炭化けい素からなり通電により発熱する気体透過性発熱部材と該気体透過性発熱部材への通電を行う端部部材からなり、一端が閉じられた構造のパイプ形状を有する原料ガス供給用炭化けい素発熱体であって、該気体透過性発熱部材の気孔率が20以上35未満かつ気体透過性が、004slpmcmtorrcm2以上であることを特徴とする原料ガス供給用炭化けい素発熱体。気体透過性が、007slpmcmtorrcm2以上であることを特徴とする請求項1に記載の原料ガス供給用炭化けい素発熱体。炭化けい素原料粉に、平均粒子径が50~150ミクロンの二酸化けい素粉末0.5~7重量を混合し、パイプ状に成形焼成することを特徴とする請求項1または2に記載の気体透過性炭化けい素発熱部材の製造方法。さらに、二酸化けい素粉末に対し20~60重量の炭素質粉末を混合することを特徴とする請求項3に記載の気体透過性炭化けい素発熱部材の製造方法。炭化けい素原料粉に、平均粒子径が80~150ミクロンのアクリル樹脂系球状微粒子を混合し、パイプ状に成形焼成することを特徴とする請求項1または2に記載の気体透過性炭化けい素発熱部材の製造方法。発明が解決しようとする課題は、通気性の良好な原料ガス供給用炭化けい素発熱体を提供することである。本発明の要旨は下記のとおりである。1炭化けい素からなり通電により発熱する気体透過性発熱部材と該気体透過性発熱部材への通電を行う端部部材からなり、一端が閉じられた構造のパイプ形状を有する原料ガス供給用炭化けい素発熱体であって、該気体透過性発熱部材の気孔率が20以上35未満かつ気体透過性が、004slpmcmtorrcm2以上であることを特徴とする原料ガス供給用炭化けい素発熱体。2気体透過性が、007slpmcmtorrcm2以上であることを特徴とする1項に記載の原料ガス供給用炭化けい素発熱体。3炭化けい素原料粉に、平均粒子径が50~150ミクロンの二酸化けい素粉末0.5~7重量を混合し、パイプ状に成形焼成して気体透過性発熱部材を製造し、端部部材を接合することを特徴とする1項または2項に記載の気体透過性炭化けい素発熱部材の製造方法。4さらに、二酸化けい素粉末に対し20~60重量の炭素質粉末を混合することを特徴とする3項に記載の気体透過性炭化けい素発熱部材の製造方法。5炭化けい素原料粉に、平均粒子径が80~150ミクロンのアクリル樹脂系球状微粒子を混合し、パイプ状に成形焼成して気体透過性発熱部材を製造し、端部部材を接合することを特徴とする1項または2項に記載の気体透過性炭化けい素発熱部材の製造方法。本発明の原料ガス供給用炭化けい素発熱体は、太陽電池等、半導体を基板上に成膜する工程における原料ガスの加熱供給に適している。図1及び図2は、本発明の実施の形態に係る原料ガス供給用炭化けい素発熱体の構成を示す図であり、図1は正面図、図2は断面図である。図1において、原料ガス供給用炭化けい素発熱体1はパイプ状であり、図2から明らかなようにその一端が閉じられている。原料ガス供給用炭化けい素発熱体1の長手方向中央部に位置する炭化けい素発熱部材2は気体透過性である。気体透過性炭化けい素発熱部材2に通電を行うための端部部材3は、原料ガス供給用炭化けい素発熱体1の長手方向両端部に位置する。パイプ状の原料ガス供給用炭化けい素発熱体1の解放端から供給された原料ガスは、気体透過性発熱部材を透過し加熱供給される。気体透過性発熱部材は、気孔率が20以上35未満かつ気体透過性が004slpmcmtorrcm2以上好ましくは007slpmcmtorrcm2以上である。気体透過性発熱部材の気孔率が20未満であると、気体透過性が001slpmcmtorrcm2以下になるので、好ましくなく、気孔率が35を超えると、発熱部の強度が低下してハンドリングに問題が出てくるので好ましくない。また気体透過性発熱部材の気体透過性が004slpmcmtorrcm2未満であると、圧力損失が大きくなり原料ガスが均一に供給できなくなるので好ましくない。気孔率が20以上35未満かつ気体透過性が004slpmcmtorrcm2以上の気体透過性発熱部材を製造するには、再結晶用炭化けい素原料粉に、平均粒子径が50~150ミクロンの二酸化けい素粉末0.5~7重量を混合成形するか、再結晶用炭化けい素原料粉に、平均粒子径が80~150ミクロンのアクリル樹脂系球状微粒子を混合形成すればよい。二酸化けい素粉末を配合して、気体透過性発熱部材を製造する方法において、二酸化けい素粉末の平均粒子径が50ミクロン未満であると、気体透過性炭化けい素発熱部材に形成される気孔径が小さくなり気体透過性の改善効果が小さくなるので好ましくなく、平均粒子径が150ミクロンを超えると、気孔径が大きくなり、発熱部の強度低下が大きくなるので好ましくない。また二酸化けい素粉末の添加率が0.5重量未満であると、気体透過性の改善効果が小さくなるので好ましくなく、添加率が7重量を超えると、発熱部の強度低下が大きくなるので好ましくない。気体透過性発熱部材の成形には、バインダーを配合すればよく、バインダーとは、例えば、PVAやセルロース系の有機バインダーなど、通常のセラミックスの成形に使われるものでよい。気体透過性発熱体部材の強度を向上させる目的で、気体透過性発熱部材の成形の際に、二酸化けい素粉末に炭素質粉末を配合しても良い。炭素質粉末の配合量は、二酸化けい素粉末に対して20~60重量である。炭素質粉末の配合量が20重量未満であると、気体透過性発熱体部材の強度の向上が認められず、60重量を超えて配合しても、炭素が残留するだけである。二酸化けい素粉末を配合して、気体透過性発熱部材を製造する方法の場合、成形後の焼成は、2200~2600°Cの範囲内で行えばよい。アクリル樹脂系球状微粒子を配合して気体透過性発熱部材を製造する方法は、アクリル樹脂系球状微粒子は、形状が真球状にそろっているためアクリル樹脂系球状微粒子が仮焼または焼成によって消失して形成される空孔の形状も真球状になる。すなわち、気体透過性炭化けい素発熱部材の気体透過性が均一となる。さらに、200~400°Cの比較的低温で消失することから、焼成温度付近で焼成を阻害するガスを発生しないので、焼成が容易になる。本発明におけるアクリル樹脂系球状微粒子とは、ポリメタクリル酸メチル、ポリアクリロニトリルなどを主成分とする樹脂である。架橋PMMA系微粒子、ポリアクリロニトリル系微粒子などがあり、塗料インキの艶消し剤、流動性改良剤に使用されている。特にPMMAには真球状で水に対する分散性が高い物がある。例えば、東洋紡績株式会社製タフチックAR650シリーズを挙げることができる。配合するアクリル樹脂系球状微粒子の平均粒子径が80ミクロン未満では、気体透過性炭化けい素発熱部材に形成される気孔径が小さくなり気体透過性の改善効果が小さくなるので好ましくなく、また、アクリル樹脂系球状微粒子の平均粒子径が150μmを超えると、気孔径が大きくなり、発熱部の強度低下が大きくなるので好ましくない。アクリル樹脂系球状微粒子は、炭化けい素原料粉末に対して、1~7重量配合すればよい。アクリル樹脂系球状微粒子の配合量が1重量未満のときは、添加率が1重量未満であると、気体透過性の改善効果が小さくなるので好ましくなく、7重量を超える場合は、発熱部の強度低下が大きくなるので好ましくない。アクリル樹脂系球状微粒子を配合して、気体透過性発熱部材を製造する方法の場合、成形後の焼成は、2200~2600°Cで行えばよい。また、焼成前に仮焼してもよい。本発明の端子部材は、反応焼結炭化けい素炭化けい素とけい素の複合材料や再結晶炭化けい素にけい素を含浸したものなど、非特許文献1に記載の通常の炭化けい素発熱体の端部材質であればよい。二酸化けい素を用いて原料ガス供給用炭化けい素発熱体を成形するには、再結晶用炭化けい素原料粉末に所定の二酸化けい素、炭素および有機バインダーを加え、乾式混合した後、適量の水を加え湿式混錬する。その後、押出成形によりパイプ状に成形し、乾燥する。乾燥した成形体を非酸化性雰囲気にて2200°Cから2600°Cで焼成し、再結晶炭化けい素発熱部、すなわち、気体透過性発熱部材とすることができる。添加した二酸化けい素は、焼成により消失する。気体透過性発熱部材として好適な物性として、比抵抗は006~012Ωcmであり、曲げ強さは20MPa以上好ましくは30MPa以上である。再結晶炭化けい素発熱部気体透過性発熱部材を所定の長さに切断し、端部を溶接することによって、原料ガス供給用炭化けい素発熱体とすることができる。実施例1常法による再結晶用炭化けい素原料粉末に対し、平均粒子径80ミクロンの二酸化けい素粉末を1重量と有機バインダー2.5重量を添加し乾式混合後、添加水を8.5加え混練後、外径50mm、内径33mmのパイプ状に成形した。成形体を乾燥後、2400°Cで焼成し、再結晶炭化けい素発熱体の気体透過性炭化けい素発熱部材を作成した。発熱部材の比抵抗は008Ωcmであった。また、図2に示したように、同一の外径、内径の炭化けい素けい素質端部と接合し、原料ガス供給用炭化けい素発熱体50×1200×350外径×発熱部長さ×端部長さとした。この原料ガス供給用炭化けい素発熱体の1000°C定格は146V、186Aであった。評価は、発熱部の気孔率、曲げ強さ、外観および原料ガス供給用炭化けい素発熱体の気体透過性試験を実施した。結果を表1に示した。実施例2二酸化けい素の添加量を7重量とした他は、実施例1と同様に原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。比較例1二酸化けい素を添加しないで、実施例1と同様に原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。比較例2二酸化けい素の添加量を10重量とした他は実施例1と同様に原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。実施例3二酸化けい素の添加量を0.6重量とし、炭素質粉末を二酸化けい素に対して50重量炭化けい素に対して0.3重量添加とした他は、実施例1と同様にして原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。実施例4、5、比較例3、4二酸化けい素と炭素の配合を表1とした他は実施例1と同様にして原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。実施例1、2、3、4、5は、気体透過性が004slpmcmtorrcm2以上であり、気孔率も20~35であり原料ガス供給用炭化けい素発熱部材として好適なものであった。比較例1、3は、気体透過性が低く、原料ガス供給用炭化けい素発熱体としては不適なものであった。比較例2、4は気体透過性が高いが、亀裂を経由して気体が漏れたものであり、曲げ強さも低く電気炉に装着しての使用に耐えないものであった。実施例6常法による再結晶用炭化けい素原料粉末に対し、平均粒子径80ミクロンのアクリル樹脂系球状微粒子を7重量と有機バインダー2.5重量を添加し乾式混合後、添加水を7.3加え混練後、外径50mm、内径33mmのパイプ状に成形した。成形体を乾燥後、2350°Cで焼成し、再結晶炭化けい素発熱体の気体透過性炭化けい素発熱部材を作成した。発熱部材の比抵抗は009Ωcmであった。その他は、実施例1と同様にして、原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。この原料ガス供給用炭化けい素発熱体の1000°C定格は146V、173Aであった。なお、気体透過性の値がほぼ同等の実施例6のサンプルと実施例5のサンプルを用い、目視にてスモークテストを行なったところ、実施例6の方が一端を封じた側の発熱部境界近くまでスモークが均一に噴出していた。実施例7平均粒子径100ミクロンのアクリル樹脂系球状微粒子を3重量、添加水を7.6とした他は、実施例6と同様に原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。実施例8平均粒子径160ミクロンのアクリル樹脂系球状微粒子を1重量、添加水を8.0とし、500°Cで仮焼した他は、実施例6と同様に原料ガス供給用炭化けい素発熱体を作成した。実施例6、7、8は、気体透過性が004slpmcmtorrcm2以上かつ、気孔率20~35であり原料ガス供給用炭化けい素発熱部材として好適なものであった。また、二酸化けい素添加より低い温度で焼成可能であり、ガスの透過が均一であった。