"正立状態にあるペットボトルを保持した後に反転させて倒立状態のペットボトルを成膜装置の真空チャンバに搬送するペットボトルの搬送装置であって、支持プレートと、前記支持プレートに固定されるとともにペットボトルの口部を把持するチャックと、前記支持プレートに固定されるとともにペットボトルの胴部を支持する支持部材とを有し、正立状態にあるペットボトルの口部を前記チャックで把持するとともにペットボトルの胴部を前記支持部材で支持して、ペットボトルを反転させる反転機構と、正立状態にあるペットボトルが載置されている位置と成膜装置の真空チャンバが配置されている位置との間で前記反転機構を移動させる移動機構とを備え、前記反転機構が倒立状態のペットボトルを前記真空チャンバ内に搬送する際に、前記支持プレートは前記真空チャンバの開口部を閉塞して真空チャンバを密封することを特徴とするペットボトルの搬送装置。前記チャックおよび前記支持部材は、前記真空チャンバ内でペットボトルを位置決めして保持する位置決め保持機構として機能することを特徴とする請求項1記載のペットボトルの搬送装置。前記反転機構は、成膜後のペットボトルを倒立状態から正立状態に戻し、正立状態のペットボトルを所定位置まで搬送することを特徴とする請求項1記載のペットボトルの搬送装置。前記正立状態にあるペットボトルが載置されている位置は、搬送コンベアの搬送面であることを特徴とする請求項1記載のペットボトルの搬送装置。ペットボトルの内面にDLC膜等の薄膜を成膜したペットボトルを量産しようとする場合、搬送コンベア上のペットボトルを連続的に成膜用真空チャンバに供給する必要がある。この場合、ペットボトルは正立状態で搬送コンベアによって搬送されるが、成膜用真空チャンバにおいては、ペットボトルは倒立状態で成膜処理がなされる場合が多い。そのため、正立状態のペットボトルを保持した後にペットボトルを反転させて倒立状態のペットボトルを成膜用真空チャンバに搬送するという搬送工程が必要になる。本発明は、上述の事情に鑑みなされたもので、正立状態のペットボトルを保持した後にペットボトルを反転させて倒立状態のペットボトルを成膜用真空チャンバに搬送することができるペットボトル搬送装置を提供することを目的とする。上述の目的を達成するため、本発明のペットボトルの搬送装置は、正立状態にあるペットボトルを保持した後に反転させて倒立状態のペットボトルを成膜装置の真空チャンバに搬送するペットボトルの搬送装置であって、支持プレートと、前記支持プレートに固定されるとともにペットボトルの口部を把持するチャックと、前記支持プレートに固定されるとともにペットボトルの胴部を支持する支持部材とを有し、正立状態にあるペットボトルの口部を前記チャックで把持するとともにペットボトルの胴部を前記支持部材で支持して、ペットボトルを反転させる反転機構と、正立状態にあるペットボトルが載置されている位置と成膜装置の真空チャンバが配置されている位置との間で前記反転機構を移動させる移動機構とを備え、前記反転機構が倒立状態のペットボトルを前記真空チャンバ内に搬送する際に、前記支持プレートは前記真空チャンバの開口部を閉塞して真空チャンバを密封することを特徴とする。本発明によれば、反転機構は、移動機構により正立状態にあるペットボトルが載置されている位置に最も接近した位置まで移動し、チャックが正立状態のペットボトルの口部をチャック把持し、支持部材がペットボトルの胴部に係合してペットボトルの胴部を支持することにより、ペットボトルは反転機構により保持される。そして、反転機構は、移動しながらペットボトルを徐々に傾け、ペットボトルを倒立状態にする。さらに、反転機構は倒立状態のペットボトルを保持しながら移動し、反転機構の支持プレートが真空チャンバの開口部を閉塞して真空チャンバを密封する。すなわち、支持プレートは真空チャンバの外壁として機能する。本発明の好ましい態様によれば、前記チャックおよび前記支持部材は、前記真空チャンバ内でペットボトルを位置決めして保持する位置決め保持機構として機能することを特徴とする。本発明によれば、反転機構の支持プレートが真空チャンバの開口部を閉塞して真空チャンバを密封する際に、反転機構のチャックおよび支持部材は、支持プレートから突出して真空チャンバ内に入り込み、ペットボトルを真空チャンバ内の処理位置に位置決め保持する。本発明の好ましい態様によれば、前記反転機構は、成膜後のペットボトルを倒立状態から正立状態に戻し、正立状態のペットボトルを所定位置まで搬送することを特徴とする。本発明によれば、成膜後のペットボトルを真空チャンバから取り出し、倒立状態のペットボトルを正立状態に戻し、正立状態のペットボトルを所定位置まで搬送することができる。したがって、成膜後に真空チャンバからペットボトルを取り出す機構、倒立状態のペットボトルを正立状態に戻す機構などを別途設ける必要がない。本発明の好ましい態様によれば、前記正立状態にあるペットボトルが載置されている位置は、搬送コンベアの搬送面であることを特徴とする。本発明によれば、搬送コンベアの搬送面に載置されて搬送されているペットボトルを保持した後に、ペットボトルを反転させて倒立状態のペットボトルを真空チャンバに搬送することができる。本発明は、以下に列挙する効果を奏する。1正立状態のペットボトルを保持した後にペットボトルを反転させて倒立状態のペットボトルを成膜用真空チャンバに搬送することができる。そして、ペットボトルを真空チャンバに搬送した際に、ペットボトルを保持して搬送する搬送装置の一部を構成する支持プレートが真空チャンバの開口部を閉塞して真空チャンバを密封する。すなわち、搬送装置の支持プレートは真空チャンバの外壁として機能する。2ペットボトルを保持して搬送する際にペットボトルを保持するためのチャックおよび支持部材は、真空チャンバ内でペットボトルを位置決めして保持する位置決め保持機構として機能する。したがって、真空チャンバ内には、ペットボトルの成膜時にペットボトルを位置決めして保持するための位置決め保持機構を別途設置する必要がない。3成膜後のペットボトルを真空チャンバから取り出し、倒立状態のペットボトルを正立状態に戻し、正立状態のペットボトルを所定位置まで搬送することができる。したがって、成膜後に真空チャンバからペットボトルを取り出す機構、倒立状態のペットボトルを正立状態に戻す機構などを別途設ける必要がない。以下、本発明に係るペットボトル搬送装置の実施形態を図1乃至図3を参照して説明する。図1乃至図3において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。図1は、本発明に係るペットボトル搬送装置の全体構成を示す模式的立面図である。図1に示すように、本発明のペットボトル搬送装置1は、ペットボトル2を正立状態で搬送する搬送コンベア3とペットボトル2の内面にDLC膜等の薄膜を成膜する成膜ユニット4との間に配置されており、搬送コンベア3上のペットボトル2を把持して成膜ユニット4に搬送するように構成されている。成膜ユニット4は、倒立状態にあるペットボトル2内に触媒線、加熱用ワイヤーおよび原料ガス供給管とを挿入し、触媒線と加熱用ワイヤーの両方を用いて、触媒線には熱触媒体として原料ガスを分解させて薄膜となる成分を供給させ、かつ、加熱用ワイヤーにはホットワイヤーとしてその構成成分である金属の蒸気を揮発させ、薄膜に含有させる金属種を供給させることで、バリア膜として金属種含有薄膜を成膜するように構成されている。すなわち、成膜ユニット4は、倒立状態のペットボトル2に触媒化学蒸着法およびホットワイヤー法の両方を適用することによりDLC膜等のガスバリア性の高い薄膜を成膜するように構成されている。したがって、ペットボトル搬送装置1は、搬送コンベア3上の正立状態のペットボトル2をチャック把持した後に反転させて倒立状態のペットボトル2を成膜ユニット4の真空チャンバ5に搬送する必要がある。そのため、ペットボトル搬送装置1は、装置フレーム11の上部に配置されたレール12によって案内されて水平方向に往復移動するとともに上下方向に昇降可能な移動機構13と、移動機構13の支持ブラケット13aに支持されるとともにペットボトル2を反転させるボトル反転機構14とを備えている。ボトル反転機構14は、180°正逆方向に往復回転する回転部材15と、回転部材15の先端に固定された矩形の平板状の支持プレート16と、ペットボトル2のネックリング2nの直下のくびれ部をチャック把持するボトルチャック17と、ペットボトル2の胴部下部を支持する支持部材18とを備えている。回転部材15は、ステッピングモータ又はサーボモータにより180°正逆方向に往復回転するように構成されている。図2は、ボトル反転機構14の詳細構造を示す斜視図である。図2に示すように、支持プレート16は回転部材15の先端部に固定されており、支持プレート16の上部にはボトルチャック17が取り付けられている。ボトルチャック17は、対をなす開閉可能なチャック片17c1,17c2を備え、チャック片17c1,17c2によりペットボトル2のネックリング2nの直下のくびれ部をチャック把持するようになっている。ボトルチャック17は、チャック片17c1,17c2を開閉可能とするスプリング17sを備えている。また、ペットボトル2の胴部下部を支持する支持部材18は支持プレート16の下部に取り付けられており、支持部材18はペットボトル2の胴部下部に係合してペットボトル2の胴部下部を支持する円弧状の凹部18aを有している。次に、図1および図2に示すように構成されたペットボトル搬送装置1の動作を説明する。図1においては、移動機構13およびボトル反転機構14による3つの動作が示されている。すなわち、図1の右側部分に示すように、ボトル反転機構14は移動機構13により搬送コンベア3に最も接近した位置まで移動し、ボトルチャック17は、搬送コンベア3の搬送面上にある正立状態のペットボトル2をチャック把持する。この際、ボトルチャック17はペットボトル2のネックリング2nの直下のくびれ部をチャック把持する。これと併行して、支持部材18は、凹部18aによってペットボトル2の胴部下部に係合してペットボトル2の胴部下部を支持する。これにより、ペットボトル2はボトル反転機構14により保持される。次に、ボトル反転機構14は、左側に移動しながら、回転部材15の反時計方向への回転によってペットボトル2を徐々に傾け、図1の中央部分に示すように、ペットボトル2を水平の姿勢にする。そして、ボトル反転機構14は、更に左側に移動しながら、回転部材15の更なる回転によってペットボトル2を更に傾け、図1の左側部分に示すように、ペットボトル2を倒立状態にする。図3a,bは、図1の要部を拡大した要部拡大図であり、図3aはボトル反転機構14によってペットボトル2が倒立状態で保持されている状態を示し、図3bはボトル反転機構14がペットボトル2を倒立状態で保持しつつ支持プレート16が成膜ユニット4の真空チャンバ5に結合した状態を示す。図3aに示すように、ボトル反転機構14によってペットボトル2は倒立状態で保持された状態になっており、この状態は図1の左側部分に示す状態と同一である。一方、真空チャンバ5は概略直方体の外形を有した箱状のチャンバからなり、図3aに示す状態では、真空チャンバ5の右側の面の開口部は開放状態にある。図3aに示す状態から、ボトル反転機構14は倒立状態のペットボトル2を保持しながら左側に移動し、図3bに示すように、ボトル反転機構14の支持プレート16が真空チャンバ5の開口部を閉塞し、支持プレート16は真空チャンバ5の外壁として機能する。このとき、真空チャンバ5の開口側の側面にはOリング等のシール部材6が設けられているため、真空チャンバ5の内部は周囲雰囲気とは遮断されて密封される。このとき、ペットボトル2は、ボトルチャック17および支持部材18により真空チャンバ5内の処理位置に位置決め保持される。すなわち、ボトル反転機構14のボトルチャック17および支持部材18は、真空チャンバ5内においてペットボトルの位置決め保持機構として機能する。このようにしてペットボトル2が真空チャンバ5内にセットされた後に、成膜ユニット4の触媒線および加熱用ワイヤーがペットボトル2内に挿入されるとともに真空ポンプ図示せずによる真空チャンバ5内の真空引きが開始される。真空チャンバ5内が所定の真空度に達した後に、原料ガス供給管からペットボトル2内に原料ガスを供給し、触媒線と加熱用ワイヤーの両方を用いて、触媒線には熱触媒体として原料ガスを分解させて薄膜となる成分を供給させ、かつ、加熱用ワイヤーにはホットワイヤーとしてその構成成分である金属の蒸気を揮発させ、薄膜に含有させる金属種を供給させることで、バリア膜として金属種含有薄膜を蒸着する。ペットボトル2の内面に所定の膜厚の薄膜が成膜されたら、真空チャンバ5を大気開放した後に、ボトル反転機構14がボトルチャック17および支持部材18によりペットボトル2を保持しつつ右側に移動して真空チャンバ5を開口し、再び、図3aに示す状態になる。次に、ボトル反転機構14は回転部材15の時計方向への回転によって倒立状態のペットボトル2の姿勢を徐々に起こしながら右側に移動し、図1の中央部分に示すように、ペットボトル2を水平の姿勢にする。そして、ボトル反転機構14は回転部材15の更なる回転によってペットボトル2の姿勢を更に起こしながら右側に移動し、図1の右側部分に示すように、ペットボトル2を正立状態に戻した後に、次工程にペットボトル2を搬送するための搬送コンベア図示せずの搬送面にペットボトル2を載せる。そして、ペットボトル2は次工程に搬送される。実施形態においては、触媒化学蒸着法およびホットワイヤー法の両方を適用することによりDLC膜等の薄膜を成膜する例を説明したが、本発明のペットボトル搬送装置は、プラズマCVD法を用いて成膜する場合にも適用できることは勿論である。これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術思想の範囲内において、種々の異なる形態で実施されてよいことは勿論である。"