"aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンを含有し、pHを8~10に調整したことを特徴とする剥離剤組成物。aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンと、c水溶性極性溶剤と、d水を含有し、pHを8~10に調整したことを特徴とする剥離剤組成物。aピロガロールは加水分解性タンニンを分解して得ることを特徴とする請求項1または2記載の剥離剤組成物。加水分解性タンニンおよびbアルカノールアミンをそれぞれ別容器に収納し、少なくとも加水分解性タンニンおよびbアルカノールアミンを混合するときに、pHを8~10に調整する調整手段により製造されることを特徴とする請求項3記載の剥離剤組成物。bアルカノールアミンをモノエタノールアミンまたはN-メチルアミノエタノールとした請求項1~4のいずれかに記載の剥離剤組成物。c水溶性極性溶剤をジメチルスルホキシドとした請求項2記載の剥離剤組成物。このような従来の剥離剤組成物において、防食剤としてア尿素または尿素誘導体とイヒドロキシ芳香族とを含有することを必須条件としているが、ア成分はイ成分の防食機能を保管する成分であり、特許文献1の表1No.6に示すように、尿素を単独で使用した場合は防食性が悪く、尿素などのア成分を含む防食剤が機能しない場合があるという課題を有していた。また、剥離剤組成物の剥離機能を十分に発揮させるには、液温を80°C程度に維持する必要があるという課題があり、常温で使用できる剥離剤組成物が望まれていた。そこで本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、防食剤として尿素を使用せず、しかも20°C程度の常温で確実に防食性能を発揮できる剥離剤組成物を提供することを目的とする。そして、この目的を達成するために、本発明は、aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンを含有し、pHを8~10に調整したことを特徴とする剥離剤組成物としたものであり、これにより所期の目的を達成するものである。また本発明は、aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンと、c水溶性極性溶剤と、d水を含有し、pHを8~10に調整したことを特徴とする剥離剤組成物としたものである。本発明によれば、aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンを含有し、pHを8~10に調整する構成にしたことにより、剥離処理を行うときに、bアルカノールアミンが剥離機能を発揮して、レジスト膜やエッチング残渣が除去される。また、酸性のaピロガロールとアルカリ性のbアルカノールアミンを混合時にpH調整してpHを8~10に保つようにしているので、このpH値範囲を維持することにより、aピロガロールが水分の溶存酸素を強力に除去することができ、露出する銅膜などの金属表面に溶存酸素が反応するのを未然に防ぐとともに、防食剤として尿素や尿素誘導体を共存させる必要もなく、常温使用において防食機能を十分に発揮するという効果を得ることができる。さらに、ab成分を混合した剥離剤組成物は、pHが8から10の弱アルカリ性の範囲にあり、金属イオンが水酸化物とならないようにして沈殿物の発生を防ぐことができ、剥離剤組成物が剥離機能を損なわずに継続使用が可能となるので、交換頻度が少なくなり経済的に剥離処理できるという効果が得られる。本発明の請求項1記載の剥離剤組成物は、aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンを含有し、pHを8~10に調整した構成を有する。これにより、剥離処理を行うときに、bアルカノールアミンが剥離機能を発揮して、レジスト膜やエッチング残渣が除去され、剥離剤組成物のpHを8~10に保つようにしているので、このpHの範囲であればaピロガロールが水分に含まれる酸素を強力に除去することができ、露出する銅膜に酸素が反応するのを防いで、防食機能を発揮するという効果を奏する。また、aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンと、c水溶性極性溶剤と、d水を含有し、pHを8~10に調整する構成にしてもよい。これにより、c水溶性極性溶剤がacdの各成分を溶融して、pH値が8~10に均一になるように混合するので、aピロガロールの酸素除去力を安定して発揮させ、防食機能が維持されるという効果を奏する。また、aピロガロールは加水分解性タンニンを分解して得るという構成にしてもよい。これにより、剥離剤組成物を生成する段階で、加水分解性タンニンはd水と反応して分解し、aピロガロールとなるので、上記した防食機能を発揮するものである。また、aピロガロールは加水分解型タンニンを水に溶かすと生成されるものであり、この加水分解型タンニンは茶葉などの自然界の植物に含まれており、微生物により容易に分解される。そして、bアルカノールアミンも同様に生分解性を有しており、ab成分を混合した剥離剤組成物は、微生物により分解処理されるので廃棄処理も容易に行える。なお、保管時は茶葉などから抽出された加水分解性タンニンを原料として管理することにより、取り扱いや入手が容易であるという効果を奏する。また、加水分解性タンニンおよびbアルカノールアミンをそれぞれ別容器に収納し、少なくとも加水分解性タンニンおよびbアルカノールアミンの両成分を混合するときに、pHを8~10に調整する調整容器により製造される剥離剤組成物という構成にしてもよい。これにより、pHが既知の加水分解性タンニンを収納した容器から適量を水とともに調整容器に投入してaピロガロールを生成し、pHが既知のbアルカノールアミンを収納した別の容器から適量を前記調整容器に投入し、必要であればpH調整剤などを投入することにより、前記混合容器内でpH8~10の剥離剤組成物を得ることができるので、剥離剤組成物の必須成分となるab成分の混合前の原料保管と、混合時のpH調整が容易に行えるという効果を奏する。また、bアルカノールアミンとして、モノエタノールアミンまたはN-メチルアミノエタノールを採用することにより、剥離性能を良好に発揮することができる。また、c水溶性極性溶剤をジメチルスルホキシドとしたことにより、有機物だけでなく、無機化合物もよく溶かすので、本願発明の他の剥離剤組成物を満遍なく混合して、剥離性能および防食性能を良好に発揮することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。実施の形態1まず本発明の請求項1、2に記載した剥離剤組成物の各成分について説明する。aピロガロールは、1,2,3-トリヒドロキシルベンゼンあるいは1,2,3―ベンゼントリオールにあたる3価のフェノールであり、ヒドロキシヒドロキノンおよびフロログルシンは異性体である。aピロガロールは、水、アルコールに溶け、還元性が強く、pH8以上のアルカリ溶液域では、常温で水中の溶存酸素と接触すると、数秒で酸素を除去してしまう。その結果、剥離剤組成物に含まれる溶存酸素を強力に吸収するので、剥離剤組成物が銅膜などの金属表面に接触しても、金属表面が酸化されて腐食することはなく、優れた防食機能を発揮することができる。このように、本願発明の剥離剤組成物は、酸化の原因となる酸素自体を取り除いて、金属表面に直接接触させることがないので、酸化腐食される可能性のある全ての金属に対して、防食機能を有効に発揮するものである。また、aピロガロールは加水分解型タンニンを水に溶かすと生成されるものであり、この加水分解型タンニンは自然界の植物に含まれている。たとえば、チェストナットの木質部、オークの樹皮、茶葉、ミラボラムの果実、中国産の五倍子などに多く含まれており、これらの植物から抽出して加工した形で、化学工業原料として容易に入手して保管することができる。また、bアルカノールアミンとしては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、N-エチルアミノエタノール、N-メチルアミノエタノール、ジメチルアミノエタノール、2-2-アミノエトキシエタノールなどがあり、この成分は剥離剤組成物として剥離性能を発揮するものである。特にモノエタノールアミン、N-メチルアミノエタノールが剥離性能において良好である。また、c水溶性極性溶剤としては、上記のab成分と、後述するd水との混和性を備えた有機溶剤を用いるのが好ましい。その種類は、スルホキシド類、スルホン類、アミド類、ラクタム類、イミダゾリジノン類、ラクトン類、多価アルコール類、などがあげられるが、中でもスルホキシド類のジメチルスルホキシドが剥離性、防食性において優れている。ジメチルスルホキシドは、化学式CH3-SO-CH3で表記され、水と混合しやすい。また、極性が高く、有機物だけでなく、無機化合物もよく溶かすので、本願発明の剥離剤組成物として良好であるが、これに限定されず、上記したc水溶性極性溶剤から適宜選択して使用可能である。またd水は、c水溶性極性溶剤とともに、上記のab成分を混和するための重要な成分であり、加水分解型タンニンを分解してaピロガロールを生成し、aピロガロールの防食機能、ならびにbアルカノールアミンの剥離機能を良好に発揮させる成分である。そして、剥離剤組成物の製造は、それぞれ別容器に収納した加水分解性タンニンおよびbアルカノールアミンを調整容器に混合するとともに、調整容器内のpHを8~10に調整することで実施できる。すなわち、pHが既知の加水分解性タンニンを収納した容器から適量を水とともに調整容器に投入してaピロガロールを生成し、pHが既知のbアルカノールアミンを収納した別の容器から適量を前記調整容器に投入し、さらにc水溶性極性溶剤とd水を加えて混合し、必要であればpH調整剤などを追加することにより、前記混合容器内でpH8~10の剥離剤組成物を得ることができる。このとき、a~dの各成分の配合比率は、a成分が1~60質量、b成分が5~70質量、d成分が2~40質量、c成分が残りの質量の範囲とするのが適しているが、この条件に限定されるものではなく、最終的な剥離剤組成物のpHが8~10に収まる配合比率であればよい。すなわち、この配合比率は、半導体基板の製造プロセスで生ずる種々の条件に適合させるために変更される場合もあり、剥離剤組成物のpHが8~10に収まる配合比率であることが必須条件である。次に、本発明の剥離剤組成物の適用例として、半導体基板上に銅配線を形成する工程での剥離剤組成物の使用例を説明する。なお、この銅配線を形成する工程は従来技術で示したものと略同様となるので、主に従来例と異なる工程について説明する。図1aに示すように、エッチング工程の終了後、酸素プラズマアッシングによりレジスト膜8の一部を除去した後、本願発明の剥離剤組成物を用いて剥離処理を行う。この剥離処理により、レジスト膜8aやエッチング残渣11が除去される。このとき、一部のスルーホール10において銅膜5が露出しているが、aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンを含有し、pHを8~10に調整した剥離剤組成物を用いることにより、銅膜5には溶存酸素が触れることがないので、腐食などの損傷を与えることなく、レジスト膜8aおよびエッチング残渣11を除去することができる。さらに、図1bに示す次の工程で、エッチングガスを変えてシリコン窒化膜6のエッチングを行う場合に、スルーホール10の内壁にエッチング残渣12が付着していても、先に使用した剥離剤組成物がpH8~10の範囲内にあれば、aピロガロールが溶存酸素の除去能力を維持して防食機能を発揮できるため、この剥離剤組成物を継続かつ繰り返して使用することができる。次に、図2に示す溶存酸素濃度の特性図において、aピロガロールの元となる加水分解型タンニンを含有する溶液の濃度をパラメータとして、pH値変化による溶存酸素濃度の変化を測定することにより、aピロガロールを含有する剥離剤組成物がpH値8以上で有効であることの検証を行う。図2a~cに示すものは、純水200ccに対して加水分解型タンニンをそれぞれ0.1質量、0.5質量、1.0質量加えた3種類の溶液について、pH値と溶存酸素濃度mg/lの関係を示す特性図である。なお、溶存酸素濃度はDO計による計測値であり、計測中の水温は常温の20°C~22°Cである。また、図2dに示すものは、図2cと同一の測定条件で、pH値を12まで上げて追認試験を行ったものである。そして各特性図を比較すると、図2aに示すものは、加水分解型タンニンの含有量が0.1質量では少ないため、pH8~10では溶存酸素濃度が1.5~6mg/lと高い値を示している。しかし、図2b~dに示すものは、加水分解型タンニンの含有量を0.5質量以上に増加させると、溶存酸素濃度が0mg/lまたはその近傍まで低下しており、加水分解型タンニンの分解で生じたaピロガロールが、pH8以上であれば液中の溶存酸素を確実に除去することを示している。また、図2eに示すものは、pH値を8.6とした溶液200ccに対して、加水分解型タンニンを1.0質量加えたときに、溶存酸素濃度の推移を計測したものである。この計測結果は、溶液中の溶存酸素濃度6.3mg/lが、120秒から180秒の間で0mg/lに速やかに低減しており、短時間で脱酸素することが分かる。さらに、その後の経過も脱酸素状態を維持している。このように、pH8~10において、aピロガロールは液中の溶存酸素を短時間で除去して、脱酸素状態を維持することができるので、このことからaピロガロールを必須成分とする剥離剤組成物は、金属表面に酸素が直接触れないようにして、防食機能を発揮することが立証できるものである。したがって、本願発明のように、aピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンを含有し、pHを8~10に調整した剥離剤組成物とすることにより、bアルカノールアミンによる剥離機能を発揮するとともに、aピロガロールが液中に含まれる酸素を強力に除去するので、露出する銅膜などの金属表面に酸素が反応するのを防いで、防食機能も確実に発揮することができるものである。またaピロガロールを必須成分とする防食剤と、bアルカノールアミンと、c水溶性極性溶剤と、d水を含有し、pHを8~10に調整した剥離剤組成物とすることにより、c水溶性極性溶剤がacdの各成分を溶融して、pH値が8~10に均一になるように混合するので、aピロガロールの酸素除去力を安定して発揮させることができるものである。"