"内面に蛍光物質が設けられ、外面に一対の電極が設けられた放電容器を備えた長尺状のエキシマランプと、該エキシマランプを内部に挿通した状態で設けられた光透過性材料よりなる外管と、該エキシマランプの一方の端部から他方の端部に向けて冷却風を送風させる冷却装置と、よりなる光照射装置において、該エキシマランプは、放電容器の内部であって他方の端部にゲッターが設けられていることを特徴とする光照射装置。前記放電容器の内壁と前記蛍光物質の間には、シリカ粒子より構成される反射膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。前記ゲッターは、ゲッター材料が支持体に担持されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光照射装置。前記ゲッターは、放電容器の内壁面に前記ゲッター材料が蒸着した薄膜であることを特徴とする請求項3に記載の光照射装置。前記放電容器の内部には、前記ゲッターを備えるためのゲッター室が設けられ、該放電容器の外部には、該ゲッター室の外周に前記支持体を固定させるための磁性部材が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の光照射装置。本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、蛍光体や反射膜を内部に備えたエキシマランプを有する光照射装置において、エキシマランプが冷却された状態でもゲッターの吸着性能の低下を抑えることのできる光照射装置を提供することである。上記課題を解決するために請求項1に記載の発明は、内面に蛍光物質が設けられ、外面に一対の電極が設けられた放電容器を備えた長尺状のエキシマランプと、該エキシマランプを内部に挿通した状態で設けられた光透過性材料よりなる外管と、該エキシマランプの一方の端部から他方の端部に向けて冷却風を送風させる冷却装置と、よりなる光照射装置において、該エキシマランプは、放電容器の内部であって他方の端部にゲッターが設けられていることを特徴とする光照射装置とするものである。請求項2に記載の発明は、前記放電容器の内壁と前記蛍光物質の間には、シリカ粒子より構成される反射膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置とするものである。請求項3に記載の発明は、前記ゲッターは、ゲッター材料が支持体に担持されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光照射装置とするものである。請求項4に記載の発明は、前記ゲッターは、放電容器の内壁面に前記ゲッター材料が蒸着した薄膜であることを特徴とする請求項3に記載の光照射装置とするものである。請求項5に記載の発明は、前記放電容器の内部には、前記ゲッターを備えるためのゲッター室が設けられ、該放電容器の外部には、該ゲッター室の外周に前記支持体を固定させるための磁性部材が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の光照射装置とするものである。本発明に用いられるゲッターは、当該ゲッターの使用環境が数度から100度程度の温度差においてゲッターの吸着速度が異なるものであり、尚且つ、その温度差程度にゲッターが高温になると、ゲッターの吸着速度が向上する性質を示すものが用いられる。請求項1に記載の発明によれば、内面に蛍光物質が設けられた放電容器の外面に一対の電極を配置した長尺状のエキシマランプと、該エキシマランプを内部に挿通した状態で設けられた光透過性材料よりなる外管と、該エキシマランプの一方の端部から他方の端部に向けて冷却風を送風させる冷却装置と、よりなる光照射装置において、該エキシマランプは、放電容器の内部であって他方の端部にゲッターが設けられていることにより、冷却風によるゲッターの冷却が緩和され、放電容器の内部の不純物をより多く除去できる。請求項2に記載の発明によれば、前記放電容器の内面にはシリカ粒子より構成される反射膜が形成されているため、エキシマからの光照射を有効活用できるとともに、シリカ粒子から生じた不純物は、ゲッターによって除去することができる。請求項3に記載の発明によれば、前記ゲッターは、該ゲッターの材料が支持体に持設されていることにより、放電容器内にゲッターの材料を確実に簡易に装入できる。請求項4に記載の発明によれば、前記ゲッターは、放電容器の内壁面に前記ゲッター材料が蒸着した薄膜であるため、ゲッターの吸着面積を広域に設けることができる。請求項5に記載の発明によれば、前記エキシマランプは、前記放電容器の外部に前記支持体を固定させるための磁性部材を有することにより、該支持体が振動して放電容器内部を損傷することがない。以下、本発明の光照射装置の実施の形態について説明する。本発明の光照射装置に取付けられるエキシマランプの概略図を図1aに示し、エキシマランプのA-A断面図を図1bに示す。また、本発明の光照射装置の説明図を図2に示す。まず、本発明の光照射装置に取付けられるエキシマランプについて説明する。エキシマランプ5は放電容器51の外面に外部電極52が設けられ、内面に反射膜53および蛍光体54が塗布されており、また放電容器51の一端には、放電容器内の不純物を除去するためのゲッター室55が設けられ、またゲッター室55にはゲッター56が備えられている。またゲッター室55と放電空間Sの間には仕切り壁57が設けられており、この仕切り壁57には通気孔58が形成されている。エキシマランプ5の放電容器内51には、反射膜53や蛍光体54が塗布されており、これら塗布物質は不純物を多く含んでおり、不純物除去の要請が高い。また、蛍光体が塗布されているため温排気を十分に行えず、温排気による不純物除去は十分に望めない。そのため、上述する構成のエキシマランプにおいて、放電容器内に設けられたゲッターの必要性は高く、またゲッターの吸着性能を高めることのできる本発明の光照射装置は有意義なものである。蛍光体としては、ユーロピウム付活ホウ酸ストロンチウムSr-B-O:Eu以下SBEと称する。蛍光体、セリウム付活アルミン酸マグネシウムランタンLa-Mg-Al-O:Ce以下、LAMと称する。蛍光体、ガドリニウム、プラセオジウム付活リン酸ランタンLa-P-O:Gd,Pr以下、LAP:Pr,Gdと称する蛍光体などが挙げられる。また反射膜には、紫外光の反射率が高い粒子が用いられ、例えばシリカSiO2粒子やアルミナAl2O3粒子が用いられている。本発明の光照射装置を図2に示す。本発明の光照射装置1は、大気を冷却させるためのラジエーター3と、冷却風を送るための冷却ファン2からなる冷却装置32と、制御回路を収納するための電装室4と、紫外光を発生させるためのエキシマランプ5を備えており、このエキシマランプ5の外周には光透過性材料よりなる外管7が設けられ、エキシマランプ5の両端は外管7から突出して配置され、冷却風が通るための冷却風通路6が形成される。また冷却風はエキシマランプ5の一方の端部81から他方の端部82に向かって流れ、エキシマランプの他方の端部にはゲッター室55が設けられている。ラジエーター3で冷却された大気は冷却ファン2によって送風され、冷却風通路6を流れ、この冷却風はエキシマランプ5の一方の端部81から他方の端部82に向かって送風されている。つまり、エキシマランプ5はゲッター室55が冷却風の下流側に配置されるように光照射装置に取り付けられている。エキシマランプ5はランプホルダー8を介して光照射装置1に設置されている。またエキシマランプ5の外周には光透過性材料よりなる外管7が設けられており、エキシマランプ5から放射された紫外光は外管7を介してワークW1に照射される。このときエキシマランプ5や外管7からワークW1に向かって輻射熱が生じると、ワークW1の温度上昇を伴い、ワークW1の面内温度の均一性が乱され、ワークW1に不具合が生じる。そのため、ワークW1の上方に位置する光照射装置1には冷却装置32が設けられ、冷却装置32によってエキシマランプ5や外管7が冷却されることで、エキシマランプ5や外管7からワークW1への輻射熱の影響を抑制している。図7に示すように、本発明の光照射装置1に搭載されるエキシマランプ5の、ゲッター室55の周囲はベース部材9に覆われるよう設計されることが好ましい。このような構成により、ベース部材9はゲッター室55の周囲の外壁が冷却装置32からの冷却風に直接曝されることを防止し、冷却風によるゲッターの冷却が緩和される効果を生む。また、本発明の光照射装置1にエキシマランプ5が取り付けられたとき、ゲッター室55を覆ったベース部材9がランプホルダー8に覆われるよう設計されることが好ましい。このような構成により、冷却風によるゲッターの冷却がさらに緩和される効果を生む。本発明のベース部材9には、絶縁性や耐熱性、紫外線に対する耐劣化性に優れた部材が好ましく、セラミックス材料が適している。またランプホルダー8には、絶縁性や紫外線に対する耐劣化性に優れ、かつ保温性の高い部材が好ましく、セラミックス材料や樹脂材料が適している。例えばPTFEが用いられる。図2に示す本発明の光照射装置1において、冷却風がエキシマランプ5の一方の端部81から他方の端部82に向かって流れ、エキシマランプ5やエキシマランプの外周に設けられた外管7が冷却される。また、エキシマランプ5の他方の端部にはゲッター室55が設けられ、ゲッター室55にはゲッター56が装入される。エキシマランプ5は全長が大きく、例えば3000mm程の長さがあり、冷却風でエキシマランプ5を冷却する場合、エキシマランプ5の両端部81、82には温度差が生じてしまう。図2の構成から、一方の端部81はより冷却され、他方の端部82は一方の端部81に比べて保温されやすい。そのため他方の端部82に設けられたゲッター56は、一方の端部81に設けたときより、冷却によるゲッター56の吸着機能の低下が緩和され、放電容器内の不純物をより多く除去できる。このように、ゲッターを最適な位置に配置することで、エキシマランプからの紫外光の照度維持率は大幅に変化し、エキシマランプの長寿命化につながる。本発明に係るゲッターについて図3に示す。図3aは平坦な支持体にゲッター材料を担持させたもの、bはカップ状の支持体にゲッター材料を担持させたものを示す。ゲッター56は、ゲッター材料561と、ゲッター材料561を保持し運搬するための支持体562と、より構成されている。ゲッター56が、容器内に設置して機能させる非蒸発型のゲッター材料や、容器の内壁面に薄膜として蒸着した蒸発型のゲッター材料が挙げられる。例えば非蒸発型のゲッターとしてZr合金が挙げられ、蒸発型のゲッターとしてBa合金が挙げられる。本発明に用いられるゲッター材料561は使用時のゲッター室55の温度環境によって適宜に選定されるものである。例えば、ランプ点灯時において100°Cから300°Cの温度環境であれば、その温度で効率よく不純ガスを吸着するゲッター材料が、本発明に用いられるゲッター材料として選定される。また、本発明に用いられるゲッターは、当該ゲッターの使用環境が数度から100°C程度の温度差においてゲッターの吸着速度が異なるものであり、尚且つ、その温度差を有する低温側のゲッターと高温側のゲッターにおいて、高温側のゲッターの吸着速度が低温側のゲッターより優れた性質を示すものが用いられる。蒸発型のゲッターを用いる場合、図1で説明すると、蒸発した一部のゲッターが通気孔58を通って放電空間内Sに侵入する可能性がある。この場合、ゲッターが放電空間内で雷状の放電を誘発する虞があるため、ゲッター室55と外部電極間52に形成される放電空間Sとの距離Lを十分長く設けることで、雷状の放電の誘発を防止している。ゲッター室55の作製手順を図4に示す。図4aはゲッター室55にゲッター56が装入される際のエキシマランプの端部断面図を示し、図4bはゲッター56を装入後、ガス導入口59を封止した際のエキシマランプの端部断面図を示し、図4cは放電容器の内壁面にゲッター材料が蒸着して薄膜を形成した際の端部断面図を示す。エキシマランプ5の一端に仕切り壁57が設けられ、また端部にガス導入口59が設けられている。このガス導入口59を介してゲッター室55にゲッター56が装入される。その後、放電容器内の大気を排気後、放電容器内にキセノンガスが封入され、ガス導入口59を閉じて放電容器が密封される。密閉後、ゲッター材料561に応じてゲッター室55を加熱し、ゲッター材料を活性化させる。上述したゲッターに蒸発型のゲッターを用いた場合、図4cに示すように、ゲッター材料を保持する支持体562からゲッター材料は蒸発され、放電容器の内壁面に蒸着されて薄膜560を形成する。これにより、ゲッターの吸着面積を広域に設けることができる。ゲッター材料を保持する支持体562はゲッター室内に残される。この支持体562は冷却装置からの冷却風の影響を受けて、ランプ点灯中に振動し、ゲッター室内を傷つけ、放電容器内部を破壊する虞がある。そこで支持体562の素材に磁性部材を用い、ゲッター室55の外周に磁性部材563を設けて、ゲッター室内の支持体562を磁力によって固定することで、支持体562の振動を抑えることができる。このような磁性部材は、ゲッター室55の外周に位置する放電容器の壁面に設ける、または、ゲッター室55の外周に位置するランプホルダー8に設ける、ことができる。以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。実施例1図1および図2に示す構成に従い、下記の条件により本発明に係る光照射装置を作製した。光照射装置に設けられるエキシマランプは、全長が2800mm、縦横の寸法が43mm×15mm、ランプ出力が2kW、放電容器の材質が石英ガラス、蛍光体層を構成する蛍光体がSBE、発光ガスとしてキセノンガスが封入されたエキシマランプであり、外管の材質は石英ガラス、全長が2500mm、内径が76mm、肉厚が2.5mmである円筒状のものである。冷却ファンは一つの光源に対して例えば4m3/minの送風量を供給することのできる送風能力を有する軸流ファンである。導風用空間部における圧力は500~1000Pa、冷却風の温度が30度、排風用空間部における風の温度が60度程度である。光照射装置に設けられるエキシマランプにおいて、冷却装置からの冷却風は、冷却風の上流側である一方の端部81から下流側である他方の端部82へ流れ、このとき、ゲッター室及びゲッターは冷却風の下流側である他方の端部82に設けられている。本発明に用いたゲッターはゲッター材料として非蒸発型のBa-Al合金であり、150°Cから500°Cの比較的低温な環境で用いられる蒸発型ゲッターである。このゲッターは支持体に担持されてゲッター室に装入され、前処理としてゲッターおよび支持体を1100度で加熱し、ゲッターを活性化させた。被処理対象物は、縦横の寸法が2200mm×2500mmである試験用液晶パネル材であり、光源ユニットと被処理対象物であるワークW1との離間距離は400mmである。上記の条件で点灯した場合、エキシマランプの一方の端部81は40度前後であり、他方の端部82は80度前後であった。比較例1実施例1において、光照射装置に取り付けられるエキシマランプのゲッター室およびゲッターが、他方の端部82ではなく一方の端部81に設けられている、ことの他は同様の光照射装置を作製した。比較例2実施例1において、光照射装置に取り付けられるエキシマランプにゲッター室およびゲッターが設けられていない、ことの他は同様の光照射装置を作製した。評価これらの実施例1と比較例1、比較例2の光照射装置を用いて、波長が300nm~400nmの領域の照度維持率を測定した。照度維持率は照度を分光光度計で測定し、測定値を点灯初期の照度で除算したものであり、照度維持率100とは点灯初期の照度が維持されていることを意味する。測定結果を図5に示す。エキシマランプにゲッターを備えた実施例1と比較例1はゲッターを備えない比較例2と比べて、長時間に渡って高い照度維持率を示すことが確認できた。また、エキシマランプのゲッターを冷却風の下流側に備えた実施例1は長時間に渡って90以上の照度維持率を保ち、ゲッターを冷却風の上流側に備えた比較例1と比べて高い照度維持率を保つことができた。点灯時間が3000時間を経過した時点で、実施例1は比較例1より20も高い照度維持率を示した。このような結果から、ゲッター室およびゲッターの位置を冷却風の上流側から下流側へ入れ替えることで照度維持率を飛躍的に向上させることができる、ことを確認できた。本発明は、冷却装置からの冷却風によってランプを冷却する際、ランプに設けられたゲッターを冷却風の下流側に設けることで、冷却風によるゲッターの冷却を緩和し、ゲッターの吸着性能を高めることができる。そのため、冷却風に応じてゲッターの設置場所は異なり、ゲッターは冷却風の下流側に設けられる。"