"テーブルに取付けられたワーク加工物に対して少なくとも直線軸3軸によって加工する工作機械を制御するとともに、前記工作機械に対する誤差補正を行う誤差補正部を備えた数値制御装置において、前記誤差補正部は、前記工作機械のベッドから工具ヘッドを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルを合成したヘッド側合成リンクベクトルおよび前記工作機械のベッドからテーブルを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルを合成したテーブル側合成リンクベクトルに対して伸縮誤差量による演算を行いヘッド側合成誤差リンクベクトルおよびテーブル側合成誤差リンクベクトルを作成し、前記テーブル側合成誤差リンクベクトルと前記ヘッド側合成誤差リンクベクトルとの差分によって補正量を演算する機能を有することを特徴とする誤差補正部を備えた数値制御装置。前記リンクベクトルは、ベッド固定点またはリンク軸順における軸駆動部誤差原点から次軸の軸駆動部誤差原点または工具先端点へのベクトルであることを特徴とする請求項1に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記伸縮誤差量は、熱変位、工具の摩耗による誤差量であることを特徴とする請求項1または2のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記伸縮誤差量による演算は、前記1個または複数個のリンクベクトルの第1、第2および第3要素に1伸縮誤差量を乗算する演算であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記伸縮誤差量は、外部からの入力値、別途設定された設定値、または加工プログラムによる指令値であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記伸縮誤差量は、前記工作機械電源オンからの時間による関数、または前記工作機械における主軸回転数または主軸回転時間の関数であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記誤差補正部は、前記伸縮誤差量に加えて並進誤差量または回転誤差量による誤差リンクベクトルの演算を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記並進誤差量または前記回転誤差量は、各軸位置に対応した誤差量が設定されている誤差量データテーブルと該各軸位置によって演算される値であることを特徴とする請求項7に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸によって加工する3軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸とヘッド回転用回転軸2軸によって加工する5軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸とテーブル回転用回転軸2軸によって加工する5軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸とヘッド回転用回転軸1軸とテーブル回転用回転軸1軸によって加工する5軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記リンクベクトルに対する伸縮誤差、並進誤差または回転誤差について、着目する必要のない誤差について0とする、または前記リンクベクトルについて、着目する必要のないリンクベクトルは0ベクトルとすることを特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。前記リンクベクトルのうち関連性の強いリンクベクトル同士を結合してリンクベクトルとすることを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置。背景技術で説明した誤差に加えてさらに伸縮誤差がある。工作機械の各軸駆動部やベッド、ワーク、工具ヘッドおよび工具などは、室温変化や機械自身の発熱および切削熱によって熱変位する。熱変位は工作機械の各軸駆動部、ベッドや工具などを含めた各部材に対する前記伸縮誤差として現れる。さらに、工具は摩耗によって縮小する。特許文献1においては、その課題に記載されているように、工作機械の各軸位置に依存した軸依存並進誤差量または軸依存回転誤差量によって、工作機械のベッドから工具を経由した工具先端点へのリンクベクトルによって補正量を演算し補正を行う誤差補正手段を提供する。としている。ここで、リンクベクトルとは、前記特許文献1の請求項1および請求項2に記載されているように、工作機械のベッドから工具を経由した工具先端点へのリンク軸順における着目軸の誤差中心から次軸の誤差中心または工具先端点へのベクトル群または工作機械のベッドからテーブルを経由した工具先端点へのリンク軸順における着目軸の誤差中心から次軸の誤差中心または工具先端点へのベクトル群である。つまり、ベッドから工具先端点へ各軸や工具などの各部材がリンクしていると考えた場合のリンク状態を示すベクトル群である。しかし、この誤差補正方法では、上記の誤差のうちピッチ誤差、真直度誤差、位置決め誤差などは補正することは可能であるが、リンクベクトルに対する上記のような伸縮誤差については補正することができない。それは、従来技術ではリンクベクトルに対する並進誤差および回転誤差は考慮されているけれども、リンクベクトルに対する伸縮誤差は考慮されていないためである。つまり、従来技術にはリンクベクトルに対する伸縮誤差補正という技術思想はなかった。また、工具ヘッドが回転軸によって回転する工具ヘッド回転型5軸加工機において、工具ヘッドが回転軸によって傾斜している場合に工具軸方向の熱変位誤差を補正する技術として工具軸方向熱変位補正は従来技術として知られている。この技術は図1のように、工具ヘッドが回転軸A軸、C軸で回転および傾斜している場合、外部から入力信号として入力される熱変位補正データに基づいて数値制御装置が工具軸方向に補正を行いその補正量によってX,Y,Z軸方向に補正を行うものである。つまり、工具軸方向の補正量として入力される熱変位補正データを回転軸位置に基づいてX,Y,Z方向の補正量に変換しX,Y,Z軸方向に補正するものである。しかし、この補正方法は工具ヘッド回転型5軸加工機において工具軸方向にのみ適用される補正であり、3軸加工機も含めた他の軸構成の機械や工作機械全体における各軸駆動部やベッドを含めた各部材に対する補正ではなかった。つまり、各軸駆動部を含めた各部材についてベッドから工具ヘッドを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルまたは前記工作機械のベッドからテーブルを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルに関してそれらのリンクベクトルに対する伸縮誤差補正という技術思想ではなかった。そこで、本発明の課題は、工作機械のベッドから工具ヘッドを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルまたは工作機械のベッドからテーブルを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルに対して伸縮誤差量による誤差リンクベクトルの演算を行い、リンクベクトルと誤差リンクベクトルとの差分によって補正量を演算し誤差補正を行う機能を有することを特徴とする誤差補正部を備えた数値制御装置を提供することである。さらに、本発明では、工作機械のベッドから工具ヘッドを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルまたは工作機械のベッドからテーブルを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルに対して伸縮誤差量に加えて並進誤差または回転誤差による誤差リンクベクトルの演算を行い、該リンクベクトルと該誤差リンクベクトルとの差分によって補正量を演算し誤差補正を行う機能を有することを特徴とする誤差補正部を備えた数値制御装置を提供することである。本願の請求項1に係る発明は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して少なくとも直線軸3軸によって加工する工作機械を制御するとともに、前記工作機械に対する誤差補正を行う誤差補正部を備えた数値制御装置において、前記誤差補正部は、前記工作機械のベッドから工具ヘッドを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルを合成したヘッド側合成リンクベクトルおよび前記工作機械のベッドからテーブルを経由した工具先端点への1個または複数個のリンクベクトルを合成したテーブル側合成リンクベクトルに対して伸縮誤差量による演算を行いヘッド側合成誤差リンクベクトルおよびテーブル側合成誤差リンクベクトルを作成し、前記テーブル側合成誤差リンクベクトルと前記ヘッド側合成誤差リンクベクトルとの差分によって補正量を演算する機能を有することを特徴とする誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項2に係る発明は、前記リンクベクトルは、ベッド固定点またはリンク軸順における軸駆動部誤差原点から次軸の軸駆動部誤差原点または工具先端点へのベクトルであることを特徴とする請求項1に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項3に係る発明は、前記伸縮誤差量は、熱変位、工具の摩耗による誤差量であることを特徴とする請求項1または2のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項4に係る発明は、前記伸縮誤差量による演算は、前記1個または複数個のリンクベクトルの第1、第2および第3要素に1伸縮誤差量を乗算する演算であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項5に係る発明は、前記伸縮誤差量は、外部からの入力値、別途設定された設定値、または加工プログラムによる指令値であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項6に係る発明は、前記伸縮誤差量は、前記工作機械電源オンからの時間による関数、または前記工作機械における主軸回転数または主軸回転時間の関数であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項7に係る発明は、前記誤差補正部は、前記伸縮誤差量に加えて並進誤差量または回転誤差量による誤差リンクベクトルの演算を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項8に係る発明は、前記並進誤差量または前記回転誤差量は、各軸位置に対応した誤差量が設定されている誤差量データテーブルと該各軸位置によって演算される値であることを特徴とする請求項7に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項9に係る発明は、前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸によって加工する3軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項10に係る発明は、前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸とヘッド回転用回転軸2軸によって加工する5軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項11に係る発明は、前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸とテーブル回転用回転軸2軸によって加工する5軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項12に係る発明は、前記工作機械は、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して直線軸3軸とヘッド回転用回転軸1軸とテーブル回転用回転軸1軸によって加工する5軸加工機であることを特徴とする請求項1乃至請求項8に記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項13に係る発明は、前記リンクベクトルに対する伸縮誤差、並進誤差または回転誤差について、着目する必要のない誤差について0とする、または前記リンクベクトルについて、着目する必要のないリンクベクトルは0ベクトルとすることを特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。請求項14に係る発明は、前記リンクベクトルのうち関連性の強いリンクベクトル同士を結合してリンクベクトルとすることを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1つに記載の誤差補正部を備えた数値制御装置である。本発明により、リンクベクトルつまり各軸駆動部を含めた各部材に対する熱変位や工具摩耗による伸縮誤差を補正することにより高精度の加工を行うことができる。また本発明により、リンクベクトルに対する伸縮誤差に加えて組み立て精度や運動精度による並進誤差または回転誤差をも補正しさらに高精度の加工を行うことができる。本発明は、工作機械を制御する数値制御装置に関し、特に、テーブルに取付けられたワーク加工物に対して少なくとも直線軸3軸によって加工する工作機械を制御するとともに、該工作機械を構成するリンクベクトルに対して誤差補正を行う誤差補正部を有する数値制御装置である。前記誤差補正部は、リンクベクトルに対して伸縮誤差補正を行う、あるいは、伸縮誤差補正に加えて、並進誤差補正、および回転誤差補正を行う数値制御装置である。以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。第1の実施形態図2は、ヘッド回転型の5軸加工機の機械構成を説明する図である。両端部が立設する構造のベッドに架設されるX軸コラムには、Y軸コラムが取付けられている。Y軸コラムにはZ軸コラムが取付けられている。工具が取付けられたA軸ヘッドがC軸ヘッドに取付けられ、C軸ヘッドがZ軸コラムに取付けられている。ベッド上にはテーブルが備えられ、その上にワークが載せられて工具先端点で加工する。X軸コラムやC軸ヘッドなどはX軸やC軸で動作する部分を指す。ここでの実施形態としては図2のような5軸加工機の機械構成で説明する。回転軸はC軸とA軸としているが、他の軸C,B軸やA,B軸などの組み合わせもある。また、以降で回転軸に関する処理や演算を除けば3軸加工機での誤差補正となるが、それは機械構成としては図2の機械構成においてA軸ヘッドやC軸ヘッドを除いた機械構成に対応する。<リンクベクトル>ここで、リンクベクトルについて説明する。リンクベクトルとは、工作機械のベッド固定点から工具を含む工具ヘッドを経由した工具先端点への、または工作機械のベッド固定点からテーブルを経由した工具先端点への各軸間の結合を示すベクトルである。ベッド固定点はベッド内における誤差がないと想定する位置である。各軸の軸駆動部は、X軸コラム、C軸ヘッドなど各軸によって駆動する部分であり、各軸の軸駆動部誤差原点は、各軸の軸駆動部において誤差が発生する原点であり各リンクベクトル同士の結合点である。図2におけるリンクベクトルは図3のように表される。図示の便宜上、図3ではワークを除いている。また、図3は機械座標位置x,y,z=0,0,0の時の図でもある。Vh:ベッド固定点からX軸駆動部X軸コラム誤差原点へのリンクベクトルベッド固定点から工具ヘッドを経由する最初のリンクベクトルVx:X軸駆動部X軸コラム誤差原点からY軸駆動部Y軸コラム誤差原点へのリンクベクトルVy:Y軸駆動部Y軸コラム誤差原点からZ軸駆動部Z軸コラム誤差原点へのリンクベクトルVz:Z軸駆動部Z軸コラム誤差原点からC軸駆動部C軸ヘッド誤差原点へのリンクベクトルVc:C軸駆動部C軸ヘッド誤差原点からA軸駆動部A軸ヘッド誤差原点へのリンクベクトルVa:A軸駆動部A軸ヘッド誤差原点から工具先端点へのリンクベクトルVt:ベッド固定点から工具先端点へのリンクベクトルベッド固定点からテーブルを経由する最初のリンクベクトルここで、X,Y,Z軸の機械座標位置x,y,zはA軸ヘッド回転中心中央A軸回転誤差中心とする。X軸駆動部X軸コラム誤差原点はベッドとX軸コラムの接触部分の中心とし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPx0とする。Y軸駆動部Y軸コラム誤差原点はX軸コラムとY軸コラムの接触部分の中心とし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPy0とする。Z軸駆動部Z軸コラム誤差原点Pz0はY軸コラムとZ軸コラムの接触部分の中心とし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPz0とする。C軸駆動部C軸ヘッド誤差原点はZ軸コラムとC軸ヘッドの接触部分の中心とし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPc0とする。A軸駆動部A軸ヘッド誤差原点は工具を含めたA軸ヘッドの回転中心中央であるとし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPa0とする。したがって、Pa0=0,0,0である。ベッド固定点の位置をPbとする。Vc、Vaを無視するVc=Va=0としVzをZ軸駆動部誤差原点から工具先端点へのリンクベクトルとすると、3軸加工機での誤差補正となる。また、図3におけるX,Y,Z軸座標を示す矢印はそれらの座標方向を示す矢印であり、それらの交点は機械座標系原点機械座標位置x,y,z=0,0,0ではなく、機械座標系原点は図中Pa0としている。<リンクベクトル演算>それぞれのリンクベクトルは、ここでは同次座標系で数1式のように演算する。x,y,z,a,cは機械座標位置機械座標系上の各軸位置である。したがって、x,y,zはX,Y,Z軸の移動とともに変化する。Tは転置を示すが、以降自明の場合は省略する。Py0,0などの表記は第1~第3要素がPy0のx,y,z要素であり、第4要素が0のベクトルを示す。Px0,Py0,Pz0,Pc0,Pa0,Pbはパラメータなどの設定値として設定されている。ここで、VaVax,Vay,Vaz,1はA,C軸の回転によって数2式で表される。aはA軸位置機械座標位置、cはC軸位置機械座標位置である。hはA軸ヘッド回転中心から工具先端点への工具長を含めた距離であり、工具長補正量と定数から求められる。工具は、a=0,c=0の時、Z軸マイナス方向を向くとする。回転軸C,A軸要素を除けば、つまり、Vc=Va=0としVzを工具先端点へのベクトルとし機械座標位置x,y,zを工具先端点とすれば、3軸加工機に適用できる。着目する必要のないリンクベクトル、つまりそのリンクベクトルに対する誤差は無視できる場合は、そのリンクベクトルを0ベクトルとしてもよい。<伸縮誤差>前述のように、各軸駆動部やベッド、ワークおよび工具などは、室温変化や機械自身の発熱および切削熱によって熱変位し伸縮する。さらに、工具は摩耗によって縮小する。それらの変位によって対応するリンクベクトルは伸縮誤差を持つ。各リンクベクトルVh,Vx,Vy,Vz,Vc,Va,Vtに対する伸縮誤差量を、EVh,EVx,EVy,EVz,EVc,EVa,EVtと表記する。ここで、EVhはVhを1とした時のVhに対する比を示す。以降の伸縮誤差量EVαα=x,y,z,c,a,t,xyzなども同様である。伸縮誤差が長さとして与えられる場合であってもこの比は容易に計算できる。例えば、Vhに対する伸縮誤差長さがLEVhであれば、EVh=LEVh/|Vh|と計算すればよい。伸縮誤差量が正なら伸長、負なら縮小を表す。これらはごく小さい値である。着目する必要のない、つまり無視できる誤差に対する誤差量は0とすればよい。<並進誤差と回転誤差>図4は、5軸加工機のY軸コラムにおける誤差を説明する図である。図4では本明細書で説明する並進誤差と回転誤差とともに前述の伸縮誤差量EVy図9参照を生じるY軸コラム灰色部の伸縮伸長縮小も示している。なお、熱を持っているイメージで灰色にしている。各軸位置による並進誤差量と回転誤差量を表1に示されるように表記する。ただし、不要な要素は誤差量0として省略可である。図4では、X軸コラム上のY軸コラムの位置による誤差、EXYy,EYYy,EZYy,EAYy,EBYy,ECYyを図示する。EXYy,EYYy,EZYyはあるY軸位置yにおける、それぞれX方向、Y方向、Z方向のY軸コラムの誤差である。つまり、Y軸の並進誤差である。EAYy,EBYy,ECYyはあるY軸位置yにおける、それぞれX軸周り、Y軸周り、Z軸周りのY軸コラムの誤差である。つまり、Y軸位置による回転誤差である。なお、図4上では大きく描いているが、これらの誤差はごくわずかである。誤差がごくわずかであることは以降も同様である。着目する必要のない誤差量は0とすればよい。表1に示される表記はJIS規格B6191にならっている。JISハンドブック13工作機械2006日本規格協会,工作機械-静的精度試験方法及び工作精度試験方法通則B61915.231に、Z軸方向の運動による偏差として、EXZ:直進偏差、EYZ:直進偏差、EZZ:位置偏差、並びに、角度偏差であるEAZ:ピッチ,EBZ:ヨー,ECZ:ロールが規定されている。本発明では、直進偏差および位置偏差を並進誤差、角度偏差を回転誤差と記述する。表1では、この表記にならって各軸位置による各軸方向の並進誤差量、各軸周りの回転誤差量を表記し、さらに各軸位置による関数であることを数学的に明確にするために、EXZz、EAZzなどのように関数の形にしている。さらに、Z軸コラム上のC軸ヘッドの位置による誤差、EXCc,EYCc,EZCc,EACc,EBCc,ECCcを図示すると図5に示すようになる。図5では本明細書で説明する並進誤差と回転誤差とともに前述の伸縮誤差量EVc図11参照を生じるC軸ヘッド灰色部の伸縮伸長縮小も示している。EXCc,EYCc,EZCcはあるC軸位置cにおける、それぞれX方向、Y方向、Z方向のC軸ヘッドの誤差である。つまり、C軸位置による並進誤差である。EACc,EBCc,ECCcはあるC軸位置cにおける、それぞれX軸周り、Y軸周り、Z軸周りのC軸ヘッドの誤差である。つまり、C軸位置による回転誤差である。さらに、ベッド固定点PbからX軸駆動部X軸コラム誤差原点へのリンクベクトルベッド固定点から工具ヘッドを経由する最初のリンクベクトルVhおよびベッド固定点Pbから工具先端点へリンクベクトルベッド固定点からテーブルを経由する最初のリンクベクトルVtと、それらに対する伸縮誤差量EVhおよびEVtを生じる伸縮伸長縮小を図示すると図6に示すようになる。ただし、Vtについてベッド固定点からテーブルを経由する最初のリンクベクトルと記載しているが、この場合ベッド固定点からテーブルを経由するリンクベクトルはこのベクトル1本のみである。図6ではベッドとテーブルおよびワークのみ図示している。Vh,Vtに対しては並進誤差と回転誤差はなくベッドとワークの伸縮伸長縮小から発生する誤差EVh、EVtのみとし、それらは位置によらないとする。ただし、Vh,Vt自体は数1式で示したように位置に依る。ここでは、上記のようにVh,Vtに対しては並進誤差と回転誤差は無いとしたが、もちろん並進誤差と回転誤差を計算に入れることも可能である。<リンクベクトルと誤差>各リンクベクトルVh,Vx,Vy,Vz,Vc,Va,Vtと誤差との関係を図示すると、図7~図13に示されるようになる。図7は、リンクベクトルVhと伸縮誤差量EVhとの関係を説明する図である。図8はリンクベクトルVxと誤差伸縮誤差、並進誤差、回転誤差との関係を説明する図である。図9は、リンクベクトルVyと誤差との関係を説明する図である。図10は、リンクベクトルVzと誤差との関係を説明する図である。図11は、リンクベクトルVcと誤差との関係を説明する図である。図12は、リンクベクトルVaと誤差との関係を説明する図である。図13は、リンクベクトルVtと誤差との関係を説明する図である。ここで、図9は、図4の誤差をリンクベクトルに対する誤差として図示したものである。図9のEAYy,EBYy,ECYyは図4のEAYy,EBYy,ECYyと相違するように見えるが、図4はY軸コラム全体に対する誤差として図示しているのに対して、図9はリンクベクトルに対する誤差として図示しているものであり、共に同じ誤差を図示している。図9の伸縮誤差量EVyは図4のY軸コラムの伸縮伸長縮小から生じる誤差である。<誤差と補正>ある機械座標位置Px,y,z,c,aにおける、X,Y,Z軸への補正量Δ3DΔ3Dx,Δ3Dy,Δ3Dz,0は、数3式~数7式により演算される。Cαα=h,x,y,z,c,a,t、Mββ=x,y,z,c,aは誤差生成計算用のマトリックスであり後述する。数7式において、後述するようにVLh=VLtのため、Δ3DはVLt’―VLh’となる。ここで、補正を行うのはX,Y,Z軸に対してであり、回転軸C,A軸に対しては本発明による補正は行わない。回転軸の演算部分Mc,Cc,Vc,Ma,Ca,Vaによる演算部分を除けば、つまり、Vc=Va=0としVzを工具長を含むベクトルとすれば、3軸加工機における演算となる。ここで、数3式~数6式は機械構造のリンク軸順の計算となる。リンク軸順とは、ベッド上でX軸コラムが動作し、X軸コラム上でY軸コラムが動作し、Y軸コラム上でZ軸コラムが動作し、Z軸コラム上でC軸ヘッドが動作し、C軸ヘッド上で工具を取付けられたA軸ヘッドが動作するという、ベッドから工具ヘッドを経由した工具先端点までのヘッド側の軸並びの順、つまりヘッド側はリンクベクトルVh,Vx,Vy,Vz,Vc,Vaがつながっていること、およびベッド上にテーブルがありその上にワークが載置されその間には軸が存在しないこと、つまりテーブル側はリンクベクトルVtだけであることをいう。ここでヘッドとは工具ヘッドのことである。したがって、リンク軸順は機械構造に依存する。VLhをヘッド側合成リンクベクトル、VLh’をヘッド側合成誤差リンクベクトルと呼ぶ。VLtをテーブル側合成リンクベクトル、VLt’をテーブル側合成誤差リンクベクトルと呼ぶ。この実施形態ではVLt、VLt’とも1個のリンクベクトルから作成されるが、1個のリンクベクトルであっても合成されてこれらの合成リンクベクトルが作成されるものとする。各マトリックスは下記のマトリックスを意味する。Mx:Vxに対する並進回転誤差生成マトリックスMy:Vyに対する並進回転誤差生成マトリックスCh:Vhに対する伸縮誤差生成マトリックスCx:Vxに対する伸縮誤差生成マトリックスCy:Vyに対する伸縮誤差生成マトリックスCz:Vzに対する伸縮誤差生成マトリックスCc:Vcに対する伸縮誤差生成マトリックスCa:Vaに対する伸縮誤差生成マトリックスCt:Vtに対する伸縮誤差生成マトリックスMz:Vzに対する並進回転誤差生成マトリックスMc:Vcに対する並進回転誤差生成マトリックスMa:Vaに対する並進回転誤差生成マトリックス各伸縮誤差生成マトリックスCh,Cx,Cy,Cz,Cc,Ca,Ctは数8式~数14式のようになる。数3式、数5式でこれらのマトリックスを乗算することは、乗算されるベクトルの第1、第2および第3要素に対して1伸縮誤差量を乗算することである。例えば、数3式でChをVhに乗算することは、Vhの第1、第2および第3要素に対して1EVhを乗算することである。各並進回転誤差生成マトリックスMx,My,Mz,Mc,Maは数15式~数19式のようになる。ここで、回転誤差量の要素1~3行、1~3列の要素は、本来はsinECXx,cosECXxなどのように三角関数によって表される。回転誤差量はラジアン単位の十分小さい量であるとして、sinECXx=ECXx,cosECXx=1と近似し、三角関数によらないマトリックスとしている。もちろん、近似せず三角関数のマトリックスとしてもよい。ここで、前述した数4式と数6式をベクトル図として図示すると、図14に示されるようになる。図14は、ヘッド側合成リンクベクトルVLhおよびテーブル側合成リンクベクトルVLtを説明する図である。VLhおよびVLtはともにテーブル固定点Pbから工具先端点へのベクトルなので、等しい。それに対して、各リンクベクトルVh,Vx,Vy,Vz,Vc,Va,Vtに各誤差生成マトリックスCh,Cx,Cy,Cz,Cc,Ca,Ct,Mx,My,Mz,Mc,Maの積が演算されることによる、数3式,数5式および数7式をベクトル図として図示すると図15のようになる。図15は、ヘッド側合成誤差リンクベクトルVLh’およびテーブル側合成誤差リンクベクトルVLt’を説明する図である。ここで、Vh’,Vx’,Vy’,Vz’,Vc’,Va’,Vt’は、それぞれリンクベクトルVh,Vx,Vy,Vz,Vc,Va,Vtに誤差生成マトリックスMx,My,Mz,Mc,Ma,Ch,Cx,Cy,Cz,Cc,Ca,Ctが乗算された誤差リンクベクトルを表す。つまり、誤差リンクベクトルVh’,Vx’,Vy’,Vz’,Vc’,Va’,Vt’はそれぞれ、数20式のように表される。これらは数3式と数5式の各項でもある。したがって、ヘッド側合成リンクベクトルVLh,テーブル側合成リンクベクトルVLt,ヘッド側合成誤差リンクベクトルVLh’およびテーブル側合成誤差リンクベクトルVLt’の関係と補正量Δ3DとヘッドおよびZ軸コラムとの関係を図示すると図16のようになる。つまり、補正量Δ3Dの補正を行うことは、工具先端点をヘッド側合成誤差リンクベクトルの先端VLh’の先端からテーブル側合成誤差リンクベクトルの先端VLt’の先端に移動し補正することである。つまり、誤差を持つ実際の工具先端点位置を誤差を持つ実際のワーク上の正しい加工位置に移動することが補正である。この結果、各リンクベクトルVh,Vx,Vy,Vz,Vc,Va,Vtに伸縮誤差、並進誤差または回転誤差があっても実際の工具先端点は実際のワーク上の正しい加工位置に移動し、ワークに対する正しい加工が行われる。なお、図16においてZ軸コラム、C軸ヘッドなどを傾けているが、誤差を持っていることを明確にするために傾けて図示している。実際の機械でこのように大きく傾くものではない。<誤差量の取得>1伸縮誤差量の取得伸縮誤差量は次のような様々な方法で取得する。もちろん、伸縮誤差量を0とすれば、伸縮誤差量を無視することも可能である。1外部からの外部入力で取得する。つまり、外部からの入力信号や通信回線を通じて数値制御装置の外部から入力する。つまり、外部の測定器などによる測定値に基づいて入力する。あるいは温度センサによって各部材の温度を測定しそれに関する関数として伸縮誤差量を求めて入力する。2電源オンからの時間による関数とする。各部材は電源オンからの時間に応じて伸縮特に熱による伸長する。そのため、電源オンからの時間t1をカウントしその時間t1の関数ft1として伸縮誤差量を求める。3主軸回転から発生する熱が大きいため、主軸回転数Sと主軸回転時間t2の関数gS,t2として伸縮誤差量を求める。4パラメータなどの設定値として設定する。または、プログラムにおける指令値として指令する。前述のように伸縮誤差量は対応するリンクベクトルに対する比としているので、ここで取得する伸縮誤差量も比として取得されることを想定している。もちろん、前述のように伸縮誤差が長さとして与えられる場合であってもこの比を容易に計算することができるので、伸縮誤差を上記の方法によって長さとして与えることも可能である。2並進誤差量、回転誤差量の取得軸位置による並進誤差量および軸位置による回転誤差量の設定について説明する。例ととして、図17に示されるX軸位置による誤差量で説明する。図17は、X軸位置による並進誤差量およびX軸位置による回転誤差量の設定を説明する図である。X軸位置がx0のときの並進誤差量EXXx0,EYXx0,EZXx0および回転誤差量EAXx0,EBXx0,ECXx0を、x0に対応した並進回転誤差量データテーブルに並進誤差量および回転誤差量として設定する。同様に、x1,x2,に対応した誤差量を並進誤差量および回転誤差量として設定する。x0,x1,x2,の位置については最初のx0を固定値にしておき、それから等間隔でx1,x2,が並んでいるとしてもよいし、x0,x1,x2,の位置を別途パラメータに設定しておいてもよい。ここで、X軸位置がxの時の並進誤差量EXXx,EYXx,EZXxおよび回転誤差量EAXx,EBXx,ECXxは、最寄のxn,xn1n=0,1,2,から比例配分で求める。つまり、xn≦x≦xn1としたとき、並進誤差量EXXxの値を数21式により求める。他の要素も同様である。他の軸位置による並進誤差量および回転誤差量も同様に並進回転誤差量データテーブルに設定されたデータと各軸の位置から求める。ここでは各軸位置による1次元のデータテーブルとしたが、関連性の強い軸同士ではそれらの軸の組み合わせによる2次元、3次元のデータテーブルとし、2軸または3軸の位置とそれらの誤差データテーブルから比例配分で求めてもよい。詳細には第3の実施形態の説明で述べるまた、並進誤差量および回転誤差量は軸位置によって値が決定される関数による値であってもよい。例えば、EXXx=hxのような関数の値であってもよい。また、上記伸縮誤差量のように外部からの入力、時間の関数、プログラム指令値などの方法による量であってもよい。もちろん、並進誤差量および回転誤差量を0とすれば、並進誤差量および回転誤差量を無視し、伸縮誤差に対する補正のみ行うようにすることも可能である。また、並進誤差量または回転誤差量を0とすれば、並進誤差または回転誤差を無視することも可能である。<ブロック図>次に、図18を用いて本発明の誤差補正部を備えた数値制御装置を説明する。数値制御装置10は一般に、指令解析部11でプログラム指令を解析して補間用データを作成し、補間部12で補間用データにもとづいて補間を行って各軸の移動すべき位置を求め、各軸用の加減速部13X,13Y,13Z,13AB,13Cによって各軸の加減速を行った後の各軸位置を求め、補正部14でピッチ誤差補正や真直度誤差補正などの従来技術の補正を行い、その結果の位置によって各軸のサーボ15X,15Y,15Z,15AB,15Cを駆動する。ここで、本発明によって、すでに述べたように、各軸の機械座標位置、並進回転誤差量データテーブル、パラメータ、外部入力21、プログラム指令および工具長補正量から、回転誤差量取得部、並進誤差量取得部および伸縮誤差量取得部において、回転誤差量、並進誤差量、伸縮誤差量を求め、リンクベクトル演算部において数1式、数2式により各リンクベクトルを求め、求めた伸縮誤差量、回転誤差量、並進誤差量および各リンクベクトルに対して補正演算部において、数3式、数4式、数5式、数6式、数7式の演算を行うことにより、補正量Δ3Dを求める。これを新たな補正量Δ3Dとして従来技術の補正量に加算して補正を行う。これらの処理をまとめた部分が図18において点線で囲った誤差補正部20である。なお、図18は1つのブロック図の例であり、上記のように回転誤差量や並進誤差量を外部入力やパラメータから求めるなど他の方法もある。その場合にはそれらの方法に応じてブロック図は変更される。図19は、第1の実施形態における誤差補正部が行う補正処理のアルゴリズムのフローチャートである。以下、各ステップに従って説明する。●[ステップSA01]機械座標位置x,y,z,c,aのデータ、および、工具長補正量を取得する。●[ステップSA02]外部入力、パラメータまたはプログラム指令から、伸縮誤差量を取得する。●[ステップSA03]並進回転誤差量データテーブルおよび機械座標位置から、数21式およびそれにならって、各並進誤差量、各回転誤差量を取得する。つまり、数21式によりX軸の並進誤差EXXxの値を求め、他の要素も同様な計算式により値を求める。●[ステップSA04]パラメータ、工具長補正量、および機械座標位置から数1式、数2式により各リンクベクトルを演算する。●[ステップSA05]伸縮誤差量、並進誤差量、回転誤差量および各リンクベクトルから数3式、数4式、数5式、数6式、数7式により補正量を演算し、処理を終了する。第2の実施形態図20は、テーブル回転型の5軸加工機の機械構成を説明する図である。Y軸テーブルやB軸テーブルなどはY軸やB軸で動作する部分を指す。回転軸はB軸とC軸としているが、他の軸A,C軸やA,B軸などの組み合わせもある。また、回転軸に関する処理や演算を除けば3軸加工機での誤差補正となるのは第1の実施形態と同じである。また、第1の実施形態と同様、図中のX,Y,Z軸座標を示す矢印はそれらの座標方向を示す矢印であり、それらの交点は機械座標系原点機械座標位置x,y,z=0,0,0ではない。図20、および図22において、図示の便宜上テーブル上に存在するワークは図示していない。<伸縮誤差、並進誤差と回転誤差>各軸位置に依存した並進誤差量と回転誤差量を表2のように表記する。ただし、着目する必要のない誤差量は0とすればよい。回転軸B軸,C軸要素を除けば3軸加工機に適用できることなど、第1の実施形態に準じる。誤差量の方向についてさらに説明する。図21は、Y軸テーブルの誤差量の方向について説明する図である。ベッド上のY軸テーブルの位置による誤差量、EXYy,EYYy,EZYy,EAYy,EBYy,ECYyを図示すると図21に示されるようになる。誤差量EXYy,EYYy,EZYyは、あるY軸位置yにおける、それぞれX方向、Y方向、Z方向のY軸テーブルの誤差である。つまり、Y軸位置による並進誤差である。誤差量EAYy,EBYy,ECYyは、あるY軸位置yにおける、それぞれX軸周り、Y軸周り、Z軸周りのY軸テーブルの誤差である。つまり、Y軸位置による回転誤差である。さらに、Y軸テーブル灰色部は第1の実施形態と同様、伸縮変位する。この伸縮誤差量をEVy図24参照とする。<リンクベクトル>第1の実施形態と同様、リンクベクトルは、工作機械のベッド固定点Pbから工具ヘッドを経由した工具先端点への、または工作機械のベッド固定点Pbからテーブルを経由した工具先端点への各軸間の結合を示すベクトルである。各軸の軸駆動部はY軸テーブルやZ軸コラム工具ヘッドなど各軸によって駆動する部分であり、各軸の軸駆動部誤差原点は各軸の軸駆動部において誤差が発生する原点であり各リンクベクトル同士の結合点でもある。図22は、図20に示される機械構成の5軸加工機におけるリンクベクトルVt,Vy,Vx,Vb,Vc,Vh,Vzを説明する図である。また、図22はx,y,z=0,0,0の時のPx0,Py0,Pz0,Pb0を示す図でもある。Vt:ベッド固定点からY軸駆動部Y軸テーブル誤差原点へのリンクベクトルベッド固定点からテーブルを経由する最初のリンクベクトルVy:Y軸駆動部Y軸テーブル誤差原点からX軸駆動部X軸テーブル誤差原点へのリンクVx:X軸駆動部X軸テーブル誤差原点からB軸駆動部B軸テーブル誤差原点へのリンクベクトルVb:B軸駆動部B軸テーブル誤差原点からC軸駆動部C軸テーブル誤差原点へのリンクベクトルVc:C軸駆動部C軸テーブル誤差原点から工具先端点へのリンクベクトルVh:ベッド固定点からZ軸駆動部Z軸コラム誤差原点へのリンクベクトルベッド固定点から工具ヘッドを経由する最初のリンクベクトルVz:Z軸駆動部Z軸コラム誤差原点から工具先端点へのリンクベクトルここで、ベッド固定点の位置をPbとする。Y軸駆動部Y軸テーブル誤差原点はベッドとY軸テーブルの接触部分の中心とし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPy0とする。X軸駆動部X軸テーブル誤差原点はY軸テーブルとX軸テーブルの接触部分の中心とし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPx0とする。B軸駆動部B軸テーブル誤差原点はB軸回転中心とC軸回転中心の交点とし、機械座標位置x,y,z,b,c=0,0,0,0,0の時のその位置x,y,z位置をPb0とする。C軸駆動部C軸テーブル誤差原点はC軸テーブルとB軸テーブルの接触部分の中心C軸回転中心とし、機械座標位置x,y,z,b,c=0,0,0,0,0の時のその位置x,y,z位置をPc0とする。Pb0とPc0の間の距離をhbcとする。Pc0-Pb0=0,0,hbcである。Z軸駆動部Z軸コラム誤差原点はベッドとZ軸コラムの接触部分の中心とし、機械座標位置x,y,z=0,0,0の時のその位置をPz0とする。hは工具長補正量である。また、直線軸の機械座標位置x,y,zは工具ヘッドの端面の位置工具長補正量0の位置とする。図20におけるX,Y,Z軸座標を示す矢印はそれらの座標方向を示す矢印であり、それらの交点は機械座標系原点機械座標位置x,y,z=0,0,0ではなく、機械座標系原点は図22中のx,y,z=0,0,0の位置工具ヘッドの端面と工具中心線との位置としている。機械座標位置x,y,zはX,Y,Z軸の移動とともに変化する。なお、図22は、X,Y,Z軸位置についてはx,y,z=0,0,0としているが、B軸位置bについてはb≠0としている図である。Vb,Vcを無視するVb=Vc=0としVxをX軸駆動部誤差原点から工具先端点へのリンクベクトルとすると、3軸加工機での誤差補正量となること、着目する必要のないリンクベクトル、つまりそのリンクベクトルから発生する誤差は無視できる場合はそのリンクベクトルを0ベクトルとしてもよいことなどは、第1の実施形態に準じる。<リンクベクトル演算>それぞれのリンクベクトルを、ここでは同次座標系で数22式のように演算する。x,y,z,b,cは機械座標位置機械座標系上の各軸位置である。Py0,Px0など定数となっているデータはあらかじめパラメータに設定しておきそれを使用する。VtT,VyTにおいてy、xを含むベクトルが減算になっているのはy,xの移動によってテーブルは逆方向に移動するためである。ここで、VbVbx,Vby,Vbz,0はB軸の回転によって数23式で表される。bはB軸位置機械座標位置である。Pc0-Pb0は、Pc0-Pb0におけるx,y,z要素を示す。各リンクベクトルVy,Vx,Vb,Vc,Vzと誤差の関係を図示すると、図23~図29のようになる。図23は、リンクベクトルVtと誤差との関係を説明する図である。図24は、リンクベクトルVyと誤差との関係を説明する図である。図25は、Vxと誤差との関係を説明する図である。図26は、リンクベクトルVbと誤差との関係を説明する図である。図27は、リンクベクトルVcと誤差との関係を説明する図である。図28は、リンクベクトルVhと誤差との関係を説明する図である。図29は、リンクベクトルVzと誤差との関係を説明する図である。図中の記号などは第1の実施形態と同様である。<誤差と補正>ある機械座標位置Px,y,z,b,cにおける、X,Y,Z軸への補正Δ3DΔ3Dx,Δ3Dy,Δ3Dz,0Tは、数24式~数28式のように演算される。Cαα=h,x,y,z,b,c,t、Mββ=x,y,z,b,cは誤差生成計算用のマトリックスであり後述すること、数28式において、VLh=VLtのため、Δ3DはVLt’―VLh’となること、補正を行うのはX,Y,Z軸に対してであり、回転軸B,C軸に対しては本発明による補正は行わないこと、回転軸の演算部分Mb,Cb,Vb,Mc,Cc,Vcによる演算部分を除けば、つまり、Vb=Vc=0とすれば、3軸加工機における演算となることなどは、第1の実施形態と同様である。ここで、数24式~数27式は機械構造のリンク軸順の計算となる。リンク軸順とは、ベッド上でZ軸コラム工具ヘッドが動作し工具先端点に至るという、ベッドから工具ヘッド単にヘッドともいうを経由した工具ヘッド側の軸並びの順と、ベッド上でY軸テーブルが動作し、Y軸テーブル上でX軸テーブルが動作し、X軸テーブル上でB軸テーブルが動作し、B軸テーブル上でC軸テーブルが動作し工具先端点に至るという、ベッドからテーブルを経由したテーブル側の軸並びの順を言う。したがって、機械構造に依存する。VLhをヘッド側合成リンクベクトル、VLh’をヘッド側合成誤差リンクベクトル、VLtをテーブル側合成リンクベクトル、VLt’をテーブル側合成誤差リンクベクトルと呼ぶ。各マトリックスは次を示す。Ch:Vhに対する伸縮誤差生成マトリックスCz:Vzに対する伸縮誤差生成マトリックスCt:Vtに対する伸縮誤差生成マトリックスCy:Vyに対する伸縮誤差生成マトリックスCx:Vxに対する伸縮誤差生成マトリックスCb:Vbに対する伸縮誤差生成マトリックスCc:Vcに対する伸縮誤差生成マトリックスMz:Vzに対する並進回転誤差生成マトリックスMy:Vyに対する並進回転誤差生成マトリックスMx:Vxに対する並進回転誤差生成マトリックスMb:Vbに対する並進回転誤差生成マトリックスMc:Vcに対する並進回転誤差生成マトリックス各マトリックス自体の内容については、第1の実施形態とほぼ同様なので省略する。数25式、数27式は、図30に示されるベクトル図で表される。それに対して、各リンクベクトルに各誤差生成マトリックスの積が演算されることにより数24式、数26式を図示すると図31のようになる。ここで、Vt’,Vy’,Vx’,Vb’,Vc’,Vh’,Vz’は、それぞれVt,Vy,Vx,Vb,Vc,Vh,Vzに誤差生成マトリックスCt,Cy,Cx,Cb,Cc,Ch,Cz,My,Mx,Mb,Mc,Mzが乗算された誤差リンクベクトルを表す。つまり、Vt’,Vy’,Vx’,Vb’,Vc’,Vh’,Vz’は数29式のように表される。したがって、VLh,VLh’,VLt,VLt’の関係と、Δ3Dと、工具ヘッドとの関係を図示すると図32のようになる。これは、Δ3Dの補正を行うことは、工具先端点を誤差のあるヘッド側合成誤差リンクベクトルの先端VLh’の先端から、誤差のあるテーブル側合成誤差リンクベクトルの先端VLt’の先端つまり実際のワーク上の正しい加工位置に移動し補正することである。この結果、各リンクベクトルに伸縮誤差、並進誤差または回転誤差があっても工具先端点は実際の誤差のあるワーク上の正しい位置に移動し、正しい加工が行われる。なお、図32ではZ軸コラム工具ヘッドがZ方向のみならずX,Y方向にも補正され動作しているように描いているが、テーブルに対する相対的なZ軸コラム位置を描いているものである。Z軸コラム自体がX,Y方向に補正動作するのではなく、X,Y方向の補正動作はテーブルの動作によって行われる。また、図32においてZ軸コラム工具ヘッド、工具を傾けているが、誤差を持っていることを明確にするために傾けて図示している。実際にこのように大きく傾くものではない。さらに、本実施形態の誤差補正部を備えた数値制御装置は、図18に示されるものと同様である。但し、補正演算における演算は、数24式~数28式の演算を行う。第3の実施形態<機械構成>第1の実施形態の図2と同様の機械構成を用いる。<リンクベクトル>第1の実施形態、第2の実施形態では、各軸駆動部ごとにリンクベクトルを作成したが、ここでは、X,Y,Z軸間での関連性が強い、またC,A軸間での関連性が強いとする。そこで、リンクベクトルを図33に示すようにする。その他は第1の実施形態に準じる。Vh:ベッド固定点からX軸コラム誤差原点へのリンクベクトルとする。Vxyz:X軸コラム誤差原点からX軸コラム、Y軸コラム、Z軸コラムを経由してC軸ヘッド誤差原点へのリンクベクトルとする。ここでは、C軸ヘッド誤差原点はZ軸コラムとC軸ヘッドの接触部分の中心であると想定する。Vca:C軸ヘッド誤差原点からA軸ヘッドを経由して工具先端点へのリンクベクトルとする。Vt:ベッド固定点からテーブルを経由する工具先端点へのリンクベクトルとする。ここでVcaを無視するVca=0としVxyzをX軸コラム誤差原点から工具先端点へのリンクベクトルとすると3軸加工機での誤差補正となる。あるいは、図3におけるVcは十分無視できる場合は、リンクベクトルVxyzとVcaは次のように作成してもよい。その場合のリンクベクトルは図34のようになる。図33との相違はVxyzとVca=Vaのみである。Vxyz:X軸コラム誤差原点からX軸コラム、Y軸コラム、Z軸コラムを経由してA軸ヘッド誤差原点へのリンクベクトルとする。ここでは、A軸ヘッド回転誤差原点はA軸回転中心中央とする。Vca:A軸ヘッド誤差原点から工具先端点へのリンクベクトルとする。図3のVaと同じ。着目する必要のないリンクベクトル、つまりそのリンクベクトルに対する誤差は無視できる場合は、そのリンクベクトルを0ベクトルとしてもよい。<伸縮誤差>Vh,Vxyz,Vca,Vtに対する伸縮誤差をEVh,EVxyz,EVca,EVtとする。着目する必要のない誤差量は0とすればよい。<並進誤差と回転誤差>各軸に依存した並進誤差量と回転誤差量を表3のように表記する。ただし、不要な要素は誤差量0として省略可である。回転軸C,A軸要素を除けば3軸加工機に適用できる、着目する必要のない誤差量は0とすればよいことは第1の実施形態と同様である。第1の実施形態、第2の実施形態では、各軸位置による1次元のデータテーブルとしたが、ここでは、上記のようにX,Y,Z軸間での関連性が強いとしてそれらに関する誤差量はX,Y,Zの3次元データ、C,A軸間での関連性が強いとしてそれらに関する誤差量はC,Aの2次元データとしている。<リンクベクトル演算>図33の場合、それぞれ、ここでは同次座標系で数30式のように演算する。x,y,z,a,cは機械座標位置機械座標系上の各軸位置である。Vaは数2式と同じである。図34の場合は、数30式において、Pc0=0とする。各リンクベクトルと誤差の関係は図35~図38で示される。<誤差と補正>ある機械座標位置Px,y,z,c,aにおける、X,Y,Z軸への補正量Δ3DΔ3Dx,Δ3Dy,Δ3Dz,0は、数31式~数35式のように演算される。回転軸の演算部分Mca,Vcaによる演算部分を除けば、3軸加工機における演算となる。ここで、数31式、数32式は機械構造のリンク軸順となる。つまり、X,Y,Z軸上でC,A軸が動作するという軸並びの順である。ここで、各誤差生成マトリックスは次のようになり、計算式は数36式~数41式のようになる。Ch:Vhに対する伸縮誤差生成マトリックスCxyz:Vxyzに対する伸縮誤差生成マトリックスCca:Vcaに対する伸縮誤差生成マトリックスCt:Vtに対する伸縮誤差生成マトリックスMxyz:Vxyzに対する並進回転誤差生成マトリックスMca:Vcaに対する並進回転誤差生成マトリックス数32式で求められるヘッド側合成リンクベクトルVLh、数34式で求められるテーブル側合成リンクベクトルVLtは、図39のベクトル図として表せる。それに対して、各リンクベクトルに各誤差生成マトリックスの積が演算されることによる数31式、数33式を図示すると図40のようになる。ここで、Vxyz’,Vca’は、それぞれVxyz,Vcaに伸縮誤差生成マトリックスCxyz,Ccaおよび並進回転誤差生成マトリックスMxyz,Mcaを乗算した誤差リンクベクトルを表す。また、Vh’,Vt’はVh,Vtに伸縮誤差生成マトリックスCh,Ctを乗算したリンクベクトルを表す。つまり、Vh’,Vxyz’,Vca’,Vt’は数42式のように表される。ヘッド側合成リンクベクトルVLh、ヘッド側合成誤差リンクベクトルVLh’、テーブル側合成リンクベクトルVLt、およびテーブル側合成誤差リンクベクトルVLt’の関係と工具の関係は、第1の実施形態と同様である。したがって、各リンクベクトルに伸縮誤差、並進誤差または回転誤差があっても工具先端点は正しい位置に移動し、正しい加工が行われる。<誤差量の設定>伸縮誤差量については第1の実施形態と同様であるので省略する。並進誤差量および回転誤差量の設定について説明する。例として、X,Y,Z軸位置による誤差量で説明する。X,Y,Z軸位置がx0,y0,z0のときの並進誤差量EXXYZx0,y0,z0,EYXYZx0,y0,z0EZXYZx0,y0,z0および回転誤差量EAXYZx0,y0,z0,EBXYZx0,y0,z0,ECXYZx0,y0,z0を、x0,y0,z0に対応した誤差量補正データテーブルに並進誤差量および回転誤差量として設定する。同様に、xi,yj,zki,j,k=0,1,2,に対応した誤差量を並進誤差量および回転誤差量として設定する。x0,x1,x2,,y0,y1,y2,,z0,z1,z2,の位置については最初のx0,y0,z0を固定値にしておき、それから等間隔でx1,x2,,y1,y2,,z1,z2,が並んでいるとしてもよいし、x0,x1,x2,,y0,y1,y2,,z0,z1,z2,の位置を別途パラメータに設定しておいてもよい。<誤差量データテーブル>例えば、図41には誤差量データテーブルが示されており、X,Y,Z軸位置がx1,y0,z1において、並進誤差量EXXYZx1,y0,z1,EYXYZx1,y0,z1,EZXYZx1,y0,z1および回転誤差量EAXYZx1,y0,z1,EBXYZx1,y0,z1,ECXYZx1,y0,z1が設定されている。X,Y,Z軸位置がx,y,zの時の並進誤差量EXXYZx,y,z,EYXYZx,y,z,EZXYZx,y,zおよび回転誤差量EAXYZx,y,z,EBXYZx,y,z,ECXYZx,y,zは、最寄のxi,xi1xi≦x≦xi1,yj,yj1yj≦y≦yj1,zk,zk1zk≦z≦zk1i,j,k=0,1,2,における並進誤差量および回転誤差量から、図42に示されるように比例配分でそれぞれの誤差量を求める。図42は、X,Y,Z軸位置がx,y,zの時の並進誤差量および回転誤差量を誤差量データテーブルのデータから比例配分で求めることを説明する図である。さらに、C,A軸位置による誤差量を説明する。C,A軸位置がc0,a0のときの並進誤差量EXCAc0,a0,EYCAc0,a0,EZCAc0,a0および回転誤差量EACAc0,a0,EBCAc0,a0,ECCAc0,a0を、c0,a0に対応した誤差量データテーブルに並進誤差量および回転誤差量として設定する。同様に、cm,anm,n=0,1,2,に対応した誤差量を並進誤差量および回転誤差量として設定する。c0,c1,c2,,a0,a1,a2,位置については最初のc0,a0を固定値にしておき、それから等間隔でc1,c2,,a1,a2,が並んでいるとしてもよいし、c0,c1,c2,,a0,a1,a2,の位置を別途パラメータに設定しておいてもよい。例えば、図43はC,A軸依存の誤差量を説明する図であり、図43ではc1,a1において、並進誤差量EXCAc1,a1,EYCAc1,a1,EZCAc1,a1を回転誤差量EACAc1,a1,EBCAc1,a1,ECCAc1,a1を設定していることを示している。そして、C,A軸位置がc,aの時の並進誤差量EXCAc,a,EYCAc,a,EZCAc,aおよび回転誤差量EACAc,a,EBCAc,a,ECCAc,aは、最寄のcm,cm1cm≦c≦cm1,an,an1an≦a≦an1m,n=0,1,2,における並進誤差量および回転誤差量から図44に示されるように比例配分でそれぞれの誤差量を求める。図44は、C,A軸位置がc,aの時の並進誤差量および回転誤差量を誤差量データテーブルに記憶された最寄の位置のデータから比例配分で求めることを説明する図である。また、これらの軸依存並進誤差量および該軸依存回転誤差量は、第1の実施形態と同様に、軸位置によって値が決定される関数x,y,zやc,aに依存した関数による値であってもよい。第1の実施形態および第3の実施形態はヘッド回転型の5軸加工機、第2実施形態ではテーブル回転型の5軸加工機で説明したが、既に述べたように、回転軸2軸に対するデータや処理を除けばそのまま3軸加工機に適用できる。また、5軸加工機にはヘッドに回転軸が1軸ありテーブルに回転軸が1軸ある混合型と呼ばれる5軸加工機もある。本発明は、混合型の5軸加工機にも同様に適用できる。図45は、テーブルに回転軸C軸がありヘッドに回転軸B軸がある混合型の5軸加工機の一例を示す図である。図46は本発明を適用した一実施形態の誤差補正部を備えた数値制御装置の構成を概略で示すブロック図である。数値制御装置10は本発明に係る誤差補正機能を備えている。プロセッサであるCPU111は、ROM112に格納されたシステムプログラムに従って数値制御装置1の全体を制御する。RAM113は、各種のデータあるいは入出力信号が格納される。不揮発性メモリ114に格納された各種のデータは電源切断後もそのまま保存される。グラフィック制御回路115は、デジタル信号を表示用の信号に変換し、表示装置116に与える。キーボード117は、数値キー、文字キーなどを有する各種設定データを入力する手段である。軸制御回路118は、CPU111から各軸の移動指令を受けて軸の指令をサーボアンプ119に出力する。このサーボアンプ119は、この移動指令を受けて工作機械120のサーボモータ図示せずを駆動する。これらの構成要素はバス121で互いに結合されている。PMCプログラマブルマシンコントローラ122は、加工プログラムの実行時に、バス121経由でT機能信号工具選択指令などを受け取る。そして、この信号を、シーケンスプログラムで処理して、動作指令として信号を出力し、工作機械120を制御する。また、工作機械120から状態信号を受けて、CPU111に必要な入力信号を転送する。更に、バス121には、システムプログラム等によって機能が変化するソフトウェアキー123、NCデータを記憶装置などの外部機器に送るインタフェース124が接続されている。このソフトウェアキー123は、表示装置116、キーボード117と共に、表示装置/MDIパネル125に設けられている。"