ノズルに連通する圧力室を隔壁によって複数区画し、当該圧力室の開口面を封止する作動面を圧力発生手段によって変形させて当該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで当該圧力室に連通するノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、隣り合う圧力室同士を区画する隔壁は、前記作動面側から前記ノズル側に向かうにしたがって壁厚が厚くなる3段以上の複数段に形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。前記複数段の隔壁のうち最も作動面側に位置する隔壁の壁厚および高さは、前記ノズルから液体を噴射する際に必要な前記作動面の最大変位量が得られるように定められ、前記複数段の隔壁のうち最もノズル側に位置する隔壁の壁厚および高さは、前記圧力室から前記ノズルへの流路を狭めない範囲内で厚く設定されたことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。ノズルに連通する圧力室を隔壁によって複数区画し、当該圧力室の開口面を封止する作動面を圧力発生手段によって変形させて当該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで当該圧力室に連通するノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、前記液体噴射ヘッドにおける隣り合う圧力室同士を区画する隔壁は、前記作動面側から前記ノズル側に向かうにしたがって壁厚が厚くなる複数段に形成されたことを特徴とする液体噴射装置。ところが、上記の構成では、1段目の圧力室の隔壁の厚さと2段目の圧力室の隔壁の厚さとの差段差が大きいため、当該2段目の圧力室の隔壁が圧電素子および作動面振動板が変位した際に干渉する虞があった。その一方、圧電素子および作動面と隔壁との干渉を防止すべく1段目の圧力室の隔壁の高さを高くした場合、その分、当該1段目の隔壁の耐久性が低下し、壊れやすくなる等の問題があった。なお、このような問題は、インクを噴射する記録ヘッドを搭載したインクジェット式記録装置だけではなく、複数の圧力室を、間に隔壁を隔てて有し、圧力室の開口面を封止する作動面を圧電素子によって変形させることで圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることによりノズルから液体を噴射させる他の液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置においても同様に存在する。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体噴射時のクロストークを防止することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルに連通する圧力室を隔壁によって複数区画し、当該圧力室の開口面を封止する作動面を圧力発生手段によって変形させて当該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで当該圧力室に連通するノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、隣り合う圧力室同士を区画する隔壁は、前記作動面側から前記ノズル側に向かうにしたがって壁厚が厚くなる3段以上の複数段に形成されたことを特徴とする。本発明によれば、圧力室同士を区画する隔壁を厚さの異なる3段以上の複数段から構成し、作動面側からノズル側に向かうにしたがって壁厚を厚くすることで、圧力発生手段および作動面の変位を阻害することなく隔壁全体の剛性を高めることができる。このため、圧力発生手段を作動させてノズルから液体を噴射させる際に圧力室の内圧が上昇したときに隔壁が隣接する圧力室側に変形することが抑制される。これにより、圧力損失が低減され、隣接するノズル間におけるクロストークが防止される。その結果、クロストークに起因する液体の噴射特性ノズルから噴射される液体の量や飛翔速度の変動を抑制することができる。また、隔壁の耐久性が高まるため、液体噴射ヘッドの信頼性を向上させることが可能となる。さらに、隔壁を3段以上とすることで段差がより小さくなるので圧力室における液体の流れをより円滑にして気泡の滞留を防止することが可能となる。また、上記構成において、前記複数段の隔壁のうち最も作動面側に位置する隔壁の壁厚および高さは、前記ノズルから液体を噴射する際に必要な前記作動面の最大変位量が得られるように定められ、前記複数段の隔壁のうち最もノズル側に位置する隔壁の壁厚および高さは、前記圧力室から前記ノズルへの流路を狭めない範囲内で厚く設定された構成を採用することが望ましい。この構成によれば、最も作動面側に位置する隔壁の壁厚および高さは、ノズルから液体を噴射する際に必要な作動面の最大変位量が得られるように定められ、最もノズル側に位置する隔壁の壁厚および高さは、圧力室からノズルへの流路を狭めない範囲内で厚く設定されたので、圧力発生手段および作動面の変位を阻害することなく隔壁全体の剛性を高めることができる。このため、圧力発生手段を作動させてノズルから液体を噴射させる際に圧力室の内圧が上昇したときに隔壁が隣接する圧力室側に変形することが抑制される。これにより、圧力損失が低減され、隣接するノズル間におけるクロストークがより確実に防止される。また、本発明の液体噴射装置は、ノズルに連通する圧力室を隔壁によって複数区画し、当該圧力室の開口面を封止する作動面を圧力発生手段によって変形させて当該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで当該圧力室に連通するノズルから液体を噴射させる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、前記液体噴射ヘッドにおける隣り合う圧力室同士を区画する隔壁は、前記作動面側から前記ノズル側に向かうにしたがって壁厚が厚くなる3段以上の複数段に形成されたことを特徴とする。以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド2を搭載したインクジェット式記録装置以下、プリンター1を例に挙げて説明する。図1はプリンター1の構成を示す斜視図である。このプリンター1は、記録ヘッド2が取り付けられると共に、液体供給源の一種であるインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるキャリッジ4と、記録動作時の記録ヘッド2の下方に配設されたプラテン5と、キャリッジ4を記録紙6記録媒体および着弾対象の一種の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構7と、主走査方向に直交する副走査方向に記録紙6を搬送する紙送り機構8と、を備えている。キャリッジ4は、主走査方向に架設されたガイドロッド9に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構7の作動により、ガイドロッド9に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ4の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー10によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルスが図示しないプリンターコントローラーに送信される。リニアエンコーダー10は位置情報出力手段の一種であり、記録ヘッド2の走査位置に応じたエンコーダーパルスを、主走査方向における位置情報として出力する。このため、プリンターコントローラーは、受信したエンコーダーパルスに基づいてキャリッジ4に搭載された記録ヘッド2の走査位置を認識できる。即ち、例えば、受信したエンコーダーパルスをカウントすることで、キャリッジ4の位置を認識することができる。これにより、プリンターコントローラーはこのリニアエンコーダー10からのエンコーダーパルスに基づいてキャリッジ4記録ヘッド2の走査位置を認識しながら、記録ヘッド2による記録動作を制御することができる。キャリッジ4の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジの走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド2のノズル形成面ノズル形成基板15:図2参照を封止するキャッピング部材11と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材12とが配置されている。そして、プリンター1は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ4が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ4が戻る復動時との双方向で記録紙6上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能に構成されている。図2は、本実施形態の記録ヘッド2の構成を示す図であり、aは記録ヘッド2の平面図、bはaにおけるA-A′線断面図、cはaにおけるB-B′線断面図である。なお、図2ではノズル4つ分の構成を例示しているが、残りの他のノズルに対応する構成も同様である。本実施形態における記録ヘッド2は、連通口基板13、流路形成基板14、ノズル形成基板15、弾性体膜16、絶縁体膜17、圧電素子18、及び、保護基板19等を積層して構成されている。流路形成基板14は、例えば、シリコン単結晶基板から成る板材である。この流路形成基板14には、複数の圧力室20が、隔壁37を間に挟んでその幅方向ノズル列方向に並設されている。後述するように、圧力室同士を区画する隔壁37は、厚さノズル列方向の寸法が異なる複数段37a~37cから成る。流路形成基板14の圧力室20の長手方向外側の領域には連通部21が形成され、連通部21と各圧力室20とが、圧力室20毎に設けられたインク供給路22を介して連通されている。なお、連通部21は、後述する保護基板19のリザーバー部29と連通して各圧力室20の共通のインク室となるリザーバー30の一部を構成する。インク供給路22は、圧力室20よりも狭い幅で形成されており、連通部21から圧力室20に流入するインクに対して一定の流路抵抗を付与する。流路形成基板14におけるこれらの圧力室20やインク供給路22等の流路は、異方性エッチングにより形成されている。流路形成基板14の一方の面図2bにおいて下側の面には、連通口36が開設された連通口基板13が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。また、この連通口基板13の流路形成基板14との接合面とは反対側の面には、各圧力室20に対応して複数のノズル23が列状に開設されたノズル形成基板15が接着剤等により接合されている。連通口基板13の連通口36は、各圧力室20にそれぞれ対応して連通口基板13の厚さ方向を貫通した状態で複数形成されている。連通口36の一端図2bにおいて上端は、対応する圧力室22のインク供給路22とは反対側の端部に連通する一方、連通口36の他端図2bにおいて下端は、ノズル形成基板15のノズル23に連通する。本実施形態における連通口36の幅ノズル列方向の寸法は、圧力室20の最小幅後述する第3圧力室20cの幅よりも少し狭くなっている。流路形成基板14の他方の面には、例えば二酸化シリコンSiO2からなる弾性膜16が形成されている。この弾性膜16における圧力室20の開口を封止する部分は、本発明における作動面に相当する。また、この弾性膜16上には酸化ジルコニウムZrO2からなる絶縁体膜17が形成され、さらに、この絶縁体膜17上には下電極24と、圧電体25と、上電極26とが形成され、これらが積層状態で圧電素子18圧力発生手段の一種を構成している。一般的には、圧電素子18の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極正極又は個別電極及び圧電体25を圧力室20毎にパターニングして構成する。そして、パターニングされた何れか一方の電極及び圧電体25から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。なお、本実施形態では、下電極24が圧電素子18の共通電極とされ、上電極26が圧電素子18の個別電極とされているが、圧電体25の分極方向や駆動回路や配線の都合等によってこれらを全体的に逆にする構成とすることもできる。何れの場合においても、圧力室20毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、このような各圧電素子18の上電極26には、例えば、金Au等からなるリード電極27がそれぞれ接続されている。流路形成基板14上の圧電素子18側の面には、圧電素子18に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持部28を有する保護基板19が接合されている。さらに、保護基板19には、流路形成基板14の連通部21に対応する領域にリザーバー部29が設けられている。このリザーバー部29は、圧力室20の並設方向に沿って長尺な矩形の開口形状を有する貫通穴として保護基板19に形成されており、上述したように流路形成基板14の連通部21と連通されて各圧力室20の共通のインク室となるリザーバー30を構成している。また、保護基板19の圧電素子保持部28とリザーバー部29との間の領域には、保護基板19を厚さ方向に貫通する貫通孔31が設けられ、この貫通孔31内に下電極24の一部及びリード電極27の先端部が露出されている。保護基板19上には、封止膜32及び固定板33とからなるコンプライアンス基板34が接合されている。封止膜32は、可撓性を有する材料例えば、ポリフェニレンサルファイドフィルムからなり、この封止膜32によってリザーバー部29の一方面が封止されている。また、固定板33は、金属等の硬質の材料例えば、ステンレス鋼等で形成される。この固定板33のリザーバー30に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部35となっているため、リザーバー30の一方面は可撓性を有する封止膜32のみで封止されている。そして、上記構成の記録ヘッド2では、インクカートリッジ等のインク供給手段からインクを取り込み、リザーバー30からノズル23に至るまで内部をインクで満たした後、プリンター本体側からの駆動信号の供給により、圧力室20に対応するそれぞれの下電極24と上電極26との間に両電極の電位差に応じた電界を付与し、圧電素子18および作動面弾性膜16を撓み変形させることにより圧力室20内の圧力を変動させる。この圧力変動を制御することで、ノズル23からインクを噴射させたり、或いは、インクが噴射されない程度にノズル23におけるメニスカスを微振動させたりする。本発明に係る記録ヘッド2では、隣り合う圧力室同士を区画する隔壁37が、厚さの異なる複数段、本実施形態においては、第1隔壁37a、第2隔壁37b、および第3隔壁37cの合計3段から構成されており、作動面弾性膜16側からノズル23側に向かうにしたがい壁厚が段階的に厚くなっている。即ち、最も作動面側に位置する第1隔壁37aの壁厚が最も薄く、第2隔壁37bの壁厚は第1隔壁37aの壁厚よりも厚く、最もノズル23側に位置する第3隔壁37cの壁厚が最も厚くなっている。このため、圧力室20は、幅の異なる3つの圧力室20a~20cから成り、最も作動面側である最上段の第1圧力室20aの幅が最も広く、第2圧力室20bの幅は第1圧力室20aの幅よりも狭く、最もノズル23側である最下段の第3圧力室20cの幅は最も狭くなっている。ここで、最上段の第1圧力室20aの開口面積、即ち、当該圧力室20を封止している作動面の面積に関し、圧電素子18を駆動したときの当該作動面の圧力室内側ノズル23側への最大変位量が設計上の目標値となるように定められている。つまり、目標とする最大変位量が得られるようなコンプライアンス柔らかさを作動面に対して付与するべく第1圧力室20aの開口面積が設定されている。これに応じて、図3に示すように、最上段の第1圧力室20aの幅方向の寸法Waが定められている。したがって、第1隔壁37aの厚さは、第1圧力室20aの幅Waとノズル23の形成ピッチとに応じて一意的に定まる。この第1隔壁37aの厚さは、隔壁の厚さが一定の従来構造の壁厚と同程度となっている。また、第1圧力室20aの縦方向ノズル形成基板15に垂直な方向の高さの寸法、即ち、第1隔壁37aの高さHaは、作動面が圧力室内側に最大限変位した際に当該作動面に第1隔壁37aと第2隔壁37bとの間の段差が干渉しない範囲で、最小限の寸法に設定されている。この第1隔壁37aの高さHaは、従来構造の隔壁の高さよりも十分に低くなっており、これにより剛性が高められている。また、最下段の第3隔壁37cの壁厚は、圧力室20から連通口36およびノズル23へのインクの流れに支障が生じない範囲、具体的には、圧力室20からノズル23へ向かう流路本実施形態においては、連通口36を狭めない範囲で可及的に厚くなっている。さらに、残りの第2隔壁37bの厚さは、第1隔壁37aの厚さと第3隔壁37cの厚さとの中間に設定されている。本実施形態においては、図3に示すように、第1圧力室20aの開口縁と連通口36の上端開口縁を結ぶ仮想線L上に各段部の角がそれぞれ位置するように第2隔壁37bの厚さおよび第3隔壁37cの厚さが定められている。さらに、第2隔壁37bの高さおよび第3隔壁37cの高さは、第1圧力室20aを含めた圧力室全体の流路抵抗およびイナータンスが設計上の目標値となるような高さに設定されている。このように、圧力室同士を区画する隔壁37を厚さの異なる複数段から構成し、作動面側からノズル23側に向かうにしたがって壁厚を厚くすることで、圧電素子18および作動面の変位を阻害することなく隔壁全体の剛性を高めることができる。このため、圧電素子18を作動させてノズル23からインクを噴射させる際に圧力室20の内圧が上昇したときに隔壁37が隣接する圧力室側に変形する撓むことが抑制される。これにより、インク噴射時の圧力損失が低減され、隣接するノズル間におけるクロストークが防止される。その結果、クロストークに起因するインク噴射特性ノズル23から噴射されるインクの量や飛翔速度の変動を抑制することができる。また、隔壁37の耐久性が高まるため、記録ヘッド2の信頼性を向上させることが可能となる。本実施形態においては、第1隔壁37aの壁厚および高さは、ノズル23からインクを噴射する際に必要な作動面の最大変位量が得られるように定める一方、第3隔壁37cの壁厚および高さは、圧力室20からノズル23へのインクの流れに支障が生じない範囲内で厚く設定して剛性を高めたので、設計上目標とするインク噴射特性ノズル23から噴射されるインクの量や飛翔速度をより確実に確保することが可能となる。なお、圧力室20におけるインクの流れを円滑にして気泡の滞留を防止すると共に、隔壁37の耐久性を高める観点から、隔壁間の段差はできるだけ小さいことが望ましい。このため、隔壁37は少なくとも3段以上の複数段であることが望ましい。また、上記実施形態では、圧力発生手段として所謂撓み振動型の圧電素子18を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子を採用することも可能である。なお、本発明は、複数の圧力室を隔壁によって複数区画し、圧力室の開口面を封止する作動面を圧力発生手段によって変位させることでノズルからインク等の液体を噴射させる液体噴射ヘッドおよびこれを備える液体噴射装置であれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。