ワークを把持する形状自在な吸着グリッパであって、一端に受圧面を有する固定部材と、前記受圧面に密着して取り付けられ、内部に粒体を充填させた可撓性かつ気密性の中空バッグを有する把持部とを有し、前記中空バッグは、前記把持部を鉛直下向きにした場合において中心部において鉛直方向に貫通した減圧空間と、該減圧空間を取り囲む中空バッグ内部空間とを有し、かつ、ワークの前記受圧面に対向する面に対して押し付ける押付力によって、その接触部分におけるワークの形状にならうようになっており、さらに、前記減圧空間及び前記中空バッグ内部空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置を有する、ことを特徴とする形状自在な吸着グリッパ。前記減圧装置は、前記減圧空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第1減圧装置と、前記中空バッグ内部空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第2減圧装置とからなる、ことを特徴とする請求項1に記載の形状自在な吸着グリッパ。前記減圧装置は、前記中空バッグ内部空間内及び前記減圧空間について、所定負圧に減圧し又は大気圧に戻す対象の切替えを行う切替えバルブを有する、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の形状自在な吸着グリッパ。前記中空バッグは、水平方向において長手方向が幅方向の長さよりも長くなっている、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の形状自在に吸着グリッパ。ワークの把持する形状自在な吸着グリッパによる把持方法であって、一端に受圧面を有する固定部材と、前記受圧面に密着して取り付けられ、内部に粒体を充填させた可撓性かつ気密性の中空バッグを有する把持部とを有し、前記中空バッグは、前記把持部を鉛直下向きにした場合において中心部において鉛直方向に貫通した減圧空間と、該減圧空間を取り囲む中空バッグ内部空間とを有しており、さらに、前記減圧空間及び前記中空バッグ内の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置を準備し、A前記中空バッグについて、ワークの前記固定部材に対向する面に対して押し付ける押付力によって、その接触部分におけるワークの形状にならわせ、B前記減圧装置によって前記減圧空間及び中空バッグ内部空間の減圧を行い、前記粒体同士に押し付ける力を発生させることによって前記粒体を固形化させる、ことを特徴とする形状自在な吸着グリッパによる把持方法。前記減圧装置は、前記減圧空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第1減圧装置と、前記中空バッグ内部空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第2減圧装置とからなり、前記Bにおいて、前記減圧装置は、B1前記第2減圧装置によって前記中空バッグ内部空間の減圧を行い、前記粒体同士に押し付ける力を発生させることによって前記粒体を固形化させ、B2前記第1減圧装置によって前記減圧空間の減圧を行う、ことを特徴とする請求項5に記載の形状自在な吸着グリッパによる把持方法。前記減圧装置は、前記中空バッグ内部空間及び前記減圧空間について、所定負圧に減圧し又は大気圧に戻す対象の切替えを行う切替えバルブを有し、前記Bにおいて、前記減圧装置は、前記中空バッグ内部空間の減圧を行い、前記粒体同士に押し付ける力を発生させることによって前記粒体を固形化させた後、前記切替えバルブによって、所定負圧に減圧し又は大気圧に戻す対象について切替えを行う、ことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の形状自在な吸着グリッパによる把持方法。前記Aにおいて、前記中空バッグは、ワークの水平方向における最大面積を有する部分よりも下部分において接触点を有している、ことを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の形状自在な吸着グリッパによる把持方法。ここで、特許文献1のように、吸盤を用いてワークを把持するロボットハンドを用いて把持を行う場合、ワークの形状によっては吸着可能な面を十分に確保することができない場合がある。このような場合には、吸着力の不足により把持が不完全な状態になるか、または把持ができても移動する際に落下する危険性があった。一方、特許文献1のロボットハンドに特許文献2に記載の技術を用いた上記非特許文献1では、各種の粒体を充填した気密袋を減圧してワークを把持することによって、特許文献1における課題であった把持の安定性の向上を実現している。しかし、上記非特許文献1のように、気密袋体の減圧による把持を行う場合において、平板な面に対しては、把持力が全く生じないため把持を行うことができず、また、把持部の摩擦係数が低いワークに対しては、十分な把持力を維持しながら把持を行うことが難しいという問題点があった。そこで、本発明の目的は、ワークの形状及び大きさによらずに確実にワークを把持することを可能とする吸着グリッパを提供することである。前記目的を達成するため、本発明によると、ワークを把持する形状自在な吸着グリッパであって、一端に受圧面を有する固定部材と、前記受圧面に密着して取り付けられ、内部に粒体を充填させた可撓性かつ気密性の中空バッグを有する把持部とを有し、前記中空バッグは、前記把持部を鉛直下向きにした場合において中心部を鉛直方向に貫通した減圧空間と、該減圧空間を取り囲む中空バッグ内部空間とを有し、かつ、ワークの前記受圧面に対向する面に対して押し付ける押付力によって、その接触部分におけるワークの形状にならうようになっており、さらに、前記減圧空間及び前記中空バッグ内部空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置を有する、ことを特徴とする形状自在な吸着グリッパが提供される。また、本発明によれば、前記減圧装置は、前記減圧空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第1減圧装置と、前記中空バッグ内部空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第2減圧装置とからなる。また、本発明によれば、前記減圧装置は、前記中空バッグ内部空間内及び前記減圧空間について、所定負圧に減圧し又は大気圧に戻す対象の切替えを行う切替えバルブを有する。さらに、本発明によれば、前記中空バッグは、水平方向において長手方向が幅方向の長さよりも長くなっている。また、本発明によると、ワークの把持する形状自在な吸着グリッパによる把持方法であって、一端に受圧面を有する固定部材と、前記受圧面に密着して取り付けられ、内部に粒体を充填させた可撓性かつ気密性の中空バッグを有する把持部とを有し、前記中空バッグは、前記把持部を鉛直下向きにした場合において中心部において鉛直方向に貫通した減圧空間と、該減圧空間を取り囲む中空バッグ内部空間とを有しており、さらに、前記減圧空間及び前記中空バッグ内の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置を準備し、A前記中空バッグについて、ワークの前記固定部材に対向する面に対して押し付ける押付力によって、その接触部分におけるワークの形状にならわせ、B前記減圧装置によって前記減圧空間及び中空バッグ内部空間の減圧を行い、前記粒体同士に押し付ける力を発生させることによって前記粒体を固形化させる、ことを特徴とする形状自在な吸着グリッパによる把持方法が提供される。また、本発明によれば、前記減圧装置は、前記減圧空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第1減圧装置と、前記中空バッグ内部空間の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる第2減圧装置とからなり、前記Bにおいて、前記減圧装置は、B1前記第2減圧装置によって前記中空バッグ内部空間の減圧を行い、前記粒体同士に押し付ける力を発生させることによって前記粒体を固形化させ、B2前記第1減圧装置によって前記減圧空間の減圧を行う。また、本発明によれば、前記減圧装置は、前記中空バッグ内部空間内及び前記減圧空間について、所定負圧に減圧し又は大気圧に戻す対象の切替えを行う切替えバルブを有し、前記Bにおいて、前記減圧装置は、前記中空バッグ内部の減圧を行い、前記粒体同士に押し付ける力を発生させることによって前記粒体を固形化させた後、前記切替えバルブによって、所定負圧に減圧し又は大気圧に戻す対象について切替えを行う。さらに、本発明によれば、前記中空バッグは、ワークの水平方向における最大面積を有する部分よりも下部分において接触点を有している。このような構成によって、吸着グリッパは、中空バッグ内の圧力を減圧して把持部の形状をワークの形状に合わせて固形化することで、ワークの把持が可能になる。また、中空バッグ内の圧力を大気圧に戻すことによって把持部の形状の固形化を解くことで、ワークを把持から解除することが可能になる。また、上記把持部を把持対象であるワークの表面形状に変形させることができるため、ワークの形状によってロボットの先端部分を交換する必要がなく、また、上記機能によってワークを安定して把持することが可能になる。さらに、ワークの形状に合わせてワークごとに中空バッグの形状を変化させることができるために、例えば果物のような柔らかく傷つきやすいようなワークであっても確実に把持することができる。上述した本発明によると、中空バッグ内の減圧のみでなく、減圧空間内の減圧を行うことによるワークの把持が可能な吸着グリッパを使用することによって、形状及び大きさが不定なワークに対しても安定した形で把持することができる。本発明を実施するための最良の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図1は、本発明の第1実施例による吸着グリッパを備えたロボットの構成図である。この図において、1はロボット、2a~2cはロボットアーム、3はロボットの手先部、4はロボット支持台、5は吸着グリッパ、6はワーク、7はワーク用容器、8a~8cは関節、9は減圧装置、9aは第1減圧装置、9bは第2減圧装置、10は接続部、11は固定部材、12は把持部である。ロボット1は、この例ではロボット支持台4の上面に固定された垂直多関節ロボットであるが、本発明はこれに限定されず、その他のロボットスカラロボットや直交ロボットであってもよい。吸着グリッパ5は、ロボットの手先部3に搭載され、ロボットアーム2a~2c及び関節8a~8cを有するロボット1により、所定の作動範囲で3次元的に移動され、かつ自由な姿勢をとることができるようになっている。ワーク6は、形状が不定である。この例では、把持対象であるワーク6はワーク用容器7の中に格納されているが、ワーク6が直接的にテーブル等に置かれているものを把持する形であってもよい。関節8a~8cは、ロボットアーム2a~2c及びロボットの手先部3を連結しており、それぞれ回転軸C1~C3図2の紙面と垂直な軸、C4ロボットアーム2aの長手方向に延びる軸周りに回転が可能である。減圧装置9は、第1減圧装置9a及び第2減圧装置9bから構成されている。第1減圧装置9a及び第2減圧装置9bは、後述する把持部12と後述するチューブ13、15によって接続されており、把持部12内の圧力を減圧することでワーク6の把持を行い、また把持部12内の圧力を大気圧まで戻すことによってワーク6の把持を解消する。接続部10は、吸着グリッパ5とロボットの手先部3を接続するものである。この例では、第1減圧装置9a及び第2減圧装置9bは接続部10内に設置されているが、これらの機能を損なわなければ他の場所でもよい。図2は本発明の第1実施例による吸着グリッパの構成図である。また、図3は本発明の第1実施例による吸着グリッパの断面図である。この図において、11は固定部材、11aは受圧面、12は把持部、12aは中空バッグ、12bは粒体、13はチューブ、14はチューブ接続部、15はチューブ、16はチューブ接続部、17は減圧空間である。固定部材11は、把持部12と密着して取り付けられており、一端に後述する中空バッグ12aからの圧力を受ける受圧面11aを有している。この例では円形状になっており、チューブ13を通すために空洞になっている部分を有する。把持部12は、中空バッグ12a及び粒体12bからなり、チューブ15を介して第2減圧装置9bによる加圧、減圧を受ける。粒体12bは、減圧したときに中空バッグ12aの内部で固形化させる必要があるため、例えば発砲スチロールやガラスビーズのような表面摩擦の大きい物質である必要がある。また、表面摩擦を大きくするために、粒体12bの形状は球状や8面体といった形状であって、各粒体12bの寸法は発泡スチロールであれば500μm程度、ガラスビーズであれば100μm程度の大きさであることが好ましい。中空バッグ12aは、いかなる形状のワーク6を把持する際にも、ワーク6の表面形状に沿って形状を変化させることが可能であって、また気体の通気を許さない気密性を有する素材である必要がある。また、摩擦によってもワーク6を把持することが可能である素材である必要がある。例えば、天然ゴムやラテックスゴム等が望ましい。本実施例における減圧は、第1減圧装置9aによって、チューブ13を介して行われる減圧空間17の減圧と、第2減圧装置9bによって、チューブ15を介して行われる把持部12における中空バッグ12aの内部空間の減圧との、2回の減圧が行われる。上記2回の減圧のタイミングは、初めにワーク6の形状に合わせて、中空バッグ12aの形状を変形させる必要があるため、中空バッグ12aの内部空間の減圧を先に行うか、ほぼ同時に行うことが望ましい。また、この例において、第1減圧装置9a及び第2減圧装置9bは別の装置になっているが、第1減圧装置9a及び第2減圧装置9bが単一の装置減圧装置9であり、例えば切替えバルブ等を用いることで、減圧空間17内及び中空バッグ12aの内部空間の減圧を行う構成でもよい。図4は、本発明の第1実施例によるワークを把持した場合における吸着グリッパの断面図である。図4Aは、把持部よりも小さいワークを把持した場合の断面図であり、図4Bは、把持部よりも大きく、かつ、中空バッグとの接触部分が平面であるワークを把持した場合の断面図である。また、図4Cは、把持部よりも大きく、かつ、中空バッグとの接触部分に凹凸があるワークを把持した場合の断面図である。この図において、18a~18cはワークである。図4Aにおいて、チューブ15を介して減圧装置9によって中空バッグ12aの内部空間の減圧を行うことによって、ワーク18aの表面の形状に中空バッグ12aの形状をならわせる。次に中空バッグ12aの内部空間を減圧させることによって中空バッグ12aの内部空間の体積を減少させる。この際、接触先端部12cにおいては、図の矢印方向に収縮されるため、この方向にワーク18aを挟み込む力が発生する。かかる力の発生によって生じた中空バッグ12aとワーク18aの表面の間の摩擦力によって、ワーク18aの把持が可能になる第1の把持力。また、先端接触部12cが、ワーク18aの水平方向における最大面積を有する部分よりも下部分において接触点を有している場合には、ワーク18aを下方向から支える力が働くため、より安定的にワークを把持することが可能になる第2の把持力。さらに、ワーク18aの表面の形状に中空バッグ12aの形状がならっているので、チューブ13を介して減圧装置9によって、中空バッグ12aとワーク18aによって密閉された減圧空間17内の減圧を行うことで、ワーク18aを吸着することによるワークの把持が可能になる第3の把持力。図4Bのように、把持部12よりも大きく、かつ、中空バッグ12aとの接触部分が平面である場合には、ワーク18bを把持しようとした場合、図4Aに記載したような中空バッグ12aとワーク18aの表面による摩擦力第1の把持力や、先端接触部12cがワーク18aの水平方向における最大面積を有する部分よりも下部分において接触点を有している場合における下方向からワークを支える力第2の把持力は発生しないが、減圧装置9による減圧空間17内の減圧第3の把持力によってワーク18bを把持することが可能になる。なお、把持部よりも大きいワークであっても、図5のワーク18cのように凹凸を有するワークである場合には、減圧装置9による減圧空間17内の減圧第3の把持力のみでなく、中空バッグ12aとワーク18cの接触部分における摩擦力第1の把持力や凸部の形状によっては下方向から支える力第2の把持力を発生させることができる場合がある。一方、把持を解除する場合には、第1減圧装置9a及び第2減圧装置9bによって、中空バッグ12a及び減圧空間17内の気圧を大気圧に戻すことで把持を行っている状態を解除することができる。図6は、本発明の第2実施例による吸着グリッパの構成図である。この例において、固定部材11及び中空バッグ12aは、図2における吸着グリッパよりも一方向において引き延ばした形状を有している。かかる構成を有することによって、円柱形状のワーク等、細長い形状のワークを把持する際には、中空バッグ12aとワークとの接触部分について図2における吸着グリッパよりも増やすことが可能になる。よって、安定した把持を可能にすることができるため有効である。なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。