"ア上側構造部と、イ下側構造部と、ウ下側構造部を、上側構造部に当接し上側構造部と協働して密封された処理室を形成する閉じ位置と、上側構造部から離間した開き位置との間で昇降させる昇降手段と、エ下側構造部を案内する垂直の複数のガイドシャフトと、を備え、下側構造部が開き位置にある時に上側構造部と下側構造部との間に形成される空間が、ワークの搬入搬出空間として提供される表面処理装置において、上記搬入搬出空間は、水平な第1座標軸に沿う互いに逆向きの2方向のうちの一方と、この第1座標軸と直交する水平な第2座標軸に沿う互いに逆向きの2方向の、計3方向にわたって連続した開口を有し、上記複数のガイドシャフトは第1、第2のガイドシャフトを含み、第1ガイドシャフトは上記搬入搬出空間の連続開口に対応する位置に配置され、第2ガイドシャフトは上記第1座標軸に沿う2方向のうちの他方に配置されており、第1ガイドシャフトが第2ガイドシャフトより短く、第1ガイドシャフトの上端部が上側構造部から離れており、上記上側構造部は、上記第2ガイドシャフトの上端部に支持されるとともに、上記搬入搬出空間の連続開口に対応する部位において、この連続開口を横切らない支持手段により支持されることを特徴とする表面処理装置。さらに回動支持手段を備え、この回動支持手段が上記上側構造部を、上記第1ガイドシャフトから見て上記支持手段の反対側を中心として回動可能に支持しており、これにより、上側構造部は下側構造部に対峙する水平な処理位置と下側構造部から遠ざかるメンテナンス位置との間で回動可能であり、上記上側構造部は上記処理位置において、その下面が上記第2ガイドシャフトの上端に当たることにより支持されるとともに、上記支持手段に着脱可能に支持されていることを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。上記上側構造部は、上記メンテナンス位置にある時に上下逆になることを特徴とする請求項2に記載の表面処理装置。上記下側構造部の下面には、スペーサを介してガイドブッシュが固定され、下側構造部が閉じ位置と開き位置との間で昇降する過程で、このガイドブッシュが上記第1ガイドシャフトに挿通されて案内されることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の表面処理装置。上記複数のガイドシャフトが、2本の上記第1ガイドシャフトと2本の上記第2ガイドシャフトからなり、上記下側構造部の四隅部にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の表面処理装置。請求項1~5のいずれかに記載の表面処理装置と搬入手段と搬出手段とを備え、上記搬入手段は上記第2座標軸の一方側からワークを水平旋回させながら上記下側構造部に搬入し、上記搬出手段は上記ワーク搬入と同時期に、処理済みワークを下側構造部から水平旋回させながら上記第2座標軸の他方側へと搬出することを特徴とする表面処理システム。特許文献1の表面処理装置では、下側構造部の案内と上側構造部の支持の役割を担う4本のシャフトが上記搬入搬出空間を垂直に横切っているため、ロボットおよびワークは、これらシャフトと干渉しない軌跡で移動しなくてはならず、制約が大きかった。そのため、使用できるロボットは、リニアにワークを移動させるタイプしか使用できず、例えばワークを水平旋回させながら移動させる多関節タイプのロボットを用いることができなかった。上記問題点を解決するために、本発明は、ア上側構造部と、イ下側構造部と、ウ下側構造部を、上側構造部に当接し上側構造部と協働して密封された処理室を形成する閉じ位置と、上側構造部から離間した開き位置との間で昇降させる昇降手段と、エ下側構造部を案内する垂直の複数のガイドシャフトと、を備え、下側構造部が開き位置にある時に上側構造部と下側構造部との間に形成される空間が、ワークの搬入搬出空間として提供される表面処理装置において、上記搬入搬出空間は、水平な第1座標軸に沿う互いに逆向きの2方向のうちの一方と、この第1座標軸と直交する水平な第2座標軸に沿う互いに逆向きの2方向の、計3方向にわたって連続した開口を有し、上記複数のガイドシャフトは第1、第2のガイドシャフトを含み、第1ガイドシャフトは上記搬入搬出空間の連続開口に対応する位置に配置され、第2ガイドシャフトは上記第1座標軸に沿う2方向のうちの他方に配置されており、第1ガイドシャフトが第2ガイドシャフトより短く、第1ガイドシャフトの上端部が上側構造部から離れており、上記上側構造部は、上記第2ガイドシャフトの上端部に支持されるとともに、上記搬入搬出空間の連続開口に対応する部位において、この連続開口を横切らない支持手段により支持されることを特徴とする。上記構成によれば、搬入搬出空間が3方向にわたって連続した開口を有しているので、ワークを搬入、搬出するための軌跡に対する制約を減じることができる。その結果、搬入、搬出手段の選択の自由度が広がり、ワークをリニアに水平移動させるロボットのみならず、水平旋回させるロボットも用いることができる。また、ワークを水平旋回させながら搬入、搬出させる方法を採用する場合、ワークの搬入時の軌跡と搬出時の軌跡を異ならせることができるため、別体をなす搬入手段と搬出手段を用いてワークの搬入と搬出をほぼ同時期に行うことも可能となる。好ましくは、さらに回動支持手段を備え、この回動支持手段が上記上側構造部を、上記第1ガイドシャフトから見て上記支持手段の反対側を中心として回動可能に支持しており、これにより、上側構造部は下側構造部に対峙する水平な処理位置と下側構造部から遠ざかるメンテナンス位置との間で回動可能であり、上記上側構造部は上記処理位置において、その下面が上記第2ガイドシャフトの上端に当たることにより支持されるとともに、上記支持手段に着脱可能に支持されている。この構成によれば、上側構造部と下側構造部の内側の保守、点検、修理を行う際に、上側構造部を下側構造部から遠ざかるメンテナンス位置まで回動することにより、簡単な段取りでこれら作業を行うことができる。好ましくは、上記上側構造部は、上記メンテナンス位置にある時に上下逆になる。これによれば、上側構造部の内側が上になるので、保守、点検、修理がより一層容易となる。好ましくは、上記下側構造部の下面には、スペーサを介してガイドブッシュが固定され、下側構造部が閉じ位置と開き位置との間で昇降する過程で、このガイドブッシュが上記第1ガイドシャフトに挿通されて案内される。これによれば、下側構造部の下面にスペーサを介してガイドブッシュを固定したことにより、第1ガイドシャフトによる下側構造部の円滑な案内作用を確保することができる。好ましくは、上記複数のガイドシャフトが、2本の上記第1ガイドシャフトと2本の上記第2ガイドシャフトからなり、上記下側構造部の四隅部にそれぞれ配置されている。これによれば、4本のガイドシャフトにより安定して下側構造部を案内することができる。本発明の他の態様は、上記表面処理装置と搬入手段と搬出手段とを備え、上記搬入手段は上記第2座標軸の一方側からワークを水平旋回させながら上記下側構造部に搬入し、上記搬出手段は上記ワーク搬入と同時期に、処理済みワークを下側構造部から水平旋回させながら上記第2座標軸の他方側へと搬出することを特徴とする。この構成によれば、ワークの搬入と搬出をほぼ同時期に行うため、生産効率を向上させることができる。本発明によれば、ワークを搬入、搬出するための軌跡の制約を小さくすることができ、その結果、搬入、搬出手段の選択の自由度を高めることができる。以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。図1に示すように、表面処理システムは、互いに平行をなす搬入コンベア1と搬出コンベア2とを備えている。以下の説明では、コンベア1,2の長手方向に水平に延びる第1座標軸をX軸とし、このX軸と直交して水平に延びる第2座標軸をY軸とする。搬入コンベア1の終端部と搬出コンベア2の始端部との間には、2台の同一構造をなす表面処理装置3、4が、X軸方向に離間して配置されている。上記表面処理装置3、4間には、同一構造をなす搬入ロボット5搬入手段と搬出ロボット6搬出手段がY軸方向に離間して配置されている。上記ロボット5,6は、多関節のアーム5a,6aと、このアーム5a,6aの先端に設けられたチャック部5b,6bとを、それぞれ備えている。次に、上記表面処理装置3について主に図2、図3を参照しながら説明する。表面処理装置3は、上側構造部10と、その下方に配置された下側構造部20と、下側構造部20を図2に示す上側構造部10から離れた開き位置と図3に示す上側構造部10に当接した閉じ位置との間で昇降する昇降機構30昇降手段とを、備えている。上側構造部10は、シェル部材11と、このシェル部材11の下面に設けられたプラズマ処理部12とを有している。上記シェル部材11は、平面形状がほぼ矩形をなす天板部11aと、周壁部11bとを有しており、これら天板部11aと周壁部11bにより下側が開放された浅い凹部11cが形成されている。下側構造部20は、上記シェル部材11にほぼ対応した平面形状の板状をなすシェル部材21と、このシェル部材21の上面に設けられたプラズマ処理部22とを有している。さらに下側構造部20のシェル部材21の上面には、ワークWをプラズマ処理部22から離れた状態で支持する支持部23が設けられている。上記プラズマ処理部12,22は、公知の構造であるので詳細な説明を省略するが、高周波電圧を印加されて放電を生成する多数の電極を有しており、図示しないガス源から供給された処理ガスをプラズマ化し活性化して、ワークWに供給するようになっている。図2に示すように下側構造部20が開き位置にある時、上側構造部10と下側構造部20との間にはワークWを搬入搬出するための空間Sが形成される。図3に示すように上記下側構造部20が閉じ位置にある時、シェル部材21,22が当接して密閉された処理室Rが形成される。上記シェル部材11の周壁部11bの下端面と上記シェル部材21の上面のいずれか一方にはシールリング図示しないが設けられている。上記昇降機構30は、ボールねじ機構31と、このボールねじ機構31を駆動するモータ32とを有している。ボールねじ機構31は、ベース8固定系に回転可能に支持されて上方に垂直に延びるねじロッド31aと、このねじロッド31aに螺合するナット31bとを有している。このナット31bは、下側構造部20のシェル部材21の下面中央部に、垂直に延びるスペーサ33を介して固定されている。上記モータ32は上記ベース8に固定され、その出力軸がプーリ34およびタイミングベルト35を介してねじロッド31aの下端部に連結されている。上記モータ32が一方向に回転すると、ボールねじ機構31を介して下側構造部20が上昇し、逆方向に回転すると下側構造部20が下降する。さらに表面処理装置3は、下側構造部20が昇降する際に、下側構造部20を水平姿勢を維持したまま案内するガイド機構40を備えている。ガイド機構40は、上記ベース8に固定されて上方に垂直に延びる合計4本のガイドシャフトを有しており、図1に示すように下側構造部20の4隅部を案内するようになっている。ロボット5,6に近い方の2本のガイドシャフト第1ガイドシャフトを符号41で示し、遠い方の2本のガイドシャフト第2ガイドシャフトを符号42に示す。上記ガイドシャフト41は、ガイドシャフト42に比べて短く、その上端41aは上側構造部10から離れている。ガイドシャフト42の上端42aは上側構造部10のシェル部材11の下面に当たっており、上側構造部10の荷重の一部を負担している。上記下側構造部20のシェル部材21において、ロボット5,6側の2つの隅部には、上記ガイドシャフト41と同軸をなす貫通穴21aが形成されている。さらに、シェル部材21の下面には、貫通穴21aおよびガイドシャフト41と同軸をなして筒形状のスペーサ45が固定され、さらにその下端にボールブッシュ46ガイドブッシュが同軸をなして固定されている。上記ボールブッシュ46は、ガイドシャフト41の外周に接した状態で、ガイドシャフト41に上下動可能に支持されている。なお、上記貫通穴21aおよびスペーサ45の内周は、上記ガイドシャフト41の外周と接しておらず、両者の間にはギャップが形成されている。上記下側構造部20のシェル部材21において、ロボット5,6の反対側の2つの隅部には、上記ガイドシャフト42と同軸をなす貫通穴21bが形成されている。シェル部材21の下面には、貫通穴21bおよびガイドシャフト42と同軸をなしてボールブッシュ47ガイドブッシュが固定されている。このボールブッシュ47は、ガイドシャフト42に上下動可能に支持されている。図2、図3に示すように、上側構造部10は、通常は所定高さで水平をなして下側構造部20に対峙する処理位置で支持されている。この処置位置において上側構造部10におけるロボット5,6の反対側の縁部は、前述したように2本の長いガイドシャフト42の上端42aに乗ることにより支持されている。上側構造部10のロボット5,6側の縁部は、短いガイドシャフト42の上端42aから離れているため、このガイドシャフト42によって支持されていないが、その代わりに、支持機構50により着脱可能に支持されている。上記支持機構50について説明する。上記表面処理装置3,4およびロボット5、6を支持するフレーム固定系の上側ビーム51には、垂直な支柱52を介して水平支持ビーム53が固定されている。他方、上側構造部10のシェル部材11のロボット5,6側の縁部には、フック15が固定されており、このフック15が上記水平支持ビーム53の一端に載せられてねじ図示しないにより固定されている。上記フック15は、本実施形態ではシェル部材11におけるロボット5,6側の縁部において、Y軸方向の一端に固定してもよいし中央に固定してもよい。上側構造部10においてロボット5,6の反対側の縁部は、回動支持機構60回動支持手段に連結されている。この回動支持機構60は、ベース8に固定された垂直な支柱61と、上側構造部10のシェル部材11に固定されたブラケット62と、このブラケット62を支柱61の上端部に回転可能に連結する水平シャフト63と、駆動機構65図5にのみ示すとを有している。図5に示すように、上記水平シャフト63は、支柱61に回動可能に貫通されてブラケット62に固定されており、水平シャフト63の端部には、駆動機構65の減速ギア列65aが接続されている。駆動機構65はさらに、減速ギア列65aの原動側歯車に噛み合うウオーム65bを有している。このウオーム65bがハンドルまたはモータ図示しないにより回転されると、上側構造部10が図2、図3に示す処理位置と図4に示すメンテナンス位置との間で180°にわたって回動される。他方の表面処理装置4は、上述した一方の表面処理装置3と向かい合うようにして配置されている。すなわち、表面処理装置4の短い方のシャフト41がロボット5,6に近い位置に配置される。他方の表面処理装置4のフック表面処理装置3のフック15に対応するは、水平支持ビーム53の他端に固定されている。次に、上記構成をなす表面処理システムの作用を説明する。最初、表面処理装置3の下側構造部20は図2に示す開き位置にある。この状態で、上下の構造部10,20間の搬入搬出空間Sは、X軸に沿う逆向きの2方向のうちの一方ロボット5,6側およびY軸に沿う逆向きの2方向の、合計3方向にわたって連続した開口100を有している。ロボット5,6側の短いシャフト41は上側構造部10から離れていて搬入搬出空間Sを横切らない。また、支持機構50も上側構造部10の上方に配置されており、搬入搬出空間Sを横切らない。搬入ロボット5が、搬入コンベア1から送られてその終端に位置するワークWを、そのチャック部5bで掴み、図1中矢印Aで示すように搬入搬出空間Sまで水平旋回させ、下側構造部20にセットする。次に、昇降機構30の駆動により、下側構造部20を図3の閉じ位置まで上昇させる。これにより、密閉された処理室Rが形成される。次に、上記処理室Rにおいて、ワークWの両面のプラズマ表面処理を行う。次に、昇降機構30を駆動させて、下側構造部20を再び図2の開き位置にする。次に、搬出ロボット6がそのチャック部6bを搬入搬出空間Sに入り込ませ、ワークWを掴んで図1中矢印B方向に水平旋回して搬出コンベア2の始端まで運ぶ。このワークWは搬出コンベア2により次のステージへ送られる。上記搬出ロボット6により処理済みのワークWを搬出するのと同時期に、搬入ロボット5が搬入コンベア1の終端に配置された新しいワークWを掴んで、図1中矢印A方向に水平旋回して搬入搬出空間Sに入り込み、上述と同様にしてワークWを下側構造部20にセットする。ここで同時期とは、両ロボット5,6がワークWを搬送している時間が少なくとも部分的に重なることを言う。上述したように、2台のロボット5,6を用いて、表面処理装置3からの処理済みワークWの搬出と表面処理装置3への新たなワークWの搬入とを同時期に行うので、作業時間が短縮され、生産性が向上する。搬入搬出空間Sは、3方向にわたって連続した開口100を有するので、ワークWの搬入、搬出の軌跡を異ならせることができ、上記ロボット5,6の同時期の搬入搬出作業を支障なく行える。上記のようにして、表面処理装置3におけるワークWの搬入搬出と表面処理を繰り返す。他方の表面処理装置4では、上記表面処理装置3と時間差をもってワークWの処理が行われる。すなわち、表面処理装置4でワークWの表面処理を実行している時に、表面処理装置3でワークWの搬入と搬出が行われ、表面処理装置3でワークWの表面処理を実行している時に、表面処理装置4でワークWの搬入と搬出が行われる。これにより、ロボット5,6を表面処理装置3、4で兼用することができる。表面処理装置3,4を保守、点検したり修理する場合には、フック15を支持機構50に固定するねじを外し、上側構造部10を回動支持機構60により180°回動させて図4のように上下逆転させた状態にする。これにより、上側構造部10の処理部12と下側構造部20の処理部22を露出させた状態で、効率良く作業を行うことができる。本発明は、上記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の形態を採用可能である。例えば、上側構造部10は180°回動せず、例えば90°回動させてメンテナンス位置としてもよい。回動支持機構は、手動操作またはモータ駆動による駆動機構を付けず、単に回転可能に支持する構造だけであってもよい。回動支持機構は省いてもよい。この場合、上側構造部10を長いシャフト42の上端部に固定するのが好ましい。第1ガイドシャフトは1本でもよい。この場合、第2ガイドシャフトは複数本とするのが好ましい。第2ガイドシャフトは、1本であってもよいし、3本であってもよい。支持機構は、上側構造部を複数個所で支持してもよい。昇降機構は流体圧シリンダであってもよい。ワークの片面だけを表面処理してもよい。搬入および搬出の手段として、リニアにワークを移動させるロボットを用いてもよい。この場合でも、搬入搬出空間の連続開口により、ロボットのチャック部等の寸法上の制約が無くなり、ワークを確実に把持することができる。"