Nd-Fe-B系の希土類永久磁石であって、焼結後に残存する窒素濃度が800ppm以下であることを特徴とする希土類永久磁石。磁石原料を希ガス雰囲気下で粉砕して磁石粉末を得る工程と、前記磁石粉末を希ガス雰囲気下で成形することにより成形体を形成する工程と、前記成形体を焼結する工程と、により製造されることを特徴とする請求項1に記載の希土類永久磁石。前記成形体を焼結する前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することを特徴とする請求項2に記載の希土類永久磁石。前記磁石粉末を成形する前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することを特徴とする請求項2に記載の希土類永久磁石。前記成形体を形成する工程では、バインダー樹脂と前記磁石粉末とが混合された混合物をシート状に成形することにより前記成形体としてグリーンシートを作製し、前記グリーンシートを非酸化性雰囲気下でバインダー樹脂分解温度に一定時間保持することにより前記バインダー樹脂を飛散させて除去する工程を製造工程として更に備え、前記成形体を焼結する工程では、前記バインダー樹脂を除去した前記グリーンシートを焼成温度に温度を上昇して焼結することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の希土類永久磁石。前記バインダー樹脂を飛散させて除去する工程では、前記グリーンシートを大気圧以上に加圧した非酸化性雰囲気下で一定時間保持することを特徴とする請求項5に記載の希土類永久磁石。請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の希土類永久磁石を製造する希土類永久磁石の製造方法。ここで、Nd-Fe-B系磁石を永久磁石モータに用いる場合には、モータの出力を向上させるために、磁石の保磁力を向上させることが図られている。しかしながら、従来のNd-Fe-B系磁石では保磁力を十分に向上させることができなかった。本発明は前記従来における問題点を解消するためになされたものであり、Nd-Fe-B系の希土類永久磁石において焼結後に残存する窒素濃度を800ppm以下とすることにより、保磁力を向上させることを可能とした希土類永久磁石及び希土類永久磁石の製造方法を提供することを目的とする。前記目的を達成するため本願の請求項1に係る希土類永久磁石は、Nd-Fe-B系の希土類永久磁石であって、焼結後に残存する窒素濃度が800ppm以下であることを特徴とする。また、請求項2に係る希土類永久磁石は、請求項1に記載の希土類永久磁石において、磁石原料を希ガス雰囲気下で粉砕して磁石粉末を得る工程と、前記磁石粉末を希ガス雰囲気下で成形することにより成形体を形成する工程と、前記成形体を焼結する工程と、により製造されることを特徴とする。また、請求項3に係る希土類永久磁石は、請求項2に記載の希土類永久磁石において、前記成形体を焼結する前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することを特徴とする。また、請求項4に係る希土類永久磁石は、請求項2に記載の希土類永久磁石において、前記磁石粉末を成形する前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することを特徴とする。また、請求項5に係る希土類永久磁石は、請求項1又は請求項2に記載の希土類永久磁石において、前記成形体を形成する工程では、バインダー樹脂と前記磁石粉末とが混合された混合物をシート状に成形することにより前記成形体としてグリーンシートを作製し、前記グリーンシートを非酸化性雰囲気下でバインダー樹脂分解温度に一定時間保持することにより前記バインダー樹脂を飛散させて除去する工程を製造工程として更に備え、前記成形体を焼結する工程では、前記バインダー樹脂を除去した前記グリーンシートを焼成温度に温度を上昇して焼結することを特徴とする。また、請求項6に係る希土類永久磁石は、請求項5に記載の希土類永久磁石において、前記バインダー樹脂を飛散させて除去する工程では、前記グリーンシートを大気圧以上に加圧した非酸化性雰囲気下で一定時間保持することを特徴とする。更に、請求項7に係る希土類永久磁石の製造方法は、請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の希土類永久磁石を製造することを特徴とする。前記構成を有する請求項1に記載の希土類永久磁石によれば、Nd-Fe-B系の希土類永久磁石において焼結後に残存する窒素濃度を800ppm以下とすることにより、保磁力を向上させることが可能となる。また、請求項2に記載の希土類永久磁石によれば、磁石原料を粉砕する工程及び磁石粉末から成形体を成形する工程をヘリウムやアルゴン等の希ガス雰囲気下で行うので、焼結後に残存する窒素濃度を800ppm以下まで減少させることが可能となる。その結果、窒化ネオジムNdNの不純物量が低減でき、Ndリッチ相を浪費させることなく希土類永久磁石の保磁力を向上させることが可能となる。また、請求項3に記載の希土類永久磁石によれば、磁石粉末の成形体を焼結前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することにより、磁石粒子の含有する炭素量を予め低減させることができる。その結果、焼結後の磁石の主相と粒界相との間に空隙を生じさせることなく、また、磁石全体を緻密に焼結することが可能となり、保磁力が低下することを防止できる。また、焼結後の磁石の主相内にαFeが多数析出することなく、磁石特性を大きく低下させることがない。また、請求項4に記載の希土類永久磁石によれば、磁石粉末を成形前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することにより、磁石粒子の含有する炭素量を予め低減させることができる。その結果、焼結後の磁石の主相と粒界相との間に空隙を生じさせることなく、また、磁石全体を緻密に焼結することが可能となり、保磁力が低下することを防止できる。また、焼結後の磁石の主相内にαFeが多数析出することなく、磁石特性を大きく低下させることがない。更に、粉末状の磁石粒子に対して仮焼を行うので、成形後の磁石粒子に対して仮焼を行う場合と比較して、有機化合物の熱分解を磁石粒子全体に対してより容易に行うことができる。即ち、仮焼体中の炭素量をより確実に低減させることが可能となる。また、請求項5に記載の希土類永久磁石によれば、磁石粉末と樹脂バインダーとが混合された混合体を成形したグリーンシートを焼結した磁石により希土類永久磁石を構成するので、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で希土類永久磁石を成形可能となる。また、希土類永久磁石を薄膜化した場合であっても、材料歩留まりを低下させることなく、加工工数が増加することも防止できる。また、バインダー樹脂が添加された磁石粉末を、焼結前に非酸化性雰囲気下で一定時間保持することにより、磁石内に含有する炭素量を予め低減させることができる。その結果、焼結後の磁石の主相内にαFeが析出することを抑え、磁石全体を緻密に焼結することが可能となり、保磁力が低下することを防止できる。また、請求項6に記載の希土類永久磁石によれば、バインダー樹脂を飛散させて除去する工程では大気圧以上に加圧した加圧雰囲気下で保持するので、磁石粒子の含有する炭素量をより確実に低減させることができる。更に、請求項7に記載の希土類永久磁石の製造方法によれば、保磁力を向上させた高い磁気性能を有する希土類永久磁石を製造することが可能となる。以下、本発明に係る希土類永久磁石及び希土類永久磁石の製造方法について具体化した実施形態について以下に図面を参照しつつ詳細に説明する。[永久磁石の構成]先ず、本発明に係る永久磁石1の構成について説明する。図1は本発明に係る永久磁石1を示した全体図である。尚、図1に示す永久磁石1は円柱形状を備えるが、永久磁石1の形状は成形に用いるキャビティの形状によって変化する。本発明に係る永久磁石1としては例えばNd-Fe-B系希土類永久磁石を用いる。また、図2に示すように、永久磁石1は磁化作用に寄与する磁性相である主相11と、非磁性で希土類元素の濃縮した低融点のNdリッチ相12とが共存する合金である。図2は永久磁石1を構成するNd磁石粒子を拡大して示した図である。ここで、主相11は化学量論組成であるNd2Fe14B金属間化合物相Feは部分的にCoで置換しても良いが高い体積割合を占めた状態となる。一方、Ndリッチ相12は同じく化学量論組成であるNd2Fe14BFeは部分的にCoで置換しても良いよりNdの組成比率が多い金属間化合物相例えば、Nd2030Fe14B金属間化合物相からなる。また、Ndリッチ相12には磁気特性向上の為、Dy、Tb、Co、Cu、Ag、Al、Si、Ga等の他元素を少量含んでも良い。そして、永久磁石1において、Ndリッチ相12は、以下のような役割を担っている。1融点が低く約600°C、焼結時に液相となり、磁石の高密度化、即ち磁化の向上に寄与する。2粒界の凹凸を無くし、逆磁区のニュークリエーションサイトを減少させ保磁力を高める。3主相を磁気的に絶縁し保磁力を増加する。従って、焼結後の永久磁石1中におけるNdリッチ相12の分散状態が悪いと、局部的な焼結不良、磁性の低下をまねくため、焼結後の永久磁石1中にはNdリッチ相12が均一に分散していることが重要となる。また、Nd-Fe-B系磁石の製造において生じる問題として、焼結された合金中にαFeが生成することが挙げられる。原因としては、化学量論組成に基づく含有量からなる磁石原料合金を用いて永久磁石を製造した場合に、製造過程で希土類元素が酸素や炭素と結び付き、化学量論組成に対して希土類元素が不足する状態となることが挙げられる。ここで、αFeは、変形能を有し、粉砕されずに粉砕機中に残存するため、合金を粉砕する際の粉砕効率を低下させるだけでなく、粉砕前後での組成変動、粒度分布にも影響を及ぼす。さらに、αFeが、焼結後も磁石中に残存すれば、磁石の磁気特性の低下をもたらす。しかしながら、本発明では焼結前に後述の水素中仮焼処理を行うことによって、磁石粒子の含有する炭素量を予め低減させ、上記問題を回避することが可能となる。また、Nd-Fe-B系磁石の製造において生じる問題として、Ndと炭素との反応性が非常に高いため、焼結工程において高温までC含有物が残ると、カーバイドを形成することについても挙げられる。カーバイドが形成されると、形成されたカーバイドによって焼結後の磁石の主相と粒界相Ndリッチ相との間に空隙が生じ、磁石全体を緻密に焼結できずに磁気性能が著しく低下する問題がある。しかしながら、本発明では焼結前に後述の水素中仮焼処理を行うことによって、磁石粒子の含有する炭素量を予め低減させ、上記問題を回避することが可能となる。そして、上述した永久磁石1におけるNdを含む全希土類元素の含有量は、上記化学量論組成に基づく含有量26.7wtよりも0.1wt~10.0wt、より好ましくは0.1wt~5.0wt多い範囲内であることが望ましい。具体的には、各成分の含有量はNd:25~37wt、B:0.8~2wt、Fe電解鉄:60~75wtとする。永久磁石1中の希土類元素の含有量を上記範囲とすることによって、焼結後の永久磁石1中にNdリッチ相12を均一に分散することが可能となる。また、製造過程で希土類元素が酸素や炭素と結び付いたとしても、化学量論組成に対して希土類元素が不足することなく、焼結後の永久磁石1中にαFeが生成されることを抑制することが可能となる。尚、永久磁石1中の希土類元素の含有量が上記範囲よりも少ない場合には、Ndリッチ相12が形成され難くなる。また、αFeの生成を十分に抑制することができない。一方、永久磁石1中の希土類元素の組成が上記範囲より多い場合には、保磁力の増加が鈍化し、かつ残留磁束密度が低下してしまい、実用的ではない。また、主相11の結晶粒径は0.1μm~5.0μmとすることが望ましい。尚、主相11とNdリッチ相12の構成は、例えばSEMやTEMや3次元アトムプローブ法により確認することができる。また、Ndリッチ相12に磁気異方性の高いDy又はTbを含めれば、DyやTbが粒界の逆磁区の生成を抑制することで、保磁力の向上が可能となる。また、Ndリッチ相12に高融点金属であるV、Mo、Zr、Ta、Ti、W又はNbを含めれば、永久磁石1の焼結時においてNd結晶粒子の平均粒径が増加する所謂粒成長を抑制することが可能となる。また、Ndリッチ相12にCu、Alを含めれば、焼結後の永久磁石1中におけるNdリッチ相12を均一に分散させ、保磁力を高めることが可能となる。また、永久磁石1の焼結後に残存する窒素濃度は800ppm以下、より好ましくは300ppm以下とする。焼結後に残存する窒素濃度を低下させることによって窒化ネオジムNdNの不純物量が低減でき、Ndリッチ相を浪費させることなく後述のように永久磁石1の保磁力を向上させることが可能となる。[永久磁石の製造方法1]次に、本発明に係る永久磁石1の第1の製造方法について図3を用いて説明する。図3は本発明に係る永久磁石1の第1の製造方法における製造工程を示した説明図である。先ず、所定分率のNd-Fe-B例えばNd:32.7wt、Fe電解鉄:65.96wt、B:1.34wtからなる、インゴットを製造する。その後、インゴットをスタンプミルやクラッシャー等によって200μm程度の大きさに粗粉砕する。若しくは、インゴットを溶解し、ストリップキャスト法でフレークを作製し、水素解砕法で粗粉化する。それによって、粗粉砕磁石粉末31を得る。次いで、粗粉砕磁石粉末31を、a酸素含有量が実質的に0のArガス、Heガス等の希ガス雰囲気中、又はb酸素含有量が0.0001~0.5のArガス、Heガス等の希ガス雰囲気中で、ジェットミル41により微粉砕し、所定サイズ以下例えば0.1μm~5.0μmの平均粒径を有する微粉末とする。ここで、本発明に係る永久磁石1の製造方法では、不活性ガスの中でも特に窒素を含まないArやHe等の不活性ガス雰囲気下で磁石原料の粉砕を行うので、後述のように焼結後に残存する窒素濃度を800ppm以下、より好ましくは300ppm以下にすることが可能となる。尚、酸素濃度が実質的に0とは、酸素濃度が完全に0である場合に限定されず、微粉の表面にごく僅かに酸化被膜を形成する程度の量の酸素を含有しても良いことを意味する。尚、粗粉砕磁石粉末31はビーズミル等による湿式粉砕により粉砕しても良い。尚、湿式粉砕を用いる場合においても、Arガス、Heガス等の希ガス雰囲気中で行う。また、湿式粉砕に用いる溶媒は有機溶媒であるが、溶媒の種類に特に制限はなく、イソプロピルアルコール、エタノール、メタノールなどのアルコール類、酢酸エチル等のエステル類、ペンタン、ヘキサンなどの低級炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレンなど芳香族類、ケトン類、それらの混合物等が使用できる。尚、好ましくは、溶媒中に酸素原子を含まない炭化水素系溶媒が用いられる。その後、ジェットミル41で微粉砕された磁石粉末42を成形装置50により所定形状に圧粉成形する。尚、湿式粉砕により粗粉砕磁石粉末31を粉砕した場合には、有機溶媒を揮発させた磁石粉末42をキャビティに充填する乾式法と、有機溶媒を含むスラリーを乾燥させずにキャビティに充填する湿式法がある。また、有機溶媒は成形後の焼成段階で揮発させることも可能である。そして、本発明に係る永久磁石1の製造方法では、a酸素含有量が実質的に0のArガス、Heガス等の希ガス雰囲気中、又はb酸素含有量が0.0001~0.5のArガス、Heガス等の希ガス雰囲気中で、圧粉成形を行う。そして、不活性ガスの中でも特に窒素を含まないArやHe等の不活性ガス雰囲気下で磁石粉末42の成形を行うので、後述のように焼結後に残存する窒素濃度を800ppm以下、より好ましくは300ppm以下にすることが可能となる。図3に示すように、成形装置50は、円筒状のモールド51と、モールド51に対して上下方向に摺動する下パンチ52と、同じくモールド51に対して上下方向に摺動する上パンチ53とを有し、これらに囲まれた空間がキャビティ54を構成する。また、成形装置50には一対の磁界発生コイル55、56がキャビティ54の上下位置に配置されており、磁力線をキャビティ54に充填された磁石粉末42に印加する。印加させる磁場は例えば1MA/mとする。そして、圧粉成形を行う際には、先ず乾燥した磁石粉末42をキャビティ54に充填する。その後、下パンチ52及び上パンチ53を駆動し、キャビティ54に充填された磁石粉末42に対して矢印61方向に圧力を加え、成形する。また、加圧と同時にキャビティ54に充填された磁石粉末42に対して、加圧方向と平行な矢印62方向に磁界発生コイル55、56によってパルス磁場を印加する。それによって、所望の方向に磁場を配向させる。尚、磁場を配向させる方向は、磁石粉末42から成形される永久磁石1に求められる磁場方向を考慮して決定する必要がある。また、湿式法を用いる場合には、キャビティ54に磁場を印加しながらスラリーを注入し、注入途中又は注入終了後に、当初の磁場より強い磁場を印加して湿式成形しても良い。また、加圧方向に対して印加方向が垂直となるように磁界発生コイル55、56を配置しても良い。また、上記圧粉成形ではなくグリーンシート成形により成形体を成形しても良い。尚、グリーンシート成形により成形体を成形する方法としては例えば以下のような方法がある。第1の方法としては、粉砕された磁石粉末と有機溶媒とバインダー樹脂とを混合してスラリーを生成し、生成したスラリーをドクターブレード方式やダイ方式やコンマ塗工方式等の各種塗工方式によって基材上に所定厚みで塗工することによりグリーンシートに成形する方法である。また、第2の方法としては、磁石粉末とバインダー樹脂とを混合した粉体混合物をホットメルト塗工により基材上に塗工することによりグリーンシートに成形する方法である。また、第1の方法でグリーンシートを成形する場合には、塗工したスラリーが乾燥する前に磁場を印加することによって磁場配向を行う。一方、第2の方法でグリーンシートを成形する場合には、一旦成形されたグリーンシートを加熱した状態で磁場を印加することによって磁場配向を行う。また、グリーンシート成形により成形体を成形する場合においても、ArやHe等の不活性ガス雰囲気下で成形を行う。次に、圧粉成形等により成形された成形体71を大気圧以上例えば、0.5MPaや1.0MPaに加圧した非酸化性雰囲気下特に本発明では水素雰囲気下又は水素と不活性ガスの混合ガス雰囲気下において200°C~900°C、より好ましくは400°C~900°C例えば600°Cで数時間例えば5時間保持することにより水素中仮焼処理を行う。仮焼中の水素の供給量は5L/minとする。この水素中仮焼処理では、残存する有機化合物を熱分解させて、仮焼体中の炭素量を低減させる所謂脱カーボンが行われる。また、水素中仮焼処理は、仮焼体中の炭素量が1500ppm以下、より好ましくは1000ppm以下とする条件で行うこととする。それによって、その後の焼結処理で永久磁石1全体を緻密に焼結させることが可能となり、残留磁束密度や保磁力を低下させることが無い。尚、グリーンシート成形により成形体を成形した場合には、大気圧以上例えば、0.5MPaや1.0MPaに加圧した非酸化性雰囲気下特に本発明では水素雰囲気下又は水素と不活性ガスの混合ガス雰囲気下においてバインダー樹脂分解温度で数時間例えば5時間保持することにより水素中仮焼処理を行う。水素中仮焼処理を行うことによって、バインダー樹脂を解重合反応等によりモノマーに分解し飛散させて除去することが可能となる。また、バインダー樹脂分解温度は、バインダー樹脂分解生成物および分解残渣の分析結果に基づき決定する。具体的にはバインダーの分解生成物を補集し、モノマー以外の分解生成物が生成せず、かつ残渣の分析においても残留するバインダー成分の副反応による生成物が検出されない温度範囲が選ばれる。バインダー樹脂の種類により異なるが200°C~900°C、より好ましくは400°C~600°C例えば600°Cとする。ここで、上述した水素中仮焼処理によって仮焼された成形体71には、NdH3が存在し、酸素と結び付きやすくなる問題があるが、第1の製造方法では、成形体71は水素仮焼後に外気と触れさせることなく後述の焼成に移るため、脱水素工程は不要となる。焼成中に成形体中の水素は抜けることとなる。また、上述した水素中仮焼処理を行う際の加圧条件は大気圧より高い圧力であれば良いが、15MPa以下とすることが望ましい。また、大気圧約0.1MPaで行っても良い続いて、水素中仮焼処理によって仮焼された成形体71を焼結する焼結処理を行う。尚、成形体71の焼結方法としては、一般的な真空焼結以外に成形体71を加圧した状態で焼結する加圧焼結等も用いることが可能である。例えば、真空焼結で焼結を行う場合には、所定の昇温速度で800°C~1080°C程度まで昇温し、2時間程度保持する。この間は真空焼成となるが真空度としては5Pa以下、好ましくは10-2Pa以下とすることが好ましい。その後冷却し、再び300°C~1000°Cで2時間熱処理を行う。そして、焼結の結果、永久磁石1が製造される。一方、加圧焼結としては、例えば、ホットプレス焼結、熱間静水圧加圧HIP焼結、超高圧合成焼結、ガス加圧焼結、放電プラズマSPS焼結等がある。但し、焼結時の磁石粒子の粒成長を抑制するとともに焼結後の磁石に生じる反りを抑える為に、一軸方向に加圧する一軸加圧焼結であって且つ通電焼結により焼結するSPS焼結を用いることが好ましい。尚、SPS焼結で焼結を行う場合には、加圧値を30MPaとし、数Pa以下の真空雰囲気で940°Cまで10°C/分で上昇させ、その後5分保持することが好ましい。その後冷却し、再び300°C~1000°Cで2時間熱処理を行う。そして、焼結の結果、永久磁石1が製造される。[永久磁石の製造方法2]次に、本発明に係る永久磁石1の他の製造方法である第2の製造方法について図4を用いて説明する。図4は本発明に係る永久磁石1の第2の製造方法における製造工程を示した説明図である。尚、磁石粉末42を生成するまでの工程は、図3を用いて既に説明した第1の製造方法における製造工程と同様であるので説明は省略する。先ず、磁石粉末42を大気圧以上例えば、0.5MPaや1.0MPaに加圧した水素雰囲気下において200°C~900°C、より好ましくは400°C~900°C例えば600°Cで数時間例えば5時間保持することにより水素中仮焼処理を行う。仮焼中の水素の供給量は5L/minとする。この水素中仮焼処理では、残存する有機化合物を熱分解させて、仮焼体中の炭素量を低減させる所謂脱カーボンが行われる。また、水素中仮焼処理は、仮焼体中の炭素量が1500ppm以下、より好ましくは1000ppm以下とする条件で行うこととする。それによって、その後の焼結処理で永久磁石1全体を緻密に焼結させることが可能となり、残留磁束密度や保磁力を低下させることが無い。次に、水素中仮焼処理によって仮焼された粉末状の仮焼体82を真空雰囲気で200°C~600°C、より好ましくは400°C~600°Cで1~3時間保持することにより脱水素処理を行う。尚、真空度としては0.1Torr以下とすることが好ましい。ここで、上述した水素中仮焼処理によって仮焼された仮焼体82には、NdH3が存在し、酸素と結び付きやすくなる問題がある。図5は水素中仮焼処理をしたNd磁石粉末と水素中仮焼処理をしていないNd磁石粉末とを、酸素濃度7ppm及び酸素濃度66ppmの雰囲気にそれぞれ暴露した際に、暴露時間に対する磁石粉末内の酸素量を示した図である。図5に示すように水素中仮焼処理した磁石粉末は、高酸素濃度66ppm雰囲気におかれると、約1000secで磁石粉末内の酸素量が0.4から0.8まで上昇する。また、低酸素濃度7ppm雰囲気におかれても、約5000secで磁石粉末内の酸素量が0.4から同じく0.8まで上昇する。そして、Ndが酸素と結び付くと、残留磁束密度や保磁力の低下の原因となる。そこで、上記脱水素処理では、水素中仮焼処理によって生成された仮焼体82中のNdH3活性度大を、NdH3活性度大→NdH2活性度小へと段階的に変化させることによって、水素仮焼中処理により活性化された仮焼体82の活性度を低下させる。それによって、水素中仮焼処理によって仮焼された仮焼体82をその後に大気中へと移動させた場合であっても、Ndが酸素と結び付くことを防止し、残留磁束密度や保磁力を低下させることが無い。その後、脱水素処理が行われた粉末状の仮焼体82を成形装置50により所定形状に圧粉成形する。成形装置50の詳細については図3を用いて既に説明した第1の製造方法における製造工程と同様であるので説明は省略する。その後、成形された仮焼体82を焼結する焼結処理を行う。尚、焼結処理は、上述した第1の製造方法と同様に、真空焼結や加圧焼結等により行う。焼結条件の詳細については既に説明した第1の製造方法における製造工程と同様であるので説明は省略する。そして、焼結の結果、永久磁石1が製造される。尚、上述した第2の製造方法では、粉末状の磁石粒子に対して水素中仮焼処理を行うので、成形後の磁石粒子に対して水素中仮焼処理を行う前記第1の製造方法と比較して、残存する有機化合物の熱分解を磁石粒子全体に対してより容易に行うことができる利点がある。即ち、前記第1の製造方法と比較して仮焼体中の炭素量をより確実に低減させることが可能となる。一方、第1の製造方法では、成形体71は水素仮焼後に外気と触れさせることなく焼成に移るため、脱水素工程は不要となる。従って、前記第2の製造方法と比較して製造工程を簡略化することが可能となる。但し、前記第2の製造方法においても、水素仮焼後に外気と触れさせることがなく焼成を行う場合には、脱水素工程は不要となる。以下に、本発明の実施例について比較例と比較しつつ説明する。実施例実施例のネオジム磁石粉末の合金組成は、化学量論組成に基づく分率Nd:26.7wt、Fe電解鉄:72.3wt、B:1.0wtよりもNdの比率を高くし、例えばwtでNd/Fe/B=32.7/65.96/1.34とする。また、粉砕方式としては乾式粉砕を用い、He雰囲気下で粉砕を行った。また、仮焼処理や脱水素処理については省略した。また、成形体の成形は圧粉成形を用い、Ar雰囲気下で成形を行った。また、成形体の焼結は真空焼結により行った。尚、他の工程は上述した[永久磁石の製造方法1]と同様の工程とする。比較例磁石原料の粉砕及び成形体の成形を、それぞれ窒素雰囲気下で行った。他の条件は実施例と同様である。実施例と比較例の比較検討実施例と比較例の永久磁石について、焼結後の永久磁石中の残存窒素濃度[ppm]と保磁力[kOe]を測定した。図6は測定結果を示した図である。図6に示すように、実施例と比較例とを比較すると、磁石原料の粉砕及び成形体の成形をそれぞれ窒素を含まない希ガス雰囲気下で行った場合は、磁石原料の粉砕及び成形体の成形をそれぞれ窒素雰囲気下で行った場合と比較して、焼結後の磁石中の窒素濃度を大きく低減させることができることが分かる。特に、実施例では、焼結後の磁石中に残存する窒素濃度を800ppm以下、より具体的には300ppm以下とすることができる。そして、焼結後の窒素濃度の低い実施例では、窒素濃度の高い比較例と比較して保磁力を向上させることが可能となることが分かる。以上より、焼結後に残存する窒素濃度を800ppm以下、より好ましくは300ppm以下とすることによって、保磁力を向上させた高い磁気性能を有する永久磁石1を製造することが可能であることが分かる。尚、上記実施例及び比較例は、[永久磁石の製造方法1]の工程で製造された永久磁石を用いたが、[永久磁石の製造方法2]の工程で製造された永久磁石を用いた場合でも同様の結果を得られる。以上説明したように、本実施形態に係る永久磁石1及び永久磁石1の製造方法では、Nd-Fe-B系の希土類永久磁石において、磁石原料を希ガス雰囲気下で乾式粉砕により粉砕し、その後、同じく希ガス雰囲気下で圧粉成形した成形体を800°C~1180°Cで焼成を行うことによって焼結後に残存する窒素濃度が800ppm以下、より好ましくは300ppm以下の永久磁石1を製造する。それにより、窒化ネオジムNdNの不純物量が低減でき、Ndリッチ相を浪費させることなく永久磁石の保磁力を向上させることが可能となる。また、磁石粉末の成形体を焼結前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することとすれば、磁石粒子の含有する炭素量を予め低減させることができる。その結果、焼結後の磁石の主相と粒界相との間に空隙を生じさせることなく、また、磁石全体を緻密に焼結することが可能となり、保磁力が低下することを防止できる。また、焼結後の磁石の主相内にαFeが多数析出することなく、磁石特性を大きく低下させることがない。また、磁石粉末を成形前に大気圧以上に加圧した水素雰囲気下で仮焼することとすれば、磁石粒子の含有する炭素量を予め低減させることができる。その結果、焼結後の磁石の主相と粒界相との間に空隙を生じさせることなく、また、磁石全体を緻密に焼結することが可能となり、保磁力が低下することを防止できる。また、焼結後の磁石の主相内にαFeが多数析出することなく、磁石特性を大きく低下させることがない。更に、粉末状の磁石粒子に対して仮焼を行うので、成形後の磁石粒子に対して仮焼を行う場合と比較して、有機化合物の熱分解を磁石粒子全体に対してより容易に行うことができる。即ち、仮焼体中の炭素量をより確実に低減させることが可能となる。また、磁石粉末と樹脂バインダーとが混合された混合体を成形したグリーンシートを焼結することにより永久磁石1を構成すれば、焼結による収縮が均一となることにより焼結後の反りや凹みなどの変形が生じず、また、プレス時の圧力むらが無くなることから、従来行っていた焼結後の修正加工をする必要がなく、製造工程を簡略化することができる。それにより、高い寸法精度で永久磁石1を成形可能となる。また、永久磁石1を薄膜化した場合であっても、材料歩留まりを低下させることなく、加工工数が増加することも防止できる。また、バインダー樹脂が添加された磁石粉末を、焼結前に非酸化性雰囲気下で一定時間保持することにより、磁石内に含有する炭素量を予め低減させることができる。その結果、焼結後の磁石の主相内にαFeが析出することを抑え、磁石全体を緻密に焼結することが可能となり、保磁力が低下することを防止できる。また、バインダー樹脂を飛散させて除去する工程では、グリーンシートを大気圧以上に加圧した非酸化性雰囲気下で一定時間保持することにより行うので、焼結前に残存する有機化合物を熱分解させて磁石粒子中に含有する炭素を予め焼失炭素量を低減させることができ、焼結工程でカーバイドがほとんど形成されることがない。その結果、焼結後の磁石の主相と粒界相との間に空隙を生じさせることなく、また、磁石全体を緻密に焼結することが可能となり、保磁力が低下することを防止できる。また、焼結後の磁石の主相内にαFeが多数析出することなく、磁石特性を大きく低下させることがない。尚、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。また、磁石粉末の粉砕条件、混練条件、仮焼条件、脱水素条件、焼結条件などは上記実施例に記載した条件に限られるものではない。例えば、仮焼処理や脱水素処理については省略しても良い。例えば、上記実施例では仮焼処理を0.5MPaに加圧した水素雰囲気下で行っているが、大気圧より高い加圧雰囲気下であれば他の圧力値に設定しても良い。また、大気圧に設定しても良い。但し、大気圧より高い加圧雰囲気下で行えば仮焼処理による脱炭の効果が大きくなることが期待できる。また、実施例では真空焼結により焼結を行っているが、SPS焼結等の加圧焼結により焼結しても良い。また、本発明ではNd-Fe-B系磁石を例に挙げて説明したが、他の磁石を用いても良い。また、磁石の合金組成は本発明ではNd成分を量論組成より多くしているが、量論組成としても良い。