真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、高周波電源に電気的に接続可能であって、前記真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、複数本の前記電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の前記電極棒が対応する前記コネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記アレイアンテナユニットを着脱自在に前記真空チャンバ内に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備えたアレイアンテナ式プラズマCVD装置に、前記アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体であって、前記複数本の電極棒を垂下させた状態で前記アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、前記アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、前記調整部材の鉛直方向への昇降または下降を可能とする変位手段と、を備え、前記調整部材は、前記アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、前記電極棒の配列方向への移動を制限する移動制限部を有し、前記移動制限部は、前記変位手段によって前記調整部材が鉛直方向に上昇または下降することにより、前記電極棒の配列方向への移動を許容する位置まで退避可能に設けられていることを特徴とするアンテナ搬送体。前記延在部は、前記アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に直交する水平方向に間隔を維持して一対対向配置されるとともに、これら一対の延在部の対向間隔に前記電極棒を位置させてなり、前記移動制限部は、前記一対の延在部のいずれか一方または双方に設けられていることを特徴とする請求項1記載のアンテナ搬送体。前記アレイアンテナユニットは、前記真空チャンバに設けられた前記コネクタに接続可能であって前記電極棒よりも大径のアンテナ側コネクタを、前記電極棒の上端部に備えてなり、前記移動制限部は、前記アンテナ側コネクタのうち前記電極棒の径方向外方に位置する部位に臨むことを特徴とする請求項1または2記載のアンテナ搬送体。前記アンテナ保持部材は、基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、搬送方向に間隔を維持して配置される複数の支柱を備え、前記支柱は、前記アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記複数本の電極棒に対して、前記搬送方向に直交する水平方向に位相をずらして設けられ、前記調整部材は、前記複数の支柱に懸架して設けられてなることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のアンテナ搬送体。真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、高周波電源に電気的に接続可能であって、前記真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、複数本の前記電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の前記電極棒が対応する前記コネクタに接続された状態で前記高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記アレイアンテナユニットを着脱自在に前記真空チャンバ内に掛け止めするとともに、前記アレイアンテナユニットを掛け止めした状態で前記コネクタと前記電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、前記アンテナ掛止手段によって前記アレイアンテナユニットを前記真空チャンバ内に掛け止め可能な位置まで当該アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体と、を備え、前記アンテナ搬送体は、前記複数本の電極棒を垂下させた状態で前記アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、前記アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、前記調整部材の鉛直方向への上昇または下降を可能とする変位手段と、を備え、前記調整部材は、前記アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、前記電極棒の配列方向への移動を制限する移動制限部を有し、前記移動制限部は、前記変位手段によって前記調整部材が鉛直方向に上昇または下降することにより、前記電極棒の配列方向への移動を許容する位置まで退避可能に設けられていることを特徴とするアレイアンテナ式プラズマCVD装置。前記延在部は、前記アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向に直交する水平方向に間隔を維持して一対対向配置されるとともに、これら一対の延在部の対向間隔に前記電極棒を位置させてなり、前記移動制限部は、前記一対の延在部のいずれか一方または双方に設けられていることを特徴とする請求項5記載のアレイアンテナ式プラズマCVD装置。前記アレイアンテナユニットは、前記真空チャンバに設けられた前記コネクタに接続可能であって前記電極棒よりも大径のアンテナ側コネクタを、前記電極棒の上端部に備えてなり、前記移動制限部は、前記アンテナ側コネクタのうち前記電極棒の径方向外方に位置する部位に臨むことを特徴とする請求項6記載のアレイアンテナ式プラズマCVD装置。前記アンテナ保持部材は、基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、搬送方向に間隔を維持して配置される複数の支柱を備え、前記支柱は、前記アンテナ保持部材に保持された前記アレイアンテナユニットの前記複数本の電極棒に対して、前記搬送方向に直交する水平方向に位相をずらして設けられ、前記調整部材は、前記複数の支柱に懸架して設けられてなることを特徴とする請求項5~7のいずれか1項に記載のアレイアンテナ式プラズマCVD装置。前記アレイアンテナユニットは、前記複数本の電極棒の配列方向に延在するとともに、前記複数本の電極棒を挿通可能なアンテナ支持孔が設けられたアンテナ支持部材を備え、前記複数本の電極棒は、前記アンテナ支持孔によって前記電極棒の配列方向に交差する水平方向への移動および回転が制限されてなることを特徴とする請求項5~8のいずれか1項に記載のアレイアンテナ式プラズマCVD装置。複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持されたアレイアンテナユニットをアンテナ搬送体に保持する工程と、前記アンテナ搬送体に前記アレイアンテナユニットが保持された状態で、前記アレイアンテナユニットに設けられた調整部材によって前記電極棒の配列方向への移動を制限する工程と、前記電極棒の配列方向への移動が制限された前記アレイアンテナユニットを保持した前記アンテナ搬送体を真空チャンバ内に搬入する工程と、前記真空チャンバ内に搬入された前記アレイアンテナユニットの前記電極棒それぞれが、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタに一括して接続されるように前記アレイアンテナユニットを前記真空チャンバ内に掛け止めする工程と、前記調整部材を鉛直方向に上昇または下降させ、前記真空チャンバ内に掛け止められた前記アレイアンテナユニットの前記電極棒の配列方向への移動を許容する位置に退避させる工程と、前記アンテナ搬送体を前記真空チャンバ内から搬出する工程と、を含むアレイアンテナ式プラズマCVD装置のアレイアンテナユニット取り付け方法。上記のアレイアンテナ式プラズマCVD装置においては、基板表面に薄膜を生成する成膜処理の過程で、電極棒の表面に皮膜が付着することから、アレイアンテナユニットを定期的にメンテナンスする必要がある。ところが、従来のアレイアンテナ式プラズマCVD装置においては、メンテナンスの際に、各電極棒を1本ずつ、コネクタから取り外したり、あるいは新たな電極棒をコネクタに接続したりしなければならなかった。そのため、メンテナンスの際には、多数の電極棒の着脱作業や搬送作業が煩雑となってメンテナンスに長時間を要してしまい、装置の稼働停止時間が長期化して稼働率が低下することがあった。本発明は、アレイアンテナユニットのメンテナンス作業を簡素化することができるアンテナ搬送体、アレイアンテナ式プラズマCVD装置、並びに、アレイアンテナ式プラズマCVD装置のアレイアンテナユニット取り付け方法を提供することを目的としている。上記課題を解決するために、本発明のアンテナ搬送体は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、高周波電源に電気的に接続可能であって、真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の電極棒が対応するコネクタに接続された状態で高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、アレイアンテナユニットを着脱自在に真空チャンバ内に掛け止めするとともに、アレイアンテナユニットを掛け止めした状態でコネクタと電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、を備えたアレイアンテナ式プラズマCVD装置に、アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体であって、複数本の電極棒を垂下させた状態でアレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、調整部材の鉛直方向への上昇または下降を可能とする変位手段と、を備え、調整部材は、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、電極棒の配列方向への移動を制限する移動制限部を有し、移動制限部は、変位手段によって調整部材が鉛直方向に上昇または下降することにより、電極棒の配列方向への移動を許容する位置まで退避可能に設けられていることを特徴とする。また、本発明のアンテナ搬送体は、延在部が、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に直交する水平方向に間隔を維持して一対対向配置されるとともに、これら一対の延在部の対向間隔に電極棒を位置させてなり、移動制限部は、一対の延在部のいずれか一方または双方に設けられていることを特徴とする。また、本発明のアンテナ搬送体は、アレイアンテナユニットが、真空チャンバに設けられたコネクタに接続可能であって電極棒よりも大径のアンテナ側コネクタを、電極棒の上端部に備えてなり、移動制限部は、アンテナ側コネクタのうち電極棒の径方向外方に位置する部位に臨むことを特徴とする。また、本発明のアンテナ搬送体は、アンテナ保持部材が、基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、搬送方向に間隔を維持して配置される複数の支柱を備え、支柱は、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの複数本の電極棒に対して、搬送方向に直交する水平方向に位相をずらして設けられ、調整部材は、複数の支柱に懸架して設けられてなることを特徴とする。また、本発明のアレイアンテナ式プラズマCVD装置は、真空状態に減圧可能な内部にガス供給源から材料ガスが供給される真空チャンバと、高周波電源に電気的に接続可能であって、真空チャンバの内部上方に設けられるとともに、電極棒を鉛直方向下方から上方に向かって接続可能な複数のコネクタと、複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持され、これら複数本の電極棒が対応するコネクタに接続された状態で高周波電源から電力供給されることによりプラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、アレイアンテナユニットを着脱自在に真空チャンバ内に掛け止めするとともに、アレイアンテナユニットを掛け止めした状態でコネクタと電極棒とを接続状態に維持するアンテナ掛止手段と、アンテナ掛止手段によってアレイアンテナユニットを真空チャンバ内に掛け止め可能な位置まで当該アレイアンテナユニットを搬送するアンテナ搬送体と、を備え、アンテナ搬送体は、複数本の電極棒を垂下させた状態でアレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材と、アンテナ保持部材に連結され、当該アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に長手方向を沿わせて位置する調整部材と、調整部材の鉛直方向への上昇または下降を可能とする変位手段と、を備え、調整部材は、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に延在する延在部、および、この延在部から当該延在部の長手方向に交差する水平方向に突出し、電極棒の配列方向への移動を制限する移動制限部を有し、移動制限部は、変位手段によって調整部材が鉛直方向に上昇または下降することにより、電極棒の配列方向への移動を許容する位置まで退避可能に設けられていることを特徴とする。また、本発明のアレイアンテナ式プラズマCVD装置は、延在部が、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向に直交する水平方向に間隔を維持して一対対向配置されるとともに、これら一対の延在部の対向間隔に電極棒を位置させてなり、移動制限部は、一対の延在部のいずれか一方または双方に設けられていることを特徴とする。また、本発明のアレイアンテナ式プラズマCVD装置は、アレイアンテナユニットが、真空チャンバに設けられたコネクタに接続可能であって電極棒よりも大径のアンテナ側コネクタを、電極棒の上端部に備えてなり、移動制限部は、アンテナ側コネクタのうち電極棒の径方向外方に位置する部位に臨むことを特徴とする。また、本発明のアレイアンテナ式プラズマCVD装置は、アンテナ保持部材が、基台から鉛直方向上方に延伸するとともに、搬送方向に間隔を維持して配置される複数の支柱を備え、支柱は、アンテナ保持部材に保持されたアレイアンテナユニットの複数本の電極棒に対して、搬送方向に直交する水平方向に位相をずらして設けられ、調整部材は、複数の支柱に懸架して設けられてなることを特徴とする。また、本発明のアレイアンテナ式プラズマCVD装置は、アレイアンテナユニットが、複数本の電極棒の配列方向に延在するとともに、複数本の電極棒を挿通可能なアンテナ支持孔が設けられたアンテナ支持部材を備え、複数本の電極棒は、アンテナ支持孔によって電極棒の配列方向に交差する水平方向への移動および回転が制限されてなることを特徴とする。また、本発明のアレイアンテナ式プラズマCVD装置のアレイアンテナユニット取り付け方法は、複数本の電極棒が互いに間隔を維持して配列した状態で一体的に支持されたアレイアンテナユニットをアンテナ搬送体に保持する工程と、アンテナ搬送体にアレイアンテナユニットが保持された状態で、アレイアンテナユニットに設けられた調整部材によって電極棒の配列方向への移動を制限する工程と、電極棒の配列方向への移動が制限されたアレイアンテナユニットを保持したアンテナ搬送体を真空チャンバ内に搬入する工程と、真空チャンバ内に搬入されたアレイアンテナユニットの電極棒それぞれが、高周波電源に電気的に接続された複数のコネクタに一括して接続されるようにアレイアンテナユニットを真空チャンバ内に掛け止めする工程と、調整部材を鉛直方向に上昇または下降させ、真空チャンバ内に掛け止められたアレイアンテナユニットの電極棒の配列方向への移動を許容する位置に退避させる工程と、アンテナ搬送体を真空チャンバ内から搬出する工程と、を含むことを特徴とする。本発明によれば、メンテナンスの作業効率が向上するので、装置の稼働停止時間が短縮して稼働率を向上することができる。以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。真空チャンバの構成まず、図1~図4を用いて、本実施形態のアレイアンテナ式誘導結合型プラズマCVD装置の真空チャンバの構造について説明する。図1は、真空チャンバの正面側を示す斜視図、図2は、真空チャンバの背面側を示す斜視図である。図1および図2に示すように、真空チャンバ1は、筐体2を備えて構成されている。この筐体2は、図中y方向に対面配置された天井部2aおよび底面部2bと、図中x方向に対面配置された右側面部2cおよび左側面部2dと、図中z方向に対面配置された正面部2eおよび背面部2fと、を備えている。以下では、天井部2a側を真空チャンバ1の上方または上面とし、右側面部2c側を真空チャンバ1の右方または右側面とし、左側面部2d側を真空チャンバ1の左方または左側面として説明する。正面部2eおよび背面部2fには、それぞれフロント開口部3およびリヤ開口部4が形成されており、これらフロント開口部3およびリヤ開口部4を開閉するフロント開閉扉5およびリヤ開閉扉6がそれぞれ設けられている。また、右側面部2cにも右開口部7が形成されており、この右開口部7を開閉する開閉扉8が設けられている。さらに、左側面部2dにも左開口部9が形成されているが、この左開口部9は、不図示の基板搬送チャンバに接続可能となっている。この左開口部9には、真空チャンバ1と基板搬送チャンバとを真空状態を維持したまま接続したり、あるいはその接続状態を遮断したりする不図示のゲートバルブが設けられている。そして、このゲートバルブを閉じるとともに、フロント開閉扉5、リヤ開閉扉6および開閉扉8を閉じることにより、筐体2の内部に、外部から完全に密閉された内部空間10が形成されることとなる。また、天井部2aには、3列のコネクタ群11a、11b、11cが設けられている。これらコネクタ群11a、11b、11cは、複数のコネクタが図中x方向に沿って直列配置されたものであり、図中z方向に所定の間隔を維持して設けられている。図3は、真空チャンバ1の正面側の断面を模式的に示す図である。この図に示すように、コネクタ群11aは、高周波電力を供給する高周波電源12の供給側非接地側に電気的に接続された第1天井側コネクタ13と、高周波電源12の接地側に電気的に接続された第2天井側コネクタ14と、が所定の間隔を維持して交互に設けられている。これら第1天井側コネクタ13および第2天井側コネクタ14は、その接続部が鉛直方向下方底面部2bに向けられており、後述するアレイアンテナユニットの電極棒が、鉛直方向下方から上方に向かって接続可能なように配置されている。また、詳しくは後述するが、第2天井側コネクタ14にはガス供給源15が接続されており、このガス供給源15から供給される材料ガスが、第2天井側コネクタ14に接続されたアレイアンテナユニットの電極棒から真空チャンバ1内に噴出可能となっている。なお、ここではコネクタ群11aについて説明したが、コネクタ群11b、11cも上記と同様の構成となっている。さらに、筐体2の天井部2aには真空ポンプ16が接続されており、内部空間10を密閉した状態で真空ポンプ16を駆動することにより、真空チャンバ1内が真空状態に減圧可能となっている。また、筐体2の底面部2bには、右側面部2cから左側面部2dまで図中x方向に沿って延在するガイドレール17が設けられている。図4は、真空チャンバ1の右側面図であるが、この図に示すように、ガイドレール17は、正面部2e近傍と背面部2f近傍とにそれぞれ設けられており、したがって、図中z方向に間隔を維持して一対配置されることとなる。これら一対のガイドレール17は、後述する基板やアレイアンテナユニットを真空チャンバ1内に搬入したり、あるいは真空チャンバ1内から搬出したりする際の案内として機能するものである。アレイアンテナユニットの構成次に、図5~図8を用いてアレイアンテナユニットの構成について説明する。図5は、アレイアンテナユニット30の斜視図であり、図6は、図5の部分拡大図である。これらの図に示すように、アレイアンテナユニット30は、アンテナ支持部材31を備えており、このアンテナ支持部材31に複数本の誘導結合型電極50が支持されている。この誘導結合型電極50は、第1電極棒51と第2電極棒52とが、接続金具53によって電気的に接続されたアンテナ素子であり、アンテナ支持部材31の長手方向に沿って複数本支持されている。具体的には、両電極棒51、52は、その長手方向に直交する水平方向に所定の間隔を維持して交互に直列配置された状態で、その上端部がアンテナ支持部材31に支持されている。これにより、両電極棒51、52は、それらの長手方向を鉛直方向に沿わせた状態で、アンテナ支持部材31に垂下支持されることとなる。図7aは、図6のVIIa-VIIa線断面図であり、図7bは、図6のVIIb-VIIb線断面図である。これらの図に示すように、アンテナ支持部材31は、断面U字形の部材によって構成されており、その開口を鉛直方向下方に臨ませている。このアンテナ支持部材31は、図7bからも明らかなように、その幅方向中央にアンテナ支持孔32が形成されている。このアンテナ支持孔32は、図7aおよび図8aに示すとおり、アンテナ支持部材31の長手方向に沿って形成される長孔形状をなしており、このアンテナ支持孔32に、第1電極棒51および第2電極棒52が交互に垂下支持されている。より詳細に説明すると、第1電極棒51の上端部には、真空チャンバ1の天井部2aに設けられた第1天井側コネクタ13に接続可能な第1アンテナ側コネクタ54が固定されている。また、第2電極棒52の上端部には、真空チャンバ1の天井部2aに設けられた第2天井側コネクタ14に接続可能な第2アンテナ側コネクタ55が固定されている。図8aは、図6の上面図であり、図8bは、第1アンテナ側コネクタ54の斜視図である。ただし、図8aにおいては、後述するカバー部材33を取り外した状態を示している。この図に示すとおり、第1アンテナ側コネクタ54は、円筒状の本体54aを備えており、この本体54aの底面部54bに、第1電極棒51が貫通した状態で固定されている。また、本体54aの開口側には、当該本体54aよりも大径のフランジ部54cが設けられている。このフランジ部54cは、アンテナ支持部材31に形成されたアンテナ支持孔32の幅よりも大径となる寸法関係を維持している。また、本体54aには、円筒状の外周面の対向する一部を面取りした一対の平面部54d、54dが形成されている。これら平面部54d、54dは、その対向間隔がアンテナ支持孔32の幅よりも僅かに小さくなる寸法関係を維持している。したがって、アンテナ支持孔32の上方から第1アンテナ側コネクタ54を挿入すると、本体54aがアンテナ支持孔32を挿通するとともに、フランジ部54cがアンテナ支持部材31の上面に接触して掛け止められ、これによって第1電極棒51がアンテナ支持部材31に垂下支持されることとなる。また、このとき、平面部54d、54d間の幅は、アンテナ支持部材31の幅方向に対する第1アンテナ側コネクタ54の移動を、第1天井側コネクタ13に接続可能な範囲内に制限する寸法関係を維持している。しかも、アンテナ支持部材31に支持された第1アンテナ側コネクタ54に回転応力が作用したとしても、平面部54d、54dがアンテナ支持孔32の内周縁に接触し、第1アンテナ側コネクタ54の回転が制限される。このようにして、第1電極棒51は、アンテナ支持部材31の幅方向の位置決めがなされて直列配置されるとともに、全ての第1電極棒51が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。なお、ここでは第1アンテナ側コネクタ54について説明したが、第2アンテナ側コネクタ55の構成も上記第1アンテナ側コネクタ54と同様である。つまり、第2アンテナ側コネクタ55は、本体55aと、底面部55bと、フランジ部55cと、一対の平面部55d、55dと、を備えており、底面部55bに第2電極棒52が貫通した状態で固定されている。そして、本体55aの開口側には、当該本体55aよりも大径のフランジ部55cが設けられている。このように、この第2アンテナ側コネクタ55も、上記第1アンテナ側コネクタ54と同様に、回転およびアンテナ支持部材31の幅方向に対する移動が制限され、第2電極棒52も直列配置されるとともに、全ての第2電極棒52が同一方向を向いて垂下支持されることとなる。また、図7aに示すように、各第1電極棒51は、その外周にセラミックスまたは樹脂などの誘電体からなる外筒56を備えている。一方、各第2電極棒52は円筒形状をなしており、その長手方向に延在するガス供給路52aが内部に形成されている。また、各第2電極棒52は、ガス供給路52aに垂直に連通する噴出孔52bを備えている。この第2電極棒52は、上述したように、アレイアンテナユニット30が真空チャンバ1内に掛け止められたときに、第2天井側コネクタ14に接続されて、上記したガス供給源15とガス供給路52aとが連通する関係をなしている。したがって、アレイアンテナユニット30が真空チャンバ1内に掛け止められた状態で、ガス供給源15から材料ガスが供給されることにより、噴出孔52bから真空チャンバ1の内部空間10に向けて材料ガスが噴出することとなる。なお、図5~図8に示すように、アンテナ支持部材31には、両アンテナ側コネクタ54、55を被覆する断面U字形のカバー部材33が固定されている。このカバー部材33には、両アンテナ側コネクタ54、55の本体54a、55aに一致する円形の貫通孔33aが複数設けられている。これにより、各アンテナ側コネクタ54、55の本体54a、55aの開口、すなわち、両電極棒51、52の上端は、カバー部材33の貫通孔33aを介して上方に臨むこととなる。また、アンテナ支持部材31の幅方向両側面には防着パネル34が設けられており、また、アンテナ支持部材31の上面には、上方に垂直に起立し、先端にテーパが形成された位置決めピン35が設けられている。この位置決めピン35は、複数本の第1電極棒51および第2電極棒52のうち、もっとも外側に位置する電極棒よりもさらにアンテナ支持部材31の長手方向外方に設けられている。さらに、アンテナ支持部材31の長手方向両端部近傍には、掛止孔36が貫通形成されている。この掛止孔36は、アレイアンテナユニット30を真空チャンバ1に掛け止めるためのものである。図9は、アレイアンテナユニット30が掛け止められた状態の真空チャンバ1の正面側断面図である。この図に示すように、真空チャンバ1の天井部2aには、右側面部2cおよび左側面部2d近傍それぞれに、鉛直方向に貫通するとともに鉛直方向下方にテーパが形成された位置決め孔18が設けられている。また、この位置決め孔18よりも図中x方向外方には、下方に垂下する掛止ピン19が固定されている。上記の位置決め孔18は、アレイアンテナユニットの位置決めピン35に対応しており、上記の掛止ピン19は、アレイアンテナユニット30の掛止孔36に対応している。アレイアンテナユニット30の取り付け方法の詳細については後述するが、アレイアンテナユニット30を真空チャンバ1内に掛け止める際には、位置決め孔18に位置決めピン35を挿通させるように、アレイアンテナユニット30を天井部2aの下方から上方に持ち上げる。すると、掛止ピン19にアレイアンテナユニット30の掛止孔36が挿通するとともに、このとき、天井部2aに設けられた第1天井側コネクタ13および第2天井側コネクタ14のそれぞれが、アレイアンテナユニット30の第1アンテナ側コネクタ54および第2アンテナ側コネクタ55のそれぞれに嵌合する。この状態で、掛止ピン19の下方からボルト等の固定手段を固定することにより、図示のように、アレイアンテナユニット30が真空チャンバ1の天井部2aに掛け止められることとなる。なお、本実施形態における掛止ピン19およびこの掛止ピン19に固定される固定手段が本発明のアンテナ掛止手段に相当するものである。図10は、アレイアンテナユニット30が掛け止められた状態の真空チャンバ1の右側面図である。上記したとおり、天井部2aには、コネクタ群11a、11b、11cが3列設けられており、これらコネクタ群11a、11b、11cに、アレイアンテナユニット30が接続可能となっている。したがって、全てのコネクタ群11a、11b、11cにアレイアンテナユニット30が接続されると、図示のように、3体のアレイアンテナユニット30が、図中z方向に所定の間隔を維持して位置することとなる。そして、上記のようにアレイアンテナユニット30が掛け止められた真空チャンバ1内には、基板を保持する基板搬送体が搬入される。この基板搬送体について、図11~図13を用いて説明する。基板搬送体の構成図11は基板搬送体60の斜視図、図12は基板搬送体60の上面図、図13は基板搬送体60の右側面図である。これらの図に示すように、基板搬送体60は、基台61を備えており、この基台61の幅方向図中z方向両端に車輪62が複数設けられている。この車輪62は、基板搬送体60が図中x方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ1内において、上記したガイドレール17上を転動することにより、基板搬送体60の真空チャンバ1内での移動を可能としている。また、基台61には、当該基台61から上方に起立する薄板状の基板保持部材63が設けられている。この基板保持部材63は、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜を付着させる対象となる基板Wを着脱自在に保持することが可能となっており、基板搬送体60の搬送方向に直交する方向図中z方向に所定の間隔を維持して6つ設けられている。そして、基台61の下面には、当該基台61の幅方向中央位置に固定されたラック64が設けられている。このラック64は、基板搬送体60の搬送方向に沿って設けられており、図2に示すように、真空チャンバ1の底部に設けられ、駆動モータ20によって回転駆動する駆動ピニオン21に噛み合うようになっている。また、こうした駆動モータ20および駆動ピニオン21は、真空チャンバ1に接続される基板搬送チャンバにも同様に設けられている。したがって、駆動モータ20を駆動して駆動ピニオン21を回転駆動すると、駆動ピニオン21の回転動力がラック64の直線運動に変換され、これによって基板搬送体60が、基板搬送チャンバや真空チャンバ1内を移動することとなる。図14は、基板搬送体60が搬入された状態の真空チャンバ1の右側面図である。この図に示すように、基板搬送体60が真空チャンバ1内に搬入された状態では、1体のアレイアンテナユニット30に対して、その幅方向図中z方向両側に基板Wが所定の間隔を維持して対面する。このようにして、真空チャンバ1内に基板搬送体60が搬入されると、以下に、成膜処理の手順について説明する。成膜処理まず、真空チャンバ1の内部空間10を密閉するとともに、真空ポンプ16を駆動して内部空間10を真空状態に減圧する。この状態で、ゲートバルブを介して真空チャンバ1に接続され、内部が真空状態に維持された基板搬送チャンバから真空チャンバ1内に基板搬送体60を搬入する。そして、ガス供給源15から第2電極棒52に材料ガスを供給して、噴出孔52bから真空チャンバ1内に材料ガスを噴出させる。この状態で、高周波電源12によって誘導結合型電極50に高周波電力を供給すると、アレイアンテナユニット30の周辺にプラズマが発生し、このプラズマによって分解された材料ガスの成分が基板Wの表面に付着する。このようにして、基板Wの表面に、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が成膜されることとなる。そして、上記のようにして成膜処理が終了したら、真空チャンバ1から基板搬送チャンバに基板搬送体60を搬出するとともに、新たな基板Wが保持された基板搬送体60を真空チャンバ1内に搬入し、以後、上記の各工程が繰り返し行われることとなる。ここで、成膜処理を行う過程では、アレイアンテナユニット30に皮膜が付着するため、定期的にアレイアンテナユニット30を真空チャンバ1から取り外してメンテナンスする必要がある。以下では、アレイアンテナユニット30のメンテナンスに際して、当該アレイアンテナユニット30を真空チャンバ1に搬入したり、あるいは真空チャンバ1から搬出したりするアンテナ搬送体の構成を説明し、その後、アレイアンテナユニット30の着脱方法について説明する。アンテナ搬送体の構成図15aは、アンテナ搬送体70の斜視図であり、図15bは、図15aの一点鎖線部分の拡大図である。この図に示すように、アンテナ搬送体70は、上記した基板搬送体60と同様に基台71を備えており、この基台71の幅方向図中z方向両端に車輪72が複数設けられている。この車輪72は、アンテナ搬送体70が図中x方向に一直線上に移動可能となるように設けられており、真空チャンバ1内において、上記したガイドレール17上を転動することにより、アンテナ搬送体70の真空チャンバ1内での移動を可能としている。また、基台71には、アレイアンテナユニット30を保持する3つのアンテナ保持部材73が、アンテナ搬送体70の搬送方向に直交する水平方向図中z方向に間隔を維持して設けられている。このアンテナ保持部材73は、アンテナ搬送体70の搬送方向図中x方向一端側から上方に垂直に起立する一対の支柱75aと、アンテナ搬送体70の搬送方向図中x方向他端側から上方に垂直に起立する一対の支柱75bと、を備えている。一対の支柱75aおよび一対の支柱75bは、図中z方向に間隔を維持して対向配置されている。上記の各支柱75a、75a、75b、75bそれぞれには、伸縮ロッド76aを鉛直方向に伸縮させるエアシリンダ76が収容されている。そして、このエアシリンダ76の伸縮ロッド76a先端には、荷重受け部77を介して薄板状の調整部材78の両端部が載置されており、これによって、調整部材78が、アンテナ搬送体70の搬送方向図中x方向に対向配置された支柱75a、75bに懸架されることとなる。図16は、図15bの部分拡大図である。この図に示すように、伸縮ロッド76aの先端には、荷重受け部77が設けられている。この荷重受け部77は、伸縮ロッド76aの先端に固定され、上方に凹状の受け面79aを臨ませる受け部79と、受け面79a上に載置され、調整部材78の下面に一体的に設けられた揺動部80と、によって構成される。これら受け部79および揺動部80は、ステンレスなどの金属によって構成されているが、例えば樹脂など金属以外の材料で構成しても構わない。揺動部80は、半球状の球面部80aを、受け部79の受け面79aに接触させているが、このとき、受け面79aの曲率が球面部80aの曲率よりも小さくなっている。したがって、球面部80aと受け面79aとの間には隙間が形成され、これによって揺動部80が受け部79に対して揺動可能となっている。換言すれば、上記の荷重受け部77の構成により、調整部材78が水平方向に移動したり傾いたりすることが可能となっている。ただし、揺動部80が受け面79a上で所定角度傾くと、調整部材78が受け部79の外周縁に接触し、それ以上の傾きが制限されるようになっている。つまり、調整部材78は、受け部79から脱落しない範囲内で傾斜が許容されるように設計されている。図17は、アンテナ搬送体70にアレイアンテナユニット30が保持されたときの、調整部材78とアレイアンテナユニット30との関係を説明する図である。調整部材78は、アンテナ搬送体70の搬送方向に沿って延在する一対の延在部78aを、搬送方向に直交する方向に間隔を維持して対向配置している。また、これら一対の延在部78aのそれぞれには、これら延在部78aが互いに対面する方向に突出する複数の移動制限部78bが設けられている。この複数の移動制限部78bは、延在部78aの長手方向すなわちアンテナ搬送体70の搬送方向に所定の間隔を維持して設けられている。そして、図示のように、アレイアンテナユニット30をアンテナ搬送体70に保持させると、アレイアンテナユニット30のアンテナ支持部材31の下面と、調整部材78の上面とが、面接触状態で圧接する。これにより、アレイアンテナユニット30の荷重が調整部材78を介して荷重受け部77に作用し、アレイアンテナユニット30がアンテナ搬送体70のアンテナ保持部材73、より具体的には、支柱75a、75a、75b、75bの上端に保持されることとなる。また、アレイアンテナユニット30がアンテナ保持部材73に保持された状態では、一対の延在部78aの対向間隔に、第1アンテナ側コネクタ54の本体54a、および、第2アンテナ側コネクタ55の本体55aが交互に整列して位置するようになっている。このとき、移動制限部78bは、隣り合う両アンテナ側コネクタ54、55の対向面に臨む寸法関係を維持している。これにより、第1アンテナ側コネクタ54の本体54a、および、第2アンテナ側コネクタ55の本体55a、すなわち、両電極棒51、52は、移動制限部78bによって、アンテナ搬送体70の搬送方向x方向に対する移動が制限されることとなる。さらに、図17bに示すように、両アンテナ側コネクタ54、55に回転応力が作用したとしても、平面部54d、55dが延在部78aの側縁に接触するため、両アンテナ側コネクタ54、55の回転が制限される。このように、アレイアンテナユニット30がアンテナ搬送体70に保持された状態では、両電極棒51、52の搬送方向x方向への移動と回転とが制限されることとなる。これに対して、すでに説明したとおり、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒51、52の移動は、アンテナ支持部材31のアンテナ支持孔32によって制限されている図8参照。このとき、アンテナ支持孔32は、アンテナ支持部材31の長手方向に連続する長孔形状に形成されているため、アレイアンテナユニット30においては、両電極棒51、52の配列方向への移動が制限されていない。つまり、アンテナ支持部材31は、両電極棒51、52の移動をアンテナ搬送体70の搬送方向に直交する水平方向にのみ制限している。図18は、アレイアンテナユニット30がアンテナ搬送体70に保持された状態を示す斜視図である。この図に示すように、アレイアンテナユニット30がアンテナ搬送体70に保持された状態では、搬送方向図中x方向への両電極棒51、52の移動が、アンテナ搬送体70調整部材78によって制限され、搬送方向に直交する水平方向図中z方向への両電極棒51、52の移動が、アレイアンテナユニット30アンテナ支持部材31によって制限されている。アレイアンテナユニット30は、高温の真空チャンバ1内に置かれるため、アンテナ支持部材31が熱膨張する。そこで、搬送方向に直交する水平方向への両電極棒51、52の移動を制限しながらも、アンテナ支持孔32を長孔形状にすることによって、熱膨張時の逃げを確保し、部材間の干渉を防ぐようにしている。しかしながら、上記のように熱膨張時の逃げを確保すると、アレイアンテナユニット30を真空チャンバ1内に掛け止める際に、各電極棒51、52の位置がずれてしまい、これら各電極棒51、52を各天井側コネクタ13、14に接続する作業が煩雑になってしまう。そこで、本実施形態においては、成膜処理中に外部に搬出されるアンテナ搬送体70に調整部材78を設けるとともに、この調整部材78によって、搬送方向への両電極棒51、52の移動を制限することとしている。これにより、アレイアンテナユニット30を真空チャンバ1内に掛け止める際の位置決め精度を確保することが可能となり、掛け止め時の作業効率を向上することができる。つまり、上記の構成とすることで、成膜処理中における熱膨張時の逃げの確保と、アレイアンテナユニット30の掛け止め時の位置決め精度と、からなる2つの相反する要求に応えることが可能となっている。また、図17bに示すとおり、両アンテナ側コネクタ54、55の本体54a、55aは、両電極棒51、52よりも大径に形成されており、移動制限部78bは、本体54a、55aのうち両電極棒51、52の径方向外方に位置する部位に臨んでいる。したがって、対向して位置する移動制限部78b、78b間の距離L1は、両電極棒51、52の直径よりも大きく、本体54a、55aの幅、すなわち、一対の平面部54d、54dおよび一対の平面部55d、55dの対向間隔L2よりも小さい寸法関係となっている。また、図示のとおり、一対の支柱75aおよび一対の支柱75bの対向間隔L3も、両電極棒51、52の直径よりも大きくなっている。換言すれば、支柱75a、75a、75b、75bは、アンテナ保持部材73に保持されたアレイアンテナユニット30の両電極棒51、52に対して、搬送方向に直交する水平方向に位相をずらして設けられている。こうしたアンテナ保持部材73の種々の部品の寸法関係により、アンテナ搬送体70を真空チャンバ1内から搬出する際に、当該アンテナ搬送体70と両電極棒51、52とが干渉しない構成となっている。以下では、洗浄が必要となったアレイアンテナユニット30が真空チャンバ1から取り外された状態において、新たなアレイアンテナユニット30を真空チャンバ1内に掛け止める際の作用について説明する。アレイアンテナユニットの掛け止め過程本実施形態においては、図1に示すように、真空チャンバ1の右側面部2cに設けられた右開口部7から、真空チャンバ1内にアンテナ搬送体70が搬入される。図1において、開閉扉8が開かれると、不図示のアンテナ搬送チャンバが真空チャンバ1に接続可能となっている。このアンテナ搬送チャンバには、真空チャンバ1に設けられたガイドレール17に接続可能なガイドレールが設けられており、アンテナ搬送チャンバが真空チャンバ1に接続されると、アンテナ搬送チャンバに設けられたガイドレールと、真空チャンバ1に設けられたガイドレール17とが連続するようになっている。これにより、アンテナ搬送体70は、アンテナ搬送チャンバから真空チャンバ1内に搬入されることとなる。このように、本実施形態によれば、アンテナ搬送体70が、基板搬送体60を搬送するためのガイドレール17にガイドされて真空チャンバ1内を移動する。換言すれば、基板搬送体60とアンテナ搬送体70とで、同一のガイドレール17を共用しているので、アンテナ搬送体70をガイドするための専用の部品を真空チャンバ1内に設ける必要がない。したがって、真空チャンバ1すなわちプラズマCVD装置全体が大型化することがなく、また、コストを抑制しながらも、アレイアンテナユニット30の搬送作業を簡素化することができる。図19は、真空チャンバ1内にアレイアンテナユニット30を掛け止める過程を説明する図である。図19aは、図18に示すように、洗浄を完了したアレイアンテナユニット30を保持するアンテナ搬送体70が、アンテナ搬送チャンバから真空チャンバ1内に搬入され、不図示のストッパーに接触して所定位置に停止した状態を示している。なお、このストッパーは、アンテナ搬送体70には接触するが、基板搬送体60には接触しない位置に設けられている。そして、この状態からエアシリンダ76の伸縮ロッド76aを上方に伸長させると、図19bに示すように、アレイアンテナユニット30の位置決めピン35が、真空チャンバ1の天井部2aに設けられた位置決め孔18に挿通する。これにより、アレイアンテナユニット30は、真空チャンバ1に対して位置決めがなされた状態で上昇することとなる。また、アレイアンテナユニット30が上昇する過程では、天井部2aに設けられた掛止ピン19が掛止孔36に挿通するとともに、第1天井側コネクタ13が第1アンテナ側コネクタ54に嵌合し、第2天井側コネクタ14が第2アンテナ側コネクタ55に嵌合する。このとき、アレイアンテナユニット30は、荷重受け部77、すなわち、受け面79aと揺動部80とによる荷重受け構造により、アンテナ搬送体70に揺動可能に保持されている図16参照。そのため、仮に、アレイアンテナユニット30が掛け止め位置からずれたとしても、当該アレイアンテナユニット30を揺動させることにより、所定の掛け止め位置に調整することができる。これにより、位置決めピン35や位置決め孔18、あるいは各コネクタ13、14、54、55の寸法管理が厳密でなかったとしても、確実にアレイアンテナユニット30を天井部2aに掛け止めることができる。そして、図19bに示す状態で、アレイアンテナユニット30の掛止孔36を挿通した掛止ピン19に、その下方からボルト等の固定手段を固定することにより、アレイアンテナユニット30が真空チャンバ1内に掛け止められることとなる。このようにして、アレイアンテナユニット30が掛け止められたら、エアシリンダ76の伸縮ロッド76aを下方に収縮させる。すると、図19cに示すように、支柱75a、75bに懸架された調整部材78が降下して、アンテナ搬送体70からアレイアンテナユニット30が離脱する。このように、調整部材78が降下した状態では、移動制限部78bが第1アンテナ側コネクタ54および第2アンテナ側コネクタ55よりも下方に位置する。換言すれば、移動制限部78bが、隣り合う両アンテナ側コネクタ54、55の対向面から退避する。上記したとおり、移動制限部78b、78b間の距離L1は、両アンテナ側コネクタ54、55の幅L2よりも小さいが、両電極棒51、52の直径よりも大きい図17b参照。また、支柱75a、75a、75b、75bは、アンテナ保持部材73に保持されたアレイアンテナユニット30の両電極棒51、52に対して、搬送方向に直交する水平方向に位相をずらして設けられている。したがって、真空チャンバ1内に掛け止められたアレイアンテナユニット30の各電極棒51、52の配列直線上、すなわち、各電極棒51、52の径方向であって、アンテナ搬送体70の搬送方向位置には、当該アンテナ搬送体70のいずれの部材も位置していないこととなる。これにより、図19cに示すように、調整部材78を鉛直方向に降下させた状態でアンテナ搬送体70を搬送方向に移動させれば、アレイアンテナユニット30と何ら干渉することなく、アンテナ搬送体70を真空チャンバ1内から搬出することができる。このようにして、メンテナンス作業が終了したら、基板搬送体60を真空チャンバ1内に搬入することが可能となり、成膜処理を再開することができる。上記のように、成膜処理中には、アンテナ搬送体70が真空チャンバ1から搬出されるので、アンテナ搬送体70には、耐圧性や耐化学物質性の部品を用いる必要がなく、コストを抑制することが可能となる。また、アンテナ搬送体70を、成膜処理中に真空チャンバ1内に留める必要がないことから、複数の真空チャンバ1が設けられたプラズマCVD装置であっても、1体のアンテナ搬送体70を設けるだけでよい。なお、上記実施形態におけるアレイアンテナユニット30やアンテナ保持部材31の構成は一例に過ぎない。いずれにしても、アンテナ搬送体は、アレイアンテナユニットを保持するアンテナ保持部材を備え、このアンテナ保持部材に、電極棒の移動を制限する移動制限部を有する調整部材が設けられていればよい。したがって、揺動機構は必須の構成ではない。また、上記実施形態においては、移動制限部78bが、隣り合う第1天井側コネクタ54と第2天井側コネクタ55との対向面に臨むが、隣り合う第1電極棒51と第2電極棒52との対向面には臨まない構成としている。しかしながら、移動制限部は、隣り合う第1電極棒と第2電極棒との対向面にまで臨む構成としても構わない。この場合であっても、例えば、両電極棒の下端よりもさらに下方まで調整部材を降下させることにより、アレイアンテナユニットと干渉することなくアンテナ搬送体を真空チャンバ内から搬出可能である。また、両電極棒が、その長手方向の位置によって径を異にする場合、すなわち、大径部と小径部とを有する場合に、移動制限部を、大径部には臨むが小径部には臨まない寸法関係とすることが考えられる。この場合には、アレイアンテナユニットを保持した状態では、移動制限部を大径部に臨む高さに位置させ、アンテナ搬送体を搬出する際には、移動制限部を小径部に臨む高さに位置させればよい。このようにしても、アレイアンテナユニットと干渉することなく、アンテナ搬送体を真空チャンバ内から搬出可能である。さらには、両電極棒に、当該電極棒よりも径方向に突出する何らかの部品が固定される場合には、移動制限部を、上記の部品には臨むが電極棒には臨まない寸法関係とすることが考えられる。この場合にも、アレイアンテナユニットを保持した状態では、移動制限部を上記の部品に臨む高さに位置させ、アンテナ搬送体を搬出する際には、移動制限部を上記の部品と異なる高さに位置させればよい。このようにしても、アレイアンテナユニットと干渉することなく、アンテナ搬送体を真空チャンバ内から搬出可能である。このように、移動制限部は、隣り合う電極棒の対向面、もしくは、電極棒に固定されるいずれかの部品の対向面に臨むものを広く含むものである。また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体70にエアシリンダ76からなる変位手段を設け、アレイアンテナユニット30および調整部材78を鉛直方向に昇降可能な構成とした。しかしながら、少なくとも調整部材が鉛直方向に昇降可能な構成であればよく、必ずしも、アレイアンテナユニットを昇降可能に構成する必要はない。また、上記実施形態においては、エアシリンダ76によって、調整部材78やアレイアンテナユニット30が自動的に鉛直方向に昇降する構成とした。しかしながら、本発明においては、調整部材やアレイアンテナユニットが手動で鉛直方向に昇降するものであってもよい。この場合には、調整部材やアレイアンテナユニットの鉛直方向への昇降を可能とする機械的構成が、本発明の変位手段に相当することとなる。なお、調整部材やアレイアンテナユニットを自動的に鉛直方向に昇降することとした場合に、変位手段は、エアシリンダに限らず、油圧シリンダや電動シリンダなど、種々のアクチュエータによって構成することが可能である。ただし、エアシリンダは、他の装置に比べてクッション性が高いので、上述の揺動機構と相まって、アレイアンテナユニットを掛け止める際の移動自由度が増し、取り付け容易性を向上することができる。また、上記実施形態においては、調整部材78が、一対の延在部78aを対向配置するとともに、これら一対の延在部78aの対向間隔に、両電極棒51、52が位置する構成とした。しかしながら、必ずしも延在部を対向配置する必要はなく、調整部材が、電極棒の片側にのみ配置される一の延在部を備える構成であってもよい。さらには、調整部材が一対の延在部を対向配置する構成とした場合に、移動制限部を、いずれか一方の延在部にのみ設けるようにしても構わない。また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体70の搬入方向前方側に一対の支柱75bが設けられ、アンテナ搬送体70の搬出方向前方側に一対の支柱75aが設けられている。そして、一対の支柱75aは、搬送方向に直交する水平方向に間隔を維持して設けられ、一対の支柱75bも、搬送方向に直交する水平方向に間隔を維持して設けられている。これは、支柱間に形成される間隔を、干渉防止用の逃げとして機能させるためである。したがって、上記実施形態のように、アンテナ搬送体の搬入口と搬出口とが同じである場合には、搬入方向後方側搬出方向前方側については、上記のような干渉防止用の逃げが不要となる。例えば、上記実施形態における支柱75aを、電極棒の配列直線上に1つのみ設けるようにしてもよいし、あるいは上記実施形態における調整部材78の一対の延在部78aが、搬入方向後方側において接続される構成としてもよい。ただし、上記実施形態のように、アンテナ搬送体の搬送方向両側に干渉防止用の逃げが設けられていれば、アンテナ搬送体の搬送方向や、アレイアンテナユニットの取り付け方向が特定されなくなり、作業効率を向上することができる。また、上記実施形態においては、基板搬送体60およびアンテナ搬送体70を搬送するためのガイド機構として、真空チャンバ1内にガイドレール17が設けられるとともに、基板搬送体60に車輪62が設けられ、アンテナ搬送体70に車輪72が設けられることとした。しかしながら、これとは逆に、真空チャンバ内に複数のガイドローラを配列するとともに、基板搬送体およびアンテナ搬送体に、上記のガイドローラに摺接する板状の部材を設けるようにしても構わない。また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体と基板搬送体とが同一のガイドレールにガイドされる構成としたが、アンテナ搬送体を搬送するための専用の部品を設けるようにしても構わない。また、上記実施形態においては、アンテナ搬送体に3体のアレイアンテナユニットが同時に保持可能な構成としたが、アンテナ搬送体に同時に保持可能なアレイアンテナユニットの数は限定されない。また、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持する構成とした場合には、アレイアンテナユニットと同数のアンテナ保持部材を設けることとしてもよいし、1つのアンテナ保持部材に複数のアレイアンテナユニットを保持可能な構成としてもよい。なお、上記実施形態のように、複数のアレイアンテナユニットを同時に保持可能な構成とし、かつ、これらアレイアンテナユニットを変位させる変位手段を設ける場合には、各アレイアンテナユニットを個別に変位可能とすることが望ましい。各アレイアンテナユニットを真空チャンバに掛け止める際には、コネクタの接続状態などを目視確認する必要がある。このとき、複数のアレイアンテナユニットが同時に変位することとなると、作業者から見て相対的に奥側に位置するアレイアンテナユニットの取り付け状況の確認が困難となる。したがって、変位手段によって複数のアレイアンテナユニットを変位させる場合には、変位手段が個別に作動する構成にするとよい。なお、アンテナ搬送体の搬送は手動で行うこととしてもよいし、基板搬送体と同様に、駆動ピニオンに対応するラックを設けて駆動モータで搬送を実現するなど、駆動装置によって搬送を実現することとしてもよい。さらに、上記実施形態においては、左開口部から真空チャンバ内に基板搬送体が搬入され、右開口部から真空チャンバ内にアンテナ搬送体が搬入されることとしたが、両搬送体の搬入、搬出方向は同じであってもよい。以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。