"ポリエステルフィルムの少なくとも片面に被覆層を有し、ポリエステルフィルム中の環状三量体含有量が該ポリエステルフィルム当り5000ppm以下であり、該ポリエステルフィルムの少なくとも一方の面におけるフィルム表面の環状三量体量が50μg/m2以下である太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルム。アルミニウム及び/又はその化合物とフェノール系化合物を含有する重縮合触媒を用いて重合されたポリエステル樹脂からなる請求項1に記載の太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルム。該ポリエステルフィルムが最外層と中心層の少なくとも3層を有し、前記最外層は粒子を含有し、前記中心層は実質的に粒子を含まない請求項1又は2に記載の太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルム。前記被覆層がオキサゾリン基を有する樹脂を含む請求項1~3のいずれかに記載の太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルム。前記被覆層の全反射赤外吸収スペクトルにおける1655cm-1のピーク強度P1と1580cm-1のピーク強度P2の比P1/P2と被覆層の膜厚D[nm]が下記式[1]を満たす請求項4記載の太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルム。0.05≦P1/P2/D≦0.25[1]請求項1~5のいずれかに記載の太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムの被覆層面に無機薄膜層を積層してなる太陽電池用バリア性ポリエステルフィルム。請求項6に記載の太陽電池用バリア性ポリエステルフィルムを構成部材とする太陽電池保護シート。前述のように、太陽電池保護シートに用いるポリエステル樹脂は耐久性向上を目的として、固相重合処理などを行い、フィルム樹脂中のカルボキシル末端濃度を低く抑えることが一般的である。さらに、前記固相重合処理などを行うことによって環状三量体量を低減する効果も得られる。前述のように太陽電池モジュールは絶縁防止や発電素子の劣化防止のため高度なバリア性防湿性が必要とされる。しかしながら、太陽電池モジュールの使用期間を20年以上として見据えた場合、前述のポリエステルフィルムでは、長期の防湿性維持が十分少ないとは言えない場合があった。本発明の目的は、上記課題に鑑み、長期の防湿性維持が可能な太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムを提供するものである。本発明者は、太陽電池保護シートの長期防湿性維持について鋭意検討した結果、保護シートに用いる無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムの表面に環状三量体の結晶物による無数の突起が存在すると熱プレス時に金属又は金属酸化物系薄膜層などの高耐久防湿層にキズや無数の凹みを生じることがあり、これが防湿性を低下させることを見い出した。すなわち、フィルム表面に析出した環状三量体が大きさ1μm以上、時には5μm以上の結晶体に成長する場合があり、高度な防湿性を要求されるバックシートにおいて、このような表面環状三量体の多いポリエステルフィルムを用いると、その時々の防湿性低下による太陽電池素子の劣化はわずかであっても、20年を越える使用においては太陽電池の性能に大きな影響を与えることが分かった。前記の課題は、以下の解決手段により達成することができる。第1の発明は、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に被覆層を有し、ポリエステルフィルム中の環状三量体含有量が該ポリエステルフィルム当り5000ppm以下であり、該ポリエステルフィルムの少なくとも一方の面におけるフィルム表面の環状三量体量が50μg/m2以下である太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムである。第2の発明は、アルミニウム及び/又はその化合物とフェノール系化合物を含有する重縮合触媒を用いて重合されたポリエステル樹脂からなる前記太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムである。第3の発明は、該ポリエステルフィルムが最外層と中心層の少なくとも3層を有し、前記最外層は粒子を含有し、前記中心層は実質的に粒子を含まない前記太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムである。第4の発明は、前記被覆層がオキサゾリン基を有する樹脂を含む前記太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムである。第5の発明は、前記被覆層の全反射赤外吸収スペクトルにおける1655cm-1のピーク強度P1と1580cm-1のピーク強度P2の比P1/P2と被覆層の膜厚D[nm]が下記式[1]を満たす前記太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムである。0.05≦P1/P2/D≦0.25[1]第6の発明は、前記太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムの被覆層面に無機薄膜層を積層してなる太陽電池用バリア性ポリエステルフィルムである。第7の発明は、前記太陽電池用バリア性ポリエステルフィルムを構成部材とする太陽電池保護シートである。本発明の太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムは、表面に存在する環状三量体量が少ない。そのため、長期の防湿性を阻害する環状三量体からなる突起が少なく、太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムとして長期の防湿性維持に好適である。さらに、本発明の好ましい態様では、フィルム表面に被覆層を有するため、長期の防湿性維持により好適である。ポリエステルフィルム本発明のポリエステルフィルムは、ポリエステル樹脂より構成されるフィルムであり、主に、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートの少なくとも1種を構成成分とする。本発明で用いるポリエステルは、従来公知の製造方法で行うことができる。例えば、ポリエチレンテレフタレートPETを製造する場合は、テレフタル酸とエチレングリコールとをエステル化反応させた後重縮合する方法、もしくはテレフタル酸ジメチルなどのテレフタル酸のアルキルエステルとエチレングリコールとのエステル交換反応を行った後重縮合する方法、のいずれの方法でも行うことができる。また、重合装置は、回分式であっても、連続式であってもよい。ポリエステルの重縮合時に用いられるポリエステル重合触媒としては、特に限定されないが三酸化アンチモンが安価で、かつ優れた触媒活性をもつ触媒であるため好適である。三酸化アンチモンを触媒とするポリエステル樹脂を得るには公知の方法を用いることができる。例えば特許第4023220号公報中に挙げられているポリエステル樹脂が例示できる。また、上記以外にも重縮合触媒として、ゲルマニウム化合物、又はチタン化合物を用いることも好ましい。さらに好ましい重縮合触媒としては、アルミニウム及び/又はその化合物とフェノール系化合物を含有する触媒、アルミニウム及び/又はその化合物とリン化合物を含有する触媒、リン化合物のアルミニウム塩を含有する触媒が挙げられる。アルミニウム及び/又はその化合物とリン化合物を含有する触媒を用いることにより、三酸化アンチモン触媒を用いて重合されたポリエステル樹脂を用いた場合より、製膜工程中の押し出し機内、延伸工程、および熱固定工程での環状三量体の生成を低減できるためである。この理由については定かではないがアルミニウム及び/又はその化合物とリン化合物を含有する触媒はポリエステル樹脂の熱劣化を抑制する作用があるものと推察される。以下に本発明で用いることができる、アルミニウム及び/又はその化合物とリン化合物を含有する触媒について詳述するが、当然これに限定するものではない。前記アルミニウム及び/又はアルミニウム化合物として、金属アルミニウムのほか、公知のアルミニウム化合物を限定なく使用することができる。アルミニウム化合物としては、具体的には、ギ酸アルミニウム、酢酸アルミニウム、塩基性酢酸アルミニウム、プロピオン酸アルミニウム、蓚酸アルミニウム、アクリル酸アルミニウム、ラウリン酸アルミニウム、ステアリン酸アルミニウム、安息香酸アルミニウム、トリクロロ酢酸アルミニウム、乳酸アルミニウム、クエン酸アルミニウム、サリチル酸アルミニウムなどのカルボン酸塩、塩化アルミニウム、水酸化アルミニウム、水酸化塩化アルミニウム、炭酸アルミニウム、リン酸アルミニウム、ホスホン酸アルミニウムなどの無機酸塩、アルミニウムメトキサイド、アルミニウムエトキサイド、アルミニウムnプロポキサイド、アルミニウムisoプロポキサイド、アルミニウムnブトキサイド、アルミニウムt-ブトキサイドなどアルミニウムアルコキサイド、アルミニウムアセチルアセトネート、アルミニウムアセチルアセテート、アルミニウムエチルアセトアセテート、アルミニウムエチルアセトアセテートジisoプロポキサイドなどのアルミニウムキレート化合物、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウムなどの有機アルミニウム化合物およびこれらの部分加水分解物、酸化アルミニウムなどが挙げられる。これらのうちカルボン酸塩、無機酸塩およびキレート化合物が好ましく、これらの中でもさらに酢酸アルミニウム、塩化アルミニウム、水酸化アルミニウム、水酸化塩化アルミニウムおよびアルミニウムアセチルアセトネートが特に好ましい。前記アルミニウム及び/又はアルミニウム化合物の添加量としては、得られるポリエステルのジカルボン酸や多価カルボン酸などのカルボン酸成分の全構成ユニットのモル数に対して0.001~0.05モルが好ましく、さらに好ましくは、0.005~0.02モルである。添加量が0.001モル未満であると触媒活性が十分に発揮されない場合があり、添加量が0.05モル以上になると、熱安定性や熱酸化安定性の低下、触媒に起因する異物の発生や着色の増加が問題になる場合が発生する。この様にアルミニウム成分の添加量が少なくても本発明の重合触媒は十分な触媒活性を示す点に大きな特徴を有する。その結果、熱安定性や熱酸化安定性が優れ、触媒に起因する異物や着色を低減することができる。前記重縮合触媒を構成するフェノール系化合物としては、フェノール構造を有する化合物であれば特に限定はされないが、例えば、26ジtertブチル4メチルフェノール、26ジtertブチル4エチルフェノール、26ジシクロヘキシル4メチルフェノール、26ジイソプロピル4エチルフェノール、26ジtertアミル4メチルフェノール、26ジtertオクチル4nプロピルフェノール、26ジシクロヘキシル4nオクチルフェノール、2イソプロピル4メチル6tertブチルフェノール、2tertブチル2エチル6tertオクチルフェノール、2イソブチル4エチル6tertヘキシルフェノール、2シクロヘキシル4nブチル6イソプロピルフェノール、111トリスエタン、113トリス2メチル4ヒドロキシ5tertブチルフェニルブタン、トリエチレングリコール-ビス[33tertブチル5メチル4ヒドロキシフェニルプロピオネート]、16ヘキサンジオール-ビス[335ジtertブチル4ヒドロキシフェニルプロピオネート]、22チオジエチレンビス[335ジtertブチル44ヒドロキシフェニルプロピオネート]、NNヘキサメチレンビス35ジtertブチル4ヒドロキシヒドロシンナミド、135トリス26ジメチル3ヒドロキシ4tertブチルベンジルイソシアヌレート、135トリス35ジtertブチル4ヒドロキシベンジルイソシアヌレート、135トリス[35ジtertブチル4ヒドロキシフェニルプロピオニルオキシエチル]イソシアヌレート、トリス4tertブチル-26ジメチル3ヒドロキシベンジルイソシアヌレート、24ビスn-オクチルチオ64ヒドロキシ35ジtertブチルアニリノ135トリアジン、テトラキス[メチレン35ジtertブチル4ヒドロキシヒドロシンナメート]メタン、ビス[33ビス3tertブチル4ヒドロキシフェニルブチリックアシッドグリコールエステル、NNビス[335ジtertブチル4ヒドロキシフェニルプロピオニル]ヒドラジン、22オギザミドビス[エチル335ジtertブチル4ヒドロキシフェニルプロピオネート]、ビス[2tertブチル4メチル63tertブチル5メチル-2ヒドロキシベンジルフェニル]テレフタレート、135トリメチル246トリス35ジtertブチル4ヒドロキシベンジルベンゼン、39ビス[11ジメチル2{β3tertブチル4ヒドロキシ5メチルフェニルプロピオニルオキシ}エチル]24810テトラオキサスピロ[55]ウンデカン、22ビス[4235ジtertブチル4ヒドロキシシンナモイルオキシエトキシフェニル]プロパン、β35ジtertブチル4ヒドロキシフェニルプロピオン酸アルキルエステル、テトラキスメチル3プロピオネートメタン、オクタデシル3プロピオネート、113トリスブタン、チオジエチレンービス3プロピオネート、エチレンビスオキシエチレンビス3プロピオネート、ヘキサメチレンビス3プロピオネート、トリエチレングリコールビス3プロピオネート、113トリス2メチル43プロピオニルオキシ5tertブチルフェニルブタンなどを挙げることができる。これらは、同時に二種以上を併用することもできる。これらのうち、135トリメチル246トリス35ジtertブチル4ヒドロキシベンジルベンゼン、テトラキスメチル3プロピオネートメタン、チオジエチレンービス3プロピオネートが好ましい。これらのフェノール系化合物をポリエステルの重合時に添加することによって、アルミニウム化合物の触媒活性が向上するとともに、重合したポリエステルの熱安定性も向上する。前記フェノール系化合物の添加量としては、得られるポリエステルのジカルボン酸や多価カルボン酸などのカルボン酸成分の全構成ユニットのモル数に対して5×10-7~0.01モルが好ましく、更に好ましくは1×10-6~0.005モルである。また、本発明では、フェノール系化合物にさらにリン化合物をともに用いても良い。前記重縮合触媒を構成するリン化合物としては特に限定はされないが、ホスホン酸系化合物、ホスフィン酸系化合物、ホスフィンオキサイド系化合物、亜ホスホン酸系化合物、亜ホスフィン酸系化合物、ホスフィン系化合物からなる群より選ばれる一種または二種以上の化合物を用いると触媒活性の向上効果が大きく好ましい。これらの中でも、一種または二種以上のホスホン酸系化合物を用いると触媒活性の向上効果が特に大きく好ましい。前記の重縮合触媒を構成するリン化合物としては、芳香環構造を有する基である化合物が特に好ましい。前記の重縮合触媒を構成するリン化合物としては、例えば、メチルホスホン酸ジメチル、メチルホスホン酸ジフェニル、フェニルホスホン酸ジメチル、フェニルホスホン酸ジエチル、フェニルホスホン酸ジフェニル、ベンジルホスホン酸ジメチル、ベンジルホスホン酸ジエチル、ジフェニルホスフィン酸、ジフェニルホスフィン酸メチル、ジフェニルホスフィン酸フェニル、フェニルホスフィン酸、フェニルホスフィン酸メチル、フェニルホスフィン酸フェニル、ジフェニルホスフィンオキサイド、メチルジフェニルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。これらのうちで、フェニルホスホン酸ジメチル、ベンジルホスホン酸ジエチルが特に好ましい。前記のリン化合物の添加量としては、得られるポリエステルのジカルボン酸や多価カルボン酸などのカルボン酸成分の全構成ユニットのモル数に対して5×10-7~0.01モルが好ましく、更に好ましくは1×10-6~0.005モルである。前記の重縮合触媒を構成するフェノール部を同一分子内に有するリン化合物としては、フェノール構造を有するリン化合物であれば特に限定はされないが、フェノール部を同一分子内に有する、ホスホン酸系化合物、ホスフィン酸系化合物、ホスフィンオキサイド系化合物、亜ホスホン酸系化合物、亜ホスフィン酸系化合物、ホスフィン系化合物からなる群より選ばれる一種または二種以上の化合物を用いると触媒活性の向上効果が大きく好ましい。これらの中でも、一種または二種以上のフェノール部を同一分子内に有するホスホン酸系化合物を用いると触媒活性の向上効果が特に大きく好ましい。本発明で用いるポリエステルの触媒は、重合反応のみならずエステル化反応およびエステル交換反応にも触媒活性を有する。例えば、テレフタル酸ジメチルなどのジカルボン酸のアルキルエステルとエチレングリコールなどのグリコールとのエステル交換反応による重合は、通常チタン化合物や亜鉛化合物などのエステル交換触媒の存在下で行われるが、これらの触媒に代えて、もしくはこれらの触媒に共存させて本発明の請求項に記載の触媒を用いることもできる。また、前記の触媒は、溶融重合のみならず固相重合や溶液重合においても触媒活性を有しており、いずれの方法によっても太陽電池用構成部材に適したポリエステル樹脂を製造することが可能である。本発明のポリエステルフィルム中の環状三量体含有量は5000ppm以下であることが必要であり、4000ppm以下であることが好ましく、3500ppm以下がより好ましい。5000ppmを超えると、耐久性が低下するため好ましくない他、フィルム表面に環状三量体が析出しやすく、無機薄膜層からなる防湿層を積層した際に該防湿層に貫通孔を発生させる等の悪影響をもたらすため好ましくない。ポリエステルフィルムの環状三量体の含有量を上記範囲にするためには、固相重合法によってオリゴマー低減処理を行ったポリエステル樹脂を原料に用いることが好ましい。本発明で言う固相重合法とは、前述のごとく固相状態で減圧下あるいは不活性ガス気流下でポリエステル樹脂を加熱し、さらに重縮合を進める方法である。固相状態にて減圧下で加熱する方法と不活性ガス気流下で熱処理する方法を組み合わせてもよい。固相重合反応は、溶融重縮合反応と同様、回分式装置や連続式装置で行うことが出来る。溶融重縮合と固相重縮合は連続で行っても良いし、分割して行ってもよい。また、該ポリエステル樹脂中に含まれている環状三量体等のオリゴマーやアセトアルデヒド等の副生成物を除去する等の手段を取ることも何ら制約を受けない。さらに、例えば、超臨界圧抽出法等の抽出法でポリエステル樹脂を精製し前記の副生成物等の不純物を除去する等の処理を行うことを取り入れても良い。尚、本発明で用いるポリエステル中には、他の任意の重縮合体や制電剤、消泡剤、染色性改良剤、染料、顔料、艶消剤、蛍光増白剤、安定剤、酸化防止剤、その他の添加剤が含有されていてもよい。酸化防止剤としては、芳香族アミン系、フェノール系等の酸化防止剤が使用可能であり、安定剤としては、リン酸やリン酸エステル系等のリン系、硫黄系、アミン系等の安定剤が使用可能である。上記の固相重合は、180°C以上、融点未満の温度で行うことが望ましく、特に195~235°Cが好ましい。融点以上では、ポリエステル樹脂が溶融するので実用的でなく、また、180°C未満では環状三量体の減少速度が著しく遅いので好ましくない。さらに、固相重合は、不活性気体流通下又は減圧下で行う必要がある。この不活性気体とは、固相重合後に得られるポリエステル樹脂の劣化を生じないような気体を意味し、一般には安価な窒素を用いるのが好ましい。不活性気体中の水分量は、固相重合中にポリエステル樹脂の極限粘度が低下しない範囲であればよく、通常、500ppm以下である。減圧下で固相重合する場合には、通常、真空度は0.1KPa以下、さらに好ましくは0.05KPa以下である。固相重合の装置は、回転式固相重合装置、塔式静置固相重合装置、流動床式固相重合装置、種々の撹拌翼を有する固相重合装置等のペレット状樹脂を均一に加熱できるものが好ましい。ポリエステルフィルムの耐久性の点からは、固相重合により高分子量化したポリエステルや、低酸価のポリエステルを用いることも好ましい。これによりポリエステルフィルムの耐加水分解性をより向上させることができる。固相重合によりポリエステルを高分子量化する場合、固有粘度は0.65~0.80dl/gであることが高度な耐熱性、耐加水分解性を得るためには好ましく、より好ましくは0.70~0.75dl/gである。なお、ポリエステルの固有粘度は、ポリエステルをパラクロロフェノール6質量部と、1122-テトラクロルエタン4質量部の混合溶媒に溶解し、30°Cで測定することができる。本発明においては少なくとも一方の面におけるフィルム表面の環状量体量が50μg/m2以下であり、好ましくは40μg/m2以下であり、特に好ましくは30μg/m2以下である。フィルム表面の環状三量体量が50μg/m2を越えると該環状三量体量による突起が増加し、無機薄膜層からなる防湿層にキズや凹みを生じさせる確率が高くなる。環状三量体の防湿層に与える影響は、防湿膜をフィルム表面にプレスした際に生じる凹み欠点の個数により評価することができる、具体的には、フィルム表面の環状量体量が50μg/m2以下の場合、下記測定方法で測定される凹み数を1mm2当り200個以下にすることができ、防湿層による防湿機能低下を抑制することができる。本発明では、ポリエステルフィルムの少なくとも一方の面におけるフィルム表面の環状三量体量が上記範囲であれば、係る面に防湿層を設けることで好適に長期防湿性を維持できる。また、フィルム両面での表面環状三量体量が上記範囲であれば、両面いずれにも好適に防湿層を設けることができる。このように、太陽電池の長期防湿性を維持する上で、フィルム表面に存在する表面環状三量体量を特定範囲にすることにより、防湿層のキズなどの要因になる突起を抑制させることを見出したことが本発明の重要な点である。フィルム表面の環状三量体量を上記範囲にするためには、従来技術のように単にポリエステル樹脂の環状三量体含有量を低減させるだけでは十分ではない。原料となるポリエステル樹脂の環状三量体含有量を低減しても、フィルム製膜における熱履歴によりフィルム表面に環状三量体が析出するからである。そのために、ポリエステルフィルムに含まれる環状三量体含有量を前述の範囲に制御することに加え、製膜中における表面環状三量体低減処理を行なうことが望ましい。製膜中における表面環状三量体低減処理としては、具体的に、以下の手段が例示される。これらの手段を適宜選択もしくは組み合わせることにより、フィルム表面の環状三量体量を前述の範囲に制御することが好ましい。1横延伸工程および/もしくは熱固定工程における風速制御2熱個定後の冷却速度の制御3横延伸工程および/もしくは熱固定工程における炉内空気の調整4溶融工程における滞留時間の制御5タッチロールによる表面環状三量体の除去本発明のポリエステルフィルムは、単層ポリエステルフィルムであっても良いし、最外層と中心層を有する、少なくとも3層からなる積層ポリエステルフィルムであっても良い。特に、生産性の点から最外層と中心層の3層構成を有することが好ましい。3層構成における層構成として、表裏の最外層の構成は同組成であっても異組成であっても構わないが、2種3層A層/B層/A層が平面性の点から好適である。本発明において3層構成とする場合、最外層上記2種3層の場合はA層に粒子を含有し、中心層上記2種3層の場合はB層には実質的に粒子を含まないことが好ましい。A層に粒子を含有させる理由は、金属又は金属酸化物系薄膜層やコーティング層等の防湿層を積層するなど後加工工程でのハンドリング性付与及び表面積を大きくすることによって前記防湿層との密着性を向上させるためである。最外層に粒子を添加する場合は、加工性に適した十分なハンドリング性が得られる。本発明の積層フィルムのハンドリング性は、積層フィルム面同士の動摩擦係数μdにより評価することができる。この場合、加工性の点から動摩擦係数μdが0.7以下であることが好ましい。また、B層には実質的に粒子を含まないことが好ましいとした理由は、滑剤粒子、特に無機粒子の凝集体による突起の生成確率を低減させるためである。また係る構成をとることで、透明性の高いフィルムを得ることができ、フロントシートなど透明性が求められる分野にも好適である。なお、不活性粒子が実質上含有されていないとは、例えば、無機粒子の場合、蛍光X線分析で粒子に由来する元素を定量分析した際に、50ppm未満、好ましくは10ppm未満、最も好ましくは検出限界以下となる含有量を意味する。これは積極的に粒子を基材フィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。これらの各層には、必要に応じて、ポリエステル中に各種添加剤を含有させることができる。添加剤としては、例えば、酸化防止剤、耐光剤、ゲル化防止剤、有機湿潤剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、界面活性剤などが挙げられる。最外層に含まれる粒子の種類及び含有量は、無機粒子であっても、有機粒子であってもよく、特に限定されるものではないが、シリカ、二酸化チタン、タルク、カオリナイト等の金属酸化物、炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、硫酸バリウムなどのポリエステルに対し不活性な無機粒子が例示される。これらの不活性な無機粒子は、いずれか一種を単独で用いてもよく、また2種以上を併用してもよい。前記の粒子は、平均粒子径が0.1~3.5μmであることが好ましい。前記平均粒子径の下限は、0.5μmがより好ましく、0.8μmがさらに好ましく、1.0μmがよりさらに好ましい。また、前記平均粒子の上限は、3.0μmであることがより好ましく、2.8μmであることがよりさらに好ましい。平均粒子径が0.1μm未満では十分なハンドリング性が得られない。3.5μmを越えると粗大突起が生成しやすくなる。また、これらの粒子は多孔質粒子、特に多孔質シリカが好ましい。多孔質粒子はフィルム製膜工程での延伸時に扁平型に変型しやすく、粗大突起を生成しにくいためである。最外層の無機粒子の含有量は最外層を構成するポリエステルに対し、0.01~0.20質量であることが好ましい。前記濃度の下限は、0.02質量がより好ましく、0.03質量がさらに好ましい。また前記濃度の上限は、0.15質量がより好ましく、0.10質量がさらに好ましい。0.01質量未満では十分なハンドリング性が得られない。0.2質量を越えると粗大突起が生成しやすくなる。前記粒子の平均粒子径の測定は下記方法によって求めることができる。粒子を電子顕微鏡または光学顕微鏡で写真を撮り、最も小さい粒子1個の大きさが2~5mmとなるような倍率で、300~500個の粒子の最大径多孔質シリカの場合は凝集体の粒径を測定し、その平均値を平均粒子径とする。ポリエステルに上記粒子を配合する方法としては、公知の方法を採用し得る。例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応開始前の段階でエチレングリコール等に分散させたスラリーとして添加し、重縮合反応を進めてもよい。またベント付き混練押出機を用いエチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行うことができる。中でも、本発明ではポリエステル原料の一部となるモノマー液中に凝集体無機粒子を均質分散させた後、濾過したものを、エステル化反応前、エステル化反応中、又はエステル化反応後のポリエステル原料の残部に添加する方法が好ましい。この方法によると、モノマー液が低粘度のため、粒子の均質分散やスラリーの高精度な濾過が容易に行えると共に、原料の残部に添加する際に、粒子の分散性が良好で、新たな凝集体も発生しにくい。かかる観点より、特に、エステル化反応前の低温状態の原料の残部に添加することが好ましい。また、予め粒子を含有するポリエステルを得た後、そのペレットと粒子を含有しないペレットとを混練押出し等する方法マスターバッチ法により、更に滑剤凝集物を低減することができ、表面の粗大突起数も少なくすることができるため好適である。本発明で用いるフィルムの厚さは、特に制限しないが、10~300μmの範囲で、使用する規格に応じて任意に決めることができる。基材フィルムの厚みの上限は、250μmが好ましく、特に好ましくは200μmである。一方、フィルム厚みの下限は、30μmが好ましく、さらに好ましくは50μmであり、よりさらに好ましくは75μmであり、特に好ましくは100μmである。フィルム厚みが30μm未満では、剛性や機械的強度が不十分となりやすい。一方、フィルム厚みが300μmを超えると、コスト高となる。被覆層無機薄膜層による防湿機能を長期に保持する点から、無機薄膜層との中間層としてポリエステルフィルムの少なくとも片面に被覆層を設けることが望ましい。これにより、無機薄膜層の密着性が向上するため防湿機能の長期保持に好適である。被覆層を構成する成分としては、1Al、Si、Tiなどの酸化物からなる金属酸化物、2ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、デンプン、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロースなどの高分子樹脂3金属アルコキシド及びその加水分解物、シランカップリング剤、メチロールメラミン化合物、オキサゾリン化合物などの架橋系化合物、およびこれらの組合せ、例えば上記2に記載の高分子樹脂を上記3に記載の架橋系化合物で架橋したものを用いることができる。特に、高分子樹脂を単独もしくは併用することはポリエステルフィルムとの密着性の点で好適である。また、基材フィルムからのオリゴマー析出による無機薄膜層の劣化を防止するため、各種水性アクリル樹脂と、オキサゾリン基含有水溶性ポリマーの混合物から成る被覆層を設ける方法が知られている。この場合、オキサゾリン基により被覆層を架橋させるのが耐水性向上させるのに好適である。特に、湿熱下での被覆層の耐水性の向上のため、各種水性ポリウレタンおよび/または水性ポリエステル樹脂とオキサゾリン基含有水溶性ポリマーから成る被覆層を設ける方法が好適である。さらに、ポリエステルフィルムの被覆層にオキサゾリン基を有する樹脂を用い、オキサゾリン基を特定範囲で反応残存させることで、無機薄膜層を形成した積層体の高温高湿下での経時後の防湿性をさらに向上できる。被覆層中の残存オキサゾリン基は、その極性から特に金属酸化物といった無機薄膜との親和性が高く、無機薄膜層形成時及び高温高湿下での経時後での金属酸化物との良好な密着性を示すとともにポリエステルフィルムと被覆層の密着性も向上するものと考えられる。オキサゾリン基を有する樹脂としては、オキサゾリン基を有する重合体、例えばオキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体を、必要に応じその他の重合性不飽和単量体と従来公知の方法例えば溶液重合、乳化重合等によって共重合させることにより得られる重合体を挙げることができる。オキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体としては、例えば、2-ビニル-2-オキサゾリン、2-ビニル-4-メチル-2-オキサゾリン、2-ビニル-5-メチル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-4-メチル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-5-エチル-2-オキサゾリンなどを挙げることができる。上記のその他の重合性不飽和単量体としては、例えばメチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、プロピルメタアクリレート、ブチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、ラウリルメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート等のメタアクリル酸の炭素数1~24個のアルキルまたはシクロアルキルエステル;2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、ヒドロキシプロピルメタアクリレート等のメタアクリル酸の炭素数2~8個のヒドロキシアルキルエステル;スチレン、ビニルトルエン等のビニル芳香族化合物;メタアクリルアミド、ジメチルアミノプロピルメタアクリルアミド、ジメチルアミノエチルメタアクリレート、グリシジルメタアクリレートとアミン類との付加物;ポリエチレングリコールメタアクリレート;N-ビニルピロリドン、エチレン、ブタジエン、クロロプレン、プロピオン酸ビニル、酢酸ビニル、メタアクリロニトリル等が挙げられる。これらは単独でまたは2種以上適宜選択される。上記オキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体及びその他の重合性不飽和単量体の共重合体の組成モル比は、オキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体が30~70モルであることが好ましく、40~65モルであることがより好ましい。オキサゾリン基を有する樹脂は、他樹脂との相溶性、濡れ性の向上、架橋反応効率や被覆層の透明性を向上させることから、水溶性樹脂が好ましい。オキサゾリン基を有する樹脂を水溶性にするために、他の重合性不飽和単量体として親水性単量体を含有させるのが好ましい。親水性単量体としては、メタアクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタアクリル酸メトキシポリエチレングリコール、メタアクリル酸とポリエチレングリコールのモノエステル化合物等のポリエチレングリコール鎖を有する単量体、メタアクリル酸2-アミノエチルおよびその塩、メタアクリルアミド、N-メチロールメタアクリルアミド、N-2-ヒドロキシエチルメタアクリルアミド、メタアクリロニトリル、スチレンスルホン酸ナトリウム等が挙げられる。なかでも、水への溶解性の高いメタアクリル酸メトキシポリエチレングリコール、メタアクリル酸とポリエチレングリコールのモノエステル化合物等のポリエチレングリコール鎖を有する単量体を含有していることが好ましい。導入するポリエチレングリコール鎖の分子量としては、200~900が好ましく、300~700がより好ましい。また、オキサゾリン基を有する化合物のオキサゾリン価は、特に限定されるものではないが、具体的には、例えば、1000g-solid/eq.以下であることが好ましく、より好ましくは500g-solid/eq.以下、さらにより好ましくは300g-solid/eq.以下である。上記オキサゾリン価が上限を超える場合は、無機薄膜層、基材フィルムおよび被覆層に含まれるカルボン酸基などとの相互作用が発現されず、耐久性、耐水性が満足に得られない場合がある。なお、上記オキサゾリン価g-solid/eq.は、オキサゾリン基1mol当たりの重合体重量であるとする。よって、該オキサゾリン価の値が小さいほど重合体中のオキサゾリン基の量は多く、値が大きいほど重合体中のオキサゾリン基の量は少ないということを表す。前記オキサゾリンを有する樹脂は被覆層中に主成分として含まれることが好ましく、50質量以上含有していることが好ましく、より好ましくは70質量以上、さらに好ましくは80重量以上である。さらに、被覆層としては、全反射赤外吸収スペクトルにおける1655cm-1のピーク強度P1と1580cm-1のピーク強度P2の比P1/P2と被覆層の膜厚D[nm]が下記式[1]を満たすことが好ましい。ここで1655cm-1のピークはオキサゾリン基由来の吸光度であり、1580cm-1のピークはポリエステル由来の吸光度である。上記式[1]の範囲として、好ましくは0.055≦P1/P2/D≦0.22、さらに好ましくは0.06≦P1/P2/D≦0.20である。0.05≦P1/P2/D≦0.25[1]従来、被覆層の耐湿熱性、即ち高温高湿状態での防湿性の維持を図るためには架橋構造を積極的に導入することが望ましいと考えられていた。しかし、被覆層を上記のような構成にすることによりバリア性をより好適に長期に維持できる。従来、無機薄膜層と基材フィルムあるいは被覆層を設けた積層フィルムとの密着性が不十分であると、無機薄膜層を形成した積層体を湿熱環境下に長期間使用した場合に層間に水が入り込み、無機薄膜層との界面での剥離が生じると考えられる。この剥離部分をきっかけとして無機薄膜層に割れや浮きが生じる結果、バリア性強度が低下してしまう。また、層間剥離は基材フィルムと被覆層との間にも起こりうる。すなわち、高温高湿状態では、基材フィルムを構成するポリエステル樹脂または被覆層中の樹脂が加水分解し結合が分断される。その結果、基材フィルムと被覆層との間の密着性不良が起こり、上記同様にバリア強度が低下する原因となりうる。そこで、上記のように被覆層中に存在する未反応のオキサゾリン基は、基材フィルムおよび被覆層の加水分解により発生したカルボン酸末端と反応し、架橋を形成する。いわば、加水分解による無機薄膜層との密着性の低下を自己修復により防止できる。また、未反応のオキサゾリン基は、その極性から特に金属酸化物といった無機薄膜との親和性が高く、無機薄膜層形成時に金属酸化物との強固な密着性を発現できる。被覆層中には上記式[1]を満たす範囲でオキサゾリン基と反応する他樹脂を含んでも良いが、未反応のオキサゾリン基が被覆層中に特定の範囲で存在することで、未反応のオキサゾリン基が被覆層の自己修復および無機薄膜層との密着性に作用すると考えられる。上記下限未満ではオキサゾリン基量が少ないまたは被覆層の厚みが厚すぎるため、十分なガスバリア強度の維持が得られない場合がある。上記上限以上では、オキサゾリン基量に対して膜厚が薄くなりすぎ、十分な層間密着性が得られない場合がある被覆層の厚みは5~100nmにすることが好ましい。これにより、被覆層の厚みをより均一にすることができ、無機薄膜層を緻密に堆積させることができる。また、被覆層自体の凝集力が向上し、無機薄膜層-被覆層-基材フィルムの間の密着力が密になるため塗膜の耐水性を高めることができる。被覆層の厚みが100nmを超えると、オキサゾリン基が多量に存在することにより被覆層の凝集力が不十分となり、また被覆層の均一性も低下するため、バリア性が十分に維持しない場合がある。また、ガスバリア性が低下するだけでなく、製造コストが高くなり、経済性が悪くなってしまう場合がある。一方、5nm未満であると、基材との十分な層間密着性が得られない場合がある。本発明では、オキサゾリン基を有する樹脂以外の樹脂でも、オキサゾリン基を多量に消費してしまわない範囲、すなわち前述の上記式[1]の範囲内において、被覆層の耐水性を向上させるために含有させるのが好適である。被覆層に含有させる樹脂として、例えば、水性アクリル樹脂、水性ポリエステル樹脂、水性ウレタン樹脂などが挙げられる。好ましくは、カルボン酸基を含有するものである。カルボン酸基を含有している場合、オキサゾリン基と部分的に架橋することで被覆層の凝集力が向上し、耐水性をより向上させることができる。ここで、カルボン酸基を有する樹脂を並存させる場合は、塗布液中のオキサゾリン基量[mmol]に対するカルボン酸基量[mmol]が0~20mmolになるように添加することが好ましい。より好ましくは、0~15mmolである。上記量が20mmol以上になると、被覆層形成時に架橋反応が進みすぎることによってオキサゾリン基を多量に消費してしまうことになり、無機薄膜層との密着性および自己修復機能が低下し、結果ガスバリア性の維持が十分でない場合がある。カルボン酸基を含有するものとしては水性アクリル樹脂あるいは水性ポリエステル樹脂が挙げられる。オキサゾリン基を有する樹脂以外の樹脂の配合割合は、通常5~60重量、好ましくは10~55重量、より好ましくは15~50重量の範囲とされる。樹脂の配合割合が5重量未満の場合は、耐水性の効果が十分に発揮されない傾向にあり、60重量を超える場合は、被覆層が硬くなりすぎるため、湿熱処理時の無機薄膜層への応力負荷が増大する傾向にある。被覆層を基材フィルムの少なくとも片面に設ける方法は特に限定はなく、例えばコート法を採用することができる。コート法の中でも好適な方法としてオフラインコート法、インラインコート法を挙げることができるが、例えば基材フィルムを製造する工程で行うインラインコート法の場合、コート時の乾燥、熱処理の条件はコート厚み、装置の条件にもよるが、コート後直ちに直角方向の延伸工程に送入し、延伸工程の予熱ゾーンあるいは延伸ゾーンで乾燥させることが好ましい。このような場合、通常50~250°C程度で行う。なお、基材フィルムにコロナ放電処理、その他の表面活性化処理を施してもよい。被覆層の形成は、フィルム製膜後に行なってもよく、フィルム製造工程中で行なっても良い。更に必要であれば、被覆層中に、静電防止剤や滑り剤、アンチブロッキング剤などの公知の無機、有機の各種添加剤を含有させるとは本発明の目的を阻害しない限り任意である。太陽電池用無機薄膜形成基材ポリエステルフィルムの製造方法以下、フィルムの製造方法を例示するが、特にこれに限定されるものではない。本発明で用いるフィルムとしては、前記ポリエステルを溶融押出し、または溶液押出して得た未配向シートを、必要に応じ、長手方向または幅方向の一軸方向に延伸し、あるいは二軸方向に逐次二軸延伸または同時二軸延伸し、熱固定処理を施した、二軸配向ポリエステルフィルムが好適である。また、本発明のフィルムを製造する際には、突起の原因となる、原料のポリエステル中に含まれている異物を除去することが好ましい。ポリエステル中の異物を除去するために、溶融押出しの際に溶融樹脂が約280°Cに保たれた任意の場所で高精度濾過を行う。溶融樹脂の高精度濾過に用いられる濾材は、特に限定はされないが、ステンレス焼結体の濾材の場合のSi、Ti、Sb、Ge、Cuを主成分とする凝集物、及び高融点有機物が除去性能に優れ好適である。溶融樹脂の高精度濾過に用いる濾材の濾過粒子サイズ初期濾過効率:95は、25μm以下が好ましい。濾材の濾過粒子サイズが25μmを超えると、20μm以上の異物の除去が不十分となりやすい。濾過粒子サイズ初期濾過効率:95が25μm以下の濾材を使用して溶融樹脂の高精度濾過を行うことにより生産性が低下する場合があるが、突起の少ないフィルムを得るには重要である。押し出し機内における溶融樹脂の滞留時間は環状三量体生成の観点からはできるだけ短くすることが好ましい。比較的厚みの薄いフィルムを製膜する際、溶融樹脂の吐出量を小さくすることがあるために滞留時間が長くなる場合があるが、フィルム中の環状三量体量の増加を抑制するため、その場合でも20分間以内にすることが好ましい。より好ましくは15分以内、さらに好ましくは10分以内である。ポリエステルペレットを十分に真空乾燥した後、最外層、および中心層を構成する各ポリエステルを共押出し機に供給し、270~295°Cでシート状に溶融押出しし、冷却固化せしめて未配向のキャストフィルムを得る。得られたキャストフィルムを、80~120°Cに加熱したロールで長手方向に2.5~5.0倍延伸して、一軸配向ポリエステルフィルムを得る。インラインコート法による場合、被覆層は未延伸あるいは一軸延伸後のPETフィルムに前記塗布液を塗布、乾燥した後、少なくとも一軸方向に延伸し、次いで熱処理を行って形成させる。その後、フィルムの両端部をクリップで把持して、80~180°Cに加熱された熱風ゾーンに導き、乾燥後幅方向に2.5~5.0倍に延伸する。引き続き220~240°Cの熱処理ゾーンに導き、熱固定処理、冷却を行い、結晶配向を完了させる。この熱処理工程中で、必要に応じて、幅方向あるいは長手方向に1~12の弛緩処理を施してもよい。熱固定処理工程についてさらに具体的に説明する。前述のように、本発明においては横延伸工程、熱固定工程、冷却工程の条件はフィルム表面の環状三量体の量を低減させるために重要である。一般に、横延伸工程、熱固定工程、冷却工程は、隣接する各ゾーンにて、温度制御された熱風または冷風を吹き付けて処理される。本発明においては、横延伸工程、熱固定工程は表面に析出した環状三量体を速やかに除去するために、風速を10m/秒以上とするのが好ましい。さらに好ましくは20m/秒以上である。風速10m/秒未満では環状三量体が表面に残存しやすい。また、冷却速度を制御するには冷却風の温度と風速を適宜調整することで可能になる。例えば、冷却工程での風速は5m/秒以上が好ましく、10m/秒以上がさらに好ましい。冷却工程では熱固定工程における最高温度から60°C以下になるまでの時間が短すぎると環状三量体が表面に析出しやすいため好ましくない。そのため、冷却工程での風速は30m/秒以下が好ましく、20m/秒以下がさらに好ましい。さらに、環状三量体の再付着を防止するために、炉内空気は系外に排気するか、濾過精度1μm以下のフィルターで濾過した後、炉内に再循環させることが好ましい。熱固定温度は220°C~250°Cが好ましい。220°C未満では環状三量体の析出量が十分除去できない場合があり、さらにフィルムの熱収縮率が大きくなるため好ましくない。250°Cを越えると環状三量体の析出量が増加する場合があり好ましくない。なお、本発明で言う風速とは、熱風吹き出しノズル出口に面したフィルム表面における風速を意味し、熱式風速計日本カノマックス製、アネモマスターモデル6161を用いて測定した値である。バリア性ポリエステルフィルム本発明のバリア性ポリエステルフィルムは上記ポリエステルフィルムの被覆層のさらにその上に無機薄膜層を積層した積層体とすることが好ましい。無機薄膜層には無機酸化物、例えばシリカ、アルミナ、またはアルミナとシリカの混合物が用いられる。特に、薄膜層の柔軟性と緻密性を両立できる点から、アルミナとシリカの複合酸化物を用いることが好ましい。アルミナとシリカの混合比は、金属分の重量比で、Alが、20~70の範囲が好ましい。本発明の積層体において、無機薄膜層の膜厚は通常1~800nm、好ましくは5~500nmである。膜厚が1nm未満では満足のいくバリア性が得られ難く、また、800nmを超えて過度に厚くしても、製造コストの点でかえって不利となる。無機薄膜層を形成する典型的な製法を酸化ケイ素酸化アルミニウム系薄膜の形成により説明すると、蒸着法による無機薄膜形成法としては真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの物理蒸着法、あるいはCVD法化学蒸着法などが適宜用いられる。例えば真空蒸着法を採用する場合は、蒸着原料としてSiO2とAl2O3の混合物、あるいはSiO2とAlの混合物などが用いられる。加熱には、抵抗加熱、高周波誘導加熱、電子ビーム加熱などを採用することができ、また、反応ガスとして酸素、窒素、水素、アルゴン、炭酸ガス、水蒸気などを導入したり、オゾン添加、イオンアシストなどの手段を用いた反応性蒸着を採用することも可能である。さらに、積層フィルムにバイアスを印加したり、積層フィルムを加熱したり冷却するなど、成膜条件も任意に変更することができる。上記蒸着材料、反応ガス、基板バイアス、加熱冷却などは、スパッタリング法やCVD法を採用する場合にも同様に変更可能である。太陽電池保護シート太陽電池保護シートは、太陽電池モジュールの光入射面、その反対面、もしくは両面に用いられるもので、1層、もしくは2層以上の積層構成からなるシートであり、具体的にはフロントシート、バックシートと称されるものである。太陽電池保護シートは、好適には各機能を有した複数の樹脂シートが積層されたものである。太陽電池素子は湿度により劣化を受けるため、通常、これらの保護シートは防湿機能バリア機能を有している。本発明のバリア性ポリエステルフィルムは長期にバリア性を維持しうる点で、太陽電池保護シートの構成部材として好適である。太陽電池保護シートとして、例えば太陽電池フロントシートの態様としては、ポリエステルフィルム/接着剤/本発明のバリア性ポリエステルフィルム/接着剤/ハードコート層といった構成が例示される。ハードコート層には耐候性を向上させるために紫外線吸収剤を添加することも好ましい態様である。また、最外層に防汚層や反射防止層などを設けることは、太陽電池素子に入射する光線量を増加させ、光電変換効率を向上させる上で好ましい態様である。太陽電池保護シートとして、例えば太陽電池バックシートの態様としては、例えば、ポリエステルフィルム/接着剤/本発明のバリア性ポリエステルフィルム/接着剤/ポリフッ化ビニルフイルム又はポリエステル系高耐久防湿フィルムといった構成が例示される。以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はもとよりこれらの実施例に限定されるものではない。なお、各実施例および比較例において用いた評価方法を以下に説明する。1固有粘度JISK7367-5に準拠し、溶媒としてフェノール60質量と1,1,2,2-テトラクロロエタン40質量の混合溶媒を用い、30°Cで測定した。2還元粘度樹脂0.1gに対し、溶媒としてフェノール60質量と1,1,2,2-テトラクロロエタン40質量の混合溶媒25mLを用い、30°Cで測定した。3ガラス転移温度JISK7121に準拠し、示差走査熱量計セイコーインスツルメンツ製、DSC6200を使用して、樹脂サンプル10mgを25~300°Cの温度範囲にわたって20°C/minで昇温させ、DSC曲線から得られた補外ガラス転移開始温度をガラス転移温度とした。4数平均分子量樹脂0.03gをテトラヒドロフラン10mlに溶かし、GPC-LALLS装置低角度光散乱光度計LS-8000東ソー株式会社製、テトラヒドロフラン溶媒、リファレンス:ポリスチレンを用い、カラム温度30°C、流量1ml/分、カラム昭和電工社製shodexKF-802、804、806を用い、数平均分子量を測定した。5樹脂組成樹脂を重クロロホルムに溶解し、ヴァリアン社製核磁気共鳴分析計NMRジェミニ-200を用いて、1H-NMR分析を行ってその積分比より各組成のモル比を決定した。6オキサゾリン価オキサゾリンを含有する樹脂を凍結乾燥し、これを1H-NMRにて分析し、オキサゾリン基に由来する吸収ピーク強度、その他のモノマーに由来する吸収ピーク強度から、オキサゾリン価を算出した。7ポリエステルフィルム中の環状三量体の含有量ポリエステルフィルム中の環状三量体の含有量は以下の方法で測定した。細砕したフィルム試料100mgを精秤し、ヘキサフルオロイソプロパノ-ル/クロロホルム混合液容量比=2/33mlに溶解し、さらにクロロホルム20mlを加えて希釈する。これにメタノ-ル10mlを加えてポリマ-を沈殿させた後、濾過する。濾液を蒸発乾固し、ジメチルホルムアミド10mlで定容とした。次いで下記の高速液体クロマトグラフ法で環状三量体を定量した。測定条件装置:L-7000カラム:μ-BondasphereC185μ100オングストローム3.9mm×15cmWaters製溶媒:溶離液A:2酢酸/水v/v溶離液B:アセトニトリルグラジエントB:10→1000→55分流速:0.8ml/分温度:30°C検出器:UV-258nm8フィルム表面の環状三量体量フィルム2枚の抽出したい面非被覆層面同士を向かい合わせ、1枚につき25.2cm×12.4cm面積を抽出できるようスペーサーをはさんで枠に固定した。エタノール30mlを抽出面間に注入し、25°Cで3分間、フィルム表面の環状三量体を抽出した。抽出液を蒸発乾固した後、得られた抽出液の乾固残渣をジメチルホルムアミド200μlに定容した。次いで高速液体クロマトグラフィーを用いて下記に示す方法で予め求めておいた検量線から環状三量体を定量した。測定条件装置:ACQUITYUPLCWaters製カラム:BEH-C182.1×150mmWaters製移動相:溶離液A:0.1ギ酸v/v溶離液B:アセトニトリルグラジエントB:10→98→980→25→30分流速:0.2ml/分カラム温度:40°C検出器:UV-258nm9平均粒子径不活性粒子を走査型電子顕微鏡日立製作所製、S-51O型で観察し、粒子の大きさに応じて適宜倍率を変え、写真撮影したものを拡大コピーした。次いで、ランダムに選んだ少なくとも300個の粒子について各粒子の外周をトレースし、画像解析装置にてこれらのトレース像から粒子の円相当径を測定し、これらの平均を平均粒子径とした。10プレス加工後の凹み発生数蒸着した試料フィルムと厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムとを蒸着面を重ね合わせ、0.1MPaの圧力で5分間プレスした。次いで試料フィルムのプレス面を非接触表面形状計測システムVertScanR5500H-M100を用いて高さデータを採取した。測定条件測定モード:PHASEモード対物レンズ:50倍1×Tubeレンズ測定面積:92×70μm次いで等高線表示モードにて、測定面が高さによって色分けされた画像を表示させた。この時、表面形状のうねりを除去するため面補正4次関数補正を行った。等高線表示モードでは、測定範囲内の平均高さを0nmとし、高さ最高値を5nm、高さ最低値を-5nmに設定し、深さ2nm以上の凹み部分が青色から青紫色に表示されるように表示させた。この操作を繰り返し、1mm2当たりの凹み数を求めた。11バリア維持能蒸着したフィルムを121°C、100RH、30分間処理後、40°Cにて1日間乾燥した。湿熱処理前および湿熱処理後の試料について、JISK7129B法に準じて、水蒸気透過度測定装置PERMATRAN-W3/33MGMOCOM社製を用い、温度40°C、湿度100RHの雰囲気下で水蒸気透過度を測定した。なお、バリア性フィルムへの調湿は、基材層側から無機薄膜層側に水蒸気が透過する方向とした。処理前の水蒸気透過度を100としたときの、処理後の水蒸気透過度の維持率を下記ランクにより評価した。◎:バリア維持率が90以上○:バリア維持率が80以上△:バリア維持率が70以上×:バリア維持率が70未満12被覆層中の全反射赤外吸収スペクトルの測定実施例および比較例で得られた被覆層面について、全反射吸収赤外分光法で測定し、基材フィルムから特異的に得られる吸光度を対照としてオキサゾリン由来の吸光度1655cm-1のピークP1とポリエチレンテレフタレート由来の吸光度1580cm-1のピーク強度P2の強度比P1/P2を求めた。すなわち、下記に示す条件により全反射吸収赤外分光法で測定し、オキサゾリン基由来の吸光度は1655±10cm-1の領域に吸収極大を持つ吸収ピークの高さの値とし、PET由来の吸光度は1580±10cm-1の領域に吸収極大を持つ吸収ピークの高さの値とした。1655cm-1のピークについては、ピークがショルダーになることから、ベースラインは1600cm-1と1800cm-1を結ぶ線とした。一方、1580cm-1のピークのベースラインについては、ピークの両側の袖を結ぶ線とした。測定条件装置:Varian社製FTS-60A/8961回反射ATRアタッチメント:SPECTRATECH社製SilverGate光学結晶:Ge入射角:45°分解能:4cm-1積算回数:128回なお、被覆層の厚さが薄く、十分な感度が得られない場合は、使用する1回反射アタッチメントを、より入射角が大きい65度アタッチメント例えばエスティジャパン社製VeeMaxに代えて測定しても良い。13被覆層の平均厚みの測定当該試料を斜め切削し、被覆層表面から被覆層/基材フィルム界面の高さ測定をSPMで行うことにより、膜厚測定を実施した。ダイプラウインテス社製SAICASNN04を使用して斜め切削を実施した。切刃にはダイアモンドナイフを使用し、水平速度500nm/s、垂直速度20nm/sで斜め切削を行った。切削速度は試料によって最適条件を選ぶため、本条件に限らない。被覆層/基材フィルム界面は、被覆層と基材フィルムの物性が異なるため、切削角度が界面で変化することや、SPMによる位相像でコート層と基材でコントラストが変化すること、被覆層と基材フィルムでは切削面の凹凸状態が変化することなどから容易に認識することが可能である。斜め切削面は走査型プローブ顕微鏡SPMを用いて観察した。SPMはエスアイアイナノテクノロジー株式会社製SPA300Nanonaviプローブステーションを使用した。カンチレバーは同社から提供されるDF3又はDF20を使用し、観察モードはDFMモードを使用した。観察は被覆層表面及び斜め切削面が1視野内に入るように実施し、被覆層表面の平坦化処理を行うことにより、観察像の傾き補正を実施した。平坦化処理はSPM付属のソフトウエアの機能であるマニュアル傾き補正を使用し、X方向Y方向の傾き補正を行った。なお、被覆層/基材フィルム界面は観察視野全体の平坦化処理ソフトウエアの機能である、2次傾き補正等を行った像から、切削法の欄で記述した方法で決定した。上記測定より得られた赤外吸光度比P1/P2および被覆層の厚みDのデータを用いて、各実施例および比較例で得られた積層フィルムのP1/P2/Dの値を求めた。ポリエステル樹脂aの重合エステル化反応缶を昇温し、200°Cに到達した時点で、高純度テレフタル酸を86.4質量部及びエチレングリコールを64.4質量部からなるスラリーを仕込み、攪拌しながら触媒として三酸化アンチモンを0.03質量部、トリエチルアミンを0.16質量部添加した。次いで、加圧昇温を行いゲージ圧3.5kg/cm2、240°Cの条件で、加圧エステル化反応を行った。その後、エステル化反応缶内を常圧に戻した。15分後、得られたエステル化反応生成物を重縮合反応缶に移送し、280°Cの減圧下で固有粘度が0.65dl/gに到達するまで重縮合反応を行った。重縮合にて得られたポリエチレンテレフタレートを常法に従ってチップ化しポリエステルを得た。この際、溶融樹脂が約275°Cに保たれ状態で濾過粒子サイズ初期濾過効率95は5μmステンレス焼結体フィルターで樹脂中に含まれる異物を除去するために高精度濾過を行った。ポリエステル樹脂bの重合エステル化反応缶を昇温し、200°Cに到達した時点で、高純度テレフタル酸を86.4質量部及びエチレングリコールを64.4質量部からなるスラリーを仕込み、攪拌しながら触媒として三酸化アンチモンを0.03質量部、トリエチルアミンを0.16質量部と平均粒径2.5μmのシリカ粒子のエチレングリコールスラリーを、生成PETに対し、2000ppmとなるよう添加した。次いで、加圧昇温を行いゲージ圧3.5kg/cm2、240°Cの条件で、加圧エステル化反応を行った。その後、エステル化反応缶内を常圧に戻した。15分後、得られたエステル化反応生成物を重縮合反応缶に移送し、280°Cの減圧下で固有粘度が0.65dl/gに到達するまで重縮合反応を行った。重縮合にて得られたポリエチレンテレフタレートを常法に従ってチップ化しポリエステルを得た。この際、溶融樹脂が約275°Cに保たれ状態で濾過粒子サイズ初期濾過効率95は20μmステンレス焼結体フィルターで樹脂中に含まれる異物を除去するために高精度濾過を行った。ポリエステル樹脂cの重合高純度テレフタル酸とエチレングリコールから常法に従って製造したビス2-ヒドロキシエチルテレフタレート及びオリゴマーの混合物に対し、重縮合触媒として塩化アルミニウムの13g/lのエチレングリコール溶液をポリエステル中の酸成分に対してアルミニウム原子として0.015molとIrganox1425チバスペシャルティーケミカルズ社製の10g/lエチレングリコール溶液を酸成分に対してIrganox1425として0.02molを加えて、窒素雰囲気下、常圧にて245°Cで10分間撹拌した。次いで50分間を要して275°Cまで昇温しつつ反応系の圧力を徐々に下げて13.3Pa1Torrとしてさらに275°C、13.3Paで固有粘度が0.65dl/gに到達するまで重縮合反応を行った。重縮合にて得られたポリエチレンテレフタレートを常法に従ってチップ化しポリエステルAを得た。この際溶融樹脂が約275°Cに保たれ状態で濾過粒子サイズ初期濾過効率95は20μmステンレス焼結体フィルターで樹脂中に含まれる異物を除去するために高精度濾過を行った。ポリエステル平均粒子径が2.5μmの多孔質シリカ粒子をエチレングリコール中に仕込み、さらに95カット径が30μmのビスコースレーヨン製フィルターで濾過処理を行ない、多孔質シリカ粒子のエチレングリコールスラリーを得た。高純度テレフタル酸とエチレングリコールから常法に従って製造したビス2ヒドロキシエチルテレフタレート及びオリゴマーの混合物に対し、重縮合触媒として塩化アルミニウムの13g/lのエチレングリコール溶液をポリエステル中の酸成分に対してアルミニウム原子として0.015molとIrganox1425チバスペシャルティーケミカルズ社製の10g/lエチレングリコール溶液を酸成分に対してIrganox1425として0.02molと前記シリカ粒子のエチレングリコールスラリーを、生成PETに対し、2000ppmとなるよう添加した。次いで、窒素雰囲気下、常圧にて245°Cで10分間撹拌した。次いで50分間を要して275°Cまで昇温しつつ反応系の圧力を徐々に下げて13.3Pa1Torrとしてさらに275°C、13.3Paで固有粘度が0.65dl/gに到達するまで重縮合反応を行った。重縮合にて得られたポリエチレンテレフタレートを常法に従ってチップ化しポリエステルを得た。この際、溶融樹脂が約275°Cに保たれ状態で濾過粒子サイズ初期濾過効率95は20μmステンレス焼結体フィルターで樹脂中に含まれる異物を除去するために高精度濾過を行った。オキサゾリン基を有する樹脂A-1の合成攪拌機、還流冷却器、窒素導入管および温度計を備えたフラスコに、イソプロピルアルコール460.6部を仕込み、緩やかに窒素ガスを流しながら80°Cに加熱した。そこへ予め調製しておいたメタクリル酸メチル126部、2-イソプロペニル-2-オキサゾリン210部およびメトキシポリエチレングリコールアクリレート84部からなる単量体混合物と、ABN-E日本ヒドラジン工業株式会社製の重合開始剤:2,2’-アゾビス2-メチルブチロニトリル21部およびイソプロピルアルコール189部からなる開始剤溶液を、それぞれ滴下ろうとにより2時間かけて滴下した。反応中は窒素ガスを流し続け、フラスコ内の温度を80±1°Cに保った。滴下終了後も5時間同じ温度に保った後冷却し、オキサゾリン基を有する樹脂A-1を得た。得られたオキサゾリン基を有する樹脂A-1のオキサゾリン価は220g-solid/eq.であった。オキサゾリン基を有する樹脂A-2の合成A-1と同様の方法で組成の異なるオキサゾリン基を有する樹脂A-2を得た。得られたオキサゾリン基を有する樹脂A-2のオキサゾリン価は130g-solid/eq.であった。ポリエステル樹脂の重合攪拌機、温度計、および部分還流式冷却器を具備するステンレススチール製オートクレーブに、ジメチルテレフタレート194.2質量部、ジメチルイソフタレート184.5質量部、ジメチルー5-ナトリウムスルホイソフタレート14.8質量部、ネオペンチルグリコール229.1質量部、エチレングリコール136.6質量部、およびテトラーnーブチルチタネート0.2質量部を仕込み、160°Cから220°Cまで4時間かけてエステル交換反応を行なった。次いで255°Cまで昇温し、反応系を徐々に減圧した後、30Paの減圧下で1時間30分反応させ、共重合ポリエステル樹脂B-1を得た。得られた共重合ポリエステル樹脂B-1は、淡黄色透明であった。得られた共重合ポリエステル樹脂B-1の還元粘度を測定したところ,0.55dl/gであった。DSCによるガラス転移温度は65°Cであった。同様の方法で、別の組成の共重合ポリエステル樹脂B-2、B-3を得た。これらの共重合ポリエステル樹脂に対し、1H-NMRで測定した組成モル比及びその他特性を表1に示す。ポリエステル水分散体の調整攪拌機、温度計と還流装置を備えた反応器に、ポリエステル樹脂B-130質量部、エチレングリコールn-ブチルエーテル15質量部を入れ、110°Cで加熱、攪拌し樹脂を溶解した。樹脂が完全に溶解した後、水55質量部をポリエステル溶液に攪拌しつつ徐々に添加した。添加後、液を攪拌しつつ室温まで冷却して、固形分30質量の乳白色のポリエステル水分散体C-1を作製した。同様にポリエステル樹脂B-1の代わりにポリエステル樹脂B-2、B-3を使用して、水分散体を作製し、それぞれ水分散体C-2、C-3とした。アクリル樹脂の重合攪拌機、還流冷却器、窒素導入管および温度計を備えたフラスコに、2-ブタノン405部,イソプロピルアルコール210部を仕込み、緩やかに窒素ガスを流しながら80°Cに加熱した。そこへ予め調製しておいたアクリル酸メチル282部、アクリル酸18部からなる単量体混合物と、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル15部および2-ブタノン85部からなる開始剤溶液を、それぞれ滴下ロートにより2時間かけて滴下した。反応中は窒素ガスを流し続け、フラスコ内の温度を80±1°Cに保った。滴下終了後も5時間同じ温度に保った後、5アンモニア水94部,水606部を添加し,さらにフラスコを加熱し2-ブタノン,イソプロピルアルコールを溜去し固形分27のアクリル樹脂溶液D-1を得た。実施例11塗布液の調整下記の塗剤を混合し、塗布液を作成した。水86.10質量イソプロパノール7.50質量オキサゾリン基を有する樹脂A-16.40質量2ポリエステル基材フィルムの製造および塗布液のコートポリエステル樹脂a及びポリエステル樹脂bをそれぞれ回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで固相重合を行い、固有粘度0.75dl/gのポリエステル樹脂A及びポリエステル樹脂Bを得た。基材フィルムの中間層用原料としてポリエステル樹脂Aを135°Cで6時間減圧乾燥1Torrした後、押出機2中間層B層用に、ポリエステル樹脂Aとポリエステル樹脂Bを平均粒径2.5μmのシリカ粒子濃度が0.06質量になるように配合し、押出機1外層A層用にそれぞれ供給し、285°Cで溶解した。この2つのポリエステル樹脂を、それぞれステンレス焼結体の濾材公称濾過精度10μm粒子95カットで濾過し、3層合流ブロックにて、積層し、口金よりシート状にして押し出した後、静電印加キャスト法を用いて表面温度30°Cのキャスティングドラムに巻きつけて冷却固化し、未延伸フィルムを作った。この時、A層/B層/A層の厚さの比は1.5:7:1.5となるように各押し出し機の吐出量を調整した。また、この時の押し出し機内における溶融樹脂の滞留時間は15分間であった。次にこの未延伸フィルムを加熱されたロール群及び赤外線ヒーターで100°Cに加熱し、その後、周速差のあるロール群で長手方向に3.5倍延伸して一軸配向PETフィルムを得た。得られた一軸配向PETフィルムの片面に,上記塗布液をファウンテンバーコート法によりコートした。引き続き、フィルムの端部をクリップで把持しながら、温度120°Cの熱風ゾーンに導き、幅方向に4.3倍に延伸した。次に、幅方向に延伸された幅を保ったまま、最高温度235°Cで熱固定処理し、30°Cの冷却工程で幅方向に3の緩和処理を行なった。尚、予熱工程、横延伸工程、熱固定工程における炉内の熱風風速は20m/秒とし、冷却工程の冷却風風速は10m/秒とした。また、熱風及び冷却風は濾過精度1μmのフィルターを通して循環させた。こうして厚さ50μmの二軸延伸ポリエステルフィルムに被覆層が形成されたフィルムを得た。3蒸着次に2で得られたフィルムの被覆面へ蒸着するために、蒸着源として、3mm~5mm程度の粒子状SiO2純度99.9とAl2O3純度99.9を用いて、電子ビーム蒸着法で、得られた塗布フィルム上に酸化アルミニウムと二酸化ケイ素の複合無機酸化物層の形成を行った。実施例2ポリエステル樹脂a及びポリエステル樹脂bをそれぞれポリエステル樹脂c及びポリエステル樹脂dに替え、それぞれのポリエステル樹脂を実施例1と同様に固相重合を行い、ポリエステル樹脂C及びポリエステル樹脂Dを得た。ポリエステル原料として、ポリエステル樹脂C及びポリエステル樹脂Dを用い、予熱工程、横延伸工程、熱固定工程、冷却工程内の風速を10m/秒とした以外は実施例1と同様にしてフィルム厚さ50μmのフィルムを得た。実施例3予熱工程、横延伸工程、熱固定工程の風速を20m/秒とした以外は実施例2と同様にしてフィルム厚さ50μmのフィルムを得た。実施例4予熱工程、横延伸工程、熱固定工程の風速を30m/秒とした以外は実施例2と同様にしてフィルム厚さ50μmのフィルムを得た。実施例5押し出し機の吐出量を調整し、フィルム厚さ188μmとした以外は実施例2と同様にしてフィルムを得た。この時の押し出し機内における溶融樹脂の滞留時間は10分間であった。実施例6冷却工程の風速を5m/秒とした以外は実施例2と同様にしてフィルム厚さ50μmのフィルムを得た。実施例7予熱工程、横延伸工程、熱固定工程、冷却工程内の熱風および冷風をフィルターを通さず循環させた以外は実施例2と同様にしてフィルム厚さ50μmのフィルムを得た。実施例8~21塗布液を表2に示したように変更した以外は、実施例1と同様の手順でサンプル作製、評価を行なった。比較例1コートせずに、実施例1と同様の手順でサンプル作製、評価を行なった。比較例2固相重合を行っていないポリエステル樹脂c及びポリエステル樹脂dを用いた以外は実施例2と同様にしてフィルム厚さ50μmのフィルムを得た。比較例3予熱工程、横延伸工程、熱固定工程内の熱風の風速を5m/秒とした以外は実施例2と同様にしてフィルム厚さ50μmのフィルムを得た。"