"コリオリ質量流量センサーにおいて、流管と、管位置センサーであって、光源と、前記光源から光を受け取るように配置されている光入口、及び前記光源から受け取った光を放射するための光出口を有する光パイプと、前記光パイプの前記光出口から光を受け取るための光検出器とを含んでいる、管位置センサーと、前記流管が、前記光パイプの前記光出口と前記光検出器の間の光路を通って動くように、前記流管を振動させるための駆動装置と、前記光パイプの前記光出口と前記光検出器の間に配置された所定の形状を有する感知孔とを備えており、前記感知孔は、前記光パイプの前記光出口から前記光検出器に放射される光の一部分を通することにより、前記光検出器に入る光が所定の形状を有する、コリオリ質量流量センサー。コリオリ質量流量センサーにおいて、流管と、管位置センサーであって、光源と、前記光源から光を受け取るための光検出器と、前記光源と前記光検出器の間に設けられた感知孔を画定している感知部材であって、前記光検出器が受け取る光の一部分を遮って、前記光検出器に入る光が所定の形状を有するようにする感知部材とを含んでいる、管位置センサーと、前記流管が前記光源と前記光検出器の間の光路を通って動くように、前記流管を振動させるための駆動装置とを備えている、コリオリ質量流量センサー。前記感知孔は、前記管位置センサーの線形性を最適化する形状をしている、請求項2に記載のコリオリ質量流量センサー。前記感知孔は三角形をしている、請求項2に記載のコリオリ質量流量センサー。前記光源から光を受け取るように配置されている光入口と、前記光源から受け取った光を放射するための光出口と、を有する光パイプを更に備えている、請求項2に記載のコリオリ質量流量センサー。前記光パイプは正多角形断面を画定している、請求項5に記載のコリオリ質量流量センサー。前記光パイプは略方形の断面を画定している、請求項5に記載のコリオリ質量流量センサー。コリオリ質量流量センサーにおいて、流管と、光源と、前記光源から光を受け取って、その光をガウス出力分布から一様な出力分布に変換するための第1手段と、前記第1手段から光を受け取るための光検出器と、前記流管が前記第1手段の出力と前記光検出器の間の光路を通って動くように、前記流管を振動させるための駆動装置とを備えている、コリオリ質量流量センサー。前記光検出器に到達した光を所望の形状に成形するための第2手段を更に備えている、請求項8に記載のコリオリ質量流量センサー。しかしながら、流量の少ない適用例では、管は比較的小さい。管が小さいと、管自体に感知ハードウェアを取り付けるのが難しいか、又は不可能である。管の振動を感知するための先行技術の解決法は、相当に不十分である。本発明は、先行技術に付帯する欠点に取り組んでいる。本開示の態様によれば、コリオリ質量流量センサーは、流管、光源、及び、光源からの光を受け取る光入口と光源から受け取った光を放射するための光出口とを有する光パイプを含んでいる。光検出器は、光パイプの光出口からの光を受け取り、駆動装置は、流管が光パイプの出口と光検出器の間の光の経路を遮るように、流管を振動させる。或る実施形態では、光パイプは、光源から受け取った光をかき混ぜ、又は混ぜ合わせて、空間的により均一な光度分布を管で実現するため、略方形、又は他の多角形の断面を画定している。所定の形状を有する感知孔は、光パイプの光出口と光検出器の間に設けられている。感知孔は、光の光出口から光検出器に放射される光の一部分を通すので、光検出器に入る光は、所定の形状を有する。感知孔と、従って光検出器に達する光の形状は、或る代表的な実施形態では三角形である。様々な構成要素が1つ又は複数の光学モジュール本体に設けられており、この本体に、構成要素を収容する開口部が画定されている。所望のパッケージサイズとするため、開口部は様々な方向に向けられ、必要に応じて光を方向決めするためにミラーとレンズが使用されている。上記課題を解決するための本願発明の一の実施例に係るコリオリ質量流量センサーは、流管と、管位置センサーであって、光源と、前記光源から光を受け取るように配置されている光入口、及び前記光源から受け取った光を放射するための光出口を有する光パイプと、前記光パイプの前記光出口から光を受け取るための光検出器とを含んでいる、管位置センサーと、前記流管が、前記光パイプの前記光出口と前記光検出器の間の光路を通って動くように、前記流管を振動させるための駆動装置とを備えている。好ましくは、前記光パイプは、多角形の断面を画定している。また好ましくは、前記光パイプは、略方形の断面を画定している。また好ましくは、前記光パイプの前記光出口と前記光検出器の間に設けられた所定の形状を有する感知孔を更に備えており、前記感知孔は、前記光パイプの前記光出口から前記光検出器に放射される光の一部分を通し、前記光検出器に入る光が所定の形状を有するようにしている。また好ましくは、前記所定の形状は、前記管位置センサーの線形性を改良するように最適化されている。また好ましくは、前記所定の形状は三角形である。また好ましくは、前記光出口は、前記光出口から放射された光を所望の方向に向けるために角度がついている。また好ましくは、光学モジュール本体を更に備えており、前記光パイプは、前記光学モジュール本体に画定された第1開口部に収容されている。また好ましくは、前記光学モジュール本体は、前記第1開口部の軸に対し略横方向に向いた軸を有する第2開口部を画定し、前記第2開口部は、中に前記光パイプの光出口から光を受け取るレンズを有している。また好ましくは、前記光学モジュール本体は、前記第1開口部の軸に略平行に向いた軸を有する第3開口部を画定し、前記第3開口部は、中に前記光検出器と前記感知孔が設けられている。また好ましくは、光を、前記第2開口部から前記第3開口部に向けるために、前記第2及び第3開口部に隣接するミラーを更に備えている。また好ましくは、前記第3開口部に設けられた遮光孔を更に備えており、前記遮光孔は、前記光パイプの前記光出口から放射された光の一部分を遮る。また好ましくは、前記第3開口部内に設けられたレンズを更に備えている。また好ましくは、光を、前記光パイプの前記光出口から前記第2開口部に向けるために、前記第1及び第2開口部に隣接するミラーを更に備えている。また好ましくは、前記光パイプの前記光出口と前記ミラーは、前記流管の互いに略反対側にある。また好ましくは、第2光源と、前記第2光源から光を受け取るように配置されている光入口と、前記第2光源から受け取った光を放射するための光出口と、を有する第2光パイプと、前記第2光パイプの前記光出口から光を受け取るための第2光検出器と、を更に備えている。上記課題を解決するための本願発明の他の実施例に係るコリオリ質量流量センサーは、流管と、管位置センサーであって、光源と、前記光源から光を受け取るための光検出器と、前記光源と前記光検出器の間に設けられた感知孔を画定している感知部材であって、前記光検出器が受け取る光の一部分を遮って、前記光検出器に入る光が所定の形状を有するようにする感知部材とを含んでいる、管位置センサーと、前記流管が前記光源と前記光検出器の間の光路を通って動くように、前記流管を振動させるための駆動装置とを備えている。好ましくは、前記感知孔は、前記管位置センサーの線形性を最適化する形状をしている。また好ましくは、前記感知孔は三角形をしている。また好ましくは、前記光源から光を受け取るように配置されている光入口と、前記光源から受け取った光を放射するための光出口と、を有する光パイプを更に備えている。また好ましくは、前記光パイプは正多角形断面を画定している。また好ましくは、前記光パイプは略方形の断面を画定している。上記課題を解決するための本願発明の他の実施例に係るコリオリ質量流量センサーは、流管と、光源と、前記光源から光を受け取って、その光をガウス出力分布から一様な出力分布に変換するための第1手段と、前記第1手段から光を受け取るための光検出器と、前記流管が前記第1手段の出力と前記光検出器の間の光路を通って動くように、前記流管を振動させるための駆動装置とを備えている。好ましくは、前記光検出器に到達した光を所望の形状に成形するための第2手段を更に備えている。本発明のこの他の目的及び利点は、以下の詳細な説明を読み、図面を参照すれば明白となるであろう。本発明には、様々な修正及び代替形態の余地があるが、その特定の実施形態を、例として図面に示しており、ここに詳細に説明する。しかしながら、理解頂けるように、特定の実施形態についてここに述べる説明は、本発明を、開示している形態そのものに限定するものではなく、反対に、本発明は、特許請求の範囲に定義する本発明の精神及び範囲に含まれる全ての修正、等価、代替物を包含するものとする。本発明の例証的実施形態について以下に説明する。明確さを期して、実際の実施形態の全ての特徴について、この明細書で説明することはしない。勿論、理解頂けるように、そのような実際の実施形態の開発では、実施形態毎に変化するシステム関連及び事業関連の制約の遵守のような開発者の具体的な目標を実現するために、数多くの実施形態に固有の決定を行わなければならない。更に、理解頂けるように、そのような開発努力は複雑で時間も掛かるが、本開示の恩恵に与る当業者には日常的業務である。図1は、本発明の実施形態によるコリオリベースの質量流量センサー及びコントローラーを示している。これは、基本的に2つの別々の作動システム、即ち、コリオリセンサーピックオフ及び駆動システムAと、アプリケーション及び制御システムBとで構成されている。コリオリセンサーピックオフ及び駆動システムは、コリオリセンサー1とインタフェースしている。アプリケーション及び制御システムBは、ユーザー5とのインタフェースを提供し、弁6のような流量制御装置に制御信号を提供する。センサーピックオフ及び駆動システムAの目的は、相対質量流量をコリオリの力の関数として求め、相対密度を共振周波数の関数として求めるために、コリオリセンサー1の動作を制御及び感知することである。代表的なセンサーピックオフ及び駆動システムAは、アプリケーション及び制御システムBに以下の3つのデータ値を提供する。1.デルタT-センサー管の一方の側の他方の側に対する位相遅れに関係し、相対質量流量を示す時間差2.周波数-測定する材料の相対密度に関係するセンサー管の共振周波数3.温度-センサー管の温度を判定するためにRTDが測定される。アプリケーション及び制御システムBは、デルタTを較正定数と組み合わせて使用し、所望の質量流量単位をユーザー5に呈示する。更に、周波数を補正定数と組み合わせて使用し、所望の密度及び/又は体積流量単位をユーザー5に呈示する。温度は、質量流量と密度両方の計算の補正に用いられる。アプリケーション及び制御システムBは、質量又は体積流量単位の出力を用いてユーザー設定値の入力と比較し、弁6を制御して流量を所望の設定値に調整する。図2は、ここに開示しているコリオリ質量流量センサーの部分を概念的に示すブロック図である。コリオリ質量流量センサー1は流量センサー管2を含んでおり、これに対して駆動装置3が、管2を振動させるために配置されている。ピックオフセンサー4は、管2に対して、コリオリの力による管2のねじれを測定するために配置されている。質量流量測定は、センサー管を通って移動する流体によって生成されるコリオリの力によるセンサー管のねじれを測定することによって行われる。例えば、既知のコリオリ質量流量センサーでは、磁石とコイルの対を備えたピックオフセンサーは、通常、流管上の、コリオリの力で誘起される変位が最大になると期待される場所に配置されている。コイルと磁石は、相対する構造体に取り付けられており、例えば、磁石は管に取り付けられており、コイルは静止したパッケージ壁に取り付けられている。コイルは、磁界に出入りして、コイルに電流を誘起する。この電流は、コイルに対する磁石の速度に比例する。このように速度の測定なので、速度、従って信号は、流管が、その静止点を横切るゼロ交差ときに最大となる。コリオリの力が誘起したねじれは、2つの速度センサーの間のゼロ交差時間の差を測定することによって検出される速度信号の移相を引き起こす。実際には、これは、時間測定回路にとって大きな精度的負担になる。これは、この技法による質量流量測定の根本的な感度を制限する。本出願の譲受者に譲受されている米国特許第5,555,190号は、ここに開示しているコリオリ質量流量感知装置と組み合わせて開示されている管のような振動式センサーの周波数と位相の関係を求めるための、デジタル信号処理法及び装置を開示している。米国特許第5,555,190号の明細書全体を、参考文献としてここに援用する。図3は、ここに開示している概念を利用した代表的なコリオリ質量流量感知装置を示している。図示のコリオリ質量流量感知装置500は、特筆すべきものとして、流管502と、管502を振動させるため磁石514近くに配置されたコイル513を含んでいる。光源510は、流管502の変位が最大になると期待される頂部近く又は頂部の両側に配置されている。光ダイオード又は他の光検出器512は、管502の反対側に、光源510に相対して配置されている。光検出器512は、光検出器512から受け取った信号を処理するセンサー電子機器に接続されている。センサー電子機器は、米国特許第5,555,190号に開示されている信号処理法のようなデジタル信号処理装置を使用していてもよいし、参考文献として援用する米国特許出願第09/641,698号に開示されている増幅器装置のロックを使用してもよい。モーダル感知又は正弦曲線当てはめを使用する他の実施形態も考えることができ、その場合、受信した信号は、例えば最小二乗法による位相判定を使って基準と比較される。或る特定の実施形態では、光源510と光検出器512は、光学感知印刷回路盤PCB上に実装された光感知回路の一部である。光源510と光検出器512は、センサー管502の動作を感知する赤外線LEDと光ダイオードを備えている。図3に示しているように、二組のLED510と光ダイオード512があり、各組がセンサー管502の各側を感知する。他の実施形態では、実質的には何れかの波長の光を使っている他の型式の光源と検出器を使用している。図4A及び図4Bは、光学ピックオフセンサーを採用しているコリオリ質量流量センサー600を示している。流量感知部分600は流量センサー管602を含んでおり、そこに磁石604が取り付けられている。赤外線LED606と光ダイオード608は、光感知PCB610に連結され、流量センサー管602のどちらかの側に配置されている。流量センサー管602、磁石604、LED606、光ダイオード608及びPCB610は、全てハウジング612内に配置されており、そこにカバー614が取り付けられている。1mH誘導器は、管を駆動するコイル616として機能する。コイル616は、ハウジング612の外側に配置されている。代わりに、センサー管602、駆動装置604、616、及びピックオフセンサー606、608は、全てハウジング612内に入っていてもよいし、コイル616に加えて、又はその代わりに、選択された構成要素をハウジング612の外側に配置してもよい。例えば、或る実施形態は、中に窓が画定されているハウジング612を採用している。こうすれば、光源606及び/又は光検出器608をハウジング612の外側に配置することができる。更に別の実施形態では、センサーの電子機器は、例えば光ファイバーケーブルを使ってハウジング612から離れた位置に設けられている。これは、例えば、コリオリ質量流量感知装置が危険な環境で用いられる場合には望ましい。先に開示したように、光源606と検出器608は、赤外線光ダイオードに適合している赤外線LEDを備えている。光ダイオードの活性表面の寸法は、センサー管602の直径に近いが、これより僅かに大きい。管602は、振動すると、LEDと光ダイオードの間の経路を通って動き、LEDからの光を遮る。管602は、管が停止しているとき、LEDと検出器の間の光路が部分的に破られるように位置決めされている。管がこの停止位置付近で振動して動くと、検出器に達する光は、交互に最小と最大になり、検出器からの正弦出力を提供する。管の各側からの相対出力は、コリオリ誘起流量効果による位相差で測定することができる。LEDは、特定の光度分布を有する光を生成する。分布は、ガウス分布であることが知られており、光度は、光源の中心からの半径方向距離が増すほど下がる。つまり、光源は、中心が最も明るく、光源の周辺に向かって薄暗くなってゆく。従って、光ダイオードに達する光の強度は、光路を通って動く振動管に応答して変動するだけでなく、光路に対する管の位置に基づいても変動する。図3と図4に示す簡単なLED/光ダイオード装置では、流量センサー管のねじれを正確に測定するためには、ピークツーピーク電圧が2つのセンサーの間で一致しなければならないので、管の整列が重要である。そのようなピークツーピーク電圧の合致は、応答が線形ではないので、実現するのが難しい。管の2つの脚部が合致するピークツーピーク電圧を生成するのは、光路内の特定の点だけである。この管を正確に整列させねばならないという要件は、製造収量を下げ、製造時間とコストを増すことに繋がりかねない。しかし、もし応答が線形であれば、管の2つの脚部は、線形領域のどこに配置してもよく、ピークツーピーク電圧も合致する。光感知を使った別の実施形態は、線形光学応答を実現するため、システムを最適化している。特に、LEDから放射される光が、平坦な出力分布となるように調整されている。LEDからの光の一部を遮断する流管の画像陰は、一連のレンズと孔を通過する。図5は、そのような光学ピックオフセンサーを備えた代表的なコリオリ質量流量センサー700を示している。質量流量センサー700は、流管702が取り付けられている基部部材720を含んでいる。図4A及び4Bに示しているようなコイルと磁石の装置のような駆動装置図5に示さずは、管702を振動させるのに用いられる。光学ピックオフセンサーは、第1及び第2光学モジュール本体730に配置されている。図6は、2つの光学本体730が1つの光学本体731に組み合わされている代替実施形態を示している。図7は、流管702のような幾つかの構成要素がよく分かるように、光学モジュール730の1つを取り外した状態の、流れセンサー700を示している。図8は光学モジュール730の1つの分解図であり、図9は、モジュール730の内側の構成要素を示す、モジュール730の断面図である。LED706のような光源は、モジュール730の第1開口部732に配置されている。光パイプ734は、開口部732内に配置され、LED706から光を受け取る。開口部732にほぼ垂直に向けられている第2開口部740には、中にレンズ738が設けられている。ミラー742は、第2開口部740と、第1開口部732と略平行な第3開口部744との間に配置されている。第3開口部744は、円形の遮光孔746を画定し、レンズ748、管750、及び感知孔754が中に設けられたディスク752を有している。光ダイオード708のような光検出器も、第3開口部744の中に収まっている。光パイプ734即ち集積バーは、LED706からの光を受け入れる光入口734aと、光を放射する光出口734bを有している。光パイプ734は、光パイプ734の内側表面から光を反射させることによって光をかき混ぜ、又は混ぜ合わせるように機能する略四角形の断面を画定している。これによって、LED706による光の出力の明るさが平均化され、ガウス分布の光出力が一様な出力分布に変換される。LED706の出力は、中央に明るい点を有し、外縁に向かって暗くなってゆくのに対して、方形の光パイプ734の出力は、均等な明るさの方形になる。別の実施形態で、光パイプ734は、断面が方形以外でもよい。大部分の多角形三角形、方形、五角形などは、何れも、円形の光パイプよりも遙かに均一な分布を作り出す。均一な光分布を作り出すために、拡散器のような他の方法を使用することもできる。図示の実施形態では、感知孔754は三角形である。従って、光ダイオード708に入る光は三角形になる。ミラーとレンズは、管の画像を形成するように構成され、三角形の感知孔754は、管の縁部の画像に配置されている。遮光孔746は、感知孔754と検出器708に当たる光線のテレセントリック分布を提供するため円形になっている。管702は、振動すると、光パイプ734から放射される光によって確立された光路を通って動くように配置されており、管702は三角形の画像の中に陰770を作るので、検出器708での光のパターンは、図10に概略示すように光源の遮光画像となる。感知孔754が三角形なので、光ダイオード708に入る出力を簡単に計算できる。スループットTは、管706で遮ぎられていない出力の光ダイオード708に入る総出力に対する比率であり、管で遮られていない感知孔の面積Anbの三角形の総面積Atotに対する以下の比率だけ低下させる。"