吸着パッドを介して作用する負圧により板状部材を吸着保持した状態で、前記板状部材を移送する板状部材の移送装置であって、前記吸着パッドはその内面に突起を有し、前記板状部材の表面に重ねられた保護シートを負圧により吸着したとき、前記突起が前記保護シートを貫通すると共に、前記保護シートの前記突起による貫通部分の周囲に通気部が形成され、該通気部を介して前記板状部材に作用する負圧により前記板状部材を前記保護シートと共に吸着保持することを特徴とする板状部材の移送装置。前記突起が、その表面に突出方向に沿って延びる切刃を有することを特徴とする請求項1に記載の板状部材の移送装置。前記突起が多角錘形状をなし、該多角錘形状の稜線が前記切刃を構成することを特徴とする請求項2に記載の板状部材の移送装置。前記吸着パッドは、真空源に接続されるベース部と、該ベース部から椀状に延びて開口端面を形成するスカート部とを備え、前記突起が、前記ベース部に設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の板状部材の移送装置。前記吸着パッドは、真空源に接続されるベース部と、該ベース部から椀状に延びて開口端面を形成するスカート部とを備え、前記突起が、前記ベース部と前記スカート部との境界近傍に設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の板状部材の移送装置。前記吸着パッドは、その内面から開口端面側へ延びるストッパを備えており、該ストッパは、前記突起の先端部を越え前記開口端面よりも手前の位置まで延びていることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の板状部材の移送装置。前記突起が、金属製であることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の板状部材の移送装置。負圧を発生させる真空源に通じる吸着パッドであって、パッド内面に突起を有し、該突起がその表面に突出方向に沿って延びる切刃を有することを特徴とする吸着パッド。前記突起が多角錘形状をなし、該多角錘形状の稜線が前記切刃を構成することを特徴とする請求項8に記載の吸着パッド。そこで、本発明は、保護シートを介したガラス板等の板状部材の吸着を簡便且つ確実に行なうことができる移送装置及びそのための吸着パッドを提供することを目的とする。前記目的を達成するため、本発明は、吸着パッドを介して作用する負圧により板状部材を吸着保持した状態で、前記板状部材を移送する板状部材の移送装置であって、前記吸着パッドはその内面に突起を有し、前記板状部材の表面に重ねられた保護シートを負圧により吸着したとき、前記突起が前記保護シートを貫通すると共に、前記保護シートの前記突起による貫通部分の周囲に通気部が形成され、該通気部を介して前記板状部材に作用する負圧により前記板状部材を前記保護シートと共に吸着保持することを特徴とする板状部材の移送装置を提供するものである。この移送装置は上記のように、吸着パッドがその内面に突起を有し、ガラス板等の板状部材の表面の保護シートを負圧により吸着したとき、突起が保護シートを貫通する。これに伴って、保護シートには突起による貫通部分の周囲に通気部が形成され、吸着パッドは、該通気部を介して板状部材に作用する負圧により板状部材を保護シートと共に吸着保持する。したがって、パッド内面に突起を設け、負圧を利用して該突起により保護シートに通気部を形成するという簡単な構成に基づき、保護シートを介したガラス板の吸着を簡便且つ確実に行なうことができる。前記突起は、その表面に突出方向に沿って延びる切刃を有したものとすることができる。この切刃は、保護シートが吸着パッドに吸着されたときに、該保護シートを貫通し、貫通部分の周囲に通気部を確実に形成する。前記突起は、多角錘形状をなし、該多角錘形状の稜線が前記切刃を構成したものとすることができる。これにより、保護シートに形成される孔は、多角錘の稜線から放射方向に延びる切れ目により通気部を生じさせる。特に、その切れ目は、吸引により展延している保護シート上で長く延びるように形成されるので、吸引力がより効果的に板状部材に作用する。前記吸着パッドは、真空源に接続されるベース部と、該ベース部から椀状に延びて開口端面を形成するスカート部とを備え、前記突起が、前記ベース部に設けられているものとすることができる。このようにベース部に設けられた突起は、椀状のスカート部の奧端に位置することとなる。したがって、負圧による吸引時に板状部材が突起に接触するのを確実に防止することができる。特に、スカート部が吸引に伴って板状部材側へ弾性変形する場合にこの点が効果的である。前記吸着パッドは、真空源に接続されるベース部と、該ベース部から椀状に延びて開口端面を形成するスカート部とを備え、前記突起が、前記ベース部と前記スカート部との境界近傍に設けられているものとすることができる。吸引された保護シートは、スカート部及びベース部にほぼ沿うように変形して突起に到達する。一方、スカート部が吸引に伴って弾性変形する場合、ベース部に近い基端部側で変形量が小さくなるので、板状部材は、スカート部とベース部との境界近傍に到達し難く、突起への接触が確実に防止される。前記吸着パッドは、その内面から開口端面側へ延びるストッパを備えており、該ストッパは、前記突起の先端部を越え前記開口端面よりも手前の位置まで延びているものとすることができる。この吸着パッドを用いれば、保護シートを吸着した際に、スカート部が撓んで板状部材が突起に接近しても、板状部材が、ストッパに当接することにより、それ以上の突起側への移動が制限されるので、突起に接触して板状部材が損傷を受けるのが確実に防止される。前記突起は、金属製とすることができる。これにより、吸着パッドによる吸着の際に保護シートを貫通する切削性が良好となり、また長期間に亘って良好な切削性が維持される。前記目的を達成するため、本発明は、負圧を発生させる真空源に通じる吸着パッドであって、パッド内面に突起を有し、該突起がその表面に突出方向に沿って延びる切刃を有することを特徴とする吸着パッドを提供するものである。このように吸着パッドは、その内面に突起を有しているので、板状部材の表面に保護シートが重ねられている場合は、吸着した保護シートを突起が貫通する。これに伴って、保護シートには突起による貫通部分の周囲に通気部が形成され、吸着パッドは、該通気部を介して板状部材に作用する負圧により板状部材を保護シートと共に吸着保持する。したがって、パッド内面に突起を設け、負圧を利用して該突起により保護シートに通気部を形成するという簡単な構成に基づき、保護シートを介した板状部材の吸着を簡便且つ確実に行なうことができる。前記突起は、多角錘形状をなし、該多角錘形状の稜線が前記切刃を構成したものとすることができる。これにより、保護シートに形成される孔は、多角錘の稜線から放射方向に延びる切れ目により通気部を生じさせる。特に、その切れ目は、吸引により展延している保護シート上で長く延びるように形成されるので、吸引力がより効果的に板状部材に作用する。上記したように、本発明によれば、保護シートを介したガラス板等の板状部材の吸着を簡便且つ確実に行なうことができる移送装置及びそのための吸着パッドを提供することができる。以下、本発明の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。図面中の同一又は同種の部分については、同じ番号を付して説明を一部省略する。図1は、本発明に係る移送装置の一実施形態を概略的に示す正面図である。この移送装置は、レール10に支持された移動手段1と、該移動手段1に結合された吸着装置3とを備えている。移動手段1は、レール10に沿って摺動する摺動部11と、該摺動部に結合されて鉛直軸線回りの回動を可能にする旋回部12と、該旋回部に結合されて上下方向に伸縮する昇降部13と、該昇降部の下端部に結合されて水平軸線回りに回動する第一アーム14と、該第一アームに結合され先端部に吸着装置3を支持し水平軸線回りに回動する第二アーム15とを備えている。レール10は、天井等に架設され、板状部材、例えばガラス板Pを移送すべきステーション間に延びている。摺動部11、旋回部12、昇降部13、第一アーム14、第二アーム15は、例えば各々に内蔵された電動モータ等の駆動手段により、所定の動作をするように構成されている。これには、公知の種々の構造を適用することができるので、ここでは詳細な説明を省略する。また、移動手段としては、レールに支持するものの他、床面上に設置された旋回アームに揺動アームを支持したもの、ロボットアーム状のもの等、種々の形態とすることができる。各ステーションにおいてガラス板Pは、単体または積層、水平、垂直または斜め等、いずれの設置状態であってもよい。また、ガラス板Pは、表面保護等のために保護シートが重ねられている。保護シートいわゆる合紙は、発泡樹脂シート等の合成樹脂、紙等とされる。保護シートBは伸縮性を有するのが望ましい。これにより、後述する吸着パッドによる吸着時に、保護シートは皺にならずにパッド内面に倣って変形し易く、突起によって確実に貫通孔を形成することができる。吸着装置3は、第二アーム15の先端部に支持された支持板31と、該支持板に取り付けられた複数の吸着パッド30と、一端が支持板31に接続され、他端が摺動部11を経て図外の真空源に接続された吸引ホース33とを備えている。支持板31は、この実施形態においては、移送すべきガラス板よりやや小さい寸法の平板状をなし、内部に通気路が形成されている図示略。通気路は、吸引ホース33の接続部34から各吸着パッド30へと延びている。吸着パッド吸着ヘッド30は、図2の縦断面図、図3の底面図で示すように、ベース部35と、該ベース部から椀状に延びたスカート部37とを備えている。ベース部35は、ベース本体351と、該ベース本体から延び支持板31の通気路に接続されるアダプタ352とを備えている。アダプタ352には、通気路に作用する負圧を伝えるための通孔352aが形成され、ベース本体351には通孔352aに連通する貫通孔351aが形成されている。アダプタ352の外周面にはねじ部が形成され、これにナット353が螺合されている。吸着パッド30は、支持板31等のパッド取り付け板ブラケットの貫通孔にアダプタ352を挿入し、ナット353を締結することによって取り付けられる。スカート部37は、シリコン、NBR等の可撓性材料で形成され、ベース本体351から椀状に延びており、ベース本体351と反対側に開口端面371を形成している。ベース本体351及びスカート部37は、吸着パッド30が吸引力を作用させるための凹陥状内面38を形成している。この実施形態においてスカート部37は、ベース部35側から開口端面371側へベル状に拡径した形状となっている。これにより、保護シートにあてがわれた際に先端部が撓みやすく、スカート部内の負圧維持が確実となる。また、これに代えて、スカート部37は、図9に示すように、ベース部35側で平面上に延び、ほぼ同径で開口端面371まで延びる筒状とすることもできる。この場合は、保護シートとの密着性を高めるために、先端部に可撓性に富むパッド372を設けるのが望ましい。吸着パッド30はさらに、穿孔用の突起39を備えている。突起39は、凹陥状内面38から開口端面371に向かって延びている。この突起39は、鋭利な先端部391を有し、その基端部はベース部35に固着されている。この固着は、接着、融着、ねじ止め等によって行なうことができ、接着には、例えば、シアノアクリレート系瞬間接着剤、エポキシ系接着剤、2液混合アクリル系接着剤等を用いることができる。或いは、ベース本体351及びスカート部37の成形時に突起39をインサート成形してもよい。突起39は、保護シート穿孔の良好な切削性が維持されるように、超硬合金等、硬度の高い金属製とするのが望ましい。突起39は、保護シートに形成した孔の周縁部分が突起周面全体に密着するのを回避する異形断面形状とされており、この実施形態では、図6、に示すように三角錐状をなしている。これに代えて、図6、に示す四角錐状等、他の多角錘状とすることもできる。多角錘状とする場合は、これらの図に示すように、錘面392は、隣り合う稜線を結ぶ平面より凹状となっているのが望ましい。これにより、後述する通気部が形成されやすくなり、保護シートを通じた吸引力がガラス板により効果的に作用する。図示の実施形態においては、例えば、スカート部37は、外径を50~150mm、高さを5~20mmとすることができ、その場合、突起39は、高さを5~10mm、基端部の径を2~5mmとすることができる。突起39はまた、図6、に示すように円錐状とし、円形断面の一部に通気部形成用の溝393を設けたものとすることもできる。単なる円錐状の突起は、保護シートの孔周縁部分が突起周面全体に密着し易く、その結果、吸着パッドの負圧が十分にガラス板に及ばない場合がある。これに対し、溝393を設けた突起39は、たとえ保護シートが周面に密着しても溝393との間に間隙が生じているので、その間隙を通気部として負圧がガラス板に到達することとなる。この移送装置は次のようにして使用される。まず、レール10に沿って移動手段1を所定のピックアップ位置に至らせる。図1は、ピックアップ位置において斜めに立て掛けられていたガラス板を吸着した状態を示している。移動手段1を操作して、ガラス板Pを覆っている保護シートBに吸着パッド30をあてがう。そして、図外の真空源から吸引ホース33及び支持板31を通じて吸着パッド30に負圧を作用させる。これにより、図4に示すように、保護シートBが吸着パッド30の凹陥状内面38側へ吸引される。そして、突起39の先端部391を越えて吸引されることにより、保護シートBに穿孔b0が形成される。さらに、突起39による三角形の穿孔b0は、各頂点多角錘の稜線から放射方向に延びる切れ目により通気部b1を生じさせる。特に、保護シートBはスカート部37とガラス板Pとの間に挟まれた状態で吸引され展延しているので、通気部切れ目b1は長く延びるように形成される。通気部b1は、保護シートBの表裏面を貫通して形成される結果、吸引力が効果的にガラス板に作用する。但し、突起39を五角錐以上の多角錘にすると、穿孔b0の周縁部分が突起周面全体に密着し易くなり、また、通気部b1が形成されにくく、保護シートの材質等によっては、十分な空気流が得られないことがある。こうして吸引が行なわれると、真空源からの負圧は、穿孔b0及び通気部b1を通じてガラス板Pに作用し、ガラス板Pは吸着パッド30に吸着される。この状態で、移動手段1により吸着装置3を所定の位置へ移動させ、移動後に真空源からの負圧を解除すれば、ガラス板Pを保護シートBと共に所定位置に設置することができる。この設置も、単体または積層、水平、垂直または斜め等、いずれであってもよい。吸着パッドの吸引力は、保護シートに多少の皺が存在しても、穿孔b0等を通じてガラス板に到達するので、確実な吸着が可能となる。このように、吸着パッドの吸引力が確実にガラス板に及ぶ結果、移送中のガラス板の落下等の事故を防止することができる。図7及び図8は、本発明の移送装置の他の実施形態を示している。この移送装置における吸着パッド30は、凹陥状内面38から開口端面371側へ延びるストッパ36を備えている。ストッパ36は、図8に示すように、円柱状をなしベース部35の4箇所に設けられおり、各々、突起39の先端部391を越え開口端面371より手前の位置まで延びている。この吸着パッド30を用いれば、保護シートBを吸着した際に、スカート部37が撓んでガラス板Pが突起39に接近しても、ガラス板Pは、ストッパ36に当接すると、それ以上の突起39側への移動が制限されるので、突起39に接触してガラス板Pが損傷を受けるのが防止される。ストッパ36は、図示のように、複数個を分散配置する他、円状、多角形状等の連続的または断続的な環状としてもよい。また、突起39は、ストッパ36の配置領域の内部の他、外部に設けてもよい。この実施形態では、突起39は、ベース部35における貫通孔351aの壁面に接着されている。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、穿孔用の突起39は、図9に例示するように、凹陥状内面38の種々の箇所に設けることができる。図9はスカート部37の位置、図9はベース部35の位置、図9はベース部35におけるアダプタ352の位置、図9はベース部端面から後退したアダプタ352の位置に、各々突起39が設けられた状態を示している。アダプタ352は、通常金属製であるので、突起39を蝋付けすることができる。また、アダプタ352と突起39とを一体に機械加工して形成してもよい。突起は、複数個設けることもできる。図10は、2個の突起39を設けた例を示しており、図10はスカート部37とベース部35の位置、図10はベース部35の位置、図10はスカート部37の位置に、各々突起39が設けられた状態を示している。このように、複数個の突起39を設けることにより、保護シートに形成される穿孔を通じてより多くの空気流を得ることができ、操作の迅速性を図ることができる。上記実施形態では、多数の吸着パッドを用いて1枚のガラス板を吸着する例を示したが、ガラス板の寸法によっては、1枚のガラス板を1個または2個~数個の吸着パッドで吸着することもできる。また、上記実施形態では、ガラス板Pを移送対象物としたが、移送対象物は、樹脂板、ガラス層と樹脂層とを積層して構成される積層体板、金属板等の板状部材であってもよい。