像側から順に、対物レンズと、入射した光を反射する反射領域を持つ反射部材と、入射した光の一部を反射して残りを透過する所定のパターンを持つ光路分割領域が形成された光路分割部材とを有する干渉対物レンズであって、前記反射領域は前記反射部材の前記光路分割部材側の一部に形成され、前記パターンは、前記反射部材側の面と被検物体側の面とに形成され、前記反射部材側の面に形成されたパターンと被検物体側の面に形成されたパターンとが互いに点対称の関係に配置されていることを特徴とする干渉対物レンズ。以下の式を満足する請求項1に記載の干渉対物レンズ。r12≦0.1×r02ただし、前記反射領域の半径をr1、前記光路分割部材の屈折率をn、前記対物レンズの開口数をNA、前記対物レンズからの光の光線と前記干渉対物レンズの光軸とが大気中で成す最大角度をθ1=sin1NA、前記対物レンズからの光の光線と前記干渉対物レンズの光軸とが前記光路分割部材中で成す最大角度をθ2=sin1NA/n、前記光路分割部材と前期被検物体との間の距離をL1、前記反射部材と前記光路分割部材との間の距離をL2、前記光路分割部材の厚みをd1としたとき、r0は以下とする。r0=L1L2tanθ1d1tanθ2所定波長域の各波長における、前期光路分割領域を透過した透過光の位相変化量と前記光路分割領域で反射した反射光の位相変化量との差の波長間の差異が20°以内であることを特徴とする請求項1又は2に記載の干渉対物レンズ。請求項1から3の何れか一項に記載の干渉対物レンズを備えた干渉対物顕微鏡。近年、微小物体の段差を測定するために、極微小物体の解像が可能なNAの大きい干渉対物レンズが望まれている。しかし、特に白色光など光源の波長に幅がある場合、NAが大きくなるほど参照ミラー部材及びハーフミラー部材の厚み誤差によって、コントラストが大幅に低下してしまう問題があった。図5は倍率100倍、NA0.8のときの白色干渉縞強度分布の計算値である。実線で示した厚み誤差が0μmのときに比べ、点線で示した厚み誤差0.5μmのときの方が光路長差0μm付近を中心として、全体的にコントラストが低いことがわかる。そのため、厚み誤差を入射する光の波長レベルで制御する必要があった。本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、大きなNAであっても参照ミラー及びハーフミラーの厚み誤差によらず干渉縞のコントラストを保つ干渉対物レンズを提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明の干渉対物レンズは、像側から順に、対物レンズと、入射した光を反射する反射領域を持つ反射部材と、入射した光の一部を反射して残りを透過する、所定のパターンを持つ光路分割領域が形成された光路分割部材とを有する干渉対物レンズであって、前記反射領域は前記反射部材の前記光路分割部材側の一部に形成され、前記パターンは、前記反射部材側の面と被検物体側の面とに形成され、前記反射部材側の面に形成されたパターンと被検物体側の面に形成されたパターンとが互いに点対称の関係に配置されていることを特徴とする。さらに、前記反射領域の半径をr1、前記光路分割部材の屈折率をn、前記対物レンズの開口数をNA、前記対物レンズからの光の光線と前記干渉対物レンズの光軸とが大気中で成す最大角度をθ1=sin1NA、前記対物レンズからの光の光線と前記干渉対物レンズの光軸とが前記光路分割部材中で成す最大角度をθ2=sin1NA/n、前記光路分割部材と前期被検物体との間の距離をL1、前記反射部材と前記光路分割部材との間の距離をL2、前記光路分割部材の厚みをd1とし、r0=L1L2tanθ1d1tanθ2としたとき、以下の式を満足していることが好ましい。r12≦0.1×r02さらに、所定波長域の各波長における、前期光路分割領域を透過した透過光の位相変化量と前記光路分割領域で反射した反射光の位相変化量との差の波長間の差異が20°以内であることが好ましい。本発明によれば、大きなNAであっても参照ミラー及びハーフミラーの厚み誤差によらず干渉縞のコントラストを保つ干渉対物レンズを実現し得る。以下、図を用いて本発明の実施形態を説明する。図1は実施形態に係る干渉対物レンズを備えた干渉対物顕微鏡の構成を示す。図1の干渉対物レンズは、対物レンズ2、参照ミラー部材5、ハーフミラー部材8を備えている。参照ミラー部材5は、透過基板の被検物体側の面の一部に、参照ミラー領域6が形成され、ハーフミラー部材8は、透過基板の対物レンズ側の面と被検物体側の面とに、ハーフミラー領域7aと7bとが夫々形成されている。ハーフミラー部材8の実施例1を図3a及びbに示す。図3aはハーフミラー部材8の対物レンズ側の面、図3bは被検物体側の面を示している。円形レンズを想定し、斜線領域はハーフミラー領域7である。ハーフミラー部材8は透過基板の対物レンズ側の面の右半分にハーフミラー領域7aが形成され、透明基板の被検物体側の面の左半分にハーフミラー領域7bが形成されている。次に、干渉対物顕微鏡の光の作用を説明する。光源1から射出された光の一部は、ハーフミラー9で反射し、対物レンズ2へ偏向される。対物レンズ2及び参照ミラー部材5を通った光は、ハーフミラー領域7aによってその一部が反射し、残りが透過する。反射した光は参照ミラー領域6で反射し、ハーフミラー部材8の被検物体側に形成されたハーフミラー領域7bで反射する。一方ハーフミラー領域7aを透過した光は、被検物体3で反射し、ハーフミラー部材8の被検物体側に形成されたハーフミラー領域7bを透過する。ハーフミラー領域7aで分割された光がハーフミラー領域7bで合成され、像面4に干渉縞を形成する。同様に、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで合成される。ハーフミラー領域7で合成された光は、参照ミラー部材5、対物レンズ2を通り像面4に干渉縞を形成する。対物レンズ2が無限遠の光学系である場合、図示していない結像光学系によって像面4に干渉縞を形成する。ここで、干渉縞のコントラストに寄与する光路長差は、ハーフミラー領域7aまたはハーフミラー領域7bで分割された光が、ハーフミラー領域7bまたはハーフミラー領域7aで合成されるまでに生じた光路長差となる。光が分割されてから合成されるまでに参照ミラー部材5を通過することがないため、参照ミラー部材5とハーフミラー部材8との厚み誤差によって干渉縞のコントラストが低下することはない。対物レンズ2からの光の一部は参照ミラー領域6により遮られるため、被検物体3から十分な光量が得られなくなり、参照ミラー領域6の面積が大きいほど得られる像のコントラストが低下する。それは、NAが小さい光ほど顕著である。そのため、参照ミラー領域6の面積は参照ミラー領域6が形成されている面内に入射する光の10以下の面積であることが好ましい。図2は実施形態に係る干渉対物レンズの参照ミラー及びハーフミラーの拡大図を示す。参照ミラー領域6の半径をr1、ハーフミラー部材8の屈折率をn、対物レンズ2の開口数をNA、対物レンズ2からの光の光線と干渉対物レンズの光軸とが大気中で成す最大角度をθ1=sin1NA、対物レンズ2からの光の光線と干渉対物レンズの光軸とがハーフミラー部材8中で成す最大角度をθ2=sin1NA/n、ハーフミラー部材8と被検物体3との間の距離をL1、参照ミラー部材5とハーフミラー部材8との間の距離をL2、ハーフミラー部材8の厚みをd1とし、r0=L1L2tanθ1d1tanθ2としたとき、r1はr12≦0.1×r02を満足していれば良い。また、所定の波長範囲の各波長における、ハーフミラー部材8に入射した光が分割されて生じた透過光の位相変化量とハーフミラー部材8に入射した光が分割されて生じた反射光の位相変化量との差の波長間の差異が20°以内であることが好ましい。つまり、所定の波長範囲において、透過光の位相変化量と反射光の位相変化量との差が最大となる波長Xnmでの差Δxと、最小となる波長Ynmでの差Δyとの差異Δx-Δyが20°以内であることが好ましい。ここで、位相変化量はハーフミラー領域7a及び7bに形成された膜の膜厚差によって生じ、膜の屈折率や材質で異なる。ハーフミラー部材8で生じた透過光の位相変化量と反射光の位相変化量との差が波長に依存して大きく違う場合、観察される干渉縞の色の非対称性やコントラストの低下を招く可能性がある。そのため、可視光領域およそ400~700nmで使用する場合、ハーフミラー部材8によって生じた透過光の位相変化量とハーフミラー部材8によって生じた反射光の位相変化量との差の波長間の差異が10°以内であることが好ましい。また、ハーフミラー部材8で透過光の位相変化量と反射光の位相変化量との差が波長に依存して大きく違わない場合は、参照ミラー部材5とハーフミラー部材8及びハーフミラー部材8と被検物体3の空気間隔で調整を行ってもよい。また、干渉縞の観測に影響がない程度であれば、参照ミラー部材5とハーフミラー部材8との平行度は考慮しなくても良い。ここで、ハーフミラー部材8の他の例について説明する。次に、ハーフミラー部材8の実施例2を図3c及びdに示す。図3cはハーフミラー部材8の対物レンズ側の面、図3dは被検物体側の面を示している。ハーフミラー部材8は透過基板の対物レンズ側の面の右中央1/6にハーフミラー領域7a、左上1/6にハーフミラー領域7a、左下1/6にハーフミラー領域7aが形成されている。透過基板の被検物体側の面の左中央1/6にハーフミラー領域7b、右下1/6にハーフミラー領域7b、右上1/6にハーフミラー領域7bが形成されている。ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで、ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで、ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで夫々合成され、像面に干渉縞を形成する。また、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで夫々合成される。ハーフミラー部材8の実施例3を図3e及びfに示す。図3eはハーフミラー部材8の対物レンズ側の面、図3fは被検物体側の面を示している。ハーフミラー部材8は透過基板の面が外周、中間、中心と左右のパターンに分けられており、透過基板の対物レンズ側の面の右外周にハーフミラー領域7a、右中心にハーフミラー領域7a、左中間にハーフミラー領域7aが形成されている。透過基板の被検物体側の面の左外周にハーフミラー領域7b、左中心にハーフミラー領域7b、右中間にハーフミラー領域7bが形成されている。ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで、ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで、ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで夫々合成され、像面で干渉縞を形成する。また、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで夫々合成される。次に、ハーフミラー部材8の実施例4を図3g及びhに示す。図3gはハーフミラー部材8の対物レンズ側の面、図3hは被検物体側の面を示している。ハーフミラー部材8は透過基板の面が6本の帯状のパターンに分けられており、透過基板の対物レンズ側の面の右から1本目にハーフミラー領域7a、3本目にハーフミラー領域7a、5本目にハーフミラー領域7aが形成されている。透過基板の被検物体側の面の左から1本目にハーフミラー7b、3本目にハーフミラー7b、5本目にハーフミラー7bが形成されている。ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで、ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで、ハーフミラー領域7aで分割された光はハーフミラー領域7bで夫々合成され、像面で干渉縞を形成する。また、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで、ハーフミラー領域7bで分割された光はハーフミラー領域7aで夫々合成される。上記実施例では、対物レンズ側の面のハーフミラー領域7aと被検物体側の面のハーフミラー領域7bとが互いに点対称の関係点対称の関係とは、ハーフミラー領域7aを180°回転させるとハーフミラー領域7bと一致するような関係をいうとなるようにハーフミラー領域7を形成したが、ハーフミラー部材8の周辺部で結像に関与しない領域にはハーフミラー領域7を形成しなくてもよい。また、ハーフミラー部材8の対物レンズ側の面のハーフミラー領域7aと被検物体側の面のハーフミラー領域7bとが互いに一部重複している場合や一部抜けがある場合でも、測定への影響が見られない程度であれば問題はない。以上のように、本発明を分かりやすくするため実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。