外部装置と共に用いられるレーザ装置であって、パルスレーザ光を出力するマスターオシレータと、前記マスターオシレータに接続される第1の電源と、前記マスターオシレータから出力される前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも1つの増幅器と、前記少なくとも1つの増幅器に高周波電圧を印加する少なくとも1つの第2の電源と、前記マスターオシレータと前記少なくとも1つの増幅器との間の光路上に配置される少なくとも1つの光シャッタと、前記外部装置からの信号に基づいて、前記レーザ装置を制御するレーザコントローラと、を備えるレーザ装置。前記レーザコントローラは、前記マスターオシレータに前記パルスレーザ光を継続的に出力させつつ、前記少なくとも1つの光シャッタを開閉させることで、前記レーザ装置をバースト運転させる、請求項1記載のレーザ装置。前記レーザコントローラは、バースト期間開始より所定時間前から該バースト期間終了までの第1の期間、前記少なくとも1つの第2の電源から前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧を第1の励起強度に制御し、前記バースト期間終了から次のバースト期間開始より前記所定時間と実質的に同じ時間前までの第2の期間、前記少なくとも1つの第2の電源から前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧を、前記第1の励起強度よりも低い第2の励起強度に制御する、請求項1記載のレーザ装置。前記レーザコントローラは、前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源を制御する、請求項3記載のレーザ装置。前記レーザコントローラは、前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源を制御する、請求項3記載のレーザ装置。前記レーザコントローラは、前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源を制御し、前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源を制御する、請求項3記載のレーザ装置。請求項1~6いずれか一項記載のレーザ装置と、チャンバと、前記チャンバに設けられるターゲット供給部と、外部装置からの信号に基づいて、前記レーザ装置および前記ターゲット供給部を制御する極端紫外光生成制御システムと、を備える、極端紫外光生成装置。外部装置と共に用いられ、マスターオシレータと、前記マスターオシレータに接続される第1の電源と、少なくとも1つの増幅器と、前記少なくとも1つの増幅器に高周波電圧を印加する少なくとも1つの第2の電源と、光シャッタと、レーザコントローラと、を備えるレーザ装置において、レーザ光の出力を制御する方法であって、前記外部装置からバースト運転を制御するための信号を受信することと、前記マスターオシレータから所定繰り返し周波数で継続的にパルスレーザ光を出力させることと、前記信号に基づいて前記光シャッタを開閉させることと、前記信号に基づいて前記少なくとも1つの増幅器の励起強度を制御することと、を含む、方法。バースト期間開始より所定時間前から該バースト期間終了までの第1の期間、前記少なくとも1つの第2の電源から前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧が第1の励起強度に制御され、前記バースト期間終了から次のバースト期間開始より前記所定時間と実質的に同じ時間前までの第2の期間、前記少なくとも1つの第2の電源から前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧が、前記第1の励起強度よりも低い第2の励起強度に制御される、請求項8記載の方法。前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源が制御される、請求項9記載の方法。前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源が制御される、請求項9記載の方法。前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧のデューティ比よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源が制御され、前記第2の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅が、前記第1の期間に前記少なくとも1つの増幅器に印加される高周波電圧の振幅よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの第2の電源が制御される、請求項9記載の方法。外部装置と共に用いられるレーザ装置であって、パルスレーザ光を出力するマスターオシレータと、前記マスターオシレータから出力される前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なる少なくとも1つの光シャッタと、前記光シャッタを通過した前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも1つの増幅器と、前記少なくとも1つの増幅器に高周波電圧を印加する少なくとも1つの高周波電源と、前記高周波電源の印加電圧と、前記光シャッタの開閉とを同期して制御するレーザコントローラと、を備えるレーザ装置。