光学要素用の調整可能なマウントであって、該調整可能なマウントは、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、調整可能な自由度において前記第1のマウントボディに対して移動可能な第2のマウントボディと、前記第1のマウントボディと前記第2のマウントボディとの間の前記調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成されたドライバと、前記第1のマウントボディに固定された第1の部分と、前記第2のマウントボディに固定された第2の部分とを含む可撓性基板と、前記可撓性基板に機械的に固定され、かつ前記可撓性基板の歪みを登録し、前記可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成された歪みゲージ要素と、前記歪みゲージ要素と動作可能に連通し、前記歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成されたコントローラとを備えている、調整可能なマウント。2つ以上の歪みゲージ要素は、前記可撓性基板に機械的に固定されている、請求項1に記載の調整可能なマウント。前記歪みゲージ要素は、歪みゲージの抵抗歪みゲージボディ上に配置され、前記歪みゲージボディは、前記可撓性基板に機械的に固定されている、請求項1に記載の調整可能なマウント。前記歪みゲージ要素は、前記歪みゲージの導体素子にかけられた歪みに応じて電気インピーダンスを変更するよう構成された電気回路を含む、請求項3に記載の調整可能なマウント。前記可撓性基板は、薄い可撓性シートであって、2つの実質的に平行な表面と、前記シートの中央部分を通るように配置された開口部とを含む薄い可撓性シートを備えている、請求項1に記載の調整可能なマウント。前記可撓性基板は、4つの側面と4つの角部を有する外周領域を生成する、中央に開口部を備えた平坦な正方形のプレートを備え、前記第1の部分は第1の角部に配置され、前記第2の部分は第2の角部に配置され、前記第2の角部は前記開口部を間にして前記第1の角部に対向して配置される、請求項5に記載の調整可能なマウント。前記ドライバは手動で駆動される、請求項1に記載の調整可能なマウント。前記ドライバは電動である、請求項1に記載の調整可能なマウント。前記電動ドライバは、圧電式ドライバを含む、請求項8に記載の調整可能なマウント。光学要素用の調整可能なマウントであって、該調整可能なマウントは、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、第1の調整可能な自由度および第2の調整可能な自由度において前記第1のマウントボディに対して移動可能な第2のマウントボディと、前記第1のマウントボディと前記第2のマウントボディとの間の前記第1の調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成された第1のドライバと、前記第1のマウントボディと前記第2のマウントボディとの間の前記第2の調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成された第2のドライバと、薄い可撓性シートを含む可撓性基板であって、前記第1のマウントボディに固定された前記可撓性基板の第1の部分と、前記第2のマウントボディに固定された前記可撓性基板の第2の部分とを備えた可撓性基板と、前記可撓性基板に機械的に固定され、かつ前記可撓性基板の歪みを登録し、前記可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成された歪みゲージ要素と、前記歪みゲージ要素と動作可能に連通し、前記歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成されたコントローラとを備えている、調整可能なマウント。2つ以上の歪みゲージ要素は、前記可撓性基板に機械的に固定されている、請求項10に記載の調整可能なマウント。前記歪みゲージ要素は、歪みゲージの抵抗歪みゲージボディ上に配置され、前記歪みゲージボディは、前記可撓性基板に機械的に固定されている、請求項10に記載の調整可能なマウント。前記歪みゲージ要素は、前記歪みゲージの導体素子にかけられた歪みに応じて電気インピーダンスを変更するよう構成された電気回路を含む、請求項12に記載の調整可能なマウント。前記可撓性基板は、薄い可撓性シートであって、2つの実質的に平行な表面と、前記シートの中央部分を通るように配置された開口部とを含む薄い可撓性シートを備えた、請求項10に記載の調整可能なマウント。前記可撓性基板は、4つの側面と4つの角部を有する外周領域を生成する、中央に開口部を備えた平坦な正方形のプレートを備え、前記第1の部分は第1の角部に配置され、前記第2の部分は第2の角部に配置され、前記第2の角部は前記開口部を間にして前記第1の角部に対向して配置される、請求項11に記載の調整可能なマウント。前記第2のマウントボディは、前記第1のマウントボディと前記第2のマウントボディとの間に配置された枢着部で前記第1のマウントボディに対して枢動し、前記枢着部に対して実質的に一定の曲率半径を有する第1の駆動表面と、前記枢着部に対して実質的に一定の曲率半径を有する第2の駆動表面とを有する、請求項10に記載の調整可能なマウント。前記枢着部は、前記第1および第2のドライバの駆動表面によって係合するよう圧縮された戻り止めに配置された玉軸受を備えた、請求項13に記載の調整可能なマウント。前記第1および第2のドライバは、前記第1のマウントボディと前記第2のマウントボディとの間の前記調整可能な自由度における相対運動を伝えるよう構成された圧電式慣性ドライバを含み、前記圧電式ドライバは、第1の圧電部材マウント表面を有する剛性本体部分と、第2の圧電部材マウント表面を含む第1の端部と、駆動表面を有する駆動表面部分と、前記駆動表面部分と前記第1の端部との間に配置され固定された軸方向剛性部分と、前記駆動表面部分から延在するS形状の弾性部分と、前記S形状の弾性部分と前記本体部分との間に配置され固定された第2の端部部分とを有する連続した可撓性の弾性部材と、前記第1のマウント表面と前記第2のマウント表面との間に配置され固定された圧電部材とを含む、請求項10に記載の調整可能なマウント。前記圧電式慣性ドライバの前記剛性本体部分は、前記第1のマウントボディに固定され、前記駆動表面は、前記第2のマウントボディと摩擦係合する、請求項18に記載の調整可能なマウント。前記圧電式慣性ドライバの前記剛性本体部分は、前記第2のマウントボディに固定され、前記駆動表面は、前記第1のマウントボディと摩擦係合する、請求項18に記載の調整可能なマウント。光学要素用の調整可能なマウントを調整する方法であって、前記方法は、光学要素用の調整可能なマウントを設ける工程であって、前記調節可能なマウントは、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、調整可能な自由度において前記第1のマウントボディに対して移動可能な第2のマウントボディと、前記第1のマウントボディに固定された第1の部分と、前記第2のマウントボディに固定された第2の部分とを含む可撓性基板と、前記可撓性基板に機械的に固定され、かつ前記可撓性基板の歪みを登録し、前記可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成された歪みゲージ要素と、前記歪みゲージ要素と動作可能に連通し、歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成されたコントローラとを備えている、工程と、前記コントローラを使用して、歪みゲージ要素信号から前記第1のマウントボディに対する前記第2のマウントボディの第1の絶対位置に関するデータを生成する工程とを含む、方法。前記第1のマウントボディの位置に対する前記第2のマウントボディの前記第1の絶対位置に関する位置データをデータ記憶装置に格納する工程をさらに含む、請求項21に記載の方法。前記第1のマウントボディに対して前記第2のマウントボディを変位させる工程と、前記第1のマウントボディに対する前記第2のマウントボディの第2の位置に関するデータを生成する工程とをさらに含む、請求項22に記載の方法。前記第2のマウントボディは、前記第1のマウントボディと前記第2のマウントボディとの間の前記調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成されたドライバを用いて、前記第1のマウントボディに対して変位させられる、請求項23に記載の方法。前記ドライバは、圧電式ドライバを含み、前記第2のマウントボディは、前記圧電式ドライバの作動によって前記第1のマウントボディに対して変位させられる、請求項24に記載の方法。コントローラから前記ドライバへの信号を生成して、前記第2のマウントボディを前記第2の位置から前記第1の絶対位置に変位させて戻す工程をさらに含む、請求項23に記載の方法。前記調整可能なマウントは、前記可撓性基板に機械的に固定された複数の抵抗歪みゲージ要素を備え、前記第1のマウントボディに対する前記第2のマウントボディの前記第1の絶対位置に相当する位置データは、前記複数の抵抗歪みゲージ要素のインピーダンスプロフィールから生成される、請求項21に記載の方法。前記複数の抵抗歪みゲージの前記インピーダンスプロフィールは、少なくとも1つのホイートストンブリッジ回路を用いて生成される、請求項27に記載の方法。光学要素用の調整可能なマウントであって、該調整可能なマウントは、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、調整可能な自由度において前記第1のマウントボディに対して移動可能な第2のマウントボディと、前記第1のマウントボディに固定された第1の部分と、前記第2のマウントボディに固定された第2の部分とを含む可撓性基板と、前記可撓性基板に機械的に固定され、かつ前記可撓性基板の歪みを登録し、前記可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成された歪みゲージ要素とを備えている、調整可能なマウント。前記第1のマウントボディと前記第2のマウントボディとの間の前記調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成されたドライバをさらに備えている、請求項29に記載の調整可能なマウント。前記歪みゲージ要素と動作可能に連通し、前記歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成されたコントローラをさらに備えている、請求項29に記載の調整可能なマウント。2つ以上の歪みゲージ要素は、前記可撓性基板に機械的に固定されている、請求項29に記載の調整可能なマウント。前記歪みゲージ要素は、歪みゲージの抵抗歪みゲージボディ上に配置され、前記歪みゲージボディは、前記可撓性基板に機械的に固定されている、請求項29に記載の調整可能なマウント。前記歪みゲージ要素は、前記歪みゲージの導体素子にかけられた歪みに応じて電気インピーダンスを変更するよう構成された電気回路を含む、請求項33に記載の調整可能なマウント。前記可撓性基板は、薄い可撓性シートであって、2つの実質的に平行な表面と、前記シートの中央部分を通るように配置された開口部とを含む薄い可撓性シートを備えている、請求項29に記載の調整可能なマウント。前記可撓性基板は、4つの側面と4つの角部を有する外周領域を生成する、中央に開口部を備えた平坦な正方形のプレートを備え、前記第1の部分は第1の角部に配置され、前記第2の部分は第2の角部に配置され、前記第2の角部は前記開口部を間にして前記第1の角部に対向して配置される、請求項35に記載の調整可能なマウント。前記ドライバは手動で駆動される、請求項30に記載の調整可能なマウント。前記ドライバは電動である、請求項30に記載の調整可能なマウント。前記電動ドライバは、圧電式ドライバを含む、請求項38に記載の調整可能なマウント。そのような構成の短所の1つは、1つの調整ねじの手動操作が、他の調整ねじを妨害することも、光学マウント構造全体を移動することもあり得ることである。そのようなシステムは、ステッピングモータなどのリモート電動モータを用いて調整することもできるが、これらのタイプのモータは、大型で高価である傾向があり、複雑なリダクションギアリングおよび他の改良点が必要とされる場合がある。いくつかの既存の光学マウントに関する別の問題は、光学マウントが妨害されるかまたは不注意に移動された場合に、光学マウントを既知の位置にリセットする能力の不足である。そのため、所望の軸における光学要素の位置の精密制御を可能にするリモート調整が可能である、調整可能な光学マウントが必要とされてきた。また、既知の位置に戻る能力を有する調整可能な光学マウントも必要とされてきた。光学要素用の調整可能なマウントのいくつかの実施形態は、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、調整可能な自由度において第1のマウントボディに対して移動可能な第2のマウントボディとを含む。また、調整可能なマウントは、第1のマウントボディと第2のマウントボディとの間の調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成されたドライバも含む。可撓性基板は、第1のマウントボディに固定された第1の部分と、第2のマウントボディに固定された第2の部分とを含む。歪みゲージ要素は、可撓性基板に機械的に固定され、かつ可撓性基板の歪みを登録し、可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成される。コントローラは、歪みゲージ要素と動作可能に連通することができ、歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成することができる。光学要素用の調整可能なマウントのいくつかの実施形態は、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、第1の調整可能な自由度および第2の調整可能な自由度において第1のマウントボディに対して移動可能な第2のマウントボディとを含む。また、調整可能なマウントは、第1のマウントボディと第2のマウントボディとの間の第1の調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成された第1のドライバも含む。第2のドライバは、第1のマウントボディと第2のマウントボディとの間の第2の調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成することができる。可撓性基板は薄い可撓性シートであって、第1のマウントボディに固定された可撓性基板の第1の部分と、第2のマウントボディに固定された可撓性基板の第2の部分とを備える薄い可撓性シートを含む。歪みゲージ要素は、可撓性基板に機械的に固定することができ、かつ可撓性基板の歪みを登録し、可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成することができる。コントローラは、歪みゲージ要素と動作可能に連通することができ、歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成することもできる。光学要素用の調整可能なマウントのいくつかの実施形態は、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、調整可能な自由度において第1のマウントボディに対して移動可能であり得る第2のマウントボディとを含む。可撓性基板は、第1のマウントボディに固定された第1の部分と、第2のマウントボディに固定された第2の部分とを含む。歪みゲージ要素は、可撓性基板に機械的に固定することができ、かつ可撓性基板の歪みを登録し、可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成することができる。光学要素用の調整可能なマウントを調整する方法のいくつかの実施形態は、光学要素用の調整可能なマウントを設ける工程を含み、マウントは、第1のマウントボディと、第2のマウントボディであって、それに光学要素を固定するよう構成され、調整可能な自由度において第1のマウントボディに対して移動可能な第2のマウントボディとを含む。また、調整可能なマウントは、第1のマウントボディに固定された第1の部分と、第2のマウントボディに固定された第2の部分とを有する可撓性基板も含む。また、調整可能なマウントは、可撓性基板に機械的に固定することができ、かつ可撓性基板の歪みを登録し、可撓性基板の歪みに応じて信号を生成するよう構成することができる歪みゲージ要素も含む。また、調整可能なマウントは、歪みゲージ要素と動作可能に連通し、歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成されたコントローラも含み得る。次いで、コントローラを使用して、歪みゲージ要素信号から第1のマウントボディに対する第2のマウントボディの第1の絶対位置に関するデータを生成することができる。ある特定の実施形態については、以下の説明、実施例、特許請求の範囲および図面でさらに説明する。実施形態のこれらの特徴は、添付の例示的な図面と併せると、以下の詳細な説明より明らかになるであろう。図面は、本技術の実施形態を示し、限定するものではない。図解を明確かつ容易にするため、図面は原寸に比例しない場合があり、いくつかの例では、特定の実施形態に対する理解を容易にするため、さまざまな態様が誇張されるかまたは拡大されて示される場合がある。本明細書で論じられる実施形態は、光学調整用のマウントとともに使用するための圧電式慣性ドライバを含む小型の電動駆動メカニズムを対象とする。そのようなマウントは、角度範囲制限をほとんどまたは全く有さないよう、ならびに、マウントを通じる中央の開口部の利用可能性、マウントへの電力損失の場合の位置の安定性、光学調整用の他の調整可能な電動マウントと比べて良好な感度および低いコストを有するよう構成することができる。圧電式慣性ドライバの形態のそのような電動駆動メカニズムは、回転ステージなどの回転マウント、枢着または接合構成を含み得る運動学的な光学マウントなどの光学機器の角度傾斜または方向を調整するよう構成された光学マウント、および、平行移動ステージおよび同様のものを含み得る平行移動マウントを含む、多種多様な光学調整用のマウントで使用することができる。そのようなマウントは、定期的に調整または整合する必要がある複数の光学要素の使用を必要とする場合に特に有用であり得る。それに加えて、電源を切る際に位置の安定性を保持するそのようなマウントの能力により、単一のコントローラを使用して、スイッチボックスまたは同様のものを用いて複数のマウントを調整することができ、それにより、光学システム用の制御電子機器のコストをさらに削減することができる。マウントを使用して、レンズ、鏡、波長プレート、フィルタ、体積ブラッグ回折格子、プリズムおよび同様のものなどの光学素子または要素を装着および調整することができる。図1および2を参照すると、光学調整用の圧電式慣性ドライバの実施形態10が示されている。ドライバ10は、剛性本体部分12を含み、剛性本体部分12は、剛性本体部分12の平底面15の垂線から約20度から約30度の角度で剛性本体部分12の第1の端部13に向けて配置された第1の圧電部材マウント表面14を有する。剛性本体部分12は、2つのマウントスロット16を含み、2つのマウントスロット16を使用して、適切なねじ、ボルト、リベットまたは同様のものを用いてマウントまたはその一部分に剛性本体部分12を固定することができる。マウントスロット16が示されているが、ねじ切り、溝および同様のものがあってもなくともよい装着穴などの他の適切な剛性本体部分12用の装着具も使用することができる。配線マウントボス17は、圧電式慣性ドライバ10と連通するいかなる配線も固定するため、剛性本体部分の第1の端部13に隣接して延在する。また、ドライバ10は、第2の圧電部材マウント表面24を含む第1の端部22と、駆動表面28を有する駆動表面部分26と、駆動表面部分26と第1の端部22との間に配置され固定された軸方向剛性部分32とを有する連続した可撓性の弾性部材18も含む。S形状の弾性部分34は、駆動表面部分26から延在し、第2の端部部分36は、S形状の弾性部分34と剛性本体部分12との間に配置され固定される。第2の圧電マウント表面24は、第1の圧電部材マウント表面14に実質的に平行であり、第1の圧電部材マウント表面14に対向して配置される。長方形の横断面を有するリボン状の構成を有する弾性部材18は、第1および第2の圧電マウント表面14および24に実質的に垂直な角度方向に、剛性本体部分12の第1の端部13から離れる形で第1の端部22から延在する。第1の端部22から駆動表面部分26まで延在する弾性部材18の一部分は、軸方向剛性または駆動力伝達部分32を形成する。軸方向剛性部分32は、第1の端部22から、駆動表面部分26上に配置された駆動表面28に駆動力を伝達する。駆動表面28は、弾性部材18の一部分であり、剛性本体12の底面15から、底面15に垂直な方向に最も離れる形で延在する。これにより、駆動表面28を、圧電アクチュエータ10によって移動または別の方法で駆動すべきボディの表面と係合することができる。弾性部材18の第1の端部22における駆動力は、第1の圧電部材マウント表面14と第2の圧電部材マウント表面24との間に配置され固定される圧電部材38によって生成される。圧電部材38が定位置にない弛緩した状態では、矢印41で示される第1のマウント表面14と第2のマウント表面24との間の内部空間は、いくつかの実施形態に対し、その内部空間内に配置される圧電部材38の対応する外形寸法より小さい場合がある。この構成は、一旦圧電部材38が第1のマウント表面14と第2のマウント表面24との間の定位置に固定されると、圧電部材38に対する予荷重圧縮を実現する。いくつかの実施形態に対し、矢印41で示される第1のマウント表面14と第2のマウント表面24との間の内部空間は、圧電部材38の対応する外形寸法とほぼ同じである場合がある。そのような実施形態に対し、圧電部材38に対する軸方向の予荷重圧縮は、駆動表面28に実質的に垂直に及ぼす圧縮力によって生成することができる。第1および第2のマウント表面14および24は、駆動表面部分26と第1の端部22との間に配置され固定された弾性部材18の軸方向剛性部分32の縦軸42に対する少なくとも1つの横方向の寸法において圧電部材38を機械的に捕捉するため、凹部にすることができる。圧電部材38は、弾性部材18の軸方向剛性部分32の縦軸42に沿った接合部の圧縮と引張の両方の安定性を提供する機械的捕捉、接着剤、エポキシおよび同様のものによる接着、溶接、ろう付け、はんだ付けまたは他の任意の適切な方法によって、第1および第2のマウント表面14および24に固定することができる。弾性部材18は、駆動表面28を介した隣接表面への較正された接触摩擦荷重を永久的に維持するよう構成することができる。弾性部材18の駆動表面部分26と第2の端部部分36との間に延在するS形状の弾性部分34は、可撓性の弾性部材18の駆動表面28に印加された摩擦駆動力に弾性的に抵抗および対抗するよう構成される。それに加えて、S形状の部分34は、弾性部材18から圧電体38に伝わることもあるトルクを相殺するようにも構成される。示される実施形態では、S形状の部分34は、駆動表面部分26の下方で、第1の湾曲部35から第1の端部22に向かって引き返す形で湾曲している。第2の湾曲部37は、S形状の部分34を再び、第2の端部部分36および第2の端部部分36と剛性本体部分12との間の接合部に向けて向け直す。S形状の部分34の第1および第2の湾曲部35および37は、いくつかの実施形態に対し、弾性部材18の名目上の縦軸から約250度から約330度の曲げ角度を有し得る。いくつかの実施形態に対し、第1の湾曲部35と第2の湾曲部37との間のS形状の部分34の一部分の長さは、約2mmから約4mmであり得る。第1および第2の湾曲部35および37の湾曲の内側半径は、いくつかの実施形態に対し、約2mmから約4mmであり得る。示される実施形態では、剛性本体部分12および可撓性の弾性部材18は、単体の弾性材料から形成されたモノリシック構造を有する。いくつかの実施形態に対し、単体の弾性材料は、ばね鋼、ステンレス鋼または同様のものなどの弾性金属であり得る。剛性本体部分12および可撓性の弾性部材18は、単体の材料で製作されるため、第2の端部部分36と剛性本体部分12との間の接合部は、弾性部材18の第2の端部部分36と剛性本体部分12との間でトルクおよび軸方向の力を伝達できるようなものである。弾性部材18は長方形の横断面を有する実質的にリボン状の構成を有するものとして示されているが、弾性部材18は、正方形、円形、楕円形または同様のものの横断面を含む他の構成を有してもよい。圧電式慣性ドライバ10の実施形態は、約10mmから約100mmの長さおよび約2mmから約10mmの幅を有し得る。弾性部材18の実施形態は、約0.2mmから約1mmの厚さを有し得る。そのような実施形態用の圧電部材38は、一般に、長方形の形状であり、約1mmから約10mmの長さ、約1mmから約10mmの幅、および、約1mmから約10mmの厚さを有し得る。圧電部材38のいくつかの実施形態は、示されるように、実質的に立方体の形状である。また、圧電素子は、円筒形、六角形および同様のものなどの他の外形構成も有し得る。第1のマウント表面14と第2のマウント表面24との間の圧電部材38に対する軸方向の圧縮予荷重は、駆動表面28に実質的に垂直な約20ニュートンから約60ニュートンの摩擦力を有するいくつかの実施形態に対し、約10ニュートンから約50ニュートンであり得る。そのような実施形態は、駆動表面28の接線方向に、約1ニュートンから約5ニュートンの軸方向の駆動力を生成することができる。圧電部材38は、外部場または電気信号などの信号の印加に基づいて外形寸法を変化させる圧電結晶、圧電セラミックまたは他の任意の適切な材料を含み得る。本明細書で論じられる実施形態は、圧電部材38とともに示されているが、全体として圧電式慣性ドライバ10のものと同じまたは同様の材料、寸法および動作特性を有する慣性ドライバのいくつかの実施形態に対し、圧電部材38と同様の寸法および動作パラメータを有する磁歪部材を圧電部材38の代わりに使用できることを理解されたい。図3A~6Bに関して以下で論じられるある種の傾斜した周期的な運動を生み出すためにそのような磁歪部材に可変磁場信号を印加することができる場合、そのような磁歪慣性ドライバの動作は、圧電式慣性ドライバ10のものと実質的に同じであり得る。圧電式慣性ドライバシステムは、導体40によって圧電式慣性ドライバ10と電気的に結合されたコントローラ44を含む。コントローラ44の実施形態は、電源と、CPUと、データ入力のための外部制御部と、グラフィックディスプレイと、ユーザが圧電式慣性ドライバ10の作動をプログラムできるかまたは別の方法で制御できるようにするために必要な他の任意の電気回路とを含み得る。ドライバ10を使用して、駆動表面28から変動速度の運動を加えることによって、光調整用のマウントまたはその一部分を移動することができる。コントローラ44によって特定の電圧プロフィールを圧電部材38に印加すると、可撓性の弾性部材18の軸方向剛性部分32の縦軸42の方向に沿った圧電部材38の伸張および収縮を駆動表面28に生み出す。結果として生じた動作プロフィールはマウントの所望の部分に伝えられ、その結果、寸法、部品数、重量およびコストを削減しながら高感度の繰り返し可能な動作を直接達成することができる。図3A~6Bを参照すると、さまざまな電圧信号プロフィールのいくつかの実施形態が示されている。電圧信号プロフィールは、駆動表面28の運動を生み出すために使用できる圧電部材38に印加された電圧の振幅および極性対時間を示す。そのような電圧信号プロフィールの場合、印加電圧の緩やかな変化は、駆動表面28の対応する緩やかな運動および低加速度をもたらす。マウントボディなどのボディに対する圧電式慣性ドライバ10の駆動表面28のばねの予荷重のため、低加速度での駆動表面28の緩やかな平行移動を使用して、駆動表面28と摩擦係合した可動マウントボディの対応する運動を生み出すことができる。それとは対照的に、電圧の比較的急速な増減および駆動表面28の高加速度は、マウントの可動部分が十分な固有慣性を有する場合、駆動表面28とマウントボディの摩擦係合を破壊する。そのため、この高加速度の場合、駆動表面28は、その十分な平行移動なしにマウントの可動部分をいつの間にか滑動する。非対称の引張または電圧プロフィールを圧電部材38に適用すると、電圧の素早い変化と電圧の緩やかな変化の単一のまたは周期的組合せ、および、対応する駆動表面28の運動を使用して、電源遮断中および運動範囲の制限がない間でも、安定性を失うことなく、両方向へのマウントの可動部分の正確な運動を達成することができる。図3Aを参照すると、圧電部材38に印加できる基本的なドライバ電圧パターンまたは信号パルスが示され、時間帯T1の間に矢印VPによって示されるピーク電圧まで比較的緩やかに上昇する電圧を有する。電圧信号のこの緩やかな上昇を使用して、信号パルスの緩やかな上昇期間の間の電圧の全変化に対応し得るマウントボディの運動を生み出すことができる。ピーク電圧に達した後、電圧は、T2によって示される短期間の間に突然降下して開始電圧に戻る。時間帯T2の間の電圧の突然の変化は、駆動表面28の高加速度を招き、駆動表面28と、駆動表面28と摩擦係合したマウントボディとの間で滑動を招く。この全サイクルは、時間帯T1T2の間に行われ、図4Bに示されるように繰り返すことができる。図3Aの電圧信号パルスは、圧電式慣性ドライバ10に対するマウントボディの所望の量の運動を達成するために、必要に応じて何度も繰り返すことができる。図4Aは、図3Aのものと同様の電圧信号プロフィールを示すが、図4Aのパターンは、図3Aの信号によって生み出される運動の逆方向の運動を生み出すよう構成される。図4Aでは、電圧信号は、時間帯T2の間に開始電圧からピーク電圧VPまで突然または急速に上昇する。上記で論じられる電圧信号と同様に、時間帯T2の間の急速なまたは突然の電圧の増加は、駆動表面28とマウントボディとの間の摩擦係合において滑動を招く。そのため、マウントボディは、電圧信号サイクルのこの部分の間、駆動表面28の動作に追従することはない。次いで、電圧は、時間帯T1の間にピーク電圧VPから開始電圧まで緩やかに降下する。電圧の緩やかな減少は、マウントボディの可動部分を動かし、この運動は、電圧信号のこの部分の間、駆動表面28の運動と実質的に同じである。図4Aに示されるこの駆動信号は、圧電式慣性ドライバ10に対してマウントボディの所望の量の運動を達成するために、必要に応じて何度も繰り返すことができる。図3Bは、図4Aの駆動信号パルスと同様の一連のパルスを示す。いくつかの電圧信号パルスの実施形態に対するピーク電圧VPは、約10ボルトから約200ボルトであり得る。より具体的には、約10ボルトから約50ボルトであり得る。いくつかの実施形態に対し、電圧信号パルスの時間帯T1T2は、約0.1ミリ秒から約2.0ミリ秒であり得る。パルスの急速なまたは突然の電圧変化部分のみの時間帯T2は、約50ナノ秒から約5マイクロ秒であり得る。圧電式慣性ドライバ10と、ドライバ10の駆動表面28と摩擦係合したマウントボディとの間で生み出される運動の量は異なってもよく、さまざまな方法で制御することができる。所定の電圧信号プロフィールに対して、運動の量は、圧電素子に伝達される図3Aおよび4Aの電圧信号パルスなどの信号パルスの数を制御することによって制御することができる。各電圧信号パルスは実質的に固定された量の運動に対応するため、伝達されるパルスの数は、パルスによって生み出された運動の総量に比例する。固定数の電圧信号パルスの場合、運動の量は、電圧信号パルスサイクルの開始から終了までの電圧変化の大きさを制御することによって制御することができる。例えば、電圧信号プロフィールを同じ形状および構成に維持しながら、図3Aおよび4Aに示される電圧信号パルスのピーク電圧VPを半分に減少すれば、そのような電圧信号パルスによって生み出される運動の量はそれに応じて減少するであろう。いくつかのコントローラの実施形態44に対し、製造コストを最小限に維持するため、圧電式慣性ドライバ10に、すべてが実質的に一定のピーク電圧VPを有する電圧信号パルスを伝達するようにコントローラを設計することが望ましい場合がある。そのようなシステムの場合、各電圧信号パルスによって生み出される運動の量は、電圧信号プロフィールの急速な上昇または降下の部分の間に、電圧信号の変化を制御することによって制御することができる。図5Aに示される電圧信号パルスは、時間帯Tintの間に開始電圧とピーク電圧VPの中間電圧Vintまで緩やかに上昇するプロフィール構成を有する。時間帯Tintの間、ドライバ10の駆動表面28と摩擦係合したマウントボディは、駆動表面28に連動する。中間電圧Vintに達すると、信号電圧は、時間帯Trapidの間にピーク電圧VPまで突然増加する。時間帯Trapidの間に、上記で論じられるようにマウントボディと駆動表面との間で滑動が起こり、この時間帯の間、マウントボディは最小限の運動を有する。ピーク電圧VPに達すると、電圧は、時間帯Tslowの間に緩やかに降下して開始電圧に戻り、その間、マウントボディは再度駆動表面28に連動する。そのため、図5Aの信号パルスプロフィールは、同程度のピーク電圧VPを有する図4Aの信号パルスプロフィールのように構成されたパルス信号が生み出すものより少ない全変位を、マウントボディとドライバ10との間で生み出す。図5Bは、同様の減少された変位の信号プロフィールを示すが、動作方向は図5Aのものとは逆である。図5Bの信号パルスプロフィールは、時間帯Tslowの間、ピーク電圧VPまでの緩やかな電圧上昇と、Vintに戻るまでの電圧の緩やかな減少とを含む。Vintに達すると、パルスの電圧は、時間帯Trapidの間に突然降下して開始電圧に戻る。そのため、図5Bの信号パルスプロフィールは、同程度のピーク電圧VPを有する図3Aの信号パルスプロフィールのように構成されたパルス信号が生み出すものよりはるかに少ない全変位を、マウントボディとドライバ10との間で生み出す。本明細書で論じられるオペレータがコントローラの実施形態44を使用する際の精度および電圧信号プロフィールは、伝達された各電圧信号パルスから生み出される運動の大きさの影響を受けてもよいが、所定の期間の間に伝達されたパルスの数の影響も受けてもよい。短期間の間に多数の電圧信号パルスを伝達するコントローラは、マウントボディの急速な運動をもたらし、この運動は制御するのが難しい場合がある。低い繰り返し率で同じ電圧信号パルスを伝達することにより、ユーザは、より精密な制御を行うことができる。また、電圧信号プロフィールは、マウントボディの移動速度を徐々に増減するため、電圧信号パルスの伝達周波数と、時間の経過とともに各パルスが生み出す動作の大きさの両方が変化するよう構成することもできる。例えば、図6Aの電圧信号は、時間帯Trepだけ隔てられた低い繰り返し率で伝達される一連の電圧信号パルスを示しており、完全な変位プロフィールを有し、かつ図4Aに示されるパルスと同様のパルスプロフィールを有する最後のパルスプロフィールに達するまで、それぞれの連続パルスは、マウントボディのさらなる運動を生み出す。一旦完全な変位プロフィールに達すれば、図3Bの電圧信号プロフィールに示されるように、周波数が最大周波数に達するまで、パルスの伝達周波数を増加して移動速度をさらに増加することができる。同様の構成を、図5Bのもののようなパルスプロフィールに使用することができ、それを図6Bに示す。いくつかの実施形態に対し、最大周波数で伝達された完全な変位プロフィールを有する信号パルスは、約0.1mm/秒から約1mm/秒の速度でマウントボディの運動を生み出すことができる。上記で論じられるこれらの電圧信号プロフィールおよび方法を使用するコントローラ44により、ユーザは、圧電式慣性ドライバ10の作動に着手し、低い繰り返し率での小さな変位パルスを有するマウントボディの後続の運動を生み出すことができる。作動が継続された場合は、それぞれの連続パルスの変位は、完全な変位パルスプロフィールに達するまで増加させることができ、この地点で、コントローラは、伝達される完全な変位パルスの繰り返し率を増加し始めることができる。いくつかの実施形態に対し、繰り返し率は、約2Hzから約20Hzの低い繰り返し率から増加開始し、約0.5kHzから約2kHzのより高い繰り返し率まで増加させることができる。図7および8を参照すると、二重軸回転によって光学要素を調整するよう構成された光学調整用のマウント46が示されている。光学調整用のマウント46は、ベースを提供する第1のマウントボディ48と、第1のマウントボディ48と第2のマウントボディ52との間に配置された枢着部54で第1のマウントボディ48に対して枢動する第2のマウントボディ52とを含む。示される実施形態に対する枢着部54は、位置決めねじ64によって第1のマウントボディ48に固定することができる調整可能な円筒部62の戻り止め58と、第2のマウントボディ52の戻り止め図示せずとの間に配置される単一の玉軸受56である。また、第2のマウントボディ52は、枢着部54に対して一定の曲率半径を有する第1の駆動表面66と、枢着部54に対して一定の曲率半径を有する第2の駆動表面68とを有する。第2のマウントボディ48の戻り止めは、第1の駆動表面66と第2の駆動表面68との間の第2のマウントボディ52の外縁上に配置される。また、第2のマウントボディ52は、それを通過するよう配置された中央の開口部72も有し、それにより、光は第2のマウントボディ52の中央部を通過することができる。第2のマウントボディ52は、光学要素装着用凹部74を用いてそれに光学要素を装着するよう構成され、光学要素装着用凹部74は、中央の開口部72の周囲に配置され、レンズ78などの光学要素を定位置に保持するための位置決めねじ76を有する。装着用凹部74にレンズ78が装着されて示されているが、上記で論じられるいかなる光学要素もそのように装着することができる。それに加えて、第2のマウントボディ52は、他の任意の適切な方法でそれに光学要素を装着するよう構成することもできる。例えば、光学要素は、第2のマウントボディ52に接着してもよいし、ねじまたはボルトなどの留め具によって定位置に保持してもよいし、光学要素の直接装着に、または、ブラケットもしくは他の光学要素の装着に適切なデバイスの装着に適切な、配置されたねじ穴などの装着位置をその上に有してもよい。第1のマウントボディ48および第2のマウントボディ52は、十分な熱安定性を有する任意の適切な高強度材料で製作することができる。アルミニウム、ステンレス鋼を含む鉄鋼、複合材料および同様のものなどの材料を使用することができる。第1のマウントボディ48の横方向の寸法は、いくつかの実施形態に対し、約10mmから約200mmであり得る。第1の圧電式慣性ドライバ10は、矢印82で示されるような第1の軸方向に、第1のマウントボディ48と第2のマウントボディ52との間の相対運動を伝えるよう構成され、第2のマウントボディ52の第1の駆動表面66と摩擦係合する駆動表面28を含む。第2の圧電式慣性ドライバ10’は、矢印84で示されるような第2の軸方向に、第1のマウントボディ48と第2のマウントボディ52との間の相対運動を伝えるよう構成され、第2のマウントボディ52の第2の駆動表面68と摩擦係合する駆動表面28’を含む。第1および第2の圧電式慣性ドライバ10および10’は、ねじ88などの複数の留め具によって、第1のマウントボディ48のスロット86に定位置に保持される。示される実施形態では、第1および第2の圧電式慣性ドライバ10および10’は、第2のマウントボディ52の中央の開口部72の中心の実質的両側に配置される。いくつかの実施形態に対し、第1および第2の圧電式慣性ドライバ10および10’のそれぞれの駆動表面28および28’は、第2のマウントボディ52の第1および第2の駆動表面66および68の硬化乾燥表面と係合するよう構成された硬化乾燥表面であり得る。いくつかの実施形態に対し、同様の材料または金属の摩擦係合に関連する摩耗または他の問題を防ぐため、異なる金属などの異なる材料を用いて摩擦係合を準備することが有用であり得る。例えば、いくつかの実施形態では、駆動表面28および28’は、平滑で乾燥した鋼表面を含み得、駆動表面66および68は、平滑で乾燥した固い陽極酸化アルミニウム表面を含み得る。他の表面は、陶材面、複合表面および同様のものを含み得る。各圧電式慣性ドライバ10および10’は、各圧電式慣性ドライバ10および10’ならびに第2のマウントボディ52の対応する回転軸に所望の量の調整を適用するために、その圧電部材38および38’のそれぞれと連通する単一のコントローラ44または2つの別々のコントローラ44によって制御することができる。図7は、圧電式慣性ドライバ10および10’に伝達される駆動信号のパラメータを制御するための2列の制御ボタン49および49’を有するコントローラ44の実施形態を示す。各列のボタン49および49’は、別々の制御チャネルに対応し、チャネル番号マーカー50および50’によってボタンのそれぞれの行の一番下に表示され、1つまたは複数の対応する圧電式慣性ドライバ10または10’の制御に使用することができる。示される実施形態に対し、別々の導体ハーネス40および40’は、コントローラ44とそれぞれの圧電式慣性ドライバ10および10’との間で連通し、その結果、各チャネルまたはボタンの列49および49’は、別々の対応する圧電式慣性ドライバ10および10’に対応して制御することができる。外部のまたは内部のスイッチ図示せずがコントローラ44の出力と連通していれば、各ボタンの列またはチャネル49および49’は、チャネルを選択可能に切り替えて、スイッチと連通する所望のドライバ10と通信することによって、複数の圧電式慣性ドライバ10を連続して制御するよう構成することができる。上記で論じられるように、コントローラ44は、オペレータに所望の運動の制御および精度のレベルを提供するため、さまざまな方法でドライバ10および10’に対するマウントボディ52の変位を制御するよう構成することができる。チャネル49の場合、上部2つのボタン50により、オペレータは、電圧信号パルスによって生み出される最小のステップまたは運動の大きさを選択することができる。下部の一連の6つのボタンは、3つの異なる速度で各方向の調整を実現する。ボタン50Aは高速の前方向調整をもたらし、ボタン50Bは中間速度で前方向調整をもたらし、ボタン50Cは低速の前方向調整をもたらす。ボタン50Dは低速の逆方向調整をもたらし、ボタン50Eは中間速度で逆方向調整をもたらし、ボタン50Fは高速の逆方向調整をもたらす。チャネルのボタン49’は、そのチャネルに対して同じレベルおよび方向の調整を提供する。それに加えて、第2のマウントボディ52の運動の制御は、場合により、コントローラ44に対する第2のマウントボディ52の位置情報フィードバックの利用可能性を用いてさらに強化してもよい。位置情報は、コントローラ44と連通する第1のエンコーダ92によって生成することができる。第1のエンコーダ92は、第1の圧電式慣性アクチュエータ10に隣接して配置することができ、第1の駆動表面66に隣接して配置された第1のエンコーダストリップ94を読み取るよう構成することができる。コントローラ44と連通する第2のエンコーダ96は、第2の圧電式慣性アクチュエータ10’に隣接して配置することができ、第2の駆動表面68に隣接して配置された第2のエンコーダストリップ98を読み取るよう構成することができる。いくつかの実施形態に対し、第1および第2のエンコーダ92および96は、圧電式慣性ドライバ10の変位分解能に実質的に対応する分解能に対する、第1のマウントボディ48に対する第2のマウントボディ52の位置を決定することができる光学エンコーダである。いくつかの実施形態に対し、圧電式慣性ドライバ10に対する変位分解能、すなわち、信頼できる変位の最小増分は、約5nmから約20nmであり得る。それぞれのエンコーダストリップ94および98と連通するエンコーダ92および96は、約5nmから約50マイクロメートルほどの変位分解能を有し得る。高分解能エンコーダの実施形態は、約5nmから約20nmの分解能を有し得るが、これらのエンコーダの実施形態は、一般に、高価である。いくつかの実施形態に対し、エンコーダ92および96ならびにそれぞれのエンコーダストリップ94および98のコストを低く維持するため、低分解能エンコーダおよびそれぞれのエンコーダストリップを、2つのエンコーダストリップの基準点間におけるマウントボディ52の等速運動に要する時間量を測定し、動作の時間および方向に基づいてマウントボディ52の位置を外挿または補間するコントローラアルゴリズムと併せて使用することができる。低コストエンコーダおよびエンコーダストリップのいくつかの実施形態は、約20マイクロメートルから約30マイクロメートルの公称分解能を有し得る。いくつかのコントローラ44の実施形態は、エンコーダ92および96ならびにエンコーダストリップ94および98と併用する際に、圧電式慣性ドライバ10および10’を閉ループ制御様式で動作させることができる。そのような構成では、オペレータは、位置の調整をコントローラ44に入力することができ、結果として生じた変位信号がコントローラ44から圧電部材38および38’に伝達される。コントローラ44からの変位信号に応じて圧電式慣性ドライバ10および10’が平行移動を作動すると、圧電式慣性ドライバ10および10’の駆動表面28によって変位した第2のマウントボディ52などのボディの物理的運動が、エンコーダ92および96によって測定される。オペレータが入力した位置に変位ボディ52が到達すると、コントローラ44のCPUによって、圧電式慣性ドライバ10および10’への変位信号を終了することができる。図7に示される調整可能な光学マウントの実施形態46は、1つまたは複数の自由度における第2のマウントボディの変位の大きさを決定する際に使用できる光学エンコーダなどの1つまたは複数エンコーダおよび付随するエンコーダストリップを介した位置フィードバックを含む。この種の構成は、調整中に起こる変位の量を決定するために有用であってもよく、第1のマウントボディの位置に対する第2のマウントボディの位置を決定するために有用であってもよい。そのようなエンコーダ構成は、システムを停止しているときなどエンコーダが運動を記録していないときにマウントボディが滑動する場合は、必ずしも絶対位置データを提供するとは限らない。図9~11は、変位データよりもむしろ絶対位置データを生成する光学調整用のマウント100の実施形態を示す。そのような構成は、外乱が動作中に起こるかどうかにかかわらず、外乱または調整後に、光学マウント100を前の位置に戻す場合に有用であり得る。図9~11に示されるマウントの実施形態100は、変位データと無関係に第1のマウントボディの位置に対する第2のマウントボディの絶対位置に関する位置データを生成する能力を含む。図9の調整可能な光学マウントの実施形態100は、上記で論じられ図7に示される光学調整用のマウント46の特徴、寸法および材料のいくつかまたはすべてを含み得る。示されるマウントの実施形態100に対する位置データは、歪みゲージアセンブリ104と、歪みゲージアセンブリ104に固定された回路基板の実施形態106とを含む位置測定モジュール102によって生成される。回路基板106は、モジュールの歪みゲージによって生成されたデータの測定、解釈および格納に使用することができるコントローラ44’と動作可能に連通することができる。また、コントローラは、圧電アクチュエータなどの調整可能なマウントの調整アクチュエータの運動の制御に使用することもできる。そのため、いくつかの実施形態に対し、コントローラ44’は、コンピュータプロセッサなどのプロセッサ、RAM、メモリおよび他のデータの収集、操作および格納に有用であり得る要素を含んでもよい。歪みゲージ108、回路基板106およびコントローラ44’は、銅線などの電導体、光ファイバ、公知の無線通信プロトコルを含む無線伝送および同様のものを含む任意の適切なデバイスまたは方法によって動作可能に結合することができる。示される位置測定モジュールの実施形態102の場合、歪みゲージアセンブリ104の可撓性基板112の第1の部分110は、調整可能な光学マウント100の第1のマウントボディ48’に固定される一方で、可撓性基板112の第2の部分114は、調整可能な光学マウント100の第2のマウントボディ52’に固定される。そのような構成を用いると、調整可能なマウント100の第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’との間の相対的な静止位置は、可撓性基板112の固定歪みを招くだけではなく、可撓性基板112に固定された1つまたは複数の歪みゲージ108の歪みも招く。示される歪みゲージアセンブリ104の抵抗歪みゲージの実施形態108の場合、歪みゲージ108上にかけられた歪みは、歪みゲージ回路116の抵抗またはインピーダンスを変更する可能性があり、同抵抗またはインピーダンスは、回路基板106およびコントローラ44の回路を含む付随回路によって測定することができる。一旦歪みゲージアセンブリ104のこの構成が適正に較正されれば、それを使用して、その位置を達成するために1つまたは複数のどの変位が使用されたかにかかわらず、第2のマウントボディ52’に対する第1のマウントボディ48’の絶対位置を測定することができる。他の種の歪みゲージ108を使用して、歪みゲージアセンブリの可撓性基板の歪みを測定することもできる。調整可能な光学マウント100のいくつかの実施形態は、第1のマウントボディ48’と、第2のマウントボディ52’と、可撓性基板112と、歪みゲージ要素108とを含み得る。第2のマウントボディ52’は、それに光学要素を固定するよう構成することができ、調整可能な自由度において第1のマウントボディ48’に対して移動可能であり得る。それに加えて、可撓性基板112は、第1のマウントボディ48’に固定された第1の部分と、第2のマウントボディ52’に固定された第2の部分とを含み得る。その上、歪みゲージ要素108は、可撓性基板112に機械的に固定し、かつ可撓性基板112の歪みを登録し、可撓性基板112の歪みに応じて信号を生成するよう構成することができる。図7の調整可能な光学マウント46と同様に、図9~11に示される調整可能な光学マウントの実施形態100は、ベースを提供する第1のマウントボディ48’と、第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’との間に配置された枢着部で第1のマウントボディ48’に対して枢動する第2のマウントボディ52’とを含む。いくつかの実施形態に対し、枢着部は、歪みゲージアセンブリ104の可撓性基板112によって形成することができる。いくつかの実施形態に対し、枢着部は、場合により、位置決めねじによって第1のマウントボディ48’に固定することができる調整可能な円筒部62の戻り止め58と、第2のマウントボディ52’の戻り止め図示せずとの間に配置される単一の玉軸受56を含んでもよい。また、第2のマウントボディ52’は、枢着部54に対して一定の曲率半径を有する第1の駆動表面66と、枢着部54に対して一定の曲率半径を有する第2の駆動表面68とを有する。いくつかの実施形態に対し、仮想の枢着部54’を、図13Aに示されるように、可撓性基板112の開口部のほぼ中心に配置することができる。第2のマウントボディ52’の戻り止めは、第1の駆動表面66と第2の駆動表面68との間の第2のマウントボディ52’の外縁上に配置することができる。また、第2のマウントボディ52’は、それを通過するよう配置された中央の開口部72も有し、それにより、光は第2のマウントボディ52’の中央部を通過することができる。第2のマウントボディ52’は、中央の開口部72の周囲に配置された光学要素装着用凹部74または同様のものを用いて、第2のマウントボディ52’に光学要素を装着するよう構成することができる。光学要素装着用凹部は、レンズ78などの光学要素を定位置に保持するための位置決めねじ76を有する。装着用凹部74にレンズ78が装着されて示されているが、上記で論じられるいかなる光学要素もそのように装着することができる。それに加えて、第2のマウントボディ52’は、他の任意の適切な方法でそれに光学要素を装着するよう構成することもできる。例えば、光学要素は、適切な接着剤によって第2のマウントボディ52’に接着してもよいし、ねじまたはボルトなどの留め具によって定位置に保持してもよいし、光学要素の直接装着に、または、ブラケットもしくは他の光学要素の装着に適切なデバイスの装着に適切な、光学要素の上に配置されたねじ穴などの装着位置を有してもよい。第1のマウントボディ48’および第2のマウントボディ52’は、十分な熱安定性を有する任意の適切な高強度材料で製作することができる。アルミニウム、ステンレス鋼を含む鉄鋼、複合材料および同様のものなどの材料を使用することができる。第1のマウントボディ48の横方向の寸法は、いくつかの実施形態に対し、約10mmから約200mmであり得る。上記で光学マウントの実施形態46に関して論じるように、第1の圧電式慣性ドライバ10は、第1の軸方向に、第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’との間の相対運動を伝えるよう構成することができる。第1の圧電式ドライバ10は、第2のマウントボディ52’の第1の駆動表面66と摩擦係合し得る駆動表面28を含む。第2の圧電式慣性ドライバ10’は、第2の軸方向に、第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’との間の相対運動を伝えるよう構成することができる。第2の圧電式ドライバは、第2のマウントボディ52’の第2の駆動表面68と摩擦係合する駆動表面28’を含み得る。第1および第2の圧電式慣性ドライバ10および10’は、それぞれの装着ロッド89およびねじ88などの複数の留め具によって、第1のマウントボディ48’のスロット86に定位置に保持することができる。示される実施形態では、第1および第2の圧電式慣性ドライバ10および10’は、第2のマウントボディ52’の中央の開口部72の中心の実質的両側に配置することができる。いくつかの実施形態に対し、圧電式慣性ドライバ10および10’のそれぞれの駆動表面28および28’は、第2のマウントボディ52’の第1および第2の駆動表面66および68の固い乾燥した表面と係合するよう構成された固い乾燥した表面であり得る。いくつかの実施形態に対し、同様の材料または金属の摩擦係合に関連する摩耗または他の問題を防ぐため、異なる金属などの異なる材料を用いて摩擦係合を準備することが有用であり得る。例えば、いくつかの実施形態では、駆動表面28および28’は、平滑で乾燥した鋼表面を含んでもよく、駆動表面66および68は、平滑で乾燥した固い陽極酸化アルミニウム表面を含んでもよい。他の表面は、陶材面、複合表面および同様のものを含み得る。各圧電式慣性ドライバ10および10’は、コントローラ44’によって制御することができ、コントローラは、各圧電式慣性ドライバ10および10’の圧電部材38および38’のそれぞれと動作可能に連通する。調整可能なマウント46に関して上記で論じられたように、オペレータは、コントローラ44’を使用して、各圧電式慣性ドライバ10および10’ならびに第2のマウントボディ52の対応する回転軸に所望の量の調整を適用することができる。いくつかの実施形態に対し、圧電式慣性ドライバ10に対する変位分解能、すなわち、信頼できる変位の最小増分は、約5nmから約20nmであり得る。また、同じコントローラ44’を、図10に示される位置測定モジュールと動作可能に結合することもできる。また、コントローラ44’は、位置測定モジュールの歪みゲージによって生成されたデータを測定、解釈および格納するよう構成された位置分析モジュールも含み得る。いくつかのコントローラの実施形態44’は、位置測定モジュールと併用する際に、圧電式慣性ドライバ10および10’を閉ループ制御様式で動作させることができる。そのような構成では、オペレータは、位置の調整をコントローラ44’に入力することができ、結果として生じた変位信号は、コントローラ44’から圧電部材38および38’に伝達される。コントローラ44’からの変位信号に応じて圧電式慣性ドライバ10および10’が平行移動を作動すると、圧電式慣性ドライバ10および10’の駆動表面28によって変位した第2のマウントボディ52などのボディの物理的運動が、位置測定モジュールの歪みゲージアセンブリの1つまたは複数の歪みゲージによって測定される。オペレータが入力した位置に変位ボディ52が到達すると、コントローラ44’のCPUによって、圧電式慣性ドライバ10および10’への変位信号を終了することができる。上記で論じられるように、調整可能なマウント100は、第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’とを含む。マウント100は、第2のマウントボディ52’に光学要素を固定するよう構成される。第2のマウントボディ52’は、第1の調整可能な自由度および第2の調整可能な自由度において第1のマウントボディ48’に対して移動可能である。マウント100は、第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’との間の第1の調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成された第1のドライバ10と、第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’との間の第2の調整可能な自由度における相対運動を制御可能に伝えるよう構成された第2のドライバ10’とを含む。図10~12に示されるように、マウント100は、可撓性基板の実施形態112を有する位置測定モジュール102を含む。可撓性基板の実施形態112は、1つまたは複数の歪みゲージ要素118が可撓性基板112に機械的に固定された薄い可撓性シートを含む。歪みゲージ要素118は、可撓性基板112の歪みを登録し、可撓性基板112の歪みに応じて信号を生成するよう構成することができる。可撓性基板112の第1の部分110は第1のマウントボディ48’に固定することができ、可撓性基板112の第2の部分114は第2のマウントボディ52’に固定することができ、その結果、可撓性基板112の歪みに相当する可撓性基板112の1つまたは複数の歪みゲージ要素118における歪みプロフィールを生成することができる。そのような構成の場合、第1のマウントボディ48’に対する第2のマウントボディ52’の絶対位置は、第1および第2の調整可能な自由度に沿った第2のマウントボディ48’の組合せ位置によって決定することができる。第1のマウントボディ48’に対する第2のマウントボディ52’の可能な各位置は、一意の歪みゲージ要素の出力信号プロフィールに対応することもでき、一意の歪みゲージ要素の出力信号プロフィールはコントローラ44’またはそのコンポーネントによって測定して分析することができ、コントローラ44’は、1つまたは複数の歪みゲージ要素118と動作可能に連通する。そのため、コントローラ44’は、歪みゲージ要素信号から位置データを生成するよう構成することができる。図12は、可撓性基板112および1つまたは複数の歪みゲージ要素118または歪みゲージ108を含む歪みゲージアセンブリ104と、可撓性基板112の歪みゲージ要素118と動作可能に結合するかまたは別の方法で電気的に接続することができる回路基板106とを含み得る位置測定モジュールの実施形態102を示す。回路基板106は、歪みゲージアセンブリ104の可撓性基板112に隣接して配置されるが、回路基板106は、第2のマウントボディ52’と第1のマウントボディ48’との相対運動または位置によって可撓性基板112に誘起される自然歪みを妨げないように、可撓性基板112から機械的に独立するよう構成される。いくつかの実施形態に対し、回路基板106は、可撓性基板112の第1のマウント120または第2のマウント122と接触させることができる。いくつかの事例では、回路基板106は、歪みゲージアセンブリ104の歪みゲージ要素118または歪みゲージ108の1つまたは複数の出力信号を較正するよう構成された電子回路を含み得る。回路基板106は、調整可能なマウントシステム100のコントローラ44’または他のコンポーネントとの便利な接続のための端子アレイまたは端子結合器124を有し得る。示される実施形態用の端子結合器124は、回路基板106の回路と電気的に連通する6つの導電端子と、各導電端子に対応する銅線などの6つの導体を有するワイヤハーネス図示せずと着脱可能に固定された結合器筺体126とを含む。6つの導体は、コントローラ44’の回路と電気的に連通することができる。結合器124の端子は、第1の端子130と、第2の端子131と、第3の端子132と、第4の端子133と、第5の端子134と、第6の端子135とを含み得る図22Aも参照。これらの端子のいくつかまたはすべては、コントローラ44’内の回路のさまざまな部分と結合することができる。そのような回路は、第1のマウントボディ48’に対する第2のマウントボディ52’の位置の決定に使用することができる1つまたは複数の出力信号を生成するよう構成することができる。図13Aおよび14Aに示される可撓性基板の実施形態112の場合、4つの歪みゲージ要素118が可撓性基板112に機械的に固定される。いくつかの実施形態に対し、可撓性基板112は、2つの実質的に平行な表面間に、薄い可撓性シートの材料を含み得る。さまざまな全体的な形状を有し得るリング状構造を生成するため、シートの中央部分を通るように配置された開口部113が存在する場合がある。図13Aおよび14Aに示される実施形態に対し、可撓性基板は、シートの中央部分に実質的に正方形の開口部を備えた平坦な実質的に正方形状のプレートまたはシートを含む。また、シートの外縁の正方形の形状は、正方形状の開口部と実質的に整列している。実質的に正方形状のリング状構造のシートおよび開口部は、4つの側面と4つの角部を有する外周領域を生成するよう構成することができる。第1のマウントボディ48’に固定することができる可撓性基板112の第1の部分は、可撓性基板112の第1の角部に配置することができる。第2のマウントボディ52’に固定することができる可撓性基板112の第2の部分は、第2の角部に配置することができ、一部の状況では、第2の角部は、開口部を間にして第1の角部に対向して配置される。可撓性基板112の可撓性材料は、既定の大きさ以内の歪みに対して塑性変形することなく、初期の構成に繰り返し戻る弾性材料であり得る。いくつかの事例では、可撓性基板112の材料は、アルミニウム、鉄鋼、青銅ベリリウム合金を含む青銅合金などの金属、ガラス繊維およびエポキシ複合材料などの複合材料、または、同様のものを含み得る。可撓性基板の実施形態は、約0.4mmから約1mmの厚さを有してもよく、約12mmから約20mmの側面138の外縁から反対側の側面138の外縁までの横方向の寸法を有してもよい。図13Aおよび14Aに示されるように、歪みゲージ要素118は、実質的に正方形の可撓性基板112の4つの側面138それぞれに沿って配置される。歪みゲージ要素118は、合計で8つの歪みゲージ要素118に対する可撓性基板の角部のそれぞれの間に、可撓性基板112の各側面上の可撓性基板112の第1のマウント120と第2のマウント122との間に配置される。示される実施形態に対し、歪みゲージ要素118のそれぞれは、歪みゲージ108の歪みゲージボディ136上に配置される。各歪みゲージボディ136は、可撓性基板112と機械的に固定および結合され、その結果、可撓性基板112の歪みは、可撓性基板112に隣接し、機械的に結合および固定された歪みゲージ108の歪みゲージボディ136および歪みゲージ要素118に少なくとも部分的に伝達される。図13Aに示されるように、歪みゲージ108は、可撓性基板112の外周の各側面138の中央に配置され、歪みゲージ108の細長い長さの導体素子140は、各側面の長さに沿って、または、可撓性基板112の4つの側面138のそれぞれの内縁もしくは外縁に実質的に平行に延在する。対応する歪みゲージ要素118が可撓性基板112上に配置されて機械的に結合された合計で8つの歪みゲージ108に対して、基板112の上面142と底面144の両方と機械的に結合されたそのような歪みゲージ108は4つずつ存在する。示される実施形態に対し、上面142上の歪みゲージ108および底面144上の対応する歪みゲージ108は、可撓性基板112を挟んで互いに実質的に対向して配置される。それに加えて、いくつかの例では、上面142上の4つの歪みゲージ108は、可撓性基板112の外周に沿って、互いに実質的に等しく離間することができる。底面144上の4つの歪みゲージ108は、可撓性基板112の外周に沿って、互いに実質的に等しく離間することができる。いくつかの実施形態に対し、2つ以上の歪みゲージ要素118は、可撓性基板112に機械的に固定または機械的に結合することができ、より具体的には、約2つの歪みゲージ要素118から約20個の歪みゲージ要素118は、可撓性基板112と機械的に結合または固定することができ、さらに具体的には、約6つの歪みゲージ要素118から約10個の歪みゲージ要素118は、可撓性基板112と機械的に固定または結合することができる。図13Bおよび14Bは、図13Aに示される歪みゲージアセンブリ104のものと同じ特徴、寸法または材料を有し得る歪みゲージアセンブリ104’の別の実施形態を示す。しかし、歪みゲージアセンブリ104’は、開口部113’がその中央部分に配置された実質的に円形状の可撓性基板構成を有する。示される抵抗歪みゲージの実施形態108に対し、各歪みゲージ要素118は、歪みゲージ108の導体素子にかけられた歪みに応じて電気インピーダンスを変更するよう構成された電気回路146を含む。そのような電気回路146の実施形態は、図15、15Aおよび15Bに示される歪みゲージ108に示される。この実施形態に対し、電気回路146は、歪みゲージボディ136の封入材料内に実質的に平坦なジグザグパターンで配置されるか、または、別の方法で歪みゲージボディ材料上に配置された歪みゲージ導体素子140を含む。いくつかの実施形態に対し、歪みゲージボディ材料は、アルミニウム、タングステン、合金または同様のものなどの金属を含み得る。いくつかの歪みゲージの実施形態は、VishayMeasurementsGroupLtd.Basingstoke、UKによって製造された歪みゲージを含み得る。いくつかの歪みゲージの実施形態に対するジグザグパターンの導体素子140は、実質的に平行に、互いに近接近した状態で、細長い部分の各端部で180度転換した状態で配置された細長い部分で構成することができる。いくつかの例では、導体素子140の第1の端部は、第1の出力端子150で終止し、導体素子140の第2の端部は、第2の出力端子152で終止する。いくつかの実施形態に対し、歪みゲージボディは、約1mmから約10mmの長さ、約1mmから約10mmの幅および約0.2mmから約2mmの厚さを有し得る。歪みゲージ要素118の導体素子140は、導体素子140の長さ、横断面および伝導率によって決定することができる既定のインピーダンスまたは電気抵抗を含み得る。導体素子140の細長い部分を延長または伸長する導体素子140にかけられた歪みにより、一般に、細長い部分が横断面の減少とともにより薄くなるだけでなく、導体素子140の電流経路全体が長くなる。したがって、この機械的反応により、回路146の電気抵抗またはインピーダンスが増加する。このインピーダンスの増加の大きさは、そこから生成された既知の歪みおよび位置データと相関することができる。他方では、導体素子140の細長い部分を短縮または圧縮する導体素子140上にかけられた歪みにより、一般に、導体素子140の細長い部分が横断面の増加とともにより厚くなるだけでなく、導体素子140の電流経路全体が短くなる。したがって、この機械的反応により、回路146の電気抵抗またはインピーダンスが減少する。このインピーダンスの減少の大きさは、そこから生成された既知の歪みおよび位置データと相関することができる。図16を参照すると、可撓性基板の実施形態112の一部が示され、可撓性基板112の第1の表面または上面142と機械的に結合された第1の歪みゲージ108と、可撓性基板112の第2の表面または底面144と機械的に結合された第2の歪みゲージ108とを含む。第1の歪みゲージ108は、第2の歪みゲージ108に実質的に対向して配置され、可撓性基板112のシートは、歪みゲージ108間に配置される。第1および第2の歪みゲージ108の導体素子140の細長い部分は、上記で論じられるように、両方とも互いに実質的に整列し、可撓性基板112の側面138の長さに実質的に平行に伸びるか、または、可撓性基板112の縁に実質的に平行に伸びる。図16に示されるように可撓性基板112の一部が湾曲またはトルク印加されると、可撓性基板112の上面142上の第1の歪みゲージ108の細長い導体素子140は、矢印154で示されるような張力を受ける。可撓性基板112の底面144上の第2の歪みゲージ108の細長い導体素子140は、矢印156で示されるような圧縮力を受ける。そのため、第1の歪みゲージ108の回路146の電気インピーダンスまたは抵抗は、可撓性基板112および第1の歪みゲージ108の曲げ歪みの量に相当する大きさだけ増加する。第2の歪みゲージ108の回路146の電気インピーダンスまたは抵抗は、可撓性基板112および第2の歪みゲージ108の曲げ歪みの量に相当する大きさだけ減少する。図16に示される第1および第2の歪みゲージ108のそれぞれのインピーダンス変化信号は、図17に示される適切に構成されたホイートストンブリッジ回路158によって、加算および測定することができる。図17のホイートストンブリッジ回路158の場合、第1の歪みゲージ108の出力端子150および152の出力は、示されるように、回路158と結合することができる。第2の歪みゲージ108の出力端子150および152の出力も、示されるように、ホイートストンブリッジ回路158と結合することができ、その結果、第1および第2の歪みゲージ108のそれぞれに対するインピーダンス変化の大きさの絶対値がホイートストンブリッジ回路158によって加算および測定される。上記で論じられるように第1のマウントボディ48’と第2のマウントボディ52’との間に機械的に結合される、図13Aおよび14Aに示される歪みゲージアセンブリ104の実施形態に対し、コントローラ44’もしくは他の任意の所望の回路、プロセッサまたは同様のものは、歪みゲージアセンブリ104の複数の歪みゲージ108のインピーダンスプロフィールに基づいて、各自由度または自由軸に対する一意の位置を決定するよう構成することができる。示される歪みゲージアセンブリ104および可撓性基板は、第1のマウントボディ48’に対する第2のマウントボディ52’の2つの軸位置を決定するため、コントローラ44’、回路基板106の回路またはその両方によって異なる方法で分析することができる、異なる歪みモードをかけてもよい。図18Aは、歪みゲージアセンブリ104を示し、破線160は、可撓性基板112の第1のマウント120と第2のマウント122との間に、それらの間に引かれる線に実質的に垂直に配置された曲げ軸を示す。図18Bにはそのような曲げモードが示されており、可撓性基板112は曲げ軸160に沿って湾曲し、可撓性基板112の上面142上に装着された歪みゲージ要素118に引張を生じさせ、底面144上に装着された歪みゲージ要素118に圧縮を生じさせる。これらの歪みゲージ108からの信号は、図17と関連して上記で論じられるホイートストンブリッジ回路158を含み得る回路と結合して、その回路により分析することができる。図19Aは、歪みゲージアセンブリ104を示し、破線162は、可撓性基板112の第1のマウント120と第2のマウント122との間に引かれるトルクまたはねじり軸を示す。図19Bにはそのような曲げまたはねじりモードが示されており、可撓性基板112は軸162に沿ってねじられ、可撓性基板112の上面142および底面144上に装着された歪みゲージ要素118の特定の位置に応じて、歪みゲージ要素118に引張と圧縮の組合せを生じさせる。いくつかの実施形態に対し、図19Bに示されるねじりまたはねじれ歪みモードによって生成された歪みゲージアセンブリ104の歪みゲージ108の出力信号は、図20に示されるブリッジ回路164を用いて達成することができる。図20の回路164は、図22Aおよび22Bに示されるように、可撓性基板112上に配置することができる参照番号J1、J2、J6およびJ5によって示された4つの歪みゲージ108の表現を含む。いくつかの実施形態に対し、図18Bに示される曲げ歪みモードによって生成された歪みゲージアセンブリ104の歪みゲージ108の出力信号は、図21に示されるブリッジ回路166を用いて達成することができる。図21の回路166もまた、図22Aおよび22Bに示されるように、可撓性基板112上に配置することができる参照番号J4、J7、J3およびJ8によって示された4つの歪みゲージ108の表現を含む。図20および21の回路164および166に関し、それぞれ、接点Vccは図22Aの端子130に相当するかまたは接続され、アース線は端子131に相当するかまたは接続され、端子M1は端子132に相当するかまたは接続され、端子M2は端子133に相当するかまたは接続され、M3は端子134に相当するかまたは接続され、M4は端子135に相当するかまたは接続される。いくつかの実施形態に対し、コントローラ44’は、プロセッサ、メモリデバイス、データ入力用のキーボードおよび画像表示用のスクリーンを含み得るパーソナルコンピュータなどの別の処理または演算デバイスと結合するよう構成することができる。いくつかの例では、コントローラ44’は、コントローラとの通信およびそのスクリーン上への位置データの表示に使用されるそのような二次処理デバイスおよび二次処理デバイスと通信するためのUSBポートまたは同様のデータポートを含み得る。また、二次演算デバイスを使用して、第1のマウントボディ52’に対する第2のマウントボディ48’の1つまたは複数の位置の位置データを格納することもできる。マウント100のいくつかの実施形態に対し、第1のマウントボディは、第1および第2の軸のそれぞれの方向に約0.5度から約10度の運動または変位範囲であってもよく、第1および第2の軸は、互いに実質的に垂直であってもよい。より具体的には、いくつかの実施形態は、各軸の方向に約1度から約5度の動作範囲を有し得る。上記の詳細な説明に関し、本明細書で使用される同一の参照番号は、同じまたは同様の寸法、材料および構成を有し得る同一の要素を示し得る。特定の形態の実施形態が図解され説明されてきたが、本発明の実施形態の精神および範囲から逸脱することなく、さまざまな変更形態を作成できることが明らかになるであろう。したがって、前述の詳細な説明によって本発明を制限することを意図しない。本明細書で参照された各特許、特許出願、刊行物および文書の全体は、本明細書によって参照により組み込まれる。上記の特許、特許出願、刊行物および文書の引用は、前述のいずれも関連する先行技術であることを承認するものでも、これらの文書の内容または日付に関するいかなる承認を構成するものでもない。前述の実施形態に対し、本技術の基本的態様から逸脱することなく変更形態を作成することができる。本技術は、1つまたは複数の特定の実施形態を参照してかなり詳細に説明することができたが、本願で具体的に開示された実施形態に対して変更を行うことができ、それにもかかわらず、これらの変更形態および改良形態は、本技術の範囲および精神内にある。本明細書に適切に例示的に記載される本技術は、本明細書に具体的に開示されていない任意の要素がなくとも実施することができる。したがって、例えば、本明細書の各例では、含む、備えるcomprising、から実質的になるconsistingessentiallyofおよびからなるconsistingofのいずれの用語も、他の2つの用語のいずれかと置き換えることができる。採用されてきた用語および表現は、説明の便宜上で使用されるものであり、限定するものではなく、そのような用語および表現の使用により、示されるおよび説明される特徴またはその一部のいずれの均等物も排除されることはなく、特許請求される技術の範囲内でさまざまな変更が可能である。用語aまたはanは、1つの要素または複数の要素のいずれかについて説明されていることが文脈上明らかでない限り、それが修飾する要素の1つまたは複数を示し得る例えば、試薬areagentは1つまたは複数の試薬を意味し得る。本技術は代表的な実施形態および任意選択の特徴によって具体的に開示されてきたが、本明細書に開示される概念の変更形態および変形形態を作成することができ、そのような変更形態および変形形態は、本技術の範囲内にあると見なすことができる。本技術のある特定の実施形態について、以下の特許請求の範囲に記載する。