発光管内に配置された一対の電極を有する放電ランプと、該放電ランプに電力を供給する電源装置と、該電源装置を制御する制御装置と、よりなる放電ランプ装置において、前記放電ランプ装置は、該放電ランプが収納されたランプハウス内の音声を集音する集音機器と、該集音機器からの音声信号を解析するスペクトルアナライザ装置と、を備え、前記制御装置は、前記スペクトルアナライザ装置からの音声解析結果に基づいて、ランプ点灯時に発光管から発生する異常音を検知した場合に、前記電源装置による放電ランプへの電力の供給を停止させることを特徴とする放電ランプ装置。前記制御装置は、前記スペクトルアナライザ装置から音声解析結果として出力される音声スペクトル情報が入力され、該音声スペクトル情報に、特定の振動数成分の急峻な音量変化が含まれていた場合に、前記異常音を検知したと判断し、放電ランプへの電力の供給を停止させることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ装置。前記振動数の急激な音量変化は、点灯時の前記放電ランプより発生する音の振動数成分と、消灯時もしくは正常点灯時の前記ランプハウス内の音の振動数成分とを比較して、その変動値から判断されることを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ装置。前記異常音の検知は、点灯始動から所定の時間経過後から行われることを特徴とする請求項1~請求項3のいずれかに記載の放電ランプ装置前記異常音の検知は、点灯始動から所定の時間経過後に停止することを特徴とする請求項1~請求項3のいずれかに記載の放電ランプ装置。この発明が解決しようとする課題は、発光管内に配置された一対の電極を有する放電ランプと、該放電ランプに電力を供給する電源装置と、該電源装置を制御する制御装置と、よりなる放電ランプ装置において、ランプ点灯始動時にアークの横飛びが発生して、該横とびが発光管に衝突することを、前述の電圧変動に基づくインターロック機構とは異なる指標によって的確に検知することができて、放電ランプの破損を防止することのできる放電ランプ装置を提供することである。上記課題を解決するために、この発明に係る放電ランプ装置では、放電ランプが収納されたランプハウス内の音声を集音する集音機器と、該集音機器からの音声信号を解析するスペクトルアナライザ装置とを備え、前記制御装置は、前記スペクトルアナライザ装置からの音声解析結果に基づいて、ランプ点灯時に発光管から発生する異常音を検知した場合に、前記電源装置による放電ランプへの電力の供給を停止させることを特徴とする。また、前記制御装置は、前記スペクトルアナライザ装置から音声解析結果として出力される音声スペクトル情報が入力され、該音声スペクトル情報に、特定の振動数成分の急峻な音量変化が含まれていた場合に、前記異常音を検知したと判断し、放電ランプへの電力の供給を停止させることを特徴とする。また、前記振動数の急激な音量変化は、点灯時の前記放電ランプより発生する音の振動数成分と、消灯時もしくは正常点灯時の前記ランプハウス内の音の振動数成分とを比較して、その変動値からから判断されることを特徴とする。また、前記異常音の検知は、点灯始動から所定の時間経過後から行われることを特徴とする。また、前記異常音の検知は、点灯始動から所定の時間経過後に停止することを特徴とする。この発明によれば、放電ランプの点灯時に放電ランプおよびその周辺から発する音を集音してこれを分析し、アークが横飛びして発光管に衝突する際に発生する異常音を検出した際に、放電ランプへの電力供給を停止して消灯するようにしたので、アークの横飛びが発光管に衝突したことを的確に検知でき、不必要なランプ消灯を避けつつ、ランプ破損という不具合を回避できるものである。本発明の説明に先立ち、先ず、放電ランプにおけるアークの横飛びによる異常音の発生の概念を、図5により説明する。図5において、放電ランプ1は、発光管11内に陰極12と陽極13とが対向配置されている。該放電ランプ1においては、特に、点灯始動時において陰極11から陽極12に向かうアークAが、正確に陰極11と陽極12間で直線的に発生せずに、しばしばループ状に横飛びとなって発生することがある。この横飛びが大きくて、発光管11に衝突すると、アークAによる打撃音Sが発生し、これが異常音となる。この放電ランプの異常音は、アーク放電Aが発光管内壁に衝突した際に、局所的に発光管11が振動して発生するものである。つまり異常音は発光管振動と同等の振動数から成り、異常音発生時の音声スペクトルは発光管振動領域にピーク状の強度変化を有すると考えられる。そのため、音声のスペクトルのうち発光管振動領域の強度変化を観察することで、異常音の発生有無を判断することができる。しかし発光管の振動領域は、発光管のサイズや形状、材質によって適宜異なるため、異常音の検知判断には予め発光管振動数を調べておく必要がある。そこで、本発明の放電ランプ装置を実施する上では、発光管の振動数領域を予め特定しておく必要がある。本発明の発明者は、この発光管の振動数領域を特定する手段として、発光管外面を叩いた際の打音スペクトルを測定する方法を採用した。つまり、発光管外面をゴム製のハンマーで叩いた際の打音は、発光管に固有の振動数で発生し、打音のスペクトルは特定の振動数領域にピーク状の強度変化を持つ。例えば、5kW級の露光用放電ランプの打音スペクトルは、図6に示すようなスペクトルとなる。当該ランプでは、7400Hzおよび12000Hz付近に打音に起因したピーク状のスペクトルが観測されている。また、発光管の叩き方によっては±200Hz程度のピークシフトピーク変動が観測された。そこで、7400±200Hzおよび12000±200Hzの領域をそれぞれ発光管の振動数領域と定めた。そして、放電ランプにおけるアーク横とびによる発光管衝突音は、この発光管の振動数領域と同等の振動数からなるので、本発明においては、放電ランプでの該発光管振動数領域を特定して、これとの比較においてランプからの異常音として検知するものである。本発明の具体的な実施例を図1に基づいて説明する。放電ランプ1は、ランプハウス2内に収納されており、ランプハウス2外に設置された電源装置3により、電力が供給されて点灯する。前記ランプハウス2内には集音機器4が設置されており、該集音機器4はスペクトルアナライザ装置5に接続されている。このスペクトルアナライザ装置5は制御装置6に接続され、該制御装置6は前記電源装置3に接続されている。上記構成において、集音機器4によってランプハウス2内で発生する放電ランプ1およびその周辺機器からの音を集音して、スペクトルアナライザ装置5に音声信号として送る。スペクトルアナライザ装置5では、集音機器4からの音声信号を振動数ごとに解析して、その音声解析結果として、当該音声信号の各振動数成分とその出力強度を示す音声スペクトル情報を後続する制御装置6に出力する。当該制御装置6には、ランプ消灯時もしくは正常点灯時のランプハウス2内の音の音声スペクトルデータが予めインプットされていて、これをバックグラウンドとして、ランプ点灯時の前記スペクトルアナライザ装置5からの音声スペクトル情報と比較する。その比較手段としては、例えば、両データの差分によるものがあげられ、該制御装置6で、前記2つの音声スペクトルデータが差分処理される。これにより、発光管振動数領域のスペクトルの出力強度の変動を算出する。前記制御装置6において、発光管振動数領域のスペクトル強度の絶対値の変動値を算出して、許容値以上の変動があった場合は異常音が発生したと擬制し、電源装置3に停止信号が送られて放電ランプ1が速やかに消灯される。一方、変動値が許容値以内である場合には、放電ランプ1は継続点灯される。また、制御装置6による異常音の判断手段として、発光管振動数領域におけるスペクトル強度の積算値を算出し、ランプ消灯時もしくは正常点灯時と、ランプ点灯後の積算値の変化量から、異常音の発生有無の判断することもできる。いずれも場合にも、許容範囲としてランプ点灯後の変動値が、例えば、消灯時もしくは正常点灯時よりも50以上増加した場合に放電ランプを消灯するように制御装置6をプログラムすることができる。なお、この許容値として50という値は、周囲の環境の雑音の大きさを目安として状況に応じた設定値としてかまわない。上記構成における作用を図2に基づいて説明する。1放電ランプ点灯開始によってプログラムが実行開始される。2ランプ点灯後3秒間は待機する。33秒経過後に、ランプハウス2内の音声を集音機器4で検知する。この音声の検知をランプ点灯開始から3秒程度経過後に行うとしたのは、ランプ点灯直後には放電ランプ1のイグナイタ不図示が作動して大きな音が発生するため、ランプ点灯時の正確な計測が妨げられるからである。4集音機器4で検知した音の音声信号はスペクトルアナライザ装置5へ入力される。該スペクトルアナライザ装置5では、集音機器4から入力された音声信号を振動数成分ごとに解析し、当該音声信号の各振動数成分とその出力強度を示す音声スペクトル情報を音声分析結果として出力する。5スペクトルアナライザ装置5から出力された音声スペクトル情報データBは制御装置6に入力される。この制御装置6には消灯時もしくは正常点灯時のランプハウス2内の環境音に基づく音声スペクトル情報データAが予めインプットされており、これをバックグランドとして、データBとデータAが比較処理される。6次いで、発光管振動数領域のスペクトル強度の変動値を算出し、許容値以上の変動があった場合は異常音が発生したと擬制し、放電ランプを速やかに消灯するよう電源装置3に停止信号が送られる。許容値以上の変動がない場合、ランプは継続点灯される。7この制御プログラムによる異常音の検知動作は、放電ランプの点灯開始から5分間程度継続して行われ、この間異常音を検知しない限りはランプ点灯が継続される。ランプ点灯から5分間経過すると、この制御プログラムは停止されて、ランプ点灯が継続される。これは、アークの横跳びは、点灯開始直後の陰極温度が十分に上昇しないときに発生するものであって、5分間程度の継続点灯によって陰極温度が十分に上昇するとアークが安定し、それ以後はアークの横飛びが発生することがないからである。このアークの横飛び終息までの時間はランプ品種、各部の形状や点灯条件などによっても変化する場合があるため、プログラム上で検知の終息時間を任意に設定し、横飛びの影響が消失する時間帯にプログラムおよび音の測定系を停止させ余分な電力消費を抑制するものである。なお、前記制御装置においては、前記両音声データを比較処理してスペクトル出力強度の変動を算出するとしたが、その比較処理としては、両データの差分を求めて変動値としてもよいし、比率を求めて変動値としてもよい。本発明の効果を実証するための動作実験を行った。実験は5kWの露光用放電ランプを用いて動作実験を行った。本発明の効果を観察するため、バッファガスとして封入ガスにXeを用いて圧力を通常の1.0気圧前後から0.1気圧まで低下させ、横飛びが発生しやすい状態とした放電ランプを用いて、点灯動作実験を行った。始動時の電流は70Aとし、通常の動作電力よりも低い3.5kW入力で点灯した。また、実験から、ランプの放電状態は、陰極に変形があって横飛びが発生しやすい状態下でも3~7分程度で安定することが分かったため、制御装置の制御プログラムを7分で停止させるよう設定した。比較例1としては、アーク横飛びに関する検知手段を有しないものを、比較例2としては、アーク横飛びを電圧変動で検知するインターロック機構を有するものを、用意した。このインターロック機構の駆動条件は、ランプ点灯直後の電圧15~20Vに対し、70V以上の電圧が200msec以上連続して発生した場合にランプを停止するよう設定された。これらの放電ランプ装置を、ランプ点灯条件として、1時間点灯後に1時間消灯するサイクルとして、これを100回繰り返すことで確認した。その100回の点灯消灯後に、ガラス歪み計を用いて発光管に残留応力が発生しているかどうかを調べ、アークの横飛びによる不具合が発生していないかを確認した。前述したように、本実験ランプは通常よりも低い電力下で点灯されているために、発光管動作温度が低く、発光管の動作温度に起因して残留応力が発生することがない。そのため、横飛びに起因する残留応力の発生の有無を他の影響と切り分けて正確に調べることができるものである。その結果が図3および図4に示されている。図3に示されるように、アーク横飛びの検知手段を持たない比較例1では、発光管に残留応力が有り、当然、アーク横飛びを検知してのランプ消灯はない。インターロック機構を有する比較例2では、残留応力は無いものの、消灯回数が26回と多く、これは、アークの横飛びの全てを検知して消灯したものである。それに対して、本発明においては、残留応力が無く、かつ、消灯回数も11回と少なく、これは、発生するアーク横飛びのうち、発光管に衝突するものだけを検知した結果である。また、図4は、比較例2と本発明について、アーク横飛びに伴うランプの消灯回数を、点灯回数サイクルごとに見たものであり、同図で分かるように、比較例2では、比較的サイクルの少ない段階から消灯が行われており、最終段階において増加している。比較例2におけるこの消灯状態は、先に述べたように、アークの横飛の全てを検知しているものであり、点灯サイクルの最終段階で消灯回数が増えているのは、点灯積算時間の経過とともに陰極先端が磨耗したり、あるいは電子放射物質が消耗してきて、アークの横飛びが増えてきていることを示しているものである。一方、本発明では、サイクルの後半期になって消灯が発生し、その消灯回数も最終段階で増えている。これは、サイクル初期の横飛びはその横飛びの程度が小さく、発光管に衝突する程度ではなく、これを検知していないことを示しており、また、最終段階で消灯回数が増加しているのは、前述の比較例2で述べたと同様の理由で、アークの横飛び回数が増えるとともに、その横飛びの程度が大きくなって、発光管に衝突する回数が増加していることを示すものである。以上説明したように、本発明においては、発光管内に配置された一対の電極を有する放電ランプと、該放電ランプに電力を供給する電源装置と、該電源装置を制御する制御装置と、よりなる放電ランプ装置において、放電ランプが収納されたランプハウス内の音声を集音機器により集音し、その音声信号をスペクトルアナライザ装置に送ってこれを解析し、該解析結果に基づいて制御装置が、ランプ点灯時に発光管から発生する異常音を検知した場合に、前記電源装置による放電ランプへの電力の供給を停止させるようにしたことにより、発光管内で発生するアークの横飛びによる該発光管への衝突を的確に検知することができるという効果を奏するものである。そのため、従来のインターロック機構でのアーク横飛び検知のように、横飛びの全てを検知してしまうようなことがなく、真に不具合の原因となる発光管へのアークの衝突のみを的確に検知して、いたずらに消灯を繰り返すといったことがなくなるものである。