"一次ポートと二次ポートとに繋がる弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を調整する弁体と、前記弁体を閉位置方向に付勢する復帰用ばねと、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢に抗するように前記弁体に与えて前記弁体を前記開位置方向に移動させる弁体駆動手段とを備え、前記一次ポートを介して前記弁通路に供給される高圧の燃料ガスの圧力を前記弁体駆動手段の駆動力に応じた圧力に調圧して前記二次ポートから出力するガス用調圧弁において、前記ハウジング内に形成され、前記二次ポートに繋がる圧力帰還室と、前記弁体と前記ハウジングとの間隙に介在し、前記弁体を摺動支持する軸受部材と、前記軸受部材の両側に夫々設けられ、前記間隙の両側を夫々封止する第1及び第2シール部材と、前記弁体内に相対移動可能に挿入されて、前記弁体との間に前記一次ポートに繋がる背圧力室を形成するシールロッドと、を備え、前記第1シール部材は、前記圧力帰還室の圧力を前記駆動力に抗する方向に受圧し、受圧する前記圧力に応じて前記弁体を前記閉位置へと移動させるようになっており、前記ハウジングは、前記二次ポートに繋がっているバッファ室を有し、前記背圧力室と前記バッファ室との間を封止するように前記第3シール部材が設けられている、ガス用調圧弁。前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積と同一である、請求項1に記載のガス用調圧弁。前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積より小さい、請求項1に記載のガス用調圧弁。前記第1シール部材は、ダイアフラムシールであり、前記第2シール部材は、摩擦抵抗が小さい低圧シールである、請求項1乃至3の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記第3シール部材は、摩擦抵抗が小さく、さらに始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールである、請求項1乃至4の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記弁体駆動手段は、印加される印加電圧又は印加電流に応じて駆動する駆動部と、前記駆動部を収容するケースと、前記弁体に連結され、前記駆動部が駆動すると前記駆動力を前記弁体に与えて該弁体を開位置の方に移動させる可動部材と、前記ケースに固定され、且つ前記可動部材に相対移動可能に挿入され、前記背圧力室の圧力に抗して前記シールロッドを支持する支持面を有するベースロッドとを備え、前記ベースロッドの支持面は、部分球面状に形成されている、請求項1乃至5の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流がゼロのときは、前記復帰用ばねにより前記弁体を前記閉位置にするノーマルクローズ形になっている、請求項1乃至6の何れか1つに記載のガス用調圧弁。特許文献1に記載の燃料電池システムでは、燃料ガスの圧力を多段階で減圧すべく複数のレギュレータが必要である。しかし、複数のレギュレータを設けると、構成要素が多くなり、またレギュレータを設けるためのスペースが必要である。そうすると、システム全体が大型化してコストが高くなったり、システム全体の重量が大きくなったりする。特に、構成要素のスペースが限られ、軽量化が望まれている自動車では、前述するシステムを搭載することは好ましくない。また、複数のレギュレータを設けることで、システム系の圧力損失が大きくなるので、燃料電池又はガスエンジンの最低作動圧力に対して高圧タンクの使用限界圧力を高めに設定しなければならない。そうすると、高圧タンク内において使用できる燃料ガスの量がレギュレータを設けない場合に比べて少なくなり、自動車の走行航続距離が縮まる。このように、複数のレギュレータを追加すると、様々な不都合が生じる。また、前述のように、従来のインジェクタ及び電磁式調圧弁では、それらの上流側圧力が高い時において、低負荷状態で燃料ガスの圧力制御することは困難である。更に、電磁式調圧弁等のシール方式としてダイアフラム方式を用いることがあるが、ダイアフラムシールは一般的に耐圧強度が低いため、高圧の燃料ガスを取り扱う際、ダイアフラムの破損により燃料ガスが大気中に漏れるおそれがある。これに対して、Oリング方式の場合、高圧時における予期しない外的要因により燃料ガスが大気中に漏れるおそれがある。そこで本発明は、高圧の燃料ガス環境下であっても、その二次圧をより正確に目標圧力に調圧可能で、且つ大気中への燃料ガス漏れを防止できるガス用調圧弁を提供することを目的としている。本発明のガス用調圧弁は、一次ポートと二次ポートとに繋がる弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を調整する弁体と、当該弁体を閉位置方向に付勢する復帰用ばねと、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢に抗するように前記弁体に与えて該弁体を前記開位置方向に移動させる弁体駆動手段とを備え、前記一次ポートを介して前記弁通路に供給される高圧の燃料ガスの圧力を前記弁体駆動手段の駆動力に応じた圧力に調圧して前記二次ポートから出力する調圧弁において、前記ハウジング内に形成され、前記二次ポートに繋がる圧力帰還室と、前記弁体と前記ハウジングとの間隙に介在し、前記弁体を摺動支持する軸受部材と、前記軸受部材の両側に夫々設けられ、前記間隙の両側を夫々封止する第1及び第2シール部材と、前記弁体内に相対移動可能に挿入されて、前記弁体との間に前記一次ポートに繋がる背圧力室を形成するシールロッドと、を備え、前記第1シール部材は、前記圧力帰還室の圧力を前記駆動力に抗する方向に受圧し、受圧する前記圧力に応じて前記弁体を前記閉位置へと移動させるようになっており、前記ハウジングは、前記二次ポートに繋がっているバッファ室を有し、前記背圧力室と前記バッファ室との間を封止するように前記第3シール部材が設けられているものである。本発明に従えば、弁体駆動手段の駆動力を変えることで弁通路の開度を変えて二次圧を調圧することができる。この二次圧は、圧力帰還室に導かれており、第1シール部材は、圧力帰還室の二次圧を受圧して弁体を閉位置へと移動させるようになっている。二次圧、駆動力、及び復帰用ばねによる付勢力等、弁体に作用する力が釣り合った状態から二次圧が低下すると、第1シール部材は、弁体を開位置の方に移動させて弁通路の開度を広げて二次圧を昇圧させる。これにより、弁体に作用する力が釣り合う状態に戻る。このように釣り合った状態に戻すことで二次圧が元の圧力に戻される。つまり、二次圧は、弁体駆動手段の駆動力に応じた一定圧力に戻され、一次圧の変動に関わらず前記一定圧力で保持される。従って、ガス用調圧弁は、圧力制御性が高く、高圧の燃料ガスをより正確に目標圧力に可変調圧することができる。また、本発明では、一次ポートに繋がる背圧力室が形成されているので、弁体に作用する一次圧を背圧力室の圧力によって打ち消すことができ、一次圧の変動に起因する二次圧の変動を抑えることができる。これにより、燃料ガスの圧力制御性を向上させることができ、二次圧を従来のガス用調圧弁より正確に制御することができる。また、本発明では、第3シール部材よりシールロッドの他端側にバッファ室が形成され、このバッファ室が圧力帰還室に繋がっている。それ故、燃料ガスがシールロッドと弁体との間を通って背圧力室からバッファ室に漏れても、漏れた燃料ガスを圧力帰還室等の二次側に導くことができる。このように、ガス用調圧弁は、背圧力室から漏れた燃料ガスを二次側に導く安全構造となっており、燃料ガスが外部に放出されることを防ぐことができる。更に、本発明では、軸受部材を設けることで、弁体を円滑に移動させることが可能になり、目標圧力に対する追従性を向上させることができる。そして、第1シール部材は、第2シール部材と共に軸受部材が介在する間隙の両側を封止している。これにより、間隙内に燃料ガスが流入することがなく、軸受部材が燃料ガスに曝されることがない。これにより、燃料ガスに対する腐食耐性がない材料を軸受部材に使用することが可能になり、選択できる材料が増える。また、間隙を封止することで、例えば軸受部材をグリス潤滑してもグリスが間隙から流出することがない。これにより、弁体の円滑な移動を実現するとともに、燃料ガスへのグリスの混入を防ぐことができる。上記発明において、前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積と同一であることが好ましい。上記構成に従えば、弁体が受ける一次圧を背圧力室の圧力により相殺することができる。これにより、一次圧の変動に起因する二次圧の変動を無くすことができ、二次圧の圧力制御性を更に向上させることができる。更に、弁体駆動手段の駆動力を小さくすることができる。それ故、ガス用調圧弁を小形化することができる。上記発明において、前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積より小さいことが好ましい。上記構成に従えば、一次圧から弁体が受ける作用力よりも背圧力室の圧力から弁体が受ける作用力の方が大きくなる。それ故、一次圧に応じた力が閉方向へと弁体に作用するので、一次圧が急激に変動して高くなっても、弁体が開位置の方へと移動して弁通路が開くようなことがない。また、弁体駆動手段が作動しないときにおいて、一次側から二次側に燃料ガスが漏れでないようにしっかりと弁通路を閉じることができる。上記発明において、前記第1シール部材は、ダイアフラムシールであり、前記第2シール部材は、摩擦抵抗が小さい低圧シールであることが好ましい。上記構成に従えば、第1シール部材にダイアフラムシールを採用することで、第1シール部材による摺動摩擦を無くすことができる。また、第2シール部材に摩擦抵抗の小さい低圧シールを採用することで、摺動摩擦を抑えることができる。このように弁体に作用する摺動摩擦を抑えることで弁体を滑らかに動かすことができる。これにより、一次圧が変動したときや駆動力を変更した時等、駆動力に応じた一定圧に二次圧を素早く調圧することができるようになり、二次圧の応答性が向上する。上記発明において、前記第3シール部材は、摩擦抵抗が小さく、さらに始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールであることが好ましい。上記構成に従えば、弁体を滑らかに動かすことができると共に、弁体の応答性を向上させることができる。また、第3シール部材に高圧シールが採用されているので、一次圧に対する耐圧性能が向上し、一次ポートから供給される一次圧の限界圧力を向上させることができる。上記発明において、前記弁体駆動手段は、印加される印加電圧又は印加電流に応じて駆動する駆動部と、前記駆動部を収容するケースと、前記弁体に連結され、前記駆動部が駆動すると、前記駆動力を前記弁体に与えて該弁体を開位置の方に移動させる可動部材と、前記ケースに固定され、且つ前記可動部材に相対移動可能に挿入され、前記背圧力室の圧力に抗して前記シールロッドを支持する支持面を有するベースロッドとを備え、前記ベースロッドの支持面は、部分球面状に形成されていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体に挿入されるシールロッドとケースに固定されるベースロッドとが別体で形成されているので、それらを一体物として形成する場合に比べてシールロッド及びベースロッドの加工精度を低くすることができる。これにより、ガス用調圧弁の製造が容易である。また、ベースロッドの支持面が部分球面状に形成されているので、シールロッドがベースロッドに片当りすることを防ぐことができ、シールロッドをしっかりと支持することができる。上記発明において、前記弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流がゼロのときは、前記復帰用ばねにより前記弁体を前記閉位置にするノーマルクローズ形になっていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流を遮断することで、弁通路を緊急遮断することができる。本発明によれば、高圧の燃料ガス環境下であっても、その二次圧をより正確に目標圧力に調圧可能で、且つ大気中への燃料ガス漏れを防止できるガス用調圧弁を提供することができる。以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の第1~第10実施形態に係る調圧弁1~1I、及びそれを備える燃料ガス供給システム2を説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、調圧弁1,1A~1I及び燃料ガス供給システム2に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明する調圧弁1,1A~1I及び燃料ガス供給システム2は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。[燃料ガス供給システム]燃料ガス供給システム2は、水素ガスや圧縮天然ガス等の燃料ガスが高圧で貯蔵される高圧タンク3に設けられている。燃料ガス供給システム2は、燃料電池やガスエンジン等の燃料ガス消費器に繋がっており、高圧の燃料ガスを所望の低圧に調圧して燃料ガス消費器に供給するようになっている。このように構成される燃料ガス供給システム2は、容器元弁4、圧力センサ5、及び演算制御器6を備えている。容器元弁4は、オンタンク型で構成され、高圧タンク3の開口部に設けられている。なお、容器元弁4は、オンタンク型に限られず、インタンク形であってもよい。容器元弁4は、電磁式調圧弁1と電磁式遮断弁7とを有している。電磁式遮断弁7は、高圧タンク3から燃料ガス消費器に繋がる供給路2aに設けられている。電磁式遮断弁7は、いわゆる電磁開閉弁であり、そこに送信される信号に応じて供給路2aを開閉する機能を有している。また、供給路2aには、電磁式遮断弁7の下流側に電磁式調圧弁1が設けられている。電磁式調圧弁1は、高圧の燃料ガスを調圧する機能を有している。更に、供給路2aには、電磁式調圧弁1より下流側に圧力センサ5が設けられている。圧力センサ5は、供給路2aに流れる燃料ガスの圧力を検出するようになっている。圧力センサ5は、信号線8を介して演算制御器6に繋がっており、検出された圧力に応じた検出圧力信号が演算制御器6に入力されるようになっている。また、演算制御器6には、目標圧力に応じた目標圧力指令信号が図示しない入力手段や制御装置等から入力されるようになっている。演算制御器6は、目標圧力指令信号と検出圧力信号との差分を演算し、この差分に応じた大きさの電流を電磁式調圧弁1に流すようになっている。電磁式調圧弁1は、流された電流に応じた一定圧力に高圧の燃料ガスを調圧するようになっている。以下では、燃料ガス供給システム2に設けられる電磁式調圧弁1について詳述する。なお、第1実施形態の電磁式調圧弁1は、燃料ガス供給システム2に設けられる電磁式調圧弁の一例に過ぎず、他に様々な実施形態がある。以下では、第1実施形態の電磁式調圧弁1に続けて、幾つかの代表的な実施形態について詳述する。[第1実施形態]<電磁式調圧弁の構成>図2に示す第1実施形態の電磁式調圧弁1は、ハウジング12を備えている。ハウジング12は、高圧タンク3図1参照の開口部にシールを達成した状態で取付けられている。ハウジング12には、一次ポート12a、弁体孔12b、及び二次ポート12cが形成されている。一次ポート12aは、電磁式遮断弁7図1参照に繋がっており、上下方向に延びる軸線L1に沿って延在する一次側通路12dを介して弁体孔12bに繋がっている。弁体孔12bは、軸線L1に沿って延在しており、その下端に一次側通路12dが配され、上側が開口している。弁体孔12bは、その断面が円形状になっており、一次側通路12dより大径に形成されている。また、弁体孔12bの下端側には、二次側通路12eが繋がっている。二次側通路12eは、軸線L1に直交する方向に延びており、二次ポート12cに繋がり、供給路2a図1参照を介して燃料ガス消費器と繋がっている。このように配置される二次ポート12cは、一次ポート12aに対して直角配置されており、電磁式調圧弁1は、アングル型の調圧弁となっている。一次ポート12aと二次ポート12cとは、一次側通路12d、後述する弁体孔12bの二次側領域12f及び二次側通路12eによって繋がっており、これら一次側通路12d、二次側領域12f及び二次側通路12eによって弁通路13が構成されている。また、ハウジング12では、一次側通路12dと弁体孔12bとが繋がる開口部分が座部15を成しており、弁体孔12bには、この座部15に先端部14aが着座するように弁体14が軸線L1に沿って挿通されている。弁体14は、大略的に有底円筒状に形成され、先端部14aがテーパ状になっている。弁体14は、図2に示すような閉位置に位置しているとき、先端部14aの一部を一次側通路12dに突っ込んで座部15に着座し、弁通路13を塞いでいる。また、弁体14は、その基端側の外周部にフランジ14bを有している。フランジ14bは、弁体14の外周部に周方向全周にわたって形成されている。他方、ハウジング12は、フランジ14bに対向する位置に内周部にシール取付部16を有している。シール取付部16は、半径方向内方に突出しており、二次側通路12eより上側において周方向全周にわたって形成されている。シール取付部16とフランジ14bとは、互いに上下方向に離れており、それらの間には、大略円環状の軸受部材収容空間17が形成されている。この軸受部材収容空間17には、軸受部材18が収容されている。軸受部材18は、大略的に円筒状に形成されており、弁体14とハウジング12との間に介在するように弁体14に外装されている。軸受部材18は、例えばボールガイド、ボール軸受、又はすべり軸受によって構成されており、弁体14がハウジング12に対して軸線L1に沿って上下方向に移動できるように弁体14を支持している。なお、軸受部材18は、弁体14の動きを滑らかにし、且つ耐久性を向上させるべくグリス潤滑されている。また、軸受部材18の上下両側には、ダイアフラムシール19と低圧シール部材20とが設けられている。第1シール部材であるダイアフラムシール19は、いわゆるダイアフラムであり、大略的に円環状になっている。ダイアフラムシール19の外縁部は、ハウジング12に取付けられ、内縁部が弁体14のフランジ14bに取付けられている。詳述すると、ハウジング12は、上下に2つに分割可能に構成されており、上下に分割された2つの部分にダイアフラムシール19の外縁部を挟むことで、ダイアフラムシール19はハウジング12に取付けられている。また、ダイアフラムシール19は、その内縁部をフランジ14bと後述する可動鉄心21のフランジ21aとにより挟むことで、弁体14に取付けられている。このように取付けられたダイアフラムシール19は、ハウジング12と弁体14とに渡され、後述する圧力帰還室23と軸受部材収容空間17との間を塞いでいる。第2シール部材である低圧シール部材20は、大略円環状のOリングであり、摩擦抵抗を小さくすべく樹脂等により表面処理がされている。低圧シール部材20は、ハウジング12と弁体14との間を封止するようにシール取付部16に取付けられ、弁体孔12bにおいてシール取付部16より下側にある二次側領域12fと軸受部材収容空間17との間を封止している。このようにダイアフラムシール19及び低圧シール部材20は、軸受部材収容空間17の上側及び下側を塞ぎ、軸受部材収容空間17をハウジング12内に形成されている他の空間と隔てられている。ハウジング12には、この軸受部材収容空間17に繋がる大気連通路22が形成されており、軸受部材収容空間17は、大気連通路22を介して大気に開放されている。このように軸受部材収容空間17がハウジング12内の他の空間から隔てられ、大気に開放されているので、軸受部材18のグリスが燃料ガスに曝されることがなく、グリスがハウジング12内の他の空間、例えば一次側通路12dや二次側通路12eに漏れることがない。それ故、軸受部材収容空間17内のグリスが枯渇するようなことを防ぐことができ、軸受部材18が潤滑されている状態を維持することができる。これにより、軸受部材18の耐久性を向上させ得ると共に、弁体14を円滑に移動させることができる。また、グリスが漏れ出て燃料ガスに混入することも防ぐことができる。また、弁体14の基端部つまり、上端部には、可動鉄心21が挿入されて螺合されている。可動鉄心21は、磁性材料から成り、大略的に円筒状に形成されている。可動鉄心21は、軸線L1に沿って上下方向に延在しており、ハウジング12の上部開口側の内周部にて上下方向に移動可能に支持されている。可動鉄心21は、弁体14側の端部にフランジ21aを有している。フランジ21aは、半径方向外方に向かって突出しており、可動鉄心21の外周部に周方向全周にわたって形成されている。フランジ21aは、弁体14のフランジ14bと共にダイアフラムシール19の内縁部を挟持している。また、フランジ21aは、ハウジング12の内周部付近まで延びてダイアフラムシール19に対向しており、ダイアフラムシール19との間に圧力帰還室23を形成している。他方、ハウジング12は、フランジ21aの上方にばね受け部12gを有しており、ばね受け部12gとフランジ21aとの間には、ばね収容空間24が形成されている。ばね収容空間24は、可動鉄心21の外周部を囲むように円環状になっており、そこには、復帰用ばね25が圧縮された状態で収容されている。復帰用ばね25は、圧縮コイルばねにより構成され、可動鉄心21に外装されている。復帰用ばね25の下端は、フランジ21aに受けられ、上端は、ばね受け部12gに受けられている。このように配置される復帰用ばね25は、可動鉄心21を介して弁体14を閉位置の方へと付勢している。また、ハウジング12の上部開口側には、電磁比例ソレノイド26が設けられている。弁体駆動手段である電磁比例ソレノイド26は、ハウジング12の外周部に固定されており、ソレノイドコイル27と固定磁極28とを有している。ソレノイドコイル27は、大略的に円筒状に形成され、その下端側からハウジング12が嵌挿されている。ソレノイドコイル27は、大略円筒状のケース27aを有し、その中にボビン27bとコイル線27cとが設けられている。ボビン27bもまた大略円筒状に形成され、このボビン27bにコイル線27cに巻きつけることによってソレノイドコイル27が構成されている。ソレノイドコイル27は、コイル線27cに電流を流すことで可動鉄心21を磁化させるようになっている。そして、ソレノイドコイル27の上端側には、固定磁極28が嵌挿されている。固定磁極28は、磁性体から成り、大略円筒状に形成されている。固定磁極28は、その下端側が可動鉄心21に対向するように配置されている。固定磁極28は、可動鉄心21から離れて位置しており、ソレノイドコイル27により磁化された可動鉄心21をソレノイドコイル27に流した電流に応じた励磁力駆動力により吸引するようになっている。吸引されることで、可動鉄心21及び弁体14が開位置の方に移動し、弁通路13が開けられる。なお、開位置とは、可動鉄心21が固定磁極28の方へ引き付けられた状態のときの弁体14の位置である。また、弁体14には、シールロッド29が嵌挿されている。シールロッド29は、大略的に円柱状に形成されており、弁体14の基端側の開口を塞いで弁体14内に背圧力室30を形成している。弁体14の先端部14aには、軸線L1に沿って連通路31が形成されており、背圧力室30は、連通路31を介して一次側通路12dに繋がっている。また、シールロッド29の先端側の外周部には、その周方向全周にわたって延びるシール用溝29aが形成されている。シール用溝29aには、円環状の高圧シール部材32が嵌め込まれている。第3シール部材である高圧シール部材32は、摩擦抵抗が少なく、始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールであり、例えば、フッ素樹脂等により表面処理されたOリングである。高圧シール部材32は、弁体14とシールロッド29との間を封止し、背圧力室30内の燃料ガスが弁体14内から漏れて出ることを防いでいる。また、シールロッド29は、その基端側の外周部にばね受け部29bを有している。ばね受け部29bは、半径方向外方に向かって突出し、シールロッド29の外周部にその周方向全周にわたって形成されている。ばね受け部29bは、弁体14の基端部に対向しており、それらの間にシールロッド用ばね33がシールロッド29に外装された状態で配置されている。シールロッド用ばね33は、圧縮されており、シールロッド29を上方に付勢している。また、シールロッド29には、前記付勢に抗してシールロッド29を支持するようにベースロッド34が設けられている。ベースロッド34は、大略的に円柱状に形成されており、その先端が部分球面状になっている。ベースロッド34は、外側から固定磁極28に挿通され、シールを達成した状態で固定磁極28に螺合されている。つまり、ベースロッド34は、固定磁極28を介してケース27aに固定されている。また、ベースロッド34は、可動鉄心21内まで延びており、その先端をシールロッド29の上端に当接させてシールロッド29を上方から支持している。シールロッド29の上端は、下方に向かって先細り状のテーパ状に形成されており、シールロッド29は、ベースロッド34により自動調芯されるようになっている。ベースロッド34は、可動鉄心21内の下端側まで延びている。可動鉄心21内の下端側は、上端側に比べて大径になっており、バッファ室35を成している。シールロッド29は、このバッファ室35から弁体14に嵌挿されており、その上端側がバッファ室35に位置し、下端側が背圧力室30に位置している。これら2つの部屋35,30の間は、シールロッド29に設けられる高圧シール部材32により塞がれており、背圧力室30からバッファ室35に燃料ガスが漏れないようにしている。また、可動鉄心21には、バッファ室35とばね収容空間24とを繋ぐ複数の連通路36が形成されており、ハウジング12には、ばね収容空間24と弁体孔12bの二次側領域12fとを繋ぐ圧力帰還通路37が形成されている。つまり、バッファ室35は、連通路36、ばね収容空間24及び圧力帰還通路37を介して二次側領域12f及びその先にある二次ポート12cに繋がっており、仮に背圧力室30からバッファ室35に燃料ガスが漏れ出ても二次側領域12fに戻るようになっている。つまり、電磁式調圧弁1は、一次側から漏れた燃料ガスを外側へ漏れさせることなく二次側へと戻すことができる安全構造の弁となっている。また、バッファ室35は、可動鉄心21とベースロッド34との間の隙間を介して、可動鉄心21と固定磁極28との間の空間にも繋がっている。これにより、可動鉄心21と固定磁極28の間に二次圧が導かれ、弁体14に作用する二次圧を相殺させている。また、ばね収容空間24は、可動鉄心21のフランジ21aとハウジング12と間の隙間を介して圧力帰還室23に繋がっており、圧力帰還室23に二次圧p2が導かれるようになっている。ダイアフラムシール19は、圧力帰還室23に導かれた二次圧p2を受圧し、受圧した二次圧p2に応じた力で弁体14を閉方向に移動させるようになっている。このように二次圧p2に応じて閉方向に移動する弁体14は、その先端部14aの受圧面P1で一次側通路12dの一次圧p1を上方閉位置から開位置に向かう方向に受圧し、弁体14内部の受圧面P2で背圧力室30に導かれた一次圧p1を下方開位置から閉位置に向かう方向に受圧するようになっている。それ故、受圧面P1で受ける作用力及び受圧面P2で受ける作用力は、互いに打ち消し合うようになっている。また、受圧面P1の受圧面積A1は、座部15の内径、つまりシート径に応じて決まり、また受圧面P2の受圧面積A2は、背圧力室30の孔径に応じて決まる。本実施形態では、シート径と孔径とが等しくなるようにハウジング12及び弁体14が形成されている。それ故、本実施形態の電磁式調圧弁1では、受圧面P1で受ける作用力及び受圧面P2で受ける作用力が相殺されるようになっている。また、ダイアフラムシール19の受圧面積A3は、受圧面積A1,A2より大きくなっており、二次圧p2を十分に受圧するようになっている。従って、弁体14の基端側にあって二次圧p2を閉位置方向に受圧する受圧面P3の受圧面積の方が、弁体14の先端側にあって二次圧p2を開位置方向に受圧する受圧面P4の受圧面積よりも大きくなっている。それ故、二次圧p2及び復帰用ばね25によって弁体14が閉位置の方へと押付けられ、ソレノイドコイル27に電流が流れていない状態では、弁体14が閉位置に位置するようになっている。つまり、電磁式調圧弁1は、ノーマルクローズ形の弁として構成されている。それ故、ソレノイドコイル27流す電流を遮断することで弁通路13を緊急遮断することができる。<電磁式調圧弁の動作>以下では、図2を参照しながら電磁式調圧弁1の動作について説明する。電磁比例ソレノイド26のソレノイドコイル27に電流を流すと、可動鉄心21に励磁力が作用し、可動鉄心21が固定磁極28の方へ引き付けられる。これにより、弁体14が座部15から離れて開位置の方へと移動し、弁通路13が開く。弁通路13が開くことで、弁体14と座部15との間にオリフィス図示せずが形成され、燃料ガスがこのオリフィスにより二次圧p2に減圧されて二次側領域12fに流れる。二次側領域12fの燃料ガスは、二次側通路12eを通って二次ポート12cから排出されると共に、圧力帰還通路37及びばね収容空間24を通って圧力帰還室23に導かれる。ダイアフラムシール19は、圧力帰還室23に導かれた燃料ガスの二次圧p2を受圧する。弁体14は、可動鉄心21が受ける励磁力と受圧面P3で受ける二次圧p2による作用力、及び復帰用ばね25のばね力とが釣り合う位置まで閉位置又は開位置の方へと移動する。つまり、前記力が釣り合うように弁通路13の開度つまり、オリフィスの開度を調整して、二次側領域12fに流れる燃料ガスの二次圧p2を調整する。これにより、二次圧p2がソレノイドコイル27に流す電流に応じた圧力つまり、目標圧力になる。例えば、二次圧p2が目標圧力より低い場合、励磁力が二次圧p2による作用力より大きくなり、弁体14が座部15から離れる方向、つまり、開位置方向に移動する。そうすると、弁通路13の開度が広がって二次圧p2が上昇する。弁体14は、励磁力と二次圧p2による作用力、及び復帰用ばね25のばね力が釣り合う位置開度で二次圧p2を目標圧力に調圧する。それ故、電磁式調圧弁1は、一次圧p1が変動してもそれに合わせて弁通路13の開度を制御し、二次圧p2を目標圧力に調圧することができる。そのため、一次圧p1を予め一定圧に減圧しなくても電磁式調圧弁1単体で、高圧の燃料ガスを所定の低圧、つまり目標圧力まで減圧して調圧することができる。従って、電磁式調圧弁1は、圧力制御性が高い。また、電磁式調圧弁1では、背圧力室30に一次圧p1を導くことで受圧面P1及び受圧面P2で一次圧p1から受ける作用力を相殺させている。これにより、一次圧p1の変動に起因する二次圧p2の変動を抑えることができる。それ故、高圧の燃料ガスに対する圧力制御性を向上させることができ、二次圧p2を従来の電磁式調圧弁より正確に制御することができる。また、一次圧p1から受ける作用力を相殺することで、電磁比例ソレノイド26の励磁力を小さくすることができ、電磁式調圧弁1を小形化することができる。また、電磁式調圧弁1では、一次圧p1と二次圧p2との差圧が大きいので、弁体14が移動したときに、背圧力室30からバッファ室35に燃料ガスに僅かに漏れ出ることがある。しかし、電磁式調圧弁1は、バッファ室35に漏れ出た燃料ガスをばね収容空間24、圧力帰還室23や二次側領域12f等、二次側へと戻す安全構造となっているので、燃料ガスが電磁式調圧弁1の外部に放出されることがない。つまり、大気中に燃料ガスが漏れ出ることがない。また、ダイアフラムシール19を採用することで、弁体14移動時の摺動摩擦を無くすことができる。また、摩擦抵抗の少ない低圧シール部材20を採用することで、極力、摺動摩擦を抑えることができる。このように弁体14に作用する摺動摩擦を抑えることで弁体14を滑らかに動かすことができる。これにより、目標圧力に二次圧p2を素早く調圧することができるようになり、二次圧p2の応答性が向上する。更に、高圧シール部材32を採用することで、電磁式調圧弁1の一次圧p1に対する耐圧性能が向上し、一次ポート12aから供給される一次圧の限界圧力を向上させることができる。また、弁体14に挿入されるシールロッド29とベースロッド34とが別体で形成されているので、それらを一体物として形成する場合に比べてシールロッド29及びベースロッド34の加工精度を低くすることができる。これにより、電磁式調圧弁1の製造が容易となる。また、ベースロッド34の先端が部分球面状に形成されているので、シールロッド29がベースロッド34に片当りすることを防ぐことができ、シールロッド29をしっかりと支持することができる。また、燃料ガス供給システム2では、電磁式調圧弁1の上流側に電磁式遮断弁7を設けることで、遮断機能を有する2つの弁1,7によって高圧タンク3と燃料ガス消費器との間を遮断することができる。これにより、燃料ガス供給システム2の安全性が向上する。また、高圧タンク2の開口部に電磁式調圧弁1を配置することで、高圧タンク3からの出力圧力レベルが低圧になり、燃料ガス供給システム2の安全性が大幅に向上する。[第2実施形態]本発明の第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と構成が類似している。そこで、第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aの構成に関して第1実施形態の電磁式調圧弁1と異なる構成についてだけ説明し、同一の構成については、同一の符合を付して説明を省略する。第3実施形態以降についても同様である。本発明の第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aは、図3に示すようにシールロッド29Aが固定磁極28まで延在し、固定磁極28に固定されている。つまり。第1実施形態のシールロッド29とベースロッド34とを一体化させたような構造になっている。このような構造にすることで、部品点数を少なくし、製造コストを低減することができる。その他、第2実施形態の電磁式調圧弁1Aは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第3実施形態]第3実施形態に係る電磁式調圧弁1Bは、図4に示すように圧力帰還通路37Bが弁体14内に形成されている。具体的に説明すると、電磁式調圧弁1Bでは、シールロッド29Bの下端部が弁体14内の底面近くまで延びており、シール用溝29aより上端側が残余の部分より小径に形成されている。これにより、弁体14の内周部とシールロッド29Bの内周部との間に通路41が形成される。また、弁体14の先端部14a側には、この通路41と二次側領域12fとを繋ぐ連絡通路42が形成されており、連絡通路42と通路41とが圧力帰還通路37Bを構成している。圧力帰還通路37Bは、二次側領域12fとバッファ室35とを繋ぎ、バッファ室35に漏れ出た燃料ガスを二次側領域12fへと戻すようになっている。このように弁体14内に圧力帰還通路37Bを形成することで、ハウジング12に圧力帰還通路37を形成する必要がなくなり、ハウジング12の加工が容易になる。また、ベースロッド34と可動鉄心21との間には、軸受部材45が介在している。可動鉄心21は、この軸受部材18を介してベースロッド34により案内され、軸線L1に沿って滑らかに移動するようになっている。その他、第3実施形態の電磁式調圧弁1Bは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第4実施形態]本発明の第4実施形態に係る電磁式調圧弁1Cでは、第3実施形態の電磁式調圧弁1Bと同様に、図5に示すように弁体14内に圧力帰還通路37Bが形成されている。また、電磁式調圧弁1Cでは、ベースロッド34Cに二次ポート34aが形成されており、この二次ポート34aと圧力帰還通路37Bとを繋ぐべくベースロッド34C及びシールロッド29Cに二次側通路44が形成されている。二次側通路44は、軸線L1に沿ってベースロッド34Cを貫いてシールロッド29Cの中間部分まで伸びている。二次側通路44は、下端に半径方向に延びる連絡通路部44aを有しており、この連絡通路部44aにより圧力帰還通路37Bに繋がっている。電磁式調圧弁1Cは、一次ポート12aと二次ポート34aとが直線配置されており、直線型インライン型の調圧弁となっている。直線型の調圧弁であるので、軸線L1に沿って入力及び出力の配管等を配置することができる。その他、第4実施形態の電磁式調圧弁1Cは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第5~第8実施形態]本発明の第5~第8実施形態に係る電磁式調圧弁1D~1Gは、図6~図9に示すように、受圧面積A1及び受圧面積A2が異なる点を除いて、第1~第4実施形態に係る電磁式調圧弁1~1Cと同様である。以下では、その点についてだけ説明する。電磁式調圧弁1D~1Gでは、シート径が背圧力室30の孔径より小径になるよう弁体14及びハウジング12が形成されており、受圧面積A1は、受圧面積A2より小さくなっている。それ故、弁体14には、受圧面積A1と受圧面積A2との面積差に応じた一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用する。それ故、ソレノイドコイル27に流す電流を遮断した時の弁体14の閉位置に向かう速度が速くなり、遮断性能が向上する。また、一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用しているので、弁体14と座部15の着座部分のシール面圧が高くなる。それ故、電磁式調圧弁1D~1Gは、一次側から二次側へと燃料ガスが漏れ出ないようにしっかりと弁通路13を閉じることができる。その他、第5~第8実施形態の電磁式調圧弁1D~1Gは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第9実施形態]第9実施形態に係る調圧弁1Hは、図10に示すように、電磁比例ソレノイド26に代えて圧電アクチュエータ26Hを備えている。弁体駆動手段である圧電アクチュエータ26Hは、圧電素子26a例えば、ピエゾ素子を有しており、圧電素子26aは、印加される印加電圧に応じて収縮して駆動力を発生するようになっている。このように圧電素子26aが収縮することにより、可動部材21Hを介して弁体14が開位置方向上方向に移動し、弁通路13が開く。この際、弁通路13は、発生する駆動力に応じた開度で開き、調圧弁1Hもまた、圧電アクチュエータ26Hに印加される印加電圧に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。更に、調圧弁1Hでは、ベースロッド34Hが圧電アクチュエータ26Hのケース26bに螺合されて固定されている。このベースロッド34Hは、ケース26b及び圧電素子26aを貫通し、更に可動部材21Hも貫通している。そして、ベースロッド34Hの先端は、シールロッド29の上端に当接しており、シールロッド29を上方から支持している。その他、第9実施形態に係る調圧弁1Hは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[第10実施形態]第10実施形態に係る調圧弁1Iは、図11に示すように、電磁比例ソレノイド26に代えてフォースモータ26Iを備えている。弁体駆動手段であるフォースモータ26Iは、円筒状の永久磁石61の中に可動コイル62が挿入されており、可動コイル62に電流を流すと電流に応じた励磁力が発生し、この励磁力により可動コイル62がヨーク63内を上方に動くようになっている。可動コイル62には、可動部材21Iが一体的に設けられており、可動コイル62が移動することによって弁体14が開位置方向に移動して弁通路13が開く。この際、弁通路13は、発生する励磁力に応じた開度で開き、調圧弁1Iもまたフォースモータ26Iに流される電流に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。更に、調圧弁1Iでは、ベースロッド34Iがフォースモータ26Iのケース64に螺合されて固定されている。このベースロッド34Iは、ケース64及び可動コイル62を貫通し、更に可動部材21Iも貫通している。そして、ベースロッド34Iの先端は、シールロッド29の上端に当接しており、シールロッド29を上方から支持している。その他、第10実施形態に係る調圧弁1Iは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[その他の実施形態]本実施形態では、圧力帰還室23の二次圧p2をダイアフラムシール19で受圧しているが、必ずしもダイアフラムシールでなくてもよく、Oリングなどの低圧シール部材であってもよい。"