走査型電子顕微鏡の試料室内に備えた圧子により被検査試料に対して荷重を印加して被検査試料の荷重変位特性を測定する被検査試料測定装置であって、前記圧子を移動するための圧子移動機構と、前記被検査試料を移動するための被検査試料移動機構と、前記圧子及び前記被検査試料を傾斜軸を中心に傾斜させるための傾斜機構と、前記圧子及び前記被検査試料の移動及び傾斜を制御して、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う制御部とを含み、前記制御部が、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記圧子先端と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記圧子を所定角度だけ傾斜させたときの前記圧子先端の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記圧子先端と前記傾斜軸の距離を算出し、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記被検査試料を所定角度だけ傾斜させたときの前記被検査試料の測定点の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離を算出し、前記圧子先端と前記傾斜軸の距離と、前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離とに基づいて、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う、被検査試料測定装置。請求項1において、前記制御部が、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点とを前記傾斜軸に一致させる制御を行う、被検査試料測定装置。走査型電子顕微鏡の試料室内に備えた圧子により被検査試料に対して荷重を印加して被検査試料の荷重変位特性を測定する被検査試料測定装置の制御方法であって、前記被検査試料測定装置は、前記圧子を移動するための圧子移動機構と、前記被検査試料を移動するための被検査試料移動機構と、前記圧子及び前記被検査試料を傾斜軸を中心に傾斜させるための傾斜機構とを備え、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記圧子先端と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記圧子を所定角度だけ傾斜させたときの前記圧子先端の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記圧子先端と前記傾斜軸の距離を算出する工程と、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記被検査試料を所定角度だけ傾斜させたときの前記被検査試料の測定点の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離を算出する工程と、前記圧子先端と前記傾斜軸の距離と、前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離とに基づいて、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う位置合わせ工程とを含む、被検査試料測定装置の制御方法。請求項3において、前記位置合わせ工程において、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点とを前記傾斜軸に一致させる制御を行う、被検査試料測定装置の制御方法。従来の被検査試料測定装置では、ユーザは表示された電子顕微鏡像により被検査試料と圧子との相対位置関係を認識し、被検査試料の測定点を圧子の先端に正確に合わせることが要求された。この作業では、2次元走査画像である電子顕微鏡像の目視によって、水平面での位置合わせのみならず、奥行き方向垂直方向の位置合わせをも行う必要があるため、ユーザに過度な負担をかけていた。本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、圧子の先端と被検査試料の測定点との位置合わせをユーザの技量に依存せず正確に行うことが可能な、被検査試料測定装置及び被検査試料測定装置の制御方法を提供することができる。1本発明は、走査型電子顕微鏡の試料室内に備えた圧子により被検査試料に対して荷重を印加して被検査試料の荷重変位特性を測定する被検査試料測定装置であって、前記圧子を移動するための圧子移動機構と、前記被検査試料を移動するための被検査試料移動機構と、前記圧子及び前記被検査試料を傾斜軸を中心に傾斜させるための傾斜機構と、前記圧子及び前記被検査試料の移動及び傾斜を制御して、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う制御部とを含み、前記制御部が、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記圧子先端と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記圧子を所定角度だけ傾斜させたときの前記圧子先端の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記圧子先端と前記傾斜軸の距離を算出し、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記被検査試料を所定角度だけ傾斜させたときの前記被検査試料の測定点の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離を算出し、前記圧子先端と前記傾斜軸の距離と、前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離とに基づいて、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う。また本発明は、走査型電子顕微鏡の試料室内に備えた圧子により被検査試料に対して荷重を印加して被検査試料の荷重変位特性を測定する被検査試料測定装置の制御方法であって、前記被検査試料測定装置は、前記圧子を移動するための圧子移動機構と、前記被検査試料を移動するための被検査試料移動機構と、前記圧子及び前記被検査試料を傾斜軸を中心に傾斜させるための傾斜機構とを備え、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記圧子先端と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記圧子を所定角度だけ傾斜させたときの前記圧子先端の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記圧子先端と前記傾斜軸の距離を算出する工程と、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記被検査試料を所定角度だけ傾斜させたときの前記被検査試料の測定点の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離を算出する工程と、前記圧子先端と前記傾斜軸の距離と、前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離とに基づいて、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う位置合わせ工程とを含む。本発明によれば、圧子及び被検査試料を傾斜させたときの圧子先端の走査画像上での移動量と、被検査試料の測定点の走査画像上での移動量とをそれぞれ求め、求めた移動量に基づき圧子先端と傾斜軸の距離と、被検査試料の測定点と傾斜軸の距離とをそれぞれ算出し、算出した距離に基づき圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行うことで、ユーザの技量に依存しない正確な位置合わせを可能にし、操作性の向上と測定の効率化を図ることができる。2また、本発明に係る被検査試料測定装置では、前記制御部が、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点とを前記傾斜軸に一致させる制御を行ってもよい。また、本発明に係る被検査試料測定装置の制御方法では、前記位置合わせ工程において、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点とを前記傾斜軸に一致させる制御を行ってもよい。本発明によれば、圧子の先端及び被検査試料の測定点を傾斜軸に一致させるので、傾斜機構により圧子及び被検査試料を傾斜させても、画像上における両者の位置移動が生じることなく、圧子の先端と被検査試料の測定点との位置合わせにおける操作性をより向上させることができる。さらに、本発明によれば、被検査試料を傾斜させてイオンビーム等による加工を行う場合に、加工位置を圧子の先端位置に正確に一致させることが可能となる。以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。1.構成図1に、本実施形態に係る被検査試料測定装置の構成の一例を示す。なお本実施形態の被検査試料測定装置は図1の構成要素各部の一部を省略した構成としてもよい。図1に示すように、被検査試料測定装置は、走査型電子顕微鏡を構成する真空装置1内に設置された、電子銃10、コンデンサレンズ12、走査コイル14、対物レンズ16、検出器18、圧子20、トランスデューサ22、試料移動機構30、載置台40及びステージ50と、真空装置1外に設置された、増幅器19、トランスデューサ制御装置23、ステージ制御装置59、処理部60、操作部70、表示部72、記憶部74及び情報記憶媒体76とを含んでいる。ここで、検出器18、圧子20、トランスデューサ22、試料移動機構30、載置台40及びステージ50は、真空装置1における試料室1a内に配置されている。電子銃10は、電子銃制御装置図示省略により制御され、電子を加速し電子ビームBを試料室1aに向けて放出する。コンデンサレンズ12は、試料S被検査試料に到達する電子ビームBの照射電流量及び開き角を制御するものであり、コンデンサレンズ制御装置図示省略により制御される。対物レンズ16は、電子ビームBを試料Sの表面で集束させるためのものであり、対物レンズ制御装置図示省略により制御される。走査コイル14は、対物レンズ16によって集束された電子ビームBの試料S上での走査を行うための電磁コイルであり、走査コイル制御装置図示省略により制御される。検出器18は、集束された電子ビームBの走査に基づいて試料S等から放出される二次電子や反射電子電子ビームBの走査に基づき試料S等から生じる信号を検出する。検出器18によって検出された検出信号二次電子や反射電子の強度信号は、増幅器19によって増幅された後、処理部60に供給される。トランスデューサ22は、圧子20を介して試料Sに荷重を印加するものであり、トランスデューサ制御装置23により制御される。圧子20は、トランスデューサ22によって印加された荷重を試料Sに加えるものである。トランスデューサ22は、圧子20を介して試料Sに実際に印加された荷重を検出する荷重検出器と、圧子20を介して荷重を印加したときの試料Sの変位量を検出する変位検出器と、圧子20を微小に移動微動させる微動機構とを含む。トランスデューサ22の荷重検出器及び変位検出器で検出された荷重及び変位量の検出信号は、処理部60に出力される。試料移動機構30被検査試料移動機構は、試料Sを水平方向X-Y方向及び垂直方向Z方向に移動させる試料ステージであり、ステージ制御装置59により制御される。試料移動機構30は、試料SをX軸方向に移動させるX軸移動機構と、試料SをY軸方向に移動させるY軸移動機構と、試料SをZ軸方向に移動させるZ軸移動機構から構成される。試料移動機構30とトランスデューサ22は、載置台40の載置面40aに固定される。ステージ50は、ステージ制御装置59により制御され、載置台40を水平方向及び垂直方向に移動させ、また載置台40を回転、傾斜させる。ステージ50は、載置台40をその載置面40aに直交する回転軸を中心に回転させる回転機構51と、載置台40をY軸方向に直交する方向に移動させるX軸移動機構52と、載置台40をY軸方向に移動させるY軸移動機構53と、載置台40をその載置面40aに直交する方向に微小に移動微動させるZ軸微動機構54と、載置台40をY軸に平行な傾斜軸TAを中心に回動して傾斜させる傾斜機構55と、載置台40をZ軸方向に移動させるZ軸移動機構56から構成される。なお、傾斜機構55による載置台40の傾斜がない状態においては、上記回転軸はZ軸に平行な軸となり、X軸移動機構52による載置台40の移動方向は、X軸方向に沿う方向となり、Z軸微動機構54による載置台40の移動方向は、Z軸方向に沿う方向となる。ここで、X軸移動機構52、Y軸移動機構53及びZ軸微動機構54は、圧子20を移動するための圧子移動機構として機能し、傾斜機構55は、圧子20及び試料Sを傾斜軸TAを中心に傾斜させるための傾斜機構として機能する。操作部70は、ユーザが操作情報を入力するためのものであり、入力された操作情報を処理部60に出力する。操作部70の機能は、キーボード、マウス、ボタン、タッチパネル型ディスプレイなどのハードウェアにより実現することができる。表示部72は、処理部60によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、LCD、CRTなどにより実現できる。表示部72は、処理部60により生成された、電子顕微鏡像集束された電子ビームBの走査に基づく試料S等の二次電子像或いは反射電子像等の走査像走査画像を表示する。これにより、走査画像としての電子顕微鏡像が取得されて表示される。記憶部74は、処理部60のワーク領域となるもので、その機能はRAMなどにより実現できる。情報記憶媒体76コンピュータにより読み取り可能な媒体は、プログラムやデータなどを格納するものであり、その機能は、光ディスクCD、DVD、光磁気ディスクMO、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、或いはメモリROMなどにより実現できる。処理部60は、情報記憶媒体76に格納されるプログラムデータに基づいて本実施形態の種々の処理を行う。情報記憶媒体76には、処理部60としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶することができる。処理部60は、上述したコンデンサレンズ制御装置、走査コイル制御装置、対物レンズ制御装置を制御する処理や、トランスデューサ制御装置23を制御してトランスデューサ22を動作させる処理や、ステージ制御装置59を制御してステージ50及び試料移動機構30を動作させる処理や、増幅器19によって増幅された検出器18からの検出信号を、走査コイル制御装置に供給される電子ビームBの走査信号と同期された画像データ電子顕微鏡像となる走査像データとする処理などの処理を行う。処理部60の機能は、各種プロセッサCPU、DSP等、ASICゲートアレイ等などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。特に本実施形態の処理部60本発明の制御部に対応は、操作部70からの操作情報や、電子顕微鏡像走査画像に対する画像処理の処理結果に基づき圧子20及び試料Sの移動及び傾斜を制御して、圧子20の先端と試料Sの測定点との位置合わせを行う。具体的には、処理部60は、まず、電子顕微鏡像上で圧子20先端と傾斜軸TAとを一致させた状態で圧子20を所定角度だけ傾斜させたときの圧子20の先端20aの電子顕微鏡像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき圧子20の先端20aと傾斜軸TAとの間の距離を算出する。次に、電子顕微鏡像上で試料Sの測定点と傾斜軸TAとを一致させた状態で試料Sを所定角度だけ傾斜させたときの試料Sの測定点の電子顕微鏡像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき試料Sの測定点と傾斜軸TAとの間の距離を算出する。そして、圧子20の先端20aと傾斜軸TAとの間の距離と、試料Sの測定点と傾斜軸TAとの間の距離とに基づいて、圧子20の先端20aと試料Sの測定点との位置合わせを行う。また、処理部60は、試料Sの測定点を圧子20の先端20aに一致させる制御を行ってもよいし、圧子20の先端20aを試料Sの測定点に一致させる制御を行ってもよいし、圧子20の先端20aと試料Sの測定点とを傾斜軸TAに一致させる制御を行ってもよい。2.本実施形態の手法次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。2-1.第1の手法まず、圧子先端と試料の測定点との位置合わせを行う第1の手法について、図2のフローチャートを用いて説明する。第1の手法では、試料Sの測定点を圧子20の先端20aに一致させることで両者の位置合わせを行う。まず、処理部60は、圧子20先端の座標位置と、試料Sの測定点の座標位置を登録する処理を行うステップS10。ユーザは、表示部72に表示される電子顕微鏡像上で、圧子20の先端20aの位置と、試料Sの測定点圧子20の先端20aによって荷重が印加される位置とを、マウス等の操作部70を用いてそれぞれ指定し、これら指定された位置が登録される。このとき、電子顕微鏡像の中心位置走査画像の中心位置が、傾斜軸TAの位置に対応するように、電子ビームBの走査領域を予め設定しておく。次に、ステップS10で登録した圧子20先端の座標に基づき、処理部60は、ステージ50のX軸移動機構52及びY軸移動機構53を制御して、圧子20先端を電子顕微鏡像走査画像の中心に移動させるステップS12。図3に示すように、電子顕微鏡像EIの中心位置PCは、電子顕微鏡像EI上の傾斜軸TAの位置と一致するため、ステップS12の処理により、電子顕微鏡像EI上で圧子20の先端20aと傾斜軸TAとを一致させることができる。これにより、図4Aに示すように、圧子20先端と傾斜軸TAのXY座標を一致させることができる。なお、図3では、電子顕微鏡像EIにおける試料Sの像の図示を省略し、図4では、試料Sと試料移動機構30の図示を省略している。次に、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40を角度θだけ傾斜させステップS14、傾斜させたときの圧子20先端の移動量Dを算出するステップS16。図4Aに示すように、傾斜軸TAと圧子20先端の位置がZ軸方向垂直方向にずれていると、図4Bに示すように、傾斜軸TA回りの傾斜によって圧子20先端がX軸方向に移動する。移動量Dは、圧子20先端の電子顕微鏡像上での移動量を画像処理によって求め、求めた移動量に電子顕微鏡像の倍率を掛け合わせることで算出することができる。なお、ここでの移動量Dは、X軸におけるX軸方向での移動量とする。よって、図4Bの例では、移動量Dは正の値となる。次に、ステップS14で算出した移動量Dに基づいて、傾斜前における圧子20先端と傾斜軸TAの距離Lを算出するステップS18。移動量をDとし、傾斜角度をθとすると、距離Lは次式により表される。LDsinθここで、|D|は、移動量Dの絶対値である。次に、図4Cに示すように、トランスデューサ22の圧子微動機構を制御して、圧子20を傾斜軸TAから離れる方向に所定距離Δだけ移動させるステップS20。これは、荷重変位特性の測定に必要な空間を圧子20先端の前方に確保するためである。次に、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40の傾斜角度を0度に戻すステップS22。次に、ステップS10で登録した試料Sの測定点の座標に基づき、試料移動機構30のX軸移動機構及びY軸移動機構を制御して、試料Sの測定点を電子顕微鏡像の中心に移動させるステップS24。上述したように、電子顕微鏡像EIの中心位置PCは、電子顕微鏡像EI上の傾斜軸TAの位置と一致するため、ステップS24の処理により、図5に示すように、電子顕微鏡像EI上で試料Sの測定点MP試料Sの被測定部MDにおいて、圧子20の先端20aによって荷重が印加される位置と傾斜軸TAとを一致させることができる。これにより、図6Aに示すように、試料Sの測定点MPと傾斜軸TAのXY座標を一致させる。なお、図5では、電子顕微鏡像EIにおける圧子20の像の図示を省略し、図6では、圧子20とトランスデューサ22の図示を省略している。次に、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40を角度θだけ傾斜させステップS26、傾斜させたときの試料Sの測定点の移動量dを算出するステップS28。図6Aに示すように、傾斜軸TAと測定点MPの位置がZ軸方向垂直方向にずれていると、図6Bに示すように、傾斜軸TA回りの傾斜によって測定点MPがX軸方向に移動する。移動量dは、測定点MPの電子顕微鏡像上での移動量を画像処理によって求め、求めた移動量に電子顕微鏡像の倍率を掛け合わせることで算出することができる。なお、ここでの移動量dも、X軸におけるX軸方向での移動量とする。よって、図6Bの例では、移動量dは負の値となる。次に、ステップS16で算出した移動量DとステップS28で算出した移動量dとの差の絶対値が所定の閾値TH以内であるか否かを判断するステップS30。移動量Dと移動量dとの差の絶対値が所定の閾値TH以内でないと判断した場合ステップS30のNには、圧子20先端と試料Sの測定点MPの位置が一致していないと判断して、ステップS28で算出した移動量dに基づいて、傾斜前における測定点MPと傾斜軸TAのZ軸方向垂直方向の距離mを算出するステップS32。傾斜角度をθとすると、距離mは次式により表される。mdsinθここで、|d|は、移動量dの絶対値である。次に、試料移動機構30のZ軸移動機構を制御して、試料Sを、ステップS18で算出した距離LとステップS32で算出した距離mの差だけ移動させるステップS34。この差の算出については、距離L及び距離mが、傾斜軸TAに対してZ軸方向での距離であるか、或いは-Z軸方向での距離であるかを加味して行われる。ここでは、移動量D移動量dが正の値のときには距離L距離mは-Z軸方向での距離となり、移動量D移動量dが負の値のときには距離L距離mはZ軸方向での距離となる。従って、図4Aに示すように、圧子20先端の位置は傾斜軸TAから-Z軸方向に距離Lだけずれており、図6Aに示すように、測定点MPの位置は傾斜軸TAからZ軸方向に距離mだけずれているため、算出される差は、-L-m=-Lmとなる。よって、図6Cに示すように、試料Sを試料移動機構30の-Z軸方向に距離Lmだけ移動させると、試料Sの測定点MPのZ軸方向の位置を圧子20先端のZ軸方向の位置に一致させることができる。なお、ここでは載置台40が角度θだけ傾斜しているため、試料移動機構30のZ軸も角度θだけ傾斜している。次に、ステップS22の処理に進み、ステップS30において移動量Dと移動量dの差の絶対値が閾値TH以内であると判断されるまで、ステップS22~ステップS34の処理を繰り返す。このようにすると、試料移動機構30のZ軸移動機構の動作に誤差がある場合であっても、正確に位置合わせを行うことができる。ステップS30において、移動量Dと移動量dの差の絶対値が閾値TH以内であると判断した場合には、圧子20の先端と試料Sの測定点MPの位置が許容される範囲内で一致したと判断して、図7Aに示すように、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40の傾斜角度を0度に戻すステップS36。その後、図7Bに示すように、トランスデューサ22の圧子微動機構を制御して、圧子20を傾斜軸TAに近づく方向に所定距離Δだけ移動させることで、圧子20先端を試料Sの測定点MPに一致させて荷重変位特性の測定を行うことができる。このように、本実施形態によれば、圧子20及び試料Sを傾斜させたときの圧子20先端の電子顕微鏡像上での移動量Dと、試料Sの測定点MPの電子顕微鏡像上での移動量dとをそれぞれ求め、求めた移動量D、dに基づき圧子20先端と傾斜軸TAの距離Lと、測定点MPと傾斜軸TAの距離mとをそれぞれ算出し、算出した距離L、mに基づいて、試料の測定点MPを圧子20の先端に一致させる制御を行うことで、ユーザの技量に依存せずに、正確な位置合わせを行うことができる。2-2.第2の手法次に、圧子先端と試料の測定点との位置合わせを行う第2の手法について、図8のフローチャートを用いて説明する。第2の手法では、試料Sの測定点と圧子20先端とを傾斜軸TAに一致させることで、試料Sの測定点と圧子20先端との位置合わせを行う。図8のステップS40~ステップS46は、図2のステップS10~ステップS16と同様である。まず、処理部60は、圧子20先端の座標と、試料Sの測定点の座標を登録する処理を行うステップS40。次に、ステップS40で登録した圧子20先端の座標に基づき、処理部60は、ステージ50のX軸移動機構52及びY軸移動機構53を制御して、圧子20先端を電子顕微鏡像の中心に移動させるステップS42。すなわち、図3に示すように、電子顕微鏡像EI上で圧子20の先端20aと傾斜軸TAとを一致させ、図9Aに示すように、圧子20先端と傾斜軸TAのXY座標を一致させる。なお、図9、図10では、試料Sと試料移動機構30の図示を省略している。次に、図9Bに示すように、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40を角度θだけ傾斜させステップS44、傾斜させたときの圧子20先端の移動量Dを算出するステップS46。次に、ステップS46で算出した移動量Dの絶対値が所定の閾値TH以内であるか否かを判断するステップS48。移動量Dの絶対値が所定の閾値TH以内でないと判断した場合ステップS48のNには、圧子20先端と傾斜軸TAが一致していないと判断して、ステップS46で算出した移動量Dに基づいて、圧子20先端と傾斜軸TAの距離Lを、式1により算出するステップS50。次に、ステージ50のZ軸微動機構54を制御して、載置台40をステップS50で算出した距離Lだけ移動させるステップS52。図9Aに示すように、圧子20先端の位置は傾斜軸TAから-Z軸方向に距離Lだけずれているため、図9Cに示すように、圧子20載置台40をステージ50のZ軸方向に距離Lだけ移動させると、圧子20先端を傾斜軸TAに一致させることができる。なお、ここではZ軸微動機構54が傾斜機構54により角度θだけ傾斜させているため、Z軸微動機構54のZ軸が角度θだけ傾斜している。次に、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40の傾斜角度を0度に戻すステップS54。次に、ステップS42の処理に進み、ステップS48において移動量Dの絶対値が閾値TH以内であると判断されるまで、ステップS42~ステップS54の処理を繰り返す。このようにすると、Z軸微動機構54の動作に誤差がある場合であっても、正確に位置合わせを行うことができる。ステップS48において、移動量Dの絶対値が閾値TH以内であると判断した場合には、圧子20の先端と傾斜軸TAの位置が許容される範囲内で一致したと判断して、図10Aに示すように、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40の傾斜角度を0度に戻すステップS56。次に、図10Bに示すように、トランスデューサ22の圧子微動機構を制御して、圧子20を傾斜軸TAから離れる方向に所定距離Δだけ移動させるステップS58。これは、荷重変位特性の測定に必要な空間を圧子20先端の前方に確保するためである。図8のステップS60~ステップS64は、図2のステップS24~ステップS28と同様である。次に、ステップS40で登録した試料Sの測定点の座標に基づき、試料移動機構30のX軸移動機構及びY軸移動機構を制御して、試料Sの測定点を電子顕微鏡像の中心に移動させるステップS60。すなわち、図5に示すように、電子顕微鏡像EI上で試料Sの測定点MPと傾斜軸TAとを一致させ、図11Aに示すように、試料Sの測定点MPと傾斜軸TAのXY座標を一致させる。なお、図11、図12では、圧子20とトランスデューサ22の図示を省略している。次に、図11Bに示すように、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40を角度θだけ傾斜させステップS62、傾斜させたときの試料Sの測定点MPの移動量dを算出するステップS64。次に、ステップS64で算出した移動量dの絶対値が所定の閾値TH以内であるか否かを判断するステップS66。移動量dの絶対値が所定の閾値TH以内でないと判断した場合ステップS66のNには、試料Sの測定点MPと傾斜軸TAが一致していないと判断して、ステップS64で算出した移動量dに基づいて、測定点MPと傾斜軸TAの距離mを、式2により算出するステップS68。次に、試料移動機構30のZ軸微動機構を制御して、試料SをステップS68で算出した距離mだけ移動させるステップS70。図11Aに示すように、試料Sの測定点MPの位置は傾斜軸TAからZ軸方向に距離mだけずれているため、図12に示すように、試料Sを試料移動機構30の-Z軸方向に距離mだけ移動させると、試料Sの測定点MPを傾斜軸TAに一致させることができる。なお、ここでは載置台40が角度θだけ傾斜しているため、試料移動機構30のZ軸も角度θだけ傾斜している。次に、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40の傾斜角度を0度に戻すステップS72。次に、ステップS60の処理に進み、ステップS66において移動量dの絶対値が閾値TH以内であると判断されるまで、ステップS60~ステップS72の処理を繰り返す。このようにすると、試料移動機構30のZ軸移動機構の動作に誤差がある場合であっても、正確に位置合わせを行うことができる。ステップS66において、移動量dの絶対値が閾値TH以内であると判断した場合には、試料Sの測定点MPと傾斜軸TAの位置が許容される範囲内で一致したと判断して、図13Aに示すように、ステージ50の傾斜機構55を制御して、載置台40の傾斜角度を0度に戻すステップS74。その後、図13Bに示すように、トランスデューサ22の圧子微動機構を制御して、圧子20を傾斜軸TAに近づく方向に所定距離Δだけ移動させることで、圧子20先端を試料Sの測定点MPに一致させて荷重変位特性の測定を行うことができる。このように、本実施形態の第2の手法によれば、圧子20の先端と試料Sの測定点MPとをユーザの技量に依存せずに、正確に傾斜軸TAに一致させることができる。試料Sの測定点MPと圧子20の先端とを傾斜軸TAに一致させると、イオンビーム等による試料Sの加工を行う際に試料Sを傾斜させた場合でも測定点MPの位置を固定することができ、試料の測定点の加工を容易にするとともに、加工位置を圧子の先端位置に一致させることができる。3.変形例なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。例えば、上記実施形態では、ステージ50のX軸移動機構52、Y軸移動機構53及びZ軸微動機構54を制御して、圧子20を移動させる場合について説明したが、図14に示すように、圧子20及びトランスデューサ22を移動するためのトランスデューサ移動機構24を載置台40に設けて、ステージ制御装置59を介してトランスデューサ移動機構24を制御することで圧子20を移動させるように構成してもよい。すなわち、図14に示す例においては、トランスデューサ移動機構24が、本発明の圧子移動機構として機能する。トランスデューサ移動機構24は、圧子20をX軸方向に移動させるX軸移動機構と、圧子20をY軸方向に移動させるY軸移動機構と、圧子20をZ軸方向に移動させるZ軸移動機構から構成される。図14に示す構成では、図2のステップS12及び図6のステップ42において、トランスデューサ移動機構24のX軸移動機構及びY軸移動機構を制御することで、圧子20先端を電子顕微鏡像の中心に移動させ、図8のステップS52において、トランスデューサ移動機構24のZ軸移動機構を制御することで、圧子20を距離Lだけ移動させることができる。また、図15に示すように、試料SをY軸に平行な軸を中心に回動して傾斜させる試料傾斜機構32と、試料SをZ軸に平行な軸を中心に回転させる試料回転機構34とを試料移動機構30に設けるようにしてもよい。図15に示す構成では、一次イオンビームIBを試料Sの表面に照射して試料Sを加工する場合に、試料傾斜機構32を制御して、試料Sの加工面が一次イオンビームIBに対して垂直になるように試料Sを傾斜させる。この場合には、トランスデューサ移動機構24を制御して、圧子を試料Sから離れた位置に移動させる。すなわち、図15の構成では、試料Sの加工前に試料室1aを大気開放して圧子20及びトランスデューサ22を真空外に退避する必要が無くなる。図16は、図15の構成を電子線Bの照射方向から見たときの構成を模式的に示す図である。図15の構成において、試料回転機構34を制御して試料SをZ軸と平行な軸を中心に回転させることで、図16に示すように、試料Sの加工端面を、試料室1a真空容器内に配置されたEDSエネルギー分散型X線分析装置、EBSD電子線後方散乱回折解析装置及び圧子20の各分析装置に正対させることができる。すなわち、イオンビームIBによる加工から、各分析装置による試料Sの分析を、真空内における一連の作業で行うことができる。また、図17に示すように、載置台40に配置される試料移動機構30、試料回転機構34、試料傾斜機構32、試料S、トランスデューサ移動機構24、トランスデューサ22及び圧子20を一体として、仕切り弁2の開閉により主真空容器である試料室1aと予備室である副真空容器3との間を移動可能に構成してもよい。試料室1a内には、載置台40上の各機器試料移動機構30、試料回転機構34、試料傾斜機構32及びトランスデューサ22に電源を供給するための電源コネクタ42が配置されている。電源コネクタ42は、載置台40上の各機器が副真空容器3から試料室1aに搬送されたときに、載置台40上の各機器と接点を確保するように構成されている。図17のように構成すると、試料室1aの大気開放を伴わずに試料Sの測定を行うことができる。また、図18に示すように、試料回転機構34を省略して、ステージ50の回転機構51の駆動力を試料移動機構30に伝達する回転伝達機構44を設けてもよい。このように構成すると、電源コネクタ42との接続により載置台40の回転が制限された状況下であっても、ステージ50の回転機構51を制御して、試料移動機構34、試料傾斜機構32及び試料Sを一体として回転させることができる。