カーボン薄膜と前記カーボン薄膜上に配したルテニウムナノ粒子とに対して、少なくとも水素を含む雰囲気中での熱処理工程を経ることにより、前記カーボン薄膜を選択的なエッジ形状を有するように加工することを特徴とするカーボン薄膜の加工方法。前記ルテニウムナノ粒子の形状が4nm±2nmの径を有する球状粒子であることを特徴とする請求項1記載のカーボン薄膜の加工方法。前記熱処理工程の温度が500°C以上であることを特徴とする請求項1記載のカーボン薄膜の加工方法。グラフェンの選択的加工は容易ではない。それはグラフェンが原子レベルの厚みのシート構造であることに由来する。特許文献1および非特許文献1では電子ビームリソグラフィーと酸素プラズマを用いたドライエッチングによるパターニングが用いられているが、電子ビームリソグラフィーではナノメーター級の加工も可能だが、エッジを選択的に加工することは出来ず、ランダムでばらばらのエッジ構造になってしまう。非特許文献5には微細な加工の例としてAFM原子間力顕微鏡の針を用いた陽極酸化による加工が開示されているが、やはり選択的なエッジ加工をすることができない。エッジの選択性を得る手法の一つとして、非特許文献4では、塩化ニッケルを用いて、ニッケルとカーボンとの反応により選択加工の可能性あることが示されているが、加工形状にバラツキが大きく、より簡便で均一な選択加工の方法が必要とされる。本発明は、上記課題を解決するために、グラフェンを含むカーボン薄膜の選択的かつ均一なエッジ加工を実現する加工手法を提案する。すなわち、カーボン薄膜と前記カーボン薄膜上にルテニウムRuナノ粒子を塗布し、熱処理を施すことにより、前記カーボン薄膜の一部を加工することを特徴とする。熱処理の温度は500度以上が好ましく、熱処理の雰囲気には水素を含むことが好ましい。ルテニウムRuとカーボンとの熱処理下での反応によって、エッジを選択的に加工形成することが出来る。本発明は、グラフェンを含むカーボン薄膜の加工の方法を提供することを目的とする。グラフェンを含むカーボン薄膜の微細な加工方法において、選択的なエッジ加工の方法を提供できる。以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明は、以下の実施形態および実施例の説明に限定されない。実施の形態グラフェンは軽元素である炭素のみからなる物質であるため、スピン散乱の要因となるスピン軌道相互作用が小さく、スピンエレクトロニクスの基本材料として期待されている非特許文献2。特に、グラフェンのエッジは、その特性に大きな影響を与えることが報告されている非特許文献3。非特許文献3ではジグザグ型エッジがスピン伝導に大きな影響を及ぼすことが計算により得られている。エッジを選択的に加工することが出来れば、グラフェンを基本材料としたスピンエレクトロニクスに応用することが期待される。選択的な加工については、塩化ニッケルNiCl2水溶液をグラフェン上に塗布し、熱処理を施すことで、60°エッジを有するグラフェン加工が報告されている非特許文献4。非特許文献4では、塩化ニッケルNiCl2水溶液を塗布膜としてグラフェン上に形成し、熱処理により塩化ニッケルからニッケルを析出させ、ニッケルとカーボンとの反応により、グラフェンの加工を行う例が示されている。しかし加工形状にバラツキが大きい。これは、塩化ニッケルから析出させたニッケルのサイズばらつき、およびニッケルと炭素との反応性が高いことによるものと推察される。本発明では、ニッケルよりも炭素の溶解度が小さいルテニウムRuに着目し、ナノ粒子形状での分散体塗布を、グラフェンを含むカーボン薄膜上に行い、熱処理を施すことで、選択エッジ加工を均一に加工できることを見出した。本発明であるカーボン薄膜の加工方法は、図1に示すフローチャートの各ステップを経ることで行う。図1に示す実施例のサンプル1を形成するステップ1は、ルテニウムからなるナノ粒子分散液をカーボン薄膜上に塗布処理を行う。ルテニウムからなるナノ粒子は球状4nm±2nm粒子径とし、分散液として、エタノール水溶液中に、ポリビニルピロリドンPVPを分散剤として用い、20mM濃度とした。カーボン薄膜上に、前記分散液を滴下し、スピンコートによって塗布した。スピンコートは500rpmで5秒の後、3000rpmで30秒の条件で行った。次にステップ2では、ホットプレート上100°Cにて乾燥を1分行った。ここでステップ2は、ステップ1の塗布工程上での乾燥を施すことでスキップすることができる。次にステップ3では、水素流中500°Cで30分の後、1000°Cで60分の焼成を施した。また参照サンプル2として、金Auからなるナノ粒子分散液2nm±1nm球状粒子、水溶媒、ポリエチレンイミン分散剤使用、10mM濃度をカーボン薄膜上に塗布処理した場合、参照サンプル3として、シリコンSiからなるナノ粒子分散液20nm±5nm球状粒子、イソプロピルアルコール溶媒、10mM濃度を塗布した場合を行った。図2は実施例のサンプル1の原子間力顕微鏡像の一例を示している。60°エッジおよび90°エッジが確認される。図3はエッジ角によって生じる選択エッジの様子を模式的に示している。90°エッジの存在は、ジグザグZZ型とアームチェアAC型のエッジが隣接して形成されていることを示している。一方、参照サンプル2と参照サンプル3においても図1に示す同様のステップを経た後に、原子間力顕微鏡像を確認したが、加工自体が確認されなかった。すなわちルテニウムを用いた本発明の場合には、カーボンとの反応性を有しつつ、かつ炭素の溶解度がニッケルに比べて小さいことから、ジグザグZZ型とアームチェアAC型の一方のエッジだけでなく、両方を含むエッジの選択的加工が可能となったと推察する。