"平面のXY方向で大きく発散角が異なる入射光の強度分布を平坦な強度分布に補正する光強度分布補正光学系において、前記入射光の大きな発散角の方向に正の屈折力を持ち、その直角方向に屈折力を持たない少なくとも1つのシリンドリカルレンズから成る第1レンズ群と、この第1レンズ群の後段に配置され、前記入射光の小さな発散角の方向に正の屈折力を持ち、その直角方向に屈折力を持たない少なくとも1つのシリンドリカルレンズから成る第2レンズ群と、を有し、平面のXY方向で大きく発散角が異なる点光源からの入射光をコリメートすると共に、各レンズ群の球面収差により前記入射光の強度分布を平坦にして出射することを特徴とする光強度分布補正光学系。前記入射光の強度分布はガウス分布またはエアリー分布であることを特徴とする請求項1に記載の光強度分布補正光学系。前記平面のXY方向で大きく発散角が異なる点光源は、レーザダイオードであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光強度分布補正光学系。前記第2レンズ群の球面収差の収差量は、前記第2レンズ群の焦点距離の40以上であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の光強度分布補正光学系。光源からの入射光を対物レンズにより試料面に照射する光学顕微鏡において、請求項1から請求項4のいずれかに記載の光強度分布補正光学系を用いて前記入射光をコリメートすると共に、各レンズ群の球面収差により前記入射光の強度分布を平坦にして前記対物レンズに入射させることを特徴とする光学顕微鏡。しかし、特許文献2に記載の光強度分布を均一化させる構成では、特許文献3に記載されたような光強度分布を変換する専用のレンズを使用するので、専用の型で作成されたり、曲率などの検査に工数がかかったりするので高価になる。また、光源のNA開口数が異なる場合への対応や出力光の径の変更が困難である。ここで、NAはNA=nsinθで定義され、nは屈折率、θは発散角である。また、特許文献4に記載の光学系では、通常の球面レンズを使用するものの4枚での構成が必要となり、価格やスペースに影響する。本発明は、このような問題点を解決しようとするものであり、光源からの発散光の光強度分布を均一化すると共に光利用効率を向上させ、光源のNAの違いを容易に吸収し、かつローコストな光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡を提供することを目的とする。本発明は次の通りの構成になった光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡である。1平面のXY方向で大きく発散角が異なる入射光の強度分布を平坦な強度分布に補正する光強度分布補正光学系において、前記入射光の大きな発散角の方向に正の屈折力を持ち、その直角方向に屈折力を持たない少なくとも1つのシリンドリカルレンズから成る第1レンズ群と、この第1レンズ群の後段に配置され、前記入射光の小さな発散角の方向に正の屈折力を持ち、その直角方向に屈折力を持たない少なくとも1つのシリンドリカルレンズから成る第2レンズ群と、を有し、平面のXY方向で大きく発散角が異なる点光源からの入射光をコリメートすると共に、各レンズ群の球面収差により前記入射光の強度分布を平坦にして出射することを特徴とする光強度分布補正光学系。2前記入射光の強度分布はガウス分布またはエアリー分布であることを特徴とする1に記載の光強度分布補正光学系。3前記平面のXY方向で大きく発散が異なる点光源は、レーザダイオードであることを特徴とする1または2に記載の光強度分布補正光学系。4前記第2レンズ群の球面収差の収差量は、前記第2レンズ群の焦点距離の40以上であることを特徴とする1から3のいずれかに記載の光強度分布補正光学系。5光源からの入射光を対物レンズにより試料面に照射する光学顕微鏡において、1から4のいずれかに記載の光強度分布補正光学系を用いて前記入射光をコリメートすると共に、各レンズ群の球面収差により前記入射光の強度分布を平坦にして前記対物レンズに入射させることを特徴とする光学顕微鏡。本発明によれば、以下のような効果がある。請求項1から4に記載の発明によれば、平面においてX方向とY方向のNAが大きく異なる半導体レーザダイオードなどからの発散光の光強度分布を均一化させること、および光源からの発散光を高効率で使用することができる。請求項5に記載の発明によれば、光源からの発散光の光強度分布を均一化すると共に光利用効率を向上させ、光源のNAの違いを容易に吸収し、かつローコストな光学顕微鏡を実現できる。以下図面を用いて本発明を詳細に説明する。図1は本発明に係る光強度分布補正光学系の第1の実施例を示す構成図である。なお、本実施例の光学系を従来例図6に記載した共焦点顕微鏡のコリメータレンズと光強度均一化レンズの代わりに配置する。図1において、光源1は、半導体レーザダイオード以下、LDという。、発光ダイオード以下、LEDという。または光ファイバの端面などの点光源であって、発散光を発光する。第1凸レンズ2は、光源1からの発散光を正の屈折力により光束を光軸側に屈折させてビーム径を絞りながら凹レンズ3に入射させる。凹レンズ3は、第1凸レンズ2の出射光を負の屈折力により光束を外側に屈折させてほぼ平行光にする。各レンズの球面収差は、光源から出力された際の光強度のガウス分布を平坦な光強度分布にする。なお、特許請求の範囲に記載した正の屈折力を持つ第1レンズ群が第1凸レンズに、負の屈折力を持つ第2レンズ群が凹レンズに、正の屈折力を持つ第3レンズ群が第2凸レンズに相当する。また、それぞれのレンズ群は、1枚のレンズに限らず、複数のレンズにより構成しても良い。このことを図2を用いて説明する。図2は、レンズの球面収差を説明する説明図である。図2aにおいて、凸レンズ21では、球面収差により、その外周側に入射する光束はレンズ近くの焦点距離f1に収束し、内周に入射する光束はf1よりも遠い焦点距離f2に収束する。図2bにおいて、凹レンズ22では、球面収差により、その外周側に入射する光束は、広がり角が大きく、内周に入射する光束は広がり角が小さい。図2bにおいて焦点距離f3,f4は、平行光が入射した際の発散する光束の延長線破線が収束する点までの距離である。この焦点距離が、球面収差により、凹レンズ22の外周では短くf3、内周では遠くなるf4。図1に戻り、第1凸レンズ2では、球面収差により、光強度の高い中心部の光束は平行に近くなり、光強度の弱い周辺部の光束は中心部に集められる。また、凹レンズ3は、第1凸レンズ2でビーム径全体が絞られるため、凹レンズ3の内側にビームが入射するので凹レンズ3の球面収差は弱くなり、ビーム全体を平行光に近くすると共に光強度分布を平坦にすることができる。第2凸レンズ4は、絞られたビーム径を拡大することでズーミングを可能にする。なお、本発明では、第1凸レンズ2、凹レンズ3および第2凸レンズ4の球面収差を組み合わせて、より均一な光強度分布を実現している。この場合、球面収差量としては、第1凸レンズにおいて、その合成焦点距離のほぼ40以上あれば、このような効果が期待できる。図3は、第1の実施例における光強度分布補正の効果を表した図である。図3a,bにおいて、縦軸はビームの相対強度を示し、横軸はビーム径を示している。なお、入射光はNA=0.09の光ファイバ端面からの発散光である。図3aは、光強度分布補正前のビームの強度分布ガウス分布であって、ビームの中心に強度のピークがあり、周辺になるほど強度が減衰していく様子がわかる。これに対して、図3bは、光強度分布補正後の分布であって、光強度は、ビームの中心からの距離aで急峻に減衰しているが、必要な視野2aの内部では、その分布がほぼ均一に補正されていることが分かる。また、光強度分布を補正した場合でも、ビーム強度のピークビームの中心と、そこからの距離aにおけるビーム強度の差で示したシェーディングSの値は、ほぼ同一といえる。この結果からビーム強度分布は、許容できるシェーディングS以内に平坦化された状態であって、アパーチャ視野径2aへの入射効率は、補正前ではファイバからの出射光量のおよそ22であったものが、補正後にはおよそ58となり、2.6倍に改善された。なお、本実施例において、第1凸レンズ2および凹レンズ3は近接させているが、間に空間あっても良い。ただし、これらのレンズが接着されていれば、スペースが小さく扱いやすい。また、光源は、ファイバ端面からの発散光のみならず、LDやLEDなどの点光源であっても良い。加えて自然光でも良い。さらに、補正の対象となる発散光の光強度分布はガウス分布のみならず、エアリー分布でも良い。以上のように、球面レンズ3枚で発散光をコリメートすると共に、光強度分布を必要な視野内では平坦に補正できるので非常に安価となる。また、ファイバなどのNAの違いに応じてレンズのパラメータを変更することにより、容易にNAの違いを吸収できる。さらに、ビームのエキスパンドも特許文献4のようなレンズ4枚ではなく、この3枚で実現できる。しかし、光ファイバは平面において同一のNAをもつが、LDは平面においてX方向とY方向のNAが大きく異なる。このようなLDからの発散光は、前述の実施例1の構成では、平面上のすべての方向に対して光強度分布を均一化することは困難である。図4を用いて、この問題を解決するための構成を説明する。図4は、本発明に係る光強度分布補正光学系の第2の実施例を示す構成図である。なお、本実施例の光学系を従来例図6に記載した共焦点顕微鏡のコリメータレンズと光強度均一化レンズの代わりに配置する。図4aは、平面図、bは側面図である。図4において、第1シリンドリカルレンズ42は、短焦点距離f5であり、第2シリンドリカルレンズ43は長焦点距離f6であり、LD41の発光面は、各シリンドリカルレンズから焦点距離に相当する位置にある。また、これらシリンドリカルレンズは90°回転させて設置される。これは、シリンドリカルレンズが、半円に見える断面方向には曲率を持っているので光は曲げられるが、方形に見える断面方向には曲率がないために光が素通りする特性を利用するためである。LD41からの発散光のうち広がり角の大きい面の光束は、第1シリンドリカルレンズ42で平行光に変換され、90°回転させて配置した第2シリンドリカルレンズ43を素通りする。一方、広がり角の小さい面広がり角の大きい面に直交している面の光束は第1シリンドリカルレンズ42を素通りして、第2シリンドリカルレンズ43で平行光に変換される。この時、各シリンドリカルレンズの収差により、平面で出射NAが異なる光源からの発散光を均一な光強度分布にする。この場合、必要な球面収差としては、第2シリンドリカルレンズで、焦点距離f6のほぼ40以上あれば、このような効果を期待できる。なお、特許請求の範囲に記載したシリンドリカルレンズから成る第1レンズ群は、第1シリンドリカルレンズに、第2レンズ群は、第2シリンドリカルレンズに相当する。また、各レンズ群は、1つのシリンドリカルレンズに限らず、複数のシリンドリカルレンズで構成しても良い。図5は、第2の実施例における光強度分布補正の効果を表した図である。図5aは、補正前、図5bは補正後の強度分布を、強度の等しい点を連ねた曲線水平曲線により表示したものである。図5aは補正前であって、LDのX方向とY方向のNAが大きく異なるため、X方向のビーム幅とY方向のビーム幅が異なり、楕円形を呈している。また、水平曲線は、光強度分布がガウス分布であることを表している。これに対して、図5bは、補正後であって、X方向のビーム幅とY方向のビーム幅が同一となっている。また、水平曲線は、外周のみ密集しており光強度分布が均一化されたことを表している。また、補正前後の光量比は、実測値で4.5倍に向上するという結果がでている。以上により、平面においてX方向とY方向のNAが大きく異なるLDなどからの発散光をコリメートすると共に必要な視野内で光強度分布を均一化させること、および光源からの発散光を高効率で使用することができる。なお、本実施例において、補正の対象となる発散光の光強度分布はガウス分布のみならず、エアリー分布でも良い。また、本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。"