"波長550nmの光反射率が50以上であり、無機微粒子を3~50質量含有する太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムであって、フィルムの酸価が1~30eq/ton、フィルムの極限粘度が0.60~0.80dL/gであることを特徴とする太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。光反射率の面内変動が光反射率の平均値に対して5以内であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。前記無機微粒子がルチル型酸化チタンであることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。厚みが30~300μmであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。部分放電電圧が550V以上であることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。フィルム厚み方向に存在する空洞の積層数が5個以上であり、かつ下記式で定義される空洞積層数密度が0.1~7個/μmの範囲であることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。空洞積層数密度個/μm=フィルム厚み方向の空洞の積層数個/フィルム厚みμmフィルムの少なくとも片面に塗布層を有し、前記塗布層が脂肪族系ポリカーボネートポリオールを構成成分とするウレタン樹脂を主成分とすることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。太陽電池モジュールの充填剤に接する側の面および/または太陽電池モジュールの最外面に用いることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。ポリエステル樹脂と無機微粒子からなるマスターバッチを作成し、このマスターバッチに対して固相重合を施した後、マスターバッチと無機微粒子を含有しないポリエステル樹脂を押出機に投入して溶融押出しすることによって得られることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。請求項1~8のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムと、ポリエステルフィルムに隣接する充填材層と、充填材層に埋設された太陽電池素子を含むことを特徴とする太陽電池モジュール。本発明は、上記従来技術の問題に鑑み創案されたものであり、高い反射性と耐久性を両立し、優れた電気絶縁性を奏する太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを提供することを目的とする。さらに、本発明は、モジュール内の均一な発電特性に寄与する太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを提供することを目的とする。本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討した結果、フィルムの酸価と極限粘度を特定範囲に制御することにより、フィルムの白色度と耐加水分解性を両立できることを見い出し、本発明の完成に至った。即ち、本発明は、以下の1~10の構成を採用するものである。1波長550nmの光反射率が50以上であり、無機微粒子を3~50質量含有する太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムであって、フィルムの酸価が1~30eq/ton、フィルムの極限粘度が0.60~0.80dL/gであることを特徴とする太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。2光反射率の面内変動が光反射率の平均値に対して5以内であることを特徴とする1に記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。3前記無機微粒子がルチル型酸化チタンであることを特徴とする1または2に記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。4厚みが30~300μmであることを特徴とする1~3のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。5部分放電電圧が550V以上であることを特徴とする1~4のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。6フィルム厚み方向に存在する空洞の積層数が5個以上であり、かつ下記式で定義される空洞積層数密度が0.1~7個/μmの範囲であることを特徴とする1~5のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。空洞積層数密度個/μm=フィルム厚み方向の空洞の積層数個/フィルム厚みμm7フィルムの少なくとも片面に塗布層を有し、前記塗布層が脂肪族系ポリカーボネートポリオールを構成成分とするウレタン樹脂を主成分とすることを特徴とする1~6のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。8太陽電池モジュールの充填剤に接する側の面および/または太陽電池モジュールの最外面に用いることを特徴とする1~7のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。9ポリエステル樹脂と無機微粒子からなるマスターバッチを作成し、このマスターバッチに対して固相重合を施した後、マスターバッチと無機微粒子を含有しないポリエステル樹脂を押出機に投入して溶融押出しすることによって得られることを特徴とする1~8のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム。101~8のいずれかに記載の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムと、ポリエステルフィルムに隣接する充填材層と、充填材層に埋設された太陽電池素子を含むことを特徴とする太陽電池モジュール。本発明の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムは、高い光反射性と耐久性を両立する。また、薄くても良好な電気絶縁性を奏するとともに、モジュール内の均一な光反射特性を有する。従って、本発明の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを使用することにより、耐久性に優れた、安価で軽量な太陽電池モジュールを提供することができる。本発明のフィルムに使用するポリエステルは、テレフタル酸、イソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸のごとき芳香族ジカルボン酸又はそのエステルと、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1、4-ブタンジオール、ネオペンチルグリコールのごときグリコールとを重縮合させて製造されるポリエステルである。これらのポリエステルは、芳香族ジカルボン酸とグリコールとを直接反応させる方法のほか、芳香族ジカルボン酸のアルキルエステルとグリコールとをエステル交換反応させた後重縮合させるか、あるいは芳香族ジカルボン酸のジグリコールエステルを重縮合させるなどの方法によって製造することができる。かかるポリエステルの代表例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンブチレンテレフタレートあるいはポリエチレン-2、6-ナフタレートなどが挙げられる。このポリエステルは、ホモポリマーであってもよく、第三成分を共重合したものであってもよい。本発明においては、エチレンテレフタレート単位、ブチレンテレフタレート単位あるいはエチレン-2、6-ナフタレート単位が70モル以上、好ましくは80モル以上、更に好ましくは90モル以上であるポリエステルが好ましい。ポリエステルの重縮合触媒は、アンチモン化合物、チタン化合物、ゲルマニウム化合物、スズ化合物、アルミニウム及び/又はその化合物と、芳香族基を分子内に有するリン化合物を含有する触媒、リン化合物のアルミニウム塩を含有する触媒等を用いることができる。これらの触媒は、ポリエステルの特性、加工性、色調品に問題が生じない範囲内において、適量共存させても良い。また、ポリエステルを重合した後に、得られたポリエステルから触媒を除去するか、またはリン系化合物などの添加によって触媒を失活させることによって、ポリエステルの熱安定性をさらに高めることができる。ポリエステルの重合中にジアルキレングリコールが副生するが、太陽電池部材として長期間高温に曝されると、ジアルキレングリコールの影響により、耐熱性を低下する場合がある。代表的なジアルキレングリコールとしてジエチレングリコールを例にして説明すると、ジエチレングリコール量は2.3モル以下であることが好ましい。より好ましくは2.0モル以下、さらに好ましくは1.8モル以下である。ジエチレングリコール量を上記範囲にすることにより、耐熱安定性を高めることができ、乾燥時、成形時の分解によるカルボキシル末端濃度の増加酸価の上昇をより小さくすることができる。なお、ジエチレングリコール量は少ない方が良いが、ポリエステル製造の際のテレフタル酸のエステル化反応時、テレフタル酸ジメチルのエステル交換反応時に副反応物として生成するものであり、現実的には下限は1.0モル、さらには1.2モルである。ポリエステル中には、使用する目的に応じて、蛍光増白剤、紫外線防止剤、赤外線吸収色素、熱安定剤、界面活性剤、酸化防止剤などの各種添加剤を1種もしくは2種以上含有させることができる。酸化防止剤としては、芳香族アミン系、フェノール系などの酸化防止剤が使用可能であり、安定剤としては、リン酸やリン酸エステル系等のリン系、イオウ系、アミン系などの安定剤が使用可能である。太陽電池部材として屋外で長時間曝されると、劣化分解によりポリエステルの分子量が低下し、フィルム強度が低下する場合がある。そこで、本発明のポリエステルフィルムは、太陽電池部材としての耐久性を付与するため、フィルムの極限粘度が0.60~0.80dL/gであることが必要である。フィルムの極限粘度が上記下限より小さい場合は、太陽電池部材としての長期の耐加水分解性を奏することが困難になり、上記上限より大きい場合は、フィルム製膜時の破れが生じやすい。また、溶融押出機内での発熱による温度上昇が発生し、無機微粒子をポリエステル中に均一に混合しにくくなる。上記極限粘度の下限は、好ましくは0.63dL/gであり、より好ましくは0.64dL/gであり、特に好ましくは0.65dL/gである。また、上記極限粘度の上限は、好ましくは0.79dL/gであり、より好ましくは0.78dL/gである。ポリエステルのカルボキシル末端は自己触媒作用により加水分解を促進する作用がある。そのため、本発明のフィルムの酸価は、1~30eq/tonの範囲であることが、太陽電池用部材としての高度な耐加水分解性を得るのに必要である。上記酸価は、3~30eq/tonであることが好ましく、5~30eq/tonの範囲とすることがさらに好ましい。酸価が上記範囲より大きい場合は、耐加水分解性が低下し、太陽電池用部材としての耐久性が発揮できず、早期の劣化が生じやすくなる。なお、フィルムまたはポリエステルの酸価の測定は、後述する滴定法、もしくはNMR法により測定することができる。ポリエステルフィルムの酸価を上記範囲にするには、原料樹脂として用いるポリエステルチップの酸価を25eq/ton未満にすることが好ましい。用いるポリエステルチップの酸価は、20eq/ton未満であることがより好ましく、13eq/ton未満であることがさらに好ましく、10eq/ton未満であることがよりさらに好ましく、8eq/ton未満であることが特に好ましく、5eq/ton未満であることがより特に好ましい。ポリエステルチップの酸価を上記範囲にすることは、樹脂の重合条件を適宜選択することにより行うことができる。例えば、エステル化反応装置の構造等の製造装置要因や、エステル化反応槽に供給するスラリーのジカルボン酸とグリコールの組成比、エステル化反応温度、エステル化反応圧、エステル化反応時間等のエステル化反応条件もしくは固層重合条件等を適宜設定することにより行えばよい。さらに、後述のように、ポリエステルチップの水分量を制御したり、溶融工程での樹脂温度を制御することが好ましい。また、エポキシ化合物やカルボジイミド化合物などによりポリエステルのカルボキシル末端を封鎖することも好ましい。なお、ポリエステルフィルムの酸価は小さい方が好ましいが、生産性の点から0.5eq/tonが下限であると考えている。光を有効に利用し、太陽電池素子の光電変換効率を高めるために、本発明のポリエステルフィルムは高い光反射率を奏する。本発明のポリエステルフィルムは、波長550nmにおける光反射率が50以上であり、好ましくは60以上であり、より好ましくは70以上である。本発明のポリエステルフィルムは、光をよく散乱するため、太陽電池素子へ戻る光量が増え、特に薄膜太陽電池において好適である。上記光反射率は、フィルムのいずれかの面での測定値がそれを満足すればよいが、フィルム両面において上記範囲を満足する場合は加工の自由度が増す点で好ましい。また、本発明のポリエステルフィルムは、白色度が50以上であることが好ましく、60以上がより好ましく、80以上がさらに好ましい。本発明のポリエステルフィルムは、光反射率を上記範囲に制御するため、無機微粒子をフィルム全質量に対して、3~50質量、好ましくは3.5~25質量含有する。無機微粒子の含有量が3質量未満では、波長550nmにおける光反射率を50以上とすることが困難となる。50質量を超えると、フィルム重量が大きくなり、加工などでの取り扱いが困難になる。無機微粒子の平均粒径は、0.1~3μmが好ましく、0.5~2.5μmがより好ましい。無機微粒子の平均粒径が0.1μm未満の場合、光散乱効果により光反射特性を好適に高めることができず、また、無機微粒子の平均粒径が3μmを超える場合、フィルムの破断が生じたり、好適に製膜を行なうことができない場合がある。なお、本発明おいて無機微粒子の平均粒径は電子顕微鏡法により求める。具体的には、以下の方法による。微粒子を走査型電子顕微鏡で観察し、粒子の大きさに応じて適宜倍率を変え、写真撮影したものを拡大コピーする。次いで、ランダムに選んだ少なくとも100個以上の微粒子について、各粒子の外周をトレースする。画像解析装置にてこれらのトレース像から粒子の円相当径を測定し、それらの平均値を平均粒径とする。本発明のポリエステルフィルムに含有させる無機微粒子としては、特に限定されないが、例えば、シリカ、カオリナイト、タルク、炭酸カルシウム、ゼオライト、アルミナ、硫酸バリウム、カーボンブラック、酸化亜鉛、酸化チタン、硫化亜鉛等が挙げられる。光反射性と生産性の点からは、白色顔料すなわち酸化チタン又は硫酸バリウムが好ましく、酸化チタンがより好ましい。太陽電池は、屋外において長時間太陽光の照射を受けるため、光劣化に対する耐久性が要求される。この点で、本発明のフィルムに用いる無機微粒子は、ルチル型を主成分とする二酸化チタン粒子を添加することが好ましい。酸化チタンでは、主にルチル型とアナターゼ型の2つの結晶形態が知られているが、アナターゼ型は紫外線の分光反射率が非常に大きいのに対し、ルチル型は紫外線の吸収率が大きい分光反射率が小さいという特性を有している。二酸化チタンの結晶形態におけるこうした分光特性の違いに着目し、ルチル型の紫外線吸収性能を利用することで、好適に耐光性を向上させることができる。これにより、他の紫外線吸収剤を実質的に添加しなくても光照射下でのフィルム耐久性に優れる。そのため、紫外線吸収剤のブリードアウトによる汚染や密着性の低下のような問題が生じにくい。なお、ここでいう主成分とは、全二酸化チタン粒子中のルチル型二酸化チタン量が50質量を超えていることを意味する。また、全二酸化チタン粒子中のアナターゼ型二酸化チタン量が10質量以下であることが好ましい。より好ましくは5質量以下、特に好ましくは0質量である。アナターゼ型二酸化チタンの含有量が上記上限値を超えると、全二酸化チタン粒子中に占めるルチル型二酸化チタン量が少なくなるために紫外線吸収性能が不十分となる場合がある他、アナターゼ型二酸化チタンは光触媒作用が強いため、この作用によっても耐光性が低下する傾向にある。ルチル型二酸化チタンとアナターゼ型二酸化チタンとは、X線構造回折や分光吸収特性により区別することができる。なお、ルチル型二酸化チタン粒子表面にアルミナやシリカ等の無機処理を施してもよいし、シリコン系あるいはアルコール系等の有機処理を施してもよい。上記構成において本発明のフィルムは光照射下でも優れた耐久性を奏することができる。具体的には、本発明のフィルムは、63°C、50RH、照射強度100mW/cm2で100時間UV照射した場合、破断伸び保持率が35以上、さらには40以上であることができる。このように光照射によっても本発明のフィルムは、光分解や劣化が抑制されるため、屋外で用いられる太陽電池の裏面封止シートとして好適である。フィルム中への無機微粒子の添加は、公知の方法を用いて行なうことが可能であるが、事前にポリエステル樹脂と微粒子を押出機で混合しておくマスターバッチ法MB法で行なうことが好ましい。この方法によれば、無機微粒子をポリエステル中に好適に分散することができ、フィルム面内での光反射性のムラを抑制しうる。マスターバッチの作成に際しては、ポリエステルの加水分解による酸価の上昇を引き起こす場合がある。そのため、マスターバッチの作製に際しては、水分管理を行なうことが好ましい。ポリエステル樹脂と無機微粒子を押出機に投入し、水分や空気などを脱気しながらマスターバッチを作製することができる。さらに、好ましくは、事前に少しでも乾燥したポリエステル樹脂を用いてマスターバッチを作製する方が、ポリエステルの酸価上昇を抑えられる。この場合、脱気しながら押出する方法や、十分乾燥したポリエステル樹脂により脱気をせずに押出する方法などが考えられる。マスターバッチを作製する場合、投入するポリエステル樹脂はあらかじめ乾燥により水分率を低減させることが好ましい。乾燥条件としては、好ましくは100~200°C、より好ましくは120~180°Cにおいて、1時間以上、より好ましくは3時間以上、さらに好ましくは6時間以上乾燥する。このとき、ポリエステル樹脂の水分量を好ましくは50ppm以下、より好ましくは30ppm以下になるように十分乾燥する。予備混合の方法は、特に限定されず、バッチによる方法でもよいし、単軸もしくは二軸以上の混練押出機でもよい。脱気しながらマスターバッチを作製する場合は、250°C~300°C、好ましくは270°C~280°Cの温度でポリエステル樹脂を融解し、予備混練機に一つ、好ましくは2つ以上の脱気口を設け、0.05MPa以上、より好ましくは0.1MPa以上の連続吸引脱気を行い、混合機内の減圧を維持することが好ましい。本発明のフィルムでは、光反射率のフィルム面内変動を抑制する点から、マスターバッチ法を採用して製造することが好ましい。しかしながら、マスターバッチの調製過程での熱およびせん断の履歴により、元のポリエステル樹脂よりも分子量極限粘度が低下する場合がある。そのため、分子量の高いポリエステル樹脂と混合しても、フィルムとして所定の極限粘度を得られず、太陽電池として長期の耐久性が低下する場合がある。特に、良好な光反射性を奏するため、フィルム中の無機微粒子濃度を高くする場合は、マスターバッチの混合比率も高くなりやすい。そこで、フィルムとして所定の極限粘度を好適に得るためには、マスターバッチに対してさらに固相重合を施すことが好ましい。従来、多量に粒子を含むマスターバッチに固相重合処理を施すことは、ポリエステルの結晶化度を促進し、粒子の分散性を低下させるため避けるべきこととされていたが、かかる処理により高濃度の粒子を含みながら好適に酸価を低減し、極限粘度を高く保持することができる。これにより、優れた光反射性と耐久性との両立を好適に行なうことができる。マスターバッチの固相重合反応は、回分式装置や連続式装置で行うことができる。ポリエステルの固相重合は、従来公知の方法によって行なうことができる。例えば、不活性ガス下または減圧下あるいは水蒸気または水蒸気含有不活性ガス雰囲気下において、100~210°Cの温度で1~5時間加熱して予備結晶化し、次いで不活性ガス雰囲気下または減圧下に190~230°Cの温度で1~30時間の固相重合を行う。固相重合反応の時間は、サンプリングによりポリエステルの極限粘度を測定し、所定の極限粘度に達するまで行なうことが好ましい。マスターバッチの酸価は、固相重合に供されるポリエステルプレポリマーの酸価、プレポリマーの調湿条件、結晶化条件および固相重合条件などにより制御される。例えば、プレポリマーの酸価を低くしたり、プレポリマーの調湿時に含浸させる水分量を少なくすることで結晶化工程や固相重合工程での加水分解を抑えたり、固相重合時に使用する不活性気流中のエチレングリコール濃度を高めたりすることにより、ポリエステルの酸価を低くすることができる。こうして得られる固相重合後のマスターバッチの極限粘度は、0.68~0.90dL/gが好ましく、0.70~0.85dL/gがより好ましい。また、酸価は、1~25eq/tonが好ましい。本発明のフィルムは、無機微粒子を含有するポリエステル樹脂からなるマスターバッチと無機微粒子を含有しないポリエステル樹脂を混合して押出機に投入し、溶融押出したシートを少なくとも1方向に延伸することによって製造することができるが、無機微粒子を含有するポリエステル樹脂からなるマスターバッチを固相重合した後、無機微粒子を含有しないポリエステル樹脂を混合することが好ましい。なお、固相重合後のポリエステル樹脂は、結晶化度が高度に進行しているため、ポリエステルの示差走査熱量測定した場合に、結晶化ピークポリエチレンテレフタレートの場合、120°C付近の発熱ピークが認められない。これにより、固相重合処理の有無を判定することができる。本発明のフィルムが太陽電池用途として高い耐久性を保持するためには、マスターバッチに混合されるポリエステル樹脂も、上記のような固相重合を施すことが好ましい。これにより、所定の極限粘度、酸価のフィルムを好適に得ることができる。ここで、フィルム面内の光反射特性を均一にするためには、マスターバッチのチップとそれに混合されるポリエステルチップとが均一に混合されることが好ましい。この場合、いずれも高度に結晶化しているためマスターバッチのチップとそれに混合されるポリエステルチップの極限粘度に差異がある場合、溶融、流動挙動に差異が生じ、ポリエステル樹脂中の微粒子の分散性が低下することがある。マスターバッチの極限粘度とそれに混合されるポリエステル樹脂の極限粘度の差異は、0.15dL/g以下が好ましく、0.10dL/g以下がより好ましく、0.08dL/g以下がさらに好ましい。太陽電池モジュールのホットスポットを抑制するには、裏面保護膜の光反射特性を面内において均一にすることが好ましい。近年の大型化に対応するためには、少なくとも汎用サイズである1m×1.8mの保護膜面内での光反射性の均一性が求められ、より好ましくはフィルムロール内での光反射性の均一性が求められる。本発明では、後述のサンプリングにより採取されるフィルム試料群の光反射率の面内変動最大値-最小値が、光反射率の平均値に対して5以内であることが好ましく、4.5以内であることがさらに好ましく、4以内であることがさらに好ましい。これにより、太陽電池モジュールのホットスポット発生を好適に抑制することができる。本発明のフィルムをロールとする場合には、その巻き長は1500m以上が好ましく、より好ましくは1800m以上である。また、巻き長の上限としては、5000mが好ましい。また、フィルムロールの幅は500mm以上であることが好ましく、より好ましくは800mmである。なお、フィルムロールの幅の上限としては、2000mmが好ましい。本発明のポリエステルフィルムは、薄くても高い電気絶縁性を奏することができる。さらに、耐久性と反射性に優れるため、従来の耐久層耐加水分解層、白色層、絶縁層を一体化することが可能となる。そのため、本発明のポリエステルフィルムを太陽電池裏面封止シートに用いることで、太陽電池モジュールの軽量化と薄膜化に対応することができる。本発明のポリエステルフィルムは、部分放電電圧が好ましくは550V以上、より好ましくは560V以上、さらに好ましくは570V以上である。前記部分放電電圧が上記範囲であれば、高い電気絶縁性を奏するため、太陽電池裏面封止シートの薄膜化や、太陽電池モジュールの大型化に好適である。本発明のポリエステルフィルムの厚みは、30~300μm、好ましくは35~250μm、より好ましくは40~230μm、さらに好ましくは40~200μmである。フィルム厚みが上記下限未満の場合、絶縁効果が好適に奏しにくく、上記上限を超える場合、太陽電池裏面封止シートとして軽量化や薄膜化に好適でなくなる。部分放電電圧を上記範囲に制御するためには、フィルム中に多数の空洞を形成させることが好ましい。一般に、絶縁層中に存在する空洞は部分放電の要因となる。しかし、フィルム中に微細な空洞を多数生じせしめることにより、フィルムに付加された電圧が微小空洞に分散し、全体として部分放電電圧が高まると考えられる。そのため、フィルム厚みの薄さを保持したまま、部分放電電圧を高くするためには、本発明では厚み方向において微細な空洞を多数存在させることが好ましい。部分放電電圧を上記範囲に好適に制御するために、本発明のポリエステルフィルムの厚み方向に存在する空洞の積層数が5個以上であり、かつ下記式で定義される空洞積層数密度が0.1~7個/μmの範囲を満足することが好ましい。空洞積層数密度個/μm=フィルム厚み方向の空洞の積層数個/フィルム厚みμmフィルムの厚み方向に存在する空洞の積層数は、7個以上がより好ましく、10個以上がさらに好ましい。フィルムの厚み方向に存在する微小な空洞数を多くすることで、電圧分散効果により部分放電電圧が好適に高くなる。空洞含有フィルムの内部の空洞積層数密度は、部分放電電圧の点からは、大きいことが好ましいが、一般にフィルム強度が低下しやすくなる。実用上必要なフィルム強度を維持しながら、絶縁破壊電圧を高くするためには、前記の空洞積層数密度の上限を5個/μmとすることが好ましく、さらに好ましくは1個/μmとする。フィルム中に微細な空洞を発現させる方法としては、1ポリエステルと、該ポリエステルに非相溶な熱可塑性樹脂の分散体とからなる、海島構造を有する樹脂組成物を、シート状に押し出し、次いで延伸させることにより、前記分散体の周囲に空洞空気を形成させる方法、または2ポリエステル中に粒子を含有させた樹脂組成物を、シート状に押し出し、次いで延伸させることにより、前記粒子の周囲に空洞空気を形成させる方法などが挙げられる。なかでも、前者の方法の方が好適である。また、島成分となる、ポリエステルに非相溶な熱可塑性樹脂としては、特に限定されるものでなく、ホモポリマーであっても共重合成分を有するポリマーであってもよいが、ポリオレフィン、ポリスチレンを主成分とする材料が好ましい。また、ポリスチレンは必ずしもホモポリマーに限定されるものではなく、種々の成分を共重合した共重合ポリマーであってもよい。ポリエステルに非相溶な熱可塑性樹脂の配合量は、フィルムの製造に用いる全原料に対し、1~30質量とすることが好ましく、更には5~18質量が好ましい。1質量未満では、空洞の生成量を多くすることに限界がある。逆に、30質量を超えると、フィルムの延伸性が著しく損なわれ、また耐熱性や強度、腰の強さが損なわれる可能性がある。ポリオレフィンとしては、ポリエチレンやポリプロピレン、ポリメチルペンテン、各種の環状オレフィン系ポリマーや、これらの共重合物が挙げられる。これらのポリオレフィンの中でも、高温下でも軟化しにくく、優れた空洞発現性を有する点から、ポリメチルペンテンが好ましい。ポリオレフィンの主成分としてポリメチルペンテンを用いる場合には、必ずしも単独で用いる必要はなく、他のポリオレフィンを副成分として添加してもよい。副成分として用いる樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレンやこれらに種々の成分を共重合させたものが挙げられる。副成分として添加するポリオレフィンの量は主成分として添加する樹脂の添加量を超えないことが好ましい。ポリスチレンとしては、ポリスチレン構造を基本構成要素として含む熱可塑性樹脂が挙げられ、アタクティックポリスチレン、シンジオタクティックポリスチレン、アイソタクティックポリスチレン等のホモポリマーのほか、その他の成分をグラフトあるいはブロック共重合した改質樹脂、例えば耐衝撃性ポリスチレン樹脂や変性ポリフェニレンエーテル樹脂等、さらにはこれらのポリスチレン系樹脂と相溶性を有する熱可塑性樹脂、例えばポリフェニレンエーテルとの混合物が例示される。本発明のポリエステルフィルムは、単層または2層以上の多層からなる積層構成であることができる。本発明のフィルムは、太陽電池部材として、他の構成層と積層されて用いられることが多いが、フィルム中の空洞が表面付近に存在する場合は、フィルム表面強度が低下し、界面剥離が生じやすくなる。従って、本発明のフィルムは、無機微粒子が多数存在するポリエステル層からなるスキン層と、ポリエステルに非相溶の熱可塑性樹脂に由来する空洞を多数含有するポリエステル層からなるコア層とからなる積層構成とすることもできる。フィルムをコア層とそれを挟む二つのスキン層からなる3層構成とする場合、スキン層とコア層の厚み比率は、フィルム全層厚みに対してスキン層厚み両面スキン層合計の厚さは、5~20であることが好ましく、8~18であることがさらに好ましく、10~15がよりさらに好ましい。スキン層厚みの比率が上記下限未満の場合、フィルム表面強度が低下し、太陽電池封止シートとして他層と積層した際に層間剥離が生じやすい。また、スキン層厚みの比率が上記上限より大きいと、コア層による空洞積層数が確保しにくくなり、好適に電気絶縁性を奏しにくい。本発明のフィルムは、見かけ比重が好ましくは0.8以上1.3以下、より好ましくは0.9以上1.3以下、さらに好ましくは1.0以上1.2以下である。見かけ比重が0.8未満では、フィルムに腰がなく太陽電池モジュール作製時の加工が困難になる。特に、裏面封止シートの大型化に伴い、広幅での耐座屈性を奏しやすくなる。また、1.3を超える場合、フィルム重量が大きいために太陽電池の軽量化を検討する場合の障害となる可能性がある。積層構成のフィルムの製造方法は、特に限定されるものではないが、例えば、微粒子を含有するスキン層のポリエステル樹脂と、非相溶の熱可塑性樹脂を含有するコア層のポリエステル樹脂を別々の押出機に供給した後、溶融状態で積層して同一のダイから押し出す共押出法を採用することが好ましい。上記のような方法でポリエステルチップを押出機で溶融し、ダイから樹脂をシート状に冷却ロールで引き取ることにより未延伸フィルムを形成する。この際、フィルム製造中の酸価の上昇を抑制するために、十分乾燥したポリエステルチップを用いることが好ましい。用いるポリエステルチップの水分量は100ppm以下であることが好ましく、50ppm以下であることがより好ましく、30ppm以下であることがさらに好ましい。ポリエステルチップを乾燥する方法は、減圧乾燥など公知の方法を用いることができる。押出機内におけるポリエステル樹脂の最高温度は、280°C以上310°C以下であることが好ましく、更には290°C以上300°C以下であることが好ましい。溶融温度を上げることにより、押出機内での濾過時の背圧が低下し、良好な生産性を奏することができるが、樹脂温度を310°Cよりも高くした場合には樹脂の熱劣化が進行し、ポリエステルの酸価が上昇し、耐加水分解性が低下する場合がある。次に、得られた未延伸フィルムを加熱ロールや非接触ヒーターで加熱した後、速度差を持ったロール間で延伸ロール延伸を行い、次いでクリップにて一軸延伸フィルムの両端部を把持し、オーブン内で加熱した後に幅方向に延伸を行い、更に高い熱をかけて熱固定を行うテンター延伸。また、縦、横方向に同時に延伸を行える機構を有するテンターで延伸を行う同時二軸延伸テンター同時二軸延伸や、空気圧によって拡げることによる延伸インフレーション延伸などによって2軸配向処理を行ってもよい。このような配向処理により、ポリエステル/非相溶性熱可塑性樹脂間およびポリエステル/微粒子間で界面剥離を生じ、微細空洞が多数発現する。従って、未延伸シートを延伸配向処理する条件は、空洞の生成と密接に関係する。太陽電池部材としてより高度な熱寸法安定性が要求される場合は、縦緩和処理を施すことが望ましい。縦緩和処理の方法としては、例えばテンターのクリップ間隔を徐々に狭くして縦緩和処理を行う方法や、テンターの内で端部に剃刀を入れ切断しクリップの影響を避けて緩和処理を行う方法などが利用できる。また、オフラインで熱をかけ緩和させる方法を用いてもよい。縦、横方向の熱収縮率については、0~4.0の範囲、更には0.2~3.0の範囲が好ましい。熱収縮率がマイナスとなると加工時にフイルムがたわみ問題となる。また、4.0より大きい場合は、加工時の収縮が大きく、洗濯板状のシワが発生するため好ましくない。また、接着性、絶縁性、耐擦り傷性などの各種機能を付与するために、フィルム表面にコーティング法により高分子樹脂を被覆してもよい。また、被覆層にのみ無機及び/又は有機粒子を含有させて、易滑ポリエステルフィルムとしてもよい。さらに、無機蒸着層もしくはアルミ層を設けて水蒸気バリア機能を付与したりすることもできる。但し、本発明のフィルムは、他層と積層して裏面封止シートとして用いる場合、フィルム表面は平滑であることが好ましい。この場合、本発明のフィルムの三次元表面粗さSRaは0.1μm以下であることが好ましい。本発明のポリエステルフィルムに易接着性を奏する塗布層を設ける場合、水溶性又は水分散性の共重合ポリエステル樹脂、アクリル樹脂及びポリウレタン樹脂の内、少なくとも1種を含む水性塗布液を使用することが好ましい。これらの塗布液としては、例えば、特許第3567927号公報、特許第3589232号公報、特許第3589233号公報等に開示された水溶性又は水分散性共重合ポリエステル樹脂溶液、アクリル樹脂溶液、ポリウレタン樹脂溶液等が挙げられる。このような塗布層は、フィルム製膜後オフラインコート法に設けてもよいし、フィルム製膜中インラインコート法に設けてもよいが、生産性の点からはフィルム製膜中に設けることが好ましい。特に、本発明のフィルムをEVAなどの充填材と接する面に用いる場合は、EVAに対する接着性を奏することが好ましい。この場合は、ウレタン樹脂を主成分として用いることができる。中でも、塗布層に脂肪族系ポリカーボネートポリオールを構成成分とするウレタン樹脂を含有させることで、太陽電池部材として耐湿熱下での接着性を向上させることができる。ウレタン樹脂の構成成分であるジオール成分には、耐熱、耐加水分解性に優れる脂肪族系ポリカーボネートポリオールを含有させることが好ましい。また、太陽光による黄変防止の点からも脂肪族系ポリカーボネートポリオールを用いることが好ましい。脂肪族系ポリカーボネートポリオールとしては、脂肪族系ポリカーボネートジオール、脂肪族系ポリカーボネートトリオールなどが挙げられる。脂肪族系ポリカーボネートジオールの数平均分子量としては、好ましくは1500~4000であり、より好ましくは2000~3000である。脂肪族系ポリカーボネートジオールの数平均分子量が小さいと強硬なウレタン成分が増加し、基材の熱収縮による応力を緩和できなくなり、接着性が低下する場合がある。水溶性を付与するために、カルボン酸塩基を有するポリオール化合物を共重合成分として用いる場合は、ウレタン樹脂中のカルボン酸塩基を有するポリオール化合物の組成モル比は、ウレタン樹脂の全ポリイソシアネート成分を100モルとしたときに、3~60モルであることが好ましく、5~40モルであることが好ましい。前記組成モル比が3モル未満の場合は、水分散性が困難になる場合がある。また、前記組成モル比が60モルを超える場合は、耐水性が低下して耐湿熱性が低下する場合がある。ウレタン樹脂のガラス転移点温度は0°C未満が好ましく、より好ましくは-5°C未満である。ガラス転移点温度が0°C未満の場合は、加圧接着の際に部分的に溶融したEVAやPVBなどのオレフィン樹脂と粘度が近くなり、部分的混合による強固な接着性の向上に寄与し、塗布層の応力緩和の点から好適な柔軟性を奏しやすい。本発明のポリエステルフィルムは、105°C、100RH、0.03MPa下192時間での伸度保持率が好ましくは65以上、より好ましくは70以上である。伸度保持率がかかる範囲にあることにより、本発明のポリエステルフィルムは、屋外での長期使用に耐えうる高い耐加水分解性を奏することができる。本発明のポリエステルフィルムは、150°Cにおける熱収縮率が長手方向縦方向および幅方向横方向ともに-0.5~3.0であることが好ましく、-0.5~2.0であることがより好ましい。また、例えば、高温での使用や高温加工での精密性など太陽電池としてより厳しい熱収縮率が求められる場合、150°Cにおける熱収縮率は長手方向縦方向および幅方向横方向ともに-0.5~0.5であることが好ましい。これにより、粘着層形成などの加熱加工時や、積層状態でのカールの発生などを抑制することができる。150°Cの熱収縮率を上記範囲にする方法としては、延伸条件を制御する、もしくは熱固定工程において縦緩和処理および横緩和処理を施すことにより行なうことができる。フィルムの破断伸度を保持するためには、フィルムの縦横の配向バランスをとることが好ましい。本発明のポリエステルフィルムのフィルム厚みを50μmに換算したときのMOR値MOR-Cは、1.0~2.0であることが好ましく、1.3~1.8であることがさらに好ましい。これにより、縦横のフィルムのバランスが調整され、機械的強度や耐久性の維持に有効である。また、積層時のカールの発生も抑制することができ、密着性の向上にも有効である。MOR-Cを上記範囲にする方法としては、延伸工程における縦横の延伸倍率の比を制御することにより行うことができる。本発明の太陽電池モジュールは、太陽光、室内光等の入射光を取り込んで電気に変換し、この電気を蓄えるシステムであり、表面保護シート、高光線透過材、太陽電池素子、充填剤層および裏面封止シートなどから構成される。本発明のポリエステルフィルムは、裏面封止シートやフレキシブルな電子部材の張合材の基材フィルムベースフィルムとして用いることができる。特に、高い耐久性、長期熱安定性が求められる太陽電池裏面封止シートのベースフィルムとして好適である。裏面封止シートは、太陽電池モジュールの太陽電池素子の裏側を保護するために与えられる。本発明のポリエステルフィルムは、単独でまたは2枚以上を貼り合わせて、裏面封止シートとして、太陽電池モジュールの充填剤に接する側の面および/または太陽電池モジュールの最外面に使用することができる。裏面封止シートには、水蒸気バリア性を付与する目的で、水蒸気バリア性を有するフィルムやアルミ箔などを積層することができる。バリア性フィルムとしては、ポリフッ化ビニリデンコートフィルム、酸化ケイ素蒸着フィルム、酸化アルミニウム蒸着フィルム、アルミニウム蒸着フィルムなどを用いることができる。これらは、本発明のポリエステルフィルムに接着層を介してまたは直接積層したり、サンドイッチ構造をとる形態で用いたりすることができる。次に本発明の実施例および比較例を示す。本発明に用いる測定評価方法を以下に示す。1フィルムの見かけ密度JIS-K-7222発泡プラスチック及びゴム-見かけ密度の測定に準拠して測定した。但し、表記を簡便にするため、単位をg/cm3に換算した。2白色度白色度JIS-L1015-1981-B法により、日本電色工業株Z-1001DPを用いて測定した。3酸価フィルムおよび原料ポリエステル樹脂に対して、下記の方法で測定した。1試料の調製フィルムまたは原料ポリエステル樹脂を粉砕し、70°Cで24時間真空乾燥を行った後、天秤を用いて0.20±0.0005gの範囲に秤量する。そのときの質量をWgとする。試験管にベンジルアルコール10mlと秤量した試料を加え、試験管を205°Cに加熱したベンジルアルコール浴に浸し、ガラス棒で攪拌しながら試料を溶解する。溶解時間を3分間、5分間、7分間としたときのサンプルをそれぞれA,B,Cとする。次いで、新たに試験管を用意し、ベンジルアルコールのみ入れ、同様の手順で処理し、溶解時間を3分間、5分間、7分間としたときのサンプルをそれぞれa,b,cとする。2滴定予めファクターの分かっている0.04mol/l水酸化カリウム溶液エタノール溶液を用いて滴定する。指示薬はフェノールレッドを用い、黄緑色から淡紅色に変化したところを終点とし、水酸化カリウム溶液の滴定量mlを求める。サンプルA,B,Cの滴定量をXA,XB,XCmlとする。サンプルa,b,cの滴定量をXa,Xb,Xcmlとする。3酸価の算出各溶解時間に対しての滴定量XA,XB,XCを用いて、最小2乗法により、溶解時間0分での滴定量Vmlを求める。同様にXa,Xb,Xcを用いて、滴定量V0mlを求める。次いで、次式に従い酸価を求める。酸価eq/ton=[V-V0×0.04×NF×1000]/WNF:0.04mol/l水酸化カリウム溶液のファクター4耐加水分解性の処理JIS-60068-2-66で規格化されているHASTHighlyAcceleratedtemperatureandhumidityStressTestを行った。機器はエスペック社製EHS-221を用い、105°C、100Rh、0.03MPa下の条件で行った。フィルムを70mm×190mmにカットし、治具を用いてフィルムを設置した。各フィルムは各々が接触しない距離を保ち設置した。105°C、100Rh、0.03MPaの条件下で200時間処理を行った。5耐光性の処理促進耐光性試験は、岩崎電気株式会社製アイスーパーUVテスターSUV-W151を用い、63°C、50RH、照射強度100mW/cm2で100時間の連続UV照射処理を行った。6破断伸び保持率耐加水分解性、耐光性は、破断伸び保持率で評価した。それぞれの処理前、処理後の破断伸びをJIS-C-2318-19975.3.31引張強さ及び伸び率に準拠して測定し、下記式に従い破断伸び保持率を算出した。破断伸び保持率=処理後の破断伸び×100/処理前の破断伸び7フィルムの厚み方向に存在する空洞の積層数、及びフィルムの空洞積層数密度フィルム断面の空洞の観察には走査型電子顕微鏡を用い、サンプルの異なる部位の5箇所において、フィルムの縦延伸方向と平行で、かつフィルム面に垂直な割断面を観察した。観察は300~3000倍の適切な倍率で行い、フィルムの全厚みの中における空洞の分散状態が確認できるように写真を撮影した。次いで、写真の画像上の任意の場所で、フィルム表面に垂直方向に直線を引き、この直線に交わる空洞の個数を計数した。この空洞の数を、フィルムの厚み方向の空洞の個数積層数と定義する。また、この直線に沿ってフィルムの全厚みμmを測定し、空洞の積層数をフィルムの全厚みで除して空洞積層数密度個/μmを求めた。なお、計測は写真1枚につき5箇所で行い、総計25箇所の平均値を求めてサンプルの空洞積層数密度とした。8150°Cにおけるフィルムの熱収縮率HS150フィルムを幅10mm、長さ250mmのサイズに長辺250mmがそれぞれ長手方向、幅方向と一致する方向に沿ってカットし、200mm間隔で印をつけ、5gの一定張力で間隔Aを測った。続いて、無荷重で、150°Cの雰囲気のオーブン中で30分間放置した。フィルムをオーブンから取り出し室温まで冷却した後、印の間隔Bを5gの一定張力下で求め、以下の式により熱収縮率を求めた。なお、フィルムの150°Cにおける熱収縮率は、フィルム幅方向に100mm間隔で測定し、サンプル3点の平均値を小数第3位の桁で四捨五入し、小数第2位の桁に丸めて使用し、長手方向、幅方向で値の大きい方向の値を用いた。熱収縮率=[A-B/A]×1009部分放電電圧の測定下記の測定法に基づき部分放電電圧を測定して電気絶縁性を評価した。測定方法準拠規格:IEC60664/A2:20024.1.2.4試験器:KPD2050菊水電子工業製開始電圧電荷しきい値:1.0pC消滅電圧電荷しきい値:1.0pC試験時間:22.0s。測定パターン:台形10極限粘度IVフィルムまたはポリエステル樹脂を粉砕して乾燥した後、フェノール/テトラクロロエタン=60/40重量比の混合溶媒に溶解した。この溶液に遠心分離処理を施して無機粒子を取り除いた後に、ウベローデ粘度計を用いて、30°Cで0.4g/dlの濃度の溶液の流下時間及び溶媒のみの流下時間を測定し、それらの時間比率から、Hugginsの式を用い、Hugginsの定数が0.38であると仮定して極限粘度を算出した。11光反射率得られたフィルムロールについて、ロール巻き始めを0、巻き終りを100とした場合に、10、50、90の長さ位置の中央部から1m×1.8mのフィルム片を切り出した。それぞれのフィルム片の四隅及び中央より20cm四方の正方形の5つのフィルム試料をサンプリングした。合計15のフィルム試料について、日立製作所社製分光光度計U-3500を用いて測定した基準白板日立ハイテクノロジーズ社製、部品番号210-0740の反射率を100とした相対反射率から波長550nmの値を光反射率とした。各フィルム試料の光反射率の平均値を中心値とし、得られた光反射率の最大値と最小値の差を中心値で割ったものを光反射率の変動とした。なお、表中の光反射率は得られた中心値を示している。12MOR-C得られたフィルムを幅方向に5等分割し、それぞれの位置で長手方向、幅方向に100mmの正方形サンプルを採取し、マイクロ波透過型分子配向計王子計測機器株MOA-6004を用いて測定を行った。厚み補正を50μmとし、MOR-Cを求め、5点の平均値を用いた。13ジエチレングリコール含量DEGポリエステル0.1gをメタノール2ml中で250°Cで加熱分解した後、ガスクロマトグラフィーにより定量して求めた。14表面強度フィルムを縦5cm、横20cmに切りだし、ポリエステル両面粘着テープを用いて平板ガラスに全面接着させた。この表面に幅24mmの粘着テープニチバン社製、セロテープ登録商標を長さ35mmにわたって貼付し1分間放置する。この後、ガラス面に垂直な方向に一気に引き剥がして面を観察した。前記粘着テープBの剥離部面積の50以上でフィルム表面が剥がれたものを剥離したとし、5回以上の繰り返しで剥離頻度が半数未満の場合を○表面強度が優れる、半数以上の場合を×表面強度が劣ると評価した。15加工強度1m×1.5mに切り出したフィルムを枚葉にて貼り合わせて装置NPC製LM-50x50Sに装着した。50枚加工後に全枚葉の外観を観察し、すべてのフィルムについて折れ曲がりがみられないものを○、折れ曲がりが認められたフィルムが1枚以上ある場合を×とした。16表面平面性フィルム両面について触針式三次元粗さ計SE-3AK、株式会社小阪研究所社製を用いて、針の半径2μm、荷重30mgの条件下に、カットオフ値0.25mmで、測定長1mmにわたり、針の送り速度0.1mm/秒で測定し、2μmピッチで500点に分割し、各点の高さを三次元粗さ解析装置SPA-11に取り込ませた。次に解析装置を用いて中心面平均粗さSRaを求めた。フィルム両面のSRaが0.1μmである場合を○として評価した。ポリエステル樹脂ペレットの作成PET樹脂PET-Iの製造エステル化反応缶を昇温し、200°Cに到達した時点で、テレフタル酸86.4質量部及びエチレングリコール64.4質量部からなるスラリーを仕込み、攪拌しながら触媒として三酸化アンチモンを0.017質量部及びトリエチルアミンを0.16質量部添加した。次いで、加圧昇温を行いゲージ圧3.5kgf/cm2、240°Cの条件で、加圧エステル化反応を行った。その後、エステル化反応缶内を常圧に戻し、酢酸マグネシウム4水和物0.071質量部、次いでリン酸トリメチル0.014質量部を添加した。さらに、15分かけて260°Cに昇温し、リン酸トリメチル0.012質量部、次いで酢酸ナトリウム0.0036質量部を添加した。15分後、得られたエステル化反応生成物を重縮合反応缶に移送し、減圧下260°Cから280°Cへ徐々に昇温し、285°Cで重縮合反応を行った。重縮合反応終了後、95カット径が5μmのナスロン製フィルターで濾過処理を行い、ノズルからストランド状に押出し、予め濾過処理孔径:1μm以下を行った冷却水を用いて冷却、固化させ、ペレット状にカットした。得られたPET樹脂PET-Iの極限粘度は0.616dL/gであり、酸価は15.1eq/tonであり、不活性粒子及び内部析出粒子は実質上含有していなかった。PET樹脂PET-IIの製造PET樹脂PET-Iを予め160°Cで予備結晶化させた後、温度220°Cの窒素雰囲気下で固相重合し、極限粘度0.71dL/g、酸価11eq/tonのPET樹脂PET-IIを得た。PET樹脂PET-IIIの製造PET樹脂PET-Iを、PET-IIの製造と同様の方法を用い、重縮合反応時間を変更することで、極限粘度0.510dL/g、酸価39eq/tonのPET樹脂PET-IIIを得た。PET樹脂PET-IVの製造重縮合触媒溶液の調製リン化合物のエチレングリコール溶液の調製窒素導入管、冷却管を備えたフラスコに、常温常圧下、エチレングリコール2.0リットルを加えた後、窒素雰囲気下200rpmで攪拌しながら、リン化合物としてIrganox1222チバスペシャルティーケミカルズ社製の200gを加えた。さらに2.0リットルのエチレングリコールを追加した後、ジャケット温度の設定を196°Cに変更して昇温し、内温が185°C以上になった時点から60分間還流下で攪拌した。その後加熱を止め、直ちに溶液を熱源から取り去り、窒素雰囲気下を保ったまま、30分以内に120°C以下まで冷却した。得られた溶液中のIrganox1222のモル分率は40、Irganox1222から構造変化した化合物のモル分率は60であった。アルミニウム化合物の水溶液の調製冷却管を備えたフラスコに、常温常圧下、純水5.0リットルを加えた後、200rpmで攪拌しながら、塩基性酢酸アルミニウム200gを純水とのスラリーとして加えた。さらに全体として10.0リットルとなるよう純水を追加して常温常圧で12時間攪拌した。その後、ジャケット温度の設定を100.5°Cに変更して昇温し、内温が95°C以上になった時点から3時間還流下で攪拌した。攪拌を止め、室温まで放冷し水溶液を得た。アルミニウム化合物のエチレングリコール混合溶液の調製上記方法で得たアルミニウム化合物水溶液に等容量のエチレングリコールを加え、室温で30分間攪拌した後、内温80~90°Cにコントロールし、徐々に減圧して、到達圧を27hPaとして、数時間攪拌しながら系から水を留去し、20g/lのアルミニウム化合物のエチレングリコール溶液を得た。得られたアルミニウム溶液の27Al-NMRスペクトルのピーク積分値比は2.2であった。エステル化反応および重縮合3基の連続エステル化反応槽および3基の重縮合反応槽よりなり、かつ第3エステル化反応槽から第1重縮合反応槽への移送ラインに高速攪拌器を有するインラインミキサーが設置された連続式ポリエステル製造装置に高純度テレフタル酸1質量部に対してエチレングリコール0.75質量部をスラリー調製槽に連続的に供給した。調製されたスラリーを連続的に供給し第1エステル化槽が反応温度250°C、110kPa、第2エステル化反応槽が260°C、105kPa、第3エステル化反応槽が260°C、105kPaとして、第2エステル化反応槽にエチレングリコール0.025質量部を連続的に投入しポリエステルオリゴマーを得た。該オリゴマーを3基の反応槽よりなる連続重縮合装置に連続的に移送すると共に、該移送ラインに設置されたインラインミキサーに上記方法で調製したアルミニウム化合物のエチレングリコール溶液およびリン化合物のエチレングリコール溶液をそれぞれポリエステル中の酸成分に対してアルミニウム原子およびリン原子として0.015モルおよび0.036モルとなるように攪拌式のミキサーで攪拌しながら連続的に添加し、初期重縮合反応槽が265°C、9kPa、中期重縮合反応槽が265~268°C、0.7kPa、最終重縮合反応槽が273°C、13.3Paで重縮合し極限粘度0.630dL/g、酸価10.5eq/tonのPET樹脂PET-IVを得た。PET樹脂PET-Vの製造PET樹脂PET-IVを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度0.73dL/g、酸価5.0eq/tonのPET樹脂PET-Vを作成した。PET樹脂PET-VIの製造PET樹脂PET-IVを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度0.79dL/g、酸価4.0eq/tonのPET樹脂PET-VIを作成した。PET樹脂PET-VIIの製造PET樹脂PET-IVを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度0.69dL/g、酸価7.0eq/tonのPET樹脂PET-VIIを作成した。PET樹脂PET-VIIIの製造PET樹脂PET-IVを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度1.01dL/g、酸価3.0eq/tonのPET樹脂PET-VIIIを作成した。微粒子含有マスターバッチの作製微粒子含有マスターバッチMB-Iの製造原料として事前に120°C、8時間ほど10-3torr下で乾燥したPET樹脂PET-I50質量に、平均粒径0.3μm電顕法のルチル型二酸化チタン50質量を混合したものをベント式2軸押し出し機に供給して、混練りして脱気しながら275°Cで押出し、ルチル型二酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-Iペレットを調製した。このペレットの極限粘度は0.45dL/g、酸価は42.2eq/tonであった。微粒子含有マスターバッチMB-IIの製造上記のルチル型酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-Iペレットを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度0.71dL/g、酸価23.5eq/tonのルチル型酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-IIを作成した。微粒子含有マスターバッチMB-IIIの製造PET樹脂PET-Iの代わりにPET樹脂PET-IVを使用した以外は微粒子含有マスターバッチMB-Iと同様の方法でルチル型二酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-IIIを作成した。このペレットの極限粘度は0.46dL/g、酸価は36.3eq/tonであった。微粒子含有マスターバッチMB-IVの製造上記のルチル型酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-IIIペレットを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度0.70dL/g、酸価19.4eq/tonのルチル型酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-IVを作成した。空洞形成剤の調製MB-Vの製造原料として、メルトフローレート1.5のポリスチレン日本ポリスチ社製、G797N20質量、メルトフローレート3.0の気相法重合ポリプロピレン出光石油化学製、F300SP20質量、及びメルトフローレート180のポリメチルペンテン三井化学製:TPXDX-82060質量をペレット混合し、2軸押し出し機に供給して十分に混練りし、空洞形成剤MB-Vを調製した。微粒子含有マスターバッチMB-VIの製造上記のルチル型酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-IIIペレットを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度0.80dL/g、酸価17.2eq/tonのルチル型酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-VIを作成した。実施例A1フィルムの作製ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-II65質量と、先に作製したMB-II35質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-II85質量とMB-II7質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とし、それぞれ別々の押出機に投入し、285°Cで混合、溶融し、続いてフィードブロックを用い、A/B/A層となるように溶融状態で接合した。このとき、A層とB層の吐出量比率は、ギアポンプを用いて制御した。次いでT-ダイを用いて30°Cに調節された冷却ドラム上に押し出し、未延伸シートを作成した。2軸延伸フィルムの作製得られた未延伸シートを、加熱ロールを用いて75°Cに均一加熱し、非接触ヒーターで100°Cに加熱して3.3倍のロール延伸を行った。得られた1軸延伸フィルムをテンターに導き、140°Cに加熱して4.0倍に横延伸し、幅固定して215°Cで5秒間の熱処理を施し、更に210°Cで幅方向に4弛緩処理を行なった。両端をトリミングし、巻き取り装置にて巻き取り、さらにこれを幅方向に2等分してスリットし、幅1300mm、フィルム長さ3000m、厚み50μmA/B/A=3/44/3μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A2吐出量と速度を調整した以外は実施例A1と同じ方法で厚み125μm8/109/8μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A3吐出量と速度を調整した以外は実施例A1と同じ方法で厚み188μm11/166/11μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A4得られた未延伸シートを、加熱ロールを用いて75°Cに均一加熱し、非接触ヒーターで100°Cに加熱して3.5倍のロール延伸を行った以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A5B層を形成するため、PET-IIにポリメチルペンテン三井化学株製、TPX、DX820を5質量、さらに分散剤として分子量4,000のポリエチレングリコールを10質量含有する共重合PETを10質量混合した以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A6実施例A1で得られたフィルムロールを160°Cの温度に設定されたオフラインコーターに通し、速度、張力を調整して弛緩処理を行い、厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A7ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-V65質量と、MB-IV35質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-V85質量とMB-IV7質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とした以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A8塗布液の調合脂肪族系ポリカーボネートポリオールを構成成分とするウレタン樹脂溶液Iの重合4,4-ジフェニルメタンジイソシアネート43.75質量部、ジメチロールブタン酸12.85質量部、数平均分子量2000のポリヘキサメチレンカーボネートジオール153.41質量部、ジブチルスズジラウレート0.03質量部、及び溶剤としてアセトン84.00質量部を容器に投入し、窒素雰囲気下、75°Cにおいて3時間撹拌し、この反応液を40°Cにまで降温した後、トリエチルアミン8.77質量部を添加し、ポリウレタンプレポリマー溶液を得た。水450gを添加して、25°Cに調整して、2000min-1で攪拌混合しながら、ポリウレタンプレポリマー溶液を添加して水分散した。その後、減圧下で、アセトンおよび水の一部を除去することにより、固形分35の水溶性ポリウレタン樹脂溶液Iを調製した。得られたポリウレタン樹脂Iのガラス転移点温度は-30°Cであった。塗布液整下記の塗剤を混合し、塗布液を作成した。水55.86質量イソプロパノール30.00質量ポリウレタン樹脂溶液I13.52質量粒子0.59質量平均粒径40nmのシリカゾル、固形分濃度40質量界面活性剤0.03質量シリコン系、固形分濃度100質量実施例A1において、縦延伸を終えた一軸配向PETフィルムに、前記塗布液をロールコート法でPETフィルムの片面に塗布した後、80°Cで20秒間乾燥した。なお、最終二軸延伸後の乾燥後の塗布量が0.15g/m2になるように調整した。引き続いて、テンターで、実施例A1と同様の方法で延伸を行い、厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。得られたフィルムを100mm幅×100mm長に、EVAシートを70mm幅×90mm長に切り出し、フィルム塗布層面/下記記載のEVA/塗布層面フィルムの構成で重ね、真空ラミネーターで下記記載の接着条件で加熱圧着し、サンプルを作成した。作成したサンプルは、高温高湿槽中で85°C、85RHの環境下1000時間放置した後においても良好な接着性を奏していた。接着条件装置:真空ラミネーターエヌピーシー社製LM-30×30型加圧:1気圧EVA:サンビック製UrtlaPearlPV0.4μmラミネート工程:100°C真空5分、真空加圧5分キュア工程:熱処理150°C常圧45分実施例A9太陽電池用バックシートの製造実施例A1の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルム/ポリエステルフィルム東洋紡社製A4300125μm/実施例A1の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムの層構成でドライラミネート法により接着し、太陽電池裏面封止用シートを得た。得られた太陽電池裏面封止用シートの部分放電電圧を測定したところ、1090Vであった。ドライラミネート用接着剤タケラックA-315三井化学製/タケネートA-10三井化学製=9/1固形分比実施例A10A層/B層の厚み比を表のように変更した以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A11ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-VI65質量と、MB-VI35質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-VI85質量とMB-VI7質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とした以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例A12ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-VII65質量と、MB-II35質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-VII85質量とMB-II7質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とした以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。比較例A1A、B層共にポリエチレンテレフタレート樹脂PET-II100質量とした以外は実施例A1と同様の方法で延伸を行い、厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。比較例A2ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-III65質量と、先に作製したMB-I35質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-III85質量とMB-I7質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とし、それぞれ別々の押出機に投入した以外は、実施例A1と同様の方法で延伸を行い、厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。比較例A3ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-III65質量と、MB-II35質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-III85質量とMB-II7質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とした以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。比較例A4ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-VIII65質量と、MB-II35質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-VIII85質量とMB-II7質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とした以外は実施例A1と同じ方法で厚み50μmの太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例B1フィルムの作製ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-II60質量と、先に作製したMB-II40質量とを混合したものをA層およびB層の原料とし、それぞれ別々の押出機に投入し、285°Cで混合、溶融し、続いてフィードブロックを用い、A/B層となるように溶融状態で接合した。このとき、A層とB層の吐出量比率は、ギアポンプを用いて制御した。次いでT-ダイを用いて30°Cに調節された冷却ドラム上に押し出し、未延伸シートを作成した。2軸延伸フィルムの作製得られた未延伸シートを、加熱ロールを用いて75°Cに均一加熱し、非接触ヒーターで100°Cに加熱して3.3倍のロール延伸を行った。得られた1軸延伸フィルムをテンターに導き、140°Cに加熱して4.0倍に横延伸し、幅固定して215°Cで5秒間の熱処理を施し、更に210°Cで幅方向に4緩和させることにより、厚み80μmA/B=16/64μmの実質的に単層の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例B2ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-II64質量と、先に作製したMB-II36質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-II96質量とMB-II4質量とを混合したものをB層の原料とし、それぞれ別々の押出機に投入し、285°Cで混合、溶融し、続いてフィードブロックを用い、A/B層となるように溶融状態で接合した。このとき、A層とB層の吐出量比率は、ギアポンプを用いて制御した。次いでT-ダイを用いて30°Cに調節された冷却ドラム上に押し出し、未延伸シートを作成した。2軸延伸フィルムの作成は実施例B1と同様の方法で行い、厚さ80μmA/B=16/64μmの2種2層の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例B3A層およびB層のPET-IIをPET-Vに変更し、MB-IIをMBIVに変更した以外は実施例B2と同様の方法で2種2層の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例B4ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-II64質量と、先に作製したMB-II36質量とを混合したものをA層およびB層の原料とし、PET-II56質量とMB-II36質量とMB-V8質量とを混合したものをB層の原料とし、それぞれ別々の押出機に投入し、285°Cで混合、溶融し、続いてフィードブロックを用い、A/B層となるように溶融状態で接合した。このとき、A層とB層の吐出量比率は、ギアポンプを用いて制御した。次いでT-ダイを用いて30°Cに調節された冷却ドラム上に押し出し、未延伸シートを作成した。2軸延伸フィルムの作成は実施例B1と同様の方法で行い、厚さ50μmA/B=10/40μmの2種2層の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例B5A層およびB層のPET-IIをPET-Vに変更し、MB-IIをMB-IVに変更した以外は実施例B4と同様の方法で2種2層の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムを得た。実施例B6微粒子含有マスターバッチの作製原料として事前に120°C、8時間ほど10-3torr下で乾燥したポリエチレンテレフタレート樹脂PET-IV50質量に、平均粒径0.3μm電顕法のルチル型二酸化チタン50質量を混合したものをベント式二軸押し出し機に供給して、約20分間混練りして連続的に0.1MPaの吸引をおこない、脱気しながら275°Cで押出し、ルチル型二酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-VIIペレットを調製した。このMB-VIIの極限粘度は0.48dL/gであった。また、このMB-VIIの酸価は、39.8eq/tonであった。さらに、このMB-VIIペレットを10Paの真空下で極限粘度が0.75dL/gとなるまで固相重合処理を行い、ルチル型二酸化チタン微粒子含有マスターバッチMB-VIIIを作成した。このMB-VIIIの酸価は10.1eq/tonであった。ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-IXの調製ポリエチレンテレフタレート樹脂PET-IVを回転型真空重合装置を用い、0.5mmHgの減圧下、220°Cで時間を変えて固相重合を行い、極限粘度0.75、酸価5.0eq/tonのポリエチレンテレフタレート樹脂PET-IXを作成した。フィルムの作製次いで、PET-IX80質量と、先に作製したMB-VIII20質量とを混合したものをA層の原料とし、PET-IX80質量とMB-VIII12質量と、MB-V8質量とを混合したものをB層の原料とし、それぞれ別々の押出機に投入し、280°Cで混合、溶融し、続いてフィードブロックを用い、A層の片面にB層を溶融状態で接合した。このとき、A層とB層の吐出量比率は、ギアポンプを用いて制御した。次いでT-ダイを用いて30°Cに調節された冷却ドラム上に押し出し、A/B/A層となるように未延伸シートを作成した。2軸延伸フィルムの作製得られた未延伸シートを、加熱ロールを用いて70°Cに均一加熱し、90°Cで3.3倍ロール延伸を行った。得られた1軸延伸フィルムをテンターに導き、140°Cに加熱して3.7倍に横延伸し、幅固定して220°Cで5秒間の熱処理を施し、更に220°Cで幅方向に4弛緩処理を行なった。両端をトリミングし、巻き取り装置にて巻き取り、さらにこれを幅方向に2等分してスリットし、幅1300mm、フィルム長さ3000m、厚み188μm19/150/19の太陽電池裏面封止用ポリエステルフィルムのロールを得た。"