"受光素子及び着色膜上に、平坦化膜、マイクロレンズが設けられた固体撮像素子において、平坦化膜、マイクロレンズ、あるいは平坦化膜とマイクロレンズに、熱処理、光照射、あるいは熱処理と光照射を行うことにより、固体撮像素子の分光特性を制御することを特徴とする固体撮像素子の分光特性制御方法。前記光照射にi線波長:365nmを用いることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子の分光特性制御方法。前記平坦化膜が熱硬化性のアクリル樹脂からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子の分光特性制御方法。本発明は、上記オンチップカラーフィルタに対する、用途毎の多種多様な分光特性要求に対応できる、開発期間が短くて済み、コストアップにならず、手間となるコーターの仕様変更の少い、固体撮像素子の分光特性制御方法を提供することにある。上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、受光素子及び着色膜上に、平坦化膜、マイクロレンズが設けられた固体撮像素子において、平坦化膜、マイクロレンズ、あるいは平坦化膜とマイクロレンズに、熱処理、光照射、あるいは熱処理と光照射を行うことにより、固体撮像素子の分光特性を制御することを特徴とする固体撮像素子の分光特性制御方法である。また、請求項2に記載の発明は、前記光照射にi線波長:365nmを用いることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子の分光特性制御方法である。また、請求項3に記載の発明は、前記平坦化膜が熱硬化性のアクリル樹脂からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子の分光特性制御方法である。オンチップカラーフィルタの用途はさまざまで、主には携帯電話用、デジタルカメラ用、マイクロディスプレイ用などに用いられる。開発各社により分光特性に対する要求は異なり、それぞれ毎の顔料開発が求められる。しかしながらこれらの開発には膨大な費用開発期間がかかるため、収益を悪化させかねない。本発明を用いることで、顔料開発期間費用の削減を可能とする。また、得意先が求める要求に対して、オーダーメイドに近い分光特性の提供が可能となる。以下本発明を実施するための形態を、図面を用いて詳細に説明する。図1は受光素子上にグリーン着色塗膜をコートし、さらにPL2塗膜を積層したときの分光特性と、受光素子上にグリーン着色塗膜をコートし、さらにPL2塗膜を積層し、熱処理120°C、9min行ったときの分光特性と、受光素子上にグリーン着色塗膜をコートし、さらにPL2塗膜を積層し、熱処理120°C、9minとBleaching30000J/m2を行ったときの分光特性、並びに未処理の平坦化膜、平坦化膜に熱処理、平坦化膜に熱処理と光照射を行ったときの分光特性の変化を、ガラス基板上で評価し、その結果を示している。具体的には、PL2MFR511HJSR製塗膜の分光特性11、熱処理120°C、9min行ったPL2塗膜の分光特性12、熱処理と120°C、9minBleaching30,000J/m2を行ったPL2塗膜の分光特性13、受光素子上にグリーン着色塗膜をコートし、さらにPL2塗膜を積層したときの分光特性21、受光素子上にグリーン着色塗膜をコートし、さらにPL2塗膜を積層し、熱処理120°C、9min行ったときの分光特性22、受光素子上にグリーン着色塗膜をコートし、さらにPL2塗膜を積層し、熱処理120°C、9minとBleaching30000J/m2を行ったときの分光特性23である。図2は固体撮像素子のカラーフィルタ上に、固体撮像素子の集光力を高め、感度向上を実現するために設けられるマイクロレンズの形状を示しており、オンチップカラーフィルタのそれぞれにマイクロレンズが形成されている。図3は、本発明に係る固体撮像素子を示した断面概念図である。シリコンウェハ7上に形成された受光素子8は電極6と遮光膜5が形成されている。光1はマイクロレンズ2により集光され平坦化膜3、カラーフィルタを通して、受光素子8に届く。本発明に係るカラーフィルタは、赤色、緑色、青色の光の3原色、及び補助色により構成されており、赤色着色組成物、緑色着色組成物、青色着色組成物等の着色組成物を、複数の着色画素が順番に繰り返し配列された形状にパターニングして形成される。カラーフィルタ用着色組成物は、樹脂、その前駆体又はそれらの混合物からなる各色の着色剤を、樹脂質バインダーに混錬して作製され、樹脂としては、可視光領域の400~700nmの全波長領域において透過率が好ましくは80以上、より好ましくは95以上の樹脂が用いられ、着色組成物を紫外線照射により硬化させる場合には光重合開始剤等が添加される。着色剤には、顔料、染料を用いることができ、顔料としては、例えば、赤、緑、青の各色で使用できる顔料として次のものが挙げられる。顔料の種類は、カラーインデックスC.I.No.で示す。赤色顔料として、97、122、123、149、168、177、180、192、208、209、215などが、緑色顔料として7、36などが、青色顔料として、15、15:1、15:3、15:6、22、60、64などが挙げられる。赤色、緑色、青色以外にも、分光特性を制御するために、例えば、白顔料として、18、21、27、28などが、黄顔料として、13、17、83、109、110、128などが、紫顔料として、19、23などが、橙顔料として、38、43などが挙げられる。顔料は、単体以外に、顔料を予め分散剤、有機溶剤に分散させた顔料分散体であっても良いまた、シアン;マゼンタ;イエローの3色を含む着色層パターンの場合、シアンインキには前記青色顔料、マゼンタインキには前記赤色顔料、イエローインキには前記黄色顔料をそれぞれ用いることができる。以下、本発明の固体撮像素子の分光特性制御方法のための、試験体による実験について説明する。ガラス基板上に、グリーン着色組成物GT146東洋インキSCH製をコートし、露光現像を行い、パターニングし、グリーン着色膜を得た。通常のカラーフィルター4においては、同じ操作をブルー着色膜、レッド着色膜についても行い、着色画素が順番に繰り返し配列されたカラーフィルタを作製する。続いて、カラーフィルタ4上にその凹凸を緩和、若しくはマイクロレンズ2下の距離をコントロールするための平坦化膜3として、熱硬化性のアクリル樹脂であるPL2MFR511HJSR製をコートし、90°C、90秒間加熱硬化させカラーフィルタ4の緑色フィルタ部試験体を得た。作製したカラーフィルタ4の緑色フィルタ部試験体、作製した試験体に120°C、9分の熱処理を加えたもの、作製した試験体にi線stepperiZCANON製により、365nmの紫外線を30,000Jm2、照射し、Bleachingを行い、120°C、9分の熱処理を加えたもの3種類のオンチップカラーフィルタ4の緑色フィルタ部試験体を得た。未処理の平坦化膜3あるPL2MFR511HJSR製、平坦化膜3に熱処理、平坦化膜3に熱処理と光照射を行った3種類分光特性、並びに、平坦化膜あるPL2MFR511HJSR製をコートしたカラーフィルタ4の、緑色フィルタ部試験体3種類の分光特性を図1に示す。平坦化膜3に関しては、熱処理及び熱処理と光照射を行うことにより、400から500nmの青領域の透過率が上昇して行くことが分かった。また、平坦化膜であるPL2MFR511HJSR製をコートした、カラーフィルタ4の緑色フィルタ部試験体3種類の分光特性を見ると、同様に透過率の上昇があり、波長が短い部分の半値となる波長が短波長側にずれて行くことが分かった。ここでいう半値とは、図1の分光曲線において、透過率が50と、なる波長であり、光の3原色である赤緑青RGBのフィルタの場合、短波長側と長波長側の2箇所に半値の波長を測定することにより、特性の管理を行っている。平坦化膜であるPL2MFR511HJSR製をコートした緑色フィルタ部試験体3種類の分光特性の、透過率のピーク値とピーク値の透過率の値が半分となる波長を表1に示す。平坦化膜であるPL2MFR511HJSR製をコートし、90°C、90秒間加熱硬化させ状態では、透過率のpeak値は77であり、半値短波長側は492nmであった。さらに、120°C、9分の熱処理を行うと、透過率のpeak値は83と上昇すると共に、半値は486nmと短波長側にシフトしが、この時の長波長側の半値は588nmから589nmとほぼシフトしない。また、平坦化膜3であるPL2MFR511HJSR製をコートし、90°C、90秒間加熱硬化させ後、i線stepperであるCANON製のiZを用い、i線波長:365nmの光を30,000Jm2照射してBleachingを行った。透過率のpeak値は87と、透過率はさらに上昇、半値は483nmと、これも短波長側にシフトしたが、この時の長波長側の半値は590nmと、こちらもほぼシフトしない。すなわち、受光素子及び着色膜上に、平坦化膜3、マイクロレンズ2が設けられた固体撮像素子に、熱処理、光照射あるいは熱処理と光照射することにより、透過率や半値を変えられることが分かり、この手法を用いれば、半値の長波長側をほぼ一定として、短波長側の半値をコントロールすることが可能であることが分かった。従来は、それぞれの用途、品種に対する要求特性に合わせ、着色組成物を開発し、露光現像で指定の分光特性を得ていたため、コーターデバイスの制約や、着色組成物、開発費用、期間がかかるなどの問題があったが、本発明により、着色組成物の開発を行うことなく、コーターデバイスの制約もなく、容易に要求特性を得ることができる。"