表面保護ガラス、接着性樹脂、太陽電池セル、接着性樹脂および裏面保護シートをこの順に積層して熱圧着により成型する太陽電池モジュールの製造方法であって、該表面保護ガラスの接着性樹脂側とは反対側の表面に金属酸化物薄膜層を設け、ポリエステルフィルム上に金属層または金属酸化物層を設けた積層フィルムの金属層または金属酸化物層を該表面保護ガラスの金属酸化物薄膜層に接触させ、熱圧着加工を行うことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。前記金属酸化物薄膜層が反射防止層である請求項1記載の太陽電池モジュールの製造方法。ポリエステルフィルム上の金属層または金属酸化物層がアルミニウム、酸化ケイ素または酸化アルミニウムからなることを特徴とする請求項1または2記載の太陽電池モジュールの製造方法。本発明は、このような太陽電池モジュールの従来の製造方法が有していた問題を解決しようとするものであり、反射防止層などの剥れを抑えて歩留まりを向上させることのできる太陽電池モジュールの製造方法を提供することを目的としている。本発明は、表面保護ガラス、接着性樹脂、太陽電池セル、接着性樹脂および裏面保護シートをこの順に積層して熱圧着により成型する太陽電池モジュールの製造方法であって、該表面保護ガラスの接着性樹脂側とは反対側の表面に金属酸化物薄膜層を設け、ポリエステルフィルム上に金属層または金属酸化物層を設けた積層フィルムの金属層または金属酸化物層を該表面保護ガラスの金属酸化物薄膜層に接触させ、熱圧着加工を行うことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法である。また、本発明はさらに、好ましくは、金属酸化物薄膜層が反射防止層である太陽電池モジュールの製造方法であり、ポリエステルフィルム上に設けた金属層または金属酸化物層がアルミニウム、酸化ケイ素または酸化アルミニウムからなる層であることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法である。本発明の太陽電池用モジュールの製造方法を用いることで、表面保護ガラス上に設けられた金属酸化物薄膜層の剥れを抑えることができる。本発明の太陽電池モジュールの製造方法において、太陽電池モジュールは表面保護ガラス、接着性樹脂、太陽電池セル、接着性樹脂、裏面保護シートをこの順に積層して構成される。太陽光は表面保護ガラスから入射し、接着性樹脂層を通り、太陽電池セルに到達し起電力が生ずる。接着性樹脂は、本発明の太陽電池モジュールの製造方法において、表面保護ガラスと裏面保護シートの間に太陽電池セルを封止し、太陽電池セルを外気の水分や機械的な衝撃から保護する機能を有するものであって、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂や、シリコーン系、フッ素系の樹脂などが選択される。表面保護ガラスは、価格や耐久性により選ばれるが、太陽電池が長期使用されること、太陽光をより透過させることが望ましいことから、透明度の高い白板ガラスが好ましく用いられる。表面保護ガラスに設けられる金属酸化物薄膜層は、表面保護ガラスの接着性樹脂側とは反対側の表面に形成される。これら金属酸化物薄膜層は金属酸化物を蒸着等により直接形成したものや、シロキサンなどの有機金属化合物を塗布乾燥後に焼成処理を行って有機成分を除去し、金属酸化物薄膜を形成する方法など公知の方法を採用することができる。金属酸化物としては、酸化ケイ素、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、酸化コバルト、酸化亜鉛、酸化ニオブなど、およびこれらの複合酸化物が挙げられるがこれらに限定されない。本発明において、表面保護ガラスに設けられる金属酸化物薄膜層は反射防止層であることが好ましい。反射防止層とする場合は金属酸化物薄膜層を含めた表面保護ガラスの総厚さは500nm以下が一般的である。目的に応じ、これらの金属酸化物薄膜層をそれぞれの材料の屈折率を考慮し厚さや種類を組み合わせ、複数の層を形成することが適宜行われる。接着性樹脂は、セルの保護性、透明性などから適切に選ばれる。好ましくはエチレン-酢酸ビニル共重合体やシリコーン樹脂などである。太陽電池セルは、本特許のモジュールの製造方法で使用できるものであれば特に限定されないが、単結晶シリコンまたは多結晶シリコンからなる太陽電池セルが好ましく用いられる。裏面保護シートは通常、2~5層程度の機能性樹脂またはフィルムが積層された構造である。耐久性等の要求に応じて、フィルムとしてはポリオレフィンフィルム、ポリエステルフィルム、フッ素フィルム、エチレン-酢酸ビニル共重合体、ナイロン樹脂フィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム等から適宜選択できる。また、水蒸気バリア性等を付与するために積層体の一部にアルミ箔などの金属箔を設けても良い。また耐候性や接着力向上のため、積層体の一部に樹脂または無機物のコーティング膜または蒸着膜を設けても良い。太陽電池モジュールの製造方法としては、表面保護ガラス、接着性樹脂、太陽電池セル、接着性樹脂、裏面保護シートをこの順に積層し、熱圧着加工を行う。ここで言う熱圧着加工とは、上記太陽電池モジュールの部材を熱プレス板を設けたチャンバー内に設置し、真空状態にすることで大気圧を利用してプレスする方法であり、接着性樹脂が軟化して接着する際、真空状態のため気泡が抑制できることが特徴である。太陽電池モジュールを構成する積層体は熱圧着加工時に、接着性樹脂の融点を超える140~190°Cの高温にさらされ、真空圧着装置の熱プレス板が表面保護ガラスと高温状態で密着する。本発明では、表面保護ガラスの表面に形成された金属酸化物薄膜層の傷付き防止のため、ポリエステルフィルム上に金属層または金属酸化物層を設けた積層フィルムの金属層または金属酸化物層を該表面保護ガラスの金属酸化物薄膜層に接触させ、さらに必要に応じ、フッ素樹脂をコートしたガラスクロス等を熱プレス板と上記積層フィルムとの間に挟み、熱圧着加工を行う。ポリエステルフィルムの代表であるポリエチレンテレフタレートフィルムのガラス転移温度は80°C程度であり、熱圧着加工の加工温度がフィルムのガラス転移温度を越えるため、金属層または金属酸化物層を設けないポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた場合は、表面保護ガラス上の金属酸化物薄膜層がポリエチレンテレフタレートフィルムに転写し剥れるという問題が発生する。ポリエステルフィルム上に金属層または金属酸化物層を設けることにより、熱圧着加工の加工温度がポリエステルフィルムのガラス転移温度を越えても、表面保護ガラスへの密着が起こらないため剥れが発生しないのである。これにより、使い捨て可能な安価な材料で剥れを防止するとともに、接着性樹脂のはみ出しによる汚れを防止することが可能となる。本発明において、ポリエステルフィルム上に金属層を設けた積層フィルムの金属は特に限定されないが、価格、入手のしやすさからアルミニウムが好ましく用いられる。アルミニウムは特性上、表面に酸化物層が形成されることがあるが、酸化物の有無は何ら影響を与えない。本発明において、ポリエステルフィルム上に金属酸化物層を設けた積層フィルムの金属酸化物は特に限定されないが、価格、入手のしやすさなどから酸化ケイ素、酸化アルミニウムが好ましく用いられる。これら材料の積層あるいは組み合わせを妨げない。またこれら金属酸化物には50未満の金属窒化物の組成物も含まれる。本発明において、ポリエステルフィルム上に金属層または金属酸化物層を設けた積層フィルムの金属層または金属酸化物層の厚さは5nm~100nmであり、好ましくは10nm~50nmである。5nmより厚くすることで均一な膜の形成が容易であり本発明による剥離防止効果が得られやすく、また100nm以下で十分な剥離防止機能を有する。本発明のポリエステルフィルム上に金属または金属酸化物層を設けた積層フィルムは、真空蒸着、反応性蒸着、スパッタリング、CVDなど公知の方法でポリエステルフィルム上にアルミニウム、酸化ケイ素、酸化アルミニウムが形成されたものである。本発明において、ポリエステルフィルム上に金属層または金属酸化物層を設けた積層フィルムのポリエステルフィルムとしては、ラミネートプロセス温度の上限温度である190°Cで溶融が起こらないものである必要があり、ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエチレンナフタレートフィルムなどが工業的に好ましく用いられる。ポリエチレンテレフタレートフィルムの融点は250から260°Cであり、本ラミネートプロセス温度での使用は何ら問題がない。前記ポリエステルフィルムの厚さは5μm~50μmのものが使用でき、好ましくは12μm~38μmである。5μm以下だとフィルムが破れやすいため作業性が悪くなり、また50μmを越えるとコスト高となる。本発明の表面保護ガラスに形成された金属酸化物薄膜層は、反射防止の目的以外に、汚れを防止するもの、汚れをふき取りやすくするもの、静電気防止効果のものであっても、本発明の効果を享受できる。ラミネートの際に、真空圧着装置の熱プレス板と積層フィルムの間に前述のごとくフッ素樹脂をコートしたガラスクロス等のクッション層を設けることは何ら限定されない。クッション層を設けることにより、本発明の積層フィルムに薄いものが使用できるのでコストが有利となる。以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれら実施例に限定されない。[1]金属酸化物からなる薄膜蒸着タイプ付き表面保護ガラス板の作製ガラス板として無色透明ソーダライムシリカガラス旭硝子社製、厚さ:2.3mm。以下ソーダガラスと記載を使用した。真空槽内に金属Snおよび金属SiBドープ多結晶をスパッタターゲットとしてカソード上に設置し、真空槽を1.3×10-3Paまで排気した。真空槽内に設置したソーダガラス上に次のようにして反射防止膜を形成した。<第1層>放電ガスとして酸素250cc/分と窒素350cc/分との混合ガスを導入した。このとき、圧力は0.45Paとなった。ついで、Snの反応性DCスパッタリングにより、膜厚が98nmの酸窒化スズ膜を第1層の膜として成膜した。<第2層>ついで、放電ガスとしてアルゴン100cc/分と酸素500cc/分との混合ガスを導入した。このとき、圧力は0.35Paとなった。ついで、Siの反応性DCスパッタリングにより、膜厚が105nmの酸化シリコン膜を第2層の膜として形成した。[2]金属酸化物からなる薄膜コーティングタイプ付き表面保護ガラス板の作製ソーダガラス基板の一方の表面をマスクした後、0.05molのホウ酸および0.008molのフッ化カリウムを添加した濃度1.25mol/lのケイフッ化水素酸のシリカ飽和水溶液5リットルに2時間浸漬し、取り出してマスクを除去し、洗浄、乾燥することにより、基板の他方の表面に被膜を形成した。ついでこの基板を450°Cに加熱し、基板の一方の表面にSiH4モノシラン、N2窒素、O2酸素の調整されたガスを供給して、厚さが110nmのSiO2を主成分とする金属酸化物層を成膜した。3試験用モジュールの作成と剥れ、汚れ確認試験実施例1株式会社エヌピーシー製真空ラミネータLM-50を用いて試験用モジュールの作成を行った。ラミネータ内に、保護用の50cm角のフッ素コートしたガラスクロス本多産業株式会社製HGS-P610を設け、その上に40cm角のポリエチレンテレフタレートフィルムにアルミニウム蒸着を施した東レフィルム加工株式会社製VM-PET1510厚さ12μm、以下積層フィルムと記載を未蒸着面がガラスクロス側になるように設けた。その上に試験用モジュールとして、前記1の反射防止膜を設けた15cm角のソーダガラス反射防止層は積層フィルム側、15cm角の接着性樹脂サンビック製エチレン酢酸ビニル共重合体シートPV-45FR00S、厚さ0.4mm、12.5cm角の単結晶シリコンセル、15cm角の接着性樹脂、15cm角の裏面保護フィルム東レ株式会社製ルミラー登録商標X10S厚さ125μmを重ねて設けた。さらにその上に40cm角の積層フィルム未蒸着面がガラスクロス側を設け、その上に保護用の50cm角のフッ素コートしたガラスクロスを設けた。ラミネータのフタを閉じ、真空時間4分、プレス時間16分、熱プレス板温度145°Cでラミネートした。ラミネート終了後、上下の保護用ガラスクロスもまとめて取り出し、ステンレスの台に2分放置して温度を下げた後にガラスクロスおよび積層フィルムを除去して試験用モジュールを取り出した。試験用モジュールの反射防止層の剥れについて、試験用モジュールを表面保護ガラスを上にして水平な台の上に設置し、40Wの白色蛍光灯1本を垂直上方1.5mの距離から照らした状態で目視確認し、剥れの無いものを○、剥れが認められるものを×とした。ガラスクロスの汚れについては、ラミネート後のガラスクロスのモジュール側に使用した面について、剥れと同様の方法で蛍光灯により目視で確認し、接着性樹脂の付着が無いものを○、付着が認められるものを×とした。実施例2実施例1の積層フィルムを、ポリエチレンテレフタレートフィルムに酸化ケイ素蒸着を施した三菱樹脂株式会社製テックバリアTX厚さ12μmにしたこと以外は実施例1と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。実施例3実施例1の積層フィルムを、ポリエチレンテレフタレートフィルムに酸化アルミニウム蒸着を施した東レフィルム加工株式会社製バリアロックス登録商標1011HG厚さ12μmにしたこと以外は実施例1と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。実施例4実施例1のソーダガラスを前記2の反射防止層を設けた15cm角のソーダガラス反射防止層は積層フィルム側にしたこと以外は実施例1と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。実施例5実施例2のソーダガラスを前記2の反射防止層を設けた15cm角のソーダガラス反射防止層は積層フィルム側にしたこと以外は実施例2と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。実施例6実施例3のソーダガラスを前記2の反射防止層を設けた15cm角のソーダガラス反射防止層は積層フィルム側にしたこと以外は実施例3と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。比較例1実施例1の積層フィルムの替わりに、ポリエチレンテレフタレートフィルムである東レ株式会社製ルミラー登録商標S10厚さ50μmにしたこと以外は実施例1と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。比較例2実施例1の積層フィルムの替わりに、ポリエチレンテレフタレートフィルムにシリコーン表面処理を行った東レフィルム加工株式会社製セラピール登録商標MF厚さ25μmにしたこと以外は実施例1と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。比較例3比較例1のソーダガラスを前記2の反射防止層を設けた15cm角のソーダガラス反射防止層はフィルム側にしたこと以外は比較例1と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。比較例4比較例2のソーダガラスを前記2の反射防止層を設けた15cm角のソーダガラス反射防止層はフィルム側にしたこと以外は比較例2と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。比較例5ガラスクロスと試験用モジュールの間に積層フィルムを設けないこと以外は実施例1と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。比較例6ガラスクロスと試験用モジュールの間に積層フィルムを設けないこと以外は実施例4と同様にして試験用モジュールを作成し、反射防止層の剥れ、ガラスクロスの汚れを確認した。実施例1~6、比較例1~6の評価結果を表1に示す。表1より、金属層または金属酸化物層を設けたポリエステルフィルムを用いることで表面保護ガラス上の金属酸化物薄膜層の剥れ、ガラスクロスの汚れを防止することが出来る。