の間違った樹脂カセットに移し替える可能性を低減できる。以上の工程はロットBについても同様である。なお、図示例では、ウエハ冷却保管庫1の大きさを、上側空間に2つの金属カセット20A,20B、および下側空間に2つの樹脂カセット30A,30Bを収容可能な大きさにしたが、これに限定されるものではなく、任意の数のカセットを収容可能な大きさにすればよい。以上より、実施の形態1によれば、ウエハ冷却保管庫1は、筐体2の内部が仕切板3により上下に仕切られ、加熱処理したウエハ40を収納した金属カセット20A,20Bを収容して冷却する上側空間と、冷却したウエハ40を収納する樹脂カセット30A,30Bを保管する下側空間とを一体的に備えるように構成した。このため、ウエハ40の冷却庫と樹脂カセット30A,30Bの保管棚を一体化でき、作業者による樹脂カセットの取り間違えを防止することができる。また、実施の形態1によれば、ウエハ冷却保管庫1は、仕切板3の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、金属プレート8と上段マグネット9とで構成される扉保持部により上側空間の開口部を閉じた状態に保持された扉4を備え、この扉4が、開いたときに下側空間の開口部を閉じる位置まで回転するように構成した。このため、開き始めた扉4が自重で落下するようになり、開ききっていない扉4にウエハ40が接触して損傷することを防止できる。また、実施の形態1によれば、扉4には、加熱処理の温度に応じた大きさ、かつ、この温度に応じた数の同心円状の模様が描かれた温度識別表示11を付すように構成した。このため、イエロールーム内で作業者が温度表示を認識しやすくなり、金属カセット20A,20Bの入れ間違え、および樹脂カセット30A,30Bの取り間違えを防止することができる。なお、上記実施の形態1では、ロットA,Bの識別情報を持たせた情報担体の例としてバーコード31A,31Bを挙げたが、これに限定されるものではなく、ICIntegratedCircuitタグ例えば、RFID;RadioFrequencyIDentification等であってもよい。また、例えば、ロットの識別情報に加え、ベーク温度等の製造工程に関わる情報も記憶させたRFIDタグを樹脂カセット30Aに貼付すると共に扉4にリーダを取り付けておき、樹脂カセット30Aをウエハ冷却保管庫1に収容するときにリーダがRFIDタグの情報を読み取って適切な収容場所か否かを判定し、作業者に報知するようにしてもよい。あるいは、製造工程に関わる情報をコード化したバーコードを樹脂カセット30Aと扉4にそれぞれ貼付しておき、樹脂カセット30Aをウエハ冷却保管庫1に収容するときに作業者がリーダで扉4のバーコードと樹脂カセット30Aのバーコードを読み取って、リーダ側で適切な収容場所か否かを判定して作業者に報知するようにしてもよい。このように、樹脂カセット30A,30Bには、ウエハ40の製造工程に関わる情報、およびウエハ40を識別する情報のいずれか一方、または両方を持つバーコート31A,31BまたはICタグといった情報担体が付され、他方の扉4には、樹脂カセット30A,30Bに付された情報担体との間で情報の照合が可能なバーコードまたはICタグのリーダが付された構成にすることによって、樹脂カセット30A,30Bの入れ間違えおよび取り間違え防止効果を高めることができる。また、上記実施の形態1では、扉4の中央部に表側取手6および裏側取手7を取り付ける構成としたが、取手の取り付け場所はこれに限定されるものではない。以下、図7および図8を用いて変形例を説明する。図7は、ウエハ冷却保管庫1の変形例であって、上側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図8は下側空間を閉じた状態を示す外観斜視図である。この変形例では、扉4の、上段マグネット9および下段マグネット10に相対する位置に、表側取手6aおよび裏側取手7aを取り付ける構成とした。この構成の場合、扉4を開く際の変形を防止することができる。また、上段マグネット9を上側空間の側方に設置すると共に下段マグネット10を下側空間の側方に設置したので、金属カセット20A,20Bおよび樹脂カセット30A,30Bの出し入れを妨げることがない。これに対し、図1の構成では、金属プレート8と上段マグネット9または下段マグネット10の接着位置から表側取手6または裏側取手7まで多少の距離があるため、扉4を開く際に図7の場合に比べて大きい応力がかかり、変形しやすい。扉4の変形を積極的に防止する必要があれば、例えば上記実施の形態1で述べたように、ヒンジ5に、扉4を付勢するばね部材等の機能を持たせ、金属プレート8と上段マグネット9の代用とすればよい。上記説明以外にも、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。"