"湾曲した湾曲部、前記湾曲部内に存して撮像面が凹曲面とされ光電変換部が配列された撮像領域、及び前記湾曲部の周端から延長し固定された平坦部を有する固体撮像チップと、前記撮像面の曲率を可変制御する制御部とを備えた固体撮像装置。前記固体撮像チップの平坦部は、前記湾曲部の全周に配置されて同一面を構成している請求項1記載の固体撮像装置。前記固体撮像チップにおいて、前記光電変換部が配列された撮像領域の周囲に周辺回路が配置された請求項2記載の固体撮像装置。前記固体撮像チップにおける湾曲部を膨出する開口と、前記湾曲部から延長した平坦部を固定する平坦面とを有して前記固体撮像チップを支持する台座を備えた請求項3記載の固体撮像装置。前記固体撮像チップの撮像面とは反対側の面に形成された磁性膜と、前記台座の開口に臨む前記湾曲部に対向して配置された磁力発生装置による前記制御部を備え、前記磁性膜に与える前記制御部からの磁力の制御で、前記撮像面の曲率が制御される請求項4記載の固体撮像装置。前記台座の開口に連通して配置された吸引装置による前記制御部を備え、前記制御部からの吸引力の制御で、前記撮像面の曲率が制御される請求項4記載の固体撮像装置。前記開口内に注入され前記固体撮像チップに接着する収縮性を有する接着剤と、加熱装置による前記制御部を備え、前記制御部の加熱温度の制御による前記接着剤の体積収縮の制御で、前記撮像面の曲率が制御される請求項4記載の固体撮像装置。湾曲制御される撮像面を有して光電変換部が配列された撮像領域、前記湾曲制御されて湾曲部となる領域の周端から延長し固定された平坦部を有する固体撮像チップと、前記撮像領域の曲率無限小を含むを可変制御する制御部とを備え、前記制御部により前記撮像領域が、平坦状態から所要の曲率を有する湾曲状態まで可変制御される固体撮像装置。固体撮像装置と、前記固体撮像装置の光電変換部に入射光を導く光学レンズ系と、前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路とを備え、前記固体撮像装置は、湾曲した湾曲部、前記湾曲部内に存する凹曲面の撮像面、及び前記湾曲部の周端から延長する平坦部を有する固体撮像チップと、前記撮像面の曲率を可変制御する制御部とを備えた固体撮像装置で構成され、前記光学レンズ系における所要の光学レンズの可変移動に連動して、前記撮像面の曲率が可変制御される電子機器。前記固体撮像チップの平坦部は、前記湾曲部の全周に配置されて同一面を構成している請求項9記載の電子機器。前記固体撮像チップにおいて、前記撮像面を有し光電変換部が配列された撮像領域の周囲に周辺回路が配置された請求項10記載の電子機器。前記固体撮像チップにおける湾曲部を膨出する開口と、前記湾曲部から延長した平坦部を固定する平坦面とを有して前記固体撮像チップを支持する台座を備えた請求項11記載の電子機器。前記固体撮像チップの撮像面とは反対側の面に形成された磁性膜と、前記台座の開口に臨む前記湾曲部に対向して配置された磁力発生装置による前記制御部を備え、前記磁性膜に与える前記制御部からの磁力の制御で、前記撮像面の曲率が制御される請求項12記載の電子機器。前記台座の開口に連通して配置された吸引装置による前記制御部を備え、前記制御部からの吸引力の制御で、前記撮像面の曲率が制御される請求項12記載の電子機器。前記開口内に注入され前記固体撮像チップに接着する収縮性を有する接着剤と、加熱装置による前記制御部を備え、前記制御部の加熱温度の制御による前記接着剤の体積収縮の制御で、前記撮像面の曲率が制御される請求項12記載の電子機器。固体撮像装置と、前記固体撮像装置の光電変換部に入射光を導く光学レンズ系と、前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路とを備え、前記固体撮像装置は、湾曲制御される撮像面を有して光電変換部が配列された撮像領域、前記湾曲制御されて湾曲部となる領域の周端から延長し固定された平坦部を有する固体撮像チップと、前記撮像領域の曲率無限小を含むを可変制御する制御部とを備え、前記制御部により前記撮像領域が、平坦状態から所要の曲率を有する湾曲状態まで可変制御される固体撮像装置で構成され、前記光学レンズ系における所要の光学レンズの可変移動に連動して、前記撮像面の曲率が可変制御される電子機器。ところで、撮像面を像面湾曲に応じて湾曲させ撮像レンズの枚数低減した固体撮像装置を備えたカメラ等の撮像装置においては、ズーム機能を持たせることが望まれている。湾曲した撮像面に広角被写体を結像させ際には、ズームレンズが撮像面側に移動し、レンズに入射する被写体光の軸外光束の入射角度が大きくなるため、画像周辺でピントがずれてしまう。従って、広角撮影のときでも、画像周辺を含めて適正なピントで撮影できることが望まれる。また、ズーム撮影において、撮像面を平坦な状態から像面湾曲に応じて湾曲状態に可変制御ができることも臨まれる。本技術は、ズーム撮影に適した固体撮像装置、及びこの固体撮像装置を備えたカメラ等の電子機器を提供するものである。本技術に係る固体撮像装置は、湾曲した湾曲部、湾曲部内に存する凹曲面の撮像面、及び湾曲部の周端から延長し固定された平坦部を有する固体撮像チップと、撮像面の曲率を可変制御する制御部とを備える。この固体撮像装置では、撮像面の曲率が制御部により可変制御されるので、撮像面からのレンズの位置に応じて撮像面の曲率を設定することができる。本技術に係る固体撮像装置は、湾曲制御される撮像面を有して光電変換部が配列された撮像領域、前記湾曲制御されて湾曲部となる領域の周端から延長し固定された平坦部を有する固体撮像チップと、撮像領域の曲率無限小を含むを可変制御する制御部とを備える。そして、制御部により撮像領域が、平坦状態から所要の曲率を有する湾曲状態まで可変制御される構成とする。この固体撮像装置では、撮像面の曲率無限小を含むが制御部により可変制御されるので、撮像面からのレンズの位置に応じて撮像面の曲率を設定することができる。本技術に係る電子機器は、固体撮像装置と、固体撮像装置の光電変換部に入射光を導く光学レンズ系と、固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路を備える。固体撮像装置は、湾曲した湾曲部、湾曲部内に存する凹曲面の撮像面、及び湾曲部の周端から延長する平坦部を有する固体撮像チップと、撮像面の曲率を可変制御する制御部とを備えた固体撮像装置で構成される。そして、光学レンズ系における所要の光学レンズの可変移動に連動して、撮像面の曲率の可変制御するように構成される。この電子機器では、光学レンズ系における所要のレンズの可変移動に連動して、固体撮像装置の撮像面の曲率が制御部により可変制御されるので、撮像面からのレンズの位置に応じて撮像面の曲率を設定することができる。ズーム撮影が可能になる。本技術に係る電子機器は、固体撮像装置と、固体撮像装置の光電変換部に入射光を導く光学レンズ系と、固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路とを備える。固体撮像装置は、次に示す固体撮像装置で構成される。即ち、固体撮像装置は、湾曲制御される撮像面を有して光電変換部が配列された撮像領域、湾曲制御されて湾曲部となる領域の周端から延長し固定された平坦部を有する固体撮像チップと、撮像領域の曲率無限小を含むを可変制御する制御部とを備える。そして、制御部により撮像領域が、平坦状態から所要の曲率を有する湾曲状態まで可変制御されるように構成される。本電子機器は、上記固体撮像装置を備えて、光学レンズ系における所要の光学レンズの可変移動に連動して、撮像面の曲率が可変制御される構成とする。この電子機器では、光学レンズ系における所要のレンズの可変移動に連動して、固体撮像装置の撮像面の曲率無限小を含むが制御部により可変制御されるので、撮像面からのレンズの位置に応じて撮像面を平坦状態から所要の湾曲状態まで設定することができる。ズーム撮影が可能になる。本技術に係る固体撮像装置によれば、ズーム撮影に適した固体撮像装置を提供することができる。本技術に係る電子機器によれば、上記固体撮像装置を備えるので、ズーム撮影を可能したカメラ等の撮影機能を有する電子機器を提供することができる。以下、本技術を実施するための形態以下実施の形態とするについて説明する。なお、説明は以下の順序で行う。1.本技術に適用される固体撮像チップの概略構成例2.第1実施の形態固体撮像装置の構成例3.第2実施の形態固体撮像装置の構成例4.第3実施の形態固体撮像装置の構成例5.第4実施の形態固体撮像装置の構成例6.第5実施の形態固体撮像装置の構成例7.第6実施の形態固体撮像装置の構成例8.第7実施の形態固体撮像装置の構成例9.第8実施の形態固体撮像装置の構成例10.第9実施の形態固体撮像素子の構成例11.第10実施の形態固体撮像装置の構成例12.第11実施の形態電子機器の構成例<1.本技術に適用される固体撮像チップの概略構成例>図1に、本技術の各実施の形態に適用される撮像チップの一例として、MOS型の固体撮像素子を有する固体撮像チップの概略構成を示す。固体撮像チップ以下、撮像チップと略称する2は、例えばシリコンの半導体基板に固体撮像素子を形成して構成される。固体撮像素子は、半導体基板の一主面の中央に、光電変換部を含む複数の画素3が2次元的に配列された撮像領域4を有している。撮像領域4に配列された各画素3は、光電変換部、例えばフォトダイオードと、複数の画素トランジスタMOSトランジスタを有して構成される。複数の画素トランジスタは、例えば、転送トランジスタ、リセットトランジスタ、増幅トランジスタ及び選択トランジスタの4トランジスタで構成することができる。また、選択トランジスタを省略した3トランジスタで構成することもできる。画素3としては、複数の光電変換部と、複数の転送トランジスタと、共有する1つのフローティングディフュージョンと、共有する1つずつの他の画素トランジスタとからなる共有画素構造を1単位として構成することもできる。撮像領域4の周辺部分には、垂直駆動回路5,カラム信号処理回路6、水平駆動回路7、システム制御回路8及び出力回路図示せずなどの周辺回路が設けられている。垂直駆動回路5は、例えばシフトレジスタによって構成され、撮像領域4に配線された画素駆動線9を選択し、選択された画素駆動線9に画素3を駆動するためのパルスを供給し、撮像領域4に配列された各画素3を行単位で駆動する。すなわち、垂直駆動回路5は、撮像領域4に配列された各画素3を行単位で順次垂直方向に選択走査する。そして、画素駆動線9に対して垂直に配線された垂直信号線10を通して、各画素3において受光量に応じて生成した信号電荷に基づく画素信号をカラム信号処理回路6に供給する。カラム信号処理回路6は、画素3の例えば列ごとに配置されており、1行分の画素3から出力される信号を画素列ごとにノイズ除去などの信号処理を行う。即ちカラム信号処理回路6は、画素固有の固定パターンノイズを除去する相関二重サンプリングCDS:CorrelatedDoublesamplingや、信号増幅、アナログ/デジタル変換AD:AnalogDigitalConversion等の信号処理を行う。水平駆動回路7は、例えばシフトレジスタによって構成され、水平走査パルスを順次出力することによって、カラム信号処理回路6の各々を順番に選択し、カラム信号処理回路6の各々から画素信号を出力させる。出力回路は、カラム信号処理回路6の各々から順次に供給される信号に対して、信号処理を行って出力する。例えば、バファリングだけする場合もあるし、黒レベル調整、列ばらつき補正、各種デジタル信号処理などが行われる場合もある。システム制御回路8は、入力ブロックと、動作モードなどを指令するデータを受け取り、また固体撮像素子の内部情報などのデータを出力する。すなわち、システム制御回路8では、垂直同期信号、水平同期信号及びマスタクロックに基づいて、垂直駆動回路5、カラム信号処理回路6、及び水平駆動回路7などの動作の基準となるクロック信号や制御信号を生成する。そして、これらの信号を垂直駆動回路5、カラム信号処理回路6、及び水平駆動回路7等に入力する。本例の固体撮像素子は、裏面照射型に構成することができる。裏面照射型の固体撮像素子では、薄膜化された半導体基板の一主面裏面に光電変換部を有する撮像面が形成され、この一主面側にカラーフィルタ及びオンチップレンズが形成される。他の主面表面側には、画素トランジスタ、及び周辺回路のMOSトランジスタが形成され、その上に層間絶縁膜を介して複数層の配線を配置した多層配線層が形成され、更に支持基板が接合される。また、本例の固体撮像素子は、表面照射型に構成することもできる。表面照射型の固体撮像素子では、半導体基板の一主面表面に光電変換部と画素トランジスタからなる画素が配列された撮像面が形成される。一主面に周辺回路も形成される。この一主面上に、層間絶縁膜を介して複数層の配線を配置した多層配線層が形成され、更にその上にカラーフィルタ及びオンチップレンズが形成される。本技術に係る固体撮像装置は、各実施の形態で説明するように、固体撮像素子が形成された撮像チップ2の中央が3次元に湾曲した湾曲部11として構成される。この湾曲部11内に撮像領域4が存在する。換言すれば、湾曲部11内に画角領域が存在する。なお、この湾曲部11は、固体撮像装置の駆動の仕様によっては、湾曲でない平坦面の状態である場合も含む。この湾曲部11の周囲は、表面平坦な平坦部13として構成される。すなわち、平坦部13は、同一面を構成している。この湾曲部11の周端から延長する平坦部13は、支持部に固定されている。上述した撮像領域4の撮像面は、湾曲部11における凹曲面側に形成される。周辺回路5~8は、撮像領域4の周囲の湾曲部11及び平坦部13に配置される。一方、後述で明らかとなるように、湾曲部11の撮像面の曲率あるいは曲率半径を可変制御する制御部図示せずが設けられる。即ち、本技術に係る固体撮像装置は、撮像チップ2と、この撮像チップの湾曲される領域の曲率無限小である平坦面を含むを可変制御する制御部とを備えて構成される。曲率を可変制御する制御部としては、以下の実施の形態で示すように、磁力の変化を利用する方式、熱による体積収縮率を利用する方式、吸引力による真空度を利用する方式などがある。<2.第1実施の形態>[固体撮像装置に適用される台座の構成例]先ず、図2A,Bを用いて固体撮像装置の構成要素である台座の一例を説明する。図2Aは台座の断面図、図2Bは台座の平面図である。台座21は、固体撮像素子を有する撮像チップを支持し、光電変換部が配列された撮像領域を含む領域を湾曲部に形成する台座となる。湾曲部の凹曲面側に、撮像領域の撮像面が形成され、この撮像面は、撮像チップと組み合わされる撮像レンズの像面湾曲レンズ収差に対応した凹曲面となる。即ち、台座21は、中央に開口23を有している。開口23が設けられた台座21の一方の面は開口23の周囲が平坦面25として整形されている。開口23は、台座21に支持される撮像チップ2と組み合わされる光学レンズ撮像レンズの像面湾曲レンズ収差に合わせた外形形状を有することとする。通常の外形形状が円形のレンズを用いた場合であれば、開口23の平面視的に見た開口形状は、円形正円であることが好ましく、正方形の4つの角部を曲線にした形状であっても良い。また、開口23は、平坦面25側の開口縁において、平坦面25に向かって開口径が広がるテーパ形状を有している。開口23のテーパ面と平坦面25の延長面とのなす角度θは、θ=90°未満であり、一例としてθ=45°程度であることが好ましい。また、平坦面25側における開口23の開口幅w1は、図1の撮像チップ2の撮像領域4が開口23の範囲内に収まる程度であることとする。平坦面25は、開口23の全周にわたって設けられる。この平坦面25は、少なくとも図1の撮像チップの撮像領域4が、開口23の範囲内に収まるように、当該撮像チップ2の周縁を支持する幅w2を有している。このような平坦面25の外周の全周または一部は、撮像チップ2を載置する場合の位置合わせを容易にするために、平坦面25よりも高い面として構成しても良い。尚、このような位置合わせが不要な場合には、台座21の一方の面の全面を同一高さの平坦面25としても良い。以上のような台座21の開口23は、平坦面25側及び平坦面25が形成されている側とは反対側の両面で開放されている。あるいは、鎖線で示すように、台座21は、平坦面25が形成されている側とは反対側の面に、開口23を閉塞する底板39を設けた構成としても良い。底板39は、台座21と一体に形成されていても良いし、開口23を密閉状態で閉塞できれば、台座21と別体で形成しても良い。特に、台座21は、撮像チップ2よりも膨張係数Coefficientofthermalexpansion:CTEの大きい材料を、主な構成部材に用いて構成される。例えば撮像チップ2が主に単結晶シリコンCTE=2.4を用いて構成されたものであれば、ステンレス鋼SUS410:CTE=10.4、SUS304:CTE=17.3やアルミニウムCTE=23を用いて台座21が構成される。[固体撮像装置の構成例]次に、図3に、本技術に係る固体撮像装置の第1実施の形態の概略構成を示す。第1実施の形態に係る固体撮像装置1-1は、上記台座21と、台座21に支持され撮像面4aが弧状等の3次元に湾曲された固体撮像素子を有する撮像チップ2と、撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31とを有して構成される。撮像チップ2は、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有する固体撮像素子が形成され、撮像領域4の撮像面4aとは反対側の裏面に磁性膜33が形成され、磁性膜33上に接着層34が形成される。後述の図5の製造方法で明らかとなるように、撮像チップ2は、その中央部分が台座21の開口23側に弧状等の3次元に湾曲されて湾曲部11を形成している。この湾曲部11内に光電変換部が配列された撮像領域4が存しており、湾曲部の凹曲面が撮像面4aとなる。撮像チップ2は、湾曲部11の周縁から延長する平坦部13を、接着層34を介して台座21の平坦面25に固定して、台座21に支持される。一方、制御部31としては、撮像チップ2の撮像面4aに対して垂直方向に移動可能な、磁力発生装置であるマグネット31-1で構成される。このマグネット31-1は、台座21の裏面側において、開口23に臨む撮像チップ2の湾曲部11に対向する位置に配置される。[撮像チップの撮像領域を湾曲させる製造方法]図5に、撮像領域4の湾曲部11とその周縁の平坦部13を有する撮像チップ2の製造方法を示す。図5に示す撮像チップ2の製造方法は、前述の台座21を用いるものである。先ず、図5Aに示すように、開口23の平坦面25が設けられている側と反対側が閉塞されない台座21を用意する。次に、図5Bに示すように、台座21を加熱して膨張させる。これにより開口23の径を拡大して平坦面25を外側に広げる。この際の加熱温度は、次に説明する撮像チップ2の裏面に設けた接着層34の硬化温度以上で、撮像チップ2に影響のない範囲とする。次に、図5Cに示すように、固体撮像素子を有する撮像チップ2の撮像面4aと反対側の裏面に磁性膜33を形成し、その上に接着層34を形成する。磁性膜33としては、例えば、バインダーに磁性粉末を混入した塗布膜、あるいは磁性粉末を混入した磁性シート等を用いることができる。接着層34としては、例えば、熱硬化性の樹脂からなる接着剤を塗布した塗膜、あるいは熱硬化性接着シート等を用いることができる。図示したように、接着層34は撮像チップ2における台座21への載置面側の全面に配置しても良いし、台座21の平坦面25に対応させて撮像チップ2の周縁のみに配置してもよい。ただし、開口23を囲む全周において、台座21の平坦面25と撮像チップ2との間に接着層34が挟持されることが重要である。そして、台座21の開口23を塞ぐ状態で、撮像チップ2における撮像領域4の撮像面すなわち光電変換部の形成面4aを上方に向け、台座21の平坦面25上に撮像チップ2を載置する。この際、開口23に範囲内に撮像領域4を納め、即ち画角領域を納め、接着層34を介して撮像領域4の周囲を、全面にわたって台座21の平坦面25で支持させる。またこの状態では、撮像領域4の周囲に配置される周辺回路5~8は、平坦面25に対応して配置され、一部が開口23の範囲内に配置されても良い。この状態で、台座21の平坦面25と撮像チップ2との間に挟持させた接着層34が硬化するまで維持し、撮像チップ2を台座21の平坦面25上に固定する。この際、撮像チップ2の周縁の全周を平坦面25に固定させることが重要である。例えば、接着層34の硬化は、160°C、15分程度とすることができる。次に、図5Dに示すように、台座21を加熱状態から常温にまで冷却する。この冷却過程において、台座21が収縮する。このとき、台座21は、加熱前の大きさにまで収縮する。台座21の体積収縮により、撮像チップ2において台座21の開口23に対応して配置された中央部分は、開口23の内部に向かって膨出し、3次元に歪曲した湾曲部11として整形される。この湾曲部11は、一部が開口23の上縁のテーパ形状に沿うようにして湾曲されることになる。従って、湾曲部11は、台座21の開口23の形状と同様に、例えば円形の底部を有する形状、すなわち弧状に整形される。また、開口23の形状が正方形の4つの角部を曲線にした形状であれば、湾曲部11の頂部に近い部分では円形の底部とする3次元の湾曲に形成されることになる。湾曲部11は、本例では弧状に湾曲される。この際、撮像チップ2の周縁の全周を平坦面25に固定したことにより、開口23に対応する撮像チップ2の中央部分に対して、しわを発生させることなく3次元に湾曲させた湾曲部11を形成することができる。尚、撮像チップ2の周縁の全周を平坦面25に対して十分に固定させるためには、平坦部13がある程度以上の幅に保たれるように、撮像チップ2の外形形状に対して開口23の開口幅w1を調整することが重要である。一例として撮像チップ2の形状が、外形形状4mm×4mm、厚み15μm程度であれば、撮像チップ2の全周に平坦部13が1mm以上で残されるように設定する。また、台座21の開口23の上縁をテーパ形状としたことにより、開口23のエッジに対応する撮像チップ2部分に、湾曲の際の応力が集中することを防止でき、この部分での撮像チップ2の割れを防止できる。一方、撮像チップ2において湾曲部11の周囲は、台座21の平坦面25に固定されて湾曲せず、平坦部13として残される。この平坦部13は、湾曲部11の全周にわたって残される。撮像チップ2に形成する湾曲部11は、この撮像チップ2と組み合わせて用いられる光学レンズ撮像レンズの像面湾曲に合わせた曲率であることが好ましい。また、撮像チップ2を無理なく目的の曲率を有する3次元に湾曲させるために、撮像チップ2の厚みを調整しても良い。このため、湾曲部11の底面積が大きい場合と比較して、湾曲部11の底面積が小さいほど、撮像チップ2の厚みを小さくすることが好ましい。以上のようにして、撮像面4aが湾曲された湾曲部11を有する撮像チップ2を形成する。本実施の形態の固体撮像装置1-1は、このようにして得られた湾曲部11を有する撮像チップ2に対向して、台座21の裏面側にマグネット31-1を配置して構成される。[動作説明]次に、第1実施の形態に係る固体撮像装置1-1の動作を説明する。図4に示すように、マグネット31-1は、湾曲部11における撮像領域4の中心を通り撮像領域4に垂直な軸線a上に沿って実線位置から破線位置の範囲z内で可変制御されるように配置される。湾曲部11従って撮像面4aは、上記製法で得られた湾曲に加えて、マグネット31-1の湾曲部11からの距離に応じた磁力による引っ張り力で更に湾曲されて所要の曲率を有することになる。マグネット31-1が撮像チップ2の湾曲部11から最も離れた実線位置にあるとき、湾曲部11裏面の磁性膜33に与えるマグネット31-1の磁力が最も弱くなり、湾曲部11撮像面4aの曲率が最小曲率半径が最大となる実線図示。この曲率最小の状態は初期状態に相当する。逆に、マグネット31-1が撮像チップ2の湾曲部11に最も近づいた破線位置にあるとき、湾曲部11裏面の磁性膜33に与えるマグネット31-1の磁力が最も強くなり、湾曲部11撮像面4aの曲率が最大曲率半径が最小となる破線図示。従って、マグネット31-1を上記範囲z内で可変移動させ磁力を可変制御させることにより、湾曲部11撮像面4aの曲率を任意に可変させることができる。[効果]第1実施の形態に係る固体撮像装置1-1によれば、湾曲部11を有して台座21に支持された撮像チップ2に対してマグネット31-1を可変移動することにより、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-1は、後述の電子機器で詳細説明するように、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。固体撮像装置1-1は、撮像レンズの像面湾曲レンズ収差に対応した凹曲面の撮像面4aを有した湾曲部11を備えているので、撮像レンズとして少ない枚数のレンズでの撮影を可能にしている。撮像レンズにズームレンズを備えたとき、特にレンズを撮像面4aに近づけて広角レンズ短焦点距離にすると、レンズに入射する被写体光の軸外光束の入射角度が大きくなり、像面湾曲が大きくなる。つまり、撮像面4aの曲率を、レンズを撮像面4aから離して望遠レンズ長焦点距離にしたときに適した曲率にすると、広角レンズのときに像面湾曲が生じる。この広角レンズのときに、マグネット31-1を湾曲部11に近づけて撮像面4aの曲率を小さくすることにより、撮像面4aの全面でピントが合い、適正に結像させることができる。また、ズームレンズ、固定レンズあるいは望遠レンズなどの通常の撮像レンズを備えたカメラなどの電子機器において、撮像チップ2の湾曲部11の曲率を可変調整して、画像の中央にピントを合わせ、周辺のピントをぼかすような撮像も可能になる。尚、本実施の形態では、撮像チップ2の周縁部を湾曲によるストレスが加わることのない平坦部13として残して固定した状態で、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲している。このため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。因みに、特許文献に記載の湾曲面を有する固体撮像装置では、いずれも固体撮像装置が形成されたチップ半導体チップの全体が湾曲される。このため、ダイシンングによって分割されたことで粗面となっているチップの周端部にストレスが加わり、この周端部側からチップにクラックが発生する懼れがあった。本実施の形態ではこのクラック発生が阻止される。<3.第2実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図6に、本技術に係る固体撮像装置の第2実施の形態の概略構成を示す。第2実施の形態に係る固体撮像装置1-2は、前述の台座21と、台座21に支持され撮像面4aが弧状等の3次元に湾曲された固体撮像素子を有する撮像チップ2と、撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31とを有して構成される。撮像チップ2は、第1実施の形態と同様に、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有する固体撮像素子が形成され、撮像領域4の撮像面4aとは反対側の裏面に磁性膜33が形成され、磁性膜33上に接着層34が形成される。また、前述の図5で説明したと同様に、撮像チップ2は、その中央部分が台座21の開口23側に弧状等の3次元に湾曲されて湾曲部11を形成している。湾曲部11は、本例では弧状に湾曲される。この湾曲部11内に光電変換部が配列された撮像領域4が存しており、湾曲部11の凹曲面が撮像面4aとなる。撮像チップ2は、湾曲部11の周縁から延長する平坦部13を、接着層34を介して台座21の平坦面25に固定して、台座21に支持される。制御部31としては、原理的には磁性コア36にコイル37を巻回して構成され、コイル37に流す電流に応じて発生する磁力が変化する、磁力発生装置である電磁石31-2で構成される。この電磁石31-2は、台座21の裏面側において、湾曲部11の中央部分に対向した位置に配置される。即ち、電磁石31-2は、撮像チップ2の撮像領域4の中心を通り撮像領域4に垂直な軸線上の所定位置に固定して配置される。その他の台座21,撮像チップ2の構成は、第1実施の形態と同様であるので、図6において、図3及び図5に対応する部分に同一符号を付して重複説明を省略する。撮像チップ2を台座21に支持して撮像領域4のみを湾曲させる製造方法は、第1実施の形態と同様である。[動作説明]次に、第2実施の形態に係る固体撮像装置1-2の動作を説明する。図7に示すように、軸線a上に固定して配置された電磁石31-2の磁力を制御することにより、湾曲部11従って撮像面4aの曲率が可変制御される。即ち、湾曲部11は、電磁石31-2の磁力がゼロであれば、前述の製法で得られた曲率となる実線図示。コイル37に流す電流量に基き、電磁石31-2の磁力が増すに従いその磁力による引っ張り力で、湾曲部11の湾曲が大きくなる。つまり、湾曲部11従って撮像面aは、前述の製法で得られた湾曲に加えて電磁石31-2による引っ張り力で更に湾曲され、初期状態より大きい所要の曲率を有することになる破線図示。従って、電磁石31-2の磁力を可変制御することにより、湾曲部11撮像面4aの曲率を任意に可変させることができる。[効果]第2実施の形態に係る固体撮像装置1-2によれば、湾曲部11を有して台座21に支持された撮像チップ2に対して電磁石31-2で発生する磁力を可変制御することで、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-2は、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲しているため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。<第3実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図8に、本技術に係る固体撮像装置の第3実施の形態の概略構成を示す。第3実施の形態に係る固体撮像装置1-3は、前述の台座21と、台座21の裏面に開口23を閉塞する底板39と、台座21に支持された撮像チップ2と、撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31とを有して構成される。撮像チップ2は、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有し、かつ撮像面4aが弧状等の3次元に湾曲された固体撮像素子を有している。撮像チップ2は、後述の図10の製造方法で明らかとなるように、その中央部分が台座21の開口23側に弧状等の3次元に湾曲されて湾曲部11を形成し、さらに開口23内のガスを吸引して更に湾曲部11を湾曲させている。この湾曲部11の湾曲は、台座21の開口23を気密的に閉塞する底板39により維持される。そして、第1実施の形態と同様に、撮像チップ2の裏面に磁性膜33が形成され、磁性膜33上に接着層34が形成される。また、撮像チップ2の湾曲部11内に光電変換部が配列された撮像領域4が存しており、湾曲部の凹曲面が撮像面4aとなる。撮像チップ2は、湾曲部11の周縁から延長する平坦部13を、接着層34を介して台座21の平坦面25に固定して、台座21に支持される。制御部31としては、前述したと同様の軸線aに沿って移動可能なマグネット31-1で構成される。このマグネット31-1は、底板39の背面に配置される。台座21,撮像チップ2におけるその他の構成は、第1実施の形態で説明したと同様であるので、図8において、図3及び図5に対応する部分に同一符号を付して重複説明を省略する。[撮像チップの撮像領域を湾曲させる製造方法]図10~図11に、第3実施の形態に適用される、撮像領域4の湾曲部11とその周縁の平坦部13を有する撮像チップ2の製造方法を示す。図10~図11に示す撮像チップ2の製造方法は、前述の台座21を用いるものである。図10A~図11Dまでの工程は、前述の図5A~図5Dまでの工程と同じであるので、重複説明を省略する。図11Dの工程では、台座21加熱状態の台座21に撮像チップ2を載置固定した状態から台座21を常温まで冷却し、台座21を体積収縮させる。この台座21の体積収縮により、撮像チップ2において台座21の開口23に対応して配置された中央部部分は、開口23の内部に向かって膨出し、3次元に歪曲した湾曲部11として整形される。湾曲部11は、本例では弧状に湾曲される。次に、図11Eに示すように、開口23内のガスを吸引して所要の負圧とすることにより、湾曲部11を更に湾曲させて、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を所要の曲率とする。この状態で、台座21の裏面に開口23を底板39で気密的に閉塞して湾曲部11の湾曲を維持する。以上のようにして、台座21に支持され所要の曲率とした湾曲部11を有する撮像チップ2を得る。本実施の形態1-3では、このようにして得られた湾曲部11を有する撮像チップ2に対向して、台座21の底板39の背面側にマグネット31-1を配置して構成される。[動作説明]第3実施の形態に係る固体撮像装置1-3の動作は、第1実施の形態と同様であり、マグネット31-1を軸線aに沿って範囲z内で可変移動することにより、撮像チップの磁性膜33に与えるマグネット31-1の磁力が可変制御される。この磁力に応じて、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を可変調整することができる。例えば、マグネット31-1を湾曲部11から離して磁力の影響を磁性膜33に与えない状態のときは、湾曲部11の曲率は図11Eの曲率を維持する実線図示。マグネット31-1を湾曲部11に近づけて磁力の影響を磁性膜33に与える状態のときは、湾曲部11の曲率はより大きくなる破線図示。[効果]第3実施の形態に係る固体撮像装置1-3によれば、台座21の熱膨張及び冷却による湾曲と、開口23内の積極的な吸引による湾曲との組み合わせで湾曲部11の初期の曲率を設定している。これによって、湾曲部11の曲率がより精度良く設定することができる。この初期状態からマグネット31-1を可変移動することにより、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-3は、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲している。このため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。<5.第4実施の形態>[固体撮像素子の構成例]図9に、本技術に係る固体撮像装置の第4実施の形態の概略構成を示す。第4実施の形態に係る固体撮像装置1-4は、第3実施の形態におけるマグネット31-1を、第2実施の形態で用いた電磁石31-2に置き換えて構成される。その他の構成は、第3実施の形態と同様であるので、図9において図8と対応する部分に同一符号を付して重複説明を省略する。[動作説明]第4実施の形態に係る固体撮像装置1-4の動作は、第2実施の形態で説明したと同様であり、固定された電磁石31-2のコイル37に流す電流に基いて磁力を制御することにより、撮像チップの磁性膜33に与えるマグネット31-1の磁力が可変制御される。この磁力に応じて、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を可変調整することができる。例えば、電磁石31-2の磁力がゼロであれば、湾曲部11の曲率は、図11Eで得られた初期の曲率となる実線図示。電磁石31-2に電流を流し磁力を高めたときには、この磁力の作用で引っ張り力が働き、湾曲部11の曲率は大きくなる破線図示。[効果]第4実施の形態に係る固体撮像装置1-4によれば、台座21の熱膨張及び冷却による湾曲と、開口23内の積極的な吸引による湾曲との組み合わせで湾曲部11の初期の曲率を設定している。これによって、湾曲部11の曲率がより精度良く設定することができる。この初期状態から電磁石31-2の磁力を可変制御することにより、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-4は、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲している。このため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。<6.第5実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図12に、本技術に係る固体撮像装置の第5実施の形態の概略構成を示す。第5実施の形態に係る固体撮像装置1-5は、前述の台座21と、台座21の裏面に開口23を閉塞する底板39と、台座21に支持された撮像チップ2と、撮像チップ2の撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31とを有して構成される。撮像チップ2は、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有し、かつ撮像面4aが弧状等の3次元に湾曲されて凹曲面とされた固体撮像素子を有している。撮像チップ2は、後述の図14の製法で明らかとなるように、その中央部分が台座21の開口23側に弧状等の3次元に湾曲されて湾曲部11を形成し、湾曲部11の周縁の平坦部13を、接着層34を介して台座21の平坦面25に固定して、台座21に支持される。撮像チップ2の湾曲部11とされた中央部分には、撮像面4aを有する撮像領域4が存している。制御部31としては、底板39にて気密的に閉塞された開口23内のガスを吸引し、開口23内の気圧負圧を制御して湾曲部11の曲率を可変制御できるようにした吸引装置31―5で構成される。台座21、撮像チップ2のその他の構成は、第1実施の形態で説明したと同様であるので、図6において、図3及び図5に対応する部分に同一符号を付して重複説明を省略する。[撮像チップの撮像領域を湾曲させる製造方法]図14に、第5実施の形態に適用される撮像領域4の湾曲部11とその周端の平坦部13を有する撮像チップ2の製造方法を示す。図14に示す撮像チップの製造方法は、前述の台座21を用いるものである。先ず、図14Aに示すように、台座21において平坦面25が設けられている側と反対側に底板39を配置する。この底板39には、開口23と連通する透孔41が設けられている。底板39は、最終的に透孔41に吸引装置31-5の吸引口が挿入されて実質的に開口23を気密的に閉塞するものである。なお、底板39は、台座21と一体に形成されたものであっても良いし、台座21とは別体で形成されたものであっても良い。底板39は、台座21と同材質の金属部材で形成しても良いし、別部材で形成しても良い。次に、図14Bに示すように、台座21を加熱して膨張させる。さらに必要に応じて底板39も加熱することで、台座21と同程度に底板39も膨張させる。これにより、台座21を膨張させ、開口23の径を拡大して平坦面25を外側に広げる。この際の加熱温度は、前述と同様に、撮像チップ2の裏面に設けた接着層34の硬化温度以上で、撮像チップ2に影響のない範囲とする。次に、図14Cに示すように、台座21の開口23を気密的に塞ぐ状態で、撮像チップ2における撮像領域4の撮像面4aを上方に向け、台座21の平坦面25上に撮像チップ2を載置する。撮像チップ2における台座21への載置面裏面側には、例えば熱硬化性の樹脂からなる接着層34を配置する。図示したように、接着層34は、撮像チップ2の上記裏面側の全面に配置しても良いし、台座21の平坦面25に対応させて撮像チップ2の周縁のみに配置しても良い。ただし、開口23を囲む全周において、台座21の平坦面25と撮像チップ2との間に接着層34が挟持されることが重要である。この状態で、前述と同様に、接着層34が硬化するまで維持し、撮像チップ2の平坦部13を台座21の平坦面25上に固定して、撮像チップ2を台座21に支持する。次に、図14Dに示すように、台座21及び底板39を加熱状態から常温にまで冷却する。この冷却過程において、台座21及び底板39が収縮する。台座21及び底板39は、加熱前の大きさにまで収縮する。この台座21及び底板39の体積収縮により、前述と同様に、撮像チップ2において台座21の開口23に対応する中央部分は、開口23の内部側に引っ張られ、3次元に湾曲した湾曲部11として整形される。湾曲部11は、本例では弧状に湾曲される。この湾曲の形成は、図5で説明したと同様である。以上のようにして、湾曲部11を有する撮像チップ2を形成する。本実施の形態の固体撮像装置1-5は、このようにして得られた湾曲部11を有する撮像チップ2に対向するように、台座21の裏面の底板39の透孔41を通じて開口23内と連通する吸引装置31-5を配置して構成される。[動作説明]次に、第5実施の形態に係る固体撮像装置1-5の動作を説明する。吸引装置31-5は、好ましくは湾曲部11における撮像領域4の中心に対応する位置に底板39の透孔41を設け、この透孔41に吸引口が存するように配置する。図13に示すように、吸引装置31-5を動作させないときは、湾曲部11は初期の湾曲状態に維持される実線図示。吸引装置31-5を動作させて開口23内のガスを吸引し、開口23内の気圧を負圧すれば、湾曲部11は、引っ張られて初期状態より湾曲される破線図示。従って、吸引装置31-5による吸引力を可変制御することにより、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を任意に可変制御することができる。[効果]第5実施の形態に係る固体撮像装置1-5によれば、湾曲部11を有する撮像チップ2を台座21に支持した状態で、吸引装置31-5により台座21の開口23内の気圧負圧を可変制御する。これによって、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-5は、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲しているため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。<7.第6実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図15に、本技術に係る固体撮像装置の第6実施の形態の概略構成を示す。第6実施の形態に係る固体撮像装置1-6は、前述の台座21と、台座21に支持された撮像チップ2と、撮像チップ2の撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31とを有して構成される。撮像チップ2は、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有し、かつ撮像面4aが弧状等の3次元に湾曲されて凹曲面とされた固体撮像素子を有している。撮像チップ2は、後述の図17の製法で明らかとなるように、その中央部分が台座21の開口23側に弧状等の3次元に湾曲されて湾曲部11を形成し、湾曲部11の周縁の平坦部13を、接着層34を介して台座21の平坦面25に固定して、台座21に支持される。撮像チップ2の湾曲部11とされた中央部分には、撮像面4aを有する撮像領域4が存している。制御部31としては、台座21の開口23内に撮像チップ2に接着するように充填した接着剤43と、主として接着剤43の温度を制御する温度制御部44とを有して構成される。特に接着剤43は、熱収縮する接着剤であり、例えば熱硬化性の樹脂による接着剤を用いることができる。台座21、撮像チップ2のその他の構成は、第1実施の形態で説明したと同様であるので、図6において、図3及び図5に対応する部分に同一符号を付して重複説明を省略する。[撮像チップの撮像領域を湾曲させる製造方法]図17に、第6実施の形態に適用される撮像領域4の湾曲部11とその周端の平坦部13を有する撮像チップ2の製造方法を示す。図17に示す撮像チップの製造方法は、前述の台座21を用いるものである。本製法は、基本的には撮像チップ2の裏面に磁性膜を形成せず、接着層34のみを形成した点を除いて、前述の図5の製法と同じである。即ち、図17Aに示すように、開口23の平坦面25が設けられている側と反対側が閉塞されない台座21を用意する。次に、図17Bに示すように、台座21を加熱して膨張させ、これに伴って開口23の径を拡大して平坦面25を外側に広げる。次に、図17Cに示すように、裏面に接着層34を形成した撮像チップ2を台座21上に載置し、接着層34を介して撮像チップ2を台座21上に固定して支持する。すなわち、撮像チップ2を台座21の開口23を閉塞するように載置し、台座21の平坦面25と撮像チップ2における撮像領域4の周縁の平坦部13とを固定する。次に、図17Dに示すように、台座21を加熱状態から常温にまで冷却し、台座21を加熱前の大きさにまで収縮する。この台座21の体積収縮により、撮像チップ2の撮像領域4を含む中央部分が開口23内側に湾曲して弧状等の3次元の湾曲部11として整形される。湾曲部11は、本例では弧状に湾曲される。以上のようにして、撮像面4aが湾曲された湾曲部11を有する撮像チップ2を形成する。本実施の形態の固体撮像装置1-6は、このようにして得られた撮像チップ2を支持する台座21の開口23内に熱的に体積収縮する接着剤43を充填し、更に主として接着剤43の温度を制御する温度制御部44を備えて構成される図15参照。[動作説明]次に、第6実施の形態に係る固体撮像装置1-6の動作を説明する。図16に示すように、温度制御部44によって開口23内の接着剤43を常温としたときには、湾曲部11従って撮像面4aは初期状態の曲率を有する実線図示。温度制御部44によって開口23内の接着剤43を冷却したときには、接着剤43が体積収縮して湾曲部11を引っ張る形になり、湾曲部11従って撮像面4aの曲率は大きくなる破線図示。従って、温度制御部44からの温度を可変制御することにより、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を任意に可変制御することができる。[効果]第6実施の形態に係る固体撮像装置1-6によれば、台座21の開口23内に充填した体積収縮する接着剤43と、主として接着剤43の温度を制御する温度制御部44とからなる制御部31を備えている。この制御部31の接着剤43を温度制御して体積収縮を可変制御することにより、湾曲部11従って撮像面4aの曲率を所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-6は、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲しているため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。<8.第7実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図18に、本技術に係る第7実施の形態の固体撮像装置の概略構成を示す。第7実施の形態に係る固体撮像装置1-7は、前述の台座21と、台座21に支持された撮像チップ2と、撮像チップ2の撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31とを有して構成される。撮像チップ2は、第1実施の形態と同様に、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有する固体撮像素子が形成され、撮像領域4の撮像面4aとは反対側の裏面に磁性膜33が形成され、磁性膜33上に接着層34が形成される。また、撮像チップ2は、平坦な状態で台座21の開口23を撮像領域4が含まれる中央部分で閉塞するように、その平坦部13を、接着層34を介して台座21の平坦面25に固定して台座21に支持される。制御部31としては、磁力を可変制御できる磁力制御部31-8で構成することができる。磁力制御部31-8としては、例えば第1実施の形態で用いたマグネット31-1で構成することができる。また、磁力制御部31-8としては、第2実施の形態で用いた電磁石31-2で構成することもできる。[動作説明]次に、第7実施の形態に係る固体撮像装置1-7の動作を説明する。図18に示すように、磁力制御部31-8からの磁力が実質的に撮像チップ2の裏面の磁性膜33に与えられないときは、実質的に撮像チップ2の中央部分従って撮像面4aは湾曲しない。つまり、曲率が無限小となり平坦状態となる実線図示。磁力制御部31-8からの磁力が大きくなるにつれて、撮像チップ2の中央部分従って撮像面4aの湾曲が大きくなり、湾曲部11の曲率が大きくなる破線図示。従って、磁力制御部31-8の撮像チップの磁性膜33への磁力作用を可変制御することにより、撮像チップ2の撮像面4aの曲率を平坦な状態曲率が無限小から曲率が大きくなる湾曲状態まで任意に可変させることができる。なお、磁力制御部31-7として、マグネット31-1を用いたときの動作は第1実施の形態に準じ、電磁石31-2を用いたときの動作は第2実施の形態に準じるので、詳細説明は省略する。[効果]第7実施の形態に係る固体撮像装置1-7によれば、台座21に支持された撮像チップ2に対する磁力制御部31-7の撮像チップに与える磁力を可変移動することにより、撮像面4aの曲率曲率が無限小を含むを所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-7は、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲することができるので、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。<9.第8実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図19に、本技術に係る第8実施の形態の固体撮像装置の概略構成を示す。第8実施の形態に係る固体撮像装置1-8は、前述の台座21と、台座21に支持された撮像チップ2と、撮像チップ2の撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31とを有して構成される。撮像チップ2は、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有する固体撮像素子が形成され、撮像領域4の撮像面4aとは反対側の裏面に接着層34が形成される。また、撮像チップ2は、平坦な状態で台座21の開口23を撮像領域4が含まれる中央部分で閉塞するように、その平坦部13を、接着層34を介して台座21の平坦面25に固定して台座21に支持される。台座21の裏面には開口を閉塞する底板39が配置されている。制御部31としては、第5実施の形態と同様の吸引装置31-5で構成される。即ち、この吸引装置31-5は、底板39にて気密的に閉塞された開口23内のガスを吸引し、開口23内の気圧負圧を制御して台座21に支持されている撮像チップ2の撮像面4aを含む中央部分を開口23内側に湾曲させるように構成される。[動作説明]次に、第8実施の形態に係る固体撮像装置1-8の動作を説明する。図19に示すように、吸引装置31-5が吸引動作をしないときは、撮像チップ2は撮像面4aが平坦な状態を維持する実線図示。吸引装置31-5が吸引動作を行うと、台座21の開口23内が負圧となり、吸引力に応じて、撮像チップ2の中央部分従って撮像面4aが湾曲して所要の曲率の湾曲部11を形成する破線図示。従って、吸引装置31-5を可変制御することにより、撮像チップ2の撮像面4aの曲率を平坦な状態曲率が無限小から曲率が大きくなる湾曲状態まで任意に可変させることができる。[効果]第8実施の形態に係る固体撮像装置1-8によれば、台座に支持された撮像チップ2に対する吸引を可変制御することにより、撮像面4aの曲率曲率が無限小を含むを所要の範囲内で任意に可変することができる。この固体撮像装置1-8は、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲することができるので、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。<10.第9実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図20に、本技術に係る第9実施の形態の固体撮像装置の概略構成を示す。第9実施の形態に係る固体撮像装置1-9は、台座をパッケージとして機能するように構成する。本固体撮像装置1-9は、パッケージを兼ねる台座21aと、台座21aに支持された撮像チップ2と、撮像面4aの曲率を可変制御する制御部31図示せずとを有して構成される。撮像チップ2は、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路5~8を有し、かつ撮像面4aが弧状等の3次元に湾曲された固体撮像素子を有している。本例では、撮像面4aが弧状に湾曲される。台座21aは、図21A,Bに示すように、前述の図2で示す台座21の平坦面25側が絶縁膜51で覆われ、更に絶縁膜51で覆われた平坦面25に台座側電極52を配置して構成される。絶縁膜51は、平坦面25側から開口23の内壁面に延長して形成しても良い。制御部31の構成に対応して、台座21の裏面側に開口23を閉塞する底板39を配置するようにしても良い。台座側電極52は、後述する撮像チップ2に設けられたチップ側電極53に対応して配置され、絶縁膜51に埋め込まれた状態で配置される。つまり、台座側電極52は、台座21aの平坦面25の一部を構成している。このような台座側電極52は、台座21aの平坦面25から引き出され、さらに外部の部材に接続される構成となっている。図示しない制御部31は、前述したマグネット、電磁石、吸引装置、接着剤と温度制御部、等で構成することができる。撮像チップ2では、それぞれの制御部に対応するように、撮像チップ2の裏面に磁性膜と異方性導電接着層、あるいは異方性導電接着層のみが形成される。図20では、異方性導電接着層54のみを形成した例である。撮像チップ2の裏面には台座側電極52に対して1:1で接続されるチップ側電極53が設けられる。本実施の形態では、前述の例えば図5に示すと同様に、台座21aを加熱して膨張させた状態で撮像チップ2を平坦面25上に載置固定し、その後、冷却して常温に戻したときに、撮像チップ2の撮像領域4を含む中央部分を湾曲させて湾曲部11としている。台座21aの平坦面25に撮像チップ2の平坦な周縁を固定した状態で、チップ側電極53と台座側電極52とが異方性導電接着層54で電気的に接続される。[効果]第9実施の形態に係る固体撮像装置1-9によれば、前述の各実施の形態で説明したと同様に、制御部31によって撮像チップ2の湾曲部11従って撮像面4aの曲率を可変制御することができる。従って、この固体撮像装置1-9は、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲している。このため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。さらに第9実施の形態によれば、台座21aをパッケージとして用いたことにより、撮像チップ2と外部端子を有するパッケージとを組み立てる工程を削減することが可能である。また撮像チップ2の平坦部13における撮像領域4が配置された面側に、周辺回路5~8から引き出した端子を設け、この端子を利用して外部回路との接続を図ることもできる。この際、端子が平坦部13に設けられたことにより、ボンディングのような外部回路と接続を図るための良好な作業性が確保される。上述の第1~第8実施の形態では、撮像チップ2が接着層34を介して台座21に固定された構成とした。これに対し、図22に示すように、撮像チップ2が真空吸着で台座21bに固定される構成とすることもできる。この台座21bは、図22に示すように、前述の台座21を台座本体とし、その平坦面25に排気溝61を備えている。排気溝61は、台座21bにおける開口23の全周を囲む状態で設けられる。この排気溝61には、排気系62が接続され、排気溝61内のガスを排気する構成となっている。撮像チップ2は、台座21aに対して開口を閉塞するように平坦面25上に載置した後、排気系62によって排気溝61内のガスを排気し、排気溝61内を減圧して真空吸着により固定される。<11.第10実施の形態>[固体撮像装置の構成例]図23~図26に、本技術に係る第10実施の形態の固体撮像装置の概略構成を示す。第10実施の形態に係る固体撮像装置は、制御部31として、原理的に巻回したコイルで構成したとき、このコイルの巻き方及び/または巻き方の密度を工夫して、所望の形状に湾曲させるように構成される。この場合もコイルに流す電流に応じて、発生する磁力が変化する。[第1例の構成]図23に、第10実施の形態における第1例の固体撮像装置を示す。本固体撮像装置1-10Aは、前述の台座21と、台座21に支持され撮像面4aが弧状に湾曲された固体撮像素子を有する撮像チップ2と、撮像面4aを所望の形状に湾曲させ、湾曲率曲率に相当を制御するコイル65とを有して構成される。コイル65は、上述の湾曲率を可変制御する制御部31としても構成される。撮像チップ2は、第1実施の形態と同様に、光電変換部が配列された撮像領域4と、周辺回路を有する固体撮像素子が形成され、撮像領域4の撮像面4aとは反対側の裏面に磁性膜33が形成される。撮像チップ2は、その中央部分が台座21の開口23側に弧状等の3次元に湾曲されて湾曲部11を形成している。湾曲部11は、本例では弧状に湾曲される。この湾曲部11内に光電変換部が配列された撮像領域4が存しており、湾曲部11の凹曲面が撮像面4aとなる。撮像チップ2は、湾曲部11の周縁から延長する平坦部13を前述の接着層あるいは真空吸着により台座21の平坦面25に固定されて、台座21に支持される。コイル65は、所望の巻き方で構成される。本例では、コイル65が例えばすり鉢形に巻回され、湾曲部11を挿入するように構成される。すり鉢形の輪郭形状は、磁力を発生させたときに、所望形状の湾曲部11が得られる所望形状とする。[動作説明]次に、上記固体撮像装置1-10Aの動作を説明する。撮像チップ2と台座21との熱膨張係数差を利用して予め湾曲された弧状の湾曲部11が形成される。コイル65に所要の電流を流して磁力を発生させる。このとき、湾曲部11の形成後の湾曲部11の各部とコイル65との間の距離に応じて、湾曲部11の各部へ与える磁力が異なる。すなわち、距離が短ければ磁力が強く作用して湾曲を強め、距離が長ければ磁力が弱く作用して湾曲させる度合いが少なくなる。例えば、湾曲部11の周辺部より中央部の湾曲を強くするとか、逆に湾曲部の中央部より周辺部の湾曲を強める等、湾曲部11の形状を円弧状以外の楕円状やその他の所望形状に変形させることができる。従って、コイル65の巻き方によって湾曲部11の各部への磁力作用を制御することにより、目的に合った所望形状の湾曲部11が得られる。そして、所望形状の湾曲部11が得られた状態で、コイル65に流す電流を制御するときは、湾曲部11従って撮像面4aの湾曲率曲率の相当を任意に可変させることができる。[効果]第10実施の形態に係る第1例の固体撮像装置1-10Aによれば、撮像チップ2の湾曲部11に作用するコイル65の巻き方コイル65の配置位置も含むを選択することにより、湾曲部11従って撮像面4aを所望の湾曲形状にすることができる。円弧状以外の例えば楕円状、その他の湾曲形状にすることができる。その上でコイル65に流す電流を制御するときは、湾曲部11の湾曲率曲率の相当を所要範囲内で任意に可変制御することができる。この固体撮像装置1-10Aは、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲しているため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。[第2例の構成]図24に、第10実施の形態における第2例の固体撮像装置を示す。本固体撮像装置1-10Bは、第1例と同様のすり鉢形のコイル65を撮像チップ2の湾曲部11から離れた位置に配置して構成される。その他の構成は第1例の固体撮像装置1-10Aと同様であるので、図24において、図23と対応する部分には同一符号を付して、重複説明を省略する。[動作説明]第2例の固体撮像装置1-10Bの動作は、前述の第1例の固体撮像装置1-10Aで説明したと同様であるので、詳細説明を省略する。[効果]第10実施の形態に係る第2例の固体撮像装置1-10Bによれば、第1例と同様に、撮像チップ2の湾曲部11に作用するコイル65の巻き方コイルの配置位置も含むを選択することにより、湾曲部11撮像面4aを所望の湾曲形状にすることができる。円弧状以外の例えば楕円状、その他の湾曲形状にすることができる。その上でコイル65に流す電流を制御するときは、湾曲部11の湾曲率曲率の相当を所要範囲内で任意に可変制御することができる。この固体撮像装置1-10Bは、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲しているため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。[第3例の構成]図25に、第10実施の形態における第3例の固体撮像装置を示す。本固体撮像装置1-10Cは、コイル65の巻き方を、逆のすり鉢形とし、このコイル65を撮像チップ2の湾曲部11に対向した位置に配置して構成される。逆のすり鉢形の輪郭形状は、磁力を発生させたときに、所望形状の湾曲部11が得られる形状とする。その他の構成は、第1例で説明したと同様であるので、図25において、図23と対応する部分には同一符号を付して、重複説明を省略する。[動作説明]第3例の固体撮像装置1-10Cの動作は、前述の第1例の固体撮像装置1-10Aで説明したと同様である。すなわち、湾曲部11の各部とコイル65の対応する各部との距離に応じて湾曲部11の各部への磁力作用が異なることにより、目的に合った所望形状の湾曲部11が得られる。そして、所望形状の湾曲部11が得られた状態で、コイル65に流す電流を制御するときは、湾曲部11従って撮像面4aの湾曲率曲率の相当を任意に可変させることができる。[効果]第10実施の形態に係る第3例の固体撮像装置1-10Cによれば、第1例と同様に、撮像チップ2の湾曲部11に作用するコイル65の巻き方コイルの配置位置も含むを選択することにより、湾曲部11撮像面4aを所望の湾曲形状にすることができる。円弧状以外の例えば楕円状、その他の湾曲形状にすることができる。その上でコイル65に流す電流を制御するときは、湾曲部11の湾曲率曲率の相当を所要範囲内で任意に可変制御することができる。この固体撮像装置1-10Cは、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲しているため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。[第4例の構成]図26A,Bに、第10実施の形態における第4例の固体撮像装置1-10Dを示す。本固体撮像装置1-10Dは、撮像チップ2の湾曲部11に対向して平面内で巻回したコイル66を配置して構成される。コイル66は、平面上において、その巻回密度を所望の密度分布となるように巻回して、撮像面4aを所望の形状に湾曲させ、湾曲率曲率に相当を制御するように構成される。図26Bでは、中央の巻回密度が大きく、周辺に向かって巻回密度が小さくなるようにコイル66が形成されている。巻回密度の分布は、図26Bで示す巻回分布に限らす、目的に合った所望の巻回密度分布とすることができる。このコイル66は、上述の湾曲率を可変制御する制御部31としても構成される。その他の構成は、第1例で説明したと同様であるので、図26において、図23と対応する部分には同一符号を付して、重複説明を省略する。[動作説明]次に、固体撮像装置1-10Dの動作を説明する。撮像チップ2と台座21との熱膨張係数差を利用して予め湾曲された弧状の湾曲部11が形成される。コイル66に所要の電流を流して磁力を発生させる。このとき、コイル66の巻回密度分布に応じて、湾曲部11の各部への磁力作用が異なり、磁力は、巻回密度が大きい部分で強く、巻回密度が小さい部分で弱くなる。このため、湾曲部11では、強い磁力作用を受けた部分の湾曲が強められ、弱い磁力作用を受けた部分の湾曲させる度合いが弱められて、全体として所望形状の湾曲が得られる。例えば、図26では、湾曲部11の周辺に比較して中央部の湾曲の度合いが大きくなる形状に湾曲される。湾曲部11の形状を円弧状以外の楕円状やその他の所望形状に変形させることができる。従って、コイル65の巻き方の密度を工夫し、すなわち、所望の巻回密度分布を有するコイル66を構成して、湾曲部11の各部への磁力作用を制御することにより、目的に合った所望形状の湾曲部11が得られる。そして、所望形状の湾曲部11が得られた状態で、コイル66に流す電流を制御するときは、湾曲部11従って撮像面4aの湾曲率曲率の相当を任意に可変させることができる。[効果]第10実施の形態に係る第1例の固体撮像装置1-10Dによれば、撮像チップ2の湾曲部11に作用するコイル65の巻回密度分布を選択することにより、湾曲部11従って撮像面4aを所望の湾曲形状にすることができる。円弧状以外の例えば楕円状、その他の湾曲形状にすることができる。その上でコイル66に流す電流を制御するときは、湾曲部11の湾曲率曲率の相当を所要範囲内で任意に可変制御することができる。この固体撮像装置1-10Dは、第1実施の形態で説明したと同様に、ズームレンズを備えたカメラなどの電子機器に適用して好適である。また、画像の中央、周辺でのピントの制御も可能となり、目的にあった撮像ができる。さらに、撮像チップ2の中央部分のみを3次元に湾曲しているため、クラックなどの損傷を発生させることなく、3次元の湾曲部11を備えた撮像チップ2が得られる。[第5例の構成]第10実施の形態に係る第5例の固体撮像装置は、図示しないが、コイルとして、第1例~第3例で説明したすり鉢形と、第4例で説明したコイルに巻回密度分布を持たせる構成とを組み合わせたコイルを用いて構成される。第5例の固体撮像装置によれば、更に細かく湾曲部11の湾曲形状を制御することができる。次に、磁力磁界により湾曲部11の湾曲形状を制御し、また磁力を用いて湾曲率いわゆる曲率を可変制御する固体撮像装置では、撮像領域4及び周辺回路部が形成されているシリコン領域に磁界の影響を与えないようにすることが望ましい。本実施の形態では、図27Aに示すように、撮像チップ2の少なくともコイル65、66、あるいはマグネット31-1、電磁石31-2から見てシリコン領域よりも手前の基板裏面を金属膜68で覆うように構成することができる。または、本実施の形態では、図27Aに示すように、撮像チップ2の少なくともコイル65、66、あるいはマグネット31-1、電磁石31-2から見てシリコン領域よりも手前の基板裏面及び基板側面を金属膜68で覆うように構成することができる。金属膜68としては、例えば、アルミニウムAl、銅Cu、タングステンW、チタンTi、その他の金属の膜を用いることができる。このように、撮像チップ2の裏面、あるいは裏面と側面を金属膜68で被覆することにより、シリコン領域に、コイル65、66、あるいはマグネット31-1、電磁石31-2からの磁界が伝わらず、撮像チップの誤動作を防ぐことができる。上述の各実施の形態では、MOS型の固体撮像素子を有する撮像チップを適用した。その他、CCD型の固体撮像素子を有する撮像チップを適用することもできる。MOS型固体撮像素子、CCD型固体撮像素子のいずれも、裏面照射型あるいは表面照射型を適用することができる。本発明の実施の形態では、裏面照射型のMOS型固体撮像素子を有する撮像チップを用いるときは、受光面積が大きくとれて、より感度の向上が図れて好ましい。<12.第11実施の形態>[電子機器の構成例]上述の本発明に係る固体撮像装置は、例えばデジタルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、撮像機能を有する携帯電話、あるいは撮像機能を備えた他の機器、などの電子機器に適用することができる。図28に、本発明に係る電子機器の一例としてカメラに適用した第11実施の形態を示す。本実施形態例に係るカメラは、静止画像又は動画撮影可能なビデオカメラを例としたものである。本実施形態のカメラ71は、固体撮像装置72と、固体撮像装置72の受光センサ部に入射光を導く光学レンズ系73と、シャッタ装置74と、固体撮像装置72を駆動する駆動回路75と、固体撮像装置72の出力信号を処理する信号処理回路76とを有する。固体撮像装置72は、上述した各実施の形態の固体撮像装置1-1~1-10[1-10A~1-10D]のいずれかが適用される。光学レンズ系73は、いわゆる撮像レンズであり、ズームレンズで構成することができる。固体撮像装置72としては、撮像領域4の撮像面4aが光学レンズ系73の像面湾曲に沿った曲面に可変制御される撮像チップ2を有して構成される。このため、ズームレンズは、少ない枚数の光学レンズで構成することができる。なお、上記光学レンズ系73としては、通常知られているレンズ群によるズームレンズで構成することもできる。これにより、被写体からの像光被写体光:入射光を固体撮像装置72の撮像面4a上に結像させ、固体撮像装置72内に一定期間信号電荷を蓄積させる。シャッタ装置74は、固体撮像装置72への光照射期間及び遮光期間を制御する。駆動回路75は、固体撮像装置72の転送動作及びシャッタ装置74のシャッタ動作を制御する駆動信号を供給する。駆動回路75から供給される駆動信号タイミング信号により、固体撮像装置72の信号転送を行う。信号処理回路76は、各種の信号処理を行う。信号処理が行われた映像信号は、メモリなどの記憶媒体に記憶され、或いは、モニタに出力される。[動作説明]光学レンズ系73にズームレンズを用いた上記カメラの動作を説明する。図29に示すように、広角撮影、望遠撮影に応じて、光学レンズ系73の所要の光学レンズ73aが光軸x上に沿って移動する。ここで、模式的に望遠レンズ長焦点距離にしたときは、光学レンズ73aに入射する被写体光の軸外光束の入射角が小さく屈折率角が小さくなるので、薄いレンズで表す。広角レンズ短焦点距離としたときには、光学レンズ73aに入射する被写体光の軸外光束の入射角が大きく屈折率角が大きくなるので、厚いレンズで表す。図29Aに示すように、所要の光学レンズを撮像面から離して望遠レンズとしたときには、被写体光の光学レンズ73aへの入射角が小さくなるので、像面湾曲が小さくなる。このため、撮像面4aから離れる方向に移動した光学レンズ73aの位置に連動して、固体撮像装置72では制御部31を介して、その光学レンズ系73の像面湾曲に対応して撮像面4aの曲率が小さくなるように可変制御する。これにより、撮像面全域でピントが合った状態で結像する。また、図29Bに示すように、所要の光学レンズ73aを撮像面4aに近づけて広角レンズとしたときには、被写体光の光学レンズ73aへの入射角が大きくなるので、像面湾曲が大きくなる。このため、撮像面4aに近づく方向に移動した光学レンズ73aの位置に連動して、固体撮像装置72では制御部31を介して、その光学レンズ系73の像面湾曲に対応して撮像面4aの曲率が大きくなるように可変制御する実線図示。これにより、撮像面の全面でピントが合った状態で結像する。また、例えば、撮像面の中央ではピントの合った画像を結像させ、周辺ではピントのぼけた画像を結像させるような撮影を行いたい場合にも、制御部を介して撮像面の曲率を制御することにより可能となる。これにより、趣味にあった撮影が可能になる。[効果]第11実施の形態に係る電子機器によれば、ズームレンズを備えてズーム撮影を可能した場合、特に広角レンズとしたときに、撮像面全域でピントの合った結像がなされ、高画質の電子機器を提供することができる。例えば、画質を向上したカメラなどを提供することができる。"