"それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な複数の個別モータを、可動子の移動方向に間隔を開けて配列した離散配置リニアモータを制御する装置であって、前記各個別モータをそれぞれ制御する複数の個別モータ制御手段と、これら各個別モータ制御手段に位置指令を与える統括制御手段とを備え、前記各個別モータ制御手段は、前記統括制御手段から与えられた位置指令に応答して位置ループおよび速度ループを有するフィードバック制御で個別モータを駆動するフィードバック制御部と、リニアモータ全体の移動範囲を各個別モータ毎に区分した担当範囲の境界となる制御的境界から定められた近傍範囲内において、前記フィードバック制御部のフィードバックによる影響を、前記制御的境界から前記近傍範囲を外れる位置に近づくに従って、零から、近傍範囲以外である一般範囲で用いられる値まで徐々に大きくするフィードバック影響徐々変更部とを有する離散配置リニアモータの乗り移り制御装置。前記フィードバック影響徐々変更部は、前記フィードバック制御部の速度ループに入力される速度検出値の影響を、定められた関係式に従って徐々に大きくする請求項1記載の離散配置リニアモータの乗り移り制御装置。前記定められた関係式として、次式を用いる請求項2記載の離散配置リニアモータの乗り移り制御装置。xnew:新しい速度指令値x:真の速度指令値x:現在の速度c:寄与率0≦c≦1前記フィードバック影響徐々変更部は、前記制御的境界から前記近傍範囲内に入った直後の設定区間は、前記フィードバックによる影響を零としたオープン制御とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の離散配置リニアモータの乗り移り制御装置。前記統括制御手段は、リニアモータ全体の移動範囲を各個別モータ毎に区分した担当範囲の情報を有していて、入力された位置指令の指令位置を担当範囲に含む個別モータの個別モータ制御手段に対し、前記入力された位置指令を前記の担当範囲として含む個別モータに対応する位置指令に変換して与える請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の離散配置リニアモータの乗り移り制御装置。リニア誘導モータは推力が低く、加えて高精度な位置決め制御が困難であり、走行性能の向上が困難であるため、工作機械のローダとなる搬送装置等への適用において、リニア同期モータの採用を試みた。従来のリニア同期モータは、地上側にマグネットを配置してコイル側を移動する方式が大部分を占める。しかし、コイル側を移動させるには、可動子に給電が必要であり、可動子への配線の都合上、無端経路での走行が不能であるなど、走行経路が限られたり、給電系が複雑化したりする。このため、リニア同期モータにおいて、地上側に1次コイルを配置することを試みた。しかし、地上側に1次コイルを配置する場合、従来のリニアモータのように、移動経路の全長に渡って連続してコイルを配置するのでは、コイルの使用量が増えてコストが増大する。このような課題を解消する同期形リニアモータとして、それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な電機子からなる複数の個別モータを、可動子の移動方向に間隔を開けて配列した離散配置のリニア同期モータを考えた。各個別モータは個別に制御する。可動子は、各個別モータを乗り移って移動することになる。この構成によると、個別モータが離散配置されるため、コイルの使用量が削減でき、コスト低下が図れる。また、走行路として、曲線路や、曲線路と直線路とでなる形状など、走行路の構成が自在となる。しかし、上記の離散配置リニアモータでは、個別モータ間を乗り移る際に、可動子が振動する。搬送装置の駆動に用いた場合、上記の振動により搬送物に過大な衝撃,振動を加えることになる。そこで、振動の発生原因を調べた結果、一次側と二次側の磁気吸引力が、位置によって変化すること、および速度制御器に対する急峻な速度フィードバックの変化がショックの原因となることがわかった。この発明の目的は、コイル使用量の削減や給電形式上で有利となる個別モータの離散配置形式を採用しながら、個別モータ間を可動子が乗り移る際の可動子の振動を抑制することができる離散配置リニアモータの乗り移り制御装置を提供することである。この発明の離散配置リニアモータシステムを実施形態に用いた符号を付して説明する。この発明の離散配置リニアモータの乗り移り制御装置2は、それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な複数の個別モータ3を、可動子4の移動方向Xに間隔を開けて配列したリニアモータである離散配置リニアモータ1を制御する装置であって、前記各個別モータ3をそれぞれ制御する複数の個別モータ制御手段6と、これら各個別モータ制御手段に位置指令を与える統括制御手段とを備える。前記各個別モータ制御手段6は、前記統括制御手段7から与えられた位置指令に応答して位置ループおよび速度ループを有するフィードバック制御で個別モータを駆動するフィードバック制御部9と、リニアモータ全体の移動範囲を各個別モータ3毎に区分した担当範囲Xiの境界となる制御的境界Pから定められた近傍範囲Xia内において、前記フィードバック制御部9のフィードバックによる影響を、前記制御的境界Pから前記近傍範囲Xiaを外れる位置Qに近づくに従って、零から、近傍範囲以外である一般範囲で用いられる値まで徐々に大きくするフィードバック影響徐々変更部10とを有する。この構成によると、フィードバック影響徐々変更部10を設け、制御的境界Pから定められた近傍範囲Xia内において、フィードバック制御部9のフィードバックによる影響を、前記制御的境界Pから前記近傍範囲Xiaを外れる位置Qに近づくに従って、零から、一般範囲で用いられる値まで徐々に大きくする。すなわち、制御的境界Pで一旦オープン制御とし、徐々にオープン制御から通常のフィードバック制御に切り替えして制御する。そのため、急峻な速度フィードバック変化によるショックが回避でき、可動子に衝撃,振動が発生することを抑制することができる。また、基本的にはフィードバック制御とするため、オープン制御に比べて精度の良い位置決めおよび速度制御が行える。制御対象となるリニアモータ1は、固定側として、一次側の電機子からなる個別モータ3を離散配置したため、コイル使用量が少なくて済み、かつ移動側に給電する場合に比べて給電系が簡素にできると言う離散配置リニアモータ1の利点を得ることができる。前記フィードバック影響徐々変更部10は、前記フィードバック制御部9の速度ループに入力される速度検出値の影響を、定められた関係式に従って徐々に大きくするのが良い。このように速度検出値の影響を徐々に大きくすることで、上記の振動抑制がより効果的に行える。前記定められた関係式は、次式とするのが良い。xnew:新しい速度指令値x:真の速度指令値x:現在の速度c:寄与率0≦c≦1寄与率cは、例えば、位置または時間の関数とする。また、前記フィードバック影響徐々変更部10は、例えば、前記制御的境界Pから前記近傍範囲Xia内に入った直後の設定区間Xiaaは、前記フィードバックによる影響を零としたオープン制御とするのが良い。制御的境界Pから暫くはオープン制御とすることで、上記の振動抑制がより効果的に行える。前記統括制御手段7は、リニアモータ全体の移動範囲X0を各個別モータ3毎に区分した担当範囲Xiの情報を有していて、入力された位置指令の指令位置を担当範囲Xiに含む個別モータ3の個別モータ制御手段6に対し、前記入力された位置指令を前記の担当範囲Xiとして含む個別モータ3に対応する位置指令に変換して与える機能を有するものとするのが良い。このように、統括制御手段7により位置指令を該当の個別モータ3に対応する位置指令に変換すると、複数設けられる個別モータ制御手段6が簡素な構成で済む。すなわち、全ての個別モータ制御手段6に同じ位置指令を入力し、個々の個別モータ制御手段6により自己の担当範囲Xiに該当するか否かを判断させ、該当する場合のみ制御動作させることも可能ではあるが、その場合、複数設けられる個別モータ制御手段6の全てに、判断処理や位置指令の変換を行う手段が必要となる。統括制御手段7にこの機能を持たせると、一つで済み、構成が簡素となる。請求の範囲および/または明細書および/または図面に開示された少なくとも2つの構成のどのような組合せも、本発明に含まれる。特に、請求の範囲の各請求項の2つ以上のどのような組合せも、本発明に含まれる。この発明の一実施形態を図1ないし図5と共に説明する。図1は、制御対象となるリニアモータ1と、このリニアモータ1を制御する乗り移り制御装置2とでなるリニアモータシステムを示す。リニアモータ1は、リニア同期モータLSMであって、それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な電機子からなる複数の個別モータ3を、可動子4の移動方向Xに間隔を開けて設置した離散配置リニアモータである。各個別モータ3は、可動子4のレール図示せずを有する共通のフレーム5に設置されている。フレーム5には、この他に、各個別モータ3毎に、可動子4の位置を検出する位置検出器となるセンサ15が設置される。なお、センサ15は、図1では図示の便宜上、個別モータ3間に示しているが、実際には、可動子移動方向X方向につき、個別モータ3と同じ位置に配置され、個別モータ3よりも若干長い範囲で位置検出が可能なリニアセンサが用いられる。ただし、個別モータ3とセンサ15とは必ずしも同じ位置でなくても良く、個別モータ3に対する可動子4の位置が検出できれば良く、処理系を介することで、柔軟にできる。可動子4は、永久磁石からなるN,Sの磁極を可動子基体4aに移動方向Xに並べて複数設けたものであり、前記フレーム5に設けられたレール図示せずによって進退自在に案内される。各個別モータ3は、例えば図2AおよびBに示すように、各層の磁極となる複数のコイル3aとコア3bを、前記移動方向Xに並べたものである。各コア3bは、共通の本体部からくし歯状に突出した部分で構成される。この例では、3相の交流電流で駆動するものとされ、その各相U,V,W相毎に一つの磁極を設けた3極の一次側の電機子とされている。なお、個別モータ3は、各相U,V,W相毎に複数の磁極を設け、相数の整数倍の磁極を有する電機子としても良い。図1において制御系を説明する。乗り移り制御装置2は、各個別モータ3をそれぞれ制御する複数の個別モータ制御手段6と、これら複数の個別モータ制御手段6に位置指令を与える一つの統括制御手段7とを備える。統括制御手段7は、弱電系の回路素子や、コンピュータおよびそのプログラムの一部等で構成される。統括制御手段7は、図5のように、リニアモータ全体の移動範囲X0を各個別モータ3毎に区分した担当範囲Xii:任意の自然数の情報を有している。個別モータ3は離散配置されているため、担当範囲Xiは個別モータ3よりも長い範囲であり、また個別モータ3からある程度離れた位置で駆動力を確保するために、隣り合う担当範囲Xiは一部を重複させ、2台の個別モータ3で駆動を行うようにしている。統括制御手段7は、上記のように担当範囲Xiを記憶していて、上位制御手段図示せずから入力された位置指令の指令位置を、担当範囲Xiに含む個別モータ3の個別モータ制御手段6に対し、前記入力された位置指令を前記の担当範囲Xiとして含む個別モータ3に対応する位置指令に変換して与える。例えば、上位制御手段から入力された位置指令の指令位置R例えば、1200が、第3番目の個別モータ3の担当範囲X3に含まれるとすると、第3番目の個別モータ3の担当範囲X3の原点位置O3の位置例えば、1000を差し引いた値例えば、200を、第3の番目の個別モータ制御手段6に対して入力する。各個別モータ制御手段6は、モータ電流を個別モータに流す強電系のモータ駆動回路図示せずと、このモータ駆動回路を制御する弱電系の制御部図示せずとでなる。強電系のモータ駆動回路は、複数のスイッチング素子を設けたインバータ等からなり、駆動用の直流電源図示せずに接続されている。個別モータ制御手段6の前記弱電系の制御部は、マイクロコンピュータおよびそのプログラムや、回路素子によって構成される。各個別モータ制御手段6における前記弱電系の制御部に、モータ切替え応答部8と、フィードバック制御部9と、フィードバック影響徐々変更部10とを有する。モータ切替え応答部8は、統括制御手段7から与えられた位置指令に応答して、入力された位置指令をフィードバック制御部9へ伝える。フィードバック制御部9は、図3に一例を示すように、それぞれ位置,速度,電流のフィードバック制御を行う位置制御部11と、速度制御部12と、電流制御部13とを有している。すなわち、フィードバック制御部9は、位置ループ、速度ループ、および電流ループを有する。電流ループは必ずしも設けなくても良い。位置制御部11は、個別モータ3に対する可動子4の現在位置を検出する前記センサ15の検出値と位置指令の指令値との偏差に応じ、定められた位置ループゲインのフィードバック制御を行う。位置制御部11は、その出力として速度指令値を出力する。速度制御部12は、センサ15の位置検出値から速度を検出する微分手段等の速度検出手段16を経て得られる速度検出値と、速度指令値との偏差に応じ、定められた速度ループゲインのフィードバック制御を行う。速度制御部12は、その出力として電流指令値を出力する。電流制御部13は、個別モータ3に印加される駆動電流を電流検出器等の電流検出手段14で検出して、電流検出値と電流指令値との偏差に応じた電流指令値を、定められ電流ループゲインを用いて生成し、モータ駆動電流を制御する。図1のフィードバック影響徐々変更部10は、隣の担当範囲Xi1との境界となる制御的境界P図4から定められた近傍範囲Xia内において、前記フィードバック制御部9のフィードバックによる影響を、前記制御的境界Pから前記近傍範囲Xiaを外れる位置Q図4に近づくにしたがって、零から、近傍範囲以外である一般範囲で用いられる値まで徐々に大きくする手段である。このフィードバック影響徐々変更部10は、前記制御的境界Pから前記近傍範囲Xia内に入った直後の設定区間Xiaaは、前記フィードバックによる影響を零としたオープン制御とし、その後にフィードバックによる影響を徐々に強める。なお、前記設定区間Xiaaは零としても良い。すなわち、前記フィードバックによる影響を零としたオープン制御は、零または零とみなせる瞬時とし、フィードバックによる影響を零から次第に大きくしても良い。制御的境界Pは、図5のような重なり範囲を有する場合、可動子4が乗り移って来る個別モータ3における担当範囲Xiの始端位置である。フィードバック影響徐々変更部10は、具体的には図3に示すように、位置制御部11と速度制御部12との間に介在させた速度フィルタとして設ける。すなわち、フィードバック影響徐々変更部10は、位置制御部11の出力する速度指令値を、定められた関係式によって変更して出力する。その変更後の速度指令値に対して、速度制御部12が、速度検出手段16の検出した現在速度によってフィードバック制御を行う。フィードバック影響徐々変更部10における上記関係式は、例えば次式とされる。xnew:新しい速度指令値x:真の速度指令値x:現在の速度c:寄与率0≦c≦1上記の関係式により演算された新しい速度指令値が、速度制御部12における入力とフィードバック値の加算部12aに入力される。なお、上記の式では、寄与率cは、フィードバック影響徐々変更部10の有効時間Tこの時間分、スムーズ切替えが有効となると、可動子4が担当範囲に入った時の時刻=0を起点とする時刻または経過時間tとによる時間の関数としたが、可動子4の位置の関数としても良い。上記の関係式において、寄与率cが1の場合は、新しい速度指令値は現在の速度と同じとなり、オープン制御となる。寄与率cが0の場合は、新しい速度指令値は、位置制御部11から出力される速度指令値である真の速度指令値となり、通常のフィードバック制御となる。フィードバック影響徐々変更部10は、この寄与率cを、1から0へ次第に変化させる。上記構成の離散配置リニアモータ1の乗り移り制御装置2によると、フィードバック影響徐々変更部10を設け、図4に概念図で示すように、制御的境界Pから定められた近傍範囲Xia内において、フィードバック制御部9のフィードバックによる影響を、制御的境界Pから近傍範囲Xiaを外れる位置Qに近づくに従って、零から、近傍範囲Xia以外の通常範囲で用いられる値まで徐々に大きくする。すなわち、制御的境界Pで一旦オープン制御とし、徐々にオープン制御から通常のフィードバック制御に切り替えて制御する。そのため、急峻な指令値変化によるショックが回避でき、可動子4に衝撃,振動が発生することを抑制することができる。また、基本的にはフィードバック制御とするため、オープン制御に比べて精度の良い位置決めおよび速度制御が行える。また、前記フィードバック影響徐々変更部10は、制御的境界Pから前記近傍範囲Xia内に入った直後の設定区間Xiaaでは、前記フィードバックによる影響を零としたオープン制御としており、制御的境界Pから暫くはオープン制御とするため、上記の振動抑制がより効果的に行える。なお、図4において、上記近傍範囲Xiaのうち、設定区間Xiaaを超えた範囲Xiabでは、フィードバック制御とオープン制御との双方を行うような図となっているが、この範囲Xiabは、フィードバック制御ではあるが、フィードバックによる影響が0から1まで次第に大きくなるように変化することを示している。なお、上記の説明は、一方向への移動についてのみ説明したが、逆方向に移動する場合も、前記一方向への制御と同様の制御を行う。制御対象となるリニアモータ1は、固定側として、一次側の電機子からなる個別モータ3を離散配置したため、コイル使用量が少なくて済み、かつ移動側に給電する場合に比べて給電系が簡素にできると言う離散配置リニアモータの利点を得ることができる。なお、上記実施形態では、統括制御手段7が、上位制御手段から入力された位置指令の指令位置を担当範囲に含む個別モータ3の個別モータ制御手段6に対し、入力された位置指令を変換して与えるようにしたが、統括制御手段7から全ての個別モータ制御手段6に同じ位置指令を入力し、個々の個別モータ制御手段6のモータ切替え応答部8により、自己の担当範囲Xiに該当するか否かを判断させ、該当する場合のみ、その個別モータ制御手段6のモータ駆動制御を行わせるようにしても良い。図6は、この離散配置リニアモータの乗り移り制御装置を適用した搬送装置21の一例を示す。この搬送装置21は、旋盤等からなる工作機械20に対してワークの搬入搬出を行うガントリ型のローダとなるものである。この搬送装置21は、水平なフレーム22に長さ方向に沿って設けられたレール図示せずに走行体23が走行自在に設置され、走行体23に、走行方向X方向と直交する方向である前後方向Z方向に移動自在に前後移動台24が搭載されている。前後移動台24にロッド状の昇降体25が昇降自在に設置され、昇降体25の下端にワークを把持可能なチャック26を有するローダヘッド27が設けられている。チャック26と、工作機械20の主軸20aとの間で、ワークの受渡しが行われる。上記走行体23の走行駆動源として、離散配置リニアモータ1が設けられている。離散配置リニアモータ1は、その各個別モータ3が、フレーム22に長さ方向に沿って配列され、走行体23に前記可動子4が設けられている。この実施形態における離散配置リニアモータ1、およびその乗り移り制御装置2は、特に説明した事項の他は、図1~図5と共に前述したとおりである。また、地上系に制御装置を置くことから、高速なネットワークが構築でき、複数の走行体の同時制御が容易に実現できる。以上のとおり、図面を参照しながらこの発明の好適な実施形態を説明したが、この発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。したがって、そのようなものもこの発明の範囲内に含まれる。"