対向する陰極と陽極との間に少なくとも1つの脱塩処理部が設けられた電気式脱イオン水製造装置であって、前記脱塩処理部は、脱塩室と、該脱塩室の両隣に設けられるとともに、アニオン交換体が充填された一対の濃縮室とから構成され、前記陰極が設けられている室と該室に隣接している濃縮室との間に、アニオン交換体が充填された副脱塩室が設けられ、前記脱塩室は、イオン交換膜によって、前記一対の濃縮室の一方に隣接する第1小脱塩室と、前記一対の濃縮室の他方に隣接する第2小脱塩室とに仕切られ、前記第1小脱塩室には、アニオン交換体が充填され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填されていることを特徴とする電気式脱イオン水製造装置。前記第1小脱塩室には、アニオン交換体の層が一層形成され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体の層とカチオン交換体の層とが少なくとも一層ずつ積層されていることを特徴とする請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第2小脱塩室には、アニオン交換体の層とカチオン交換体の層とが交互に二層ずつ積層されていることを特徴とする請求項2に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第2小脱塩室への被処理水の流入方向と、前記濃縮室への濃縮水の流入方向とが逆向きとなるように流路が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電気式脱イオン水製造装置。しかし、脱イオン水製造装置では、濃縮室にアニオン交換体を充填することでスケールの生成を回避できたとしても、スケールの生成とは別の次のような問題が発生する。濃縮水に含まれる炭酸やシリカに代表される弱酸アニオン成分が濃縮室と脱塩室とを仕切るイオン交換膜を通過して処理水中に拡散し、処理水の純度を低下させる。かかる処理水の純度低下は、濃縮室にアニオン交換体が充填されている場合により顕著に現れてしまう。以下、炭酸とシリカを例として、具体的に説明する。一般的に、カチオン交換膜はカチオンのみ選択的に透過させるイオン交換膜である。その原理は、膜自体に-電荷を持たせ、-電荷を有するアニオンに対して反発力を働かせて透過を阻止するものである。一方、炭酸やシリカは水溶液中で各イオン種の形態を取り、それらは平衡状態にある。CO2⇔HCO3-⇔CO32SiO2⇔SiOH4⇔SiOH3O-上記のような平衡状態において各イオン種が全体に占める割合は、pHによって大きく変化する。pHが低い領域では炭酸やシリカの大部分はイオン化していない、つまり電荷を持たない状態でCO2、SiO2として存在している。このため、pHが低い領域でカチオン交換膜を用いて炭酸やシリカの移動を阻止しようとしても、-電荷による反発力が有効に働かないために、これらの分子は容易にカチオン交換膜を通過してしまう。図8を参照して具体的に説明する。脱塩室Dの陰極側にはカチオン交換膜を介して濃縮室C2が配置され、陽極側にはアニオン交換膜を介して濃縮室C1が配置されている。ここで、脱塩室Dにはカチオン交換体およびアニオン交換体が充填され、濃縮室C1、C2にはアニオン交換体が充填されている。処理水は脱塩室Dを通過して系外に排出される。脱塩室Dから濃縮室C2に向かって、被処理水中のカチオン成分と共に水解離反応により生じる多量の水素イオンHがカチオン交換体を伝って移動してくる。濃縮室C2にはアニオン交換体が充填されているので、カチオン交換膜を通過した水素イオンHは、カチオン交換膜の濃縮室側表面で一斉に放出される。すなわち、カチオン交換膜の濃縮室側表面は、水素イオンHが多い状態=pHが低い状態になる。一方、濃縮水に含まれる炭酸やシリカ図中には炭酸が示されているが、シリカについても同じは、濃縮室C1及びC2内のアニオン交換体によりイオンとして捕捉され、アニオン交換体を伝ってカチオン交換膜表面まで移動する。濃縮室C2のカチオン交換膜表面では炭酸やシリカの濃度が高くなる上に、pHが低くなっている。結果としてpHが低い条件下でイオン化しない炭酸やシリカは、アニオン交換体から遊離した後に電荷を失い、カチオン交換膜を透過して被処理水中に拡散してしまう。図9に示す脱イオン水製造装置には2つの脱塩室D1、D2が設けられている。このように複数の脱塩室が設けられている場合には、濃縮水にもともと含まれている炭酸やシリカに加え、被処理水に含まれている炭酸やシリカが脱塩室から濃縮室へ移動してくる。従って、濃縮室内における炭酸やシリカの濃度が上昇し、炭酸やシリカの脱塩室への混入による処理水の純度低下はより顕著となる図中には炭酸が示されているが、シリカについても同じ。本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、スケールの発生を抑制しつつ、高純度の脱イオン水を製造可能とすることである。本発明の電気式脱イオン水製造装置は、対向する陰極と陽極との間に少なくとも1つの脱塩処理部が設けられた電気式脱イオン水製造装置であって、前記脱塩処理部は、脱塩室と、該脱塩室の両隣に設けられるとともに、アニオン交換体が充填された一対の濃縮室とから構成されている。前記脱塩室は、イオン交換膜によって、前記一対の濃縮室の一方に隣接する第1小脱塩室と、前記一対の濃縮室の他方に隣接する第2小脱塩室とに仕切られている。さらに、前記第1小脱塩室には、アニオン交換体が充填され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填されている。ここで脱塩室は2室に仕切られてはいるが、イオンの挙動は、脱塩室が仕切りのない1室の場合と基本的に同じである。上記構成をとることで、陰極側の濃縮室に存在する炭酸やシリカなどのアニオン成分の一部がイオン交換膜を通過して第2小脱塩室へ移動した場合、そのアニオン成分は第2小脱塩室内のアニオン交換体によって捕捉され、第1小脱塩室を介して陽極側の濃縮室へ移動する。よって、濃縮室に存在する炭酸やシリカなどが処理水中に拡散することがない。本発明によれば、スケールの発生を抑制しつつ、高純度の脱イオン水を製造可能な電気式脱イオン水製造装置が実現される。実施形態1以下、図面を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の一例について説明する。図1は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置の概略構成図である。図1に示す脱イオン水製造装置では、陰極を備えた陰極室E1と陽極を備えた陽極室E2との間に脱塩処理部が設けられている。この脱塩処理部は、脱塩室Dと、脱塩室Dの両隣に配置された一対の濃縮室C1、C2から構成されている。以下の説明では、一対の濃縮室C1、C2のうち、陽極室E2に隣接している濃縮室C1を第1の濃縮室C1、陰極室E1に隣接している濃縮室C2を第2の濃縮室C2と呼んで区別する。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。ここで、脱塩室Dは二つの小脱塩室に仕切られている。具体的には、脱塩室Dは、第1の濃縮室C1に隣接している第1小脱塩室D1と、第2の濃縮室C2に隣接している第2小脱塩室D2とに仕切られている。これまで説明した各室は、枠体1の内部を複数のイオン交換膜によって多数の空間に仕切ることによって形成されており、イオン交換膜を介して隣接している。各室の配列状況を陰極室E1の側から順に説明すると、次の通りである。すなわち、陰極室E1は、第1のアニオン交換膜a1を介して第2の濃縮室C2に隣接し、第2の濃縮室C2は、第1のカチオン交換膜c1を介して第2小脱塩室D2と隣接している。第2小脱塩室D2は、第2のアニオン交換膜a2を介して第1小脱塩室D1と隣接し、第1小脱塩室D1は、第3のアニオン交換膜a3を介して第1の濃縮室C1と隣接している。第1の濃縮室C1は、第2のカチオン交換膜c2を介して陽極室E2と隣接している。以下の説明では、上記複数のイオン交換膜のうち、脱塩室Dを第1小脱塩室D1と第2脱塩室D2とに仕切っているアニオン交換膜を中間イオン交換膜と呼んで他のイオン交換膜と区別する場合がある。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。陰極室E1には陰極が収容されている。陰極は金属の網状体あるいは板状体であり、例えばステンレス製の網状体あるいは板状体である。陽極室E2には陽極が収容されている。陽極は金属の網状体あるいは板状体である。被処理水にCl-を含む場合、陽極に塩素が発生する。このため、陽極には耐塩素性能を有する材料を用いることが望ましく、一例として、白金、パラジウム、イリジウム等の金属、あるいはチタンをこれらの金属で被覆した材料が挙げられる。陰極室E1および陽極室E2には電極水がそれぞれ供給される。これらの電極水は電極近傍での電気分解により、水素イオン及び水酸化物イオンを発生させる。脱イオン水製造装置の電気抵抗を抑えるために、陰極室E1および陽極室E2にはイオン交換体が充填されていることが好ましい。さらに、陰極室E1には、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等のアニオン交換体が充填されていることがより好ましい。また、陽極室E2には、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等のカチオン交換体が充填されていることがより好ましい。第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2は、脱塩室Dから排出されるアニオン成分またはカチオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。各濃縮室C1、C2には、スケールの発生を抑制すべくアニオン交換体が単床形態で充填されている。第1小脱塩室D1には、アニオン交換体が単床形態で充填されている。また、第2小脱塩室D2には、アニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されている。具体的には、カチオン交換体の層とアニオン交換体の層とが被処理水の通水方向に沿って積層されている。より具体的には、通水方向前段にカチオン交換体層が配置され、通水方向後段にアニオン交換体層が配置されている。すなわち、第2小脱塩室D2に流入した被処理水は、カチオン交換体層とアニオン交換体層をこの順で通過する。換言すれば、第2小脱塩室D2において被処理水が最後に通過するイオン交換体の層がアニオン交換体層となる順序でアニオン交換体層とカチオン交換体層とが積層されている。図1では、枠体1が一体的に示されているが、実際には部屋毎に別々の枠体を備え、枠体同士が互いに密着して設けられている。枠体1の素材は絶縁性を有し、被処理水が漏洩しない素材であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ABS、ポリカーボネート、m-PPE変性ポリフェニレンエーテル等の樹脂を挙げることができる。ここで、本発明の理解を容易するために、図1に示す脱イオン水製造装置における被処理水および濃縮水の主な流れについて予め概説する。被処理水は、第1小脱塩室D1に供給され、該小脱塩室D1を通過する。第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、第2小脱塩室D2に供給され、該小脱塩室D2を通過した後に系外に排出される。一方、濃縮水は、第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2にそれぞれ並列的に供給され、これら濃縮室を通過して系外に排出される。上記のように被処理水および濃縮水を流すためにいくつかの流路U1~U3、L1~L2が設けられている。図1において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U1は、その一端が被処理水の供給側に接続され、他端が第1小脱塩室D1に接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L1は、その一端が第1小脱塩室D1に接続され、他端が第2小脱塩室D2に接続されている。脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U2は、その一端が第2小脱塩室D2に接続され、他端が被処理水の排出側に接続されている。図1において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U3は、その一端が濃縮水の供給側に接続され、他端側は途中で分岐されて、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2にそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L2は、その一端が第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2にそれぞれ接続され、途中で合流した後に濃縮水の排出側に接続されている。なお、図示は省略されているが、陰極室E1および陽極室E2には、電極水を供給するための流路と供給された電極水を排出するための流路がそれぞれ接続されている。次に、上記構成を有する脱イオン水製造装置の動作および作用について説明する。第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2には、流路U3から濃縮水が供給され、流路L2から排出される。また、陰極室E1および陽極室E2には、図示しない流路から電極水が供給され、供給された電極水は図示しない流路から排出される。さらに、陽極、陰極の間には所定の直流電圧が印加される。以上の状態の下で、流路U1から第1小脱塩室D1に被処理水が供給される。供給された被処理水中のアニオン成分Cl-、CO32-、HCO3-、SiO2等は、被処理水が第1小脱塩室D1を通過する過程で捕捉される。第1小脱塩室D1において捕捉されたアニオン成分は、第1小脱塩室D1と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。次に、第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、流路L1を介して第2小脱塩室D2に供給される。ここで、第2小脱塩室D2には、カチオン交換体層とアニオン交換体層とがこの順で積層されていることは既述の通りである。よって、第2小脱塩室D2に供給された被処理水は、まずカチオン交換体層を通過し、その後にアニオン交換体層を通過する。その際、被処理水がカチオン交換体層を通過する過程で、被処理水中のカチオン成分Na、Ca2、Mg2等が捕捉される。具体的には、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体によって捕捉されたカチオン成分は、第2小脱塩室D2と第1のカチオン交換膜c1を介して隣接する第2の濃縮室C2へ移動し、該第2の濃縮室C2を通水する濃縮水と共に系外に排出される。さらに、第2小脱塩室D2においてカチオン交換体層を通過した被処理水は、次段のアニオン交換体層を通過する。この際、被処理水中のアニオン成分Cl-、CO32-、HCO3-、SiO2等が再度捕捉される。具体的には、第2小脱塩室D2のアニオン交換体によって捕捉されたアニオン成分は、第2小脱塩室D2と中間イオン交換膜a2を介して隣接する第1小脱塩室D1へ移動する。第1小脱塩室D1へ移動したアニオン成分は、第1小脱塩室D1と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。以上が本実施形態に係る脱イオン水製造装置における脱イオン処理の流れである。しかし、上記処理の過程で、第2の濃縮室C2に供給される濃縮水に含まれているアニオン成分炭酸やシリカの一部が第1のカチオン交換膜c1を通過し、第2小脱塩室D2へ移動する。炭酸やシリカがカチオン交換膜を通過する原理については既に説明した通りである。ここで、第2の濃縮室C2から第2小脱塩室D2へ移動した炭酸やシリカは、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面上に一様に拡散する。すなわち、炭酸やシリカは、第2小脱塩室D2内のアニオン交換体層と接している領域のみでなく、カチオン交換体層と接している領域にも拡散する。そして、炭酸やシリカはカチオン交換体によっては捕捉されないので、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面のうち、カチオン交換体層と接している領域に拡散した炭酸やシリカは被処理水とともにカチオン交換体層を通過してしまう。しかし、第2小脱塩室D2には、被処理水の通水方向に沿ってカチオン交換体層とアニオン交換体層とが積層されている。よって、カチオン交換体層を通過した炭酸やシリカは、次段のアニオン交換体層において再度イオン化されて捕捉され、第1小脱塩室D1へ移動する。第1小脱塩室D1に移動した炭酸やシリカは、第3のアニオン交換膜a3を通過して、第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。従って、濃縮水に含まれている炭酸およびシリカが被処理水中に拡散し、処理水の純度を低下させることはない。なお、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体層とアニオン交換体層の積層順序が逆の場合には、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面のうち、カチオン交換体層と接している領域に拡散した炭酸やシリカを捕捉することはできず、処理水の純度が低下することは自明である。これまでの説明より、第2小脱塩室D2内に設けられたイオン交換体の積層体の最終段がアニオン交換体層であれば上記効果が得られることが理解できるはずである。換言すれば、第2小脱塩室D2を通過する被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体であれば上記効果が得られる。よって、最終段のアニオン交換体層よりも前段のイオン交換体層の種類、積層順序、積層数は特に限定されない。例えば、カチオン交換体層とアニオン交換体層を最終段がアニオン交換体層となる順序で4層以上積層してもよい。さらに、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、被処理水が最初に供給される第1小脱塩室D1にアニオン交換体が充填され、被処理水が次に供給される第2小脱塩室D2には、カチオン交換体とアニオン交換体がこの順で積層されている。よって、被処理水は、最初にアニオン交換体を通過する。これにより、被処理水からアニオン成分が除去され、被処理水のpHが上昇する。さらに、第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、カチオン交換体とアニオン交換体がこの順で積層されている第2小脱塩室D2に供給される。すなわち、第1小脱塩室D1内のアニオン交換体を通過した被処理水は、次いでカチオン交換体を通過し、続いてアニオン交換体を再度通過する。要するに、本実施形態の構成よれば、被処理水は、アニオン交換体とカチオン交換体を交互に通過する。ここで、アニオン交換体のアニオン成分の捕捉能力は、被処理水のpHが低い場合に高まり、カチオン交換体のカチオン成分の捕捉能力は、被処理水のpHが高い場合に高まる。よって、被処理水が最初にアニオン交換体を通過し、その後にカチオン交換体とアニオン交換体を交互に通過することになる本実施形態の構成によれば、アニオン交換体を通過することによってアニオン成分が除去され、pHが上昇した被処理水が続けてカチオン交換体を通過する。よって、カチオン交換体によるカチオン除去反応が通常よりも促進される。さらに、カチオン交換体を通過することによってカチオン成分が除去され、pHが低下した被処理水が続けてアニオン交換体を通過する。よって、アニオン交換体によるアニオン除去反応が通常よりも促進される。よって、炭酸やシリカを含むアニオン成分の除去能力がさらに向上するのみでなく、カチオン成分の除去能力も向上し、よって処理水の純度がより一層向上する。以上のように、本実施形態に係る脱イオン水製造装置によれば、濃縮水に含まれている炭酸やシリカの一部がイオン交換膜を通過して被処理水中に拡散することが防止されることによって処理水の純度が向上する効果に加えて、被処理水に含まれている炭酸やシリカ等のアニオン成分の除去能力が向上し、さらには被処理水に含まれているカチオン成分の除去能力も向上する。なお、濃縮室が電極室を兼ねている構成も本発明に含まれる。例えば、図1に示す第2の濃縮室C2に陰極を設けて陰極室E1を省略してもよい。この場合であっても、脱塩室および一対の濃縮室から構成される脱塩処理部は、陰極と陽極の間に配置される。実施形態2以下、図面を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、陰極室と陽極室との間に複数の脱塩処理部が設けられている点を除いて、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と共通の構成を有する。そこで、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と異なる構成についてのみ以下に説明し、共通する構成についての説明は適宜省略する。図2は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置の概略構成図である。図2に示す脱イオン水製造装置では、陰極室E1と陽極室E2との間に2つの脱塩処理部が設けられている。2つの脱塩処理部のうち、相対的に陰極側に位置する第1の脱塩処理部は、脱塩室D1と、脱塩室D1の両隣に配置された一対の濃縮室C1、C2から構成されている。一方、相対的に陽極側に位置する第2の脱塩処理部は、脱塩室D2と、脱塩室D2の両隣に配置された一対の濃縮室C1、C3から構成されている。以下の説明では、第1の脱塩処理部を構成している脱塩室D1を陰極側脱塩室D1、第2の脱塩処理部を構成している脱塩室D2を陽極側脱塩室D2と呼んで区別する。また、濃縮室C1を第1の濃縮室C1、濃縮室C2を第2の濃縮室C2、濃縮室C3を第3の濃縮室C3と呼んで区別する。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。さらに、陰極側脱塩室D1および陽極側脱塩室D2は、それぞれ二つの小脱塩室に仕切られている。以下の説明では、陰極側脱塩室D1を構成している二つの小脱塩室のうち、第1の濃縮室C1と隣接している小脱塩室を陰極側第1小脱塩室D11、第2の濃縮室C2と隣接している小脱塩室を陰極側第2小脱塩室D12と呼ぶ。また、陽極側脱塩室D2を構成している二つの小脱塩室のうち、第3の濃縮室C3と隣接している小脱塩室を陽極側第1小脱塩室D21、第1の濃縮室C1と隣接している小脱塩室を陽極側第2小脱塩室D22と呼ぶ。かかる区別も説明の便宜上の区別であることは勿論である。各室の配列状況を陰極室E1の側から順に説明すると、次の通りである。すなわち、陰極室E1は、第1のアニオン交換膜a1を介して第2の濃縮室C2に隣接し、第2の濃縮室C2は、第1のカチオン交換膜c1を介して陰極側第2小脱塩室D12と隣接している。陰極側第2小脱塩室D12は、第2のアニオン交換膜a2を介して陰極側第1小脱塩室D11と隣接し、陰極側第1小脱塩室D11は、第3のアニオン交換膜a3を介して第1の濃縮室C1と隣接している。第1の濃縮室C1は、第2のカチオン交換膜c2を介して陽極側第2小脱塩室D22と隣接し、陽極側第2小脱塩室D22は、第4のアニオン交換膜a4を介して陽極側第1小脱塩室D21と隣接している。陽極側第1小脱塩室D21は、第5のアニオン交換膜a5を介して第3の濃縮室C3と隣接し、第3の濃縮室C3は、第3のカチオン交換膜c3を介して陽極室E2と隣接している。第1~第3の濃縮室C1~C3は、陰極側脱塩室D1または陽極側脱塩室D2から排出されるアニオン成分またはカチオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。各濃縮室C1~C3には、スケールの発生を抑制すべくアニオン交換体が単床形態で充填されている。陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21には、それぞれアニオン交換体が単床形態で充填されている。また、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22には、それぞれアニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されている。なお、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22におけるアニオン交換体およびカチオン交換体の具体的な充填形態は実施形態1において説明した通りである。次に、図2に示す脱イオン水製造装置における被処理水および濃縮水の主な流れについて概説する。被処理水は、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にそれぞれ並列的に供給され、これら小脱塩室を通過する。陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水は、これら小脱塩室外で一度合流した後に分流されて、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ並列的に供給され、これら小脱塩室を通過した後に系外に排出される。一方、濃縮水は、第1~第3の濃縮室C1~C3にそれぞれ並列的に供給され、これら濃縮室を通過して系外に排出される。上記のように被処理水および濃縮水を流すためにいくつかの流路U1~U3、L1~L2が設けられている。図2において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U1は、その一端が被処理水の供給側に接続され、他端側は途中で分岐されて、陰極側第1小脱塩室D11と陽極側第1小脱塩室D21とにそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L1は、陰極側第1小脱塩室D11と陽極側第1小脱塩室D21とにそれぞれ接続され、途中で合流した後に分岐されて、陰極側第2小脱塩室D12と陽極側第2小脱塩室D22とにそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U2は、陰極側第2小脱塩室D12と陽極側第2小脱塩室D22とにそれぞれ接続され、途中で合流して被処理水の排出側に接続されている。図2において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U3は、その一端が濃縮水の供給側に接続され、他端側は途中で分岐されて、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2および第3の濃縮室C3にそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L2は、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2および第3の濃縮室C3にそれぞれ接続され、途中で合流した後に濃縮水の排出側に接続されている。次に、上記構成を有する脱イオン水製造装置の動作および作用について説明する。第1~第3の濃縮室C1~C3には、流路U3から濃縮水が供給され、流路L2から排出される。また、陰極室E1および陽極室E2には、図示しない流路から電極水が供給され、供給された電極水は図示しない流路から排出される。さらに、陽極、陰極の間には所定の直流電圧が印加される。以上の状態の下で、流路U1から陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21に被処理水が並列的に供給される。供給された被処理水中のアニオン成分Cl-、CO32-、HCO3-、SiO2等は、被処理水が第1小脱塩室D11、D21を通過する過程で捕捉される。そして、陰極側第1小脱塩室D11において捕捉されたアニオン成分は、陰極側第1小脱塩室D11と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、陽極側第1小脱塩室D21において捕捉されたアニオン成分は、陽極側第1小脱塩室D21と第5のアニオン交換膜a5を介して隣接する第3の濃縮室C3へ移動し、該第3の濃縮室C3を通水する濃縮水と共に系外に排出される。次に、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水は、流路L1を介して陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22に供給される。ここで、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22には、カチオン交換体層とアニオン交換体層とがこの順で積層されていることは既述の通りである。よって、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ供給された被処理水は、まずカチオン交換体層を通過し、その後にアニオン交換体層を通過する。その際、被処理水がカチオン交換体層を通過する過程で、被処理水中のカチオン成分Na、Ca2、Mg2等が捕捉される。具体的には、陰極側第2小脱塩室D12内のカチオン交換体によって捕捉されたカチオン成分は、陰極側第2小脱塩室D12と第1のカチオン交換膜c1を介して隣接する第2の濃縮室C2へ移動し、該第2の濃縮室C2を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、陽極側第2小脱塩室D22内のカチオン交換体によって捕捉されたカチオン成分は、陽極側第2小脱塩室D22と第2のカチオン交換膜c2を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。さらに、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22においてカチオン交換体層を通過した被処理水中のアニオン成分Cl-、CO32-、HCO3-、SiO2等は、被処理水が次段のアニオン交換体層を通過する過程で再度捕捉される。具体的には、陰極側第2小脱塩室D12のアニオン交換体によって捕捉されたアニオン成分は、陰極側第2小脱塩室D12と中間イオン交換膜a2を介して隣接する陰極側第1小脱塩室D11へ移動する。陰極側第1小脱塩室D11へ移動したアニオン成分は、陰極側第1小脱塩室D11と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、陽極側第2小脱塩室D22のアニオン交換体によって捕捉されたアニオン成分は、陽極側第2小脱塩室D22と中間イオン交換膜a4を介して隣接する陽極側第1小脱塩室D21へ移動する。陽極側第1小脱塩室D21へ移動したアニオン成分は、陽極側第1小脱塩室D21と第5のアニオン交換膜a5を介して隣接する第3の濃縮室C3へ移動し、該第3の濃縮室C3を通水する濃縮水と共に系外に排出される。以上が本実施形態に係る脱イオン水製造装置における脱イオン処理の流れである。しかし、本実施形態に係る脱イオン水製造装置のように、脱塩室が複数設けられている場合には、特定の濃縮室における炭酸やシリカの濃度が他の濃縮室におけるそれに比べて高くなる。例えば、本実施形態に係る脱イオン水製造装置においては、図2に示す脱塩室D1に隣接している第1の濃縮室C1には、該濃縮室C1に供給される濃縮水に含まれている炭酸やシリカに加え、陰極側脱塩室D1から炭酸やシリカが移動してくる。また、図2に示す脱塩室D2に隣接している第3の濃縮室C3には、該濃縮室C3に供給される濃縮水に含まれている炭酸やシリカに加え、陽極側脱塩室D2から炭酸やシリカが移動してくる。隣接する脱塩室から濃縮室へ炭酸やシリカが移動してくる原理は実施形態1において説明した通りである。よって、第1の濃縮室C1、第3の濃縮室C3では、他の濃縮室C2に比べて炭酸やシリカの濃度が高くなり、隣接するカチオン交換膜を通過する炭酸やシリカの量も増大する。特に、濃縮室C1は陽極側脱塩室D2と隣接しており、かかる炭酸やシリカの陽極側脱塩室D2への移動被処理水への拡散が問題となる。しかし、本実施形態に係る構成によれば、第1の濃縮室C1から陽極側第2小脱塩室D22へ移動した炭酸やシリカは、該脱塩室D22に充填されているアニオン交換体によって捕捉され、陽極側第1小脱塩室D21を介して第3の濃縮室C3に移動し、系外に排出される。従って、第1の濃縮室C1から陽極側第2小脱塩室D22へ移動した炭酸やシリカが被処理水に拡散することはない。なお、本実施形態においても、被処理水が最初に供給される陰極側第1小脱塩室D11及び陽極側第1小脱塩室D21にはアニオン交換体が充填されている。また、陰極側第1小脱塩室D11及び陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水が供給される陰極側第2小脱塩室D12及び陽極側第2小脱塩室D22には、カチオン交換体とアニオン交換体とがこの順で積層されている。すなわち、被処理水は、最初にアニオン交換体を通過し、次いでカチオン交換体を通過し、その後にアニオン交換体を再度通過する。よって、実施形態1で説明したのと同様の原理により、被処理水の純度がより一層向上する。なお、図2に示す第3の濃縮室C3に陽極を設けて陽極室E2を省略してもよく、第2の濃縮室C2に陰極を設けて陰極室E1を省略してもよい。比較試験1本発明の効果を確認すべく、次のような比較試験を行った。すなわち、図1に示す第2小脱塩室D2におけるイオン交換体の構成のみが異なる4つの脱イオン水製造装置を用意した。図3a~dに、各脱イオン水製造装置における第2小脱塩室D2のイオン交換体の構成を模式的に示す。図3aに示すように、当該脱イオン水製造装置実施例1の第2小脱塩室D2には、被処理水の通水方向に沿って、前段にカチオン交換体層C、後段にアニオン交換体層Aが積層されている。すなわち、実施例1は、上記実施形態1に示す脱塩室と同一の脱塩室を備えている。図3bに示すように、当該脱イオン水製造装置実施例2の第2小脱塩室D2には、被処理水の通水方向に沿って、カチオン交換体層Cとアニオン交換体層Aがカチオン/アニオン/カチオン/アニオンの順で交互に積層されている合計4層。すなわち、実施例2は、上記実施形態1に示す脱塩室と本質的に同一の脱塩室を備えている。図3cに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例1の第2小脱塩室D2には、被処理水の通水方向に沿って、前段にアニオン交換体層A、後段にカチオン交換体層Cが積層されている。図3dに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例2の第2小脱塩室D2には、カチオン交換体とアニオン交換体の混合物混合比率1:1が充填されている。すなわち、カチオン交換体とアニオン交換体がいわゆる混床形態で充填されている。なお、特に断らない限り、各実施例および各比較例におけるアニオン交換体およびカチオン交換体はそれぞれ単床形態で所定の室に充填されている。また、図3a~d中の一点鎖線の矢印は、被処理水の通水方向を示している。今回の比較試験において、各実施例および各比較例に共通する仕様、通水流量、供給水等の条件は以下のとおりである。なお、CERはカチオン交換体カチオン交換樹脂、AERはアニオン交換体アニオン交換樹脂の略である。陰極室:寸法100×300×4mmAER充填陽極室:寸法100×300×4mmCER充填第1小脱塩室:寸法100×300×8mmAER充填濃縮室:寸法100×300×4mmAER充填脱塩室流量:20Lh濃縮室流量:2Lh電極室流量:10Lh脱塩室、濃縮室供給水:一段RO透過水10±1μScm電極室供給水:脱塩室処理水印加電流値:0.4Aシリカ濃度1000ppb以上の条件の下で実施例1、2および比較例1、2に係る脱イオン水製造装置をそれぞれ200時間連続運転し、その後の運転電圧と処理水の比抵抗、処理水中のシリカ濃度を測定した。不純物を全く含まない水の理論的な比抵抗値は25°Cにおいて18.2MΩcmとなる。脱イオン水の水質は比抵抗値が18.2MΩcmに近づけば近づくほど、水質は清浄であると評価できる。さらに、比抵抗値が18.2MΩcmよりも高ければ高いほど、水質はより清浄であると評価できる。測定結果を表1に示す。表1に示すとおり、実施例と比較例では運転電圧の差異は殆ど見られなかった。しかし、実施例1、実施例2では、比抵抗が18MΩcm程度の極めて清浄な処理水が得られた。一方、比較例1、比較例2において得られた処理水の比抵抗は10MΩcm~12MΩcmであった。処理水を成分分析した結果、処理水中の主な不純物は炭酸であった。また、実施例1、2において得られた処理水中のシリカ濃度はそれぞれ0.6、0.3ppbと非常に低い値であったのに対し、比較例1、2において得られた処理水中のシリカ濃度は1~2ppbと高い値であった。これらのことから、脱塩室の最終処理層を単床形態のアニオン交換体とすることで、濃縮室から脱塩室に拡散してくるアニオン成分を捕捉し、高純度の脱イオン水を製造可能であることが確認された。さらに、実施例1と実施例2を比較すると、実施例2の方がより高純度の脱イオン水を製造可能であることがわかる。ここで、実施例1および実施例2における第1小脱塩室D1の構成は共通しているが、第2小脱塩室D2の構成は相違している。具体的には、実施例1の第2小脱塩室D2では、カチオン交換体層Cとアニオン交換体層Aが一層ずつ積層されているのに対し、実施例2の第2小脱塩室D2では、カチオン交換体層Cとアニオン交換体層Aが交互に二層ずつ積層されている。よって、実施例1の第1小脱塩室D1を通過したアニオン交換体を通過した被処理水は、その後にカチオン交換体とアニオン交換体を交互に1回ずつ通過する。脱塩室全体で見た場合には、被処理水は、アニオン交換体を2回、カチオン交換体を1回通過する。一方、実施例2の第1小脱塩室D1を通過したアニオン交換体を通過した被処理水は、その後にカチオン交換体とアニオン交換体を交互に2回ずつ通過する。脱塩室全体で見た場合には、被処理水は、アニオン交換体を3回、カチオン交換体を2回通過する。以上より、実施例2では、通常よりもイオン交換反応が効率良くかつ数多く繰り返される結果、処理水の純度がより一層向上する。かかる結果より、第2小脱塩室D2におけるアニオン交換体層とカチオン交換体層の繰り返し回数が多いほどより高純度の脱イオン水を製造可能であることがわかる。実施形態3次に、図4を参照して本発明の脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置の基本構成は、実施形態2に係る脱イオン水製造装置と共通である。そこで、実施形態2に係る脱イオン水製造装置との相違点についてのみ以下に説明し、共通点についての説明は省略する。図4に示すように、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、陰極室E1と第2の濃縮室C2との間に、副脱塩室S1が設けられている。副脱塩室S1は、第6のアニオン交換膜a6を介して陰極室E1と隣接し、第1のアニオン交換膜c1を介して第2の濃縮室C2と隣接し、室内にはアニオン交換体が単床形態で充填されている。本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、流路U1から陰極側第1小脱塩室D11、陽極側第1小脱塩室D21および副脱塩室S1に被処理水が並列的に供給される。副脱塩室S1に供給された被処理水中のアニオン成分Cl-、CO32-、HCO3-、SiO2等は、被処理水が副脱塩室S1を通過する過程でが捕捉される。捕捉されたアニオン成分は、副脱塩室S1と第1のアニオン交換膜a1を介して隣接する第2の濃縮室C2へ移動し、該第2の濃縮室C2を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、副脱塩室S1を通過した被処理水は、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水と合流した後に、陰極側第2小脱塩室D12または陽極側第2小脱塩室D22に供給される。これ以後の被処理水の流れやイオンの動きは実施形態1や実施形態2において説明した通りなので説明は省略する。ここで、脱イオン水製造装置においては、被処理水に含まれているマグネシウムイオンやカルシウムイオンなどの硬度成分が脱塩室から濃縮室へ移動する。これら硬度成分は、イオン交換膜の表面においてCO32-やOH-などのイオンと反応し、炭酸カルシウム、水酸化マグネシウムなどがスケールとして析出する。このようなスケールの析出は、pHが高い部分で発生し易く、脱イオン水製造装置では、陰極室内の陰極表面やアニオン交換膜表面などの局所的にpHが高い部分でスケールの発生がしばしば見られる。こうした問題を解決するためには、スケール発生箇所のpHを下げることが有効であり、炭酸などのアニオン成分を供給できればpHを下げることができる。換言すれば、脱塩室から隣接する濃縮室へアニオン成分を供給すれば、スケールの発生を抑制することが可能である。ここで図2を参照する。実施形態2に係る脱イオン水製造装置では、第1の濃縮室C1へは主に陰極側脱塩室D1から、第3の濃縮室C3へは主に陽極側脱塩室D2から、それぞれアニオン成分が供給される。よって、第3のアニオン交換膜a3や第5のアニオン交換膜a5の膜面上におけるスケールの発生は抑制される。しかし、最も陰極室側に位置している第2の濃縮室C2へのアニオン成分の供給量は、第1の濃縮室C1および第3の濃縮室C3への供給量に比べて少ない。すなわち、第3のアニオン交換膜a3や第5のアニオン交換膜a5の膜面上に比べて、第1のアニオン交換膜a1の膜面上はスケールが発生し易い状況にある。一方、陰極室E1と第2の濃縮室C2との間に、アニオン交換体が充填された副脱塩室S1が設けられている本実施形態の脱イオン水製造装置では、副脱塩室S1から第2の濃縮室C2へアニオン成分が供給される。よって、第1のアニオン交換膜a1の膜面上における局所的なpHの上昇が抑制され、スケールの発生も抑制される。さらに、副脱塩室S1に充填されているアニオン交換体は陰極室E1で生成されたOH-により再生される。従って、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、陰極室E1で発生し、従来は利用されることなく捨てられていたOH-がイオン交換体の再生に有効利用される。加えて、陰極室E1におけるOH-の生成効率は高いため、電位が低くても十分な量のOH-が副脱塩室S1に移動する。このため、電極間の印加電圧を抑え、脱イオン水製造装置の運転費用を低減することができる。また、本実施形態では、副脱塩室S1が新たな脱塩室として追加されているが、それに伴い新たな濃縮室を追加する必要がない。つまり、相対的に濃縮室の数を減らすことができる。これは装置サイズ及び装置コストを抑えるだけでなく、印加電圧及び運転費用の低減にもつながる。なお、本実施形態では、陰極室と陽極室との間に2つの脱塩処理部が設けられた例について説明したが、脱塩処理部は1つでも3つ以上であってもよい。例えば、図1に示す陰極室E1と第2の濃縮室C2との間に上記構成の副脱塩室を設けることもできる。なお、図4に示す濃縮室C3に陽極を設けて陽極室E2を省略してもよい。比較試験2本実施形態に係る脱イオン水製造装置と実施形態2に係る脱イオン水製造装置をそれぞれ連続して1000時間運転し、100時間毎に処理水の水質を測定した。また運転終了後に装置を解体し、スケール発生の有無を目視で観察した。今回の比較試験における仕様、通水流量、供給水等の条件は以下のとおりである。なお、CERはカチオン交換体カチオン交換樹脂、AERはアニオン交換体アニオン交換樹脂の略である。陰極室:寸法100×300×4mmAER充填陽極室:寸法100×300×4mmCER充填陰極側第1小脱塩室および陽極側第1小脱塩室:寸法100×300×8mmAER充填陰極側第2小脱塩室および陽極側第2小脱塩室:寸法100×300×8mmAER/CER充填積層副脱塩室:寸法100×300×8mmAER充填濃縮室:寸法100×300×4mmAER充填脱塩室流量:20Lh濃縮室流量:2Lh電極室流量:10Lh脱塩室、濃縮室供給水:一段RO透過水10±1μScm電極室供給水:脱塩室処理水印加電流値:0.4Aかかる比較試験により、図5のグラフに示すような結果が得られた。また、1000時間運転後、実施形態2の装置では最も陰極室側に位置している濃縮室にスケールが発生していることが目視で確認された。一方、本実施形態の装置では、全ての濃縮室においてスケールは全く確認されなかった。このことから、陰極室に隣接する副脱塩室を設置することで、最も陰極室側の濃縮室におけるスケール発生が抑制され、安定して高純度の脱イオン水が得られていることが明らかとなった。実施形態4次に、本発明の脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、図1に示す第2小脱塩室D2にバイポーラ膜が配置されている点においてのみ実施形態1に係る脱イオン水製造装置と相違し、その他においては共通の構成を備えている。そこで、上記相違点に関してのみ以下に説明し、共通点についての説明は省略する。なお、バイポーラ膜とは、アニオン交換膜とカチオン交換膜とが貼り合わされて一体化されたイオン交換膜であって、アニオン交換膜とカチオン交換膜の接合面において水の解離反応が非常に促進されるという特徴を有する。図6は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置が有する脱塩室Dを示す模式的断面図である。図6に示すように、第2小脱塩室D2には、第1のバイポーラ膜4aおよび第2のバイポーラ膜4bがそれぞれ配置されている。具体的には、第2小脱塩室D2に充填されているアニオン交換体アニオン交換体層の陰極側には第1のバイポーラ膜4aが配置され、カチオン交換体カチオン交換体層の陽極側には第2のバイポーラ膜4bが配置されている。さらに、第1のバイポーラ膜4aは、そのアニオン交換膜2がアニオン交換体アニオン交換体層と対向するように配置され、第2のバイポーラ膜4bは、そのカチオン交換膜3がカチオン交換体カチオン交換体層と対向するように配置されている。換言すれば、第2小脱塩室D2においては、アニオン交換体と第1のカチオン交換膜c1との間に、第1のバイポーラ膜4aが、そのアニオン交換膜2がアニオン交換体と対向するように配置されている。また、カチオン交換体と第2のアニオン交換膜中間イオン交換膜a2との間に、第2のバイポーラ膜4bが、そのカチオン交換膜3がカチオン交換体と対向するように配置されている。ここで、脱イオン水製造装置では、電気により解離した水がイオン交換体の再生剤として機能することは既述の通りであるが、水の解離反応はイオン交換体とイオン交換膜との界面において促進される。よって、水の解離反応は、イオン交換体とイオン交換膜との組み合わせにより大きな影響を受ける。このため、図1に示す第2小脱塩室D2のように、異符号のイオン交換体アニオン交換体とカチオン交換体が積層されている場合、水解離に必要な過電圧が各層で異なる。この結果、電流の偏流が発生し、所望の電流分布が得られない事態が生ずることも考えられる。そこで、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、第2小脱塩室D2に充填されているアニオン交換体アニオン交換体層の陰極側に、第1のバイポーラ膜4aが上記のように配置されている。これにより、アニオン交換体は第1のカチオン交換膜c1ではなく、第1のバイポーラ膜4aのアニオン交換膜と接することになり、上記偏流が解消される。なお、既述したイオン交換体とイオン交換膜の組み合わせによる水の解離反応への影響の観点からは、第2小脱塩室D2に充填されているアニオン交換体アニオン交換体層の陰極側にのみバイポーラ膜を配置すればよい。すなわち、図6に示す第1のバイポーラ膜4aのみを配置し、第2のバイポーラ膜4bを省略することも可能である。しかし、この場合には、却ってアニオン交換体層とカチオン交換体層との間のバランスが崩れる場合もある。そこで、本実施形態では、アニオン交換体アニオン交換体層の陰極側と、カチオン交換体カチオン交換体層の陽極側の双方にバイポーラ膜をそれぞれ配置し、高電流密度での安定した運転の確実性をより一層向上させている。なお、本実施形態では、陰極室と陽極室との間に1つの脱塩処理部が設けられた例について説明したが、脱塩処理部は2つ以上であってもよい。例えば、図2に示す陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22のそれぞれに上記第1及び第2のバイポーラ膜を配置してもよい。比較試験3本発明の効果を確認すべく、次のような比較試験を行った。すなわち、図1に示す第2小脱塩室D2におけるバイポーラ膜の有無または配置個所が異なる4つの脱イオン水製造装置を用意した。図7aに示すように、当該脱イオン水製造装置実施例3の第2小脱塩室には、第1のバイポーラ膜4aおよび第2のバイポーラ膜4bがそれぞれ配置されている。さらに、第1のバイポーラ膜4aは、そのアニオン交換膜2がアニオン交換体アニオン交換体層と対向するように配置され、第2のバイポーラ膜4bは、そのカチオン交換膜3がカチオン交換体カチオン交換体層と対向するように配置されている。すなわち、当該脱イオン水製造装置は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置と同一の脱塩室を備えている。図7bに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例3の第2小脱塩室には、バイポーラ膜は配置されていない。図7cに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例4の第2小脱塩室には、第1のバイポーラ膜4aのみが配置されている。第1のバイポーラ膜4aは、そのアニオン交換膜2がアニオン交換体アニオン交換体層と対向するように配置されている。図7dに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例5の第2小脱塩室には、第2のバイポーラ膜4bのみが配置されている。第2のバイポーラ膜4bは、そのカチオン交換膜3がカチオン交換体カチオン交換体層と対向するように配置されている。今回の比較試験において、各実施例および各比較例に共通する仕様、通水流量、供給水等の条件は以下のとおりである。なお、CERはカチオン交換体カチオン交換樹脂、AERはアニオン交換体アニオン交換樹脂の略である。陰極室:寸法100×300×4mmAER充填陽極室:寸法100×300×4mmCER充填陰極側第1小脱塩室および陽極側第1小脱塩室:寸法100×300×8mmAER充填陰極側第2小脱塩室および陽極側第2小脱塩室:寸法100×300×8mmAER/CER充填積層濃縮室:寸法100×300×4mmAER充填脱塩室流量:20Lh濃縮室流量:2Lh電極室流量:10Lh脱塩室、濃縮室供給水:一段RO透過水10±1μScm電極室供給水:脱塩室処理水印加電流値:3A以上の条件の下で実施例3および比較例3~5に係る脱イオン水製造装置をそれぞれ200時間連続運転し、運転開始時と運転開始から200時間後の運転電圧と処理水の水質を測定した。測定結果を表2に示す。表2に示すとおり、運転開始時には実施例と比較例の間において、運転電圧、処理水比抵抗はともに大きな差異は無かった。しかし、運転を200時間連続で行った後では運転電圧、処理水比抵抗はそれぞれ大きく変化した。具体的には、実施例3では200時間運転後の運転電圧が16.2Vであったのに対し、比較例3~5の運転電圧は50~120V程度に増大した。また、200時間運転後の処理水の比抵抗は、実施例3では18.1MΩcmであったのに対し、比較例3~5では1~4MΩcmであった。これらのことから、バイポーラ膜を水の解離反応が起こる部位の全てに設置することで電流の偏流が防止され、それにより運転電圧の増大や処理水純度の悪化を防止され、高純度の脱イオン水の製造が可能となることが確認された。本実施形態では、イオン交換膜の上にバイポーラ膜を設置する構成について説明した。しかし、イオン交換膜の一部をバイポーラ膜で置換することも可能であり、かかる置換によっても上記と同様の作用効果が得られる。例えば、図6に示す第1のカチオン交換膜c1の上半分陰極側第2小脱塩室D2内のアニオン交換体と接している部分をバイポーラ膜に置換してもよい。また、図6に示す第2のアニオン交換膜中間イオン交換膜a2の下半分陰極側第2小脱塩室D2内のカチオン交換体と接している部分をバイポーラ膜に置換してもよい。本発明の脱イオン水製造装置に用いられるアニオン交換体としては、イオン交換樹脂、イオン交換繊維、モノリス状多孔質イオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なイオン交換樹脂が好適に用いられる。アニオン交換体の種類としては、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等が挙げられる。また、カチオン交換体としては、イオン交換樹脂、イオン交換繊維、モノリス状多孔質イオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なイオン交換樹脂が好適に用いられる。カチオン交換体の種類としては、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等が挙げられる。