"有機成分を含有した成形体に補助溶媒が添加された超臨界流体を接触させて前記有機成分を除去する有機成分除去工程と、前記有機成分を除去した後、前記補助溶媒が添加されていない超臨界流体を前記成形体に接触させ、前記成形体に浸透した前記補助溶媒を除去する補助溶媒除去工程と、前記補助溶媒を除去した後、雰囲気を大気雰囲気に減圧する減圧工程とを含むことを特徴とする成形体の脱脂方法。前記補助溶媒除去工程と前記減圧工程との間に雰囲気温度を降温させる降温工程を介在させることを特徴とする請求項1記載の成形体の脱脂方法。セラミック原料に有機成分を添加して成形加工を施し、成形体を作製する成形体作製工程と、前記成形体の前記有機成分を除去した後、焼成処理を行なって焼結体を作製する焼結体作製工程とを含むセラミック電子部品の製造方法において、請求項1又は請求項2記載の成形体の脱脂方法を使用して前記有機成分の除去を行なうことを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。上記超臨界抽出プロセスでは、超臨界流体を使用し、臨界圧力Pc及び臨界温度Tcを超える雰囲気下で脱脂処理を行ない、その後、雰囲気を大気圧に減圧し、脱脂処理がなされた成形体を取り出している。したがって、脱脂処理の前後で圧力変動が生じる。しかしながら、特許文献1では、脱脂時間を短縮化するためにエントレーナを添加しているため、成形体が脱脂処理時に膨潤し、このため減圧後の成形体には構造欠陥が生じるおそれがある。例えば、セラミックグリーンシートと導電性ペーストとを交互に積層した積層成形体の場合、特許文献1のように、超臨界流体中にエントレーナが含有されていると、該エントレーナによって脱脂処理時にセラミックグリーンシートが膨潤し、セラミックグリーンシートの強度が低下する。この状態で大気圧に減圧すると、セラミックグリーンシート内に浸透した超臨界流体が、減圧処理によって体積膨張し、セラミックグリーンシートに応力が発生する。そして、このように減圧時の圧力変動によって応力が発生することから、脱脂処理時に膨潤したセラミックグリーンシートが破壊したり、セラミックグリーンシート間の密着強度が低下してデラミネーション層間剥離が発生し、構造欠陥を招くおそれがある。本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、超臨界抽出プロセスを使用して成形体の脱脂処理を行なっても、構造欠陥の発生を抑制できる成形体の脱脂方法、及びこの脱脂方法を使用したセラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。上記目的を達成するために本発明に係る成形体の脱脂方法は、有機成分を含有した成形体にエントレーナが添加された超臨界流体を接触させて前記有機成分を除去する有機成分除去工程と、前記有機成分を除去した後、前記エントレーナが添加されていない超臨界流体を前記成形体に接触させ、前記成形体に浸透した前記エントレーナを除去するエントレーナ除去工程と,前記エントレーナを除去した後、雰囲気を大気雰囲気に減圧する減圧工程とを含むことを特徴としている。また、本発明の成形体の脱脂方法は、前記エントレーナ除去工程と前記減圧工程との間に雰囲気温度を降温させる降温工程を介在させるのが好ましい。この場合は、脱脂処理前後の圧力変動に伴う流体の密度変化が小さくなり、成形体の構造欠陥をより効果的に抑制することが可能となる。また、本発明に係るセラミック電子部品の製造方法は、セラミック原料に有機成分を添加して成形加工を施し、成形体を作製する成形体作製工程と、前記成形体に含有されている前記有機成分を除去した後、焼成処理を行なって焼結体を作製する焼結体作製工程とを含むセラミック電子部品の製造方法において、上述した成形体の脱脂方法を使用して前記有機成分の除去を行なうことを特徴としている。本発明の成形体の脱脂方法によれば、有機成分を含有した成形体にエントレーナが添加された超臨界流体を接触させて前記有機成分を除去する有機成分除去工程と、前記有機成分を除去した後、前記エントレーナが添加されていない超臨界流体を前記成形体に接触させ、前記成形体に浸透した前記エントレーナを除去するエントレーナ除去工程と、前記エントレーナを除去した後、雰囲気を大気雰囲気に減圧する減圧工程とを含むので、成形体の膨潤の原因となるエントレーナを除去した後、大気圧に減圧していることから、成形体に構造欠陥が生じるのを抑制することができる。また、本発明のセラミック電子部品の製造方法によれば、上述した成形体の脱脂方法を使用して前記脱脂処理を行なうので、成形体に構造欠陥が生じるのを抑制することができ、製品歩留まりが向上し、積層セラミックコンデンサ等のセラミック電子部品を効率よく得ることができる。次に、本発明の実施の形態を詳説する。図1は、本発明に係る成形体の脱脂方法に使用される脱脂装置の一実施の形態を示す概略構成図である。この脱脂装置は、流体ボンベ1と、該流体ボンベ1を昇圧する昇圧ポンプ2と、エントレーナが貯留されたエントレーナタンク3と、エントレーナを送液する送液ポンプ4と、有機バインダや可塑剤等の有機成分を含有した成形体が配されると共にエントレーナを添加した流体が供給された圧力容器6と、超臨界状態の高圧雰囲気から大気雰囲気に減圧する減圧弁7と、圧力容器6内で抽出分離された有機成分を回収する回収タンク8とを主要部として備えている。昇圧ポンプ2及び送液ポンプ4の各上流側には第1及び第2バルブ9、10が介装され、圧力容器6の上流側には第3のバルブ11が介装されている。また、圧力容器6は、加熱装置を備えており、圧力容器6に供給された加圧流体を加熱し、超臨界流体を得る。以下、積層セラミックコンデンサの中間体である積層成形体について、その脱脂方法を詳述する。図2は、脱脂処理の対象となる積層成形体の一実施の形態を模式的に示す断面図である。この積層成形体12は、セラミックグリーンシート13a~13gと導電層14a~14fとが交互に積層され、かつ導電層14a~14fのうち、14a、14c、14eは一方の端面に表面露出され、14b、14d、14fは他方の端面に表面露出されている。この積層成形体12は、以下のようにして製造される。まず、Ti化合物やBa化合物等のセラミック素原料を所定量秤量し、この秤量物を部分安定化ジルコニアPSZボール等の粉砕媒体及び純水等の溶媒と共にボールミルに投入し、十分に湿式で混合粉砕し、乾燥させた後、例えば、900~1200°Cの温度で所定時間、仮焼し、チタン酸バリウム等のセラミック原料粉末を作製する。次いで、セラミック原料粉末に塑性を付与して強度を向上させる観点から、セラミック原料粉末に有機成分ポリビニルブチラール等の有機バインダやフタル酸ジオクチル等の可塑剤等を添加し、エタノール等の有機溶剤や粉砕媒体と共にボールミル内で湿式混合し、セラミックスラリーを作製する。そして、ドクターブレード法等の成形加工法を使用してセラミックスラリーに成形加工を行い、セラミックグリーンシート13a~13gを作製する。次に、Ni等の導電性材料を主成分として含有した導電性ペーストを用意する。次いで、スクリーン印刷法等を使用し、セラミックグリーンシート13a~13gに導電性ペーストを塗布し、所定パターンの導電層14a~14fが形成されたセラミックグリーンシート13a~13gを作製する。次に、導電層14a~14fが形成されたセラミックグリーンシート13b~13gを所定順序で積層し、導電層の形成されていないセラミックグリーンシート13aを最上層に載置し、所定温度及び所定圧力で加熱加圧し、これにより積層成形体12が作製される。そして、この積層成形体12を焼成することにより焼結体が得られるが、この積層成形体12を直接焼成すると、セラミックグリーンシート13a~13gに含有される有機成分が急激に気泡化し膨張することから、本実施の形態では上記脱脂装置を使用して脱脂処理を行っている。以下、図1を参照しながら積層成形体12の脱脂方法を説明する。まず、積層成形体12を圧力容器6の所定位置に配する。次に、第1のバルブ9を開弁し、流体ボンベ1から流体を流出させ、昇圧ポンプ2で流体の臨界圧力Pcを超える圧力に昇圧させる。さらに、第2のバルブ10を開弁し、エントレーナタンク3に貯留されたエントレーナを送液ポンプ4で送液し、点aで流体ボンベ1からの流体にエントレーナを添加する。尚、流体とエントレーナとの混合比率は、バインダの種類や溶解度との関係を考慮し、例えば第1及び第2のバルブ9、10の開度等を調整することにより所定の混合比率に設定される。また、流体の種類は特に限定されるものではなく、液体二酸化炭素、水等を使用することが可能であるが、臨界温度Tcが約30°Cと室温に近く、溶解性が良好な液体二酸化炭素が好んで使用される。エントレーナは、有機成分に対する溶解度が高い有機溶剤であれば特に限定されるものではなく、例えばメタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、四塩化炭素、トルエン、ベンゼン、クロロホルム、塩化メチレン、テトラヒドロフラン、アセトン、酢酸エチルから選択された1種又は2種以上の組み合わせを使用することができるが、通常はエタノールが好んで使用される。次に、エントレーナが添加された加圧流体を圧力容器6に供給する。そして、臨界温度Tcを超える温度に昇温させて超臨界流体とし、この超臨界流体を使用して脱脂処理を行ない、有機成分を分離抽出する。尚、圧力容器6に供給される超臨界流体の流量や処理時間は、積層成形体12に含有されるバインダの種類や量、圧力容器6の容積等に応じ、適宜設定される。次いで、脱脂処理が終了した後、第1のバルブ9を開弁したまま第2のバルブ10を閉弁し、超臨界流体を圧力容器6に所定流量で所定時間供給し、圧力容器6内及び積層成形体12内に浸透したエントレーナを圧力容器6外に抽出する。そして、第3のバルブ11を開弁すると共に、減圧弁7を操作して超臨界状態の高圧雰囲気から大気雰囲気に減圧し、二酸化炭素を大気に放出する一方、有機成分及びエントレーナを回収タンク8に回収する。このように本実施の形態では、有機成分を含有した成形体にエントレーナが添加された超臨界流体を接触させて有機成分を除去した後、エントレーナが添加されていない超臨界流体を積層成形体12に接触させ、積層成形体12に浸透したエントレーナ及び圧力容器6内のエントレーナを除去し、積層成形体12の膨潤の原因となるエントレーナを除去した後、雰囲気を大気雰囲気に減圧するので、セラミックグリーンシート13a~13gの破壊やセラミックグリーンシート13a~13g間のデラミネーション等、積層成形体12に構造欠陥が生じるのを抑制することができる。図3は、上記脱脂方法を使用して作製された積層セラミックコンデンサの一実施の形態を模式的に示す断面図である。すなわち、上記脱脂方法により脱脂された積層成形体12を、所定温度例えば、1100~1300°Cで2時間程度焼成し、内部電極15a~15fが埋設された構造欠陥の抑制された焼結体16が得られる。そして、焼結体16の両端部に外部電極用ペーストを塗布焼成して外部電極17a、17bが形成され、該外部電極17a、17bの表面にNi等の第1の皮膜18a、18bがめっき形成され、該第1の皮膜18a、18bの表面にSn等の第2の皮膜19a、19bがめっき形成される。このように本積層セラミックコンデンサは、上述した成形体の脱脂方法を使用して積層成形体12を脱脂するので、積層成形体12に構造欠陥が生じるのを抑制することができ、製品歩留まりが向上し、積層セラミックコンデンサを効率よく得ることができる。尚、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態では、エントレーナを除去した後、直ちに減圧弁7で雰囲気を大気圧に減圧しているが、エントレーナを除去した後、雰囲気温度を降温させ、その後、圧力雰囲気を高圧雰囲気から大気雰囲気に減圧するのも好ましく、これにより、より低温で脱脂処理前後の圧力変動に伴う流体の密度変化を受けることとなり、積層成形体12における構造欠陥の発生をより効果的に抑制することが可能となる。また、上記実施の形態では、積層セラミックコンデンサの作製過程で得られる積層成形体を例に説明したが、有機成分を含有した成形体が中間体として作製される他のセラミック電子部品、例えば、圧電部品、コイル部品、LC複合部品、サーミスタ等に広く適用できるのはいうまでもない。次に、本発明の実施例を具体的に説明する。所定量のチタン酸バリウム粉末に有機成分としてのポリビニルブチラール、及び可塑剤としてのフタル酸ジオクチルを添加し、エタノール及びPSZボールと共にボールミル内で十分に湿式混合し、セラミックスラリーを得た。次いで、ドクターブレード法を使用し、このセラミックスラリーを成形加工してセラミックグリーンシートを作製した。次いで、Niを主成分とした導電性ペーストを用意した。そしてスクリーン印刷法を使用し、この導電性ペーストをセラミックグリーンシートの表面に塗布して所定パターンの導電層を形成し、該導電層が形成されたセラミックグリーンシートを積層し、さらに導電層が形成されていないセラミックグリーンシートを最上層に積層し、加熱しながら加圧し、積層成形体を作製した。次いで、上述した図1に示す脱脂装置を使用し、この積層成形体を容積500mLの圧力容器にセットして脱脂した。すなわち、液体二酸化炭素臨界温度Tc:31°C304.1K、臨界圧力:7.38MPaが充満した液体二酸化炭素ボンベを用意し、さらに、エントレーナタンクにエタノールを貯留した。そして、液体二酸化炭素を昇圧ポンプで25MPaの圧力に昇圧すると共に、送液ポンプを介してエントレーナタンクからのエタノールを液体二酸化炭素に添加し、圧力容器に供給した。尚、二酸化炭素とエタノールの体積比率は、二酸化炭素:エタノール=9:1とした。次いで、圧力容器を90°Cに加温して液体二酸化炭素を超臨界流体とし、3時間、脱脂処理を行った。次いで、脱脂処理の終了後、上述した温度90°C、圧力25MPaの超臨界状態下、エタノール等のエントレーナを添加していない超臨界二酸化炭素を流量3mL/minで1時間、圧力容器に供給した。そして、有機成分及びエタノールを回収タンクに回収した後、積層成形体を圧力容器から取り出し、有機成分の抽出率及び構造欠陥発生率を求めた。また、比較例として、脱脂処理後に、エントレーナが添加されていない超臨界二酸化炭素を圧力容器に供給しなかった積層成形体を作製し、この比較例の有機成分の抽出率及び構造欠陥発生率を求めた。尚、実施例試料及び比較例試料は、各100個ずつ作製した。また、有機成分の抽出率は、セラミックスラリーに添加された有機成分ポリビニルブチラール及びフタル酸ジオクチルの含有量に対する、抽出された各有機成分量の比率を求めることによって算出した。ここで、ポリビニルブチラールの抽出量は高速液体クロマトグラフィーで測定し、フタル酸ジオクチルの抽出量はガスクロマトグラフィーで測定した。また、構造欠陥発生率は、積層成形体の端面を走査型電子顕微鏡で観察し、各試料100個中、セラミックグリーンシートの破壊やデラミネーション等の構造欠陥が認められた試料個数を計数して求めた。表1は実施例試料及び比較例試料の測定結果を示している。この表1から明らかなように、比較例試料は、脱脂処理後にエタノールの添加されていない超臨界二酸化炭素を圧力容器に供給していないため、構造欠陥発生率は25となり、有機成分の抽出率も50であった。これに対し実施例試料は、脱脂処理後にエタノールの添加されていない超臨界二酸化炭素を圧力容器に供給しているため、構造欠陥が発生しないことが確認された。また、脱脂処理後も超臨界二酸化炭素を積層成形体に接触させて抽出分離処理を続行しているため、有機成分の抽出率も55に向上することが分かった。"