"粒子状物質検出センサの異常判定装置であって、前記粒子状物質検出センサは、内燃機関の排気通路に備えられたセンサ素子部と、前記センサ素子部へのPMの付着量に応じて出力を変化させる出力手段と、前記センサ素子部に付着したPMが前記センサ素子部から除去される温度であるPM除去温度まで前記センサ素子部を加熱可能なヒータと、を備えており、前記異常判定装置が、前記センサ素子部が加熱されるように前記ヒータを制御するヒータ制御手段と、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じた前記粒子状物質検出センサの出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する判定手段と、を備えることを特徴とする粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記ヒータ制御手段は、前記粒子状物質検出センサにおいて前記センサ素子部のPM付着量増大に相当する出力変化があった後に、前記センサ素子部が加熱されるように前記ヒータを制御する手段を含み、前記判定手段は、前記ヒータの制御に応じた前記センサ素子部の加熱の際、前記センサ素子部が前記PM除去温度未満にあるときに前記粒子状物質検出センサにおいて前記センサ素子部のPM付着量減少に相当する出力変化があったか否かに基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする請求項1に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記ヒータ制御手段は、前記センサ素子部の温度を、前記PM除去温度よりも低く定めた少なくとも1つの所定温度に所定時間保持するように、前記ヒータを制御する特定温度ヒータ制御手段と、前記センサ素子部の温度を、所定時間、上限の温度が前記PM除去温度よりも低い所定温度域内に保持するように、前記ヒータを制御する特定温度範囲ヒータ制御手段と、のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記特定温度ヒータ制御手段は、少なくとも2段の階段状の温度変化を経て前記センサ素子部が前記PM除去温度に到達するように前記ヒータの制御を行う段階的ヒータ制御手段を、含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記段階的ヒータ制御手段は、前記センサ素子部へ付着した水が除去される温度以上かつ前記センサ素子部へ付着した燃料が除去される温度未満の温度である第1温度に前記センサ素子部が所定時間保持されるように、前記ヒータを制御する第1制御と、前記センサ素子部への付着燃料または付着有機物が除去される温度以上かつ前記PM除去温度未満の温度である第2温度に前記センサ素子部が所定時間保持されるように、前記ヒータを制御する第2制御と、のうち少なくとも一方の制御を実行するものであることを特徴とする請求項4に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記ヒータ制御手段は、前記センサ素子部が前記PM除去温度に達する前における前記粒子状物質検出センサの出力変化である第1の出力変化と、前記センサ素子部が前記PM除去温度に到達した際における前記センサ素子部でのPM除去に応じた前記粒子状物質検出センサに応じた出力変化である第2の出力変化と、を区別できる程度の温度上昇速度で前記センサ素子部の加熱を行うように、前記ヒータの制御を行う手段を、含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記判定手段は、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じて前記センサ素子部の付着水が除去される程度の温度域において前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記判定手段は、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じて前記センサ素子部の付着燃料が除去される程度の温度域または前記センサ素子部の付着有機物が除去される程度の温度域において前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記粒子状物質検出センサは、前記内燃機関の排気管に接続し、前記センサ素子部を前記排気管内に固定する固定部と、前記固定部内に設けられ、前記センサ素子部の信号を外部へ伝達する配線を含む配線部と、を有し、前記判定手段は、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じて前記配線部の結露水が除去される程度の温度域において前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する結露判定手段を、含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記ヒータ制御手段は、前記配線部に結露した水が除去される所定温度に又は下限の温度が前記配線部に結露した水が除去される温度以上の所定温度域内に前記センサ素子部の温度が所定時間保持されるように、前記ヒータの温度を制御する手段を含み、前記結露判定手段は、前記所定時間内における前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を含むことを特徴とする請求項9に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記ヒータ制御手段は、前記センサ素子部を前記PM除去温度まで加熱するように、前記ヒータを制御する手段を含み、前記判定手段は、前記センサ素子部が前記PM除去温度まで加熱された際の前記粒子状物質検出センサの出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。前記異常判定装置は、前記粒子状物質検出センサの出力が所定変化率以上の急な変化を示したら、前記ヒータ制御手段に前記ヒータの制御を実行させ且つ前記判定手段に異常判定を実行させる判定開始手段を含むことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置。粒子状物質捕集システムの故障判定装置であって、前記粒子状物質捕集システムが、内燃機関の排気通路に設けられたパティキュレートフィルタと、前記排気通路における前記パティキュレートフィルタの下流に備えられたセンサ素子部と、前記センサ素子部へのPMの付着量に応じて出力を変化させる出力部と、前記センサ素子部に付着した前記PMが前記センサ素子部から除去される温度であるPM除去温度まで前記センサ素子部を加熱可能なヒータとを有する粒子状物質検出センサと、を備え、前記故障判定装置が、前記粒子状物質検出センサの出力に前記パティキュレートフィルタの故障時に相当するPM量増大を示す出力変化があった後に、前記粒子状物質検出センサについての異常検出を行う請求項1乃至12のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置と、前記異常判定装置により前記粒子状物質検出センサが異常ではないと判定された場合に、前記パティキュレートフィルタに故障が発生していると判定する故障判定手段と、を備えることを特徴とする粒子状物質捕集システムの故障判定装置。排気ガスの粒子状物質検出装置であって、PM含有量の検出が行われる排気ガスが流通する経路に備えられたセンサ素子部、前記センサ素子部へのPMの付着量に応じて変化する出力を発する出力手段、および前記センサ素子部に付着した前記PMが前記センサ素子部から除去される温度であるPM除去温度まで前記センサ素子部を加熱可能なヒータを備えた粒子状物質検出センサと、前記粒子状物質検出センサにおいてPM量増大を示す出力変化があった後に、前記粒子状物質検出センサについての異常検出を行う請求項1乃至12のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサの異常判定装置と、前記異常判定装置による前記粒子状物質検出センサについての異常判定の結果に基づいて、前記粒子状物質検出センサにおけるPM量増大を示す前記出力変化を前記排気ガスのPM量検知に用いるか否かを決定する出力判定手段と、前記出力判定手段で前記排気ガスのPM量検知に用いるとの決定がされた前記粒子状物質検出センサの前記出力変化に基づいて、前記排気ガスのPM量を検知するPM量検知手段と、を備えることを特徴とする排気ガスの粒子状物質検出装置。排気ガス中のPMの存在を検出する際には、各種の方式の粒子状物質検出センサPMセンサが用いられている。例えば、上記の日本特開2010-275977号公報にかかる装置でも用いられているいわゆる静電容量式のPMセンサや、電気抵抗変化に基づくいわゆる電気抵抗式のPMセンサがある。これら各種のPMセンサは、センサ素子部へのPMの付着に応じた電気的物理量の変化に基づいて、排気ガス中のPMの存在や量を検出することができる。PMセンサの出力は、例えば上記従来技術のようにDPF下流にPMセンサを設けた構成においては、DPF下流への意図しないPM濃度増大が生じていないかを検出したり、DPFのPM捕集性能に故障が生じていないかを検出したりするために用いることができる。また、PMセンサの出力は、DPF上流にPMセンサを設けた構成においては、排気ガス中におけるPM量を精度良く検知して、その検知結果を内燃機関の運転制御に反映させるために用いることもできる。PMセンサが出力変化を示した場合、この出力変化がPMにより正常に生じたものであるときは、その出力変化に基づく検出結果を問題なく利用することができる。しかしながら、本願発明者は、鋭意研究の結果、PMセンサの出力変化が、PM以外の種々の要因によっても引き起こされてしまうことを見出した。このようなPM以外の要因で生ずる出力変化はいわば異常な出力変化であり、この異常な出力変化はPMの存在や量の検出の根拠として用いることができない。そのような異常な出力変化に基づく検出結果を、PM量等の検出結果として用いることもできない。そのような異常なPMセンサ出力変化と正常なPMセンサ出力変化とを正確に判別することができないと、PMセンサのPM検出の精度低下や誤ったPM検出の発生を招くおそれがある。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを判別することにより、粒子状物質検出センサにおける粒子状物質の検出についての異常の有無を判定することができる粒子状物質検出センサの異常判定装置を提供することを目的とする。第1の発明は、上記の目的を達成するため、粒子状物質検出センサの異常判定装置であって、前記粒子状物質検出センサは、内燃機関の排気通路に備えられたセンサ素子部と、前記センサ素子部へのPMの付着量に応じて出力を変化させる出力手段と、前記センサ素子部に付着したPMが前記センサ素子部から除去される温度であるPM除去温度まで前記センサ素子部を加熱可能なヒータと、を備えており、前記異常判定装置が、前記センサ素子部が加熱されるように前記ヒータを制御するヒータ制御手段と、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じた前記粒子状物質検出センサの出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する判定手段と、を備えることを特徴とする。第2の発明は、第1の発明において、前記ヒータ制御手段は、前記粒子状物質検出センサにおいて前記センサ素子部のPM付着量増大に相当する出力変化があった後に、前記センサ素子部が加熱されるように前記ヒータを制御する手段を含み、前記判定手段は、前記ヒータの制御に応じた前記センサ素子部の加熱の際、前記センサ素子部が前記PM除去温度未満にあるときに前記粒子状物質検出センサにおいて前記センサ素子部のPM付着量減少に相当する出力変化があったか否かに基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする。第3の発明は、第1または第2の発明において、前記ヒータ制御手段は、前記センサ素子部の温度を、前記PM除去温度よりも低く定めた少なくとも1つの所定温度に所定時間保持するように、前記ヒータを制御する特定温度ヒータ制御手段と、前記センサ素子部の温度を、所定時間、上限の温度が前記PM除去温度よりも低い所定温度域内に保持するように、前記ヒータを制御する特定温度範囲ヒータ制御手段と、のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする。第4の発明は、第1乃至第3の発明のいずれか1つにおいて、前記特定温度ヒータ制御手段は、少なくとも2段の階段状の温度変化を経て前記センサ素子部が前記PM除去温度に到達するように前記ヒータの制御を行う段階的ヒータ制御手段を、含むことを特徴とする。第5の発明は、第4の発明において、前記段階的ヒータ制御手段は、前記センサ素子部へ付着した水が除去される温度以上かつ前記センサ素子部へ付着した燃料が除去される温度未満の温度である第1温度に前記センサ素子部が所定時間保持されるように、前記ヒータを制御する第1制御と、前記センサ素子部への付着燃料または付着有機物が除去される温度以上かつ前記PM除去温度未満の温度である第2温度に前記センサ素子部が所定時間保持されるように、前記ヒータを制御する第2制御と、のうち少なくとも一方の制御を実行するものであることを特徴とする。第6の発明は、第1乃至5の発明のいずれか1つの発明において、前記ヒータ制御手段は、前記センサ素子部が前記PM除去温度に達する前における前記粒子状物質検出センサの出力変化である第1の出力変化と、前記センサ素子部が前記PM除去温度に到達した際における前記センサ素子部でのPM除去に応じた前記粒子状物質検出センサに応じた出力変化である第2の出力変化と、を区別できる程度の温度上昇速度で前記センサ素子部の加熱を行うように、前記ヒータの制御を行う手段を、含むことを特徴とする。第7の発明は、第1乃至6の発明のいずれか1つの発明において、前記判定手段は、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じて前記センサ素子部の付着水が除去される程度の温度域において前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする。第8の発明は、第1乃至7の発明のいずれか1つの発明において、前記判定手段は、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じて前記センサ素子部の付着燃料が除去される程度の温度域または前記センサ素子部の付着有機物が除去される程度の温度域において前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする。第9の発明は、第1乃至8の発明のいずれか1つの発明において、前記粒子状物質検出センサは、前記内燃機関の排気管に接続し、前記センサ素子部を前記排気管内に固定する固定部と、前記固定部内に設けられ、前記センサ素子部の信号を外部へ伝達する配線を含む配線部と、を有し、前記判定手段は、前記ヒータ制御手段による前記ヒータの制御に応じて前記配線部の結露水が除去される程度の温度域において前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する結露判定手段を、含むことを特徴とする。第10の発明は、第9の発明において、前記ヒータ制御手段は、前記配線部に結露した水が除去される所定温度に又は下限の温度が前記配線部に結露した水が除去される温度以上の所定温度域内に前記センサ素子部の温度が所定時間保持されるように、前記ヒータの温度を制御する手段を含み、前記結露判定手段は、前記所定時間内における前記粒子状物質検出センサが示した出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を含むことを特徴とする。第11の発明は、第1乃至10の発明のいずれか1つの発明において、前記ヒータ制御手段は、前記センサ素子部を前記PM除去温度まで加熱するように、前記ヒータを制御する手段を含み、前記判定手段は、前記センサ素子部が前記PM除去温度まで加熱された際の前記粒子状物質検出センサの出力変化に基づいて、前記粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定する手段を、含むことを特徴とする。第12の発明は、第1乃至11の発明のいずれか1つの発明において、前記異常判定装置は、前記粒子状物質検出センサの出力が所定変化率以上の急な変化を示したら、前記ヒータ制御手段に前記ヒータの制御を実行させ且つ前記判定手段に異常判定を実行させる判定開始手段を含むことを特徴とする。第13の発明は、粒子状物質捕集システムの故障判定装置であって、前記粒子状物質捕集システムが、内燃機関の排気通路に設けられたパティキュレートフィルタと、前記排気通路における前記パティキュレートフィルタの下流に備えられたセンサ素子部と、前記センサ素子部へのPMの付着量に応じて出力を変化させる出力部と、前記センサ素子部に付着した前記PMが前記センサ素子部から除去される温度であるPM除去温度まで前記センサ素子部を加熱可能なヒータとを有する粒子状物質検出センサと、を備え、前記故障判定装置が、前記粒子状物質検出センサの出力に前記パティキュレートフィルタの故障時に相当するPM量増大を示す出力変化があった後に、前記粒子状物質検出センサについての異常検出を行う第1乃至12の発明のいずれか1つの発明にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置と、前記異常判定装置により前記粒子状物質検出センサが異常ではないと判定された場合に、前記パティキュレートフィルタに故障が発生していると判定する故障判定手段と、を備えることを特徴とする。第14の発明は、排気ガスの粒子状物質検出装置であって、PM含有量の検出が行われる排気ガスが流通する経路に備えられたセンサ素子部、前記センサ素子部へのPMの付着量に応じて変化する出力を発する出力手段、および前記センサ素子部に付着した前記PMが前記センサ素子部から除去される温度であるPM除去温度まで前記センサ素子部を加熱可能なヒータを備えた粒子状物質検出センサと、前記粒子状物質検出センサにおいてPM量増大を示す出力変化があった後に、前記粒子状物質検出センサについての異常検出を行う第1乃至12の発明のいずれか1つの発明にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置と、前記異常判定装置による前記粒子状物質検出センサについての異常判定の結果に基づいて、前記粒子状物質検出センサにおけるPM量増大を示す前記出力変化を前記排気ガスのPM量検知に用いるか否かを決定する出力判定手段と、前記出力判定手段で前記排気ガスのPM量検知に用いるとの決定がされた前記粒子状物質検出センサの前記出力変化に基づいて、前記排気ガスのPM量を検知するPM量検知手段と、を備えることを特徴とする。粒子状物質検出センサが何らかの出力変化を示した場合にその出力変化がセンサ素子部へのPM付着に基づくものであるならば、ヒータ加熱に応じてセンサ素子部に付着したPMがPM除去温度で除去されることにより、粒子状物質検出センサがそのPM除去に応じた出力変化を示すはずである。これに反して、ヒータ加熱に応じて出力変化がPM除去温度以外の温度域において認められたり、或いはそのようなPM除去温度での付着PM除去による出力変化が予想どおりに生じなかったりした場合には、粒子状物質検出センサでの出力変化がセンサ素子部へのPM付着に起因するものではないと考えることができる。第1の発明によれば、ヒータ加熱に応じた出力変化に基づいて、粒子状物質検出センサに異常があるか否かを判定することができる。ヒータ加熱に応じた出力変化に着目することで、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを判別することができ、粒子状物質の検出についての異常の有無を判定することができる。粒子状物質検出センサでPM付着量増大に相当する出力変化があった後に、ヒータ加熱に応じて、PM除去温度未満にもかかわらずPM付着量減少に相当する出力変化があった場合には、そのPM付着量増大に相当する出力変化はPM付着以外の要因で引き起こされたと考えることができる。第2の発明によれば、この点を考慮することにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを精度良く判別することができる。第3の発明によれば、ヒータの加熱制御を行う際に、PM除去温度未満の温度において粒子状物質検出センサの出力変化が無いかどうかを、確実に調べることができる。これにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを、精度良く判別することができる。第4の発明によれば、ヒータの加熱制御を行う際に、PM除去温度未満の温度において粒子状物質検出センサの出力変化が無いかどうかを、確実に調べることができる。これにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを、精度良く判別することができる。第5の発明によれば、ヒータの加熱制御を行う際に、センサ素子部の付着水または/およびセンサ素子部の付着燃料を対象にして、粒子状物質検出センサの出力変化の要因であるか否かを判定することができる。これにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを、その出力変化の原因を特定しつつ正確に判別することができる。第6の発明によれば、ヒータの加熱制御を行う際に、PM除去温度未満の温度において粒子状物質検出センサの出力変化が無いかどうかを、確実に調べることができる。これにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを、精度良く判別することができる。第7の発明によれば、ヒータの加熱制御を行う際に、センサ素子部の付着水が粒子状物質検出センサの出力変化の要因であるか否かを判定することができる。これにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを、その出力変化の原因を特定しつつ正確に判別することができる。第8の発明によれば、ヒータの加熱制御を行う際に、センサ素子部の付着燃料または付着有機物が粒子状物質検出センサの出力変化の要因であるか否かを判定することができる。これにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを、その出力変化の原因を特定しつつ正確に判別することができる。第9の発明によれば、ヒータの加熱制御を行う際に、配線部で結露した水が粒子状物質検出センサの出力変化の要因であるか否かを判定することができる。これにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを、その出力変化の原因を特定しつつ正確に判別することができる。第10の発明によれば、所定時間はヒータの温度を保持することで、結露水が粒子状物質検出センサの出力変化の要因となっていないかを、より確実に判定することができる。粒子状物質検出センサでPM付着量増大に相当する出力変化があった後に、ヒータ加熱に応じてPM除去温度まで加熱された場合には、センサ素子部のPMは除去されてPM付着量減少に相当する出力変化が認められるはずである。この予想に反して粒子状物質検出センサで出力変化が生じない場合には、そのPM付着量増大に相当する出力変化はPM付着以外の要因で引き起こされたと考えることができる。第11の発明によれば、この点を考慮することにより、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを精度良く判別することができる。第12の発明によれば、粒子状物質検出センサにおいて急な出力変化が認められた場合に、その出力変化が粒子状物質検出センサの異常によるものなのか、それとも粒子状物質検出センサに異常はなくPM量の急激な変化が生じたものなのかを区別するための判定を、速やかに開始することができる。その結果、対処すべきPM量の急激な変化を、速やかに特定することができる。第13の発明によれば、粒子状物質検出センサにおけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを判別することにより、粒子状物質捕集システムの故障を精度良く判定することができる。第14の発明によれば、粒子状物質検出センサの出力変化がPMの量に応じたものであるか否かを判別することにより、誤ったPM量検出を抑制することができる。実施の形態1.[実施の形態1の構成]図1は、本発明の実施の形態1にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置の構成を、これが適用される内燃機関2とともに示す図である。本実施形態にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置は、車両等の移動体用の内燃機関が備えるPMセンサに異常があるか否かを判定するために好適に用いることができる。図1の内燃機関2の具体的構成については特に限定は無いが、例えば、複数気筒4気筒、6気筒その他の2以上の気筒を備えた各種の気筒配列方式直列、V型を含む各種の方式が採用可能であり、例えば、4ストロークレシプロエンジンとしてもよい。本実施形態では、内燃機関2は、ディーゼルエンジンであって車両用内燃機関として一般的である複数気筒エンジンである。内燃機関2は、個々の気筒にそれぞれ吸気弁、排気弁を備え、それらの吸気弁、排気弁を駆動する動弁装置も備えている。また、個々の気筒についてそれぞれ燃料噴射弁も備えられているものとする。内燃機関2の吸気ポートには、吸気通路5が連通している。吸気通路5は、例えば、図示しない吸気管、吸気マニホールドその他の各種配管や、各種吸気系センサ例えば、吸気圧センサ、吸気温センサ、エアフローメータが適宜に設けられている。一方、内燃機関2の排気ポートは、排気マニホールドを介して、DPFDieselParticulateFilter4に連通している。DPF4は、内燃機関2から排出される排気ガス既燃ガス中の粒子状物質PerticulateMatter、以下、単にPMとも称すを捕集することができる。DPF4の下流には、排気管6が連通している。排気管6には、DPF4を通過した後の排気ガスが流れ込む。排気管6には、PMセンサ10が配置されている。PMセンサ10は、DPF4の下流に位置することにより、DPF4の下流の排気ガス中のPM量を検知することができる。PMセンサ10は、制御回路部19に接続している。制御回路部19は、いわばPMセンサ10のコントローラの役割を有し、PMセンサ10の出力端子と接続するとともに、PMセンサ10からの電気信号をECUElectronicControlUnit50へと伝達することができる。図1に示すECU50は、内燃機関2の制御するための制御装置として機能する。図示しないが、内燃機関2の吸気系および排気系には、内燃機関の制御に係る各種センサが備えられている。例えばクランク軸の回転角に応じて信号を出力するクランク角度センサが備えられ、クランク角度センサの信号CAからはエンジン回転数単位時間当たり回転数や、ピストンの位置によって決まる筒内容積を計算することができる。なお、排気ガス中のPM量は、内燃機関の運転条件に応じて変化する。これを利用して、実施の形態1においては、ECU50が、排気ガスのPM量を、内燃機関2の運転条件各種センサからの出力も含むに基づいて推定する推定処理を実行する。ECU50は各センサからの信号を処理し、その処理結果を各アクチュエータ内燃機関2の制御にかかるアクチュエータの操作に反映させている。なお、図示しないが、内燃機関2の排気系には、排気ガスを浄化するための触媒も備えられている。また、必要に応じて、各種排気ガスセンサ例えば排気のNOx濃度を検出するセンサなどが取り付けられていても良い。図2は、本発明の実施の形態1におけるPMセンサ10を模式的に示す拡大図であり、PMセンサ10のセンサ素子部12の構成を説明するための図である。本実施形態にかかるPMセンサ10は、電気抵抗式のPMセンサである。PMセンサ10は、センサ素子部12を備えている。センサ素子部12は、アルミナ等で形成され一定の厚みを有する本体部に、例えば図2のごとき向かい合う櫛状パターンの電極16a、16bを白金で形成したものである。センサ素子部12における電極16a、16bを形成した部分は、PM含有量の検出が行われる排気ガスが流通する経路に備えられ、排気ガス中のPMと接触する。PMセンサ10は、カバー取付部13と、固定部14とを備えている。カバー取付部13には、センサ素子部12周囲と取り囲むカバー部材図示せずが取り付けられる。このカバー部材を取り付けた状態でセンサ素子部12が排気ガス経路つまり排気管6へと曝される。排気ガス中のPMがカバー部材内部に侵入して、センサ素子部12における電極16上に付着することにより、櫛場上の電極16a、16bの間の電気抵抗が変化する。このようなPM付着に応じた電気抵抗の変化をPMセンサ10の出力信号出力電圧から読み取ることにより、排気ガス中のPM量を検出することができる。なお、実施の形態1では、PMセンサ10が、センサ素子部12へのPM付着量が多いほど出力電圧Vが高くなる出力特性を有している。PMセンサ10は、センサ素子部12における電極16a、16bを設けた面の反対の裏面図2における紙面裏面側に、ヒータ図示せずを備えている。つまり、センサ素子部12は一定の厚みを有しており、センサ素子部12の向かい合う2つの面のうち、一方の面に電極16a、16bが設けられ、他方の面にヒータが設けられている。ヒータは、制御回路部19と接続している。ECU50は、制御回路部19を介して、ヒータの制御具体的には、通電量の調節によるヒータ加熱温度の制御を行うことができる。このヒータは、センサ素子部12に付着したPMが除去される温度以下、PM除去温度とも称すまでセンサ素子部12を加熱できる程度の発熱性能を有している。PM除去温度へのヒータ加熱によって、センサ素子部12の付着PMを除去し、センサ素子部12におけるPM検出能力を回復初期化することができる。固定部14は、排気管6の内壁にPMセンサ10を取り付けるための部分である。固定部14は、具体的には、例えばその表面にネジ部を有し、このネジ部により排気管6の内壁に設けた取付部内へと固定されることができる。固定部14の内部には、端子18a、18bを含む配線部が延びている。端子18aは電極16aと、端子18bは電極16bと、それぞれ接続している。図2では簡略に示しているが、制御回路部19は端子18aおよび18bと接続しており、センサ素子部12におけるPM付着量センサ素子部12表面のPM堆積量に応じた電圧変化を受信することができる。ECU50は、制御回路部19を介して、電極16a、16b間の電気抵抗の変化に基づくPM付着量検知を行うことができる。なお、実施の形態1においては、内燃機関2の運転中におけるPMセンサ10使用中は、電極部電極16a、16bの間に対して電圧が印加される。この電圧印加により、センサ素子部12へのPM付着を促進する静電気力を発生させることができる。[実施の形態1の動作]実施の形態1にかかる異常判定手法の基本動作PMセンサ10が出力変化を示した場合、この出力変化がPMにより正常に生じたものであるときは、その出力変化に基づく検出結果を問題なく利用することができる。しかしながら、本願発明者が鋭意研究により得た知見によると、そのような正常な出力変化とは異なり、PMセンサ10の出力変化がPM以外の種々の要因によっても引き起こされている場合がある。このようなPM以外の要因で生ずる出力変化はいわば異常な出力変化であり、この異常な出力変化はPMの存在や量の検出の根拠として用いることができない。そのような異常な出力変化に基づく検出結果を、PM量等の検出結果として用いることもできない。PM以外の要因によって引き起こされるPMセンサ10の出力変化を、正常なPMセンサ10の出力変化から正確に判別することができないと、PMセンサ10のPM検出の精度低下や誤ったPM検出の発生を招くおそれがある。そこで、本発明の実施の形態1にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置においては、次のような手法によって、PMセンサ10におけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを判別することにした。すなわち、PMセンサ10が何らかの出力変化を示した場合にその出力変化がセンサ素子部12へのPM付着に基づくものであるならば、ヒータ加熱に応じてPM除去温度でセンサ素子部12に付着したPMが除去されることにより、PMセンサ10がそのPM除去に応じた出力変化を示すはずである。これに反して、ヒータ加熱に応じてPM除去温度以外の温度域において出力変化が認められた場合には、PMセンサ10での出力変化がセンサ素子部12へのPM付着に起因するものではないと考えることができる。或いは、ヒータ加熱に応じてそのようなPM除去温度での付着PM除去による出力変化が予想どおりに生じなかった場合にも、PMセンサ10での出力変化が、センサ素子部12へのPM付着に起因するものではないと考えることができる。このような点を考慮して、実施の形態1では、ヒータを制御してセンサ素子部12を加熱し、このヒータの制御に応じたPMセンサ10の出力変化に基づいてPMセンサ10に異常があるか否かを判定することにした。このような実施の形態1にかかる手法によれば、PMセンサ10の異常判定が必要となったときに、PMセンサ10におけるPM以外の要因によって引き起こされる異常な出力変化と、PMに応じた正常な出力変化とを判別して、PMの検出についての異常の有無を判定することができる。実施の形態1にかかる異常判定手法の具体的形態以下、本発明の実施の形態1にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置の、より具体的な形態について説明する。以下の説明では、先ず、実施の形態1において、PMセンサ10について実施の形態1にかかる異常判定を利用する場面の、具体的な例について説明する。続いて、そのような異常判定実行場面において異常判定を効果的に行うことのできる、本発明の好ましい具体的実施形態について説明する。図3は、PMセンサ10の出力電圧Vと通過PM量との間の関係を示す図である。図3における通過PM量mgは、PMセンサ10取り付け位置を通過したPM量の積算量と相関を有する。この通過PM量は、例えば、内燃機関2の運転条件に基づくPM量推定値を積算することにより求めることができる。PM量推定値は、例えば運転条件に基づくPM排出量の推定を行うことにより求めることができる。図3において、符号20が示す線以下、便宜上、特性20とも称すは、PMセンサ10およびDPF4が正常である場合を想定した出力電圧Vと通過PM量との関係を示している。DPF4が正常である場合つまり故障していない場合でも、DPF4の下流には極微量のPMが流出し、このPMがセンサ素子部12に僅かずつ付着堆積していく。そうすると、ある程度の長期間を経てこのPMの付着量が増大し、電極16a、16b間の電気抵抗が変化し、図3の特性20のようにPMセンサ10の出力電圧が変化していく。従って、DPF4が正常にPM捕集を行っていても、十分に長い期間が経過した後は、特性20のように、PMセンサ10において付着PM量増大に相当する出力変化が生ずる。一方、図3において、符号22が示す線以下、便宜上、特性22とも称すは、DPF4に故障が発生してPMセンサ10側にPM濃度の高い排気ガスが流出した場合における特性を模式的に示している。正常時を想定した特性20と比べて、特性22は急な立ち上がりを示している。この出力変化がPMにより正常に生じたものであるときは、運転条件から推定したDPF4の通過PM量を大幅に超える量のPMがDPF4下流で検出されているので、DPF4に故障が発生したという判断をすることができる。しかしながら、特性22のような出力変化は、PMセンサ10の出力変化がPM以外の種々の要因によっても引き起こされている可能性がある。つまり、PMセンサ10に特性22のような急な出力変化が認められた場合には、正常時特性20とは異なる状態つまり異常状態が発生している可能性がある。このため、特性22の急な出力変化が、PMに応じた正常な出力変化であるか否かを判別することが好ましい。本願発明者が鋭意研究の結果として得た知見によれば、本実施形態にかかるPMセンサ10において、図3に示す特性22のような出力変化の発生要因として、少なくとも次の4つが考えられる。ADPF4の故障による急なPM排出量増加BPMセンサ10の電極部電極16a、16bの電気的なショートCセンサ素子部12における電極部電極16a、16b上への、PM以外のもの例えば、水分、燃料又は有機物の付着DPMセンサ10の配線部固定部14内部における水分の結露これらの発生要因A~Dのうち、発生要因Aにより特性22の出力変化が生じた場合には、PMセンサ10自体のPM検出性能は正常であると判断することができる。一方、発生要因B~Dにより特性22の出力変化が生じた場合には、PMセンサ10のPM検出性能が正常に働いておらず、PMセンサ10の出力変化はPMに応じた正常な出力変化ではない。そこで、発明実施の形態1においては、上記の本願発明者による出力変化発生要因の分析結果を利用して、下記のように定めたヒータ温度制御に伴うPMセンサ10の出力変化に基づいて、PMセンサ10に異常があるか否かを判別する。図4は、本発明の実施の形態1にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置の動作を説明するための図である。図4の上段のグラフは、センサ素子部12のヒータ図示せずにおける温度を示しており、縦軸をヒータ温度とし横軸を時間但し、図4の右方向が時間の進行方向であるとしている。図4の下段のグラフは、PMセンサ10の出力電圧を示しており、縦軸を出力電圧値とし横軸を時間としている。図4の上段のグラフと下段のグラフは横軸時間軸のスケールを一致させて図示している。前述したように、実施の形態1では、PMセンサ10においてセンサ素子部12へのPM付着量が多いほど出力電圧Vが高くなるものとし、出力電圧Vが立ち上がった状態高から図4のヒータ温度制御が開始されているものとする。図4において、破線で示したヒータ温度特性通常PMリセットは、実施の形態1にかかる異常判定手法を利用せずにPMセンサ10におけるPM除去を行う場合の、ヒータの温度制御の様子を示している。通常PMリセットの場合、ヒータONにより速やかにヒータ温度がT3まで上昇し、センサ素子部12の温度がPM除去温度へと到達する。通常PMリセットによれば、速やかにPM除去を行い、PMセンサ10のPM検出機能を初期状態に回復させることができる。図4において、実線で示したヒータ温度特性は、実施の形態1にかかる実施の形態1にかかる異常判定手法を利用する場合におけるヒータ温度制御の様子を示している。本実施形態では、通常PMリセットとは異なり、図4に実線で示すような階段状段階的のヒータ温度制御が行われる。なお、図4には、実施の形態1にかかるヒータ温度制御の開始以後の、PMセンサ10の出力やヒータ温度が示されている。実施の形態1においては、図4に示すヒータ温度制御の開始前は、PMセンサ10はヒータによる加熱がされていないつまりECU50はヒータをOFFとしている。これに応じて、図4のヒータ温度は、温度T1よりも低い温度T0であるものとする。なお、実施の形態1では、ヒータによる加熱がされていない期間におけるセンサ素子部12の温度は、排気ガス温度等に応じたなりゆきに任せた温度である。実施の形態1にかかるヒータ温度制御およびPMセンサ10の異常判定の動作は、次に述べるとおりである。図3に例示したようなPMセンサ10の異常判定が必要な状況が発生した場合には、下記の異常判定手法を実施することにより、PMセンサ10の異常判定を行うことができる。温度T1先ず、ヒータがONとされて、ヒータ温度は温度T1へと制御される。温度T1は、センサ素子部12に付着した水分を蒸発させるために十分なヒータ温度である。温度T1は、具体的には、例えば、150°Cから200°C程度の温度範囲内において適宜に設定した温度とすることができる。このように温度T1を定めた場合には、特性22がセンサ素子部12の電極部への水分付着により生じた出力変化であるときには、ヒータ温度が温度T1となるのに応じて電極部に付着した水分が除去される。この除去に応じて、PMセンサ10の出力が高から低へと変化する。その結果、PMセンサ10の出力は、ヒータ温度が温度T1となるのに応じて図4の出力変化S1のように変化する。温度T1に応じた出力変化S1が検出されたか否かを調べることにより、上述した発生要因Cのうち電極部への水分の付着を検査することができる。なお、実施の形態1では、一定時間図4のT1保持時間はヒータを温度T1に保持することにしている。これにより、出力変化S1の有無をより正確に検出することができる。一方、温度T1において出力変化S1が認められなかった場合には、図3の特性22はセンサ素子部12の電極部への水分付着により生じた出力変化ではないという判断をすることができる。温度T2温度T1に応じた出力変化S1が認められない場合は、温度T1から温度T2へとヒータ温度を上昇させる。温度T2は、センサ素子部12に付着した燃料を蒸発させるのに十分なヒータ温度である。温度T2は、温度T1よりも高い温度でありT1<T2、具体的には、例えば、300°C程度の温度に設定することができる。或いは、内燃機関2に使用する燃料に応じてセンサ素子部12の付着燃料の蒸発温度がある程度相違する場合には、それを考慮して、付着燃料の蒸発温度範囲内において適宜に設定することができる。このように温度T2を定めた場合には、特性22がセンサ素子部12の電極部への燃料又は有機物の付着により生じた出力変化であるときには、ヒータ温度が温度T2となるのに応じて電極部の燃料又は有機物が除去される。この除去に応じて、PMセンサ10の出力が高から低へと変化する。その結果、PMセンサ10の出力は、ヒータ温度が温度T1からT2へと上昇するのに応じて、図4の出力変化S2のように変化する。温度T2に応じた出力変化S2が検出されたか否かを調べることにより、上述した発生要因Cのうち電極部への燃料又は有機物の付着を検査することができる。一方、温度T1からT2への温度上昇の際に出力変化S2が認められなかった場合には、図3の特性22はセンサ素子部12の電極部への燃料又は有機物の付着により生じた出力変化ではないという判断をすることができる。T2保持時間実施の形態1では、温度T2に応じた出力変化S2が認められない場合には、温度T2へのヒータ温度制御の後の一定時間図4のT2保持時間はヒータを温度T2に保持する。前述した発生要因Dは、PMセンサ10の配線部固定部14内部で結露した水分によってPMセンサ10に特性22のような出力変化が生ずるというものである。ヒータ温度が温度T2に到達した後、この結露した水分は一気に蒸発するとは限らない。徐々に水分が蒸発していき、ある程度の時間が経過してから結露した水分が蒸発して、PMセンサ10の出力が正常に戻る実施の形態1では低から高へと増大する場合がある。図4における出力変化S3は、その様な場合の一例を示している。このように、ヒータ温度が温度T2に至った後ある程度の時間が経過してからでないと出力変化S3が生じない場合があることを想定して、実施の形態1では、T2保持時間がPMセンサ10の配線部固定部14内部に結露した水を蒸発させるための十分な長さに定められている。これにより、上述した発生要因Dについての検査を精度良く行うことができる。一方、T2保持時間の時間内において出力変化S3が認められなかった場合には、図3の特性22はPMセンサ10の配線部固定部14内部で結露した水分により生じた出力変化ではないという判断をすることができる。温度T3実施の形態1では、T2保持時間中に出力変化S3が認められなかった場合には、温度T2から温度T3へとヒータ温度を上昇させる。実施の形態1においては、温度T3は、前述したようにセンサ素子部12の温度をPM除去温度へと到達させるヒータ温度であり、通常PMリセットの制御における目標温度と同じ温度である。特性22がセンサ素子部12のPM付着により生じた出力変化であるときには、ヒータ温度が温度T2となるのに応じて電極部のPMが除去される。この除去に応じて、PMセンサ10の出力が高から低へと変化する。その結果、PMセンサ10の出力は、ヒータ温度が温度T2からT3へと上昇するのに応じて、図4の出力変化S4のように変化する。温度T2からT3へのヒータ温度制御に応じた出力変化S4が検出されたか否かを調べることにより、PMセンサ10がPM付着に応じた出力変化を正常に示したかどうかを検査することができる。また、PMセンサ10の出力変化が正常なものであったという結果が得られたため、特性22が、発生要因AつまりDPF4の故障による急なPM排出量増加により生じた特性であると判断することもできる。一方、図4に破線で示す出力S5のように、温度T3へのヒータ温度制御をしても未だPMセンサ10の出力電圧が高である場合には、PMが除去されたにもかかわらずPMセンサ10の出力に変化が無いという事態が発生している。このような事態は、PMセンサ10におけるハードウェア的な故障が生じている可能性が考えられる。実施の形態1では、この場合には、上述した発生要因BPMセンサ10の電極部電極16a、16bの電気的なショートであると判断する。温度T1,T2,T3を上記の各温度に定めるに当たっては、上述した指針に従って、実験を行ったりPMセンサ製品の個々具体的な仕様を考慮したりしつつ定めればよい。そして、ECU50上において、或いは、ヒータ制御用の制御回路がある場合はその制御回路上で、図4の上段において示すような階段状のヒータ温度制御を実行させればよい。[実施の形態1の具体的処理]以下、図5を用いて、本発明の実施の形態1にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置において実行される具体的処理の内容を説明する。図5は、本発明の実施の形態1においてECU50が実行するルーチンのフローチャートである。このルーチンは、内燃機関2の運転中に実行される。なお、本ルーチンは、所定時間毎に繰り返し実行されるものとする。図5に示すルーチンでは、先ず、ECU50が、所定のPMセンサ出力が発現したか否かを判定する処理を実行するステップS100。このステップでは、ECU50が、前述した図3の特性22のような急な出力変化が生じたか否かを判定する所定の判定処理を実行する。この判定処理では、PMセンサ10の出力電圧の変化率が所定値以上に大きい、つまりPMセンサ10の出力が所定変化率以上に急な変化を示しているか否かが判定される。ここでいう出力電圧の変化率は、単位PM通過量あたりの出力電圧変化量の値を用いることができる。単位PM通過量としては、先ず、図3の説明でも述べたように内燃機関2の運転条件に基づいてPM量推定値を推定して、さらに、このPM量推定値を用いてDPF4下流の推定PM通過量を計算して、この計算により得た数値を用いることができる。PM量を推定する推定処理は、図5のルーチンとは別にECU50上で実行すればよい。単位PM通過量あたりの出力電圧変化量に基づいてPMセンサ10の出力電圧の変化率を評価することにより、PM発生量が異なる様々な場面に応じて、異常判定を必要とするほどにPMセンサ10の出力変化が急峻であるか否かを適切に判定することができる。なお、変形例として、単位PM通過量あたりの出力電圧変化量に代えて、単位時間あたりの出力電圧変化量を調べてもよい。ステップS100において所定のPMセンサ出力が発現していない場合には、その後今回のルーチンが終了し、処理がリターンする。ステップS100の判定結果が肯定Yesであった場合には、続いて、ECU50が、PMセンサ10に対する印加電圧をOFFとする処理を実行するステップS102。この処理により、センサ素子部12へのPM付着促進が停止される。ステップS102の時点で、PMセンサ10の出力は高となっており、PM付着量増大を示す或いは有意な量のPM検出を示している。次に、ECU50が、ヒータ温度をT1に制御する処理を実行するステップS104。このステップでは、ECU50が、OFFとされていたヒータをONにするとともに、ヒータ温度がT1になるようにヒータへの通電量を調節する処理を実行する。次に、ECU50が、PMセンサ10に所定のセンサ出力変化S1があったか否かを判定する処理を実行するステップS106。このステップでは、ECU50が、温度T1へのヒータ温度上昇に応じて、前述した図4の出力変化S1のような出力電圧低下があったか否かを判定する処理を実行する。具体的には、例えば、ステップS100で高となったPMセンサ10の出力電圧が、高のままであるか否かを判定すればよい。なお、実施の形態1においては、図4の説明でも述べたように、所定のT1保持時間だけ温度T1を保持することにより、出力変化S1の有無を確実に検査するものとする。ステップS106においてセンサ出力変化が認められなかった場合判定結果がNoの場合には、次に、ECU50が、ヒータ温度をT2に制御する処理を実行するステップS108。このステップにおいて、ECU50が、図4に示す段状の温度特性のうち温度T1からT2へのヒータ温度上昇制御を実現するように、ヒータへの通電量を調節する処理を実行する。次に、ECU50が、PMセンサ10に所定のセンサ出力変化S2があったか否かを判定する処理を実行するステップS110。このステップでは、ECU50が、温度T2へのヒータ温度上昇に応じて、前述した図4の出力変化S2のような出力電圧低下があったか否かを判定する処理を実行する。具体的には、例えば、PMセンサ10の出力電圧が高のままであるか否かを判定すればよい。ステップS110においてセンサ出力変化が認められなかった場合判定結果がNoの場合には、ECU50が、温度T2を一定時間保持するための処理を実行するステップS112。ステップS112の処理は、ヒータ温度をT2とした状態で、温度T2への制御後の時間が所定の閾値を越えるまではヒータ温度変化ヒータ温度上昇を控えるための処理である。ステップS112の処理は、前述したT2保持時間にかかる異常判定を実施するための処理の一部である。このステップの後、ECU50が、再び、PMセンサ10に所定のセンサ出力変化S3があったか否かを判定する処理を実行するステップS114。このステップでは、ECU50が、温度T2の保持期間中に、前述した図4の出力変化S3のような出力電圧低下があったか否かを判定する処理を実行する。具体的には、例えば、PMセンサ10の出力電圧が高のままであるか否かを判定すればよい。ステップS114においてセンサ出力変化が認められなかった場合判定結果がNoの場合には、次に、ECU50が、ヒータ温度をT3に制御する処理を実行するステップS116。このステップにおいて、ECU50が、図4に示す段状の温度特性のうち温度T2からT3へのヒータ温度上昇制御を実現するように、ヒータへの通電量を調節する処理を実行する。次に、ECU50が、PMセンサ10に所定のセンサ出力変化S4があったか否かを判定する処理を実行するステップS118。このステップでは、ECU50が、温度T3へのヒータ温度上昇に応じて、前述した図4の出力変化S4のような出力電圧低下があったか否かを判定する処理を実行する。具体的には、例えば、PMセンサ10の出力電圧が高のままであるか否かを判定すればよい。ステップS118においてセンサ出力変化が認められなかった場合判定結果がNoの場合には、ECU50が、センサ故障電極部ショートが発生しているとの異常判定結果を出力する処理を実行するステップS122。PMセンサ10におけるPM付着量増大に相当する出力変化ステップS100における出力発現があった後に、ヒータ加熱に応じてセンサ素子部12がPM除去温度まで加熱された場合には、センサ素子部12のPMは除去されてPM付着量減少に相当する出力変化S4が認められるはずである。この予想に反してPMセンサ10で出力変化S4が生じない場合には、そのPM付着量増大に相当する出力変化はPM付着以外の要因で引き起こされたと考えることができる。実施の形態1によれば、この点を考慮することにより、PMセンサ10におけるPM以外の要因具体的には、実施の形態1では電極部ショートであるとするによって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを精度良く判別することができる。その後今回のルーチンが終了し、処理がリターンする。これとは逆に、ステップS118においてセンサ出力変化が認められた場合判定結果がYesの場合には、ECU50が、センサ出力がOKであるという判定結果を出力する処理を実行するステップS120。これにより、PMセンサ10は正常であるという判定結果が得られる。なお、この判定結果の後、PMセンサ10に付着したPMの除去が必要なときには、前述した通常PMリセットを実施してもよい。この後、更に、ECU50が、DPF4に故障が発生しているという判定結果を出力する処理を実行するステップS121。図5のルーチンでは、始めのステップS100において、ECU50が、前述した図3の特性22のような急な出力変化が生じたか否かを判定する所定の判定処理を実行している。PMセンサ10が正常であるならば、ステップS100において発現した急な出力変化は、DPF4の故障による急なPM排出量増加により生じた出力変化であると判断できる。実施の形態1によれば、このステップS121でDPF4に故障が発生しているとの判定結果を出力することができるので、DPF4の故障に対して迅速な対処を取ることができる。その後今回のルーチンが終了し、処理がリターンする。一方、前述したステップS106、S110またはS114において、センサ出力変化が認められた場合判定結果がYesの場合には、ECU50が、センサ出力が異常であるという判定結果を出力する処理を実行するステップS124。このステップS124において、ステップS100で発現したPMセンサ10の出力は異常なものであったという判定結果を出力することができる。続いて、ECU50が、通常PMリセットを実施するための処理を実行するステップS126。このステップでは、ECU50がヒータ温度をT3に設定して、センサ素子部12が図4に示した破線で示したヒータ温度特性通常PMリセットに沿って速やかに加熱される。これにより、PMを含めたPMセンサ10の付着物質が除去され、PMセンサ10のPM検出能力を回復することができる。ステップS126の後、ECU50は、ステップS102でOFFにした印加電圧をONとする処理を実行するステップS128。その後今回のルーチンが終了し、処理がリターンする。以上の処理によれば、ヒータの制御に応じたPMセンサ10の出力変化に基づいて、PMセンサ10に異常があるか否かを判定することができる。そして、図3の特性22のような急峻な出力変化の発現によりPMセンサ10の異常判定が必要となったときに、PMセンサ10におけるPM以外の要因によって引き起こされる異常な出力変化と、PMに応じた正常な出力変化とを判別して、PMの検出についての異常の有無を判定することができる。実施の形態1にかかる異常判定装置によれば、ECU50が、PMセンサ10においてセンサ素子部12或いは電極部のPM付着量増大に相当する出力変化ステップS100があった後に、センサ素子部12が加熱されるようにヒータを制御する処理を実行することができる。さらに、ECU50が、ヒータの制御に応じたセンサ素子部12の加熱の際、センサ素子部12がPM除去温度T3未満にある間T0以上かつT3未満の温度域にある間に、センサ素子部12のPM付着量減少に相当する出力変化S1、S2、S3があったか否かに基づいて、PMセンサ10に異常があるか否かを判定する処理を実行することができる。PMセンサ10でPM付着量増大に相当する出力変化があった後に、ヒータ加熱に応じてPM除去温度未満であるにもかかわらずPM付着量減少に相当する出力変化があった場合には、そのPM付着量増大に相当する出力変化はPM付着以外の要因で引き起こされたと考えることができる。この点を考慮することにより、PMセンサ10におけるPM以外の要因によって引き起こされる出力変化とPMに応じた正常な出力変化とを精度良く判別することができる。尚、上述した実施の形態1においては、PMセンサ10が、前記第1の発明における粒子状物質検出センサに、センサ素子部12が、前記第1の発明におけるセンサ素子部に、配線部端子18a、18bを含むおよび制御回路部19が、前記第1の発明における出力手段に、センサ素子部12裏面のヒータ図示せずが、前記第1の発明におけるヒータに、それぞれ相当している。また、上述した実施の形態1においては、ECU50が図5のルーチンの上記ステップS104、S108、S112およびS116の処理を実行することにより、前記第1の発明におけるヒータ制御手段が実現され、ECU50が、上記ステップS106、S110、S114、S118、S120およびステップS124の処理を実行することにより、前記第1の発明における判定手段が実現されている。また、上述した実施の形態1においては、ECU50が図5のルーチンの上記ステップS104およびS106のヒータ温度制御を実行することにより、または、ECU50がS108、S110およびS112のヒータ温度制御を実行することにより、前記第3の発明における特定温度ヒータ制御手段が実現されている。また、上述した実施の形態1においては、ECU50が上記ステップS104、S108、S112およびS116の処理を実行することにより、図4に示したようにT0→T1→T2→T3への3段階の温度制御が行われている。この3段階の温度制御により、前記第4の発明における段階的ヒータ制御手段が実現されている。また、上述した実施の形態1では、ECU50が図5のルーチンの上記ステップS104およびS106のヒータ温度制御を実行することにより、前記第5の発明における第1制御が実現され、ECU50がステップS108、S110およびS112のヒータ温度制御を実行することにより、前記第5の発明における第2制御が実現されている。なお、実施の形態1においては、PMセンサ10における出力変化S1、S2およびS3が、前記第6の発明における第1の出力変化に、PMセンサ10における出力変化S4が、前記第6の発明における第2の出力変化に、それぞれ相当している。また、上述した実施の形態1では、PMセンサ10が、前記第9の発明におけるPMセンサに、センサ素子部12が、前記第9の発明におけるセンサ素子部に、固定部14が、前記第9の発明における固定部に、端子18a、18bを含む配線部が、前記第9の発明における配線部に、それぞれ相当している。また、上述した実施の形態1では、ECU50がステップS100の処理を実行することにより、前記第12の発明における判定開始手段が実現されている。また、上述した実施の形態1では、DPF4が、前記第13の発明におけるパティキュレートフィルタに、PMセンサ10が、前記第13の発明におけるPMセンサに、それぞれ相当しており、ECU50が図5のルーチンのステップS121を実行することにより、前記第13の発明における粒子状物質捕集システムの故障判定装置の故障判定手段が実現されている。[実施の形態1の変形例]実施の形態1にかかるハードウェア構成では、粒子状物質検出センサとして、電気抵抗式のPMセンサ10が用いられている。PMセンサ10は出力電圧の大きさによって、PM付着量を表したり有意な量のPM付着発生を表したりすることができる。しかしながら、本発明はこれに限られるものではない。PM付着に応じてその出力出力電圧、出力電流その他の出力信号を変化させることができ、かつ、ヒータでその付着PM除去することのできる各種のPMセンサを用いることができる。例えば、電気抵抗式以外の、静電容量式のPMセンサを用いても良い。また、実施の形態1ではPM付着量増大に応じて出力電圧が低→高と変化するPMセンサであったが、本発明はこれに限られない。個々のセンサの回路構成上の違いなどから、これとは反対に、実施の形態1ではPM付着量増大に応じて出力電圧が高→低と変化するPMセンサであってもよい。このようなPMセンサに対しても、ヒータ温度制御に応じた出力変化の有無を判定すればよく、本発明を適用可能である。実施の形態1では、温度T0→T1→T2→T3という3段階のヒータ温度制御を行った。しかしながら、本発明はこのようなヒータ温度制御に限定されるものではない。2段階としてもよいし、逆に3段階よりも多い段数4段階以上としてもよい。例えば、実施の形態1において、3段階のヒータ温度制御を全て行うのではなく、そのうちの1つを省略しても良い。具体的には、例えば、ヒータ温度制御を温度T1への制御のみ行い、出力変化S1があるか否かの判定のみを行ってもよい。あるいは、ヒータ温度制御を温度T2への制御のみ行い、出力変化S2があるか否かを判定するのみとしてもよい。また、T2保持時間を省略してもよい。この省略により、PMセンサ10の異常判定に長い時間がかかってしまいDPF4の故障発見が遅れてしまうのを防ぐこともできる。また、温度T3のみについてのヒータ温度制御を行い、PM除去に伴う正常な出力変化S4が生じたか否かを判定してもよい。また、本発明は、図4に示すように温度上昇と温度保持を交互に行う実施形態に限られるものではない。ヒータ温度ヒータ通電量を目標値に到達させた後に制御値通電量を一定に固定する場合に限られない。T0~T3のそれぞれの間の区間において、緩やかな温度変化速度で、直線的または曲線的に温度目標温度を上昇させたり逆に低下させる制御を行っても良い。その場合には、各区間例えばT1とT2の間、またはT2とT3の間での温度変化速度は、同じでもよく、或いは異なってもよい。また、実施の形態1においては、ヒータ温度制御を行う際に、T1、T2、T3のそれぞれの温度を目標温度にヒータ通電量を調節する制御形態であったが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、出力変化S1が生じる温度以上であってかつ出力変化S2が生じる温度未満の温度範囲や出力変化S2が生じる温度以上であってかつ出力変化S4が生じる温度未満の温度範囲の内側にヒータ温度が留まるように、ヒータの通電量を調節する制御形態であってもよい。また、本発明におけるヒータ温度制御は、実施の形態1の図4に示すような階段状の温度上昇制御に限定されるものではない。ヒータ温度を上昇させていく過程で、センサ素子部12へのPM以外の付着物質の除去に応じた出力変化S1、S2や、固定部14内の配線部での結露水の除去に応じた出力変化S3を、PM除去に応じた出力変化S4と区別できればよい。よって、センサ素子部12が温度T3に達する前におけるPMセンサ10の出力変化S1、S2、S3と、温度T3への到達した際におけるPM除去に応じたPMセンサの出力変化とを区別できる程度の温度上昇速度温度上昇率でヒータの温度を上昇させるように、ヒータの通電量を増加、調節してもよい。この場合、必ずしもヒータ温度特性が図4のように明確な階段状とならなくともよい。なお、図5のルーチンでは、ECU50が、ステップS124においてセンサ出力が異常であるという判定結果を出力する処理を実行した。このステップS124において、単にセンサ出力が異常であるという判定結果のみならず、PMセンサ10においてどのような異常が発生したのかという情報を判定結果として出力する処理であってもよい。すなわち、ステップS106、S108およびS114のいずれの判定処理で出力変化が認められたのかに応じて、ステップS124の処理が、PMセンサ10における異常の種類を示す情報を判定結果として出力する処理であってもよい。ステップS106の判定結果がYesであれば出力変化S1が、ステップS110の判定結果がYesであれば出力変化S2が、ステップS114の判定結果がYesであれば出力変化S3が、それぞれ発生している。既に図4を用いて説明したように、PMセンサ10に生じる異常は、各出力変化S1、S2、S3に応じて発生要因CまたはDに区別することができる。そこで、ステップS124において、ECU50が、ステップS106の判定結果がYesの場合出力変化S1検出にはセンサ素子部12の電極部への水分付着の異常があったことを、ステップS110の判定結果がYesの場合出力変化S2検出にはセンサ素子部12の電極部への燃料又は有機物の付着の異常があったことを、ステップS114の判定結果がYesの場合出力変化S3検出にはPMセンサ10の配線部固定部14内部で結露した水分による異常があったことを、それぞれ判定結果として出力してもよい。これにより、異常なPMセンサ出力変化と正常なPMセンサ出力変化とを正確に判別し、かつその異常の種類を特定することができる。上述した実施の形態1では、DPF4の下流にPMセンサ10を設けてDPF4下流のPM検出を行う方式の粒子状物質捕集システムに対して、本発明を適用した。実施の形態1のシステムは、DPF4の故障検出にPMセンサ10を利用し、排気ガスのPM量の検出については内燃機関2の運転条件に基づく推定値を利用するものである。しかしながら、本発明はこのような適用形態に限られるものではない。従来、内燃機関2の排気ポートからDPF4までの区間つまりDPF4の上流区間にPMセンサを設けて、このPMセンサの検出値に基づいて排気ガスのPM量を検知するシステムも知られている。このようなシステムに対して、本発明にかかる粒子状物質検出センサの異常判定装置を適用することができる。具体的には、本変形例では、例えば、図1に示すハードウェア構成において、内燃機関2とDPF4の間に設けたPMセンサPM付着量に応じて出力を変化させるものであれば良く、PMセンサ10と同種類の電気抵抗式でもよいの出力変化が正常かどうかを判断するために図5に示すルーチンを実行する。この変形例では、排気管6が、前記第14の発明におけるPM含有量の検出が行われる排気ガスが流通する経路に、PMセンサ10が、前記第14の発明におけるPMセンサに、それぞれ相当している。この場合、センサ出力OK判定ステップS120がなされた場合には、そのPMセンサの出力値に基づいてPM量を検知計算処理等の実行を行い、その一方で、センサ出力異常ステップS124との判定がなされた場合には、そのPMセンサの出力値は使用を禁止する。なお、本変形例では、図5のルーチンのうちステップS121は削除する。これにより、前記第14の発明における出力判定手段およびPM量検知手段が実現される。"