"塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、下記化学式1で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生する塩基発生剤を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物。化学式1中、R1及びR2は、それぞれ、独立に水素又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R1及びR2は、それらが結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R1及びR2のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。R3、R4、R5及びR6は、それぞれ、水素、ハロゲン又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。ただし、R3、R4、R5及びR6のうち、少なくとも1つは1価の有機基又はハロゲンであるか、或いは、R3、R4、R5及びR6は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成している。前記塩基発生剤は、365nm、405nm、又は436nmの電磁波の波長のうち少なくとも一つの波長に吸収を有することを特徴とする、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。前記塩基発生剤は、化学式1中、R4が1価の有機基又はハロゲンであるか、或いは、R3、R4、R5及びR6は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していることを特徴とする、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。前記高分子前駆体が、エポキシ基、イソシアネート基、オキセタン基、又はチイラン基を有する化合物及び高分子、ポリシロキサン前駆体、ポリイミド前駆体、並びにポリベンゾオキサゾール前駆体よりなる群から選択される1種以上を含むことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。前記高分子前駆体が、塩基性溶液に可溶であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。前記高分子前駆体が、ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。塗料、印刷インキ、シール剤、又は接着剤、或いは、表示装置、半導体装置、電子部品、微小電気機械システム、光造形物、光学部材又は建築材料の形成材料として用いられる請求項1乃至6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。前記請求項1乃至7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料。前記請求項1乃至7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いて塗膜又は成形体を形成し、当該塗膜又は成形体を、所定パターン状に電磁波を照射し、照射後又は照射と同時に加熱し、前記照射部位の溶解性を変化させた後、現像することを特徴とするパターン形成方法。前記請求項1乃至7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物又はその硬化物により少なくとも一部分が形成されている、印刷物、塗料、シール剤、接着剤、表示装置、半導体装置、電子部品、微小電気機械システム、光造形物、光学部材又は建築材料のいずれかの物品。下記化学式2で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする、塩基発生剤。化学式2中、R11及びR12は、それぞれ、独立に水素又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R11及びR12は、それらが結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R11及びR12のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。R13、R14、R15及びR16は、それぞれ、水素、ハロゲン又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。ただし、R13、R14、R15及びR16のうち、少なくとも1つは1価の有機基又はハロゲンであるか、或いは、R13、R14、R15及びR16は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成している。365nm、405nm、436nmの電磁波の波長のうち少なくとも一つの波長に吸収を有することを特徴とする、請求項11に記載の塩基発生剤。モル吸光係数が、電磁波の波長365nmにおいて100以上、又は405nmにおいて1以上であることを特徴とする、請求項11又は12に記載の塩基発生剤。化学式2中、R14が1価の有機基又はハロゲンであるか、或いは、R13、R14、R15及びR16は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していることを特徴とする、請求項11乃至13のいずれか一項に記載の塩基発生剤。光塩基発生剤を用いた感光性樹脂組成物は、既存の高分子前駆体に、光塩基発生剤を一定比率で混合するだけで感光性高分子前駆体を得ることができるため、樹脂組成物を製造するプロセスが簡便である。特に、従来用いる前駆体化合物の構造が制約されたポリイミド前駆体にとっては、種々の構造のポリイミド前駆体に適用できるため汎用性が高いという利点がある。しかし、従来の光塩基発生剤は感度が低いため、電磁波の照射量が多くなってしまうという問題があった。電磁波の照射量が多くなってしまうと、単位時間の処理量スループットが低下する問題もあった。また、例えばポリイミド前駆体と組み合わせる場合、露光により発生した塩基による触媒作用によって露光部のみがイミド化し、その部分が現像液に不溶になるというメカニズムから、現像液に対する溶解性がもともと大きいポリイミド前駆体については、露光部も溶解速度が早く、露光部、未露光部の溶解性のコントラストを大きくすることに限界があった。露光部と未露光部の間で溶解性のコントラストが大きければ大きいほど現像後の残膜率が大きく、更に形状も良好なパターンを得ることができるが、従来の感光性組成物では、現像液の濃度や光塩基発生剤の量を調整したり、溶解促進剤の添加が必要であり、プロセスマージンが小さくなってしまっていた。本発明は、上記実情を鑑みてなされたものであり、その主目的は、感度に優れ、高分子前駆体の種類を問わずに利用可能な塩基発生剤、及び感度に優れ、高分子前駆体の種類を問わず、露光部と未露光部とで大きな溶解性コントラストが得られ、結果的に十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを得ることができる感光性樹脂組成物を提供することにある。本発明に係る感光性樹脂組成物は、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、下記化学式1で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生する塩基発生剤を含有することを特徴とする。化学式1中、R1及びR2は、それぞれ、独立に水素又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R1及びR2は、それらが結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R1及びR2のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。R3、R4、R5及びR6は、それぞれ、水素、ハロゲン又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。ただし、R3、R4、R5及びR6のうち、少なくとも1つは1価の有機基又はハロゲンであるか、或いは、R3、R4、R5及びR6は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成している。前記化学式1で表される塩基発生剤は、上記特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により、塩基性物質であるアミンを発生する。前記高分子前駆体は、前記塩基発生剤から発生した塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される。本発明に係る感光性樹脂組成物において、前記塩基発生剤は、365nm、405nm、又は436nmの電磁波の波長のうち少なくとも一つの波長に吸収を有することが適用可能な高分子前駆体の種類がさらに増える点から好ましい。本発明に係る感光性樹脂組成物において、前記高分子前駆体としては、エポキシ基、イソシアネート基、オキセタン基、又はチイラン基を有する化合物及び高分子、ポリシロキサン前駆体、ポリイミド前駆体、並びにポリベンゾオキサゾール前駆体よりなる群から選択される1種以上が好適に用いられる。本発明に係る感光性樹脂組成物において、前記高分子前駆体が、塩基性溶液に可溶であることが、露光部と未露光部の溶解性コントラストを大きくできる点から好ましい。本発明の一実施形態においては、感光性樹脂組成物の高分子前駆体として、ポリアミック酸のようなポリイミド前駆体、又は、ポリベンゾオキサゾール前駆体を用いることができる。このような高分子前駆体を用いると、耐熱性、寸法安定性、及び絶縁特性等の物性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。前記ポリイミド前駆体は、ポリアミック酸であることが、原料の入手が容易な点から好ましい。さらに本発明の第2の目的は、上記感光性樹脂組成物を用いるパターン形成方法を提供することにある。本発明に係るパターン形成方法は、上記感光性樹脂組成物を用いて塗膜又は成形体を形成し、当該塗膜又は成形体を、所定パターン状に電磁波を照射し、照射後又は照射と同時に加熱し、前記照射部位の溶解性を低下させた後、現像することを特徴とする。上記パターン形成方法においては、高分子前駆体と、塩基発生剤として上記化学式1で表されるような化合物とを組み合わせて用いることにより、感光性樹脂組成物からなる塗膜又は成形体の表面を現像液から保護するためのレジスト膜を用いずに、現像を行うパターン形成が可能である。本発明の第3の目的は、感度に優れ、適用可能な高分子前駆体の範囲が広い、下記化学式2で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする、塩基発生剤を提供することにある。化学式2中、R11及びR12は、それぞれ、独立に水素又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R11及びR12は、それらが結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R11及びR12のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。R13、R14、R15及びR16は、それぞれ、水素、ハロゲン又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。ただし、R13、R14、R15及びR16のうち、少なくとも1つは1価の有機基又はハロゲンであるか、或いは、R13、R14、R15及びR16は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成している。前記化学式2で表される塩基発生剤は、上記特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により、塩基性物質であるアミンを発生する。前記化学式2で表される塩基発生剤は、365nm、405nm、又は436nmの電磁波の波長のうち少なくとも一つの波長に吸収を有することが適用可能な高分子前駆体の種類がさらに増える点から好ましい。前記化学式2で表される塩基発生剤は、そのモル吸光係数が、電磁波の波長365nmにおいて100以上、又は405nmにおいて1以上であることが適用可能な高分子前駆体の種類がさらに増える点から好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、含まれる化学式1で表される塩基発生剤が、電磁波の照射により塩基が発生し、さらに加熱により塩基の発生が促進されることにより、従来用いられていた光塩基発生剤と比べて優れた感度を有するため、感度の高い感光性樹脂組成物である。本発明の感光性樹脂組成物は、電磁波の照射と加熱により、塩基発生剤由来の塩基による高分子前駆体の溶解性の変化に加えて、塩基発生剤も塩基が発生する際にフェノール性水酸基が失われることにより塩基性水溶液に対する溶解性が変化するため、本発明の感光性樹脂組成物の露光部、未露光部の溶解性の差をさらに大きくすることが可能である。露光部と未露光部とで大きな溶解性コントラストが得られる結果、十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを得ることができる。さらに本発明の感光性樹脂組成物においては、酸と異なり塩基が金属の腐食を起こさないため、より信頼性の高い硬化膜を得ることが出来る。また、パターン形成工程に加熱工程を含む場合、本発明の感光性樹脂組成物は、塩基の発生を促進させる加熱において、前記加熱工程を利用することが可能であり、当該加熱工程を利用する分、電磁波の照射量を少なくできる利点を有する。そのためこの様な加熱工程を含む工程で用いる場合、本発明の感光性樹脂組成物は、電磁波照射のみで塩基を発生させる従来の樹脂組成物と比べ、工程の合理化も可能となる。また、化学式2で表される塩基発生剤は、従来用いられていた光塩基発生剤と比べて感度に優れ、効率的に塩基を発生することが可能である。また、化学式2で表される塩基発生剤は、様々な高分子前駆体への適用が可能である。以下、本発明について詳しく説明する。なお、本発明においてメタアクリロイルとは、アクリロイル及び/又はメタクリロイルを意味し、メタアクリルとは、アクリル及び/又はメタクリルを意味し、メタアクリレートとは、アクリレート及び/又はメタクリレートを意味する。また、本発明において、電磁波とは、波長を特定した場合を除き、可視及び非可視領域の波長の電磁波だけでなく、電子線のような粒子線、及び、電磁波と粒子線を総称する放射線又は電離放射線が含まれる。本明細書では、電磁波の照射を露光ともいう。なお、波長365nm、405nm、436nmの電磁波をそれぞれ、i線、h線、g線とも表記することがある。<感光性樹脂組成物>本発明に係る感光性樹脂組成物は、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体、及び、下記化学式1で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生する塩基発生剤を含有することを特徴とする。化学式1中、R1及びR2は、それぞれ、独立に水素又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R1及びR2は、それらが結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R1及びR2のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。R3、R4、R5及びR6は、それぞれ、水素、ハロゲン又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R3、R4、R5及びR6は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していても良い。前記化学式1で表される塩基発生剤は、上記特定の構造を有し、電磁波の照射により、-CH=CH-C=O-部分がシス体へと異性化し、さらに加熱されることにより塩基アミンNHR1R2を発生する。さらに、アミンを発生する際に、前記化学式1で表される構造は環化し、その結果フェノール性水酸基が失われ、現像液への溶解性が低下する。前記高分子前駆体は、前記塩基発生剤から発生した塩基性物質の作用によって最終生成物への反応が促進され、通常溶解性が変化する。この様な塩基発生剤及び高分子前駆体の溶解性の変化により、本発明に係る感光性樹脂組成物は、露光部と未露光部との間で溶解性に大きな差が生じ、すなわち、溶解性コントラストが大きくなり、パターン形成が可能となる。本発明の感光性樹脂組成物は、適用できる高分子前駆体の範囲が広く、その高分子前駆体と塩基発生剤の溶解性の変化等の特性を生かすことが出来る分野で広く応用される。例えば、感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物とそのイミド化物の特性を生かすことが出来る分野で好適に応用される。本発明によれば、現像液に対する溶解性がもともと大きいポリイミド前駆体についても好適に用いることができる。以下、本発明に係る感光性樹脂組成物の塩基発生剤、及び高分子前駆体、並びに、必要に応じて適宜含むことができるその他の成分について順に説明する。<感光性樹脂組成物に含まれる塩基発生剤>本発明に係る感光性樹脂組成物に含まれる塩基発生剤は、下記化学式1で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により塩基を発生する。化学式1中、R1及びR2は、それぞれ、独立に水素又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R1及びR2は、それらが結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R1及びR2のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。R3、R4、R5及びR6は、それぞれ、水素、ハロゲン又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R3、R4、R5及びR6は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していても良い。本発明の塩基発生剤は、光塩基発生剤の1種であり、電磁波が照射されるだけでも塩基を発生するが、適宜加熱をすることにより、塩基の発生が促進される。本発明の塩基発生剤は、電磁波の照射と加熱を組み合わせることにより、少ない電磁波照射量で、効率的に塩基を発生することが可能である。なお、光塩基発生剤とは、常温常圧の通常の条件下では活性を示さないが、外部刺激として電磁波が加えられると、塩基を発生する剤をいう。本発明に係る感光性樹脂組成物に含まれる塩基発生剤は、上記特定構造を有するため、電磁波が照射されることにより、化学式1中の-CH=CH-C=O-部分がシス体へと異性化し、さらに加熱によって環化し、塩基であるアミン、NHR1R2を生成する。アミンの触媒作用によって、ポリイミド前駆体のイミド化反応が開始される温度を下げることができる。化学式1で表される塩基発生剤は、環化することで、フェノール性水酸基を消失し、溶解性が変化し、塩基性水溶液等の場合には溶解性が低下する。これにより、本発明に係る感光性樹脂組成物に含まれる高分子前駆体がポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体である場合、当該前駆体の最終生成物への反応による溶解性の低下を更に補助する機能を有し、露光部と未露光部の溶解性コントラストを大きくすることが可能となる。R1及びR2は、それぞれ、独立に水素原子又は1価の有機基であるが、R1及びR2のうち少なくとも1つは1価の有機基である。また、NHR1R2は、塩基本発明においては、塩基性物質を単に、塩基という。であるが、R1及びR2は、それぞれ、アミノ基を含まない有機基であることが好ましい。R1及びR2に、アミノ基が含まれてしまうと、塩基発生剤自体が塩基性物質となり、高分子前駆体の反応を促進してしまい、露光部と未露光部での溶解性コントラストの差が小さくなってしまう恐れがある。但し、例えば、R1及びR2の有機基中に存在する芳香環にアミノ基が結合している場合のように、電磁波の照射と加熱後に発生する塩基との塩基性と差が生じる場合には、R1及びR2の有機基にアミノ基を含まれていても用いることができる場合もある。1価の有機基としては、飽和又は不飽和アルキル基、飽和又は不飽和シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、及び飽和又は不飽和ハロゲン化アルキル基等が挙げられる。これらの有機基は、当該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでよく、これらは、直鎖状でも分岐状でも良い。また、R1及びR2は、それらが結合して環状構造になっていても良い。環状構造は、飽和又は不飽和の脂環式炭化水素、複素環、及び縮合環、並びに当該脂環式炭化水素、複素環、及び縮合環よりなる群から選ばれる2種以上が組み合されてなる構造であっても良い。前記R1及びR2の有機基中の炭化水素基以外の結合としては、特に限定されず、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、チオカルボニル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、イミノ結合-N=C-R-、-C=NR-、ここでRは水素原子又は1価の有機基、カーボネート結合、スルホニル結合等が挙げられる。前記R1及びR2の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、特に限定されず、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、シアノ基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、ニトロ基、カルボキシル基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホ基、飽和又は不飽和アルキルエーテル基、飽和又は不飽和アルキルチオエーテル基、アリールエーテル基、及びアリールチオエーテル基、アミノ基等が挙げられる。これらの基は、直鎖、分岐、及び環状のいずれでも良い。前記R1及びR2の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、シアノ基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、ニトロ基、アシル基、アシルオキシ基、飽和又は不飽和アルキルエーテル基、飽和又は不飽和アルキルチオエーテル基、アリールエーテル基、及びアリールチオエーテル基が好ましい。生成するアミンはNHR1R2であるため、1級アミン、2級アミンである。またアミンには、それぞれ、脂肪族アミン及び芳香族アミンがある。更に、生成するNHR1R2は、アミド結合を形成可能なNH基を1つだけ有するモノアミン等の塩基性物質だけでなく、ジアミン、トリアミン、テトラアミン等のアミド結合を形成可能なNH基を2つ以上有する塩基性物質であってもよい。生成するNHR1R2がNH基を2つ以上有する塩基性物質の場合、前記式1のR1及び/又はR2の1つ以上の末端に、アミド結合を形成可能なNH基を有する塩基を電磁波の照射と加熱により発生するような光潜在性部位が更に結合している構造が挙げられる。上記光潜在性部位としては、前記式1のR1及び/又はR2の1つ以上の末端に、式1のR1及び/又はR2を除いた残基が更に結合している構造が挙げられる。脂肪族1級アミンとしては、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、n-ブチルアミン、sec-ブチルアミン、tert-ブチルアミン、ペンチルアミン、イソアミルアミン、tert-ペンチルアミン、シクロペンチルアミン、ヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン、ヘプチルアミン、シクロヘプタンアミン、オクチルアミン、2-オクタンアミン、2,4,4-トリメチルペンタン-2-アミン、シクロオクチルアミン等が挙げられる。芳香族1級アミンとしては、アニリン、2-アミノフェノール、3-アミノフェノール、及び4-アミノフェノール等が挙げられる。脂肪族2級アミンとしては、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジブチルアミン、エチルメチルアミン、アジリジン、アゼチジン、ピロリジン、ピペリジン、アゼパン、アゾカン、メチルアジリジン、ジメチルアジリジン、メチルアゼチジン、ジメチルアゼチジン、トリメチルアゼチジン、メチルピロリジン、ジメチルピロリジン、トリメチルピロリジン、テトラメチルピロリジン、メチルピペリジン、ジメチルピペリジン、トリメチルピペリジン、テトラメチルピペリジン、ペンタメチルピペリジン等が挙げられ、中でも脂環式アミンが好ましい。芳香族2級アミンとしては、メチルアニリン、ジフェニルアミン、及びN-フェニル-1-ナフチルアミンが挙げられる。ジアミン以上のアミンとしてはエチレンジアミン、1,3-プロパンジアミン、1,4-ブタンジアミン、1,5-ペンタンジアミン、1,6-ヘキサンジアミン、1,7-ヘプタンジアミン、1,8-オクタンジアミン、1,9-ノナンジアミン、1,10-デカンジアミン等の直鎖状脂肪族アルキレンジアミン;1-ブチル-1,2-エタンジアミン、1,1-ジメチル-1,4-ブタンジアミン、1-エチル-1,4-ブタンジアミン、1,2-ジメチル-1,4-ブタンジアミン、1,3-ジメチル-1,4-ブタンジアミン、1,4-ジメチル-1,4-ブタンジアミン、2,3-ジメチル-1,4-ブタンジアミン等の分岐状脂肪族アルキレンジアミン;シクロヘキサンジアミン、メチルシクロヘキサンジアミン、イソホロンジアミン、ノルボルナンジメチルアミン、トリシクロデカンジメチルアミン、メンセンジアミン等の脂環式ジアミン;p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、p-キシリレンジアミン、m-キシリレンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン等の芳香族ジアミン;ベンゼントリアミン、メラミン、2,4,6-トリアミノピリミジン等のトリアミン;2,4,5,6-テトラアミノピリミジン等のテトラアミンを挙げることができる。R1及びR2の位置に導入される置換基によって、生成する塩基性物質の熱物性や塩基性度が異なる。高分子前駆体から最終生成物への反応に対する反応開始温度を低下させる等の触媒作用は、塩基性の大きい塩基性物質の方が触媒としての効果が大きく、より少量の添加で、より低い温度での最終生成物への反応が可能となる。一般に1級アミンよりは2級アミンの方が塩基性は高く、その触媒効果が大きい。また、芳香族アミンよりも脂肪族アミンの方が塩基性が強いため好ましい。このことから、本発明の化学式1で表される塩基発生剤から生ずるアミンは、2級のアミンであることが好ましく、2級脂肪族アミンであることがより好ましく、R1及びR2が互いに結合した2級脂肪族アミンが特に好ましい。前記R1及びR2が結合した2級脂肪族アミンが生ずることが好ましいが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、当該2級脂肪族アミン以外の前記アミンが生じても良い。また、化学式1で表される塩基発生剤から生ずる塩基は、アミド結合を形成可能なNH基を1つ有するものであることが好ましい。発生する塩基がアミド結合を形成可能なNH基を2つ以上有する場合には、塩基発生剤において、電磁波の照射と加熱により切断されるアミド結合を2つ以上有することになり、例えば桂皮酸誘導体残基のような吸光団が1分子に2つ以上存在することになる。このような場合には、通常分子量が大きくなるため、溶剤溶解性が悪くなるという問題がある。また、吸光団を1分子内に2つ以上有する場合、吸光団と塩基が結合しているアミド結合が1つ切断されれば塩基になるが、吸光団を未だ含むような塩基は分子量が大きいため、拡散性が悪くなり、塩基発生剤として用いる場合の感度が悪くなってしまう。更に、塩基発生剤を合成する際、吸光団が1つの場合には、相対的に安価な塩基を過剰量加えて合成するが、吸光団が2つ以上の場合には、相対的に高価な吸光団部分の原料を過剰量加える必要がある。また、アミド結合を形成可能なNH基を2つ以上有するような塩基の場合、合成後の精製が困難であるという問題もある。中でも特に、ポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体と組み合わせる場合には、アミド結合を形成可能なNH基を1つ有するものであることが好ましい。一方、エポキシ系化合物やイミダゾール系化合物と組み合わせる場合には、化学式1で表される塩基発生剤から生ずる塩基は、アミド結合を形成可能なNH基を2つ以上有するものであるものも、硬化促進剤としてだけでなく硬化剤としても機能することが可能な点から好適に用いることができる。また、脱離する塩基の熱物性、及び塩基性度の点から、R1及びR2の有機基は、それぞれ独立に炭素数1~20が好ましく、更に炭素数1~12が好ましく、特に炭素数1~8であることが好ましい。好適な組み合わせとしては、R1及びR2が、それぞれ独立に1価の有機基であり、置換基を有してもよい炭素数1~10のアルキル基、又は置換基を有してもよい炭素数4~12のシクロアルキル基であり、R1及びR2は、同一であっても異なっていても良く、R1及びR2は、それらが結合して環状構造を形成していても良く、ヘテロ原子の結合を含んでいても良い場合が挙げられる。アルキル基としては更に炭素数1~8であることが好ましく、シクロアルキル基としては更に炭素数4~10であることが好ましい。また、R1及びR2が結合して置換基を有しても良い炭素数4~12の環状構造となっている脂環式アミンも好ましい。R3~R6は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン又は1価の有機基である。R3、R4、R5及びR6は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していても良く、ヘテロ原子の結合を含んでいても良い。ハロゲンとしては、フッ素、塩素、臭素などが挙げられる。1価の有機基としては、特に制限がなく、飽和又は不飽和アルキル基、飽和又は不飽和シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、及び飽和又は不飽和ハロゲン化アルキル基等が挙げられる。これらの有機基は、当該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでよく、これらは、直鎖状でも分岐状でも良い。前記R3~R6の有機基中の炭化水素基以外の結合としては、特に限定されず、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、チオカルボニル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、カーボネート結合、スルホニル結合等が挙げられる。前記R3~R6の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、特に限定されず、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、シアノ基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、ニトロ基、カルボキシル基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホ基、飽和又は不飽和アルキルエーテル基、飽和又は不飽和アルキルチオエーテル基、アリールエーテル基、及びアリールチオエーテル基、アミノ基等が挙げられる。これらの基は、直鎖、分岐、及び環状のいずれでも良い。中でも、R3~R6の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、シアノ基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、ニトロ基、アシル基、アシルオキシ基、飽和又は不飽和アルキルエーテル基、飽和又は不飽和アルキルチオエーテル基、アリールエーテル基、及びアリールチオエーテル基が好ましい。また、R3~R6は、それらのうち2つ以上が結合して環状構造になっていても良い。環状構造は、飽和又は不飽和の脂環式炭化水素、複素環、及び縮合環、並びに当該脂環式炭化水素、複素環、及び縮合環よりなる群から選ばれる2種以上が組み合されてなる構造であっても良い。例えば、R3~R6は、それらの2つ以上が結合して、R3~R6が結合しているベンゼン環の原子を共有してナフタレン、アントラセン、フェナントレン、インデン等の縮合環を形成していても良い。また、本発明の置換基R3~R6に、置換基を1つ以上導入することにより、吸収する光の波長を調整することが可能であり、置換基を導入することで所望の波長を吸収させるようにすることもできる。芳香族環の共役鎖を伸ばすような置換基を導入することにより、吸収波長を長波長にシフトすることができる。これにより、組み合わせる高分子前駆体の吸収波長も考慮しながら、感光性樹脂組成物の感度を向上させることが可能である。所望の波長に対して吸収波長をシフトさせる為に、どのような置換基を導入したら良いかという指針として、InterpretationoftheUltravioletSpectraofNaturalProductsA.I.Scott1964や、有機化合物のスペクトルによる同定法第5版R.M.Silverstein1993に記載の表を参考にすることができる。R3~R6としては、炭素数1~10のアルキル基、炭素数4~13のシクロアルキル基、炭素数4~13のシクロアルケニル基、炭素数7~16のアリールオキシアルキル基-ROAr、炭素数7~20のアラルキル基、シアノ基をもつ炭素数2~11のアルキル基、水酸基をもつ炭素数1~10のアルキル基、炭素数1~10のアルコキシ基、炭素数2~11のアミド基、炭素数1~10のアルキルチオ基-SR、炭素数1~10のアシル基、炭素数2~11のエステル基、炭素数6~20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換した炭素数6~20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換したベンジル基、シアノ基、及びメチルチオ基-SCH3等が好ましい。また、上記のアルキル部分は直鎖でも分岐でも環状でも良い。また、R3~R6としては、それらの2つ以上が結合して、R3~R6が結合しているベンゼン環の原子を共有してナフタレン、アントラセン、フェナントレン、インデン等の縮合環を形成している場合も、吸収波長が長波長化する点から好ましい。化学式1で表される構造は、トランス体及び/又はシス体であり、トランス体のみを用いても良いし、トランス体とシス体の混合物を用いても良いが、溶解性コントラストを高められる点から、トランス体の割合が90~100であることが好ましく、トランス体のみを用いることがより好ましい。上記化学式1で表される塩基発生剤は、ポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体と組み合わせて用いられる場合には、加熱して初期の重量から5重量が減少したときの温度5重量減少温度が100°C以上であることが好ましい。ポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体の場合、塗膜を形成する際にN-メチル-2-ピロリドンなどの高沸点溶媒を用いる必要があるが、このように5重量減少温度が高い場合には残留溶媒の影響が少なくなるような乾燥条件で塗膜を形成することができる。これにより、残留溶媒の影響による露光部と未露光部での溶解性コントラストの減少を抑制することができる。また、本発明の感光性樹脂組成物を用いた製品中に本発明の塩基発生剤に由来する不純物が残存しないことが好ましいため、本発明の塩基発生剤は、現像後に行う加熱のプロセス例えば、組み合わせる高分子がポリイミド前駆体の場合、イミド化のプロセスで分解、又は揮発してしまうことが好ましい。具体的には、初期の重量から50重量が減少したときの温度50重量減少温度が400°C以下であることが好ましく、更に350°C以下であることが好ましい。また、発生する塩基の沸点が25°C以上であることが、室温での取り扱い性が良好になることから好ましい。発生する塩基の沸点が25°C以上でない場合いには、塗膜とした際に、特に乾燥時に生成したアミンが蒸発しやすくなってしまうため作業が困難となる恐れがある。本発明に係る感光性樹脂組成物において、前記化学式1で表される塩基発生剤から塩基を発生させるための加熱温度としては、組み合わせる高分子前駆体や目的により適宜選択され、特に限定されない。塩基発生剤が置かれた環境の温度例えば、室温による加熱であっても良く、その場合、徐々に塩基が発生する。また、電磁波の照射時に副生される熱によっても塩基が発生するため、電磁波の照射時に副生される熱により実質的に加熱も同時に行われても良い。反応速度を高くし、効率よく塩基を発生させる点から、塩基を発生させるための加熱温度としては、30°C以上であることが好ましく、更に好ましくは60°C以上、より更に好ましくは100°C以上、特に好ましくは120°C以上である。しかしながら、組み合わせて用いられる高分子前駆体によっては、例えば60°C以上の加熱で未露光部についても硬化するものもあるので、好適な加熱温度は、上記に限定されない。また、前記式1で表される塩基発生剤の塩基発生以外の分解を防ぐために、300°C以下で加熱することが好ましい。前記式1で表される塩基発生剤は電磁波の照射のみでも塩基を発生するが、適宜加熱することにより塩基の発生が促進される。従って、効率的に塩基を発生させるために、前記式1で表される塩基発生剤を用いる際には、露光後又は露光と同時に加熱を行うことにより塩基を発生する。露光と加熱を交互に行ってもよい。最も効率が良い方法は、露光と同時に加熱する方法である。本発明の化学式1で表される塩基発生剤の合成方法を、2-ヒドロキシ桂皮酸アミドを例に挙げて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明の塩基発生剤は、複数の従来公知の合成ルートで合成することができる。2-ヒドロキシ桂皮酸アミドは、例えば、2-ヒドロキシ桂皮酸とシクロヘキシルアミンを反応させることにより合成できる。1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩等の縮合剤存在下、2-ヒドロキシ桂皮酸とシクロヘキシルアミンをテトラヒドロフランに溶解し、撹拌することで目的物を得ることができる。各置換基を導入した桂皮酸の合成は、対応する置換基を有するヒドロキシベンズアルデヒドにwittig反応または、Knoevenagel反応、又はPerkin反応を行うことで合成できる。本発明の化学式1で表される塩基発生剤は、高分子前駆体が最終生成物となるための塩基発生の機能を十分に発揮させるために、露光波長の少なくとも一部に対して吸収を有する必要がある。一般的な露光光源である高圧水銀灯の波長としては、365nm、405nm、436nmがある。このため、本発明の化学式1で表される塩基発生剤は、少なくとも365nm、405nm、436nmの波長の電磁波のうち少なくとも1つの波長の電磁波に対して吸収を有することが好ましい。このような場合、適用可能な高分子前駆体の種類がさらに増える点から好ましい。前記化学式1で表される塩基発生剤は、そのモル吸光係数が、電磁波の波長365nmにおいて100以上、又は405nmにおいて1以上であることが、適用可能な高分子前駆体の種類がさらに増える点から好ましい。なお、本発明の化学式1で表される塩基発生剤が前記波長領域に吸収を有することは、当該波長領域に吸収をもたない溶媒例えば、アセトニトリルに、化学式1で表される塩基発生剤を1×10-4mol/L以下の濃度通常、1×10-4mol/L~1×10-5mol/L程度。適度な吸収強度となるように、適宜、調節してもよい。で溶解し、紫外可視分光光度計例えば、UV-2550株島津製作所製により吸光度を測定することにより明らかにすることができる。<高分子前駆体>本発明の感光性樹脂組成物に用いる高分子前駆体とは、反応により最終的に目的の物性を示す高分子となる物質を意味し、当該反応には分子間反応及び分子内反応がある。高分子前駆体自体は、比較的低分子の化合物であっても高分子化合物であってもよい。また、本発明の高分子前駆体は、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される化合物である。ここで、高分子前駆体が、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される態様には、高分子前駆体が塩基性物質の作用のみによって最終生成物に変化する態様のみならず、塩基性物質の作用によって高分子前駆体の最終生成物への反応温度が、塩基性物質の作用がない場合に比べて低下するような態様が含まれる。このような塩基性物質の存在の有無により反応温度差が出来る場合には、反応温度差を利用して、塩基性物質と共存する高分子前駆体のみが最終生成物へと反応する適切な温度で加熱することにより、塩基性物質と共存する高分子前駆体のみが最終生成物へと反応し、現像液等の溶媒への溶解性が変化する。従って、塩基性物質の存在の有無によって、高分子前駆体の前記溶媒への溶解性を変化させることが可能となり、ひいては当該溶媒を現像液として用いて現像によるパターニングが可能になる。本発明の高分子前駆体としては、上記の様な塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進されるものであれば特に制限なく使用が可能である。下記に代表的な例を挙げるが、これらに限定されるものではない。なお、高分子前駆体としては、1種単独で用いても良いし、2種以上混合して用いても良い。[分子間反応により高分子となる高分子前駆体]分子間反応により目的の高分子となる高分子前駆体としては、反応性置換基を有し重合反応をする化合物及び高分子、又は、分子間に結合を形成する反応架橋反応をする化合物及び高分子がある。当該反応性置換基としては、エポキシ基、オキセタン基、チイラン基、イソシアネート基、ヒドロキシル基、シラノール基等が挙げられる。また、高分子前駆体には、分子間で加水分解重縮合する化合物も含まれ、反応性置換基には、ポリシロキサン前駆体の-SiXここで、Xはアルコキシ基、アセトキシ基、オキシム基、エノキシ基、アミノ基、アミノキシ基、アミド基、及びハロゲンよりなる群から選択される加水分解性基も挙げられる。反応性置換基を有し重合反応をする化合物としては、例えば、1個以上のエポキシ基を有する化合物、1個以上のオキセタン基を有する化合物、及び1個以上のチイラン基を有する化合物が挙げられる。反応性置換基を有し重合反応をする高分子としては、例えば、2個以上のエポキシ基を有する高分子エポキシ樹脂、2個以上のオキセタン基を有する高分子、及び2個以上のチイラン基を有する高分子が挙げられる。下記に特にエポキシ基を有する化合物及び高分子について具体的に説明するが、オキセタン基、チイラン基を有する化合物及び高分子についても同様に用いることが可能である。エポキシ基を有する化合物及び高分子上記1個以上のエポキシ基を有する化合物及び高分子としては、分子内に1個以上のエポキシ基を有するものであれば特に制限なく、従来公知のものを使用できる。前記塩基発生剤は、一般的には分子内に1個以上のエポキシ基を有する化合物の硬化触媒としての機能も有する。分子内に1個以上のエポキシ基を有する化合物又は分子内に2個以上のエポキシ基を有する高分子エポキシ樹脂を用いる場合は、エポキシ基との反応性を有する官能基を分子内に二つ以上有する化合物を併用してもよい。ここでエポキシ基との反応性を有する官能基とは、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、メルカプト基、1級又は2級の芳香族アミノ基等が挙げられる。これらの官能基は、3次元硬化性を考慮して、一分子中に2つ以上有することが特に好ましい。また、重量平均分子量3,000~100,000のポリマー側鎖に上記官能基を導入したものを用いることが好ましい。3,000未満では膜強度の低下及び硬化膜表面にタック性が生じ、不純物等が付着しやすくなる恐れがある。また、100,000より大きいと粘度が増大する恐れがあり好ましくない。分子内に1個以上のエポキシ基を有する高分子としては、例えば、エポキシ樹脂が挙げられ、ビスフェノールAとエピクロルヒドリンから誘導されるビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールFとエピクロルヒドリンから誘導されるビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールFノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ジフェニルエーテル型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、3官能型エポキシ樹脂や4官能型エポキシ樹脂等の多官能型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂等があり、これらのエポキシ樹脂はハロゲン化されていてもよく、水素添加されていてもよい。市販されているエポキシ樹脂製品としては、例えばジャパンエポキシレジン株式会社製のJERコート828、1001、801N、806、807、152、604、630、871、YX8000、YX8034、YX4000、DIC株式会社製のエピクロン830、EXA835LV、HP4032D、HP820、株式会社ADEKA製のEP4100シリーズ、EP4000シリーズ、EPUシリーズ、ダイセル化学株式会社製のセロキサイドシリーズ2021、2021P、2083、2085、3000等、エポリードシリーズ、EHPEシリーズ、東都化成社製のYDシリーズ、YDFシリーズ、YDCNシリーズ、YDBシリーズ、ナガセケムテックス社製のデナコールシリーズ、共栄社化学社製のエポライトシリーズ等が挙げられるがこれらに限定されるものではない。これらのエポキシ樹脂は、2種以上を併用してもよい。これらの中で、他の各種のエポキシ化合物と比較すると分子量の異なるグレードが広く入手可能で、接着性や反応性等を任意に設定できる点から、ビスフェノール型エポキシ樹脂が好ましい。一方、分子間で架橋反応をする化合物としては、例えば、分子内に2個以上のイソシアネート基を有する化合物及び分子内に2個以上のヒドロキシル基を有する化合物の組み合わせが挙げられ、当該イソシアネート基とヒドロキシル基との反応により、分子間にウレタン結合が形成され高分子となり得る。分子間で架橋反応をする高分子としては、例えば、分子内に2個以上のイソシアネート基を有する高分子イソシアネート樹脂と分子内に2個以上のヒドロキシル基を有する高分子ポリオールの組み合わせが挙げられる。また、分子間で架橋反応をする化合物と高分子の組み合わせを用いても良い。例えば、分子内に2個以上のイソシアネート基を有する高分子イソシアネート樹脂と分子内に2個以上のヒドロキシル基を有する化合物の組み合わせ、及び、分子内に2個以上のイソシアネート基を有する化合物と分子内に2個以上のヒドロキシル基を有する高分子ポリオールの組み合わせ等が挙げられる。イソシアネート基を有する化合物及び高分子イソシアネート基をもつ化合物及び高分子としては、分子内に2個以上のイソシアネート基を有するものであれば特に制限なく、公知のものを使用できる。このような化合物としては、p-フェニレンジイソシアネート、2,4-トルエンジイソシアネート、2,6-トルエンジイソシアネート、1,5-ナフタレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等に代表される低分子化合物の他に、オリゴマー、重量平均分子量3,000以上のポリマーの側鎖又は末端にイソシアネート基が存在する高分子を用いてもよい。ヒドロキシル基を有する化合物及び高分子前記イソシアネート基を持つ化合物及び高分子は、通常、分子内にヒドロキシル基を持つ化合物と組み合わせて用いられる。このようなヒドロキシル基を有する化合物としては、分子内に2個以上のヒドロキシル基を有するものであれば特に制限なく、公知のものを使用できる。このような化合物としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、ジグリセリン、ペンタエリスリトール等の低分子化合物の他に、重量平均分子量3,000以上のポリマーの側鎖又は末端にヒドロキシル基が存在する高分子を用いてもよい。ポリシロキサン前駆体分子間で加水分解重縮合する化合物としては、たとえばポリシロキサン前駆体が挙げられる。ポリシロキサン前駆体としては、YnSiX4-nで示される有機ケイ素化合物及び当該有機ケイ素化合物の加水分解重縮合物が挙げられる。中でも、上記式においてnが0~2であるものが好ましい。また、シリカ分散オリゴマー溶液の調製がし易く入手も容易な点から、上記加水分解性基としては、アルコキシ基であるものが好ましい。上記有機ケイ素化合物としては、特に制限なく、公知のものを使用できる。例えば、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルトリクロルシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、メチルトリt-ブトキシシラン、エチルトリブロムシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n-プロピルトリエトキシシラン、n-ヘキシルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブトキシシラン、ジメトキシジエトキシシラン、ジメチルジクロルシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタアクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、β-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、フッ素系シランカップリング剤として知られたフルオロアルキルシラン、および、それらの加水分解縮合物もしくは共加水分解縮合物;並びに、それらの混合物を挙げることができる。[分子内閉環反応により高分子となる高分子前駆体]分子内閉環反応によって最終的に目的の物性を示す高分子となる高分子前駆体としてはポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール前駆体等がある。これらの前駆体は2種類以上の別々に合成した高分子前駆体の混合物でもよい。以下、本発明の好ましい高分子前駆体であるポリイミド前駆体とポリベンゾオキサゾール前駆体について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。ポリイミド前駆体ポリイミド前駆体としては、下記化学式3で表される繰り返し単位を有するポリアミック酸が好適に用いられる。式3中、R7は4価の有機基である。R8は2価の有機基である。なお、R7の4価は酸と結合するための価数のみを示しているが、他に更なる置換基を有していても良い。同様に、R8の2価はアミンと結合するための価数のみを示しているが、他に更なる置換基を有していても良い。ポリアミック酸は、酸二無水物とジアミンを溶液中で混合するのみで得られるので、1段階の反応で合成することができ、合成が容易で低コストで入手できるので好ましい。副次的な効果として、用いる高分子前駆体がポリアミック酸である場合、塩基性物質の触媒効果によりイミド化に要する温度が低くても十分な為、最終キュア温度を300°C未満、更に好ましくは250°C以下まで下げることが可能である。従来のポリアミック酸はイミド化するために最終キュア温度を300°C以上とする必要があった為、用途が制限されていたが、最終キュア温度を下げることが可能になったことによって、より広範囲の用途に適用が可能である。ポリアミック酸は、酸二無水物とジアミンの反応により得られるが、最終的に得られるポリイミドに優れた耐熱性及び寸法安定性を付与する点から、前記化学式3において、R7又はR8が芳香族化合物であることが好ましく、R7及びR8が芳香族化合物であることがより好ましい。またこのとき、前記化学式3のR7において、当該R7に結合している4つの基-CO-2-COOH2は同一の芳香環に結合していても良く、異なる芳香環に結合していても良い。同様に、前記化学式3のR8において、当該R8に結合している2つの基-NH-2は同一の芳香環に結合していても良く、異なる芳香環に結合していても良い。また、前記化学式3で表されるポリアミック酸は、単一の繰り返し単位からなるものでも、2種以上の繰り返し単位から成るものでもよい。本発明のポリイミド前駆体を製造する方法としては、従来公知の手法を適用することができる。例えば、1酸二無水物とジアミンから前駆体であるポリアミド酸を合成する手法。2酸二無水物に1価のアルコールやアミノ化合物、エポキシ化合物等を反応させ合成した、エステル酸やアミド酸モノマーのカルボン酸に、ジアミノ化合物やその誘導体を反応させてポリイミド前駆体を合成する手法などが挙げられるがこれに限定されない。本発明のポリイミド前駆体を得るための反応に適用可能な酸二無水物としては、例えば、エチレンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族テトラカルボン酸二無水物;ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3’,3,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3’,3,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス3,4-ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、2,2-ビス2,3-ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルエーテル二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルスルホン二無水物、1,1-ビス2,3-ジカルボキシフェニルエタン二無水物、ビス2,3-ジカルボキシフェニルメタン二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルメタン二無水物、2,2-ビス3,4-ジカルボキシフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス2,3-ジカルボキシフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3-ビス3,4-ジカルボキシベンゾイルベンゼン二無水物、1,4-ビス3,4-ジカルボキシベンゾイルベンゼン二無水物、2,2-ビス{4-4-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}プロパン二無水物、2,2-ビス{4-3-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}プロパン二無水物、ビス{4-4-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}ケトン二無水物、ビス{4-3-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}ケトン二無水物、4,4’-ビス4-1,2-ジカルボキシフェノキシビフェニル二無水物、4,4’-ビス3-1,2-ジカルボキシフェノキシビフェニル二無水物、ビス{4-4-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}ケトン二無水物、ビス{4-3-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}ケトン二無水物、ビス{4-4-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}スルホン二無水物、ビス{4-3-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}スルホン二無水物、ビス{4-4-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}スルフィド二無水物、ビス{4-3-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}スルフィド二無水物、2,2-ビス{4-4-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2-ビス{4-3-1,2-ジカルボキシフェノキシフェニル}-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロ-2,2-ビス2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10-ぺリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8-フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、ピリジンテトラカルボン酸二無水物、スルホニルジフタル酸無水物、m-ターフェニル-3,3’,4,4’-テトラカルボン酸二無水物、p-ターフェニル-3,3’,4,4’-テトラカルボン酸二無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらは単独あるいは2種以上混合して用いられる。そして、特に好ましく用いられるテトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス3,4-ジカルボキシフェニルエーテル二無水物、2,2-ビス3,4-ジカルボキシフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物が挙げられる。併用する酸二無水物としてフッ素が導入された酸二無水物や、脂環骨格を有する酸二無水物を用いると、透明性をそれほど損なわずに溶解性や熱膨張率等の物性を調整することが可能である。また、ピロメリット酸無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物などの剛直な酸二無水物を用いると、最終的に得られるポリイミドの線熱膨張係数が小さくなるが、透明性の向上を阻害する傾向があるので、共重合割合に注意しながら併用してもよい。一方、アミン成分も、1種類のジアミン単独で、または2種類以上のジアミンを併用して用いることができる。用いられるジアミン成分は限定されず、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、o-フェニレンジアミン、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、3,4’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノベンゾフェノン、4,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,4’-ジアミノベンゾフェノン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,4’-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ジ3-アミノフェニルプロパン、2,2-ジ4-アミノフェニルプロパン、2-3-アミノフェニル-2-4-アミノフェニルプロパン、2,2-ジ3-アミノフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ジ4-アミノフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2-3-アミノフェニル-2-4-アミノフェニル-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,1-ジ3-アミノフェニル-1-フェニルエタン、1,1-ジ4-アミノフェニル-1-フェニルエタン、1-3-アミノフェニル-1-4-アミノフェニル-1-フェニルエタン、1,3-ビス3-アミノフェノキシベンゼン、1,3-ビス4-アミノフェノキシベンゼン、1,4-ビス3-アミノフェノキシベンゼン、1,4-ビス4-アミノフェノキシベンゼン、1,3-ビス3-アミノベンゾイルベンゼン、1,3-ビス4-アミノベンゾイルベンゼン、1,4-ビス3-アミノベンゾイルベンゼン、1,4-ビス4-アミノベンゾイルベンゼン、1,3-ビス3-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,3-ビス4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス3-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルベンゼン、1,3-ビス3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、1,3-ビス4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス3-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、1,4-ビス4-アミノ-α,α-ジトリフルオロメチルベンジルベンゼン、2,6-ビス3-アミノフェノキシベンゾニトリル、2,6-ビス3-アミノフェノキシピリジン、4,4’-ビス3-アミノフェノキシビフェニル、4,4’-ビス4-アミノフェノキシビフェニル、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]ケトン、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]ケトン、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]スルフィド、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]スルフィド、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]スルホン、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]スルホン、ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]エーテル、ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]エーテル、2,2-ビス[4-3-アミノフェノキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]プロパン、2,2-ビス[3-3-アミノフェノキシフェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス[4-4-アミノフェノキシフェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン、1,3-ビス[4-3-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-4-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-3-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,4-ビス[4-4-アミノフェノキシベンゾイル]ベンゼン、1,3-ビス[4-3-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3-ビス[4-4-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-3-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4-ビス[4-4-アミノフェノキシ-α,α-ジメチルベンジル]ベンゼン、4,4’-ビス[4-4-アミノフェノキシベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’-ビス[4-4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルフェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’-ビス[4-4-アミノ-α,α-ジメチルベンジルフェノキシ]ジフェニルスルホン、4,4’-ビス[4-4-アミノフェノキシフェノキシ]ジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン、6,6’-ビス3-アミノフェノキシ-3,3,3’,3’-テトラメチル-1,1’-スピロビインダン、6,6’-ビス4-アミノフェノキシ-3,3,3’,3’-テトラメチル-1,1’-スピロビインダン等の芳香族アミン;1,3-ビス3-アミノプロピルテトラメチルジシロキサン、1,3-ビス4-アミノブチルテトラメチルジシロキサン、α,ω-ビス3-アミノプロピルポリジメチルシロキサン、α,ω-ビス3-アミノブチルポリジメチルシロキサン、ビスアミノメチルエーテル、ビス2-アミノエチルエーテル、ビス3-アミノプロピルエーテル、ビス2-アミノメトキシエチル]エーテル、ビス[2-2-アミノエトキシエチル]エーテル、ビス[2-3-アミノプロトキシエチル]エーテル、1,2-ビスアミノメトキシエタン、1,2-ビス2-アミノエトキシエタン、1,2-ビス[2-アミノメトキシエトキシ]エタン、1,2-ビス[2-2-アミノエトキシエトキシ]エタン、エチレングリコールビス3-アミノプロピルエーテル、ジエチレングリコールビス3-アミノプロピルエーテル、トリエチレングリコールビス3-アミノプロピルエーテル、エチレンジアミン、1,3-ジアミノプロパン、1,4-ジアミノブタン、1,5-ジアミノペンタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,7-ジアミノヘプタン、1,8-ジアミノオクタン、1,9-ジアミノノナン、1,10-ジアミノデカン、1,11-ジアミノウンデカン、1,12-ジアミノドデカン等の脂肪族アミン;1,2-ジアミノシクロヘキサン、1,3-ジアミノシクロヘキサン、1,4-ジアミノシクロヘキサン、1,2-ジ2-アミノエチルシクロヘキサン、1,3-ジ2-アミノエチルシクロヘキサン、1,4-ジ2-アミノエチルシクロヘキサン、ビス4-アミノシクロへキシルメタン、2,6-ビスアミノメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,5-ビスアミノメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン等の脂環式ジアミンが挙げられる。グアナミン類としては、アセトグアナミン、ベンゾグアナミンなどを挙げることができ、また、上記ジアミンの芳香環上水素原子の一部若しくは全てをフルオロ基、メチル基、メトキシ基、トリフルオロメチル基、又はトリフルオロメトキシ基から選ばれた置換基で置換したジアミンも使用することができる。さらに目的に応じ、架橋点となるエチニル基、ベンゾシクロブテン-4’-イル基、ビニル基、アリル基、シアノ基、イソシアネート基、及びイソプロペニル基のいずれか1種又は2種以上を、上記ジアミンの芳香環上水素原子の一部若しくは全てに置換基として導入しても使用することができる。ジアミンは、目的の物性によって選択することができ、p-フェニレンジアミンなどの剛直なジアミンを用いれば、最終的に得られるポリイミドは低膨張率となる。剛直なジアミンとしては、同一の芳香環に2つアミノ基が結合しているジアミンとして、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、1,4-ジアミノナフタレン、1,5-ジアミノナフタレン、2、6-ジアミノナフタレン、2,7-ジアミノナフタレン、1,4―ジアミノアントラセンなどが挙げられる。さらに、2つ以上の芳香族環が単結合により結合し、2つ以上のアミノ基がそれぞれ別々の芳香族環上に直接又は置換基の一部として結合しているジアミンが挙げられ、例えば、下記式4により表されるものがある。具体例としては、ベンジジン等が挙げられる。化学式4中、aは1以上の自然数、アミノ基はベンゼン環同士の結合に対して、メタ位または、パラ位に結合する。さらに、上記式4において、他のベンゼン環との結合に関与せず、ベンゼン環上のアミノ基が置換していない位置に置換基を有するジアミンも用いることができる。これら置換基は、1価の有機基であるがそれらは互いに結合していてもよい。具体例としては、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、2,2’-ジトリフルオロメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジクロロ-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメトキシ-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル等が挙げられる。最終的に得られるポリイミドを光導波路、光回路部品として用いる場合には、芳香環の置換基としてフッ素を導入すると1μm以下の波長の電磁波に対しての透過率を向上させることができる。一方、ジアミンとして、1,3-ビス3-アミノプロピルテトラメチルジシロキサンなどのシロキサン骨格を有するジアミンを用いると、最終的に得られるポリイミドの弾性率が低下し、ガラス転移温度を低下させることができる。ここで、選択されるジアミンは耐熱性の観点より芳香族ジアミンが好ましいが、目的の物性に応じてジアミンの全体の60モル、好ましくは40モルを超えない範囲で、脂肪族ジアミンやシロキサン系ジアミン等の芳香族以外のジアミンを用いても良い。一方、ポリイミド前駆体を合成するには、例えば、アミン成分として4,4’-ジアミノジフェニルエーテルをN-メチルピロリドンなどの有機極性溶媒に溶解させた溶液を冷却しながら、そこへ等モルの3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を徐々に加え撹拌し、ポリイミド前駆体溶液を得ることができる。このようにして合成されるポリイミド前駆体は、最終的に得られるポリイミドに耐熱性及び寸法安定性を求める場合には、芳香族酸成分及び/又は芳香族アミン成分の共重合割合ができるだけ大きいことが好ましい。具体的には、イミド構造の繰り返し単位を構成する酸成分に占める芳香族酸成分の割合が50モル以上、特に70モル以上であることが好ましく、イミド構造の繰り返し単位を構成するアミン成分に占める芳香族アミン成分の割合が40モル以上、特に60モル以上であることが好ましく、全芳香族ポリイミドであることが特に好ましい。<ポリベンゾオキサゾール前駆体>本発明に用いられるポリベンゾオキサゾール前駆体としては、下記化学式5で表される繰り返し単位を有するポリアミドアルコールが好適に用いられる。ポリアミドアルコールは、従来公知の方法で合成することが可能で、例えば、ジカルボン酸ハロゲン化物などのジカルボン酸誘導体とジヒドロキシジアミンとを有機溶媒中で付加反応することにより得られる。化学式5中、R9は2価の有機基である。R10は4価の有機基である。なお、R9の2価は酸と結合するための価数のみを示しているが、他に更なる置換基を有していても良い。同様に、R10の4価はアミン及びヒドロキシル基と結合するための価数のみを示しているが、他に更なる置換基を有していても良い。前記化学式5で表される繰り返し単位を有するポリアミドアルコールは、最終的に得られるポリベンゾオキサゾールに優れた耐熱性及び寸法安定性を付与する点から、前記化学式5において、R9又はR10が芳香族化合物であることが好ましく、R9及びR10が芳香族化合物であることがより好ましい。またこのとき、前記化学式5のR9において、当該R9に結合している2つの基-CO-2は同一の芳香環に結合していても良く、異なる芳香環に結合していても良い。同様に、前記化学式5のR10において、当該R10に結合している4つの基-NH-2-OH2は同一の芳香環に結合していても良く、異なる芳香環に結合していても良い。また、前記化学式5で表されるポリアミドアルコールは、単一の繰り返し単位からなるものでも、2種以上の繰り返し単位からなるものでもよい。上記ポリベンゾオキサゾール前駆体を得るための反応に適用可能なジカルボン酸およびその誘導体としては、例えば、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、4,4’-ベンゾフェノンジカルボン酸、3,4’-ベンゾフェノンジカルボン酸、3,3’-ベンゾフェノンジカルボン酸、4,4’-ビフェニルジカルボン酸、3,4’-ビフェニルジカルボン酸、3,3’-ビフェニルジカルボン酸、4,4’-ジフェニルエーテルジカルボン酸、3,4’-ジフェニルエーテルジカルボン酸、3,3’-ジフェニルエーテルジカルボン酸、4,4’-ジフェニルスルホンジカルボン酸、3,4’-ジフェニルスルホンジカルボン酸、3,3’-ジフェニルスルホンジカルボン酸、4,4’-ヘキサフルオロイソプロピリデン二安息香酸、4,4’-ジカルボキシジフェニルアミド、1,4-フェニレンジエタン酸、1,1-ビス4-カルボキシフェニル-1-フェニル-2,2,2-トリフルオロエタン、ビス4-カルボキシフェニルテトラフェニルジシロキサン、ビス4-カルボキシフェニルテトラメチルジシロキサン、ビス4-カルボキシフェニルスルホン、ビス4-カルボキシフェニルメタン、5-t-ブチルイソフタル酸、5-ブロモイソフタル酸、5-フルオロイソフタル酸、5-クロロイソフタル酸、2,2-ビス-p-カルボキシフェニルプロパン、4,4’-p-フェニレンジオキシ二安息香酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、もしくはこれらの酸ハロゲン化物、およびヒドロキシベンゾトリアゾール等との活性エステル体などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いられる。また、ヒドロキシジアミンの具体例としては、例えば、3,3’-ジヒドロキシベンジジン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジヒドロキシビフェニル、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシビフェニル、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジヒドロキシジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシジフェニルスルホン、ビス-3-アミノ-4-ヒドロキシフェニルメタン、2,2-ビス-3-アミノ-4-ヒドロキシフェニルプロパン、2,2-ビス-3-アミノ-4-ヒドロキシフェニルヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-4-アミノ-3-ヒドロキシフェニルヘキサフルオロプロパン、ビス-4-アミノ-3-ヒドロキシフェニルメタン、2,2-ビス-4-アミノ-3-ヒドロキシフェニルプロパン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシベンゾフェノン、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジヒドロキシベンゾフェノン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジヒドロキシジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノ-4,4’-ジヒドロキシジフェニルエーテル、1,4-ジアミノ-2,5-ジヒドロキシベンゼン、1,3-ジアミノ-2,4-ジヒドロキシベンゼン、3-ジアミノ-4,6-ジヒドロキシベンゼンなどが挙げられるがこれらに限定されるものではない。これらは単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いられる。ポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体等の高分子前駆体は、感光性樹脂組成物とした際の感度を高め、マスクパターンを正確に再現するパターン形状を得るために、1μmの膜厚のときに、露光波長に対して少なくとも5以上の透過率を示すことが好ましく、15以上の透過率を示すことが更に好ましい。露光波長に対してポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体等の高分子前駆体の透過率が高いということは、それだけ、電磁波のロスが少ないということであり、高感度の感光性樹脂組成物を得ることができる。また、一般的な露光光源である高圧水銀灯を用いて露光を行う場合には、少なくとも436nm、405nm、365nmの波長の電磁波のうち1つの波長の電磁波に対する透過率が、厚み1μmのフィルムに成膜した時で好ましくは5以上、更に好ましくは15、特に好ましくは50以上である。ポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体等の高分子前駆体の重量平均分子量は、その用途にもよるが、3,000~1,000,000の範囲であることが好ましく、5,000~500,000の範囲であることがさらに好ましく、10,000~500,000の範囲であることがさらに好ましい。重量平均分子量が3,000未満であると、塗膜又はフィルムとした場合に十分な強度が得られにくい。また、加熱処理等を施しポリイミド等の高分子とした際の膜の強度も低くなる。一方、重量平均分子量が1,000,000を超えると粘度が上昇し、溶解性も低下しやすく、表面が平滑で膜厚が均一な塗膜又はフィルムが得られにくい。ここで用いている分子量とは、ゲル浸透クロマトグラフィーGPCによるポリスチレン換算の値のことをいい、ポリイミド前駆体などの高分子前駆体そのものの分子量でも良いし、無水酢酸等で化学的イミド化処理を行った後のものでも良い。なお、ポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体合成時における溶媒は、極性溶媒が望ましく、代表的なものとして、N-メチル-2-ピロリドン、N-アセチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラメチレンスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタノン、γ-ブチロラクトン、α-アセチル-γ-ブチロラクトン等があり、これらの溶媒は単独であるいは2種類以上を組み合わせて用いられる。この他にも溶媒として組合せて用いられるものとしてベンゼン、ベンゾニトリル、1,4-ジオキサン、テトラヒドロフラン、ブチロラクトン、キシレン、トルエン、シクロヘキサノン等の非極性溶媒が挙げられ、これらの溶媒は、原料の分散媒、反応調節剤、あるいは生成物からの溶媒の揮散調節剤、皮膜平滑剤などとして使用される。ポリアミック酸やポリベンゾオキサゾール前駆体は、塩基性物質の作用によって最終生成物への反応が進むことにより、溶解性が低下するため、前記化学式1で表される塩基発生剤の塩基発生による溶解性の低下と組み合わせることにより、本発明の感光性樹脂組成物の露光部と未露光部の溶解性コントラストをさらに大きくできる利点を有する。<その他の成分>本発明に係る感光性樹脂組成物は、前記化学式1で表される塩基発生剤と、1種類以上の高分子前駆体と、溶媒の単純な混合物であってもよいが、さらに、光又は熱硬化性成分、高分子前駆体以外の非重合性バインダー樹脂、その他の成分を配合して、感光性樹脂組成物を調製してもよい。感光性樹脂組成物を溶解、分散又は希釈する溶剤としては、各種の汎用溶剤を用いることが出来る。また、前駆体としてポリアミド酸を用いる場合には、ポリアミド酸の合成反応により得られた溶液をそのまま用い、そこに必要に応じて他の成分を混合しても良い。使用可能な汎用溶剤としては、例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールモノエーテル類いわゆるセロソルブ類;メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどのケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸n-プロピル、酢酸i-プロピル、酢酸n-ブチル、酢酸i-ブチル、前記グリコールモノエーテル類の酢酸エステル例えば、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、メトキシプロピルアセテート、エトキシプロピルアセテート、蓚酸ジメチル、乳酸メチル、乳酸エチル等のエステル類;エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン等のアルコール類;塩化メチレン、1,1-ジクロロエタン、1,2-ジクロロエチレン、1-クロロプロパン、1-クロロブタン、1-クロロペンタン、クロロベンゼン、ブロムベンゼン、o-ジクロロベンゼン、m-ジクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド等のアミド類;N-メチルピロリドンなどのピロリドン類;γ-ブチロラクトン等のラクトン類;ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類、その他の有機極性溶媒類等が挙げられ、更には、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、及び、その他の有機非極性溶媒類等も挙げられる。これらの溶媒は単独若しくは組み合わせて用いられる。中でも、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、N-アセチル-2-ピロリドン、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラメチレンスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタノン、γ-ブチロラクトン、α-アセチル-γ-ブチロラクトン等の極性溶媒が好適なものとして挙げられる。光硬化性成分としては、エチレン性不飽和結合を1つ又は2つ以上有する化合物を用いることができ、例えば、アミド系モノマー、メタアクリレートモノマー、ウレタンメタアクリレートオリゴマー、ポリエステルメタアクリレートオリゴマー、エポキシメタアクリレート、及びヒドロキシル基含有メタアクリレート、スチレン等の芳香族ビニル化合物を挙げることができる。また、ポリイミド前駆体が、ポリアミック酸等のカルボン酸成分を構造内に有する場合には、3級アミノ基を有するエチレン性不飽和結合含有化合物を用いると、ポリイミド前駆体のカルボン酸とイオン結合を形成し、感光性樹脂組成物としたときの露光部、未露光部の溶解速度のコントラストが大きくなる。このようなエチレン性不飽和結合を有する光硬化性化合物を用いる場合には、さらに光ラジカル発生剤を添加してもよい。光ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル及びベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル;アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン、1-ヒドロキシアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン及び2-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノ-プロパン-1-オン等のアセトフェノン;2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-ターシャリ-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン及び2-アミルアントラキノン等のアントラキノン;2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン及び2,4-ジイソピルチオキサントン等のチオキサントン;アセトフェノンジメチルケタール及びベンジルジメチルケタール等のケタール;2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド等のモノアシルホスフィンオキシドあるいはビスアシルホスフィンオキシド類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;並びにキサントン類等が挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物には、本発明の効果を妨げない限り、本発明の塩基発生剤の補助的な役割として、光によって酸又は塩基を発生させる他の感光性成分を加えても良い。また、塩基増殖剤や増感剤を加えてもよい。光によって酸を発生させる化合物としては、1,2-ベンゾキノンジアジドあるいは1,2-ナフトキノンジアジド構造を有する感光性ジアゾキノン化合物があり、米国特許明細書第2,772,972号、第2,797,213号、第3,669,658号に提案されている。また、トリアジンやその誘導体、スルホン酸オキシムエステル化合物、スルホン酸ヨードニウム塩、スルホン酸スルフォニウム塩等、公知の光酸発生剤を用いることができる。光によって塩基を発生させる化合物としては、例えば2,6-ジメチル-3,5-ジシアノ-4-2’-ニトロフェニル-1,4-ジヒドロピリジン、2,6-ジメチル-3,5-ジアセチル-4-2’-ニトロフェニル-1,4-ジヒドロピリジン、2,6-ジメチル-3,5-ジアセチル-4-2’,4’-ジニトロフェニル-1,4-ジヒドロピリジンなどが例示できる。塩基発生剤から発生した少量の塩基の作用によって、分解や転位反応して塩基を発生させる塩基増殖剤を併用しても良い。塩基増殖剤としては、例えば、9-フルオレニルメチルカルバメート結合を有する化合物、1,1-ジメチル-2-シアノメチルカルバメート結合CNCH2C2OCONR2を有する化合物、パラニトロベンジルカルバメート結合を有する化合物、2,4-ジクロロベンジルカルバメート結合を有する化合物、その他にも特開2000-330270号公報の段落0010~段落0032に記載されているウレタン系化合物や、特開2008-250111号公報の段落0033~段落0060に記載されているウレタン系化合物等が挙げられる。高分子を透過する波長の電磁波のエネルギーを塩基発生剤が充分利用できる様にし、感度を向上させたい場合に、増感剤の添加が効果を発揮する場合がある。特に、ポリイミド前駆体の吸収が360nm以上の波長にもある場合には、増感剤の添加による効果が大きい。増感剤と呼ばれる化合物の具体例としては、チオキサントン及び、ジエチルチオキサントンなどのその誘導体、クマリン系及び、その誘導体、ケトクマリン及び、その誘導体、ケトビスクマリン、及びその誘導体、シクロペンタノン及び、その誘導体、シクロヘキサノン及び、その誘導体、チオピリリウム塩及び、その誘導体、チオキサンテン系、キサンテン系及び、その誘導体などが挙げられる。クマリン、ケトクマリン及び、その誘導体の具体例としては、3,3’-カルボニルビスクマリン、3,3’-カルボニルビス5,7-ジメトキシクマリン、3,3’-カルボニルビス7-アセトキシクマリン等が挙げられる。チオキサントン及び、その誘導体の具体例としては、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。さらに他にはベンゾフェノン、アセトフェノン、フェナントレン、2-ニトロフルオレン、5-ニトロアセナフテン、ベンゾキノン、2-エチルアントラキノン、2-ターシャリーブチルアントラキノン、1,2-ベンズアンスラキノン、1,2-ナフトキノン、などが挙げられる。これらは、塩基発生剤との組み合わせによって、特に優れた効果を発揮する為、塩基発生剤の構造によって最適な増感作用を示す増感剤が適宜選択される。本発明に係る樹脂組成物に加工特性や各種機能性を付与するために、その他に様々な有機又は無機の低分子又は高分子化合物を配合してもよい。例えば、染料、界面活性剤、レベリング剤、可塑剤、微粒子等を用いることができる。微粒子には、ポリスチレン、ポリテトラフルオロエチレン等の有機微粒子、コロイダルシリカ、カーボン、層状珪酸塩等の無機微粒子等が含まれ、それらは多孔質や中空構造であってもよい。また、その機能又は形態としては顔料、フィラー、繊維等がある。本発明に係る感光性樹脂組成物において、前記高分子前駆体固形分は、得られるパターンの膜物性、特に膜強度や耐熱性の点から、感光性樹脂組成物の固形分全体に対し、30重量以上、50重量以上含有することが好ましい。前記化学式1で表される塩基発生剤は、感光性樹脂組成物に含まれる高分子前駆体の固形分に対し、通常、0.1~95重量、好ましくは0.5~60重量の範囲内で含有させる。0.1重量未満であると露光部と未露光部の溶解性コントラストを十分に大きくできない恐れがあり、95重量を超えると最終的に得られる樹脂硬化物の特性が最終生成物に反映されにくい。なお、塩基発生剤は、1種単独で用いても良いし、2種以上混合して用いても良い。エポキシ系化合物と組み合わせる場合など、硬化剤として用いられる場合には、硬化の程度にもよるが通常、0.1~95重量、好ましくは0.5~60重量の範囲内で含有させる。一方、硬化促進剤として用いられる場合には、少量の添加で硬化が可能となり、前記化学式1で表される塩基発生剤は、感光性樹脂組成物に含まれる高分子前駆体の固形分に対し、通常、0.1~30重量、好ましくは0.5~20重量の範囲内で含有させることが好ましい。なお、感光性樹脂組成物の固形分とは、溶剤以外の全成分であり、液状のモノマー成分も固形分に含まれる。また、その他の溶剤以外の任意成分の配合割合は、感光性樹脂組成物の固形分全体に対し、0.1重量~95重量の範囲が好ましい。0.1重量未満だと、添加物を添加した効果が発揮されにくく、95重量を超えると、最終的に得られる樹脂硬化物の特性が最終生成物に反映されにくい。本発明に係る感光性樹脂組成物は、さまざまなコーティングプロセスや成形プロセスに用いられて、フィルムや3次元的形状の成形物を作製することができる。本発明の感光性樹脂組成物の一実施形態としてポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体を高分子前駆体として用いた場合、得られるポリイミド及びポリベンゾオキサゾールは、耐熱性、寸法安定性、絶縁性等の特性を確保する点から、当該ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールの窒素中で測定した5重量減少温度は、250°C以上が好ましく、300°C以上がさらに好ましい。特に、はんだリフローの工程を通るような電子部品等の用途に用いる場合は、5重量減少温度が300°C以下であると、はんだリフローの工程で発生した分解ガスにより気泡等の不具合が発生する恐れがある。ここで、5重量減少温度とは、熱重量分析装置を用いて重量減少を測定した時に、サンプルの重量が初期重量から5減少した時点すなわち、サンプル重量が初期の95となった時点の温度である。同様に10重量減少温度とはサンプル重量が初期重量から10減少した時点の温度である。本発明の感光性樹脂組成物から得られるポリイミド及びポリベンゾオキサゾールのガラス転移温度は、耐熱性の観点からは高ければ高いほど良いが、光導波路のように熱成形プロセスが考えられる用途においては、120°C~450°C程度のガラス転移温度を示すことが好ましく、200°C~380°C程度のガラス転移温度を示すことがさらに好ましい。ここで本発明におけるガラス転移温度は、感光性樹脂組成物から得られるポリイミド及びポリベンゾオキサゾールをフィルム形状にすることが出来る場合には、動的粘弾性測定によって、tanδtanδ=損失弾性率E/貯蔵弾性率E’のピーク温度から求められる。動的粘弾性測定としては、例えば、粘弾性測定装置SolidAnalyzerRSAIIRheometricScientific社製によって、周波数3Hz、昇温速度5°C/minにより行うことができる。感光性樹脂組成物から得られるポリイミド及びポリベンゾオキサゾールをフィルム形状にできない場合には、示差熱分析DTAのベースラインの変曲点の温度で判断する。本発明の感光性樹脂組成物から得られるポリイミド及びポリベンゾオキサゾールの寸法安定性の観点から、線熱膨張係数は60ppm以下が好ましく、40ppm以下がさらに好ましい。半導体素子等の製造プロセスにおいてシリコンウェハ上に膜を形成する場合には、密着性、基板のそりの観点から20ppm以下がさらに好ましい。本発明における線熱膨張係数とは、本発明で得られる感光性樹脂組成物から得られるポリイミド及びポリベンゾオキサゾールのフィルムの熱機械分析装置TMAによって求めることができる。熱機械分析装置例えば、ThermoPlusTMA8310株リガク製によって、昇温速度を10°C/min、評価サンプルの断面積当たりの加重が同じになるように引張り加重を1g/25,000μm2として得られる。以上に述べたように、本発明によれば、高分子前駆体に上記化学式1で表される塩基発生剤を混合するだけという簡便な手法で感光性樹脂組成物を得ることができることから、コストパフォーマンスに優れる。化学式1で表される塩基発生剤を構成する芳香族成分含有カルボン酸、並びに、アミンは安価に入手することが可能で感光性樹脂組成物としての価格も抑えられる。本発明に係る感光性樹脂組成物は、上記化学式1で表される塩基発生剤により、多種多様な高分子前駆体の最終生成物への反応促進に適用することができ、最終的に得られる高分子の構造を広範囲から選択することができる。さらに、化学式1で表される塩基発生剤は、塩基の発生時に環化し、フェノール性水酸基を消失するため、塩基性溶液のような現像液への溶解性が変化し、高分子前駆体がポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体等の場合に、感光性樹脂組成物の溶解性の低下を補助し、露光部と未露光部での溶解性コントラストの向上に寄与する。また、電磁波の照射により発生したアミンなどの塩基性物質の触媒効果により、例えばポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体から最終生成物へのイミド化などの環化等の反応に要する処理温度を低減できる為、プロセスへの負荷や製品への熱によるダメージを低減することが可能である。さらに、電磁波の照射と加熱により塩基を発生する本発明の塩基発生剤は、高分子前駆体から最終生成物を得る工程に加熱工程が含まれる場合、当該加熱工程を利用できるため、電磁波の照射量を低減することが可能であり、工程の有効利用も可能である。本発明に係る感光性樹脂組成物は、本発明に係る感光性樹脂組成物は、印刷インキ、塗料、シール剤、接着剤、電子材料、光回路部品、成形材料、レジスト材料、建築材料、光造形、光学部材等、樹脂材料が用いられる公知の全ての分野、製品に利用できる。塗料、シール剤、接着剤のように、全面露光して用いる用途にも、永久膜や剥離膜などパターンを形成する用途にも、いずれにも好適に用いることができる。本発明に係る感光性樹脂組成物は、耐熱性、寸法安定性、絶縁性等の特性が有効とされる広範な分野、製品、例えば、塗料、印刷インキ、シール剤、又は接着剤、或いは、表示装置、半導体装置、電子部品、微小電気機械システムMicroElectroMechanicalSystemMEMS、光学部材又は建築材料の形成材料として好適に用いられる。例えば具体的には、電子部品の形成材料としては、封止材料、層形成材料として、プリント配線基板、層間絶縁膜、配線被覆膜等に用いることができる。また、表示装置の形成材料としては、層形成材料や画像形成材料として、カラーフィルター、フレキシブルディスプレイ用フィルム、レジスト材料、配向膜等に用いることができる。また、半導体装置の形成材料としては、レジスト材料、バッファーコート膜のような層形成材料等に用いることができる。また、光学部品の形成材料としては、光学材料や層形成材料として、ホログラム、光導波路、光回路、光回路部品、反射防止膜等に用いることができる。また、建築材料としては、塗料、コーティング剤等に用いることができる。また、光造形物の材料としても用いることができる。印刷物、塗料、シール剤、接着剤、表示装置、半導体装置、電子部品、微小電気機械システム、光造形物、光学部材又は建築材料、いずれかの物品が提供される。上記の様な特徴を有することから、本発明に係る感光性樹脂組成物は、パターン形成用材料としても用いることが可能である。特に、ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体を含有する感光性樹脂組成物をパターン形成用材料レジストとして用いた場合、それによって形成されたパターンは、ポリイミド又はポリベンゾオキサゾールからなる永久膜として耐熱性や絶縁性を付与する成分として機能し、例えば、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、電子部品、半導体装置、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、その他の光学部材又は電子部材を形成するのに適している。<パターン形成方法>本発明に係るパターン形成方法は、前記本発明に係る感光性樹脂組成物からなる塗膜又は成形体を形成し、当該塗膜又は成形体を、所定パターン状に電磁波を照射し、照射後又は照射と同時に加熱し、前記照射部位の溶解性を変化させた後、現像することを特徴とする。本発明に係る感光性樹脂組成物を何らかの支持体上に塗布するなどして塗膜を形成したり、適した成型方法で成形体を形成し、当該塗膜又は成形体を、所定のパターン状に電磁波を照射し、照射又は照射と同時に加熱することにより、露光部においてのみ、上記化学式1で表される塩基発生剤が異性化及び環化して塩基性物質が生成する。塩基性物質は、露光部の高分子前駆体の最終生成物への反応を促進する触媒として作用する。ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体のように、塩基の触媒作用によって熱硬化温度が低下する高分子前駆体を用いる場合には、先ず、そのような高分子前駆体、及び前記化学式1で表される塩基発生剤を組み合わせた感光性樹脂組成物の塗膜又は成形体上のパターンを残したい部分を露光する。露光後又は露光と同時に加熱すると、露光部には、塩基性物質が発生し、その部分の熱硬化温度が選択的に低下する。露光後又は露光と同時に、露光部は熱硬化するが未露光部は熱硬化しない処理温度で加熱し、露光部のみ硬化させる。塩基性物質を発生させる加熱工程と、露光部のみ硬化させる反応を行うための加熱工程後述の露光後ベイクは、同一の工程としても良いし、別の工程にしても良い。次に、所定の現像液有機溶媒や塩基性水溶液等で未露光部を溶解して熱硬化物からなるパターンを形成する。このパターンを、更に必要に応じ加熱して熱硬化を完結させる。以上の工程によって、通常ネガ型の所望の2次元樹脂パターン一般的な平面パターン又は3次元樹脂パターン立体的に成形された形状が得られる。また、エポキシ基やシアネート基を有する化合物及び高分子のように、塩基の触媒作用によって、反応が開始するような高分子前駆体を用いる場合においても、先ず、そのような高分子前駆体、及び前記式1で表される塩基発生剤を組み合わせた感光性樹脂組成物の塗膜又は成形体上のパターンを残したい部分を露光する。露光後又は露光と同時に加熱すると、露光部には塩基性物質が発生し、その部分のエポキシ基やシアネート基を有する化合物及び高分子の反応が開始され、露光部のみ硬化する。塩基性物質を発生させる加熱工程と、露光部のみ硬化させる反応を行うための加熱工程後述の露光後ベイクは、同一の工程としても良いし、別の工程にしても良い。次に、所定の現像液有機溶媒や塩基性水溶液等で未露光部を溶解して熱硬化物からなるパターンを形成する。このパターンを、更に必要に応じ加熱して熱硬化を完結させる。以上の工程によって、通常ネガ型の所望の2次元樹脂パターン一般的な平面パターン又は3次元樹脂パターン立体的に成形された形状が得られる。本発明の感光性樹脂組成物は、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、N-アセチル-2-ピロリドン、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラメチレンスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタノン、γ-ブチロラクトン、α-アセチル-γ-ブチロラクトン等の極性溶媒に溶解後、浸漬法、スプレー法、スクリーン印刷法、スピンコート法などによって、シリコンウエハ、金属基板、セラミック基板などの基材表面に塗布し、加熱して溶剤の大部分を除くことにより、基材表面に粘着性のない塗膜を与えることができる。塗膜の厚みには特に制限はないが、0.5~50μmであることが好ましく、感度および現像速度面から1.0~20μmであることがより望ましい。塗布した塗膜の乾燥条件としては、例えば、80~100°C、1分~20分が挙げられる。この塗膜に、所定のパターンを有するマスクを通して、電磁波を照射しパターン状に露光後を行い、加熱後、膜の未露光部分を、適切な現像液で現像して除去することにより、所望のパターン化された膜を得ることができる。露光工程に用いられる露光方法や露光装置は特に限定されることなく、密着露光でも間接露光でも良く、g線ステッパ、i線ステッパ、超高圧水銀灯を用いるコンタクト/プロキシミティ露光機、ミラープロジェクション露光機、又はその他の紫外線、可視光線、X線、電子線などを照射可能な投影機や線源を使用することができる。露光後又は露光と同時に加熱塩基を発生させるための加熱温度としては、組み合わせる高分子前駆体や目的により適宜選択され、特に限定されない。感光性樹脂組成物が置かれた環境の温度例えば、室温による加熱であっても良く、その場合、徐々に塩基が発生する。また、電磁波の照射時に副生される熱によっても塩基が発生するため、電磁波の照射時に副生される熱により実質的に加熱が同時に行われても良い。反応速度を高くし、効率よくアミンを発生させる点から、塩基を発生させるための加熱温度としては、30°C以上であることが好ましく、更に好ましくは60°C以上、より更に好ましくは100°C以上、特に好ましくは120°C以上である。しかしながら、組み合わせて用いられる高分子前駆体によっては、例えば60°C以上の加熱で未露光部についても硬化するものもあるので、好適な加熱温度は、上記に限定されない。例えば、エポキシ樹脂の場合、好ましい熱処理の温度の範囲は、エポキシ樹脂の種類により適宜選択されるが、通常100°C~150°C程度である。本発明に係る感光性樹脂組成物の塗膜は、架橋反応を物理的に促進するためや、露光部のみ硬化させる反応を行うために、露光工程と現像工程の間に、露光後ベイクPostExposureBake:PEBを行うことが好ましい。当該PEBは、電磁波の照射及び加熱により発生した塩基の作用により、塩基が存在する部位と、未照射で塩基が存在しない部位とでイミド化率等の反応率が異なるようになる温度で行うことが好ましい。例えば、イミド化の場合、好ましい熱処理の温度の範囲は、通常60°C~200°C程度であり、より好ましくは120°C~200°Cである。熱処理温度が60°Cより低いと、イミド化の効率が悪く、現実的なプロセス条件で露光部、未露光部のイミド化率の差を生ずることが難しくなる。一方、熱処理温度が200°Cを超えると、アミンが存在していない未露光部でもイミド化が進行する恐れがあり、露光部と未露光部の溶解性の差を生じ難い。熱処理は、公知の方法であればどの方法でもよく、具体的に例示すると、空気、又は窒素雰囲気下の循環オーブン、又はホットプレートによる加熱等が挙げられるが、特に限定されない。本発明において、電磁波の照射と加熱により塩基発生剤から塩基が生ずるが、この塩基を発生させるための加熱とPEB工程は同一の工程としてもよいし、別の工程としてもよい。現像液現像工程に用いられる現像液としては、前記照射部位の溶解性が変化する溶剤を現像液として用いれば、特に限定されず、塩基性水溶液、有機溶剤など、用いられる高分子前駆体に合わせて適宜選択することが可能である。塩基性水溶液としては、特に限定されないが、例えば、濃度が、0.01重量~10重量、好ましくは、0.05重量~5重量のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドTMAH水溶液の他、ジエタノールアミン、ジエチルアミノエタノール、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、トリエチルアミン、ジエチルアミン、メチルアミン、ジメチルアミン、酢酸ジメチルアミノエチル、ジメチルアミノエタノール、ジメチルアミノエチルメタクリレート、シクロヘキシルアミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムなどの水溶液等が挙げられる。溶質は、1種類でも2種類以上でも良く、全体の重量の50以上、さらに好ましくは70以上、水が含まれていれば有機溶媒等を含んでいても良い。また、有機溶剤としては、特に限定されないが、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、γ-ブチロラクロン、ジメチルアクリルアミドなどの極性溶媒、メタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類、酢酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル類、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソブチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、その他テトラヒドロフラン、クロロホルム、アセトニトリルなどを、単独であるいは2種類以上を組み合わせて添加してもよい。現像後は水または貧溶媒にて洗浄を行う。この場合においてもエタノール、イソプロピルアルコールなどのアルコール類、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル類などを水に加えても良い。現像後は必要に応じて水または貧溶媒でリンスを行い、80~100°Cで乾燥しパターンを安定なものとする。このレリーフパターンを、耐熱性のあるものとするために180~500°C、好ましくは200~350°Cの温度で数十分から数時間加熱することによりパターン化された高耐熱性樹脂層が形成される。<化学式2で表され、且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生する塩基発生剤>本発明に係る塩基発生剤は、下記化学式2で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする。化学式2中、R11及びR12は、それぞれ、独立に水素又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R11及びR12は、それらが結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R11及びR12のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。R13、R14、R15及びR16は、それぞれ、水素、ハロゲン又は1価の有機基であり、同一であっても異なっていても良い。R13、R14、R15及びR16は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していても良い。ただし、R13、R14、R15及びR16のうち、少なくとも1つは1価の有機基である。前記化学式2で表される塩基発生剤は、上記特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により、塩基性物質であるアミンを発生する。本発明に係る塩基発生剤は、上記特定構造を有するため、電磁波が照射されることにより、化学式2中の-CH=CH-C=O-部分がシス体へと異性化し、さらに加熱によって環化し、塩基であるアミン、NHR11R12を生成する。アミンの触媒作用によって、ポリイミド前駆体のイミド化反応が開始される温度を下げることができる。化学式2で表される塩基発生剤は、環化することで、フェノール性水酸基を消失し、溶解性が変化し、塩基性水溶液等の場合には溶解性が低下する。これにより、化学式2で表される塩基発生剤を含む感光性樹脂組成物は、当該組成物に含まれる高分子前駆体がポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体である場合、当該前駆体の最終生成物への反応による溶解性の低下を更に補助する機能を有し、露光部と未露光部の溶解性コントラストを大きくすることが可能となる。化学式2におけるR11及びR12としては、前記化学式1で表される塩基発生剤で挙げたR1及びR2と同様のものとすることができる。化学式2におけるR13、R14、R15及びR16としては、前記化学式1で表される塩基発生剤で挙げたR3、R4、R5及びR6と同様のものとすることができる。ただし、R13~R16のうち、少なくとも1つはハロゲン又は1価の有機基である。化学式2で表される構造は、トランス体及び/又はシス体であり、トランス体のみを用いても良いし、トランス体とシス体の混合物を用いても良いが、溶解性コントラストを高められる点から、トランス体の割合が90~100であることが好ましく、トランス体のみを用いることがより好ましい。前記化学式2で表される塩基発生剤は、365nm、405nm、又は436nmの電磁波の波長のうち少なくとも一つの波長に吸収を有することが適用可能な高分子前駆体の種類がさらに増える点から好ましい。前記化学式2で表される塩基発生剤は、そのモル吸光係数が、電磁波の波長365nmにおいて100以上、又は405nmにおいて1以上であることが、適用可能な高分子前駆体の種類がさらに増える点から好ましい。化学式2で表される塩基発生剤は、少なくとも1つの有機基を有し、当該有機基を適宜選択することにより、365nmの他、405nmや436nm等の波長に吸収を持たせることも可能であり、感光性樹脂組成物とした際に適用可能な高分子前駆体の種類及び感度に優れる特徴を有する。R13、R14、R15及びR16としては、炭素数1~10のアルキル基、炭素数4~13のシクロアルキル基、炭素数4~13のシクロアルケニル基、炭素数7~16のアリールオキシアルキル基-ROAr基、炭素数7~20のアラルキル基、シアノ基をもつ炭素数2~11のアルキル基、水酸基をもつ炭素数1~10のアルキル基、炭素数1~10のアルコキシ基、炭素数2~11のアミド基、炭素数1~10のアルキルチオ基-SR基、炭素数1~10のアシル基、炭素数2~11のエステル基、炭素数6~20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換した炭素数6~20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換したベンジル基、シアノ基、及びメチルチオ基-SCH3等が好ましい。また、上記のアルキル部分は直鎖でも分岐でも環状でも良い。上記本発明に係る化学式1で表される塩基発生剤は、従来用いられていた光塩基発生剤と比べて優れた感度を有するため、種々に応用が可能である。先に詳細に説明した、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体と組み合わせることに限られず、酸-塩基指示薬等の塩基により構造や物性が変化する化合物と組み合わせて、種々の感光性組成物を形成することができる。このような感光性組成物は、上述したような塗料、印刷インキ、封止材、又は接着剤、或いは、画像形成媒体、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、半導体装置、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム、光学部材又は建築材料の形成材料として用いることができる。例えば、光塩基発生剤と酸-塩基指示薬とを少なくとも含む画像形成層を、基材上に被覆又は基材に含浸させてなる画像形成媒体において、画像形成層を露光すると、前記光塩基発生剤が、酸-塩基指示薬と反応する塩基を生成し、画像が形成されることを特徴とする画像形成媒体などにも応用することができる。以下、本発明について実施例を示して具体的に説明する。これらの記載により本発明を制限するものではない。尚、実施例中、部は特に特定しない限り重量部を表す。また、以下に示す装置を用いて各測定、実験を行った。1HNMR測定:日本電子株製、JEOLJNM-LA400WB手動露光:大日本科研製、MA-1100吸光度測定:株島津製作所製、紫外可視分光光度計UV-25505重量減少温度測定:株島津製作所製、示差熱熱重量同時測定装置DTG-60赤外線吸収スペクトル測定:バリアンテクノロジーズジャパンリミテッド社製、FTS7000塗膜の加熱:アズワン株製、HOTPLATEEC-1200本実施例中、ホットプレートと記載することがある合成例1:ポリイミド前駆体の合成ジ4-アミノフェニルエーテル10.0g50mmolを300mLの3つ口フラスコに投入し、105.4mLの脱水されたN,N-ジメチルアセトアミドDMAcに溶解させ窒素気流下、氷浴で冷却しながら撹拌した。そこへ、少しずつ3,3’,4,4’‐ビフェニルテトラカルボン酸3,4:3’,4’-二無水物14.7g50mmolを添加し、添加終了後、氷浴中で5時間撹拌し、その溶液を、脱水されたジエチルエーテルによって再沈殿し、その沈殿物を室温で減圧下、17時間乾燥し、重量平均分子量10,000のポリアミド酸ポリイミド前駆体1を白色固体として定量的に得た。冷却管をつけた100mlのフラスコにフェニルトリエトキシシラン5g、トリエトキシシラン10g、アンモニア水0.05g、水5ml及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50mlを加えた。半円形型のメカニカルスターラーを用いて溶液を撹拌し、マントルヒーターで70°Cで6時間反応させた。次いでエバポレーターを用いて水との縮合反応で生成したエタノールと残留水とを除去した。反応終了後、フラスコを室温になるまで放置し、アルコキシシランの縮合物アルコキシシラン縮合物1を調製した。製造例1:塩基発生剤1の合成100mLフラスコ中、炭酸カリウム2.00gをメタノール15mLに加えた。50mLフラスコ中、エトキシカルボニルメチルトリフェニルホスホニウムブロミド東京化成工業株製4.29g10mmol、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンズアルデヒド東京化成工業株製1.52g10mmolをメタノール10mLに溶解し、よく撹拌した炭酸カリウム溶液にゆっくり滴下した。3時間撹拌した後、薄層クロマトグラフィーにより反応の終了を確認したうえでろ過を行い炭酸カリウムを除き、減圧濃縮した。濃縮後、1Nの水酸化ナトリウム水溶液を50mL加え1時間撹拌した。反応終了後、沈殿物をろ過により除き、濃塩酸を滴下し反応液を酸性にした。沈殿物をろ過により集め、少量のクロロホルムにより洗浄することで2-ヒドロキシ-4-メトキシケイ皮酸を1.46g7.52mmol得た。窒素雰囲気下、300mL三口フラスコ中、2-ヒドロキシ-4-メトキシケイ皮酸1.01g5.2mmolを脱水テトラヒドロキシフラン40mLに溶解し、氷浴下で1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩東京化成工業株製0.99g5.2mmolを加えた。30分後、1-ヒドロキシベンゾトリアゾール東京化成工業株製0.79g5.2mmolをゆっくり滴下した。室温に戻し30分程度撹拌した後、シクロヘキシルアミン関東化学株製0.5ml4.2mmolを加えた。10分後、4-ジメチルアミノピリジン0.10g0.86mmolを加えたのち終夜で攪拌した。反応終了後、反応溶液を濃縮し、水に溶解した。酢酸エチルで抽出した後、炭酸水素水溶液、1N塩酸、飽和食塩水で洗浄し、硫酸ナトリウムにて乾燥を行った。シリカゲルカラムクマトグラフィー展開溶媒:クロロホルム/メタノール100/1~10/1により精製することにより下記化学式7で表される塩基発生剤1を350mg得た。製造例2:塩基発生剤2の合成100mLフラスコ中、炭酸カリウム2.00gをメタノール15mLに加えた。50mLフラスコ中、エトキシカルボニルメチルホスホニウムブロミド2.67g6.2mmol、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンズアルデヒド945mg6.2mmolをメタノール10mLに溶解し、よく撹拌した炭酸カリウム溶液にゆっくり滴下した。3時間撹拌した後、TLCにより反応の終了を確認したうえでろ過を行い炭酸カリウムを除き、減圧濃縮した。濃縮後、1Nの水酸化ナトリウム水溶液を50mL加え1時間撹拌した。反応終了後、ろ過によりトリフェニルホスフィンオキシドを除いた後、濃塩酸を滴下し反応液を酸性にした。沈殿物をろ過により集め、少量のクロロホルムにより洗浄することで2-ヒドロキシ-4-メトキシケイ皮酸を1.00g得た。続いて、100mL三口フラスコ中、2-ヒドロキシ-4-メトキシケイ皮酸500mg3.0mmolを脱水テトラヒドロキシフラン40mLに溶解し、1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩EDC0.586g3.0mmolを加えた。30分後、ピペリジン0.3ml3.0mmolを加えた。反応終了後、反応溶液を濃縮し、水に溶解した。ジエチルエーテルで抽出した後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、1N塩酸、飽和食塩水で洗浄した。その後、シリカゲルカラムクマトグラフィーにより精製することにより、下記化学式14で表される塩基発生剤2を64mg得た。製造例3:塩基発生剤3の合成製造例2において、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンズアルデヒド945mg6.2mmolを用いる代わりに、3,5-ジ-tert-ブチルサリチルアルデヒド1.45g6.2mmolを用いた以外は、製造例2と同様にして、2-ヒドロキシ-4-メトキシケイ皮酸の代わりに、3,5-ジ-tert-ブチル-2-ヒドロキシケイ皮酸を120g得た。続いて、100mL三口フラスコ中、3,5-ジ-tert-ブチル-2-ヒドロキシケイ皮酸500mgを脱水テトラヒドロキシフラン20mLに溶解し、EDC0.416g22mmolを加えた。30分後、ピペリジン0.21mL2.2mmolを加え室温で一晩攪拌した。反応液を濃縮し、クロロホルムで抽出、希塩酸、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、食塩水で洗浄し、ろ過することにより、下記化学式15で表される塩基発生剤3を320mg得た。製造例4:塩基発生剤4の合成製造例2において、2-ヒドロキシ-4-メトキシベンズアルデヒド945mg6.2mmolを用いる代わりに、2-ヒドロキシ-1-ナフトアルデヒド1.07g6.2mmolを用いた以外は、製造例2と同様にして、2-ヒドロキシ-4-メトキシケイ皮酸の代わりに、3-2-ヒドロキシ-1-ナフタレニル-アクリル酸を1.20g得た。続いて、100mL三口フラスコ中、3-2-ヒドロキシ-1-ナフタレニル-アクリル酸1.00g4.67mmolを脱水テトラヒドロキシフラン20mLに溶解し、EDC1.07g5.60mmolを加えた。30分後、シクロヘキシルアミン0.64mL5.60mmolを加え室温で一晩攪拌した。反応液を濃縮し、クロロホルムで抽出、希塩酸、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、食塩水で洗浄し、ろ過することにより、下記化学式16で表される塩基発生剤4を520mg得た。製造例5:塩基発生剤5の合成製造例4と同様にして、3-2-ヒドロキシ-1-ナフタレニル-アクリル酸を1.20g得た。続いて、製造例4において、シクロヘキシルアミン0.64mL5.60mmolを用いる代わりに、ピペリジン065mlを用いる以外は、製造例4と同様にして、下記化学式17で表される塩基発生剤5を480mg得た。製造例6:塩基発生剤6の合成製造例4と同様にして、3-2-ヒドロキシ-1-ナフタレニル-アクリル酸を1.20g得た。続いて、製造例4において、シクロヘキシルアミン0.64mL5.60mmolを用いる代わりに、ジプロピルアミン092mlを用いる以外は、製造例4と同様にして、下記化学式18で表される塩基発生剤6を620mg得た。参考製造例1:参考塩基発生剤1の合成窒素雰囲気下、300mL三口フラスコ中、o-クマリン酸東京化成工業株製1.00g6.1mmolを脱水テトラヒドロキシフラン100mLに溶解し、1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩東京化成工業株製1.17g6.1mmol,1.0eqを加えた。氷浴下で、シクロヘキシルアミン関東化学株製0.7ml6.1mmol,1.0eqを加えた後、室温で3日間攪拌した。反応液を食塩水で洗浄し、硫酸ナトリウムにて乾燥を行った。シリカゲルカラムクマトグラフィー展開溶媒:クロロホルム/メタノール1/0~20/1により精製することにより、下記化学式6で表される参考塩基発生剤1を350mg得た。参考製造例2:参考塩基発生剤2の合成窒素雰囲気下、100mL三口フラスコ中、o-クマリン酸東京化成工業株製0.50g3.1mmolを脱水テトラヒドロキシフラン40mLに溶解し、1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩東京化成工業株製0.59g3.1mmol,1.0eqを加えた。氷浴下で、ピペリジン東京化成株製0.3ml3.1mmol,1.0eqを加えた後、室温で一晩攪拌した。反応液を濃縮し、クロロホルムで抽出、希塩酸、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、食塩水で洗浄し、ろ過することにより、下記化学式8で表される参考塩基発生剤2を450mg得た。参考製造例3:参考塩基発生剤3の合成窒素雰囲気下、100mL三口フラスコ中、o-クマリン酸東京化成工業株製1.00g6.1mmolを脱水テトラヒドロキシフラン40mLに溶解し、1-エチル-3-3-ジメチルアミノプロピルカルボジイミド塩酸塩東京化成工業株製1.4g7.3mmol,1.2eqを加えた。氷浴下で、ジプロピルアミン東京化成株製1.0ml7.3mmol,1.2eqを加えた後、室温で一晩攪拌した。反応液を濃縮し、クロロホルムで抽出、希塩酸、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、食塩水で洗浄し、ろ過することにより、下記化学式9で表される参考塩基発生剤3を171mg得た。参考製造例4:参考塩基発生剤4の合成参考製造例3において、ジプロピルアミン東京化成株製1.0ml7.3mmol,1.2eqを用いる代わりに、ピロリジン東京化成株製0.6ml7.3mmol,1.2eqを用いた以外は、参考製造例3と同様にして、下記化学式10で表される参考塩基発生剤4を360mg得た。参考製造例5:塩基発生剤5の合成参考製造例3において、ジプロピルアミン東京化成株製1.0ml7.3mmol,1.2eqを用いる代わりに、ヘキサメチレンイミン東京化成株製0.82ml7.3mmol,1.2eqを用いた以外は、参考製造例3と同様にして、下記化学式11で表される参考塩基発生剤5を379mg得た。参考製造例6:参考塩基発生剤6の合成参考製造例3において、ジプロピルアミン東京化成株製1.0ml7.3mmol,1.2eqを用いる代わりに、ジエチルアミン東京化成株製1.0ml7.3mmol,1.2eqを用いた以外は、参考製造例3と同様にして、下記化学式12で表される参考塩基発生剤6を498mg得た。参考製造例7:参考塩基発生剤7の合成100mLフラスコ中、2-ヒドロキシ-桂皮酸500mg3.0mmolをジオキサン20mlに溶解させ、塩化チオニル200μlをゆっくり滴下した。10分撹拌した後、2,6-ジメチルピペリジン0.9ml6.6mmol、2.2eqを加えた。反応終了後、反応溶液を濃縮し、水に溶解した。クロロホルムで抽出した後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、1N塩酸、飽和食塩水で洗浄したのちろ過することにより、下記化学式13で表される参考塩基発生剤7を64mg得た。比較製造例1:比較塩基発生剤1の合成また、比較塩基発生剤1として、特開2006-189591号公報の記載に従い、MacromoleculesA.Mochizuki,Vol.28,No.1,1995に記載の方法により、下記化学式19で表される[4,5-ジメトキシ-2-ニトロベンジルオキシ]カルボニル-2,6-ジメチルピペリジン以後、DNCDPと略称する場合があるを合成した。<塩基発生剤の評価>合成した塩基発生剤1~6、参考塩基発生剤1~7、及び比較塩基発生剤1について、以下の測定を行い、評価した。モル吸光係数及び5重量減少温度の結果を表1に示す。塩基発生能の結果を表2に示す。なお、表2において、塩基発生率とは、用いた塩基発生剤のモル数に対する発生した塩基のモル数の百分率であり、塩基発生剤1~6、参考塩基発生剤1~7、の塩基発生率は、光照射と加熱を合せた割合である。1モル吸光係数塩基発生剤1~6、参考塩基発生剤1~7、及び比較塩基発生剤1をそれぞれ、アセトニトリルに1×10-4mol/Lの濃度で溶解し、石英セル光路長10mmに溶液を満たし、吸光度を測定した。25重量減少温度塩基発生剤1~6、参考塩基発生剤1~7、及び比較塩基発生剤1の耐熱性を評価するために、それぞれについて、試料重量3.4mg、昇温速度10°C/minの条件で5重量減少温度を測定した。3塩基発生能塩基発生剤1~6、参考塩基発生剤1~7についてそれぞれ、1mgの試料を3つ用意し、それぞれを石英製NMR管中で重ジメチルスルホキシドに溶解させた。i線を20透過するフィルタと高圧水銀灯を用いて、1本には2J/cm2で光照射を行い、他の1本には20J/cm2で光照射を行った。残り1本には光照射を行わなかった。各サンプルの1HNMRを測定し、異性化の割合を求めた。塩基発生剤1は2J/cm2照射すると6.5異性化し、20J/cm2照射すると32.9異性化した。異性化させたサンプルを160°Cに加熱すると、異性化した化合物の98が環化し、それにともない塩基が発生し、表2に示す塩基発生率となった。塩基発生剤2~6、参考塩基発生剤1~7についても同様にして、塩基発生率を求めた。結果は、表2にそれぞれ示す。塩基発生剤5及び6については塩基発生能が高く、20J/cm2照射するのではなく、6J/cm2照射した。比較塩基発生剤1では2J/cm2の照射では塩基の発生が確認されなかった。20J/cm2照射すると4.8の塩基を発生した。これらのことから、本発明の塩基発生剤1~6は、比較塩基発生剤1と比較し、モル吸光係数は小さいが、効率良く塩基を発生できることがわかった。参考例1:参考感光性樹脂組成物1の調製下記に示す組成の参考感光性樹脂組成物1を調製した。ポリイミド前駆体1:8重量部参考塩基発生剤1:2重量部溶剤DMAcジメチルアセトアミド:90重量部塗膜の作成参考感光性樹脂組成物1を、3つ用意し、それぞれをクロムめっきされたガラス上に最終膜厚1μmになるようにスピンコートし、100°Cのホットプレート上で5分間乾燥させて、塗膜を3枚得た。1枚の塗膜にはi線換算で、2J/cm2で全面露光を行った。別の1枚にはi線換算で、10J/cm2でパターン状に露光を行った。残り1枚の塗膜は露光を行わなかった。参考例2:参考感光性樹脂組成物2の調製参考塩基発生剤2を用いて、下記に示す組成の参考感光性樹脂組成物2を調製した。ポリイミド前駆体1:85重量部参考塩基発生剤2:15重量部溶剤N-メチル-2-ピロリドン:733重量部実施例1:感光性樹脂組成物1の調製参考例2において参考塩基発生剤2の代わりに、塩基発生剤2を用いた以外は、参考例2と同様にして、感光性樹脂組成物1を調製した。比較例1:比較感光性樹脂組成物1の調製参考例2において参考塩基発生剤2の代わりに、比較塩基発生剤1を用いた以外は、参考例2と同様にして、比較感光性樹脂組成物1を調製した。塗膜の作成感光性樹脂組成物1、参考感光性樹脂組成物2、及び比較感光性樹脂組成物1を、それぞれ、クロムめっきされたガラス上に最終膜厚4μmになるようにスピンコートし、80°Cのホットプレート上で15分間乾燥させて、各塗膜をそれぞれ5枚、8枚、及び6枚得た。1枚を除いて、手動露光機を用いて高圧水銀灯により全面露光を行った。参考感光性樹脂組成物2の4枚の塗膜に対しては、0、500、700、4000mJ/cm2でそれぞれ全面露光を行った。感光性樹脂組成物1の7枚の塗膜に対しては、0、10、30、50、100、300、1000mJ/cm2でそれぞれ全面露光を行った。比較感光性樹脂組成物1の5枚の塗膜に対しては、0、500、1000、2000、4000mJ/cm2でそれぞれ全面露光を行った。残りの1枚は、それぞれパターン状に露光を行った。その後、それぞれの塗膜について、155°Cで10分間加熱した。<感光性樹脂組成物の評価>1熱硬化温度参考感光性樹脂組成物1を用いて作成した全面露光した塗膜及び未露光の塗膜について、それぞれ、室温から5°C/minで350°Cまで加熱しながら赤外線吸収スペクトルを測定した。イミド化の進行状況を確認する為に、測定前の前駆体由来の1605cm-1のピーク強度を基準とし、加熱によるピーク強度の減少量をプロットした結果を図1に示す。図1より、参考例1について、両サンプルのイミド化率の差が160°C付近で最大となることがわかる。また、加熱に伴い、ポリイミド前駆体由来のスペクトルが消失し、ポリイミド由来のピークが現れたことから、ポリイミド前駆体からポリイミドへの反応が進行したことが確認できた。2残膜率感光性樹脂組成物1、参考感光性樹脂組成物2、及び比較感光性樹脂組成物1を用いて作成し、全面露光した塗膜をそれぞれ、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド2.38重量水溶液とイソプロパノールを9:1で混合した溶液に室温で10分間浸漬し、ガラス上の残存膜厚を測定した。結果を、図2に示す。なお、図中の規格化残膜率は、現像後膜厚×100/現像後の最高膜厚とした。UV照射量の増加とともに、残膜率が上昇していることから、UV照射および、加熱によって、塩基発生剤がアミンを発生し、イミド化が進行していることが示された。本発明の感光性樹脂組成物1は50mJ/cm2で規格化膜厚が約1となり、参考感光性樹脂組成物2は500mJ/cm2で規格化膜厚が約1となった。それに対して、比較感光性樹脂組成物1は500mJ/cm2では残膜率は0となり、1000mJ/cm2で規格化膜厚が約1となった。UV照射量の増加とともに、残膜率が上昇していることから、UV照射および、加熱によって、塩基発生剤が塩基を発生し、イミド化が進行していることが示された。本発明の感光性樹脂組成物は、比較感光性樹脂組成物に比べて、少ない露光量でイミド化が進行することが明らかになり、感度が高いことが示された。本発明の感光性樹脂組成物1は特に少ない露光量でイミド化が進行することが明らかになった。3パターン形成能参考感光性樹脂組成物1を用いて作成したパターン状に露光した塗膜について、170°Cのホットプレート上で5分間加熱した後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド2.38重量水溶液とイソプロパノールを9:1で混合した溶液に浸漬した。その結果、露光部が現像液に溶解せず残存したパターンを得ることができた。さらに、それを350°Cで1時間加熱しイミド化を行った。また、感光性樹脂組成物1、参考感光性樹脂組成物2を用いて作成したパターン状に露光した塗膜について、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド2.38重量水溶液とイソプロパノールを9:1で混合した溶液に浸漬した。その結果、露光部が現像液に溶解せず残存したパターンを得ることができた。さらに、それを350°Cで1時間加熱しイミド化を行った。この結果より、本発明の感光性樹脂組成物は、良好なパターンを形成できることが明らかとなった。参考感光性樹脂組成物2は、500mJ/cm2でパターンを形成し、本発明の感光性樹脂組成物1は、100mJ/cm2でパターンを形成した。それに対し、比較感光性樹脂組成物1は、同様に実験を行ったところ、2000mJ/cm2でようやくパターンを形成した。参考例3~4:参考感光性樹脂組成物3~4の調製参考塩基発生剤4又は6をそれぞれ用いて、下記に示す組成の参考感光性樹脂組成物3および4を調製した。エポキシ樹脂jER828ジャパンエポキシレジン社製:15重量部参考塩基発生剤4又は6:15重量部溶剤N-メチル-2-ピロリドン:370重量部参考感光性樹脂組成物3および4を500mgずつ試験官にはかりとったものをそれぞれ2本ずつ用意した。手動露光機を用いて、片方にi線換算で100J/cm2露光した。4本の試験官すべてを160°Cで30分間加熱を行った。加熱後のサンプルをNMR測定したところ、参考感光性樹脂組成物3および4のどちらのサンプルも光照射したサンプルは新しいピークの形成が確認されたが、未照射のものは新しいピークの形成が確認されなかった。参考感光性樹脂組成物3および4を、それぞれ、クロムめっきされたガラス上に最終膜厚0.5μmになるようにスピンコートし、80°Cのホットプレート上で15分間乾燥させて、各感光性樹脂組成物の塗膜を2枚ずつ得た。各感光性樹脂組成物の塗膜の1枚については、手動露光機を用いて高圧水銀灯により10J/cm2全面露光を行った。その後、それぞれの塗膜について、160°Cで30分間加熱した。加熱した塗膜をイソプロパノールとクロロホルムの混合溶液イソプロパノール:クロロホルム=4:1体積比に室温で10分間浸漬したところ、露光後加熱した2枚については上記混合溶液に溶解せず、エポキシ樹脂が硬化したことが明らかになった。一方、露光をせずに加熱した2枚については、上記混合溶液に溶解した。参考例5:参考感光性樹脂組成物5の調製イソシアナート樹脂としてヘキサメチレンジイソシアナート関東化学製100重量部、水酸基を持つ樹脂としてポリテトラヒドロフランアルドリッチ製150重量部、参考塩基発生剤210重量部、テトラヒドロフラン500重量部からなる参考感光性樹脂組成物5を調製した。参考感光性樹脂組成物5をクロムめっきされたガラス上に最終膜厚0.5μmになるようにスピンコートし、60°Cのホットプレート上で5分間乾燥させて、参考感光性樹脂組成物の塗膜を1枚得た。得られた塗膜を、手動露光機を用いて高圧水銀灯により1J/cm2全面露光を行った。その後、120°Cで10分間加熱し、室温まで冷却したところ、低弾性の固形物が得られ、イソシアナート基と水酸基との硬化が進行したことを確認した。参考例6:参考感光性樹脂組成物6の調製アルコキシシラン縮合物1100重量部と、参考塩基発生剤210重量部とを混合した後、溶剤であるテトラヒドロフラン500重量部に溶解させ、参考感光性樹脂組成物6を調製した。参考感光性樹脂組成物6をクロムめっきされたガラス上に最終膜厚0.5μmになるようにスピンコートし、80°Cのホットプレート上で5分間乾燥させて、参考感光性樹脂組成物6の塗膜を2枚得た。各感光性樹脂組成物の塗膜の1枚については、手動露光機を用いて高圧水銀灯により10J/cm2全面露光を行った。その後、露光を行った塗膜と未露光の塗膜のそれぞれについて、120°Cで30分間加熱した。加熱前後のサンプルに対してそれぞれ、赤外線吸収スペクトル測定を行った。その結果、露光を行った塗膜の加熱後のサンプルについては、重合したことを示すSiOSi結合に帰属される1020cm1のピークが出現し、原料を示すSiOCH3に帰属される2850cm1と850cm1のピークは加熱前のサンプルよりも減少した。未露光の塗膜の加熱後のサンプルについても、重合したことを示すSiOSi結合に帰属される1020cm1のピークが出現したが、露光を行った塗膜と比較するとそのピークは小さかった。"