チャンバ本体内に配置されたバッキングプレートと、チャンバ本体内に配置され、バッキングプレートに結合されたシャワーヘッドと、バッキングプレートをシャワーヘッドに電気的に結合する1以上のシャワーヘッドサスペンションと、バッキングプレートに結合され、シャワーヘッドサスペンションから離間した導電性ブラケットであって、シャワーヘッドの面に実質的に垂直に配置されたプレートを含む導電性ブラケットと、導電性ブラケットのプレートに接触する第1面と、チャンバ本体に接触する第2面を有する電気絶縁体を含む真空処理チャンバ。処理チャンバはPECVDチャンバであり、PECVDチャンバはバッキングプレートに結合されたRF源を更に含み、電気絶縁体は、セラミックス、アルミナ、又はポリテトラフルオロエチレンを含む請求項1記載の処理チャンバ。導電性ブラケットは、プレートの下端に結合され、プレートに実質的に垂直な下部と、下部に結合され、プレートに平行な垂直拡張部を更に含み、垂直拡張部の長さはプレートの長さよりも短い請求項1記載の処理チャンバ。垂直拡張部は、工具を収容するための切欠きを内部に含む請求項3記載の処理チャンバ。導電性ブラケットは、プレートに結合され、下部に実質的に平行に位置する上部を更に含む請求項3記載の処理チャンバ。導電性ブラケットと電気絶縁体の間には実質的に空間が無く、導電性ブラケットはフレキシブルである請求項3記載の処理チャンバ。導電性ブラケットはアルミニウムを含む請求項1記載の処理チャンバ。処理チャンバであって、チャンバ本体と、チャンバ本体上に位置するチャンバ蓋と、チャンバ蓋に結合されたバッキングプレートと、バッキングプレートに結合されたシャワーヘッドと、バッキングプレートに結合され、シャワーヘッドから離間した導電性ブラケットであって、シャワーヘッドの面に実質的に垂直に位置するプレートと、プレートの下端に結合され、プレートに実質的に垂直な下部と、プレートから延在し、下部と平行に位置する上部を含む導電性ブラケットと、バッキングプレート、チャンバ本体、及びシャワーヘッドに近接して位置するポリテトラフルオロエチレンを含む第1電気絶縁体であって、チャンバ本体に接触する第1面と、導電性ブラケットのプレートに接触する第2面を有する第1電気絶縁体を含む処理チャンバ。第1電気絶縁体と導電性ブラケットのプレートとの間には実質的に空間がない請求項8記載の処理チャンバ。チャンバ本体とバッキングプレートとの間に配置され、電気的に絶縁する第2電気絶縁体を更に含み、導電性ブラケットはアルミニウムである請求項8記載の処理チャンバ。導電性ブラケットの下部と導電性ブラケットのプレートは、互いに直角に接続され、基板処理チャンバはPECVDチャンバである請求項8記載の処理チャンバ。下部に結合された垂直拡張部を更に含む請求項8記載の処理チャンバ。プレート、垂直拡張部、下部、及び上部は、それぞれ貫通して配置された1以上の穴を有する請求項12記載の処理チャンバ。チャンバ本体と、チャンバ本体上に配置された蓋と、チャンバ本体内に配置されたシャワーヘッドと、シャワーヘッドに電気的に結合され、シャワーヘッドの外側で横方向に配置され、シャワーヘッドと離間関係にある導電性ブラケットと、導電性ブラケットに接触して配置され、導電性ブラケットの外側に横方向に位置し、チャンバ本体と接触する電気絶縁体を含む処理チャンバ。シャワーヘッドを蓋に結合するフレキシブルサスペンションを更に含む請求項14記載の処理チャンバ。