"碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、少なくとも1つの取替用の突き上げポットを保管する突き上げポット保管ステーションを備え、前記突き上げ機構のポット保持部は、保持する前記突き上げポットを前記突き上げポット保管ステーションに保管された前記取替用の突き上げポットと自動交換可能であることを特徴とするダイ供給装置。前記突き上げポットの内部には、突き上げ動作時に前記突き上げポットの上端面に前記ダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を供給するバキューム配管が設けられ、前記突き上げ機構には、前記ポット保持部に保持した前記突き上げポット内部のバキューム配管の接続口を該突き上げ機構側のバキューム配管の継手に接続した状態でロックするロック部材が設けられ、突き上げポット自動取替時に該ロック部材をロック解除位置へ移動させて該ポット保持部から前記突き上げポットを取り外し可能な状態にすることを特徴とする請求項1に記載のダイ供給装置。前記突き上げポットは、上下方向に変位可能な係合部材と、該係合部材を上方又は下方に付勢するスプリングとを有し、前記突き上げ機構のポット保持部は、前記突き上げポットの保持位置を位置決めする位置決め部材と、該位置決め部材で前記突き上げポットの保持位置を位置決めし且つ前記スプリングを圧縮した位置で前記係合部材を係合保持する被係合部材とを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のダイ供給装置。前記突き上げ機構には、前記ポット保持部が1個のみ設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のダイ供給装置。前記吸着ノズルは、ダイを吸着した状態で上下反転可能に構成され、ダイを吸着した前記吸着ノズルを上下反転させて部品実装機のノズルで該吸着ノズル上のダイをピックアップできるように構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のダイ供給装置。しかし、上記特許文献1の構成では、突き上げ動作時に突き上げ装置を構成する複数の突き上げポットとこれらを回転させる回転駆動機構とを一体的に上下動させるため、突き上げ装置の可動部分の重量が増大して、その分、突き上げ動作の動作速度が遅くなってしまう。しかも、突き上げ装置の可動部分が大型化して、突き上げ動作に必要なスペースが大きくなり、その分、突き上げ装置全体が大型化するという欠点もある。そこで、本願が解決しようとする課題は、突き上げポットを選択する機能を持たせながら、突き上げ動作速度の高速化や省スペース化に対応しやすいダイ供給装置を提供することである。上記課題を解決するために、請求項1に係る発明は、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張ったウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構と、前記ダイシングシート上のウエハから分割されたダイを吸着する吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、前記ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から前記突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、前記吸着ノズルで該ダイを吸着して前記ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置において、少なくとも1つの取替用の突き上げポットを保管する突き上げポット保管ステーションを備え、前記突き上げ機構のポット保持部は、保持する前記突き上げポットを前記突き上げポット保管ステーションに保管された前記取替用の突き上げポットと自動交換可能であることを特徴とするものである。この構成では、突き上げポット自動取替時に、ポット保持部から突き上げポットを取り外して突き上げポット保管ステーションに載せ替え或は他の部位に置き、該突き上げポット保管ステーションに保管された取替用の突き上げポットをポット保持部に保持させれば良い。この際、突き上げポット保管ステーションに複数の取替用の突き上げポットが保管されている場合は、複数の取替用の突き上げポットの中から次に使用する突き上げポットを選択して該ポット保持部に保持させれば良い。本発明では、取替用の突き上げポットを突き上げポット保管ステーションに保管できるため、突き上げ装置の可動部分の重量を軽量化して動作速度の高速化に対応しやすいと共に、突き上げ装置の可動部分を小型化して、省スペース化にも対応しやすい。この場合、請求項2のように、突き上げポットの内部には、突き上げ動作時に突き上げポットの上端面にダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を供給するバキューム配管が設けられていることを考慮して、突き上げ機構には、ポット保持部に保持した突き上げポット内部のバキューム配管の接続口を該突き上げ機構側のバキューム配管の継手に接続した状態でロックするロック部材を設け、突き上げポット自動取替時に前記ロック部材をロック解除位置へ移動させて該ポット保持部から前記突き上げポットを取り外し可能な状態にするようにすれば良い。このようにすれば、突き上げ動作を高速化しても、突き上げポット内部のバキューム配管の接続口と突き上げ機構側のバキューム配管の継手との接続状態をロック部材によって確実に保持でき、バキューム配管の接続口部分からバキューム漏れが発生することを防止できる。また、請求項3のように、突き上げポットは、上下方向に変位可能な係合部材と、該係合部材を上方又は下方に付勢するスプリングとを有し、突き上げ機構のポット保持部は、突き上げポットの保持位置を位置決めする位置決め部材と、該位置決め部材で前記突き上げポットの保持位置を位置決めし且つ前記スプリングを圧縮した位置で前記係合部材を係合保持する被係合部材とを有する構成としても良い。このように構成すれば、突き上げポット自動取替時に突き上げポットの係合部材をスプリングの圧縮方向に移動させることで該突き上げポットを簡単に脱着できる。以上説明した請求項1~3に係る発明は、突き上げ機構に複数のポット保持部を設けて複数の突き上げポットを保持させるように構成しても良いが、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持する突き上げポットの数が増加するほど、突き上げ装置の可動部分の重量が重くなって、動作速度の高速化や省スペース化にとってマイナス要因となる。但し、この場合でも、本発明では、突き上げポット保管ステーションに取替用の突き上げポットを保管できるため、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持させる突き上げポットの数を選択可能な突き上げポットの総数よりも少なくすることが可能となり、前述した特許文献1の構成よりも突き上げ装置の可動部分の重量を軽量化することができて、動作速度の高速化や省スペース化に対応しやすい。更に、請求項4のように、突き上げ機構には、ポット保持部を1個のみ設けるようにすると良い。このようにすれば、突き上げ装置の可動部分の小型軽量化を最大限に実現でき、動作速度の高速化や省スペース化に大きく貢献できる。また、請求項5のように、ダイ供給装置の吸着ノズルを上下反転可能に構成し、ダイを吸着した吸着ノズルを上下反転させて部品実装機の装着ノズルで該吸着ノズル上のダイをピックアップできるように構成しても良い。このようにすれば、上下方向Z方向の省スペース化の効果を更に大きくすることができる。以下、本発明を実施するための形態を具体化した一実施例を図面を用いて説明する。図1に示すように、本実施例のダイ供給装置11は、マガジン保持部12トレイタワー、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転機構17、突き上げ機構18図4~図8参照、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。このダイ供給装置11は、図2に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。ダイ供給装置11のマガジン保持部12内に上下動可能に収納されたマガジンには、ダイ21を載せたウエハパレット22と、トレイ部品を載せたトレイパレット図示せずとを多段に混載できるようになっている。ウエハパレット22は、碁盤目状にダイシングされたウエハ多数のダイ21を貼着した伸縮可能なダイシングシート図示せずを、円形の開口部を有するウエハ装着板23にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板23をパレット本体28にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシートのエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシートを下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板23に装着すれば良い。パレット引き出し機構14は、ウエハパレット22、トレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部12内のマガジンからパレット引き出しテーブル13上に引き出すものであり、パレット上の部品やダイを部品実装機25図2参照の装着ノズル図示せずでピックアップする位置以下部品実装機用引き出し位置というと、マガジンに近い引き出し位置以下サブロボット用引き出し位置というとのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル13の前端の位置マガジンから最も離れた位置であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット15の吸着ノズル15a図3参照でウエハパレット22のダイシングシート上のダイ21を吸着可能な位置である。サブロボット15は、マガジン保持部12の背面部サブロボット用引き出し位置側の面のうちのパレット引き出しテーブル13の上方に位置して設けられ、XZ方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及び垂直方向に移動するように構成されている。尚、サブロボット15の移動方向をX方向のみとし、ウエハパレット22に対するサブロボット15のY方向パレット引き出し方向の相対的位置は、パレット引き出し機構14によってウエハパレット22をY方向に徐々に引き出すことで制御するようにしている。このサブロボット15には、1本又は複数本の吸着ノズル15a図3参照が下向きに設けられ、ピックアップするダイ21のサイズ等に応じてノズルチェンジャー20で吸着ノズル15aを交換できるようになっている。更に、本実施例では、吸着ノズル15aは上下反転可能に構成され、ダイ21を吸着した吸着ノズル15aを上下反転させて部品実装機25の装着ノズルで該吸着ノズル15a上のダイ21をピックアップできるように構成されている。また、サブロボット15には、カメラ24が設けられ、このカメラ24の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ21の位置又はダイ21の吸着姿勢を確認できるようになっている。シャトル機構16は、サブロボット15の吸着ノズル15aでピックアップされた部品をシャトルノズル26で受け取って部品実装機25の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。反転機構17は、サブロボット15から受け取るダイ21を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ21の種類によっては、ウエハパレット22のダイシングシートに上下反対に貼着されたダイ例えばフリップチップ等が存在するためである。前述したように、本実施例では、吸着ノズル15aを上下反転可能に構成しているため、吸着ノズル15aで吸着したダイ21を上下反転させる場合は、反転機構17を使用しても良いし、ダイ21を吸着した吸着ノズル15aを上下反転させて部品実装機25の装着ノズルで該吸着ノズル15a上のダイ21をピックアップするようにしても良い。尚、NGコンベア19は、不良部品や吸着不良のダイ21を排出するコンベアである。図2及び図3に示すように、マガジン保持部12には、ウエハパレット22のダイシングシート上のダイ21をサブロボット15の吸着ノズル15aでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部31が設けられ、ウエハパレット22上のダイ21をサブロボット15の吸着ノズル15aでピックアップする状態を作業者が確認する際に、マガジン保持部12内のパレットを窓部31よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択できるように構成されている。更に、確認モードでは、サブロボット15の吸着ノズル15aがウエハパレット22上のダイ21をピックアップした状態で、サブロボット15を停止できるようになっている。以上のように構成したダイ供給装置11の制御装置32は、キーボード、マウス等の入力装置33と、液晶ディスプレイ等の表示装置34等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、部品実装機25に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構14、サブロボット15及びシャトル機構16、反転機構17、突き上げ機構18等の動作を次のように制御する。1小さいダイ21の場合小さいダイ21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の装着ノズルへのダイ21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート上のダイ21を部品実装機25の装着ノズルで直接ピックアップする。2上記以外のサイズのダイ21の場合ダイ21のつかみ替えが可能なサイズのダイ21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズル15aで当該ウエハパレット22のダイシングシート上の複数のダイ21をピックアップし、当該複数のダイ21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からダイ21を部品実装機25の装着ノズルでピックアップする。3サブロボット15の吸着ノズル15aに吸着したダイ21を部品実装機25の装着ノズルに直接受け取らせる場合は、ダイ21を吸着した吸着ノズル15aを上下反転させて該吸着ノズル15a上のダイ21を部品実装機25の装着ノズルでピックアップする。4トレイ部品の場合トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。次に、図4~図11を用いて、突き上げポット27を保持する突き上げ機構18と、取替用の突き上げポット27を保管する突き上げポット保管ステーション41の構成を説明する。突き上げ機構18は、パレット引き出しテーブル13の下面側に設けられて、ウエハパレット22のダイシングシート下方の空間領域をXY方向パレット引き出しテーブル13の幅方向及びその直角方向に移動可能に構成されている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット22を引き出した場合でも、ダイシングシートのうちのピックアップしようとするダイ21の貼着部分をその下方から突き上げポット27で局所的に突き上げることで、当該ダイ21の貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させてダイ21をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。突き上げ機構18は、ダイシングシート上のダイ21のサイズ等に応じて突き上げポット27を選択できるようにするために、突き上げポット27を保持するポット保持部42は、該突き上げポット27を自動取替可能に保持するように構成され、該ポット保持部42に保持した突き上げポット27を、突き上げポット保管ステーション41に保管されている取替用の突き上げポット27と自動取替可能となっている。突き上げポット保管ステーション41は、パレット引き出しテーブル13の下面側に設けられている。本実施例では、突き上げ機構18には、ポット保持部42が1個のみ設けられ、突き上げポット27が1個のみ保持されるようになっている。一方、突き上げポット保管ステーション41には、複数の突き上げポット27を保管できるように複数のポット保管場所が設けられている。複数のポット保管場所のうちの1つは、突き上げポット自動取替時にポット保持部42から取り外した突き上げポット27を保管できるように空けられている。本実施例では、図4~図6、図10、図11に示すように、ポット保管場所を4つ設け、そのうちの3つのポット保管場所に3種類の突き上げポット27を保管するようにしている。突き上げ機構18のポット保持部42は、駆動装置44図5参照によって上下方向Z方向に移動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げ機構18のポット保持部42が上昇して突き上げポット27の上端がウエハパレット22のダイシングシートに接触すると、ストッパ機構図示せずが作動して突き上げ機構18の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット27から突き上げピン図示せずが上方に突出して、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイ21の貼着部分吸着ノズル15aの吸着点を突き上げるようになっている。この場合、駆動装置44の駆動量を調整することで、突き上げピンの突き上げ高さを調整できるようになっている。突き上げポット保管ステーション41に保管した複数の突き上げポット27と、突き上げ機構18のポット保持部42に保持した突き上げポット27は、それぞれ突き上げピンの径が異なっており、突き上げ機構18のポット保持部42に保持した突き上げポット27を自動取り替えする際に、突き上げポット保管ステーション41に保管されている複数種類の突き上げポット27の中から、ダイ21のサイズ等に応じた径の突き上げピンを持つ突き上げポット27を選択して自動取り替えする。突き上げポット27の内部には、突き上げ動作時に突き上げポット27の上端面にダイシングシートを吸い付けるバキューム圧を供給するバキューム配管図示せずが設けられ、該バキューム配管の接続口45図9参照が下向きに設けられている。図9に示すように、突き上げポット27の下部両側には、一対のL字型の引掛片46,47が外向きに設けられ、該突き上げポット27の下部中央には、係合部材48が上下方向Z方向に所定量だけ移動可能に設けられ、該係合部材48の両側には、2本のロックピン49が外向きに設けられている。係合部材48の上側には、該係合部材48を下方に付勢するスプリング55が装着され、該スプリング55によって係合部材48がロックピン49と一体的に下方に付勢されている。一方、図7及び図8に示すように、突き上げ機構18のポット保持部42には、突き上げポット27の引掛片46,47と係合する位置決め部材51,52を有する位置決めブロック50が設けられ、該突き上げポット27の引掛片46,47を位置決め部材51,52の下側に係合させることで、該突き上げポット27の保持位置を位置決めするようになっている。図8に示すように、位置決め部材51,52の根元部下側に段差部51a,52bが形成され、突き上げポット27の引掛片46,47を段差部51a,52bに当接させて位置決め部材51,52に係合させることで、該突き上げポット27の保持位置をXYZ方向に位置決めするようになっている。ポット保持部42には、突き上げポット27の係合部材48を下側から嵌合する嵌合凹部53が形成された被係合ブロック54被係合部材が設けられ、位置決め部材51,52で突き上げポット27の保持位置を位置決めし且つスプリング55のばね力に抗して係合部材48を押し上げてスプリング55を圧縮した位置で、突き上げポット27の係合部材48が被係合ブロック54の嵌合凹部53に嵌合保持されると共に、該係合部材48の2本のロックピン49が被係合ブロック54の嵌合凹部53の側壁部上端に当接又は近接して外側方に突出するようになっている。被係合ブロック54の嵌合凹部53の底面中央部には、突き上げポット27のバキューム配管の接続口45図9参照を突き上げ機構18側のバキューム配管の継手56が設けられ、突き上げポット27の係合部材48を被係合ブロック54の嵌合凹部53に嵌合することで、突き上げポット27のバキューム配管の接続口45が被係合ブロック54の嵌合凹部53底面の継手56に接続されるようになっている。被係合ブロック54には、該被係合ブロック54の嵌合凹部53に嵌合した係合部材48のロックピン49と係合するロック部材57が設けられ、このロック部材57でロックピン49を上側から押えることで、突き上げポット27のバキューム配管の接続口45が被係合ブロック54側の継手56に接続した状態でロックされるようになっている。ロック部材57は、回動軸58を支点にしてロック位置とロック解除位置との間を回動可能に支持され、且つ、ばね図示せずによってロック位置の方向に付勢されている。ロック部材57がロック解除位置に回動されると、該ロック部材57のフック部57aがロックピン49から外れて該ロックピン49のロックが解除される。ロックピン49は、係合部材48に対して1~数mmだけ上下動可能に設けられると共に、ばね図示せずによって上方に付勢され、ロック部材57がロック解除位置に回動されると、ロックピン49がばね力によって押し上げられてロック部材57のフック部57aの先端がロックピン49の側面に当接してロック解除状態に保持されるようになっている。ロック部材57の下端部には、ロック解除操作用の突片部59が下方に突出するように形成されている。ロック部材57をロック解除位置に回動させる場合は、突き上げ機構18をロック解除操作用の位置まで移動させてロック解除操作用の突片部59を引掛具61図4及び図5参照に引っ掛けて該突き上げ機構18をロック解除方向Y方向に移動させることで、ロック部材57をロック解除位置に回動させる。突き上げ機構18を駆動する駆動装置44は、突き上げ動作時に突き上げポット27を保持したポット保持部42全体をZ方向上下方向に移動させる第1のZ軸モータと、突き上げポット27の自動取替時に被係合ブロック54のみをZ方向に移動させることで被係合ブロック54と位置決めブロック50との間隔を変化させる第2のZ軸モータと、ポット保持部42をX方向に移動させるX軸モータと、ポット保持部42をY方向に移動させるY軸モータとを備えている。一方、図6、図10、図11に示すように、突き上げポット保管ステーション41の複数のポット保管場所には、それぞれ突き上げポット27の胴部を嵌合する凹状部65が形成され、その下側には、係合部材48のロックピン49を嵌合するピン嵌合部66が形成されている。突き上げポット保管ステーション41に突き上げポット27を保管する場合は、突き上げポット27の胴部を凹状部65に嵌合して該突き上げポット27のフランジ67の上面を凹状部65の下面に係合させると共に、係合部材48のロックピン49をピン嵌合部66に嵌合させることで、該突き上げポット27が凹状部65にスプリング55のばね力によって保持されるようになっている。次に、突き上げ機構18のポット保持部42に保持した突き上げポット27を、突き上げポット保管ステーション41に保管された突き上げポット27と取り替える手順を説明する。突き上げポット27の取替動作は、ダイ供給装置11の制御装置32制御手段によって突き上げ機構18の駆動装置44を制御して次のようにして実行する。まず、突き上げ機構18をロック解除操作用の位置まで移動させてロック解除操作用の突片部59を引掛具61図4及び図5参照に引っ掛けて該突き上げ機構18をロック解除方向Y方向に移動させることで、ロック部材57をロック解除位置に回動させる。これにより、ロック部材57のフック部57aがロックピン49から外れて該ロックピン49のロックが解除され、それによってロックピン49がばね力によって1~数mmだけ押し上げられてロック部材57のフック部57aの先端がロックピン49の側面に当接してロック解除状態に保持される。この後、ポット保持部42の被係合ブロック54を上昇させて該被係合ブロック54と位置決めブロック50との間隔を狭めてスプリング55を圧縮する。この状態で、ポット保持部42に保持した突き上げポット27を、突き上げポット保管ステーション41の空いている凹状部65空のポット保管場所へ移動させて、該突き上げポット27の胴部を凹状部65に嵌合して該突き上げポット27のフランジ67の上面を凹状部65の下面に係合させる。この状態で、ポット保持部42の被係合ブロック54を下降させて係合部材48のロックピン49を下降させてピン嵌合部66に嵌合させる。これにより、突き上げポット27が突き上げポット保管ステーション41に保管された状態となり、この状態が突き上げポット27のスプリング55のばね力によって保持される。この後、突き上げポット保管ステーション41に保管されている複数種類の突き上げポット27の中から、次に使用する突き上げポット27を選択し、当該突き上げポット27の保管位置までポット保持部42を移動させて、位置決めブロック50の位置決め部材51,52を突き上げポット27の引掛片46,47の上側に係合させると共に、被係合ブロック54の嵌合凹部53を該突き上げポット27の係合部材48に嵌合して、該被係合ブロック54の嵌合凹部53底面の継手56を該突き上げポット27のバキューム配管の接続口45に接続する。この状態で、ポット保持部42の被係合ブロック54をスプリング55のばね力に抗して上昇させて該被係合ブロック54の嵌合凹部53の側壁部上端で突き上げポット27のロックピン49を押し上げて、該ロックピン49をピン嵌合部66から抜き出す。この際、ポット保持部42の被係合ブロック54を上昇させる過程で、ロック部材57がロック位置にあるため、ロック部材57のフック部57aの上縁部がロックピン49に突き当たるが、ロック部材57のフック部57aの上縁部が傾斜面に形成されているため、ロック部材57のフック部57aの上昇に応じて該ロック部材57がロック解除方向に逃げるように回動することで、ロックピン49が被係合ブロック54の嵌合凹部53の側壁部上端に滑り落ちてロック部材57がばね力によりロック位置に戻って該ロック部材57のフック部57aでロックピン49がロックされた状態になり、以後、係合ブロック54の嵌合凹部53の側壁部上端でロックピン49が押し上げられる。これにより、ロックピン49をピン嵌合部66から抜き出した状態にした後、ポット保持部42を図4、図5のY方向に移動させることで、該ポット保持部42に保持した突き上げポット27を突き上げポット保管ステーション41から取り外すと共に、ポット保持部42の被係合ブロック54を元の位置まで下降させる。これにより、突き上げポット27の自動取替が完了する。以上説明した本実施例では、取替用の突き上げポット27を突き上げポット保管ステーション41に保管できるため、突き上げ機構18の可動部分の重量を軽量化して動作速度の高速化に対応しやすいと共に、突き上げ機構18の可動部分を小型化して、省スペース化にも対応しやすい。しかも、本実施例では、突き上げ機構18には、ポット保持部42に保持した突き上げポット27内部のバキューム配管の接続口45を該突き上げ機構18側のバキューム配管の継手56に接続した状態でロックするロック部材57を設け、突き上げポット27の自動取替時にロック部材57をロック解除位置へ回動させて該ポット保持部42から突き上げポット27を取り外し可能な状態にするようにしたので、突き上げ動作を高速化しても、突き上げポット27内部のバキューム配管の接続口と突き上げ機構18側のバキューム配管の継手56との接続状態をロック部材57によって確実に保持でき、バキューム配管の接続口45部分からバキューム漏れが発生することを防止できる。ところで、本発明は、突き上げ機構に複数のポット保持部を設けて複数の突き上げポットを保持させるように構成しても良いが、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持する突き上げポットの数が増加するほど、突き上げ機構の可動部分の重量が重くなって、動作速度の高速化や省スペース化にとってマイナス要因となる。但し、この場合でも、本発明では、突き上げポット保管ステーションに取替用の突き上げポットを保管できるため、突き上げ機構のポット保持部の数やこれらに保持させる突き上げポットの数をダイ供給装置内で選択可能な突き上げポットの総数よりも少なくすることが可能となり、前述した特許文献1の構成よりも突き上げ装置の可動部分の重量を軽量化することができて、動作速度の高速化や省スペース化に対応しやすい。特に、本実施例のように、突き上げ機構18にポット保持部42を1個のみ設けるようにすれば、突き上げ機構18の可動部分の小型軽量化を最大限に実現でき、動作速度の高速化や省スペース化に大きく貢献できる。また、本実施例では、ダイ供給装置11の吸着ノズル15aを上下反転可能に構成し、ダイを吸着した吸着ノズル15aを上下反転させて部品実装機の装着ノズルで該吸着ノズル15a上のダイをピックアップできるように構成したので、上下方向Z方向の省スペース化の効果を更に大きくできる利点がある。尚、本発明は、本実施例に限定されず、突き上げポット27をポット保持部42や突き上げポット保管ステーション41に保持させる構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。"