"二酸化炭素を含有するガスを吸収液に接触させて、前記吸収液に二酸化炭素を吸収させる吸収塔と、前記吸収塔で二酸化炭素を吸収した前記吸収液から二酸化炭素を放出させて吸収液を再生するための再生塔と、前記吸収液が前記吸収塔から前記再生塔を経て前記吸収塔に還流するように前記吸収液を循環させる循環システムと、前記循環システムによって前記吸収塔に還流される吸収液、及び、前記吸収塔内の吸収液のうちの少なくとも一方を用いて、吸収液を再生する熱源として使用可能な水蒸気を発生させて前記再生塔に供給する水蒸気供給システムとを有する二酸化炭素の回収装置。前記循環システムは、前記吸収塔から前記再生塔へ供給される吸収液と、前記再生塔から前記吸収塔に還流される吸収液との間で熱交換する熱交換器を有し、前記水蒸気供給システムは、前記熱交換器による熱交換を経て前記吸収塔に還流される吸収液から前記水蒸気を発生させる水蒸気発生装置を有する請求項1に記載の二酸化炭素の回収装置。前記水蒸気供給システムは、前記吸収塔に還流される吸収液から前記水蒸気を発生させる第1の水蒸気発生装置と、前記吸収塔内の吸収液から前記水蒸気を発生させる第2の水蒸気発生装置とを有する請求項1又は2に記載の二酸化炭素の回収装置。前記水蒸気発生装置は、吸収液を減圧して水蒸気を発生させるタンクと、前記タンクで発生した水蒸気を圧縮して温度を吸収液の再生温度より高くする圧縮装置とを有し、前記タンクにおける水蒸気の発生によって吸収液の温度は低下する請求項2又は3に記載の二酸化炭素の回収装置。前記水蒸気供給システムは、前記吸収塔に還流される吸収液、及び、前記吸収塔内の吸収液の各々から水蒸気を発生させる2つのタンクと、前記2つのタンクで発生する両方の水蒸気を共に圧縮する圧縮装置とを有する請求項3又は4に記載の二酸化炭素の回収装置。前記圧縮装置を複数有し、前記水蒸気を段階的に圧縮するように構成される請求項4又は5に記載の二酸化炭素の回収装置。更に、前記圧縮装置によって温度が上昇した水蒸気の熱量の一部を、前記再生塔の吸収液との熱交換によって供給するための熱交換器を有する請求項4~6の何れかに記載の二酸化炭素の回収装置。二酸化炭素を含有するガスを吸収液に接触させて、前記吸収液に二酸化炭素を吸収させる吸収工程と、前記吸収工程で二酸化炭素を吸収した前記吸収液から二酸化炭素を放出させて吸収液を再生するための再生工程と、前記吸収液が前記吸収工程から前記再生工程を経て前記吸収工程に還流するように前記吸収液を循環させる循環工程と、前記循環工程によって前記吸収工程に還流される吸収液、及び、前記吸収工程中の吸収液のうちの少なくとも一方を用いて、吸収液を再生する熱源として使用可能な水蒸気を発生させて前記再生工程に供給する水蒸気供給工程とを有する二酸化炭素の回収方法。前記循環工程は、前記吸収工程から前記再生工程へ供給される吸収液と、前記再生工程から前記吸収工程に還流される吸収液との間で熱交換する熱交換工程を有し、前記水蒸気供給工程は、前記熱交換工程の熱交換を経て前記吸収工程に還流される吸収液から前記水蒸気を発生させる水蒸気発生工程を有する請求項8に記載の二酸化炭素の回収方法。前記水蒸気供給工程は、前記吸収工程に還流される吸収液から前記水蒸気を発生させる第1の水蒸気発生工程と、前記吸収工程中の吸収液から前記水蒸気を発生させる第2の水蒸気発生工程とを有する請求項8又は9に記載の二酸化炭素の回収方法。前記水蒸気発生工程は、吸収液を減圧して水蒸気を発生させる減圧工程と、前記減圧工程で発生した水蒸気を圧縮して温度を吸収液の再生温度より高くする圧縮工程とを有し、前記減圧工程における水蒸気の発生によって吸収液の温度は低下する請求項9又は10に記載の二酸化炭素の回収方法。前記水蒸気供給工程は、前記吸収工程に還流される吸収液、及び、前記吸収工程中の吸収液の各々から水蒸気を発生させる2つの減圧工程と、前記2つの減圧工程で発生する両方の水蒸気を共に圧縮する圧縮工程とを有する請求項10又は11に記載の二酸化炭素の回収方法。前記圧縮工程を複数有して、前記水蒸気を段階的に圧縮する請求項11又は12に記載の二酸化炭素の回収方法。更に、前記圧縮工程によって温度が上昇した水蒸気の熱量の一部を、前記再生工程の吸収液との熱交換によって供給するための熱交換工程を有する請求項11~13の何れかに記載の二酸化炭素の回収方法。再生工程において必要とされるエネルギーには、吸収液の温度上昇に要する顕熱、吸収液から二酸化炭素を放出する際の反応熱、及び、吸収液の水分蒸発による熱損失を補うための潜熱がある。上述の先行技術は、顕熱又は反応熱に関連する技術であり、エネルギー効率の改善には未だ余地がある。環境保全のために二酸化炭素の回収を普及させるには、経済的観点から、可能な限りエネルギー効率を高めて回収に要する費用を削減することが望ましく、吸収液からの熱エネルギーの回収効率を高めることは省エネルギーにおいて重要であり、又、二酸化炭素の回収効率にも有効に作用し得る。本発明の課題は、吸収液を再生するために要するエネルギーを削減して操業費用を低減可能な二酸化炭素の回収方法及び回収装置を提供することである。又、本発明の課題は、装置への負担や煩雑な作業を伴わず、吸収液を再生するために要するエネルギーを削減して二酸化炭素の回収コストを低減可能な二酸化炭素の回収方法及び回収装置を提供することである。上記課題を解決するために、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、吸収液の水分を気化して得られる水蒸気を再生時の熱供給源として利用でき、吸収液の廃熱エネルギーの回収再利用による熱エネルギー効率の向上が可能であることを見出し、吸収液の液温制御にも有用な手法として、本発明を完成するに至った。本発明の一態様によれば、二酸化炭素の回収装置は、二酸化炭素を含有するガスを吸収液に接触させて、前記吸収液に二酸化炭素を吸収させる吸収塔と、前記吸収塔で二酸化炭素を吸収した前記吸収液から二酸化炭素を放出させて吸収液を再生するための再生塔と、前記吸収液が前記吸収塔から前記再生塔を経て前記吸収塔に還流するように前記吸収液を循環させる循環システムと、前記循環システムによって前記吸収塔に還流される吸収液、及び、前記吸収塔内の吸収液のうちの少なくとも一方を用いて、吸収液を再生する熱源として使用可能な水蒸気を発生させて前記再生塔に供給する水蒸気供給システムとを有することを要旨とする。又、本発明の一態様によれば、二酸化炭素の回収方法は、二酸化炭素を含有するガスを吸収液に接触させて、前記吸収液に二酸化炭素を吸収させる吸収工程と、前記吸収工程で二酸化炭素を吸収した前記吸収液から二酸化炭素を放出させて吸収液を再生するための再生工程と、前記吸収液が前記吸収工程から前記再生工程を経て前記吸収工程に還流するように前記吸収液を循環させる循環工程と、前記循環工程によって前記吸収工程に還流される吸収液、及び、前記吸収工程中の吸収液のうちの少なくとも一方を用いて、吸収液を再生する熱源として使用可能な水蒸気を発生させて前記再生工程に供給する水蒸気供給工程とを有することを要旨とする。本発明によれば、ガスに含まれる二酸化炭素を回収するプロセスにおいて、吸収液の再生に要するエネルギー供給を低減して操業に要する費用を削減でき、吸収液による二酸化炭素の回収効率の改善にも寄与し得るので、省エネルギー及び環境保護に貢献可能な二酸化炭素の回収装置を提供できる。一般的に、吸収液から二酸化炭素を放出させて再生するための手法として、吸収液を加熱して反応熱を供給するが、このためには、吸収液の温度上昇に要する顕熱、及び、吸収液の水分蒸発による熱損失を補うための潜熱の供給も必要となり、これらの熱源として、二酸化炭素回収装置の外部から蒸気等を供給している。本発明では、二酸化炭素回収装置の内部の廃熱を用いて水蒸気を発生させ、吸収液の再生に要する熱エネルギーの供給源となり得る形態に調整して、つまり、吸収液の再生温度以上の高温の水蒸気として再生塔に供給する。高温の水蒸気は、供給されると上方に拡散し、熱も上方へ伝導するので、水蒸気の供給は、再生される吸収液が気液接触する領域再生が進行する領域の最下部に行うのが最も効率的である。更に、再生する吸収液に供給する水蒸気を、余熱を含む吸収液から発生させることにより、余熱回収と共に吸収液の冷却も可能である。水蒸気の発生によって気化熱を失った吸収液は温度が低下するので、水蒸気発生後の吸収液は、吸収工程へ還流させると好都合である。つまり、吸収工程へ還流させる直前の吸収液の冷却手段として水蒸気の発生を利用する。水蒸気発生による吸収液からの熱回収は、吸収工程途中の吸収液からも可能であり、二酸化炭素の吸収反応によって発生する熱を回収して、再生工程へ供給する水蒸気を発生することができる。以下、本発明の二酸化炭素の回収方法及び回収装置について、図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の二酸化炭素の回収方法及びそれを実施する回収装置の第1の実施形態を示す。回収装置1は、二酸化炭素を含有するガスGを吸収液に接触させて、吸収液に二酸化炭素を吸収させる吸収塔10と、二酸化炭素を吸収した吸収液から二酸化炭素を放出させて吸収液を再生する再生塔20とを有する。吸収塔10及び再生塔20は、各々、向流型気液接触装置として構成され、接触面積を大きくするための充填材11,21を各々内部に保持している。吸収塔10の充填材11は、上段の充填材11aと下段の充填材11bとを有し、二酸化炭素を吸収する間の吸収液を吸収塔10の外部へ取り出し可能に構成される。充填材11,12は、概して、ステンレス鋼、炭素鋼等の鉄系金属材料製のものが用いられるが、特に限定されず、処理温度における耐久性及び耐腐食性を有する素材で、所望の接触面積を提供し得る形状のものを適宜選択するとよい。吸収液として、アルカノールアミン類等の二酸化炭素に親和性を有する化合物を吸収剤として含有する水性液が用いられる。二酸化炭素を含んだガスGは、吸収塔10の下部から供給され、吸収液は、吸収塔10の上部から供給され、ガスG及び吸収液が充填材11を通過する間に気液接触してガスG中の二酸化炭素が吸収液に吸収される。吸収塔10に供給されるガスGについて、特に制限はなく、燃焼排ガスやプロセス排ガスなどの様々なガスの取扱いが可能であるが、二酸化炭素の吸収に適した低温であることが好ましく、必要に応じてガス冷却用の前処理設備を付設するとよい。二酸化炭素を吸収した吸収液A1は、吸収塔10底部に貯溜され、ポンプ12によって、吸収塔10底部と再生塔20上部とを接続する供給路16を通じて再生塔20へ供給される。二酸化炭素が除去されたガスG’は、吸収塔10頂部から排出される。吸収液が二酸化炭素を吸収することによって発熱して液温が上昇するので、必要に応じて、ガスG’に含まれ得る水蒸気等を除去するための冷却凝縮部13を吸収塔10頂部に設けることができ、これにより、水蒸気等が塔外へ漏出するのを抑制できる。これを更に確実にするためには、吸収塔外に付設される冷却器14と、凝縮水の一部塔内のガスG’を含んでも良いを冷却器14との間で循環させるポンプ15とを備え、冷却器14で冷却されて塔頂部に供給される凝縮水等は冷却凝縮部13を低温に維持し、冷却凝縮部13を通過するガスG’を確実に冷却する。又、充填材11に還流する凝縮水によって、塔内の吸収液の組成変動が補整される。塔外へ排出されるガスG’の温度は60°C程度以下が好ましく、より好ましくは45°C以下となるように冷却する。この実施形態の冷却器14は水冷式であるが、他の冷却方式であって良く、冷媒による冷凍サイクルを用いて冷却確度を高めてもよい。吸収塔10で二酸化炭素を吸収した吸収液A1は、再生塔20の上部に供給され、充填材21上を流下して底部に貯溜される。本発明において、回収装置1は、吸収塔10に還流される前の吸収液A2、及び、吸収塔10の吸収液のうちの少なくとも一方この実施形態では両方を用いて、再生塔20における吸収液の再生のための熱源として使用可能な水蒸気を発生させて再生塔20に供給する水蒸気供給システム、つまり、水蒸気発生装置22A,22Bを有し、水蒸気発生装置22Aは、吸収塔10に還流される直前の吸収液A2から水蒸気を発生させ、水蒸気発生装置22Bは、吸収塔10内の吸収液を用いて水蒸気を発生させる。再生塔20の底部には、水蒸気発生装置22A,22Bから供給される高温の蒸気が導入され水蒸気発生の詳細については後述する、再生塔20底部に貯留される吸収液A2の液面付近に供給され、その上方の充填材21及びそれを伝って流下する吸収液に熱を与えて、充填材21上での気液接触により、二酸化炭素を放出する。再生塔20で二酸化炭素を放出して再生された吸収液A2は、還流路17を通じてポンプ23によって吸収塔10に還流されるが、その間に、熱交換器24及び水蒸気発生装置22Aを通過する。熱交換器24における熱交換によって、還流路17の吸収液A2の熱は、供給路16を流れる吸収液A1に伝達されてその温度を上昇させ、還流路17の吸収液A2は冷却される。更に、還流路17の吸収液は、水蒸気発生装置22Aにおいて水蒸気発生による気化熱の喪失によって更に冷却されてから吸収塔10へ還流される。吸収塔10に還流された吸収液A2は、充填材11を流下する際に二酸化炭素の吸収によって発熱するが、上段の充填材11aから滴下したところで一旦回収されて水蒸気発生装置22Bに供給され、水蒸気の発生によって冷却された後に下段の充填材11bの上方に戻され、更に二酸化炭素を吸収する。再生塔20において放出される二酸化炭素を含むガスは、回収ガスとして、再生塔20上部の凝縮部26を通って頂部から排出され、凝縮部26は、回収ガスに含まれる水蒸気を凝縮させて過度の放出を抑制し、また、吸収剤の放出も抑制する。回収ガスは、冷却水を用いた冷却器27によって充分に冷却されて、含まれる水蒸気を可能な限り凝縮した後、気液分離器28によって凝縮水を除去した後に、回収二酸化炭素Cを含むガスとして回収される。回収された二酸化炭素は、例えば、地中又は油田中に注入することによって、地中での炭酸ガス固定及び再有機化が可能である。気液分離器28において分離された凝縮水は、ポンプ29によって再生塔20上部に還流される。還流された凝縮水は、凝縮部26を冷却して吸収剤等の放出を抑制するのに有用であり、塔内の吸収液の組成変動を補整できる。以下に、本発明で用いられる水蒸気発生装置22A,22Bについて詳細に説明する。水蒸気発生装置22Aは、再生塔20下流と吸収塔10上流とを接続する還流路17上に設けられ、熱交換器24を経て温度が低下した吸収液A2から余熱を利用して高温の水蒸気を発生させる。つまり、吸収液A2の温熱を回収して水蒸気として再利用する。具体的には、水蒸気発生装置22Aは、吸収液A2を減圧して水蒸気を発生させるためのタンク30と、タンク30で発生した水蒸気を圧縮して温度を上昇させる圧縮装置31とを有し、還流路17の吸収液は、調整弁32を介してタンク30の中央部に供給されてポンプ23によってタンク30の底部から排出されるように接続される。タンク30頂部と接続される圧縮装置31の駆動によってタンク30内が負圧になると、吸収液A2は、調整弁32を介して導入されることにより減圧され、沸点温度の低下によりタンク30内で水蒸気を発生して気化熱を失い、冷却される。タンク30で発生する減圧状態の水蒸気は、タンク30内の上部に設置されるデミスター33を通ってミストが除去され、タンク30頂部と再生塔20底部とを接続する流路34を通じて圧縮装置31に送られて加圧され、圧縮熱によって温度が上昇した後、再生塔20底部に供給される。吸収塔10に添設される水蒸気発生装置22Bは、二酸化炭素を吸収して温度が上昇した吸収液を用いて高温の水蒸気を発生させる。つまり、吸収液の反応熱を回収して水蒸気として再利用し、同時に、吸収液は、気化熱を失って温度が低下することによって更に二酸化炭素を吸収し易くなる。具体的には、水蒸気発生装置22Bは、吸収液を減圧して水蒸気を発生させるためのタンク40と、タンク40で発生した水蒸気を圧縮して温度を上昇させる圧縮装置41とを有し、充填材11a,11bの中間に設置される液溜り50に貯溜される吸収液が、調整弁42を介してタンク40の中央部に供給されてタンク40の底部からポンプ44によって吸収塔10に還流されるように流路46によって接続される。上段の充填材11aを流下した二酸化炭素を吸収中の吸収液が液溜り50に溜まり、圧縮装置41及びポンプ44の駆動によって負圧になるタンク40内に調整弁42を介して導入されることにより減圧される。沸点温度の低下によりタンク40内で水蒸気を発生した吸収液は、気化熱を失って沸点温度付近に冷却され、流路46を通じて吸収塔10下段の充填材11bに還流され、更に二酸化炭素を吸収する。タンク40内の減圧された吸収液から二酸化炭素は殆ど放出されないので、吸収塔10で吸収液に吸収される二酸化炭素は、実質的に全て供給路16から再生塔20へ供給される。タンク40で発生する沸点温度の水蒸気は、タンク40内の上部に設置されるデミスター43を通過する際にミストが除去され、タンク40頂部と再生塔20とを接続する流路45を通じて圧縮装置41に送出されて加圧され、圧縮熱によって温度が上昇した後に再生塔20底部に供給される。タンク40内の上部から圧縮装置41までの領域を温熱すると、沸点温度付近の蒸気が凝縮することを防止できるので好ましい。上記構成において、調整弁32,42の種類は、流量の制御が可能であれば特に制限なく、必要に応じて適宜選択することができる。タンク30,40は、吸収液に対して耐性を有する耐圧性のものであれば特に制限されず、蒸気発生量等に応じて適宜容量が設定される。圧縮装置31,41としては、狭義の圧縮機圧縮比が2以上のものが使用できるが、これに限らず、所謂送風機に分類される気体圧縮装置であっても上記圧縮装置4として適正な特性を備える圧縮装置であれば適宜選択して使用できる。圧縮機には、遠心圧縮機、軸流圧縮機等のターボ圧縮機;往復圧縮機、斜板式圧縮機、ダイアフラム式圧縮機、ツインスクリュー圧縮機、シングルスクリュー圧縮機、スクロース圧縮機、ロータリー圧縮機、ロータリーピストン型圧縮機、スライドベーン型圧縮機等の容積圧縮機があり、容量や圧縮比、圧力制御の自由度等の特性において相異があるので、構成する蒸気発生装置の容量や蒸気の供給要件等に応じて適宜選択すればよい。ポンプ23,44についても、流体搬送に通常使用可能なものから適宜選択すればよい。デミスター33,43は、吸収液に耐性を有する素材で作成され、10~100μm程度以上の粒子の通過を制止して圧縮装置の性能や耐久性の低下を抑制可能なものであれば特に制限はなく、例えば、耐蝕性金属やセラミックス等の素材で形成した、網の重層物や繊維集合体、多孔質体等を使用可能である。回収装置1内での吸収液の循環速度の制御方法の一例を説明する。所定の流量で吸収液がライン16を流動するようにポンプ12の出力を制御し、再生塔20における吸収液A2の液面レベルが一定に維持されるように調整弁32の開度を調整する。更に、タンク30の液面レベルが一定に維持されるようにポンプ23の出力を調整し、液溜まり50の液面レベルが一定に維持されるように調整弁42の開度を調整する。これらの調整によって回収装置1内での吸収液の循環速度を所望の値に設定することができる。タンク30,40内において吸収液から発生する水蒸気量は、タンク30,40内の圧力及び吸収液の温度によって変化し、吸収液の供給速度に依存する。タンク30への吸収液の供給速度は、回収装置1内での吸収液の循環速度に対応するので、タンク30内の液面レベルが一定に維持されるようにポンプ23の出力を調整すると、水蒸気の発生量は、吸収液の温度に応じて圧縮装置の出力によって圧力を調整することで調節することができる。タンク40への吸収液の供給速度については、液溜まり50の吸収液を全てタンク40へ供給する場合は、上述と同様であるが、液溜まり50の吸収液の一部を供給してもよく、その場合は、タンク40への吸収液の供給速度を回収装置1内での吸収液の循環速度に対応させる必要はなく、調整弁42の開度を調節して吸収液の供給速度を調整することで蒸気の発生量を調節できる。液溜まり50の吸収液の一部をタンク40へ供給する場合、液溜まり50は、所定液面レベルを超えた液が下部へ流下するするように構成して、オーバーフローする液が分散して下部の充填層に滴下する構造とするとよい。再生塔20へ供給される水蒸気の圧力は、再生塔20の圧力と同等になる。再生塔20から還流される吸収液A2の熱エネルギーは、熱交換器24によって回収されて再生塔20の上部に供給され、タンク30,40を有する上記構成においては、吸収液A2の余熱及び二酸化炭素吸収による反応熱が気化熱としてタンク30,40で回収され、再生塔20の下部つまり吸収液の下流側に供給される。図1の回収装置1において実施される回収方法について説明する。吸収塔10において、燃焼排ガスやプロセス排ガスなどの二酸化炭素を含有するガスGを底部から供給し、吸収液を上部から供給すると、充填材11a,11b上でガスGと吸収液とが気液接触し、吸収液に二酸化炭素が吸収され、反応熱により温度が上昇する。二酸化炭素は、低温において良好に吸収されるので、二酸化炭素の吸収による発熱を考慮して、吸収液の入口液温が60°Cを超えないように配慮することが望ましい。充填材が上下段一体の場合には中央付近が最も温度が高くなる傾向があるので、図1のように上下段の中間の液溜り50において吸収液を外部へ取り出して水蒸気供給システム22Bによって冷却する構造は効率的である。尚、吸収塔10に供給されるガスGについても、必要に応じてガス冷却用前処理を施して適正な温度に調整するとよい。但し、吸収液の熱回収によって水蒸気を発生させて再生塔に供給するため、液温度は40°C以上とすることが望ましい。吸収液として、二酸化炭素に親和性を有する化合物を吸収剤として含有する水性液が用いられる。吸収剤としては、アルカノールアミン類やアルコール性水酸基を有するヒンダードアミン類、環状アミン類などが挙げられ、具体的には、アルカノールアミンとして、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジグリコールアミン等を例示することができ、アルコール性水酸基を有するヒンダードアミンとしては、2-アミノ-2-メチル-1-プロパノールAMP、2-エチルアミノエタノールEAE、2-メチルアミノエタノールMAE、環状アミン類としてはピペラジン、2-メチルピペラジン等を例示できる。通常、モノエタノールアミンMEAの使用が好まれ、これらを複数種混合しても良い。吸収液の吸収剤濃度は、処理対象とするガスに含まれる二酸化炭素量や処理速度等に応じて適宜設定することができ、吸収液の流動性や消耗損失抑制などの点を考慮すると、概して、10~50質量程度の濃度が適用され、例えば、二酸化炭素含有量20程度のガスGの処理に対して、濃度30質量程度の吸収液が好適に使用される。ガスG及び吸収液の供給速度は、ガスに含まれる二酸化炭素量及び気液接触効率等に応じて、吸収が充分に進行するように適宜設定される。二酸化炭素を吸収した吸収液A1は、再生塔20に供給されると、沸点近辺の高温度、に加熱されるが、再生塔20に供給される前に熱交換器24において、再生塔20から還流する吸収液A2と熱交換されるので、吸収液A1は、再生塔20での加熱温度に近い温度に昇温されて二酸化炭素が放出され易い状態で再生塔20に投入される。この実施形態では、70~120°C程度で再生塔20に投入される。充填材21上での気液接触によって二酸化炭素の放出が促進されると共に、再生塔20下部に供給される水蒸気によって更に加熱昇温され、再生塔20底部に貯留される吸収液A2の表面は、概して90~130°C程度まで加熱される。従って、水蒸気による加熱及び温度勾配に従って、二酸化炭素の放出が進行し、吸収液は再生される。水蒸気の温度は、圧縮装置31,41の出力によって調整できる。吸収液A2の沸点は組成吸収剤濃度に依存するので、液温の上限は使用する吸収液によって異なる。再生塔20において再生された吸収液A2は、熱交換器24向流型によって70°C程度に温度低下を経た後に、調整弁32を介してタンク30に供給されると、5~40kPa程度、好ましくは7~20kPa程度に減圧される。再生塔20内の圧力は、-50~120kPaG程度、好ましくは-10~50kPaG程度に設定すると好適であり、本発明の構成においては、再生塔20内の圧力として大気圧付近の低い圧力を好適に適用することができる。タンク30内の圧力は、圧縮装置31及びポンプ23の出力及び調整弁32の開度によって調節可能である。尚、吸収塔10については、減圧、常圧又は加圧の何れであっても良く、必要に応じて任意に設定可能である。タンク30内で発生した水蒸気は、圧縮装置31によって加圧されて再生塔20と同等の圧力に戻され、この時の圧縮熱により再生塔圧力下における沸点以上の温度に上昇する。この高温の水蒸気は、再生塔20の吸収液A2液面付近に供給されて雰囲気の水蒸気を増加させ、再生塔内で凝縮し、その凝縮熱によって吸収液が再生する。タンク30内で水蒸気が気化した吸収液は、温度が沸点温度付近の40~50°C程度に低下し得る。所定の吸収塔入口液温になるように、沸点温度を圧縮装置の出力によって制御すると良い。吸収塔10に還流される60°C程度以下の吸収液A2は、充填材11aにおける吸収反応で温度が上昇し、60°C以上になり得るが、調整弁42を介してタンク40に供給されると、5~40kPa程度、好ましくは7~20kPa程度の圧力に減圧されて気化熱を失い、沸点温度付近の50°Cの温度で吸収塔10に戻される。タンク40で発生する50°C程度の水蒸気は、圧縮装置41によって加圧されて再生塔20と同等の圧力で再生塔20に供給される。水蒸気の温度は圧縮熱により再生塔圧力下における沸点以上に上昇する。このようにして、吸収液は、吸収塔10と再生塔20との間で循環し、吸収工程と再生工程とが交互に繰り返される。再生塔20から還流する吸収液A2は、熱交換器24を経た後に、更にタンク30において温度が低下し、タンク30の圧力によって吸収液の冷却温度を制御できるので、吸収塔10の適正温度近くまで冷却することが容易であり、二酸化炭素を吸収し易い状態で吸収塔10に投入される。尚、タンク30,40から吸収塔10へ還流される吸収液は、タンク30,40において水分を失っているが、その量は僅かである。タンク40から吸収塔10の下段へ還流される吸収液の濃度は若干増加するが、これは、二酸化炭素を吸収する上でむしろ有利となる。上記構成において、再生塔20で吸収液の再生に使用する熱エネルギーは、熱交換器24による交換回収熱、及び、水蒸気供給システムによる回収余熱及び回収反応熱と、圧縮装置等の駆動で消費される動力エネルギーとから得られるので、本発明における二酸化炭素の回収処理に必要なエネルギーは、回収装置の外部から供給する熱エネルギーから、圧縮装置等の駆動で消費される動力エネルギーに置き換えることができ、エネルギー量も低減可能である。水蒸気供給システムの2つの水蒸気発生装置のうちの一方を省略してもよいが、この場合に吸収液の再生を効率的に行うには、減少する回収熱分の熱エネルギーを補充するために再生塔20の底部にリボイラー等を付設するとよい。具体的には、吸収液を加熱するために再生塔20外にスチームヒーターを設けて、底部の吸収液A2をスチームヒーターとの熱交換によって加熱可能なように循環路を通じて循環させる。図2は、本発明の二酸化炭素の回収方法及びそれを実施する回収装置の第2の実施形態を示す。この回収装置2は、第1の実施形態における水蒸気供給システムの2つの水蒸気発生装置22A’,22B’で発生する水蒸気の圧縮を纏めて1つのルートで行い、圧縮工程を直列に配列される複数の圧縮装置で段階的に行う多段型に構成している。又、再生塔20から排出される回収ガスからも熱回収するように変更している。詳細には、先ず、吸収液の還流路17における水蒸気発生装置22A’のタンク30で発生する水蒸気を、吸収塔10に付設される水蒸気発生装置22B’のタンク40で発生する水蒸気と共に1つの圧縮装置31’によって圧縮するように、タンク40の頂部と圧縮装置31’とを流路45’で接続している。圧縮装置31’によって圧縮された水蒸気を更に圧縮するための圧縮装置51が流路34’に設けられ、圧縮後の高温の水蒸気をある程度冷却するための熱交換器52,53が圧縮装置31’、51の下流側に各々配設される。又、熱交換器52による冷却が不充分な場合に更に冷却する冷却器54が必要に応じて付設される。熱交換器52,53は、還流路17から分岐して再生塔20に接続される流路55の吸収液と熱交換するように構成され、再生塔20の吸収液A2の一部は、還流路17から分流して熱交換器52,53と順次熱交換して加熱された後に再生塔20に戻る。従って、水蒸気の熱の一部が再生塔20の吸収液A2に供給される。この実施形態では2段階の圧縮を行っているが、3段階以上の圧縮に構成しても良い。更に、再生塔20から排出される回収ガスの熱を水蒸気発生装置22B’の吸収液を用いて回収するための熱交換器60と、熱交換器60にタンク40の吸収液を供給するための流路61及びポンプ62とが設けられており、流路61は、タンク40の底部から吸収液を吸収塔10に還流する流路46から分岐して、熱交換器60を介してタンク40の中部と接続される。従って、タンク40の吸収液の一部は、ポンプ62によって、流路46から流路61に分流され、熱交換器60において再生塔20からの回収ガスを冷却し、温度上昇した後、或いは、一部蒸気となった後に、タンク40に還流される。これにより、冷却器27は、主として水分凝集の確度を高めるために利用することができる。例えば、7~20kPa程度の圧力のタンク30,40の水蒸気は、圧縮装置31’において200°C程度の温度に上昇し、熱交換器52において、再生塔20の90~130°C近辺の吸収液A2と熱交換して吸収液A2よりも5~20°C程度高い温度に低下し、必要に応じて冷却器54によって100°C以下に冷却される。更に、圧縮装置51によって吸収液の温度は再度200°C程度に上昇し、必要に応じて熱交換器53によって吸収液A2よりも5~20°C程度高い温度に低下して再生塔20と同等の圧力で再生塔20に供給される。吸収塔10に還流される60°C程度以下の吸収液は、吸収反応で温度上昇し、調整弁42を介してタンク40に供給されると、7~20kPa程度の圧力に減圧され、60°C程度以下の温度で一部は熱交換器60へ供給され、残部は吸収塔10に戻される。再生塔20から排出される60~100°C程度の回収ガスは、熱交換器60及び冷却器27を経て50°C以下に冷却され、タンク40から分流される60°C以下の吸収液は、熱交換器60を経てタンク40に還流される。水蒸気の圧縮を段階的に行うように構成すると、水蒸気温度を低下させて過熱を防止する機能と、再生塔20の吸収液の温度を高める機能とを付加することができ、従って、再生塔へ供給する水蒸気の温度調整及び水蒸気熱の回収再利用が容易になる。又、比較的耐熱性が低い圧縮装置を利用する場合や、所望の水蒸気を供給するためにタンクをより低い圧力に減圧する必要がある場合に有用である。更に、圧縮を多段階に分けて行う場合、圧縮装置が消費する電力の合計は、同じ圧縮を1段階で行う場合と比べて少なくなるので、エネルギー効率が向上する。図2の回収装置2において、回収装置2を構成する圧縮装置等の要素に求められる要件は、図1の装置1と同様であり、上記の点以外は、図1の回収装置1と同様に構成されているので、説明は省略する。本発明において、図2の回収装置2の構成の一部を図1の回収装置1に組み込んでもよく、例えば、図1の水蒸気発生装置22A,22Bの少なくとも一方を複数の圧縮装置を用いた多段階圧縮に構成したり、水蒸気発生装置22A,22Bにおいて発生する水蒸気を単一の圧縮装置で一緒に圧縮するように構成できる。又、水蒸気発生装置22Bにおいて再生塔20から排出される回収ガスの回収熱を利用するように構成できる。尚、上述の構成においては、各水蒸気発生装置22A,22A’,22B、22B’の水蒸気の発生について、水蒸気を多段階に発生するように構成することも可能であり、例えば、1段目のタンクの水蒸気発生後に排出される吸収液を、調整弁を介して2段目のタンクに導入し、2段目のタンクで発生する水蒸気を2段目の圧縮装置で圧縮した後に1段目の圧縮装置において1段目のタンクの水蒸気と共に圧縮するように構成することによって、2段階の発生及び圧縮が可能となる。同様にして3段階以上の構成も可能である。又、本発明の実施形態における吸収塔及び再生塔について、充填材を備える充填塔として記載しているが、多数の棚段を設けて接触面積を増加させる棚段塔などを含む他の方式のものに変更してもよい。二酸化炭素の回収に必要なエネルギーは、二酸化炭素を吸収した吸収液の再生二酸化炭素の放出に要する熱エネルギーであり、再生する吸収液への水蒸気供給の有無による差を評価するためにシミュレーションによって算出すると、吸収液が30質量MEA水溶液の場合、再生熱は3.9GJ/tCO2程度となる。本発明では、この再生熱の一部として、水蒸気に含まれる回収熱が利用され、外部から供給するエネルギー圧縮装置等の駆動エネルギーは更に削減可能である。図2の回収装置において同様のシミュレーションを行ったところ、回収装置外部から供給する熱エネルギーは、圧縮装置等を駆動する電気エネルギーに全て置き換えることができ、その電力量は1.1GJ/tCO2程度となった。"