"被搬送物を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、前記搬送経路上において前記被搬送物の所定の部分を清掃する清掃部と、を備えるコンベア装置であって、前記清掃部は、所定の間隙を介して前記所定の部分に臨むように形成された開口を有するカバー体と、前記開口において前記所定の部分に当接するように前記カバー体に取り付けられ、前記所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部と、前記カバー体内に連通し、前記塵埃除去部によって除去された塵埃を吸引する塵埃吸引部と、を有することを特徴とするコンベア装置。前記コンベア部は、前記所定の部分の第1の面に当接して前記被搬送物を支持する支持部を有し、前記塵埃除去部は、前記開口において前記第1の面に当接する第1の塵埃除去部分を有することを特徴とする請求項1記載のコンベア装置。前記コンベア部は、前記所定の部分の第2の面に当接して搬送方向に略垂直な方向への前記被搬送物の移動を規制する規制部を更に有し、前記塵埃除去部は、前記開口において前記第2の面に当接する第2の塵埃除去部分を更に有することを特徴とする請求項2記載のコンベア装置。前記第2の塵埃除去部分は、前記第2の面に対向するように配置された弾性部材によって支持されていることを特徴とする請求項3記載のコンベア装置。前記被搬送物は、前記第2の面に隣接する第3の面を有し、前記塵埃除去部は、前記開口において前記第3の面に当接する第3の塵埃除去部分を更に有することを特徴とする請求項3又は4記載のコンベア装置。前記被搬送物は、物品を収容する収容部と、前記収容部から搬送方向に略垂直な方向に突出する一対の被支持部と、を有し、前記第1の面は、前記被支持部の下面であり、前記第2の面は、前記被支持部の側面であり、前記第3の面は、前記被支持部の上面であることを特徴とする請求項5記載のコンベア装置。ところで、上述したようなコンベア装置を例えばクリーンルームで使用する場合には、半導体ウェハを収容したカセット等の被搬送物から塵埃を除去するだけでなく、除去された塵埃が周囲雰囲気に拡散するのを防止することが極めて重要である。そこで、本発明は、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができるコンベア装置を提供することを目的とする。本発明のコンベア装置は、被搬送物を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、搬送経路上において被搬送物の所定の部分を清掃する清掃部と、を備えるコンベア装置であって、清掃部は、所定の間隙を介して所定の部分に臨むように形成された開口を有するカバー体と、開口において所定の部分に当接するようにカバー体に取り付けられ、所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部と、カバー体内に連通し、塵埃除去部によって除去された塵埃を吸引する塵埃吸引部と、を有することを特徴とする。このコンベア装置では、被搬送物の所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部が、カバー体に取り付けられており、カバー体の開口において被搬送物の所定の部分に当接する。これにより、塵埃除去部によって除去された塵埃は、カバー体外に拡散することが抑制され、カバー体内に連通した塵埃吸引部によって吸引される。従って、このコンベア装置によれば、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。また、本発明のコンベア装置においては、コンベア部は、所定の部分の第1の面に当接して被搬送物を支持する支持部を有し、塵埃除去部は、開口において第1の面に当接する第1の塵埃除去部分を有していてもよい。この構成によれば、コンベア部の支持部の当接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第1の面から塵埃を的確に除去することができる。また、本発明のコンベア装置においては、コンベア部は、所定の部分の第2の面に当接して搬送方向に略垂直な方向への被搬送物の移動を規制する規制部を更に有し、塵埃除去部は、開口において第2の面に当接する第2の塵埃除去部分を更に有していてもよい。この構成によれば、コンベア部の規制部の当接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第2の面から塵埃を的確に除去することができる。また、本発明のコンベア装置においては、第2の塵埃除去部分は、第2の面に対向するように配置された弾性部材によって支持されていてもよい。この構成によれば、搬送方向に略垂直な方向に被搬送物が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物の動きが弾性部材に吸収されるので、被搬送物の第2の面から塵埃をより的確に除去することができる。また、本発明のコンベア装置においては、被搬送物は、第2の面に隣接する第3の面を有し、塵埃除去部は、開口において第3の面に当接する第3の塵埃除去部分を更に有していてもよい。この構成によれば、コンベア部が直接接触しないものの第2の面との隣接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第3の面から塵埃を的確に除去することができる。また、本発明のコンベア装置においては、被搬送物は、物品を収容する収容部と、収容部から搬送方向に略垂直な方向に突出する一対の被支持部と、を有し、第1の面は、被支持部の下面であり、第2の面は、被支持部の側面であり、第3の面は、被支持部の上面であってもよい。この構成によれば、被搬送物において塵埃が付着しやすい被支持部の上面、側面及び下面から一括で塵埃を除去することができる。本発明によれば、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図1に示されるように、搬送システム100は、被搬送物10を搬送経路Rに沿って搬送するコンベア装置1と、被搬送物10を保管する保管装置いわゆるストッカ2と、を備えている。コンベア装置1は、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームに設置されたものである。また、被搬送物10は、複数枚の半導体ウェハを収容したカセットいわゆるFOUPFrontOpeningUnifiedPodである。搬送経路Rが分岐する位置及び合流する位置、並びに搬送経路Rの方向が変わる位置には、被搬送物10の搬送方向を転換する方向転換装置3が設置されている。また、搬送経路R上の所定の位置には、搬送経路R上から保管装置2内に被搬送物10を搬出するための搬出ポート4、及び保管装置2内から搬送経路R上に被搬送物10を搬入するための搬入ポート5が設置されている。更に、搬送経路R上の所定の位置には、搬送経路R上から搬送システム100外に被搬送物10を搬出するための搬出ポート6、及び搬送システム100外から搬送経路R上に被搬送物10を搬入するための搬入ポート7が設置されている。なお、ポート6,7を介して搬送システム100と他の搬送システムとの間で被搬送物10が搬送される場合には、天井走行式無人搬送車、無人搬送車、有軌道式無人搬送車等が用いられる。コンベア装置1は、被搬送物10を搬送経路Rに沿って搬送するコンベア部20と、搬送経路R上において被搬送物10の所定の部分を清掃する清掃部30と、を備えている。被搬送物10は、図2及び図3に示されるように、複数枚の半導体ウェハ物品を収容する収容部11と、収容部11の底部から搬送方向Aに略垂直な方向ここでは、搬送方向Aに対して左右両側に突出する一対の被支持部所定の部分12と、を有している。収容部11は、略直方体箱状に形成されている。収容部11の前面には、半導体ウェハを出し入れするための蓋13が着脱自在に設けられている。蓋13が設けられた収容部11の前端部は、搬送方向Aに略垂直な方向に拡幅されており、その底部は、当該方向において対向する収容部11の側面11aと略同じ幅となるように絞られている。収容部11の上面には、天井走行式無人搬送車によってチャックされるフランジ部14が設けられている。一対の被支持部12のそれぞれは、搬送方向Aを長手方向とする略長方形板状に形成されており、下面第1の面12a、側面第2の面12b及び上面第3の面12cを有している。図2及び図3に示されるように、コンベア部20は、搬送方向Aに対して一方の側及び他方の側ここでは、左右両側に配置された一対のコンベアユニット21が搬送経路Rに沿って連結されることで構成されている。一対のコンベアユニット21は、搬送方向Aに沿って略平行に立設された一対の支持板22を有している。各支持板22の内側には、駆動プーリ23、従動プーリ24及び複数のサポートローラ25が回転自在に取り付けられおり、プーリ23,24及びローラ25には、無端環状のベルト支持部26が掛けられている。ベルト26の外側の縁部には、ベルト26の搬送面26aに対して立設されるようにフランジ部規制部27が一体的に形成されている。各コンベアユニット21においては、駆動プーリ23が駆動させられることで、従動プーリ24及び複数のサポートローラ25が従動すると共にベルト26が循環する。一対のコンベアユニット21において、一方のベルト26上には、被搬送物10の一方の被支持部12の下面12aが接触し、他方のベルト26上には、被搬送物10の他方の被支持部12の下面12aが接触する。このように、ベルト26は、被支持部12の下面12aに当接して被搬送物10を支持する。また、一方のベルト26のフランジ部27には、被搬送物10の一方の被支持部12の側面12bが接触し、他方のベルト26のフランジ部27には、被搬送物10の他方の被支持部12の側面12bが接触する。このように、フランジ部27は、被支持部12の側面12bに当接して搬送方向Aに略垂直な方向への被搬送物10の移動を規制する。図2に示されるように、清掃部30は、搬送方向Aに対して一方の側及び他方の側ここでは、左右両側に配置された一対の清掃ユニット31が搬送経路R上の所定の位置に設置されることで構成されている。清掃部30が設置される位置は、図1に示されるように、各搬出ポート4,6の直前の位置である。より詳細には、図2に示されるように、搬出ポート4又は搬出ポート6となるコンベアユニット21の直前に設置された長さ調整ユニット28のフリーローラ29,29間に、清掃部30の清掃ユニット31が設置されている。長さ調整ユニット28は、搬出ポート4となる一対のコンベアユニット21と、その手前すなわち、搬送方向Aにおける上流側において隣接する一対のコンベアユニット21との間に配置されている。図4、図5及び図6に示されるように、各清掃ユニット31は、上方、下方及び側方から被搬送物10の被支持部12の一部を覆うように形成されたカバー体32を有している。カバー体32は、所定の間隙G1例えば1mm~2mmを介して被支持部12の下面12aに臨むように形成された開口33a、所定の間隙G2例えば4mm~8mmを介して被支持部12の側面12bに臨むように形成された開口33b、及び所定の間隙G3例えば1mm~2mmを介して被支持部12の上面12cに臨むように形成された開口33cを有している。ここでは、開口33a,33b,33cは、一続きに形成されている。カバー体32には、開口33aにおいて被支持部12の下面12aに当接するように塵埃除去部材第1の塵埃除去部分34aが取り付けられている。また、カバー体32には、開口33bにおいて被支持部12の側面12bに当接するように塵埃除去部材第2の塵埃除去部分34bが取り付けられている。更に、カバー体32には、開口33cにおいて被支持部12の上面12cに当接するように塵埃除去部材第3の塵埃除去部分34cが取り付けられている。これらの塵埃除去部材34a,34b,34cによって、被搬送物10の被支持部12から塵埃を除去する塵埃除去部34が構成されている。なお、カバー体32内には、搬送方向Aにおける塵埃除去部34の上流側及び下流側、並びに塵埃除去部34の外側を囲むように一続きの空間Sが形成されている。各塵埃除去部材34a,34b,34cには、細かい塵埃を掃くことができるように、細い毛がシート上に高密度で植えられたブラシ状の部材例えば、パイル、モケット等が用いられている。各塵埃除去部材34a,34b,34cの毛は、ナイロン、ポリエチレン、PETポリエチレンテレフタラート等からなる。なお、被搬送物10の被支持部12の材質と塵埃除去部材34a,34b,34cの毛の材質との相性で、静電気の発生が著しくなる場合には、塵埃除去部材34a,34b,34cの毛の材料であるナイロン、ポリエチレン、PET等に導電性処理を施したり、カーボンやステンレス鋼を付加したりしてもよい。塵埃除去部材34aは、その毛が被支持部12の下面12aに接触するように下側保持部材35に固定されている。また、塵埃除去部材34cは、その毛が被支持部12の上面12cに接触するように上側保持部材36に固定されている。各保持部材35,36は、カバー体32内に配置されており、カバー体32の内面に固定されている。更に、塵埃除去部材34bは、その毛が被支持部12の側面12bに接触するように弾性部材37に固定されている。弾性部材37は、スポンジ等の弾性体からなり、被支持部12の側面12bに対向した状態で保持部材35,36によって挟持されている。このように、塵埃除去部材34bは、被支持部12の側面12bに対向するように配置された弾性部材37によって支持されている。なお、塵埃除去部材34bにおいては、少なくとも搬送方向Aにおける上流側の端部ここでは、搬送方向Aにおける上流側の端部及び下流側の端部が上方から見た場合に凸曲面状に面取りされている。カバー体32には、ダクト38の先端部38aが接続されており、先端部38aは、カバー体32内の空間Sに開口している。ダクト38の基端部は、図2に示されるように、塵埃吸引部39に接続されている。これにより、塵埃吸引部39は、カバー体32内に連通している。塵埃吸引部39は、所定の負圧を形成することで、塵埃除去部34によって除去された塵埃を周囲雰囲気と共に吸引し、塵埃吸引部39内に設けられたフィルタによって、吸引した塵埃を回収する。図4に示されるように、各清掃ユニット31において、カバー体32の手前すなわち、搬送方向Aにおける上流側には、収容部11の側面11aと被支持部12の上面12cとの隅部つまり、上面12cにおいて塵埃除去部材34cが届かない領域を掃くように補助ブラシ40が設けられている。補助ブラシ40で掃かれた上面12c上の塵埃は、掃かれた直後にカバー体32に覆われて、塵埃吸引部39によって吸引される。以上のように構成されたコンベア装置1においては、コンベア部20によって搬送される被搬送物10が清掃部30を通過する際に、被支持部12の下面12aに塵埃除去部材34aが当接し、被支持部12の側面12bに塵埃除去部材34bが当接し、被支持部12の上面12cに塵埃除去部材34cが当接する。これにより、被支持部12の下面12a、側面12b及び上面12cから塵埃が除去される。このとき、塵埃除去部材34a,34b,34cは、カバー体32に取り付けられており、カバー体32の開口33a,33b,33cにおいて被搬送物10の被支持部12に当接する。これにより、塵埃除去部材34a,34b,34cによって除去された塵埃は、カバー体32外に拡散することが抑制され、カバー体32内の空間Sを介して塵埃吸引部39に吸引される。従って、コンベア装置1によれば、被搬送物10から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。ここで、被支持部12の下面12aには、コンベア部20のベルト26の当接に起因して塵埃が付着しやすいので、清掃部30が塵埃除去部材34aを有することは、被搬送物10から塵埃を的確に除去する上で有効である。また、被支持部12の側面12bには、コンベア部20のフランジ部27の当接に起因して塵埃が付着しやすいので、清掃部30が塵埃除去部材34bを有することも、被搬送物10から塵埃を的確に除去する上で有効である。更に、コンベア部20の構成部材が直接接触しないものの、被支持部12の側面12bに隣接する被支持部12の上面12cには、被搬送物10の搬送速度の高速化等に伴い塵埃が付着しやすいので、清掃部30が塵埃除去部材34cを有することも、被搬送物10から塵埃を的確に除去する上で有効である。このように、清掃部30においては、1つのカバー体32に塵埃除去部材34a,34b,34cが取り付けられているので、清掃部30の小型化を図りつつ、被搬送物10において塵埃が付着しやすい被支持部12の下面12a、側面12b及び上面12cから一括で塵埃を除去することができる。また、清掃部30は、搬送システム100において、各搬出ポート4,6の直前の位置に設置されている。そのため、塵埃が付着した被搬送物10が搬送経路R上から保管装置2内に搬出されたり、搬送経路R上から搬送システム100外に搬出されたりすることが防止される。つまり、コンベア装置1内で被搬送物10に付着した塵埃が、保管装置2内や他の搬送システム内に持ち込まれることが防止される。また、塵埃除去部材34bは、被支持部12の側面12bに対向するように配置された弾性部材37によって支持されている。これにより、搬送方向Aに略垂直な方向に被搬送物10が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物10の動きが弾性部材37に吸収されて、被支持部12の側面12bから塵埃が的確に除去される。更に、塵埃除去部材34bでは、少なくとも搬送方向Aにおける上流側の端部が凸曲面状に面取りされている。これにより、搬送方向Aに略垂直な方向に被搬送物10が揺れたりがたついたりしても、被搬送物10が塵埃除去部材34bに引っ掛かるようなことが防止される。更に、カバー体32の手前には、補助ブラシ40が設けられている。これにより、被支持部12の上面12cにおいて塵埃除去部材34cが届かない領域の塵埃が掃かれる。そして、補助ブラシ40によって掃かれた塵埃は、掃かれた直後にカバー体32に覆われて、周囲雰囲気への拡散が防止されつつ、カバー体32内の空間Sを介して塵埃吸引部39に吸引される。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図7に示されるように、被搬送物10においては、収容部11の側面11aが略平坦状に形成され、被支持部12の側面12bが収容部11の側面11aよりも内側に位置していてもよい。この場合、収容部11の下面第3の面11cが被支持部12の側面12bに隣接することになるので、清掃ユニット31は、次のように構成される。すなわち、図8に示されるように、清掃ユニット31には、塵埃除去部材34cに代えて塵埃除去部材第3の塵埃除去部分34dが設けられる。つまり、ここでは、塵埃除去部材34a,34b,34dによって塵埃除去部34が構成される。塵埃除去部材34dは、その毛がカバー体32の開口において収容部11の下面11cに接触するようにカバー体32に取り付けられる。これにより、コンベア部20の構成部材が直接接触しないものの被支持部12の側面12bとの隣接に起因して塵埃が付着しやすい収容部11の下面11cから塵埃を的確に除去することができる。また、コンベア部20は、上述したようなベルト式コンベアに限定されず、ローラ式コンベアであってもよい。更に、搬送方向Aに略垂直な方向への被搬送物10の移動を規制する規制部として、ベルト26に一体的に形成されたフランジ部27に代えて、ローラを用いてもよい。また、塵埃除去部材34a,34b,34cによって構成される塵埃除去部34において、塵埃除去部材34a,34b,34cは、細い毛がシート上に高密度で植えられたブラシ状の部材例えば、パイル、モケット等が折り曲げられて構成されるなど、一体的に形成されていてもよい。また、塵埃除去部材34bの毛の長さは、塵埃除去部材34a,34cの毛の長さよりも長くなっていてもよい。搬送方向Aに略垂直な方向に被搬送物10が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物10の動きが塵埃除去部材34bの毛に吸収されて、被支持部12の側面12bから塵埃が的確に除去されるからである。これらのことは、塵埃除去部材34a,34b,34dによって構成される塵埃除去部34においても同様である。更に、コンベア装置1は、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームに設置されたものに限定されず、被搬送物10は、複数枚の半導体ウェハを収容したカセットに限定されない。例えば、フォトマスクレチクルやガラス基板等を収容したカセットにも、適用が可能である。そして、コンベア装置1及び被搬送物10の構成部材の材料及び形状には、前述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を適用することができる。最後に、図9に示されるように、上述した清掃ユニット31若しくは補助ブラシ40に代えて、又は清掃ユニット31と共に、吹付けノズル41及び吸引ノズル42が設けられていてもよい。この場合、吹付けノズル41及び吸引ノズル42は、次のように構成される。すなわち、吹付けノズル41は、噴射孔41aが搬送方向Aにおける上流側かつ外側から被支持部12の一部に向くように斜めに配置される。一方、吸引ノズル42は、吸引口42aが搬送方向Aにおける下流側かつ外側から被支持部12の一部に向くように斜めに配置される。これにより、吹付けノズル41の噴射孔41aから噴射された空気等の気体は、搬送方向Aに対向した状態で被支持部12に吹き付けられる。そして、被支持部12から除去された塵埃は、周囲雰囲気への拡散が防止されつつ、気体と共に吸引ノズル42の吸引口42aに吸引される。"