"複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクと、トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像手段と、撮像手段による撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、位置ずれ量算出手段により算出された各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定手段と、重み設定手段により設定された重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出手段と、補正後位置合わせ位置算出手段により算出された補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動手段と、トレイ移動手段によってトレイが接触されたマスク上で摺動して各基板にペーストを転写させるスキージとを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。重み設定手段は、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定することを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷機。複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクとを備えたスクリーン印刷機におけるスクリーン印刷方法であって、トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像工程と、撮像工程における撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、位置ずれ量算出工程で算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定工程と、重み設定工程で設定した重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出工程と、補正後位置合わせ位置算出工程において算出した補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動工程と、トレイ移動工程でトレイが接触されたマスク上でスキージを摺動させて各基板にペーストを転写させる転写工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。重み設定工程において、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定することを特徴とする請求項3に記載のスクリーン印刷方法。上記閾値は、マスクに対するトレイの位置補正量の算出から除外する基板の切り分け基準となるものであり、過度に小さく設定された場合には除外される基板が多くなって1回のスキージング動作で得られる基板の枚数が少なくなってしまい、過度に大きく設定された場合には前述のように位置ずれ量が小さかった基板に却って印刷不良を生じさせるおそれのある重要なファクターであり、基板の生産効率に大きな影響を与えるものである。しかしながら、この閾値の設定の仕方はオペレータによって巧拙があり、熟練度の低いオペレータ等が適切でない閾値を設定した場合には基板の生産効率が大きく低下してしまうおそれがあるという問題点があった。そこで本発明は、オペレータの熟練度によらず安定した基板の生産効率を確保することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。請求項1に記載のスクリーン印刷機は、複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクと、トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像手段と、撮像手段による撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、位置ずれ量算出手段により算出された各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定手段と、重み設定手段により設定された重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出手段と、補正後位置合わせ位置算出手段により算出された補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動手段と、トレイ移動手段によってトレイが接触されたマスク上で摺動して各基板にペーストを転写させるスキージとを備えた。請求項2に記載のスクリーン印刷機は、請求項1に記載のスクリーン印刷機であって、重み設定手段は、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定する。請求項3に記載のスクリーン印刷方法は、複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクとを備えたスクリーン印刷機におけるスクリーン印刷方法であって、トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像工程と、撮像工程における撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、位置ずれ量算出工程で算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定工程と、重み設定工程で設定した重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出工程と、補正後位置合わせ位置算出工程において算出した補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動工程と、トレイ移動工程でトレイが接触されたマスク上でスキージを摺動させて各基板にペーストを転写させる転写工程とを含む。請求項4に記載のスクリーン印刷方法は、請求項3に記載のスクリーン印刷方法であって、重み設定工程において、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定する。本発明では、算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定し、その設定した重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正するようにしており、マスクに対するトレイの位置補正量を算出する際に除外の対象となる基板を定める閾値を設定することなく、トレイ上の全ての基板の電極が全体としてマスク側の対応するパターン孔と一致するようにしているので、オペレータの熟練度によらず、安定した基板の生産効率を確保することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2において、スクリーン印刷機1は、平板状のトレイ2に載置された複数の基板3それぞれの上面に設けられた電極3aに半田等のペーストPtをスクリーン印刷する装置であり、複数の基板3が載置されたトレイ2を保持するトレイ保持部11、トレイ保持部11を移動させるトレイ移動機構12、トレイ移動機構12の上方領域に水平姿勢に設けられたマスク13、マスク13の下方に設けられた撮像手段としてのカメラユニット14、マスク13の上方に移動自在に設けられたスキージユニット15及びスクリーン印刷機1全体の作動制御を行う制御装置16を備えて成る。トレイ保持部11は基板3の両端をY軸方向から挟み込んで保持する一対のクランプ部材から成り、その作動制御は制御装置16によってなされる。トレイ移動機構12はXYZロボットから成り、制御装置16によって制御されてトレイ保持部11を水平面内で移動回転も含むさせるとともに上下方向に移動昇降させる。図2において、マスク13は周囲がマスク枠13wによって保持された金属板から成り、その中央部にはトレイ保持部11に保持されたトレイ2上の複数の基板3それぞれの電極3aに対応するパターン孔13hが形成されている。カメラユニット14は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ14aと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ14bを備えており、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構14Mの作動によってマスク13の下方を水平面内で移動するようになっている。下方撮像カメラ14aの撮像動作及び上方撮像カメラ14bの撮像動作は制御装置16によって制御され、下方撮像カメラ14aの撮像動作によって得られた画像データ及び上方撮像カメラ14bの撮像動作によって得られた画像データは制御装置16に送られて制御装置16の画像認識部16a図1において画像認識がなされる。スキージユニット15は図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構15Mの作動によってマスク13の上方を水平面内方向図1の紙面の左右方向に移動自在なベース部15aと、ベース部15aの移動方向に対向して設けられた2つのスキージ15bを備えている。各スキージ15bは、ベース部15aに取り付けられた空圧シリンダ15cによってそれぞれ独立してベース部15aの下方を昇降される。スキージユニット移動機構15Mの作動制御及び各空圧シリンダ15cの作動によるスキージ15bの昇降制御は制御装置16によってなされる。このような構成のスクリーン印刷機1がトレイ2に載置された複数の基板3それぞれにペーストPtをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を行う場合には、制御装置16は先ず、スクリーン印刷機1の外部から供給されたトレイ2を図示しないトレイ搬入装置によって搬入し、トレイ保持部11によってトレイ2を保持する図3に示すステップST1。トレイ搬入保持工程。制御装置16はトレイ2を保持したら、カメラユニット移動機構14Mの作動制御を行ってカメラユニット14をトレイ2の上方領域に移動させ、下方撮像カメラ14aによって、トレイ2の対角位置に設けられた一対のトレイ側マークTM1,TM2図2と、トレイ2上の複数の基板3それぞれの対角位置に設けられた基板側マークm1,m2図2の撮像を行う図3に示すステップST2。撮像工程。制御装置16は、トレイ2に設けられた一対のトレイ側マークTM1,TM2と、トレイ2上の各基板3の対角位置に設けられた一対の基板側マークm1,m2の撮像を行ったら、トレイ側マークTM1,TM2の撮像によって得られた画像画像認識結果に基づいて、スクリーン印刷機1に固定された座標系を基準としたトレイ側マークTM1,TM2の位置座標を算出する。そして、図2に示すように、一方のトレイ側マークTM1を原点としたうえで、トレイ側マークTM1,TM2を結ぶ線分の偏角がφとなるようにX軸をとり、更に、そのX軸からの偏角が90°となるようにY軸をとってトレイ2を基準とした座標系XYの設定を行う。制御装置16は、トレイ2を基準とした座標系XYの設定を行ったら、各基板3の基板側マークm1,m2の撮像によって得られた画像画像認識結果に基づいて、トレイ2を基準とした座標系XYを基準とした各基板3の基板側マークm1,m2の位置座標を算出する。そして、図4に示すように、各基板3の一対の基板側マークm1,m2同士を結ぶ線分の中点の位置のトレイ2を基準とした座標系XYから見た位置座標x,y及びその線分の座標系XYのX軸からの傾きθを各基板3の実際の位置として算出するとともに、その算出した各基板3の基板側マークm1,m2の位置座標x,y及び傾きθに基づいて、トレイ2上の各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθを算出する図3に示すステップST3。位置ずれ量算出工程。ここで、上記トレイ2上の各基板3の基準の位置とは、図4に示すように、各基板3がトレイ2上の正しい位置に載置されていた場合に一対の基板側マークm1,m2同士を結ぶ線分の中点が位置する位置座標x0,y0及びその線分がとる座標系XYのX軸からの傾きθ0であり、これらの値x0,y0,θ0は予め記憶部16b図1に記憶されている。制御装置16は、式Δx=x-x0、Δy=y-y0、Δθ=θ-θ0に基づいて、トレイ2上の各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθを算出する。制御装置16は、トレイ2上の各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθを算出したら、カメラユニット移動機構14Mの作動制御を行ってカメラユニット14をマスク13の下方領域に移動させ、上方撮像カメラ14bによって、マスク13に設けられた一対のマスク側マークMM1,MM2図2を撮像する図3に示すステップST4。マスク側マーク撮像工程。そして、その撮像によって得られたマスク側マークMM1,MM2の画像画像認識結果に基づいて、スクリーン印刷機1に固定された座標系を基準とした各マスク側マークMM1,MM2の位置座標を算出する図3に示すステップST5。マスク側マーク位置座標算出工程。ここで、一対のマスク側マークMM1,MM2と一対のトレイ側マークTM1,TM2とが上下に合致するマスク13に対するトレイ2の正規の位置合わせ位置にトレイ2を位置決めしてからトレイ2を上昇させてマスク13に接触させた場合、基準の位置に位置したすなわち、位置ずれ量Δx,Δy,Δθのいずれもが0である基板3の電極3aは対応するマスク13のパターン孔13hと一致するが、基準の位置からずれた位置に位置した基板3の電極3aはマスク13のパターン孔13hと一致しないことから、以下のようにして、トレイ2上の全ての基板3の電極3aが全体としてマスク13側の対応するパターン孔13hと一致するようにマスク13に対するトレイ2の位置合わせを行ってからトレイ2をマスク13に接触させる。制御装置16は、マスク側マークMM1,MM2の位置座標を算出したら或いはマスク側マークMM1,MM2の位置座標の算出と並行して、算出した各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθそれぞれについて重みwx,wy,wθを設定する図3に示すステップST6。重み設定工程。この重み設定工程では、制御装置16の記憶部16bに記憶されたテーブル図5a,bを用いて、基板3の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定する。制御装置16は、重み設定工程で各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθそれぞれについて重みwx,wy,wθを設定したら、その設定した重みを用いた各基板3のマスク13に対する位置ずれ量の加重平均を求めることによってマスク13に対するトレイ2の正規の位置合わせ位置に対するトレイ2の位置補正量ΔxT,ΔyT,ΔθTを算出する図3に示すステップST7。位置補正量算出工程。例えば、位置ずれ量算出工程で算出したN枚の基板3に対する位置ずれ量Δx,Δy,ΔθがそれぞれΔxn,Δyn,Δθnn=1,2,,Nであり、Δxnに対応する重みがwxn、Δynに対する重みがwyn、Δθnに対応する重みがwθnであった場合には、マスク13に対するトレイ2の位置補正量ΔxT,ΔyT,ΔθTは、ΔxT=wx1×Δx1wx2×Δx2wxN×ΔxN/NΔyT=wy1×Δy1wy2×Δy2wyN×ΔyN/NΔθT=wθ1×Δθ1wθ2×Δθ2wθN×ΔθN/Nとなる。制御装置16は、上記のようにしてマスク13に対するトレイ2の正規の位置合わせ位置に対するトレイ2の位置補正量ΔxT,ΔyT,ΔθTを算出したら、その算出した位置補正量ΔxT,ΔyT,ΔθTでマスク13に対するトレイ2の正規の位置決め位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する図3に示すステップST8。補正後位置合わせ位置算出工程。そして、制御装置16は、補正後の位置合わせ位置を算出したら、トレイ移動機構12の作動制御を行って、ステップST8で算出した補正後の位置合わせ位置にトレイ2が位置合わせされるようにトレイ保持部11を水平面内で移動させたうえで、トレイ保持部11をマスク13に対して上昇させて、マスク13の下面にトレイ2を接触させる図3に示すステップST9。トレイ移動工程。これによりトレイ2上の各基板3の電極3aが全体としてマスク13側のパターン孔13hと一致した状態となる。このように本実施の形態において、トレイ移動機構12は、制御装置16により算出された補正後の位置合わせ位置にトレイ2が位置合わせされるようにトレイ保持部11を移動させたうえでトレイ保持部11をマスク13に対して上昇させてマスク13の下面にトレイ2を接触させるトレイ移動手段として機能する。また、制御装置16は、撮像手段であるカメラユニット14による撮像によって得られたトレイ2上の各基板3それぞれの基板側マークm1,m2の画像に基づいて、トレイ2上の各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθを算出する手段位置ずれ量算出手段、算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みwx,wy,wθを設定する手段重み設定手段、設定した重みを用いた各基板3の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量ΔxT,ΔyT,ΔθTでマスク13に対するトレイ2の正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する手段補正後位置合わせ位置算出手段として機能する。制御装置16は、トレイ2をマスク13の下面に接触させたら、スキージ15bによるスキージングを行って予めマスク13上に供給されたペーストPtをトレイ2上の各基板3に転写させる図3に示すステップST10。スキージング工程。このスキージングは、具体的には、スキージユニット15が備える2つのスキージ15bのうちの一方を下降させ、マスク13の上面に当接させた状態を維持したままベース部15aを水平方向図1の紙面左右方向に移動させることによって行う。これによりマスク13上でスキージ15bが摺動し、マスク13上のペーストPtはスキージ15bによって掻き寄せられてマスク13のパターン孔13h内に押し込まれ、各基板3の電極3a上に転写される。なお、制御装置16は、スキージユニット15を図1の紙面の右方から左方に移動させてスキージングを行うときには右方のスキージ15bをマスク13上に当接させ、スキージユニット15を図1の紙面の左方から右方に移動させてスキージングを行うときには左方のスキージ15bをマスク13上に当接させる。制御装置16は、スキージングを行ってトレイ2上の各基板3にペーストPtを転写させたら、トレイ移動機構12を作動させてトレイ保持部11を下降させ、マスク13からトレイ2をすなわちトレイ2上の基板3を離間させて版離れを行う図3に示すステップST11。版離れ工程。これにより各基板3の電極3a上にペーストPtが残留し、基板3にペーストPtが印刷される。制御装置16は版離れを行ったら、トレイ保持部11による基板3の保持を解除したうえで、図示しないトレイ搬出装置によってトレイ2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する図3に示すステップST12。トレイ搬出工程。制御装置16はトレイ2を搬出したらトレイ2の待ち状態に入り図3に示すステップST13。トレイ待ち工程、一定時間内にトレイ2が送られてきた場合にはステップST1に戻って新たにトレイ2の搬入を行い、一定時間内にトレイ2送られてこなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1及びこのスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷方法では、算出した各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθそれぞれについて重みを設定し、その設定した重みを用いた各基板3の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量ΔxT,ΔyT,ΔθTでマスク13に対するトレイ2の正規の位置合わせ位置を補正するようにしており、マスク13に対するトレイ2の位置補正量を算出する際に除外の対象となる基板を定める閾値を設定することなく、トレイ2上の全ての基板3の電極3aが全体としてマスク13側の対応するパターン孔13hと一致するようにしているので、オペレータの熟練度によらず、安定した基板3の生産効率を確保することができる。なお、上述の実施の形態では、トレイ2上の各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθとして、トレイ2を基準とした座標系XYから見た位置ずれ量を算出するようにしていたが、トレイ2上に載置された複数の基板3の列の両端に位置する2つの基板3の基板側マーク例えば、一方の基板3の基板側マークm1と他方の基板3の基板側マークm2から基板マークを基準とした座標系XYを設定し、その設定した座標系XYから見た位置ずれ量として算出するようにしても構わない。また、上述の実施の形態では、各基板3の基準の位置からの位置ずれ量Δx,Δy,Δθそれぞれについて設定される重みwx,wy,wθが位置ずれ量Δx,Δy,Δθの大きさに応じてそれぞれ5段階に設定されていたが図5a,b、これは一例であり、2段階以上であれば何段階であっても構わない。また、各重みの値は一例に過ぎず、他の値であっても構わない。但し、位置ずれ量について重みを設定して加重平均を求める趣旨から、ここでは重みの値は0を除くものとする。"