固定接点と可動接点が接離され安定接触状態で通電される接点構造であって、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記固定接点に対して傾斜を有する状態で接触する段階を経ることで、前記安定接触状態における前記両接点の接触部位と前記安定接触状態に至る前における前記両接点の接触部位とが一致しないことを特徴とする接点構造。前記可動接点は揺動アームの揺動先端側に設けられており、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側が先に接触する段階を経ることで、前記安定接触状態における前記両接点の接触部位と前記安定接触状態に至る前における前記両接点の接触部位とが一致しないことを特徴とする請求項1記載の接点構造。前記揺動アームは撓み部を有し、前記可動接点は撓み部を介して前記揺動アームに設けられており、前記揺動アームの揺動時に前記撓み部が撓んで前記可動接点の揺動先端側がその慣性により遅れて動作することで前記可動接点が揺動基端側から前記固定接点に接触し、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側が先に接触する段階を経ることを特徴とする請求項2に記載の接点構造。前記揺動アームの先端には流体抵抗をうける翼片が設けられており、前記可動接点の揺動先端側が流体抵抗により遅れて動作することで前記可動接点が揺動基端側から前記固定接点に接触し、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側が先に接触する段階を経ることを特徴とする請求項2または3に記載の接点構造。前記翼片を前記揺動アームの側方に偏在させることにより、前記可動接点の側方側が流体抵抗により遅れて動作することで前記可動接点が前記側方側と反対の側方側から前記固定接点に接触し、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側かつ前記反対の側方側が先に接触する段階を経ることを特徴とする請求項4に記載の接点構造。前記固定接点を両側に有する基板よりなるベースと、磁性材料よりなるアーマチュアが前記ベースと反対の面に接合され前記固定接点と接離する前記可動接点を両側に有する前記揺動アームと該揺動アームを開口内に配置したフレームとを有する可動基板部と、前記フレームの前記開口を閉塞するカバーと、前記アーマチュアを吸引する磁場を発生させる電磁石装置を有し前記可動接点が前記固定接点に対して接離するように前記揺動アームを揺動させる駆動装置とを備え、前記アーマチュアは揺動自在に配置されることにより両側部分各々が前記揺動アームとして相反する方向に揺動するものであることを特徴とする請求項2乃至5に記載の接点構造を有するマイクロリレー。前記駆動装置は、前記カバーに設けられ、前記ベースの前記一面の反対面側には、前記駆動装置の前記電磁石装置に通電するための駆動電極が形成され、前記ベースと前記フレームと前記カバーには、前記駆動電極と前記電磁石装置とを電気的に接続する配線路が形成されていることを特徴とする請求項6に記載のマイクロリレー。ところで、上記従来のマイクロリレーにおける可動接点及び固定接点は、一般的な接点材料例えば、金、ニッケル、銅、クロムなどの合金で形成されていた。中でも、金は低い電気抵抗、高い耐酸化性を有するため、金接点は、優れた電気接点性能を有する。ここで、マイクロリレー接点においては、硬い材料よりも金のような軟質金属が好ましい。接触時における変形により両接点の接触領域が大きくなり、安定接触が図れるためである。しかしながら軟質金属は、低い硬度に起因して、大きな付着力を生み出す。その結果、接点同士が固着スティッキングする虞があるため、短い寿命をもたらす。本願発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、接点材料に軟質金属を用いた場合であっても接点同士が固着することを防ぐことができる接点構造とマイクロリレーを提供することにある。本願発明の接点構造は、固定接点と可動接点が接離され安定接触状態で通電される接点構造であって、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記固定接点に対して傾斜を有する状態で接触する段階を経ることで、前記安定接触状態における前記両接点の接触部位と前記安定接触状態に至る前における前記両接点の接触部位とが一致しないことを特徴とする。この接点構造においては前記可動接点は揺動アームの揺動先端側に設けられており、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側が先に接触する段階を経ることで、前記安定接触状態における前記両接点の接触部位と前記安定接触状態に至る前における前記両接点の接触部位とが一致しないものであることが好ましい。この接点構造においては前記揺動アームは撓み部を有し、前記可動接点は撓み部を介して前記揺動アームに設けられており、前記揺動アームの揺動時に前記撓み部が撓んで前記可動接点の揺動先端側がその慣性により遅れて動作することで前記可動接点が揺動基端側から前記固定接点に接触し、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側が先に接触する段階を経るものであることが好ましい。この接点構造においては前記揺動アームの先端には流体抵抗をうける翼片が設けられており、前記可動接点の揺動先端側が流体抵抗により遅れて動作することで前記可動接点が揺動基端側から前記固定接点に接触し、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側が先に接触する段階を経るものであることが好ましい。この接点構造においては前記翼片を前記揺動アームの側方に偏在させることで、前記可動接点の側方側が流体抵抗により遅れて動作することで前記可動接点が前記側方側と反対の側方側から前記固定接点に接触し、前記可動接点が前記固定接点に接触する際に前記揺動アームの揺動基端側かつ前記反対の側方側が先に接触する段階を経るものであることが好ましい。本願発明のマイクロリレーは、前記固定接点を両側に有する基板よりなるベースと、磁性材料よりなるアーマチュアが接合され前記固定接点と接離する前記可動接点を両側に有する前記揺動アームと該揺動アームを開口内に配置したフレームとを有する可動基板部と、前記フレームの前記開口を閉塞するカバーと、前記アーマチュアを吸引する磁場を発生させる電磁石装置を有し前記可動接点が前記固定接点に対して接離するように前記揺動アームを揺動させる駆動装置とを備え、前記アーマチュアは揺動自在に配置されることにより両側部分各々が前記揺動アームとして相反する方向に揺動するものであることを特徴とする。このマイクロリレーにおいては前記駆動装置は、前記カバーに設けられ、前記ベースの前記一面の反対面側には、前記駆動装置の前記電磁石装置に通電するための駆動電極が形成され、前記ベースと前記フレームと前記カバーには、前記駆動電極と前記電磁石装置とを電気的に接続する配線路が形成されているものであることが好ましい。本願発明の接点構造は、安定接触状態における両接点の接触部位と前記安定接触状態に至る前における前記両接点の接触部位とが一致しないため、接触時の衝突で一点に加わった力を分散させることができ、接点材料に軟質金属を用いた場合であっても接点の固着を生じさせにくくすることができる。本願発明のマイクロリレーは接点の固着を生じにくい接点構造を用いているため、長寿命化を実現することができる。以下、図面を参照しながら本願発明の実施形態について説明する。実施形態1図1~9は実施形態1にかかる接点構造およびマイクロリレーを示している。図7~9に示すとおり、この接点構造は固定接点1と可動接点2が接離され安定接触状態で通電される接点構造であって、可動接点2が固定接点1に接触する際に固定接点1に対して傾斜を有する状態で接触する段階を経ることで、前記安定接触状態における前記両接点の接触部位3aと前記安定接触状態に至る前における前記両接点の接触部位3bとが一致しないことを特徴とする。また、可動接点2は揺動アーム4の揺動先端側に設けられており、可動接点2が固定接点1に接触する際に揺動アーム4の揺動基端側が先に接触する段階を経ることで、前記安定接触状態における前記両接点の接触部位3aと前記安定接触状態に至る前における前記両接点の接触部位3bとが一致しないことを特徴とする。また、揺動アーム4は撓み部を有し、可動接点2は撓み部5を介して揺動アーム4に設けられており、揺動アーム4の揺動時に撓み部5が撓んで可動接点2の揺動先端側がその慣性により遅れて動作することで可動接点2が揺動基端側から固定接点1に接触し、可動接点2が固定接点1に接触する際に揺動アーム4の揺動基端側が先に接触する段階を経ることを特徴とする。また、図1~6のように、このマイクロリレーは固定接点1を両側に有する基板よりなるベース7と、磁性材料よりなるアーマチュア8が接合され固定接点1と接離する可動接点2を両側に有する揺動アーム4と該揺動アーム4を開口内に配置したフレーム9とを有する可動基板部10と、フレーム9の前記開口を閉塞するカバー11と、アーマチュア8を吸引する磁場を発生させる電磁石装置12を有し可動接点2が固定接点1に対して接離するように揺動アーム4を揺動させる駆動装置13とを備え、アーマチュア8は揺動自在に配置されることにより両側部分各々が揺動アーム4と一体となってその両端が相反する方向に揺動するものであることを特徴とする。また、図2のように、駆動装置13は、カバー11に設けられ、ベース7の前記一面の反対面側には、駆動装置13の電磁石装置12に通電するための駆動電極14が形成され、ベース7とフレーム9とカバー11には、駆動電極14と電磁石装置12とを電気的に接続する配線15が形成されていることを特徴とする。以下、実施形態1のより具体的な説明を行う。図1~6は本実施形態のマイクロリレーを示す。ベース7は例えば、直方体状のガラス基板により形成されている。ベース7の一面側における長手方向両端側それぞれには固定電極1が形成されている。可動基板部10はフレーム9と揺動アーム4とアーマチュア8を有する。フレーム9は、矩形枠状に形成されている。このフレーム9の開口内には、アーマチュア8が接合された揺動アーム4が配置される。アーマチュア8は、駆動装置13の電磁石装置12が発生する磁場により揺動アーム4を揺動させるために用いられる。アーマチュア8は、例えば、電磁軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイなどの磁性材料を機械加工して矩形板状に形成され、接着、溶接、熱着、ロウ付けなどの方法で、揺動アーム4に接合されている。一方、可動側である揺動アーム4の中央部には、支点突起16が固定側であるカバー11の一部の閉塞板18に接触するように、アーマチュア8を貫通して設けられている。なお、この支点突起16は、可動側である揺動アーム4の揺動動作シーソ動作の支点として用いられているが、一般的には可動側もしくは固定側のいずれか一方側に設けられていれば足りる。ここで揺動アーム4の支点突起16は図6aの様に対向面である閉塞板18と曲面で接する。曲面で接することにより支点部4の磨耗、角部の損傷を起こりにくくしている。この場合、例えば図6bまたは図6cの様に支点4は半球形状、または揺動アーム4の側方に底面を有する半円柱状であることが考えられる。さらに、支点突起16の表面は金属等の耐摩耗性、摺動性に優れた材料でコーティングされている。これにより支点突起16の磨耗を更に低減することができる。また、揺動アーム4におけるベース7との対向面図3における下面側には、レシジュアル17が設けられている。このレシジュアル17は、揺動アーム4とベース7との距離を好適な距離に設定するために使用される。カバー11は、絶縁性材料、例えば、ガラス基板により形成されている。カバー11の外形サイズは、ベース7の外形サイズと等しくしてある。このようにカバー11は、フレーム9の開口を閉塞できる大きさの板状に形成されている。カバー11におけるベース7側とは反対側の面図3における上面の中央部には、駆動装置13を収容するための凹部が形成されており、凹部の底面は閉塞板18が密着接合されることで形成されている。閉塞板18は、例えば、厚みが5~50μm程度好ましくは20μm程度に形成されたシリコン板やガラス板などの薄板からなる。このようなカバー11は、フレーム9におけるベース7側とは反対側の面図3における上面に接合される。駆動装置13は、揺動アーム4を吸引する磁場を発生させる電磁石装置12と、揺動アーム4をラッチするための永久磁石19とを備えている。電磁石装置12は、主として、ヨーク20と、一対のコイル21とを備えている。このようなヨーク20は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工あるいは鍛造加工することにより形成されている。永久磁石19は、直方体状に形成され、厚み方向の一面側と他面側とが互いに異極となるように着磁されている。この永久磁石19は、ヨーク20のベース7側表面に当接させるようにして、取り付けられる。一対のコイル21は、ヨーク20の周囲に形成され永久磁石19の側面側の部位それぞれに配置される。また、駆動装置13には、一対のコイル端子22が設けられている。一対のコイル端子22間に電圧を印加することで、両コイル21に電流が流れる。このような駆動装置13は、カバー11の上記凹部に収納される。カバー11におけるベース7側とは反対側の面には、略Z字状の配線15が形成されている。配線15の一端部には、コイル端子22が半田付けなどによって電気的に接続されおり、他端部は図2に示すとおりカバー11、フレーム9、ベース7を貫通してベース7のカバー11とは反対面側に形成された、駆動電極14に接続されている。ここで本実施形態のマイクロリレーの接点構造を図7~9に示す。固定接点1、可動接点2は安定接触状態においては図9bのように3aの部位が接触している。一方で前記安定接触状態に至る前においては図9aのように3bの部位が接触している。このように固定接点1に対して傾斜を有する状態で接触する段階を経ることで3bの部位に集中する衝突時の衝撃を3aの部位全体に分散させることで瞬間的に加わる圧力を緩和することができ、スティッキングの発生を低減することが可能となる。両接点は、一般的な接点材料例えば、金、ニッケル、銅、クロムなど及びそれらの合金で形成されてなる。なお、例えば、両接点の表面全体は金などに代表される軟質金属で形成し、3bの部位をスティッキングが発生しにくい硬質金属とすることも可能である。これにより衝突時の衝撃が集中する3bにおいてスティッキングの発生をさらに低減しつつ、接点全体としては安定した接触抵抗をもたらす軟質金属による接触を実現することが可能となる。撓み部5はマイクロマシニング技術によって半導体からなる揺動アーム4と一体にして短形枠状に形成されてなる。撓み部5を介して可動接点2が揺動アーム4の揺動先端側に設けられることで容易に傾斜を有して、揺動基端側から固定接点1に接触することができる。なお、揺動アーム自体を可撓性を有する形状、構造に加工することで、撓み部5を別途設けることなく本願発明の目的を達成することもできる。この場合、例えば、揺動アーム4の揺動先端側の太さを揺動基端側に比べ細くすること等が考えられる。本実施形態によれば、可動接点2が固定接点1に対して傾斜を有して接触する段階を経て両接点が接触することで、接触時の衝突で一点に加わった力を分散させることができ、接点材料に軟質金属を用いた場合であっても接点の固着を生じさせにくくすることができるため、接点の耐スティッキング性と接触抵抗安定性の両方を実現することができ、長寿命化を実現することができる。また、揺動アーム4の揺動先端側に可動接点2を設けることで揺動基端側を容易に先に接触させることができる。また、可動接点2を、撓み部5を介して揺動アーム4に設けることで可動接点を容易に傾斜させることができる。実施形態2図10~12は実施形態2にかかるマイクロリレーの接点構造を示している。この接点構造は、揺動アーム4の先端には流体抵抗をうける翼片6が設けられており、可動接点2の揺動先端側が流体抵抗により遅れて動作することで可動接点2が揺動基端側から固定接点1に接触し、可動接点2が固定接点1に接触する際に揺動アーム4の揺動基端側が先に接触する段階を経ることを特徴とするという点で、実施形態1に記載した接点構造と相違するがその他の構成は同様である。以下、実施形態2のより具体的な説明を行う。翼片6はマイクロマシニング技術によって半導体からなる揺動アーム4と一体に形成されてなる。翼片6を設けることで流体抵抗をうけ、可動接点2が揺動アーム4に遅れて動作し、より傾斜を有して固定接点1に接触しやすくすることが可能となる。本実施形態によれば、翼片6を設けることで可動接点2の揺動先端側が流体抵抗により遅れて動作させることができるため、翼片6を設けない場合と比較して両接点の接触時に、可動接点2により大きな傾斜をつけることができ接触時の衝突で加わる力をより分散させやすくすることができるため、接点の耐スティッキング性と接触抵抗安定性を容易に実現することができ、長寿命化を容易に実現することができる。実施形態3図13~15は実施形態2にかかるマイクロリレーの接点構造を示している。この接点構造は、翼片6を揺動アーム4の側方に偏在させることにより、可動接点2の側方側が流体抵抗により遅れて動作することで可動接点2が前記側方側と反対の側方側から固定接点1に接触し、可動接点2が固定接点1に接触する際に揺動アーム4の揺動基端側かつ前記反対の側方側が先に接触する段階を経ることを特徴とするという点で、実施形態2に記載した接点構造と相違するがその他の構成は同様である。以下、実施形態3のより具体的な説明を行う。翼片6を揺動アーム4の側方に偏在させることで揺動アーム4の揺動基端側かつ翼片6が偏在した側方と反対の側方側の部位3cにおいて図15aのように固定接点1と可動接点2を最初に接触させることができる。これにより3c→3b→3aの順に両接点が接触し、衝突時の衝撃をより緩和することが可能となり、接触時の衝突で加わる力をより分散させることができるため、更なる接点の耐スティッキング性と接触抵抗安定性を実現することができ、長寿命化を実現することができる。