噴射弁から噴射された噴霧粒子を凍結させる噴霧凍結手段と、前記噴霧凍結手段で凍結された凍結噴霧粒子を保持する凍結噴霧保持手段と、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を解析する解析手段と、を備えることを特徴とする噴霧検査装置。前記解析手段は、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を撮影することによって、前記凍結噴霧粒子を解析することを特徴とする請求項1記載の噴霧検査装置。前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を2以上の異なる焦点距離で撮影することを特徴とする請求項2記載の噴霧検査装置。前記解析手段は、前記凍結噴霧粒子を保持する前記凍結噴霧保持手段の表面粗さを測定することによって、前記凍結噴霧粒子を解析することを特徴とする請求項1記載の噴霧検査装置。異なる粗さのメッシュを有する複数の前記凍結噴霧保持手段を備え、前記解析手段は、前記複数の凍結噴霧保持手段それぞれに保持された凍結噴霧粒子の質量を測定することによって、前記凍結噴霧粒子を解析することを特徴とする請求項1記載の噴霧検査装置。前記噴射弁から噴射された噴霧の分裂および拡散を行う噴霧室と、前記噴霧室と連通し、前記分裂および拡散した後の噴霧粒子を凍結させる低温に維持され、前記凍結噴霧保持手段が設けられた冷凍室と、前記噴霧室と前記冷凍室との連通および非連通を切り換えるシャッターと、を備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の噴霧検査装置。前記噴射弁からの噴霧の噴射が終了してから前記シャッターを閉じるシャッター制御手段を備えることを特徴とする請求項6記載の噴霧検査装置。前記冷凍室内の温度を測定する温度測定手段と、前記温度測定手段で測定された温度が所定の温度となるように前記冷凍室に導入する冷却ガスの量を制御する冷却ガス制御手段と、を備えることを特徴とする請求項6または7記載の噴霧検査装置。前記冷凍室は円筒形状をしており、円筒形状をした前記冷凍室の側壁に対して斜め方向から、前記冷凍室に導入する冷却ガスを流す冷却ガス導入管が、前記冷凍室に接続されていることを特徴とする請求項6から8のいずれか一項記載の噴霧検査装置。前記冷凍室および前記シャッターは、前記噴霧室を構成する部材よりも熱伝達率の低い部材で構成されることを特徴とする請求項6から9のいずれか一項記載の噴霧検査装置。前記冷凍室内に攪拌手段が設けられていることを特徴とする請求項6から10のいずれか一項記載の噴霧検査装置。前記解析手段による解析終了後、前記凍結噴霧保持手段から前記凍結噴霧粒子を回収する凍結噴霧回収手段を備えることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項記載の噴霧検査装置。前記凍結噴霧回収手段は、前記凍結噴霧保持手段を傾斜させて、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を前記凍結噴霧保持手段から落とすことによって、前記凍結噴霧粒子を回収することを特徴とする請求項12記載の噴霧検査装置。前記凍結噴霧回収手段は、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を解凍させることによって、前記凍結噴霧粒子を回収することを特徴とする請求項12記載の噴霧検査装置。前記凍結噴霧粒子は、排出通路を介して回収容器に回収されることを特徴とする請求項12から14のいずれか一項記載の噴霧検査装置。前記凍結噴霧保持手段には0.1μm以下の間隔の微細突起が設けられていて、前記微細突起上で前記噴霧凍結粒子を保持することを特徴とする請求項1から15のいずれか一項記載の噴霧検査装置。前記噴射弁から噴射された噴霧の噴霧中の噴霧画像を撮影する撮影手段を備えることを特徴とする請求項1から16のいずれか一項記載の噴霧検査装置。しかしながら、上述した噴霧検査方法のように、噴霧を光学的に撮影して噴霧粒子の粒径などを計測する方法では、噴霧全体の計測が困難であると共に、超微細粒の噴霧粒子や撮影時に焦点の合わない噴霧粒子については計測精度が不十分である課題がある。本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、噴霧の解析を精度良く行うことが可能な噴霧検査装置を提供することを目的とする。本発明に係る噴霧検査装置は、噴射弁から噴射された噴霧粒子を凍結させる噴霧凍結手段と、前記噴霧凍結手段で凍結された凍結噴霧粒子を保持する凍結噴霧保持手段と、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を解析する解析手段と、を備えることを特徴とするものである。本発明に係る噴霧検査装置によれば、噴霧粒子を凍結させて固体化した凍結噴霧粒子とすることで、噴霧の形状を維持でき、この凍結噴霧粒子を解析することで、噴霧の解析を精度良く行うことができる。上記構成において、前記解析手段は、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を撮影することによって、前記凍結噴霧粒子を解析してもよい。また、上記構成において、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を2以上の異なる焦点距離で撮影してもよい。これによれば、粒径の異なる凍結噴霧粒子を解析することができる。上記構成において、前記解析手段は、前記凍結噴霧粒子が保持された前記凍結噴霧保持手段の表面粗さを測定することによって、前記凍結噴霧粒子を解析してもよい。これによれば、凍結噴霧保持手段の表面が測定基準となり、高精度且つ短時間で凍結噴霧粒子の解析ができる。上記構成において、異なる粗さのメッシュを有する複数の前記凍結噴霧保持手段を備え、前記解析手段は、前記複数の凍結噴霧保持手段それぞれに保持された凍結噴霧粒子の質量を測定することによって、前記凍結噴霧粒子を解析してもよい。上記構成において、前記噴射弁から噴射された噴霧の分裂および拡散を行う噴霧室と、前記噴霧室と連通し、前記分裂および拡散した後の噴霧粒子を凍結させる低温に維持され、前記凍結噴霧保持手段が設けられた冷凍室と、前記噴霧室と前記冷凍室との連通および非連通を切り換えるシャッターと、を備えてもよい。これによれば、噴霧粒子を凍結させる冷凍室の低温維持と、噴霧の分裂および拡散を行う噴霧室の低温化抑制と、を両立できる。上記構成において前記噴射弁からの噴霧の噴射が終了してから前記シャッターを閉じるシャッター制御手段を備えてもよい。上記構成において、前記冷凍室内の温度を測定する温度測定手段と、前記温度測定手段で測定された温度が所定の温度となるように前記冷凍室に導入する冷却ガスの量を制御する冷却ガス制御手段と、を備えてもよい。これによれば、冷凍室内の温度を所定の温度に維持できるため、噴霧粒子をより確実に凍結させることができる。上記構成において、前記冷凍室は円筒形状をしており、円筒形状をした前記冷凍室の側壁に対して斜め方向から、前記冷凍室に導入する冷却ガスを流す冷却ガス導入管が前記冷凍室に接続されていてもよい。これによれば、冷却ガスを冷凍室内で旋回させることができるため、冷凍室内の温度を一様にでき、噴霧粒子をむらなく凍結させることができる。上記構成において、前記冷凍室および前記シャッターは、前記噴霧室を構成する部材よりも熱伝達率の低い部材で構成されていてもよい。これによれば、外気温や噴霧室内の温度によって冷凍室内の温度が上昇することを抑制できる。上記構成において、前記冷凍室内に攪拌手段が設けられていてもよい。これによれば、冷凍室内の温度を一様にでき、噴霧粒子をむらなく凍結させることができる。上記構成において、前記解析手段による解析終了後、前記凍結噴霧保持手段から前記凍結噴霧粒子を回収する凍結噴霧回収手段を備えてもよい。これによれば、凍結噴霧粒子が気化する前に回収することができ、冷凍室内に残存する燃料を低減できる。上記構成において、前記凍結噴霧回収手段は、前記凍結噴霧保持手段を傾斜させて、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を前記凍結噴霧保持手段から落とすことによって、前記凍結噴霧粒子を回収してもよい。これによれば、凍結噴霧粒子を速やかに回収することができる。上記構成において、前記凍結噴霧回収手段は、前記凍結噴霧保持手段で保持された凍結噴霧粒子を解凍させることによって、前記凍結噴霧粒子を回収してもよい。これによれば、凍結噴霧粒子を速やかに回収することができる。上記構成において、前記凍結噴霧粒子は、排出通路を介して回収容器に回収されてもよい。これによれば、燃料の再利用が可能となる。上記構成において、前記凍結噴霧保持手段には0.1μm以下の間隔の微細突起が設けられていて、前記微細突起上で前記噴霧凍結粒子が保持されていてもよい。これによれば、凍結噴霧粒子と凍結噴霧保持手段との接触面積が小さくなると共に空気の断熱層によって、熱容量の小さい凍結噴霧粒子であっても凍結噴霧保持手段に氷着することを抑制できる。上記構成において、前記噴射弁から噴射された噴霧の噴霧中の噴霧画像を撮影する撮影手段を備えてもよい。これによれば、噴霧画像も撮影できるため、噴霧形状をより明瞭にできる。本発明によれば、噴霧粒子を凍結させて固体化した凍結噴霧粒子とすることで、噴霧の形状を維持でき、凍結噴霧粒子を解析することで、噴霧粒子の解析を精度良く行うことができる。以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。図1は、実施例1に係る噴霧検査装置の全体構成を示す側面図の例である。図2は、実施例1に係る噴霧検査装置の本体部の平面図の例である。図1および図2を参照して、噴霧検査装置100は、常温の噴霧室10と、例えば-100°C以下の極低温に冷却された冷凍室30と、制御部80と、を備える。噴霧室10と冷凍室30とはそれぞれ円筒形状をしており、互いに連通している。噴霧室10と冷凍室30との間には、噴霧室10と冷凍室30との連通および非連通を切り換えるシャッター60が備わる。冷凍室30およびシャッター60は、例えばセラミクスなどの低熱伝達部材で構成されている。シャッター60は円板状をしており、中心点に対して対称となる窓62が2つ設けられている。モータ64が駆動して歯車66が回転することで、シャッター60は回転する。シャッター60を回転させるモータ64の駆動は制御部80によって制御される。即ち、制御部80は、シャッター60の回転を制御するシャッター制御手段82として機能する。2つの窓62のうちの一方が、噴霧室10と冷凍室30との間に位置した状態図1および図2の状態になると、シャッター60はOPENとなり、噴霧室10と冷凍室30とは連通する。この状態からシャッター60が90°回転すると、噴霧室10と冷凍室30との間にシャッター60が挿入されて、シャッター60はCLOSEとなり、噴霧室10と冷凍室30とは非連通となる。さらにシャッター60が90°回転すると、2つの窓62のうちの他方が噴霧室10と冷凍室30との間に挿入されて、シャッター60はOPENとなり、噴霧室10と冷凍室30とは連通する。噴霧室10上部の中央部分には、噴射弁12が装着されている。噴射弁12は、制御部80からの指示に従い、例えば燃料を噴霧にして噴射する。噴射弁12から噴射される噴霧粒子の大きさは、例えば直径1μm~10μmである。噴射弁12から噴射された噴霧は、噴霧室10で分裂されて拡散される。噴霧室10の側壁は、例えばガラスで構成されており透明である。噴霧室10の一方の側壁の外側には、光源72が設けられている。光源72に相対するように、噴霧室10の他方の側壁の外側には、例えば1万~50万フレームスピードの高速度カメラ74が設けられている。高速度カメラ74は、噴射弁12から噴射された噴霧の噴霧中の噴霧画像を撮影する。レンズ76は、高速度カメラ74の撮影対象である噴霧との焦点合わせに使用される。噴霧室10の上部には、噴射弁12の両側に第1カメラ14aと第2カメラ14bとが更に装着されている。第1カメラ14aと第2カメラ14bとは、それぞれ焦点距離が異なる。例えば、第1カメラ14aの焦点距離は、第2カメラ14bの焦点距離よりも長い。第1カメラ14aおよび第2カメラ14bによる撮影については後述する。冷凍室30には、冷却ガス導入管32が接続されていて、冷却ガス導入管32から冷却ガスとして例えば液体窒素が冷凍室30に導入される。これにより、冷凍室30は、例えば-100°C以下の極低温に維持される。冷却ガス導入管32は、円筒形状の冷凍室30の側壁31に対して斜め方向から接続している。冷却ガス導入管32には圧力計34および流量調整弁36が設けられている。流量調整弁36の開閉は、制御部80によって制御される。冷凍室30の側壁31には温度センタ38が装着されており、制御部80は、温度センサ38により測定された冷凍室30内の温度に応じ流量調整弁36を制御して、冷凍室30に流入する液体窒素の量を調整する。即ち、制御部80は、冷凍室30に流入させる冷却ガスの流量を制御する冷却ガス制御手段84として機能する。例えば、制御部80は、冷凍室30内の温度が所定の温度に維持されるように、冷凍室30に流入する冷却ガスの量を調整する。冷凍室30内には、透明の受け皿40が設けられている。噴射弁12から噴射された噴霧粒子は、冷凍室30に到達すると凍結されて凍結噴霧粒子42となる。受け皿40は、この凍結噴霧粒子42を保持する。冷凍室30の下部には光源44が装着されていて、制御部80による電源68の制御によって、光源44が発光する。第1カメラ14aおよび第2カメラ14bは、制御部80からの指示に従い、光源44が発光して照らされた凍結噴霧粒子42を撮影する。制御部80は、第1カメラ14aおよび第2カメラ14bで撮影した凍結噴霧粒子42の画像から凍結噴霧粒子42を解析する。例えば凍結噴霧粒子42の平均粒子径、粒径分布、質量分布を求める。即ち、制御部80は、凍結噴霧粒子42を解析する解析手段86として機能する。受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42には、粒径の大きいもの小さいものがある。粒径の小さい凍結噴霧粒子42は、焦点距離の長い第1カメラ14a焦点1によってより鮮明に撮影され、粒径の大きい凍結噴霧粒子42は、焦点距離の短い第2カメラ14b焦点2によってより鮮明に撮影される。受け皿40を反転させる反転器70が設けられ、反転器70は制御部80によって制御される。制御部80は、受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を第1カメラ14aおよび第2カメラ14bで撮影した後、反転器70により受け皿40を反転させることで、受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を、冷凍室30の底部に落とす。即ち、制御部80は、凍結噴霧粒子42の撮影終了後に、受け皿40を反転させる反転制御手段88を有する。冷凍室30の底部には、凹部46が設けられている。凹部46の底面には、排出管48が接続しており、受け皿40から落とされた凍結噴霧粒子42は、排出管48に導かれる。排出管48には、制御部80によって制御される電磁弁である弁50が設けられており、弁50がOPENになると、凍結噴霧粒子42は、排出管48に接続された回収容器52に回収される。ここで、受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42の解析方法を詳しく説明する。図3は、凍結噴霧粒子42の解析方法を示すフローチャートの例である。図3を参照して、噴射弁12の噴射直前または直後に、制御部80は、モータ64を駆動させシャッター60を90°回転させて、シャッター60をOPENとするステップS10。これにより、噴霧室10と冷凍室30とは連通し、噴射弁12から噴射された噴霧粒子は、冷凍室30にまで到達し、冷凍室30で凍結されて凍結噴霧粒子42となる。凍結噴霧粒子42は、冷凍室30内に設けられた受け皿40で保持される。次いで、制御部80は、噴射弁12の噴射が終了してから第1所定時間経過後に、モータ64を駆動させシャッター60を更に90°回転させて、シャッター60をCLOSEとするステップS12。第1所定時間は、噴射弁12から噴射された噴霧の分裂時間を考慮して決定することができる。次いで、制御部80は、シャッター60がCLOSEしてから第2所定時間経過後に、モータ64を駆動させシャッター60を90°回転させて、シャッター60をOPENにするステップS14。第2所定時間は、噴霧粒子の凍結時間および受け皿40に凍結噴霧粒子42が安定して堆積する時間を考慮して決定することができる。次いで、制御部80は、シャッター60をOPENさせた状態で、光源44を発光させ、第1カメラ14aおよび第2カメラ14bを用いて、受け皿40に保持された凍結噴霧粒子42を撮影するステップS16。撮影終了後、制御部80は、モータ64を駆動させシャッター60を90°回転させて、シャッター60をCLOSEにするステップS18。次いで、制御部80は、第1カメラ14aおよび第2カメラ14bにより撮影した凍結噴霧粒子42の撮影画像から凍結噴霧粒子42を解析するステップS20。例えば、凍結噴霧粒子42の平均粒径、粒径分布、質量分布などを求める。以上説明したように、実施例1によれば、噴射弁12から噴射された噴霧粒子を凍結させる冷凍室30噴霧凍結手段と、凍結噴霧粒子42を保持する受け皿40凍結噴霧保持手段と、受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を第1カメラ14aおよび第2カメラ14bにより撮影することによって、凍結噴霧粒子42を解析する解析手段86と、を備える。解析手段86は、撮影画像から凍結噴霧粒子42を解析して、例えば凍結噴霧粒子42の平均粒径、粒径分布、および質量分布などを求める。このように、噴射弁12から噴射された噴霧粒子を凍結させて固体化した凍結噴霧粒子42とすることで、長時間噴霧の形状を維持することができる。したがって、凍結噴霧粒子42を撮影して、撮影画像から凍結噴霧粒子42を解析することで、噴霧の解析を精度良く行うことができる。実施例1では、焦点距離の異なる第1カメラ14aおよび第2カメラ14bにより凍結噴霧粒子42を撮影することによって、凍結噴霧粒子42を解析する場合を例に示した。受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42の粒径は様々であり、超微細粒から粗大粒まである。したがって、このような凍結噴霧粒子42を異なる焦点距離の第1カメラ14aおよび第2カメラ14bで撮影することで、超微細粒から粗大粒まで余すことなく撮影することができる。つまり、粒径の異なる凍結噴霧粒子42を解析することが可能となる。このように、受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を2以上の焦点距離で撮影する場合が好ましい。なお、実施例1のように焦点距離の異なるカメラを複数台装着する代わりに、焦点距離を複数切り換えることが可能なカメラを1台装着する場合でもよい。また、焦点距離の切り換えのできないカメラを1台装着して、このカメラによって受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を撮影する場合でもよい。また、図1のように、光源44を冷凍室30の底部に装着し、受け皿40の下側から凍結噴霧粒子42を照らして凍結噴霧粒子42を撮影する場合に限らず、噴霧室10の上部に光源44を装着して、受け皿40の上側から凍結噴霧粒子42を照らして撮影する場合でもよい。この場合、受け皿40は透明でない場合でもよい。図1のように、噴射弁12から噴射された噴霧の分裂および拡散を行う噴霧室10と、噴霧室10と連通し、噴霧室10で分裂および拡散した後の噴霧粒子を凍結させる低温に維持され、受け皿40が設けられた冷凍室30と、噴霧室10と冷凍室30との連通および非連通を切り換えるシャッター60と、を備える。これにより、噴霧粒子を凍結させる冷凍室30の低温維持と、噴霧の分裂および拡散を行う噴霧室10の低温化抑制と、を両立できる。冷凍室30の低温維持と噴霧室10の低温化抑制との観点からは、図3に示したようなシャッター60の制御が好ましい。即ち、噴射弁12からの噴霧の噴射開始直前または直後にシャッター60を開き、噴射が終了してから第1所定時間経過後にシャッター60を閉じた後、第2所定時間経過後に再度シャッター60を開き、撮影終了後にシャッター60を閉じることが好ましい。第1所定時間および第2所定時間は、ユーザにより任意に変更できる場合が好ましい。冷凍室30内の温度を測定する温度センサ38を備え、温度センサ38で測定される温度が所定の温度となるように冷凍室30に導入する冷却ガスの量を制御することが好ましい。これにより、冷凍室30内の温度を所定の温度に維持できるため、噴射弁12から噴射された噴霧粒子をより確実に凍結させることができる。図2のように、冷凍室30は円筒形状をし、円筒形状をした冷凍室30の側壁31に対して斜め方向から、冷凍室30に導入する冷却ガスを流す冷却ガス導入管32が接続されている場合が好ましい。これにより、冷却ガスを冷凍室30内で旋回させることができるため、冷凍室30内の温度を一様にでき、噴射弁12から噴射された噴霧粒子をむらなく凍結させることができる。なお、冷却ガス導入管32は、冷凍室30の側壁31に対して接線方向から接続されていることがより好ましい。冷却ガスを冷凍室30内で効率よく旋回させることができるためである。冷凍室30およびシャッター60は、噴霧室10を構成する部材よりも熱伝達率の低い部材で構成されていることが好ましい。これにより、外気温や噴霧室10内の温度によって冷凍室30内の温度が上昇することを抑制できる。凍結噴霧粒子42の解析終了後は、反転器70によって受け皿40を反転させ、凍結噴霧粒子42を受け皿40から落とすことによって、受け皿40から凍結噴霧粒子42を回収することが好ましい。これにより、凍結噴霧粒子42を速やかに回収できるため、凍結噴霧粒子42が気化する前に回収でき、冷凍室30内に残存する燃料を低減できる。なお、受け皿40から凍結噴霧粒子42を回収する方法は、受け皿40を反転させて凍結噴霧粒子42を受け皿40から落とす場合に限られない。受け皿40を傾斜させることで、受け皿40から凍結噴霧粒子42を落として、凍結噴霧粒子42を回収する場合でもよい。また、その他の方法により、凍結噴霧粒子42の解析終了後に、受け皿40から凍結噴霧粒子42を回収する場合でもよい。凍結噴霧粒子42の回収に際しては、排出管48を介して凍結噴霧粒子42を回収容器52に回収する場合が好ましい。これにより、燃料の再利用が可能となる。さらに、排出管48に弁50を設けることで、冷凍室30の温度上昇を抑制できると共に、弁50を電磁弁とすることで、弁50の開閉に当たって作業者が凍傷することを防止できる。図4は、受け皿40の側面図の例であり、図4のように、受け皿40の表面には0.1μm以下の間隔の微細突起54が設けられ、凍結噴霧粒子42は微細突起54上で保持されている場合が好ましい。これにより、凍結噴霧粒子42と受け皿40との接触面積が小さくなると共に空気の断熱層によって、熱容量の小さい例えば1μm程度の凍結噴霧粒子42であっても、受け皿40に氷着することを抑制できる。微細突起54は、機械加工や薬品等を用いた化学加工によって形成してもよいし、動植物の毛を用いてもよい。図1のように、噴霧室10の一方の側壁の外側に光源72を配置し、一方の側壁と相対する他方の側壁の外側に高速度カメラ74を配置して、噴射弁12から噴射された噴霧の噴霧中の噴霧画像を高速度カメラ74によって撮影することが好ましい。これにより、噴霧中の噴霧画像も撮影することができるため、噴霧形状をより明瞭にできる。図5は、実施例1の変形例に係る噴霧検査装置の全体構成を示す側面図の例である。図5を参照して、噴霧検査装置200は、冷凍室30の底部に、冷凍室30内の空気を攪拌させる攪拌用ファン56が設けられている。攪拌用ファン56は、制御部80により制御された駆動装置71により駆動される。その他の構成については、実施例1と同じであり、図1および図2に示しているため、ここでは説明を省略する。実施例1の変形例によれば、冷凍室30内に攪拌用ファン56が設けられている。これにより、シャッター60がCLOSEの状態で攪拌用ファン56を駆動させることで、冷凍室30内の温度を一様にすることができる。よって、噴射弁12から噴射された噴霧粒子をむらなく凍結させることができる。なお、冷凍室30内の空気を攪拌させることができれば、攪拌用ファン56に限らず、その他の物でもよい。図6は、実施例2に係る噴霧検査装置の全体構成を示す側面図の例である。図6を参照して、噴霧検査装置300は、噴霧室10の上部に、第1カメラ14aおよび第2カメラ14bの代わりに、表面粗さ測定器16が装着されている。また、冷凍室30の底部には光源44は装着されていない。その他の構成については、実施例1と同じであり、図1および図2に示しているため、ここでは説明を省略する。表面粗さ測定器16は、例えば光波干渉式表面粗さ測定器であり、制御部80の指示に従い、凍結噴霧粒子42が保持された受け皿40の表面全体をスキャンして、受け皿40の表面全体の粗さを測定する。そして、制御部80は、表面粗さ測定器16で測定された受け皿40の表面粗さから凍結噴霧粒子42を解析する。例えば凍結噴霧粒子42の粒径、粒数などを算出する。実施例2のように、凍結噴霧粒子42が保持された受け皿40の表面全体の粗さを測定することによって、受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を解析する場合でもよい。この場合、受け皿40の表面が、表面粗さ測定器16による測定基準となり、高精度且つ短時間で凍結噴霧粒子42の解析ができる。図7は、実施例3に係る噴霧検査装置の全体構成を示す側面図の例である。図8は、実施例3に係る噴霧検査装置の本体部の平面図の例である。図7および図8を参照して、噴霧検査装置400は、噴霧室10、冷凍室30、制御部80、およびシャッター60を備える。噴霧室10の上部には温風を送るための温風流入管20が接続されていて、温風流入管20には弁22が設けられている。実施例1のような第1カメラ14aおよび第2カメラ14bは装着されていない。冷凍室30内には、例えば8枚の受け皿40が、間隔をおいて重なるように順々に設けられている。最下段に位置する受け皿40は平底状になっている。最下段以外の受け皿40はメッシュ状になっており、上段に向かうに従いメッシュの目の粗さが大きくなっている。各受け皿40のメッシュの目の粗さは予め調べられている。噴射弁12から噴射された噴霧粒子は、冷凍室30で凍結されて、様々な粒径が入り混じった凍結噴霧粒子42となる。受け皿40は、凍結噴霧粒子42を保持する機能を有するが、上段ほどメッシュの目が粗いことから、粒径の大きな凍結噴霧粒子42はより上段側の受け皿40で保持され、粒径の小さな凍結噴霧粒子42はより下段側の受け皿40で保持される。最下段の受け皿40はメッシュのない平底状であるため、メッシュ状の受け皿40を全て通過するような超微細な凍結噴霧粒子42は、最下段の受け皿40で保持される。即ち、受け皿40各々には、粒径の大きさ毎に凍結噴霧粒子42が保持される。図9は、受け皿40の平面図の例である。図9では、メッシュ状の受け皿40を例に図示している。図9を参照して、受け皿40は円板状をしていて、外周部分に、120°毎に凹部90が設けられている。受け皿40の外周部分には更に、15°毎で凹部90を除いた部分に貫通孔92が設けられている。図7から図9を参照して、各受け皿40は、120°毎に設けられた3つの凹部90にて支柱94で安定して支えられている。15°毎に設けられた貫通孔92には、他の受け皿40を支える支柱94が貫通していて、支柱94と貫通孔92とは干渉しないようになっている。冷凍室30の底部には荷重センサ96が設けられている。各受け皿40を支える3つの支柱94は、1つに連結した後、荷重センサ96に接着されている。各荷重センサ96には質量計98が接続しており、これにより、各受け皿40の質量を測定することができる。制御部80は、質量計98により各受け皿40の質量を測定し、各受け皿40で保持された粒径毎の凍結噴霧粒子42の質量を求めることによって、凍結噴霧粒子42を解析する。例えば各粒径の質量から粒数を算出し、粒径分布および質量分布を求める。受け皿40に設けられた貫通孔92の上方に位置して、冷凍室30の側壁から内側に湾曲した噴霧ガイド95が設けられている。噴霧ガイド95により、噴射弁12から噴射された噴霧が貫通孔92から抜けることを抑制できる。噴霧ガイド95は脱着できることが好ましい。冷凍室30の底部には、弁50が設けられた排出管48の一端が接続しており、排出管48の他端には回収容器52が接続されている。ここで、各受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42の解析方法について説明する。図10は、凍結噴霧粒子42の解析方法を示すフローチャートの例である。図10を参照して、噴射弁12の噴射直前または直後に、制御部80は、モータ64を駆動させシャッター60を90°回転させて、シャッター60をOPENとするステップS30。これにより、噴霧室10と冷凍室30とは連通し、噴射弁12から噴射された噴霧粒子は、冷凍室30で凍結されて凍結噴霧粒子42となる。凍結噴霧粒子42は、粒径の大きさ毎に各受け皿40で保持される。次いで、制御部80は、噴射が終了してから第1所定時間経過後に、モータ64を駆動させシャッター60を更に90°回転させて、シャッター60をCLOSEとするステップS32。第1所定時間は、実施例1と同様に、噴射弁12から噴射された噴霧の分裂時間を考慮して決定することができる。次いで、制御部80は、シャッター60がCLOSEしてから一定時間経過後に各受け皿40の質量を測定するステップS34。そして、制御部80は、凍結噴霧粒子42を保持した後における各受け皿40の質量の増加分から粒径毎の凍結噴霧粒子42の質量を求めて、凍結噴霧粒子42を解析するステップS36。例えば各粒径の質量から粒数を算出し、粒径分布や質量分布を求める。凍結噴霧粒子42の解析終了後、次の方法により凍結噴霧粒子42を回収する。まず、凍結噴霧粒子42の解析終了後、シャッター60を90°回転させて、シャッター60をOPENとし、噴霧室10と冷凍室30とを連通させる。そして、噴霧室10の上部に接続された温風流入管20の弁22をOPENとして、噴霧室10から冷凍室30に向かって温風を送り、各受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を解凍させる。解凍した凍結噴霧粒子42を、弁50をOPENとした排出管48を介して回収容器52で回収する。そして、凍結噴霧粒子42の回収が終了した後、シャッター60を90°回転させて、シャッター60をCLOSEとする。実施例3のように、異なる粗さのメッシュを有する複数の受け皿40を備え、複数の受け皿40それぞれに保持された凍結噴霧粒子42の質量を測定することによって、凍結噴霧粒子42を解析する場合でもよい。各受け皿40には、粒径毎に分類された凍結噴霧粒子42が保持されるため、粒径毎の凍結噴霧粒子42の質量が求められる。この粒径毎の凍結噴霧粒子42の質量から粒数を算出でき、粒径分布および質量分布が求められる。凍結噴霧粒子42の解析終了後は、受け皿40で保持された凍結噴霧粒子42を解凍させることによって、凍結噴霧粒子42を回収する場合が好ましい。これにより、凍結噴霧粒子42を保持する受け皿40が複数ある場合でも、凍結噴霧粒子42速やかに且つ容易に回収することができる。実施例3では、受け皿40の枚数が8枚の場合を例に説明したが、これに限られず、異なる粗さのメッシュを有する複数の受け皿40が設けられていればよい。また、最下段の受け皿40は平底状である場合が好ましいが、目の粗さが非常に細かいメッシュ状である場合でもよい。実施例1から3では、噴射弁12から噴射される噴霧には多くの噴霧粒子が含まれるとして説明してきたが、例えば、噴射弁12から1粒や2粒など数粒の噴霧粒子が噴射されるような場合であってもよい。以上、発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形変更が可能である。