固定子に対して可動子を水平な第1方向に相対的に駆動して位置決めするリニアモータと、前記可動子に設けられ対象物を垂直方向に相対的に駆動して位置決めするアクチュエータと、を備え、前記固定子への前記可動子の投影面において、前記第1方向に直交する第2方向の寸法を、前記第1方向の寸法と等しくまたは大きく設定した位置決め装置。前記第2方向が前記垂直方向であり、前記可動子の前記第1方向の寸法がLで前記垂直方向の寸法がWであり、W/L≧2としたことを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。前記可動子を電機子とし、前記固定子を界磁として構成し、前記電機子と前記界磁を、前記第2方向において3列に分割し、各列間の前記第1方向のずれを電気角120度もしくは240度としたことを特徴とする請求項1または2に記載の位置決め装置。前記第2方向が、前記垂直方向に直交することを特徴とする請求項1または3に記載の位置決め装置。前記垂直方向に沿って配置した2つの前記固定子の間に前記可動子を配置したことを特徴とする請求項4に記載の位置決め装置。前記固定子に、前記可動子および前記アクチュエータを複数台設置したことを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の位置決め装置。前記アクチュエータを前記可動子に複数台設置したことを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の位置決め装置。前記対象物の前記垂直方向周りの回転方向の位置決めを行うθアクチュエータを前記アクチュエータと連結させたことを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の位置決め装置。前記アクチュエータを、前記垂直方向周りの回転方向と前記垂直方向とに前記対象物を位置決め可能な一体のθZアクチュエータとして構成したことを特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の位置決め装置。上記した位置決め装置のリニアモータは、Z方向寸法に比べX方向寸法の大きな、一般的なものである。よって、X方向ストロークが比較的短い用途、また、X方向ストローク上に複数台のスライダを配置して構成する用途では、ストローク長の割にリニアモータ長の占める割合が大きく、位置決め装置が大形化する問題があった。さらに、負荷を垂直Z方向に位置決めするアクチュエータを搭載した位置決め装置では、アクチュエータのX方向寸法に対し、リニアモータのX方向寸法が圧倒的に大きかった。そのため、スライダ上に無駄なスペースが生じ、位置決め装置が大形化した。したがって、本発明は小形化された位置決め装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、固定子に対して可動子を水平な第1方向に相対的に駆動して位置決めするリニアモータと、前記可動子に設けられ対象物を垂直方向に相対的に駆動して位置決めするアクチュエータと、を備え、前記固定子への前記可動子の投影面において、前記第1方向に直交する第2方向の寸法を、前記第1方向の寸法と等しくまたは大きく設定した位置決め装置が適用される。本発明によると、位置決め装置を小形化することができる。以下、本実施の形態について図を参照して説明する。なお、同一の構成については同一の符号を付することにより、重複説明を適宜省略する。<第1実施形態>まず、図1を参照しつつ、本発明の第1実施形態に係る位置決め装置の構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る位置決め装置100の斜視図である。図1に示すように、本実施形態に係る位置決め装置100は、スライダ110をリニアモータ200によって水平な第1方向であるX方向に移動させ、さらに、シャフト301の先端に保持された対象物である負荷図示なしをアクチュエータ300によって垂直方向であるZ方向に移動させることで、負荷をX、Z方向に位置決めするものである。スライダ110はリニアモータ200の可動子210と、可動子210上に取り付けられたスライダテーブル120と、スライダテーブル120上に取り付けられたアクチュエータ300から構成されている。リニアモータ200はX-Z平面をギャップ面としており、可動子210がギャップを挟んでリニアモータ200の固定子220と対向している。可動子210がX方向に推力を発生させた際に、スライダ110が固定子220と相対的に移動できるように、スライダテーブル120には直動転がり軸受図示なしが上下に取り付けられている。すなわち、上下に配置された直動案内手段としての直動転がり軸受の間に可動子210が配置されている。ここで、リニアモータ200は例えば可動子210が電機子、固定子220が永久磁石の界磁として構成された永久磁石形リニア同期モータである。アクチュエータ300は回転モータと回転運動を直動運動に変換するボールねじ等の組合せによる電動シリンダである。アクチュエータ300として、リニアモータ200と同じ原理を有し、よりZ方向駆動に適した構造に変形したリニアモータを採用しても良い。また、アクチュエータ300として、空気圧によって駆動されるエアシリンダを採用しても良い。アクチュエータ300の下部からは、Z方向に移動するシャフト301が突き出しており、シャフト301の先端に負荷が取付けられている。以上のように構成されたスライダ110は、固定子220上に2台設けられている。2台のスライダ110はX方向に独立した位置決めを行うことができる。以上のように構成された位置決め装置100においては、リニアモータ200の可動子210のX方向寸法をL、Z方向寸法をWとした場合、W/L≧1として構成した。すなわち、固定子220への可動子210の投影面つまりギャップ面であり、本実施形態の場合はX-Z平面において、第1方向であるX方向に直交する第2方向本実施形態の場合は垂直方向であるZ方向の寸法Wを、第1方向であるX方向の寸法Lと等しくまたは大きく設定した。つまり、リニアモータ200の可動子210を前後に幅狭く、上下に幅広い形状としている。望ましくは、W/L≧2となっている。このような可動子210の形状は、Z方向に長いアクチュエータ300と概ね同じ形状である。よって、スライダ110全体も前後に幅狭く、上下に幅広い形状を成している。なお、可動子210をただ前後X方向に幅狭くすると、推力発生面積が減るために推力が低下してしまう。そのため、上下Z方向に幅広くすることで推力発生面積を確保し、所定の推力を発生できるようにしている。つまり、可動子210の形状は単なる設計変更ではなく、アクチュエータ300の形状に合わせるとともに推力低下を起こすことがないように形状を工夫したものである。以上説明したように、本実施形態に係る位置決め装置100は、スライダ110を前後に幅狭い形状にすることができるので、所定のX方向ストロークを確保しつつ、位置決め装置100のX方向寸法を小さくすることができる。特に、X方向ストロークが短い用途やスライダ110を複数台設ける用途では、スライダ110を前後に幅狭くした効果が大きく、位置決め装置100を大幅に小形化することができる。さらに、アクチュエータ300と可動子210の形状が概ね同じであることから、スライダ110から無駄なスペースを無くすことができる。つまり、スライダ110の空間体積を小さくでき、ひいては位置決め装置100を小形化することができる。<第2実施形態>次に、図2を参照しつつ、本発明の第2実施形態に係る位置決め装置101について説明する。図2は本発明の第2実施形態に係る位置決め装置101の斜視図である。この第2実施形態に係る位置決め装置101は、第1実施形態とは形状が異なるリニアモータ400を有するが、他の構成は同様に構成される。従って、以下では、説明の便宜上、重複説明を適宜省略し、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。スライダ111はリニアモータ400の可動子410と、可動子410上に取り付けられたスライダテーブル120と、スライダテーブル120上に取り付けられたアクチュエータ300から構成されている。リニアモータ400はX-Y平面YはX方向と直交する水平方向をギャップ面としており、可動子410は上下に設けられたギャップを挟んで2つの固定子420と対向している。ここで、リニアモータ400は可動子410を電機子、固定子420を永久磁石の界磁として構成された永久磁石形リニア同期モータであり、上下にギャップ面を有することから、可動子410と固定子420の間に発生する磁気吸引力を相殺している。その他の構造については第1実施形態と同じである。以上のように構成された位置決め装置101において、第1実施形態と異なる点は、X方向に直交する第2方向が、垂直方向にも直交するY方向である点、垂直方向に沿って配置した2つの固定子420の間に可動子410を配置した点などである。リニアモータ400の可動子410のX方向寸法をL、Y方向寸法をHとした場合、H/L≧1として構成されている。すなわち、固定子220への可動子210の投影面つまりギャップ面であり、本実施形態の場合はX-Y平面において、第1方向であるX方向に直交する第2方向本実施形態の場合は、垂直方向であるZ方向にも直交するY方向の寸法Hを、第1方向であるX方向の寸法Lと等しくまたは大きく設定した。本実施形態のリニアモータ400の可動子410は、第1実施形態に比べるとコンパクトな形状となっている。可動子410のX方向寸法は、アクチュエータ300のX方向寸法と概ね同じである。よって、スライダ111もコンパクトな形状を成している。また、第2実施形態ではH/L≧1としているが、第2実施形態は推力発生面が2面あるために、片面に置き換えた場合、H寸法を2倍として2H/L≧2と考えることができる。つまり、第1実施形態で望ましくはW/L≧2としたものと同じ推力発生面積となるように設定している。このように構成することで、スライダ111をコンパクトな形状にすることができるので、第1実施形態と同様に、所定のX方向ストロークで構成された位置決め装置101のX方向寸法を小さくすることができる。特に、X方向ストロークが短い用途やスライダ111を複数台設ける用途では、位置決め装置101を大幅に小形化することができる。<第3実施形態>次に、図3を参照しつつ、本発明の第3実施形態に係る位置決め装置102について説明する。図3は本発明の第3実施形態に係る位置決め装置102の斜視図である。この第3実施形態に係る位置決め装置102は、第1、第2実施形態とは形状の異なるアクチュエータ500を有するが、他の構成は同様に構成される。従って、以下では、説明の便宜上、重複説明を適宜省略し、第1実施形態と異なる点を中心に説明することとする。スライダ112はスライダテーブル120上に取り付けられた4台のアクチュエータ500から構成されている。アクチュエータ500は第1実施形態におけるアクチュエータ300に比べX方向寸法が小さく設計されている。アクチュエータ500の4台分のX方向寸法が可動子210のX方向寸法と概ね同じになっている。その他の構成については第1実施形態と同じである。このように構成することで、第1実施形態と同様に、位置決め装置102を小形化することができる。さらには、1台のスライダ112上に複数台のアクチュエータ500を搭載しているので、より多くの負荷を位置決めするのに有効なものになっている。<第4実施形態>次に、図4を参照しつつ、本発明の第4実施形態に係る位置決め装置103について説明する。図4は本発明の第4実施形態に係る位置決め装置103の斜視図である。この第4実施形態に係る位置決め装置103は、第1実施形態のアクチュエータ300のシャフト301の先端にθアクチュエータ600を配置させた点で、第1実施形態に係る位置決め装置100と異なり、他の構成は同様に構成される。従って、以下では、説明の便宜上、重複説明を適宜省略し、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。スライダ113はスライダテーブル120上に取り付けられたアクチュエータ300と、アクチュエータ300のシャフト301に取り付けられたθアクチュエータ600から構成されている。θアクチュエータ600はアクチュエータ300とX方向寸法がほぼ同じであり、Z方向に移動するシャフト301をZ方向周りの回転θ方向にトルクを伝達する電磁部と機構部を備えたものである。θアクチュエータ600の下部からはシャフト601が突き出しており、シャフト601の先端には、対象物としての負荷図示なしが取り付けられている。このように構成された位置決め装置103は、負荷をリニアモータ200によってX方向に、アクチュエータ300によってZ方向に、θアクチュエータ600によってθ方向に位置決めすることができる。このように構成することで、第1実施形態と同様の効果が得られるとともに、スライダ113上にθアクチュエータ600を搭載しているので、負荷をX、Z方向のみならず、θ方向にも位置決めすることができる。つまり、回転が必要な用途での適用が可能になる。<第5実施形態>次に、図5を参照しつつ、本発明の第5実施形態に係る位置決め装置104について説明する。図5は本発明の第5実施形態に係る位置決め装置104の斜視図である。この第5実施形態に係る位置決め装置104は、第1実施形態のアクチュエータ300の代わりに1台で負荷をZ方向とθ方向に位置決めすることができるθZアクチュエータ700を有する点で、第1実施形態に係る位置決め装置100と異なり、他の構成は同様に構成される。従って、以下では、説明の便宜上、重複説明を適宜省略し、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。スライダ114はスライダテーブル120上に取り付けられたθZアクチュエータ700から構成されている。θZアクチュエータ700の下部からはシャフト701が突き出しており、シャフト701の先端には、対象物としての負荷図示なしが取り付けられている。このように構成された位置決め装置104は、負荷をリニアモータ200によってX方向に、θZアクチュエータ700によってZ方向とθ方向に位置決めすることができる。このように構成することで、第4実施形態と同様に、位置決め装置104を小形化するとともに、負荷をX、Zのみならず、θ方向にも位置決めすることができる。<第6実施形態>次に、図6、7を参照しつつ、本発明の第6実施形態に係るリニアモータ200について説明する。図6は本発明の第6実施形態に係るリニアモータ200の上面図、図7は図6のA-A、B-B、C-Cにおける側面から見た断面図である。この第6実施形態に係るリニアモータ200は、第1から第5実施形態に係る位置決め装置に適用可能なものである。他の構成は同様に構成されるため、以下では、説明の便宜上、重複説明を適宜省略し、リニアモータ200の詳細な構造を中心に説明することとする。なお、第2実施形態に適用される場合は、ZをYと読み替え、WをHと読み替える。リニアモータ200は、電機子とする可動子210と界磁とする固定子220から構成されている。可動子210は電機子コア211a~211c、電機子巻線212a~212c、モールド樹脂213から構成されている。電機子コア211a~211cと電機子巻線212a~212cはZ方向に3分割され、上から電機子コア211aと電機子巻線212a、電機子コア211bと電機子巻線212b、電機子コア211cと電機子巻線212cの組合せで構成されている。電機子コア211aには3本のティースが形成されており、そのティースに3相の電機子巻線212aが巻回されている。電機子コア211b、211cについては同様に形成されているが、電機子巻線212b、212cについては相順の異なる並びとなっている。電機子巻線212aは左からW、U、V相、電機子巻線212bは左からV、W、U相、電機子巻線212cは左からU、V、W相の順に並んでいる。つまり、電気的に120度ずれたような構造となっている。このような構造の電機子コア211a~211cと電機子巻線212a~212cとが、モールド樹脂213によって一体に形成されている。一方、固定子220はヨーク221と永久磁石222a~222cから構成されている。永久磁石222a~222cはZ方向に3列に配置され、上から永久磁石222a、永久磁石222b、永久磁石222cとなっている。永久磁石222aはN極とS極の磁極が交互に現れるように所定のピッチ図6では18mmで並べられている。永久磁石222b、222cも同様に並べられているが、永久磁石222aに対し12mmずつシフトして並べられている。つまり、18mmが電気角180度であるため、永久磁石222aを基準として永久磁石222bが120度、永久磁石222cがさらに120度ずれたことなる。ここで、電機子巻線212a~212cは永久磁石222a~222cの120度ずれに合わせて相順が入れ替えられているため、ずらしたことによる鎖交磁束数の低下が起きず、所定の推力を発生できるようになっている。また、可動子210のX方向寸法をL、Z方向寸法をWとした場合、第6実施形態におけるリニアモータ200の形状はW/L=4になっている。つまり、W/L≧2を十分超える形状に設定されている。このような構成とすることで、可動子210を取り付けたスライダ110を前後に幅狭い形状にでき、位置決め装置100、102、103、104のX方向寸法を小さくすることができる。さらに、リニアモータ200をZ方向に3分割して120度ずつ位相差を有する構造とすることで、可動子210と固定子220の間で発生するコギング力を相殺することができる。つまり、発生推力を低下させることなくコギング力を低減できるため、位置決め装置100の位置決め性能を何ら落とすことなく小形化を実現することができる。以上、本発明の実施形態について説明した。ただし、いわゆる当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、上記実施形態から適宜変更が可能であり、また、上記実施形態と変更例による手法を適宜組み合わせて利用することも可能である。すなわち、このような変更等が施された技術であっても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない実施形態において、リニアモータの構造が電機子コアを有するものとして説明したが、電機子コアのない、いわゆるコアレス形であっても本発明が成り立つことは言うまでもない。また、リニアモータをZ方向に3分割した際に120度の位相差となるようにずらしたが、240度であっても良い。また、リニアモータの固定子上にスライダを2台設ける構成として説明したが、1台あっても良いし、3台以上であっても良い。また、θアクチュエータやθZアクチュエータはスライダに1台ずつ設ける構成として説明したが、スライダ上に複数台設ける構成であっても良い。