"気泡及び/又は微粒子を含む粘弾性体層の少なくとも片面側に、下記a1、a2及びa3を含有するモノマー混合物又はその部分重合物、並びに、熱発泡性微粒子を含有する粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有することを特徴とする粘着テープ又はシート。a1:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C未満である、炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーa2:分子内に少なくとも1の窒素原子と1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーa3:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマー前記a2は除く前記モノマー混合物において、a1、a2及びa3の合計量100重量中のa1の含有量が50~80重量であり、a2の含有量が5~40重量であり、a3の含有量が5~40重量である請求項1記載の粘着テープ又はシート。前記a2が、ジメチルアクリルアミド、N-ビニルピロリドン及びN-ビニルカプロラクタムからなる群より選ばれる少なくとも1のモノマーである請求項1又は2に記載の粘着テープ又はシート。前記a3が、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、メタアクリロイルオキシ基と第3級炭素原子とが結合している構造を有するメタアクリレートモノマー、又は、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、メタアクリロイルオキシ基と単環又は多環の脂環式炭化水素の環を構成する炭素原子とが結合している構造を有するメタアクリレートモノマーである請求項1~3の何れかの項に記載の粘着テープ又はシート。前記a3が、tert-ブチルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート、1,4-シクロヘキサンジメタノールモノメタアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルメタアクリレート及びジシクロペンタニルメタアクリレートからなる群より選ばれる少なくとも1のモノマーである請求項1~4の何れかの項に記載の粘着テープ又はシート。前記モノマー混合物が、実質的にカルボキシル基含有モノマーを含まない請求項1~5の何れかの項に記載の粘着テープ又はシート。前記粘着剤組成物が、さらに、光重合開始剤を含有する請求項1~7の何れかの項に記載の粘着テープ又はシート。前記粘着剤組成物が、さらに、分子内に2以上のエチレン性不飽和結合を有するモノマーを含有する請求項1~7の何れかの項に記載の粘着テープ又はシート。本発明の目的は、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を維持しつつ、被着体から剥がす際には容易に剥離して、容易に接合部を分離解体できる粘着シートを提供することにある。さらに、本発明の他の目的は、特に金属系被着体に対して、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を維持しつつ、被着体から剥がす際には容易に剥離して、容易に接合部を分離解体できる粘着シートを提供することにある。本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、粘着シートにおいて、気泡及び/又は微粒子を含む粘弾性体層の少なくとも片面側に、下記a1、a2及びa3を含有するモノマー混合物又はその部分重合物、並びに、熱発泡性微粒子を含有する粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有する構成とすると、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を有し、且つ、接合部を分離解体する際には、加熱により接着力が低下して、容易に分離解体できることを見出し、本発明を完成させた。a1:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C未満である、炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーa2:分子内に少なくとも1の窒素原子と1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーa3:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマー前記a2は除くすなわち、本発明は、気泡及び/又は微粒子を含む粘弾性体層の少なくとも片面側に、下記a1、a2及びa3を含有するモノマー混合物又はその部分重合物、並びに、熱発泡性微粒子を含有する粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有することを特徴とする粘着テープ又はシートを提供する。a1:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C未満である、炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーa2:分子内に少なくとも1の窒素原子と1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーa3:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマー前記a2は除く上記粘着テープ又はシートは、上記モノマー混合物において、a1、a2及びa3の合計量100重量中のa1の含有量が50~80重量であり、a2の含有量が5~40重量であり、a3の含有量が5~40重量であることが好ましい。上記粘着テープ又はシートは、上記a2が、ジメチルアクリルアミド、N-ビニルピロリドン及びN-ビニルカプロラクタムからなる群より選ばれる少なくとも1のモノマーであることが好ましい。上記粘着テープ又はシートは、上記a3が、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、メタアクリロイルオキシ基と第3級炭素原子とが結合している構造を有するメタアクリレートモノマー、又は、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、メタアクリロイルオキシ基と単環又は多環の脂環式炭化水素の環を構成する炭素原子とが結合している構造を有するメタアクリレートモノマーであることが好ましい。上記粘着テープ又はシートは、上記a3が、tert-ブチルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、イソボルニルメタアクリレート、1,4-シクロヘキサンジメタノールモノメタアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルメタアクリレート及びジシクロペンタニルメタアクリレートからなる群より選ばれる少なくとも1のモノマーであることが好ましい。上記粘着テープ又はシートは、上記モノマー混合物が、実質的にカルボキシル基含有モノマーを含まないことが好ましい。上記粘着テープ又はシートは、上記粘着剤組成物が、さらに、光重合開始剤を含有することが好ましい。上記粘着テープ又はシートは、上記粘着剤組成物が、さらに、分子内に2以上のエチレン性不飽和結合を有するモノマーを含有することが好ましい。本発明の粘着シートは、上記構成を有しているので、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を維持しつつ、被着体から剥がす際には容易に剥離して、容易に接合部を分離解体できる。特に、本発明の粘着シートは、金属系被着体に対して、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を有し、且つ、接合部を分離解体する際には、加熱により接着力が低下して、容易に分離解体できる。本発明の粘着シート感圧接着シートは、気泡及び/又は微粒子を含む粘弾性体層の少なくとも片面側に、下記a1、a2及びa3を含有するモノマー混合物又はその部分重合物、並びに、熱発泡性微粒子を含有する粘着剤組成物感圧接着剤組成物により形成される粘着剤層を有する。a1:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C未満である、炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーa2:分子内に少なくとも1の窒素原子と1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーa3:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマー前記a2は除くなお、本願において、上記a1、a2及びa3を含有するモノマー混合物又はその部分重合物、並びに、熱発泡性微粒子を含有する粘着剤組成物により形成される粘着剤層を、熱発泡性微粒子含有粘着剤層と称する場合がある。本願において、エチレン性不飽和結合とは、ラジカル重合可能な炭素-炭素二重結合を意味する。また、エチレン性不飽和結合を有する基としては、特に限定されないが、例えば、ビニル基、ビニリデン基、アリル基、メタアクリロイル基などが挙げられる。さらに、本願において、単官能とはエチレン性不飽和結合を分子内に1つ有することを意味し、多官能とはエチレン性不飽和結合を分子内に2以上有することを意味する。ホモポリマーとした時のガラス転移温度Tgとは、当該モノマーの単独重合体のガラス転移温度Tgを意味し、あるモノマーモノマーXと称する場合があるのみをモノマー成分として形成される重合体のガラス転移温度Tgを意味する。具体的には、PolymerHandbook第3版、JohnWileySons,Inc,1989年に数値が挙げられている。なお、上記文献に記載されていない単独重合体のガラス転移温度Tgは、例えば、以下の測定方法により得られる値をいう。すなわち、温度計、撹拌機、窒素導入管及び還流冷却管を備えた反応器に、モノマーX100重量部、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.2重量部及び重合溶媒として酢酸エチル200重量部を投入し、窒素ガスを導入しながら1時間撹拌する。このようにして重合系内の酸素を除去した後、63°Cに昇温し10時間反応させる。次いで、室温まで冷却し、固形分濃度33重量のホモポリマー溶液を得る。次いで、このホモポリマー溶液を剥離ライナー上に流延塗布し、乾燥して厚み約2mmの試験サンプルシート状のホモポリマーを作製する。そして、この試験サンプルをアルミニウム製のオープンセルに約1~2mg秤量し、温度変調DSC商品名Q-2000ティーエイインスツルメント社製を用いて、50ml/minの窒素雰囲気下で昇温速度5°C/minにて、ホモポリマーのReversingHeatFlow比熱成分挙動を得る。JIS-K-7121を参考にして、得られたReversingHeatFlowの低温側のベースラインと高温側のベースラインを延長した直線から縦軸方向に等距離にある直線と、ガラス転移の階段状変化部分の曲線とが交わる点の温度をホモポリマーとした時のガラス転移温度Tgとする。本発明の粘着シートの形態は、特に限定されないが、ロール状に巻回された形態であってもよく、シートが積層された形態であってもよい。すなわち、本発明の本発明の粘着シートは、シート状、テープ状などの形態を有することができる。なお、ロール状に巻回された形態の粘着シートは、粘着面を後述の剥離フィルムにより保護した状態でロール状に巻回された形態を有していてもよい。また、ロール状に巻回された形態の粘着シートは、後述の基材を有するタイプである場合、基材の片面側に形成された剥離処理層背面処理層により粘着面を保護した状態でロール状に巻回された形態を有していてもよい。なお、基材の片面側に剥離処理層を形成させる際に用いられる剥離処理剤剥離剤としては、特に限定されないが、例えば、シリコーン系剥離剤、長鎖アルキル系剥離剤などが挙げられる。また、本発明の粘着シートは、粘着シートの両面側が粘着面となっている両面粘着シートであってもよいし、粘着シートの片面側のみが粘着面となっている片面粘着シートであってもよい。本発明の粘着シートは、2つの部材同士を貼り合わせる点からは、両面粘着シートであることが好ましい。なお、本発明の粘着シートが両面粘着シートである場合、2つの粘着面は、2つの熱発泡性微粒子含有粘着剤層による面であってもよいし、熱発泡性微粒子含有粘着剤層による面及び粘弾性体層による面であってもよい。熱発泡性微粒子含有粘着剤層本発明の粘着シートにおいて、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層は、a1、a2及びa3を少なくとも含有するモノマー混合物又はその部分重合物、並びに、熱発泡性微粒子を少なくとも含有する粘着剤組成物により形成される。a1:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C未満である、炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーa2:分子内に少なくとも1の窒素原子と1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーa3:ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマー前記a2は除くなお、粘着剤組成物には、粘着剤を形成するための組成物の意味を含むものとする。また、モノマー混合物はモノマー成分のみの混合物を意味する。さらに、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を形成する粘着剤組成物を、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物と称する場合がある。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層は、ベースポリマーとして、上記モノマー混合物又はその部分重合物によるポリマーを含有する。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物は、モノマー混合物又はその部分重合物を必須の成分として含有する。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物中のモノマー混合物又はその部分重合物の割合は、特に限定されないが、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物の合計量100重量に対して、33重量以上例えば33~91重量が好ましく、より好ましくは40重量以上例えば40~87重量である。上記モノマー混合物が含有するa1は、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C未満である、炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーである。また、a1は、分子内に1のメタアクリロイル基を有するモノマーであり、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーである。a1はいわゆる単官能モノマーである。a1としては、例えば、下記表1に示すものが挙げられる。なお、上記モノマー混合物において、a1は、単独で含まれていてもよいし、2種以上組み合わせて含まれていてもよい。中でも、a1は、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が-20°C未満である炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーがより好ましく、さらにより好ましくはホモポリマーとした時のガラス転移温度が-40°C未満である炭素数4~12のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートモノマーである。具体的には、a1は、n-ブチルアクリレート、sec-ブチルアクリレート、2-エチルブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、n-オクチルアクリレート、n-オクチルメタクリレート、n-ノニルアクリレート、ラウリルアクリレート、ラウリルメタクリレートが好ましく、より好ましくはn-ブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレートである。上記モノマー混合物において、a1、a2及びa3の合計量100重量中のa1の含有量は、特に限定されないが、主のモノマー成分であるので、50~80重量が好ましく、より好ましくは55~75重量であり、さらにより好ましくは60~70重量である。a1の含有量が50重量未満であると、本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層表面において、例えば常温23±2°Cや低温度例えば、-40~-10°Cの環境下での初期の貼り合わせ性初期接着力が十分に発揮されない不具合を生じる場合がある。一方、含有量が80重量を超えると、a2及びa3の不足により、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層において、粘着力、耐反撥性、凝集性などが不足する場合がある。a2は、分子内に少なくとも1の窒素原子と1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーである。a2は、エチレン性不飽和結合を分子内に1つ有することから、単官能モノマーである。a2はa1の共重合性成分である。なお、上記モノマー混合物において、a2は、単独で含まれていてもよいし、2種以上組み合わせて含まれていてもよい。a2は、特に限定されないが、N-ビニル環状アミド、メタアクリルアミド類からなる群より選択される少なくとも1のモノマーが好ましい。N-ビニル環状アミドとしては、例えば、下記式1で示される化合物が挙げられる。式1中、R1は2価の有機基を示す。なお、式1において、R1は、好ましくは飽和炭化水素基であり、より好ましくは炭素数3~5のアルキレン基等である。上記N-ビニル環状アミドとしては、例えば、N-ビニル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-ピペリドン、N-ビニル-3-モルホリノン、N-ビニル-2-カプロラクタム、N-ビニル-1,3-オキサジン-2-オン、N-ビニル-3,5-モルホリンジオン、N-ビニルピリジン、N-ビニルピリミジン、N-ビニルピペラジン、N-ビニルピロールなどが挙げられる。また、メタアクリルアミド類としては、例えば、メタアクリルアミド、N-アルキルメタアクリルアミド、N,N-ジアルキルメタアクリルアミドなどが挙げられる。N-アルキルメタアクリルアミドとしては、例えば、N-エチルメタアクリルアミド、N-n-ブチルメタアクリルアミド、N-オクチルアクリルアミド等が挙げられる。さらに、ジメチルアミノエチルメタアクリルアミド、ジエチルアミノエチルメタアクリルアミドのようなアミノ基含有メタアクリルアミドなども挙げられる。次に、N,N-ジアルキルメタアクリルアミドとしては、例えば、N,N-ジメチルメタアクリルアミド、N,N-ジエチルメタアクリルアミド、N,N-ジプロピルメタアクリルアミド、N,N-ジイソプロピルメタアクリルアミド、N,N-ジn-ブチルメタアクリルアミド、N,N-ジt-ブチルメタアクリルアミドなどが挙げられる。さらには、上記メタアクリルアミド類としては、メタアクリルロイルモルフォリン、メタアクリロイルピロリドン、メタアクリロイルピロリジン等のN-アクリロイル基を有する環状メタアクリルアミドも挙げられる。さらにまた、上記メタアクリルアミド類としては、炭素数1~4のヒドロキシアルキル基を有するN-ヒドロキシルアルキルメタアクリルアミドモノマーが挙げられる。該炭素数1~4のヒドロキシアルキル基を有するN-ヒドロキシルアルキルメタアクリルアミドモノマーとしては、例えば、下記式2で示される化合物が挙げられる。式2中、R2は水素原子又はメチル基を示し、R3は炭素数1~4のヒドロキシアルキル基を示し、R4は水素原子又は炭素数1~10の飽和炭化水素基を示す。なお、式2において、R3は、直鎖状の鎖状構造を有していてもよく、分岐鎖状の鎖状構造を有していてもよい。上記炭素数1~4のヒドロキシアルキル基を有するN-ヒドロキシルアルキルメタアクリルアミドモノマーとしては、例えば、N-メチロールメタアクリルアミド、N-2-ヒドロキシエチルアクリルアミド、N-2-ヒドロキシエチルメタクリルアミド、N-2-ヒドロキシプロピルアクリルアミド、N-2-ヒドロキシプロピルメタクリルアミド、N-1-ヒドロキシプロピルアクリルアミド、N-1-ヒドロキシプロピルメタクリルアミド、N-3-ヒドロキシプロピルアクリルアミド、N-3-ヒドロキシプロピルメタクリルアミド、N-2-ヒドロキシブチルアクリルアミド、N-2-ヒドロキシブチルメタクリルアミド、N-3-ヒドロキシブチルアクリルアミド、N-3-ヒドロキシブチルメタクリルアミド、N-4-ヒドロキシブチルアクリルアミド、N-4-ヒドロキシブチルメタクリルアミド、N-メチル-N-2-ヒドロキシエチルアクリルアミドなどが挙げられる。さらに、上記N-ビニル環状アミド及び上記メタアクリルアミド類以外のa2としては、例えば、アミノエチルメタアクリレート、N,N-ジメチルアミノエチルメタアクリレート、N,N-ジメチルアミノプロピルメタアクリレート等のアミノ基を有するモノマー;N-シクロヘキシルマレイミド、N-フェニルマレイミド等のマレイミド骨格を有するモノマー;N-メチルイタコンイミド、N-エチルイタコンイミド、N-ブチルイタコンイミド、N-2-エチルヘキシルイタコンイミド、N-ラウリルイタコンイミド、N-シクロヘキシルイタコンイミド等のイタコンイミド系モノマー;アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアノアクリレート系モノマー;N-メタアクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、N-メタアクリロイル-6-オキシヘキサメチレンスクシンイミド、N-メタアクリロイル-8-オキシオクタメチレンスクシンイミド等のスクシンイミド系モノマー等が挙げられる。a2は、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の接着信頼性と柔軟性とのバランスの取りやすさの点から、N-ビニル-2-ピロリドンやN-ビニル-2-カプロラクタム;炭素数が1~4より好ましくは1又は2のN-アルキル基を一個または二個有するメタアクリルアミド例えば、N,N-ジエチルアクリルアミド、N,N-ジメチルアクリルアミド等のN,N-ジアルキルアクリルアミド;N-2-ヒドロキシエチルアクリルアミド、N-2-ヒドロキシエチルメタクリルアミド、N-メチロールメタアクリルアミド、N-3-ヒドロキシプロピルアクリルアミドなどが好ましい。特に、a2は、N,N-ジメチルアクリルアミド、N-ビニル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-カプロラクタムが好ましく、N-ビニル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-カプロラクタムが最も好ましい。上記モノマー混合物において、a1、a2及びa3の合計量100重量中のa2の含有量は、特に限定されないが、5~40重量が好ましく、より好ましくは7~35重量であり、さらにより好ましくは10~30重量である。含有量が5重量未満であると、粘着シートにおいて、加工性が悪くなる、接着信頼性が発揮しにくくなるなどの不具合を生じる場合がある。一方、含有量が40重量を超えると、粘着シートにおいて、柔軟性が低下する、タックが低下するなどの不具合を生じる場合がある。なお、柔軟性の低下は、接着信頼性特に耐反撥性の低下をまねくおそれがある。上記モノマー混合物が含有するa3は、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマーである。a3には、上記a2は含まれない。a3は、エチレン性不飽和結合を分子内に1つ有することから、単官能モノマーである。なお、上記モノマー混合物において、a3は、単独で含まれていてもよいし、2種以上組み合わせて含まれていてもよい。a3としては、例えば、下記表2に示すものが挙げられる。中でも、a3は、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が10°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマー上記a2は除くがより好ましく、さらにより好ましくはホモポリマーとした時のガラス転移温度が15°C以上である、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有するモノマー上記a2は除くである。また、a3は、分子内に被着体との間で相互作用を生じさせる構造例えば、酸性基などを有しないことや粘着剤組成物により形成される粘着剤層の弾性や柔軟性を調整することから、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、メタアクリロイルオキシ基と第3級炭素原子とが結合している構造を有するメタアクリレートモノマーや、ホモポリマーとした時のガラス転移温度が0°C以上である、メタアクリロイルオキシ基と単環又は多環の脂環式炭化水素の環を構成する炭素原子とが結合している構造を有するメタアクリレートモノマーが好ましい。具体的には、a3は、tert-ブチルアクリレート、tert-ブチルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、フルフリルアクリレート、14シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート、14シクロヘキサンジメタノールモノメタクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレートが好ましく、tert-ブチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、イソボルニルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、14シクロヘキサンジメタノールモノアクリレートが、重合性の点から、より好ましい。さらに、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタニルアクリレートが、高Tgであり、特に好ましい。上記モノマー混合物において、a1、a2及びa3の合計量100重量中のa3の含有量は、特に限定されないが、5~40重量が好ましく、より好ましくは7~30重量であり、さらにより好ましくは10~20重量である。含有量が5重量未満であると、粘着シートにおいて、被着体に対する接着力が低下するなどの不具合を生じる場合がある。一方、含有量が40重量を超えると、粘着シートにおいて、柔軟性が低下する、タックが低下するなどの不具合を生じる場合がある。なお、柔軟性の低下は、接着信頼性特に耐反撥性に低下をまねくおそれがある。上記モノマー混合物では、本発明の粘着シートの効果を損なわない範囲で、a1、a2及びa3と共に、共重合性モノマーa4を含んでいてもよい。a4には、上記a1、上記a2、上記a3及び後述の多官能モノマーは含まれない。a4は、分子内に1のエチレン性不飽和結合を有する単官能モノマーである。また、上記モノマー混合物において、a4は、単独で含まれていてもよいし、2種以上組み合わせて含まれていてもよい。上記モノマー混合物におけるa4の含有量は、特に限定されないが、本発明の効果を損なわない範囲で選択されることが好ましい。本発明の粘着シートにおいて、接合時の初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性、及び、被着体からの剥離時の剥離解体性を共に高いレベルで発揮することを可能とする点から、上記モノマー混合物では、a1、a2及びa3の合計量100重量中のa1の含有量が50~80重量であり、a2の含有量が5~40重量であり、a3の含有量が5~40重量であることが好ましい。上記モノマー混合物の部分重合物は、上記モノマー混合物に含まれるモノマー成分のうち1又は2以上のモノマー成分が部分的に重合している組成物のことをいう。上記モノマー混合物の部分重合物は、その重合率により、粘性を有するシロップ状のことがある。上記モノマー混合物の部分重合物は、上記モノマー混合物に含まれるモノマー成分の一部を重合させることにより得られる。例えば、モノマー混合物の部分重合物は、酸素との接触を避けて活性エネルギー線特に紫外線をモノマー混合物に照射することにより得られる。上記モノマー混合物の部分重合物の重合率は、特に限定されないが、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を取り扱いや塗工に適した粘度とする点から、2~40重量が好ましく、より好ましくは5~20重量である。上記部分重合物の重合率は、以下のようにして求められる。部分重合物の一部をサンプリングして、試料とする。該試料を精秤しその重量を求めて、乾燥前の部分重合物の重量とする。次に、試料を130°Cで2時間乾燥して、乾燥後の試料を精秤しその重量を求めて、乾燥後の部分重合物の重量とする。そして、乾燥前の部分重合物の重量及び乾燥後の部分重合物の重量から、130°Cで2時間の乾燥により減少した試料の重量を求め、重量減少量揮発分、未反応モノマー重量とする。得られた乾燥前の部分重合物の重量及び重量減少量から、下記式より、部分重合物の重合率重量を求める。部分重合物の重合率重量=[1-重量減少量/乾燥前の部分重合物の重量]×100上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層は、熱発泡性微粒子を含有する。熱発泡性微粒子は、熱により体積が膨張する微粒子のことをいう。なお、熱発泡性微粒子は、単独で又は2種以上組み合わせて含まれていてもよい。上記熱発泡性微粒子は、特に限定されないが、マイクロカプセル化されている熱発泡性微粒子が好ましい。このようなマイクロカプセル化されている熱発泡性微粒子としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨脹する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球熱膨張性微小球と称する場合があるが挙げられる。上記熱膨張性微小球の殻は、熱可塑性物質、熱溶融性物質、熱膨脹により破裂する物質などで形成されることが好ましい。また、熱膨張性微小球の殻を形成する物質としては、例えば塩化ビニリデン-アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法、界面重合法などにより製造される。また、上記熱膨張性微小球は、市販品が利用されてもよい。上記熱膨張性微小球の市販品としては、特に限定されないが、例えば商品名マツモトマイクロスフェアF-30マツモトマイクロスフェアF-50マツモトマイクロスフェアF-80SマツモトマイクロスフェアF-85松本油脂製薬株式会社製;商品名エクスパンセルDuシリーズエクスパンセル社製;商品名フジバルーンシリーズ富士シリシア社製などが挙げられる。中でも、商品名エクスパンセル051Du40エクスパンセル社製、商品名フジバルーンH-40富士シリシア社製がより好ましい。上記熱発泡性微粒子の平均粒径は、特に限定されないが、分散性や薄層形成性などの点から、1~80μmが好ましく、より好ましくは3~50μmである。さらに、上記熱発泡性微粒子は、本発明の粘着シートにおいて、加熱処理による接着力の低下を効率よく生じさせる点から、体積膨張率が5倍以上、特に10倍以上となるまで破裂しない強度を有するものが好ましい。なお、低い体積膨張率で破裂する熱発泡性微粒子例えば、5倍未満の体積膨張率で破裂する熱発泡性微粒子などやマイクロカプセル化されていない熱膨張剤熱発泡剤を用いた場合には、加熱処理を行っても、粘着シートと被着体との接触面積を十分に減少させることができず、良好な剥離性が得られにくい。なお、体積膨張率は下記の式により求められる。体積膨張率=加熱後の熱膨張性微小球の体積/加熱前の熱膨張性微小球の体積上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物において、上記熱発泡性微粒子の含有量は、その種類によっても異なり、特に限定されないが、上記モノマー混合物100重量部に対して、10~200重量部が好ましく、より好ましく20~125重量部であり、さらにより好ましくは25~100重量部であり、最も好ましくは25~80重量部である。上記熱膨張性微粒子の含有量が10重量部未満であると、粘着シートに加熱処理を行った際に、粘着シートと被着体との接触面積の減少が不十分になりやすい。また、上記熱膨張性微粒子の含有量が200重量部を超えると、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により形成される熱発泡性微粒子粘着剤層において、凝集破壊が生じやすくなる。さらに、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物では、上記モノマー混合物又はその部分重合物、及び、上記熱発泡性微粒子の他に、熱重合開始剤や光重合開始剤などの重合開始剤が含有されていることが好ましい。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物が熱重合開始剤や光重合開始剤などの重合開始剤を含有していると、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により熱発泡性微粒子含有粘着剤層を形成する際に、熱や活性エネルギー線による硬化反応を利用することができるので、熱発泡性微粒子が混合された形態で上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を硬化させて熱発泡性微粒子含有粘着剤層を得ることができる。つまり、本発明の粘着シートにおいて、重合開始剤を含有する上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により、熱発泡性微粒子が安定して含有された構造を有する熱発泡性微粒子含有粘着剤層を容易に得ることができる。後述のように、重合開始剤としては光重合開始剤が好ましいので、本発明の粘着シートにおいて、光重合開始剤を含有する上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により、活性エネルギー線を用いた重合反応光硬化反応を利用して、熱発泡性微粒子が安定して含有された構造有する熱発泡性微粒子含有粘着剤層を容易に得ることができる。なお、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物では、重合開始剤が、単独で又は2種以上組み合わせて含まれていてもよい。特に、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物による熱発泡性微粒子含有粘着剤層形成時の硬化時間重合時間を短くすることができる点から、上記重合開始剤は光重合開始剤が好ましい。また、活性エネルギー線による硬化反応を利用する際に照射される活性エネルギー線としては、例えば、α線、β線、γ線、中性子線、電子線などの電離性放射線、紫外線などが挙げられ、中でも紫外線が好ましい。なお、活性エネルギー線の照射エネルギーやその照射時間などは、特に限定されないが、重合反応を阻害しない範囲で適宜選択される。上記光重合開始剤としては、特に限定されないが、例えば、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、α-ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、ケタール系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などが挙げられる。具体的には、ケタール系光重合開始剤としては、例えば、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン商品名イルガキュア651、BASFジャパン社製などが挙げられる。α-ヒドロキシケトン系光重合開始剤としては、例えば、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニルケトン商品名イルガキュア184、BASFジャパン社製、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン商品名ダロキュア1173、BASFジャパン社製、1-[4-2-ヒドロキシエトキシ-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン商品名イルガキュア2959、BASFジャパン社製などが挙げられる。α-アミノケトン系光重合開始剤としては、例えば、2-メチル-1[4-メチルチオフェニル]-2-モリフォリノプロパン-1-オン商品名イルガキュア907、BASFジャパン社製、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタノン-1商品名イルガキュア369、BASFジャパン社製などが挙げられる。アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、例えば、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド商品名ルシリンTPO、BASFジャパン社製などが挙げられる。ベンゾインエーテル系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、アニソールメチルエーテルなどが挙げられる。アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2-ジエトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤としては、例えば、2-ナフタレンスルホニルクロライドなどが挙げられる。光活性オキシム系光重合開始剤としては、例えば、1-フェニル-1,1-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニル-オキシムなどが挙げられる。ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインなどが挙げられる。ベンジル系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルなどが挙げられる。ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、3,3 ́-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン、α-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどが挙げられる。ケタール系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン、2-クロロチオキサントン、2-メチルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、ドデシルチオキサントンなどが挙げられる。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物における上記重合開始剤の含有量は、その種類によっても異なり、特に限定されないが、光重合開始剤の場合、上記モノマー混合物100重量部に対して、0.001~5重量部が好ましく、より好ましく0.01~5重量部であり、さらにより好ましくは0.05~3重量部である。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物における上記光重合開始剤の含有量が0.001重量部未満であると、粘着剤層形成時の硬化時間が長くなる場合がある。一方、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物における上記光重合開始剤の含有量が5重量部を超えると、形成された粘着剤層において、ベースポリマーの分子量の低下を生じ、粘着特性のバラツキを生じるおそれがある。さらにまた、本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層を形成する上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物では、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の弾性や柔軟性を調整したり、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の凝集力を上げて、接着力を向上させる点から、分子内にエチレン性不飽和結合を2以上有するモノマーを含有することが好ましい。また、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の発泡性の点からも分子内にエチレン性不飽和結合を2以上有するモノマーを含有することが好ましい。なお、本願では、分子内にエチレン性不飽和結合を2以上有するモノマーを多官能モノマーと称する場合がある。上記多官能モノマーには、上記a2及び上記a3は含まれない。また、上記多官能モノマーとしては、分子内にエチレン性不飽和結合を2以上有し、少なくとも1のエチレン性不飽和結合がメタアクリロイル基中のエチレン性不飽和結合であるモノマーが好ましい。本願では、分子内にエチレン性不飽和結合を2以上有し、少なくとも1のエチレン性不飽和結合がメタアクリロイル基中のエチレン性不飽和結合であるモノマーを多官能メタアクリレートと称する場合がある。なお、該多官能メタアクリレートでは、分子内のエチレン性不飽和結合が全てメタアクリロイル基中のエチレン性不飽和結合であってもよい。このような多官能メタアクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、1,2-エチレングリコールジメタアクリレート、1,4-ブチレングリコールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、1,12-ドデカンジオールジメタアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ヘキサンジオールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、テトラメチロールメタントリメタアクリレート、アリルメタアクリレート、ビニルメタアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、末端にメタアクリロイル基を複数個有する反応性ハイパーブランチポリマー例えば、商品名CN2300CN2301CN2320、SARTOMER社製などなどが挙げられる。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物において、上記多官能モノマーの含有量は特に限定されない。具体的には、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物において上記多官能メタアクリレートを含有する場合、その含有量は、上記モノマー混合物100重量部に対して、5重量部以下例えば0.001~5重量部が好ましく、より好ましくは3重量部以下例えば0.001~3重量部であり、さらにより好ましくは1重量部以下例えば0.001~1重量部である。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物において多官能メタアクリレートの含有量が多すぎると例えば5重量部を超えると、粘着剤層の柔軟性が損なわれ、粘着シートの耐反撥性に悪影響を及ぼすおそれがある。一方、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物において多官能メタアクリレートの含有量が少なすぎると、粘着剤層において十分な凝集力が得られず、粘着シートの接着信頼性に悪影響を及ぼすおそれがある。なお、本発明の粘着シートでは、上記多官能モノマー特に多官能メタアクリレートは、後述で記載の熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分ゲル分率が所望の溶剤不溶分になるように適宜調整して含有されることが好ましい。さらにまた、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物は、必要に応じて、本発明の効果を損なわない範囲で、添加剤が含有されていてもよい。添加剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤などの架橋剤;ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂などの粘着付与剤;可塑剤;充填剤;老化防止剤;界面活性剤などが挙げられる。なお、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物は、添加剤が、単独で又は2種以上含有されていてもよい。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物の作製方法としては、特に限定されないが、例えば、上記モノマー混合物又はその部分重合物に、熱発泡性微粒子、必要に応じて添加される成分例えば、上記光重合開始剤、上記多官能メタアクリレートなどの多官能モノマー、添加剤などを配合することが挙げられる。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層は、より具体的には、剥離フィルム等の適当な支持体上に、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を塗布して熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層を得て、次に、該熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層を、必要に応じて乾燥や硬化例えば、熱や活性エネルギー線による硬化させることにより形成される。なお、活性エネルギー線による硬化光硬化を利用する場合には、光重合反応は空気中の酸素に阻害されるので、例えば、粘着剤組成物層上に剥離フィルムセパレーターを貼り合わせること、窒素雰囲気下で光硬化させること等により、酸素を遮断することが好ましい。特に、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層は、熱発泡性微粒子が安定して含有された構造を得る点からは、重合開始剤光重合開始剤や熱重合開始剤などの重合開始剤を含有する上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により、熱や活性エネルギー線による硬化反応を利用して、形成されることが好ましい。また、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層は、厚みのある粘着剤層を得る点からは、光重合開始剤を含有する上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により、活性エネルギー線による硬化反応を利用して、形成されることが好ましい。本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分ゲル分率は、特に限定されないが、50~99重量が好ましく、より好ましくは60~95重量である。溶剤不溶分が50重量より低くなると、熱発泡性微粒子の発泡による粘着シートの被着体からの剥離が困難となる場合がある。また、溶剤不溶分が99重量より高くなると、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の濡れ性が悪くなり、接着が困難となる場合がある。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、粘着剤層中の溶剤不溶成分の割合を指し、以下の粘着剤層の溶剤不溶分の測定方法により算出される値である。なお、粘着剤層の溶剤不溶分には、溶剤に不溶の熱発泡性微粒子も含まれる。粘着剤層の溶剤不溶分の測定方法測定する粘着剤層を約1g採取し、これを試料とする。該試料を精秤し、その重量を求めて、浸漬前の粘着剤層の重量とする。次に、試料を酢酸エチル40gに7日間浸漬した後、酢酸エチルに不溶解な成分不溶解部分を全て回収し、回収した全不溶解部分を130°Cで2時間乾燥させてから、その重量を求めて、不溶解部分の乾燥重量とする。そして、得られた数値を以下の式に代入して算出する。粘着剤層の溶剤不溶分重量=[不溶解部分の乾燥重量/浸漬前の粘着剤層の重量]×100本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層の厚みは、使用目的や加熱による粘着力の低減性などに応じて適宜選択されるが、発泡性微粒子含有粘着剤層表面の平滑性を保持するため、熱発泡性微粒子特に熱膨張性微小球の最大粒径以上とすることが好ましい。さらに、本発明の粘着シートにおいて良好な剥離解体性を得る点からは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の厚みが大きくなるほど熱発泡性微粒子含有粘着剤層中の熱発泡性微粒子の絶対量が増えるので、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の厚みは大きいほうが好ましい。しかし、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の厚みを大きくすると、熱発泡性微粒子含有粘着剤層中の熱発泡性微粒子の絶対量が増える結果熱発泡性微粒子含有粘着剤層中の接着成分の割合が減少するので、本発明の粘着シートにおける接着力や接着信頼性が低下するおそれがある。よって、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層の厚みは、本発明の粘着シートにおいて接着信頼性と剥離解体性との両立を図る点から、1~300μmが好ましく、より好ましくは10~250μmであり、さらにより好ましくは20~200μmである。なお、本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層は、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。粘弾性体層本発明の粘着シートは、気泡及び/又は微粒子を含む粘弾性体層を少なくとも有する。粘弾性体層は、粘弾性を有する層である。本発明の粘着シートにおいて、粘弾性体層は、粘着シートの粘着特性の向上に作用する。上記粘弾性体層は、粘弾性体層を形成する組成物により得られる。本願では、粘弾性体層を形成する組成物を、粘弾性体組成物と称する場合がある。なお、粘弾性体組成物には、粘弾性体を形成する組成物の意味を含むものとする。上記粘弾性体層としては、特に限定されないが、ポリマー層が好ましい。上記ポリマー層は、粘着剤層であってもよい。粘着剤層を形成する粘着剤は、特に限定されないが、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、エポキシ系粘着剤などの粘着剤が挙げられる。中でも、アクリル系粘着剤が好ましい。なお、粘着剤は、単独で、又は、2種以上組み合わせて用いられてもよい。すなわち、上記粘弾性体層は、気泡及び/又は微粒子を含む粘着剤層であってもよい。さらに、上記粘弾性体層は、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層に気泡を含有させたものであってもよい。本発明の粘着シートにおいて、粘弾性体層が粘着剤層である場合、粘弾性体層による面は、粘着面として利用できる。上記粘弾性体層としてのポリマー層を形成する粘弾性体組成物は、いずれの形態を有していてもよく、例えば、活性エネルギー線硬化型粘弾性体組成物、熱硬化型粘弾性体組成物、溶剤型溶液型粘弾性体組成物、エマルジョン型粘弾性体組成物、熱溶融型ホットメルト型粘弾性体組成物などであってもよい。上記ポリマー層を形成する粘弾性体組成物は、微粒子や気泡の含有させやすさ、粘弾性体層作製時の作業性等の点から、ポリマーを形成するモノマーの混合物モノマー混合物と称する場合がある又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物であることが特に好ましい。なお、モノマー混合物とは、ポリマーを形成するモノマー成分のみからなる混合物を意味する。また、部分重合物とは、モノマー混合物の構成成分のうち1又は2以上の成分が部分的に重合している組成物を意味する。上記ポリマー層を構成するポリマーとしては、特に限定されないが、例えば、アクリル系ポリマー、ゴム系ポリマー、ビニルアルキルエーテル系ポリマー、シリコーン系ポリマー、ポリエステル系ポリマー、ポリアミド系ポリマー、ウレタン系ポリマー、フッ素系ポリマー、エポキシ系ポリマーなどが挙げられる。なお、上記ポリマーは、単独で、又は、2種以上組み合わせて用いられる。上記ポリマーとしては、中でも、耐候性、用途に適したポリマーの設計のしやすさの点から、アクリル系ポリマーが好ましい。すなわち、本発明の粘着シートの粘弾性体層は、気泡及び/又は微粒子を含むアクリル系ポリマー層であることがより好ましい。また、粘弾性体層としての気泡及び/又は微粒子を含むアクリル系ポリマー層は、アクリル系モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とし、気泡及び/又は微粒子を含有する粘弾性体組成物により形成されることが好ましい。上記アクリル系ポリマーは、アクリル系モノマーを必須のモノマー成分とするポリマーである。また、上記アクリル系ポリマーは、単独重合体であってもよいし、共重合体であってもよい。上記アクリル系ポリマーにおいて、アクリル系ポリマーを形成する全モノマー成分100重量中のアクリル系モノマーの割合は、特に限定されないが、50重量以上例えば50~100重量が好ましく、より好ましくは60重量以上例えば60~100重量であり、さらにより好ましくは80重量以上例えば80~100重量である。上記アクリル系モノマーとしては、特に限定されないが、炭素数2~18のアルキル基直鎖又は分岐鎖状のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートが好ましい。該炭素数2~18のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートとしては、例えば、エチルメタアクリレート、n-プロピルメタアクリレート、イソプロピルメタアクリレート、n-ブチルメタアクリレート、イソブチルメタアクリレート、sec-ブチルメタアクリレート、t-ブチルメタアクリレート、n-ペンチルメタアクリレート、イソペンチルメタアクリレート、n-ヘキシルメタアクリレート、n-ヘプチルメタアクリレート、n-オクチルメタアクリレート、イソオクチルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート、イソノニルメタアクリレート、n-デシルメタアクリレート、イソデシルメタアクリレート、ウンデシルメタアクリレート、ドデシルメタアクリレート、トリデシルメタアクリレート、テトラデシルメタアクリレート、ペンタデシルメタアクリレート、ヘキサデシルメタアクリレート、ヘプタデシルメタアクリレート、オクタデシルメタアクリレート、イソステアリルメタアクリレートなどが挙げられる。なお、メタアクリレートとは、アクリレート及び/又はメタクリレートを意味し、他も同様である。なお、上記アクリル系モノマーは、単独で、又は、2種以上組み合わせて用いられる。また、上記アクリル系ポリマーでは、アクリル系ポリマーを形成するモノマー成分として、上記炭素数2~18のアルキル基を有するアルキルメタアクリレートの他に、共重合性モノマーが用いられていてもよい。該共重合性モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー;メタアクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタアクリル酸2-ヒドロキシプロピル、メタアクリル酸4-ヒドロキシブチル、メタアクリル酸6-ヒドロキシヘキシル、メタアクリル酸8-ヒドロキシオクチル、メタアクリル酸10-ヒドロキシデシル、メタアクリル酸12-ヒドロキシラウリル、4-ヒドロキシメチルシクロヘキシル-メチルアクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物モノマー;2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、スルホプロピルアクリレート等のスルホン酸基含有モノマー;2-ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等の燐酸基含有モノマー;メタアクリルアミド、N-メチロールアクリルアミド等のN-置換メタアクリルアミド等のアミド系モノマー;N-メタアクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、N-メタアクリロイル-6-オキシヘキサメチレンスクシンイミド、N-メタアクリロイル-8-オキシオクタメチレンスクシンイミド等のスクシンイミド系モノマー;酢酸ビニル、N-ビニルピロリドン、N-ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、N-ビニルカプロラクタム等のビニル系モノマー;アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアノアクリレート系モノマー;メタアクリル酸グリシジル、テトラヒドロフルフリルメタアクリレート、ポリエチレングリコールメタアクリレート、ポリプロピレングリコールメタアクリレート、フッ素メタアクリレート、シリコンメタアクリレート、2-メトキシエチルアクリレート等のアクリル酸エステル系モノマー;メチルメタアクリレート等の上記炭素数2~18のアルキル基を有するアルキルメタアクリレート以外のアクリル系モノマー;イソボルニルメタアクリレート等の脂環族アクリレートなどが挙げられる。なお、共重合性モノマーは、単独で、又は、2種以上組み合わせて用いられる。上記共重合性モノマーとしては、粘着特性のバランスの点から、カルボキシル基含有モノマー、ヒドロキシル基含有モノマーが好ましく、アクリル酸が特に好ましい。上記アクリル系ポリマーにおいて、アクリル系ポリマーを形成する全モノマー成分100重量中の上記共重合性モノマーの割合は、特に限定されないが、0.1~50重量が好ましく、より好ましくは0.1~40重量であり、さらにより好ましくは0.5~20重量である。上記粘弾性体層のゲル分率の調整が容易である点、及び、架橋反応が完結する時間が短く、養生エージングを特に必要としない点から、上記アクリル系モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物には、多官能メタアクリレートが含まれていることが好ましい。該多官能メタアクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタアクリレート、ペンタエリスリトールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、1,2-エチレングリコールジメタアクリレート、1,4-ブチレングリコールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、1,12-ドデカンジオールジメタアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ヘキサンジオールジメタアクリレート、ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、テトラメチロールメタントリメタアクリレート、アリルメタアクリレート、ビニルメタアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、末端にメタアクリロイル基を複数個有する反応性ハイパーブランチポリマー[例えば、商品名CN2300CN2301CN2320SARTOMER社製など]などが挙げられる。なお、メタアクリロイル基とは、アクリロイル基及び/又はメタクリロイル基を意味し、他も同様である。多官能メタアクリレートの含有量は、特に限定されないが、例えば、アクリル系モノマー混合物100重量部に対して、0.001~5重量部が好ましく、より好ましくは0.001~3重量部であり、さらにより好ましくは0.01~2重量部である。含有量が5重量部を超えると粘弾性体層の凝集力が高くなりすぎ、粘弾性が低下するおそれがある。一方、含有量が少なすぎると例えば、0.001重量部未満であると、粘弾性体層の凝集力が低下するおそれがある。本発明の粘着シートの粘弾性体層が微粒子を含む場合、該微粒子としては、例えば、銅、ニッケル、アルミニウム、クロム、鉄、ステンレスなどの金属粒子やその金属酸化物粒子;炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化窒素などの炭化物粒子;窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素などの窒化物粒子;アルミナ、ジルコニウムなどの酸化物に代表されるセラミック粒子;炭化カルシウム、水酸化アルミニウム、ガラス、シリカなどの無機微粒子;火山シラス、砂などの天然原料粒子;ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、フェノール樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、尿素樹脂、シリコン樹脂、ナイロン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリイミドなどのポリマー粒子などが挙げられる。また、上記微粒子としては、中空の無機系微小球状体や中空の有機系微小球状体も挙げられる。上記中空の無機系微小球状体としては、例えば、中空ガラスバルーン等のガラス製の中空バルーン;中空アルミナバルーン等の金属化合物製の中空バルーン;中空セラミックバルーン等の磁器製中空バルーンなどが挙げられる。上記中空の有機系微小球状体としては、例えば、中空のアクリルバルーン、中空の塩化ビニリデンバルーン等の樹脂製の中空バルーンなどが挙げられる。上記中空ガラスバルーンの市販品としては、例えば、商品名ガラスマイクロバルーン富士シリシア株式会社製商品名サイラックスファインバルーン有限会社ファインバルーン製などが挙げられる。なお、上記微粒子としては、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層に含まれる熱発泡性微粒子も挙げられる。中でも、上記微粒子は、モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物の重合効率や微粒子の重みなどの観点から、中空の無機系微小球状体や中空の有機系微小球状体が好ましく、より好ましくは中空無機微粒子であり、さらにより好ましくは中空ガラスバルーンである。特に、中空ガラスバルーンを用いれば、せん断力、保持力などの他の特性を損なうことなく、粘弾性、特に高温での粘弾性を向上させることができる。また、上記微粒子の表面には、各種表面処理例えば、シリコーン系化合物やフッ素系化合物等による低表面張力化処理などが施されていてもよい。上記微粒子の粒径平均粒子径は、特に限定されないが、1~500μmが好ましく、より好ましくは5~200μmであり、さらにより好ましくは10~100μmであり、最も好ましくは30~100μmである。上記微粒子の比重真密度は、特に限定されないが、0.01~1.8g/cm3が好ましく、より好ましくは0.02~1.5g/cm3である。微粒子の比重が0.01g/cm3より小さいと、微粒子をモノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物に配合して混合する際に、微粒子の浮き上がりが大きくなり、微粒子を均一に分散させることができにくい場合があり、また、強度の点で問題が生じやすくなり微粒子が割れてしまう場合がある。一方、微粒子の比重が1.8g/cm3より大きいと、モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物の重合効率が低下する場合例えば、活性エネルギー線特に紫外線の透過率が低下し、光硬化反応の効率が低下する場合などがあり、また、粘着シートの重量が大きくなり、作業性が低下する場合がある。特に、微粒子として中空無機微粒子を用いる場合、その真密度は0.1~0.6g/cm3が好ましく、また中空有機微粒子を用いる場合、その真密度は0.01~0.05g/cm3が好ましい。上記粘弾性体層中の微粒子の割合としては、特に限定されないが、粘弾性体層の全体積100体積に対して、5~50体積が好ましく、より好ましくは10~45体積であり、さらにより好ましくは15~40体積である。微粒子の割合が5体積未満であると、粘弾性体層に微粒子を含有させることにより得られる特性が十分に得られない場合がある。一方、微粒子の割合が50体積を超えると、粘弾性体層の粘弾性が低下する場合がある。より具体的には、上記アクリル系ポリマー層の場合、上記のアクリル系モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物中の微粒子の含有量は、特に限定されないが、アクリル系モノマー混合物100重量部に対して、1~30重量部が好ましく、より好ましくは3~20重量部である。さらに、本発明の粘着シートの粘弾性体層は気泡を含むことが好ましい。該気泡は、特に限定されず、独立気泡タイプの気泡であってもよく、半独立気泡タイプの気泡であってもよいが、独立タイプの気泡であることが好ましい。例えば、上記アクリル系ポリマー層は、独立気泡タイプの気泡のみを含んでいてもよいし、独立気泡タイプの気泡と半独立気泡タイプの気泡とが混在する形態で気泡を含んでいてもよい。上記気泡の形状は、特に限定されないが、球状が好ましく、特に真球状が好ましい。上記気泡の平均気泡径直径は、特に限定されないが、例えば、1~1000μmが好ましく、より好ましくは10~500μmであり、さらにより好ましくは30~300μmである。上記気泡に含まれる気泡成分気泡を形成するガス成分;気泡形成ガスとしては、特に限定されないが、例えば、窒素、二酸化炭素、アルゴンなどの不活性ガス、空気などが挙げられる。また、気泡形成ガスは、混合ガスであってもよい。気泡形成ガスとしては、気泡形成ガスを混合した後に、重合反応等を行う場合は、その反応を阻害しないものを用いることが重要である。中でも、気泡形成ガスとしては、反応を阻害しないことや、コスト的な観点などから、窒素が好適である。上記気泡の混合量含有量は、特に限定されないが、例えば、粘弾性体層の全体積100体積に対して、3~30体積が好ましく、より好ましくは8~26体積であり、さらにより好ましくは13~22体積である。粘弾性体層中の上記気泡の混合量が3体積より少ないと、粘弾性体層において気泡を混合することによる効果を得られない場合がある。一方、粘弾性体層中の上記気泡の混合量が30体積より多くなると、粘弾性体層を貫通する気泡が生じて、粘弾性体層の粘弾性の低下を生じたり、粘弾性体層の外観が悪くなるおそれがある。上記粘弾性体層は、その他の成分として、添加剤を含んでいてもよい。つまり、上記粘弾性体層で所望の特性を得る点から、必要に応じて、粘弾性体組成物には、添加剤が含まれていてもよい。なお、添加剤は、単独で、又は、2種以上組み合わせて用いられる。上記添加剤としては、例えば、熱重合開始剤や光重合開始剤などの重合開始剤が挙げられる。上記モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物に重合開始剤が含まれていると、熱や活性エネルギー線による硬化反応重合反応を利用することができるので、上記ポリマー層において微粒子及び又は気泡が安定して含有された構造を容易に得ることができる。上記重合開始剤としては、重合時間を短くすることができる点から、光重合開始剤が好ましい。なお、重合開始剤は、単独で、又は、2種以上組み合わせて用いられる。上記光重合開始剤としては、特に限定されないが、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、α-ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、ケタール系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などが挙げられる。具体的には、ベンゾインエーテル系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、アニソールメチルエーテルなどが挙げられる。アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2-ジエトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。α-ケトール系光重合開始剤としては、例えば、2-メチル-2-ヒドロキシプロピオフェノン、1-[4-2-ヒドロキシエチル-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オンなどが挙げられる。芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤としては、例えば、2-ナフタレンスルホニルクロライドなどが挙げられる。光活性オキシム系光重合開始剤としては、例えば、1-フェニル-1,1-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニル-オキシムなどが挙げられる。ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインなどが挙げられる。ベンジル系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルなどが挙げられる。ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、3,3 ́-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン、α-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどが挙げられる。ケタール系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン、2-クロロチオキサントン、2-メチルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、ドデシルチオキサントンなどが挙げられる。上記光重合開始剤の含有量は、特に限定されない。例えば、粘弾性体層が上記アクリル系ポリマー層である場合、上記のアクリル系モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物における上記光重合開始剤の含有量は、アクリル系モノマー混合物100重量部に対して、0.001~5重量部が好ましく、より好ましくは0.01~5重量部であり、さらに好ましくは0.05~3重量部である。また、上記熱重合開始剤としては、例えば、2,2 ́-アゾビスイソブチロニトリル、2,2 ́-アゾビス-2-メチルブチロニトリル、2,2 ́-アゾビス2-メチルプロピオン酸ジメチル、4,4 ́-アゾビス-4-シアノバレリアン酸、アゾビスイソバレロニトリル、2,2 ́-アゾビス2-アミジノプロパンジヒドロクロライド、2,2 ́-アゾビス[2-5-メチル-2-イミダゾリン-2-イルプロパン]ジヒドロクロライド、2,2 ́-アゾビス2-メチルプロピオンアミジン二硫酸塩、2,2 ́-アゾビスN,N ́-ジメチレンイソブチルアミジンジヒドロクロライドなどのアゾ系熱重合開始剤;ジベンゾイルペルオキシド、tert-ブチルペルマレエートなどの過酸化物系熱重合開始剤;レドックス系熱重合開始剤などが挙げられる。なお、上記熱重合開始剤の含有量は、特に限定されないが、従来、熱重合開始剤として利用可能な範囲であればよい。上記添加剤としては、さらに、界面活性剤が挙げられる。本発明の粘着シートの粘弾性体層が微粒子及び/又は気泡を含有する場合、粘弾性体層に界面活性剤が含有されていると、微粒子と粘弾性体層を構成する物質例えば上記ポリマーとの間の密着性を向上できたり、微粒子と粘弾性体層を構成する物質例えば上記ポリマーとの間の摩擦抵抗を低減できたり、さらに、微細な気泡を安定して含有することができるからである。上記界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、イオン系界面活性剤などが挙げられる。中でも、粘弾性体層が気泡を含有する場合、上記界面活性剤としてはフッ素系界面活性剤が好ましく、分子中にオキシC23アルキレン基及びフッ素化炭化水素基を有するフッ素系界面活性剤がより好ましい。粘弾性体組成物は、フッ素系界面活性剤を含有していると、気泡混合性に優れ且つ気泡の合一を抑制できるからである。さらに、上記フッ素系界面活性剤としては、分散性の観点から、非イオン型界面活性剤が好ましい。また、上記フッ素系界面活性剤は、単独で、又は、2種以上組み合わせて用いられる。上記フッ素系界面活性剤としては、特開2009-120807号公報、特開2008-12798号公報、特開2006-022189号公報に記載のフッ素系界面活性剤が好ましく用いられる。上記フッ素系界面活性剤は、市販品が用いられてもよい。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、商品名フタージェント251、商品名FTX-218以上、株ネオス製、商品名メガファックF-477、商品名メガファックF-470以上、DIC株製、商品名サーフロンS-381、S-383、S-393、KH-20、KH-40以上、AGCセイミケミカル株製、商品名エフトップEF-352、EF-801以上、株ジェムコ製、商品名ユニダインTG-656ダイキン工業株製などが挙げられる。上記界面活性剤の含有量は、特に限定されない。例えば、粘弾性体層が上記アクリル系ポリマー層の場合、アクリル系モノマー混合物又はその部分重合物を必須成分とする粘弾性体組成物におけるフッ素系界面活性剤の含有量固形分は、アクリル系モノマー混合物100重量部に対して、0.01~2重量部が好ましく、より好ましくは0.03~1.5重量部であり、さらにより好ましくは0.05~1重量部である。0.01重量部未満であると、気泡の混合性が低下して充分な量の気泡を粘弾性体層中に混合することが困難となる場合があり、一方、2重量部を超えると、粘弾性体層の粘弾性能が低下するおそれがある。上記添加剤としては、さらに、架橋剤例えば、ポリイソシアネート系架橋剤、シリコーン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アルキルエーテル化メラミン系架橋剤など、粘着付与剤例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂などからなる常温で固体、半固体あるいは液状のもの、可塑剤、充填剤、老化防止剤、酸化防止剤、着色剤顔料や染料など、軟化剤などが挙げられる。粘弾性体組成物は、その取り扱い上、塗工に適した粘度通常、B型粘度計における粘度測定において、測定温度:25°Cの条件で測定された粘度として、0.3~40Pasに、調整されることが好ましい。また、気泡や微粒子を効率よく均一に混合させる点からも、粘度が調整されていることが好ましい。例えば、粘弾性組成物は、増粘用ポリマーが適宜に配合されることにより、所望の粘度に調整されていてもよい。増粘用ポリマーとしては、例えば、上記アクリル系モノマーにアクリル酸、アクリルアミド、アクリロニトリル、アクリロイルモルホリン等を共重合したアクリル系ポリマー;スチレンブタジエンゴムSBR;イソプレンゴム;スチレンブタジエンブロック共重合体SBS;エチレン-酢酸ビニル共重合体;アクリルゴム;ポリウレタン;ポリエステルなどが挙げられる。なお、増粘用ポリマーは、単独で、又は、2種以上を組み合わせて用いられる。また、粘弾性組成物は、モノマー混合物の部分重合物を必須成分として含有することにより、所望の粘度に調整されていてもよい。モノマー混合物の部分重合物は、粘性を有するシロップ状であるためである。なお、モノマー混合物の部分重合物において、部分重合物の重合率、部分重合物の作製方法、部分重合物の重合率の測定方法は、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物の場合と同様である。その重合率は、その部分重合が生じている部分の分子量にもよるが、2~40重量が好ましく、より好ましくは5~20重量である。なお、部分重合は、例えば、酸素との接触を避けて活性エネルギー線特に紫外線を照射することにより行われる。上記モノマー混合物の部分重合物の重合率は、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物の場合と同様にして求められる。上記より、粘弾性体層は気泡及び/又は微粒子を含有するが、粘弾性体層に気泡及び/又は微粒子を含有させる方法としては、特に限定されないが、粘弾性体組成物に気泡及び/又は微粒子を含有させて、気泡及び/又は微粒子を含有する粘弾性組成物を得てから、該気泡及び/又は微粒子を含有する粘弾性組成物により粘弾性体層を形成する方法が好ましい。例えば、上記ポリマー層の場合、モノマー混合物の部分重合物を必須成分とすること等により粘度を調整した粘弾性体組成物に、公知の気泡混合方法を利用して気泡を含有させて、気泡を含有する粘弾性組成物を得てから、該気泡を含有する粘弾性組成物によりポリマー層を形成することにより、気泡が導入されてもよい。上記の公知の気泡混合方法としては、特に限定されないが、例えば、中央部に貫通孔を持った円盤上に、細かい歯が多数ついたステータと、歯のついているステータと対向しており、円盤上にステータと同様の細かい歯がついているロータとを備えた装置を用いる方法が挙げられる。この装置によれば、ステータ上の歯と、ロータ上の歯との間に粘弾性体組成物を導入し、ロータを高速回転させながら、貫通孔を通して気泡を形成させるためのガス成分気泡形成ガスを粘弾性体組成物に導入させることにより、気泡形成ガスが粘弾性体組成物中に細かく分散され混合された粘弾性体組成物を得ることができる。なお、気泡を含有する粘弾性体層は、気泡の合一を抑制又は防止するために、粘弾性体組成物への気泡の混合から、粘弾性体層の形成までの工程を一連の工程として連続的に行うことが好ましい。上記気泡及び/又は微粒子を含有する粘弾性体層の作製方法としては、特に限定されないが、例えば、以下のi~iiiの工程を含む作製方法が挙げられる。i粘弾性体組成物に気泡及び/又は微粒子を含有させて、気泡及び/又は微粒子を含有する粘弾性体組成物を得る。ii気泡及び/又は微粒子を含有する粘弾性組成物を適当な支持体上に塗布し粘弾性体組成物層を得る。iii粘弾性体組成物層を硬化させることにより、気泡及び/又は微粒子を含有する粘弾性体層を形成する。上記粘弾性体層の溶剤不溶分ゲル分率は、特に限定されないが、上記気泡混合微粒子含有アクリル系ポリマー層の場合、45~99重量が好ましく、より好ましくは70~95重量である。溶剤不溶分が45重量未満であると、粘弾性体層の凝集力が低下し、高温や長期使用での信頼性が得にくくなる場合がある。また、粘弾性体層の溶剤不溶分が99重量より高くなると、接着特性の低下の懸念がある。上記粘弾性体層の溶剤不溶分は、粘弾性体層中の溶剤不溶成分の割合を指し、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層における粘着剤層の溶剤不溶分の測定方法と同様の方法で求められる。なお、粘弾性体層の溶剤不溶分には、溶剤に不溶の微粒子も含まれる。上記粘弾性体層の厚みは、特に限定されないが、上記ポリマー層の場合、良好な粘弾性を確保する点から、100μm以上例えば100~1500μmが好ましく、より好ましくは200μm以上例えば200~1400μmであり、さらにより好ましくは300μm以上例えば300~1300μmである。なお、上記粘弾性体層は、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。なお、上記粘弾性体層は、市販品が用いられていてもよい。剥離フィルム本発明の粘着シートでは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層表面や粘弾性体層表面を保護する目的で、使用時まで剥離フィルムセパレーターが用いられていてもよい。また、本発明の粘着シートの作製の際に、剥離フィルムが用いられていてもよい。なお、本発明の粘着シートの利用時には、剥離フィルムは剥がされる。上記剥離フィルムは、特に限定されないが、例えば、剥離処理剤離型処理剤により少なくとも一方の面が剥離処理離型処理された基材の他、フッ素系ポリマー例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレンヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレンフッ化ビニリデン共重合体等からなる低接着性基材や、無極性ポリマー例えば、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのオレフィン系樹脂からなる低接着性基材などが挙げられる。なお、低接着性基材では両面が剥離面として利用され、一方、剥離処理された基材では剥離処理された面が剥離面として利用される。剥離フィルムは、公知乃至慣用の方法により形成される。上記剥離処理剤により少なくとも一方の面が剥離処理された基材における基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステルフィルム;ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなどのオレフィン系樹脂フィルム;ポリ塩化ビニルフィルム;ポリイミドフィルム;ナイロンフィルムなどのポリアミドフィルム;レーヨンフィルムなどのプラスチック系基材フィルム合成樹脂フィルムなどが挙げられる。また、上質紙、和紙、クラフト紙、グラシン紙、合成紙、トップコート紙などの紙類から構成される紙系基材も挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステルフィルムが好ましい。上記剥離処理剤により少なくとも一方の面が剥離処理された基材における剥離処理剤としては、特に限定されないが、例えば、シリコーン系剥離処理剤、フッ素系剥離処理剤、長鎖アルキル系剥離処理剤などが挙げられる。剥離処理剤は、単独で又は2種以上組み合わせて用いられる。上記剥離フィルムの厚みは、特に限定されない。また、上記剥離フィルムは、単層、積層の何れの形態を有していてもよい。基材本発明の粘着シートは、強度の点から、基材を有していてもよい。本発明の粘着シートは、例えば、基材/粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層の層構成を有していてもよい。上記基材としては、特に限定されないが、例えば、紙などの紙系基材;布、不織布、ネットなどの繊維系基材;金属箔、金属板などの金属系基材;各種樹脂オレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、アミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトンPEEK、ポリフェニレンスルフィドPPSなどによるフィルムやシートなどのプラスチック系基材;ゴムシートなどのゴム系基材;発泡シートなどの発泡体や、これらの積層体特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム又はシート同士の積層体などなどが挙げられる。上記基材の厚みとしては、特に限定されないが、例えば、10~500μmが好ましく、より好ましくは12~200μm、さらに好ましくは15~100μmである。なお、基材は単層の形態を有していてもよく、また、複層の形態を有していてもよい。また、基材には、必要に応じて、背面処理、帯電防止処理、下塗り処理などの各種処理が施されていてもよい。その他の層また、本発明の粘着シートは、本発明の効果を損なわない範囲で、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層及び上記粘弾性体層の他に、その他の層を有していてもよい。上記その他の層としては、例えば、発熱層、中間層、下塗り層、上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層以外の粘着剤層などのその他の層を有していてもよい。上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層以外の粘着剤層としては、例えば、熱発泡性微粒子を含有しない粘着剤層である熱発泡性微粒子非含有粘着剤層が挙げられる。該熱発泡性微粒子非含有粘着剤層は、例えば、公知の粘着剤例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、エポキシ系粘着剤などを用いて、公知の粘着剤の形成方法を利用して形成される。なお、上記熱発泡性微粒子非含有粘着剤層の厚みは、特に制限されず、粘着シートの使用目的や使用方法などに応じて、適宜選択される。また、上記その他の層としては、発熱層が挙げられる。本発明の粘着シートが発熱層を有していると、被着体から剥がす際に、発熱層を発熱させることにより熱発泡性微粒子を発泡させることが可能となり、被着体に対する接着力を容易に低下させることができる。本発明の粘着シートにおいて発熱層を設ける場合、発熱層の粘着シート全体に占める位置は、少なくとも一方の面が熱発泡性微粒子含有粘着剤層による面となる限り特に限定されない。上記発熱層は、特に限定されないが、面状発熱体が好ましい。面状発熱体は、通電することによって発熱し、形状が平板状やシート状の発熱素子を少なくとも有する。形状が平板状やシート状の発熱素子としては、例えば、金属箔、金属板、シート状グラファイトカーボン、カーボン粉末又は金属粉末などを含むシート状の材料などが挙げられる。また、面状発熱体は、形状が平板状やシート状の発熱素子を被覆する電気絶縁性シートを含んでいてもよい。上記発熱層の厚みは、特に限定されないが、10~300μmが好ましく、より好ましくは30~150μmである。なお、本発明の粘着シートでは、上記面状発熱体が上記基材であってもよい。本発明の粘着シートの作製方法は、特に限定されないが、公知乃至慣用の方法により作製されてもよい。例えば、本発明の粘着シートは、粘弾性体層の少なくとも片面側に、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を設けることにより形成される。より具体的には、粘弾性体層と熱発泡性微粒子含有粘着剤層との積層構造を有する粘着シートは、まず、剥離フィルム上に熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を塗布し熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層を得てから、該熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層を硬化して、剥離フィルム上に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を得て、次に、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を別途作製した粘弾性体層上に貼り合わせることにより作製される。また、本発明の粘着シートは、工程を短縮することができ、作製速度を向上できる点からは、粘弾性体組成物層粘弾性体組成物を層状に塗布することにより得られる層と熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層との積層体を得てから、両方を同時に硬化させて粘弾性体層と熱発泡性微粒子含有粘着剤層の積層構造を得る方法により作製されてもよい。熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を塗布する際に用いられる塗工方法や塗工方法は、特に限定されないが、後述の塗工方法や後述の塗布具を用いてもよい。熱発泡性微粒子含有粘着剤層を得る際の熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物の硬化方法は、特に限定されないが、作業性、省エネルギー性、比較的厚い層を得ることができる点から、活性エネルギー線を用いる光硬化が好ましい。なお、活性エネルギー線としては、特に限定されないが、電子線や紫外線等が挙げられ、特に紫外線が好ましい。また、活性エネルギー線の照射方法、活性エネルギー線の照度や光量等は、特に限定されず、適宜選択される。熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物の硬化方法として活性エネルギー線による光硬化を用いる場合、本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層表面の初期接着力を調整する点から、活性エネルギー線の照射方法が適宜選択されてもよい。粘着剤組成物の硬化方法として活性エネルギー線による光硬化を用いて、粘着シートの初期接着力を調整する手法の具体例としては、特開2003-13015号公報に開示された方法が挙げられる。特開2003-13015号公報には、活性エネルギー線の照射を複数段階に分割して行い、それにより粘着性能を更に精密に調整する方法が開示されている。より具体的には、i活性エネルギー線として紫外線を用いる場合、紫外線の照度を、照度:30mW/cm2以上の光照射を行う第一段階と、第一段階より低い温度の光照射を行い実質的に重合反応を完了させる第二段階とに分割して行う方法、ii紫外線の照射を、照度:30mW/cm2以上の光照射を行う第一段階と、ついで第一段階より低い照度の光照射を行い重合率を少なくとも70重量にする第二段階、ついで照度:30mW/cm2以上の光照射を行い実質的に重合反応を完了させる第三段階とに分割して行う方法などが挙げられる。なお、重合率は、上記部分重合物の重合率の場合と同様の方法で算出される。上記第一段階に用いられる紫外線の照射装置としては、例えば、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハイドランプなどが挙げられる。また、上記第二段階に用いられる紫外線の照射装置としては、例えば、ケミカルランプ、ブラックライトランプなどが挙げられる。以下、粘弾性体層と熱発泡性微粒子含有粘着剤層との積層構造を有する粘着シートの好ましい作製例を必要に応じて図面を参照しつつ説明する。なお、本発明の粘着シートの作製方法は、この作製例に限定されない。以下、粘弾性体層と熱発泡性微粒子含有粘着剤層との積層構造を有する粘着シートの好ましい作製例を作製例1と称する場合がある。図1~3には、作製例1の第一工程、第二工程及び第三工程が、それぞれ、示されている。図4には、作製例1の第三工程により得られるシートが示されている。図5には、作製例1により得られる粘着シートが示されている。図1~5において、1aは作製例1の第一工程を示し、1bは作製例1の第二工程を示し、1cは作製例1の第三工程を示し、1dは作製例1の第三工程により得られるシートを示し、1eは作製例1により得られる粘着シートを示す。また、図1~5において、11は熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層であり、12は剥離フィルムセパレーターであり、13は熱発泡性微粒子含有粘着剤層であり、14は活性エネルギー線であり、15は粘弾性体層、16は粘着シートである。作製例1の第一工程は、剥離フィルム12の剥離処理された面に熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を塗布し、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11を形成させる工程である図1参照。この工程により、剥離フィルム12の剥離処理された面上に、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11が形成されたシートが得られる。作製例1の第一工程において、剥離フィルム12の剥離処理された面に熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を塗布する際に用いられる塗工方法は、特に限定されないが、例えば、例えば、スロットダイ法、リバースグラビアコート法、マイクログラビア法、ディップ法、スピンコート法、刷毛塗り法、ロールコート法、フレキソ印刷法などが挙げられる。また、剥離フィルム12の剥離処理された面に熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を塗布する際には、一般的に用いられている塗布具が、特に限定なく用いられる。このような塗布具は、例えば、リバースコーター、グラビアコーターなどのロールコーター;カーテンコーター;リップコーター;ダイコーター;ナイフコーターなどが挙げられる。作製例1の第二工程は、上記第一工程により得られるシートの熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11側に、剥離フィルム12を剥離処理面が接する形態で貼り合わせる工程である図2参照。この工程により、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11の両面側に剥離フィルム12を有するシート剥離フィルム12/熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11/剥離フィルム12の層構成を有するシートが得られる。作製例1の第二工程では、粘着剤組成物の光硬化の際には光硬化反応光重合反応を阻害する酸素との接触を抑制することが好ましいので、剥離フィルム12を貼り合わせことにより、酸素を遮断している。なお、作製例1では、酸素との接触を抑制する方法は特に限定されないので、剥離フィルムを用いて酸素を遮断する方法の他に、活性エネルギー線を照射する環境を不活性ガス例えば窒素ガスなど雰囲気下とする方法が用いられていてもよい。つまり、作製例1の第二工程では、剥離フィルム12を貼り合わせる代わりに、不活性ガス例えば窒素ガスなどを用いて、活性エネルギー線を照射する環境を不活性ガス雰囲気下とすることにより、酸素による光重合反応の阻害を抑制してもよい。なお、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気下で活性エネルギー線14を用いて熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11を光硬化させる場合、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11を剥離フィルム12を用いて被膜しなくてもよい。上記酸素との接触を防止する方法として活性エネルギー線を照射する環境を不活性ガス雰囲気下とする方法を用いる場合、不活性ガス雰囲気下ではできるだけ酸素が存在しないことが好ましく、例えば、酸素濃度で5000ppm以下であることが好ましい。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11中の溶存酸素が多い場合には、ラジカル発生量が抑制され、重合光重合が十分に進行せず、得られるポリマーの重合率、分子量及び分子量分布に悪影響を及ぼすことがある。このため、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11を形成する前に、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物に不活性ガス例えば窒素ガスなどによるバブリング処理を行ってもよい。作製例1の第三工程は、第二工程により得られるシートに、該シートの両面側から、活性エネルギー線14を照射する工程である図3参照。この工程では、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11に剥離フィルム12を介して活性エネルギー線14が照射されるので、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11は光硬化して、熱発泡性微粒子含有粘着剤層13になる。なお、第二工程により得られるシートにおいて、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11は、剥離フィルム12により、光硬化反応の阻害要因となる酸素と遮断されている。活性エネルギー線14としては、例えば、α線、β線、γ線、中性子線、電子線などの電離性放射線や、紫外線などが挙げられ、中でも紫外線が好ましい。また、活性エネルギー線の照射エネルギーやその照射時間は、モノマー成分の反応を生じさせることができればよく、特に限定されない。活性エネルギー線14の照射の好ましい態様としては、例えば、波長300~400nmにおける照度1~200mW/cm2である紫外線の光量400~4000mJ/cm2の照射が挙げられる。活性エネルギー線14として紫外線を照射する際に用いられる光源は、波長180~460nm好ましくは300~400nmの領域にスペクトル分布を持つものである限り特に限定されないが、例えば、ケミカルランプ、ブラックライト例えば、東芝ライテック社製のブラックライト、水銀アーク、炭素アーク、低圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等の一般の照射装置が挙げられる。また、上記波長より長波長あるいは短波長の電磁放射線を発生させることができる照射装置も挙げられる。また、活性エネルギー線14として紫外線を照射する際の紫外線の照度は、例えば、光源となる上記照射装置から熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11までの距離や電圧の調整によって目的の照度に設定される。作製例1では、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層11を硬化させる場合、重合率が、90重量以上となるように硬化させることが好ましい。また、未反応モノマーは、乾燥工程を設けることにより除去されてもよい。なお、重合率は、上記部分重合物の重合率の場合と同様の方法で算出される。1dは、第三工程により得られるシートを示す図4参照。該第三工程により得られるシートは、剥離フィルム12/熱発泡性微粒子含有粘着剤層13/剥離フィルム12の層構成を有するシートである。作製例1の第四工程は、一方の剥離フィルム12を剥がして熱発泡性微粒子含有粘着剤層13を露出させた第三工程により得られるシートを、剥離フィルム12上に設けられた粘弾性体層15に、熱発泡性微粒子含有粘着剤層13と粘弾性体層15とが接する形態で貼り合わせる工程である。1eは、作製例1により得られる粘着シートを示す図5参照。粘着シート16は、熱発泡性微粒子含有粘着剤層13と粘弾性体層15との積層構造を有する粘着シートである。本発明の粘着シートの90°引き剥がし接着強さ熱発泡性微粒子含有粘着剤層により提供される粘着面の90°引き剥がし接着強さ90°引き剥がし粘着力対ステンレス鋼板SUS304BA板、引張速度:50mm/min、23°Cの温度雰囲気下は、特に限定されないが、20N/25mm以上例えば20~60N/25mmであることが好ましく、より好ましくは26N/25mm以上例えば26~50N/25mmである。本発明の粘着シートの90°引き剥がし接着強さを上記の範囲内とすれば、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性をより発揮でき、剥離解体性をより発揮できる。本発明の粘着シートにおいて、下記耐反撥性試験で求められる浮き距離は、特に限定されないが、3mm未満であることが好ましく、より好ましくは1mm未満であり。浮き距離が大きいと、応力が長期でかかると、粘着シートが被着体から剥がれやすくなり、接着信頼性が低下するおそれがあるからである。なお、一般的に、粘着シートが被着体に貼付した状態で応力が長期でかかると、粘着シートにおいて被着体からのハガレ、浮き、部分的な剥離、ズレ等の現象が生じることがあるが、耐反撥性は上記現象の発生を抑制できる特性のことを意味する。耐反撥性試験最初に、粘着シートの測定面熱発泡性微粒子含有粘着剤層により提供される面と反対側の面をアルミニウム板に貼り合わせて、アルミニウム板及び粘着シートの積層体を得る。該アルミニウム板及び粘着シートの積層体を耐反撥性試験用サンプルとする。なお、粘着シートの測定面と反対側の面をアルミニウム板に貼り合わせる際には、必要に応じて、固定用の強接着性の両面粘着シートを用いてもよい。次に、耐反撥性試験用サンプルについて、測定面側粘着シート側を外側にして、R50の曲率で湾曲させる。すなわち、半径:20mmの円の円周に沿うように湾曲させる。湾曲後の耐反撥性試験用サンプルを、アクリル板商品名アクリライト、三菱レイヨン株式会社製に、粘着シートの測定面が接する形態で、浮きのないように圧着して貼り合わせる。アクリル板に貼り合わせた耐反撥性試験用サンプルを室温23°Cで7時間放置して、耐反撥性試験用サンプルの両端長さ方向の両端におけるアクリル板からの浮き距離浮き上がった距離を測定し、その平均値を求める。そして、該平均値を浮き距離とする。本発明の粘着シートは、下記加熱解体性試験1による評価が良好であることが好ましい。さらに、本発明の粘着シートは、下記加熱解体性試験1による評価が良好であり、且つ、下記加熱解体性試験2による評価が良好であることがより好ましい。下記加熱解体性試験1の評価が不良であると、粘着シートを被着体から剥がす際に、加熱により、十分な剥離解体性を発揮できないことがあるからである。また、本発明の粘着シートが、下記加熱解体性試験1による評価が良好であり、且つ、下記加熱解体性試験2による評価が良好であると、常温23°Cでの長期間例えば5~10年程度の保管後や使用後であっても、粘着シートを被着体から剥がす際に、加熱により、十分な剥離解体性を発揮できる。加熱解体性試験1粘着シートを、測定面熱発泡性微粒子含有粘着剤層により提供される面が接する形態で、清浄なステンレス304BA鋼板SUS304BA板に、23°Cの雰囲気下、2kgローラー、1往復の条件で圧着し貼り合わせて、23°Cで30分間エージングし、評価用サンプル粘着シート及びステンレス304BA鋼板の積層構成を有する構造体とする。次に、粘着シートがステンレス304BA鋼板に貼着した状態を維持しつつ、評価用サンプルを熱風乾燥機に投入し、130°Cで10分間加熱処理する。加熱処理終了後の評価用サンプルの状態を確認し、下記基準により、粘着シートの加熱解体性を評価する。良好○:粘着シートがステンレス304BA鋼板から剥離している場合、又は、粘着シートをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できる場合不良×:粘着シートをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できない場合加熱解体性試験2粘着シートを、測定面熱発泡性微粒子含有粘着剤層により提供される面が接する形態で、清浄なステンレス304BA鋼板SUS304BA板に、23°Cの雰囲気下、2kgローラー、1往復の条件で圧着し貼り合わせて、85°Cで1週間エージングし、エージング終了後23°Cで24時間放置して、評価用サンプル粘着シート及びステンレス304BA鋼板の積層構成を有する構造体とする。次に、粘着シートがステンレス304BA鋼板に貼着した状態を維持しつつ、評価用サンプルを熱風乾燥機に投入し、130°Cで10分間加熱処理する。加熱処理終了後の評価用サンプルの状態を確認し、下記基準により、粘着シートの加熱解体性を評価する。良好○:粘着シートがステンレス304BA鋼板から剥離している場合、又は、粘着シートをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できる場合不良×:粘着シートをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できない場合本発明の粘着シートの厚みは、特に限定されないが、100~3000μmが好ましく、より好ましくは150~2000μmである。本発明の粘着シートは、再剥離を目的とした粘着シートである。また、本発明の粘着シートは、加熱発泡型再剥離性粘着シートでもある。本発明の粘着シートは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するので、被着体に対する接合時には、高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を維持しつつ、剥離時には、接着力接着強度、接着強さが低下する特性を発揮する。これは、本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層が、粘着剤層の接着力や凝集力の向上に寄与する成分であるa2及びa2の効果を高める成分であるa3をモノマー成分として含むモノマー混合物又はその部分重合物を含有する熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により形成されているためである。このように、本発明の粘着シートは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を形成する熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物において、a1の共重合性モノマーとして、酸性基含有モノマー例えば、アクリル酸などのカルボキシル基含有モノマー;スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマーなどのカルボキシル基以外の酸性基スルホン酸基、リン酸基などを含有するモノマー等を実質的に含有しなくても、被着体への良好な接着力を発揮しつつ、加熱によって被着体から易剥離できる特性を発揮する。なお、上記の実質的に含有しないとは、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物のモノマー混合物において、全く含有しないか、あるいはその含有量がモノマー成分全量100重量部に対して0.1重量部以下であることをいう。さらに、本発明の粘着シートは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するので、被着体特に金属系被着体に対して経時での接着力上昇が生じにくく、さらにまた、被着体特に金属系被着体に対しての腐食が生じにくい。これは、本発明の粘着シートの熱発泡性微粒子含有粘着剤層が分子内に少なくとも1の窒素原子と1のエチレン性不飽和結合とを有するモノマーa2をモノマー成分として含むモノマー混合物又はその部分重合物を含有する熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物により形成されているためである。なお、金属系被着体とは、金属を素材として構成される被着体の意味である。さらに、本発明の粘着シートは、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物が含有するモノマー混合物又はその部分重合物には、a2に加えて、a3も含有されているので、より経時での接着力上昇が生じにくい熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する。このように、本発明の粘着シートは、金属系被着体に対しても、高い初期接着力を有し、且つ、剥離時には、加熱による熱発泡性微粒子の発泡によって接着力が容易に低下する特性を有する。本発明の粘着シートは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するので、粘着シートを被着体へ貼付後に粘着シートが加熱されると、粘着シートと被着体との接触面積の減少が生じて、i接着力が容易に低下する特性剥離性、易剥離性及びii接合部の解体性分離性を発揮する。本願では、i及びiiの特性をまとめて、剥離解体性と称する場合がある。なお、粘着シートを被着体へ貼付後に粘着シートが加熱されると、粘着シートと被着体との接触面積の減少が生じるのは、熱発泡性微粒子が熱により膨張及び/又は発泡することに伴い、熱発泡性微粒子含有粘着剤層が膨張変形して、熱発泡性微粒子含有粘着剤層表面が凹凸状の形状に変形するためである。また、本発明の粘着シートは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するので、加熱による熱発泡性微粒子の発泡によって、接着力が容易に低下する特性易剥離性を有する。特に、本発明の粘着シートは、粘弾性体層及び熱発泡性微粒子含有粘着剤層の両方を有するので、被着体に対する接合時には、高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を高いレベルで発揮し、被着体からの剥離時には剥離解体性を高いレベルで発揮する。つまり、本発明の粘着シートは、熱発泡性微粒子含有粘着剤層に加えて、粘弾性体層を有するので、熱発泡性微粒子含有粘着剤層のみを有する場合と比べて、良好な粘着特性を発揮する。特に、本発明の粘着シートは、粘弾性体層として、気泡混合粘弾性体層や微粒子含有粘弾性体層、特に気泡混合微粒子含有粘弾性体層を有していると、より高いレベルで、接合時における被着体に対しての初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性、及び、剥離時における被着体からの剥離解体性を得ることができる。これは、粘弾性体層が気泡を含んでいると、粘弾性体層の柔軟性や応力緩和性が向上するためであり、また、粘弾性体層が微粒子を含んでいると粘弾性体層の接着力が向上し、粘着シートを被着体に貼付する際や粘着シートを被着体から剥離する際に、粘弾性体層と熱発泡性微粒子含有粘着剤層との間での剥離に起因する粘着シートの破損をより有効に防止できるためである。本発明の粘着シートは、様々な素材の被着体に対して、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を維持しつつ、剥離の際には加熱により良好な剥離解体性を発揮する。本発明の粘着シートは、特に、金属系被着体に対しても、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を維持しつつ、剥離の際には加熱により良好な剥離解体性を発揮する。本発明の粘着シートを被着体から剥がす際の加熱処理は、特に限定されず適宜な加熱手段を利用して行うことができる。例えば、ホットプレート、熱風乾燥機、赤外線ランプ、近赤外線ランプ、エアードライヤー、加熱水などを用いた加熱処理が挙げられる。該加熱処理の温度は、熱発泡性微粒子の発泡開始温度以上である限り特に限定されないが、被着体の表面状態、熱発泡性微粒子の種類等、被着体の耐熱性、加熱方法熱容量、加熱手段に応じて、適宜設定される。より具体的な加熱処理は、例えば、温度:100~250°Cで、5~90秒間、ホットプレートにより加熱すること、温度:100~250°Cで、5~15分間、熱風乾燥機により加熱することなどが挙げられる。本発明の粘着シートが用いられる被着体としては、特に限定されないが、例えば、プラスチック系被着体、金属系被着体、繊維系被着体、紙系被着体、無機材料系被着体、複合材料系被着体プラスチック樹脂、金属、繊維、紙、無機材料などの様々な素材のうち少なくとも2つの素材から構成される被着体などが挙げられる。中でも、被着体は、プラスチック系被着体、金属系被着体、プラスチック樹脂及び金属から構成される複合材料系被着体が好ましく挙げられる。上記プラスチック系被着体を構成する樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリスチレン、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ABS、アクリル樹脂、及び、これらの混合樹脂などが挙げられる。また、上記金属系被着体を構成する金属としては、特に限定されないが、例えば、鉄、アルミニウム、銅、ニッケル、クロム、マンガン、マグネシウム、亜鉛、スズ、チタン、及び、これらの合金例えば、ステンレスなどなどが挙げられる。本発明の粘着シートが用いられる被着体の表面形状としては、特に限定されないが、例えば、平滑状、曲面状、平面と曲面が組み合わされた形状などが挙げられる。また、被着体の表面に凹凸や段差があってもよい。本発明の粘着シートは、接着信頼性に優れるので、部材同士の接合用途や筐体と部材の接合用途などの接合用途に好適に用いられる。部材や筐体が、曲面、凹凸や段差等を有する場合に特に有効である。また、本発明の粘着シートは、剥離解体性に優れるので、リワークやリサイクルが要求される用途に好適に用いられる。つまり、本発明の粘着シートは、接合時には高い初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を維持しつつ、使用後、リサイクルやリワーク等を目的として被着体と粘着シートとの構造物を解体する際、加熱することにより粘着シートの接着力を低下させ、容易に粘着シートと被着体を分離でき、被着体と粘着シートとの構造物を解体できる。本発明の粘着シートは、自動車、機械部品、電化製品、建材等の各種分野の接合用途例えば、部品と部品とを接合する用途、部品を筐体に固定する用途などに好適に用いられる。なお、本発明の粘着シートは、部材を半永久的に固定する用途にも用いられる。以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの調製2-エチルヘキシルアクリレート:70重量部、N-ビニルピロリドン:20重量部、イソボルニルアクリレート:10重量部よりなるモノマー混合物100重量部、光重合開始剤としての1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン商品名イルガキュア184、BASFジャパン株式会社製:0.05重量部、及び、光重合開始剤としての2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン商品名イルガキュア651、BASFジャパン株式会社製:0.05重量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で粘度BH粘度計No.5ローター、10rpm、温度30°Cが約1.5Pasになるまで紫外線を照射して、光重合させることにより、部分重合モノマーシロップモノマー混合物の部分重合物を得た。なお、この部分重合モノマーシロップの重合率は、8.5重量であった。この部分重合モノマーシロップ:100重量部に、熱発泡性微粒子発泡剤、商品名EXPANCEL051DU40、エクスパンセル社:30重量部、及び、多官能メタアクリレートとしての1,6-ヘキサンジオールジアクリレートHDDA:0.04重量部を添加し、これらを均一に混合して、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aを得た。熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物B~Gの調製熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの調製と同様の方法で熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物B~Gを調製した。表3で示した量のモノマー成分よりなるモノマー混合物100重量部、表3で示した量の光重合開始剤としての1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン商品名イルガキュア184、BASFジャパン株式会社製、及び、表3で示した量の光重合開始剤としての2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン商品名イルガキュア651、BASFジャパン株式会社製を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で粘度BH粘度計No.5ローター、10rpm、温度30°Cが約1.5Pasになるまで紫外線を照射して、光重合させることにより、各熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物で用いた部分重合モノマーシロップモノマー混合物の部分重合物を得た。なお、各熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物で用いた部分重合モノマーシロップの重合率は表3に示した。この部分重合モノマーシロップ:100重量部に、表3で示した量の熱発泡性微粒子発泡剤、商品名EXPANCEL051DU40、エクスパンセル社、及び、表3で示した量の多官能メタアクリレートとしての1,6-ヘキサンジオールジアクリレートHDDAを添加し、これらを均一に混合して、それぞれの熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を得た。熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物H~Mの調製熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの調製と同様の方法で熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物H~Mを調製した。表4で示した量のモノマー成分よりなるモノマー混合物100重量部、表4で示した量の光重合開始剤としての1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン商品名イルガキュア184、BASFジャパン株式会社製、及び、表4で示した量の光重合開始剤としての2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン商品名イルガキュア651、BASFジャパン株式会社製を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で粘度BH粘度計No.5ローター、10rpm、温度30°Cが約1.5Pasになるまで紫外線を照射して、光重合させることにより、各熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物で用いた部分重合モノマーシロップモノマー混合物の部分重合物を得た。なお、各熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物で用いた部分重合モノマーシロップの重合率は表4に示した。この部分重合モノマーシロップ:100重量部に、表4で示した量の熱発泡性微粒子発泡剤、商品名EXPANCEL051DU40、エクスパンセル社、及び、表4で示した量の多官能メタアクリレートとしての1,6-ヘキサンジオールジアクリレートHDDAを添加し、これらを均一に混合して、それぞれの熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を得た。熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物N~Rの調製熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの調製と同様の方法で熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物N~Rを調製した。表5で示した量のモノマー成分よりなるモノマー混合物100重量部、表5で示した量の光重合開始剤としての1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン商品名イルガキュア184、BASFジャパン株式会社製、及び、表5で示した量の光重合開始剤としての2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン商品名イルガキュア651、BASFジャパン株式会社製を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で粘度BH粘度系No.5ローター、10rpm、温度30°Cが約15Pa.sになるまで紫外線を照射して、光重合させることにより、各熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物で用いた部分重合モノマーシロップモノマー混合物の部分重合物を得た。なお、各熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物で用いた部分重合モノマーシロップの重合率は表5に示した。この部分重合モノマーシロップ:100重量部に、表5で示した量の熱発泡性微粒子発泡剤、商品名EXPANCEL051DU40、エクスパンセル社、及び、表5で示した量の多官能メタアクリレートとしての1,6-ヘキサンジオールジアクリレートHDDAを添加し、これらを均一に混合して、それぞれの熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を得た。熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Sの調製多官能メタアクリレートとしての1,6-ヘキサンジオールジアクリレートの量を0.035重量部としたこと以外は、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Dと同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Sを得た。剥離フィルムの使用例1剥離フィルムとして、一方の面がシリコーン系剥離処理剤で剥離処理されたポリエステルフィルム商品名MRN-38、三菱樹脂株式会社製を使用した。なお、この剥離フィルムを剥離フィルムAとした。剥離フィルムの使用例2剥離フィルムとして、一方の面がシリコーン系剥離処理剤で剥離処理されたポリエステルフィルム商品名MRF-38、三菱樹脂株式会社製を使用した。なお、この剥離フィルムを剥離フィルムBとした。粘弾性体層の作製例12-エチルヘキシルアクリレート:90重量部、アクリル酸:10重量部、光重合開始剤としての1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン商品名イルガキュア184、BASFジャパン株式会社製:0.05重量部、光重合開始剤としての2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン商品名イルガキュア651、BASFジャパン株式会社製:0.05重量部を、4つ口フラスコに投入し、粘度BH粘度系No.5ローター、10rpm、温度30°Cが約1.5Pasになるまで窒素雰囲気下で紫外線に暴露して光重合させることにより、重合率7の部分重合モノマーシロップモノマー混合物の部分重合物を得た。次に、該部分重合モノマーシロップ100重量部に、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート:0.1重量部添加した。さらに微粒子中空ガラスビーズ、商品名フジバルーンH-40、平均粒子径:40μm、富士シリシア株式会社製をシロップの全体積に対して30容量の割合で添加した。次に、フッ素系界面活性剤商品名サーフロンS-393、AGCセイミケミカル株式会社製:1重量部を添加し、プロペラミキサーで用いて均一に混合して、微粒子を含有する重合性組成物微粒子含有重合性組成物を得た。該微粒子含有重合性組成物をビーカーに入れて、ビーカーの底から窒素ガスをバブリングさせた。そして、発生した気泡をホモミキサーにより、微粒子含有重合性組成物中に均一に混合させて、気泡及び微粒子を含有する重合性組成物気泡混合微粒子含有重合性組成物を得た。なお、気泡は、気泡及び微粒子を含有する重合性組成物の全体積100容積に対して約15容量となるよう導入した。該気泡混合微粒子含有重合性組成物を、剥離フィルムBの剥離処理された面上に厚みが800μmとなるように塗布して塗布層を形成し、該塗布層上に剥離フィルムAの剥離処理された面を被せて、2枚の剥離フィルム間に気泡混合微粒子含有重合性組成物層を有するシート気泡混合微粒子含有重合性組成物層シートを得た。該気泡混合微粒子含有重合性組成物層を有するシートに、照度:4mW/cm2、光量:1200mJ/cm2の条件にて紫外線照射を行い、気泡混合微粒子含有重合性組成物層を光硬化させ、2枚の剥離フィルム間に気泡混合微粒子含有粘弾性体層を有するシート粘弾性体層シートA、剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。なお、粘弾性体層シートAの気泡混合微粒子含有粘弾性体層の溶剤不溶分は、85重量であった。粘弾性体層の作製例2上記粘弾性体層の作製例1と同様にして、重合率7の部分重合モノマーシロップモノマー混合物の部分重合物を得た。次に、この部分重合モノマーシロップを、剥離フィルムBの剥離処理された面上に厚みが800μmとなるように塗布して重合性組成物層を形成し、該重合性組成物層上に剥離フィルムAの剥離処理された面を被せて、2枚の剥離フィルム間に重合性組成物層を有するシートを得た。該重合性組成物層を有するシートに、照度:4mW/cm2、光量:1200mJ/cm2の条件にて紫外線照射を行い、重合性組成物層を光硬化させ、2枚の剥離フィルム間に粘弾性体層を有するシート粘弾性体層シートB、剥離フィルムA/粘弾性体層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。なお、粘弾性体層シートBは、微粒子、フッ素系界面活性剤及び気泡を含まないこと以外は、粘弾性体層シートAと同じである。実施例1熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aを、剥離フィルムBの剥離処理された面上に厚みが100μmとなるように塗布して熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物を形成し、該熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層上に剥離フィルムAの剥離処理された面を被せて、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層シートを得た。該熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層シートに、照度:4mW/cm2、光量:1200mJ/cm2の条件にて紫外線照射を行い、熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物層を光硬化させ、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートA、剥離フィルムA/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、74重量であった。次に、剥離フィルムAを剥がして熱発泡性微粒子含有粘着剤層を露出させた上記熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートAと、剥離フィルムBを剥がして気泡混合微粒子含有粘弾性体層を露出させた上記粘弾性体層シートAとを、気泡混合微粒子含有粘弾性体層と熱発泡性微粒子含有粘着剤層とが接する形態で貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例2熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Bを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートBを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、65重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートBと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例3熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Cを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートCを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、66重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートCと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例4熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Dを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートDを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、77重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートDと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例5熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Hを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートEを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、76重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートEと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例6熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Iを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートFを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、79重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートFと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例7熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Jを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートGを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、75重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートGと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例8熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Kを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートHを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、77重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートHと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例9熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Lを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートIを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、81重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートIと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例10熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Mを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートJを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、84重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートJと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例11熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Nを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートKを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、76重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートKと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例12熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Oを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートLを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、78重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートLと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例13熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Pを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートMを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、93重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートMと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例14熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Qを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートOを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、95重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートOと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。実施例15熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Rを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートPを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、93重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートPと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。比較例1熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Eを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートQを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、86重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートQと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。比較例2熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Fを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートRを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、63重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートRと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。比較例3熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Gを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートSを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、80重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートSと上記粘弾性体層シートAとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。比較例4上記粘弾性体層の作製例1で得た、2枚の剥離フィルム間に気泡混合微粒子含有粘弾性体層を有するシート粘弾性体層シートA、剥離フィルムA/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを用いた。比較例5上記実施例4で得た、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートD、剥離フィルムA/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを用いた。比較例6熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Aの代わりに熱発泡性微粒子含有粘着剤組成物Sを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、2枚の剥離フィルム間に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有するシート熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートTを作製した。なお、熱発泡性微粒子含有粘着剤層の溶剤不溶分は、75.6重量であった。次に、実施例1と同様にして、熱発泡性微粒子含有粘着剤層シートTと上記粘弾性体層シートBとを貼り合わせて、気泡混合微粒子含有粘弾性体層の片面側に熱発泡性微粒子含有粘着剤層を有する粘着シート剥離フィルムA/粘弾性体層/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/剥離フィルムBの積層構成を有するシートを得た。評価実施例及び比較例について、下記の評価を行った。その結果を表6に示した。測定用サンプルの作製実施例及び比較例で作製した粘着シートの剥離フィルムAを剥がして露出した面にポリエチレンテレフタレートフィルムPETフィルム、厚み:50μm、表面が剥離処理されていないタイプ、商品名ルミラーS-10♯50、東レ株式会社製を貼り合わせた。その後、幅が25mmになるように切断し、測定用サンプルとしてのPETフィルムを支持体とする粘着シートを得た。なお、この測定用サンプルは、幅:25mm、長さ:70mmの短冊形状である。実施例及び比較例1~3、6の測定用サンプルは、剥離フィルムB/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/PETフィルムの層構成を有する。比較例4の測定用サンプルは、剥離フィルムB/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/PETフィルムの層構成を有する。比較例5の測定用サンプルは、剥離フィルムB/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/PETフィルムの層構成を有する。初期接着力の評価ステンレス304BA鋼板SUS304BA板を、イソプロピルアルコールを染み込ませたクリーンウェスにて、10往復の擦り洗浄を行い、清浄なステンレス304BA鋼板を得た。該清浄なステンレス304BA鋼板に、剥離フィルムBを剥がして粘着面を露出させた上記測定用サンプルを、23°Cの雰囲気下、2kgローラー、1往復の条件で圧着して、ステンレス304BA鋼板に測定用サンプルを貼付した。そして、23°Cで30分間エージングした。エージング後、23°Cの雰囲気下で、引張試験機装置名引張圧縮万能試験機TG-1kN、ミネベア社製を用いて、引張速度:50mm/minで、90°の剥離方向に測定用サンプルをステンレス304BA鋼板から引き剥がすことにより、90°引き剥がし接着強さを測定した。そして、該90°引き剥がし接着強さを初期接着力とした。初期接着力が20[N/25mm]以上の場合を良好○と評価し、20[N/25mm]未満の場合を不良×と評価した。加熱解体性の評価1ステンレス304BA鋼板SUS304BA板を、イソプロピルアルコールを染み込ませたクリーンウェスにて、10往復の擦り洗浄を行い、清浄なステンレス304BA鋼板を得た。該清浄なステンレス304BA鋼板に、剥離フィルムBを剥がして粘着面を露出させた上記測定用サンプルを、23°Cの雰囲気下、2kgローラー、1往復の条件で圧着して、ステンレス304BA鋼板に測定用サンプルを貼付した。そして、23°Cで30分間エージングを行い、加熱解体性評価用サンプルを得た。次に、測定用サンプルがステンレス304BA鋼板に貼着した状態を維持しつつ、加熱解体性評価用サンプルを熱風乾燥機に投入し、130°Cで10分間加熱処理した。加熱処理終了後の加熱解体性評価用サンプルの状態を確認し、下記基準により、加熱解体性を評価した。良好○:測定用サンプルがステンレス304BA鋼板から剥離している場合、又は、測定用サンプルをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できる場合不良×:測定用サンプルをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できない場合なお、加熱解体性の評価1の結果は、表6の加熱解体性の23°C×30分間の欄に示した。加熱解体性の評価2ステンレス304BA鋼板SUS304BA板を、イソプロピルアルコールを染み込ませたクリーンウェスにて、10往復の擦り洗浄を行い、清浄なステンレス304BA鋼板を得た。該清浄なステンレス304BA鋼板に、剥離フィルムBを剥がして粘着面を露出させた上記測定用サンプルを、23°Cの雰囲気下、2kgローラー、1往復の条件で圧着して、ステンレス304BA鋼板に測定用サンプルを貼付した。そして、85°Cで1週間エージングし、エージング終了後23°Cで24時間放置して、加熱解体性評価用サンプルを得た。次に、測定用サンプルがステンレス304BA鋼板に貼着した状態を維持しつつ、加熱解体性評価用サンプルを熱風乾燥機に投入し、130°Cで10分間加熱処理した。加熱処理終了後の加熱解体性評価用サンプルの状態を確認し、下記基準により、加熱解体性を評価した。良好○:測定用サンプルがステンレス304BA鋼板から剥離している場合、又は、測定用サンプルをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できる場合不良×:測定用サンプルをステンレス304BA鋼板から容易に剥離できない場合なお、加熱解体性の評価2の結果は、表6の加熱解体性の85°C×1週間の欄に示した。耐反撥性の評価実施例及び比較例で作製した粘着シートを、幅:10mm×長さ:90mmのサイズに切断した。剥離フィルムAを剥がして一方の面を露出させた切断後の粘着シートを、同サイズのアルミニウム板幅:10mm×長さ:90mmのサイズのアルミニウム板、厚み:0.4mmに貼り合わせて、耐反撥性試験用サンプルを得た。なお、実施例及び比較例1~3、6の耐反撥性試験用サンプルは、剥離フィルムB/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/アルミニウム板の層構成を有する。比較例4の耐反撥性試験用サンプルは、剥離フィルムB/気泡混合微粒子含有粘弾性体層/アルミニウム板の層構成を有する。比較例5の耐反撥性試験用サンプルは、剥離フィルムB/熱発泡性微粒子含有粘着剤層/アルミニウム板の層構成を有する。次に、耐反撥性試験用サンプルを、剥離フィルムBによる面側実施例及び比較例1~3、6については熱発泡性微粒子含有粘着剤層側を外側として、R50の曲率、すなわち、半径:20mmの円の円周に沿うように湾曲させた。湾曲後、耐反撥性試験用サンプルから剥離フィルムBを剥がして粘着面を露出させ、該粘着面が露出した耐反撥性試験用サンプルを、アクリル板透明、商品名アクリライト、三菱レイヨン株式会社製に、ラミネーターを用いて浮きのないように圧着して、貼り合わせた。アクリル板に貼り合わせた耐反撥性試験用サンプルを室温23°Cで7時間放置して、耐反撥性試験用サンプルの両端長さ方向の両端におけるアクリル板からの浮き距離浮き上がった距離を測定し、その平均値を求めた。そして、該平均値を浮き距離とした。浮き距離が1mm未満の場合をとても良好◎と評価し、浮き距離が1~3mmmm未満の場合を良好○と評価し、浮き距離が3mm以上の場合を不良×と評価した。なお、比較例3については、耐反撥性の評価の際に、層間破壊熱発泡性微粒子含有粘着剤層と気泡混合微粒子含有粘弾性体層との間での剥離が生じ、評価することができなかった。なお、表6において、-は測定を行っていないことを示す。実施例は、被着体に対して良好な初期接着力と接着信頼性特に耐反撥性を示すとともに、加熱することで容易に剥離解体することが可能であった。このため、リワークやリサイクル用途に用いることができる。比較例1は、良好な初期接着力を示したものの、加熱によって剥離することができなかった。比較例2は、接着信頼性が悪く、容易に剥離することが可能であったが、初期接着力の点で劣っていた。比較例3は、初期接着力が劣り、耐反撥性が不良であることから、全体として接着信頼性が劣っていた。比較例4は、加熱解体性が劣っていた。比較例5は、初期接着力が劣っていた。比較例6は、初期接着力及び加熱解体性が劣っていた。"