"一つの面に開口部を有し、被計測流体が流れる断面が矩形の計測流路を有する計測流路ユニットと、前記開口部を覆うセンサユニットと、前記センサユニットの流路方向に所定の距離をおいて配置した一対の超音波送受波器と、前記一対の超音波送受波器の一方から送信された超音波信号が、前記センサユニットと対向する前記計測流路ユニットの計測流路内の反射面に反射して他方に受信されるまでの伝播時間から前記被計測流体の流量を演算する流量演算部と、からなる超音波式流量計測ユニット。前記計測流路ユニットの計測流路は、前記開口部に隣接する計測流路内面に平行な複数の仕切板で複数の流路に仕切られたことを特徴とする請求項1記載の超音波式流量計測ユニット。前記センサユニットは、前記一対の超音波送受波器を所定の角度で保持する為の保持部を有する請求項1又は2に記載の超音波式流量計測ユニット。被計測流体を気密に収容する装置本体と、前記装置本体への被計測流体の入口部と、前記装置本体からの被計測流体の出口部と、請求項1~3のいずれか1項に記載の超音波式流量計測ユニットと、からなり、前記超音波式流量計測ユニットの流入口は前記装置本体内に開放され、流出口は前記出口部に接続されたガス流量計。前記入口部と前記出口部は、前記装置本体の同一面に配置され、前記超音波式流量計測ユニットは、前記装置本体の中央部に位置すると共に、前記出口部とはL字状の接続部で接続されたことを特徴とする請求項4記載のガス流量計。前記超音波式流量計測ユニットは、前記計測流路の断面の長辺側若しくは、複数の流路の断面の長辺側が被計測流体の流入方向と平行になるように配置した請求項5記載のガス流量計。前記入口部に接続される遮断弁を内蔵し、前記遮断弁から前記装置本体への被計測流体の流出方向は、前記入口部への被計測流体の流入方向に対して垂直方向とした請求項6記載のガス流量計。しかしながら、前記従来の構成では、被計測流体が流れる流通管の計測部分において、流れに対する工夫が施されたものではなかった。一方、超音波での精度の良い流量計測を行う場合には、流れを整流したり、場合によっては層流化するなど、超音波が伝搬する計測領域において、被計測流体に対して各種の工夫を加えることが必要とされるものであった。本発明は、前記従来の課題を解決するもので、超音波式流量計測ユニットをセンサユニットと計測流路ユニットに分割して構成することにより、超音波が伝搬する計測流路ユニット側において、流量を計測するにあたっての条件設定を容易にし、これにより高精度な流量計測を可能とする超音波式流量計測ユニットの実現を目的とする。また、これを用いたガス流量計の実現を目的とする。前記課題を解決するために、本発明の超音波式流量計測ユニットは、一つの面に開口部を有する断面が矩形を有し、被計測流体が流れる計測流路を有する計測流路ユニットと、前記開口部を覆うセンサユニットと、前記センサユニットの流路方向に所定の距離をおいて配置した一対の超音波送受波器と、前記一対の超音波送受波器の一方から送信された超音波信号が、前記センサユニットと対向する計測流路内の反射面に反射して他方に受信されるまでの伝播時間から前記被計測流体の流量を演算する流量演算部とを備えたものであり、このように、超音波式流量計測ユニットがセンサユニットと計測流路ユニットに分割して構成されるため、超音波が伝搬する計測流路ユニット側において、流量を計測するための条件設定を容易にし、これにより高精度な流量計測を可能としたものである。本発明の超音波式流量計測ユニットは、これをセンサユニットと計測流路ユニットに分割して構成することにより、超音波が伝搬する計測流路ユニット側において、流量を計測するための条件設定を容易にし、これにより高精度な流量計測を可能とすることができる。第1の発明は、一つの面に開口部を有し、被計測流体が流れる断面が矩形の計測流路を有する計測流路ユニットと、前記開口部を覆うセンサユニットと、前記センサユニットの流路方向に所定の距離をおいて配置した一対の超音波送受波器と、前記一対の超音波送受波器の一方から送信された超音波信号が、前記センサユニットと対向する前記計測流路ユニットの計測流路内の反射面に反射して他方に受信されるまでの伝播時間から前記被計測流体の流量を演算する流量演算部と、からなることを特徴とするもので、超音波式流量計測ユニットをセンサユニットと計測流路ユニットに分割して構成するため、超音波が伝搬する計測流路ユニット側において、流量を計測するための条件設定を容易にし、これにより高精度な流量計測を可能としたものである。第2の発明は、特に第1の発明において、前記計測流路ユニットの計測流路を、前記開口部に隣接する計測流路内面に平行な複数の仕切板で複数の流路に仕切るようにしたことを特徴とするもので、計測流路を多層に分割することにより、流れの整流を図り、超音波による計測精度の向上を可能としたものである。第3の発明は、特に第1もしくは第2の発明において、前記センサユニットにおいて、前記一対の超音波送受波器を所定の角度で保持する為の保持部を有するようにしたことを特徴とするもので、超音波送受波器の設定を精度よく行うことにより、超音波による計測精度の向上を可能としたものである。第4の発明は、被計測流体を気密に収容する装置本体と、前記装置本体への被計測流体の入口部と、前記装置本体からの被計測流体の出口部と、第1~第3のいずれかに記載された超音波式流量計測ユニットと、からなり、前記超音波式流量計測ユニットの流入口は前記装置本体内に開放され、流出口は前記出口部に接続されたことを特徴とするもので、超音波式流量計測ユニットがコンパクトに構成されていることにより、前記装置本体内での配置の自由度を高めることを可能としたものである。第5の発明は、特に第4の発明において、前記入口部と前記出口部を、前記装置本体の同一面に配置し、前記超音波式流量計測ユニットは、前記装置本体の中央部に位置すると共に、前記出口部とはL字状の接続部で接続されたことを特徴とするもので、装置本体の内部空間を有効に利用することにより、超音波式流量計測ユニットへの均一な流れの流入を可能としたものである。第6の発明は、特に第5の発明において、前記超音波式流量計測ユニットを、前記計測流路の断面の長辺側若しくは、複数の流路の断面の長辺側が被計測流体の流入方向と平行になるように配置したことを特徴とするもので、装置本体の内部空間からの流れを無理なく超音波式流量計測ユニットに導くことを可能としたものである。第7の発明は、特に第6の発明において、前記入口部に接続される遮断弁を内蔵し、前記遮断弁から前記装置本体への被計測流体の流出方向は、前記入口部への被計測流体の流入方向に対して垂直方向としたことを特徴とするもので、流入の方向性を緩和し、均一な流れが、直接、超音波式流量計測ユニットに流れ込むことを可能としたものである。以下、本発明の複数の実施の形態に係る超音波式流量計測ユニット10ついて図1~図4の図面を参照して説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。実施の形態1図1は、本発明の実施の形態1である超音波式流量計測ユニットを示す斜視図で、超音波式流量計測ユニット10は、計測流路ユニット15と、計測流路ユニット15に隣接するセンサユニット16とを備えている。図2において、計測流路ユニット15は、流体の流れ方向に沿って矩形状の断面が連続する流路本体17を有する。流路本体17は、センサユニット16に隣り合う第1側壁部21と、第1側壁部21と平行な第2側壁部22と、第1側壁部21および第2側壁部22の頂部に掛け渡された天板部23と、第1側壁部21および第2側壁部22の底部に掛け渡された底板部24とを有する。第1側壁部21は、この流路本体17を構成する一つの面であり、この部分に開口部25を有した構成となっている。第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23および底板部24は、一体に形成具体的には、樹脂成形され、第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23および底板部24で角筒状に計測流路26を形成する樹脂製の部材である。図3は図1のA-A線断面を示したもので、図3において、第1側壁部21には、第1超音波出入部32および第2超音波出入部33とが形成されている。また、第1側壁部21には、第1超音波出入部32および第2超音波出入部33を覆う超音波透過膜34が配置されている。超音波透過膜34は、超音波は透過させるが、流体の出入りは実質的に遮断する機能を有するものである。超音波透過膜34としては、一例として超音波を透過させるメッシュ部材を例示するが、これに限定するものではなく、パンチングメタル部材等の他の部材を用いることも可能である。また、計測流路26を構成する第2側壁部22の内面は、超音波の反射面35としての役割をも担う構成となっている。図4は図3のB-B線断面を示したもので、図4に示すように、流路本体17は、複数の仕切板28により、流路本体17の内部すなわち、計測流路26が複数の扁平流路27に区画されている。複数の仕切板28は、樹脂成型された流路本体17に挿入し、固定されている。流路本体17を樹脂成形する際に、第1側壁部21および第2側壁部22と一体に成形インサート成形されてもよいものである。図2、図3に示すように、センサユニット16は、流路本体17の第1側壁部21の開口部25を覆うように設けられている。また、図3に示すように、センサユニット16は、センサ保持部41により保持された第1超音波送受波器42以降、第1送受波器42と呼ぶと、第2超音波送受波器43以降、第2送受波器43と呼ぶとを備えている。第1送受波器42および第2送受波器43は、計測流路26の流れ方向に所定の距離をおいて配置されており、センサ保持部41は、第1送受波器42および第2送受波器43が、所定の角度αで保持されるように形成されている。センサユニット16を樹脂成型で作成することにより、第1送受波器42および第2送受波器43の設置される所定の距離、および、所定の角度を精度良く構成することができるものである。第1送受波器42は、第1センサパッキン45および第1センサ固定部材46でセンサ保持部41に取り付けられている。同様に、第2送受波器43は、第2センサパッキン47および第2センサ固定部材48でセンサ保持部41に取り付けられている。ついで、超音波式流量計測ユニット10で流体の流量を計測する例を図3に基づいて説明する。図3に図示したMは超音波の伝搬経路である。矢印P1、P2は、第1送受波器42から第2送受波器43に伝搬する超音波の伝搬方向を示している。また、矢印Q1、Q2は、第2送受波器43から第1送受波器42に伝搬する超音波の伝搬方向を示している。計測流路26を流れる流体の流速をV、流体中の音速をC、流体の流れる方向と超音波が反射面35で反射するまでの超音波伝搬方向とのなす角度をθとする。また、第1送受波器42と第2送受波器43間で超音波が伝搬するときの伝搬経路の有効長さをLとする。このとき、第1送受波器42から出た超音波が、第2送受波器43に到達するまでの伝搬時間t1は、下式にて示される。t1=L/CVcosθ1次に第2送受波器43から出た超音波が、第1送受波器42に到達するまでの伝搬時間t2は、下式にて示される。t2=L/C-Vcosθ2式1と式2から流体の音速Cを消去すると、下式が得られる。V=L/2cosθ1/t1-1/t23式3にて分るように、Lとθが既知なら、伝搬時間t1、およびt2を用いて、流速Vが求められる。流量演算部図示せずは、上記に示した伝搬時間t1、およびt2の計測とともに上記の演算をも実施し、まず、流速Vを求める。この流速Vに計測流路26の断面積Sと補正係数kを乗じることにより、流量Qが求められる。このように、本発明の超音波式流量計測ユニット10では、超音波式流量計測ユニット10がセンサユニット16と計測流路ユニット15とに分割して構成されるため、超音波が伝搬する計測流路ユニット15側において、流量を計測するための条件設定を容易に行うことができる。本実施形態においては、計測流路26を複数に分割し、流れの整流を図り、安定した状態で超音波の伝播時間を計測することができるため、高精度な流量計測を行うことができるものである。また、このようにセンサユニット16と計測流路ユニット15とを組合わせるだけで超音波式流量計測ユニット10が構成されるため、コンパクトな構成を実現することができる。実施の形態2次に、実施の形態2を図5、図6に基づいて説明する。なお、実施の形態2において実施の形態1の計測流路ユニット15と同一類似部材については同じ符号を付して説明を省略する。図5は第1実施例の図3に相当する断面図である。センサユニットの部分は同一ゆえ、省略している。図5に示すように、本発明の実施の形態2の計測流路ユニット70は、流路本体17に代えて流路本体71を有する。ここで示す実施の形態2の計測流路ユニット70では、流路本体71は、図6に示すように、第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23および底板部24をそれぞれ個別の部材で構成している。そして、第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23および底板部24を組み付ける際に、第1側壁部21の裏面21a側すなわち、計測流路26側から収納凹部72図5参照に超音波透過膜34を組み付けるようにしている。加えて、第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23および底板部24を組み付ける際に、複数の仕切板28を組み付けるようにしたものである。このように、第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23および底板部24をそれぞれ個別の部材で構成することで、実施の形態2の計測流路ユニット70を組み付けることができる。ここで、流路本体71は、第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23および底板部24がそれぞれ樹脂製の部材で形成されている。実施の形態2の計測流路ユニット70によれば、超音波透過膜34を計測流路26の内面に段差を有することなく設置することができる。実施の形態3次に、実施の形態3を図7に基づいて説明する。図7は超音波式流量計測ユニットを用いたガス流量計の断面図である。図7に示す本発明の実施の形態3であるガス流量計140は、被計測流体を気密に収容する箱状の装置本体141内に超音波式流量計測ユニット142を配置し、ビス等により固定されている。この場合、超音波式流量計測ユニット142は装置本体141のほぼ中央部に配置されている。超音波式流量計測ユニット142は、基本的に実施の形態1において示した超音波式流量計測ユニットと同様である。装置本体141は、内外を連通する入口パイプ143入口部および出口パイプ144出口部を有している。入口パイプ143、および出口パイプ144は同一平面状に配置されている。入口パイプ143は、装置本体141の内部において遮断弁145を介して開放されている。出口パイプ144は、装置本体141の内部において超音波式流量計測ユニット142にL字状の接続部146にて連結されている。ガス流量計140において、入口パイプ143を介して装置本体141内に流入した流体60は、超音波式流量計測ユニット142の入口から入った後、出口パイプ144を介して装置本体141の外部に排出される構成となっている。このような実施の形態3によれば、内部に配置される超音波式流量計測ユニット142がコンパクトに構成されているため、配置の自由度が大きいものである。また、超音波式流量計測ユニット142の入口が装置本体141の広い空間に開放されているため、超音波式流量計測ユニット142への流れを均一に、導くことができる。また、計測流路26の断面の長辺側、若しくは、複数の流路の断面の長辺側が被計測流体の流入方向と平行になるように配置したことにより、装置本体141の内部空間からの流れを無理なく超音波式流量計測ユニット142に導くことができる。また、遮断弁145からの流れの流出を流入方向に対して垂直に構成したため、流入の方向性を緩和し、均一な流れが、直接、超音波式流量計測ユニット142に流れ込むことを可能としたものである。なお、本発明に係る超音波式流量計測ユニット10、および計測流路ユニット15,70は、前述した第1実施形、実施の形態2に限定されるものではなく適宜変更、改良等が可能である。例えば、第1実施形、実施の形態2では、流路本体17,71を樹脂製の部材で形成した例について説明したが、これに限らないで、金属製の部材で形成することも可能である。また、すべての実施例で、計測流路ユニット15,70とセンサユニット16との間に、超音波透過膜34を配置したが、性能上必要とされない場合は、無くても良いものである。また、前記第1実施形~実施の形態3で使用した超音波式流量計測ユニット10、計測流路ユニット15,70、センサユニット16、流路本体17,71、第1側壁部21、第2側壁部22、天板部23、底板部24、計測流路26、扁平流路27、仕切板28、超音波出入部31、第1超音波出入部32、第2超音波出入部33、反射面35、超音波透過膜34、第1送受波器42および第2送受波器43等の形状や構成は例示したものに限定するものではなく適宜変更が可能である。"