複数の薄板状軸受部材を治具に取り付けた状態で、前処理工程、窒化工程、冷却工程をこの順に行う薄板状軸受部材の窒化処理方法であって、前記治具として、複数の薄板状軸受部材を、互いに接触せず、板面が水平面以外の面に沿った配置となり、所定範囲で可動な状態に支持する治具を使用し、前記冷却工程を、シアンイオン濃度が0.02moll以上のシアン化合物水溶液に浸漬することで行うことを特徴とする薄板状軸受部材の窒化処理方法。複数の薄板状軸受部材を治具に取り付けた状態で、前処理工程、窒化工程、冷却工程をこの順に行う薄板状軸受部材の窒化処理方法であって、前記治具として、複数の薄板状軸受部材を、互いに接触せず、板面が水平面以外の面に沿った配置となり、所定範囲で可動な状態に支持する治具を使用し、前記窒化工程を570~650°Cで行い、前記冷却工程を、大気圧下で、温度が50~60°Cに保持された処理液に浸漬することで行うことを特徴とする薄板状軸受部材の窒化処理方法。複数の薄板状軸受部材を治具に取り付けた状態で、前処理工程、窒化工程、冷却工程をこの順に行う薄板状軸受部材の窒化処理方法であって、前記治具として、複数の薄板状軸受部材を、互いに接触せず、板面が水平面以外の面に沿った配置となり、所定範囲で可動な状態に支持する治具を使用し、前記窒化工程を570~650°Cで行い、前記冷却工程を、大気圧下で、シアンイオン濃度が0.02moll以上で、温度が50~60°Cに保持されたシアン化合物水溶液に浸漬することで行うことを特徴とする薄板状軸受部材の窒化処理方法。前記前処理工程として、脱脂工程、バリ取り工程、清浄化工程をこの順に行い、前記冷却工程の後に、洗浄工程、乾燥工程をこの順に行う請求項1~3のいずれか1項に記載の薄板状軸受部材の窒化処理方法。この発明の課題は、薄板保持器を含む薄板状軸受部材の窒化処理方法として、薄板状軸受部材に反りやシミなどが生じる不良品の発生率を効果的に低減できる方法を提供することである。上記課題を解決するために、この発明は、複数の薄板状軸受部材を治具に取り付けた状態で、前処理工程、窒化工程、冷却工程をこの順に行う薄板状軸受部材の窒化処理方法であって、以下の構成~のいずれかを有することを特徴とする。前記治具として、複数の薄板状軸受部材を、互いに接触せず、板面が水平面以外の面に沿った配置となり、所定範囲で可動な状態に支持する治具を使用し、前記冷却工程を、シアンイオン濃度が0.02moll以上のシアン化合物水溶液に浸漬することで行う。前記治具として、複数の薄板状軸受部材を、互いに接触せず、板面が水平面以外の面に沿った配置となり、所定範囲で可動な状態に支持する治具を使用し、前記窒化工程を570~650°Cで行い、前記冷却工程を、大気圧下で、温度が50~60°Cに保持された処理液に浸漬することで行う。前記治具として、複数の薄板状軸受部材を、互いに接触せず、板面が水平面以外の面に沿った配置となり、所定範囲で可動な状態に支持する治具を使用し、前記窒化工程を570~650°Cで行い、前記冷却工程を、大気圧下で、シアンイオン濃度が0.02moll以上で、温度が50~60°Cに保持されたシアン化合物水溶液に浸漬することで行う。前記構成を有する方法では、薄板状軸受部材にシミが発生し難くなる。前記構成を有する方法では、薄板状軸受部材に反りが発生し難くなる。前記構成を有する方法では、薄板状軸受部材にシミと反りが発生し難くなる。この発明の薄板状軸受部材の窒化処理方法においては、前記前処理工程として、脱脂工程、バリ取り工程、清浄化工程をこの順に行い、前記冷却工程の後に、洗浄工程、乾燥工程をこの順に行う場合がある。処理液のシアンイオン濃度の上限値は、シアン化合物水溶液の廃水処理能力等により決定されるが、例えば0.40mollとする。この発明の薄板状軸受部材の窒化処理方法によれば、薄板状軸受部材に反りやシミなどが生じる不良品の発生率を効果的に低減することができる。以下、この発明の一実施形態について説明する。図1に示すように、この実施形態の窒化処理方法では、図2に示す形状の保持器用薄板部材薄板状軸受部材に対して、治具取付工程、脱脂工程、バリ取り工程、清浄化工程、予熱工程、窒化工程、冷却工程、洗浄工程、乾燥工程をこの順に行う。各工程は全て大気圧下で行う。図2の保持器用薄板部材1は、中心穴11を有する円板状で、板面に針状ころ2を配置する多数のポケット12が形成されている。また、内周縁部13と外周縁部14が同じ向きに折り曲げられている。保持器用薄板部材1は、もう一枚の保持器用薄板部材1Aを内径加締めまたは外径加締めにより結合して二枚保持器を構成する部材である。治具取付工程では、図3に示すように、複数の保持器用薄板部材1を治具に取り付ける。この治具は、複数の保持器用薄板部材1の中心穴11に貫通配置されて保持器用薄板部材1をつり下げ状態で支持する棒状のつり下げ部材3と、保持器用薄板部材1の両脇に配置されて板厚方向に延びる棒状の横移動制限部材4と、前後の保持器用薄板部材1の間に配置されて横方向に延びる棒状の前後離間部材5と、からなる。この治具により、複数の保持器用薄板部材1は、互いに接触せず、板面が略鉛直面水平面以外の面に沿った配置となり、所定範囲上下方向で中心穴11の直径の範囲、左右方向で2つの横移動制限部材4で制限された範囲、前後方向で2つの前後離間部材5の間で可動な状態に支持される。脱脂工程では、複数の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態で、アルカリ性脱脂液による処理を含む多段階の脱脂処理を行った後に水洗処理を行う。各段階の脱脂処理は、容器に入った処理液に保持器用薄板部材1を浸漬し、容器を揺動させることで行う。バリ取り工程では、脱脂工程後の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態のままで、酸洗と水洗を行った後、硫酸と過酸化水素をベースとして界面活性剤を含む化学研磨液に所定時間浸漬する。清浄化工程では、バリ取り工程後の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態のままで、水洗、酸洗、水洗をこの順に行った後、容器に入った水置換剤に浸漬し、容器を揺動させた後、容器内から取り出して温風乾燥する。水置換剤として、灯油に界面活性剤が添加されている市販の水切り剤を使用する。予熱工程では、清浄化工程後の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態のままで、予熱炉に入れて、複数の保持器用薄板部材1の全てが所定温度となるまで加熱する。窒化工程では、予熱工程後の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態のままで、シアン化ナトリウムとシアン酸ナトリウムとの混合塩浴中に浸漬して、570~650°Cで所定時間加熱処理するタフトライド法と称される塩浴軟窒化を行う。冷却工程では、窒化工程後の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態のままで、シアンイオン濃度が0.02moll以上0.40moll以下で、温度が50~60°Cに保持されたシアン化ナトリウムシアン化合物水溶液に浸漬して、複数の保持器用薄板部材1の全てが50~60°Cになるまで保持する。洗浄工程では、冷却工程後の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態のままで、温水に浸漬して超音波洗浄を行った後、多段階の温水洗浄を行う。乾燥工程では、洗浄工程後の保持器用薄板部材1を治具に取り付けた状態のままで、電気オーブンに入れて乾燥させる。この実施形態の窒化処理方法によれば、複数の保持器用薄板部材1を図3に示す治具に取り付けた状態で、図1に示す前記各工程を行うことにより、保持器用薄板部材1に反りとシミが発生することが防止できる。なお、この実施形態では、複数の保持器用薄板部材1を板面が略鉛直面に沿った配置となる治具を用いているが、板面が斜めに配置される治具を用いてもよい。また、この実施形態では、冷却工程でシアン化ナトリウム水溶液を使用しているが、シアン化カリウム水溶液や、シアン化ナトリウムとシアン化カリウムの混合水溶液等を使用してもよい。また、この実施形態では、窒化工程で570~650°Cでの塩浴軟窒化を行っているが、この発明の方法は、570~650°Cで行う窒化工程であれば、ガスによる窒化および軟窒化を行う場合にも適用される。また、この実施形態では、窒化工程の前処理工程として、脱脂工程、バリ取り工程、清浄化工程をこの順に行い、窒化工程の後工程である冷却工程の後に、洗浄工程、乾燥工程をこの順に行う場合について説明しているが、バリ取り工程を窒化工程の前に行う場合でも、冷却工程を前記構成~のいずれかを満たすように行うことで、シミおよび/または反りを発生し難くすることができる。さらに、この実施形態の方法では、二枚保持器を構成する保持器用薄板部材を処理対象としているが、この発明の方法は、一枚の薄板からなる薄板保持器や薄板状の軌道輪等の薄板状軸受部材にも適用でき、治具を工夫することで薄板形状でない軸受部材にも応用できる。[第1実施例]図2に示す保持器用薄板部材1を多数用意して、上述の実施形態に記載された方法で窒化処理を行った。図1の各工程のうち、冷却工程を、処理液の温度が一定で処理液のシアンイオン濃度を変化させて行い、他の工程は全て同じ条件で行った。冷却工程の処理液として、シアン化ナトリウムを含まない水純水と、濃度がそれぞれ1g/l、5g/l、10g/l、15g/lであるシアン化ナトリウム水溶液を用意した。シアン化ナトリウムNaCNの1モルは49.01gであるため、各処理液のシアンイオン濃度は、0.00mol/l、0.02mol/l、0.10mol/l、0.20mol/l、0.30mol/lとなる。処理液は加熱せず、処理液の温度を室温で一定とした。乾燥工程後に得られた保持器用薄板部材1の表面にシミが生じているかどうかを、目視にて全数チェックした。シミが生じていた枚数は、全枚数を100枚とした場合の換算枚数で、シアンイオン濃度が0.00mol/lでは23枚であったが、それ以外では0枚であった。その結果を、図4のグラフに、シアンイオン濃度と外観不良枚数表面にシミが生じた保持器用薄板部材の枚数との関係で示す。図4のグラフから分かるように、冷却工程の処理液として、シアンイオン濃度が0.02mol/l以上のシアン化ナトリウム水溶液を使用することで、外観不良枚数を0にすることができる。[第2実施例]図2に示す保持器用薄板部材1を多数用意して、上述の実施形態に記載された方法で窒化処理を行った。図1の各工程のうち、冷却工程を、処理液として水純水を用い、処理液の温度を変化させて行い、他の工程は全て同じ条件で行った。処理液の温度は、5°C、11°C、28°C、34°C、60°Cの各温度に保持した。乾燥工程後に得られた保持器用薄板部材1に反りが生じているかどうかを、反り測定器にて全数チェックした。反りが生じていた枚数は、全枚数を100枚とした場合の換算枚数で、冷却工程の処理液の温度が5°Cでは66枚、11°Cでは19枚、28°Cでは6.5枚、34°Cでは5枚であったが、50°Cと60°Cでは0枚であった。この結果を、図5のグラフに、処理液の温度と反り枚数反りが生じた保持器用薄板部材の枚数との関係で示す。図5のグラフから分かるように、冷却工程の処理液の温度を50~60°Cにすると、全ての保持器用薄板部材に反りが生じないようにすることができる。[第3実施例]図2に示す保持器用薄板部材1を多数用意して、上述の実施形態に記載された方法で窒化処理を行った。図1の各工程のうち、冷却工程を、処理液として水純水とシアン化ナトリウム水溶液を用い、処理液の温度を変化させて行い、他の工程は全て同じ条件で行った。冷却工程の処理液として、シアン化ナトリウムを含まない水純水と、濃度がそれぞれ1g/l、5g/l、10g/l、15g/lであるシアン化ナトリウム水溶液を用意した。シアン化ナトリウムNaCNの1モルは49.01gであるため、各処理液のシアンイオン濃度は、0.00mol/l、0.02mol/l、0.10mol/l、0.20mol/l、0.30mol/lとなる。処理液の温度は、No1純水を用いた場合で7°C、No2濃度1g/lのシアン化ナトリウム水溶液を用いた場合で13°C、No3濃度5g/lのシアン化ナトリウム水溶液を用いた場合で26°C、No4濃度10g/lのシアン化ナトリウム水溶液を用いた場合で50°C、No5濃度15g/lのシアン化ナトリウム水溶液を用いた場合で60°Cの各温度に保持した。乾燥工程後に得られた保持器用薄板部材1に反りが生じているかどうかを、反り測定器にて全数チェックした。反りが生じていた枚数は、全枚数を100枚とした場合の換算枚数で、No1で24枚、No2で16枚、No3で4枚、No4とNo5で0枚であった。この結果を、図6のグラフに、処理液のシアンイオン濃度と反り枚数反りが生じた保持器用薄板部材の枚数との関係で示す。また、図7のグラフに、処理液の温度と反り枚数反りが生じた保持器用薄板部材の枚数との関係で示す。図6および7のグラフから分かるように、冷却工程で使用するシアン化ナトリウム水溶液の温度が高いほど保持器用薄板部材に反りが生じ難くなり、50~60°Cにすると全ての保持器用薄板部材に反りが生じないようにすることができる。