"アチソン炉を用いて、粒子内にシリカとカーボンの各々が全体的に分布しており、かつ、B及びPの各々の含有率が1ppm以下である、シリカとカーボンからなる粒子を加熱して、高純度炭化珪素粉末を得る、高純度炭化珪素粉末の製造方法。上記シリカとカーボンからなる粒子が、粒子内のいずれの地点においても、シリカの含有率が90質量以下であり、かつ、カーボンの含有率が10質量以上である、請求項1に記載の高純度炭化珪素粉末の製造方法。上記シリカとカーボンからなる粒子が、Al、Fe、Mg、Ca、及びTiの含有率が、各々、5ppm以下、5ppm以下、5ppm以下、5ppm以下、1ppm以下である、請求項1または2に記載の高純度炭化珪素粉末の製造方法。上記特許文献1及び2に記載された方法には、上述した問題点があった。また、アチソン炉を用いた炭化珪素の製造方法において、従来の珪酸質原料と炭素質原料の混合物は、珪酸質原料の粒子と炭素質原料の粒子が各々独立に存在しているため、特にこれらの粒子の径が大きい場合には、焼成時の反応性が悪く、高純度炭化珪素を製造する際の消費電力量が大きくなるという問題があった。本発明の目的は、アチソン炉を用いて、安価にかつ大量に、しかも安全に高純度炭化珪素粉末を製造するとともに、高純度炭化珪素を製造する際の消費電力量を低減することができる方法を提供することにある。本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、シリカとカーボンからなる特定の粒子の、従来から行われているアチソン炉を用いた加熱によって、上記目的を達成することができることを見出し、本発明を完成した。すなわち、本発明は、以下の[1]~[3]を提供するものである。[1]アチソン炉を用いて、粒子内にシリカとカーボンの各々が全体的に分布しており、かつ、B及びPの各々の含有率が1ppm以下である、シリカとカーボンからなる粒子を加熱して、高純度炭化珪素粉末を得る、高純度炭化珪素粉末の製造方法。[2]上記シリカとカーボンからなる粒子が、粒子内のいずれの地点においても、シリカの含有率が90質量以下であり、かつ、カーボンの含有率が10質量以上である、前記[1]に記載の高純度炭化珪素粉末の製造方法。[3]上記シリカとカーボンからなる粒子が、Al、Fe、Mg、Ca、及びTiの含有率が、各々、5ppm以下、5ppm以下、5ppm以下、5ppm以下、1ppm以下である、前記[1]または[2]に記載の高純度炭化珪素粉末の製造方法。本発明の製造方法によれば、高純度の炭化珪素粉末を安価にかつ大量に、しかも安全に製造することができる。また、アチソン炉を用いて高純度炭化珪素粉末を製造する際の消費電力量を低減することができる。以下、本発明について詳細に説明する。本発明の製造方法で用いられるシリカとカーボンからなる粒子は、粒子内にシリカとカーボンの各々が全体的に分布しており、かつ、ホウ素B及びリンPの各々の含有率が1ppm以下のものである。また、シリカとカーボンの粒子中のアルミニウムAl、鉄Fe、マグネシウムMg、カルシウムCa、及びチタンTiの含有率は、好ましくは、各々、5ppm以下、5ppm以下、5ppm以下、5ppm以下、1ppm以下である。本発明の製造方法で用いられるシリカとカーボンからなる粒子は、粒子内にシリカとカーボンの各々が全体的に分布しているため、焼成時の反応性が高い。具体的には、粒子内のいずれの地点においても、シリカの含有率が好ましくは90質量以下、より好ましくは60~90質量、さらに好ましくは60~80質量、特に好ましくは60~70質量であり、かつ、カーボンの含有率が、好ましくは10質量以上、より好ましくは10~40質量、さらに好ましくは20~40質量、特に好ましくは30~40質量である。不純物B、P等を上記範囲内とすることで高純度の炭化珪素SiC粉末を製造することができる。さらに、本発明のシリカとカーボンからなる粒子中の、シリカとカーボンの合計の含有率は、好ましくは99.0質量以上、より好ましくは99.5質量以上、特に好ましくは99.9質量以上である。本発明のシリカとカーボンからなる粒子の大きさは特に限定されるものではないが、粒子の長径が、通常、500μm以下であり、好ましくは400μm以下であり、より好ましくは300μm以下である。本発明の製造方法で用いられるシリカとカーボンからなる粒子の、カーボンCとシリカSiO2の混合モル比C/SiO2は、好ましくは2.5~4.0、より好ましくは2.8~3.6、特に好ましくは2.9~3.3である。該混合モル比は、高純度炭化珪素粉末の組成に影響を与える。カーボンとシリカの混合モル比が2.5未満、または4.0を超えると、製品中に未反応のシリカやカーボンが多く残存してしまうため、好ましくない。以下、本発明の製造方法に用いられるシリカとカーボンからなる粒子の製造方法を詳しく説明する。なお、本明細書中において、シリカとカーボンの混合物とは、上述したシリカとカーボンからなる複数の粒子からなる集合体をいう。さらに、以下の工程A1~工程E中、工程B及びCは、上記シリカとカーボンからなる粒子を得るために必須の工程であるが、工程Aは、シリカ含有鉱物を原料としてケイ酸アルカリ水溶液を調製する場合に追加される工程であり、工程A1、A2、B1、D及びE工程は、必須ではなく、任意で追加可能な工程である。[工程A1;原料水洗工程]工程A1は、シリカ含有鉱物岩石状又は粉末状を水洗して、粘土分及び有機物を除去する工程である。水洗後のシリカ含有鉱物は、通常、フィルタープレス等を用いて、さらに脱水させる。シリカ含有鉱物としては、珪藻土、珪質頁岩等が挙げられる。シリカ含有鉱物は、アルカリに対する溶解性が高いことが望ましい。ここで、珪藻土とは、珪藻が海底や湖底に沈積し、長い年月の間に体内の原形質その他の有機物が分解し、非晶質シリカを主体とした珪藻殻が集積して堆積したものである。珪質頁岩とは、珪質の生物遺骸等に由来する頁岩である。すなわち、海域には、珪質の殻を有する珪藻などのプランクトンが生息するが、このプランクトンの死骸が海底中に堆積すると、死骸中の有機物の部分は徐々に分解され、珪質SiO2;シリカの殻のみが残る。この珪質の殻珪質堆積物が、時間の経過や温度圧力の変化などに伴い、続成作用により変質して、硬岩化することにより珪質頁岩となる。なお、珪質堆積物中のシリカは、続成作用によって、非晶質シリカから、結晶化してクリストバライト、トリデイマイトへ、さらに石英へと変化する。珪藻土は、主に非晶質シリカであるオパールAからなる。珪質頁岩は、オパールAより結晶化が進んだオパールCTまたはオパールCを主に含む。オパールCTとは、クリストバライト構造とトリディマイト構造からなるシリカ鉱物である。オパールCとは、クリストバライト構造からなるシリカ鉱物である。このうち、本発明では、オパールCTを主とする珪質頁岩が好ましく用いられる。さらに、Cu-Kα線による粉末X線回折において、石英の2θ=26.6degのピーク頂部の回折強度に対するオパールCTの2θ=21.5~21.9degの回折強度は、石英を1とした場合の比率で0.2~2.0の範囲が好ましく、0.4~1.8の範囲がより好ましく、0.5~1.5の範囲が特に好ましい。該値が0.2に満たない場合には、反応性に富むオパールCTの量が少ないため、シリカの収量が低下する。一方、該値が2.0を超える場合には、オパールCTの量が石英よりはるかに多くなり、このような珪質頁岩は資源的に少なく、経済性に劣る。なお、石英に対するオパールCTの回折強度の比率は、以下の式で求める。石英に対するオパールCTの回折強度の比率=21.5~21.9degのピーク頂部の回折強度/26.6degのピーク頂部の回折強度また、珪質頁岩のCu-Kα線による粉末X線回折において、オパールCTの2θ=21.5~21.9degの間に存在するピークの半値幅は0.5°以上が好ましく、0.75°以上がより好ましく、1.0°以上がさらに好ましい。該値が0.5°未満では、オパールCTの結晶の結合力が増大し、アルカリとの反応性が低下して、シリカの収量が減少する。ここで、半値幅とは、ピーク頂部の回折強度の1/2に位置する回折線の幅をいう。本発明で用いる珪質頁岩は、シリカSiO2の含有率が70質量以上であることが好ましく、75質量以上であることがより好ましい。このような珪質頁岩を用いることにより、より高純度のシリカを低コストで製造することができる。シリカ含有鉱物は、例えば、珪質頁岩等のシリカ含有鉱物を粉砕装置例えば、ジョークラッシャー、トップグラインダーミル、クロスビーターミル、ボールミル等で粉砕することによって得ることができる。[工程A2;原料焼成工程]工程A2は、シリカ含有鉱物を300~1000°Cで0.5~2時間焼成し、有機物を除去する工程である。なお、工程A1と工程A2の双方を実施する場合、その順序は特に限定されない。[工程A;アルカリ溶解工程]工程Aは、シリカ含有鉱物とアルカリ水溶液を混合して、pHが11.5以上のアルカリ性スラリーを調製し、液分中のSi濃度が10質量以上となるように、上記シリカ含有鉱物中のSiを液分中に溶解させた後、上記アルカリ性スラリーを固液分離して、ケイ酸アルカリ水溶液と、固形分を得るアルカリ溶解工程である。ここで、本明細書中、ケイ酸アルカリ水溶液とは、化学式中にシリカSiO2を含む物質を含有するアルカリ性の水溶液をいう。シリカ含有鉱物とアルカリ水溶液を混合してなるアルカリ性スラリーのpHは、11.5以上、好ましくは12.5以上、より好ましくは13.0以上となるように調整される。該pHが11.5未満であると、シリカを十分に溶解させることができず、シリカが固形分中に残存してしまうため、得られるシリカの収量が減少する。pHを上記数値範囲内に調整するためのアルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液等が用いられる。スラリーの固液比アルカリ水溶液1リットルに対するシリカ含有鉱物の質量は、好ましくは100~500g/リットル、より好ましくは200~400g/リットルである。該固液比が100g/リットル未満では、スラリーの固液分離に要する時間が増大するなど、処理効率が低下する。該固液比が400g/リットルを超えると、シリカ等を十分に溶出させることができないことがある。スラリーは、通常、所定時間例えば、30~90分間攪拌される。攪拌後のスラリーは、フィルタープレス等の固液分離手段を用いて、固形分と液分に分離される。液分は、Si及び他の成分Al、Fe等の不純物を含むケイ酸アルカリ水溶液であり、次の工程B1または工程Cで処理される。液分中に含まれるSiの濃度は、10質量以上、好ましくは10~20質量、より好ましくは12~18質量、特に好ましくは13~16質量である。Siの濃度が10質量未満であると、後述する工程Cにおいてゲル状のカーボン含有シリカが析出する場合があり、固液分離に時間がかかるとともに、得られるシリカとカーボンの混合物の量が低下する。なお、本工程においてアルカリ性スラリーを得る際の液温は、エネルギーコストの観点から、5~100°Cに保持されることが好ましく、10~80°Cに保持されることがより好ましく、10~40°Cに保持されることが特に好ましい。液温を上記範囲内とすることにより、処理効率を高めることができる。[工程B1;不純物回収工程]本工程は、工程Aで得られたケイ酸アルカリ水溶液と酸を混合して、pHを10.3を超え、11.5未満であり、かつ液分中のSi濃度が10質量以上のアルカリ性スラリーを調製し、液分中のSi以外の不純物例えば、Al及びFeを析出させた後、上記アルカリ性スラリーを固液分離して、ケイ酸アルカリ水溶液と、固形分を得る工程である。なお、本工程で回収されずに液分中に残存する不純物は、工程C以降の工程で回収される。本工程において、酸との混合後の液分のpHは、10.3を超え、11.5未満、好ましくは10.4以上、11.0以下、特に好ましくは10.5以上、10.8以下である。該pHが10.3以下であると、不純物例えば、Al及びFeと共にSiも析出してしまう。一方、該pHが11.5以上では、十分に析出せずに液分中に残存する不純物例えば、Al及びFeの量が多くなる。また、酸と混合後の液分中に含まれるSiの濃度は、10質量以上、好ましくは10~20質量、より好ましくは12~18質量、特に好ましくは13~16質量である。Siの濃度が10質量未満であると、後述する工程Cにおいてゲル状のカーボン含有シリカが析出する場合があり、固液分離に時間がかかるとともに、得られるシリカとカーボンの混合物の量が低下する。pHを上記数値範囲内に調整するための酸としては、硫酸、塩酸、シュウ酸等が用いられる。pH調整後、フィルタープレス等の固液分離手段を用いて、固形分と液分に分離する。このうち、固形分ケーキは、不純物例えば、Al及びFeを含むものである。液分は、Siを含むものであり、後述する工程Cで処理される。なお、本工程においてpH調整を行う際の液温は、エネルギーコストの観点から、5~100°Cに保持されることが好ましく、10~80°Cに保持されることがより好ましく、10~40°Cに保持されることが特に好ましい。液温を上記範囲内とすることにより、処理効率を高めることができる。[工程B;カーボン混合工程]本工程は、液分中のSi濃度が10質量以上のケイ酸アルカリ水溶液とカーボンを混合して、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液を得る工程である。本工程において用いられるケイ酸アルカリ水溶液は、特に限定されないが、具体的には前工程工程Aまたは工程B1で得られたケイ酸アルカリ水溶液、及び水ガラス等が挙げられる。本発明で用いられる水ガラスは、市販のものを使用することができ、JIS規格により規定される1号、2号、3号の他に各水ガラスメーカーで製造販売されているJIS規格外の製品も使用することができる。ケイ酸アルカリ水溶液中に含まれるSiの濃度は、10質量以上、好ましくは10~20質量、より好ましくは12~18質量、特に好ましくは13~16質量である。Si濃度が10質量未満であると、ゲル状のカーボン含有シリカが析出する場合があり、固液分離に時間がかかるとともに、得られるシリカとカーボンの混合物の量が低下する。Si濃度が20質量を超えると、ケイ酸アルカリ水溶液のハンドリング輸送等が悪化するとともに、不純物の除去が不十分となる場合がある。本発明で用いられるカーボンは特に限定されるものではないが、例えば石油コークス、石炭ピッチ、カーボンブラック、各種有機樹脂等が挙げられる。カーボンの粒度は好ましくは5mm以下であり、より好ましくは2mm以下である。粒度が5mmを超える場合、不純物の除去が不十分となる場合がある。なお、工程Bの前に、カーボンを上記の粒度範囲にまで粉砕する工程を含んでもよい。混合方法は特に限定されるものではないが、ケイ酸アルカリ水溶液にカーボンを加える方法が好ましい。工程Bにおいてカーボンを混合することによって、得られるシリカとカーボンの混合物中のカーボン由来の不純物の量を大幅に低減することができる。また、後述する工程Cにおいて、内部にカーボンが均一に取り込まれたカーボン含有沈降性シリカを析出することができる。[工程C;シリカ回収工程]本工程は、工程Bで得られたカーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液と、10体積以上の濃度の鉱酸を混合して、液分中のC及びSiを非ゲル状のカーボン含有沈降性シリカとして析出させ、沈降性シリカ含有液状物を得た後、該液状物を固液分離して、C及びSiO2を含む固形分シリカとカーボンの混合物と、不純物を含む液分を得る工程である。なお、カーボン含有沈降性シリカは、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液と、鉱酸との混合と同時に生成する。本工程において用いられる鉱酸は、例えば硫酸、塩酸、硝酸等が挙げられ、硫酸を用いることが薬剤コストの低減の観点から好ましい。鉱酸の濃度は、10体積以上、より好ましくは10~20体積、特に好ましくは10~15体積である。鉱酸の濃度が、10体積未満の場合には、カーボン含有沈降性シリカが生成しない、あるいはカーボン含有沈降性シリカとゲル状のカーボン含有シリカの両方が生成するおそれがある。このゲル状のカーボン含有シリカが生成すると、最終生成物中の不純物の濃度が高くなる。また、20体積を超えるとコストの面から好ましくない。カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液と鉱酸の混合方法は、特に限定されるものではないが、カーボン含有沈降性シリカのみを生成させる観点から、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液を鉱酸に添加する方法が好ましい。具体的には、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液を鉱酸に滴下する方法や、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液を、1.0mmφ以上、好ましくは4.0mmφ以上のチューブ等から、鉱酸中に直接押し出す方法等が挙げられる。また、混合する際のpHは好ましくは1.0以下、より好ましくは0.9以下に保つことが望ましい。pHが1.0を超えるとカーボン含有シリカがゲル状で析出する場合があり、固液分離に時間がかかるとともに、得られるシリカとカーボンの混合物の量が低下する。また、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液の鉱酸中への流出速度は限定されないが、混合する際にpHが1.0を超え、かつ流出速度が大きい場合には、カーボン含有沈降性シリカが生成しない、あるいはカーボン含有沈降性シリカとゲル状のカーボン含有シリカの両方が生成するおそれがある。本工程において、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液と鉱酸を混合する際のカーボン含有沈降性シリカの析出温度は、特に限定されるものではないが、好ましくは10~80°C、より好ましくは15~40°C、特に好ましくは20~30°Cであり、通常、常温例えば10~40°Cである。80°Cを超えると、エネルギーコストが上昇するとともに、設備の腐食が生じ易くなる。上記カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液中のC及びSiをカーボン含有沈降性シリカとして析出させた後、フィルタープレス等の固液分離手段を用いて、C及びSiO2を含む固形分と、不純物を含む液分に分離する。得られたカーボン含有沈降性シリカはゲル状ではなく、粒子状であるため、固液分離に要する時間を短くすることができる。工程Cで得られたC及びSiO2を含む固形分は、Al、Fe、Mg、Ca、TiB、P等の不純物が低減されたシリカとカーボンの混合物である。また、得られたシリカとカーボンの混合物は、粒子内にシリカとカーボンの各々が全体的に分布している粒子からなるため、焼成時の反応性が高く、容易に高純度の炭化ケイ素やシリコンを得ることができる。なお、工程Cにおいて、カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液及び鉱酸の少なくともいずれか一方と過酸化水素を混合してもよい。過酸化水素を混合することで、不純物特にTiが低減されたシリカとカーボンの混合物を得ることができる。混合方法は特に限定されるものではなく、1カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液と過酸化水素を混合し、次いで得られた混合物と鉱酸を混合する方法、2鉱酸と過酸化水素を混合し、次いで得られた混合物とカーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液を混合する方法、3カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液と鉱酸を混合し、次いで得られた混合物と過酸化水素を混合する方法、4カーボン含有ケイ酸アルカリ水溶液と、鉱酸と、過酸化水素を同時に混合する方法が挙げられる。中でも、工程の上流側で不純物特にTiの低減を図るという観点から1が好ましい。過酸化水素の添加量は、炭素CとシリカSiO2の合計質量100質量に対して、好ましくは0.1~15質量、より好ましくは0.1~10質量、特に好ましくは0.1~5質量である。過酸化水素の添加量が0.1質量未満では、不純物例えばTiの低減効果が十分ではなく、15質量を超えると、不純物例えばTiの低減効果が飽和状態となる。工程Cにおいて用いられる鉱酸が硫酸である場合、工程Cで得られた不純物を含む液分を中和処理することで、液分中の不純物を石膏として析出させ、この石膏をセメントの原料として再利用してもよい。[工程D;酸洗浄工程]工程Cで得られたC及びSiO2を含む固形分に対して、適宜、工程D酸洗浄工程を行うことができる。酸洗浄工程を行うことにより、より不純物が低減されたシリカとカーボンの混合物を得ることができる。工程Dは、工程Cで得られたC及びSiO2を含む固形分と酸を混合して、pHが3.0未満の酸性スラリーを調製し、上記固形分中に残存する不純物例えば、Al、Feを溶解させた後、上記酸性スラリーを固液分離して、C及びSiO2を含む固形分シリカとカーボンの混合物と、不純物例えば、Al、Feを含む液分を得る工程である。本工程における酸性スラリーのpHは、3.0未満、好ましくは2.0以下である。酸性スラリーのpHを上記範囲内に調整して酸洗浄を行うことにより、工程Cで得られた固形分にわずかに残存するアルミニウム分、鉄分等の不純物を溶解して液分中へ移行させることができ、固形分中のC及びSiO2の含有率を上昇させることができるため、さらに不純物が低減されたシリカとカーボンの混合物を得ることができる。pHを上記数値範囲内に調整するための酸としては、硫酸、塩酸、シュウ酸等が用いられる。pH調整後、フィルタープレス等の固液分離手段を用いて、固形分と液分に分離する。なお、本工程においてpH調整を行う際の液温は、特に限定されるものではないが、エネルギーコストの観点から、好ましくは10~80°C、より好ましくは15~40°C、特に好ましくは20°C~30°Cであり、通常、常温例えば10~40°Cである。液温を上記範囲内とすることにより、処理効率を高めることができる。また、酸洗浄工程後の液分を回収し、工程Cに用いられる鉱酸、および工程Dに用いられる酸として再利用してもよい。本発明では、工程Cにおける過酸化水素の使用に代えて、または、工程Cにおける過酸化水素の使用とともに、工程Dにおいて、酸と過酸化水素を混合することで、不純物特にTiが低減されたシリカとカーボンの混合物を得ることができる。混合方法は特に限定されるものではなく、1工程Cで得られたC及びSiO2を含む固形分と過酸化水素を混合し、次いで得られた混合物と酸を混合する方法、2酸と過酸化水素を混合し、次いで得られた混合物と工程Cで得られたC及びSiO2を含む固形分を混合する方法、3工程Cで得られたC及びSiO2を含む固形分と酸を混合し、次いで得られた混合物と過酸化水素を混合する方法、4工程Cで得られたC及びSiO2を含む固形分と、酸と、過酸化水素を同時に混合する方法が挙げられる。中でも、工程の上流側で不純物特にTiの低減を図るという観点から1が好ましい。過酸化水素の添加量は、炭素CとシリカSiO2の合計質量100質量に対して、好ましくは0.1~15.0質量、より好ましくは0.1~10.0質量、特に好ましくは0.1~5.0質量である。過酸化水素の添加量が0.1質量未満では不純物例えばTiの低減効果が十分ではなく、15.0質量を超えると、不純物例えばTiの低減効果が飽和状態となる。[工程E;水洗浄工程]本工程は、前工程工程Cまたは工程Dで得られたC及びSiO2を含む固形分と水を混合して、スラリーを調製し、上記固形分中に残存する不純物を溶解させた後、上記スラリーを固液分離して、C及びSiO2を含む固形分シリカとカーボンの混合物と、不純物を含む液分を得る工程である。適宜、水洗浄を行うことにより、前工程で得られた固形分にわずかに残存するナトリウム、硫黄等の不純物を溶解して液分中へ移行させることができ、固形分中のC及びSiO2の含有率を上昇させることができるため、さらに不純物が低減されたシリカとカーボンの混合物を得ることができる。水洗浄後、フィルタープレス等の固液分離手段を用いて、固形分と液分に分離する。本工程で得られた固形分に対して、水洗浄工程をさらに行ってもよい。また、水洗浄工程後の液分を回収し、工程A1、工程A、工程C、工程D、及び工程Eに用いられる水として再利用してもよい。[他の追加しうる工程]さらに、本発明において、工程Aと工程Bの間で、適宜、イオン交換処理及び/又は活性炭処理を行うことができる。イオン交換処理及び/又は活性炭処理で回収される不純物は、ホウ素B、リンP、アルミニウム、鉄Fe、ナトリウムNa、チタンTi、カルシウムCa、カリウムK、及びマグネシウムMgからなる群より選ばれる一種以上である。イオン交換処理は、キレート樹脂、イオン交換樹脂等のイオン交換媒体を用いて行なうことができる。イオン交換媒体の種類は、除去対象元素に対する選択性を考慮して、適宜定めればよい。例えば、ホウ素を除去する場合、グルカミン基を有するキレート樹脂や、N-メチルグルカミン基を有するイオン交換樹脂等を用いることができる。イオン交換媒体の形態は、特に限定されるものではなく、ビーズ状、繊維状、クロス状等が挙げられる。イオン交換媒体への液分の通液方法もなんら限定されるものではなく、例えばカラムにキレート樹脂またはイオン交換樹脂を充填して連続的に通液する方法などを用いることができる。イオン交換処理及び/又は活性炭処理を行う際の液温は、各処理に用いる材料の耐用温度以下であれば、特に限定されない。本発明の高純度炭化珪素粉末の製造方法は、上述したシリカとカーボンからなる粒子を、アチソン炉を用いて加熱する製造方法である。アチソン炉を用いることで、他の電気炉等と比べて、安価にかつ大量に、しかも安全に高純度炭化珪素粉末を製造することができる。また、アチソン炉は、炉が大きく、非酸化性雰囲気下で反応が行われることから、他の電気炉等と比べて、不純物B、P、O等の含有率、特に酸素Oの含有率の低い炭化珪素粉末を得ることができる。なお、上記酸素Oの含有率とは、炭化珪素粉末中に含まれる金属酸化物を構成する酸素原子の総量を示す。本発明の製造方法で得られる高純度炭化珪素粉末は、不純物B、P、O等の含有率、特に酸素Oの含有率が低いため、パワー半導体等に用いられる単結晶材料として好適である。さらに、上述したシリカとカーボンからなる粒子は、粒子内にシリカとカーボンの各々が全体的に分布しているため、焼成時の反応性が高く、アチソン炉を用いて炭化珪素を製造する際の消費電力量を低減することができる。以下、本発明で用いられるアチソン炉について、図4及び図5を参照しながら説明する。図4はアチソン炉4の長手方向の断面図であり、図5はアチソン炉4の長手方向に垂直な方向の断面図である。アチソン炉4は大気開放型であり、炉本体5の断面が略U字状である炉であり、両端に電極芯3,3を有している。長手方向の中央部には発熱体2が電極芯3,3を結ぶように設置され、発熱体2の周りにはシリカとカーボンの混合物シリカとカーボンからなる粒子の集合体1が充填されている。また、シリカとカーボンの混合物1は炉本体5の内部空間にかまぼこ状に収容される。電極芯3,3間に電流を流し、発熱体2を通電加熱することで、発熱体2の周囲において下記式1で示される直接還元反応が起こり、炭化珪素SiCの塊状物が生成される。SiO23C→SiC2CO1上記反応が行われる温度は好ましくは1600~3000°C、より好ましくは1600~2500°Cである。本発明の製造方法に用いられるアチソン炉の発熱体2の種類は特に限定されないが、電気を通すことができればよく、例えば黒鉛粉、カーボンロッドが挙げられる。発熱体中の炭素以外の不純物の含有率B、P等の含有率の合計は、好ましくは120ppm以下、より好ましくは70ppm以下、さらに好ましくは50ppm以下、特に好ましくは25ppm以下である。発熱体中の不純物の含有率を、上記範囲内とすることで、より高純度の炭化珪素粉末を得ることができる。発熱体の形態は、上述したように電気を通すことができればよく、粉状でも棒状でもよい。また、棒状の場合、該棒状体の形態も特に限定されず、円柱状でも角柱状でもよい。得られた炭化珪素の塊状物を粉砕することで、炭化珪素粉末を得ることができる。本発明の製造方法で得られた炭化珪素粉末は、炭化珪素の含有率が高く、またB、P、Al、Cu、Fe、Mg、Ni、Ti、Ca等の不純物の含有率が低い高純度炭化珪素粉末である。また、得られた高純度炭化珪素粉末は、酸素Oの含有率が低い。具体的には、本発明の製造方法で得られる炭化珪素の含有率は、好ましくは99.0質量以上である。また、B、P、Al、Cu、Fe、Mg、Ni、Tiの含有率は、各々、好ましくは0.1ppm以下、0.1ppm以下、1.0ppm以下、0.5ppm以下、1.0ppm以下、0.5ppm以下、0.5ppm以下、1ppm以下である。さらにOの含有率は、好ましくは0.5質量未満である。なお、得られた高純度炭化珪素粉末は、目標純度に応じて、鉱酸による洗浄を行ってもよい。鉱酸としては、塩酸、硫酸、硝酸等が使用できる。以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。[分析方法]1Bホウ素及びPリンの含有率の分析方法土壌中のBホウ素の分析方法BUNSEKIKAGAKUVOL47,No7,pp451-454参照であるアルカリ溶融法によるICP-AES分析に基づいて分析を行った。具体的には、試料1gおよびNa2CO34gを白金ルツボに入れた後、この白金ルツボを電気炉内に載置して700°Cで1時間加熱した。次いで1時間ごとに、白金ルツボ内の混合物を撹拌しながら、800°Cで4時間加熱し、さらに1000°Cで15分間加熱した。加熱後の混合物融成物に50質量のHCl20mlを添加し、ホットプレートを用いて、140°Cで10分間融成物をくずしながら溶解した。水を加えて100mlにメスアップした後、ろ過を行い、得られた固形分に対して、ICP-AES分析を行った。2B及びP以外の元素Al、Cu、Fe、Mg、Ca、Ni、及びTiの含有率の分析方法JISR1616に記載された加圧酸分解法によるICP-AES分析に基づいて測定した。3酸素Oの含有率をLECO社製のTCH-600を用いて測定した。[合成例1]水ガラス溶液富士化学株製:SiO2/Na2Oモル比=3.20140gに、水35gを加えて混合し、Si濃度10質量の水ガラス溶液を得た。得られた水ガラス溶液にカーボン東海カーボン社製:平均粒径1mmを27.0g加えて混合し、カーボン含有水ガラス溶液を得た。得られたカーボン含有水ガラス溶液66.2gを硫酸濃度10.7体積の硫酸水165.6mlに濃硫酸20mlを混合したもの200g中に滴下し、常温25°C下でカーボン含有沈降性シリカを析出させた後、減圧下でブフナー漏斗を用いて固液分離し、C及びSiO2を含む固形分カーボン含有沈降性シリカ33.9gと、不純物を含む液分232.3gを得た。なお、pHは滴下終了時まで1.0以下に保った。得られたC及びSiO2を含む固形分カーボン含有沈降性シリカに対して、常温25°C下で硫酸濃度10.7体積の硫酸を200g添加してpHが3.0未満のスラリーとした。このスラリーを固液分離した後に、得られた固形分を、蒸留水を用いて水洗した。その後、水洗した固形分を105°Cで1日乾燥させ、シリカとカーボンの混合物粒子の集合体21.3gを得た。得られたシリカとカーボンの混合物中の不純物ホウ素B、リンP、アルミニウムAl、銅Cu、鉄Fe、マグネシウムMg、カルシウムCa、ニッケルNi、及びチタンTiの濃度を、上述した分析方法を用いて測定した。その結果を表1に示す。得られたシリカとカーボンの混合物を乾燥させた後の、CとSiO2の合計量は99.99質量であり、Siの回収率は97.0であった。また、得られたシリカとカーボンの混合物C/SiO2のモル比:3.510gを管状炉に入れて、1650°Cで3時間、アルゴン雰囲気下で焼成した。得られた焼成物についてX線回析を行った。結果を図2に示す。さらに、得られたシリカとカーボンの混合物を、EPMAを用いて観察するとともに、該混合物を構成する粒子中のカーボンまたはシリカの分布状態を分析した。装置としては、電子線マイクロアナライザー日本電子社製、商品名JXA-8100を用いて、加速電圧15kV、プローブ径0.5μm、ピクセルサイズ1μm、ピクセル数400×400の条件で分析を行った。図6にシリカとカーボンの混合物の写真を簡易に表した図を示す。図7及び8に、シリカとカーボンの混合物表面の写真を簡易に表した図を示す。各図の右上の数値は、混合物を構成する粒子に含まれるシリカまたはカーボンの質量であり、数値が大きいほど、含有率が高いことを示している。[合成例2]水ガラス溶液富士化学株製:SiO2/Na2Oモル比=3.20140gに、水35gを加えて混合し、Si濃度10質量の水ガラス溶液を得た。得られた水ガラス水溶液66.2gを硫酸濃度10.7体積の硫酸水165.6mlに濃硫酸20mlを混合したもの200g中に滴下し、常温25°C下で沈降性シリカを析出させた後、減圧下でブフナー漏斗を用いて固液分離し、SiO2を含む固形分沈降性シリカ28.9gと、不純物を含む液分237.3gを得た。なお、pHは滴下終了時まで1.0以下に保った。得られたSiO2を含む固形分沈降性シリカに対して、常温25°C下で硫酸濃度10.7体積の硫酸を200g添加してpHが3.0未満のスラリーとした。このスラリーを固液分離した後に、得られた固形分を、蒸留水を用いて水洗した。その後、水洗した固形分を105°Cで1日乾燥させ、高純度シリカ14.5gを得た。得られた高純度シリカにカーボン東海カーボン社製:平均粒径1mmを2.8g加えて混合し、高純度シリカとカーボンの混合物を得た。得られた高純度シリカとカーボンの混合物中の不純物B、P、Al、Cu、Fe、Mg、Ca、Ni、Tiの濃度を、上述した分析方法を用いて測定した。その結果を表1に示す。得られた高純度シリカとカーボンの混合物は、CとSiO2の合計量が17.3質量であり、Siの回収率が97.0であった。また、得られた高純度シリカとカーボンの混合物C/SiO2のモル比:3.510gを管状炉に入れて、1650°Cで3時間、アルゴン雰囲気下で焼成した。得られた焼成物についてX線回析を行った。結果を図3に示す。[実施例1]合成例1に記載した方法を用いて製造した、シリカとカーボンの混合物160kg、及び発熱体用黒鉛を、図4及び5に記載されたアチソン炉アチソン炉の内寸;長さ1000mm、幅500mm、高さ500mmの中へ収容した後、約2500°Cで約10時間通電加熱を行い、炭化珪素の塊状物20.0kgを生成させた。発熱体用黒鉛としては分解黒鉛カーボンブラックを3000°Cで熱処理したものを使用した。得られた炭化珪素の塊状物を粉砕し、炭化珪素粉末を得た。得られた炭化珪素粉末中の不純物B、P、Al、Cu、Fe、Mg、Ni、Ti、及びOの含有率を、上述した分析方法を用いて測定した。結果を表2に示す。また、消費電力量と得られた炭化珪素量から、炭化珪素の電力原単位を求めた。結果を表3に示す。[比較例1]合成例2に記載した方法を用いて製造した、高純度シリカとカーボンの混合物160kg、及び発熱体用黒鉛を、図4及び5に記載されたアチソン炉アチソン炉の内寸;長さ1000mm、幅500mm、高さ500mmの中へ収容した後、約2500°Cで約10時間通電加熱を行い、炭化珪素の塊状物14.8kgを生成させた。発熱体用黒鉛としては実施例1で用いた分解黒鉛を使用した。得られた炭化珪素の塊状物を粉砕し、炭化珪素粉末を得た。得られた炭化珪素粉末中の不純物B、P、Al、Cu、Fe、Mg、Ni、Ti、及びOの含有率を、上述した分析方法を用いて測定した。結果を表2に示す。また、消費電力量と得られた炭化珪素量から、炭化珪素の電力原単位を求めた。結果を表3に示す。[比較例2]合成例1に記載した方法を用いて製造した、シリカとカーボンの混合物300gを、超高温電気炉を用いて、空気雰囲気下において、2000°Cで24時間加熱を行い、炭化珪素の塊状物110gを生成させた。得られた炭化珪素の塊状物を粉砕し、炭化珪素粉末を得た。得られた炭化珪素粉末中の不純物B、P、Al、Cu、Fe、Mg、Ni、Ti、及びOの含有率を、上述した分析方法を用いて測定した。結果を表2に示す。また、消費電力量と得られた炭化珪素量から、炭化珪素の電力原単位を求めた。結果を表3に示す。実施例1の結果から、本発明の製造方法により得られた炭化珪素は、比較例1および2と比べて、不純物B、P、Al、Cu、Fe、Mg、Ni、Ti、及びOの含有率が小さいことがわかる。また、表3から、本発明の製造方法は、消費電力量が少ないことがわかる。"