キャリアガス供給源と、原料を貯留したソースタンクと、キャリアガス供給源からのキリアガスG1を前記ソースタンクの内部上方空間部へ供給する流路L1と、当該流路L1に介設され、前記ソースタンクの内部上方空間部の圧力を設定圧力に制御する自動圧力調整装置と、前記ソースタンクの内部上方空間部から、原料より生成した原料蒸気とキャリアガスとの混合体である混合ガスG0をプロセスチャンバへ供給する流路L2と、当該流路L2に介設され、プロセスチャンバへ供給する混合ガスG0の流量を設定流量に自動調整する流量制御装置と、前記ソースタンクと流路L1及び流路L2とを設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンクの内部上方空間部の内圧を所望の圧力に制御しつつプロセスチャンバへ混合ガスG0を供給する構成としたことを特徴とする原料の気化供給装置。流路L1及び流路L2は、流体が流れる配管路と、自動圧力調整装置及び流量制御装置の内部の流通路で構成した事を特徴とする請求項1に記載の原料の気化供給装置。ソースタンクの内部上方空間部の圧力を制御する自動圧力調整装置を、コントロール弁CV1と、その下流側に設けた温度検出器T0及び圧力検出器P0と、前記圧力検出器P0の検出値を温度検出器T0の検出値に基づいて温度補正を行い、キャリアガスG1の圧力を演算すると共に、予め設定した圧力と前記演算圧力とを対比して両者の差が少なくなる方向にコントロール弁CV1を開閉制御する制御信号Pdを出力する演算制御部と、キャリアガスが流れる流通路を所定温度に加熱するヒータとから構成した請求項1に記載の原料の気化供給装置。ソースタンクの内部上方空間より混合ガスG0をプロセスチャンバへ供給する流量制御装置を、コントロール弁CV2と、その下流側に設けた温度検出器T及び圧力検出器Pと、圧力検出器Pの下流側に設けたオリフィスと、前記圧力検出器Pの検出値を用いて演算した混合ガスG0の流量を温度検出器Tの検出値に基づいて温度補正を行い、混合ガスG0の流量を演算すると共に、予め設定した混合ガス流量と前記演算した混合ガス流量とを対比して両者の差が少なくする方向にコントロール弁CV2を開閉制御する制御信号Pdを出力する演算制御部と、混合ガスが流れる流通路を所定温度に加熱するヒータとから構成するようにした請求項1に記載の原料の気化供給装置。原料を液体又は多孔性担持体に担持させた固体原料とするようにした請求項1に記載の原料の気化供給装置。本発明は、特許第4605790号の原料の気化供給装置に於ける上述の如き問題、即ち熱式質量流量制御装置を用いるために製造コストの引下げ等が困難なこと、気化供給可能な原料が限定されること、チャンバへ供給する混合ガスの高精度な流量制御や混合ガス内の原料濃度の調整が困難なこと、等の問題を解決することを発明の主目的とするものであり、構造が簡単で製造コストの引下げが図れると共に全ての原料を安定して気化供給することができ、しかもチャンバへ供給する混合ガス流量や混合ガス内の原料濃度を容易に且つ高精度で制御できるようにした原料の気化供給を提供するものである。請求項1の発明は、キャリアガス供給源と、原料を貯留したソースタンクと、キャリアガス供給源からのキャリアガスG1を前記ソースタンクの内部上方空間部へ供給する流路L1と、当該流路L1に介設され、前記ソースタンクの内部上方空間部の圧力を設定圧力に制御する自動圧力調整装置と、前記ソースタンクの内部上方空間部から、原料より生成した原料蒸気とキャリアガスとの混合体である混合ガスG0をプロセスチャンバへ供給する流路L2と、当該流路L2に介設され、プロセスチャンバへ供給する混合ガスG0の流量を設定流量に自動調整する流量制御装置と、前記ソースタンクと流路L1及び流路L2とを設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンクの内部上方空間部の内圧を所望の圧力に制御しつつプロセスチャンバへ混合ガスG0を供給する構成としたことを発明の基本構成とするものである。請求項2の発明は、請求項1の発明において、流路L1及び流路L2は、流体が流れる配管路と、自動圧力調整装置及び流量制御装置の内部の流通路で構成したものである。請求項3の発明は、請求項1の発明において、ソースタンクの内部上方空間部の圧力を制御する自動圧力調整装置を、コントロール弁CV1と、その下流側に設けた温度検出器T0及び圧力検出器P0と、前記圧力検出器P0の検出値を温度検出器T0の検出値に基づいて温度補正を行い、キャリアガスG1の圧力を演算すると共に、予め設定した圧力と前記演算圧力とを対比して両者の差が少なくなる方向にコントロール弁CV1を開閉制御する制御信号Pdを出力する演算制御部と、キャリアガスが流れる流通路を所定温度に加熱するヒータとから構成したものである。請求項4の発明は、請求項1の発明において、ソースタンクの内部上方空間より混合ガスG0をプロセスチャンバへ供給する流量制御装置を、コントロール弁CV2と、その下流側に設けた温度検出器T及び圧力検出器Pと、圧力検出器Pの下流側に設けたオリフィスと、前記圧力検出器Pの検出値を用いて演算した混合ガスG0の流量を温度検出器Tの検出値に基づいて温度補正を行い、混合ガスG0の流量を演算すると共に、予め設定した混合ガス流量と前記演算した混合ガス流量とを対比して両者の差が少なくする方向にコントロール弁CV2を開閉制御する制御信号Pdを出力する演算制御部と、混合ガスが流れる流通路を所定温度に加熱するヒータとから構成したものである。請求項5の発明は、請求項1の発明において、原料を液体又は多孔性担持体に担持させた固体原料とするようにしたものである。本願発明に於いては、ソースタンク内の温度を設定値に保持すると共に、ソースタンクの内部上方空間部の圧力を自動圧力調整装置によって制御し、且つソースタンクの内部上方空間部から混合ガスを圧力式流量制御装置によって流量制御しつつチャンバへ供給する構成としている。即ち、バブリング方式とは異なってソースタンク内の原料の加熱によって、ソースタンク内の原料蒸気の蒸気圧PMoを設定温度下に於ける飽和蒸気に保持すると共に、ソースタンクの内部上方空間部の全圧力Ptankを自動圧力調整装置によって設定値に制御するようにしているため、混合ガスGo内の原料流量Xが原料蒸気圧PMoとタンク内部の圧力Ptankとの比に正比例することともあいまって、原料流量Xを容易に、高精度で且つ安定して制御することができる。また、流量制御装置で制御する流量と混合ガス流量Q=Aが同じ値となるため、混合ガスGoの流量制御が高精度で行えることになり、そのうえ原料流量Xが容易に算出できるため、ソースタンク内の原料の残存量を簡単に知ることができ、原料の管理が簡単化される。以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。図1は、本発明の実施形態に係る原料の気化供給装置の構成系統図であり、当該原料の気化供給装置は、キャリアガス供給源1、原料4を収容するソースタンク5、ソースタンク5の内部圧力を制御する自動圧力調整装置15、プロセスチャンバ11へ供給する混合ガスGoの供給流量を調整する流量制御装置19、自動圧力調整装置15及び流量制御装置19の流通路やソースタンク5等を加温する恒温加熱部6等から構成されている。尚、図1に於いては、前記図6に示した原料の気化供給装置と同一の構成部材には同じ図番号が使用されており、従前の原料の気化供給装置に於けるソースタンク5へ供給するキャリアガスG1の供給流量を制御する熱式質量制御装置3に替えて、ソースタンク5の内部上方空間部5aの圧力を調整する自動圧力調整装置15を使用することにより、ソースタンク5の内部圧力を制御するようにした点、及びバブリングを行わずにソースタンク5の内部上方空間部5aへキャリアガスG1を直接に供給するようにした点、並びにソースタンク5からの混合ガスGoを流量制御装置19によって流量制御をしつつチャンバ11へ所定流量の混合ガスGoを供給するようにした点の3点を除いて、その他の構成及び部材は従前の図6の原料気化供給装置の場合と同じである。図1を参照して、キャリアガス供給源1から供給されたAr等のキャリアガスG1は、自動圧力調整装置15のコントロール弁CV1を通してソースタンク5の内部上方空間部8へ供給されており、後述するように自動圧力調整装置15によってソースタンク5の内部圧力は所定圧力値に制御されている。一方、ソースタンク5の内部には、液体の原料例えば、TEOS等の有機金属化合物等や固体の原料例えば、多孔性の担持体に有機金属化合物を担持させた固体原料が適宜量充填されており、恒温加熱部6内のヒータ図示省略により150°C~250°Cに加熱されることにより、その加熱温度における原料4の飽和蒸気G4が生成され、ソースタンク5の内部上方空間5a内に充満することになる。生成された原料4の飽和蒸気G4とキャリアガスG1とは、ソースタンク5の内部上方空間部5a内で混合され、この混合ガスGoがバルブ9を通して流量制御装置19のコントロール弁CV2へ流入し、後述するように、流量制御装置19により所定流量に制御された混合ガスGoが、プロセスチャンバ11へ供給されて行く。前記自動圧力調整装置15は、キャリアガス供給源1の下流側に設けられており、ソースタンク5の内部上方空間部5aの圧力を設定値に自動調整するためのものである。即ち、流入側の流路L1において、キャリアガスG1の圧力Po及び温度Toを検出すると共に、当該検出圧力Po及び温度Toを用いて演算制御部16において圧力の温度補正を行い、更に、当該補正した圧力値と、設定入力端子17からの設定圧力値とを対比して、両者の偏差が零となる方向にコントロール弁CV1の開閉を制御する。図2は、前記自動圧力調整装置15のブロック構成を示すものであり、その演算制御部16は、温度補正回路16a、比較回路16b、入出力回路16c及び出力回路16d等から構成されている。前記圧力検出器Po及び温度検出器Toからの検出値はディジタル信号に変換されて温度補正回路16aへ入力され、ここで検出圧力Poが検出圧力Ptに補正されたあと、比較回路16bへ入力される。また、設定圧力の入力信号Psが端子17から入力され、入出力回路16cでディジタル値に変換されたあと比較回路16bへ入力され、ここで前記温度補正回路16aからの温度補正をした検出圧力Ptと比較される。そして、設定圧力入力信号Psが温度補正をした検出圧力Ptより大きい場合には、コントロール弁CV1の駆動部へ制御信号Pdが出力される。これにより、コントロール弁CV1が閉鎖方向へ駆動され、設定圧力入力信号Psと温度補正した検出圧力Ptとの差Ps-Ptが零となるまで閉弁方向へ駆動される。また、逆に、前記設定圧力入力信号Psが温度補正をした検出圧力Ptよりも小さい場合には、コントロール弁CV1の駆動部へ制御信号Pdが出力され、コントロールCV1が開弁方向へ駆動される。これにより両者の差Ps-Ptが零となるまで開弁方向への駆動が継続される。前記流量制御装置19は、ソースタンク5の下流側の混合ガスGoの導出流路L2に設けられており、図3の構成図に示す如く、コントロール弁CV2を通して流入した混合ガスGoをオリフィス21を通して流出させるようにした点を除いて、その他の構成は前記自動圧力調整装置19の場合と同じである。従って、ここではその詳細な説明は省略する。尚、流量制御装置19の演算制御部20に於いては、圧力検出値Pを用いて流量QがQ=KP1Kは、オリフィスによって決まる定数として演算され、この演算された流量に温度検出器Tの検出値によって所謂温度補正を施して、温度補正をした流量演算値と設定流量値とを比較回路20bで比較して、両者の差信号をコントロール弁CV2の駆動回路へ出力する構成となっている。当該流量制御装置19そのものは上述の通り公知であるが、オリフィス21の下流側圧力P2即ち、プロセスチャンバ側の圧力P2とオリフィス21の上流側圧力P1即ち、コントロール弁CV2の出口側の圧力P1との間に、P1/P2約2以上の関係所謂臨界条件が保持されている場合には、オリフィス21を流通する混合ガスGoの流量QがQ=KP1となり、圧力P1を制御することにより流量Qを高精度で制御できると共に、コントロールバルブCV2の上流側の混合ガスGoの圧力が大きく変化しても、流量制御特性が殆ど変化しないと云う、優れた特徴を有するものである。図4は、自動圧力調整方式を用いた本発明に係る原料の気化供給装置に於けるキャリアガスG1の流量Asccm、ソースタンク5の全内圧PtankTorr、原料4の蒸気圧分圧PMoTorr及び原料4の流量Xsccmの関係を示したものであり、チャンバ11への混合ガスGoの供給流量sccmのQは、Q=AXsccmとなり、流量制御装置19に於ける制御流量となる。即ち、原料の流量X:全流量Q=ソースタンク内の原料蒸気圧分圧PMo:ソースタンク内全内圧Ptankの関係式が成立し、ここから原料の流量Xは、X=全流量Q×ソースタンク内の原料蒸気圧分圧PMo/ソースタンク内全内圧Ptankとなり、原料流量X即ち、ソースタンク5からの原料4の持ち出し量が全流量Q、原料蒸気圧PMo、タンク内全内圧Ptankから容易に計算できる。また、上記原料流量Xの関係式からも明らかなように原料の流量X即ち、混合ガスGo内の原料濃度は、ソースタンクの内圧力Ptankと、原料の飽和蒸気圧PMoと、ソースタンク内温度をパラメータとして、決まることになる。図5は、本発明に係る原料の気化供給装置に於いて、原料をTEOSとし、且つキャリアガスG1をアルゴンAr、チャンバへの混合ガス流量Q=10sccm、ソースタンクの全内圧Ptank=1000Torr、即ち、自動圧力調整装置15によるソースタンク内制御圧力、TEOSの蒸気圧PMo470Torr温度150°Cの場合、キャリアガスArの供給量Asccmとした場合の混合ガスGo内のTEOS流量Xを示すものであり、TEOS流量Xsccm=Q×PTEOS/Ptank=10×470/1000=47sccmとなる。その結果、混合ガスGoの全供給流量Q=AX=10sccm、TEOS流量X=47sccm、キャリアガスArG1の流量A=5.3sccmとなる。尚、以下は本実施例で用いるソースタンク内圧調整用の自動圧力調整装置15の主要な仕様を示すものであり、最高使用温度は150°C、流量500sccmN2時の最大圧力F.S.圧力は133.3kPaabs、である。また、本実施例で用いる流量制御装置19の主要な仕様は、上記表1の名称の欄が流量制御装置に、圧力レンジF.S.圧力の欄が流量レンジF.S、500sccmN2に、二次側圧力の欄が1次側圧力500kPaabs以下に変るだけであり、その他の仕様は全く同一である。更に、上記自動圧力調整装置15及び流量制御装置19で使用するコントロール弁CV1、CV2は、使用温度を150°C~250°Cにまで上昇させるため、ピエゾアクチエータや皿バネ等のバルブ構成部材を高温使用が可能な仕様のものにすると共に、ピエゾ素子やバルブの各構成部材の熱膨張を考慮して、ダイヤフラム押えにインバー材を使用することにより、ピエゾ素子駆動部の膨張による流路閉塞を防止できるようにしている。また、ピエゾ素子駆動部の格納ケースを孔開きシャーシとし、ピエゾ素子駆動部等を空冷可能な構造とすることにより、ピエゾバルブの各構成パーツの熱膨張の低減を図ると共に、コントロールバルブVoのボディ部にカートリッジヒータ又はマントルヒータを取り付け、バルブ本体を所定温度最高250°Cに加熱するようにしている。尚、自動圧力調整装置15及び流量制御装置そのものは、特許第4605790号等により公知であるため、ここではその詳細な説明を省略する。