電子部品の位置補正を行う位置決め装置であって、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される一組のガイド部と、前記一組のガイド部と直交しつつ、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される他組のガイド部と、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記一組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第1のカムプレートと、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記他組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第2のカムプレートと、前記電子部品の形状及び大きさに応じて前記第1のカムプレートの回転角度と前記第2のカムプレートの回転角度とを独立して制御する制御手段と、を備えること、を特徴とする位置決め装置。前記一組のガイド部の先端部は、前記他組のガイド部の先端部よりも下方に延び、前記他組のガイド部の下に潜って移動すること、を特徴とする請求項1記載の位置決め装置。前記狭径部分は、前記各ガイド部に1対1で対応して設けられ、対応の前記カムプレートの一回転方向に沿って、一方の狭径部分は径が漸次減少し、他方の狭径部分は径が漸次増加すること、を特徴とする請求項1又は2に記載の位置決め装置。電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路上の一地点に配置され、前記電子部品に対して工程処理を行う工程処理ユニットと、前記工程処理ユニットの直前に前記搬送経路上に配置され、電子部品の位置補正を行う位置決めユニットと、を備え、前記位置決めユニットは、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される一組のガイド部と、前記一組のガイド部と直交しつつ、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される他組のガイド部と、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記一組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第1のカムプレートと、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記他組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第2のカムプレートと、前記電子部品の形状及び大きさに応じて前記第1のカムプレートの回転角度と前記第2のカムプレートの回転角度とを独立して制御する制御手段と、を備えること、を特徴とする電子部品搬送装置。前記一組のガイド部の先端部は、前記他組のガイド部の先端部よりも下方に延び、前記他組のガイド部の下に潜って移動すること、を特徴とする請求項4記載の電子部品搬送装置。前記狭径部分は、前記各ガイド部に1対1で対応して設けられ、対応の前記カムプレートの一回転方向に沿って、一方の狭径部分は径が漸次減少し、他方の狭径部分は径が漸次増加すること、を特徴とする請求項4又は5に記載の電子部品搬送装置。4つのガイド部にそれぞれ設けられたカムフォロアを1枚のカムプレートに当接させる構成では、4つのガイド部の移動量を個別に設定することはできない。すなわち、カムプレートの回転角度によってガイド部の移動量は可変するが、変化比率は全ガイド部で同一となる。このため、電子部品搬送装置で処理する電子部品を替える場合に、その変更に伴う位置決め装置の調整に多大な労力を要していた。すなわち、縦横の比率は同一であるが大きさのみが異なる電子部品に変更することは、カムプレートの回転角度を変更すればよいだけであるため、比較的容易である。しかしながら、縦横の比率が異なる場合には、カムプレート又はガイド部を変更しなくてはならず、位置決め装置の分解、カムプレート又はガイド部の変更、再組立、及び調整作業を必要としていた。また、多種のカムプレートやガイド部をストックしておかねばならず、コストが嵩む点も指摘されていた。本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、どの形状及び大きさの電子部品が搬送されようとも、この電子部品の位置補正が容易となる位置決め装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置を提供することを目的とする。本発明に係る位置決め装置は、電子部品の位置補正を行う位置決め装置であって、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される一組のガイド部と、前記一組のガイド部と直交しつつ、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される他組のガイド部と、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記一組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第1のカムプレートと、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記他組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第2のカムプレートと、前記電子部品の形状及び大きさに応じて前記第1のカムプレートの回転角度と前記第2のカムプレートの回転角度とを独立して制御する制御手段と、を備えること、を特徴とする。また、本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路上の一地点に配置され、前記電子部品に対して工程処理を行う工程処理ユニットと、前記工程処理ユニットの直前に前記搬送経路上に配置され、電子部品の位置補正を行う位置決めユニットと、を備え、前記位置決めユニットは、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される一組のガイド部と、前記一組のガイド部と直交しつつ、前記電子部品の存在領域を挟んで対向配置される他組のガイド部と、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記一組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第1のカムプレートと、径が漸次減少する狭径部分を一部に有するカム面が設けられ、前記他組のガイド部を前記電子部品に対して接離させる第2のカムプレートと、前記電子部品の形状及び大きさに応じて前記第1のカムプレートの回転角度と前記第2のカムプレートの回転角度とを独立して制御する制御手段と、を備えること、を特徴とする。前記一組のガイド部の先端部は、前記他組のガイド部の先端部よりも下方に延び、前記他組のガイド部の下に潜って移動するようにしてもよい。前記狭径部分は、前記各ガイド部に1対1で対応して設けられ、同一の前記カムプレートの一回転方向に沿って、一方の狭径部分は径が漸次減少し、他方の狭径部分は径が漸次増加するようにしてもよい。本発明によれば、どの形状及び大きさの電子部品が搬送されようとも、この電子部品の位置補正が容易となる。すなわち、正方形の電子部品であっても、長方形の電子部品であっても、また長辺と短辺がどのような比率の電子部品であっても、カムプレートのカム面を調整することなく、電子部品の形状及び大きさを入力するだけで、位置補正が可能となる。以下、本発明に係る位置決め装置及びこれを備えた電子部品搬送装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。[位置決め装置][構成]図1は、位置決め装置1の斜視図である。位置決め装置1は、電子部品Dの搬送経路R上に配置され、ガイド部20によって電子部品Dをステージ10の中心に寄せることで、電子部品Dを位置補正する。電子部品Dを中心に寄せる過程では、電子部品Dの角度も矯正される。ステージ10は、電子部品Dの存在領域であり、電子部品Dが載置される平面である。ステージ10の中心は、電子部品Dを保持しながら搬送経路R上を間欠的に移動している保持手段の停止箇所に位置合わせされている。電子部品Dは、この保持手段によってステージ10上に搬送される。ガイド部20は、ステージ10の中心に向かうように4方から配置されている。4つのガイド部20は、XY軸方向で対向し、それぞれがステージ10の中心に向けて接近及び後退が可能となっている。X軸方向は、ステージ10の中心における搬送経路Rの接線方向であり、Y軸方向とは、X軸方向と直交するステージ10上の方向である。これらガイド部20は、X軸方向とY軸方向でそれぞれ移動量が異なる。すなわち、各ガイド部20は、電子部品Dの縦横の長さに合わせて移動する。ガイド部20aとガイド部20bは、X軸方向で対向しており、電子部品Dのステージ10の中心に対するX軸方向の位置ズレを補正する。すなわち、ガイド部20aとガイド部20bは、X軸方向に沿ってステージ10の中心に対して接近及び後退し、その接近距離は、電子部品DのX軸方向の長さに合わせられる。また、ガイド部20cとガイド部20dは、Y軸方向で対向しており、電子部品Dのステージ10の中心に対するY軸方向の位置ズレを補正する。すなわち、ガイド部20cとガイド部20dは、Y軸方向に沿ってステージ10の中心に対して接近及び後退し、その接近距離は、電子部品DのY軸方向の長さに合わせられる。図2は、ガイド部20の駆動機構を示す斜視図である。4つのガイド部20は、それぞれが対応の支持ブロック30に支持されており、支持ブロック30のそれぞれに取り付けられたカムフォロア40を介して2枚のカムプレート50a及び50bの回転に従動してステージ10上を移動する。2枚のカムプレート50a及び50bは、それぞれ平面部の垂直方向に延びた回転軸を有し、モータ60a及び60bによって回転する。モータ60aは、電子部品DのX軸方向の位置ズレを補正する際に駆動されるサーボモータやステッピングモータ等である。すなわち、モータ60aは、カムプレート50aを回転させる。カムプレート50aには、カムフォロア40と支持ブロック30を介してガイド部20a及び20bが接続されている。モータ60bは、電子部品DのY軸方向の位置ズレを補正する際に駆動されるサーボモータやステッピングモータ等である。すなわち、モータ60bは、カムプレート50bを回転させる。カムプレート50bには、カムフォロア40と支持ブロック30を介してガイド部20c及び20dが接続されている。図3乃至5に基づきガイド部20の駆動機構を更に詳細に説明する。図3はガイド部20を従動させるカムプレートの配置を示す上面図であり、図4はガイド部20の上面図であり、図5は、ガイド部20を付勢するバネ体を示す図である。図3において、実線で描かれた構成は、太点線で描かれた構成の上面視で下方に位置している。すなわち、図3に示すように、カムプレート50bは、ステージ10の下方に配置されている。カムプレート50bの回転軸の延長線上にステージ10の中心が位置している。ガイド部20c及び20dのカムフォロア40c及び40dは、Y軸方向に沿って配置され、カムプレート50bの回転軸を挟んで正対している。そのため、カムフォロア40c及び40dは、カムプレート50bの周面に形成されたカム面の形状に合わせて、カムプレート50bの中心に対して接離するようにY軸方向を移動する。一方、カムプレート50aは、ステージ10からY軸方向に離れて配置されている。但し、カムプレート50aの回転軸の延長線は、ステージ10の中心を通るY軸と交差する。ガイド部20a及び20bのカムフォロア40a及び40bは、X軸方向に沿って配置され、カムプレート50aの回転軸を挟んで正対している。そのため、カムフォロア40a及び40bは、カムプレート50aの周面に形成されたカム面の形状に合わせて、カムプレート50aの中心に対して接離するようにX軸方向を移動する。図4において、実線で描かれた構成は、点線で描かれた構成の上面視で上方に位置している。すなわち、図4に示すように、カムプレート50bに従動するカムフォロア40cは、支持ブロック30cの下端部に固定され、カムフォロア40dは、支持ブロック30dの下端部に固定される。支持ブロック30c及び30dは、ステージ10の中心を挟んでY軸方向に沿って正対する。また、カムプレート50aに従動するカムフォロア40aは、支持ブロック30aの下端部に固定され、カムフォロア40bは、支持ブロック30bの下端部に固定される。支持ブロック30a及び30bは、Y軸方向に沿って延び、その先端部はステージ10の中心の両脇まで及ぶ。ガイド部20cは支持ブロック30cの上面に面固定され、ガイド部20dは支持ブロック30dの上面に面固定されている。また、ガイド部20aは、支持ブロック30aの上面のうち、ステージ10の脇まで伸びた先端部に面固定され、ガイド部20bは、支持ブロック30bの上面のうち、ステージ10の脇まで伸びた先端部に面固定される。そして、これらガイド部20a~20dは、支持ブロック30a~30dのステージ10側の各辺からステージ10の中心に向かって突出する。正対するガイド部20a~20d同士は、それぞれ先端部の辺が正確に平行になっている。このガイド部20a~20dは、先端部が薄板形状になっており、ガイド部20a及び20bの組とガイド部20c及び20dの組とでは、延設されている高さが異なっている。従って、ガイド部20a及び20bは、ガイド部20c及び20dの下方に潜り込んでステージ10の中心に対して接離可能となり、先端部の辺が長くとも隣り合ったガイド部20が互いに衝突することはない。そのため、ガイド部20a~20dの辺の長さは、どの形状及び大きさの電子部品Dであっても、その辺の長さよりも十分に長い。尚、図5に示すように、各支持ブロック30a~30dには、バネ体70a、bの一端が固定されており、対応のカムプレート50a及び50bの周面にカムフォロア40a~40dを介して押しつけられている。本実施形態では、カムプレート50aを挟んで対向する支持ブロック30a及び30bは、2本の引張バネ70aによって連結されている。支持ブロック30cと30dは、カムプレート50bとは反対側の面に圧縮バネ70bがそれぞれ取り付けられている。図6は、カムプレート50aの詳細構成を示す図である。カムプレート50bは、カムプレート50aと同一の形状及び動作であるため、説明を省略する。カムプレート50aは、周面がカム面となっており、狭径部分80a及び80bと、更には残りの広径部分とを有している。広径部分は、半径r1の概略真円である。狭径部分80a及び80bは連なって形成されており、両者の境界を中心に鏡像関係を有しており、端から両者の境界に至るまで径が漸次減少し、境界では半径r1よりも小さい半径r2となっている。すなわち、カムプレート50aの一方の回転方向に沿って、一方の狭径部分80aは径が漸次減少し、他方の狭径部分80bは径が漸次増加する。径の減少量は、回転角度と比例しており、狭径部分80a及び80bにおいて等速カムとなっている。尚、カムプレート50aの回転に伴って、一方がカムプレート50aの中心に向けて移動し、他方がカムプレート50aの中心から離れるように移動するものであれば、狭径部分80a及び80bは、曲率が異なっていても、形成位置が離れていても良い。狭径部分80bは、カムフォロア40bに対応する。図6のaに示すように、カムフォロア40bが狭径部分80bを通るようにカムプレート50aを正回転させると、カムフォロア40bの従動位置は、その回転角度に応じてカムプレート50aの中心に近づく。従って、カムフォロア40bと支持ブロック30bを介して、ガイド部20bもカムプレート50aの回転角度に応じた距離だけステージ10の中心に近づいていく。このとき、カムフォロア40aは広径部分に位置したままであるか、又は狭径部分80aを径が広がる方向に移動している。そのため、カムフォロア40aに対応するガイド部20aは、ガイド部20bと同時にステージ10の中心に近づくことはない。また、狭径部分80aは、カムフォロア40aに対応する。図6のbに示すように、カムフォロア40aが狭径部分80aを通るようにカムプレート50aを逆回転させると、カムフォロア40aの従動位置は、その回転角度に応じてカムプレート50aの中心に近づく。従って、カムフォロア40aと支持ブロック30aを介して、ガイド部20aもカムプレート50aの回転角度に応じた距離だけステージ10の中心に近づいていく。カムフォロア40bが狭径部分80aに位置した状態からカムプレート50aを逆回転させた場合には、カムフォロア40bは狭径部分80bを広径部分の方向に向かって戻るように従動していき、やがて広径部分に到達する。そのため、ガイド部20aがステージ10の中心に近づいていく一方で、ガイド部20bは、ステージ10の中心から離れていく。図7のaは、このようなガイド部20の駆動機構を制御する制御手段90を示すブロック図である。制御手段90は、入力部91、記憶部92、算出部93、X軸モータドライバ94、及びY軸モータドライバ95を備えている。この制御手段90は、電子部品Dの形状及び大きさに応じた距離だけ各ガイド部20を個別に移動させる。すなわち、制御手段90は、電子部品Dの形状及び大きさを特定する情報が入力されると、その情報に応じてモータ60a及び60bの駆動量を制御する。入力部91は、算出部93に対して電子部品Dの形状及び大きさを特定する情報を入力する。この入力部91は、例えばマウス、キーボード、タッチパネル、又はカメラである。ユーザがマウス、キーボード、又はタッチパネルを用いて電子部品Dの縦横の長さを入力すると、その入力結果が算出部93へ向けて出力される。また、入力部91は、CPU及びメモリを含み構成され、電子部品Dの製品番号や製品名称と縦横の長さとを関連づけて記憶しておき、製品番号や製品名称が入力されると、記憶している関連づけを参照して縦横の長さを検索し、算出部93へ出力するようにしてもよい。また、入力部91は、ステージ10の前段で電子部品Dを撮影するカメラとOCRとを含み構成され、電子部品Dの表面に刻印された製品番号や製品名称を読み取って、製品番号や製品名称に対応する縦横の長さを検索し、算出部93へ出力するようにしてもよい。記憶部92は、不揮発性メモリを含み構成され、図7のbに示すように、電子部品Dの辺の長さと、カムプレート50a及び50bの回転角度とを関連づけて予め記憶している。回転角度の情報は、ガイド部20の先端部が所定位置まで移動するのに必要な回転角度を示している。所定位置は、ステージ10の中心に位置補正された電子部品Dの各辺の位置である。この回転角度の情報は、カムプレート50a及び50b上の特定の原点位置を基点にして示されている。換言すると、この回転角度の情報は、電子部品Dの辺の長さに対応する各ガイド部20の移動量を示しているともいえる。算出部93は、CPUを含み構成され、位置補正する電子部品Dの縦横の長さに応じた各カムプレート50a及び50bの各回転角度を算出する。具体的には、入力部91から入力された縦横の長さに対応する回転角度を記憶部92から抽出する。X軸モータドライバ94及びY軸モータドライバ95は、算出部93が求めた各回転角度に応じてモータ60a及び60bを駆動させる。具体的には、モータ60a及び60bを正回転させて、それぞれ一方のガイド部20をステージ10の中心に向けて移動させる。そして、モータ60a及び60bを逆回転させて、中心に向けて移動させたガイド部20を中心から退避させた上で、他方のガイド部20をステージ10の中心に向けて移動させる。[作用]このような位置決め装置1の具体的な動作を図8及び9に基づき説明する。図8は、ガイド部20の動作を示す斜視図であり、図9は、各形状及び各大きさの電子部品Dに応じたカムプレート50a及び50bの動作を示す図である。まず、ガイド部20の動作について説明する。図8のaに示すように、搬送経路Rを通って電子部品Dがステージ10に載置されると、この電子部品Dの位置補正を開始する。電子部品Dの載置直後は、全てのガイド部20に対応するカムフォロア40は、カムプレート50a及び50bの広径部分に位置しており原点位置、カムプレート50a及び50bの中心から半径r1の距離だけ離れている。そのため、全てのガイド部20はステージ10の中心から最大距離離れた状態となっている。まず、図8のbに示すように、四方に配置されたガイド部20のうち、隣合った一対のガイド部20をステージ10の中心に向けて移動させる。例えば、X軸方向に並ぶガイド部20aとY軸方向に並ぶガイド部20cとをステージ10の中心に向けて移動させる。次に、図8のcに示すように、先ほどステージ10の中心に向けて移動させたガイド部20a及び20cをステージ10の中心から退避させつつ、他方の対のガイド部20をステージ10の中心に向けて移動させる。すなわち、X軸方向に並ぶガイド部20bとY軸方向に並ぶガイド部20dとをステージ10の中心に向けて移動させる。この図8のb及びcに示した動作においては、ガイド部20a及び20bの先端部がガイド部20c及び20dの先端部よりも下方に延びているため、ガイド部20a及び20bはガイド部20c及び20dの下方に潜り込むように移動する。そのため、各ガイド部20は、電子部品Dと比べて十分に幅広の先端部を有するが、互いに干渉することなく、電子部品Dの対応辺全体をステージ10の中心に向けて押し込んでいる。更に、各形状及び各大きさの電子部品Dに応じたカムプレート50a及び50bの動作について説明する。まず、入力部91によって搬送経路Rを搬送される電子部品Dの縦横の長さが入力されると、算出部93は、記憶部92を参照してカムプレート50a及び50bの回転角度を算出しておく。入力部91には、四方の辺の長さがL1の正方形の電子部品Dが入力されたものとする。このとき、図9のaに示すように、制御手段90は、モータ60a及び60bをそれぞれ駆動させて、各カムフォロア40が狭径部分80a~80dの半径r3となる箇所まで摺動するように、各カムプレート50a及び50bを回転させる。また、入力部91には、四方の長さがL2<L1の正方形の電子部品Dが入力されたものとする。このとき、図9のbに示すように、制御手段90は、モータ60a及び60bをそれぞれ駆動させて、各カムフォロア40が狭径部分80a~80dの半径r2となる箇所まで摺動するように、各カムプレート50a及び50bを回転させる。また、入力部91には、X軸方向の辺の長さがL2でY軸方向の辺の長さがL1の長方形の電子部品Dが入力されたものとする。このとき、図9のcに示すように、制御手段90は、モータ60aを駆動させて、カムフォロア40a及び40bが狭径部分80a及び80bの半径r2となる箇所まで摺動するように、カムプレート50aを回転させる。また、制御手段90は、モータ60bを駆動させて、カムフォロア40c及び40dが狭径部分80c及び80dの半径r3となる箇所まで摺動するように、カムプレート50bを回転させる。[効果]以上のように、位置決め装置1は、電子部品Dの載置領域を挟んで対向配置される一組のガイド部20c及び20dと、ガイド部20c及び20dと直交しつつ、電子部品Dの載置領域を挟んで対向配置される他組のガイド部20a及び20bとを、ステージ10上に備えている。前記一組のガイド部20c及び20dは、第1のカムプレート50bによって接離される。このカムプレート50bには、径が漸次減少する狭径部分80c及び80dを一部に有するカム面が設けられている。また、前記他組のガイド部20a及び20bは、第2のカムプレート50aによって接離される。このカムプレート50aには、径が漸次減少する狭径部分80a及び80bを一部に有するカム面が設けられている。そして、この位置決め装置1は、電子部品Dの形状及び大きさに応じて第1のカムプレート50bの回転角度と第2のカムプレートの回転角度50aとを独立して制御する制御手段90を有する。これにより、どの形状及び大きさの電子部品Dが搬送経路Rを搬送されようとも、この電子部品Dの位置補正が容易となる。すなわち、正方形の電子部品Dであっても、長方形の電子部品Dであっても、また長辺と短辺がどのような比率の電子部品Dであっても、カムプレートのカム面を調整することなく、電子部品Dの形状及び大きさを入力するだけで、位置補正が可能となる。また、一組のガイド部20a及び20bの先端部は、他組のガイド部20c及び20dの先端部よりも下方に延び、他組のガイド部20c及び20dの下に潜って移動する。これにより、ガイド部20が進退に伴って隣のガイド部20と干渉することはないため、隣り合ったガイド部20を同時に移動させることができるとともに、ガイド部20の先端部をどの電子部品Dの各辺の長さに対しても十分に長くすることが可能となる。ガイド部20の先端部を十分に長くすることで、電子部品Dの各辺全体に先端部を当接させて、ステージ10の中心に向けて押し出すことができる。そのため、どのような形状及び大きさを有する電子部品Dであっても位置ズレ補正の精度を高めることができる。すなわち、電子部品Dの長さに対する押圧範囲の狭さに起因して電子部品Dが回転してしまい、位置補正の精度が低くなってしまうことが防止される。更に、狭径部分80a~80dは、各ガイド部20に1対1で対応して設けられる。そして、対応のカムプレート50aの一回転方向に沿って、一方の狭径部分80aは径が漸次減少し、他方の狭径部分80bは径が漸次増加する。また、対応のカムプレート50bの一回転方向に沿って、一方の狭径部分80cは径が漸次減少し、他方の狭径部分80dは径が漸次増加する。これにより、対向するガイド部20は、時間差をもって移動することになる。そのため、対向するガイド部20同士が同時にステージ10の中心に向けて移動し、電子部品Dを挟み込んでしまう事態を防止することができ、衝撃に弱い電子部品Dに対してもチッピングやクラックなどのダメージを与えることがない。[適用例]この位置決め装置1を備える電子部品搬送装置2について説明する。図10は、電子部品搬送装置2を示し、aは電子部品搬送装置2の上面図であり、bは側面図である。図10に示す電子部品搬送装置2のターンテーブル21は、ダイレクトドライブモータと接続されて間欠的に回転する。ターンテーブル21には、外周に沿って等間隔で離間した保持手段5が固定されている。保持手段5は、電子部品Dを保持しつつ、電子部品Dを工程処理するステージに向けて昇降する。この保持手段5の配置間隔は、ターンテーブル21の1ピッチの回転角度と等しい。ターンテーブル21に固定された保持手段5は、ターンテーブル21の外縁に固定された支持部52に上下動可能に支持された吸着ノズル51と、ターンテーブル21の上方に固定されたノズル駆動部53とを有する。吸着ノズル51は、内部が中空のパイプである。パイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。この吸着ノズル51は、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品Dを吸着し、真空破壊によって電子部品Dを離脱させる。ノズル駆動部53は、吸着ノズル51を押し出すロッド54を備えている。アクチュエータを作動させてロッド54を吸着ノズル51に向けて押し出すと、吸着ノズル51は、後端部51aでロッド54の先端と当接して押圧され、ノズル先端が下方に移動する。アクチュエータによりロッド54が引き込まれると、吸着ノズル51とロッド54との当接は解除され、ノズル先端は上方へ戻る。ターンテーブル21の周りには、吸着ノズル51の停止位置の何れかに位置合わせされて各種の工程処理ユニット4が配置される。この工程処理ユニット4としては、本実施形態の位置決め装置1と、位置決め装置1の後段に配置されたテストユニット3とが含まれる。その他の工程処理ユニット4としては、パーツフィーダ、マーキングユニット、外観検査ユニット、分類ソートユニット、テーピングユニット、不良品排出ユニット等が配置される。テストユニット3は、電子部品Dへの通電用に接触子を備えている。位置決め装置1によって電子部品Dの位置ズレが補正された状態では、電子部品Dの電極が接触子に接触する。このテストユニット3は、接触子を介して電子部品Dに電流を流したり、電圧を印加したりすることで、電子部品Dの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定する。測定方法は、印加と測定を共通の接触子で行うシングルコンタクト方式と、印加と測定を別々の接触子で行うケルビンコンタクト方式のどちらを採用してもよい。このテストユニット3は、予め、電気特性の許容範囲を示す数値データが記憶されており、測定結果と数値データとを比較して、電子部品Pの良又は不良を判定する。パーツフィーダは、電子部品搬送装置2に電子部品Dを供給する装置である。このパーツフィーダは、例えば、円形の振動パーツフィーダと直線型の供給振動フィーダとを組み合わせて、ターンテーブル21の外周端直下の搬送経路終端まで多数の電子部品Dを整列させて連続的に搬送する。マーキングユニットは、電子部品Dに臨んでレーザ照射用のレンズを有し、レーザを電子部品Dに照射してマーキングを行う。外観検査ユニットは、カメラを有し、電子部品Dを撮影し、画像から電子部品Dの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する。分類ソートユニットは、電気特性及び外観検査の結果に応じて電子部品Dを不良品と良品とに分類し、そのレベルに応じて分類してシュートする。テーピングユニットは、良品と判定された電子部品Dを収納する。不良品排出ユニットは、テーピング梱包されなかった電子部品Dを電子部品搬送装置から排出する。このような電子部品搬送装置は、図示しない搬送制御部を備え、ターンテーブル21のダイレクトドライブモータ、保持手段5、位置決め装置1、及びその他の各種の工程処理ユニット4に電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。すなわち、搬送制御部は、制御プログラムを格納するROM、CPU、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力している。他の実施形態以上のような電子部品搬送装置2においては、ターンテーブル21を用いた回転搬送方式の他、直線搬送方式や、複数のターンテーブル1で一の搬送経路を構成するようにしてもよい。また、保持部5としては、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Dを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。また、位置決め装置1を有するものであれば、上記した種類の工程処理ユニット4に限られず、その他の種類の工程処理を実施するユニットと置き換えることが可能であり、また配置順序も適宜変更可能である。例えば、テストユニット3の前段として位置決め装置1を配置する他、テーピングユニット等の梱包ユニットの前段として位置決め装置1を配置して、梱包の際の位置ズレを補正するようにしてもよい。さらに、位置決め装置1は、電子部品Dを載置するステージ10を備えておらず、保持手段5を下降させることで電子部品Dをガイド部20で囲まれている領域に位置させ、保持手段5で電子部品Dを保持したまま、位置決めを行ってもよい。保持手段5とステージ10との間の電子部品Dの受け渡し時間を省略することができ、動作時間を短縮できる。保持手段5とステージ10との間で電子部品Dを受け渡す際に電子部品Dの位置ズレが生じてしまう可能性を除去できる。