"工作機械または測定装置内の部材13の位置または寸法を検査するための接触式プローブ1;1;1;1であって、当該接触式プローブは、-支持フレーム2と、-可動アームセット5と、-推進装置15と、-圧迫及び位置決め装置17と、-検出装置23と、を備え、前記支持フレーム2は、-保護用ケーシング3と、-支持及び設置領域7と、を有しており、前記可動アームセット5は、前記保護用ケーシング3内に部分的に収容されており、且つ、検査されるべき部材13に接触するように適合された感触器11を保持するアーム9を有しており、前記推進装置15は、前記可動アームセット5を前記支持及び設置領域7に押し付けるために前記支持フレーム2と前記可動アームセット5との間に設けられており、前記圧迫及び位置決め装置17は、前記支持及び位置決め領域7において前記可動アームセット5と前記支持フレーム2との間にあり、前記検出装置23は、前記支持フレーム2に接続され、且つ、前記感触器11に加えられた力の結果として信号を提供するように適合された薄板状圧電変換器25を有しており、前記薄板状圧電変換器25は、前記保護用ケーシング3内に設けられており、且つ、前記支持及び設置領域7において前記支持フレーム2に接続されており、前記支持フレーム2は、前記支持及び設置領域7において前記保護用ケーシング3と前記薄板状圧電変換器25との間に、断熱装置28;64,66を有していることを特徴とする接触式プローブ1;1;1;1。前記断熱装置は、断熱材で作られた少なくとも1つの要素28を有していることを特徴とする請求項1に記載の接触式プローブ1;1;1;1。断熱材で作られた前記少なくとも1つの要素28は、ガラス繊維で作られていることを特徴とする請求項2に記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記断熱装置は、更に断熱中空胴部64を有しており、前記保護用ケーシング3は、前記断熱中空胴部64内に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の接触式プローブ1;1。前記保護用ケーシング3は、実質的に円筒形状を有しており、前記断熱中空胴部64は、前記保護用ケーシング3を収容する実質的に円筒状凹部を有しており、前記保護用ケーシング3と前記断熱中空胴部64との間に断熱中空空間66を規定するようになっていることを特徴とする請求項4に記載の接触式プローブ1;1。前記断熱中空胴部64は、低い熱膨張率を特徴とする鉄-ニッケル合金で作られていることを特徴とする請求項4または5に記載の接触式プローブ1;1。前記保護用ケーシング3は、低い熱膨張率を特徴とする鉄-ニッケル合金で作られていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記圧迫及び位置決め装置17は、前記可動アームセット5と前記支持フレーム2との間に、均衡休止装置isostaticrestsystemを有していることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記均衡休止装置isostaticrestsystemは、前記可動アームセット5と前記支持フレーム2との間に、3つの支持領域を有していることを特徴とする請求項8に記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記検出装置23は、前記3つの支持領域に、3つの感知区分23、23、23を有していることを特徴とする請求項9に記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記3つの支持領域の各々が、V字型座部19と、前記推進装置15によって加えられた前記推力の下で前記V字型座部19内に配置された放射状要素21と、を有しており、前記V字型座部19及び前記放射状要素21は、それぞれ、前記支持フレーム2及び前記可動アームセット5の一方及び他方に規定されていることを特徴とする請求項9または10に記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記可動アームセット5及び前記支持フレーム2の相互位置を示す信号を提供するよう適合された第2検出装置19,21,60と、前記放射状要素21が前記V字型座部19に配置された時に閉鎖される電気回路60と、を備えたことを特徴とする請求項11に記載の接触式プローブ1;1。前記可動アームセット5及び前記支持フレーム2の相互位置を示す信号を提供するよう適合された第2検出装置19,21,60;74,75,76を備えたことを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の接触式プローブ1;1。前記薄板状圧電変換器25は、ポリフッ化ビニリデンで作られていることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記支持フレーム2に接続された信号処理電気回路30を備えたことを特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の接触式プローブ1;1;1;1。前記信号処理電気回路30は、前記薄板状圧電変換器25により提供される信号Stのフィルタリング要素34を有する処理装置40を有しており、前記処理装置40は、フィルタリングされた信号Sfを得て、当該信号Sfを前記薄板状圧電変換器25により提供された前記信号Stと比較し、信号Sdを出力するよう適合されており、前記信号Sdは、前記薄板状圧電変換器25により提供された前記信号Stの漸次的変化の場合、実質的にゼロに等しいことを特徴とする請求項15に記載の接触式プローブ1;1;1;1。図1の断面図は、非常に簡略化された方法で、支持フレーム2と、可動アームセット5と、を備えた接触式プローブ1を示している。支持フレーム2は、保護用ケーシング3-実質的に円筒形状であり、例えば、互いに組み立てられた様々な部材によって構成されている-を有しており、それは、長手方向の幾何学的な軸を規定している。可動アームセット5は、保護用ケーシング3内に部分的に収容されており、適切に支持されている。支持フレーム2は、実質的に円筒状の内部要素6を有しており、それは、閉鎖板部8によって保護用ケーシング3に固定されている。より具体的には、閉鎖板部8は、保護用ケーシング3にネジ式に取り付けられており、内部要素6に軸方向に作用し、内部要素6をしかるべき位置に保持している。内部要素6は、可動アームセット5のための支持及び設置領域を有している。可動アームセット5は、検査されるべき部材に接触するよう適合された感触器11を保持するアーム9を有しており、検査されるべき部材は、図1に簡略化されて示されており、参照符号13で示されている。圧縮バネ15を有する推進装置は、支持フレーム2と可動アームセット5との間に設けられており、可動アームセット5を支持及び設置領域7に対して押し付ける。可動アームセット5と支持フレーム2との間の圧迫及び位置決め装置17は、支持及び設置領域7に配置されており、3つの支持領域を有する均衡休止装置isostaticrestsystemと、放射状要素21と、を含んでいる。3つの支持領域のそれぞれは、2~3個のボール-図1にはただ1つのボールが視認可能であり参照符号10で示されている-を有しており、支持フレーム2、より詳細には内部要素6に固定されており、V字型座部-図1において同じ参照符号19で示されている-を規定している。放射状要素21は、例えば円筒状であり、可動アームセット5に規定されている。図1に示されているプローブの非作動状態において、すなわち感触器11と検査されるべき部材13との間に接触が無い時、3つの放射状要素21が、バネ15の働きによって、ボール19によって規定されたV字型座部内に設けられており、このように、特有の方法で支持フレーム2に関する可動アームセット5の位置を規定している。他の方式によれば、V字型座部及び放射状要素は、可動アームセット5及び支持フレーム2内にそれぞれ位置決めされ得る。あるいは、圧縮及び位置決め装置は、異なる方法、例えば、ケルビン接続Kelvincouplingとして知られる均衡休止装置isostaticrestsystem等の異なる均衡休止装置isostaticrestsystemを用いた方法で形成され得る。検出装置23は、少なくとも1つの薄板状圧電要素または変換器25を有しており、薄板状圧電要素または変換器25は、保護用ケーシング3の長手方向の幾何学的な軸に垂直な平面上に実質的に設けられており、支持及び設置領域7において支持フレーム2に接続されている。特には、図2A、図2B及び図2Cに示された好ましい実施の形態によれば、検出装置23は、2つの環状回路板24及び26を有しており、環状回路板24及び26は、ガラス繊維のような電気絶縁材料で作られており、環状回路板24及び26の間には、薄板状圧電変換器が、しっかりと保持されて位置決めされている。環状回路板24及び26の各々の一側、より詳細には薄板状圧電変換器25に接触している側は、3つに分割された伝導性の表面例えば、公知の技術によって銅や金で作られているを有しており、実質的に別個の角度区分24、24、24及び26、26、26をそれぞれ有している。このようにして、検出装置23の3つの感知区分23、23、23が存在している。当該検出装置23は、支持フレーム2の領域に、3つの感知区分23、23、23の各々が実質的に3つの支持領域の1つに関して、すなわち図1の実施例におけるボール19の組の1つに関して、中心合わせされている、というような方法で固定されている。本発明は、数が異なる感知区分23、23、23、並びに/または、回路板24、26及び/または薄板状圧電変換器25の異なる構造を有する感知区分23、23、23を含み得る。例えば、後者は、異なるように成形され、または、それ自体公知の特定の機械加工処理から得られ得る。検出装置23は、内部要素6と支持フレーム2の他の領域との間に圧力で固定されており、断熱材で作られた少なくとも1つの要素28が、その間に配置されている。特に、閉鎖板8によって作用された内部要素6は、さらに回路板24を有する側で、検出装置23を断熱材で作られた要素28に対して押し付け、このようにして、検出装置23を支持フレーム2に対して固定する。例えばガラス繊維で作られた要素28は、支持及び設置領域7において保護用ケーシング3と薄板状圧電変換器25との間で断熱装置を実現する。要素28は、環状に成形され得るし、回路板26の異なる領域に設けられた別個の部分に分割され得る。検出装置23を支持フレームに接続するための他の方法によれば、回路板24は、支持及び設置領域7において内部要素6に接着されており、及び/または、回路板26は、断熱材で作られた要素28に接着されている。信号調節回路30の処理手段は、マイクロプロセッサ37を有しており図3、保護用ケーシング3内に設けられており、検出装置23の回路板24及び26に導線によって接続されている。導線は、図3においてワイヤの対を用いて概略的に示されている。各導線は、回路板24の端子と回路板26の端子とに接続されており、両端子は、3つの感知区分23、23、23の1つに設けられている。薄板状圧電変換器25は、圧電プラスチック材料、好ましくはポリフッ化ビニリデンないしPVDFのような高分子材料で作られたシートによって得られる。この材料の特徴は、それが当該材料そのものがさらされる圧縮現象や減圧現象の結果としての電荷の生成において非常に高い感度を示すことである。さらに、PVDFは、実質的に無制限の圧縮性を示す材料であり、したがって、機械的抑制手段は、不要である。回路板24及び26は、そのような電荷を検出して信号調節回路30へ伝送する。ここで、図3に概略的に示されているように、それぞれの異なる電荷増幅器33からの出力中の信号は、デジタルな数に変換される機能的ブロック31によって図3に概略的に示されているように。相対的な絶対値relativeabsolutevaluesは、単一の力信号Mを得るためにソフトウェアモジュール35によって実行される加算器で加算され、その値は、薄板状圧電変換器25に対して与えられる全体の力変化を示すものである。マイクロプロセッサ37は、入力として力信号Mを受け取り、それに応じて、引き起こされた接触を示す接触信号Tを送る。それは、公知の方法で電気的ワイヤまたは非接触式装置によって、図示されていない外部接続装置へ送られる。図1の実施の形態において、保護用ケーシング3に用いられる材料は、Invar登録商標アメリカ合衆国及び他の国々で登録された商標のような、非常に低い熱膨張率、典型的には約1ppm/Co、を特徴とする鉄-ニッケル合金である。プローブ1は、以下のように作用する。プローブ1と検査されるべき部材13との間の例えば図1において両矢印Xで示されている横断方向に沿った相互運動に続いて、感触器11は、当該部材13に接触し、力が可動アームセット5に加えられ、圧迫及び位置決め装置17に伝えられる。3つの支持領域のうちの1つまたは2つにおいて、放射状要素21は、推力をボール19のそれぞれの対に加え、同時に、バネ15によって加えられた推力は、他の支持領域において解放される。推進動作及び解放動作は、検出装置23、より詳細には、薄板状圧電変換器25に伝えられ、それは、感知区分23、23、23において圧縮または減圧を経験し、そして、このようにして、先に簡単に記載されたように、回路板24及び26に配置された端子によって検出される電荷を生成する。結果として生ずる力信号Mは、薄板状圧電変換器25に加えられた力変化を示すものであって、マイクロプロセッサ37で処理され、特には、所定の閾値が超えられた時に検出され、即座にまたはいくらかの遅れの後に、接触信号Tが伝えられる。薄板状圧電変換器25に対する同様の結果が、感触器11と検査されるべき部材13との間のXとは異なる方向に沿った相互接触、例えば方向Zに沿って生ずる接触、によって生ずる。その結果として、少なくとも理論的には、推力は、3つの支持領域において解放され、このように薄板状圧電変換器25は、感知区分23、23、23において減圧を経験する。図4は、プローブ1によって経験された熱変化がプローブ1の動作に負の影響を及ぼすことを防ぎ、このようにして誤った信号伝達を提供することを防ぐために、信号調節回路30において取り得る方法を示している。実際、薄板状圧電変換器25が作られた材料は、そのような熱変化を受け、結果として生ずる望まれない電荷の生成を生じさせ得る。図4の簡略的な図による処理装置40を用いた方式において、薄板状圧電変換器によって提供された信号St、より詳細には感知区分23、23、23の各々において生成された信号Stは、フィルタリング要素の入力部に送られ、より詳細には、例えば約1Hzのカットオフ周波数cut-offfrequencyを特徴としソフトウェアモジュールとして実行されるローパスフィルタ34に送られ、その上、ソフトウェアモジュールとして実行される数値減算ユニット36に送られる。数値減算ユニット36は、そのような信号Stとローパスフィルタ34からの出力中のフィルタリングされた信号Sfとの間の違いを絶対値で表す信号Sdを出力する。このようにして、信号Stが漸次的な変化、典型的には温度の変化によって引き起こされる変化、を経験する時、信号Sfは同じ変化を経験し、数値減算ユニット36からの出力中の信号Sdが実質的にゼロに等しいので、信号伝達は存在しない。一方、信号Stの変化が感触器11と検査されるべき部材13との間の接触の結果として起こるため突然である時、対応する変化は、信号Sfにおいて即座に起こらず、信号Sfは変化されないままであり、結果として、数値減算ユニット36からの出力中の信号Sdは、突然の変化を経験する。したがって、この場合にのみ、ゼロとは異なる力信号Mが、マイクロプロセッサ37に到達し、正確な信号伝達及び結果として生ずる接触信号Tの生成を可能にする。例えばガラス繊維のような断熱材で作られた要素28を有する断熱装置が、突然の環境的熱変化であって保護用ケーシング3に影響を及ぼす冷却材の噴出によって引き起こされるような環境的熱変化が突然に薄板状圧電変換器25に伝えられることを防ぐ、ということに注目すべきである。このことは、図4の方法の保護動作が適当で信頼性があるということを保証する。更に、保護用ケーシング3に、Invar登録商標のような、低い熱膨張率を特徴とする材料を用いることは、環境的熱変化が保護用ケーシング3の寸法に変化を生じさせることを防ぐ。実際、寸法のそのような変化は、薄板状圧電変換器25に電位差を与え、更なる誤った信号伝達を引き起こす。図4の方法図4では、回路図が、好ましくはソフトウェアを介して実行される機能的要素を示しているの他の例として、環境的なノイズ、より詳細には熱変化によって引き起こされるノイズ、に対する他の採用し得る保護装置が存在する。信号制御電気回路30に含まれ得るそのような装置の1つが、図5及び図6に概略的に示されている。薄板状圧電変換器25によって提供される信号を処理するための処理装置55が、好ましくはソフトウェアを介して実行される、適時に閾値Sを徐々に変更し得る装置を有しており、それによって、薄板状圧電変換器25において望まれない電荷を生じさせる熱変化が起こる時、力信号Mの値は、マイクロプロセッサ37において比較される。図5の図において、ブロック50及び51によって表されているインクリメント加算器が、力信号Mのために検出された複数の値の合計、特にはFIFO先入れ先出しの順序による、検出された直近のn個の値の合計、を提供する。処理ユニット52及び54は、そのようなn個の検出された値の平均値と、算出された平均値に基づいてそれぞれ処理されて変更された閾値Sと、を提供する。比較器56は、現在の力信号Mをそのような閾値Sと比較する。処理装置55によれば、力信号Mの値の平均値が、例えば最後の8192個の値すなわち、典型的な100khzのサンプリング周波数を考慮して、n=8192が採取された時、実現され、この平均値に基づいて閾値Sは、動的に変化される。結果として、熱的な緩やかな変化の現象または望まれない容量効果によって引き起こされる変化のように、力信号Mのゆっくりとした漸次的な変化が、閾値Sの変化にも一致し、このことは、力信号Mが閾値Sを超えることを妨げる。図4及び信号Stを参照して前述したように、感触器11と検査されるべき部材13との間の接触の結果として、薄板状圧電変換器25からの出力中の信号の突然の変化が存在し、したがって、出力信号の1つと同じくらい突然の力信号Mの変化が存在する。この場合、閾値Sは、適時に小さなゆっくりとした変化を経験し、したがって、それは力信号Mによって超えられる。結果として、マイクロプロセッサ37は、接触信号Tを生成する。図6の図は、どのように閾値Sが熱の上昇によって引き起こされる力信号Mのゆっくりとした漸次的な変化に起因して適時に動的に変化するのか、ということを概略的に示している。瞬間t0において、感触器11と検査されるべき部材13との間の接触に続いて、閾値Sを超えて接触信号Tの生成を引き起こす力信号Mの突然の変化が存在する。図5及び図6に関する方式が漸次的な熱変化の場合に適切に機能するだけでなく、温度の突然の変化に実質的に反応しないことが、支持及び設置領域に設けられた断熱材によって作られた一体的または異なる部分に分割された要素28を有する断熱装置によって保障される。本発明によるプローブ1の他の方式が、図7に示されている。図7のプローブ1は、実質的に図1のプローブ1と同一であり、したがって、同じ参照符号で示された同様の部分の説明は、繰り返されない。唯一の違いは、第2の検出装置が存在することであり、それは、それ自体公知であるか米国特許第US-A-4972594号公報を参照した記載の最初の部分において記載されたものと同様である。特には、電気回路が、圧迫及び位置決め装置17に位置決めされており、3つの放射状要素21がV字型座部に収容されておりボール19の各対と接触している時、そのような電気回路は、閉鎖される。第2の検出装置の電気回路は、電気回路を信号調節電気回路30に接続する導線を有している。そのような導線は、2~3本のワイヤ60によって図7に簡略化された方法で示されている。第2の検出装置の信号は、あらかじめ設定された時間長例えば10分の1ミリ秒の後に、薄板状圧電変換器25によって生成された力信号Mが実際に感触器11と検査されるべき部材13との間で生じた接触に対応することを確認するために、マイクロプロセッサ37において処理される。さらに、パルス信号が送られた後はもはや薄板状圧電変換器25から装置の状態に関する情報を受け取ることはできないので特には、可動アームセット5が支持フレーム2に関して偏向されているか否かを知ることはできないので、そのような情報は、第2検出装置から得られ得る。したがって、図1のプローブ1においては、プローブ1と検査されるべき部材13との間の接触の結果である過剰の圧迫と破損とを避けるために、圧迫及び位置決め装置17がいわゆるオーバーストローク、すなわち感触器11と一体の可動アームセット5の支持フレームに関する移動の可能性、としてのみ機能するのに対し、図7のプローブ1においては、支持フレーム2に関する可動アームセット5の移動は、第2検出装置の動作にも関連付けられており、その信号伝達は、接触信号Tの適切な出力のためにマイクロプロセッサ37によって用いられる。図8は、本発明の他の実施の形態によるプローブ1を示している。プローブ1は、プローブ1及び1の構成要素の多くを備えており、したがって、同じ参照符号で示された同様の構成要素の説明は、繰り返されない。図8は、また、区画されていない保護用キャップ4を示しており、それは、支持フレーム2に接続されており、他の物の間で、封止ガスケットを有しており、そのようなキャップは、図1及び図7の単純化された区画においては省略されている。プローブ1及び1に対するプローブ1の主な違いは、断熱装置の更なる構成要素の存在である。すなわち、断熱中空胴部64であり、それは、保護用ケーシング3に接続された一つの端部65を有している。断熱中空胴部64は、保護用ケーシング3を収容する実質的に円筒状の凹部を有しており、薄板状圧電変換器25が位置する区画を含む少なくとも1つの長手方向の長さにおいて、保護用ケーシング3と断熱中空胴部64との間に断熱中空空間66を規定するようになっている。図8の実施の形態において、断熱中空空間66は、係止端部65の反対側の端部において横断方向に延びている。断熱中空空間66内で形成するエアクッション例えば十分の数ミリメートルの厚さを有するは、検出装置23が配置されているプローブの断熱を可能にし、冷却材の放出によって引き起こされる熱変化のような突然の環境的な熱変化が突然に薄板状圧電変換器25に伝えられることを妨げる。このように、起こり得る熱変化が、漸次的に薄板状圧電変換器25に到達し、図4並びに図5及び図6を参照して説明された装置のような装置のおかげで、負の効果が容易に避けられ得る。断熱中空胴部64を有する断熱装置は、前述の実施の形態に含まれるガラス繊維で作られた要素28を代用し得る。しかし、全体として、図8に示す本発明の実施の形態において、両断熱装置が、設けられる。断熱中空胴部64は、様々な材料で作られ得る。例えば、鉄や、Invar登録商標のような低い熱膨張率を特徴とする鉄-ニッケル合金で作られ得る。本発明による接触式プローブの可能性のある異なる実施方式中の他の実施の形態が、図9に示されている。プローブ1は、図1、図7及び図8のプローブ1、1及び1の特徴とほとんど同様の特徴を有しており、ここでは詳細には説明されない。プローブ1は、図7のプローブ1のように、第2の検出装置を有しており、この場合、第2の検出装置はマイクロスイッチ74を用いて実行される。マイクロスイッチ74は、図9において区画されないで示されており、参照符号75を用いて示された図示された導線によって信号調節電気回路30に接続されている。マイクロスイッチ74は、それ自体公知であり、伝達軸76を含んでいる。伝達軸76は、軸方向に移動可能であり、可動アームセット5の移動を伝達し、マイクロスイッチ74に結果として信号を送らせるために、可動アームセット5に接続されている。第2の検出装置、この場合はマイクロスイッチ74に存在する、のそのような信号は、適切に接触信号を送るように、図7のプローブ1を参照して前述されたようにマイクロプロセッサ37によって用いられる。マイクロスイッチ74は、図9に示されたプローブとは異なる特徴を有する接触式プローブに設けられ得る。プローブは、例えば、図1及び図7のプローブ1及び1のように断熱材で作られた要素28のみを有する断熱装置を備え得る。図10は、特定の有利な図3に示された実施方式を示しており、ここでは、両回路板24、26は、各差動電荷増幅器33に電気的に接続されている。より詳細には、回路板24及び26内の端子の各々は、ここでは参照符号24N及び26Nを用いて示されており、感知区分23、23、23の1つにおける圧電要素25の端部に配置されており、それぞれの端子24N及び26Nに供給された数ピコクーロンのオーダーの電荷Qに反応する信号を生成する電荷増幅器ユニット84に接続されている。電荷増幅器84及び86からの出力中の信号の違いの絶対値は、例えば差動増幅器88によって提供されるのであるが、感知区分23、23、23の1つにおける圧電要素25によって生成された信号を表し、デジタル化されることを目的とされ、図3の図によって、図4の処理のような実行され得る何らかのさらなる処理の後に、他の信号と加算される。図11に描かれた実施の形態のような、圧電要素の端部において端子の1つがグラウンドに接続されているという、公知の実施の形態に関し、本発明による図10の異なる実施方式は、それが生じ得る電気的なノイズを劇的に除去し得るので、特に有利である。実際、本発明によるプローブの工作機械への適用において-ここで示された実施の形態1、1、1、1及び他の取り得る実施の形態において-、グラウンドは、典型的には、工作機械ケーシングそれ自体であり、通常たくさんの電気的なノイズを特徴とする。図11の1つの実施方式のような公知の実施方式を採用する時、接地の結果として生成された電気的なノイズは、危機的な適用を生じさせ得る。得られた信号が用いられたグラウンドの特徴に依存していないので、図10に概略的に示された実施形式のような本発明による特別な実施形式は、実質的にこのタイプのノイズに対して反応を示さない。本発明による接触式プローブのための他の実施の形態が、機械的構造及び/または含まれた信号の処理に関する公知の部分の他の実施方式を用いて提供され得る。"