"高可干渉性光を発する光源と、前記光源から発せられた高可干渉性光を平行光に整えて、検査対象である被検レンズに入射させるコリメート手段と、平行光に整えられた前記高可干渉光を、前記被検レンズに入射させる被検光と、前記被検レンズを通過しない基準光とに分岐させる分岐手段と、前記分岐手段から入射し、前記被検レンズを通過した前記被検光を、入射方向に反射するとともに、再度前記被検レンズを通過した後に平行光となるように再帰的に反射する再帰反射手段と、前記再帰反射手段と前記被検レンズの相対的な位置関係を、光軸の周りに180度回転させる回転手段と、前記基準光と、前記被検レンズ及び前記再帰反射手段を経て前記被検レンズの情報を担持した前記被検光との干渉縞を撮像する撮像手段であり、前記回転手段により、前記再帰反射手段と前記被検レンズの位置関係が所定状態で第1干渉縞を撮像し、前記再帰反射手段と前記被検レンズの位置関係が前記所定状態に対して180度された状態で第2干渉縞を撮像する撮像手段と、前記干渉縞を解析することにより、前記被検レンズを通過することによる波面収差を算出する干渉縞解析手段であり、前記第1干渉縞、前記第2干渉縞についてそれぞれ前記波面収差を算出する干渉縞解析手段と、前記第1干渉縞から算出された前記波面収差と、前記第2干渉縞から得られた前記波面収差とに基づいて、前記被検レンズの表裏2つのレンズ面のズレを算出するズレ算出手段と、を備えることを特徴とするレンズ測定装置。前記ズレ算出手段は、前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に垂直な方向にシフトしたことによる面ズレの量を算出することを特徴とする請求項1記載のレンズ測定装置。前記ズレ算出手段は、前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に対して回転したことによる面倒れの量を算出することを特徴とする請求項1または2記載のレンズ測定装置。前記干渉縞解析手段は、前記干渉縞がツェルニケ多項式を各項とする式で表されるように、前記干渉縞に基づいて前記式の各項の係数を算出することにより、前記被検レンズの波面収差を算出し、前記ズレ算出手段は、前記ズレのない基準レンズによる波面収差の態様を、前記式で表した場合の前記係数として予め記憶しており、前記干渉縞解析手段によって算出された前記被検レンズによる波面収差を表す前記係数と、前記基準レンズによる波面収差を表す前記係数とに基づいて、前記ズレによる波面収差を算出することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のレンズ測定装置。前記ズレ算出手段は、前記第1干渉縞から算出された波面収差に基づいて算出した前記ズレと、前記第2干渉縞から算出された波面収差に基づいて算出した前記ズレを平均した値を、前記被検レンズの前記ズレとして算出することを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のレンズ測定装置。前記ズレ算出手段は、前記係数に基づいてコマ収差を算出し、算出した前記コマ収差から前記ズレを算出することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載のレンズ測定装置。前記ズレ算出手段は、前記コマ収差として、3次コマ収差と、5次コマ収差を算出することを特徴とする請求項6記載のレンズ測定装置。前記被検レンズの所定方向をx、前記x方向に垂直な方向をy、前記3次コマ収差の前記x方向成分をC3x、前記y方向成分をC3y、前記5次コマ収差の前記x方向成分をC5x、前記y方向成分をC5y、前記ズレのうち前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に垂直な方向にシフトしたことによる面ズレΔの前記x方向成分をΔx、前記y方向成分をΔy、前記ズレのうち前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に対して回転したことによる面倒れΩの前記x方向成分をΩx、前記y方向成分をΩyとするときに、前記ズレ算出手段は、シュミレーションにより既知の係数εを用いて、下記数式に基づいて前記前記面ズレΔ及び前記面倒れΩを算出することを特徴とする請求項7記載のレンズ測定装置。C3x=ε11Δxε12ΩxC3y=ε21Δyε22ΩyC5x=ε31Δxε32ΩxC5y=ε41Δyε42Ωy前記光源、前記コリメート手段、前記分岐手段、及び前記再帰反射手段を含んで形成される干渉計は、フィゾー型干渉計であることを特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載のレンズ測定装置。前記被検レンズは、少なくとも表裏一方のレンズ面が非球面に形成された非球面レンズであることを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載のレンズ測定装置。特許文献1,2に記載されている測定装置は、被検レンズの透過波面を測定するものであるため、波面測定を行うための光学系以下、測定光学系というの光軸等が被検レンズに対して精度良く調節されていることが前提となる。しかしながら、一定以上に高精度に、測定光学系の光軸等を調節することは難しいという問題がある。このため、ある程度の精度になると、レンズ面のズレによる波面収差と、測定系の光軸等の誤差によって生じる擬似的な波面収差との区別は困難となり、それ以上には高精度にレンズ面のズレ量を算出することができない。その結果、金型のかみ合わせ精度の校正も一定以上の精度には調節できず、レンズの成形精度を向上させることが難しくなる。また、測定光学系の光軸等を極めて高精度に調節可能であるとしても、繰り返して調節することが必要であるため、相応の時間を要する。このため、多数の製品の検査、特に製品の全数検査を行うことが困難であるという問題もある。本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり測定光学系の誤差によらず、より迅速かつ正確に表裏2つのレンズ面のズレ量を得られる測定装置を提供することを目的とする。本発明のレンズ測定装置は、高可干渉性光を発する光源と、前記光源から発せられた高可干渉性光を平行光に整えて、検査対象である被検レンズに入射させるコリメート手段と、平行光に整えられた前記高可干渉光を、前記被検レンズに入射させる被検光と、前記被検レンズを通過しない基準光とに分岐させる分岐手段と、前記分岐手段から入射し、前記被検レンズを通過した前記被検光を、入射方向に反射するとともに、再度前記被検レンズを通過した後に平行光となるように再帰的に反射する再帰反射手段と、前記再帰反射手段と前記被検レンズの相対的な位置関係を、光軸の周りに180度回転させる回転手段と、前記基準光と、前記被検レンズ及び前記再帰反射手段を経て前記被検レンズの情報を担持した前記被検光との干渉縞を撮像する撮像手段であり、前記回転手段により、前記再帰反射手段と前記被検レンズの位置関係が所定状態で第1干渉縞を撮像し、前記再帰反射手段と前記被検レンズの位置関係が前記所定状態に対して180度された状態で第2干渉縞を撮像する撮像手段と、前記干渉縞を解析することにより、前記被検レンズを通過することによる波面収差を算出する干渉縞解析手段であり、前記第1干渉縞、前記第2干渉縞についてそれぞれ前記波面収差を算出する干渉縞解析手段と、前記第1干渉縞から算出された前記波面収差と、前記第2干渉縞から得られた前記波面収差とに基づいて、前記被検レンズの表裏2つのレンズ面のズレを算出するズレ算出手段と、を備えることを特徴とする。前記ズレ算出手段は、前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に垂直な方向にシフトしたことによる面ズレの量を算出することが好ましい。前記ズレ算出手段は、前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に対して回転したことによる面倒れの量を算出することが好ましい。前記干渉縞解析手段は、前記干渉縞がツェルニケ多項式を各項とする式で表されるように、前記干渉縞に基づいて前記式の各項の係数を算出することにより、前記被検レンズの波面収差を算出し、前記ズレ算出手段は、前記ズレのない基準レンズによる波面収差の態様を、前記式で表した場合の前記係数として予め記憶しており、前記干渉縞解析手段によって算出された前記被検レンズによる波面収差を表す前記係数と、前記基準レンズによる波面収差を表す前記係数とに基づいて、前記ズレによる波面収差を算出することが好ましい。前記ズレ算出手段は、前記第1干渉縞から算出された波面収差に基づいて算出した前記ズレと、前記第2干渉縞から算出された波面収差に基づいて算出した前記ズレを平均した値を、前記被検レンズの前記ズレとして算出することが好ましい。前記ズレ算出手段は、前記係数に基づいてコマ収差を算出し、算出した前記コマ収差から前記ズレを算出することが好ましい。前記ズレ算出手段は、前記コマ収差として、3次コマ収差と、5次コマ収差を算出することが好ましい。前記被検レンズの所定方向をx、前記x方向に垂直な方向をy、前記3次コマ収差の前記x方向成分をC3x、前記y方向成分をC3y、前記5次コマ収差の前記x方向成分をC5x、前記y方向成分をC5y、前記ズレのうち前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に垂直な方向にシフトしたことによる面ズレΔの前記x方向成分をΔx、前記y方向成分をΔy、前記ズレのうち前記被検レンズの2つのレンズ面が所定光軸に対して回転したことによる面倒れΩの前記x方向成分をΩx、前記y方向成分をΩyとするときに、前記ズレ算出手段は、シュミレーションにより既知の係数εを用いて、下記数式に基づいて前記前記面ズレΔ及び前記面倒れΩを算出することが好ましい。C3x=ε11Δxε12ΩxC3y=ε21Δyε22ΩyC5x=ε31Δxε32ΩxC5y=ε41Δyε42Ωy前記光源、前記コリメート手段、前記分岐手段、及び前記再帰反射手段を含んで形成される干渉計は、フィゾー型干渉計であることが好ましい。前記被検レンズは、少なくとも表裏一方のレンズ面が非球面に形成された非球面レンズであることことが好ましい。本発明によれば、測定光学系の誤差によらず、より迅速かつ正確に、表裏2つのレンズ面のズレ量を得ることができる。[第1実施形態]図1A及びBに示すように、モールド整形により形成された被検レンズ10は、非球面レンズであり、回転対称である。また、表裏に第1レンズ面11と第2レンズ面12を有する。以下では、第1レンズ面11及び第2レンズ面12は、ともに非球面であるとする。また、第1レンズ面11及び第2レンズ面12の間には、第1レンズ面11及び第2レンズ面12から横方向xy面内に張り出した鍔状のコバ部13を有する。第1レンズ面11及び第2レンズ面12が形成されたコバ部13の表面以下、コバ面というは、各々第1レンズ面11及び第2レンズ面12を縁取るように円環状の平面で形成される。コバ部13は被検レンズ10の外形となり、光ピックアップ等の装置に組み込まれるときに、外形及びコバ面が位置合わせに利用される。また、第1レンズ面11及び第2レンズ面12はコバ部13の中央に形成される。図2に示すように、コバ部13の中央に定められ、被検レンズ10の外形の中心点を通り、コバ面に垂直な回転対称軸L0は、被検レンズ10の設計上の光軸である。また、第1レンズ面11の中心における曲率円16の中心C1を通り、第1レンズ面11の中心を通る軸L1は、第1レンズ面11の光軸である。同様に、第2レンズ面12の中心における曲率円17の中心C2を通り、第2レンズ面12の中心を通る軸L2は、第2レンズ面12の光軸である。被検レンズ10が正確に製造された場合、被検レンズ10の外形中心である光軸L0と、第1レンズ面11の光軸L1、第2レンズ面12の光軸L2は全て一致する。しかし、被検レンズ10の成形精度により、第1レンズ面11と第2レンズ面12は、相対的にズレが生じることがある。この相対的なズレには、以下に説明するように、面ズレと面倒れの2種類がある。図3に示すように、光軸L0に対して垂直な面内で、第1レンズ面11の光軸L1,第2レンズ面12の光軸L2が平行移動したシフトズレが面ズレである。面ズレは、被検レンズ10の成形時に、金型の中心が一致しないことによって生じる。面ズレにより、光軸L1,L2が光軸L0に対してシフトすると、後述する被検レンズ10の波面測定においては、光軸L1と光軸L2との相対的なズレの総量Δ以下、面ズレ量Δというに応じた波面収差具体的にはコマ収差が発生する。面ズレ量Δは、光軸L0に対する光軸L1のシフト量δ1と、光軸L0に対する光軸L2のシフト量δ2の和である。なお、図3では、第1レンズ面11の光軸L1と第2レンズ面12の光軸L2のシフトが所定の断面方向に沿って生じている例を模式的に説明したが、第1レンズ面11の光軸L1のシフトズレと、第2レンズ面12の光軸L2のシフトズレは、多くの場合それぞれ異なる方向に生じる。光軸L0上の点被検レンズ10の中央の点を原点として直交するxy平面を定め図1参照、光軸L1,L2のシフトは各々ベクトルで表す。この場合、光軸L1のズレ量δ1のx方向成分をδ1x、y方向成分をδ1yとする。同様に、光軸L2のズレ量δ2のx方向成分をδ2x、y方向成分をδ2yとし、面ズレ量Δについても、x方向成分をΔx、y方向成分をΔyとする。このとき、面ズレ量Δのx方向成分ΔxはΔx=δ1xδ2x、y方向成分ΔyはΔy=δ1yδ2yで表される。後述するように各方向の面ズレ量Δx,Δyは各々個別に算出される。図4に示すように、光軸L0に対して、第1レンズ面11の光軸L1,第2レンズ面12の光軸L2が回転したズレが面倒れである。面倒れは、被検レンズ10の成形時に、金型特に各レンズ面を形成する部分が相対的に傾いていることにより生じる。面倒れにより、光軸L1,L2が光軸L0に対して回転すると、後述する被検レンズ10の波面測定においては、光軸L1と光軸L2との相対的なズレの総量Ω以下、面倒れ量Ωというに応じた波面収差具体的にはコマ収差が発生する。面倒れ量Ωは、光軸L1と光軸L2のなす角である。面ズレの場合とは異なり、光軸L0に対する光軸L1の回転量ω1と、光軸L0に対する光軸L2の回転量ω2の和ではない。なお、図4では、第1レンズ面11の光軸L1と第2レンズ面12の光軸L2の回転が、ともに被検レンズ10の所定断面に沿って生じている例を模式的に説明したが、第1レンズ面11の光軸L1の回転と、第2レンズ面12の光軸L2の回転は、多くの場合それぞれ異なる方向に生じる。前述の面ズレの場合に定めたxy座標系において、光軸L0に沿ってz軸を定め、光軸L1,L2の回転量ω1,ω2のx,y,z各方向成分をω1x,ω1y,ω1z,ω2x,ω2y,ω2zとすると、面倒れ量Ωは、光軸L1,L2のなす角なので、Ω=cos-1{/sqrtω1x2ω1y2ω1z2/sqrtω1x2ω1y2ω1z2}で表される。但し、sqrtは平方根を意味する。後述するように、被検レンズ10の波面測定では、面倒れ量Ω=Ωx,Ωyが直接算出される。また、図3及び図4では、面ズレ及び面倒れを各々個別に説明したが、被検レンズ10では、面ズレ及び面倒れがともに生じる。以下に説明する測定装置では、波面測定により、被検レンズ10の面ズレ及び面倒れをともに算出する。図5に示すように、測定装置21は、可動部22、光源部23、撮像部24、制御部25を備える。測定装置21は、被検レンズ10の透過波面の態様を干渉縞として撮像し、得られた透過波面の、ツェルニケZernikeモード各成分の比率に基づいて被検レンズ10の面ズレ及び面倒れを測定する。可動部22は、再帰反射部31、レンズ保持部32、基準板33等を備える。可動部22は、測定装置21が備える測定光学系51図6参照のうち、制御部25によって位置や傾き等を調節される部材だけを示している。測定光学系全体の構成は後述する。再帰反射部31は、ステージ36、回転機構37、ヌルミラー38を有する。ステージ36は、再帰反射部31を撮像部24の撮像光軸P0に対して垂直な面内の2方向に自在に移動させるとともに、撮像光軸P0に沿って自在に移動させる。ステージ36は、撮像光軸P0に垂直な面内での移動により、ヌルミラー38の反射光軸を撮像光軸P0に一致させる。また、ステージ36は、撮影光軸P0に沿って再帰反射部31を移動させることにより、被検レンズ10を交換するとき等に撮像部24から遠ざかる向きに退避したり、ヌルミラー38と撮像部24間の光路長を調節したりする。回転機構37は、ステージ36上に設けられ、被検レンズ10側にヌルミラー38が取り付けられる。回転機構37は、ステージ36に対して所定の回転軸Q0の周りに回転自在である。回転機構37は、回転軸Q0がステージ36の中央に位置するように設けられ、ステージ36の移動によって、回転軸Q0と撮像光軸P0とが一致される。したがって、回転機構37は、撮像光軸P0の周りに回転自在であり、被検レンズ10の波面測定時には、制御部25の制御に基づいて、ヌルミラー38を撮像光軸P0のまわりに180度回転させる。ヌルミラー38は、被検レンズ10を通過した光を再び被検レンズ10に向けて反射する再帰反射手段である。また、撮像光軸P0に沿って平行光が被検レンズ10に入射された場合、ヌルミラー38によって再帰的に反射して再び被検レンズ10を通過した反射光は、再び平行光となって出射される。ヌルミラー38の反射面再帰反射面38a:図6参照は、ヌルミラー38が上述の特性を有するように、被検レンズ10の第1レンズ面11及び第2レンズ面12に応じて形状が定められている。したがって、ヌルミラー38は、第1レンズ面11及び第2レンズ面12を有する被検レンズ10に専用のミラーである。ヌルミラー38は、回転機構37上に交換可能に設けられており、測定装置21を用いてレンズ面の形状が異なる他の被検レンズの面ズレ及び面倒れを測定するときには、その被検レンズに対応するヌルミラーが用いられる。レンズ保持部32は、光軸L0が撮像光軸P0に一致するように被検レンズ10を保持する保持部材であり、コバ部13で被検レンズ10を保持し、第1レンズ面11及び第2レンズ面12の全面が露呈される開口を有している。また、レンズ保持部32は、撮像光軸P0に垂直な面内で移動自在に設けられており、制御部25の制御に基づいて、被検レンズ10の波面測定を行う測定位置と、撮像光軸P0上から被検レンズ10を退避させた退避位置とに被検レンズ10を移動させる。レンズ保持部32は、退避位置にあるときに、レンズ交換機構図示しないによって、保持する被検レンズ10を、波面測定を終えた被検レンズ10から次に波面測定を行う被検レンズ10に交換される。そして、この新たな被検レンズ10を保持すると、この被検レンズ10を測定位置に移動させる。基準板33は、基準板保持部41によって保持され、光源部23から撮像光軸P0に沿って入射される光Iを、基準光R1と被検光R2に分岐する分岐手段である図6参照。基準光R1は、光源部23から入射する光を基準板33によって撮像光軸P0に沿って反射した反射光である。被検光R2は、基準板33を透過する透過光であり、被検レンズ10を通過しヌルミラー38によって再帰反射された後に、再び被検レンズ10及び基準板33を経て、基準光R1と干渉する。基準板保持部41は、基準板33を撮像光軸P0に沿って移動自在に保持する保持部材であり、制御部25の制御に基づいて、基準板33を移動させる。また、基準板保持部41は、例えばピエゾ素子等を内蔵しており、撮像光軸P0に沿って基準板33の位置を微調節することが可能である。撮像部24は、基準板33によって分岐された基準光R1と被検光R2による干渉縞を撮像する。撮像部24は、1つの被検レンズ10について、0度縞画像42と180度縞画像43の2種類の干渉縞の画像以下、縞画像というを撮像する。0度縞画像42は、ヌルミラー38を基準となる所定角度の位置以下、基準位置というにおいて撮像した干渉縞画像である。180度縞画像43は、0度縞画像42を撮像するときのヌルミラー38の向きを回転機構37によって撮像光軸P0のまわりに180度回転させた位置以下、回転位置というにおいて撮像した干渉縞画像である。0度縞画像42と180度縞画像43を制御部25に入力される。なお、以下では、ヌルミラー38を基準位置にした場合の測定を0度測定、回転位置にした場合の測定を180度測定という。制御部25は、測定装置21を統括的に制御する制御装置であり、例えば、キーボードやマウス等の入力デバイス、0度縞画像42や180度縞画像,波面測定の結果等を表示する表示デバイス、被検レンズ10の波面測定や測定装置21の各部の制御に必要なデータを記憶する記憶デバイス等いずれも図示しないを有するいわゆるコンピュータである。制御部25は、ステージ36,回転機構37,レンズ保持部32,基準板保持部41を動作を制御する。また、これらの動作を制御することにより、ヌルミラー38を基準位置と回転位置とで切り替えたり、波面測定時の光路長等を調節する。また、制御部25は、干渉縞解析部44とズレ量算出部45を備える。干渉縞解析部44は、撮像部24で撮像された0度縞画像42及び180度縞画像43に写し出された干渉縞を解析することにより、被検レンズ10の波面の態様をツェルニケモードで表す。ズレ量算出部45は、干渉縞解析部44によって解析された波面収差に基づいて、被検レンズ10の面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出する。また、ズレ量算出部45は、被検レンズ10が正確に形成されているときに、被検レンズ10及びヌルミラー38によって得られる干渉縞のデータ以下、基準縞データというを予め記憶している。基準縞データは、コンピュータシミュレーションにより求められる。ズレ量算出部45は、0度縞画像42に基づく波面収差のデータ以下、0度波面データというと基準縞データとの差D0を算出し、被検レンズ10の面ズレ及び面倒れによって発生した波面収差を、ツェルニケモードの各成分として算出する。同様に、干渉縞解析部44は、180度縞画像43に基づく波面収差のデータ以下、180度波面データというと基準縞データとの差D180から、被検レンズ10の面ズレ及び面倒れによって発生した波面収差を、ツェルニケモードの各成分として算出する。そして、ズレ量算出部45は、差D0に基づいて、0度測定時の面ズレ量Δ0及び面倒れ量Ω0を算出する。同様に、差D180に基づいて、180度測定時の面ズレ量Δ180及び面倒れ量Ω180を算出する。さらにズレ量算出部45は、0度測定時の面ズレ量Δ0及び面倒れ量Ω0と、180度測定時の面ズレ量Δ180及び面倒れ量Ω180を用いて、測定装置21の誤差によらない、正確な面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωの値を算出する。図6に示すように、測定装置21の測定光学系51は、いわゆるフィゾー型干渉計であり、光源部23、ビームスプリッタ52、コリメートレンズ53、基準板33、ヌルミラー38を有し、被検レンズ10は基準板33とヌルミラー38との間に配置される。光源部23は、高可干渉性のレーザー光を発生するレーザー光源54とビーム径拡大レンズ56を有する。レーザー光源54が出射するレーザー光は、ビーム径拡大レンズ56によって収束されてビームスプリッタ52に入射する。ビームスプリッタ52に入射したレーザー光は、ビームスプリッタ52の半透膜52aによってヌルミラー38の方向に反射されることにより、ビーム径が拡大され、コリメートレンズ53に入射する。こうしてコリメートレンズ53に入射するレーザー光は、コリメートレンズ53によって、撮像光軸P0に垂直な方向に波面が整えられ、平行光Iとして基準板33に入射する。基準板33は、くさび型の板状部材であり、撮像光軸P0に垂直な基準面33aと、撮像光軸P0に対して傾斜した傾斜面33bとを有する。基準面33aには半透膜が設けられており、基準板33に入射する平行光Iは、一部が基準面33aで反射され、平行光Iの入射方向に進む反射光R1となる。また、基準面33aを透過した平行光Iは、被検レンズ10を通ってヌルミラー38で反射され、再び被検レンズ10を通って基準板33に入射する。このヌルミラー38での反射光のうち一部が基準面33aを透過する反射光R2となる。反射光R1と反射光R2は干渉する。この反射光R1と反射光R2とが合わさった干渉光は、コリメートレンズ53をを通過することによってビームスプリッタ52側に収束され、ビームスプリッタ52を透過し、撮像部24に入射する。撮像部24は、撮像レンズ58と撮像素子59とを有する。撮像レンズ58は、ビームスプリッタ52から入射する干渉光を撮像素子59の撮像面に応じた径で入射させる。撮像素子59は、こうして入射される干渉光の干渉縞を、縞画像として撮像する。上述のように、基準面33aによる反射光R1と、被検レンズ10の情報第1レンズ面11及び第2レンズ面12による波面収差を担持した反射光R2による干渉縞を撮像することにより、測定光学系51は被検レンズ10の波面収差の態様を撮像する。なお、平行光Iの一部は傾斜面33bでも反射されるが、傾斜面33bでの反射光R3は、傾斜面33bが撮像光軸P0に対して傾斜していることによって、撮像光軸P0から逸れる。このため、縞画像の撮像には影響しない。上述のように構成される測定装置21は、以下に説明するように用いられ、被検レンズ10の面ズレ量ΔΔx,Δy及び面倒れ量ΩΩx,Ωyを算出する。まず、測定装置21のキャリブレーションを行う。ヌルミラー38の光軸と回転機構37の回転軸Q0が一致するように、ヌルミラー38を回転機構37上に設置する。測定装置21の場合、回転機構37上の保持構造により、ヌルミラー38の光軸と回転軸Q0が自動的に一致する。また、ステージ36によって、回転軸Q0と撮像光軸P0が一致するように、回転機構37及びヌルミラー38を移動させる。このとき、レンズ保持部32には、面ズレ及び面倒れがなく正確な形状に形成された基準レンズ図示しないを保持させ、基準レンズによる縞画像を撮像し、基準レンズの透過波面を測定する。基準レンズの光軸L0=L1,L2は、レンズ保持部材32の機械的精度で、撮像光軸P0に一致する。ヌルミラー38の光軸及び回転機構37の回転軸Q0が、基準レンズの光軸及び撮像光軸P0からズレている場合、基準レンズの波面収差の態様が変化する。このため、測定装置21は、基準レンズの波面収差を測定することにより、ヌルミラー38の光軸及び回転機構37の回転軸Q0と撮像光軸P0の位置ズレの方向及び量を算出し、軸Q0と撮像光軸P0が一致するように調節を行う。具体的には、基準レンズによる縞画像を撮像すると、干渉縞解析部44は、基準レンズによる縞画像をツェルニケモードで展開し、各項の係数を決定する。ズレ量算出部45は、干渉縞解析部44で得られたツェルニケモード各項の係数と、基準縞データとの差Dを算出することにより、ヌルミラー38再帰反射部31の光軸と撮像光軸P0の相対的な位置ズレにより発生した波面収差を算出する。そして、ズレ量算出部45は、差Dに基づいて、基準レンズの位置ズレの方向及び量を算出する。そして、制御部25は、ズレ量算出部45が算出したヌルミラー38の位置ズレの方向及び量に応じてステージ36を駆動し、ヌルミラー38の光軸及び回転機構37の回転軸Q0と撮像光軸P0を一致させる。被検レンズ10の面ズレ及び面倒れの測定は、上述のキャリブレーションの完了後に行う。このため、以下ではヌルミラー38の光軸と撮像光軸P0は一致しているものとする。但し、レンズ保持部32による基準レンズの配置は機械精度によるものであるため、僅かな誤差はある。被検レンズ10の面ズレ及び面倒れを測定するときには、レンズ保持部32に被検レンズ10を保持させ、被検レンズ10を測定位置に移動させる。そして、ヌルミラー38の角度を基準位置にセットし、被検レンズ10の波面測定を行い、0度縞画像42を得る。干渉縞解析部44は、得られた0度縞画像42に写し出された干渉縞を、被検レンズ10の透過波面をツェルニケモード多項式を各項とする式でフィッティングし、各項の係数を決定する。ツェルニケモード多項式を各項とする式は、次数jのツェルニケ多項式をZj、各項の係数をA0jとすると、0度縞画像42を式F=ΣA0jZjで表される。したがって、干渉縞解析部44は、フィッティングにより決定した各項の係数Ajを0度波面データとしてズレ量算出部45に入力する。ズレ量算出部45は、基準縞データとして、被検レンズ10が正確に形成されている場合の各項の係数以下、αjとするを予め記憶しているので、ズレ量算出部45は、0度波面データA0jと基準縞データαjとの差D0jを算出する。被検レンズ10が正確に形成されている場合、この差は0となる。一方、被検レンズ10に面ズレや面倒れがある場合には、0度波面データA0jと基準縞データαjの差D0jは、面ズレ量や面倒れ量に応じた値になる。また、面ズレや面倒れは、コマ収差として現れるので、面ズレや面倒れは、3次コマ収差を表すツェルニケモードZ7,Z8の係数A07,A08、及び5次コマ収差を表すツェルニケモードZ14,Z15の係数A014,A015に現れる。このため、ズレ量算出部45は、算出した差D07,D08,D014,D015に基づいて、面ズレ量Δ=Δx,Δy、及び面倒れ量Ω=Ωx,Ωyを算出する。ズレ量算出部45は、面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを次のように算出する。。まず、差D07,D08,D014,D015と、3次コマ収差C3=C3x,C3y及び3次コマ角度θ3,5次コマ収差C5=C5x,C5y及び5次コマ角度θ5とは、下記式1~4で示す関係にある。したがって、ズレ量算出部45は、1~4の関係式に基づいて、3次コマ収差C3及び5次コマ収差C5を算出する。|C3|=sqrt{D072D082/8}1θ3=tan-1D07/D082|C5|=sqrt{D0142D0152/8}3θ3=tan-1D015/D0144また、面ズレ量Δ=Δx,Δy及び面倒れ量Ω=Ωx,Ωyと、3次コマ収差C3=C3x,C3y、5次コマ収差C5=C3x,C3yとは、下記5~8で示す関係にある。また、係数εは、シミュレーションにより既知量である。このため、ズレ量算出部45は、5~8に基づいて、面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出する。C3x=ε11Δxε12Ωx5C3y=ε21Δyε22Ωy6C5x=ε31Δxε32Ωx7C5y=ε41Δyε42Ωy8なお、ここでは0度測定時の説明をしたが、180度測定時も同様である。180度測定時の係数Aは、A1807,A1808,A18014,A18015とする。また、差Dは、D1807,D1808,D18014,D18015とする。上述のようにして、0度測定による面ズレ量Δ0及び面倒れ量Ω0と、180度測定による面ズレ量Δ180及び面倒れ量Ω180を算出すると、ズレ量算出部45は、面ズレ量Δ0及びΔ180を用いて、ヌルミラー38や被検レンズ10の配置誤差の除かれた、正確な面ズレ量Δを算出する。また、ズレ量算出部45は、面倒れ量Ω0及びΩ180を用いて、ヌルミラー38や被検レンズ10の配置誤差の除かれた、正確な面倒れ量Ωを算出する。ヌルミラー38の光軸ズレによる面ズレ量Δ0,Δ180への寄与をGa、被検レンズ10のレンズ保持部材32への配置誤差の寄与をGb等と、測定装置21の機械的誤差を表すと、測定した面ズレ量Δ0,Δ180と、真の面ズレ量Δと、各種誤差Ga,Gb,との間には、下記の関係がある。すなわち、波面測定に基づいて得られる真の面ズレ量Δは、被検レンズ10を回転させても変化がないが、機械的な誤差は、被検レンズ10の反転により、0度測定と180度測定とで表れ方も反転し、下記式で符号が反転する。Δ0=ΔGaGbΔ180=Δ-Ga-Gb-このため、ズレ量算出部45は、0度測定時の面ズレ量Δ0と180度測定時の面ズレ量Δ180を平均し、真の面ズレ量Δ=Δ0Δ180/2を算出する。これにより、ヌルミラー38や被検レンズ10の配置誤差の影響が除かれた、正確な面ズレ量Δを算出する。同様に、ヌルミラー38の光軸ズレによる面倒れ量Ω0,Ω180への寄与をHa、被検レンズ10のレンズ保持部材32への配置誤差の寄与をHb等と、測定装置21の機械的誤差を表すと、測定した面倒れ量Ω0,Ω180と、真の面倒れ量Ωと、各種誤差Ha,Hb,との間には、下記の関係がある。したがって、波面測定に基づいて得られる真の面倒れ量Ωは、被検レンズ10を回転させても変化がないが、機械的な誤差は、被検レンズ10の反転により、0度測定と180度測定とで表れ方も反転し、下記式で符号が反転する。Ω0=ΩHaHbΩ180=Ω-Ha-Hb-このため、ズレ量算出部45は、0度測定時の面倒れ量Ω0と180度測定時の面倒れ量Ω180を平均し、真の面倒れ量Ω=Ω0Ω180/2を算出する。これにより、ヌルミラー38や被検レンズ10の配置誤差の影響が除かれた、正確な面倒れ量Ωを算出する。上述のように、測定装置21は、0度測定で得た面ズレ量Δ0及び面倒れ量Ω0と、180度測定で得た面ズレ量Δ0及び面倒れ量Ω180を用いて、測定装置21の機械的な誤差を除いた、真の面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出する。このため、従来の同種の測定装置と比較して、より正確に面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出することができる。また、同様の理由から、キャリブレーション時に0度測定及び180度測定を行うことによって、測定装置21は、従来の同種測定装置と比較して、より正確にキャリブレーションを行うことができる。さらに、測定装置21は、真の面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出するので、ヌルミラー38の光軸や被検レンズ10の配置は概ね所定位置にあれば良い。したがって、測定装置21は、厳密なキャリブレーションを行わなくても正確な面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出することができる。これにより、素早く被検レンズ10の面ズレ及び面倒れを測定することができる。特に、複数の被検レンズ10を測定する場合にも、測定装置21の可動部分可動部22の動作による誤差等を含まずに、迅速かつ正確に面ズレ及び面倒れを測定することができる。なお、上述の第1実施形態では、フィゾー型干渉計を測定光学系51を例に説明したが、これに限らない。測定光学系51をマイケルソン型干渉計等で構成しても良い。なお、上述の第1実施形態では、0度測定及び180度測定のために、ヌルミラー38を回転させる例を説明したが、これに限らない。例えば、ヌルミラー38を固定しておいて、被検レンズ10を回転させても良い。この場合、レンズ保持部32に保持する被検レンズ10を180度回転させる回転機構を設ければ良い。また、被検レンズ10に対して、測定光学系51の全体を回転させるようにしても良い。この場合、測定光学系51の全体を回転させる回転機構を設けるとともに、測定光学系51の回転によってレンズ保持部32と測定光学系51が物理的に干渉しないように、測定装置21からレンズ保持部32が出入りする部分として、180度より大きい角度の空間を設けておけば良い。また、上述の第1実施形態では、再帰反射部31として、ステージ36上に回転機構37を設け、回転機構37上にヌルミラー38を配置した例を説明したが、回転機構37の配置これに限らない。回転機構37は、0度測定と180度測定のために、ヌルミラー38を回転させることができれば良い。したがって、ステージ36と回転機構37を入れ替え、回転機構37上にステージ36とヌルミラー38を配置し、回転機構37によって、ステージ36とヌルミラー38の全体を回転させても良い。なお、上述の第1実施形態では、ヌルミラー38を用いて被検レンズ10の透過波面を測定する測定装置21を例に説明したが、これに限らない。被検レンズ10の第1レンズ面11及び第2レンズ面12からの反射光を利用して第1レンズ面11及び第2レンズ面12の波面測定を行っても良い。この例を以下に第2実施形態として説明する。但し、第1実施形態の測定装置21と同様の部材の説明は省略する。[第2実施形態]図7に示すように、測定装置60は、レンズ保持部32に保持された被検レンズ10に対して、第1レンズ面11の波面測定を行う第1干渉計61、第1干渉計61の全体を回転軸Q1のまわりに回転自在に保持する第1回転機構62、第1干渉計61及び第1回転機構62の位置調節を行うステージ63、第2レンズ面12の波面測定を行う第2干渉計64、第2干渉計64の全体を回転軸Q2のまわりに回転自在に保持する第2回転機構65、第2干渉計64及び第2回転機構65の位置調節を行うステージ66を備える。図8に示すように、第1干渉計61は、第1レンズ面11の中心近傍の微小領域からの反射光を利用した干渉縞を撮像し、第1レンズ面11の波面測定を行う、いわゆる顕微干渉計であり、光源部71、対物レンズユニット72、第1撮像部73、第2撮像部74等を備える。光源部71は、低可干渉性光源71aとコリメートレンズ71bとを有する。低可干渉性光源71aは、SLDスーパールミネッセントダイオード等、低可干渉性光を発生する光源である。低可干渉性光源71aが発した低可干渉性光は、コリメートレンズ71bによって平行光に整えられる。したがって、光源部71は、低可干渉性の平行光をビームスプリッタ76に入射させる。ビームスプリッタ76に入射した低可干渉性光は、半透膜76aで反射され、対物レンズユニット72に入射する。対物レンズユニット72は、対物レンズ72a、ハーフミラー72b、微小反射鏡72cを有する。対物レンズ72aは、対物レンズユニット72に入射された低可干渉性光を第1レンズ面11の中心近傍の微小領域に収束させる。また、対物レンズ72aの前方被検レンズ10側には、ハーフミラー72bが設けられる。ハーフミラー72bは、対物レンズ72aによって収束される低可干渉性光を、被検光と基準光に分岐させる分岐手段である。低可干渉性光のうち、被検光となる成分は、ハーフミラー72bを透過し、第1レンズ面11の中心近傍の微小領域に収束される。そして、第1レンズ面11によって反射されることによって、第1レンズ面11による波面収差の情報を担持する。その後、ハーフミラー72bを通過し、対物レンズ72aによって平行光に整えられ、対物レンズユニット72から出射される。一方、低可干渉性光のうち、基準光となる成分は、ハーフミーラ72bで反射され、微小反射鏡72cに入射する。微小反射鏡72cは、対物レンズ72aの被検レンズ10側のレンズ面中央に設けられ、基準光を反射する。基準光は、微小反射鏡72cに反射されると、再びハーフミラー72bで反射され、対物レンズ72aによって平行光に整えられ、対物レンズユニット72から出射される。なお、対物レンズユニット72には、上述のようにして基準光が対物レンズユニット72から出射されるように、ハーフミラー72bの位置を調節する調節機構例えばピエゾ素子等を備えている。ハーフミラー72bの位置調節は、制御部25が調節機構を制御することによって行われる。対物レンズユニット72から出射される基準光及び被検光は、ビームスプリッタ76を透過し、ビームスプリッタ77に入射する。そして、ビームスプリッタ77の半透膜77aによって反射され、第1撮像部73に入射する。第1撮像部73は、第1撮像素子73aと撮像レンズ73bを有する。第1撮像部73に入射した基準光および被検光は、撮像レンズ73bによって第1撮像素子73aの撮像面に入射される。第1撮像素子73aは、基準光と被検光による干渉縞を撮像する。そして、0度測定時には0度縞画像42を、180度測定時には180度縞画像43を各々制御部25に入力する。一方、ビームスプリッタ77を透過した光は、第2撮像部74に入射する。第2撮像部74は、測定装置60のアラインメントを行うときに用いられる。ここで言う測定装置60のアラインメントは、第1干渉計61の回転軸Q1と第2干渉計64の回転軸Q2を一致させるアラインメントであり、被検レンズ10の代わりに、例えば基準レンズや真球等のアラインメント用素子の波面測定によって行われる。第2撮像部74は、第2撮像素子74aと撮像レンズ74bを有する。第2撮像素子74aの中心撮像光軸は、第1干渉計61の回転軸Q1と一致するように配置されており、基準光とアラインメント用素子による被検光が撮像レンズ74bを介して入射される。第2撮像素子74aは、基準光と被検光による干渉縞を撮像し、アラインメント時の0度縞画像及び180度縞画像を制御部25に入力する。図9に示すように、第2干渉計64は、第2レンズ面12の中心近傍の微小領域からの反射光を利用した干渉縞を撮像し、第2レンズ面12の波面測定を行う顕微干渉計である。したがって、第2干渉計64は、第1干渉計61の構成と同様であり、光源部81、対物レンズユニット82、第1撮像部83、第2撮像部84、ビームスプリッタ86,87等を備える。光源部81は、低可干渉性光源81aとコリメートレンズ81bを有する。対物レンズ82は、対物レンズ82a、ハーフミラー82b、微小反射鏡82cを有する。第1撮像部83は、第1撮像素子83aと撮像レンズ83bを有し、第2撮像部84は、第2撮像素子84aと撮像レンズ84bを有する。ビームスプリッタ86は半透膜86aを、ビームスプリッタ87は半透膜87aを有する。これらの第2干渉計64の各部は、第1干渉計61の対応箇所と同様の作用であるため、説明を省略する。上述のように構成される測定装置60は、以下に説明するように用いられ、被検レンズ10の面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出する。まず、測定装置60のキャリブレーションを行う。レンズ保持部32にアラインメント用素子を保持させ、第1干渉計62を用いて、アラインメント用素子の上面第1干渉計62側の面の波面測定を行う。この波面測定は、第1回転機構62によって、第1干渉計62を基準位置にして行う0度測定と、第1干渉計62を180度回転させた回転位置にして行う180度測定との2度の波面測定を行う。そして、測定装置60は、干渉縞解析部44及びズレ量算出部45によって、0度測定時及び180度測定時の各々の面ズレ量Δ0U,Δ180U及び面倒れ量Ω0U,Ω180Uを算出する。添字Uは、第1干渉計62側の上面の測定データであることを示す。次に、第2干渉計64を用いて、アラインメント用素子の下面第2干渉計64側の面の波面測定を行う。この波面測定は、第2回転機構65によって、第2干渉計64を基準位置にして行う0度測定と、第2干渉計64を180度回転させた回転位置にして行う180度測定との2度の波面測定を行う。そして、測定装置60は、干渉縞解析部44及びズレ量算出部45によって、0度測定時及び180度測定時の各々の面ズレ量Δ0L,Δ180L及び面倒れ量Ω0L,Ω180Lを算出する。添字Lは、第2干渉計62側の下面の測定データであることを示す。こうして、アラインメント用素子の上下面について、面ズレ量Δ0U,Δ180U,Δ0L,Δ180Lと面倒れ量Ω0U,Ω180U,Ω0L,Ω180Lを算出すると、ズレ量算出部45はこれらの値に基づいて、第1干渉計62の回転軸Q1と第2干渉計64の回転軸Q2のズレを算出する。回転軸Q1と回転軸Q2のズレには、被検レンズ10の場合と同様に、これらの軸に垂直な面内方向への平行移動によるシフトズレと、回転によるズレがある。シフトズレ量をS=Sx,Sy、回転ズレをT=Tx,Tyとすると、シフトズレ量S、回転ズレ量Tと、算出した面ズレ量Δ0U,Δ180U,Δ0L,Δ180L及び面倒れ量Ω0U,Ω180U,Ω0L,Ω180Lは、前述の5~8と同様の関係があり、その係数はシミュレーションによって既知量である。このため、ズレ量算出部45は、5~8と同様の関係と同様の式から、シフトズレ量S及び回転ズレ量Tを算出する。制御部45は、これらを打ち消す方向にステージ63,66を移動させる。これにより、第1干渉計62の回転軸Q1と第2干渉計64の回転軸Q2が正確に一致する。被検レンズ10の面ズレ及び面倒れの測定は、上述のキャリブレーションの後に行う。測定装置60で被検レンズ10の面ズレ及び面倒れを測定するときには、キャリブレーション時と同様に、被検レンズ10の第1レンズ面11及び第2レンズ面12の各々について、面ズレ量Δ0U,Δ180U,Δ0L,Δ180L及び面倒れ量Ω0U,Ω180U,Ω0L,Ω180Lが算出される。そして、ズレ量算出部45は、面ズレ量Δ0U,Δ180U,Δ0L,Δ180L及び面倒れ量Ω0U,Ω180U,Ω0L,Ω180Lに基づいて、面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωを算出する。このとき、機械的な誤差等は第1実施形態と同様にキャンセルされるので、ここで算出する面ズレ量Δ及び面倒れ量Ωは、真の面ズレ量Δ及び真の面倒れ量Ωである。上述のように、測定装置60は、0度測定と180度測定の2種類の波面測定の結果を用いることによって、キャリブレーションを正確に行うことができる。さらに、キャリブレーション後に、回転軸Q1,Q2間のシフトズレS’及び回転ズレT’が残っていたとしても、被検レンズ10の面ズレ及び面倒れの測定では、これらの寄与が除かれた真の面ズレΔ及び面倒れΩを算出することができる。なお、上述の第1,第2実施形態では、表裏両面が非球面に形成された被検レンズ10を例に説明するが、本発明は、片面が非球面のレンズや、両面が球面レンズの面ズレ及び面倒れも好適に測定することができる。但し、球面レンズの場合には球面がレンズ面の形状がどのような向きにも回転対称であるため、面倒れはない。なお、上述の第1,第2実施形態では、測定対象がレンズである例を説明したが、測定対象は必ずしもレンズである必要はない。例えば、レンズやプリズムの機能を複合的に有する光学素子であっても良い。"