門型コラムに配置されたカメラと、第1~4のアライメントマークが四隅に設けられたワークをX方向およびY方向へ移動させるXYテーブルと、積載された前記ワークを吸着パッドで吸着して前記XYテーブル上へ搬入する搬入部と、を用いて、第1~4のアライメントマークの予め記憶された各中心座標を前記カメラの撮像領域の予め記憶された中心座標に一致させるようにワークを移動させ、第1~4のアライメントマークを撮像し、撮像された第1~4のアライメントマークの各中心座標を算出するアライメントマークの検出方法であって、前記ワークを前記XYテーブル上へ搬入し、前記カメラの撮像領域内に第1のアライメントマークが配置されるように、作業者が目視確認してワークを移動し、第1のアライメントマークを撮像し、撮像された第1のアライメントマークの中心座標を算出し、前記撮像された第1のアライメントマークの中心座標と第1のアライメントマークの予め記憶された中心座標との差分を第2~4のアライメントマークの予め記憶された各中心座標に加算して第2~4のアライメントマークの予め記憶された各中心座標を補正し、前記補正後の第2~4のアライメントマークの各中心座標を前記カメラの撮像領域の予め記憶された中心座標に一致させるようにワークを各々移動させて第2~4のアライメントマークを各々1回だけ撮像し、撮像された第2~4のアライメントマークの各中心座標を算出する、ことを特徴とするアライメントマークの検出方法。請求項1記載のアライメントマークの検出方法を実行する制御手段を備えることを特徴とするレーザ加工装置。特許文献1の技術では、基板四隅のアライメントマークについて当該縦横方向に各々5倍の撮像範囲でアライメントマークが検出される場合、アライメントマーク座標の検出に時間を要した。また、当該縦横方向に各々5倍の撮像範囲の外側にアライメントマークの位置が外れた場合、アライメントマーク座標を検出できないためアラーム停止され加工できなかった。本発明の目的は上記課題を解決し、ワークの板端とアライメントマークとの距離が正確でない場合でもアライメントマーク座標を短時間で、かつ確実に検出できるアライメントマークの検出方法を提供することにある。上記課題を解決するためには、搬入部を用いてワークをXYテーブル上へ搬入し、カメラの撮像領域内に第1のアライメントマークが配置されるように作業者が目視確認してワークを移動して第1のアライメントマークを撮像し、前記撮像された第1のアライメントマークの中心座標と第1のアライメントマークの予め記憶された中心座標との差分を第2~4のアライメントマークの予め記憶された各中心座標に加算して第2~4のアライメントマークの予め記憶された各中心座標を補正し、補正された第2~4のアライメントマークの各中心座標を前記カメラの撮像領域の予め記憶された中心座標に一致させるようにワークを各々移動させて第2~4のアライメントマークを各々1回だけ撮像して、撮像された第2~4のアライメントマークの各中心座標を算出することを特徴とする。これにより、ワークの板端とアライメントマークとの距離が正確でない場合でもアライメントマーク座標を短時間で、かつ確実に検出することが可能となる。本発明により、ワークの板端とアライメントマークとの距離が正確でない場合でもアライメントマーク座標を短時間で、かつ確実に検出できる。図1は、実際のアライメントマークの位置と、制御装置113に記憶されたアライメントマークの位置との関係を示した図である。原点201は装置の機械原点であり、基準となる座標0、0が記憶されている。XYテーブル108上には鎖線で示されるワークの仮想位置203およびワークの仮想位置203に対応した第1~4のアライメントマークの記憶された仮想位置204~207が示される。点線で示される撮像範囲208はカメラ112の撮像可能な領域であり、予め中心座標が記憶されている。位置210~213は搬入部130を用いてワーク107がXYテーブル108上へ載置されたときの第1~4アライメントマークの実際の位置210~213を示す。ワークの仮想位置203および第1~4アライメントマークの仮想位置204~207からずれているため第1のアライメントマークの実際の位置210が撮像範囲208から外れている。なお、原点201の座標、アライメントマークの仮想位置204~207の各中心座標、撮像範囲208の中心座標は制御装置113に記憶されている。図2乃至図4は、本発明の動作を表すフローチャートであり、制御装置113にプログラムされている。図2は動作全体を表すフローチャートであり、上下テーブル117の上方から吸着ヘッド116を下降させてワーク107を吸着しS301、ワーク107をXYテーブル108に搬入しS302、アライメントマーク検出処理Aを実行しS303、加工処理Bを実行しS304、全ワークの加工が終了した場合S305は本発明のフローを終了する。図3にアライメントマーク検出処理Aのフローチャートを、図5に作業者が目視確認して、カメラの撮像領域208内に搬入されたワークの第1のアライメントマーク210を配置するようにワークを移動させた図をそれぞれ示す。ワーク107をXYテーブル108上に載置しS401、カメラの撮像領域内に第1のアライメントマークが配置されるように、作業者が目視確認してワーク107を移動しS402、第1のアライメントマークを撮像しS403、撮像された第1のアライメントマークの画像から第1のアライメントマークの中心座標X210、Y210を算出するS404。次に、撮像された第1のアライメントマークの中心座標X210、Y210から記憶された第1のアライメントマークの中心座標X204、Y204を減算して差分XS、YSを算出しS405、第2~4のアライメントマークの中心座標X205、Y205~X207、Y207に差分XS、YSを各々加算して補正された第2~4のアライメントマークの中心座標XH205、YH205~XH207、YH207を算出するS406。第2~4のアライメントマークの補正された各中心座標XH205、YH205~XH207、YH207を前記カメラの撮像領域の記憶された中心座標に一致させるようにワーク107を移動させて第2~4のアライメントマークを各々撮像するS407。なお、ワーク107は搬入部130を用いてXYテーブル108上へ自動的に載置されるため、第2~4のアライメントマークがカメラの撮像範囲から外れる程に回転方向にずれて載置されることはない。したがって、第2~4のアライメントマークは各々1回で撮像される。その後、撮像された第2~4のアライメントマークの画像から第2~4のアライメントマークの各中心座標X211、Y211~X213、Y213を算出しS408、一連の動作を終了する。図4は加工処理Aのフローチャートである。まず、撮像された第1~4のアライメントマークの各中心座標X210、Y210~X213、Y213の中心座標と、第1~4のアライメントマークの記憶された各中心座標X204、Y204~X207、Y207の中心座標との差分XSS、YSSを算出し、前記差分XSS、YSSを予め制御装置に記憶されている穴加工データ穴の座標に加算して補正しS501、補正された穴の座標をレーザ加工するS502。レーザ加工終了後、ワークを搬出しS503、加工処理を終了する。なお、第1~4のアライメントマークは、例えば、直径1mm~2mmの円形のマークである。カメラの撮像領域はアライメントマーク直径の1.2倍~1.4倍の長さの辺で構成される正方形であり、アライメントマーク直径が1mmの場合1.2mm角~1.4mm角である。以上の結果から、ワークの板端とアライメントマークとの距離が正確でない場合でもアライメントマーク座標を短時間で、かつ確実に検出できるので加工のスループットを向上させることが認められた。なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々の変形が可能で有り、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。