基板上に配列された複数のカラーフィルタを備えた固体撮像素子であって、該複数のカラーフィルタは、それぞれの色に応じた膜厚を有し、該基板上の、該カラーフィルタが形成される下地部分は、該配列された複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、該下地部分の表面に段差を形成した構造を有する、固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子において、前記複数のカラーフィルタは、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタを含んでいる、固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子において、前記複数のカラーフィルタは、前記基板上の下地部分に塗布された感光性カラーレジストをパターニングして形成したものである、固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子において、前記基板上に配列された複数の画素を構成する複数の受光素子を含む受光素子部と、該受光素子部上に形成された平坦化膜とを有し、該平坦化膜は、その上に前記複数のカラーフィルタが形成された下地部分となっている、固体撮像素子。請求項1に記載の固体撮像素子において、前記複数のカラーフィルタのそれぞれの上に直に配置されたマイクロレンズを有する、固体撮像素子。基板上に配列された複数のカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの膜厚をそれぞれの色に応じた膜厚とした構造の固体撮像素子を製造する方法であって、該基板上に、該カラーフィルタの下地となる下地層を形成するステップと、該下地層上に該カラーフィルタを形成するステップとを含み、該下地層を形成するステップでは、該下地層の表面に、該厚みの異なる複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、該それぞれの色のカラーフィルタの厚さに応じた段差を形成する、固体撮像素子の製造方法。請求項6に記載の固体撮像素子の製造方法において、前記下地層を形成するステップは、前記基板上に、複数の画素を構成する複数の受光素子を含む受光素子部を形成した後、該受光素子部上に平坦化膜を形成するステップと、該平坦化膜を、その表面に段差が形成されるよう加工するステップとを含む、固体撮像素子の製造方法。請求項7に記載の固体撮像素子の製造方法において、前記平坦化膜は、感光性材料で構成されており、前記平坦化膜を加工するステップでは、前記受光素子部上に形成した該感光性材料の膜を露光して現像することにより、該平坦化膜を形成する、固体撮像素子の製造方法。請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法において、前記感光性材料膜の露光には、グレースケールマスクを用いる、固体撮像素子の製造方法。請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法において、前記平坦化膜は、透明絶縁材料で構成されており、前記平坦化膜を加工するステップでは、前記受光素子部上に形成した該透明絶縁材料の膜をフォトマスクを用いて選択的にエッチングすることにより、該平坦化膜を形成する、固体撮像素子の製造方法。被写体の撮像を行う撮像部を備えた電子情報機器であって、該撮像部は、請求項1に記載の固体撮像装置を有する電子情報機器。しかしながら、上記従来の固体撮像素子では、このマイクロレンズ220の下面から基板表面までの距離F、さらにはマイクロレンズ自体の高さHを揃えるため、第2の平坦化膜203bを形成する必要がある。このとき、この第2の平坦化膜203bが存在すること、及び、基板とマイクロレンズとの距離Fが長くなることから、基板に届く光量の減衰が生じ、固体撮像素子の感度低下につながるという問題がある。本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、感度低下を回避しつつ、各色のカラーフィルタの特性をその厚さにより調整した固体撮像素子、及びその製造方法、並びにこのような固体撮像素子を搭載した電子情報機器を得ることを目的とする。本発明に係る固体撮像素子は、基板上に配列された複数のカラーフィルタを備えた固体撮像素子であって、該複数のカラーフィルタは、それぞれの色に応じた膜厚を有し、該基板上の、該カラーフィルタが形成される下地部分は、該配列された複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、該下地部分の表面に段差を形成した構造を有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。本発明は、上記固体撮像素子において、前記複数のカラーフィルタは、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタを含んでいることが好ましい。本発明は、上記固体撮像素子において、前記複数のカラーフィルタは、前記基板上の下地部分に塗布された感光性カラーレジストをパターニングして形成したものであることが好ましい。本発明は、上記固体撮像素子において、前記基板上に配列された複数の画素を構成する複数の受光素子を含む受光素子部と、該受光素子部上に形成された平坦化膜とを有し、該平坦化膜は、その上に前記複数のカラーフィルタが形成された下地部分となっていることが好ましい。本発明は、上記固体撮像素子において、前記複数のカラーフィルタのそれぞれの上に直に配置されたマイクロレンズを有することが好ましい。本発明に係る固体撮像素子の製造方法は、基板上に配列された複数のカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの膜厚をそれぞれの色に応じた膜厚とした構造の固体撮像素子を製造する方法であって、該基板上に、該カラーフィルタの下地となる下地層を形成するステップと、該下地層上に該カラーフィルタを形成するステップとを含み、該下地層を形成するステップでは、該下地層の表面に、該厚みの異なる複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、該それぞれの色のカラーフィルタの厚さに応じた段差を形成することが好ましい。本発明は、上記固体撮像素子の製造方法において、前記下地層を形成するステップは、前記基板上に、複数の画素を構成する複数の受光素子を含む受光素子部を形成した後、該受光素子部上に平坦化膜を形成するステップと、該平坦化膜を、その表面に段差が形成されるよう加工するステップとを含むことが好ましい。本発明は、上記固体撮像素子の製造方法において、前記平坦化膜は、感光性材料で構成されており、前記平坦化膜を加工するステップでは、前記受光素子部上に形成した該感光性材料の膜を露光して現像することにより、該平坦化膜を形成することが好ましい。本発明は、上記固体撮像素子の製造方法において、前記感光性材料膜の露光には、グレースケールマスクを用いることが好ましい。本発明は、上記固体撮像素子の製造方法において、前記平坦化膜は、透明絶縁材料で構成されており、前記平坦化膜を加工するステップでは、前記受光素子部上に形成した該透明絶縁材料の膜をフォトマスクを用いて選択的にエッチングすることにより、該平坦化膜を形成することが好ましい。本発明に係る電子情報機器は、被写体の撮像を行う撮像部を備えた電子情報機器であって、該撮像部は、上述した本発明に係る固体撮像装置を有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。次に作用について説明する。本発明においては、基板上に配列された複数のカラーフィルタを備えた固体撮像素子において、該複数のカラーフィルタは、それぞれの色に応じた膜厚を有し、該基板上の、該カラーフィルタの下地部分となる平坦化膜は、該配列された複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、その表面に各カラーフィルタの膜厚に応じた段差を形成した構造としているので、カラーフィルタの表面は平坦となり、該カラーフィルタ上に平坦化膜を形成する必要がなくなる。このため、本発明では、マイクロレンズを各色のカラーフィルタ上に直に配置することができ、マイクロレンズの底面から基板の表面までの距離を短縮することができ、これによりマイクロレンズから受光素子部にいたる経路での光の減衰を低減することができる。また、本発明では、カラーフィルタ上にマイクロレンズを直に配置しても、カラーフィルタの表面は平坦になっているため、マイクロレンズの高さがカラーフィルタの厚みにより変化することはなく、マイクロレンズの形状も均一なものとすることができる。また、平坦化膜として感光性材料膜を用い、この感光性材料膜をグレースケールマスクを用いて露光することにより、所望の光量を得るために微小遮光パターンの密度を適正に設定することによって、平坦化膜、つまり感光性材料膜の、各カラーフィルタの厚みに応じた複数の凹部の形状及び深さを所望のものとすることができる。以上のように、本発明によれば、感度低下を回避しつつ、各色のカラーフィルタの特性をその厚さにより調整した固体撮像素子、及びその製造方法、並びにこのような固体撮像素子を搭載した電子情報機器を得ることができる。以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。実施形態1図1は、本発明の実施形態1による固体撮像素子を説明する図であり、その断面構造を模式的に示している。本発明の実施形態1による固体撮像素子100は、シリコンなどの半導体基板101と、該半導体基板上に複数のカラーフィルタを配列してなるカラーフィルタ部110とを備えている。ここで、カラーフィルタ部を構成する複数のカラーフィルタは、それぞれの色、つまりグリーン、レッド、ブルーに応じた膜厚を有している。また、該基板101上の、該カラーフィルタが形成される下地部分平坦化膜は、該配列された複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、該下地部分の表面に段差を形成した構造を有している。つまり、前記複数のカラーフィルタは、グリーンフィルタ111、レッドフィルタ112、ブルーフィルタ図示せずを含んでいる。また、これらの複数のカラーフィルタは、前記基板上の下地部分に塗布された感光性カラーレジストをパターニングして形成したものである。また、上記固体撮像素子100は、該基板上に配列された複数の画素図示せずを構成する複数の受光素子を含む受光素子部102と、該受光素子部上に形成された平坦化膜103とを有し、該平坦化膜103は、その上に複数のカラーフィルタが形成された下地部分となっている。そして、複数のカラーフィルタのそれぞれの上にはマイクロレンズ120が直に配置されている。次に、本実施形態の固体撮像素子を製造する方法について説明する。この実施形態の固体撮像素子の製造方法は、基板上に配列された複数のカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの膜厚をそれぞれの色に応じた膜厚とした構造の固体撮像素子を製造するものである。まず、シリコンなどの半導体基板101上に、複数の画素を構成する複数の受光素子を含む受光素子部102を形成した後、該受光素子部102上に平坦化膜103を形成し、その後、該平坦化膜103上にカラーフィルタ111及び112を形成する。この際、平坦化膜103の表面には、厚みの異なる複数のカラーフィルタ111及び112の表面が全面に渡って平坦な面となるよう、該それぞれの色のカラーフィルタ111及び112の厚さに応じた段差を形成する。その後、各カラーフィルタ上に対応するようマイクロレンズ120を形成する。以下、上記平坦化膜を形成する第1の方法について具体的に説明する。例えば、図2a~cに示すように、基板101上に形成した受光素子部102の上に平坦化膜103を形成し、該平坦化膜103を、開口R1aを有するレジストマスクR1を用いて選択的にエッチングして、該平坦化膜103の表面に、レッドフィルタ112を配置するための段差部凹部103bを形成する。このときのエッチング量は、レッドフィルタ112の厚みに応じて調整される。ここで、図2b及びcは、図2aのA-A線断面、及びB-B線断面を示している。次に、上記レジスト膜R1を除去した後、図2d~fに示すように、開口R2aを有するレジストマスクR2を用いて選択的にエッチングして、該平坦化膜103の表面に、ブルーフィルタ図示せずを配置するための段差部凹部103aを形成する。このときのエッチング量は、ブルーフィルタの厚みに応じて調整される。ここで、図2e及びfは、図2dのA-A線断面、及びB-B線断面を示している。その後、上記レジストマスクR2を除去した状態を、図2g~図2iに示している。ここで、図2h及びiは、図2gのA-A線断面、及びB-B線断面を示している。なお、ここでは、グリーンフィルタの厚みを基準にしているため、グリーンフィルタの配置部分では平坦化膜はエッチングしない。次に、上記平坦化膜を形成する第2の方法について具体的に説明する。図5は、この第2の方法を説明する図であり、図5aは、この方法で用いるグレースケールマスクの断面構造を示し、図5bは、グレースケールマスクの遮光パターンを示している。この第2の方法で平坦化膜103に掘り込み形状を形成する原理は以下のとおりである。つまり、図5に示すフォトマスクMは、露光装置の光源からの露光光Sを完全に透過することを目的とした透過領域図示せず、露光光を完全に遮光することを目的とした遮光領域Mu、および半透過領域Mtで構成されている。半透過領域Mtでの透過率Tは、0<透過率T<100を満たす。また、この半透過領域Mtは、グレースケールマスクとして得ることが可能である。本実施形態では、該フォトマスクMの、平坦化膜の掘り込み形状とするべき部分に対応する領域は半透過領域Mtとなっている。図5bには、グレースケールマスクを使用する場合のマスクパターンの模式図を示す。このマスクにおいては、所望の光量を得るために微小遮光パターン図では小さい黒四角部の密度を適正に設定することによって所望の掘り込み深さとする形状を形成することができる。また、このマスクを用いることにより、平坦化膜には、深さの異なる凹部段差部を複数同時に形成することが可能となる。また、本実施形態では、使用される平坦化膜103を構成するレジスト材料としては、掘り込み深さの制御性を向上させるために、露光量の変化に応じて現像後のレジスト残膜量の変化がリニアな特性のものが望ましい。次に本実施形態の効果について説明する。マイクロレンズ120の下面の高さを揃えるためには、色の異なるカラーフィルタを複数配列しているカラーフィルター部110で、その上面が平坦になるようにできればよい。その方法としては、各色のフィルターの間で高さが不揃いとなっていることによる段差分を、カラーフィルタの下地である平坦化膜103を、カラーフィルタ111、112の厚みに応じて掘り込むことで高さを揃える方法が考えられる。この方法を実現するための課題としては、所望の掘り込み量を精度良く形成することである。特に、平坦化膜の材料に感光性のものを使用することが考えられる。この場合、使用される感光性材料は、露光エネルギーに対して現像膜減り量がリニアな現像レートを持つものが望ましい。例えば、グレースケールレンズで使用しているレンズ材料ならば所望の形状を得ることができる。このように本実施形態では、基板上に配列された複数のカラーフィルタ111及び112を備えた固体撮像素子100において、該複数のカラーフィルタは、それぞれの色に応じた膜厚を有し、該基板上の、該カラーフィルタの下地部分となる平坦化膜130は、該配列された複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、その表面に各カラーフィルタの膜厚に応じた段差を形成した構造としているので、カラーフィルタの表面は平坦となり、該カラーフィルタ上に平坦化膜を形成する必要がなくなる。このため、本実施形態では、マイクロレンズ120を各色のカラーフィルタ上に直に配置することができ、マイクロレンズの底面から基板の表面までの距離Fを短縮することができ、これによりマイクロレンズから受光素子部にいたる経路での光の減衰を低減することができる。また、本実施形態では、カラーフィルタ111及び112上にマイクロレンズ120を直に配置しても、カラーフィルタの表面は平坦になっているため、マイクロレンズの高さH’がカラーフィルタの厚みにより変化することはなく、マイクロレンズの形状も均一なものとすることができる。また、平坦化膜103として感光性材料膜を用い、この感光性材料膜をグレースケールマスクを用いて露光することにより、所望の光量を得るために微小遮光パターン図では小さい黒四角部の密度を適正に設定することによって、1回の露光現像処理により、平坦化膜、つまり感光性材料膜の、各カラーフィルタの厚みに応じた複数の凹部の形状及び深さを所望のものとすることができる。このように本実施形態の固体撮像素子100では、各色のカラーフィルタの特性をその厚さにより調整し、しかも各色に応じてその厚みを調整したカラーフィルタをその表面が平坦になるよう平坦化膜上に配置することができ、これにより、厚みの異なるカラーフィルタ上に平坦化膜を形成する必要がなくなり、感度低下を回避しつつ、カラー表示特性を所望の特性とすることができる。さらに、上記実施形態1では、特に説明しなかったが、上記実施形態1の固体撮像素子を撮像部に用いた、例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、画像入力カメラ、スキャナ、ファクシミリ、カメラ付き携帯電話装置などの、画像入力デバイスを有した電子情報機器について以下簡単に説明する。実施形態2図7は、本発明の実施形態2として、実施形態1の固体撮像素子を撮像部に用いた電子情報機器の概略構成例を示すブロック図である。図7に示す本発明の実施形態2による電子情報機器90は、本発明の上記実施形態1の固体撮像素子を、被写体の撮影を行う撮像部91として備えたものであり、このような撮像部による撮影により得られた高品位な画像データを記録用に所定の信号処理した後にデータ記録する記録メディアなどのメモリ部92と、この画像データを表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示する液晶表示装置などの表示部93と、この画像データを通信用に所定の信号処理をした後に通信処理する送受信装置などの通信部94と、この画像データを印刷印字して出力プリントアウトする画像出力部95とのうちの少なくともいずれかを有している。以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。