"一方向に沿った複数の貫通孔を備え、管の内部に作業流体とともに配置され、前記作業流体の熱音響自励振動によって前記貫通孔に沿って流れる熱エネルギーと前記管内の作業流体の振動エネルギーとを変換する熱音響装置用スタックであって、複数の前記貫通孔は、熱伝導率が10[W/mK]未満の材料からなる柱状部材にその中心軸に沿って形成されていることを特徴とする熱音響装置用スタック。前記柱状部材は、ポリイミドおよびガラスの一方から構成されることを特徴とする請求項1記載の熱音響装置用スタック。前記柱状部材は、その中心軸に垂直な断面において前記貫通孔が形成された中央部と、前記貫通孔が形成されていない外周部とを有し、この外周部の面積の割合が当該柱状部材の断面の20以下であることを特徴とする請求項1または2記載の熱音響装置用スタック。前記貫通孔は、正六角形、正三角形、正方形、および、長方形のうち何れか1つの断面形状を有することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の熱音響装置用スタック。一方向に沿った複数の貫通孔を備え、管の内部に作業流体とともに配置され、前記作業流体の熱音響自励振動によって前記貫通孔に沿って流れる熱エネルギーと前記管内の作業流体の振動エネルギーとを変換する熱音響装置用スタックの製造方法であって、第1の孔が複数形成された中央部と、この中央部の周囲に設けられ、前記第1の孔が形成されていない外周部とを有する2つの金属板に対し、前記第1の孔の形状に対応する断面形状を有する複数の棒状部材それぞれの両端を各金属板の前記第1の孔に固定することにより、前記金属板および前記棒状部材からなる第1の構造体を形成する第1のステップと、熱伝導率が10[W/mK]未満の材料を溶融させて前記第1の構造体の前記金属板および前記棒状部材の間の空間に流し込んで固化させることにより前記第1の構造体および前記材料からなる第2の構造体を形成する第2のステップと、2つの前記金属板の間の任意の位置で、前記第2の構造体を前記棒状部材の軸方向に垂直な方向に切断する第3のステップと、切断された前記第2の構造体の少なくとも1つを電解液中に浸漬し、電気分解によって当該第2の構造体に含まれる前記棒状部材を溶出させる第4のステップと、前記棒状部材を溶出させた前記第2の構造体を、前記棒状部材の軸方向に垂直な方向に切断して前記金属板を除去する第5のステップとを有することを特徴とする熱音響装置用スタックの製造方法。しかしながら、これまでに提案されているスタックでは、小型かつ低温度で自励振動可能な熱音響装置を実現することが困難であった。例えば、金属やセラミックス等の伝熱体のプレートを管の軸に略平行に複数積層するスタックの場合は、プレートの間に平面状壁の非常に狭い隙間を形成でき、軸方向に垂直な2つの方向のうち一方の方向積層方向には熱交換のための壁面を設けることができる。ところが、他方の方向では、熱交換を行うための壁面がないので、熱エネルギーから振動エネルギーへのエネルギー変換を行うことができない。また、軸方向に沿って平行に積層した金属プレートを用いた場合には、軸方向の熱伝導率が高いので、スタックの長さLsを短くすることができない。また、金網や焼結金属などを積層したスタックの場合は、作業流体と熱交換を行う表面積を大きくすることができ、スタック中で熱交換する流体の経路も長くできる。特に金網の場合、個々の金網に関しては、単位面積当りの網目数を指定することも可能である。ところが、最終的に形成された貫通孔の径を明確に設定することができず、最適な直径の貫通孔を設けることが困難である。また、ハニカム形状のセラミックスを用いたスタックの場合は、例えば正方格子状など所定の断面形状の貫通孔を形成でき、かつ、その直径を1[mm]以下とすることが可能である。さらに、材料として用いられているコージライトは、熱伝導率が4[W/mK]程度の値を有しているために自励開始温度を低温化できるので、金属などの伝熱体をスタック材料にする場合よりもスタックの長さLsを短くすることも可能である。ところが、一般に射出成型により多孔が形成されているので、貫通孔を高密度に形成することが困難である。具体的には、セル密度900[cpsicellpersquareinchi]のもの正方格子の一辺が約0.79[mm]が最小孔径であって、例えば1200[cpsi]正方格子の一辺が約0.72[mm]といったさらに高密度に貫通孔を形成することが困難である。また、射出成形により多孔を形成する場合、射出の際に高温で押し出された素材が成型用口金の孔内で密着して、目詰まりする可能性が高いので、製造が困難である。なお、熱音響装置が大型で、励起される自励振動音波の波長が長い場合には、その振動数も50~100[Hz]の低周波帯域であるので、スタックとして効率的な貫通孔の直径は1[mm]~5[mm]となる。この程度の直径の貫通孔であれば、金属ブロックに窄孔加工したり、セラミックスを射出成型したり、銅などの金属パイプを束ねるなどして、スタックを容易に形成できる。例えば、波長が3.4[m]、周波数100[Hz]程度の熱音響装置のスタックには、メッシュ間隔1[mm]程度の金属のメッシュやセル間隔が0.79[mm]程度のハニカム状セラミックスが用いられている。ところが、高周波の自励振動を起こすには、さらに小さな直径でかつ多数の貫通孔を備えたスタックを用意する必要がある。すなわち、熱音響装置の小型化に伴って、作業流体を1気圧の空気あるいは窒素とする場合、励起されるべき自励振動周波数が100[Hz]、500[Hz]、1[kHzH]と高周波化する。これに伴って、スタックに設けられる貫通孔に要求される孔径直径も、1.55[mm]、0.70[mm]、0.49[mm]と小さくなり、しかも同一断面積に孔径の逆2乗に比例した数だけ貫通孔を設ける必要が生じる。そこで、本願発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、小型化に伴ってより高い周波数でも低温度差で自励振動できる熱音響装置用スタックおよび熱音響装置用スタックの製造方法を提供することを目的とする。上述したような課題を解決するために、本発明に係る熱音響装置用スタックは、一方向に沿った複数の貫通孔を備え、管の内部に作業流体とともに配置され、作業流体の熱音響自励振動によって貫通孔に沿って流れる熱エネルギーと管内の作業流体の振動エネルギーとを変換する熱音響装置用スタックであって、複数の貫通孔は、熱伝導率が10[W/mK]未満の材料からなる柱状部材にその中心軸に沿って形成されていることを特徴とするものである。上記熱音響装置用スタックにおいて、柱状部材は、ポリイミドおよびガラスの一方から構成されるようにしてもよい。また、上記熱音響装置用スタックにおいて、柱状部材は、その中心軸に垂直な断面において貫通孔が形成された中央部と、貫通孔が形成されていない外周部とを有し、この外周部の面積の割合が当該柱状部材の断面の20以下であるようにしてもよい。また、上記熱音響装置用スタックにおいて、貫通孔は、正六角形、正三角形、正方形、および、長方形のうちいずれか1つの断面形状を有するようにしてもよい。また、本発明に係る熱音響装置用スタックの製造方法は、一方向に沿った複数の貫通孔を備え、管の内部に作業流体とともに配置され、作業流体の熱音響自励振動によって貫通孔に沿って流れる熱エネルギーと管内の作業流体の振動エネルギーとを変換する熱音響装置用スタックの製造方法であって、第1の孔が複数形成された中央部と、この中央部の周囲に設けられ、第1の孔が形成されていない外周部とを有する2つの金属板に対し、第1の孔の形状に対応する断面形状を有する複数の棒状部材それぞれの両端を各金属板の第1の孔に固定することにより、金属板および棒状部材からなる第1の構造体を形成する第1のステップと、熱伝導率が10[W/mK]未満の材料を溶融させて第1の構造体の金属板および棒状部材の間の空間に流し込んで固化させることにより第1の構造体および材料からなる第2の構造体を形成する第2のステップと、2つの金属板の間の任意の位置で、第2の構造体を棒状部材の軸方向に垂直な方向に切断する第3のステップと、切断された第2の構造体の少なくとも1つを電解液中に浸漬し、電気分解によって当該第2の構造体に含まれる棒状部材を溶出させる第4のステップと、棒状部材を溶出させた第2の構造体を、棒状部材の軸方向に垂直な方向に切断して金属板を除去する第5のステップとを有することを特徴とするものである。本発明によれば、複数の貫通孔が形成された柱状部材を熱伝導率が10[W/mK]未満の材料から構成することにより、スタックの長さを短くしても温度勾配をスケーリング比例縮小することが可能となるので、臨界温度勾配を達成するのに必要な高温側熱交換器の温度を低くすることができる。結果として、小型化に伴って必要となるより高い周波数での自励振動を温度差が低い場合にも実現することができる。以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、スタックとは、一般的には複数の部材を積層したものを指すが、本明細書においては、1つの部材から形成された熱音響装置用のエネルギー変換部材もスタックと呼ぶこととする。<熱音響エンジンの構成>図1に示すように、本実施の形態に係る熱音響装置用スタックを備えた熱音響エンジン1は、作業流体10を封入した管2と、この管2内部に設けられたスタック3と、管2内部においてスタック3をその管2の軸線方向の両側から挟むように設けられスタック3に温度勾配を与える高温側熱交換器4および低温側熱交換器5とを備えている。また、管2外部において、高温側熱交換器4の側には高温熱源6、低温側熱交換器5の側には低温熱源7が設けられている。このような熱音響エンジン1は、管1内に封入された作業流体10と、高温側熱交換器4から低温側熱交換器5へと流れる熱エネルギーの間で、エネルギー交換を行うものである。図2に示すように、スタック3は、例えばガラスやポリイミドなど熱伝導率が10[W/mK]未満の材料からなり、円筒状の管2の内部形状に対応した円柱の形状を有するものである。また、スタック3は、軸線がスタック3の軸線方向に沿った円筒状の中央部3aと、この中央部3aの周囲に位置する円筒状の外周部3bとから構成される。中央部3aは、スタック3の中心軸が含まれる位置に配置されており、その軸方向に沿った複数の貫通孔31が形成されている。この貫通孔31は、管2の長さ共鳴周波数ωと熱緩和時間τ=r2/α、rは孔の半径、αは作業流体の熱拡散係数がτω=1~10となるように設定される。すなわち、貫通孔31の直径は、図16Aに示されるように、共鳴する管の長さから定まる共鳴周波数ωと熱緩和時間τとの積が最小となる条件で定まる。他方、貫通孔31のピッチは、貫通孔31をできるだけ稠密に形成されるように定める。これは、スタック3の空隙率は高ければ高いほどよいので、ピッチも狭い方がよいからである。例えば、共鳴周波数を400~500[Hz]とした場合、外周部3bの厚さが加工限界などから0.1[mm]以上0.2[mm]未満に制限されるので、貫通孔31は、直径が0.76~0.5[mm]、ピッチが0.9~0.6[mm]程度となる。また、外周部3bは、軸方向に対して垂直な方向の断面の面積が、貫通孔31を含むスタック3のその垂直な方向の断面の総面積の20以下とされる。このようなスタック3は、貫通孔31の延在方向が管2の軸線方向に沿った状態で、管2内部に配設されている。なお、以下においては、スタック3の材料としてガラスを用いた場合を例に説明する。ここで、外周部3bの断面積をスタック3の総断面積の20を超えないようにする理由について、図3A,図3Bを参照して説明する。図3Aは、本実施の形態であり、断面の総面積に対する外周部3bの面積が20以下であるスタック3を流れる熱流を示す図、図3Bは、比較例であって、断面の総面積に対する外周部500bの面積が20を超えるスタック500を流れる熱流を示す図である。図3Bに示す外周部500bの断面積の割合が20を超えるスタック500の場合、高温側から低温側にスタック500中を流れる熱流は、点線矢印b、cで示すように、主に貫通孔501が形成されていない外周部500bを流れる。これは、空隙率εで貫通孔501が形成された中央部500aには、高い熱伝導率κ1を有するスタック500の材料と極めて低い熱伝導率κ2を有する作業流体10が占有する領域が共存しており、この領域の平均熱伝導率<κ>av、が下式2で表されるように、貫通孔501が形成されていない外周部500bの熱伝導率κ1よりも小さくなるからである。すなわち、高温側熱交換器4から低温側熱交換器5へ流れる熱流のうち、大半が外周部500bを直接流れて貫通熱となるので、作業流体との貫通孔の壁面を介する熱交換が十分に行われず、熱エネルギーから作業流体の振動エネルギーへのエネルギー変換の観点からすると、熱損失が大きくなってしまう。<κ>av=1-εκ1εκ22一方、図3Aに示す外周部3bの断面積の割合が20以下のスタック3の場合、そのスタック3を流れる熱流は、点線矢印aで示すように、外周部3bから漏れ出る量が少なく、その外周部3bと中央部3aとで均等な量となる。実際、実験によれば、スタックの総断面積に対する外周部3bの面積を10.6としたスタック3を製造した場合、自励開始温度比を図18の600[cpsi]まで低下させることができた。一方、スタックの総断面積に対する外周部500bの面積を23.6としたスタック500では、自励開始温度比が図18の950[cpsi]程度であった。図4は、貫通孔31の孔径を異ならせたスタック3に熱伝導がよい材料と悪い材料とを用いた際のωτ横軸と自励開始温度比TH/TC縦軸との関係を示す図である。図4において点線で示す熱伝導がよい材料の場合、および、実線で示す熱伝導が悪い場合のいずれにおいても、貫通孔31の孔径の縮小τの減少に伴って、自励開始温度比が低下している。これは、図16Aに示した理論的予測が示す傾向に一致している。また、貫通孔31の孔径が同一の場合、熱伝導が悪い材料の方が自励開始温度比が低下していることがわかる。すなわち、熱伝導率が低い材料をスタック3の構成材料として用いることにより、全体的に自励開始温度比をさらに低下できることがわかる。本実施の形態では、スタック3の材料として10[W/mK]未満の熱伝導率を有する材料を用いるので、その材料として金属等を用いた場合と比較して、1,2桁ほど熱伝導率を小さくすることができる。これにより、スタック3の長さをより短くすることができる。上述したように、熱音響自励振動は、高温温度TH側熱交換器4と低温温度TC側熱交換器5との間に挟まれた長さLsのスタック3における温度勾配ΔT{=TH-TC/Ls}がある臨界値critを越えた際に起こるので、ΔT>critを満足するように温度スケーリングを行うことによって、さらに高温側熱交換器4の温度THをより低い温度にすることができる。なお、スタック3の材料として10[W/mK]を超えない熱伝導率を有する材料を用いる理由について、以下に説明する。スタック3断面積Aは、貫通孔31が形成された中央部3a面積Ainと、外周部3b面積Aoutとにより構成される。このことから、高温側熱交換器4温度THから低温側熱交換器5温度TCへと単位時間に流れる平均熱流<Q>は、下式3で示すように、外周部3bを流れる熱流Qoutと貫通孔31が形成された中央部3aを流れるQinの和で表される。<Q>=QoutQin3ところで、長さLSで熱伝導率κ[W/mK]のスタック3において、高温側熱交換器4から低温側熱交換器5へと外周部3bを流れる熱流Qoutは、固体であるスタック3内を熱伝導により流れるので、下式4で表される。この下式4において、ΔTm≡TH-TC/LSとした。Qout=Aoutκ{TH-TC/LS}=AoutκΔTm4他方、空隙率ε0<ε<1の中央部3aを流れる熱流は、主に空隙率εで定まる空間内の作業流体を介在して流れるので、その作業流体の熱伝達率をh[W/m2K]とすると、下式5で表される。Qin=εAinhTH-TC1-εAinκΔTm5したがって、スタック3を流れる平均熱流<Q>/Aは、A=AoutAinを用いると、下式6で表される。上式6において、左辺はスタック3を介して高温側熱交換器4から低温側熱交換器5を流れる平均熱流を表している。また、右辺第1項は、スタック3中を直接熱伝導することによる熱損失、右辺第2項は作業流体に伝達された熱エネルギーを示している。Aout/Aは、外周部3bの面積比率である。この外周部3bの面積比率が高いほど、また空隙率εが低いほど、高温側熱交換器4からの熱は、作業流体へ伝達されずに、低温側熱交換器5への貫通熱として無駄に損失することとなる。作業流体へ伝達されることで有効利用される熱の成分は、空隙率ε、スタック3両端の温度差TH-TCおよび中央部3aの面積比率Ain/Aoutに比例する。他方、上式6の右辺第1項が示すように、貫通熱として損失する熱エネルギーは、スタック長LSに反比例するので、スタック長の短縮に伴ってその貫通熱が増大する。空気の熱伝達率hは、約25[W/m2K]であるから、空隙率εを80、外周部の面積比率を20とすると、上式6を下式7として整理することができる。この下式7は、温度THの高温側熱交換器4から温度TCの低温側熱交換器5へと流れる単位面積当たりの熱流<Q>/Aを、その熱流が生じる温度差TH-TCで規格化したものである。<Q>/{ATH-TC}=0.36κ/LS167上式7の右辺第1項から、スタック3を直接熱伝導して損失となる成分は、スタック3の長さLSの短縮に伴って増大することがわかる。また、右辺第2項から、熱伝達による作業流体へのエネルギー移動量は、温度差に関わらず一定の値16[W/m2K]であることがわかる。したがって、熱音響効果が起こる条件であるΔTm>ΔTcritを満足するように、スタック長LSを短くしつつ、高温側熱交換器4の温度THをより低い温度へとスケーリングするには、上式7の右辺第1項直接熱伝導の寄与を右辺第2項熱伝達による寄与に対して小さく留めておくか、同程度に留めておく必要がある。そこで、スタック長LSを例えば半分に短縮するには、熱伝導率κも同様に半分にすると、比κ/LSを少なくとも不変に留めることができる。熱伝導率κが16.3[W/mK]のSUS304製スタックを半分の長さのスタックで構成するには、その熱伝導率は少なくとも、SUS304の半分以下8.15[W/mK]とすればよいことになる。この値や誤差等を踏まえて、本実施の形態においては、スタック3の材料として、10[W/mK]未満の熱伝導率を有する材料であるものとした。このような条件を満足する材料としては、図5に示すように、コージライト4[W/mK]、ガラス1.10[W/mK]、ポリイミド0.29[W/mK]などが挙げられる。<スタックの製造方法>次に、本実施の形態に係る熱音響エンジン1におけるスタック3の製造方法について説明する。まず、スタック3の材料としては、熱伝導率が10[W/mK]未満と低く熱容量の大きな材料を用いる。図5に示すように、非特許文献3に記載されているハニセラムなどのセラミックス材料コージライトと比較して、ガラスの熱伝導率は約4分の1小さく、さらにポリイミドの熱伝導率は約13分の1である。したがって、ガラスやポリイミドなどをスタック3の構成材料として用いることが考えられる。しかしながら、ガラスやポリイミド等に多数の貫通孔を稠密に開孔することは困難であった。例えば、特定波長の光を吸収するガラスにレーザビームを照射して、その部分に貫通孔を形成する技術が存在するが、このようなレーザ加工法では、一つの貫通孔と隣接する貫通孔との間を充分離す必要がある。これは、レーザ加工によって生じる熱により、隣接する貫通孔間を隔てるガラス壁が溶融して変形してしまうためである。このため、従来のレーザ加工法では、多数の貫通孔を稠密に形成することができなかった。そこで、本実施の形態では、2枚の板状部材と、電気分解によって溶出する材料からなる多数の棒状部材とによって鋳型を形成し、この鋳型に例えばガラスやポリイミドなどの熱伝導率が低い材料を流し込んだ後、棒状部材を酸に電気溶出させることで、設計した孔径の貫通孔31が稠密に形成されたスタック3を作成する。本実施の形態においては、その棒状部材の材料として、純銅を用いた場合を例に説明する。初めに、作製したいサイズおよび形状の貫通孔31に対応する第1の孔311aが形成された平面視略円形の金属板300を2枚用意する。この金属板300は、図6に示すように、その金属板300と同心の平面視略円形の領域からなり、第1の孔311aが形成された中央部311と、この周囲に位置し、第1の孔311aが形成されず、位置合わせ用の第2の孔312aが形成された外周部312とから構成される。ここで、外周部312は、第2の孔312aを含む総面積が、第1の孔311aおよび第2の孔312aの開口部の面積を含む金属板300の総面積の20以下とされる。このような金属板300は、例えばSUS304から構成され、加工容易性の観点からその厚さを1~5[mm]程度とされる。このような、金属板300は、ドリル等により、まず位置合わせ用の第2の孔312aを通常は2箇所形成した後、第1の孔311aを設計通りの箇所に形成するために、直径0.05[mm]のスタート貫通孔を形成する。そして、スタート貫通孔を形成した2枚の金属板300を位置合わせ用の第2の孔312aにピンを貫通させて積層した後、各スタート貫通孔に一本ずつワイヤを通して、ワイヤ放電加工法によりそのスタート貫通孔の形状を所定の形状に整形する。これにより、所定の形状を有する第1の孔311aが所定の箇所に形成された金属板300が形成される。また、図6に示すように、貫通孔31の断面形状と同一の断面形状を有する複数の棒状部材400を用意し、図7に示すように、それらの棒状部材400の一端を一方の金属板300の各第1の孔311aに挿入する。その棒状部材400は、純銅から構成され、生成するスタック3の軸方向の長さに応じてその延在方向の長さが設定される。なお、本実施の形態においては、一辺の長さが0.5[mm]の正六角の断面形状を有する六角柱を棒状部材として使用するが、その断面形状は正六角形に限らず、正三角形、正方形、円形など、貫通孔31の断面形状に応じて適宜自由に設定することができる。棒状部材400としてそのような六角柱を用いることにより、スタック3に形成される貫通孔31の軸に垂直な断面は、正六角形となる。このような正六角形の断面形状の貫通孔31を周期的に多数設けたいわゆるハニカム状とすることより、貫通孔31の密度を高くする、すなわちスタック3の空隙率を高くできるので、エネルギー交換すべき作業流体10をスタック3内に高い充填率で貯留させておくことが可能となり、結果として、エネルギー変換効率を向上させることができる。次に、棒状部材400の他端に他方の金属板300の第1の孔311aを挿入し、棒状部材400の両端と金属板300との接触部分を溶接する。このとき、棒状部材400の他端は、一端が挿入された一方の金属板300の第1の孔311aと同じ位置にある他方の金属板の第1の孔311aに挿入される。これにより、図8に示すように、複数の棒状部材400の両端に金属板300が取り付けられた略円柱状の鋳型800が形成される。次に、図9に示すように鋳型800をこの鋳型800の外部形状に対応した内部空間を有する円筒状の鋳型収納容器801に収納し、この両端を封止した後、例えば溶融ガラスなど棒状部材400よりも融点の低い流動化したガラスを鋳型収納容器801内部に流し込む。これにより、2枚の金属板300の間の棒状部材400が配置された空間に、流動化したガラスが導かれることとなる。ガラスを冷却した後、鋳型収納容器801から鋳型800を取り出すと、図10に示すように、2枚の金属板300の間の棒状部材400が配置された空間に埋め込まれたガラスから構成されるガラスブロック802が形成される。なお、スタック3の構成材料としてポリイミドを用いる場合には、溶融ガラスの代わりに熱溶融ポリイミドを用いるようにすればよい。ガラスブロック802を取り出すと、図11に示すように、そのガラスブロック802を鋳型800とともに、金属板300間の任意の位置で切断する。その任意の位置は、最終的にスタック3として利用する長さに基づいて設定される。続いて、図12に示すように、金属エッチング液などの電解液901が入れられた電解液収納容器900の底部に対向電極902を配置し、切断されたガラスブロック802を金属板300を上方に向けた状態で、その電解液901に半分ほど浸漬させる。そして、電源903の正極をその金属板300に、負極を対向電極902に接続し、それらの間に電流を流すことで、ガラスブロック802に埋め込まれた棒状部材400を電気分解して溶出させる。最後に、ガラスブロック802のうち金属板300を含む側をその金属板300とともに切断し、その残りを対象とするスタック3に適した形状に研磨などによって加工する。これにより、図13に示すように、ガラスから構成され、微細な貫通孔31が稠密に形成されたスタック3が形成される。これにより、設計通りの微細な孔径を有する貫通孔31が稠密に形成された中央部3aと、設計通りの面積を有する外周部3bとを備えたスタック3を生成することができる。このようなスタック3を生成することにより、高温熱源から低温熱源へと流れる熱流が、中央部3aと外周部3bとで均等に流れるので、その熱流が外周部3bを貫通熱として直接伝わって、熱エネルギーから作業流体10の振動エネルギーへの変換に対して熱損失となるのを防ぐことができる。結果として、臨界温度勾配を達成するのに必要な高温側熱交換器の温度を低くすることができる。なお、最終的に生成されたスタック3の貫通孔31中に棒状部材400の残滓が残っている場合には、電解液901を流動させた容器中に、その電解液901の流動方向と、スタック3の貫通孔31の軸線方向とを一致させた状態でスタック3をその電解液901に浸漬することで、全ての棒状部材400の残滓を溶出させることができる。ここで、棒状部材400の電気化学的な溶出に要する電流と時間について説明する。計算を簡単にするために、棒状部材400としては、一辺が0.5[mm]、長さが20[mm]の正六角柱状の純銅からなる棒状部材を用いたとする。この棒状部材400は1本当たり約13.0[mm3]の体積を有するので、これを500本稠密に配置すると、その体積は約6.5×103[mm3]となる。純銅の密度は8960[kg/m3]=8.96×103[g/mm3]であるから、溶出させるべき棒状部材400の質量は約58.2[g]となる。図12に示した電気化学的溶出法において、電解液901として硫酸銅II溶液CuSO4、対向電極902として銅板を用いたとすると、このときの電気化学反応は、正極側が下式3、負極側が下式4で表される。Cu→Cu22e3Cu22e→Cu4この場合、2[mol]の電子2[Fd]ファラデーが反応して、1[mol]の銅が析出する。銅1[mol]は63.55[g]であるので、上述した溶出させるべき棒状部材400は約0.916[mol]に相当する。これを電気量に換算すると、0.916[mol]×2[Fd/mol]=1.832×96500[C]=1.77×105[C]となる。電源903で1[A]の電流を流したとすると、全ての棒状部材400を電気化学的に析出させるためには、約49.4時間、すなわち約2日間かかることとなる。以上説明したように、本実施の形態によれば、複数の貫通孔31が形成されたスタック3を熱伝導率が10[W/mK]未満の材料から構成することにより、スタック3の長さを短くしても温度勾配をスケーリング比例縮小することが可能となるので、臨界温度勾配を達成するのに必要な高温側熱交換器の温度を低くすることができる。結果として、小型化に伴って必要となる、より高い周波数での自励振動を温度差が低い場合にも実現することができる。なお、本実施の形態では、貫通孔31が正六角形の平面形状を有する場合を例に説明したが、その平面形状は正六角形に限定されず、適宜自由に設定することができる。例えば、円形、楕円形、正三角形、正方形、長方形、正五角形などにしてもよい。ここで、平面形状を多角形にする場合には、各辺の長さは同一でなくてもよい。また、貫通孔31の平面形状は、全て同一でなくてもよい。そのように、平面形状を適宜設定して、多数の貫通孔31を設けることにより、その貫通孔31の内壁面を多数形成できるので、エネルギー変換効率を向上させることができる。また、本実施の形態では、スタック3が円柱の形状を有する場合を例に説明したが、スタック3の形状は円柱に限定されず、例えば、楕円柱、三角柱、角柱、五角柱、六角柱、八角柱など、中央部に貫通孔が形成可能な形状であるならば各種形状を適用することができる。"