"移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第1の発光部と前記マークを介した光を検出する第1の受光部とを備える第1の検出部と、前記第1の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第2の発光部と前記マークを介した光を検出する第2の受光部とを備える第2の検出部と、前記第1の発光部と、前記第2の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第1、第2の検出部で各々検出する第1のタイミングと前記第1のタイミングと異なる第2のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第1のタイミング及び前記第2のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有することを特徴とする変位計測装置。所定の周波数の基準信号を発生する基準信号発生手段と、該基準信号に同期して前記第1及び第2の発光部の通電状態を制御する通電制御手段とを有し、前記時分割発光手段は、前記基準信号発生手段と前記通電制御手段からの信号に基づいて前記第1、第2の発光部を時分割で発光させており、前記基準信号に同期して前記第1の検出部及び第2の検出部から得られる出力をサンプリングするサンプリング手段を有し、前記検出手段は、前記第1、第2の検出部で得られたタイミングのうち前記サンプリング手段でサンプリングされた出力値のタイミングを用いて補間演算により前記マークの検出タイミングを求めていることを特徴とする請求項1に記載の変位計測装置。前記検出手段は、前記サンプリング手段により前記第1、及び第2の検出部から出力される信号よりサンプリングされた、所定の閾値電圧の付近の少なくとも2点のサンプリング値から補間演算により前記閾値電圧におけるタイミングを検出することを特徴とする請求項2に記載の変位計測装置。前記基準信号の周波数は、前記第1の検出部から出力される信号及び、前記第2の検出部から出力される信号の中心周波数の整数倍であることを特徴とする請求項2に記載の変位計測装置。前記第1の検出部、及び、前記第2の検出部より出力される信号は90度の位相差信号を含む位相の異なる信号から成り、前記検出手段は、前記サンプリング手段により前記第1、及び第2の検出部からそれぞれ出力される90度の位相差信号の少なくとも2点以上をサンプリングし、該サンプリングされた信号から逆正接演算により被検出信号の位相を検出し、それら2点以上の補間演算により所定の閾値位相におけるタイミングを検出すること特徴とする請求項2に記載の変位計測装置。前記時分割発光手段および、前記検出手段は、前記移動体の識別可能な前記マークを前記第1の発光部からの光で照明し、前記マークからの光を前記第1の受光部で検出し、その後に前記第1の発光部を消灯し、その後に前記第2の発光部を点灯させ、前記マークからの光を前記第2の受光部で検出し、前記マークの前記同一点を検出した後に、前記第2の発光部を消灯し、その後に前記第1の発光部を点灯させる一連の動作を繰り返し行っていることを特徴とする請求項1に記載の変位計測装置。前記第1、及び、前記第2の検出部は、各々発光部から受光部の方向を配列方向としたとき、前記配列方向は互いに180度の角度を成すように、同一基板上に配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の変位計測装置。前記第1、及び、前記第2の検出部は、前記第1の発光部と前記第1の受光部の中心を結ぶ線分の中点と、前記第2の発光部と前記第2の受光部の中心を結ぶ線分の中点とを結ぶ直線が、速度検出方向に平行であること特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の変位計測装置。前記第1、及び第2の検出部は、前記第1、及び第2の受光部の速度検出方向に垂直な中心線の中心間距離と、前記第1、及び第2の発光部の速度検出方向に垂直な中心線の中心線間距離とが、一致することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の変位計測装置。前記第1、及び第2の検出部は、前記第1、及び第2の受光部の速度検出方向に垂直な中心線と、前記第1、及び第2の発光部の速度検出方向に垂直な中心線とが、各々一致することを特徴とする請求項9に記載の変位計測装置。前記第1、第2の受光部が同一半導体上に、交互に配置され、該交互に配置される4個一組を最小単位として、1組以上周期的に配置された構成であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の変位計測装置。前記交互に配置される第1、第2の各受光部が複数の受光素子からなる受光素子アレイからなることを特徴とする請求項11に記載の変位計測装置。移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第1の発光部と前記マークを介した光を検出する第1の受光部とを備える第1の検出部と、前記第1の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第2の発光部と前記マークを介した光を検出する第2の受光部とを備える第2の検出部と、を有する変位計測装置において、前記第1、及び、前記第2の検出部は、各々発光部から受光部の方向を配列方向としたとき、前記配列方向は互いに180度の角度を成すように、同一基板上に配置されていることを特徴とする変位計測装置。特許文献1の変位計測装置では、中間転写ベルト移動体に設けた光学マークを介した光を移動方向に離れて配置した2つの検出手段で検出し、検出した時間間隔より中間転写ベルトの速度情報を得ている。区間速度検出方法を用いて移動体の速度を検出する場合、検出部間の距離区間長の中で平均化された周波数帯域の速度が検出される。このため、区間長に比例したある一定の周波数帯域以下の速度変動成分しか検出することができない。従って、駆動ローラの偏心、駆動モータの減速ギア偏心等に起因する速度変動成分等、比較的高い周波数帯域の速度を計測する場合には、検出部間の区間長を短くする必要がある。しかしながら、2つの検出器を移動体の移動方向に単純に近づけて区間長を短くした場合、各光源からの反射像が他方の検出器へ重畳する、所謂、クロストーク現象が発生するという問題が生じてくる。この課題について、図23を用いて説明する。図中107は移動体であり、所定のピッチから成るマーク110が形成されている。第1の検出部101は、第1の発光部103、第1の受光部105から成り、第2の検出部102は、第2の発光部104、第2の受光部106から成る。第1の検出部101と第2の検出部102が移動体107の移動方向であるx軸方向に、距離Lで配置され、第1の検出部101及び、第2の検出部102はx軸方向を移動する移動体110上の識別可能なマーク110を検出する。移動体107上のマーク110を第1の検出部101で検出したタイミングを第1のタイミングt1とし、同じマーク110を第2の検出部102で検出したタイミングを第2のタイミングt2とする。このとき、移動体107の速度Vは次式1で求めることができる。検出される速度Vの周波数帯域は距離Lに依存するため、速度Vの速度帯域を上げるには、距離Lを短くする必要がある。例えば、カラー画像形成装置の中間転写ベルトの速度変動には、駆動ローラの偏心や駆動モータの減速ギア系等に起因する高い周波数成分が存在する。このような高い周波数成分の速度検知を行い、フィードバック制御により駆動モータの回転制御を実施する場合には、距離Lの必要寸法として0.6mm以下にしなければならないとの試算結果もある。本発明者らが検討してきた構成において、第1の発光部103、第2の発光部104は、発散光束を放射する光源を用いている。そのため、距離Lを短くしていくと、第1の発光部103より発せられた光がマーク110で反射した像が第2の受光部106へ光学的クロストークとして重畳し、第2の検出部102の検出の誤差因子となる。他方の第2の発光部104と、第1の受光部105との関係についても同様の現象が発生する。このため、上述してきた従来の速度検出方法では、区間長を短縮することで、複数の発光部による像のクロストークが発生するため、検出信号が歪み、速度検出精度が低下してしまう。本発明は、クロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置の提供を目的とする。本発明の変位計測装置は、移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第1の発光部と前記マークを介した光を検出する第1の受光部とを備える第1の検出部と、前記第1の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第2の発光部と前記マークを介した光を検出する第2の受光部とを備える第2の検出部と、前記第1の発光部と、前記第2の発光部を時分割で発光させる時分割発光手段と、前記マークのうち同一のマークを前記第1、第2の検出部で各々検出する第1のタイミングと前記第1のタイミングと異なる第2のタイミングを検出する検出手段と、前記検出手段で得られた前記第1のタイミング及び前記第2のタイミングを用いて前記移動体の移動速度を算出する速度算出手段と、を有することを特徴としている。この他本発明の変位計測装置は、移動体に設けた光学的に識別可能なマークを照明する第1の発光部と前記マークを介した光を検出する第1の受光部とを備える第1の検出部と、前記第1の検出部に対して前記移動体の移動方向に所定の間隔を隔てて配置され、前記マークを照明する第2の発光部と前記マークを介した光を検出する第2の受光部とを備える第2の検出部と、を有する変位計測装置において、前記第1、及び、前記第2の検出部は、各々発光部から受光部の方向を配列方向としたとき、前記配列方向は互いに180度の角度を成すように、同一基板上に配置されていることを特徴としている。本発明によればクロストークによる検出誤差を軽減し、移動体の高帯域速度変動を高精度に検出することができる変位計測装置が得られる。以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。本発明の変位計測装置は、移動体10に設けた光学的に識別可能なマーク11を照明する第1の発光部6とマーク11を介した光を検出する第1の受光部8を備える第1の検出部2を有する。第1の検出部2に対して移動体10の移動方向に所定の間隔Lを隔てて配置され、マーク11を照明する第2の発光部7とマーク11を介した光を検出する第2の受光部9を備える第2の検出部3を有する。所定の周波数の基準信号20を発生する基準信号発生手段20aと、基準信号20に同期して第1及び第2の発光部6、7の通電状態を制御する通電制御手段16とを有する。基準信号20の周波数fHZは、第1の検出部2から出力される信号及び、第2の検出部3から出力される信号の中心周波数の整数倍である。基準信号発生手段20aと通電制御手段16からの信号に基づいて第1、第2の発光部6、7を時分割で発光させる時分割発光手段15を有する。基準信号20に同期して第1の検出部2及び第2の検出部3から得られる出力をサンプリングするサンプリング手段79を有する。マーク11のうち同一のマークを第1、第2の検出部2、3で各々検出する第1のタイミングt1akと第2のタイミングt2aを検出する同一点検出手段18を有する。ここで同一点検出手段18は、第1、第2の検出部2、3で得られたタイミングのうちサンプリング手段79でサンプリングされた出力値V11~V16のうち所定の閾値電圧中心電圧の付近の少なくとも2点のサンプリング値を選択する。そしてこれらのサンプリング値V12、V13V22、V23から補間演算により閾値電圧閾値位相におけるタイミングt1b0、t1a1t2b0、t2a1を検出している。同一点検出手段18で得られたタイミングを用いて移動体10の移動速度Vkmを算出する速度算出手段18aを有する。この他本発明の変位計測装置の他の実施形態の1つでは、時分割発光手段15を用いて移動体10の識別可能なマーク11を第1の発光部6からの光で照明し、マーク11からの光を第1の受光部8で検出する。その後に第1の発光部6を消灯し、その後に第2の発光部7を点灯させ、マーク11からの光を第2の受光部9で検出する。そして、マーク11の同一点を検出した後に、第2の発光部7を消灯し、その後に第1の発光部6を点灯させる一連の動作を行っている。本発明の変位計測装置では移動体の移動速度を算出する他、移動体の変位量も計測する。この他、本発明の変位計測装置では、移動体10上に周期的に配置された識別可能なマーク列11に対して、発光部より光を照射し、照射光のマーク列11からの透過光、または反射光を受光部にて検出する。そして検出信号から、移動体10の変位量を算出する。このとき発光部及び受光部は、第1の発光部6と第1の発光部6からマーク列11に照射した照射光の透過光または反射光を検出する第1の受光部8を備えている。さらに第2の発光部7と第2の発光部7からマーク列11に照射した照射光の透過光または反射光を検出する第2の受光部9を備えている。そして第1の発光部6からマーク列11に照射した照射光の透過光または反射光が第2の受光部9にて検出される、或いは、第2の発光部7からマーク列11に照射した照射光の透過光または反射光が第1の受光部で検出される。このような各発光部及び受光部の位置関係下において、第1の発光部6と第2の発光部7とを時分割で発光させる手段を備え、各発光部の発光時に対応して各受光部にて信号を検出し、変位量を算出する。このような構成の基で、本発明の他の実施形態としては、第1の発光部6及び第1の受光部8と、第2の発光部7及び第2の受光部9とは互いに180度の角度を成すように、同一基板上に配置されている。[実施例1]図1乃至図6を参照して、実施例1の変位計測装置について説明する。なお、各図で用いられる座標軸x軸、y軸、z軸は共通である。図1は、本実施例における変位計測装置1の概略斜視図である。図2は、本実施例における変位計測装置及び移動体の概略斜視図である。図3aは、変位計測装置1の概略平面図、図3bは概略正面図である。また、図6は本実施例における速度算出過程を示す要部ブロック図である。図1乃至図3において、1は変位計測装置速度検出センサであり、第1の検出部2は第1の発光部6及び第1の受光部8を有し、第2の検出部3は第2の発光部7及び第2の受光部9を有する。第1の発光部6及び第2の発光部7は、点光源とみなすことのできる電流狭窄LED等の光源が用いられる。第1の受光部8及び第1の信号処理回路12はフォトICとして構成されている。同様に、第2の受光部9及び第2の信号処理回路13はフォトICとして構成されている。また、本実施例では、第1の発光部6、第2の発光部7、第1の受光部8、第2の受光部9は全て同一基板4上に同一平面内に実装されており、第1の検出部2、第2の検出部3の全体は透明な樹脂層5によって保護されている。図3に示すように第1、及び、第2の検出部2、3は、各々発光部から受光部の方向を配列方向としたとき、配列方向は移動方向x方向に対して互いに180度の角度を成すように、同一基板上に配置されている。また、第1の発光部6と第1の受光部8の中心を結ぶ線分の中点P1と、第2の発光部7と第2の受光部9の中心を結ぶ線分の中点P2とを結ぶ直線Lx12が、速度検出方向x方向に平行である。そして第1、及び第2の受光部8、9の速度検出方向x方向に垂直な中心線Ly1、Ly2の中心間距離Lと、第1、及び第2の発光部6、7の速度検出方向x方向に垂直な中心線Ly1’、Ly2’の中心線間距離L’とが一致する。更に第1、及び第2の受光部8、9の速度検出方向x方向に垂直な中心線Ly1、Ly2と、第1、及び第2の発光部6、7の速度検出方向に垂直な中心線Ly1’、Ly2’とが、各々一致する。上記構成において、第1の発光部6,第2の発光部7は発散光束にて、移動体10上の識別可能なマーク11を照明し、マーク11からの光をそれぞれ第1の受光部8、第2の受光部9で受光し、マーク11のうちの同一のマークを検出する。本実施例では、第1の検出部2と第2の検出部3が移動方向に互いに180度の角度を成すように、同一基板4上に配置することで、第1の検出部2と第2の検出部3の実装間隔Lを短くし、より高帯域の速度検出を可能としている。また、本実施例では、第1の発光部6と第1の受光部8の中心を結ぶ線分の中点P1と、第2の発光部7と第2の受光部9の中心とを結ぶ線分の中点P2とを結ぶ直線Lx12を移動体10の移動方向x軸方向と平行に構成している。このように構成することで、同一点検出手段18は第1、第2の検出部2、3から得られる信号より、移動体10上のマーク11のy軸方向の同一点を検出するタイミングを検出している。同一点検出手段18によりマーク11上の同一点を検出するタイミングを検出することにより、マーク11のy軸方向の不均一性に伴い発生する検出誤差を抑制している。次に、移動体10の速度の検出方法について説明する。図2に示すように、移動体10上に反射部材などで構成された、識別可能なマーク11が移動方向に配列間隔Pで、周期的に配列されている。移動体10上のマーク11がx軸方向に進行している。第1の検出部2においてマーク11を検知した第1のタイミングをt1、第2の検出部3において同じマークを検出した第2のタイミングをt2とする。第1の検出部2と第2の検出部3とのx軸方向移動方向の距離をLとすると、移動体10の速度Vは、式1で算出される。ここで、課題において上述したように、上記構成においては、第1、第2の検出部2、3において、光学的クロストークが発生し、各検出部2、3において、精度良くマーク11を検出することができないという問題点が発生する。以下、本実施例の特徴である光学的クロストークの回避手段としての時分割発光手段15における、第1、第2の検出部2、3の発光部6、7における時分割発光について説明する。図4はタイミングチャート、図6は速度算出に至るまでのフロー要部ブロック図である。まず、図4dの第1の検出部2の出力信号の破線23、及び、図4fの第2の検出部3の出力信号の破線26、はそれぞれの検出部において、発光部6、7を単独で常時発光させた場合の出力を示したものである。同図は周波数FHzの正弦波状の信号である。この信号23、26は移動体10上のマーク11の配列周期Pと同期した正弦波状の信号となっている。以下、各発光部6、7を時分割発光手段15により時分割発光した場合のこれら信号の状態とその状態においてマーク位置を検出する方法に関して説明する。図4aは、固定周波数fHzの基準信号クロック20を示し、第1の発光部6の発光タイミング21は基準信号20と同期している。図中、内部ディレイδ0を考慮した図となっている。図6に示すように、時分割発光手段15は、基準信号発生手段20aからの基準信号20に同期して、通電制御手段16からの通電状態を制御する信号によって、第1の発光部6、第2の発光部7の発光状態を制御している。図4において、第1の発光タイミング21と第2の発光タイミング22は、逆位相関係にある。発光タイミングパルスのHighが点灯状態、Lowが消灯状態を示しており、本例での発光状態はデューティー比50のパルスとしている。第1の発光部6と第2の発光部7を時分割で点灯させたときの、第1の検出部2からの出力は図4dの曲線実線24で示している。第1の発光部6が点灯しているときの状態を1-A~1-Fとし、各発光状態に対応する第1の検出部2からの出力状態は、図に示されるように、第1の発光部の発光タイミング21に対し、遅れ時間δ10≦δ1をもつ。第1の発光部6の消灯時に相当する1-A~1-F以外の出力状態は、第2の発光部7の出射光による移動体10上の別の部位から、反射像を検出している。したがって、第1の検出部2の出力信号24は、発光部の切替に伴う検出反射像の変化と、発光部及び検出部の周波数特性の影響を受け歪んだ波形となっている。基準信号20と同じ周波数で、第1の検出部2の出力24をサンプリング手段79で基準信号20に同期したサンプリングを行う。サンプリング手段79により、サンプリングしたときの出力値をV11~V16とし、出力値V11~V16が得られるタイミングをそれぞれ、t11~t16とする。サンプリングポイントは、第1の発光部6が点灯時の応答範囲1-A~1-Fにあれば良いが、発光部、及び、検出部の周波数特性を考慮し、安定した出力信号を得るため、応答範囲1-A~1-Fの出来るだけ後方でサンプリングすることが、好ましい。次に、第1の検出部2における2値信号25の立ち下がりのタイミングt1b0、立ち上りタイミングt1a1を、同一点検出手段18で決定する方法について説明する。第1の検出部2において、中心電位閾値電圧閾値位相Vo付近の2点の出力値V12、V13が得られるタイミングt12、t13を用いて、線形補間により立ち下がりタイミングt1b0のタイミングを決定する。同様に、中心電位Vo付近の2点の出力値V15、V16が得られるタイミングt15、t16を用いて、線形補間により立ち上りタイミングt1a1のタイミングを決定する。第2の検出部3についても同様であり、第2の検出部3の出力を図4fの曲線実線27で示している。第2の発光部7が点灯しているときの状態を2-A~2-Fとする。各発光状態に対応する第2の検出部3の出力状態は、図に示されるように、第2の発光部7の発光タイミング22に対し、遅れ時間δ20≦δ2をもつ。第2の発光部7の消灯時に相当する2-A~2-F以外の出力状態は、第1の発光部6の出射光による移動体10上の別の部位から、反射像を検出している。したがって、第2の検出部3の出力信号27は、発光部の切替に伴う検出反射像の変化と発光部7及び検出部9の周波数特性の影響を受け歪んだ波形となっている。基準信号20と同じ周波数で、第2の検出部3の出力27をサンプリング手段79で基準信号20に同期してサンプリングを行う。サンプリング手段79により、サンプリングしたときの出力値をV21~V27とし、出力値V21~V27が得られるタイミングをそれぞれ、t21~t27とする。サンプリングポイントは、第1の発光部6が点灯時の応答範囲2-A~2-Fにあれば良いが、発光部、及び、検出部の周波数特性を考慮すると、安定した出力信号が得るため、応答範囲2-A~2-Fの出来るだけ後方でサンプリングすることが好ましい。第2の検出部3における2値信号28の立ち下がりのタイミングt2b0、立ち上りタイミングt2a1を、決定する方法も上述した、第1の検出部2の場合と同様である。第2の検出部3において、中心電位Vo付近の2点の出力値V22、V23が得られるタイミングt22、t23を用いて、線形補間によりt2b0のタイミングを決定する。同様に、中心電位Vo付近の2点の出力値V25、V26が得られるタイミングt25、t26を用いて、線形補間によりt2a1のタイミングを決定する。本実施例では、連続する中心電位を跨ぐサンプリング点、2点を用いた線形補間により、2値信号生成する方法について述べた。だが、必ずしも、閾値電圧である中心電位を跨ぐ連続するサンプリングポイント2点に限定されるものではなく、必要精度に応じた補間処理の必要サンプリング点を採用した処理であればよい。さらに、2点に限定する必要も無く、2点以上の中心電圧付近の3点以上を用いた曲線近似による補間を実施しても良い。以上、述べた方法によると、図4e、gに示すように、第1の検出部2及び、第2の検出部3より、マーク11の通過周期に同期した2値信号25,28が得られる。以上の処理を連続的に行うことで、図5に示すように、第1の検出部2より2値信号29、第2の検出部3より2値信号30を得ることができる。同一点検出手段18により、第1の検出部2において、あるマークを検出したタイミングt1akと、第2の検出部3において同一のマークを検出したタイミングをt2akmを求める。これより速度算出手段18aでは移動体10の移動速度Vkmを、次式2で求めている。本実施例では、同一マークの通過タイミングを2値信号29、30の立ち上り時間で表現した。だが、この限りではなく、立ち下がり時間で表現してもよく、また、振幅変動等に起因するスライスベル変動によるデューティー変動の影響を抑制するために、立ち上り時間と立下り時間の中点をマーク位置と定義しても良い。また、本実施例において速度算出手段18aはマークの検出タイミングを2値化信号へ変換する処理を行い、2値化信号を用いたタイミングを用いた。しかしながら、必ずしも2値化処理の必要性はなく、補間処理による検出点のタイミングデータを直接用いて速度算出処理を行っても良い。本実施例によれば、第1の検出部2と第2の検出部3の移動方向の間隔Lを短く実装しても、光学的クロストークの影響を回避することができ、検出速度の高帯域化を図ることが出来る。また本実施例では、反射型の光学的な検出手段を用いているがこれに限られるものではなく、透過型の光学的な検出手段を用いても同様の効果が得られる。[実施例2]図1乃至図4及び、図7乃至図9を参照して、本発明の実施例2の変位計測装置について説明する。なお、各図で用いられる座標軸x軸、y軸、z軸は共通である。本実施例は、実施例1に比べて検出速度帯域の更なる向上に配慮した構成となっており、この構成において、発光部を時分割発光する場合の実施形態について説明する。まず、本実施例に於ける速度検出の構成を以下に説明する。図7は、実施例1で説明した補間処理により、第1の検出部2より得られる2値信号31及び、第2の検出部3より得られる2値信号32を示す。図8は、本実施例における速度算出に至るまでのフローを示したものである。ここで、第1の検出部2より得られる2値信号31の、k番目のマークに同期したパルス周期をΔtkとする。k番目のマークが通過するタイミングtkにおける、移動体10の移動速度Vkは、マークが設計値Pで一定間隔に配列されているとき、マークの配列間隔Pを用いて、次式3のように書くことが出来る。第1の検出部2と第2の検出部3との距離Lとマークの配列ピッチPの大小関係について、検出部間の距離Lよりもマークの配列ピッチPが十分小さい場合P≪L、式2で算出される速度よりも、式3で算出される速度の周波数帯域の方が高くなる。しかしながら、式3で検出される速度Vkは、マーク配列ピッチPの形成誤差成分が検出速度精度に直接反映され、特に長周期に渡るピッチ誤差の累積誤差精度を確保することは困難となる。これは換言すれば、検出速度の低周波数帯の検出精度は誤差成分を多く含む結果となってしまうことを意味する。そこで、低周波数領域では精度の高い2つの検出部2、3を用いた区間検出速度を採用する。また、高周波数領域は、2つの検出部2、3のうち何れかの上記マーク配列ピッチPからの検出速度Vkを採用し、各々の検出速度の特性を利用して制御を行う。本実施例ではその例として図8に示すように、式2で算出される速度Vkmのローパスフィルタ36を通過させた低周波数領域と、式3で算出される速度のハイパスフィルタ35を通過させた高周波数領域を用いる。そして双方での速度を速度合成演算部19を用いて、合成演算することにより、速度を算出する。また、同一点検出手段18を用いた、式2による速度の算出方法は、実施例1と同様であるため、ここでは説明を省略する。上記速度検出の構成において、以下、基準信号20を基準として、通電制御手段16と時分割発光手段15を用いて発光部を、時分割で発光させ、速度を検出する場合について説明する。まず、本実施例の特徴の基となる時分割発光時のサンプリング周期と線形補間により発生する誤差量の関係について、第1の検出部2を例にとり、図9を用いて説明する。第1の検出部2の出力信号24、第2の検出部の出力信号27は、サンプリング手段79によって、基準信号20と同期してサンプリングされる図4参照。図9aは第1の検出部2の出力信号、図9bは第1の検出部2におけるサンプリング位相と補間誤差の関係を模式的に示したものである。被サンプリング信号である第1の検出部2の出力信号は、一般に移動体10が速度変動を伴っているため、ある周波数FHzを中心周波数とした信号と考えることが出来る。図9aにおいて、第1の検出部2の出力信号が中心電位となるタイミングをT10、中心電位付近の2点サンプリングタイミングをT1A、T1B、そのときの出力電圧をV1A、V1Bとする。タイミングT10とサンプリングタイミングの位相関係と線形補間による補間誤差の関係を図示すると、図9bのように正弦波状の誤差となる。ここで示される誤差は、基準信号20の周波数を上げることにより低減していくが、検出部の周波数特性から上げられる周波数には限界がある。また、この補間誤差は、実施例1の形態、及び、式2で検出する速度にも同様の現象として誤差を与えるが、時間計測の距離区間Lと反比例の関係で影響が軽減されるため、実施例1及び本例式2の検出速度への影響は軽微となっている。これに対して本実施例の式3にて検出する速度Vkでは、マーク配列ピッチPが間隔Lに対して短く、上記補間誤差の影響が相対的に大きく対策が必要となる。本実施例は、上記現象を鑑みて考案したものであり、第1の検出部2及び、第2の検出部3の被検出信号の中心周波数に対して、基準信号20クロックの周波数fHzを整数倍に設定することを特徴としている。その内容に関して以下に説明する。第1の検出部2におけるタイミングT10とサンプリングタイミングの位相関係がα1のときの補間誤差をEα1とする。被検出信号が固定周波数であれば、サンプリングタイミングの位相関係が一定となり、式3により算出される速度誤差はDC成分のみとなる。実際には、マーク配列ピッチPの誤差や制御誤差により、被検出信号の中心周波数Fと、基準信号20の周波数fHzとの同期性を補償できない。ただし、被検出信号の中心周波数Fが、基準信号20の周波数fHzの整数倍であるとき、被サンプリング信号に対するサンプリング信号の位相変化を抑制できる。そのため、補間誤差Eα1の変化を低周波に抑制することが可能であり、式3により算出される速度誤差も低周波のみに抑えられる。したがって、図8で示すように、式3で検出する速度Vkは後処理でハイパスフィルタ35により低周波成分をカットするために、補間演算による誤差成分を低減させた高域成分の速度成分を抽出することが出来る。[実施例3]図1乃至図4及び、図10乃至図13を参照して、本発明の実施例3の変位計測装置について説明する。なお、各図で用いられる座標軸x軸、y軸、z軸は共通である。本実施例は、実施例2に対して更に検出速度帯域を向上させた例である。本実施例では、更に高帯域化を図るために、第1の検出部2及び、第2の検出部3のそれぞれにおいて、位相の異なる2つ以上の信号を出力させることで対応している。本実施例は、第1の検出部2、及び、第2の検出部3より出力される信号A相信号33、B相信号34は90度の位相差信号を含む位相の異なる信号から成る。本実施例を図10乃至図12を用いて説明する。本実施例では、変位計測装置1で用いる第1の受光部8及び、第2の受光部9は図10の模式的に示すような、受光素子列14を用いて構成する。図中、受光素子列14は、17a~17dの隣接する4つのフォトダイオードを5つ配列する構成を示している。なお、設計値Pの間隔で配列された移動体上マーク列から得られる反射像の周期をPfとすると、幾何学的な関係よりPf=2Pとなる。フォトダイオード17a~17dを1周期とする構成要素の配列間隔をPfとし、フォトダイオード17a~17dの配列間隔を、Pf/4で構成することにより、90度毎の位相の異なる周期信号を生成することになる。また、基本的には、1つの配列で機能するが、複数配列することにより、空間的に離れたイメージ像の総和を用いて高い信号強度を得る構成となっている。上記構成における移動体10上のマーク11の検出動作に関して説明する。受光素子列14に対するマーク不図示の相対的な移動に伴い、マーク不図示の反射像は受光素子列14上を受光素子の配列方向x軸方向へ移動する。上述したように、フォトダイオード17a~17dの配列間隔をPf/4で構成し、フォトダイオード17a、17b、17c、17dの順に反射像が移動する場合を考える。各フォトダイオード17b、17c、17dより得られる信号は、フォトダイオード17aより得られる信号に対し、それぞれ90度、180度、270度の位相差を持つ信号となる。この場合、最大4つの位相の異なる信号を得ることが可能である。ここで、フォトダイオード17aで光電変換された電位と、フォトダイオード17cで光電変換された電位を差動増幅したものをA相信号と定義する。同様に、フォトダイオード17bで光電変換された電位と、フォトダイオード17dで光電変換された電位を差動増幅したものをB相信号と定義する。以上述べた原理に従うと、A相信号、B相信号は、図11に示されているように、理想状態で90度位相差を持つ信号33、34となる。図12は図11のアナログ信号をリファレンス電圧、例えば、図11に記載の中心電位等で2値化したデジタル信号であり、本実施例では、この90度位相差の時間間隔から、以下に説明するように速度を算出する。移動体10上のマーク11の配列間隔の設計値はPであるから、A相信号とB相信号の位相差90度に相当するマーク不図示上の距離は、P/4である。このA相信号、B相信号の位相差P/4を区間とした区間速度検知を行うことが可能である。図12において、第1の検出部2より得られる2値信号の、A相信号37とB相信号38の位相差について、タイミングt1kにおけるk番目のマークに同期した時間間隔をΔt1kとする。k番目のマークが通過するときの、移動体の移動速度は、移動体10上のマークの配列間隔Pを用いて、次式4のように書くことが出来る。検出部間の距離Lと、フォトダイオード17a~17dの配列間隔Pf/4の大小について、検出部間の距離Lよりもフォトダイオード17a~17dの配列間隔Pf/4が十分小さい場合を考えるPf/4≪L。その場合、式2で、算出される速度Vkmよりも、更には実施例2における式3で算出される速度Vkよりも、式4で算出される速度Vkの周波数帯域の方が高くなる。また、本実施例に於ける検出速度Vkは、基本的にはマーク配列周期Pの誤差成分の影響を受けないため、この影響による低周波成分は発生しない。一方、筆者らの研究によれば、移動体10の図中X軸方向の回転成分により発光部と検出部間の光路における往路復路の光路長比が変化し、その結果90度位相差に誤差を与え、速度成分に誤差を与えることが解っている。さらに、本発明の背景において説明した移動体として中間転写ベルト等においては、このX軸周りの回転成分がベルト変動等より低周波で発生することが解ってきた。したがって、本実施例の速度検出式4においては、実施例2と同様に低周波の速度誤差成分が含まれている。図13は、本実施例における速度算出に至るまでのフローを示したものである。第1の発光部6、第2の発光部7を、基準信号20に同期して、通電制御手段16を備えた時分割発光手段15により時分割点灯させる方法は、実施例1、実施例2と同様である。実施例2と同様に、図13に示すように、式2で算出される速度Vkmのローパスフィルタ36を通過させた低周波数領域と、式4で算出される速度Vkのハイパスフィルタ35を通過させた高周波数領域を速度合成演算部19によって合成演算する。これにより、速度を算出する方法が有効になる。また、第1の検出部2の出力信号24、第2の検出部3の出力信号27図4参照は、サンプリング手段79によって、基準信号20と同期してサンプリングされる。第1の検出部の2値信号A相37と第2の検出部の2値信号A相39とから、同一点検出手段18を用いた、式2による速度Vkmの算出方法は、実施例1と同様であるため、ここでは説明を省略する。また、補間誤差に関して、ここでは実施例2に対して速度算出に使用するピッチ間隔が1/4と短くなり、実施例2で説明したように、速度算出に用いる時間計測距離と補間処理による誤差の影響度が反比例で作用するため、補間誤差の影響はさらに厳しくなる。そこで、式4の検出速度Vkにおける光源時分割発光時のサンプリング時の補間誤差を実施例2において説明したように、低周波成分となるように時分割発光の基準周波数を選定することにより、補間により発生する検出誤差を低周波成分とすることができる。更に、上記図13に示す速度算出手法と組み合せることで、必要な高域速度の誤差成分を抑制することができる。すなわち、本実施例においても、被検出信号の中心周波数Fに対して基準信号20周波数fHzを整数倍にすることにより、被サンプリング信号に対するサンプリング信号の位相変化を抑制し、高周波域に於ける速度誤差成分を抑制する。そして、図13で示すように、式4で検出する速度Vkは後処理でハイパスフィルタ35により低周波成分をカットするために、必要となる高域速度成分の補間演算による速度誤差成分を低減させることが出来る。[実施例4]図1乃至図3、図10、図11及び、図14乃至図17を参照して、本発明の実施例4の変位計測装置について説明する。なお、各図で用いられる座標軸x軸、y軸、z軸は共通である。本実施例では、実施例3の変位計測装置1の検出部の構成において、被検出信号の90度位相差信号を用いた逆正接演算により、被検出信号の値が中心電位となるタイミングを算出し、デジタル2値信号を生成する方法について図14乃至17を用いて説明する。第1の受光部8及び、第2の受光部9は、図10に示される受光素子列14で構成され、実施例3と共通である。図14は、基準信号クロック40と、それに同期した第1の発光部2の発光タイミング41、第1の検出部2の出力信号であるA相信号43及び、B相信号45の出力状態を示すタイミングチャートである。また、図14において、破線42、44は第1の発光部6が常時発光している際の、第1の検出部2の出力状態を示しており、A相信号、B相信号の位相関係がそれぞれの周期に対して90度の位相関係となっている。第1の発光部6の発光タイミング41は、基準信号40と同じ周波数である。図中、基準信号40に対する第1の発光部6の発光タイミングは発光部のディレイを考慮し、遅延時間δ0を与えて表している。また、第1の発光部6の発光状態1-A~1-Fに対する第1の検出部の応答も同様に、検出系の周波数特性を考慮し、ディレイ量:δ1を加味して表現している。図17は、本実施例における速度算出に至るまでのフローを示したものである。以下、各発光部6、7を基準信号40に同期して、通電制御手段16を用いた時分割発光手段15によって、時分割発光した場合のこれら信号の状態とその状態においてマーク位置を検出する方法に関して説明する。図14では第1の検出部2において、1-A~1-F以外の出力状態は、第2の発光部7の出射光の影響を受け、歪んだ波形となる。クロック40と同じ周波数で、第1の検出部2のA相出力43をサンプリング手段79によってサンプリングしたときの出力値を、VAk-1~VAk4とし、VAk-1~VAk4が得られるタイミングをそれぞれ、Tk-1~Tk4とする。クロック40と同じ周波数で、第1の検出部のB相出力45をサンプリング手段79によってサンプリングしたときの出力値を、VBk-1~VBk4とする。サンプリングポイントは、第1の発光部6が点灯時の応答範囲1-A~1-Fにあれば良いが、発光部、及び、検出部の周波数特性を考慮し、安定した出力信号を得るため、応答範囲1-A~1-Fの出来るだけ後方でサンプリングすることが、好ましい。図14において、A相信号43の仮想的出力破線42が中心電位となるタイミングを、T1、T2とする。タイミングと90度位相差であるA相信号43とB相信号45とを逆正接演算部69を用いて算出した逆正接演算結果との関係は、図15に示されるように線形な関係46となる。タイミングがT1、T2となる時の、逆正接演算値をそれぞれ、π、2nπnは自然数とすると、T1、T2は線形補間により求められ、図16に示すような第1の検出部2の2値信号47を生成することが可能である。また、第2の検出部3についても同様である。即ち、受光部9を図10に記載の受光素子列14で構成する。これにより、被検出信号である第2の検出部3の出力信号A相信号48、第2の検出部の出力信号B相信号49の90度位相差信号から同様の逆正接演算により、2値信号50を生成することが可能である。以上述べた方法により、第1の検出部2の2値信号47及び、第2の検出部3の2値信号50を用いて、実施例1と同様に、同一点検出手段19を用いる方法で移動体10の移動速度を検出することが出来る。本実施例の方法を用いると、図15に示したように移動体10の通過タイミングと逆正接演算結果とが線形な関係にあるため、実施例1の際に発生する線形補間の誤差を抑制することが出来る。[実施例5]図10、図11及び、図18乃至図22を参照して、本発明の実施例5の変位計測装置について説明する。なお、各図で用いられる座標軸x軸、y軸、z軸は共通である。図18aは、本実施例における変位計測装置51の概略平面図、図18bは概略正面図を示している。本実施例は第1、第2の受光部52、53が同一半導体上に、入れ子状に交互に配置され、該交互に配置されるフォトダイオード4個一組を最小単位として、1組以上周期的に配置された構成である。図18において、56は点光源と見なせる第1の発光部、57も同様に点光源と見なせる第2の発光部を示し、図10に記載と同様な受光素子列14が実装されている。受光素子14上に投影される光学像の配列周期Pfは、移動体10上のマーク不図示の配列間隔の設計値をPとすると、Pf=2Pと書ける。図10の受光素子列14の各受光素子の配列間隔をPf/4、第1の発光部56と第2の発光部57の実装間隔をPf/4で構成する。ここで、本実施例においては、フォトダイオード17a及び、フォトダイオード17cの組み合わせを第1の受光部52と定義し、フォトダイオード17b及び、フォトダイオード17dの組み合わせを第2の受光部53と定義する。また、第1の発光部56と第1の受光部52の組み合わせを第1の検出部59、第2の発光部57と第2の受光部53の組み合わせを第2の検出部60とする。第1の発光部56の中心と第1の受光部52の中心とを結ぶ線分はy軸と平行となるように配置され、また同様に第2の発光部57の中心と第2の受光部53の中心とを結ぶ線分はy軸と平行となるように配置されている。図18において、第1の発光部56と、第2の発光部57、及び第1、第2の受光部52、53は、同一平面上に存在し、第1、第2の受光部52、53は、信号処理回路58と共に同一半導体上に構成されている。第1の発光部56と、第2の発光部57、信号処理回路58は基板54の上に実装され、全体が透明な樹脂55で封止されている。本実施例では第1の検出部59において、フォトダイオード17aで光電変換された電位と、フォトダイオード17cで光電変換された電位を差動増幅したものをアナログ検出信号1と定義する。同様に、第2の検出部60において、フォトダイオード17bで光電変換された電位と、フォトダイオード17dで光電変換された電位を差動増幅したものをアナログ検出信号2と定義する。本実施例では、検出対象となる2つの信号の位相関係が1周期内に必ず存在する関係になるため、実施例1~4とは異なる方法を採用した時分割発光による信号検出を提案する。本実施例における第1の発光部56と第2の発光部57を時分割で点灯させる方法を図19のタイミングチャート及び、図20の速度算出に至るまでのフローを用いて説明する。図19中、aは第1の発光部56のみをDC発光させた場合に、マークの移動に伴い各検出部から検出される信号を示している。bは第2の発光部57のみをDC発光させた場合に、マークの移動に伴い各検出部から検出される信号のタイミングチャートを示している。cはa、bの検出信号を基に信号処理を行い、第1及び、第2の発光部に時分割発光をさせた場合の発光部変調信号を示している。dは発光部変調の結果、各検出部において検出される検出信号を示している。引き続き各タイミングチャートの詳細に関して説明する。まず、図19中、aは第1の発光部56のみをDC発光させた場合に、第1の検出部において検出されるアナログ検出信号1及びその2値化検出信号1を示している。さらに第2の検出部において検出されるアナログ検出信号2及びその2値化検出信号2、のタイミングチャートを示している。ここで各2値化信号は図中示すように、アナログ信号振幅の中心電位を閾値として得られる2値化信号である。また、本来第1の発光部にて光が照射されている場合、必要となる検出信号は第1の検出信号のみである。同時に光学的クロストークにより、第2の検出信号も合わせて検出されるため、時分割発光における変調回路においては第2の検出信号も合わせて考慮する必要性がある。なお、これら検出信号1、及び2は設定したフォトダイオードアレイ周期、及び、マーク周期の関係から、基本的に90度位相差の関係になっている。図19a中、必要となる第1の検出信号を実線で、第2の検出信号を破線で示している。bも上記aと同様に、第2の発光部57のみをDC発光させた場合に、第1の検出部において検出されるアナログ検出信号1及びその2値化検出信号1のタイミングチャートを示している。さらに、第2の検出部において検出されるアナログ検出信号2及びその2値化検出信号2、のタイミングチャートを示している。ここで各2値化信号は図中示すように、アナログ信号振幅の中心電位を閾値として得られる2値化信号である。また、本来第2の発光部にて光が照射されている場合、必要となる検出信号は第2の検出信号のみである。同時に光学的クロストークにより、第1の検出信号も合わせて検出されるため、時分割発光における変調回路においては第1の検出信号も合わせて考慮する必要性がある。図19b中、必要となる第2の検出信号を実線で、第1の検出信号を破線で示している。続いて、図21に発光部の変調回路の一例を示し、上述した検出信号状態における、発光部の変調動作及び、速度検出のための時間計測動作に関して説明する。図中、発光部変調回路はJKフリップフロップ回路以後、JKFF、AND回路、Not回路にて構成され、JKFFの出力信号Q、及び、NotQQの極性反転信号は、それぞれ第2の発光部、及び第1の発光部の変調制御信号として使用する。更に、Q及び、NotQのいずれかを用いて、後に説明する速度算出に必要な時間計測を行う。なお、JKFFはこの時間計測に必要十分な時間分解能となる周波数のクロックを設定し、動作する構成となっている。まず、発光部変調回路動作の説明を行う。図21の回路構成において、初期状態として、JK-FFをプリセットして第2の発光部を点灯させる。これにより、第1及び第2の検出部からの検出信号は、図19中、bの状態となり、移動体が相対移動し、マークによる反射像が検出部を通過することにより、図19、bに示すような検出信号変化が現れる。信号変化がタイミングチャートにおけるt2の時刻に到達すると、2値化検出信号1、及び、2値化検出信号2が共にHigh状態に変化する。これと同時にJKFFのK入力がHighとなり、ck入力によりJKFFの出力QがリセットされLowとなる。Q出力は第2の発光部の制御信号であるため第2の発光部が消灯され、同時に第1の発光部制御信号であるNotQ信号がHighとなり、第1の発光部が点灯状態となる。時刻t2後、第1及び第2の検出信号は、図19、aの状態になり相対移動に伴い変化する。さらに時刻t1の状態に相対移動が進むと、2値化検出信号1がHigh状態、2値化検出信号2がLow状態に変化する。これと同時にJKFFのJ入力がHighとなり、ck入力によりJKFFの出力QがセットされHighとなる。Q出力は第2の発光部の制御信号であるため第2の発光部が点灯され、同時に第1の発光部制御信号であるNotQ信号がLowとなり、第1の発光部が消灯状態となる。以上の動作が相対移動による信号変化に伴い連続的に実施されることで、図19中、cに示すような発光部の変調信号が得られる。また、この時、第1及び第2の検出信号は図中、dに示すような信号形態となる。なお、図19、d中、破線、点線で示す信号は、それぞれの発光部をDC発光させた場合の波形を示している。引き続き、速度算出に使用する時間計測に関して説明を行う。第1及び、第2の2値化信号の極性変化タイミングは、移動体上の識別可能なマーク不図示の同一位置の通過タイミングとなり、この第1及び第2の2値化信号の同一極性変化のタイミング差を検出することで、同一マークの通過時間を算出することができる。本例では各検出信号の同極性変化位置を検出して、発光部の変調信号を生成しているため、この発光部変調信号の極性変化のタイミング差を計測することにより、同一マークの通過時間を算出することができる。なお、この通過時間計測は前述した、時間計測分解能に対して必要十分であるJKFFのck信号を使用し、発光部変調信号の極性変化間のck数計数を行うことで実行可能である。なお、変調タイミングt2における移動体の速度vkは次式5で得られる。本実施例の場合、アナログ検出信号1と、アナログ検出信号2との位相関係が、マークの配列周期の1周期内に必ず存在する関係にある。従って、2値化検出信号1の立ち上りを検出したタイミングの、次の2値化検出信号2の立ち上りタイミングを検出することで、マークの同一点検出手段18が行うべき作用と同様の作用を行うことが可能である。また、本実施例では、同一マークの通過タイミングを2値化検出信号1、2の立ち上り時間で表現した。だが、この限りではなく、立ち下がり時間で表現してもよく、また、振幅変動等に起因するスライスベル変動によるデューティー変動の影響を抑制するために、立ち上り時間と立下り時間の中点をマーク位置と定義しても良い。以上のように、本実施例である発光部の時分割点灯を行うことで、第1の受光部52と第2の受光部53を入れ子の構造にすることが可能となる。この結果、区間速度検出法における第1の検出部59と第2の検出部60の距離区間長を短くし、検出速度の高帯域化を図ることができる。さらに、本実施例の方法は、2値化検出信号1及び、2値化検出信号2を生成する際に補間処理を必要としないため、実施例1の際に発生する線形補間の誤差の発生を回避することが出来る。尚、前述した発光部の変調回路は、第1の発光部の発光時に第1の検出信号のマーク上の特定位置の時刻、及び、第2の発光部の発光時に第2の検出信号の同じくマーク上の特定位置の時刻、を検出可能な発光部の変調回路は本例に限定されない。さらに、時間計測可能な信号生成回路であれば、本例に限定されるものではない。尚、上記実施例において、受光素子14の構成を、図10に示すように、フォトダイオード17a~17dを5周期配置する構成を例に取り説明したが、図22に示すように、受光素子14の周期構成を1周期のみとする構成も適用できる。この場合も、発光部と受光部の位置関係は周期構造を取る場合と同様に、第1の発光部76の中心と第1の受光部領域17a及び17cの中心とを結ぶ線分をy軸と平行となるように構成する。また同様に第2の発光部77の中心と第2の受光部領域17b及び17dの中心とを結ぶ線分をy軸と平行となるように構成する。本実施例では、各検出部における発光部の中心と受光部領域の中心とを結ぶ線分がy軸と平行となるように構成する例を示したが、この限りではない。各検出部における発光部の中心と受光部領域の中心とを結ぶ線分がy軸と平行とならない場合も本発明の範疇に含まれる。図22中、フォトダイオード17a、17b、17c、17dの各受光素子幅を配置周期に合せているが各受光素子幅と周期を合せる必要は特に無く、周期より狭い幅の受光素子であっても問題ない。但し、各受光素子幅を変更する場合は、上述したように、それに合わせて発光部の位置を受光部中心に合せることが望ましい。またさらに、図示した各受光素子17a、17b、17c、17dは、一つの受光素子から構成される必要は無く、各受光素子を受光素子列から構成することもできる。即ち交互に配置される第1、第2の各受光部17a、17c17b、17dが複数の受光素子からなる受光素子アレイからなっている。以上のように各実施例によれば、複数の発光部から生成される複数のイメージ像が、1つの受光部に投影されるイメージ像のクロストーク現象を回避することができ、高帯域の速度を高精度に検出することが可能な変位計測装置が得られる。"