"下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有し、前記蛍光体のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であり、かつ、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体。前記Srの窒化物または炭化物、Alの窒化物、酸化物、または炭化物、Siの窒化物、酸化物、または炭化物、および前記発光中心元素Euの酸化物、窒化物、または炭酸塩を原料として用い、これらの原料を配合重量の少ないものから順に混合してから2時間以上の焼成時間で焼成することにより製造されたものである、請求項1に記載の蛍光体。焼成時間が、2.0時間以上16時間以下である、請求項2に記載の蛍光体。焼成を、5気圧以上の圧力下、1500~2000°Cで行う、請求項2または3に記載の蛍光体。250nm~500nmの波長の光を発光する発光素子S1と、下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有し、前記蛍光体のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であり、かつ、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体Gと、下記一般式2:Sr1-x’Eux’aSibAlOcNd2式中、0<x’<0.4、0.55<a<0.80、2<b<3、0<c≦0.6、および4<d<5で表される組成を有し、前記発光素子S1からの照射光で励起した際に波長580~660nmの間にピークを有する発光を示す蛍光体Rと、を具備することを特徴とする発光装置。250nm~430nmの波長の光を発光する発光素子S2と、下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有し、前記蛍光体のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であり、かつ、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体Gと、下記一般式2:Sr1-x’Eux’aSibAlOcNd2式中、0<x’<0.4、0.55<a<0.80、2<b<3、0<c≦0.6、および4<d<5で表される組成を有し、前記発光素子S2からの照射光で励起した際に波長580~660nmの間にピークを有する発光を示す蛍光体Rと、前記発光素子S2からの照射光で励起した際に波長400~490nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体Bと、を具備することを特徴とする発光装置。下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有し、前記蛍光体のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であり、かつ、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体の製造法であって、前記Srの窒化物または炭化物、Alの窒化物、酸化物、または炭化物、Siの窒化物、酸化物、または炭化物、および前記発光中心元素Euの酸化物、窒化物、または炭酸塩を原料として用い、これらの原料を配合重量の少ないものから順に混合してから2時間以上の焼成時間で焼成することを特徴とする蛍光体の製造法。本発明は、前記したような従来の問題点に鑑みて、高温においても発光効率の低下が少ない蛍光体、および高パワーでの駆動時でも色ずれの少ない発光装置を提供することを目的とするものである。本発明の一実施形態である蛍光体は、下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有し、前記蛍光体のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であり、かつ、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とするものである。また、本発明の一実施形態である発光装置は、250nm~500nmの波長の光を発光する発光素子S1と、下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有し、前記蛍光体のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であり、かつ、波長250~500nmの光で励起した際に波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体Gと、下記一般式2:Sr1-x’Eux’aSibAlOcNd2式中、0<x’<0.4、0.55<a<0.80、2<b<3、0<c≦0.6、および4<d<5で表される組成を有し、前記発光素子S1からの照射光で励起した際に波長580~660nmの間にピークを有する発光を示す蛍光体Rと、を具備することを特徴とするものである。さらに本発明の一実施形態であるもうひとつの発光装置は、250nm~430nmの波長の光を発光する発光素子S2と、下記一般式1:本発明の一実施形態である蛍光体は、下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有し、前記蛍光体のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が014°以下であり、かつ、前記発光素子S2からの照射光で励起した際に波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体Gと、Sr1-x’Eux’aSibAlOcNd2式中、0<x’<0.4、0.55<a<0.80、2<b<3、0<c≦0.6、および4<d<5で表される組成を有し、前記発光素子S2からの照射光で励起した際に波長580~660nmの間にピークを有する発光を示す蛍光体Rと、を具備することを特徴とするものである。前記発光素子S2からの照射光で励起した際に波長400~490nmの間にピークを有する発光を示すことを特徴とする蛍光体Bと、を具備することを特徴とするものである。また、本発明の実施形態による緑色発光蛍光体の製造方法は、前記Srの窒化物または炭化物、Alの窒化物、酸化物、または炭化物、Siの窒化物、酸化物、または炭化物、および前記発光中心Euの酸化物、窒化物、または炭酸塩を原料として用い、これらを配合重量の少ないものから順に混合してから合計2時間以上焼成することにより前記赤色発光蛍光体を製造することを特徴とするものである。本発明者らは、結晶構造および組成を限定した酸窒化物化合物に発光中心元素を添加することによって、量子効率が高く、発光強度が高く、温度が上昇した場合であっても発光強度の低下が小さい、すなわち温度特性の良好な緑色発光蛍光体が得られることを見出した。さらに本発明者らは、この緑色発光蛍光体に、特定の赤色発光蛍光体を組み合わせることによって、高パワーでの駆動時、すなわち高温においても色ずれの少ない発光装置が得られることを見出した。以下に本発明の実施形態による緑色発光蛍光体と、それを用いた発光装置について説明する。緑色発光蛍光体本発明の一実施形態である緑色発光蛍光体Gは、下記一般式1:Sr1-xEux3-yAl3zSi13-zO2uN21-w1式中、0<x<1、-0.1≦y≦0.3、-3≦z≦1、-3<u-w≦1.5で表わされる組成を有するものである。発光中心元素Euは、Srの少なくとも0.1モルを置換することが望まれる。置換量が0.1モル未満の場合には、十分な発光効果を得ることが困難となる。発光中心元素Euは、元素Srの全量を置き換えてもよいが、置換量が50モル未満の場合には、発光確率の低下濃度消光を極力抑制することができる。また、本発明の実施形態による緑色蛍光体は、1式で示されるように、基本的にSr、Eu、Al、Si、O、およびNからなるものである。しかしながら、本発明の効果を損なわない範囲で、微量の不純物を含んでいてもよい。このような不純物は、原料に含まれているものや、製造過程で混入するものである。具体的には、Na、Ba、Ca、Mg、Cu、Fe、Pb、Cl、C、Bなどである。このような不純物元素は、蛍光体に含まれるとしても0.2以下であり、好ましくは300ppm以下である。そして、本発明の実施形態による緑色発光蛍光体Gは、波長250~500nmの光で励起した際、青色から緑色にわたる領域の発光、すなわち波長490~580nmの間にピークを有する発光を示すものである。また、式中、x、y、x、u、およびwについては0<x≦1、好ましくは0.001≦x≦0.5、-0.1≦y≦0.3、好ましくは-0.1≦y≦0.15、より好ましくは-0.09≦y≦0.07、-3≦z≦1、好ましくは-1≦z≦1、より好ましくは0.2≦z≦1、-3<u-w≦1.5、好ましくは-1<u-w≦1、より好ましくは-0.1≦u-w≦0.3、である。本発明の一実施形態による緑色発光蛍光体は、Sr3Al3Si13O2N21と実質的に同一の結晶構造を有する無機化合物を基本とし、その構成元素の一部が発光元素に置換されたものであり、各元素の組成が所定の範囲内に規定されている。このときに良好な量子効率を示し、発光素子に用いられたときに温度消光が小さいという好ましい温度特性を示す。以下、このような結晶をSr3Al3Si13O2N21属結晶ということがある。Sr3Al3Si13O2N21結晶は斜方晶系で、格子定数は、a=14.76Å、b=7.46Å、c=9.03Åである。本発明の実施形態による蛍光体は、X線回折や中性子回折により同定することができる。実施形態による蛍光体の典型的なX線回折パターンは図1に示す通りである。すなわち、ここで示されるSr3Al3Si13O2N21のX線回折パターンと同一のパターンを示す物質の他に、構成元素が他の元素と入れ替わることにより格子定数が一定範囲で変化したものも、本発明の実施形態による蛍光体に包含されるものである。ここで、構成元素が他の元素で置き換わるものとは、Sr3Al3Si13O2N21結晶中のSrが発光中心元素Euで、元素Siの位置が4価の元素からなる群、例えばGe、Sn、Ti、Zr、Hfからなる群から選ばれる1種または2種以上の元素で、Alの位置が3価の元素からなる群、例えばB、Ga、In、Sc、Y、La、Gd、Luからなる群から選ばれる1種または2種以上の元素で、OまたはNの位置がO、N、Cからなる群から選ばれる1種または2種以上の元素で置換された結晶のことである。また、AlがSiに互いに置き換わると同時に、OとNが置き換わった例えばSr3Al2Si14ON22、Sr3AlSi15N23、Sr3Al4Si12O3N20、Sr3Al5Si11O4N19、Sr3Al6Si10O5N18等もSr3Al3Si13O2N21属結晶である。さらに、固溶量が小さい場合には、Sr3Al3Si13O2N21属結晶の簡便な判定方法としてX線回折を用いる方法がある。対象となる蛍光体について測定したX線回折パターンの回折ピーク位置が、Sr3Al3Si13O2N21について測定したX線回折パターンの主要ピークについて一致した時に、当該結晶構造が同じものと特定することができる。つまりCuKα特性X線波長1.54056Åを用いて測定したX線回折パターンにおいて、回折角度2θが、15.2~15.5°、23.7~23.9°、25.7~25.9°、29.3~29.5°、30.9~31.1°、31.6~31.8°、31.9~32.1°、34.1~34.3°、34.8~35.0°、36.3~36.5°、37.4~37.6°の、11箇所のうち、少なくとも7箇所、さらには9箇所以上に同時に回折ピークを示す一成分を含有するものであることが望ましい。このようなX線回折パターンは、例えばM18XHF22-SRA型X線構造解析装置商品名、株式会社マックサイエンス製を用いて測定することができる。測定条件は、管電圧40kV、管電流100mA、スキャンスピードは2°/分とすることができる。また、本発明の実施形態による緑色発光蛍光体は、その結晶のX線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であるという特徴を有している。従来知られている同様の蛍光体では、この半値幅が0.16°以上であり、本発明の実施形態による蛍光体のような狭い半値幅を有するものは知られていなかった。これは実施形態による蛍光体の結晶性が高いことを意味している。また、本発明の実施形態による蛍光体は、一般的に結晶形状が板状である。本発明の実施形態による緑色発光蛍光体は、X線回折パターンにおいて、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅が0.14°以下であり、好ましくは0.13°以下である。ここで、半値幅はθ/2θ法により薄膜構造評価用X線回折装置ATX-G商品名、株式会社リガク製により測定したものである。測定は下記の条件により行った。X線源:CuKα50kV-300mA配置:1.0mmw×10.0mmh-SS0.48°-0.5mmw×1.0mmh-試料-0.5mmw×1.0mmh-0.5mmw測定条件:2θ/θ:5~65°、0.01°ステップ、走査速度0.5°/min緑色発光蛍光体の製造法本発明の実施形態にかかる緑色発光蛍光体は、特定された組成および特定されたX線回折パターンを示すものであれば、その製造法は特に限定されないが、そのような特定の緑色発光蛍光体を得るための具体的な方法は知られていなかった。今回、このような蛍光体を得る方法として下記の方法が見出された。例えば、Srの窒化物、または炭化物、AlやSiの、窒化物、酸化物、または炭化物、および発光中心元素Euの酸化物、窒化物、または炭酸塩を出発原料として用いて、合成することができる。より具体的には、Sr3N2、AlN、Si3N4、Al2O3およびEuNを出発原料として用いることができる。Sr3N2の代わりにCa3N2、Ba3N2、Sr2NあるいはSrN等、もしくはこれらの混合物を用いてもよい。従来、蛍光体を製造するためには、これらの原料を混合して焼成することによって製造していたが、例えばすべての原料粉末を容器に投入し、混合するだけでは目的とする蛍光体を得ることができなかった。しかしながらこれらを所望の組成になるように秤量した後、配合重量の少ないものから順に混合し、得られた混合粉末を焼成することによって、目的の蛍光体が得られることが見出された。すなわち、例えば4種類の原料を用いる場合、それぞれを個別に秤量した後、配合重量の最も少ないものと2番目に少ないものを配合して混合し、つい次にその混合物に配合重量が3番目に少ないものを混合し、最後に配合重量の最も多いものを混合する。このように、配合重量が少ないものから順に混合することによって、得られる蛍光体のX線回折スペクトルが変わること、すなわち蛍光体の結晶構造が変わることの理由は判明していないが、原料の混合がより均一になるためと推察されている。原料の混合に当たっては、例えば、グローブボックス中で乳鉢混合するといった手法が挙げられる。また、るつぼの材質は、窒化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、カーボン、窒化アルミニウム、サイアロン、酸化アルミ、モリブデンあるいはタングステン等としてもよい。本発明の実施形態に用いられる緑色発光蛍光体は、これらの出発原料の混合物を所定時間焼成することにより得ることができる。特に本発明の実施形態による緑色発光蛍光体の製造法は、焼成時間が長いことが好ましい。具体的には、焼成時間は一般的には2時間以上とされ、4時間以上であることが好ましく、6時間以上であることがより好ましく、8時間以上であることが最も好ましい。これは焼成時間が短すぎると、結晶成長が不十分のため量子効率が低下することがある。焼成は1回で行っても、複数回に分けて行ってもよい。複数回に分けて焼成を行う場合には、焼成と焼成との間に、焼成物の破砕および混合をすることが好ましい。焼成は、大気圧以上の圧力で行なうことが望ましい。窒化ケイ素の高温での分解を抑制するためには、5気圧以上がより好ましい。焼成温度は1500~2000°Cの範囲が好ましく、より好ましくは1600~1900°Cである。焼成温度が1500°C未満の場合には、目的とする蛍光体の形成が困難となることがある。一方、2000°Cを越えると、材料あるいは生成物の昇華のおそれがある。また、原料のAlNが酸化されやすいことから、N2雰囲気中で焼成することが望まれるが、窒素および水素の混合雰囲気下で行ってもよい。焼成後の粉体に洗浄等の後処理を必要に応じて施して、実施形態にかかる蛍光体が得られる。洗浄を行う場合には、例えば純水洗浄、酸洗浄により行なうことができる。赤色発光蛍光体本発明の実施形態である発光装置に用いられる赤色発光蛍光体Rのひとつは、下記組成式2で示されるものである。Sr1-x’Eux’aSibAlOcNd2式中、0<x’<0.4、好ましくは0.02≦x≦0.2、0.55<a<0.80、好ましくは0.66≦a≦0.692<b<3、好ましくは2.2≦b≦2.4、0<c≦0.6、好ましくは0.43≦c≦0.51、および4<d<5、好ましくは4.2≦d≦4.3本発明の実施形態による発光装置に用いることができる赤色発光蛍光体Rのひとつは、Sr2Si7Al3ON13と実質的に同一の結晶構造を有する無機化合物を基本とし、その構成元素の一部が発光元素に置換されたものであり、各元素の組成が所定の範囲内に規定されていることによって、良好な量子効率を示す。このような赤色発光蛍光体は、X線回折や中性子回折により同定することができる。すなわち、ここで示されるSr2Si7Al3ON13のX線回折パターンと同一のパターンを示す物質の他に、構成元素が他の元素と入れ替わることにより格子定数が一定範囲で変化したものも、本発明の実施形態による蛍光体に包含されるものである。ここで、構成元素が他の元素で置き換わるものとは、Sr2Si7Al3ON13結晶中のSrが発光中心元素Euで、元素Siの位置が4価の元素からなる群、例えばGe、Sn、Ti、Zr、Hfからなる群から選ばれる1種または2種以上の元素で、Alの位置が3価の元素からなる群、例えばB、Ga、In、Sc、Y、La、Gd、Luからなる群から選ばれる1種または2種以上の元素で、OまたはNの位置がO、N、Cからなる群から選ばれる1種または2種以上の元素で置換された結晶のことである。また、AlがSiに互いに置き換わると同時に、OとNが置き換わった、例えばSr3Al2Si14ON22、Sr3AlSi15N23、Sr3Al4Si12O3N20、Sr3Al5Si11O4N19、Sr3Al6Si10O5N18等もSr2Si7Al3ON13属結晶である。さらに、固溶量が小さい場合には、Sr2Si7Al3ON13属結晶の簡便な判定方法として、前記した緑色発光蛍光体の場合と同じ方法を用いることができる。赤色発光蛍光体の製造法本発明の実施形態にかかる赤色発光蛍光体は、例えば、Srの窒化物、またはその他シアナミド等の炭化物、AlやSiの、窒化物、酸化物、または炭化物、および発光中心元素Euの酸化物、窒化物、または炭酸塩を出発原料として用いて、合成することができる。より具体的には、Sr3N2、AlN、Si3N4、Al2O3およびEuNを出発原料として用いることができる。Sr3N2の代わりにCa3N2、Ba3N2、Sr2NあるいはSrN等、もしくはこれらの混合物を用いてもよい。これらを所望の組成になるように秤量混合し、得られた混合粉末を焼成することによって、目的の蛍光体が得られる。混合に当たっては、例えば、グローブボックス中で乳鉢混合するといった手法が挙げられる。また、るつぼの材質は、窒化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、カーボン、窒化アルミニウム、サイアロン、酸化アルミ、モリブデンあるいはタングステン等としてもよい。本発明の実施形態に用いられる赤色発光蛍光体は、これらの出発原料の混合物を所定時間焼成することにより得ることができる。焼成時間は一般に4時間以下であり、3時間以下であることが好ましく、2時間以下であることがより好ましく、1時間以下であることが最も好ましい。これは焼成時間が長すぎると、結晶の凝集が進行して、粒子径が大きくなってしまい、量子効率が低下するためである。また、焼成時間が長いと、所定のアスペクト比を有する結晶の割合も低下する傾向にある。しかしながら、反応を十分に進行させるという観点からは、0.1時間以上であることが好ましく、0.5時間以上であることがより好ましく、1時間以上であることが最も好ましい。焼成は1回で行っても、複数回に分けて行ってもよい。焼成は、大気圧以上の圧力で行なうことが望ましい。窒化ケイ素の高温での分解を抑制するためには、5気圧以上がより好ましい。焼成温度は1500~2000°Cの範囲が好ましく、より好ましくは1600~1900°Cである。焼成温度が1500°C未満の場合には、目的とする蛍光体の形成が困難となることがある。一方、2000°Cを越えると、材料あるいは生成物の昇華のおそれがある。また、原料のAlNが酸化されやすいことから、N2雰囲気中で焼成することが望まれるが、窒素および水素の混合雰囲気でもよい。焼成後の粉体に洗浄等の後処理を必要に応じて施して、実施形態にかかる蛍光体が得られる。洗浄を行う場合には、例えば純水洗浄、酸洗浄により行なうことができる。青色発光蛍光体本発明の実施形態による発光装置は、後述するように前記した赤色発光蛍光体と緑色発光蛍光体とを組み合わせて用いるが、さらに青色発光蛍光体を組み合わせることもできる。このように用いられる青色発光蛍光体は、400~490nmの間にピークを有する発光を示すものであれば、特に限定されない。しかしながら、青色発光蛍光体の温度特性が悪い場合には、投入電力の増加に伴う温度上昇により、放射光の色度が黄色側にシフトしてしまうことがある。これは白色光を目的としている場合には、特に問題となりやすい。したがって、色ずれの少ない発光装置を提供するという本発明の目的のためには、青色発光蛍光体はその温度特性が赤色発光蛍光体および緑色発光蛍光体と同等に良好であるものが好ましい。好ましい青色発光蛍光体の具体例としては、Ba,EuMgAl10O17、Sr,Ca,Ba,Eu10PO45Cl2、Sr,EuSi9Al19ON31などが挙げられる。発光装置本発明の実施形態による発光装置は、前記した蛍光体と、それを励起することができる発光素子とを具備するものである。本発明の実施形態による発光装置は、励起源であるLEDと、そのLEDから照射される光によって励起されて蛍光を発する、前記の赤色発光蛍光体Rおよび前記の緑色発光蛍光体Gとの組み合わせを具備する。このとき、この発光装置は、LEDから照射される光と、赤色発光蛍光体からの発光と、緑色発光蛍光体からの発光とが合成された光を放射するものである。そして、本発明の実施形態によるほかの発光装置は、励起源であるLEDと、そのLEDから照射される光によって励起されて蛍光を発する、前記の赤色発光蛍光体R、前記の緑色発光蛍光体G、および青色発光蛍光体Bとの組み合わせを具備するものである。これらの実施形態は、いずれも特定の赤色発光蛍光体Rと特定の緑色発光蛍光体Gとの組み合わせを必須としている。これによって、発光装置から放射される赤色光成分と緑色光成分とのバランスが駆動時に崩れにくく、色ずれが抑制される。また、これらの特定の蛍光体は駆動時の温度消光が小さいために、発光素子からの発光や青色発光蛍光体から放射される青色光成分とのバランスも崩れにくく、色ずれが小さいものである。ここで本発明の実施形態において赤色発光蛍光体と緑色発光蛍光体は共に温度消光が少ない。このため、高パワーで駆動したときに、赤色光成分および緑色光成分の変動が小さい発光装置が実現できる。さらには、二つの蛍光体の温度消光の挙動が、室温から200度程度の温度領域中の各温度において同程度であるために、高パワーで駆動しデバイス温度が上昇した場合にも、赤色光成分と緑色光成分との色ずれの少ない発光装置が達成される。なお、赤色発光蛍光体または緑色発光蛍光体に、本発明の実施形態において特定された蛍光体とは異なる蛍光体を用いても発光装置を製造することは可能である。しかしながら、そのような場合には本発明のような色ずれを抑制する効果が充分得られないのが一般的である。青色発光蛍光体を用いた場合には、青色発光蛍光体の温度消光が赤色および緑色発光蛍光体と同程度であれば、色ずれがより少なくなるので好ましい。しかしながら、青色発光蛍光体による発光波長は、発光素子であるLEDによって補うことができるため、赤色発光蛍光体や緑色発光蛍光体のように厳密である必要はない。発光装置に用いられる発光素子は、用いる蛍光体によって適当なものが選択される。すなわち、発光素子から放射される光が、用いられる蛍光体を励起することができるものであることが必要である。さらには、発光装置が白色光を放射することが好ましい場合には、蛍光体から放射される光を補うような波長の光を放射する発光素子が好ましい。このような観点から、蛍光体として赤色発光蛍光体と緑色発光蛍光体とを用いた蛍光装置においては、発光素子S1は、250~500nmの波長の光を放射するものが選択され、蛍光体として赤色発光蛍光体と緑色発光蛍光体と青色発光蛍光体とを用いた蛍光装置においては、発光素子S2は、250~430nmの波長の光を放射するものが選択さる。本発明の実施形態による発光装置は、従来知られている任意の発光装置の形態とすることができる。図2は、本発明の一実施形態にかかる発光装置の断面を示すものである。図2に示された発光装置においては、樹脂ステム100はリードフレームを成形してなるリード101およびリード102と、これに一体成形されてなる樹脂部103とを有する。樹脂部103は、上部開口部が底面部より広い凹部105を有しており、この凹部の側面には反射面104が設けられる。凹部105の略円形底面中央部には、発光素子106がAgペースト等によりマウントされている。発光素子106としては、例えば発光ダイオード、レーザダイオード等を用いることができる。さらには、紫外発光を行なうものを用いることができ、特に限定されるものではない。紫外光以外にも、青色や青紫、近紫外光などの波長を発光可能な発光素子も使用可能である。例えば、GaN系等の半導体発光素子等を用いることができる。発光素子106の電極図示せずは、Auなどからなるボンディングワイヤー107および108によって、リード101およびリード102にそれぞれ接続されている。なお、リード101および102の配置は、適宜変更することができる。蛍光層109は、本発明の実施形態にかかる蛍光体の混合物110を、例えばシリコーン樹脂からなる樹脂層211中に5重量から50重量の割合で分散、もしくは沈降させることによって形成することができる。実施形態にかかる蛍光体には、共有結合性の高い酸窒化物が母体として用いられている。このため、本発明の実施形態による蛍光体は一般に疎水性であり、樹脂との相容性が極めて良好である。したがって、樹脂と蛍光体との界面での散乱が著しく抑制されて、光取出し効率が向上する。発光素子106としては、n型電極とp型電極とを同一面上に有するフリップチップ型のものを用いることも可能である。この場合には、ワイヤーの断線や剥離、ワイヤーによる光吸収等のワイヤーに起因した問題を解消して、信頼性の高い高輝度な半導体発光装置が得られる。また、発光素子106にn型基板を用いて、次のような構成とすることもできる。具体的には、n型基板の裏面にn型電極を形成し、基板上の半導体層上面にはp型電極を形成して、n型電極またはp型電極をリードにマウントする。p型電極またはn型電極は、ワイヤーにより他方のリードに接続することができる。発光素子106のサイズ、凹部105の寸法および形状は、適宜変更することができる。本発明の実施形態にかかる発光装置は、図2に示したようなパッケージカップ型に限定されず、適宜変更することができる。具体的には、砲弾型LEDや表面実装型LEDの場合も、実施形態の蛍光体を適用して同様の効果を得ることができる。以下、諸例により本発明をさらに詳細に説明するが、これら実施形態は例示であり、発明の範囲はそれらに限定されない。実施例1出発原料としてSr3N2、EuN、Si3N4、Al2O3およびAlNを用意した。これら各々2.579g、0.232g、4.583g、0.476g、1.339gをバキュームグローブボックス中で秤量後、めのう乳鉢内で乾式混合したものを、BNるつぼに充填し、7.5気圧のN2雰囲気中、1850°Cで4時間焼成して、設計組成がSr0.95Eu0.052Al3Si7ON13であるような蛍光体R1を合成した。焼成後の蛍光体R1は、体色が橙色の粉体であり、ブラックライトで励起した結果、赤色発光が観察された。また、出発原料としてSr3N2、EuN、Si3N4、Al2O3およびAlNを用意した。これら各々2.676g、0.398g、6.080g、0.680g、0.683gをバキュームグローブボックス中で秤量後、配合重量の少ないものから順にめのう乳鉢内で乾式混合したものを、BNるつぼに充填し、7.5気圧のN2雰囲気中、1850°Cで4時間焼成して、設計組成がSr0.92Eu0.083Al3Si13O2N21である蛍光体G1を合成した。焼成後の蛍光体G1は、体色が黄緑色の粉体であり、ブラックライトで励起した結果、緑色発光が観察された。この緑色発光蛍光体G1の457nm励起における発光スペクトルは図2に示す通りであった。また、この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.139°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は56であった。発光効率は、絶対PL量子効率測定装置C9920-02G商品名、浜松ホトニクス株式会社製によって測定し、蛍光体に照射された光子が全て蛍光体に吸収され、吸収された全ての光子が波長変換されて放出された場合を100として算出した。これらの蛍光体を用いて、発光装置を作製した。緑色発光蛍光体G1、赤色発光蛍光体R1の温度依存性を、室温における発光強度を1として規格化すると図4に示す通りであった。この発光装置の構成を表す概略図は図5に示すとおりであった。発光ピーク波長455nmの発光ダイオード402を、8mm角のAlNパッケージ401上に半田を用いて接合し、金ワイヤー403を介して電極に接続した。この発光ダイオード上にドーム状に透明樹脂404を塗布し、その上にピーク波長598nmの赤色発光蛍光体R1を30重量混入させた透明樹脂405を層状に塗布し、その上に蛍光体G1を30重量混入させた透明樹脂406を層状に塗布して、発光装置を製造した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率67.9lm/W、Ra=86であった。この発光装置の発光スペクトルは図6に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図7に示すように駆動電流が上昇しても、色度の変動は少なく、350mA駆動時においてもJIS規格の色度範囲を逸脱することが無かった。光束効率およびRaも240mA駆動において52.0lm/W、Ra=79、300mA駆動において48.3lm/W、Ra=77、350mA駆動において43.9lm/W、Ra=75と変動が少なかった。実施例2実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、焼成時間を6時間に変えた以外は実施例1と同様にして、緑色発光蛍光体G2を合成した。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.137°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は62であった。これらの蛍光体を用いて、実施例1と同様の発光装置を製造した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率73.8lm/W、Ra=79であった。この発光装置の発光スペクトルは図8に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図9に示すように駆動電流が上昇しても、色度の変動は少なかった。光束効率およびRaも240mA駆動において56.8lm/W、Ra=78、300mA駆動において53.5lm/W、Ra=77、350mA駆動において49.1lm/W、Ra=76と変動が少なかった。実施例3実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、焼成時間を8.0時間に変えた以外は実施例1と同様にして、緑色発光蛍光体G3を合成した。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.134°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は64であった。これらの蛍光体を用いて、実施例1と同様の発光装置を製造した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率64.8lm/W、Ra=90であった。20mA駆動における発光スペクトルは図10に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図11に示すように駆動電流が上昇しても、色度の変動は少なく、350mA駆動時においてもJIS規格の色度範囲を逸脱することが無かった。光束効率およびRaも240mA駆動において51.0lm/W、Ra=85、300mA駆動において48.0lm/W、Ra=84、350mA駆動において44.3lm/W、Ra=82と変動が少なかった。実施例4実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、実施例1と焼成雰囲気のみ異なる方法で緑色発光蛍光体G4を合成した。ここで焼成雰囲気はH2:N2=5:5のように変更した。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.129°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は62であった。これらの蛍光体を用いて、発光装置を作製した。発光ピーク波長390nmの発光ダイオードを、8mm角のAlNパッケージ上に半田を用いて接合し、金ワイヤーを介して電極に接続した。この発光ダイオード上にドーム状に透明樹脂を塗布し、その上にピーク波長598nmの赤色発光蛍光体R1を30重量混入させた透明樹脂を層状に塗布し、その上に緑色蛍発光光体G4を30重量混入させた透明樹脂を層状に塗布し、その上に青色発光蛍光体Ba0.9Eu0.1MgAl10O17B1を30重量混入させた透明樹脂を層状に塗布し、発光装置を製造した。緑色発光蛍光体G4、赤色発光蛍光体R1および青色発光蛍光体B1の発光強度の温度依存性を、室温における発光強度を1として規格化すると図12に示す通りであった。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率62.39lm/W、Ra=90であった。この発光装置の発光スペクトルは図13に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図14に示すように駆動電流が上昇しても、色度の変動は少なく、350mA駆動時においてもJIS規格の昼白色の色度範囲を逸脱することが無かった。光束効率、Raおよび色度も240mA駆動において47.7lm/W、Ra=89およびx,y=0.341,0.348、300mA駆動において44.7lm/W、Ra=88およびx,y=0.339,0.349、350mA駆動において41.5lm/W、Ra=88およびx,y=0.336,0.347と変動が少なかった。実施例5実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、実施例2と焼成雰囲気のみ異なる方法で緑色発光蛍光体G5を合成した。ここで焼成雰囲気はH2:N2=5:5のように変更した。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.119°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は60であった。これらの蛍光体を用いて、実施例4と同様の発光装置を作製した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率70.49lm/W、Ra=81であった。この発光装置の発光スペクトルは図15に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図16に示すように駆動電流が上昇しても、色度の変動は少なく、350mA駆動時においてもJIS規格の昼白色の色度範囲を逸脱することが無かった。光束効率、Raおよび色度は、240mA駆動において53.5lm/W、Ra=81およびx,y=0.341,0.348、300mA駆動において50.2lm/W、Ra=81およびx,y=0.340,0.346、350mA駆動において46.1lm/W、Ra=81およびx,y=0.337,0.343と変動が少なかった。実施例6実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、実施例3と焼成雰囲気のみ異なる方法で緑色発光蛍光体G6を合成した。ここで焼成雰囲気はH2:N2=5:5のように変更した。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.117°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は55であった。これらの蛍光体を用いて、実施例4と同様の発光装置を作製した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率59.79lm/W、Ra=92であった。この発光装置の発光スペクトルは図17に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図18に示すように駆動電流が上昇しても、色度の変動は少なく、350mA駆動時においてもJIS規格の昼白色の色度範囲を逸脱することが無かった。光束効率、Raおよび色度も240mA駆動において46.5lm/W、Ra=91およびx,y=0.34,0.351、300mA駆動において43.5lm/W、Ra=81およびx,y=0.339,0.35、350mA駆動において39.9lm/W、Ra=90およびx,y=0.336,0.348と変動が少なかった。実施例7出発原料としてSrCO3、Eu2O3、Si3N4およびAlNを用意した。これら各々0.664g、0.792g、3.788g、7.009gを秤量後、めのう乳鉢内で乾式混合したものを、BNるつぼに充填し、7.5気圧のN2雰囲気中、1800°Cで4時間焼成して、設計組成がSr0.50Eu0.503Si9Al19ON31であるような蛍光体B2を合成した。実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1および緑色発光蛍光体G1を合成した。緑色発光蛍光体、赤色発光蛍光体および青色発光蛍光体の発光強度の温度依存性を、室温における発光強度を1として規格化すると、図19に示す通りであった。これらの蛍光体を用いて、実施例4と同様の発光装置を作製した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率56.09lm/W、Ra=89であった。この発光装置の発光スペクトルは図20に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図21に示すように駆動電流が上昇しても、色度の変動は少なく、350mA駆動時においてもJIS規格の昼白色の色度範囲を逸脱することが無かった。光束効率およびRaも240mA駆動において43.9lm/W、Ra=85およびx,y=0.331,0.340、300mA駆動において43.9lm/W、Ra=85およびx,y=0.329,0.339、350mA駆動において38.0lm/W、Ra=84およびx,y=0.327,0.337と変動が少なかった。実施例8実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、原料粉体として、Sr3N2、EuN、Si3N4、Al2O3およびAlNを用意し、バキュームグローブボックス中でそれぞれ秤量した。Sr3N2、EuN、Si3N4、Al2O3およびAlNの配合質量は、それぞれ2.676g、0.398g、6.548g、0.340g、および0.547gとした以外はG1と同様の方法で緑色発光蛍光体G7を得た。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.124°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は59であった。これらの蛍光体を用いて、実施例4と同様の発光装置を作製した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率58.35lm/W、Ra=88であった実施例9実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、Sr3N2、EuN、Si3N4、Al2O3およびAlNの配合質量を、それぞれ2.676g、0.398g、6.431g、0.425g、および0.581gとした以外はG1と同様の方法で緑色発光蛍光体G8を得た。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.137°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は59であった。これらの蛍光体を用いて、実施例4と同様の発光装置を作製した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率58.37lm/W、Ra=90であった実施例10実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、Sr3N2、EuN、Si3N4、Al2O3およびAlNの配合質量を、それぞれ2.676g、0.398g、6.314g、0.510g、および0.615gとした以外はG1と同様の方法で緑色発光蛍光体G9を得た。この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.126°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は62であった。これらの蛍光体を用いて、実施例4と同様の発光装置を作製した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率61.21lm/W、Ra=92であった比較例1実施例1と同様にして赤色発光蛍光体R1を合成した。また、各原料の粉末を秤量後、すべての粉末をるつぼに一時に投入し、一括で乾式混合した以外は実施例1と同様にして比較となる緑色発光蛍光体G10を合成した。焼成後の蛍光体G10は、体色が黄緑色の粉体であり、ブラックライトで励起した結果、緑色発光が観察された。この緑色発光蛍光体G10の457nm励起における発光スペクトルは図22に示す通りであった。また、この蛍光体のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.164°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は47であった。これらの蛍光体を用いて、発光装置を作製した。緑色発光蛍光体G10と赤色発光蛍光体R1の発光強度の温度依存性を、室温における発光強度を1として規格化すると図23に示す通りであった。これらの蛍光体を用いて、実施例4と同様の発光装置を作製した。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率24.0lm/W、Ra=91であった。この発光装置の発光スペクトルは図24に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図25に示すように駆動電流が上昇により、色度が顕著に変化し、JIS規格の色度範囲を大きく逸脱した。光束効率およびRaも240mA駆動において15.5lm/W、Ra=72、300mA駆動において14.0lm/W、Ra=66、350mA駆動において12.2lm/W、Ra=53と著しく減少した。比較例2実施例3において合成した緑色発光蛍光体G3に対して、各原料の粉末を秤量後、すべての粉末をるつぼに一時に投入し、一括で乾式混合した以外は同様にして比較となる緑色発光蛍光体G11を合成した。焼成後の蛍光体G11のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.158°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は48であった。比較例3実施例4において合成した緑色発光蛍光体G4に対して、各原料の粉末を秤量後、すべての粉末をるつぼに一時に投入し、一括で乾式混合した以外は同様にして比較となる緑色発光蛍光体G12を合成した。焼成後の蛍光体G12のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.147°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は49であった。比較例4実施例6において合成した緑色発光蛍光体G6に対して、各原料の粉末を秤量後、すべての粉末をるつぼに一時に投入し、一括で乾式混合した以外は同様にして比較となる緑色発光蛍光体G13を合成した。焼成後の蛍光体G13のX線回折パターンにおける主要ピークはSr3Al3Si13O2N21属結晶のX線回折パターンの主要ピークとほぼ同一であり、回折ピーク位置2θが15.2~15.5°であるピークの半値幅は0.148°であった。さらに、この蛍光体の発光効率は46であった。発光効率の比較各実施例および比較例において合成した緑色発光蛍光体のX線回折パターンの半値幅と発光効率の関係をまとめると、図26に示す通りであった。比較例5発光ピーク波長455nmの発光ダイオードを、8mm角のAlNパッケージ上に半田を用いて接合し、金ワイヤーを介して電極に接続した。この発光ダイオード上にドーム状に透明樹脂を塗布し、その上にピーク波長585nmの赤色発光蛍光体Ba0.1Sr0.8Ca0.12SiO4:Eu2を40重量混入させた透明樹脂を層状に塗布し、その上にBa0.1Sr0.82SiO4:Eu2を30重量混入させた透明樹脂を層状に塗布して、図5に示された構造を有する発光装置を製造した。この緑色発光蛍光体と赤色発光蛍光体の発光強度の温度依存性を、室温における発光強度を1として規格化すると図27に示す通りであった。この発光装置を積分球内に設置し、20mA、3.1Vで駆動させたところ、色度0.345,0.352、色温度5000K、光束効率68.6lm/W、Ra=86であった。20mA駆動における発光スペクトルは図28に示す通りであった。この発光装置の駆動電流を350mAまで上昇させながら、前記した方法で発光特性を測定した。図29に示すように駆動電流の上昇により、色度が顕著に変化し、JIS規格の色度範囲を大きく逸脱した。光束効率およびRaも240mA駆動において43.9lm/W、Ra=76、300mA駆動において33.9lm/W、Ra=68、350mA駆動において26.9lm/W、Ra=57と著しく減少した。"