"無線周波RF電力発生器であって、RF信号を発生させるRF電力増幅器モジュールと、前記電力増幅器に電力を供給する電源と、第1の通信用ポートを含み、前記電力増幅器の動作パラメータを決定する制御モジュールと、第2の通信用ポートを含み、前記電源の動作パラメータを決定する電源制御モジュールと、前記第1および第2の通信用ポートを接続するデイジーチェーン通信リンクとを備えることを特徴とするRF電力発生器。前記電力増幅器の出力と通信を行う誘導クランプ回路をさらに備えることを特徴とする請求項1記載のRF電力発生器。前記誘導クランプ回路が、前記電源によって供給される前記電力を制限する電源制御前に前記電力増幅器モジュールに印加される負荷を制限することを特徴とする請求項2記載のRF電力発生器。前記電源制御モジュールが、前記通信リンクを介して不良指示を受信することに基づき前記電源が供給する電力を制限することを特徴とする請求項1記載のRF電力発生器。前記電力増幅器モジュールがエアキャビティ型トランジスタパッケージを含むことを特徴とする請求項1記載のRF電力発生器。前記電源が、複数の電源モジュールと、前記電源モジュールからの電流に基づき第1の電流を発生させる加算モジュールとを備え、前記第1の電流が前記電力増幅器に伝達されることを特徴とする請求項1記載のRF電力発生器。前記通信リンクに接続された第3の通信用ポートを含み、前記電力増幅器モジュールに関係する診断データを受信するデータ取得モジュールをさらに備え、前記データ取得モジュールが前記通信用ポートを介して不良指示を受信する前に所定時間の間、受信した前記データを保存することを特徴とする請求項1記載のRF電力発生器。前記診断データが電圧、電流、位相角、温度およびプロセス変数のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項7記載のRF電力発生器。前記RF信号の前記電圧および電流に基づき信号を発生させる電圧/電流V/Iプローブをさらに備えることを特徴とする請求項1記載のRF電力発生器。詳細説明以下の説明は本質的に単なる実施例であり、本開示、本出願または使用を制限することを意図するものではない。なお図面全体において同一の符号は同一または相当する部分および特徴を示すことは言うまでもない。図1を参照して、RF電力発生器10のいくつかの実施形態の1つについて説明する。RF電力発生器10は複数の電力増幅器モジュール、すなわち電力増幅器12-1,12-2,12-3,12-4電力増幅器12と総称するを含む。電力増幅器12の各電力増幅器は、それぞれパワートランジスタ、すなわちドライバモジュール14-1,14-2,14-3,14-4パワートランジスタ14と総称するを含む。電力増幅器12の出力は各誘導クランプ回路16-1,16-2,16-3,16-4誘導クランプ回路16と総称すると通信可能である。類似の構成要素を参照するこの態様は本明細書全体で使用される。クランプ回路16は、パワートランジスタ14を過渡的な負荷電流から保護するとともに、パワートランジスタ14が非常に低いインピーダンス負荷に供給できる電力を制御する。いくつかの実施形態では、クランプ回路16は各電力増幅器12に含めることができる。いくつかの実施形態では、各電力増幅器12にはプッシュプル並列電力増幅器トポロジが使用されている。他の実施形態では、電力増幅器12にはハーフブリッジ増幅器トポロジが使用されている。当業者には認知されていることだが、様々な電力増幅器トポロジを使用して電力増幅器12を実施することができる。たとえば、電力増幅器12にはエアキャビティ型パッケージを用いたパワートランジスタ14を使用することもできる。エアキャビティ型パッケージを使用すれば、パワートランジスタ14の中の1つのトランジスタが短絡しても電力増幅器12の残りの増幅器は動作し続けることができる。パワートランジスタ14の個々のトランジスタがエアキャビティ型パッケージ内で短絡した場合、ワイヤボンドがパッケージ内で溶解して開放状態となる。ワイヤボンドが開放状態になることによって、パワートランジスタ14の短絡した個々のパワートランジスタはパワートランジスタ14の残りのパワートランジスタから効率的に切り離され、残りのパワートランジスタの動作を継続させることができる。このような動作は電気的および熱的なストレスが増加した場合に発生する。複数の電源モジュールは、電源モジュール18を規定し、電力増幅器12に対してAC電力をDC電力に変換する。AC電力は回路ブレーカ20を介して供給される3相電力とすることができる。AC電力はまた、RF発生器10の様々なモジュールに対してドライバ電源ユニットPSUとともに電力を供給する、ハウスキーピング電源モジュール22に印加することもできる。たとえば電磁干渉またはその他の典型的な干渉にフィルタをかけるラインフィルタモジュール24は、AC電力にフィルタをかけるために使用することもできる。電源モジュール18は、加算モジュール26にDC電流を供給する。加算モジュール26は入力DC電流および/または電圧を加算し、加算した電流および/または電圧を電力増幅器12に伝達する。いくつかの実施形態では、加算電源18および/またはモジュール26は、電力増幅器12に供給される加算電流にフィルタをかけるフィルタネットワークを含むこともできる。電源モジュール18の中の1つの電源が故障した場合、加算モジュール26は故障した電源モジュールを切り離すことができ、これによってRF発生器10の動作を継続させることができる。補償器モジュール28は、プロセス変数および/または各設定ポイント、電力増幅器12に供給される電流および/または電圧、電力増幅器12によって供給される電流および/または電圧、および/または様々な要素および/または周囲空気の温度などのデータを取得し、バッファしかつ/または決定する。取得されたデータは一時的にまたはある程度長期的にトレースバッファに記憶されるようにしてもよい。様々な実施形態において、補償器モジュール28は、複合負荷インピーダンスおよび供給される負荷電力を決定し、ドライバモジュール14に制御信号を出力して電力増幅器モジュール21の動作を変更することによって、コンバイナ/VIプローブ46からのRF出力電力を調整する。いくつかの実施形態では、補償器モジュール28は前記データを対応する所定の限界値と比較して、限界値から外れた場合には不良状態を知らせる。様々な実施形態において、補償器モジュール28は、分析のために取得されたデータを記憶する。いくつかの実施形態において、補償器モジュール28は、バッファされたデータを記憶および/または検索するための通信用ポート30を含む。通信用ポート30は、イーサネット、RS-232,無線またはその他のタイプのインタフェースおよび/またはプロトコルなどの通信リンク32を使用することができる。いくつかの実施形態において、通信リンク32はデータ取得モジュール26と、システム制御モジュール34および電源制御モジュール36などの他のモジュールとの間の通信経路を提供する。通信リンク32は、デイジーチェーン方式で接続された高速エラー訂正デジタルリンクを使用することができる。デイジーチェーン接続は、スター方式および/またはバス方式などの他の接続トポロジと比較したとき、配線量を減らせるので、RF発生器10の信頼性を向上させることができる。システム制御モジュール34は、インタロック40ポートと、第2の通信用ポート42と、カスタマインタフェース44とを含む。インタロック40は特定条件の下でRF発生器10がRF電力を発生させることを禁止する入力である。たとえば、インタロック40は停止状態を示す信号を受信すると、この信号に従ってRF発生器10の高出力構成要素を無効とするように作動することができる。システム制御モジュール34は、RF発生器10の様々なパラメータを制御および/または通信するために使用することができるカスタマインタフェース48を含むこともできる。電源制御モジュール36は、システム制御モジュール34および/またはデータ取得モジュール28からのコマンドに従って電源モジュール18を制御する。電源制御モジュール36は通信リンク32と通信を行う通信用ポートを含む。電源モジュール36が通信リンク32を介してなどして不良指示を受信すると、いくつかの実施形態では、1つまたは複数の電源モジュール18の出力電力を制限し電力増幅器12を損傷から保護する。電源制御モジュール36の不良応答アスペクトはクランプ回路16と連動して電力増幅器12をさらに保護することができる。いくつかの実施形態では、不良状態に対する応答時間はクランプ回路16の方が電源制御モジュール36よりも速い。クランプ回路16は、RF信号を出力する。RF信号は、コンバイナ/VIプローブ46を通る。コンバイナ/VIプローブ46は、クランプ回路16からの各RF出力を結合して結合RF出力を発生させる。コンバイナ/VIプローブ46のVIプローブ部は、いくつかの実施形態では、統合ブロードバンドVIプローブとして実施される。VIプローブは、データ補償器モジュール28に検知された電圧および電流信号を供給する。VIプローブは、相互変調ひずみ成分などの不所望な信号を排除しながら、比較的高速で電力および負荷インピーダンスを実用上瞬間的に判定することができる。速度が向上すると制御システムの負荷変動に対する反応が速くなり、信頼性をさらに向上させることができる。VIプローブの実施例が、米国特許第5508446号明細書および米国特許第6522121号明細書を参照して見つけることができ、両特許は全体として本明細書に組み込まれる。図2は、RF発生器10の様々な実施形態を示す。図2のRF発生器10を使用して、図1に示されるRF発生器10よりも低出力の形態を実施してもよい。RF発生器10は、1対の電力増幅器を有する電力増幅器12と、関連するドライバモジュール14およびクランプ回路16とを含む。図1および図2に示されるRF発生器10の実施形態は、RF発生器10の構造のスケーラブルな性質を示す。特に仮想線で示された電源モジュール18-3,18-4は、1対の電源モジュールおよびそれに付随する図2では省略された電力増幅器回路を示しており、図1に示すシステムから規模が縮小されたことを示している。同様に、補償器モジュール28から出る1対の制御ライン出力が仮想線になっており、本設計のスケーラブルな性質をさらに示している。図3は、RFシステム100の様々な実施形態を示す。RFシステム100は、複数のRF発生器10-1,10-2,...,10-nRF発生器10と総称するを含む。RFシステム100は、複数のRF発生器10からのエネルギを結合してRF信号を生成する。いくつかの実施形態では、各RF発生器10は約13kWのRF電力を発生させる。次にRF発生器10の出力が結合されて、RFシステム100の出力で20~40kWを発生させる。一例として、図3は統合ラックシステムとして実施することができる。図3は、本明細書で説明するシステムのスケーラブルな性質をさらに示している。図3において、図1または図2のいずれかに示すRF発生器ユニット10は、2つ以上のRF発生器10の出力を結合して増加した出力電力を生成するシステムの基本要素として実施される。図3において、RF発生器モジュール10は実質的に同一である。図1および図2の単一のシステム制御モジュール34は図1のRF発生器10を制御する。いくつかの実施形態では、各RF発生器は、それぞれ電源モジュール18、ドライバモジュール14、電力増幅器12および関連する支援回路を含む。図1または図2の補償器28は、各RF発生器10-1,10-2内にスレーブ補償器モジュール28-1,28-2として現れる。図3のスレーブ補償器モジュール28は、図1および図2に関する説明と同じように作動する。各スレーブ補償器モジュール28は、コンバイナ/VIプローブ46図3に示さずの各出力をモニタし、ドライバモジュール14に対して調整信号を発生させて各PAモジュール12図3に示さずを制御する。スレーブ補償器モジュール28はまたマスタ補償器モジュール128からの入力を受信する。マスタ補償器モジュール128は、ここでさらに説明するように、その入力を受信し、スレーブ補償器モジュール28-1,28-2に対して出力信号を発生させる。システム制御モジュール34は、図1および図2に関する上記説明と同様に作動する。各RF発生器10は、コンバイナモジュール102にRF信号を出力し、コンバイナモジュール102は上記説明のように作動して、RF出力を結合して単一のRF出力を発生させる。単一のRF出力はVIプローブ106に伝達される。VIプローブ106はRF出力信号104の電圧および電流に相当する出力信号108-1,108-2を発生させる。マスタ補償器モジュール128は、その電圧信号および電流信号を受信し、各スレーブ補償器モジュール28-1,28-2に対して出力信号112を発生させる。電源インタロックモジュール114は、インタロックライン40を介して各RF発生器10と通信する。電源インタロックモジュール114は、RF発生器10を無効とすることを要求する状況をモニタする。限定されない一例として、露出したRF接続が検出された場合、インタロック信号が電源インタロックモジュール114に入力されてもよい。この例では、電源インタロックモジュール114は信号を発生させてRF発生器10を無効とする。電源インタロックモジュール114はまたシステム制御モジュール34を通った外部インタロック信号を受信する。電源インタロックモジュール114は、システム制御モジュール34とライン150を介して通信し、システム制御モジュール34からの信号も受信し、電源インタロックモジュール114を用いて水電磁弁を制御する。限定されない一例として、システム制御モジュール34によって結露状態が検出された場合、システム制御モジュールは電源インタロックモジュール114に信号を送信して水電磁弁を無効にし、RF発生器100のハウジング内部の可能性のある結露を抑制する。いくつかの実施形態では、システム制御モジュール34および電源インタロックモジュール114はまた前面パネル116と通信を行い、システムオペレータに情報を提供する。本発明は、次の実施の形態が可能である。1無線周波RF電力発生器であって、RF電力を発生させるドライバモジュールと、前記RF電力を増幅する電力増幅器モジュールと、第1の通信用ポートを含み、前記電力増幅器モジュールに関係する診断データを受信するデータ取得モジュールとを備え、前記データ取得モジュールが前記通信用ポートを介して不良指示を受信する前に所定時間の間、受信したデータを保存することを特徴とするRF電力発生器。2前記診断データが電圧、電流、位相角、温度およびプロセス変数のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とするRF電力発生器。3前記電力増幅器モジュールの出力と通信を行う誘導クランプ回路をさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。4前記電力増幅器に電力を供給する電源と、前記データ取得モジュールと通信し前記電源を制御する電源制御モジュールとをさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。5前記電源制御モジュールが、前記不良指示に基づいて前記電源によって供給される電力を制限することを特徴とするRF電力発生器。6前記誘導クランプ回路が、前記電源によって供給される前記電力を制限する電源制御前に前記電力増幅器モジュールに印加される負荷を制限することを特徴とするRF電力発生器。7前記電力増幅器モジュールがエアキャビティ型トランジスタパッケージを含むことを特徴とするRF電力発生器。8複数の電源モジュールと、前記電源モジュールからの電流に基づき第1の電流を発生させる加算モジュールとをさらに備え、前記第1の電流が前記電力増幅器に伝達されることを特徴とするRF電力発生器。9第2の通信用ポートを含み、前記電力増幅器の動作パラメータを決定する制御モジュールと、第3の通信用ポートを含み、前記電力増幅器に電力を供給する電源の動作パラメータを決定する電源制御モジュールと、前記第1、第2および第3の通信用ポートを接続するデイジーチェーン通信リンクとをさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。10前記電力増幅器の出力において増幅されたRF電力の前記電圧および電流に基づき信号を発生させる電圧/電流V/Iプローブをさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。11無線周波RF電力発生器であって、RF電力を発生させるドライバモジュールと、前記RF電力を増幅する電力増幅器モジュールと、前記電力増幅器モジュールに電力を供給する電源モジュールと、第1の通信用ポートを含み、前記第1の通信用ポートを介して不良指示を受信することに基づき前記電源モジュールの出力パラメータを制限する電源制御モジュールとを備えることを特徴とするRF電力発生器。12前記電力増幅器モジュールの出力と通信を行い、前記電源制御モジュールが前記電源が供給する前記電力を制限する前に前記電力増幅器モジュールに印加される負荷を制限する誘導クランプ回路をさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。13前記電力増幅器モジュールがエアキャビティ型トランジスタパッケージを含むことを特徴とするRF電力発生器。14電源モジュールが、複数の電源モジュールと、前記電源モジュールからの電流に基づき第1の電流を発生させる加算モジュールとを備え、前記第1の電流が前記電力増幅器モジュールに伝達されることを特徴とするRF電力発生器。15前記診断データが電圧、電流、位相角、温度および前記電力増幅器モジュールと関係するプロセス変数のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とするRF電力発生器。16第2の通信用ポートを含み、前記第2の通信用ポートを介して前記不良指示を受信する前に所定時間の間、前記診断データを受信して保存するデータ取得モジュールをさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。17第3の通信用ポートを含み、前記電力増幅器の動作パラメータを決定する制御モジュールと、前記第1、第2および第3の通信用ポートを接続するデイジーチェーン通信リンクとをさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。18前記電力増幅器モジュールの出力と通信を行う電圧/電流V/Iプローブをさらに備えることを特徴とするRF電力発生器。"