発光管と、前記発光管の外側に軸方向に沿って配置され、前記発光管を囲む外側電極と、前記発光管の内側に配置される内側電極とを備え、前記内側電極と前記外側電極との間の径方向静電容量が、周方向に沿って不均一であり、相対的に静電容量の大きい電極間部分において、誘電体バリア放電が生じることを特徴とするエキシマランプ。前記内側電極と前記外側電極との間の径方向静電容量が、誘電体バリア放電の生じる電極部分から離れるにつれて小さくなることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。前記内側電極と前記外側電極との間に生じる電界が、周方向に沿って不均一であり、相対的に電界の強い電極間部分において、誘電体バリア放電が生じることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。前記内側電極と前記外側電極との間の径方向距離が、周方向に沿って不均一であり、相対的に距離の短い電極間部分において、誘電体バリア放電が生じることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のエキシマランプ。前記内側電極と前記外側電極との間の距離が、誘電体バリア放電の生じる電極部分から離れるにつれて長くなることを特徴とする請求項4に記載のエキシマランプ。前記外側電極が、前記発光管に接触する接触部と、前記発光管に接触しない非接触部とを有し、前記発光管と前記外側電極の非接触部との間に非放電領域が形成されていることを特徴とする請求項4乃至5のいずれかに記載のエキシマランプ。前記外側電極が、前記接触部において前記発光管に支持されていることを特徴とする請求項6に記載のエキシマランプ。前記外側電極が、前記発光管に接触せずに近接する近接部と、前記近接部よりも相対的に静電容量の小さい非近接部とを有し、前記発光管と前記外側電極の非近接部との間に非放電領域が形成されていることを特徴とする請求項4乃至5のいずれかに記載のエキシマランプ。前記外側電極が、軸に対して対称的な断面形状を有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のエキシマランプ。前記外側電極が、円状、扁平形状、もしくは多角形状の断面を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のエキシマランプ。前記外側電極が、前記発光管を囲う網状電極であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載のエキシマランプ。請求項1に記載されたエキシマランプを点灯させる点灯方法であって、所定の周波数をもつ交流電圧を、前記内側電極と前記外側電極との間に印加させることを特徴とするエキシマランプの点灯方法。発光管の外側表面に、軸方向および径方向に伸縮可能な円筒状網状電極を装着し、前記網状電極の断面形状が、前記発光管との非接触部を有する扁平形状もしくは多角形状となるように、前記網状電極を形成することを特徴とするエキシマランプの製造方法。エキシマランプの設置環境によっては、大きな電力の確保が困難な場合もある。そこでは小電力の電源装置しか使用できないため、十分な光強度で発光することができない。したがって、供給電力を抑えつつ、発光効率の高いエキシマランプが必要とされる。本発明のエキシマランプは、発光管と、発光管の外側に配置される外側電極と、発光管の内側に配置される内側電極とを備える。外側電極は、発光管を囲み込む、すなわち発光管を覆うように構成されている。エキシマランプとしては、単管式、二重管式等、いずれの発光管配置構造も適用可能である。例えば単管式の場合、内側電極は、発光管の内側に同軸配置することができる。外側電極は、発光管の外表面に設置することが可能であり、紫外光が管壁を通じてランプ外へ放射されるように構成すればよい。例えば、外側電極は、軸方向に沿って延在する網状の電極構造によって発光管全体を覆うことができる。本発明では、内側電極と外側電極との間の径方向静電容量が、周方向に沿って不均一であり、相対的に静電容量の大きい電極間部分において、誘電体バリア放電が生じる。ここで、径方向静電容量とは、ランプ軸中心から径方向に沿った電極間での静電容量であって、その電極間部分において、電圧印加によって静電結合が生じ、放電空間に電流が流れるまでの蓄積可能な電荷量を表す。外側電極は周方向に沿って静電容量が相違し、相対的に静電容量の大きい電極部分では、通常電界が相対的に強くなるため、誘電体バリア放電が生じる。そのため、相対的に静電容量が小さい他の電極部分で蓄積された電荷は、その誘電体バリア放電の生じている電極間部分へ移動する。その結果、放電空間内の特定の空間領域に誘電体バリア放電が生じる。紫外線放射はその放電発生箇所を中心に発光し、電圧印加によって電極間全体に渡って蓄積される電荷は誘電体バリア放電にそのまま有効利用されるため、光強度のあるエキシマ光を得ることができる。このようなエキシマランプは、供給電力が小さい場合にも、その放射方向を定めることによって十分な強度で発光することが可能である。例えば、所定の周波数をもつ交流電圧を内側電極と外側電極との間に印加させることが点灯方法として可能であり、極性が切り替わる度に誘電体バリア放電が部分的に生じる。誘電体バリア放電を安定的に一定箇所で生じさせることを考慮すると、例えば、内側電極と外側電極との間の静電容量が、誘電体バリア放電の生じる電極部分から離れるにつれて小さくなるように、電極配置を構成することが可能である。そのときの静電容量の変化としては、連続的あるいは段階的どちらでもよい。連続的あるいは段階的に静電容量が単調減少させると、電界の集中は、放電空間内の同じ空間領域で生じやすい。静電容量の相違、あるいは径方向に生じる電界の強さの相違を外側電極周方向に沿って生じさせる構成としては、電極間に存在する誘電体の誘電率一定で電極間の距離の違いを持たせることにより、周方向に沿って電界を変化させる構成が可能である。例えば、円筒状発光管を介して、内側電極と外側電極との間の径方向距離が不均一となる電極配置を構成することが可能である。径方向距離間隔の相対的に短い電極間部において、電界の集中する箇所に誘電体バリア放電が集中して生じる。電極間の距離が不均一な構成としては、一方の電極に対して他方の電極位置を周方向に沿って変化させる構成が可能である。例えば、内側電極からの径方向距離間隔が相対的に短い部分と長い部分が生じるように、外側電極の断面形状を構成すればよい。これによって、非放電領域となる絶縁空間領域を、発光管と外側電極との間で部分的に形成することができる。電界の集中による放電の安定化を図るため、例えば、誘電体バリア放電の生じる電極部分から離れるにつれて径方向距離間隔が長くなるように、外側電極を配置することが可能である。外側電極を発光管外部に装着させる構成では、外側電極と発光管との接触部を、静電容量が最も大きい電極部分として構成することが可能である。この場合、発光管と外側電極の非接触部との間に絶縁空間領域を形成することで、非放電領域を構成することができる。特に、外側電極が、接触部において発光管に支持されている構成を採用すれば、外側電極の支持部を別途設ける必要がない。一方、外側電極が、発光管と接触しない構成を採用する場合、外側電極の支持部を別途設ければよい。この場合、発光管に接触せずに近接する近接部と、近接部よりも相対的に静電容量の小さい非近接部とを電極部分として構成することが可能である。近接部となる部分に誘電体バリア放電が生じ、非近接部となる部分に非放電領域が形成される。外側電極の形状としては、軸に対し対称的な断面形状を有する外側電極を構成することが可能である。これにより、エキシマ光を互いに逆向きの方向へ放射することが可能となり、光の放射方向に広がりを持たせることができる。ここでの対称形状には、回転対称、線対称、点対称いずれも含まれる。例えば、外側電極は、円状、楕円などの扁平形状、三角形状、矩形状を含む多角形状の断面を有するように構成することが可能である。このとき、外側電極を、放電管の断面形状に合わせて、発光管外周面と全体的に接触、あるいは部分的に接触、近接させればよい。本発明のエキシマランプの製造方法は、発光管の外側表面に、軸方向および径方向に伸縮可能な円筒状網状電極を装着し、網状電極の断面形状が、発光管との非接触部分を作る扁平形状もしくは多角形状となるように、網状電極を形成することを特徴とする。本発明によれば、エキシマランプにおいて、発光効率を高めることができる。以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は、第1の実施形態である側面から見たエキシマランプの概略的断面図である。図2は、図1のII-IIに沿った軸方向から見たエキシマランプの概略的断面図である。エキシマランプ10は、石英ガラスから成る発光管20と、外側電極30と、内側電極40とを備えた単管式エキシマランプである。発光管20内の密閉された放電空間50には、希ガス、あるいは希ガスとハロゲンガスの混合ガスが封入されている。円柱状の内側電極40は、円筒状の発光管20内で同軸的に設置されている。よって、内側電極40と発光管20との間の径方向距離は、発光管20の内周面20Iおよび外周面20Hいずれにおいても、周方向に沿って均一である。外側電極30は、金属製の網状電極であり、金属線のループを周方向に繰り返した筒状のメリヤス編組構造になっている。図2に示すように、外側電極30の断面は楕円形状であり、発光管20の接触部S1、S2でのみ発光管20と接触し、支持されている。それ以外の電極部分は、発光管20と接触していない。外側電極30は、軸方向、径方向、そして周方向にそれぞれ伸縮性をもつ円筒状の網構造電極を変形することによって形成される。具体的には、網状電極を発光管20に装着させた後、外側電極30を軸方向に伸ばす。これにより、発光管20は、外側電極30によって軸方向全体に渡って覆われる。そして、外側電極30の相対する2つの部分を径方向に引っ張ることによって、楕円状の外側電極30が形成される。外側電極30が網状であるため、外側電極30と発光管20との間には、密閉されていない絶縁空間60A、60Bが相対する位置に存在する。軸方向から見ると、絶縁空間60A、60Bの断面領域、すなわち外側電極30の断面形状は、接触部S1、S2を通る直線Lに関して対称的である。したがって、外側電極30を周方向に沿って辿ると、発光管20と外側電極30との間の径方向距離は、接触部S1、S2から離れるほど大きくなっていく。直線Lと垂直な長軸線上にのる電極部分K1、K2が、発光管20と最大径方向距離をもつ位置となる。外側電極30と内側電極40は、給電装置70に接続されている。給電装置70は、商用電源などの交流電源を所定の電圧値に変換し、エキシマランプ10に交流電圧を供給する。ここでは、所定の周波数をもつ10W以下の交流電力が供給される。電圧印加によって誘電体バリア放電が放電空間50に生じ、エキシマ分子が生成される。そして、紫外光であるエキシマ光が、発光管20の壁中および外側電極30の網目を通り、ランプ外部へ放射される。点灯時、ランプ周辺温度を35°C程度に維持するのがよい。図3は、点灯時の放電状態を示したエキシマランプの概略的断面図である。図4は、点灯時の電荷蓄積状態を示した図である。図3、4を用いて、エキシマランプの放電について説明する。外側電極30と内側電極40との間に電圧が印加されると、発光管20内の放電空間において誘電体バリア放電が生じる。このとき、内側電極40と外側電極30との間の径方向距離がもっとも短い外側電極30の接触部S1、S2およびその付近において、誘電体バリア放電が生じる。図4は、外側電極30が陰極フェーズのときの電荷蓄積状態を図示している。一方、外側電極30の接触部S1、S2およびその付近以外の部分では、誘電体バリア放電が生じない。この非接触電極部分に蓄積された正電荷が、外側電極30の接触部S1、S2に移動する。これにより、電界が集中する接触部S1、S2付近で生じる誘電体バリア放電に電荷が利用される。その結果、紫外光エキシマ光が接触部S1、S2を中心とする径方向から集中的に放射される。図4では、電圧印加された内側電極と外側電極との間の蓄積電荷状態を、アナロジー的にコンデンサで表現している。供給電圧は交流電圧であり、周波数に応じて極性が交互に切り替わる。外側電極30の接触部S1、S2は、他の非接触部分とは異なり、間に絶縁空間を設けていないため、径方向静電容量が相対的に大きい。ただし、径方向静電容量は、軸Cから径方向に沿った電極間における静電容量を示す。図4では、接触部S1、S2における静電容量をA、ある非接触部分となる電極部分の静電容量をBで表している。接触部S1、S2において相対的に静電容量が大きいことから、電界も接触部S1、S2において相対的に強くなる。その結果、電圧印加によって接触部S1、S2およびその付近のみ絶縁破壊が生じて誘電バリア放電が生じる。すると、絶縁破壊が生じていない、すなわち放電が生じていない非接触部分に蓄積された電荷が、接触部S1、S2に移動していく。したがって、電圧印加によって外側電極30全体に蓄積される電荷は、放電時に接触部S1、S2に集中し、非接触部分における電極間には誘電体バリア放電が生じない。極性が切り替わっても、誘電体バリア放電の生じる箇所は、接触部S1、S2に集中する。このように、発光管20と外側電極30との間に空気の絶縁空間60A、60Bが対称的に形成されることによって、絶縁空間60A、60Bが非放電領域として作用し、紫外光は軸Cから接触部S1、S2に向く方向だけでなく、絶縁空間60A、60Bにも放射される。意図的に発光管20と接触しない電極部分を設け、接触部S1、S2およびその付近以外で余分な放電を発生させないことにより、供給電力は小さいながら、十分な光強度をもつ紫外光を特定の方向へ放射することができる。このように本実施形態のエキシマランプ10では、発光管20の内部に内側電極40を配置させ、発光管20の外部に網状構造の外側電極30が配置されている。外側電極30は接触部S1、S2において発光管20と接触し、発光管20と外側電極30との間に絶縁空間非放電領域60A、60Bが形成されるように、その断面形状が楕円状に形成されている。次に、図5を用いて、第2の実施形態であるエキシマランプについて説明する。第2の実施形態では、外側電極が角柱状に形成されている。それ以外の構成については、第1の実施形態と同じである。図5は、第2の実施形態におけるエキシマランプの概略的断面図である。エキシマランプ100は、発光管120、外側電極130、そして内側電極140とを備える。円柱状の内側電極140は、円筒状の発光管120内に同軸配置されている。そして、内側電極140と発光管120との間には放電空間150が形成されている。外側電極130は、断面矩形の網状電極であり、発光管120と接触部S1~S4において接触し、支持されている。その結果、外側電極130と発光管120との間には、絶縁空間160が形成される。外側電極130の接触部S1~S4は、他の非接触部分と比べて内側電極までの距離間隔が相対的に短い。したがって、点灯時、外側電極130の接触部S1~S4およびその近傍と内側電極140との間で、集中的に誘電体バリア放電が生じる。絶縁空間160を間に挟む外側電極130の非接触部分に蓄積された電荷は、接触部S1~S4に移動して放電に利用される。次に、図6を用いて、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、発光管の断面が外側電極に合わせて楕円状に形成されている。それ以外の構成については、第1の実施形態と同じである。図6は、第3の実施形態におけるエキシマランプの概略的断面図である。エキシマランプ200は、発光管220、外側電極230、そして内側電極240とを備える。発光管220の内面220Iは、内側電極240に合わせて円断面形状を有する。一方、発光管220の外面220Hは、外側電極230に合わせて楕円断面形状を有する。したがって、外側電極230は発光管220全体と密着し、その間に絶縁空間は形成されていない。外側電極230において内側電極240との距離間隔が最も短い電極部分T1、T2は、他の電極部分と比べて静電容量が大きい。したがって、内側電極240と外側電極230の電極部分T1、T2との間で誘電体バリア放電が集中的に生じる。放電空間250から外側電極230までの空間領域はすべて発光管220で満たされており、誘電体バリア放電は安定する。外側電極の断面形状は、円、矩形、楕円以外の形状も可能であり、扁平形状、多角形状にすることが可能である。ただし、内側電極と外側電極との間の距離、あるいは静電容量を周方向に沿って変化させるように断面形状が定められる。また、メリヤス編組構造に代表される伸縮可能な網状構造以外の電極構造であってもよい。さらに、変形以外の方法によって外側電極形状を形成してもよい。さらに、外側電極を発光管と直接接触させて固定する構成に限定されず、別途支持部材によって外側電極を配置してもよい。例えば、発光管と所定距離離れて外側電極を配置させることも可能である。内側電極は、放電空間に露出する構造以外の電極構造であってもよい。例えば、単管式エキシマランプの場合、内側電極の全部あるいは一部が石英ガラスなどの誘電体に覆われた構造にすることも可能である。また、外管と内管との間に放電空間を形成する二重管式エキシマランプのように、内管の内側面に沿って内側電極を配設してもよい。一方、発光管の形状についても、内面と外面、および断面形状をそれぞれ任意の形状にすることが可能である。