微細穴加工された薄コリメーター板を積層させることで1ないし複数の微細深穴を所望の形状とすることを特徴とする放射線コリメーター。請求項1に記載の放射線コリメーターであって、異なる材質の薄コリメーター板が交互または任意の配置で積層されていることを特徴とする放射線コリメーター。請求項1に記載の放射線コリメーターであって、放射線検出器に垂直な開口部若しくは放射線源または仮想焦点を向くような開口部を持つ様に成形されることを特徴とする放射線コリメーター。請求項1に記載の放射線コリメーターであって、薄コリメーターが何枚か毎に接合もしくは接着されることとを特徴とした放射線コリメーター請求項4に記載の放射線コリメーターであって、接合もしくは接着された単位毎にタブを有することを特徴とする放射線コリメータースリットやスリットを組み合わせたグリッドでは製造上の困難さがあり、また構成できるコリメーターの形状に制限があった。本発明は、穴径の10倍以上の任意形状の微細深穴を容易に成形できる放射線コリメーターを提供することを目的とする。微細穴加工された薄コリメーター板を積層させることで微細深穴を所望の形状とすることによりる射線コリメーターを構成する。具体的には、エッチングやプレス加工若しくはレーザー加工などで微細な穴を薄い材料板に成形し、これを積層する。エッチング、特にフォトエッチングという薄い金属板に穴を開ける技術はブラウン管のシャドーマスク製造方法と同じであり、その技術をそのまま転用でき、従来の方法では困難であった微細な深穴を成形したコリメーターを容易に製造可能とする。特にタングステン及びタングステン合金は放射線遮蔽材として最も有用と考えらる物質であるが、その加工の困難さから使用が制限されてきた。しかし、しかし、本発明によれば微細な深穴を成形したコリメーターとしての利用が容易になる。ブラウン管用のシャドーマスクは02mmから03mm程度の間隔で開口部を形成しているので、これと同様の開口部を持つコリメーターを構成出来ることは明白である。また、そのまま二次元検出器に対応可能である。面積もブラウン管は29インチなどが存在したので、大面積にも対応可能である。本発明による放射線コリメーターは、光子線、荷電レプトン線、α線、イオン粒子線、ハドロン粒子線に適用できる。また、検出器側ではなく、放射線発生装置から放出される放射線をコリメートすることも可能である。例えば特許第4421327号公報のようなものである。特許文献6に開示されている放射線コリメーターも本発明による方法で製造可能である。本発明の実施形態について説明する。本発明は、厚さ010~025mm程度の薄い板状の材料に対し深穴開口部をフォトエッチングによって形成し、こうして製造された材料板を図2のように必要な厚さまで積層することを特徴とする。積層する際には位置決めが必要であるので、予め位置決め用ピン4が貫通するための位置決め穴6も材料板に同時に形成しておく。または、予めエッジを精密に加工しておき、これを図3に示すように位置決め治具21に押し付けながら位置決めすることも考えられる。積層された材料板は拡散接合や接着、溶接やろう付けなどで一体化することができる。板厚が1mm以上あれば溶接やろう付けは有効であると思われる。1mm以下であれば、拡散接合や接着の方が望ましい。薄コリメーター板の厚さは010mmから025mmに限定されない。より微細な加工を要するのであれば、最適な厚さを選択する。材質によっては、厚さ5μm以下の板に数μmの開口部を形成することも可能となっている。逆に、厚さ1mmで、開口部2mmのものも可能である。非特許文献1に記載されている寸法のコリメーターは本発明による方法で製作可能である。また接着接合などは行わずに、位置決めピンが貫通した状態で使用することもできる。本発明の主な実施対象である微細放射線コリメーターでは、積層された材料板を板状のコリメーター押さえ5にて放射線検出器1に密着させる。コリメーター押さえは、コリメーター開口部の部分をくりぬいた形状の金属製のものや、コリメーター全体を覆うような、放射線透過率の高い材料のものが考えられる。本願での図では、便宜上薄コリメーター板2同士の間に隙間があるように作図されているが、実際は密着または接着、接合されている。材料物質は、フォトエッチングの技術が確立されており且つ放射線遮蔽能力の高い材料が望ましい。銅、鉄やCRTシャドーマスク用の材料も選択肢に入る。遮蔽財として最も良いのはタングステンであるが、純タングステンは非常に硬く加工が困難であり、その為複雑な形状に切削加工するのは困難とされている。一般的には焼結による形成が行われている。加工性を良くするためにタングステン合金が用いられる場合もある。しかし、幸いにもタングステン系金属のエッチング方法も開示されている。遮蔽能力は劣るが、軟X線領域であれば、シリコンも選択肢に入る。同様の加工ができる技術としてプレス加工があるが、金型が必要であり、初期投資が大きくなりがちである。ただし、鉛などエッチングに不向きな材料の加工に関してはプレス加工は有力な加工方法である。中性子線の遮蔽にはポリエチレン、パラフィン、などの高分子化合物が使われることが多い。また、中性子を捕捉しやすい硼素が添加される場合もある。しかしこれらはエッチングには不向きである。プレス加工であれば、これらの材料の加工が可能であり、コリメーターとして利用出来る。特開昭60-233154号公報には、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリアミドイミド樹脂及びポリエーテルイミド樹脂からなる群から選ばれた高耐熱性と耐熱水性を有する一種又は二種以上をマトリックスとし、中性子吸収材料を混合分散させてなることを特徴とする中性子吸収遮蔽材組成物が開示されている。また、該公報には、中性子吸収材料がガドリニウム含有材料、硼素含有材料、リチウム含有材料等であることも開示されている。ポリイミドのエッチング方法については特許第3251515号公報にて開示されている。これは主に電子回路のフレキシブルプリント基盤のスルーホールの成形などに使われ、フィルム厚25μm、穴サイズ50μm~数百μmの微細加工も可能である。従って、ポリイミドによる微細中性子コリメーターは構成可能である。検出されるべき放射線がパラレルビームであると仮定できるときは、同じマスクを用いた薄コリメーター板を必要な厚さの分だけ用意すれば良い。拡大を行わないSPECTがこれにあたる。この場合、材料が鉄や鉛などプレス加工が可能なものなら、プレスも加工方法として選択肢に入る。しかし、実際の放射線はファンビームであったりコーンビームであったりすることが多い。この場合、薄コリメーター板は、各検出素子へのビームの入射角度にあわせ、各層で異なるドットピッチと開口径を有する必要があるので、ファンビーム及びコーンビーム用コリメーターの場合、金型が大量に必要となるのでプレス加工は不向きである。薄コリメーター板を多数積層すると、コリメーター開口部の状況によっては、各薄コリメーター板が密着せずに盛り上がってしまう可能性もある。これを防ぐには、コリメーター板積層後さらにある程度剛性のある板を設置し、薄いコリメーター板を押さえ込むことが考えられる。別の方法として、開口部成形の前に、図4に示すようにコリメーター開口部の板厚を薄コリメーター板の縁の部分よりも若干薄く加工しておくことも考えられる。薄くするのは片面だけでも良いし、両面でも良い。ハーフエッチング加工を適用すれば、この減肉加工は可能である。また、逆に、薄コリメータ板よりも十分薄いの薄膜を、薄コリメータの縁の部分に挟み込むことでも、同様の効果を得られる。他にも、成膜等で縁の部分に薄い箔を追加し、コリメーター開口部についてはフォトマスクを用いて箔取り除くリフトオフという方法もある。図5に示すように、薄コリメーター板の減肉により上下の薄コリメーターに互いに噛み合うような凹凸構造を成型し、これをもって位置決めすることもできる。特に1mm程度の厚い板状材料の場合に有効と考えられる。開口部は複数個形成しなければならない訳ではなく、単一の開口部を持つ放射線コリメーターも製造可能である。検出されるべき放射線がパラレルビームであると仮定できるときは、図2の通り、同じマスクを用いた薄コリメーター板を必要な厚さの分だけ用意すれば良い。拡大を行わないSPECTに用いるコリメーターががこれにあたる。実際の放射線はファンビームであったりコーンビームであったりすることが多い。この場合、薄コリメーター板は、各検出素子への放射線の入射角度にあわせ、各層で異なるドットピッチと開口径を有する必要がある。また、X線CTの場合は、検出器が凹面状に曲げられているので、コリメーターもこれに合わせ図6のようにドットピッチ及び開口径を最適化する。放射線検出器位置でのコリメーター開口部を基準とし、放射線源から検出器までの距離をR、放射線源から各薄コリメーター板までの距離をrとした場合、各薄コリメーター板の開口部形状は、放射線検出器位置でのそれのrR倍になる。放射線検出器からn番目の薄コリメーターの放射線源との距離rnは、rnRdtのように表すことができる。ここで、dは放射線検出器と一番目の薄コリメーター板の中心までの間の距離、tは各コリメーター板の中心同士の距離である。tが薄コリメーター板の厚さではないのは、薄コリメーター板同士の接着や接合などで薄コリメーター板間距離が変わる可能性があるからであり、tはこれを考慮した距離であるべきである。ファンビームまたはコーンビームでは図7のようにドットピッチ及び開口径を最適化すれば良い。最適化は、放射線検出器位置でのコリメーター開口部形状を各薄コリメーター板に対し拡大縮小することで行える。放射線源33から放射線検出器1までの距離をL、下からn枚目の薄コリメーター板から放射線源33までの距離をlnとすると、放射線検出器位置での薄コリメーター板2に対するn番目の薄コリメーター板の開口部形状の拡大率はlnLである。放射線検出器から1番目の薄コリメーター板までの距離をd、各コリメーター板間の距離をtとすると、n番目の薄コリメーター板と放射線検出器との距離はtdと書けるので、lnLtdとなる。つまり検出器側からn番目の薄コリメーターの開口形状の拡大率は、dLである。つまり現実には薄コリメーター板のドットピッチ及び開口径は縮小することになる。言うまでも無いが、ファンビームの場合は平面の一方向のみ、コーンビームの場合は二方向に対して拡大縮小を行う。但し、すべての薄コリメーター板について最適な開口形状を形成するのはコストアップに繋がるので、コリメーター使用者側の要求の許す範囲で、2枚おき、3枚おきなど、複数枚ごとに形状を変化させることも可能である。ファンビームまたはコーンビーム用コリメーターにおいて、形状について厳しい要求があり、各薄コリメーター板の穴を斜めに加工すべき場合でも、ハーフエッチングという方法を適用し、表裏両面から別々のマスクを用いてエッチングすることにより板面に対して斜めになった開口部を形成することも可能とされる。この場合の角度は、図8の説明図にもあるが、板面の鉛直方向からの傾きをθとし、該当する開口部の線源から放射線検出器及びコリメーターに引いた垂線からの距離をmとした場合、θarctanとなる。当然、コーンビームの場合は、傾きの方向は垂線に向かう方向である。ファンビームの場合は、線源線から検出器に引かれた垂面に対して向かう方向となる。上記の方法では、各コリメーター開口部が放射線源に対し同じ開口径を持つことになる。しかし、これは放射線検出器表面では楕円状に広がった形状となる。θが多きい場合は放射線検出器のとなりのピクセルに影響を与えるなどの問題も発生しうる。別の考え方として、放射線検出器表面での形状が円もしくは正方形などのゆがみの無い形状になるようなコリメーター開口も考えられる。放射線検出器表面での開口形状を決め、それをlmの関係をなす斜線にそって放射線源に向かって移動させた場合に出来る立体をもって開口部形状とする。さらに別の方法として、放射線源を頂点とし、放射線検出器表面の開口形状を底面とした斜円錐形若しくは斜四角錐形あるいは任意底面を持つ錘体をなすような開口部も考えられる。図6はこの方法に基づいて作図されている。しかしながら、上記の方法は、放射線源から見た開口部面積はθが大きくなるにつれ減少し、全ての開口部で同一であるということはでなくなる。そのため、放射線検出器の実感度はθに依存することになり、なんらかの補正が必要になる。そもそも、X線菅等の放射線源自体が理想的でないために放射線強度がθ依存性を持つ場合が多い。従って、放射線検出器側で補正を行うこと自体が必須であり、上記補正は其の範疇で行えばよいということになる。よって、開口部面積の不均一性は致命的な問題にはならない。この問題を完全に回避するには、放射線検出器を図6のように放射線源に対し放射線検出器表面が常に正面を向くようにするのが適当である。ファンビームが対象の場合、これは実現可能である。コーンビームが対象の場合は、検出器及びコリメーターは球面の一部をなすような形状でなければならない。その他の方法として、実施例6がある。ハーフエッチングを用いることが出来ない場合やプレス加工など、開口部を斜めに成型できない場合は、図9に示すとおり、線源または仮想焦点から放射線検出器及びコリメーターに引いた垂線若しくは垂面に向かう方向に対して拡大することでも対処できる。実施例3におけるファンビーム用コリメーターにおいて、図10及び図11のように放射線入射側と検出器側の関係を入れ替え、像が縮小するようにすることも可能である。このようにすれば、広範囲の放射線の発生源を可視化することができる。端的に言えば、図7の放射線源33の位置を放射線の仮想焦点71と読み替える。仮想焦点71から放射線検出器1までの距離をL、検出器側からn枚目の薄コリメーター板から仮想焦点までの距離をlnとすると、放射線検出器位置での薄コリメーター板2に対するn番目の薄コリメーター板の開口部形状の拡大率はlnLである。放射線検出器から1番目の薄コリメーター板までの距離をd、各コリメーター板間の距離をtとすると、n番目の薄コリメーター板と放射線検出器との距離はtdと書けるので、lnLtdとなる。つまり検出器側からn番目の薄コリメーターの開口形状の拡大率は、dLである。つまり現実には薄コリメーター板のドットピッチは検出器から離れるにつれ拡大することになる。ファンビームまたはコーンビーム用コリメーターと同様に、形状について厳しい要求があり、各薄コリメーター板の穴を斜めに加工すべき場合でも、ハーフエッチングという方法を適用し、表裏両面から別々にエッチングすることにより板面に対して斜めになった開口部を形成することも可能とされる。この場合の角度は、図10に示す通り、板面の鉛直方向からの傾きをθとし、該当する開口部の仮想焦点から放射線検出器及びコリメーターに引いた垂線すなわち検出器中心軸からの距離をmとした場合、θarctanとなる。当然、傾きの方向は検出器中心軸に背く方向である。但し、開口部の開口径を被写体側で拡大してしまうと、像が滲む恐れがある。開口部の開口径は各薄コリメーター板全てで一定とし、開口部の間隔のみを拡大するのが望ましい。つまり、開口部の形状は、中心軸が仮想焦点を通るような柱体ということになる。若しくは、放射線検出器位置での開口部を底面とし、放射線放射線検出器位置での開口部中心と仮想焦点を通るような中心軸を持ち、被写体方向のいずれかの位置に頂点を持つ垂体が考えられる。垂体の頂点の位置はコリメーター表面よりも被写体側に無ければならない。垂体の頂点位置がコリメーターに近いほど、コリメーター視野は狭くなる。遠ければ遠いほど、視野は広くなる。焦点位置が無限遠では、同じ底面を持つ柱体に漸近する。実施例4の発展形として、放射線検出器および放射線コリメーターが凸面となっているものも考えられる。実施例4では、実施例3で詳しく説明した通り、放射線検出器中央部と端部での放射線コリメーター開口部面積が異なる。これを回避するには、実施例2を参考に、実施例2の放射線源位置を仮想焦点とみなして凸面状に放射線検出器を配置し、それに合わせて放射線コリメーターを構成する。このようにすれば、放射線が放射線検出器に垂直に入射するようにできるので、実施例3で述べた放射線感度の位置依存性の問題を回避できる。実施例2と同様に考えると、放射線検出器からn番目にある薄コリメーター板の仮想焦点からの距離rは、rnRdtとなる。しかし、開口部の形状は、実施例4でも述べた通り、仮想焦点を頂点とする垂体ではなく、中心軸が仮想焦点を通るような柱体あるいは被写体側に頂点を持つ垂体を成すほうが望ましい。実施例3で述べたとおり、X線管などのX線源では空間線量分布が一様ではなく、中心付近に強い線量分布を示し視野の外側に行くほど線量は弱くなる。本発明によれば、コリメーター開口部の大きさも隣接する開口部に干渉しな範囲で任意に決定できる。このことを利用し、放射線検出器における線量分布の簡易的な補正が可能である。つまり、高線量である中心付近はコリメーター開口部面積を端のそれよりも小さくすることで、放射線検出器に入る線量を低下させることが出来る。これにより、放射線検出器における線量分布を均一に近づけることができ、放射線検出器側信号処理装置等での線量分布の補正が容易になる。ひいては、放射線検出器の実質的なダイナミックレンジの改善に繋がる。注意しなければならない点としては、この方法は、端の部分での感度を向上させるのではなく、中央部での感度を低下させていると言う点である。検出器全体での感度低下は避けられないので、ダイナミックレンジ確保とのトレードオフであることは考慮すべき点である。本発明によれば、放射線コリメーターの開口部形状は隣接する開口部に干渉しな範囲で任意に決定できる。上記実施例では、垂体や柱体のような形状を成すコリメーター開口部を考えていたが、それ以外の形状も実現可能である。例えば、HWiedemann著ParticleAcceleratorPhysicsISecondEditionの式5138、で表されるような形状の開口部も考えられる。ββw2βw数式1において、βは加速器ビーム物理の分野でベータ関数と呼ばれる値である。swはビームウエイストのs軸上の位置、βwはビームウエイストでのβである。この式は、粒子ビームが収束された場合の収束から発散にいたる過程でどのようにそのビームサイズがs軸上で変化するかを示した式である。sは本願では実施例2及び実施例3若しくは実施例4におけるrないしlと読み替えても差し支えない。粒子ビームは現実的には有限の広がり及び発散角を持つので、焦点では有限の広がりを持つ。数式2で表されるように、βにエミッタンスεを掛けたものの平方根がビームサイズσに相当する。σ2εβビームサイズσやエミッタンスεは、其の定義は様々である。例えば、ビームプロファイルが正規分布であるとして標準偏差をもってビームサイズを定義する場合や、半値全幅を使う場合、ビーム粒子が一定の割合含まれる範囲として定義する場合など様々である。数式1及び数式2の関係を用いてビームサイズσのsに対する変化のグラフを図12及び図13に示す。いずれの図もsw0とした。図12では、ε1として、βwが05、1、2の場合をプロットした。ビームウエイストが小さいと、急激に収束発散するということが分る。図13では、βw1として、εが05、1、2の場合をプロットした。エミッタンスεが小さければ、急激に収束発散しなくてもビームウエイストを小さく出来ることが分る。これは、放射線源一般に言えることであり、放射線をある位置であるサイズにコリメートするとすると、コリメートされた放射線は、数式1及び数式2に当てはまる空間を通過することになる。従って、数式1及び数式2に従うような開口形状を持つ放射線コリメーターを用いることで、放射線をコリメートすることが可能である。実施例3及び4及び5では放射線コリメーターの開口部形状について垂体若しくは柱体を想定していたが、数式1及び数式2を用いた開口部形状も考えられる。焦点の位置は、放射線コリメーターの中間層位置である必要はなく、放射線コリメーター最前面に位置することも考えられる。数式1及び数式2で表される開口部形状を持つ放射線コリメーターの視野は、数式1及び数式2で表される。但し、開口部形状は、数式1のビームウエイストを含まなければならない。このことは、逆に、どのような形状のコリメーター開口部が有限の大きさを持つ放射線源から放射された放射線を有限の大きさを有する放射線検出器で検出する際に視野の面で最も効率が良いかを示唆している。しかしながら、数式1のビームウエイストを含むような放射線コリメーター開口部形状を持たせるのは、おそらく空間配置的に困難であると思われる。現実には、このことを考慮しつつ、垂体などの形状で近似することになる。他の考え方として、放射線源の広がりやエミッタンスは無視し、被写体付近で最も視野が狭くなるようなものも考えうる。放射線透過画像の解像度を上げるには、この考え方の方が良いように思われる。しかしながら、被写体付近で最も視野が狭くなるということは、被写体付近にビームウエイストが存在しなければならないということである。これは、現実的ではない。実際には、この理想的な配置からビームウエイストを放射線コリメーター側に移動し、コリメーター最前面付近にビームウエイストが位置するように構成することになる。あるいは、ビームウエイストが放射線コリメーター内に存在することを諦めることも考えられる。実現が現実的ではないにしろ、その最適な構成を参考にして、現実の放射線コリメーターの設計に役立てることが出来る。その意味で、数式1及び数式2は有用である。一方で、数式1及び数式2は、レーザー光のガウシアンビームの収束にも当てはまる。レーザー光の成形に使われるスペイシャルフィルターに、この形状を用いることも可能である。また、数式1及び数式2は、実施例8のような荷電粒子ビームの成形に適用することも可能である。例えば、陽子線や電子線等の荷電粒子ビームの成形のためのコリメーターとして、銅とタングステンを交互に積層するようなコリメーターも考えられる。コリメーターによる発熱を銅により分散することが可能である。銅板をタングステン板よりも大きくして、銅を冷却フィンとすることもできる。もちろん、必ず交互でなければならない訳ではなく、タングステン複数枚おきに銅を挟むといったことも可能である。また、銅板を挿入する間隔も一定である必要はない。例えば、電子線が入射する側は発熱が大きいので銅版の挿入間隔を狭くし、逆側は発熱が少ないので銅板の挿入間隔を広くとることも考えられる。具体的には、特許4650642号公報のX線ターゲットの製造に適用できると考えられる。銅板とタングステン板の厚さが同じである必要もない。とはいえ、エッチング加工上の都合で必然的に同じ厚さになる可能性が高いと思われる。拡散接合技術が確立されているので、各タングステン板を接合して一体化することもできる。銅タングステンの接合も実用化されている。