ポンプ室の一部を構成するダイアフラムを変形させて、該ポンプ室の容積を変更することによって流体を圧送する送液ポンプであって、前記ポンプ室の外部に設けられて、前記ダイアフラムに接続された駆動部材と、前記駆動部材を介して前記ダイアフラムを変形させる圧電素子と、前記圧電素子に電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記駆動部材は、基台部と該基台部から立設された柱部とを有し、該柱部の先端が前記ダイアフラムに接続された部材であり、前記圧電素子は、前記電圧が印加されると伸長して、前記駆動部材の前記基台部を前記ダイアフラムから離間させる圧電素子である送液ポンプ。前記圧電素子が、前記駆動部材の前記柱部の周囲の複数個所に設けられている請求項1に記載の送液ポンプ。前記圧電素子が、前記駆動部材の前記柱部を取り巻いて設けられ、断面が円環形状の圧電素子である請求項1に記載の送液ポンプ。しかし、圧電素子を用いてダイアフラムを駆動する送液ポンプは、ポンプ室に混入した気泡を除去することが難しいという問題があった。これは、ダイアフラムという比較的広い面積を有する部材を、圧電素子というストロークの小さなアクチュエーターを用いて変形させる関係上、ポンプ室の周辺部分に液体の流れが滞る箇所が生じ易く、しかも、ダイアフラムの周辺部分は固定されているので、この箇所に気泡が付着すると、その気泡を除去することが困難なためである。この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、圧電素子を用いてダイアフラムを駆動する送液ポンプにおいて、ポンプ室に混入した気泡を容易に除去可能な技術の提供を目的とする。上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の送液ポンプは次の構成を採用した。すなわち、ポンプ室の一部を構成するダイアフラムを変形させて、該ポンプ室の容積を変更することによって流体を圧送する送液ポンプであって、前記ポンプ室の外部に設けられて、前記ダイアフラムに接続された駆動部材と、前記駆動部材を介して前記ダイアフラムを変形させる圧電素子と、前記圧電素子に電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記駆動部材は、基台部と該基台部から立設された柱部とを有し、該柱部の先端が前記ダイアフラムに接続された部材であり、前記圧電素子は、前記電圧が印加されると伸長して、前記駆動部材の前記基台部を前記ダイアフラムから離間させる圧電素子であることを要旨とする。こうした構成を有する本発明の送液ポンプにおいては、電圧を印加して圧電素子を伸長させると、基台部および柱部がダイアフラムから離間してダイアフラムが変形することによりポンプ室の容積が増加する。そして、印加した電圧を取り除いて圧電素子を元の長さに復帰させると、基台部および柱部が元の位置に復帰してダイアフラムが元の形状に復帰することにより、ポンプ室の容積が減少する。このようにポンプ室の容積を増減させることで、ポンプ室から流体が圧送される。こうすれば、ポンプ室の容積を増加させた後に、ポンプ室の容積を減少させる元に戻すことによって流体が圧送される。従って、初期状態送液ポンプの動作前のポンプ室の容積は、流体の送液量には影響しないので、初期状態でのポンプ室の容積をいくらでも小さくすることができる。このため、例えば、ポンプ室に気泡の溜まり易い箇所が存在するのであれば、ポンプ室のその部分を初期状態では潰れてしまうようにすることもできる。もちろん、ポンプ室全体を潰してしまうこともできる。その結果、本発明の送液ポンプでは、ポンプ室に気泡が残ることを回避することが可能となる。尚、初期状態でのポンプ室の容積を極力小さくしておけば、ポンプ室の容積が増加した時と容積が元に戻った時との容積比を大きくすることができる。これにより、高い圧力によってポンプ室内の流体を圧送することができるので、高性能の送液ポンプを実現することが可能となる。また、上述した本発明の送液ポンプにおいては、駆動部材の柱部の周囲の複数箇所に圧電素子を設けることとしてもよい。尚、柱部の周囲の複数箇所に圧電素子を設けるとは、柱部を取り囲むように複数の圧電素子が設けられることに限らず、柱部の周囲のある領域に複数の圧電素子が偏在して設けられることも含まれる。こうすれば、複数の圧電素子によって基台部をおよび柱部をダイアフラムから離間させることで、大きな力でダイアフラムを駆動することができる。従って、送液ポンプが流体を圧送する能力を向上させることが可能となる。また、上述した本発明の送液ポンプにおいては、駆動部材の柱部を取り巻くように、断面が円環形状の圧電素子を設けることとしてもよい。こうすれば、駆動部材の基台部をダイアフラムから離間させる力を、柱部を中心として基台部に偏りなく伝えることができる。従って、基台部および柱部の動作が安定することで、ダイアフラムを安定して駆動することが可能となる。また、上述した本発明の送液ポンプにおいては、駆動部材の基台部および圧電素子との間に隙間が形成された状態で、基台部および圧電素子をケース部材で覆うこととしてもよい。こうすれば、基台部および圧電素子に異物が付着したり、基台部および圧電素子が外部から衝撃を受けたりすることを防止することが可能となる。以下では、上述した本願発明の内容を明確にするために、次のような順序に従って実施例を説明する。A.送液ポンプの構造:B.送液ポンプの動作:C.変形例:A.送液ポンプの構造:図1は、本実施例の送液ポンプ100の構造を示した説明図である。図1aには、送液ポンプ100の断面図が示されており、図1bには、送液ポンプ100の上面図が示されている。図示されているように、本実施例の送液ポンプ100は、おおまかには、圧電素子ケース110と、流路ブロック120とから構成されている。圧電素子ケース110の内部には、円筒形状の圧電素子114が収納されている。圧電素子ケース110の上面側には、圧電素子ケース110の内壁がケース内側に突出する凸部110bが設けられており、この凸部110bに対して圧電素子114の上面が固定される。また、圧電素子114の底部には底板112基台が設けられており、底板112には中心柱118柱部が立設されている。尚、本実施例では、底板112と中心柱118とが別部材で形成されているものとして説明するが、底板112と中心柱118とは一体形成されていてもよい。また、本実施例の底板112および中心柱118は、本発明の駆動部材に対応する。また、圧電素子ケース110の凸部110bの上側には、ごく浅い円形の凹部が設けられており、この凹部の底に、ステンレス鋼薄板で形成された円板形状のダイアフラム116が接着される。この状態で、ダイアフラム116の中央部は、中心柱118の上端部に対して接着される。尚、圧電素子ケース110内の圧電素子114は、電圧印加部200電圧印加手段に接続されている。詳細には後述するが、送液ポンプ100で流体を圧送する際には、電圧印加部200から圧電素子114に対して電圧を印加する。流路ブロック120は、圧電素子ケース110の上面に載せられて、ネジ止めなどによって圧電素子ケース110に堅固に取り付けられる。流路ブロック120の図面左側の側面には、出口接続管122が立設している。出口接続管122の内部には出口流路123が形成されており、この出口流路123は、流路ブロック120の底面側に開口している。また、流路ブロック120の上面側には、入口側バッファー室124が形成されている。入口側バッファー室124の中心部分には、流路ブロック120の底面側に貫通する通路が形成されており、この通路が底面側に開口する位置には逆止弁121が設けられている。さらに、流路ブロック120の図面右側の側面には入口接続管125が立設しており、入口接続管125の内部には入口流路126が形成されており、この入口流路126は入口側バッファー室124に開口している。入口接続管125は、例えばチューブなどを介して流体の供給源図示せずに接続される。B.送液ポンプの動作:図2は、送液ポンプ100が流体を圧送する動作を示した説明図である。流体の圧送を開始する際には、先ず、電圧印加部200から圧電素子114に電圧を印加することによって圧電素子114を伸長させる。このとき、底板112が圧電素子114に押されてダイアフラム116から離れる方向に移動することにより、ダイアフラム116が中心柱118に引っ張られて変形する。その結果、図2aに示されるように、流路ブロック120の底面とダイアフラム116との間の空間ポンプ室130の容積が増加して、ポンプ室130、入口側バッファー室124、入口流路126、出口流路123が流体で満たされる。その後、圧電素子114に印加した正電荷を取り除くと、図2bに示されるように、圧電素子114が元の長さに復帰することで中心柱118が元の位置に復帰しようとして、ダイアフラム116によってポンプ室130内の流体が加圧される。ここで、ポンプ室130と入口側バッファー室124との間には逆止弁121が設けられているので、ポンプ室130内の流体が入口側バッファー室124に逆流することはない。その結果、ダイアフラム116によって加圧された流体が出口流路123から押し出される。続いて、図2cに示されるように電圧を印加して圧電素子114を伸長させると、底板112および中心柱118を介してダイアフラム116が変形してポンプ室130の容積が増加して、ポンプ室130が負圧となる。この負圧は、入口側バッファー室124にある流体入口側の流体をポンプ室130に吸い込む方向に作用すると同時に、出口流路123内にある流体出口側の流体を吸い込む方向にも作用する。しかし実際には、出口側の流体が吸い込まれることはほとんど無く、図2cに示されるように、もっぱら入口側の流体がポンプ室130に吸い込まれる。これは、出口側の流路出口流路123のイナータンスに比べて、入口側の流路入口側バッファー室124および入口側バッファー室124からポンプ室130の底面側に貫通する通路部分のイナータンスが大幅に小さいことに因る。ここでイナータンスとは、流路の特性値であり、流路の一端に圧力が加わったことによって流路内の流体が流れようとする時の、流体の流れ易さを示している。たとえば、最も単純な場合として、断面積がSで長さがLの流路に密度ρの流体ここでは液体とするが満たされており、流路の一端に圧力P正確には、両端での圧力差Pが加わったものとする。流路内の流体には圧力P×断面積Sの力が作用し、その結果、流路内の流体が流れ出す。その時の流体の加速度をaとすると、流路内の流体の質量は密度ρ×断面積S×長さLだから、運動方程式を立てて変形すると、P=ρ×L×a1が得られる。更に、流路を流れる体積流量をQ、流路を流れる流体の流速をvとすると、Q=v×Sだから、dQ/dt=a×S2が成り立つ。2式を1式に代入すると、P=ρ×L/S×dQ/dt3となる。この式は、流路内の流体についての運動方程式を、流路の一端に加わる圧力P正確には両端での圧力差と、dQ/dtとを用いて表した式である。3式は、同じ圧力Pが加わるのであれば、ρ×L/Sが小さくなるほど、dQ/dtが大きくなるすなわち、流速が大きく変化することを表している。このρ×L/Sが、イナータンスと呼ばれる値である。本実施例の送液ポンプ100では、出口流路123のイナータンスは、内径が小さく且つ通路長が長いので大きな値となる。これに対してポンプ室102の入口側の流路のイナータンスは、入口側バッファー室124からポンプ室130の底面側に貫通する通路部分の通路長が短いので小さな値となる。このため、ポンプ室130が負圧となったときに、合成イナータンスの大きな出口側の液体はほとんど吸い込まれず、もっぱら合成イナータンスの小さな入口側の液体がポンプ室130に吸い込まれるのである。こうしてポンプ室130内に流体を吸い込んだら、圧電素子114に印加した電圧を取り除いてダイアフラム116を元の形状に復帰させることでポンプ室130内の流体を出口流路123から押し出し、その後、圧電素子114に再び電圧を印加してダイアフラム116を変形させることでポンプ室130内に流体を吸い込む。このように圧電素子114に電圧を印加したり、印加した電圧を取り除いたりすることを繰り返し、入口側の流路からポンプ室130に吸い込んだ流体を出口側の流路に押し出す動作を繰り返すことで、流体を圧送する。このように本実施例の送液ポンプ100では、ポンプ室130の容積を増加させることでポンプ室130内に流体を吸い込んだ後、吸い込んだ分の流体をポンプ室130から圧送する。従って、流体を吸い込む前の状態初期状態のポンプ室130の容積は、流体の送液量には影響しないので、初期状態のポンプ室130の容積をいくらでも小さくすることができる。このため、例えば初期状態のポンプ室130の容積をほとんど0とすることも可能であり、これによりポンプ室130内に気泡が混入した場合でも、ポンプ室130内に気泡が残ることを回避することができる。その結果、ダイアフラム116を元の形状に復帰させたときに、ポンプ室130内の気泡が圧縮されて流体を加圧することが困難となることを回避することができるので、送液ポンプ100が流体を圧送する能力を維持することが可能となる。また、初期状態のポンプ室130の容積を極力小さくすることで、ポンプ室130の容積が増加した時と容積が元に戻った時との容積比を大きくすることができる。これにより、高い圧力によってポンプ室130内の流体を圧送することが可能となる。図3は、従来の送液ポンプ300の構造を示した断面図である。図3aに示されているように、従来の送液ポンプ300では、ダイアフラム316の上側にポンプ室330が形成されている。また、圧電素子314は、下端側が圧電素子ケース310の底部に接着され、上端側がダイアフラム316に接着される。このような送液ポンプ300は、圧電素子314に電圧を印加して圧電素子314を伸長させることによってポンプ室330内の流体を加圧する。また、圧電素子314に印加した電圧を取り除いて圧電素子314を元の長さに復帰させると、入口側バッファー室324からポンプ室330に流体が供給される。このような従来の送液ポンプ300では、圧電素子314を伸長させてダイアフラム316を変形させても、ダイアフラム316によって排除することのできない領域がポンプ室330の周辺部分に発生する図3bを参照。従って、このような部分に気泡が入り込んでしまうと、いくらダイアフラム316を変形させても気泡を追い出すことは困難となる。これに対して、本実施例の送液ポンプ100では、そのような部分は生じない。その結果、ポンプ室130内に気泡が留まってポンプ性能が低下することを、確実に回避することが可能となる。C.変形例:上述した実施例の送液ポンプ100では、中心柱118を取り巻くように円筒形状の圧電素子114を設けるものと説明した図1を参照。しかし、圧電素子114は、伸長することによって底板112をダイアフラム116から離間させて、ポンプ室130の容積を増加させることができるものであればよい。従って、圧電素子114は円筒形状に限られず、例えば次のように圧電素子114を設けることとしてもよい。尚、以下に説明する変形例において、上述した実施例と同様の構成部分については、実施例と同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。図4は、変形例の送液ポンプ100の構造を示した説明図である。図示されているように、変形例の送液ポンプ100では、直方体形状の圧電素子114が、中心柱118の周囲の複数箇所変形例では4箇所に設けられている。このような変形例の送液ポンプ100においても、初期状態のポンプ室130の容積をほとんど0とすることで、ポンプ室130内に気泡を残ることを回避することができる。また、圧電素子114は、中心柱118の周囲の4箇所に設けるだけでよいので、中心柱118を取り巻くように円筒形状の圧電素子114設ける場合と比較して、使用する圧電素子114の量を少なくすることができる。その結果、送液ポンプ100を安価に製造することが可能となる。以上、各種の実施形態を説明したが、本発明は上記すべての実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。