熱媒体が流通する熱媒体流路30を有する流路管3を備え、前記流路管3内には、前記熱媒体流路30を複数の細流路333に分割するとともに、前記熱媒体と前記流路管3との伝熱面積を増大させるインナーフィン33が複数積層されており、レイノルズ数が1000以下の層流域で前記熱媒体が前記細流路333を流通する熱交換器であって、前記インナーフィン33は、前記流路管3の長手方向に延びる板部331と、隣り合う前記板部331間を繋ぐ頂部332とを有し、前記長手方向に直交する断面形状が波状となるとともに、前記インナーフィン33の積層方向から見た際に前記板部331が前記長手方向に波形に屈折するウェーブフィンであり、前記流路管3の長手方向および前記インナーフィン33の積層方向に対してともに直交する方向を、流路管幅方向とし、前記インナーフィン33の、前記積層方向に直交し、かつ、前記細流路333における前記積層方向の中心部を通る断面において、前記板部331の波形状のピッチをウェーブピッチWP[mm]、前記板部331の波形状の振幅方向の寸法をウェーブ深さWD[mm]、隣り合う前記板部331間の前記流路管幅方向における距離を流路幅H[mm]としたとき、前記ウェーブピッチWPおよび前記ウェーブ深さWDは、次の数式1および数式2数12.2≦WP/WD≦4.28数20.5≦WD/H≦1.8にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴とする熱交換器。前記ウェーブピッチWPおよび前記ウェーブ深さWDは、次の数式3および数式4数32.2≦WP/WD≦3数40.5≦WD/H≦1.8にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴とする請求項1に記載の熱交換器。前記細流路333を流通する前記熱媒体のレイノルズ数が500以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の熱交換器。前記流路管3は、複数設けられており、前記複数の流路管3は、連通部材4により連通されており、前記複数の流路管3の外側には、前記熱媒体と熱交換する熱交換対象物2が配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の熱交換器。ところで、インナーフィンによる乱流促進は、流路管内の熱媒体の流速が速い、すなわちレイノルズ数が1000より大きく、熱媒体流れが遷移域または乱流域となる場合に効果を発揮する。また、熱媒体が高速であれば乱流促進効果が高まり高性能化を果たせるが、熱媒体の流通抵抗が非常に大きくなる。また、熱交換器をハイブリッド自動車のインバータを冷却するために用いた場合において、インバータ冷却回路内に熱媒体を循環するためのポンプの小型化低流量化あるいは熱媒体流路の並列化を図ると、熱交換器の流路管を流通する熱媒体流量が小さくなる。そして、熱媒体流量が小さい場合、上述した乱流促進効果を利用することができない。具体的には、例えばインナーフィンとしてオフセットフィンを用いたとき、熱媒体流れがフィンの壁面に衝突して乱流促進を図るはずが、衝突する壁面をすり抜けて熱媒体が流れるので、期待される性能向上効果R/ΔPを得ることはできない。すなわち、乱流促進を図るためにはこのオフセットフィンやピンフィン等を用いると効果的であることが一般的に知られているが、これらのフィンを用いたとしても、流路管内の熱媒体流量が微少流量域の場合、流通抵抗の上昇を打ち消すことができるほどの大きな性能向上効果を得ることはできない。本発明は上記点に鑑みて、レイノルズ数が1000以下の層流域で熱媒体が流通する熱交換器において、熱交換量を確保することを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、熱媒体が流通する熱媒体流路30を有する流路管3を備え、流路管3内には、熱媒体流路30を複数の細流路333に分割するとともに、熱媒体と流路管3との伝熱面積を増大させるインナーフィン33が複数積層されており、レイノルズ数が1000以下の層流域で熱媒体が細流路333を流通する熱交換器において、インナーフィン33は、流路管3の長手方向に延びる板部331と、隣り合う板部331間を繋ぐ頂部332とを有し、長手方向に直交する断面形状が波状となるとともに、インナーフィン33の積層方向から見た際に板部331が長手方向に波形に屈折するウェーブフィンであり、流路管3の長手方向およびインナーフィン33の積層方向に対してともに直交する方向を、流路管幅方向とし、インナーフィン33の、積層方向に直交し、かつ、細流路333における積層方向の中心部を通る断面において、板部331の波形状のピッチをウェーブピッチWP[mm]、板部331の波形状の振幅方向の寸法をウェーブ深さWD[mm]、隣り合う板部331間の流路管幅方向における距離を流路幅H[mm]としたとき、ウェーブピッチWPおよびウェーブ深さWDは、次の数式1および数式2数12.2≦WP/WD≦4.28数20.5≦WD/H≦1.8にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴としている。このように、流路管3内の熱媒体流量が微少流量域である、すなわち流路管3内の熱媒体流れがレイノルズ数1000以下の層流域になる熱交換器において、ウェーブピッチWPおよびウェーブ深さWDを上記数式1および数式2にて示される関係を満たすように設定することで、流路管3内の熱媒体の混合促進効果を高めることができる。このため、熱交換器における熱交換量を確保することが可能となる。さらには、インナーフィン33の加工性を確保するとともに、流路管3内の目詰まりを抑制することもできる。また、請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の熱交換器において、ウェーブピッチWPおよびウェーブ深さWDは、次の数式3および数式4数32.2≦WP/WD≦3数40.5≦WD/H≦1.8にて示される関係を満たすように設定されていることを特徴とする。これによれば、流路管3内の熱媒体の熱媒体混合促進効果をより確実に高めることができるので、熱交換器における熱交換量をより確実に確保することが可能となる。ところで、レイノルズ数が500~1000の領域では、熱媒体の特性等により熱媒体流れ遷移域になる場合もある。これに対し、請求項3に記載の発明では、請求項1または2に記載の熱交換器において、細流路333を流通する熱媒体のレイノルズ数が500以下であることを特徴とする。これにより、細流路333を流通する熱媒体の流れを確実に層流とすることができる。また、請求項4に記載の発明のように、請求項1ないし3のいずれか1つに記載の熱交換器において、流路管3は、複数設けられており、複数の流路管3は、連通部材4により連通されており、複数の流路管3の外側には、熱媒体と熱交換する熱交換対象物2が配置されていてもよい。なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。以下、本発明の一実施形態について図1~図6に基づいて説明する。図1は、本実施形態に係る熱交換器1を示す正面図である。図1に示すように、本実施形態の熱交換器1は、熱媒体と熱交換する熱交換対象物としての複数の電子部品2を両面から冷却する積層型の熱交換器である。本実施形態の電子部品2は、両面から放熱が行われる両面放熱構造になっている。熱交換器1は、熱媒体を流通させる熱媒体流路30図2参照を有する扁平形状の複数の流路管3と、複数の流路管3を連通する連通部材4とを備えている。複数の流路管3は、電子部品2を両面から挟持できるように複数個積層配置されている。本実施形態では、電子部品2として、IGBT等の半導体素子とダイオードとを内蔵した半導体モジュールを用いている。当該半導体モジュールは、自動車用インバータ、産業機器のモータ駆動インバータ、ビル空調用のエアコンインバータ等に用いるものとすることができる。なお、電子部品2としては、上記半導体モジュール以外にも、例えば、パワートランジスタ、パワーFET、IGBT等を用いることもできる。図2は図1のA-A断面図である。図2に示すように、本実施形態の流路管3は、いわゆるドロンカップ構造となっている。すなわち、流路管3は、一対の外殻プレート31を有して構成されており、一対の外殻プレート31の間に熱媒体流路30が形成されている。流路管3内には、熱媒体流路30を複数の細流路333に分割し、熱媒体と流路管3との伝熱面積を増大させるインナーフィン33が設けられている。本実施形態では、インナーフィン33は、一対の外殻プレート31間、すなわち熱媒体流路30内に、流路管3の積層方向以下、流路管積層方向というに3段重ねて配置されている。このインナーフィン33の詳細については後述する。なお、インナーフィン33は、熱媒体流路30において流路管積層方向に3段積層配置されているので、流路管積層方向はインナーフィン33の積層方向と一致している。図1に戻り、電子部品2は、流路管3の一対の外殻プレート31それぞれに対して2個ずつ設けられている。各外殻プレート31に設けられた2つの電子部品2は、それぞれ熱媒体の流れ方向に直列に配置されている。また、流路管3の外殻プレート31における長手方向両端部には、外側、すなわち隣り合う他の流路管3側に突出する略円筒状のフランジ部300が形成されている。そして、隣り合う流路管3のフランジ部300同士をろう付けにより接合することにより、複数の流路管3を連通する連通部材4が形成されている。複数の流路管3のうち積層方向最外側に配置される流路管3を外側流路管3aとしたとき、2つの外側流路管3aのうち一方の外側流路管3aの長手方向両端部には、熱媒体を熱交換器1に導入するための熱媒体導入口401と、熱媒体を熱交換器1から排出するための熱媒体排出口402とがそれぞれ接続されている。熱媒体導入口401および熱媒体排出口402は、ろう付けにより一方の外側流路管3aに接合されている。なお、本実施形態の流路管3、連通部材4、熱媒体導入口401および熱媒体排出口402は、アルミニウム製である。熱媒体導入口401から導入された熱媒体は、連通部材4を通って長手方向における一方の端部から各流路管3に流入し、それぞれの熱媒体流路30内を他方の端部に向かって流れる。そして、熱媒体は、連通部材4を通って熱媒体排出口402から排出される。このように、熱媒体が熱媒体流路30を流通する間に、電子部品2との間で熱交換を行って、電子部品2を冷却するようになっている。本実施形態の熱交換器1は、レイノルズ数が1000以下の層流域で熱媒体が細流路333を流通するようになっている。なお、熱媒体として、本実施形態ではエチレングリコール系の不凍液が混入した水を用いている。ところで、熱媒体の特性等によっては、レイノルズ数が500~1000の領域で熱媒体流れが遷移域になる場合がある。このため、細流路333を流通する熱媒体のレイノルズ数が500以下であることが望ましい。これにより、細流路333を流通する熱媒体の流れを確実に層流とすることができる。図3は本実施形態に係る熱交換器1のインナーフィン33を示しており、aが流路管3の長手方向以下、流路管長手方向というに直交する断面形状を示す断面図、bが流路管積層方向から見た平面図である。図3に示すように、1つの流路管3内に積層配置された3段のインナーフィン33として、ウェーブフィンがそれぞれ用いられている。具体的には、インナーフィン33は、流路管長手方向に延びるとともに細流路333を分割する板部331と、隣り合う板部331間を繋ぐ頂部332とを有し、流路管長手方向に直交する断面形状が台形波状に形成されるとともに、流路管積層方向から見た際に板部331が流路管長手方向に三角波形に屈折するように形成されている。図4は図3aのB-B断面図、すなわちインナーフィン33の、流路管積層方向に直交し、かつ、細流路33における流路管積層方向の中心部を通る断面図である。ここで、流路管長手方向および流路管積層方向に対してともに直交する方向を、流路管幅方向とする。また、インナーフィン33の、流路管積層方向に直交し、かつ、細流路33における流路管積層方向の中心部を通る断面以下、中心断面ともいうにおいて、板部331の三角波形状の屈折角度をウェーブ角度α[°]とする。すなわち、ウェーブ角度αは、中心断面において、1つの板部331における流路管長手方向に隣り合う直線部分331a同士が成す角度ともいえる。また、中心断面において、板部331の三角波形状の振幅方向の寸法をウェーブ深さWD[mm]とする。すなわち、ウェーブ深さWDは、中心断面において、1つの板部331における隣り合う頂点部331b間の流路管幅方向の距離ともいえる。また、中心断面において、板部331の波形状のピッチをウェーブピッチWP[mm]とする。また、中心断面において、流路管幅方向に隣り合う板部331間の流路管幅方向における距離を流路幅H[mm]とする。ところで、本実施形態のように、電子部品2を熱媒体により冷却する積層型の熱交換器1においては、電子部品2からの距離が遠いほど流路管3内の熱媒体の温度が低くなり、インナーフィン33による熱交換効率が低下する。ここで、熱交換器1の熱交換性能は伝熱面積に比例するが、熱交換効率が低下すれば、インナーフィン33による伝熱面積拡大効果分の性能向上効果が得られなくなる。これに対し、熱交換媒体の流量が大きければ、乱流促進効果にて性能向上を図ることができるが、レイノルズ数が1000以下である微小流量域では、熱媒体が障害物インナーフィン33の板部331に衝突することなく通り抜けてしまうので、所望の熱交換性能が得られない。この問題を改善するためには、流路管3内の熱媒体を強制的に動かす事が有効であり、微小流量域では、インナーフィン33としてウェーブフィンを用いることが最適であることが、本発明者の実験検討により明らかとなった。しかしながら、ウェーブフィンの最適仕様について言及した文献は非常に少ない。また、ウェーブフィンは、本来は乱流促進の手段として用いられるため、レイノルズ数が1500以上である遷移域~乱流域においての最適仕様については研究がなされているが伝熱工学資料改訂第4版日本機械学会参照、微少流量域Re≦1000においての最適仕様については言及がされていない。図5は、Re≧1500の場合におけるウェーブフィンの熱交換性能を示す説明図である。図5の横軸はWP/WDを示しており、図5の縦軸はR熱抵抗/ΔP流路管3内の圧力損失を示している。なお、R/ΔPが小さい程、熱交換性能は高くなる。ここで、流路管3内に流入する熱媒体の温度をTin[°C]、電子部品2の表面、すなわち流路管3の外面と接触する面の温度をT1[°C]、電子部品2の発熱量をQ[W]としたとき、熱抵抗R[°C/W]は次の数式F1で示すことができる。R=T1-Tin/Q...F1図5に示すように、Re≧1500の場合、ウェーブフィンによる流れ剥離や熱媒体の流通抵抗増加に起因して、R/ΔPはある極小値を有する。すなわち、WP/WDが小さくなる程、熱媒体の流通抵抗は小さくなるが、ウェーブフィンによる熱交換性能向上効果が低くなる。一方、WP/WDが大きくなる程、ウェーブフィンによる熱交換性能向上効果が高くなるが、熱媒体の流通抵抗が大きくなる。そして、この極小値最適仕様は、上記伝熱工学資料によれば、WD/Hが0.25、WP/WDが4.28のときに得られるとされている。これに対し、本実施形態のように、流路管3内の熱媒体流れが微少流量域Re≦1000の場合は、板部331の壁面に沿って熱媒体が流れるので、流路管3内の圧力損失ΔPの変動は少なくなる。また、流路管3内で熱媒体を動かす頻度が高いほど、熱媒体の混合が促進され、流路管3内の熱媒体の温度差が小さくなる。したがって、微小流量域では、熱媒体の混合の頻度を増やすために、ウェーブピッチWPを限りなく小さくすることが望ましい。このため、ウェーブピッチWPは、現状での加工限界を考慮して2.2mm以上に設定されている。ところで、流路幅Hに対してインナーフィン33のウェーブ深さWDを大きくする程、流路管3内の熱媒体の移動が激しくなる、すなわち混合促進効果が高くなるので、流路幅Hに対してウェーブ深さWDをできる限り大きくすることが望ましい。しかしながら、ウェーブピッチWPを上述した最小値2.2mmに近づけた場合にウェーブ深さWDを流路幅Hの1.8倍より大きくすると、ウェーブの成形時に材料である金属板が破れる虞がある。このため、ウェーブ深さWDは流路幅Hの1.8倍以下に設定する必要がある。また、流路幅Hは、目詰まり性を考慮して0.9mm以上に設定する必要がある。したがって、熱媒体の混合促進効果と耐目詰まり性とを両立させるには、ウェーブ深さWDを1mmとすることが望ましい。そして、ウェーブピッチWPが2.2mm、ウェーブ深さWDが1mmである場合、WP/WD≒2.2となるため、本実施形態ではWP/WDは2.2以上に設定されている。一方、ウェーブピッチWPが4mmを超えると、ウェーブ深さWDを0.9mmとした場合にウェーブ曲げ角度αは最大で約20°となるため、微小流量域での混合促進効果が著しく低下する。ここで、ウェーブピッチWPを4mmとし、ウェーブ深さWDを0.9mm~1mmとした場合、WP/WD=4~4.4となる。このため、本実施形態では、WP/WDは、上記伝熱工学資料に開示された値である4.28以下に設定されている。図6は、Re≦500の場合におけるウェーブフィンの熱交換性能を示す説明図である。図6の横軸はWP/WDを示しており、図6の縦軸はR/ΔPを示している。図6に示すように、ウェーブピッチWPおよびウェーブ深さWDは、次の数式1にて示される関係を満たすように設定されている。数12.2≦WP/WD≦4.28なお、本発明者の実験によると、WP/WDが3以下の場合に、特に混合促進効果が高くなることが明らかになった。したがって、WP/WDを2.4以上、3以下の範囲に設定することが望ましい。ところで、上述したように、インナーフィン33のウェーブ深さWDを大きくする程、流路管3内の熱媒体の混合促進効果が高くなるので、ウェーブ深さWDをできる限り大きくすることが望ましい。このため、本実施形態では、ウェーブ深さWDは流路幅の1/2以上に設定されている。一方、上述したように、ウェーブピッチWPを上述した最小値2.2mmに近づけた場合にウェーブ深さWDを流路幅Hの1.8倍より大きくすると成形時に金属板が破れる虞があるので、本実施形態では、ウェーブ深さWDは流路幅Hの1.8倍以下に設定されている。すなわち、ウェーブ深さWDは、次の数式2にて示される関係を満たすように設定されている数20.5≦WD/H≦1.8従来の熱交換器、すなわちインナーフィンとしてストレートフィンやオフセットフィンを用いる場合は、乱流促進効果によりインナーフィンの熱交換性能の向上を図っていた。これに対し、本実施形態では、インナーフィン33としてウェーブフィンを用いることで、インナーフィン33における熱媒体との伝熱面積の拡大を図っている。さらに、本実施形態では、熱媒体流れが遅い層流域にインナーフィンウェーブフィン33を配置するとともに、ウェーブピッチWDおよびウェーブ深さWDを上記数式1および数式2で示される関係に規定することで、流路管3内の熱媒体の混合を促進し、流路管3内の電子部品2と対応する部位に低温の熱媒体が供給され易くしている。つまり、本実施形態では、インナーフィン33による乱流促進効果ではなく、熱媒体の混合促進効果により、熱交換器1としての熱交換量を確保している。したがって、流路管3内の熱媒体流量が微少流量域、すなわちレイノルズ数が1000以下の層流域で熱媒体が流路管3の細流路333を流通する熱交換器おいて、ウェーブピッチWPおよびウェーブ深さWDを上記数式1および数式2にて示される関係を満たすように設定することで、インナーフィン33ウェーブフィンの加工性を確保しつつ、流路管3内の目詰まりを抑制するとともに、流路管3内の熱媒体の混合促進効果を高めることにより熱交換量を確保することが可能となる。他の実施形態本発明は上述の実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、以下のように種々変形可能である。1上述の実施形態では、1つの流路管3内にインナーフィン33を3段積層配置した例について説明したが、これに限らず、1つの流路管3内にインナーフィン33を2段積層配置してもよい。2上述の実施形態では、熱交換対象物として、両面から放熱が行われる両面放熱構造の電子部品2を採用した例について説明したが、これに限らず、片面のみから放熱が行われる片面放熱構造の電子部品を採用してもよい。