"基板上に着色層形成後、該着色層内の欠陥部をレーザーで除去し、除去された開口部に、前記着色層と同色の修正インクを塗布針を用いて転写するカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記塗布針の前記基板に対する接触角度を変化させることで、前記塗布針先端部の前記修正インクと前記基板との接触面積を変化させることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。前記塗布針をその軸芯方向で所定の角度回転させることで、前記塗布針先端部の前記修正インクと前記基板との接触面積を変化させることを特徴とする請求項1に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法。前記塗布針はその先端部が、前記修正インク付着用平坦面を備え、前記平坦面は前記塗布針をその軸芯方向で回転させた場合に回転対称性を持たない、もしくは鏡像対称性を持たない形状を有していることを特徴とする請求項1または2に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法。前記塗布針はその先端部が、円柱または楕円柱を斜めにカットした斜円柱の形状を有していることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法。基板上に着色層形成後該着色層内の欠陥部をレーザーで除去して開口部とした修正対象基板の、前記開口部に前記着色層と同色の修正インクを塗布針を用いて転写するカラーフィルタの欠陥修正装置において、少なくとも、先端部に前記修正インク付着用平坦面を備えた塗布針であって、前記平坦面は前記塗布針をその軸芯方向で回転させた場合に回転対称性を持たないもしくは鏡像対称性を持たない形状を有している前記塗布針を具備し、前記塗布針の前記基板に対する接触角度を変化させる機構と、前記塗布針をその軸芯方向で所定の角度回転させる機構とを具備していることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。ところで、修正対象欠陥の面積及び正常部との膜厚差によって、修正に必要なインク転移量は異なる。例えば、修正用インクが必要量以上転写され、欠陥部分以外あるいは、隣接する違う色の画素に付着した場合、最終製品となったとき黒点として見えてしまい不良と判定される。また、修正用インクが必要量以上もしくは必要量以下で転写された場合、転写部分の膜厚が周辺部と異なるため、液晶配向不良の原因となり、最終製品となったとき不良と判定される。すなわち、修正対象の欠陥によって、インク転写量を調整する必要がある。従来のカラ-フィルタの欠陥修正方法を用いた場合には、修正対象にあわせて、インク転写量を増やす場合は、同一箇所へインクを複数回転写することで、必要なインク転写量を確保していた。しかし、必要な転写量が多ければ多いほど、転写回数が増加するため、修正処理時間が増える問題があった。また、インク転写量を減らす場合は、その都度、転写量の少ない塗布針に交換しなければならない。塗布針交換のため、修正処理時間が増える問題があった。本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、ガラス基板又はTFT基板上に着色層RGB他およびブラックマトリックスBMなどの着色層が形成された液晶表示装置用カラーフィルタ製造における欠陥修正方法において、塗布針の交換や複数回の塗布をすることなく、インク転写量を変化させることが出来、修正時間の短縮化が可能なカラーフィルタの欠陥修正方法と、その修正方法を適用した欠陥修正装置を提供することを課題としている。そこで、本発明の請求項1に係る発明は、基板上に着色層形成後、該着色層内の欠陥部をレーザーで除去し、除去された開口部に、前記着色層と同色の修正インクを塗布針を用いて転写するカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記塗布針の前記基板に対する接触角度を変化させることで、前記塗布針先端部の前記修正インクと前記基板との接触面積を変化させることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。また、本発明の請求項2に係る発明は、前記塗布針をその軸芯方向で所定の角度回転させることで、前記塗布針先端部の前記修正インクと前記基板との接触面積を変化させることを特徴とする請求項1に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法である。また、本発明の請求項3に係る発明は、前記塗布針はその先端部が、前記修正インク付着用平坦面を備え、前記平坦面は前記塗布針をその軸芯方向で回転させた場合に回転対称性を持たない、もしくは鏡像対称性を持たない形状を有していることを特徴とする請求項1または2に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法である。また、本発明の請求項4に係る発明は、前記塗布針はその先端部が、円柱または楕円柱を斜めにカットした斜円柱の形状を有していることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法である。次に、本発明の請求項5に係る発明は、基板上に着色層形成後該着色層内の欠陥部をレーザーで除去して開口部とした修正対象基板の、前記開口部に前記着色層と同色の修正インクを塗布針を用いて転写するカラーフィルタの欠陥修正装置において、少なくとも、先端部に前記修正インク付着用平坦面を備え前記平坦面は前記塗布針をその軸芯方向で回転させた場合に回転対称性を持たないもしくは鏡像対称性を持たない形状を有している前記塗布針を具備し、前記塗布針の前記基板に対する接触角度を変化させる機構と、前記塗布針をその軸芯方向で所定の角度回転させる機構とを具備していることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置である。本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法では、基板上に形成された着色層の欠陥修正部分を、斜円柱等の先端形状が回転対称性のない塗布針を使用し、その塗布針と基板の接触角度の可変機構及び、塗布針の軸芯方向の回転機構を付与することで、塗布針先端部の修正インクと基板との接触面積を変化させることが出来るため、塗布針を交換することなく、修正用インクの転写量を制御することが可能である。複数回の塗布、あるいは塗布針の交換をすることなくインク転写量の調整が可能なため、修正時間を短縮することができる。本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法を、一実施形態に基づいて以下に説明する。図1は、本発明の欠陥修正方法で用いられる一例の塗布針の、針先端部形状を拡大して示す説明図である。この塗布針20は、その先端部が円柱を斜めにカットした斜円柱の形状を有している。ここでは、針の太さは20μm、斜めにカットした切り込み角度θ1は30度である。本発明においては、塗布針20はその先端部が、修正インク付着用平坦面21を備え、その平坦面21は塗布針20を、一点鎖線で表示したその軸芯方向で回転させた場合に回転対称性を持たない、もしくは鏡像対称性を持たない形状を有している。塗布針の形状は、加工の容易性とその精度を考慮すると、例示した斜円柱が最も好ましいが、図1に示した上面図が楕円形あるいは多角形のものも使用可能である。図2は、図1に示した塗布針20と基板10との、一例の接触状態を示している。ここでは、塗布針20と基板10との接触角度θ2は45度である。塗布針20の基板10に対する接触角度θ2を変化させることで、塗布針先端部の図示しない修正インクと基板10との接触面積を変化させる。また、塗布針20をその軸芯方向で所定の角度回転させることで、塗布針先端部の図示しない修正インクと基板10との接触面積を変化させる。ここで、軸芯方向の回転角度をθ3とする。塗布針20の材質としては、SUS、炭素鋼、Ni、Te等の金属以外にも、セラミックス、樹脂が採用可能であるが、精度良くインク転写量を調整するために、修正用インクによって侵されず、基板との接触時に形状変化の少ない剛性の高いものが好ましい。修正インク付着用平坦面21は、修正インクの保持性を考慮して塗布針の材質をそのまま用いても、表面加工を施してもかまわない。本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法を実施するカラーフィルタの欠陥修正装置は、着色層形成後検査工程で欠陥が検出された基板10を修正対象基板として受け入れる。まず、検出された着色層14内の欠陥部11をレーザーで除去して開口部12とし、次に、開口部12に着色層14と同色の修正インクを、前述した本発明に係る塗布針20を用いて転写するものである。本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置は、少なくとも、後述する修正インク転写ヘッド31に前述した塗布針20を具備し、塗布針20の基板10に対する接触角度θ2を変化させる機構と、塗布針20をその軸芯方向で所定の角度θ3回転させる機構とを具備している。図3は、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置の一例を示す概略図である。光学系は、レーザー照射機構として強度切り替え可能なレーザー光源41と、観察機構として基板10上の欠陥を照射する観察用照明光源42と、レーザー光を反射し照明光源による欠陥部11及び/又は開口部12からの反射光を透過するダイクロイックミラー43、対物レンズ44および欠陥部11及び/又は開口部12からの反射光を受光する光学素子45から成る。光学系に加えて、図示しない、膜厚測定機構や図示しない昇華ガスを吸引するヘッドを備えている。そして、上述した本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法を実施するうえでの重要なポイントである修正インク転写ヘッド31が設置されている。前述したように、修正インク転写ヘッド31は、塗布針20の基板10に対する接触角度θ2を変化させる機構と、塗布針20をその軸芯方向で所定の角度θ3回転させる機構とを具備している。また、修正インクを乾燥硬化させるための乾燥ヘッド32が設置されている。なお、光学素子からなる観察機構は別途画像処理装置46と結ばれている。上記画像処理装置46を除く光学系と修正インク転写ヘッド31及び膜厚測定機構は、平面テーブル30上に保持された基板10に対して、三次元で任意の位置に移動可能とするための3軸駆動軸50上に配置されている。このことで、任意位置における欠陥のモニタリング、除去、さらに開口部への精密なインク転写が可能となっている。上記説明した機構に加えて、ピンアップによる製品基板の出し入れ、真空吸着による保持とパージによる脱着といった機能を有する平面テーブル30を適用する。修正装置への基板の投入、排出には、別途産業用ロボット等を用意する。次に、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法を適用するカラーフィルタについて説明する。基板のガラス基板には、カラー化のために通常、遮光層ブラックマトリックス13で区画された複数色の赤色R、緑色G、青色Bの3色の着色画素からなる着色層14が設けられる。ガラス基板又はTFT基板上への着色層および遮光層の作製方法は、公知のインクジェット法、印刷法、フォトリソグラフィ法、エッチング法など何れかの方法で作製される。高精細、分光特性の制御性及び再現性等を考慮すれば、透明な樹脂中に顔料を、光開始剤、重合性モノマーと共に適当な溶剤に分散させた着色樹脂組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成し、この塗布膜にパターン露光、現像することで一色の着色層を形成する工程を各色毎に繰り返し行って着色画素を形成するフォトリソグラフィ法が一般的である。本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法を適用する場合、まず、上記した基板上への着色層および遮光層の作製工程において、欠陥を検出する。上記したカラーフィルタ付基板10を、図示しない検査機で検査し、欠陥を検出した場合、欠陥部11の位置を座標データとして記録し、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置へ転送する。以下、欠陥修正装置における作業となる。対象となる欠陥は、着色層の白欠陥及び黒欠陥、ブラックマトリックスの白欠陥などがある。上記位置データに基づき、基板10上に形成された着色層RGB他14およびブラックマトリックスBM13などの、カラーフィルタ用レジストを用いて形成されたカラーフィルタ層の所定の位置で、レーザーを用いて、欠陥部11を含む修正箇所を除去し開口部12とする。図4に、一例の着色層欠陥部11と開口部12を上から見た模式図を示す。ここで、レーザー光源は、強度可変のレーザー光源が選定される。例えば、ArF,KrF,XeCl等の希ガスを用いた波長193nm、248nm、308nm等の短波長紫外線のエキシマレーザーが使用できる。レーザーは、特にこのタイプに限定されず、カラーフィルタ層が除去されるエネルギーを持つレーザーであればよい。次に、開口部12の面積及び、周囲の着色層14の正常部分との膜厚差を測定する。例えば、開口部の欠損面積は100μm×100μm、膜厚差は-2.0μm程度となる。ここで測定した開口部12の面積と正常部分との膜厚差から、基板10と塗布針20との接触角度θ2と、及び塗布針の軸芯方向回転角度θ3とを設定する。例えば、上記した開口部の測定例に対して、接触角度θ2は45度、軸芯方向回転角度θ3は90度と設定した。設定した接触角度θ2と回転角度θ3を維持した状態で塗布針20を図示しない修正用インク壺内に入れ、引き上げる。次に、修正インク転写ヘッド31を動かして塗布針20の先端を、基板10の開口部12に接触させ、修正用インクを基板10に付着させる。次に、乾燥ヘッドを用いて、修正用インクを乾燥硬化させる。一例として、赤外線IRスポットヒーターを欠陥修正部分に3V/10秒間の強度で照射して修正用インクを硬化した。なお、修正用インクの硬化は、上記以外にもUV照射、ハロゲンスポットヒーター、温風ヒーターのいずれから適当なものが使用できる。ここで、修正用インクは、主に顔料からなる着色剤と、分散用樹脂、分散剤、溶媒などから構成される。分散用樹脂としては、カゼイン、ゼラチン、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルアセタール、ポリイミド系樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂などが用いられ、顔料分散性との関係で適宜選択される。中でも、耐熱性や耐光性を考慮すると、アクリル系樹脂又はエポキシ系樹脂が好ましい。修正用インクを構成する顔料の分散性向上に分散剤を用いる場合には、非イオン性界面活性剤として、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテルなどが、また、イオン性界面活性剤としては、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリ脂肪酸塩、脂肪酸塩アルキルリン酸塩、テトラアルキルアンモニウム塩などが、その他、有機顔料誘導体、ポリエステルなどが挙げられる。1種類の分散剤を単独で、また、2種類以上を混合しても構わない。溶媒は、溶解性、経時安定性、乾燥性などの特性と、顔料分散性、樹脂溶解性の関係から適宜選択される。例えば、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、エチルセルソルブ、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、2-ブトキシエタノール、2-エトキシエチルアセテート、2-ブトキシエチルアセテート、2-メトキシエチルアセテート、2-エトキシエチルエーテル、2-2-エトキシエトキシエタノール、2-2-ブトキシエトキシエタノール、2-2-エトキシエトキシエチルアセテート、2-2-ブトキシエトキシエチルアセテート、2-フェノキシエタノール、ジエチレングリコールジメチルエーテルなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。必要に応じて2種類以上の溶媒を混合しても良い。本発明に係る着色層修正用インクは、塗布針20によるインク転写と、熱硬化方式に適合されるように調整する。一例として、青色画素修正インクは、ポリエチレングリコールジアクリレート樹脂50質量、PigmentBlue:C.I.No.1顔料20質量、シクロヘキサノン20質量、分散安定剤リノレン酸ナトリウム10質量に調整したものが使用できる。なお、組成は上記に限定されず、樹脂40~60質量、顔料15~30質量、溶剤0~30質量、分散安定剤1~10質量の範囲で適宜設定できる。また、着色層修正用インクを、赤外スポットヒーターによらず、紫外光のスポット照射によって塗膜の硬化を行うUV硬化プロセスを採用した場合は、修正用インクは紫外線硬化開始剤を2~5質量含む。重合開始剤添加の有無は、塗布後に紫外線による硬化を行うか、熱による乾燥を行うかによって選択する。以上説明したように、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法及び欠陥修正装置を用いて、着色層形成後に検出した黒欠陥の修正を実施して、着色画素を1開口部あたり1回のインク転写で再生良品化させることができた。本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法を用いることによって、効率的に修正が可能となる。また、その結果歩留まりが向上し、生産性向上への寄与が期待できる。"