複数の永久磁石を直列に繋ぎ合わせてなる固定子と、この固定子の外周側に該固定子に沿ってスライド可能に組み合わされた筒状のコイルを持つ可動子とを備えたリニアモーターにおいて、前記複数の永久磁石を、その外径より大きな内径を有するとともに前記コイルの内径より小さな外径を有するパイプに収容し、前記パイプの少なくとも一端側に冷媒供給手段を接続して前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間に冷媒を導入可能にし、しかも前記パイプの所定箇所に設けられた穴を通して前記冷媒を前記パイプ外に噴出させるようにしたことを特徴とするリニアモーター。請求項1に記載のリニアモーターにおいて、前記複数の永久磁石は、それらの両側から2つの保持部により挟まれるようにして保持され、前記パイプは前記2つの保持部の間に架け渡され、少なくとも一方の前記保持部に、前記冷媒供給手段が接続されるとともに前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間に冷媒を導入するための導入口が1個以上設けられていることを特徴とするリニアモーター。請求項2に記載のリニアモーターにおいて、両方の前記保持部に前記1個以上の導入口が設けられ、前記穴は、前記パイプの中心軸方向に間隔をおいた複数箇所であって、かつ前記パイプの周方向に間隔をおいて複数個設けられ、前記パイプの中心軸方向に間隔をおいた複数箇所は、前記可動子のスライドの多い領域に設定されることを特徴とするリニアモーター。請求項2又は3に記載のリニアモーターにおいて、前記導入口を持つ前記保持部と該保持部に最も近い前記永久磁石の間に、当該保持部との対向面を錐形状にしたスペーサを介在させたことを特徴とするリニアモーター。請求項2~4のいずれか1項に記載のリニアモーターにおいて、前記1個以上の導入口の総断面積を前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間の断面積より大きくし、かつ前記穴の総面積を前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間の断面積より小さくしたことを特徴とするリニアモーター。ところで、この種のリニアモーターにおいては、コイル52への通電による発熱作用があり、この熱は永久磁石51に対して減磁作用を与えるので、コイル52からの放熱を抑制する手段が必要とされる。リニアモーターにおいて、可動子側のコイルからの放熱を抑制するために、可動子側を冷却する例は、特許文献2に示されている。しかしながら、特許文献2のリニアモーターは、可動子側を冷却するために、可動子に冷却媒体の通路を設け、可動子とは別の冷却媒体供給あるいは循環手段に接続して冷却媒体を供給あるいは循環する構成となるため、可動子側のサイズ、重量が大きくなってしまうという問題や、その分だけ推力が小さくなるという問題がある。なお、特許文献2のリニアモーターでは、固定子側の永久磁石を中空の円筒状にしてこの中空部に冷却媒体を通すことで固定子側を冷却することや、更に永久磁石をパイプに収容してパイプと永久磁石の外周との間の隙間にも冷却媒体を通すことで固定子側を冷却することも行なわれている。しかし、特許文献2のリニアモーターは、可動子側の冷却のために可動子側専用の冷却回路が不可欠であり、可動子側に加えて固定子側も冷却しようとする場合には固定子側専用の冷却回路を必要とする。そこで、本発明は、可動子側に冷却手段を設けることなく、可動子、固定子の双方を冷却することのできるリニアモーターを提供しようとするものである。本発明の態様によれば、複数の永久磁石を直列に繋ぎ合わせてなる固定子と、この固定子の外周側に該固定子に沿ってスライド可能に組み合わされた筒状のコイルを持つ可動子とを備えたリニアモーターにおいて、前記複数の永久磁石を、その外径より大きな内径を有するとともに前記コイルの内径より小さな外径を有するパイプに収容し、前記パイプの少なくとも一端側に冷媒供給手段を接続して前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間に冷媒を導入可能にし、しかも前記パイプの所定箇所に設けられた穴を通して前記冷媒を前記パイプ外に噴出させるようにしたことを特徴とするリニアモーターが提供される。上記態様によるリニアモーターにおいては、前記複数の永久磁石は、それらの両側から2つの保持部により挟まれるようにして保持され、前記パイプは前記2つの保持部の間に架け渡され、少なくとも一方の前記保持部に、前記冷媒供給手段が接続されるとともに前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間に冷媒を導入するための導入口が1個以上設けられていることが好ましい。上記態様によるリニアモーターにおいてはまた、両方の前記保持部に前記1個以上の導入口が設けられ、前記穴は、前記パイプの中心軸方向に間隔をおいた複数箇所であって、かつ前記パイプの周方向に間隔をおいて複数個設けられ、前記パイプの中心軸方向に間隔をおいた複数箇所は、前記可動子のスライドの多い領域に設定されることが好ましい。上記態様によるリニアモーターにおいては更に、前記導入口を持つ前記保持部と該保持部に最も近い前記永久磁石の間に、当該保持部との対向面を錐形状にしたスペーサを介在させることが望ましい。上記態様によるリニアモーターにおいては更に、前記1個以上の導入口の総断面積を前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間の断面積より大きくし、かつ前記穴の総面積を前記永久磁石の外周と前記パイプの内周との間の空間の断面積より小さくすることが望ましい。本発明によれば、固定子内部、つまり永久磁石の過熱を防ぐことができるだけでなく、可動子を冷却することができるので、温度に起因するリニアモーターの特性変化を防ぐことができる。本発明は以下の着想に基づいてなされたものである。筒状の永久磁石を複数個繋ぎ合わせたうえでパイプに収容して棒状の固定子を構成し、その周囲に筒状のコイルによる可動子をスライド可能に組み合わせたリニアモーターにおいては、コイルに通電し駆動した場合にジュール熱が発生する。この熱はコイルのケーシングを通してコイルの外側に放出されるか、コイルの内側の外気に伝わる。コイルの内側に伝わった熱は永久磁石を収容、保護しているパイプに伝わり、内部の永久磁石にまで達して永久磁石の温度を上昇させる。この現象は、特に、可動子の駆動範囲距離が可動子全長より短い場合に顕著となる。これは、棒状の固定子を構成している複数の永久磁石の中には常にコイルからの発熱にさらされるものが出てくるためである。すなわち、永久磁石の外周にコイルが位置しているため、この箇所の永久磁石は熱の排出が滞り過熱されてしまう。永久磁石の温度が上昇すると磁気特性が変化するという問題が発生する。そして、磁気特性が変化すると、リニアモーターの特性が変化し精密な制御が出来なくなる。本発明はこのような問題を解決しようとするものであり、永久磁石とその外側に配置されたパイプの間に流体を流すことで永久磁石を冷却する。このために、固定子の端部に流体の供給源を接続できるような構成とする。加えて、パイプの所定箇所に貫通穴を設けることにより、永久磁石をその外周側から直接冷却するとともに、パイプの貫通穴から流体を噴出させることにより、可動子、つまりコイルをその内側から冷却する。これにより、可動子側に冷却のための余分な部品を搭載すること無く固定子側からコイルを冷却することが可能になる。なお、流体は圧縮空気が好ましいが、液体でも良い。以下に、図1~図4を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は、本発明の実施形態による三相リニアモーターにおける固定子と可動子の断面構造を示し、図1aは固定子の中心軸に沿った断面図、図1bは固定子の中心軸に垂直な断面図、図1cは固定子と可動子の組み合わせを図1aの左側から見た図である。以下では、中心軸という場合、特にことわりがない場合、固定子の中心軸を意味する。また、以下では、固定子が円柱状で可動子が円筒状である場合について説明するが、これらは固定子の断面形状と可動子の開口面とが対応していれば良く、固定子は円柱状のほか、円筒状、角筒状、角棒状のいずれでも良く、可動子は円筒状のほか、角筒状でも良い。固定子10は、複数のリング状あるいは円筒状の永久磁石11を複数個直列に繋ぎ合わせてなる。特に、永久磁石11はその中心軸方向に着磁され、N極、S極が交互になるように同じ磁極同士を対向させて組み合わされている。この組み合わせ手法の一例を説明すると以下の通りである。全長にわたって雄ネジを切ったセンター軸12の一端側を、保持部13aの一端側中心に設けた雌ネジ13a-1にねじ込む。次に、センター軸12にスペーサ14aを装着する。スペーサ14aは、後述する理由により、保持部13aとの対向面が円錐の先端部を切断した錐形にされている。続いて、複数の円筒状の永久磁石11を、N極、S極が交互になるように同じ磁極同士を対向させてセンター軸12に装着してゆく。その際、隣り合う永久磁石11の間には反発力が作用するので、図示しない治具により永久磁石11を中心軸方向に関して押さえながら装着してゆく。あるいはまた、永久磁石11の内径側にセンター軸12の雄ネジに螺合する雌ネジが形成されていても良い。永久磁石11の個数は、可動子20のストロークにより決められる。所定数の永久磁石11を装着したら、センター軸12にナット15-1を装着し、所定数の永久磁石11相互の締め付けを行なう。この締め付けは、後で緩みが生じないように、ダブルナット15-1、15-2で行なわれるのが望ましい。次に、センター軸12にスペーサ14bを装着した後、パイプ16を装着し、センター軸12の他端側を保持部13bの一端側中心に設けた雌ネジ13b-1にねじ込む。スペーサ14bは、スペーサ14aと同様、保持部13bとの対向面が円錐の先端部を切断した錐形状にされているほか、反対側にはダブルナット15-1、15-2の収納部が形成されている。また、パイプ16を保持部13aと保持部13bとの間に架け渡すために、保持部13a、13bの外周部の一部がパイプ16に入り込むようにされている。この場合、パイプ16と保持部13a、13の継ぎ目は、気密を保つためにOオーリングや粘性流体状のシール材、あるいはロウ付け等の方法により密閉するのが好ましい。以上のように構成された固定子10に、3つのリング状あるいは円筒状のコイル21U、21V、21Wをコイルケーシング22に収容してなる円筒状の可動子20が、固定子10に沿ってスライド可能に組み合わされる。コイル21U、21V、21Wはそれぞれボビンに巻線を巻回してなり、巻線はスターあるいはデルタ結線されて、図示しない三相電源に接続されるとともに図示しない制御装置に接続される。三相電源との接続形態や制御装置による制御形態は本発明の要旨ではないので、詳しい説明は省略する。保持部13a、13bにはそれぞれ、等角度間隔をおいて中心軸方向に貫通する複数、ここでは90度の角度間隔をおいて3個の導入口13a-2、13b-2が設けられている。これらの導入口にはそれぞれ、冷媒供給源としての送風機30から冷媒として圧縮空気を供給するための配管31が継ぎ手32を介して接続されている。なお、保持部13bには、図1cに示すように、中心軸に直角な方向に、雌ネジ13b-1にまで至るネジ穴13b-3を設けて雄ネジをねじ込むことによりセンター軸12の緩みを防止するようにしている。これは、保持部13a側も同様である。さて、パイプ16は、その内径が永久磁石11の外径より大きく、外径がコイル21U、21V、21Wの内径より小さいので、永久磁石11の外周とパイプ16の内周との間にはギャップG1の環状空間が形成され、パイプ16の外周と可動子20の内周との間にはギャップG2の空間が形成される。また、本実施形態では、パイプ16には、中心軸方向に間隔をおいた2箇所であって、周方向に間隔をおいた8箇所に、合計16個の貫通穴16aが設けられている。以上のような構造により、固定子10の両側の保持部13a、13bにおける導入口13a-2、13b-2から導入された圧縮空気はそれぞれ、スペーサ14a、14bの錐形状の外面側のスペースを通して永久磁石11とパイプ16の間の環状空間に導入されて中央部側に流れ、貫通穴16aを通してパイプ16の外に噴出する。この時、導入口とギャップG1の環状空間との間に、錐形状のスペーサによるスペースがあることにより、3個の導入口から導入された圧縮空気はギャップG1の環状空間に均一に流れ易くなる。これが、スペーサ14a、14bの保持部13a、13bとの対向面を錐形状にしている理由である。ギャップG1の環状空間を通る圧縮空気は固定子10、つまり永久磁石11をその外周側から冷却し、貫通穴16aから噴出した圧縮空気は可動子20、つまりコイル21U、21V、21Wをそれらの内周側から冷却する。特に、貫通穴16aを設ける領域を、可動子20のストローク範囲の中でも、特に往復移動において重なりを生じ易い領域、つまりコイルからの発熱が滞り易い領域、例えば中心軸方向に関して中央部領域とすることで、可動子20の冷却効率を向上させることができる。更に、各保持部における3つの導入口の総断面積を、永久磁石11の外周とパイプ16の内周との間のギャップG1の環状空間の断面積より大きくし、かつ貫通穴16aの総面積をギャップG1の環状空間の断面積より小さくすることで圧縮空気の流速、コイル内面への噴出速度を高くして可動子20の冷却効果を高めることができる。図3は、本実施形態によるリニアモーターにおける、パイプ16表面、U相コイル21U表面、コイルケーシング22の温度計測結果を室温と共に示した図である。図3から明らかなように、固定子10に圧縮空気を導入すると、パイプ16表面、U相コイル21U表面、コイルケーシング22のいずれも、速やかに温度が低下し、冷却効果の高いことがわかる。図4は、本実施形態によるリニアモーターにおける、U相コイル21U表面の温度とU相コイル21Uの通電電流との関係を、冷却有りと冷却無しの場合について示した図である。図4からも、本実施形態の冷却構造による冷却効果の向上により、通電電流を冷却無しの場合に比べて増加させることができることがわかる。その結果、リニアモーターとしての推力アップを実現することができる。以上、本発明を、好ましい実施形態を参照して説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、請求項に記載された本発明の精神や範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。