通気性を有する基材およびこの基材の一側面に堆積された極細繊維層で構成されるフィルタ素材を、その極細繊維層同士を重ね合わせてなるエアフィルタの周縁を挟持したパネルを、フィルタ枠内にジグザグ状に配置してなるエアフィルタ装置。前記パネルを相互に耐熱テープで連結してジグザグ状に配置するとともに、そのジグザグ状パネル全体を気密にフィルタ枠内に取り付けてなる請求項1記載のエアフィルタ装置。前記パネルを相互に耐熱テープで連結してジグザグ状に配置した状態で凸の連結部を耐熱テープおよびまたは耐熱接着材で覆ってなる請求項2記載のエアフィルタ装置。前記極細繊維層は、繊維径が001~05μmの極細繊維が堆積されたものである請求項1-3のいずれか1項記載のエアフィルタ装置。前記基材は、繊維径が03~50μm、厚みが01~10mmのガラス繊維同士または合成繊維または天然繊維などからなる不織布あるいは織布を有機バインダまたは無機バインダで結合したものである請求項1-4のいずれか1項記載のエアフィルタ装置。前記極細繊維層は、シリカ、アルミナ、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維、アラミド繊維、ポリベンゾイミダゾール繊維、ポリイミド繊維、ボリアミドイミド繊維、ポリエーテルイミド繊維、ポリアリレート繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊維、ポリフェニレンサルファイド繊鮭、ノボロイド繊維、ポリクラール繊維、難燃アクリル繊維、難燃レーヨン繊維、難燃ポリエステル繊維、難燃綿繊維、難燃ウール繊維または難燃処理を施さなくても熱溶融により延焼を防止できる繊維から選ばれた1種以上である前記請求項1-5のいずれか1項記載のエアフィルタ装置。前記基材は、シリカ、アルミナ、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維、アラミド繊維、ポリベンゾイミダゾール繊維、ポリイミド繊維、ボリアミドイミド繊維、ポリエーテルイミド繊維、ポリアリレート繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊維、ポリフェニレンサルファイド繊鮭、ノボロイド繊維、ポリクラール繊維、難燃アクリル繊維、難燃レーヨン繊維、難燃ポリエステル繊維、難燃綿繊維、難燃ウール繊維または難燃処理を施さなくても熱溶融により延焼を防止できる繊維から選ばれた1種以上である前記請求項1-6いずれか1項記載のエアフィルタ装置。この発明は、これらの問題を解決しようとするもので、この発明のひとつの目的は、ひだ折り加工をすることなく、したがって、極細繊維を損傷することなく、極細繊維の特徴を生かしたエアフィルタ装置を提供しようとするものである。この発明のさらなる目的は、ひだ折り加工がないため、エアフィルタ装置使用時に、エアフィルタを通過する空気により極細繊維が損傷し飛散して、除塵機能が低下することを防止したエアフィルタ装置を提供しようとするものである。この発明のさらに他の目的は、高温時においても高い捕集効率を維持し得るエアフィルタ装置を提供しようとするものである。この発明のひとつの解決手段は、通気性を有する基材として、例えば繊維径が03~50μm、厚みが01~10mmJISP8118により計測のガラス繊維同士または合成繊維または天然繊維などからなる不織布あるいは織布を有機バインダまたは無機バインダで結合した基材を用い、この基材の一面に、例えば繊維径が001~05μmの極細繊維層を堆積または積層させてたフィルタ素材を、そのフィルタ素材の極細繊維層同士を重ね合わせたエアフィルタを用いたエアフィルタ装置である。この発明の他の解決手段は、そのように形成したエアフィルタを、その周縁部を結合枠により挟持して一体にパネルとしたエアフィルタ装置である。この発明のさらに他の解決手段は、前記パネルを相互に連結してフィルタ枠内にジグザグ状に配置して、フィルタユニット化し、気密に取り付けたエアフィルタ装置である。この発明のさらなる他の解決手段は、前記パネルを相互に、耐熱テープで連結してフィルタ枠内にジグザグ状に配置してフィルタユニット化し、気密に取り付けたエアフィルタ装置である。この発明のさらに他の解決手段は、基材の材料として、シリカ、アルミナ、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維、アラミド繊維、ポリベンゾイミダゾール繊維、ポリイミド繊維、ポリアミドイミド繊維、ポリエーテルイミド繊維、ポリアリレート繊維、ポリパラフェニレンベンゾピスオキサゾール繊維、ポリフェニレンサルファイド繊維、ノボロイド繊維、ポリクラール繊維、難燃アクリル繊維、難燃レーヨン繊維、難燃ポリエステル繊維、難燃綿繊維、難燃ウール繊維または難燃処理を施さなくても熱溶融により延焼を防止できる繊維から選ばれた1種以上を用いることである。この発明の他の解決手段は、極細繊維の材料として、基材と同様に、シリカ、アルミナ、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維、アラミド繊維、ポリベンゾイミダゾール繊維、ポリイミド繊維、ポリアミドイミド繊維、ポリエーテルイミド繊維、ポリアリレート繊維、ポリパラフェニレンベンゾピスオキサゾール繊維、ポリフェニレンサルファイト繊維、ノボロイド繊維、ポリクラール繊維、難燃アクリル繊維、難燃レーヨン組維、難燃ポリエステル繊維、難燃綿繊維、難燃ウール繊維または難燃処理を施さなくても熱溶融により延焼を防止できる繊維から選ばれた1種以上を用いたことである。ここで、基材は、通気性を有する耐熱性であって、フィルタ素材を保形して支持できるものであればよく、例えば、ガラス繊維同士または合成繊維または天然繊維などからなる不織布あるいは織布を有機バインダまたは無機バインダで結合したものを使用することができる。そして、これらを単独で用いてもよいし、2種類以上のものを積層しても、併用してもよい。また、一部耐熱性を有しない材料を使用していても、基材全体として耐熱性を有するものであればよく、また後加工によって耐熱性を有するようにしたものでもよい。特に、基材は、通過風速53センチメートル毎秒の時に圧力損失が10Pa以下であることが好ましい。また、L0I限界酸素指数21以上の難燃性または不燃性を有し、かつ熱可塑性でない有機繊維または無機繊維が好ましい。これらの基材の形成方法としては、湿式抄紙法を用いる方法や、乾式法、スパンボンド法、メルトブロー法などが用いられる。有機バインダとしては、例えばメラミン樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂などの有機バインダを使用できる。無機バインダとしては、例えばシリカ、タルク、カオリン鉱物、ベントナイト、珪藻土、アルミナ、シリカとアルミナの混合物、ケイ酸アルミニウム、リボン状構造の含水ケイ酸マグネシウムおよび合成ゼオライトの群から選ばれる少なくとも1種からなる無機系物質を用いることができる。極細繊維とは、例として単繊維径が001~05μmの範囲内にあるものを指し、その形態は繊維状の形態であればよく、長さや断面形状にはこだわらないものである。この発明に使用される極細繊維層は、例えば電界紡糸法により製造されたものが好適であるが、極細繊維は、束状でなく極細繊維が分散した状態にあるのが好ましい。これは極細繊維が束状に集合した状態にあると平均繊維径が小さいにもかかわらず極細繊維層の細孔径がより太い繊維で構成される繊維層の細孔径と大差がなく、ろ過性能が劣る傾向があるためである。また、基材や極細繊維として、ポリビニールアルコールなどの硬さ調整剤、帯電剤などを付与することは、任意に事前または事後に実施することが可能である。上記問題解決手段による作用は、次の通りである。すなわち、エアフィルタは、繊維径が03~50μm、厚みが01~10mmのガラス繊維同士または合成繊維または天然繊維などからなる不織布あるいは織布を、有機バインダまたは無機バインダで結合した通気性の基材に、繊維径が001~05μmの極細繊維を、例えば電界紡糸法によって堆積または積層させたフィルタ素材を2枚、それぞれの極細繊維層同士が重ね合わさるように対向して構成したものであるので、吸入される空気中の粉塵は、基材および極細繊維層で捕集され清浄空気として通過する。この際、形状保持機能および強度向上を目的とした粉塵保持容量の大きな基材と極細繊維からなる緻密な高密度捕捉機能を備えた極細繊維層を有するフィルタ素材であって、このフィルタ素材同士、その極細繊維層同士が重なり合って構成されているエアフィルタであるので、低い圧力損失でありながら高い捕集効率を発揮するものである。さらに、前記エアフィルタを結合枠によってその周縁部を挟持してパネルとした構造であるので、その極細繊維層は、外力に対して保護されるとともに、ひだ折り加工に伴う極細繊維層の損傷がないため、極細繊維層の機能を損なうことがない。また、高温に耐えられるバインダを使用したガラス繊維、合成繊維または天然繊維などからなる基材とし、結合枠を高温に耐えられるステンレスなどの金属枠とし、接着材として高温に耐えられる耐熱シリコンなどを用いたので、エアフィルタを通過する高温空気によりエアフィルタが変形したり、エアフィルタの繊維が破れて飛散することがなく、長期に所定の捕集機能を維持できるものである。フィルタ素材を相互にその極細繊維層同士を重ね合わせて、結合枠によってその周縁部を挟持したパネルの構造であるため、長期に亘り安定に保持可能であり良好な状態に維持できる。極細繊維を用いた構造であるので、低い圧力損失で高効率の機能を発揮できる。クリーンオーブンなどの乾燥機にエアフィルタ装置を使用し、高温空気を通過させても、発塵することなく高温の清浄空気を導入させることができる。この発明のエアフィルタ装置は、従来のエアフィルタ装置と比較して、ひだ折りがなくエアフィルタの強度が低下していないので、エアフィルタの繊維が飛散したり、エアフィルタが破れたりして除塵機能が低下するという恐れがない。以下、この発明の実施形態に係るエアフィルタ装置を、添付図面に基づいて説明する。図1は、この発明によるエアフィルタ装置の全体を示すもので、例えば、角筒状のフィルタ枠1内には、パネルPをフィルタユニット化して複数個連結してジグザグ状に配置したものが、気密に取り付けられている。このように構成されるエアフィルタ装置を、その組み立て手順に従って以下に詳細に説明する。まず、エアフィルタ2は、図5の断面図に示すように、通気性を有する長尺の基材3、すなわち、繊維径が03~50μm、厚みが01~10mmのガラス繊維同士または合成繊維または天然繊維などからなる不織布あるいは織布を有機バインダまたは無機バインダで結合して一体にしたシート状の基材3を形成する。次いで、この基材3の一表面上に繊維径が001~05μmの極細繊維を電界紡糸法によって堆積または積層させてフィルタ素材4を一体化して形成する。このように形成した長尺のフィルタ素材シート図示せずを、例えば長方形をなす所定寸法に切断して、フィルタ素材部品2Aを形成する。次いで、図4、5に示すように、このフィルタ素材部品2Aの2枚を、フィルタ素材4の極細繊維層同士が重ね合わされるように対向してエアフィルタ2とし、一対のステンレス製の結合枠5、5によって、その周縁を挟持して、例えばシリコン接着材のような耐熱接着材Gによって相互に固定する。このようにして、これ自体でろ過機能を有するパネルPが完成する。ここでは、結合枠5、5は、図示するように平板状の枠で構成し、相互に耐熱接着材Gでろ材2を介して結合するようにしたが、その結合状態を相互にボルトナット等によって維持するように構成することも可能であり、さらには、例えば結合枠5、5の少なくとも一方に形成した結合爪を折り曲げ形成して、結合枠同士で保持できるように構成することも可能である。次いで、このようにして形成した複数個のパネルPを図2に明示するようにジグザグ状に配置する。この図2においては、明瞭化のためにジグザグ状に配置されたパネルPだけを示しており、後述する連結部の耐熱テープおよび耐熱接着材は省略して示している。すなわち、パネルPの結合枠5、5は、その長辺が相互に近接して並置され、この連結部分を断面で示すフィルタユニットUの一部分の断面図が図6に明示されているように、その対向する長辺紙面と直交する辺間に耐熱テープTを両面から張り合わせることによって相互に連結される。このように張り合わされて連結された状態で、その張り合わせ部を介してジグザグ状のフィルタユニットUを形成する。この場合に、図6に示すように、フィルタユニットUのジグザグ状の凸に形成される部分には、その連結部分の耐熱テープTを含んで覆うように耐熱接着材Bが施されて、結合枠5、5がより強固に連結される。このように構成されたフィルタユニットUを、フィルタ枠1内に耐熱接着材等によって気密に装着する。なお、耐熱テープTによる張り合わせは両面からでなく、片側面からひとつおきに互い違いに配置して、ジグザグ状に形成した場合の凸に形成される部分には耐熱テープがない形態にすることも可能であって、その部分に直接耐熱接着材Bを施して結合枠5、5、したがってパネルPを強固に連結することも可能である。すなわち、フィルタ枠1は、図1および図3A、3Bに示すように、その外周枠が、左側板6、右側板7、上板8、下板9とからなっている。この左側板6と右側板7とは、同一形状をなし、それぞれ一対の端部が、外方にL型に折れたつば片10、10 ́と、他の一対の端部が外方にL型に折れ曲がり、さらにその先端が内方にL型に折れ曲がった突片11、11 ́を形成したつば片12、12 ́を有する平板で構成されている。また、上板8と下板9とは、同一形状をなし、1対の端部が内方にL型に折れたつば片13、13 ́と、他の一対の端部が、前記側板のつば片10、10 ́に当接し得る舌片14、14 ́とを有する平板で構成されている。そして、左側板6、右側板7と、上板8、下板9とを角筒状に組み立てる場合に、そのつば片10、10 ́と舌片14、14 ́とが相互に一体的に接するようになっており、当接したときに、それぞれに形成した取り付け穴15、15 ́が合致するようになっている。このように構成されている下板9の内面には、前もって耐熱接着材、例えばシリコン接着材を塗布しておき、これに前述のジグザグ状のフィルタユニットUを気密に設置する。フィルタユニットUが下板9にシリコン接着材で固定された後、左側板6および右側板7のつば片10、10 ́を下板9の舌片14、14 ́に取り付け穴15を介して図示していないボルトで締め付け固定する。その際、同様に左側板6および右側板7の内面にもシリコン接着材を塗布しておくことにより、フィルタユニットUの両端部を気密に固定することができる。フィルタユニットUを下板9と左側板6および右側板7に固定した後、左側板6および右側板7を持ってフィルタユニットUを倒立して、下方に位置し、内面にシリコン接着材を塗布しておいた上板8に設置して側板6および右側板7のつば片10 ́を上板6の舌片14、14 ́に同様に取り付け穴15を介してボルトで固定してエアフィルタ装置を完成する。実施例1以下に、実施例と比較例とを対比して説明する。次の構成のようにエアフィルタ装置を製作した。まず、繊維径22dtexのアラミド緻維80と、繊維径17dtexのビニロンをメラミン系のバインダで結合した基材を作成し、この基材の一面に対して電界紡糸法によって繊維径01μmのアラミド極細繊維層を堆積ないし積層させたフィルタ素材4のシートを得た。このフィルタ素材4のシートを所定寸法の長方形に切断してフィルタ素材部品2Aを形成し、このフィルタ素材部品2枚を、そのフィルタ素材4の極細繊維層同士を重ね合わせてエアフィルタ2とし、1対のステンレス製結合枠5、5の内側周縁で挟み込み、シリコン接着材によって気密に挟持固定したパネルPを得た。次に、これらのパネルPを相互に連結した状態でジグザグ状のエアフィルタユニットUを配置し、ステンレス製の下板9、左側板6、右側板7を組合わせて耐熱性シリコンシール材で固定し、最後に上板8を固定して、エアフィルタ装置を完成した。ガラス繊維同士を無機バインダで結合したろ材にプリーツ加工を施し、このろ材のプリーツ間に波形状アルミ材あるいはステンレス材などのセパレータを挿入し、これをフィルタ枠に接着材を介して収納固定した高温用エアフィルタ装置を完成した。次に、これら実施例1及び比較例1の各エアフィルタ装置について、フィルタ性能の試験を行った。評価方法は、下記の通りとした。初期圧力損失:エアフィルタ装置外形寸法150×150の大きさでJISダクトを用いて圧力損失を測定した。風量は05m3minとした。初期捕集効率:エアフィルタ装置外形寸法150×150の大きさでJISダクトを用いて捕集効率を測定した。風量は05m3minとした。その結果、初期捕集効率は各々9997であった。初期圧力損失は比較例1では308Paであったのに対し、実施例1では152Paであり、低い圧力損失で高効率の機能を発揮できることが確認できた。なお、この発明は前記実施形態そのままに限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化でき、また前記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の変更が可能である。また、この発明で述べたエアフィルタ装置に使用するフィルタ素材2枚を極細繊維層同士が相互に積層されたエアフィルタは、一般に言われている超高性能フィルタだけでなく、ULPAフィルタ、高性能フィルタ、中性能フィルタに使用でき、種々変更しても何らこの発明の要旨を変更するものではない。