被加工物を予熱する予熱部と、前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部と、を備え、前記予熱部は、予熱ヒータと、前記予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の支持部材をそれぞれ上下させる支持制御部と、を有することを特徴とするラミネート装置。被加工物を予熱する予熱部と、前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部と、を備え、前記予熱部は、複数の加熱部を有する予熱ヒータと、前記予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、前記複数の支持部材の先端の温度を測定する複数の温度センサと、前記複数の温度センサによる測定結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する温度制御部と、を有することを特徴とするラミネート装置。被加工物を予熱する予熱部と、前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部と、を備え、前記ラミネート部は、複数の加熱部を有するヒータと、前記ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、前記複数の支持部材の先端の温度を測定する複数の温度センサと、前記複数の温度センサによる測定結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する温度制御部と、を有することを特徴とするラミネート装置。被加工物を予熱する予熱工程と、前記予熱工程で予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート工程と、を備え、前記予熱工程は、予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように複数の支持部材で前記被加工物を支持する工程と、前記複数の支持部材の先端の温度を測定する工程と、前記測定された結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の支持部材をそれぞれ上下させる工程と、を有することを特徴とするラミネート方法。被加工物を予熱する予熱工程と、前記予熱工程で予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート工程と、を備え、前記予熱工程は、複数の加熱部を有する予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように複数の支持部材で前記被加工物を支持する工程と、前記複数の支持部材の先端の温度を測定する工程と、前記測定された結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する工程と、を有することを特徴とするラミネート方法。被加工物を予熱する予熱工程と、前記予熱工程で予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート工程と、を備え、前記ラミネート工程は、複数の加熱部を有するヒータの上方に前記被加工物が位置するように複数の支持部材で前記被加工物を支持する工程と、前記複数の支持部材の先端の温度を測定する工程と、前記測定された結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する工程と、を有することを特徴とするラミネート方法。一方、太陽電池モジュールを樹脂で封止するラミネート装置において、被加工物である太陽電池モジュールをラミネート部のヒータで急激に加熱をすると、太陽電池モジュールにおけるガラス基板に上向きの反りが発生する。この反りを抑制するために、ラミネート部前段に予熱部を設け、予熱部で予め被加工物を予熱してからラミネート部に搬入する。このとき、被加工物である太陽電池モジュールの大型化に伴い、予熱部における搬送コンベアに配置された予熱ヒータ内の複数の加熱部の設定温度が一様である場合、太陽電池モジュールにおけるガラス基板の中央部と外周部との間に温度差が生じ、太陽電池モジュールの外周部が搬送コンベアより浮き上がることがある。すなわち、予熱部による予熱によっても既に被加工物太陽電池モジュールに反りが生じることがある。反りが残ったまま被加工物太陽電池モジュールがラミネート部で加熱狭圧処理されると、ガラス基板等に対して反りを矯正する力が加わることとなり、ガラス基板の破損など太陽電池モジュールにおける破損が発生する傾向にある。また、太陽電池モジュールの端部の部分的な加熱温度不足が発生して、ガラスと樹脂保護フィルムとの間の未接着等が起こることがある。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、予熱部による予熱に起因した被加工物の反りを抑制できるラミネート装置及びラミネート方法を得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の1つの側面にかかるラミネート装置は、被加工物を予熱する予熱部と、前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部とを備え、前記予熱部は、予熱ヒータと、前記予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、前記被加工物における温度分布が均一になるように、前記複数の支持部材をそれぞれ上下させる支持制御部とを有することを特徴とする。本発明によれば、複数の支持部材により被加工物と予熱ヒータとの接触被接触を制御するので、予熱部において被加工物が急加熱されることを低減でき、急加熱による被加工物における温度分布の不均一性を低減でき、被加工物の反りを抑制できる。すなわち、予熱部による予熱に起因した被加工物の反りを抑制できる。以下に、本発明にかかるラミネート装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる。実施の形態1.実施の形態1にかかるラミネート装置100について説明する。ラミネート装置100は、被加工物10のラミネート加工を行う前に被加工物10を予熱するが、その予熱の際における被加工物10の面内温度分布を均一化するための機能を有する。ラミネート装置100で取扱う被加工物10は、例えば太陽電池モジュールであり、図1に示すような構成を有する。被加工物10例えば、太陽電池モジュールでは、ガラス基板11、樹脂封止材12、太陽電池アレイ15、樹脂封止材16、保護シート材17が順に積層されている。樹脂封止材12は、シート状であり、例えばエチレンビニルアセテートEVAなどのラミネート加工可能な材料で形成されている。太陽電池アレイ15では、複数の太陽電池セル13が複数のリード線14を介して直列に接続された太陽電池ストリングが例えば図1における奥行き方向に配列されている。樹脂封止材16は、シート状であり、例えばエチレンビニルアセテートEVAなどのラミネート加工可能な材料で形成されている。保護シート材17は、例えばポリエチレン樹脂などで形成されている。被加工物10では、例えばガラス基板11が最下層とされ、保護シート材17が最上層とされる。ラミネート装置100は、図2に示すように、搬入部予熱部120、ラミネート部130、及び搬出部140を備える。図2は、ラミネート装置100の正面図である。搬入部120は、ラミネート部130の図2中左側に配され、ラミネート加工すべき被加工物10をラミネート部130に搬入する。搬出部140は、ラミネート部130の図2中右側に配され、ラミネート加工された被加工物10をラミネート部130から搬出する。具体的には、搬入部120は、搬入コンベアCV1の駆動ローラ122、123を回転させ加工前の被加工物10を搬送ベルト121により、ラミネート部130の搬送コンベアCV2の搬送ベルト131上へ搬入する。また、搬出部140は、搬出コンベアCV3の駆動ローラ142、143を回転させラミネート部130から加工後の被加工物10を搬送ベルト141を介して搬出する。搬入部120では、一度にラミネート処理する被加工物10の数に応じて搬入コンベアCV1を複数個配置しても良く、その各々の搬入コンベアCV1にラミネート部130へ供給する前に被加工物10を予熱することができる予熱ヒータ126を配置し、コンベア毎に個別に予熱ヒータ126の温度設定が可能な機構とする。図3は、搬入コンベアCV1の1ユニット分の正面図である。搬入コンベアCV1下部に備えられた予熱ヒータ126により、被加工物10をラミネート部130へ搬入する前に予熱を行う。すなわち、ラミネート部130のヒータ板136による急激な加熱処理における被加工物10のガラス基板11の反りを緩和し、被加工物10におけるガラス基板11の破損、太陽電池セル13の破損などを抑制することを目的として、予熱ヒータ126は、ラミネート加工前の被加工物10を予熱する。予熱ヒータ126は、複数の加熱部1261-1~1261-p図4参照を有する。この予熱工程においても、予熱ヒータ126における複数の加熱部1261-1~1261-pに対して一様な温度設定で加熱を行うと、被加工物10のガラス基板11の中央部と外周部とに温度差が生じ、上向きの反りが発生する傾向にある。また、複数個ある搬入コンベアCV1のうち、先頭の搬入コンベアCV1上の被加工物10と中間、最終の搬入コンベアCV1a、CV1b上の被加工物10との間での温度差が生じる傾向にある。そこで、本実施の形態では、予熱ヒータ126から被加工物10を持ち上げる機構として複数の支持部材127-1~127-k図4参照を設ける。複数の支持部材127-1~127-kは、被加工物10を安定して支持できるように、例えば2次元的に配されている。各支持部材127は、例えば、ピン形状を有しており、予熱ヒータ126に設けられた孔内を上下に移動可能である。すなわち、搬入部予熱部120は、搬入コンベアCV1、予熱ヒータ126、複数の支持部材127-1~127-kを有しているとともに、複数の支持部材127-1~127-kを駆動制御する支持制御部125も有している。支持制御部125は、被加工物10の温度が所定温度を超えて上昇することの無いように被加工物10と予熱ヒータ126との接触非接触を調整することができる。この所定温度は、例えば、被加工物10における温度分布の不均一性が許容範囲内に収まるものとして予め実験的に取得されたものである。図3aは、支持制御部125が複数の支持部材127を全て下降させた状態を示し、図3bは、支持制御部125が複数の支持部材127を全て上昇させた状態を示す。支持制御部125が被加工物10と予熱ヒータ126との接触非接触の状態を制御することで、被加工物10のガラス基板11における温度分布のむらを緩和できるとともに、一度にラミネート部130へ搬入する複数の被加工物10間の温度差も少なくすることができる。具体的には、図4に示すように、複数の支持部材127-1~127-kは、予熱ヒータ126全面に適当な間隔で形成された複数の孔内に配置される。また、各支持部材127-1~127-kの先端には、温度センサ129-1~129-k図5参照が設けられている。支持制御部125は、被加工物10の温度が所定温度を超えて上昇した場合に、支持部材127-1~127-kを上昇させて被加工物10を予熱ヒータ126から持ち上げて非接触の状態とし、被加工物10の温度が所定温度より低下した場合に、支持部材127-1~127-kを下降させて被加工物10を予熱ヒータ126の上面に接触した状態とする。これにより、被加工物10における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。なお、支持制御部125は、被加工物10の温度として、複数の温度センサ129-1~129-kによる測定温度の平均値を用いても良いし、複数の温度センサ129-1~129-kから選択された1つの温度センサの測定温度を用いても良い。また、支持制御部125は、複数の温度センサ129-1~129-kと複数の支持部材127-1~127-kとの対応関係を把握しており、複数の温度センサ129-1~129-kによる測定温度に応じて複数の支持部材127-1~127-kを個別に上下させることができる。これにより、支持制御部125は、被加工物10における温度の低い部分を予熱ヒータ126に接触させ被加工物10における温度の高い部分を予熱ヒータ126に対して被接触とすることも可能であり、被加工物10における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。また、図4に示すように、予熱ヒータ126は、複数の加熱部1261-1~1261-pに分割されている。複数の加熱部1261-1~1261-pは、例えば複数の温度センサ129-1~129-kに対応するように例えば2次元的に分割されている。搬入部予熱部120は、複数の加熱部1261-1~1261-pによる予熱ヒータ温度を個別に設定することができる機構として図5に示す温度制御部128を有する。温度制御部128は、ガラス基板11の温度分布にむらが生じて反りが大きくなる前に、複数の温度センサ129-1~129-kによる測定結果に基づいて、ガラス基板11の温度分布のむらを補正するように、複数の加熱部1261-1~1261-pによる予熱ヒータ温度を個別に制御することができる。例えば、温度制御部128は、ガラス基板11の外周部を高く、ガラス基板11の中央部を低い温度設定とすることができる。具体的には、図5に示すように、予熱ヒータ126から持ち上げられた被加工物10には支持部材127が接触していることから、複数の支持部材127-1~127-kの先端部分には、それぞれ温度センサ129-1~129-kが埋め込まれるなどして設けられている。温度センサ129-1~129-kは、例えば、熱電対や抵抗温度計などである。温度制御部128は、複数の温度センサ129-1~129-kに対応した複数の温度制御装置1282-1~1282-kを有するとともに、複数の温度制御装置1282-1~1282-kを統括的に制御する主制御装置1281を有している。複数の温度制御装置1282-1~1282-kは、複数の温度センサ129-1~129-kによる測定結果から測定温度を求めて主制御装置1281へ供給する。主制御装置1281は、複数の温度センサ129-1~129-kと複数の加熱部1261-1~1261-pとの対応関係を把握しており、複数の温度センサ129-1~129-kによる測定温度に応じて複数の加熱部1261-1~1261-pによる予熱ヒータ温度を個別に設定することができる。これにより、温度制御部128は、被加工物10における温度の低い部分に対応した加熱部による予熱ヒータ温度を高く設定し被加工物10における温度の高い部分に対応した加熱部による予熱ヒータ温度を低く設定することも可能であり、被加工物10における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。すなわち、複数の温度センサ129-1~129-kで測定された被加工物10の場所毎に異なる温度を、複数の加熱部1261-1~1261-pの設定温度を決めるための情報として、温度制御装置1282を介して主制御装置1281へフィードバックする。これにより、被加工物10のガラス基板11の反りに応じて、それを打ち消し補正するような主制御装置1281による予熱温度設定が可能となり、予熱工程における被加工物10の反りを緩和できる。次に、ラミネート部130におけるラミネート加工の処理について図6を用いて説明する。ラミネート部130は、被加工物10のラミネート加工を行なう。ラミネート部130は、上チャンバー部132と下チャンバー部133とに分かれており、図6aに示すように上チャンバー部132を開いた状態で、下チャンバー部133のヒータ板136上に、搬送ベルト131により被加工物10を搬入する。次に、上チャンバー部132と下チャンバー部133とを重ねて、吸排気口1321および吸排気口1335を介して内部を減圧しながら被加工物10を加熱する。その後、上チャンバー部132を大気開放することにより、図6bに示すように上チャンバー部132に備えられたダイアフラムシート1323が膨張し、被加工物10太陽電池モジュールはヒータ板136上で上シート1324を介して挟圧される。このとき、上記した予熱が適用されていると、ラミネート処理前に十分に被加工物10の反りを緩和できているため、被加工物10のガラス基板11の破損、被加工物10内部の太陽電池セル13の破損などを抑制できる。また、被加工物10のガラス基板11の端部における部分的な加熱温度不足によるガラス基板11と樹脂封止材12、保護シート材17との間の未接着等を防ぐことができる。これにより、ラミネート加工前の被加工物10の状態を例えば一定に保つことができるため、ラミネート加工後の品質を安定化させることができる。ヒータ板136上で樹脂封止材12が溶融しながら減圧されることで、被加工物10内部の気泡を抜きながら樹脂封止材12により密閉封止され、ラミネート加工が完了する。以上のように、実施の形態1では、まず予熱ポジションにある被加工物10を上下させることができる複数の支持部材例えば、複数の支持ピン127を設け、複数の支持部材127により被加工物10と予熱ヒータ126との接触被接触を制御する。これにより、搬入部予熱部120において被加工物10が急加熱されることを低減でき、急加熱による被加工物10における温度分布の不均一性を低減でき、被加工物10の反りを抑制できる。すなわち、搬入部予熱部120による予熱に起因した被加工物10の反りを抑制できる。また、実施の形態1では、各支持部材127の先端に温度センサ129を設け、被加工物10の温度を複数個所で測定し、測定された複数個所の温度に応じて、被加工物10の温度の面内不均一を補正するように、予熱ヒータ126内で互いに分割された複数個の加熱部1261-1~1261-pの設定温度を場所毎に制御する。これにより、被加工物10における温度分布のむらを低減でき、被加工物10の反りを抑制できる。すなわち、搬入部予熱部120による予熱に起因した被加工物10の反りを抑制できる。なお、予熱に用いられる予熱ヒータは、被加工物の下側から加熱するものに限定されず、例えば、被加工物の上側から加熱するもの例えば、ランプヒータなどであっても良いし、被加工物の上下両側から加熱するものであってもよい。実施の形態2.次に、実施の形態2にかかるラミネート装置について説明する。以下では、実施の形態1と異なる部分を中心に説明する。実施の形態2にかかるラミネート装置では、ヒータ内部に支持部材を設け、支持部材の先端部分に温度センサを設けて被加工物10の温度を測定し、測定箇所近傍のヒータ設定温度を制御する方法および機構を、ラミネート部130iのヒータ板136iにも適用する。具体的には、ヒータ板136iは、複数の加熱部1361i-1~1361i-pに分割されている。ラミネート部130iは、複数の加熱部1361i-1~1361i-pによるヒータ温度を個別に設定することができる機構として図7に示す温度制御部138iを有する。温度制御部138iは、ガラス基板11の温度分布にむらが生じて反りが大きくなる前に、複数の温度センサ139i-1~139i-kによる測定結果に基づいて、ガラス基板11の温度分布のむらを補正するように、複数の加熱部1361i-1~1361i-pによるヒータ温度を個別に制御することができる。具体的には、図7に示すように、被加工物10には支持部材137iが接触していることから、複数の支持部材137i-1~137i-kの先端部分には、それぞれ温度センサ139i-1~139i-kが埋め込まれるなどして設けられている。温度センサ139i-1~139i-kは、例えば、熱電対や抵抗温度計などである。温度制御部138iは、複数の温度センサ139i-1~139i-kに対応した複数の温度制御装置1382i-1~1382i-kを有するとともに、複数の温度制御装置1382i-1~1382i-kを統括的に制御する主制御装置1381iを有している。複数の温度制御装置1382i-1~1382i-kは、複数の温度センサ139i-1~139i-kによる測定結果から測定温度を求めて主制御装置1381iへ供給する。主制御装置1381iは、複数の温度センサ139i-1~139i-kと複数の加熱部1361i-1~1361i-pとの対応関係を把握しており、複数の温度センサ139i-1~139i-kによる測定温度に応じて複数の加熱部1361i-1~1361i-pによる予熱ヒータ温度を個別に設定することができる。これにより、温度制御部138iは、被加工物10における温度の低い部分に対応した加熱部によるヒータ温度を高く設定し被加工物10における温度の高い部分に対応した加熱部によるヒータ温度を低く設定することも可能であり、被加工物10における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。すなわち、複数の温度センサ139i-1~139i-kで測定された被加工物10の場所毎に異なる温度を、複数の加熱部1361i-1~1361i-pの設定温度を決めるための情報として、温度制御装置1382iを介して主制御装置1381iへフィードバックする。これにより、被加工物10のガラス基板11の反りに応じて、それを打ち消し補正するような主制御装置1381iによる加熱温度設定が可能となり、ラミネート工程においても、被加工物10の反りを緩和できる。