"基板を保持することが可能な基板保持器と、前記基板保持器を進退動作させるリンク部と、前記リンク部を動作させる駆動力を発生する駆動部と、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか一方に設けられたガイドバーと、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか他方に設けられ、前記リンク部の動作により前記基板保持器が移動する際に前記ガイドバーをスライド可能に支持する支持部と、を有することを特徴とする基板搬送装置。前記ガイドバーは前記基板保持器に設けられ、前記支持部は前記リンク部に設けられることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。前記リンク部は、前記駆動部に連結された一対の駆動アームと、一対の前記駆動アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部側が交差するように連結された一対の中間アームと、一対の前記中間アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部が前記基板保持器にそれぞれ連結された一対の末端アームと、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の基板搬送装置。前記ガイドバーが円形の断面形状を有し、前記支持部は、一対の前記中間アームが交差した部分に設けられ、前記ガイドバーは、前記支持部に設けられたブッシュ又はころがり軸受を介して支持されることを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。前記ガイドバーが矩形の断面形状を有し、前記ガイドバーは、前記支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板搬送装置。基板を保持することが可能な第1基板保持器及び第2基板保持器と、前記第1基板保持器及び第2基板保持器をそれぞれ進退動作させる第1リンク部及び第2リンク部と、前記第1リンク部及び第2リンク部をそれぞれ動作させる駆動力を発生する第1駆動部及び第2駆動部と、前記第1基板保持器及び前記第1リンク部のいずれか一方に設けられた第1ガイドバーと、前記第2基板保持器及び前記第2リンク部のいずれか一方に設けられた第2ガイドバーと、前記第1基板保持器及び前記第1リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第1リンク部の動作により前記第1基板保持器が移動する際に前記第1ガイドバーをスライド可能に支持する第1支持部と、前記第2基板保持器及び前記第2リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第2リンク部の動作により前記第2基板保持器が移動する際に前記第2ガイドバーをスライド可能に支持する第2支持部と、を有することを特徴とする基板搬送装置。前記第1リンク部及び第2リンク部は、前記第1駆動部及び第2駆動部にそれぞれ連結された第1駆動アーム及び第2駆動アームと、前記第1駆動アーム及び第2駆動アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部側が交差するように連結された一対の第1中間アーム及び第2中間アームと、一対の前記第1中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第1基板保持器にそれぞれ連結された一対の第1末端アームと、一対の前記第2中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第2基板保持器にそれぞれ連結された一対の第2末端アームと、を有することを特徴とする請求項6に記載の基板搬送装置。前記第1ガイドバー及び第2ガイドバーが円形の断面形状を有し、前記第1支持部及び第2支持部は、一対の前記第1中間アームが交差した部分及び前記第2中間アームが交差した部分にそれぞれ設けられ、前記第1ガイドバー及び第2ガイドバーの他端部側はそれぞれ、前記第1支持部及び第2支持部に設けられたブッシュ又はころがり軸受を介して支持されることを特徴とする請求項6又は7に記載の基板搬送装置。前記第1ガイドバー及び第2ガイドバーが矩形の断面形状を有し、前記第1支持部及び第2支持部は、一対の前記第1中間アームが交差した部分及び前記第2中間アームが交差した部分にそれぞれ設けられ、前記第1ガイドバー及び第2ガイドバーの他端部側はそれぞれ、前記第1支持部及び第2支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項6又は7に記載の基板搬送装置。前記第1リンク部及び第2リンク部は、前記第1基板保持器を前進させた場合には、前記第2基板保持器を後退させる一方、前記第1基板保持器を後退させた場合には、前記第2基板保持器を前進させる伸張状態と、前記第1基板保持器及び第2基板保持器がいずれも後退して、お互いに重なった状態となる収縮状態と、を有することを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の基板搬送装置。前記第1リンク部及び第2リンク部は、前記第1基板保持器を前進させた場合には、前記第2基板保持器を後退させる一方、前記第1基板保持器を後退させた場合には、前記第2基板保持器を前進させる伸張状態と、前記第1基板保持器及び第2基板保持器がいずれも後退して、所定の角度をなす状態となる収縮状態と、を有することを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の基板搬送装置。前記第1リンク部及び第2リンク部が前記収縮状態において、前記第1基板保持器及び第2基板保持器は所定の角度をなす状態で、前記第1駆動部及び第2駆動部の各駆動軸を中心にスイング動作を行うことを特徴とする請求項10又は11に記載の基板搬送装置。前記リンク部は、前記駆動部に連結された一対の駆動アームと、一対の前記駆動アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部側が前記基板保持器のそれぞれに連結された一対の中間アームと、一対の前記中間アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部が前記ガイドバーにそれぞれ連結された一対のリンクアームと、を有することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。前記支持部は前記基板保持器に設けられ、前記リンクアームの他端部は、前記ガイドバーの後端部において同軸に連結されていることを特徴とする請求項13に記載の基板搬送装置。前記ガイドバーが矩形の断面形状を有し、前記ガイドバーは、前記支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項13又は14に記載の基板搬送装置。前記第1リンク部及び第2リンク部は、前記第1駆動部及び第2駆動部にそれぞれ連結された第1駆動アーム及び第2駆動アームと、前記第1駆動アーム及び第2駆動アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部側が前記第1及び第2基板保持器にそれぞれ連結された一対の第1中間アーム及び第2中間アームと、一対の前記第1中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第1ガイドバーにそれぞれ連結された一対の第1リンクアームと、一対の前記第2中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第2ガイドバーにそれぞれ連結された一対の第2リンクアームと、を有することを特徴とする請求項6に記載の基板搬送装置。前記第1支持部及び第2支持部は前記第1基板保持器及び第2基板保持器にそれぞれ設けられ、前記第1リンクアーム及び第2リンクアームの他端部は、前記第1ガイドバー及び第2ガイドバーの後端部において同軸に連結されていることを特徴とする請求項16に記載の基板搬送装置。前記第1ガイドバー及び第2ガイドバーが矩形の断面形状を有し、前記第1ガイドバー及び第2ガイドバーはそれぞれ、前記第1支持部及び第2支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項16又は17に記載の基板搬送装置。電子デバイスの製造システムであって、請求項1乃至18のいずれか1項に記載の基板搬送装置と、前記基板搬送装置により搬送された基板に対してデバイス製造プロセスを実行する少なくとも1つのプロセス処理装置と、を備えることを特徴とする電子デバイスの製造システム。電子デバイスの製造方法であって、請求項1乃至18のいずれか1項に記載の基板搬送装置を用いて基板を搬送する搬送工程と、少なくとも1つのプロセス処理装置において、前記搬送工程で搬送された基板に対して、デバイス製造プロセスを実行するプロセス実行工程と、を有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。しかしながら、上記従来の構成では、伸縮動作中に基板保持器の首振りの問題が生じる。即ち、図14Aのようにベルトを用いた構成では、ベルトの弾性変形により基板保持器が中間アームに対して首振りするため、動作の再現性位置決めの再現性を確保することが難しい。また、ベルトの弾性で基板保持器の挙動が速やかにフィードバックされず制御応答性を低下させたり、サーボ剛性を上げるのには限界がある。また、図14Bのようにギヤを用いた構成でも、ギヤ同士の噛み合い時にバックラッシュが発生するため、それがベルトのクッション性と同等の作用を及ぼし、上記同様の課題を発生させる。また、高温に保持されたチャンバ内に基板を搬送する場合、図14A,Bのような構成では、基板保持器がチャンバの熱を受けてベルトやギヤが熱膨張し、位置決めの再現性が低下するという問題があった。本発明は、上記課題に鑑みてなされ、その目的は、位置決めの再現性、制御応答性及びサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現することである。また、本発明の他の目的は、高温に保持されたチャンバ内に基板を搬送する場合でも、位置決めの再現性を確保できる基板搬送装置を実現することである。上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明の基板搬送装置は、基板を保持することが可能な基板保持器と、前記基板保持器を進退動作させるリンク部と、前記リンク部を動作させる駆動力を発生する駆動部と、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか一方に設けられたガイドバーと、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか他方に設けられ、前記リンク部の動作により前記基板保持器が移動する際に前記ガイドバーをスライド可能に支持する支持部と、を有する。また、本発明の基板搬送装置は、基板を保持することが可能な第1基板保持器及び第2基板保持器と、前記第1基板保持器及び第2基板保持器をそれぞれ進退動作させる第1リンク部及び第2リンク部と、前記第1リンク部及び第2リンク部をそれぞれ動作させる駆動力を発生する第1駆動部及び第2駆動部と、前記第1基板保持器及び前記第1リンク部のいずれか一方に設けられた第1ガイドバーと、前記第2基板保持器及び前記第2リンク部のいずれか一方に設けられた第2ガイドバーと、前記第1基板保持器及び前記第1リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第1リンク部の動作により前記第1基板保持器が移動する際に前記第1ガイドバーをスライド可能に支持する第1支持部と、前記第2基板保持器及び前記第2リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第2リンク部の動作により前記第2基板保持器が移動する際に前記第2ガイドバーをスライド可能に支持する第2支持部と、を有する。本発明によれば、位置決めの再現性を確保でき、制御応答性やサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現する。また、位置決めの再現性を確保できるため、直進動作の安定性も向上する。また、ロボットの高剛性化、フィードバック制御の高速応答化、部品の経時変化の低減が図れることにより、基板搬送システムの安定化、信頼性向上が図れ、生産性の向上につながる。さらに、ベルトの調整やギヤのメンテナンスにかかる作業が不要となるので作業の効率化が図れる。以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって確定されるのであって、以下の個別の実施形態によって限定されるわけではない。[実施形態1]先ず、図1乃至図4を参照して、本発明に係る実施形態1の基板搬送装置について説明する。図1Aにおいて、本実施形態の基板搬送装置100は、基板Wを保持することが可能な第1基板保持装置100Aと第2基板保持装置100Bとを有する。基板Wは、例えば直径300mm程度のウエハである。なお、以下の各実施形態では、第1基板保持装置100Aに関する構成には参照符号の後にAを付し、第2基板保持装置100Bに関する構成には参照符号の後にBを付して示すものとする。第1基板保持装置100Aは、第1駆動部101Aに回転可能に連結された第1駆動アーム102Aを有し、第2基板保持装置100Bは、第2駆動部101Bに回転可能に連結された第2駆動アーム102Bを有する。第1駆動アーム102Aと第2駆動アーム102Bとは上下方向Z方向に重なるように第1及び第2駆動部101A、101Bの各駆動軸に固定される。後述するように、第1駆動アーム102Aと第2駆動アーム102Bとは、第1基板保持装置100Aと第2基板保持装置100Bとに共用される。第1駆動部101Aの駆動軸は円柱形状を有し、第2駆動部101Bの駆動軸は中空の円筒形状を有する。そして、第1駆動部101Aの駆動軸が第2駆動部101Bの駆動軸の中空内部に配置されることにより、第1駆動部101Aと第2駆動部101Bの各駆動軸が同軸かつ同心円状に互いに独立して回転駆動可能に構成される。第1基板保持装置100Aは、第1リンク部として例示される、第1駆動アーム102Aと、一対の第1中間アーム103AR、103ALと、一対の第1末端アーム104AR、104ALと、第1基板保持器105Aと、を有する。第1中間アーム103AR、103AL及び第1末端アーム104AR、104ALは、支点間距離が等長である。第1駆動アーム102Aは、第1駆動部101Aに回転可能に連結されている。第1中間アーム103AR、103ALは第2駆動アーム102Bの右端部102B1と第1駆動アーム102Aの左端部102A2に回転自在に連結されている。第1末端アーム104AR、104ALは、第1中間アーム103AR、103ALの他端部103AL1、103AR1に回転自在に連結されている。第1基板保持器105Aは、一対の第1末端アーム104AR、104ALの他端部に連結されている。一対の第1中間アーム103AR、103ALは、第1駆動アーム102A及び第2駆動アーム102Bに連結された一端部とは反対側の他端部側が上下方向に重なって交差するように第1交差連結点106Aにて回転自在に連結されている。第1交差連結点106Aの位置は、第1中間アーム103AR、103ALにおける一端部からの長さL1より他端部からの長さL2が短くなる位置例えば、L1:L2=5:1に設定される。各アームの長さや交差連結点での比率は、後述する第1及び第2基板保持器105A、105Bの前進或は後退する長さによって装置ごとに任意に決められる。一対の第1末端アーム104AR、104ALの一端部は第1中間アーム103AR、103ALのそれぞれの他端部103AR1、103AL1に連結される。また、一対の第1末端アーム104AR、104ALの他端部104AR1、104AL1は上下方向に重なって第1基板保持器105Aに回転自在に連結されている。第1末端アーム104AR、104ALの長さは、第1中間アーム103AR、103ALにおける第1交差連結点106Aから他端部103AR1、103AL1までの長さL2と略同等である。更に、第1基板保持器105Aの後端部には第1交差連結点106A側Y方向に延びる第1ガイドバー107Aが設けられている。第1ガイドバー107Aは、図8~図10で後述するように、第1基板保持器105Aに連結された一端部とは反対側の他端部側が第1交差連結点106Aにおいてガイド機構によってスライド可能に支持される。これにより、第1基板保持装置100Aの伸縮動作の際に第1基板保持器105Aの首振りを抑制する。第2基板保持装置100Bは、上述した第1基板保持装置100Aと略同等の構成を有する。即ち、第2基板保持装置100Bは、第2リンク部として例示される、第2駆動アーム102Bと、一対の第2中間アーム103BR、103BLと、一対の第2末端アーム104BR、104BLと、第2基板保持器105Bと、を有する。第2中間アーム103BR、103BL及び第2末端アーム104BR、104BLは、支点間距離が等長である。第2駆動アーム102Bは、第2駆動部101Bに回転可能に連結されている。第2中間アーム103BR、103BLは第1駆動アーム102Aの右端部102A1と第2駆動アーム102Bの左端部102B2に回転自在に連結されている。第2末端アーム104BR、104BLは、第2中間アーム103BR、103BLの他端部103BL1、103BR1に回転自在に連結されている。第2基板保持器105Bは、一対の第2末端アーム104BR、104BLの他端部104BR1、103BL1に連結されている。なお、第2駆動アーム102Bの右端部102B1に連結される第1中間アーム103ARは、接続部材108Aを介して第1駆動アーム102Aの右端部102A1より上方の位置で連結される。このように接続部材108Aを介在させることで、第2駆動アーム102Bと第1中間アーム103ARとの間にZ方向のスペースを形成でき、そのスペースに第1駆動アーム102Aとそれに連結された第2中間アーム103BRを重ねて配置することができる。これにより、収縮状態での基板搬送装置を3次元空間内にコンパクトに構成することができる。その他の構成については、第1基板保持装置100Aと同様である。図1A及び図2に示す公転時には、図示のように上面から見た場合、第1駆動アーム102Aと第2駆動アーム102B、第1中間アーム103AR103ALと第2中間アーム103BR103BL、第1末端アーム104AR104AL及び第2末端アーム104BR104BL、第1基板保持器105Aと第2基板保持器105B、第1交差連結点106Aと第2交差連結点106Bがそれぞれ上下方向に重なった位置関係となり、図示のように第1基板保持装置100Aと第2基板保持装置100Bとがあたかも一体に見えるような収縮状態となる。この収縮状態において、第1及び第2駆動部101A、101Bの各駆動軸を同方向に回転駆動する。これにより、第1基板保持器105Aと第2基板保持器105Bとが一体となって第1及び第2駆動部101A、101Bの各駆動軸を共通軸としてスイング動作を行って公転する。一方、図1B、図3及び図4に示す伸縮時には、図2の収縮状態から第1及び第2駆動部101A、101Bの各駆動軸を相反する方向に回転駆動する。これにより、第1基板保持器105Aと第2基板保持器105BとがY方向に沿って相反する方向に伸縮するように進退動作される。例えば、図1B及び図3に示すように、反時計方向をプラスとして、図1Aの状態から、第1駆動アーム102Aを反時計方向にθ1、第2駆動アーム102Bを時計方向に-θ1だけ回転駆動させる。すると、第1基板保持装置100Aの第1駆動アーム102A第2基板保持装置100Bの第1駆動アーム102B、第1中間アーム103AR、103AL、第1末端アーム104AR、104ALの連動によって第2交差連結点106Aが後方に移動する。同時に、第2基板保持装置100Bの第2駆動アーム102B、第2中間アーム103BR、103BL、第2末端アーム104BR、104BLの連動によって第2交差連結点106Bが前方に移動する。これによって、第1基板保持器105Aが後退、第2基板保持器105Bが前進する。反対に、図1B及び図4に示すように、図1Aの状態から、第1駆動アーム102Aを時計方向に-θ1、第2駆動アーム102Bを反時計方向にθ1だけ回転駆動させる。すると、第1基板保持装置100Aの第1駆動アーム102A、第1中間アーム103AR、103AL、第1末端アーム104AR、104ALの連動によって第1交差連結点106Aが前方に移動する。同時に、第2基板保持装置100Bの第2駆動アーム102B、第2中間アーム103BR、103BL、第2末端アーム104BR、104BLの連動によって第2交差連結点106Bが後方に移動する。これによって、第1基板保持器105Aが前進、第2基板保持器105Bが後退する。[実施形態2]次に、図5乃至図7を参照して、本発明に係る実施形態2の基板搬送装置について説明する。本実施形態の基板搬送装置200は、収縮状態において第1及び第2駆動アーム102A、102Bが互いに重なる実施形態1とは異なり、第1駆動アーム202Aと第2駆動アーム202BがY方向伸縮方向に予めオフセットして配置されている。即ち、図5に示すように、第1駆動アーム202Aは、その中央部から伸縮方向に沿って後退方向に延設される第1オフセットアーム209Aを介して第1駆動部201Aに回転可能に連結される。第2駆動アーム202Bは、その中央部から伸縮方向に沿って前進方向に延設される第2オフセットアーム209Bを介して第2駆動部201Bに回転可能に連結される。第1駆動アーム202Aは第1オフセットアーム209Aに対して左側部分が右側部分より上方に折れ曲がって形成されている。第1基板保持装置200Aは、第1リンク部として例示される、第1駆動アーム202A第2駆動アーム202Bと、一対の第1中間アーム203AR、203ALと、一対の第1末端アーム204AR、204ALと、第1基板保持器205Aとを有する。第1駆動アーム202Aは、第1駆動部201Aに回転可能に連結されている。第1中間アーム203AR、203ALは第1駆動アーム202Aの右端部202A1と第2駆動アーム202Bの左端部202B2に回転自在に連結されている。第1末端アーム204AR、204ALは、第1中間アーム203AR、203ALの他端部203AL1、203AR1に回転自在に連結されている。第1基板保持器205Aは、一対の第1末端アーム204AR、204ALの他端部に連結されている。なお、第1中間アーム203ARは接続部材208Aを介して第1駆動アーム202Aの右端部202A1の上方の位置に連結される。また、第1中間アーム203ALは、接続部材208Bを介して第2駆動アーム202Bの左端部202B2より上方の位置に連結される。このように接続部材208Aを介在させることで、右側の第1駆動アーム202Aと第1中間アーム203ARとの間にZ方向のスペースを形成でき、第2駆動アーム202Bと第2中間アーム203BRの動作スペースになる。また、接続部材208Bを介することにより、左側の第2駆動アーム202Bと第1中間アーム203ALとの間にZ方向のスペースを作ることができ、左側の第1駆動アーム202Aと第2中間アーム203BLの動作スペースになる。これにより、収縮状態での基板搬送装置を3次元空間内にコンパクトに構成することができる。第2基板保持装置200Bは、第2リンク部として例示される、第2駆動アーム202B第1駆動アーム202Aと、一対の第2中間アーム203BR、203BLと、一対の第2末端アーム204BR、204BLと、第2基板保持器205Bとを有する。第2駆動アーム202Bは、第2駆動部201Bに回転可能に連結されている。第2中間アーム203BR、203BLは第2駆動アーム202Bの右端部202B1と第1駆動アーム202Aの左端部202A2に回転自在に連結されている。第2末端アーム204BR、204BLは、第2中間アーム203BR、203BLの他端部203BL1、203BR1に回転自在に連結されている。第2基板保持器205Bは、一対の第2末端アーム204BR、204BLの他端部に連結されている。その他の構成は、実施形態1と同様であるので、同一の構成及び機能を有する部材には、実施形態1の参照符号の3桁目を2に変更して示し、説明を省略する。また、第1及び第2中間アーム203AR、203AL、203BR、203ALの長さや第1及び第2交差連結点206A、206Bの位置、第1及び第2末端アーム204AR、204AL、204BR、204ALの長さは適宜変更されている。図5に示す公転時においては、第1駆動アーム202Aと第2駆動アーム202BとはX方向に平行でY方向に所定距離だけ離間した状態となる。この収縮状態において、第1及び第2駆動軸200A、200Bの各駆動軸を同方向に回転駆動することで、第1基板保持器205Aと第2基板保持器205Bとが第1及び第2駆動部201A、201Bの各駆動軸を共通軸としてスイング動作を行って公転する。なお、この収縮状態において、第1及び第2基板保持器205A、205Bは、互いに重ならずにY方向に対して所定角度θだけずれた状態で配置される。一方、図6及び図7に示す伸縮時においては、図5の収縮状態から第1及び第2駆動部201A、201Bの各駆動軸を相反する方向に回転駆動することで、第1基板保持器205Aと第2基板保持器205Bとが相反する方向に伸縮するように進退動作される。例えば、図6に示すように、反時計方向をプラスとして、第1駆動アーム202Aを反時計方向に所定角度、第2駆動アーム202Bを時計方向に所定角度だけ回転駆動させる。すると、第1基板保持装置200Aの第1駆動アーム202A、第1中間アーム203AR、203AL、第1末端アーム204AR、104ALの連動によって第1交差連結点206Aが前方に移動する。同時に、第2基板保持装置200Bの第2駆動アーム202B、第2中間アーム203BR、203BL、第2末端アーム204BR、204BLの連動によって第2交差連結点206Bが後方に移動する。これによって、第1及び第2基板保持器205A、205Bが所定角度θを保持したまま、第1基板保持器205Aが前進、第2基板保持器205Bが後退する。また、例えば、図7に示すように、図5の収縮状態から第1駆動アーム202Aを時計方向に所定角度、第2駆動アーム202Bを反時計方向に所定角度だけ回転駆動させる。すると、第1基板保持装置200Aの第1駆動アーム202A、第1中間アーム203AR、203AL、第1末端アーム204AR、204ALの連動によって第1交差連結点206Aが後方に移動する。同時に、第2基板保持装置200Bの第2駆動アーム202B、第2中間アーム203BR、203BL、第2末端アーム204BR、204BLの連動によって第2交差連結点206Bが前方に移動する。これによって、第1及び第2基板保持器205A、205Bが所定角度θを保持したまま、第1基板保持器205Aが後退、第2基板保持器205Bが前進する。<ガイド機構>次に、図8乃至図10を参照して、ガイド機構について説明する。図8は第1例のガイド機構を詳細に示す図3のP1部分の拡大図である。図示の如く、第2交差連結点106Bの軸端部110Bに伸縮方向Y方向に貫通する孔部を形成し、この孔部にエラストマー製のブッシュ111Bを介して第2ガイドバー107Bの他端部側を軸支する。このように第2交差連結点106Bに第2ガイドバー107Bの第2支持部を形成して、第2ガイドバー107Bが孔部に対してY方向にスライド可能に支持される。なお、第1例のガイド機構では、第2ガイドバー107Bの断面形状が円形であり、第2ガイドバー107Bはその軸まわりに回転可能である。図9は第2例のガイド機構を詳細に示す図3のP1部分の拡大図A及びAのI-I断面図Bである。図示の如く、第2交差連結点106Bの軸端部120Bに伸縮方向Y方向に貫通する孔部122Bを形成し、この孔部122Bにボールベアリング等の軸受部材121Bを介して第2ガイドバー107Bの他端部側を軸支する。このように第2交差連結点106Bに第2ガイドバー107Bの第2支持部を形成して、第2ガイドバー107Bが孔部122Bに対してY方向にスライド可能に支持される。なお、第2例のガイド機構では、第2ガイドバー107Bの断面形状が円形であり、第2ガイドバー107Bはその軸まわりに回転しない。図10は第3例のガイド機構の詳細に示す図3のP1部分の拡大図A及びAのP2方向から見た背面図Bである。図示の如く、第2交差連結点106Bの軸端部130Bにローラ対132B及び各ローラ軸を支持するベアリングケース133Bからなる軸受部材131Bを設け、ローラ対132Bの間に第2ガイドバー107Bの他端部側を支持する。このように第2交差連結点106Bに第2ガイドバー107Bの第2支持部を形成して、第2ガイドバー107Bが伸縮方向Y方向にスライド可能に支持される。なお、第3例のガイド機構では、ローラ対132Bの外周面に当接する第2ガイドバー107Bの断面形状が矩形又は面取り形状であり、第2ガイドバー107Bはその軸まわりには回転しない。なお、上記第1例から第3例において、第1基板保持装置100Aの第1ガイドバー107Aについても同様に、第1交差連結点106Aに第1ガイドバー107Aの第1支持部を形成して支持する。上記ガイド機構により、バックラッシュがあるギヤや弾性を有するベルトなどの部材を用いず、基板保持器としてのフォークの挙動を剛体として制御可能となる。なお、ここでは、ガイド機構を実施形態1の基板搬送装置第2基板保持装置100Bに適用した例を説明したが、実施形態2の基板搬送装置にも同様に適用可能である。また、ローラ対132Bは一対とした例について説明したが、2列以上ローラを配置してもよい。その場合、ガイドバーの直進性の一層の向上を期待できる。また、上述した例では、ガイドバーの一端部を基板保持器に取り付け、支持部を中間アームの交差連結点に設けてガイドバーの他端部側を支持する構成を説明したが、ガイドバーの他端部を交差連結点に取り付け、支持部を基板保持器に設けて、ガイドバーの一端部側を支持する構成としてもよい。要するに、基板保持器及びリンク部中間アームの交差連結点のいずれか一方にガイドバーを設け、基板保持器及びリンク部中間アームの交差連結点のいずれか他方に支持部を設けた構成とすればよい。[実施形態3]次に、図15及び図16を参照して、本発明に係る実施形態3の基板搬送装置について説明する。本実施形態の基板搬送装置は、上記実施形態1に対して、第1末端アーム104AR、104AL及び第2末端アーム104BR、104BL、第1交差連結点106A及び第2交差連結点106Bが省略され、その代わりに一対の第1中間アーム103AR、103ALの他端部103AR1、103AL1が第1基板保持器105Aに連結され、同様に一対の第2中間アーム103BR、103BLの他端部103BR1、10BL1が第2基板保持器105Bに連結される。また、第1及び第2基板保持器105A、105Bの後端部にはアーム先端側Y方向に延びる第1及び第2ガイドバー251A、251Bがスライド可能に支持される。第1及び第2ガイドバー251A、251Bは矩形の断面形状を有し、後述するように、第1及び第2基板保持器105A、105Bの第1中間アーム103AR、103AL、第2中間アーム103BR、103BLが連結される基部にガイド機構を介してスライド可能に支持される。これにより、第1及び第2基板保持装置100A、100Bの伸縮動作の際に第1及び第2基板保持器105A、105Bの首振りを抑制する。第1中間アーム103AR、103ALの他端部103AR1、103AL1の近傍には、一対の第1リンクアーム252AR、252ALが連結され、同様に第2中間アーム103BR、103BLの他端部103BR1、103BL1の近傍には、一対の第2リンクアーム252BR、252BLが連結されている。第1リンクアーム252AR、252ALの一端部252AR1、252AL1は、第1中間アーム103AR、103ALの他端部103AR1、103AL1から所定長内側に連結され、同様に第2リンクアーム252BR、252BLの一端部252BR1、252BL1は、第2中間アーム103BR、103BLの他端部103BR1、103BL1から所定長内側に連結されている。一方、第1リンクアーム252AR、252ALの他端部252AR2、252AL2は、いずれも第1ガイドバー251Aの後端部251A1に上下に重なって同軸に連結され、同様に第2リンクアーム252BR、252BLの他端部252BR2、252BL2は、いずれも第2ガイドバー251Bの後端部251B1に上下に重なって同軸に連結されている。ガイド機構は、X方向に対向配置されたローラ対253A、253Bが2組、Y方向に所定距離離間して配置されて構成されており、第1及び第2中間アーム103AR、103BR、103AL,103BLに連動して第1及び第2ガイドバー251A、251BがY方向に往復動作するようにガイドする。図15に示す収縮状態では、第1及び第2中間アーム103AR、103AL、103BR、103BLのなす角度が最大となり、この動作により第1及び第2リンクアーム252AR、252AL、252BR、252BLが第1及び第2中間アーム103AR、103AL、103BR、103BLとは反対方向にそれぞれ回転し、第1及び第2ガイドバー251A、251Bにガイドされつつ第1及び第2基板保持器105A、105Bを図中手前に引き込む。この収縮状態では、図1Aのように、第1駆動アーム102Aと第2駆動アーム102B、第1中間アーム103AR103ALと第2中間アーム103BR103BL、第1基板保持器105Aと第2基板保持器105Bがそれぞれ上下方向に重なった位置関係となる。この収縮状態において、第1及び第2駆動部101A、101Bの各駆動軸を同方向に回転駆動する。これにより、第1基板保持器105Aと第2基板保持器105Bとが一体となって第1及び第2駆動部101A、101Bの各駆動軸を共通軸としてスイング動作公転を行う。一方、図15の収縮状態から第1及び第2駆動部101A、101Bの各駆動軸を相反する方向に回転駆動する。これにより、第1基板保持器105Aと第2基板保持器105BとがY方向に沿って相反する方向に伸縮するように進退動作されて、図16に示す伸縮状態となる。図16に示す伸縮状態では、第1及び第2中間アーム103AR、103AL、103BR、103BLが反対に動作して第1及び第2リンクアーム252AR、252AL、252BR、252BLが第1及び第2中間アーム103AR、103AL、103BR、103BLとは反対方向にそれぞれ回転し、第1及び第2ガイドバー251A、251Bにガイドされつつ第1基板保持器105A及び第2基板保持器105Bのいずれか一方が前進し、いずれか他方が後退する図1B。その他の構成や動作は、実施形態1と同様であるので説明を省略する。また、上記実施形態3は、収縮状態において第1及び第2駆動アーム102A、102Bが互いに重なる実施形態1だけでなく、第1駆動アーム202Aと第2駆動アーム202BがY方向伸縮方向に予めオフセットして配置される実施形態2にも適用可能である。上記実施形態3によれば、実施形態1、2と比べて、ガイドバーやガイド機構を薄型化することができ、第1基板保持器105Aと第2基板保持器105Bの上下方向の距離を縮めることができる。そのため、基板の入れ替え動作の際の上下方向のストローク長を短縮でき、それにより、プロセスチャンバの高さ容積を抑えることができるので、装置を小型化できる。<基板搬送装置の制御ブロック構成>次に、図11を参照して、本実施形態の基板搬送装置の制御ブロック構成について説明する。第1基板保持装置100A、200Aは、第1駆動部101A、201Aへ駆動力を付与する出力軸を有する第1モータ301Aを有する。同様に、第2基板保持装置100B、200Bは、第2駆動部101B、201Bへ駆動力を出力する出力軸を有する第2モータ301Bを有する。真空室外に配備された第1モータ301Aの回転駆動力は、第1駆動部101A、201Aを介して、第1駆動アーム102A、202Aに伝達される。同様に、真空室外に配備された第2モータ301Bの回転駆動力は、第2駆動部101B、201Bを介して、第2駆動アーム102B、202Bに伝達される。基板検出部302は、第1及び第2基板保持器105A、105B、205A、205Bの鉛直上方または鉛直下方に配置される。そして、基板検出部302は、各基板保持器105A、105B、205A、205Bの位置並びに、各基板保持器105A、105B、205A、205Bの少なくともいずれかに基板が保持されているか否かを検出する。基板検出部302の検出結果は、コントローラ303に出力される。コントローラ303は、第1及び第2モータ301A,301Bに設けられている各エンコーダから得られる検出情報、並びに基板検出部302の検出結果に基づいて、第1及び第2基板保持装置100A、100B、200A、200Bの全体的な動作を司る。そして、コントローラ303は、第1モータ301A及び第2モータ301Bを同期制御することで、第1及び第2基板保持器105A、105B、205A、205Bが同一方向に同期回転するように制御する。また、コントローラ303は、基板の供給または回収の対象となるプロセス処理装置の各基板保持位置に対して、第1及び第2基板保持装置100A、100B、200A、200Bを回転させて所定の位置に位置決めする。真空室外に配備された第3モータ304の回転駆動力は、昇降機構305に伝達され、第1及び第2基板保持装置100A、100B、200A、200BをZ軸方向に上昇または降下させる。コントローラ303は、第3モータ304を制御して、基板の供給または回収の対象となるプロセス処理装置の基板保持位置に対する、第1基板保持器105A、205Aおよび第2基板保持器105B、205BのZ軸方向における位置決めを制御する。上記構成において、第1及び第2基板保持装置の公転動作、伸張動作及び収縮動作を実行することにより、基板搬送装置はプロセス処理装置に対して基板を供給し、または、プロセス処理装置から処理済みの基板を回収できる。<基板搬送装置の動作>次に、基板搬送装置の動作について説明する。コントローラ303は、基板搬送装置の公転動作及び伸縮動作を制御する。具体例として、第1基板保持器105Aに未処理の基板が載置されていて、第2基板保持器105Bに基板が載置されていない状態を想定し、プロセス処理装置への基板の入れ替え供給、回収の動作と公転動作とを以下に説明する。なお、各プロセス処理装置では、既に供給された基板に所定のプロセス処理が実行されているものとする。1プロセス処理の完了後に、コントローラ303は、第2基板保持器105Bの前進方向がプロセス処理装置のプロセスチャンバの基板中心と合う位置に第1及び第2基板保持装置100A、100Bを公転動作させる。この際、第1及び第2基板保持器105A、105Bの高さ方向Z方向の位置も、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板高さより下がった位置に移動する。2その後、コントローラ303は、第2基板保持装置100Bを伸張状態にして、第2基板保持器105Bを前進させる。第2基板保持器105Bの前進動作が完了した状態で、第2基板保持器105Bの基板保持面フォークは、基板の裏面に対して下方に位置する。3コントローラ303は第2基板保持器105Bの高さ方向Z方向の位置がプロセスチャンバの基板保持位置よりも高くなるように第2基板保持器105Bを上昇させて第2基板保持器105Bの基板保持面に処理済みの基板を載せかえる。4その後、コントローラ303は、第2基板保持装置100Bを収縮状態にして、第2基板保持器105Bを後退させる。この動作により、処理済みの基板がプロセス処理装置のプロセスチャンバから処理済みの基板の回収が完了する。5次に、コントローラ303は、第1基板保持器105Aの前進方向がプロセス処理装置のプロセスチャンバの基板中心と合う位置に第1及び第2基板保持装置100A、100Bを公転動作させる。この際、第1基板保持器105Aの高さ方向Z方向の位置は、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板保持位置の高さより高い位置に移動する。6その後、コントローラ303は、第1基板保持装置100Aを伸張状態にして、第1基板保持器105Aを前進させる。第1基板保持器105Aの前進動作が完了した状態で、第1基板保持器105Aは、プロセスチャンバの基板保持位置に対して上方に位置する。7コントローラ303は第1基板保持器105Aの高さ方向Z方向の位置がプロセスチャンバの基板保持位置よりも低くなるように第1基板保持器105Aを降下させる。このようにして、第1基板保持器105Aに保持されている基板をプロセスチャンバの基板保持位置に載せかえる。この状態で、第1基板保持器105A上にあった未処理基板はプロセスチャンバの基板保持位置に載置される。8その後、コントローラ303は、第1基板保持装置100Aを収縮状態にして、第1基板保持器105Aを後退させる。この動作により、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板保持位置に未処理の基板を載置する基板の供給が完了する。以上1から8の動作をプロセス処理装置のそれぞれに対して実行することにより、基板搬送装置は、放射状に複数配置されているプロセス処理装置図12のそれぞれに対して基板Wを供給することができる。または、基板搬送装置は、各プロセス処理装置から処理済みの基板を回収することができる。ここで、熱処理チャンバや成膜温度の高いプロセスチャンバなど高温に保持されたチャンバ内に基板搬送装置を用いて基板を搬送する場合について説明する。基板保持器を高温に保持されたチャンバの内部に移動させることになるが、本発明の構成によれば、ガイドバーの支持部は基板保持器の後方駆動軸側に離れているため、支持部を高温のチャンバ内に入れなくとも基板の搬送が可能である。このため、熱膨張による動作の再現性の低下を抑えることができるという効果を発揮する。支持部を高温のチャンバ内に入れる場合にも、保持部やガイドバーが高温に曝される時間を短くすることができるため、熱膨張による動作への悪影響を最小限に抑えることができる。なお、ここでは、実施形態1の基板搬送装置に適用した例を説明したが、実施形態2の基板搬送装置にも同様に適用可能である。<効果の説明>図14Aでは、ベルトの弾性変形による動作の再現性位置決めの再現性の低下が避けられない。また、上述したテンションの調整の難しさやフォーク先端の挙動がモータに伝わる間にベルトの弾性でフォークの挙動が速やかにフィードバックされず制御応答性を低下させたり、サーボ剛性を高められない。一方、図14Bでは、ギヤの噛み合いに起因するバックラッシュが存在するため、同様の課題が発生していた。さらに、図13に示す従来のアームの動作を微細に見た場合、伸縮動作中に一対の第1中間アーム503AR、503ALはまったく同じ挙動を示さないため、伸縮動作中は常にヨーイング運動をしている可能性がある。それにより、急峻な加速度を受け、基板がスリップして落下するおそれもある。これに対して、本実施形態によれば、動作の再現性位置決めの再現性、制御応答性及びサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現する。また、ロボットの高剛性化、フィードバック制御の高速応答化、部品の経時変化の低減が図れることにより、基板搬送システムの安定化、信頼性向上が図れ、生産性の向上につながる。さらに、ベルトの調整やギヤのメンテナンスにかかる作業が不要となるので作業時間を低減することができ、作業の効率化が図れる。さらに、本発明に係る各実施形態では、支持部が基板保持器よりも駆動軸側に離間して配置される構成となるため、高温に保持された熱処理チャンバなどに基板を搬送する場合にも、熱膨張による強度や位置決め精度の低下を避けることができる。特に、実施形態2によれば、実施形態1の効果に加えて、複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを効率的に検出することが可能になる。即ち、鉛直上方または鉛直下方から複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを、センサ検出専用の部材を用いることなく、検出することができる。そのため、高額となるセンシング技術が不用となり、装置全体のコストダウンを図ることが可能になる。また、基板の検出のために基板保持器を前後移動させる必要がなくなるため、装置のタクトタイムの短縮化が可能になる。<電子デバイスの製造システム、デバイスの製造方法>次に、図12を参照して、電子デバイスの製造システムについて説明する。本実施形態の基板搬送装置100が配置された搬送室410のまわりには、電子デバイスを製造する基板Wを搬入/搬出するためのロードロック室LL1、LL2、基板Wに対して種々の処理を行うプロセスチャンバ400~405が放射状に配置されている。このようにプロセスチャンバ400~405を基板搬送装置100に対して放射状に配置することにより、1つの基板搬送装置100で、複数のプロセスチャンバ400~405に対して基板の搬送を行うことが可能な構成となっている。本実施形態にかかる電子デバイスの製造システムは、上記実施形態で説明した基板搬送装置と、基板搬送装置により搬送された基板に対してデバイス製造プロセスを実行する少なくとも1つのプロセス処理装置と、を備える。なお、ここでは、実施形態1の基板搬送装置100に適用した例を説明したが、実施形態2の基板搬送装置200にも同様に適用可能である。また、電子デバイスの製造方法は、基板搬送装置を用いて基板を搬送する搬送工程と、少なくとも1つのプロセス処理装置において、搬送工程で搬送された基板に対して、デバイス製造プロセスを実行するプロセス実行工程とを有する。電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法により製造される電子デバイスとしては、例えば、半導体、LCD、太陽電池、あるいは光通信機器用デバイスのうち、少なくとも1つが含まれる。本実施形態によれば、電子デバイスの製造システム全体のコストダウンを図ることが可能になる。本発明は上記実施の形態に制限されるものではなく、本発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。例えば、本実施形態では、第1基板保持装置と第2基板保持装置の2組で構成されたダブルフォーク構造を説明したが、いずれか一方だけで構成したシングルフォーク構造としてもよい。"