紫外線放射に対する高い耐放射線性を有するフッ化物結晶、特にフッ化カルシウム結晶を製造する方法であって、アルカリ金属フッ化物又はアルカリ土類金属フッ化物を含有する結晶粉末6を供給して結晶原料塊14を形成するステップと、該結晶原料塊14を結晶成長ユニット11内で溶融するステップと、前記溶融した結晶原料塊14を冷却により凝固させるステップとを備え、複合フルオロ酸のアンモニウム塩7及び脂肪族アルコール8を前記結晶粉末6又は前記結晶原料塊14に添加して、酸化物系不純物を減らす、方法。請求項1に記載の方法において、前記複合フルオロ酸は、テトラフルオロホウ酸HBF4、ヘキサフルオロリン酸HPF6、ヘキサフルオロケイ酸H2SiF6、及びヘキサフルオロチタン酸H2TiF6からなる群から選択される、方法。請求項1又は2に記載の方法において、前記脂肪族アルコール8は、メタノールCH3OH、エタノールC2H5OH、プロパノールC3H7OH、及びブタノールC4H9OHからなる群から選択される、方法。請求項1~3のいずれか1項に記載の方法において、過剰な脂肪族アルコール8を前記結晶粉末6に添加して脂肪族アルコール懸濁液を形成する、方法。請求項1~4のいずれか1項に記載の方法において、前記複合フルオロ酸の前記アンモニウム塩を、0.01重量~7重量、好ましくは0.02重量~5重量の量で前記結晶粉末6又は前記結晶原料塊14に添加する、方法。請求項1~5のいずれか1項に記載の方法において、少なくとも前記溶融するステップを、200mbar未満、好ましくは100mbar未満の圧力下で実行する、方法。請求項1~6のいずれか1項に記載の方法において、少なくとも前記溶融するステップを、200°C~1450°C、好ましくは500°C~1400°Cの範囲の温度で実行する、方法。請求項1~7のいずれか1項に記載の方法において、アンモニア10を前記結晶粉末6又は前記結晶原料塊14に付加的に導入する、方法。請求項1~8のいずれか1項に記載の方法により製造したフッ化物結晶、特にフッ化カルシウム結晶20であって、複合フルオロ酸のエステルを0.01ppm~10ppm含有する、フッ化物結晶。請求項9に記載のフッ化物結晶、特にフッ化カルシウム結晶20から製造した光学コンポーネント21であって、10×10-4l/cm未満、好ましくは5×10-4l/cm未満の吸収係数の飽和値を有する、光学コンポーネント。本発明の目的は、高い耐放射線性を有するフッ化物結晶を製造することができる方法を提供することである。本発明のさらに別の目的は、この方法により製造したフッ化物結晶、及びこのような結晶からできている光学コンポーネントを提供することである。この目的は、複合フルオロ酸complexfluoroacidのアンモニウム塩及び脂肪族アルコールを結晶粉末又は結晶原料塊に添加して酸素欠陥部位を減らすか又は酸化物系oxidic不純物を減らす、冒頭で述べたタイプの方法により達成される。本発明によれば、スカベンジャとしてのPbF2又は他の無機金属フッ化物、例えばZnF2、CdF2、CoF2、SnF2等の使用を完全になくすことが提案される。望ましくない酸化物系物質をフッ化物系fluoridic物質に例えば、CaOH2をCaF2に転化するために、このようなスカベンジャの代わりに、複合フルオロ酸のアンモニウム塩と脂肪族アルコールの形態のエステル化剤とを利用する。協奏的工程で、アンモニウム塩及び脂肪族アルコールのエステル化反応アルコールのエステルとフルオロ酸及び中間体としてのHFそれぞれが形成されるを、酸化物系化合物からフッ化物系アルカリ土類金属化合物を生成する例えば、CaOH22HF→CaF22H2Oために利用する。形成されたエステルは、適当な工程条件下低真空、高温で容易に除去することができる。他の反応生成物NH3、H2Oはガス状又は蒸気形態、すなわち、同様に適当な工程条件下低真空、高温で揮発性である。凝縮水は、蒸留により共沸除去することができる。したがって、本発明の工程において、結晶塊又は結晶粉末中の酸素欠陥を、また耐レーザ性を低下させるPb、Zn等の化合物の含有量も、低減することができるため、結晶材料の耐レーザ性を高めることができる。アンモニウム塩及び脂肪族アルコールをここで結晶粉末に添加して、脂肪族アルコール懸濁液中で結晶粉末を精製するようにしてもよく、又は結晶成長炉に導入された結晶原料塊で流体-固体反応を実行してもよい。以下の説明では、本質的に、脂肪族アルコール懸濁液中で実行される第1方法変形形態を説明する。しかしながら、言うまでもなく、流体-固体反応を実行する第2方法変形形態も同様に可能である。本方法の一変形形態では、複合フルオロ酸は、テトラフルオロホウ酸、ヘキサフルオロリン酸、ヘキサフルオロケイ酸、及びヘキサフルオロチタン酸からなる群から選択される。言うまでもなく、上述のもの以外の複合フルオロ酸のアンモニウム塩も本発明の方法で用いることができる。アンモニウム塩は通常、結晶成長炉への移送前の懸濁液中の結晶粉末に、又は結晶原料塊に混合される。懸濁液中の上記フルオロ酸の脂肪酸アルコールROHと称するとの可能な反応式を以下に示す。ヘキサフルオロケイ酸H2SiF6:ヘキサフルオロリン酸HPF6:テトラフルオロホウ酸HBF4:ヘキサフルオロチタン酸H2TiF6:上述のように、この反応で形成されたCaF2を除く物質は、ガス状又は揮発性であるため、化学プラント又は結晶成長ユニットから蒸留又は排気により除去することができる。上述の反応に原材料として関与する乾燥アンモニウムNH3は、例えばガス導入管を介して反応混合物に添加される。さらに別の変形形態では、脂肪族アルコールは、メタノールCH3OH、エタノールC2H5OH、プロパノールC3H7OH、及びブタノールC4H9OHからなる群から選択される。本発明の方法で用いられるこれらのアルコールは、一般的な化学式CnH2n1OH式中、n=1~4を有する。言うまでもなく、他の脂肪族アルコールも用いることができ、用いられるアルコールは無水waterfreeでなければならない。一変形形態では、過剰な脂肪族アルコールを結晶粉末に添加して脂肪族アルコール懸濁液を形成する。本方法を懸濁液中で実行するこの変形形態では、フッ化カルシウム粉末及び複合フルオロ酸のアンモニウム塩のスラリー化を適切な無水脂肪族アルコール中で攪拌により行うことができ、ガス導入管を介して乾燥アンモニアを導入することができる。懸濁液は、水酸化物/フッ化物転化との協奏的エステル化反応のための反応媒体としての役割を果たす。中間体として形成されたフッ化水素酸HFは、アルカリ金属フッ化物又はアルカリ土類金属フッ化物の酸化物系成分と反応する。反応混合物は冷却する必要があり得る。結晶原料塊を形成するために、懸濁液を加熱沸騰させることで水/アルコール共沸混合物を留出させる。形成されたオルトエステル例えば、オルトリン酸トリエチル、沸点215°C、又はホウ酸トリエチル、沸点118°C、又はオルトケイ酸テトラエチル、168°Cが、続いて減圧下で除去される。言うまでもなく、複数の異なるアルコールの混合物及び複数の異なるアンモニウム塩の混合物を本方法で任意に用いることができる。用いられる複合フルオロ酸のアンモニウム塩は、結晶原材料すなわち、結晶粉末又は結晶原料塊中の酸化物、水酸化物、及び酸素原子との完全な反応を確保する量で原材料に添加される。この量は、原材料の純度に応じて広範囲内で変動し得る。0.01重量~7重量、特に0.05重量~5重量の量が本発明の方法に有利であることが分かっている。結晶原料塊を溶融するステップは、減圧下で、特に低真空下で実行されることが好ましく、200mbar未満notmorethan、特に100mbar未満の圧力が有利であることが分かっている。さらに別の変形形態では、少なくとも溶融するステップは、200°C~1450°C、好ましくは500°C~1400°Cの範囲の温度で実行される。この工程又はエステル化反応は、特に、結晶粉末が懸濁液中の添加物質と良好に反応するか、又は結晶原料塊が固相反応で良好に反応する条件下で実行される。中間体として形成されるHFNH4Fは、酸化物系アルカリ土類金属物質例えば、CaOH2と反応し、アルカリ土類金属フッ化物及び水又はアンモニア及び水を形成し、これが反応混合物から共沸除去される。ここで用いられる温度範囲は、共沸混合物の沸点に対応する。結晶原料塊又は結晶粉末は通常、アルカリ金属フッ化物又はアルカリ土類金属フッ化物、例えばCaF2を含有するが、MgF2、LiF、又はドープフッ化物結晶を用いることもできる。さらに別の変形形態では、アンモニアが結晶粉末又は結晶原料塊に付加的に導入される。アンモニアの導入は、目標を定めた方法で、例えばガス導入管を介して、又は別の方法で実行することができる。本発明は、上述の方法により製造されて0.01ppm~10ppmの複合フルオロ酸のエステルを含有するフッ化物結晶、特にフッ化カルシウム結晶にも関する。この結晶は、最初に上述のように溶融した結晶原料塊又は結晶粉末を精製し、続いて精製された結晶原料塊を冷却により凝固させることにより形成され、結晶原料塊から配向単結晶を成長させるために種結晶を用いることが可能である。言うまでもなく、全ての従来の結晶成長法、例えば、ブリッジマンストックバーガー法、チョクラルスキー法、又は垂直温度勾配凝固法を、大型のフッ化物単結晶の成長に用いることができる。上述の方法により得られるフッ化物結晶は、縮合反応で形成されるオルトエステルを本質的に含まないか、又はこの反応生成物を無視できるほど小さな割合しか有さず、この割合は、例えば0.01ppm~10ppmの範囲であり、フッ化物結晶から製造される光学コンポーネントの光学特性に悪影響を及ぼさない。したがって、特に高い耐レーザ性を有する事実上残渣のないフッ化物結晶が得られる。このようなフッ化物結晶、特にフッ化カルシウム結晶を用いて、10×10-4l/cm未満、好ましくは5×10-4l/cm未満の吸収係数の飽和値を有する光学コンポーネントを得ることができる。長期照射における吸収係数の飽和値は、参照により本出願に援用される本出願人による特許文献2に記載の方法により求めることができる。本発明のさらに他の特徴及び利点は、本発明に重要な詳細を示す図面を用いた以下の本発明の実施例の説明から、また特許請求の範囲から得ることができる。個々の特徴それぞれを、本発明の変形形態において、単独で個別に又は複数の特徴の任意の組み合わせで実現することができる。実施例を概略図に示し、以下の説明において説明する。図1は、反応容器2、加熱/冷却装置3所望に応じた冷却及び加熱用、矢印で示す出口、及び温度測定デバイス4温度計を有する、化学反応用に設計したプラント1を示す。容器2には、本例ではフッ化カルシウム及び酸化物系不純物を含有する結晶粉末6と、複合フルオロ酸のアンモニウム塩7とを、無水脂肪酸アルコール8中で攪拌によりスラリー化する役割を果たす攪拌器5が設けられる。乾燥アンモニア10が、ガス導入管9を介して容器2に導入される。発熱反応が起こると、容器2内に存在する反応混合物が加熱/冷却装置3により冷却される。懸濁液中でのアンモニウム塩7とアルコール8及び酸化物系不純物、例えばCaOH2との反応で、これらはフッ化物、例えばCaF2に転化され、ガス状材料又は使用圧力及び使用温度で揮発性である材料、特にアンモニア及び水が、さらなる反応生成物として形成され、これらは出口を介して放出又は留出させることができる。ここで、水がアルコールとの共沸混合物を形成することが利用される。反応で形成された水は、蒸留により共沸除去され得る、すなわち出口を介して水分離器図示せずに搬送されるため、これは有利である。以下において、水分離器機能を多機能プラント1における蒸留機能図示せずで置き換え、懸濁液6、7、8を加熱/冷却装置3により沸点で維持し、数時間の攪拌及び水の除去後、依然として存在するアルコール成分8及びさらに他の揮発性成分、特に反応で形成されたオルトエステル例えば、オルトリン酸トリエチル、沸点215°C、又はホウ酸トリエチル、沸点118°C、又はオルトケイ酸テトラエチル、168°Cを、蒸留の終わり頃に任意に減圧又は真空を用いて留出させる。脂肪族アルコールの再使用を意図する場合、これを適当に精製して無水にしなければならない。残っている結晶残渣は、結晶原料塊14を形成し、図2に示し以下でより詳細に説明する結晶成長ユニット11に移送される。上述の反応では、添加するアンモニウム塩7の量を、結晶粉末6中に存在する酸化物、水酸化物、及び酸素原子と理想的には完全に反応するよう選択する。結晶粉末6の純度に応じて、この目的で必要な量は大幅に変動し得るが、通常は約0.01重量~7重量、特に約0.05重量~5重量の範囲である。言うまでもなく、他のアルカリ金属フッ化物又はアルカリ土類金属フッ化物のフッ化物結晶を形成するためには、結晶粉末6中のフッ化カルシウムを適当なアルカリ金属フッ化物又はアルカリ土類金属フッ化物で置換されなければならない。添加する複合フルオロ酸のアンモニウム塩は、特に、テトラフルオロホウ酸、ヘキサフルオロリン酸、ヘキサフルオロケイ酸、及びヘキサフルオロチタン酸のアンモニウム塩であり得る。図2に概略的に示す結晶成長ユニット11は、結晶原料塊14を導入してあり発熱体13を介して加熱することができる溶融坩堝12を備える。結晶原料塊14は、本例の場合、先行する工程ステップにおいて脂肪酸アルコール懸濁液中で精製した溶融物の形態の概ね純粋なフッ化カルシウムを含む。結晶成長ユニット11は、閉鎖されており、結晶原料塊14の溶融中に形成し得る残りの揮発性反応生成物を放出するための出口16を有する。以下で説明する方法では、低真空通常は200mbar未満、任意に100mbar未満を結晶成長ユニット11に加え、結晶原料塊14を溶融状態になる温度まで加熱することにより、結晶原料塊14中に存在する揮発性成分を除去することができる。このような温度は、通常は200°C~1450°Cの範囲であるが、500°C~1400°Cの範囲内の温度が特に有利であることが分かっている。言うまでもなく、使用温度はフッ化物材料の融点を超えない。図1に関連して説明した溶融に先立つステップにおける精製により、結晶原料塊14は、酸素欠陥及びスカベンジャ残量を事実上有さないため、結晶材料の非常に高い耐放射線性を必要とする用途に特に適している。続いて、単結晶を結晶成長ユニット11内の結晶原料塊14から成長させるが、これは例えば、結晶核図示せずを結晶原料塊14と接触させ、溶融物を徐冷して単結晶インゴットを形成することにより行われる。上述の方法で得られるフッ化カルシウム結晶では、反応において形成されるエステルの割合が0.01ppm重量比~10ppm重量比の範囲である。この割合は、残りのエステル残基がフッ化物結晶の耐放射線性に悪影響を及ぼさないほど十分に低く、例えば本出願人による特許文献2に記載の方法で求めることができる吸収係数の飽和値が、10×10-4l/cm未満、特に5×10-4l/cmとなる。本発明を以下の実施例で簡単に説明する。協奏的エステル化反応に必要な最小量の脂肪酸アルコールを、以下の反応式R=C2H5の化学量論に従って求める本例ではヘキサフルオロリン酸アンモニウムを用いる。反応が脂肪酸アルコール懸濁液中で起こるため、アルコール成分が過度に存在する。上記方程式に示す反応生成物CaF2を除くは留出し、特に、形成された水は共沸混合物エタノール/水混合物、沸点約78°Cとして留出させることができる。形成されるリン酸のオルトエステル及び共沸混合物の形成は、出口を介して得られる留出物図1の矢印を参照の温度を用いて監視することができる。本例では、いずれも超微粉化したアンモニウム塩としての43gのNH4PF60.064mol及び312.32gのフッ化カルシウムCaF2結晶粉末4molを、内部温度測定デバイス温度センサ4、機械攪拌器5、水分離器図示せず、及びガス導入管9を設けた図1の反応容器2内の乾燥エタノール1200ml中に懸濁させた。乾燥アンモニア2.2g0.128molを、続いてガス導入管を通して導入し、発熱反応の場合、反応混合物をごくわずかに沸騰するように冷却し、共沸蒸留を続いて2時間実行した。次に、水分離器を蒸留アタッチメントで置き換え、残りの溶媒及び形成されたオルトエステルを終わり頃に減圧を用いて留出させた。残っている残渣を成長炉に移送し、そこからCaF2単結晶を引き上げるようにした。上述の方法で得たフッ化カルシウム結晶では、反応において、例えば形成されたオルトリン酸エステルの割合が約5ppmだけであった。他の揮発性反応生成物も、結晶から事実上完全に除去されたため、この方法で得られたフッ化カルシウム結晶は特に高い耐放射線性を有するものとなった。これを、上述の方法から得たCaF2素地blank20又は適当な標本22図3を参照を50mJ/cm2よりも高いエネルギー密度で照射することにより検査し、標本の吸収係数k値を1.5ギガパルス109パルス後にそれぞれ求めた特許文献2を参照。パルス数例えば、0ギガパルス、1.5ギガパルス、3ギガパルス、4.5ギガパルス、6ギガパルスに対して得たk値をプロットすると、飽和挙動が示され、吸収係数の飽和値k∞は10×10-4l/cm未満、ほとんどの場合は5×10-4l/cm未満であった。例えば図3に示すようなレンズ21の形態の、高い耐放射線性を有する光学コンポーネントを、CaF2素地20から製造することができる。レンズ21は、例えば、投影レンズアセンブリ又は液浸リソグラフィ用の照明システムで高レベルの照射を受けるレンズの最終レンズを形成することができる。アルコール懸濁液中の結晶粉末6の上述の精製の代替として、図2の結晶成長ユニット11内の結晶原料塊14でのみ、すなわち流体-固体反応でのみ精製を実行することも可能である。このような不均一反応では、反応物は、互いに反応できるように界面に集まるか又は一方の相から他方の相に移動しなければならない。このような反応にアンモニアを導入するために、ガス導入管15を結晶成長ユニット11に設ける。このような手順を選択する場合、脂肪族アルコールもここで導入することができる。酸化物系不純物が固体形態で、例えばCaOとして結晶原料塊14中に存在するが、反応は、他の点では上述の方法で進む3CaONH4PF63ROH2NH3→3CaF2RO3PO↑3NH3↑5H2O↑、化学量論的量を超えた過剰な脂肪族アルコールを用いなければならない。適当な温度プロファイルを加熱に用いた場合、流体-固体反応で形成される揮発性反応生成物を、出口16を介して結晶成長ユニット11から除去することができる。