真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝を上面に形成する共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納装置を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する移送装置とを設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する移送装置とを設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する第1移送装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する第2移送装置とを設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。前記マグネットを前記収納溝に面しないように埋設したことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のプラズマ洗浄装置。しかしながら、プラズマ洗浄装置内において、並設収納された複数枚のリードフレームのうち、傾斜して互いの間隔が広くなったリードフレームが存在すると、プラズマ洗浄の際に広くなったリードフレーム間の異常放電により異常なプラズマが発生して、前記間隔が広くなったリードフレームに搭載された前記LED素子を傷付けてしまうという問題が考えられる。そこで本発明は、リードフレームに搭載されたLED素子を傷付けることなく、プラズマ洗浄するプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。このため第1の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝を上面に形成する共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納装置を設けたことを特徴とする。第2の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置を設けたことを特徴とする。第3の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する移送装置とを設けたことを特徴とする。第4の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する移送装置とを設けたことを特徴とする。第5の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する第1移送装置と、複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する第2移送装置とを設けたことを特徴とする。第6の発明は、第1乃至第5の発明において、前記マグネットを前記収納溝に面しないように埋設したことを特徴とする。本発明によれば、リードフレームに搭載されたLED素子を傷付けることなく、プラズマ洗浄するプラズマ洗浄装置を提供することができる。以下、リードフレームを洗浄するための洗浄ラインシステムの概略平面図である図1を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。1はプラズマ洗浄装置で、真空状態にされたチャンバー1A内に基板を収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記基板を洗浄する。2は基板としてのリードフレーム3を複数枚並設して収納する収納装置、6は上流側装置である供給マガジン7内の複数枚のリードフレーム3を前記収納装置2に移送する第1移送装置、4はこの収納装置2に収納された複数枚のリードフレーム3を下流側装置である排出用マガジン5に移送する第2移送装置である。前記収納装置2の平面図である図2及び前記収納装置2の右側面図である図3において、前記プラズマ洗浄装置1の一部を構成する前記収納装置2は、Y方向移動駆動源例えば、Y軸駆動モータを備えたY方向移動機構図示せずによりガイドに沿ってY方向搬送方向と直交する方向に移動可能なY方向移動体8と、このY方向移動体8上に位置決め固定されたベース9にY方向に所定間隔を存して設けられた3つの収納ブロック10とから構成されて、前記チャンバー1A内に出し入れ可能に設けられる。そして、収納ブロック10の右側面図である図4に示すように、前記収納装置2の各収納ブロック10には、搬送方向X方向と平行に所定の間隔を存して複数の収納溝13が上面から下方へ向けて各収納ブロック10の中間位置まで延びて形成されており、前記収納溝13の搬送方向と直交する方向の幅はリードフレーム3の厚さより少し幅広に形成されている。詳述すると、第2移送装置4により前記収納装置2に収納されたリードフレーム3を下流側装置である排出用マガジン5に移送する際、また第1移送装置6により供給マガジン7内のリードフレーム3を前記収納装置2に移送する際に、前記収納溝13の搬送方向と直交する方向の幅はこの移送の妨げとならないように狭すぎず、且つ各収納溝13内に収納された状態の各リードフレーム3が傾いて上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないように広すぎないような寸法に形成されている。更に、前記各収納溝13の底面より下方に少し離れた位置に、各収納溝13に対応してそれぞれマグネット14が各収納ブロック10の下端から上方へ向けて延びて形成された取付溝内に所定間隔を存して3個ずつ埋設した状態で、この取付溝を封止蓋12により封止している図2乃至図4参照。従って、前記マグネット14は各収納溝13に面していないので、リードフレーム3の移送の際に、リードフレーム3が各収納溝13の底面上を摺動しても、この摺動によってマグネット14が削られて粉末が発生しないので、ホコリゴミが発生しない。このため、リードフレーム3にマグネット14の粉末が吸着することがないので、プラズマ洗浄装置1内でその対策をとる必要がない。なお、立てた状態のリードフレーム3の側面図である図5に示すように、前記リードフレーム3の上端部には複数のLEDLightEmittingDiode素子15が搭載され、また前記リードフレーム3は素材が鉄で表面がニッケルメッキを施しており、磁性体から構成されているので、前記リードフレーム3の移送の際に、各マグネット14の磁力により各リードフレーム3は下方に引かれて、ほぼ垂直に立ちながら傾かないように移送されることなると共に、移送停止後は各収納溝13内に収納された各リードフレーム3は各マグネット14の磁力により複数箇所にて下方に引かれて垂直状態に自立するので、傾いて各リードフレーム3は特に上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。なお、前記供給マガジン7及び排出用マガジン5は、前記収納装置2と同様にそれぞれ複数枚のリードフレーム3を収納する収納ブロックを多段に備えると共に、各マガジンを昇降させるエレベータ機構を備えている。従って、エレベ-タ機構により供給マガジン7を上昇又は下降させて受け渡すべきリードフレーム3を収納した収納ブロックを受渡し位置に移動させて、前記第1移送装置6によるリードフレーム3の移送に備えることができる。また、エレベ-タ機構により排出マガジン7を上昇又は下降させて収納装置2から受け継ぐべきリードフレーム3を収納した収納ブロックを受け継ぎ位置に移動させて、前記第2移送装置4によるリードフレーム3の移送に備えることができる。前記第1移送装置6はX方向駆動源によりX方向リードフレーム3の移送方向に移動可能で先端部に移送体16Aを備えた連結体16Bが連結固定された移動体16を備え、前記移動体16が移動するとその先端部に設けた移送体16Aにより供給マガジン7内の1つの収納ブロック上の複数枚のリードフレーム3は一括して前記収納装置2内の1つの収納ブロック10の各収納溝13内に導かれると共に各収納溝13の底面上を摺動しながら移送されることとなる図6参照。また、前記第2移送装置4は、リードフレーム3の搬送方向と平行に延びたガイドとなるスライドベース17と、移動源を含む移動機構によりスライドベース17に沿って移動可能で先端部に移送体19Aを備えた連結体19Bが連結固定された移動体19とから構成される。従って、この移動体19の移動による移送体19Aによって前記収納装置2内の1つの収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム3は一括して排出マガジン5内に移送されるが、このとき各収納溝13の底面上を摺動しながら移送されることとなる図6参照。そして、前記収納装置2内の3つの収納ブロック10の各収納溝13内に複数枚のリードフレーム3が収納されて開閉扉が閉じた状態で、プラズマ洗浄装置1において真空状態にされたチャンバー1A内にプラズマ反応性ガスを供給すると共に、一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレーム3を洗浄する。このとき、収納装置2の各収納溝13内に収納された状態の各リードフレーム3は各マグネット14の磁力により下方に引かれて垂直状態に自立するので、各リードフレーム3が傾いて上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。即ち、図8に示す従来の場合のように、マグネット14を設けない場合にあっては、リードフレーム3同士が近くなって、この異常放電による異常なプラズマPの発生によって、前記リードフレーム3の上端部にそれぞれ搭載されたLED素子15が傷付くことがあったが図示せず、本発明は前述したように、各リードフレーム3を各マグネット14の磁力により下方に引くことにより、各リードフレーム3を上下方向において互いに等間隔のまま位置決め保持できて、特に上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにできるので、前述した異常放電によるLED素子15が損傷するのを防止することができる。そして、洗浄を終えると前記開閉扉が開いて、Y方向移動駆動源が駆動するとY方向移動機構によりY方向移動体8がY方向搬送方向と直交する方向に移動し、このY方向移動体8上に固定されたベース9上の手前側の収納ブロック10を前記チャンバー1Aから外方へ移動させる図7の左から2番目の状態。そして、前記第2移送装置4の移動機構により移動体19が図1の右方向に移動すると図6参照、移送体19Aにより前記収納装置2内の手前側の収納ブロック10上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム3は一括して排出マガジン5の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送されるが、このとき各収納溝13の底面上を摺動しながら移送される。また、前記第2移送装置4の駆動と同時に、前記第1移送装置6の移動体16も移動し、移送体16Aにより供給マガジン7内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム3は一括して前記収納装置2内の手前側の収納ブロック10の各収納溝13内に導かれると共に各収納溝13の底面上を摺動しながら移送される図6参照。次いで、同様に、Y方向移動駆動源が駆動してY方向移動体8がY方向に移動し、このY方向移動体8上に固定されたベース9上の手前側と奥側との間の真ん中の収納ブロック10を前記チャンバー1Aから外方へ移動させる図7の左から2番目の状態。そして、前記移動体19が図1の右方向に移動して、移送体19Aにより前記収納装置2内の前記真ん中の収納ブロック10上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム3は一括して排出マガジン5の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送される。また、前記第2移送装置4の駆動と同時に、前記第1移送装置6も作動して移送体16Aにより供給マガジン7内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム3は一括して前記収納装置2内の真ん中の収納ブロック10の各収納溝13内に導かれる。更に、同様に、Y方向移動駆動源が駆動してY方向移動体8がY方向に移動し、このY方向移動体8上に固定されたベース9上の奥側の収納ブロック10を前記チャンバー1Aから外方へ移動させる図7の左から4番目の状態。そして、前記移動体19が図1の右方向に移動して、移送体19Aにより前記収納装置2内の前記奥側の収納ブロック10上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム3は一括して排出マガジン5の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送される。また、前記第2移送装置4の駆動と同時に、前記第1移送装置6も作動して移送体16Aにより供給マガジン7内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム3は一括して前記収納装置2内の奥側の収納ブロック10の各収納溝13内に導かれる。このようにして、前記収納装置2内の全ての収納ブロック10上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム3は排出マガジン5へ移送されると共に、供給マガジン7からこれから洗浄すするためのリードフレーム3が収納装置2内に移送され、Y方向移動駆動源が駆動してY方向移動体8がY方向に移動し、全ての収納ブロック10を前記チャンバー1A内へ移動させ、前述したように、開閉扉が閉じてリードフレーム3を洗浄する。以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。