"フレキシブル銅張積層板の連続生産方法であって、有機高分子重合体フィルムの表面に対して連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着のステップを行った後、連続電気銅めっきのステップを行うことを含み、前記連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着のステップが行われる設備は、イオン源と真空チャンバーを含み、前記真空チャンバー壁に真空引き口及び前記イオン源に連通するための少なくとも1つの開口が設置され、前記真空チャンバー内に巻出ローラ、張力調節機構、冷却部材、巻取ローラが設置され、前記冷却部材が前記巻出ローラと前記巻取ローラとの間に置かれ、前記張力調節機構が前記冷却部材の両側に置かれかつ前記巻出ローラと前記巻取ローラとの間に位置し、前記冷却部材が自由回転可能で中空で且つ内部に冷却媒質を通過させる少なくとも1つの冷却ローラからなり、前記冷却ローラ、前記巻出ローラ及び前記巻取ローラが互いに平行に位置し、且つ前記冷却ローラの軸方向は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向と垂直に位置し、前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向及び前記冷却ローラの軸方向はいずれも水平方向で、前記冷却ローラと前記開口が水平高さにおいて一対一に対応するか、又は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向が水平方向、前記冷却ローラの軸方向が垂直方向となり、前記開口と前記冷却ローラとが左右方向又は前後方向において一対一に対応するか、又は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向が垂直方向で、前記冷却ローラが対応して前記開口の真下又は真上に位置することを特徴とするフレキシブル銅張積層板の連続生産方法。前記設備は、さらに前記巻出ローラと前記巻取ローラに接続されるモータと、前記イオン源から放出したイオンビーム流を加速させ、前記プラズマ源と前記真空チャンバーとの間に設置される部材と、を含む請求項1に記載の方法。前記開口が6つ含まれ、前記真空チャンバーの対向する両壁にそれぞれ3つづつ設置され、前記開口の前記冷却ローラの軸方向に垂直に位置した2つの辺の寸法が30100mm、前記冷却ローラの軸の直径が50100mm、前記開口とそれに対応する前記冷却ローラの軸線との距離が50150mmであり、同一壁に位置する隣接した2つの前記開口間の距離が75200mmである請求項2に記載の方法。まず有機高分子重合体フィルムに対してプラズマ蒸着のステップを行った後、連続電気銅めっきのステップを行うことを含むか、又はまず有機高分子重合体フィルムに対して連続イオン注入のステップを行った後、連続プラズマ蒸着のステップを行い、最後に連続電気銅めっきのステップを行うことを含む請求項1-3のいずれか1項に記載の方法。前記真空チャンバーにおける真空度が2×103-5×105paで、前記有機高分子重合体フィルムの厚みが3150μmであり、前記イオン注入の条件として、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度が032mmin、イオン注入電圧が110KV、イオン注入ドーズ量が05×1013-10×1017原子cm2であることを含み、前記プラズマ蒸着の条件として、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度が032mmin、イオンビーム流が2080mAであることを含む請求項4に記載の方法。前記真空チャンバーにおける真空度が2×103-5×105paで、前記有機高分子重合体フィルムの厚みが1050μmであり、前記イオン注入の条件として、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度が032mmin、イオン注入電圧が510KV、イオン注入ドーズ量が05×1014-50×1016原子cm2であることを含み、前記プラズマ蒸着の条件として、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度が032mmin、イオンビーム流が2040mAであることを含む請求項5に記載の方法。前記プラズマ蒸着の条件として、プラズマ蒸着の電圧が100500Vであることをさらに含む請求項5に記載の方法。前記プラズマ蒸着の条件として、プラズマ蒸着の電圧が100300Vであることをさらに含む請求項6に記載の方法。前記有機高分子重合体フィルムが、ポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、液晶重合体フィルム又はポリパラバン酸フィルムである請求項5に記載の方法。前記イオン注入とプラズマ蒸着の物質がクロム、ニッケル、銅及びモリブデンのうちの1種又は2種以上の金属である請求項5に記載の方法。前記連続電気めっきのステップを行う電気めっき装置は、巻出機と、巻取機と、少なくとも1つの主電気めっき槽と、偶数対の水平設置された互いに平行の第1導電性ローラ群と、整流器と、を含み、前記主電気めっき槽には、前記偶数対の互いに平行の第1陽極群が非水平に設置され、少なくとも1つの前記第1導電性ローラ群における導電性ローラに平行の第1ガイドローラ群が設置され、該第1陽極群における各対の陽極が2つの隣接設置された陽極であり、該第1陽極群における陽極のいずれも前記整流器の陽極に接続され、前記第1ガイドローラ群のガイドローラが、前記第1陽極群の陽極の最下端水平線以下に設置されて、前記主電気めっき槽にあるフィルムの搬送をガイドし、前記第1導電性ローラ群の導電性ローラが、前記主電気めっき槽の上方の、前記第1陽極群における陽極と対応した位置に設置され、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記整流器の陰極に接続され、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが2つの隣接設置された導電性ローラであり、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記主電気めっき槽に入ったフィルムとの接触及び前記主電気めっき槽から出た前記フィルムとの接触に順に用いられ、前記電気めっき装置は、さらに少なくとも1つのプレ電気めっき槽と奇数対の水平設置された互いに平行の第2導電性ローラ群を含み、前記第2導電性ローラ群における導電性ローラが、前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行に位置し、前記プレ電気めっき槽には、前記奇数対の互いに平行の第2陽極群が非水平に設置され、且つ少なくとも1つの第2ガイドローラが設置され、該第2陽極群における各対の陽極が2つの隣接設置された陽極であり、該第2陽極群における陽極のいずれも前記整流器の陽極に接続され、前記第2ガイドローラにおけるガイドローラが前記第2導電性ローラにおける導電性ローラと平行に設置され、前記第2ガイドローラが前記第2陽極の最下端水平線以下に設置されて、前記プレ電気めっき槽にあるフィルムの搬送をガイドし、前記第2導電性ローラ群の導電性ローラが前記プレ電気めっき槽の、上方の前記第2陽極群における陽極に対応した位置に設置され、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記整流器の陰極に接続され、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが、隣接設置された導電性ローラを2つ含み、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記プレ電気めっき槽から出たフィルムとの接触及び前記プレ電気めっき槽に入った前記フィルムとの接触に順に用いられ、前記プレ電気めっき槽と前記主電気めっき槽との間に第4ガイドローラが設けられ、且つ該第4ガイドローラが前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行に設置される請求項1又は5に記載の方法。前記主電気めっき槽は2つあり、各主電気めっき槽において、前記第1ガイドローラ群のガイドローラは1つあり、前記第1陽極は垂直設置され、前記第1陽極群と前記第1導電性ローラ群の対の数はいずれも2対であり、プレ電気めっき槽において、前記第2ガイドローラ群は2つあり、前記第2陽極は垂直設置された1対の陽極であり、前記第2導電性ローラ群の対の数は1対であり、且つ前記プレ電気めっき槽の上方の、前記巻出機に近い一側に第3ガイドローラがさらに設置され、前記第3ガイドローラが前記第2導電性ローラ群における導電性ローラと平行に設置される請求項10に記載の方法。前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラがそれぞれ伝動機構に接続され、該伝動機構が前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラを同一速度で正回転又は逆回転させ、且つ運転速度が同じである請求項12に記載の方法。前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離が調節でき、前記第1導電性ローラ群の各対の2つ隣接設置された導電性ローラ間の距離が調節でき、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記プレ電気めっき槽との垂直距離が調節でき、前記第2導電性ローラ群の各対の2つ隣接設置された導電性ローラ間の距離が調節できる請求項13に記載の方法。プレ電気めっきのステップと主電気めっきのステップを含み、前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群における各対の導電性ローラの外表面が位置する最低の水平面と前記めっき液表面との垂直距離が320mmとなるように、前記第1導電性ローラ群の導電性ローラ及び前記第2導電性ローラ群の導電性ローラと、前記主電気めっき槽に入れためっき液及び前記プレ電気めっき槽に入れためっき液の表面と、の垂直距離を調節する請求項14に記載の方法。前記プレめっきの条件として、電気めっき温度が2028°C、平均陰極電流密度が1040Adm2、前記フィルムの搬送速度が1050mhであることを含み、前記主電気めっきの条件として、電気めっき温度が2028°C、平均陰極電流密度が215Adm2、前記フィルムの搬送速度が1050mhであることを含む請求項14に記載の方法。前記プレめっき条件として、電気めっき温度が2025°C、平均陰極電流密度が1525Adm2、前記フィルムの搬送速度が1530mhであることを含み、前記主電気めっきの条件として、電気めっき温度が2025°C、平均陰極電流密度が510Adm2、前記フィルムの搬送速度が1530mhであることを含む請求項16に記載の方法。前記電気めっきに用いられた電気めっき液が、硫酸銅を60150gL、硫酸を60150gL、塩酸0103mlL、及び添加剤を515mlL含む請求項16に記載の方法。電気めっき後でパッシベーションするステップをさらに含み、前記パッシベーション条件として、パッシベーション温度が2030°C、前記フィルムの搬送速度が1050mhであることを含み、前記パッシベーションに用いられるパッシベーション液がベンゾトリアゾールを025gL含む水溶液を含有する請求項17に記載の方法。本発明は、従来技術に存在している前記の技術的欠陥を克服するために、銅箔と有機高分子重合体フィルムの結合力が、コーティング法や積層法に相当するほど高いフレキシブル銅張積層板を、連続して生産可能なフレキシブル銅張積層板の連続生産方法を提供することを目的とする。本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法は、有機高分子重合体フィルムの表面に対して連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着のステップを行った後、さらに連続電気銅めっきのステップを行うことを含むことを特徴とする。前記連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着のステップが行われる設備は、イオン源と真空チャンバーを含み、前記真空チャンバー壁に真空引き口及び前記イオン源に連通するための少なくとも1つの開口が設置され、前記真空チャンバー内に巻出ローラ、張力調節機構、冷却部材、巻取ローラが設置され、前記冷却部材が前記巻出ローラと前記巻取ローラとの間に置かれ、前記張力調節機構が前記冷却部材の両側に置かれ且つ前記巻出ローラと前記巻取ローラとの間に位置し、前記冷却部材が自由回転可能で中空で且つ内部に冷却媒質を通過させる少なくとも1つの冷却ローラからなり、前記冷却ローラ、前記巻出ローラ及び前記巻取ローラが互いに平行に位置し、且つ前記冷却ローラの軸方向は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向と垂直し、前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向及び前記冷却ローラの軸方向はいずれも水平方向で、前記冷却ローラと前記開口が水平高さにおいて一対一に対応するか、又は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向が水平方向で、前記冷却ローラの軸方向が垂直方向であり、前記開口が前記冷却ローラとが左右方向又は前後方向において一対一に対応するか、又は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向が垂直方向、前記冷却ローラが対応して前記開口の真下又は真上に位置する。本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法を採用して生産された2層フレキシブル銅張積層板は、その銅フィルムと基材の結合力がスパッタリング電気めっき法で生産されたフレキシブル銅張積層板における銅フィルムと基材の結合力より遥かに高く、コーティング法及び積層法で製造されたフレキシブル銅張積層板における銅フィルムと基材の結合力に相当し、且つ銅フィルムの厚みを容易に18μm以下、例えば12μ、9μm、さらに7μm、5μmに制御することができる。本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法を採用して生産されたフレキシブル銅張積層板は、その剥離強度を測定したところ、いずれも06Nmm以上であり、最高では083Nmmまで達する。また、とりわけ重要なことは、本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法は2層フレキシブル銅張積層板の連続生産方法であって、該方法はフィルム基材の片面だけでなく、同時にフィルム基材の両面に対して作業することができ、即ち、2層片面フレキシブル銅張積層板も2層両面フレキシブル銅張積層板も連続生産できるため、生産効率が非常に高い。本発明によれば、銅箔と有機高分子重合体フィルムの結合力が、コーティング法や積層法に相当するほど高い2層フレキシブル銅張積層板を、連続して生産することができる。本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法は、ポリイミドフィルムに対して連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着のステップを行った後、次いでさらに連続電気銅めっきのステップを行うことを含むことを特徴とする。前記連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着のステップが行われる設備は、イオン源と真空チャンバーを含み、前記真空チャンバー壁に真空引き口及び前記イオン源に連通するための少なくとも1つの開口が設置され、前記真空チャンバー内に巻出ローラ、張力調節機構、冷却部材、巻取ローラが設置され、前記冷却部材が前記巻出ローラと前記巻取ローラとの間に置かれ、前記張力調節機構が前記冷却部材の両側に置かれ、かつ前記巻出ローラと前記巻取ローラとの間に位置し、前記冷却部材が自由回転可能で中空で且つ内部に冷却媒質を通過させる少なくとも1つの冷却ローラからなり、前記冷却ローラ、前記巻出ローラ及び前記巻取ローラが互いに平行に位置し、且つ前記冷却ローラの軸方向は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向と垂直し、前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向及び前記冷却ローラの軸方向はいずれも水平方向で、前記冷却ローラと前記開口が水平高さにおいて一対一に対応するか、又は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向が水平方向、前記冷却ローラの軸方向が垂直方向となり、前記開口と前記冷却ローラとが左右方向又は前後方向において一対一に対応するか、又は前記プラズマが前記真空チャンバーに入る方向が垂直方向で、前記冷却ローラが対応して前記開口の真下又は真上に位置する。冷却部材の使用によって、長期間のプラズマ蒸着及び/又はイオン注入による大量の熱量でフィルムが損傷されることが防止できる。前記冷却ローラを構成する材料は熱伝導性能が比較的よい材料、例えば金属であってもよいが、好ましくはステンレス鋼である。冷却ローラの形状としては特に限定されず、好ましくは円筒形である。前記冷却ローラの中空部分に気体又は液体、さらに固体を導入してフィルムを冷却することができ、冷却媒質は熱伝導効果のよい液体、例えば冷却油又は水であることが好ましく、コストの観点から、冷却媒質としては水が好ましい。冷却媒質としての水の温度は常温であってもよいが、優れた冷却効果を与えるために好ましい温度は010°Cである。前記巻出ローラと前記巻取ローラの材料は特に制限されず、木質、プラスチック及び金属であってもよく、好ましくは金属であり、より好ましくはステンレス鋼である。それらの形状は特に制限されず、方形、円筒形であってもよく、好ましくは円筒形である。前記巻出ローラと前記巻取ローラの形状が円筒形ではない場合に、回転しやすくするために、その一部を円筒形に製造し、又は円筒形のスリーブをはめることができる。前記巻出ローラと前記巻取ローラの寸法はその材質の性質及び必要とする負荷によって調節すればよい。前記真空チャンバー内に張力調節機構が設置されることで、フィルムを完全に展げることが保証され、フィルムへの均一な金属層の形成に有利である。フィルムに対してプラズマ蒸着及び/又はイオン注入を行う際に、フィルムを前記巻出ローラに置いて、フィルムの一端が、順に前記張力調節機構、前記冷却部材、前記張力調節機構を通過し、最後に前記巻取ローラに固定されるようにし、前記巻出ローラと前記巻取ローラを回転してフィルムの搬送速度を調節し、イオン源を起動しプラズマを真空チャンバー壁における開口を通過させることで、フィルムに対して連続プラズマ蒸着及び/又はイオン注入の作業を行える。前記の前記巻出ローラと前記巻取ローラの回転は手動又は機械で制御できる。例えば、前記巻出ローラと巻取ローラの一端を真空チャンバーの外部まで延伸し、人力で前記巻出ローラと巻取ローラを手動回転するか、又は前記巻出ローラと巻取ローラとをモータに接続してモータを起動させ、フィルムの搬送速度を調節する。好ましくは、前記設備はさらに前記巻出ローラと前記巻取ローラに接続されるモータと、前記イオン源から放出したプラズマビーム流を加速させ、前記プラズマ源と前記真空チャンバーとの間に設置される部材とを含む。該部材は電源と制御装置を含む。前記制御装置は本分野におけるいかなる適当な制御装置、例えば加速電圧の大きさを調節する調節装置であってもよい。前記設備の前記真空チャンバー内には、さらにホルダーが設置されることが好ましく、前記モータ、前記巻出ローラ、前記張力調節機構、前記巻取ローラ及び前記冷却部材はいずれも前記ホルダーに置かれる。前記設備の使用するイオン源は特に制限せず、本分野におけるいかなるイオン源であってもよいが、金属蒸気真空アークイオン源又は磁気フィルタード真空アークイオン源であることが好ましい。前記設備は、さらにモータを含み、前記巻出ローラと前記巻取ローラのいずれも前記モータに接続されることが好ましい。前記モータは前記真空チャンバー内に置いてもよく、前記真空チャンバーの外部に置いてもよく、好ましくは前記真空チャンバー内に置く。前記モータは1台であってもよいし、又は複数台であってもよく、好ましくは複数台であり、当前記モータが複数台ある場合に、フィルムに対してプラズマ蒸着及び/又はイオン注入を行う時に、これらのモータの回転速度を調節して前記巻出ローラと前記巻取ローラの回転数をマッチングさせ、且つ張力調節機構を作動させて前記巻出ローラと前記巻取ローラとの間におけるフィルムのしわ又は積み重なりの形成を防止する。本発明が提供する設備の実施した機能に基づき、他の好ましい一実施形態において、該設備が連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着を行うことをより便利にするために、前記開口の数は複数であり、好ましくは2-10である。前記開口が複数ある場合、好ましくは、前記開口と前記イオン源との間にはバルブが設置され、前記開口と前記イオン源との間のチャンネルを閉めたり開けたりすることで、真空チャンバーにおける真空度を保持したまま、陰極を迅速に取り替えることができる。前記開口はすべて前記真空チャンバーの同一側に設置されてもよいし、前記真空チャンバーの異なった側面に設置されてもよいが、好ましくは対向する両側面に設置される。異なった側面に設置された開口は平均に分配して均一に配置されてもよく、そうしなくてもよい。本発明が提供する設備が、イオン注入とプラズマ蒸着を同時に作業することを必要とする場合には、前記開口の一部がイオン注入のためのプラズマビームを通過させることに用いられ、他の一部がプラズマ蒸着のためのプラズマビームを通過させることに用いられる。本発明が提供する設備の対向両側のいずれにも開口が設置される場合に、フィルムの両面に対するプラズマ蒸着及び/又はイオン注入の作業が容易に実現できる。本発明が提供する設備の対向両側のいずれにも開口が設置され且つフィルムの片面に対するプラズマ蒸着及び/又はイオン注入の作業を必要とする場合に、前記バルブを調節して、真空チャンバー壁の一側における開口を閉めるか、または一側のイオン源を起動すれば、片面プラズマ蒸着及び/又はイオン注入が実現できる。冷却効果をよりよく発揮させるために、前記設備の冷却部材は複数本の前記冷却ローラからなる。好ましい一実施形態において、前記冷却ローラの数は2-10である。他の好ましい一実施形態において、前記冷却ローラの数は前記開口の個数と同じで2-10である。フィルムに対して、まずイオン注入を行い、次にプラズマ蒸着の作業を行うために、さらなる他の好ましい一実施形態において、前記開口は6つあり、前記真空チャンバーの対向する両壁にそれぞれ3つづつ設置される。そのうち、各壁における開口の1つはイオン注入に用いられ、各壁におけるほかの2つの隣接した開口はプラズマ蒸着に用いられ、且つ、前記イオン注入に用いられる2つの開口は前記巻出ローラに近い一端に設置され、前記プラズマ蒸着に用いられる4つの開口は前記巻取ローラに近い一端に設置される。イオン注入範囲の分布とプラズマ蒸着の厚みをより均一にするためには、フィルムの搬送方向において前記開口と前記冷却ローラの直径との割合が所定範囲内に制御されることが好ましい。また、前記開口が矩形である場合に、該矩形は2つの辺が前記冷却ローラの軸方向と平行に位置し、他の2つの辺が前記冷却ローラの軸方向に垂直に位置させたとき、本発明者の研究によれば、前記冷却ローラの軸方向に垂直に位置した2つの辺の寸法が前記冷却ローラ直径の0.3-1倍であると、フィルムにおけるイオンの注入範囲又は前記フィルムにおけるプラズマの蒸着厚みがより均一になり、フィルムに蒸着された銅張り層とフィルムとの間で比較的均一な粘着力が得られることが見出された。従って、さらに好ましい一実施形態において、前記開口は2つの辺が前記冷却ローラの軸方向に平行に位置し、他の2つの辺が前記冷却ローラの軸方向に垂直に位置する矩形であり、ただし、前記冷却ローラの軸方向に垂直に位置する2つの辺の寸法が前記冷却ローラ直径の0.3-1倍、より好ましくは0.5-0.8倍である。本発明者は、よりよいイオン注入効果とプラズマ蒸着効果を得るためには、前記開口とそれに対応する前記冷却ローラの軸線との距離と、前記冷却ローラ直径との割合を所定範囲内に制御することが好ましいことを見出し、鋭意研究を進めたところ、前記開口とそれに対応する前記冷却ローラの軸線との距離が前記冷却ローラ直径の0.5-3倍、特に前記開口とそれに対応する前記冷ローラの軸線との距離が前記冷却ローラ直径の1-2.5倍であると、イオン注入とプラズマ体蒸着の効率が比較的高いことを発見した。従って、好ましい一実施形態において、前記開口とそれに対応する前記冷却ローラの軸線との距離は前記冷却ローラ直径の0.5-3倍、より好ましくは前記開口とそれに対応する前記冷却ローラ軸線との距離は前記冷却ローラ直径の1-2.5倍である。本発明者は、異なった開口から真空チャンバーに入るイオンビームの互いの干渉を防止し、また大きすぎる応力によるフィルムに蒸着された銅張り層におけるクラックの発生を回避するために、同一壁に位置する隣接した2つの前記開口間の距離は所定範囲内に制御されることが好ましいことを見出し鋭意研究を進めたところ、同一壁に位置する隣接した2つの前記開口間の距離が前記冷却ローラ直径の0.75-4倍であると、異なった開口から真空チャンバーに入るイオンビームは干渉を発生しにくい上に、フィルムに蒸着された銅張り層のクラックも発生しにくいことを発見した。従って、さらに好ましい一実施形態において、同一壁に位置する隣接した2つの前記開口間の距離は前記冷却ローラ直径の0.75-4倍、より好ましくは1-3倍である。従来のフィルムの寸法によれば、さらに好ましい一実施形態において、前記冷却ローラの軸方向に垂直に位置した前記開口の2つの辺の寸法が30100mmであり、前記冷却ローラの直径が50100mmであり、前記開口とそれに対応する前記冷却ローラの軸線との距離が50150mmであり、同一壁に位置する隣接した2つの前記開口間の距離が75200mmである。本発明者は、基材フィルムを被覆する銅張り層とフィルムとの結合力を向上させるために、イオン注入技術とマグネトロンスパッタリング技術について数多くの比較研究を行ったところ、マグネトロンスパッタリング技術により基材フィルムに銅張り層を形成させる場合、その動作原理は、真空環境下で、イオン化したアルゴンイオンを高速でターゲット材の表面に衝突させ、ターゲット材における原子が外へスパッタリングされ、スパッタリングされた銅原子が基材フィルム表面に吸着し蒸着して、銅張りフィルムを形成するのではないかと考えた。また、本発明者は、マグネトロンスパッタリング自身の技術的特徴に鑑み、スパッタリングされた銅原子に含まれたエネルギーが非常に低いために、それらが基材フィルム表面のみに吸着し蒸着して、形成された銅フィルムと基材の結合力が比較的低くなってしまうのではないかと考えた。以上の思考過程に基づき、本発明者は、基材フィルムに被覆した銅張り層とフィルムとの結合力を向上させるには、基材フィルムに蒸着しようとする銅原子又は銅イオンの運動速度を速めることが必要であると考え、新規な技術、即ちプラズマ蒸着及び/又はイオン注入技術をフィルムにおける金属フィルム蒸着層に初めて応用して2層フレキシブル銅張積層板を製造する技術の使用を試みた。プラズマ蒸着技術を用いる場合、プラズマが所定速度で運動して基材フィルムに接触して結合され、これによって基材フィルムに蒸着された金属フィルム蒸着層と基材フィルムとの結合力を増加させることができる。特にイオン注入技術を用いる場合、銅原子が強制的に基材フィルムの内部に注入される。これは、基材フィルムに数多くの基礎杭を打ち込むことに相当し、イオン注入直後、プラズマ蒸着の方法によりフィルムに、基礎杭に接続された金属フィルム層を1層蒸着して基材との結合力に優れた緻密な金属フィルム層を形成する。これによって、基材フィルムに蒸着された金属フィルム層と基材フィルムとの結合力をさらに増加させ、得られた金属フィルム層と基材フィルムとの結合力を、マグネトロンスパッタリングによって得られた金属フィルム層と基材フィルムとの結合力よりも遥かに高くすることができる。好ましい一実施形態において、本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法には、まずプラズマ蒸着のステップを行い、次に連続電気銅めっきのステップをさらに行うことを含む。本発明者は、蒸着された銅張りフィルム層と基材フィルムとの粘着性をさらに向上させるためには、フィルムに対してまずイオン注入を行い、次にプラズマ蒸着をさらに行うことによって、フィルムに蒸着された金属フィルム層とフィルムとの結合力が増大することを見出した。従って、さらなる好ましい一実施形態において、該方法は、有機高分子重合体フィルムに対してまずイオン注入し、次にプラズマ蒸着し、最後に連続電気銅めっきをするステップを含む。本発明者は、本研究の過程で、基材フィルムを破壊せずに高い結合力を得るためには、プラズマ蒸着及び/又はイオン注入の条件をさらに最適化する必要があることを見出し、鋭意研究を進めたところ、以下の条件でイオン注入とプラズマ蒸着を行うことによって、得られた両面フレキシブル銅張積層板における銅張り層とフィルム基層との結合力が比較的高くなることを見出した。前記条件としては、前記真空チャンバーにおける真空度は本分野で用いられる真空度であってもよいが、好ましくは2x103-5x105paであり、前記有機高分子重合体フィルムの厚みは3150μm、好ましくは1050μmであり、前記イオン注入の条件として、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度が032mmin、イオン注入電圧が110KV、好ましくは510KV、イオン注入ドーズ量が05×1013-1×1017原子cm2、好ましくは05×1014-50×1016原子cm2であることを含み、前記プラズマ蒸着の条件として、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度が032mmin、イオンビーム流が2080mA、好ましくは2070mA、より好ましくは2040mAであることを含む。特に前記イオン注入とプラズマ蒸着に用いられる設備は、前記開口が矩形で、前記冷却ローラの軸方向に垂直に位置する辺の寸法が30100mm、前記冷却ローラ直径が50100mm、前記開口とそれに対応する前記冷却ローラ軸線との距離が50150mm、同一壁に位置する隣接した2つの前記開口間の距離が75200mmである場合、この条件下でイオン注入とプラズマ蒸着をしてなるプラズマ銅張り層は厚みが約20200nmで、銅張り層と基材フィルムとの結合力に優れている。このようにしてイオン注入の深さが約1010nmになり、注入ドーズ量が必要に応じて多くとも1017原子cm2レベルに達する。これは、基材フィルムに数多くの基礎杭を打ち込むことに相当する。その直後、プラズマ蒸着方法で、その表面に薄い銅層を1層蒸着して基材フィルム表面に蒸着された銅層と、これらの基材フィルム内部にはめ込まれた基礎杭とを結合させることで、蒸着された金属フィルム層と基材フィルム表面との結合力は大幅に向上される。蒸着された金属フィルム層と基材フィルムとの結合力をさらに向上させるために、さらに好ましい一実施形態において、前記真空チャンバーにおける真空度が2×103-5×105paで、前記有機高分子重合体フィルムの厚みが1050μmであり、前記イオン注入の条件として、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度を032mmin、イオン注入電圧を510KV、イオン注入ドーズ量を05×1014-50×1016原子cm2であることを含み、前記プラズマ蒸着の条件としては、前記有機高分子重合体フィルムの搬送速度が032mmin、イオンビーム流が2040mAであることが含まれる。プラズマ蒸着による金属フィルム層と基材フィルムとの結合力を向上させるために、本発明者は、イオンビームが真空チャンバーに入っている間に負電圧をわずかに印加してイオンビームの搬送速度を増大させることで、より優れた結合力が得られることを発見した。従って、好ましい一実施形態において、前記プラズマ蒸着の条件として、さらにプラズマ蒸着電圧が100500V、好ましくは100300Vであることを含む。前記有機高分子重合体フィルムは本分野におけるいかなる有機高分子重合体フィルム、例えば、ポリイミドフィルム、ポリフェニレンエーテルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスルホンフィルム、ポリエーテルスルホンフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエーテルイミド、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエーテルエーテルケトンフィルム、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレートフィルム、液晶重合体フィルム又はポリパラバン酸フィルム等の有機高分子重合体フィルムであってもよい。ポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、液晶重合体フィルム又はポリパラバン酸フィルム等のフレキシブル銅張積層板の誘電材料として好適なフィルムが好ましい。さらなる好ましい一実施形態において、前記イオン注入とプラズマ蒸着の物質はクロム、ニッケル、銅及びモリブデンのうちの1種又は2種以上の金属である。本発明において、前記連続電気めっきのステップは従来の連続電気銅めっきが行なえる電気めっき装置中で行ってもよく、例えば中国特許公報CN101350315Aで言及した連続電気めっき装置中で行えればよいが、以下の電気めっき装置中で行うことが好ましい。該電気めっき装置は、巻出機と、巻取機と、少なくとも1つの主電気めっき槽と、偶数対の水平設置された互いに平行の第1導電性ローラ群と、整流器と、を含み、前記主電気めっき槽には、前記偶数対の互いに平行の第1陽極群が非水平に設置され、少なくとも1つの前記第1導電性ローラ群における導電性ローラに平行の第1ガイドローラ群が設置され、該第1陽極群における各対の陽極が2つの隣接設置された陽極であり、該第1陽極群における陽極のいずれも前記整流器の陽極に接続され、前記第1ガイドローラ群のガイドローラが前記第1陽極群の陽極の最下端水平線以下に設置されて前記主電気めっき槽にあるフィルムの搬送をガイドし、前記第1導電性ローラ群の導電性ローラが前記主電気めっき槽の上方の、前記第1陽極群における陽極と対応した位置に設置され、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記整流器の陰極に接続され、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが2つの隣接設置された導電性ローラであり、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが、前記主電気めっき槽に入ったフィルムとの接触及び前記主電気めっき槽から出た前記フィルムとの接触に順に用いられる。本発明において、前記整流器の陰極が前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラに接続され、他の端がモータ又は外部電力網に接続される。前記整流器の陰極が前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラに接続される方式としては、前記整流器の陰極が各対の導電性ローラのいずれか1つの導電性ローラのみに接続されてもよく、各対の導電性ローラの2つの導電性ローラにともに接続されてもよく、それによって前記フィルムの片面又は両面に対する連続電気めっきが実現される。前記フィルムの片面又は両面に対する連続電気めっきを実現するには、他の方式を採用できることはいうまでもない。例えば、前記整流器の陰極が前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラの2つの導電性ローラにともに接続される場合に、前記整流器のスイッチを制御することで片面両面の電気めっきを実現するか、又は前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラの2つの導電性ローラ間の距離を調節することにより各対の導電性ローラの2つの導電性ローラにおける1つ又は2つを、それらの間を通過するフィルムの片面又は両面に接触させる。また、フィルムの両面に対して同時に電気めっきする場合、前記フィルムの両面に蒸着される銅張り層の厚みを制御するためには、前記整流器から出力する電流強度を制御することにより、前記フィルムの両面に蒸着された銅張り層の厚みを同一にし又は相違させてもよい。本発明において、前記第1導電性ローラ群に含まれる導電性ローラの対の数、前記第1陽極群に含まれる陽極対の数及び前記第1ガイドローラ群に含まれるガイドローラの数は必要に応じて適宜設定される。前記第1導電性ローラ群、前記第1陽極群の陽極と前記第1ガイドローラ群のガイドローラは1つまたは2つ以上の前記主電気めっき槽に位置することができる。前記第1ガイドローラ群のガイドローラが前記主電気めっき槽においてフィルムの搬送をガイドできるように、前記第1ガイドローラ群のガイドローラの数は必要に応じて、及び前記第1ガイドローラ群のガイドローラの直径寸法によって適宜設定することができる。例えば、前記第1ガイドローラ群のガイドローラの直径寸法が大きい場合に、前記第1陽極群の第1対と第2対の陽極間に前記第1ガイドローラ群のガイドローラを1つ設置し、前記第1陽極群の第3対と第4対の陽極間に前記第1ガイドローラ群のガイドローラを1つ設置することができ、後も同様である。前記第1ガイドローラ群のガイドローラの直径寸法が小さい場合に、前記第1陽極群の第1対と第2対の陽極間に前記第1ガイドローラ群のガイドローラを2つ設置し、前記第1陽極群の第3対と第4対の陽極間に前記第1ガイドローラ群のガイドローラを2つ設置することができ、後も同様である。前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離が一定に設定されてもよいし、調節可能に設定されてもよい。好ましい一実施形態において、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離が調節可能に設定されることにより、必要に応じて前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離を調節することができる。前記第1導電性ローラ群の各対の隣接設置された2つの導電性ローラ間の距離は一定に設定されてもよいし、調節可能に設定されてもよい。好ましい一実施形態において、前記第1導電性ローラ群の各対の隣接設置された2つの導電性ローラ間の距離は調節でき、必要に応じて前記隣接設置された2つの導電性ローラ間の距離を適宜調節することが、利便性の観点から好ましい。前記電気めっき装置を用いてフィルムを連続電気銅めっきする際に、まずフィルムロールを前記巻出機に置いて、フィルムの一端が、順に前記第1導電性ローラ群の第1対の導電性ローラ間、前記第1陽極の第1対の陽極間、前記第1ガイドローラ群のガイドローラ、前記第1陽極の第2対の陽極間などを通過し、最後に前記巻取機に巻き付けられるようにする。或いは、まずフィルムロールを前記巻出機に置いて、フィルムの一端が、主電気めっき槽に入って、前記第1ガイドローラ群のガイドローラを通過した後、順に前記第1陽極の第1対陽極間、前記第1導電性ローラ群の第1対の導電性ローラ間、前記第1ガイドローラ群のガイドローラ、前記第1陽極の第2対の陽極間などを通過し、最後に前記巻取機に巻き付けるようにする。手動又は機械的な力によって前記巻出機と前記巻取機の回転を推進し、フィルムを連続的に走行させる。好ましくは、前記巻取機と前記巻出機はそれぞれモータに接続され、前記モータの回転速度を調節することによって、前記巻取機と前記巻出機をほとんど同一速度で回転させることができる。好ましい一実施形態において、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラの2つの導電性ローラは、それぞれの1つの側面がそれらの中間を通過したフィルムの両面にそれぞれ接触し、フィルムの両面を同時に電気めっきする。好ましい一実施形態において、前記主電気めっき槽の上方には前記第1ガイドローラ群のガイドローラに平行の第2ガイドローラ群が設置され、且つ前記第1ガイドローラ群のガイドローラと前記第2ガイドローラ群のガイドローラとが交互的に前記第1導電性ローラ群における隣接した2対の導電性ローラ間毎に位置され、フィルムの搬送により好適である。前記第1ガイドローラ群のガイドローラと前記第2ガイドローラ群のガイドローラの直径が同一でもよく、又は異なってもよい。さらに好ましい一実施形態において、前記第1ガイドローラ群と前記第2ガイドローラ群とのガイドローラの直径が同一である。さらに好ましい一実施方式において、前記主電気めっき槽の寸法が大きい場合に、前記第1ガイドローラ群と前記第2ガイドローラ群のガイドローラの直径は同じ大きさの直径で、且つ前記第1導電性ローラ群における隣接した2対の導電性ローラ間毎に、前記第1ガイドローラ群と前記第2ガイドローラ群のガイドローラの1つが交互的に現れられ、このようにして装置をより簡素化させることができる。さらに好ましい一実施形態において、前記主電気めっき槽の寸法が小さい場合に、前記第1ガイドローラの直径が小さく前記第2ガイドローラの直径が大きく、且つ前記第1導電性ローラ群における隣接した2対の導電性ローラ間毎に、前記第1ガイドローラの2つと前記第2ガイドローラの1つが交互的に現れる。好ましい一実施形態において、前記主電気めっき槽が2~8つあることによって、前記主電気めっき槽におけるめっき液の成分を制御することで異なった電気めっきの目的、例えば異なった銅張り層のめっきを柔軟的に実現できる。さらなる好ましい一実施形態において、前記主電気めっき槽が2~8つあり、且つ隣接した2つの前記主電気めっき槽間に第3ガイドローラが設けられ、且つ前記第3ガイドローラと前記第1導電性ローラ群における導電性ローラとが平行に位置するように設置される。このような好ましい実施形態は、異なった主電気めっき槽間におけるフィルム搬送の場面で有利である。好ましい一実施形態において、前記主電気めっき槽が2つあり、各前記主電気めっき槽の前記第1ガイドローラ群のガイドローラが1つあり、前記第1陽極群の陽極が垂直して設置され、各前記主電気めっき槽の前記第1陽極群の陽極及び前記第1導電性ローラ群の導電性ローラはいずれも2つある。好ましい一実施形態において、前記巻取機と前記巻出機はそれぞれモータに接続され、前記モータの回転速度を調節することによって前記巻取機と前記巻出機の回転速度を制御する。フィルムの搬送制御を高速で行うために、好ましい一実施形態において、前記第1導電性ローラ群の各導電性ローラはそれぞれ伝動機構に接続され、該伝動機構は前記第1導電性ローラ群の各導電性ローラを同じ速度で正回転又は逆回転させることができる。前記伝動機構としては、本技術分野で通常用いられる伝動機構、例えばチェーンと歯車であってもよいが、フィルムの搬送制御を高速で行うための伝動機構としては、モータにより駆動されるウォームギヤ機構がより好ましい。好ましくは本発明に係る電気めっき装置はさらに少なくとも1つのプレ電気めっき槽と、奇数対の水平設置された互いに平行に位置した第2導電性ローラ群を含み、前記第2導電性ローラ群における導電性ローラが前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行し、前記プレ電気めっき槽には、前記奇数対の互いに平行に位置した第2陽極が非水平に設置され、且つ少なくとも1つの第2ガイドローラが設置され、該第2陽極群における各対の陽極が2つの隣接設置された陽極であり、該第2陽極群における陽極のいずれも前記整流器の陽極に接続され、前記第2ガイドローラにおけるガイドローラが前記第2導電性ローラにおける導電性ローラと平行に位置するように設置され、前記第2ガイドローラが前記第2陽極の最下端水平線以下に設置されて前記プレ電気めっき槽にあるフィルムの搬送をガイドする。前記第2導電性ローラ群の導電性ローラが前記プレ電気めっき槽の上方の、前記第2陽極群における陽極に対応した位置に設置され、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記整流器の陰極に接続され、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが隣接設置された導電性ローラを2つ含み、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが、前記プレ電気めっき槽から出たフィルムとの接触及び前記プレ電気めっき槽に入った前記フィルムとの接触に順に用いられる。前記プレ電気めっき槽と前記主電気めっき槽との間には第4ガイドローラが設けられ、且つ該第4ガイドローラが前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行に位置するように設置される。プレ電気めっき槽における電流密度の分布が不均一であるため、陽極の最上端からその最下端まで、電流密度が順に低下していく。フィルムでは、前記第1第2陽極の電流密度が低い一端から電気めっきが始められる。その箇所における電流密度が低いため、電流密度の分布の不均一な銅張り薄層に被覆されたフィルムでは、火花やフィルムの損傷が生じにくい。好ましい一実施形態において、フィルムの両面を同時に処理するように、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラの2つの導電性ローラは、それぞれの1つの側面がそれらの中間を通過するフィルムの両面にそれぞれ接触する。好ましい一実施形態において、プレ電気めっき槽の構造を簡素化させるために、前記第2ガイドローラ群のガイドローラが2つであり、前記第2陽極群の陽極が垂直設置された1対の陽極であり、前記第2導電性ローラ群の導電性ローラの対の数が1対である。好ましい一実施形態において、前記プレ電気めっき槽の上方に前記第2ガイドローラと平行に第5ガイドローラが設置され、且つ前記第2ガイドローラと前記第5ガイドローラが交互的に前記第2導電性ローラ群における隣接した2対の導電性ローラ間毎に位置され、フィルムの搬送に有利である。フィルムを高速度で搬送させるために、好ましい一実施形態において、前記第1導電性ローラ群及び/又は前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラはそれぞれ伝動機構に接続され、該伝動機構は前記第1導電性ローラ群及び/又は前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラを同一速度で正回転又は逆回転させることができ、運転速度数が同じである。前記伝動機構として、本分野のいかなる本発明に用いられる伝動機構、例えばチェーンと歯車であってもよいが、フィルムの搬送速度をよりよく制御するために、モータにより駆動されるウォームギヤ機構が好ましい。前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離が一定に設置されてもよいし、調節可能に設置されてもよい。好ましい一実施形態において、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離が調節可能に設置されることにより、必要に応じて前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離を調節する。前記第2導電性ローラ群の各対の2つの隣接設置された導電性ローラ間の距離が一定に設置されてもよく、調節可能に設置されてもよい。好ましい一実施形態において、前記第2導電性ローラ群の各対の2つの隣接設置された導電性ローラ間の距離が調節でき、必要に応じて前記隣接設置された2つの導電性ローラ間の距離を調節することが便利になる。好ましい一実施形態において、前記プレ電気めっき槽の上方の、前記巻出機に近い一側には、さらに第3ガイドローラが前記第2導電性ローラ群における導電性ローラと平行に位置するように設置され、フィルムの搬送に有利である。電気めっき後、フィルムにおけるめっき液を清浄するために、好ましい一実施形態において、該電気めっき装置はさらに水洗槽を少なくとも1つ含み、前記水洗槽に少なくとも1つの第4ガイドローラが設置され、且つ前記主電気めっき槽と前記水洗槽との間に第6ガイドローラが設置され、前記第4ガイドローラと前記第6ガイドローラがいずれも前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行に位置するように設置される。銅の酸化を防止するために、好ましい一実施形態において、該電気めっき装置は水洗槽を2つ有し、且つ前記2つの水洗槽の間にパッシベーション槽が1つ設置され、前記パッシベーション槽に少なくとも1つの第5ガイドローラが設置され、且つ前記水洗槽と前記パッシベーション槽との間に第7ガイドローラが設けられ、前記第5ガイドローラと前記第7ガイドローラがいずれも前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行に位置するように設置される。銅張り層における水を出来るだけ早く乾燥させるために、好ましい一実施形態において、該電気めっき装置はさらに最後の1つの前記水洗槽後にオーブンが設置され、該オーブンと前記水洗槽との間に第8ガイドローラが設置され、前記第8ガイドローラが前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行に位置するように設置される。好ましくは前記電気めっき装置は前記主電気めっき槽とプレ電気めっき槽を含み、即ち、該電気めっき装置は巻出機と、巻取機と、少なくとも1つの主電気めっき槽と、偶数対の水平設置された互いに平行の第1導電性ローラ群と、整流器と、を含み、前記主電気めっき槽には、前記偶数対の互いに平行の第1陽極群が非水平に設置され、少なくとも1つが前記第1導電性ローラ群における導電性ローラに平行の第1ガイドローラが設置され、該第1陽極群における各対の陽極が2つの隣接設置された陽極であり、該第1陽極群における陽極のいずれも前記整流器の陽極に接続され、前記第1ガイドローラが前記第1陽極群の陽極の最下端水平線以下に設置されて前記主電気めっき槽にあるフィルムの搬送をガイドし、前記第1導電性ローラ群の導電性ローラが前記主電気めっき槽の上方の、前記第1陽極群における陽極に対応した位置に設置され、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記整流器の陰極に接続され、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが2つの隣接設置された導電性ローラであり、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記主電気めっき槽に入ったフィルムとの接触及び前記主電気めっき槽から出た前記フィルムとの接触に順に用いられ、前記電気めっき装置はさらに少なくとも1つのプレ電気めっき槽と奇数対の水平設置された互いに平行の第2導電性ローラ群を含み、前記第2導電性ローラ群における導電性ローラが前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行し、前記プレ電気めっき槽には、前記奇数対の互いに平行の第2陽極が非水平に設置され、且つ少なくとも1つの第2ガイドローラが設置され、該第2陽極群における各対の陽極が2つの隣接設置された陽極であり、該第2陽極群における陽極のいずれも前記整流器の陽極に接続され、前記第2ガイドローラ群におけるガイドローラが前記第2導電性ローラにおける導電性ローラと平行に設置され、前記第2ガイドローラが前記第2陽極の最下端水平線以下に設置されて前記プレ電気めっき槽にあるフィルムの搬送をガイドし、前記第2導電性ローラ群の導電性ローラが前記プレ電気めっき槽の上方の、前記第2陽極群における陽極に対応した位置に設置され、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記整流器の陰極に接続され、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが隣接設置された導電性ローラを2つ含み、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラが前記プレ電気めっき槽から出たフィルムとの接触及び前記プレ電気めっき槽に入った前記フィルムとの接触に順に用いられ、前記プレ電気めっき槽と前記主電気めっき槽との間に第4ガイドローラが設けられ、且つ該第4ガイドローラが前記第1導電性ローラ群における導電性ローラと平行に設置される。好ましい一実施形態において、前記主電気めっき槽は2つであり、前記第1ガイドローラは1つであり、前記第1陽極は垂直設置され、前記第1陽極群と前記第1導電性ローラ群の対の数はいずれも2対であり、前記第2ガイドローラは2つであり、前記第2陽極は垂直設置された1対の陽極であり、前記第2導電性ローラ群の対の数は1対であり、且つ前記プレ電気めっき槽の上方の、前記巻出機に近い一側に第3ガイドローラがさらに設置され、前記第3ガイドローラが前記第2導電性ローラ群における導電性ローラと平行に設置される。さらに好ましい一実施形態において、前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラはそれぞれ伝動機構に接続され、該伝動機構は前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラを同一速度で正回転又は逆回転させることができる。さらに好ましい一実施形態において、前記第1導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記主電気めっき槽との垂直距離が調節でき、前記第1導電性ローラ群の各対の2つの隣接設置された導電性ローラ間の距離が調節でき、前記第2導電性ローラ群の各対の導電性ローラと前記プレ電気めっき槽との垂直距離が調節でき、前記第2導電性ローラ群の各対の2つの隣接設置された導電性ローラ間の距離が調節できる。好ましい一実施形態において、該方法はプレ電気めっきステップと主電気めっきステップを含み、前記第1導電性ローラ群の導電性ローラ及び前記第2導電性ローラ群の導電性ローラと、前記主電気めっき槽に入れためっき液表面及び前記プレ電気めっき槽に入れためっき液表面と、の垂直距離を調節することによって、前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群における各対の導電性ローラの外表面が位置する最低の水平面と前記めっき液表面との垂直距離が320mmとなる。この実施形態によって伝導過程における電流損失を低下させることができる。さらに好ましい一実施形態において、前記プレめっきの条件としては、本分野において通常用いられるいかなるプレめっき条件であってもよいが、好ましくは電気めっき温度が2028°C、平均陰極電流密度が1040Adm2、好ましくは1525Adm2、前記フィルムの搬送速度が1050mh、好ましくは1530mhであることを含む。また、前記主電気めっきの条件としては、本分野において通常用いられるいかなる主めっきの条件であってもよいが、好ましくは、電気めっき温度が2028°C、平均陰極電流密度が215Adm2、好ましくは510Adm2、前記フィルムの搬送速度が1050mh、好ましくは1530mhであることを含む。この実施形態によって電気めっきを行うことにより、前記フィルム上に蒸着された銅張り層は非常に均一でかつ緻密になる。さらに好ましい一実施形態において、前記プレめっきの条件としては、電気めっき温度が2025°C、平均陰極電流密度が1525Adm2、前記フィルムの搬送速度が1530mhであることを含む。また、前記主電気めっきの条件としては、電気めっき温度が2025°C、平均陰極電流密度が510Adm2、前記フィルムの搬送速度が1530mhであることを含む。該条件下で電気めっきを行うことにより、前記フィルム上に蒸着された銅張り層はより均一でかつ緻密になる。本発明の一実施形態において、前記電気めっきに用いられる電気めっき液としては、本分野において通常用いられるいかなる電気銅めっき液であってもよいが、好ましくは硫酸銅を60150gL、硫酸を60150gL、塩酸を0103mlL、及び添加剤を515mlL含む。前記添加剤は本分野において通常用いられるいかなる添加剤であってもよいが、例えばアトテック化学有限公司より市販される商品名が210の酸性光沢銅めっき添加剤が好ましく、蒸着された銅張り層に優れた平坦性と柔靭性を付与する。主めっき槽とプレめっき槽におけるめっき液は同一であってもよく、又は異なっていてもよいが、異なっている方がより好ましい。本発明のさらなる一実施形態において、該方法はさらに電気めっき後でパッシベーションを行うステップを含み、前記パッシベーションの条件として、本分野において通常用いられるいかなるパッシベーション条件であってもよいが、好ましくはパッシベーション温度が2030°C、前記フィルムの搬送速度が1050mhであることを含む。また、前記パッシベーションに用いられるパッシベーション液は、本分野において通常用いられるいかなるパッシベーション液であってもよいが、ベンゾトリアゾールを025gL含有する水溶液、例えば広州亮的化学工業有限公司のLT02防錆パッシベーション剤が好ましい。前記フィルム電気めっきの後に清浄を行うための清浄用溶液としては、本分野において通常用いられるいかなる溶液であってもよいが、水が好ましい。フィルムを清浄後、自然乾燥してもよいし、本分野において通常用いられるフィルムの乾燥温度で乾燥してもよいが、100120°Cで乾燥するのが好ましい。以下、実施例により本発明を詳細に説明する。本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法における連続イオン注入及び/又はプラズマ蒸着のステップは、フィルムのイオン注入とプラズマ蒸着する設備で行われる。該設備のイオン源が磁気フィルタード真空アークイオン源であり、真空チャンバー部8の構成は図2に示す通りである。真空チャンバー8には、巻出ローラ81と、トランジションローラ82と、張力調節ローラ83と、牽引輪84と、巻取ローラ85と、冷却ローラ86と、イオン注入に用いられる開口87と、プラズマ蒸着に用いられる開口88と、真空引き口9とが設けられる。前記イオン注入に用いられる開口87とプラズマ蒸着に用いられる開口88とは、それぞれ磁気フィルタード真空アークイオン源に接続され、開口87及び開口88とBとの間に前記イオン源から発するイオンビーム流を加速するための電圧を印加する。前記開口87,88は矩形で、前記冷却ローラ86の軸方向に垂直に位置する辺の寸法が50mm、他の方向の辺の寸法が265mmである。前記冷却ローラ86の軸の直径が70mmで、前記開口87,88とそれに対応する前記冷却ローラ86の軸線との距離が85mmであり、同一壁に位置する隣接した2つの前記開口87,88間の距離が105mmである。好ましい一実施形態において、本発明が提供する方法における前記連続電気めっきのステップが行われる設備は、図3に示すように、プレ電気めっき槽A、主電気めっき槽B、主電気めっき槽C、水洗槽D、パッシベーション槽E及び水洗槽F;巻出機1、巻取機2、第4ガイドローラ3、第3ガイドローラ4、第6ガイドローラ5、第7ガイドローラ6、第7ガイドローラ7、第8ガイドローラ8、第1ガイドローラ群9、第1ガイドローラ群10、巻取機2と第8ガイドローラ8の間に有するオーブン26;第2ガイドローラ11、第4ガイドローラ12、第4ガイドローラ14、第5ガイドローラ13、第3ガイドローラ15;第2陽極群16、第1陽極群17、第1陽極群18、第1陽極群19、第1陽極群20;第2導電性ローラ群21、第1導電性ローラ群22、第1導電性ローラ群23、第1導電性ローラ群24及び第1導電性ローラ群25を含む。図4に示すように、本発明が提供する連続電気めっき装置にはさらに前記第1陽極群、第2陽極群、第1導電性ローラ及び第2導電性ローラに接続された整流器a、整流器b、整流器c、及び整流器dを含む。該連続電気めっき装置はさらに前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラにそれぞれ接続された伝動機構を含み、該伝動機構は前記第1導電性ローラ群と前記第2導電性ローラ群の各導電性ローラを同一速度で正回転又は逆回転させることができる。前記伝動機構はモータにより駆動されるウォームギヤ機構である。なお、該電気めっき装置は、さらに前記巻取機と前記巻出機にそれぞれ接続されたモータを含む。電気めっきにあたっては、図3に示すように、処理しようとするフィルムを巻出機1に置き、次にフィルムの一端を順に第3ガイドローラ15、第2ガイドローラ11、第2導電性ローラ群21、第4ガイドローラ3、第1導電性ローラ群22、第1ガイドローラ群9、第1導電性ローラ群23、第3ガイドローラ4、第1導電性ローラ群24、第1ガイドローラ群10、第1導電性ローラ群25、第6ガイドローラ5、第4ガイドローラ12、第7ガイドローラ6、第5ガイドローラ13、第7ガイドローラ7、第4ガイドローラ14、第8ガイドローラ8、オーブン26を通過させて最後にそれを巻取機2に巻き付ける。電気めっき槽と各主電気めっき槽に電気めっき液と電気めっき液を注入し、各モータを起動させ、モータの回転速度を調節してフィルムを必要な速度で搬送させる。実施例1ポリイミドフィルムの各側面に25nmの銅フィルムを蒸着した後、12μm厚の銅層を電気めっき蒸着する。実験過程:ポリイミドフィルムのロールを1本巻出ローラに置き、PIフィルムの一端を順に張力調節機構、全部の冷却ローラ、張力調節機構を通過させて最後に巻取装置に固定させる。冷却ローラに010°Cの冷却水を導入し、真空度が5×104paになるまで真空引きする。イオン源をオープンして加速電圧を起動させる。PIフィルムの搬送速度を2mminにする。イオン注入と蒸着:すべて銅イオン源を用いる。イオン注入電圧が5KV、注入ドーズ量が3×1014原子cm2であり、プラズマ蒸着電圧が02KV、イオンビーム流が40mAである。フィルムにおける銅フィルムの厚みが約25nmの銅張り層が得られる。、電気めっき:プレ電気めっき槽において、プレめっき液の温度が25°C、平均陰極電流密度が15Adm2であり、プレめっき液が、硫酸銅6gL、硫酸100gL、塩酸02mlL、アトテック210電気めっき入浴ソリューション10mlL、アトテック210A08mlLと、アトテック210B06mlLとを含む。主電気めっき槽において、めっき液の温度が25°C、平均陰極電流密度が39Adm2であり、めっき液が、硫酸銅60gL、硫酸100gL、塩酸015mlL、アトテック210電気めっき入浴ソリューション10mlL、アトテック210A08mlL、アトテック210B06mlLを含む。フィルムの搬送速度が10mhである。電気めっき終了後、フィルムを水が入った水洗槽を通過させて水洗した後、パッシベーション槽でパッシベーションし、その後、さらに水が入った水洗槽で水洗し、乾燥器によって、100°Cの温度でフィルムを乾燥させる。前記パッシベーションの条件として、パッシベーション温度が25°C、フィルムの搬送速度が10mh、パッシベーションが02gLのベンゾトリアゾールを含む水溶液であることを含む。厚みが12μmの銅層を電気めっき蒸着し、銅層が比較的緻密でなめらかでかつ平坦である。実施例2ポリイミドフィルムの各側面に200nmの銅フィルムを蒸着した後、厚みが12μmの銅フィルムを電気めっき蒸着する。PIフィルムの搬送速度が03mminである以外に、他の作業はいずれも実施例1におけるステップと同様である。イオン注入と蒸着:ずべて銅イオン源を用いた。イオン注入電圧が6KV、注入ドーズ量が1×1016原子cm2であり、プラズマ蒸着電圧が03KV、イオンビーム流が70mAである。得られたフィルムにおける銅フィルムの厚みが約200nmである。電気めっき:プレ電気めっき槽において、プレめっき液の温度が20°C、平均陰極電流密度が25Adm2であり、プレめっき液が硫酸銅150gL、硫酸60gL、塩酸01mlL、電気めっき入浴ソリューション5mlL、アトテック210A05mlL、アトテック210B:03mlLを含む。主電気めっき槽において、電気めっき液の温度が20°C、平均陰極電流密度が15Adm2であり、めっき液が硫酸銅120gL、硫酸80gL、塩酸015mlL、アトテック210電気めっき入浴ソリューション7mlL、アトテック210A06mlL、及びアトテック210B05mlLを含む。フィルムの搬送速度が50mhである。電気めっき終了後、フィルムを水が入った水洗槽を通過させて水洗した後、パッシベーション槽でパッシベーションし、その後、さらに水が入った水洗槽を通過させて水洗し、乾燥器によって、110°Cの温度でフィルムを乾燥させる。前記パッシベーションの条件として、パッシベーション温度が20°C、フィルムの搬送速度が50mh、パッシベーション液が1gLのベンゾトリアゾールを含む水溶液であることを含む。厚みが7μmの銅層を電気めっき蒸着し、銅層は非常に緻密でなめらかで平坦である。実施例3ポリイミドフィルムの各側面に100nmの金属フィルムを蒸着する。実験過程:PIフィルムの搬送速度が04mminである以外に、他の作業はいずれも実施例2におけるステップと同様である。イオン注入と蒸着:4つのニッケルイオン源と2つの銅イオン源を用いた。ニッケルイオン注入電圧が6KV、注入ドーズ量が3×1014原子cm2である。その直後、ニッケルと銅をプラズマ蒸着する負電圧がいずれも02KV、イオンビーム流がいずれも40mAである条件下で、ニッケルのプラズマ蒸着と銅のプラズマ蒸着を行った。得られたフィルムにおける金属フィルムの厚みが約100nmである。電気めっき:プレ電気めっき槽において、プレめっき液の温度が22°C、平均陰極電流密度が30Adm2であり、プレめっき液が、硫酸銅150gL、硫酸80gL、塩酸02mlL、電気めっき入浴ソリューション7mlL、アトテック210A07mlL、アトテック210B05mlLを含む。主電気めっき槽において、電気めっき液の温度が22°C、平均陰極電流密度が17Adm2であり、めっき液が、硫酸銅100gL、硫酸100gL、塩酸02mlL、電気めっき入浴ソリューション11mlL、アトテック210A09mlL、アトテック210B07mlLを含む。フィルムの搬送速度が40mhである。電気めっき終了後、フィルムを水が入った水洗槽を通過させて水洗した後、パッシベーション槽でパッシベーションし、その後、さらに水が入った水洗槽を通過させて水洗し、乾燥器によって、120°Cの温度でフィルムを乾燥させる。前記パッシベーション条件として、パッシベーション温度が22°C、フィルムの搬送速度が40mh、パッシベーション液が3gLのベンゾトリアゾールを含む水溶液であることを含む。厚みが9μmの銅層を電気めっき蒸着し、銅層は比較的に緻密で滑らかで平坦である。実施例4ポリエチレンテレフタレートフィルムの各側面に50nmの金属フィルムを蒸着する。実験過程ポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送速度が06mminである以外に、他の作業はいずれも実施例2におけるステップと同様である。4つのクロムイオン源と2つの銅イオン源を用いた。クロムイオン注入電圧が6KV、注入ドーズ量が3×1014原子cm2である。その直後、クロムのプラズマ蒸着と銅のプラズマ蒸着を行った。蒸着電圧がいずれも05KV、イオンビーム流がいずれも20mAである。得られたフィルムにおける金属フィルムは厚みが約50nmで、金属層の質が均一で緻密である。電気めっき:プレ電気めっき槽において、プレめっき液の温度が28°C、平均陰極電流密度が20Adm2であり、プレめっき液が、硫酸銅100gL、硫酸150gL、塩酸02mlL、電気めっき入浴ソリューション10mlL、アトテック210A08mlL、アトテック210B06mlLを含む。主電気めっき槽において、電気めっき液の温度が28°C、平均陰極電流密度が12Adm2であり、めっき液が、硫酸銅80gL、硫酸60gL、塩酸015mlL、アトテック210電気めっき入浴ソリューション10mlL、アトテック210A08mlL、アトテック210B06mlLを含む。フィルムの搬送速度が20mhである。電気めっき終了後、フィルムを水が入った水洗槽を通過させて水洗した後、パッシベーション槽でパッシベーションし、その後、さらに水が入った水洗槽を通過させて水洗し、乾燥器によって、100°Cの温度でフィルムを乾燥させる。前記パッシベーション条件として、パッシベーション温度が30°C、フィルムの搬送速度が20mh、パッシベーション液が05gLのベンゾトリアゾールを含む水溶液であることを含む。厚みが12μmの銅層を電気めっき蒸着し、銅層は非常に緻密で滑らかで平坦である。実施例5ポリイミドフィルムの各側面に50nmの金属フィルムを蒸着する。実験過程PIフィルムの搬送速度が08mminである以外に、他の作業はいずれも実施例2におけるステップと同様である。2つのニッケルイオン源と4つの銅イオン源を用いた。銅イオン注入電圧が5KV、注入ドーズ量が3×1013原子cm2である。その直後、ニッケルのプラズマ蒸着と銅のプラズマ蒸着を行った。蒸着電圧がいずれも04KV、イオンビーム流がいずれも30mAである。得られたフィルムにおける金属フィルムの厚みが約50nmで、金属層の質が均一で緻密である。電気めっき:プレ電気めっき槽において、プレめっき液の温度が24°C、平均陰極電流密度が40Adm2であり、プレめっき液が、硫酸銅150gL、硫酸120gL、塩酸02mlL、電気めっき入浴ソリューション8mlL、アトテック210A06mlL、アトテック210B07mlLを含む。主電気めっき槽において、電気めっき液の温度が24°C、平均陰極電流密度が21Adm2であり、めっき液が、硫酸銅120gL、硫酸150gL、塩酸03mlL、電気めっき入浴ソリューション12mlL、アトテック210A09mlL、アトテック210B08mlLを含む。フィルムの搬送速度が30mhである。電気めっき終了後、フィルムを水が入った水洗槽を通過させて水洗した後、パッシベーション槽でパッシベーションし、その後、さらに純水が入った水洗槽を通過させて水洗し、乾燥器によって、120°Cの温度で、フィルムを乾燥させる。前記パッシベーション条件として、パッシベーション温度が24°C、フィルムの搬送速度が30mh、パッシベーション液が5gLのベンゾトリアゾールを含む水溶液であることを含む。厚みが12μmの銅層を電気めっき蒸着し、銅層は緻密で滑らかで平坦である。実施例6ポリイミドフィルムの各側面に50nmの金属フィルムを蒸着する。試験過程PIフィルムの搬送速度が05mminである以外に、他の作業はいずれも実施例2におけるステップと同様である。イオン注入をぜず、直接的にニッケルのプラズマ蒸着を行った直後、銅のプラズマ蒸着を行った。蒸着電圧がいずれも02KV、イオンビーム流がいずれも20mAである。得られたフィルムにおける金属フィルムの厚みが約50nmで、金属層の質が均一で緻密である。電気めっき:実施例1におけるステップと同様である。厚みが12μmの銅層を電気めっき蒸着し、銅層は緻密で滑らかで平坦である。実施例7ポリイミドフィルムの各側面に50nmの金属フィルムを蒸着する。試験過程PIフィルムの搬送速度が05mminである以外に、他の作業はいずれも実施例2におけるステップと同様である。イオン注入をせず、直接にモリブデンのプラズマ蒸着を行った直後、ニッケルのプラズマ蒸着を行った。蒸着電圧がいずれも02KV、イオンビーム流がいずれも20mAである。得られたフィルムにおける金属フィルムの厚みが約50nmで、金属層の質が均一で緻密である。電気めっき:実施例1におけるステップと同様である。厚みが12μmの銅層を電気めっき蒸着し、銅層は緻密で滑らかで平坦である。性能テスト:実施例1-7で製造されたフレキシブル銅張積層板における金属層と基層フィルムとの結合力及び耐半田性を測定する。実験方法:中国プリント回路行業協会標準CPCAJPCABM032005プリント回路用フレキシブル銅張積層板に則してテストを行った。テスト結果を表1に示す。表1から、本発明に係るフレキシブル銅張積層板の連続生産方法によって製造されたフレキシブル銅張積層板は厚みが薄く、フレキシブルプリント基板の発展動向に合致する上に、フレキシブル銅張積層板において、金属層と基層フィルムとの結合力が高く、耐半田性に優れることがわかった。"