"イオンがパルス方向に沿ってイオン質量毎に離間するように配置された第1パルス化イオンビームを分析するための飛行時間型質量分析計を操作する方法であって、少なくとも1つの個々の所定のイオン質量又は少なくとも1つの所定のイオン質量範囲の前記イオンを、少なくとも1つの分離されたイオンビームとして前記第1パルス化イオンビームから分離することができ、前記第1イオンビームと前記少なくとも1つの分離されたイオンビームを分析すること、を特徴とする方法。前記少なくとも1つの分離されたイオンビームの強度又は前記第1イオンビームの強度を分離後に減衰すること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。前記第1イオンビーム又は前記分離されたイオンビームを減衰した後、前記少なくとも1つの分離されたイオンビームを前記第1イオンビームと再結合させて1つの共通のイオンビームを形成すること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。前記分離されたイオンビームのイオンと前記第1イオンビームのイオンを、それぞれの質量毎に離間させ、有利にはそれらの質量に対応させて、前記共通のイオンビーム内に配置すること、を特徴とする、直前の請求項に記載の方法。少なくとも1つの分離されたイオンビームを前記第1イオンビームとは別に分析すること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。前記第1イオンビームを、前記第1イオンビームとは別に分析される前記分離されたイオンビームより低い感度で分析する、又は、前記第1イオンビームとは別に分析される前記分離されたイオンビームを、前記第1イオンビームより低い感度で分析すること、を特徴とする直前の請求項に記載の方法。前記第1イオンビームに関する分析結果と、前記少なくとも1つの分離されたイオンビームに関する分析結果から、1つの共通した質量スペクトルを、有利には複数の部分において決定すること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。前記第1イオンビームの強度を、特に1つ以上の特定の個々の質量又は1つ以上の特定の個々の質量範囲に対して前記イオン質量の関数として決定し、境界値を超えると、関連する質量又は関連する質量範囲の前記イオンのみを前記第1イオンビームから分離すること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。前記第1イオンビームの強度を、1つ以上の特定の個々の質量又は1つ以上の特定の個々の質量範囲に対して決定し、境界値未満となった場合には、前記関連する質量又は前記関連する質量範囲の前記イオンを前記第1イオンビームから分離しない状態又は分離しなくなる状態にすること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。前記分析の開始時に、前記第1イオンビームの強度を、特に1つ以上の特定の個々の質量又は1つ以上の特定の個々の質量範囲に対して前記イオン質量の関数として決定し、境界値を超えると、前記関連する質量又は前記関連する質量範囲の前記イオンを前記第1イオンビームから分離すること、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。前記第1イオンビームの強度を、連続的に又は規則的な、及び/又は不規則な時間間隔で決定すること、を特徴とする直前の二項の請求項のうちの一項に記載の方法。前記境界値は、特定の質量又は特定の質量範囲の単一粒子を計数した際の誤差が所定の誤差境界値を超える、前記関連する質量又は前記関連する質量範囲における前記イオンビームの強度であること、を特徴とする請求項8から11のうちの一項に記載の方法。1つのイオンビーム、複数のイオンビーム、又は全てのイオンビームの前記分析は、特に時間-デジタル変換器TDC変換器による単一粒子検出、及び/又は特にアナログ-デジタル変換器ADCによる複数粒子記録によって行うこと、を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の方法。イオンがパルス方向に沿ってイオン質量毎に離間するように配置された第1パルス化イオンビームを分析するための飛行時間型質量分析計であって、前記第1パルス化イオンビームを分析するための第1検出器を有し、少なくとも1つの特定の質量又は少なくとも1つの特定の質量範囲のイオンを前記第1イオンビームから分離されたイオンビームとして偏向させる少なくとも1つのビームスイッチを、前記第1イオンビームのビーム経路に配置し、a少なくとも1つの分離されたイオンビームを分析する、前記第1検出器とは異なる感度を有する少なくとも1つの更なる検出器及び/又は、b1つの共通のイオンビームを形成するために、少なくとも1つの分離されたイオンビームを前記第1イオンビームと再結合させ、前記分離されたイオンビームのイオンと前記第1イオンビームのイオンを、有利にはそれらの質量に対応させて、それぞれの質量毎に離間して前記共通のイオンビーム内に配置する、少なくとも1つの装置と、前記第1イオンビーム又は前記分離されたイオンビームを減衰させ、前記分離されたイオンビームを分離する前記ビームスイッチと前記再結合装置との間の、前記第1イオンビームのビーム経路又は前記分離されたイオンビームのビーム経路に配置した、少なくとも1つの装置と、の両方を有すること、を特徴とする飛行時間型質量分析計。前記イオンビームを減衰する装置の少なくとも1つがフィルタであること、を特徴とする直前の請求項に記載の飛行時間型質量分析計。少なくとも1つの制御装置が、前記第1検出器によって又は場合により更なる検出器によって強度を検出された前記第1イオンビーム又は前記分離されたイオンビームの強度の関数として、前記ビームスイッチの少なくとも1つを制御すること、を特徴とする直前の二項の請求項のうちの一項に記載の飛行時間型質量分析計。前記制御装置のうちの少なくとも1つが、請求項1から13のうちの一項に記載の方法によって前記飛行時間型質量分析計を制御すること、を特徴とする直前の請求項に記載の飛行時間型質量分析計。脱離、特に電解脱離FDによって、原子一次イオン若しくはクラスタイオンによる脱離SIMSによって、及び/又はレーザ脱離LD、特にマトリックス支援レーザ脱離MALDIによって、プラズマイオン化ICPによって、エレクトロスプレーイオン化ESIによって、電子衝撃イオン化EIによって、化学イオン化CIによって、場合により脱離した中性粒子を、特にプラズマ、電子、及び/又は光子によってその後イオン化して、前記パルス化イオンビームを生成する、先行する請求項のうちの一項に記載の方法の使用又は飛行時間型質量分析計の使用。背景技術で述べた問題を軽減又は改善するために、本発明の目的は、飛行時間型質量分析計を動作させる方法と、飛行時間型質量分析計と、その使用を可能にすることであり、これらにおいては、精度が非常に高い場合、詳細には時間的に強度が変化する場合に、測定のダイナミックレンジを改善することができ、分布マップの測定においてppm又はppbの範囲において痕跡検出を行うことができる。さらに本発明による方法と本発明による質量分析計は、特に単一粒子計数法においてTDCを用いて記録する場合に高い時間分解能を有するよう意図したものである。さらに、使用するイオン検出器の高い強度での負荷を軽減して寿命を延ばすことを意図し、全体として本発明の方法又は質量分析計の技術的複雑さとコストを低下させる又は低く抑えることを意図している。この目的は、請求項1に記載の方法と、請求項14に記載の質量分析計と、請求項18に記載のその使用とによって達成される。本発明による方法と本発明による飛行時間型質量分析計の有利な発展は、各従属請求項に示されている。飛行時間型質量分析計を操作する本発明による方法は、第1パルス化イオンビームの分析に使用し、前記ビームのイオンはイオン質量毎に離間されて、パルス方向に沿って並んでいる。このような個々のイオン質量ごとのイオンの離間は、前述のように、まずイオン源からイオンを導出し、その後一般的に同一エネルギーに加速させるようにして行う。質量の関数として異なる速度を生成すると、その結果イオンはイオンパルス内でそれぞれの質量毎に互いに離間される。本発明によれば、少なくとも1つの個々の所定のイオン質量又は少なくとも1つの所定のイオン質量範囲のイオンをかかるイオンパルスから分離する。この分離されたイオンビームを、元のイオンビームと同じようにその後分析する。異なる感度の検出器を用いて、分離されたイオンビームの強度又は元のイオンビームの強度を分析することが可能である。従って、例えば第1イオンビームにおいて低強度の質量範囲又は質量のイオンのみを、高感度の検出器を用いて分析し、前記第1イオンビームから高強度の質量範囲又は質量のイオンを分離して、これらについては低感度の検出器を用いて分析することが可能である。逆に、当然のことながら、低強度質量範囲又は質量のイオンを第1イオンビームから分離して、第1イオンビームを低感度の検出器で測定し、分離されたイオンは高感度の検出器で測定することもできる。高強度の質量領域又は質量を含むビームをフィルタまたは他の適切な装置で減衰し、分離されたイオンをその後、元のイオンビームと再結合できるようにしたことで、さらなる可能性が生じる。イオンビームを再結合するとは、検出器の前で両者を結合させて1つのビームとすることで、再結合したビームが検出器に行きつくようにする、あるいは個々のビームを同一の検出器に送ることによって、前記検出器が1つの再結合されたイオンビームのみを検出することを意味している。1つの質量範囲又は1つの質量のイオンを分離することができるだけでなく、複数の範囲又は複数の質量のイオンを分離することもできる。これは、適切にパルス化した単一のビームスイッチによって、あるいは複数のビームスイッチによっても行うことができる。様々な方向に偏向することのできるパルス化ビームスイッチを使用してもよく、この場合には異なる質量又は異なる質量範囲のイオンが、このビームスイッチによって様々な方向に偏向される。分離された異なるイオンビームを生成した場合、適切な感度を有する適切な検出器によってこれらを部分的に又は完全に分析する、あるいは部分的に又は完全に元のイオンビームと再結合させて同一の検出器で分析することが可能である。個々のイオンビームを結合させる際には、生成した共通のビーム内で異なる質量のイオン同士が再び互いに離間するよう配置される又は移動するように注意しなければならない。分離していた前記イオンビームのイオンを、前記第1イオンビームと再度結合させる場合には、その質量に対応した前記第1イオンビーム中の位置に挿入されるのが有利であるが、絶対的に必要なことではない。例えば、前記第1イオンビームパルスの始点や終点等のその他の位置に加えることもできる。だたし、前記第1パルス化イオンビームにおけるそれらの質量に対応した位置にイオンを挿入するのが、一般的である。質量分析計の入口では、元のイオンビームの、異なる質量のイオンからなる種々のイオンビームへの分離は、測定サイクルを介して常に行うことができるだけでなく、絶えず変更/調整することもできる。このために、例えば測定の開始時に、いくつかのイオンビームパルスを測定し、分析するイオンの強度が境界値を超える質量を決定することが可能である。その後、これらのイオンを、パルス化スイッチ等によって分離することができる。これらの分離されたイオンの強度が再び前記境界値未満となった場合には、分離を再度中止することもできる。これに対応して、測定中に他の質量又は質量範囲のイオン強度が所定の境界値を超えた場合にはすぐに、これら他の質量又は質量範囲のイオンを分離することができる。よって、強度の調査は測定の開始時に行ってもよいし、連続的に規則的な、及び/又は不規則な間隔で行ってもよく、あるいは時折のみ行うようにしてもよい。本発明による方法は、単一粒子計数法によって、詳細には時間デジタル変換器TDC変換器によってイオンの分析を行う場合に、特に有利に使用することができる。特に、複数粒子記録にはアナログデジタル変換器A-D変換器の使用が適している。本発明による飛行時間型質量分析計は、本発明によれば、少なくとも1つの特定の質量又は少なくとも1つの特定の質量範囲のイオンを第1パルス化イオンビームから偏向させるのに適した、少なくとも1つのビームスイッチを有する。さらに、前記飛行時間型質量分析計は、第1の変形例では、前記第1イオンビームを分析する第1検出器と、分離されたイオンを分析する少なくとも1つの更なる検出器とを有する。前記更なる検出器は前記第1検出器とは異なる感度、例えば高強度のイオンが検出される質量又は質量範囲を分析するための低い感度、あるいは低強度のイオンが検出される質量又は質量範囲を分析するための高い感度を有することができる。また別の変形例では、前記飛行時間型質量分析計は1つの質量又は1つの質量範囲のイオンの強度を減衰することのできる、少なくとも1つの装置を有する。このタイプの減衰装置としては、回折格子、スクリーン、イオン光学素子、例えば、静電レンズ等の電圧制御型イオン光学素子、フィルタ、特にフィルタによる減衰を機械素子若しくは電気素子によって調整することができるものが適している。また、一部の範囲のみ偏向させて、その他の範囲については偏向させずに通過させるブラッドバリー-ニールセンシャッタの変形物も使用可能である。この変形例では、分離され場合によっては減衰されたイオンビームを前記第1イオンビームと再度結合させるために、更に装置を設けることもできる。上記の変形例の両方を組み合わせてもよく、分離された異なるイオンビームを、例えば別個の検出器によって又は減衰した後で別々に分析し、第1イオンビームと再結合してもよい。異なる質量又は質量範囲の2つの異なる分離されたイオンビームを、そのうちの1つを減衰した後に再結合させて、別個の検出器で検出することも考えられる。本発明によれば、感度毎に異なる検出器を使用することによって、及び/又は減衰せずには単一粒子計数法を使用できない質量範囲又は質量におけるイオンの強度を低下/減衰させることによって、パルス化イオンビームの強度の高ダイナミックレンジにおける検出器の飽和を回避することができる。前記境界値は、約1イオン/1イオンビームバルスであるが、これは、1イオン/1パルスを超えると、むだ時間内に複数粒子事象が発生するため、ポアソン補正を用いても単一粒子計数法ではこの質量又はこの質量範囲のイオンの正確な計数を行うことができないためである。本発明による方法では、時間分解能の高さと技術的複雑さの低さを両立させて、高精度かつ高直線性で測定を行うことが可能である。詳細には、TDC記録を行う単一粒子計数法を使用することができる。このように本発明では、1つの質量範囲内で又は1つの所定の質量において、あるいはこの質量線の強度を1イオン/イオンパルス以下の強度まで低下させることにより、単一粒子計数法においても定量的に1つの決められた質量で、例えば最大100イオン/イオンパルスの強度の検出を行うことが可能である。本発明はまた、1つの測定サイクル中にかかる質量線を可変的に減衰することを可能とするが、高強度の質量のみを偏向させて強度を低下させる、又は別個に分析を行い、残り全ての質量については偏向させることなく対応する検出器へと通過させるように、ビームスイッチをパルス化する。前記単一粒子計数法で記録したかかるスペクトルは、個々の分析結果をまとめたもので、減衰なしの質量線と、減衰ありの質量線を含む。パルス化ビームスイッチの一時的な作動から、前記飛行時間型質量分析計のどの時間窓に対して、そしてどの質量に対して減衰が行われたかが分かる。従って、例えば100といった減衰係数に対応する正確なスペクトルを生成するために、これらの質量線の強度を増大させて、対応する質量又は対応する質量範囲の対応するイオンの実際の強度を再構築することができる。本発明は、異なる減衰係数を有する追加的な軌道を使用するように構成することができる。例えば前記ビームスイッチは2つの異なる方向の偏向を行うことができ、得られた2つの軌道には、2つの異なる減衰係数を有するフィルタを使用することができる。偏向方向によって、前記単一粒子計数法の限界を超える強度を有する各質量線に対して、適切な減衰係数を選択することができる。これによって、ダイナミックレンジをさらに拡張することもできる。このように、例えば1サイクルあたり1,000イオンを有する極めて強い質量を、前記単一粒子計数法において係数1,000を用いた減衰により検出することができ、第2のフィルタユニットを使えば平均強度は係数√1,00032で減少することができる。これらの2つの異なるフィルタを使用することによって、広いダイナミックレンジにわたって高い精度で強度測定を実行することができる。追加的な減衰係数によって概念を発展させることも、本発明の範囲内で可能であろう。減衰の選択は、飛行時間型質量分析計の適用のタイプによって大きく異なる。また、極めて強い質量線を同時に記録することができるように、極めて大きい減衰係数を想定することもできる。これは例えば、ICP-MS等の10桁までの極度のダイナミックレンジを必要とする質量分析方法に適している。高い直線性と時間分解能を有しつつダイナミックレンジを拡大する他に、本発明はまた検出器の寿命を延長する。単一イオンに対する強い質量線を減衰したことにより、検出器への負荷、摩耗、及び亀裂は単一粒子計数法における通常動作相当となる。さらに本発明は、前記単一粒子計数法において単数又は複数のADC、又は複数の検出器を備える構成を用いた方法と比較して、記録の技術的複雑さを軽減する。前記単一粒子計数法においてTDCを用いる経済的な従来の方法をさらに使用することができる。追加的に必要なのは、前記パルス化ビームスイッチのみである。前記単一粒子計数法の限界を上回る質量範囲の選択を手動で行うことができる。このために、まず非常に短いスペクトル記録を数百サイクルにわたって行わなければならない。それに対応した測定時間は0.1秒未満である。その後、1サイクルあたり0.7乃至0.8イオンを越える質量範囲を、減衰のために本発明に従って選択することができる。構成により複数の減衰係数が可能であれば、選択した質量範囲に対して最小の減衰をまず選択すべきである。その後、前記単一粒子計数法において記録することができるよう、より高度の減衰を行うことが必要な質量について、さらに短期のスペクトル記録によって確立することができる。前記単一粒子計数法の限界を上回る質量線の選択を自動的に行うこともできる。質量線の強度が単一粒子計数限界を超えるとすぐに、対応する範囲が前記ビームスイッチによってフィルタを通るよう導かれる。更なる過程において計数率が0.7/減衰係数のレベル未満となった場合には、この質量線に対するフィルタリングを中止することができる。また、前記ビームスイッチとフィルタリングの後で、両方のビーム経路をさらに離間させたままにして各ビーム経路に対して別個の検出器を用いるよう、本発明を変形することもできる。この場合にも、異なる検出器を前記単一粒子計数法において動作させることができる。その後データをまとめて1つのスペクトルを形成することができる。この変形例の1つの利点は、フィルタリング後のビームが元に戻るよう偏向させなくてもよいことである。ただし、第2の検出器によって技術的複雑さが若干増す。本発明はまた、ADCを用いる記録にも使用することができる。ADCのダイナミックレンジは比較的限られている。極めて高い強度の場合、検出器は線形的な範囲で動作しない。すなわち、出力電流は入力における強度に比例しなくなる。前記線形的な範囲を超えた強度を減衰することによって、これらを再び線形範囲内に再結合させることができる。本発明によれば、最も高強度の質量線の減衰によって強度を低下させて、再びADCの記録範囲内とすることができる。減衰を行った質量範囲は分かるため、これらの範囲に減衰係数を乗算することによって、得られたスペクトルをその後再構築することができる。本発明による方法と質量分析計の数例を以下に示す。同一の要素又は対応する要素については、全ての図面において、同一又は対応する参照番号を使用する。従って、それらについての説明は、最初の説明の後では大幅に省略している。以下に記載する本発明の例は、本発明の個々の態様又は幾つかの態様をそれぞれ示すものであるが、これらはそれぞれの例に示す組み合わせで使用できるばかりでなく、別の組み合わせで使用したり、互いに別個に使用したりしてもよい。従って以下の例は本発明の数例の実施形態を示したものにすぎない。図2は、異なる時間t1及びt2における本発明による質量分析計をA図とB図で示すものである。図2Aの質量分析計は、最先端技術による図1の質量分析計と同様に、イオン源1、飛行時間型分析計2、検出器及び信号増幅器3、並びに電子記録部4を有する。最先端技術と比較して、飛行時間型分析計2内にビームスイッチ5が追加配置されており、ビームスイッチ5はイオンビーム10を元の第1イオンビーム10から分離させる。よって元のイオンビーム10は低強度のイオン11と11を含み1つの点でのみ示しているが、原寸に比例するものではない、非常に高強度の異なる質量のイオン115つの点、原寸に比例するものではないは、イオンビーム10に分離されている。飛行時間型分析計2では、フィルタ6がイオンビーム10の経路に配置されており、対応する減衰係数で減衰を行う。フィルタ6の後には、分離されたイオンビーム10を元の第1イオンビーム10内に結合する装置が配置されており、参照番号7で示すこの装置は、飛行時間型分析計の終端に配置した検出器/信号増幅器3の方へ適切にイオンビームを偏向させる。図2Bは後の時間t2における同一の質量分析計を示しており、時間t2では、高強度の質量のイオン11はフィルタ6と偏向装置7を通過している。イオン11の強度は、この時点では弱まって別の点で概略的にのみ示している、イオンビーム10に再び追加される。よってイオン11の強度は、検出器3が比例範囲内で検出できるよう減衰されている。図3は、対応する測定結果を概略的に示している。参照番号11、11、11で図2に示すイオンは、質量m1、m2、m3を有するものとして表されている。図3Aでは、質量分析計すなわち飛行時間型分析計2の入口における強度を左側に示し、従来の飛行時間型分析計を用いて記録した強度は、図3Aの右側に示している。高強度の質量m2については、最初の強度は検出器の比例範囲限界記録値を超えており、検出されるのは記録限界までのみとなるため、スペクトルが変わってしまっていることがわかる。質量m2を有するラインの強度は、図2に示す質量分析計のフィルタ6を用いてフィルタリングされることにより、限界記録値未満に低下しているので、この強度は減衰されても正確に記録されることが図3Bの左側に示されている。その後、飛行時間型分析計2の入口における強度は、記録した強度に減衰係数を乗算することによって、数値を再構築することができる。その結果、図3Bの右側に示す正確な線スペクトルが生成される。減衰係数は図2に概略的にのみ示しているが、図3では説明のために減衰係数100を用いた。縦座標には対数目盛りが示されている。図4は、実際に測定した固体表面のTOF-SIMSスペクトルから切り取ったものである。図4Aは、減衰を行わない単一粒子計数法における低い一次イオン電流によるスペクトルを示している。図4Bは、一次イオン電流を増大させて、図2に示すように質量16の強度を減衰させたスペクトルを示している。最後に、質量16を有する減衰した信号の出力強度を、減衰係数106を用いて再構築した。この例では、飛行時間型二次イオン質量分析計TOF-SIMSにおける同位体比16O/18Oの測定の例を用いて、本発明の利点を説明する。SIMSは、特にマイクロメータ以下の範囲の高い方位分解能を用いて、固体の同位体分析を行うのに適している。TOF-SIMSでは、固体試料から約1nsのパルス持続を有する短い一次イオンパルスによって二次イオンを脱着させ、同一エネルギーに加速させて、飛行時間型分析計で分析する。単一粒子計数法において従来の記録を行う場合には、一次イオンの強度の選択は、16Oの強度が単一粒子計数法の飽和限界約1イオン/サイクル未満となるよう行わなければならない。2分の測定時間における全体で1.2106サイクルの後、測定における16Oの強度は約784,000イオンである。18Oの強度は、天然同位体存在度のために著しく低く、本例では1,650イオンである図3A参照。そのため、18Oの統計的測定誤差は約2.5である。この統計的誤差を0.25まで減少するために、測定時間を100倍して約200分にすることも可能であろう。本発明では図2参照、パルス化したビームスイッチと減衰係数106を有するフィルタをTOF-SIMSに統合した。本発明によるこの構成により同位体比16O/18Oを測定する場合、16Oの強度は、ビームスイッチを用いずに、最大100イオンが一回の照射で検出器に届くよう選択することができる。このために、一次イオンの電流を相応して増大することができる。本例では、電流を83.5倍にしたところ、16Oの強度は約50イオン/サイクルになった。この高い強度の記録は、単一粒子計数法ではできない。偏向を行って16Oイオンの強度を、例えば係数106によって減衰させた後では、平均でわずか0.5イオン/サイクルが記録される。その後、場合によってポアソン補正を行う単一粒子計数法によって通常の方法で正確な強度を計算することができる。同位体18Oは、天然同位体の場合には平均してわずか約0.1イオン/サイクルが検出されるため、減衰なしで同時に記録することができる。このために、質量16についてのみ偏向と減衰を行い、その他の全ての質量については、偏向を行うことなく検出器3へと通過させるようにビームスイッチをパルス化する。2分という同じ測定時間の後、18Oの統計的精度は約0.25という値に達する。質量16Oは減衰係数106で減衰したにもかかわらず約5倍の強度を有しており、統計的誤差は0.012である。16Oの強度に係数106を乗算した後、同位体比をこのように高い統計的精度で測定することができる。対応するスペクトルを図4bに示す。本発明の結果、通常の単一粒子計数法に比べて測定時間が約100倍短くなる。測定時間を6倍に延長することにより、統計的誤差は約0.1まで低下させることができる。本発明を使用しなければ、この目的のために本例において必要となる測定時間は約20時間であるが、本発明を使用すれば測定時間は12分で十分である。同様に、ppmからppbの範囲において痕跡検出を行う場合には、本発明により測定時間が短くなる。質量16の上述の例で示すように、主な要素の強度をフィルタによって減衰させ、単一粒子計数法において測定することができる。同時に、痕跡元素の強度は、高い計数率で減衰なしに測定することができる。それに応じて、同じ測定時間ではダイナミックレンジが100倍に増える、又は、ダイナミクスが同じであれば測定時間がこの係数分だけ短縮される。強度を決定するための測定時間が短い動作モードの場合には例えば、多数の画素の強度を測定する、一時的に急速に強度が変わる画像形成装置の場合、同様にダイナミックレンジが100倍に増える、又はダイナミクスが同一の場合に測定時間が短縮される。1つの画像形成方法において比率16O/18Oを決定する場合には上記参照、上記例によれば1時間の測定時間において利用できるのは、1画素あたり約1,100サイクルにすぎない。先端技術によれば、1画素あたり2イオンのみの質量18Oが記録される。本発明によって減衰前に質量線16Oに対して1回の照射あたり約100イオンが生成されるように一次イオンパルスの強度を選択すれば、18Oの強度は1サイクルあたり0.2イオンになる。1,100サイクル後には、1画素あたり約200イオンがカウントされ、16Oと18Oの分布を、約7という統計的精度によって同時に測定することができる。図5では、本発明による更なる質量分析計を概略的に示す。図2の質量分析計とは異なり、2つの異なる方向に異なる質量のイオンを、分離したビーム10又は10として偏向することのできるビームスイッチ5を有する。それぞれのビーム10又は10の経路には、フィルタ6及び6を配置するが、その減衰係数については、それぞれのビーム10及び10をイオンの強度に適合させる。さらに、元の第1イオンビーム10中にビーム10又は10の各々を結合する装置7’又は7を、各ビーム10及び10に配置する。図6は、複数の検出器3、3、3を設けた2つの質量分析計を示す。図6Aでは、広く図2のものに対応する質量分析計を示す。しかし、この質量分析計には、イオンビーム10をイオンビーム10内に結合させて共通の検出器に送る装置7が存在せず、イオンビーム10を別の検出器/信号増幅器3に送る装置8を備えている。この検出器/信号増幅器3の下流には別の電子記録部4が接続されている。検出器の適切な位置決め又は適切なビーム誘導を行えば、このような偏向装置8も省略することができる。ビーム10のスペクトルとビーム10のスペクトルを決定した後、両方の分析結果から質量スペクトル全体を構築するが、その際にはビーム10に対してフィルタ6の減衰係数を考慮する必要がある。代替的に、フィルタ6も省略して、ビーム10に対してはより低い感度の検出器を使用することもできる。図6Bは、本発明による質量分析計の更なる実施形態を示す。図6Bの質量分析計は、図2の質量分析計の変形である図6Aと同様に図5の質量分析計を変形したものである。イオンビーム10又は10を元のイオンビーム10に結合させる又は同一の検出器の方向に誘導する装置の代わりに、ビーム10及び10を別々の検出器/信号増幅器3、3に送る単なる偏向装置8、8を設ける。別個の電子記録部4又は4をこれらの検出器3、3の下流に配置する。異なるフィルタ6及び6を考慮した後、電子記録部4、4、及び4の個々のスペクトルから全体のスペクトルを構築する。適切な感度を有する個々のビーム10及び10に対する検出器3、3を使用する場合には、フィルタ6及び6を省略できる。さらに、これらの実施形態を図5のような実施形態と混合してもよく、例えば、図6Bの偏向装置8を図5の装置7で置き換えて、図6Bではイオンビーム10が行き着いた検出器3に、適切な減衰の後でビーム10が行き着くようにしてもよい。イオンビーム10に対しては、図6Bに示すビーム誘導とビーム検出のままとすることができる。"