"板状部材の一方または他方の面に対向配置可能な一対の支持部材と、前記支持部材の各々に設けられて前記板状部材を保持可能な第1保持手段および第2保持手段と、前記支持部材に対する前記第1保持手段の角度を変更する角度変更手段とを備え、前記第2保持手段は、所定姿勢の前記板状部材を保持可能に設けられ、前記角度変更手段は、所定姿勢以外の前記板状部材の姿勢を前記所定姿勢に矯正可能に構成されていることを特徴とする板状部材の支持装置。前記第1保持手段は、前記板状部材における対向した面に向かって気体を噴出することにより当該板状部材を非接触で吸引可能な吸引手段を有していることを特徴とする請求項1に記載の板状部材の支持装置。前記第2保持手段は、前記板状部材における対向した面に接触して当該板状部材を吸着可能な吸着手段と、前記板状部材における外縁に当接し互いに相対接近することで当該板状部材を把持する把持手段との少なくとも一方を有して構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の板状部材の支持装置。請求項1から請求項3のいずれかに記載の支持装置と、この支持装置を移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする板状部材の搬送装置。前記板状部材の反り方向を検出する検出手段を備え、前記移動手段は、検出した反り方向に直交する方向から前記板状部材の一方または他方の面に沿って前記支持部材を誘導することを特徴とする請求項4に記載の板状部材の搬送装置。一対の支持部材の各々に設けられる第1保持手段および第2保持手段を用いて板状部材を支持する板状部材の支持方法であって、前記一対の支持部材を前記板状部材の一方または他方の面に対向配置させる工程と、前記支持部材に対する前記第1保持手段の角度を変更して所定姿勢以外の前記板状部材を当該第1保持手段で保持する工程と、前記第1保持手段の角度を変更して前記板状部材を所定姿勢に矯正する工程と、所定姿勢に矯正された前記板状部材を前記第2保持手段で保持する工程とを有することを特徴とする板状部材の支持方法。しかしながら、特許文献1に記載の搬送装置では、板状部材を反った状態のままで保持して搬送する構成であるため、例えば、搬送先の機器が板状部材全面を吸着保持する構成のものの場合、当該搬送先の機器が板状部材を確実に吸着保持できないという不都合を発生する。なお、板状部材が半導体ウェハの場合、回路面が接着シートで保護された状態で、回路面の反対側から50μm前後にまで研削が行われるため、当該接着シートが貼付された半導体ウェハは、接着シートの貼付時の残留応力によって大きく反り返ってしまう場合がある。このような反りは、半導体ウェハに限られず、複層または単層構造の板状部材等であっても、温度や湿度等の雰囲気によっても発生するものである。本発明の目的は、板状部材を所望の保持状態で確実に支持することができる板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明の板状部材の支持装置は、板状部材の一方または他方の面に対向配置可能な一対の支持部材と、前記支持部材の各々に設けられて前記板状部材を保持可能な第1保持手段および第2保持手段と、前記支持部材に対する前記第1保持手段の角度を変更する角度変更手段とを備え、前記第2保持手段は、所定姿勢の前記板状部材を保持可能に設けられ、前記角度変更手段は、所定姿勢以外の前記板状部材の姿勢を前記所定姿勢に矯正可能に構成されていることを特徴とする。この際、本発明の板状部材の支持装置では、前記第1保持手段は、前記板状部材における対向した面に向かって気体を噴出することにより当該板状部材を非接触で吸引可能な吸引手段を有していることが好ましい。さらに、前記第2保持手段は、前記板状部材における対向した面に接触して当該板状部材を吸着可能な吸着手段と、前記板状部材における外縁に当接し互いに相対接近することで当該板状部材を把持する把持手段との少なくとも一方を有して構成されていることが好ましい。一方、本発明の板状部材の搬送装置は、前記いずれかの支持装置と、この支持装置を移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする。この際、本発明の板状部材の搬送装置は、前記板状部材の反り方向を検出する検出手段を備え、前記移動手段は、検出した反り方向に直交する方向から前記板状部材の一方または他方の面に沿って前記支持部材を誘導することが好ましい。また、本発明の板状部材の支持方法は、一対の支持部材の各々に設けられる第1保持手段および第2保持手段を用いて板状部材を支持する板状部材の支持方法であって、前記一対の支持部材を前記板状部材の一方または他方の面に対向配置させる工程と、前記支持部材に対する前記第1保持手段の角度を変更して所定姿勢以外の前記板状部材を当該第1保持手段で保持する工程と、前記第1保持手段の角度を変更して前記板状部材を所定姿勢に矯正する工程と、所定姿勢に矯正された前記板状部材を前記第2保持手段で保持する工程とを有することを特徴とする。以上のような本発明によれば、反った状態の板状部材を第1保持手段で保持するとともに、角度変更手段によって第1保持手段の角度を変更してフラットとなる方向に板状部材を矯正し、矯正された板状部材を第2保持手段で保持することで、板状部材を所望の状態で支持することができる。従って、反ったままの板状部材を支持するのではなく、フラットな状態またはフラットに近い状態で板状部材を支持することで、板状部材に対する各種の加工や他の機器への受け渡しに関し、反りに伴う不都合を解消することができる。さらに、矯正された板状部材を第2保持手段で保持することから、比較的大きな保持力を有した第2保持手段が利用でき、板状部材を回転、反転させたり、搬送の際に振動が加わったりしても板状部材の落下や位置ずれを防止することができる。また、板状部材を非接触で吸引可能な吸引手段を有して第1保持手段を構成することで、反った板状部材をフラットな方向へ矯正する際に保持した2位置の間隔変動が生じたとしても、板状部材表面への傷付きを防止することができる。さらに、板状部材に当接して吸着可能な吸着手段や板状部材の外縁に当接して把持する把持手段を有して第2保持手段を構成することで、保持力を容易に高めて搬送時などの位置ずれを確実に防止することができる。ここで、把持手段を有して第2保持手段を構成すれば、板状部材の表面への傷付きを確実に防止することができる。また、搬送装置において検出手段を用いることで、板状部材の反り方向を判別し、この反り方向に対して的確に支持部材を誘導することができる。以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1、2において、本実施形態の搬送装置1は、板状部材としての半導体ウェハ以下、単にウェハという場合があるWを支持し、ウェハWを吸着支持するリフターLから別の装置等にウェハWを搬送したり、リフターLから浮かせた状態のウェハWに適宜な処理を施したりするための装置である。ここで、ウェハWは、円盤状の薄板であり、図3にも示すように、リフターLに支持された状態の平面視において、その平面水平面に沿ってウェハWの中心を通る第1軸短軸Aの方向に反っているものとし、この反り方向である第1軸Aと直交する第2軸長軸Bには反っておらず、第1軸A方向の長さD1がウェハWの直径よりも小さく、第2軸B方向の長さD2がウェハWの直径と略同一の略楕円形として認識される。リフターLは、全体円柱状に形成されて水平面内で回転可能に設けられるとともに、その上面に図示しない複数の吸引孔を有し、ウェハWの一方の面である下面W1の中央部を吸着保持可能に構成されている。搬送装置1は、ウェハWを支持する支持装置としての支持手段2と、この支持手段2を移動させる移動手段3と、ウェハWの反り方向を検出する検出手段4と、図示しない制御手段とを備えて構成されている。支持手段2は、移動手段3に取り付けられるベース5と、このベース5に支持される支持部材としての一対のアーム6と、各アーム6に各々設けられる第1保持手段7および第2保持手段8とを備えて構成されている。移動手段3は、駆動機器としての多関節ロボット31と、多関節ロボット31に設けられて支持手段2を着脱自在に支持するチャック32とを備えて構成されている。この多関節ロボット31としては公知の6軸ロボット等が例示でき、水平面に沿った直交2軸X軸,Y軸および鉛直軸Z軸の直交三軸方向と、これらの直交三軸方向をそれぞれ軸芯とする回転三方向R1,R2,R3との任意方向に向かって、支持手段2を移動可能に構成されていればよい。検出手段4は、ウェハWを挟んでリフターLと反対側の上方に離れて設けられた撮像装置41を備え、この撮像装置41には、図示しない画像処理装置等が接続されている。撮像装置41としては、CCDカメラや光学センサ等が例示でき、ウェハWの他方の面である上面W2側からウェハWを撮像し、撮像した画像情報を画像処理装置等に出力するものであればよい。画像処理装置は、図3に示すように、撮像装置41が撮像した画像情報を画像データPとして受信し、受信した画像データPに基づいて、長さD1,D2からウェハWの第1軸Aおよび第2軸Bを算出し、第1軸Aに沿った反り方向と、基準軸X軸に対する第1軸Aの角度θを検出し、検出したウェハWの反り方向および角度θを図示しない制御手段に出力するように構成されている。支持手段2のベース5は、移動手段3のチャック32に係合して取り付けられる取付支持部51と、この取付支持部51に固定されて図1の状態でX軸方向に延びる駆動機器としての直動モータ52とを備え、直動モータ52の一対のスライダ52Aに各アーム6の基端部が固定されている。一対のアーム6は、互いに平行に延びる長尺状かつ角柱状の部材からなり、移動手段3の駆動によってウェハWの下面W1に対向配置可能に構成されるとともに、直動モータ52の駆動により、各アーム6が互いに離間接近方向に移動可能に構成されている。第1保持手段7は、アーム6の長手方向略中央にてアーム6の側方に突出して設けられるとともに、図示しない駆動機器であって角度変更手段としての回動モータによって各アーム6に対して上方に回動可能、かつ回動に伴ってウェハWの下面W1に対向配置可能に設けられている。この第1保持手段7は、下面W1に向かって気体を噴出することによりウェハWの下面W1を非接触で吸引可能な吸引手段としての気体噴出部71と、この気体噴出部71に接続されて気体を供給する図示しない気体供給部とを有して構成されている。すなわち、気体噴出部71は、円環形の開口から外方に向かって気体を噴出することでウェハWの下面W1との間に負圧領域を形成する所謂ベルヌーイチャックである。このような各アーム6に設けられる一対の第1保持手段7の気体噴出部71によって、下面W1の2箇所が吸引されてウェハWが保持されることとなる。第2保持手段8は、アーム6の基端側ベース5側に設けられる駆動機器としての直動モータ81と、この直動モータ81の出力軸81Aに固定される把持手段としての主動チャック82と、アーム6の先端側に設けられて主動チャック82と連動可能に設けられる把持手段としての従動チャック83とを有して構成されている。主動チャック82は、直動モータ81によってアーム6の長手方向に沿って進退駆動され、従動チャック83は、アーム6の長手方向に沿った案内溝61に案内されるとともに、アーム6内部の図示しない連動部を介して主動チャック82と連動可能に接続されている。このような主動チャック82と従動チャック83とは、互いの進退移動方向が逆向き、つまり互いに相対接近または相対離間する方向に駆動され、互いに相対接近することでウェハWの外縁W3を把持可能になっている。従って、各アーム6に設けられる一対の第2保持手段8の主動チャック82および従動チャック83によって、外縁W3の4箇所で把持されてウェハWが保持されることとなる。以上の搬送装置1でウェハWを搬送する手順を説明する。先ず、リフターLに吸着保持されたウェハWを上方から撮像装置41で撮像し、図3に示すように、画像データPを取得したら、画像処理装置は、画像データPにおけるウェハWの外形および中心を検出し、短辺方向長さD1および長辺方向長さD2に基づいて、反り方向の第1軸Aおよび反り直交方向の第2軸Bを検知するとともに、長さD1,D2の比率からウェハWの反り曲率を演算により算出し、基準軸Xから第1軸Aまでの角度θと反り曲率とを制御手段に出力する。制御手段は、第1軸Aの角度θに基づいて移動手段3に移動指令を出力し、移動手段3は、多関節ロボット31を駆動して支持手段2を回転方向R3に向かって角度θだけ回転させてから、第2軸Bに平行に支持手段2を前進させてウェハWの下面W1に沿ってアーム6を差し込む。なお、ウェハWに対する支持手段2の進入方向への移動は、多関節ロボット31による支持手段2の回転に限らず、リフターLによってウェハWを水平面内で回転させてもよいし、支持手段2およびウェハWの両方を回転させてもよい。次に、制御手段は、ウェハWの反り曲率に基づいて、下面W1とアーム6および第1保持手段7との距離が最適となるような直動モータ52の移動量および図示しない回動モータ53の回動角を算出し、算出した移動量に基づく移動指令を支持手段2に出力する。支持手段2は、図4に示すように、入力された回動角だけ図示しない回動モータを駆動し、第1保持手段7を矢印A1方向に回動させウェハWの下面W1に近づく方向に回動させるとともに、入力された移動量だけ直動モータ52を駆動し、一対のアーム6を互いに接近する矢印A2方向に移動させる。この際、第2保持手段8は、ウェハWの外縁W3よりも外側に位置するように、主動チャック82および従動チャック83を互いに離間する方向つまりアーム6の両端側に退避させておく。次に、図4に示すように、第1保持手段7は、気体噴出部71から気体を噴出することでウェハWの下面W1を吸引し、非接触でウェハWを保持する。このように第1保持手段7がウェハWを保持した状態において、支持手段2は、同図に示すように、図示しない回動モータを駆動し、第1保持手段7を矢印A3方向に回動させる。次いで、図4に示すように、直動モータ52を駆動し、一対のアーム6を互いに離間する矢印A4方向に移動させる。これにより、ウェハWがフラットまたはフラットに近い状態以下、単にフラットというに矯正される。ここで、ウェハWがフラットになったかどうかは、撮像装置41で再度ウェハWを撮像して画像処理を実施し、算出した短辺方向長さD1がウェハWの直径に近づくまたは同一になることで判定することができる。また、互いに離間する方向へ移動させたアーム6の停止位置は、ウェハWの径に応じて予め設定されており、第1保持手段7がウェハWの外縁W3にできるだけ接近する位置が好ましい。次に、図1、2にも示すように、第2保持手段8が直動モータ81を駆動し、主動チャック82および従動チャック83を互いに相対接近させてウェハWの外縁W3を把持する。このように第1保持手段7および第2保持手段8によってウェハWを保持したら、図4に示すように、リフターLの吸着を解除してから、移動手段3が多関節ロボット31を駆動して支持手段2を移動させ、フラットな状態のままウェハWを適宜な加工装置などに搬送し、第1保持手段7および第2保持手段8の保持を解除してウェハWを受け渡す。その後、搬送装置1は、図3に示す初期位置に支持手段2を復帰させ、次にリフターLが支持したウェハWに対して上述の動作を繰り返す。本実施形態によれば、次のような効果がある。すなわち、フラットに矯正したウェハWを搬送して受け渡すことで、搬送先の装置等への受け渡しに関し、ウェハWの反りに伴う不都合を解消することができる。また、ウェハWをフラットに矯正する際に、第1保持手段7によって非接触でウェハWの下面W1を吸引保持しつつ、直動モータ52で一対のアーム6を離間方向に移動させることで、ウェハWにおける局部応力の発生を抑制することができるとともに、ウェハW表面への傷付きを防止することができる。さらに、ウェハWをフラットに矯正してから、第2保持手段8でウェハWの外縁W3を保持することで、ウェハW表面への傷付きを防止しつつ保持力を高めることができ、搬送の際の位置ずれや落下を防止することができる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は前記記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され且つ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状などの詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は本発明に含まれるものである。例えば、前記実施形態では、ウェハWの搬送装置1を例示したが、本発明の支持装置支持手段2は、搬送装置1に組み込まれたものに限らず、独立して設けられるものであってもよい。また、前記実施形態では、板状部材が半導体ウェハWである場合を示したが、板状部材は半導体ウェハWに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の部材も対象とすることができ、半導体ウェハとしては、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示できる。また、前記実施形態では、第1保持手段7としては、ウェハWに向かって気体を噴出することにより非接触で吸引可能なものを例示したが、これに限らず、ウェハW表面に接触して吸着保持可能な吸着手段を用いてもよく、この場合には、ウェハW表面との接触部分に弾性体を設けるなどしてウェハW表面への傷付き防止を図ることが好ましい。また、前記実施形態では、第1保持手段7および直動モータ52を同期させてウェハWをフラットに矯正する手順を例示したが、ウェハWの反りが小さい場合には、直動モータ52による一対のアーム6の離間接近方向への移動を省略し、第1保持手段7を角度変更するだけでウェハWを保持するとともにフラットな方向へ矯正するような構成であってもよい。また、第2保持手段8としては、一対のチャック82,83によって、ウェハWの外縁W3を把持するものに限らず、第1保持手段7と同様に気体を噴出することでウェハWを非接触で吸引可能なものでもよいし、図5に示すように、ウェハW表面に接触して吸着保持可能なものでもよい。図5において、第2保持手段8Aは、アーム6の上面に開口する複数の吸引孔84を有して構成されており、これら複数の吸引孔84は、アーム6内部のチャンバーを介して図示しない吸引ポンプなどに接続されている。この第2保持手段8Aでは、前述のように、第1保持手段7および直動モータ52を同期させてウェハWをフラットに矯正し、ウェハWの下面W1がアーム6の上面に接近した状態において、複数の吸引孔84から空気を吸引することで下面W1を吸着保持するようになっている。また、移動手段としては、前記実施形態のように多関節ロボット31を備えた六軸駆動可能なものに限らず、一方向に直線移動可能なものや平面2方向に移動可能なものなど、用途に応じて適宜な構成のものが利用可能である。また、検出手段としては、前記実施形態のように撮像装置41を備えたものに限らず、板状部材の外縁などに接触して形状を認識可能な接触センサでもよいし、赤外線等の光線の反射や透過によって板状部材の形状を認識可能な光センサでもよい。また、撮像データを用いて板状部材の反り方向を検出する方法としては、画像処理に限らず、その他の適宜な自動処理でもよいし、作業者の手動処理でもよい。さらに、反った状態でないウェハWを支持や搬送の対象としてもよい。また、前記実施形態では、ウェハWの両側方がZ軸方向図4中上方に反った場合を説明したが、ウェハWの中央がZ軸方向図4中上方に反った場合にでも対応が可能である。さらに、前記実施形態では、アーム6を左右対象に動作させる例を示したが、ウェハWの形状や反りの状態によっては、一方のアーム6を移動または回動させないようにしたり、一方のアーム6の移動または回動量を他方のアーム6よりも増減させたりして、左右対象に動作させることなく対応させることができる。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。"