外枠部材と、応力感応部と該応力感応部を挟む2つの固定端部を有する双音叉型圧電振動素子と、を備え、前記外枠部材と前記双音叉型圧電振動素子の圧電基板とは同一の圧電材料により一体的に且つ前記圧電基板の厚さが前記外枠部材より薄く形成し、前記外枠部材の一方の対向する辺に夫々前記双音叉型圧電振動素子の固定端部を連結すると共に、前記外枠部材の他方の対向する辺に夫々溝部を形成し、前記外枠部材の一部が前記溝部より可撓するように形成したことを特徴とする加速度検知ユニット。前記溝部は、前記双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の略中央部で、前記外枠部材の両面又は一方の面に形成したことを特徴とする請求項1に記載の加速度検知ユニット。前記溝部は、前記双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の端部側で、前記外枠部材の両面又は一方の面に形成したことを特徴とする請求項1に記載の加速度検知ユニット。前記溝部は、前記双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の対向する夫々の辺の中央を挟んで両側に2つずつ形成したことを特徴とする加速度検知ユニット。前記溝部の形状がスリット状、又は円弧状であることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の加速度検知ユニット。請求項1乃至5の何れかに記載の加速度検知ユニットを備えたことを特徴とする加速度センサ。しかしながら、特許文献1に開示された加速度計は、双音叉型振動子の力変換器120、122が、支持体108との連結点からプルーフマス106の連結点へと、相反する方向に延び、プッシュプル構造を形成しており、加速度計の構造としては優れているものの、その構造が複雑で製造が難しく、歩留まりに難点があるという問題があった。本発明は上記問題を解決するためになされたもので、エッチング加工により容易に形成できる簡単な構造としたので、歩留まりのよい、低コストの加速度検知ユニット及び加速度センサを提供することにある。本発明は、エッチング加工により簡単な構造で、歩留まりのよい、低コストの加速度検知ユニットを得るため、本発明の加速度検知ユニットは、外枠部材と、応力感応部と該応力感応部を挟む2つの固定端部を有する双音叉型圧電振動素子と、を備え、前記外枠部材と前記双音叉型圧電振動素子の圧電基板とは同一の圧電材料により一体的に且つ前記圧電基板の厚さが前記外枠部材より薄く形成し、前記外枠部材の一方の対向する辺に夫々前記双音叉型圧電振動素子の固定端部を連結すると共に、前記外枠部材の他方の対向する辺に夫々溝部を形成し、前記外枠部材の一部が前記溝部より可撓するように形成したことを特徴とする。上記のように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、双音叉型圧電振動素子と、固定端及び重り部の自由端である外枠部材とを同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にできる効果がある。また、加速度検出軸方向Z軸方向と直交するY軸方向の加速度感度を低く抑える利点もある。また本発明の加速度検知ユニットは、溝部が双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の略中央部で、外枠部材の両面又は一方の面に形成するようにした。このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、双音叉型圧電振動素子と、外枠部材とを同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にできる効果がある。また本発明の加速度検知ユニットは、溝部が双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の端部側で、外枠部材の両面又は一方の面に形成するようにした。このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、加速度検出感度を高める効果がある。また本発明の加速度検知ユニットは、溝部が、双音叉型圧電振動素子の面と平行する外枠部材の対向する夫々の辺の中央を挟んで両側に2つずつ形成するようにした。このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、双音叉型圧電振動素子と、固定端及び重り部の自由端である外枠部材とを同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にできる効果と、加速度検出軸方向Z軸方向と直交するY軸方向の加速度感度を低く抑える利点もある。また本発明の加速度検知ユニットは、溝部の形状がスリット状、又は円弧状であることを特徴とする。このように加速度検知ユニットを構成すると、Z軸方向の低背化が図られる効果と、加速度検出感度を高める効果がある。本発明の加速度センサは、本発明の加速度検知ユニットを備えたことを特徴とする。このように加速度センサを構成すると、センサの低背化を実現することができる。また加速度検知ユニットの部材が同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にすることができる利点がある。さらに、Y軸方向の他軸加速度に対して、検知感度を抑制できる効果がある。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は加速度検知ユニットに係る第1の実施形態の構成を示す斜視図である。図示のZ軸方向が加速度検出軸方向である加速度検知ユニット1は、外枠部材5と、Y軸方向に伸びる2本の振動腕から成る応力感応部と該応力感応部をY軸方向から挟む2つの固定端部10a、10bとを有する双音叉型圧電振動素子10と、を備えたものである。外枠部材5は矩形状をしており、Y軸方向に伸びる例えば細長い四角柱形状の2個の部材5a、5bと、X軸方向に伸びる例えば四角柱形状の2個の部材5c、5dとの夫々の端を連結して構成されている。外枠部材5と双音叉型圧電振動素子10の圧電基板とは、同一の圧電材料として例えば水晶材料により一体的に形成される共に、前記圧電基板の厚さは、外枠部材5の厚さより薄い。そして、双音叉型圧電振動子10の2本の振動腕の並び方向は外枠部材5の一方の面図1の例では、図中上面に平行である部材5aと部材5bの並び方向と一致する。外枠部材5の一方の対向する部材5c、5dには、そのY軸方向に伸びる中心線と双音叉型圧電振動素子10の中心線とが一致するよう夫々2つの固定端部10a、10bが連結され、外枠部材5の他方の対向する部材5a、5bにはその略中央部に夫々X軸方向に貫通した溝部7a、7bが形成されている。そして、部材5a及び5bの夫々の溝部7a、7bより部材5d側と部材5dとを固定端とし、部材5a及び5bの夫々の溝部7a、7bより部材5cの側と部材5cとを自由端可動端とする。即ち、加速度検知ユニット1を図示しない基台に固定する場合は、例えば、図中の黒点で示した位置と基台とを接着剤等の固定部材を使って固定し、自由端側と基台との間には隙間をあける。なお、双音叉型圧電振動素子10の夫々の応力感応部には励振電極が成膜され、該励振電極から固定端部まで引き出し電極リード電極が形成されている。また、溝部7a、7bの形状としては、スリット形状、円弧形状、尖った形状等でよい。図1に示すように自由端側にZ軸方向の加速度Gが加えられると、溝部7a、7bがほぼ中央部が支点、部材5cを含む自由端側が力点となるが、作用点となる部材5dが固定されている結果、溝部7a、7bの中央部が撓むので部材5a、5bが折れ曲る。この折れ曲りに伴い部材5cと部材5dとの間の直線距離が縮まるので部材5cに連結した双音叉型圧電振動素子10の固定端部10aに力が働き、双音叉型圧電振動素子10に圧縮の応力が作用する。双音叉型圧電振動素子10に応力が作用すると、双音叉型圧電振動素子10の共振周波数が変化する。周波数の変化量は双音叉型圧電振動素子10に印加される慣性力加速度×質量に比例するので、周波数変化量から印加された加速度を測定することができる。部材5cを含む自由端側は重りとして機能する。図1に示す加速度検知ユニット1の振動モードを解析するために、有限要素法を用いてシミュレーションを行った。加速度検知ユニット1の自由端側に加速度Gを加えると、溝部7a、7bに歪みが生じ、該溝部7a、7bより自由端側が図中上下に動くことがシミュレーションにより示された。その際、双音叉型圧電振動素子10の応力感応部と、固定端部10a、10bとを連結する括れた部分の歪みが特に大きくなり、応力感応部に圧縮と、伸張の応力が作用することも分かった。また、加速度検出軸方向と直交するY軸方向に加速度を加えると、双音叉型圧電振動素子10には多少の伸張応力が作用することも判明した。尚、部材5c、5dのY軸方向に伸びる中心線と双音叉型圧電振動素子10の中心線とが一致するよう夫々2つの固定端部10a、10bを部材5c、5dに連結した構造により、加速度Gの印加に対して外枠部材5及び双音叉型圧電振動子10が縒れることなく撓むことができるので加速度を正確に検知することができる。図1に示す第1の実施形態の加速度検知ユニット1は、Z軸方向の低背化が図られる点と、双音叉型圧電振動素子10と、固定端及び重り部材を兼ねる自由端からなる外枠部材5と、を水晶材料から一体形成するため、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にすることが可能である。さらに、図1に示す加速度検知ユニット1を2個平行に並べ、固定端と自由端とを互いに逆に配置すれば、Y軸方向の検出不要な加速度成分を打ち消すことができる。図2は、第2の実施形態に係る加速度検知ユニットの構成を示す部分斜視図である。図1に示す第1の実施形態の加速度検知ユニット1と異なる点は、外枠部材5の部材5a、5bに形成される溝部8a図示せず、8bの形状である。図1に示す第1の実施形態の加速度検知ユニットでは、溝部7a、7bは部材5a、5bの上下面に形成されているが、図2に示す第2の実施形態の加速度検知ユニットでは、溝部8a、8bは部材5a、5bの上面のみに形成されている。このように構成される第2の実施形態の加速度検知ユニットは、溝部8a、8bの中央部の支点が、双音叉型圧電振動素子10の厚さの中心より離れているため、同じ加速度Gに対し双音叉型圧電振動素子10の撓みが大きくなり、加速度検知ユニットの感度が大きくなるという利点がある。図3は、第3の実施形態に係る加速度検知ユニットの構成を示す部分斜視図である。図1に示す第1の実施形態の加速度検知ユニット1と異なる点は、外枠部材5の部材5a、5bに形成される溝部9a図示せず、9bの位置である。第3の実施形態の加速度検知ユニットでは、溝部9a、9bは部材5a、5bの固定端側に寄って形成されている。このように構成される第3の実施形態の加速度検知ユニットは、自由端側の質量が大きくなることに加え、溝部9a、9bの中央の支点から自由端側が長いため、同じ加速度Gに対し双音叉型圧電振動素子10の撓みが大きくなり、加速度検知ユニットの感度が大きくなるという利点がある。図4は、第4の実施形態に係る加速度検知ユニットの構成を示す斜視図である。この図に示す加速度検知ユニット2は、外枠部材5と、応力感応部とこの応力感応部を挟む2つの固定端部10a、10bを有する双音叉型圧電振動素子10と、を備えた加速度検知ユニットである。外枠部材5は矩形状をしており、細長い四角柱状の2個の部材5a、5bと、短い四角柱状の2個の部材5c、5dとの夫々の端を接合して構成されている。外枠部材5と双音叉型圧電振動素子10の圧電基板とは同じ圧電材料より形成され、前記圧電基板の厚さは外枠部材5の厚さより薄く、且つ外枠部材5の一方の面に平行に形成されている。外枠部材5の一方の対向する部材5c、5dには、夫々双音叉型圧電振動素子10の2つの固定端部10a、10bが接合され、他方の対向する部材5a、5bには、夫々中央を挟んで両側に2個ずつの溝部7a1、7a2、7b1、7b2が形成されている。そして、部材5cと部材5a及び5bの溝部7a1、7b1より部材5cの側を自由端1とし、部材5dと部材5a及び5bの夫々の溝部7a2、7b2より部材5d側を自由端2とし、溝部7a1、7a2間と、溝部7b1、7b2間とを固定端とする。図4の黒点で示す所を図示しない基台に固定し、自由端1、2側にZ軸方向図中上下方向の加速度Gを印加する場合に、溝部7a1、7b1及び溝部7a2、7b2のほぼ中央部を支点として可撓するように形成されている。図4に示す加速度検知ユニット2の振動モードを解析すべく、図1の加速度検知ユニット1と同様に、有限要素法を用いてシミュレーションを行った。加速度検知ユニット2の自由端1、2に加速度Gを加えると、溝部7a1、7b1、7a2、7b2より、自由端1、2側が図中上下に共に対称に撓むことが示された。その際、固定端部10a、10bを介して双音叉型圧電振動素子10の応力感応部に圧縮と、伸張の応力が作用することも分かった。また、溝部7a1、7b1、7a2、7b2の中央が支点となると想定されたが、シミュレーションの結果より固定端と溝部との接合部であることが分かった。双音叉型圧電振動素子10も加速度Gの印加により図中、多少上下方向に動くことも示された。また、加速度検出軸方向と直交するY軸方向に加速度を加えると、溝部7a1、7b1と溝部7a2、7b2とには逆の歪みが加わり、他軸方向Y軸方向による加速度測定への影響は小さくなることが判明した図4に示す第4の実施形態の加速度検知ユニット2は、Z軸方向の低背化が図られる点と、双音叉型圧電振動素子10と、固定端及び重り部の自由端である外枠部材5とを同一の水晶材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にすることが可能である。さらに、Y軸方向、つまり双音叉型圧電振動素子10の長手方向の加速度に対しては、自由端1の質量と、自由端2の質量に掛かる加速度による応力は互いに逆に作用することになる。そのため、Y軸方向の他軸加速度に対して、検知感度を抑制することが可能となる。図5は本実施形態の加速度センサの構成を示す斜視図である。加速度センサ3は、上記加速度検知ユニットと、発振回路30及びデータ処理回路32と、これらを収容するハウジング20と、を備えた加速度センサである。加速度検知ユニットはハウジング20の基台22に載置、固定され、ハウジング20の上部には蓋部材図示せずが固定され、内部を気密に保たれている。このように構成される加速度センサ3は、Z軸方向の低背化が図られる点と、加速度検知ユニットの部材が同一の圧電材料から形成するので、周囲温度変化による加速度検知ユニットの精度誤差を最小限にすることができる。さらに、第4の実施形態の加速度検知ユニット2を用いれば、Y軸方向の他軸加速度に対して、検知感度を抑制することが可能となる。