対象物を保持するステージと、前記ステージに保持された対象物の表面を撮像する撮像装置と、前記対象物の表面に、液状材料を吐出する複数のノズルが設けられたノズルユニットと、前記ステージの面内方向に関して、前記対象物と前記撮像装置との相対位置関係、及び前記対象物と前記ノズルユニットとの相対位置関係が変化するように前記ステージ、前記撮像装置、及び前記ノズルユニットの少なくとも1つを移動させる移動機構と、前記移動機構を制御する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記移動機構及び前記撮像装置を制御して、前記対象物に形成されているアライメントマークの縁のうち、少なくとも2つの部分を撮像し、撮像された少なくとも2つの部分の画像データに基づいて、前記ステージ上における前記アライメントマークの位置を決定し、前記ステージ上における前記アライメントマークの位置を基準位置として、前記移動機構を制御しながら、前記対象物に向けて前記ノズルから液状材料を吐出させることにより、前記対象物の表面に、前記液状材料からなる薄膜パターンを形成する薄膜形成装置。前記制御装置は、前記対象物に形成すべき薄膜の平面形状、前記アライメントマークの平面形状、及び両者の相対位置関係を示すパターンデータを記憶しており、前記アライメントマークの縁の少なくとも2つの部分を撮像する際に、前記パターンデータで定義された前記アライメントマークの位置に基づいて、前記アライメントマークの一部分が前記撮像装置の視野内に捕捉されるように、前記移動機構を制御する請求項1に記載の薄膜形成装置。前記制御装置は、前記アライメントマークの一部分が前記撮像装置の視野内に捕捉されるように、前記移動機構を制御した状態で、前記アライメントマークの縁が前記撮像装置の視野内に捕捉されていないとき、さらに前記移動機構を制御して、前記パターンデータの縁の一部分が前記視野内に捕捉されるまで、前記パターンデータで定義された前記アライメントマークの位置の周囲の領域を撮像する請求項2に記載の薄膜形成装置。対象物に形成されたアライメントマークの縁のうち、少なくとも2つの部分の画像データを取得する工程と、前記画像データを解析することにより、前記アライメントマークの位置を決定する工程と、決定された前記アライメントマークの位置を基準位置として、前記対象物に薄膜パターンを形成する工程とを有する薄膜形成方法。従来の方法では、低解像度のカメラと高解像度のカメラとの2種類のカメラを準備しなければならない。薄膜形成装置のコスト削減のために、準備すべきカメラの台数を削減することが望まれる。本発明の一観点によると、対象物を保持するステージと、前記ステージに保持された対象物の表面を撮像する撮像装置と、前記対象物の表面に、液状材料を吐出する複数のノズルが設けられたノズルユニットと、前記ステージの面内方向に関して、前記対象物と前記撮像装置との相対位置関係、及び前記対象物と前記ノズルユニットとの相対位置関係が変化するように前記ステージ、前記撮像装置、及び前記ノズルユニットの少なくとも1つを移動させる移動機構と、前記移動機構を制御する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記移動機構及び前記撮像装置を制御して、前記対象物に形成されているアライメントマークの縁のうち、少なくとも2つの部分を撮像し、撮像された少なくとも2つの部分の画像データに基づいて、前記ステージ上における前記アライメントマークの位置を決定し、前記ステージ上における前記アライメントマークの位置を基準位置として、前記移動機構を制御しながら、前記対象物に向けて前記ノズルから液状材料を吐出させることにより、前記対象物の表面に、前記液状材料からなる薄膜パターンを形成する薄膜形成装置が提供される。本発明の他の観点によると、対象物に形成されたアライメントマークの縁のうち、少なくとも2つの部分の画像データを取得する工程と、前記画像データを解析することにより、前記アライメントマークの位置を決定する工程と、決定された前記アライメントマークの位置を基準位置として、前記対象物に薄膜パターンを形成する工程とを有する薄膜形成方法が提供される。アライメントマークの全域を視野内に捕捉することができないような高解像度の撮像装置を用いて、アライメントマークの位置を算出することができる。高解像度の撮像装置を用いることができるため、位置の算出精度を高めることができる。図1に、実施例による薄膜形成装置の概略側面図を示す。定盤20の上に、移動機構21によりステージ25が保持されている。ステージ25の上に、薄膜を形成する対象物30、例えばプリント基板が保持されている。移動機構21は、ステージ25を、その保持面に平行な2方向に移動させるとともに、保持面に垂直な軸を回転中心として回転させることができる。ステージ25は、例えば真空チャックにより対象物30を固定する。ステージ25の上方に、ノズルユニット40及び撮像装置50が配置されている。ノズルユニット40及び撮像装置50は、支柱22及び梁23により、定盤20に支持されている。ノズルユニット40は、対象物25に向かって液状材料の液滴、例えばソルダーレジストの液滴を吐出する。撮像装置50は、対象物30の表面に形成されているアライメントマーク、配線パターン等を撮像する。撮像装置50で取得された画像データが、制御装置60に入力される。制御装置60は、移動機構21を制御することによりステージ25を移動させる。さらに、制御装置40は、ノズルユニット40に吐出信号を送信することにより、所望のノズルから液状材料の液滴を吐出させる。また、制御装置40は、撮像装置50で取得された画像データの画像解析を行う。制御装置60内に準備された記憶装置61に、対象物30に形成すべき薄膜の平面形状、アライメントマークの平面形状、及び両者の相対的な位置関係を定義するパターンデータや、制御装置60が実行するプログラム等が記憶されている。図1では、ノズルユニット40及び撮像装置50を定盤20に対して固定し、ステージ25を定盤20に対して移動可能な構成とした。その逆に、ステージ25を定盤20に固定し、ノズルユニット40及び撮像装置50を、定盤20に対して移動可能な構成としてもよい。さらに、ステージ25を、定盤20に対して一次元方向に移動可能にし、ノズルユニット40及び撮像装置50を、ステージ25の移動方向に直交する方向に移動可能な構成としてもよい。図2に、対象物30の表面に形成すべき薄膜パターン及び表面に形成されているアライメントマークの平面図を示す。対象物30の外形は、例えば長方形である。対象物30の表面に、形成すべき薄膜パターン32が定義されている。さらに、対象物30の四隅に、アライメントマーク31が形成されている。アライメントマーク31には、対象物30の表面に形成されている配線パターンと同様に、銅箔が用いられる。アライメントマーク31の各々の平面形状は円形である。アライメントマーク31の各々は、撮像装置50図1の視野内に収まらない大きさである。薄膜パターン32の平面形状、アライメントマーク31の平面形状、及び両者の相対位置関係を示すパターンデータが、記憶装置61図1に記憶されている。図2では、4個のアライメントマーク31が形成されている例を示したが、アライメントマーク31の数は、4個に限定されない。対象物30の面内の2方向XY方向のみの位置を検出するには、1個のアライメントマーク31が形成されていればよい。対象物30のXY方向の位置、及び回転方向の姿勢を検出するためには、2個のアライメントマーク31が形成されていればよい。対象物31の伸縮等による変形を検出するためには、3個以上のアライメントマーク31を形成しておくことが好ましい。図3に、ノズルユニット40、撮像装置50、ステージ25、及び対象物30の平面的な位置関係を示す。6個のノズルユニット40が、2行3列の行列状に配置されている。ノズルユニット40の各々は、4個のノズルヘッド42及び5個の紫外光源43を含む。ノズルヘッド42の各々は、図3において横方向に配列した複数のノズル穴45を含む。ノズルヘッド42は、ノズル穴45の配列方向と直交する方向図3において縦方向に配列している。紫外光源43は、ノズルヘッド42の間、及び最も端に位置するノズルヘッド42よりも外側に配置されている。4個の撮像装置50が、6個のノズルユニット40が配置されている長方形の領域の4つの頂点に対応する位置に配置されている。ステージ25の内側に対象物30が保持されている。対象物30の表面に複数のアライメントマーク31が形成されている。4個の撮像装置50の相対位置関係は、4個のアライメントマーク31の相対位置関係と同一である。図3では、4個のアライメントマーク31が、それぞれ対応する撮像装置50の視野内に配置されている状態を示している。このため、4個のアライメントマーク31を、4個の撮像装置50で同時に観察することができる。図4Aに、ノズルユニット40の各々の斜視図を示す。支持部材41の底面に、4個のノズルヘッド42が取り付けられている。ノズルヘッド42の各々に、複数のノズル穴45が形成されている。ノズル穴45は、例えば2列に配列している。ノズルヘッド42は、ノズル穴45の配列方向と直交する方向に配列している。ノズルヘッド42の間、及び最も端に位置するノズルヘッド42よりも外側に、紫外光源43が配置されている。紫外光源43は、対象物30図1に紫外線を照射する。図4Bに、ノズルヘッド42及び紫外光源43の底面図を示す。ノズルヘッド42の各々の底面基板30に対向する表面に、2列のノズル列46が形成されている。ノズル列46の各々は、図4Bにおいて縦方向に、ピッチ周期8Pで配列した複数のノズル穴45で構成されている。一方のノズル列46のノズル穴45の位置は、他方のノズル列46のノズル穴45の位置に対して、縦方向に4Pだけずれている。4個のノズルヘッド42は、縦方向に少しずつずらして、支持部材41図4Aに固定されている。ずれ量は、1つのノズル列46におけるノズル穴45のピッチ8Pの1/8である。例えば、最も左側のノズルヘッド42を基準として、2番目、3番目、及び4番目のノズルヘッド42は、図4Bにおいて下方に2P、P、3Pだけずらされている。縦方向のみに着目すると、4個のノズルヘッド42に形成されているノズル穴45は、ピッチPで等間隔に配置されることになる。ノズル穴45から吐出されて対象物30図1の表面に着弾した液状材料は、紫外光源43から放射された紫外線に照射されて硬化する。ノズルユニット40を、図4Bの横方向に移動させながら、ノズル穴45から液状材料を吐出させることにより、縦方向のピッチがPの複数のドットからなる薄膜パターンを形成することができる。なお、対象物30上における1つのドットの直径はピッチPより大きいため、薄膜パターンを構成するドットは、縦方向に連続する。図5に、実施例による薄膜形成方法のフローチャートを示す。まず、ステップS1において、対象物30図1を、ステージ25上の、予め決められた位置に載置する。ステージ25は、載置された対象物30を吸着して固定する。対象物30の位置決めは、例えば対象物30の縁を基準として行われる。対象物30には、アライメントマーク31図2が形成されており、形成すべき薄膜パターン32図2が定義されている。ステップS2において、アライメントマーク31の縁が、撮像装置50図1の視野内に配置されるように、移動機構21図1を制御する。このとき、記憶装置61に記憶されているパターンデータに基づいて、ステージ25上におけるアライメントマーク31の位置を推定し、推定結果に基づいてステージ25を移動させる。対象物30をステージ25に載置するステップS1ときに発生するステージ25と対象物30との位置ずれ、及び対象物30の縁とアライメントマーク31との位置ずれ等により、アライメントマーク31の縁が撮像装置50の視野内に捕捉されない場合もある。ステップS3において、撮像装置50の視野内にアライメントマーク31の縁が捕捉されているか否かを判定する。アライメントマーク31の縁が視野内に捕捉されていない場合には、ステップS4において、アライメントマーク31の縁が視野内に捕捉されるまで、アライメントマークの推定位置の周囲を、撮像装置50で観察する。図6A及び図6Bを参照して、ステップS4の具体例について説明する。図6Aに、アライメントマーク31と、ステップS2でステージ25を移動させた後の視野51aとの位置関係の一例を示す。視野51aがアライメントマーク31の外に配置されている。視野51aの中心52が、パターンデータで定義されたアライメントマーク31の中心位置に基づいて予測されたステージ25上における位置に対応する。移動機構21図1を制御することにより、視野51aの中心52の周囲の領域を、撮像装置50図1で観察する。例えば、視野51aに隣接する環状の領域を、撮像装置50で順次観察する。このとき、視野51が、最初の視野51aの周囲を1周するように、移動機構21図1を制御する。この環状の領域内にも、アライメントマーク31の縁が配置されていない場合には、さらに外側の環状の領域を撮像装置50で観察する。図6Bに、アライメントマーク31と、ステップS2でステージ25を移動させた後の視野51aとの位置関係の他の例を示す。視野51aがアライメントマーク31の内部に含まれている。このため、視野51a内にアライメントマーク31の縁を捕捉することができない。この場合も、図6Aの場合と同様に、視野51aを取り囲む環状の領域を撮像装置50で観察する。これにより、アライメントマーク31の縁を視野51内に捕捉することができる。アライメントマーク31の縁を視野51内に捕捉した後、ステップS5の処理を実行する。ステップS3で、アライメントマーク31の縁が視野内に捕捉されている場合には、ステップS4の処理を実行することなく、ステップS5の処理を実行する。ステップS5において、移動機構21図1を制御してステージ25を移動させることにより、アライメントマーク31の上端、下端、右端、及び左端を含む4つの画像データを取得する。図7A~図7Dに、それぞれアライメントマーク31の上端P1、下端P2、右端P3、及び左端P4を含む縁が視野51内に捕捉された状態を示す。制御装置60図1は、図7A~図7Dに示した視野51内の画像データを取得する。ステップS6において、制御装置60が画像データを解析することにより、アライメントマーク31の中心位置を算出する。以下、中心位置の算出方法について説明する。ステップS5で取得された画像データを解析することにより、ステージ25上におけるアライメントマーク31の上端P1、下端P2、右端P3、及び左端P4の位置を決定することができる。図7Eに示すように、上端P1と下端P2との結ぶ直線と、右端P3と左端P4とを結ぶ直線との交点P0が、アライメントマーク31の中心に対応する。他の方法で、アライメントマーク31の中心の位置を算出してもよい。例えば、円形の上端と下端との位置が決定されると、その円形の中心位置を決定することができる。また、円周上の3点の位置が決定されれば、その円周の中心位置を決定することができる。その他に、パターンマッチングによってアライメントマーク31の中心位置を決定してもよい。以下、パターンマッチングを利用する方法について説明する。画像データの各々に含まれるアライメントマーク31の一部分を、すべての画像データに関して合成することにより、アライメントマーク31の合成画像データを求める。アライメントマーク31の合成画像データと、記憶装置61図1に記憶されているアライメントマーク31の平面形状のパターンデータとのパターンマッチングを行う。パターンマッチングの結果に基づいて、アライメントマーク31の中心位置を算出することができる。このとき、合成された画像データが、アライメントマーク31の縁の全域を含むように、画像データを取得しておくことが好ましい。合成画像データに、アライメントマーク31の縁の全域を含めることにより、パターンマッチングの精度を高めることができる。上記ステップS2からS6までの処理を、すべてのアライメントマーク31について実行することにより、すべてのアライメントマーク31の中心位置を算出することができる。ステップS7において、アライメントマーク31の中心位置を基準位置として、対象物30図2に、薄膜パターン32を形成する。アライメントマーク31の中心位置と、形成すべき薄膜パターン32との相対位置関係がパターンデータによって既知であるため、予め決められた位置に薄膜パターン32を形成することができる。アライメントマーク31の全域が視野内に収まるような低倍率の撮像装置を使用すると、ステージ25上におけるアライメントマーク31の中心位置を高精度に決定することが困難である。上記実施例では、アライメントマーク31が視野内に収まらないような高倍率の撮像装置50を用いているため、アライメントマーク31の中心位置を高精度に決定することができる。また、低倍率の撮像装置と高倍率の撮像装置との2種類の撮像装置を準備する必要がないため、薄膜形成装置のコスト低減を図ることができる。さらに、上記実施例では、撮像装置50の撮像倍率を、アライメントマーク31の大きさによって変える必要がない。1種類の撮像装置50により、種々の大きさのアライメントマーク31に対応することが可能である。次に、図8A及び図8Bを参照して、4個のアライメントマーク31の画像データを取得する方法の一例について説明する。図8Aに、ステップS2またはステップS4図5において、アライメントマーク31の縁の一部分が視野51内に捕捉された状態の一例を示す。4個の視野51内に、それぞれ対応するアライメントマーク31のほぼ同一の部分が捕捉されている。この状態は、回転方向に関して、対象物30と視野51との位置ずれがほとんど生じていないことを意味する。したがって、図8Bに示すように、ステージ25を面内方向に並進移動させることにより、4個の視野51内に、対応するアライメントマーク31の縁の他の部分を同時に捉えることができる。このため、ステップS2からステップS6図5までの一連の処理を実行する際に、ステージ25を静止させた状態で、4個のアライメントマーク31の画像データを同時に取得することができる。次に、図9A及び図9Bを参照して、4個のアライメントマーク31の画像データを取得する方法の他の例について説明する。図9Aに示した例では、4個の視野51内に、それぞれ対応するアライメントマーク31の異なる部分が捉えられている。この状態は、4個の視野51と、4個のアライメントマーク31との間で、回転方向に関して位置ずれが生じていることを意味している。取得された画像データに基づいて、回転方向の位置ずれ量を算出することができる。算出された回転方向の位置ずれを修正するように、ステージ25を回転させる。図9Bに、回転方向の位置ずれを修正した後の視野51とアライメントマーク31との位置関係を示す。回転方向の位置ずれが修正されているため、図8A及び図8Bを参照して説明したように、ステージ25を静止させた状態で、4個のアライメントマーク31の画像データを同時に取得することができる。回転方向に関して位置ずれが生じたままでは、4個のアライメントマーク31を、それぞれ対応する視野51で同時に捕捉することができない場合がある。視野51で捕捉されなかったアライメントマーク31の縁の一部を観察するために、さらにステージ25を移動させなければならない。画像データを取得する前に、回転方向の位置ずれを修正しておくことにより、ステージ25の移動回数を削減することができる。上記実施例では、アライメントマーク31の平面形状を円形としたが、他の形状としてもよい。図10A及び図10Bに、円形以外の形状の例として、プラス形状のアライメントマーク31を示す。図10A及び図10Bに、それぞれアライメントマーク31の上端及び下端を含む一部分を視野51内に捕捉した状態を示す。この2つの画像データに基づいて、アライメントマーク31の中心位置を算出することができる。さらに、アライメントマーク31の右端を含む一部分、及び左端を含む一部分の画像データを取得してもよい。4個の画像データに基づいてアライメントマーク31の中心位置を算出することにより、中心位置の算出精度を高めることができる。以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。