"入射光を偏向し、所望の帯域を波長掃引する波長掃引手段と、この波長掃引手段で偏向された光を波長ごとに異なる方向へ分光する分散素子と、光を受光する受光素子と、前記分散素子で分光された光のうち特定波長の光のみを前記受光素子へ入射させる偏向素子アレイとを備えることを特徴とする分光器。請求項1記載の分光器において、前記受光素子と前記偏向素子アレイとの代わりに、前記分散素子で分光された光を受光する受光素子アレイを備えることを特徴とする分光器。請求項1または2記載の分光器において、さらに、隣接波長の光間の強度の重なり具合を表す光学系の特性データを予め記憶する記憶手段と、前記光学系の特性データを用いて、受光素子の出力信号を処理して波長毎の光強度を求めるデータ処理手段とを備えることを特徴とする分光器。請求項1乃至3のいずれか1項に記載の分光器において、前記波長掃引手段の代わりに、前記分散素子に印加する電圧または前記分散素子の温度を調整する偏向制御手段を備え、前記分散素子は、電圧もしくは温度によって屈折率が変化する透過部材からなる回折格子であり、前記分散素子に印加する電圧または前記分散素子の温度を調整することにより、前記分散素子からの光の出射角度を制御することを特徴とする分光器。請求項1乃至3のいずれか1項に記載の分光器において、さらに、前記分散素子よりも前の光路中に配置されたファブリーペローエタロンを備えることを特徴とする分光器。請求項5記載の分光器において、さらに、前記ファブリーペローエタロンよりも前の光路中に配置されたシリンドリカルレンズを備え、前記波長掃引手段は、2軸周りに回動可能な駆動ミラーであることを特徴とする分光器。以上のように、従来の分光器では、データ取得帯域、分解能、サイズにトレードオフの関係があり、すべてを高性能化することは難しいという問題点があった。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、必要な帯域のデータを取得することができ、高分解能と小型化を両立させることができる分光器を提供することを目的とする。本発明の分光器は、入射光を偏向し、所望の帯域を波長掃引する波長掃引手段と、この波長掃引手段で偏向された光を波長ごとに異なる方向へ分光する分散素子と、光を受光する受光素子と、前記分散素子で分光された光のうち特定波長の光のみを前記受光素子へ入射させる偏向素子アレイとを備えることを特徴とするものである。また、本発明の分光器の1構成例は、前記受光素子と前記偏向素子アレイとの代わりに、前記分散素子で分光された光を受光する受光素子アレイを備えることを特徴とするものである。また、本発明の分光器の1構成例は、さらに、隣接波長の光間の強度の重なり具合を表す光学系の特性データを予め記憶する記憶手段と、前記光学系の特性データを用いて、受光素子の出力信号を処理して波長毎の光強度を求めるデータ処理手段とを備えることを特徴とするものである。また、本発明の分光器の1構成例は、前記波長掃引手段の代わりに、前記分散素子に印加する電圧または前記分散素子の温度を調整する偏向制御手段を備え、前記分散素子は、電圧もしくは温度によって屈折率が変化する透過部材からなる回折格子であり、前記分散素子に印加する電圧または前記分散素子の温度を調整することにより、前記分散素子からの光の出射角度を制御することを特徴とするものである。また、本発明の分光器の1構成例は、さらに、前記分散素子よりも前の光路中に配置されたファブリーペローエタロンを備えることを特徴とするものである。また、本発明の分光器の1構成例は、さらに、前記ファブリーペローエタロンよりも前の光路中に配置されたシリンドリカルレンズを備え、前記波長掃引手段は、2軸周りに回動可能な駆動ミラーであることを特徴とするものである。本発明によれば、偏向素子アレイによって必要な全帯域の光を取得しつつ、波長掃引手段による微調整によって帯域内で所望の波長の光を高分解能に抜き出すことができるので、必要な帯域のデータを取得することができ、高分解能と小型化を両立させることができる。[第1の実施の形態]以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る分光器の構成を示すブロック図である。本実施の形態の分光器は、ファイバコリメータ11と、駆動ミラー12と、レンズ13と、凹面ミラー14と、イマージョングレーティングImmersiongrating15と、DMDDigitalMicromirrorDevice16と、PD17とから構成される。DMD16は、例えば文献PETERFVANKESSEL,etal,AMEMSBasedProjectionDisplay,PROCEEDINGSOFTHEIEEE,VOL86,NO8,1998に記載されるように、シリコン基板上に複数のMEMSミラーをアレイ状に形成し、静電引力等によりミラーの偏向角を制御できるようにしたものである。波長掃引手段である駆動ミラー12は、ファイバコリメータ11から出射した光を反射する。このとき、駆動ミラー12は、DMD16のミラーの配列方向図1の上下方向に対して垂直な回動軸18図1の紙面に対して垂直な回動軸を中心として回動することが可能である。レンズ13は、駆動ミラー12からの反射光を集光する。凹面ミラー14は、レンズ13によって集光された光を反射して、分散素子であるイマージョングレーティング15に入射させる。イマージョングレーティング15は、凹面ミラー14からの反射光を波長毎に分光する。凹面ミラー14は、イマージョングレーティング15によって分光された光を反射して、可変フィルタとして用いるDMD16に入射させる。このようにイマージョングレーティング15で分光した光をDMD16に照射することにより、DMD16の受光面にアレイ状に配置された各ミラーにはそれぞれ異なる波長の光が照射されることになる。したがって、DMD16の特定のミラーで反射された光がPD17に入射するように、図示しない制御装置によってDMD16を制御することで、特定波長の光のみを取得することができる。DMD16のミラーは長軸方向に1000個以上配置されているため、C帯通信波長1530-1565nmの帯域35nmを1000分割した3.5pmの高分解能な分光器が実現可能である。PD17で受光する光のパワーは波長軸に対してガウシアン分布となっており、ガウシアン分布の中心波長を駆動ミラー12の回動により微調整することができるため、離散的なデータの間を埋めるデータ取得やサンプリング点数を単純に増やすことが可能となる。また、本実施の形態では、分散素子としてシリコン製のイマージョングレーティング15を用いているため、通常の回折格子に比べて数倍の分散能を得ることができ、分光器の小型化が可能である。本実施の形態は、ファイバコリメータ11と、偏向素子である駆動ミラー12と分散素子であるイマージョングレーティング15とを含む分散光学系と、偏向素子アレイであるDMD16と、PDとからなる分光器であって、ファイバコリメータ11から出射した光を分散光学系で分散させ、特定波長のみをDMD16とPD17で受光し、さらに駆動ミラー12によりDMD16への光の入射位置をシフトさせることができる。本実施の形態では、所望の波長区間の光のみがPD17に入射するようにDMD16の各ミラーの回動角度を制御して粗調整を行う波長区間選択機能と、PD17に入射する光の中心波長が所望の値になるように駆動ミラー12の回動角度を制御して詳細調整を行う波長選択機能とを有する。なお、パワーを高精度に取得する場合はPD17に結像するレンズがある方がよいが、レンズがなくても機能は満たす。以上の構成により、本実施の形態では、必要な帯域のデータを取得することができ、高分解能と小型化を両立させることができる。なお、本実施の形態では、ファイバコリメータ11を用いているが、ファイバコリメータ11の代わりに光ファイバとコリメートレンズを用いても構わない。また、DMD16の代わりの他の偏向素子アレイとして、例えばLCOSliquidcrystalonsiliconを用いても構わないし、液晶を用いても構わない。LCOSについては、例えば文献DouglasJMcKnight,etal,256×256liquidcrystalonsiliconspatiallightmodulator,APPLIEDOPTICS,Vol33,No14,1994に開示されている。DMD16とPD17の代わりにPDアレイを用いても構わない。PDアレイを用いる場合、PDアレイの各PDにはそれぞれ異なる波長区間の光が入射する。また、ファイバコリメータ11から出射した光を偏向して、所望の帯域を掃引する駆動ミラー12として、MEMSミラーを用いても構わない。また、回動することで波長掃引する駆動ミラー12の代わりに、電圧により屈折率が変わることを利用して光を偏向させるKTa1xNbxO3KTNでできた光学素子を用いても構わない。KTNについては、例えば文献KoichiroNakamura,etal,Wideangle,lowvoltageelectroopticbeamdeflectionbasedonspacechargecontrolledmodeofelectricalconductioninKTa1xNbxO3,APPLIEDPHYSICSLETTERS89,131115,2006に開示されている。[第2の実施の形態]次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。本実施の形態においても、分光器の構成は第1の実施の形態と同様であるので、図1の符号を用いて説明する。第1の実施の形態では、駆動ミラー12を回動させることにより波長のサンプリング点数を増やすことができるが、中心波長の異なるデータは波長領域での重なりがあるため、完全には分離できていない。そのため、各波長の光強度の重なり具合を表す光学系の特性データを用いて、測定光強度を変換することで、特定波長の光強度を分離することができる。図2は本実施の形態の分光器の制御装置の構成を示すブロック図、図3は制御装置の動作を示すフローチャートである。制御装置20は、波長区間選択制御部21と、波長選択制御部22と、データ取得部23と、記憶部24と、データ処理部25とを備えている。波長区間選択制御部21は、所望の波長区間の光のみがPD17に入射するように、DMD16の各ミラーの回動角度を制御する図3ステップS1。波長選択制御部22は、PD17に入射する光の中心波長が所望の値になるように、駆動ミラー12の回動角度を制御するステップS2。PD17は、入射光を光電変換して電気信号を出力する。データ取得部23は、このPD17の出力信号を受信するステップS3。データ処理部25は、記憶部24に予め記憶されている、光学系の特性データを取得しステップS4、この特性データを用いて、PD17の出力信号を処理して波長毎の光強度を求めるステップS5。ここで、DMD16内の任意のミラーに照射される4つの連続する波長の光を考える。この4つの波長以外の光はDMD16の他のミラーによってフィルタリングされていると仮定する。この4つの異なる波長の光強度がy1,y2,y3,y4だとする。ベクトルで表示すると、以下の式のようになる。また、分光器のPD17で取得した4つの異なる波長の光強度をそれぞれx1,x2,x3,x4だとする。ベクトル表示すると、以下の式のようになる。ここで、分光器によって4つの光を完全に分離することができればx=yが成り立つが、分離できないほど波長間隔が狭いと仮定する。そのとき、隣接波長の光強度が加算されて光強度を取得することになる。例えば、所望の測定波長光と隣接する波長の光から75の光が測定波長光に加算され、測定波長光から2つ離れた波長の光から50の光が測定波長光に加算されるとする。そのとき、PD17で測定される光強度xは次式のようになる。この行列Aの逆行列Bを求めることで、次式が得られる。式5によって各波長の光強度y=y1,y2,y3,y4を求めることができる。行列Aは、分光器の光学系によって変化するため、事前に取得しておくことが望まれる。そして、この行列Aの逆行列Bを、光学系の特性データとして記憶部24に予め登録しておけばよい。データ処理部25は、記憶部24から取得した逆行列Bを用いて、PD17の出力信号が表す光強度xを式5によって変換することにより、波長毎の光強度y=y1,y2,y3,y4を算出することができるステップS5。以上の構成により、本実施の形態では、さらに高分解能な分光器を実現することができる。なお、本実施の形態の構成は、図8に示した従来の分光器でも用いることは可能であるが、取得波長帯域にてサンプリング点数を増やすとなると、偏向素子3の最大回動角度を増やすか、偏向素子3の回動角度分解能を細かくする必要があるため、現実的でない。一方、本実施の形態では、サンプリング点数は高々DMD16のミラーにあたる帯域のみで数点で済むので、ミラーの最大回動角度や回動角度分解能の性能はそれほど良くなくても済むという利点がある。[第3の実施の形態]次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図4は本発明の第3の実施の形態に係る分光器の構成を示すブロック図である。本実施の形態の分光器は、ファイバコリメータ61と、凹面ミラー62と、シリコン製のイマージョングレーティング63と、DMD64と、PD65と、偏向制御手段である温度調節部66とから構成される。凹面ミラー62は、ファイバコリメータ61から出射した光を反射して、分散素子であるイマージョングレーティング63に入射させる。イマージョングレーティング63は、凹面ミラー62からの反射光を波長毎に分光する。さらに、凹面ミラー62は、イマージョングレーティング63によって分光された光を反射して、可変フィルタとして用いるDMD64に入射させる。このようにイマージョングレーティング63で分光した光をDMD64に照射することにより、DMD64の受光面にアレイ状に配置された各ミラーにはそれぞれ異なる波長の光が照射されることになる。したがって、DMD64の特定のミラーで反射された光がPD65に入射するように、図示しない制御装置によってDMD64を制御することで、特定波長の光のみを取得することができる。シリコン製のイマージョングレーティング63には、温度変化に伴って屈折率が変化するという性質がある。そこで、イマージョングレーティング63の温度を温度調節部66によって調整することにより、イマージョングレーティング63からの光の出射角度が変化するので、DMD64の特定ミラーに入射する光の中心波長を変化させることができる。図5にイマージョングレーティング63の温度に対する出射角度の変化を示す。図5の横軸はイマージョングレーティング63の温度、縦軸は光の出射角度である。また、図5において50は光の波長が1530μmの場合の特性を示し、51は波長が1547μmの場合の特性を示し、52は波長が1565μmの場合の特性を示している。図5から明らかなように、イマージョングレーティング63の温度を300°C変化させることで、光の出射角度を2°変化させることができる。以上のように、本実施の形態では、イマージョングレーティング63の温度を調整することにより、第1の実施の形態と同等の波長選択機能を駆動ミラー無しで実現することができるので、分光器の光学系を簡素化することができ、さらに小型な分光器を実現することができる。また、電圧を印加することによって、電気光学効果により屈折率を変調することができる透過材料をイマージョングレーティング63に用いる場合は、イマージョングレーティング63の材料に印加する電圧を調整することができる電圧調節部を設けるようにすれば、温度調節部66でイマージョングレーティング63の温度を調整する場合と同様の効果を得ることができる。なお、本実施の形態においても、第2の実施の形態を適用することにより、高分解能な分光器を実現することができる。ただし、本実施の形態の場合、駆動ミラーがないので、波長選択制御部22は不要である。[第4の実施の形態]次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。図6Aは本発明の第4の実施の形態に係る分光器の構成を示すブロック図である。図6Bは図6Aの右側から見た分光器の側面図である。本実施の形態の分光器は、ファイバ71と、駆動ミラー72と、ファブリーぺローエタロン73と、レンズ74と、透過型の回折格子等の分散素子75と、レンズ76と、PDアレイ77とから構成される。駆動ミラー72は、ファイバ71から出射した光を反射して、ファブリーぺローエタロン73に入射させる。このとき、駆動ミラー72は、分散素子75の光が分散する平面図6Aのxz平面に対して平行な回動軸78を中心として回動することが可能である。この駆動ミラー72により、第1の実施の形態と同様の波長選択機能を実現する。レンズ74は、ファブリーぺローエタロン73を通過した光を集光する。分散素子75は、レンズ74によって集光された光を波長毎に分光する。分散素子75によって分光された光は、レンズ76を介してPDアレイ77に入射する。この分散素子75とPDアレイ77により、第1の実施の形態と同様の波長区間選択機能を実現する。ここで、ファブリーぺローエタロン73の透過スペクトラムは、測定全帯域よりも短い周期でピークが現れ、かつその周期よりも十分に高分解能になるように設計されている。ファブリーぺローエタロン73は、特定の波長周期の光を透過させるので、ファブリーぺローエタロン73を透過した各波長の光を分散素子75で分散させてPDアレイ77の各PDで受光する。図6Bに示すように駆動ミラー72を回動させてファブリーぺローエタロン73への光の入射角度を変えることにより、ファブリーぺローエタロン73の透過スペクトラムを周波数軸上でシフトさせることができるため、所望の波長の光強度を取得することができる。本実施の形態では、ファイバ71から出射した光をファブリーぺローエタロン73により周期的かつ急峻な波長の光に変換し、駆動ミラー72により波長選択し、分散素子75で分散させた光をPDアレイ77で受光する。このため、分光器の分解能はファブリーぺローエタロン73に依存し、帯域は分散素子75とPDアレイ77で光を分けた区間によって決まる。したがって、ファブリーペローエタロンを高分解能になるように設計することで、第1の実施の形態に比べて更なる高分解能を実現することができ、高分解能と小型化を両立させることができる。なお、PDアレイ77の代わりに、第1の実施の形態と同様のDMDとPDを用いても構わないし、LCOSとPDを用いても構わないし、液晶とPDを用いても構わない。[第5の実施の形態]次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。図7Aは本発明の第5の実施の形態に係る分光器の構成を示すブロック図である。図7Bは図7Aの右側から見た分光器の側面図である。本実施の形態の分光器は、ファイバ81と、二軸駆動ミラー82と、シリンドリカルレンズ83と、ファブリーぺローエタロン84と、レンズ85と、分散素子86と、レンズ87と、PD88とから構成される。二軸駆動ミラー82は、ファイバ81から出射した光を反射して、シリンドリカルレンズ83に入射させる。このとき、二軸駆動ミラー82は、分散素子86の光が分散する平面図7Aのxz平面に対して平行な第1の回動軸89を中心として回動することが可能であり、また分散素子86の光が分散する平面に対して垂直な第2の回動軸90を中心として回動することが可能である。二軸駆動ミラー82の第1の回動軸89周りの回動により、第1の実施の形態と同様の波長選択機能を実現することができ、第2の回動軸90周りの回動により、第1の実施の形態と同様の波長区間選択機能を実現することができる。シリンドリカルレンズ83を通過した光は、ファブリーぺローエタロン84に入射する。レンズ85は、ファブリーぺローエタロン84を通過した光を集光する。分散素子86は、レンズ85によって集光された光を波長毎に分光する。分散素子86によって分光された光のうち特定の波長の光が、レンズ87を介してPD88に入射する。本実施の形態では、第4の実施の形態と比べて、駆動ミラー72の代わりに二軸駆動ミラー82を採用し、シリンドリカルレンズ83を1つ挿入して、PDアレイ77の代わりに単一のPDを採用した光学系となっている。シリンドリカルレンズ83は、分散素子86の光が分散する平面上において屈折力を持ち、二軸駆動ミラー82からの光を分散素子86に収束させる役目を果たし、一方、分散素子86の光が分散する平面と直交する平面図6Bのyz平面上においては屈折力を持たないように配置される。本実施の形態では、ファブリーぺローエタロン84の周期的な透過スペクトラムのうち1波長区間の光のみをPD88で受光する。二軸駆動ミラー82を第2の回動軸90周りに回動させることにより、所望の波長区間の光をPD88に入射させることができる。本実施の形態では、ファイバ81から出射した光をファブリーぺローエタロン84により周期的かつ急峻な波長の光に変換し、二軸駆動ミラー82と分散光学系で分散させた周期的な波長の一部分をPD88で受光する。このように、本実施の形態では、波長区間選択の軸と波長選択の軸を分けることで必要な帯域のデータを取得することができ、高分解能と小型化を両立させることができる。"