被加熱物を出し入れする開口と、金属部材を含む複数の壁面と、前記開口を開閉する扉体とを含んで構成され、内部に被加熱物を収容して加熱調理する主加熱室と、マイクロ波を発生するマイクロ波発生手段と、前記主加熱室にマイクロ波を給電する主給電部と、前記主給電部にマイクロ波発生手段から供給されるマイクロ波を伝送する主伝送路と、前記主加熱室に水蒸気を生成して供給する蒸気生成供給部と、前記蒸気生成供給部にマイクロ波を給電する副給電部と、前記副給電部にマイクロ波を伝送する副伝送路と、前記主伝送路には、前記マイクロ波発生手段の動作時に前記主給電部から前記マイクロ波発生手段側に反射するマイクロ波を、前記副伝送路に伝送するための分岐部が備えてあり、前記主加熱室内で吸収されないマイクロ波を前記蒸気生成供給部に供給するように構成したマイクロ波加熱装置。分岐部が、マイクロ波発生手段からの直接進行波は主給電部側に伝送するとともに、主給電部からの反射波は副伝送路に伝送するように3方向で結合したサーキュレータ非可逆分岐回路である請求項1に記載のマイクロ波加熱装置。蒸気生成供給部が、蒸気生成室に収容した水を加熱する第2の加熱手段と、蒸気生成室に収容した水の温度を検知する温度検知部と、前記温度検知部の検知温度に基づいて前記第2の加熱手段の加熱量を制御する加熱制御手段とを備え、副給電部から供給される反射マイクロ波に加えて、前記第2の加熱手段を制御して主加熱室に供給する水蒸気を生成する請求項1または2に記載のマイクロ波加熱装置。蒸気生成供給部が、副給電部より供給されるマイクロ波により蒸気生成用の水が加熱される1次加熱室と、1次加熱室から供給された水または水蒸気をさらに加熱するマイクロ波とは異なる2次加熱用熱源を備えた2次加熱室と、2次加熱室に供給される水の温度を検知する温度検知部と、生成した水蒸気を主加熱室に供給する蒸気吐出口とにより構成され、2次加熱室での加熱は、前記温度検知部の検知温度に基づいて加熱量を制御する加熱制御手段を備えた請求項1または2に記載のマイクロ波加熱装置。蒸気生成供給部が、蒸気生成用の水を貯水する水容器を含み、さらに前記水容器を着脱自在に収納するための給水開口部を備え、主加熱室の開口を開閉する扉体は給水開口部を含み一体で開閉する請求項1に記載のマイクロ波加熱装置。しかしながら、前記後者の従来技術は、マイクロ波発生部側への反射は回避できるが、最終的には新たに付設したダミーロードに熱損失させるものであり、被加熱物を適性に加熱する場合においては改善の余地があった。本発明は、前記従来の課題を解決するもので、加熱室からのマイクロ波の反射を有効に利用することで損失を減らして、被加熱物を適正に加熱するマイクロ波加熱装置を提供することを目的とする。前記従来の課題を解決するために、本発明のマイクロ波加熱装置は、被加熱物を出し入れする開口と、金属部材を含む複数の壁面と、前記開口を開閉する扉体とを含んで構成され、内部に被加熱物を収容して加熱調理する主加熱室と、マイクロ波を発生するマイクロ波発生手段と、前記主加熱室にマイクロ波を給電する主給電部と、前記主給電部にマイクロ波発生手段から供給されるマイクロ波を伝送する主伝送路と、前記主加熱室に水蒸気を生成して供給する蒸気生成供給部と、前記蒸気生成供給部にマイクロ波を給電する副給電部と、前記副給電部にマイクロ波を伝送する副伝送路と、前記主伝送路には、前記マイクロ波発生手段の動作時に前記主給電部から前記マイクロ波発生手段側に反射するマイクロ波を、前記副伝送路に伝送するための分岐部が備えてあり、前記主加熱室内で吸収されないマイクロ波を前記蒸気生成供給部に供給して蒸気生成用の熱源とするように構成した。これによって、被加熱物に吸収されずにマイクロ波発生手段であるマグネトロンに反射して損失するエネルギーの割合は少なくなり、被加熱物を適正に加熱する。本発明のマイクロ波加熱装置は、被加熱物を収容する主加熱室から反射するマイクロ波を効果的に利用して被加熱物の適正な加熱を実現することができる。具体的には主加熱室に供給する水蒸気を生成するエネルギーとして利用することで、加熱室を加湿して食品に潤いを与えて適正に加熱することができる。つまり、加熱室に供給する水蒸気の生成には特別の加熱手段や電力を必要としないものである。また、誘電率の高い水蒸気が被加熱物に供給することにより、マイクロ波の吸収が促進されて加熱ムラを抑制して適性に加熱することができる。水蒸気の温度を被加熱物より十分高くして主加熱室に供給することで、マイクロ波誘電加熱と蒸気水を熱媒体とした加熱とをあわせた加熱調理が実現し、電力の制約範囲の中で反射するマイクロ波エネルギーを有効的に利用して効率的に被加熱物を加熱することができる。含む水分量の少ない被加熱物では水蒸気の需要は増えるので蒸気生成のエネルギーも増えるが、この場合にも水分量の少ない被加熱物ほどマイクロ波を吸収する割合が減り反射するマイクロ波の割合が増えるので電力の制約範囲で加熱できて都合が良い。このように、従来のマイクロ波加熱装置においては、加熱室に給電されるマイクロ波は被加熱物にすべて吸収されることはほとんどがなく、マイクロ波が給電部を経由してマグネトロンなどのマイクロ波発生手段に反射して熱損失していたが、これに対して本発明はこれを効果的に利用したものである。さらに、本発明による別の観点からの効果として、マイクロ波発生装置の反射波からの保効果があげられる。つまり、マイクロ波加熱装置においては反射波がマイクロ波発生装置に戻るためマイクロ波発生装置に熱的ダメージを与えたり、温度上昇によりマイクロ波発生の効率が低下したりすることがある。これらの不具合を防止するためにマグネトロンの冷却装置を設けて温度上昇を抑制する必要があり、ファンなどの冷却手段を動作させるために別に電力を消費するものであった。また、誤って被加熱物を入れずに無負荷で運転すると最悪の場合にはマイクロ波発生装置を破壊して装置の使用が出来なくなる可能性があることから、主加熱室に被加熱物以外にマイクロ波の吸収体を設けて故意にマイクロ波を損失させて装置を保護する構成を設けることもあり、いずれも被加熱物の加熱の効率化を図る上においての課題であったが、本発明の効果としては、これらの課題も同時に解決するものであり、保護装置における電力消費や損失を低く抑えることができる効果がある。第1の発明は、被加熱物を出し入れする開口と、金属部材を含む複数の壁面と、前記開口を開閉する扉体とを含んで構成され、内部に被加熱物を収容して加熱調理する主加熱室と、マイクロ波を発生するマイクロ波発生手段と、前記主加熱室にマイクロ波を給電する主給電部と、前記主給電部にマイクロ波発生手段から供給されるマイクロ波を伝送する主伝送路と、前記主加熱室に水蒸気を生成して供給する蒸気生成供給部と、前記蒸気生成供給部にマイクロ波を給電する副給電部と、前記副給電部にマイクロ波を伝送する副伝送路と、前記主伝送路には、前記マイクロ波発生手段の動作時に前記主給電部から前記マイクロ波発生手段側に反射するマイクロ波を、前記副伝送路に伝送するための分岐部が備えてあり、前記主加熱室内で吸収されないマイクロ波を前記蒸気生成供給部に供給して蒸気生成用の熱源とするように構成した。これによって、被加熱物に吸収されずにマグネトロンに反射して損失するエネルギーの割合は少なくなり、被加熱物を適正に加熱する。含む水分量が少ない被加熱物では、主加熱室に供給されるマイクロ波の吸収される割合が減り加熱室から反射するマイクロ波の割合が増えるが、反射するマイクロ波により蒸気生成供給部の水を加熱することができる。蒸気を生成して主加熱室に供給することで加熱ムラを抑制しつつ被加熱物のマイクロ波の吸収を促進して適性に加熱することができる。第2の発明は、特に、第1の発明において、分岐部が、マイクロ波発生手段からの直接進行波は主給電部側に伝送するとともに、主給電部からの反射波は副伝送路に伝送するように3方向で結合したサーキュレータ伝送方向を特定方向に規定する非可逆分岐回路を構成したものである。これにより、蒸気生成供給部へのマイクロ波の供給は、特別に伝送路やマイクロ波の配分を制御することなく、簡単な構成でマイクロ波発生手段からの主加熱室に供給されるマイクロ波が減少することなく、主加熱室から反射するマイクロ波を有効的に利用することができる。第3の発明は、特に、第1の発明において、蒸気生成供給部が、蒸気生成室に収容した水を加熱する第2の加熱手段と、蒸気生成室に収容した水の温度を検知する温度検知部と、前記温度検知部の検知温度に基づいて前記第2の加熱手段の加熱量を制御する加熱制御手段とを備え、副給電部から供給される反射マイクロ波に加えて、前記第2の加熱手段を制御して主加熱室に供給する水蒸気を生成するものである。これによって、主加熱室から反射するマイクロ波に応じて、第2の加熱手段によって生成する水蒸気の量や温度を任意に制御することができる。さらに、第2の加熱手段単独でも蒸気を生成することも可能である。したがって、従来損失となっていた反射マイクロ波を有効的に利用して総合の電力消費も抑えることができ被加熱物を適正に加熱することができる。第4の発明は、特に、第1の発明において、蒸気生成供給部が、副給電部より供給されるマイクロ波により蒸気生成用の水が加熱される1次加熱室と、1次加熱室から供給された水または水蒸気をさらに加熱するマイクロ波とは異なる第2の加熱手段を備えた2次加熱室と、2次加熱室に供給される水の温度を検知する温度検知部と、生成した水蒸気を主加熱室に供給する蒸気吐出口とにより構成され、2次加熱室での加熱は、前記温度検知部の検知温度に基づいて第2の加熱手段による加熱量を制御する加熱制御手段を備えたものである。これによって、1次加熱室で加熱され生成される蒸気の量や温度は1次加熱室に供給されるマイクロ波のエネルギーによって制約されても、2次加熱室を設けて1次加熱室から供給される蒸気や水の温度を検知して所望の温度を得られるように制御して2次加熱することができる。この場合にも主加熱室で吸収されずに反射するマイクロ波を有効に利用して被加熱物を適正に加熱することができる。マイクロ波以外の加熱手段を設けるうえにおいて、特に総合した使用電力の制約を考慮する必要があるが従来損失となっていた反射マイクロ波を有効的に利用して2次加熱における加熱能力は少なくできて総合の電力消費も抑えることができる。したがって従来損失となっていた反射マイクロ波を有効的に利用して総合の電力消費も抑えることができ被加熱物を適正に加熱することができる。第5の発明は、特に、第1の発明において、蒸気生成供給部が、蒸気生成用の水を貯水する水容器を含み、さらに前記水容器を着脱自在に収納するための給水開口部を備え、主加熱室の開口を開閉する扉体は給水開口部を含み一体で開閉する構成としたものである。これによって、被加熱室を出し入れする主加熱室の開口と蒸気生成用の水を加熱する加熱室の開口を一体の扉体で開閉することができるので、蒸気生成用の水をマイクロ波で加熱する場合においてもそれぞれのマイクロ波を遮蔽する専用の扉体を設ける必要がないので構成が簡単である。マイクロ波を供給する加熱室のドアは一般的にマイクロ波を確実に遮断するシール構成とともにドアの開閉を検知する検知スイッチを備えているが、これらのそれぞれ専用に設ける必要がなく省スペース化を図ることができる。さらにマイクロ波加熱装置の利用においても、被加熱物を主加熱室に入れる際に蒸気生成用の水の供給ができて水の供給忘れを防止することができて適正に被加熱物を加熱することができる。水は水容器に入れて供給するので水の補給が容易に実現でき、水容器の一部もしくは全部を可視光透過性にすることで水の残量の確認も容易である。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。実施の形態1図1は、本発明の第1の実施の形態におけるマイクロ波加熱装置である電子レンジの概略構成を示す要部断面の模式図である。図1において、被加熱物である食品60は金属の壁面82で構成した主加熱室33に収容されている。マイクロ波発生手段であるマグネトロン30で発生したマイクロ波は、主伝送路である主導波管31に伝送され、主給電部である主給電口32から主加熱室33に給電されて食品60に吸収されることによって加熱される。主加熱室33に供給される水蒸気を生成するための蒸気生成供給部37が備えられ蒸気生成室38に収容した水41を加熱して生成した水蒸気42は蒸気供給口39から主加熱室33に供給される。主導波管31には分岐部であるサーキュレータ34非可逆分岐回路を設けているので、主加熱室で吸収されずに反射するマイクロ波は副伝送路である副導波管35に伝送されて副給電部である副給電口36から蒸気生成供給部37に供給されて蒸気生成室38にある水41を加熱する構成となっている。図2は、本発明の第1の実施の形態におけるマイクロ波加熱装置である電子レンジの動作を説明するうえでマイクロ波の伝送路を分かり易く示すため第1図を変形した模式図である。以上のように構成されたマイクロ波加熱装置について、以下その動作、作用を第1および第2図を用いて説明する。まず、マイクロ波を加熱室に供給する場合において、食品の加熱均一性が要求されることから、加熱室での電磁界分布の偏りを抑制するためにマイクロ波を攪拌する構成や食品自体を回転させる構成が採られている。具体的には給電部にアンテナを設けて回転させながらマイクロ波を放出する構成や食品を載せて回転させるターンテーブルを設ける構成など様々な工夫がなされている。第1図において主加熱室33へのマイクロ波は主給電口32から給電され、主給電口32に面して設けたアンテナ図示せずを介して放射されるが、アンテナ駆動モーターによりアンテナを回転させることで加熱室内でのエネルギー分布の偏りを抑制している。食品60はマイクロ波が透過するセラミック製の食品台図指せずに載置されている。一方で加熱室に供給されるマイクロ波のすべてが食品に吸収されることがなく、加熱室内で吸収されないマイクロ波は反射して再びマグネトロン側に戻ってしまう。これは被加熱物の種類や量や大きさ形、さらに加熱室における配置によって影響を受けるが、特に含まれる水分量の少ない食品や冷凍食品などでは吸収されずに反射するマイクロ波の割合が増える。これは氷に比べて水の誘電率は20倍近く高いためであり、誘電率の高い水分の少ない食品もマイクロ波の吸収は良くないためである。図2において、主加熱室33内で吸収されないマイクロ波は主給電部である主給電口32から反射波となって主導波管31を逆流してサーキュレータ34に戻るが、伝送方向を特定方向に規定する分岐部であるサーキュレータ34の作用により副導波管35に伝送され、副給電部である副給電口36から蒸気生成室38に給電される。この反射波により蒸気生成室38の水41が加熱され蒸気が生成され、生成された水蒸気は蒸気供給口39を経て主加熱室33に供給されるので、食品を加湿することでマイクロ波の吸収を促進し、食品を水蒸気に含まれる熱量によって加熱することもできる。この効果は水分の含有が少ない食品や冷凍食品の加熱に効果が大きく、食品を効率良く適正に加熱することが出来る。また、水蒸気を供給しながらマイクロ波で加熱することで、食品に水分を補給し、含まれる水分の減少や乾燥を抑制することができるので、効率的に食品を加熱することができ、ふっくらとした潤いある仕上がりが期待できる。水分の蒸発を防ぐために食品に蓋や、ラップをする手間が省けるとともに、蓋やラッピングを介さずに直接食品を加熱できるので効率良く加熱できる。さらに、種類の異なる食品を同時に加熱する場合でも加熱のムラを抑制して適性に加熱できて効率が良い。このように、加熱室に水蒸気を供給して被加熱物を適性に加熱する場合において、蒸気生成用の熱源を専用に設ける必要がなく、食品を収容し加熱する主加熱室内で吸収されずに反射するマイクロ波によって蒸気生成の熱源を有効に利用するものであり効率的な加熱が実現する。図3は、本発明の第1の実施の形態におけるマイクロ波加熱装置のサーキュレータ34から蒸気生成供給部37に至る詳細の構成を示す図である。図3において、マイクロ波を供給する副給電部である副給電口36には蒸気生成室38と副導波管35を水密的に仕切り36aが備えられている。これにより蒸気生成室38に水41を直接収容して効率的に加熱できる。なお仕切り36aの材質としてはマイクロ波の透過損失が少なく水密が保たれるセラミックや耐熱ガラスなどで構成されたが、これに限らず耐熱性や水密性などを考慮して樹脂材料を採用しても良い。実施の形態2図4は本発明の第2の実施の形態いおけるマイクロ波加熱装置のサーキュレータ34から蒸気生成供給部37に至る詳細の構成を示す図である。実施の形態1と異なる点は、蒸気生成室38における副給電口36の配置である。副給電口36の蒸気生成室38に対する配置は図4に示すように水41の底面に設けても良い、これにより加熱時の温度差により水の対流が促進されるので効率的に水を加熱することができる。また、蒸気生成室38に水を供給する水供給口40が設けられている。これにより水を貯水するタンクを別に設けて蒸気生成に連動して水が補充される構成にしても良い。実施の形態3図5は本発明の第3の実施の形態におけるマイクロ波加熱装置のサーキュレータ34から蒸気生成供給部37の詳細の構成を示す図である。実施の形態1および実施の形態2と相違する点は、蒸気生成のための水の加熱はマイクロ波による加熱に加え、さらにマイクロ波とは異なる熱源第2の加熱手段であるヒーター45によって加熱される点である。さらに、水の温度を検知する温度検知部であるサーミスタ46と、サーミスタ46の検知温度によって、ヒーター45の通電を制御する加熱制御手段83を設けたものである。これによって、主加熱室33から反射するマイクロ波に応じて、生成する水蒸気の量や温度を第2の加熱手段の通電により任意に制御することができる。さらにヒーター加熱単独でも蒸気を生成することも可能である。実施の形態4図6は本発明の第4の実施の形態におけるマイクロ波加熱装置のサーキュレータ34から蒸気生成供給部37の詳細の構成を示す図である。実施の形態1から実施の形態3と相違する点は、図6に示すように蒸気生成室を複数設けて反射マイクロ波により加熱する1次加熱室86の1次加熱と2次加熱用熱源であるヒーター88により加熱する2次加熱室87の2次加熱で段階的に加熱する点である。この場合は、1次加熱後の水または蒸気の温度を検知してヒーター88に通電することで、生成する水蒸気の量や温度を任意に制御することができる。蒸気生成室の細部の形状を水の様態によって段階的に変えてもよく、蒸気生成に適した形状にすることで効率的に蒸気生成することができる。実施の形態5図7は本発明の第5の実施の形態におけるマイクロ波加熱装置の前面開口面からみた扉体85の対向範囲を示す図である。実施の形態1および2と異なる点は、蒸気生成室38には蒸気生成用の水41を貯水する水容器48を設け、さらに前記水容器48を着脱自在に収納するための給水開口部90を備え、主加熱室33の開口80を開閉する扉体図示せずは給水開口部を含み一体で開閉する構成にしたものである。図7において、マイクロ波加熱装置の本体100の前面に被加熱物である食品60を出し入れする開口80が設けられ、開口80が閉まった状態でマイクロ波がマイクロ波加熱装置の外部に漏れるのを防止するためのマイクロ波遮蔽手段であるチョーク構成が扉体図示せずに設けてあり、扉体の対抗面は蒸気生成室38の開口を覆う範囲49に設定されたものである。これによって、被加熱物である食品60を出し入れする主加熱室33の開口80と蒸気生成用の水41を加熱する蒸気生成室38の給水開口部90を一体の扉体図示せずで開閉することができるので、蒸気生成用の水41をマイクロ波で加熱する場合においてもそれぞれのマイクロ波を遮蔽する専用の扉体を設ける必要がないので構成が簡単である。マイクロ波を供給する加熱室のドアは、一般的にマイクロ波を確実に遮断するシール構成とともにドアの開閉を検知する検知スイッチを備えているが、これらをそれぞれ専用に設ける必要がなく、省スペース化を図ることができる。さらに、マイクロ波加熱装置の利用においても、被加熱物である食品60を主加熱室33に入れる際に蒸気生成用の水41の供給ができて、水の供給忘れを防止することができるので適正に被加熱物である食品60を加熱することができる。水は、水容器48に入れて供給するので水の補給が容易に実現でき、水容器の一部もしくは全部を可視光透過性にすることで水の残量の確認も容易である。