"研磨材が混入された加工用流体をノズルから噴射させて切断加工するアブレシブウォータージェット加工機であって、前記ノズルに前記加工用流体を供給する加工用流体供給装置と、前記ノズルに前記研磨材を供給して前記加工用流体に混入する研磨材供給装置と、前記加工用流体を噴射させる圧力を制御する噴射圧力制御装置と、を有し、前記研磨材供給装置は、前記研磨材を貯留する圧力容器からなる貯留ホッパと、この貯留ホッパと前記ノズルを連通する研磨材供給配管と、この研磨材供給配管および前記貯留ホッパに圧縮エアを供給して、当該圧縮エアにより当該研磨材供給配管を流通する前記研磨材に圧送圧力を負荷することによって増加するエアの流量を利用して、当該研磨材を前記ノズルに圧送するエアパージ装置と、を備え、前記噴射圧力制御装置は、前記切断加工の前加工であるピアス加工における噴射圧力を、前記切断加工における噴射圧力よりも低く制御する2段階制御を実行し、前記噴射圧力制御装置により噴射圧力を低く制御した状態において、前記エアパージ装置は、前記研磨材供給配管を流通する圧縮エアの圧送圧力を制御する圧送圧力制御装置を備え、この圧送圧力制御装置により、前記ピアス加工時の前記圧送圧力を前記切断加工時の圧送圧力よりも高く制御すること、を特徴とするアブレシブウォータージェット加工機。前記貯留ホッパに貯留する研磨材を補充する圧力容器からなる研磨材タンクと、この研磨材タンクと前記貯留ホッパを連通する研磨材補充配管と、前記研磨材タンク内に圧縮エアを供給して、当該圧縮エアにより前記研磨材補充配管を流通する前記研磨材に圧送圧力を負荷するエア供給装置と、を備えたこと特徴とする請求項1に記載のアブレシブウォータージェット加工機。エア源から前記貯留ホッパに連通する第1のエア流路と、この第1の流路から分岐して前記研磨材供給配管に連通する第2のエア流路と、前記第2のエア流路を流通する圧縮エアの流量を計測する流量計測器と、を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のアブレシブウォータージェット加工機。前記流量計測器により、前記ピアス加工時よりも低い圧縮エアの流量を計測したことによって、前記研磨材供給配管あるいは前記ノズルにおける前記研磨材の詰まりまたは前記加工用流体の逆流を検知する逆流検知装置を備えたことを特徴とする請求項3に記載のアブレシブウォータージェット加工機。液中で前記加工用流体を前記ノズルから噴射させて加工することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のアブレシブウォータージェット加工機。しかしながら、オリフィスが発生する負圧や重力による位置エネルギーを利用して研磨材を搬送する方法では、ウォータージェット噴射開始直後から安定して十分な量の研磨材を供給できないことから、必要な量の研磨材がウォータージェットに十分に混入されないため、加工品位が低下するという問題があった。特に、脆性材料やCFRP炭素繊維強化プラスチック等において、切断加工の前加工におけるピアス貫通穴加工では、層間剥離などの弊害を引き起こす原因となることがあった。また、研磨材供給チューブ内の圧力は、ウォータージェットの噴射圧力、研磨材供給量によって大きく変動するため、的確に逆流等を判定できないので加工品位が低下するという問題があった。そこで、本発明は、前記した問題点を解決すべく、ウォータージェットの逆流を防止して、研磨材を安定して供給することで、前加工であるピアス加工およびピアス加工後の切断加工において、それぞれ適切な加工条件を設定して加工品位の高いアブレシブウォータージェット加工が可能なアブレシブウォータージェット加工機を提供することを課題とする。前記課題を解決するため、請求項1に係る発明は、研磨材が混入された加工用流体をノズルから噴射させて切断加工するアブレシブウォータージェット加工機であって、前記ノズルに前記加工用流体を供給する加工用流体供給装置と、前記ノズルに前記研磨材を供給して前記加工用流体に混入する研磨材供給装置と、前記加工用流体を噴射させる圧力を制御する噴射圧力制御装置と、を有し、前記研磨材供給装置は、前記研磨材を貯留する圧力容器からなる貯留ホッパと、この貯留ホッパと前記ノズルを連通する研磨材供給配管と、この研磨材供給配管および前記貯留ホッパに圧縮エアを供給して、当該圧縮エアにより当該研磨材供給配管を流通する前記研磨材に圧送圧力を負荷することによって増加するエアの流量を利用して、当該研磨材を前記ノズルに圧送するエアパージ装置と、を備え、前記噴射圧力制御装置は、前記切断加工の前加工であるピアス加工における噴射圧力を、前記切断加工における噴射圧力よりも低く制御する2段階制御を実行し、前記噴射圧力制御装置により噴射圧力を低く制御した状態において、前記エアパージ装置は、前記研磨材供給配管を流通する圧縮エアの圧送圧力を制御する圧送圧力制御装置を備え、この圧送圧力制御装置により、前記ピアス加工時の前記圧送圧力を前記切断加工時の圧送圧力よりも高く制御すること、を特徴とする。本発明に係るアブレシブウォータージェット加工機は、前記研磨材供給配管を流通する前記研磨材に圧送圧力を負荷するエアパージ装置を備えたことで、増加するエアの流量を利用して当該研磨材を前記ノズルに安定して供給することができるため、オリフィスを通過した加工用流体が発生する負圧や研磨材の重力による位置エネルギーに過度に依存することなく、研磨材を安定して搬送することができる。さらに、研磨材供給配管内の圧力を高めることで、ノズル側から研磨材供給配管への逆流を効果的に防止することができる。また、本発明に係るアブレシブウォータージェット加工機は、前記噴射圧力制御装置により、ピアス加工における噴射圧力を前記切断加工よりも低く制御することで、ウォータージェットの噴射初期に研磨材が十分に供給されないことによる欠けや割れを効果的に防止することができる。一方、前記噴射圧力制御装置により噴射圧力を低く制御した状態において、前記研磨材供給配管を流通する圧縮エアの圧送圧力を前記切断加工時の圧送圧力よりも高く制御する圧送圧力制御装置を備えたことで、オリフィスを通過した加工用流体が発生する負圧や研磨材の重力による位置エネルギーに過度に依存することがないので、研磨材供給配管の経路、長さ、およびノズルと貯留ホッパの位置関係等によらず安定して適量の研磨材を供給することができる。このため、ピアス加工において噴射圧力を低く設定した場合にも安定して充分な量の研磨材を供給することで、高品位のピアス加工を安定して実現することができる。このようにして、本発明に係るアブレシブウォータージェット加工機は、ウォータージェットの逆流を防止して、適量の研磨材を安定して供給することで、前加工であるピアス加工およびピアス加工後の切断加工において、それぞれ適切な加工条件を設定して加工品位の高いアブレシブウォータージェット加工を実現することができる。請求項2に係る発明は、請求項1に記載のアブレシブウォータージェット加工機であって、前記貯留ホッパに貯留する研磨材を補充する圧力容器からなる研磨材タンクと、この研磨材タンクと前記貯留ホッパを連通する研磨材補充配管と、前記研磨材タンク内に圧縮エアを供給して、当該圧縮エアにより前記研磨材補充配管を流通する前記研磨材に圧送圧力を負荷するエア供給装置と、を備えたこと特徴とする。請求項2に係る発明によれば、前記研磨材補充配管を流通する前記研磨材に圧送圧力を負荷するエア供給装置を備えたことで、研磨材を前記貯留ホッパに安定して補充することができる。請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2に記載のアブレシブウォータージェット加工機であって、前記エアパージ装置は、エア源から前記貯留ホッパに連通する第1のエア流路と、この第1の流路から分岐して前記研磨材供給配管に連通する第2のエア流路と、前記第2のエア流路を流通する圧縮エアの流量を計測する流量計測器と、を備えたことを特徴とする。請求項3に係る発明によれば、前記流量計測器を備えたことで、前記研磨材供給配管に供給する圧縮エアの供給流量を管理することができるため、前記研磨材供給配管を流通する研磨材の圧送流量を適切に管理することができる。請求項4に係る発明は、請求項3に記載のアブレシブウォータージェット加工機であって、前記流量計測器により、前記ピアス加工時よりも低い圧縮エアの流量を計測したことによって、前記研磨材供給配管あるいは前記ノズルにおける前記研磨材の詰まりまたは前記加工用流体の逆流を検知する逆流検知装置を備えたことを特徴とする。請求項4に係る発明によれば、第2の流路における圧縮エアの流量を計測することにより、研磨材供給配管における逆流を検知するため、変動が大きく不安定な研磨材供給配管の圧力を計測して逆流を検知する場合よりも的確に安定して研磨材供給配管における逆流を検知することができる。また、前記ピアス加工時の前記圧送圧力よりも低い圧縮エアの流量を閾値として、逆流および研磨材の詰まりを確実に検知することができる。請求項5に係る発明は、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のアブレシブウォータージェット加工機であって、液中で前記加工用流体を前記ノズルから噴射させて加工することを特徴とする。請求項5に係る発明によれば、液中でアブレシブ加工を行う場合であっても、前記研磨材供給配管を流通する圧縮エアの圧送圧力を制御する圧送圧力制御装置を備えたことで、研磨材供給配管内の圧力を適切に高めることができるため、ノズル側から研磨材供給配管への逆流を効果的に防止することができる。本発明に係るアブレシブウォータージェット加工機は、ウォータージェットの逆流を防止して、研磨材を安定して供給することができるため、前加工であるピアス加工およびピアス加工後の切断加工において、それぞれ適切な加工条件を設定して加工品位の高いアブレシブウォータージェット加工が可能である。本発明の実施形態に係るアブレシブウォータージェット加工機1について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。アブレシブウォータージェット加工機1は、図1に示すように、加工用流体Qに研磨材Gを混入し、アブレシブヘッド2に装着されたノズル21からウォータージェットJを噴射させて、加工槽Rの内で水中にクランプされたワークWを切断加工する加工装置である。アブレシブウォータージェット加工機1は、切断加工の前加工である貫通穴を形成するピアス加工と、ピアス加工によりワークWを貫通したウォータージェットJを移動させながら多種形状加工等を行う切断加工を実行する機能を備え、ステンレス、MCモノマーキャスティングナイロン、CFRP、およびチタン合金等の多種多様な材質にハニカム形状や歯車形状等の自在な多種形状の加工を行うことができる。また、水中で加工を行うことが可能であるため、騒音や粉塵など作業環境への負荷も最小限にとどめることができる。アブレシブウォータージェット加工機1は、ノズル21に加工用流体Qを供給する加工用流体供給装置31と、ノズル21に研磨材Gを供給して加工用流体Qに混入する研磨材供給装置4と、加工用流体Qを噴射させる圧力を制御する噴射圧力制御装置32と、研磨材供給配管42における研磨材Gの逆流を検知する逆流検知装置9と、制御装置7と、を備えている。加工用流体Qは、取り扱いの容易性から水を使用しているが、ノズル21から噴射させるウォータージェットJの収束性を向上させる増粘材を添加することもできる。研磨材Gは、ワークWの種類や用途に応じて適宜選択されるが、ガーネット研磨材やアルミナ等を使用することができる。加工用流体供給装置31は、30~400MPaの超高圧に加圧した加工用流体Q超高圧水をアブレシブヘッド2に供給する装置であり、アブレシブヘッド2に連通する高圧配管31aと、アブレシブヘッド2に供給する超高圧水を規制するオンオフバルブ31bと、図示しない高圧ポンプ図2のS10参照と、を備えている。噴射圧力制御装置32は、アブレシブヘッド2に供給する超高圧の加工用流体Qの圧力を調整して、ノズル21から噴射させるウォータージェットJの噴射圧力を制御する装置であり、図示しない減圧弁図3の減圧弁の項を参照を備え、ワークWの材質や用途に応じて適宜調整できるようになっている。また、噴射圧力制御装置32は、切断加工の前加工であるピアス加工における噴射圧力を、切断加工における噴射圧力よりも低く制御する2段階制御を実行する機能を備えている図3の噴射圧力の項を参照。アブレシブヘッド2は、高圧配管31aから加工用流体Qが導入される超高圧水導入口22と、この超高圧水導入口22からノズル21まで連通する超高圧水流路23と、この超高圧水流路23に連通して研磨材Gが導入される研磨材導入口24と、を備えている。かかる構成により、加工用流体供給装置31により加工用流体Qが超高圧水導入口22から超高圧水流路23を通ってノズル21まで供給され、研磨材供給装置4およびエアパージ装置5により適量の研磨材Gが研磨材導入口24から導入されて、加工用流体Qに研磨材Gが混入される。そして、この研磨材Gが混入された加工用流体QがウォータージェットJとなってノズル21から噴射されるようになっている。研磨材供給装置4は、研磨材Gを貯留する圧力容器からなる貯留ホッパ41と、この貯留ホッパ41とアブレシブヘッド2を連通する研磨材供給配管42と、研磨材供給配管42を流通する研磨材Gに圧送圧力を負荷するエアパージ装置5と、貯留ホッパ41に研磨材Gを補充するための研磨材補充装置6と、を備えている。貯留ホッパ41は、ノズル21に供給された加工用流体Qに混入する適量の研磨材Gを計量してノズル21に供給するための装置である。貯留ホッパ41は、一定量の研磨材Gを貯留する圧力容器41aと、研磨材補充装置6から研磨材Gが補充される導入口41bと、研磨材Gを排出する排出口41cと、排出口41cの口径を調整するニードルバルブ41dと、ニードルバルブ41dを駆動するアクチュエータ41eと、を備えている。アクチュエータ41eは、例えば、エンコーダ付きの直動アクチュエータを使用して制御装置7で制御する。かかる構成により、貯留ホッパ41のアクチュエータ41eにより、ニードルバルブ41dを開く方向図1の上方に移動させると研磨材Gの供給量が増大し、ニードルバルブ41dを閉じる方向図1の下方に移動させると研磨材Gの供給量が減少する。このようにして、研磨材供給装置4は、アクチュエータ41eによりニードルバルブ41dの動作を制御して排出口41cの口径を調整することで、ウォータージェットJに混入する適量の研磨材Gを排出口41cから排出することができる。そして、排出口41cから排出された研磨材Gは研磨材供給配管42を通ってエアパージ装置5によりアブレシブヘッド2まで圧送される。研磨材供給配管42は、貯留ホッパ41の排出口41cとアブレシブヘッド2の研磨材導入口24を連結する研磨材Gの供給路となる配管であり、エアパージ装置5から圧縮エアが導入される圧縮エア導入口42aを備えている。エアパージ装置5は、研磨材供給配管42および貯留ホッパ41に圧縮エアを供給して、この圧縮エアにより研磨材供給配管42を流通する研磨材Gに圧送圧力を負荷することによって増加するエアの流量を利用して、貯留ホッパ41に貯留された研磨材Gをアブレシブヘッド2まで圧送する装置である。エアパージ装置5は、エア源Aから貯留ホッパ41に連通する第1のエア流路L1と、この第1のエア流路L1から分岐して研磨材供給配管42に連通する第2のエア流路L2と、第2のエア流路L2を流通する圧縮エアの流量を計測する流量計測器51と、研磨材供給配管42を流通する圧縮エアの圧送圧力を制御する圧送圧力制御装置8と、を備えている。第1のエア流路L1は、エア源Aから空気圧縮機等からなるエア制御装置A1を介して所定の圧力に制御された圧縮エアを、圧送圧力制御装置8を介して貯留ホッパ41まで供給する流路である。第2のエア流路L2は、第1のエア流路L1と貯留ホッパ41との間から分岐して研磨材供給配管42まで連通する流路であり、第2のエア流路L2の途中には流量計測器51が配設されている。研磨材供給配管42に供給される圧縮エアは、流量計測器51で監視している。かかる構成により、エアパージ装置5は、エア源Aから供給された圧縮空気を第1のエア流路L1から貯留ホッパ41に供給し、第1のエア流路L1から分岐した第2のエア流路L2から研磨材供給配管42に圧縮エアを供給することで、ニードルバルブ41dが開いたときの研磨材Gの供給量を安定して制御することができる。つまり、研磨材供給配管42にエアパージ装置5から圧縮エアの供給を行う場合、第2のエア流路L2のみに供給すると、研磨材供給配管42内の圧力が貯留ホッパ41内の圧力より高くなり研磨材の供給が阻害されてしまうが、第1のエア流路L1に圧縮エアを供給することによって貯留ホッパ41と研磨材供給配管42の圧力が等しくなるので、安定した供給を行うことができる。また、エアパージ装置5は、研磨材供給配管42に供給される圧縮エアを流量計測器51で監視しているため、研磨材供給配管42に流通する圧縮エアの圧送圧力を好適に設定することができる。したがって、貯留ホッパ41に貯留された研磨材Gが研磨材供給配管42に排出されると、エアパージ装置5により、研磨材供給配管42を流通する研磨材Gに適切に制御された圧送圧力を負荷することができるため、貯留ホッパ41から適切な量の研磨材Gをアブレシブヘッド2まで好適に圧送することができる。圧送圧力制御装置8は、ピアス加工時の圧送圧力を切断加工時の圧送圧力よりも高く制御する機能を有し、高圧エアパージ用レギュレータ81と、低圧エアパージ用レギュレータ82と、高圧エアパージと低圧エアパージを切り換える切換バルブ83と、を備えている。なお、圧送圧力制御装置8は、研磨材供給配管42を流通する圧縮エアの圧送圧力を制御して適量の研磨材Gをノズル21に供給する装置であるが、圧送圧力と圧縮エアの流量は相互に連関するものであり研磨材Gの供給量は圧縮エアの流量に依存するものであるから、研磨材供給配管42を流通する圧縮エアの流量を調整して圧送圧力を調整するものであってもよい。ここで、低圧エアパージは、後記する研磨材補充配管62の先端部62aの圧力0.01MPaよりも高い圧力圧送圧力であり、本実施形態においては切断加工時と同じ圧力とし図3参照、ワークWの材質や切断加工における研磨材Gの供給量等を考慮して、例えば、0.01~0.1MPaの範囲で適宜設定する。高圧エアパージは、低圧エアパージよりも高い圧力とし、ピアス加工時における噴射圧力および研磨材Gの供給量等を考慮して、例えば、0.050~0.2MPaの範囲で適宜設定する。かかる構成により制御装置7により切換バルブ83を切り換えて、エア源Aから貯留ホッパ41に向かって導通するようにした場合には、第2のエア流路L2から研磨材供給配管42に高圧の圧縮エアが供給されて高圧エアパージが実行され、切換バルブ83の導通を遮断した場合には、低圧エアパージが実行されるようになっている。研磨材補充装置6は、貯留ホッパ41に貯留する研磨材Gを補充する装置であり、研磨材Gが貯留された圧力容器からなる研磨材タンク61と、この研磨材タンク61と貯留ホッパ41を連通する研磨材補充配管62と、研磨材タンク61内に圧縮エアを供給して、この圧縮エアにより研磨材補充配管62を流通する研磨材Gに圧送圧力を負荷するエア供給装置63と、を備えている。エア供給装置63は、エア源Aからエア制御装置A1を介してエア流路L3から0.4MPaの圧縮エアを研磨材タンク61に供給しているため、研磨材タンク61内の内圧により、研磨材タンク61から貯留ホッパ41まで研磨材Gが供給されるようになっている。ここで、エア流路L3から0.4MPaの圧縮エアを研磨材タンク61に供給しているのは、研磨材タンク61に負荷する内圧が研磨材補充配管62の先端部62aに到達するまでに減圧されて、研磨材補充配管62の先端部62aでは大気圧よりも若干高くなるように設定したものである。例えば、研磨材補充配管62の先端部62aにおいて、大気圧を基準として表示すると0.01MPaとする。研磨材補充配管62の先端部62aは、貯留ホッパ41の中で所定の高さに位置するように保持され、貯留ホッパ41の中には、常に一定量のレベルまで研磨材Gが貯留されるようになっている。つまり、研磨材タンク61に内圧を負荷しているため、研磨材Gが研磨材補充配管62の先端部62aに到達していない場合には、研磨材タンク61から貯留タンク41に研磨材Gが安定して補充される。一方、貯留タンク41に貯留された研磨材Gの量が増大して、研磨材Gが研磨材補充配管62の先端部62aまで到達すると、研磨材補充配管62の先端部62aを塞ぐようになるため、大気圧に抗して研磨材Gを供給することができなくなり、研磨材Gの供給が停止するようになっている。逆流検知装置9は、流量計測器51により、ピアス加工時の圧送圧力低圧エアパージにおける圧縮エアの流量よりも低い圧縮エアの流量を計測したことにより、研磨材供給配管42における加工用流体Qの逆流や研磨材Gの詰まりを検知し、逆流や詰まりを検知した場合には、作業者に警告灯等により警告したり、加工動作を停止したりすることができる。逆流検知装置9は、流量計測器51を第2のエア流路L2の途中に設置したことにより、安定した逆流検知を行うことができる。つまり、貯留ホッパ41内の圧力は研磨材補充装置6からの研磨材供給状態によって変化し、第1のエア流路L1を流れる流量も貯留ホッパ41の内圧の影響を受ける。一方、第2のエア流路L2を流れる流量は、研磨材補充装置6からの研磨材供給状態の変化による影響を受けず一定である。これは第2のエア流路L2と研磨材供給配管42の流量が、圧力とノズル21径によって決まるため、等しいからである。したがって、流量計測器51により第2のエア流路L2の流量を計測することで、安定した逆流検知を行うことができる。続いて、以上のように構成された本実施形態に係るアブレシブウォータージェット加工機1の動作について、主として図2と図3を参照しながら説明する。参照する図2は、本発明の実施形態に係るアブレシブウォータージェット加工機1の動作を説明するための流れ図であり、図3はタイムチャートである。ここで、図3において、噴射圧力の項目は、ノズル21図1参照からの噴射圧力であり、噴射圧力制御装置32により、低圧ピアス加工時刻t2~t3における噴射圧力ピアス圧力と表示を切断加工時刻t5~t6、切断中と表示における噴射圧力切断圧力と表示よりも低く制御する2段階制御を実行していることを示すものである。研磨材供給量の項目は、研磨材供給配管42図1参照を通って貯留ホッパ41からアブレシブヘッド2に供給される研磨材Gの供給量であり、研磨材供給装置4によりニードルバルブ41dの動作を制御して調整したものである。オンオフバルブの項目は、オンオフバルブ31b図1参照を制御して加工用流体Qのアブレシブヘッド2への導通および遮蔽を管理するものであり、閉のときには、加工用流体Q図1参照がアブレシブヘッド2に供給されずt1~t2,t7~、開のときには、加工用流体Qが供給されてノズル21から噴射されることを示すものであるt2~t7。高圧エアパージの項目におけるオンオフは、圧送圧力制御装置8図1参照により、研磨材Gの圧送圧力を制御し、オンのときには、高圧エアパージが実行され、オフのときには、低圧エアパージが実行されることを示すものである。[加工開始前の準備]アブレシブウォータージェット加工機1による加工開始前の準備として、図2に示すように、研磨材タンク61図1参照に研磨材Gを投入しておくとS1、貯留ホッパ41に研磨材Gが補充されるS2。[ピアス加工]図3に示すように、ピアス加工の準備に要する時刻t1~t2までの時間T1は、研磨材Gが貯留ホッパ41図1参照からアブレシブヘッド2まで到達するまでの供給待ち時間であり、時刻t1において、研磨材Gの供給が開始され、高圧エアパージがオンとなって開始される図2のS3参照。ピアス加工は、図3に示すように、時刻t2~t5まで実行されるが、噴射圧力が段階的に異なる低圧ピアス加工時刻t2~t3、図2のS4参照と高圧ピアス加工時刻t4~t5、図2のS6参照に分けてピアス加工を実行する。つまり、時刻t2~t3までは、ウォータージェットJ図1参照の噴射圧力が小さい低圧ピアス加工であり、時刻t4~t5までは、ウォータージェットJの噴射圧力が大きく切断加工と同じである高圧ピアス加工である。時刻t3~t4は、高圧ピアス加工のための準備時間T2である。低圧ピアス加工においては時刻t2~t3、研磨材供給量の項目に示すように、研磨材Gの供給量が切断時供給量よりも小さく設定される一方、高圧エアパージの項目に示すように、高圧エアパージがオンとなっているため時刻t1、高圧エアパージが実行されている。このようにして、アブレシブウォータージェット加工機1は、噴射圧力制御装置32図1参照により噴射圧力を低く制御した状態において、圧送圧力制御装置8により、研磨材供給配管42を流通する圧縮エアの圧送圧力を切断加工時の圧送圧力よりも高く制御して高圧エアパージ、低圧ピアス加工を行っている。アブレシブウォータージェット加工機1は、低圧ピアス加工時に高圧エアパージを実行することで、研磨材供給配管42の経路、長さ、およびノズル21と貯留ホッパ41の位置関係等によらず安定して適量の研磨材Gを供給することができるので、低圧ピアス加工において噴射圧力を低く設定した場合にも欠けや割れを効果的に防止して高品位のピアス加工を安定して実現することができる。低圧ピアス加工の後、高圧ピアス加工に移行する準備をおこなう図2のS5参照。すなわち、時刻t3~t4に要する時間T2は、噴出圧力が切断圧力と同じになるまで昇圧されるまでの待ち時間であり、高圧エアパージがオフとなり時刻t3、切断加工と同じ低圧エアパージに移行するとともに、噴射圧力を上げて高圧ピアス加工に移行する準備を行う。高圧ピアス加工においては時刻t4~t5、切断加工と同じ研磨材供給量であり、切断加工と同じ低圧エアパージが実行されている図2のS6参照。高圧ピアス加工を行うことで、ピアス加工時間を短縮して切断加工に迅速に移行することができる。[切断加工]切断加工は、時刻t5~t6まで実行される図2のS7参照。切断加工中は、噴射圧力および研磨材供給量が低圧ピアス加工時よりも高く設定されるが切断圧力および切断時供給量の項を参照、高圧エアパージは、時刻t3においてオフとなっているので高圧エアパージの項を参照、低圧エアパージが実行される。切断加工が終了すると、研磨材供給装置4のニードルバルブ41dを閉じて研磨材Gの供給を停止するとともに図2のS8参照、オンオフバルブ31b図1参照を閉じてウォータージェットJの噴射を停止するとともに、図示しない減圧弁を開いてアブレシブヘッド2内の圧力を解放する図2のS9参照。そして、加工用流体供給装置31の図示しない高圧ポンプの吐出圧力を下げて待機状態とする図2のS10参照。本発明の実施形態に係るアブレシブウォータージェット加工機1は、以下のような作用効果を奏する。すなわち、エアパージ装置5により、研磨材供給配管42を流通する研磨材Gに圧送圧力を負荷することで、増加するエアの流量を利用して研磨材Gをノズル21に安定して供給することができるため、オリフィスを通過した加工用流体が発生する負圧や研磨材の重力による位置エネルギーに過度に依存することなく、研磨材Gを安定して搬送することができる。このため、ノズル21からウォータージェットJを下向きに噴射する場合図1参照の他、横向き、ないし上向きに噴射するような場合不図示であっても適量の研磨材Gを供給することができる。また、研磨材供給配管42を流通する研磨材Gに圧送圧力を安定して負荷することで、ノズルヘッド2やオンオフバルブ31bまでが水中に浸るような使用状態であっても図1参照、ノズルヘッド2側から研磨材供給配管42への逆流を効果的に防止することができる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記した実施形態に限定されず、適宜変更して実施することが可能である。例えば、本実施形態においては、ピアス加工を低圧ピアス加工と高圧ピアス加工の2段階で実施したが、低圧ピアス加工によりピアス加工を完結し高圧ピアス加工を省略して昇圧待ち時間を取ってから切断加工に移行してもよいし、低圧ピアス加工が含まれていればよく、低圧、中圧、および高圧ピアス加工の3段階ないしそれ以上の段階的なピアス加工を実施してもよい。また、本実施形態においては、高圧ピアス加工における低圧エアパージのエア圧圧送圧力を切断加工時のエア圧圧送圧力と同じにしたが、これに限定されるものではなく、低圧ピアス加工における高圧エアパージのエア圧よりも低く、切断加工時のエア圧よりも高い範囲で適宜設定して、段階的に切断加工時の圧送圧力に移行してもよい。"