"レーザービームを周波数変換するための装置1であって、第1の非線形結晶5と、第2の非線形結晶9と、前記第1及び第2の非線形結晶5,9の間に配置される光学系7,7′,8とを含み、前記第1の非線形結晶5内では、入射された第1波長λ1の第1のレーザービーム2から周波数倍加により、前記第1のレーザービーム2に対して共線的に進行する第2波長λ2の第2のレーザービーム6が発生され、前記第2の非線形結晶9内では、前記第1及び第2のレーザービーム2,6から周波数混合によって第3波長λ3の第3のレーザービーム10が発生され、前記光学系7,7′,8は前記レーザービーム2,6を相互に分離させるために設けられている、レーザービームの周波数変換のための装置において、前記光学系7,7′,8が、分離を引き起こすために、少なくとも1つのレンズ7,7′,8を有していることを特徴とする装置。前記第1及び第2のレーザービーム2,6は、分離を引き起こすために、光軸7a,8aに対してずれて及び/又は傾斜して、前記レンズ7,8を通過する、請求項1記載の装置。前記レンズ7′は、分離を引き起こすために、複屈折材料からなっている、請求項1または2記載の装置。前記光学系7,7′8は、前記第2の非線形結晶9のビーム入射面9aにおいて、前記第1のレーザービーム2と前記第2のレーザービーム6との間でビームずれδを引き起こす、請求項1から3いずれか1項記載の装置。前記光学系7,8は、前記第1の非線形結晶5から出射した第1及び第2のレーザービーム2,6の視準のための第1のレンズ7と、前記第1及び第2のレーザービーム2,6を第2の非線形結晶9に集束させるための第2のレンズ8とを有している、請求項1から4いずれか1項記載の装置。前記第1の非線形結晶5の手前に、前記第1のレーザービーム2を前記第1の非線形結晶5に集束させるためのさらなるレンズ4が設けられている、請求項1から5いずれか1項記載の装置。前記少なくとも1つのレンズ7,8を光軸7a,8aに対して直角方向に移動させるための移動装置11,12がさらに設けられている、請求項1から6いずれか1項記載の装置。前記第1及び/又は第2の非線形結晶5,9は、リチウムトリボレートからなっている、請求項1から7いずれか1項記載の装置。前記第1のレーザービーム2を発生するためのレーザー発振器3が設けられている、請求項1から8いずれか1項記載の装置。前記レーザー発振器3の基本周波数の第1の波長λ1は、特に1064nmの波長に相当している、請求項9記載の装置。レーザービームを周波数変換するための方法であって、第1の非線形結晶5内で、第1波長λ1の第1のレーザービーム2の周波数倍加により、前記第1のレーザービーム2に対して共線的に進行する第2波長λ2の第2のレーザービーム6を発生するステップと、第2の非線形結晶9内で、周波数混合により、前記第1及び第2のレーザービーム2,6から第3波長λ3の第3のレーザービーム10を発生するステップと、前記第1及び第2のレーザービーム2,6を、前記第1及び第2の非線形結晶5,9の間のビームパス内に配置された光学系7,7′,8において相互に分離させるステップとを含んでいる、レーザービームを周波数変換するための方法において、前記第1及び第2のレーザービーム2,6を、前記光学系7,7′,8の少なくとも1つのレンズ7,7′,8を通過させることによって、分離を引き起こすようにしたことを特徴とする方法。前記第1及び第2のビーム2,6は、分離を引き起こすために、前記光軸7a,8aに対して、ずらされて及び/又は傾斜して、前記レンズ7,8を通過する、請求項1記載の方法。前記レンズ7′は、分離を引き起こすために、複屈折材料からなっている、請求項11または12記載の方法。図1aには、レーザー発振器3から生成された1064nmの第1波長の第1のレーザービーム2を周波数変換するための装置1がしめされている。このレーザー発振器3は、当該の実施例によれば、Nd:YVO4レーザー結晶をレーザー媒質として有している。このレーザー発振器3から出射された第1のレーザービーム2は、レンズ4を用いて光学的な第1の非線形結晶5内に集束される。この第1の非線形結晶5は、リチウムトリボレートLBO結晶として構成されている。臨界位相非整合の伴う第1の非線形結晶5内では、第1のレーザービーム2から周波数倍加によって第2波長λ2=λ1/2=532nmの第2波長の第2のレーザービーム6が発生し得る。つまりこの第1の非線形結晶5は、第2高調波発生のために用いられている。臨界位相非整合のために、第1の非線形結晶5内ではウォークオフ作法は何も発生せず、そのため第1及び第2のレーザービーム2,6は、第1の非線形結晶5から共線的に出射する。この2つのレーザービーム2,6は、第1の非線形結晶5からの出射の際に直線偏光され、この場合それらの偏光方向は、互いに直交している。第1のLBO結晶5から出射した後で共線化されたレーザービーム2,6は、まず第1のレンズ7によって視準される。この第1のレンズ7は最初の集束に用いた別のレンズ4と同じ焦点距離を有している。その後でレーザービーム2,6は、当該第1及び第2のレーザービーム2,6からの周波数混合によって、355nmの波長λ3を有する第3のレーザービーム10第3高調波、すなわちUV波長領域の第3のレーザービーム10を発生するために、第2のレンズ8によって第2のLBO結晶9内へ集束される。前記第2のLBO結晶9内では、前記第1及び第2のレーザービーム2,6から和周波SFGを形成するために、臨界位相整合が用いられている。図2bに詳細に示されているように、この臨界位相整合は、前記2つのレーザービーム2,6が同じ箇所で共線的にかつ第2の結晶9の入射面9aに対して直角に入射してようがしまいが、当該第2の結晶9内で第1のレーザービーム2から第2のレーザービーム6を空間的に分離させる。この状態は、前記2つのレーザービーム2,6が異なる偏光方向を有することによって起こり得る。そのため、第2のレーザービーム6は複屈折を伴う第2の結晶内で異常偏光し、それに対して第1のレーザービーム2は正常偏光を有する。ウォークオフ作用は次のようなことを引き起こす。すなわち正常ないし異常偏光された2つのレーザービーム2,6が相互に進行し、重畳領域L、すなわち第2の結晶9内の周波数変換がなされる長さが大幅に低減する。前記第2の結晶9内の重畳領域L以外の残りの長さは、もはや第3の波長λ3のレーザービームの発生のためには役立たない。このような問題をできるだけ十分に回避できるようにするために、図1aによる装置のもとでは、2つのレーザービーム2,6が、第1のレンズ7と第2のレンズ8とによって、光軸7a,8aからずらされて進行する。これらのレーザービーム2,6は、レンズ表面に対して直角に入射していないので、532nmの波長λ2の第2のレーザービーム6が屈折するビーム方向は、1064nmの波長λ1を有している第1のレーザービーム2のビーム方向とは異なっている。それにより2つのレーザービーム26は、相互に進行し、それ故、もはや同じ箇所から第2のLBO結晶9内に入射するのではなく、前記入射面9aに対してビームずれδを有している。ここでは前記2つのレンズ7,8をシフトさせるために、次のような方向が選択される。すなわち第2のレーザービーム6の入射点を、ウォークオフに対抗する方向へシフトさせる方向である。それにより、前記2つのレーザービーム2,6は、第2の結晶9内で相互に合流するように進入する。図2aと図2bとの比較によって明らかなように、このようにすることで、周波数変換のなされる相互作用長Lが増加し、それによって、UV発生の効率が、すなわち発生した第3のレーザービーム10の出力が高まる。理想的には、前記レンズ7,8によって発生したビームずれδが次のように選定される。すなわち、2つのレーザービーム2,6が前記第2のLBO結晶9の中央の重畳領域において重なるように選定される。そのようなビームずれδが設定できることを保証するために、レンズ7,8には2つのマニピュレータ11,12例えばレンズモーターが設けられている。これらのマニピュレータは前記レンズのフレームに係合し、これらのレンズをその光軸に対して直角方向にシフトさせる。またここでは、ビームの分離を引き起こすために、ここに示されているシフト操作に対して付加的に若しくは代替的に、前記レンズ7,8を傾斜させることも可能であることを理解されたい。この分離のために重要なことは、レーザービーム2,6が、前記レンズ7,8の入射面と出射面に対して直角の関係これは例えばビームが光軸7a,8aに沿って通過するときに当てはまるにならないようにすることである。なぜならそのような状況ではビームの分離が何も引き起こされないからである図2b参照。図1aの装置1は、適宜変更も可能である。そのため、例えば図1bに例示的に示されているように、第1のLBO結晶5と第2のLBO結晶9の間の2つのレンズ7,8の代わりに、より小さな焦点距離の唯一つのレンズ7′のみを使用することも可能である。この図1bの実施例では、当該レンズ7′が次のように配置されている。すなわち2つのレーザービーム2,6が近軸的に、すなわち光軸に沿って当該レンズ7′に入射するように配置されている。図1bのレンズ7′は、図1aのレンズ7,8とは対照的に複屈折材料、例えば方解石からなっており、そのような材料においては第1のレーザービーム2は正常に屈折し、第2のレーザービーム6は異常に屈折する。これによって分離が引き起こされる。ここでは、第1のレーザービーム2と第2のレーザービーム6が第1の結晶からの出射の際に相互に直角な偏光方向を有していることが活用される。またここでは前記図1aに示されている装置と図1bに示されている装置とを組み合わせることも可能であることを理解されたい。例えば、図1aに示されている装置1のケースにおいて、一方又は両方のレンズ2,6を複屈折材料で構成することも可能である。さらにここでは、前述した当該明細書に記載されている周波数ないし波長とは異なる別の数値の周波数ないし波長で、周波数変換を行うことも可能であることを理解されたい。またそのほかにも、第2の非線形結晶9から出射するレーザービーム2,6,10の分離のために、さらに付加的な光学素子、例えばダイクロイックミラーやプリズムなどを使用することも可能であることを最後に付け加えておく。"