"面形状の検査対象である被検体における複数の注目領域のうち、1つの注目領域が回転中心上に位置するように上記被検体が載置され、1つの注目領域を中心にして、上記被検体を回転させる回転台と、上記被検体における複数の注目領域のいずれかに光を照射する光照射部及び上記注目領域に反射された光を検出する光検出部を有する複数の光センサとを備えた面形状検査装置。複数の光センサが、被検体の長手方向に一列に並ぶように配置されていることを特徴とする請求項1記載の面形状検査装置。面形状の検査対象である被検体における複数の注目領域のうち、1つの注目領域が回転中心上に位置するように上記被検体が載置され、1つの注目領域を中心にして、上記被検体を回転させる回転台と、光を照射する光照射部及び反射光を検出する光検出部を有する光センサと、上記光センサの光照射部から照射された光を分割して、上記被検体における複数の注目領域のいずれかに分割後の光を照射し、上記注目領域に反射された光を上記光センサの光検出部に導く複数の光分割手段とを備えた面形状検査装置。複数の光分割手段が、被検体の長手方向に一列に並ぶように配置されていることを特徴とする請求項3記載の面形状検査装置。表面形状が既知である参照体が、注目領域に照射される光が通る光路上に時間で選択的に配置できることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の面形状検査装置。表面形状が既知である参照体が、注目領域に照射される光が通る光路に配置されており、上記参照体が特定波長の光だけを選択的に透過又は反射する光学機能面を有していることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の面形状検査装置。注目領域に照射される光が通る光路を任意の角度で折り曲げる折り曲げ平面鏡が、上記光路に配置されていることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の面形状検査装置。光センサの自重変形を測定する傾斜センサが配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の面形状検査装置。光センサ、光分割手段又は折り曲げ平面鏡の自重変形を測定する傾斜センサが配置されていることを特徴とする請求項7記載の面形状検査装置。表面形状が既知である参照体が、注目領域に照射される光が通る光路の延長上に配置され、第1の鏡と第2の鏡が二等辺三角形をなす折り曲げ鏡が上記光路に配置されていることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の面形状検査装置。複数の光センサの光検出部は、注目領域に反射された光を画像信号に変換して出力する撮像素子から構成されており、同期信号を上記複数の光センサに出力する同期信号出力手段と、上記複数の光センサの撮像素子から出力された画像信号から被写体の表面形状を演算する表面形状演算手段とを備え、上記複数の光センサの撮像素子は、上記同期信号出力手段から出力された同期信号に同期して、同一時刻に注目領域の反射光を画像信号に変換することを特徴とする請求項1または請求項2記載の面形状検査装置。複数の光センサの撮像素子から出力された画像信号から注目領域の傾斜成分を抽出する傾斜成分抽出手段と、上記傾斜成分抽出手段により抽出された傾斜成分にしたがって上記画像信号を補正する補正手段とを備え、表面形状演算手段は、上記補正手段により補正された画像信号から被写体の表面形状を演算することを特徴とする請求項11記載の面形状検査装置。複数の光センサの撮像素子から出力された画像信号から注目領域の傾斜成分を抽出する傾斜成分抽出手段を備え、同期信号出力手段は、上記傾斜成分抽出手段により抽出された傾斜成分が所定の閾値より大きい場合、再度、同期信号を複数の光センサに出力することを特徴とする請求項11記載の面形状検査装置。面形状の検査対象である被検体における複数の注目領域のうち、1つの注目領域が回転台の回転中心上に位置するように上記被検体を上記回転台に載置し、上記回転台が上記被検体を回転させながら、複数の光センサの光照射部が、上記被検体における複数の注目領域に対して光をそれぞれ照射して、複数の光センサの光検出部が上記注目領域に反射された光を検出する面形状検査方法。面形状の検査対象である被検体における複数の注目領域のうち、1つの注目領域が回転台の回転中心上に位置するように上記被検体を上記回転台に載置し、上記回転台が上記被検体を回転させながら、光センサの光照射部が光の照射を開始すると、複数の光分割手段が、上記光センサの光照射部から照射された光を分割して、上記被検体における複数の注目領域に対して分割後の光をそれぞれ照射して、上記注目領域に反射された光を上記光センサの光検出部に導き、上記光センサの光検出部が上記注目領域に反射された光を検出する面形状検査方法。従来の面形状検査装置は以上のように構成されているので、被検体より小さい口径の干渉計を斜めに配置すれば、観測領域を見かけ上大きくすることができるが、干渉計を斜めに傾けるほど、分解能が劣化してしまう課題があった。また、小さい口径の干渉計で被検体の全面を走査する場合、走査に伴う誤差の蓄積が走査回数に比例して大きくなってしまう課題があった。この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、全面走査の誤差を蓄積することなく、被検体の表面形状を精度よく測定することができる面形状検査装置及び面形状検査方法を得ることを目的とする。この発明に係る面形状検査装置は、面形状の検査対象である被検体における複数の注目領域のうち、1つの注目領域が回転中心上に位置するように被検体が載置され、1つの注目領域を中心にして、その被検体を回転させる回転台と、被検体における複数の注目領域のいずれかに光を照射する光照射部及び注目領域に反射された光を検出する光検出部を有する複数の光センサとを備えるようにしたものである。この発明によれば、面形状の検査対象である被検体における複数の注目領域のうち、1つの注目領域が回転中心上に位置するように被検体が載置され、1つの注目領域を中心にして、その被検体を回転させる回転台と、被検体における複数の注目領域のいずれかに光を照射する光照射部及び注目領域に反射された光を検出する光検出部を有する複数の光センサとを備えるように構成したので、全面走査の誤差を蓄積することなく、被検体の表面形状を精度よく測定することができる効果がある。実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による面形状検査装置参照体が光路に配置されていない状態を示す構成図であり、図2はこの発明の実施の形態1による面形状検査装置参照体が光路に配置されている状態を示す構成図である。また、図3はこの発明の実施の形態1による面形状検査装置の要部を示す断面図である。図1から図3において、被検体1は面形状の検査対象であり、複数の注目領域2が被検体1の長手方向に一列に並んでいる。回転台3は除震台9の上に設置されており、回転台3は被検体1における複数の注目領域2のうち、1つの注目領域2が回転中心上に位置するように被検体1が載置され、1つの注目領域2を中心にして、被検体1を回転させる回転機器である。なお、図の都合で被検体1が空中に浮いたように図示されているが、回転台3の上に配置されている。また、被検体1は長方形として図示しているが、例えば円形、多角形でも問題ないことは言うまでもない。センサユニット4は除震台9の上に設置されていても良く、センサユニット4は複数の光センサ5を収納している。光センサ5は光照射部及び光検出部から構成されており、被検体1の長手方向に一列に並ぶように配置されている。光センサ5の光照射部は被検体1における複数の注目領域2のいずれかに光を照射する処理を実施し、光センサ5の光検出部は注目領域2に反射された光を検出する処理を実施する。光センサ5としては、例えば、干渉計、シャックハルトマンセンサなどの波面センサ、オートコリメータなどの傾斜センサ等が該当する。光路6は光センサ5の光照射部から照射された光が通る路である。参照体7は表面形状が既知の部材であり、例えば、表面形状が既知な平面鏡や原器となる鏡などが該当する。参照体7は光路6に対して時間で選択的に光路上に配置される。参照体7が光路6に配置される場合、光センサ5の光照射部によって光が参照体7に照射される。以下、その光の照射領域を第2の注目領域8と称する。図1の例では、参照体7が空中に浮いているように図示されているが、例えば、除震台9の上に、被検体1を渡るように設置されている保持台図示せずに保持されている。なお、光路6を遮るように参照体7を配置又は光路6から参照体7を取り除くようにするために、並進ステージ図示せずを上記保持台に設けるようにしてもよい。除震台9は例えば外部の振動の影響などを低減するためのもので、回転台3やセンサユニット4は除震台9の上に設置するものとする。なお、被検体1は、光センサ5の視野と比べて十分大きいので、図3に示すように、光センサ5が長手方向に一列に並ぶように配列することが可能である。これにより、複数の光センサ5から照射された光は、長手方向に一列に並ぶように配列されるため、注目領域2も長手方向に一列に並ぶことになる。上述したように、長手方向に一列に並ぶ複数の注目領域2のうち、一つの注目領域2が回転台3の回転中心を含むように、複数の光センサ5が配置される出来れば、注目領域2の中心と、回転台3の回転中心とが一致するように、複数の光センサ5が配置される。図4はこの発明の実施の形態1による面形状検査装置の制御測定系を示す構成図であり、図において、図1及び図2と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。制御装置11は回転台3の回転を制御する制御装置である。信号処理部12は移動量検出部13及び画像合成部14から構成されており、最終的な測定結果を出力する処理部である。信号処理部12の移動量検出部13は制御装置11により回転させられる回転台3の移動量を検出する処理を実施する。信号処理部12の画像合成部14は移動量検出部13の検出結果にしたがって回転台3の回転位置による座標系の変換等を実施しながら、複数の光センサ5の光検出部により検出された反射光に対応する画像を合成する処理を実施する。また、画像を合成する際、回転に伴う駆動機構の位置ずれなどの補正を行う。出力部15は信号処理部12から出力された最終的な測定結果合成後の画像を外部に出力する処理を実施する。次に動作について説明する。まず、センサユニット4に収納されている複数の光センサ5の光照射部が、光を出射する。複数の光センサ5の光照射部から出射された光は、光路6を通じて、被検体1に照射される。このとき、複数の光センサ5は、被検体1の長手方向に一列に並ぶように配置されているので、被検体1に対する光の照射領域も長手方向に一列に並び、複数の照射領域が注目領域2となる。ただし、この段階では、説明の便宜上、図1に示すように、参照体7は光路6の外側に配置されているものとする。被検体1の表面形状は平面もしくは曲面であり、複数の光センサ5の光照射部により複数の注目領域2に照射された光は、光センサ5の方向に反射される。複数の注目領域2に反射された光以下、反射光と称するは、主に被検体1の表面形状における傾きの情報をもって、照射時と僅かに異なる光路6を通って複数の光センサ5に戻る。これにより、複数の光センサ5の光検出部は、複数の注目領域2の反射光を検出するが、その反射光を検出することで、複数の注目領域2の表面形状を得ることができる。なお、信号処理部12の画像合成部14は、複数の光センサ5の光検出部が反射光を検出すると、それらの反射光に対応する画像を合成する。ただし、複数の光センサ5の光照射部から複数の注目領域2に照射される光が、元々正しく配列されているかは分からないため、複数の注目領域2の表面形状が正確なものかは分からない。そこで、この実施の形態1では、図2に示すように、注目領域2の表面形状を測定する前、もしくは、注目領域2の表面形状を測定した後に、光路6を遮るように参照体7を配置する。参照体7が光路6に配置されている場合、複数の光センサ5の光照射部から出射された光は、光路6を通じて、参照体7に照射される。このとき、複数の光センサ5は、被検体1の長手方向に一列に並ぶように配置されているので、参照体7に対する光の照射領域も長手方向に一列に並び、複数の照射領域が第2の注目領域8となる。複数の光センサ5の光照射部により複数の第2の注目領域8に照射された光は、光センサ5の方向に反射される。複数の第2の注目領域8に反射された光以下、反射光と称するは、主に参照体7の表面形状における傾きの情報をもって、照射時と僅かに異なる光路6を通って複数の光センサ5に戻る。これにより、複数の光センサ5の光検出部は、複数の注目領域2の反射光を検出するが、その反射光を検出することで、複数の第2の注目領域8の表面形状を得ることができる。参照体7の表面形状は既知であることから、参照体7における第2の注目領域8の既知の表面形状と、得られた第2の注目領域8の表面形状とを比較することで、複数の光センサ5の調整が可能となる。複数の光センサ5の調整を行えば、複数の光センサ5の光照射部から複数の注目領域2に照射される光を正しく配列することができるため、複数の注目領域2の表面形状を正確に測定することができる。複数の光センサ5を被検体1の長手方向に一列に並ぶように配置すると、一部虫食い状になって未測定領域ができるが、直径をほぼ同時に一度に測定することが可能になる。このことは、直径程度の大きさの光センサの一部を虫食い状に遮光している状態と同等である。つまり擬似的に光センサの直径を大きくしていることに相当し、光センサの分解能が改善される。ただし、擬似的に大きな直径の光センサを遮光しているものに相当するため、検出感度の改善はなされない。以下、擬似的に光センサの直径を大きくすることで、精度が改善される点について詳述する。初めに、小さい開口の光センサを用いる場合について説明し、次に複数の光センサ5がアレイ状に配列されて、擬似的に光センサの直径が大きくなっている場合について説明する。図5は表面形状の測定誤差を示す説明図である。ここでは、説明の便宜上、ある範囲Dの内部でサンプリング数l個の測定を行い、一つ一つの誤差がσであるとする。厳密には、真値が分からないので、誤差σ真値からのずれも分からないが、一般には、目安として標準偏差を与えることが多い。この標準偏差の分布が意味を持ち、あるモデル関数に従っているとする。ここでは、説明の簡単化のため、下記の式のように、モデル関数が1次式であるものとする。z=a0a1x今回、表面形状の推定には最尤法を採用する。最尤法の利点は、下記の2点であるが、誤差が正規分布に従うという仮定を満足している必要がある系統誤差が残っていると評価が正しくなされない。1ある測定位置xiの測定値ziが分からなくても、誤差の検討ができること誤差行列2最尤推定量や誤差解の有意性を統計的に推定することができることχ2検定最尤法による最尤推定量a0,a1の誤差の二乗Δa02,Δa12は、下記の式1のように表される。ただし、a0は0次の係数、a1は1次の係数である。式1より、最尤推定量a0,a1の誤差Δa0,Δa1は、ある測定位置xiの測定値ziにはよらず、サンプリング数lと範囲Dにのみ依存する。このことは、原点を中心にして、範囲Dを等間隔にサンプリング数lで測定するという仮定を下記の二乗和の公式2に与えることで、式3が導かれることから説明することができる。最尤推定量a0,a1の誤差Δa0,Δa1からモデル関数の誤差Δzを求めると、下記の誤差伝搬を示す式4から式5のように求められる。つまり、サンプリング数lが多い程、範囲Dが大きい程、また、一点の誤差σが小さい程、モデル関数の誤差Δzが小さくなることが示される。従来例のように、注目領域2を例えば長手方向に走査させることで、直径方向のすべてを測定する場合を考える。この場合、測定範囲Kの測定器で、大きさL>Kの対象物の全体を測定するため、共通範囲D<Kを持つように、測定器をx方向に移動させることを考える。測定1から測定2に移動するときに、ステージなどの移動に伴う変位zxがあるとする。変位は共通範囲を持つ程度の近傍したがって低次でよいとするため、下記の式9のように、a0,a1で関数型が決まるxの関数とする。また、測定1における表面形状の測定値をφx’、測定2における表面形状の測定値をφxとする。ただし、座標の原点は、それぞれの測定の中心とする。原点の違いを明示するため、ここでは、x’、xと表記している。ここで、図6は変位zxを補正する前の状態を示す模式図であり、図7は変位zxを補正した後の状態を示す模式図である。共通範囲では、測定値φx’,φxは、同じ対象物を測っているので、ステージの移動に伴う変位zx;a0,a1をキャンセルすれば、原点の違いによる誤差伝搬の範囲で、一致するはずである。測定2の測定値φxにおいて、変位zx;a0,a1を補正すると、高次項は、φにのみ含まれることを利用して、一致する高次の項式7を参照を除いて、一致しない低次の成分式6を参照から変位zx;a0,a1を精度よく求めることができる。共通領域Dの測定値φx’,φxは、変位zx;a0,a1を補正すると、両者は一致するはずである。逆に言うと、両者が一致するような変位zx;a0,a1の係数a0,a1が最も確からしい値最尤推定量となる。これは、式8及び式9から式10を満足する係数a0,a1を求めることに相当する。結局のところ、最尤法による解の推定方法を理解すれば良いことになる。上記の操作を対象物の全体を測定できるまで繰り返すようにする。即ち、ステージの移動に伴う変位を個々に補正しながら、測定値をつなげて最終的に全体の測定値を求めるようにする。繰り返し測定のため、変位zの引きのこり誤差Δzがあると、次の測定に影響を与える。このずれは繰り返しで打ち消す方向に働くこともあるが、遠方に行く程、ずれが蓄積されて影響が大きくなる。この全体Lを測定できる位置をx=L/2中心を原点とするとすると、上記の式134より、そのxでの誤差Δzx=L/2は、式5のように表される。ただし、x=L/2である。つまり共通範囲Dが小さい程繰り返し測定回数が多い程、全体を測定できるほどの遠方では、誤差Δzxが大きくなることを意味する。即ち、一つの光センサで繰り返し走査をする方法では、遠方になる程、誤差が大きくなり、測定精度が悪くなることが示される。つまり走査にはステージの傾き誤差もしくは傾きを補正したことによる誤差等を伴うため、合成の回数が大きくなると、回数に比例して、つなぎ合わせの誤差が大きくなる欠点がある。次に、この実施の形態1のように、複数の光センサ5がアレイ状に配列されて、擬似的に光センサの直径が大きくなっている場合について説明する。図8はある範囲Dを観測する光センサが周期Pで3個並んでいるときの表面形状の測定誤差を示す説明図である。これまでと同様に、各々のサンプリング数をlとすると、光センサがN個の場合、下記の式11からモデル関数の誤差Δzは、式12のように求められる。簡単化のため、式13の極限状態を考えると、式14のように簡単になる。これは、光センサ数N及び周期Pが大きい程厳密には、NPが大きい程、モデル関数の誤差Δzが小さくなることを意味する。つまり光センサを周期PでN個アレイ状に並べることで、NP>Dとなるため、モデル関数の誤差Δzを小さくすることができることが示される。以上より、光センサを1次元方向に並べると、被検体1の長手方向の測定精度が良くなることが理解される。次に、短手方向を含む被検体1の全面測定について説明する。初めに、面形状検査装置が、図9に示すように、横方向に一列測定する。次に、図10に示すように、制御装置11が回転台3を任意の角度だけ回転させることで、任意の角度だけ被検体1を回転させると、光センサ5から照射される光の光路6と被検体1の相対関係が変化することにより、注目領域2が注目領域2aのように変化する。このとき、回転台3の回転中心に被検体1の中心と、複数の光センサ5から照射される光の光路6の中の1つの光路6の位置とを合わせることで、回転中心上の1点を共通に測定することができる。被検体1を回転させながら、被検体1の長手方向の測定を繰り返すと、被検体1のほぼ全面の測定が可能になる。ここで、図11は被検体1を10度おきに18回回転させて被検体1の回転が半周、被検体1の長手方向の測定を繰り返し行った例を示す説明図である。図11において、点線は、それぞれの角度における注目領域2の軌跡を示している。このように、複数の光センサ5を1次元方向に並べ、かつ、回転台3の回転中心に対して、被検体1の中心を合わせるとともに、複数の光路6の中の1つの光路6の位置を合わせることで、被検体1のほぼ全面の測定が可能になる。しかし、図11の測定は厳密な意味で被検体1の全面ではない。これは、1次元方向に並べている各光センサ5の間に隙間があり、その隙間がリング状に測定できないからである。そこで、図12に示すように、注目領域2が互い違いになるように、注目領域2bを配置する。その結果、回転しながら測定を繰り返すと、例えば、図13に示すように被検体1の全面を走査できるようになる。図13は被検体1を10度おきに36回回転させて、被検体1の長手方向の測定を繰り返し行った例を示す説明図である。このように、複数のセンサ5を1次元方向かつ列で互い違いになるように配置し、かつ、回転台3の回転中心に対して、被検体1の中心を合わせるとともに、複数の光路6の中の1つの光路6の位置を合わせることで、被検体1の全面を隙間無く走査することが可能になる。また、図14に示すように、注目領域2をアレイ周期の半分だけ横にずらすようにして、注目領域2cを作る場合を考える。この場合も、回転しながら測定を繰り返すと、例えば、図15に示すような測定結果になる。図15は被検体1を10度おきに18回回転させて被検体1の回転が半周、被検体1の長手方向の測定を繰り返し行った例を示す説明図である。図15において、点線は、それぞれの角度における注目領域2cの軌跡を示している。この場合も、図11の場合の測定と同様に、1次元方向に並べている各光センサ5の間に隙間がある。そのため、その隙間がリング状に測定できておらず、図15の測定は厳密な意味で被検体1の全面ではない。そこで、図11の測定と、図15の測定とをつなぎ合わせることを考えると、図16図11の測定図15の測定に示すように、被検体1の全面を隙間無く走査することが可能になる。即ち、光センサを1次元方向配置し、かつ、回転台3の回転中心に対して、被検体1の中心を合わせるとともに、複数の光路6の中の1つの光路6の位置を合わせて回転方向に半周し、次に光センサ5をアレイ周期の半分ほどずらして、更に半周することで被検体1の全面を隙間無く走査することが可能になる。複数のセンサ5を1次元方向に並べて、かつ、回転台3の回転中心に対して、被検体1の中心を合わせるとともに、複数の光路6の中の1つの光路6の位置を合わせるようにすると、ちょうど半周回転したときに、回転中心に対して対称な位置の光センサ5で対称な位置を測定することになる。このことを、図17を用いて説明すると、回転中心に対して、2個目の光センサAは、半周すると、光センサBの位置に来ることになる。光センサA,Bの個体差や時間変動分を除けば、同じ位置の測定であることから、当然、同じ測定結果を得ることができる。反対に言うと、同じ位置を異なる光センサ5で測定することで、光センサの個体差や時間変動を測定することが可能になる。時間変動は、同じ位置で、繰り返し時系列で測定することで分離できるため、結果として、光センサ間の個体差を特定することができる。このように、光センサ5を1次元方向に並べて、かつ、回転台3の回転中心に、被検体1の中心を合わせるとともに、複数の光路6の中の1つの光路6の位置を合わせるようにすると、ちょうど半周回転したときに、回転中心に対して対称な測定ができるようになるため、光センサ間の個体差を特定することができる。以上で明らかなように、この実施の形態1によれば、被検体1における複数の注目領域2のうち、1つの注目領域2が回転中心上に位置するように被検体1が載置され、1つの注目領域2を中心にして、被検体1を回転させる回転台3と、被検体1における複数の注目領域2のいずれかに光を照射する光照射部及び注目領域2に反射された光を検出する光検出部を有する複数の光センサ5とを備えるように構成したので、全面走査の誤差を蓄積することなく、被検体1の表面形状を精度よく測定することができる効果を奏する。即ち、複数の光センサ5を長手方向一列に配列しているので、回転中心から最も遠方の直径位置まで、ほぼ同時に測定することができる。そのため、擬似的に光センサ5の直径が大きくなったことに相当し、誤差を増大させることなく、傾きを精度良く求めることができるようになる。また、制御装置11により回転させられる回転台3の移動量を検出する移動量検出部13と、移動量検出部13の検出結果にしたがって回転台3の回転位置による座標系の変換等を実施しながら、複数の光センサ5の光検出部により検出された反射光に対応する画像を合成する画像合成部14とから信号処理部12を構成しているので、回転台3の回転位置による座標系の変換を実施することができるほか、回転に伴う駆動機構の位置ずれなどの補正を行うことできるようになり、その結果、画像合成をより精度良く行うことができる効果を奏する。実施の形態2.図18はこの発明の実施の形態2による面形状検査装置の要部を示す断面図であり、図において、図3と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。光分割手段10は被検体1の長手方向に一列に並ぶように配置されており、センサユニット4に収納されている。光分割手段10は光センサ5の光照射部から照射された光を分割して、被検体1における複数の注目領域2のいずれかに分割後の光を照射し、その注目領域2に反射された光を光センサ5の光検出部に導く光学部材である。なお、光分割手段10の構成は、光の波長で光路を分割する手段、光の偏光方向で光路を分割する手段、機械的なシャッター等により光路を分割する手段、光をパルス状に照射して時間差で光路を分割する手段のいずれであってもよい。上記実施の形態1では、複数の光センサ5が、被検体1の長手方向に一列に並ぶように配置されているものについて示したが、図18に示すように、センサユニット4には、1台の光センサ5だけを収納して、被検体1の長手方向に一列に並ぶように配置されている複数の光分割手段10を収納し、複数の光分割手段10が、1台の光センサ5により照射された光を分割して、分割後の光を各注目領域2に照射し、各注目領域2に反射された光を光センサ5の光検出部に導くようにしてもよい。このように、複数の光分割手段10をセンサユニット4に収納すれば、複数の光センサ5をセンサユニット4に収納している場合と同様の作用効果が得られる。実施の形態3.図19はこの発明の実施の形態3による面形状検査装置を示す構成図であり、図において、図1と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。参照体21は図1の参照体7と同様に表面形状が既知の部材である。ただし、参照体21は図1の参照体7と異なり、常に、複数の光センサ5又は光分割手段10から照射される光が通る光路6に配置されており、特定波長の光だけを選択的に透過又は反射する光学機能面を有している。図19の例では、参照体21が空中に浮いているように図示されているが、例えば、除震台9の上に、被検体1を渡るように設置されている保持台図示せずに保持されている。次に動作について説明する。参照体21は、注目領域2に照射される光が通る光路6に配置されているが、特定波長の光だけを選択的に透過又は反射する光学機能面を有しているので、被検体1に対する注目領域2と、参照体21に対する第2の注目領域8とをほぼ同時に作ることができる。これにより、被検体1に対する注目領域2と、参照体21に対する第2の注目領域8とをほぼ同時に、同位置で測定することができるため、被検体1に対する注目領域2の表面形状を測定する際、表面形状が既知である参照体21を常に参照することができる。このため、例えば、振動や温度変化に伴う線膨張等による歪みの影響の誤差の蓄積を防ぐことができるようになり、被検体1の表面形状の測定精度を更に高めることができる効果を奏する。実施の形態4.図20はこの発明の実施の形態4による面形状検査装置を示す構成図であり、図において、図1と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。折り曲げ平面鏡22は複数の光センサ5又は光分割手段10から照射される光が通る光路6に配置されており、その光路6を任意の角度で折り曲げる光学部材である。このように、折り曲げ平面鏡22を光路6の途中に配置することで、光センサ5を回転台3の直上以外の位置に配置することができる。これにより、例えば、折り曲げ平面鏡22と被検体1とのなす角を45度とすれば、光センサ5の光軸を重力と直交する方向に折り曲げることができるようになる。さらに、折り曲げ平面鏡22と被検体1とのなす角を135度とすれば、光路6を上方向に折り曲げることができるようになる。また、折り曲げ平面鏡22の表面形状が既知である場合、図21に示すように、被検体1とのなす角を90度とすることで、折り曲げ平面鏡22を参照体4として利用することができるようになる。この場合、折り曲げ平面鏡22が、参照体4の代わりになるため、折り曲げ平面鏡22に第2の注目領域8が形成されることになる。上記のように、折り曲げ平面鏡22と被検体1のなす角を変える場合、重力による自重変形の影響をあらかじめ考慮しておく必要がある。次に動作について説明する。例えば、光センサ5が被検体1の直上に配置される場合、天井の高さが、ある程度の高さを有している必要がある。このような場合、光路6を斜めに折り曲げることができれば、天井の高さが低い場合でも、面形状検査装置を設置することができる。また、冷たい空気は下方向に流れ、暖かい空気は上方向に流れる現象である対流によって、測定に悪影響が及ぶことがあるが、天井を低く保つことで、空気の上下の温度勾配を小さくすることができるので、対流の発生を低減して、測定精度の低下を防止することができる。また、重心が高い位置にある場合、重心が低い位置にある場合と比べて安定しないが、光路6を折り曲げることで、重心を低くすることができるので、装置の安定化を図ることができる。また、折り曲げ平面鏡22と被検体1とのなす角を変えることで、折り曲げ平面鏡22を参照体4の代わり用いることができる。また、折り曲げ平面鏡22と被検体1とのなす角を135度とすれば、光路6を上方向に折り曲げることができるので、被検体1を上方向に配置して測定することもできるようになる。これは、被検体1が重力に対して上下反転することを意味している。実施の形態5.図22はこの発明の実施の形態5による面形状検査装置を示す構成図であり、図において、図20と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。傾斜センサ23はセンサユニット4に収納されている複数の光センサ5または、複数の光分割手段10の自重変形を測定する処理を実施する。傾斜センサ24は折り曲げ平面鏡22の自重変形を測定する処理を実施する。ただし、図22では、傾斜センサ23,24が空中に描かれているが、実際には、除震台9の上に保持台図示せずが配置され、その保持台に固定されている。傾斜センサ23,24はオートコリメータ等でもよい。次に動作について説明する。上記実施の形態1~4では、複数の光センサ5または、複数の光分割手段10が被検体1の長手方向に並んでいるが、複数の光センサ5または、複数の光分割手段10が自重変形によって歪むことにより、注目領域2の表面形状の測定精度が劣化することがある。そこで、この実施の形態5では、傾斜センサ23が、被検体1の長手方向に並んでいる複数の光センサ5または、複数の光分割手段10の自重変形を測定することで、光センサ5または、複数の光分割手段10が自重変形による歪みを補正できるようにしている。また、この実施の形態5では、傾斜センサ24が折り曲げ平面鏡22の自重変形を測定することで、折り曲げ平面鏡22が自重変形による歪みを補正できるようにしている。実施の形態6.図23はこの発明の実施の形態6による面形状検査装置を示す構成図であり、図において、図20と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。参照体25は図1の参照体7と同様に表面形状が既知であり、参照体25は複数の光センサ5または、複数の光分割手段10から照射された光が通る光路6の延長上に配置されている。折り曲げ鏡26は第1の鏡26aと第2の鏡26bが二等辺三角形をなしている鏡であり、折り曲げ鏡26は回転台3の回転中心上に配置されている。次に動作について説明する。上記実施の形態4では、折り曲げ平面鏡22が光路6の途中に配置されているが、この実施の形態6では、折り曲げ鏡26が光路6の途中に配置されている。また、この実施の形態6では、参照体25が光路6の延長上に配置され、参照体25と被検体1のなす角が直角にされている。このように、折り曲げ鏡26と参照体25を配置することで、光センサ5から出射された光が注目領域2に向かうときと、注目領域2の反射光が光センサ5に戻るときの二回光路6が経由するようになる。光路6が二回経由することにより、2倍の情報量になるため、注目領域2の表面形状の測定精度を高めることができる。また、例えば、折り曲げ鏡26を上方向に持ち上げるなどして、折り曲げ鏡26を光路6から取り除くようにすれば、直接、参照体25を観測することができるようになる。実施の形態7.図24はこの発明の実施の形態7による面形状検査装置を示す構成図であり、図において、図4と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。同期信号出力部31は例えばパルスジェネレータなどから構成されており、パルスジェネレータによって発生された矩形波のTTL信号を同期信号として、複数の光センサ5に出力する処理を実施する。なお、同期信号出力部31は同期信号出力手段を構成している。この実施の形態7では、複数の光センサ5は撮像素子を内蔵しており光センサ5の詳細は後述する、この撮像素子が同期信号出力部31から出力された同期信号に同期して、同一時刻に注目領域2を撮像し、その注目領域2における多数の集光スポットを画像信号に変換して信号処理部12に出力する。トリガ信号ケーブル32は同期信号出力部31と複数の光センサ5との間を接続しているケーブルであり、同期信号出力部31から出力された同期信号を複数の光センサ5に伝達する。画像信号ケーブル33は複数の光センサ5と信号処理部12との間を接続しているケーブルであり、複数の光センサ5から出力された画像信号を信号処理部12に伝達する。表面形状演算部34は例えばShackHartmann方式などの既知の表面形状演算アルゴリズムを実装しており、複数の光センサ5の撮像素子より出力された画像信号から複数の注目領域2の表面形状を演算し、それらの表面形状を接続することで、被検体1の表面形状を演算する処理を実施する。なお、表面形状演算部34は表面形状演算手段を構成している。弾性体35は被検体1の表面形状が自重によって変形しないように支持している部材である。図25は光センサ5の詳細な構成を示す構成図である。図25において、光源41は略平行光をビームスプリッタ42に向けて発生する。ビームスプリッタ42は入射光束を反射光と透過光の2光束に分岐する光学部品であり、光源41から発生された略平行光の光束を屈曲させてビームエキスパンダ43に出力する一方、ビームエキスパンダ43から出力された光束を透過させてレンズレットアレイ44に出力する。ビームエキスパンダ43は例えば2枚の凸レンズからなるケプラー型望遠鏡などから構成されており、ビームスプリッタ42により屈曲された光束を入射すると、その光束のビーム径を拡大してから、その光束を空間に放出し、その後、被検体1の注目領域2に反射された光束を入射すると、その光束のビーム径を縮小してから、その光束をビームスプリッタ42に出力する。レンズレットアレイ44は例えば複数のレンズレット微小レンズが平面上に配列されている光学部品であり、ビームスプリッタ42を透過してきた光束を入射すると、多数の集光スポットをレンズレットの焦点面に結像する。撮像素子45は例えばCCDカメラ、あるいは、CMOSカメラから構成されており、同期信号出力部31から同期信号を受けると、レンズレットアレイ44における複数のレンズレットに結像されている多数の集光スポットを画像信号に変換して信号処理部12に出力する。次に動作について説明する。この実施の形態7では、光センサ5の計測方式として、ShackHartmann方式を用いる場合を一例として説明する。ここでは、ShackHartmann方式を用いる例を説明するが、同期信号に同期して、任意時刻の瞬間的な表面形状を計測できればよく、ShackHartmann方式に限定されるものではない。被検体1は、表面形状が自重によって変形しないように、弾性体35により支持されている。このため、外部からの振動等によって傾斜変動が生じやすく、この傾斜変動は測定精度を悪化させる要因となる。ここで、図26は被検体1の傾斜変動によって測定精度が悪化するメカニズム同期信号出力部31が実装されていない場合のメカニズムを示す説明図である。図26において、51は参照体7の表面、52は任意の時刻T1における被検体1の表面、53は時刻T1と異なる任意の時刻T2における被検体1の表面である。S1,S2,S3,,Snはn個の光センサ5を識別する識別符号、54は光センサS1~Snの撮像画像を示す画像信号に記録されている被検体1の傾斜情報、55は信号処理部12の表面形状演算部34により演算される被検体1の表面形状である。同期信号出力部31が実装されていない場合、光センサS1~Snの撮像素子45は、各々の内部クロックに同期して、注目領域2の反射光レンズレットアレイ44における複数のレンズレットに結像されている多数の集光スポットを画像信号に変換して信号処理部12に出力する。このとき、被検体1は、傾斜変動しているため、光センサS1~Snの撮像素子45から出力される画像信号には、それぞれ異なる被検体1の傾斜情報が記録されている。このため、信号処理部12の表面形状演算部34が、複数の光センサ5の撮像素子45から出力された画像信号に基づいて被検体1の表面形状を演算すると、その演算結果にも当該傾斜情報が重畳されることになる。その結果、図26に示すように、表面形状演算部34から出力される被検体1の表面形状55に、実際には存在しない凹凸が表れてしまう。図27は被検体1の傾斜変動によって測定精度が悪化せずに、高い測定精度が得られるメカニズム同期信号出力部31が実装されている場合のメカニズムを示す説明図である。同期信号出力部31が実装されている場合、光センサS1~Snの撮像素子45は、同期信号出力部31から出力される同期信号に同期して、同一時刻に注目領域2の反射光を画像信号に変換して信号処理部12に出力する。このため、光センサS1~Snの撮像素子45から出力される画像信号に記録されている被検体1の傾斜情報は、全て同一である。したがって、信号処理部12の表面形状演算部34が、複数の光センサ5の撮像素子45から出力された画像信号に基づいて被検体1の表面形状を演算すると、その表面形状が、全体の傾斜として演算されることになる。その結果、図27に示すように、表面形状演算部34から出力される被検体1の表面形状55には、実際に存在しない凹凸が表れず、全体の傾斜が表れる。以上で明らかなように、この実施の形態7によれば、複数の光センサ5の光検出部が、注目領域2に反射された光を画像信号に変換して出力する撮像素子45から構成されており、同期信号を複数の光センサ5に出力する同期信号出力部31と、複数の光センサ5の撮像素子45から出力された画像信号から被写体の表面形状を演算する表面形状演算部34とを備え、複数の光センサ5の撮像素子45が、同期信号出力部31から出力された同期信号に同期して、同一時刻に注目領域2の反射光を画像信号に変換するように構成したので、被検体1が光センサ5に対して傾斜変動している場合でも、傾斜変動の影響を受けずに、被検体1の表面形状を正確に測定することができる効果を奏する。実施の形態8.図28はこの発明の実施の形態8による面形状検査装置を示す構成図であり、図において、図24と同一符号は同一又は相当部分を示すので説明を省略する。傾斜成分抽出部36は複数の光センサ5の撮像素子45より出力された画像信号が示す波面から注目領域2の波面傾斜成分を抽出する処理を実施する。なお、傾斜成分抽出部36は傾斜成分抽出手段を構成している。補正処理部37は傾斜成分抽出部36により抽出された波面傾斜成分にしたがって画像信号が示す波面を補正する処理を実施する。なお、補正処理部37は補正手段を構成している。上記実施の形態7では、光センサ5のビームエキスパンダ43により光束径が縮小された光束を計測している。被検体1が傾斜変動しているとき、被検体1に反射された光束も傾斜してビームエキスパンダ43を透過する。したがって、ビームエキスパンダ43に画角依存性収差が存在する場合には、光センサ5により測定される被検体1の表面形状に画角依存収差が重畳される。図29は被検体1の傾斜変動とビームエキスパンダ43によって測定精度が悪化するメカニズムを示す説明図である。同期信号出力部31が実装されている場合、光センサS1~Snの撮像素子45から出力される画像信号に記録されている被検体1の傾斜情報は全て同一であるため、上記実施の形態7と同様に、被検体1の傾斜情報が測定精度に影響を与えることはない。しかし、ビームエキスパンダ43の画角依存収差として、典型的には3次関数で表される収差が重畳されていると、信号処理部12の表面形状演算部34により演算される被検体1の表面形状55には、図29に示すように、波打つような凹凸が重畳されて測定誤差となる。図30はこの発明の実施の形態8による面形状検査装置の処理内容を示すフローチャートである。まず、同期信号出力部31は、上記実施の形態7と同様に、同期信号を複数の光センサ5に出力するステップST1。光センサS1~Snの撮像素子45は、同期信号出力部31から同期信号を受けると、その同期信号に同期して、同一時刻に注目領域2の反射光を画像信号に変換して信号処理部12に出力するステップST2。以下、n個の光センサS1~Snのうち、任意の光センサSk1≦k≦nに着目して動作を説明する。信号処理部12の傾斜成分抽出部36は、光センサSkの撮像素子45から画像信号を受けると、その画像信号が示す注目領域2の波面Wkから、注目領域2の波面傾斜成分Tkを抽出するステップST3,ST4。波面Wkと波面傾斜成分Tkの分離は、例えば、波面WkをZernike多項式でフィッティングすることで実現される。Zernike多項式は光学技術に通じている当該業者においては一般的に用いられているものであるため説明を省略する。補正処理部37は、傾斜成分抽出部36が波面傾斜成分Tkを抽出すると、ビームエキスパンダ43の画角依存性収差を推定する関数Fに、その波面傾斜成分Tkを代入することで、推定波面FTkを演算し、下記の式15に示すように、波面Wkから推定波面FTkを減算することで、画像信号が示す注目領域2の波面Wkを補正するステップST5。Wk=Wk-FTk15なお、ビームエキスパンダ43の画角依存性収差を推定する関数Fは、事前に既知の画角の収差を計測することで定義することが可能である。あるいは、計算機シミュレーションなどを実施することで定義するようにしてもよい。n個の光センサS1~Snについて、波面Wkの補正が完了するまで、ステップST4,ST5の処理が繰り返し実施されるステップST6,ST7。表面形状演算部34は、補正処理部37により波面Wkが補正された画像信号から注目領域2の表面形状を演算し、複数の注目領域2の表面形状を接続することで、被検体1の表面形状を演算するステップST8。以上で明らかなように、この実施の形態8によれば、複数の光センサ5の撮像素子45から出力された画像信号が示す波面Wkから注目領域2の波面傾斜成分Tkを抽出する傾斜成分抽出部36と、傾斜成分抽出部36により抽出された波面傾斜成分Tkにしたがって上記画像信号が示す波面Wkを補正する補正処理部37とを設け、表面形状演算部34が、補正処理部37により波面Wkが補正された画像信号から被検体1の表面形状を演算するように構成したので、光センサ5が、ビームエキスパンダ43のような画角依存性収差を生じさせる光学部品を実装しており、かつ、被検体1が光センサ5に対して傾斜変動している場合でも、被検体1の傾斜変動の影響を受けずに、被検体1の表面形状を正確に測定することができる効果を奏する。実施の形態9.上記実施の形態8では、傾斜成分抽出部36により抽出された波面傾斜成分Tkにしたがって画像信号が示す波面Wkを補正するものを示したが、傾斜成分抽出部36により抽出された波面傾斜成分Tkが所定の閾値より大きい場合、再度、同期信号を複数の光センサ5に出力することで、注目領域2の画像信号を再取得するようにしてもよい。図31はこの発明の実施の形態9による面形状検査装置の処理内容を示すフローチャートである。まず、同期信号出力部31は、上記実施の形態8と同様に、同期信号を複数の光センサ5に出力するステップST1。光センサS1~Snの撮像素子45は、同期信号出力部31から同期信号を受けると、その同期信号に同期して、同一時刻に注目領域2の反射光を画像信号に変換して信号処理部12に出力するステップST2。以下、n個の光センサS1~Snのうち、任意の光センサSk1≦k≦nに着目して動作を説明する。信号処理部12の傾斜成分抽出部36は、光センサSkの撮像素子45から画像信号を受けると、上記実施の形態8と同様に、その画像信号が示す注目領域2の波面Wkから、注目領域2の波面傾斜成分Tkを抽出するステップST3,ST4。同期信号出力部31は、傾斜成分抽出部36が波面傾斜成分Tkを抽出すると、その波面傾斜成分Tkの絶対値|Tk|と所定の閾値Txを比較するステップST11。閾値Txは、ビームエキスパンダ43の画角依存性収差を無視できる限界範囲として定義されるものであり、計算機シミュレーションや、事前の校正により定義することが可能である。同期信号出力部31は、波面傾斜成分Tkの絶対値|Tk|が閾値Tx以上である場合、ビームエキスパンダ43の画角依存性収差を無視することができないため、ステップST1の処理に戻り、再度、同期信号を複数の光センサ5に出力することで、複数の光センサ5の撮像素子45が画像信号を再取得するようにする。一方、波面傾斜成分Tkの絶対値|Tk|が閾値Txより小さい場合、ビームエキスパンダ43の画角依存性収差を無視することができるため、ステップST6の処理に移行する。n個の光センサS1~Snから出力される画像信号に係る波面傾斜成分Tkの絶対値|Tk|の全てが閾値Txより小さくなるまで、ステップST1~ST4,ST11の処理が繰り返し実施されるステップST6,ST7。即ち、波面傾斜成分Tkの絶対値|Tk|の全てが閾値Txより小さくなり、ビームエキスパンダ43の画角依存性収差が無視できる場合に限り、表面形状演算部34の処理に移行する。表面形状演算部34は、波面傾斜成分Tkの絶対値|Tk|が閾値Txより小さい画像信号から注目領域2の表面形状を演算し、複数の注目領域2の表面形状を接続することで、被検体1の表面形状を演算するステップST8。以上で明らかなように、この実施の形態9によれば、傾斜成分抽出部36により抽出された波面傾斜成分Tkの絶対値|Tk|が閾値Txより大きい場合、同期信号出力部31が、再度、同期信号を複数の光センサ5に出力することで、注目領域2の画像信号を再取得するように構成したので、光センサ5が、ビームエキスパンダ43のような画角依存性収差を生じさせる光学部品を実装しており、かつ、被検体1が光センサ5に対して傾斜変動している場合でも、被検体1の傾斜変動の影響を受けずに、被検体1の表面形状を正確に測定することができる効果を奏する。"