透明基板と、前記透明基板の主面上に付着された複数の微粒子と、前記複数の微粒子を覆い前記複数の微粒子の屈折率とは異なる屈折率を有する透明な平坦化樹脂層と、を含む中間層と、前記中間層の上に設けられた透明電極と、前記透明電極の上に設けられた有機発光層と、前記有機発光層の上に設けられた反射電極と、を備えたことを特徴とする有機電界発光素子。前記複数の微粒子は、前記有機発光層から放出された光の方向を散乱及び屈折の少なくともいずれかにより変化させることを特徴とする請求項1記載の有機電界発光素子。前記複数の微粒子の平均の径は、200ナノメートル以上1.5マイクロメートル以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の有機電界発光素子。前記複数の微粒子の平均の径は、600ナノメートル以上900ナノメートル以下であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載の有機電界発光素子。前記透明基板から前記反射電極に向かう第1方向に沿ってみたときの前記主面の単位面積に対する、前記第1方向に対して垂直な平面に射影したときの前記複数の微粒子の面積の比は、20以上であることを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載の有機電界発光素子。前記中間層の厚さは、6マイクロメートル以下であることを特徴とする請求項1~5のいずれか1つに記載の有機電界発光素子。前記中間層のうちで、前記複数の微粒子を含む部分の厚さは、前記複数の微粒子の平均の径の4倍以下であることを特徴とする請求項1~6のいずれか1つに記載の有機電界発光素子。前記中間層のうちで前記複数の微粒子を含まない上側部分の厚さは、前記中間層のうちで前記複数の微粒子を含む下側部分の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項1~7のいずれか1つに記載の有機電界発光素子。前記有機発光層から放出される光は白色光であることを特徴とする請求項1~8のいずれか1つに記載の有機電界発光素子。透明基板の主面上に、前記透明基板の帯電の極性とは異なる極性に帯電した複数の微粒子を付着させ、前記複数の微粒子を覆い表面が平坦になるように、前記複数の微粒子の屈折率よりも高い屈折率を有する透明な平坦化樹脂層を形成し、前記平坦化樹脂層の上に透明電極を形成し、前記透明電極の上に有機発光層を形成し、前記有機発光層の上に反射電極を形成することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。透明基板と、前記透明基板の主面上に付着された複数の微粒子と、前記複数の微粒子を覆い前記複数の微粒子の屈折率とは異なる屈折率を有する透明な平坦化樹脂層と、を含む中間層と、前記中間層の上に設けられた透明電極と、前記透明電極の上に設けられた有機発光層と、前記有機発光層の上に設けられた反射電極と、を備えた有機電界発光素子の製造方法であって、前記平坦化樹脂層となる樹脂に前記複数の微粒子が分散された樹脂液を前記透明基板の前記主面上に塗布することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。本発明の実施形態は、光取り出し効率の高い有機電界発光素子及びその製造方法を提供する。本発明の実施形態によれば、透明基板と、中間層と、透明電極と、有機発光層と、反射電極と、を備えた有機電界発光素子が提供される。前記中間層は、前記透明基板の主面上に付着された複数の微粒子と、前記複数の微粒子を覆い前記複数の微粒子の屈折率とは異なる屈折率を有する透明な平坦化樹脂層と、を含む。前記透明電極は、前記中間層の上に設けられる。前記有機発光層は、前記透明電極の上に設けられる。前記反射電極は、前記有機発光層の上に設けられる。以下に、各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。第1の実施の形態図1a~図1cは、実施形態に係る有機電界発光素子の構成を例示する模式図である。図1aは、斜視図である。図1bは、図1aのA1-A2線断面図である。図1cは、有機電界発光素子の一部の構成を例示する模式的断面図であり、図1aのA1-A2線断面図に相当する。図1a及び図1bに表したように、実施形態に係る有機電界発光素子110は、透明基板10と、中間層20と、透明電極30と、有機発光層40と、反射電極50と、を備える。中間層20は、透明基板10の上に設けられる。中間層20は、複数の微粒子21と、平坦化樹脂層22と、を含む。複数の微粒子21は、透明基板10の主面10a上に付着される。平坦化樹脂層22は、複数の微粒子21を覆う。平坦化樹脂層22は、複数の微粒子21の屈折率よりも高い屈折率を有し、透明である。例えば、平坦化樹脂層22の上面透明基板10とは反対側の面は、平坦である。例えば、平坦化樹脂層22の上面には、複数の微粒子21による凹凸が実質的に生じていない。透明電極30は、中間層20の上に設けられる。有機発光層40は、透明電極30の上に設けられる。反射電極50は、有機発光層40の上に設けられる。例えば、有機発光層40は、可視光の波長の成分を含む光を放出する。有機発光層40から放出される光は、実質的に白色光である。すなわち、有機電界発光素子110から出射する光は白色光である。ここで、白色光は、実質的に白色であり、例えば、赤色系、黄色系、緑色系、青色系及び紫色系などの白色の光も含む。透明基板10及び透明電極30は、有機発光層40から放出される光に対して透過性である。反射電極50は、有機発光層40から放出される光に対して反射性である。平坦化樹脂層22は、有機発光層40から放出される光に対して透過性である。ここで、透明基板10から反射電極50に向かう方向をZ軸方向第1方向とする。Z軸を第1軸とする。Z軸に対して垂直な1つの軸をX軸第2軸とする。Z軸とX軸とに対して垂直な軸をY軸第3軸とする。図1cに表したように、有機発光層40は、発光部43を含む。有機発光層40は、必要に応じて、第1層41及び第2層42の少なくともいずれかをさらに含むことができる。発光部43は、可視光の波長を含む光を放出する。第1層41は、発光部43と透明電極30との間に設けられる。第2層42は、発光部43と反射電極50との間に設けられる。発光部43には、例えば、Alq3、F8BT及びPPVなどの材料を用いることができる。発光部43には、ホスト材料と、ホスト材料に添加されるドーパントと、の混合材料を用いることができる。ホスト材料としては、例えばCBP、BCP、TPD、PVK及びPPTなどを用いることができる。ドーパント材料としては、例えば、Flrpic、Irppy3及びFlr6などを用いることができる。第1層41は、例えば、正孔注入層として機能する。第1層41は、例えば正孔輸送層として機能する。第1層41は、例えば、正孔注入層として機能する層と、正孔輸送層として機能する層と、の積層構造を有しても良い。第1層41は、正孔注入層として機能する層及び正孔輸送層として機能する層とは別の層を含んでも良い。第2層42は、例えば電子注入層として機能する層を含むことができる。第2層42は、例えば、電子輸送層として機能する層を含むことができる。第2層42は、例えば、電子注入層として機能する層と、電子輸送層として機能する層と、の積層構造を有しても良い。第2層42は、電子注入層として機能する層及び電子輸送層として機能する層とは別の層を含んでも良い。透明基板10は、例えばガラス基板である。透明電極30は、In、Sn、Zn及びTiよりなる群から選択された少なくともいずれかの元素を含む酸化物を含む。透明電極30は、例えばITOIndiumTinOxide膜である。透明電極30は、例えば、陽極として機能する。反射電極50は、例えば、アルミニウム及び銀の少なくともいずれかを含む。例えば、反射電極50には、アルミニウム膜が用いられる。さらに、反射電極50として、銀とマグネシウムとの合金を用いても良い。このとき、この合金にカルシウムを添加しても良い。中間層20において、複数の微粒子21の屈折率は、その周りの平坦化樹脂層22の屈折率とは異なる。例えば、複数の微粒子21の屈折率は、平坦化樹脂層22の屈折率よりも低い。または、複数の微粒子21の屈折率は、平坦化樹脂層22の屈折率よりも高い。微粒子21と平坦化樹脂層22との界面において、有機発光層40から放出された光の方向が変化する。光の方向の変化は、散乱現象に基づく。または、光の方向の変化は、屈折現象に基づく。これにより、有機発光層40からの放出された光のうちで、例えば、透明基板10と中間層20との界面での全反射する光の割合を減少させる。これにより、光取り出し効率が向上する。例えば、複数の微粒子21の屈折率と、平坦化樹脂層22の屈折率と、の差は、0.1以上である。屈折率の差を0.1以上に設定することで、散乱現象及び屈折現象の少なくともいずれかが効果的に生じ、光取り出し効率の向上が効果的となる。例えば、中間層20を設けない第1参考例においては、透明基板10と透明電極30とが接する。一般に、透明基板10の屈折率は透明電極30の屈折率よりも小さいため第1参考例においては、界面で全反射する光の割合が高い。これに対し、実施形態においては、屈折率が互いに異なる、複数の微粒子21と、平坦化樹脂層22と、を有する中間層20を透明基板10と透明電極30との間に設ける。そして、複数の微粒子21は、有機発光層40から放出された光の方向を散乱及び屈折の少なくともいずれかにより変化させる。これにより、透明基板10の界面で全反射する光の割合を減少させ、外に取り出される光の割合を増大させる。このように、実施形態によれば、光取り出し効率の高い有機電界発光素子が提供できる。有機電界発光素子における内部量子効率は、比較的高い。例えば、内部量子効率が100に近い有機電界発光素子も得られている。しかしながら、従来、有機電界発光素子の光取り出し効率は、有機材料、陽極及び基板などの屈折率の関係から、制限されていた。これに対し、実施形態に係る有機電界発光素子によれば、光取り出し効率が大幅に向上できる。実施形態においては、複数の微粒子21は、透明基板10の主面10a上に付着される。そして、その上を平坦化樹脂層22が覆い、平坦化樹脂層22の表面は平坦である。このため、平坦化樹脂層22の上中間層20の上に設けられる、透明電極30、有機発光層40及び反射電極50において良好な特性が得やすい。例えば、図1bに表したように、中間層20のうちで複数の微粒子21を含まない上側部分20uの厚さt2は、中間層20のうちで複数の微粒子21を含む下側部分20lの厚さt1よりも厚い。これにより、中間層20の上面が十分に平坦化される。なお、厚さは、例えば電子顕微鏡写真像などから求めることができる。図2a~図2cは、参考例の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。図2aに表したように、第3参考例の有機電界発光素子119cにおいては、透明基板10と透明電極30との間に、中間層27が設けられている。中間層27は、高屈折率部27bと、高屈折率部27bに分散された複数の低屈折率部27aと、を有する。例えば、高屈折率部27bが高屈折率ガラスであり、複数の低屈折率部27aが空孔でも良い。この場合には、高屈折率部27bに複数の低屈折率部27aが分散されているので、中間層27の上面には、複数の低屈折率部27aの一部が露出し易い。このため、中間層27の上面には凹凸が形成され、平坦ではない。従って、第2参考例においては、中間層27に接する例えば透明電極30及び有機発光層40などの品質が低く、良好な特性を得にくい。図2bに表したように、第4参考例の有機電界発光素子119dにおいては、透明基板10と透明電極30との間に、中間層28が設けられている。そして、中間層28と透明電極30との間に高屈折率カップリング層28cが設けられている。中間層28は、低屈折率層28aと、低屈折率層28aの上面の側に設けられた散乱体28bと、を有する。この構成においては、散乱体28bにより光を散乱させ、光取り出し効率を向上することを目指している。しかしながら、散乱体28bに光を導入するために、高屈折率カップリング層28cを設ける必要がある。さらに、散乱体28bが中間層28の上面の側に配置されているため、中間層28の上面の平坦性は良好ではない。このため、例えば、透明電極30の表面の平坦性も良好でない。このため、透明電極30と有機発光層40との間に、短絡防止層39を設けることが必要である。このように、第4参考例では、高屈折率カップリング層28c及び短絡防止層39が必要なため、構成が複雑である。このため、生産性が低く、低コスト化に限界がある。図2cに表したように、第5参考例の有機電界発光素子119eにおいては、透明基板10と透明電極30との間に、中間層29が設けられている。中間層29は、複数の微粒子29aと、複数の微粒子29aの周りに設けられたマトリクス29bと、を含む。中間層29は、3次元回折層である。すなわち、複数の微粒子29aは一定の周期性で配列する。この構成においては、回折効果を用いる。このため、白色光のように広い波長領域の光に対して良好な作用を与えることが困難である。さらに、微粒子29aはZ軸方向に沿って積層されるため、この場合も中間層29の上面の平坦性は良好ではない。これに対し、実施形態に係る有機電界発光素子110は、光の方向を変える複数の微粒子21が、透明基板10に付着され、その上を平坦化樹脂層22で覆う。このため、中間層20平坦化樹脂層22の上面は十分に平坦になる。すなわち、例えば、短絡防止層39などを用いなくても良い。平坦化樹脂層22の屈折率は、透明電極30の屈折率及び有機発光層40の屈折率に近い。平坦化樹脂層22の屈折率と透明電極30の屈折率との差、及び、平坦化樹脂22と有機発光層40の屈折率との差は、複数の微粒子21の屈折率と透明電極30の屈折率との差及び複数の微粒子21の屈折率と有機発光層40の屈折率との差よりも小さい。このため、光は中間層20に導入され易い。例えば、高屈折率カップリング層などを別途設けなくても良く、平坦化樹脂層22が、その機能を果たす。そして、複数の微粒子21は、散乱及び屈折の少なくともいずれかにより光の方向を変えるため、広い波長範囲の光に作用することができる。すなわち、白色光の光取り出し効率を簡単な構成により向上させることができる。実施形態において、複数の微粒子21の平均の径は、例えば、200ナノメートルnm以上1.5マイクロメートルμm以下である。これにより、白色光の方向を散乱及び屈折の少なくともいずれかにより、効率良く変えることができる。なお、径は、例えば電子顕微鏡写真像などから求めることができる。径が200nm未満の場合には、散乱及び屈折の効果が小さくなる。また、径が1.5μmよりも大きいと、例えば、中間層20の上面の平坦性を良好にするのが困難になる。径が大きくなるに連れて平坦化樹脂層22の厚さを厚くすると、平坦化樹脂層22にクラックなどが入り易くなる。複数の微粒子21の平均の径は、例えば、600nm以上900nm以下であることが特に望ましい。この範囲の径の微粒子21を用いることで、特に高い光取り出し効率が得られ、また、平坦化樹脂層22のクラックなどの発生を抑制し易くなる。例えば、複数の微粒子21の平均の径は、可視光の波長以上に設定される。これにより、散乱及び屈折について大きな効果が得られる。中間層20の厚さ例えば厚さt1と厚さt2との和は、6μm以下であることが望ましい。これにより、クラックなどの発生が抑制される。中間層20の厚さは、3μm以下であることが特に望ましい。クラックなどの発生が特に抑制される。複数の微粒子21には、例えば、有機物を用いることができる。微粒子21が有機物である場合は、微粒子21の熱的特性例えば熱膨張係数が、平坦化樹脂層22のそれと近い値になる。このため、有機電界発光素子の製造及び使用中における熱的負荷に対する耐性が向上する。複数の微粒子21には、例えばポリスチレン例えば屈折率=1.6を用いることができる。これにより、粒径を比較的均一にし易い。複数の微粒子21には、例えば、無機物を用いることができる。例えば、複数の微粒子21は、酸化珪素を含むことができる。すなわち、微粒子21として、シリカ例えば屈折率=1.5を用いることができる。また、複数の微粒子21は、酸化チタン例えば屈折率2.7を含むことができる。微粒子21が無機物である場合は、平坦化樹脂層22の屈折率と微粒子21の屈折率との差を大きくし易い。これにより、光取り出し効率が向上し易い。後述するように、複数の微粒子21のそれぞれの表面は、例えば、4級アンモニウムカチオンで修飾されていることができる。これにより、複数の微粒子21を自己組織化的に透明基板10の主面10a上に付着させることができる。複数の微粒子21のそれぞれは、例えば、球状または回転楕円形状を有する。ただし、実施形態はこれに限らず。微粒子21は、任意の形状を有することができる。複数の微粒子21のそれぞれが、球状または回転楕円形状を有する場合は、複数の微粒子21の密度充填率を上げることができ、光取り出し効率が向上し易いので、より望ましい。平坦化樹脂層22には、例えばポリシロキサン系樹脂例えば、屈折率=1.78などが用いられる。ただし、実施形態はこれに限らず、平坦化樹脂層22に用いられる材料は任意である。平坦化樹脂層22は、フィラーなどの、樹脂以外の成分を含んでも良い。平坦化樹脂層22の屈折率は、透明基板10の屈折率に近いことが望ましい。平坦化樹脂層22の屈折率と透明基板10の屈折率との差は、微粒子21の屈折率と透明基板10との屈折率との差よりも小さい。これにより、例えば、平坦化樹脂層22の透明基板10と接する部分と、透明基板10と、の間の界面での反射による光のロスが抑制できる。図1bに表したように、有機電界発光素子110においては、実質的に全ての複数の微粒子21が透明基板10の上面に接触している。すなわち、1層の複数の微粒子21が、設けられている。しかし、実施形態はこれに限らず、一部の微粒子21が透明基板10の上面に接触していなくても良い。図3a及び図3bは、実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。図3aに表したように、実施形態に係る別の有機電界発光素子111aにおいては、複数の微粒子21のうちの一部が、透明基板10から離間している。この例では、一部の微粒子21において、厚さ方向に沿って2つの微粒子21が重なっている。中間層20のうちで、複数の微粒子21を含む部分例えば下側部分20lの厚さt1は、微粒子21の径の2倍程度である。図3bに表したように、実施形態に係る別の有機電界発光素子111bにおいては、一部に微粒子21においては、厚さ方向に沿ってほぼ3つの微粒子が重なっている。中間層20のうちで、複数の微粒子21を含む部分例えば下側部分20lの厚さt1は、微粒子21の径の3倍程度である。実施形態において、複数の微粒子21は透明基板10に付着されて設けられる。これにより、クラックが発生し難いように平坦化樹脂層22を薄くした場合でも、平坦化樹脂層22の上面の平坦性が向上し易くなる。しかし、複数の微粒子21の全てが必ずしも透明基板10に接していなくても良い。例えば、製造条件のばらつきなどによっては、複数の微粒子21の多くの部分が透明基板10の上に付着され、一部の微粒子21が他の微粒子21に接触しつつ、透明基板10から離間していても良い。例えば、中間層20のうちで、複数の微粒子を含む部分の厚さ例えば下側部分20lの厚さt1は、複数の微粒子21の平均の径の4倍以下である。中間層20のうちで、複数の微粒子を含む部分の厚さが、複数の微粒子21の平均の径の3倍以下であることがさらに望ましい。以下、実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法の例について説明する。図4a及び図4bは、実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。この例では、複数の微粒子21として、直径が約200nmのポリスチレン粒子が用いられる。このポリスチレン粒子の表面は、4級アンモニウムカチオンで修飾されている。図4aに表したように、透明基板10の主面10a上に複数の微粒子21を付着させる。例えば、上記のポリスチレン粒子を含む溶液を、透明基板10の主面10a上に塗布する。微粒子21は、透明基板10の帯電の極性とは異なる極性に帯電している。このため、微粒子21は、透明基板10の主面10aに対して付着し、複数の微粒子21どうしは離れようとする。これにより、ほぼ1層の複数の微粒子21が、透明基板10の主面10aに付着する。なお、複数の微粒子21を透明基板10の主面10a上に付着させる方法は、複数の微粒子21を含む溶液を、スピンコート法、ディップコート法、浸漬法及びメニスカス印刷法などにより塗布する方法を用いることができる。図4bに表したように、複数の微粒子21が付着された透明基板10の主面10a上に、平坦化樹脂層22となる材料を塗布する。例えば、平坦化樹脂層22として、ナノフィラー含有のポリシロキサン樹脂が用いられる。その後、この溶液を硬化させて平坦化樹脂層22を得る。これにより、中間層20が得られる。平坦化樹脂層22となる溶液の塗布には、スピンコート法、ディップコート法、浸漬法及びメニスカス印刷法などの任意の手法を用いることができる。その後、中間層20の上に、透明電極30、有機発光層40及び、反射電極50を順次形成する。これにより、有機電界発光素子が得られる。図5a及び図5bは、実施形態に係る有機電界発光素子の構成を例示する電子顕微鏡写真像である。図5aは、透明基板10の主面10a上に複数の微粒子21を付着させた後の試料の像である。この像は、Z軸方向に沿って撮影されている。図5bは、複数の微粒子21が付着された透明基板10上に平坦化樹脂層22となる材料を塗布して中間層20を形成した後の断面電子顕微鏡写真像である。図5aに表したように、透明基板10の上に複数の微粒子21がほぼ1層で付着されている。ただし、製造条件のばらつきや微粒子21の凝集などにより、3つ程度の高さの微粒子が塊になっている部分もある。複数の微粒子21の位置は、ランダムである。このように、実施形態においては、Z軸透明基板10から反射電極50に向かう方向の軸に沿ってみたときに、複数の微粒子21はランダムに配置されている。図5bに表したように、透明基板10の主面10aに複数の微粒子21が付着している。なお、図5bにおいては、電子顕微鏡撮影用試料の作製において試料を分断するときに微粒子21ポリスチレン粒子が引き延ばされた形状が撮影されている。以上のように、実施形態において、複数の微粒子21を透明基板10に付着させる方法として、微粒子21の自己組織化が利用される。これにより、大面積の透明基板10上に複数の微粒子21を簡便に付着させることができる。これにより、特に、大面積で、光取り出し効率が高い有機電界発光素子を高い生産性で低いコストで製造できる。このような手法により作製した実施形態に係る有機電界発光素子110sと、第1参考例の有機電界発光素子と、の特性について説明する。図6は、有機電界発光素子の特性を例示するグラフ図である。図6には、実施形態に係る有機電界発光素子110s及び第1参考例の有機電界発光素子119aの特性の測定結果を示している。有機電界発光素子110sにおいては、透明基板10としてガラス基板を用い、微粒子21として直径が200nmのポリスチレン球を用い、平坦化樹脂層22としてポリシロキサン系樹脂を用い、透明電極30としてITO膜を用い、有機発光層40としてIr錯体を含む層を用い、反射電極50としてアルミニウム膜を用いた。有機電界発光素子119aの構成は、中間層20微粒子21及び平坦化樹脂層22を設けない他は、有機電界発光素子110の構成と同じである。図6の横軸は、電流密度CDである。図6の縦軸は、外部量子効率EQEである。図6に表したように、実施形態に係る有機電界発光素子110sにおいては、第1参考例の有機電界発光素子119aよりも高い外部量子効率EQEが得られる。以下、実施形態に係る有機電界発光素子において、微粒子21の充填率と、外部量子効率EQEと、の関係について説明する。図7a~図7fは、実施形態に係る有機電界発光素子における微粒子の配置を例示する模式的平面図である。これらの図は、透明基板10の主面10a上における複数の微粒子21の配置を例示している。これらの図は、Z軸に沿ってみたときの平面図である。図7a~図7dは、複数の微粒子21が格子配列している場合に対応し、図7e及び図7fは、複数の微粒子21が六方細密配列している場合に対応する。そして、これらの図においては、複数の微粒子21の間隔が互いに異なる場合が例示されている。これらの図において、微粒子21は、直径Lを有する球であるとしている。ここで、微粒子21の充填率FRを定義する。充填率FRは、Z軸に沿ってみたときの、透明基板10の主面10aの単位面積に対する、複数の微粒子21の面積の比である。ここで、複数の微粒子21の面積は、Z軸に対して垂直な平面に射影したときの複数の微粒子21の面積である。図7aに表したように、複数の微粒子21が格子配列し、微粒子21どうしが互いに接する場合は、複数の微粒子21の中心どうしの間の距離は、Lである。このときの充填率FRは78.5となる。図7b、図7c及び図7dに表したように、複数の微粒子21が格子配列し、複数の微粒子21の中心どうしの間の距離が1.2L、1.5L及び2Lのときの充填率FRは、それぞれ、54.5、34.9及び19.6である。図7eに表したように、複数の微粒子21が六方細密配列し、複数の微粒子21の中心どうしが接触しているときの充填率FRは、90.6である。図7fに表したように、複数の微粒子21が六方細密配列し、複数の微粒子21の第2近接の距離が2Lのときの充填率FRは、22.7である。これらの配列を想定し、微粒子21の屈折率と、平坦化樹脂層22の屈折率と、を変えて光取り出し効率を光線追跡シミュレーションにより求めた。このとき、複数の微粒子21のそれぞれは、透明基板10の主面10aに接しているとした。図8a及び図8bは、実施形態に係る有機電界発光素子の特性を例示するグラフ図である。図8aは、複数の微粒子21の屈折率n1が、1.5の場合に対応する。この値は、微粒子21がシリカである場合に対応する。図8bは、複数の微粒子21の屈折率n1が、1.6の場合に対応する。この値は、微粒子21がポリスチレンである場合に対応する。これらの図において、横軸は、充填率FRである。縦軸は、外部量子効率EQEである。これらの図においては、平坦化樹脂層22の屈折率n2を1.7~2.0の範囲で変化させたときの光取り取り出し効率EQEが例示されている。この時の外部量子効率EQEは、素子の内部量子効率が1であるとしたときの値である。また、これらの図には、第6参考例の有機電界発光素子119fの特性も例示されている。第6参考例においては、平坦化樹脂層22が設けられるが微粒子21が設けられない。なお、このシミュレーションにおいては、微粒子21、平坦化樹脂層22及び透明基板10を含む構成における外部量子効率に着目し、内部量子効率を1としているため、図6に例示した実測値とは外部量子効率の値が異なる。図8a及び図8bに表したように、微粒子21を用いない第6参考例の有機電界発光素子119fにおいては、外部量子効率EQEは、約0.17であり、低い。これに対し、微粒子21を用いる実施形態に係る有機電界発光素子110においては、外部量子効率EQEは、0.2以上であり、高い。そして、充填率FRが高いと、外部量子効率EQEが高くなる。実用的には、充填率FRが0.2以上の場合に、参考例に対して十分に高い外部量子効率が得られる。すなわち、実施形態において、充填率FRは20以上であることが望ましい。そして、充填率FRが0.6程度以上であれば、外部量子効率EQEはほぼ一定となる。すなわち、実施形態において、充填率FRは、60以上であることがさらに望ましい。実用的には、充填率FRは、40以上70以下程度に設定される。例えば、図4に関して説明した製造方法を用いる場合、微粒子21を自己組織的に透明基板10に付着させる。この方法を用いた場合、微粒子21の多くが透明基板10に接しつつ微粒子21どうしが接する状態を形成することが、量産時の生産性を考慮すると難しいことがあり得る。この場合には、充填率FRが例えば0.2以上になるように制御することが望ましい。さらに、充填率FRが例えば0.6以上になるように制御することが望ましい。これにより、実質的に十分に高い外部量子効率EQEが得られる。なお、図5a及び図5bに例示した具体例では、充填率FRは、35.3である。図9は、実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。図9に表したように、実施形態に係る別の有機電界発光素子112においては、透明基板10の中間層20とは反対側の面に、マイクロレンズ層11が設けられている。このような構成を有する有機電界発光素子の例として、図6に関して説明した有機電界発光素子110sにマイクロレンズ層11を適用した有機電界発光素子112sを作製した。同様に、第1参考例の有機電界発光素子119aにおいて、マイクロレンズ層11を適用した有機電界発光素子119g第7参考例を作製した。図10は、有機電界発光素子の特性を例示するグラフ図である。図10に表したように、、マイクロレンズ層11を設けた第7参考例の有機電界発光素子119gと比べて、マイクロレンズ層11を設けた有機電界発光素子112sの外部量子効率EQEは高い。そして、有機電界発光素子112sにおいては、有機電界発光素子110sに比べて高い外部量子効率EQEが得られる。実施形態に係る有機電界発光素子は、例えば、照明装置や、ディスプレイなどに用いられる平面光源照明装置の一種などに応用できる。図11は、実施形態に係る照明装置の構成を例示する模式的斜視図である。図11に表したように、実施形態に係る照明装置130は、有機電界発光素子と、電源120と、を備える。この有機電界発光素子には、実施形態に係る任意の有機電界発光素子を用いることができる。この図では、有機電界発光素子110を用いる場合が例示されている。既に説明したように、有機電界発光素子110は、透明基板10、中間層20、透明電極30、有機発光層40及び反射電極50を含む。電源120は、透明電極30と反射電極50とに接続される。電源120は、有機発光層40に流れる電流を供給する。照明装置130は、実施形態に係る有機電界発光素子を用いるため、光取り出し効率が高い。これにより、エネルギー効率の高い照明装置が提供できる。図12は、実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法を例示するフローチャート図である。図12に表したように、本製造方法では、透明基板10の主面10a上に、透明基板10の帯電の極性とは異なる極性に帯電した複数の微粒子21を付着させるステップS110。例えば、図4aに関して説明したように、複数の微粒子21として、表面が4級アンモニウムカチオンで修飾されたものを用いる。複数の微粒子21が透明基板10の帯電の極性とは異なる極性に帯電していることで、微粒子21は、透明基板10の主面10aに対して付着し、複数の微粒子21どうしは離れようとする。これにより、ほぼ1層の複数の微粒子21が、透明基板10の主面10aに付着する。すなわち、微粒子21の自己組織化が利用される。そして、複数の微粒子21を覆い表面が平坦になるように、複数の微粒子21の屈折率よりも高い屈折率を有する透明な平坦化樹脂層22を形成するステップS120。さらに、平坦化樹脂層22の上に透明電極30を形成するステップS130。さらに、透明電極30の上に有機発光層40を形成するステップS140。そして、有機発光層40の上に反射電極50を形成するステップS150。これにより、大面積の透明基板10上に複数の微粒子21を簡便に付着させることができる。これにより、特に、大面積の光取り出し効率が高い有機電界発光素子を、高い生産性で低いコストで製造できる。実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法はこれに限らない。例えば、平坦化樹脂層22となる樹脂に複数の微粒子21が分散された樹脂液を、透明基板10の主面10a上に塗布して、中間層20を形成しても良い。例えば、ポリシロキサン系樹脂にシリカ微粒子を混合した溶液を、透明基板10にスピンコートすることで、中間層20が形成できる。このときも、透明基板10の主面10a上に、略1層のが微粒子21が付着する。実施形態によれば、光取り出し効率の高い有機電界発光素子及びその製造方法が提供される。なお、本願明細書において、垂直及び平行は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、有機電界発光素子に含まれる透明基板、中間層、透明電極、有機発光層及び反射電極、並びに、照明装置に含まれる電源などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。その他、本発明の実施の形態として上述した有機電界発光素子及びその製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての有機電界発光素子及びその製造方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。