一般式IR13aR2aSi-RI-NH-CO-N=N-CO-NH-RI-SiR13aR2aIの含ケイ素アゾジカルバミドを、一般式IIR3-X1-CO-N=N-CO-X1-R4IIのアゾビスカルボキシ化合物と、一般式IIIR13aR2aSi-RI-NH2IIIのアミノシラン[式中、aは、互いに無関係に、1、2又は3であり、R1は、互いに無関係に、置換された若しくは置換されていないC1~C18-アルキル基、C5~C18-シクロアルキル基、又はC6~C18-アリール基であり、R2は、互いに無関係に、-OH、置換された若しくは置換されていないC1~C18-アルコキシ基又はC5~C18-シクロアルコキシ基であり、RIは、分枝状若しくは非分枝状の、飽和若しくは不飽和の、脂肪族、芳香族若しくは混合脂肪族/芳香族の二価のC1~C30-炭化水素基であり、該炭化水素基は、場合によりF-、Cl-、Br-、I-、-CN又はHS-で置換されており、X1は、互いに無関係に、O、NH又はN-A1であり、その際、A1は、C1~C12-アルキル基又はアリール基であり、かつR3及びR4は、互いに無関係に、H、C1~C18-アルキル基、ベンジル基-CH2-C6H5又はアルキルポリエーテル基CH2-CH2-On-R5又はCHCH3-CH2-On-R5であり、その際、nは、平均して1~18であり、かつR5は、互いに無関係に、分枝状若しくは非分枝状の、飽和若しくは不飽和の一価のC1~C32-炭化水素鎖である]との反応によって製造する方法。前記一般式IIのアゾビスカルボキシ化合物が、H2N-CO-N=N-CO-NH2、R3-O-CO-N=N-CO-O-R4又はR3-HN-CO-N=N-CO-NH-R4であることを特徴とする、請求項1記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。前記一般式IIIのアミノシランが、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-アミノプロピルジメトキシメチルシラン、3-アミノプロピルメトキシジメチルシラン、3-アミノプロピルジエトキシメチルシラン、3-アミノプロピルエトキシジメチルシラン又は3-アミノプロピルトリプロポキシシランであることを特徴とする、請求項1又は2記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。前記反応を溶媒中で実施することを特徴とする、請求項1記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。前記反応を溶媒不含で実施することを特徴とする、請求項1記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。前記反応を空気排除下及び/又は水排除下で実施することを特徴とする、請求項1記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。前記反応前、前記反応中又は前記反応後に安定化剤を添加することを特徴とする、請求項1記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。前記一般式IIの化合物として、C3H7-O-CO-N=N-CO-O-C3H7又はC6H4-CH2-O-CO-N=N-CO-O-CH2-C6H4を用いることを特徴とする、請求項2記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。前記反応を-50°C~200°Cの温度で実施することを特徴とする、請求項1記載の含ケイ素アゾジカルバミドの製造方法。