"洗浄槽内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成して被洗浄物を収納するための耐圧性の作業室を設け、この作業室の側面に設けた開口部を被覆して作業室内を密閉可能とするとともにこの作業室内を減圧機構に接続して減圧可能とする被覆体を、洗浄槽の内面に水平方向に進退可能に形成した事を特徴とする被洗浄物の洗浄装置。洗浄槽は、耐圧可能に形成したことを事を特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。洗浄槽は、常圧にて使用することを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。作業室の開口部は、作業室の側面に垂直に形成したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。作業室の開口部は、作業室の両側に一対開口したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。作業室の開口部は、作業室の片側にのみ一個開口したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。被覆体には、作業室と連通可能な減圧開口を設け、この減圧開口をバルブを介して減圧機構に接続したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。被覆体には、作業室と連通可能な蒸気導入開口を設け、この蒸気導入開口をバルブを介して蒸気発生槽に接続したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。洗浄槽は、下底に被洗浄物の洗浄液を収納したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。被覆体には、作業室と連通可能な洗浄液の導入開口を設け、この導入開口をバルブ、濾過器を介して洗浄槽の洗浄液に接続したことを特徴とする請求項9に記載の被洗浄物の洗浄装置。被覆体は、洗浄液の液面よりも上部に配置したことを特徴とする請求項9に記載の被洗浄物の洗浄装置。被覆体は、洗浄液中に配置し作業室を密閉して減圧乾燥作業を行う場合は、洗浄液を洗浄槽から抜き取った後に行うものである事を特徴とする請求項9に記載の被洗浄物の洗浄装置。しかしながら特許文献1、2に記載の発明は洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部とを、洗浄槽の側面から挿入するゲートバルブによって仕切るものであるから、ゲートバルブが洗浄槽の側面に大きく突出するものとなり装置を大型化し好ましくない。また、ゲートバルブの摺動面に、洗浄によって被洗浄物から分離した汚泥、切り粉等が付着し、気密性を損なう欠点を有している。ゲートバルブの摺動によってシール部を破損する可能性が高いものである。また、特許文献3に示す発明に於いては、上述のごとき欠点を生じる事はないが、洗浄槽の液面よりも上方に配置した環状鍔のパッキンに被覆板を押圧する事により、被洗浄物の減圧乾燥を行う気密室を形成しようとするものである。そして、この特許文献3に示す発明に於いても、特許文献1、2に記載の発明に於いても、被洗浄物の減圧乾燥を行う気密室は洗浄槽を仕切って形成するものであるから、洗浄槽そのものを大きく利用するものとなる。その結果、浸漬洗浄、蒸気洗浄等で洗浄槽の内面に付着していた洗浄液や凝縮液を、そのままの状態で減圧乾燥を行うものとなるため、減圧機構に過度の負荷を発生させるものとなるし効率の悪い減圧乾燥と成るものである。また、特許文献1~3に示す発明は、洗浄槽を横断して仕切るものであるから、前記の遮断によって発生する減圧乾燥室の大きさを、洗浄槽の横断直径以下にする事は出来ない。そのため、被洗浄物の減圧乾燥には不必要な大きさの乾燥室を形成するものとなり、装置を大型化して好ましくないとともに減圧のための容積を不必要に大きなものとするから、減圧機構に余分な負荷を与えるものとなるし、減圧効率を損なうものとなる。そこで、本願発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、洗浄槽とは全く別個に減圧乾燥部を形成し、被洗浄物の減圧乾燥を、必要とされる最小限の空間を減圧する事により可能とするとともにこの減圧可能空間を利用して、減圧乾燥以外の種々の洗浄作業を可能とする。また、減圧乾燥時には確実な気密状態を形成し、気密漏れの発生が無いようにするものである。本願発明は上述の如き課題を解決するため、洗浄槽内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成して被洗浄物を収納するための耐圧性の作業室を洗浄槽とは別個に設ける。この作業室は円筒状、角筒状等の筒状に形成し、この筒状の作業室の上下移動方向の側面に開口部を設けている。また、この開口部を被覆して作業室内を密閉可能とするとともにこの作業室内を減圧機構に接続して減圧可能とする被覆体を、洗浄槽の内面に水平方向に進退可能に形成している。また、作業室を上下動可能に収納した洗浄槽は、耐圧可能に形成したものであっても良いし、耐圧性を備えず常圧にて使用するものであっても良く、作業目的に応じて任意に選択する事が可能となる。作業室の開口部は、筒状の作業室の側面に垂直に形成する。このように開口部を作業室の側面に垂直に形成することによって、洗浄作業により被洗浄物から離脱した切り粉、汚泥等が開口部や開口部に設けたパッキンに、堆積したり、引っ掛かったりしにくくなり、被覆体で密閉する場合に気密不良を生じる事を防止できるものとなる。作業室の開口部は、作業室の両側に一対開口したものであっても良いし、作業室の片側にのみ一個開口したものであっても良い。開口部を作業室の両側に一対開口すれば、作業室への被洗浄物の出入が容易となり作業性を向上できる。また、開口部を作業室の片側にのみ一個開口すれば、被覆体も一個形成するのみで良いから装置の構成を簡略とし廉価な装置を得る事が出来るし、開口部と被覆体を一個とする事により気密漏れ防止効果を向上する事が出来る。また、被覆体には作業室と連通可能な減圧開口を設け、この減圧開口をバルブを介して減圧機構に接続するものとしても良い。このように形成する事により、被覆体によって開口部を被覆したときに作業室内を簡易に減圧可能となるとともに作業室を密閉しない場合も、洗浄槽が耐圧性のものであれば洗浄槽内の減圧も可能となる。被覆体には、作業室と連通可能な洗浄液の導入開口を設け、この導入開口にバルブ、濾過器を介して洗浄槽の洗浄液に接続したものであっても良い。このように形成する事により、濾過器を介して作業室内に濾過した洗浄液を導入し、浸漬洗浄後に汚染された洗浄液を洗浄槽内に排出し、これを濾過器を介して再度洗浄室に導入する事を繰り返す事により、常に濾過した清浄な洗浄液での精密洗浄を可能とする。なお、洗浄槽から作業室への洗浄液の導入は、その経路中に液送ポンプを配置しても良いし、上記の減圧機構により作業室内を減圧し、この負圧により洗浄槽から作業室へ、濾過器を介して洗浄液を導入するものとしても良い。被覆体には、作業室と連通可能な蒸気導入開口を設け、この蒸気導入開口をバルブを介して蒸気発生槽に接続したものであっても良い。このように、構成することにより被覆体で密閉した作業室内に洗浄蒸気を導入し、通常の蒸気洗浄や減圧蒸気洗浄を洗浄槽の影響を受けることなく独立して行うことが可能となる。また被覆体は、洗浄液の液面よりも上部に配置したものでも良く、このように形成する事により、洗浄槽から洗浄液を抜き取ることなく、作業室を被覆体位置に移動して密閉する事により迅速に被洗浄物の減圧乾燥を行う事ができる。また被覆体は、洗浄液中に配置し作業室を密閉して減圧乾燥作業を行う場合は、洗浄液を洗浄槽から抜き取った後に行うものであっても良い。この場合は洗浄液を洗浄槽から抜き取る手数を要するものの、被覆体と洗浄液とを接触させないための上部空間が洗浄槽に必要なくなるため、洗浄槽の上下方向の寸法を小さくする事ができ、装置の小型化を可能とする。また、作業室の位置を洗浄槽の下底よりも少しだけ高い位置に配置すれば、洗浄槽内の洗浄液を完全に抜けきれない場合も、作業室内は被覆体によって密閉され洗浄槽内とは遮断されるから減圧乾燥作業に支障を生じる事がない。また、作業室は被覆体で密閉する事により洗浄槽とは遮断された乾燥室を形成できるから、洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気か存在している状態での減圧乾燥が可能となるものである。本発明は上述の如く、被洗浄物の洗浄作業を行う作業室を、洗浄槽内を上下移動可能とし洗浄槽とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、減圧乾燥等の被洗浄物の洗浄作業に必要な最小限の空間を形成する事が可能となるとともに洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構に無駄な負荷をかけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。また、このように作業室を洗浄槽とは気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽が常圧対応の耐圧性を備えない構成であっても、作業室内での減圧乾燥や、減圧超音波洗浄、減圧蒸気洗浄等の減圧作業を可能とする。また、作業室は洗浄槽とは独立したものとする事ができるから、上記のごとき減圧関連作業のみならず洗浄槽の洗浄液を濾過し、高度に清浄化した洗浄液を作業室に導入して洗浄槽とは別個に浸漬洗浄を行うとか、作業室に洗浄蒸気を導入して減圧蒸気洗浄を行う等の種々の洗浄作業をも容易に可能とするものである。また、被洗浄物を収納する作業室の上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成しているから、洗浄作業により被洗浄物から離脱した切り粉、汚泥等が開口部や開口部に設けたパッキンに引っ掛かりにくくなり、被覆体で密閉する場合に気密不良を生じる事を防止できるものとなる。以下本発明の実施例1を図1~図6に於いて説明すると、1は洗浄槽で、耐圧性を備えるか、または耐圧性を備えない常圧対応型に形成し、耐圧性または常圧対応型は洗浄目的に応じて適宜選択的に使用するものである。この洗浄槽内には、耐圧性の作業室を上下動機構に接続して上下動可能に配置している。この上下動機構は図6に示す如く、洗浄槽の外側に設置した上下動シリンダに接続して上下動する上下動体を、洗浄槽の天板を貫通して上下方向に配置するとともに上端に設置したモータにより駆動する主動軸に従動軸を直角に接続し、この従動軸に、作業室内の回転軸を接続している。この回転軸に被洗浄物を載置し、この被洗浄物を回転する事により、被洗浄物と洗浄液との洗浄効率を高める事を可能としている。尚本件明細書中で被洗浄物とは被洗浄物を収納した洗浄籠を含む概念で用いるものである。また、洗浄槽は上端に出入口を開口し、この出入口を蓋体により開閉可能としている。この蓋体は、一端を軸支部を介して本体の支柱に回動可能に軸支するとともに他端をソレノイドコイル等の進退機構により上下動可能としたアングルに進退可能に配置し、この配置状態で進退シリンダーに接続している。そして出入口を開放するには、進退機構を伸張しアングルを持ち上げた状態で進退シリンダーを収縮し、図1に示す如く蓋体を開放する。また、蓋体で出入口を密閉するには上記と逆の手順で作動させれば良い。また、上述の如く上下動機構によって上下動する作業室は、円筒、角筒等の筒状に形成し、上下動方向の両側を垂直に切り欠いて開口部を形成し、この開口部の外面に、オーリング等のパッキンを上下方向に配置している。そして、作業室を洗浄槽内の洗浄液よりも上方に配置した状態で、開口部に臨ませてこの開口部を密閉可能な被覆体を配置している。この被覆体は洗浄槽の内面に、開閉シリンダによって水平方向に進退可能に配置している。また、上記では開口部の外面に、オーリング等のパッキンを上下方向に配置しているが、パッキンは必ずしも開口部に形成する必要はなく、被覆体の開口部側に形成するものであっても良い。この場合は、パッキンを確実に開口部に接触させるために板パッキン等で幅広に形成するのが好ましい。また、被覆体は減圧開口を開口し、この減圧開口は洗浄槽の外に設置した減圧機構と第1開閉弁、凝縮器、第2開閉弁を介して接続している。また、被覆体は開口部を密閉するために開口部よりも大きな面積で形成する事は当然であるが、大きく形成する事により上下動機構の作動不良等により、作業室の停止位置が異なる場合にも、開口部の密閉に支障を生じる事がない。尚、上記の如く被覆体を大きめに形成する場合には、上記の減圧開口を上下方向の中心部に近い方向に形成し、被覆体による開口部の密閉時に、開口部と減圧開口とが連通するように形成する。また、洗浄槽には第3開閉弁を介して蒸気発生槽を接続している。この蒸気発生槽は、ヒータ、スチーム等の加熱機構により洗浄液を加熱し、洗浄槽への洗浄蒸気の供給を可能としている。また、この蒸気発生槽は、被覆体に設けた蒸気導入開口に第7開閉弁を介して接続し、被覆体で密閉した作業室内に洗浄蒸気を導入し、常圧蒸気洗浄や減圧蒸気洗浄を洗浄槽の影響を受けることなく独立して行うことが可能となる。また、図面中は減圧破壊弁である。上述の如く構成したものに於いて、被洗浄物の洗浄を行うには、図1に示す如く、洗浄槽から上方に突出した作業室内に被洗浄物を収納する。この収納状態に於いて洗浄槽の下部には洗浄液が充填されている。この洗浄液は、作業目的に応じて任意に選択可能なものであって、石油系溶剤、シリコーン系溶剤、テルペン系溶剤、アルコール系溶剤等の溶剤を用いても良いし、水を用いても良い。また、第1開閉弁、第2開閉弁、第3開閉弁は閉止されており、減圧機構は作動していない。次に、図2に示す如く、蓋体で出入口を閉止した後、上下動機構を作動して作業室を洗浄液中に挿入して浸漬洗浄を行う。この浸漬洗浄は、上下動機構のモータを作動し回転軸を回転する事により被洗浄物を回転、または上下動シリンダを上下動することにより揺動しても良く、洗浄目的に応じて被洗浄物と洗浄液との接触を良好とするための任意の手段を選択する事ができる。また、作業室には超音波振動子を配置する事により超音波洗浄も可能となる。そして、作業室の下面に超音波振動子を配置すれば、筒状に形成した作業室の天面に反射した超音波が上面からも被洗浄物を超音波洗浄する事も可能となる。なお、この浸漬洗浄に於いては被覆体による開口部の密閉は行わない。勿論、この浸漬洗浄に於いて被覆体による開口部の密閉を行う事も可能である。被洗浄物の浸漬洗浄が完了したら、上下動機構を作動して図3に示す如く、作業室を洗浄液の上方に引き上げ、第3開閉弁を開放するとともに洗浄槽が耐圧性のものである場合には、第1、第2開閉弁を開放し、減圧機構によって洗浄槽内を減圧する事により、洗浄蒸気を洗浄槽に導入して被洗浄物の減圧蒸気洗浄を行う事ができる。洗浄槽に導入した洗浄蒸気は、被覆体で密閉していない開口部から作業室内に導入されて被洗浄物に凝縮されるが、前記の洗浄液を可能な限り低温のものとしておけば、被洗浄物と洗浄蒸気の凝縮効率を高める事が可能となる。また、洗浄槽が常圧対応で耐圧性を備えていない場合には、減圧機構を作動せずに第3開閉弁のみを開放する事により、洗浄槽内に洗浄蒸気を導入して常圧蒸気洗浄を行う事が可能となるが、洗浄槽が常圧対応で耐圧性を備えていない場合にも減圧蒸気洗浄が可能となる。この場合は、被覆体により作業室を密閉した後、第1開閉弁を開放して減圧機構で作業室内を減圧し、第7開閉弁を開放して蒸気導入開口を介して蒸気発生槽から蒸気を導入する事により、減圧蒸気洗浄が可能となる。減圧状態で蒸気洗浄を行う事により、引火点の低い溶剤を用いた場合にも、空気中の酸素量を低減し安全性の高い蒸気洗浄を可能とする事ができる。被洗浄物の蒸気洗浄が完了したら、開閉シリンダを伸張し被覆体を開口部に押圧して開口部を密閉し、第1,第2開閉弁を開放して減圧機構を作動する事により作業室内に於いて被洗浄物の減圧乾燥を可能とする。この減圧乾燥は、洗浄槽を上下に仕切って行うものではなく、筒状の作業室とこの作業室を密閉する被覆体により形成した空間により行うものである。そのため、この作業空間は洗浄槽の直径等の影響を受けることなく必要最小限のものとする事ができ、減圧機構に余分な負荷をかける事が無く、効率的な減圧乾燥を廉価に行う事が出来るものである。また、被洗浄物の洗浄作業を行う作業室を、洗浄槽とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構に無駄な負荷をかけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。また、このように作業室を洗浄槽とは気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽が常圧対応の耐圧性を備えない構成であっても、作業室内での減圧乾燥や減圧関連作業を可能とする。このように、作業室は減圧乾燥のみに使用するものではなく、減圧乾燥以外の種々の洗浄作業を可能とする事は勿論である。また、被覆体は開口部よりも大きめに形成する事により、上下動機構による作業室の固定位置が設計値よりも多少ズレたとしても、確実な密閉を可能とする事が出来る。この場合には、減圧開口は被覆体の中心部方向に形成する事により、位置ズレが生じても減圧開口は常に作業室の開口部と連通可能なものとすることが出来る。また、作業室の開口部は、作業室の上下方向の側面に形成したものであるから、洗浄作業によって被洗浄物から分離する切り粉や汚泥が、開口部に堆積したり引っ掛かる事が少なく、その殆どが洗浄槽内に落下し気密不良を生じる事がない。そして、減圧乾燥か終了した後は、図5に示す如く、蓋体を開放した後、上下動機構により作業室を出入口から取り出す事が可能となる。上記の実施例1では、被洗浄物を洗浄槽の下底に充填した洗浄液中に挿入して被洗浄物の浸漬洗浄を行う実施例について説明したが、実施例2では作業室を洗浄液の上面に移動し、濾過器で濾過し清浄化した洗浄液により被洗浄物の精密洗浄を行うものである。以下実施例2を図7~10において詳細に説明すれば、被覆体を洗浄液の液面よりも上部に配置する点は実施例1と同一であるが、被覆体に作業室と連通可能な洗浄液の導入開口を設け、この導入開口を第4開閉弁、濾過器を介して洗浄槽の洗浄液に接続している。そして、実施例2に於いて洗浄作業を行うには、図7に示す如く、被洗浄物を収納した作業室を洗浄液の上面に配置する。次に、被覆体により作業室の開口部を密閉し、第4開閉弁を閉止した状態で第1、第2開閉弁を開放し、減圧機構を作動する事により作業室を一定の減圧度まで減圧する。この減圧状態で第4開閉弁を開放する事により、図8に示す如く、洗浄槽内の洗浄液は濾過器を介して一気に作業室内に導入される。次に、モータを作動する事により、実施例1の場合と同様に被洗浄物を回転したり、上下動シリンダを上下等したりする任意手段を選択して浸漬洗浄、超音波洗浄等を行う事が出来る。この浸漬洗浄時は第1、第2開閉弁及び第4開閉弁を閉止する。また、この浸漬洗浄を減圧超音波洗浄とする場合には、第1、第2開閉弁を開放し、減圧機構を作動させながら超音波振動を発生させるものである。また、上記の作業室への洗浄液の導入に於いて、第4開閉弁を開放した状態で第1、第2開閉弁を開放し、減圧機構を作動する事により、減圧度に応じて作業室に順次洗浄液を導入する事も勿論可能である。尚、実施例2に於いては減圧能力を高めるために減圧機構を2個配置している。次に、一定時間の浸漬洗浄後、図9に示す如く被覆体による作業室の密閉を解除し、作業室内の洗浄液を洗浄槽内に排出する。この排出後に被覆体で作業室の密閉を再度行い、上記と同様の手順により洗浄槽内の洗浄液を濾過器を介して作業室に導入する。この手順を複数回繰り返す事により、被洗浄物は常に濾過器で清浄化した洗浄液により洗浄する事ができるから、電子部品等の高精度の洗浄を可能とする事ができる。この浸漬洗浄の完了後は、図10に示す如く、洗浄液をヒータにより加熱し被覆体を開放した状態で蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄は、常圧の状態で行っても良いが、洗浄槽を耐圧性の構成とすれば減圧蒸気洗浄を行う事もできる。蒸気洗浄を、常圧で行う場合は洗浄槽を耐圧性とする必要がないから廉価な装置を提供する事が可能となる。また、洗浄槽を耐圧性の構成とすれば、洗浄槽内を減圧した状態で減圧蒸気洗浄を行う事ができるから、可燃性の洗浄液を用いる場合も、引火の危険を減少する事が可能となる。そして、この蒸気洗浄完了後は、被覆体で作業室を密閉し、減圧機構を作動して減圧乾燥を行うものである。また、作業室内での減圧蒸気洗浄を行おうとする場合は、前記の実施例1と同様に、蒸気発生槽を被覆体に接続する事により可能となる。上記の実施例1、2に於いては、洗浄槽の上下方向の寸法を高くし、作業室を洗浄液の液面よりも上部に配置する事が出来るようにしたものである。このように構成する事により、蒸気洗浄、減圧乾燥等を行う場合に洗浄槽から洗浄液を抜き取る必要が無く、浸漬洗浄作業から蒸気洗浄作業や減圧乾燥作業への切り替えを迅速に行う事が可能となる。しかしながら、洗浄槽の上下方向の寸法を大きなものとし、設置場所によっては装置の設置が困難となる場合が生じる。そこで、実施例3では洗浄槽の上下方向の寸法を小さくし、洗浄装置の設置を容易に行う事が出来るようにしようとするものである。以下、実施例3を図11~図15に於いて詳細に説明する。洗浄槽は上述の如く、洗浄液を充填した状態で、液面の上部に作業室を配置する空間は形成されておらず、洗浄槽に洗浄液を充填した状態では、図12に示す如く、作業室は洗浄液中に配置されるものとなる。また、洗浄槽には第5開閉弁を介してリザーブタンクを接続し、このリザーブタンクに第6開閉弁、凝縮器を介して減圧機構を接続している。また、洗浄槽には実施例1と同様に蒸気発生槽を接続している。そして、作業室に被洗浄物を収納するには、図11に示す如く洗浄液をリザーブタンクに抜き取り、洗浄槽の上方に移動した作業室に被洗浄物を収納する。この、洗浄液の抜き取りは、第5開閉弁を閉止し、第2、第6開閉弁を開放して減圧機構を作動し、リザーブタンク内を一定の減圧度まで減圧した後に第5開閉弁を開放して一気に洗浄液をリザーブタンクに移送するものである。次に、作業室を下降し洗浄槽内に配置した後、リザーブタンクの洗浄液を洗浄槽内に移送する。この移送は、洗浄槽を蓋体で密閉した後に行うものである。尚、上記の洗浄液の抜き取りは、第5開閉弁を開放したままとして減圧機構を作動し、リザーブタンク内を順次減圧しながら洗浄液をリザーブタンクに順次移送するものであっても良い。次にモータを作動したり上下動シリンダを上下動したりする任意の手段を選択して被洗浄物を洗浄目的に応じて、回転、揺動、超音波等の任意の方法を用いて浸漬洗浄を行う。この浸漬洗浄完了後は、図13に示す如く洗浄液をリザーブタンクに抜き取った後に、図14に示す如く蒸気発生槽から洗浄蒸気を洗浄槽を介して作業室に導入し蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄は、実施例1、2と同様に洗浄槽が耐圧性のものである場合には、第1、第2開閉弁を開放し、減圧機構によって減圧開口を介して洗浄槽内を減圧する事により、洗浄蒸気を洗浄槽に導入して被洗浄物の減圧蒸気洗浄を行う事ができる。そして、洗浄槽に導入した洗浄蒸気は、被覆体で密閉していない開口部から作業室内に導入されて被洗浄物に凝縮されるが、前記の洗浄液を可能な限り低温のものとしておけば、被洗浄物と洗浄蒸気の凝縮効率を高める事が可能となる。また、この洗浄槽での減圧蒸気洗浄は、図11~図14に示す如く、第8開閉弁を介して洗浄槽を減圧機構に直接接続して行っても良い。この洗浄槽の減圧機構への直接の接続は、洗浄槽が耐圧性を備えたものであれば、第1、第2実施例に於いても同様に行う事ができる。また、洗浄槽が常圧対応で耐圧性を備えていない場合には、減圧機構を作動せずに第3開閉弁のみを開放する事により、洗浄槽内に洗浄蒸気を導入して常圧蒸気洗浄を行う事が可能となるが、洗浄槽が常圧対応で耐圧性を備えていない場合にも減圧蒸気洗浄が可能となる。この場合は、被覆体により作業室を密閉した後、第1開閉弁を開放して減圧機構で作業室内を減圧し、第7開閉弁を開放して蒸気導入開口を介して蒸気発生槽から蒸気を導入する事により、減圧蒸気洗浄が可能となる。減圧状態で蒸気洗浄を行う事により、引火点の低い溶剤を用いた場合にも、空気中の酸素量を低減し安全性の高い蒸気洗浄を可能とする事ができる。この蒸気洗浄が完了したら、図15に示す如く被覆体により作業室の開口部を密閉して、減圧機構により減圧開口から作業室を減圧する事により、洗浄液の沸点を低下し乾燥を行う事が可能となる。また、洗浄液の洗浄槽からの抜き取りは、完全に行う必要はなく、作業室内に洗浄液が残留しない程度に行えばよく、洗浄槽に多少の洗浄液が残留しても、独立している作業室内の減圧乾燥には何ら問題のないものである。従来より、洗浄槽から洗浄液を完全に抜き取る事は困難で、残留液が生じてしまうため洗浄槽を用いた減圧乾燥は減圧機構に大きな負荷を発生させるものとなっていた。しかし、実施例3に於いては、作業室は洗浄槽とは独立して形成されるため、作業室内に洗浄液が残留しないように抜き取りを行えば、洗浄槽に多少の洗浄液が残留しても何ら支障のないものである。上記の実施例1~実施例3に於いては、作業室の開口部を上下方向の両側に形成している。このように形成する事により、被洗浄物の収納、取り出しが左右いずれからでも可能となるため、作業性が良くなる利点を有している。しかし、作業室の密閉に2つの被覆体が必要となるため装置を高価なものとするとともに蓋体と作業室の開口部との接触不良による気密漏れ防止についても多くの注意と保守が必要となる。これに対し、実施例4では図16に示す如く、作業室の開口部を上下動方向の一側に1個のみ設け断面コ字型に形成している。このように形成する事により、被洗浄物の出入に多少の手数を要するものとなるが、作業室の密閉が1つの被覆体で可能となるため装置を廉価なものとするとともに蓋体と作業室の開口部との接触不良による気密漏れの確率や保守の手数が実施例1~3に比較し大幅に減少する事ができる。"