測定対象領域を一定方向に向かって通過するパーティクルを計数するパーティクル計数装置であって、a測定対象領域に光を照射する光照射手段と、b前記測定対象領域に光が照射されたときに生じる散乱光を検出する散乱光検出手段と、c前記散乱光検出手段から順次出力される検出信号を予め定められた閾値と比較し、検出信号が前記閾値を超えてから再び該閾値を下回るまでを1つのパーティクル由来の信号と判定してパーティクルの計数を行うパーティクル計数手段と、を有することを特徴とするパーティクル計数装置。更に、d前記検出信号が前記閾値を超えてから再び該閾値を下回るまでの間における検出信号の最大値に基づいてパーティクルの粒径を算出する粒径算出手段、を有することを特徴とする請求項1に記載のパーティクル計数装置。更に、e前記検出信号が前記閾値を超えてから再び該閾値を下回るまでの時間と、パーティクルの通過方向に沿った前記測定対象領域の長さとに基づいてパーティクルの通過速度を算出する通過速度算出手段、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のパーティクル計数装置。しかしながら、上記従来のパーティクル計数装置では、上記のパーティクル判定時間の間に実際に複数のパーティクルが測定対象領域を通過した場合でも、1つのパーティクルが通過したものとして扱われることとなる。そのため、パーティクルの計数結果や、粒径の算出結果、及び通過速度の算出結果が不正確になる場合があった。本発明は上記の点に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、パーティクルの計数、及びパーティクルの粒径や通過速度の推定をより正確に行うことのできるパーティクル計数装置を提供することにある。測定対象領域を一定方向に向かって通過するパーティクルを計数するパーティクル計数装置であって、a測定対象領域に光を照射する光照射手段と、b前記測定対象領域に光が照射されたときに生じる散乱光を検出する散乱光検出手段と、c前記散乱光検出手段から順次出力される検出信号を予め定められた閾値と比較し、検出信号が前記閾値を超えてから再び該閾値を下回るまでを1つのパーティクル由来の信号と判定してパーティクルの計数を行うパーティクル計数手段と、を有することを特徴としている。また、上記本発明に係るパーティクル計数装置は、更に、d前記検出信号が前記閾値を超えてから再び該閾値を下回るまでの間における検出信号の最大値に基づいてパーティクルの粒径を算出する粒径算出手段、を有するものとすることが望ましい。また、上記本発明に係るパーティクル計数装置は、更に、e前記検出信号が前記閾値を超えてから再び該閾値を下回るまでの時間と、パーティクルの通過方向に沿った前記測定対象領域の長さとに基づいてパーティクルの通過速度を算出する通過速度算出手段、を有するものとすることが望ましい。上記のような構成を有する本発明に係るパーティクル計数装置によれば、散乱光検出器からの検出信号が閾値を超えてから再び該閾値を下回るまでを1つのパーティクルに由来する信号として扱うため、短時間に複数のパーティクルが測定対象領域を通過した場合でも、パーティクルの計数、及びパーティクルの粒径や通過速度の算出を正確に行うことができる。以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るパーティクル計数装置の概略構成図である。パーティクル計数装置は、大きく分けて検出部100と制御/処理部200から構成されている。図1及び図2に示すように、検出部100は例えば半導体製造装置の排気管122の途中に設けられている。排気管122内は真空状態ないし真空に近い状態になっており、図2において紙面と垂直な方向に例えば紙面手前側から裏側に向かってパーティクルPが流れてくるようになっている。検出部100は、排気管122の壁面に対向配置される光入射窓124と光出射窓126、前記光入射窓124から光出射窓126に向かってレーザ光を照射する光照射部128、前記レーザ光の照射方向と略直交する方向の排気管122の壁面に設けられた検出窓130、前記レーザ光の照射方向に延伸したスリット137を有する遮光板136、検出窓130及びスリット137を通過した散乱光を検出する散乱光検出器132、検出窓130と散乱光検出器132との間に配置された集光レンズ134、等を備えている。光照射部128は、半導体レーザ素子等の光源129と、この光源129が照射するレーザ光をシート状の光に変換するレンズ図示せずから成る。光照射部128から照射されたシート状の光は光入射窓124から排気管122内に入射し、排気管122内真空領域を通過する。これにより排気管122内の矩形シート状の測定対象領域140に光が照射され、当該領域140を通過するパーティクルによって散乱光が発生する。前記測定対象領域140で発生した散乱光のうち検出窓130及びスリット137を通過した散乱光は集光レンズ134によって散乱光検出器132に集光される。散乱光検出器132が検出した散乱光はそこで電気信号に変換され、この電気信号は制御/処理部200に設けられた信号処理部210に入力される。信号処理部210は、散乱光検出器132からの検出信号に基づいて所定の処理を行うものであり、パーティクルの計数を行う計数部211と、パーティクルの粒径を算出する粒径算出部212と、パーティクルの通過速度を算出する通過速度算出部213とを備えている。制御/処理部200は、更に、検出部100及び信号処理部210の動作を制御する制御部220と、操作ボタンやキーボードを備えた入力部230と、モニタ等から成る表示部240と、信号処理部210における処理結果や入力部230を用いて設定された測定条件等を記憶する記憶部250とを備えている。なお、制御/処理部200は、専用のハードウェアによって構成してもよく、所定の制御/処理用のソフトウェアを搭載したパーソナルコンピュータによって構成してもよい。また、専用のハードウェアとパーソナルコンピュータを組み合わせて成るものとしてもよい。次に、本実施形態のパーティクル計数装置の動作について説明する。まず、ユーザが入力部230から測定に必要なパラメータサンプリング周波数、閾値電圧、測定時間等を設定して測定の開始を指示すると、信号処理部210による検出信号の収集が開始される。即ち、光源129による光の照射によって生じた散乱光が散乱光検出器132によって検出され、その検出信号アナログ電圧が順次、信号処理部210に送出される。信号処理部210に送出された検出信号は計数部211にて閾値電圧と比較される。なお、検出信号は通常は閾値電圧を下回っており、パーティクルによる散乱光が検出されたときに閾値電圧を超えるようになっている。計数部211は、検出信号が一旦閾値電圧を超え、その後再び閾値電圧を下回った時点で1つのパーティクルが通過したと判定する。従って、例えば図3に示すように、閾値電圧を超える時間域図中のA、B、Cが短時間の間に複数出現した場合、従来であれば、これらを纏めて1つのパーティクルとして計数していたところを、本実施形態のパーティクル計数装置では、3個のパーティクルとして計数する。なお、このとき、閾値の設定によっては大粒径のパーティクルによるピークの先割れを複数のパーティクルとカウントしてしまう可能性もあるが、一般に、半導体処理装置の排気等において、ピークの先割れを生じるような大粒径のパーティクルが含まれる割合は僅かであるため、全体としてはパーティクル検出に関する精度を向上させることができる。なお、計数部211は散乱光検出器132からの検出信号をデジタル信号に変換し、該デジタル信号に基づいてパーティクルの計数を行うものとしてもよい。この場合、図3の検出信号は、閾値以上であればハイH、閾値未満であればローLとして二値化され、図4のような信号となる。そして、該信号上の1つのパルス信号がハイ状態になってから再びロー状態となるまでの領域が1つのパーティクルとして計数される。また、散乱光検出器132からの検出信号は、粒径算出部212にも送出され、ここで各パーティクルに対応した検出信号の強度から該パーティクルの粒径が算出される。このとき、本実施形態に係るパーティクル測定装置では、上述のパーティクル計数の際と同様に、信号強度が閾値を超えてから再び閾値を下回るまでの時間域図中のA、B、Cの各々を、1つのパーティクル由来の散乱光が検出されている時間域として扱い、各時間域における信号強度の最大値図中のAmax、Bmax、Cmaxを各パーティクルに対応した検出信号の強度として決定する。なお、入射光I0がパーティクルに照射されたときに発生する散乱光強度Iscattは以下の式で表される。なお、aはパーティクル半径、λは入射光の波長、nはパーティクルの屈折率、θは入射光の進行方向と散乱光の観測方向のなす角度、rはパーティクルから検出器までの距離を示す。式1より、散乱光強度はパーティクル半径aの6乗に比例し、光の波長λの4乗に反比例することがわかる。散乱光強度は検出部100における検出信号の強度に対応するため、各パーティクルによる検出信号の強度が分かれば、それに基づいて該パーティクルの半径を求めることができる。具体的には、例えば、散乱光検出器132による検出信号の強度とパーティクルの粒径との関係を表した換算式や対応テーブルを予め記憶部250に記憶しておき、粒径算出部212が該換算式又は対応テーブルを参照して前記各パーティクルに対応した信号強度から該パーティクルの粒径を決定する。また更に、散乱光検出器132からの検出信号は、通過速度算出部213にも送出され、ここで測定対象領域140を通過する際の各パーティクルの通過速度が算出される。このとき、本実施形態に係るパーティクル測定装置では、上記同様に、信号強度が閾値を超えてから再び閾値を下回るまでの間図中のA、B、Cを、それぞれ1つのパーティクルが測定対象領域140を通過している時間域と判定し、各時間域の幅すなわち各パーティクルが測定対象領域140を通過するのに要した時間で、パーティクルの流通方向に沿った測定対象領域140の長さすなわち、上記シート状の光の厚さw1、又はスリット137の開口幅w2を除算することにより各パーティクルの通過速度をそれぞれ算出する。上記のような測定及び信号処理が行われている間、表示部240にはパーティクルの通過状況に関する情報例えば、一定時間の間に通過したパーティクルの数やその粒径、通過速度などがリアルタイムで表示される。そして、測定が終了すると、一連の測定結果測定中の各時点におけるパーティクルの通過数や、測定中に通過したパーティクル数の合計、粒径や通過速度の分布などがパーティクル測定ファイルとして記憶部250に格納される。各ファイルにはヘッダー情報が記録され、その下に検出で得られたデータが順に格納される。また、データ取得前に設定したパラメータデータも記憶部250に保存される。記憶部250に保存されたファイルは適宜読み出して表示部240に表示させることができる。以上、本発明を実施するための形態について説明を行ったが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容される。例えば、本発明のパーティクル計数装置における散乱光検出器として、特開2010190814に記載のような複数の検出素子から成るもの例えば、32チャンネルの光電子増倍管を使用し、各素子からの信号を個別に処理することにより、排気管を通過するパーティクルの分布に関する正確な情報を取得できるようにしてもよい。また、本発明のパーティクル計数装置は、本発明の方法図3~5を用いて説明したものによるパーティクルの計数、粒径の算出、及び通過速度の算出と、上記従来方法図5を用いて説明したものによるパーティクルの計数、粒径の算出、及び通過速度の算出の両方を実行可能なものとし、測定を行うに際し、いずれの方法を適用するかをユーザが適宜選択できるようにしてもよい。次に、本発明に係るパーティクル計数装置の効果を確認するために行った実験の結果について説明する。図6及び図7は、同一の信号散乱光検出器132からの検出信号に相当を使用して、従来の方法でパーティクル計数を行った結果図6と、本発明の方法でパーティクルの計数を行った結果図7を示している。図中のグラフはいずれも横軸が信号強度、縦軸がパーティクルの積算個数を表している。前記信号強度はパーティクルの粒径に対応しているため、横軸は右へ行くほど粒径が大きいことになる。これらのグラフを比較すると、図7中の丸で囲んだ部分でパーティクルの検出個数が増加しており、本発明の方法によりパーティクル計数の感度が向上していることがわかる。