レーザガスを封入するレーザチャンバと、該レーザチャンバ内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極と、前記一対の主放電電極間にレーザガス流を作り出す貫流ファンと、からなる放電励起エキシマレーザ装置において、該レーザチャンバ内のレーザガス圧力に応じて該貫流ファンの回転数を変化させることを特徴とする放電励起エキシマレーザ装置。レーザガス圧力が低いほど、貫流ファンの回転数を上昇させることを特徴とする請求項1に記載の放電励起エキシマレーザ装置。レーザガスを封入するレーザチャンバと、該レーザチャンバ内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極と、回転軸を有し前記一対の主放電電極間にレーザガス流を作り出す貫流ファンと、該貫流ファンの該回転軸に対して回転駆動力を付与するモータと、該モータに駆動用交流電圧を供給するインバータと、該レーザチャンバ内のレーザガス圧を検出するガス圧力センサと、少なくとも該ガス圧力センサからのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータを所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータに発生させる速度指令信号を発信するコントローラーと、からなる放電励起エキシマレーザ装置において、該コントローラーは、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信することを特徴とする放電励起エキシマレーザ装置。該コントローラーは、該レーザガス圧力検出信号によってレーザガス圧が低くなることが検出されると、該モータの回転数を上昇させる速度指令信号を発信することを特徴とする請求項3に記載の放電励起エキシマレーザ装置。従来のエキシマレーザ装置においては、レーザガスのガス圧が低い状態のとき、高い状態に比べると、レーザパルス毎の出力パワーのばらつきが大きくなり、必要な安定性を出すことが困難である、という問題があった。また、貫流ファンの回転数を上げるとレーザパルス毎の出力パワー安定性は出るが、ファンを回転させるモータやそれを駆動するインバータが大型化し、高コスト化やメンテナンス性低下等の問題があった。上記問題点を解決するために、請求項1に係る発明は、レーザガスを封入するレーザチャンバと、該レーザチャンバ内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極と、前記一対の主放電電極間にレーザガス流を作り出す貫流ファンと、からなる放電励起エキシマレーザ装置において、該レーザチャンバ内のレーザガス圧力に応じて該貫流ファンの回転数を変化させることを特徴とする。また、請求項2に係る発明は、請求項1に記載の放電励起エキシマレーザ装置であって、レーザガス圧力が低いほど、貫流ファンの回転数を上昇させることを特徴とする。また、請求項3に係る発明は、レーザガスを封入するレーザチャンバと、該レーザチャンバ内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極と、回転軸を有し前記一対の主放電電極間にレーザガス流を作り出す貫流ファンと、該貫流ファンの該回転軸に対して回転駆動力を付与するモータと、該モータに駆動用交流電圧を供給するインバータと、該レーザチャンバ内のレーザガス圧を検出するガス圧力センサと、少なくとも該ガス圧力センサからのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータを所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータに発生させる速度指令信号を発信するコントローラーと、からなる放電励起エキシマレーザ装置において、該コントローラーは、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信することを特徴とする。また、請求項4に係る発明は、請求項3に記載の放電励起エキシマレーザ装置であって、該コントローラーは、該レーザガス圧力検出信号によってレーザガス圧が低く検出されるほど、該モータの回転数を上昇させる速度指令信号を発信することを特徴とする。本発明の実施の形態に係る放電励起エキシマレーザ装置によれば、レーザガスのガス圧が低い状態のときレーザパルス毎の出力パワーのばらつきを小さくすることができ、安定した出力を得ることができる、という効果を得ることができる。また、本発明を実現するために、モータをより高性能なものにしたり、モータを駆動するインバータなどの回路構成を特段変更したりする必要がない。以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図1は本発明の実施形態に係る放電励起エキシマレーザ装置の構成例を示す断面図である。図1において、100は放電励起エキシマレーザ装置、101はレーザチャンバ、102、102は主放電電極、103は貫流ファン、105、105は窓、104は回転軸、112はモータ、114、114は軸受、121はガス圧力センサ、130はコントローラー、131はインバータをそれぞれ示している。本発明に係る放電励起エキシマレーザ装置100は、レーザガスが封入されたレーザチャンバ101の内部に、レーザガスを予備電離する予備電離電極図示せずと、レーザ光の発振を可能にする放電を得るための一対の主放電電極102、102とが配置されている。更にレーザチャンバ101内には、一対の主放電電極102、102の間に高速のレーザガス流を作り出すための貫流ファン103が配置されている。レーザ光の発振は、一対の主放電電極102、102の間に高電圧を印加することによってレーザ励起放電が行なわれて得られる。発生したレーザ光はレーザチャンバ101の側壁に設けられた窓105、105を経由してレーザチャンバ101の外部へ取り出される。レーザ励起放電が行なわれると、一対の主放電電極102、102の間にあるレーザガスは劣化により出力特性が悪くなり、繰返し発振が行なえなくなる。このため貫流ファン103にて、レーザチャンバ101内のレーザガスを循環させて、放電ごとに一対の主放電電極102、102間のレーザガスを入れ替えることにより安定した繰返し発振を行なっている。貫流ファン103の全長は、一対の主放電電極102、102の全長にわたり均一な風速を得るために主放電電極102、102の長さより若干長くなっている。この貫流ファン103を回転させて、一対の主放電電極102、102間に必要十分なガス流れを得ている。貫流ファン103は、内部を貫通し両端部から突出する回転軸104を有している。該回転軸104は、レーザチャンバ101の両端に設けられた軸受114、114にて回転自在に支持されている。そして、モータ112は貫流ファン103の回転軸104に回転動力を与える。モータ112にはインバータ131によって駆動用交流電圧が供給される。コントローラー130は、放電励起エキシマレーザ装置100の制御を総合的に行う汎用的な演算部等からなり、本発明においては、少なくともガス圧力センサ121からの、レーザチャンバ101ガス圧力に係るレーザガス圧力検出信号を受信し、インバータ131に対してモータ112の速度指令信号を発する上位制御部の役割を果たすものとする。ガス圧力センサ121は、レーザチャンバ101内に設けられ、レーザチャンバ101内のレーザガスの圧力を検出するものである。インバータ131は、モータ112を所望の回転数で回転させるための駆動用交流電圧を発生可能に設定されている。また、コントローラー130は、インバータ131に対して、モータ112を所望の回転数で回転させるための駆動用交流電圧を発生させるように速度指令信号を発信する。なお、本明細書においては、回転数なる語や回転速度なる語を同義的に用いることがある。図2は貫流ファン103の回転に伴うレーザガスの流れの状態を模式的に示す図である。ここで、従来のエキシマレーザ装置において、貫流ファン103の回転数を決定するための考え方について説明する。なお、図中115は貫流ファン103のフィンを示している。従来、貫流ファン103のファン回転数は放電繰り返し周波数と必要CR値により決定されていた。このときに用いられるCR値について説明する。主放電電極102、102間の放電により生成したデブリやイオンが、放電電極間に残っていると、次の放電のときにそのデブリ等が残留する部分で放電が発生して、放電電極間全体における放電が安定しない。主放電電極102、102間の放電が安定しないとレーザ出力のばらつきが大きくなる。これを避けるためには放電生成物であるデブリやイオンを、次の放電の前に放電電極間の空間からなるべく遠ざけておく必要がある。このような現象をCR値というパラメーターによって表している。放電空間内のガス流速をv、放電間隔時間をt、放電幅をWとすると、CR=vt/Wである。ガス流速vは貫流ファン103の回転数によって決まる。また、放電間隔時間tは放電繰り返し周波数の逆数であるため、放電繰り返し周波数と放電幅が決まれば、CR値はファン回転数に依存することとなる。次に、レーザ光発振に伴う主放電電極102、102の劣化とレーザ出力の関係について説明する。図3Aはエキシマレーザ装置におけるレーザガス圧とレーザ出力との関係を示す図である。図3Aにおいて、T0の曲線は主放電電極102、102が新品ほぼ未使用状態であるときのレーザガス圧対レーザ出力特性を示す曲線である。このようなエキシマレーザ装置におけるレーザガス圧対レーザ出力特性は、主放電電極102、102の放電による劣化に伴って、T0で示す曲線ほぼ電極未使用状態時の出力特性→T1で示す曲線電極使用後T1経過時の出力特性→T2で示す曲線電極使用後T2経過時の出力特性→T3で示す曲線電極使用後T3経過時の出力特性、というように変化する。ただし、T1<T2<T3である。エキシマレーザ装置においては、その装置が保証するレーザ出力の定格が決まっており、その定格出力をW0とすると、上述のような放電による電極劣化に伴う出力特性の変化のために、ほぼ電極未使用状態時のレーザガス圧力はP0に設定、また、電極使用後T1経過時のレーザガス圧力はP1に設定、また、電極使用後T2経過時のレーザガス圧力はP2に設定、また、電極使用後T3経過時のレーザガス圧力はP3に設定、というようにして、定格のレーザ出力を得るようにしている。このようにエキシマレーザ装置においては、使用経過時間によって、レーザチャンバ101内の圧力を、P0→P1→P2→P3と徐々に上げていく、という使用形態がとられる。図3Bは従来のエキシマレーザ装置におけるレーザガス圧とモータの回転数との関係を示す図である。このような従来のエキシマレーザ装置においては、レーザガスのガス圧が低い状態のときガス圧力P0のとき、高い状態ガス圧力P3のときに比べると、レーザパルス毎の出力パワーのばらつきが大きくなり、必要な安定性を出すことが困難である、という問題があった。そこで、本発明の放電励起エキシマレーザ装置においては、レーザガス圧力を低く設定するにつれて、貫流ファン103の回転数を上昇させる或いは、レーザ装置の実使用形態に合わせれば、レーザガス圧力が高くなるにつれて、貫流ファン103の回転数を低下させる構成とする。このような構成とすることは、CR値のみの観点からすると、レーザガスのガス圧が低い状態のときガス圧力P0のときには、必要以上のCR値で装置が稼働することとなるが、レーザガスのガス圧が低い状態のときガス圧力P0のときに、必要以上のCR値で装置を稼働するとレーザパルス毎の出力パワーの安定性が得られる、という知見をこの度発明者らは得た。本発明では、このような知見を活かして、上述のように、レーザガス圧力を低く設定するにつれて、貫流ファン103の回転数を上昇させるのである。次に、本発明の実施の形態について、図4を参照しつつ説明する。図4はAエキシマレーザ装置におけるレーザガス圧とレーザ出力との関係を示す図であり、図4B、Cは本発明の放電励起エキシマレーザ装置におけるレーザガス圧とモータの回転数との関係を示す図である。図4Aは、先の図3Aと同様のものであるが、本発明においては、ガス圧力P0、ガス圧力P1、ガス圧力P2、ガス圧力P3における貫流ファン103の回転数を図4B、Cのように設定する。図4Bは、ガス圧力P0のときの貫流ファン103の回転数をRa[rpm]と設定し、ガス圧力P1、ガス圧力P2、ガス圧力P3における貫流ファン103の回転数としてはR3[rpm]と設定した。このように設定することによって、本発明では、レーザガスのガス圧が低い状態のときレーザパルス毎の出力パワーのばらつきを小さくし、安定した出力を得ることができる、という効果を得ることができる。また、図4Cはガス圧力P0、のときの貫流ファン103の回転数をRa[rpm]と設定し、ガス圧力P1→ガス圧力P2→ガス圧力P3と設定するにつれて、貫流ファン103の回転数をR3[rpm]まで漸減させるようにしたものである。このような設定でも上記と同様の効果を得ることができる。なお、レーザガス圧力を低く設定するにつれて、貫流ファン103の回転数を上昇させるような、ガス圧対回転数のプロフィールとして、図4B、Cに示すような場合について示したが、本発明はこれらのガス圧対回転数プロフィールに限定されるものではない。以上のような設定を行うために、本発明の放電励起エキシマレーザ装置では、レーザチャンバ101内のガス圧力センサ121によってレーザガス圧を検出する。そして、ガス圧力センサ121から出力されるレーザガス圧力検出信号はコントローラー130に入力される。コントローラー130は、入力されたレーザガス圧力検出信号によって、レーザチャンバ101内のガス圧力を判別し、これに応じて、モータ112を所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータ131に発生させる速度指令信号を発信する。すなわち、図4Aの例においては、ガス圧力P0とガス圧力P1との間のガス圧力が検出されると、コントローラー130かからは、モータ112を回転数Ra[rpm]から、回転数R3[rpm]とするような速度指令信号がインバータ131に入力される。また、図4Bの例においては、ガス圧力P0からガス圧力P3までの変化が検出されるに応じて、コントローラー130からは、モータ112を回転数Ra[rpm]から、回転数R3[rpm]まで漸減するような速度指令信号がインバータ131に入力される。以上の本発明の放電励起エキシマレーザ装置によれば、レーザガスのガス圧が低い状態のときレーザパルス毎の出力パワーのばらつきを小さくすることができ、モータ、インバータを大型化せずに安定した出力を得ることができる、という効果を得ることができる。本発明においては、レーザガス圧力を低く設定するにつれて、貫流ファン103の回転数を上昇させるような設定としている。モータ112の出力は、回転数×トルクで定義される。ガス圧の低い状態においては、回転時の必要トルクが小さいことから、その分、回転数を上げることができるので、従来と比べて、モータ112のスペックをあげる必要はない。このことを図4D、Eを用いて説明する。図4Dに示すように、レーザガス圧力の上昇に伴って回転速度Ra、R3を維持するために必要なトルクは上昇する。モータ出力は回転速度×必要トルクであるから、図4Eに示すモータ出力の限界曲線破線を描くことができる。前記した回転速度Ra、R3、図4Cの回転速度曲線は、図4Eに示すようにこの限界曲線の示す出力可能範囲内に設定する。