回転体又は移動体を含む機器の位置を検出する被試験エンコーダと、前記機器の位置を検出する基準エンコーダと、前記被試験エンコーダにより検出された位置信号と前記基準エンコーダにより検出された位置信号とを同時にサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリングされた前記被試験エンコーダによる位置信号と前記基準エンコーダによる位置信号とに基づいて、位置信号の誤差波形を生成する生成部と、前記生成された誤差波形から、異物又は傷に関連した周波数帯域の成分波形を抽出する抽出部と、前記抽出された成分波形を用いて、前記被試験エンコーダにおける異物又は傷に関連した異常の有無を判定する判定部と、を備えたことを特徴とするエンコーダ解析装置。前記判定部は、前記抽出部により抽出された成分波形の変動幅が閾値を超えた場合、前記被試験エンコーダにおける異物又は傷に関連した異常が有ると判定することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ解析装置。前記判定部が判定に用いるべき前記閾値を設定する設定部をさらに備えたことを特徴とする請求項2に記載のエンコーダ解析装置。前記抽出部は、前記生成された誤差波形を高速フーリエ変換して誤差スペクトルを求める第1の演算部と、前記誤差スペクトルのうち異物又は傷に関連した周波数帯域のスペクトル成分を選択的に通過させるフィルタ部と、前記通過したスペクトル成分を逆高速フーリエ変換して前記成分波形を求める第2の演算部と、を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のエンコーダ解析装置。特許文献1には、測定エンコーダに付着する異物や測定エンコーダに発生した傷に関連した記載が一切ないため、測定エンコーダ被試験エンコーダにおける異物や傷に関連した異常の有無の検出精度をどのように向上するのかについても記載及び示唆がない。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、被試験エンコーダにおける異物や傷に関連した異常の有無の検出精度を向上できるエンコーダ解析装置を得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の1つの側面にかかるエンコーダ解析装置は、回転体又は移動体を含む機器の位置を検出する被試験エンコーダと、前記機器を介して前記被試験エンコーダに結合され、前記機器の位置を検出する基準エンコーダと、前記被試験エンコーダにより検出された位置信号と前記基準エンコーダにより検出された位置信号とを同時にサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリングされた前記被試験エンコーダによる位置信号と前記基準エンコーダによる位置信号との差分を取ることにより、位置信号の誤差波形を生成する生成部と、前記生成された誤差波形から、異物又は傷に関連した周波数帯域の成分波形を抽出する抽出部と、前記抽出された成分波形を用いて、前記被試験エンコーダにおける異物又は傷に関連した異常の有無を判定する判定部とを備えたことを特徴とする。本発明によれば、被試験エンコーダにおける異物や傷に関連のない成分を除去した状態で異常の有無の判定を行うことができるので、被試験エンコーダにおける異物や傷に関連した異常の有無の検出精度を向上できる。以下に、本発明にかかるエンコーダ解析装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。実施の形態.実施の形態にかかるエンコーダ解析装置100について図1を用いて説明する。図1は、エンコーダ解析装置100の構成を示すブロック図である。エンコーダ解析装置100は、モータ2、被試験エンコーダ1、基準エンコーダ3、信号演算器4、信号演算器5、サンプリング装置サンプリング部6、及び解析装置7を備える。モータ2は、回転子回転体を含む機器である。モータ2は、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3のそれぞれにギヤ等を介して機械的に結合されている。被試験エンコーダ1は、モータ2にギヤ等を介して機械的に結合されており、モータ2の位置、すなわちモータ2内における回転子の回転位置を検出する。被試験エンコーダ1は、例えば、機械式のロータリエンコーダであり、回転子にモータ軸を介して結合されたギヤ等の回転量から、回転子の回転位置を検出する。被試験エンコーダ1は、信号演算器4に接続されており、検出結果を位置信号として信号演算器4へ出力する。基準エンコーダ3は、被試験エンコーダ1の異常を検出するための基準となるエンコーダであり、被試験エンコーダ1と同様の構成を有している。すなわち、基準エンコーダ3は、モータ2にギヤ等を介して機械的に結合されており、モータ2の位置、すなわちモータ2内における回転子の回転位置を検出する。基準エンコーダ3は、例えば、機械式のロータリエンコーダであり、回転子にモータ軸を介して結合されたギヤ等の回転量から、回転子の回転位置を検出する。基準エンコーダ3は、信号演算器5に接続されており、その検出結果を位置信号として信号演算器5へ出力する。信号演算器4は、被試験エンコーダ1及びサンプリング装置6に電気的に接続されている。信号演算器4は、被試験エンコーダ1により検出された位置信号を被試験エンコーダ1から取得してサンプリング装置6へ送信する。信号演算器5は、基準エンコーダ3及びサンプリング装置6に電気的に接続されている。信号演算器5は、基準エンコーダ3により検出された位置信号を基準エンコーダ3から取得してサンプリング装置6へ送信する。サンプリング装置6は、被試験エンコーダ1により検出された位置信号と基準エンコーダ3により検出された位置信号とを同時にサンプリングする。具体的には、サンプリング装置6は、位置信号取得指令を信号演算器4及び信号演算器5へ同時に送信する。これに応じて、信号演算器4及び信号演算器5は、それぞれ、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3の位置信号を同時に取得し、取得した位置信号を同時にサンプリング装置6へ送信する。サンプリング装置6は、受信した位置信号を解析装置7へ送信する。解析装置7は、受信した位置信号を用いて演算処理を実行する。具体的には、解析装置7は、生成部71、抽出部72、判定部73、及び設定部74を有する。生成部71は、被試験エンコーダ1により検出された位置信号と基準エンコーダ3により検出された位置信号とをそれぞれサンプリング装置6から受信する。そして、生成部71は、被試験エンコーダ1により検出された位置信号と基準エンコーダ3により検出された位置信号とに基づいて、位置信号の誤差波形図3a参照を生成する。生成部71は、生成した位置信号の誤差波形を抽出部72へ供給する。抽出部72は、位置信号の誤差波形を生成部71から受ける。抽出部72は、位置信号の誤差波形から、異物又は傷に関連した周波数帯域の成分波形を抽出して判定部73へ供給する。異物又は傷に関連した周波数帯域は、予め実験的に決定されたものである。判定部73は、成分波形を抽出部72から受ける。判定部73は、抽出された成分波形を用いて、被試験エンコーダ1における異物又は傷に関連した異常の有無を判定する。具体的には、判定部73は、抽出部72により抽出された成分波形の変動幅が閾値を超えたか否かを検出幅単位で判定する。例えば、判定部73は、成分波形における少なくとも1つの検出幅において変動幅が閾値を超えた場合、被試験エンコーダ1における異物又は傷に関連した異常が有ると判定し、変動幅が閾値を超えた検出幅がない場合、被試験エンコーダ1における異物又は傷に関連した異常が無いと判定する。設定部74は、判定部73が判定に用いるべき閾値及び検出幅を設定する。例えば、設定部74は、エンコーダの要求される分解能が所定値より高い場合、閾値を第1の値に設定し、エンコーダの要求される分解能が所定値より低い場合、閾値を第1の値より低い第2の値に設定する。例えば、設定部74は、位置データのサンプリング装置6によるサンプリング間隔が所定値より長い場合、検出窓幅を第1の長さに設定し、位置データのサンプリング装置6によるサンプリング間隔が所定値より短い場合、検出窓幅を第1の長さより短い第2の長さに設定する。これに応じて、判定部73は、変更後の閾値及び検出幅を用いて上記の判定を行う。次に、抽出部72内の構成について説明する。抽出部72は、第1の演算部721、フィルタ部722、及び第2の演算部723を有する。第1の演算部721は、位置信号の誤差波形を高速フーリエ変換FFT:FastFourierTransformして、誤差波形の周波数特性を示す誤差スペクトルを求める。第1の演算部721は、求めた誤差スペクトルをフィルタ部722へ渡す。フィルタ部722は、誤差スペクトルを第1の演算部721から受ける。フィルタ部722は、誤差スペクトルのうち異物又は傷に関連した周波数帯域のスペクトル成分を選択的に通過させる。例えば、フィルタ部722は、上記の周波数帯域を通過帯域として有するバンドパスフィルタを有し、誤差スペクトルをバンドパスフィルタへ通すことにより上記のスペクトル成分を求めて第2の演算部723へ渡す。第2の演算部723は、スペクトル成分をフィルタ部722から受ける。第2の演算部723は、スペクトル成分を逆高速フーリエ変換逆FFTして、異物又は傷に関連した周波数帯域の成分波形を求めて判定部73へ供給する。次に、エンコーダ解析装置100の動作手順の一例について説明する。まず、モータ2に回転指令を与え、被試験エンコーダ1とモータ2と基準エンコーダ3とを回転させる。次に、サンプリング装置6は、信号演算器4及び信号演算器5へそれぞれ同時に接続先のエンコーダの位置信号取得指令を送信する。指令を受けた信号演算器4及び信号演算器5は、それぞれ接続先のエンコーダの位置信号を読取り、サンプリング装置6へエンコーダの位置信号を送信する。位置信号を受信したサンプリング装置6は、解析装置7へ位置信号を送信する。エンコーダ解析装置100は、上記の一連の処理を一定時間間隔で行い、解析装置7は、例えばモータ1回転分の位置信号を採取する。解析装置7は、収集した位置信号を用いて解析処理を実行する。次に、エンコーダ解析装置100における解析処理の流れについて図2を用いて説明する。図2は、エンコーダ解析装置100における解析処理の流れを示すフローチャートである。ステップST1では、解析装置7が、被試験エンコーダ1による位置信号と基準エンコーダ3による位置信号とから位置信号の誤差演算をおこなう。例えば、解析装置7は、被試験エンコーダ1による位置信号から基準エンコーダ3による位置信号を減算することにより、位置信号の誤差を演算する。ステップST2では、解析装置7が、ステップST1で求めた位置信号の誤差から、位置信号の誤差波形図3a参照を生成する。ステップST3では、解析装置7が、位置信号の誤差波形に対してFFT演算処理を行う。ステップST4では、解析装置7が、FFT演算処理の結果を元に、誤差波形の周波数特性を示す誤差スペクトルを生成する。ステップST5では、解析装置7が、ステップST4で生成した誤差スペクトルを、バンドパスフィルタ理想的な誤差波形を形成する周波数フィルタに通して、通常含まれない周波数成分、すなわち異物又は傷に関連した周波数帯域のスペクトル成分を選択的に抽出するフィルタリング処理をおこなう。ステップST6では、解析装置7が、抽出したスペクトル成分に対して逆FFT演算処理を行う。ステップST7では、解析装置7が、逆FFT演算処理の結果を元に、異物又は傷に関連した周波数帯域の成分波形図3b参照を生成する。ステップST8では、解析装置7が、生成した成分波形にて、予め設定された検出窓幅内でのピークtoピークの値の差分をとるにより波形の変動幅を求め、しきい値と比較する。解析装置7は、例えばモータ1回転分について、このような比較を検出窓幅単位で繰り返し行う。ステップST9では、解析装置7が、比較した結果、例えばモータ1回転分について全ての検出窓幅で閾値以下であれば良品判定とし、例えばモータ1回転分について少なくとも1つの検出窓幅で閾値より高ければ不良判定となる。なお、検出窓幅は、データ点数で定義される。例えば、図4に示すように、窓幅を256[点]とすると、図3bにて求めた逆FFT演算後の成分波形にて256点内でピークtoピークの変動幅最大値max1を算出し、同様に各検出窓幅でのピークtoピークの変動幅最大値max2、max3、、maxNを算出する。max1~maxNにおける最大値を判定に使用してもよい。以上のように、実施の形態では、被試験エンコーダ1により検出された位置信号と基準エンコーダ3により検出された位置信号とに基づいて位置信号の誤差波形を生成し、位置信号の誤差波形から、異物又は傷に関連した周波数帯域の成分波形を抽出し、抽出された成分波形を用いて、被試験エンコーダ1における異物又は傷に関連した異常の有無を判定する。これにより、被試験エンコーダにおける異物や傷に関連のない成分を除去した状態で異常の有無の判定を行うことができるので、被試験エンコーダにおける異物や傷に関連した異常の有無の検出精度を向上できる。また、実施の形態では、判定部73が、抽出部72により抽出された成分波形の変動幅が閾値を超えたか否かにより、異物や傷に関連した異常の有無を判定する。すなわち、判定部73は、成分波形の変動幅が閾値を超えた場合、被試験エンコーダ1における異物又は傷に関連した異常が有ると判定し、成分波形の変動幅が閾値以下である場合、被試験エンコーダ1における異物又は傷に関連した異常が無いと判定する。これにより、被試験エンコーダ1における異物又は傷に関連した異常の有無を簡易な処理及び構成で判定することができる。また、実施の形態では、設定部74が、判定部73が判定に用いるべき閾値を設定する。例えば、設定部74は、エンコーダの要求される分解能が所定値より高い場合、閾値を第1の値に設定し、エンコーダの要求される分解能が所定値より低い場合、閾値を第1の値より低い第2の値に設定する。このように、判定基準を任意に設定可能なため、エンコーダ分解能や位置信号のサンプリング間隔に応じて検出したい異常の検出が可能となる。また、実施の形態では、第1の演算部721が、位置信号の誤差波形を高速フーリエ変換して誤差スペクトルを求め、フィルタ部722が、誤差スペクトルのうち異物又は傷に関連した周波数帯域のスペクトル成分を選択的に通過させ、第2の演算部723が、その通過したスペクトル成分を逆高速フーリエ変換して、異物や傷に関連した周波数帯域の成分波形を求める。このように、位置信号の誤差波形を周波数特性に変換してから異物又は傷に関連した周波数帯域のスペクトル成分を抽出しているので、その周波数帯域の成分の抽出精度を向上できる。また、抽出後のスペクトル成分から時間特性に変換して成分波形を求めているので、その成分波形を用いて異物や傷に関連した異常の有無を検出できる。なお、実施の形態では、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3により位置検出される対象がモータ2の場合について例示的に説明したが、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3により位置検出される対象は、回転体を含むような機器であればモータ以外の機器であってもよい。また、実施の形態では、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3がそれぞれ機械式のロータリエンコーダである場合について例示的に説明したが、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3は、それぞれ、他の方式例えば、光電式、磁気式、ブラシ式のロータリエンコーダであってもよい。あるいは、図5に示すように、エンコーダ解析装置200において、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3がそれぞれリニアスケールリニアエンコーダであってもよい。例えば、リニアに移動する移動体を含む駆動機器例えば、リニアモータ202の位置検出を被試験リニアスケール被試験エンコーダ201及び基準リニアスケール基準エンコーダ203が行ってもよい。あるいは、図6に示すように、エンコーダ解析装置300において、サンプリング装置306が信号演算器4及び信号演算器5を介さずに被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3に接続されていても良い。この場合、サンプリング装置306は、同時に、被試験エンコーダ1及び基準エンコーダ3から位置信号を読み取ることになる。