"直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差δを変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分DC、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分ACをそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比AC/DCに前記位相差の変調振幅δ0を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備えることを特徴とする円二色性測定装置。光源からの赤外光を固定鏡および移動鏡に向かうように2分割し、かつ、前記固定鏡および前記移動鏡からの反射光を合成して、光路差Dの変化に応じた干渉光を形成する干渉手段と、前記干渉光から直線偏光を取り出して、前記光路差Dの変化よりも大きい変調周波数fで、前記直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差δを変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分DC、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分ACをそれぞれ抽出し、該交流成分および該直流成分の比AC/DCを縦軸、前記光路差Dを横軸とするインターフェログラムにフーリエ変換を施し、フーリエ変換後の値に前記位相差の変調振幅δ0を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備えることを特徴とする円二色性測定装置。請求項1または2記載の測定装置において、前記楕円偏光変調手段は、入射光から直線偏光を取り出す偏光子と、前記直線偏光を変調して左右の楕円偏光を形成する位相変調子と、を含み、前記偏光強度測定手段は、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光のうちの短軸方向の直線偏光を透過する検光子と、この透過した直線偏光の強度を検出する検出器と、を含み、前記検光子は、前記偏光子に対して直交ニコルに設置されていることを特徴とする円二色性測定装置。請求項1から3のいずれかに記載の測定装置は、所定の測定波長領域の円二色性スペクトルを取得する測定装置であって、前記楕円偏光変調手段の位相差δの変調振幅δ0は、前記測定波長領域の全領域で1/10ラジアン以下であることを特徴とする円二色性測定装置。直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差δを変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調工程と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分DC、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分ACをそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比AC/DCに前記位相差の変調振幅δ0を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算工程と、を備えることを特徴とする円二色性測定方法。請求項5記載の測定方法において、さらに、光源からの赤外光を固定鏡および移動鏡に向かうように2分割し、かつ、前記固定鏡および前記移動鏡からの反射光を合成して、光路差Dの変化に応じた干渉光を形成する干渉光形成工程を備え、前記楕円偏光変調工程では、前記干渉光から直線偏光を取り出して、前記光路差Dの変化よりも大きい変調周波数fで、前記直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差δを変調し、前記演算工程では、前記強度変化の直流成分DC、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分ACをそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比AC/DCを縦軸、前記光路差Dを横軸とするインターフェログラムにフーリエ変換を施し、フーリエ変換後の値に前記位相差の変調振幅δ0を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得することを特徴とする円二色性測定方法。本発明は、高速CD時間変化測定装置において達成された技術をベースとする。すなわち、直線偏光に小さな位相差δを与えて扁平率が極めて大きい楕円偏光とし、その長軸方向に直交する方向に検光子をおいて、短軸方向の成分だけを検出することにより、バックグランドに相当する大きな長軸方向の成分を除く。これによって、CDを直接反映する信号だけが優先的に取り出されて、感度の向上を実現するという技術である。そして、本発明の目的は、上記の技術を、従来のECD測定装置およびVCD測定装置に適用して、これらの測定感度の向上を果たすことであり、特に、従来のVCD測定装置に適用することで、感度の向上だけでなく、測定波長範囲を限定しなければならないという問題をも解決し、振動分光が関与する全波長領域を一度に感度良く測定できる装置およびその測定方法を提供することにある。本発明の円二色性測定装置は、以下の楕円偏光変調手段、偏光強度測定手段および演算手段を備えることを特徴とする。楕円偏光変調手段は、直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差δを変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する。偏光強度測定手段は、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する。演算手段は、前記強度変化の直流成分DC、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分ACをそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比AC/DCに前記位相差の変調振幅δ0を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する。この構成によれば、楕円偏光変調手段が、直線偏光を円偏光になるまで変調しないで、直線偏光を扁平率の大きい楕円偏光の状態まで変調する。よって、直線偏光から扁平率の大きい左回りと右回りの楕円偏光が交互に形成される。さらに、偏光強度測定手段が、試料を透過した左右の楕円偏光の光束を全て検出するのではなくて、左右の楕円偏光のうちの短軸方向の偏光成分だけを取り出して、その偏光成分の光束を検出し、変調に応じた偏光成分の強度変化を測定する。このようにすれば、CDを直接反映する信号だけを優先的に取り出すことができる。よって、円二色性測定の感度向上と確からしさの向上を実現できる。なお、所望の円二色性を得るには、測定された強度変化からDC成分とAC成分を抽出して、その比AC/DCに変調振幅δ0を掛ける演算を行えばよい。また、本発明の円二色性測定装置は、以下の干渉手段、楕円偏光変調手段、偏光強度測定手段および演算手段を備えることを特徴とする。干渉手段は、光源からの赤外光を固定鏡および移動鏡に向かうように2分割し、かつ、前記固定鏡および前記移動鏡からの反射光を合成して、光路差Dの変化に応じた干渉光を形成する。楕円偏光変調手段は、前記干渉光から直線偏光を取り出して、前記光路差Dの変化よりも大きい変調周波数fで、前記直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差δを変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する。偏光強度測定手段は、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する。演算手段は、前記強度変化の直流成分DC、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分ACをそれぞれ抽出し、該交流成分および該直流成分の比AC/DCを縦軸、前記光路差Dを横軸とするインターフェログラムにフーリエ変換を施し、フーリエ変換後の値に前記位相差の変調振幅δ0を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する。この構成では、楕円偏光変調手段に入射する測定光は、干渉光である。なお、単色光が干渉計に通された場合には、その干渉光は光路差に応じたサインカーブを描く。しかし、赤外吸収の測定では、測定光は所定の波長領域の連続光であり、その干渉光は単色光が描くサインカーブの重ね合わせとなる。このような波形をインターフェログラムと呼ぶ。本発明の構成によれば、楕円偏光変調手段が、インターフェログラムを描く干渉光から直線偏光を取り出して、前述の発明と同様に、直線偏光を円偏光になるまで変調しないで、扁平率の大きい楕円偏光の状態まで変調する。よって、インターフェログラムの状態の左右の楕円偏光が交互に形成されることになる。また、前述の発明と同様に、偏光強度測定手段が、試料を透過した左右の楕円偏光の光束を全て検出するのではなくて、左右の楕円偏光のうちの短軸方向の偏光成分だけを取り出して、その偏光成分の光束を検出し、変調に応じた偏光成分の強度変化を測定する。ここで測定される偏光成分もインターフェログラムの状態であるので、所望の円二色性を得るには、測定された強度変化からDC成分とAC成分を抽出して、その比AC/DCにフーリエ変換を施せばよい。そして、変換後の値に変調振幅δ0を掛ける演算を行えばよい。従って、前述の発明と同様に、感度の向上が得られる。さらに、測定波長領域で、不感あるいは符号の反転が生じず、測定波長領域が楕円変調手段の変調振幅を設定する中心波長から限られた領域に限定されずに済む。従って、全波長領域を一度に感度良く測定することができる。また、楕円偏光変調手段は、入射光から直線偏光を取り出す偏光子、および、前記直線偏光を変調して左右の楕円偏光を形成する位相変調子を含む。また、偏光強度測定手段は、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光のうちの短軸方向の直線偏光を透過する検光子、および、この透過した直線偏光の強度を検出する検出器を含む。そして、本発明では、検光子は、偏光子に対して直交ニコルに設置されていることが好ましい。この構成によれば、偏光子と検光子とが直交ニコルの関係にあるので、検光子が左右の楕円偏光の短軸方向の偏光成分を正確に透過させることができる。また、本発明は、所定の測定波長領域の円二色性スペクトルを取得する円二色性測定装置であって、楕円偏光変調手段の位相差δの変調振幅δ0は、測定波長領域の全領域で1/10ラジアン以下であることが好ましい。この構成によれば、従来のECD測定法での変調振幅がδ0=1.84ラジアンであることと比べると、変調振幅が極微小となる。よって、位相差の小さく変調精度の高い位相変調子を採用できる。本発明の円二色性測定装置の基本的な構成について図1を用いて説明する。測定光学系は偏光子501、位相変調子PEM502、試料部503、検光子アナライザ504、検出器505からなり、この順に測定光500の光軸上に配置されている。偏光子501は、測定光500からY-Z平面に偏光面を有する直線偏光を取り出すように配置されている。PEM502はその主軸をX方向から45°傾けた状態で配置されている。従来のECD測定装置では、PEMは、各測定波長において1次のベッセル関数が最大値となるδ0=1.84ラジアンの変調振幅を与えるようなプログラムによって駆動される。しかし、本発明では全波長領域でそれよりはるかに小さいδ0=0.1ラジアン、至適には0.01ラジアンとなるよう、PEMの駆動電力をコントロールする。なお、δ0は位相変調をδ=δ0sin2πftと表したときの変調振幅を示し、予め標準試料を用いた測定によって得られ、記憶されている。直線偏光はPEM502により位相差を変調される。具体的には、直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差δがPEM502により変調される。そして、長軸方向Y方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光が交互に形成される。検光子504は、試料部503の後段に偏光子501とクロスニコルとなるように設けられている。この検光子504により、試料部503の試料を透過した左右の楕円偏光から、短軸方向X方向の偏光成分が取り出される。そして、検出器505は、短軸方向の偏光成分の強度変化を測定する。データ処理系は、プリアンプ506、ロックインアンプ508、DCアンプ507、PEMドライバ509、A/Dコンバータ510およびデータ処理装置511から構成されている。検出器505で検出された光強度信号は、プリアンプ506で増幅された後、その直流成分と交流成分とが別々に増幅される。ロックインアンプ508は、PEM502の駆動周波数と同期する信号をPEMドライバ509から受けて、駆動周波数と同じ周波数成分である交流成分信号ACを光強度信号から抽出する。DCアンプ507は、光強度信号から直流成分信号DCを抽出する。直流成分信号と交流成分信号は、適当なA/Dコンバータ510で数値化されて、データ処理装置511に取り込まれる。データ処理装置511においては、CD値ΔAは、式4に従って算出される。すなわち、交流成分および直流成分の比AC/DCに位相差の変調振幅δ0を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する。[第1実施形態]図2は本実施形態のECD測定装置の具体的な測定光学系の構成を示す光路図である。測定光学系は、光源室、分光器室、位相変調室、試料室および検出室に大別される。光源室には、光源ランプ600および集光鏡601が配置され、分光器室へ測定光を供給する。分光器室には、第1プリズム系および第2プリズム系の各光学素子からなる分光器602が形成され、光源からの測定光を2つの結晶石英のプリズム604、606を分光素子として単色化する。第1プリズム系は、スリット603、コリメータ鏡605および第1プリズム604からなり、光源室からの測定光を所定の波長領域の光に分光する。また、第2プリズム系も同様に、スリット603、コリメータ鏡605および第2プリズム606からなる。従来のシステムでは、第2プリズム606を偏光子としても働かせているが、これを踏襲することは好適である。すなわち、第1プリズム系からの測定光を所定の単色光に分光するとともに、直線偏光にする。直線偏光はレンズ607で集光され、位相変調室に送られる。位相変調室には、PEM608およびシャッター609が配置されている。分光器602からの直線偏光は、PEM608で0.01ラジアン程度の小さな位相変調を加えられ、扁平率が大きく直線偏光に近い左右の楕円偏光となる。左右の楕円偏光は、位相差の変調周波数に応じて交互に形成され、シャッター609を通って、試料室に送られる。左右の楕円偏光は試料部610を透過した後、検出室に送られる。検出室には本発明で特徴的な検光子611および検出器612が配置されている。左右の楕円偏光を検光子611に通して楕円の短軸成分である直線偏光成分を取り出し、その強度を検出器612で検出する。なお、偏光子として機能する第2プリズム606および出射スリット603は、測定光から取り出す偏光が紙面に平行な直線偏光となるように配置されている。一方、検光子611は、楕円偏光から紙面に垂直な偏光成分だけを取り出すよう配置されている。図3は本実施形態のECD測定装置の全体構成図である。ここでは、検出器612で測定された強度信号の処理システムについて説明する。検出器612で検出された光の強度信号は、プリアンプ613で増幅され、ACアンプおよびDCアンプにそれぞれ送られる。ACアンプ618は、強度信号中の交流成分を増幅する。さらにロックインアンプ619は、増幅された交流成分信号から変調周波数と同じ周波数成分を抽出する。抽出された交流成分信号はA/Dコンバータ621で数値化されてデータ処理装置622に取り込まれる。一方、DCアンプ620は、強度信号中の直流成分を増幅する。増幅された直流成分信号は、A/Dコンバータで数値化されデータ処理装置622に取り込まれる。また、DCアンプ620からの直流成分の一部は、差動アンプ617に取り入れられ、1Vの基準電圧と比較される。そして、PMTHTV616は、直流成分の出力が基準電圧と同じ1Vになるように、検出器612であるPMTの印加電圧をコントロールする。これにより、自動的に所望の信号レベルでAC/DCを演算することができる。データ処理装置622の取り込んだ信号は、基本的にAC/DCであり、データ処理装置622において式4に示した係数-δ0/ln10を乗じられてCDデータとなる。本実施形態では、PEMの駆動電力を、全波長領域で一定とするのが、システムの簡略化のためには好都合である。その結果として、変調振幅δ0は波長によって変化するので、それを係数として補正する。そうしないで、全波長領域で変調振幅δ0が一定になるようPEMの駆動電力をプログラムすることも可能である。δ0を実測で求める方法前述のように、CDを算出するには光強度の検出信号から得られたAC/DCに変調の強度に関係する係数変調振幅δ0を掛ける必要があり、予めこの変調振幅δ0が分かっていなければならない。この発明のきっかけとなった先行の高速CD時間変化測定装置においても、図7に示したように位相子32を機械的に動かして2つの偏光状態を作り出しており、ここでもその位相子32の位相差が既知であるは必要であった。しかし、位相子32はスタティックなものであって、エリプソメトリーなどのような既知の手段によって実測可能なものであった。ところが本発明では、この変調振幅δ0は、図1のようにPEM502を構成する結晶に振動を与え、その振動からひずみを生じさせ、そのひずみが結晶に屈折率の異方性を生起し、それが直交する2つの直線偏光に位相差を与え、それが変調の強度となっているダイナミックなものである。従って、スタティックな位相差を測定するエリプソメトリーなどのような通常の手段によっては実測できない。このダイナミックな位相変調の強度変調振幅δ0を、実測確定する手段がなければ、本発明は成り立たない。この点も、先行技術と決定的に違うところである。本発明のために、ダイナミックなPEM502の変調振幅δ0を実測で求める方法を説明する。このための基準試料として、スタティックな複屈折性を有する素子を用いる。このような素子としては、結晶石英やサファイヤのような透明な1軸性の結晶板が適当である。その位相差は0.1ラジアン程度のものが適当である。そして、その位相差を、波長に対するスペクトルとして、エリプソメトリーなどで実測しておく。こうして位相差が求まっている基準試料を、その軸をX軸に対して45°傾けて、即ちPEMの軸に一致させる方向にして試料部503に置く。この状態で本発明の測定を行うと、直流成分はDC=1/2偏光子を通って直線偏光になったときの光の強度を1とする、交流成分は式5となる。Δは基準試料の位相差である。これが既知であるから、目的のPEMの変調振幅δ0を、式6で求めることができる。[第2実施形態]次に、本発明の第2実施形態に係るVCD測定装置について説明する。図4は、VCD測定装置の全体構成図である。基本的な構成は、図1の光学系の構成と共通しているが、前述の第1実施形態では、測定光として分光計からの単色光を用いるのに対して、本実施形態では、測定光として干渉計からの干渉光を用いる点で相違する。すなわち、赤外光源700から出た光は干渉計702を通じてインターフェログラムを描く干渉光となる。干渉計702には、集光鏡701を反射した赤外光が供給される。干渉計702は、測定光を2つの光束に分割するビームスプリッタ706を有する。分割された一方の光束ビームスプリッタの反射光は固定鏡705を反射してビームスプリッタ706へ戻り、他方の光束ビームスプリッタの透過光は可動鏡707を反射して同様にビームスプリッタ706へ戻る。2つの光束はビームスプリッタ706で合成され干渉光となって出射される。干渉光は、可動鏡707の移動位置に応じた強度、すなわち、2つの光束の光路差Dに応じた強度を有する干渉光として出射される。なお、干渉光を偏光子708で直線偏光のインターフェログラムとして、PEM709で位相変調を加え、試料部710に入射させることは、従来の振動CD測定装置と基本的に同じである。唯、PEMは、本発明の根幹に従って、全波数領域に亘って変調強度が0.1ラジアン以下、至適には0.01ラジアンとなる状態で稼動させる。さらに本発明では、試料部710の後に新たに検光子711を取り付けている。検光子711を透過した光は集光レンズ712で検出器713に集光される。検光子711は、前段に設けられた偏光子708とクロスニコルの状態に設置されている。検出器713の検出信号は、やはり従来のVCD測定装置と同様に、プリアンプ714で増幅された後、直流成分はそのままデータ処理装置718に取り込まれる。また、検出信号の交流成分はPEMの変調周波数に同期させたロックインアンプ717によって抽出され、データ処理装置718に干渉計の移動鏡の位置に同期した時系列の信号として取り込まれる。データ処理装置718は、各成分からAC/DCの値を演算する。この演算結果はCDに関係する信号列ではあるが、CDそのものではなく、インターフェログラムである。従って、これをデータ処理用のコントロールPC720に送り、そこでフーリエ変換が施されて波長波数νに対するスペクトルとなる。このスペクトルに、波数νのパラメータを有する変調振幅δ0を掛けて、式7によりCDスペクトルを得ることができる。式中のF[]はフーリエ変換を表す。[本発明の測定原理の正当性の証明]次に、本発明のCDの測定原理が適正であることを、ジョーンズベクトル、ジョーンズ行列の手法を用いて説明する。図1の偏光子501を通過した後のY軸方向の直線偏光をジョーンズベクトルでJ1は式8のように表される。さらに、変調位相差δ=δ0sin2πftを与えるPEM502、左右の円偏光に対してそれぞれ振幅透過率tl,trの円二色性を示す試料、X軸方向の検光子の作用を示すジョーンズ行列MPEM,MS,MAは、式9ように表される。PEM502、試料部503、検光子504を通過した後のジョーンズベクトルJ2は、J1にこれらの行列を順に左から掛けたものとなり、式10のようになる。検出される信号強度は、この絶対値の2乗となり、それは式11のようになる。δは小さいのでsinδ=δ、sin2δ=2δと近似でき、tlとtrの差は小さいので、tl-tr2=0と近似できる。式11は次式12となる。位相差δの定義およびtl-tr2=0の近似式から、δ2、tltrを示す式13が導かれる。上式13の関係を代入すると、最終的に強度Iは式14となる。そうすると、直流成分DCと変調周波数fと同じ周波数の交流成分ACは、式15となる。よって、CDΔAと光の強度Iの関係は、式16で表される。ここで、I、ΔIは、式17で表される。従って、式16は、式18となって、前述の式4の正当性が照明された。[変調振幅の実測方法の正当性の証明]次に、位相差Δのスタティックな位相子を基準試料として使って、PEMの変調振幅δ0を実測する方法の根拠を、ジョーンズベクトル、ジョーンズ行列の手法を用いて説明する。図1において、スタティックな位相差Δを有する位相子をX軸に対して45°の方向に傾けて基準試料として使ったときのジョーンズ行列Mstdは、式19と表される。これを式10のMSに代えて計算すると、式20、21となる。δは小さいのでsin2δ=2δ、cos2δ=1-2δ2と近似できて式22となる。前式13と同様、式23を代入すると、式24が得られる。従って、式25となって、前述の式6の正当性が証明された。本発明のCDの検出感度について続いて本発明による方法が感度の点で従来法に優れることを説明する。そのために、従来の偏光変調CD測定装置と本発明による偏光変調CD測定装置で検出される直流信号および交流信号を比較する。簡単のために、偏光子を通って直線偏光になったときの光の強度を1.0として、信号強度の比較を行う。また簡単のために、試料の平均の吸光度を1.0、ΔA/Aを1/1000として比較を行う。従来法による信号強度は式1で表されるものとなり、直流信号DCは、DC=IlIr/2、交流信号ACは、AC=Il-IrJ1=0.5819xIl-Irである。これに対して、本発明による方法は式15で表されるものとなり、こちらの変調振幅δ0は至適の0.01とする。これらの条件に基づいて計算すると、表2のようになる。この計算結果から、従来法では約1.3x103のAC/DCを検知しなければならないのに対して、本発明では約3.7x102のAC/DCを検知すればよく、約27倍有利であることが明らかになった。この関係は、振動円二色性測定装置でも全く同じであり、振動円二色性測定装置についても従来の方法に較べ、本発明の検出感度が約27倍有利となる。本発明のVCDの波数範囲の拡張について本発明による方法では、PEMの変調振幅δ0を0.01ラジアンにするのが至適である。波数1250cm-1波長で8μmで、この変調振幅δ0にすると、他の波数では表3のような変調振幅δ0となる。振動円二色性測定がカバーするこれら全部の波数領域で、不感あるいは符号の反転が起きる変調振幅δ0からは十分小さく、好適な感度が得られる条件で測定ができる。即ち、従来の振動円二色性測定装置では、測定波数領域がPEMの変調強度を設定する中心波数から限られた領域に限定されてしまっていたのが、本発明によってその限界が取り払われたことが判る。"