"プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面に樹脂組成物層が積層してなる蒸着用の積層フィルムであって、樹脂組成物層は、ウレタン結合基及びウレア結合基と酸基を有するポリウレタン樹脂とオキサゾリン基を含有する樹脂からなる樹脂組成物により形成されることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。該ガスバリア性樹脂組成物層のそれぞれの比率が、ポリウレタン樹脂組成物50~90、オキサゾリン基を含有する樹脂の比率が10~50である請求項1記載のガスバリア性積層フィルム。該ガスバリア性樹脂組成物層のコート量が01~1gm2である請求項1記載のガスバリア性積層フィルム。該無機薄膜層は少なくともシリカを含む、一成分もしくは二成分以上の無機材料を使用の請求項1記載のガスバリア性積層フィルム。本発明は、接着性、水蒸気バリア性、特に水蒸気バリア性に優れた蒸着用積層フィルムを提供することを目的とする。上記課題に鑑み、発明者らが鋭意検討した結果、本願発明に至った。すなわち、本願発明は、プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面にガスバリア性樹脂組成物層が積層してなる蒸着用の積層フィルムであって、該ガスバリア性樹脂組成物層は、ウレタン結合基及びウレア結合基と酸基を有するポリウレタン樹脂とオキサゾリン基を有する樹脂からなるガスバリア性樹脂組成物により形成されることを特徴とする積層フィルムである。また、前記被覆層の厚みが0.10~1.00μmであることが好適である。さらにまた、この場合において、前記積層フィルムの被覆層上に無機薄膜層を蒸着することが好適である。本発明により、水蒸気バリア性に優れ、かつ優れた耐水性を示した蒸着用積層フィルムとして使用できる。以下、本発明のガスバリア性フィルムの実施の形態を説明する。[基材層]本発明で用いる基材層は、例えば、有機高分子を溶融押し出しして、必要に応じ、長手方向及び/又は幅方向に延伸、冷却、熱固定を施したフィルムであり、有機高分子としては、ナイロン46、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン12などで代表されるポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンー2,6一ナフタレートなどで代表されるポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテンなどで代表されるポリオレフィンの他、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、全芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポリスチレン、ポリ乳酸などを挙げることができる。また本発明における基材層は、積層型フィルムであってもよい。積層型フィルムとする場合の積層体の種類、積層数、積層方法等は特に限定されず、目的に応じて公知の方法から任意に選択することができる。またフィルムにはシリカなどの微粒子を添加することができる。基材層の製造方法については、共押出し法、キャスト法など、既存の方法を使用することができる。[被覆層]この様な基材層の少なくとも一方の面に、特定の被覆層が積層される。特定の被覆層としては、膜強度と耐水性に優れ、かつ無機薄膜層との密着性に優れるポリウレタン樹脂が好ましい。そのためには、ウレタン結合基及びウレア結合基と酸基を有するポリウレタン樹脂とオキサゾリン基を有する樹脂の割合重量比は、前者/後者=95/5~50/50で混合し、特に90/10~50/50が良い。オキサゾリン基を有する樹脂の割合を増やすと、ウレタン結合基及びウレア結合基と酸基を有するポリウレタン樹脂の割合が減少することと、未架橋点が増えることでバリア性が低下すると考えられる。上述のような特性を併せ持つ被覆層に用いるポリウレタン樹脂は、ウレタン基およびウレア基の合計濃度が高く、かつ酸基を有するポリウレタン樹脂を必須成分とするものである。このようなポリウレタン樹脂は下記に示す各種のAポリイソシアネート化合物、Bポリオール化合物、Cポリヒドロキシ酸、D鎖延長剤を使用して、反応させて得ることができる。特に、膜強度を高め、耐水性を高めるためには、上記Cポリヒドロキシ酸やD鎖延長剤により、ポリウレタン樹脂を3次元化架橋することが有効である。上記Cポリヒドロキシ酸はポリウレタン樹脂を水性あるいは水分散化するうえで有効である。ポリウレタン樹脂のウレタン基およびウレア基尿素基の合計濃度は、ガスバリア性の観点から、15重量~60重量、好ましくは25~60重量、さらに好ましくは35~55重量程度である。なお、ウレタン基濃度及びウレア基濃度とは、ウレタン基の分子量59g/当量又はウレア基の分子量一級アミノ基アミノ基:58g/当量、二級アミノ基イミノ基:57g/当量を、繰り返し構成単位構造の分子量で除した値を意味する。なお、混合物を用いる場合、ウレタン基およびウレア基の濃度は、反応成分の仕込みベース、すなわち、各成分の使用割合をベースとして算出できる。ポリウレタン樹脂の酸基としては、カルボキシル基などが例示できる。酸基は、ポリウレタン樹脂の末端又は側鎖に位置していてもよい。この酸基は、通常、中和剤塩基により中和可能であり、塩基と塩を形成していてもよい。ポリウレタン樹脂の酸価は、水溶性又は水分散性を付与できる範囲で選択でき、通常、5~100mgKOH/g、好ましくは10~70mgKOH/g例えば、10~60mgKOH/g、さらに好ましくは15~60mgKOH/g例えば、16~50mgKOH/g程度である。本発明のポリウレタン樹脂の繰り返し構成単位は、ポリイソシアネート成分、ポリヒドロキシ酸成分、ポリオール成分や鎖伸長剤成分に由来して、炭化水素環芳香族及び非芳香族炭化水素環を含んでいる。ポリウレタン樹脂の繰り返し単位における炭化水素環単位の割合は、10~70重量、好ましくは15~65重量、さらに好ましくは20~60重量程度である。ポリウレタン樹脂の数平均分子量は、800~1,000,000、好ましくは800~200,000、さらに好ましくは800~100,000程度の範囲から選択できる。ポリウレタン樹脂は、ガスバリア性を高めるため、結晶性であってもよい。また、ポリウレタン樹脂のガラス転移点は、100~200°C程度、好ましくは110~180°C程度、さらに好ましくは120~150°C程度である。その他のウレタン樹脂の成分については、本願発明の目的を阻害しない範囲であれば、特に制限されるものではない。Aポリイソシアネート化合物ポリイソシアネート化合物には、芳香族ポリイソシアネート、芳香脂肪族ジイソシアネート、脂環族ポリイソシアネートなどが含まれる。ポリイソシアネート化合物としては、通常、ジイソシアネート化合物が使用される。芳香族ジイソシアネートとしては、例えば、トリレンジイソシアネート2,4-または2,6-トリレンジイソシアネートもしくはその混合物TDI、フェニレンジイソシアネートm-、p-フェニレンジイソシアネートもしくはその混合物、4,4’-ジフェニルシイソシアネート、1,5-ナフタレンジイソシアネートNDI、ジフェニルメタンジイソシネート4,4’-、2,4’-、または2,2’-ジフェニルメタンジイソシネートもしくはその混合物MDI、4,4’-トルイジンジイソシアネートTODI、4,4’-ジフェニルエーテルジイソシアネートなどが例示できる。芳香脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、キシリレンジイソシアネート1,3-または1,4-キシリレンジイソシアネートもしくはその混合物XDI、テトラメチルキシリレンジイソシアネート1,3-または1,4-テトラメチルキシリレンジイソシアネートもしくはその混合物TMXDI、ω,ω’-ジイソシアネートー1,4-ジエチルベンゼンなどが例示できる。脂環族ジイソシアネートとしては、例えば、1,3-シクロペンテンジイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート1,4-シクロヘキサンジイソシアネート、1,3-シクロヘキサンジイソシアネート、3-イソシアネートメチルー3,5,5-トリメチルシクロヘキシルイソシアネートイソホロシイソシアネート、IPDI、メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート4,4’、2,4’-又は2,2’-メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート水添MDI、メチルシクロヘキサンジイソシアネートメチルー2,4-シクロヘキサンジイソシアネート、メチルー2,6-シクロヘキサンジイソシアネート、ビスイソシアネートメチルシクロヘキサン1,3-または1,4-ビスイソシアネートメチルシクロヘキサンもしくはその混合物水添XDIなどを挙げることができる。脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、トリメチレンジイソシアネート、1,2-プロピレンジイソシアネート、ブチレンジイソシアネートテトラメチレンジイソシアネート、1,2-ブチレンジイソシアネート、2,3-ブチレンジイソシアネート、1,3-ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ペンダメチレンジイソシアネート、2,4,4-又は2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,6-ジイソシアネートメチルカフェートなどを挙げることができる。ポリイソシアネート化合物Aとしては、炭化水素環を有する化合物を含むポリイソシアネート化合物を用いる。このような化合物としては、例えば、芳香族、芳香脂肪族および脂環族ポリイソシアネート特にジイソシアネートなどが挙げられる。より具体的には、ジイソシアネート成分のうち芳香族ジイソシアネートとしては、TDI、MDI、NDIなどが好ましく、芳香脂肪族ジイソシアネートとしては、XDI、TMXDIなどが好ましく、脂環族ジイソシアネートとしては、IPDI、水添XDI、水添MDIなどが好ましい。芳香脂肪族ジイソシアネート、脂環族ポリイソシアネートの割合については、それらの合計に対して、水添キシリレンジイソシアネート水添XDIが20重量以上が好ましく、さらに好ましくは40重量以上、特に好ましくは60以上である。フィルムへのコート特性の観点からは、芳香脂肪族ジイソシアネートXDI、TMXDIなどおよび脂環族ジイソシアネートIPDI、水添XDI、水添MDIなどが好ましく、特に、XDI、水添XDIなどが好ましい。これらのポリイソシアネート化合物は単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。特に、本発明に使用するキシリレン基含有ウレタン樹脂は、原料の一つであるポリイソシアネート化合物にキシリレンジイソシアネートXDI及び水添キシリレンジイソシアネート水添XDIを用いることで製造することが好ましい。これにより、酸素バリア性、水蒸気バリア性をより向上させることができる。キシリレンジイソシアネートXDI及び水添キシリレンジイソシアネート水添XDIに含まれるキシリレン基は、高いパッキング性を有する官能基であり、自己架橋が進行するとさらに最密な構造になるためバリア性向上に寄与すると推測される。キシリレンジイソシアネートと水添キシリレンジイソシアネートを併用することで、酸価が向上し自己架橋が進行しやすくなるという利点がある。キシリレンジイソシアネートXDIと水添キシリレンジイソシアネート水添XDIの合計量の割合は、通常、ポリイソシアネート化合物A全体に対して10~100重量の範囲から選択でき、通常20~100重量が好ましく、さらに好ましくは25~100重量、特に好ましくは30~100重量である。Bポリオール化合物ポリオール成分特にジオール成分としては、低分子量のグリコールからオリゴマーまで用いることはできるが、ガスバリア性の観点から、通常、アルキレングリコール例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、1,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、ペンタンジオール、ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、ヘプタンジオール、オクタンジオールなどの直鎖状又は分岐鎖状C2-Cl0アルキレングリコール、ポリオキシC2-C4アルキレングリコールジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ジプロピレングリコールなどなどの低分子量グリコールが使用される。好ましいグリコール成分は、C2-C8ポリオール成分[例えば、C2-C6アルキレングリコール特に、エチレングリコール、1,2-または1,3-プロピレングリコール、1,4-ブタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、3-メチルー1,5-ペンタンジオールなど]、ジ又はトリオキシC2-C3アルキレングリコールジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコールなどであり、特に好ましいジオール成分はC2-C8アルキレングリコール特にC2-C6アルキレングリコールである。これらのジオール成分は単独で又は2種以上組み合わせて使用できる。さらに必要に応じて、芳香族ジオール例えば、ビスフェノールA、ビスビドロキシェチルテレフタレート、カテコール、レゾルシン、ハイドロキノン、1,3-又は1,4-キシリレンジオールもしくはその混合物など、脂環族ジオール例えば、水添ビスフェノールA、水添キシリレンジオール、シクロヘキサンジオール、シクロヘキサン。ジメタノールなどなどの低分子量ジオール成分を併用してもよい。さらに、必要により、3官能以上のポリオール成分、例えば、グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパンなどのポリオール成分を併用することもできる。ポリオール成分は、少なくともC2-C8ポリオール成分を含むのが自己架橋を阻害しない点で好ましく、さらに、C2-C6アルキレングリコールを含むのが好ましく、特にC2-C4アルキレングリコールを含むのが好ましい。ポリオール成分全体に対するC2-C8ポリオール成分の割合は、50~100重量程度の範囲から選択でき、通常、70重量以上、100重量以下、好ましくは80重量以上、100重量以下、さらに好ましくは90重量以上、100重量以下である。Cポリヒドロキシ酸ポリヒドロキシカルボン酸特にジヒドロキシカルボン酸としては、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸、2,2-ジメチロールヘキサン酸などのジヒドロキシC2-C10のアルカン-カルボン酸、ジオキシマレイン酸などのジヒドロキシC4-C10のアルカン-ポリカルボン酸又はジヒドロキシC4-C10のアルケン-ポリカルボン酸、2,6-ジヒドロキシ安息香酸などのジヒドロキシC6-C10のアレーン-カルボン酸などが例示できる。これらのポリヒドロキシ酸は単独または2種以上組み合わせて使用できる。好ましいポリヒドロキシ酸は、ポリヒドロキシアルカンカルボン酸、特にジヒドロキシアルカン酸、例えば、ジヒドロキシC2-C8のアルカン-カルボン酸である。なお、前記ポリヒドロキシ酸は、塩の形態で使用してもよい。ポリヒドロキシ酸の塩としては、例えば、アンモニウム塩、アミン塩トリアルキルアミン塩など、金属塩ナトリウム塩などなどが例示できる。D鎖伸長剤鎖伸長剤には、ポリアミンが使用でき、通常、活性水素原子を有する窒素含有化合物、特に、ジアミンが使用される。鎖伸長剤としてのジアミン成分としては、例えば、脂肪族アミン例えば、エチレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジアミン、2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミンなどのC2-10アルキレンジアミンなど、芳香族アミン例えば、m-又はp-フェニレンジアミン、1,3-または1,4-キシリレンジアミンもしくはその混合物など、脂環族アミン例えば、水添キシリレンジアミン、ビス4-アミノシクロヘキシルメタン、イソホロンジアミン、ビス4-アミノ-3-メチルシクロヘキシルメタンなど、ヒドロキシル基含有ジアミン2-[2-アミノエチルアミノ]エタノール、2-アミノエチルアミノプロパノール、3-アミノプロピルアミノエタノールなどのアミノC2-6アルキルアミノC2-3アルキルアルコールなど、酸基含有ジアミン例えば、3,4-ジアミノ安息香酸などのジアミノ芳香族カルボン酸、1,3-フェニレンジアミン-4,6-ジスルホン酸、2,4-ジアミノトルエン-5-スルホン酸などのジアミノスルホン酸などなどが挙げられる。これら鎖伸長剤のうち、ガスバリア性の観点から、通常、炭素数8以下C2-C8の鎖延長剤が、自己架橋を阻害しない点で好ましく、さらにC2-C6の低分子量の鎖伸長剤、例えば、ジアミン例えば、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどのC2-C6のアルキレンジアミン、2-アミノエチルアミノエタノール、キシリレンジアミンなどが好ましく、特にC2-C4のものが好ましい。なお、鎖伸長剤は、必要に応じて3官能以上のポリアミン成分を併用することができる。なお、必要であれば、ポリウレタン樹脂の調製において、イソシアネート基に対する反応性基を有する化合物、例えば、酸無水物例えば、無水マレイン酸、無水フタル酸、無水コハク酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸などとイソシアネート基に対する反応性基を有する化合物ジオールなどのジヒドロキシ化合物、ジアミンなどとの反応により生成するカルボキシル基を有する化合物、又はこれらのカルボキシル基を有する化合物を共重合して得られるオリゴエステルポリオール;オキシスルホン酸例えば、2-オキシエタンスルホン酸、フェノールスルホン酸など、スルホカルボン酸例えば、スルホ安息香酸、スルホコハク酸、5-スルホイソフタル酸など、アミノ基含有スルホン酸例えば、スルファニル酸などなどのスルホン酸基を有する化合物、又はこれらのスルホン酸基を有する化合物を共重合して得られるオリゴエステルポリオール;イソシアネート基に対する反応性基を含むポリオキシC2-C4アルキレン化合物例えば、エチレンオキシド単位を30重量以上含有し、数平均分子量300~10,000程度の化合物など又はこれらのポリオキシアルキレン化合物を共重合して得られるオリゴエステルエーテルポリオールなどを用いてもよい。上述のポリウレタン樹脂は水に溶解した水溶液や、ポリウレタン樹脂が水に分散した水性ディスパージョンを調製するため、ポリウレタン樹脂の酸基は、中和剤又は塩基で中和されている。中和剤としては、慣用の塩基、例えば、有機塩基[例えば、第3級アミン類トリメチルアミン、トリエチルアミンなどのトリC1-C4のアルキルアミン、ジメチルエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどのアルカノールアミン、モルホリンなどの複素環式アミンなど]、無機塩基[アンモニア、アルカリ金属水酸化物水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなど、アルカリ土類金属水酸化物水酸化マグネシウム、水酸化カルシウムなど、アルカリ金属炭酸塩炭酸ナトリウム、炭酸カリウムなど]が挙げられる。これらの塩基は単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。特にコート特性や無機蒸着後のバリア性の観点からは、揮発性塩基、例えば、トリエチルアミンなどのトリC1-C3のアルキルアミン、ジメチルエタノールアミンなどのアルカノールアミン、アンモニアが好ましい。中和剤として揮発性塩基アンモニア及びアミン類から選択された塩基などを用いると、ポリアミン化合物iiによりポリウレタン樹脂の架橋を促進でき、無機蒸着後のバリア性を向上するのに有用である。なお、中和剤による中和度は、例えば、30~100、好ましくは50~100、特に75~100程度であってもよい。水性ポリウレタン樹脂組成物は、通常、前記ポリウレタン樹脂、中和剤及び水性媒体とで構成されており、水性媒体としては、水、水溶性又は親水性溶媒例えば、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類;アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類;テトラヒドロフランなどのエーテル類;セロソルブ類;カルビトール類;アセトニトリルなどのニトリル類など、又はこれらの混合溶媒が例示できる。水性媒体は、通常、水、又は水を主成分として含む水性溶媒である。ポリウレタン樹脂は、水性媒体に溶解した水溶液、又は水性媒体に分散した水分散体のいずれの形態であってもよい。水性分散体において、分散粒子ポリウレタン樹脂粒子の粒子径は特に制限されず、例えば、平均粒子径20~500nm、好ましくは25~300nmさらに好ましくは30~200nm程度であってもよい。ポリウレタン樹脂又はその組成物の製造法は特に限定されず、ポリウレタン樹脂は、アセトン法、プレポリマー法など通常のポリウレタン樹脂の水性化技術を利用して調製できる。また、ウレタン化反応では必要に応じてアミン系触媒、錫系触媒、鉛系触媒などウレタン化触媒を使用してもよい。例えば、不活性溶媒アセトンなどのケトン類、テトラヒドロフランなどのエーテル類、アセトニトリルなどのニトリル類など中、ポリイソシアネート化合物Aとポリヒドロキシ酸Bと必要によりポリオール成分C及び/又は鎖伸長剤成分Dとを反応させることによりポリウレタン樹脂を調製できる。より具体的には、不活性有機溶媒特に、親水性又は水溶性有機溶媒中、ポリイソシアネート化合物Aとポリヒドロキシ酸Bとポリオール成分Cとを反応させ、末端イソシアネート基を有するプレポリマーを生成させ、中和剤で中和して水性媒体に溶解又は分散した後、鎖伸長剤成分Dを添加して反応させ、有機溶媒を除去することにより水性ポリウレタン樹脂を調製できる。なお、前記ポリイソシアネート化合物Aとポリヒドロキシ酸B、ポリオール成分Cおよび鎖伸長剤成分Dの総量との割合は、ガスバリア性を損なわない範囲で選択でき、ポリイソシアネート化合物のイソシアネート基1モルに対して、各成分B、C及びDの活性水素原子の総量0.5~1.5モル、好ましくは0.7~1.3モル、さらに好ましくは0.8~1.2モル程度である。また、化合物B、CおよびDのうち、ポリヒドロキシ酸Bのヒドロキシル基とポリオール成分Cのヒドロキシル基との割合モル比は、前者/後者=100/0~5/95、好ましくは80/20~5/95、さらに好ましくは60/40~10/90程度である。ポリヒドロキシ酸Bおよびポリオール成分Cの合計ヒドロキシル基と鎖伸長剤成分Dの活性水素原子特にアミノ基との割合モル比は前者/後者=100/0~10/90、好ましくは100/0~25/75、さらに好ましくは95/5~40/60程度である。本発明では、オキサゾリン基を有する樹脂を含有させる必要がある。オキサゾリン基を有する樹脂を含有することで、架橋密度が上がり、耐水性が上がることで、バリア性、特に水蒸気バリア性が向上すると考えられる。オキサゾリン基を有する樹脂としては、オキサゾリン基を有する重合体、例えばオキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体を、必要に応じその他の重合性不飽和単量体と従来公知の方法例えば溶液重合、乳化重合等によって共重合させることにより得られる重合体を挙げることができる。オキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体としては、例えば、2-ビニル-2-オキサゾリン、2-ビニル-4-メチル-2-オキサゾリン、2-ビニル-5-メチル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-4-メチル-2-オキサゾリン、2-イソプロペニル-5-エチル-2-オキサゾリンなどを挙げることができる。上記のその他の重合性不飽和単量体としては、例えばメチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、プロピルメタアクリレート、ブチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、ラウリルメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート等のメタアクリル酸の炭素数1~24個のアルキルまたはシクロアルキルエステル;2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、ヒドロキシプロピルメタアクリレート等のメタアクリル酸の炭素数2~8個のヒドロキシアルキルエステル;スチレン、ビニルトルエン等のビニル芳香族化合物;メタアクリルアミド、ジメチルアミノプロピルメタアクリルアミド、ジメチルアミノエチルメタアクリレート、グリシジルメタアクリレートとアミン類との付加物;ポリエチレングリコールメタアクリレート;N-ビニルピロリドン、エチレン、ブタジエン、クロロプレン、プロピオン酸ビニル、酢酸ビニル、メタアクリロニトリル等が挙げられる。これらは単独でまたは2種以上適宜選択される。上記オキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体及びその他の重合性不飽和単量体の共重合体の組成モル比は、オキサゾリン基を有する重合性不飽和単量体が30~70モルであることが好ましく、40~65モルであることがより好ましい。本発明で用いられるオキサゾリン基を有する樹脂は、他樹脂との相溶性、濡れ性の向上、架橋反応効率や被覆層の透明性を向上させることから、水溶性樹脂が好ましい。オキサゾリン基を有する樹脂を水溶性にするために、他の重合性不飽和単量体として親水性単量体を含有させるのが好ましい。親水性単量体としては、メタアクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタアクリル酸メトキシポリエチレングリコール、メタアクリル酸とポリエチレングリコールのモノエステル化合物等のポリエチレングリコール鎖を有する単量体、メタアクリル酸2-アミノエチルおよびその塩、メタアクリルアミド、N-メチロールメタアクリルアミド、N-2-ヒドロキシエチルメタアクリルアミド、メタアクリロニトリル、スチレンスルホン酸ナトリウム等が挙げられる。なかでも、水への溶解性の高いメタアクリル酸メトキシポリエチレングリコール、メタアクリル酸とポリエチレングリコールのモノエステル化合物等のポリエチレングリコール鎖を有する単量体を含有していることが好ましい。導入するポリエチレングリコール鎖の分子量としては、200~900が好ましく、300~700がより好ましい。また、本発明に用いるオキサゾリン基を有する樹脂のオキサゾリン価は、特に限定されるものではないが、具体的には、例えば、1000g-solid/eq.以下であることが好ましく、より好ましくは500g-solid/eq.以下、さらにより好ましくは300g-solid/eq.以下である。上記オキサゾリン価が上限を超える場合は、無機薄膜層、基材フィルムおよび被覆層に含まれるカルボン酸基などとの相互作用が発現されず、耐久性、耐水性が満足に得られない場合がある。なお、上記オキサゾリン価g-solid/eq.は、オキサゾリン基1mol当たりの重合体重量であるとする。よって、該オキサゾリン価の値が小さいほど重合体中のオキサゾリン基の量は多く、値が大きいほど重合体中のオキサゾリン基の量は少ないということを表す。前記オキサゾリン基を有する樹脂は被覆層中に50質量以下含有していることが好ましい。より好ましくは20重量以下である。更に必要であれば、本被覆層中に、静電防止剤や滑り剤、アンチブロッキング剤などの公知の無機、有機の各種添加剤を加えることは本発明の日的を阻害しない限り任意である。被覆層を基材上に形成する方法としては、通常前述した様に水系溶液を基材にコートする方法が採られる。コートの方法は使用するコート液のコート量と粘度により選択され、ファウンテンバーコーティング法などから採用すればよい。好ましいコーティング方法を下記に挙げるが、これに限定するものではない。コート液の溶媒としては、上記ポリウレタン樹脂、オキサゾリン基を有する樹脂の溶解性の点から、水100または水/低級アルコール混合溶媒を用いることが好ましい。低級アルコールとは炭素数1~3の直鎖または分岐鎖の脂肪族基を有するアルコール性化合物であり、具体例で示せばメチルアルコール、エチルアルコール、エチレングリコール、n-またはiso-プロピルアルコールが挙げられる。特にiSO-プロピルアルコールが好ましい。本発明のコート液の全固形分濃度は2~35重量、通常5~30重量が好ましい。水/低級アルコール混合溶媒を用いることで、ポリウレタン樹脂、オキサゾリン基を有する樹脂の分散性、コートの均一性、製造時の安全性が満足できる。コート時の乾燥、熱処理の条件は被覆層の厚み、装置の条件にもよるが、フィルムの走行方向への延伸工程の後でコート液を塗布した後、直ちに直角方向の延伸工程に送入し、直角方向の延伸工程の予熱ゾーン、延伸ゾーンで乾燥させ、熱固定ゾーンでさらに加熱することにより、メタキシリレン基及び水添キシリレン基含有ウレタン樹脂の面配向や結晶化と同時に自己架橋を進行させることが好ましい。なお、必要であれば、被覆層を形成させる前に基材フィルムにコロナ放電処理、その他の表面活性化処理や公知のアンカー処理剤を用いてアンカー処理を施してもよい。被覆層の厚みは、ガスバリア性の発現、経済性の点から、0.10~1.00μmであることが必要で、0.10~0.80μmであることが特に好ましい。被覆層の厚みが0.10μmを下回ると、被覆層が薄すぎるため水蒸気バリア性が十分に発現しない。一方、被覆層の厚みが1.00μmを上回ると、熱が十分にかからず被覆層のメタキシリレン基及び水添キシリレン基含有ウレタン樹脂の自己架橋が十分に進行せずに反応不足や表面荒れが生じてしまう。また、ガスバリア性が低下するだけでなく、製造コストも高くなり経済性が悪くなってしまう。[無機薄膜蒸着層]以上の様な被覆層上に無機薄膜層が蒸着される。この無機薄膜層は、ガスバリア性を向上させるもので、無機薄膜の材料としては、A1,Si,Ti,Zn,Zr,Mg,Sn,Cu,Fe等の金属や、これら金属の酸化物、窒化物、フッ素物、硫化物等が挙げられ、具体的には、SiOxx=1.0~2.0、アルミナ、マグネシア、硫化亜鉛、チタニア、ジルコニア、酸化セリウム、あるいはこれらの混合物が例示される。無機薄膜層は1層でもあるいは2層以上の積層体であってもよい。上記無機薄膜層の膜厚は、好ましくは10~5000Å、より好ましくは50~2000Åである。膜厚が10Å未満の場合は十分なガスバリア性が得られない恐れがあり好ましくない。逆に5000Åを超える場合、それに相当する効果は奏されず、また耐屈曲性が低下し、さらに製造コストの点で不利となり好ましくない。上記無機薄膜層の蒸着方法としては、公知の方法、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理蒸着法や、PECVD等の化学蒸着法等が採用される。真空蒸着法においては、蒸着材料としてアルミニウム、珪素、チタン、マグネシウム、ジルコニウム、セリウム、亜鉛等の金属、また、SiOxx=1.O~2.0、アルミナ、マグネシア、硫化亜鉛、チタニア、ジルコニア等の化合物およびそれらの混合物が用いられる。加熱方法としては、抵抗加熱、誘導加熱、電子線加熱等が採用される。また、反応ガスとして、酸素、窒素、水素、アルゴン、炭素ガス水蒸気等を導入したり、オゾン添加、イオンアシスト等の手段を用いた反応性蒸着法を採用してもよい。さらに基材にバイアスを印加したり、加熱冷却する等の方法を採用してもよい。上記蒸着材料、反応ガス、バイアス印加、加熱冷却はスパッタリング法、CVD法においても採用され得る。本発明の積層フィルム及び蒸着フィルムの厚みは、5~50μmであることが好ましい。望ましくは積層フィルム及び蒸着フィルムの厚みは10~30μmである。なお、本発明の蒸着用積層フィルム及び蒸着フィルムは、通常包装材料として使用するため、無機薄膜層上にシーラントと呼ばれるヒートシール性樹脂層が形成されることが多い。ヒートシール性樹脂層の形成は、通常押出しラミネート法あるいはドライラミネート法によりなされる。ヒートシール性樹脂層を形成する熱可塑性重合体としては、シーラント接着性が十分に発現できるものであればよく、HDPE,LDPE,LLDPEなどのポリエチレン樹脂類、PP樹脂、エチレンー酢酸ビニル共重合体、エチレンーαオレフィンランダム共重合体、アイオノマー樹脂などを使用できる。以下に実施例を示し、本発明をより詳細に説明する。実施例中に示した特性は以下の方法で測定した。1水蒸気透過度作成したフィルムの水蒸気透過度につき、40°C、90RHの条件で3時間調温調湿後、米国、モコンMOCON社製の測定機PARMATRAN-Wを用いて測定した。2ラミネート積層体の作成実施例、比較例で得られた積層体の無機薄膜層の上に、ウレタン系2液硬化型接着剤を用いてドライラミネート法により熱接着性樹脂として厚み70μmの無延伸ポリプロピレンフィルム東洋紡績株式会社製、P1147を貼り合わせ、40°Cにて4日間エージングして実施例1~4、比較例1~4のラミネートガスバリア性積層フィルムを得た。実施例1[ポリウレタン樹脂組成物A-1の製造例]MXDIメタキシリレンジイソシアネート45.59、水添XDI1,3-ビスイソシアネートメチルシクロヘキサン93.9g、エチレングリコール24.8g、ジメチロールプロピオン酸13.4g及び溶剤としてメチルエチルケトン80.2gを混合し、窒素雰囲気下70°Cで5時間反応させた。次いで、このカルボキシル基含有ウレタンプレポリマー溶液を40°Cでトリエチルアミン9.6gにて中和した。このポリウレタンプレポリマー溶液を624.8gの水にホモディスパーにより分散させ、2-[2-アミノエチルアミノ]エタノール21.1gで鎖伸長反応を行い、メチルエチルケトンを留去することにより、固形分25重量、平均粒子径90nmの水分散型ポリウレタン樹脂A-1を得た。この樹脂の酸価は26.9mgKOH/g、ウレタン基濃度及びウレア基濃度の合計は39.6重量である。これを水で希釈し、固形分30重量の被覆液とした。[ポリウレタン樹脂組成物A-2]ポリウレタン樹脂組成物A-2は、30重量エマルジョンとして、DIC株式会社製のハイドランHW350を使用した。オキサゾリン基を有する樹脂B-1の製造例攪拌機、還流冷却器、窒素導入管および温度計を備えたフラスコに、イソプロピルアルコール460.6部を仕込み、緩やかに窒素ガスを流しながら80°Cに加熱した。そこへ予め調製しておいたメタクリル酸メチル126部、2-イソプロペニル-2-オキサゾリン210部およびメトキシポリエチレングリコールアクリレート84部からなる単量体混合物と、ABN-E日本ヒドラジン工業株式会社製の重合開始剤:2,2’-アゾビス2-メチルブチロニトリル21部およびイソプロピルアルコール189部からなる開始剤溶液を、それぞれ滴下ろうとにより2時間かけて滴下した。反応中は窒素ガスを流し続け、フラスコ内の温度を80±1°Cに保った。滴下終了後も5時間同じ温度に保った後冷却し、オキサゾリン基を有する樹脂B-1を得た。得られたオキサゾリン基を有する樹脂B-1のオキサゾリン価は130g-solid/eq.であった。共重合ポリエステル樹脂C-1の製造例共重合ポリエステル樹脂の製造例撹拌機、温度計および部分還流式冷却器を具備したステンレススチール製オートクレーブにジメチルテレフタレート466部、ジメチルイソフタレート466部、ネオペンチルグリコール401部、エチレングリコール443部、およびテトラ-n-ブチルチタネート0.52部を仕込み、160°C~220°Cまで4時間かけてエステル交換反応を行なった。次いでフマール酸23部を加え、200°Cから220°Cまで1時間かけて昇温し、エステル化反応を行なった。次いで、255°Cまで昇温し、反応系を徐々に減圧したのち、0.2mmHgの減圧下で1時間30分反応させた後、無水トリメリット酸19部を加え、窒素下220°Cで1時間撹拌しポリエステル樹脂C-1を得た。得られたポリエステルは淡黄色透明で重量平均分子量は12000である。積層フィルムの製造極限粘度0.6230°C、フェノール/テトラクロロエタン=60/40のポリエチレンテレフタレート樹脂を予備結晶化後,本乾燥し,Tダイを有する押出し機を用いて280°Cで押出し,表面温度40°Cのドラム上で急冷固化して無定形シートを得た。次に得られたシートを加熱ロールと冷却ロールの間で縦方向に100°Cで4.0倍延伸を行った。そして、得られた一軸延伸フィルムの片面に,上記塗布液をファウンテンバーコート法によりコートした。乾燥しつつテンターに導き、100°Cで予熱、120°Cで4.0倍横方向に延伸し、6の横方向の弛緩を行いながら225°Cで熱処理を行い、厚さ12μmの二軸延伸ポリエステルフィルムに0.15gm2の被覆層が形成された積層フィルムを得た。蒸着フィルムの製造次に、得られた積層フィルムの被覆面へ蒸着するために、蒸着源として、3mm~5mm程度の粒子状SiO2純度99.9とAl2O3純度99.9を用いて、電子ビーム蒸着法で、得られた塗布フィルム上に酸化アルミニウムと二酸化ケイ素の複合無機酸化物層の形成を行った。これらにつき、実施例冒頭で示した方法条件で、水蒸気透過度を測定した。結果を表1に示す。比較例1コートせずに、実施例1と同様の手順でサンプル作製、評価を行なった。結果を表1に示す。実施例2~4、比較例2~4塗布液の樹脂の種類と組成を変更した以外は、実施例1と同様の手順でサンプル作製、評価を行なった。結果を表1に示す。"