加工液タンクに貯留された加工液を前記加工液タンクに設けた供給ポンプにより、走行するワイヤと加工物の間に供給しながら、前記ワイヤに加工物を押し付けて該加工物を多数枚の薄板に切断するワイヤソーの加工液供給装置において、前記加工液タンクには、消泡ポンプが設けられ、この消泡ポンプは、液面直下の気泡層とその下層の加工液層との境界部近傍に設けられた加工液吸い込み口と、前記加工液吸い込み口から気泡と加工液とを吸い込むことで、該気泡を消泡するとともにこの消泡された加工液を液面付近に吐出する加工液吐出口とから構成されることを特徴とするワイヤソーの加工液供給装置。前記消泡ポンプは、前記加工液吸い込み口と前記加工液吐出口との間に回転自在のインペラを備え、前記加工液吸い込み口から吸い込んだ気泡を消泡させながら前記加工液吐出口から消泡された加工液を吐出させるようにしたことを特徴とする請求項1記載のワイヤソーの加工液供給装置。前記加工液吸い込み口が液面から所定量下方に位置するように前記消泡ポンプを昇降可能に設けたことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のワイヤソーの加工液供給装置。ところで、上記特許文献1のワイヤソーは、回収通路を一定距離設ける必要があり、ワイヤソーが大型化する問題がある。また、回収通路部分を流れる加工液量も考慮せねばならず、加工液を多く必要とする問題がある。さらに、回収通路部分をある程度の時間を掛けて加工液を通過させる必要があり、消泡に時間を要する問題や、加工液の粘度、表面張力などに依存して、消泡能力がばらつく問題がある。特にワイヤソーにおいては、切断開始に伴って加工液にはワークの切削屑が混入するため、加工液の粘度等の変化が起こり、気泡の状態も変化するが、特許文献1の方法においては気泡を物理的な力で消泡するものではなく、液の流れに依存するものであるため柔軟に対応することができない問題がある。また、消泡させるために加工液に消泡剤を添加し、気泡を消泡させる方法もあるが、この消泡剤の添加は、加工する加工物によっては、消泡剤と化学反応して加工物の切断表面にしみ等が発生して使用できなくなる問題がある。また、消泡剤によって加工液の粘度や表面張力等の特性が変化し、加工物の加工精度が悪くなる場合もある。そこで、本発明の目的は、加工液の消泡を簡素でコンパクトに行なえ、加工物や加工液に悪影響を与えないワイヤソーの加工液供給装置を提供することにある。上記課題を解決するために請求項1の発明は、加工液タンクに貯留された加工液を前記加工液タンクに設けた供給ポンプにより、走行するワイヤと加工物の間に供給しながら、前記ワイヤに加工物を押し付けて該加工物を多数枚の薄板に切断するワイヤソーの加工液供給装置において、前記加工液タンクには、消泡ポンプが設けられ、この消泡ポンプは、液面直下の気泡層とその下層の加工液層との境界部近傍に設けられた加工液吸い込み口と、前記加工液吸い込み口から気泡と加工液とを吸い込むことで、該気泡を消泡するとともにこの消泡された加工液を液面付近に吐出する加工液吐出口とから構成されることを採用したワイヤソーの加工液供給装置である。また、請求項2の発明は、請求項1に記載のワイヤソーの加工液供給装置において、前記消泡ポンプは、前記加工液吸い込み口と前記加工液吐出口との間に回転自在のインペラを備え、前記加工液吸い込み口から吸い込んだ気泡を消泡させながら前記加工液吐出口から消泡された加工液を吐出させるようにした構成を採用したものである。また、請求項3の発明は、請求項1または2のいずれかに記載のワイヤソーの加工液供給装置において、前記加工液吸い込み口が液面から所定量下方に位置するように前記消泡ポンプを昇降可能に設けた構成を採用したものである。本発明は、ワイヤソーの加工液供給装置に消泡ポンプを設けるようにしたので、消泡用に別途回収通路を設ける必要がなく、ワイヤソーが大型化することがない。また、加工液の種類に依存することなく、消泡が行なえる。また、消泡剤を使用しないので、加工物にしみ等が発生することがなく、不良率を低減できるとともに加工液の変性による加工精度の低下を防止できる。また、本発明は、消泡ポンプの加工液吸い込み口を液面直下の大きな気泡が多く混ざった気泡層とその下層の気泡が少ない加工液層との境界部近傍に設けるようにしているので、消泡ポンプのエア噛みによる加工液の吸い込み量低下が発生しない。また、消泡が必要な大きな気泡を適量含んだ加工液を加工液吸い込み口から吸い込んで消泡させていくので、気泡が成長して加工液タンクからあふれ出ることがない。また、本発明は、消泡ポンプの加工液吸い込み口と加工液吐出口との間に回転自在のインペラが設けられているので、吸い込んだ加工液をインペラの回転により消泡でき、その後の加工液吐出口までの内圧による消泡と併せて効率良く加工液の消泡が行なえる。また、本発明は、消泡ポンプで消泡した加工液を液面付近で、かつ加工液タンクの円周方向に噴射せしめるようにしたので、新たに撹拌用のポンプを設けることなく加工液を均一に撹拌でき、加工液供給装置の小型化が図れる。以下、本発明の実施形態について図1乃至図6に基づいて説明する。図1は、本発明のワイヤソーの加工液供給装置の第一の実施形態を表す全体概略図である。ワイヤソー1は、供給リール3から繰り出した一本のワイヤ2を溝ローラ9a、9bに巻き回してワイヤ列を形成した後、回収リール15に巻き取るようになっている。本実施形態においてはワイヤ2として例えばダイヤモンドの砥粒がワイヤ2の芯線に電着またはレジンで固着された固定砥粒ワイヤを用いた場合を例に説明する。前記ワイヤ2は、供給リール3から正逆方向または一方向に駆動モータ4を駆動して繰り出され、供給トラバーサ5、複数のガイドプーリ6、テンションナー7を経由して多数の溝が形成された溝ローラ9a、9b間に巻き回されてワイヤ列を形成する。前記供給側と同様にワイヤ列を経由したワイヤ2は、テンションプーリ12、複数のガイドローラ13、回収トラバーサ14を経由して回収リール15に駆動モータ16の駆動によって巻き取られるようになっている。前記ワイヤ2は、供給側のロードセル8と回収側のロードセル11によって、それぞれ張力が読み取られ、図示しない制御部によってテンショナー7、12でそれぞれ張力が調整されるようになっている。また、溝ローラ9a、9b間に形成されたワイヤ列上方には図示しない適宜な駆動源で昇降する加工テーブル17が設けられ、この加工テーブル17の下方に貼り付け台18とダミー部材19を介して加工物20が固定されている。前記ダミー部材19は例えばセラミックスや樹脂、カーボン等の部材が用いられ、加工物20とともに切り込まれることによって加工物20が完全切断される。また、加工物20として、例えばシリコンやサファイア、シリコンカーバイド、窒化ケイ素、セラミックス等の高脆性材料が好ましく切断される。前記ワイヤ列と加工物20の近傍には、水や水溶性あるいは油性の各種のものから選ばれる加工液25が供給される。これらの加工液25には、ワイヤ2への付着や加工物20の切断部へ加工液25が浸入し易いように界面活性剤が適宜添加される。上記のように加工液25が切断部近傍に供給されながら、加工テーブル17が下降し、加工物20がワイヤ列に押し付けられて多数枚のウエハに切断されるようになっている。また、前記ワイヤソー1の下方には切断に使用された加工液25を受ける加工液受け22と、回収された加工液25を循環供給する加工液供給装置30が設けられている。前記加工液受け22から回収された加工液25は、回収口23から加工液回収パイプ35を経て加工液供給装置30の加工液タンク31に回収される。前記加工液供給装置30は、加工液25をその内部に貯留する加工液タンク31と、この加工液タンク31の上部に設けられた2連の加工液供給ポンプ32、32と、前記加工液タンク31の上部中央に設けられた消泡ポンプ50とから構成されている。図1乃至図3のように前記加工液タンク31は、ほぼ円形の桶状に形成され、その底面は円弧状に形成されている。また、前記加工液タンク31の上部には開閉自在に蓋40が設けられ、この蓋40の中心に消泡ポンプ50が設けられている。また、この消泡ポンプ50を中心とした同心円上に2連の供給ポンプ32、32が設けられている。また、図2のように消泡ポンプ50の後方には加工液回収パイプ35が接続され、前記消泡ポンプ50の前方には加工液タンク31の内部を確認するための蓋45が設けられている。また、加工液タンク31内には上方から下方に向かって螺旋状の冷却パイプ64が設けられ、その供給側と回収側は、蓋40の上面に設けられたアダプタ62、63にそれぞれ接続されている。前記供給側のアダプタ62には、冷却液供給パイプ33が接続され、この冷却パイプ33は、温度調節器24に接続されている。また、前記温度調節器24を介して冷却液回収パイプ34が回収側のアダプタ63に接続され、油や水等の冷却液が加工液タンク31内の冷却パイプ64を介して循環するようになっている。この冷却液の循環により、加工液タンク31内の加工液25を前記冷却パイプ64を介して温度調節するようになっている。前記供給ポンプ32は、図3のように加工液タンク31の蓋40上に固定されるモータと、タンク本体41内の加工液25に浸漬される加工液25の吸い上げ部とで構成され、前記吸い上げ部の下端には加工液吸い込み口46が下方に向けて開口している。前記供給ポンプ32は、前記モータを駆動することで上下方向に複数枚設けられたインペラ65を回転させて加工液25の吸い上げ力を発生させ、前記加工液吸い込み口46から加工液25を吸い込んで吐出口47から吐出するようになっている。両供給ポンプ32、32から吐出された加工液25は、供給パイプ36で合わさって、バルブ37を介して温度調節器24に送り込まれる。そして、加工液25は、温度調節器24で温度調節された後、バルブ44を介して加工液供給パイプ39を経て加工液ノズル21から加工物20の切断部近傍に供給されるようになっている。使用された加工液25は、前述のように加工液回収パイプ35を経て加工液タンク31に回収される。前記消泡ポンプ50は、加工液タンク31の蓋40の中央に立設された4本の支柱55上に設けた固定板54に固定されている。この消泡ポンプ50は、前記固定板54上に固定されたモータと、この固定板54の下方に延設された気泡及び加工液25の吸い上げ部とから構成されている。前記消泡ポンプ50の吸い上げ部は、図3及び図4のようにその中心に前記モータのモータ軸56が下方に向かって延設され、その外側に2本のパイプ51、51が立設されている。また、前記モータ軸56の下端付近は、円形状のポンプ上壁59に覆われており、前記パイプ51、51の下端は、このポンプ上壁59に接続されている。このポンプ上壁59の中央部には加工液吸い込み口57としての開口部が前記モータ軸56と同心円状に設けられている。また、前記モータ軸56の下端には、インペラ58が軸止されており、このインペラ58は、前記モータを駆動することで、回転駆動されるようになっている。前記インペラ58の回転により、加工液吸い込み口57に加工液25の吸引力が発生し、加工液25が消泡ポンプ50内に吸い込まれる。前記インペラ58は、図5及び図6のように、モータ軸56の下端に固定される円板60とその上面に放射状に設けられる円弧形状の4枚の羽根61とから構成される。この羽根61は、円板60を図示時計方向に回転させることで、吸い込んだ加工液25を外側に押し出すことで、加工液吸い込み口57に負圧を働かせ、気泡及び加工液25をポンプ内に吸い込ませるようになっている。また、吸い込んだ気泡は、このインペラ58の羽根61によって、切られることによって消泡されるようになっている。詳細は後述するが、前記加工液吸い込み口57は、液面26よりも少し下方に位置するように配置され、加工液25に発生した気泡と気泡の少ない加工液25とを同時に吸い込むようになっている。また、前記両パイプ51、51は、その上端が加工液吐出パイプ52に連通しており、この加工液吐出パイプ52はその他端側に加工液25を吐出する加工液吐出口53が設けられている。前記加工液吐出口53は、液面26付近で、円周方向に向けて設けられる。このように、加工液吐出口53を設けることで、加工液25の噴射力により、別途撹拌機構を設けることなく、加工液タンク31内の加工液25を撹拌することができる。また、吐出された加工液25が再び泡立つことがない。以上が本発明のワイヤソーの加工液循環装置の第一の実施形態の構成であり、次に本発明の作用について図7に基づいて以下に説明する。図7は、本発明のワイヤソーの加工液循環装置における要部を説明用に拡大したものである。なお、加工液25の回収口は、理解が容易なように、実際の構成よりも近接して描いてあることに留意されたい。前記ワイヤソー1の切断部に供給された加工液25は、ワイヤ2の高速走行例えば500~1000m/minにより、ワイヤソー1の加工室内で飛散し、加工室の壁面に打ち付けられることで、空気が混入して気泡が発生する。そして、気泡が発生した加工液25は、加工液受け22で収集され、回収パイプ35を介して図7のように加工液タンク31内に吐出される。なお、加工液タンク31の加工液回収口には、切断時に発生した端材等の異物を除去する金網等のフィルタ75が設けられている。前記回収された加工液25は、前述のように多数の気泡を含んでおり、この気泡は、加工液25の下層から液面26付近に上昇するにしたがって、気泡同士が結合して成長し、大きくなる例えば直径10mm以上。本発明では、ワイヤソー1の起動と同時に消泡ポンプ50も起動させているので図示のように、一定以上気泡は成長しない。次に、前記消泡ポンプ50について詳細に説明する。前記消泡ポンプ50の加工液吸い込み口57は、加工液25の液面26より少し下方本実施形態では、例えば液面26より約50~100mm程度下方となるように配置されている。これは、液面26付近では大きな気泡が多いため、液面26付近に加工液吸い込み口57を配置すると、消泡ポンプ50がエア噛みを起こし、加工液25の吸い上げ不良が発生するためである。また、液面26よりも大きく下方に加工液吸い込み口57を配置すると気泡が存在しなかったり、気泡が存在しても気泡径が小さすぎたりして消泡効果が得られないためである。したがって、本発明においては、気泡を多く含む気泡層70と気泡をほとんど含まないあるいは小径の気泡を含む加工液層72との境界部71の近傍に加工液吸い込み口57を配置している。また、加工液吸い込み口57は、上側から吸い込むものが好ましく使用できる。下側から吸い込むものは、気泡を効率良く吸い込むことができず、液面26付近に加工液の吸い込み口を設けるとエア噛みが発生しやすいことによる。上記のように加工液吸い込み口57を配置することによって、消泡したい気泡と加工液25を同時に消泡ポンプ50内に吸い込むことができ、エア噛みによる吸い上げ不良を発生することなく、効率の良い消泡を行なうことができる。また、気泡以外の空気を吸い込まない位置に加工液吸い込み口57が設けられることにより、インペラ58によって泡立てられることもない。なお、加工液吸い込み口57は、使用する加工液25の種類や切断加工によって混入する切粉による加工液25の粘度変化、気泡の発生状態等を考慮して、適宜変更できる。前記加工液吸い込み口57から吸い込まれた気泡は、インペラ58の羽根61によって破泡されることで消泡される。また、パイプ51を通過する際にそのパイプ51内の内圧によってさらに消泡される。なお、インペラ58を備えたターボ型のポンプではなく、差圧式のポンプも用いることができ、この場合は、インペラ58を備えないが、ポンプ内の内圧で気泡が消泡される。また、消泡ポンプ58のインペラ58の羽根61の枚数や形状も様々なものを用いることができ、例えば1枚羽根が螺旋状に配置されたものも用いることができる。図9に本発明の加工液供給装置30を適用したワイヤソー1で一定時間加工物20を切断した際の加工液25の状態写真を示す図2の蓋45を開けて見たものである。従来例の図10に比べ、気泡が少なくなり、気泡径も小さくなっていることがわかる。なお、図9と図10は、比較のため切断時間、加工物の種類を合わせてある。以上が、本発明のワイヤソーの加工液循環装置の第一の実施形態であり、次に本発明の第二の実施形態について図8a及びbに基づいて以下に説明する。本実施形態においても使用する消泡ポンプ50は同じものであるので、消泡ポンプ50自体の説明は省略する。本実施形態の消泡ポンプ50の蓋40への取り付け部が第一の実施形態における支柱55に代えて、昇降自在なガイド74となっており、消泡ポンプ50の液面26に位置する部分のパイプ51、51の外側にフロート73が固定されている。図8aは、液面26が高い位置にある場合を示し、消泡ポンプ50はフロート73により上端位置に位置する。なお、このフロート73は、消泡ポンプ50を浮力で浮上させるようになっており、前記加工液吸い込み口57は、絶えず気泡層70と加工液層72の境界部71の近傍に位置するようになっている。図8bは、ワイヤソー1で加工物20を加工する途中で、ワイヤソー1内への加工液25の付着等により、加工液25の液面26が下降した場合を示す。図示のように消泡ポンプ50は、フロート73の下降とともに二点鎖線位置から実線位置へと下降する。このように消泡ポンプ50が液面26の下降に伴って下降することにより、液面26の位置が変化しても加工液吸い込み口57は、気泡層70と加工液層72との境界部71の近傍に絶えず位置するので、効率の良い消泡を行なうことができる。なお、上記第二の実施形態は、消泡ポンプ50が比較的小型で軽量の場合に好ましく実施でき、消泡ポンプ50が大型化する場合は、フロート73に代えて、例えば液面26の検知センサを設け、適当なアクチュエータを用いて強制的に消泡ポンプ50を昇降させるようにすれば良い。以上が、本発明の各実施形態の構成であるが、適宜、発明の範囲内で変更することができる。