"液状ポリマーと電極との間に高電圧をかけ、液状ポリマーを前記電極に向けてポリマー繊維ジェットとして飛翔させて繊維化する微細繊維製造方法において、前記液状ポリマーに振動を与え、該液状ポリマーの液面に前記振動による表面波を形成し、該表面波の山頂部から前記電極に向けて高電圧によりポリマー繊維ジェットを飛翔させることを特徴とする微細繊維製造方法。前記振動により液状ポリマー液面に形成される表面波を定在波としてなる請求項1記載の微細繊維製造方法。前記振動が超音波振動である請求項1又は2記載の微細繊維製造方法。液状ポリマーが貯留される貯留槽と、該貯留槽内の液状ポリマーに振動を与える振動発生手段と、前記貯留槽内の液状ポリマーの液面に対向する上方位置に配される電極と、前記液状ポリマーと電極との間に高電圧をかける電圧供給手段と、を備え、前記振動発生手段により液状ポリマーに振動を与えて該液状ポリマー液面に表面波を形成するとともに、前記電圧供給手段による前記高電圧により、前記液状ポリマーの表面波の山頂部から電極に向けてポリマー繊維ジェットを飛翔させ、繊維化することを特徴とする微細繊維製造装置。そこで、本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、これらの公知の技術の課題を解消し、安定して微細な繊維を形成できる生産性の高い電界紡糸の方法及び装置を提供する点にある。本発明は、前述の課題解決のために、液状ポリマーと電極との間に高電圧をかけ、液状ポリマーを前記電極に向けてポリマー繊維ジェットとして飛翔させて繊維化する微細繊維製造方法において、前記液状ポリマーに振動を与え、該液状ポリマーの液面に前記振動による表面波を形成し、該表面波の山頂部から前記電極に向けて高電圧によりポリマー繊維ジェットを飛翔させることを特徴とする微細繊維製造方法を提供する。ここで、前記振動により液状ポリマー液面に形成される表面波を定在波とすることが好ましい。また、前記振動が超音波振動であることが好ましい。また本発明は、液状ポリマーが貯留される貯留槽と、該貯留槽内の液状ポリマーに振動を与える振動発生手段と、前記貯留槽内の液状ポリマーの液面に対向する上方位置に配される電極と、前記液状ポリマーと電極との間に高電圧をかける電圧供給手段とを備え、前記振動発生手段により液状ポリマーに振動を与えて該液状ポリマー液面に表面波を形成するとともに、前記電圧供給手段による前記高電圧により、前記液状ポリマーの表面波の山頂部から電極に向けてポリマー繊維ジェットを飛翔させ、繊維化することを特徴とする微細繊維製造装置をも提供する。本願発明に係る微細繊維製造方法及び微細繊維製造装置によれば、液状ポリマーに振動を与え、該液状ポリマーの液面に前記振動による表面波を形成し、該表面波の山頂部から前記電極に向けて高電圧によりポリマー繊維ジェットを飛翔させるので、ノズルを使うことなく操業でき、ノズル孔の閉塞といった問題もなく、長期間連続して安定的に稼動できる。また、生産性に限界を与えるノズルや回転電極の使用をすることなく液面全面からポリマー繊維ジェットが飛翔するので、きわめて能率よく且つ低コストでポリマー繊維ジェットを生成できる。また、品質上問題となる泡の破裂の問題も回避し、高品質の微細繊維を効率よく低コストで製造することができる。また、振動により液状ポリマー液面に形成される表面波を定在波としたので、液面の定在波からポリマー繊維ジェットを安定して飛翔させることができ、より高品質の微細繊維を製造できる。この静電紡糸は、ポリマー液面の表面張力に静電力が打ち勝ったときにポリマー繊維ジェットが引き出されるという現象なので、ポリマーの表面張力が低いほど繊維が生成されやすいことになる。振動を超音波振動にすると、超音波は表面張力を低減する作用があり、さらに繊維の生産性を高めることができる。また、液状ポリマーが貯留される貯留槽と、該貯留槽内の液状ポリマーに振動を与える振動発生手段と、前記貯留槽内の液状ポリマーの液面に対向する上方位置に配される電極と、前記液状ポリマーと電極との間に高電圧をかける電圧供給手段とを備え、前記振動発生手段により液状ポリマーに振動を与えて該液状ポリマー液面に表面波を形成するとともに、前記電圧供給手段による前記高電圧により、前記液状ポリマーの表面波の山頂部から電極に向けてポリマー繊維ジェットを飛翔させ、繊維化する装置を構成したので、液状ポリマーの液面は貯留槽の壁で囲まれた閉鎖領域となり、振動発生手段で液面に発生させる表面波を自在に制御できる。また、前記振動発生手段が、貯留槽の側壁部に固定される振動発振子よりなる場合は、振動の波長および振動発振子と対向する側壁との距離によって安定した定在波を形成することも容易である。次に、本発明の実施形態を添付図面に基づき詳細に説明する。本発明に係る微細繊維製造装置1は、図1に示すように、液状ポリマーPが貯留される貯留槽2と、貯留槽2内の液状ポリマーPに振動を与える振動発生手段3と、貯留槽2内の液状ポリマーPの液面10に対向する上方位置に配される対向電極4と、液状ポリマーPと対向電極4との間に高電圧をかける電圧供給手段5とを備えている。本例では、図2にも示すように液状ポリマーPの液面10と対向電極4の間に横方向に走行するコンベアネット6を設け、該コンベアネット6の下面にポリマー繊維ジェットJを順次集積するように構成されている。対向電極4は固定されているが、コンベアネット6等の集積手段自体が対向電極を兼ねるようにしてもよい。対向電極4は、好ましくは液状ポリマーPの液面10と平行な板状電極とされているが、これに限定されるものではない。また、液面10と略同一面積の下面を有し、各ポリマー繊維ジェットJがまっすぐ上方に向かって飛翔するようにされているが、互いに異なる面積としてもよい。振動発生手段3は、図1及び図2に示すように貯留槽2の側壁部20に固定される振動発振子31と、該振動発振子31に発振信号を送信する振動発振器30より構成されており、振動発振器30により振動発振子31の振動強度を連続的に調整することもできる。振動発振子31は、貯留槽2の側壁部20以外に、底壁や中央部など適宜な箇所に設置することができる。振動発振子と振動発振器は、それぞれ超音波発振子と超音波発振器としたものが好ましい。振動発生手段3により液状ポリマーPに振動が与えられると、液状ポリマー液面10に表面波11が形成される。振動の振幅が大きくなると、この表面波11の山谷も大きくなる。この振幅を大きくしていき臨界点になると、表面波11は山の頂点から崩れ、微細な液粒子が液面から飛びはねるようになる。好ましくは、このような臨界点に達する直前の状態に近づくように振動を調整する。より好ましくは、振動により液状ポリマー液面10に形成される表面波は、好ましくは定在波となるように調整される。振動発振子が超音波振動発振子の場合は、ポリマー液面や液内部に周波数固有のキャピラリ波毛細表面波やキャビテーション空洞現象,cavitationを発生させることになり、液面に無数の毛細表面波が発生し、液体の表面張力を減少させることからポリマー繊維ジェットがさらに飛翔しやすくなる。ここで、図3に示すように、上方から見て方形の貯留槽2における互いに90度を成す2つの隣接する側壁にそれぞれ振動発振子31を設けることで、縦横に並んだより多くの波を形成することができ、特にいずれも定在波とすることで図示したような格子状の安定した定在波を形成することができる。電圧供給手段5としては、図1に示すように貯留槽2の底部にアース電極50が設置され、該アース電極50と対向電極4との間に高電圧を付与する給電装置51が設けられている。ここでアース電極50を省略し、貯留槽2の壁部がアース電極を兼ねるように構成してもよい。そして、振動発生手段3により液状ポリマー液面10に前記表面波11が形成されている状態で、電圧供給手段5によりアース電極50と対向電極4との間に高電圧をかけると、図1及び図2に示すように表面波11の各山頂部から対向電極4に向けてポリマー繊維ジェットJが飛翔し、多数のポリマー繊維ジェットJであたかも液状ポリマー液面から霧が立ち上ったようになる。各ポリマー繊維ジェットJは繊維化した状態で途中のコンベアネット6下面に順次集積する。コンベアネット6は、駆動ローラ60と従動ローラ61との間に懸架されるネット状の環状ベルトであり、本例では、対向電極4を上下に挟むように循環走行し、液状ポリマー液面10と対向電極4の間を横方向に走行するネット下面にポリマー繊維ジェットJが集積された微細繊維集合体Fが形成され、横方向の駆動ローラ60の延長線上に該微細繊維集合体Fを前記コンベアネット6下面から当該延長上の横方向に引き剥がして巻き取る巻取り装置7が設けられている。コンベアネット6は一定の速度で走行し、繊維化したポリマー繊維ジェットJによりコンベアネット6下面に一定厚さの微細繊維集合体Fが形成される。コンベアネット6は液状ポリマー液面10及び対向電極4のそれぞれに対して平行な水平方向に移動するようにされているが、これに限定されない。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこうした実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる形態で実施し得ることは勿論である。"