"ナノ結晶組織のREFeB系の主相RENd、Prの少なくとも一種と、該主相の周りにあるREX合金X金属元素の粒界相からなる焼結体に対し、異方性を与える熱間塑性加工を施して成形体を製造する第1のステップ、前記成形体の保磁力を高めるREYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素と前記粒界相をともに溶融させ、REYZ合金の融液を成形体の表面から液相浸透させて希土類磁石を製造する第2のステップからなる希土類磁石の製造方法。REYZ合金としてNdCuDy合金もしくはNdCuTb合金を使用する請求項1に記載の希土類磁石の製造方法。前記主相の結晶粒径が50nm~300nmの範囲にある請求項1または2に記載の希土類磁石の製造方法。本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、従来の希土類磁石の製造方法に比して低温で保磁力特に高温雰囲気下における保磁力を高める改質合金を浸透させることができ、もって、保磁力が高く、磁化も比較的高い希土類磁石を製造することのできる製造方法を提供することを目的とする。前記目的を達成すべく、本発明による希土類磁石の製造方法は、ナノ結晶組織のREFeB系の主相RENd、Prの少なくとも一種と、該主相の周りにあるREX合金X金属元素の粒界相からなる焼結体に対し、異方性を与える熱間塑性加工を施して成形体を製造する第1のステップ、前記成形体の保磁力を高めるREYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素と前記粒界相をともに溶融させ、REYZ合金の融液を成形体の表面から液相浸透させて希土類磁石を製造する第2のステップからなるものである。本発明の製造方法は、ナノ結晶組織を有する希土類磁石の製造方法に関し、従来の改質合金に比して格段に低融点の改質合金を使用して粒界相と改質合金をともに溶融させ、改質合金の融液を溶融状態の粒界相に液相浸透させることにより、その保磁力、特に高温雰囲気下たとえば150~200°Cにおける保磁力が高く、磁化も比較的高いナノ結晶磁石を製造するための方法である。まず、液体急冷にて微細な結晶粒である急冷薄帯急冷リボンを製作し、これをたとえばダイス内に充填してパンチで加圧しながら焼結してバルク化を図り、ナノ結晶組織のREFeB系の主相RENd、Prの少なくとも一種で、より具体的にはNd、Pr、NdPrのいずれか一種もしくは二種以上と、該主相の周りにあるREX合金X金属元素の粒界相からなる、等方性の焼結体を得る。次いで、この焼結体に対し、異方性を付与するための熱間塑性加工を施して成形体を得る。この熱間塑性加工では、加工温度や加工時間のほかに、塑性歪み速度の調整も重要な要素となる。この成形体において、その粒界相を構成するREX合金は、主相成分によっても相違するものの、REがNdの場合には、Ndと、Co、Fe、Ga等のうちの少なくとも1種以上の合金からなり、たとえば、NdCo、NdFe、NdGa、NdCoFe、NdCoFeGaのうちのいずれか一種、もしくはこれらの二種以上が混在したものであって、Ndリッチな状態となっている。なお、REがPrの場合には、Nd同様にPrリッチな状態となっている。本発明者等によれば、NdCo、NdFe、NdGa、NdCoFe、NdCoFeGaやこれらが混在した粒界相の融点は概ね600°C近傍成分やその比率によってばらつきがあるため、550°C程度~650°C程度の範囲にあることが特定されている。なお、上記主相の結晶粒径は50nm~300nmの範囲にあるのが好ましい。ナノ結晶磁石にこのような粒径範囲の主相を適用した場合に、粒径の増大がないという本発明者等の知見に基づくものである。次に、この成形体を構成する粒界相を溶融させ、改質合金であるREYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素の融液を成形体の表面から液相浸透させることにより、溶融状態の粒界相内にREYZ合金の融液が吸込まれ、成形体内部が組織変化を起こしながら保磁力が高められた希土類磁石が製造される。成形体の表面から溶融状態の粒界相に液相浸透される溶融状態のREYZ合金は、この粒界相と同程度の融点を有するNd合金が選定されるのが望ましく、したがって、600°C程度~650°C程度の範囲のNd合金の融液が溶融状態の粒界相に浸透される。このことにより、DyCu合金等を粒界相内に固相拡散させる場合に比して拡散効率や拡散速度は格段に向上し、短時間に改質合金の拡散を図ることができる。本発明者等によれば、REYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素を使用することによって、従来の製造方法のようにDy等の重希土類元素を単独で拡散浸透させる場合や、DyCu合金のように遷移金属元素と重希土類元素の合金を拡散浸透させる場合に比して、その融点が格段に低下することが見出されている。なお、遷移金属元素としては、Cu、Fe、Mn、Co、Ni、Zn、Tiなどのうちのいずれか一種を適用することができる。また、重希土類元素としては、Dy、Tb、Hoなどのうちのいずれか一種を適用することができる。REYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素を使用することにより、これまでのDy合金等を1000°C以上の高温雰囲気下で拡散浸透させる場合に比して、格段に低温の600°C程度の温度条件下で改質合金の浸透をおこなうことができるため、主相結晶粒の粗大化を抑制することができ、このことも保磁力の向上に寄与することになる。特に、ナノ結晶磁石は焼結磁石と異なり、800°C程度の高温雰囲気下に10分程度載置されると結晶粒の粗大化が著しいことからも、600°C程度の温度条件下における改質合金の浸透は望ましいと言える。なお、70Dy30Cu合金を適用した場合でもその融点は790°Cとなり、800°C程度の高温処理を要することから、結晶粒の粗大化を抑制できない。たとえば、NdCuDy合金を使用する場合、その成分比率によって合金の融点は相違するものの60Nd30Cu10Dy合金の融点は533°C、50Nd30Cu20Dy合金の融点は576°C等、この改質合金の融点は概ね600°C未満となり、粒界相と同程度の低融点となる。上記する成形体内部の組織変化に関し、熱間塑性加工された成形体の状態では、結晶粒の形状が配向方向に垂直で扁平な組織となり易く、異方軸とほぼ平行な粒界は湾曲したり屈曲しており、特定の面で構成されていない傾向にある。これに対し、溶融状態の粒界相内に改質合金の融液が液相浸透して時間が経過するにつれ、結晶粒の界面が明りょうになってきて結晶粒間の磁気分断が進行し、保磁力が向上していく。ただし、この組織変化の途中過程においては、異方軸に平行な面が未だ特定面で構成されていない結晶粒となっている。成形体内部の組織変化が完了した段階では、結晶粒の形状が、異方軸に対して垂直な方向から見た際の平面形状が長方形かこれに近似した形状となり、結晶粒の表面が低指数ミラー指数の面で囲まれる多面体六面体直方体や八面体、さらにはこれらに近似した立体となる。たとえば六面体の場合に、面に配向軸が形成され容易磁化方向c軸が六面体の上下面、側面は、もしくはこれらに近い面指数で構成されることが本発明者等によって特定されている。このように、本発明による希土類磁石の製造方法は、溶融状態の粒界相に対して粒界相と同程度かそれ以下の低融点を有するNdYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素の融液を液相浸透させるといった新規な技術思想に立脚した製造方法により、ナノ結晶粒の粗大化が抑制され、ナノ結晶粒間が改質された粒界相にて精度よく磁気的に分断されて、保磁力が高く、磁化も良好な希土類磁石を得ることができる。以上の説明から理解できるように、本発明の希土類磁石の製造方法によれば、ナノ結晶組織のREFeB系の主相RENd、Prの少なくとも一種とその周りにあるREX合金の粒界相からなる焼結体が熱間塑性加工を施されてなる成形体に対し、REYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素といった低融点の改質合金を使用して、溶融状態の粒界相に改質合金の融液を液相浸透させることにより、主相であるナノ結晶粒の粗大化を抑制することができ、ナノ結晶粒間を改質された粒界相にて精度よく磁気的に分断することができ、保磁力が高く、磁化も良好な希土類磁石を製造することができる。以下、図面を参照して本発明の希土類磁石の製造方法の実施の形態を説明する。希土類磁石の製造方法図1a、b、cはその順で本発明の希土類磁石の製造方法の第1のステップを説明した模式図であり、図3aは本発明の希土類磁石の製造方法の第2のステップを説明した図である。また、図2aは図1bで示す焼結体のミクロ構造を説明した図であり、図2bは図1cの成形体のミクロ構造を説明した図である。さらに、図3bは改質合金による組織の改質途中の希土類磁石のミクロ構造を説明した図であり、図3cは改質合金によって組織の改質が完了した希土類磁石のミクロ構造を説明した図である。図1aで示すように、たとえば50kPa以下に減圧したArガス雰囲気の不図示の炉中で、単ロールによるメルトスピニング法により、合金インゴットを高周波溶解し、希土類磁石を与える組成の溶湯を銅ロールRに噴射して急冷薄帯B急冷リボンを製作し、これを粗粉砕する。粗粉砕された急冷薄帯Bを図1bで示すように超硬ダイスDとこの中空内を摺動する超硬パンチPで画成されたキャビティ内に充填し、超硬パンチPで加圧しながらX方向加圧方向に電流を流して通電加熱することにより、ナノ結晶組織のNdFeB系の主相50nm~200nm程度の結晶粒径と、主相の周りにあるNdX合金X金属元素の粒界相からなる焼結体Sを製作する。ここで、粒界相を構成するNdX合金は、Ndと、Co、Fe、Ga等のうちの少なくとも1種以上の合金からなり、たとえば、NdCo、NdFe、NdGa、NdCoFe、NdCoFeGaのうちのいずれか一種、もしくはこれらの二種以上が混在したものであって、Ndリッチな状態となっている。図2aで示すように、焼結体Sはナノ結晶粒MP主相間を粒界相BPが充満する等方性の結晶組織を呈している。そこで、この焼結体Sに異方性を与えるべく、図1cで示すように焼結体Sの長手方向図1bでは水平方向が長手方向の端面に超硬パンチPを当接させ、超硬パンチPで加圧しながらX方向熱間塑性加工を施すことにより、図2bで示すように異方性のナノ結晶粒MPを有する結晶組織の成形体Cが製作される以上、第1のステップ。なお、熱間塑性加工による加工度圧縮率が大きい場合、たとえば圧縮率が10程度以上の場合を、熱間強加工もしくは単に強加工と称することができる。図2bで示す成形体Cの結晶組織において、ナノ結晶粒MPは扁平形状をなし、異方軸とほぼ平行な界面は湾曲したり屈曲しており、特定の面で構成されていない。次に、図3aで示すように、製作された成形体Cをヒータ内蔵の高温炉H内に収容し、NdYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素からなる改質合金Mを成形体Cに接触させ、炉内を高温雰囲気とする。ここで、遷移金属元素Yとしては、Cu、Fe、Mn、Co、Ni、Zn、Tiなどのうちのいずれか一種を適用することができ、重希土類元素Zとしては、Dy、Tb、Hoなどのうちのいずれか一種を適用することができる。たとえば、NdCuDy合金、NdCuTb合金などを挙げることができる。NdCo、NdFe、NdGa、NdCoFe、NdCoFeGaやこれらが混在した粒界相の融点は、成分やその比率によってばらつきがあるものの、概ね600°C近傍このばらつきを考慮して550°C程度~650°C程度の範囲にある。改質合金としてNdCuDy合金やNdCuTb合金を使用する場合は、それらの融点が600°C以下530~580°C程度であることから、粒界相BPの融点とほぼ同じかそれよりも低く、したがって、高温炉H内を600~650°Cの温度雰囲気下とすることで粒界相BPが溶融し、改質合金であるNdCuDy合金やNdCuTb合金も溶融する。溶融したNdCuDy合金やNdCuTb合金の融液は、溶融状態の粒界相BP内に液相浸透していく。このように溶融状態の粒界相BP内に改質合金の融液が液相浸透することから、たとえば従来の製造方法のようにDyCu合金等を粒界相内に固相拡散させる場合に比して拡散効率や拡散速度が格段に優れ、短時間で改質合金の拡散を図ることが可能となる。改質合金の融液を粒界相内に液相浸透させ、ある程度の時間が経過すると、図2bで示す成形体Cの結晶組織が組織変化して、図3bで示すように結晶粒MPの界面が明りょうになり、結晶粒MP,MP間の磁気分断が進行して保磁力が向上する。しかしながら、図3bで示す改質合金による組織改質の途中段階においては、異方軸とほぼ平行な界面は形成されない特定の面で構成されない。改質合金による改質が十分に進んだ段階では、図3cで示すように異方軸とほぼ平行な界面特定の面が形成され、異方軸に直交する方向から見た図3cを見る方向際の結晶粒MPの形状は長方形やそれに近似した形状を呈した希土類磁石RMが形成される。このように本発明の製造方法によって得られる希土類磁石RMは、焼結体に異方性を付与するための熱間塑性加工を施して得られる成形体を使用すること、および、NdYZ合金Y遷移金属元素、Z重希土類元素からなる改質合金の融液を溶融状態の粒界相内に液相浸透させることにより、熱間塑性加工によって生じた残留歪みが改質合金の融液と接触することで除去され、さらに結晶粒の微細化と、結晶粒間の磁気分断が促進することによってその保磁力が向上するものと考えられる。また、その融点が粒界相の融点と同程度かそれよりも低い改質合金を使用することから、600~650°C程度と比較的低い温度で粒界相と改質合金の双方を溶融させることにより、ナノ結晶粒の粗大化が抑制され、このことも保磁力向上に寄与している。改質合金の拡散前後の磁化と保磁力に関する実験とその結果本発明者等は、上記する本発明の製造方法を適用してナノ結晶磁石である希土類磁石を製作し、さらに、粒界相内に浸透させる改質合金として本発明のものとは異なる従来の改質合金を使用して同様に希土類磁石を製作し、各試験体の改質合金拡散前後の磁化と保磁力を測定し、それぞれを比較する実験をおこなった。まず、実施例の試験体の製作方法は、マグネクエンチインターナショナル製の超急冷NdFeB系磁性粉MQUF結晶粒径200nm以下を使用し、成形用の金型内で、保持温度600°C、保持圧力50MPa、保持時間5分で加圧焼結して焼結体を成形した。成形した焼結体を加工温度750°C、加工度70、歪み速度1sで塑性加工して改質合金拡散前の成形体を製作した。成形体の上下面に改質合金を塗工したものをチタン製容器に収容し、容器内を真空もしくはアルゴン雰囲気下とし、以下の表1の条件にて改質合金の拡散浸透を2時間おこない、希土類磁石を製作した。製作された各試験体をパルス励磁型磁気特性測定装置を用いて磁気測定をおこない、拡散前後の磁化の比率と拡散前後の保磁力の向上代を測定した。測定結果を以下の表2および図4に示す。表2および図4より、実施例1~5はいずれも、結晶粒の粗大化がなくいずれの平均粒径も200nm以下となっている、磁化の低下が抑制されながら、保磁力が向上していることが確認できる。比較例に関し、比較例1、2はNdCu合金の拡散により、保磁力を向上させることはできたものの比較例2は実施例1程度、特に比較例2は磁化の低下が顕著となっている。また、比較例3、4に関し、DyCu合金の拡散に際して処理温度が低い比較例3の場合は改質合金が溶融せず、粒界相内に十分に改質合金の拡散がなされず、保磁力の向上はほとんどないことが特定されている。一方、高温処理された実施例4の場合は結晶粒径が1μm以上に粗大化してしまい、組織がくずれ、保磁力の向上が少ないことが特定されている。本実験結果より、その融点が粒界相と同程度かそれ以下であるNdCuDy合金やNdCuTb合金を使用することにより、溶融状態の粒界相内に改質合金の融液を液相浸透させることにより、結晶粒の粗大化が抑制されるとともに、結晶粒間がたとえばNdCuで分断され、これらの合金種が濃化しているところへDyやTbも濃化することにより、結晶粒間の分断性が向上し、磁化の低下が抑えられながら保磁力が向上することが実証されている。以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。"