"帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出装置であって、回転可能な一対の金属ローラと、当該各金属ローラに架け渡された状態の前記検出対象体を移動させる移動機構と、当該各金属ローラの近傍に配置されると共に高周波信号で駆動して磁界の強度に応じた電気信号を出力する磁気センサと、当該磁気センサから出力される前記電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する検出部とを備えている金属検出装置。前記金属ローラは、電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって回転可能に支持されて、電気的にフローティング状態に維持されている請求項1記載の金属検出装置。帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出方法であって、回転可能な一対の金属ローラに架け渡した状態の前記検出対象体を移動させ、当該各金属ローラの近傍に配置した高周波信号で駆動する磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する金属検出方法。電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって前記金属ローラを回転可能に支持して、前記金属ローラを電気的にフローティング状態に維持する請求項3記載の金属検出方法。ところが、従来の異物検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この異物検査装置では、異物の反射率の相違に起因する明暗部分明るい部分または暗い部分の有無に基づいて被検査対象内における異物の有無を判定している。この場合、異物の反射率は、異物の材質の相違金属か非金属かの相違だけに起因するものではなく、異物の大きさや形状によって大きく相違する。このため、従来の異物検査装置には、異物の大きさや形状によっては、異物を検出できないおそれがある。一方、電子部品の絶縁材料として用いるフィルムは、僅かな金属の異物が存在しているだけで電子部品の性能に大きな影響を与えることとなる。このため、このようなフィルムの検査に当たっては、どんな微細な金属の異物であっても見逃すことなく確実に検出することが要求される。しかしながら、従来の異物検査装置では、上記したように、異物の大きさや形状によってはその異物を検出できないおそれがあり、この点の改善が望まれている。本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、金属の異物を確実に検出し得る金属検出装置および金属検出方法を提供することを主目的とする。上記目的を達成すべく請求項1記載の金属検出装置は、帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出装置であって、回転可能な一対の金属ローラと、当該各金属ローラに架け渡された状態の前記検出対象体を移動させる移動機構と、当該各金属ローラの近傍に配置されると共に高周波信号で駆動して磁界の強度に応じた電気信号を出力する磁気センサと、当該磁気センサから出力される前記電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する検出部とを備えている。また、請求項2記載の金属検出装置は、請求項1記載の金属検出装置において、前記金属ローラは、電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって回転可能に支持されて、電気的にフローティング状態に維持されている。また、請求項3記載の金属検出方法は、帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出方法であって、回転可能な一対の金属ローラに架け渡した状態の前記検出対象体を移動させ、当該各金属ローラの近傍に配置した高周波信号で駆動する磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する。また、請求項4記載の金属検出方法は、請求項3記載の金属検出方法において、電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって前記金属ローラを回転可能に支持して、前記金属ローラを電気的にフローティング状態に維持する。請求項1記載の金属検出装置、および請求項3記載の金属検出方法では、回転可能な一対の金属ローラに架け渡した帯状の検出対象体を移動させ、各金属ローラの近傍に配置した高周波信号で駆動する磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて検出対象体内の金属の異物を検出する。このため、この金属検出装置および金属検出方法によれば、検出対象体内に金属の異物が存在するときには、その大きさや形状に拘わらず、高周波信号の供給に伴って磁気センサから発生される励磁用の磁界によってその金属の異物に渦電流が発生し、それに伴う磁界の影響を受けて磁界の強度が変化する結果、検出したこの磁界の強度の変化、つまり磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて、検出対象体に混入している金属の異物の大きさや形状に拘わらず、その金属の異物を確実に検出することができる。また、請求項2記載の金属検出装置、および請求項4記載の金属検出方法によれば、電気的に絶縁した状態で支持台に固定した軸受によって金属ローラを回転可能に支持し、金属ローラを電気的にフローティング状態に維持することにより、金属ローラに発生した渦電流を放電させることなく、渦電流の変動を小さく抑えることができる。このため、渦電流による磁界の変動を小さく抑えて、ノイズを小さく抑えることができる結果、検出対象体に金属の異物が混入しているときには、その金属の異物における渦電流の発生に伴う磁界の影響を受けた磁界の強度の変化を確実に検出することができる。以下、金属検出装置および金属検出方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。最初に、金属検出装置1の構成について説明する。図1に示す金属検出装置1は、一例として幅が60cm程度の帯状に形成された絶縁性を有する樹脂フィルム検出対象体100内における金属の異物を検出する金属検出装置の一例であって、フィルム移動部2、処理部3および制御部4を備えて構成されている。フィルム移動部2は、図2に示すように、支持台11、一対の金属ローラ12,12、一対の軸受13、複数この例では4つのガイドローラ14、および移動機構15を備えて構成されている。支持台11は、金属等の導電性材料で板状に構成されている。金属ローラ12,12は、導電性を有する金属によって円筒状または円柱状に形成されている。また、金属ローラ12,12は、軸受13によって回動可能に支持され、軸受13を介して支持台11に取り付けられている。この金属ローラ12,12は、掛け渡された樹脂フィルム100を皺の発生のない平坦な状態に維持する機能を有している。軸受13は、図3に示すように、金属ローラ12の端部を支持する金属製のベアリング51を有する金属製の本体部52、本体部52と支持台11との間に配設される絶縁性材料で形成された絶縁板53、金属製のボルト54、および絶縁性材料で形成されたワッシャ55を備えて構成されている。また、本体部52には、ボルト54を挿通させるための挿通孔52aが形成され、その挿通孔52aには、絶縁性材料で形成されたスリーブ56が挿入されている。この軸受13は、本体部52と支持台11との間に絶縁板53を挟んだ状態で本体部52がボルト54によって支持台11に固定され、本体部52と支持台11との間が、絶縁板53、ワッシャ55およびスリーブ56によって電気的に絶縁されている。このため、この軸受13によって支持されている金属ローラ12は、他のいずれの部材の電位からも電気的に絶縁されたいわゆるフローティング状態に維持されている。各ガイドローラ14は、金属によって円筒状または円柱状に形成されている。また、各ガイドローラ14は、図2に示すように、巻心71に巻き取られた状態の樹脂フィルム100が配置される位置から巻心72の配置位置に至る樹脂フィルム100の移動経路に沿って支持台11に回転可能に取り付けられて、樹脂フィルム100をガイドする。移動機構15は、図2に示すように、モータ61,62およびキャプスタンモータ63を備えて構成されている。モータ61は、制御部4の制御に従って作動して、樹脂フィルム100が巻回された巻心71を回転させることによって樹脂フィルム100を送り出す。モータ62は、制御部4の制御に従って作動して、巻心72を回転させることによって樹脂フィルム100を巻き取る。キャプスタンモータ63は、制御部4の制御に従って作動して、キャプスタン73を所定の回転速度で回転させることにより、キャプスタン73とピンチローラ74との間に挟み込まれた樹脂フィルム100を予め決められた速度一例として、10~20cm/秒程度の速度で移動させる。処理部3は、図4に示すように、磁気センサ21、交流電流出力部22および検出部23を備えて構成されている。磁気センサ21は、一例として、フラックスゲート型の磁気検出素子であって、図2に示すように、支持台11における金属ローラ12,12の近傍であって両金属ローラ12,12の中間位置に配置されてている。また、磁気センサ21は、図4に示すように、励磁用電極31、軟磁性体32および検出コイル33を備えて構成されている。励磁用電極31は、後述する励磁用の高周波交流電流Ihの供給によって励磁用の磁界Heを発生する。軟磁性体32は、軟磁性材料例えば、ケイ素鋼、パーマロイ、センダスト、パーメンジュール、ソフトフェライト、アモルファス磁性合金などによって形成されると共に、励磁用電極31の近傍に配置されて、磁界Heによって励磁される。検出コイル33は、一例として、励磁用電極31および軟磁性体32を取り囲むようにして配設されて、励磁用の磁界Heの強度、および磁界Heとは別個に外部から印加される磁界Ho同図参照:以下磁界He,Hoを区別しないときには磁界Hともいうの強度に応じた電気信号具体的には、電圧信号Svを出力する。交流電流出力部22は、制御部4の制御に従い、励磁用の高周波交流電流Ih例えば、1MHz~100MHzの正弦波電流を出力する。検出部23は、図4に示すように、検波回路41、増幅回路42および検出処理回路43を備えて構成されている。検波回路41は、磁気センサ21の検出コイル33から出力される電気信号Svを検波する以下、検波された信号を検波信号ともいう。増幅回路42は、検波信号を予め決められた利得で増幅する以下、増幅された信号を増幅信号ともいう。検出処理回路43は、増幅信号に基づいて磁界Hの強度を特定すると共に、特定した磁界Hの強度の変化つまり、電気信号Svの強度の変化に基づいて検出対象の樹脂フィルム100内の金属の異物を検出する。また、検出処理回路43は、異物の有無を示す検出信号Sdを制御部4に出力する。制御部4は、フィルム移動部2における移動機構15のモータ61,62およびキャプスタンモータ63を制御する。また、制御部4は、処理部3の交流電流出力部22および検出部23を制御する。また、制御部4は、検出部23の検出処理回路43から出力される検出信号Sdに基づき、図外の表示部に検出結果異物を検出したか否かを表示させる。次に、金属検出装置1を用いて樹脂フィルム100内の金属の異物を検出する方法金属検出方法、およびその際の金属検出装置1の動作について、図面を参照して説明する。まず、図外の操作部を操作して、樹脂フィルム100の移動速度などの各種の条件を設定し、次いで、測定の開始を指示する。この際に、制御部4が、フィルム移動部2における移動機構15のキャプスタンモータ63を制御し、設定された移動速度で樹脂フィルム100を移動させると共に、モータ61,62を制御して樹脂フィルム100の送り出しおよび巻き取りを行わせる。次いで、制御部4は、処理部3の交流電流出力部22を制御して、高周波交流電流Ihを出力させる。この際に、交流電流出力部22から出力された高周波交流電流Ihが処理部3における磁気センサ21の励磁用電極31に供給され、これにより、励磁用電極31の周囲に高周波の励磁用の磁界Heが発生する。また、この高周波の磁界Heによって軟磁性体32が励磁され、これに伴って検出コイル33に誘導起電力が生じ、これによって検出コイル33から電気信号Svが出力される。次いで、処理部3における検出部23の検波回路41が検出コイル33から出力された電気信号Svを検波して検波信号を生成し、検出部23の増幅回路42が検波信号を所定の利得で増幅して増幅信号を出力する。続いて、検出部23の検出処理回路43が、増幅回路42から出力された増幅信号に基づいて磁界Heの強度の変化つまり、電気信号Svの強度の変化を特定し、その変化具体的には、変化量や変化率に基づいて樹脂フィルム100内における金属の異物の有無を判定する検出処理を実行する。この場合、樹脂フィルム100内に金属の異物が存在するときには、励磁用電極31の周囲に発生した高周波の磁界Heによってその金属の異物に渦電流が発生し、この渦電流によって発生する磁界Hoの影響を受けて磁界Heの強度が変化する。したがって、検出処理回路43は、特定した磁界Heの強度の変化量や変化率に基づいて樹脂フィルム100内における金属の異物を検出する。次いで、検出処理回路43は、異物の有無を示す検出信号Sdを制御部4に出力する。この際に、制御部4が、検出処理回路43から出力された検出信号Sdに基づき、図外の表示部に検出結果異物を検出したか否かを表示させる。また、検出処理回路43は、樹脂フィルム100が移動している状態において上記の検出処理を連続的に実行する。この場合、樹脂フィルム100内に金属の異物が存在するときには、その大きさや形状に拘わらず、磁界Heによってその金属の異物に渦電流が発生し、それに伴う磁界Hoの影響を受けて磁界Heの強度が変化する。このため、この金属検出装置1では、樹脂フィルム100に混入している金属の異物の大きさや形状に拘わらず、その金属の異物を確実に検出することが可能となっている。一方、金属ローラ12と磁気センサ21との距離が短いときには、励磁用電極31の周囲に発生した磁界Heによって金属ローラ12の表面にも渦電流が発生し、この渦電流に伴って磁界Hoが発生するため、この磁界Hoの影響を受けた磁界Heの強度の変化が金属の異物の存在として誤って検出されるおそれがある。このような、金属ローラ12に発生する渦電流に伴う磁界Hoの影響を排除する対策としては、軸受13を介して金属ローラ12を基準電位グランド電位に接続して、金属ローラ12に発生した渦電流を基準電位側に放電する方法が考えられる。しかしながら、発明者は、このように軸受13を介して金属ローラ12を基準電位に接続する方法では、金属ローラ12の渦電流に伴う磁界Hoの影響を排除することが困難なことを発見した。そこで、発明者は、この金属検出装置1および金属検出方法において、金属ローラ12を支持している軸受13の本体部52と支持台11とを電気的に絶縁して、金属ローラ12を電気的にフローティング状態に維持する構成および方法を採用した。このため、この金属検出装置1および金属検出方法では、金属ローラ12の渦電流に伴う磁界Hoの影響が排除されて、金属の異物を正確に検出することが可能となっている。発明者は、金属ローラ12を電気的にフローティング状態に維持した構成を採用した金属検出装置1の効果を確認するため、次のような実験を行った。この実験では、実施例として、アルミニウムで形成した支持台11を用いると共に、アルミニウムで形成した直径が70mmの金属ローラ12、金属製のベアリング51、金属製の本体部52、金属製のボルト54、および厚さが5mmのポリアセタール樹脂製の絶縁板53を用いて軸受13を構成して、金属ローラ12をフローティング状態とした。なお、金属ローラ12と支持台11との間のインピーダンスは、20MHzにおいて150Ωであった。また、図2に示すように、2つの金属ローラ12,12の間の長さL1を100mmに規定し、磁気センサ21の先端から2つの金属ローラ12,12の中心を結ぶ直線までの長さL2を35.3mmに規定した。さらに、支持台11を基準電位グランド電位に接続した。また、比較例として、上記した実施例における絶縁板53を取り除いて軸受13の本体部52を支持台11に固定してフィルム移動部2を構成した。また、図2に示すように、上記した実施例および比較例の各フィルム移動部2における磁気センサ21の近傍に実験用の導線200を配置し、その導線200に対して10Hzの実験用の低周波交流電流It図5参照を供給して、10Hzの低周波で強度が変化する磁界Hoを発生させた。また、磁気センサ21の励磁用電極31に対して、20MHzの高周波交流電流Ihを供給した。この状態において、樹脂フィルム100を15cm/秒の速度で移動させ、そのときに検出部23の増幅回路42から出力された電気信号増幅信号を測定し、その信号波形を表示させた。この実験の結果、比較例では、図6に示すように、大きな振幅のノイズが重畳した信号波形が表示された。この結果から、比較例では、低周波交流電流Itに起因する低周波の磁界Hoの強度の変化に応じた磁界Heの変化がノイズに埋もれてノイズに掻き消されて、磁界Hoの強度の変化に起因する磁界Heの強度の変化を検出することができないことが明らかである。比較例において大きなノイズが重畳する要因は、次のように考えられる。すなわち、金属ローラ12は、軸受13のベアリング51の内輪、ベアリング51のボール、ベアリング51の外輪、軸受13の本体部52、および支持台11を介して基準電位に接続されている。この場合、ベアリング51の内輪とベアリング51のボールとの間、およびベアリング51のボールとベアリング51の外輪との間は点的に接触している。また、樹脂フィルム100の移動に伴う金属ローラ12の回転によって軸受13のベアリング51が回転するときには、ベアリング51内における上記の点的に接触している部分が移動し、これに伴って接触面積も変化するものと考えられる。この場合、接触面積の僅かな変化によっても、その接触部分の接触抵抗は、大きく変化する。このため、この接触抵抗の変動によって金属ローラ12に発生した渦電流の基準電位側への放電量が変動し、これに伴って磁界Hoの強度が変動し、これがノイズとして現れるものと考えられる。一方、実施例では、図7に示すように、大きな振幅のノイズの重畳が少なく、低周波交流電流Itと同じ低周波の信号波形に高周波交流電流Ihと同じ高周波の信号波形が重畳した信号波形が表示された。この結果から、実施例では、低周波の磁界Hoの強度の変化に応じて影響を受けて磁界Heの強度が変化し、その強度の変化を検出することができることが明らかである。実施例においてノイズの重畳が少ない要因は、次のように考えられる。すなわち、実施例では、金属ローラ12がフローティング状態に維持されているため、金属ローラ12に発生した渦電流が放電されず、このため渦電流の変動が小さく抑えられることとなる。したがって、渦電流による磁界Hoの強度の変動が小さく抑えられて、ノイズが小さく抑えられる。このことから、金属ローラ12をフローティング状態に維持することで、樹脂フィルム100に金属の異物が混入しているときには、その金属の異物における渦電流の発生に伴う磁界Hoの影響を受けた磁界Heの強度の変化を確実に検出できることが明らかである。このように、この金属検出装置1および金属検出方法では、回転可能な一対の金属ローラ12に架け渡した帯状の樹脂フィルム100を移動させ、各金属ローラ12の近傍に配置した磁気センサ21から出力される電気信号Svの強度の変化に基づいて樹脂フィルム100内の金属の異物を検出する。このため、この金属検出装置1および金属検出方法によれば、樹脂フィルム100内に金属の異物が存在するときには、その大きさや形状に拘わらず、磁界Heによってその金属の異物に渦電流が発生し、それに伴う磁界Hoの影響を受けて磁界Heの強度が変化する結果、検出したこの磁界Heの強度の変化、つまり磁気センサ21から出力される電気信号Svの強度の変化に基づいて、樹脂フィルム100に混入している金属の異物の大きさや形状に拘わらず、その金属の異物を確実に検出することができる。また、この金属検出装置1および金属検出方法によれば、電気的に絶縁した状態で支持台11に固定した軸受13によって金属ローラ12を回転可能に支持し、金属ローラ12を電気的にフローティング状態に維持することにより、金属ローラ12に発生した渦電流を放電させることなく、渦電流の変動を小さく抑えることができる。このため、渦電流による磁界Hoの変動を小さく抑えて、ノイズを小さく抑えることができる結果、樹脂フィルム100に金属の異物が混入しているときには、その金属の異物における渦電流の発生に伴う磁界Hoの影響を受けた磁界Heの強度の変化を確実に検出することができる。なお、金属検出装置1および金属検出方法は上記の構成および方法に限定されない。例えば、フラックスゲート型の磁気センサ21を用いる構成および方法について上記したが、MI磁気インピーダンスセンサを用いた構成および方法を採用することもできる。また、軸受13の本体部52を絶縁した状態で支持台11に固定する構成および方法は、上記した構成および方法に限定されない。なお、以下の説明において上記した軸受13と同じ構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。具体的には、例えば、図8に示す軸受313のように、樹脂等の絶縁性材料で形成した支持台311に対して、ボルト54を用いて本体部52を固定する構成および方法を採用することができる。また、図9に示す軸受413のように、金属製のボルト54に代えて、樹脂等の絶縁性材料で形成したボルト57を備え、本体部52と支持台11との間に絶縁板53を挟んだ状態で、ボルト57によって本体部52を支持台11に固定する構成および方法を採用することもできる。また、図10に示す軸受513のように、ボルト54を用いて絶縁板53を支持台11に固定し、絶縁板53を貫通しない程度の長さのボルト58を用いて絶縁板53に対して本体部52を固定する構成および方法を採用することもできる。これらの軸受313~513を採用した構成においても、金属ローラ12をフローティング状態に維持することができるため、上記した効果と同様の効果を実現することができる。また、金属製のベアリング51に代えて、絶縁性を有するセラミック製のベアリングを用いた構成を採用することもできる。"