ウエハ規模の結像レンズアレイのマスタを作製する方法であって、個別の複数のレンズ素子からなるレンズのサブアレイを作製する作製ステップにおいて、前記サブアレイ上の個別のレンズ素子の数は、ウエハ規模のレンズアレイに含まれる個々のレンズ素子の数のサブセットであることを特徴とする、作製ステップと、前記サブアレイの形状誤差およびピッチ誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的に形状誤差およびピッチ誤差のない最終サブアレイが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記最終サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップと、を含むことを特徴とする方法。前記サブアレイの前記レンズ素子は、異なる複数のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項1に記載の方法。前記サブアレイの前記レンズ素子の前記レンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異なっていることを特徴とする、請求項2に記載の方法。前記サブアレイの前記レンズ素子は、同一のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項1に記載の方法。前記サブアレイのレンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要となるものと同様であることを特徴とする、請求項1に記載の方法。前記複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことを特徴とする、請求項1に記載の方法。前記サブアレイの前記各レンズ素子は、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項1に記載の方法。ウエハ規模の結像レンズアレイのマスタを作製する方法であって、それぞれ異なるレンズプロファイルを有する複数のマスタレンズピンを作製する作製ステップと、前記複数のマスタレンズピンのそれぞれの形状誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的に形状誤差のない最終マスタレンズピンのセットが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記マスタレンズピンをレンズ素子として基板上に何度も複製する、複製ステップと、を含むことを特徴とする方法。前記レンズピンの前記レンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異なっていることを特徴とする、請求項8に記載の方法。前記レンズアレイにおけるレンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要となるものと同様であることを特徴とする、請求項8に記載の方法。前記複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことを特徴とする、請求項8に記載の方法。前記各レンズピンは、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項8に記載の方法。ウエハ規模の結像レンズアレイのマスタを作製する方法であって、それぞれ異なるレンズプロファイルを有する複数のマスタレンズピンを作製する作製ステップと、前記複数のマスタレンズピンのそれぞれの形状誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的に形状誤差のない最終マスタレンズピンのセットが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、複数の個々のレンズ素子からなるレンズのサブアレイが形成されるまで、前記マスタレンズピンをレンズ素子として基板上に何度も複製する、複製ステップにおいて、該サブアレイ上の該個々のレンズ素子の数は、ウエハ規模のレンズアレイに含まれる個別のレンズ素子の数のサブセットであることを特徴とする、複製ステップと、前記サブアレイのピッチ誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的にピッチ誤差のない最終サブアレイが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記最終サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップとを含むことを特徴とする方法。前記サブアレイの前記レンズ素子は、異なる複数のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項13に記載の方法。前記サブアレイの前記レンズ素子の前記レンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異なっていることを特徴とする、請求項14に記載の方法。前記サブアレイの前記レンズ素子は、同一のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項13に記載の方法。前記サブアレイのレンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要になるものと同様であることを特徴とする、請求項13に記載の方法。前記サブアレイの複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことを特徴とする、請求項13に記載の方法。前記サブアレイの前記個々のレンズ素子は、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項13に記載の方法。前記個々のマスタレンズピンは、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項13に記載の方法。本発明は、複数の独立したレンズを備えたマスタレンズアレイを作製する方法を提供するものである。一実施形態によれば、本方法は、個別の複数のレンズ素子からなるレンズのサブアレイを作製する作製ステップにおいて、サブアレイ上の個別のレンズ素子の数は、ウエハ規模のレンズアレイに含まれる個々のレンズ素子の数のサブセットであることを特徴とする、作製ステップと、続いて、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップと、を含むことを特徴とする方法である。別の実施形態によれば、本方法は、サブアレイの各レンズの形状誤差およびピッチ誤差について品質検査を行う品質検査ステップと、実質的に形状誤差およびピッチ誤差のない最終サブアレイが形成されるまで繰り返される作製ステップをさらに含むことを特徴とする方法である。さらに別の実施形態において、サブアレイは表面形状の異なる複数のレンズ素子からなる。またさらに別の実施形態によれば、本方法は、それぞれ異なるレンズプロファイルを有する複数のマスタレンズピンを作製する作製ステップと、続いて、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、マスタレンズピンをレンズ素子として基板上に何度も複製する、複製ステップとを含むことを特徴とする方法である。このような実施形態においては、各マスタレンズピンの形状誤差について品質検査を行うことができ、形状誤差が許容範囲内のマスタレンズピンのセットが形成されるまで前記作製ステップを繰り返す。またさらに別の実施形態において、本方法は、レンズ形状の異なる複数のマスタレンズピンを作製および複製してレンズのサブアレイを形成する、作製複製ステップを含み、その後、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記最終サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップを含むことを特徴とする方法である。このような実施形態においては、マスタレンズピンおよびサブアレイ両方の形状誤差およびピッチ精度について品質検査をすることができ、実質的に形状誤差およびピッチ不整合のないマスタレンズピンのセットおよびサブアレイが形成されるまで作製ステップを繰り返す。上記の実施形態のいずれかにおいて、各レンズ素子または各レンズピンは複数の異なるレンズプロファイルを有することができる。このような実施形態においては、レンズ素子またはレンズピンのレンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異ならせることができる。上記の実施形態のいずれかにおいて、サブアレイの各レンズ素子は同一のレンズプロファイルを有することができる。上記の実施形態のいずれかにおいて、各サブアレイの各レンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要とされるものと等しくすることができる。上記の実施形態のいずれかにおいて、複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことができる。上記の実施形態のいずれかにおいて、サブアレイの各レンズ素子および/または各レンズピンは、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することができる。本発明の上記およびその他の特徴および利点は、添付の図面を参照した以下の詳細な説明により、さらによく理解されるであろう。本発明は、例えばレンズサグ量が大きすぎるために標準的なリソグラフィー技術では加工不能な、マスタ結像レンズアレイの作製工程および方法であって、結像レンズの複製レンズアレイの作製に用いる工程および方法に関するものである。マスタレンズアレイは、その後最終的な大規模レンズアレイを複製するための道具または、それ自体が道具として用いられる場合もあるの作製に用いるテンプレートとなるため、極めて重要な要素である。本発明の最終目的は、コンピュータ制御のアレイカメラ作製用に最終的に用いることのできる高品質のウエハ規模のマスタを得ることである。実際の運用では、本発明により作製したウエハ規模のマスタを用いてウエハ規模のレンズアレイを複製する。ついで、複製した各レンズアレイをスペーサとともに積層して、レンズアレイの多層構造を構成する。その後、ダイシング等の公知の技術を用いて、この多層構造のレンズアレイを1つずつに分割するか、またはそれをさらに再分割して、所望の大きさのサブアレイとし、最終的なレンズモジュールを構成する。この最終的なレンズモジュールをイメージセンサアレイと組み合わせて、最終的にコンピュータ制御のアレイカメラモジュールとしてもよい。本発明の各方法によれば、特にマスタレンズアレイが形状の異なる複数のレンズを有することが必要な場合に、マスタレンズアレイの品質を効率的かつ低コストで最大化することができるため、マスタレンズを用いて形成したウエハ規模のレンズアレイにおける誤差伝播を低減できる。本発明の方法processを理解するためには、まず、本願が目的とするところのレンズアレイの性質について理解しなければならない。図1に示すように、ウエハ規模のレンズアレイ1は、多数のレンズ素子を任意に配置したものであると規定することができる。これらのレンズ素子は、サブアレイ2状に配置することができ、各サブアレイ自体は個々に独立した複数のレンズ素子3から形成されている。これらのマスタレンズアレイの個々のレンズ素子は、同一の表面形状を有していてもよく、異なる表面形状を有するように製造することもできる4~6。例えば、マスタレンズアレイ内の各レンズは、その曲率半径や非球面係数の変更等により、焦点距離が異なるように設計することや、それぞれ異なる狭いスペクトル波長帯に感度を有する種々のチャネルにおける色収差を様々に補正することが可能となるように設計することができる。従来のマスタ作製工程masteringprocessにおいては、マスタレンズアレイの個々のレンズ素子は、基礎となる基板用ウエハをダイヤモンドターニング加工する等の作製工程によって、それぞれ別個に製造される。背景技術の説明において述べたように、個々のレンズをマスタから複製せずに新規に製造するたびに、マスタアレイにおいて、レンズ形成する際の形状誤差またはアレイ上の他のレンズに対して位置決めする際のピッチ誤差が生じる危険性がある。同一のレンズでアレイを構成する場合、現行の製造技術では、ダイヤモンドターニングにより1つのマスタレンズピンをいったん製造し、このピンを何回も複製することによりウエハ規模のアレイを形成する、ステップアンドリピート法を用いる。一方、表面形状の異なるレンズのアレイ等、不規則なレンズアレイを従来方法により製造する場合は、マスタアレイの個々のレンズ素子を1つずつ作製するしかない。当然ながら、大規模なレンズアレイを形成するには、このプロセスを数百万回とはいかないまでも数千回繰り返してマスタアレイを完成させる必要があり、したがってこのマスタアレイにおいて欠陥が生じる可能性、およびこれらの欠陥がその後マスタから作成したアレイにおいて複製されてしまう可能性が高い。本発明は、このような誤差伝播の危険性を低減するマスタレンズアレイの作製方法methodsforfabricatingを提供するものである。特に、本発明においては、マスタレンズアレイにおける形状誤差およびピッチ誤差の危険性をできるだけ低減するには、マスタレンズアレイ作製工程において作成する、複製元となるuniqueレンズ素子の作製回数を制限する必要があることがわかっている。よって、本発明は、新規な複製方式を用いることにより、より大規模なマスタレンズアレイを製造する際に必要となる複製元のuniqueレンズ素子の形成回数を最小限にし、また、その位置決めステップの回数をも制限したものである。図2に、本発明の第1の実施形態を模式的に示す。本実施形態においては、まず、個々のレンズ素子11からなるサブアレイ10を形成し、ついでこのサブアレイを基板ウエハ12全体にわたり複製して、最終的なウエハ規模のレンズアレイ13とする。より具体的には、第1のステップにおいて、サブアレイ10の各レンズ素子11、この場合は縦横にそれぞれ5列ずつ並んだ個々のレンズ素子を、例えば、ダイヤモンドターニング等の従来の製造技術により形成する。第2のステップにおいて、このサブアレイ10の品質検査を行って、個々のレンズ素子のそれぞれについて、表面形状が正しいことおよび他レンズと相対的に正しく位置決めされていることを確認する。ステップ3においては、品質検査が完了したサブアレイをマスタとして、サブアレイと同一のコピーを全基板にわたり複製して、マスタアレイ13を完成させる。本実施形態においては、xy面内において要求される配置の正確さについては、この目的に特化したステップアンドリピート手段を用いているため、位置決め誤差の生じる可能性は少ない。さらに、各レンズ素子を個々に位置決めする手段を必要とする手法に比べ、個々の位置決めステップの回数を低減している。上述したように、サブアレイ上のレンズ素子は異なる表面形状を有するものであっても、本実施形態に示したように、それぞれ異なる表面形状を有するものであっていてもよい。さらに、例として縦横各5配列のマスタサブアレイをテンプレートとして使用したが、本発明の方法においては、対象となる特定のカメラ用途に適した任意のサイズのサブアレイを使用できることが理解されよう。しかしながら、サブアレイを形成する際にも、同様の製造上の制約、すなわち、新しいレンズを形成する度に形成誤差または位置決め誤差のいずれにおいても欠陥が生じる可能性が増大するという制約があるため、複製元として形成すべき素子の数を制限することはやはり有利である。さらに、アレイのサイズが小さいほど、各レンズ素子の製造欠陥をより容易にチェックできるようになる。図3に模式的に示す第2の実施形態においては、マスタレンズピンを個々に形成する。これらのレンズピンは、表面形状がそれぞれ異なる個別のレンズ素子20として構成するか、または同一の表面形状を有するレンズピン21~23の小アレイとして構成することができるステップ1。続いて、第2のステップにおいて、これらのマスタレンズピンを繰り返し用いて、ウエハの正しい位置すなわち、後に任意のカメラアレイとして構成したときの正しいチャネルに所望のレンズプロファイルを製造する。マスタアレイ24全体にわたって第1のレンズピンにおける全てのレンズを複製したら例えば、本実施形態においては、各サブアレイを4回ずつウエハ上に複写したら、そのピンを交換し、第2のレンズピンを用いて第2のレンズプロファイルを有する全てのレンズの複製を行い、以後も同様とする。本方法の利点は、同一に形成することを意図したレンズは同じマスタピンから形成するため、すべて同一になることである。さらに、このピンの品質検査を行い、完璧な光学特性が得られるまでダイヤモンドターニングによる製造工程を繰り返し行うこともできる。不利点を1つ挙げるとすれば、必要な配置ステップ数が多いことである。このことは、配置ピッチ誤差を生じる原因となる可能性があり、特に、ステップアンドリピート法の各工程間でマスタピンを交換するたびにピッチ誤差が生じうるため、異なる種類のレンズ間で誤差を生じることが懸念される。本発明の第3の実施形態では図4にその模式図を示す、先に説明した2つの方法アプローチを組み合わせることにより、上述の作製手法のいずれよりも品質管理の面でさらに有利な複合型技術とした。具体的には、本製法の第1のステップにおいて、異なるレンズプロファイル30~32を、例えばダイヤモンドターニング法によりそれぞれ別個にいったんピンとして作製する。第2のステップにおいて、これらのピン30~32を用いて、図2に示す例示的な実施形態と同様に、サブアレイ33を構成する。例えば、図4に示す模式図において、3種類の交換用レンズピン30~32をダイヤモンドターニングによりいったん作成する。そして、これらのピンを用いて、ステップアンドリピート法により、各種類のレンズをそれぞれ形成するが、ここで形成したレンズは、サブアレイ例えば、この場合は縦横各5配列のサブアレイを構成するためだけに用いられ、図3を参照して説明したような技術とは異なり、マスタアレイ全体用に用いるものではない。そして、完成したサブアレイ33の品質検査を行い、後続の処理を行うのに十分良好な品質であると判断したら、今度は、図2を参照して説明した例示的な実施形態において提案したように、こんどはこのサブアレイ自体を用いてステップアンドリピート法により全ウエハマスタ34に実装する。図2および図4に示す方法アプローチによる利点は、サブアレイを直接ダイヤモンドターニングにより数回にわたり試行的に加工すること、または、あらかじめ種々のプロファイルにダイヤモンドターニング加工した個々のレンズピンを有するサブアレイをステップアンドリピート加工することにより、所望のレンズプロファイルおよびピッチ精度またはピッチの所定のサブピクセル変化量が得られるまでサブアレイを作成する手順を繰り返し行うことができ、より手間と費用がかかるプロセス、すなわち第2のステップアンドリピート法によりレンズのサブアレイを多数複製して行う全ウエハマスタ実装プロセスはその後に行うことができる点である。したがって、最終的なレンズアレイはより高い光学精度を有し、また、最終的なレンズアレイの製造コストを大幅に削減できる可能性が高い。以上、ダイヤモンドターニングを利用した作製方法を主に説明したが、本発明の作製方式は任意の適切なレンズ製造技術に用いることができる。さらに、レンズ素子を縦横それぞれ5列ずつ配置したサブアレイについて説明したが、特定のカメラ用途に適した任意のサイズのサブアレイを用いることができる。サブアレイを作成する際は、サブアレイのレンズ素子の数と配置を、後にカメラモジュールとして使用される際とできれば同一にすることが望ましい。例えば、作成予定のカメラモジュールのレンズ素子配列が4×4または6×6であった場合に、サブアレイのレンズ素子配列を5×5とすることは現実的ではないであろう。このようなレンズ素子の不一致によって、本発明を適用することにより得られるはずのピッチ精度の向上度が低下してしまう。最後に、上記の実施形態では、複製元とするuniqueレンズとして3種類のみを挙げたが、本発明の作製工程により形成するレンズアレイには、複製元とするレンズを何種類でも実装できることを理解されたい。[均等論]本発明の上記実施例および種々の好ましい実施形態は、本発明の概要の例示に過ぎず、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲で本発明の工程に変更を加えることができることを当業者は理解されたい。例えば、本発明の作製工程により期待される改良がなされ、意図した目的に適さない作製工程とならない限り、別の品質検査ステップの実施や、作製工程の各ステップの順番を変更すること可能であることは当業者にとって明らかである。したがって、本発明は本明細書の特定の実施形態により限定されるものではなく、むしろ、添付の請求の範囲により規定される。