原料水を加熱して蒸気を生成する熱交換器を有する蒸発缶を複数備え、複数の前記蒸発缶は、前段で生成された蒸気を後段の前記熱交換器の熱源として導入するように順次接続されており、原料水と熱交換した蒸気を凝縮して蒸留水を生成する蒸留水製造装置であって、一の前記蒸発缶で生成された蒸気を第1の駆動蒸気により吸引混合して第2の駆動蒸気を生成する第1のサーモコンプレッサと、他の前記蒸発缶で生成された蒸気を前記第2の駆動蒸気により吸引混合して加熱用蒸気を生成する第2のサーモコンプレッサとを備え、前記加熱用蒸気を、前記蒸発缶における前記熱交換器の熱源として導入するように構成された蒸留水製造装置。前記第1のサーモコンプレッサおよび第2のサーモコンプレッサは、いずれも最前段および最後段以外の前記蒸発缶で生成された蒸気を吸引する請求項1に記載の蒸留水製造装置。前記第1のサーモコンプレッサにより蒸気が吸引される前記蒸発缶は、前記第2のサーモコンプレッサにより蒸気が吸引される前記蒸発缶よりも後段側に配置されている請求項1または2に記載の蒸留水製造装置。原料水を加熱して蒸気を生成する熱交換器をそれぞれ有する複数の蒸発室を、前段の前記蒸発室で生成された蒸気が後段の前記蒸発室における前記熱交換器の熱源として導入されるように順次接続し、原料水と熱交換した蒸気を凝縮して蒸留水を生成する蒸留水製造方法であって、第1のサーモコンプレッサを用いて、一の前記蒸発室で生成された蒸気を第1の駆動蒸気により吸引混合して第2の駆動蒸気を生成するステップと、第2のサーモコンプレッサを用いて、他の前記蒸発室で生成された蒸気を前記第2の駆動蒸気により吸引混合して加熱用蒸気を生成するステップとを備え、前記加熱用蒸気を、前記蒸発室における前記熱交換器の熱源として導入する蒸留水製造方法。上記従来の蒸留水製造装置によれば、熱源となる蒸気量を低減することができ、サーモコンプレッサを使用しない場合と比較して造水比造水量/加熱蒸気量を高めることができる。ところが、近年においては省エネルギーに対する取り組みが一層重要視されるようになっており、造水比は以前よりも高い値例えば、10程度が求められている。このため、従来の装置では効用段が多くなり過ぎて伝熱面積が過大となり、製造コスト高を招いていた。そこで、本発明は、装置の小型化および低コスト化を図ることができ、蒸留水を効率良く製造することができる蒸留水製造装置および方法の提供を目的とする。本発明の前記目的は、原料水を加熱して蒸気を生成する熱交換器を有する蒸発缶を複数備え、複数の前記蒸発缶は、前段で生成された蒸気を後段の前記熱交換器の熱源として導入するように順次接続されており、原料水と熱交換した蒸気を凝縮して蒸留水を生成する蒸留水製造装置であって、一の前記蒸発缶で生成された蒸気を駆動蒸気により吸引混合して混合蒸気を生成する第1のサーモコンプレッサと、他の前記蒸発缶で生成された蒸気を前記混合蒸気により吸引混合して加熱用蒸気を生成する第2のサーモコンプレッサとを備え、前記加熱用蒸気を、前記蒸発缶における前記熱交換器の熱源として導入するように構成された蒸留水製造装置により達成される。この蒸留水製造装置において、前記第1のサーモコンプレッサおよび第2のサーモコンプレッサは、いずれも最前段および最後段以外の前記蒸発缶で生成された蒸気を吸引することが好ましい。また、前記第1のサーモコンプレッサにより蒸気が吸引される前記蒸発缶は、前記第2のサーモコンプレッサにより蒸気が吸引される前記蒸発缶よりも後段側に配置されていることが好ましい。また、本発明の前記目的は、原料水を加熱して蒸気を生成する熱交換器をそれぞれ有する複数の蒸発室を、前段の前記蒸発室で生成された蒸気が後段の前記蒸発室における前記熱交換器の熱源として導入されるように順次接続し、原料水と熱交換した蒸気を凝縮して蒸留水を生成する蒸留水製造方法であって、第1のサーモコンプレッサを用いて、一の前記蒸発室で生成された蒸気を第1の駆動蒸気により吸引混合して第2の駆動蒸気を生成するステップと、第2のサーモコンプレッサを用いて、他の前記蒸発室で生成された蒸気を前記第2の駆動蒸気により吸引混合して加熱用蒸気を生成するステップとを備え、前記加熱用蒸気を、前記蒸発室における前記熱交換器の熱源として導入する蒸留水製造方法により達成される。本発明によれば、装置の小型化および低コスト化を図ることができ、蒸留水を効率良く製造することができる蒸留水製造装置および方法を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る蒸留水製造装置の概略構成図である。図1に示す蒸留水製造装置1は、第1効用缶10a、第2効用缶10b、第3効用缶10c、第4効用缶10d、第5効用缶10eおよび第6効用缶10fの6つの蒸発缶が順次接続された6重効用型である。第1効用缶10aは、内部に形成された蒸発室に、水平に延びる複数の伝熱管11aを備える熱交換器12aが配置されている。熱交換器12aは、伝熱管11aの両端に入口ヘッダ13aおよび出口ヘッダ14aを備えており、入口ヘッダ13aに導入された加熱用蒸気が伝熱管11aの内部を通過して、出口ヘッダ14aに排出されるように構成されている。伝熱管11aの表面には散布ノズル15aから原料水が散布され、伝熱管11aの表面で加熱されて一部が蒸発し、原料水の蒸気が生成される。出口ヘッダ14aには、伝熱管11aを通過する蒸気が原料水との熱交換により凝縮した蒸留水が貯留される。他の蒸発缶すなわち、第2効用缶10bから第6効用缶10fも、蒸発室の内部にそれぞれ熱交換器12b~12fを備えている。第2効用缶10bから第6効用缶10fの構成は、第1効用缶10aと同様であるため、図1においては、第1効用缶10aと同様の構成部分の符号を、同じ数字で添え字のアルファベットのみを変えて表している。熱交換器12b~12fを構成する伝熱管11b~11fの外表面には、それぞれ散布ノズル15b~15fから原料水が散布される。各蒸発缶の出口ヘッダ例えば、第1効用缶10aの出口ヘッダ14aは、1つ後段の入口ヘッダ例えば、第2効用缶10bの入口ヘッダ13bと、蒸留水移送管21により接続されている。各蒸発缶の出口ヘッダに貯留された蒸留水は、最後段の出口ヘッダすなわち、第6効用缶10fの出口ヘッダ14fに接続された蒸留水取出管22により外部に排出される。また、各蒸発缶は、前段で生成された原料水の蒸気を、1つ後段の熱交換器の熱源として導入するように、蒸気移送管23により順次接続されている。例えば、第1効用缶10aで生成された原料水の蒸気は、蒸気移送管23を経て第2効用缶10bの入口ヘッダ13bに導入され、第2効用缶10bで生成された原料水の蒸気は、蒸気移送管23を経て第3効用缶10cの入口ヘッダ13cに導入される。最後段の蒸発缶すなわち、第6効用缶10fで生成された原料水の蒸気は、蒸気移送管23を経て凝縮器30に導入されて蒸留水となり、蒸留水取出管22を通過する蒸留水と共に外部に排出される。原料水は、凝縮器30において蒸気との熱交換により予熱され、必要な量が原料水移送管24により各蒸発缶の散布ノズル15a~15fに案内される。各蒸発缶の底部は、1つ後段の底部と濃縮水移送管25により接続されている。各蒸発缶の底部には、散布ノズル15a~15fから散布された原料水の一部が蒸発せずに濃縮水として貯留され、最後段すなわち、第6効用缶10fに接続された濃縮水取出管26により外部に排出される。この濃縮水は、例えば、原料水として再び各蒸発缶に散布することができる。本実施形態の蒸留水製造装置1は、最前段の蒸発缶である第1効用缶10aの入口ヘッダ13aに導入する加熱用蒸気を生成するための第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34を備えている。第1のサーモコンプレッサ32は、高圧例えば、2~8ataの蒸気の噴射により低圧蒸気を吸引混合して混合蒸気を生成する公知の構成である。また、第2のサーモコンプレッサ34の駆動蒸気の圧力は、後述するように第1のサーモコンプレッサ32の吐出圧であり、例えば0.5~0.2ata程度の低圧である。第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34は、それぞれ異なる蒸発缶10a~10fで生成された蒸気の一部を吸引する。第1のサーモコンプレッサ32には、パワープラント等の蒸気供給源図示せずから供給される水蒸気等の第1の駆動蒸気によって、第3効用缶10cで生成された蒸気の一部が、蒸気移送管23から分岐する分岐管27を経て吸引され、第1の駆動蒸気と混合されて第2の駆動蒸気が生成される。また、第2のサーモコンプレッサ34には、第1のサーモコンプレッサ32から駆動蒸気導入管28により導入された第2の駆動蒸気によって、第2効用缶10bで生成された蒸気の一部が、蒸気移送管23から分岐する分岐管27を経て吸引され、第2の駆動蒸気と混合されて加熱用蒸気が生成される。生成された加熱用蒸気は、加熱用蒸気導入管29により第1効用缶10aの入口ヘッダ13aに導入され、熱交換器12aの熱源として利用される。第1のサーモコンプレッサ32は、通常のサーモコンプレッサと同様に、第1の駆動蒸気を噴射する噴射ノズルが先細形状の先端に末広がり部を有しており、第1の駆動蒸気を超音速まで加速して噴射する構成を好ましく採用することができる。一方、第2のサーモコンプレッサ34の噴射ノズルは、末広がり部を備えずに先細形状の先端からミキシングチャンバに第2の駆動蒸気を噴射するように構成することが好ましい。吸入蒸気は噴射ノズルを取り囲むように導入され、ミキシングチャンバの断面積は、流れ方向に沿って徐々に減少することが好ましい。ミキシングチャンバの先端には、断面積が一定の喉部と、断面積が流れ方向に沿って次第に拡大するディフューザが接続される。このように、本実施形態の蒸留水製造装置1によれば、第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34を直列に接続し、異なる蒸発缶で生成された蒸気をそれぞれ吸引して、第1の駆動蒸気と共に最前段の蒸発缶で原料水を加熱するための熱源として利用するように構成しているため、小さな伝熱面積で多量の蒸留水を製造することができる。したがって、装置のコンパクト化および低コスト化を図ることができ、蒸留水を効率良く製造することができる。例えば、原料水として海水を使用し、第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34の駆動蒸気圧、吸入比および出口圧力が、それぞれ表1に示す値であるとした場合に、第1の駆動蒸気量100に対して各蒸発室で生成される蒸留水の量は、表2に示すとおりとなる。各蒸発室の運転温度蒸気の凝縮温度は、凝縮器30における冷却水本実施形態では原料水の温度が通常は25~35°Cであることから、最後段である第6蒸発缶10fの運転温度を45~50°Cとして、最前段である第1蒸発缶10aの運転温度を60~70°Cとするのが一般的である。更に、表1に示す第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34の性能を考慮して、各蒸発室の運転温度が、表2に示すとおり決定される。表1において、吸入比εは、1の駆動蒸気量に対して吸入する低圧蒸気量の比率である。一般には、吸入比εを大きくするほど、同じ造水比に対する効用数を低減できる一方、サーモコンプレッサの出口圧力が低くなるために第1効用缶10aの運転温度が低下して、伝熱面積を増加させる必要があることから、蒸発缶の数および熱交換器の伝熱面積のバランスを考慮して、吸入比εを決定することが好ましい。表1によれば、第1の駆動蒸気量が100である場合に、第1のサーモコンプレッサ32から吐出される第2の駆動蒸気量は、100×10.77=177となる。また、第2の駆動蒸気量が177である場合に、第2のサーモコンプレッサ34から吐出される加熱用蒸気量は、177×10.5=265.5となる。したがって、表2に示すように、第1効用缶10aに供給される加熱用蒸気量は、265.5となる。各蒸発缶で原料水を加熱することにより発生する蒸気量蒸留水生成量は、加熱蒸気量にほぼ等しいとすると、第1効用缶10aの蒸留水生成量は、265.5となる。第2効用缶10bには、第1効用缶10aで発生した蒸気が全て加熱用蒸気として導入されることから、第2効用缶10bの蒸留水生成量も265.5となる。第2効用缶10bで発生した蒸気は、一部が第2のサーモコンプレッサ34に吸引され、残部が第3効用缶10cに導入されることから、第3効用缶10cに導入される加熱用蒸気量は、265.5-177×0.5=177となり、蒸留水生成量も177となる。また、第3効用缶10cで発生した蒸気は、一部が第1のサーモコンプレッサ32に吸引され、残部が第4効用缶10dに導入されることから、第4効用缶10dに導入される加熱用蒸気量は、177-100×0.77=100となり、蒸留水生成量も100となる。第5効用缶10eおよび第6効用缶10fにおいては、途中で蒸気が吸引されることがないため、いずれも蒸留水生成量は100となり、凝縮器30においては、第6効用缶10fで発生した蒸気が全て蒸留水となるため、蒸留水生成量は100となる。こうして、各蒸発缶および凝縮器で生成された蒸留水生成量を合計すると、1108となり、ここから第1の駆動蒸気量100を差し引くと、造水量は1008となる。したがって、造水比造水量/第1の駆動蒸気量は、約10が達成される。このように、本実施形態の蒸留水製造装置1を海水淡水化装置として使用する場合には、6つの蒸発缶を備える6効用方式によって目標とする造水比10を達成することができ、従来よりも効用数および伝熱面積を低減することができる。以上、本発明の一実施形態について詳述したが、本発明の具体的な態様は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、6つの蒸発缶を備える6効用方式の蒸留水製造装置としているが、効用数は特に限定されるものではなく、目的等に応じて適宜の効用数とすればよい。また、本実施形態においては、第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34が、それぞれ第3効用缶10cおよび第2効用缶10bで生成された蒸気を吸引するように構成しているが、それぞれが吸引する蒸気は、これ以外の蒸発缶で生成されたものであってもよい。この場合、蒸気を吸引する蒸発缶が前段側になるほど、加熱用蒸気量が少ない蒸発缶が増加して蒸留水合計量が少なくなる一方表2参照、蒸気を吸引する蒸発缶が後段側になるほど、第1の蒸発缶10aに導入される加熱用蒸気が低温になり易いことから、最前段および最後段以外すなわち、本実施形態では第1の蒸発缶10aおよび第6の蒸発缶10f以外の蒸発缶で生成された蒸気を吸引することが好ましい。また、本実施形態においては、第1のサーモコンプレッサ32により蒸気が吸引される蒸発缶すなわち、第3効用缶10cが、第2のサーモコンプレッサ34により蒸気が吸引される蒸発缶すなわち、第2効用缶10bよりも後段側に位置しており、これによって、第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34で吸引される蒸気の合計量の増大を図っているが、例えば第1のサーモコンプレッサ32の出口圧力を高めるために、図2に示すように、第1のサーモコンプレッサ32により蒸気が吸引される蒸発缶図2では第2効用缶10bが、第2のサーモコンプレッサ34により蒸気が吸引される蒸発缶図2では第4効用缶10dよりも前段側に位置するような構成であってもよい。また、本実施形態においては、第1のサーモコンプレッサ32から吐出される第2の駆動蒸気の全てを第2のサーモコンプレッサ34に導入するように構成しているが、図3に示すように、駆動蒸気導入管28から分岐管281を介して第2の駆動蒸気の一部を蒸気移送管23に合流させ、いずれかの蒸発缶図3では第3効用缶10cの加熱用蒸気として用いるように構成してもよい。あるいは、駆動蒸気導入管28から分岐させた第2の駆動蒸気を、第3のサーモコンプレッサに導入していずれかの蒸発缶の蒸気を吸引混合し、この混合蒸気を他の蒸発缶における加熱用蒸気として用いるように構成することも可能である。また、本実施形態においては、第2のサーモコンプレッサ34から吐出される加熱用蒸気を、最前段の蒸発缶である第1の蒸発缶10aに導入するように構成しているが、第1の蒸発缶10aにおける熱交換器12aの熱源となる蒸気の供給源が他に存在する場合には、第2のサーモコンプレッサ34から吐出される加熱用蒸気の全部または一部を、他の蒸発缶に導入するように構成してもよい。この場合、第1のサーモコンプレッサ32および第2のサーモコンプレッサ34が蒸気を吸引する蒸発缶よりも前段側の蒸発缶に、加熱用蒸気を導入するように構成することが好ましい。また、上記の説明においては、蒸留水製造装置1を海水淡水化装置として用いる場合を想定しているが、この用途に限定されるものではなく、例えば、原料水である水溶液を蒸発濃縮する装置として使用することも可能である。