絶縁基板上に第1の導電性無機材料を含む厚みが5μm以上の一対の電極を形成する工程と、前記一対の電極間に加熱により消失する消失材と第2の導電性無機材料を含有する消失部を形成する工程と、少なくとも前記消失部を加熱して前記消失材を消失させる工程と、前記一対の電極間に電圧を印加させ前記一対の電極間に放電を生じさせ前記一対の電極間に1μm未満の厚みの前記第1の導電性無機材料と前記第2の導電性無機材料との合金または化合物からなる導電性を有する薄膜層を不連続に形成する工程と、を備えた静電気対策部品の製造方法。前記絶縁基板は未焼成セラミックシートであり、前記消失部を形成する工程の後であり、前記消失部を加熱する工程の前に、前記消失部を覆うように未焼成のセラミックシートを形成する工程を追加し、前記消失部を加熱する工程において、全ての前記未焼成のセラミックシートの焼成を行い、さらに前記消失材が消失することにより空洞が形成される請求項1記載の静電気対策部品の製造方法。内部に空洞を有する基体と、前記基体の外部から前記空洞まで延伸している厚みが5μm以上の一対の電極とを備え、前記一対の電極は前記空洞内部においては同一平面に形成されており、前記一対の電極間に1μm未満の厚みの薄膜層が不連続に形成されており、前記薄膜層は前記一対の電極を構成する第1の導電性無機材料と、第2の導電性無機材料との合金または化合物である静電気対策部品。近年、静電気対策部品に対し、より高い信頼性が求められるようになってきた。そうした中で、想定される静電気の電圧よりもより高い電圧での印加試験や、連続して繰り返す印加試験なども行われるようになってきた。これらは、想定される使用の範囲を超えたものであるが、安全率を考慮してこのような試験が行われている。連続した繰り返しの印加試験により、連続して繰り返しの放電が生じる。この放電により一対の電極には大きな熱が発生し、電極の熱容量が小さいと、電極の温度が上昇しダメージを受けてしまう。特に、電極の厚みが1μm未満になってしまう薄膜電極の場合には、その点で不利である。一方、印刷工法などで形成する厚膜電極は、5μmや10μm以上の厚みにすることは容易であり、十分な熱容量を確保することが可能である。しかし、印刷工法の場合には、一対の電極間の距離を狭めることが困難である。勿論、印刷後にエッチングやレーザー照射を行うことで一対の電極を形成するのであれば、一対の電極間を5~6μm程度にすることは可能であるが、そのような工法を取り得ることが出来ない場合も存在する。一般に、一対の電極間の距離は、放電開始電圧に影響を与え、電極間距離が短い方が放電開始電圧を低くすることが知られている。従って、厚膜電極の場合には、放電開始電圧を低くすることが困難であった。本発明は上記従来の課題を解決するもので、連続した繰り返し放電に対する信頼性が高く、放電開始電圧を低くすることが可能となる静電気対策部品の製造方法および静電気対策部品を提供するものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を有している。請求項1記載の発明は絶縁基板上に第1の導電性無機材料を含む厚みが5μm以上の一対の電極を形成する工程と、前記一対の電極間に加熱により消失する消失材と第2の導電性無機材料を含有する消失部を形成する工程と、少なくとも前記消失部を加熱して前記消失材を消失させる工程と、前記一対の電極間に電圧を印加させ前記一対の電極間に放電を生じさせ前記一対の電極間に1μm未満の厚みの前記第1の導電性無機材料と前記第2の導電性無機材料との合金または化合物からなる導電性を有する薄膜層を不連続に形成する工程と、を備えたものである。請求項1に記載の発明は、厚みが、5μm以上であるので連続の繰り返しの電圧の印加に対しても信頼性が優れ、また、第1の導電性無機材料と第2の導電性無機材料とによる合金または化合物による不連続な薄膜層が一対の電極間に存在することにより、放電開始電圧を下げることができるという作用効果を有する。請求項2に記載の発明は、特に、前記絶縁基板は未焼成セラミックシートであり、前記消失部を形成する工程の後であり、前記消失部を加熱する工程の前に、前記消失部を覆うように未焼成のセラミックシートを形成する工程を追加し、前記消失部を加熱する工程において、全ての前記未焼成のセラミックシートの焼成を行い、さらに前記消失材が消失することにより空洞が形成されるものである。請求項2に記載の発明は、特に、未焼成のセラミックシートを積層して形成する静電気対策部品において、請求項1に記載の発明と同様に、連続の繰り返しの電圧の印加に対しても信頼性が優れ、また、放電開始電圧を下げることができるという作用効果を有する。請求項3に記載の発明は、内部に空洞を有する基体と、前記基体の外部から前記空洞まで延伸している厚みが5μm以上の一対の電極とを備え、前記一対の電極は前記空洞内部においては同一平面に形成されており、前記一対の電極間に1μm未満の厚みの薄膜層が不連続に形成されており、前記薄膜層は前記一対の電極を構成する第1の導電性無機材料と、第2の導電性無機材料との合金または化合物であるものである。請求項3に記載の発明は、厚みが、5μm以上であるので連続の繰り返しの電圧の印加に対しても信頼性が優れ、また、第1の導電性無機材料と第2の導電性無機材料とによる合金または化合物による不連続な薄膜層が一対の電極間に存在することにより、放電開始電圧を下げることができるという作用効果を有する。以上のように本発明の静電気対策部品の製造方法および静電気対策部品は、連続の繰り返しの電圧の印加に対しても信頼性が優れ、また、放電開始電圧を下げることができるという作用効果を有する。実施の形態1以下、実施の形態1を用いて、本発明について説明する。図1は本発明の実施の形態1における静電気対策部品の斜視図、図2は同静電気対策部品の断面図であり、図1の横断面図である。静電気対策部品1の外形は、略直方体形状のセラミックの基体2の相対向する端面の一方に第1の放電電極用端子3、他方に第2の放電電極用端子4が形成されている。また、第1の放電電極用端子3または第2の放電電極用端子4が形成されていない相対向する側面の一方にグランド用端子5、他方にグランド用端子6が形成されている。基体2の内部には第1の放電電極7と第2の放電電極8が形成されている。第1の放電電極7は第1の放電電極用端子3と電気的に接続しており、第2の放電電極8は第2の放電電極用端子4と電気的に接続している。第1の放電電極7、第2の放電電極8およびグランド電極9はいずれも第1の導電性無機材料としてのAuを主成分とする電極である。なお、空洞12内に位置している第1の放電電極7、第2の放電電極8およびグランド電極9は、後述する第2の導電性無機材料であるAgも含有しており、少なくともその表面においてはAuとAgとの合金である。グランド電極9はグランド用端子5およびグランド用端子6と電気的に接続している。空洞12は基体2の中に形成された空間であり、第1の放電電極7および第2の放電電極8の先端部は空洞12内に露出している。また、グランド電極9の中央部が空洞12内で露出している。第1の放電電極7とグランド電極9とは空洞12内で間隔を隔てて対向している。その間隔は20~30μm程度である。第2の放電電極8とグランド電極9も空洞12内で間隔を隔てて対向しており、その間隔は20~30μmである。第1の放電電極7、第2の放電電極8およびグランド電極9はいずれも同一平面上に形成されている。薄膜層10は、第1の放電電極7およびグランド電極9間に不連続に位置するもので、Auと第2の導電性無機材料としてのAgとの合金からなるものである。従って、第1の放電電極7およびグランド電極9間は、通常は電気的に絶縁状態にある。同様に、薄膜層11は、第2の放電電極8およびグランド電極9間に不連続に位置するもので、AuとAgとの合金からなるものである。従って、第2の放電電極8およびグランド電極9間も、通常は電気的に絶縁状態にある。以上の構成の静電気対策部品の製造方法について、以下に説明する。図3~図5は本発明の実施の形態1における静電気対策部品の製造時の断面図、図6~図8は同静電気対策部品の製造時の平面図である。また、断面図である図3a、b、c、図4a、b、c、図5a、bはそれぞれ平面図である図6a、b、c、図7a、b、c、図8a、bに対応する。図9は同静電気対策部品における薄膜層を形成する前の空洞内部の平面方向の電子顕微鏡写真、図10は同静電気対策部品における薄膜層形成後の空洞内部の平面方向の電子顕微鏡写真、図11aは図10の正面断面の電子顕微鏡写真、図11bは図11aのA部拡大電子顕微鏡写真、図12aは図11bにおけるAgの存在を示す図面、図12bは図11bにおけるAuの存在を示す図面である。まず、図3a、図6aに示すように未焼成セラミックシート21を準備する。次に、図3b、図6bに示すように未焼成セラミックシート21上に第1の放電電極ペースト層22、第2の放電電極ペースト層23およびグランド電極ぺースト層24を形成する。これらは、Auペーストからなるものであり、印刷工法によって塗布することで形成される。図3c、図6cに示すように未焼成セラミックシート21、第1の放電電極ペースト層22、第2の放電電極ペースト層23およびグランド電極ぺースト層24上に開口部付未焼成セラミックシート25を形成する。開口部付未焼成セラミックシート25は中央部に開口部を有する。この開口部からは第1の放電電極ペースト層22および第2の放電電極ペースト層23の先端部が露出している。また、グランド電極ぺースト層24の中央部も露出している。図4a、図7aに示すように開口部付未焼成セラミックシート25の開口部に消失部26を充填する。消失部26は、Agと加熱により消失してしまう消失材としてのアクリルビーズとの混合物である。図4b、図7bに示すように、開口部付未焼成セラミックシート25および消失部26を覆うように未焼成セラミックシート27を形成する。図4b、図7bの工程のあとに焼成を行う。これにより、図4c、図7cに示すように、未焼成セラミックシート21、開口部付未焼成セラミックシート25および未焼成セラミックシート27を一体化させ基体2を得る。また、この焼成において、第1の放電電極ペースト層22、第2の放電電極ペースト層23、グランド電極ぺースト層24、はそれぞれ、第1の放電電極7、第2の放電電極8、グランド電極9となる。さらに、この焼成工程において、消失部26を構成していたアクリルビーズが蒸発などにより消失し、これにより基体2内に空洞12が形成される。図5a、図8aに示すように、外部に、第1の放電電極7と電気的に接続するように第1の放電電極用端子3を、第2の放電電極8と電気的に接続するように第2の放電電極用端子4を、グランド電極9と電気的に接続するようにグランド用端子5およびグランド用端子6をそれぞれ形成する。第1の放電電極用端子3、第2の放電電極用端子4、グランド用端子5およびグランド用端子6は、Agとガラスを含んだ導電性ペーストを塗布し乾燥させた後に、NiめっきとSnめっきを施すことで得ることが出来る。これらの工程が終了した後に、第1の放電電極用端子3とグランド用端子5およびグランド用端子6間、並びに第2の放電電極用端子4とグランド用端子5およびグランド用端子6間に500~600VのDC電圧を印加する。このとき、第1の放電電極用端子3および第2の放電電極用端子4を高電位側に、グランド用端子5およびグランド用端子6をグランド側にして電圧を印加している。この放電により図5bに示すように空洞12内に薄膜層10および薄膜層11が形成される。この放電後の空洞12内の平面方向の状態を示したものが図10である。図9は比較のために放電の前の状態を示したものである。放電の前は、第2の放電電極8とグランド電極9との間には、空間が存在するだけで、基体2の空洞12の内壁面が露出している。一方、焼成後には、第2の放電電極8とグランド電極9との間に薄膜層11が形成されている。この薄膜層11の厚み方向の断面を示したものが、図11aであり、そのA部拡大図が図11bである。薄膜層10および薄膜層11は、0.2μm未満の非常に薄い層である。一方、基体2の空洞12の内壁の表面は、図11a、bに示すように、凹凸が大きい。これは、基体2中のガラス粒子径は0.65μm程度であるので、薄膜層10および薄膜層11の厚みに対し凹凸が大きいものとなっている。このため薄膜層10および薄膜層11は、所々で断線した状態になっている。薄膜層10および薄膜層11の成分について分析した結果が図12aおよびbである。図12aはAg成分を示しており、図12bはAu成分を示している。これらのデータから、薄膜層10および薄膜層11はAuとAgの合金であることが判る。薄膜層10および薄膜層11中のAgは、消失部26中のAgである。薄膜層10および薄膜層11中のAuは、第1の放電電極7、第2の放電電極8、グランド電極9中の少なくとも一つの電極から飛散したものである。Auがこれらのいずれの電極から、飛散したものであるか、そして何故飛散するのかについては、明確ではない。推測であるが、アーク放電が生じることで空洞12内がプラズマ状態になって一種のスパッタリングが生じ、第1の放電電極7または第2の放電電極8中のAuが飛散したのではないかと考えられる。また、図10に示すように、薄膜層11はグランド電極9側から延伸しているようになっており、薄膜層11と第2の放電電極8間にはギャップが存在している。同様に薄膜層10はグランド電極9側から延伸しているようになっており、薄膜層10と第1の放電電極7間にはギャップが存在している。以上のような静電気対策部品1の動作について、以下、説明をする。薄膜層10および薄膜層11は不連続であり、さらに第1の放電電極7および第2の放電電極8とはギャップを隔てているため、グランド電極9と第1の放電電極7間、およびグランド電極9と第2の放電電極8間はともに通常時は絶縁状態にある。静電気が第1の放電電極用端子3側に印加されると、第1の放電電極7およびグランド電極9間に放電が生じ、静電気は、グランド用端子5およびグランド用端子6へ通ってグランドに流れる。同様に静電気が第2の放電電極用端子4側に印加されると、第2の放電電極8およびグランド電極9間に放電が生じ、静電気は、グランド用端子5およびグランド用端子6へ通ってグランドに流れる。このようにして、電子機器等を静電気から保護する。ここで、放電開始電圧は、一般的には、第1の放電電極7とグランド電極9間の距離、第2の放電電極8とグランド電極9の距離に影響されるものであるが、導電物質であるAuとAgとの合金による薄膜層10および薄膜層11が存在するため、放電が生じ易くなっている。即ち、放電開始電圧を低下させることができるのである。なお、本実施の形態においては、第1の放電電極7とグランド電極9間で一対の電極を構成し、また第2の放電電極8とグランド電極9間でも一対の電極を構成する。そして、これらの電極の厚みの上限は、厚ければ厚い方が放電時に電極が受けるダメージを分散させることができ信頼性を向上させることが出来るが、厚すぎると製造が難しくなる。厚みの上限としては、15μmが信頼性の確保の点および厚膜印刷工法での形成の容易さの点で適当である。薄膜層10および薄膜層11は、AuとAgとの合金になっていなくても、導電性を有していればこれらを含んだ化合物であってもよい。そして、薄膜層10および薄膜層11の厚みは、1μmを超えると不連続に形成することが困難になってくるので、1μm未満がよい。さらに、0.2μm未満であれば、一般的なアルミナ基板に含有されるガラス粒子径よりも小さくなるので、より不連続な形成が容易となり好ましい。この薄膜層10および薄膜層11の形成は第1の放電電極7とグランド電極9間および第2の放電電極8とグランド電極9間で放電を行わせることにより行うので、製造方法としては薄膜層10および薄膜層11が薄い方が作りやすい。0.04μm以上であれば、放電開始電圧を低下させるのに十分な効果を有するので、厚みの下限は0.04μmまで薄くてもよい。実施の形態2以下、本発明の実施の形態2について、図面を用いて説明する。図13は本発明の実施の形態2における静電気対策部品の焼成前の分解斜視図である。実施の形態2の静電気対策部品は、実施の形態1における静電気対策部品が4個存在し、さらにコモンモードノイズフィルタを取り込んだものである。絶縁シート101、開口部付絶縁シート102、絶縁シート112、絶縁シート113、絶縁シート116、絶縁シート121、絶縁シート124、絶縁シート129、絶縁シート130、開口部付絶縁シート138、および絶縁シート141はいずれも未焼成のセラミックシートであり、下から順番に積層している。開口部付絶縁シート102には開口部103および開口部104が設けられ、消失部105、消失部106が充填されている。同様に開口部付絶縁シート138にも開口部139および開口部140が設けられ、消失部136、消失部137が充填されている。消失部105、消失部106、消失部136、消失部137は実施の形態1に用いた材質のものを用いている。放電電極107、放電電極108、放電電極109、放電電極110、グランド電極111は同一平面上に形成されており、放電電極107、放電電極108、放電電極109、放電電極110はいずれも先端部でグランド電極111と対向している。放電電極131、放電電極132、放電電極133、放電電極134、グランド電極135の関係も同様である。引出電極114はビア117を通じて渦巻部119と電気的に接続し、同様に引出電極127はビア125を通じて渦巻部122と電気的に接続している。渦巻部119と渦巻部122とは、絶縁シート121を介して対向しており、引出電極114、ビア117、渦巻部119、引出電極127、ビア125および渦巻部122によってコモンモードノイズフィルターを構成している。引出電極115、ビア118、渦巻部120、引出電極128、ビア126および渦巻部123においても、同様の構成によりコモンモードノイズフィルタを構成している。以上の構成で焼成し、その後にDC放電をさせることで、開口部103、開口部104、開口部139、開口部140は空洞図示せずとなり、さらに放電電極107、放電電極108、放電電極109、放電電極110のそれぞれの電極とグランド電極111間に薄膜層図示せずが、放電電極131、放電電極132、放電電極133、放電電極134のそれぞれの電極とグランド電極135間に薄膜層図示せずが実施の形態1と同様に形成される。実施の形態2の静電気対策部品の動作については、公知のコモンモードノイズフィルタの動作が加わっただけで、静電気印加時の動作は実施の形態1の場合と同様である。なお、実施の形態2の静電気対策部品においては、コモンモードノイズフィルタを2個そろえたアレイタイプであるが、単体のコモンモードノイズフィルタや、3個以上のアレイタイプであっても適用可能である。また、コモンモードノイズフィルタの入出力の両側に静電気を通すための放電電極を設けた構成にしているが、必要に応じて、入力側のみにすることも可能である。また、実施の形態1および2において、一対の電極が、放電電極とグランド電極とし、1個のグランド電極が2個の放電電極と対を成す構成にしているが、1個の放電電極と1個のグランド電極とで対を成す構成にしてもよい。