第1端部に穴と第2端部にスロットを有する第1の短い細長フレーム部材と、第1端部に穴と第2端部にスロットを有する第2の短い細長フレーム部材と、第1端部に穴と第2端部にスロットを有する第1の長い細長フレーム部材と、第1端部に穴と第2端部にスロットを有する第2の長い細長フレーム部材を含むガス分散板の周端部を囲むためのマルチピースフレームアセンブリ。第1の短い細長フレーム部材は、内側端部及び外側端部を含み、内側端部は凹部を有する請求項1記載のマルチピースフレームアセンブリ。第1の短い細長フレーム部材の内側端部は、直線表面部を含む請求項2記載のマルチピースフレームアセンブリ。内側端部の直線表面部は、第1の短い細長フレーム部材のスロットに隣接して配置されている請求項3記載のマルチピースフレームアセンブリ。第1の短い細長フレーム部材のスロットは、第1の短い細長フレーム部材の長辺と平行に揃った向きを有する請求項1記載のマルチピースフレームアセンブリ。第1の長い細長フレーム部材は、内方に延びるリップを有する本体を含む請求項1記載のマルチピースフレームアセンブリ。第1の長い細長フレーム部材は、本体の底面から本体の上面へと延びるリップ及びスロットを有する本体を含む請求項1記載のマルチピースフレームアセンブリ。スロットは、第1の長い細長フレーム部材の長さ方向に延びる請求項9記載のマルチピースフレームアセンブリ。フレーム部材は、セラミックスから製造される請求項1記載のマルチピースフレームアセンブリ。ガス分散板と、ガス分散板の周端部を囲み、第2のフレーム部材の固定端に当接する自由端を有する第1のフレーム部材を備えたマルチピースフレームアセンブリを含むシャワーヘッドアセンブリ。フレーム部材はセラミックスから製造される請求項10記載のシャワーヘッドアセンブリ。第1のフレーム部材の自由端は、貫通して配置され、自由端をガス分散板に固定するガイドピンを有するスロットを更に含む請求項10記載のシャワーヘッドアセンブリ。第1のフレーム部材は、自由端の反対側にある固定端を更に含み、第1のフレーム部材の固定端は、貫通して配置され、第1のフレーム部材の固定端をガス分散板に固定する静止ピンを有する穴を有する請求項10記載のシャワーヘッドアセンブリ。マルチピースフレームアセンブリの第1のフレーム部材内に配置され、ガス分散板に電気的に結合された導電性要素を更に含む請求項10記載のシャワーヘッドアセンブリ。