基板上へのマンガン含有フィルムの堆積のための方法であって、a反応器および前記反応器内に配置された少なくとも1つの基板を準備する工程と;b前記反応器中に、式:式中、R1~R5のそれぞれは、H;C1~C4の直鎖状または分枝状のアルキル基;C1~C4の直鎖状、分枝状または環状のアルキルシリル基;C1~C4アルキルアミノ基;およびC1~C4の直鎖状、分枝状または環状のフルオロアルキル基から独立して選択されるを有する少なくとも1種のマンガン含有前駆体の蒸気を導入する工程と;c前記蒸気の少なくとも一部を前記基板上に堆積させて、前記マンガン含有フィルムを形成する工程とを含む方法。請求項1に記載の方法であって、前記マンガン含有前駆体が、ビス2-イミンメチルピロリルマンガンIIビス2-メチルイミンメチルピロリルマンガンIIビス2-エチルイミンメチルピロリルマンガンIIビス2-イソプロピルイミンメチルピロリルマンガンIIビス2-nプロピルイミンメチルピロリルマンガンIIビス2-nブチルイミンメチルピロリルマンガンIIビス2-secブチルイミンメチルピロリルマンガンIIビス2-イソブチルイミンメチルピロリルマンガンIIビス2-tertブチルイミンメチルピロリルマンガンIIおよびビス2-トリメチルシリルブチルイミンメチルピロリルマンガンIIからなる群から選択され、そして好ましくはビス2-イソプロピルイミンメチルピロリルマンガンIIである方法。請求項1または2のいずれかに記載の方法であって、前記反応器を、約100°C~約500°C、好ましくは約150°C~約350°Cの温度に維持することをさらに含む方法。請求項1~3のいずれか1項に記載の方法であって、前記反応器を、約1Pa~約105Pa、好ましくは約25Pa~約103Paの圧力に維持することをさらに含む方法。請求項1~4のいずれか1項に記載の方法であって、少なくとも1種の反応物質を前記反応器中に導入することをさらに含む方法。請求項5に記載の方法であって、前記反応物質が、H2、NH3、SiH4、Si2H6、Si3H8、SiH2Me2、SiH2Et2、NSiH33、水素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択される方法。請求項5に記載の方法であって、前記反応物質が、O2、O3、H2O、NO、N2O、酸素ラジカル、およびそれらの混合物からなる群から選択される方法。請求項5に記載の方法であって、前記マンガン含有前駆体および前記反応物質が実質的に同時にチャンバー内に導入され、前記チャンバーは化学蒸着のために構成されている方法。請求項5に記載の方法であって、前記マンガン含有前駆体および前記反応物質が逐次的にチャンバー内に導入され、前記チャンバーは原子層堆積のために構成されている方法。請求項8または9のいずれかに記載の方法であって、前記チャンバーがプラズマ原子層堆積またはプラズマ化学蒸着のいずれかのために構成されている方法。構造:式中、R1~R5のそれぞれは、H;C1~C4の直鎖状または分枝状のアルキル基;C1~C4の直鎖状、分枝状または環状のアルキルシリル基;C1~C4アルキルアミノ基;およびC1~C4の直鎖状または分枝状のフルオロアルキル基から独立して選択されるを有するマンガン含有前駆体を合成する方法であって、前記方法は、X=Cl、Br、IまたはFであるMnX2を、2当量のZ-Lここで、Z=Li、Na、KおよびTlであり、L=ピロール-2-アルジミネート配位子であると反応させることを含む方法。構造:式中、R1~R5のそれぞれは、H;C1~C4の直鎖状、分枝状または環状のアルキル基;C1~C4の直鎖状、分枝状または環状のアルキルシリル基;C1~C4アルキルアミノ基;およびC1~C4の直鎖状、分枝状または環状のフルオロアルキル基から独立して選択されるを有するマンガン含有前駆体を合成する方法であって、前記方法は、X=OAc、OMe、OEtであるMnX2を、2当量のピロール-2-アルジミネート配位子と反応させることを含む方法。請求項11または12に記載の方法であって、前記反応させる工程が極性溶媒中で起こり、前記極性溶媒を除去すること、ペンタン、ヘキサン、ベンゼンおよびトルエンからなる群から選択される第2の溶媒を加えることによって溶液を形成すること、前記溶液を濾過すること、および前記第2の溶媒を除去して前記マンガン含有前駆体を形成することをさらに含む方法。請求項13に記載の方法であって、前記マンガン含有前駆体を蒸留または昇華させることをさらに含む方法。[実施例]以下の例は、本明細書の開示と関連して実施された実験を例示する。例は、全てを包括するものではなく、本明細書に記載される開示の範囲を限定するものではない。例1:ビス2-メチルイミンメチルピロリルマンガンIIの合成窒素下、1.72g15.89mmolの2-メチルイミンメチルピロールおよび10mLのTHFを、シュレンクフラスコに導入した。401mg15.89mmolのNaH95w/wを室温で徐々に導入した。混合物を室温で1時間撹拌した。1.0g7.95mmolのMnCl2を、混合物に一度に導入し、混合物を室温で一晩撹拌した。白い懸濁物を含む褐色の溶液が生じた。関東化学株から販売されている珪藻土フィルター媒体上で溶液を濾過した。次に、真空下で溶媒を除去した。トルエン部分が無色となるまで、固体をトルエン6×5mLで洗浄した。黄色の固体を真空下で乾燥させ、50mTorr、T>200°Cで昇華させた。460mg21mol/molの収率の黄色固体が回収された。MP=187°C。例2:ビス2-エチルイミンメチルピロリルマンガンIIの合成窒素下、1.94g15.89mmolの2-エチルイミンメチルピロールおよび10mLのTHFをシュレンクフラスコに導入した。401mg15.89mmolのNaH95w/wを室温で徐々に導入した。混合物を室温で1時間撹拌した。1.0g7.95mmolのMnCl2を一度に導入し、混合物を室温で一晩撹拌した。白い懸濁物を含む褐色の溶液が生じた。関東化学株から販売されている珪藻土フィルター媒体上で溶液を濾過した。次に、溶媒を真空下で除去した。固体を真空下で乾燥させ、50mTorr、160°Cで2回昇華させた。640mg27mol/molの収率の黄色からオレンジ色の固体が回収された。MP=128°C。例3:ビス2-イソプロピルイミンメチルピロリルマンガンIIの合成窒素下、2.164g15.89mmolの2-イソプロピルイミンメチルピロールおよび10mLのTHFをシュレンクフラスコに導入した。401mg15.89mmolのNaH95w/wを室温で徐々に導入した。混合物を室温で1時間撹拌した。1.0g7.95mmolのMnCl2を一度に導入し、混合物を室温で一晩撹拌した。白い懸濁物を含む褐色の溶液が生じた。関東化学株から販売されている珪藻土フィルター媒体上で溶液を濾過した。次に、溶媒を真空下で除去した。固体を真空下で乾燥させ、50mTorr、140°Cで2回昇華させた。160mg6mol/molの収率の黄色固体が回収された。MP=104°C。例4:ビス2-tertブチルイミンメチルピロリルマンガンIIの合成窒素下で、1.40g9.32mmolの2-tertブチルイミンメチルピロールおよび10mLのTHFをシュレンクフラスコに導入した。235mg9.32mmolのNaH95w/wを室温で徐々に導入した。混合物を室温で1時間撹拌した。586mg4.65mmolのMnCl2を一度に導入し、混合物を室温で一晩撹拌した。白い懸濁物を含む褐色の溶液が生じた。関東化学株から販売されている珪藻土フィルター媒体上で溶液を濾過した。次に、溶媒を真空下で除去した。固体を真空下で乾燥させ、50mTorr、140°Cで2回昇華させた。260mg16mmol/mmolの収率の黄色固体が回収された。MP=166°C。例5:ビス2-アルキルイミンメチルピロリルマンガンII前駆体の熱重量分析TGA純窒素雰囲気下のグローブボックス中で、メトラートレドMettlerToledoからのTGA/SDTA851を用いてTGA試験を実施した。100sccmの窒素流量を加えた。大気または真空20mbar条件の下で、温度を10°C/分上昇させた。大気および真空の両方の条件下で、例1~4の前駆体を完全に気化させた。結果のグラフを図1~4に示す。大気条件下で例1~4の前駆体について示差熱分析DTAも実施し、それらの結果は図1~4のグラフに含まれる。ビス2-イソプロピルイミンメチルピロリルマンガンIIR1からR4=HおよびR5=iPr図3およびビス2-tertブチル-イミンメチルピロリルマンガンIIR1からR4=HおよびR5=tBu図4は、大気条件下で清浄な蒸発を有することが見出され、約310°Cの蒸発終了温度であった。例1~4の前駆体の蒸気圧を、図5に与える。ビス2-イソプロピルイミンメチル-ピロリルマンガンIIR1からR4=HおよびR5=iPrの蒸気圧は、180°Cで約1Torrであり、そのことは、この前駆体をALD用途に適するようにする。本発明の性質を説明するために本明細書に記載および例示されている、詳細、材料、工程および部品の配置に、添付の請求項に表される本発明の原理および範囲内で当業者が多くのさらなる変更を加えることができることが理解されよう。したがって、本発明は、上で与えられる例および/または添付図の具体的な態様に限定されるものではない。