"入力軸を支承する固定部材と、前記固定部材に支承された出力軸と、太陽歯車と該太陽歯車に噛合する遊星歯車と該遊星歯車に噛合する内歯車と前記遊星歯車を軸支するキャリアとを備え前記入力軸と出力軸との間に構成された遊星歯車型減速機構と、前記入力軸と出力軸との間に構成されたマグネット式トルクリミッターとを備え、前記遊星歯車型減速機構を複数段設け、最終段の減速機構を含む少なくとも2段の減速機構の構成要素である内歯車を少なくとも2段の遊星歯車型減速機構にまたがった一体構成とし、第1段目の減速機構は、入力軸に相当するモータの回転軸に太陽歯車を設け、該太陽歯車に遊星歯車を噛合せしめ、該遊星歯車に内歯車を噛合せしめ、前記遊星歯車を軸支するキャリアを設けた構成とし、第2段目以後の減速機構は直前の段の減速機構のキャリアに太陽歯車を設け、該太陽歯車に遊星歯車を噛合せしめ、該遊星歯車に内歯車を噛合せしめ、前記遊星歯車を軸支するキャリアを設けた構成とし、前記マグネット式トルクリミッターは、最終段の減速機構を含む少なくとも2段の減速機構の構成要素である前記内歯車に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれか一方を設け、前記固定部材に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれか他方を設け、該永久磁石と半硬質磁性体とを対向配置した構成としたことを特徴とするマグネット式トルクリミッター付き遊星歯車型減速機。DCモータの軸に複数段から成る遊星歯車型減速機構を組み込んで大減速比の基で出力する多段式減速機において、最終段の減速機構より前の減速機構の構成要素である内歯車に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれが一方を設け、固定部材に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれが他方を設けた構成とした場合、スリップ時において、永久磁石と半硬質磁性体との中の回転側の回転速度が大きくなり、即ち、永久磁石と半硬質磁性体との間のヒステリシス損失が大きくなって、その結果、熱の発生要因となる。熱の発生が大きい場合には、使用される歯車その他の構成部品は、当然に熱に強い材料で構成する必要があり、安価な樹脂等の使用ができない。その結果、製造コストが高いものとなってしまう。本発明は上記問題点を解決することを目的とする。上記目的を達成するため本発明は、入力軸を支承する固定部材と、前記固定部材に支承された出力軸と、太陽歯車と該太陽歯車に噛合する遊星歯車と該遊星歯車に噛合する内歯車と前記遊星歯車を軸支するキャリアとを備え前記入力軸と出力軸との間に構成された遊星歯車型減速機構と、前記入力軸と出力軸との間に構成されたマグネット式トルクリミッターとを備え、前記遊星歯車型減速機構を複数段設け、最終段の減速機構を含む少なくとも2段の減速機構の構成要素である内歯車を少なくとも2段の遊星歯車型減速機構にまたがった一体構成とし、第1段目の減速機構は、入力軸に相当するモータの回転軸に太陽歯車を設け、該太陽歯車に遊星歯車を噛合せしめ、該遊星歯車に内歯車を噛合せしめ、前記遊星歯車を軸支するキャリアを設けた構成とし、第2段目以後の減速機構は直前の段の減速機構のキャリアに太陽歯車を設け、該太陽歯車に遊星歯車を噛合せしめ、該遊星歯車に内歯車を噛合せしめ、前記遊星歯車を軸支するキャリアを設けた構成とし、前記マグネット式トルクリミッターは、最終段の減速機構を含む少なくとも2段の減速機構の構成要素である前記内歯車に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれか一方を設け、前記固定部材に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれか他方を設け、該永久磁石と半硬質磁性体とを対向配置した構成としたものである。本発明は、最終段の減速機構を含めた少なくとも2段にまたがった内歯車に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれが一方を設け、前記固定部材に永久磁石若しくは半硬質磁性体のいずれが他方を設けた構成としたので、永久磁石と半硬質磁性体との中の回転側の回転速度が小さくなり、即ち、永久磁石と半硬質磁性体との間のヒステリシス損失が小さくなって、その結果、熱の発生を最小限に抑えることができる。従って、熱に弱いとされる材料の使用が可能となり、その結果、製造コストを最小限に抑えることができる。また、内歯車は一体であるため、ケースの形状を単純化でき、コストダウンが図れる。以下に本発明の実施の形態を添付した図面を参照して詳細に説明する。図1は、2段減速機構の1段目と2段目にマグネット式トルクリミッターを設けた実施形態を示し、図中、2は被減速装置でありこれのケースには、マグネット式トルクリミッター付き遊星歯車型減速機4のカバー6が固定されている。前記被減速装置2の出力軸からなる入力軸7に太陽歯車8が固定されている。10は、本減速機4のケースであり、これの内径部に軸受12が固定され、該軸受12に、出力軸14が回転自在に支承されている。前記ケース10には、カバー6が固定され、該カバー6とケース10は、固定部材11を構成している。20aは、2段減速機構の1段目と2段目にまたがって配置された筒状の半硬質磁性体であり、これの外周面が前記ケース10の内周面に嵌合し、該ケースに固定されている。22aは2段減速機構の1段目と2段目にまたがって配置されたリング状の永久磁石からなる内歯車であり、該内歯車22aは、前記半硬質磁性体20aの内周面に対して径方向に所定のわずかな隙間を持って配置され、内歯車22aと半硬質磁性体20aとの間にヒステリシストルクが作用するように構成されている。26,28は弾性を備えたOリングからなる振れ止め部材であり、一方の振れ止め部材26は、前記内歯車22aの軸方向側の一側面と前記ケース10の内径部に形成された係止面との間に配置され、他方の振れ止め部材28は、内歯車22aの他側面と前記カバー6の係止面との間に配置され、該振れ止め部材26,28は、前記固定部材11側の定位置に前記内歯車22aを保持し、且つ、内歯車22aの両側面と固定部材11側との対向部を密封している。30は前記入力軸7と出力軸14に回転自在に支承された第1のキャリアであり、キャリアピン32に遊星歯車34が回転自在に支承されている。前記遊星歯車34の一方側は、前記内歯車22aの内歯に噛み合い、他方側は、前記太陽歯車8と噛み合っている。前記内歯車22aは、出力軸14が止められる等、出力軸14側からこれに所定の大きさを超える負荷トルクが付与されると、前記内歯車22aと半硬質磁性体20aとの間のヒステリシストルクによる磁気保持力に抗して、ケース10に対して非接触状態でスリップ回転し、この負荷トルクが所定の値に達しない状態では、内歯車22aは、ケース10に対して、前記ヒステリシストルクにより、固定された非回転状態を保持するように構成されている。前記キャリア30の盤状部に穿設された孔には管状のすべり軸受け31が固着され、該すべり軸受31は、前記入力軸7とこれと同軸線上に対向配置された出力軸14の小径部に回転自在に嵌合している。前記入力軸7と出力軸14の中心軸線は、ケース10の内周面の軸心と一致し、前記キャリア30は、該軸心を中心として回転可能に構成されている。前記すべり軸受31の外周面には一体的に太陽歯車44が構成されている。前記出力軸14には第2のキャリア36が固定され、キャリアピン38に遊星歯車40が回転自在に支承されている。前記遊星歯車40の一方側は、前記内歯車22aの内歯に噛み合い、他方側は、前記太陽歯車44と噛み合っている。上記した構成において、入力軸7が回転すると、太陽歯車8が同速で回転し、この回転は遊星歯車34に伝達される。遊星歯車34は、キャリアピン32を回転軸として自転するとともに、内歯車22aが半硬質磁性体20aとの間のヒステリシストルクを介して固定部材11側に固定されているので、内歯車22aに沿って且つケース10の内周面の軸心を中心として、公転する。遊星歯車34が公転することでキャリア30がケース10の内周面の軸心を中心として回転し、太陽歯車44が回転する。この太陽歯車44の回転により、遊星歯車40はキャリアピン38を回転軸として回転するとともに、内歯車22aに沿って公転する。遊星歯車40が公転することで第2のキャリア36が回転し、出力軸14から所定の減速比で減速された出力が取り出される。DCモータの駆動による入力軸7の回転中、出力軸14にかかる負荷に応じて内歯車22aには、キャリアピン32を支点とする遊星歯車34の回転トルクと、これと同じ回転方向の、キャリアピン38を支点とする遊星歯車40の回転トルクが作用する。出力軸14にかかる負荷が、所定の大きさを超えないうちは、内歯車22aは、遊星歯車34,40からの回転トルクによってスリップすることなく、内歯車22aと半硬質磁性体20aとの間に作用する磁気保持力によって、固定部材11に対して固定された状態を保持する。一方、何らかの原因で、出力軸14が止められる等、出力軸14に所定以上の負荷即ちスリップトルク以上の負荷がかかると、この負荷により遊星歯車34,40の内歯車22aに対する回転トルクが増大し、この回転トルクにより、内歯車22aが半硬質磁性体20aとの間に作用するヒステリシストルクに抗して半硬質磁性体20に対して非接触状態でスリップ回転する。これにより出力軸14の回転が停止し、遊星歯車40の公転運動が阻止される。一方、太陽歯車8の回転は遊星歯車34に伝達され、遊星歯車34が回転する。遊星歯車34が回転すると、遊星歯車34は、内歯車22aに対して公転運動し、この公転運動によって、第1のキャリア30が回転し、この回転が遊星歯車40に伝達され、遊星歯車40が第2のキャリア36のキャリアピン38を中心として回転する。この遊星歯車40の回転力と他方の遊星歯車34の回転力との総合回転力により、内歯車22aは半硬質磁性体20aとの間のヒステリシストルクに抗してケース10の内周面に沿って非接触状態でスリップ回転しこのスリップ回転を出力軸14にかかる負荷がスリップトルク以下になるまで続ける。この内歯車22aの固定部材11に対する非接触状態でのスリップ回転中、遊星歯車34は、キャリアピン32を中心として自転しながら内歯車22aのスリップ回転に対して逆方向に、該内歯車22aに対して公転運動をする。上記内歯車22aのスリップ回転により、DCモータに過負荷がかかるのを防止することができる。尚、内歯車22aの非接触状態でスリップ回転中、太陽歯車8と連動して高速で回転する遊星歯車34の内歯車22aに対する相対回転運動は、該遊星歯車34の、内歯車22aの固定部材11に対するスリップ回転運動とは逆方向の公転運動によって減速される。その結果、後段の減速された遊星歯車40の内歯車22aに対する相対回転運動と、遊星歯車34の内歯車22aに対する相対回転運動は同速となり、2個の遊星歯車40,34の回転によって、内歯車22aが固定部材11に対して非接触状態でスリップ回転する。前記遊星歯車34は、すべり軸受31によってケース10の軸心即ち入力軸7及び出力軸14の中心軸線に対して径方向に一定の間隔を存した位置にしっかりと支持される。そのため、遊星歯車40と遊星歯車34の回転により、これに噛み合う内歯車22aがスリップ回転するとき、この回転の軌跡は、ケース10の軸心を中心とした真円となり、内歯車22aの、半硬質磁性体20との対向面は、略一定の軌跡を形成する。これにより、内歯車22aの、半硬質磁性体20aの内周面との間隔が変化することがなく、従って、内歯車22aの伝達トルクが常に一定となりバラツキが生じることがない。また、前記内歯車22aの半硬質磁性体20aの内周面に沿った非接触状態でのスリップ回転中、内歯車22はその両側面が振れ止め部材26,28によって軸方向の移動が規制され、横ぶれが阻止される。出力軸14に逆回転方向にスリップトルク以上の負荷がかかり、出力軸14が逆転した場合も同様に、逆方向に公転するキャリアピン38,32を支点として、遊星歯車40,34の回転トルクが内歯車22aに作用し、これら遊星歯車40,34からの回転トルクにより内歯車22aは、半硬質磁性体20aとの間に作用するヒステリシストルクに抗してスリップ回転する。これにより、出力軸14が外部回転力により逆回転してもDCモータに過負荷がかかることがない。本実施形態は、内歯車22aの軸方向の両側に振れ止め部材26,28を対向配置する構成に限定されるものではなく、一方の振れ止め部材28又は26のみでも良く、内歯車22aの一側面を直接、該一側面に対面するケース10の内径部又はカバー6の、軸方向に垂直な平滑面を有する係止面に対接させる構成としても良い。また、内歯車22aの両側面を直接固定部材11側の壁面に回転自在に対接させても良い。なお、本発明の実施に際しては、内歯車22aを半硬質磁性体で構成し、半硬質磁性体20aを永久磁石としても良い。また、本実施形態では、内歯車22aはその本体部分と歯の部分を一体的に構成しているが、図2に示すように、永久磁石または半硬質磁性体からなる内歯車22aの本体部分22a’と金属材料等からなる歯の部分22a’’を別の部材により構成し、これらを一体的に固着しても良い。図1に示す実施形態では、マグネット式トルクリミッターを構成する内歯車22aに噛み合う遊星歯車34を軸支するキャリア30を入力軸7と出力軸14の両軸に回転自在に軸受け支持しているが、マグネット式トルクリミッターを構成する内歯車に噛み合う遊星歯車を軸支するキャリアを入力軸に回転自在に軸受け支持した構成としてもよい。入力軸7と出力軸14とを同軸上に対向配置し、該入力軸7と出力軸14とを連結部材により軸受支持し、マグネット式トルクリミッターを構成する内歯車に噛み合う遊星歯車を軸支するキャリアを、入力軸に回転自在に軸受支持する構成では、入力軸は固定部材側ケース10に対して一体的なカバー6に対して軸受支持されているのであって、その入力軸にキャリアを軸受支持することによって、キャリアは固定部材側に対して偏芯回転せず、従って、そのキャリアのキャリアピンに軸支された遊星歯車の公転は固定部材側に対して偏芯回転しない。即ち、この遊星歯車に噛み合う内歯車も固定部材側に対して偏芯回転しないので、内歯車と固定部材側即ち半硬質磁性体との間におけるスリップ回転中の間隔は一定に保持され、製品によるバラツキがなく、安定的なものとなる。また、入力軸と出力軸とを同軸上に対向配置し、該入力軸と出力軸とを連結部材により軸受支持し、マグネット式トルクリミッターを構成する内歯車に噛み合う遊星歯車を軸支するキャリアを、当該連結部材と-体的とし、これによって、上記キャリアを、上記入力軸及び出力軸に回転自在に軸受支持する構成では、入力軸と出力軸とは、軸受部材によって偏芯なく軸受支持されており、その入力軸と出力軸とにキャリアが支持されているため、キャリアは固定部材側に対して偏芯回転せず、従って、そのキャリアのキャリアピンに軸支された遊星歯車の公転は固定部材側に対して偏芯回転しない。即ち、この遊星歯車に噛み合う内歯車も固定部材側に対して偏芯回転しないので、内歯車と固定部材側即ち半硬質磁性体との間におけるスリップ回転中の間隔は一定に保持され、製品によるバラツキがなく、安定的なものとなる。入力軸と出力軸とを同軸上に対向配置し、該入力軸と出力軸とを連結部材により軸受支持し、マグネット式トルクリミッターを構成する内歯車に噛み合う遊星歯車を軸支するキャリアを、上記出力軸に回転自在に軸受支持する構成では、入力軸と出力軸とは、軸受部材によって偏芯なく軸受支持されており、即ち、出力軸は入力軸に対して偏芯回転しない。そして、その出力軸にキャリアが支持されているため、キャリアは固定部材側に対して偏芯回転せず、従って、そのキャリアのキャリアピンに軸支された遊星歯車の公転は固定部材側に対して偏芯回転しない。即ち、この遊星歯車に噛み合う内歯車も固定部材側に対して偏芯回転しないので、内歯車と半硬質磁性体との間におけるスリップ回転中の間隔は、一定に保持され、製品によるバラツキがなく、安定的なものとなる。"