複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と、前記基板を1枚ずつ処理するための基板処理室と、前記基板受渡台から前記各基板処理室に前記基板を搬入するとともに前記各基板処理室から前記基板受渡台に搬出するための基板搬送機構と、前記基板搬送機構にN個Nは3以上の整数設けた、前記基板を1枚ずつ保持するための基板保持具と、を有する基板処理装置において、前記N個の基板保持具のうちの2個~N-1個の基板保持具で複数枚2枚~N-1枚の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に1枚ずつ前記基板の搬入を行うことを特徴とする基板処理装置。前記N個の基板保持具のうちの少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用する搬入専用基板保持具とし、他の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具とし、少なくとも1個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用する搬入出兼用基板保持具としたことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。前記各基板保持具に前記基板を保持する基板保持体を設けるとともに、前記搬入出兼用基板保持具に設けた前記基板保持体に搬入時に前記基板を保持する搬入時基板保持部と搬出時に前記基板を保持する搬出時基板保持部とを前記基板保持具の移動方向に並べて形成し、前記搬入出兼用基板保持具の移動距離を前記搬入専用基板保持具又は前記搬出専用基板保持具と異ならせたことを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。前記N個の基板保持具を上下に並べて配列するとともに、上段側の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具としたことを特徴とする請求項1~請求項3のいずれかに記載の基板処理装置。前記N個の基板保持具を上下に並べて配列し、上下に並設した2個の前記基板保持具のうちの一方の前記基板保持具で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方の前記基板保持具で前記基板処理室から前記基板を搬出することを特徴とする請求項1~請求項4のいずれかに記載の基板処理装置。複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間に、前記N枚以上の前記基板を同時に搬送するための搬送装置を設けたことを特徴とする請求項1~請求項5のいずれかに記載の基板処理装置。複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を1枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を1枚ずつ保持するための基板保持具をN個Nは3以上の整数設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を1枚ずつ処理する基板処理方法において、前記N個の基板保持具のうちの2個~N-1個の基板保持具で複数枚2枚~N-1枚の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に1枚ずつ前記基板の搬入を行うことを特徴とする基板処理方法。前記N個の基板保持具のうちの少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも1個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することを特徴とする請求項7に記載の基板処理方法。上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の基板処理方法。上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上下に並設した2個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することを特徴とする請求項7~請求項9のいずれかに記載の基板処理方法。複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記N枚以上の前記基板を同時に搬送することを特徴とする請求項7~請求項10のいずれかに記載の基板処理方法。複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を1枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を1枚ずつ保持するための基板保持具をN個Nは3以上の整数設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を1枚ずつ処理する基板処理プログラムを記録した記録媒体において、前記N個の基板保持具のうちの2個~N-1個の基板保持具で複数枚2枚~N-1枚の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に1枚ずつ前記基板の搬入を行うことを特徴とする基板処理プログラムを記録した記録媒体。前記N個の基板保持具のうちの少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも1個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することを特徴とする請求項12に記載の基板処理プログラムを記録した記録媒体。上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することを特徴とする請求項12又は請求項13に記載の基板処理プログラムを記録した記録媒体。上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上下に並設した2個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することを特徴とする請求項12~請求項14のいずれかに記載の基板処理プログラムを記録した記録媒体。複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記N枚以上の前記基板を同時に搬送することを特徴とする請求項12~請求項15のいずれかに記載の基板処理プログラムを記録した記録媒体。ところが、上記従来の基板処理装置では、基板搬送機構を用いて基板を1枚ずつ搬送するようにしていたために、基板処理装置の内部での基板の搬送に要する時間が長くかかっていた。そのため、基板処理装置では、基板の搬送に要する時間を短くして基板処理のスループットを更に向上させることが望まれていた。そして、基板処理装置において基板の搬送に要する時間を短くする手段としては、基板搬送機構の移動速度を増加させることも考えられるものの、基板を静置させた状態で搬送しなければならないために、基板搬送機構の移動速度の増加には限界があった。そこで、本発明では、複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と、前記基板を1枚ずつ処理するための基板処理室と、前記基板受渡台から前記各基板処理室に前記基板を搬入するとともに前記各基板処理室から前記基板受渡台に搬出するための基板搬送機構と、前記基板搬送機構にN個Nは3以上の整数設けた、前記基板を1枚ずつ保持するための基板保持具とを有する基板処理装置において、前記N個の基板保持具のうちの2個~N-1個の基板保持具で複数枚2枚~N-1枚の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に1枚ずつ前記基板の搬入を行うことにした。また、上記基板処理装置において、前記N個の基板保持具のうちの少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用する搬入専用基板保持具とし、他の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具とし、少なくとも1個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用する搬入出兼用基板保持具とすることにした。また、上記基板処理装置において、前記各基板保持具に前記基板を保持する基板保持体を設けるとともに、前記搬入出兼用基板保持具に設けた前記基板保持体に搬入時に前記基板を保持する搬入時基板保持部と搬出時に前記基板を保持する搬出時基板保持部とを前記基板保持具の移動方向に並べて形成し、前記搬入出兼用基板保持具の移動距離を前記搬入専用基板保持具又は前記搬出専用基板保持具と異ならせることにした。また、上記基板処理装置において、前記N個の基板保持具を上下に並べて配列するとともに、上段側の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具とすることにした。また、上記基板処理装置において、前記N個の基板保持具を上下に並べて配列し、上下に並設した2個の前記基板保持具のうちの一方の前記基板保持具で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方の前記基板保持具で前記基板処理室から前記基板を搬出することにした。また、上記基板処理装置において、複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間に、前記N枚以上の前記基板を同時に搬送するための搬送装置を設けることにした。また、本発明では、複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を1枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を1枚ずつ保持するための基板保持具をN個Nは3以上の整数設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を1枚ずつ処理する基板処理方法において、前記N個の基板保持具のうちの2個~N-1個の基板保持具で複数枚2枚~N-1枚の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に1枚ずつ前記基板の搬入を行うことにした。また、上記基板処理方法において、前記N個の基板保持具のうちの少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも1個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することにした。また、上記基板処理方法において、上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することにした。また、上記基板処理方法において、上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上下に並設した2個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することにした。また、上記基板処理方法において、複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記N枚以上の前記基板を同時に搬送することにした。また、本発明では、複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を1枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を1枚ずつ保持するための基板保持具をN個Nは3以上の整数設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を1枚ずつ処理する基板処理プログラムを記録した記録媒体において、前記N個の基板保持具のうちの2個~N-1個の基板保持具で複数枚2枚~N-1枚の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に1枚ずつ前記基板の搬入を行うことにした。また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、前記N個の基板保持具のうちの少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも1個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することにした。また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも1個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することにした。また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、上下に並べて配列した前記N個の基板保持具のうちの上下に並設した2個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することにした。また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記N枚以上の前記基板を同時に搬送することにした。そして、本発明では、基板を1枚ずつ保持するための基板保持具をN個Nは3以上の整数設けた基板搬送機構を用いて基板処理室に基板を搬送し基板処理室で基板を1枚ずつ処理する場合において、N個の基板保持具のうちの2個~N-1個の基板保持具で複数枚2枚~N-1枚の基板を同時に保持して基板処理室に1枚ずつ基板の搬入を行うことにしているために、基板の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。以下に、本発明に係る基板処理装置の具体的な構成について図面を参照しながら説明する。図1及び図2に示すように、基板処理装置1は、前端部に基板2ここでは、半導体ウエハ。を複数枚たとえば、25枚。まとめてキャリア3で搬入及び搬出するための基板搬入出台4を形成するとともに、基板搬入出台4の後部にキャリア3に収容された基板2を搬送するための矩形箱型状の基板搬送ユニット5を形成し、基板搬送ユニット5の後部に基板2の洗浄や乾燥などの各種の処理を行うための矩形箱型状の基板処理ユニット6を形成している。基板搬入出台4は、複数個ここでは、4個。のキャリア3を基板搬送ユニット5の前壁7に密着させた状態で左右に間隔をあけて載置できるように構成している。基板搬送ユニット5は、前側に搬送装置8を収容した搬送室9を形成するとともに、搬送室9の後側に基板受渡室10を形成し、基板受渡室10にそれぞれ複数枚ここでは、20枚。の基板2を上下に間隔をあけて載置可能な2個の基板受渡台1112を上下に収容している。また、基板搬送ユニット5は、搬送室9と基板受渡室10とを受渡口13を介して連通連結している。そして、基板搬送ユニット5は、搬送装置8を用いて基板搬入出台4に載置されたいずれか1個のキャリア3と上下いずれかの基板受渡台1112との間で基板2を複数枚ここでは、5枚。ずつまとめて搬送するようにしている。ここで、基板搬送ユニット5は、20枚の基板2を載置できる上下それぞれの基板受渡台1112のうちの上側の10枚分を基板搬入出台4から基板処理ユニット6への搬入時だけに使用するとともに、下側の10枚分を基板処理ユニット6から基板搬入出台4への搬出時だけに使用することにして、基板処理ユニット6での処理前後の基板2が基板受渡台1112の同じ部分で支持されるのを回避し、処理前の基板2から処理後の基板2へのパーティクル等の転写が生じるのを防止している。基板処理ユニット6は、中央部上側に前後に伸延する第1の基板搬送室14を形成し、第1の基板搬送室14の左側に第1~第4の基板処理室15~18を前後に並べて形成するとともに、第1の基板搬送室14の右側に第5~第8の基板処理室20~23を前後に並べて形成している。また、基板処理ユニット6は、中央部下側に第1の基板搬送室14と同様に前後に伸延する第2の基板搬送室25を形成し、第2の基板搬送室25の左側に第9~第12の基板処理室26~29を前後に並べて形成するとともに、第2の基板搬送室25の右側に第13~第16の基板処理室31~34を前後に並べて形成している。第1の基板搬送室14は、内部に前後方向に移動可能に構成した第1の基板搬送機構36を収容するとともに、基板受渡室10の上側の基板受渡台11に第1の基板搬入出口37を介して連通している。また、第2の基板搬送室25は、内部に前後方向に移動可能に構成した第2の基板搬送機構38を収容するとともに、基板受渡室10の下側の基板受渡台12に第2の基板搬入出口39を介して連通している。第1及び第2の基板搬送機構3638は、同様の構成となっており、第1の基板搬送機構36の構成について説明すると、図3及び図4に示すように、基板搬送機構36は、基板搬送室14の床部に敷設したレール40に沿って図示しない駆動機構により移動可能であり、上下方向に向けて昇降させる駆動機構を備えた移動台41の上部にケーシング42を取付け、ケーシング42の内部に保持した基板2を受取り及び受渡すための3段の基板保持具434445を上下に並べて配列している。各基板保持具434445は、駆動装置464748の前端に二股フォーク状の基板載置台495051を進退及び昇降可能に取付け、各基板載置台495051の上面に基板2を支持するための基板支持体525354をそれぞれ基板2の外周端縁部に沿って円周方向に間隔をあけて4個取付けている。駆動装置464748は、基板載置台495051を駆動装置464748に対して離れる方向と近づく方向進退方向に移動させる。ここで、最上段及び最下段の基板保持具4345は、基板支持体5254を1段階段状に形成して、各段の基板保持部5556で基板2の外周端縁を支持し、基板2を水平に保持するようにしている。そして、最上段の基板保持具43は、各基板処理室15~1820~2326~2931~34から基板2を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具とするとともに、最下段の基板保持具45は、各基板処理室15~1820~2326~2931~34へ基板2を搬入することだけに専用する搬入専用基板保持具としている。これにより、処理前後の基板2が同じ基板保持具4345で保持されるのを回避し、処理前の基板2から処理後の基板2へのパーティクル等の転写が生じるのを防止することができる。一方、中段の基板保持具44は、各基板処理室15~1820~2326~2931~34へ基板2を搬入するとともに基板処理室15~1820~2326~2931~34から基板2を搬出するために兼用する搬入出兼用基板保持具としている。この搬入出兼用基板保持具44は、基板支持体53を2段階段状に形成することで各基板処理室15~1820~2326~2931~34への搬入時に基板2を保持する搬入時基板保持部57a57bと各基板処理室15~1820~2326~2931~34からの搬出時に基板2を保持する搬出時基板保持部58a58bとを搬入出兼用基板保持具44の移動方向進退方向に並べて形成している。ここで、搬入時基板保持部57aは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の前方側において基板支持体53の下段に形成され、搬入時基板保持部57bは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の後方側において基板支持体53の上段に形成されている。また、搬出時基板保持部58aは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の前方側において基板支持体53の上段に形成され、搬出時基板保持部58bは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の後方側において基板支持体53の下段に形成されている。そのため、搬入出兼用基板保持具44の移動方向における各基板保持部57a57b58a58bのピッチ間隔と、搬入及び搬出洗浄基板保持具4345の移動方向における各基板保持部55555656のピッチ間隔は、異なるように形成されている。また、搬入出兼用基板保持具44の移動方向における各基板保持部57a57b58a58bの位置と、搬入及び搬出洗浄基板保持具4345の移動方向における各基板保持部55555656の位置は、異なるように形成されている。そのため、搬入出兼用基板保持具44は、搬入及び搬出専用基板保持具4345よりも前後に進退移動する移動範囲を広くすることで、搬入出時の搬入出兼用基板保持具44の移動距離と搬入又は搬出専用基板保持具4345の移動距離とを異ならせて、同一位置に載置される基板2を受取れるようにしている。そして、中段の基板保持具搬入出兼用基板保持具44は、基板保持具44の移動方向前側2個の基板支持体53の1段目下段の搬入時基板保持部57aと基板保持具44の移動方向後側2個の基板支持体53の2段目上段の搬入時基板保持部57bとで基板2の外周端縁を支持し図4中に点線で示す状態。、或いは、基板保持具44の移動方向前側2個の基板支持体53の2段目上段の搬出時基板保持部58aと基板保持具44の移動方向後側2個の基板支持体53の1段目下段の搬出時基板保持部58bとで基板2の外周端縁を支持し図4中に実線で示す状態。、基板2を傾斜状に保持するようにしている。これにより、基板処理室15~1820~2326~2931~34で処理する前の基板2を前側2個の基板支持体53の1段目の搬入時基板保持部57aと後側2個の基板支持体53の2段目の搬入時基板保持部57bとで支持し、処理した後の基板2を前側2個の基板支持体53の2段目の搬出時基板保持部58aと後側2個の基板支持体53の1段目の搬出時基板保持部58bとで支持することで、処理前後の基板2が基板支持体53の同じ部分で支持されるのを回避し、処理前後の基板2の間でパーティクル等の転写が生じるのを防止することができる。基板処理ユニット6では、第1又は第2の基板搬送機構3638を用いて基板搬送ユニット5の基板受渡室10と各基板処理室15~1820~2326~2931~34との間や各基板処理室15~1820~2326~2931~34同士間で基板2を搬送するとともに、各基板処理室15~1820~2326~2931~34で基板2を1枚ずつ処理するようにしている。基板処理装置1は、以上に説明したように構成しており、基板搬送ユニット5の搬送装置8や基板処理ユニット6の各基板処理室15~1820~2326~2931~34や各基板搬送機構3638に制御部59を接続し、制御部59に内蔵した記録媒体60に格納した基板処理プログラムに従って制御されている。そして、基板搬送機構3638は、基板処理プログラムによって以下に説明するようにして制御され、複数枚の基板2を同時に搬送するようにしている。なお、以下の説明では、第1の基板搬送機構36の動作について説明するが、第2の基板搬送機構38も同様に動作するようになっている。まず、基板処理プログラムでは、搬送装置8を用いて基板搬入出台4に載置されたいずれか1個のキャリア3から基板受渡台11に5枚の基板2を搬送する。この基板処理プログラムでは、20枚の基板2を載置できる上下それぞれの基板受渡台1112のうちの上側の10枚分を基板搬入出台4から基板処理ユニット6への搬入時だけに使用し、しかも、各基板受渡台1112の搬入時に使用する10枚分のうちの上側5枚と下側5枚とに分けて連続して搬送装置8を用いて基板搬入出台4に載置されたいずれか1個のキャリア3から基板受渡台11に基板2を搬送するようにしている。次に、基板処理プログラムでは、図5aに示すように、基板搬送機構36を基板受渡室10の直前方位置まで移動させ、基板受渡台11の最上段と2段目に載置されている2枚の基板2を中段と最下段の基板保持具4445で受取る。その際に、中段の基板保持具搬入出兼用基板保持具44は、最下段の基板保持具搬入専用基板保持具45とは異なって長い距離だけ進退移動することで、前側2個の基板支持体53の1段目の搬入時基板保持部57aと後側2個の基板支持体53の2段目の搬入時基板保持部57bとで基板2を前低後高の傾斜状に保持図4中に点線で示す状態。するようにしている。次に、基板処理プログラムでは、図5bに示すように、基板搬送機構36を2枚の基板2を保持した状態でいずれかの基板処理室たとえば、第1の基板処理室15の直前方位置まで移動させるとともに高さを調節し、基板処理室15で処理した後の1枚の基板2を最上段の基板保持具43で基板処理室15から搬出する。次に、基板処理プログラムでは、図5cに示すように、基板搬送機構36の中段の基板保持具44で保持した1枚の基板2を基板処理室15に搬入する。その際に、中段の基板保持具搬入出兼用基板保持具44は、後述図5eする最下段の基板保持具搬入専用基板保持具45とは異なって長い距離だけ進退移動することで、前側2個の基板支持体53の1段目の搬入時基板保持部57aと後側2個の基板支持体53の2段目の搬入時基板保持部57bとで前低後高の傾斜状に保持図4中に点線で示す状態。した基板2を基板処理室15に搬入するようにしている。次に、基板処理プログラムでは、図5dに示すように、基板搬送機構36を2枚の基板2を保持した状態で他の基板処理室たとえば、第2の基板処理室16の直前方位置まで移動させるとともに高さを調節し、基板処理室16で処理した後の1枚の基板2を中段の基板保持具44で基板処理室16から搬出する。その際に、中段の基板保持具搬入出兼用基板保持具44は、前述図5bした最上段の基板保持具搬入専用基板保持具43とは異なって短い距離だけ進退移動することで、前側2個の基板支持体53の2段目の搬出時基板保持部58aと後側2個の基板支持体53の1段目の搬出時基板保持部58bとで基板2を前高後低の傾斜状に保持図4中に実線で示す状態。するようにしている。次に、基板処理プログラムでは、図5eに示すように、基板搬送機構36の最下段の基板保持具45で保持した1枚の基板2を基板処理室16に搬入する。次に、基板処理プログラムでは、図5fに示すように、基板搬送機構36を基板受渡室10の直前方位置まで移動させ、最上段と中段の基板保持具4344で同時に保持する2枚の基板2を基板受渡台11の3段目とその下段にそれぞれ受渡す。その際に、中段の基板保持具搬入出兼用基板保持具44は、最上段の基板保持具搬入専用基板保持具43とは異なって短い距離だけ進退移動することで、前側2個の基板支持体53の2段目の搬出時基板保持部58aと後側2個の基板支持体53の1段目の搬出時基板保持部58bとで基板2を前高後低の傾斜状に保持図4中に実線で示す状態。した基板2を基板受渡台11に搬出するようにしている。その後、基板処理プログラムでは、搬送装置8を用いて基板受渡台11から基板搬入出台4に載置されたいずれか1個のキャリア3に5枚の基板2を搬送する。この基板処理プログラムでは、20枚の基板2を載置できる上下それぞれの基板受渡台1112のうちの下側の10枚分を基板処理ユニット6から基板搬入出台4への搬出時だけに使用し、しかも、各基板受渡台1112の搬出時に使用する10枚分のうちの上側5枚と下側5枚とに分けて連続して搬送装置8を用いて基板受渡台11から基板搬入出台4に載置されたいずれか1個のキャリア3に基板2を搬送するようにしている。なお、以上の説明では、3個の基板保持具434445を有する基板搬送機構36で2枚の基板2を同時に保持して搬送する場合について説明したが、同様にして、N個3個以上の基板保持具を有する基板搬送機構を用いて2枚以上N-1枚以下の基板2を同時に保持して搬送することができる。以上に説明したように、上記基板処理装置1における基板処理プログラムを用いた基板処理方法では、基板2を1枚ずつ保持するための基板保持具434445を3個設けた基板搬送機構36を用いて基板処理室1516に基板2を搬送し基板処理室1516で基板2を1枚ずつ処理する場合において、3個の基板保持具434445で2枚の基板2を同時に保持し、各基板処理室1516に基板2を1枚ずつ搬送することにしているために、基板2の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。基板保持具434445は、3個の場合に限られず、N個Nは3以上の整数。設けて、2~N-1枚の基板2を同時に保持して搬送するようにしてもよく、特にN-1枚の基板2を同時に搬送することで、より一層基板2の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。なお、N枚全ての基板2を同時に搬送した場合には、基板処理室15~1820~2326~2931~34で処理した基板2を搬出することができないために、基板2の搬入と搬出とを同時に行うことができずに基板2の搬入と搬出とに分けて搬送しなければならず、かえって基板2の搬送に要する時間が長くなってしまう。特に、上記基板処理装置1の基板搬送機構36では、複数個ここでは、3個の基板保持具434445のうちの1個の基板保持具45を基板処理室15へ基板2を搬入することだけに専用し、他の1個の基板保持具43を基板処理室16から基板2を搬出することだけに専用し、その他の基板保持具44を基板処理室15へ基板2を搬入するとともに基板処理室16から基板2を搬出するために用いることにしているために、専用の基板保持具4345の構造を共通化するとともに、兼用の基板保持具44の構造を共通化することができるので、基板搬送機構36の構造を簡素化することができ、基板搬送機構36の組立作業性やメンテナンス性を向上させコストを低減させることができる。また、上記基板処理装置1の基板搬送機構36では、複数個ここでは、3個の基板保持具434445を上下に並べて配列するとともに、最上段側の基板保持具43を基板処理室15から基板2を搬出することだけに専用することにしているために、最上段の基板保持具43に基板処理室15で処理する前の基板2を保持することがなくなり、処理前の基板2に付着したパーティクル等が落下して下方の基板保持具4445で保持した基板2を汚損してしまうのを防止することができる。また、上記基板処理装置1の基板搬送機構36では、複数個ここでは、3個の基板保持具4344を上下に並べて配列し、上下に並設した2個の基板保持具4445のうちの一方の基板保持具44で基板処理室15へ基板2を搬入し、他方の基板保持具43で基板処理室15から基板2を搬出することにしているために、基板搬送機構36を昇降移動させる距離が短くなって搬送時間をより一層短縮することができる。また、他方の基板保持具43で基板処理室15から基板2を搬出する間に、一方の基板保持具44で基板処理室15へ基板2を搬入するような場合、つまり、両方の基板保持具が同時に基板処理室15にある場合に、基板処理室15の開口面積を小さくすることができて基板処理室15の小型化を図ることができる。さらに、上記基板処理装置1では、搬送装置8を用いて基板搬入出台4に載置されたいずれか1個のキャリア3と上下いずれかの基板受渡台1112との間でN枚ここでは、3枚。以上ここでは、5枚。の基板2をまとめて搬送するようにしているために、より一層基板2の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。