縦方向軸11を有し、かつ真空蒸着源に接続可能な入口2および蒸発された材料を拡散するための少なくとも1つのノズル3を備えたインジェクションダクト1を備え、このノズル3が側面4および上面5を持っている真空蒸着源のためのインジェクターにおいて、前記ノズル3は、インジェクションダクト1の外側に開口した主流路6およびインジェクションダクト1の内部を前記主流路6に連通する少なくとも1つの横方向供給流路7を備え、この横方向供給流路7が、酸化された材料による前記ノズル3の閉塞を防止するため、ノズル3の側面4を介して前記インジェクションダクト1の内部に開口する横方向オリフィス8を有することを特徴とする真空蒸着源のためのインジェクター。前記横方向供給流路7の横方向オリフィス8は、前記ノズル3の上面5の近傍に位置していることを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着源のためのインジェクター。前記ノズル3は、前記主流路6に垂直な2つの横方向供給流路7を備え、前記主流路6と2つの横方向供給流路7が前記縦方向軸11に垂直であることを特徴とする請求項1または2に記載の真空蒸着源のためのインジェクター。前記主流路6は、前記ノズル3の上面5を介して前記インジェクションダクト1の内部に開口した上部開口29を有する上方部分9を備えている請求項1~3のいずれか1項に記載の真空蒸着源のためのインジェクター。前記ノズル3の上面5が、円錐形状またはとがった形状をしていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の真空蒸着源のためのインジェクター。本発明の目的は、酸化された材料によるノズルの閉塞を防止することのできるインジェクターを提供することにある。この目的のために、前記インジェクターは、縦方向軸を有し、かつ真空蒸着源に接続可能な入口および蒸発された材料を拡散するための少なくとも1つのノズルを備えたインジェクションダクトを備え、該ノズルは側面および上面を持つ。本発明によると、前記ノズルは、該インジェクションダクトの外側に開口する主流路およびインジェクションダクトの内部を前記主流路に連通する少なくとも1つの横方向供給流路を備え、該横方向供給流路は、酸化された材料による前記ノズルの閉塞を防止するため、ノズルの側面を介して前記インジェクションダクトの内部に開口する横方向オリフィスを有する。本発明は、酸化された材料によるノズルの閉塞を防止するインジェクターを提供する。ノズルの主流路の上部開口が酸化された材料の破片で覆われている場合、側面供給流路を介して、蒸発された材料を散布できる。それは、酸化された材料の破片の有無にかかわらず、水平型ボトムアップ並行真空工程室にある太陽電池パネルの表面に蒸発された材料の均一散布を保証することを可能にする。インジェクターを洗浄する2つの工程の間の間隔が長くなることにより、低コストをもたらす。インジェクターは、これを洗浄するため真空工程室から離脱されるので、蒸着工程が中断されることが減り、生産性を増加させる。さまざまな実施形態によると、本発明はまた、単独で、あるいは、技術的に可能な組み合わせのすべてが考えられる、以下の特性と関係がある:-横方向供給流路の横方向オリフィスは、該ノズルの上面の近傍に位置付けられる;これは、インジェクターの底で凝縮してしまった材料がノズルに流れ込むのを防止することを可能にする。-前記ノズルは、該主流路に垂直な2つの横方向供給流路を備え、該主流路と該横方向供給流路は、縦方向軸に垂直である;-該主流路は、上部開口により該ノズルの上面を介して該インジェクションダクトの内部に開口した上方部分を備える;-該ノズルの上面は、円錐形状またはとがった形状をしている。この形状は、前記ノズルの上面にとどまる酸化された材料の破片による前記ノズルの主流路の上部開口の閉塞を防止することを可能にする。本発明の説明は、以下の図により明らかにされる。