ガス流出部と、複数のボールねじ部と、前記ボールねじ部に連結したガス流出部を昇降するシャフト部と、前記ボールねじ部とモータ部の間にタイミングベルトによる保持機構と、前記タイミングベルトの近傍にセンサ部とを備えた気相成長装置。前記ボールねじ部とモータ部の間に中継軸を有し、前記ボールねじ部と前記中継軸及び前記中継軸と前記モータ部間の全てのタイミングベルト近傍にセンサ部を備えた請求項1記載の気相成長装置。前記ボールねじ部とモータ部の間に中継軸を有し、前記ボールねじ部と前記中継軸及び前記中継軸と前記モータ部間のいずれか一方のタイミングベルト近傍にセンサ部を備えた請求項1記載の気相成長装置。前記ガス流出部は、複数のガス配管からなるシャワーヘッド部を構成する請求項1から3に記載の気相成長装置。前記ボールねじ部に、ガス流出部の上昇を停止するブレーキ部を備えたことする求項1から4に記載の気相成長装置。前記ボールねじ部は、橋渡し部を介して互いに連結されている請求項1から5に記載の気相成長装置。気相成長装置の課題として、結晶成長毎に実施されるガス流出部105の昇降時にガス流出部105が落下しないように安全面で対策を実施することが必要であった。さらに、ガス流出部105自体の重量が1トン近く、かなりの重量物となっており、支持するボールねじを1本で保持する事が出来ず、2本以上の複数のボールねじで支持する必要があった。また、2本以上の複数のボールねじは、内部の成長室103に反応ガス及びキャリアガスを導入するためのガス配管104がガス流出部105に接続されている関係上、常に一定のガス流出部105の表面高さを維持しながら、昇降機構を動作させなければ、ガスの流量や流速に悪影響を及ぼし、さらには結晶成長させる際の成膜不均一を発生させる可能性があった。特許文献1の場合は、ベルト113の走行する位置に、光発光部と受光部からなる透過型光センサを設けてその出力により動力伝達機構部の異常を検出する。ボールネジ部は、ネジ棒115が装置に固定され、ナット116が回転するボールネジ機構である。この機構のネジ棒115は1本であり、昇降させるワークX線管、撮像装置、天板等が取り付けられているには、重量物である構造体を連結する事は出来ない。また、図12に示すように、透過型光センサ114では、ベルトが断線して、遮光する部分が完全にセンサ前面から無くならないと感知する事はなく、センサの反応までに時間的な遅れが発生する。特に、透過型光センサ間の2本のベルトの内、1本のみが断線した場合でも、残りの1本で遮光された状態が維持している場合、ベルト断線の検知が困難である。その為、気相成長装置のような大型の装置で求められる落下するまでの短時間での落下防止を十分に確保する事が出来ない。特許文献2の場合は、付勢機構119により付勢されて移動するアイドラー117の位置を検出可能な位置検出器124を備えており、特許文献1に比べて、短時間で断線防止を確認出来る。また、駆動チェーン118が摩耗等により、乗客の安全性が危ぶまれる程度に長さが長くなった状態で、リミットスイッチ123が作動し、その作動信号が制御盤に供給されて電動機をOFF操作させ、直ちに、踏み板及び手摺ベルトの移動を停止させることができ、駆動チェーン118が摩耗により全体の長さが長くなって、運転に支障が生ずる前に停止させることで、駆動ベルトが踏み板との間の同期がはずれ等により利用客が危険な状態になるのを未然に防止できる働きがある。しかし、駆動チェーン118は、1つの電動機、駆動輪のみを有しており、ガス流出部のような重量物を一定の昇降精度を維持しながら確保するのは困難である。また、位置検出器124は1カ所に付勢されており、何らかの影響で位置検出器124が動作不具合時には、十分な安全性を確保出来ない。従って、気相成長装置のようなガス流出部の重量物を精度良く昇降させ、かつ駆動チェーンのたわみ、断線時での安全性を十分確保した上での管理が困難であった。本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、ガス流出部の昇降時に、精度良くガス流出部の表面高さを維持しつつ、重量物であるガス流出部の落下を防止する停止機構を備えた気相成長装置を提供する事である。本発明の気相成長装置は、ガス流出部を昇降するボールねじの回転を強制的停止し、ガス流出部の落下機構を備えた気相成長装置であって、ガス流出部にシャフトを介して複数のボールねじを相互に連結した上、それぞれのボールねじとモータとを連結するタイミングベルトの全てに複数のベルト破断検知センサを設置したことを特徴とする。または、本発明の気相成長装置は、ガス流出部にシャフトを介して複数のボールねじを相互に連結した上、それぞれのボールねじとモータとを連結するタイミングベルトの一部にベルト破断検知センサを設置したことを特徴とする。気相成長装置のガス流出部に複数のシャフトを相互に連結した上、それぞれのシャフトとボールねじとモータを連結するタイミングベルトに複数のベルト破断検知センサを設置する事で、ガス流出部の昇降時に、精度良くガス流出部の表面高さを維持しつつ、重量物であるガス流出部の落下を防止する事が可能となる。本発明の一実施形態について図1に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分又は相当部分を表わすものとする。図1に、本発明の気相成長装置として、MOCVD装置全体1の模式的な構成の一例を示す。図1に示すように、MOCVD装置全体1は、主に化合物半導体結晶を成長させる成長室2、成長室内の基板を加熱する基板加熱機構3、ガス流出部を昇降する昇降機構4、図示しないガス流出部周辺を冷却する冷却配管系、成長室の排気を行う高真空排気系、プロセスガス排気系から構成される。本発明は、これらの主構成のうち、ガス流出部を昇降する昇降機構に関する。また、図2は、長室内構成を示す断面図である。成長室は、内部を大気側と隔離する反応炉5を備えており、反応炉5内部には、反応室隔壁6によって分離された反応外部空間7と反応室8が設けられている。反応外部空間7には、パージガス供給管9が接続されており、パージガスN2ガス、H2ガスが導入されている。反応室8には、被処理基板10を載置する基板保持部11サセプタが備えられている。基板保持部11は、回転伝達部12の一端に備え付けられており、図示しない回転機構により回転可能となっている。また、基板保持部11の下側には、被処理基板10を加熱するための基板加熱ヒータ13が設けられている。反応炉5の上部には、ガス流出部14が取外し可能に配設されている。反応炉5とガス流出部14は、Oリング14aでシールされており、反応炉5の内部をガス排出口から排気して気密状態に維持できるようなっている。被処理基板10に化合物半導体結晶を成膜するときは、第1ガス分配空間15に、例えば、III族の元素を含む第1ガスが、第1ガス導入口16aから導入され、冷媒空間17を貫通する複数の第1ガス供給管17bを通って冷却された後、第1ガス供給管17bのガス吐出孔H1に連通する中央プレート18のプレート孔18aから反応室8に導入される。また、第2ガス分配空間19には、例えば、V族の元素を含む第2ガスが、第2ガス導入口19aから導入され、冷媒空間17を貫通する複数の第2ガス供給管20bを通って冷却された後、第2ガス供給管20bのガス吐出孔H2に連通する中央プレート18から反応室8に導入される。このように、ガス流出部14は、多数の第1ガス供給管、第2ガス供給管を有し、かつ被処理基板の大径化と共に面積が大型になっており、1トン近くの重量物となっている。成膜後には、ガス流出部14は、反応炉5からOリング14aで図示しない昇降機構に連結して開放され、結晶基板の交換及びメンテナンスが実施される。本実施例のガス流出部14は、シャワーヘッドといわれる実施例で説明したが、本構成に限定されるものではなく、中央放射型、ライン放射型といわれるガス流出部を有しているものを含んでいる。次に、本発明の特徴的である昇降機構の実施例を図3から図4を用いて、ベルト破断検知センサ及び別の実施例を図5から図7を用いて詳細に説明する。図3に気相成長装置のガス流出部及び昇降機構の斜視図を示す。ガス流出部14は、グローブボックスを貫通した4本のシャフト21にて連結している。4本のシャフト21は互いに2本ずつ1本のボールねじ22と連結している。連結しているボールねじ22は、一定の速度で回転しながら、連結しているシャフト21を上昇、あるいは下降させる。その結果、シャフト21に連結したガス流出部14が上昇、あるいは下降を一定の速度で行う。重量物であるガス流出部14は、4本のシャフト21及び2本のボールねじ22にて構成される事で、高さばらつきを抑えて精度良く、大径化したガス流出部14の上部にブレーキ部23を構成し、ボールねじ22の上昇の限界を超えた場合に強制的に静止出来る。さらに、2本のボールねじ22は、それぞれ上部において橋渡し部24を介して連結しており、ガス流出部によるボールねじへの負荷を均一に分散する効果を有している。図3では、ボールねじ22と4本のシャフト21の連結部分25は下部に位置しており、ガス流出部14が下降した状態を表している。図4は、気相成長装置のガス流出部上部の昇降機構の斜視図である。図4では、図3に比べて連結部分25が上部に位置しており、図に記載した矢印方向にボールねじ22の回転によって4本のシャフト21が上昇し、ガス流出部14が上昇した状態を表している。2本のボールねじ22は、それぞれ上部において橋渡し部24を介して連結により、ガス流出部14によるボールねじ22への負荷を均一に分散しながら上昇し、上限にて強制的に静止している状態になっている。これらの構造により、4本のシャフト21の落下への安全性が連結されていない場合に比べて改善されている。図5にシャフト21、ボールねじ22、モータ26のタイミングベルト27による駆動構造及びベルト破断検知センサ28、29、30、31の配置を上面図で示す。図5における2本のボールねじ22の回転駆動は、ボールねじ22に巻かれたタイミングベルト27によって、中継軸32を介して、それぞれ同じ1つのモータ26に連結されている。つまり、このモータ26からの駆動をタイミングベルト27が伝達し、各2本のボールねじ22の回転駆動へと変換する構造となっている。この時、いずれかのボールねじ22への過加重、あるいはタイミングベルト27の損傷の影響を受けて、タイミングベルト27が断線する事が想定される。そこで、モータ26と中継軸32を繋ぐ2本のタイミングベルト27にそれぞれ2カ所のベルト破断検知センサ28、31を配置し、中継軸32とボールねじ22を繋ぐ2本のタイミングベルト27の2カ所のベルト破断検知センサ29、30を配置し、各ベルト破断検知センサ28、29、30、31は、図5のようにモータ26を中心に左右ボールねじ22に対照な位置に配置されている。この構成を有する事で、いずれかのボールねじ22への過加重、あるいはタイミングベルト27の損傷の影響を受けて、タイミングベルト27が断線する場合に、いずれかのベルト破断検知センサ28、29、30、31がその状況を検知し、断線によるガス流出部14の落下を防止できる。また、複数のベルト位置のいずれにおいてもベルト破断検知センサ28、29、30、31を配置する事で、いずれもタイミングベルト27の破断時にも短時間に落下を防止出来る効果を有する。図6に一例として、ベルト破断検知センサ28の構造図を示す。ベルト破断検知センサ28は、主に発光部33と受光部34からなるフォトセンサとフラグ板35で構成される。さらに、図7において、ベルト破断検知センサの断線時の挙動について説明する。これらのベルト破断検知センサを使用し、図7のように、タイミングベルト27が断線していない状況では、タイミングベルト27によるテンションでフラグ板35が押され、発光部33と受光部34との間にフラグ板35が挿入した状態で受光部34には入光せず、ブレーキが常時通電となる。次に、図8のように、タイミングベルト27が断線した状況では、タイミングベルト27によるテンションが瞬時に失われ、フォトセンサにおけるフラグ板35の発光部33と受光部34との間の遮光が無くなり、受光部34に入光する。この状態ではブレーキは遮電されて、ガス流出部14の落下を防止する停止機構が瞬時に作動する。実施の形態2別の実施形態について図9に基づいて説明する。図9は、図5でベルト破断検知センサ28、29、30、31の配置構成のみが異なるため、異なる部分のみ説明する。図9において、ベルト破断検知センサ30、31の配置状態を示す。本実施例では、モータ26と中継軸32を繋ぐ2本のタイミングベルト27のうち1カ所にベルト破断検知センサ31を配置し、中継軸32とボールねじ22を繋ぐ2本のタイミングベルト27のうち1カ所にベルト破断検知センサ30を配置している。この構成により、ベルト破断検知センサの個数を削減でき、タイミングベルト27の破断時に、実施例1に対して検知時間は遅くなるが、より低コストで断線によるガス流出部14の落下防止を検知できる。また、ベルト破断検知センサ30、31は、タイミングベルト27の長さ方向に対して、垂直方向にフラグ板35が動作するように、グローボックス上に固定されている。図9のように、タイミングベルト27のベルト27a、27bの方向位置が異なる場合、それぞれの方向位置に垂直な方向にフラグ板35が動作するように、ベルト破断検知センサ30、31の配置位置を変更している。また、これらのベルトへの加重、たわみの一例の数値としては、ベルト27aでは36.5N、たわみ8.4mm程度、ベルト27bでは35.2N、たわみ3.3mm程度を最適な条件で設定されている。今回開示された実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。