"集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より容量が小さく、且つLiaMbNzMは遷移金属であり、aは0.1以上2.8以下、bは0.2以上1.0以下、zは0.6以上1.4以下で表されるリチウムと遷移金属の窒化物を含む第2の負極層とで形成されることを特徴とする蓄電装置。集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より容量が小さく、且つ珪素材料を含む第2の負極層とで形成されることを特徴とする蓄電装置。集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より容量が小さく、且つチタン酸リチウムを含む第2の負極層とで形成されることを特徴とする蓄電装置。集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より容量が小さく、且つLiaMbNzMは遷移金属であり、aは0.1以上2.8以下、bは0.2以上1.0以下、zは0.6以上1.4以下で表されるリチウムと遷移金属の窒化物を含む第2の負極層とで形成される負極と、前記負極と対になる正極と、前記正極と負極との間に固体電解質と、を有することを特徴とする蓄電装置。集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より容量が小さく、且つ珪素材料を含む第2の負極層とで形成される負極と、前記負極と対になる正極と、前記正極と負極との間に固体電解質と、を有することを特徴とする蓄電装置。集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より容量が小さく、且つチタン酸リチウムを含む第2の負極層とで形成される負極と、前記負極と対になる正極と、前記正極と負極との間に固体電解質と、を有することを特徴とする蓄電装置。請求項4乃至請求項6のいずれか1項において、前記固体電解質は、ゲル電解質あるいはポリマー電解質であることを特徴とする蓄電装置。上述のようにゲル電解質やポリマー電解質を用いたリチウムイオン二次電池は、電解液を用いた構造に比べて、液漏れが起こりにくい。固体電解質を用いたリチウムイオン二次電池は、液漏れが起こりにくいので、安全性が高い。一方、電解液を用いたリチウムイオン二次電池では、電解液が漏れてしまった場合、電解液によって、あるいは漏れた電解液から発生したガスによって、リチウムイオン二次電池の内圧が高くなる恐れがある。しかし、固体電解質は液体電解質電解液に比べて流動性が低く、粉末活物質を用いて作製した電極においては良好な接触界面を得ることが難しい。また、特にリチウムイオン二次電池の代表的な負極である黒鉛例えば層状黒鉛と、固体電解質、例えばPEOポリエチレンオキシドとの密着性が悪いことが知られており改善が望まれている。負極と固体電解質との密着性が悪いと、負極と固体電解質との界面で、リチウムイオンの挿入脱離反応が行われない領域が生じてしまう。そのため、負極と固体電解質との界面の抵抗が大きくなってしまい、蓄電装置の内部抵抗が上がり、充放電特性などの特性が悪くなる恐れがある。上記問題に鑑み、開示される発明の一態様は、リチウムイオン二次電池に代表される蓄電装置における固体電解質と負極との密着性を向上させることを課題の一とする。また、開示される発明の一態様は、負極と固体電解質との界面の抵抗上昇を抑制することを課題の一とする。開示される発明の一態様は、蓄電装置の特性例えば充放電特性を向上させることを課題の一とする。本発明の一態様は固体電解質を有する蓄電装置であって、該蓄電装置の負極が、負極集電体と該負極集電体上に設けられた負極活物質層とを有し、該負極活物質層を組成の異なる複数の層で形成するものである。例示的には、負極活物質層として、負極集電体と接する第1の負極活物質層と、固体電解質と接する第2の負極活物質層との少なくとも2層で負極を構成する。固体電解質と密着性の良い第2の負極活物質層の材料として、リチウムLiと遷移金属Mと表記すると窒素Nを含むLiaMbNz0.1≦a≦2.8aは0.1以上2.8以下、0.2≦b≦1.0bは0.2以上1.0以下、0.6≦z≦1.4zは0.6以上1.4以下で表されるリチウムと遷移金属の窒化物、珪素材料シリコン材料、あるいは、チタン酸リチウムLi4Ti5O12が挙げられる。蓄電装置の充放電時には、キャリアとなるイオン例えば、リチウムイオンの挿入脱離反応が起こる。これに対し、上記に例示する材料は、キャリアとなるイオンの挿入脱離反応における体積変化が、黒鉛と比べて小さいものである。このような体積変化の小さい材料でなる薄膜は、固体電解質と接して設けられることにより、その接触面における応力歪みを小さくするように作用する。また珪素材料シリコン材料及びチタン酸リチウムLi4Ti5O12も、上記LiaMbNzで表されるリチウムと遷移金属の窒化物と同様に、キャリアとなるイオンの挿入脱離反応における体積変化が、黒鉛と比べて小さいものである。このような体積変化の小さい材料でなる薄膜は、固体電解質と接して設けられることにより、その接触面における応力歪みを小さくするように作用する。なお、上記LiaMbNzで表されるリチウムと遷移金属の窒化物において、Mは一種または複数種の金属である。Mが一種の金属により構成される場合には、コバルト、ニッケルまたは銅のいずれかを選べばよい。Mが複数種の金属により構成される場合には、少なくともコバルト、ニッケルまたは銅のいずれか一または複数を含み、更には第3族元素、第4族元素または第5族元素を含んでいてもよい。Mは、酸化還元反応が起こる金属で、かつ価数が変わる金属が好ましいので、遷移金属が用いられる。遷移金属の中で、Mが一種の金属の場合には、コバルト、ニッケルまたは銅のいずれかを選べばよい理由を以下に述べる。リチウムと遷移金属の窒化物のうち、窒化リチウムLi3N型構造を持つLi3-xCoxN、Li3-xNixN、Li3-xCuxNは、特に1VvsLi/Li以下という低い電圧でリチウムイオンの挿入脱離反応が進行するので大きな容量が得られる。上記リチウムと遷移金属の窒化物は、低い電位で充放電が可能であり大きな容量が得られる一方、充放電容量が大きいために体積変化が大きい。このためこれらの物質で形成される負極層は、表面に薄く形成し、体積変化の影響を成るべく小さくする構造が好ましい。またLiaMbNzのリチウムLiに代えて、ナトリウムNaもしくはカリウムKなどのアルカリ金属元素、またはベリリウムBe、マグネシウムMg、カルシウムCa、ストロンチウムSrもしくはバリウムBaなどのアルカリ土類金属元素を用いてもよい。上述のリチウム以外のアルカリ金属元素、あるいは、アルカリ土類金属元素においても、リチウムと同様に、充放電時には、キャリアとなるイオンの挿入脱離反応が起こるからである。LiaMbNzのリチウムに代えて、上記の他のアルカリ金属元素、あるいは、アルカリ土類金属元素を用いた場合でも、キャリアとなるイオンの挿入脱離反応における体積変化が小さいので、リチウムを用いた場合と同様の作用を奏する。開示される発明の一態様は、集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より単位体積当たりの容量が小さく、且つLiaMbNzMは遷移金属であり、aは0.1以上2.8以下、bは0.2以上1.0以下、zは0.6以上1.4以下で表されるリチウムと遷移金属の窒化物を含む第2の負極層とで形成されることを特徴とする蓄電装置である。開示される発明の一態様は、集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より単位体積当たりの容量が小さく、且つ珪素材料を含む第2の負極層とで形成されることを特徴とする蓄電装置である。開示される発明の一態様は、集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より単位体積当たりの容量が小さく、且つチタン酸リチウムを含む第2の負極層とで形成されることを特徴とする蓄電装置である。開示される発明の一態様は、集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より単位体積当たりの容量が小さく、且つLiaMbNzMは遷移金属であり、aは0.1以上2.8以下、bは0.2以上1.0以下、zは0.6以上1.4以下で表されるリチウムと遷移金属の窒化物を含む第2の負極層とで形成される負極と、前記負極と対になる正極と、前記正極と負極との間に固体電解質と、を有することを特徴とする蓄電装置である。開示される発明の一態様は、集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より単位体積当たりの容量が小さく、且つ珪素材料を含む第2の負極層とで形成される負極と、前記負極と対になる正極と、前記正極と負極との間に固体電解質と、を有することを特徴とする蓄電装置である。開示される発明の一態様は、集電体と、前記集電体上に形成される負極活物質層とを有し、前記負極活物質層は、前記集電体に接する第1の負極層と、前記第1の負極層に接し、前記第1の負極層より単位体積当たりの容量が小さく、且つチタン酸リチウムを含む第2の負極層とで形成される負極と、前記負極と対になる正極と、前記正極と負極との間に固体電解質と、を有することを特徴とする蓄電装置である。また、前記固体電解質は、ゲル電解質あるいはポリマー電解質である。固体電解質を有する蓄電装置の負極の構成として、リチウムと遷移金属の窒化物でなる層を固体電解質と接するように設けることで、その接触面における密着性を向上させることができる。そして、負極と固体電解質の密着性が向上することにより、その界面における接触抵抗を小さくすることができる。さらに、負極と固体電解質の接触抵抗を小さくすることにより、蓄電装置の充放電特性を向上させることができる。以下、本明細書に開示された発明の実施の態様について、図面を参照して説明する。但し、本明細書に開示された発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本明細書に開示された発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に示す図面において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。[実施の形態1]本実施の形態では、蓄電装置の負極活物質層、集電体上に設けられた該負極活物質層を有する負極、及び、その作製方法について、図1A~図1Cを用いて説明する。本実施の形態では、単位体積当たりの容量の大きい第1の負極層101、及び、第1の負極層101上に積層され、固体電解質と密着性の良い材料で形成された第2の負極層102を有する負極活物質層104について説明する。さらに本実施の形態では、集電体100上に該負極活物質層104が積層された負極についても説明する。第1の負極層101の材料としては、キャリアとなるイオン、例えばリチウムイオンやナトリウムイオンを吸蔵、放出可能な材料、例えば黒鉛などの炭素材料、または炭素を含む複合材料などが挙げられる。このような炭素材料あるいは炭素を含む複合材料として、粉末状、繊維状または層状の黒鉛等の炭素材料、あるいはこのような炭素材料を含む複合材料を用いてもよい。上述の材料で形成された第1の負極層101は単位体積当たりの容量が大きいという利点を持つ。第2の負極層102は、第1の負極層101との密着性がよく、且つ固体電解質とも密着性のよい物質を用いて形成する。第2の負極層102として、リチウムLiと遷移金属Mと表記すると窒素Nを含むLiaMbNz0.1≦a≦2.8aは0.1以上2.8以下、0.2≦b≦1.0bは0.2以上1.0以下、0.6≦z≦1.4zは0.6以上1.4以下で表されるリチウムと遷移金属の窒化物、珪素材料シリコン材料、あるいは、チタン酸リチウムLi4Ti5O12を用いることができる。また必要であれば、第2の負極層102を、これらの材料を用いた層を積層して形成してもよい。上述した第2の負極層102の材料と固体電解質は密着性がよいので、上記の材料が最表面に設けられた負極と、固体電解質との界面の抵抗は小さくなる。これにより蓄電装置の充放電特性などの特性が向上する。上記の固体電解質と密着性のよい材料で形成された第2の負極層102は、単位体積当たりの容量の大きい材料で形成された第1の負極層101の表面に形成されている。固体電解質と密着性のよい第2の負極層102を単位体積当たりの容量の大きな第1の負極層101に設けた負極を用いると、容量が大きくて、かつ充放電特性などの特性のよい蓄電装置を得ることができる。リチウムと遷移金属の窒化物のうち、窒化リチウムLi3N型構造を持つLi3-xMxNは、xが0.4付近で最も大きな充放電容量を示す。よってbの値は0.4が一番好ましい。bの値が上述の範囲外であると、構造が不安定になり充放電容量が出なくなるという恐れがある。aの値について、LiaMbNzが窒化リチウムLi3N型構造を持つには、a=3-bの値であることが好ましい。しかしaの下限について、Liが脱離した場合を考慮すると、bの最大値である1の時のaの値である2より小さい値をとることができる。ただしbと同様に、aの値が上述の範囲外であると、構造が不安定になり充放電容量が出なくなるという恐れがある。またzの値について、LiaMbNzが窒化リチウムLi3N型構造を持つには、zが1が最適である。zの値が上述の範囲外であると、LiaMbNzが窒化リチウムLi3N型構造を持たなくなる恐れがある。なお、Mは一種または複数種の金属である。Mが一種の金属により構成される場合には、コバルト、ニッケルまたは銅のいずれかを選べばよい。Mが複数種の金属により構成される場合には、少なくともコバルト、ニッケルまたは銅のいずれか一または複数を含み、更には第3族元素、第4族元素または第5族元素を含んでいてもよい。Mは、酸化還元反応が起こる金属で、かつ価数が変わる金属が好ましいので、遷移金属が用いられる。遷移金属の中で、Mが一種の金属の場合には、コバルト、ニッケルまたは銅のいずれかを選べばよい理由を以下に述べる。リチウムと遷移金属の窒化物のうち、窒化リチウムLi3N型構造を持つLi3-xCoxN、Li3-xNixN、Li3-xCuxNは、特に1VvsLi/Li以下という低い電圧でリチウムイオンの挿入脱離反応が進行するので大きな容量が得られる。またLiaMbNzのリチウムLiに代えて、ナトリウムNaもしくはカリウムKなどのアルカリ金属、またはベリリウムBe、マグネシウムMg、カルシウムCa、ストロンチウムSrもしくはバリウムBaなどのアルカリ土類金属を用いてもよい。上述のリチウム以外のアルカリ金属元素、あるいは、アルカリ土類金属元素は、リチウムよりもコストが低いので、リチウムに代えて上記の元素を用いると、蓄電装置の作製コストを抑制することが可能である。LiaMbNzのリチウムに代えて、上記の他のアルカリ金属元素、あるいは、アルカリ土類金属元素を用いた場合でも、このような材料と固体電解質は密着性がよいので、上記の材料が最表面に設けられた負極と、固体電解質との界面の抵抗は小さくなる。これにより蓄電装置の充放電特性などの特性が向上する。固体電解質と密着性のよい薄膜を単位体積当たりの容量の大きな負極層に設けた負極を用いると、容量が大きくて、かつ充放電特性などの特性のよい蓄電装置を得ることができる。また第2の負極層102としてシリコン材料を用いる場合、微結晶シリコンマイクロクリスタルシリコンともいうを形成し、微結晶シリコン中に存在する非結晶シリコンをエッチングにより除去したものを用いてもよい。微結晶シリコン中に存在する非結晶シリコンを除去すると、残った微結晶シリコンの表面積が大きくなる。また、チタン酸リチウムはリチウムイオンの挿入及び脱離に伴う体積変化がわずかであり、容量劣化がほとんどないという利点がある。第2の負極層102の厚さは、第1の負極層101より厚さが薄くてよく、固体電解質との界面反応、すなわちキャリアとなるイオンが移動するのに十分な厚さであればよい。第2の負極層102の厚さは、可能な限り薄く形成した方がキャリアとなるイオンが第2の負極層102中を移動しやすく、単位体積当たりの容量の大きな第1の負極層101に移動しやすくなる。これにより第2の負極層102により密着性が向上された最表面と、第1の負極層101により容量の大きな負極を得ることが可能である。例えば、第2の負極層102を10nm以上1μm以下の厚さで形成すればよい。このような第2の負極層102は、スパッタ法やCVD法などの乾式薄膜形成法、あるいは、塗布法などの湿式薄膜形成法などで形成される。固体電解質との密着性が良好な材料である第2の負極層102を薄い膜厚で第1の負極層101上に設けることで、第1の負極層101には単位体積当たりの容量が大きい材料を用いることができ、さらに第1の負極層101の厚さを厚くすることができる。これにより単位体積当たりの容量が大きく固体電解質との密着性が良好な負極活物質層及び該負極活物質層を有する負極を得ることができる。本実施の形態の負極活物質層は、単位体積当たりの容量の大きい材料からなる下層の負極層と、下層の負極層上に形成され固体電解質と密着性のよい材料からなる最上層の負極層の積層である。該構造とすることにより、電解質と負極活物質層との界面の抵抗が低減され、また例えば下層の負極層として、電解質との密着性に関わらず最上層の負極層より単位体積当たりの容量の大きい材料を用いることが可能になる。このため、充放電特性に優れ、且つ大容量である、負極活物質層、該負極活物質層を有する負極、さらには該負極を有する蓄電装置を提供することができる。ここで、上述の第1の負極層101及び第2の負極層102を有する負極活物質層104、並びに、負極活物質層104を集電体100上に有する負極105の作製方法について説明する。まず、集電体100を準備する図1A参照。集電体100として、チタンTi、アルミニウムAl、ニッケルNi、またはステンレスなどを用いることができる。次いで集電体100上に第1の負極層101を形成する図1B参照。第1の負極層101の形成には、例えばスパッタリング法、CVD法、または塗布法を用いればよい。第1の負極層101の形成方法として塗布法を用いる場合は、上述の第1の負極層101の材料である炭素材料あるいは炭素を含む複合材料に、導電助剤やバインダなどを混合させてペースト化し、該ペーストを集電体100上に塗布し、乾燥して、第1の負極層101を形成する。第1の負極層101は、必要に応じて加圧成形するとよい。なお、厳密には活物質とは、キャリアであるイオンの挿入及び脱離に関わる物質のみを指す。本明細書では、塗布法を用いて第1の負極層101及び後述の第2の負極層102を形成した場合、便宜上、第1の負極層101及び第2の負極層102を有する負極活物質層104の材料、すなわち、本来負極活物質である物質に、導電助剤やバインダなどを含めて負極活物質層104と呼ぶこととする。なお、上記の導電助剤としては、蓄電装置中で化学変化を起こさない電子伝導性材料であればよい。例えば、黒鉛、炭素繊維などの炭素系材料、銅、ニッケル、アルミニウム若しくは銀などの金属材料またはこれらの混合物の粉末や繊維などを用いることができる。なお、上記のバインダとしては、澱粉、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、再生セルロース、ジアセチルセルロース、ポリビニルクロリド、ポリビニルピロリドン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリエチレン、ポリプロピレン、EPDMEthylenePropyleneDieneMonomer、スルホン化EPDM、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴムもしくはポリエチレンオキシドなどの多糖類、熱可塑性樹脂またはゴム弾性を有するポリマーなどが挙げられる。次いで第1の負極層101上に第2の負極層102を形成する図1C参照。第2の負極層102の形成においても、例えばスパッタリング法、CVD法、または塗布法を用いればよい。第1の負極層101及び第2の負極層102をスパッタリング法により形成する場合には、それぞれの層に対応したスパッタターゲットを用いることにより行うことができる。このとき、第1の負極層101と第2の負極層102の形成は、連続で行ってもよいし、不連続であってもよいが、連続で行うと第1の負極層101及び第2の負極層102との界面が密着性がよくなり、また第1の負極層101及び第2の負極層102との界面に不純物が混入する恐れが少なくなる。また第2の負極層102の形成を塗布法で行う場合には、第1の負極層101上に、第2の負極層102の材料に、導電助剤やバインダなどを混合させてペースト化したペーストを、塗布して乾燥させればよい。またペーストを塗布後に、必要に応じて加圧成形を行ってもよい。なお、本実施の形態では2層の負極層を積層して設ける形態について説明したが、これに限定されず3層以上であってもよい。この場合は、第1の負極層101と第2の負極層102との間にさらに負極層を形成してもよい。以上説明したように、集電体100上に、第1の負極層101及び第2の負極層102を有する負極活物質層104が設けられた負極105を作製することができる。本実施の形態の負極活物質層は、複数の負極層の積層構造であり、最上層の負極層として、電解質と密着性のよい材料が用いられる。該構造とすることにより、例えば最上層の負極層より下層の負極層として、電解質との密着性に関わらず最上層の負極層より単位体積当たりの容量の大きい材料を用いることが可能になるため、充放電特性に優れ、且つ大容量である蓄電装置を提供することができる。[実施の形態2]本実施の形態では、開示される発明の一態様である蓄電装置の一例として二次電池と、その作製方法について、図2、図3A及び図3Bを用いて説明する。本実施の形態の二次電池の構造について図2を用いて説明する。図2は本実施の形態の構造の一例を示す模式図である。図2に示す二次電池は、実施の形態1で述べられた負極105と、正極115と、正極115と負極105との間の固体電解質131とを有する。実施の形態1でも述べたように、負極105は、集電体100、並びに、集電体100上に第1の負極層101及び第2の負極層102を有する負極活物質層104を有している。第2の負極層102を形成する材料として、固体電解質131と密着性のよい界面を形成しやすい材料を用い、かつ、第1の負極層101を形成する材料として、単位体積当たりの容量の大きな材料を用いるため、固体電解質131と負極105との密着性がより向上され、かつ容量の大きな二次電池を得ることができる。正極115は、集電体110と正極活物質層111を有する。集電体110には、例えば導電材料などを用いることができ、導電材料としては、例えばアルミニウム、銅、ニッケル、またはチタンを用いることができる。また、集電体110としては、上記導電材料のうち複数からなる合金材料を用いることもでき、合金材料としては、例えばAl-Ni合金、又はAl-Cu合金などを用いることもできる。また、別途基板上に成膜することにより設けられた導電層を剥離して集電体110として用いることもできる。正極活物質層111としては、例えばキャリアとなるイオン及び遷移金属を含む材料を用いることができる。キャリアとなるイオン及び遷移金属を含む材料としては、例えば一般式AhMiPOjh>0、i>0、j>0で表される材料を用いることができる。ここでAは、例えば、リチウム、ナトリウムもしくはカリウムなどのアルカリ金属、またはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム若しくはバリウムなどのアルカリ土類金属である。Mは、例えば、鉄、ニッケル、マンガンもしくはコバルトなどの遷移金属である。一般式AhMiPOjh>0、i>0、j>0で表される材料としては、例えばリン酸鉄リチウム、リン酸鉄ナトリウムなどが挙げられる。Aで表される材料およびMで表される材料は、上記のいずれか一または複数を選択すればよい。または、一般式AhMiOjh>0、i>0、j>0で表される材料を用いることができる。ここでAは、例えばリチウム、ナトリウム、もしくはカリウムなどのアルカリ金属、又はベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムもしくはバリウムなどのアルカリ土類金属である。Mは、例えば、鉄、ニッケル、マンガン、若しくはコバルトなどの遷移金属である。一般式AhMiOjh>0、i>0、j>0で表される材料としては、例えばコバルト酸リチウム、マンガン酸リチウムまたはニッケル酸リチウムなどが挙げられる。Aで表される材料およびMで表される材料は、上記のいずれか一または複数を選択すればよい。正極活物質層111は、導電助剤やバインダなどを混合させて正極活物質層111の材料をペースト化し、集電体110上に塗布することによって形成してもよいし、スパッタリング法により形成してもよい。正極活物質層111を塗布法により形成した場合についても、必要に応じて加圧成形するとよい。なお、厳密には活物質とは、キャリアであるイオンの挿入及び脱離に関わる物質のみを指す。ただし本明細書では、塗布法を用いて正極活物質層111を形成した場合、便宜上、正極活物質層111の材料、すなわち、本来正極活物質である物質に、導電助剤やバインダなどを含めて正極活物質層111と呼ぶこととする。ここで、正極活物質層111、並びに、集電体110上に形成された正極活物質層111を有する正極115の作製方法について説明する。まず集電体110を準備する図3A参照。集電体110の材料及び形成方法については上で述べたので詳細な説明は省略する。次いで集電体110上に、正極活物質層111を形成する図3B参照。正極活物質層111の材料は上に述べたとおりである。また正極活物質層111の形成方法は、上述したようにスパッタリング法や塗布法により形成すればよい。以上により集電体110上に正極活物質層111が形成された正極115が形成される。正極活物質層111を塗布法によって形成する場合は、正極活物質層111の材料に、電助剤やバインダなどを混合させてペースト化して集電体110上に塗布して乾燥させて形成してもよい。正極活物質層111を塗布法により形成した場合、必要に応じて加圧成形するとよい。バインダは実施の形態1で述べたバインダを用いればよい。なお正極活物質層111を塗布法によって形成する場合に、バインダに固体電解質として機能する材料、例えばポリエチレンオキシド等のリチウムイオン伝導性を有する材料を用いることにより、固体電解質と正極電極界面との特性を高めることも可能である。これによりさらに良好な特性を有する二次電池を得ることができる。正極115及び負極105を形成したら、正極115及び負極105との間に固体電解質131を形成する。固体電解質131の例として、ポリマー電解質またはゲル電解質が挙げられる。ポリマー電解質の例としては、ポリエチレンオキシドpolyethyleneoxide、略称PEOやポリプロピレンオキシドpolypropyleneoxide、略称PPOに代表されるポリマーとリチウム塩の複合材料が挙げられる。リチウム塩としては、例えば、塩化リチウムLiCl、フッ化リチウムLiF、過塩素酸リチウムLiClO4、硼弗化リチウムLiBF4、LiAsF6、LiPF6、LiC2F5SO22N等が挙げられる。またリチウム塩に代えて、他のアルカリ金属塩を用いてもよい。他のアルカリ金属塩としては、例えばナトリウム塩が挙げられる。このようなナトリウム塩の例として、塩化ナトリウムNaCl、フッ化ナトリウムNaF、過塩素酸ナトリウムNaClO4、硼弗化ナトリウムNaBF4等が挙げられる。ゲル電解質ポリマーゲル電解質の例としては、ホストポリマーとして、ポリビニリデンフルオライドポリフッ化ビニリデンともいう。略称:PVDFとヘキサフルオロプロピレンHFPの共重合体であるPVDF-HFP、ポリエチレンオキシドPEO、多孔質PVDF等を用い、このホストポリマーに非水電解液を含有させたものが挙げられる。非水電解液は、キャリアイオンとしてカチオン、例えばアルカリ金属イオン、具体的にはリチウムイオンまたはナトリウムイオンを含み、このリチウムイオンまたはナトリウムイオンが電気伝導を担っている。非水電解液は、例えば溶媒と、その溶媒に溶解するアルカリ金属塩、例えばリチウム塩またはナトリウム塩とから構成されている。リチウム塩及びナトリウム塩としては上で述べた物質を用いればよい。溶媒として、例えば、エチレンカーボネート以下、ECと略す、プロピレンカーボネートPC、ブチレンカーボネートBC、およびビニレンカーボネートVCなどの環状カーボネート類、ジメチルカーボネートDMC、ジエチルカーボネートDEC、エチルメチルカーボネートEMC、メチルプロピルカーボネートMPC、メチルイソブチルカーボネートMIBC、およびジプロピルカーボネートDPCなどの非環状カーボネート類、ギ酸メチル、酢酸メチル、プロピオン酸メチル、およびプロピオン酸エチルなどの脂肪族カルボン酸エステル類、γ-ブチロラクトン等のγ-ラクトン類、1,2-ジメトキシエタンDME、1,2-ジエトキシエタンDEE、およびエトキシメトキシエタンEME等の非環状エーテル類、テトラヒドロフラン、2-メチルテトラヒドロフラン等の環状エーテル類、ジメチルスルホキシド、1,3-ジオキソラン等や、リン酸トリメチル、リン酸トリエチル、およびリン酸トリオクチルなどのアルキルリン酸エステルやそのフッ化物があり、これらの一種または二種以上を混合して使用する。固体電解質131は、液体である電解液を含み、全体として準固体状態である。固体電解質131が全体として準固体状態であるので、液漏れしにくい。負極105、正極115、及び、正極115と負極105の間に設けられた固体電解質131は、保護材121で覆うことも可能であり、このようにして作製された二次電池は、ボタン型、積層型、筒型、ラミネート型など様々な構造にすることができる。以上説明したように、本実施の形態では、実施の形態1にて説明した負極105を用いて二次電池を作製することができる。本実施の形態の負極活物質層は、複数の負極層の積層構造であり、最上層の負極層として、電解質と密着性のよい材料が用いられる。該構造とすることにより、例えば最上層の負極層より下層の負極層として、電解質との密着性に関わらず最上層の負極層より単位体積当たりの容量の大きい材料を用いることが可能になるため、充放電特性に優れ、且つ大容量である二次電池を提供することができる。[実施の形態3]開示される発明の一態様である蓄電装置の一例としてキャパシタと、その作製方法について、図4、図5A~図5Dを用いて説明する。本実施の形態のキャパシタの構造について図4を用いて説明する。図4は本実施の形態のキャパシタの構造の一例を示す模式図である。図4に示すキャパシタは、第1の負極層201と第2の負極層202が積層されている負極活物質層204を有している。また該キャパシタは、負極活物質層204が集電体100上に設けられた負極205を有している。さらに該キャパシタは、負極205と、集電体110と正極活物質層211を有する正極215と、正極215と負極205との間の固体電解質131とを有している。本実施の形態の第1の負極層201は、実施の形態1にて説明した第1の負極層101を用いることが可能である。実施の形態1にて説明した第1の負極層101と同様に、本実施の形態の第1の負極層201は単位体積当たりの容量が大きいという利点を持つ。本実施の形態の第2の負極層202は、実施の形態1にて説明した第2の負極層102のうち、リチウムLiと窒素Nを含むLiaMbNzMは遷移金属であり、0.1≦a≦2.8aは0.1以上2.8以下、0.2≦b≦1.0bは0.2以上1.0以下、0.6≦z≦1.4zは0.6以上1.4以下で表されるリチウムと遷移金属の窒化物、並びに、チタン酸リチウムLi4Ti5O12等のキャリアとなるイオンを含む物質で形成されている場合は、実施の形態1の第2の負極層102と同様の材料及び同様の形成方法により形成することができる。上記の材料と固体電解質は密着性がよいので、上記の材料が最表面に設けられた負極と、固体電解質との界面の抵抗は小さくなる。これにより蓄電装置の充放電特性などの特性が向上する。上記の固体電解質と密着性のよい材料で形成された第2の負極層202は、単位体積当たりの容量の大きい材料で形成された第1の負極層201の表面に形成されている。固体電解質と密着性のよい薄膜を単位体積当たりの容量の大きな負極層に設けた負極を用いると、容量が大きくて、かつ充放電特性などの特性のよい蓄電装置を得ることができる。リチウムと遷移金属の窒化物のうち、窒化リチウムLi3N型構造を持つLi3-xMxNは、xが0.4付近で最も大きな充放電容量を示す。よってbの値は0.4が一番好ましい。bの値が上述の範囲外であると、構造が不安定になり充放電容量が出なくなるという恐れがある。aの値について、LiaMbNzが窒化リチウムLi3N型構造を持つには、a=3-bの値であることが好ましい。しかしaの下限について、Liが脱離した場合を考慮すると、bの最大値である1の時のaの値である2より小さい値をとることができる。ただしbと同様に、aの値が上述の範囲外であると、構造が不安定になり充放電容量が出なくなるという恐れがある。またzの値について、LiaMbNzが窒化リチウムLi3N型構造を持つには、zが1が最適である。zの値が上述の範囲外であると、LiaMbNzが窒化リチウムLi3N型構造を持たなくなる恐れがある。なお、Mは一種または複数種の金属である。Mが一種の金属により構成される場合には、コバルト、ニッケルまたは銅のいずれかを選べばよい。Mが複数種の金属により構成される場合には、少なくともコバルト、ニッケルまたは銅のいずれか一または複数を含み、更には第3族元素、第4族元素または第5族元素を含んでいてもよい。Mは、酸化還元反応が起こる金属で、かつ価数が変わる金属が好ましいので、遷移金属が用いられる。遷移金属の中で、Mが一種の金属の場合には、コバルト、ニッケルまたは銅のいずれかを選べばよい理由を以下に述べる。リチウムと遷移金属の窒化物のうち、窒化リチウムLi3N型構造を持つLi3-xCoxN、Li3-xNixN、Li3-xCuxNは、特に1VvsLi/Li以下という低い電圧でリチウムイオンの挿入脱離反応が進行するので大きな容量が得られる。またLiaMbNzのリチウムLiに代えて、ナトリウムNaもしくはカリウムKなどのアルカリ金属、またはベリリウムBe、マグネシウムMg、カルシウムCa、ストロンチウムSrもしくはバリウムBaなどのアルカリ土類金属を用いてもよい。上述のリチウム以外のアルカリ金属元素、あるいは、アルカリ土類金属元素は、リチウムよりもコストが低いので、リチウムに代えて上記の元素を用いると、蓄電装置の作製コストを抑制することが可能である。LiaMbNzのリチウムに代えて、上記の他のアルカリ金属元素、あるいは、アルカリ土類金属元素を用いた場合でも、このような材料と固体電解質は密着性がよいので、上記の材料が最表面に設けられた負極と、固体電解質との界面の抵抗は小さくなる。これにより蓄電装置の充放電特性などの特性が向上する。固体電解質と密着性のよい薄膜を単位体積当たりの容量の大きな負極層に設けた負極を用いると、容量が大きくて、かつ充放電特性などの特性のよい蓄電装置を得ることができる。ただし、第2の負極層202として、珪素材料シリコン材料等のキャリアとなるイオンを含む物質で形成されていない場合は、活物質層にあらかじめキャリアとなるイオンを導入してもよい。以下に、活物質層にあらかじめキャリアとなるイオンを導入する技術プレドープともいうについて説明する。また、第2の負極層202としてキャリアとなるイオンを含む材料で形成された場合と形成されていない場合の両方において、第1の負極層201にもあらかじめキャリアとなるイオンを導入しておくことで、より多くのキャリアとなるイオンを利用することができる。まず、上記実施の形態1に従って集電体100を準備し、集電体100上に上述の第1の負極層101と同様の材料及び同様の形成方法で第1の負極層201を形成する図5A参照。次いで、第1の負極層201上に第2の負極層206を形成する図5B参照。この第2の負極層206は、上述のように実施の形態1の第2の負極層102の材料のうち、キャリアとなるイオンを含まない物質である。次いで、第2の負極層206にキャリアとなるイオンを含む金属層221を形成する図5C参照。金属層221としては、例えばアルカリ金属またはアルカリ土類金属などを含む材料を用いることができる。ここでは一例として、アルカリ金属またはアルカリ土類金属からなる金属シートを別途用意し、形成する例について説明するが、これに限定されず、例えば化学気相成長法、物理気相成長法などを用いて金属膜を成膜することもできる。化学気相成長法としては、例えばCVD法を用いることができ、物理気相蒸着法としては、例えばスパッタリング法又は真空蒸着法を用いることもできる。なお、図5Cでは、金属層221を均一な厚さで示しているが、これに限定されず、複数の膜厚の異なる部分を有していてもよく、また、複数に分離していてもよい。その後、金属層221をイオン化させつつ、第1の負極層201及び第2の負極層206に含浸させる。金属層221のイオン化は経時的に進み、図5Dに示すように、負極活物質層204が形成される。なお、図5Dにおいて、金属層221の全てがイオン化し、負極活物質層204に含浸される例について説明するが、これに限定されず、金属層221の一部が負極活物質層204の一表面の上に残存してもよい。第2の負極層202が、キャリアとなるイオンを含まない物質で形成されていたとしても、第2の負極層202と固体電解質131は互いに対して良好な密着性を有するので剥がれにくく、良好な特性を有するキャパシタを得ることができる。また負極にあらかじめキャリアとなるイオンを導入することにより、負極を低電位化し、負極と正極の電位差を利用することによって、高い耐電圧を得ることが可能である。以上のようにして、集電体100、集電体100上に形成され第1の負極層201及び第2の負極層202が積層された負極活物質層204が形成され、集電体100及び負極活物質層204を有する負極205を得ることができる。正極215の集電体110は、実施の形態2で説明した集電体110と同様である。正極215が有する正極活物質層211は、活性炭、カーボンナノチューブ、フラーレン、ポリアセンなどを用いて形成することができる。また正極活物質層211はスパッタ法や塗布法により形成すればよい。正極活物質層211を塗布法によって形成する場合は、導電助剤やバインダなどを混合させてペースト化して集電体110上に塗布して形成してもよい。正極活物質層211を塗布法により形成した場合についても、必要に応じて加圧成形するとよい。なお上述の通り、厳密には活物質とは、キャリアであるイオンの挿入及び脱離に関わる物質のみを指す。本明細書では、塗布法を用いて正極活物質層211を形成した場合、便宜上、正極活物質層211の材料、すなわち、本来正極活物質である物質に、導電助剤やバインダなどを含めて正極活物質層211と呼ぶこととする。なお正極活物質層211を塗布法によって形成する場合に、バインダに固体電解質として機能する材料、例えばポリエチレンオキシド等のリチウムイオン伝導性を有する材料を用いることにより、固体電解質と正極電極界面との特性を高めることも可能である。これによりさらに良好な特性を有するキャパシタを得ることができる。正極活物質層211を塗布法にて形成する具体的な例を次に述べる。例えば、集電体110上に正極活物質となる活性炭を配すればよい。まず、正極活物質である活性炭と、導電助剤であるアセチレンブラックABと、バインダであるポリフッ化ビニリデンPVDFと、を79:5:16で混合させ、該混合物をNMPN-methylpyrrolidoneに漬けて撹拌し、ペースト化し、該ペーストを集電体上に塗布し、乾燥することで正極活物質層211を形成することができる。正極活物質層211についても、必要に応じて加圧成形するとよい。正極215及び負極205が得られたら、正極215及び負極205との間に固体電解質131を配置する。本実施の形態の固体電解質131は、実施の形態2で述べた固体電解質131と同様である。また実施の形態2と同様に、正極215、負極205、及び、正極215と負極205の間に設けられた固体電解質131は、保護材121で覆うことも可能であり、このようにして作製されたキャパシタは、ボタン型、積層型、筒型、ラミネート型など様々な構造にすることができる。以上説明したように、本実施の形態では、実施の形態1にて説明した負極、及び、実施の形態1にて説明した負極にキャリアとなるイオンをあらかじめ添加した負極を用いてキャパシタを作製することができる。本実施の形態の負極活物質層は、複数の負極層の積層構造であり、最上層の負極層として、電解質と密着性のよい材料が用いられる。該構造とすることにより、例えば最上層の負極層より下層の負極層として、電解質との密着性に関わらず最上層の負極層より単位体積当たりの容量の大きい材料を用いることが可能になるため、充放電特性に優れ、且つ大容量であるキャパシタを提供することができる。"