部品の表面仕上りを改善するピーニング処理であって、第1のガラスビーズ媒体を用いて湿式ガラスビーズピーニングを第1の強度で行うことを含む第1のピーニング工程を行い、部品の表面近くの領域内に残留圧縮応力層を生じさせるステップと、次に、前記第1のガラスビーズ媒体よりも小さい第2のガラスビーズ媒体を用いて湿式ガラスビーズピーニングを前記第1の強度よりも低い第2の強度で行うことを含む第2のピーニング工程を少なくとも行い、前記部品の表面近くの領域内の残留圧縮応力を保持しながら前記部品の表面の表面平滑化をもたらすステップと、を含む処理。前記第1のガラスビーズ媒体のガラスビーズが0.50ミリメートル超の直径を有する、請求項1に記載の処理。前記第1のガラスビーズ媒体のガラスビーズが0.50ミリメートル超から約0.90ミリメートルの直径を有する、請求項1に記載の処理。前記第1のピーニング工程の前記第1の強度が約7Nから約14Nである、請求項1から3のいずれか1項に記載の処理。前記第2のガラスビーズ媒体のガラスビーズが前記第1のガラスビーズ媒体の直径の約1/4から約1/3の直径を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の処理。前記第2のガラスビーズ媒体のガラスビーズが約0.15ミリメートルから約0.25ミリメートルの直径を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の処理。前記第2のピーニング工程の前記第2の強度が6N未満である、請求項1から6のいずれか1項に記載の処理。前記第2のピーニング工程の前記第2の強度が前記第1のピーニング工程の前記第1の強度の約1/4から約1/3である、請求項1から7のいずれか1項に記載の処理。前記第2のピーニング工程後の前記部品の表面の表面仕上りが0.9マイクロメートル未満である、請求項1から8のいずれか1項に記載の処理。前記部品がターボ機械のエアフォイル部品であり、前記部品の表面がエアフォイル表面である、請求項1から9のいずれか1項に記載の処理。本発明は、部品の表面仕上りを改善すると共に、部品の表面近くの領域内に残留圧縮応力を生じさせる、部品の表面加工処理を提供する。本発明の第1の態様によると、本処理は、第1のピーニング工程を実施することによって部品の表面近くの領域内に残留圧縮応力層を形成するステップと、次に、少なくとも第2のピーニング工程を実施することによって部品の表面近くの領域内の残留圧縮応力を保持しながら部品の表面の表面平滑化を行うステップとを含む。第1のピーニング工程は、第1のガラスビーズ媒体を用いて湿式ガラスビーズピーニングを第1の強度で行うことを含み、第2のピーニング工程は、第2のガラスビーズ媒体を用いて湿式ガラスビーズピーニングを第2の強度で行うことを含み、この第2の強度は第1の強度よりも低く、第2のガラスビーズ媒体は第1のガラスビーズ媒体よりも小さい。本発明の好適な態様によると、本処理は、第1のピーニング工程によって生じた好ましい残留圧縮応力層を除去する傾向があり部品の寸法歪みを生じ得るピーニング後研磨処理を必要とせずに、ピーニングされたままの状態で平滑な表面仕上りを達成する。また、本発明では、ピーニング後研磨を使用しないことによって、部品の製造時間及び部品のコストを大幅に削減できる。以下の詳細な説明から、本発明のその他の態様及び利点の理解が深まるであろう。本発明は、概して、疲労特性の改善も含めたショットピーニングの効果によって利益を得るだけでなく、例えば25マイクロインチ約0.6マイクロメートルRa以下等、従来のショットピーニング処理では達成不可能な35マイクロインチ約0.9マイクロメートルRa未満の比較的滑らかな表面仕上りが必要な部品に適用可能である。こうした部品の特筆すべき例には、エアフォイルが高い疲労負荷にさらされる、鋼、チタンベースの合金及び超合金で形成されたガスタービンブレード、蒸気タービンブレード、及びガスタービンエンジンブレードを含めた、ターボ機械のエアフォイル部品が含まれる。本発明の利点を圧縮機ブレードに関して説明するが、本発明の教示内容は、概して、滑らかな表面仕上り及び耐疲労性によって利益を得る如何なる部品にも適用可能である。本発明は、概して、先ず部品の表面近くの領域内に望ましいレベルの圧縮残留応力層を生じさせた後、その望ましい圧縮残留応力を失うことなく表面を平滑化する形で、少なくとも2種類の異なるサイズのピーニング媒体を順次使用することによるピーニング処理を伴う。具体的には、本ピーニング処理は、湿式ガラスビーズピーニング処理であって、比較的粗いガラスビーズ媒体を用いて第1のアルメン強度で湿式ガラスビーズピーニングを行った後、より微細なガラスビーズ媒体を用いてより低いアルメン強度でまた別の湿式ガラスビーズピーニング工程を行うことを含む処理である。第1のアルメン強度は、好ましくは、例えば7Nから14Nのように少なくとも7N、より好ましくは9Nから12Nであり、低い方のアルメン強度は、好ましくは6N未満、より好ましくは、例えば2Nから5Nのように、第1のアルメン強度の約1/4から約1/3である。第1及び第2の強度を得るために用いるガラスビーズ媒体は、選択した強度範囲に有用な直径を有するべきである。第1の強度を得るための比較的粗いガラスビーズ媒体は、0.50ミリメートル超、非限定的な例としては約0.70ミリメートル例えばGP234又は等価物の直径を有するべきであり、低い方の強度を得るための比較的微細なガラスビーズ媒体は、比較的粗いガラスビーズ媒体の直径よりも小さい、例えばその約1/4から約1/3、非限定例として約0.2ミリメートル例えばGP20又は等価物の直径を有する。第1のピーニング工程は、ブレードの表面近くの領域内に所望の圧縮残留応力層を生じさせることを意図しており、第2のピーニング工程は、第1のピーニング工程によって創出された粗さを取り除くことで表面を平滑化することを意図している。第2のピーニング工程によって、従来の研磨処理に比べて加工時間が短縮されコストが抑えられることに加えて、先行するピーニング工程による全ての利益を実質的に保持し、研磨処理に関連した部分的な歪みのリスクが回避される。本発明に繋がる研究を、産業用ガスタービンの鋼製圧縮機ブレードを用いて行った。第1のブレード試験片Aには、CCW-14ステンレス鋼製ワイヤーショット直径約0.014インチ約0.35mmを用いてショットピーニングを、約10Nから12Nのアルメン強度で施した後、長時間にわたるタンブリング振動研磨工程を実施した。第2のブレード試験片Bにも最初のものと同じピーニング工程を実施したが、追加のタンブリング工程は行わなかった。最後に、第3のブレード試験片Cには、GP234ガラスビーズ直径が約0.028インチ約0.70mmを用いて湿式ガラスビーズピーニングを、約9Nから12Nのアルメン強度で施した後、GP20ガラスビーズ直径が約0.008インチ約0.20mmを用いて湿式ガラスビーズピーニングを約3Nのアルメン強度で行った。各々のショットピーニング処理は、完全な表面被覆が得られるように行われた。図1は、3種類の表面加工によって生じた残留圧縮応力の層深さをプロットしたグラフであり、2段階ピーニング処理を施したブレードに高い残留圧縮応力がかなり深い層深さで得られたことを示しているCC及びCVは、それぞれ試験片Aの凹面及び凸面で得られたデータを示す。特筆すべきは、2段階ピーニング表面加工を施した試験片Cが最も高い残留圧縮応力を表面近くの領域全体にわたって示しており、その深さはブレードの表面下約0.006インチ約150マイクロメートルに相当する。試験片AとBのデータを比較することで、試験片Aでは残留圧縮応力がタンブリング工程によって低下したであろうことがわかる。第2の研究として、追加の3枚のブレードに2段階ピーニング加工を異なる粗いピーニング媒体を用いて施した。これらのうち第1の追加ブレード試験片Dには、完全な表面被覆が得られるようにGP165ガラスビーズ直径約0.02インチ約0.50mmを用いて湿式ガラスビーズピーニングを約10Nのアルメン強度で施した。これらのうち第2のブレード試験片Eには、完全な表面被覆が得られるようにS110鋳鋼ショット直径約0.014インチ約0.35mm以下を用いてピーニングを約10Nのアルメン強度で施し、第3のブレード試験片Fには、完全な表面被覆が得られるようにS170鋳鋼ショット直径約0.02インチ約0.50mmを用いてピーニングを約10Nのアルメン強度で施した。試験片D、E、及びFに実施したピーニングの第2段階においては、上述の研究で用いたものと同様、GP20ガラスビーズスラリー、被覆、強度約3N、及び時間を用いた。図2は、第2の研究の試験片D、E、及びF、並びに第1の研究の試験片B及びCが示した表面粗さデータの百分率ベースの正規確率プロットである。このグラフから明らかなように、GP20ガラスビーズスラリーを用いて達成可能な表面仕上りは、第1のピーニング工程で用いる媒体に左右されること、並びに、第1のピーニング工程で大きいGP234ガラスビーズ直径約0.70mmを用いると、微細なGP165ガラスビーズ直径約0.50mmと、鋳造ショット媒体直径約0.35及び0.50mmのいずれかとを用いた場合に比べて、大幅に良好な表面仕上りが達成された。研磨を受けなかった試験片BCCW-14ステンレス鋼製ワイヤーショット直径約0.35mm、アルメン強度約10Nから12N、タンブリングも第2のピーニング工程も施さなかったを用いてピーニングされたの平均表面仕上りは、約100マイクロインチ約2.5マイクロメートルRaであったが、S110で鋳造ショット直径0.35mmを用いてピーニングを施した試験片E、S170で鋳鋼ショット直径0.50mmを用いてピーニングを施した試験片F、及びGP165ガラスビーズ直径0.50mmを用いてピーニングを施した試験片Dが示した平均表面仕上りは、約46から53マイクロインチ約1.2から約1.3マイクロメートルRaの範囲内であった。対照的に、2段階ピーニング工程GP234ガラスビーズ直径0.70mmを9Nから12Nの強度で用いた後に、より小さいGP20ガラスビーズを3Nの強度で用いるを施した試験片Cが示した平均表面粗度は、約25マイクロインチ約0.64マイクロメートルRaであった。図3及び4は、それぞれ試験片C及びBのエアフォイル表面の外観を示す顕微鏡写真のスキャン画像であり、試験片Cに対して実施した第2のピーニング工程によって表面仕上りが劇的に改善したことを示している。以上から、2段階ピーニング処理によって、0.50ミリメートルを超える大きさの粒子のガラスビーズ媒体を含む第1のスラリーを用いた後、より微細なガラスビーズ媒体を含む第2のスラリーを用いて第2のピーニング工程をより低強度で行うことで、望ましいレベルの残留圧縮応力が得られ、約25マイクロインチ約0.64マイクロメートル以下の表面粗度が得られる、という結論に至った。より一般的には、第1及び第2のピーニング工程の強度を得るために用いるガラスビーズ媒体は、それぞれの強度に有用なに直径を有するべきであるという結論に至った。例として、鋼合金、チタンベースの合金、及び超合金で形成されたガスタービン圧縮機ブレード等の部品の場合、第1の湿式ガラスビーズピーニング工程を、好ましくは直径が0.50mm超から約0.90mmの、より好ましくは約0.60から約0.80mmの比較的粗いガラスビーズ媒体を用いて行い、少なくとも7Nから約14N、より好ましくは約9Nから約13Nのアルメン強度を得て、第2のガラスビーズピーニング工程を第1のピーニング工程よりも小さいガラスビーズ媒体、好ましくは比較的粗いガラスビーズ媒体の約1/4から約1/3、例えば約0.15から約0.25mmのガラスビーズ媒体を用いて、好ましくは6N未満、より好ましくは第1のアルメン強度の約1/4から約1/3、例えば2Nから5Nのアルメン強度で実施すべきであると思われる。本発明の好適な態様により、第2のピーニング工程の後に得られる表面仕上りは、第1の工程の後に得られた表面仕上りの約1/4から約1/2であり、例えば第1のピーニング工程の後に得られた表面粗度が約70から約100マイクロインチ約1.8から約2.5マイクロメートルの場合には、第2のピーニング工程を約20から約50マイクロインチ約0.5から約1.3マイクロメートルの表面仕上りが得られるように行う。本発明を好適な態様に関して記述してきたが、当業者には、その他の形態も適用可能なことが明らかである。例えば、ガラスビーズ媒体が好適ではあるものの、セラミック、鋼、ステンレス等の異なる材料も使用可能なことが想到され、これを行うには媒体のサイズ及び強度を調整する必要があると思われる。また、ピーニング媒体を特定の強度で得られるだけでなく、加工するべき表面領域に必要な被覆をもたらし得るのであれば、様々なピーニング技術を適用可能であることにも留意されたい。したがって、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。