短冊状の被加工物に存在する溝を検出することにより、該被加工物のカット本数の検出及び向きの調整をする溝アライメント方法であって、該被加工物には、第1の溝と、第1の溝より切り込みの浅い第2の溝との2種類が、被加工物の長手方向の所定の一面から垂直方向に切り込んで同数形成されており、リングフレームの開口部にテープを介して支持された少なくとも1以上の該被加工物を保持する保持手段と、該保持手段を回転させる回転手段と、該被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを備えた切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に切削送りする切削送り手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に割り出し送りする割り出し送り手段と、該被加工物の切削すべき領域を検出する検出手段と、を少なくとも含む切削装置を用い、該保持手段に保持された該被加工物の長手方向をY方向としたとき、該被加工物の該第2の溝のU字部分を検出すべきアライメントポイントとし、該アライメントポイントを該検出手段を用いて検出し、該被加工物の長手方向の一端部に位置する該アライメントポイントを基準ターゲットとし、該割り出し送り手段により該基準ターゲットから設定されたインデックス量にて該検出手段をY方向他端部側に移動させて順次アライメントポイントを検出し、該アライメントポイントが未検出となったときは該検出手段を該インデックス量だけY方向の該一端部側に移動させ、該他端部の該アライメントポイントを検出するまでのアライメントポイントの検出回数をカット本数として検出するカット本数検出工程と、該カット本数検出工程において該基準ターゲットのアライメントポイントを第1のアライメントポイントとし、該第1のアライメントポイントから該検出手段がY方向に1インデックス量移動したときに検出したアライメントポイントを第2のアライメントポイントとしたとき、該第1のアライメントポイントと該第2のアライメントポイントとの間に発生するY方向角度ズレを、該回転手段によって該保持手段を回転させることにより補正する第1の角度ずれ補正工程と該カット本数検出工程が終了するまでにY方向に1インデックス量だけ移動するごとに発生するY方向の角度ズレを、該回転手段によって該保持手段を回転させることにより補正する第2の角度ずれ補正工程と、該基準ターゲットのアライメントポイントと該他端部のアライメントポイントとの間に発生する角度ズレを、該回転手段によって該保持手段を回転させることにより補正する第3の角度ずれ補正工程と、を少なくとも遂行する溝アライメント方法。前記カット本数検出工程と前記第2の角度ズレ補正工程とにおいて、前記検出手段を、前記インデックス量の整数倍ずつ移動させてアライメントポイントの検出を行う請求項1に記載の溝アライメント方法。しかし、該接合基板は略円形または矩形であり、溝を複数施してあるため、接合基板の運搬、搬送などで、溝が起点となって割れる場合がある。割れた接合基板も、個々のチップに分割することで、電子部品として使用することが可能ではあるが、割れた接合基板をダイシング加工するためには、割れた接合基板1枚ごとに加工位置のアライメントを行う必要があり、作業効率が低いという問題があった。本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、割れた接合基板であっても効率よくダイシング加工できるようにすることを課題とする。本発明は、短冊状の被加工物に存在する溝を検出することにより、被加工物のカット本数の検出及び向きの調整をする溝アライメント方法に関するもので、被加工物には、第1の溝と、第1の溝より切り込みの浅い第2の溝との2種類が、被加工物の長手方向の所定の一面から垂直方向に切り込んで同数形成されており、リングフレームの開口部にテープを介して支持された少なくとも1以上の被加工物を保持する保持手段と、保持手段を回転させる回転手段と、被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを備えた切削手段と、保持手段と切削手段とを相対的に切削送りする切削送り手段と、保持手段と切削手段とを相対的に割り出し送りする割り出し送り手段と、被加工物の切削すべき領域を検出する検出手段と、を少なくとも含む切削装置を用い、保持手段に保持された被加工物の長手方向をY方向としたとき、被加工物の第2の溝のU字部分を検出すべきアライメントポイントとし、アライメントポイントを検出手段を用いて検出し、被加工物の長手方向の一端部に位置するアライメントポイントを基準ターゲットとし、割り出し送り手段により基準ターゲットから設定されたインデックス量にて検出手段をY方向他端部側に移動させて順次アライメントポイントを検出し、アライメントポイントが未検出となったときは検出手段をインデックス量だけY方向の一端部側に移動させ、他端部のアライメントポイントを検出するまでのアライメントポイントの検出回数をカット本数として検出するカット本数検出工程と、カット本数検出工程において基準ターゲットのアライメントポイントを第1のアライメントポイントとし、第1のアライメントポイントから検出手段がY方向に1インデックス量移動したときに検出したアライメントポイントを第2のアライメントポイントとしたとき、第1のアライメントポイントと第2のアライメントポイントとの間に発生するY方向角度ズレを、回転手段によって保持手段を回転させることにより補正する第1の角度ずれ補正工程と、カット本数検出工程が終了するまでにY方向に1インデックス量だけ移動するごとに発生するY方向の角度ズレを、回転手段によって保持手段を回転させることにより補正する第2の角度ずれ補正工程と、基準ターゲットのアライメントポイントと他端部のアライメントポイントとの間に発生する角度ズレを、回転手段によって保持手段を回転させることにより補正する第3の角度ずれ補正工程とを少なくとも遂行する。上記溝アライメント方法におけるカット本数検出工程と第2の角度ズレ補正工程とにおいては、検出手段を、インデックス量の整数倍ずつ移動させてアライメントポイントの検出を行うようにしてもよい。本発明では、被加工物の長手方向の所定の一面から垂直方向に第1の溝及び第2の溝が同数切り込んで形成され、少なくとも1以上の被加工物が、リングフレームの開口部においてテープを介して支持された状態で保持手段に保持されている。そして、被加工物に高精度に形成された第2の溝のうちの1つから指定されたアライメントポイントを基準とし、検出手段をインデックス送りして他の第2の溝のアライメントポイントを検出していくことにより、切削位置である第1の溝の数を検出することができる。したがって、第1の溝を個々に検出する作業が不要となり、割れた被加工物であって第1の溝の数が不明である場合に第1の溝の数を容易に求めることができ、効率よくダイシング加工することができる。また、検出手段をインデックス送りしてアライメントポイントを次々と検出することで、アライメントポイント間に発生する位置ずれから被加工物の長手方向の角度を調整することができるため、第1の溝の方向を切削送り方向と一致させることができ、正確に切削することが可能となる。図1に示す切削装置1は、保持手段2に保持された被加工物に対して切削手段3によって切削加工を施す装置である。保持手段2は、被加工物を吸引保持する吸引テーブル20を備えている。吸引テーブル20の周囲には、被加工物の外周側において被加工物を支持するリングフレームを固定するフレーム固定部21が配設されている。吸引テーブル20は、内部にモータを有する回転手段22によって駆動されて回転可能となっている。保持手段2は、切削送り手段4によって切削方向図1におけるX方向に駆動される。一方、切削手段3は、割り出し送り手段5によって割り出し送り方向図1におけるY方向に駆動されるとともに、切り込み送り手段6によって切り込み送り方向図1におけるZ方向に駆動される構成となっている。なお、切削送り手段4、割り出し送り手段5及び切り込み送り手段6は、保持手段2と切削手段3とを相対的にそれぞれ切削送り、割り出し送り、及び切り込み送りさせることができればよく、図1の構成には限定されない。したがって、例えば、切削送り手段が切削手段3をX方向に移動させ、割り出し送り手段が保持手段2をY方向に移動させ、切り込み送り手段が保持手段2をZ方向に移動させる構成としてもよい。切削送り手段4は、X軸方向の軸心を有するボールネジ40と、ボールネジ40と平行に配設された一対のガイドレール41と、ボールネジ40の一端に連結されたサーボモータ42と、ボールネジ40に螺合する図示しないナットを内部に有するとともに下部がガイドレール41に摺接するベース部43とから構成される。ベース部43は保持手段2と連結されており、サーボモータ42に駆動されてボールネジ40が回動するのに伴い、ベース部43がガイドレール41上をX軸方向に摺動し、これに伴い保持手段2がX軸方向に移動する構成となっている。切削手段3は、Y軸方向に延びるスピンドル30がハウジング31によって回転可能に支持され、スピンドル30の先端部に切削ブレード32が装着されて構成されている。ハウジング31の側部には、被加工物の切削すべき領域を検出する検出手段33が配設されている。検出手段33は、被加工物を撮像する撮像部330を備えている。割り出し送り手段5は、Y軸方向の軸心を有するボールネジ50と、ボールネジ50と平行に配設された一対のガイドレール51と、ボールネジ50の一端に連結されたサーボモータ52と、ボールネジ50に螺合する図示しないナットを内部に有するとともに下部がガイドレール51に摺接するスライド部53とから構成され、サーボモータ52に駆動されてボールネジ50が回動するのに伴い、スライド部53がガイドレール51上をY軸方向に摺動し、これに伴い切削手段3もY軸方向に移動する構成となっている。切り込み送り手段6は、Z軸方向の軸心を有するボールネジ60と、ボールネジ60に平行に配設された一対のガイドレール61と、ボールネジ60の一端に連結されたサーボモータ62と、ボールネジ60に螺合する図示しない内部のナットを有するとともに側部がガイドレール61に摺接し切削手段3を支持する昇降部63とから構成される。昇降部63は切削手段3を支持しており、サーボモータ62に駆動されてボールネジ60が回動するのに伴い昇降部63がガイドレール61にガイドされてZ軸方向に昇降し、これに伴い切削手段3もZ軸方向に昇降する構成となっている。検出手段33による検出結果は制御手段7に通知され、切削送り手段4、割り出し送り手段5及び切り込み送り手段6は、制御手段7によって制御される。制御手段7は、CPU、メモリ等を備えている。以下では、図1に示した切削装置1を用いて、図2に示す短冊状ワーク8をダイシング加工する場合について説明する。短冊状ワーク8は、細長い直方体形状に形成されており、第1の溝81と第2の溝82とが交互に長手方向に形成されており、第1の溝81と第2の溝82とは同数となっている。第1の溝81及び第2の溝82は、長手方向に延びる側面83から垂直方向短手方向に切り込んで形成されており、第1の溝81が第2の溝82より深く切り込んでいる。少なくとも、第2の溝82の水平方向の切り込み深さは高精度に一定である。第1の溝81は、切断ラインであり、第1の溝81に沿って切断することにより、個々のデバイス、例えば加速度センサとなる。このように形成される短冊状ワーク8は、細長い形状及び第1の溝81及び第2の溝82が形成されていることに起因して折れやすいため、長さが不揃いなものがあり、長さが不揃いなものも含めて、図3に示すように、複数図3の例では7個の短冊状ワーク8a~8gが、同じ方向を向いて整列状態でテープTに貼着される。テープTは、リング状のリングフレームFの開口部F1を塞ぐようにリングフレームFに貼着されており、複数の短冊状ワーク8は、開口部F1においてテープTを介してリングフレームFに支持された状態となっている。複数の短冊状ワーク8a~8gは、その一方の端面84がX軸方向に一直線状になった状態でテープTに貼着され、長手方向がY軸方向に向くように図1に示した吸引テーブル20に吸引されるとともに、リングフレームFがフレーム固定部21に固定される。また、隣り合う短冊状ワークは、切削ブレード32が2つの短冊状ワークに同時に切り込まないように、一定の距離が保たれている。短冊状ワーク8a~8gのテープTへの貼着時は、専用の治具を用いることにより、所望の位置に各短冊状ワーク8a~8gが貼着されるようにする。以下では、短冊状ワーク8aに存在する第2の溝82を検出することにより、切削位置である第1の溝81の向きをあわせ、溝81の数であるカット本数を検出する手順について説明する。1カット本数検出工程まず、図1に示した切削送り手段4が保持手段2をX軸方向に駆動し、短冊状ワーク8aを検出手段33の撮像部330の下方に移動させる。そして、図2に示す短冊状ワーク8aに形成された第2の溝82のうち、長手方向Y軸方向の一端部の最も端面84に近い手前側-Y側にある第2の溝82aを、図4に示すように撮像部330の直下に位置づけする。そして、図2に示した第2の溝82aの最奥部、すなわちU字状に形成されたU字部分820aをアライメントポイントとし、ここを撮像部330が撮像する。そして、検出手段33が当該アライメントポイントを検出すると、制御手段7は、当該アライメントポイント820aを基準ターゲットとして指定し、その位置情報を記憶する。制御手段7には、隣り合う第2の溝の間隔d2が記憶されており、制御手段7は、割り出し送り手段5を制御して検出手段33をY軸方向他端部側Y側に間隔d2をインデックス量としてインデックス送りしながら、各第2の溝82b、82c、のU字部分アライメントポイントを順次検出する。制御手段7は、アライメントポイントを検出するたびに、検出回数をカウントアップしていく。そして、図4に示す最奥端Y側の第2の溝82gのアライメントポイントを検出後に検出手段33をY方向に間隔dだけインデックス送りすると、その場所には第2の溝が形成されていないため、アライメントポイントが未検出となる。そうすると、割り出し送り手段5は、検出手段3をY軸方向手前側-Y方向に駆動し、制御手段7は、他端部の第二の溝82gのアライメントポイントを検出するまでのアライメントポイントの検出回数を、短冊状ワーク8aのカット本数、すなわち、カット対象の第1の溝81の本数として認識する。2第1の角度ずれ補正工程上記カット本数検出工程においては、アライメントポイントであるU字部分を次々と検出するたびに、各U字部分のX座標及びY座標を制御手段7が記憶する。そして、制御手段7は、図5に示すように、基準ターゲットである第2の溝82aのU字部分820aを第1のアライメントポイントとし、そこからY方向に1インデックス量だけ移動した位置である第2の溝82bのU字部分820bを第2のアライメントポイントとし、両アライメントポイントのX座標を比較し、両X座標が一致しない場合、すなわちY軸方向のずれが存在する場合は、両アライメントポイントのX座標及びY座標から、Y軸に対するずれの角度θ1を算出し、図1に示した回転手段22がその角度分だけ保持手段2を回転させる。このようにして、最初の2つのアライメントポイントの位置に基づき、角度のずれが補正される。本工程は、カット本数検出工程と並行して実行される。すなわち、短冊状ワークの角度を補正しながらカット本数検出工程が実行されるため、アライメントポイントを確実に検出できるようになる。このように、短冊状ワークの長手方向の側面83から垂直な方向に第1の溝81及び第2の溝82が同数切り込んで形成され、短冊状ワークに高精度に形成された第2の溝82のうちの1つから指定されたアライメントポイントを基準とし、検出手段33をインデックス送りして他の第2の溝のアライメントポイントを検出していくことにより、切削位置である第1の溝81の数を検出することができる。したがって、必ずしも高精度に形成されていない第1の溝81を個々に検出せずに第1の溝の数を容易に求めることができ、効率よくダイシング加工することができる。3第2の角度ずれ補正工程次に、図6に示すように、次の隣り合う2つのアライメントポイントである第2の溝82bのU字部分820bのX座標と第2の溝82cのU字部分820cのX座標とから、この2点を結ぶ線とY軸方向との角度θ2を算出し、回転手段22がその角度分だけ保持手段2を回転させ、角度のずれを補正する。さらに、カット本数検出工程が終了するまでに、検出手段33を間隔d2ずつY軸方向にインデックス送りしながら、順次隣り合う2つのアライメントポイントを結ぶ線とY軸方向とのずれの角度を算出し、その都度、回転手段22がその角度分だけ保持手段2を回転させる。本工程も、カット本数検出工程と並行して実行される。したがって、角度を補正した後にカット本数検出工程が実行されるため、アライメントポイントを検出しやすくなる。4第3の角度ずれ補正工程第1の角度ずれ補正工程及び第2の角度ずれ補正工程の終了後、図7に示すように、一端部の基準ターゲットのアライメントポイント820aと他端部の最もY方向側にあるアライメントポイントとの座標から、両アライメントポイントを結ぶ線とY軸方向とのずれの角度θ3を算出し、当該角度分だけ保持手段2を回転させ、基準ターゲットのアライメントポイントと最奥端のアライメントポイントとを結ぶ線をY軸方向に一致させる。以上のようにして、切り込み深さが高精度に形成された第2の溝を利用して短冊状ワークの向きを調整することにより、短冊状ワークの長手方向の向きを高精度にY軸方向に一致させ、切削の対象となる第1の溝を高精度にX軸方向に一致させることができる。このように、検出手段33をインデックス送りしてアライメントポイントを次々と検出することで、アライメントポイント間に発生する位置ずれから短冊状ワークの長手方向の角度を調整することができるため、第1の溝81の方向を切削送り方向と一致させることができ、後の切削工程において正確に切削することが可能となる。なお、上記カット本数検出手段及び第2の角度ずれ補正工程では、間隔d2ずつ、すなわち1インデックス量ずつ検出手段33のインデックス送りを行ったが、検出手段は、インデックス量の整数2以上の整数倍ずつY軸方向に移動させるようにしてもよい。この場合は、より効率的にカット本数の検出及び角度補正を行うことが可能となる。5切削工程このようにして短冊状ワークの方向を調整した後、図1に示した検出手段33が切削対象である第1の溝81を検出し、切削ブレード32のY軸方向の位置と検出した第1の溝81のY軸方向の位置とを一致させる。そして、保持手段2をX軸方向に移動させるとともに、切削ブレード32が高速しながら切削手段3が下降し、第1の溝81に沿った切断が行われる。また、図2に示した隣り合う第1の溝の間隔d1ずつ切削手段3をY軸方向にインデックス送りしながら、順次第1の溝8181a、81b、を切断していく。そうすると、個々のデバイスにダイシングされる。テープTに貼着した他の短冊状ワーク8b~8gについても、上記と同様に、カット本数の検出及び角度補正を行った後、第1の溝に沿って切削を行ってデバイスに分割する。