"記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、前記記録媒体の上を浮上するスライダと、前記スライダの前記記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、前記スライダに備えられており、前記光学素子からの光を前記光学素子が備えられる側から前記スライダの前記記録媒体に対向する側まで導波し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、前記スライダに備えられており、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部と、を備えることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部は、前記スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して前記光導波路が良品であるか否かを判断するために用いられるものであることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部は、前記記録媒体のトラック幅方向において前記光導波路と同一直線上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部は、2つ以上備えられていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部のそれぞれは、前記光導波路を挟んで両側に備えられていることを特徴とする請求項4に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部は、前記光導波路と同一の材料により構成されていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部は、コアとクラッドから構成されていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記コアの形状は、前記光学素子の出射端における光のスポットと同等であるかもしくはそれ以上の大きさであることを特徴とする請求項7に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部は、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って、前記スライダ導光機能部の断面積がほぼ同じであるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記スライダ導光機能部は、前記スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して前記光学素子と前記光導波路との位置合わせを行うために用いられるものであることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。前記光導波路は、近接場光を発生させる近接場光発生部を備えていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを検査するヘッドジンバルアセンブリ検査方法であって、前記ヘッドジンバルアセンブリは、前記記録媒体の上を浮上するスライダと、前記スライダの前記記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、前記スライダに備えられており、前記光学素子からの光を前記光学素子が備えられる側から前記スライダの前記記録媒体に対向する側まで導波する機能を有し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路コアと光導波路クラッドとから成る光導波路と、前記スライダに備えられており、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って形成されるスライダ導光機能部とを備え、前記スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部コアとスライダ導光機能部クラッドとから構成され、該スライダ導光機能部コアと該スライダ導光機能部クラッドとの屈折率差が前記光導波路コアと前記光導波路クラッドとの屈折率差と略同一に形成されているものであり、前記スライダと前記光学素子とを固着する前に、前記スライダの前記記録媒体と対向する面とは反対側の面と前記光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、前記光学素子から出射した光を前記スライダ導光機能部に入射し、前記スライダ導光機能部から出射した光を利用して、前記光導波路が良品であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ検査方法。前記スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定し、該強度が基準値を満たしていれば前記光導波路が良品であると判断する工程を含むことを特徴とする請求項12に記載のヘッドジンバルアセンブリ検査方法。記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを製造するヘッドジンバルアセンブリ製造方法であって、前記ヘッドジンバルアセンブリは、前記記録媒体の上を浮上するスライダと、前記スライダの前記記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、前記スライダに備えられており、前記光学素子からの光を前記光学素子が備えられる側から前記スライダの前記記録媒体に対向する側まで導波し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、前記スライダに備えられており、前記スライダの前記光学素子が備えられる面から、前記スライダの前記記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部とを備えており、前記スライダと前記光学素子とを固着する前に、前記スライダの前記記録媒体と対向する面とは反対側の面と前記光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、前記光学素子から出射した光を前記スライダ導光機能部に入射し、前記スライダ導光機能部から出射した光を利用して、近接場光が発生するように前記光学素子と前記スライダとの位置合わせを行う工程を含むことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ製造方法。前記スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定しながら、前記光学素子と前記スライダとの相対的な位置を調整したうえで、前記強度が最大となる前記光学素子と前記スライダとの相対的な位置座標を特定し、該位置座標を用いて前記光学素子と前記スライダとの位置合わせを行うことを特徴とする請求項14に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。前記スライダ導光機能部は前記光導波路を挟んで両側に備えられており、前記光学素子と前記スライダとを離した状態で、前記光学素子から出射した光を一度に全ての前記スライダ導光機能部へ入射させ、前記スライダ導光機能部それぞれから出射した光の全ての前記強度が、基準値を満たしているときに前記光学素子と前記スライダとの位置決めを決定することを特徴とする請求項14に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。前記光学素子と前記スライダとを対向させる前に、前記スライダと前記光学素子とを固着するための接着剤を塗布することを特徴とする請求項14に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。前記光学素子と前記スライダとを接面しながら、前記光学素子と前記スライダとの位置合わせを行うことを特徴とする請求項14に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。前記スライダ導光機能部及び前記光導波路を同工程で形成することを特徴とする請求項14に記載のヘッドジンバルアセンブリ製造方法。ところで、ハイブリッド磁気記録再生装置は、近接場光のスポットをディスク上の微小な磁区に十分な光強度で当てることが望ましい。そこで、近接場光が十分な光強度をもって放射されるようにヘッドジンバルアセンブリが構成されているか否かを確かめることが必要になる。近接場光が適切に発生しているかどうかを測定する方法としては、走査型近接場光顕微鏡や走査型熱顕微鏡を用いる方法が知られている。走査型近接場光顕微鏡は、測定対象となる近接場光を光ファイバでできたプローブ先端で走査し、近接場光の光強度やその空間分布を測定することができる。また、走査型熱顕微鏡は、測定対象となる近接場光を熱測定用に加工されたプローブを用いて走査し、熱起電力を測定することで、近接場光のもつ熱エネルギーやその空間分布を測定することができる。しかし、これらの方法は、測定に用いる装置が高額である上、測定に時間がかかることが欠点である。そのため、近接場光ヘッドの製造工程でこれらの方法を採用する場合、製造コストを著しく増加させると考えられる。一方で、ヘッドジンバルアセンブリとして組み上げるには、それなりの手間や時間を要するが、ヘッドジンバルアセンブリとして組み上げる前にヘッドジンバルアセンブリを構成する各部材が適切に構成されているか否かを確認しない場合には、下流工程の段階において、記録再生検査などの方法で、良、不良の判断がなされる。ゆえに、不良となったものについては、ヘッドジンバルアセンブリが組み上げられた下流工程において廃棄されることになる。このようなヘッドジンバルアセンブリについては、それを組み上げるために割かれた手間や時間が無駄となってしまう。そこで、本発明はこのような事情に考慮してなされたもので、その目的は、効率的に製造することができるヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドジンバルアセンブリ検査方法及びヘッドジンバルアセンブリ製造方法を提供することを提供することにある。本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリであって、記録媒体の上を浮上して相対移動するスライダと、スライダの記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、スライダへ光を供給する光学素子と、スライダに備えられており、光学素子からの光を光学素子が備えられる側からスライダの記録媒体に対向する側まで導波し、前記記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、スライダに備えられており、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部と、を備えることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、記録媒体への情報記録に用いられる光導波路とは別に、導光機能をもつスライダ導光機能部を備えることにより、そのスライダ導光機能部に光を入れ、近接場光が十分な強度をもって発生するか否かを容易に確かめることができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して光導波路が良品であるか否かを判断するために用いられるものであることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路が良品であるか否かを間接的に判断するためのスライダ導光機能部が設けられていることで、困難であった光導波路の良品検査を容易に行うことができる。またさらに、ヘッドジンバルアセンブリを組み上げる前に光導波路の不良を見つけることができるため、不良である光導波路の備えられたスライダを使用してヘッドジンバルアセンブリを組み立てる無駄な工程や、それらに組み付けられる良品な他部品の無駄を省くことができ、製造コストを低減させることができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、記録媒体のトラック幅方向において光導波路と同一直線上に設けられていることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部が光導波路と同一直線上に設けられていることにより、スライダ導光機能部の位置が特定できれば、光導波路の位置を容易に特定することができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、2つ以上備えられていることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部が2つ以上備えられていることにより、2つ以上のスライダ導光機能部の位置を特定することができれば、光導波路の位置を一点に決定することができる。そのため、光導波路の位置を容易に特定することができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部のそれぞれは、光導波路を挟んで両側に備えられていることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部の間に光導波路を備えることにより、スライダ導光機能部の位置が特定できれば、光導波路の位置を容易に特定することができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、光導波路と同一の材料により構成されていることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部と光導波路が同一材料でできていることにより、スライダ導光機能部と光導波路内のそれぞれを通る光が同様の振る舞いをする。そのため、スライダ導光機能部に光を通すことにより、間接的に光導波路内を通る光の振る舞いを知ることができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、コアとクラッドから構成されていることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部がコアとクラッドから構成されていることにより、光を高効率で導光することができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部の光学素子が備えられる側のコア形状は、光学素子の出射端における光のスポットと同等であるかもしくはそれ以上の大きさであることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部の光学素子が備えられる側のコア形状が光学素子の出射端における光のスポット以上の大きさをもつことにより、光学素子からの光がスライダ導光機能部へ入射し易くなるため、スライダ導光機能部から出射した光を容易に見つけることができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って、スライダ導光機能部の断面積がほぼ同じであるように構成されていることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、スライダ導光機能部が集光機能を持たないことにより、光学素子から入射した光のスポットは入射時とほぼ同じ大きさのままスライダ導光機能部から出射してくる。そのため、スライダ導光機能部から出射した光を容易に見つけることができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部が有する導光機能を利用して光学素子と光導波路との位置合わせを行うために用いられるものであることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光学素子と光導波路との位置合わせを行うためのスライダ導光機能部を設けることにより、光学素子と光導波路との位置合わせを高精度にかつ容易に行うことができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリには、光導波路は該先端部分に、記録媒体への情報記録に用いる近接場光を発生させる近接場光発生部を備えていることを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路が近接場光発生部を備えていたとしても、光導波路の良品検査や位置合わせを容易に行うことができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法は、記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを検査する方法であって、ヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の上を浮上するスライダと、スライダの記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、前記スライダへ光を供給する光学素子と、スライダに備えられており、光学素子からの光を光学素子が備えられる側からスライダの記録媒体に対向する側まで導波する機能を有し、記録媒体への情報記録に用いる光導波路コアと光導波路クラッドとから成る光導波路と、スライダに備えられており、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って形成されるスライダ導光機能部とを備え、スライダ導光機能部は、スライダ導光機能部コアとスライダ導光機能部クラッドとから構成され、スライダ導光機能部コアとスライダ導光機能部クラッドとの屈折率差が光導波路コアと光導波路クラッドとの屈折率差と略同一に形成されているものであり、スライダと光学素子とを固着する前に、スライダの記録媒体と対向する面とは反対側の面と光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、光学素子から出射した光をスライダ導光機能部に入射し、スライダ導光機能部から出射した光を利用して、光導波路が良品であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法においては、スライダ導光機能部から出射する光を利用して、間接的に、光導波路の良品検査を行うことにより、困難であった光導波路の検査を容易に行うことができる。またさらに、スライダと光学素子を固着する前に光導波路が良品であるか否かを判断する検査を行うことで、ヘッドジンバルアセンブリを組み立てた後に光導波路のみの不良により発生する不良なヘッドジンバルアセンブリや、不良である光導波路を使用してヘッドジンバルアセンブリを組み立てる無駄な工程を省くことができ、製造コストを低減させることができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法は、スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定し、該強度が基準値を満たしていれば光導波路が良品であると判断する、光導波路の検査工程を含むことを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ検査方法においては、スライダ導光機能部から出射した光の強度を利用して光導波路の良品検査を行うことにより、困難であった光導波路の良品検査を容易に実施することができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの製造方法は、記録媒体に情報を記録するヘッドジンバルアセンブリを製造するものであり、ヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の上を浮上するスライダと、スライダの記録媒体に対向する面とは反対側の面に備えられており、スライダへ光を供給する光学素子と、スライダに備えられており、光学素子からの光を光学素子が備えられる側からスライダの記録媒体に対向する側まで導波し、記録媒体への情報記録に用いる光導波路と、スライダに備えられており、スライダの光学素子が備えられる面から、スライダの記録媒体に対向する面に亘って形成されたスライダ導光機能部と、を備えており、スライダと光学素子とを固着する前に、スライダの記録媒体と対向する面とは反対側の面と光学素子の光を出射する面とを対向させた状態で、光学素子から出射した光をスライダ導光機能部に入射し、スライダ導光機能部から出射した光を利用して、近接場光が発生するように光学素子とスライダとの位置合わせを行う工程を含むことを特徴とする。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、スライダ導光機能部から出射する光を利用して、光学素子とスライダの位置合わせを行うことにより、光学素子とスライダの高精度な位置合わせを容易に行うことができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、スライダ導光機能部から出射した光の強度を測定しながら、光学素子とスライダとの相対的な位置を調整したうえで、光の強度が最大となる光学素子とスライダとの相対的な位置座標を特定し、該位置座標を用いて光学素子とスライダとの位置合わせを行うことを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、スライダ導光機能部から出射した光の最大強度となる光学素子とスライダとの座標を特定して位置合わせを行うことにより、光学素子からの出射光が理想的な円形スポットになっていなかった場合や、光学素子とスライダとの位置関係の公差が、導光部からスライダ導光機能部に光が効率よく入射されないことから位置合わせの精度を満たさない場合においても、高精度な位置合わせを容易に行うことができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、スライダ導光機能部が、光導波路を挟んで両側に備えられており、光学素子とスライダを離した状態でスライダ導光機能部のそれぞれから出射した光の量が基準量を満たしているときに、光学素子とスライダとの位置決めを決定することを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、光学素子からの出射光をスライダ導光機能部に一度に入射させて位置を決定することができることにより、位置合わせの段階を少なく、高精度の位置合わせを容易に行うことができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、光学素子とスライダとを対向させる前に、スライダと光学素子とを固着するための接着剤を塗布することを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、光学素子とスライダを対向させる前に、スライダと光学素子を固着するための接着剤を塗布することにより、対向させた後に位置合わせをした場合でも、位置合わせの後に接着剤を塗布する際に起こりうる位置ずれを防ぐことができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、光学素子とスライダとを接面しながら、光学素子とスライダとの位置合わせを行うことを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、光学素子とスライダとを接面しながら光学素子とスライダの位置合わせを行うことにより、光学素子から出射される光の光軸が、光学素子とスライダとの位置を相対的に調整する調整軸に対して曲がっていた場合でも、光学素子からの出射光を高効率で入射させることができる。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法は、スライダ導光機能部及び光導波路を同工程で形成することを特徴とするものである。本発明に係るヘッドジンバルアセンブリ製造方法においては、スライダ導光機能部及び光導波路を同工程で形成することにより、スライダ導光機能部と光導波路の相対位置をより正確に形成することができるため、光学素子から出射する光をスライダ導光機能部へ入射させ、次いでスライダ導光機能部から出射した光を利用して光学素子とスライダの位置合わせを行う場合に、光学素子からの光をより効率よく光導波路へ入射することができる。本発明によるヘッドジンバルアセンブリによれば、記録媒体への情報記録に用いられる光導波路とは別に、導光機能をもつスライダ導光機能部を備えることにより、そのスライダ導光機能部に光を入れ、近接場光が十分な強度をもって発生するか否かを容易に確かめることができる。また本発明によるヘッドジンバルアセンブリの検査方法によれば、スライダ導光機能部から出射する光を利用して、間接的に、光導波路の良品検査を行うことにより、困難であった光導波路の検査を容易に行うことができる。また、スライダと光学素子を固着する前に光導波路が良品であるか否かを判断することができるので、ヘッドジンバルアセンブリを組み立てた後の光導波路の不良によるヘッドジンバルアセンブリの損失や、不良である光導波路を使用してのヘッドジンバルアセンブリ組み立てという無駄な工程を省くことができ、製造コストを低減させることができる。ここで、本発明は、近接場光を用いたヘッドジンバルアセンブリに用いることがより望ましい。第1実施形態以下、本発明に係る第1実施形態の構造と製造方法を、図1から図9を参照して説明する。図1は、本発明に係る情報記録再生装置1の一実施形態を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置1は、垂直記録層を有するディスク記録媒体Dに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。情報記録再生装置1は、キャリッジ11と、キャリッジ11の基端側から光束を供給するレーザ光源20と、キャリッジ11の先端側に支持され、サスペンション3とサスペンション3の先端に形成されたスライダ2から構成されるヘッドジンバルアセンブリHGA12と、ヘッドジンバルアセンブリ12をディスクDの表面に平行なXY方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ6と、ディスクDを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ7と、配線4を介してレーザ光源20に接続されており、情報に応じて変調した電流をスライダ2に対して供給する制御部5と、これら各構成品を内部に収容するハウジング不図示とを備えている。ハウジングは、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部9と、底部9の周縁において底部9に対して鉛直方向に立設する周壁とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品等を収容する凹部が形成される。なお、図1においては、説明を分かりやすくするため、ハウジングの周囲を取り囲む周壁を省略する。また、このハウジングには、ハウジングの開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部9の略中心には、上述したスピンドルモータ7が取り付けられており、該スピンドルモータ7に中心孔を嵌め込むことでディスクDが着脱自在に固定される。ディスクDの外側、つまり底部9の隅角部には、上述したアクチュエータ6が取り付けられている。このアクチュエータ6には、ピボット軸10を中心にXY方向に対して回動可能なキャリッジ11が取り付けられている。このキャリッジ11は、基端部から先端部に向けてディスクDの表面に沿って延設されたアーム部14と、基端部を介してアーム部14を片持ち状に支持する基部15とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。基部15は、ピボット軸10まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部15はピボット軸10を介してアクチュエータ6に連結されており、このピボット軸10がキャリッジ11の回転中心となっている。アーム部14は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部14間に、ディスクDが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部14とディスクDとが、互い違いになるように配されており、アクチュエータ6の駆動によってアーム部14がディスクDの表面に平行な方向XY方向に移動可能とされている。なお、キャリッジ11及びヘッドジンバルアセンブリ12は、ディスクDの回転停止時にアクチュエータ6の駆動によって、ディスクD上から退避するようになっている。図2は、スライダ2が上側に備えられる方向から、ヘッドジンバルアセンブリ12を拡大して示した斜視図である。ヘッドジンバルアセンブリ12は、上述したレーザ光源20からスライダ2まで光束を導くための導光部32と、スライダ2に備えられる後述する記録素子42や再生素子41などを動作させるための電流を供給する電気配線31が、スライダ2に隣接して接続されている。さらにこれらの導光部32、電気配線31及びスライダ2を固定させるサスペンション3が備えられている。サスペンション3は、上面視略四角状に形成されたベースプレート22と、ベースプレート22の先端側にヒンジ板23を介して連結された平面視略三角状のロードビーム24とフレクシャ25で構成されている。ベースプレート22は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口22aが形成されている。そして、この開口22aを介してベースプレート22がアーム部14図1参照の先端に固定されるようになっている。ベースプレート22の上面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板23が配置されている。このヒンジ板23は、ベースプレート22の上面の全面に亘って形成された平板状のものである。ヒンジ板23の先端部分にロードビーム24が連結されている。ロードビーム24は、ベースプレート22と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート22の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板23に連結されている。これにより、サスペンション3はベースプレート22とロードビーム24との間を中心に屈曲して、ディスクDの表面に垂直なZ方向に向けて撓み易くなっている。フレクシャ25は、ステンレス等の金属材料により支持体18とジンバル17が一体に構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。また、フレクシャ25は、ロードビーム24の先端側に固定されており、サスペンション3が変形した際にサスペンション3の変形に追従するように構成されている。また、ロードビーム24の先端には、フレクシャ25及びスライダ2の略中心に向かって突出する、突起部19図3参照が形成されている。この突起部19の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部19は、スライダ2がディスクDから受ける風圧によりロードビーム24側に浮上したときに、フレクシャ25の先端表面上面に点接触するようになっている。つまり、突起部19は、フレクシャ25と導光部32を介して、スライダ2を支持するとともに、ディスクDの表面に向けてZ方向に向けてスライダ2に荷重を付与するようになっている。図3は、ヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分を拡大して示した断面図である。スライダ2は下側に備えられる方向に示してある。スライダ2は、導光部32を挟んで、ジンバル17に支持されている。ロードビーム24は、突起部19を接点としてジンバル17の上側に備えられている。スライダ2は、アルチックなどでできた基板61と基板61よりもヘッドジンバルアセンブリ12の先端側に順に備えられる再生素子41、記録素子42、光導波路層33から構成されている。スライダ2の底面は、ディスクDの表面に対向する浮上面2aとなっている。この浮上面2aは、回転するディスクDによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ABSAirBearingSurfaceと呼ばれている。ここで、スライダ2はディスクD図1参照に対向するように設けられていればよく、スライダ2の支持方法は上記に示す限りではない。例えば、ロードビーム24に直接スライダ2が支持されていてもよい。ただし、突起部19とジンバル17を介してスライダ2が支持されていると、スライダ2はZ方向に適切な圧力を受け、撓み易くなるため、ディスクDの面ブレに対応することができ、近接場光や磁界をディスクDにより確実に照射することができる。導光部32は、先端が45°に形成され、ミラー機能を有している。導光部32を伝播してきた光は、このミラー機能を有した先端部32aで回折され、光導波路層33へ入射される。光導波路層33に入射した光は、スライダ2の下側に向かって伝播し、光導波路層33の先端に設けられた近接場光発生素子34により、近接場光として出射される。図4aは、スライダ2と導光部32を分解して示した斜視図である。図4bは、導光部32とスライダ2を組み立てる際の良品検査工程において、スライダ2に光を入れた時の状況を拡大して示した図である。再生素子41や記録素子42は省略しており、図示していない。スライダ2の先端に設けられている光導波路層33には、光を伝播する機能を有する素子が、スライダ2の素子積層面に平行に、少なくとも2つ備えられている。一つは、集光機能を有する光導波路40が備えられており、光導波路40の先端は近接場光発生素子34となっている。光導波路40は、SiO2でできており、このSiO2内に屈折率差の異なる領域を設けることにより、光を伝播する機能が備えられている。その他は、光導波路40よりも開口の大きい導光機能部43が備えられている。導光機能部43の開口は入射端および出射端共に、光導波路40の開口よりも大きく形成されている。なお、本実施形態では導光機能部43のそれぞれは、光導波路40の長手方向に対して直交する線分であり光導波路40を通る線分の上に備えられている。これにより図4bに示すように、導光機能部43に光L11を入射した場合、導光機能部43から出射されてくる光L12のスポットは、光導波路40の先端の近接場光発生素子34から出射される近接場光L22と比べて十分大きく、容易に見つけることができる。また、この導光機能部43は、光導波路40と同じ材料で形成されており、光導波路40と同様の屈折率差を形成することで、光導波路40と同等の光効率で光を伝播する機能を有する。この導光機能部43が、光導波路40と同じように形成されていることにより、導光部32を固着する前に、導光機能部43に入射させた光の出射光を測定することで、間接的に、光導波路40の光を伝播する機能が有効に形成されているかを予め確かめることができる。これにより、不良なスライダを用いてヘッドジンバルアセンブリ12を組み上げる無駄な工程や、不良なスライダに組み付けたヘッドジンバルアセンブリ12を構成する部品の無駄を減らすことができ、製造コストを削減することができる。次に、図1から図4に示したように組み立てられたヘッドジンバルアセンブリ12により、ディスクDに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。まず、図1に示すように、スピンドルモータ7を駆動させてディスクDを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ6を作動させて、ピボット軸10を回転中心としてキャリッジ11を回動させ、キャリッジ11を介してヘッドジンバルアセンブリ12をXY方向にスキャンさせる。これにより、ディスクD上の所望する位置にスライダ2を配置させることができる。この際、スライダ2は、サスペンション3によって支持されていると共に所定の力でディスクD側に押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ2は、浮上面2a図3参照がディスクDに対向しているので、回転するディスクDによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ2はディスクD上から離間した位置に浮上している状態となっている。また、ディスクDの凹凸やうねり等により、スライダ2にXY方向に向かう風圧が加わったときに、フレクシャ25に備えられたスライダ2は、突起部19を中心としてX軸及びY軸の2軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクDのうねりによるZ方向の変位ディスクDの表面に略直交する方向への変位を吸収することができ、スライダ2の姿勢が安定するようになっている。ここで、情報の記録を行う場合、制御部5はレーザ光源20を作動させるとともに、情報に応じて変調した電流をスライダ2に供給し、記録素子42を作動させる。レーザ光源20から出射された光束は、導光部32内を先端流出端側に向かって進み、導光部32の先端でディスクDに向かって垂直方向に曲げられる。曲げられた光束は、スライダ2の導光部32が備えられる側から近接場光発生素子34に入射され、近接場光発生素子34を介することにより、近接場光として発生される。すると、ディスクDは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。一方、制御部5図1参照によってスライダ2に電流が供給されると、スライダ2内部の記録素子42により、ディスクDに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、近接場光と記録素子42で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。さらに、垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。次に、ディスクDに記録された情報を再生する場合には、再生素子41が、ディスクDから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子41の電圧が変化する。これにより制御部5図1参照は、ディスクDから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部5は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。このように、スライダ2を利用してディスクDに対して各種の情報を記録再生することができる。次に、本実施形態のスライダ2の製造方法を説明する。図5は、本発明のスライダ2の形成方法を示すフローチャートである。最初に、再生素子41と記録素子42の形成されたスライダ基板60の上に近接場光発生素子34を含め、光導波路層33を形成する。このように形成された基板を切り出す。切り出した基板の光導波路層33を積層した面とは垂直面の光導波路40の光入射端および光出射端となる面をポリッシングする。このポリッシングの際には以下の二点に注意してポリッシングを行う。一点は、光導波路40の光入出射端に光が入射および出射する際に、光散乱などが発生し光効率が低下しないように行う。もう一点は、再生素子41や記録素子42が適切な高さに形成されるように行う。また、以上の二点が同時に満たされるように光導波路40と記録素子42は形成されている。次に、スライダ2の浮上面2a側の端面に保護膜を形成する。その後に、同面に浮上制御の役割を担うレールを形成する。ここで、特にスライダ基板60に光導波路層33を形成する工程を詳しく説明する。図6は、スライダ基板60に光導波路層33を形成する工程を段階的に示した工程図である。最初に、アルチックAL2O3-TiCなどでできた基板61上に、再生素子41と記録素子42が順に積層されたスライダ基板60を用意するa。次に、その上にクラッド層36を形成するb。クラッド層36は、厚さが2μm程度のSiO2膜などで形成される。次に、光導波路コア40cと導光機能部コア43cを形成するc。コアは、SiO2にGeなどのガスをドープしたもので形成される。光導波路コア40cと導光機能部コア43cは同条件でガスがドープされる。また、導光機能部コア43cは、光導波路コア40cが形成されると同時、または直前直後に形成する。最後に、光導波路コア40cと導光機能部コア43cが形成された上に、さらにクラッド層37を積層し、スライダ基板60に光導波路層33を形成する工程を完了するd。最後に積層するクラッド層37は、光導波路コア40cもしくは導光機能部コア43cのいずれか高い位置にある積層面から積層方向に2μm程度覆うことができるように積層する。次に、本実施形態のスライダ2と導光部32の組み立て方法を説明する。図7は、スライダ2と導光部32を組み立てる方法を示したフローチャートである。最初に、スライダ2と導光部32を対向して配置するA-1。次に、光導波路40が適切に形成されているかを検査し、この検査により適切に形成されている光導波路40を備えたスライダ2のみを使用するA-2。良品のスライダ2と導光部32を位置調整するA-3。導光部32から出射される光がスライダ2の光導波路40に効率よく入射されるように調整したら、スライダ2と導光部32を固着し、スライダ2と導光部32の組み立てを完了する。ここで、スライダ2の光導波路40が適切に形成されているかを検査する手段と方法を詳しく説明する。図8は、検査を実施する際の導光部32とスライダ2を有する装置の構成である。導光部32はスライダ2の浮上面2aとは反対側の面に対向しており、スライダ2の浮上面2a側には、光スポットを検出する光検出器50を配置する。光検出器50で検出した光は、光プロファイラ51により解析する。光プロファイラ51は、光スポットの光強度を出力するとともに、光基準値を満たすか否かを判別する。XY調整器52は、導光部32をXY方向に調整する機能を有する。図9は、検査方法を段階的に示した図である。最初に、導光部32をスライダ2に接面させるa。導光部32は、基準を満たした光を出力する良品である。接面させた導光部32から光を出射し、スライダ2の導光機能部43のいずれかに入るように導光部32を調整し、導光機能部43から出射され、光検出器によって検出される光の強度が最大になる位置で導光部32の調整を停止するb。検出された光強度が基準値pを満たしていれば、導光機能部43のコアとクラッドの屈折率差やポリッシングによる入射端面および出射端面は適切に加工できていると判断され、同工程により形成された光導波路40もまた適切に加工できていると間接的に判断されるc。これにより、先端からは微小な近接場光しか発生されないために困難であった光導波路40の検査を容易に行うことができる。第2実施形態次に、図10に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ2の先端部分について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。図10は、本実施形態におけるスライダ2と導光部32を分解して示した斜視図である。本実施形態における導光機能部44の開口は、導光部32から出射される光の、導光部32の出射面におけるスポットサイズS1よりも大きい開口S2となっている。これにより、導光部32から出射される光を利用して光導波路40の良品検査を行う際に、導光部32からの光をほぼ全て導光機能部44へ入射することができるため、導光機能部44から出射される光をより強くすることができ、導光機能部44の出射光を容易に見つけることができると共に、導光機能部44から出射される光のプロファイルを行う際に、より正確なプロファイルを行うことができる。第3実施形態次に、図11に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ2の先端部分について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。図11は、本実施形態におけるスライダ2を拡大して示した斜視図である。本実施形態における導光機能部45は、導光部32が備えられる面から浮上面2a側に亘って、断面積が同じSである柱状に形成されている。これにより、導光部32から入射された光のスポットサイズは、ほぼ同サイズで出射されるため、導光機能部44からの出射光を容易に見つけることができる。第4実施形態次に、図12から図16に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ2の先端部分と製造方法について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。まず、本実施形態におけるスライダ2の先端部分の構造を説明する。図12は、本実施形態におけるスライダ2を拡大して示した斜視図である。本実施形態における導光機能部46と47は、光導波路40の両側に1つずつ、光導波路40から等距離dを保って合計2つ配置されている。光導波路40および導光機能部46と47の3つは、光導波路層33が積層される面と平行に並んで配置されている。また、導光機能部46と47の材料は、光導波路40と同材料でなくてもよく、光を導光する機能をもつ材料であれば、例えば空気層となっていてもよい。次に、本実施形態におけるスライダ2の製造方法を説明する。図13は、スライダ基板60に光導波路層33を形成する工程を段階的に示した工程図である。最初に、アルチックAL2O3-TiCなどでできた基板上に、再生素子41と記録素子42が順に積層されたスライダ基板60を用意するa。次に、その上にクラッド層36を形成するb。次に、光導波路コア40cと導光機能部コア46cと47cを形成するc。光導波路コア40cは、SiO2にGeなどのガスをドープしたもので形成される。光導波路コア40cと導光機能部コア46cおよび47cは同じ材料でなくてもよいので、例えばGeガスのドープ率を変えてもよい。もしくは、Geガスでないガスをドープしてもよい。導光機能部コア46cと47cは、光導波路コア40cが形成されると同時、または直前直後に形成し、光導波路コア40cと導光機能部コア46cと47cの各々の距離dを1μm以下の高精度で形成する。また、積層面と平行に配置するように形成する。最後に、光導波路コア40cと導光機能部コア46cおよび47cが形成される上に、さらにクラッド層37を積層し、スライダ基板60に光導波路層33を形成する工程を完了するd。次に、本実施形態におけるスライダ2と導光部32の組み立て方法を説明する。図14は、スライダ2と導光部32を組み立てる方法を示したフローチャートである。最初に、スライダ2と導光部32を対向して配置するA-1。次に、スライダ2と導光部32を位置調整するA-2。導光部32から出射される光がスライダ2の光導波路40に効率よく入射されるように調整したら、スライダ2と導光部32を固着し、スライダ2と導光部32の組み立てを完了する。ここで、スライダ2と導光部32の位置調整の方法を詳しく説明する。図15は、位置調整を実施する際の導光部32とスライダ2を有する装置の構成である。導光部32はスライダ2の浮上面2aとは反対側の面に対向しており、スライダ2の浮上面2a側には、光スポットを検出する光検出器53を配置する。光検出器53で検出した光は、光プロファイラ54により解析する。光プロファイラ54は、光検出器53で検出した光スポットの光強度とそのXY座標を出力することができる。XY調整器55は、導光部32を出射する光の光軸に対して垂直な平面に動かすことができる。光検出器53と光プロファイラ54とXY調整器55の認識するXY座標の座標軸は同じになっている。図16は、スライダ2と導光部32の位置調整の方法を段階的に示した図である。左列に示したプライムなしの図a,b,c,dは、スライダ2と導光部32を断面から見た図である。また、右列に示したプライムつきの図a‘,b’,c-1,dは、XY調整器55の認識するXY座標とXY調整器55の指し示す座標を模式的に示した図である。最初に、スライダ2と導光部32を対向して配置するa,a。次に、導光部32から出射する光を導光機能部46に入射させる。入射した光の強度が最大になる座標X1,Y1を記録するb,b。次に、導光部32から出射する光を他方の導光機能部47に入射させるc。その際、XY調整器55を導光機能部46から距離2dだけ導光機能部47側に移動させ、さらに導光機能部46を軸に微小角だけ動かして探す。次いで、導光機能部47に入射した光の強度が最大になる座標X2,Y2を記録するc-2。最後に、導光機能部46の座標X1,Y1と導光機能部47の座標X2,Y2線分上にXY調整器55をdもしくは、数1だけ導光機能部46方向にずらすと、光導波路40に光が効率よく入射されるように導光部32が配置することができるd,d。以上で、スライダ2と導光部32の位置調整を完了する。これにより、導光部32とスライダ2の超高精度な位置調整を容易に行うことができる。|X1-X2|2|Y1-Y2|212/2数1第5実施形態次に、図17に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ2と導光部32の製造方法について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。図17は、本実施形態におけるスライダ2と導光部32を組み立てる方法を示したフローチャートである。最初にスライダ2もしくは導光部32のどちらかもしくは両方の、スライダ2と導光部32が対向する面に、UV硬化接着剤を予め塗布しておくA-1。ただし、必ずしもUV硬化接着剤でなくてもよく、長時間空気中に放置すると硬化するようなものでもよい。次に、スライダ2と導光部32を対向させるA-2。次に、スライダ2と導光部32の位置調整を行うA-3。スライダ2と導光部32の位置が完全に定まったら、UVを照射し、接着剤を硬化させ、スライダ2と導光部32を固着させるA-4。以上のように、スライダ2と導光部32を組み立てることにより、スライダ2と導光部32が位置調整してから接着剤を塗布する際に発生する位置ずれを防ぐことができ、精度よくスライダ2と導光部32を固定することができる。第6実施形態次に、図18に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ2と導光部32の製造方法について、第4実施形態と相異しており、それ以外は第4実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第4実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。図18は、図16と同様、本実施形態におけるスライダ2と導光部32の位置調整の方法を段階的に示した図である。調整方法は図16に沿って第4実施形態で示した方法とほぼ同様である。ただし、導光部32をスライダ2に接面した状態で、導光部32とスライダ2の調整を行う点が異なる。このように、導光部32とスライダ2の調整を行う段階で、導光部32をスライダ2に接面した状態にしておくことにより、導光部32から出射される光の広がり角が大きい場合や光軸が光導波路40に対して多少曲がっている場合であっても、スライダ2と導光部32の位置調整を正確に行うことができる。第7実施形態次に、図19から図21に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、スライダ2の先端部分の構造とスライダ2と導光部32の製造方法について、第4実施形態と相異しており、それ以外は第4実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第4実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。まず、本実施形態におけるスライダ2の先端部分の構造を説明する。図19は、本実施形態におけるスライダ2を拡大して示した斜視図である。導光機能部48と49は、光導波路40から微小距離Δdを保って配置されている。これにより、光導波路40へ、光導波路40の入射面から少し離して光を入射した場合に、その漏れ光を受光することができる。次に、本実施形態におけるスライダ2と導光部32の組み立て方法を説明する。図20は、本実施形態におけるスライダ2と導光部32の位置調整の方法を段階的に示した図である。最初に、導光部32とスライダ2を距離h離して対向させ、導光機能部48と49から出射してきた光の強度を見ながら導光部32の位置を調整するa。次に、導光機能部48と49から出射してきたそれぞれの光強度のピーク値p48とp49が、共に基準値p1を満たした位置で、導光部32の位置を固定するb。最後に、導光部32とスライダ2を、導光部32のXY座標を動かさずに接面させ、固着するc。図21は、横軸にX座標、縦軸に光強度をとり、光導波路40の中心をX座標の原点として図20のbの時の状態をグラフ化したものである。Δd、hおよびp1を最適化した上で、p48,p49≧p1となるとき導光部32とスライダ2を固定した場合、導光部32の出射光のピーク強度はほぼ確実に光導波路40内に入射されるため、高精度の位置調整が可能であり、高効率のヘッドジンバルアセンブリ12を実現することができる。"