i界面活性剤を含む有機溶媒に、水を含む水相を添加し、油中水マイクロエマルジョンを製造する段階と、ii前記マイクロエマルジョンにタンタル前駆体を導入する段階と、iii前記ii段階で得た溶液に、有機シラン基又はホスフィン基を含む表面改質剤を添加し、反応させる段階と、iv前記iii段階の反応結果物から前記有機溶媒を除去する段階と、v前記iv段階で得た混合物から、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を分離する段階と、を含んでなることを特徴とする、表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記界面活性剤が非イオン性界面活性剤であることを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記有機溶媒が、シクロヘキサン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、イソオクタン、ノナン、デカン及びトルエンよりなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記水相が親水性溶媒をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記水と親水性溶媒の比率を異ならしめて酸化タンタルのサイズを調節することを特徴とする、請求項4に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記親水性溶媒が、C1-8アルコール、アセトニトリル、C1-8エーテル及びアセトンよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項4又は5に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記水相が補助界面活性剤をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記水相が触媒として酸又は塩基をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記水相のpHが2以下又は13以上であることを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記タンタル前駆体がタンタルアルコキシドC1~C4又はタンタル塩であることを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記表面改質剤が、トリオクチルホスフィンtrioctylphosphine、TOP、メタクリルオキシプロピルトリメトキシシランmethacryloxypropyltrimethoxysilane、MPTMS、ポリエチレングリコールシランpolysilane、3-アミノプロピルトリエトキシシラン3aminopropyltriethoxysilane、APS、及びテトラエチルオルソシリケートtetraethylorthosilicate、TEOSよりなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記表面改質剤は、前記酸化タンタルナノ粒子と結合するシラン基又はホスフィン基の他方に、生体適合性物質、有機染料、生体活性物質、作用基、有機分子、有機金属、ナノ粒子、シェル構造、及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれる機能性物質が結合したものであることを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記生体適合性物質が、ポリビニルアルコール、ポリラクチド、ポリグリコリド、ポリラクチド-グリコリド共重合体poly、ポリアンヒドリド、ポリエステル、ポリエーテルエステル、ポリカプロラクトン、ポリエステルアミド、ポリアクリレート、ポリウレタン、ポリビニルフルオリド、ポリビニルイミダゾールpoly、クロロスルホネートポリオレフィン、ポリエチレンオキシド、ポリエチレングリコールpoly、デキストラン、これらの混合物、及びこれらの共重合体よりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項12に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記有機染料が、ローダミン、ローダミン誘導体、フルオレシン、フルオレシン誘導体、ルシフェリン、ルシフェリン誘導体、及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項12に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記生体活性物質が、生体内の標的物質と選択的に結合するタンパク質、RNA、DNA、抗体及びこれらの組み合わせから選ばれる標的指向性物質であり、或いはアポトーシス誘導遺伝子又は毒性タンパク質;蛍光物質;同位元素;光、電磁気波、放射線又は熱に感応する物質;薬理活性を示す物質、及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項12に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記iv段階が、60°C以下の温度で加熱することにより行われることを特徴とする、請求項1に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。前記方法が単一反応器内で行われることを特徴とする、請求項1~16のいずれか1項に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法。酸化タンタルナノ粒子、及び前記酸化タンタルナノ粒子にホスフィン基又はシラン基を介して結合した機能性物質を含む、表面改質された酸化タンタルナノ粒子。前記機能性物質が、生体適合性物質、有機染料、生体活性物質、作用基、有機分子、有機金属、ナノ粒子、シェル構造、及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項18に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子。前記表面改質された酸化タンタルナノ粒子の平均サイズが3nm~50nmであることを特徴とする、請求項18に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子。前記酸化タンタルがTaOであることを特徴とする、請求項18に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子。酸化タンタルナノ粒子、及び前記酸化タンタルナノ粒子にホスフィン基又はシラン基を介して結合した機能性物質を含む、X線コンピュータ断層撮影用造影剤。前記生体適合性物質が、ポリビニルアルコール、ポリラクチド、ポリグリコリド、ポリラクチド-グリコリド共重合体poly、ポリアンヒドリド、ポリエステル、ポリエーテルエステル、ポリカプロラクトン、ポリエステルアミド、ポリアクリレート、ポリウレタン、ポリビニルフルオリド、ポリビニルイミダゾールpoly、クロロスルホネートポリオレフィン、ポリエチレンオキシド、ポリエチレングリコールpoly、デキストラン、これらの混合物、及びこれらの共重合体よりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項22に記載のX線コンピュータ断層撮影用造影剤。前記酸化タンタルナノ粒子の表面にシラン基又はホスフィン基を介して結合した有機染料をさらに含むことを特徴とする、請求項22に記載のX線コンピュータ断層撮影用造影剤。前記有機染料が、ローダミン、ローダミン誘導体、フルオレシン、フルオレシン誘導体、ルシフェリン、ルシフェリン誘導体、及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項24に記載のX線コンピュータ断層撮影用造影剤。前記酸化タンタルナノ粒子の表面にシラン基又はホスフィン基を介して結合した生体圧制物質をさらに含むことを特徴とする、請求項22に記載のX線コンピュータ断層撮影用造影剤。前記生体活性物質は、生体内の標的物質と選択的に結合するタンパク質、RNA、DNA、抗体及びこれらの組み合わせの中から選ばれる標的指向性物質であり、或いはアポトーシス誘導遺伝子又は毒性タンパク質;蛍光物質;同位元素;光、電磁気波、放射線又は熱に感応する物質;薬理活性を示す物質、及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項26に記載のX線コンピュータ断層撮影用造影剤。前記酸化タンタルがTaOであることを特徴とする、請求項22~27のいずれか1項に記載のX線コンピュータ断層撮影用造影剤。i界面活性剤を含む有機溶媒に、水を含む水相を添加し、油中水マイクロエマルジョンを製造する段階と、ii前記マイクロエマルジョンにタンタル前駆体を導入する段階と、iii前記ii段階で得た溶液に、有機シラン基又はホスフィン基を含む表面改質剤を添加し、反応させる段階と、iv前記iii段階の反応結果物から前記有機溶媒を除去する段階と、v前記iv段階で得た混合物から、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を分離する段階と、vi前記分離された、表面改質された酸化タンタルナノ粒子をポリマー含有溶液に添加した後、加熱して前記溶媒を除去する段階と、を含んでなる、表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物の製造方法。前記ポリマーが、ポリウレタン共重合体、セルロース系誘導体、ポリメチルメタクリレートPMMA、ポリメチルアクリレートPMA、ポリアクリル共重合体、ポリビニルアセテートPVAc、ポリビニルアセテート共重合体、ポリビニルアルコールPVA、ポリフルフリルアルコールPPFA、ポリスチレン、ポリスチレン共重合体、ポリエチレンオキシドPEO、ポリプロピレンオキシドPPO、ポリエチレンオキシド共重合体、ポリプロピレンオキシド共重合体、ポリカーボネートPC、ポリビニルクロリドPVC、ポリカプロラクトン、ポリビニルピロリドンPVP、ポリビニルフルオリド、ポリビニリデンフルオリド、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項29に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物の製造方法。前記水相が親水性溶媒をさらに含むことを特徴とする、請求項29に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物の製造方法。前記親水性溶媒が、C1-8アルコール、アセトニトリル、C1-8エーテル及びアセトンよりなる群から選ばれることを特徴とする、請求項31に記載の表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物の製造方法。請求項29~32のいずれか1項の方法によって製造された、表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物を基板上に塗布することにより製造される、高誘電薄膜。本発明の基本的な目的は、i界面活性剤を含む有機溶媒に、水を含む水相を添加し、油中水マイクロエマルジョンを製造する段階と、ii前記マイクロエマルジョンにタンタル前駆体を導入する段階と、iii前記ii段階で得た溶液に、有機シラン基又はホスフィン基を含む表面改質剤を添加し、反応させる段階と、iv前記iii段階の反応結果物から前記有機溶媒を除去する段階と、v前記iv段階で得た混合物から、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を分離する段階とを含む、表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法を提供することにある。本発明の他の目的は、酸化タンタルナノ粒子、及び前記酸化タンタルナノ粒子にホスフィン基又はシラン基を介して結合した機能性物質を含む、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を提供することにある。本発明の別の目的は、酸化タンタルナノ粒子、及び前記酸化タンタルナノ粒子にホスフィン基又はシラン基を介して結合した機能性物質を含む、X線コンピュータ断層撮影用造影剤を提供することにある。本発明の別の目的は、i界面活性剤を含む有機溶媒に、水を含む水相を添加し、油中水マイクロエマルジョンを製造する段階と、ii前記マイクロエマルジョンにタンタル前駆体を導入する段階と、iii前記ii段階で得た溶液に、有機シラン基又はホスフィン基を含む表面改質剤を添加し、反応させる段階と、iv前記iii段階の反応結果物から前記有機溶媒を除去する段階と、v前記iv段階で得た混合物から、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を分離する段階と、vi前記分離された、表面改質された酸化タンタルナノ粒子をポリマー含有溶液に添加した後、加熱して前記溶媒を除去する段階とを含む、表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物の製造方法、そしてそれを基板上に塗布することにより製造される高誘電薄膜を提供することにある。本発明で使用される大部分の用語は、当業者が認知しうるものであるが、それにも拘らず、次の定義は本発明の理解を助けるために提示される。ところが、明示的に定義されていない場合、用語は当業者によって当時受け入れられるような意味を採用することにより解釈されるべきである。コンピュータ体軸断層撮影又はコンピュータ補助断層撮影CAT及び身体断面X線撮影とも知られているX線コンピュータ断層撮影、略してCTは、断層撮影を用いる医療画像化方法であり、ここで、デジタルプロセッシングが、単一回転軸の周辺に撮られた多くの一連の2次元X線画像から対象又は被実験体の内部の3次元画像を作り出すように使用される。ここでの論議がコンピュータ断層撮影に焦点を合わせたが、そのような論議は全類型のX線画像化に一般に適用されるということが当業者によって認知されるであろう。X線コンピュータ断層撮影造影剤は、関心のある体積を介して透過された放射線を減少させるように入射X線放射線を相当減衰させることが可能な物質を含む製剤である。このようにCT画像の改造及び通常の後処理の後に増加されたX線減衰は、関心のある体積の密度増加として解釈される。これは、画像の背景組織に比べて、造影剤を含む体積で造影形状を作り出す。ここでの論議が一般に全てのX線画像化に適用可能であるため、本発明ではX線コンピュータ断層撮影用造影剤と呼ぶ。ナノ粒子とは、約1nm~約1000nm、又は約1nm~約500nmの平均直径を有する粒子であり、ナノ粒子のコア部分の他に、表面に結合した作用基を含む意味で使用できる。このようなナノ粒子は球状又は不規則な形状であってもよい。マイクロエマルジョンME方法は、ナノ粒子を合成するためにマイクロ反応器としてエマルジョン内の水滴を用いる。例えば、非イオン性界面活性剤を用いる多様な油中水MEシステムが単分散性シリカナノ粒子の合成のために使用されたことがある。このシステム内において、界面活性剤分子は油相と水相との界面でミセル構造によって結合する。制御された条件の下で、約10nm以下の均一なミセルスピアが形成できる。このミセルスピアは互いに衝突してそれぞれそれらの含有物を交換することができる。前記ミセルスピアそれぞれの内部には金属アルコキシド前駆体及び酸/塩基触媒が水相中にある。合成中に、前記前駆体の加水分解及び縮合で金属酸化物を形成し、これはゾルゲル反応として知られている。均一な球状のミセル内に閉じ込まれたゾルゲル反応は単分散金属酸化物ナノ粒子の形成を導くことができる。ミセルは、柔らかい鋳型としての役割だけでなく、前記ナノ粒子の凝集を妨害し且つそれらの表面を保護する役割を果たすことができる。前記ナノ粒子のサイズ分布及び凝集速度は、主に、前記前駆体の反応速度と前記ミセルの含有物の交換速度との比率に依存することができる。前記ナノ粒子の成長力学はpH、電解質、界面活性剤、前駆体の濃度、及び油相に対して水の比率を調節することにより制御することができる。マイクロエマルジョン合成の利点の一つは、粒子のサイズ及び構成が界面活性剤に対する水の比率を変化させることにより容易に調節できることである。また、コア-シェルの構造はコア粒子を含むマイクロエマルジョンシステムに追加の前駆体を添加することにより実現可能であり、前記コア粒子は後で逆ミセル膨潤を生じさせるおそれがある。一方、既存のマイクロエマルジョン方法によるときに欠点があるので、他の溶媒に分散させ或いは粉末状の粒子を得るために、前記ナノ粒子を逆ミセル鋳型から離脱させると、粒子の表面が不安定であって互いに凝集する。そのため、粒子の表面に直接付着する安定化剤を導入して逆ミセルを除去しても粒子の分散性が維持されるようにしなければならない。よって、連続的に別の安定化剤が逆鋳型を維持したままで導入されなければならない。本発明における酸化タンタルナノ粒子も高反応性の表面により凝集が逆ミセル鋳型の強度に強く依存する。したがって、粒子の純粋化のために粒子溶解度の異なる溶媒を添加して粒子を沈殿させるか或いはME相の溶媒を蒸発させるために加熱しても、逆ミセル膜の強度が弱くて粒子が凝集する現象が起こる。このため、前記MEに直接的に安定化剤又は機能基を有する安定化剤を導入して低温で共有結合を誘導する方法を使用する。このような改質技術は、単純であるうえ、多様な機能基を有する安定化剤の導入により多様な応用を可能とする。それだけでなく、粒子の純粋化を容易にすることができ且つMEに使う溶媒をリサクルすることができるようにして量産を可能とする。高誘電薄膜は、有機薄膜トランジスタOTFTなどにおいて、電子の移動度を高めるために重要な役割を果たす。OTFTの性能をさらに高めるために、誘電体は高度の絶縁性、透明性、可撓性及び薄い厚さを有しなければならない。ところが、有機誘電薄膜は小さい誘電定数k=5~10を有するが、これに対し、無機誘電薄膜は、疎水性の有機フィルムに対する接着性がなく、有機フィルムの溶融を起こす高温工程を必要とする。本発明で使用される非晶質のタンタル酸化物ナノ粒子TaOxは高い誘電定数k~25を有する透明物質である。また、コロイドナノ粒子溶液が費用効率的であり、低温工程に適した、OTFT用高誘電薄膜の溶液ベース製造のために使用できる。よって、TaOx溶液から形成された誘電薄膜は有機誘電薄膜及び無機誘電薄膜の弱点を補完することができる。本発明において、酸化タンタルTaOx、0≦x≦2.5はTaO、TaO2およびTa2O5を含む。酸化タンタルTaOxナノ粒子はX線造影剤として適しうる。最近、金ナノ粒子がその長い循環時間、高いX線吸収、生体適合性、及び多様な変形技術により、X線CT造影剤としての用途で関心を引いてきた。ところが、酸化タンタルナノ粒子は、金ナノ粒子と比較して同等又はさらに優れた特性を示す。タンタルは、歯科用吸着剤又は充填剤、及び内血管手術におけるステントのために使用される生体適合性物質として知られている。非晶質酸化タンタルは血液生体適合性に良いより低い表面エネルギーを持っている。しかも、酸化タンタルは、特別な細胞毒性が報告されたことのない金属ベースX線造影剤のうち、シリカと金に次ぐ最も生体親和的な金属ベース物質である。また、タンタルのX線減衰係数が金と類似しており100eVでそれぞれ、4.3及び5.16cm2、タンタルは金に比べて200倍程度低価格である。また、本発明の酸化タンタルナノ粒子は、一般にX線造影剤として使用されるヨウ化化合物が直面した問題点を解決することができる。誘導される副作用、例えばアナフィラクトイド反応及び造影剤誘発性腎症と共に、ヨウ化化合物ベースX線造影剤は、ヨウ素の低いX線吸収率により高濃度の溶液を使用しなければならないので、高い粘性の溶液を注入しなければならないうえ、速い腎臓排泄により体内循環時間が短い。以前の研究で、防汚剤に結合した高い電子密度を有するナノ粒子を用いたX線造影剤は、長い循環時間を有し、単位濃度当たり高い造影効果を示すものと観察されている。本発明の基本的な目的は、i界面活性剤を含む有機溶媒に、水を含む水相を添加し、油中水マイクロエマルジョンを製造する段階と、ii前記マイクロエマルジョンにタンタル前駆体を導入する段階と、iii前記ii段階で得た溶液に、有機シラン基又はホスフィン基を含む表面改質剤を添加し、反応させる段階と、iv前記iii段階の反応結果物から前記有機溶媒を除去する段階と、v前記iv段階で得た混合物から、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を分離する段階とを含む、表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法を提供することにより達成できる。前記界面活性剤は非イオン性界面活性剤であってもよい。また、前記非イオン性界面活性剤は、ポリオキシエチレン-5-ノニルフェニルエーテルpolyoxyehylene5nonylphenylehter=NP-5、ポリオキシエチレンソルビタンpolyoxyehtylenesorbitan、Tween、ポロキサマー、ソルビタンエステルsorbitanester、Span又はこれらの組み合わせであってもよい。前記有機溶媒は、マイクロエマルジョンにおいて油相として使用できる通常の有機溶媒であってもよい。より具体的には、前記有機溶媒はシクロヘキサン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、イソオクタン、ノナン、デカン、トルエン又はこれらの組み合わせであってもよい。前記水相は親水性溶媒をさらに含んでもよい。前記水と親水性溶媒の比率を異ならしめて酸化タンタルのサイズを調節することができる。前記親水性溶媒の量が増加するほど、生成される酸化タンタルナノ粒子のサイズが増加する。好ましくは、前記親水性溶媒はC1-8アルコール、アセトニトリル、C1-8エーテル又はアセトンから選択できる。より好ましくは、前記親水性溶媒はエタノールである。また、前記水相は脂肪酸塩などの補助界面活性剤をさらに含んでもよい。前記脂肪酸塩は脂肪酸のカルシウム塩やマグネシウム塩、カリウム塩などであってもよく、飽和又は不飽和脂肪酸であってもよい。好ましくは、前記脂肪酸塩はオレイン酸ナトリウムである。しかも、前記水相は触媒として酸又は塩基をさらに含んでもよい。これにより、前記水相のpHは2以下又は13以上であってもよい。例えば、前記酸又は塩基触媒は、塩基触媒として水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどが使用でき、酸触媒として塩酸や酢酸などが使用できる。前記タンタル前駆体はタンタルアルコキシド又はタンタル塩であってもよい。より好ましくは、前記タンタル前駆体はC1~C4タンタルアルコキシドである。最も好ましくは、前記タンタル前駆体はタンタルエトキシドである。前記表面改質剤は、シラン基又はホスフィン基を有する化合物であって、好ましくはトリオクチルホスフィンtrioctylphosphine、TOP、メタクリルオキシプロピルトリメトキシシランmethacryloxypropyltrimethoxysilane、MPTMS、ポリエチレングリコールシランpolysilane、3-アミノプロピルトリエトキシシラン3aminopropyltriethoxysilane、APS、テトラエチルオルソシリケートtetraethylorthosilicate、TEOS、又はこれらの組み合わせであってもよい。前記表面改質剤は、表面改質効果とともに安定化効果を奏する。しかも、前記表面改質剤は、前記酸化タンタルナノ粒子に結合するシラン基又はホスフィン基の他方に、生体適合性物質、有機染料、生体活性物質、作用基、有機分子、有機金属、ナノ粒子又はシェル構造、又はこれらの組み合わせから選択される機能性物質が結合したものであってもよい。前記機能性物質は、本願で使用されるシラン基又はホスフィン基を有する表面改質剤と結合して反応中に添加できるものであればいずれの物質でも利用できる。前記生体適合性物質は、ポリビニルアルコール、ポリラクチド、ポリグリコリド、ポリラクチド-グリコリド共重合体poly、ポリアンヒドリド、ポリエステル、ポリエーテルエステル、ポリカプロラクトン、ポリエステルアミド、ポリアクリレート、ポリウレタン、ポリビニルフルオリド、ポリビニルイミダゾールpoly、クロロスルホネートポリオレフィン、ポリエチレンオキシド、ポリエチレングリコールpoly、デキストラン、これらの混合物、又はこれらの共重合体であってもよい。また、前記有機染料は、ローダミン、ローダミン誘導体、フルオレシン、フルオレシン誘導体、ルシフェリン、ルシフェリン誘導体、及びこれらの組み合わせであってもよい。例えば、前記有機染料としてローダミンB-イソチオシアネートrhodamineBisothiocyanate、RITCが使用できる。また、前記生体活性物質は、生体内の標的物質に選択的に結合するタンパク質、RNA、DNA、抗体及びこれらの組み合わせから選ばれる標的指向性物質であり、或いはアポトーシス誘導遺伝子又は毒性タンパク質;蛍光物質;同位元素;光、電磁気波、放射線又は熱に感応する物質;薬理活性を示す物質、又はこれらの組み合わせであってもよい。本発明の方法において、前記iv段階は、ロータリー蒸発器などを用いて、60°C以下の温度で加熱することにより行われてもよい。また、前記iv段階で、使用された有機溶媒をその沸騰点又はそれ以上の温度で加熱してもよい。本発明の方法のv段階は通常の精製/分離方法によって行われてもよい。例えば、製造されたナノ粒子を溶媒-非溶媒法及び遠心分離を用いて洗浄及び分離することができるが、これに限定されるものではない。前述した本発明の方法は単一反応器内で行われてもよいが、これに限定されるものではない。本発明の別の目的は、酸化タンタルナノ粒子、及び前記酸化タンタルナノ粒子にホスフィン基又はシラン基を介して結合した機能性物質を含む、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を提供することにより達成できる。前記機能性物質は、生体適合性物質、有機染料、生体活性物質、作用基、有機分子、有機金属、ナノ粒子、シェル構造又はこれらの組み合わせであってもよい。前記表面改質された酸化タンタルナノ粒子の平均サイズが3nm~50nmであってもよく、これらの平均サイズに対する標準偏差は約5以下である。前記酸化タンタルはTaOであってもよい。本発明の別の目的は、酸化タンタルナノ粒子、及び前記酸化タンタルナノ粒子にホスフィン基又はシラン基を介して結合した機能性物質を含む、X線コンピュータ断層撮影用造影剤を提供することにより達成できる。前記生体適合性物質は、ポリビニルアルコール、ポリラクチド、ポリグリコリド、ポリラクチド-グリコリド共重合体poly、ポリアンヒドリド、ポリエステル、ポリエーテルエステル、ポリカプロラクトン、ポリエステルアミド、ポリアクリレート、ポリウレタン、ポリビニルフルオリド、ポリビニルイミダゾールpoly、クロロスルホネートポリオレフィン、ポリエチレンオキシド、ポリエチレングリコールpoly、デキストラン、これらの混合物、又はこれらの共重合体であってもよい。前記酸化タンタルナノ粒子の表面にシラン基又はホスフィン基を介して結合した有機染料をさらに含んでもよい。前記有機染料はローダミン、ローダミン誘導体、フルオレシン、フルオレシン誘導体、ルシフェリン、ルシフェリン誘導体、又はこれらの組み合わせであってもよい。例えば、前記有機染料としてローダミン-B-イソチオシアネートrhodamineBisothiocyanate、RITCが使用できる。前記酸化タンタルナノ粒子の表面にシラン基又はホスフィン基を介して結合した生体活性物質をさらに含んでもよい。前記生体活性物質は、生体内の標的物質と選択的に結合するタンパク質、RNA、DNA、抗体及びこれらの組み合わせから選ばれる標的指向性物質であり、或いはアポトーシス誘導遺伝子又は毒性タンパク質;蛍光物質;同位元素;光、電磁気波、放射線又は熱に感応する物質;薬理活性を示す物質、又はこれらの組み合わせであってもよい。本発明のX線コンピュータ断層撮影用造影剤において、前記酸化タンタルがTaOであってもよい。本発明の別の目的は、i界面活性剤を含む有機溶媒に、水を含む水相を添加し、油中水マイクロエマルジョンを製造する段階と、ii前記マイクロエマルジョンにタンタル前駆体を導入する段階と、iii前記ii段階で得た溶液に、有機シラン基又はホスフィン基を含む表面改質剤を添加し、反応させる段階と、iv前記iii段階の反応結果物から前記有機溶媒を除去する段階と、v前記iv段階で得た混合物から、表面改質された酸化タンタルナノ粒子を分離する段階と、vi前記分離された、表面改質された酸化タンタルナノ粒子をポリマー含有溶液に添加した後、加熱して前記溶媒を除去する段階とを含む、表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物の製造方法、そしてそれを基板上に塗布することにより製造される高誘電薄膜の提供によって達成できる。前記ポリマーは、ポリウレタン共重合体、セルロース系誘導体、ポリメチルメタクリレートPMMA、ポリメチルアクリレートPMA、ポリアクリル共重合体、ポリビニルアセテートPVAc、ポリビニルアセテート共重合体、ポリビニルアルコールPVA、ポリフルフリルアルコールPPFA、ポリスチレン、ポリスチレン共重合体、ポリエチレンオキシドPEO、ポリプロピレンオキシドPPO、ポリエチレンオキシド共重合体、ポリプロピレンオキシド共重合体、ポリカーボネートPC、ポリビニルクロリドPVC、ポリカプロラクトン、ポリビニルピロリドンPVP、ポリビニルフルオリド、ポリビニリデンフルオリド、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、又はこれらの組み合わせであってもよい。前記ポリマーは、これらが溶解できる適切な溶媒に溶解された溶液状態で反応物に添加できる。例えば、有機溶媒中で前記ポリマーを含む溶液状態で反応物に添加できる。前記有機溶媒としてはアルコールや芳香族溶媒例えば、トルエンなどなどであってもよいが、これに限定されるものではない。前記ポリマーの添加以外の段階は、前述の表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法と関連して説明した内容が、そのまま適用できる。前記水相は親水性溶媒をさらに含んでもよい。前記親水性溶媒はC1-8アルコール、アセトニトリル、C1-8エーテル又はアセトンから選択できる。好ましくは、前記親水性溶媒はエタノールである。本発明の高誘電薄膜は、前述した方法で製造された、表面改質された酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物をトルエンなどの有機溶媒にさらに溶解させて液状に製造して液相塗布を行うことができるが、これに限定されるものではない。前記液相塗布の方法は、基板上に薄膜を形成することが可能な通常の液相塗布法が利用でき、例えば、スピンコーティング、ディップコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷などの通常の液相塗布方法が用いられてもよい。本発明の一実施例に係る表面改質された酸化タンタルナノ粒子の製造方法によれば、表面改質された単分散性酸化タンタルナノ粒子を簡単な方法で製造することができ、グラムスケールの大量合成を実現することができる。また、マイクロエマルジョンの製造において、表面改質に至る過程を単一反応器内で連続的に行うことができる。さらに、相対的に低い温度で反応が行われ、溶媒の再使用が可能であって非常に安い費用で大量合成が可能である。本発明の一実施例によって製造された、表面改質された酸化タンタルナノ粒子は、有機薄膜トランジスタ用高誘電薄膜、X線CT造影剤などの様々な応用分野に利用できる。本発明の一実施例によって製造された、表面改質された酸化タンタルナノ粒子は、X線CT造影剤として金ナノ粒子に相応する或いはさらに優れた特性、例えば、高いX線吸収、優れた生体適合性、長い循環時間などを有するため、優れたX線CT造影剤として活用できる。本発明の一実施例によって製造された高誘電薄膜は、表面改質されたタンタルナノ粒子を含有するため、フィルムの粗さを減少させることができ、有機薄膜トランジスタの性能を向上させることができるため、工程の単純化、費用効率及び性能の面において理想的な誘電体として利用できる。以下、下記の実施例及び図面を挙げて本発明をより具体的に説明する。ところが、下記の実施例及び図面に対する説明は、本発明の具体的な実施様態を特定して説明しようとするものに過ぎず、本発明の権利範囲を限定又は制限解釈しようとするものではない。実施例1:マイクロエマルジョン内における酸化タンタルナノ粒子の合成2.3gのIgepalCO-520polyoxyethylene5nonylphenylether:NP-5、エタノールSamchun、99.5及び20mLのシクロヘキサンSamchun、99.5からなる有機相に、0.25mLのNaOH水溶液75mMを添加してマイクロエマルジョンmicroemulsion、MEを準備した。室温で0.05mLのタンタルVエトキシド0.03mmol、Strem、99.8を前記マイクロエマルジョンMEに添加した後、5分以内で、酸化タンタルナノ粒子を含む混合物以下、TaOx-MEというを得た。前記エタノールの量を変化0mL、0.25mL、0.5mL及び0.75mLさせて酸化タンタルナノ粒子のサイズを調節した。実施例2:酸化タンタルナノ粒子酸化タンタルナノ粒子のワンポット表面改質ミセル構造が崩壊した後に凝集させることなく、MEから酸化タンタルナノ粒子を抽出するために、適量のTOP、APS、MPTMS、PEGシラン又はTEOSが酸化タンタルナノ粒子製造の最終段階でMEに導入された。トリオクチルホスフィンで安定化された酸化タンタルナノ粒子トリオクチルホスフィンTOPで安定化された酸化タンタルを合成するために、4mLのTOPと結合したMEを60°Cで蒸発させた。その後、TOPで安定化された酸化タンタルナノ粒子及びNP-5の透明溶液をクロロホルム及びメタノールを用いて溶媒/非溶媒沈殿方法によって数回洗浄し、2000rpmで30分間遠心分離した。前記ナノ粒子はクロロホルム又はトルエンなどの有機溶媒中でよく分散した。有機シランで表面改質された酸化タンタルナノ粒子全ての有機シランで変形された酸化タンタルナノ粒子は、それぞれ3-アミノプロピルトリエトキシシランAPS、メタクリルオキシプロピルトリメトキシシランMPTMS又はPEGシランそれぞれ0.1mL、0.5mL、0.05mLをTaOx-MEと室温で24時間反応させて製造した。その後、有機シランによって表面改質された粒子は沈殿した。反応の後、前記表面改質反応を確実に完了するために、結果溶液を60°Cで蒸発させた。その結果、前記溶液が透明になった。未反応の有機シラン及びNP-5をヘキサン又は1:1のエタノール/ヘキサンPEGシランの場合の混合溶液に添加して溶解させた。沈殿した残留粒子は、2000rpmで遠心分離すると共に、多数回溶媒/非溶媒アセトン/ヘキサンで洗浄した。MPTMSグラフト酸化タンタルナノ粒子は、エタノール又はクロロホルムなどの有機溶媒内でよく溶解された。APGグラフト、アミノで機能化された酸化タンタルナノ粒子は3時間超音波処理によってエタノール中で溶解された。PEG化酸化タンタルナノ粒子は数分間超音波処理によって水中でよく溶解された。酸化タンタルナノ粒子のワンポットシリカコーティングTEOS0.3mLをTaOx-MEに添加して、室温で6時間以上攪拌した。その後、アンモニア溶液303mLを添加して3時間持続的に攪拌した。3mLの酢酸エチルを添加して24時間酸化タンタルナノ粒子の表面上にシリカシェルを徐々に成長させた。実施例3:酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物及び高誘電薄膜の製造TaOx/PMMAナノ組成物及び薄膜実施例2によって予め合成された10mLのクロロホルムに溶解させたMTPMSグラフトTaOxNPを、0.5gのPMMAを含むトルエン溶液に添加した。MPTMS-TaOx/PMMA溶液を、全てのトルエン/クロロホルム溶媒が蒸発するまで24時間60°Cで攪拌しながら、ロータリー蒸発器で蒸発させた。得られたパウダーを30mLのクロロホルム/トルエンの混合溶液v/v=0.25~1に溶解させた後、その一滴5~10μLを、直径10cmのペトリ皿に含有された脱イオン水の表面に位置させた。30分後、透明なMPTMS-TaOx/PMMAフィルムが形成された。ピペットを用いて、含有された全ての水を抽出することにより、ペトリ皿の底部に予め載置しておいたITOガラス基板上に蒸着させた。実施例2によって予め合成した10mLのクロロホルムに溶解させたTOP安定化TaOxNPを、0.5gのPMMAを含む10mLのトルエン溶液に溶解させた。前述したMPTMS-TaOx/PMMAフィルムの製造と同一の方法で混合された溶液をロータリー蒸発器で蒸発させ、30mLのトルエンに溶解させた後、ITOガラス上に蒸着させた。TaOx/PMMAナノ組成物TaOx-MEを、0.16gのP4VPを含む15mLのエタノール溶液と混合し、90°Cで1時間加熱した後、ロータリー蒸発器によって60°Cで15分間蒸発させた。得られたパウダーをヘキサンで数回洗浄してNP-5を除去し、エタノールに溶解させた。実施例4:バイモーダルイメージングプローブによる酸化タンタルナノ粒子のPEG化及びRITC機能化110μLのアミノプロピルトリエトキシシランaminopropyltriehoxysilane:APTES、Aldrichを3.75mLのエタノール内で50mgのRITCと室温で24時間反応させ、ローダミンBイソチオシアン酸塩で機能化されたシランを準備した。こうして得た溶液を1LのPEG-シラン2methoxypropyltrimethoxysilane:PEG-シラン、Gelest、596~725Daと共に実施例1で製造された、1LのTaOx-MEに添加した。この混合物を室温で24時間攪拌すると、赤色の懸濁溶液になった。こうして得た溶液を該溶液が透明になるまで60°Cで蒸発させた後、1:1v/vのエーテル/n-ヘキサンの混合溶液を添加して、機能化された酸化タンタルナノ粒子を沈殿させた。前記沈殿物をエーテルで精製した後、エタノールに分散させた。前記溶液に100mgのmPEG-SGmethoxypolysuccinimidylgultarate、MW2000、Sunbioを添加した。前記混合物を30°Cで一晩攪拌することにより、前記機能化された酸化タンタルナノ粒子の表面上の残留アミン基にPEGを接合させた。こうして得た最終産物以下、PEG-RITC-TaOxというをPBSに分散させた。PEG-RITC-TaOxを用いたX線CT及び蛍光画像化ファントムテスト:脱イオン水に分散した多様な濃度のPEG-RITC-TaOx0.22、0.45、0.9、1.8、3.6、7.2、14.5及び29mgTa/mLを1.5mLのマイクロチューブに準備した。CT画像をデュアル-ソースCTシステムSomatomDefinition、Simensを用いて得た。画像化のための変数は次の通りとした:厚さ1mm;ピッチ1;120kVp、90mA;filedofview、84×84;0.5秒のガントリー回転時間;6mm/sのテーブル速度。細胞培養:RAW264.7を、37°Cの湿潤化5CO2雰囲気中で、フェニシリン/ストレプトマイシンそれぞれ100U/mL及び100μgμg/mL、Gibco及び10v/vウシ胎仔血清fetalbovineserum、FBS、Gibcoで補充されたDMEMDulbecco’sModifiedEable’sMedium、WelGENE内の単一層において成長させた。細胞内吸収:ナノ粒子の細胞内吸収を観察するために、ウェル当たり1×104個のRAW264.7細胞を8ウェルチャンバースライドNalgenNunc、Naperville、IL内で、多様な濃度0、0.6、1.2、2.4mgTa/mLのPEG-RITC-TaOxと共に培養した。24時間後、細胞をPBSで洗浄し、4パラホルムアルデヒドで固定し、46-ジアミジノ-2-フェニルインドールDAPI、PBS内1μg/mL、Rocheで染色した。共焦点レーザー顕微鏡CLSM、LSM510、CarlZeiss、Germanyを用いて蛍光画像を得た。細胞生存性分析:酸化タンタルナノ粒子の存在下で細胞の生存及び増殖を3-[45-ジフェニルチアゾール-2-イル]-25-ジフェニルテトラゾリウムブロミドMTT、Sigma分析を用いて評価した。前記分析は次の方法で3回行った。RAW264.7細胞を200μLの培地内にウェル当たり1×104個の密度で96ウェルプレートに接種した後、一晩培養した。その後、前記細胞を多様な濃度のPEG-RITC-TaOx0、0.075、0.15、0.3、0.6、1.2及び2.4mgTa/mLと共に24時間培養した。培養後、細胞を、0.1mg/mLのMTTを含む培地内で1時間培養した。次いで、前記MTT溶液を除去し、沈殿したバイオレットクリスタルを200μLのDMSO内に溶解させた。VersaMaxTMマイクロプレートリーダーMolecularDevicesを用いて560nmで吸光度を測定した。試験管内CT画像化:RAW264.7セルを10mLの培地にプレート当たり1×106個の密度で培養皿に接種し、一晩培養した。次いで、多様な濃度0、0.63、1.3、2.5mgTa/mLのPEG-RITC-TaOx分散液を添加した。24時間後、前記セルをPBSで2回洗浄して遊離ナノ粒子を除去し、1mLのトリプシン/EDTAを添加して脱着した。5分間1500rpmで遠心分離した後、セルを1mLの培養培地内に分散させて1.5mLのマイクロチューブに移した。5分間2000rpmで遠心分離してセルペレットを作った。デュアル-ソースCTシステムSomatomDefinition、Simensを用いてCT画像を得た。画像化のための変数は次のとおりであった:厚さ1mm;ピッチ1;120kVp、90mA;fieldofview、84×84:0.5秒のガントリー回転時間;6mm/sのテーブル速度。生体内CT画像化:PEG-RITC-TaOxの注入前と投与後の適切な時点でCT画像を得た。Zoletil1.92mg/kg;Virbac、France、Rompun0.48mg/kg;BayerKorea、Korea及び塩水の混合物を腹腔内投与してラットを麻酔させた。次いで、1mLのPEG-RITC-TaOx分散液840mg/kgをラットの尾静脈から注入した。リンパ節の画像化のために、100μLのPEG-RITC-TaOx溶液をラットn=2の足に真皮内注入した後、2時間まで繰り返し画像化した。Brilliance64-スライスCTスキャナーPhilipsMedicalSystemを用いてCT画像を得た。画像化のための変数は次の通りとした:厚さ0.1mm;ピッチ0.648;120kVp、192mA;fieldofview、108×108;マトリクス、1024×1024;0.75sのガントリー回転時間;16.7mm/sのテーブル速度。薄片軸画像を冠状画像に変換マルチプラナーリコンストラクションMPRと呼ばれる電算化技術を使用した。OsiriXバージョン3.8.1;32ビット;OsiriXfoundation、Genevaを用いて、3次元に再構成された画像を得た。試験管内および生体内蛍光画像化:550nmの励起波長で蛍光イメージングシステムKodakIS4000MMpro、USを用いて試験管内および生体内蛍光画像を得た。結果前記実施例1に記載された酸化タンタルナノ粒子の全般的な合成過程、及びこれを用いて得たX線CT画像を図1に示した。前記実施例1では、タンタルVエトキシドのゾルゲル反応のために、シリカゾルゲル反応で用いられた典型的なアンモニア触媒の代わりに、塩基触媒としてNaOH水溶液を使用したが、これは、タンタルVエトキシドの反応速度がTEOSの反応速度より一層速く、アンモニア触媒を使用すると、生成されたナノ粒子の凝集が起こるためである。シクロヘキサン、エタノール、NaOH及びIgepalCO-520界面活性剤からなる混合物を乳化させた後、タンタルvエトキシドを前記エマルジョンに添加した。室温で、逆ミセル内での制御されたゾルゲル反応によって均一なナノ粒子が5分以内に生成された。こうして生成されたミセル内のTaOxナノ粒子TaOx-MEのTEM写真図2を参照すると、前記ナノ粒子のサイズ分布が非常に狭いσr≦5。前記ナノ粒子に対するXRD分析結果図3、ED分析結果図2の挿入度及びXPS分析結果図4を参照すると、前記ナノ粒子が無定形であり、Ta2O5、TaOなどのTaOxが生成されることが分かる。前記ナノ粒子のサイズはエタノールの量を変化させることにより、5nm~15nmの範囲内で調節することができる図5。エタノールの量を増加させると、タンタルエトキシドの加水分解速度が減少して大きいナノ粒子が生成されうる。トルエン、ヘキサン又はアセトンなどのその他の溶媒を酸化タンタルナノ粒子形成MEに加えたとき、ミセル構造の破壊と共に、酸化タンタルナノ粒子の表面のヒドロキシル基間の反応によって速い凝集が起こった。これは酸化タンタルナノ粒子が乳化剤と共有結合していない可能性があることを示す。よって、分離された形態のナノ粒子を得るために、表面配位結合剤がワンポット反応によって導入されるべきである。特に、酸化タンタルナノ粒子の凝集前に、シラン及びTOPは溶媒シクロヘキサン/エタノール/水の沸騰点以下の温度で強く接合された。酸化タンタルナノ粒子の表面がシリカよりさらに酸性であるため、シランは酸化タンタルナノ粒子のOH基と容易に結合し、TOPは弱い酸-塩基反応によるリガンドとしてのTa原子との配位結合が可能である。しかも、溶媒の抽出が60°Cで配位結合反応と同時に行われる。これは追って合成を繰り返し行う際に溶媒の再活用を可能とする。このような過程は、ME法で多量の溶媒を使用する問題を解決し、合成をスケールアップさせることを可能とする。乳化剤を数回洗浄した後、前記リガンドの結合を確認するために、安定化された酸化タンタルナノ粒子をFTIR、NMR及びTEMによって分析した図6、7及び8。FTIRはシラン上の作用基の存在を示す。50~60T2領域の間のNMRピークは、粒子、3次元成長シランT1又はT3のない配位結合したリガンドのみがあることを証明する。TEM画像に示されているように、分散性及びシリカがないことが証明される。また、実施例2に記載されているように、酸化タンタルナノ粒子上のワンポットシリカシェル成長を、水相の環境を変化させて行った。シェルを成長させるために、ミセル膨潤が必要である。ところが、ミセル膨潤はナノ粒子表面のヒドロキシル基の高い反応性により酸化タンタルナノ粒子の凝集を誘導する。よって、TEOSをまず添加して酸化タンタルナノ粒子より反応性が低いシラノール基を粒子の表面に形成した。アンモニア溶液は膨潤剤として添加された。酢酸エチルを添加して水相のpHを低下させる。これによりTEOSのゾルゲル反応が引き起こされる。その結果、均一な直径を有するシリカシェルが形成される図9参照。酸化タンタルナノ粒子/ポリマーナノ組成物のOTFT用誘電フィルムとしての応用を調査した。実施例3に記載されているように、MPTMSに統合された酸化タンタルナノ粒子及びTOPで安定化された酸化タンタルナノ粒子を、誘電体として広く用いられるPMMAと混合した。MPTMSで処理された酸化タンタルナノ粒子をエタノールに溶解させて長期間のコロイド安定性を得た。この溶液に、PMMAトルエン溶液を酸化タンタルナノ粒子:PMMAの固定比率で混合した。ロータリー蒸発器で加熱処理し、トルエンに溶解させて、TaOx/PMMAナノ組成物溶液を凝集のない綺麗な溶液に製造した。クロロホルム中に溶解されたTOP安定化酸化タンタルナノ粒子を、前述したMPTMSで処理された酸化タンタルナノ粒子の場合と同一の過程によって処理した。Brinkerグループの研究で報告されたように、空気と水の界面におけるフィルム製造を行った。一滴のMPTMSTaOx溶液を、ITOガラスが底部に位置したペトリ皿中の脱イオン水の表面に播いた。約10分内に、同時的なPMMAの固化及びPMMA内のナノ粒子のアセンブリによって薄膜フィルムの形成が誘導された。最後に、フィルムがITO基板上に蒸着されるまでピペットで水を除去してフィルムをITOガラス上に伝達し、10分間緩やかに加熱した。製造されたフィルムは完全に透明で無色であった。ITOガラスの代わりにTEMグリッド上にフィルムを蒸着させて得られたTEM画像は、PMMAフィルム内に含まれたナノ粒子のシュードアセンブリがホール等のいずれの欠陥も有しないことを示した。TEMグリッドの全体領域、ひいては粒子のない領域までPMMAでカバーされた。TEMビームがダメージを起こしたフィルム部分は剥がれた。図10のTEM画像から分かるように、1~2nmのPMMA膜はアセンブリされた酸化タンタルナノ粒子をカバーした。また、フィルムが剥がれて完全にロールアップされた後にも、TEMグリッドのカーボンフィルムの下には粒子がなかった。このような結果はTEMグリッドの全体領域がPMMAでカバーされるという前述の仮説を証明する。溶媒の比率が高まるにつれて、フィルム内の粒子間の距離が高まった。これは水と空気の境界面におけるポリマーの粘度が減少するためである図11。製造されたITO上のフィルムのAFM分析によって得られた厚さプロファイル及びRMSデータは、1層又は2層のPMMAとアセンブリされたナノ粒子が広い領域にわたって形成されたことを証明する。結論的に、製造されたポリマーフィルムは、図10eに示したようなOTFTのための高い性能の透明誘電体として使用できる潜在力を有する。実施例4において、TaOx-ME合成の後に精製過程なしで多様なシラン化合物を用いてTaOxナノ粒子の表面改質を直接行った。表面が改質されていない限り、TaOxナノ粒子の表面が酸性で、縮合反応しようとする傾向があるため、TaOxナノ粒子は追加的な安定化なしで非可逆的に凝集する。多様なシラン作用基の中からPEG-シラン及び染料接合シランを選択したが、これはこれらがそれぞれ代表的な生体適合性高分子及び蛍光プローブであるためである。前記TaOx-MEのヒドロキシル基とシラン化合物間の単純なシリカゾルゲル反応で機能化されたシリカ被覆TaOxナノ粒子が形成された。これを多重モード及び/又は標的/治療機能を有する多機能画像化プラットフォームに適用することができる。血管造影及び組織特異的画像化などの効果的なX線CT画像化のために長期間循環するナノ粒子が要求される。細網内皮系による吸収による血流からの速い除去を回避するために、PEG-シランを防汚剤として酸化タンタルナノ粒子と結合させた。蛍光画像化のために、RITC接合アミノプロピルトリエトキシシランAPTESを前記TaOxナノ粒子に付着させた。RITC接合APTES及びPEG-シランを同時に前記TaOx-MEに固定化させ、PEG及びRITCの両方が接合された酸化タンタルナノ粒子PEG-RITC-TaOxを製造した。前記PEG-RITC-TaOxのTEM画像図12aを参照すると、前記ナノ粒子が水によく分散して凝集粒子がないことが分かる。29SiNMRスペクトル結果によれば、δ~-55ppmを中心としてT2結合位置に対応する単一バンドが観察される。これは前記ナノ粒子の表面にPEG-シランが形成されており、シリカ粒子は形成されていないことを示す図13a。図12bに示すように、PEG-RITC-TaOx溶液は透明であるが、これは蛍光画像化に有利である。RITC接合TaOxは遊離RITCに匹敵するフォトルミネセンスを示すが、これは前記接合された染料が安定的で前記接合反応後にも前記染料の蛍光が維持されることを意味する。動的光散乱によって測定された前記ナノ粒子の水動力学的直径hydrodynamicdiameter、HDは約19nmであり、これは凝集がない図13bことを意味し、前記TEMデータと非常によく符合する。脱イオン水に分散した多様な濃度のPEG-RITC-TaOxを用いてX線CTファントム画像を得た。ハウンスフィールド単位HounsfieldunitHUと呼ばれるCT数は、前記ナノ粒子の濃度に応じて線形的に増加した図14。Ta原子の造影増加が、診断X線スペクトル100keVでそれぞれ4.302及び5.158cm2/gでAu原子の造影増加より若干小さいにもかかわらず、前記TaOxナノ粒子の測定HU値は、現在のヨウ素ベースX線造影剤の場合より一層高かった。MTT分析によれば、細胞生存率は2.4mgTa/mLの濃度までPEG-RITC-TaOxによって阻害されなかったが図15、その濃度は非常に高い。細胞X線CT及び蛍光画像化を行い、PEG-RITC-TaOxの投与量に依存する吸収及び試験管内多重モード画像化能力を実証した。血清含有培地内の前記ナノ粒子の異なる濃度でマウスマクロファージ細胞RAW264.7をインキュベーションすることにより、細胞内吸収を調査した。図16の共焦点レーザースキャニング顕微鏡confocallaserscanningmicroscopy、CLSM画像を参照すると、前記ナノ粒子が細胞膜陥入を介してRAW264.7細胞に吸収された。ナノ粒子を吸収した後の細胞に対する蛍光画像図17を参照すると、赤色発光がさらに強くなり、濃度増加に応じてHU値が増加した。このような蛍光及びX線CT結果は、二重モード画像化だけでなく、哺乳類細胞による前記TaOxナノ粒子の投与量に依存する吸収を示す。生体内X線CT画像化を行うために、PEG-RITC-TaOx840mg/kgをラットの尾静脈内に静脈注射した。注入前、及び注入後5分、30分、1時間、2時間、3時間及び24時間における前記ナノ粒子の分布をX線CT画像化によって追跡した図18。前記ナノ粒子を注入し次第、血管が増強して血液プールに対して空間的に描写され、ボリュームレンダリング画像を得ることができた図18c。前記増強は3時間以上持続されたが、これは前記ナノ粒子が長期間循環することを意味する。前記ナノ粒子は脾臓と肝のマクロファージにより益々蓄積された。前記血管及び心臓のHU値は注入直後に最大値に到達した。その後、徐々に減少し、前記肝及び脾臓のHU値は益々増加した表1参照。CT画像化24時間後、前記ラットを犠牲させて切開した器官を蛍光画像化してPEG-RITC-TaOxの体内分布を視覚化した。前記サンプルに対するCLSM画像を参照すると、前記ナノ粒子の大部分が肝及び脾臓から発見されたことが分かる図19。PEG-RITC-TaOxがこれらの器官において有害な影響又はどんな疾病を誘発するかを調べるために、2週間肝、脾臓、心臓、腎臓及び肺を含む幾つかの器官における組織学的変化を監視することにより、前記ナノ粒子の長期間毒性を調査した。PEG-RITC-TaOxを一度に840mg/kg注入した後、1日、3日、7日及び15日にラットを切開した。これらの器官に対するヘマトキシリン及びエオシンHE染色の結果、前記ナノ粒子が悪影響を及ぼすという証拠が確認されていない図20。時間経過による肝に対する影響を把握するために、アラニンアミノトランスフェラーゼalanineaminotransferase、ALT及びアスパラギン酸アミノトランスフェラーゼASTの血清濃度も測定した。前記1回分の注入後、前記血清濃度が一時的に増加した。その後、速く減少して3日目には定常レベルに戻ってきた図21。このような結果は酸化タンタルナノ粒子が肝だけでなく他の器官に対しても毒性が殆どないことを示す。センチネルリンパ節マッピングは、腫瘍転移の正確な診断に非常に重要である。前記リンパ節を正確にマッピングすることにより、無駄な外科的切開を回避することができる。センチネルリンパ節へ前記造影剤を伝達するために、100μLのPEG-RITC-TaOx溶液をラットの足の真皮内に注入した。前記注入2時間後に、リンパ節の位置がX線造影の増強によって測定された図22a。リンパ節の切開が二重モード画像化の助けを受けることができるか否かを検査するために、まず、前記リンパ節の位置を前記ボリュームレンダリングCT画像を用いて決定した。前記位置決定の後、前記切開すべきリンパ節部位を手術中に蛍光画像化によって特定し、次いで成功的に抽出した図22b。前記切開されたリンパ節から、蛍光画像化によってナノ粒子を発見したが、HE染色法による組織学的変化が観察されていない図23。