"直交の関係にあるx方向とy方向それぞれに変位可能な振動子19と、前記振動子19をx方向に振動させる駆動部37,55と、前記振動子19のx方向の振動振幅を検出する振幅検出部36,54と、前記振動子19のy方向への変位量を検出する変位検出部38,56と、前記振動子19を密閉空間に収納するパッケージ70と、を有する角速度センサであって、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づいて、前記パッケージ70の内圧を一定に調整する内圧調整部90を有することを特徴とする角速度センサ。前記駆動部37,55は、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づいて、前記x方向の振動振幅を一定に調整し、前記内圧調整部90は、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づく前記駆動部37,55の出力信号を用いて、前記パッケージ70の内圧を一定に調整することを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。前記内圧調整部90は、前記振幅検出部36,54の出力信号を用いて、前記パッケージ70の内圧を一定に調整することを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。前記パッケージ70の内圧は、1気圧よりも低い低圧状態であることを特徴とする請求項1~3いずれか1項に記載の角速度センサ。前記パッケージ70は、底部及び該底部の縁に形成された側部から成る箱部71と、該箱部71の開口部を閉塞する蓋部72と、を有し、前記内圧調整部90は、前記箱部71と前記蓋部72とが並ぶ方向に伸縮可能であり、前記箱部71と前記蓋部72とを連結する蛇腹部91と、該蛇腹部91を伸縮させることで前記箱部71と前記蓋部72の相対距離を変動するアクチュエータ92と、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づいて前記アクチュエータ92に前記蛇腹部91の伸縮を指示する動作指示部93と、を有することを特徴とする請求項1~4いずれか1項に記載の角速度センサ。前記内圧調整部90は、前記パッケージ70内に設けられた膨張収縮部材98と、該膨張収縮部材98を膨張収縮させることで前記密閉空間の体積を変動するアクチュエータ99と、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づいて前記アクチュエータ99に前記膨張収縮部材98の膨張収縮を指示する動作指示部93と、を有することを特徴とする請求項1~4いずれか1項に記載の角速度センサ。前記動作指示部93は、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づく前記駆動部37,55の出力信号若しくは前記振幅検出部36,54の出力信号と閾値を比較し、前記出力信号が前記閾値よりも高い場合にHi信号を出力し、低い場合に電圧レベルが前記Hi信号よりも低いLo信号を出力する比較部94と、該比較部94から出力されるHi信号を、リセット信号が入力されてから再び入力されるまでの間カウントするカウンタ95と、該カウンタ95のカウント信号に基づいて、前記アクチュエータ92,99に動作指示信号を出力する演算部97と、を有することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の角速度センサ。前記閾値は、第1閾値V1と、該第1閾値V1よりも低い第2閾値V2と、を有し、前記比較部94は、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づく前記駆動部37,55の出力信号若しくは前記振幅検出部36,54の出力信号と前記第1閾値V1とを比較する第1比較部94aと、前記振幅検出部36,54の出力信号に基づく前記駆動部37,55の出力信号若しくは前記振幅検出部36,54の出力信号と前記第2閾値V2とを比較する第2比較部94bと、を有し、前記カウンタ95は、前記第1比較部94aのHi信号をカウントする第1カウンタ95aと、前記第2比較部94bのHi信号をカウントする第2カウンタ95bと、を有し、前記動作指示部93は、前記第1比較部94aの出力信号の電圧レベルを反転する第1反転部96aと、前記第2比較部94bの出力信号の電圧レベルを反転する第2反転部96bと、を有し、前記リセット信号は、前記第1反転部96aから前記第1カウンタ95aに入力される第1リセット信号と、前記第2反転部96bから前記第2カウンタ95bに入力される第2リセット信号と、を有し、前記動作指示信号は、前記密閉空間の体積の膨張を指示する膨張指示信号と、前記密閉空間の体積の収縮を指示する収縮指示信号と、を有し、前記演算部97は、第1カウンタ95aからのみ第3閾値を超えるカウント信号が入力された場合に、前記膨張指示信号を前記アクチュエータ92,99に出力し、第2カウンタ95bからのみ第4閾値を超えるカウント信号が入力された場合に、前記収縮指示信号をアクチュエータ92,99に出力することを特徴とする請求項7に記載の角速度センサ。前記振動子19のx方向の振動周波数を検出する周波数検出部36,54を有し、前記駆動部37,55は、前記周波数検出部36,54の出力信号に基づいて、前記x方向の振動周波数を一定に調整することを特徴とする請求項1~8いずれか1項に記載の角速度センサ。前記変位検出部38,56は、前記振動子19のy方向への変位量を静電容量に変換して検出することを特徴とする請求項1~9いずれか1項に記載の角速度センサ。ところで、上記したように、特許文献1に示される角速度センサは、振動子の周囲温度の変化を抑制することで、振動子の出力信号の変動が抑制された構成となっている。しかしながら、振動子の出力信号は、温度だけではなく、ケース内の圧力内力によっても変動する。振動子がx方向に振動した状態で、z方向に角速度が印加されると、y方向にコリオリ力が生じる。このコリオリ力によって、振動子はy方向に変位振動し、その変位量振動振幅はコリオリ力角速度に依存する。したがって、振動振幅を検出することで、コリオリ力角速度を検出することができる。y方向への振動状態を表すQs値は圧力に依存し、振動子の出力信号はQs値に依存する。そのため、特許文献1に示される角速度センサでは、内圧の変動による振動子の出力信号の変動を抑制することができない。なお、もちろんではあるが、内圧は温度に応じて変動するので、温度変化に起因する、内圧変動による振動子の出力信号の変動は、特許文献1に記載の角速度センサでも抑制される。しかしながら、内圧は、温度だけではなくケース内の粒子数によっても変動する。そのため、特許文献1に記載の角速度センサでは、粒子数変化に起因する、内圧変動による振動子の出力信号の変動を抑制できなかった。そこで、本発明は上記問題点に鑑み、内圧変動による振動子の出力信号の変動が抑制された角速度センサを提供することを目的とする。上記した目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、直交の関係にあるx方向とy方向それぞれに変位可能な振動子19と、振動子19をx方向に振動させる駆動部37,55と、振動子19のx方向の振動振幅を検出する振幅検出部36,54と、振動子19のy方向への変位量を検出する変位検出部38,56と、振動子19を密閉空間に収納するパッケージ70と、を有する角速度センサであって、振幅検出部36,54の出力信号に基づいて、パッケージ70の内圧を一定に調整する内圧調整部90を有することを特徴とする。このように本発明によれば、内圧の変動に依存する振幅検出部36,54の出力信号に基づいて、内圧を一定に調整する。内圧は、密閉空間内の粒子数、温度、及び、体積によって変動する。したがって、密閉空間内の温度に基づいて内圧を調整する構成の場合、粒子数の変動による内圧の変化を検出することができない。これに対して、本発明では、内圧そのものに依存する振幅検出部36,54の出力信号に基づいて、内圧を調整する。そのため、粒子数の変動によって内圧が変動したとしても、その変化に基づいて、内圧を調整することができる。これにより、内圧変動による変位検出部38,56振動子19の出力信号の変動が抑制される。請求項2に記載のように、駆動部37,55は、振幅検出部36,54の出力信号に基づいて、x方向の振動振幅を一定に調整し、内圧調整部90は、振幅検出部36,54の出力信号に基づく駆動部37,55の出力信号を用いて、パッケージ70の内圧を一定に調整する構成が好適である。x方向の振動振幅Aは、x方向への振動状態を表すQd値と、駆動部37,55が振動子19をx方向に振動させる駆動力Fdとに依存する。内圧変動によってQd値が変動した場合、駆動部37,55は、振動振幅Aを一定に保つために、駆動力Fdを変動させる。駆動力Fdの値は、駆動部37,55の出力信号によって決定される。したがって、請求項2に記載のように、振幅検出部36,54の出力信号に基づく駆動部37,55の出力信号を用いて、パッケージ70の内圧を一定に調整することで、内圧変動による変位検出部38,56の出力信号の変動が抑制される。なお、もちろんではあるが、請求項2に記載のように、振幅検出部36,54の出力信号を間接的に用いるのではなく、請求項3に記載のように、内圧調整部90は、振幅検出部36,54の出力信号を直接的に用いて、パッケージ70の内圧を一定に調整する構成を採用することもできる。請求項4に記載のように、パッケージ70の内圧は、1気圧よりも低い低圧状態である構成が好適である。この場合、y方向への振動状態を表すQs値、及び、上記したQd値の変動が、内圧が1気圧の場合と比べて高くなる。したがって、請求項1に記載のように、内圧変動による変位検出部38,56の出力信号の変動を抑制する構成が好ましい。請求項5に記載のように、パッケージ70は、底部及び該底部に形成された側部から成る箱部71と、該箱部71の開口部を閉塞する蓋部72と、を有し、内圧調整部90は、箱部71と蓋部72とが並ぶ方向に伸縮可能であり、箱部71と蓋部72とを連結する蛇腹部91と、該蛇腹部91を伸縮させることで箱部71と蓋部72の相対距離を変動するアクチュエータ92と、振幅検出部36,54の出力信号に基づいてアクチュエータ92に蛇腹部91の伸縮を指示する動作指示部93と、を有する構成が良い。これによれば、密閉空間の体積を調整することで、内圧を調整することができる。なお、体積を調整する構成としては、請求項6に記載のように、内圧調整部90は、パッケージ70内に設けられた膨張収縮部材98と、該膨張収縮部材98を膨張収縮させることで密閉空間の体積を変動するアクチュエータ99と、振幅検出部36,54の出力信号に基づいてアクチュエータ99に膨張収縮部材98の膨張収縮を指示する動作指示部93と、を有する構成を採用することができる。請求項5及び請求項6に記載の動作指示部としては、請求項7に記載のように、動作指示部93は、振幅検出部36,54の出力信号に基づく駆動部37,55の出力信号若しくは振幅検出部36,54の出力信号と閾値を比較し、出力信号が閾値よりも高い場合にHi信号を出力し、低い場合に電圧レベルがHi信号よりも低いLo信号を出力する比較部94と、該比較部94から出力されるHi信号を、リセット信号が入力されてから再び入力されるまでの間カウントするカウンタ95と、該カウンタ95のカウント信号に基づいて、アクチュエータ92,99に動作指示信号を出力する演算部97と、を有する構成を採用することができる。また、請求項7に記載の動作指示部93の更に具体的な構成としては、請求項8に記載のように、閾値は、第1閾値V1と、該第1閾値V1よりも低い第2閾値V2と、を有し、比較部94は、振幅検出部36,54の出力信号に基づく駆動部37,55の出力信号若しくは振幅検出部36,54の出力信号と第1閾値V1とを比較する第1比較部94aと、振幅検出部36,54の出力信号に基づく駆動部37,55の出力信号若しくは振幅検出部36,54の出力信号と第2閾値V2とを比較する第2比較部94bと、を有し、カウンタ95は、第1比較部94aのHi信号をカウントする第1カウンタ95aと、第2比較部94bのHi信号をカウントする第2カウンタ95bと、を有し、動作指示部93は、第1比較部94aの出力信号の電圧レベルを反転する第1反転部96aと、第2比較部94bの出力信号の電圧レベルを反転する第2反転部96bと、を有し、リセット信号は、第1反転部96aから第1カウンタ95aに入力される第1リセット信号と、第2反転部96bから第2カウンタ95bに入力される第2リセット信号と、を有し、動作指示信号は、密閉空間の体積の膨張を指示する膨張指示信号と、密閉空間の体積の収縮を指示する収縮指示信号と、を有し、演算部97は、第1カウンタ95aからのみ第3閾値を超えるカウント信号が入力された場合に、膨張指示信号をアクチュエータ92,99に出力し、第2カウンタ95bからのみ第4閾値を超えるカウント信号が入力された場合に、収縮指示信号をアクチュエータ92,99に出力する構成を採用することができる。動作指示部93の詳しい動作については、実施形態で説明する。請求項9に記載のように、振動子19のx方向の振動周波数を検出する周波数検出部36,54を有し、駆動部37,55は、周波数検出部36,54の出力信号に基づいて、x方向の振動周波数を一定に調整する構成が良い。y方向への変位量は、x方向の振動周波数に依存する。したがって、請求項9に記載の発明によれば、変位検出部38,56の出力信号の変動が抑制される。請求項10に記載のように、変位検出部38,56としては、振動子19のy方向への変位量を静電容量に変換して検出する構成を採用することができる。以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。第1実施形態図1は、角速度センサの概略構成を示す断面図である。図2は、センサ基板の概略構成を示す上面図である。図3は、角速度センサの回路構成を示すブロック図である。図4は、動作指示部の信号を説明するためのタイミングチャートである。なお、以下においては、半導体基板11の対向面11aに沿う一方向をx方向と示し、対向面11aに沿い、且つ、x方向と直交する方向をy方向と示し、x,y方向によって規定されるx-y平面に垂直な方向をz方向と示す。また、図2に示すように、センサチップ10をx方向において2等分する、y方向に沿う仮想直線sを一点鎖線で示す。そして、後述する浮遊部16と固定部17とを区別するために、図2では、これらにハッチを入れている。角速度センサ100は、図1に示すように、要部として、センサチップ10と、回路チップ50と、パッケージ70と、内圧調整部90と、を有する。センサチップ10と回路チップ50とが、バンプ60を介して機械的及び電気的に接続され、回路チップ50とパッケージ70とが、接着剤61を介して機械的に接続されている。そして、回路チップ50とパッケージ70とが、配線62を介して電気的に接続され、センサチップ10と回路チップ50とが、パッケージ70の密閉空間に収納されている。本実施形態では、密閉空間は1気圧よりも低い低圧状態となっており、内圧調整部90の主要部は、密閉空間の外に設けられている。センサチップ10は、第1半導体層12、絶縁層13、及び、第2半導体層14が順次積層されて成る半導体基板11と、該半導体基板11における回路チップ50との対向面11a側に周知の露光技術を用いて形成されたセンサ部15と、を有する。図2に示すように、センサチップ10は、仮想直線sを介して対称な構造を成している。したがって、以下においては、説明が煩雑となることを避けるために、センサチップ10における仮想直線sによって分断された紙面左側若しくは紙面右側の部位のみを説明する。センサ部15は、図1に示すように、絶縁層13を介さずに第1半導体層12に対して第2半導体層14が浮遊した浮遊部16と、絶縁層13を介して第1半導体層12に第2半導体層14が固定された固定部17と、該固定部17に形成されたセンサパッド18と、を有する。浮遊部16は、第1半導体層12に対してx方向及びy方向に変位振動可能だが、固定部17及びセンサパッド18は、第1半導体層12に対して変位不可能となっている。浮遊部16は、図2に示すように、振動子19と、変位部20と、振動子19と変位部20とを連結する第1連結部21と、変位部20を固定部17に連結する第2連結部22と、を有する。このように、振動子19は、第1連結部21、変位部20、及び、第2連結部22を介して固定部17に連結されている。振動子19は、x方向に伸びた錘部23と、錘部23からy方向に延びた梁24,25と、梁24,25からx方向に延びた電極26,27と、を有する。第1モニター梁24は、錘部23の両端に形成され、第1駆動梁25は、錘部23における2つの第1モニター梁24によって挟まれた部位に形成されている。第1モニター電極26は、第1モニター梁24における錘部23の中央P図2にバツ印で示す部位側の側面から櫛歯状に複数延び、第1駆動電極27は、第1駆動梁25における中央P側の側面から櫛歯状に複数延びている。振動子19の構成要素23~27はそれぞれ平面矩形状を成している。変位部20は、第1検出電極28と、第1検出梁29と、を有する。第1検出梁29は、y方向に延びており、第1検出電極28は、第1検出梁29からx方向に延びている。第1検出電極28及び第1検出梁29はそれぞれ平面矩形状を成し、第1検出電極28は、第1検出梁29における振動子19側の側面の裏面から櫛歯状に複数延びている。第1連結部21は、第1検出梁29に連結された平面L字状の腕部30と、腕部30と第1検出梁29との間に設けられたバネ部31と、を有する。図2に示すように、腕部30は、第1検出梁29における振動子19側の側面からx方向に延びた第1部位30aと、第1部位30aの先端から振動子19に向ってy方向に伸びた第2部位30bと、を有する。バネ部31は、x方向に沿う第3部位31aと、該第3部位31aの振動子19側の側面からy方向に延びた第4部位31bと、を有する。本実施形態では、4つの第4部位31bが第3部位31aから延びて、x方向に並んでいる。x方向に並ぶ4つの第4部位31bの内、第1駆動梁25側の第4部位31bの先端が、第2部位30bに連結され、第1検出梁29側の第4部位31bの先端が、第1検出梁29に連結されている。そして、残り2つの第4部位31bの先端が、第1モニター梁24に連結されている。上記構成により、バネ部31は、x方向に弾性変形し易く、y方向に弾性変形し難くなっている。したがって、振動子19のx方向の振動が、バネ部31を介して変位部20に伝達され難く、振動子19のy方向への振動変位が、バネ部31連結部21を介して変位部20に伝達され易くなっている。後述するように、振動子19が、コリオリ力によってy方向に変位振動すると、変位部20も、y方向に変位振動する。第2連結部22は、第1検出梁29における振動子19側の側面から、固定部17のアンカー32へ向かって、x方向に延びた形状を成している。第2連結部22を除く浮遊部16の他の構成要素19~21は、第2連結部22を介して、固定部17に固定されている。固定部17は、アンカー32と、主要部がy方向に延びた梁33~35と、梁33~35からx方向に延びた電極36~38と、浮遊部16、アンカー32、梁33~35、電極26~28,36~38を囲む基部39と、を有する。第2モニター梁33は、変位部20側の第1駆動梁25と第1モニター梁24との間に設けられており、第2モニター電極36は、第2モニター梁33における第1モニター梁24との対向面から、第1モニター梁24に向かって、櫛歯状に複数延びている。そして、モニター電極26,36が噛み合わさることで互いにy方向で対向し、モニターコンデンサを構成している。第2駆動梁34は、二つの第1駆動梁25の間に設けられており、第2駆動電極37は、第2駆動梁34における中央Pから離れた側面から、この側面と対向する第1駆動梁25に向かって、櫛歯状に複数延びている。そして、駆動電極27,37が噛み合わさることで互いにy方向で対向し、駆動コンデンサを構成している。第2検出梁35は、第1検出梁29とy方向に沿う基部39の一部との間に設けられており、第2検出電極38は、第2検出梁35における第1検出梁29側の側面から、第1検出梁29に向かって、櫛歯状に複数延びている。そして、検出電極28,38が噛み合わさることで互いにy方向で方向で対向し、検出コンデンサを構成している。センサパッド18は、アンカー32に形成された第1センサパッド40と、第2モニター梁33に形成された第2センサパッド41と、第2駆動梁34に形成された第3センサパッド42と、第2検出梁35に形成された第4センサパッド43と、基部39に形成された第5センサパッド44と、を有する。図2に示すように、センサパッド40~44は、x方向に並んでおり、センサパッド40~43がそれぞれ8つ固定部17に形成され、第5センサパッド44が2つ固定部17に形成されている。第1センサパッド40にはDC電圧が入力される。このDC電圧は、アンカー32を介して、浮遊部16に入力される。これにより、浮遊部16が、DC電圧と等電位となっている。第2センサパッド41からは、モニター電極26,36によって構成されるモニターコンデンサの静電容量変化が出力される。浮遊部16の一部である第1モニター電極26は、DC電圧と等電位となるので、第2センサパッド41からは、DC電圧に依存する信号が出力されることが期待される。第3センサパッド42には極性が一定周期で変動する駆動電圧Vdが入力される。浮遊部16の一部である第1駆動電極27はDC電圧と等電位になっているので、駆動電極27,37によって構成される駆動コンデンサに、DC電圧と駆動電圧Vdとに依存する静電気力駆動力Fdが生じる。この駆動力Fdにおけるx方向に沿う力によって、第1駆動電極27が形成された第1駆動梁25振動子19がx方向に変位する。駆動電圧Vdは一定周期で極性が変動するので、第1駆動電極27に作用する駆動力Fdの作用方向もx方向にて一定周期で変動する。これにより、振動子19がx方向にて一定周期で振動する。第4センサパッド43からは、検出電極28,38によって構成される検出コンデンサの静電容量変化が出力される。第5センサパッド44には、一定電圧が入力される。この一定電圧によって、基部39センサチップ10の電位が一定に保たれる。回路チップ50は、図1に示すように、半導体基板51と、該半導体基板51の一面51aに構成された、センサチップ10の出力信号を処理する回路部52と、該回路部52と電気的に接続されたパッド53と、を有する。回路部52は、図3に示すように、振動子19のx方向の振動状態振動振幅と振動周波数を検出するモニター回路54と、駆動電圧Vdを生成する駆動回路55と、振動子19のy方向の変位量振動振幅を検出する変位検出回路56と、を有する。モニター回路54、モニター梁24,33、及び、モニター電極26,36によって、特許請求の範囲に記載の振幅検出部及び周波数検出部が構成され、駆動回路55、駆動梁25,34、及び、駆動電極27,37によって、特許請求の範囲に記載の駆動部が構成されている。また、変位検出回路56、検出梁29,35、及び、検出電極28,38によって、特許請求の範囲に記載の変位検出部が構成されている。モニター回路54は、第2センサパッド41から入力されるモニターコンデンサの静電容量変化に基づいて、振動子19のx方向の振動状態振動振幅と振動周波数を検出する。駆動回路55は、モニター回路54の出力信号に基づいて、x方向の振動振幅と振動周波数とが一定となる駆動電圧Vd駆動力Fdを生成し、生成した駆動電圧Vdを第3センサパッド42に入力する。このように、振動子19の振動状態が、内圧や温度の変化などによって変化したとしても、振動子19のx方向の振動状態は一定に保たれる。なお、駆動電圧Vdは、後述する動作指示部93にも出力される。変位検出回路56は、第4センサパッド43から入力される検出コンデンサの静電容量変化に基づいて、変位部20振動子19のy方向の変位量振動振幅を電気信号に変換する。なお、回路部52は、上記構成要素の他に、第1センサパッド40にDC電圧を入力するDC電圧印加回路図示略と、第5センサパッド44に一定電圧を入力する一定電圧生成回路図示略と、を有する。パッド53は、センサパッド18に対応する回路パッド57と、後述する内部端子73と電気的に接続される外部パッド58と、を有する。センサパッド18と回路パッド57とがバンプ60を介して機械的及び電気的に接続され、内部端子73と外部パッド58とが配線62を介して電気的に接続されている。パッケージ70は、図1に示すように、底部と側部とから成る凹状の箱部71と、該箱部71の開口部を閉塞する蓋部72と、を有する。箱部71の底部内面には、揮発性成分を含む接着剤61が設けられており、該接着剤61を介して箱部71と回路チップ50とが機械的に接続されている。箱部71には、側部内面に設けられた内部端子73と、側部内部に設けられた内部配線74と、底部外面に設けられた外部端子75と、が設けられている。上記したように、内部端子73と外部パッド58とが配線62を介して電気的に接続されており、回路チップ50の電気信号が、外部パッド58、配線62、内部端子73、内部配線74、及び、外部端子75を介して、外部に出力される。なお、箱部71と蓋部72とは、機械的及び電気的に接続されている。次に、角速度の検出原理について説明する。振動子19が駆動力Fdによってx方向に振動している状態で、z方向に角速度が印加されると、振動子19にコリオリ力Fcがy方向に生じる。振動子19が、コリオリ力Fcによってy方向に変位すると、それに伴って、第1連結部21を介して振動子19と連結された変位部20第1検出電極28が、y方向に変位する。この結果、検出電極28,38間の相対距離が変動し、検出コンデンサの静電容量が変化する。この静電容量変化が、第2検出電極38に形成された第2センサパッド41、バンプ60、及び、パッド53を介して、回路チップ50に入力される。次に、本実施形態に係る角速度センサ100の特徴点である内圧調整部90を説明する。内圧調整部90は、蛇腹部91と、モータ92と、動作指示部93と、を有する。蛇腹部91は、板状の部材が山折りと谷折りを繰り返したアコーディオン構造を成しており、箱部71と蓋部72とが並ぶz方向に伸縮可能である。蛇腹部91の一端が箱部71に連結され、他端が蓋部72に連結されている。密閉空間は、蛇腹部91とパッケージ70とによって構成されている。モータ92は、動作指示部93の動作指示信号膨張指示信号若しくは収縮指示信号に基づいて、蛇腹部91をz方向に伸縮するものである。モータ92は、膨張指示信号が入力されると、箱部71から遠ざけるように蓋部72を引っ張ることで、蛇腹部91を伸ばす。また、モータ92は、収縮指示信号が入力されると、箱部71に近づけるように蓋部72を押圧することで、蛇腹部91を縮める。モータ92が、特許請求の範囲に記載のアクチュエータに相当する。動作指示部93は、駆動回路55の出力信号に基づいてモータ92に蛇腹部91の伸縮を指示するものである。動作指示部93は、駆動回路55の出力信号と閾値を比較して、出力信号が閾値よりも高い場合にHi信号を出力し、低い場合に電圧レベルがHi信号よりも低いLo信号を出力する比較部94と、該比較部94から出力されるHi信号を、リセット信号が入力されてから再び入力されるまでの間カウントするカウンタ95と、比較部94の出力信号の電圧レベルを反転し、その反転した信号をリセット信号として比較部94に出力する反転部96と、カウンタ95のカウント信号に基づいて、モータ92に動作指示信号を出力する演算部97と、を有する。また、動作指示部93は、クロック信号をカウンタ95に入力するクロック部図示略を有し、図1に示すように、配線63を介して外部端子75と電気的に接続されている。比較部94は、駆動回路55の出力信号駆動電圧Vdと第1閾値V1とを比較する第1比較部94aと、駆動電圧Vdと第1閾値V1よりも低い第2閾値V2とを比較する第2比較部94bと、を有する。図3に示すように、第1比較部94aの反転入力端子に駆動電圧Vdが入力され、非反転入力端子に第1閾値V1が入力される。また、第2比較部94bの反転入力端子に第2閾値V2が入力され、非反転入力端子に駆動電圧Vdが入力される。駆動電圧Vdが閾値V2よりも低い場合、第1比較部94aからはHi信号が出力され、第2比較部94bからはLo信号が出力される。この場合、駆動電圧Vdが閾値V2よりも低くなっているので、内圧は低くなっていることが分かる。駆動電圧Vdが第1閾値V1よりも低く、第2閾値V2よりも高い場合、比較部94a,94bそれぞれからHi信号が出力される。この場合、駆動電圧Vdは第1閾値V1と第2閾値V2との間にあるので、内圧は安定一定であることが分かる。駆動電圧Vdが閾値V1よりも高い場合、第1比較部94aからはLo信号が出力され、第2比較部94bからはHi信号が出力される。この場合、駆動電圧Vdが閾値V1よりも高くなっているので、内圧は高くなっていることが分かる。カウンタ95は、第1比較部94aのHi信号をカウントする第1カウンタ95aと、第2比較部94bのHi信号をカウントする第2カウンタ95bと、を有する。カウンタ95a,95bには、図4に示すクロック信号が入力されるようになっており、カウンタ95a,95bは、Hi信号が入力されている間に、クロック信号のパルスが幾つ入力されたかをカウントする。そして、カウントした数を含むカウント信号を演算部97に出力する。このように、カウント数は、Hi信号の入力時間に相当する。反転部96は、第1比較部94aの出力信号の電圧レベルを反転した第1リセット信号を第1カウンタ95aに入力する第1反転部96aと、第2比較部94bの出力信号の電圧レベルを反転した第2リセット信号を第2カウンタ95bに入力する第2反転部96bと、を有する。リセット信号はHiレベルの信号である。したがって、比較部94からHi信号が出力されている場合、反転部96からはLo信号が出力されるので、カウンタ95はカウントし続ける。反対に、比較部94からLo信号が出力されている場合、反転部96からはHi信号が出力されるので、カウンタ95のカウントはストップする。反転部96からHi信号が出力されている間、カウンタ95のカウントはストップし、カウンタ95からカウント信号が出力されなくなる。演算部97は、カウンタ95の出力信号に基づいて、動作指示信号をモータ92に出力する。演算部97は、第1カウンタ95aからのみカウント信号が入力された場合に、駆動電圧Vdが小さくなっているので内圧は低くなっていると判断し、カウンタ95a,95bそれぞれからカウント信号が入力された場合に、駆動電圧Vdは所定値に収まっているので内圧は安定一定であると判断する。また、演算部97は、第2カウンタ95bからのみカウント信号が入力された場合に、駆動電圧Vdが大きくなっているので内圧は高くなっていると判断する。演算部97は、第1カウンタ95aからのみ第3閾値を超えるカウント信号が入力された場合に、密閉空間の体積の膨張を指示する膨張指示信号をモータ92に出力し、第2カウンタ95bからのみ第4閾値を超えるカウント信号が入力された場合に、密閉空間の体積の収縮を指示する収縮指示信号をモータ92に出力する。本実施形態では、第3閾値と第4閾値は共に等しく5である。演算部97は、カウント数が5を超えるカウンタ95a,95bのいずれか一方のカウント信号が入力された場合に、動作指示信号を出力する。次に、内圧調整部90の動作を図4に基づいて説明する。図4の横軸は時間、縦軸は電圧を示している。駆動電圧Vdが、第2閾値V2よりも高く、第1閾値V1よりも低い場合、時間t0~t1の第1期間に示すように、比較部94a,94bからはそれぞれHi信号が出力される。すると、カウンタ95a,95bはカウントを開始し、カウント信号がカウンタ95a,95bそれぞれから演算部97に入力される。この時、演算部97は、内圧は安定一定であると判断して、モータ92に動作指示信号を出力せず、モータ92を駆動しない。駆動電圧Vdが、閾値V1よりも高い場合、時間t1~t2の第2期間に示すように、第1比較部94aからはLo信号が出力され、第2比較部94bからはHi信号が出力される。すると、第1カウンタ95aにリセット信号が入力されるので、第1カウンタ95aからはカウント信号が出力されなくなる。その一方、第2カウンタ95bはカウントを開始し、カウント信号が第2カウンタ95bからのみ演算部97に入力される。この時、演算部97は、内圧は高くなっていると判断する。そして、カウント信号が5を超えると、演算部97はモータ92に膨張指示信号を出力する。モータ92は、膨張指示信号を受信すると、箱部71から遠ざけるように蓋部72を引っ張ることで、蛇腹部91を伸ばす。これによって、密閉空間の体積を膨張する。密閉空間の体積の膨張によって内圧が下ると、駆動電圧Vdは、再び第2閾値V2よりも高く、第1閾値V1よりも低くなる。この場合、時間t2~t3の第3期間に示すように、比較部94a,94bからそれぞれHi信号が出力される。演算部97は、第1期間と同様に内圧は安定一定であると判断し、モータ92に動作指示信号を出力せず、モータ92を駆動しない。駆動電圧Vdが、閾値V2よりも低い場合、時間t3~t4の第4期間に示すように、第1比較部94aからはHi信号が出力され、第2比較部94bからはLo信号が出力される。すると、第2カウンタ95bにリセット信号が入力されるので、第2カウンタ95bからはカウント信号が出力されなくなる。その一方、第1カウンタ95aはカウントを開始し、カウント信号が第1カウンタ95aからのみ演算部97に入力される。この時、演算部97は、内圧は低くなっていると判断する。そして、カウント信号が5を超えると、演算部97はモータ92に収縮指示信号を出力する。モータ92は、収縮指示信号を受信すると、箱部71に近づけるように蓋部72を押圧することで、蛇腹部91を縮める。これによって、密閉空間の体積を収縮する。次に、本実施形態に係る角速度センサ100の作用効果を説明する。上記したように、内圧の変動に依存する駆動回路55の出力信号駆動電圧Vdに基づいて、内圧を一定に調整する。内圧は、密閉空間内の粒子数、温度、及び、体積によって変動する。したがって、密閉空間内の温度に基づいて内圧を調整する構成の場合、粒子数の変動による内圧の変化を検出することができない。これに対して、本実施形態では、内圧そのものに依存する駆動電圧Vdに基づいて、内圧を調整する。そのため、粒子数の変動によって内圧が変動したとしても、その変化に基づいて、内圧を一定に調整することができる。これにより、内圧変動による変位検出回路56センサ部15の出力信号の変動が抑制される。なお、内圧の変動する要因としては、接着剤61に含まれる揮発性成分の揮発による粒子数変化と、温度変化とがある。これに対して、本実施形態に係る角速度センサ100では、内圧そのものに依存する駆動電圧Vdに基づいて、内圧の調整を行っている。したがって、感温素子の出力信号に基づいて、内圧の調整を行う構成とは異なり、粒子数変化に起因する内圧変動においても、センサ部15の出力信号の変動が抑制される。密閉空間の圧力内圧は、1気圧よりも低い低圧状態となっている。この場合、y方向の振動状態を表すQs値、及び、x方向の振動状態を表すQd値の変動は、内圧が1気圧の場合と比べて高くなる。したがって、上記したように、内圧を一定に調整する構成が好ましい。駆動回路55は、モニター回路54の出力信号に基づいて、x方向の振動周波数共振周波数を一定に調整する。y方向への変位部20振動子19の変位量は、x方向の共振周波数に依存する。したがって、上記構成によれば、センサ部15の出力信号の変動が抑制される。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。本実施形態では、モニター回路54の出力信号に基づく駆動電圧Vdを用いて、内圧を調整する例を示した。しかしながら、モニター回路54の出力信号を用いて、内圧を調整しても良い。本実施形態では、内圧調整部90の主要部が密閉空間の外に設けられた例を示した。しかしながら、図5に示すように、内圧調整部90が密閉空間内に設けられた構成を採用することもできる。図5に示す内圧調整部90は、膨張収縮部材98と、該膨張収縮部材98の温度を調整することで、膨張収縮させるペルチェ素子99と、動作指示部93と、を有する。動作指示部93は、半導体基板51に形成されており、動作指示部93の動作指示信号は、半導体基板51に形成された指示パッド59及び配線64を介して、ペルチェ素子99に入力される。ペルチェ素子99は、膨張指示信号を受信すると、膨張収縮部材98を冷却することで、膨張収縮部材98を縮める。これによって、密閉空間の体積を増大膨張する。また、ペルチェ素子99は、収縮指示信号を受信すると、膨張収縮部材98を加温することで、膨張収縮部材98を膨らませる。これによって、密閉空間の体積を減少収縮する。ペルチェ素子99が、特許請求の範囲に記載のアクチュエータに相当する。図5は、角速度センサの変形例を示す断面図である。"