液体20を貯留する貯留タンク11と、前記貯留タンク11内の前記液体20に超音波を印加して気泡21を発生させる超音波発生部14と、前記貯留タンク11内に設けられ、且つ該貯留タンク11内の前記液体20中に生じた前記気泡21内に放電を生起して該液体20中に水酸ラジカルを生成させる電極対13a13bと、前記電極対13a13bに電圧を印加する電源12とを備え、前記超音波発生部14は、前記貯留タンク11内の前記液体20に超音波を照射することによって、該液体20中に生成した水酸ラジカルが変化して生成する該液体20中の過酸化水素を水酸ラジカルに変換させることを特徴とする浄化装置。請求項1において、前記超音波発生部14は、前記電極対13a13bに挟まれた領域の下側に設けられていることを特徴とする浄化装置。請求項1又は2において、前記貯留タンク11内の前記液体20中における過酸化水素の濃度を所定の範囲内に保持できるように、前記超音波発生部14及び前記電源12の少なくとも一方の動作を制御する制御部18をさらに備えていることを特徴とする浄化装置。請求項3において、前記制御部18は、前記貯留タンク11内の前記液体20中における過酸化水素の濃度が所定の上限値に達したら前記電源12をオフし、該過酸化水素の濃度が所定の下限値に達したら該電源12をオンすることを特徴とする浄化装置。請求項4において、前記制御部18は、前記電源12をオンにしている間、前記超音波発生部14により印加される超音波の周波数を第1の周波数に設定し、前記電源12をオフにしている間、該超音波の周波数を前記第1の周波数よりも高い第2の周波数に設定することを特徴とする浄化装置。請求項1~5のいずれか1項において、前記貯留タンク11は、前記液体20を注入するための注入口11aと、前記液体20を外部へ供給するための供給口11bとを有することを特徴とする浄化装置。請求項6において、前記供給口11bに、該供給口11bを通過する前記液体20を加熱するための加熱部25が設けられていることを特徴とする浄化装置。しかしながら、従来の液処理装置においては、放電によって殺菌力の高い水酸ラジカルを生成しているものの、この水酸ラジカル同士は短時間に自然に結合して、水酸ラジカルよりも殺菌力の低い過酸化水素に変化してしまうため、殺菌力の高い水酸ラジカルを十分に活用できず、所望の浄化効果を得ることが難しかった。本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、液体の浄化を効果的に行うことができる浄化装置を提供することを目的とする。前記の目的を達成するために、本願発明者らは種々の検討を行った結果、放電によって生じた水酸ラジカル同士が結合して生じた過酸化水素に超音波を印加すると、過酸化水素を分解して再び水酸ラジカルに戻すことができることを見出した。また、超音波の印加により液中に気泡が発生し、この気泡を含む液中に電圧を印加することによって、効果的に放電を発生させることができることも見出した。本発明は、以上の知見に基づきなされたものであって、第1の発明は、液体20を貯留する貯留タンク11と、貯留タンク11内の液体20に超音波を印加して気泡21を発生させる超音波発生部14と、貯留タンク11内に設けられ、且つ該貯留タンク11内の液体20中に生じた気泡21内に放電を生起して該液体20中に水酸ラジカルを生成させる電極対13a13bと、電極対13a13bに電圧を印加する電源12とを備え、超音波発生部14は、前記貯留タンク11内の前記液体20に超音波を照射することによって、該液体20中に生成した水酸ラジカルが変化して生成する該液体20中の過酸化水素を水酸ラジカルに変換させる。第1の発明では、超音波発生部14を用いて貯留タンク11内の液体20に超音波を印加して気泡21を発生させているため、電源12から電極対13a13bに電圧を印加することによって、液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させることができる。これにより、液体20中では、放電に伴って水酸ラジカル等の活性種が生じる。また、水酸ラジカル同士が結合して過酸化水素が生成されたとしても、超音波発生部14から超音波を印加することによって、過酸化水素を分解して、より殺菌力の強い水酸ラジカルに戻すことができる。従って、水酸ラジカルを十分に活用して、液体20中に含まれる被処理物質有害物質や菌等を酸化/分解することができる。第2の発明は、第1の発明において、超音波発生部14が、電極対13a13bに挟まれた領域の下側に設けられたものである。第2の発明では、電極対13a13bに挟まれた領域の下側に超音波発生部14を配置しているため、超音波印加により生じた気泡21が電極対13a13bに挟まれた領域に導かれるので、効率的に放電を発生させることができる。第3の発明は、第1の発明において、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度を所定の範囲内に保持できるように、超音波発生部14及び電源12の少なくとも一方の動作を制御する制御部18をさらに備えたものである。第3の発明では、制御部18を用いて超音波発生部14及び電源12の動作を制御して、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度を所定の範囲内に保持できるため、液体20中における過度な過酸化水素濃度の上昇を回避できると共に、該濃度が低すぎることに起因する殺菌力の低下を防止できる。第4の発明は、第3の発明において、制御部18が、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度が所定の上限値に達したら電源12をオフし、該過酸化水素の濃度が所定の下限値に達したら該電源12をオンするものである。第4の発明では、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度が所定の上限値に達したら電源12をオフし、該過酸化水素の濃度が所定の下限値に達したら該電源12をオンするため、該過酸化水素の濃度を所定の下限値から所定の上限値までの範囲内に保持できる。第5の発明は、第4の発明において、制御部18が、電源12をオンにしている間、超音波発生部14により印加される超音波の周波数を第1の周波数に設定し、電源12をオフにしている間、該超音波の周波数を第1の周波数よりも高い第2の周波数に設定するものである。第5の発明では、電源12をオンにしている間、超音波の周波数を第1の周波数に設定し、電源12をオフにしている間、該超音波の周波数を第1の周波数よりも高い第2の周波数に設定する。このため、電源12をオンにしている間は、比較的低い周波数の超音波によって比較的大きい気泡を発生させ、それにより、効率的に放電を発生させることができる。また、電源12をオフにしている間は、比較的高い周波数の超音波によって過酸化水素の分解を促進して水酸ラジカルを効率的に生成することができる。第6の発明は、第1の発明において、貯留タンク11が、液体20を注入するための注入口11aと、液体20を外部へ供給するための供給口11bとを有したものである。第6の発明では、貯留タンク11に、液体20を外部へ供給するための供給口11bが設けられているため、貯留タンク11内の浄化された液体20を所定箇所に供給することができる。第7の発明は、第6の発明において、供給口11bに、該供給口11bを通過する液体20を加熱するための加熱部25が設けられたものである。第7の発明では、貯留タンク11から液体20を外部へ供給するための供給口11bに、液体20を加熱するための加熱部25が設けられているので、超音波により分解できずに残留してしまった過酸化水素を加熱により除去することができる。本発明によれば、超音波の印加によって液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させることにより、水酸ラジカル等の活性種を生成できると共に、水酸ラジカル同士が結合して生じた過酸化水素を超音波の印加によって分解して水酸ラジカルに戻すことができる。従って、強い除菌力を持つ水酸ラジカルを十分に活用できる浄化装置を実現することができる。第2の発明では、超音波発生部14を用いて発生させた気泡21を電極対13a13bに挟まれた領域に導くことができるので、効率的に放電を発生させることができる。第3の発明では、超音波発生部14及び電源12の動作を制御部18を用いて制御することによって、液体20中における過酸化水素の濃度が高すぎることに起因する危険を回避できると共に、該濃度が低すぎることに起因する殺菌力の低下を防止できる。第4の発明では、制御部18による電源12のオン/オフ制御によって、液体20中における過酸化水素の濃度を所定の下限値から所定の上限値までの範囲内に保持できる。第5の発明では、電源12をオンにしている間は、比較的低い周波数の超音波によって比較的大きい気泡を発生させることにより、効率的に放電を発生させることができると共に、電源12をオフにしている間は、比較的高い周波数の超音波によって過酸化水素の分解を促進して水酸ラジカルを効率的に生成することができる。第6の発明では、貯留タンク11に設けた供給口11bによって、貯留タンク11内の浄化された液体20を所定箇所に供給することができる。第7の発明では、貯留タンク11の供給口11bに設けた加熱部25によって、超音波により分解できずに残留してしまった過酸化水素を除去することができる。本発明の基本原理図1は、本願発明者らが見出した本発明の基本原理を表している。図1に示すように、放電によって生じた水酸ラジカルが2個結合すると、過酸化水素が生成されるが、この過酸化水素に超音波を印加すると、過酸化水素を分解して水酸ラジカルに戻すことができる。また、超音波の印加により液中に気泡が発生し、この気泡を含む液中に電圧を印加することによって、効果的に放電を発生させて水酸ラジカル等の活性種を生成することができる。以上のように、本発明によれば、超音波の印加によって液体中に生じた気泡内に放電を発生させることにより、水酸ラジカル等の活性種を生成できると共に、水酸ラジカル同士が結合して生じた過酸化水素を超音波の印加によって分解して水酸ラジカルに戻すことができる。従って、強い除菌力を持つ水酸ラジカルを十分に活用できる浄化装置を実現することができる。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。実施形態1図2は、本発明の実施形態1に係る浄化装置10の構成を示す図である。図2に示すように、本実施形態の浄化装置10は、液体20を貯留する貯留タンク11と、貯留タンク11内の液体20に超音波を印加して気泡21を発生させる超音波発生部14と、貯留タンク11内に設けられ且つ該貯留タンク11内の液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させる電極対13a13bと、電極対13a13bに電圧を印加する電源12とを備えている。図2に示す浄化装置10によると、超音波発生部14を用いて貯留タンク11内の液体20に超音波を印加して気泡21を発生させているため、電源12から電極対13a13bに電圧を印加することによって、液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させることができる。これにより、液体20中では、放電に伴って水酸ラジカル等の活性種が生じる。また、液体20中に生じた水酸ラジカル同士が結合して過酸化水素が生成されたとしても、超音波発生部14から超音波を印加することによって、過酸化水素を分解して、より殺菌力の強い水酸ラジカルに戻すことができる。従って、浄化機能を発揮させたい場所時間をコントロールすることができるので、水酸ラジカルの特性を最大限に活用することができ、ひいては、液体20中に含まれる被処理物質有害物質や菌等を効率的に酸化/分解することができる。ここで、超音波発生部14の配置箇所は、電極対13a13bに挟まれた領域に気泡21が導入されれば、特に限定されるものではない。例えば、図2に示すように、超音波発生部14を、電極対13a13bに挟まれた領域の下側に設けてもよい。これにより、超音波印加によって生じた気泡21を電極対13a13bに挟まれた領域に容易に導くことができるので、効率的に放電を発生させることができる。尚、本実施形態の浄化装置10による液体浄化処理は、各処理毎に貯留タンク11内の液体20を全て入れ替える、いわゆるバッチ処理によって行ってもよいし、貯留タンク11に、液体20を注入するための注入口図示略と、液体20を外部へ供給するための供給口図示略とを設けて、いわゆる連続処理によって行ってもよい。実施形態2図3は、本発明の実施形態2に係る浄化装置10の構成を示す図である。尚、図3において、図2に示す実施形態1に係る浄化装置10と同じ構成要素には同じ符号を付し、以下の説明では、主として、実施形態1と異なる部分について説明する。図3に示すように、本実施形態の浄化装置10においては、超音波発生部14は、例えば、貯留タンク11の内部における底部に配置されている。また、超音波発生部14は、例えば、板状の圧電セラミックス14aと、該圧電セラミックス14aを挟むように設けられた一対の金属板14b14bと、圧電セラミックス14a及び一対の金属板14b14bを密閉するケース14cとから構成されている。一対の金属板14bに、所定の交流電圧を供給することにより、超音波発生部14から、所望の周波数を持つ超音波を貯留タンク11内の液体20に印加することができる。また、図3に示すように、貯留タンク11には、液体20を注入するための注入口11aと、液体20を外部へ供給するための供給口11bとが設けられている。これにより、浄化装置10によって浄化された貯留タンク11内の液体20を所定箇所に供給することができる。実施形態2の変形例超音波発生部14の構成は、図3に示す例に限られない。例えば、図4aに示すように、ケース14cを導電性材料により構成し、ケース14cの天井部と金属板14bとによって板状の圧電セラミックス14aを挟みこんでもよい。また、超音波発生部14の設置箇所は、貯留タンク11内の液体20に超音波を印加できれば、特に限定されるものではない。例えば、図4bに示すように、超音波発生部14は、貯留タンク11の外部における底部に設置されていてもよい。この場合、超音波発生部14から発生した超音波は貯留タンク11の壁面を通じて貯留タンク11内の液体20に伝達される。また、超音波発生部14として、圧電セラミックス14aを用いる例について説明したが、貯留タンク11内の液体20に超音波を印加できれば、超音波発生部14の構成が特に限定されないことは言うまでもない。実施形態3図5は、本発明の実施形態3に係る浄化装置10の構成を示す図である。尚、図5において、図2に示す実施形態1及び図3に示す実施形態2に係る浄化装置10と同じ構成要素には同じ符号を付し、以下の説明では、主として、実施形態1及び2と異なる部分について説明する。図5に示すように、本実施形態の浄化装置10においては、電源12には放電波形発生部15が接続されていると共に、超音波発生部14には増幅器16を介して超音波波形発生部17が接続されており、放電波形発生部15及び超音波波形発生部16を制御するための制御部18が設けられている。これにより、電源12から電極対13a13bに所定の波形を持つ電圧を印加できると共に、増幅器16によって増幅された超音波波形発生部16の出力信号交流電圧が超音波発生部14具体的には一対の金属板14b14b図3参照に印加される。また、本実施形態の浄化装置10においては、貯留タンク11内の液体20における過酸化水素の濃度を検出するための検出部19が設けられており、該検出部19の検出結果に基づいて、制御部18による放電波形発生部15及び超音波波形発生部16の制御つまり、電源12及び超音波発生部14の動作の制御が行われる。具体的には、制御部18によって電源12及び超音波発生部14の動作を制御することにより、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度を所定の範囲内に保持することができる。これにより、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度が高すぎることに起因する危険を回避できると共に、該濃度が低すぎることに起因する殺菌力の低下を防止できる。図6aは、本実施形態の浄化装置10における貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度に対するフィードバック制御の一例を示すタイムチャートである。まず、図6aに示すように、貯留タンク11内に液体20が貯留された状態で、制御部18は、電源12から電極対13a13bへの電圧印加を開始すると共に超音波発生部14から液体20への超音波印加を開始する。これにより、超音波印加によって液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させることができるので、液体20中に水酸ラジカル等の活性種が生じると共に水酸ラジカル同士が結合して過酸化水素が生じる。尚、図6aに示す例では、運転開始時以降、超音波発生部14から液体20への超音波印加を一定周波数で継続して行うが、放電によって生じた水酸ラジカル同士の結合により生成される過酸化水素の量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。次に、図6aに示すように、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の上限値に達したら、制御部18は電源12をオフにして放電を停止する。このようにすると、電圧印加を行うことなく超音波印加のみを行うことになり、新たな過酸化水素の生成が抑制される一方、超音波印加によって過酸化水素が分解されるので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に低くなっていく。次に、図6aに示すように、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の下限値に達したら、制御部18は電源12をオンにして放電を再開する。このようにすると、過酸化水素が再び生成される一方、該生成量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。その後、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度が所定の上限値に達したら電源12をオフする動作と、該過酸化水素の濃度が所定の下限値に達したら該電源12をオンする動作とを繰り返し行うことにより、該過酸化水素の濃度を所定の範囲内に確実に保持することができる。従って、所望の殺菌性能を維持することができる。ところで、本願発明者らは、過酸化水素を分解して水酸ラジカルを効率良く発生させるのに適切な超音波の周波数と比較して、貯留タンク11内の液体20に超音波を印加して気泡21を効率よく発生させるのに適切な超音波の周波数が低いことを見出した。例えば、貯留タンク11内の液体20に超音波を印加して気泡21を効率よく発生させるためには、超音波発生部14が発生する超音波の周波数は、例えば100kHz程度以下であることが好ましく、過酸化水素を分解して水酸ラジカルを効率良く発生させるためには、超音波発生部14が発生する超音波の周波数は、例えば100kHz程度以上であることが好ましい。そこで、図6aに示す過酸化水素濃度制御は、電源12の動作の制御により行ったが、電源12の動作の制御に加えて、超音波発生部14の動作の制御により、過酸化水素濃度制御を行ってもよい。図6bは、本実施形態の浄化装置10における貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度に対するフィードバック制御の他例を示すタイムチャートである。まず、図6bに示すように、貯留タンク11内に液体20が貯留された状態で、制御部18は、電源12から電極対13a13bへの電圧印加を開始すると共に超音波発生部14から液体20への超音波印加を開始する。ここで、超音波の周波数を所定の気泡発生周波数に設定する。これにより、超音波印加によって液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させることができるので、液体20中に水酸ラジカル等の活性種が生じると共に水酸ラジカル同士が結合して過酸化水素が生じる。尚、放電によって生じた水酸ラジカル同士の結合により生成される過酸化水素の量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。次に、図6bに示すように、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の上限値に達したら、制御部18は、電源12をオフにして放電を停止する。ここで、超音波発生部14から液体20への超音波印加を継続するが、超音波の周波数を所定の気泡発生周波数よりも高い所定のラジカル化周波数に変更する。このようにすると、電圧印加を行うことなく超音波印加のみを行うことになり、新たな過酸化水素の生成が抑制される一方、超音波印加によって過酸化水素が分解されるので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に低くなっていく。次に、図6bに示すように、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の下限値に達したら、制御部18は電源12をオンにして放電を再開する。ここで、超音波発生部14から液体20への超音波印加を継続するが、超音波の周波数を所定のラジカル化周波数よりも低い所定の気泡発生周波数に戻す。このようにすると、過酸化水素が再び生成される一方、該生成量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。その後、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度が所定の上限値に達したら電源12をオフすると共に超音波発生部14から液体20へ印加する超音波の周波数を所定のラジカル化周波数に変更する動作と、該過酸化水素の濃度が所定の下限値に達したら該電源12をオンすると共に超音波発生部14から液体20へ印加する超音波の周波数を所定の気泡発生周波数に変更する動作とを繰り返し行うことにより、該過酸化水素の濃度を所定の範囲内に確実に保持することができる。従って、所望の殺菌性能を維持することができる。尚、図示は省略しているが、運転開始時以降、電源12から電極対13a13bへの電圧印加を継続して行いながら、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度が所定の上限値に達したら、超音波発生部14から液体20へ印加する超音波の周波数を所定のラジカル化周波数に設定する動作と、該過酸化水素の濃度が所定の下限値に達したら、超音波発生部14から液体20へ印加する超音波の周波数を所定の気泡発生周波数に設定する動作とを繰り返し行うことにより、該過酸化水素の濃度を所定の範囲内に保持してもよい。また、本実施形態において、放電波形発生部15及び超音波波形発生部16を制御するために1つの制御部18を設けたが、放電波形発生部15及び超音波波形発生部16のそれぞれに対応して別個に制御部を設けてもよい。また、本実施形態において、1つの超音波発生部14の動作切り替えにより、貯留タンク11内の液体20に気泡21を効率よく発生させるのに適切な周波数気泡発生周波数を持つ超音波と、過酸化水素を分解して水酸ラジカルを効率良く発生させるのに適切な周波数ラジカル化周波数を持つ超音波とを発生させた。しかし、これに代えて、気泡発生周波数を持つ超音波を発生させる超音波発生部と、ラジカル化周波数を持つ超音波を発生させる超音波発生部とを別個に設けてもよい。実施形態3の変形例前述の実施形態3では、検出部19を用いて、貯留タンク11内の液体20における過酸化水素の濃度を検出し、その結果に基づいて、制御部18によって電源12及び超音波発生部14の動作を制御することにより、液体20の過酸化水素濃度に対するフィードバック制御を行った。それに対して、本変形例では、予め測定した過酸化水素濃度の時間変化に基づいて、制御部18によって電源12及び超音波発生部14の動作を制御することにより、液体20の過酸化水素濃度に対するフィードフォワード制御を行う。図7aは、本変形例の浄化装置10における貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度に対するフィードフォワード制御の一例を示すタイムチャートである。まず、図7aに示すように、貯留タンク11内に液体20が貯留された状態で、制御部18は、電源12から電極対13a13bへの電圧印加を開始すると共に超音波発生部14から液体20への超音波印加を開始する。これにより、超音波印加によって液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させることができるので、液体20中に水酸ラジカル等の活性種が生じると共に水酸ラジカル同士が結合して過酸化水素が生じる。尚、図7aに示す例では、運転開始時以降、超音波発生部14から液体20への超音波印加を一定周波数で継続して行うが、放電によって生じた水酸ラジカル同士の結合により生成される過酸化水素の量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。次に、図7aに示すように、運転開始から時間T1が経過した時点で、制御部18は電源12をオフにして放電を停止する。このようにすると、電圧印加を行うことなく超音波印加のみを行うことになり、新たな過酸化水素の生成が抑制される一方、超音波印加によって過酸化水素が分解されるので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に低くなっていく。ここで、時間T1は、電源12から電極対13a13bへの電圧印加と、超音波発生部14から液体20への超音波印加とによって、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が0から所定の上限値に達するまでに要する時間である。また、時間T1は、予め測定により求められ、制御部18内に又は別途設けられたメモリ図示略等に記憶されている。さらに、制御部18内に又は別途、経過時間を測定するタイマ図示略等が設けられている。次に、図7aに示すように、電源12をオフにしてから時間T2が経過した時点で、制御部18は電源12をオンにして放電を再開する。このようにすると、過酸化水素が再び生成される一方、該生成量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。ここで、時間T2は、電圧印加を行うことなく超音波印加のみを行った場合に、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の上限値から所定の下限値まで減少するのに要する時間である。また、時間T2は、予め測定により求められ、制御部18内に又は別途設けられたメモリ図示略等に記憶されている。次に、図7aに示すように、電源12を再びオンにしてから時間T3が経過した時点で、制御部18は電源12をオフにして放電を停止する。このようにすると、電圧印加を行うことなく超音波印加のみを行うことになり、新たな過酸化水素の生成が抑制される一方、超音波印加によって過酸化水素が分解されるので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に低くなっていく。ここで、時間T3は、電圧印加と超音波印加とによって、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の下限値から所定の上限値まで増加するのに要する時間である。また、時間T3は、予め測定により求められ、制御部18内に又は別途設けられたメモリ図示略等に記憶されている。その後、電源12をオフにしてから時間T2が経過したら電源12をオンする動作と、電源12をオンにしてから時間T3が経過したら電源12をオフする動作とを繰り返し行うことにより、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度を所定の範囲内に確実に保持することができる。従って、所望の殺菌性能を維持することができる。尚、図7aに示す過酸化水素濃度のフィードフォワード制御は、電源12の動作の制御により行ったが、電源12の動作の制御に加えて、超音波発生部14の動作の制御により、過酸化水素濃度のフィードフォワード制御を行ってもよい。図7bは、本変形例の浄化装置10における貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度に対するフィードフォワード制御の他例を示すタイムチャートである。まず、図7bに示すように、貯留タンク11内に液体20が貯留された状態で、制御部18は、電源12から電極対13a13bへの電圧印加を開始すると共に超音波発生部14から液体20への超音波印加を開始する。ここで、超音波の周波数を所定の気泡発生周波数に設定する。これにより、超音波印加によって液体20中に生じた気泡21内に放電を発生させることができるので、液体20中に水酸ラジカル等の活性種が生じると共に水酸ラジカル同士が結合して過酸化水素が生じる。尚、放電によって生じた水酸ラジカル同士の結合により生成される過酸化水素の量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。次に、図7bに示すように、運転開始から時間T1が経過した時点で、制御部18は電源12をオフにして放電を停止する。ここで、超音波発生部14から液体20への超音波印加を継続するが、超音波の周波数を所定の気泡発生周波数よりも高い所定のラジカル化周波数に変更する。このようにすると、電圧印加を行うことなく超音波印加のみを行うことになり、新たな過酸化水素の生成が抑制される一方、超音波印加によって過酸化水素が分解されるので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に低くなっていく。ここで、時間T1は、電源12から電極対13a13bへの電圧印加と、超音波発生部14から液体20への超音波気泡発生周波数印加とによって、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が0から所定の上限値に達するまでに要する時間である。また、時間T1は、予め測定により求められ、制御部18内に又は別途設けられたメモリ図示略等に記憶されている。さらに、制御部18内に又は別途、経過時間を測定するタイマ図示略等が設けられている。次に、図7bに示すように、電源12をオフにしてから時間T2が経過した時点で、制御部18は電源12をオンにして放電を再開する。ここで、超音波発生部14から液体20への超音波印加を継続するが、超音波の周波数を所定のラジカル化周波数よりも低い所定の気泡発生周波数に戻す。このようにすると、過酸化水素が再び生成される一方、該生成量は、超音波印加によって分解される過酸化水素の量よりも多いので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に高くなっていく。ここで、時間T2は、電圧印加を行うことなく超音波ラジカル化周波数印加のみを行った場合に、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の上限値から所定の下限値まで減少するのに要する時間である。また、時間T2は、予め測定により求められ、制御部18内に又は別途設けられたメモリ図示略等に記憶されている。次に、図7bに示すように、電源12を再びオンにしてから時間T3が経過した時点で、制御部18は電源12をオフにして放電を停止する。ここで、超音波発生部14から液体20への超音波印加を継続するが、超音波の周波数を所定の気泡発生周波数よりも高い所定のラジカル化周波数に変更する。このようにすると、電圧印加を行うことなく超音波印加のみを行うことになり、新たな過酸化水素の生成が抑制される一方、超音波印加によって過酸化水素が分解されるので、液体20の過酸化水素濃度は徐々に低くなっていく。ここで、時間T3は、電圧印加と超音波気泡発生周波数印加とによって、貯留タンク11内の液体20の過酸化水素濃度が所定の下限値から所定の上限値まで増加するのに要する時間である。また、時間T3は、予め測定により求められ、制御部18内に又は別途設けられたメモリ図示略等に記憶されている。その後、電源12をオフにしてから時間T2が経過したら電源12をオンすると共に超音波発生部14から液体20へ印加する超音波の周波数を所定の気泡発生周波数に変更する動作と、電源12をオンにしてから時間T3が経過したら電源12をオフすると共に超音波発生部14から液体20へ印加する超音波の周波数を所定のラジカル化周波数に変更する動作とを繰り返し行うことにより、貯留タンク11内の液体20中における過酸化水素の濃度を所定の範囲内に確実に保持することができる。従って、所望の殺菌性能を維持することができる。実施形態4図8は、本発明の実施形態4に係る浄化装置10の構成を示す図である。尚、図8において、図5に示す実施形態3に係る浄化装置10と同じ構成要素には同じ符号を付し、以下の説明では、主として、実施形態3と異なる部分について説明する。図8に示すように、本実施形態の浄化装置10においては、貯留タンク11の供給口11bに、該供給口11bを通過する液体20を加熱するための加熱部25が設けられている。本実施形態では、供給口11bから貯留タンク11の外部へ液体20を供給する際に、該液体20において超音波により分解できずに残留してしまった過酸化水素を除去することができる。ここで、加熱部25に代えて、例えば活性炭や吸着材等を用いた過酸化水素除去機構を供給口11bに設けた場合にも、同様の効果を得ることができる。また、該過酸化水素除去機構を加熱部25と併置することにより、過酸化水素除去率をさらに向上させることができる。尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。