"架台上に搭載された駆動装置の駆動によって生じる振動を可動部の駆動反力を利用して振動抑制制御を行う免振装置において、前記免振装置を制御する免振側制御部は、前記駆動装置を制御する励振側制御部から出力された情報により、前記駆動装置の駆動反力に相当する駆動反力を得るために前記免振装置の可動部を駆動制御する免振制御部と、前記免振装置の位置指令および免振側フィードバック信号により、前記免振装置の可動部を位置速度制御する位置速度制御部と、を有するとともに、前記免振側制御部は、前記位置速度制御推力指令に含まれる干渉成分を補償する干渉成分補償部を備え、前記免振制御部から出力される免振制御用カウンタ推力指令と、前記位置速度制御部から出力される位置速度制御推力指令と、この干渉成分補償部からの出力との和により前記可動部を駆動制御するようにしたことを特徴とする免振装置。前記干渉成分補償部は、前記位置速度制御部の速度比例制御における干渉成分を演算する干渉補償部と、この干渉補償部と直列に接続された前記免振装置可動部位置によって可変とするゲインと、を備えたことを特徴とする請求項1記載の免振装置。前記干渉補償部は、前記位置速度制御部の速度比例制御および速度積分制御における干渉成分を演算するようにしたことを特徴とする請求項2記載の免振装置。前記干渉成分補償部は、前記位置速度制御部の位置比例制御、速度比例制御および速度積分制御における干渉成分を演算する干渉補償部と、この演算された干渉成分を周波数帯域により遮断/通過させるフィルタと、干渉成分の補償量を制限するリミッタと、を備えた請求項1記載の免振装置。前記干渉成分補償部は、前記位置速度制御部の位置比例制御又は速度比例制御又は速度積分制御のいずれか、または複数の制御における干渉成分を演算する干渉補償部と、この干渉補償部と直列に接続された前記免振装置可動部位置によって可変とするゲインと、このゲインの使用の是非を選択するゲイン選択手段と、この演算された干渉成分を周波数帯域により遮断/通過させるフィルタと、このフィルタの使用の是非を選択するフィルタ選択手段と、干渉成分の補償量を制限するリミッタと、このリミッタの使用の是非を選択するリミッタ選択手段と、を備えた請求項1記載の免振装置。前記干渉成分補償部は、前記位置速度制御部の速度比例制御における干渉成分を演算する速度比例制御干渉補償部と、前記位置速度制御部の位置比例制御および速度積分制御における干渉成分を演算する第1の位置比例速度積分制御干渉補償部と、前記位置速度制御部の位置比例制御および速度積分制御における干渉成分を演算する第2の位置比例速度積分制御干渉補償部と、前記速度比例制御干渉補償部、前記第1の位置比例速度積分制御干渉補償部および前記第2の位置比例速度積分制御干渉補償部で演算された干渉成分の補償量を制限するリミッタと、このリミッタの使用の是非を選択するリミッタ選択手段と、を備えた請求項1記載の免振装置。前記干渉成分補償部は、前記速度比例制御干渉補償部で演算された干渉成分を周波数帯域により遮断/通過させるフィルタと、前記第1の位置比例速度積分制御干渉補償部干渉補償部で演算された干渉成分を周波数帯域により遮断/通過させるフィルタと、前記第2の位置比例速度積分制御干渉補償部干渉補償部で演算された干渉成分を周波数帯域により遮断/通過させるフィルタと、これらのフィルタの使用の是非を選択するフィルタ選択手段と、を備えた請求項6記載の免振装置。前記免振側制御部は、前記免振制御部から出力される免振制御用カウンタ推力指令の2階積分に基づいて位置指令を生成する位置指令生成部を備え、前記位置速度制御部はこの位置指令生成部から出力される位置指令および免振側フィードバック信号により位置速度制御推力指令を演算し、前記免振制御部から出力される免振制御用カウンタ推力指令と、前記位置速度制御部から出力される位置速度制御推力指令と、この干渉成分補償部からの出力との和により前記可動部を駆動制御するようにしたことを特徴とする請求項1記載の免振装置。前記位置指令生成部と直列に接続される架台振動成分を除去するフィルタを備えることを特徴とする請求項8記載の免振装置。前記免振側制御部は、前記位置速度制御部の入力から出力までの伝達特性から定まるフィルタを有し、前記免振制御用カウンタ推力指令を補正するカウンタ推力指令補正部を備え、前記免振制御部から出力されるカウンタ推力指令補正部出力と、前記位置速度制御部から出力される位置速度制御推力指令と、この干渉成分補償部からの出力との和により前記可動部を駆動制御するようにしたことを特徴とする請求項1記載の免振装置。前記カウンタ推力指令補正部内部に架台振動成分を除去するフィルタを備えたことを特徴とする請求項10記載の免振装置。架台上に搭載された駆動装置の駆動によって生じる振動を可動部の駆動反力を利用して振動抑制制御を行う免振装置において、前記免振装置を制御する免振側制御部は、前記駆動装置を制御する励振側制御部から出力された情報により、前記駆動装置の駆動反力に相当する駆動反力を得るために前記免振装置の可動部を駆動制御する免振制御部と、前記免振装置の位置指令および免振側フィードバック信号により、前記免振装置の可動部を位置速度制御する位置速度制御部と、を有するとともに、前記免振側制御部は、前記位置速度制御部と直列に接続され、前記位置速度制御推力指令から架台の振動成分を除去するフィルタを備え、前記免振制御部から出力される免振制御用カウンタ推力指令と、前記位置速度制御部から出力される位置速度制御推力指令をこのフィルタを介した出力との和により前記可動部を駆動制御するようにしたことを特徴とする免振装置。上述の特許文献1に記載の能動制動装置は、ステージ目標速度を入力し、ステージが駆動して発生する駆動反力を相殺する力を生成する動きを実現させる目標値を生成してカウンタマスを駆動する速度制御を行っている。このため、同一方向への移動を繰り返す運転の場合においては、カウンタマス位置が徐々に加算されストロークエンドに達してしまうため、ステージの駆動に起因する振動の抑制は能動制動装置のカウンタマスのストロークに制約されてしまうという問題点があった。この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、振動抑制の対象となるステージ以下、駆動装置と記すの運転が同一方向への移動を繰り返す運転の場合においても、能動制動装置以下、免振装置と記すのカウンタマス以下、可動部と記す位置が免振装置可動部のストロークエンドを越えることなく、駆動装置の駆動に起因する振動の抑制が可能な免振装置を得ることを目的とする。この発明に係る免振装置は、架台上に搭載された駆動装置の駆動によって生じる振動を可動部の駆動反力を利用して振動抑制制御を行う免振装置において、前記免振装置を制御する免振側制御部は、前記駆動装置を制御する励振側制御部から出力された情報により、前記駆動装置の駆動反力に相当する駆動反力を得るために前記免振装置の可動部を駆動制御する免振制御部と、前記免振装置の位置指令および免振側フィードバック信号により、前記免振装置の可動部を位置速度制御する位置速度制御部と、を有するとともに、前記免振側制御部は、前記免振制御部と直列に接続された第1のゲインと、前記位置速度制御部と直列に接続された第2のゲインと、前記励振側制御部から出力された情報を基に、前記免振制御部から出力される免振制御用カウンタ推力指令または前記位置速度制御部から出力される位置速度制御推力指令を選択し、前記第1のゲインと前記第2のゲインとの値を切換える条件判断部と、を備えたものである。この発明に係る免振装置は、駆動装置側の移動が免振側可動部のストロークエンドを越える同一方向への移動を繰り返す場合であっても、駆動装置側の運転により生じる駆動反力に対する免振制御が効率よく行うことができる。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1に係る駆動装置及び免振装置の構成を示すブロック図である。図において、駆動装置1を構成する励振側制御部3は励振側指令信号7に追従するように励振側フィードバック信号8を用いて制御し、励振側電流9を出力し、架台図示せず上に搭載された励振側可動部4を駆動する。また、励振側制御部3は後述の免振装置2に情報13を出力する。免振装置2を構成する免振側制御部5は、駆動装置1から出力される情報13を用いて免振制御用カウンタ推力指令を設定する免振制御とともに、免振側指令信号としての位置指令10に追従するように免振側フィードバック信号11を用いて制御する位置速度制御とを行い、免振側電流12を出力し、架台図示せず上に搭載された免振側可動部6を駆動する。図2はこの発明の実施の形態1に係る免振装置における免振側制御部の構成を示す図である。免振側制御部5aにおいて、免振装置の位置指令を設定する位置指令設定部101は、免振側指令信号としての位置指令10を出力する。位置指令10は駆動装置1の運転仕様に合せて設定され、通常は免振装置2における励振側可動部4の可動領域中央に設定する。ただし、励振側可動部4の駆動方向の情報を予め得ている場合には、免振装置の可動領域中央からストロークを確保できる方向に移動した位置を位置指令10として設定しても良い。位置速度制御部102は、免振装置2の位置速度制御を実施するもので、位置指令設定部101から出力される免振側指令信号としての位置指令10を基に位置速度制御推力指令を作成し、免振側可動部6の位置を位置指令10で指定された位置に制御する。情報設定部103は、励振側制御部3から情報13として取り込むデータの種類を選択するもので、データの種類としては速度指令、加速度指令、推力指令、電流指令などがある。免振制御用カウンタ推力設定部104は、情報設定部103で設定された情報106を用いて励振側駆動反力を導出し、免振制御用カウンタ推力指令107を出力する。免振制御部14は、情報設定部103、免振制御用カウンタ推力設定部104とにより構成される。条件判断部110aは情報106を基に、免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御推力指令108とのどちらか一方を選択し、スイッチ111を切替える。スイッチ111で選択された推力指令が、最終推力指令112となり、推力/電流変換部105で電流12aに変換される。図2では、免振制御部14を情報設定部103、免振制御用カウンタ推力設定部104で構成した例を示したが、情報設定部103、免振制御用カウンタ推力設定部104、条件判断部110a、スイッチ111、推力/電流変換部105で構成するようにしても良い。図3は駆動装置の各種指令の波形を示す図で、aは位置指令の波形を示す図、bは速度指令の波形を示す図、cは加速度指令の波形を示す図である。図に示すように、一般に指令パターンは加速領域、定速領域、減速領域、停止領域で構成され、駆動反力は加速領域および減速領域において生じるため、発明の実施の形態1においては、駆動装置の運転のうち駆動反力が生じる加速領域、減速領域において免振制御を行い、駆動反力が生じない定速領域、停止領域においては位置指令設定部101からの位置指令10により免振側可動部位置を制御する。図4はこの発明の実施の形態1に係る免振装置の免振側制御部において条件判断部110aで行う条件判断のフローチャートである。情報106として励振側速度指令を使用した場合の、条件判断部110aの処理例について説明する。ステップS101で、情報106を入力し、励振側速度指令時間変化=0か否かを判断する。ステップS101で励振側速度指令時間変化=0の場合は、ステップS102でスイッチ111aを選択し、ステップS103で免振装置の位置速度制御を実行する。ステップS101で励振側速度指令時間変化=0でない場合は、ステップS104でスイッチ111bを選択し、ステップS105で免振制御用カウンタ推力指令により免振制御を実行する。上述では、励振側制御部3から情報13として励振側速度指令を取り込んだ場合について説明したが、加速度指令、推力指令、電流指令、加速度、推力、電流を用いてもよい。また、上述では、励振側速度指令時間変化=0か否かを判断する例について説明したが、閾値により条件判断するようにしても良い。図5は免振装置を使用せずに駆動装置可動部を駆動した場合のシミュレーション結果を示す図、また図6は従来の免振装置により駆動反力を相殺して架台に振動を与えないようにした場合のシミュレーション結果を示す図である。図において、aは励振側指令パターン、bは励振側速度偏差励振側指令パターンと実速度の差分、cは架台変位、dは免振側可動部位置を示す。免振装置を使用せずに駆動装置可動部を駆動した図5の場合、駆動装置可動部が励振側指令パターンaに従って駆動した際、励振側速度偏差bは残留振動を生じており、架台変位cも大きく振動しているため、駆動装置の高速高精度な位置決めは困難である。また、駆動反力を相殺する免振装置を使用していないので、免振側可動部位置dは0となる。免振装置可動部を駆動装置可動部の駆動方向と反対方向に駆動させる図6の場合、駆動装置可動部が励振側指令パターンaに従って駆動した際、免振制御の効果により励振側速度偏差bおよび架台変位cの振動は抑制されている。しかしながら、駆動装置可動部が同一方向への移動を繰り返す運転の場合では、免振側可動部位置dが徐々に加算され、ストロークエンドに達してしまうため、同一方向への連続駆動が制限されることになる。図7はこの発明の実施の形態1に係る免振装置を使用した場合のシミュレーション結果を示す図で、aは励振側指令パターン、bは励振側速度偏差、cは架台変位、dは免振側可動部位置を示す。図において、励振側可動部指令パターンaに従って駆動装置可動部が駆動した際、励振側速度偏差bおよび架台変位cの振動はほぼ抑制されている。また、実施の形態1に係る免振装置においては、駆動装置の運転のうち駆動反力が生じる加速領域、減速領域において免振制御を行い、駆動反力が生じない定速領域、停止領域においては位置指令設定部101からの位置指令10により免振側可動部位置を制御するようにしたので、免振側可動部位置dが位置指令10で指定された位置に制御されており、同一方向への移動を繰り返す場合であっても、免振制御を行うことができる。実施の形態1に係る免振装置においては、駆動装置側の運転により生じる駆動反力に対する免振制御と、免振装置の位置速度制御を切替え可能とし、免振側可動部による免振制御の必要がない場合に、免振側可動部を所定の位置例えば、可動範囲の中央に移動させておくことができるので、駆動装置側の移動が免振側可動部のストロークエンドを越える同一方向への移動を繰り返す場合であっても、駆動装置側の運転により生じる駆動反力に対する免振制御が効率よく行える。実施の形態2.図8はこの発明の実施の形態2に係る免振装置における免振側制御部の構成を示す図である。図において、10、11、13、14、101、102、103、104、105、106、107、108は図2と同様であり、その説明を省略する。免振制御用カウンタ推力指令107の作成および位置速度制御推力指令108の作成までの構成は実施の形態1と同様であり、その説明を省略する。免振側制御部5bにおいて、条件判断部110bは情報106により、免振制御用カウンタ推力指令107を入力する第1のゲインとしての可変ゲイン113および位置速度制御推力指令108を入力する第2のゲインとしての可変ゲイン114を可変する。可変ゲイン113で調整された免振制御用カウンタ推力指令115と可変ゲイン114で調整された位置速度制御推力指令116とを加算して、最終推力指令117とし、推力/電流変換部105で電流12bに変換する。可変ゲイン113は、励振側速度指令時間変化≠0の間は、可変ゲイン113を1に固定し、免振制御用カウンタ推力指令のみを推力/電流変換部105に出力する。また、励振側速度指令時間変化=0の場合には、可変ゲイン113を1から0に徐々に変化させる。また、可変ゲイン114は、励振側速度指令時間変化≠0の間は、可変ゲイン114を0に固定し、位置速度制御推力指令116を0にする。また、励振側速度指令時間変化=0の場合には、可変ゲイン114を0から1に徐々に変更させる。図9はこの発明の実施の形態2に係る免振装置の免振側制御部において条件判断部110bで行う条件判断のフローチャートである。情報106として励振側速度指令を使用した場合の処理例について説明する。ステップS201で、励振側制御部の情報106を条件判断部110bに入力し、励振側速度指令時間変化=0か否かを判断する。ステップS201で励振側速度指令時間変化=0の場合には、ステップS202で可変ゲイン113は1から0、可変ゲイン114は0から1にゲインを変化させ、免振制御用カウンタ推力指令から位置速度制御推力指令に徐々に切替える。ステップS201で励振側速度指令時間変化≠0の場合は、ステップS203で可変ゲイン113は1、可変ゲイン114は0に固定し、免振制御用カウンタ推力指令のみを出力する。図10はこの発明の実施の形態2に係る免振装置を使用した場合のシミュレーション結果を示す図で、aは励振側指令パターン、bは励振側速度偏差、cは架台変位、dは免振側可動部位置を示す。図において、励振側可動部指令パターンaに従って駆動装置可動部が駆動した際、励振側速度偏差bおよび架台変位cの振動は良好に抑制されている。また、免振側可動部位置dは位置指令10で指定された位置に制御されているが、可変ゲイン113および可変ゲイン114を用いて免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御推力指令108を緩やかに切替えるようにしたので、実施の形態1で示した図7の免振側可動部位置dと比較すると応答は遅れている。実施の形態1では、免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御推力指令108をスイッチ111で切替える例を示したが、実施の形態2は可変ゲイン113および可変ゲイン114を用いて、免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御推力指令108の切替えを行うようにしたものである。免振制御用カウンタ推力指令107から位置速度制御推力指令108への切替えを、可変ゲインを用いて徐々に切替えるようにしたので、切替え時のショックを軽減することができる。実施の形態3.図11はこの発明の実施の形態3に係る免振装置における免振側制御部の構成を示す図である。図において、10、11、13、14、101、102、103、104、105、106、107、108は図2と同様であり、その説明を省略する。免振側制御部5cにおいて、位置速度制御部102と直列にノッチフィルタ201を配置し、ノッチフィルタ201を通した位置速度制御推力指令202と、免振制御用カウンタ推力指令107とを加算して最終推力指令203とし、推力/電流変換部105で電流12cに変換する。図12は駆動装置の各種指令の波形を示す図で、aは位置指令の波形を示す図、bは速度指令の波形を示す図、cは加速度指令の波形を示す図である。図12は実施の形態1で示した図3と比較して、定速領域、停止領域が少ない指令パターンの例である。実施の形態1、2では、駆動装置の運転のうち駆動反力が生じる加速領域、減速領域において免振制御を行い、駆動反力が生じない定速領域、停止領域においては位置指令設定部101からの位置指令10により可動部位置を制御する例を示した。しかしながら、図12に示すような定速領域、停止領域が少ない指令パターンの場合においては、位置指令10による可動部位置を制御する時間が十分に取れないことがあるため、実施の形態3では、免振制御と位置指令10による可動部位置制御とを同時に行うようにしたものである。図13は、図11の構成においてノッチフィルタ201を介さずに、免振制御と位置指令10による可動部位置制御とを同時に行った場合のシミュレーション結果を示す図で、aは励振側指令パターン、bは励振側速度偏差、cは架台変位、dは免振側可動部位置を示す。位置速度制御部102から出力される位置速度制御推力指令108は、移動した免振側可動部を位置指令10で指定された位置に戻す指令であり、免振制御用カウンタ推力指令107と異なる極性の推力指令となる。このため、免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御推力指令108を同時に行うと、免振制御用カウンタ推力指令107による免振制御の効果を妨げ、架台振動を励起することがある。免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御推力指令108とを加算した場合図11の構成からノッチフィルタ201を省略した場合のシミュレーション結果を示す図13において、免振側可動部6は位置速度制御部102によって位置指令10で指定された位置に制御されているため、免振側可動部位置dはストロークエンドに達することはない。しかしながら、駆動装置可動部が励振側可動部指令パターンaに従って駆動した際、位置速度制御推力指令108により免振制御用カウンタ推力指令107による免振制御の効果が妨げられるので、励振側速度偏差bおよび架台変位cについては、免振装置を使用しない場合である図5のシミュレーション結果と比較すると、振動が抑制されているが、従来の免振装置を使用した場合である図6のシミュレーション結果と比較すると、振動が増大している。一般に、架台は加振力が加えられると架台の固有モード周波数で振動する。加振力が架台の固有モード周波数と一致している時、架台振動振幅は振動が持続または増幅され、加振力に架台の固有モード周波数が含まれない時、架台振動振幅は減衰し収束する。このため、実施の形態3においては、位置速度制御部102と直列に配置されるノッチフィルタ201に架台の固有モード周波数と同一値を設定し、位置速度制御推力指令108からノッチフィルタ201で架台の振動成分を除去した推力指令202を作成し、免振制御用カウンタ推力指令107に加算する。図14はこの発明の実施の形態3に係る免振装置を使用した場合のシミュレーション結果を示す図で、aは励振側指令パターン、bは励振側速度偏差、cは架台変位、dは免振側可動部位置を示す。図14において、駆動装置可動部が励振側指令パターンaに従って駆動した際、励振側速度偏差bおよび架台変位cの振動は、免振制御と位置指令10による可動部位置制御とを同時に行った場合である図13のシミュレーション結果と比較して、ほぼ抑制されている。また、免振側可動部位置dは位置指令10で指定された位置に制御されている。上記では、ノッチフィルタ201で位置速度制御推力指令108から架台の振動成分を除去する例について説明したが、ローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタを使用しても良い。実施の形態3は、架台の振動抑制と免振装置の位置及び速度制御とを同時に行うことができるため、定速領域、停止領域停止期間の短い連続した指令パターンにおいても免振制御が効率よく行える。実施の形態4.図15はこの発明の実施の形態4に係る免振装置における免振側制御部の構成を示す図である。図において、10、11、13、14、101、102、103、104、105、106、107、108は、図2と同様であり、その説明を省略する。免振側制御部5dにおいて、干渉成分補償部301は、免振制御用カウンタ推力指令107に加算する位置速度制御推力指令108に含まれる免振制御の効果を妨げる干渉成分を算出するとともに、干渉成分補償の出力を調整する後処理を行い、干渉成分補償推力指令302を出力する。免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御推力指令108と干渉成分補償推力指令302とを加算して最終推力指令303とし、推力/電流変換部105で電流12dに変換する。実施の形態4においては、免振制御用カウンタ推力指令107および位置速度制御推力指令108に、干渉成分補償推力指令302をフィードフォワードで加算するようにしたものである。図16は位置速度制御推力指令108を作成する位置速度制御部102の内部構成を示す図である。図において、位置P比例制御部304は、位置指令設定部101から出力される位置指令10と免振側フィードバック信号11との差分にゲイン係数を乗じ、位置P制御指令308を演算する。速度P比例制御部306は、位置P制御指令308と微分演算部305で免振側フィードバック信号11を微分した値との差分にゲイン係数を乗じ、速度P制御指令309を演算する。また、速度I積分制御部307は、位置P制御指令308と微分演算部305で免振側フィードバック信号11を微分した値との差分を集計し、その総和にゲイン係数を乗じ、速度I制御指令310を演算する。速度P制御指令309と速度I制御指令310とを加算して、位置速度制御推力指令108として出力する。図17はこの発明の実施の形態4に係る免振装置において免振側制御部における干渉成分補償部301の内部構成を示す図である。図において、干渉成分補償部301aは、速度P制御干渉補償部401aで免振制御用カウンタ推力指令107を基に作成した速度P制御干渉補償推力指令402aを、免振側フィードバック信号11による可変ゲイン403により調整し、干渉成分補償推力指令302aを出力する。実施の形態4においては、干渉成分補償部301aは、位置速度制御部102の後半部の速度P制御指令309に対して干渉補償を行う例を示した。図17において、速度P制御干渉補償部401aは、免振制御用カウンタ推力指令107を用いて可動部速度推定値vcoを導出し、速度P制御干渉補償推力指令402aを求める。可動部速度推定値vcoは、免振制御用カウンタ推力指令107を用いて次のように推定する。推力F、質量M、加速度aは、一般的な物理法則より次式1の関係で表される。F=Ma1ここで、免振用カウンタ推力指令Fc、可動部質量Mc、可動部加速度acと定義すると、可動部速度推定値vcoは次式3で得られる。Fc=Mcac2vco=ac/s=Fc/Mc1/s3式3において、1/sは積分器を表している。また、図16の速度P制御指令309は、可動部速度推定値vcoを用いて次式4で得られる。速度P制御指令309=Kspvco4ここで、Kspは速度P制御ゲインであり、速度P制御応答周波数をωscとすると、Ksp=Mcωscで表される。したがって、速度P制御指令309を干渉補償の対象とした場合、速度P制御干渉補償推力指令402aは次式5で得られる。速度P制御干渉補償推力指令402a=Kspvco=Mcωscvco=McωscFc/Mc1/s=ωsc/sFc5式5より、速度P制御干渉補償部401aにおける制御内容はωsc/sとなる。さらに、干渉成分補償部301aは、速度P制御干渉補償推力指令402aを、免振側フィードバック信号11に応じた可変ゲイン403によって調整し、干渉成分補償推力指令302aとして出力する。図18はこの発明の実施の形態4に係る免振装置において免振側制御部の干渉成分補償部301aにおける可変ゲイン403を示す図である。図において、横軸は免振側フィードバック信号11としての免振側可動部位置を表し、免振側可動部の可動範囲の中央を0とし、左右の可動範囲最大値ストロークエンドを±Xmaxとする。また、縦軸はゲインであり、免振側可動部位置によってゲインGaから0に設定値を変更する。図18において、aはゲインを免振側可動部の可動範囲の中央でGaとし、免振側可動部の可動範囲最大値±Xmaxで0となるように直線で変化させる例、またbはゲインを免振側可動部の可動範囲の中央および中央近傍でGaとし、免振側可動部の可動範囲最大値±Xmax近傍で0となるように制御するとともに、変化するコーナ部を曲線で変化させた例である。速度P制御干渉補償推力指令402aは、免振側可動部位置に応じて可変ゲイン403によって調整される。図18a、bにおいて、干渉成分補償推力指令302aは可動範囲最大値ストロークエンド±Xmaxに近づくに従って減少し、±Xmaxで0となる。この時、免振側可動部は位置速度制御部102によって初期位置に制御される。図19はこの発明の実施の形態4に係る免振装置を使用した場合のシミュレーション結果を示す図で、aは励振側指令パターン、bは励振側速度偏差、cは架台変位、dは免振側可動部位置を示す。図19において、駆動装置可動部が励振側指令パターンaに従って駆動した際、励振側速度偏差bおよび架台変位cの振動は良好に抑制されている。また、免振側可動部位置dは位置指令10で指定された位置に制御されている。免振制御用カウンタ推力指令107から免振側可動部速度を推定して干渉成分補償301を導出し、位置速度制御推力指令108に対してフィードフォワードで与えるようにしたので、位置速度制御部102の応答周波数を上げても不安定になることがない。したがって、より停止期間の短い連続した指令パターンで、免振装置の位置速度制御部は速い応答が求められる場合においても、良好な架台振動抑制効果が得られる。上記では速度P制御部306の出力から免振制御を妨げる干渉成分を除去する例について説明したが、速度I制御部307の出力を加算してから免振制御を妨げる干渉成分を除去する処理を行っても良い。実施の形態5.図20はこの発明の実施の形態5に係る免振装置において免振側制御部における干渉成分補償部301bの内部構成を示す図である。図において、干渉成分補償部301bは、位置P速度PI制御干渉補償部401bで免振制御用カウンタ推力指令107を基に作成した位置P速度PI制御干渉補償推力指令402bを、ハイパスフィルタ404、リミッタ405により調整し、干渉成分補償推力指令302bを出力する。実施の形態5においては、干渉成分補償部301bは、位置速度制御部102を構成する位置P制御部304、速度P制御部306および速度I制御部307の出力に対して干渉補償を行う。位置P速度PI制御干渉補償部401bは、免振制御用カウンタ推力指令107を用いて可動部速度推定値vcoおよび免振側可動部位置推定値xcoを求める。可動部速度推定値vcoは、実施の形態4で記載のように式3で得られ、vco=Fc/Mc1/s3また、免振側可動部位置推定値xcoは次式6で得られる。xco=vco/s=Fc/Mc1/s26位置P速度PI制御干渉補償推力指令402bは次式7で得られる。位置P速度PI制御干渉補償推力指令402b=ωpcxcovcoKsp1ωspi/sFc=ωpcFc/Mc/s2Fc/Mc/sMcωsc1ωspi/sFc=ωsc/s{1ωpcωspi/sωpcωspi/s2}Fc7ここで、ωpcは位置P制御の位置応答周波数、ωspiは速度PI制御の積分時定数、ωscは速度P制御応答周波数、KspはKsp=Mcωscで表される速度P制御ゲインである。従って、位置P速度PI制御干渉補償部401bにおける制御内容は次のようになる。ωsc/s{1ωpcωspi/sωpcωspi/s2}位置P速度PI制御干渉補償推力指令402bを用いた場合、位置速度制御部推力指令108がほぼ相殺され、免振制御用カウンタ推力指令107のみで駆動していることと等価になるため、駆動装置可動部が同一方向への移動を繰り返す運転の場合においては、免振側可動部位置が徐々に更新されストロークエンドに達してしまうという問題点がある。その対策として、実施の形態5では位置P速度PI制御干渉補償部401bと直列にハイパスフィルタ404およびリミッタ405を設ける。ハイパスフィルタ404に設定した周波数よりも低い帯域では、位置P速度PI制御干渉補償推力指令402bが遮断され、位置速度制御が有効になる。また、ハイパスフィルタ404に設定した周波数よりも高い帯域では、位置P速度PI制御干渉補償推力指令402bを通過させるため、免振用カウンタ推力指令のみ出力されることと等価になり、架台振動を抑制する。さらに、リミッタ405によって干渉成分補償量を制限し過補償を防ぐ。図21はこの発明の実施の形態5に係る免振装置を使用した場合のシミュレーション結果を示す図で、aは励振側指令パターン、bは励振側速度偏差、cは架台変位、dは免振側可動部位置を示す。図21において、駆動装置可動部が励振側指令パターンaに従って駆動した際、励振側速度偏差bおよび架台変位cの振動は良好に抑制されている。また、免振側可動部位置dは位置指令10で指定された位置に制御されている。上記では、ハイパスフィルタ404で位置P速度PI制御干渉補償推力指令402bから免振制御用カウンタ推力指令の基本波成分を除去する例について説明したが、ローパスフィルタ、バンドパスフィルタを使用しても良い。免振制御用カウンタ推力指令107から免振側可動部速度を推定して干渉成分補償301を導出し、位置速度制御推力指令108に対してフィードフォワードで与えるようにしたので、位置速度制御部102の応答周波数を上げても不安定になることがない。したがって、より停止期間の短い連続した指令パターンで、免振装置の位置速度制御部は速い応答が求められる場合においても、良好な架台振動抑制効果が得られる。実施の形態6.図22はこの発明の実施の形態6に係る免振装置において免振側制御部における干渉成分補償部301cの内部構成を示す図である。図において、干渉成分補償部301cは、位置P速度PI制御干渉補償部401cと、免振側フィードバック信号11により可変する可変ゲイン403と、可変ゲイン403の使用の是非を選択する可変ゲイン選択スイッチ406と、ハイパスフィルタ404と、ハイパスフィルタ404の使用の是非を選択するハイパスフィルタ選択スイッチ407と、リミッタ405と、リミッタ405の使用の是非を選択するリミッタ選択スイッチ408とから構成される。位置P速度PI制御干渉補償部401cは、位置P干渉補償手段、速度P干渉補償手段、速度I干渉補償手段から構成され、いずれか一つ、または複数を選択して干渉補償を実行する。干渉成分補償部301cにおいて、位置P速度PI制御干渉補償部401cで免振制御用カウンタ推力指令107を基に、選択された干渉補償手段により干渉補償推力指令402cを作成する。干渉補償推力指令402cに対して、さらに可変ゲイン選択スイッチ406により可変ゲイン選択時接点406aが選択されている場合には、可変ゲイン403の使用による調整を実行する。ただし、可変ゲイン否選択時接点406bが選択されている場合には可変ゲイン403の使用による調整は行わない。さらにハイパスフィルタ選択スイッチ407によりハイパスフィルタ選択時接点407aが選択されている場合には、ハイパスフィルタ404の使用による調整を実行する。ただし、ハイパスフィルタ否選択時接点407bが選択されている場合にはハイパスフィルタ404の使用による調整は行わない。さらにリミッタ選択スイッチ408によりリミッタ選択時接点408aが選択されている場合には、リミッタ405の使用による調整を実行する。ただし、リミッタ否選択時接点408bが選択されている場合には、リミッタ405の使用による調整は行わない。干渉補償推力指令402cに対して、可変ゲイン選択スイッチ406、ハイパスフィルタ選択スイッチ407、リミッタ選択スイッチ408により選択処理して干渉成分補償推力指令302cを作成、出力する。実施の形態6は、実施の形態4,5と同様に、免振制御としての免振制御用カウンタ推力指令107と位置速度制御としての位置速度制御推力指令108とを同時に実行する場合に、干渉成分補償部301において、位置速度制御推力指令108に含まれるところの免振制御を妨げる干渉成分を算出し、免振制御用カウンタ推力指令107にフィードフォワードで加算することにより、免振制御を妨げる干渉成分を除去するものである。位置速度制御としての位置速度制御推力指令108を作成する位置速度制御部102を構成する位置P比例制御部304、速度P比例制御部306、速度I積分制御部307の内、実施の形態4においては、速度P制御部306の出力、または速度P制御部306および速度I制御部307の出力から免振制御を妨げる干渉成分を除去する例、また実施の形態5においては、位置P制御部304の出力、速度P制御部306の出力および速度I制御部307の出力から免振制御を妨げる干渉成分を除去する例を記載したが、実施の形態6においては、免振制御を妨げる干渉成分を除去する対象を位置速度制御部102を構成する位置P制御部304、速度P制御部306、速度I制御部307から適宜選択できるようにしたものである。上記では、ハイパスフィルタ404で干渉補償推力指令402cから免振制御用カウンタ推力指令の基本波成分を除去する例について説明したが、ローパスフィルタ、バンドパスフィルタを使用しても良い。実施の形態6では、位置速度制御としての位置速度制御推力指令108を作成する位置速度制御部102を構成する位置P制御部304、速度P制御部306、速度I制御部307の内から、免振制御を妨げる干渉成分を除去する対象を適宜選択できるようにしたので、負荷仕様、指令パターンに対応した良好な架台振動抑制効果が得られる。実施の形態7.図23はこの発明の実施の形態7に係る免振装置において免振側制御部における干渉成分補償部301dの内部構成を示す図である。図において、干渉成分補償部301dは免振制御用カウンタ推力指令107を入力し、干渉補償部410a,410b,410cでそれぞれ演算した干渉補償推力指令を、ハイパスフィルタ411a,411b,411cにより調整した後、加算部412で加算し、さらに過補償を防ぐためにリミッタ405によって干渉成分補償量を制限して干渉成分補償推力指令302dとして出力する。上述の実施の形態5で式7として記載した、位置P速度PI制御干渉補償推力指令402bを出力する位置P速度PI制御干渉補償部401bの制御内容であるωsc/s{1ωpcωspi/sωpcωspi/s2}において、位置P速度PI制御干渉補償を分母のsの次数に着目し、3項に分けたものである。ここで、ωpcは位置P制御の位置応答周波数、ωspiは速度PI制御の積分時定数、ωscは速度P制御応答周波数である。ここで、速度P制御干渉補償部410aの制御内容はωsc/s、また、第1の位置P速度I制御干渉補償部としての位置P速度I制御干渉補償部410bの制御内容は、ωsc/sωpcωspi/s、また、第2の位置P速度I制御干渉補償部としての位置P速度I制御干渉補償部410cの制御内容は、ωsc/sωpcωspi/s2である。各干渉補償部410a,410b,410cの特徴として、速度P制御干渉補償部410aは適応性を高める効果があり、位置P速度I制御干渉補償部410bは、オーバーシュート、抑制摩擦補償などで偏差をなくす効果があり、また、位置P速度I制御干渉補償部410cは、高精度な位置制御を実現する効果がある。また、上記では干渉補償部410a,410b,410cの出力をそれぞれハイパスフィルタ411a,411b,411cにより調整した後、加算部412で加算した後、リミッタ405によって干渉成分補償量を制限する例を示したが、ハイパスフィルタ411a,411b,411cおよびリミッタ405のうち少なくとも1つがない構成としてもよい。また、上記では、ハイパスフィルタ411a,411b,411cで干渉補償部410a,410b,410cの出力を調整する例について説明したが、ローパスフィルタ、バンドパスフィルタを使用しても良い。実施の形態8.図24はこの発明の実施の形態8に係る免振装置における免振側制御部の構成を示す図である。図において、10、11、13、14、102、103、104、105、106、107、108、301、302、303は、図15と同様であり、その説明を省略する。免振側制御部において、位置指令生成部501は免振制御用カウンタ指令107を入力し、位置速度制御部102に位置指令10を出力する。また、図25はこの発明の実施の形態8に係る免振装置の免振側制御部における位置指令生成部501の構成を示す図である。図において、位置指令生成部501は、免振制御用カウンタ推力指令107を積分器502、積分器503で2階積分した値に推力-加速度換算部504で-1/mcを乗じた値と免振側可動部基準位置設定部505から出力される免振側可動部基準位置=0506とを加算して位置指令10を出力する。ここで、mcは免振側可動部の質量[kg]である。すなわち、免振制御用カウンタ推力指令107を加速度指令に換算し、換算した加速度指令を2階積分して位置指令に換算し、換算した位置指令を逆向きに位置速度制御部の位置指令として入力する。また、図26はこの発明の実施の形態8に係る免振装置の免振側制御部における干渉成分補償部301の構成を示す図である。図において、干渉成分補償部301eは、位置P速度PI制御干渉補償部401bの出力402bをそのまま干渉成分補償部の出力302eとして出力する。なお、位置P速度PI制御干渉補償部401bは、実施の形態5における図20の位置P速度PI制御干渉補償部401bと同一であり、その説明を省略する。免振制御用カウンタ推力指令107、干渉成分補償部301eの出力302e、位置速度制御部102の出力である位置速度制御推力指令108の和を免振側最終推力指令303として、推力/電流変換部105に入力し、電流12fに変換する。実施の形態8は、免振制御用カウンタ推力により生じる免振側変位をキャンセルする位置指令を免振側位置速度制御部に入力するため、連続して同一方向へ動作する指令パターンにおいても免振制御を効率よく行える。実施の形態9.図27はこの発明の実施の形態9に係る免振装置における免振側制御部の構成を示す図である。図において、10、11、13、14、102、103、104、105、106、107、108、501は、図24と同様であり、その説明を省略する。免振側制御部において、位置指令生成部501から出力される位置指令10を、架台振動成分除去するノッチフィルタ201に通してから免振側位置指令507として位置速度制御部102へ入力する。なお、ノッチフィルタ201は実施の形態3の図11で記載のフィルタと同一のものである。なお、架台振動成分除去するフィルタをローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタを用いて構成してもよい。実施の形態9は免振制御用カウンタ推力により生じる免振側変位をキャンセルする位置指令を免振側位置速度制御部に入力することに加えて、免振側変位をキャンセルする位置指令から架台振動成分を除去するため、連続して同一方向へ動作する指令パターンにおいてもさらに良好な免振制御を行える。実施の形態10.図28はこの発明の実施の形態10に係る免振装置における免振側制御部の構成を示す図である。図において、10、11、13、14、101、102、103、104、105、106、107、108は、図24と同様であり、その説明を省略する。免振側制御部においては、免振制御用カウンタ推力指令107を補正するカウンタ推力指令補正部508を備え、カウンタ推力指令補正部出力509を出力するように構成し、位置指令生成部501の替わりに位置指令設定部101を用いる。なお、位置指令設定部101は、実施の形態1の図2と同一であり、その説明を省略する。また、図29はこの発明の実施の形態10に係る免振装置の免振側制御部におけるカウンタ推力指令補正部508の構成を示す図である。図において、510は位置速度制御部の位置指令から位置速度制御部102の出力までの伝達関数に1/を乗じたフィルタ位置速度制御部の入力から出力までの伝達特性から定まるフィルタである。実施の形態10においては、免振制御用カウンタ推力指令107の替わりにカウンタ推力指令補正部508の出力509を干渉成分補償部301に入力し、干渉成分補償部301の出力302、カウンタ推力指令補正部508の出力509、位置速度制御部102の出力108の和を推力/電流変換部105に入力する。実施の形態10は、免振制御用カウンタ推力により生じる免振側変位をキャンセルする位置指令を免振側位置速度制御部に入力することに相当する補正を行うため、連続して同一方向へ動作する指令パターンにおいても免振制御を効率よく行える。実施の形態11.図30はこの発明の実施の形態11に係る免振装置の免振側制御部におけるカウンタ推力指令補正部508の構成を示す図である。図において、107、509、510は、図29と同様であり、その説明を省略する。免振制御用カウンタ推力指令107を、架台振動成分を除去するためのノッチフィルタ201を介して、フィルタ位置速度制御部の入力から出力までの伝達特性から定まるフィルタ510に入力するようにしたものである。なお、ノッチフィルタ201は実施の形態3と同一のフィルタである。なお、架台振動成分除去するフィルタをローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタを用いて構成してもよい。実施の形態11は免振制御用カウンタ推力により生じる免振側変位をキャンセルする位置指令を免振側位置速度制御部に入力することに相当する補正を行うことに加えて、前記補正量から架台振動成分を除去するため、連続して同一方向へ動作する指令パターンにおいてもさらに良好な免振制御を行える。"