"液滴を吐出する複数のノズルが連通する複数の個別液室に液体を供給する共通液室を有し、前記共通液室内には変位可能なフィルタ部材が設けられ、前記フィルタ部材は、液体中の異物を除去するフィルタ部と、前記フィルタ部よりも低剛性に形成され、前記フィルタ部を前記共通液室の壁面に対して変位可能に保持する変位部とからなり、前記共通液室は、前記フィルタ部材により、液体供給方向上流側の室と下流側の室に分けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。前記液体供給方向上流側の室の容積に対して下流側の室の容積が大きいことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。前記フィルタ部材の変位部は多孔質部材からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。前記フィルタ部材のフィルタ部と変位部とは同じ材料からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。前記フィルタ部材のフィルタ部は複数の孔径の異なる多孔質部材を積層して形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。しかしながら、特許文献4のようにダンパ部材でフィルタを形成した場合、液体を流すために多数の穴が形成されるフィルタ部は、ダンパ部材の穴の空いていない領域ダンパとして用いられる領域よりも剛性が低下し、共通液室の圧力変動に対してフィルタ部の方がより変形しやすくなる。その結果、フィルタ部の穴部分も変形してフィルタとしての異物捕集特性が共通液室の圧力変動によりばらついてしまうという課題がある。また、個別液室と共通液室の間にダンパ部材で形成されたフィルタ部を設ける構成にあっては、十分なダンピング効果を期待できる大きさのダンパ領域を確保することが難しい上、フィルタ面積も十分に確保できず、目詰まりが生じるおそれがあるという課題がある。本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、十分なダンピング効果とフィルタ面積を確保しつつ、異物捕集特性の変動が小さなヘッド内フィルタを得ることを目的とする。上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルが連通する複数の個別液室に液体を供給する共通液室を有し、前記共通液室内には変位可能なフィルタ部材が設けられ、前記フィルタ部材は、液体中の異物を除去するフィルタ部と、前記フィルタ部よりも低剛性に形成され、前記フィルタ部を前記共通液室の壁面に対して変位可能に保持する変位部とを一体にしてなり、前記共通液室は、前記フィルタ部材により、液体供給方向上流側の室と下流側の室に分けられている構成とした。ここで、前記液体供給方向上流側の室の容積に対して下流側の室の容積が大きい構成とできる。また、前記フィルタ部材の変位部は多孔質部材からなる構成とできる。また、前記フィルタ部材のフィルタ部と変位部とは同じ材料からなる構成とできる。また、前記フィルタ部材のフィルタ部は複数の孔径の異なる多孔質部材を積層して形成されている構成とできる。本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、共通液室内には変位可能なフィルタ部材が設けられ、フィルタ部材は、液体中の異物を除去するフィルタ部と、フィルタ部よりも低剛性に形成され、フィルタ部を共通液室の壁面に対して変位可能に保持する変位部とを一体にしてなり、共通液室は、フィルタ部材により、液体供給方向上流側の室と下流側の室に分けられている構成としたので、十分なダンピング効果とフィルタ面積を確保しつつ、異物捕集特性の変動が小さなヘッド内フィルタを得ることができる。本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、安定して高画質画像を形成することができる。以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの第1実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドの外観斜視説明図、図2は同じく同ヘッドの液室長手方向ノズル配列方向と直交する方向の断面説明図、図3は同じく同ヘッドの液室短手方向ノズル配列方向の断面説明図である。この液体吐出ヘッドは、流路部材としての流路板流路基板、液室基板1と、この流路板1の一面に接合した振動板部材2と、流路板1の振動板部材2の接合面とは反対側の面に接合したノズル板3とを有し、これらによって液滴液体の滴を吐出する複数のノズル4がノズル連通路以下、連通管という。5を介してそれぞれ連通する個別流路としての複数の圧力室圧力発生室6が形成されている。そして、圧力室6のインクの流れ方向上流側には流体抵抗部7及び液体導入部8がそれぞれ形成され、後述するフレーム部材17に形成した共通液室10から振動板部材2に形成された開口部9を介してインクが液体導入部8に導入され、液体導入部8から流体抵抗部7を介して圧力室6にインクが供給される。流路板1は、シリコン基板を異方性エッチングして、連通管5、圧力室6、供給路部7などの開口部や溝部をそれぞれ形成している。連通管5及び圧力室6などを形成するエッチングで残された部分が流路間隔壁となる。振動板部材2は各圧力室6及び流体抵抗部7などの壁面を形成する壁面部材であり、変形可能な第1層2Aと、第1層2A上に積層した第1層2Aより厚い第2層2Bとからなり、各圧力室6の壁面を形成する変形可能な第1層2Aで形成された振動領域ダイアフラム部2aを有し、振動領域2aに第2層2Bで形成した島状凸部2bに、振動領域2aを変形させ、液滴を吐出させるエネルギーを発生する駆動素子アクチュエータ手段、圧力発生手段としての柱状の電気機械変換素子である積層型圧電部材12の圧電素子柱12Aが接合されている。圧電部材12はハーフカットダイシングにより櫛歯状に圧電柱12A、12Bを形成したものであり、圧電柱12Aは駆動波形を印加する駆動圧電柱となり、圧電柱12Bは駆動波形を印加しないで流路間隔壁6aを支持する支柱である非駆動圧電柱となる。すなわち、圧電部材12の圧電柱12A、12Bは圧力室6の配列密度の2倍の密度で配列された所謂バイピッチ構造としている。この圧電素子部材12の下端面はベース部材13に接合している。この圧電部材12は、例えば厚さ10~50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛PZTの圧電層と、厚さ数μm/1層の銀パラジュームAgPdからなる内部電極層とを交互に積層し、内部電極を交互に端面の端面電極外部電極である個別電極及び共通電極にそれぞれ電気的に接続したものである。そして、個別電極にはFPC15の個別電極ラインが半田接合され、また、共通電極は圧電部材12の端部に電極層を設けて個別電極側端面に回し込んでFPC15のGND電極共通電極ラインに接続している。FPC15には図示しないドライバICが実装されており、これにより駆動圧電柱12Aへの駆動電圧印加を制御している。ノズル板3は、ニッケルNiの金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法電鋳で製造している。このノズル板3には各圧力室6に対応して直径10~35μmのノズル4を形成し、流路板1に接着剤接合している。そして、このノズル板3の液滴吐出側面吐出方向の表面:吐出面、又は圧力室6側と反対の面には撥水層を設けている。また、FPC15を実装した接続した圧電部材12及びベース部材13などで構成される圧電型アクチュエータの外周側には、エポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材17を接合している。そして、このフレーム部材17には共通液室10を形成し、更に共通液室10に外部からインクを供給するために連結管19を介してインクが供給される供給口20を形成し、この連結管19は更に図示しないサブタンクやインクカートリッジなどのインク供給源に接続される。このヘッドでは、圧電柱12は600dpiの間隔でダイシングされており.それが対向して2列配置され、圧力室6及びノズル4は、1列300dpiの間隔で2列がそれぞれ千鳥配置に整列しており,600dpiの解像度を1スキャンで得ることができる構成としている。このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動圧電柱12Aに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動圧電柱12Aが収縮し、振動板部材2の圧力室6の壁面を形成するダイアフラム部2aが下降して圧力室6の容積が膨張することで、圧力室6内にインクが流入し、その後駆動圧電柱12Aに印加する電圧を上げて駆動圧電柱12Aを積層方向に伸長させ、振動板部材2をノズル4方向に変形させて圧力室6の容積を収縮させることにより、圧力室6内のインクが加圧され、ノズル4からインク滴が吐出噴射される。そして、駆動圧電柱12Aに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材2が初期位置に復元し、圧力室6が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室10から圧力室6内にインクが充填される。そこで、ノズル4のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。なお、このヘッドの駆動方法については上記の例引き-押し打ちに限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。次に、この液体吐出ヘッドにおける共通液室部分の構成について図4も参照して説明する。なお、図4は同共通液室部分の要部拡大断面説明図である。共通液室10内には変位可能なフィルタ部材30が設けられ、フィルタ部材30により共通液室10は液体供給方向上流側の室10Aと下流側の室10Bに分けられている。フィルタ部材30は、液体中の異物を除去するフィルタ部31と、フィルタ部31よりも低剛性に形成され、フィルタ部31を共通液室10の壁面ここではフレーム部材17に対して変位可能に保持する変位部32とからなる。このようなフィルタ部材30は、フィルタ部31と変位部32を一体型に貼り合わせ、あるいは、成形したものである。図4に示す例は、フィルタ部31を金属又は樹脂メッシュにより形成し、変位部32となる弾性部材を金属の薄板又は樹脂フィルムで形成したものであり、変位部32とフィルタ部31はインサート成形或いは接着剤接合により一体としている。このように構成したので、液体供給穴19から共通液室10の上流室10Aに供給された液体はフィルタ部材30のフィルタ部31でろ過されて異物が除去された状態で下流室10Bに供給され、圧力室6に供給され、圧力室6やノズル4への異物混入を防止することができる。また、滴吐出に伴って個別液室である圧力室6に発生した圧力変動が共通液室10の下流室10Bに伝播されると、フィルタ部材30の変位部32が変位することで、フィルタ部材30全体が矢示方向に変位するので、圧力変動が吸収される制振される。この場合、変位可能なフィルタ部材30が共通液室10の内部に配設されていることで、十分な変位領域ダンピング領域を確保してダンピング作用を得ることができるとともに、フィルタ面積を広くすることができ、十分なフィルタリング効果を得ることができる。このように、共通液室内には変位可能なフィルタ部材が設けられ、フィルタ部材は、液体中の異物を除去するフィルタ部と、フィルタ部よりも低剛性に形成され、フィルタ部を共通液室の壁面に対して変位可能に保持する変位部とを一体にしてなり、共通液室は、フィルタ部材により、液体供給方向上流側の室と下流側の室に分けられている構成とすることで、十分なダンピング効果とフィルタ面積を確保しつつ、異物捕集特性の変動が小さなヘッド内フィルタを得ることができる。次に、本発明の第2実施形態について図5を参照して説明する。なお、図5は同実施形態における共通液室部分の要部拡大説明図である。本実施形態では、フィルタ部材30のフィルタ部31及び変位部32を同一材料で形成し、一部品として一体型に成形したものである。一部品として一体型に形成するに工法としては、Niを用いた電鋳法、ポリエチレンやポリウレタンやNBR合成ゴムを発泡処理或いはセル剤抽出処理により生成するセル径が制御された連通多孔質体で形成することができる。変位部32はセル径が限りなく小さく、フィルタ部31はフィルタリング機能と吐出抵抗を満足する10μm程度のセル径が好ましい。変位部は共通液室内にあり液体をシールする必要はないため、上記のように液体が通過するような多孔質部材であってもよい。この場合、フィルタ部の機能を損なわないように変位部の孔の開口面積はフィルタ部の孔よりも小さくする必要があるが、多孔質部材とすることでフィルタ部のみの場合よりもより大容量の液体の供給が可能となる。この場合、変位部の孔の開口は小さいために、開口していてもダンピング特性への影響は小さい。このように構成することで、簡略化と信頼性の向上を得ることができる。次に、本発明の第3実施形態について図6を参照して説明する。なお、図6は同実施形態における共通液室部分の要部拡大説明図である。本実施形態では、フィルタ部材30のフィルタ部31を孔径の異なる複数の層31a、31b2層に限らないを積層した多層構造としている。多層構造のフィルタ部31を形成する方法としては、前述したNiを用いた電鋳法、ポリエチレンやポリウレタンやNBR合成ゴムを発泡処理やセル剤抽出処理により生成するセル径が制御された連通多孔質体生成法、異なる金属不織布の積層化焼結法などを用いることできる。このように構成することで、粒径や形状の異なる大きさの異物に対しての捕捉を維持しつつ、流路を確保することができ、フィルタ詰まりに低減できて寿命を長くすることができる。また、フィルタのフィルタリング機能と吐出抵抗及び圧力変動に対するダンピング効果を安定させることができる。上述した液体吐出ヘッドとこの液体吐出ヘッドに液体を供給するタンクを一体化することでヘッド一体型液体カートリッジカートリッジ一体型ヘッドを得ることができる。次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図7及び図8を参照して説明する。なお、図7は同装置の機構部の全体構成を説明する側面説明図、図8は同機構部の要部平面説明図である。この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向キャリッジ主走査方向に移動走査する。このキャリッジ233には、イエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックKの各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドと同ヘッドに供給するインクを収容するタンクを一体化した液体吐出ヘッドユニットからなる記録ヘッド234を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。記録ヘッド234は、それぞれ2つのノズル列を有する液体吐出ヘッドユニット234a、234bを1つのベース部材に取り付けて構成したもので、一方のヘッド234aの一方のノズル列はブラックKの液滴を、他方のノズル列はシアンCの液滴を、他方のヘッド234bの一方のノズル列はマゼンタMの液滴を、他方のノズル列はイエローYの液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは2ヘッド構成で4色の液滴を吐出する構成としているが、1ヘッド当たり4ノズル列配置とし、1個のヘッドで4色の各色を吐出させることもできる。また、記録ヘッド234のタンク235には各色の供給チューブ236を介して、供給ユニット224によって各色のインクカートリッジ210から各色のインクが補充供給される。一方、給紙トレイ202の用紙積載部圧板241上に積載した用紙242を給紙するための給紙部として、用紙積載部241から用紙242を1枚ずつ分離給送する半月コロ給紙コロ243及び給紙コロ243に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド244を備え、この分離パッド244は給紙コロ243側に付勢されている。そして、この給紙部から給紙された用紙242を記録ヘッド234の下方側に送り込むために、用紙242を案内するガイド部材245と、カウンタローラ246と、搬送ガイド部材247と、先端加圧コロ249を有する押さえ部材248とを備えるとともに、給送された用紙242を静電吸着して記録ヘッド234に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト251を備えている。この搬送ベルト251は、無端状ベルトであり、搬送ローラ252とテンションローラ253との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向副走査方向に周回するように構成している。また、この搬送ベルト251の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ256を備えている。この帯電ローラ256は、搬送ベルト251の表層に接触し、搬送ベルト251の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト251は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ252が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。さらに、記録ヘッド234で記録された用紙242を排紙するための排紙部として、搬送ベルト251から用紙242を分離するための分離爪261と、排紙ローラ262及び排紙コロ263とを備え、排紙ローラ262の下方に排紙トレイ203を備えている。また、装置本体の背面部には両面ユニット271が着脱自在に装着されている。この両面ユニット271は搬送ベルト251の逆方向回転で戻される用紙242を取り込んで反転させて再度カウンタローラ246と搬送ベルト251との間に給紙する。また、この両面ユニット271の上面は手差しトレイ272としている。さらに、キャリッジ233の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド234のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構281を配置している。この維持回復機構281には、記録ヘッド234の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材以下キャップという。282a、282b区別しないときはキャップ282という。と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード283と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け284などを備えている。また、キャリッジ233の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け288を配置し、この空吐出受け288には記録ヘッド234のノズル列方向に沿った開口部289などを備えている。このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ202から用紙242が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙242はガイド245で案内され、搬送ベルト251とカウンタローラ246との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド237で案内されて先端加圧コロ249で搬送ベルト251に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。このとき、帯電ローラ256に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト251が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト251上に用紙242が給送されると、用紙242が搬送ベルト251に吸着され、搬送ベルト251の周回移動によって用紙242が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ233を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド234を駆動することにより、停止している用紙242にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙242を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙242の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙242を排紙トレイ203に排紙する。このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、安定した画像形成を行なうことができる。なお、上記実施形態では本発明をシリアル型画像形成装置及びそれで使用する液体吐出ヘッドに適用した例で説明したが、これに限るものではなく、ライン型画像形成装置及びそれで使用する液体吐出ヘッドに適用することもできる。また、前述したように狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。"