"対象物を多軸方向に位置決めする位置決め装置であって、前記対象物を保持するためのフレームと、各々前記フレームを吊り下げて支持すると共に前記フレームをそれぞれ独立して駆動可能な複数のフレーム駆動部と、を備え、各々の前記フレーム駆動部は、前記フレームを水平の第1の軸方向に直線的に駆動する水平第1軸駆動部と、前記水平第1軸駆動部と前記フレームとの間に介在し、鉛直方向の引張力に対しては略剛体として挙動する連結部材と、を有し、前記連結部材は、各々の前記フレーム駆動部の前記水平第1軸駆動部が互いに異なる駆動量で駆動した場合に、前記水平第1軸駆動部に対する前記前記フレームの鉛直軸周りの回転を許容することを特徴とする位置決め装置。各々の前記フレーム駆動部は、前記フレームを鉛直軸方向に直線的に駆動する鉛直軸駆動部を更に有し、前記連結部材は、各々の前記フレーム駆動部の前記鉛直軸駆動部が互いに異なる駆動量で駆動した場合に、前記水平第1軸駆動部に対する前記前記フレームの前記第1の軸周りの回転を許容することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。各々の前記フレーム駆動部は、前記フレームを前記第1の軸方向に直交する水平の第2の軸方向に直線的に駆動する水平第2軸駆動部を更に有することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置決め装置。前記連結部材は、前記フレーム駆動部の第1の部分と前記フレーム駆動部の第2の部分とを連結しており、少なくとも1つの前記フレーム駆動部は、前記第1及び第2の部分を互いに接触させる方向に付勢する付勢手段と、前記第1の部分に対する第2の部分の変位をガイドするガイド部と、を有することを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の位置決め装置。前記ガイド部は、前記第2の部分に設けられ、前記第1の部分の転がり面にボールを接触させながら前記第1の部分と第2の部分との相対的な変位をガイドするボールローラーであることを特徴とする請求項4に記載の位置決め装置。前記連結部材は、鉛直方向を長手方向とする板バネであり、鉛直軸周りに弾性的に捩れ変形することにより、前記水平第1軸駆動部に対する前記前記フレームの鉛直軸周りの回転を許容することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。前記連結部材は、鉛直方向を長手方向とし、前記第1の軸方向を短手方向とし、前記第2の軸方向を厚み方向とする板バネであり、鉛直軸周りに弾性的に捩れ変形することにより、前記水平第1軸駆動部に対する前記前記フレームの鉛直軸周りの回転を許容し、前記第1の軸に直交する平面内で弾性的に曲げ変形することにより、前記水平第1軸駆動部に対する前記前記フレームの前記第1の軸周りの回転を許容することを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。このように、対象物の回転方向の位置決めを行うためには、回転ステージや回転方向への軸受け等を設ける必要がある。上記の装置では、マスクを直動方向に位置決めする直動ステージに更に加えて、回転ステージやクロスローラ軸受を重ねて設けるので、装置全体が複雑化してしまう。この種の位置決め装置では、対象物の回転方向の位置決めを行う機能を、可能な限りシンプルな構造で実現することが望まれていた。本発明は、シンプルな構造で対象物の回転方向の位置決めを行うことができる位置決め装置を提供することを目的とする。本発明の位置決め装置は、対象物を多軸方向に位置決めする位置決め装置であって、対象物を保持するためのフレームと、各々フレームを吊り下げて支持すると共にフレームをそれぞれ独立して駆動可能な複数のフレーム駆動部と、を備え、各々のフレーム駆動部は、フレームを水平の第1の軸方向に直線的に駆動する水平第1軸駆動部と、水平第1軸駆動部とフレームとの間に介在し、鉛直方向の引張力に対しては略剛体として挙動する連結部材と、を有し、連結部材は、各々のフレーム駆動部の水平第1軸駆動部が互いに異なる駆動量で駆動した場合に、水平第1軸駆動部に対するフレームの鉛直軸周りの回転を許容することを特徴とする。この位置決め装置では、複数のフレーム駆動部によりフレームが吊り下げられ支持される。各フレーム駆動部の第1軸駆動部が異なる駆動量で駆動した場合には、駆動量の差に起因してフレームが全体として鉛直軸周りに回転する。このとき、連結部材が、水平第1軸駆動部に対するフレームの鉛直軸周りの回転を許容するので、フレームが鉛直軸周りに円滑に回転する。このような駆動は、鉛直軸周りの回転方向の対象物の位置決めに利用することができる。以上のとおり、この位置決め装置によれば、直線的な駆動を行うシンプルな水平第1軸駆動部を用いてフレーム全体を鉛直軸周りに回転させることができるので、シンプルな構造で対象物の回転方向の位置決めを行うことができる。また、各々のフレーム駆動部は、フレームを鉛直軸方向に直線的に駆動する鉛直軸駆動部を更に有し、連結部材は、各々のフレーム駆動部の鉛直軸駆動部が互いに異なる駆動量で駆動した場合に、水平第1軸駆動部に対するフレームの第1の軸周りの回転を許容することとしてもよい。この場合、各フレーム駆動部の鉛直軸駆動部が異なる駆動量で駆動した場合には、駆動量の差に起因してフレームが水平軸周りに回転する。そして、連結部材が、水平第1軸駆動部に対するフレームの第1の軸周りの回転を許容するので、フレームが第1の軸周りに円滑に回転する。よって、このような駆動は、第1の軸周りの回転方向の対象物の位置決めに利用することができる。以上のとおり、この位置決め装置によれば、直線的な駆動を行うシンプルな鉛直軸駆動部を用いてフレーム全体を水平軸周りに回転させることができるので、シンプルな構造で対象物の回転方向の位置決めを行うことができる。また、各々のフレーム駆動部は、フレームを第1の軸方向に直交する水平の第2の軸方向に直線的に駆動する水平第2軸駆動部を更に有することとしてもよい。この構成によれば、対処物の第2の軸方向における位置決めを行うことができる。また、連結部材は、フレーム駆動部の第1の部分とフレーム駆動部の第2の部分とを連結しており、少なくとも1つのフレーム駆動部は、第1及び第2の部分を互いに接触させる方向に付勢する付勢手段と、第1の部分に対する第2の部分の変位をガイドするガイド部と、を有することとしてもよい。この構成によれば、付勢手段によって第1及び第2の部分の付勢方向における位置関係が拘束される。この場合、ガイド部は、第2の部分に設けられ、第1の部分の転がり面にボールを接触させながら第1の部分と第2の部分との相対的な変位をガイドするボールローラーであることとしてもよい。具体的な構成として、連結部材は、鉛直方向を長手方向とする板バネであり、鉛直軸周りに弾性的に捩れ変形することにより、水平第1軸駆動部に対するフレームの鉛直軸周りの回転を許容することとしてもよい。この構成によれば、板バネといったシンプルな部材で連結部材が構成されるので、位置決め装置の構造の更なるシンプル化が図られる。また、具体的な構成として、連結部材は、鉛直方向を長手方向とし、第1の軸方向を短手方向とし、第2の軸方向を厚み方向とする板バネであり、鉛直軸周りに弾性的に捩れ変形することにより、水平第1軸駆動部に対するフレームの鉛直軸周りの回転を許容し、第1の軸に直交する平面内で弾性的に曲げ変形することにより、水平第1軸駆動部に対するフレームの第1の軸周りの回転を許容することとしてもよい。この構成によれば、板バネといったシンプルな部材で連結部材が構成されるので、位置決め装置の構造の更なるシンプル化が図られる。本発明の位置決め装置によれば、シンプルな構造で対象物の回転方向の位置決めを行うことができる。以下、図面を参照しつつ本発明の一実施形態に係る位置決め装置1について詳細に説明する。以下の説明においては、なお、図1に示すように、Z軸を鉛直軸としXY平面を水平面とするXYZ直交座標系を設定し、X、Y、Zを便宜的に説明に用いる場合がある。図1に示す位置決め装置1は、例えばロールtoロール方式で搬送されるフィルム基板に露光を行うスキャン型露光装置に適用される。位置決め装置1は、露光処理用のマスクMを微小量で駆動して5軸方向に位置決めする位置決めステージである。位置決め装置1は、露光処理に用いるマスクM対象物を吊り下げた状態で保持する。マスクMは、位置決め装置1に保持された状態においては、YZ平面上に広がる板状をなす。露光装置におけるスキャン露光のスキャン方向はY方向である。また、位置決め装置1は、マスクMのX方向における位置以下X位置、Y方向における位置以下Y位置、及びZ方向における位置以下Z位置の位置決めを行うことができる。また、位置決め装置1は、マスクMのX軸周りの回転方向の位置以下θX位置、及びZ軸周りの回転方向の位置以下θZ位置の位置決めを行うことができる。位置決め装置1は、マスクMを保持するためのマスク保持フレーム3を備えている。マスク保持フレーム3は、吸引口3aからマスクMを吸引することで、マスクMを吸着保持する。マスク保持フレーム3のY方向の寸法は、例えば約1500mmである。更に位置決め装置1は、マスク保持フレーム3を下方に吊り下げた状態で支持する2つのフレーム駆動部5A,5Bを備えている。フレーム駆動部5A,5Bは、位置決め装置1の固定側部位2の下面にY方向に配列されており、互いに独立して駆動可能である。上記のように、板状のマスクMがYZ平面鉛直面上に広がるような姿勢で保持されることにより、重力によるマスクMの撓みが小さく抑えられ、露光位置におけるマスクMの位置精度が向上する。フレーム駆動部5Aは、固定側部位2に対してマスク保持フレーム3をX方向第1の軸方向に直線的に移動させるX軸直動アクチュエータ水平第1軸駆動部7aを備えている。X軸直動アクチュエータ7aの駆動により、当該X軸直動アクチュエータ7aよりも下方の部位全体がX方向に移動する。更に、フレーム駆動部5Aは、X軸直動アクチュエータ7aの下部に設置され、当該X軸直動アクチュエータ7aに対してマスク保持フレーム3をZ方向鉛直方向に直線的に移動させるZ軸直動アクチュエータ鉛直軸駆動部9aを備えている。Z軸直動アクチュエータ9aの駆動により、当該Z軸直動アクチュエータ9aよりも下方の部位全体がZ方向に移動する。更に、フレーム駆動部5Aは、Z軸直動アクチュエータ9aの下部に設置され、当該Z軸直動アクチュエータ9aに対してマスク保持フレーム3をY方向第2の軸方向に直線的に移動させるY軸直動アクチュエータ水平第2軸駆動部11aを備えている。Y軸直動アクチュエータ11aの駆動により、当該Y軸直動アクチュエータ11aよりも下方の部位全体がY方向に移動する。X軸直動アクチュエータ7a、Z軸直動アクチュエータ9a、及びY軸直動アクチュエータ11aとしては、例えばボールネジ等を含んで構成される公知の直動アクチュエータを用いればよい。Y軸直動アクチュエータ11aは、鉛直方向に延びる板バネ連結部材13aを介して、Z軸直動アクチュエータ9aに対して吊り下げられるように支持されている。板バネ13aは、Z方向を長手方向とし、X方向を短手方向とし、Y方向を厚み方向とする短冊状をなし、例えば短冊板状の金属部材で構成される。板バネ13aは、Z方向の引張力に対しては略剛体として挙動し、ほとんど変形しないものとみなしてよい。板バネ13aは、Z軸周りの捩り力に対しては、弾性的に捩れ変形し、YZ平面内の曲げ力に対しては、弾性的に撓み曲げ変形する。なお、板バネ13aは、X方向に複数配列して設けてもよい。X軸直動アクチュエータ7aとZ軸直動アクチュエータ9aとを合わせた部分を位置決め装置1の第1の部分31aとし、Y軸直動アクチュエータ11aを位置決め装置1の第2の部分32aとすれば、板バネ13aは、上記第1の部分31aと第2の部分32aとを連結する連結部材に該当する。なお、以上のフレーム駆動部5Aの構成要素は、フレーム駆動部5Bにも共通して備えられている。フレーム駆動部5Bにおいて、フレーム駆動部5Aと共通する構成要素については、添字aをbに差し替えた符号を付して重複する説明を省略するものとする。但し、符号11bで示すものは、Y軸直動アクチュエータではなく、単にマスク保持フレーム3のY方向への移動をガイドするガイドである。更に、フレーム駆動部5Aには、Z軸直動アクチュエータ9aに対するY軸直動アクチュエータ11aのY方向の位置を拘束する手段として、Y軸直動アクチュエータ11a側に設けられたボールローラー15と、Z軸直動アクチュエータ9a側に設けられた転がり面17と、が備えられている。転がり面17は、例えば、XZ平面に平行な平面として形成されてもよい。ボールローラー15のボール19は、転がり面17上を転がることが可能である。また、Z軸直動アクチュエータ9aとY軸直動アクチュエータ11aとを接続するようにY方向に延在する引張りバネ付勢手段21が取り付けられている。引張りバネ21は、Z軸直動アクチュエータ9aに対して、Y軸直動アクチュエータ11aを付勢しており、ボール19を転がり面17に押し付ける付勢手段として機能する。ボールローラー15、転がり面17、及び引張りバネ21の存在により、Z軸直動アクチュエータ9aに対するY軸直動アクチュエータ11aのY方向の位置が拘束され、ひいてはマスク保持フレーム3及びマスクMのY方向の位置が拘束される。なお、Z軸直動アクチュエータ9a側に転がり面17が設けられ、Y軸直動アクチュエータ11a側にボールローラー15が設けられてもよい。また、ボールローラー15に代えてピローボールを設けてもよく、引張りバネ21に代えて吸引力を付勢力とする永久磁石を設けてもよい。以上のような位置決め装置1の構成に基づくマスクMの位置決め動作について説明する。X軸直動アクチュエータ7a,7bを同じ駆動量で駆動させることで、マスクMをX方向に移動させることができ、マスクMのX位置の位置決めを行うことができる。また、Z軸直動アクチュエータ9a,9bを同じ駆動量で駆動することで、マスクMをZ方向に移動させることができ、マスクMのZ位置の位置決めを行うことができる。また、Y軸直動アクチュエータ11aを駆動することで、マスクMをY方向に移動させることができ、マスクMのY位置の位置決めを行うことができる。また、2つのX軸直動アクチュエータ7a,7bを互いに異なる駆動量で駆動させれば、マスク保持フレーム3は全体としてZ軸周りに回転する。このような駆動としては、例えば、X軸直動アクチュエータ7aをX方向に駆動し、X軸直動アクチュエータ7bを-X方向に駆動する場合などが考えられる。これにより、マスクMのθZ位置の位置決めを行うことができる。また、2つのZ軸直動アクチュエータ9a,9bを互いに異なる駆動量で駆動させれば、マスク保持フレーム3は全体としてX軸周りに回転する。このような駆動としては、例えば、Z軸直動アクチュエータ9aをZ方向に駆動し、Z軸直動アクチュエータ9bを-Z方向に駆動する場合などが考えられる。これにより、マスクMのθX位置の位置決めを行うことができる。ここで、上述のように、X軸直動アクチュエータ7a,7bを異なる駆動量で駆動し、マスク保持フレーム3を全体としてZ軸周りに回転させる場合を考える。この動作によれば、Y軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bが、それぞれZ軸直動アクチュエータ9a,9bに対して僅かにZ軸周りに回転することになる。このようなY軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bの回転は、板バネ13a,13bがZ軸周りに弾性的に捩れ変形することにより許容される。すなわち、Y軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bの上記のような変位に起因する歪みは、板バネ13a,13bの捩れ変形により吸収される。よって、フレーム駆動部5A,5Bにおいては、板バネ13a,13b以外の箇所に大きな歪みを生させることなく、マスクMのθZ位置の位置決めを円滑に行うことができる。なおこのとき、Y軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bが、Z軸直動アクチュエータ9a,9bに対して微小量だけX方向及びZ方向に変位する場合もあるが、この微小な変位は、ボールローラー15及び転がり面17によってガイドされ、板バネ13a,13bの微小な弾性変形によって吸収される。また、上述のように、Z軸直動アクチュエータ9a,9bを異なる駆動量で駆動し、マスク保持フレーム3を全体としてX軸周りに回転させる場合を考える。この動作によれば、各Y軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bは、それぞれZ軸直動アクチュエータ9a,9bに対して僅かにX軸周りに回転することになる。このようなY軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bの回転は、板バネ13a,13bがYZ平面内で弾性的に撓み変形することにより許容される。すなわち、Y軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bの上記のような変位に起因する歪みは、板バネ13a,13bの撓み変形により吸収される。よって、フレーム駆動部5A,5Bにおいては、板バネ13a,13b以外の箇所に大きな歪みを生じさせることなく、マスクMのθX位置の位置決めを円滑に行うことができる。なおこのとき、Y軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bが、Z軸直動アクチュエータ9a,9bに対して微小量だけX方向及びZ方向に変位する場合もあるが、この微小な変位は、ボールローラー15及び転がり面17によってガイドされ、板バネ13a,13bの微小な弾性変形によって吸収される。続いて、上述した位置決め装置1による作用効果について説明する。位置決め装置1では、X軸直動アクチュエータ7a,7b、Z軸直動アクチュエータ9a,9b、Y軸直動アクチュエータ11a、及びガイド11bを用いて、マスクMのXYZ位置の位置決めを行っている。更に、Z軸直動アクチュエータ9aとY軸直動アクチュエータ11aとの間、及びZ軸直動アクチュエータ9bとガイド11bとの間に、それぞれ前述の板バネ13a,13bを介在させることにより、θZ位置及びθX位置の位置決めを可能にしている。このように、位置決め装置1は、直動アクチュエータや板バネといったシンプルな部材を構成要素とするシンプルな構造により、回転ステージ等を備えることなく、マスクMの回転方向の位置決めを行うことができる。直動アクチュエータや板バネは、回転ステージや、回転ステージのガイド等に比較して、シンプルな構成部品であり、かつ安価な構成部品でもある。よって、位置決め装置1の前述の構成は、位置決め装置のコストダウンにも寄与する。弾性変形によって駆動部の歪みを吸収する構成部材としては、弾性ヒンジも考えられる。しかしながら、位置決め装置1が採用する板バネは、弾性ヒンジに比較して大きい変形が可能である。よって、板バネ13a,13bを採用する位置決め装置1では、弾性ヒンジを採用した機構に比較して、マスクMの回転の可動幅を大きくすることができる。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形したものであってもよい。例えば、実施形態の位置決め装置1は、5軸の位置決めステージであるが、例えばY軸直動アクチュエータ11a及びガイド11bの更に下方に、Y軸周りの位置合わせを行う機構を追加し6軸の位置決めステージとしてもよい。また、例えば、実施形態では、露光装置のマスクMを位置決めする位置決め装置1に本発明を適用した例を示しているが、本発明は他の対象物の位置決め装置にも適用が可能である。図1におけるマスク保持フレーム3を、例えば、基板撮像用のカメラに差し替え、カメラの位置決め装置に本発明を適用することもできる。その他、検査装置、塗布装置、照射装置等を位置決め対象物とする位置決め装置に本発明を適用してもよい。"