"メタアクリル系モノマーAと、極性基含有単官能モノマーBと、架橋剤Cと、重合開始剤Dと、メタアクリル系ポリマーEと、機能性フィラーFとを含む機能性層形成用塗布液を作製する工程と、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、架橋剤cと、重合開始剤dと、メタアクリル系ポリマーeとを含む粘着層形成用塗布液を作製する工程と、基材に、前記機能性層形成用塗布液及び前記粘着層形成用塗布液を同時に塗布して機能性層形成用塗布液層及び粘着層形成用塗布液層を積層して形成する工程と、前記機能性層形成用塗布液層と前記粘着層形成用塗布液層とを硬化させて機能性層及び粘着層を形成する工程とを含み、前記機能性層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーAと、極性基含有単官能モノマーBと、メタアクリル系ポリマーEとの合計重量を100重量部とした場合、メタアクリル系モノマーAの含有量が、40~98重量部であり、極性基含有単官能モノマーBの含有量が、1~10重量部であり、架橋剤Cの含有量が、0.01~0.8重量部であり、重合開始剤Dの含有量が、0.05~5重量部であり、メタアクリル系ポリマーEの含有量が、1~50重量部であり、機能性フィラーFの含有量が、120~800重量部であり、前記粘着層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、メタアクリル系ポリマーeとの合計重量を100重量部とした場合、メタアクリル系モノマーaの含有量が、40~98重量部であり、極性基含有単官能モノマーbの含有量が、1~10重量部であり、架橋剤cの含有量が、0.02~1.0重量部であり、重合開始剤dの含有量が、0.05~5重量部であり、メタアクリル系ポリマーeの含有量が、1~50重量部であることを特徴とする機能性粘着シートの製造方法。メタアクリル系モノマーA及びメタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーB及び極性基含有単官能モノマーbと、架橋剤C及び架橋剤cと、重合開始剤D及び重合開始剤dと、メタアクリル系ポリマーE及びメタアクリル系ポリマーeとが、それぞれ同じ成分からなる請求項1に記載の機能性粘着シートの製造方法。前記粘着層形成用塗布液が、機能性フィラーfを更に含み、前記粘着層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、メタアクリル系ポリマーeとの合計重量を100重量部とした場合、前記機能性フィラーfの含有量が、10~100重量部である請求項1又は2に記載の機能性粘着シートの製造方法。前記機能性フィラーF及び前記機能性フィラーfが、熱伝導フィラーである請求項3に記載の機能性粘着シートの製造方法。特許文献1に記載の粘着層付熱伝導性シートでは、予め形成した熱伝導性シートの表面に後から粘着層を塗布により形成するものであるため、粘着層を形成する際に熱伝導性シートと粘着層との間に異物が混入しやすく、熱伝導性シートと粘着層との界面接着力が低下するおそれがある。また、特許文献2に記載の熱伝導シートでも、それぞれ予め形成した熱伝導層と粘着層とを貼り合せるため、特許文献1と同様に、熱伝導層と粘着層とを貼り合せる際に異物が混入しやすく、熱伝導層と粘着層との界面接着力が低下するおそれがある。本発明は、上記問題を解決するもので、熱伝導層等の機能性層と粘着層との界面接着力が高い機能性粘着シートの製造方法を提供するものである。本発明の機能性粘着シートの製造方法は、メタアクリル系モノマーAと、極性基含有単官能モノマーBと、架橋剤Cと、重合開始剤Dと、メタアクリル系ポリマーEと、機能性フィラーFとを含む機能性層形成用塗布液を作製する工程と、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、架橋剤cと、重合開始剤dと、メタアクリル系ポリマーeとを含む粘着層形成用塗布液を作製する工程と、基材に、前記機能性層形成用塗布液及び前記粘着層形成用塗布液を同時に塗布して機能性層形成用塗布液層及び粘着層形成用塗布液層を積層して形成する工程と、前記機能性層形成用塗布液層と前記粘着層形成用塗布液層とを硬化させて機能性層及び粘着層を形成する工程とを含み、前記機能性層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーAと、極性基含有単官能モノマーBと、メタアクリル系ポリマーEとの合計重量を100重量部とした場合、メタアクリル系モノマーAの含有量が、40~98重量部であり、極性基含有単官能モノマーBの含有量が、1~10重量部であり、架橋剤Cの含有量が、0.01~0.8重量部であり、重合開始剤Dの含有量が、0.05~5重量部であり、メタアクリル系ポリマーEの含有量が、1~50重量部であり、機能性フィラーFの含有量が、120~800重量部であり、前記粘着層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、メタアクリル系ポリマーeとの合計重量を100重量部とした場合、メタアクリル系モノマーaの含有量が、40~98重量部であり、極性基含有単官能モノマーbの含有量が、1~10重量部であり、架橋剤cの含有量が、0.02~1.0重量部であり、重合開始剤dの含有量が、0.05~5重量部であり、メタアクリル系ポリマーeの含有量が、1~50重量部であることを特徴とする。本発明によれば、熱伝導層等の機能性層と粘着層との界面接着力が高く、各層の特性が安定した機能性粘着シートを提供できる。本発明の機能性粘着シートの製造方法は、メタアクリル系モノマーAと、極性基含有単官能モノマーBと、架橋剤Cと、重合開始剤Dと、メタアクリル系ポリマーEと、機能性フィラーFとを含む機能性層形成用塗布液を作製する工程と、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、架橋剤cと、重合開始剤dと、メタアクリル系ポリマーeとを含む粘着層形成用塗布液を作製する工程と、基材に、上記機能性層形成用塗布液及び上記粘着層形成用塗布液を同時に塗布して機能性層形成用塗布液層及び粘着層形成用塗布液層を積層して形成する工程と、上記機能性層形成用塗布液層と上記粘着層形成用塗布液層とを硬化させて機能性層及び粘着層を形成する工程とを含むことを特徴とする。本発明では、基材に、上記機能性層形成用塗布液及び上記粘着層形成用塗布液を同時に塗布して機能性層形成用塗布液層及び粘着層形成用塗布液層を積層して形成しているため、機能性層形成用塗布液層と粘着層形成用塗布液層との間に異物が混入することがなく、硬化後の機能性層と粘着層との界面接着力が低下することがない。また、機能性層形成用塗布液層及び粘着層形成用塗布液層を積層した後に、各塗布液層の界面で各塗布液の相互拡散が生じるため、硬化後の機能性層と粘着層との界面接着力が向上する。更に、機能性層と粘着層とを同一工程で作製できるため、作製工程を簡略化できる。また、本発明では、機能性フィラーFを除き、上記機能性層形成用塗布液及び上記粘着層形成用塗布液は、同一系の成分を含んでいるため、硬化前の上記機能性層形成用塗布液層と上記粘着層形成用塗布液層との間でフィラー以外の成分の移動が生じても、硬化後の機能性層及び粘着層の成分特性に大きな変化が生ぜず、また、フィラーの移動はほとんど生じないことから、各層の特性が安定する。また、上記機能性層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーAと、極性基含有単官能モノマーBと、メタアクリル系ポリマーEとの合計重量を100重量部とした場合、メタアクリル系モノマーAの含有量は40~98重量部、好ましくは50~90重量部であり、極性基含有単官能モノマーBの含有量は1~10重量部、好ましくは3~8重量部であり、架橋剤Cの含有量は0.01~0.8重量部、好ましくは0.05~0.5重量部であり、重合開始剤Dの含有量は0.05~5重量部、好ましくは0.1~1重量部であり、メタアクリル系ポリマーEの含有量は1~50重量部、好ましくは2~30重量部であり、機能性フィラーFの含有量は120~800重量部、好ましくは100~500重量部である。また、上記粘着層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、メタアクリル系ポリマーeとの合計重量を100重量部とした場合、メタアクリル系モノマーaの含有量は40~98重量部、好ましくは50~90重量部であり、極性基含有単官能モノマーbの含有量は1~10重量部、好ましくは3~8重量部であり、架橋剤cの含有量は0.02~1.0重量部、好ましくは0.06~0.6重量部であり、重合開始剤dの含有量は0.05~5重量部、好ましくは0.1~1重量部であり、メタアクリル系ポリマーeの含有量は1~50重量部、好ましくは2~30重量部である。上記含有量とすることにより、上記機能性層と上記粘着層との接着力がより向上する。また、メタアクリル系モノマーA及びメタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーB及び極性基含有単官能モノマーbと、架橋剤C及び架橋剤cと、重合開始剤D及び重合開始剤dと、メタアクリル系ポリマーE及びメタアクリル系ポリマーeとが、それぞれ同じ成分からなることが好ましい。これにより、硬化前の上記機能性層形成用塗布液層と上記粘着層形成用塗布液層の間でフィラー以外の成分の移動が生じても、硬化後の機能性層及び粘着層の成分が同一であり、また、フィラーの移動はほとんど生じないことから、各層の特性がより安定する。上記粘着層形成用塗布液には、更に機能性フィラーfを含んでいてもよいが、その場合は、上記粘着層形成用塗布液において、メタアクリル系モノマーaと、極性基含有単官能モノマーbと、メタアクリル系ポリマーeとの合計重量を100重量部とした場合、上記機能性フィラーfの含有量が、10~100重量部であることが好ましく、20~80重量部がより好ましい。粘着層に機能性フィラーfが多く存在しすぎると粘着層の粘着力が低下するからである。以下、本発明に用いる機能性層形成用塗布液及び粘着層形成用塗布液について説明する。但し、本明細書においてメタアクリル酸はメタアクリル酸とアクリル酸の両方を意味し、メタアクリルは、メタアクリルとアクリルの両方を意味する。<メタアクリル系モノマーA及びa>メタアクリル系モノマーA及びaとしては、例えば、メタアクリル酸、メタアクリル酸エチル、メタアクリル酸プロピル、メタアクリル酸ブチル、メタアクリル酸ペンチル、メタアクリル酸ヘキシル、メタアクリル酸2-エチルヘキシル、メタアクリル酸オクチル、メタアクリル酸イソオクチル、メタアクリル酸ノニル、メタアクリル酸イソノニル、メタアクリル酸デシル、メタアクリル酸ラウリル、メタアクリル酸オクタデシル等が使用できる。これらのモノマーは、1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。<極性基含有単官能モノマーB及びb>極性基含有単官能モノマーB及びbとしては、例えば、重合性の二重結合と、ヒドロキシル基、カルボキシ基、アミノ基、置換アミノ基、エポキシ基等の極性基とを有するモノマーが挙げられる。重合性の二重結合とヒドロキシル基とを含有するモノマーとしては、メタアクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタアクリル酸2-ヒドロキシプロピル、メタアクリル酸2-ヒドロキシブチル、メタアクリル酸4-ヒドロキシブチル、メタアクリル酸6-ヒドロキシヘキシル、メタアクリル酸8-ヒドロキシオクチル、メタアクリル酸10-ヒドロキシデシル等が挙げられる。重合性の二重結合とカルボキシ基とを含有するモノマーとしては、メタアクリル酸、カルボキシエチルメタアクリレート、カルボキシペンチルメタアクリレート、2-アクリロイルオキシエチルコハク酸、2-アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2-アクリロイルエチルフタル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等が挙げられる。重合性の二重結合とアミノ基とを含有するモノマーとしては、メタアクリルアミド等が挙げられる。重合性の二重結合と置換アミノ基とを含有するモノマーとしては、N,N-ジメチルメタアクリルアミド等が挙げられる。重合性の二重結合とエポキシ基とを含有するモノマーとしては、メタアクリル酸グリシジル等が挙げられる。これらのモノマーは、1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。<架橋剤C及びc>架橋剤C及びcとしては、例えば、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、エチレングリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、イソボニルメタアクリレート、トリプロピレンジメタアクリレート等を使用できる。<重合開始剤D及びd>重合開始剤D及びdとしては、例えば、光重合開始剤及び熱重合開始剤を単独又は混合して用いることができる。上記光重合開始剤としては、例えば、ラジカル重合開始剤が挙げられる。上記ラジカル重合開始剤は、紫外線等のエネルギーによりフリーラジカルを発生するものであり、例えば、ビベンゾイル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-ベンゾイル-4’-メチルジフェニルサルファイド、ベンジルメチルケタール、ジメチルアミノメチルベンゾエート、2-n-ブトキシエチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、p-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、3,3’-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノン等が挙げられる。上記光重合開始剤としては、市販の光重合開始剤を用いることもでき、例えば、イルガキュア登録商標1841-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、イルガキュア登録商標6512,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、イルガキュア登録商標3692-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-ブタノン-1、イルガキュア登録商標819ビスフェニルホスフィンオキサイド、イルガキュア登録商標9072-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルホリノプロパン-1-オン、イルガキュア登録商標500、イルガキュア登録商標1000、イルガキュア登録商標1700、イルガキュア登録商標1800、イルガキュア登録商標1850チバスペシャリティケミカルズ社製、ダロキュア登録商標1173メルク社製、アデカ1717旭電化工業社製等や、2,2’-ビスo-クロロフェニル-4,5,4’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール黒金化成社製等のビイミダゾール系化合物が挙げられる。上記熱重合開始剤としては、有機過酸化物、無機過酸化物及びアゾ系熱重合開始剤を単独又は混合して用いることができる。上記有機過酸化物としては、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド等が挙げられる。上記無機過酸化物としては、例えば、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウム等が挙げられる。上記アゾ系熱重合開始剤としては、例えば、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル、2,2’-アゾビス2,4-ジメチル吉草酸ニトリル等を使用できる。<メタアクリル系ポリマーE及びe>メタアクリル系ポリマーE及びeとしては、例えば、上記メタアクリル系モノマーA及びaの少なくとも1種を重合したものを使用できる。重合方法としては、バルク重合法、溶液重合法、懸濁重合法、塊状重合法等のラジカル重合法を用いることができる。ラジカル重合法においてはモノマーの他にラジカル重合開始剤を用いる。ラジカル重合開始剤としては、前述のラジカル重合開始剤を用いることができる。上記重合開始剤の含有量は、メタアクリル系ポリマーE及びeの材料であるモノマーの合計100重量部に対して、例えば0.001~3重量部、好ましくは0.1~2重量部である。<機能性フィラーF及びf>機能性フィラーF及びfとしては、例えば、熱伝導性フィラー、導電性フィラー、電磁波吸収フィラー等の機能を有するフィラーを用いることができる。フィラーの粒子径は特に限定されないが、通常0.1~100μm程度である。フィラーの粒子径は、フィラーの個々の粒子を電子顕微鏡で観察して求めることができる。熱伝導フィラーの材質としては、例えば、黒鉛等の炭素;アルミニウム、亜鉛、マグネシウム等の金属;酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム等の金属酸化物;水酸化アルミニウム、水酸化亜鉛、水酸化マグネシウム等の金属水酸化物;窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等の窒化物;炭化ケイ素等の炭化物等が挙げられる。導電性フィラーの材質としては、例えば、黒鉛等の炭素;ニッケル、鉄、クロム、コバルト、アルミニウム、アンチモン、モリブデン、銅、銀、白金、金等の金属及びこれらの金属の合金;これらの金属の酸化物等が挙げられる。電磁波吸収フィラーとしては、例えば、センダスト、パーマロイ、ステンレス鋼等からなる金属磁性フィラー;MnZnフェライト、NiZnフェライト等からなる金属酸化物磁性フィラー等が挙げられる。本発明に用いる機能性層形成用塗布液及び粘着層形成用塗布液は、上記各成分を分散機により混合することにより調製できる。次に、上記機能性層形成用塗布液及び上記粘着層形成用塗布液を用いた本発明の製造方法について図面に基づき説明する。図1は、基材に、粘着層形成用塗布液及び機能性層形成用塗布液を同時に塗布して粘着層形成用塗布液層及び機能性層形成用塗布液層を積層して形成する工程の一例を示す要部断面図であり、ハッチング部分のみが断面を示す。図1において、粘着層形成用塗布液11と、機能性層形成用塗布液12とは、エクストルージョン型塗布ヘッド13の2つのスリット14及び15から、走行する基材16の上に同時に吐出されて塗布され、粘着層形成用塗布液層17と機能性層形成用塗布液層18とを積層して形成する。また、19は、塗布形成された機能性層形成用塗布液層18を平滑化処理する可撓体である。このように、粘着層形成用塗布液層17と機能性層形成用塗布液層18とを基材16の上に同時に吐出して塗布することにより、粘着層形成用塗布液層17と機能性層形成用塗布液層18との間に異物が混入することを防止でき、硬化後の粘着層と機能性層との界面接着力が低下することがない。また、粘着層形成用塗布液層17と機能性層形成用塗布液層18との界面で各塗布液の相互拡散が生じるため、硬化後の粘着層と機能性層との界面接着力が向上する。更に、粘着層形成用塗布液層17と機能性層形成用塗布液層18とを同一工程で作製できるため、作製工程を簡略化できる。基材16としては、シリコーン樹脂等で塗布面に離形層を有した樹脂フィルム等を用いることができる。上記樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアクリル酸エステル系樹脂、脂環式ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、トリアセチルセルロース系樹脂等の樹脂材料を、フィルム状又はシート状に加工したものを用いることができる。基材16の厚さは、例えば10~50μm程度である。次に、図示は省略するが、上記のようにして作製された基材16、粘着層形成用塗布液層17及び機能性層形成用塗布液層18からなる積層体に、紫外線照射を行うことにより、粘着層形成用塗布液層17及び機能性層形成用塗布液層18の成分を重合し硬化させて、粘着層及び機能性層を形成する。上記紫外線の照射は、重合時の酸素による重合阻害を抑制するため、窒素ガス、アルゴンガス等の不活性雰囲気中で行うか、又は上記積層体の機能性層形成用塗布液層18の上に更にポリエチレンテレフタレート等の紫外線透過可能な樹脂からなる被覆フィルムを貼り合せて外界の酸素を遮断した状態で行うのが好ましい。上記被覆フィルムは、紫外線照射後に必要に応じて除去される。上記重合に用いる光源としては、特に限定されないが、ブラックライトランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等を用いることができる。上記のようにして基材16の上に粘着層及び機能性層が形成された機能性粘着シートが形成される。基材16は必要に応じて除去することができる。上記では基材16の上に粘着層及び機能性層を形成した例を示したが、機能性層の上に更に粘着層を形成してもよいし、更なる多層構造としてもよい。その場合は、形成層数に応じて塗布ヘッドのスリットの数を増加させればよい。以下、実施例に基いて本発明を詳細に説明する。但し、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。また、特に指摘がない場合、下記において、部は重量部を意味する。塗布液Aの作製メタアクリル系モノマーA又はaとして2-エチルへキシルアクリレート以下、2EHAともいう。76部と、極性基含有単官能モノマーB又はbとしてアクリル酸以下、AAともいう。4部と、架橋剤C又はcとして1,6-ヘキサンジオールジアクリレート0.30部と、重合開始剤D又はdとしてビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニルホスフィンオキサイド0.3部と、メタアクリル系ポリマーE又はeとしてポリアクリル酸2-エチルへキシル/アクリル酸重合体2EHA/AAの質量比:95/5、重量平均分子量:80万20部と、機能性フィラー熱伝導フィラーF又はfとして水酸化アルミニウム日本軽金属社製のBE033400部とを、ディスパーにて攪拌して塗布液Aを作製した。塗布液B~Hの作製メタアクリル系モノマーA又はa、極性基含有単官能モノマーB又はb、架橋剤C又はc、重合開始剤D又はd、メタアクリル系ポリマーE又はe及び機能性フィラー熱伝導フィラーF又はfの含有量を表1のように変更した以外は、塗布液Aと同様にして塗布液B~Hを作製した。実施例1基材として片面に離形層材質:シリコーン層を形成したポリエチレンテレフタレートPETフィルム厚さ50μmを準備し、このPETフィルムの離形層側に、図1に示したエクストルージョン型塗布ヘッドを用いて、粘着層形成用塗布液として塗布液Dを用い、熱伝導層形成用塗布液として塗布液Aを用い、塗布液Dと塗布液Aとをこの順に同時に塗布し、厚さ10μmの塗布液D層と、厚さ240μmの塗布液A層とを形成した。その後、塗布液A層の上に上記と同じPETフィルムの離形層側を貼り合せ、積層体を作製した。この積層体に、搬送速度2m/分で、照度5mW/cm2の条件で紫外線を照射し、PETフィルムの間に粘着層と機能性層とからなる2層構造の熱伝導性粘着シートを作製した。実施例2塗布液D層の厚さを25μm、塗布液A層の厚さを225μmに変更した以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。実施例3塗布液D層の厚さを50μm、塗布液A層の厚さを200μmに変更した以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。実施例4塗布液Dに換えて塗布液Cを用いた以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。実施例5塗布液Aに換えて塗布液Eを用いた以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。実施例6塗布液Aに換えて塗布液Fを用いた以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。実施例7塗布液A層の厚さを90μmに変更した以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。比較例1塗布液D層を形成せず、塗布液A層の厚さを250μmに変更した以外は、実施例1と同様にして単層構造の熱伝導性粘着シートを作製した。比較例2塗布液Aに換えて塗布液Gを用い、塗布液G層の厚さを230μmとした以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。比較例3塗布液Aに換えて塗布液Hを用い、塗布液H層の厚さを230μmとした以外は、実施例1と同様にして熱伝導性粘着シートを作製した。比較例4塗布液D層を形成せず、塗布液Aに換えて塗布液Bを用い、塗布液B層の厚さを250μmとした以外は、実施例1と同様にして単層構造の熱伝導性粘着シートを作製した。比較例5塗布液A層を形成しなかった以外は、実施例1と同様にして単層構造のシートDを作製した。また、別途、塗布液D層を形成しなかった以外は、実施例1と同様にして単層構造のシートAを作製した。次に、シートD及びシートAからそれぞれ片方のPETフィルムを剥離し、シートDとシートAとをその剥離面で貼り合わせて2層構造の熱伝導性粘着シートを作製した。上記実施例1~7及び比較例1~5の熱伝導性粘着シートの構成をそれぞれ表2及び表3に示す。次に、上記実施例1~7及び比較例1~5の熱伝導性粘着シートの特性について評価した。粘着力得られた熱伝導性粘着シートの粘着層側のPETフィルムを剥離し、その剥離面にステンレス鋼SUS304板を配置し、ステンレス鋼板上を重さ2kgのローラーにて速度300mm/分で1往復して圧着した。このようにして得られた積層体を24時間室温で放置後、90°ピール試験を日本工業規格JISZ0237に従って剥離速度300mm/分にて行い、粘着力を測定した。保持力得られた熱伝導性粘着シートの両面からPETフィルムを剥離し、その一方の剥離面にアルミニウム箔厚さ50μmを配置し、他方の剥離面にステンレス鋼SUS304板面積25mm×25mmを配置し、ステンレス鋼板の上を重さ5kgのローラーにて速度300mm/分で1往復して圧着し、試験用試料を作製した。この試験用試料を用いてJISZ0237に従って、荷重1kg、温度100°Cの条件で保持力の評価を行い、アルミニウム箔とステンレス鋼板のズレ、剥離落下を観察した。熱伝導率得られた熱伝導性粘着シートを、幅50mm×長さ150mmにカットし、両面からPETフィルムを剥離した後、京都電子工業社製の迅速熱伝導率計QTM-500を用いて熱線法により熱伝導率を測定した。熱抵抗下記式により熱抵抗を求めた。熱抵抗°Ccm2/W=熱伝導性粘着シートの厚さ/熱伝導率保存後の外観得られた熱伝導性粘着シートを65°C、相対湿度95の条件下で100時間保存し、その外観変化を観察した。以上の結果を表4及び表5に示す。表4から、実施例1~7の熱伝導性粘着シートは、粘着力及び保持力に優れ、熱伝導率が高く、熱抵抗が低く、保存後の外観にも変化がないことが分かる。一方、粘着層を備えない比較例1では粘着力及び保持力が劣り、熱伝導層形成用塗布液に架橋剤を含まない比較例2では保持力が劣り、熱伝導層形成用塗布液の架橋剤の含有量が0.8重量部超えた比較例3では粘着力が劣り、粘着層を備えない比較例4では粘着力が劣り、粘着層と熱伝導層とを貼り合わせた比較例5では保存後に粘着層と熱伝導層との間に浮き剥離が発生した。"