印加磁場に比例する起電力を出力する磁気ホールセンサーであって、センサーホール素子と、当該センサーホール素子を駆動する駆動部と、前記センサーホール素子の前記起電力の出力特性を表すパラメータのうちの第1のパラメータの変動から、前記センサーホール素子にかかる機械的応力を検知する応力検知部と、当該応力検知部で検知された機械的応力に基づいて、前記パラメータのうちの第2のパラメータを補正する補正部と、を備え、当該補正部は、前記機械的応力による前記第1のパラメータの変動に伴う前記起電力の変動を、前記第2のパラメータを補正することに伴う前記起電力の変動によって相殺するように前記第2のパラメータを補正することを特徴とする磁気ホールセンサー。前記補正部は、前記駆動部から前記センサーホール素子に供給される駆動信号を調整することによって前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項1記載の磁気ホールセンサー。前記センサーホール素子から出力される起電力を増幅する増幅部を有し、前記補正部は、前記増幅部における増幅率を調整することによって前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項1記載の磁気ホールセンサー。前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータは前記センサーホール素子の抵抗値であり、前記第2のパラメータは前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴とする請求項2記載の磁気ホールセンサー。前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記駆動電流を前記センサーホール素子に供給することにより当該センサーホール素子にかかる電圧を、前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記可変電流源の電流値を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項4記載の磁気ホールセンサー。前記駆動部は駆動電圧により前記センサーホール素子を駆動する電圧駆動回路を有し、前記第1のパラメータは前記センサーホール素子の抵抗値であり、前記第2のパラメータは前記センサーホール素子の定電圧感度であることを特徴とする請求項2記載の磁気ホールセンサー。前記駆動部は前記電圧駆動回路と前記機械的応力検知用の駆動電流を前記センサーホール素子に供給する電流駆動回路とを備え、かつ前記電圧駆動回路は前記駆動電圧を生成する可変電圧源を有し、前記応力検知部は、前記機械的応力検知用の駆動電流を前記センサーホール素子に供給することにより当該センサーホール素子にかかる電圧を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記可変電圧源の電圧値を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項6記載の磁気ホールセンサー。前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータおよび前記第2のパラメータは、前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴とする請求項2記載の磁気ホールセンサー。前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記センサーホール素子の起電力を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記可変電流源の電流値を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項8記載の磁気ホールセンサー。前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータは前記センサーホール素子の抵抗値であり、前記第2のパラメータは前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴とする請求項3記載の磁気ホールセンサー。前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記駆動電流を前記センサーホール素子に供給することにより当該センサーホール素子にかかる電圧を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記増幅部における増幅率を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項10記載の磁気ホールセンサー。前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータおよび第2のパラメータは、前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴とする請求項3記載の磁気ホールセンサー。前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記センサーホール素子の起電力を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記増幅部における増幅率を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項12記載の磁気ホールセンサー。前記応力検知部は、前記センサーホール素子の起電力または前記増幅部による増幅後の前記起電力を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記増幅部における増幅率を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴とする請求項13記載の磁気ホールセンサー。しかしながら、特許文献1の磁気ホールセンサーでは、N型拡散抵抗、P型拡散抵抗、およびホール素子の3つの素子を用いて、応力検知および応力補正を行っている。このように違う素子を用いると、素子間にばらつきが生じ、的確に応力補正を行うことができない可能性がある。また、これら素子は、応力の検出に用いるため、互いを近くにレイアウトしなければならないという制約も受ける。また、応力検出に用いる3つの互いの素子を近くにレイアウトしたとしても、これら3つの素子は近似的に等しいと見なすことはできるが、必ずしも同じ応力、同じ環境下にあるとは言えず、レイアウト位置による誤差が生じてしまう。そこで、本発明は、上記した問題点に着目してなされたものであり、機械的応力の影響をより的確に低減することの可能な磁気ホールセンサーを提供することを目的としている。本発明の請求項1にかかる磁気ホールセンサーは、印加磁場に比例する起電力を出力する磁気ホールセンサーであって、センサーホール素子と、当該センサーホール素子を駆動する駆動部と、前記センサーホール素子の前記起電力の出力特性を表すパラメータのうちの第1のパラメータの変動から、前記センサーホール素子にかかる機械的応力を検知する応力検知部と、当該応力検知部で検知された機械的応力に基づいて、前記パラメータのうちの第2のパラメータを補正する補正部と、を備え、当該補正部は、前記機械的応力による前記第1のパラメータの変動に伴う前記起電力の変動を、前記第2のパラメータを補正することに伴う前記起電力の変動によって相殺するように前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項2にかかる磁気ホールセンサーは、請求項1記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記補正部は、前記駆動部から前記センサーホール素子に供給される駆動信号を調整することによって前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項3にかかる磁気ホールセンサーは、請求項1記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記センサーホール素子から出力される起電力を増幅する増幅部を有し、前記補正部は、前記増幅部における増幅率を調整することによって前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項4にかかる磁気ホールセンサーは、請求項2記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータは前記センサーホール素子の抵抗値であり、前記第2のパラメータは前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴としている。請求項5にかかる磁気ホールセンサーは、請求項4記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記駆動電流を前記センサーホール素子に供給することにより当該センサーホール素子にかかる電圧を、前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記可変電流源の電流値を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項6にかかる磁気ホールセンサーは、請求項2記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記駆動部は駆動電圧により前記センサーホール素子を駆動する電圧駆動回路を有し、前記第1のパラメータは前記センサーホール素子の抵抗値であり、前記第2のパラメータは前記センサーホール素子の定電圧感度であることを特徴としている。請求項7にかかる磁気ホールセンサーは、請求項6記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記駆動部は前記電圧駆動回路と前記機械的応力検知用の駆動電流を前記センサーホール素子に供給する電流駆動回路とを備え、かつ前記電圧駆動回路は前記駆動電圧を生成する可変電圧源を有し、前記応力検知部は、前記機械的応力検知用の駆動電流を前記センサーホール素子に供給することにより当該センサーホール素子にかかる電圧を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記可変電圧源の電圧値を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項8にかかる磁気ホールセンサーは、請求項2記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータおよび前記第2のパラメータは、前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴としている。請求項9にかかる磁気ホールセンサーは、請求項8記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記センサーホール素子の起電力を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記可変電流源の電流値を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項10にかかる磁気ホールセンサーは、請求項3記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータは前記センサーホール素子の抵抗値であり、前記第2のパラメータは前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴としている。請求項11にかかる磁気ホールセンサーは、請求項10記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記駆動電流を前記センサーホール素子に供給することにより当該センサーホール素子にかかる電圧を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記増幅部における増幅率を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項12にかかる磁気ホールセンサーは、請求項3記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記駆動部は駆動電流により前記センサーホール素子を駆動する電流駆動回路を有し、前記第1のパラメータおよび第2のパラメータは、前記センサーホール素子の定電流感度であることを特徴としている。請求項13にかかる磁気ホールセンサーは、請求項12記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記電流駆動回路は前記駆動電流を生成する可変電流源を有し、前記応力検知部は、前記センサーホール素子の起電力を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記増幅部における増幅率を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。請求項14にかかる磁気ホールセンサーは、請求項13記載の磁気ホールセンサーにおいて、前記応力検知部は、前記センサーホール素子の起電力または前記増幅部による増幅後の前記起電力を前記第1のパラメータ相当の値として応力検知を行い、前記補正部は、前記応力検知部での検知結果に基づき前記増幅部における増幅率を調整することにより、前記第2のパラメータを補正することを特徴としている。本発明によれば、機械的応力の検知と機械的応力による起電力の変動の抑制とを1つのセンサーホール素子によって実現することができる。したがって、センサーホール素子の配置位置に制約などをうけることなく、機械的応力の影響をうけない起電力を精度よく獲得することができる。また、複数のセンサー素子を必要とすることなく1つのセンサーホール素子によって実現することができるため、磁気ホールセンサーの省面積化を図ることができる。特に、センサーホール素子への駆動信号または、センサーホール素子の起電力を増幅する増幅部の増幅率を補正することにより実現することができ、機械的応力の影響を抑制するための大幅な回路変更を伴うことなく実現することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。<基本構成>まず、本発明における磁気ホールセンサー10の基本構成を説明する。図1は、本発明における磁気ホールセンサー10の構成の一例を示すブロック図である。この磁気ホールセンサー10はICで構成され、磁気ホールセンサー10は、センサーホール素子11と、駆動部12と、メインパス13と、応力検知部14と、補正部15と、を備える。センサーホール素子11は、駆動部12から出力される駆動信号SDRIVEとセンサーホール素子11に印加される印加磁場とに応じた起電力VHを出力する。駆動部12は、センサーホール素子11に駆動信号SDRIVEを供給する。メインパス13は、センサーホール素子11からの起電力VHを処理してIC出力として出力する回路であって、例えば、起電力VHを増幅するプリアンプ回路、プリアンプ回路の出力からピークツーピーク値を検出するピークツーピーク回路、ピークツーピーク回路の出力信号をサンプル/ホールドするサンプル/ホールド回路、サンプル/ホールド回路の出力を増幅する出力回路バッファなどを含んで構成される。応力検知部14は、機械的応力がかかることにより変化するセンサーホール素子11の応力特性の変動に基づき、センサーホール素子11にかかる機械的応力を検出するとともに、IC出力が機械的応力の影響を受けない値となるように駆動信号SDRIVE或いはメインパス13の増幅率を調整するための調整信号SADJを生成する。補正部15は、応力検知部14で生成した調整信号SADJに応じて所定部の補正を行う。なお、図1において、センサーホール素子11から応力検知部14に向かう矢印およびメインパス13から応力検知部14に向かう矢印は、応力検知部14では、センサーホール素子11の特性を表す信号またはメインパス13の特性を表す信号に基づき、応力検知を行うことを意味している。また、補正部15から駆動部12に向かう矢印および駆動部15からメインパス13に向かう矢印は、補正部15では、調整信号SADJに応じて駆動部12またはメインパス13の特性を補正することを意味している。<概念>次に、応力検知部14および補正部15による応力検知および補正動作を、図2の概念図を伴って説明する。ここで、センサーホール素子11に機械的応力がかかることに伴って変動する、センサーホール素子11の応力特性を、パラメータParam1およびパラメータParam2とする。応力検知部14は、センサーホール素子11の機械的応力によるパラメータParam1の変動を検知することにより応力検知を行う。また、検知した応力に応じて、センサーホール素子11のパラメータParam2の応力変動をParam2に関わる駆動量やメインパスの増幅率Gを調整することにより、磁気ホールセンサー10のIC出力VOUTの機械的応力による変動を抑制する。なお、図2において、応力検知から駆動部12およびメインパス13に向かう矢印は、応力検知の結果得られた調整信号SADJに応じて、駆動部12またはメインパス13において、Param2に関わる駆動量やメインパスの増幅率Gを調整することを意味している。具体的には、応力検知部14は、磁気ホールセンサー10内の、機械的応力によるパラメータParam1の変動に伴って変化する信号を応力検知信号SOUTPUT1として応力検知を行う。また、検知した応力に応じて、磁気ホールセンサー10内の、Param2を変更し得る信号または磁気ホールセンサー10の構成機器の特性を調整するための調整信号SADJを生成する。補正部15では、調整信号SADJに応じてパラメータParam2を変更し得る信号または前記構成機器の特性を変更する。実際には、駆動部12が出力する駆動信号SDRIVEを補正することにより、機械的応力の影響を受けないセンサーホール素子11の起電力を、補正後出力SOUTPUT2として得る。またはメインパス13の増幅率Gを調整することにより応力の影響を受けないIC出力VOUTを、補正後出力SOUTPUT2として得る。なお、応力検知は、磁気ホールセンサー10を用いて磁場の検出を行う前の時点で予め行い、検知信号をそのまま、または機械的応力相当の調整信号SADJを生成し記憶しておく。そして、磁場の検出を実際に行う際には、予め検知し記憶しておいた検知信号または機械的応力相当の調整信号SADJを用いて、機械的応力の影響をうけないIC出力VOUTを得るための補正を行う。なお、応力検知での検知結果に基づき、機械的応力の影響をうけないIC出力VOUTを得るための調整を行うため、例えばウェハー状態でのほぼ無応力の環境下など、前記調整に影響を与えない程度の磁気環境の下で行うことが好ましい。このように、図1、図2の磁気ホールセンサー10によれば、1つのセンサーホール素子11のみを用い、パラメータParam1に基づき応力検知を行い、パラメータParam2に対してIC出力VOUTの応力変動を補完するようにフィードバックをかけることで、1つのセンサーホール素子11によって、応力補正を行うことができる。その結果、磁気ホールセンサー10の配置位置などに制約をうけることはなくまた複数のセンサー素子を設ける必要がないため、複数のセンサー素子の配置位置の環境の違いによる、補正精度の低下を抑制することができ、その結果、より精度よくIC出力の変動を抑制することができるとともに、磁気ホールセンサー10の小型化を図ることができる。<第1の実施形態>次に、図1および図2に示す磁気ホールセンサー10のより具体的な構成を、図面を伴って説明する。まず、第1の実施形態における磁気ホールセンサー20の具体的構成の一例を説明する。図3は、第1の実施形態における磁気ホールセンサー20の一例を示す概念図である。この第1の実施形態では、機械的応力に応じて変動するセンサーホール素子11のホール抵抗値RESをパラメータParam1、センサーホール素子11の定電流感度SIをパラメータParam2としている。センサーホール素子11に機械的応力が印加された場合、ホール抵抗値RESの変動を応力検知信号SOUTPUT1として応力検知を行い、応力検知信号SOUTPUT1に応じて調整信号SADJを生成し、センサーホール素子11を定電流駆動する電流駆動部12aの駆動電流IDRIVEを調整する。調整された駆動電流IDRIVEにより、センサーホール素子11の定電流感度SIすなわちパラメータParam2を補正する。これにより、補正後出力SOUTPUT2として、機械的応力の影響をうけないセンサーホール素子11の出力である起電力を得ることができ、すなわち、機械的応力の影響を受けないIC出力VOUTを得ることができる。図3をさらに具体化させた回路が図4である。図4に示すように、第1の実施形態における磁気ホールセンサー20は、二つの駆動電流を有している。すなわち、一端が電源に接続され他端がスイッチSW21に接続された定電流源22と、一端が電源に接続され他端がスイッチSW23に接続された電流調整可能な可変電流源24とを備えるとともに、アナログデジタル変換器ADC25と、デジタル演算部DSP;DigitalSignalProcessor26と、を備える。図4において、スイッチSW21、定電流源22、スイッチSW23および可変電流源24が、図1の駆動部12および図3の電流駆動部12aに対応し、アナログデジタル変換器25およびデジタル演算部26が図2の応力検知部14および補正部15に対応している。センサーホール素子11の出力端子VP、VN間の電圧VH1は、センサーホール素子11の起電力を表し、この起電力VH1が図1に示すメインパス13に入力される。そして、図4において、スイッチSW21およびSW23のいずれかを導通状態とすることによって、定電流源22と可変電流源24とのいずれかをセンサーホール素子11に接続し、センサーホール素子11に駆動電流を供給するようになっている。図4では、定電流源22により生成される駆動電流IB11を、応力検知用の駆動電流として用い、可変電流源24により生成される駆動電流IB12を、印加される磁場により起電力を得るための起電力発生用の駆動電流として用いている。また、スイッチSW21を導通状態として応力検知用の駆動電流IB11をセンサーホール素子11に供給したときの、スイッチSW21とセンサーホール素子11との間の電圧が、センサーホール素子11にかかる電圧V1としてアナログデジタル変換器ADC25に入力される。デジタル演算部26は、アナログデジタル変換器25を介して、センサーホール素子11にかかる電圧V1を応力検知信号として入力し、この応力検知信号V1に基づき可変電流源24の電流値、すなわち起電力発生用の駆動電流IB12を調整する。ここで、センサーホール素子11を定電流駆動した場合の起電力VHVH1は、次式3のように表される。なお、3式中のBは印加磁場、IBは駆動電流、SIは定電流感度、SI0はセンサーホール素子11に機械的応力がかかっていない無応力状態での定電流感度、Pはピエゾホール係数、σは応力テンソルである。VH=BIBSISI=SI01Pσ......33式からわかるように、応力によりピエゾホール係数Pと応力テンソルσとの積が変動すると定電流感度SIが変動する。定電流感度SIが変動すると、起電力VHが変動する。このため、起電力VHに、応力による変動が生じないように、図4に示す磁気ホールセンサー20において、以下の手順で補正を行う。まず、スイッチSW21を導通状態、スイッチSW23を開放状態にし、定電流源22をセンサーホール素子11に接続して、応力検知用の駆動電流IB11をセンサーホール素子11に供給する。この状態でセンサーホール素子11に機械的応力が印加されると、センサーホール素子11の抵抗値が機械的応力により変化する。そのため、応力検知信号V1は変化し、次式4に示すように表すことができる。V1=IB11RHALL11πσ......4なお4式中のRHALL1は無応力状態でのホール抵抗値RES、πはピエゾ抵抗係数、であり、σは応力テンソルである。センサーホール素子11に対し、機械的応力として例えば圧縮応力が印加された場合、応力検知信号V1は増加し、逆に引っ張り応力が印加された場合、応力検知信号V1は減少する。アナログデジタル変換器25は、応力検知信号V1をデジタル信号に変換する。この変換された応力検知信号V1はデジタル演算部26に入力され、デジタル演算部26は、応力検知信号V1に基づき電流調整コードC1を変更する。デジタル演算部26では、この変更後の電流調整コードC1を所定の記憶領域に記憶しておき、起電力発生用の駆動電流IB12をセンサーホール素子11に供給する場合には記憶している電流調整コードC1に基づき、可変電流源24の電流値を調整する。これにより、起電力発生用の駆動電流IB12が調整される。すなわち、起電力発生用の駆動電流IB12は、次式5で表すことができる。IB12=IB1201Gπσ......5なお、5式中のIB12は調整後の起電力発生用の駆動電流、IB120は調整前の起電力発生用の駆動電流の値である。また、Gは、アナログデジタル変換器25、デジタル演算部26および起電力発生用の駆動電流IB12の増幅率の総和である。この増幅率Gは、例えばアナログデジタル変換器25やデジタル演算部26や起電力発生用の駆動電流IB12のいずれかに持たせても良いし、各部で分担して持たせても良い。センサーホール素子11に機械的応力が印加され応力検知信号V1が増加した場合、起電力発生用の駆動電流IB12は増加するようになる。逆に、応力検知信号V1が減少した場合、起電力発生用の駆動電流IB12は減少するようになる。次に、スイッチSW21を開放状態、スイッチSW23を導通状態として、定電流源22をセンサーホール素子11から切り離し、逆に可変電流源24をセンサーホール素子11に接続する。これにより、起電力発生用の駆動電流IB12がセンサーホール素子11に供給される。ここで、前記3式からわかるように、センサーホール素子11に機械的応力が印加されると、センサーホール素子11の定電流感度SIが変動する。そのため、センサーホール素子11から出力される起電力VH1が変動し、すなわちIC出力VOUT1が機械的応力の影響をうけることになるが、電流調整コードC1を、応力検知信号V1に応じて調整しているため、電流調整コードC1により調整された、起電力発生用の駆動電流IB12は、この定電流感度SI1の変動を抑制するように動作する。このため、応力変動の影響が抑制された起電力VH1が得られることになる。この起電力VH1は次式6で表すことができる。VH1=BIB1201GπσSI11Pσ|Gπ|=|P|......6なお、6式中のPはピエゾホール係数であって、ピエゾ抵抗係数πとは逆極性となる。増幅率Gを用い、ピエゾ抵抗係数πと増幅率Gとの積の絶対値が、ピエゾホール係数Pの絶対値と等しくなるようにすることによって、定電流感度SI1の応力変動分と起電力発生用の駆動電流IB12を調整することによる定電流感度SI1の変動分とが打ち消し合い、起電力VH1の応力変動に対する補正を行うことができる。このように、ホール抵抗値RESの変動に伴うセンサーホール素子11にかかる電圧V1の変動を検出することにより応力検知を行い、センサーホール素子11による起電力発生用の駆動電流IB12を調整することで、センサーホール素子11の起電力VH1に対する応力補正を行うことができ、すなわち、磁気ホールセンサー20のIC出力VOUT1に対する応力補正を行うことができる。なお、図4では、応力検知を行うための定電流源22と、応力検知の結果を駆動電流に反映させ応力に依存しない起電力VH1を得るための可変電流源24との2つの駆動電流源を保持しているが、1つの駆動電流源だけで実現することも可能である。図5は、図4のデジタル演算部26の機能構成を示すブロック図である。デジタル演算部26は、図5に示すように、センサーホール素子11に機械的応力が印加されていない状態、すなわち無応力時の応力検知信号V10の値をデジタル信号で表したデジタルコードを格納する記憶部26aと、無応力時の起電力発生用の駆動電流IB120の値をデジタル信号で表したデジタルコードである基本調整コードを格納する記憶部26bと、を備える。応力検知信号V1は、アナログデジタル変換器25に入力され、アナログデジタル変換器25は、応力検知信号V1をアナログデジタル変換して、応力検知信号V1に応じたデジタルコードを出力する。ここで、アナログデジタル変換器25の出力、すなわち、応力検知信号V1に応じたデジタルコードを信号sAとする。また、記憶部26aに格納した無応力時の応力検知信号V1の値を表すデジタルコードを信号sB、記憶部26bに格納した無応力時の起電力発生用の駆動電流IB120の値を表す基本調整コードを信号sCとする。機械的応力が印加された状態では、信号sA応力検知信号V1相当は、信号sB無応力時の応力検知信号V1相当と異なる値となる。これら信号sAと信号sBとの差分sA-sBは、応力変動相当の値を表す。この差分sA-sBに、信号sC基本調整コードを加算し、加算結果C1つまり、sA-sBsCを得る。つまり、基本調整コード信号sCに、応力変動相当sA-sBを加算する。ここで無応力状態の場合、起電力発生用の駆動電流IB12は、次式7のように表すことができる。IB12=IB120......7したがって、加算結果C1と信号sA応力検知信号V1相当と信号sB無応力時の応力検知信号V1相当と信号sC基本調整コードとの間には次式8が成り立つ。C1=sCsA-sB=0......8また、調整後の起電力発生用の駆動電流IB12は前述のように、次式9で表すことができる。したがって、次式10が成り立つ。IB12=IB1201Gπσ......9C1=sCsA-sB......10ここで、9式中のピエゾ抵抗係数πと応力テンソルσとの積が、10式中の差分信号sA-sBに相当する。したがって、基本調整コードを変更することに対する、起電力発生用の駆動電流IB12の変動分が、無応力時の起電力発生用の駆動電流IB120と増幅率Gとの積と一致するように設定することによって、機械的応力相当だけ、起電力発生用の駆動電流IB12を調整することができる。したがって、1つのセンサーホール素子11のみを使用することにより、ホール抵抗値RESの変動を検出することにより応力検知を行うとともに、センサーホール素子11を駆動するための、起電力発生用の駆動電流IB12を調整することによって応力補正を行うことができる。したがって、複数のセンサー素子を用いて応力補正を行う場合に比較してより精度よく、応力補正を行うことができる。<第2の実施形態>次に、第2の実施形態における磁気ホールセンサー30の具体的構成の一例を説明する。図6は、第2の実施形態における磁気ホールセンサー30の一例を示す概念図である。前記第1の実施形態では、定電流感度SIをパラメータParam2としていたのに対し、この第2の実施形態では定電圧感度SVをパラメータParam2としている。つまり、機械的応力に応じて変動するセンサーホール素子11のホール抵抗値RESをパラメータParam1、センサーホール素子11の定電圧感度SVをパラメータParam2としている。すなわち、磁気ホールセンサー30では、センサーホール素子11に機械的応力が印加された場合には、応力検知部14では、ホール抵抗値RESの変動に伴って変化する信号を応力検知信号SOUTPUT1として応力検知を行う。また応力検知信号SOUTPUT1に応じて調整信号SADJを生成し、補正部15では、この調整信号ADJに基づいて電圧駆動部12bの起電力発生用の駆動電圧VDRIVEを調整する。調整された起電力発生用の駆動電圧VDRIVEにより、センサーホール素子11の定電圧感度SVすなわちパラメータParam2を補正する。これにより、補正後出力SOUTPUT2としてのセンサーホール素子11の起電力VH2の応力変動が補正されることになって、応力の影響を受けないIC出力VOUT2を得ることができる。この第2の実施形態においては、定電圧駆動を行うため、電流駆動部12aに加えて電圧駆動部12bを備える。ここで、センサーホール素子11を定電圧駆動した場合に得られる起電力VHは、次式11で表すことができる。VH=BVBSV......11なお、11式中のBは印加磁場、VBは駆動電圧、SVは定電圧感度である。また定電圧感度SVは、ホール抵抗RESと定電圧感度SVとの間には、次式12で表される関係がある。なお、12式中のRHALLはホール抵抗値である。SVRHALL=SI......12ここで、ホール抵抗値RHALLはピエゾ抵抗効果による影響をうけ、また、定電流感度SIはピエゾホール効果による影響をうける。したがって、定電圧感度SVの応力による変動は次式13のように表すことができる。SV=SI01Pσ/RHALL01πσ=SV01Pσ/1πσ......13なお、式13中の、SI0は無応力時の定電流感度、Pはピエゾホール係数、σは応力テンソル、RHALL0は無応力時のホール抵抗値、πはピエゾ抵抗係数である。またSV0は無応力時の定電圧感度であり、無応力時の定電流感度SI0を無応力時のホール抵抗RHALL0で割り算した商で与えられる。13式からわかるように、機械的応力による変動分を表す、ピエゾホール係数Pと応力テンソルσとの積、またはピエゾ抵抗係数πと応力テンソルσとの積が変動すると、定電圧感度SVが変動する。この定電圧感度SVの変動は、第1の実施形態で説明した定電流駆動の場合と同様であり、変動量に差異がある。したがって、機械的応力の印加に伴って、起電力VHに変動が生じないように、補正を行う。図6の磁気ホールセンサー30の、具体的構成の一例を示したものが図7である。図7に示す第2の実施形態における磁気ホールセンサー30は、図4に示す第1の実施形態における磁気ホールセンサー20と同様に、アナログデジタル変換器ADCとデジタル演算部DSPとを用いて構成することも可能であるが、ここでは、アナログ回路で実現した場合について説明する。図7に示すように、磁気ホールセンサー30は、一端が電源に接続され他端がスイッチSW31に接続された定電流源32と、サンプル/ホールド回路33と、反転増幅回路としてのアンプ34と、一端がアンプ34の出力端に接続されたスイッチSW35と、を備え、スイッチSW31およびSW35の他端が、センサーホール素子11に接続される。サンプル/ホールド回路33には、センサーホール素子11にかかる電圧が入力され、サンプル/ホールド回路33の出力は、アンプ34の入力端子の一方に入力される。アンプ34の他方には、アンプ34の出力電圧とリファレンス電圧VREF2との間の電圧を、抵抗R21およびR22で分圧した基準電圧が入力される。図7において、スイッチSW31および定電流源32が図1の駆動部12および図6の電流駆動部12aに対応し、スイッチSW35およびアンプ34が図1の駆動部12および図6の電圧駆動部12bおよび補正部15に対応している。また、サンプル/ホールド回路33およびアンプ34が図1の応力検知部14に対応している。図7において、応力検知用の駆動電流をIB2とする。また、スイッチSW35を開放状態として応力検知用の駆動電流IB2をセンサーホール素子11に供給することによりセンサーホール素子11にかかる電圧を応力検知電圧V2、サンプル/ホールド回路33の出力をV2′、アンプ34において基準電圧を生成するための2つの抵抗の抵抗値をそれぞれR21およびR22、アンプ34の出力をVB2、センサーホール素子11の起電力をVH2、無応力時のセンサーホール素子11のホール抵抗値をRHALL2、定電圧感度をSV2とする。図7の磁気ホールセンサー30において、応力調整を行う場合には、まず、スイッチSW31を導通状態、スイッチSW35を開放状態として、センサーホール素子11に、定電流源32による応力検知用の駆動電流IB2をセンサーホール素子11に供給する。ここで、機械的応力を印加した後の応力検知電圧V2は、機械的応力の影響によりセンサーホール素子11のホール抵抗値RESが変化するため、次式14で表すことができる。V2=IB2RHALL21πσ......14この応力検知電圧V2をサンプル/ホールド回路33でサンプル/ホールドし、サンプル/ホールド電圧V2′を得る。ここで、応力検知電圧V2とサンプル/ホールド電圧V2′との間には次式15が成り立ち、サンプル/ホールド電圧V2′がアンプ34の入力として使用されるため、次式16が成り立つ。V2′=V2......15VB2=IB2RHALL2{1}πσ......16ここで、磁気ホールセンサー30では定電圧駆動を行う。そのため、アンプ34の出力VB2およびリファレンス電圧VREF2間電圧を分圧してなる基準電圧を、無応力時の応力検知電圧V20と等しくなるように設定する。その結果、次式17が成り立つ。なお、17式中のV20は、無応力時の応力検知電圧V2を表す。VREF2=V20=IB2RHALL2......17したがって、16式および17式から、抵抗R22と抵抗R21との比を調整し、センサーホール素子11の駆動電圧となるアンプ34の出力VB2を調整することによって、センサーホール素子11の起電力VH2を、応力変動分相当だけ変化させることができることがわかる。以上により応力検知が終了する。次に磁気ホールセンサー30を用いて磁気検出を行う場合には、スイッチSW31を開放状態、スイッチSW35を導通状態として、応力検知用の駆動電流IB2を生成する定電流源32をセンサーホール素子11から切り離し、アンプ34の出力VB2を、センサーホール素子11に印加する。その結果、出力されるセンサーホール素子11の起電力VH2は、次式18、19で表すことができる。VH2=BIB2RHALL2{1R22/R211πσ}SV21Pσ/1πσ......18VH2=BVB201GπσSV21Pσ/1πσ......19これら18および19式から、次式20が成り立つ。VB20=IB2RHALL2G=R22/R211......20なお、20式中のVB20は無応力時の駆動電圧である。また、Gは応力変動分相当の増幅率である。したがって、図3に示す第1の実施形態における磁気ホールセンサー20と同様に、1つのセンサーホール素子11によって、応力検知と応力補正とを行うことができる。したがって、この場合も第1の実施形態と同等の作用効果を得ることができる。<第3の実施形態>次に、第3の実施形態における磁気ホールセンサー40の具体的構成の一例を説明する。図8は、第3の実施形態における磁気ホールセンサー40の一例を示す概念図である。この第3の実施形態では、機械的応力に応じて変動するセンサーホール素子11の定電流感度SIを、パラメータParam1およびパラメータParam2としている。つまり、第3の実施形態における応力検知部14では、機械的応力による定電流感度SIの変動に伴って変化するセンサーホール素子11の起電力VH3を応力検知信号SOUTPUT1とする。この起電力VH3の変動に応じて応力検知を行い、応力検知信号SOUTPUT1に基づいて調整信号SADJを生成し、電流駆動部12aの駆動電流IDRIVEを調整する。調整された駆動電流IDRIVEにより、センサーホール素子11の定電流感度SIの応力変動を補正する。これにより、補正後出力SOUTPUT2としてのセンサーホール素子11の起電力VH3の応力変動が補正されることになって、応力の影響を受けないIC出力VOUT3を得ることができる。図9は、第3の実施形態における磁気ホールセンサー40の具体的な回路の一例を示したものである。この第3の実施形態における磁気ホールセンサー40は、図9に示すように、一端が電源に接続され他端がセンサーホール素子11に接続される電流調整可能な可変電流源41と、バッファBuf42と、バッファ42のバッファ出力V3を入力するアナログデジタル変換器43と、DSPなどで構成されるデジタル演算部44とを備える。この第3の実施形態では、可変電流源41により生成される駆動電流IB3は、応力検知用の駆動電流および、起電力発生用の駆動電流として動作する。バッファ42は、応力検知信号としてのセンサーホール素子11の起電力VH3とバッファ42の出力V3との差分を、バッファ出力V3として出力する。バッファ42のバッファ出力V3は、アナログデジタル変換器43に入力され、デジタル信号に変化された後、デジタル演算部44に入力される。デジタル演算部44は、入力されたバッファ出力に相当するデジタル信号に基づき、電流調整コードC3を変更する。この電流調整コードC3を変更することにより、可変電流源41の電流値が変化する。つまり、センサーホール素子11に供給する駆動電流IB3を調整することができる。なお、図9において、可変電流源41が図1の駆動部12および補正部15、図8の電流駆動部12aに対応し、バッファ42、アナログデジタル変換器43およびデジタル演算部44が図1の応力検知部14に対応している。図10は、図9のデジタル演算部44の機能構成を示すブロック図であって、このデジタル演算部44は、図10に示すように、無応力時のバッファ出力V30の値をデジタル信号で表したデジタルコードを格納する記憶部44aと、無応力時の起電力発生用の駆動電流IB30の値をデジタル信号で表したデジタルコードである基本調整コードを格納する記憶部44bと、を備える。バッファ42のバッファ出力V3は、アナログデジタル変換器43に入力され、アナログデジタル変換器43は、バッファ出力V3をデジタル変換してバッファ出力V3に応じたデジタルコードを出力する。ここで、アナログデジタル変換器43の出力、すなわち、バッファ出力V3に応じたデジタルコードを信号sDとする。また、記憶部44aに格納した無応力時のバッファ出力V30の値を表すデジタルコードを信号sE、記憶部44bに格納した無応力時の起電力発生用の駆動電流IB30の値を表す基本調整コードを信号sFとする。機械的応力が印加された状態では、信号sDバッファ出力V3相当は、信号sE無応力時のバッファ出力V30の相当と異なる値となる。これら信号sDと信号sEとの差分sD-sEは、応力変動相当の値を表す。この差分sD-sEを、信号sF基本調整コードに加算し、加算結果を得る。この加算結果、つまり、sD-sEsFが、電流調整コードC3となる。つまり、センサーホール素子11に機械的応力が印加され、応力検知信号としての起電力VH3が増加した場合、駆動電流IB3は減少し、逆に起電力VH3が減少した場合、駆動電流IB3は増加する。ここで、図9に示す磁気ホールセンサー40において、センサーホール素子11を定電流駆動した場合の起電力VH3は次式21で表すことができる。なお、21式において、Pはピエゾホール係数、σは応力テンソル、Bは印加磁場、IB30は無応力時の駆動電流、SI0は無応力時の定電流感度である。VH3=BIB30SI01Pσ......21また、この起電力VH3が入力されるバッファ42のバッファ出力V3は次式22で表すことができる。V3=VH3=BIB30SI01Pσ......22また、調整後の駆動電流IB3は、次式23で表すことができる。なお、23式中のIB3は応力変動に伴う調整後の駆動電流、IB30は応力変動に伴う調整前の駆動電流である。IB3=IB301-Pσ......23電流調整コードC3により調整した後の駆動電流IB3をセンサーホール素子11に供給することにより、機械的応力に依存しない起電力VH3を得ることができる。この起電力VH3は次式24で表すことができる。VH3=BIB301-PσSI31Pσ......2424式からわかるように、定電流感度SI3の応力変動分と駆動電流IB3に対する調整による変動分とが打ち消し合い、機械的応力に対して補正を行うことができる。以上のように、パラメータParam1とParam2とに同じパラメータ、すなわち定電流感度SIを用いた場合であっても、起電力VH3に対する応力補正を行うことができる。また、図9ではパラメータParam1とParam2に同じパラメータである定電流感度SIを用いているが、パラメータは定電圧感度SVでも抵抗RESを用いても良い。したがって、この場合も上記第1の実施形態と同等の作用効果を得ることができる。なお、上記第1から第3の実施形態では、センサーホール素子11を駆動するための駆動電流または駆動電圧といった駆動信号を補正することで、IC出力VOUTの変動を抑制する構成としている。したがって、メインパス13をもたない磁気ホールセンサー10であっても適用することができる。<第4の実施形態>次に、第4の実施形態における磁気ホールセンサー50の具体的構成の一例を説明する。図11は、第4の実施形態における磁気ホールセンサー50の一例を示す概念図である。この第4の実施形態では、機械的応力に応じて変動するセンサーホール素子11のホール抵抗値RESをパラメータParam1、センサーホール素子11の定電流感度SIをパラメータParam2としている。センサーホール素子11に機械的応力が印加された場合、ホール抵抗値RESの変動を応力検知信号SOUTPUT1として応力検知を行い、応力検知信号SOUTPUT1に応じて調整信号SADJを生成し、メインパス13の増幅率Gを調整する。調整された増幅率Gにより定電流感度SIの応力変動を補正する。その結果、補正後出力SOUTPUT2としてのIC出力VOUT4における応力変動が補正されることになって、応力の影響を受けないIC出力VOUT4を得ることができる。図11を具体化させた回路が図12であり、メインパス57を構成する、プリアンプ回路57aの増幅率を調整する具体的回路の一例を示したものである。図12に示すように、第4の実施形態における磁気ホールセンサー50は、二つの駆動電流を有している。すなわち、一端が電源に接続され他端がスイッチSW51に接続された定電流源52と、一端が電源に接続され他端がスイッチSW53に接続された定電流源54とを備えるとともに、アナログデジタル変換器ADC55と、デジタル演算部DSP;DigitalSignalProcessor56と、メインパス57と、を備える。前記スイッチSW51およびSW53の他端がセンサーホール素子11に接続され、センサーホール素子11にかかる電圧が応力検知信号V4としてアナログデジタル変換器55に入力される。センサーホール素子11の起電力VH4は、メインパス57に入力され、メインパス57の出力がIC出力VOUT4となる。メインパス57は、センサーホール素子11の起電力VH4を入力してこれを増幅するプリアンプ回路57aと、プリアンプ回路57aの出力からピークツーピーク値を検出するピークツーピーク回路57bと、ピークツーピーク回路57bの出力信号をサンプル/ホールドするサンプル/ホールド回路57cと、出力バッファ回路OutBuf57dと、から構成される。なお、メインパス57の構成はこれに限るものではない。図12において、スイッチSW51、定電流源52、スイッチSW53および定電流源54が、図1の駆動部12および図11の電流駆動部12aに対応し、アナログデジタル変換器55およびデジタル演算部56が図1の応力検知部14および補正部15に対応し、メインパス57がメインパス13に対応している。図12において、スイッチSW51およびSW53のいずれかを導通状態とすることによって、定電流源52と定電流源54とのいずれかをセンサーホール素子11に接続し、センサーホール素子11に駆動電流を供給するようになっている。図12では、定電流源52により生成される駆動電流IB41を、応力検知用の駆動電流として用い、定電流源54により生成される駆動電流IB42を印加される起電力発生用の駆動電流として用いている。また、スイッチSW51を導通状態とし、応力検知用の駆動電流IB41をセンサーホール素子11に供給したときの、スイッチSW51およびセンサーホール素子11間の電圧が、センサーホール素子11にかかる電圧V4としてアナログデジタル変換器ADC55に入力される。デジタル演算部56は、アナログデジタル変換器55を介して、センサーホール素子11にかかる電圧を入力し、この応力検知信号V4に基づき、メインパス57を構成するプリアンプ回路57aの増幅率G4を調整する。図12に示す磁気ホールセンサー50の補正は、以下の手順で行う。まず、スイッチSW51を導通状態、スイッチSW53を開放状態とし、定電流源52で生成される応力検知用の駆動電流IB41をセンサーホール素子11に供給する。センサーホール素子11に機械的応力が印加されると、センサーホール素子11におけるホール抵抗値RESの応力変動に伴い、応力検知信号V4が変化する。この応力検知信号V4は、次式25で表すことができる。V4=IB41RHALL41πσ......25なお25式中のRHALL4は無応力状態でのホール抵抗値RES、πはピエゾ抵抗係数、σは応力テンソルである。センサーホール素子11に対して例えば圧縮応力が印加された場合、応力検知信号V4は増加し、逆に引っ張り応力が印加された場合、応力検知信号V4は減少する。アナログデジタル変換器55は、応力検知信号V4をデジタル信号に変換する。この変換された応力検知信号V4はデジタル演算部56に入力され、デジタル演算部56は、応力検知信号V4に基づき、プリアンプ回路57aの増幅率調整コードC4を変更し、プリアンプ回路57aの増幅率を増幅率調整コードC4相当の値に変更する。この増幅率調整コードC4に応じて、プリアンプ回路57aの増幅率が調整される。その結果、メインパス57の出力、すなわち、磁気ホールセンサー50のIC出力VOUT4となる。ここで、調整前の増幅率調整コードC40と、調整後の増幅率調整コードC4との間には、次式26が成り立つ。G4=G401Gπσ......26なお、26式中のGは、帰還系全体のアナログデジタル変換器55、デジタル演算部56および増幅率調整コードC4に応じて調整された後のプリアンプ回路57aの増幅率の総和である。この増幅率Gは、例えばアナログデジタル変換器25やデジタル演算部26やプリアンプ回路57aのいずれかに持たせても良いし、各部で分担して持たせても良い。センサーホール素子11に機械的応力が印加され応力検知信号V4が増加した場合、増幅率G4は増加するようになる。逆に、応力検知信号V4が減少した場合、増幅率G4は減少するようになる。次に、磁気ホールセンサー50を用いて磁気検出を行う場合には、スイッチSW51を開放状態、スイッチSW53を導通状態として、定電流源52をセンサーホール素子11から切り離し、逆に定電流源54をセンサーホール素子11に接続する。これにより、起電力発生用の駆動電流IB42がセンサーホール素子11に供給される。ここで、センサーホール素子11に機械的応力がかかっているため、センサーホール素子11から得られる起電力VH4は、次式27で表される。なお、27式中のSI13は機械的応力により変動した定電流感度を表す。また、Pはピエゾホール係数である。VH4=BIB42SI41P×σ......27この起電力VH4が、メインパス57に入力され、その出力がIC出力VOUT4となる。このIC出力VOUT4は、次式28で表すことができる。VOUT4=BIB42SI41P×σG401Gπσ......28上記第1の実施形態と同様に、ピエゾ抵抗係数πと増幅率G4との積の絶対値が、ピエゾホール係数Pの絶対値と等しくなるようにすることによって、定電流感度SI4の応力変動分とプリアンプ回路57aの増幅率G4の調整による変動分とが打ち消しあい、IC出力VOUT4において機械的応力に対する補正を行うことができる。したがって、機械的応力によるホール抵抗値RESの変動に伴う起電力VH4の変動を検知することで応力検知を行い、機械的応力による定電流感度の変動をメインパス57に含まれるプリアンプ回路57aの増幅率を調整することにより、応力補正を行うことができる。なお、図12では、応力検知を行うための定電流源22と、起電力を得るための可変電流源24との2つを保持しているが、1つの駆動電流源でも可能である。以上のように、1つのセンサーホール素子11のみを使用する事により、ホール抵抗値RESの変動に伴う起電力のVH4の変動を検出することにより応力検知を行い、プリアンプ回路57aの増幅率を調整することにより、応力補正を行うことができる。したがって、この第4の実施形態における磁気ホールセンサー50も、第1の実施形態と同等の作用効果を得ることができる。<第5の実施形態>次に、第5の実施形態における磁気ホールセンサー60の具体的構成の一例を説明する。図13は、第5の実施形態における磁気ホールセンサー60の一例を示す構成図である。この第5の実施形態では、定電流感度SIをパラメータParam1およびParam2としている。具体的には、機械的応力による定電流感度SIの変動を、磁気ホールセンサー60のIC出力VOUT5を応力検知信号SOUTPUT1として用いることにより検出する。応力検知信号SOUTPUT1に基づき調整信号SADJを生成し、メインパス13の増幅率Gを調整する。メインパス13の増幅率Gを調整することにより、機械的応力による定電流感度SIの変動に伴うセンサーホール素子11の起電力VHの変動を補正し、IC出力VOUTを補正後出力SOUTPUT2とする。図13を具体化させた回路が図14であり、メインパス62を構成する、プリアンプ回路62aの増幅率を調整する具体的回路の一例を示したものである。図14に示すように、第5の実施形態における磁気ホールセンサー60は、一端が電源に接続され他端がセンサーホール素子11に接続される定電流源61と、センサーホール素子11の起電力VH5を入力し、所定の処理を行うメインパス62と、アナログデジタル変換器ADC63と、デジタル演算部DSP;DigitalSignalProcessor64と、を備える。メインパス62の出力がIC出力VOUT5となる。メインパス62は、センサーホール素子11の起電力VH5を入力してこれを増幅するプリアンプ回路62aと、プリアンプ回路62aの出力からピークツーピーク値を検出するピークツーピーク回路62bと、ピークツーピーク回路62bの出力信号をサンプル/ホールドするサンプル/ホールド回路62cと、出力バッファ回路OutBuf62dと、から構成される。なお、メインパス62の構成はこれに限るものではない。アナログデジタル変換器63は、メインパス62から出力されるIC出力VOUT5を応力検知信号V5として入力してこれをアナログデジタル変換し、デジタル演算部64は、アナログデジタル変換器63で変換された応力検知信号V5に基づき、応力変動分を抑制するように、メインパス62を構成するプリアンプ回路62aを調整するための増幅率調整コードC5を変更する。定電流源61は応力検知用および磁気起電力発生用としての駆動電流IB15を生成する。図14において、定電流源61が図1の駆動部12および図13の電流駆動部12aに対応し、メインパス62が図1のメインパス13に対応し、アナログデジタル変換器63およびデジタル演算部64が図1の応力検知部14および補正部15に対応している。ここで、センサーホール素子11の起電力をVH5とすると、センサーホール素子11に機械的応力が印加された場合の起電力VH5は、次式29で表すことができる。なお、29式中のSI5は無応力状態でのセンサーホール素子11の定電流感度、Pはピエゾ抵抗係数、σは応力テンソルである。VH5=BIB5SI51Pσ......29センサーホール素子11に、機械的応力として例えば圧縮応力が印加された場合、応力検知信号V5は減少し、引っ張り応力が印加された場合、応力検知信号V5は増加する。したがって、メインパス62の出力電圧すなわち応力検知信号V5は、メインパス62への入力電圧である起電力VH5とプリアンプ回路62aの増幅率G5とから次式30で表すことができる。V5=G50VH5=G50BIB5SI01Pσ......30なお、30式中のG50は、メインパス62の調整対象の増幅率、図14の場合には、プリアンプ回路62aの調整前の増幅率である。ここで、調整前のプリアンプ回路62aの増幅率G5および調整後のプリアンプ回路62aの増幅率G50には、次式31の関係が成り立つ。G5=G501-Pσ......31なお、図14において、フィードバック点は、メインパス62を構成する最終段の機器である出力バッファ回路62dの出力部分、すなわち、IC出力VOUT15を、応力検知信号V5として用いる場合について説明したが、これに限るものではなく、メインパス62を構成するいずれかの機器の出力部分を、フィードバック点とすることも可能である。センサーホール素子11に、例えば引っ張り応力が印加され、応力検知信号V5が増加した場合、増幅率G5は減少し、逆に圧縮応力が印加され、応力検知信号V5が減少した場合、増幅率G5は増加するように調整される。なお、32式中のG50は無応力時の増幅率である。調整後のIC出力VOUT5は、次式32で表すことができる。VOUT5=BIB5SI51PσG501-Pσ......3232式から、定電流感度SIの応力変動分とプリアンプ回路62aの増幅率調整による変動分とが打ち消し合い、IC出力VOUT5において機械的応力に対する補正ができることがわかる。このように、センサーホール素子11の定電流感度SIの変動に伴う起電力VH5の変動から応力検知を行い、プリアンプ回路62aの増幅率G5を調整することによって、機械的応力によるセンサーホール素子11の定電流感度SIの変動を補正することができる。したがって、1つのセンサーホール素子11のみを使用する事により、起電力VH5の変動から応力検知を行い、プリアンプ回路62aの増幅率を調整することによって応力補正が可能となる。よって、この第5の実施形態においても、上記第1の実施形態と同等の作用効果を得ることができる。なお、この第5の実施形態では、メインパス62のプリアンプ回路62aの増幅率を調整する場合について説明したが、これに限るものではなく、例えば、ピークツーピーク回路62bや、サンプル/ホールド回路62c、出力バッファ回路62dのいずれかにおいて増幅率を調整するように構成してもよい。また、各部で分担して調整するように構成してもよく、また、別途応力補正用のアンプをメインパス62の構成要素として設けてもよく、この応力補正用のアンプは、メインパス62ないではなくメインパス62の出力側に設けてもよい。また、メインパス13を通した後の起電力VH5であるIC出力VOUT5を応力検知信号V5とするのではなく、起電力VH5をそのまま応力検知信号V5として用いることも可能である。