観察対象である観察面を有する第1部品と、前記観察面から距離をおいて設けられた第2部品と、前記観察面に対向した前記第2部品の面上に、複数の金属粒子が前記第2部品の材料によって互いに離間して形成された金属粒子形成部と光を、前記第1部品を介して前記観察面に照射する照射部と、前記観察面を反射した前記光から、前記観察面上ないしその近傍の状態観察をする観察部と、を備え、前記第1部品および前記第2部品は、前記観察面と前記金属粒子形成部が前記光の電磁場内となるように、前記観察面および前記金属粒子形成部を保持することを特徴とする観察装置。前記金属粒子形成部は、前記複数の金属粒子が、前記第2部品の材料中に一部表出するように埋め込まれることによって互いに離間して形成されていることを特徴とする請求項1記載の観察装置。前記観察部は、前記光のうち前記観察面と前記金属粒子形成部との配置方向に偏光した光から前記状態観察をすることを特徴とする請求項1または2記載の観察装置。前記光は、前記第1部品を通過した後前記観察面で全反射し、前記全反射した前記光は前記第1部品を通過した後、前記観察部に至ることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の観察装置。前記第1部品および前記第2部品は、前記観察面および前記金属粒子形成部を前記光のエバネッセント場内に保持することを特徴とする請求項4記載の観察装置。前記観察部は、前記観察面を反射した前記光の吸収スペクトルから前記観察面上ないしその近傍の状態観察をすることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の観察装置。そのような従来のプラズモン共鳴による光吸収測定による観察方法では、例えば、1原子層以下の存在量を有する分子などの検出を行うことは容易ではない。また、例えば上記のような存在量の小さな分子等の試料を金属に接し、設けることも困難である。そこで本発明の観察装置の課題は、より高い検出感度を有する観察装置を提供することにある。本発明の観察装置は、観察対象である観察面を有する第1部品と、前記観察面から距離をおいて設けられた第2部品と、前記観察面に対向した前記第2部品の面上に、複数の金属粒子が前記第2部品の材料によって互いに離間して形成された金属粒子形成部と光を、前記第1部品を介して前記観察面に照射する照射部と、前記観察面を反射した前記光から、前記観察面上ないしその近傍の状態観察をする観察部と、を備え、前記第1部品および前記第2部品は、前記観察面と前記金属粒子形成部が前記光の電磁場内となるように、前記観察面および前記金属粒子形成部を保持することを特徴とする。本発明の観察装置によって、基本的な観察装置に比べ、5~7倍のより検出感度の高い観察装置を得ることができる。以下に、本発明の実施の形態を、添付図を参照しつつ説明する。本発明者は、先ず、比較実施例として、次に示すような、観察装置これを、ここでは金属粒子型観察装置と呼称するを検討した。比較実施例図1に、その金属粒子型観察装置の一部断面の模式図を示す。金属粒子型観察装置100は、観察セル101、照射部102および観察部103を備えている。観察セル101は、第1部品104、互いに離間した複数の金属粒子105および第2部品106を備えている。第1部品104は観察面107を有し、光学プリズムである。観察面107において光108が全反射する観察面107が観察対象であり、そこで、観察面107の表面状態や観察面107に設置した試料の状態を観察するなど、観察面107上ないしその近傍の状態を観察可能とする。照射部102では、観察に必要な波長や偏光の光を第1部品に照射し、観察部では、反射して来た光の強度などを測定する。互いに離間した複数の粒子からなる金属粒子105は、第1部品104の観察面105に、距離Gおいて、相対して設けられた第2部品106の表面上に設けられる。金属粒子105は、例えば金Auであり、例えば、100nm以下の直径を有する粒子が離散して配置される。互いに離間した複数の金属粒子105は、光108が観察面107において全反射する際に、エバネッセント波が金属粒子105全体を含むように設けられる。すなわち、第1部品104と第2部品106の距離Gは、光108の波長以下である。従って、金属粒子105の大きさは、上記の様に、光108の波長以下のナノサイズである。照射部102は、第1部品104を介して観察面107に光108を照射し、観察部103は、観察面107で反射した光108から観察面107上ないしその近傍の状態を観察する。このような構成の金属粒子型観察装置100において、第1部品104および第2部品106は、観察面107およびナノサイズの互いに離間している金属粒子105が、光108のエバネッセント波の電磁波内になるように、観察面107および金属粒子105の距離Gを持続的に保持することにより、互いに離間している複数の金属粒子105において生じた局在表面プラズモンとエバネッセント波の電場とのカップリングが発生し、局在表面プラズモン共鳴SurfacePlasmaResonanse;SPRが起き、プラズモンポラリトンが励起する。これにより、観察面107の状態観察面上ないしその近傍の状態に起因して、観察部103で観察される光108の吸収に関する波長依存性を測定すると、特定波数において吸収が増大する。このように、金属粒子105における局在表面プラズモンとエバネッセント波の電場のカップリングをより増大させることにより、観察面の状態観察感度を向上することができる。図1に示した金属粒子型観察装置の構成により、測定を実施した。具体的には、第1部品104、第2部品106に、シリコンSiを用い、観察面107はSiの111面を使用した。金属粒子105は金Auの微粒子を使用し、この金Auの微粒子は、成長速度を遅くした電子ビーム蒸着法で、個々の微粒子が互いに離間するように形成して、その個々の大きさは、数10nm以下であった。照射部102からの光108は、分光された赤外光を用い、全反射光を観察部103の検出器で受光した。第1部品104の観察面107と、第2部品の金属粒子105が形成された面との距離Gの制御は、第1部品104と第2部品106を外側から圧力Prを、図示しない、万力でトルクを加える方式を用い、この圧力Prの変化で距離Gを変化させた。観察対象として、第1部品104のシリコンSiの観察面107の111表面に、水素Hを付加させた状態のものを用いた。図2に、その測定結果を示す。図2の横軸は波数Wavenumberで、縦軸は万力にトルクを加えたときの状態での出力光強度Rを、万力にトルクを加えない状態、つまり距離Gが十分離れているときでの出力光強度R0で規格化した値を示す。実線はP偏光P-pol.の光を示し、点線はS偏光S-pol.の光を示す。図1において、光108の進行方向の垂直で、観察面107に対し交差する方向の偏光がP偏光で、光108の進行方向に垂直で、観察面107に対し平行な方向の偏光がS偏光である。図2から解るように、S偏光では信号は観察されないが、P偏光では約2080cm-1付近において吸収信号Mが、また約2250cm-1付近において吸収信号MO3が観察された。図3aおよび図3bは、分子の構造を模式的に示した図である。吸収信号Mは、先に本発明者が報告している、多重反射ATR法によって検出され信号と同じ波数である。これにより、吸収信号Mは、図3aに示すように、シリコン結晶110の111面のテラスを構成するシリコン原子111に、111面に垂直に結合した水素原子112の111面に垂直な熱振動に対応した信号と考えられる。吸収信号MO3は、図3bに示すように、シリコン結晶110の111面より飛び出したシリコン原子111に、111面に垂直に水素原子112が結合し、シリコン原子111とシリコン結晶110との間に3つの酸素原子113が結合した構造において、水素原子112の111面に垂直な熱振動に対応した信号と考えられる。なお、吸収信号MO3は、多重反射ATR法では観察されない。このように、観察面107を反射した光108の吸収スペクトルから、観察面107の状態この場合は、シリコンに付着した水素の状態を観察することができる。P偏光の光によって観察面107の状態が観察できたということは、P偏光の光は観察面107と金属粒子105の配置方向に偏光した光を含んでいるため、観察面107に垂直な方向に分極したプラズモンポラリトンが励起され、観察面107に垂直な方向の動的分極dynamicpolarizationを有する構造が電場増強される。よって、観察面107に垂直な方向の構造分子の熱振動を効率的に観察することができる。他方S偏光の光では電場増強が無いため、吸収スペクトルが現れて来ない。実施例その1本発明者は、上記の比較実施例より更なる検出感度の向上を目指して検討を進めた。図4、本発明の観察装置その1の、一部断面の模式図を示す。本発明の観察装置その1200は、基本的な構成は、図1に示した金属粒子型観察装置100と同様であるが、第1部品104の観察面107と距離Gを隔てて相対する、第2部品106の面に形成された、複数の粒子からなる混成金属粒子201と、これを含む本発明の観察セルその1202の個所が異なる。観察装置その1200の実施構成は、第1部品104、第2部品106に、シリコンSiを用い、観察面107はSiの111面を使用した。第1部品104の観察面107に相対する、第2部品106の表面に混成金属粒子201が形成される。混成金属粒子201の拡大図a、bを、図4の左下に示す。混成金属粒子201の形成は、先ず、第2部品106と同じ材料のシリコンSiを、成長速度を遅くした電子ビーム蒸着法で形成して、その個々の大きさが数10nm以下であるのシリコンSi微粒子204を付着させ、次に、成長速度を遅くした電子ビーム蒸着法で形成して、その個々の大きさが数10nm以下である金Au微粒子203を、シリコンSi微粒子204付着面上に付着させた。このとき、金Au微粒子203はシリコンSi微粒子204で互いに離間されるようにし、例えば、拡大図aの様に、シリコンSi微粒子204の隙間のシリコン表面へ挟まるように金Au微粒子203が付着するのが好ましい。また拡大図bの様に、シリコン表面上のシリコンSi微粒子204の隙間や一部積層したシリコンSi微粒子204上へ挟まるように金Au微粒子203が形成される状態などが混在した場合でも、金Au微粒子203がシリコンSi微粒子204で互いに離間されるようになっていることが好ましい。こうして形成した、本発明の観察装置その1で、比較実施例において述べたものと同様に、観察対象として、シリコンSiの観察面107の111表面に、水素Hを付加させた状態のものを用いて、光吸収スペクトル特性を観察した。図5に、その本発明の観測装置その1<混成金属粒子使用>での観測結果と、比較実施例での金属粒子型観測装置での観測結果とを同時に示した。図5において、横軸は波数で、縦軸は、万力にトルクを加えたときの状態での出力光強度Rを、万力にトルクを加えない状態での出力光強度R0で規格化した値を用いて、-logR/R0を用いている。このときの光はP偏光したものを入射している。図中太線Aは、本発明の観測装置その1<混成金属粒子使用>によるもので、細線Bは、比較実施例での金属粒子型観測装置<金属粒子使用>によるものである。図5に示されているように、両線のベースラインがほぼ一致しており、これは、第1部品と第2部品間に圧力をかけ、距離Gが光波長レベルになるようにして状態観測をしたとき、両観測装置の観測面と金属粒子形成面との距離Gが略一致した状態で観測が行われていることを示している。その状況下で比較した結果は、同じ波長帯で、MおよびMO3が観察されるが、太線Aのほうが5~7倍ピークが高い。即ち、本発明の観測装置その1<混成金属粒子使用>によるもののほうが、検出感度が向上していることが解る。こうした本発明の観察装置における検出感度の向上の効果は、第2部品の材料および同時に混成金属粒子を形成する材料として、上記のシリコンSiのほかに、ゲルマニウムGe、セレン化亜鉛ZnSe、臭化カリウムKBrなどを適用することが可能である。また、混成金属粒子における金属としては、上記の金Au以外に白金Ptも適用できる。本発明の観察装置の検出感度の向上は、図5のような第2部品の材料の微粒子と金属微粒子で混成金属粒子を作って行う方法以外に、第2部品中に離散して金属粒子を半ば埋め込み、金属粒子が一部露出しつつ第2部品の材料中に存在するようにしても良い。実施例その2図6に、そうした、本発明の観察装置その2300の、一部断面の模式図を示す。本発明の観察装置その2300は、基本的な構成は、図1で示した金属粒子型観察装置100および本発明の観察装置その1200と同様であるが、第1部品104の観察面107と距離Gを隔てて相対する、第2部品106の面に形成された、複数の粒子からなる、埋め込み金属粒子301と、これを含む本発明の観察セルその2302の個所が異なる。本発明の観察装置その2300の実施構成は、第1部品104、第2部品106に、シリコンSiを用い、観察面107はSiの111面を使用した。第1部品104の観察面107に相対する、第2部品106の表面に埋め込み金属粒子301が形成される。埋め込み金属粒子301の拡大図a、bを図6の左下に示す。埋め込み金属粒子301の形成は、例えば、拡大図aの様に、第2部品106の表面を、ウエットあるいはドライエッチングなどの手法で作成された離間する多数の微小半球形の開口部に、埋め込み用金属粒子303を埋め込む手法や、拡大図bの様に、第2部品106の表面に間隔を空けた複数のV溝304を形成し、その中に離間して埋め込み用金属粒子303をはめ込む手法などが適用可能である。観察装置その2300においても、観察装置その1300と同様に、複数の金属粒子が第2部品の材料によって互いに離間して形成された構成をとることで、図5で示したのと同様な、高い検出感度を有する観察装置を実現することができる。図7は、本発明の観察装置が、比較実施例のそれに比べ、検出感度の向上が見られる現象を検討するための図である。図7aは、比較実施例の場合で、金属粒子105は第2部品106の表面上に接して形成されていて、観察面107からのエバネッセント波と金属粒子中に局在するプラズモンと結合して共鳴する過程において、垂直方向の結合度合い係数RVと水平方向の結合度合い係数Rhとがほほ同等になっているとみられる。上記共鳴強度即ち吸収スペクトル検出感度は垂直方向結合のみの効果である。図7b-1は、本発明の観察装置その1200の混成金属粒子201の部分拡大図であり、図7b-2は、本発明の観察装置その2300の埋め込み金属粒子301の部分拡大図である。金属粒子203、204それぞれに隣接するものは、第2部品の材料の粒子204あるいは第2部品106そのものである。その結果、垂直方向の結合度合い係数RVのほうが水平方向のそれに比し、より増大するといった効果が生じ、共鳴強度即ち吸収スペクトル検出感度は垂直方向のみの効果であることと相俟って、検出感度の大幅向上がなされたものと考えることができよう。実施例観察装置システム図8に、本発明の観察装置その1あるいは観察装置その2を用い、自動的ないしは効率的に、微細な分子構造などの状態観察を、局在プラズモン共鳴の吸収スペクトルを通して、高感度に観察可能な観察装置システム400の構成を示す。観察装置システム400は、大別して、例えば、観察セルその1202を用いた本発明の観察装置その1または本発明の観察装置その2、システム全体と個別装置とを制御する制御装置401、光の分光検出関係を行う赤外分光装置402、および第1部品104と第2部品106間の距離Gを、例えば万力などで圧力Prを加えて制御する距離制御装置403からなる。赤外分光装置402は赤外光源404から得た光を分光器405で分波し、かつ偏光制御装置406で偏光した光108を本発明の観察装置に入射させる。観察面107で全反射した光を検出器407で受けることで、任意の波長の任意の偏光波の検出器到達光強度を測定できる。こうして、制御装置でシステム全体を制御し、距離制御装置を制御して、例えば、圧力無し、即ち万力強度0、よって距離Gが波長レベルより離れている状態の検出光強度R0と、圧力をかけ距離Gが波長レベル以下の、共鳴が生じている状態の検出光強度Rを得れば、先に図5に示したデータを得ることができ、その吸収波長から観察面107上ないし近傍の状態を観察することができる。なお、図8に示した赤外分光装置402は、回折格子を用いた分散型赤外分光装置をイメージした構成を示してが、この赤外分光装置402として、レーザ光による波数モニタ、移動鏡をもつ干渉計およびコンピュータ処理部を有するフーリエ変換型赤外分光装置についても適用可能であることは言うまでも無い。以上の実施例を含む実施の形態に関し、以下の付記を開示する。付記1観察対象である観察面を有する第1部品と、前記観察面から距離をおいて設けられた第2部品と、前記観察面に対向した前記第2部品の面上に、複数の金属粒子が前記第2部品の材料によって互いに離間して形成された金属粒子形成部と光を、前記第1部品を介して前記観察面に照射する照射部と、前記観察面を反射した前記光から、前記観察面上ないしその近傍の状態観察をする観察部と、を備え、前記第1部品および前記第2部品は、前記観察面と前記金属粒子形成部が前記光の電磁場内となるように、前記観察面および前記金属粒子形成部を保持することを特徴とする観察装置。付記2前記金属粒子形成部は、前記複数の金属粒子が、前記第2部品の材料中に一部表出するように埋め込まれることによって互いに離間して形成されていることを特徴とする付記1記載の観察装置。付記3前記観察部は、前記光のうち前記観察面と前記金属粒子形成部との配置方向に偏光した光から前記状態観察をすることを特徴とする付記1または2記載の観察装置。付記4前記光は、前記第1部品を通過した後前記観察面で全反射し、前記全反射した前記光は前記第1部品を通過した後、前記観察部に至ることを特徴とする付記1または2記載の観察装置。付記5前記第1部品および前記第2部品は、前記観察面および前記金属粒子形成部を前記光のエバネッセント場内に保持することを特徴とする付記4記載の観察装置。付記6前記観察部は、前記観察面を反射した前記光の吸収スペクトルから前記観察面上ないしその近傍の状態観察をすることを特徴とする付記1ないし5のいずれかに記載の観察装置。付記7前記金属粒子は、金Auまたは白金Ptであることを特徴とする付記1ないし6のいずれかに記載の観察装置。付記8前記第1部品の材料は、シリコンSi、ゲルマニウムGe、セレン化亜鉛ZnSe、臭化カリウムKBrのうちの1つであることを特徴とする付記1ないし7のいずれかに記載の観察装置。