天井壁に高周波電源に電気的に接続された複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設されてあってかつ手動操作によって上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構と、前記可動支持部材に着脱可能にセットされたアレイアンテナユニットと、を具備してあって、前記アレイアンテナユニットは、鉛直状態で同一平面上に前記幅方向に間隔を置いて配列されかつ上端部に対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極と、複数本の前記誘導結合型電極を一括して保持するホルダとを備えてなるアレイアンテナ式のプラズマCVD装置に用いられ、前記真空チャンバーの前記天井壁側に対する複数本の前記誘導結合型電極の着脱作業を補助する補助治具において、前記真空チャンバーの前記天井壁の外壁面に設けられた支持櫓と、前記支持櫓に設けられ、上方向へ付勢された作動部材を備え、前記アレイアンテナユニットに作用する荷重を軽減するバランサと、前記作動部材に連結され、前記真空チャンバーの前記天井壁に形成された通孔に挿通可能であって、上下方向へ移動可能なスライドバーと、前記スライドバーに連結され、前記ホルダを係止可能な係止部材と、を備えたことを特徴とする補助治具。前記支持櫓の個数が複数であって、複数の前記支持櫓が前記真空チャンバーの前記天井壁の外周面に前記幅方向に離隔して設けられ、各支持櫓に前記バランサが設けられ、各作動部材に前記スライドバーが連結され、各スライドバーに前記係止部材が連結されていることを特徴とする請求項1に記載の補助治具。前記バランサは、スプリングの弾発力を利用したスプリングバランサであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の補助治具。真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜するアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置において、内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続された複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設され、手動操作によって上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構と、前記可動支持部材に着脱可能にセットされ、少なくとも片側に基板をセットする基板エリアが形成され、プラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁に対する着脱作業を補助する補助装置と、を具備し、前記アレイアンテナユニットは、鉛直状態で同一平面上に前記幅方向に間隔を置いて配列され、上端部に対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極と、前記可動支持部材に着脱可能に支持され、複数本の前記誘導結合型電極を一括して保持するホルダと、を備え、請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載の補助治具を前記補助治具として用いたことを特徴とするアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記ホルダは、前記可動支持部材に着脱可能に支持され、前記幅方向へ延びてあって、開口部が前記幅方向に沿って形成され、前記真空チャンバーに対する前記幅方向の変位が許容された梁部材と、前記梁部材に前記幅方向に沿って設けられ、前記誘導結合型電極を前記梁部材に対する前記幅方向の変位が許容され、前記誘導結合型電極を前記梁部材の前記開口部を介して挿通した状態で支持する複数の支持孔が前記幅方向に沿って形成されたサポート部材と、を備えていることを特徴とする請求項4に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記サポート部材は、前記幅方向に沿って分割されかつ前記梁部材に対する前記幅方向の変位が許容された複数の分割サポート部材からなることを特徴とする請求項5に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記アンテナ支持機構は、前記真空チャンバーの前記天井壁の内壁に前記幅方向に離隔しかつ垂下して設けられた一対のガイド支柱、各カイド支柱に着脱可能かつ上下方向へ移動可能に設けられた前記可動支持部材、及び各ガイド支柱における前記可動支持部材の下側に着脱可能に螺合して設けられかつ手動操作によって前記可動支持部材を上下方向へ移動させる操作部材を備えていることを特徴とする請求項4から請求項6のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記真空チャンバーの前記天井壁に複数のガイドブッシュが前記幅方向に間隔を置いて配設され、前記ホルダの上面に対応関係にある前記ガイドブッシュに係合する複数の位置決めピンが前記幅方向に間隔を置いて配設され、複数の前記位置決めピンのうちいずれかの前記位置決めピンは、係合状態にある前記ガイドブッシュに対して前記幅方向に移動不能であって、残りの前記位置決めピンは、係合状態にある前記ガイドブッシュに対する前記幅方向の変位が許容されていることを特徴とする請求項4から請求項7のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。前記真空チャンバーの内部に前記ホルダの上方向の移動を規制するストッパが設けられていることを特徴とする請求項4から請求項8のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。複数の前記天井側コネクタは、前記高周波電源の供給側に電気的に接続された複数の第1天井側コネクタと、前記高周波電源の接地側に電気的に接続された複数の第2天井側コネクタとからなり、複数の前記第1天井側コネクタと複数の前記第2天井側コネクタが前記幅方向に沿って交互に配設されてあって、各誘導結合型電極は、上端部に前記第1天井側コネクタに接続可能な第1アンテナ側コネクタが設けられた第1電極棒、前記第1電極棒に対して平行であってかつ上端部に前記第2天井側コネクタに接続可能な第2アンテナ側コネクタが設けられた第2電極棒、及び前記第1電極棒の下端部と前記第2電極棒の下端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具を備え、複数の前記挿通孔は、複数の第1挿通孔と複数の第2挿通孔からなり、前記サポート部材に前記第1挿通孔及び前記第2挿通孔が前記幅方向に沿って交互に形成され、各第1支持孔は前記第1電極棒を挿通した状態で支持可能であって、各第2支持孔は前記第2電極棒を挿通した状態で支持可能であって、前記可動支持部材に前記ホルダをセットした状態で、前記可動支持部材を上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第1天井側コネクタに接続しかつ各第2アンテナ側コネクタが対応関係にある前記第2天井側コネクタに接続するようになっていることを特徴とする請求項4から請求項9のうちのいずれかの請求項に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。各第2電極棒がパイプ状を呈しており、各第2電極棒の内部が前記ガス供給源に接続されてあって、外周面に材料ガスを噴出する噴出孔が形成されてあって、前記第2支持孔は、前記噴出孔が指定の向きを指向するように前記第2電極棒を回転位置決め可能になっていることを特徴とする請求項10に記載のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置。ところで、誘導結合型電極の表面に皮膜等が付着し易く、通常、誘導結合型電極のメンテナンスが定期的に行われており、誘導結合型電極のメンテナンスの際には、真空チャンバーの天井壁側に対する誘導結合型電極の着脱取付と取外しが1本ずつ行われている。そのため、複数本の誘導結合型電極の着脱作業を含む一連の誘導結合型電極のメンテナンス作業が煩雑化して、誘導結合型電極のメンテナンス時間が長くなると共に、アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置の停止によるスループットの低下量が大きくなるという問題がある。そこで、本発明の発明者は、前述の問題を解決することができる新規な構成のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置を開発した上で、更に、真空チャンバーの天井壁側に対する複数本の誘導結合型電極の着脱作業の容易化を図ることができる、新規な構成のアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置に用いられる新規な構成の補助治具等を提供することを目的とする。本発明の第1の特徴は、天井壁に高周波電源に電気的に接続された複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設されてあってかつ手動操作によって上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構と、前記可動支持部材に着脱可能にセット支持されたアレイアンテナユニットと、を具備してあって、前記アレイアンテナユニットは、鉛直状態で同一平面上に前記幅方向に間隔を置いて配列配列されかつ上端部に対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極アンテナ素子と、複数本の前記誘導結合型電極を一括して保持するホルダとを備えてなるアレイアンテナ式誘導結合型のプラズマCVD装置に用いられ、前記真空チャンバーの前記天井壁側に対する複数本の前記誘導結合型電極の着脱作業を補助する補助治具において、前記真空チャンバーの前記天井壁の外壁面に設けられた支持櫓と、前記支持櫓に設けられ、上方向へ付勢された作動部材を備え、前記アレイアンテナユニットに作用する荷重を軽減するバランサと、前記作動部材に連結され、前記真空チャンバーの前記天井壁に形成された通孔に挿通可能であって、上下方向へ移動可能なスライドバーと、前記スライドバーに連結され、前記ホルダを係止可能な係止部材と、を備えたことを要旨とする。なお、特許請求の範囲及び明細書において、設けられとは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、配設されとは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意である。また、支持されとは、直接的に支持されたことの他に、別部材を介して間接的に支持されたことを含む意であって、連結されとは、直接的に連結されたことの他に、別部材を介して間接的に連結されたことを含む意である。第1の特徴によると、まず、前記アレイアンテナユニットを前記真空チャンバーの内部に挿入する。次に、前記係止部材を前記ホルダに係止させることにより、前記バランサによって前記アレイアンテナユニットに作用する荷重を軽減する。また、前記ホルダを前記可動支持部材に支持させて、前記アレイアンテナユニットを前記可動支持部材にセットする。そして、前記アレイアンテナユニットに作用する荷重を軽減した状態で、手動操作によって前記可動支持部材を上方向へ移動させることにより、前記アレイアンテナユニットを上方向へ移動させて、各アンテナ側コネクタを対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続せる。これにより、前記アレイアンテナに作用する荷重を軽減しつつ、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁側に一括して取付けることができる。また、前述の動作と反対の動作を行うことにより、前記アレイアンテナユニットに作用する荷重を軽減しつつ、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井側から一括して取外すことができる。要するに、前記真空チャンバーの前記天井壁の外壁面に前記支持櫓が設けられ、前記支持櫓に前記バランサが設けられ、前記バランサの前記作動部材に前記真空チャンバーの前記天井壁の前記通孔に挿通可能かつ上下方向へ移動可能な前記スライドバーが連結され、前記スライドバーに前記ホルダを係止可能な前記係止部材が連結されているため、前述のように、前記アレイアンテナユニットに作用する荷重を軽減しつつ、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して一括して着脱取付と取外しすることができる。本発明の第2の特徴は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させることにより、基板の表面に薄膜を成膜するアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置において、内部を真空状態に減圧可能であって、天井壁に高周波電源に電気的に接続された複数の天井壁側コネクタが幅方向に間隔を置いて配設された真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配設され、手動操作によって上下方向へ移動可能な可動支持部材を備えたアンテナ支持機構と、前記可動支持部材に着脱可能にセット支持され、少なくとも片側に基板をセットする基板エリアが形成され、プラズマを発生させるアレイアンテナユニットと、前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給するガス供給源と、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁に対する着脱作業を補助する補助装置と、を具備し、前記アレイアンテナユニットは、鉛直状態で同一平面上に前記幅方向に間隔を置いて配列配設され、上端部に対応関係にある前記天井壁側コネクタに接続可能なアンテナ側コネクタが設けられた複数本の誘導結合型電極アンテナ素子と、前記可動支持部材に着脱可能に支持され、複数本の前記誘導結合型電極を一括して保持するホルダと、を備え、第1の特徴からなる補助治具を前記補助装置として用いたことを用いたことを要旨とする。第2の特徴によると、前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧して、前記基板エリアに基板をセットする。また、前記ガス供給源によって前記真空チャンバーの内部側へ材料ガスを供給する。そして、前記高周波電源によって複数本の誘導結合型電極に高周波波電力を供給することにより、前記アレイアンテナユニットの周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板の表面に付着させる。これにより、基板の表面に薄膜を成膜形成することができる。なお、前記基板エリアに基板をセットした状態で、前記真空チャンバーの内部を真空状態に減圧しても構わない。また、第2の特徴によると、前述の作用の他に、第1の特徴による作用と同様の作用を奏する。本発明によれば、前記アレイアンテナユニットに作用する荷重を軽減しつつ、複数本の前記誘導結合型電極を前記真空チャンバーの前記天井壁側に対して一括して着脱できるため、前記真空チャンバーの前記天井壁側に対する複数本の前記誘導結合型電極の着脱作業の容易化をより一層図ることができる。本発明の実施形態に係るアレイアンテナ式のCVDプラズマ装置の構成、本発明の実施形態に係る補助治具の構成等について図1から図12を参照して順次説明する。なお、図面中、FFは前方向、FRは後方向、Lは左方向、Rは右方向、Uは上方向、Dは下方向をそれぞれ指してある。図5から図7に示すように、本発明の実施形態に係るアレイアンテナ方式誘導結合型のCVDプラズマ装置1は、真空雰囲気中でプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を基板Wの表面に付着させることにより、基板Wの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜図示省略を成膜形成する装置である。アレイアンテナ式のCVDプラズマ装置1は、箱型の真空チャンバー3を具備しており、この真空チャンバー3は、真空圧を発生させる真空ポンプ等の真空圧発生源5に接続されてあって、内部を真空状態に減圧可能である。また、真空チャンバー3は、チャンバー本体7の備えており、このチャンバー本体7は、正面側前側にフロント開口部7a、背面側後側にリア開口部7b、両側面側左側面側及び右側面側にサイド開口部7cをそれぞれ有している。更に、チャンバー本体7の正面部前部には、フロント開口部7aを開閉可能なフロント壁9が設けられており、チャンバー本体7の背面部後部には、リア開口部7bを開閉可能なリア壁11が設けられている。そして、チャンバー本体7の両側部左側部及び右側部には、サイド開口部7cを開閉可能なサイド壁ゲートバルブを含む13がそれぞれ設けられており、チャンバー本体7の上部には、天井壁15が設けられてあって、天井壁15の左右両端部左端部及び右端部には、一対の通孔17がそれぞれ形成されている。真空チャンバー3の天井壁15には、第1天井側コネクタ19と第2天井側コネクタ21が真空チャンバー3の幅方向左右方向に交互に配設されており、換言すれば、真空チャンバー3の天井壁15には、複数の天井側コネクタ複数の第1天井側コネクタ19と複数の第2天井側コネクタ21が左右方向に間隔を置いて配設されている。ここで、各第1天井側コネクタ19は、高周波電力を供給する高周波電源23の供給側非接地側に電気的に接続されており、各第2天井側コネクタ21は、高周波電源23の接地側に電気的に接続されている。真空チャンバー3の天井壁15の内壁面における左右方向の中央部には、センターガイドブッシュ25が設けられており、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面における左部及び右部には、サイドガイドブッシュ27がそれぞれ設けられている。換言すれば、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面には、複数のガイドブッシュセンターガイドブッシュ25と一対のサイドガイドブッシュ27が左右方向に間隔を置いて配設されている。真空チャンバー3の内部には、アンテナ支持機構アンテナセット機構29が配設されている。具体的には、真空チャンバー3の天井壁15の内壁面には、一対のガイド支柱31が左右方向に離隔しかつ垂下して設けられており、各ガイド支柱31の上部には、段差部31aが形成されている。また、各ガイド支柱31には、可動支持部材33が嵌挿して設けられており、各可動支持部材33は、対応関係にあるガイド支柱31に対して上下方向へ移動可能かつ着脱可能である。更に、各ガイド支柱31における可動支持部材33の下側には、手動操作回転操作によって可動支持部材33を上下方向へ移動させる操作ナット操作部材の一例35が螺合して設けられており、各操作ナット35は、ガイド支柱31に対して着脱可能である。アンテナ支持機構29における一対の可動支持部材33には、プラズマを発生させるアレイアンテナユニット37が架け渡すようにセット支持されており、このアレイアンテナユニット37は、一対の可動支持部材33に対して真空チャンバー3の正面側又は側面側からチャンバー本体7のフロント開口部7a又はサイド開口部7cを介して着脱可能である。また、アレイアンテナユニット37の前後両側前側及び後側には、鉛直状態の基板Wをセット可能な基板エリアAがそれぞれ形成されている。真空チャンバー3の内部の床面には、左右方向へ延びた一対のガイドレール39が設けられており、一対のガイドレール39には、台車41が左右方向へ移動可能に支持されている。換言すれば、真空チャンバー3の内部の床面には、台車41が一対のガイドレール39を介して左右方向へ移動可能に設けられている。また、台車41は、チャンバー本体7のサイド開口部7cを介して真空チャンバー3の内部に送り出し及び引き入れ可能である。そして、台車41には、鉛直状態の基板Wを保持する枠状の一対の基板ホルダ43が前後に離隔して立設されてある。なお、台車41を真空チャンバー3の内部における基準の台車送り出し位置図5に実線で示す台車41の位置に送り出すことによって2枚の基板Wが対応関係にある基板エリアAにセットされるようになっている。なお、本発明の実施形態にあっては、基板エリアAに基板Wをセットするために台車41等を用いているが、別のセット手段を用いて基板エリアAに基板Wをセットするようにしても構わない。真空チャンバー3の外側の適宜位置には、真空チャンバー3の内部具体的には基板エリアAへ材料ガスを供給するガス供給ボンベ等のガス供給源45が配設されている。続いて、本発明の実施形態の要部であるアレイアンテナユニット37の構成の詳細について説明する。図7、図8、及び図10に示すように、アレイアンテナユニット37は、鉛直状態で同一平面上に左右方向真空チャンバー3の幅方向又はアレイアンテナユニット37のアレイ方向に間隔を置いて配列配設された複数本の誘導結合型電極47を備えており、各誘導結合型電極47は、U字形状を呈したアンテナ素子である。また、各誘導結合型電極47は、上端部基端部に対応関係にある第1天井側コネクタ19に接続可能な第1アンテナ側コネクタ49が設けられた第1電極棒51、第1電極棒51に対して平行であってかつ上端部基端部に対応関係にある第2天井側コネクタ21に接続可能な第2アンテナ側コネクタ53が設けられたパイプ状の第2電極棒55、及び第1電極棒51の下端部先端部と第2電極棒55の下端部先端部の間に電気的に接続するように設けられた接続金具57を備えている。更に、各第2電極棒55の外周面には、材料ガスを噴出する噴出孔61が形成されている。なお、複数本の第1電極棒51の下端部及び複数本の第2電極棒55の下端部には、左右方向へ延びた連結棒63が連結されている。ここで、各第1アンテナ側コネクタ49は、上端部側から、大径部大形部の一例49aと、この大径部49aに連続しかつ横断面積が大径部49aよりも小さい小径部小形部の一例49bとを有してあって、同様に、各第2アンテナ側コネクタ53は、上端側から、大径部53aと、この大径部53aに連続しかつ横断面積が大径部53aよりも小さい小径部53bとを有している。図5、図8から図12に示すように、アンテナ支持機構29における一対の可動支持部材33には、複数本の誘導結合型電極47を一括して保持するホルダ65が着脱可能に支持されており、このホルダ65の具体的な構成は、次のようになる。即ち、ホルダ65は、アンテナ支持機構29における一対の可動支持部材33に着脱可能に支持された断面コ字形状の梁部材67を備えており、この梁部材67は、左右方向へ延びている。また、梁部材67には、スリット開口部67aが左右方向に沿って形成されており、梁部材67の両端部左端部及び右端部には、対応関係にあるガイド支柱31に上下方向へ移動可能に係合する切欠凹部67bがそれぞれ形成されている。ここで、梁部材67の両端部は、対応関係にあるガイド支柱31の段差部31aに下方向から当接可能であって、換言すれば、一対のガイド支柱31の段差部31aが梁部材67の上方向の移動を規制するストッパとしての機能を有している。梁部材67の上面における左右方向の中央部には、センターガイドブッシュ25に下方向から係合するセンター位置決めピン69が設けられており、梁部材67の上面における左部及び右部には、対応関係にあるサイドガイドブッシュ27に下方向から係合するサイド位置決めピン71がそれぞれ設けられている。換言すれば、梁部材67の上面には、複数の位置決めピンセンター位置決めピン69と一対のサイド位置決めピン71が左右方向に間隔を置いて配設されている。ここで、センター位置決めピン69は、係合状態にあるセンターガイドブッシュ25に対して左右方向に移動不能であって、センターガイドブッシュ25に対する前後方向の変位が許容されている。また、サイド位置決めピン71は、係合状態にあるサイドガイドブッシュ27に対して前後方向に移動不能であって、ガイドブッシュ27に対する左右方向の変位が許容されるようになっている。換言すれば、梁部材67は、真空チャンバー3の天井壁15に対して左右方向の変位が許容されるようになっている。梁部材67の下面には、断面コ字形状のサポート部材73が取付ボルト75を介して左右方向に沿って設けられており、このサポート部材73は、左右方向に沿って分割された複数の分割サポート部材73Sからなり、各分割サポート部材73Sは、長穴77を介して梁部材67に対する左右方向の変位が許容されるようになっている。また、各分割サポート部材73Sには、第1電極棒51第1アンテナ側コネクタ49を梁部材67のスリット開口部67aを介して挿通した状態で支持する第1支持孔第1電極支持部79、及び第2電極棒55第2アンテナ側コネクタ53を梁部材67のスリット開口部67aを介して挿通した状態で支持する第2支持孔第2電極支持部81が交互に形成されている。換言すれば、サポート部材73には、複数の支持孔複数の第1支持孔79及び複数の第2支持孔81が左右方向に沿って形成されている。更に、各第2支持孔81は、第2電極棒55の噴出孔61が指定の向きを指向するように位置決めピン等によって第2電極棒55第2アンテナ側コネクタ53を軸心周りに位置決め可能になっている。そして、アンテナ支持機構29における一対の可動支持部材33にアレイアンテナユニット37をセットした状態支持させた状態で、一対の可動支持部材33を上方向へ移動させると、各第1アンテナ側コネクタ49が対応関係にある第1天井側コネクタ19に接続しかつ各第2アンテナ側コネクタ53が対応関係にある第2天井側コネクタ21に接続するようになっている。梁部材67の上面には、複数の第1アンテナ側コネクタ49及び複数の第2アンテナ側コネクタ53を整列する整列プレート83が一対のガイド部材ガイドボルト85を介して上下方向へ移動可能に設けられており、この整列プレート83は、左右方向へ延びてある。また、整列プレート83には、第1アンテナ側コネクタ49の大径部49aに嵌合可能な第1嵌合孔87及び第2アンテナ側コネクタ53の大径部53aに嵌合可能な第2嵌合孔89が交互に形成されており、換言すれば、整列プレート83には、複数の嵌合孔複数の第1嵌合孔87及び複数の第2嵌合孔89が左右方向に沿って形成されている。更に、整列プレート83は、センターガイドブッシュ25の端面及びサイドガイドブッシュ27の端面真空チャンバー3の天井壁15の一部に当接可能であって、各ガイド部材85の外周側に弾装されたスプリング91によって上方向へ付勢されている。そして、整列プレート83は、センターガイドブッシュ25の端面及びサイドガイドブッシュ27の端面に当接した状態でスプリング91の付勢力に抗しつつ梁部材67に対して相対的に下方向へ移動すると、嵌合状態から解除状態に切り替わるようになっている。ここで、嵌合状態とは、図10及び図12に実線で示されるように、各第1アンテナ側コネクタ49の大径部49aと対応関係にある第1嵌合孔87が嵌合しかつ各第2アンテナ側コネクタ53の大径部53aと対応関係にある第2嵌合孔89が嵌合した状態のことをいい、解除状態とは、図12に仮想線で示すように、嵌合状態を解除した状態であって、各第1アンテナ側コネクタ49の小径部49bと対応関係にある第1嵌合孔87が遊嵌しかつ各第2アンテナ側コネクタ53の小径部53bと対応関係にある第2嵌合孔89が遊嵌した状態のことをいう。なお、整列プレート83に対する各位置決めピン6971の相対位置を決定するため、整列プレート83には、各位置決めピン6971を挿通可能な長穴83h図9及び図10に1つのみ図示がそれぞれ形成されている。続いて、本発明の実施形態に係る補助治具93について説明する。図1及び図2に示すように、本発明の実施形態に係る補助治具93は、アレイアンテナ式のプラズマCVD装置1に用いられる付属品であって、真空チャンバー3の天井壁15側に対する複数本の誘導結合型電極47の着脱作業を補助するものである。そして、補助治具93の具体的な構成は、次のようになる。真空チャンバー3の天井壁15の外壁面上面には、一対の門型の支持櫓95が着脱可能かつ左右方向に離隔して設けられている。また、各支持櫓95は、前後に対向した一対の支柱97と、一対の支柱97の上部の間に連結するように設けられた上部プレート99とを備えている。各支持櫓95における上部プレート99には、スプリング図示省略の弾発力付勢力を利用してアレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減するスプリングバランサ101が吊すように着脱可能に設けられており、このスプリングバランサ101は、長穴等を介して上部プレート99に対して前後方向へ位置調節可能である。また、各スプリングバランサ101は、公知の構成からなり、円筒状のバランサケースバランサ本体103と、バランサケース103の上部に設けられかつ上部プレート99に着脱可能なロープ状の取付部材105と、バランサケース103内に回転可能に設けられかつ前記スプリングを内蔵した回転ドラム図示省略と、この回転ドラムに巻回されかつバランサケース103に送り出し及び引き入れ可能なワイヤ状の作動部材107とを備えている。ここで、作動部材107は、前記スプリングによって上方向換言すれば、引き入れ方向又は巻回方向へ付勢されている。各スプリングバランサ101における作動部材107の先端部下端部には、連結部材109が着脱可能に連結されており、この連結部材109は、真空チャンバー3の外側に位置している。また、連結部材109には、上下方向へ延びた一対のスライドバー111の上端部が取付ナット113を介して着脱可能に連結されている。換言すれば、各スプリングバランサ101における作動部材107の先端部には、一対のスライドバー111の上端部が連結部材109等を介して着脱可能に連結されている。そして、各スライドバー111は、天井壁15に対して上下方向へ移動可能であって、真空チャンバー3の天井壁15の通孔17に挿通してある。更に、各一対のスライドバー111の下端部には、ホルダ65梁部材67の端部左端部又は右端部を下方向から係止可能な係止部材115が取付ナット117を介して着脱可能に設けられており図9参照、この係止部材115は、真空チャンバー3の内部内側に位置している。なお、補助治具93は、前記スプリングの弾発力を利用してアレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減するスプリングバランサ101の代わりに、エアの圧力付勢力を利用してアレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減するエアバランサ等の別のバランサを用いても構わない。続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。作業者による誘導結合型電極47の着脱取付と取外しに関する作用真空チャンバー3の外側において、整列プレート83の第1嵌合孔87を第1アンテナ側コネクタ49の大径部49aを嵌合させつつ、各分割サポート部材73Sの各第1支持孔79に第1電極棒51第1アンテナ側コネクタ49を挿通した状態で支持させる。同様に、整列プレート83の第2嵌合孔89を第2アンテナ側コネクタ53の大径部53aを嵌合させつつ、各分割サポート部材73Sの各第2支持孔81に第2電極棒55第2アンテナ側コネクタ53を挿通した状態で支持させる。これにより、図8に示すように、複数本の誘導結合型電極47を一括してまとめて、アレイアンテナユニット37を形成することできる。複数本の誘導結合型電極47を一括してまとめた後に、図3aに示すように、真空チャンバー3の正面側又は側面側からアレイアンテナユニット37を真空チャンバー3の内部に挿入して、ガイド支柱31の下側に位置させる。次に、図3bに示すように、各一対のスライドバー111の下端部に係止部材115を連結させ、かつ各係止部材115をホルダ65梁部材67の端部に下方向から係止させることにより、スプリングバランサ101の弾発力によってアレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減する。更に、アレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減した状態で、アレイアンテナユニット37を上方向へ移動させることにより、梁部材67の各切欠67bを対応関係にあるガイド支柱31に下方向から係合させると共に、各位置決めピン6971を対応関係にあるガイドブッシュ2527に下方向から係合させる。そして、各ガイド支柱31に可動支持部材33を下方向から嵌挿させて、各ガイド支柱31における可動支持部材33の下側に操作ナット35を螺合させる締め付けることにより、一対の可動支持部材33にホルダ65梁部材67の両端部を支持させる。これにより、アレイアンテナユニット37を真空チャンバー3の正面側又は側面側から一対の可動支持部材33にセットすることができる。なお、梁部材67の各切欠67bを対応関係にあるガイド支柱31に下方向から係合させた後に、各係止部材115をホルダ65の端部に下方向から係止させたり、一対の可動支持部材33にホルダ65の両端部を支持させた後に、各位置決めピン6971を対応関係にあるガイドブッシュ2527に下方向から係合させたりしても構わない。アレイアンテナユニット37を一対の可動支持部材33にセットした後に、図4aに示すように、操作ナット35の回転操作によって一対の可動支持部材33を上方向へ移動させることにより、アレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減した状態で、アレイアンテナユニット37を上方向へ移動させて、整列プレート83をセンターガイドブッシュ25の端面及び一対のサイドガイドブッシュ27の端面に当接させる。更に、図4bに示すように、操作ナット35の回転操作によって一対の可動支持部材33を上方向へ移動させることにより、アレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減した状態で、ホルダ65梁部材67を上方向へ移動させて、梁部材67の両端部を対応関係にあるガイド支柱31の段差部31aに下方向から当接させる。これにより、複数の第1アンテナ側コネクタ49及び複数の第2アンテナ側コネクタ53の整列状態を保ちつつ、各第1アンテナ側コネクタ49を対応関係にある第1天井側コネクタ19に接続させかつ各第2アンテナ側コネクタ53を対応関係にある第2天井側コネクタ21に接続させることができる。併せて、整列プレート83をスプリング91の付勢力に抗しつつホルダ65梁部材67に対して相対的に下方向へ移動させて、各第1アンテナ側コネクタ49及び各第2アンテナ側コネクタ53の接続完了と略同時に、嵌合状態から解除状態に切り替えることができる。以上により、アレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減しつつ、複数本の誘導結合型電極47を真空チャンバー3の天井壁15側に一括して取付けることができる。また、前述の動作と反対の動作を行うことにより、アレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減しつつ、複数本の誘導結合型電極47を真空チャンバー3の天井壁15側から一括して取外して、真空チャンバー3から取り出すことができる。なお、複数本の誘導結合型電極47の着脱作業の終了後に、補助治具93を真空チャンバー3の天井壁15側から取外しておくと共に、真空チャンバー3の天井壁15の各通孔17を気密に塞いでおく。要するに、真空チャンバー3の天井壁15の外壁面に一対の支持櫓95が着脱可能に設けられ、各支持櫓95にスプリングバランサ101が吊すように設けられ、各スプリングバランサ101の作動部材107の先端部に真空チャンバー3の天井壁15の通孔17に挿通可能かつ上下方向へ移動可能な一対のスライドバー111が連結され、各一対のスライドバー111の下端部にホルダ65を係止可能な係止部材115が連結されているため、前述のように、アレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減しつつ、複数本の誘導結合型電極47を真空チャンバー3の天井壁15側に対して一括して着脱取付と取外しすることができる。成膜処理に関する作用まず、真空圧発生源5によって真空チャンバー3の内部へ真空状態に減圧する。次に、台車41を真空チャンバー3の内部における基準の台車送り出し位置に送り出すことにより、各基板エリアAに基板Wをセットする。また、ガス供給源45によって真空チャンバー3の内部側へ材料ガスを供給することにより、各第2電極棒55の各噴出孔61から基板エリアAに向かって材料ガスを噴射する。そして、高周波電源23によって複数本の誘導結合型電極47に高周波波電力を供給することにより、アレイアンテナユニット37の周辺にプラズマを発生させつつ、プラズマによって分解された材料ガスの成分を2枚の基板Wの表面に付着させる。これにより、2枚の基板Wの表面に非結晶シリコン膜又は微結晶シリコン膜等の薄膜を成膜形成することができる。ここで、梁部材67は真空チャンバー3に対する左右方向の変位が許容され、各分割サポート部材73Sサポート部材73は梁部材67に対する左右方向の変位が許容され、整列プレート83が嵌合状態から解除状態に切り替わっているため、成膜処理中に、梁部材67、各分割サポート部材73S、及び整列プレート83の左右方向の熱膨張を構造的に逃がすことができる。本発明の実施形態の効果以上の如く、本発明の実施形態によれば、アレイアンテナユニット37に作用する荷重を軽減しつつ、複数本の誘導結合型電極47を真空チャンバー3の天井壁15側に対して一括して着脱できるため、真空チャンバー3の天井壁15側に対する複数本の誘導結合型電極47の着脱作業の容易化をより一層図ることができる。本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、例えば、次のように種々の態様で実施可能である。即ち、アレイアンテナユニット37にU字形状の複数本の誘導結合型電極47を用いる代わりに、I字形状の複数本の誘導結合型電極を用いても構わない。また、補助治具93を真空チャンバー3の天井壁15に対して着脱可能な付属品として用いる代わりに、アレイアンテナユニット37の一部を構成する補助装置として用いても構わない。なお、補助治具93をアレイアンテナユニット37の一部を構成する補助装置として用いた場合には、各スライドバー111を真空チャンバー3の天井壁15の通孔17に気密に挿通させておく。そして、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。