有機質原料を乾留処理して乾留物炭化物を得る乾留処理工程、及び、該炭化物から複数段微粉砕工程を経て超微粉炭化物を得る超微粉炭化物の製造設備において、前記有機質原料を減圧下で連続的に乾留処理して乾留物炭化物を得る乾留装置と、前記炭化物を前段微粉砕して微粉炭化物とする圧砕ローラー式の前段微粉砕機と、前記微粉炭化物を後段微粉砕して超微粉炭化物とするジェットミル式の後段微粉砕機とを備えている、ことを特徴とする超微粉炭化物の製造設備。前記乾留装置が、減圧手段と接続される乾留室減圧熱分解室と、該乾留室を加熱する外部加熱手段とを備え、前記乾留室は、横置き管の内部に回転攪拌機が配されて、該回転攪拌機の回転により投入された前記有機質原料を前進後退可能とするものであり、前記乾留室には、原料供給手段と乾留物炭化物排出手段とが、それぞれ、気密維持手段を有して接続され、また、前記乾留室の乾留ガスの出口が減圧手段と接続される、構成であることを特徴とする請求項1記載の超微粉炭化物の製造設備。前記前段微粉砕機が、前記炭化物である砕料が投入される回転式の粉砕カップと、該粉砕カップの回転時気密を維持するパッキンを保持する粉砕室カバーとで主体部が形成された密閉粉砕室と、前記粉砕カップの周壁の内面を又は周壁に沿って底壁上面を従動転動する1個以上の圧砕ローラーを備え、前記粉砕室カバー側には、砕料投入管および砕製物流出管が接続可能とされている、構成であることを特徴とする請求項1又は2記載の超微粉炭化物の製造設備。前記前段微粉砕機における前記砕製物流出管に、適宜、水系液体供給手段が接続されるとともに、前記砕製物流出管に加熱手段が配され、該加熱手段の配設部位で蒸気爆発による後微粉砕が可能とされていることを特徴とする請求項3記載の超微粉炭化物の製造設備。前記後段微粉砕機が、ジェットミルとエゼクター式粉砕管とを備え、前記ジェットミルのエゼクター式砕料供給管の吸引室に、気密維持手段を介して砕料供給手段が接続され、また、前記ジェットミルの製品出口が、前記ジェットミルからの砕製物を前記エゼクター式粉砕管の吸引室混合室に導入可能に接続されて、該吸引室で砕料が急速減圧による膨張粉砕可能とされている、構成であることを特徴とする請求項1~4いずれか一記載の超微粉炭化物の製造設備。本発明の目的は、上記にかんがみて、有機質廃棄物等の有機質原料から超微粉炭化物を連続的に得ることができる全く斬新な超微粉炭化物の製造設備を提供することにある。本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意開発に努力をした結果、下記構成の超微粉炭化物の製造設備に想到した。有機質原料を乾留処理して炭化物を得る乾留処理工程、及び、該炭化物から複数段微粉砕工程を経て超微粉炭化物を得る超微粉炭化物の製造設備において、前記有機質原料を減圧下で連続的に乾留処理して炭化物を得る乾留装置と、前記炭化物を前段微粉砕して微粉炭化物とする圧砕ローラー式の前段微粉砕機と、前記微粉炭化物を後段微粉砕して超微粉炭化物とするジェットミル式の後段微粉砕機とを備えている、ことを特徴とする。以下、本発明の一実施形態を図例に基づいて説明する。ここでは、乾留装置として油化処理も同時に行う油化炭化設備を使用する場合を例に採るが、油化処理を行わない乾留装置でもよい。乾留ガスの油化処理を行うことによって、有機質廃棄物の更なる有効利用油化物燃料や直接熱エネルギーとしてを図ることができ、実質的なクローズド化が可能となり環境にもやさしい処理システムとすることができる。図1A~Cに示す如く、本実施形態の超微粉炭化物の製造設備は、油化炭化設備Aと圧砕ローラー式の前段微粉砕機Bと、ジェットミル式の後段微粉砕機Cとを備えている。以下、本発明における各装置の一実施形態について、具体的に説明する。1乾留処理工程油化炭化設備図1A本実施例の乾留処理工程に使用する油化炭化設備Aは、連続運転処理により油化品とともに炭化物が得られる。油化炭化装置Aは、乾留装置減圧熱分解処理装置1、乾留ガス改質器16、熱交換凝縮器31、油水分離槽39、および排ガス熱分解炉46、を主要構成機器とするものである。更に、付帯機器として、破砕機3および冷却塔34を備える。1乾留装置1は、乾留室減圧熱分解処理室9と外部加熱手段である熱風炉加熱炉51とを備え、乾留室9には、破砕原料2aの供給手段および乾留物炭化物5の排出手段が接続されている。ここで、有機質原料2が、未破砕であったりして乾留処理するのに大きすぎる場合には、破砕機中間粉砕機3にて破砕例えば、粒度:3~10mmして、コンベヤ4にて原料ホッパー5へ供給する。原料供給手段は、原料ホッパー5と原料供給コンベヤ7とからなる。原料ホッパー5はパドル翼を備えた水平回転攪拌機6が設置されており、この攪拌機6の回転により、塊状原料を解砕しながら原料供給コンベヤ7に原料を供給可能となっている。原料供給コンベヤ7はスクリュー式に限られず、プランジャー式であってもよい。そして、原料供給コンベヤ7の出口8と乾留室9の原料入口10との間には、上段下段バルブ11、12を有している。上段下段バルブ11、12は、原料2aを、該乾留室9を気密維持しながら供給する気密維持手段である。すなわち、下段バルブ12を閉、上段バルブ11を開にしてコンベヤ7の運転を開始し、当該運転により下段バルブ12と上段バルブ11との間に原料2aが満たされた時点でコンベヤ7を停止する。続いて、上段バルブ11を閉にして下段バルブ12を開にして、乾留室9へ原料2aを自重落下供給する。この操作を繰り返すことにより、乾留室9を気密維持しながら原料供給ができる。なお、上段下段バルブ11、12に代えてロータリーバルブを用いてもよい。熱風炉51にはバーナ13が設置されており、バーナ13の加熱により生じた熱風燃焼ガス14は乾留室9を形成する横置き管トラフ25を外周から加温加熱後、熱風炉51の排気出口15より乾留ガス改質器16の加熱ジャケット17を通り排気される。乾留室9は、一の単管部からなる単管型横置き管の内部に1本の回転攪拌機を配した単軸攪拌機内蔵型もよいが、本実施形態では、図23に示す如く、単管部が融合並列された多管型の横置き管25で形成され、各単管部に回転攪拌機19A、19Bが配された多軸攪拌機内蔵型である。該回転攪拌機19A、19Bの回転により投入原料を繰り返し前進後退可能とされている。多軸攪拌機内蔵型とすることにより、熱分解処理に際しての滞留時間を確保し、且つ、原料移動断面積も大きくでき、大量処理が円滑に行える。さらに、下記構成とすることにより、回転攪拌機19A、19Bと横置き管25との間における原料流れ不良詰まりを発生させることが無い。すなわち、多管型横置き管25内に、右巻きの攪拌羽根20Aを有する回転攪拌機19Aと左巻きの攪拌羽根20Bを有する回転攪拌機19Bを、それらの攪拌羽根20A、20Bの径より短い回転軸21、21間隔で交互に配する。当然、それぞれの攪拌羽根20A、20Bのフライトピッチ隣り合う羽根間距離をずらして、隣接回転軸の攪拌羽根20A、20B相互が干渉せずに、逆回転可能とする。右巻きの攪拌羽根20Aは、被処理物原料を右回転70で前進23、左回転71で後退24させる。左巻きの攪拌羽根20Bは、被処理物原料を左回転71で前進23、右回転70で後退24させる。また、横置き管25は、水平に設置してもよいが、若干傾斜させて設置することが望ましい。原料被処理物乃至製品炭化物が乾留ガス出口27側に堆積せず、乾留ガス26の乾留ガス出口27からの排出が容易となるためである。このときの横置き管25の傾斜角度は、回転攪拌機スクリュー式19A、19Bによる被処理物原料乃至炭化物製品の前進後退を阻害せず、且つ、熱分解ガス乾留ガスの排出を阻害しないものとする。通常、30°以下、望ましくは10~20°とする。攪拌羽根20A、20Bの形態は、被処理物有機質原料を前進後退可能であれば、特に限定されない。図例のスクリュー式に限られず、パドル式、その他のスクリュー式等任意である。ここで、製品炭化物排出手段は、乾留室9の排出口56に、自動バルブ57を介して入口58aが接続された冷却排出コンベヤ58およびその出口60に接続される上段下段バルブ62、63で形成されている。上段下段バルブ62、63は、炭化物55を、該乾留室9を気密維持しながら排出する気密維持手段である。冷却排出コンベヤ58は、高温の炭化物55を冷却するために設置されている。冷却排出コンベヤ58における搬送はスクリュー59で行ない、冷却は冷却ジャケット61で行う。冷却ジャケット61には、冷却塔34のポンプ35を備えた冷却媒体冷却水送出管36と冷却媒体冷却水戻り管37とが接続されている。乾留室9に原料入口10より投入された原料2aは、回転攪拌機19A、19Bにて混合攪拌され、正転逆転を繰り返し、横置き管25内を前進後進する。こうして、原料2aの乾留室9内の乾留に必要な滞留時間が確保でき、熱風燃焼ガス14にて横置き管25の外周より熱せられた原料2aは無酸素下で蒸し焼かれ、熱分解処理乾留処理により炭化物乾留物55となる。こうして乾留処理により得られた炭化物55は、乾留室9の上端下側に形成された排出口56より排出され、途中に設けられたバルブ57にて流量を調節しながら冷却排出コンベヤ58内に連結口58aを介して送入する。冷却排出コンベヤ58内に送入された炭化物55は、攪拌機59にて冷却されながら攪拌移送され、出口60へ移送される。この攪拌移送により炭化物55は破砕され粒状物化される。冷却排出コンベヤ58の出口60から排出された炭化物55は、上段下段バルブ62、63を交互に開閉作動させることによって気密維持しながら、磁選機マグネットローラー式64へ導入される。二段バルブ方式に代えて、ロータリーバルブを使用してもよい。磁選機64を設置したのは、有機質原料被処理物2が、例えば、廃タイヤ等のスチール等を含有するものでも処理可能とするためである。即ち、磁選機64にて、炭化物55中に含まれるスチール65を吸着し、間欠的に冷却排出コンベヤ58の運転を停止し、マグネットに吸着されたスチール65を脱着させて分岐ダンパー66をスチール回収側に切替えてスチールコンテナ67にて回収する。スチールが除去された炭化物55は、分岐ダンパー66を炭化物回収側に切替えることにより、移送コンベヤ68の入口69に流入して、次の前段微粉砕工程前段微粉砕機Bへ移行する。2乾留ガス改質器16は、上記乾留ガスを改質して熱交換凝縮器31に導入するものである。改質器16は、必然的ではないが、回収油成分の品質を向上させる。原料2aの熱分解により生成した乾留ガス26は、乾留室9の最上部に取り付けられたガス出口27より連通管28を通り、ガス改質器16に導入されて改質される。図例では、複数段の改質充填層からなる改質処理室16aを加熱ジャケット17で加温する構造である。乾留ガス改質器16は、図例のものに限られず、各種汎用のものを使用可能であり、ヒーター加温図示省略であってもよい。更に、本願発明者の一人が提案している下記構成のものも好適に使用できる。被処理油入口および処理済油出口を有し、該被処理油入口及び処理済油出口の間に改質処理ゾーンを備えた油改質容器と、該改質容器内の温度を設定温度に維持する加熱手段とを備え、前記改質処理ゾーンは、前記被処理油入口から処理済油出口に向かって、ろ過/遠赤外線ゾーン、触媒ゾーン及び磁界ゾーンを備え、前記触媒ゾーンは、芳香族成分乃至重質成分の分解触媒で構成されている。3熱交換凝縮器31は、乾留ガス改質後のを冷却凝縮して油成分を含む凝縮液を回収するものである。具体的には、入口管32がガス改質器16のガス出口29と配管30で接続されて乾留ガスを導入可能とされ、該乾留ガスを冷却ジャケット33で冷却することにより凝縮させるものである。冷却ジャケット33には、冷却塔34と冷却塔循環ポンプ35にて冷却水冷却媒体が循環される。前記冷却排出コンベヤ58の冷却ジャケット61と同様である。凝縮器31で乾留ガスは、水蒸気は水に、油性ガスは油になり、出口管38より油水分離槽39へ液封状態で流入する。油水分離槽39の底部に貯まった水はバルブ43にて排出される。4油水分離槽39は、熱交換凝縮器31からの凝縮液を油水分離するものである。凝縮液出口管38は先端を水没させる。凝縮室内を気密にするためである。そして、油水分離槽39は、浮上した油成分油化物を、溢流管42を介して油タンク41に流出させる。5排ガス熱分解炉46は、上記熱交換凝縮器31で凝縮されなかった非凝縮性ガスを導入して熱分解処理するものである。図例では、熱分解炉46はエゼクター減圧手段48と熱分解バーナ49とを備え、エゼクター48の吸引室入口に接続されている。更に、天井部に排気ダンパー53を備えた排気筒52を備えているとともに、別に設けられたガス排出口46aは熱風炉51と連通管50を介して接続されている。熱分解バーナ49の燃焼排熱の有効利用をするためである。2前段微粉砕工程前段微粉砕機:図1B圧砕ローラー式の前段微粉砕機Bは、密閉粉砕室74と1個以上の圧砕ローラー85と備えるものである。密閉粉砕室74は、炭化物砕料55が投入される回転式の粉砕カップ80と、該粉砕カップ80の回転時気密を維持するパッキン93を保持する粉砕室カバー90とで主体部が形成されている。圧砕ローラー85は、周壁リブ部92の内面を又は周壁に沿って底壁上面80aを従動転動従動回転するものである。そして、粉砕室カバー90側には、砕料投入管75および砕製物流出管96が接続可能とされている。ここで、粉砕カップ80は、垂直回転式でも水平回転方式でもよい図例では、水平回転式。更に、図示しないが、粉砕カップを固定式にして、圧砕ローラーを粉砕カップの中心に設けた回転駆動体の回転により公転させる方式でもよい。粉砕カップ80は水平に設置され、カップ駆動回転軸81は水平回転可能に軸受82、83に垂直に保持されている。圧砕ローラー85は粉砕カップ80の底壁上面80aで接し、粉砕カップ80の回転によって圧砕ローラー85は従動転動するものである。そして、粉砕カップ80と圧砕ローラー85との接触部位86の隙間で砕料を微粉砕する。圧砕ローラー85の回転軸87は、軸受88、89にて水平に保持されている。この圧砕ローラー85は1個でも複数個でもよく、要求処理能力に応じて設定する。粉砕室カバー90は、架台84の受け台91にて固定されている。また、粉砕室カバー90と回転軸87との間は、パッキンケース94にて軸封されている。更に、粉砕室カバー90の上部は、テーパ状に形成された入口95を介して流出管96と接続されている。次に、前段微粉砕機の粉砕態様について説明する。前記スチールが除去された炭化物55は、分岐ダンパー66にて次の工程の移送コンベヤ68の入口69へ送られる。移送コンベヤ68の攪拌機72の攪拌回転移送によって、移送コンベヤ68のトラフ68aと攪拌機72の攪拌羽根パドル、スクリュー等72aとの間で、更に砕かれて略均一な粒状物顆粒状の炭化物例えば、粒度で5~50meshになる。この顆粒状の炭化物55は、移送コンベヤ出口68bより前段微粉砕機73の密閉粉砕室74に砕料投入管75にて供給される。砕料投入管75の途中には、水系液体供給手段としての液体供給管76が付設されている。水系液体供給手段は、炭化物55の含液率を10~50望ましくは15~30に調整するためのものである。また、水系液体は、通常、沸点が100°C以下の水又はアルコールとするが、親和性を有すればエステル類やエーテル類等でもよいと考えられる。本発明者らは、エタノールの方が水単独に比して、炭化物の超微粉化ナノ化が良好であることを確認している。なお、含液処理の態様は、特に限定されず、例えば、滴下又は噴霧により行う。含液率が設定値に調整された炭化物55は、圧砕ローラー式の前段微粉砕機の密閉粉砕室74に供給されて微粉砕される。すなわち、粉砕カップ80の回転によって、圧砕ローラー85が従動転動することによって粉砕カップ80の転動面と圧砕ローラー85の周面とに挟まれた炭化物砕料は圧砕摩砕される。また、密閉粉砕室74に投入された炭化物砕料は、粉砕カップ80の回転によって遠心力で粉砕カップ80のリブ周壁92側に振られるため、圧砕ローラー85により繰り返し粉砕され、微粉炭化物55aとなる。この微粉炭化物55aは、粒度が小さく浮遊し易いため、粉砕カップ80の回転により発生した旋回気流に乗って流出管96のテーパ状の入口95に流入する。更に、入口95の流出管96の途中に設けられたヒーター97にて加温され、蒸気爆発によりさらに微細化されて捕集器図例ではサイクロン98に流入して固気分離される。微細化された微粉炭化物55aはサイクロン98の下部から流出され、排気はサイクロン98の上部から排出される。なお、図例中、101は粉砕カップの80の駆動回転軸81側の巻き掛け従動輪であり、102は駆動モーターであり、103はモーター側の巻き掛け駆動輪である。104は軸受88、89用の架台である。3後段微粉砕工程後段微粉砕機:図1Cジェットミル式の後段微粉砕機Cは、ジェットミル117とエゼクター式粉砕管129とを備えている。ジェットミル117のエゼクター式砕料供給管114の吸引室115に、気密維持手段上段下段バルブ108、109を介して砕料供給手段が接続されている。また、ジェットミル117の砕製物出口125が、前記ジェットミルからの砕製物をエゼクター式粉砕管129の吸引室混合室130に導入可能に接続されて、該吸引室130で砕料が急速減圧による膨張粉砕可能とされている。即ち、ジェットミル式の後段微粉砕機Cは、砕料である微粉炭化物55aを供給するとともに、蒸気ジェット加圧、炭酸ガス、又は窒素ガス加圧を行い、衝突粉砕して一次超微粉炭化物55bとした後、排出管より排出減圧させて爆発粉砕させて二次三次超微粉炭化物55c、55dとするものであり、加圧及び減圧を繰り返し、連続運転して、製品ナノ炭化物として捕集回収するものである。以下に具体的構成について使用態様とともに述べる。捕集器サイクロン98の下部より流下した微粉炭化物55aは、後段微粉砕機への中継ホッパー105に貯留される。中継ホッパー105の下部には取り出しコンベヤ106が設けられ、砕料取出管107には上段下段バルブ108、109が取り付けられている。この上段下段バルブ108、109の交互開閉によって砕料である微粉炭化物55aを、エゼクター式砕料供給管114の粉砕混合室115に、気密維持しながら供給する。なお、ジェットミル117は、本実施形態では、横型の円盤状粉砕室118の上部側にテーパ状分級室124を備えたマイクロナイザー型である。なお、ジェットミル117は、図例のものに限られず、縦型ドーナツ状のジェットマイザー等であってもよい。上記ジェットミル117の円盤状粉砕室118には、図34に示す如く、それぞれ2個ずつエゼクター式砕料供給管114とガス噴射管119が、接線方向で交互に90°間隔で接続されて、砕料微粉炭化物55aに旋回気流動力を付与可能となっている。なお、エゼクター式砕料供給管114には蒸気供給管110が接続され、ガス噴射管119にはガス供給管121が接続されている。そして、本実施形態では、エゼクター式砕料供給管114の砕料出口側に衝突部材116が配されている。これにより、衝突摩砕による予備粉砕が可能となる。ここで、取り出しコンベヤ106にて上段バルブ電磁バルブ108と下段バルブ電磁バルブ109との間に投入された微粉炭化物55aは、下段バルブ109の開と同時に、蒸気供給管110の蒸気バルブ電磁バルブ111を開にして蒸気を蒸気ノズル113より噴射する。砕料取出管107より落下してきた微粉炭化物55aは、蒸気ノズル113より噴射された蒸気にてエゼクター式砕料供給管114の粉砕混合室115にて混合粉砕され、流速を増して衝突部材116に衝突し、予備粉砕され、ジェットミル117の円盤状粉砕室118に供給される。エゼクター式砕料供給管114は、円盤状粉砕室118の外周部の接線方向に取り付けられ、蒸気噴射にて旋回気流118aを発生させるのである。砕料微粉炭化物55aの供給は間欠運転となる。このため、常時旋回気流を発生させるために、ガス供給管121のガスバルブ122を開として、ガス噴射管119のガス噴射ノズル120から不活性ガスN2やCO2を噴射させる。円盤状粉砕室118およびテーパ状分級室124内は、蒸気ガス噴射により旋回気流が発生しながら、徐々に加圧されていく。それらの蒸気ガス噴射により発生した旋回気流にて砕料55aは、砕料同士の衝突及び円盤状粉砕室118の周壁内側との摺動摩擦にて衝突摩砕される。こうして、粉砕が進行し、より微粉化が進めば、粒度の更に小さい一次超微粉炭化物55bとなってテーパ状分級室124の中央部に集まり、上部へと自然上昇する。テーパ状分級室124の形状仕様は、下端径は円盤状粉砕室118の径の12~13で、テーパ角度は60~90°望ましくは75~85°で、高さは円盤状粉砕室118の直径とする。テーパ状分級室124内において、十分な旋回気流を発生させて微粉炭化物砕料乃至砕製物に対する充分な噴出力を確保するための形状である。テーパ状分級室124の開閉蓋124aには安全弁145、温度計146、圧力計147が付設されている。そして、圧力計147温度計146からの信号により自動バルブ111、122および126の開閉を制御してジェットミルの運転を行なう。ジェットミル117の通常運転圧力は01~10MPaの範囲内での運転が好ましい。ジェットミル117の運転フローは、噴出管125の自動バルブ126を閉の状態で、砕料55aの供給手段として高圧蒸気を噴射させ、粉砕して装置内に投入を繰り返し、砕料供給と蒸気加圧を行う。なお、ジェットミル円盤状粉砕室118およびテーパ状分級室124117の外側壁には加熱手段123を配することが望ましい。加熱手段123は、抵抗加熱乃至ジャケット加熱熱媒体:空気蒸気等等任意であるが、円盤状粉砕室118内を200~1000°Cの設定温度に加温できるものが望ましい。後述の含液粒状物の蒸気爆発粉砕を担保するためである。テーパ状分級室124の上部には自動バルブ126、流量調整バルブ127が付設された噴出管125が取り付けられている。噴出管125は連結配管128を通り、エゼクター式の減圧粉砕管129の減圧粉砕室吸引室130に接続されている。エゼクター式の減圧粉砕管129の噴射ノズル136は、自動バルブ134、流量調整バルブ135を備えた噴射ガス供給管132にて、窒素ガス製造器131に接続されている。一次流体噴射ガスは窒素ガスが望ましいが、炭酸ガス等の不活性ガスでもよい。窒素ガスは、窒素ガス製造機等にて安価に製造又は入手できる。噴射ノズル136からの窒素ガス噴射にて減圧粉砕室吸引室130内で一次超微粉炭化物55bは、さらに微粉砕されて二次超微粉炭化物55cとなる。また、高圧下0.5MPa~10MPaにさらされていた一次超微粉炭化物55bは、減圧粉砕室130内で常圧に減圧されるため、減圧膨張爆発も混合粉砕と同時に起き、より微粉砕が進む。本実施形態では、デイフューザー137の出口には、柱状衝突部材138aを内部に備え衝突粉砕管138が接続されている。このため、二次超微粉炭化物55cは柱状衝突部材138aに激突し、さらに粉砕されて三次超微粉炭化物55dとなる。こうして超微粉砕数μm以下された三次超微粉炭化物55dは、捕集配管139を通り、捕集器140の連結部141に連結され、下部に設けられたロータリーバルブ142を介して、コンテナ143にてナノオーダ炭化物製品55eとして回収される。捕集器140はサイクロンが好適で、固気分離された排気144は上部より排出される。微粉炭化物55aの供給は、空気を遮断してバルブ108とバルブ109を交互に開閉を繰り返すため、蒸気噴射112は間欠運転にせざるを得ない。このため、衝突粉砕させるために蒸気噴射112の停止時に炭酸ガス又は窒素ガスを噴射させ常時旋回気流118aを維持する。ジェットミル117円盤状粉砕室118およびテーパ状分級室124内の圧力が所定圧、一例として0.7MPaに上昇した時点で、バルブ109、111、122を閉にして、バルブ126を開にして、一次超微粉炭化物55bを減圧粉砕管129の粉砕室130にて減圧蒸気爆発により粉砕させるものである。バルブ126の開と同時に噴射ガス供給管132のバルブ134を開にして、減圧粉砕も同時進行させる。ジェットミル117内へ微粉炭化物55aの供給にて01MPa以下になるまで減圧した時点でバルブ126、134を閉にして、一サイクル運転が完了する。自動バルブの開閉は、圧力計147にて行うものである。蒸気を過熱蒸気にするための温度調整は、温度計146にて自動で行う。このようにして後段微粉砕工程が完了して、炭化物のナノオーダに近いさらにはナノオーダの超微粉ナノチューブ等のナノオーダの炭化物製品55eが得られる。4次に、本設備を用いての有機質原料有機質廃棄物を処理した場合のメリットを下記に纏める。油化炭化設備において、有機質廃棄物を減圧させることによって、安全で、低温にて処理ができ、炭化物は灰分が少ない非常に良質なカーボンナノカーボンが得られるとともに、油化品もガスの改質をかけることによって非常にカロリーの高い油が得られる。また、炭化物を粉砕カップと圧砕ローラーにて微粉砕する装置は、低動力で、カッターや砥石を必要とすることなく粉砕できるものであり、なおかつ蒸気爆発させて自爆も行わせ、より粉砕微細化できる。後段微粉砕機であるジェットミル装置は、流体エネルギーを利用して高速で流動させ、衝撃粉砕、衝突粉砕、摺動摩擦粉砕させ、エゼクター粉砕、過熱蒸気爆発等により超微粉末まで破砕を行うものであり、ナノカーボンが得られている。現在、ナノカーボン製造法はレーザー蒸発法、アーク放電法、CVD法があるが、これらは設備が非常に高価であり、処理量も大量生産に未だ難があるとされている。本発明に係る超微粉炭化物の製造設備は、有機廃棄物から純度の高いナノカーボンを安価なシステムで大量生産することができ、安全かつランニングコストが安く生産できる装置である。実施形態において、粗砕した廃タイヤ粒径:5~10cmを用いて、下記条件として油化炭化処理および炭化物の多段粉砕処理を行った。その結果、廃タイヤを15kg/hで処理でき、超微粉炭化物メディアン径:1000nm5kg/hおよび油化物10000kcal/hが得られた。1減圧油化炭化装置A乾留装置1幅600mm×長さ2000mm×高さ1000mm乾留室9各軸シリンダ径114mm×長さ2000mm×2軸スクリュー外径100mm×長さ2000mm×0.1kW×回転数1rpm×2基スクリュー羽根フライト間ピッチ100mmスクリュー軸間ピッチ70mmガス改質器16径150mm×長さ1200mm×3筒式熱交換凝縮器31径600mm×長さ1200×1塔油水分離槽39幅600mm×長さ800mm×高さ400mm排ガス熱分解炉46幅600mm×長さ1000mm×高さ1500mm冷却排出コンベヤ58径100mm×長さ1500mm×出力02kW外部加熱バーナ138Lh×70000kcalh熱分解バーナ495Lh×40000kcalh2圧砕ローラー式微粉砕機B密閉粉砕室74径400mm×高さ70mm圧砕ローラー85径130mm×幅65mm×1ヶ粉砕カップ80回転数150rpm粉砕カップ用駆動モーター10237kWヒーター97バンドヒーター径50mm×6kWヒーター97設定温度350°C捕集器98径400mm×高さ1800mmサイクロン式3ジェットミル式微粉砕機C円盤状粉砕室118径300mm×高さ200mmテーパ状分級室124径100mm×高さ600mm捕集器140径600mm×高さ2000mmサイクロン式ジェットミル運転圧力07MPaヒーター12315kW運転温度450°C高圧蒸気圧10MPa窒素ガス圧8MPa炭酸ガス圧8MPa