"試料ホルダを有するスキャナ圧電体に走査信号を印加し、該試料ホルダに載置された試料の表面と所定の接触力で接触するプローブにより、前記試料との間で発生する相互作用を検出するプローブ顕微鏡において、前記スキャナ圧電体に走査信号を印加する走査信号配線から、該走査信号に重畳されるアコースティックエミッション信号を分離して、走査位置毎に、前記試料とプローブの相互作用とアコースティックエミッションを同時に検出できるようにしたことを特徴とするプローブ顕微鏡。前記走査信号配線から分岐する配線に、前記走査信号の周波数の上限値より高いカットオフ周波数を備えたハイパスフィルタ、あるいはバンドパスフィルタ及び前記走査信号の周波数のノッチフィルタを備えた電子回路を介在させ、前記走査信号をカットすることにより、該走査信号に重畳されるアコースティックエミッション信号を分離するようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ顕微鏡。前記走査信号配線の信号をデジタル記録し、該信号に対し、ソフトウエアによるハイパスフィルタ処理、あるいはバンドパスフィルタ処理及び前記走査信号の周波数のノッチフィルタ処理を行うことで、前記走査信号をカットすることにより、前記走査信号に重畳されるアコースティックエミッション信号を分離するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のプローブ顕微鏡。前記走査信号配線の信号のうち、X方向の走査信号配線の信号と-X方向の走査信号配線の信号、あるいは、Y方向の走査信号配線の信号と-Y方向の走査信号配線の信号をそれぞれ加算して走査信号を相殺することにより、前記走査信号に重畳されるアコースティックエミッション信号を分離するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のプローブ顕微鏡。前記プローブにより検出した前記試料との間で発生する相互作用と、前記走査信号から分離したアコースティックエミッション信号とに基づいて、前記試料の表面構造、摩擦力、相互作用、アコースティックエミッションの強度、及びアコースティックエミッションの周波数のマッピングを選択的に表示するようにした請求項1ないし請求項4に記載のプローブ顕微鏡。上述したプローブ顕微鏡及びAEによる非破壊検査は、被測定物を分析するにあたりいずれも有効な手段であるが、特にプローブ顕微鏡におけるプローブと試料の相互作用から発生する試料にかかる負荷と、AEとの関連が判明すれば、相互作用によるプローブと試料のひずみ及び亀裂の発生や進展などの破壊損傷が推定でき、原子レベルナノレベルの欠陥検出や強度推定などの材料評価に利用できる。その関連を判明させるためには、フォースカーブプローブと試料の相互作用と距離の関係を示す曲線とAEの同時測定及びプローブ顕微鏡画像とAEの同時測定が必要である。このような同時測定を可能とするために、仮にプローブ顕微鏡に、AE装置を搭載し、両機能を備えた検査装置を構成しようとすると、AE検出用の追加の圧電体センサ、駆動回路、検出回路や配線等をプローブ顕微鏡本体の試料及びプローブ付近に装着する必要があり、さらには、これらの部品が格納されるスペースを確保するためには、プローブ顕微鏡本体を寸法的に改造する必要があった。さらにAE波発生源の標定には複数の圧電体センサを導入する必要があり、高価になるとともに、センサと配線の設置が非常に困難なものとなる。そこで、本発明は、AE検出用の追加のセンサ、駆動回路、検出回路や配線等を設けることなく、低コストでしかもコンパクトな構造で、プローブ顕微鏡にAE検出センサ機能を兼用させることを目的としている。この目的を達成するため、本発明のプローブ顕微鏡は、試料ホルダを有するスキャナ圧電体に走査信号を印加し、該試料ホルダに載置された試料の表面と所定の接触力で接触するプローブにより、前記試料との間で発生する相互作用を検出するプローブ顕微鏡において、前記スキャナ圧電体にAEが作用して、圧電効果によりAE信号が発生して、該走査信号に重畳されるため、前記スキャナ圧電体に走査信号を印加する走査信号配線から、該走査信号に重畳される前記AE信号を分離して、走査位置毎に、前記試料とプローブの相互作用とAEを同時に検出できるようにした。上記のプローブ顕微鏡において、前記走査信号配線から分岐する配線に、前記走査信号の周波数の上限値より高いカットオフ周波数を備えたハイパスフィルタ、あるいは走査信号の周波数をカットするバンドパスフィルタ処理及び走査信号の周波数のノッチフィルタを備えた電子回路を介在させ、前記走査信号をカットすることにより、該走査信号に重畳されるAE信号を分離するようにしてもよい。上記のプローブ顕微鏡において、前記走査信号配線の信号をデジタル記録し、該信号に対し、ソフトウエアによるハイパスフィルタ処理、あるいはバンドパスフィルタ処理及び走査信号の周波数のノッチフィルタ処理を行うことにより、前記走査信号に重畳されるAE信号を分離するようにしてもよい。上記のプローブ顕微鏡において、前記走査信号配線の信号のうち、X方向の走査信号配線の信号と-X方向の走査信号配線の信号、あるいは、Y方向の走査信号配線の信号と-Y方向の走査信号配線の信号をそれぞれ加算することにより、前記走査信号に重畳されるAE信号を分離するようにしてもよい。さらに、上記のプローブ顕微鏡において、前記プローブにより検出した前記試料との間で発生する相互作用と、前記走査信号から分離したAE信号とに基づいて、前記試料の表面構造、摩擦力、相互作用、AEの強度、及びAEの周波数のマッピングを選択的に表示するようにしてもよい。本発明によれば、スキャナ圧電体に走査信号を印加する走査信号配線から、走査信号に重畳されるAE信号を分離して取り出すことができるから、AE検出用の追加のセンサ、配線、センサの駆動回路、検出回路等を設けることなく、プローブ顕微鏡にAE検出センサ機能を具備させることができる。その結果、プローブと試料の相互作用とAEを同時に検出できるため、フォースカーブとAE信号の同時測定及びプローブ顕微鏡画像とAEの同時測定が可能となり、相互作用とAEの関連が判明して、プローブと試料のひずみ及び亀裂の発生や進展などの破壊損傷の推定が可能となる。以下、図面を参照しつつ本発明の実施例について説明する。図1において、チューブスキャナタイプのスキャナ圧電体1は、上面に試料ホルダ5が設けられ、側面に、X方向の走査信号を印加する電極6及び-X方向の走査信号を印加する電極7、Y方向の走査信号を印加する電極8及び-Y方向の走査信号を印加する電極9、Z方向の走査信号を印加する電極20が設けられている。フォースカーブを測定する場合にはZ方向に走査してプローブと試料の距離を変化させる。表面画像を測定する場合にはXY方向に走査する。そして、電極6~9及び20には、それぞれX方向の走査信号を印加する走査信号配線10、-X方向の走査信号を印加する走査信号配線11、Y方向の走査信号を印加する走査信号配線12、-Y方向の走査信号を印加する走査信号配線13、Z方向の走査信号配線14が接続されており、試料ホルダ5上に載置された試料2の表面には、接触力が設定した任意の値となるようにプローブ3を接触させた上で、図2に示す走査信号発生ユニット22により、各走査信号配線10~14を介して各電極6~9及び20に所定の振幅、波形及び周波数の走査信号を与え、チューブスキャナタイプのスキャナ圧電体1を、±X方向及び±Y方向及び±Z方向に走査しながら、プローブ3と試料2との間で発生する相互作用を検出する。これにより、試料2の原子レベルでの電子状態、構造などを観測することができる。なお、本発明のプローブ顕微鏡としての構成は、広く採用されているものを採用しているので、詳細な説明は省略する。このようにプローブ3で試料2を走査した際、プローブ3と試料2との間の負荷とそれに付随する相互作用により4の位置及びその付近でAE波が発生するが、このAE波はスキャナ圧電体1に作用することにより電気信号へと変換されることになり、各電極6~9及び20への走査信号にAE信号として重畳される。このように重畳されるAE信号の帯域は、一般的に100kHz~10MHzである。一方、走査信号の周波数は、通常数十Hzであることから、走査信号の周波数にAE信号が重畳される信号を、各分岐信号線15~19から検出し、この信号に対し、カットオフ周波数を10kHz近辺としたハイパスフィルタを介在させれば、AE信号を抽出することができる。AE信号を抽出するためのブロック図を図2に示す。走査信号発生ユニット22からの走査信号25は、走査信号配線10、11、12、13、14を介してスキャナ圧電体1に印加され、±X方向、±Y方向、±Z方向の走査が行われ、プローブ3からのプローブ信号28は、プローブ信号検出ユニット21を介して、フォースカーブ及び顕微鏡画像生成ユニット23に出力される。その際、スキャナ圧電体1には、プローブ3と試料2との間で発生する相互作用によりAE信号27が発生し、このAE信号27は、走査信号配線10、11、12、13、14に印可される走査信号25に重畳され、上記のハイパスフィルタを備えた、回路ユニット24により、走査信号25からAE信号27を分離して取り出し、フォースカーブ及び顕微鏡画像生成ユニット23に出力され、フォースカーブ及び顕微鏡画像が生成され、ディスプレイ表示される。なお、このAE信号27は、強度と周波数によって特徴付けられるため、プローブ信号28に基づく試料の表面構造、摩擦力、相互作用を示すデータとともに、これらを選択的及び同時に表示できるようにすると、試料評価の態様に応じて最適なディスプレイ表示が可能となる。なお、回路ユニット24に搭載されるハイパスフィルタは、一般的なプローブ顕微鏡の走査信号の周波数の上限は数十Hzなので、カットオフ周波数は10kHzあたりで十分である。これに対して、AE信号の帯域は100kHzあたりから1MHzあたりといわれているので100kHz以下をカットすることは全く問題ない。1秒間に数十枚のマッピング画像を取得するという特別な高速走査を実現したプローブ顕微鏡の場合には、走査信号の周波数の上限は25kHzあたり毎秒100コマを想定であるので、カットオフ周波数を100kHzあたりとして高次のハイパスフィルタを用いることでAE信号を抽出することができる。さらなる走査の高速化によって走査信号がAEの帯域に混入する場合には、走査信号の周波数を減衰させるバンドパスフィルタおよびノッチフィルタを実現する電子回路で走査信号をカットすることでAE信号を抽出することができる。また、走査信号をデジタル記録しておいて、オフラインでソフトウエアのハイパスフィルタまたはバンドパスフィルタ及びノッチフィルタを用いて走査信号の除去処理を行うことで、AE信号を抽出することも可能である。この実施例は、スキャナ圧電体としてチューブスキャナタイプを使用したが、要は、AE信号を電気信号として検出できるものであればよく、スキャナ圧電体の構造に依存しない。すなわち、例えば、図3に示されるようなXYZ軸独立タイプのものを使用してもよい。図3において、30がXYZ軸独立タイプのスキャナ圧電体、31は試料、32はプローブ、33及びその付近がAE波発生箇所、34が試料ホルダ、35がX方向の走査信号を印加する電極、36がY方向の走査信号を印加する電極、37がZ方向の走査信号を印加する電極、38がX方向の走査信号を印加する信号線、39がY方向の走査信号を印加する信号線、40がZ方向の走査信号を印加する信号線をそれぞれ示している。一般的に、チューブスキャナタイプのスキャナ圧電体への走査信号は、Xの走査信号、-Xの走査信号、Y方向の走査信号、-Y方向の走査信号、Z方向の信号に分けて発生させていることから、走査信号[x,-x,y,-y]を[X、-X,Y、-Y]のスキャナ圧電体の電極にそれぞれ印加する電圧とした場合、x=0,y=0となるので、各走査信号に影響を及ばさないよう、X方向の走査信号と-X方向の走査信号、そして、Y方向の走査信号と-Y方向の走査信号をそれぞれ加算する演算を回路ユニット24で実現すれば、ハイパスフィルタを使用する必要もない。また、図1のチューブスキャナタイプのスキャナ圧電体を使用した例、図3のXYZ軸独立タイプのスキャナ圧電体を使用した例では、試料2がスキャナ圧電体に設置されて、プローブがその対向側に固定するタイプのものを使用したが、プローブと試料の取付位置を置き換え、スキャナ圧電体にプローブが固定されているタイプのプローブ顕微鏡でも本発明を適用することができる。すなわち、プローブと試料との相互作用によりAE波が発生し、プローブを通してこのAE波がスキャナ圧電体に作用することになり、走査信号にAE信号として重畳されるという状態は同じく発生するので、同じ原理でAE信号を取り出すことが可能である。"