内部に細長い第1の空間を備える、長尺でかつ幅がW1である第1のボックスと、前記第1の空間と連通するように前記第1のボックスに接続された第1のダクトと、前記第1のボックスの長手方向に沿って配置された光照射源と、内部に細長い第2の空間を備え、前記第2の空間の長手方向が前記第1の空間の長手方向に沿うように配置された、長尺でかつ幅がW2であり、W2<W1を満たす第2のボックスと、前記第2の空間と連通するように前記第2のボックスに接続された第2のダクトと、を具備していることを特徴とする光照射装置。前記第1のボックスは、前記第1の空間の高さを長手方向において変化させる傾斜面を備えており、前記第2のダクトは、前記傾斜面の上方に位置するように、前記第2のボックスに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。蓋部および側部を備えた照射ボックスと、前記蓋部上に、一端側に前記第1のダクト、他端側に前記第2のダクトが集合するように、並列的に複数配置された請求項1または2に記載の光照射装置と、を具備していることを特徴とする面照射型の光照射装置。ここで、被照射体が大型で面状のものである場合、紫外線照射装置を複数並列に配置することになる。この被照射体に照射される紫外線照度は、紫外線照射源の数に依存する。各紫外線照射源は、最大出力が決まっているためである。したがって、高い紫外線照度を得るには、紫外線照射源を多く配置する必要があるが、紫外線照射源を配置可能な範囲には制限がある。それゆえ、紫外線照射装置を小型化する必要が生じている。本発明が解決しようとする課題は、コンパクトな光照射装置を提供することである。上記課題を達成するために、実施形態の光照射装置は、内部に細長い第1の空間を備える、長尺でかつ幅がW1である第1のボックスと、前記第1の空間と連通するように前記第1のボックスに接続された第1のダクトと、前記第1のボックスの長手方向に沿って配置された光照射源と、内部に細長い第2の空間を備え、前記第2の空間の長手方向が前記第1の空間の長手方向に沿うように配置された、長尺でかつ幅がW2であり、W2<W1を満たす第2のボックスと、前記第2の空間と連通するように前記第2のボックスに接続された第2のダクトと、を具備している。以下、発明を実施するための実施形態について説明する。第1の実施形態第1の実施形態の紫外線照射装置について、図面を参照して説明する。図1は、第1の実施形態の面照射型の紫外線照射装置について説明するための図、図2は、第1の実施形態の給気側ボックスのXZ平面による断面について説明するための図である。なお、以下では便宜上、X方向、Y方向、Z方向を設定して説明する。図1は、広範囲を照射可能な面照射型の紫外線照射装置である。この装置は、照射ボックス1を備えている。照射ボックス1は、蓋部と側部を備え、蓋部に対向する側が開口した箱である。この照射ボックス1の蓋部には、光照射装置として紫外線照射装置11が複数、ここでは6セットが並列的に配列されている。これら紫外線照射装置11は、照射ボックス1に対してスライド可能に構成されている平板12の上にそれぞれ配置されている。紫外線照射装置11は、ステンレス等の金属からなる長尺の給気側ボックス2第1のボックスを備えている。給気側ボックス2は、図2からわかるように、その長手方向以下、X方向に沿って細長い空間21第1の空間を内部に備えている。給気側ボックス2の近傍には、ブロア3が配置されている。ブロア3は、空気などの冷却媒体を送風する機能を備えた、渦巻き形状の送風装置であり、給気ダクト4第1のダクトを介して、給気側ボックス2と連結されている。給気ダクト4は、両端に入風口41と出風口42を備えた中空の導管である。その入風口41側はブロア3と接続され、出風口42側は給気側ボックス2のX方向の端面に形成された穴22に接続されている。また、給気側ボックス2の近傍には、X方向に沿って光照射源であるUV照射モジュール51~56が配置されている。これらUV照射モジュール51~56は全て同一の構造である。UV照射モジュール51を例にとり、図3を参照して構造を説明する。図3は、UV照射モジュール等について説明するための図であり、aはXZ平面、bは排気ダクト8付近におけるYZ平面の断面図である。UV照射モジュール51はランプハウス511を備えている。ランプハウス511は、ステンレスなどのマイクロ波を遮断可能な金属からなる中空の箱である。その内部にはマイクロ波を発生させるマグネトロン512が配置されている。本例では、マグネトロン512は一対である。このマグネトロン512には、マイクロ波を送信するアンテナ513が設けられている。アンテナ513はマグネトロン512から下方に突き出すように形成されていて、その周囲は導波管514によって覆われている。導波管514は、マイクロ波を導く部材であり、アンテナ513を覆っていない他端側は開口しており、その開口が下方を向くように配置されている。導波管514の開口付近には、リフレクタ515が配置されている。リフレクタ515は、紫外線は反射し、マイクロ波は透過させる材料からなるものである。本例では、表面にコーティングを施したガラス板からなり、このガラス板は一対で構成され、ハの字状に配置されている。この一対の平板によって形成される空間には、光発生源である無電極ランプ516が配置されている。無電極ランプ516は、石英ガラスなどの紫外線光を透過させる材料からなる円筒形状のバルブである。外径は17mm程度、長さは240mm程度である。その内部には、マイクロ波によって紫外線を発生させる媒体として、不活性ガス、水銀および鉄が封入されている。バルブの両端には棒状の支持部が一体的に設けられており、この支持部によってランプハウス511に取り付けられる。ランプハウス511の下方に設けられた開口には、電磁シールド517が配置されている。この電磁シールド517は、金属線を編み込んだメッシュ、パンチング加工した金属板などにより構成されている。そのため、紫外線や冷却風は透過させつつ、マイクロ波はランプハウス511の外部に漏れることを防止する。また、ランプハウス511の下方には、排気ケース518が配置されている。排気ケース518は、ランプハウス511と同様の材料からなる中空の箱であり、電磁シールド517と対面する面には照射面519が設けられている。この照射面519は、紫外線透過性に優れる石英ガラスなどからなるものである。また、排気ケース518のランプハウス511と接続されていない他端側には、排気口5181が設けられている。これらUV照射モジュール51~56は、分岐ダクト61~66によってそれぞれ給気側ボックス2と接続されている。分岐ダクト61~66は、中空の導管であり、給気側ボックス2の長手方向に対して直交する方向以下、Z方向に沿うように形成されている。本例では、分岐ダクト61~66は、UV照射モジュール51~56と同じ6つ設けられており、全て同じ大きさである。また、分岐ダクト61~66は、X方向に沿って等間隔になるように、給気側ボックス2に一体形成されている。このように、給気側ボックス2とUV照射モジュール51~56を分岐ダクト61~66によって繋ぐようにすることで、給気側ボックス2とUV照射モジュール51~56の着脱を容易に行える。したがって、平板12との組み合わせで、装置自体やボックス、その構成部品等のメンテナンスに有利である。UV照射モジュール51~56の排気ケース518~568には、給気側ボックス2と並ぶように排気側ボックス7第2のボックスが配置されている。排気側ボックス7は、内部にX方向に沿う細長い空間71第2の空間を備えた長尺で中空の箱であり、UV照射モジュール51~56の排気ケース518~568の排気口5181~5681のそれぞれと繋がっている。この排気側ボックス7には穴72が設けられており、その穴72には中空の導管である排気ダクト8第2のダクトの入風口81が接続されている。この紫外線照射装置11の動作について説明すると、まずマグネトロン512は、電源図示なしから電力を受けて、マイクロ波を発生させる。マグネトロン512で発生した例えば2.45GHzのマイクロ波は、アンテナ513から送信され、導波管513によって導かれる。そして、マイクロ波は、無電極ランプ516に到達し、バルブ中に封入された媒体を励起して、無電極ランプ516から紫外線を発生させる。この紫外線は、直接またはリフレクタ515で反射して、電磁シールド517および照射面519を通過し、直接または照射ボックス1の側部で反射しながら、開口付近に配置された、例えば液晶パネルなどの大面積の被照射体図示なしに導かれる。ここで、マグネトロン512や無電極ランプ516は、動作中に高温となるため、冷却する必要がある。その冷却には、冷却媒体が用いられる。この冷却媒体は、冷却風としてブロア3により送風され、給気ダクト4を介して、給気側ボックス2、分岐ダクト61を通って、UV照射モジュール51に供給され、マグネトロン512や無電極ランプ516などを冷却する風A1。このとき給気ダクト4から供給される冷却風の量は、例えば70m3/minである。マグネトロン512や無電極ランプ516などを空冷した冷却風は、排気ケース518を通り風A2、さらに排気側ボックス7、排気ダクト8を通って、紫外線照射装置11の外部に排気される風A3。外部に排気された風は、当初より温度が上昇したり、不純物を含むものであるため、冷却処理や不純物除去処理などがされて、再度、ブロア3により空間21に送風される図示なし。なお、他のUV照射モジュール52~56においても同様に、冷却風が給気され、排気される。ここで、本実施形態では、排気側ボックス7の幅をW2mm、給気側ボックス2を幅W1mmとしたとき、W2<W1を満たす大きさとしている。例えば、給気側ボックス2の幅W1=310mm、排気側ボックス7の幅W2=75mmとしている。これにより、紫外線照射装置11のY方向の全体的な厚みが従来よりも小さくなるため、コンパクトな装置を構成することができる。なお、排気側ボックス7の幅W2を給気側ボックス2の幅W1よりも小さくすると、給排のバランスが悪くなりうる。そこで、図4に示すように、分岐ダクト61~66の空間断面積をS3、排気ケース518~568の排気口5181~5681の空間断面積をS4としたとき、S3≦S4を満たすようにするのが望ましい。また、給気側ボックス2に流れ込む冷却風の量と、排気側ボックス7から排出される冷却風の量を均一化すべく、給気ダクト4の出風口42の空間断面積S1と排気ダクト8の入風口81の空間断面積S2を同等の大きさとするのが望ましい。このようにダクトの大きさとともに設計とすれば、2×W2<W1の関係を満たすような、さらにコンパクトでありながら、給排のバランスも良好な装置を構成することも可能となる。なお、本実施形態では、空間断面積S1~S4は、例えば、S1=31400mm2、S2=31400mm2、S3=17660mm2、S4=25100mm2に設定している。また、排気側ボックス7の幅W2を給気側ボックス2の幅W1よりも小さくした場合、出風口42の空間断面積S1と同等の大きさの入風口81を排気側ボックス7において確保するのが困難となりうる。具体的には、排気ダクト8の形状は一般に円形であるため、そのようなダクトは幅の小さい排気側ボックス7の端面には取り付け難い。そこで、給気側ボックス2に、給気ダクト4の出風口42から長手方向に遠方になるにつれて第1の空間の高さ21を狭くするように傾斜面23を設け、排気ダクト8をその傾斜によって生じたスペース、すなわち傾斜面23の上方に位置するように、排気側ボックス7の側面に設けるのが望ましい。この構造は、傾斜面23によって給気ダクト4から供給され、分岐ダクト61~66に送られる冷却風の量が均一化されるとともに、スペースが有効活用されるため、被照射体への紫外線の照射ムラが少なくコンパクトな紫外線照射装置の実現にも寄与する。この実施形態では、給気側ボックス2の幅をW1mm、排気側ボックス7の幅をW2mmとしたとき、W2<W1を満たすように構成したことで、紫外線照射装置11のY方向の全体的な厚みをコンパクトにすることができる。そのため、特に複数の紫外線照射装置11を並列配置させてなる面照射型の紫外線照射装置において、従来よりも小型化できる、または従来と同等の大きさでも高出力にすることができる。また、分岐ダクト61~66の空間断面積S3を排気口6181~6681の空間断面積S4と同等としたことで、排気側ボックス7の幅W2が給気側ボックス2幅W1よりも小さい構造でも、給排のバランスを保つことができる。また、給気側ボックス2に傾斜面23を設け、排気ダクト8を傾斜面23の上方に位置するように、排気側ボックス7の側面に設けたことで、出風口42と同等の大きさの入風口81を設けやすくなるため、給排のバランスを保ちながら、分岐ダクト61~66に送られる冷却風の量を均一化でき、よりコンパクトな紫外線照射装置を実現することができる。さらに、複数の紫外線照射装置11を一方に全ての給気ダクト4、他方に全ての排気ダクト8が集合するように、並列的に配置しているため、コンパクトでありながら、給排を効率よく行うことができるシステマチックな面照射型の紫外線照射装置を実現することができる。第2の実施形態図5は、第2の実施形態の紫外線照射装置について説明するための図である。この第2の実施形態の各部について、第1の実施形態の紫外線照射装置の各部と同一部分は同一符号で示し、その説明を省略する。この実施形態では、給気側ボックス2の傾斜面23とクロスするように、排気側ボックス7にも傾斜面73を設けている。これにより、排気ダクト8にUV照射モジュール51~57を冷却した後の冷却風が流れ込みやすくなるため、コンパクトな構造でありながら、給排をさらに効率よく行うことができる。なお、給気ダクト4の出風口42がX方向に沿うように給気側ボックス2の端面に配置している。これにより、出風口42からは主にX方向に指向性を持つ冷却風が空間21に供給されることになり、分岐ダクト61~67への冷却風の分配が傾斜面23によって行われるため、分岐ダクト61~67に供給される冷却風の風量を均一化することができる。また、この実施形態では、UV照射モジュールは7セットであり、数が変化しているが、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。本発明は上記実施態様に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、第1のボックスを排気側ボックス、第1のダクトを排気ダクト、第2のボックスを給気側ボックス、第2のダクトを給気ダクトとしてもよい。つまり、給気側ボックスの幅W2を排気側ボックスの幅W1よりも小さくしてもよい。給気側ボックス2の傾斜面23や排気側ボックス7の傾斜面73は、同じ角度で傾斜する面でなくてもよく、傾斜角が段階的に変化する面、湾曲する面、一部のみが傾斜するような面であってもよい。また、傾斜面23、傾斜面73は、給気側ボックス2や排気側ボックス7の内部に、平板を傾斜させて配置することで形成しても良い。給気ダクト4や分岐ダクト61~66は、給気側ボックス2と一体構成でも別体構成であってもよい。排気ダクト8と給気側ボックス7も同様である。光照射源は、光発生源を内部に備えた装置に限らず、光発生源単体、光発生源を基板上に実装したものなどであってもよい。また、光照射源が発生させる光は、紫外線に限らず、可視光や赤外光であってもよい。つまり、光照射源としては、所定の波長の光を発生させるように設計された、メタルハライドランプ、高圧水銀ランプ、誘電体バリア放電ランプ、ハロゲンランプ、LEDおよびそれらを搭載、実装した装置などでもよい。この発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。