"ノズル開口が穿設されたセラミックス製のノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成されて上記ノズルプレートに積層されたセラミックス製の流路形成部と、上記流路形成部に積層されて圧力発生室の開口を封止するセラミックス製の封止板と、上記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生素子と、上記ノズルプレートと流路形成部と封止板を含む積層体が貼着されるケース部材とを備え、上記積層体のケース部材と貼着される領域において、上記積層体に厚みを有するプレート部材が含まれていることを特徴とする液体噴射装置。上記流路形成部が、圧力発生室が形成された圧力発生室形成板と、上記圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連通路ならびに液体貯留室が形成された液体貯留室形成板と、上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する供給口ならびにノズル開口と圧力発生室を連通させるノズル連通路が形成された供給口形成板を含む請求項1記載の液体噴射装置。上記流路形成部が、液体貯留室内の圧力変動を吸収するダンパ室が形成されたダンパ室形成板と、上記ダンパ室と液体貯留室との間に挟まれるダンパ板とを含む請求項2記載の液体噴射装置。上記ダンパ室形成板に、圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連通路ならびに圧力発生室と供給口を連通させる連通穴が穿設され、厚みを有するプレート部材が上記ダンパ室形成板である請求項3記載の液体噴射装置。供給口形成板がダンパ板を兼ねている請求項3または4記載の液体噴射装置。圧力発生室形成板にダンパ室が形成され、この圧力発生室形成板がダンパ室形成板を兼ねている請求項3記載の液体噴射装置。上記厚みを有するプレート部材が圧力発生室形成板である請求項2~6のいずれか一項に記載の液体噴射装置。振動板の板面に、厚みを有するプレート部材として接着部基板が積層されている請求項1記載の液体噴射装置。流路形成部が、圧力発生室ならびに液体貯留室が形成された流路形成板と、圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連通路ならびに液体貯留室の液体を圧力発生室に供給する供給口が形成された供給口形成板とを含む請求項8記載の液体噴射装置。振動板上部の液体貯留室に対応する部分の接着部基板に空間が形成され、上記空間が液体貯留室内の圧力変動を吸収するようになっている請求項9記載の液体噴射装置。ケース部材が全体として略筒状を呈する筒状体であり、上記筒状体の端面が積層体の周縁部と貼着される請求項1~10のいずれか一項に記載の液体噴射装置。上記圧力発生室形成板のケース部材と貼着される領域において空間部が存在しない請求項1~3のいずれか一項に記載の液体噴射装置。厚みを有するプレート部材の厚みが20μm以上である請求項1~12のいずれか一項に記載の液体噴射装置。ところが、上記記録ヘッドでは、圧力発生室2はアクチュエータユニット1に設けられ、圧力発生室2にインクを供給するインク貯留室4と、圧力発生室2のインクを吐出するノズル開口3が流路ユニット5に設けられている。しかも、アクチュエータユニット1はセラミックス製で流路ユニット5はステンレス鋼製である。このため、圧力発生室2とインク貯留室4ならびにノズル開口3を連通させるために複数のパーツを接着剤で貼り合わせて積層する必要があり、構造や製造工程が複雑化してコストアップの要因になっている。また、貼り合わせ部の熱収縮率や線膨張係数の相違により歪や剥離が発生するおそれがある。さらに、インクがステンレス鋼や接着剤と直接接触するため、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあるインクや、接着剤を溶出させるようなインクを用いることができず、使用するインクの特性や、適用分野に制限がある。そこで、最近では、すべての部材をセラミックスで形成したインクジェット式記録ヘッドも検討されている。このようなセラミックス製の記録ヘッドは、図36に示すように、振動板11,圧力発生室形成板10,連通穴形成板14だけでなく、供給口形成板18,ダンパ板13,インク貯留室形成板16,ノズルプレート17もセラミックスで形成することが考えられる。上記セラミックス製の記録ヘッドを製造する際には、振動板11,圧力発生室形成板10,連通穴形成板14,供給口形成板18,ダンパ板13,インク貯留室形成板16,ノズルプレート17に対応するセラミックス材料のグリーンシートを積層して焼成することにより、接着剤層15を介さずに各プレートを接合することができると考えられる。一般に、記録ヘッドは、振動板11の上面に、四角筒状のケースが貼着され、上記ケースを介してインクカートリッジのインクをインク貯留室に供給等することが行なわれる。しかしながら、上記のようなセラミックス製の記録ヘッドでは、グリーンシートの積層体を焼成することにより製造されるため、振動板11のような厚みの薄い部材では、反りが生じたり外力によって破損したりしやすいと考えられる。したがって、ケースと貼着される部分が厚みの薄いプレートであると、ケースとの接着面の平坦度が低下したり、十分な接着圧力が得られず、記録ヘッドとケースとの接合が不十分となりやすい。本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、ケースとの接着面の平坦度を確保するとともに十分な接着圧力を得られ、記録ヘッドとケースとの接合強度を十分に確保できる液体噴射装置の提供を目的とする。上記目的を達成するため、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設されたセラミックス製のノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成されて上記ノズルプレートに積層されたセラミックス製の流路形成部と、上記流路形成部に積層されて圧力発生室の開口を封止するセラミックス製の封止板と、上記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生素子と、上記ノズルプレートと流路形成部と封止板を含む積層体が貼着されるケース部材とを備え、上記積層体のケース部材と貼着される領域において、上記積層体に厚みを有するプレート部材が含まれていることを要旨とする。すなわち、本発明の液体噴射装置は、積層体のケース部材と貼着される領域において、上記積層体に厚みを有するプレート部材が含まれている。上記厚みを有するプレート部材は、焼成による反りが生じにくく、破損もしにくいため、ケース部材との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材と接着する際に十分な接着圧力を加えることができる。したがって、記録ヘッドとケース部材との接合強度を十分確保できるようになる。本発明の液体噴射装置において、上記流路形成部が、圧力発生室が形成された圧力発生室形成板と、上記圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連通路ならびに液体貯留室が形成された液体貯留室形成板と、上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する供給口ならびにノズル開口と圧力発生室を連通させるノズル連通路が形成された供給口形成板を含む場合や、上記流路形成部が、液体貯留室内の圧力変動を吸収するダンパ室が形成されたダンパ室形成板と、上記ダンパ室と液体貯留室との間に挟まれるダンパ板とを含む場合には、積層構造により、グリーンシートの積層体を焼成するセラミックス製の記録ヘッドを容易に作ることができる。本発明の液体噴射装置において、上記ダンパ室形成板に、圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連通路ならびに圧力発生室と供給口を連通させる連通穴が穿設され、厚みを有するプレート部材が上記ダンパ室形成板である場合には、比較的厚みが必要なダンパ室形成板を厚みを有するプレート部材とすることにより、構造的に無駄がなくシンプルになる。本発明の液体噴射装置において、供給口形成板がダンパ板を兼ねている場合には、供給口形成板がダンパ板を兼ねることにより、構造がシンプルになる。本発明の液体噴射装置において、圧力発生室形成板にダンパ室が形成され、この圧力発生室形成板がダンパ室形成板を兼ねている場合には、圧力発生室形成板がダンパ板を兼ねることにより構造がシンプルになるとともに、記録ヘッドを構成するプレート数も少なくてすみ、コスト面で有利であり、記録ヘッドの小型化の面でも有利である。本発明の液体噴射装置において、上記厚みを有するプレート部材が圧力発生室形成板である場合には、比較的厚みが必要な圧力発生室形成板を厚みを有するプレート部材とすることにより、構造的に無駄がなくシンプルになる。本発明の液体噴射装置において、振動板の板面に、厚みを有するプレート部材として接着部基板が積層されている場合には、接着部基板により確実にケース部材との接着面の平坦度を確保するとともに、ケース部材との接着において十分な接着圧力を加えることができるようになる。本発明の液体噴射装置において、流路形成部が、圧力発生室ならびに液体貯留室が形成された流路形成板と、圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連通路ならびに液体貯留室の液体を圧力発生室に供給する供給口が形成された供給口形成板とを含む場合には、1枚の流路形成板に圧力発生室と液体貯留室とが形成されていることから、構造がシンプルになるとともに、記録ヘッドを構成するプレート数も少なくてすみ、コスト面で有利であり、記録ヘッドの小型化の面でも有利である。本発明の液体噴射装置において、振動板上部の液体貯留室に対応する部分の接着部基板に空間が形成され、上記空間が液体貯留室内の圧力変動を吸収するようになっている場合には、上記空間がダンパ室として機能することから、ダンパ室形成板やダンパ板を積層する必要がなく、構造がシンプルになるとともに、記録ヘッドを構成するプレート数も少なくてすみ、コスト面で有利であり、記録ヘッドの小型化の面でも有利である。本発明の液体噴射装置において、ケース部材が全体として略筒状を呈する筒状体であり、上記筒状体の端面が積層体の周縁部と貼着される場合には、圧力発生素子をケース部材内に収容して保護できる。本発明の液体噴射装置において、上記圧力発生室形成板のケース部材と貼着される領域において空間部が存在しない場合には、ケース部材と貼着される領域の接着部近傍において空間部が存在しない構造となり、ケースと接着する際十分に接着圧力を加えることができる。本発明の液体噴射装置において、厚みを有するプレート部材の厚みが20μm以上である場合には、ケース部材との接着面の平坦度が十分確保されるとともに、ケース部材と接着する際に十分な接着圧力を加えることができる。発明の効果以上のように、本発明の液体噴射装置によれば、積層体のケース部材と貼着される領域において、上記積層体に厚みを有するプレート部材が含まれていることから、上記厚みを有するプレート部材は、焼成による反りが生じにくく、破損もしにくいため、ケース部材との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材と接着する際に十分な接着圧力を加えることができる。したがって、記録ヘッドとケースとの接合強度を十分確保できるようになる。2圧力発生室、4インク貯留室、6圧電素子、11振動板、17ノズルプレート、21ダンパ室形成板、23ケース部材、30流路形成部。つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。図1および図2は、本発明の液体噴射装置の基本構造を示す図である。この実施の形態では、本発明の液体噴射装置をインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示している。この記録ヘッドは、ノズル開口3が穿設されたノズルプレート17と、上記ノズル開口3から吐出されるインクの流路が形成されて上記ノズルプレート17の上に積層された流路形成部30と、上記流路形成部30の上に積層された振動板封止板11とを備えている。上記流路形成部30は、上記ノズル開口3に連通する圧力発生室2が形成された圧力発生室形成板10と、上記圧力発生室2に供給するインクが貯留されるインク貯留室4が形成されたインク貯留室形成板16と、上記インク貯留室4内の圧力変動を吸収するダンパ室7が形成されたダンパ室形成板21とを備えている。また、上記流路形成部30は、インク貯留室4の上部開口を塞ぐとともに、インク貯留室4に貯留されたインクを圧力発生室2に供給するインク供給口9が穿設された供給口形成板18を備えている。この供給口形成板18は、ダンパ室7とインク貯留室4に挟まれてダンパ室7の下部開口を塞ぎ、インク貯留室4内の圧力変動によって弾性変形することにより、上記圧力変動をダンパ室7に逃がすダンパ板としても機能する。そして、上記流路形成部30は、ノズルプレート17側から、インク貯留室形成板16,供給口形成板18,ダンパ室形成板21,圧力発生室形成板10の順に積層されて構成されている。ここで、上記インク貯留室形成板16,供給口形成板18,ダンパ室形成板21には、それぞれ、ノズル開口3と圧力発生室2とを連通させるノズル連通路8が穿設されている。また、ダンパ室形成板21には、インク供給口9と圧力発生室2とを連通させる連通穴12が穿設されている。一方、上記振動板11の上面には、櫛歯状の下部電極19が形成されている。この下部電極19の各櫛歯部19Aは、それぞれ圧力発生室2の上部を覆う部分に形成されている。また、上記下部電極19の各櫛歯部19A上面に、それぞれ平板状の圧電素子6が形成され、上記圧電素子6の上面には、個別の上部電極20が形成されている。上記上部電極20および下部電極19を介して各圧電素子6に駆動信号を印加するようになっている。そして、ノズルプレート17上に流路形成部30が積層され、この流路形成部30上に、圧電素子6,下部電極19および上部電極20が形成された振動板11が積層されている。さらに、ノズルプレート17,流路形成部30,振動板11の積層体の上面周縁部に、四角筒状のケース部材23の端面が貼着されている。図において、26はインクカートリッジ図示せず等からインク貯留室4にインクを補給するインク補給口、39は上記インク補給口26に連通するインク補給路である。上記記録ヘッドにおいて、圧電素子6に駆動信号が印加されると、圧電素子6が横方向に収縮する。このとき、圧電素子6の振動板11に固定された下面側は収縮せず、上面側だけが収縮するため、圧電素子6および振動板11が下方にたわみ、圧力発生室2を圧縮する。そして、圧力発生室2内の圧力上昇により、圧力発生室2内のインクがノズル開口3からインク滴として吐出され、記録紙等にドットが形成されて印刷が行われる。ついで、圧電素子6が放電されて元の状態に戻ると、圧力発生室2内が減圧され、インク貯留室4からインク供給口9を通して圧力発生室2へ新しいインクが供給される。ここで、図3~図12に、各プレートの平面図を示す。図3は、ノズルプレート17であり、図4は、上記ノズルプレート17にインク貯留室形成板16が積層された状態、図5は、さらに供給口形成板18が積層された状態、図6は、さらにダンパ室形成板21が積層された状態、図7は、さらに圧力発生室形成板10が積層された状態、図8は、さらに振動板11が積層された状態、図9は、さらに下部電極19が積層された状態、図10は、さらに圧電素子6が積層された状態下部電極19は示していない、図11は、さらに上部電極20が積層された状態下部電極19と圧電素子6は示していない、図12は、さらに端子31が積層された状態である下部電極19,圧電素子6および上部電極20は示していない。また、図13は、上記各プレートの積層体の透視図である。各図において、22は、各プレートを積層する際に位置決めを行なう位置決め穴である。また、図13において、斜線部32は、ケース部材23が貼着される領域を示している。この記録ヘッドでは、圧力発生室2が1列の列をなすように列設されている。そして、下部電極19の各櫛歯部19A先端は、端子嵩上げ部材27の上に配置されるとともに、圧力発生室2の列の両端部を除く各櫛歯部19A先端は、絶縁部29によって絶縁されている。そして、圧力発生室2の列の両端部に位置する櫛歯部19A先端は、下部電極19に駆動信号を入力する際の共通端子28として用いられる。したがって、各共通端子28に対応する列両端部の圧力発生室2Aは駆動されることがなく、インク滴を吐出しないようになっている。そして、ダンパ室形成板21,供給口形成板18,インク貯留室形成板16それぞれの、列両端部の圧力発生室2Aに対応する部分には、それぞれノズル連通路8が形成されていない。また、供給口形成板18の、列両端部の圧力発生室2Aに対応する部分にはインク供給口9および連通穴12が形成されておらず、ノズルプレート17の、列両端部の圧力発生室2Aに対応する部分にはノズル開口3が形成されていない。これにより、列両端部の圧力発生室2Aは、ノズル開口3およびインク貯留室4と連通せず、インク流路以外の独立空間となっている。一方、ダンパ室7も、インク流路と連通しない流路以外の独立空間となっている。ここで、上記記録ヘッドでは、ノズルプレート17、流路形成部30インク貯留室形成板16,供給口形成板18,ダンパ室形成板21,圧力発生室形成板10、振動板11がすべてセラミックスから形成されている。上記のような記録ヘッドは、例えば、つぎのようにしてつくられる。すなわち、まず、セラミックスのグリーンシートを準備し、上記グリーンシートを打ち抜いて、ノズルプレート17,インク貯留室形成板16,供給口形成板18,ダンパ室形成板21,圧力発生室形成板10,振動板11にそれぞれ対応するプレートを形成する。このとき、インク貯留室4,ダンパ室7,インク供給口9,圧力発生室2,ノズル連通路8,連通穴12にそれぞれ対応する空間を打ち抜き等で形成しておく。そして、上記ノズルプレート17,インク貯留室形成板16,供給口形成板18,ダンパ室形成板21,圧力発生室形成板10,振動板11に対応するグリーンシートを所定の順序で積層したのち焼成することにより、接着剤を介することなくセラミックスで一体的に形成された記録ヘッドを得ることができる。ここで、上記記録ヘッドでは、ケース部材23が貼着される領域である斜線部32において、各プレートの積層体に、厚みを有するプレート部材として圧力発生室形成板10が積層されている。すなわち、ダンパ室形成板21を圧力発生室形成板10とインク貯留室形成板16の間に位置させることにより、圧力発生室形成板10を、厚みを有するプレート部材として機能させている。このようにすることにより、上記厚みを有するダンパ室形成板21は、焼成による反りが生じにくく、破損もしにくいため、ケース部材23との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材23と接着する際十分に接着圧力を加えることができる。上記厚みを有するプレート部材の厚み寸法としては、少なくとも20μm以上に設定するのが好ましい。上記厚み寸法としてより好ましいのは、50μm以上であり、もっとも好ましいのは80μm以上である。上記厚み寸法が20μm未満では、焼成による反りが生じやすく、破損もしやすくなるため、ケース部材23との接着面の平坦度が確保できず、ケース部材23と接着する際十分な接着圧力を加えることができなくなるからである。さらに、上記記録ヘッドを製造する場合のインク貯留室形成板16と供給口形成板18とダンパ室形成板21の積層順序として、まず、供給口形成板18の上にダンパ室形成板21を積層して上下に圧力を加えて圧着したのち、供給口形成板18の下面にインク貯留室形成板16を積層して上下に圧力を加えて圧着するのが好ましい。このようにすることにより、この例のようにインク貯留室4よりダンパ室7が小さくても、供給口形成板18とダンパ室形成板21とがあらかじめ密着されることから、インク貯留室4に対応する空間部における供給口形成板18とダンパ室形成板21の密着不良が生じない。また、上記記録ヘッドでは、列両端部の圧力発生室2Aおよびダンパ室7が、インク流路と連通しない流路以外の独立空間となっているため、これらの独立空間を閉塞状態で存在させると、グリーンシートを積層する工程で上記独立空間内の空気が十分逃げない。そして、積層体を焼成する工程では、上記独立空間内に閉じ込められた空気が膨張し、独立空間周辺のプレートの接合部に歪が生じ、プレート同士が十分接合されなかったり接合部が剥離しやすい。そこで、上記記録ヘッドでは、圧力発生室10より上側に積層されるプレートには、その上記ダンパ室7に対応する箇所に、独立空間であるダンパ室7を外部と連通させる第2外部連通孔25が穿設され、上記ダンパ室7をノズルプレート17と反対側に大気開放させるようになっている。また、圧力発生室形成板10より上側に積層されるプレートに独立空間である圧力発生室2Aを外部と連通させる第1外部連通孔24が穿設され、ダンパ室形成板21に上記第1外部連通孔24と独立空間である圧力発生室2Aとを連通させる長孔38が形成され、上記圧力発生室2Aをノズルプレート17と反対側に大気開放させるようになっている。ここで、圧力発生室2Aの上側には上部電極20,下部電極19や圧電素子6が積層されていることから、第2外部連通孔25のように直接外部に連通させることが困難である。したがって、長孔38を形成させることにより、上部電極20,下部電極19や圧電素子6が存在しないところまで連通路を延長させているのである。このようにすることにより、列両端部の圧力発生室2Aやダンパ室7のようなインク流路ではない独立空間が存在したとしても、上記独立空間は、第1および第2外部連通孔24,25を介して大気開放されるため、グリーンシートを積層する段階で独立空間内の空気が十分逃げ、積層体を焼成する段階で独立空間内に閉じ込められた空気が膨張しても上記第1および第2外部連通孔24,25から空気が排出される。したがって、独立空間周辺のプレートの接合部に歪が生じたり、プレート同士の接合が不十分になるようなことがほとんどなくなる。また、上記第1および第2外部連通孔24,25をノズルプレート17と反対側に開口させているため、第1および第2外部連通孔24,25からダンパ室7等にインクが進入してダンパ効果に支障をきたす等の不具合が生じない。しかも、列設された圧力発生室2の列の両端部に位置する圧力発生室2Aをノズル開口3と連通させず、インク滴を吐出しないようにしたことにより、インク滴が吐出される圧力発生室2が必ず両側を他の圧力発生室2,2Aで挟まれることとなり、インク滴を吐出する圧力発生室2が製造上安定して得られ、吐出特性も安定する。なお、上記記録ヘッドを構成するセラミックス材料としては、特に限定するものではなく、各種の材料を用いることができる。例えば、炭化珪素,炭化チタン,炭化クロム,炭化ニオブ,炭化バナジウム,炭化ジルコニウム,炭化モリブデン,炭化ボロン等の各種炭化物、酸化ジルコニウムジルコニア,酸化アルミニウム,酸化マグネシウム,酸化珪素,酸化チタン,酸化ベリリウム等の各種酸化物、窒化アルミニウム,,窒化珪素,窒化ベリリウム,窒化ボロン等の各種窒化物,ほう化ジルコニウム,ほう化クロム,ほう化チタン等の各種ほう化物、サイアロン等のような複合化合物等をあげることができる。これらは、単独でもしくは併せて用いられる。これらのなかでも、ジルコニアは、機械的強度や靭性に優れるうえ耐食性にも優れ、液体噴射装置を構成する材料として好適である。上記記録ヘッドでは、焼成による反りが生じにくく、破損もしにくいため、ケース部材23との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材23と接着する際十分に接着圧力を加えることができる。したがって、記録ヘッドとケース部材23との十分な接合強度を確保できる。しかも、比較的厚みが必要な圧力発生室形成板10を厚みを有するプレート部材とすることにより、構造的に無駄がなくシンプルになるうえ、供給口形成板18がダンパ板として機能するため、構造がさらにシンプルになる。また、上記記録ヘッドでは、流路形成部30,振動板11,ノズルプレート17がそれぞれセラミックスから形成されているため、インクと接触する流路がすべてセラミックスから形成されることとなり、流路の耐インク性が飛躍的に向上する。したがって、使用するインクの種類に制限を受けず、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあるインクや、接着剤を溶出させるようなインクも使用でき、使用するインクの特性に制限がほとんどなくなる。また、流路の化学的安定性が向上して有機物の溶出等がなくなるため、例えば、食品分野や医療分野等にも使用できるようになり、適用分野の制限もほとんどなくなる。さらに、上記記録ヘッドでは、上記流路形成部30,振動板11,ノズルプレート17の積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されているため、貼り合わせの作業が不要になるうえ、熱収縮率や線膨張係数の相違による歪の発生や剥離のおそれがない。さらに、積層構造であるため、セラミックスのグリーンシートからの製造に適している。図14は、本発明の第2の実施の形態の液体噴射装置を示す。ここで、図15~図23に、各プレートの平面図を示す。図15は、ノズルプレート17であり、図16は、上記ノズルプレート17にインク貯留室形成板16が積層された状態、図17は、さらに供給口形成板18が積層された状態、図18は、さらに圧力発生室形成板10が積層された状態、図19は、さらに振動板11が積層された状態、図20は、さらに下部電極19が積層された状態、図21は、さらに圧電素子6が積層された状態下部電極19は示していない、図22は、さらに上部電極20が積層された状態下部電極19と圧電素子6は示していない、図23は、さらに端子31が積層された状態である下部電極19,圧電素子6および上部電極20は示していない。また、図24は、上記各プレートの積層体の透視図である。図24において、斜線部32は、ケース部材23が貼着される領域を示している。この記録ヘッドは、流路形成部30に、ダンパ室形成板21がなく、圧力発生室形成板10のインク貯留室4に対応する部分にダンパ室7が形成されている。また、圧力発生室形成板10のケース部材23と貼着される領域である斜線部32に対応する部分に、ダンパ室7が存在していない。さらに、インク貯留室形成板16に肉抜き部33が形成され、供給口形成板18より上側に積層されるプレートには、上記肉抜き部33内を外部と連通させる第3外部連通孔34が穿設されている。それ以外は、上記第1の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この記録ヘッドでは、圧力発生室形成板10のケース部材23と貼着される領域の近傍において空間部が存在しない構造であり、ケース部材23と接着する際十分に接着圧力を加えることができる。また、圧力発生室形成板10にダンパ室7が形成され、この圧力発生室形成板10がダンパ室形成板を兼ねているため、構造がシンプルになるとともに、記録ヘッドを構成するプレート数も少なくてすみ、コスト面で有利であり、記録ヘッド小型化の面でも有利である。しかも、インク貯留室形成板16に肉抜き部33を設けたため、インク貯留室形成板16の肉厚が全体に均一に近くなり、焼成時の反りを防止できる。それ以外は、上記第1の実施の形態と同様の作用効果を奏する。図25は、本発明の第3の実施の形態の液体噴射装置を示す。ここで、図26~図33に、各プレートの平面図を示す。図26は、ノズルプレート17であり、図27は、上記ノズルプレート17に供給口形成板18が積層された状態、図28は、さらに流路形成板35が積層された状態、図29は、さらに振動板11および接着部基板36が積層された状態、図30は、さらに下部電極19が積層された状態、図31は、さらに圧電素子6が積層された状態下部電極19は示していない、図32は、さらに上部電極20が積層された状態下部電極19と圧電素子6は示していない、図33は、さらに端子31が積層された状態である下部電極19,圧電素子6および上部電極20は示していない。また、図34は、上記各プレートの積層体の透視図である。図34において、斜線部32は、ケース部材23が貼着される領域を示している。この記録ヘッドでは、流路形成部30が、圧力発生室2ならびにインク貯留室4が形成された流路形成板35と、圧力発生室2とノズル開口3を連通させるノズル連通路8ならびにインク貯留室4のインクを圧力発生室2に供給する供給口9が形成された供給口形成板18とが積層されてなる。また、振動板11の板面に、厚みを有するプレート部材として接着部基板36が積層されている。この接着部基板36は、ケース部材23が貼着される領域に対応する枠状を呈している。さらに、振動板11上部のインク貯留室4に対応する部分に空間37が形成され、インク貯留室4内の圧力変動により振動板11が弾性変形して上記空間37が上記圧力変動を吸収するようになっている。それ以外は、上記第1の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。上記記録ヘッドでは、厚みを有する部材として接着部基板36を積層していることから、接着部基板36により確実にケース部材23との接着面の平坦度を確保するとともに、ケース部材23との接着において十分な接着圧力を加えることができる。また、1枚の流路形成板35に圧力発生室2とインク貯留室4とが形成されているとともに、振動板11上部の空間37がダンパ室として機能することから、ダンパ室形成板やダンパ板を積層する必要がなく、構造がシンプルになるとともに、記録ヘッドを構成するプレート数も少なくてすみ、コスト面で有利であり、記録ヘッドの小型化の面でも有利である。さらに、振動板11がダンパ板として機能することから、ダンパ効果に優れている。それ以外は、上記第1の実施の形態と同様の作用効果を奏する。なお、上記各実施の形態では、本発明を撓み振動モードの圧電振動子が用いられたインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示したが、これに限定するものではなく、縦振動モードの圧電振動子が用いられたインクジェット式記録ヘッドに適用することもできるし、圧力発生素子として流路内のインクを加熱する加熱素子が用いられた記録ヘッドに適用することも可能である。また、上記各実施の形態では、本発明の液体噴射装置を、インクジェット式記録ヘッドに適用した例を示したが、これに限定するものではなく、例えば、吐出する液体をガソリン等の燃料とし、内燃機関の燃料噴射装置として用いることもできる。さらに、透明基板上にマトリックス状に形成された透明電極の上に有機発光層を形成する表示体の、有機発光層の形成等にも応用することができる。このように、本発明の液体噴射装置では、噴射する液体として各種の液体を適用することができ、各種の産業分野に応用することが可能である。発明の効果以上のように、本発明の液体噴射装置によれば、積層体のケース部材と貼着される領域において、上記積層体に厚みを有するプレート部材が含まれていることから、上記厚みを有するプレート部材は、焼成による反りが生じにくく、破損もしにくいため、ケース部材との接着面の平坦度が確保されるとともに、ケース部材と接着する際に十分な接着圧力を加えることができる。したがって、記録ヘッドとケースとの接合強度を十分確保できるようになる。"