"超音波薬液反応のための超音波ラインケースと、薬液を保持する上下薬液槽と、薬液を供給する上下薬液供給ノズルと、上下薬液槽間に基板を搬送する隙間部と、基板を搬送する搬送ローラーと、薬液吸引パイプを設置し、超音波ラインケースは、搬送ローラー面より下部に設置し、薬液吸引口は搬送ローラー面より上部に設置することを特徴とする超音波薬液反応装置。前記上下部薬液供給ノズルは、薬液供給弁から液が供給された場合、上部の空気層で自動的に圧力を生じ、基板搬送方向と直角方向の基板幅方向に液が均等に供給されることを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。前記上部薬液槽は空気層ができる構造とし、上下薬液供給ノズルからの液供給量と上部液吸引パイプからの吸引流量の調整で、上下薬液槽間の隙間部では薬液を自動的に保持することを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。前記搬送ローラー面は、前記超音波ラインケースより超音波波長の1/4に設置することを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。上記液吸引パイプの設置は、前記超音波ラインケースより超音波波長の1/4の奇数倍の位置とし、薬液面レベルを超音波反射面に利用することを特徴とする請求項1に記載の超音波薬液反応装置。本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は大型ガラス基板や広幅フィルムに対し、処理薬液の使用量を大幅に低減し、且つ超音波による薬液反応効果が向上し、基板全面で均一な反応効果を発揮する省スペース低コストな超音波薬液反応装置を提供することにある。本発明の超音波薬液反応装置は、超音波ラインケースと、薬液を蓄える上下薬液槽と、薬液を供給する上下薬液供給ノズルと、上下薬液槽間に基板を搬送する隙間部と、基板を搬送する搬送ローラーと、薬液吸引パイプを設置し、超音波ラインケースは、搬送ローラー面より下部に設置し、薬液吸引口は搬送ローラー面より上部に設置することを特徴とする。本発明の上下部薬液供給ノズルは、薬液供給弁から液が供給された場合、上部の空気層で自動的に圧力を生じ、基板搬送方向と直角方向の基板幅方向に液が均等に供給されることを特徴とする。本発明の上下薬液槽間の隙間部は、上下薬液供給ノズルからの液供給量と上部液吸引パイプからの吸引流量の粗制御のみで、薬液を自動的に保持できることを特徴とする。本発明の搬送ローラー面は、超音波ラインケースより超音波波長の1/4に設置することを特徴とする本発明の排液パイプの設置は、超音波ラインケースより超音波波長の1/4の奇数倍の位置とし、薬液面レベルを超音波反射面に利用することを特徴とする。本発明によれば、大型ガラス基板広幅フィルム等の大面積高速搬送薬液処理において、空気混入や液流速による超音波機能の障害が無いため、面状態接液で超音波による安定反応が促進され、しかも省スペースである事を特徴とする超音波薬液反応装置を低コストで提供できる。本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は、本発明による超音波薬液反応装置を示す装置構成図である。図1において、超音波薬液反応装置100は、超音波振動子10を直線状に並べた超音波ラインケース11と、被反応物である基板50を搬送する搬送ローラー40と、薬液60を供給する薬液供給ノズル21,31と上部薬液吸引パイプ23と薬液60を蓄える薬液槽20,30から主に構成される。上下部薬液供給ノズル21,31は、薬液供給弁22,32から1本のパイプで液が供給された場合でも、ノズル上部の空気層25,35によって自動的に圧力が生じるため、基板搬送方向と直角方向の基板幅方向に液が均等に供給され、基板全面に均一な反応ができる。上下薬液槽間の隙間部12は、最初に液吸引弁24による上部液吸引パイプ23からの吸引作用で上部液槽20の空気層26が減圧され、上下薬液供給ノズル21,31からの液は上部液吸引パイプ23に到達した時点で吸引されるため、供給流量と吸引流量の粗制御のみで、薬液を自動的に保持できる。搬送ローラー面は、超音波ラインケース11の上面より超音波波長の1/4に設置されるため、定在波13の最大振幅点が被反応物である基板50の両面の位置になり、最大の超音波反応効果を得ることになる。排液パイプ23の設置は、超音波ラインケース11の上面より超音波波長の1/4の奇数倍の位置とし、薬液面レベルを超音波反射面として再び定在波13を形成する。薬液が上部液吸引パイプに到達すると、被反応物の基板50は搬送ローラー40によって搬送される。搬送空間である上下槽間の隙間部12の寸法は4~5mmであり、基板の反り寸法が大きくても非接触で通過できる。また、隙間がこの寸法内であれば隙間部での高温低表面張力の薬液保持が可能である。薬液は、薬液供給量と薬液排液量をバランスさせて上下槽間の隙間部12に保持されるため、薬液の循環系にフィルターなどを設置した完全クローズ化が可能であり、外部への薬液漏洩は基板50の前部端面の通過時のみであり、数式1に相当する漏洩量の最少化が可能である。[数式1]Q=L×B×tここで、Q:液漏れ量ccL:接液部長さcmB:基板の幅cmt:基板の厚さcm基板50の後部端面通過時に液中の基板体積の減少に伴い、液中均衡圧力が低下するため式1に相当する空気量が吸い込まれるが、空気泡群は上部薬液槽20に設置されている排液パイプ23で吸引されるため超音波機能の障害や振動子の故障原因とはならない。以上説明したように本発明によると、大型ガラス基板や広幅フィルムの高温薬液反応において、薬液使用量を最小限に抑え、しかも超音波による反応効果が最大限に発揮できる省スペース型の超音波薬液反応装置の提供が可能となる。"