レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ光のビーム形状を整形するビーム整形レンズと、前記ビーム整形レンズを透過した前記レーザ光を目標領域において走査させる走査部と、前記目標領域において反射された反射光を集光する集光素子と、前記集光素子により集光された前記反射光を受光する光検出器と、前記レーザ光源と前記ビーム整形レンズとの間の距離を調整するフォーカス調整部とを備える、ことを特徴とするレーザレーダ。請求項1に記載のレーザレーダにおいて、前記フォーカス調整部は、前記ビーム整形レンズを収容するレンズホルダと、前記レーザ光源と前記レンズホルダを収容するレーザホルダと、前記レンズホルダを前記レーザ光源と前記ビーム整形レンズの並び方向に案内するための案内部とを備える、ことを特徴とするレーザレーダ。請求項2に記載のレーザレーダにおいて、前記案内部は、前記レーザホルダに形成された第1のネジ部と、前記第1のネジ部と噛み合う前記レンズホルダに形成された第2のネジ部とを含む、ことを特徴とするレーザレーダ。請求項2または3に記載のレーザレーダにおいて、前記レンズホルダを前記レーザホルダに押し当てて固定する固定具をさらに備える、ことを特徴とするレーザレーダ。請求項4に記載のレーザレーダにおいて、前記固定具は、前記レーザホルダを貫通し、前記レンズホルダを前記レーザホルダに押し当てて固定するネジを含む、ことを特徴とするレーザレーダ。請求項1ないし5の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、前記レーザ光源と、前記ビーム整形レンズと、前記集光素子と、前記光検出器は、前記反射光の進行方向に一列に並ぶように配される、ことを特徴とするレーザレーダ。上記構成において、レーザ光は、所定の環境下において、所定の距離の位置で焦点を結ぶようにして、目標領域に出射される。しかし、目標領域における物体は、部屋の広さ等の環境の変化に応じて、焦点距離よりも遠距離に位置付けられることが起こり得る。この場合、焦点距離よりも遠距離にある物体に対して、レーザ光が照射されると、レーザ光のビーム形状が収差により、不明瞭となる。これにより、前記光検出器によって受光される反射光の強度が低くなり、受光光量に応じた大きさの信号が閾値を超えず、適正に距離を取得できない惧れがある。本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、環境に応じて物体までの距離が変化しても、適正に距離を取得可能なレーザレーダを提供することを目的とする。本発明の主たる局面に係るレーザレーダは、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ光のビーム形状を整形するビーム整形レンズと、前記ビーム整形レンズを透過した前記レーザ光を目標領域において走査させる走査部と、前記目標領域において反射された反射光を集光する集光素子と、前記集光素子により集光された前記反射光を受光する光検出器と、前記レーザ光源と前記ビーム整形レンズとの間の距離を調整するフォーカス調整部とを備える。本発明によれば、環境に応じて物体までの距離が変化しても、適正に距離を取得可能なレーザレーダを提供することができる。本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態に係るミラーアクチュエータ1の分解斜視図である。図示の如く、ミラーアクチュエータ1は、インナーユニット10と、アウターユニット20を備えている。図2は、ミラーアクチュエータ1のインナーユニット10の分解斜視図である。図示の如く、インナーユニット10は、インナーユニットフレーム11と、パンシャフト12と、パンマグネットユニット13、14と、チルトマグネットユニット15、16と、パンコイルユニット17、18と、サスペンションワイヤー19a~19dとを備えている。インナーユニットフレーム11は、パンシャフト12を回動可能に指示する枠部材である。インナーユニットフレーム11は、正面視において長方形の輪郭を有している。インナーユニットフレーム11には、左右に並ぶ軸孔11aと、上下に並ぶ軸孔11bが形成されている。軸孔11aは、左右の側面の中心位置に配置され、軸孔11bは、上下の側面の中心に配置されている。軸孔11aには、軸受け11cが嵌め込まれ、軸孔11bには、軸受け11dが嵌め込まれる。パンシャフト12には、パンコイル171、181図3参照とLED122を電気的に接続する導線を通すための孔12aと、ミラー123を嵌め込むための段部12bが形成されている。また、パンシャフト12内は、パンコイル171、181とLED122を電気的に接続する導線を通すため、空洞となっている。パンシャフト12は、後述するように、ミラー123をPan方向に回動させる回転軸として利用される。パンシャフト12の裏側にはLED122が装着されている。LED122は、拡散タイプ広指向タイプであり、広い範囲に光を拡散させることができる。LED122からの拡散光は、後述するように、走査用のレーザ光の目標領域内での走査位置を検出するために利用される。LED122は、LED基板121に取り付けられている。LED基板121は、後方向から、パンシャフト12に取り付けられる。パンマグネットユニット13、14は、それぞれ、インナーユニットフレーム11の上面および下面に装着され、チルトマグネットユニット15、16は、それぞれ、インナーユニットフレーム11の左右の側面に装着される。また、パンコイルユニット17、18は、それぞれ、パンシャフト12の上下の端部に装着される。パンコイルユニット17、18に配されたパンコイル171、181図2には図示せず、図3参照に電流を流入すると、パンマグネット131、141とパンコイル171、181との間に生じる電磁駆動力によって、パンシャフト12は回転方向に駆動される。さらに、インナーユニットフレーム11の下面には、サスペンションワイヤー19a~19dの端部を固定するためのサスペンションワイヤー固定基板191、192が装着される。図3は、パンコイルユニット17の構成を示す図である。図3aは、パンコイルユニット17を下側から見たときの分解斜視図、図3bは、パンコイルホルダ172を上側から見たときの斜視図、図3cは、パンコイルユニット17を上側から見たときの斜視図である。なお、パンコイルユニット18の構成はパンコイルユニット17と略同じであるため、図3には、パンコイルユニット17の各部の番号とともに、これらに対応するパンコイルユニット18の各部の番号が付されている。ここでは、便宜上、パンコイルユニット17について説明する。図3aを参照して、パンコイルユニット17は、パンコイル171と、パンコイルホルダ172と、ヨーク173と、サスペンションワイヤー固定基板174を備えている。パンコイルホルダ172は、樹脂材料からなっている。パンコイルホルダ172には、4つのパンコイル装着部172aが設けられている。パンコイル装着部172aは、上下に貫通する略扇形の開口の周りに壁が形成された構成となっている。これら4つのパンコイル装着部172aには、それぞれ、パンコイル171が壁に沿って巻回されるようにして固着される。4つのパンコイル171は、略扇形の同じ形状を有している。4つのパンコイル171が、それぞれ、対応するパンコイル装着部172aに装着されると、パンコイル171全体の輪郭は、平面視において略円形形状になる。この状態で、4つのパンコイル171は、扇形の辺が互いに隣接するように、円周方向に均等に並ぶ。4つのパンコイル171は、一続きとなっており、ミラーアクチュエータ1が組み立てられた状態において電流を流入することにより、それぞれのパンコイル171に同じ回転方向の電磁駆動力が発生するよう、巻き方向が調整されている。また、パンコイルホルダ172の中央には、パンシャフト12の端部を通すための軸孔172bが設けられている。また、ヨーク173の中央には、パンシャフト12の端部12dを通すための軸孔173aが設けられている。ヨーク173は、対向するパンマグネット131の磁界の作用を強める。また、パンコイルホルダ172の隅は台状に盛り上がっており、この部分に、サスペンションワイヤー19a、19bを通すための2つのワイヤー孔172cと、サスペンションワイヤー19c、19dを通すための2つのワイヤー孔172dが形成されている。ワイヤー孔172c、172dは、上下に貫通している。サスペンションワイヤー固定基板174は、長方形の薄板形状を有している。サスペンションワイヤー固定基板174は、ガラスエポキシ樹脂からなっている。サスペンションワイヤー固定基板174には、ワイヤー孔172c、172dに対応する位置に、サスペンションワイヤー19a、19bを通すための2つの端子穴174bと、サスペンションワイヤー19c、19dを通すための2つの端子穴174cが形成されている。端子穴174b、174cは、上下に貫通している。また、図3cに示すように、サスペンションワイヤー固定基板174上面の端子穴174b、174cの周りには、半田を載せるための凹部が形成されている。また、パンコイルホルダ172の上面には、図3bに示すように、円柱状の凸部172e、172fが形成されている。ヨーク173には、凸部172eに対応する位置に、2つの孔173bが形成されている。凸部172eに孔173bが通されることにより、ヨーク173がパンコイルホルダ172に位置決めされる。この状態で、ヨーク173がパンコイルホルダ172の上面に接着固定される。サスペンションワイヤー固定基板174には、凸部172fに対応する位置に、2つの孔174aが形成されている。サスペンションワイヤー固定基板174は、凸部172fに孔174aが通されることにより、パンコイルホルダ172に対して位置決めされる。この状態で、サスペンションワイヤー固定基板174が、パンコイルホルダ172の上面に接着固定される。これにより、図3cに示すパンコイルユニット17が完成する。この状態で、パンコイルホルダ172の軸孔172bの位置は、ヨーク173の軸孔173aの位置に合わされる。また、パンコイルホルダ172のワイヤー孔172cの位置は、サスペンションワイヤー固定基板174の端子穴174bの位置に合わされ、パンコイルホルダ172のワイヤー孔172dの位置は、サスペンションワイヤー固定基板174の端子穴174cの位置に合わされる。パンコイルユニット18は、パンコイルユニット17と略同様にして構成されている。ただし、パンコイルユニット18のサスペンションワイヤー固定基板184には、サスペンションワイヤー19a~19dが通されないため、パンコイルホルダ182にはワイヤー孔が設けられておらず、また、サスペンションワイヤー固定基板184には端子穴が設けられない。図2を参照して、インナーユニット10の組立時には、まず、パンシャフト12が、軸孔11bに通され、インナーユニットフレーム11内に収容される。そして、パンシャフト12の段部12bにミラー123が嵌め込まれ、パンシャフト12の両端の軸に軸受け11dが取り付けられる。そして、この状態で、2つの軸受け11dが、インナーユニットフレーム11に形成された軸孔11bに嵌め込まれる。また、チルトシャフト25、26図1参照のための2つの軸受け11cが、インナーユニットフレーム11に形成された軸孔11aに嵌め込まれる。これにより、図4aに示す組立体が完成する。なお、図4a~dでは、便宜上、ミラー123が図示省略されている。また、図4aの状態において、インナーユニットフレーム11の下面には、上記のように、サスペンションワイヤー固定基板191、192が装着されている図示省略。その後、図4bのように、パンマグネットユニット13が、インナーユニットフレーム11の上面に装着される。パンマグネットユニット13は、リング状のパンマグネット131図2参照がパンマグネットホルダ132に接着されることにより構成されている。パンマグネット131は、周方向に4つの磁極領域に均等に区分されている。隣り合う磁極領域の磁極は、互いに異なっている。パンマグネットユニット13の装着時には、パンマグネットホルダ132が、インナーユニットフレーム11上面の溝に嵌め込まれた状態で、ネジ13a、13bがインナーユニットフレーム11の上面に螺着される。同様にして、パンマグネットユニット13と同様の構成を有するパンマグネットユニット14が、ネジ14a、14b図2参照により、インナーユニットフレーム11の下面に固着される。そして、図4cに示すように、インナーユニットフレーム11の左右の側面にチルトマグネットユニット15、16が装着される。チルトマグネットユニット15、16は、それぞれ、リング状のチルトマグネット151、161図2参照がチルトマグネットホルダ152、162に接着されることにより構成されている。チルトマグネット151、161は、それぞれ、周方向に4つの磁極領域に均等に区分されている。隣り合う磁極領域の磁極は、互いに異なっている。チルトマグネットユニット16の装着時には、チルトマグネットホルダ162が、インナーユニットフレーム11の右側側面に形成された溝に嵌め込まれた状態で、ネジ16a、16bがインナーユニットフレーム11の右側面に螺着される。同様にして、チルトマグネットユニット15が、ネジ15a、15b図2参照によりインナーユニットフレーム11に固着される。次に、パンコイルユニット17、18が、パンシャフト12の両端に嵌め込まれるようにして、それぞれ、パンシャフト12の両端に装着される。これにより、図4dの組立体が完成する。この状態において、パンコイルユニット17、18は、パンシャフト12と一体的に回動可能となる。なお、パンコイルユニット17、18のパンコイル171、181は、電流が流入することによりパンシャフト12に回転方向の電磁駆動力が生じるように配置される。この状態で、図5bに示すように、サスペンションワイヤー19a、19bが、サスペンションワイヤー固定基板174の端子穴174bと、パンコイルホルダ172のワイヤー孔172cを介して、サスペンションワイヤー固定基板191の端子穴191aに通される。同様に、サスペンションワイヤー固定基板174の端子穴174cと、パンコイルホルダ172のワイヤー孔172dを介して、サスペンションワイヤー固定基板192の端子穴192aに通される。サスペンションワイヤー19a~19dは、それぞれ、パンコイル171、181と、LED122に電流を供給するための導線とともにサスペンションワイヤー固定基板174、191、192に半田付けられる。なお、サスペンションワイヤー固定基板191、192には、端子穴191a、192aの他に、端子穴191b、192bが形成されている。また、端子穴191aと端子穴191bは導電パターンによって電気的に接続され、端子穴192aと端子穴192bは導電パターンによって電気的に接続されている。こうして、図5に示すように、インナーユニット10の組立が完了する。図5aは、組み立てられたインナーユニット10を前側から見た斜視図であり、図5bは、組み立てられたインナーユニット10を後側から見た斜視図である。この状態で、ミラー123は、パンシャフト12の周りにPan方向に回動可能となる。なお、パンコイルユニット17、18は、ミラー123のPan方向の回動に伴って、Pan方向に回動する。他方、サスペンションワイヤー固定基板191、192は、インナーユニット10の下面に固着されているため、ミラー123のPan方向の回動に伴って、Pan方向に回動しない。図1に戻り、アウターユニット20は、アクチュエータフレーム21と、チルトコイルユニット22、23と、サーボユニット24と、チルトシャフト25、26と、サスペンションワイヤー27a~27dとを備えている。図6を参照して、アクチュエータフレーム21は、前方が開いた枠部材からなっている。アクチュエータフレーム21の左右の側面の中央には、チルトシャフト25、26を通すための軸孔21a、21dが形成されている。また、アクチュエータフレーム21の左右の側面には、チルトコイルユニット22、23を固定するためのネジ穴21b、21c、21e、21fが形成されている。また、アクチュエータフレーム21の後側面には、サーボユニット24のピンホール箱244を通すための開口21gと、サーボユニット24を固定するためのネジ穴21h、21iが形成されている。また、アクチュエータフレーム21の後側面には、後述する保持枠310にミラーアクチュエータ1を固定するためのネジ穴21j、21kが形成されている。図6bは、チルトコイルユニット22の構成を示す図である。なお、チルトコイルユニット23の構成はチルトコイルユニット22と同じであるため、図6には、チルトコイルユニット22の各部の番号とともに、これらに対応するチルトコイルユニット23の各部の番号が付されている。ここでは、便宜上、チルトコイルユニット23について説明する。図6bを参照して、チルトコイルユニット22は、チルトコイル221と、チルトコイルホルダ222とを備えている。チルトコイルホルダ222は、樹脂材料からなっている。チルトコイルホルダ222には、4つのチルトコイル装着部222aが設けられている。チルトコイル装着部222aは、上下に貫通する略扇形の開口の周りに壁が形成された構成となっている。これら4つのチルトコイル装着部222aには、それぞれ、チルトコイル221が壁に沿って巻回されるようにして固着される。4つのチルトコイル221は、略扇形の同じ形状を有している。4つのチルトコイル221が、それぞれ、対応するチルトコイル装着部222aに装着されると、チルトコイル221全体の輪郭は、平面視において略円形形状になる。この状態で、4つのチルトコイル221は、扇形の辺が互いに隣接するように、円周方向に均等に並ぶ。4つのチルトコイル221は、一続きとなっており、ミラーアクチュエータ1が組み立てられた状態において電流を流入することによりそれぞれのチルトコイル221とチルトマグネットユニット15との間に同じ回転方向の電磁駆動力が発生するよう、巻き方向が調整されている。チルトコイルホルダ222の中央には、チルトシャフト25を通すための円形の軸孔222bが設けられている。また、チルトコイルホルダ222の両端には、アクチュエータフレーム21に固定するためのネジ孔222c、222dが形成されている。チルトコイルユニット23は、チルトコイルユニット22と同様にして構成されている。ここでは、各部の詳細な説明は省略する。また、図6cを参照して、サーボユニット24は、PSD基板241と、PSD242と、バンドパスフィルタ243と、ピンホール箱244とを備えている。PSD基板241には、PSD基板241をアクチュエータフレーム21に固定するための2つのネジ孔241a、241bが形成されている。PSD基板241の背面には、サスペンションワイヤー27a、27bを通すための2つの端子穴241c図6cには図示せず。図7b参照が形成されている。また、PSD基板241の背面には、サスペンションワイヤー27c、27dを通すための2つの端子穴241d図6cには図示せず。図7b参照が形成されている。PSD基板241には、PSD242が装着されている。PSD242は、サーボ光の受光位置に応じた信号を出力する。バンドパスフィルタ243は、LED122から出射される波長帯域の光のみを透過し、それ以外の波長帯域の迷光を除去する。バンドパスフィルタ243は、PSD242の表面に取り付けられ、接着固定される。ピンホール箱244は、図6dに示すように、内部が空洞となっており、中央にピンホール244aが形成されている。ピンホール244aは、LED122から出射された拡散光のうち、一部の光を透過させる。ピンホール箱244は、遮光性のある物質からなり、ピンホール244aを透過する光以外の迷光が、PSD242に入射することを防ぐ。ピンホール箱244は、PSD基板241に取り付けられ、接着固定される。図6aに戻り、アウターユニット20の組立時には、ネジ孔222c、222dを介して、ネジ22a、22bをネジ穴21b、21cに螺着する。これにより、チルトコイルユニット22がアクチュエータフレーム21に固着される。同様に、ネジ孔232c、232dを介して、ネジ23a、23bをネジ穴21e、21fに螺着する。これにより、チルトコイルユニット23がアクチュエータフレーム21に固着される。次に、ネジ孔241a、241bを介して、ネジ24a、24bをネジ穴21h、21iに螺着する。これにより、サーボユニット24がアクチュエータフレーム21に固着される。こうして、図1に示す構成体が組み立てられる。図1を参照して、サスペンションワイヤー27a~27dは、りん青銅、ベリリウム銅等からなり、導電性に優れ、ばね性を有する。サスペンションワイヤー27a~27dは、断面が矩形状となっている。サスペンションワイヤー27a~27dは、互いに同じ形状および特性を持ち、パンコイル171、181とLED122への電流供給のために利用される。サスペンションワイヤー27a~27dは、通常の状態において、後方に湾曲した形状を有している。インナーユニット10とアウターユニット20の組立時には、まず、インナーユニット10が、アウターユニット20内に収容される。左から、チルトシャフト25の段部25aがアクチュエータフレーム21の軸孔21a図6a参照に通され、段部25bが、インナーユニットフレーム11の軸受け11cに通される図2参照。その後、磁気バネ用マグネットホルダ251が、チルトシャフト25の段部25cに通され、接着固定される。また、同様にして、右から、チルトシャフト26の段部26aがアクチュエータフレーム21の軸孔21dに通され、段部26bが、インナーユニットフレーム11の軸受け11c図2参照に通される。そして、磁気バネ用マグネットホルダ261が、チルトシャフト26の段部26cに通され、接着固定される。この状態で、チルトシャフト25、26が回動され、磁気バネ用マグネット252、262の回転方向の位置が調整される。具体的には、インナーユニット10が鉛直方向に直立した状態で、磁気バネ用マグネット252、262の各磁極領域が、チルトマグネット151、161の対応する磁極領域に正対向する位置に、磁気バネ用マグネット252、262の位置が調整される。かかる調整が終了した後、チルトシャフト25、26が、アクチュエータフレーム21に接着固定される。これにより、インナーユニットフレーム11がTilt方向に回動しても、チルトシャフト25、26と磁気バネ用マグネット252、262は、回動しないよう固定される。他方、チルトマグネット151、161は、インナーユニットフレーム11と一体となって回動する。インナーユニットフレーム11が回動していないとき、磁気バネ用マグネット252、262の各領域の境界の位置と、チルトマグネット151、161の各領域の境界の位置は一致している。また、磁気バネ用マグネット252、262の各領域の極性は、対向するチルトマグネット151、161の各領域の極性と異なっている。したがって、チルトマグネット151、161は、それぞれ、右方向、左方向に引き付けられ、これにより、インナーユニットフレーム11に右方向および左方向の力が働く。これら2つの力は、互いに釣り合っている。このため、インナーユニットフレーム11は左右何れか一方の方向に付勢されることなく、アクチュエータフレーム21に支持された状態にある。こうして、インナーユニット10がアウターユニット20に回動可能に取り付けられると、図7bに示すように、サスペンションワイヤー27a、27bの一端が、サスペンションワイヤー固定基板191の端子穴191bに通され、半田付けられる。また、サスペンションワイヤー27a、27bの他端が、PSD基板241の2つの端子穴241cに通され、半田付けられる。同様に、サスペンションワイヤー27c、27dの一端が、サスペンションワイヤー固定基板192の端子穴192bに通され、半田付けられる。また、サスペンションワイヤー27c、27dの他端が、PSD基板241の2つの端子穴241dに通され、半田付けられる。サスペンションワイヤー27a~27dは、図7aのようにミラー123のミラー面が水平方向に対して垂直であるときに、通常の状態から略変形することなく端子穴191b、192bと、端子穴241c、241dとを繋ぐように、後方に湾曲した形状を有する。これにより、サスペンションワイヤー27a~27dは、インナーユニットフレーム11に極力、不要な力を加えずに、インナーユニットフレーム11がTilt方向に回動するときに必要な長さを有することできる。また、サスペンションワイヤー27a~27dにより、インナーユニットフレーム11に取り付けられたパンコイル171、181、およびLED122に対して、電流が供給される。また、図示しないが、チルトコイル221、231には、PSD基板241から、導線が直接接続され、電流が供給される。なお、チルトコイル221、231は、回動しないアクチュエータフレーム21に取り付けられているため、導線が直接接続されたとしても、ミラー123の回動には、影響しない。こうして、ミラーアクチュエータ1の組立が完了する。図7aは、ミラーアクチュエータ1を前方から見た斜視図、図7bは、ミラーアクチュエータ1を後方から見た斜視図である。この状態で、インナーユニットフレーム11は、チルトシャフト25、26の周りにTilt方向に回動可能となる。なお、パンコイルユニット17、18とサスペンションワイヤー固定基板191、192は、インナーユニットフレーム11のTilt方向の回動に伴って、Tilt方向に回動する。図7に示すアセンブル状態において、パンコイル171、181に電流を流すと、パンコイル171、181と、パンマグネット131、141に生じる電磁駆動力によってパンコイルユニット17、18とともにパンシャフト12が回動し、これにより、ミラー123が、パンシャフト12を軸としてPan方向に回動する。ミラー123がPan方向に回動すると、パンコイルユニット17、18は一体的に回動し、サスペンションワイヤー固定基板191、192は回動しない。したがって、サスペンションワイヤー19a、19bと、サスペンションワイヤー19c、19dは、それぞれ、長手方向に引っ張られながら、パンシャフト12を中心として、ねじれの位置に位置付けられる。このとき、サスペンションワイヤー19a~19dは、長手方向に伸縮しないため、可撓性を有するサスペンションワイヤー固定基板191、192が上方向に引っ張られる。こうすると、サスペンションワイヤー19a~19dとサスペンションワイヤー固定基板191、192のばね性により、パンシャフト12を中心とした、ミラー123のPan方向の回動方向と逆向きのトルクが発生する。このトルクは、サスペンションワイヤー19a~19dとサスペンションワイヤー固定基板191、192のばね定数とパンシャフト12を中心としたミラー123の回動位置とによって算出可能な所定の値となる。このように、ミラー123がPan方向に回動した状態では、常に逆向きのトルクが発生するため、パンコイル171、181への電流の印加を中止すると、ミラー123は、回動前の位置に戻される。図7に示すアセンブル状態において、チルトコイル221、231に電流を流すと、チルトコイル221、231と、チルトマグネット151、161に生じる電磁駆動力によってパンコイルユニット17、18とともにインナーユニットフレーム11がチルトシャフト25、26を軸とするチルト方向に回動し、これにより、ミラー123が、チルト方向に回動する。インナーユニットフレーム11がTilt方向に回動すると、チルトマグネット151は、インナーユニットフレーム11に伴って回動するが、磁気バネ用マグネット252は、チルトシャフト25に固定されているため、回動しない。このため、チルトマグネット151の領域分割の位置と、磁気バネ用マグネット252の領域分割の位置が周方向にずれる。これにより、チルトマグネット151のN極の領域の一部が、磁気バネ用マグネット252のN極の領域の一部に向かい合い、チルトマグネット151のS極の領域の一部が、磁気バネ用マグネット252のS極の領域の一部に向かい合う。このため、チルトマグネット151の各領域に、チルトマグネット151を回動前の位置に引き戻す磁力が発生する。これにより、インナーユニットフレーム11に、チルト中立位置へと向かうトルク抗力が加わる。このトルク抗力は、チルトマグネット151と磁気バネ用マグネット252の間に発生する磁力の強さと、インナーユニットフレーム11の回動位置とによって算出可能な所定の値となる。このように、ミラー123がインナーユニットフレーム11と一体になってチルト中立位置から回動すると、常に逆向きのトルクが発生するため、チルトコイル221、231への電流の印加を中止すると、ミラー123は、チルト中立位置に戻される。図8は、ミラーアクチュエータ1が装着された状態のレーザレーダ300の内部を側面から透視した模式図である。図8を参照して、レーザレーダ300は、ミラーアクチュエータ1と、筐体301と、投射/受光窓302と、レーザユニット400と、受光ユニット500とを備える。筐体301は、立方体形状をしており、ベース301aと、カバー301bを備える。筺体301は、内部に、ミラーアクチュエータ1と、レーザユニット400と、受光ユニット500とを収容する。筐体301の正面には、投射/受光窓302が装着される。投射/受光窓302は、表面が湾曲した曲面状の透明な板からなっている。投射/受光窓302は、透明性の高い材料からなり、また、入射面と出射面に反射防止膜ARコートが付されている。図9a、bは、レーザユニット400の中心軸を通り、筺体301のベース301aに垂直な平面YZ平面でレーザユニット400を切断したときの断面を模式的に示す断面図である。図9aは、各部材が分解された状態のレーザユニット400が示されており、図9bは、各部材が組み立てられた状態のレーザユニット400が示されている。図9cは、各部材が組み立てられた状態のレーザユニット400を前方から見た斜視図である。レーザユニット400は、レーザ光源401と、ビーム整形レンズ402と、レーザホルダ411と、留めネジ412と、光透過板413と、レンズホルダ414を備えている。レーザ光源401は、波長900nm程度のレーザ光を出射する。レーザ光源401は、ベース401a上にCAN401bを備えるCANパッケージ型のレーザ光源である。また、レーザ光源401は、ストライプ幅が縦に長い、高出力のブロードエリア型半導体レーザである。ビーム整形レンズ402は、非球面レンズであり、出射レーザ光が、目標領域において所定の形状となるよう、出射レーザ光を収束させる。たとえば、目標領域本実施の形態では、投射/受光窓302から前方15m程度の位置に設定されるにおけるビーム形状が、縦2m、横0.2m程度の略楕円形状となるように、ビーム整形レンズ402が設計される。レーザホルダ411は、アルミ等の金属によって形成されている。レーザホルダ411は、前後で外周の径が異なる略円筒形状となっている。前方には、大径部411aが形成されており、後方には、大径部411aよりも径が小さい小径部411bが形成されている。大径部411aの外周には、留めネジ412に螺着される際の滑り止めのため、ローレット加工が成されている図9c参照。大径部411aの上部には、押さえネジ411dが螺着するネジ穴411cが形成されている。押さえネジ411dは、先端部が平坦となっており、押さえネジ411dの上下方向の高さは、大径部411aの厚みよりも、やや大きい。押さえネジ411dがネジ穴411cに完全に螺着されると、押さえネジ411dは、大径部411aを貫通し、開口411f内にやや突出する。小径部411b外側面の後方の一部には、ネジ溝411eが設けられている。また、レーザホルダ411は、内部にレンズホルダ414を収容するための円形の開口411fとレーザ光源401を収容するための円形の開口411gが形成されている。開口411fの径は、レンズホルダ414の小径部414bの外径よりもやや大きく、開口411gの径は、レーザ光源401のベース401aの径よりもやや大きい。開口411f内側面の後方の一部には、ネジ溝411hが設けられている。さらに、開口411fと開口411gの間には、開口411f、411gよりも径が小さいリング状の段部411iが形成され、段部411iの内側に円形の孔が形成されている。段部411iの内側の孔の径は、レーザ光源401のCAN401bの径よりもやや大きい。レーザ光源401のベース401aの前面がレーザホルダ411の段部411iに当接するまで、後方からレーザ光源401が開口411gに嵌め込まれる。これにより、レーザ光源401がレーザホルダ411に対して位置決めされ、レーザ光源401がレーザホルダ411に接着固定される。留めネジ412は、レーザホルダ411と同様に、アルミ等の金属によって形成されている。また、留めネジ412は、内部にレーザホルダ411を収容するための開口412aが形成された略円筒形状となっている。開口412aの径は、レーザホルダ411の小径部411bよりもやや大きい。開口412a内には、レーザホルダ411のネジ溝411eと噛み合うネジ溝412bが設けられている。また、留めネジ412の外周には、レーザホルダ411と螺着する際の滑り止めのため、ローレット加工が成されている図9c参照。光透過板413は、光が透過可能なガラスによって形成されている。光透過板413の入射面と出射面には、目標領域からの反射光の透過率を高めるため、反射防止膜が付されている。光透過板413は、正面視において、上部が直線状にカットされたカット部413aを有する略半円形状となっている図9c参照。光透過板413は、レーザホルダ411を安定的に保持するため、前後方向の厚みがやや厚くなっている。光透過板413は、目標領域からの反射光を後述する受光レンズ502図10参照に導くため、光透過板413によって反射光が屈折した後においても、受光レンズ502のレンズ面の全体に反射光が入射する程度の径を有している。光透過板413の中央には、レーザホルダ411を通すための円形の開口413bが形成されている。開口413bの径は、レーザホルダ411の大径部411aよりも小さく、レーザホルダ411の小径部411bよりやや大きい。レンズホルダ414は、レーザホルダ411と同様に、アルミ等の金属によって形成されている。レンズホルダ414は、前後で外周の径が異なる略円筒形状となっている。前方には、大径部414aが形成されており、後方には、大径部414aよりも径が小さい小径部414bが形成されている。小径部414bの後方の一部には、レーザホルダ411のネジ溝411hと噛み合うネジ溝414cが設けられている。レンズホルダ414は、内部にビーム整形レンズ402を収容し、レーザ光源401から出射されたレーザ光をビーム整形レンズ402に導くための円形の開口414dが形成されている。開口414dの前方の径は、ビーム整形レンズ402の径よりもやや大きい。開口414dには、段部414eが形成されており、段部414eの部分における開口414dの径は、開口414dの前方の径よりも小さくなっている。ビーム整形レンズ402の後面の周辺部がレンズホルダ414の段部414eに当接するまで、前方からビーム整形レンズ402が開口414dに嵌め込まれる。この状態で、ビーム整形レンズ402がレンズホルダ414に接着固定される。レーザユニット400の組立時には、まず、前方からレーザホルダ411の小径部411bが光透過板413の開口413bに通される。その後、光透過板413を挟み込むようにして、後方から、留めネジ412がレーザホルダ411のネジ溝411eに螺着される。これにより、光透過板413が、レーザホルダ411の大径部411aと小径部411bとの間の段差と、留めネジ412の前面との間に挟持される。そして、この状態で、レンズホルダ414の小径部414bが、レーザホルダ411の開口411fに通され、レンズホルダ414がレーザホルダ411のネジ溝411hに螺着される。この状態で、レンズホルダ414を回転させることにより、ビーム整形レンズ402を前後方向に位置調整することできる。そして、レーザ光源401からレーザ光が出射され、所定の距離たとえば、15mにおいて、レーザ光が焦点を結ぶように、レンズホルダ414が前後方向に位置調整される。具体的には、まず、目標の距離略15mの位置にスクリーンを立てて、このスクリーンにレーザ光が照射される。この状態で、ビーム整形レンズ402が前後方向に移動されながら、光検出器503からの信号強度がモニタされる。そして、モニタされた信号強度が最大となる位置に、ビーム整形レンズ402が位置付けられる。これにより、ビーム整形レンズ402のフォーカス調整がなされる。ビーム整形レンズ402のフォーカス調整がなされた後、レーザホルダ411のネジ穴411cに、押さえネジ411dが螺着され、押さえネジ411dの平坦な先端部によって、レンズホルダ414がレーザホルダ411に押し付けられる。これにより、レンズホルダ414は、レーザホルダ411に固着される。なお、レンズホルダ414がレーザホルダ411に固着された後、ビーム整形レンズ402の回転位置が調整される。すなわち、目標領域においてビームの形状が所定の形状縦長になるように、回転方向におけるビーム整形レンズ402の位置が調整される。このため、上記のようにフォーカス調整が行われた後、一旦、留めネジ412が緩められ、レンズホルダ414が回転可能な状態とされる。この状態で、目標領域においてビームの形状が所定の形状縦長になる位置にレーザホルダ411が回転され、その後、留めネジ412が締め付けられる。これにより、回転方向におけるビーム整形レンズ402の位置調整が完了する。こうして、図9b、cに示すレーザユニット400が組み立てられる。図10は、レーザユニット400と各部材が分解された状態の受光ユニット500を前方から見た斜視図である。図11aは、鏡筒511を後方から見た斜視図、図11bは、レーザホルダ保持部512を後方から見た斜視図である。図11cは、各部材が組み立てられた状態の受光ユニット500にレーザユニット400が組み付けられた状態を前方から見た斜視図である。図10を参照して、受光ユニット500は、バンドパスフィルタ501と、受光レンズ502と、光検出器503と、鏡筒511と、レーザホルダ保持部512とを備える。バンドパスフィルタ501は、誘電体多層膜で構成されており、出射レーザ光の波長帯域の光のみを透過させる。なお、バンドパスフィルタ501は、反射光が略平行光の状態で入射されるため、簡素な膜構成のものが用いられる。受光レンズ502は、フレネルレンズであり、目標領域から反射された光を集光する。フレネルレンズは、凸レンズを同心円状の領域に分割し厚みを減らしたレンズである。光検出器503は、APDアバランシェフォトダイオードまたはPINフォトダイオードからなり、回路基板503aに装着されている。光検出器503は、受光光量に応じた大きさの電気信号を回路基板503aに出力する。光検出器503の受光面は、複数の領域に分割されておらず、単一の受光面からなっている。また、光検出器503の受光面は、迷光の影響を抑えるため、縦横の幅が狭く構成されている例えば1mm前後。回路基板503aには、回路基板503aを鏡筒511に固定するための4つのネジ孔503bが形成されている。鏡筒511は、光を透過しない樹脂材等により形成されている。鏡筒511には、目標領域からの反射光および出射レーザ光が遮光されないよう傾斜部511aが形成されている。また、鏡筒511は、光検出器503に反射光を導くため、前方に開口511bが形成されている。開口511bは、バンドパスフィルタ501および受光レンズ502の径よりもやや大きい。また、図11aに示すように、鏡筒511は、後方に開口511bよりも径の小さい開口511cが形成されている。開口511cは、バンドパスフィルタ501および受光レンズ502の径よりもやや小さい。図10に戻り、開口511bと開口511cの間には、段差511dが設けられている。さらに、鏡筒511の前面には、レーザホルダ保持部512を固定するための3つのネジ穴511eが形成されている。また、鏡筒511の左側面には、後述する保持枠310に固定されるための2つのネジ穴511fが形成されている。同様に、図11aに示すように、鏡筒511の右側面には、後述する保持枠310に固定されるための2つのネジ穴511gが形成されている。さらに、鏡筒511の背面には、回路基板503aを固定するための4つのネジ穴511hが形成されている。レーザホルダ保持部512は、鏡筒511と同様に光を透過しない樹脂材等で形成されている。レーザホルダ保持部512は、正面視において、中央に略半形状の開口512aが形成されている。開口512aの径は、レーザユニット400の光透過板413の径よりもやや大きい。開口512aの後方には、段部512bが形成されている。また、開口512aの左右の上端には、切り欠き512cが形成されている。さらに、レーザホルダ保持部512の左下隅、右上隅、および右下隅には、前方向から後方向に延びる溝512dが形成されており、溝512dの後方には、それぞれ、ネジ孔512eが形成されている図11b参照。受光ユニット500の組立時には、まず、前方からバンドパスフィルタ501と受光レンズ502が、段差511dに当接するように開口511bに装着される。その後、後方から、光検出器503の回路基板503aが鏡筒511の背面に当てられ、回路基板503aの4つのネジ孔503bと、鏡筒511の4つのネジ穴511h図11a参照が合わされる。この状態で、4つのネジ503cが、4つのネジ孔503bを介して、鏡筒511の4つのネジ穴511hに螺着される。これにより、光検出器503が鏡筒511に装着される。次に、前方からレーザホルダ保持部512の背面が鏡筒511の前面に押し当てられ、レーザホルダ保持部512の3つのネジ孔512eが、鏡筒511の3つのネジ穴511eに合わされる。この状態で、ネジ孔512eを介して、ネジ512fが鏡筒511eのネジ穴511eに螺着される。これにより、レーザホルダ保持部512が鏡筒511に固着される。これにより、受光ユニット500の組立が完了する。その後、レーザユニット400が、前方から、レーザホルダ保持部512の開口512aに通され、光透過板413が段部512bに当接するように押し当てられる。この状態で、切り欠き512cから接着剤が流入され、光透過板413がレーザホルダ保持部512に接着固定される。こうして、図11cに示す構成体が組み立てられる。図12は、筺体301のカバー301bが取り外れた状態のレーザレーダ300の分解斜視図である。なお、ミラーアクチュエータ1は、図示省略されており、レーザユニット400と受光ユニット500は組み付けられた状態で示されている。図12を参照して、保持枠310は、ベース301a上に装着された枠部材であり、鏡筒511を保持するための平板部311、312と、ミラーアクチュエータ1を保持するためのアクチュエータ保持部313を備える。平板部311は、Y軸方向に延びる平板状であり、前方Z軸正方向にY軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸正方向に近づく方向に所定の角度たとえば、30度で傾く傾斜部311aが形成されている。また、平板部311には、鏡筒511を固定するための2つのネジ孔311bと、レーザ光源401が電気的に接続される回路基板401cを固定するための4つのネジ穴311cが形成されている。同様に、平板部312は、Y軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸正方向に近づく方向に所定の角度たとえば、30度で傾く傾斜部312aが形成された平板である。平板部312は、鏡筒511を固定するための2つのネジ孔312bと、後述する回路基板600を固定するための4つのネジ穴312cが形成されている。アクチュエータ保持部313は、Y軸方向に延びる平板状であり、後方Z軸負方向にY軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸負方向に近づく方向に所定の角度たとえば、15度で傾く傾斜部313a、313eが形成されている。また、アクチュエータ保持部313には、傾斜部313aに平行してX軸正方向に延びる鍔部313bが形成されている。鍔部313bには、ミラーアクチュエータ1を固定するためのネジ孔313cが形成されている。同様に、アクチュエータ保持部313には、傾斜部313eに平行してX軸負方向に延びる鍔部313fが形成されており、鍔部313fには、ミラーアクチュエータ1を固定するためのネジ孔313gが形成されている。回路基板401cは、レーザ光源401図9a参照を電気的に接続するための回路基板である。回路基板401cには、平板部311に固定されるための4つのネジ孔401dが形成されている。回路基板600は、CPUやメモリ等を備え、レーザ光源401用の回路基板401cと、光検出器503用の回路基板503a図10参照と、ミラーアクチュエータ1のPSD基板241図7参照と電気的に接続される。レーザレーダ300の組立時には、まず、鏡筒511が平板部311と平板部312の間に収容され、鏡筒511の2つのネジ穴511fが平板部311の2つのネジ孔311bに合わされ、鏡筒511の2つのネジ穴511g図11a参照が平板部312の2つのネジ孔312bに合わされる。この状態で、2つのネジ311dが、2つのネジ孔311bを介して、2つのネジ穴511fに螺着される。同様に、2つのネジ312dが、2つのネジ孔312bを介して、2つのネジ穴511g図11a参照に螺着される。これにより、受光ユニット500とレーザユニット400が、Y軸正方向からYZ平面の面内方向においてZ軸負方向に近づくように所定の角度たとえば、60度で傾くように保持枠310に取り付けられる。この状態で、鏡筒511の傾斜部511aは、Z軸に平行となる。次に、図12に戻り、回路基板401cの4つのネジ孔401dが平板部311の4つのネジ穴311cに合わされる。この状態で、4つのネジ401eが、4つのネジ孔401dを介して、4つのネジ穴311cに螺着される。これにより、回路基板401cが、保持枠310に取り付けられる。また、同様に、回路基板600の4つのネジ孔600aが平板部312の4つのネジ穴312cに合わされ、この状態で、4つのネジ600bが、4つのネジ孔600aを介して、4つのネジ穴312cに螺着される。これにより、回路基板600が、保持枠310に取り付けられる。その後、ミラーアクチュエータ1のネジ穴21j図7b参照が、ネジ孔313cに合わされ、ミラーアクチュエータ1のネジ穴21k図7b参照が、ネジ孔313gに合わされる。この状態で、ネジ313dが、ネジ孔313cを介して、ミラーアクチュエータ1のネジ穴21j図7b参照に螺着され、ネジ313hが、ネジ孔313gを介して、ミラーアクチュエータ1のネジ穴21k図7b参照に螺着される。こうして、ミラーアクチュエータ1が保持枠310に固着され、図13に示す構成体が組み立てられる。図13は、筺体301のカバー301bが取り外された状態のレーザレーダ300を示す斜視図である。最後に、ベース301aにカバー301b図8参照が取り付けられ、レーザレーダ300の組立が完了する。この状態で、ミラーアクチュエータ1は、ミラー123のミラー面が、Y軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸正方向に近づくように所定の角度たとえば、15度で傾くように配置される。また、前述の如く、受光ユニット500とレーザユニット400は、Y軸正方向からYZ平面の面内方向において、Z軸正方向に近づくように所定の角度たとえば、30度で傾くように配置されている。したがって、ミラーアクチュエータ1は、ミラー123が中立位置にあるとき、ミラー123のミラー面とレーザ光源401から出射されるレーザ光の入射角は、所定の角度となるたとえば、45度。なお、中立位置とは、ミラー123がミラーアクチュエータ1によって回動されず、図7の前後方向に垂直となる位置をいう。中立位置において、ビーム整形レンズ402からのレーザ光は、ミラー123の略中心に入射する。このようにレーザ光源401とミラーアクチュエータ1を配置することにより、ミラー123が中立位置にあるときにレーザ光源401から出射されたレーザ光は、ミラー123により反射されてZ軸正方向に進むようになる。このとき、鏡筒511の上部Y軸正方向には、傾斜部511aが設けられており、光透過板413の上部Y軸正方向は、カット部413aにより、カットされているため、出射レーザ光は、これらの部材により、遮光されない。また、同様に、目標領域からの反射光についても、遮光されず、適正にミラーアクチュエータ1のミラー123に反射光が導かれる。図8に戻り、ミラーアクチュエータ1は、前述のように、ビーム整形レンズ402を透過した出射レーザ光と目標領域からの反射光が入射するミラー123と、このミラー123を2つの軸の周りに回動させるための機構とを備える。ミラー123が回動することにより、目標領域において出射レーザ光が走査される。レーザ光は、目標領域において、X-Z平面に平行な複数の走査ラインに沿ってスキャンされる。各走査ラインに沿ってレーザ光を走査させるために、ミラー123は、Pan方向の他、Tilt方向にも駆動される。また、走査ラインを変更するために、ミラー123がTilt方向に駆動される。目標領域からの反射光は、出射レーザ光が目標領域へと向かう光路を逆行して、ミラー123に入射する。ミラー123に入射した反射光は、ミラー123により反射され、カット部413aよりも上部の領域図11c参照においては、遮光されず、開口511bを通過し、バンドパスフィルタ501を介して、受光レンズ502のレンズ面の上部に入射される。また、カット部413aよりも下部図11c参照においては、目標領域からの反射光は、光透過板413を透過し、バンドパスフィルタ501を介して、受光レンズ502のレンズ面の下部に入射される。こうして、受光レンズ502の上部と下部に入射した反射光は、受光レンズ502によって、光検出器503に収束される。かかる反射光の挙動は、ミラー123がどのような回動位置にあっても同じである。すなわち、ミラー123がどのような回動位置にあっても、目標領域からの反射光は、出射レーザ光の光路を逆行し、ビーム整形レンズ402の光軸に平行に進んで、受光レンズ502に入射する。回路基板600は、光検出器503からの信号に基づいて、目標領域における物体の有無および物体までの距離を測定する。具体的には、レーザ光が出射されたタイミングと、光検出器503から信号が出力されたタイミングとの時間差から、この物体までの距離が測定される。レーザレーダ300の回路構成は、追って図15を参照して説明する。図14a、図14bは、ミラー123の位置を検出するためのサーボ光学系を説明する図である。図14aには、ミラーアクチュエータ1の一部断面図とレーザ光源401のみが示されている。図14aを参照して、上述のように、ミラーアクチュエータ1には、LED122と、ピンホール箱244と、PSD基板241と、PSD242が配されている。LED122、PSD242およびピンホール244aは、ミラーアクチュエータ1のミラー123が上記中立位置にあるときに、LED122がピンホール箱244のピンホール244aとPSD242の中心に向き合うように配置されている。すなわち、ミラー123が中立位置にあるとき、LED122から出射されピンホール244aを通るサーボ光が、PSD242の中心に垂直に入射するよう、ピンホール箱244およびPSD242が配置されている。また、ピンホール箱244は、LED122とPSD242の中間位置よりもPSD242に近い位置に配置されている。ここで、LED122から拡散するように発せられたサーボ光は、その一部が、ピンホール244aを通過し、PSD242によって受光される。ピンホール244a以外の領域に入射されたサーボ光は、ピンホール箱244によって遮光される。PSD242は、サーボ光の受光位置に応じた電流信号を出力する。たとえば、図14bのようにミラー123が破線で示す中立位置から矢印方向に回動すると、LED122の拡散光サーボ光のうちピンホール244aを通る光の光路は、LP1からLP2へと変位する。その結果、PSD242上におけるサーボ光の照射位置が変化し、PSD242から出力される位置検出信号が変化する。この場合、LED122からのサーボ光の発光位置と、PSD242の受光面上におけるサーボ光の入射位置は一対一に対応する。したがって、PSD242にて検出されるサーボ光の入射位置によって、ミラー123の位置を検出することができ、結果、目標領域における走査レーザ光の走査位置を検出することができる。図15は、レーザレーダ300の回路構成を示す図である。なお、同図には、便宜上、レーザレーダ300の主要な構成が併せて示されている。図示の如く、レーザレーダ300は、PSD信号処理回路601と、サーボLED駆動回路602と、アクチュエータ駆動回路603と、スキャンLD駆動回路604と、PD信号処理回路605と、DSP606を備えている。PSD信号処理回路601は、PSD242からの出力信号をもとに求めた位置検出信号をDSP606に出力する。サーボLED駆動回路602は、DSP606からの信号をもとに、LED122に駆動信号を供給する。アクチュエータ駆動回路603は、DSP606からの信号をもとに、ミラーアクチュエータ1を駆動する。具体的には、目標領域においてレーザ光を所定の軌道に沿って走査させるための駆動信号がミラーアクチュエータ1に供給される。スキャンLD駆動回路604は、DSP606からの信号をもとに、レーザ光源401に駆動信号を供給する。具体的には、目標領域にレーザ光を照射するタイミングで、パルス状の駆動信号電流信号がレーザ光源401に供給される。PD信号処理回路605は、光検出器503の受光光量に応じた電圧信号を増幅およびデジタル化してDSP606に供給する。DSP606は、PSD信号処理回路601から入力された位置検出信号をもとに、目標領域におけるレーザ光の走査位置を検出し、ミラーアクチュエータ1の駆動制御や、レーザ光源401の駆動制御等を実行する。また、DSP606は、PD信号処理回路605から入力される電圧信号に基づいて、目標領域内のレーザ光照射位置に物体が存在するかを判定し、同時に、レーザ光源401から出力されるレーザ光の照射タイミングと、光検出器503にて受光される目標領域からの反射光の受光タイミングの間の時間差をもとに、物体までの距離を測定する。図16は、目標領域におけるレーザ光の走査制御を示す図である。本実施の形態では、水平方向の3つの走査ラインL1~L3が、目標領域に設定される。DSP606は、これら走査ラインL1~L3をレーザ光が左から右に走査するよう、ミラーアクチュエータ1を制御する。レーザ光は、各走査ラインL1~L3を一定の速度で走査する。また、レーザ光は、各走査ラインL1~L3の開始位置Psよりも前方の位置から終了位置Peよりも後方の位置まで、各走査ラインL1~L3を走査する。かかる制御は、DSP606が、PSD242上に設定された目標軌道をサーボ光が追従するように、ミラーアクチュエータ1を制御することにより行われる。すなわち、図16に示す3つの走査ラインL1~L3に沿ってレーザ光が目標領域を走査すると、サーボ光も、3つの軌道に沿ってPSD242上を走査する。DSP606は、かかる軌道を目標軌道としてテーブル等により保持し、この目標軌道をサーボ光が追従するように、ミラーアクチュエータ1を制御する。目標領域におけるレーザ光の走査は、最上段の走査ラインL1から始められ、次に走査ラインL2、最後に走査ラインL3へと移行する。走査ラインL1から走査ラインL3まで走査が終わると、走査ラインL1に戻って、目標領域に対する次の走査が行われる。DSP606は、走査位置が各走査ラインL1~L3の開始位置Psに到達したタイミングで、レーザ光源401をパルス状に発光させる。そして、その後、走査位置が終了位置Peに到達するまで、一定の時間間隔Δt毎に、レーザ光源401をパルス状に発光させる。なお、図16中の黒丸は、レーザ光の照射タイミングを模式的に示すものである。なお、本実施の形態では、レーザ光が一定の速度で走査されながら、一定の時間間隔Δt毎にパルス状に発光されるため、目標領域におけるレーザ光の照射位置の変位Δpも一定となる。また、ミラーアクチュエータ1によって一定の時間間隔Δt毎に制御されるミラー123の角度も、一定となる。図17は、物体までの距離と焦点距離との関係を示す図である。図17には、レーザレーダ300と、所定の走査ライン上を所定の発光タイミングT1~Tnで走査するレーザ光P1~Pnと、検出物体として、異なる距離に立つ人物H1~H3が示されている。また、ビーム整形レンズ402の焦点距離が破線で示されている。図17を参照して、上述のように、本実施の形態では、焦点距離は、略15m程度dとなるように、ビーム整形レンズ402のフォーカス調整がなされている。人物H1は、焦点距離の15mよりもややレーザレーダ300の方向に近づく位置に立っている。人物H2は、焦点距離の15mよりもレーザレーダ300の方向にかなり近づく位置たとえば、略10mに立っている。人物H3は、焦点距離の15mよりもレーザレーダ300からかなり遠ざかる位置たとえば、略20mに立っている。この状態で、所定の走査ライン上に沿ってレーザ光を走査すると、人物H2にレーザ光P2~P4が照射され、また、人物H1にレーザ光P6、P7が照射され、人物H3にレーザ光P10が照射される。図18a、c、dは、各人物H1、H2、H3の位置におけるレーザ光のビーム形状と大きさを模式的に示す図である。図18bには、比較例として、水平方向に延びる楕円形状のビームが照射されたときの図18aの同様の位置におけるビーム形状を模式的に示した図が示されている。図18aには、人物H1の位置における所定の連続する発光タイミングで照射されたレーザ光P5~P8のビーム形状が示されている。人物H1は焦点距離の15mと略同じ距離に位置するため、レーザ光P5~P8のビームは、鉛直方向に延びる楕円形状に適正に収束されている。互いに隣り合うレーザ光P5~P8のビームは、互いに重ならず、ごくわずかな隙間S1となるように、目標領域に照射されている。この場合、レーザ光P5、P8は、物体によって反射されないため、この領域では、物体が存在しないことが検出される。また、レーザ光P6、P7は、人物H1によって反射され、レーザ光の出射タイミングと反射光の受光タイミングの差から、この領域では、人物H1の位置の距離情報が得られる。このように、レーザレーダ300は、焦点距離の15m近辺の物体に対しては、適正に距離情報を得ることができる。ここで、水平方向において、得られる距離情報の単位面積あたりの分解能距離情報の数は、一定の時間間隔Δtに対応するレーザ光の照射間隔Δp1に依存する。レーザ光の照射間隔Δp1よりも、ビームの径が必要以上に大きいと、得られる分解能に対して、得られる距離情報は精度の低いものとなる。たとえば、図18bの比較例に示すように、水平方向に延びる楕円形状となるようにレーザ光P5’~P8’が照射されると、全ての発光タイミングにおいて、人物H1からの反射光が受光され、全ての位置において、人物H1の位置の距離情報が得られることとなる。このように、比較例では、図18aと同等の分解能でありながらも、得られる距離情報の精度は低いものとなる。したがって、たとえば、レーザレーダ300が人物を主な検出対象とするセキュリティ用途として用いられる場合は、レーザレーダの走査方向を水平方向に設定し、水平方向のビーム径が小さくなるよう、ビーム形状が整形されるのが望ましい。しかし、レーザ光の照射間隔Δp1よりも、ビーム径が必要以上に小さいと、互いに隣り合うレーザ光の隙間が大きくなり、小さい物体の検出が困難となる。したがって、単位面積あたりの分解能に対して、精度良く距離情報が得られ、且つ、小さい物体を漏れなく検出するためには、互いに隣り合うビームの隙間は、ごくわずかとなるか、もしくは、互いに隣り合うビームがやや重なり合う程度に設定されるのが望ましい。本実施の形態では、単位面積あたりの分解能に対して、より精度の良い距離情報を得るために、焦点距離において、互いに隣り合うレーザ光のビーム形状の隙間S1が、ごくわずかとなるように設定される。図18cには、人物H2の位置における所定の連続する発光タイミングで照射されたレーザ光P1~P5のビーム形状が示されている。人物H2は焦点距離の15mよりもレーザレーダ300にかなり近い位置たとえば、10mに位置している。この位置におけるレーザ光P1~P5は、焦点が一致していないため、収差により、ビーム形状がやや不明瞭となっている。しかし、図18cの場合、図18aの場合よりも、レーザレーダ300に対して近距離であるため、レーザレーダ300に入射する反射光量は大きく、このため、距離情報の取得に対する収差の影響は軽微である。また、この位置におけるレーザ光P1~P5のビーム径の大きさは、図18aに示す焦点距離に近い位置におけるビーム径よりもかなり小さくなる。また、一定の時間間隔Δtに対応するレーザ光の照射間隔Δp2も、図18aに示す焦点距離に近い位置における照射間隔Δp1よりも狭くなる。この場合、レーザ光P1、P5は、物体によって反射されず、この領域では、物体が存在しないことが検出される。また、レーザ光P2~P4は、人物H2によって反射され、レーザ光の出射タイミングと反射光の受光タイミングの差から、この領域において、人物H2の位置の距離情報が得られる。このように、図18cの場合、人物H2に対して、3回の発光タイミングにおけるレーザ光P2~P4が照射され、この距離情報が得られる。すなわち、水平方向における、図18aと同じ単位面積あたりに対する距離情報の分解能は、図18aの場合よりも高くなっている。なお、図18cの場合、レーザ光P1~Pnの照射範囲の幅が狭くなるため、レーザ光P1~Pn全体によって得られる距離情報の分解能は、図18aの場合と変わらない。このように、距離情報を取得可能な範囲は、図18aよりも狭くなる。以上のように、レーザレーダ300は、焦点距離よりも近距離にある物体については、距離情報を取得可能な範囲は狭くなるが、適正に距離情報を取得し得る。図18dには、人物H3の位置における所定の連続する発光タイミングで照射されたレーザ光P9~P11のビーム形状が示されている。人物H3は、上述のように、焦点距離の15mよりもレーザレーダ300にかなり遠い位置たとえば、20mに位置している。この位置におけるレーザ光P9~P11は、焦点が一致しておらず、収差により、ビーム形状がかなり不明瞭となっている。さらに、図18dの場合、レーザレーダ300に対して遠距離であるため、レーザレーダ300に入射する反射光量もかなり小さくなる。また、この位置におけるレーザ光P9~P11のビーム径の大きさは、図18aに示す焦点距離に近い位置におけるビーム径よりもかなり大きくなる。また、一定の時間間隔Δtに対応するレーザ光の照射間隔Δp3も、図18aに示す焦点距離に近い位置における照射間隔Δp1よりもかなり広くなる。この場合、レーザ光P9、P11は、物体によって反射されず、この領域では、物体が存在しないことが検出される。また、レーザ光P10は、人物H3によって反射されるが、レーザレーダ300に対して入射する反射光量が小さく、光検出器503から出力される信号の強度が閾値を超えず、距離情報を適正に取得できない惧れがある。このように、図18dの場合、人物H3に対して、1回の発光タイミングにおけるレーザ光P10が照射される。すなわち、水平方向における、図18aと同じ単位面積あたりに対する分解能は、図18aの場合よりも低くなっている。以上のように、レーザレーダ300は、焦点距離よりもかなり遠距離にある物体については、適正に距離情報を取得できない惧れがあり、さらに、水平方向における単位面積あたりの距離情報の分解能も劣化することとなる。したがって、たとえば、狭い部屋に用いていたレーザレーダ300を広い部屋に用いる等、レーザレーダ300の利用環境が変わり、検出対象とする物体の距離が遠距離になった場合、距離情報の取得精度に悪影響を及ぼすこととなる。この場合、レーザレーダ300のレーザユニット400のフォーカス調整機構を用いて、フォーカス調整を行うことにより、適正に距離情報を取得することができる。図19は、レーザユニット400のフォーカス調整を説明する図である。図19aを参照して、フォーカス調整時には、まず、押さえネジ411dが緩められる。これにより、レンズホルダ414がネジ溝411hに沿って、回動可能となる。レンズホルダ414を回動することにより、ビーム整形レンズ402が前後方向に移動し、レーザ光源401との距離L1を調整することができる。この状態で、所望の距離の目標領域において、レーザ光が焦点を結ぶように、フォーカス調整を行う。たとえば、略15mの位置に焦点を結ぶように調整されていたビーム整形レンズ402を、略20mの位置に焦点を結ぶように調整する場合、まず、目標の距離略20mの位置にスクリーンを立てて、このスクリーンにレーザ光が照射される。この状態で、ビーム整形レンズ402が前後方向に移動されながら、光検出器503からの信号強度がモニタされる。そして、モニタされた信号強度が最大となる位置に、ビーム整形レンズ402が位置付けられる。これにより、ビーム整形レンズ402は、レーザ光源401に近づくように位置が調整され、レーザ光源401とビーム整形レンズ402との距離は、L2に調整される。こうして、ビーム整形レンズ402の前後方向の位置が調整されると、再度、押さえネジ411dがネジ穴411cに螺着される。これにより、押さえネジ411dの先端がレンズホルダ414の小径部414bの上面に押し当てられ、小径部414bの下面がレーザホルダ411の大径部411aに押し当てられる。これにより、レンズホルダ414は、レーザホルダ411に固着される。以上のようにして、押さえネジ411dを緩め、レンズホルダ414を回転させるといった、容易な作業により、ビーム整形レンズ402のフォーカス調整を行うことができる。しかる後、目標領域においてビームの形状が所定の形状縦長になるように、回転方向におけるビーム整形レンズ402の位置が調整される。すなわち、一旦、留めネジ412が緩められ、レンズホルダ414が回転可能な状態とされる。この状態で、目標領域においてビームの形状が所定の形状縦長になる位置にレーザホルダ411が回転され、その後、留めネジ412が締め付けられる。これにより、回転方向におけるビーム整形レンズ402の位置調整が完了し、レーザ光は、収差なく、且つ、縦長の形状で、目標領域に照射される。以上、本実施の形態によれば、容易にフォーカス調整を行うことができ、利用環境に応じて、適正な距離に焦点を結ぶようにレーザ光を出射することができる。よって、利用環境に応じて、物体までの距離が大きく変化しても、物体の距離情報を適正に取得できる。また、本実施の形態によれば、レーザホルダ411のネジ溝411hに沿って、レンズホルダ414をネジ状に前後方向に移動することができるため、安定的、且つ、容易にビーム整形レンズ402のフォーカス調整を行うことができる。また、本実施の形態によれば、押さえネジ411dが設けられているため、レンズホルダ414の固定作業を容易に行うことができる。以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。たとえば、上記実施の形態では、レーザホルダ411のネジ溝411hと、レンズホルダ414のネジ溝414cが形成され、ネジ溝に沿って、レンズホルダ414が前後方向フォーカス方向に移動されたが、ネジ溝を形成せず、単に、レンズホルダ414の小径部414bがレーザホルダ411の開口411fに嵌り込む構成であっても良い。この構成では、互いに噛み合うネジ溝411h、414cが省略されるため、上記実施の形態のようにレンズホルダ414を回転させなくても、小径部414bが開口411fに案内されて、レンズホルダ414を前後方向に直線的に移動させることができる。なお、この場合、レンズホルダ414の回転を規制するために、たとえば、小径部414bの外側面に前後に延びる突条を形成し、開口411fの内側面に、この突条と係合する前後に延びる溝を形成しても良い。こうすると、フォーカス調整時にビーム整形レンズ402が回転しないため、予め、目標領域においてビーム形状が縦長となるようにビーム整形レンズ402を装着することにより、フォーカス調整後にビーム整形レンズ402に回転位置の調整を行う必要がなくなる。また、上記実施の形態では、押さえネジ411dにより、レンズホルダ414がレーザホルダ411に押し当てられて固定されたが、バネ部材による付勢力を用いて、レンズホルダ414がレーザホルダ411に押し当てられて固定されても良いし、磁石による磁力を用いて、レンズホルダ414がレーザホルダ411に押し当てられて固定されても良い。また、上記実施の形態では、レーザユニット400は、受光ユニット500と一体的に取り付けられたが、一体的に取り付けられず、単独でレーザレーダ300の筺体301内に配されても良い。また、上記実施の形態では、出射光の光路と反射光の光路が一致するタイプのレーザレーダの構成例が示されたが、レーザユニット400と受光ユニット500が別々に配置され、光路が位置しないタイプのレーザレーダに本発明を用いても良い。また、上記実施の形態では、ビーム整形レンズ402が1枚の構成が示されたが、本実施の形態よりも、さらに遠距離にフォーカスを合わせる場合には、ビーム整形レンズ402が複数枚となるように構成されても良い。また、上記実施の形態では、目標領域においてレーザ光を走査させるための構成としてミラーアクチュエータ1が用いられたが、たとえば、レンズを光軸に垂直は方向に駆動するレンズアクチュエータやポリゴンミラー等の他の構成を用いてレーザ光を走査させても良い。さらに、上記実施の形態では、光透過板413の上部がカットされたが、光透過板413の形状はこれに限られるものではない。たとえば、上部がカットされずに、円形形状の光透過板が用いられても良い。また、レーザユニット400を支持するための部材は、光透過板413に限らず、光透過性を有さない部材が用いられても良い。ただし、このような部材を用いる場合には、目標領域からの光をなるべく遮らないよう、部材の形状等を工夫する必要がある。この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。