部品を吸着するノズルが複数配置されたノズル群の内部に配置され、入射する光を拡散しながら透過させる拡散部材と、前記ノズル群の側方でかつ前記拡散部材から第1の方向に離間して配置され、前記ノズル群を構成する複数のノズルのうち前記拡散部材に対して前記第1の方向に位置する一のノズルに吸着される部品を前記拡散部材を背景に撮像して前記部品の像を得る撮像部と、前記撮像部から前記第1の方向と反対の第2の方向に延びる仮想線が前記拡散部材と交差する位置で前記仮想線に直交する仮想水平線を通る仮想鉛直面を挟んで、前記撮像部とは反対の領域に配置され、前記ノズル群に対して光を照射する照明部と、前記撮像部により撮像される前記部品の像に基づいて前記一のノズルによる前記部品の吸着状態を検査する検査部とを備えることを特徴とする吸着状態検査装置。回転軸を中心として同心円状に配置された状態で前記回転軸回りに回転自在となっている前記複数のノズルの各々で吸着される部品の吸着状態を検査する請求項1に記載の吸着状態検査装置であって、前記拡散部材は前記複数のノズルに取り囲まれる空間内に配置される吸着状態検査装置。前記撮像部側から見たときの前記拡散部材の幅は、前記撮像部側から見たときの前記一のノズルに吸着される部品の幅よりも広い請求項2に記載の吸着状態検査装置。前記照明部側および前記撮像部側の2列で配列された前記複数のノズルのうち前記撮像部側のノズルで吸着される部品の吸着状態を検査する請求項1に記載の吸着状態検査装置であって、前記拡散部材は、前記照明部側のノズル列と、前記撮像部側のノズル列との間に配置される吸着状態検査装置。部品を供給する部品供給部と、前記部品供給部から供給される部品を吸着するノズルを複数有するヘッドユニットと、前記ヘッドユニットを前記部品供給部と基板との間で移動させる移動機構と、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の吸着状態検査装置とを備え、前記ノズルにより前記部品供給部から部品を吸着して搬出するとともに、前記ノズルに吸着された部品の吸着状態を前記吸着状態検査装置で検査してから、該部品を基板上に実装することを特徴とする表面実装機。部品を供給する部品供給部と、前記部品供給部から供給される部品を試験する部品試験部と、前記部品供給部から供給される部品を吸着するノズルを複数有するヘッドユニットと、前記ヘッドユニットを前記部品供給部と前記部品試験部との間で移動させる移動機構と、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の吸着状態検査装置とを備え、前記ノズルにより前記部品供給部から部品を吸着して搬出するとともに、前記ノズルに吸着された部品の吸着状態を前記吸着状態検査装置で検査してから、該部品を前記部品試験部に移載して部品試験を行うことを特徴とする部品試験装置。ところで、上記吸着状態検査装置では、反射体で反射した光がCCDカメラに対向する部品に対して反射体側から照射されて部品のシルエット像を撮像可能となっており、当該シルエット像に基づきノズルによる当該部品の吸着状態を認識することができる。しかしながら、LEDがCCDカメラ側に配置されているため、次のような問題が生じている。すなわち、LEDからの照明光の一部が検査対象となっている部品被検査部品で反射されてCCDカメラに入射してしまうため、CCDカメラで撮像される画像では部品と背景とのコントラスト差が低くなり、認識精度の低下を招くという問題がある。また、このような問題を解決するために、CCDカメラとLEDとの間に光学フィルタを配置することも考えられるが、装置コストおよび装置サイズの増大を招くとともに、光学フィルタの介在による光量低下を補うためにより多くのLEDを配置する必要が生じてしまう。さらに、LED等の照明部をCCDカメラ側に配置する構成を採用する場合、CCDカメラに入射する光の光路を避けて照明部を配置する必要があり、光量の低下、あるいはそれを補うために照明部の大型化が発生してしまう。この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、部品を吸着するノズルが複数設けられた場合であっても、検査対象となるノズルに吸着される部品被検査部品と背景とを高いコントラスト比で撮像して当該ノズルによる部品の吸着状態を良好に検査することができる技術を提供することを目的とする。この発明にかかる吸着状態検査装置は、上記目的を達成するため、部品を吸着するノズルが複数配置されたノズル群の内部に配置され、入射する光を拡散しながら透過させる拡散部材と、ノズル群の側方でかつ拡散部材から第1の方向に離間して配置され、ノズル群を構成する複数のノズルのうち拡散部材に対して第1の方向に位置する一のノズルに吸着される部品を拡散部材を背景に撮像して部品の像を得る撮像部と、撮像部から第1の方向と反対の第2の方向に延びる仮想線が拡散部材と交差する位置で仮想線に直交する仮想水平線を通る仮想鉛直面を挟んで、撮像部とは反対の領域に配置され、ノズル群に対して光を照射する照明部と、撮像部により撮像される部品の像に基づいて一のノズルによる部品の吸着状態を検査する検査部とを備えることを特徴としている。また、この発明にかかる表面実装機は、上記目的を達成するため、部品を供給する部品供給部と、部品供給部から供給される部品を吸着するノズルを複数有するヘッドユニットと、ヘッドユニットを部品供給部と基板との間で移動させる移動機構と、上記のように構成される吸着状態検査装置とを備え、ノズルにより部品供給部から部品を吸着して搬出するとともに、ノズルに吸着された部品の吸着状態を検査してから、該部品を基板上に実装することを特徴としている。さらに、この発明にかかる部品試験装置は、上記目的を達成するため、部品を供給する部品供給部と、部品供給部から供給される部品を吸着するノズルを複数有するヘッドユニットと、ヘッドユニットを部品供給部と部品試験部との間で移動させる移動機構と、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の吸着状態検査装置とを備え、ノズルにより部品供給部から部品を吸着して搬出するとともに、ノズルに吸着された部品の吸着状態を検査してから、該部品を部品試験部に移載して部品試験を行うことを特徴としている。このように構成された発明では、部品を吸着する複数のノズルで構成されるノズル群に対し、上記仮想鉛直面に対して一方側の領域に照明部が配置される一方、他方側の領域に撮像部が配置されている。このため、ノズルおよびノズルにより吸着された部品の像、つまりシルエット像を撮像することが可能となっている。ただし、単に、照明部および撮像部を設けたのみでは、撮像部に対向するノズルに吸着された部品被検査部品のみを撮像対象としたとしても、背景に別のノズルや当該ノズルで吸着された部品のシルエット像も撮像されてしまう。そこで、本発明では、当該シルエット像が撮像されるのを防止すべく、上記ノズル群の内部に拡散部材が配置されている。つまり、照明部から射出された光は上記した別のノズルや当該ノズルで吸着された部品で部分的に遮光されて光強度が不均一となるが、そのような光は拡散部材を透過する間に拡散されて光強度が均一化される。そして、このように均一化された光が拡散部材から撮像対象となっているノズルつまり、ノズル群を構成する複数のノズルのうち拡散部材に対して第1の方向に位置する一のノズルおよび当該ノズルにより吸着された部品に照射されてノズルおよび部品が撮像される。したがって、撮像部で撮像される像に、上記別のノズルや当該ノズルにより吸着された部品のシルエット像が映り込むのを防止することができ、撮像対象となる部品と背景とのコントラスト比が高い、像が撮像部で撮像される。その結果、その像に基づき当該部品の吸着状態を検査することで高い精度で部品吸着状態を検査することができる。ここで、複数のノズルが回転軸を中心として同心円状に配置されている場合、拡散部材を複数のノズルに取り囲まれる空間内に配置するのが望ましい。また、この場合、撮像部側から見たときの拡散部材の幅が撮像部側から見たときの上記部品現時点で吸着状態の検査対象となっている被検査部品の幅よりも広くなるように構成するのがより好適である。このような構成を採用することで、上記別のノズルにより吸着された部品現時点で吸着状態の検査対象となっていない部品の幅が拡散部材の幅よりも大きく、撮像部で撮像される像に当該部品のシルエット像が映り込んだとしても、現時点で吸着状態の検査対象となっている部品の吸着状態を確実に検査することができる。この点に関しては、後で実施形態に基づき詳述する。また、複数のノズルが照明部側および撮像部側の2列で配列されている場合、拡散部材を照明部側のノズル列と、撮像部側のノズル列との間に配置するのが望ましい。以上のように、本発明によれば、ノズル群の内部に拡散部材を配置した上で、上記仮想鉛直面に対して一方側の領域に照明部を配置してノズル群に光を照射するとともに、上記仮想鉛直面に対して他方側の領域に撮像部を配置して上記一のノズルに吸着される部品の像が拡散部材を背景として撮像部で撮像されるように構成しているため、撮像部で撮像される像に余分な像が映り込むのを防止することができる。その結果、部品を吸着するノズルが複数設けられた場合であっても、検査対象となるノズルに吸着される部品と背景とを高いコントラスト比で撮像して当該ノズルによる部品の吸着状態を良好に検査することができる。図1は本発明にかかる吸着状態検査装置の第1実施形態を装備する表面実装機の概略構成を示す平面図である。なお、図1および後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、XYZ直角座標軸が示されている。この表面実装機1では、基台11上に基板搬送機構2が配置されており、基板3を所定の搬送方向Xに搬送可能となっている。より詳しくは、基板搬送機構2は、基台11上において基板3を図1の右側から左側へ搬送する一対のコンベア21、21を有している。そして、コンベア21、21は基板3を搬入し、所定の実装作業位置同図に示す基板3の位置で停止させ、図略の保持装置で基板3を固定し保持する。そして、ヘッドユニット6がヘッド移動機構によって基台11の所定範囲にわたりX軸方向及びY軸方向X軸及びZ軸方向と直交する方向に移動させられながら、部品供給部4から供給される電子部品がヘッドユニット6に搭載された実装用ヘッド8により基板3に移載される。そして、基板3に実装すべき部品の全部について実装処理が完了すると、基板搬送機構2は基板3を搬出する。なお、基台11上には、部品認識用カメラ7が配設されている。この部品認識用カメラ7は、照明部およびCCDカメラなどから構成されており、ヘッドユニット6の各実装用ヘッド8に保持された電子部品をその下側から撮像するようになっている。なお、電子部品を撮像する手段としては、上記部品認識用カメラ7以外に、後述するように各実装用ヘッド8に対して吸着状態検査用カメラが取り付けられており、電子部品を側方から撮像可能となっている。このように構成された基板搬送機構2の前方側Y軸方向側および後方側-Y軸方向側には、上記した部品供給部4が配置されている。これらの部品供給部4は多数のテープフィーダ41を備えている。また、各テープフィーダ41には、電子部品を収納保持したテープを巻回したリール図示省略が配置されており、電子部品をヘッドユニット6に供給可能となっている。すなわち、各テープには、集積回路IC、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ電子部品が所定間隔おきに収納、保持されている。そして、テープフィーダ41がリールからテープをヘッドユニット6側に送り出すことによって該テープ内の電子部品が間欠的に繰り出され、その結果、ヘッドユニット6の実装用ヘッド8による電子部品の吸着が可能となる。このヘッドユニット6は、実装用ヘッド8により部品供給部4で吸着した電子部品を保持したまま基板3に搬送するとともに、ユーザより指示された搭載位置に移載するものである。続いて、このヘッドユニット6およびヘッドユニット6が備える実装用ヘッド8の概略構成について、図2および図3を用いて説明する。ここで、図2はヘッドユニットの構成を示す図であり、図3は図2の部分断面図である。ヘッドユニット6は、4本の実装用ヘッド8をX方向水平方向に一列に並べるとともに、これらを後方-Y軸方向から支持フレーム61で支持した概略構成を備える。具体的には、これら実装用ヘッド8は、支持フレーム61から前方Y方向に延びる複数本のアームそのうちの1本が図3中のアーム61aであるによって支持されている。なお、4本の実装用ヘッド8は、互いに略共通の構成を有するため、以下の実装用ヘッド8の説明は、基本的に1つの実装用ヘッド8で代表して行い、その他の実装用ヘッド8については相当符号を付して説明を適宜省略する。実装用ヘッド8は、上下軸Z軸方向に延びる長尺のシャフト81を備える。このシャフト81の上下軸方向Z方向の下部には、ノズルホルダ51が配置されている。このノズルホルダ51は、図3に示すように、上下軸方向Z方向に延設された円柱形状を有しており、その軸芯に沿って上方から穿設された凹部図示省略にシャフト81の下端部が挿入されるとともに、ノズルホルダ51の下方面側からネジやボルトなどの締結部材によってノズルホルダ51に固定されている。このようにシャフト81の下端部にノズルホルダ51が固定された状態で、これらをアーム61aで支持するため、本実施形態では筒状部材52が用いられている。この筒状部材52は、アーム61aに設けられた4つの貫通孔の内径と同程度の外径を有するとともに、上下軸方向Z方向に貫通する貫通孔を有している。そして、アーム61aの貫通孔に筒状部材52が嵌入されてアーム61aに支持される。さらに、この筒状部材52の貫通孔にノズルホルダ51が嵌入されて筒状部材52で支持される。こうして、シャフト81の下端部にノズルホルダ51がアーム61aにより支持される。ノズルホルダ51には上記した凹部を中心に上下軸Z軸の回りに一定間隔を空けて円周状に保持孔が8個、上下軸方向Z方向に貫通して設けられている。そして、各保持孔に吸着ノズル83が1本ずつ挿入されている。より具体的には、保持孔の内周面に沿ってノズル83の側面を摺接させながら上下軸方向にノズル83はノズルホルダ51により移動自在に保持されている。また、各保持孔には1本ずつバネなどの付勢部材82が設けられており、各付勢部材82によりノズル83は上昇方向Z方向に付勢されており、次に説明する押下機構からの押下力が作用しない間、図3中の右側ノズルのように、ノズル83は上昇端位置に位置決めされる。この押下機構は、これら8本の吸着ノズル83の上下軸方向Z方向の上方に設けられて、これらのうちの一つの吸着ノズル83を選択的に押し下げて部品吸着に供させるための機構である。具体的には、この押下機構は、ガイド部材84と、ガイド部材84に対して移動自在な移動部材85と、移動部材85と一体的に移動するノズル押圧部材86と、移動部材85にノズル押圧部材86を結合するリンク部材87とで実現されている。つまり、シャフト81の上下軸方向Z方向の上部には、その中心軸が上下軸方向Z方向に平行な円筒形状を有するガイド部材84が配置されている。このガイド部材84は、その中心軸がシャフト81の中心軸と一致するように取り付けられており、さらにその周面には溝Cが形成されている。ガイド部材84の上下軸方向Z方向の下方図3には、ガイド部材84に対して上下軸方向Z方向に移動自在な移動部材85が設けられている。この移動部材85は、その中心軸が上下軸方向Z方向に平行な円筒形状であるとともに、上下軸方向Z方向に貫通する円柱状の孔が中空部として形成されている。移動部材85の中空部の直径はガイド部材84の直径よりやや大きく、移動部材85は、その中空部にガイド部材84が嵌った状態で、ガイド部材84に対して上下軸方向Z方向に移動自在となっている。また、移動部材85の中空部の内壁から内向きに突出するピン形状の2つの移動子851が、移動部材85の中心軸を中心として互いに180°だけずれた位置に設けられている。具体的には、各移動子851に対応して、移動部材85の外壁から内壁までを貫通する小径孔が形成されており、各移動子851は対応する小径孔に移動自在に嵌っている。さらに、各移動子851の両端のうち移動部材85外壁側の端は、当該移動子851を付勢する板バネに当接している。つまり、板バネの下端部は移動部材85の外壁に固定される一方、板バネの上端は自由端となっており、この自由端に移動子851が当接している。そして、この板バネによって、移動子851が内向きガイド部材84側に付勢されている。このように構成された移動部材85の移動子851はガイド部材84の溝Cに嵌りながら、板バネの付勢力によって溝Cに押圧されている。そして、この状態で、移動部材85がガイド部材84に対して上下軸方向Z方向に移動する。この際、移動子851が溝Cに沿って移動するように、移動部材85の移動はガイド部材84によって案内される。これにより、移動部材85は、上下軸方向Z方向に直線的に下降する動作の他、上下軸方向Z方向へ往復移動した際にはガイド部材84の案内により上下軸Z軸回りに回転動作を行なう。移動部材85の上下軸方向Z方向の下端にはリンク部材87を介してノズル押圧部材86が固定されている。このノズル押圧部材86は、上下軸方向Z方向に延びる棒状の部材で、移動部材85と一体的に移動する。したがって、移動部材85と一体的に上下軸方向Z方向に下降する動作の他、移動部材85と一体的に上下軸Z軸回りに回転する動作も実行可能である。そして、このノズル押圧部材86によって、8本の吸着ノズル83の一つが選択的に上下軸方向Z方向に押し下げられて、部品吸着に供する。つまり、8本の吸着ノズル83のそれぞれは、部品吸着に供しない場合は、付勢部材82の付勢力によって上下軸方向の上方Z方向に引き上げられる一方、部品吸着に供する場合は、ノズル押圧部材86によって付勢力に抗して上下軸方向の下方-Z方向に押し下げられる。この際、ノズル押圧部材86は、上下軸Z軸回りに回転することで、8本の吸着ノズル83の上方で8本の吸着ノズル83それぞれに対応して上下軸Z軸回りに並ぶ8個のノズル上方位置ここでは、各吸着ノズル83の上下軸方向Z方向真上の位置に選択的に移動する。そして、選択された吸着ノズル83に対応するノズル上方位置からノズル押圧部材86が下降して、当該吸着ノズル83を押し下げる。こうして押し下げられた吸着ノズル83がその先端部で部品を吸着する。ちなみに、図3では、8本の吸着ノズル83の1本が押し下げられている。以上が、実装用ヘッド8の構成である。続いて、実装用ヘッド8を駆動する2種類の駆動機構Z軸駆動機構62、R軸駆動機構63について説明する。上述のとおり、実装用ヘッド8では、移動部材85がノズル押圧部材86と一体的に上下軸方向Z方向に移動することで、吸着ノズル83の押下動作が実行される。そこで、Z軸駆動機構62は、この移動部材85を上下軸方向Z方向に駆動する手段として設けられたものである。このZ軸駆動機構62は、支持フレーム61と実装用ヘッド8の間に設けられるとともに、支持フレーム61から前方Y方向に延びる複数本のアームによって支持されている。より具体的には、Z軸駆動機構62では、上下軸方向Z方向に延びるボールネジ軸と、ボールネジ軸の上下軸方向Z方向上方に配置されてボールネジ軸を回転駆動するZ軸モータ622と、ボールネジ軸に螺合する可動部材とが設けられている。そして、Z軸モータ622がボールネジ軸を上下軸Z軸回りに正逆回転させることで、可動部材が上下軸方向Z方向に昇降する。この可動部材は、移動部材85とノズル押圧部材86を結合するリンク部材87を、ボールベアリングを介して支持している。こうして、可動部材が、移動部材85、ノズル押圧部材86およびリンク部材87を上下軸Z軸回りに回転自在に支持するとともに、可動部材が上下軸方向Z方向に昇降するのに伴って、移動部材85、ノズル押圧部材86、ボールベアリングおよびリンク部材87が上下軸方向Z方向に昇降する。このように、Z軸駆動機構62によって、移動部材85およびノズル押圧部材86を一体的に上下軸方向Z方向に移動させることができる。また、上述のとおり、実装用ヘッド8では、移動部材85、リンク部材87、ノズル押圧部材86および複数の吸着ノズル83を伴ってシャフト81が上下軸Z軸回りに回転するように構成されている。そこで、R軸駆動機構63は、シャフト81を上下軸Z軸回りに回転駆動するために設けられたものである。具体的には、R軸駆動機構63は、シャフト81の上端に取り付けられたR軸モータ631を備えており、R軸モータ631の回転駆動力によってシャフト81が上下軸Z軸回りに正逆回転可能となっている。また、ヘッドユニット6では、4本の実装用ヘッド8が水平方向X方向に一列に並ぶとともに、これら実装用ヘッド8それぞれに対して、Z軸駆動機構62およびR軸駆動機構63が配置されている。この際、4個のZ軸駆動機構62も水平方向X方向に一列に並んで、かつ4個のR軸駆動機構63も水平方向X方向に一列に並ぶ。しかも、4個のZ軸駆動機構62の列と4個のR軸駆動機構63の列とは上下軸方向Z方向から見て互いに並列に配置されている。このような構成では、表面実装機1の各構成部材実装用ヘッド8、Z軸駆動機構62、R軸駆動機構63をコンパクトに配置することができ、表面実装機1を小型化できる。特に、4個のZ軸駆動機構62の列と4個のR軸駆動機構63とを並列に配置するレイアウトとしたためZ軸駆動機構62とR軸駆動機構63を一つずつ隣り合わせて一列に並べた直列配置と比べて、水平方向X方向に隣り合う実装用ヘッド8の距離、延いては、各実装用ヘッド8が備えるノズル群8本の吸着ノズル83からなる群の間の距離を狭めることができる。本実施形態では、上記のように構成された実装用ヘッド8の各々に対して吸着状態検査装置100が装備されている。以下、図2ないし図7を参照しつつ説明する。図4は本発明にかかる吸着状態検査装置の第1実施形態を示す部分断面図であり、図5は表面実装機の電気的構成を示すブロック図である。吸着状態検査装置100は、ノズルホルダ51の下面中央部に固定された略円柱形状を有する拡散部材110と、拡散部材110の-Y軸方向で実装用ヘッド8の先端部の側面に取り付けられたLED照明部120と、拡散部材110のY軸方向で実装用ヘッド8の先端部の側面に取り付けられた撮像部130とを有している。より詳しくは、撮像部130は8本の吸着ノズル83からなるノズル群の側方でかつ拡散部材110からY軸方向に離れて配置されている。このため、図2bに示すように、ノズル群を構成する8本のノズルのうち拡散部材110に対してY軸方向に位置する一のノズル83Aに吸着される部品が拡散部材110を背景に撮像部130によって撮像されて当該部品の像を得ることが可能となっている。一方、LED照明部120は次のように定義される仮想鉛直面VPを挟んで、撮像部130とは反対の領域図2中の右側領域に配置され、ノズル群に対して光を照射する。この仮想鉛直面VPとは、撮像部130から-Y軸方向に延びる仮想水平線HL1が拡散部材110と交差する位置で仮想水平線HL1に直交する別の仮想水平線HL2を通る仮想の鉛直面を意味している。したがって、本実施形態では、上記仮想鉛直面VPに対して一方側の領域図2中の右側領域にLED照明部120が配置されてノズル群に光を照射するとともに、上記仮想鉛直面VPに対して他方側の領域図2中の左側領域に撮像部130が配置されて上記一のノズル83Aに吸着される部品の像が拡散部材110を背景として撮像部130で撮像される。このように、本実施形態では、仮想水平線HL1、仮想水平線HL2および仮想鉛直面VPがそれぞれ本発明の仮想線、仮想水平線および仮想鉛直面に相当している。また、Y軸方向および-Y軸方向がそれぞれ本発明の第1の方向および第2の方向に相当している。さらに、上記したノズル83Aが本発明の一のノズルに相当する。第1実施形態では、図2bに示すように、鉛直軸AXを本発明の回転軸とし、上記したように8本の吸着ノズル83が鉛直軸AXを中心とする同心円状に等角度間隔で配置されており、吸着ノズル83に取り囲まれた空間SP内に拡散部材110が配置されている。そして、その空間SP内で拡散部材110の上方端部がノズルホルダ51の下面中央部に取り付けられている。一方、拡散部材110の下方端部は図4に示すように鉛直方向の下方側、つまり-Z軸方向に延設されている。なお、この実施形態では、次の点を考慮して拡散部材110の下方端の高さ位置を次のように設定している。吸着ノズル83で部品を吸着した後で、当該吸着ノズル83は所定の上方位置まで移動するため、当該吸着ノズル83の先端位置は既に部品を吸着した他の吸着ノズル83の先端位置と同一の高さ位置で揃っている。そして、後で詳述するように、部品を吸着したノズル83が上記上方位置に位置した状態で吸着状態の検査を行う。そこで、本実施形態では、拡散部材110の下方端部は、当該高さ位置を超えた所定距離ΔZだけ鉛直方向の下方側、つまり-Z軸方向に延設されている。したがって、撮像部130側から吸着ノズル83を-Y軸方向に見ると、ノズル群のうち拡散部材110に対してY軸方向に位置するノズル83および当該ノズル83で吸着される部品が撮像部130と対向する。一方、拡散部材110に対して-Y軸方向に位置するノズル83および当該ノズル83で吸着される部品は仮想鉛直面VPよりもLED照明部120側に位置する。なお、本実施形態では、このように拡散部材110に対してY軸方向に位置するノズルをノズル83Aと称する一方、拡散部材110に対して-Y軸方向に位置するノズルをノズル83Bと称する。また、特に区別する必要がない場合には、ノズル83と称する。また、図2bから明らかなように、撮像部130から見ると、拡散部材110のX軸方向の幅Wは検査対象となっているノズル83Aにより吸着された部品PAのX軸方向の幅WAよりも広く、少なくとも幅Wの範囲内で拡散部材110がノズル83Bおよび当該ノズル83Bで吸着される部品PB以下、これらを総称してノズル83B等と称するを覆い隠している。このように、拡散部材110がノズル83Aおよび当該ノズル83Aで吸着される部品PA以下、これらを総称してノズル83A等と称するの背景部材として機能している。このように本実施形態では、全ノズル83が上昇端位置に位置する際には、鉛直軸AXと交差してY軸方向に延びる仮想水平線HL1でLED照明部120、吸着ノズル83B、拡散部材110、吸着ノズル83Aおよび撮像部130が並んでいる。そして、LED照明部120が点灯すると、LED照明部120からの光が一方の側方-Y軸方向側からノズル群に向けて照射されて撮像部130により撮像可能となっている。このLED照明部120は、LED保持プレート121と、複数のLED122とで構成されている。より詳しくは、LED保持プレート121の上方端部がアーム61aに固定されるとともに、LED保持プレート121の下方端部が拡散部材110の下方端部と同一高さ位置まで-Z軸方向に延設されている。また、このLED保持プレート121のY軸方向を向いた側面上で、18個のLEDがX軸方向に6、Z軸方向に3の2次元マトリックス状に配列されている。そして、吸着状態検査装置100を含む表面実装機1全体を制御する制御装置9に設けられた照明制御部91からの信号に応じて全LED122が点灯してノズル83およびノズル83で吸着された部品をY軸方向から照明する。なお、本実施形態では、複数のLED122を本発明の照明部の光源として用いているが、これとは異なる光源を用いてもよいことはいうまでもなく、複数の吸着ノズル83を一方の側方から照明することができる照明部を用いることができる。このようにしてLED122から射出される光のうちノズル83B等に照射された光は当該ノズル83B等で遮光される。一方、ノズル83B等の周囲を通過した光は拡散部材110に入射され、拡散部材110で拡散しながら透過してノズル83A等つまり、吸着ノズル83Aおよび当該吸着ノズル83Aで吸着される部品PAに向けて照射される。このように拡散部材110を透過してきた光の一部はノズル83A等で遮光される一方、ノズル83A等の周囲を通過した光は撮像部130に入射される。この撮像部130は、筒状本体部131と、ミラー鏡筒132と、カメラ固定部材133と、カメラ134と、レンズ135とで構成されている。撮像部130では、筒状本体部131の中空筒状部分をZ軸方向に向けた状態で筒状本体部131の中央側面部がアーム61aに固定されている。また、ミラー鏡筒132の長手方向をY軸方向と一致させた状態で筒状本体部131の鉛直方向の下方端部に対してミラー鏡筒132のミラー側端部132aが取り付けられている。このミラー鏡筒132では、ミラー側端部図4中の左手側端部132aに反射ミラー132bが内蔵される一方、反ミラー側端部図4中の右手側端部132cがノズル83A等に向けて開口されている。このため、当該開口を介してノズル83A等の周囲を通過してきた光がミラー鏡筒132の内部に入射し、反射ミラー132bでZ軸方向に折り曲げられる。また、この撮像部130では、カメラ134に対してレンズ135が取り付けられるとともに、当該カメラ134がカメラ固定部材133を介してアーム61aに固定されており、反射ミラー132bからの反射光がレンズ135を介してカメラ134の撮像素子図示省略に入射する。これにより、カメラ134はノズル83A等の像を撮像し、その画像に対応する画像データを制御装置9の画像処理部92に与える。そして、画像処理部92で種々の画像処理を画像データに加えることで次に説明するようにノズル83A等のシルエット像を得ている。なお、図5中の符号93、94、95はそれぞれ制御装置9を構成する主制御部、記憶部およびバスである。そして、記憶部94に予め記憶されているプログラムにしたがって主制御部93は表面実装機1の各部を制御し、吸着ノズル83により部品供給部4から部品を吸着して搬出するとともに、ノズル83に吸着された部品の吸着状態を検査してから、該部品を基板3上に実装する。このように、主制御部93は表面実装機1全体の動作を統括的にコントロールする機能の一環として撮像部130により撮像される部品の像に基づいてノズル83Aによる部品の吸着状態を検査する検査部としても機能する。以下、上記のように構成された表面実装機1での部品吸着状態の検査動作について図6および図7を参照しつつ説明する。図6は図4に示す吸着状態検査装置の各部における光量分布の一例を模式的に示す図である。図7は拡散部材の有無に応じたシルエット像を示す図である。図6の上半分では、吸着状態検査装置100の各構成が模式的に示しされており、下半分では以下の光量分布、つまり、ノズル83B等に照射される光の光量分布LD1、拡散部材110に入射される光の光量分布LD2、ノズル83A等に照射される光の光量分布LD3、撮像部130に入射される光の光量分布LD4、が模式的に示されている。なお、同図中のハッチング部分はノズル83および部品Pにより遮光されて光量が大幅に低下していることを示し、梨字部分は全体的に少し光量が低下していることを示している。この表面実装機1では、記憶部94に記憶されている実装プログラムにしたがって主制御部93が装置各部を制御し、部品供給部4から供給される部品をノズル83で吸着する動作を複数回繰り返す。これにより1つの実装用ヘッド8により複数の部品Pを保持し、これらを一括して搬送することができる。そして、複数の吸着ノズル83が所定の上方位置に位置している状態でノズル83の先端部の画像を側方より撮像し、その画像に基づき部品Pの吸着状態を主制御部93が検査する。具体的には、次のようにして、実装用ヘッド8を構成する8本の吸着ノズル83の全部が所定の上方位置に位置している間に各吸着ノズル83による部品Pの吸着状態を検査したり、それらの吸着ノズル83のうちの1本により部品吸着や部品実装を行っている間に他の吸着ノズル83、つまり所定の上方位置で待機している吸着ノズル83による部品Pの吸着状態を検査する。吸着状態の検査を行う際には、図6に示すように吸着状態の検査対象となっている吸着ノズル83Aが撮像部130のミラー鏡筒132の開口と対向させた状態で照明制御部91からLED照明部120に点灯指令が与えられてLED122がパルス点灯する。また、画像処理部92は当該パルス点灯に同期してカメラ134から出力される画像データを内部メモリ図示省略にキャッシュした後、当該画像データに種々の画像処理を加えてノズル83A等つまり、吸着ノズル83Aとその吸着ノズル83Aに吸着されている部品PAのシルエット像を取得する。この実施形態では、上記したように拡散部材110を配置しているため、当該ノズル83A等のシルエット像を鮮明に撮像することができる。その理由を図6および図7を参照しつつ説明する。本実施形態では、8本の吸着ノズル83が鉛直軸AXを中心とする同心円状に等角度間隔で配置されており、それらの吸着ノズル83の側方から画像を撮像するように構成している。このため、拡散部材110を設けない場合には、撮像部130によって撮像される画像には、例えば図7aに示すようにノズル83B等つまり、吸着ノズル83Bおよびその吸着ノズル83Bに吸着されている部品PBのシルエット像IBが映り込んでしまう。これは、撮像部130から実装用ヘッド8のノズル群8本の吸着ノズル83を見ると、ノズル83A等がノズル83B等と重なっているからである。より詳しくは、図6からわかるように、LED照明部120から射出される光の光量は図6中の光量分布LD1に示すように高い均一性を有しているが、その光がノズル83B等に照射されると、その照明光の一部がノズル83B等で遮光され、例えば同図中の光量分布LD2に示すようにノズル83B等に対応する像IBに相当する部分で光量が落ち込む。そして、このように不均一な光量分布を有する光がそのままノズル83A等に照射されて撮像部130で撮像されるからである。これに対し、本実施形態では、空間SPに拡散部材110が配置されているため、光量分布LD2の光が直接ノズル83A等に照射されるのではなく、拡散部材110を介して照射される。このため、光量分布LD2の光が拡散部材110で拡散されながら透過し、ノズル83B等に対応する像IBに相当する部分および周辺部分ではノズル83B等で遮光された分だけ光量は低下しているものの、図6中の光量分布LD3に示すように光量は均一化されている。そして、このように均一化された光がノズル83A等に照射されて撮像部130でノズル83A等のシルエット像が撮像される。実際に拡散部材110を設けた吸着状態検査装置100で撮像した場合、例えば図7bに示すように、拡散部材110を設けない場合同図aに比べて若干暗くなるものの、ノズル83B等の像の映り込みを確実に解消してノズル83A等のシルエット像のみが鮮明に撮像される。こうして、鮮明なノズル83A等の画像が得られると、主制御部93は従来より周知の判別手法によって、吸着ノズル83Aで部品PAが正常に吸着保持されているか否か、吸着ノズル83Aが吸着している部品PAの厚みや形状、部品PAの持ち帰りの有無、吸着ノズル83Aの欠けや汚れなどのノズル状態、さらには装着されているノズル83Aの種類などを検査する。そして、主制御部93は表面実装機1の装置各部を制御して検査結果に応じた適切な処理を行う。以上のように、本実施形態によれば、部品を吸着する吸着ノズル83が複数本、同一高さ位置に位置していたとしても、ノズル83B等が背景として画像に映り込むことなく、検査対象となる吸着ノズル83Aに吸着される部品PAのシルエット像のみを撮像することができる。また、撮像部130側から照明することなく、ノズル83A等を撮像しているため、ノズル83A等で反射された光の影響を受けることなく、ノズル83A等のシルエット像を高いコントラスト比で撮像することができる。したがって、ノズル83A等と背景とを高いコントラスト比で撮像することができる。そして、こうして得られた画像に基づいてノズル83Aによる部品PAの吸着状態を検査しているため、当該検査を高精度に行うことができる。また、上記実施形態では、鉛直軸AXを中心とする同心円状に等角度間隔で配置された8本の吸着ノズル83が取り囲む空間SP、つまりロータリー方式の実装用ヘッド8の回転内領域に、単に拡散部材110を配置するという単純な構成で上記作用効果を達成している。このように、特許文献1に記載の装置に別の照明手段を追加して検査精度を高める場合に発生する問題装置コストおよび装置サイズの増大を生じさせることなく、優れた検査精度を得ることができ、装置の小型化を図る面でも有利である。また、上記実施形態では、1つの吸着ノズル83がZ軸方向に昇降して部品吸着や部品装着などを行っている間に、上方位置で待機している他の吸着ノズル83を認識することが可能となっており、検査対象のノズル83を下降させて検査する従来装置で問題となっているタクトロスを解消することができ、効率的な検査を行うことができる。また、上記実施形態では、吸着ノズル83が上方位置に位置した状態で吸着状態を検査することができるため、LED照明部120や撮像部130などの設計自由度を高くすることができるとともに、検査可能な部品の高さサイズも広がり、汎用性に優れている。さらに、上記実施形態では、拡散部材110のX軸方向の幅Wが検査対象となっているノズル83A等のX軸方向の幅WAよりも広いため、図8に示すような作用効果も得られる。図8は図4に示す吸着状態検査装置の各部における光量分布の他の例を模式的に示す図である。例えば吸着ノズル83Bで吸着された部品PBが比較的大きく、特に撮像部130から見た部品PBのX軸方向の幅WBが拡散部材110のX軸方向の幅Wよりも広い場合には、ノズル83B等に対応する像IBに相当する部分のうちX軸方向の端部IBpが拡散部材110を通過しないため、図8中の光量分布LD3に示すように光量が部分的に低い領域が残ってしまう。しかしながら、拡散部材110を通過した領域での光量は均一化されている。そして、その均一化された領域がノズル83A等に照射されるため、部品PBの一部を示すシルエット部分IBpが同図中の光量分布LD4に含まれるものの、ノズル83Aでの部品PAの吸着状態を反映したシルエット領域がシルエット像に含まれる。このように、部品PBのサイズを問わず、拡散部材110がノズル83A等の背景部材として機能し、ノズル83A等のシルエット像を高いコントラスト比で撮像することができる。そして、こうして得られた画像に基づいてノズル83Aによる部品PAの吸着状態を検査しているため、当該検査を高精度に行うことができる。なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、拡散部材110を挟んでLED照明部120と撮像部130が互いに対向するように配置しているが、LED照明部120の配設位置はこれに限定されるものではなく、仮想鉛直面VPを挟んで撮像部130とは反対の領域であれば任意の位置に配置することができる。また、上記実施形態では、鉛直軸AXを回転軸とし、この鉛直軸AX回りに8本のノズル83を回転させる表面実装機1に対して本発明を適用しているが、例えば特開2001-77594号公報に記載された装置のように回転軸を鉛直軸AXに対して傾斜させた表面実装機に対しても本発明を適用することができる。ただし、傾斜角が45 ゚を超えると、撮像部130により撮像される像に、仮想鉛直面VPを挟んで撮像部130と反対側に位置するノズル83Bおよび当該ノズル83Bで吸着される部品PBの像が移り込むおそれがなく、本発明を適用する技術的意義が少ないため、傾斜角が45 ゚以下の表面実装機に適用するのが効果的である。また、このように回転軸を鉛直軸AXに対して傾斜させた表面実装機に対して本発明を適用する場合、その傾斜に応じて撮像部130を拡散部材110から見て斜め上方に配置してもよいなお、LED照明部120について、仮想鉛直面VPを挟んで撮像部130とは反対の領域に配置すればよい。また、上記実施形態では、いわゆるロータリー方式の実装用ヘッド8を装備する表面実装機1に対して本発明を適用しているが、複数の吸着ノズル83を有する表面実装機全般に対して本発明を適用することができる。例えば図9に示すように複数のノズル83がLED照明部120側および撮像部130側の2列に振り分けて配列された表面実装機では、拡散部材110をLED照明部120側同図の右側のノズル列83Rと、撮像部側同図の左側のノズル列83Lとで挟まれた空間SPに配置することで上記実施形態と同様の作用効果が得られる。また、上記実施形態では、8本の吸着ノズル83を有する表面実装機に対して本発明を適用しているが、複数の吸着ノズルでノズル群が構成される表面実装機に対して本発明を適用することができ、ノズル群を構成する吸着ノズルの内部に拡散部材110を配置することで上記実施形態と同様の作用効果が奏せられる。さらに、本発明の適用対象は表面実装機に限定されるものではなく、部品を吸着するノズルを複数装備して部品供給部と部品試験部との間で搬送するヘッドユニットを備え、ヘッドユニットにより部品供給部から部品を保持搬出するとともに、ヘッドユニットに保持されたノズルおよび当該ノズルで吸着された部品を撮像して当該ノズルに吸着された部品の吸着状態を吸着状態検査装置で検査してから、該部品を部品試験部に移載して部品試験を行う部品試験装置にも適用可能である。