"樹脂と、紫外線吸収剤と、顔料とを含有し、該顔料として、400nm以上500nm未満に極大吸収波長を持つ顔料Aと、500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料Bと、600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料Cとをそれぞれ1種以上含有し、全顔料の合計含有量が全固形分に対し0.1質量以上20質量以下である固体撮像素子の画素形成に用いられる感放射線性組成物。前記400nm以上500nm未満に極大吸収波長を持つ顔料A、前記500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料B、及び、前記600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料Cの含有量が、全固形分に対し、それぞれ0.2質量以上10質量以下である請求項1に記載の感放射線性組成物。前記500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料B、及び、前記600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料Cの合計含有量が、全固形分中1質量以上18質量以下であり、該顔料B及び顔料Cの含有質量比率B:Cが、1:2~2:1である請求項1又は請求項2に記載の感放射線性組成物。前記紫外線吸収剤の含有量が、全固形分に対し2質量以上10質量以下である請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。更に、重合性化合物を含有する請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。前記重合性化合物が、水素結合性基を有するモノマーである請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。前記水素結合性基を有するモノマーの含有量が、全固形分に対し20質量以上である請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。前記水素結合性基が、カルボキシル基、アルコキシカルボニルアミノ基、及びウレイド基から選ばれる少なくとも1種である請求項6又は請求項7に記載の感放射線性組成物。前記紫外線吸収剤が、共役ジエン系化合物である請求項1~請求項8のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。前記共役ジエン系化合物が、下記一般式Iで表される化合物である請求項1~請求項8のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。一般式I中、R1及びR2は、各々独立に、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基、又は炭素原子数6~20のアリール基を表す。R1とR2とは互いに同一でも異なっていてもよいが、R1及びR2の双方が水素原子を表すことはない。R1及びR2は互いに結合して隣接する窒素原子と共に環状アミノ基を形成してもよい。R3及びR4は、各々独立に電子吸引基を表す。前記水素結合性基を有するモノマーが、多官能モノマーであることを特徴とする請求項6~請求項10のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。更に、光重合開始剤を含有する請求項1~請求項11のいずれか1項に記載の感放射線性組成物。前記光重合開始剤が、オキシム化合物である請求項12に記載の着色感放射線性組成物。請求項1~請求項13のいずれか1項に記載の感放射線性組成物を支持体上に付与して感放射線性組成物層を形成する工程と、形成された感放射線性組成物層をマスクを介して紫外線により露光し、現像することによりパターンを形成する工程と、を含むパターン形成方法。請求項14に記載のパターン形成方法を用いて、基板上にパターンを形成する工程と、形成されたパターンをポストベークする工程と、を含むカラーフィルタの製造方法。請求項15に記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたカラーフィルタ。請求項16に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。しかしながら、イメージセンサ以下、適宜固体撮像素子ともいう。用カラーフィルタが有する画素の形成において、一般的なカラーフィルタ用感光性組成物より完全に顔料を除去したものを使用すると、ポストベーク後に画素の剥がれが発生する場合があり問題であった。また、上記問題に加えて、固体撮像素子においては、ウエハー上で画素パターンの形成を行うため、露光のハレーションに因ってパターン解像度が問題になることが多い。本発明は、上記の状況に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、固体撮像素子の画素形成に好適に用いられ、解像性に優れた画素が形成でき、且つ、画素形成の際に行われるポストベーク後において画素の剥がれ欠陥の発生が抑制された感放射線性組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、精細で高品質の画像表示が可能なカラーフィルタ、該カラーフィルタの製造に好適に用いられるパターン形成方法、及び、該パターン形成方法を適用したカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、感度特性に優れた固体撮像素子を提供することを目的とする。前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。<1>樹脂と、紫外線吸収剤と、顔料とを含有し、該顔料として、400nm以上500nm未満に極大吸収波長を持つ顔料Aと、500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料Bと、600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料Cとをそれぞれ1種以上含有し、全顔料の合計含有量が全固形分に対し0.1質量以上20質量以下である固体撮像素子の画素形成に用いられる感放射線性組成物。<2>前記400nm以上500nm未満に極大吸収波長を持つ顔料A、前記500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料B、及び、前記600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料Cの含有量が、全固形分に対し、それぞれ0.2質量以上10質量以下である<1>に記載の感放射線性組成物。<3>前記500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料B、及び、前記600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料Cの合計含有量が、全固形分中1質量以上18質量以下であり、該顔料B及び顔料Cの含有質量比率B:Cが、1:2~2:1である<1>又は<2>に記載の感放射線性組成物。<4>前記紫外線吸収剤の含有量が、全固形分に対し2質量以上10質量以下である<1>~<3>に記載の感放射線性組成物。<5>更に、重合性化合物を含有する<1>~<4>のいずれか1つに記載の感放射線性組成物。<6>前記重合性化合物が、水素結合性基を有する重合性モノマーである<1>~<5>のいずれか1つに記載の感放射線性組成物。<7>前記水素結合性基を有する重合性モノマーの含有量が、全固形分に対し20質量以上である<1>~<6>に記載の感放射線性組成物。<8>前記水素結合性基が、カルボキシル基、アルコキシカルボニルアミノ基、及びウレイド基から選ばれる少なくとも1種である<6>又は<7>に記載の感放射線性組成物。<9>前記紫外線吸収剤が、共役ジエン系化合物である<1>~<8>のいずれか1つに記載の感放射線性組成物。<10>前記共役ジエン系化合物が、下記一般式Iで表される化合物である<1>~<8>のいずれか1つに記載の感放射線性組成物。一般式I中、R1及びR2は、各々独立に、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基、又は炭素原子数6~20のアリール基を表す。R1とR2とは互いに同一でも異なっていてもよいが、R1及びR2の双方が水素原子を表すことはない。R1及びR2は互いに結合して隣接する窒素原子と共に環状アミノ基を形成してもよい。R3及びR4は、各々独立に電子吸引基を表す。<11>前記水素結合性基を有するモノマーが、多官能モノマーであることを特徴とする<6>~<10>のいずれか1つに記載の感放射線性組成物。<12>更に、光重合開始剤を含有する<1>~<11>のいずれか1つに記載の感放射線性組成物。<13>前記光重合開始剤が、オキシム化合物である<12>に記載の着色感放射線性組成物。<14><1>~<13>のいずれか1つに記載の感放射線性組成物を支持体板上に付与して感放射線性組成物層を形成する工程と、形成された感放射線性組成物層をマスクを介して紫外線により露光し、現像することによりパターンを形成する工程と、を含むパターン形成方法。<15><14>に記載のパターン形成方法を用いて、基板上にパターンを形成する工程と、形成されたパターンをポストベークする工程と、を含むカラーフィルタの製造方法。<16><15>に記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたカラーフィルタ。<17><16>に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。本発明によれば、固体撮像素子の画素形成に好適に用いられ、解像性に優れた画素が形成でき、且つ、画素形成の際に行われるポストベーク後において画素の剥がれ欠陥の発生が抑制された感放射線性組成物を提供することができる。また、本発明によれば、精細で高品質の画像表示が可能なカラーフィルタ、該カラーフィルタの製造に好適に用いられるパターン形成方法、及び、該パターン形成方法を適用したカラーフィルタの製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、感度特性に優れた固体撮像素子を提供することができる。以下、本発明について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされるものであるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。本発明の感放射線性組成物において、全固形分とは、感放射線性組成物の全組成から有機溶剤を除いた成分の総質量をいう。本明細書において~を用いて表される数値範囲は、~の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。本明細書においてはアルキル基は直鎖、分岐、及び環状のアルキル基を示し、また置換基で置換されていても、無置換でもよい。また、本明細書において、メタアクリレートはアクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれかを表し、メタアクリルはアクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、メタアクリロイルはアクリロイル及びメタクリロイルの双方、又は、いずれかを表し、メタアクリルアミドはアクリルアミド又はメタクリルアミドの双方、又は、いずれかを表す。また、本明細書において、単量体とモノマーとは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマー及びポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。また、本明細書における基原子団の表記において、置換及び無置換を記していない表記は置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えばアルキル基とは、置換基を有さないアルキル基無置換アルキル基のみならず、置換基を有するアルキル基置換アルキル基をも包含するものである。本明細書において工程との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。≪感放射線性組成物≫本発明の感放射線性組成物は、樹脂と、紫外線吸収剤と、顔料とを含有し、該顔料として、400nm以上500nm未満に極大吸収波長を持つ顔料Aと、500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料Bと、600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料Cとをそれぞれ1種以上含有し、全顔料の合計含有量が全固形分に対し0.1質量以上20質量以下であり、固体撮像素子の画素形成に用いられるものである。本発明の感放射線性組成物は、上記の構成を有することにより、解像性に優れた画素が形成でき、且つ、画素形成の際に行われるポストベーク後において画素の剥がれ欠陥の発生が抑制することができる。また、本発明の感放射線性組成物は、高すぎず低すぎない適度な量の顔料を含有しているため、これを利用したカラーフィルターを画素として使用することにより適度な光量調整が可能となり、良好な感度特性のデバイスを得ることができる。以下、本発明の感放射線性組成物に含有される各成分について順次説明する。1樹脂本発明の感放射線性組成物は、樹脂を少なくとも1種含有する。前記樹脂としては、アルカリ可溶性樹脂が好適である。前記アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性であれば特に限定はないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。アルカリ可溶性を促進する基以下、酸基ともいうとしては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基などが挙げられるが、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、メタアクリル酸が特に好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。前記重合後に酸基を付与しうるモノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジルメタアクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、2-イソシアナートエチルメタアクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これら酸基を導入するための単量体は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。アルカリ可溶性バインダーに酸基を導入するには、例えば、酸基を有するモノマー及び/又は重合後に酸基を付与しうるモノマー以下酸基を導入するための単量体と称することもある。を、単量体成分として重合するようにすればよい。なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。アルカリ可溶性樹脂として用いられる線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましく、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの挙げられる。特に、メタアクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。メタアクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキルメタアクリレート、アリールメタアクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキルメタアクリレート及びアリールメタアクリレートとしては、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、プロピルメタアクリレート、ブチルメタアクリレート、イソブチルメタアクリレート、ペンチルメタアクリレート、ヘキシルメタアクリレート、オクチルメタアクリレート、フェニルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート、トリルメタアクリレート、ナフチルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート等、ビニル化合物としては、スチレン、αメチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Nビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等、特開平10-300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマーとして、N―フェニルマレイミド、N-シクロヘキシルマレイミド等を挙げることができる。なお、これらのメタアクリル酸と共重合可能な他の単量体は1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。アルカリ可溶性樹脂としては、下記一般式EDで示される化合物以下エーテルダイマーと称することもある。を必須とする単量体成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。これにより、本発明の感放射線性組成物は、耐熱性とともに透明性にも極めて優れた硬化塗膜を形成しうる。一般式ED中、R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数1~25の炭化水素基を表す。前記エーテルダイマーを示す前記一般式ED中、R1及びR2で表される置換基を有していてもよい炭素数1~25の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、n-プロピル、イソプロピル、n-ブチル、イソブチル、t-ブチル、t-アミル、ステアリル、ラウリル、2-エチルヘキシル等の直鎖状又は分岐状のアルキル基;フェニル等のアリール基;シクロヘキシル、t-ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、2-メチル-2-アダマンチル等の脂環式基;1-メトキシエチル、1-エトキシエチル等のアルコキシで置換されたアルキル基;ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基;等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい1級又は2級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。前記エーテルダイマーの具体例としては、例えば、ジメチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジエチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジn-プロピル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジイソプロピル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジn-ブチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジイソブチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジt-ブチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジt-アミル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジステアリル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジラウリル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジ2-エチルヘキシル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジ1-メトキシエチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジ1-エトキシエチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジベンジル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジフェニル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジシクロヘキシル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジt-ブチルシクロヘキシル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジジシクロペンタジエニル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジトリシクロデカニル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジイソボルニル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジアダマンチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジ2-メチル-2-アダマンチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート等が挙げられる。これらの中でも特に、ジメチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジエチル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジシクロヘキシル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエート、ジベンジル-2,2’-[オキシビスメチレン]ビス-2-プロペノエートが好ましい。これらエーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。前記一般式EDで示される化合物由来の構造体は、その他の単量体を共重合させてもよい。アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、又はビニル重合体等が挙げられる。上記ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトール、又はビスフェノールA等が挙げられる。上記アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、又はベンズアルデヒド等が挙げられる。上記フェノール類及びアルデヒド類は、単独若しくは2種以上を組み合わせて用いることができる。上記ノボラック樹脂の具体例としては、例えば、メタクレゾール、パラクレゾール又はこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。上記ノボラック樹脂は分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。又、ビスフェノールCやビスフェノールA等のフェノール系水酸基を有する低分子量成分を上記ノボラック樹脂に混合してもよい。また、本発明における感放射線性組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂としては、アリル基、メタアクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したアルカリ可溶性樹脂等が有用である。上述の重合性基を含有するポリマーの例としては、ダイヤナルNRシリーズ三菱レイヨン株式会社製、Photomer6173COOH含有polyurethaneacrylicoligomerDiamondShamrockCoLtd製、ビスコートR-264、KSレジスト106、サイクロマーPシリーズ、プラクセルCF200シリーズいずれもダイセル化学工業株式会社製、Ebecryl3800ダイセルユーシービー株式会社製などが挙げられる。これら重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、予めイソシアネート基とOH基を反応させ、未反応のイソシアネート基を1つ残し、かつメタアクリロイル基を含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、OH基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する2塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂、OH基を含むアクリル樹脂とイソシアネートと重合性基を有する化合物を反応させた樹脂、特開2002229207号公報及び特開2003335814号公報に記載されるα位又はβ位にハロゲン原子或いはスルホネート基などの脱離基を有するエステル基を側鎖に有する樹脂を塩基性処理を行うことで得られる樹脂などが好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、特に、ベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸共重合体やベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸/他ノモノマーからなる多元共重合体が好適である。この他、2-ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの、特開平7-140654号公報に記載の、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2-ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクレート/メタクリル酸共重合体などが挙げられる。アルカリ可溶性樹脂としては、上記したアルカリ可溶性樹脂の中でも側鎖に重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂が好ましい。アルカリ可溶性樹脂の酸価としては好ましくは10mgKOH/g~200mgKOH/g、より好ましくは20mgKOH/g~150mgKOH/gであり、最も好ましくは30mgKOH/g~120mgKOH/gである。また、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量Mwとしては、2,000~50,000が好ましく、5,000~30,000がさらに好ましく、7,000~20,000が最も好ましい。本発明において、感放射線性組成物中における樹脂の含有量は、現像性等の観点から、感放射線性組成物の全固形分に対して、10~90質量が好ましく、20~60質量が更に好ましく、30~50質量が特に好ましい。本発明の感放射線性組成物が重合性化合物を含有する場合、樹脂の質量と、全重合性化合物の質量と、の比率樹脂の全質量/重合性化合物の全質量は、現像性とパターン矩形性の両立という観点より、0.5以上1.5以下が好ましく、0.6以上1.4以下がより好ましく、0.8以上1.3以下が最も好ましい。[2]紫外線吸収剤本発明の感放射線性組成物は、紫外線吸収剤を少なくとも1種含有する。これにより、露光時の線幅太りが抑制される。前記紫外線吸収剤としては、例えば、250nmから400nmの間に吸収極大を有する化合物を用いることができる。前記紫外線吸収剤として、より具体的には、例えば、スミソーブ130住友化学製、EVERSORB10、EVERSORB11、EVERSORB12台湾永光化学工業製、トミソーブ800エーピーアイコーポレーション製、SEESORB100、SEESORB101、SEESORB101S、SEESORB102、SEESORB103、SEESORB105、SEESORB106、SEESORB107、SEESORB151シプロ化成製などのベンゾフェノン化合物;スミソーブ200、スミソーブ250、スミソーブ300、スミソーブ340、スミソーブ350住友化学製、JF77、JF78、JF79、JF80、JF83城北化学工業製、TINUVINPS、TINUVIN99-2、TINUVIN109、TINUVIN384-2、TINUVIN900、TINUVIN928、TINUVIN1130チバスペシャルティケミカルズ製、EVERSORB70、EVERSORB71、EVERSORB72、EVERSORB73、EVERSORB74、EVERSORB75、EVERSORB76、EVERSORB234、EVERSORB77、EVERSORB78、EVERSORB80、EVERSORB81台湾永光化学工業製、トミソーブ100、トミソーブ600エーピーアイコーポレーション製、SEESORB701、SEESORB702、SEESORB703、SEESORB704、SEESORB706、SEESORB707、SEESORB709シプロ化成製などのベンゾトリアゾール化合物;スミソーブ400住友化学製、サリチル酸フェニルなどのベンゾエート化合物;TINUVIN400、TINUVIN405、TINUVIN460、TINUVIN477DW、TINUVIN479チバスペシャルティケミカルズ製などのヒドロキシフェニルトリアジン化合物;などを挙げることができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン系化合物がより好ましく、中でも、下記一般式Iで表される化合物が特に好ましい。この共役ジエン系化合物を用いることで、特に低照度露光を行なった際のその後の現像性能変動を抑えるので、パターンの線幅、膜厚、分光スペクトル等のパターン形成性に関係する露光照度依存性を抑制することができる。一般式Iにおいて、R1及びR2は、各々独立に、水素原子、炭素原子数1~20のアルキル基、又は炭素原子数6~20のアリール基を表し、R1とR2とは互いに同一でも異なっていてもよいが、R1及びR2の双方が水素原子を表すことはない。R1又はR2で表される炭素原子数1~20のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、n-ブチル基、n-へキシル基、シクロへキシル基、n-デシル基、n-ドデシル基、n-オクタデシル基、エイコシル基、メトキシエチル基、エトキシプロピル基、2-エチルへキシル基、ヒドロキシエチル基、クロロプロピル基、N,N-ジエチルアミノプロピル基、シアノエチル基、フェネチル基、ベンジル基、p-t-ブチルフェネチル基、p-t-オクチルフェノキシエチル基、3-2,4-ジーt-アミルフェノキシプロピル基、エトキシカルボニルメチル基、2-2-ヒドロキシエトキシエチル基、2-フリルエチル基などが挙げられる。R1又はR2で表される炭素原子数6~20のアリール基としては、単環であっても縮合環であってもよく、置換基を有する置換アリール基、無置換のアリール基のいずれであってもよい。例えば、置換基を有する置換アリール基の置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、ハロゲン原子、アシルアミノ基、アシル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、置換カルバモイル基、置換スルファモイル基、ニトロ基、置換アミノ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基等が挙げられる。中でも、置換又は無置換のフェニル基、1-ナフチル基、2-ナフチル基が好ましい。また、R1及びR2は、互いに結合して隣接する窒素原子と共に、環状アミノ基を形成してもよい。環状アミノ基としては、例えば、ピペリジノ基、モルホリノ基、ピロリジノ基、ヘキサヒドロアゼピノ基、ピペラジノ基等が挙げられる。上記のうち、R1及びR2としては、炭素数1~8の低級のアルキル基例えば、メチル、エチル、イソプロピル、ブチル、sec-ブチル、tert-ブチル、ペンチル、tert-ペンチル、ヘキシル、オクチル、2-エチルヘキシル、tert-オクチルなど、又は置換もしくは無置換のフェニル基例えば、トリル基、フェニル基、アニシル基、メシチル基、クロロフェニル基、2,4-ジーt-アミルフェニル基などが好ましい。また、R1とR2とが互いに結合して、隣接する窒素原子を含と共に環状アミノ基例えば、ピペリジン環、ピロリジン環、モルホリン環などを形成していることも好ましい。前記一般式Iにおいて、R3及びR4は、電子吸引基を表す。ここで、電子吸引基は、ハメットの置換基定数σp値以下、単にσp値という。が、0.20以上1.0以下の電子吸引性基である。好ましくは、σp値が0.30以上0.8以下の電子吸引性基である。ハメット則は、ベンゼン誘導体の反応又は平衡に及ぼす置換基の影響を定量的に論ずるために、1935年にLPHammettにより提唱された経験則であるが、これは今日広く妥当性が認められている。ハメット則により求められた置換基定数には、σp値とσm値とがあり、これらの値は多くの一般的な成書に記載があるが、例えば、JADean編Lange’sHandbookofChemistry第12版、1979年McGrawHillや化学の領域増刊、122号、96~103頁、1979年南江堂、ChemicalReviews91巻、165頁~195頁、1991年に詳しい。本発明では、これらの成書に記載の文献既知の値がある置換基にのみ限定されるという意味ではなく、その値が文献未知であってもハメット則に基づいて測定した場合にその範囲内に含まれる限り包含されることは勿論である。前記σp値が、0.20以上1.0以下の電子吸引性基の具体例としては、アシル基、アシルオキシ基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基、ジアルキルホスホノ基、ジアリールホスホノ基、ジアリールホスフィニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、アシルチオ基、スルファモイル基、チオシアネート基、チオカルボニル基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルキル基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルコキシ基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアリールオキシ基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルキルアミノ基、少なくとも2つ以上のハロゲン原子で置換されたアルキルチオ基、σp値0.20以上の他の電子吸引性基で置換されたアリール基、複素環基、塩素原子、臭素原子、アゾ基、又はセレノシアネート基が挙げられる。これらの置換基のうち、更に置換基を有することが可能な基は、先に挙げたような置換基を更に有してもよい。上記のうち、本発明においては、R3としては、シアノ基、-COOR5、-CONHR5、-COR5、-SO2R5より選択される基が好ましく、また、R4としては、シアノ基、-COOR6、-CONHR6、-COR6、-SO2R6より選択される基が好ましい。R5及びR6は、各々独立に、炭素原子数1~20のアルキル基、又は炭素原子数6~20のアリール基を表す。R5又はR6で表される炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数6~20のアリール基は、前記R1又はR2における場合と同義であり、好ましい態様も同様である。これらのうち、R3及びR4としては、アシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、スルファモイル基が好ましく、特にアシル基、カルバモイル基、アルキルオキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、シアノ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルホニルオキシ基、スルファモイル基が好ましい。また、上記のR1、R2、R3、及びR4の少なくとも1つは、連結基を介して、ビニル基と結合したモノマーより導かれるポリマーの形になっていてもよい。以下、一般式Iで表される化合物の好ましい具体例例示化合物1~14を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。一般式Iで示される化合物は、特公昭44-29620号、特開53-128333号、特開昭61-169831、特開昭63-53543、特開昭63-53544号、特開昭63-56651号の各公報に記載されている方法を参照することにより合成することができる。以下、一般式Iで示される化合物のうち、代表的な化合物の具体的な合成方法について記述する。-例示化合物1の合成法-3-アニリノアクロレインアニル13.3gと、エチルフェニルスルホニルアセテート14.3gを無水酢酸40ml中で85~90°Cに2時間加熱する。減圧乾燥下に無水酢酸を除き、エタノール40mlとジーn―へキシルアミン24.1gを加えて2時間還流する。エタノールを除去し、残渣をカラムクロマトにかけ、精製し、エタノールより再結晶すると目的物が得られる。融点95~96°C。以上で説明した紫外線吸収剤例えば、前記一般式Iで表される化合物の、本発明の感放射線性組成物における含有量としては、組成物の全固形分に対して、0.01質量~30質量が好ましく、0.01質量~20質量がより好ましく、0.01質量~15質量が特に好ましく、2質量~10質量が最も好ましい。この紫外線吸収剤の含有量は、0.01質量以上であると、露光時の光遮蔽能力が良好で重合の進み過ぎによるパターン線幅の太りを防止して所期の線幅を得やすく、周辺残渣現像残渣の発生もより抑えられる。また、30質量以下であると、露光時の光遮蔽能力が強過ぎず重合がより良好に進行する。上記のようなパターン線幅の変化は、露光光源であるg線、h線、i線などの紫外線に対しての光吸収が少ない透明の光硬化性組成物で顕著となる。よって、一般式Iで表される化合物共役ジエン系化合物は、透明な感放射線性組成物を構成する場合に特に有効である。3顔料本発明の感放射線性組成物は、顔料を含有し、該顔料として、400nm以上500nm未満に極大吸収波長を持つ顔料A以下、適宜顔料Aと略称する。と、500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料B以下、適宜顔料Bと略称する。と、600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料C以下、適宜顔料Bと略称する。とをそれぞれ1種以上含有することを要する。感放射線性組成物に含有される顔料A乃至Cを含む全顔料の合計含有量は、感放射線性組成物の全固形分に対し0.1質量以上20質量以下である。本発明の感放射線性組成物が含有する顔料の種類としては、特定の吸収極大波長の範囲からそれぞれ選択された、顔料A、顔料B及び顔料Cを必須に含むこと以外には特に制限はなく、従来公知の種々の顔料を混合して用いることができる。本発明の感放射線性組成物における顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましい。ハンドリング性をも考慮すると、顔料の平均粒子径は、0.01μm~0.1μmが好ましく、0.01μm~0.05μmがより好ましい。なお、本明細書における顔料の平均粒子径は、ナノトラックUPA粒度分析計製品名:UPA-EX150、日機装株製を用いて測定した体積平均粒子径である。無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン、銀等の金属の酸化物、及び該金属の複合酸化物を挙げることができる。チタンの窒化物、銀錫化合物、銀化合物、カーボンブラックなども使用することができる。有機顔料としては、例えば、C.I.PigmentYellow1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等、C.I.PigmentOrange2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等、C.I.PigmentRed1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等、C.I.PigmentGreen7,10,36,37,58等、C.I.PigmentViolet1,19,23,27,32,37,39,42等、C.I.PigmentBlue1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,64,66,79,80等、C.I.PigmentBrown25,28等、C.I.PigmentBlack1等、を挙げることができる。<顔料A>顔料Aとしては、前掲した顔料を含む公知の顔料の中から、400nm以上500nm未満に極大吸収波長を持つ顔料が選択される。顔料Aは、1種のみであってもよいし、2種以上を併用してもよい。顔料Aとして、好ましく使用できる顔料の具体例としては、例えば、PigmentYellow138,PigmentYellow139,PigmentYellow150,PigmentYellow185が挙げられる。<顔料B>顔料Bとしては、前掲した顔料を含む公知の顔料の中から、500nm以上600nm未満に極大吸収波長を持つ顔料が選択される。顔料Bは、1種のみであってもよいし、2種以上を併用してもよい。顔料Bとして、好ましく使用できる顔料の具体例として、例えば、PigmentRed81,PigmentRed122,PigmentRed177,PigmentRed209,PigmentRed242,PigmentRed254,PigmentViolet23が挙げられる。<顔料C>顔料Cとしては、前掲した顔料を含む公知の顔料の中から、600nm以上700nm以下に極大吸収波長を持つ顔料が選択される。顔料Cは、1種のみであってもよいし、2種以上を併用してもよい。顔料Cとして、好ましく使用できる顔料の具体例として、例えば、PigmentGreen7,PigmentGreen36,PigmentGreen58,PigmentBlue15:3,PigmentBlue15:6が挙げられる。顔料A、顔料B及び顔料Cの好ましい組み合わせとしては、例えば、顔料Aが、PigmentYellow139であり、顔料Bが、PigmentRed254及びPigmentViolet23であり、顔料CがPigmentBlue15:6である組み合わせ、顔料Aが、PigmentYellow150であり、顔料Bが、PigmentRed177及びPigmentViolet23であり、顔料CがPigmentBlue15:6である組み合わせ、顔料Aが、PigmentYellow139であり、顔料Bが、PigmentRed254及びPigmentViolet23であり、顔料CがPigmentBlue15:3である組み合わせ、顔料Aが、PigmentYellow185であり、顔料Bが、PigmentRed254及びPigmentViolet23であり、顔料CがPigmentBlue15:6である組み合わせ、等が挙げられる。感放射線性組成物に含有される全顔料の合計含有量は、感放射線性組成物の全固形分に対して、0.1質量以上20質量以下であり、好ましくは0.5質量以上10質量以下であり、より好ましくは1.0質量以上5.0質量以下である。顔料A、顔料B及び顔料Cの含有量としては、感放射線性組成物の全固形分に対して、それぞれ0.2質量以上10質量以下であることが好ましく、それぞれ0.3質量以上5.0質量以下であることがより好ましく、それぞれ0.5質量以上3.0質量以下であることが更に好ましい。但し、顔料A、顔料B及び顔料Cの含有量は、感放射線性組成物に含有される全顔料の合計含有量全固形分に対して0.1質量以上20質量以下の範囲内において調整されることが必要である。顔料A、顔料B及び顔料Cの含有質量比率は、顔料Aに対して顔料Bと顔料Cがそれぞれ5倍以下が好ましく、顔料Aに対して顔料Bと顔料Cがそれぞれ4倍以下がより好ましく、顔料Aに対して顔料Bと顔料Cがそれぞれ3倍以下が更に好ましい。顔料B及び顔料Cについては、ポストベーク後の剥がれ抑制の観点から、その合計含有量が、1質量以上18質量以下であることが好ましく、1.5質量以上10質量以下であることがより好ましく、2.0質量以上5.0質量以下であることが更に好ましい。また、顔料B及び顔料Cの含有質量比率B:Cとしては、1:2~2:1であることが好ましく、1.75:1~1:1.75であることがより好ましく、1.5:1~1:1.5であることが更に好ましい。顔料B及び顔料Cとしては、上記の合計含有量及び含有質量比率の双方を満たしていることが好ましい。-顔料分散剤-本発明の感放射線性組成物は、顔料分散剤を含有してもよい。本発明に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリメタアクリレート、メタアクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の界面活性剤、及び、顔料誘導体等を挙げることができる。高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子としては、例えば、特開平3-112992号公報、特表2003-533455号公報等に記載の末端にりん酸基を有する高分子、特開2002-273191号公報等に記載の末端にスルホン酸基を有する高分子、特開平9-77994号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有する高分子などが挙げられる。また、特開2007-277514号公報に記載の高分子末端に2個以上の顔料表面へのアンカー部位酸基、塩基性基、有機色素の部分骨格やヘテロ環等を導入した高分子も分散安定性に優れ好ましい。顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子としては、例えば、特開昭54ー37082号公報、特表平8-507960号公報、特開2009-258668公報等に記載のポリ低級アルキレンイミンとポリエステルの反応生成物、特開平9-169821号公報等に記載のポリアリルアミンとポリエステルの反応生成物、特開平10-339949号、特開2004-37986号公報等に記載のマクロモノマーと、窒素原子モノマーとの共重合体、特開2003-238837号公報、特開2008-9426号公報、特開2008-81732号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有するグラフト型高分子、特開2010-106268号公報等に記載のマクロモノマーと酸基含有モノマーとの共重合体等が挙げられる。特に、特開2009-203462号公報に記載の塩基性基と酸性基を有する両性分散樹脂は、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた感放射線性組成物が示す現像性の観点から特に好ましい。顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子をラジカル重合で製造する際に用いるマクロモノマーとしては、公知のマクロモノマーを用いることができ、東亜合成株製のマクロモノマーAA-6末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル、AS-6末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン、AN-6S末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体、AB-6末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル、ダイセル化学工業株製のプラクセルFM5メタクリル酸2-ヒドロキシエチルのε-カプロラクトン5モル当量付加品、FA10Lアクリル酸2-ヒドロキシエチルのε-カプロラクトン10モル当量付加品、及び特開平2-272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマー等が挙げられる。これらの中でも、特に柔軟性且つ親溶剤性に優れるポリエステル系マクロモノマーが、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた感放射線性組成物が示す現像性の観点から特に好ましく、更に、特開平2-272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマーで表されるポリエステル系マクロモノマーが最も好ましい。顔料表面へのアンカー部位を有するブロック型高分子としては、特開2003-49110号公報、特開2009-52010号公報等に記載のブロック型高分子が好ましい。本発明に用いうる顔料分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、BYKChemie社製Disperbyk-101ポリアミドアミン燐酸塩、107カルボン酸エステル、110酸基を含む共重合物、130ポリアミド、161、162、163、164、165、166、170高分子共重合物、BYK-P104、P105高分子量不飽和ポリカルボン酸、EFKA社製EFKA4047、4050~4010~4165ポリウレタン系、EFKA4330~4340ブロック共重合体、4400~4402変性ポリアクリレート、5010ポリエステルアミド、5765高分子量ポリカルボン酸塩、6220脂肪酸ポリエステル、6745フタロシアニン誘導体、6750アゾ顔料誘導体、味の素ファンテクノ社製アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881、共栄社化学社製フローレンTG-710ウレタンオリゴマー、ポリフローNo.50E、No.300アクリル系共重合体、楠本化成社製ディスパロンKS-860、873SN、874、2150脂肪族多価カルボン酸、7004ポリエーテルエステル、DA-703-50、DA-705、DA-725、花王社製デモールRN、Nナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物、MS、C、SN-B芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物、ホモゲノールL-18高分子ポリカルボン酸、エマルゲン920、930、935、985ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、アセタミン86ステアリルアミンアセテート、日本ルーブリゾール株製ソルスパース5000フタロシアニン誘導体、22000アゾ顔料誘導体、13240ポリエステルアミン、3000、17000、27000末端部に機能部を有する高分子、24000、28000、32000、38500グラフト型高分子、日光ケミカル者製ニッコールT106ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、MYS-IEXポリオキシエチレンモノステアレート、川研ファインケミカル株製ヒノアクトT-8000E等、信越化学工業株製、オルガノシロキサンポリマーKP341、裕商株製W001:カチオン系界面活性剤、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、W004、W005、W017等のアニオン系界面活性剤、森下産業株製EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450、サンノプコ株製ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100等の高分子分散剤、株ADEKA製アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123、及び三洋化成株製イオネット商品名S-20等が挙げられる。これらの顔料分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。また、顔料分散剤は、前記顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子と伴に、アルカリ可溶性樹脂と併用して用いてもよい。アルカリ可溶性樹脂としては、メタアクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を変性した樹脂が挙げられるが、特にメタアクリル酸共重合体が好ましい。また、特開平10-300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマー共重合体、特開2004-300204号公報に記載のエーテルダイマー共重合体、特開平7-319161号公報に記載の重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂も好ましい。以下に、本発明において好ましく用いられる特開2010-106268号公報に記載される分散剤について説明する。好ましい分散剤としては、分子内に、水素原子を除いた原子数が40~10000の範囲であり、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、及びポリアクリレート構造から選択されるグラフト鎖を有するグラフト共重合体であり、少なくとも下記式1~式4のいずれかで表される構造単位を含むグラフト共重合体が好ましく、少なくとも、下記式1A、下記式2A、下記式3A、下記式3B、及び下記4のいずれかで表される構造単位を含むグラフト共重合体がより好ましい。式1~式4において、W1、W2、W3及びW4は、それぞれ独立に酸素原子或いはNHを表し、特に酸素原子が好ましい。式1~式4において、X1、X2、X3、X4及びX5はそれぞれ独立に水素原子或いは1価の有機基を表す。X1、X2、X3、X4及びX5としては、合成上の制約の観点から、好ましくは水素原子、或いは炭素数1から12のアルキル基であり、水素原子或いはメチル基であることがより好ましく、メチル基が特に好ましい。式1~式4において、Y1、Y2、Y3及びY4はそれぞれ独立に2価の連結基であり、特に構造上制約されない。Y1、Y2、Y3及びY4で表される2価の連結基として、具体的には、下記のY-1からY-21の連結基などが挙げられる。下記構造でA、Bはそれぞれ、式1~式4における左末端基、右末端基との結合を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、、Y-13であることがより好ましい。式1~式4において、Z1、Z2、Z3及びZ4は、それぞれ独立に1価の有機基であり、特に、構造は限定されないが、具体的には、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、或いはヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、或いはヘテロアリールチオエーテル基、アミノ基などが挙げられる。この中でも、Z1、Z2、Z3及びZ4で表される1価の有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を有することが好ましく、Z1~Z3で表される有機基としては、各々独立に炭素数5から24のアルキル基又は炭素数5~24のアルコキシ基が好ましく、その中でも、特に各々独立に炭素数5~24の分岐アルキル基を有するアルコキシ基或いは炭素数5~24の環状アルキル基を有するアルコキシ基が好ましい。また、Z4で表される有機基としては、各々独立に炭素数5~24のアルキル基が好ましく、その中でも、各々独立に炭素数5~24の分岐アルキル基或いは炭素数5~24の環状アルキル基が好ましい。式1~式4において、n、m、p及びqはそれぞれ1から500の整数である。また、式1及び式2において、j及びkは、それぞれ独立に、2~8の整数を表す。式1及び式2におけるj及びkは、分散安定性、現像性の観点から、4~6の整数が好ましく、5が最も好ましい。式3中のR3は、分岐又は直鎖のアルキレン基を表す。式3中のR3は、炭素数1~10のアルキレン基であることが好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基であることがより好ましい。式4中のR4は水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。式4中のR4として好ましくは、水素原子、アルキル基、アリール基、及びヘテロアリール基が挙げられ、さらに好ましくは、水素原子、又はアルキル基である。式4中のR4がアルキル基である場合、該アルキル基としては、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐状アルキル基、又は炭素数5~20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1~20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1~6の直鎖状アルキル基が特に好ましい。また、式4中のR4としては、グラフト共重合体中に構造の異なるR4を2種以上混合して用いてもよい。グラフト共重合体において、式1~式4で表される構造単位は、質量換算で、グラフト共重合体の総質量に対し10~90の範囲で含まれることが好ましく、30~70の範囲で含まれることがより好ましい。式1~式4で表される構造単位が、この範囲内で含まれると顔料の分散性が高く、遮光膜を形成する際の現像性が良好である。また、グラフト共重合体においては、2種以上の構造が異なるグラフト共重合体を含有することができる。前記式1で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式1Aで表される構造単位であることがより好ましい。また、前記式2で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式2Aで表される構造単位であることがより好ましい。式1A中、X1、Y1、Z1及びnは、式1におけるX1、Y1、Z1及びnと同義であり、好ましい範囲も同様である。式2A中、X2、Y2、Z2及びmは、式2におけるX2、Y2、Z2及びmと同義であり、好ましい範囲も同様である。また、前記式3で表される構造単位としては、分散安定性、現像性の観点から、下記式3A又は下記式3Bで表される構造単位であることがより好ましい。式3A又は3B中、X3、Y3、Z3及びpは、前記式3におけるX3、Y3、Z3及びpと同義であり、好ましい範囲も同様である。グラフト共重合体としては、前記式1Aで表される構造単位を有するものであることがより好ましい。グラフト共重合体の具体例として、以下に示す化合物が挙げられる。なお、下記例示化合物中、各構造単位に併記される数値は、当該構造単位の含有量質量:適宜、wtと記載を表す。本発明における顔料分散剤としては、ポリエステル鎖を有する化合物が好ましい。感放射線性組成物における顔料分散剤の含有量としては、顔料100質量部に対して、1~80質量部であることが好ましく、5~70質量部がより好ましく、10~60質量部であることが更に好ましい。具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その含有量としては、顔料100質量部に対して、質量換算で5~100部の範囲が好ましく、10~80部の範囲であることがより好ましい。また、顔料誘導体を併用する場合、顔料誘導体の含有量としては、顔料100質量部に対し、質量換算で1~30部の範囲にあることが好ましく、3~20部の範囲にあることがより好ましく、5~15部の範囲にあることが特に好ましい。感放射線性組成物において、顔料分散剤をさらに用いる場合、硬化感度、色濃度の観点から、顔料及び分散剤の含有量の総和が、感放射線性組成物を構成する全固形分に対して30質量以上90質量以下であることが好ましく、40質量以上85質量以下であることがより好ましく、50質量以上80質量以下であることが更に好ましい。4重合性化合物本発明の感放射線性組成物は、重合性化合物を含有することが好ましい。重合性化合物として、具体的には、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られているものであり、本発明においてはこれらを特に限定なく用いることができる。これらは、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの多量体などの化学的形態のいずれであってもよい。本発明における重合性化合物は一種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。重合性化合物として、具体的には、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られているものであり、本発明においてはこれらを特に限定なく用いることができる。これらは、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの多量体などの化学的形態のいずれであってもよい。本発明における重合性化合物は、一種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。より具体的には、モノマー及びそのプレポリマーの例としては、不飽和カルボン酸例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸などやそのエステル類、アミド類、並びにこれらの多量体が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、及び不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類、並びにこれらの多量体である。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物や、単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基やエポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更に、ハロゲン基やトシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン等のビニルベンゼン誘導体、ビニルエーテル、アリルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。これらの具体的な化合物としては、特開2009-288705号公報の段落番号0095~段落番号0108に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。重合性化合物としては、以下に詳述する重合性モノマーを好適に用いることができる。重合性モノマーとしては、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有し、かつ常圧下で100°C以上の沸点を持つ化合物が好ましい。重合性モノマーの例としては、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタアクリレート、フェノキシエチルメタアクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールエタントリメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ヘキサンジオールメタアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリロイルオキシプロピルエーテル、トリアクリロイロキシエチルイソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後メタアクリレート化したもの;特公昭48-41708号、特公昭50-6034号、特開昭51-37193号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類;特開昭48-64183号、特公昭49-43191号、特公昭52-30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂とメタアクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物;を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300~308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも挙げることができる。このモノマーとして、水素結合性基を有するモノマー以下、水素結合性基含有モノマーともいうを含有することが好ましい。これにより、水素結合性基含有モノマー同士の水素結合又は、水素結合性基含有モノマーと後述の他のモノマーとの水素結合が効果的に形成されるので、ポストベークによる熱ダレが抑制され、パターン矩形性の劣化が抑制される。具体的には、前記水素結合性基としては、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、ウレイド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホ基、スルホンアミド基、アミド基等が挙げられる。これらの中でも、水素結合に供与する水素と、水素結合を受容する置換基の双方を持つものが好ましい。パターンの矩形性の観点からは、前記水素結合性基としては、カルボキシル基、アルコキシカルボニルアミノ基、及びウレイド基から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。また、前記水素結合性基含有モノマーは、多官能モノマー以下、多官能重合性モノマーともいうであることが好ましい。以下、水素結合性基を含有する多官能重合性モノマーの具体例について説明する。ヒドロキシル基を含有する多官能重合性モノマーとしては、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ECH変性エチレングリコールジアクリレート、ECH変性グリセロールトリアクリレート、ECH変性フタル酸ジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、ECH変性トリメチロールプロパントリアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を含有する多官能重合性モノマーとしては、下記一般式III-1又は一般式III-2で表される化合物が挙げられる。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。なお、下記一般式において、T又はGがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がR、X及びWに結合する。一般式III-1において、nは0~14であり、mは1~8である。前記一般式III-2において、Wは一般式III-1と同義のR又はXであり、6個のWのうち、3個以上5個以下のWがRである。pは0~14であり、qは1~8である。一分子内に複数存在するR、X、T、Gは、各々同一であっても、異なっていてもよい。以下、前記一般式III-1又は一般式III-2で表される化合物の具体例を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。以上で説明したカルボキシル基を含有する多官能重合性モノマーと、後述する他のモノマーと、の組み合わせとしては、東亜合成化学株製のTO-2359、TO-2360、TO-2348、又はTO-756が市販されている。アルコキシカルボニルアミノ基を有する多官能モノマーとしては、新中村化学工業株製のU-6LHA、U-6LYXA、U-12LMA等が挙げられる。アミド基を有する多官能モノマーとしては、東亜合成製モノマーM-315、M-215等が挙げられる。他にも、アミノ基を含有する多官能モノマーも好適に使用できる。水素結合性基を含有する多官能モノマーとして、具体的な例として以下の化合物が挙げられる。上記水素結合性基含有モノマーの中でも好ましくはカルボキシル基含有モノマー、アルコキシカルボニルアミノ基含有モノマー、ウレイド基含有モノマーであり、最も好ましくはカルボキシル基含有モノマーである。さらに、カルボキシル基含有モノマーと、アミノ基含有多官能モノマーを併用することが更に好ましい。本発明の感放射線性組成物は、上記の水素結合性基含有モノマーを全固形分中30質量以上含有することにより、ポストベークによるパターン矩形性劣化を抑制することができ好ましい。本発明の感放射線性組成物の全固形分中における水素結合性基含有モノマーの含有量は、33質量以上であることがより好ましく、35質量以上であることが最も好ましい。本発明において、全重合性化合物少なくとも水素結合性基含有モノマーを含み、更に必要に応じ他の重合性化合物を含む全重合性化合物成分の、感放射線性組成物における含有量は、組成物の全固形分に対して、10~80質量が好ましく、10~70質量がより好ましく、10~60が最も好ましい。全重合性化合物の含有量は、10質量以上であると良好な硬化膜が得られ、80質量以下であると現像残渣の発生をより効果的に抑制できる。また、水素結合性基含有モノマーを含有する場合、その含有量は、組成物の全固形分に対して、20質量以上となるように含有することが好ましい。本発明の感放射線性組成物における好適な重合性化合物である水素結合性基含有モノマーと紫外線吸収剤との組み合わせとしては、現像残渣低減とパターン矩形性向上との両立の観点からは、以下の組み合わせが好ましい。即ち、水素結合性基含有モノマーが、カルボキシル基、アルコキシカルボニルアミノ基、及びウレイド基から選ばれる少なくとも1種の水素結合性基を含有する多官能モノマーであって、紫外線吸収剤が前記一般式Iで表される化合物である組み合わせの形態が好ましい。上記形態の中でも、本発明の感放射線性組成物としては、重合性化合物として更に、水素結合性基を有しない多官能メタアクリレートを含む形態が特に好ましい。5光重合開始剤本発明の感放射線性組成物は、光重合開始剤を含有することが好ましい。本発明における光重合開始剤以下、単に重合開始剤ということがある。としては、以下に述べるような光重合開始剤として知られているものを用いることができる。光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができ、例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましく、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。また、前記光重合開始剤は、約300~800nm330~500nmがより好ましい。の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する成分を少なくとも1種含有していることが好ましい。光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの、など、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノンなどが挙げられる。前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、29241969記載の化合物、英国特許1388492号明細書記載の化合物、特開昭53-133428号公報記載の化合物、独国特許3337024号明細書記載の化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、15271964記載の化合物、特開昭62-58241号公報記載の化合物、特開平5-281728号公報記載の化合物、特開平5-34920号公報記載化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されている化合物、などが挙げられる。前記米国特許第4212976号明細書に記載されている化合物としては、例えば、オキサジアゾール骨格を有する化合物例えば、2-トリクロロメチル-5-フェニル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-4-クロロフェニル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-1-ナフチル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-2-ナフチル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリブロモメチル-5-フェニル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリブロモメチル-5-2-ナフチル-1,3,4-オキサジアゾール;2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-4-クロルスチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-4-メトキシスチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-1-ナフチル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-4-n-ブトキシスチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリプロモメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾールなどなどが挙げられる。また、上記以外の光重合開始剤として、アクリジン誘導体例えば、9-フェニルアクリジン、1,7-ビス9、9’-アクリジニルヘプタンなど、N-フェニルグリシンなど、ポリハロゲン化合物例えば、四臭化炭素、フェニルトリブロモメチルスルホン、フェニルトリクロロメチルケトンなど、クマリン類例えば、3-2-ベンゾフロイル-7-ジエチルアミノクマリン、3-2-ベンゾフロイル-7-1-ピロリジニルクマリン、3-ベンゾイル-7-ジエチルアミノクマリン、3-2-メトキシベンゾイル-7-ジエチルアミノクマリン、3-4-ジメチルアミノベンゾイル-7-ジエチルアミノクマリン、3,3’-カルボニルビス5,7-ジ-n-プロポキシクマリン、3,3’-カルボニルビス7-ジエチルアミノクマリン、3-ベンゾイル-7-メトキシクマリン、3-2-フロイル-7-ジエチルアミノクマリン、3-4-ジエチルアミノシンナモイル-7-ジエチルアミノクマリン、7-メトキシ-3-3-ピリジルカルボニルクマリン、3-ベンゾイル-5,7-ジプロポキシクマリン、7-ベンゾトリアゾール-2-イルクマリン、また、特開平5-19475号公報、特開平7-271028号公報、特開2002-363206号公報、特開2002-363207号公報、特開2002-363208号公報、特開2002-363209号公報などに記載のクマリン化合物など、アシルホスフィンオキサイド類例えば、ビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニルホスフィンオキサイド、ビス2,6-ジメトキシベンゾイル-2,4,4-トリメチル-ペンチルフェニルホスフィンオキサイド、LucirinTPOなど、メタロセン類例えば、ビスη5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル-ビス2,6-ジフロロ-3-1H-ピロール-1-イル-フェニルチタニウム、η5-シクロペンタジエニル-η6-クメニル-アイアン1-ヘキサフロロホスフェート1-など、特開昭53-133428号公報、特公昭57-1819号公報、同57-6096号公報、及び米国特許第3615455号明細書に記載された化合物などが挙げられる前記ケトン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、2-メチルベンゾフェノン、3-メチルベンゾフェノン、4-メチルベンゾフェノン、4-メトキシベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、4-クロロベンゾフェノン、4-ブロモベンゾフェノン、2-カルボキシベンゾフェノン、2-エトキシカルボニルベンゾルフェノン、ベンゾフェノンテトラカルボン酸又はそのテトラメチルエステル、4,4’-ビスジアルキルアミノベンゾフェノン類例えば、4,4’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジシクロヘキシルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジヒドロキシエチルアミノベンゾフェノン、4-メトキシ-4’-ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ジメトキシベンゾフェノン、4-ジメチルアミノベンゾフェノン、4-ジメチルアミノアセトフェノン、ベンジル、アントラキノン、2-t-ブチルアントラキノン、2-メチルアントラキノン、フェナントラキノン、キサントン、チオキサントン、2-クロル-チオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、フルオレノン、2-ベンジル-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-1-ブタノン、2-メチル-1-4-メチルチオフェニル-2-モルホリノ-1-プロパノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-4-1-メチルビニルフェニルプロパノールオリゴマー、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンジルジメチルケタール、アクリドン、クロロアクリドン、N-メチルアクリドン、N-ブチルアクリドン、N-ブチル-クロロアクリドンなどが挙げられる。光重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10-291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィンオキシド系開始剤も用いることができる。ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959,IRGACURE-127商品名:いずれもBASF社製を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE-907、IRGACURE-369、及び、IRGACURE-379商品名:いずれもBASF社製を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nmまたは405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009-191179公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE-819やDAROCUR-TPO商品名:いずれもBASF社製を用いることができる。光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。オキシム化合物の具体例としては、特開2001-233842号公報記載の化合物、特開2000-80068号公報記載の化合物、特開2006-342166号公報記載の化合物を用いることができる。本発明で光重合開始剤として好適に用いられるオキシム誘導体等のオキシム化合物としては、例えば、3-ベンゾイロキシイミノブタン-2-オン、3-アセトキシイミノブタン-2-オン、3-プロピオニルオキシイミノブタン-2-オン、2-アセトキシイミノペンタン-3-オン、2-アセトキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オン、2-ベンゾイロキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オン、3-4-トルエンスルホニルオキシイミノブタン-2-オン、及び2-エトキシカルボニルオキシイミノ-1-フェニルプロパン-1-オンなどが挙げられる。オキシム化合物としては、J.C.S.PerkinII1979年pp.1653-1660、J.C.S.PerkinII1979年pp156-162、JournalofPhotopolymerScienceandTechnology1995年pp.202-232、特開2000-66385号公報記載の化合物、特開2000-80068号公報、特表2004-534797号公報、特開2006-342166号公報の各公報に記載の化合物等が挙げられる。市販品では、IRGACURE-OXE01BASF社製、IRGACURE-OXE02BASF社製も好適に用いられる。また、上記記載以外のオキシム化合物としては、カルバゾールN位にオキシムが連結した特表2009-519904公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許7626957号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開2010-15025公報及び米国特許公開2009-292039記載の化合物、国際公開特許2009-131189公報に記載のケトオキシム系化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910公報に記載の化合物、405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009-221114公報記載の化合物、などを用いてもよい。好ましくはさらに、特開2007-231000公報、及び、特開2007-322744公報に記載される環状オキシム化合物に対しても好適に用いることができる。環状オキシム化合物の中でも、特に特開2010-32985公報、特開2010-185072公報に記載されるカルバゾール色素に縮環した環状オキシム化合物は、高い光吸収性を有し高感度化の観点から好ましい。また、オキシム化合物の特定部位に不飽和結合を有する特開2009-242469公報に記載の化合物も、重合不活性ラジカルから活性ラジカルを再生することで高感度化を達成でき好適に使用することができる。オキシム化合物として最も好ましくは、特開2007-269779公報に示される特定置換基を有するオキシム化合物や、特開2009-191061公報に示されるチオアリール基を有するオキシム化合物が挙げられる。具体的には、オキシム系光重合開始剤としては、下記式1で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのN-O結合がE体のオキシム化合物であっても、Z体のオキシム化合物であっても、E体とZ体との混合物であってもよい。一般式1中、R及びBは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。前記Rで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。前記一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。置換基を有していてもよいアルキル基としては、炭素数1~30のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクダデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、1-エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、2-エチルヘキシル基、フェナシル基、1-ナフトイルメチル基、2-ナフトイルメチル基、4-メチルスルファニルフェナシル基、4-フェニルスルファニルフェナシル基、4-ジメチルアミノフェナシル基、4-シアノフェナシル基、4-メチルフェナシル基、2-メチルフェナシル基、3-フルオロフェナシル基、3-トリフルオロメチルフェナシル基、及び、3-ニトロフェナシル基が例示できる。置換基を有していてもよいアリール基としては、炭素数6~30のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、ビフェニル基、1-ナフチル基、2-ナフチル基、9-アンスリル基、9-フェナントリル基、1-ピレニル基、5-ナフタセニル基、1-インデニル基、2-アズレニル基、9-フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o-、m-及びp-トリル基、キシリル基、o-、m-及びp-クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、並びに、オバレニル基が例示できる。置換基を有していてもよいアシル基としては、炭素数2~20のアシル基が好ましく、具体的には、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロアセチル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、1-ナフトイル基、2-ナフトイル基、4-メチルスルファニルベンゾイル基、4-フェニルスルファニルベンゾイル基、4-ジメチルアミノベンゾイル基、4-ジエチルアミノベンゾイル基、2-クロロベンゾイル基、2-メチルベンゾイル基、2-メトキシベンゾイル基、2-ブトキシベンゾイル基、3-クロロベンゾイル基、3-トリフルオロメチルベンゾイル基、3-シアノベンゾイル基、3-ニトロベンゾイル基、4-フルオロベンゾイル基、4-シアノベンゾイル基、及び、4-メトキシベンゾイル基が例示できる。置換基を有していてもよいアルコキシカルボニル基としては、炭素数2~20のアルコキシカルボニル基が好ましく、具体的には、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、及び、トリフルオロメチルオキシカルボニル基が例示できる。置換基を有していてもよいアリールオキシカルボニル基として具体的には、フェノキシカルボニル基、1-ナフチルオキシカルボニル基、2-ナフチルオキシカルボニル基、4-メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4-フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4-ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、4-ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、2-クロロフェニルオキシカルボニル基、2-メチルフェニルオキシカルボニル基、2-メトキシフェニルオキシカルボニル基、2-ブトキシフェニルオキシカルボニル基、3-クロロフェニルオキシカルボニル基、3-トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、3-シアノフェニルオキシカルボニル基、3-ニトロフェニルオキシカルボニル基、4-フルオロフェニルオキシカルボニル基、4-シアノフェニルオキシカルボニル基、及び、4-メトキシフェニルオキシカルボニル基が例示できる。置換基を有していてもよい複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子若しくはリン原子を含む、芳香族又は脂肪族の複素環が好ましい。具体的には、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3-b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H-ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H-インドリル基、インドリル基、1H-インダゾリル基、プリニル基、4H-キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH-カルバゾリル基、カルバゾリル基、β-カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、及び、チオキサントリル基が例示できる。置換基を有していてもよいアルキルチオカルボニル基として具体的には、メチルチオカルボニル基、プロピルチオカルボニル基、ブチルチオカルボニル基、ヘキシルチオカルボニル基、オクチルチオカルボニル基、デシルチオカルボニル基、オクタデシルチオカルボニル基、及び、トリフルオロメチルチオカルボニル基が例示できる。置換基を有していてもよいアリールチオカルボニル基として具体的には、1-ナフチルチオカルボニル基、2-ナフチルチオカルボニル基、4-メチルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4-フェニルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4-ジメチルアミノフェニルチオカルボニル基、4-ジエチルアミノフェニルチオカルボニル基、2-クロロフェニルチオカルボニル基、2-メチルフェニルチオカルボニル基、2-メトキシフェニルチオカルボニル基、2-ブトキシフェニルチオカルボニル基、3-クロロフェニルチオカルボニル基、3-トリフルオロメチルフェニルチオカルボニル基、3-シアノフェニルチオカルボニル基、3-ニトロフェニルチオカルボニル基、4-フルオロフェニルチオカルボニル基、4-シアノフェニルチオカルボニル基、及び、4-メトキシフェニルチオカルボニル基が挙げられる。前記Bで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基を表す。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。なかでも、特に好ましくは以下に示す構造である。下記の構造中、Y、X、及び、nは、それぞれ、後述する式2におけるY、X、及び、nと同義であり、好ましい例も同様である。一般式1中、Aで表される二価の有機基としては、炭素数1~12のアルキレン基、シクロヘキシレン基、アルキニレン基が挙げられる。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。中でも、一般式1におけるAとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基例えば、メチル基、エチル基、tert-ブチル基、ドデシル基で置換されたアルキレン基、アルケニル基例えば、ビニル基、アリル基で置換されたアルキレン基、アリール基例えば、フェニル基、p-トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基で置換されたアルキレン基が好ましい。一般式1中、Arで表されるアリール基としては、炭素数6~30のアリール基が好ましく、また、置換基を有していてもよい。置換基としては、先に置換基を有していてもよいアリール基の具体例として挙げた置換アリール基に導入された置換基と同様のものが例示できる。なかでも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。一般式1においては、一般式1中のArと隣接するSとで形成されるSArの構造が、以下に示す構造であることが感度の点で好ましい。なお、Meはメチル基を表し、Etはエチル基を表す。オキシム化合物は、下記一般式2で表される化合物であることが好ましい。一般式2中、R及びXは各々独立に一価の置換基を表し、A及びYは各々独立に二価の有機基を表し、Arはアリール基を表し、nは0~5の整数である。一般式2におけるR、A、及びArは、前記一般式1におけるR、A、及びArと同義であり、好ましい例も同様である。一般式2中、Xで表される一価の置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、複素環基、ハロゲン原子が挙げられる。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。これらの中でも、一般式2におけるXとしては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、アルキル基が好ましい。また、一般式2におけるnは、0~5の整数を表し、0~2の整数が好ましい。一般式2中、Yで表される二価の有機基としては、以下に示す構造が挙げられる。なお、以下に示される基において、は、一般式2において、Yと隣接する炭素原子との結合位置を示す。中でも、二価の有機基としては、感度化の観点から、下記に示す構造が好ましい。さらに、オシム化合物は、下記一般式3で表される化合物であることが好ましい。一般式3中、R及びXは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表し、nは0~5の整数である。一般式3におけるR、X、A、Ar、及び、nは、一般式2におけるR、X、A、Ar、及び、nとそれぞれ同義であり、好ましい例も同様である。以下好適に用いられるオキシム化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。オキシム化合物は、350nm~500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものであり、360nm~480nmの波長領域に吸収波長を有するものであることが好ましく、365nm及び455nmの吸光度が高いものが特に好ましい。オキシム化合物は、365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1000~300,000であることが好ましく、2000~300,000であることがより好ましく、5000~200,000であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計Varian社製Carry-5spctrophotometerにて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。本発明に用いられる光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用しても良い。光重合開始剤の感放射線性組成物中における含有量2種以上の場合は総含有量としては、感放射線性組成物の全固形分に対して、0.1~20質量の範囲が好ましく、より好ましくは0.5~10質量の範囲、特に好ましくは1~8質量の範囲である。この範囲内であると、良好な感度とパターン形成性が得られる。感放射線性組成物は、光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。感放射線性組成物に含有しうる増感剤としては、例えば、特開2008-32803号公報の段落番号0101~0154に記載される化合物が挙げられる。感放射線性組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、0.1質量~20質量であることが好ましく、0.5質量~15質量がより好ましい。増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。5有機溶剤本発明の感放射線性組成物は、一般には、有機溶剤を用いて構成することができる。有機溶剤は、各成分の溶解性や感放射線性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特に紫外線吸収剤、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、本発明の感放射線性組成物を調製する際には、少なくとも2種類の有機溶剤を含むことが好ましい。有機溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸-n-ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;3-オキシプロピオン酸メチル、3-オキシプロピオン酸エチル等の3-オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、等;2-オキシプロピオン酸メチル、2-オキシプロピオン酸エチル、2-オキシプロピオン酸プロピル等の2-オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2-メトキシプロピオン酸メチル、2-メトキシプロピオン酸エチル、2-メトキシプロピオン酸プロピル、2-エトキシプロピオン酸メチル、2-エトキシプロピオン酸エチル、2-オキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-オキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、2-メトキシ-2-メチルプロピオン酸メチル、2-エトキシ-2-メチルプロピオン酸エチル、等;ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2-オキソブタン酸メチル、2-オキソブタン酸エチル、等;エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等;ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2-ヘプタノン、3-ヘプタノン、等;芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。上述の通り、これらの有機溶剤は、紫外線吸収剤及びアルカリ可溶性樹脂の溶解性、塗布面状の改良などの観点から、2種以上を混合してもよく、特に、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液が好適に用いられる。有機溶剤の感放射線性組成物中における含有量は、塗布性の観点から、組成物の全固形分濃度が5~90質量になる量とすることが好ましく、5~87質量が更に好ましく、10~85質量が特に好ましい。6その他の添加物本発明の感放射線性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば、充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、有機カルボン酸、有機カルボン酸無水物、重合禁止剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することかできる。<界面活性剤>本発明の感放射線性組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。これらの中でもフッ素系界面活性剤が好ましい。特に、本発明の感放射線性組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性特に、流動性がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する感放射線性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量~40質量が好適であり、より好ましくは5質量~30質量であり、特に好ましくは7質量~25質量である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感放射線性組成物中における溶解性も良好である。フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781以上、DIC株製、フロラードFC430、同FC431、同FC171以上、住友スリーエム株製、サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC1068、同SC-381、同SC-383、同S393、同KH-40以上、旭硝子株製等が挙げられる。ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステルBASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1等が挙げられる。カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体商品名:EFKA-745、森下産業株製、オルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業株製、メタアクリル酸系共重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95共栄社化学株製、W001裕商株製等が挙げられる。アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017裕商株社製等が挙げられる。シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レダウコーニング株製トーレシリコーンDC3PA、トーレシリコーンSH7PA、トーレシリコーンDC11PA,トーレシリコーンSH21PA,トーレシリコーンSH28PA、トーレシリコーンSH29PA、トーレシリコーンSH30PA、トーレシリコーンSH8400、モメンティブパフォーマンスマテリアルズ社製TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452、信越シリコーン株式会社製KP341、KF6001、KF6002、ビックケミー社製BYK307、BYK323、BYK330等が挙げられる。界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。界面活性剤の感放射線性組成物への添加量は、感放射線性組成物の全質量に対して、0.001質量~2.0質量が好ましく、より好ましくは0.005質量~1.0質量である。<有機カルボン酸、有機カルボン酸無水物>本発明の感放射線性組成物は、分子量1000以下の有機カルボン酸、及び/又は有機カルボン酸無水物を含有していてもよい。有機カルボン酸化合物としては、具体的には、脂肪族カルボン酸または芳香族カルボン酸が挙げられる。脂肪族カルボン酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、グリコール酸、アクリル酸、メタクリル酸等のモノカルボン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、シクロヘキセンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸等のジカルボン酸、トリカルバリル酸、アコニット酸等のトリカルボン酸等が挙げられる。また、芳香族カルボン酸としては、例えば、安息香酸、フタル酸等のフェニル基に直接カルボキシル基が結合したカルボン酸、及びフェニル基から炭素結合を介してカルボキシル基が結合したカルボン酸類が挙げられる。これらの中では、特に分子量600以下、とりわけ分子量50~500のもの、具体的には、例えば、マレイン酸、マロン酸、コハク酸、イタコン酸が好ましい。有機カルボン酸無水物としては、例えば、脂肪族カルボン酸無水物、芳香族カルボン酸無水物が挙げられ、具体的には、例えば、無水酢酸、無水トリクロロ酢酸、無水トリフルオロ酢酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸、無水グルタル酸、無水1,2-シクロヘキセンジカルボン酸、無水n-オクタデシルコハク酸、無水5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸等の脂肪族カルボン酸無水物が挙げられる。芳香族カルボン酸無水物としては、例えば、無水フタル酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、無水ナフタル酸等が挙げられる。これらの中では、特に分子量600以下、とりわけ分子量50~500のもの、具体的には、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸が好ましい。これらの有機カルボン酸及び/又は有機カルボン酸無水物の添加量は、通常、感放射線性組成物の全固形分中0.01~10質量、好ましくは0.03~5質量、より好ましくは0.05~3質量の範囲である。これら分子量1000以下の有機カルボン酸、及び/又は有機カルボン酸無水物を添加することによって、高いパターン密着性を保ちながら、感放射線性組成物の未溶解物の残存をより一層低減することが可能である。<重合禁止剤>本発明の感放射線性組成物においては、該感放射線性組成物の製造中又は保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-t-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、t-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス3-メチル-6-t-ブチルフェノール、2,2’-メチレンビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。中でも、p-メトキシフェノールが好ましい。重合禁止剤の添加量は、感放射線性組成物の全質量に対して、約0.01質量~約5質量が好ましい。密着促進剤、酸化防止剤、及び凝集防止剤の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス2-メトキシエトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2-チオビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール、2,6-ジ-t-ブチルフェノール等の酸化防止剤;及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。また、本発明の感放射線性組成物は、感放射線性組成物の紫外線未照射部におけるアルカリ溶解性を促進し、現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量の有機カルボン酸を含有することができる。有機カルボン酸の具体例としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。本発明の感放射線性組成物は、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタで濾過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。フィルタの例としては、例えば、PTFEポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、ナイロン-6、ナイロン-6,6等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレンPP等のポリオレフィン樹脂高密度、超高分子量を含む等によるフィルタが挙げられる。これらフィルタの中でもナイロン-6、ナイロン-6,6等のポリアミド系樹脂、ポリプロピレン高密度ポリプロピレンを含むを素材とするフィルタが好ましい。フィルタの孔径は、0.01~7.0μm程度が適しており、好ましくは0.01~2.5μm程度、さらに好ましくは0.01~2.0μm程度である。この範囲とすることにより、後工程において均一及び平滑な着色組成物の調製を阻害する、微細な異物を確実に除去することが可能となる。フィルタを使用する際、2種の異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社旧日本マイクロリス株式会社又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。例えば、第1のフィルタでのフィルタリングは、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第2のフィルタリングを行ってもよい。≪パターン形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法≫本発明のパターン形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法について説明する。本発明のパターンの形成方法は、本発明の感放射線性組成物を支持体上に付与して感放射線性組成物層を形成する工程と、形成された感放射線性組成物層をマスクを介して紫外線により露光し、現像することによりパターンを形成する工程と、を含む。本発明のパターン形成方法は、カラーフィルタが有する画素形成等の形成に好適に適用することができる。本発明のパターン形成方法によりパターンを形成する支持体としては、基板等の板状物の他、パターン形成に適用しうる支持体であれば特に限定されない。本発明のパターン形成方法における各工程については、本発明のカラーフィルタの製造方法を通じて以下に詳述する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明のパターン形成方法を適用するものであり、本発明のパターン形成方法を用いて、基板上にパターンを形成する工程と、形成されたパターンをポストベークする工程と、を含む。即ち、本発明のカラーフィルタの製造方法以下、本発明の製造方法とも称する。は、本発明の感放射線性組成物を基板上に付与して感放射線性組成物層を形成する工程と、形成された感放射線性組成物層をマスクを介して紫外線により露光し、現像することによりパターンを形成する工程と、形成されたパターンをポストベークする工程を含む。また、本発明のカラーフィルタは上記製造方法により得られたものである。本発明のカラーフィルタの製造方法では、本発明の感放射線性組成物を用いるため、矩形性に優れた画素パターンを形成でき、ポストベーク後における画素パターンの剥がれの発生が抑制されることから、精細で高品質の画像表示が可能なカラーフィルタを得ることができる。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について詳細に説明する。本発明の製造方法は、より詳細には、本発明の感放射線性組成物を、基板であるシリコンウエハー上に直接又は他の層を介して付与し、その後乾燥して感放射線性組成物層塗布膜を形成する工程感放射線性組成物層形成工程と、該感放射線性組成物層をマスクを介して紫外線によりパターン露光する工程露光工程と、露光された前記感放射線性組成物層をアルカリ現像液で現像処理してパターンを形成する工程現像工程と、現像処理して得られたパターンを加熱処理を施す工程ポストベーク工程と、を含む。また、必要により、上記感放射線性組成物層又はパターンを加熱及び露光により硬化する工程を含んでいてもよい。該感放射線性組成物の付与方法としては、例えば、スプレー法、インクジェット法、ロールコート法、回転塗布法等の各種の方法を用いることができる。前記露光において少なくとも使用される紫外線としては、g線、h線及びi線の少なくとも1種が好ましく、i線がより好ましい。露光機としては、例えば、ステッパーを好適に用いることができる。前記アルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリ類;エチルアミン、n-プロピルアミン等の一級アミン類;ジエチルアミン、ジ-n-プロピルアミン等の二級アミン類;トリメチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン等の三級アミン類;ジメチルエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン類;ピロール、ピペリジン、N-メチルピペリジン、N-メチルピロリジン、1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]-7-ウンデセン、1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]-5-ノネン等の環状三級アミン類;ピリジン、コリジン、ルチジン、キノリン等の芳香族三級アミン類;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の四級アンモニウム塩等の水溶液を使用することができる。また、前記アルカリ現像液には、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒及び/又は界面活性剤を適当量添加することもできる。現像方法としては、液盛り法、ディッピング法、シャワー法等の何れでもよく、現像時間は、通常、30~180秒間である。アルカリ現像後、例えば流水洗浄を30~90秒間行って、例えば圧縮空気や圧縮窒素で乾燥することにより、パターンを形成する。次いで、アルカリ現像後のパターンを再度前記放射線にて露光したのち、好ましくは、例えば、ホットプレート、オーブン等の加熱装置にて、所定温度、例えば150~250°Cで、所定時間、例えばホットプレート上では5~30分間、オーブン中では30~90分間、ポストベークを行うことによって、所定の透明パターンを形成することができる。このようにして形成された透明パターンは、前記基板上に複数の矩形の画素の配列を有する。該画素の一辺最大辺は、一般的には、1.0μm~20μm以下であり、中でも、シリコンウエハー等の基板の有効利用、固体撮像素子を使ったデバイスの小型化、固体撮像素子の高速作動の観点から5μm以下が好ましく、4μm以下が更に好ましく、3μm以下が特に好ましい。また、本発明のカラーフィルタにおける画素の厚さとしては、特に限定されないが、シリコンウエハー等の基板の有効利用、固体撮像素子を使ったデバイスのシェーディングの観点から、薄くなる傾向にあり、2μm以下が好ましく、1.5μm以下が更に好ましく、1.0μm以下が特に好ましい。≪固体撮像素子≫本発明の固体撮像素子は既述の本発明のカラーフィルタを備えて構成される。本発明の固体撮像素子は、画素パターンの剥がれが抑制され、画素パターンの矩形性に優れた解像性の高い本発明のカラーフィルタが備えられているため、感度特性に優れる。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明のカラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。支持体上に、固体撮像素子例えば、CCDイメージセンサー、CMOSイメージセンサーの受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、本発明のカラーフィルタを有する構成である。更に、前記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下支持体に近い側に集光手段例えば、マイクロレンズ等。以下同じを有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、部、は質量基準である。実施例1:固体撮像素子用カラーフィルタのパターンの形成~顔料分散組成物P1の調製~下記組成からなる混合液を、ビーズミルにより2時間混合分散して顔料分散組成物P-1を調製した。-組成-ピグメントイエロー139顔料A...2.14部ピグメントレッド254顔料B...4.81部ピグメントバイオレット23顔料B...1.18部ピグメントブルー15:6顔料C...4.73部下記化合物1...0.64部下記分散剤1...1.71部サイクロマーP-ACA下記構造を有する化合物、固形分50質量、重量平均分子量30000、ダイセル株製...9.86部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート以下、適宜PGMEAと称する。...66.50部シクロヘキサノン...8.43部なお、上記分散剤1は、特開2009-203462号公報の段落番号[0245]~[0247]に記載される合成例に準じて合成することができる。得られた顔料分散組成物P1について、ナノトラックUPA粒度分析計製品名:UPA-EX150、日機装株製を用いて体積平均粒子径の測定を行ったところ、10nmであった。~感放射線性組成物の調製~下記に示す成分を攪拌混合して、実施例1の感放射線性組成物を調製した。-感放射線性組成物の組成-顔料分散組成物P-1...5.13部PGMEA...69.36部モノマーA下記構造を有する化合物...0.57部TO-2349東亜合成株製、下記モノマーBとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの7:3混合物...4.39部サイクロマーP-ACA固形分50質量、重量平均分子量30000、ダイセル株製...18.73部開始剤下記化合物II;BASF社製、製品名IRGACUREOXE01...1.06部UV吸収剤III下記構造を有する化合物...0.71部界面活性剤...0.04部フッ素系界面活性剤;DIC株製、製品名メガファックF-781F重合禁止剤...0.01部p-メトキシフェノール;関東化学株製、製品名p-メトキシフェノール上記より得られた感放射線性組成物を、ナイロンフィルターメンブレンディスクNX047100日本ポール製にてろ過することにより、粗大粒子を除去した。<塗布膜感放射線性組成物層の作製>上記より得られた感放射線性組成物を、ヘキサメチルジシラザンHMDSで処理したシリコンウエハー上にスピンコートにより塗布した後、塗布膜面の表面温度100°Cで120秒間、ホットプレートで加熱処理して乾燥させ、乾燥後の膜厚が約0.8μmの塗布膜を形成した。<固体撮像素子用カラーフィルタのパターンの形成>次に、乾燥後の塗布膜に対して、1.2μmの正方ピクセルがそれぞれ基板上の4mm×3mmの領域に配列されたマスクパターンを介してi線ステッパー製品名:FPA-3000i5、キャノン株製により、露光量150mJ/cm2にて露光した。パターン露光された塗布膜を、有機アルカリ性現像液CD-2060富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ株製を用いて、室温にて60秒間、パドル現像した後、さらに20秒間スピンシャワーにて純水でリンスを行った。その後更に、純水にて水洗を行った。その後、高速回転にて基板を乾燥させ、220°Cで300秒間、ホットプレートでポストベーク処理し、シリコンウエハー上にパターン画素を形成した。以上のようにして、シリコンウエハー上に1.2μm四方のパターンを作製し、固体撮像素子用カラーフィルタを得た。<評価>得られたカラーフィルタが有する1.2μm四方のパターンについて、下記の評価、測定を行った。評価、測定の結果は、下記表1に示す。1パターン剥がれによる欠陥評価得られたカラーフィルタ付きシリコンウエハをAppliedMaterialstechnology社製の欠陥検査装置ComPLUS3にて検査し、欠陥部分を検出し、これら欠陥部位より剥がれによる欠陥数を抽出した。抽出された剥がれ欠陥数に基づき、下記の評価基準により評価した。~評価基準~良好:剥がれ欠陥数が0個以上10個以下可:剥がれ欠陥数が11個以上20個以下実用上許容できる程度不可:剥がれ欠陥数が21個以上2パターンの断面形状得られたカラーフィルタが有する1.2μm四方のパターンを、カラーフィルタ面シリコンウエハ面に直交する面で切断し、その切断面の形状をSEM製品名:S-4800、株日立ハイテクノロジ―ズ製を用いて3万倍で観察し、切断面の形状からパターン矩形性指数パターン上辺の長さ/パターン下辺の長さを算出し、下記の評価基準に従って評価した。~評価基準~良好:パターン矩形性指数が0.9以上1.1以下、すなわち矩形で、良好な形状が得られた。可:パターン矩形性指数が0.8以上0.9未満、あるいは1.1より大きく1.3以下であり、実用上許容できる程度であった。不可:パターン矩形性指数が0.8未満、あるいは1.3より大きく、矩形なパターンが得られなかった。実施例2~35:固体撮像素子用カラーフィルタのパターンの形成実施例1において、顔料分散組成物P-1を下記表2に示すように顔料組成を変更して調製した顔料分散組成物P-2~P-13のいずれかに代え、感放射線性組成物の組成を下記表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2~35の放射線性組成物を調製し、カラーフィルタを作製した。また、実施例1と同様の評価を行った。評価、測定の結果は下記表1に示す。比較例1~2:固体撮像素子用カラーフィルタのパターンの形成実施例1において、感放射線性組成物の組成を、下記表2に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にして、比較例1~2感放射線性脂組成物を調製し、カラーフィルタを作製した。また、実施例1と同様の評価を行った。評価、測定の結果は下記表1に示す。実施例24及び実施例25に用いたM-13及びM-14の構造を下記に示す。実施例27に用いた紫外線吸収剤であるTINUVIN479の構造を下記に示す。表1に示すように、樹脂と、紫外線吸収剤と、顔料とを含有し、該顔料として、400~500nmに極大吸収波長を持つ顔料顔料Aと、500~600nmに極大吸収波長を持つ顔料顔料Bと、600~700nmに極大吸収波長を持つ顔料顔料Bをそれぞれ1種以上含有し、該全顔料合計での含有率が全固形分中0.1以上20以下である各実施例の感放射線性組成物では、パターン剥がれが抑制され、パターンの矩形性に優れていた。なお、上記の各実施例において用いたモノマーAを、水素結合性基を含有する多官能モノマーの具体例として前掲した各化合物に変更した感放射線性組成物を用いた場合においても、各実施例と同様、パターン剥がれが抑制されると共に、矩形性に優れたパターンを形成することができる。以上の実施例では、シリコンウエハー上にカラーフィルタの画素パターンを形成する例について説明したが、固体撮像素子を作製する場合には、前記シリコンウエハーを、フォトダイオード、遮光膜、及びデバイス保護膜などが形成された固体撮像素子用基板に置き換えればよい。例えば、フォトダイオード及び転送電極が形成されたシリコンウエハー上に、フォトダイオードの受光部のみ開口したタングステンからなる遮光膜を形成し、形成された遮光膜全面及びフォトダイオード受光部遮光膜中の開口部を覆うようにして窒化シリコンからなるデバイス保護層を形成する。次に、形成されたデバイス保護層上に、上記実施例と同様の方法によりパターンを、公知の方法により赤色画素、青色画素、及び緑色画素を、それぞれ形成し、カラーフィルタとする。次に、得られたカラーフィルタ上に集光手段であるマイクロレンズを形成することにより、色再現性が良好な固体撮像素子CCD、CMOS等を作製することができる。[実施例36]公知の方法例えば、特開2001-267544号公報に記載の方法により形成されたデバイス上に、1色目として、実施例1で作製したカラーフィルタが有するパターン画素と同じパターンを形成した。次いで、特開2010-244028号公報に記載されるGreen、Blue、及びRedの各着色画素と同様にして各着色画素を順番に形成した。以上のようにして、図1に示すレイアウトの繰り返しとなるようにカラーフィルタA1を作製した。次いで、公知の方法によりマイクロレンズを形成してイメージセンサA1を作製した。1色目に形成するパターンを、実施例2~35及び比較例1で作製したカラーフィルタが有するパターンのいずれかに変更した以外は、カラーフィルタA1と同様にして、カラーフィルタA2~A36を作製し、これを備えたイメージセンサA2~A36を作製した。なお、図1中、R、G、Bの記号で示した領域は、Green、Blue、及びRedの各着色画素からなる領域であり、記号を示さず網点で示した領域は、実施例又は比較例で形成したパターン画素と同じパターンからなる領域である。得られた各イメージセンサA1~A36を用いて実際に撮像テストしてみたところ、実施例1~35で得られたパターンを有するカラーフィルタA1~A35を備えたイメージセンサは、いずれも明るい場所でも暗い場所でも良好な感度と色再現性で画像を形成することができた。一方、比較例1で得られたパターンを有するカラーフィルタを備えたイメージセンサA36により得られた画像は、明るい部屋では白っぽい画像となり、良好な画像を形成することができなかった。また、一般的な、図2に示すレイアウトを有するカラーフィルタでは、暗い場所における撮影では真っ暗となり、良好な画像を得ることができなかった。なお、図2中、R、G、Bの記号で示した領域は、Green、Blue、及びRedの各着色画素からなる領域である。"