"誘導ESD現象に特徴的な過渡電磁界の分析を行う静電気放電検出装置であって、前記過渡電磁界を検知するアンテナと、前記アンテナの検知信号に基づいて前記過渡電磁界の波形特性を分析する波形分析部と、前記波形分析部の分析結果から、前記検知信号に広帯域特性又は繰り返し発生特性を有するか否かに基づいて、前記誘導ESD現象の有無を判断する放電判定部と、を備えることを特徴とする静電気放電検出装置。前記波形分析部は、前記検知信号に、第1周波数成分が含まれているか否かを判定する第1周波数分析部と、前記検知信号に、前記第1周波数成分とは異なる第2周波数成分が含まれているか否かを判定する第2周波数分析部と、を備え、前記放電判定部は、前記検知信号における実質的に同じ出力波形に、前記第1及び第2周波数成分の双方が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする、請求項1に記載の静電気放電検出装置。前記検知信号に、前記第1及び第2周波数成分とは異なる第3周波数成分が含まれているか否かを判定する第3周波数分析部を備え、前記放電判定部は、前記検知信号における実質的に同じ出力波形に、前記第1、第2及び第3周波数成分が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする、請求項2に記載の静電気放電検出装置。前記第1周波数及び前記第2周波数は、MF中波帯、HF短波帯、VHF超短波帯、UHF極超短波帯から選択される2つの帯域に設定されていることを特徴とする、請求項2又は3に記載の静電気放電検出装置。前記第1周波数成分と前記第2周波数成分は、30MHz程度以上の周波数差を有するように設定されていることを特徴とする、請求項2乃至4のいずれかに記載の静電気放電検出装置。前記波形分析部は、前記検知信号に、複数回の出力波形が含まれているか否かを判定する繰り返し波形分析部を備え、前記放電判定部は、前記複数回の出力波形が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれかに記載の静電気放電検出装置。前記繰り返し波形分析部は、前記検知信号に、所定回数以上となる複数の出力波形が含まれているか否かを判定し、前記放電判定部は、所定回数以上となる複数の出力波形が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする、請求項6に記載の静電気放電検出装置。前記波形分析部は、前記検知信号に含まれる出力波形が、正極性の波形か負極性の波形かを判定する極性分析部を備え、前記繰り返し波形分析部は、前記正極性の波形と前記負極性の波形のそれぞれについて発生回数をカウントし、前記放電判定部は、前記正極性の波形が複数回発生しているか、又は前記負極性の波形が複数回発生している場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする、請求項7又は8に記載の静電気放電検出装置。前記アンテナは、モノポールアンテナであることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれかに記載の静電気放電検出装置。被測定物となる電子機器に対して電界を暴露させる為の印加電極と、検査中における前記電子機器に印加される前記電界の強さを変動させる電界変動手段と、請求項1乃至9のいずれかに記載の静電気放電検出装置と、を備え、検査中における前記電界の変動によって、前記電子機器の内部に誘導帯電を生じさせることで、前記電子機器に誘導ESD現象を発生させ、前記誘導ESD現象を前記静電気放電検出装置で検出し、前記誘導帯電による前記誘導ESD現象に基づいた該電子機器の動作特性を検査することを特徴とする、電子機器の変動電界耐性検査装置。前記電界変動手段は、前記印加電極に付与される電圧を変化させることで、前記電界の強さを変動させる電圧制御装置を備えることを特徴とする、請求項10に記載の電子機器の変動電界耐性検査装置。前記電界変動手段は、前記電子機器に印加する正又は負の前記電界の絶対値を増大させることにより、前記電子機器に対して第1誘導帯電を生じさせた後、前記電子機器の前記第1誘導帯電の電位をリセットし、更に、前記正又は負の前記電界の絶対値を減少させることにより、前記電子機器に対して前記第1誘導帯電と正負が反転した第2誘導帯電を生じさせることを特徴とする、請求項11に記載の電子機器の変動電界耐性検査装置。前記印加電極が板状電極であり、前記板状電極の平面を前記電子機器に対向させることを特徴とする、請求項10乃至12のいずれかに記載の電子機器の変動電界耐性検査装置。前記印加電極が板状電極であり、前記板状電極の端面を前記電子機器に対向させることを特徴とする、請求項10乃至12のいずれかに記載の電子機器の変動電界耐性検査装置。前記電界変動手段が、前記電子機器と前記印加電極の相対距離を変化させる移動機構を備えており、前記相対距離の変化によって前記電界の強度と勾配を変動させることを特徴とする、請求項10乃至14のいずれかに記載の電子機器の変動電界耐性検査装置。前記静電気放電検出装置のセンシングタイミングと、前記電界変動手段による前記電界の変動タイミングを同期させる同期制御手段を備えることを特徴とする、請求項10乃至15のいずれかに記載の電子機器の変動電界耐性検査装置。誘導ESD現象に特徴的な過渡電磁界の分析を行う静電気放電検出検出方法であって、アンテナによって前記過渡電磁界を検知するステップと、前記アンテナの検知信号に基づいて前記過渡電磁界の波形特性を分析する波形分析ステップと、前記波形分析ステップの分析結果から、前記検知信号に広帯域特性又は繰り返し発生特性を有するか否かに基づいて、前記誘導ESD現象の有無を判断する放電判定ステップと、を備えることを特徴とする静電気放電検出方法。前記波形分析ステップは、前記検知信号に、第1周波数成分が含まれているか否かを判定する第1周波数分析ステップと、前記検知信号に、前記第1周波数成分とは異なる第2周波数成分が含まれているか否かを判定する第2周波数分析ステップと、を備え、前記放電判定ステップは、前記検知信号における実質的に同じ出力波形に、前記第1及び第2周波数成分の双方が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする、請求項17に記載の静電気放電検出方法。上述の国際規格IEC61000-4-2で詳細且つ厳密に試験を行った電子機器であっても、例えば冬の乾燥時期に重大な誤動作を起こす場合がある。例えば、公共交通機関における自動改札機では、冬季に誤動作が頻発し、大混乱に陥った事がある。この誤動作の要因は、一般的に明らかにされていない。しかし、未公知である本発明者らの新たな知見では、化学繊維等の帯電し易い衣料を着用した人が自動改札機を通過する際、その帯電衣料から生じる高圧静電界によって、絶縁物で覆われた改札機内部の制御回路の構成部品が誘導帯電し、その帯電電荷が近隣の接地金属に放電する。この電子機器内部で生じる放電によって、強力な過渡電磁波が発生し、これが至近距離にある制御回路に影響を与えて誤動作を誘発する。また例えば、発電所や航空管制、化学プラントなどの制御室の制御パネルでも、同様な誤動作を生じる場合がある。オペレーターは通常、椅子に座って制御パネルを操作しているが、椅子から立ち上がって高所部分を操作しようとすると誤動作を生じる。椅子に座っているオペレーターの静電容量は概ね300pFと考えられるが、立ち上がった時には100pF程度にまで減少する。オペレーターに蓄積されている電荷量が一定の場合、静電容量が3分の1になれば、オペレーターの電位は3倍に一瞬で跳ね上がることになる。このオペレーターの電位変動も、上述の自動改札機の通過動作と同様に、制御パネル内部の構成部品に誘導帯電を生じさせ、誤動作を誘発する可能性もある。なお、本明細書では、誘導帯電によって生じる静電気放電現象を誘導ESD現象と称することにする。従って、この誘導ESDを検出することが極めて重要となってくる。例えば、各種電子機器については、出荷前の電子機器内部に対して強い静電界を暴露して強制的に誘導ESDを発生させ、この放電による過渡電磁界を検出し、同時に、電子機器の誤動作等を検証する誘導ESD耐性試験が必要となるであろう。また、発電所や航空管制、化学プラントの制御室の制御パネルなどのように、実際に稼働している電子機器を監視し、誘導ESDが発生しているか否かを監視し、事故を未然に防ぐことも重要になる。このような場合、いずれにしろ確実に誘導ESDを検出する装置が求められる。ちなみに、従来のESD試験装置によるIEC61000-4-2試験では、誘導ESDの検出や、上述のような誘導ESDに対する耐性の評価は全くできない。このIEC規格に基づくESD試験は、電子機器被測定物に対して外部から操作する人体が接触する事によって発生する、直接的な放電現象、または、電子機器の周辺で発生する間接的な放電現象に対する耐性を検査するものである。従って、ESDの発生も視覚的に認識できる。しかし、上述の誘導ESDでは、人体と電子機器の間に視覚的な放電が起こらなくても、電子機器内部で静かに、しかし激しく発生する静電気放電現象によって誤動作が起こってしまうことから、その検出は容易ではない。特に、最近の電子機器は、ケースに金属板を用いることは希であり、大半がプラスチックケースなどの絶縁物である。このような絶縁ケースを使用する場合、静電シールド効果が低いので、周囲の静電界が大幅に変動すると、電子機器内部の非接地導体の電圧が誘導によって大きく変化する。この大きく電圧が変化した非接地導体の直ぐ近くに、狭い隙間を介して接地導体が配置されていると、両者間の隙間を絶縁破壊して火花放電が生じる。例えば、非接地導体と接地導体の間隔が0.1mm以下の場合、電位差が約1000V以下、例えば0.05mmでは約700Vで火花放電が生じる。このような変動静電界による、絶縁物内部にある非接地導体での放電現象は、従来のESD試験装置では検出及び評価できない。本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、従来のESD試験装置や通常の放電監視装置では想定されていない誘導ESDを効率的に検出することができる技術を提供することを目的としている。本発明者らの鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。即ち、上記目的を達成する本発明は、誘導ESD現象に特徴的な過渡電磁界の分析を行う静電気放電検出装置であって、前記過渡電磁界を検知するアンテナと、前記アンテナの検知信号に基づいて前記過渡電磁界の波形特性を分析する波形分析部と、前記波形分析部の分析結果から、前記検知信号に広帯域特性又は繰り返し発生特性を有するか否かに基づいて、前記誘導ESD現象の有無を判断する放電判定部と、を備えることを特徴とする静電気放電検出装置である。上記静電気放電検出装置において、更に、前記波形分析部は、前記検知信号に、第1周波数成分が含まれているか否かを判定する第1周波数分析部と、前記検知信号に、前記第1周波数成分とは異なる第2周波数成分が含まれているか否かを判定する第2周波数分析部と、を備え、前記放電判定部は、前記検知信号における実質的に同じ出力波形に、前記第1及び第2周波数成分の双方が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする。上記静電気放電検出装置において、更に、前記検知信号に、前記第1及び第2周波数成分とは異なる第3周波数成分が含まれているか否かを判定する第3周波数分析部を備え、前記放電判定部は、前記検知信号における実質的に同じ出力波形に、前記第1、第2及び第3周波数成分が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする。上記静電気放電検出装置において、更に、前記第1周波数及び前記第2周波数は、MF中波帯、HF短波帯、VHF超短波帯、UHF極超短波帯から選択される2つの帯域に設定されていることを特徴とする。上記静電気放電検出装置において、更に、前記第1周波数成分と前記第2周波数成分は、30MHz程度以上の周波数差を有するように設定されていることを特徴とする。上記静電気放電検出装置において、更に、前記波形分析部は、前記検知信号に、複数回の出力波形が含まれているか否かを判定する繰り返し波形分析部を備え、前記放電判定部は、前記複数回の出力波形が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする。上記静電気放電検出装置において、更に、前記繰り返し波形分析部は、前記検知信号に、所定回数以上となる複数の出力波形が含まれているか否かを判定し、前記放電判定部は、所定回数以上となる複数の出力波形が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする。上記静電気放電検出装置において、更に、前記波形分析部は、前記検知信号に含まれる出力波形が、正極性の波形か負極性の波形かを判定する極性分析部を備え、前記繰り返し波形分析部は、前記正極性の波形と前記負極性の波形のそれぞれについて発生回数をカウントし、前記放電判定部は、前記正極性の波形が複数回発生しているか、又は前記負極性の波形が複数回発生している場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする。上記静電気放電検出装置において、更に、前記アンテナは、モノポールアンテナであることを特徴とする。上記目的を達成する本発明は、被測定物となる電子機器に対して電界を暴露させる為の印加電極と、検査中における前記電子機器に印加される前記電界の強さを変動させる電界変動手段と、上記いずれかに記載の静電気放電検出装置と、を備え、検査中における前記電界の変動によって、前記電子機器の内部に誘導帯電を生じさせることで、前記電子機器に誘導ESD現象を発生させ、前記誘導ESD現象を前記静電気放電検出装置で検出し、前記誘導帯電による前記誘導ESD現象に基づいた該電子機器の動作特性を検査することを特徴とする、電子機器の変動電界耐性検査装置である。上記変動電界耐性検査装置において、更に、前記電界変動手段は、前記印加電極に付与される電圧を変化させることで、前記電界の強さを変動させる電圧制御装置を備えることを特徴とする。上記変動電界耐性検査装置において、更に、前記電界変動手段は、前記電子機器に印加する正又は負の前記電界の絶対値を増大させることにより、前記電子機器に対して第1誘導帯電を生じさせた後、前記電子機器の前記第1誘導帯電の電位をリセットし、更に、前記正又は負の前記電界の絶対値を減少させることにより、前記電子機器に対して前記第1誘導帯電と正負が反転した第2誘導帯電を生じさせることを特徴とする。上記変動電界耐性検査装置において、更に、前記印加電極が板状電極であり、前記板状電極の平面を前記電子機器に対向させることを特徴とする。上記変動電界耐性検査装置において、更に、前記印加電極が板状電極であり、前記板状電極の端面を前記電子機器に対向させることを特徴とする。上記変動電界耐性検査装置において、更に、前記電界変動手段が、前記電子機器と前記印加電極の相対距離を変化させる移動機構を備えており、前記相対距離の変化によって前記電界の強度と勾配を変動させることを特徴とする。上記変動電界耐性検査装置において、更に、前記静電気放電検出装置のセンシングタイミングと、前記電界変動手段による前記電界の変動タイミングを同期させる同期制御手段を備えることを特徴とする。上記目的を達成する本発明は、誘導ESD現象に特徴的な過渡電磁界の分析を行う静電気放電検出検出方法であって、アンテナによって前記過渡電磁界を検知するステップと、前記アンテナの検知信号に基づいて前記過渡電磁界の波形特性を分析する波形分析ステップと、前記波形分析ステップの分析結果から、前記検知信号に広帯域特性又は繰り返し発生特性を有するか否かに基づいて、前記誘導ESD現象の有無を判断する放電判定ステップと、を備えることを特徴とする静電気放電検出方法である。上記放電検出方法において、更に、前記波形分析ステップは、前記検知信号に、第1周波数成分が含まれているか否かを判定する第1周波数分析ステップと、前記検知信号に、前記第1周波数成分とは異なる第2周波数成分が含まれているか否かを判定する第2周波数分析ステップと、を備え、前記放電判定ステップは、前記検知信号における実質的に同じ出力波形に、前記第1及び第2周波数成分の双方が含まれている場合に、前記誘導ESD現象が存在すると判断することを特徴とする。本発明によれば、誘導ESDを極めて高確度に検知することが可能になる。本発明の実施の形態の例について、図面を参照して詳細に説明する。まず先に、本発明者らによって行った実験について説明する。この実験では、電子機器に対して外部から変動電界を印加することによって、電子機器内部の構成部品が誘導帯電し、その誘導帯電によって電子機器内部で静電気放電現象誘導ESDが生じるか否かについて検証した。図1には、この検証用の実験設備1が示されている。この実験設備1は、プラスチックケース2の内部に、大小2個の銅板3、4を0.05mmの隙間を空けて配置している。なお、この隙間は0.05mmに限るものではなく、誘導電圧の程度に応じ、0.5mm程度でも良い。しかし火花放電はパッシェン則に基づく為、なるべく狭い方が良い。気圧一定であれば、隙間が狭い方がより低い電圧で放電するからである。更に、このプラスチックケース2の内部には、銅板3、4の下側において、20mmの距離をとり、差動プローブのプローブ部分及びオシロスコープとの間を接続する同軸ケーブル5を平行となるように配置して、銅板3、4の間で発生した放電現象による電磁ノイズを検出するようにしている。この離隔距離20mmは、これに限るものではなく、充分な受信電圧が生じるのであればより離しても良い。具体的に、この差動プローブの検出帯域は400MHzとし、この差動プローブ出力の同軸ケーブル5に対してデジタルオシロスコープ6を接続して、放電時に検出されるノイズ波形を解析する。なお、差動プローブの先端の信号入力端子、側と-側とを極めて短い銅線で短絡して入力信号が入らないようにしている。また、大小の銅板3、4は、地面に接地しておらず、更に周囲の導体と接触していないことから、ここでは浮上導体と呼ぶことにする。検証では、プラスチックケース2の上面近くにて、帯電させたテフロン登録商標又はプラスチックの帯電板7を、右から左へ、又は左から右へ手で移動させることで生じた変動電界をプラスチックケース2に印加した。デジタルオシロスコープ6で検出された波形を図2に示す。この波形では、周期1ナノ秒以下の振動で、かつ振幅が10V以上であることから、銅板3、4の間で放電が発生していることになる。前述の通り差動プローブの先端の入力部は側と-側を短絡してあるので、差動プローブには入力信号が入っていない。従って、本来このような大振幅の信号は生じないはずであるが、このように大きなノイズ信号が検出される。これは、帯電板7の移動に伴って、浮上導体となる銅板3、4に誘導帯電が生じ、両者の大きさ寸法、静電容量の違いによって生じる電位差によって、0.05mmの隙間に絶縁破壊が生じ、火花放電を生じたことを意味する。火花放電は極めて高速で短時間に終了するため、数GHz以上の周波数成分を含む広帯域の過渡電磁界電磁ノイズを放出する。その電磁ノイズを差動プローブの同軸ケーブルが受信し、コモンモード信号がノーマルモードに変換されてオシロスコープで解析されて図2の波形となるのである。なお、ここでは特に図示しないが、テフロン登録商標の帯電板7の場合は負に帯電し、アクリル等の帯電板7は正に帯電し易い性質がある。図2で示したような放電による電磁ノイズが電子機器の内部で生じると、最近のICの場合、十分に誤動作が生じる可能性がある。即ち、本発明者らの洞察の通り、絶縁ケースで保護されている電子機器に対して、外部から変動電界が印加されると、電子機器内部に誘導帯電が発生して放電誘導ESDが生じ、電子機器が誤動作する事が分かった。従って、この誘導ESDを検出する場合、電子装置内部に誘導ESDが生じた際に、それに伴って放出される過渡電磁界雑音以降誘導ESDノイズと称するをモニタすれば良い。しかし、実際には、電子装置内部や周辺装置から頻繁に他の電磁雑音が発生しており、これを誤って検出してしまう可能性がある。電子装置内外部から発生する雑音源の主なものは、電源スイッチ、電磁開閉器、リレ-、モータ特にブラシタイプ、電磁ソレノイド/プランジャ-、電力用半導体デバイス、インバータ回路、蛍光灯、バイメタル式サーモスタット、高電圧電源周り例:フライバックトランス、乾式コピー機、電力用進相コンデンサバンク、ガス器具等の点火装置等がある。これらからは不定期にピークの大きいパルス状ノイズや、繰り返しの早いバーストノイズが放出される。従って、通常のノイズ検出回路では、目的とする誘導ESDノイズ過渡電磁界雑音か、それ以外の他のノイズかの識別が困難となる。特に、リレー接点での放電によって生ずるノイズ波形の時間変動は、静電気放電ESDパルスに似ている為、これを誤認識してしまう恐れもある。雑音発生源固有の電磁スペクトラム特定の周波数を認識して、これを除外できれば良いが、雑音発生形態と伝搬経路空間/導体は千差万別であり、これらを確実に除外することも困難である。結果、目的とする誘導ESDノイズとの弁別は困難を極める。そこで本発明者らは、誘導ESDに関する分析を更に行っている。その結果として、誘導ESDが以下の特徴を有していることを明らかにしている。1上記大小2個の銅板3、4の隙間に相当する浮上導電体間の放電間隙によって多少の違いはあるが、生じる誘導ESDは火花放電であり、かつ、極めて高速である。なお、放電間隔が広いほど、誘導ESDを生じさせるために浮上導電体間に印加する電圧が大きくなる。即ち、上記検証において、印加電圧の大きさは放電間隔に連動する。そして、印加電圧が小さい、即ち放電間隔が小さい程、誘導ESDの立ち上がり時間はより高速となることも分かっている。図3には、上記検証における印加電圧と、誘導ESDの立ち上り時間との関係が示されている。2誘導ESDが周辺に放出する過渡電磁界の持つ周波数スペクトラムは、連続的で極めて広帯域である。図4には、過渡電磁界の周波数スペクトラム包絡線と、電子回路の動作に伴って放射される離散的な電磁波EMIを比較している。電子回路による電磁波等は、特定の周波数に限定されたスペクトラム周波数成分となる。一方、誘導ESDによって発生する過渡電磁界は、離散的ではなく、超広帯域に渡る連続的なスペクトラムとなることが分かる。本発明者らの検証によると、放電間隔幅が数十μm以下の場合に、その間に放出される誘導ESDノイズの周波数スペクトラムは、DCに近いところからSHF帯数十GHzにかけて連続して分布する超広帯域特性を示す。これは、デルタ関数の周波数領域での特性に近いといえるが、個々の線スペクトラムの振幅電力:dBm値は、それ程大きくはない。これは、放出電磁波エネルギが全帯域に渡って分散してしまう為である。一方、この特性を利用して、受信回路の帯域を極めて広く取ることで、誘導ESDノイズを判定することが可能となる。一方、図4に示されているように、誘導ESDノイズのスペクトラム分布の包絡線の各部に混在する通常のノイズは、この様な広帯域性は示さず、狭い帯域にスペクトラムが集中する。例えば電力系のノイズ例:インバータから発生する高周波ノイズの場合、奇数高調波がある程度の高周波域までは分布するが、それでも数百kHzが上限である。一般のノイズ源は、放出電力が大きくなるに従い、ノイズの占有帯域は、より狭くなる傾向がある。従って、誘導ESDの超広帯域特性を活用すれば、誘導ESDのみを確度良く検知出来ると考えられる。3上記プラスチックの帯電板7に相当する外部電界と、この外部電界によって帯電する一方の浮上導体の電位変動と、一方の浮上導体からの放電を受け止める他方の浮上導体の3者の正負電荷の状態によって、その周辺に生じる電界変動の極性が決定される。結果、それらの各々の近傍においてアンテナで受信する波形の先頭部の極性正スロープか、負スロープかも自ずと決定される。4通常は、浮上導体間の放電間隙は固定している。従って、静電誘導による外部からの帯電環境が継続している場合には、放電が終了した後にも、再帯電による放電が起きて、複数回の放電が繰り返して発生するケースが多いこれを多重放電と呼ぶことにする。図5は多重放電の検出例が示されている。放電間隔は10ms程度図5の例では5~15ms、帯電板の移動速度の影響を受けるとなり、100ms内に6回の放電が生じていることが分かる。従って、所定時間間隔内に、複数回の放電が生じる状況も誘導ESDを判定する重要事項となる。誘導ESD以外の一般の放電事象では、同一箇所で短時間に繰り返し放電する事はあり得ない。従って、以上の通り考察される誘導ESDの特徴を認識しておく事により、後述する検出技術では、誘導ESDとその他の放電事象を区別しながら、より確度高く誘導ESDのみを検出する。次に、図6以降を参照して、本発明の一実施形態に係る静電気放電検出装置G1について説明する。なお、本発明の実施形態は図6及び図7の構成以外にも多くの実施形態が考えられるので、その基本的な機能、波形処理等の流れを逸脱しない限り、実施形態を簡素化、変更、追加しても構わない。この静電気放電検出装置G1は、アンテナG5と、波形分析部G8と、放電判定部G80を備えている。波形分析部G8は、第1~第3周波数分析部G10~G30、極性分析部G40、繰り返し波形分析部G60を備える。放電判定部G80は、広帯域特性判定部G82、連続性判定部G84、極性判定部G86、総合判定部G88を備える。アンテナG5は4本設けられており、波形分析部G8に接続されている。一つのアンテナG5-4は、いわゆるショートモノポールアンテナであり、これは波形分析部G8の中でも、誘導ESDによって生じたインパルス状ノイズ波形の極性を弁別する極性分析部G40後述と、その弁別結果を利用した繰り返し波形分析部G60に用いられる。残り3本のアンテナG5-1、G5-2、G5-3は、夫々、第1周波数分析部G10、第2周波数分析部G20、第3周波数分析部G30に接続されている。具体的には、アンテナG5-1は、第1周波数分析部G10の第1周波数帯域フィルタG12に接続される。アンテナG5-2は、第2周波数分析部G20の第2周波数帯域フィルタG22に接続される。アンテナG5-3は、第3周波数分析部G30の第3周波数帯域フィルタG32に接続される。以下の第1~第3周波数成分F1~F3は、第1~第3帯域フィルタG12、G22、G32を通過する波形成分を意味している。即ち、第1~第3帯域フィルタG12、G22、G32は、それぞれ、中心周波数と、これを基準とした通過帯域幅ここでは6dB減衰までの帯域幅を有している。第1~第3中心周波数は、無線送信電力が小さく、使用頻度の少ないバンドにすることが好ましいが、電磁環境に応じて適宜変更することができる。本実施形態では以下の数値に設定されている。第1周波数成分F1=第1中心周波数1.82MHz第1通過帯域幅0.1MHz-6dB第2周波数成分F2=第2中心周波数30.0MHz第2通過帯域幅1MHz-6dB第3周波数成分F3=第3中心周波数200.0MHz第3通過帯域幅10MHz-6dBなお、第2周波数成分F3は現状ではVHF帯に設定しているが、状況に応じ、これをUHF帯300MHz~3GHzに変更しても良い。回路が複雑になるが、UHF帯の帯域を、新たな第4周波数成分F4として加えることもできる。予め、第1周波数帯域フィルタから第4周波数帯域フィルタまで用意しておき、運用時に適宜、選択できる様な回路構成も出来る。第1周波数分析部G10用のアンテナG5-1はループアンテナスリット付きとしている。1.82MHzの帯域MF帯では、磁界成分の方が小型化できるからである。第2、第3周波数分析部G20、G30用のアンテナG5-2、G5-3は、小型のショートモノポールアンテナを用いている。なお、何れの周波数であっても、発生源誘導ESDの発生箇所は、アンテナの極近傍数センチ~数十センチに位置しており、通常の電波受信の様な高利得の増幅器は必要ないが、周辺回路駆動の為の最低限のゲイン10dB~20dB程度は必要である。ちなみに、例えばテレビ用の受信アンテナが前提としている電波は、遠方からくる微弱電磁波電界強度E:数百nV/m~数百μV/mであって特定周波数fを有しているものである。しかも、電界も磁界も直交成分しかない進行方向に成分をもたない電磁波TEMモードを想定している。従って、通常のアンテナは、この特定周波数の電波を効率よく受信するために設計されている。例えば、テレビ用受信アンテナで電界を受信する場合、2本のエレメントを、受信すべき電波の波長λの半分λ/2に合わせる事により、特定周波数に同調させる。この方法により、アンテナ感度利得が増大する。更に、微弱アンテナ出力μVオーダを増幅するため、回路側でも高利得60dB以上で、狭帯域の同調増幅回路を必要とする。ところが、誘導ESDによって、アンテナ近傍で発生する過渡電磁波は、電界や磁界が進行方向成分を持つ非TEMモードであって、かつ、立ち上がりが極めて早いインパルス波形となる。更に周波数成分も超広帯域に渡るkHz~GHz。結果、通常のアンテナ理論をストレートには適用出来ない。そこで本発明者らの検証によると、誘導ESDの過渡電磁波を受信するアンテナは、1つのエレメントで良く、長さは、実験等から5mmないし20mm程度有れば充分であることが判明している。このアンテナは、通常のダイポールアンテナよりも短く、エレメントが1つしかないのでモノポールアンテナと呼ばれ、特に本実施形態では、その長さが短いことからショートモノポールアンテナと呼ぶ。構造も簡単で、コスト的にも極めて有利である。エレメントが短くなってくると、無指向性が強まるので、電波到来角が不定な誘導ESDを受信する場合に特に好ましい。また誘導ESDの場合、波源とアンテナ間の距離は、数cmから数十cm程度であり、アンテナ誘起電圧インパルス状は、アンテナ長さが5mmの長さでも、ピーク値で数十mVから数百mVはある。結果、受信回路は大きな利得を必要としない。但し、パルス極性の判定を行う為には有る程度の帯域幅は必要になる。長さ5mmのショートモノポールアンテナを使い、検証用として、2種類の誘導ESD源600V、720V近傍約3cmにおける、アンテナ誘起波形を図8に示す。図8ABは、誘導ESD720Vを、5mmの長さとなるショートモノポールアンテナで検知した場合の誘起電圧波形となる。誘導ESD発生源とアンテナとの距離は約3cmであり、テフロンシートの帯電体を、波源に接近させることで誘導ESDを発生させている。なお、図8AはV:50mVdivH:10nsdivで表示しており、図8BはV:100mVdivH:2nsdivで表示している。共に正極性の検出波計の例である。また、図8CDは、誘導ESD600Vを、5mmの長さとなるショートモノポールアンテナで検知した場合の誘起電圧波形となる。誘導ESD発生源とアンテナとの距離は約3cmであり、テフロンシートの帯電体を、波源に接近させることで誘導ESDを発生させている。図8CはV:100mVdivH:5nsdivであり、図8BはV:100mVdivH:2nsdivとなっている。共に正極性の検出波計の例である。また、長さが5mmのショートモノポールアンテナの周波数特性を、GTEMセルで測定した例を図9に示す。測定周波数は50MHz~3GHzであり、横軸は周波数MHz、縦軸は相対感度dBとなる。この測定では3GHzまでフラット,-3dBだが、特に図示しない別測定では8GHzを越えてもフラットなデータも得られており、ショートモノポールアンテナが超広帯域特性を持つ事が分かる。誘導ESDによるインパルス状電磁波のパルス立ち上がり時間trは、数十psオーダであり、アンテナエレメントでのパルス伝達遅延時間tpdがパルス立ち上がり時間trに接近してくると、アンテナの受信波形は振動的になる。例えば、電磁波のパルス立ち上がり時間trが50psの場合、エレメントが30mmよりも長くなってくると、受信波形は振動することも分かっている。従って、モノポールアンテナの長さは、100mm以下、特に30mm以下であることが望ましく、より好ましくは5mm~20mmの長さを採用する。アンテナの接地面のサイズは、設置環境により適宜選択すればよい。図6に戻って、アンテナG5が接続される波形分析部G8は、第1周波数分析部G10と、第2周波数分析部G20と、第3周波数分析部G30と、極性分析部G40と、繰り返し波形分析部G60を備える。第1周波数分析部G10は、アンテナG5-1の検知信号に少なくとも第1周波数成分F1が含まれているか否かを判定する。第2周波数分析部G20は、アンテナG5-1の検知信号に少なくとも第2周波数成分F2が含まれているか否かを判定する。第3周波数分析部G30は、アンテナG5-3の検知信号に少なくとも第3周波数成分F3が含まれているか否かを判定する。なお、第1~第3周波数分析部G10、G20、G30の詳細構成は殆ど同じであることから、ここでは第1周波数分析部G10について詳細に説明し、第2、第2周波数分析部G20、G30については説明を省略する。第1周波数分析部G10は、第1周波数帯域フィルタG12と、RF増幅器G14と、検波回路G16と、出力均質化回路G17と、ラッチ回路G18を備える。第1周波数帯域フィルタG12は、第1中心周波数且つ第1通過帯域幅に合致する信号として、第1周波数成分F1を通過させるバンドパスフィルタとなる。第1周波数帯域フィルタG12の通過帯域での挿入損失は12dB以下とすることが好ましい。また、この第1帯域フィルタG12は、シールドケースに収容することで、他の回路や誘導ESDによる過渡電磁界との結合を防止することが好ましい。なお、第1~第3周波数帯域フィルタG12、G22、G32を出た信号の持続時間は、通過帯域幅に反比例して短くなる。例えば第1周波数帯域フィルタG12では10μs、第2周波数帯域フィルタG22では1μs、第3周波数帯域フィルタG32では0.1μsになる。なお、本実施形態における第1~第3中心周波数は、上記の通り設定しているが、特に無線送信電力が小さく、使用頻度の少ないバンドに設定することが好ましい。また、これらの周波数に限定される訳ではなく、電磁環境に応じて適宜変更しても良い。特に、第1~第3周波数成分F1~F3は、MF中波帯である0.3~3MHz帯、HF短波帯である3~30MHz帯、VHF超短波帯である30~300MHz帯、UHF極超短波帯である300MHz~3GHz帯から、少なくとも2つ以上の帯域に属していることを条件とすることが好ましい。従って、第1~第3中心周波数は、上記帯域における少なくとも2つ以上の帯域にから確定することが望ましく、より好ましくは、3つの帯域から確定するのが良い。より望ましくは、各帯域から合計4種の中心周波数を確定することが好ましい。本実施形態では、第1中心周波数をMF帯から、第2中心周波数をHF帯から抽出し、第3中心周波数をVHF帯から抽出している。なお、本実施形態では、第2周波数成分F3がVHF帯に属しているが、状況に応じてこれをUHF帯に変更しても良い。また、既に述べたように、UHF帯の帯域を、新たな第4周波数成分F4として加えることもできる。予め、第1周波数帯域フィルタF1から第4周波数帯域フィルタF4まで用意しておき、運用時に適宜、選択できる様な回路構成とすることで、利便性を高めることも出来る。RF増幅器G14は、第1周波数帯域フィルタG12から出力される信号を増幅する。例えば、第1周波数帯域フィルタG12を出た信号レベルが数十mVオーダの場合は、このままでは次段の検波回路G16を直接駆動出来ないことから、増幅する必要がある。更に第1~第3周波数帯域フィルタG12、G22、G32の出力信号の持続時間は、通過帯域幅に反比例して短くなっているので、このRF増幅器G14も有る程度の帯域が必要となる。従って、RF増幅器G14のゲインは10倍20dB、帯域幅は100kHz~500MHzとすることが好ましい。第1~第3周波数分析部G10、G20、G30の各RF増幅器G14、G24、G34の出力レベルは極力同じレベルに設定する。これは、次段にある検波回路G16、G26、G36を効率よく動作させる為である。検波回路G16は、RF増幅器G14から出力される振動信号を包絡線検波する。結果、第1周波数帯域フィルタG12の出力時間幅振動持続時間のパルス状信号を取り出すことができる。出力均質化回路G17は、第1~第3周波数分析部G10、G20、G30の各検波回路G16、G26、G36から出力されるパルス状信号について、波形の均質化を行う。なお、各検波回路G16、G26、G36から出力されるパルス状信号は、そのパルス幅が異なる。また各検波回路におけるダイオードの閾値の違いによるスキューも起こり得る。従って、検波回路G16、G26、G36から出力されるパルス状信号を、このままラッチ回路に入力しても、その後の放電判定部G80において正確な判定を行うことができなくなる。そこで、検波回路G16、G26、G36から出力されるパルス状信号のパルス幅に依存しないで、互いに共通となる固定パルス幅及び固定パルス振幅に変換する。具体的に本実施形態では単安定マルチバイブレータを用いる。ラッチ回路G18は、出力均質化回路G17から出力される均質化信号をラッチさせ、その信号を放電判定部G80に出力する。以上の構成により、第1周波数分析部G10では、アンテナG5-1の検知信号中に第1周波数F1が含まれているか否かを分析することになる。検知信号中に第1周波数が含まれている場合は、ラッチ回路G18からのラッチ出力が得られる。第2、第3周波数分析部G20、G30も同様である。放電判定部G80は、広帯域特性判定部AND回路G82を備えており、第1~第3周波数分析部G10、G20、G30のラッチ出力が導入される。AND回路G82がONHIになった場合は、アンテナG5から得られる検知信号において、実質的に同じ出力波形内に、第1、第2及び第3周波数成分F1、F2、F3が同時に含まれていることになる。結果、誘導ESDに基づく過渡電磁界が発生したと判断する。図7に示されるように、極性分析部G40は、アンテナG5-4に接続される広帯域増幅器G44と、プラス極性増幅器G46と、マイナス極性増幅器G48と、プラス側レベル比較器G50と、マイナス側レベル比較器G52と、周波数弁別器G54を有する。アンテナG5-4は、既に述べたようにショートモノポールアンテナを用いる。なお、ループアンテナスリット付きを用いることもできる。広帯域増幅器G44は、アンテナG5-4の出力が数百mVに達しない場合は、ゲイン20dB且つ帯域10kHz~3GHz程度の広帯域をまとめて増幅する。なお、アンテナG5-4のゲインが十分な場合、この広帯域増幅器G44は不要となる。プラス極性増幅器G46とマイナス極性増幅器G48は、広帯域増幅器G44から出力される波形を、更に、後段のレベル比較器で比較できるレベルに、プラス極性、マイナス極性毎に増幅する。但し、プラス極性とマイナス極性を必ずしも別々の増幅器を使用して増幅しなければならないわけではない。1台の増幅器で増幅した出力を側レベル比較器G50とマイナス側レベル比較器G52に接続しても良い。なお、プラスの極性の波形は、既に図8で示した通りである。特に図示しないが、マイナス極性の波形はこれらとは逆極性先頭部分が負側に振れる状態となる。また、アンテナG5-4の特性によっては、図8のような単一インパルスではなく、バースト状態の減衰振動波形となる場合も有り得る。プラス側レベル比較器G50は、プラス極性増幅器G46によって増幅された信号振幅が、設定レベルとなるプラス側比較電圧を越えているかどうかを比較する。同様に、マイナス側レベル比較器G52は、マイナス極性増幅器G47によって増幅された信号振幅が、設定レベルとなるマイナス側比較電圧を越えているかどうかを比較する。なお、側比較電圧とマイナス側比較電圧の絶対値は同一とする。プラス側レベル比較器G50とマイナス側レベル比較器G52のいずれかから、先に出力した信号は、それぞれ、反転用ANDゲートを通過して、プラス側ラッチ回路G53又はマイナス側ラッチ回路G54のクロックCLK端子に入力される。プラス側ラッチ回路G53又はマイナス側ラッチ回路G54は、いわゆるD型フリップフロップとなっている。例えば、プラス側レベル比較器G50から先に信号が出力される場合は、その信号がクロック端子に入力されてプラス側ラッチ回路G53がトリガされて、Q出力がONHIとなると同時に、QX出力はOFFLOになる。Q出力は後述するプラス側単一波形生成回路G55に入力される。プラス側ラッチ回路G53のQX出力は、マイナス極性側の反転用ANDゲートに入力される。結果、プラス側ラッチ回路G53がトリガされている間は、マイナス側レベル比較器G52からの出力は、マイナス極性側の反転用ANDゲートを通過できなくなるので、マイナス側ラッチ回路G54のトリガが禁止される。なお、プラス側ラッチ回路G53のトリガがリセットされると、QX出力はONHIとなり、マイナス側レベル比較器G52からの出力が、マイナス極性側の反転用ANDゲートを通過して、マイナス側ラッチ回路G54をトリガできるようになる。例えば、マイナス側レベル比較器G52から先に信号が出力される場合は、その信号がクロック端子に入力されてマイナス側ラッチ回路G54がトリガされて、Q出力がONHIとなると同時に、そのQX出力はOFFLOになる。Q出力は後述するマイナス側単一波形生成回路G56に入力される。マイナス側ラッチ回路G54のQX出力は、プラス極性側の反転用ANDゲートに入力される。結果、マイナス側ラッチ回路G54がトリガされている間は、プラス側レベル比較器G50からの出力は、プラス極性側の反転用ANDゲートを通過できなくなるので、プラス側ラッチ回路G53のトリガが禁止される。なお、マイナス側ラッチ回路G54のトリガがリセットされると、そのQX出力はONHIとなり、プラス側レベル比較器G50からの出力が、プラス極性側の反転用ANDゲートを通過して、プラス側ラッチ回路G53をトリガできるようになる。このように、プラス側及びマイナス側レベル比較器G50、G52と、プラス側及びマイナス側ラッチ回路G53、G54の間に、2つの反転用ANDゲートを配置しておくことで、プラス側及びマイナス側ラッチ回路G53、G54が同時にトリガされることを禁止できる。結果、一つの繰り返し波形の正負極性の推移を正確に分析することができる。プラス側及びマイナス側ラッチ回路G53、G54の各Q出力が入力されるプラス側及びマイナス側単一波形生成回路G55、G56は、いわゆる単安定マルチバイブレータであり、各Q出力によって、比較的広いパルス幅ここでは1msに設定されているとなる広幅単一パルスが出力される。この広幅単一パルスは、後段の繰り返し波形分析部G60の各極性に入力される。なお、プラス側及びマイナス側単一波形生成回路G55、G56のいずれか一方から出力される広幅単一パルスは、初期化用第1ORゲートを通過して、狭いパルス幅ここでは1μsに設定されているのリセット用単一波形生成回路G57これも単安定マルチバイブレータをトリガする、これにより、リセット用単一波形生成回路G57からリセット用の狭幅単一パルスが出力される。この狭幅単一パルスは、初期化用第2ORゲートを介して、プラス側及びマイナス側ラッチ回路G53、G54のCLR端子に入力されて、これらのトリガをリセットする。この結果、プラス側及びマイナス側ラッチ回路G53、G54は、プラス側及びマイナス側レベル比較器G50、G52から先に出力した信号を待ち受ける状態となる。なお、この初期化用第2ORゲートには、初期化信号も入力されるようになっている。この初期化信号は、システム起動時の初期化を行う場合、又は一連の放電検出終了後に次の一連の放電イベントを待ち受ける場合に入力される。また、プラス側及びマイナス側ラッチ回路G53、G54のD型フリップフロップは、そのクロックCLK入力から、Q及びQX出力までの伝搬遅延時間ができるだけ早いものを使用することが好ましい。誘導ESDより得られる減衰振動型の検出信号の振動の繰り返し周期は、使用する検出アンテナにもよるが、数nsと高速となる.従って、一方のD型フリップフロップに信号が入力されてから1周期以内に、他方のANDゲートを禁止できるような回路にする為には、高速フリップフロップを使うことが好ましい。なお、本実施形態ではD型フリップフロップで構成した例を示したが、他のタイプのフリップフロップ等を用いる事も出来る。図6に戻って、極性分析部G40のプラス側及びマイナス側単一波形生成回路G55、G56からそれぞれ出力される広幅単一パルスは、繰り返し波形分析部G60に入力される。繰り返し波形分析部G60は、アンテナG5-4の検知信号に複数回の出力波形が含まれているか否かを判定する。なお本実施形態では、繰り返し波形分析部G60が、極性分析部G40の後段に設けられることで、プラス波形毎、マイナス波形毎に出力回数をカウントするようになっている。一方で、本発明はこれに限定されず、プラス波形のみ、マイナス波形のみ、更にはプラス波形とマイナス波形を区別することなく出力回数をカウントしても良い。繰り返し波形分析部G60は、タイマ用ANDゲートと、プラス側カウンタG64と、マイナス側カウンタG68と、測定タイマG69を備える。極性分析部G40の正極側及び負極側の広幅単一パルスは、タイマ用ANDゲートを介して、プラス側カウンタG64とマイナス側カウンタG68にそれぞれ入力される。なお、このタイマ用ANDゲートには、測定タイマG69から出力される測定用ゲート信号が入力される。プラス側又はマイナス側単一波形生成回路G55、G56から出力される最初の広幅単一パルスは、ORゲートを介して測定タイマG69をトリガする。結果、測定タイマG69は、所定時間の測定用ゲート信号を出力する。この測定用ゲート信号は、一連の放電イベントを観測する為の観測時間を設定するものであり、例えば1秒、10秒などに自在に設定できる。プラス側カウンタG64は、正極側の広幅単一パルスをカウントして、カウント数が所定閾値2~10回を超えるか否か判定する。同様に、マイナス側カウンタG68は、負極側の広幅単一パルスをカウントして、カウント数が所定閾値2~10回を超えるか否か判定する。このそれぞれの判定結果やカウント数、カウント間の間隔振動周期は、放電判定部G80側に出力される。放電判定部G80は、既に説明した広帯域特性判定部AND回路G82とは別に、繰り返し性判定部OR回路G84と、極性判定部G86を備える。この繰り返し性判定部G84は、プラス側カウンタG64又はマイナス側カウンタG68の一方が、所定閾値を超えた場合に繰り返し特性があると判断する。なお、ここでは特に説明を省略するが、このプラス側カウンタG64又はマイナス側カウンタG68のカウント値は、基準時間内にカウントされたものであることを要するが、その基準時間は、繰り返し波形分析部G60の測定タイマG69による測定ゲート信号のパルス幅に対応している。誘導ESDの過渡電磁界は、繰り返し発生特性を有している場合が多分にあるので、この繰り返し性判定部G84の判定結果が、誘導ESDの有無の判断として利用できる。更に放電判定部G80は、総合判定部G88を備える。この総合判定部G86では、広帯域特性判定部G82と繰り返し性判定部G84の双方の判定結果を利用して、誘導ESDが発生したか否かを最終判断を行う。本実施形態では、総合判定部G88としてAND回路が採用されており、広帯域特性判定部G82と繰り返し性判定部G84の双方において、広帯域特性と繰り返し発生特性を有していると判断した場合に限って、誘導ESDが発生したと判断する。これにより、その判断の正確性を高めるようにしている。なお、多少の誤まりも許容して、広く誘導ESDの発生の可能性を判断したい場合は、総合判定部G88においてOR回路を用いる。結果、広帯域特性判定部G82による広帯域特性、又は繰り返し性判定部G84による繰り返し発生特性の一方を有している場合は、誘導ESDが発生したと判断できる。以上、本実施形態の静電気放電検出装置G1によれば、アンテナG5で受信した過渡電磁界の波形特性を分析し、その過渡電磁界が、広帯域特性を有するか又は繰り返し発生特性を有するか否か判定し、その結果を利用して誘導ESDの発生状況を検出することができる。特に、誘導ESDの過渡電磁界に特有な、30MHz以上の帯域幅、特に100MHz以上の帯域幅を有する過渡電磁界の存在が検知された場合、誘導ESDが発生していると判断できる。また、本実施形態の静電気放電検出装置G1では、過渡電磁界内に複数の周波数成分が同時に発生しているか否かによって過渡電磁界の広帯域特性を分析している。ここでは3箇所の第1~第3周波数成分F1~F3の発生の有無を利用して、過渡電磁界の広帯域特性を分析している。また、この第1~第3周波数成分F1~F3として、MF中波帯、HF短波帯、VHF超短波帯、UHF極超短波帯から選択される別々の2つの帯域望ましくは3つの帯域に、第1~第3周波数成分F1~F3を属させているので、より確実に広帯域特性を分析できる。なお、第1~第3周波数の設定は上記設定手法に限定されず、例えば、30MHz程度以上の帯域幅となる広帯域特性を検知するために、3複数の設定周波数の最大値と最小値の差を30MHz程度以上に設定することも好ましい。望ましくは、最大値と最小値の差を100MHz程度以上に設定する。更に本実施形態では、波形分析部G8が繰り返し波形分析部G60を備えており、短時間に複数回の過渡電磁界波形が生じているか否かについて分析する。結果、誘導ESDの過渡電磁界の特徴となる繰り返し発生特性を有するか否かを確実に分析できる。結果、放電判定部G80では、より高精度に誘導ESDを検出できることになる。特に本実施形態では、極性分析部G40によって、各インパルス波形の正負を区別しているので、どのような静電誘導によって、誘導ESDが生じたのか否かを判断することも可能となる。なお、この静電気放電検出装置G1では、アンテナG5-1、G5-2、G5-3の直後に増幅器を設置していないが、出力が不足する場合は増幅器を配置しても良い。また、第1~第3周波数分析部G10、G20、G30に独立してアンテナG5-1、G5-2、G5-3を設ける場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、一つのアンテナ出力を、第1~第3周波数分析部G10、G20、G30に分配しても良い。なお、ここでは、波形分析部G8内に、各周波数分析部G10~G30と、繰り返し波形分析部G60の双方が設けられる場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、各周波数分析部G10~G30の分析結果と、広帯域特性判定部G82の判定結果を利用して、誘導ESDの有無を判断することが可能である。反対に、繰り返し波形分析部G60の分析結果と、繰り返し性判定部G84の判定結果を利用して、誘導ESDの有無を判断することも可能である。次に、本発明の実施形態に係る変動電界耐性検査装置について説明する。この変動電界耐性検査装置は、検査対象の電子機器、電子装置の内部及び周辺に存在する浮上導体に対して、外部から強制的に誘導帯電させることで、浮上導体の間の急速放電火花放電を生じさせ、既に述べた静電気放電検出装置G1により、その誘導ESDを検出するとともに、その放電に起因する誤作動の有無を検査する。例えば、変動電界耐性検査装置が検査対象としている主なトラブルは、電子機器に対しての直接的なESDや、機器周辺における間接的なESDが発生していないのに、電子機器が誤作動を起こしてしまうような現象である。つまり、電子機器の操作者又は周辺の帯電物体は、検査対象となる電子機器に接触していない電子機器に対して放電は起きていない状態のまま、誤動作が生じるような現象である。誤動作を誘発する静電気放電は、電子機器の内部で発生しており、しかも、近接する金属導体の狭い間隙で生じるので、放出される過渡電磁波に含まれている周波数成分が極めて広く数GHz以上、かつ、非常に強力となり、電界強度は容易にkV/mオーダに達することになる。結果、放電源の近傍に配置されているか、放電源の近傍を通過している信号線路を介して接続されているLSI例えばCPUやICなどが誤作動を誘発する。このようなトラブルは、本発明に係る変動電界耐性検査装置による方法でしか、検出、評価、対策は出来ない。なお、CPUICなどが誤動作した場合、通常、自動的に再起動が働いて自動復帰するのが一般的である。しかしながら、大規模ネットワークの一部を構成している電子装置の場合、通信回線を通じてセンターのコンピュータに割り込みする。割り込みが多数の電子装置から入ると、システム全体の処理能力が大幅に低下し、システム障害が発生する可能性がある。特に、この現象によって放出される過渡電磁界は非常に強力であることから、基幹インフラで採用されている多重の冗長構成例:2重並列運転の電子装置の全てを誤動作させてしまうと、結果として重大な事故に直結する可能性もある。なお、航空電子装置、防衛機器では、レーダ波による電磁干渉EMIに対して厳重な防御処置を講じているが、その根拠となる電磁波照射試験例:RTCADO-160Eの電界強度は最大でも600V/mである0.4GHz~18GHz。この値は、機器から距離10mの所にある1000kW1MWのパルスレーダから照射された時の電界強度に匹敵するが、今回、我々が提案する方法は、機器内部において、1kV/mを越える電界強度を発生させることが出来、その耐性を検査することを可能にする。また、本発明によれば、高価で大掛かりな電波暗室や、ハイパワーの電力増幅器、放射アンテナ等は一切不要である。なお、本発明者らの検証によれば、放電の間隙が0.05mm程度の場合、スペクトラムアナライザで観測されるスペクトラム分布は優に18GHzを超えており、浮上導体微小ダイポールを駆動するインパルス状の電流の立上りが極めて早く推定では40ps未満、かつ大振幅電荷量に拠るが、数十Aから100Aオーダになることが分かっている。次に、図10A~D以降を参照して、上記のような特殊な放電現象を電子機器内に強制的に誘発させて、電子機器の耐性を検査する第1実施形態の変動電界耐性検査装置以下、検査装置10について説明する。図10Aは検査装置の正面図、図10Bは検査装置の上面図、図10Cは検査装置の側面図、図10Dは検査装置の本体の制御パネルが示されている。この検査装置10は、本体15、印加電極20、電界変動手段30、筐体40、上記実施形態の静電気放電検出装置G1図6、図7、同期制御手段60、載置テーブル70を備えている。本体15における筐体40の内部には、電界変動手段30、静電気放電検出装置G1、同期制御手段60が収容されている。印加電極20は、被被測定物となる電子機器Pに対して、非接触状態で外部から正又は負の一方の電界を印加する。この印加電極20は、いわゆるプレート形状板状になっており、この平面が電界放出面22となっている。この電界放出面22が電子機器Pの側面に対向するように、印加電極20は、載置テーブル70に立てた状態で固定される。この載置テーブル70は、本体15の側面から突出するように水平に配置されており、少なくとも上面が絶縁体で構成される。この載置テーブル70の中央に電子機器Pが配置される。電界変動手段30は、ここでは電圧制御装置であり、筐体40の内部に収容されている。この電界変動手段30は、印加電極20に付与する直流電圧を変化させることで、印加電極20から発生する電界の強さを、極性を変えることなく変動させる。これにより、検査中における電子機器Pに印加される電界の強さを、極性を変えることなく経時的に変動させることができる。仮に電子機器Pの内部に浮上導体接地されてない導体が存在する場合、電子機器Pに印加する電界を変動させると、この浮上導体に誘導帯電が生じる。検査装置10では、この誘導帯電を電子機器P内に強制的に発生させることにより、電子機器Pの内部およびその周辺に火花放電を発生する構造があるかどうか、そしてそれによって電子機器Pが誤動作するか否か等の動作特性を検証できる。具体的に、電子機器Pの内部の浮上導体に対して、他の導体が接近した状態で配置されている場合、上記検証事例で示したように両者の間で放電現象が生じる場合がある。この放電を強制的に発生させる環境を提供する事により、放電の有無を検証し、同時にノイズに対する耐性を検査する。本体15の筐体40には制御パネル42図10D参照が用意されている。この制御パネル42は、放射電圧設定部TestVoltage、検査開始ボタンStart、検査終了ボタンStop、テスト回数電圧印加回数を0~9回の範囲で設定する繰り返し設定部Repetition、複数電極仕様の場合の各電極に供給する電圧の印加タイミング遅延タイミングを0.1~1秒の範囲内で設定する印加時間設定部Timing、同電圧の印加スロープを0.1~1秒の範囲内で設定するスロープ設定部Ramp、各電極に電圧供給する配線を接続するコネクタ部Output、高電圧電界の極性を切り替える極性設定部Polarity、電子機器や検査ヘッド治具にグランド電位を供給する端子FG、放電検出用プローブの接続コネクタDiscProbe、帯電電位検出用プローブの接続コネクタVProbe、印加電極を移動させる多軸移動ロボット第2実施形態で詳述の制御を行う接続コネクタControlなどを備えている。放射電圧設定部TestVoltageは、0~-25kV、又は0~25kVの範囲内で印加電圧を設定する。検査開始ボタンStart及び検査終了ボタンStopは、テストの開始と終了を手動で行うボタンである。繰り返し設定部Repetitionの設定回数を0にすると、検査開始ボタンStartを押してから検査終了ボタンStopを押すまで繰り返しテストを行うようになっている。一方、テスト回数電圧印加回数を1~9回の範囲で設定すると、そのテスト回収が終了したら自動的に終了する。放電検出用プローブの接続コネクタDiscProbeには、静電気放電検出装置G1の放電検出用アンテナが接続される。このアンテナは、放電で放出される電磁波を受信して増幅、検波処理して検出し、アラーム音やLED表示によって使用者に告知するものである。なお、この検出信号を本体15に伝送し、履歴として記録する機能を組み込んでも良い。また、帯電電位検出用プローブの接続コネクタVProbeには、帯電検出用アンテナ図示省略が接続される。帯電検出用アンテナは電界変動を検出し、更に増幅してその後信号処理を行い帯電検出する。なお、これらの放電検出や帯電電位検出機能は、本体15内に内蔵することも可能である。図11Aには、電界変動手段30によって印加電極30から放出される電界の時間変動が模式的に示されており、図11Bには、電子機器Pに作用する誘導帯電の時間変動が模式的に示されている。電界変動手段30は、まず、印加電極20に付与する正又は負の一方の直流電圧の絶対値を次第に増加させることで、印加電極20から増加領域となる電界E1を生じさせる。ここでは電界E1を正に設定している。この結果、電子機器Pには、次第に増加する正の誘導帯電T1が生じる。この動作によって、電子機器Pに正の第1誘導帯電T1が生じた場合の放電及び誤動作を検査する。その後、印加電極20の電界E1を維持した状態で、電子機器Pの第1誘導帯電T1を接地させることによって、その電位を一旦リセットする。更に印加電極20に付与される正又は負の電圧の絶対値を0Vとなるまで減少させることで、印加電極20から減少領域となる電界E2を生じさせる。これにより電子機器Pに対して、第1誘導帯電T1と正負が反転した、次第に増加する負の第2誘導帯電T2を生じる。この動作によって、電子機器Pに負の第2誘導帯電T2が生じた場合の放電及び誤動作を検査する。即ち、この電界変動手段30によれば、印加電極20に対して、正又は負の一方の電圧を供給するだけで、電子機器Pに対して正及び負の誘導帯電現象を生じさせることができるので、機器構成を簡略化することが可能となっている。ちなみに本実施形態では、電界変動手段30が、印加電極20に対して電圧放射電圧を-25kV~25kVの範囲内で調整可能となっており、正負双方の電界を生じさせるができる。また、電圧供給の繰り返し速度は2秒~10秒/回の範囲で調整できるようになっている。印加する電界のスロープは0.1秒~1秒で制御できる。なお、ここでは特に図示しないが、電子機器Pにおける誘導帯電のリセットは、この電子機器Pに対して、接地状態のONOFFを切り換えることが可能な接地端子FGを接続しておき、電界変動手段30が接地端子のONOFFを切り換えることで、強制的にリセットすることが好ましい。一方、電子機器Pに印加する電界の強度絶対値がある程度近接導体間の間隙その他の条件で決まる電圧に達すると、自然放電することから、静電気放電検出装置G1によって電子機器Pの自然放電が検出されたら、電圧の増大を中止して減少に転ずるように制御してもよい。このようにすれば接地端子のON/OFFスイッチを省略する事ができる。同期制御手段60は、静電気放電検出装置G1図6、図7のセンシングタイミングと、電界変動手段30による電界の変動タイミングを同期させる。これは、一度の検査において、電子機器Pに対して電界を繰り返して印加して、その放電状況の有無などを検出する必要があるからである。なお、ここでは電界印加の繰り返し回数を1~9回の範囲内で選択したり、又は強制停止させるまで連続印加するパターンを選択したりできるようになっている。以上、本第1実施形態の検査装置10によれば、電子機器Pに対して、外部から、いわゆる帯電体が近づいたり離れたりする状況を、擬似的に創出することができる。結果、例えば静電気が帯電した衣類や人体が、電子機器Pに近づいたり離れたりする現象に基づいた、電子機器Pの誤動作を検査できることになる。特にこの検査装置10によれば、印加電極20から生じる電界強度を増減させることで、仮想的に、帯電体が近づいたり離れたりする状況を生み出しているので、装置構造が極めて簡略化され、かつ、安定した検査が可能となる。更にこの検査装置10によれば、従来のようなESDガンを用いた直接放電ではなく、外部の静電界の変動に起因して、電子機器Pの内部で発生する放電現象を検証することができるので、電子機器Pを操作する利用者静電荷の保持者の動きを想定した動作保証を行うことが可能となり、電子機器Pの信頼性と安全性を一層高めることができる。なお具体的な検査では、静電気放電検出装置G1によって電子機器Pの内部で生じた放電現象の回数、放電波形が検出された際の振幅の大きさノイズの強さ、スペクトラム分布、電子機器Pが実際の誤動作を生じているか否か、などの情報を適宜利用して、電子機器Pの変動電界耐性を検証すれば良い。次に第2実施形態に係る検査装置110について図12A、図12Bを参照しながら説明する。図12Aは検査装置110の側面図であり、図12Bは上面図である。なお、この検査装置110の図示及び説明で用いている符号の下二桁は、第1実施形態の検査装置10の符号と一致させることで、重複説明を省略し、ここでは第1実施形態と異なる点を中心に説明する。この検査装置110では、電界制御手段130として、電子機器Pと印加電極120の相対距離Sを変化させる移動機構180を備えている。相対距離Sの変化によって、電子機器Pに印加される電界の強度を変動させる。具体的に移動機構180は、水平方向に配置されるX軸ガイド182と、このX軸ガイド182上に配置されるY軸ガイド184と、Y軸ガイド184上に配置されるZ軸回転モータ186と、このZ軸回転モータ186に保持されるアーム部材188を備える。アーム部材188の先端には印加電極120が固定されている。なお、更に高さ方向Z方向の移動を制御するZ軸ガイドを更に追加して、3軸移動を実現することも可能である。X軸ガイド182は、Y軸ガイド184をX軸方向に搬送し、Y軸ガイド184は、Z軸回転モータ186をY軸方向に搬送する。Z軸回転モータ186はアーム部材188を回転させる。これらの運動の組合せにより、印加電極120は、X-Y平面状及びZ軸回転を自在に行うことが出来る。同期制御手段160は、静電気放電検出装置G1のセンシングタイミングと、移動機構180による移動タイミングを同期させる。この検査装置110によれば、電子機器Pに対して、様々な方向や角度から帯電体を接近させたり離したりすることが可能であり、それにより電子機器Pに印加される電界を変動させることができる。例えば、化学繊維等の帯電し易い衣料を着用した人が自動改札機を通過するような状況を、擬似的に検証することが可能となる。即ち本検査装置110によれば、様々な電界変動パターンをシミュレーションして、電子機器Pの内部に誘導帯電を生じさせ、誤動作を起こすか否かを確かめることが可能になる。なお、ここでは移動機構180による相対距離Sの変化によって、電子機器Pに印加する電界の強度を変動させる場合を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば相対距離Sの変化に加えて、第1実施形態で示したような印加電極120に対する供給電圧を変化させることで、一層高度な電界制御を行うことも可能である。また、ここでは、移動機構180を用いて印加電極120を移動させることにより、電子機器Pと印加電極120の相対距離Sを変化させる場合を例示したが、勿論、電子機器P側を移動機構180等によって移動させることで、電子機器Pと印加電極120の相対距離Sを変化させても良い。また更に、電子機器Pと印加電極120の双方を移動させることで、両者の相対距離Sを変化させることも可能である。次に第3実施形態に係る検査装置210について図13A、図13Bを参照しながら説明する。図13Aは検査装置210の上面図であり、図13Bは側面である。なお、この検査装置210の図示及び説明で用いている符号の下二桁は、第1実施形態の検査装置10の符号と一致させることで、重複説明を省略し、ここでは第1実施形態と異なる点を中心に説明する。この検査装置210では、第1~第3印加電極220A~220Cが配置されている。具体的に、電子機器Pを6面体と仮定した場合に、第1印加電極220Aは6面体の第1面に対向して配置され、第2印加電極220Bは6面体の第1面と直角となる第2面に対向して配置され、第3印加電極220Cは、6面体の第1面及び第2面の双方にと直角となる第3面に対向して配置される。このようにすることで、6面体における3面を1回の検査工程でまとめて検査する。従って、電子機器Pを反転させることにより、2回の検査工程で6面全ての検査を終了させることができるので、検査効率を高めることが出来る。更にこの検査装置210によれば、第1~第3印加電極220A~220Cに印加する直流電圧を、タイミング位相をずらしながら移行させていくことで、例えば、第1印加電極220Aから第2印加電極220B側に移動するような電界変動を検証することができる。また、第1~第3印加電極220A~220Cに対して、電圧を同時に供給することで、電子機器Pに対して、複数方向から同時に帯電体が近づいたり離れたりするような状況を検証することも可能になる。次に第4実施形態に係る検査装置310について図14を参照しながら説明する。図14Aは検査装置310の上面図であり、図14Bは、この検査装置310における電圧制御タイミング波形のグラフである。なお、この検査装置310の図示及び説明で用いている符号の下二桁は、第1実施形態の検査装置10の符号と一致させることで、重複説明を省略し、ここでは第1実施形態と異なる点を中心に説明する。この検査装置310は、第1~第5印加電極320A~320Eの全てが、電子機器Pの一方の面に対向するように配置されている。更にこれらの第1~第5印加電極320A~320Eが、1枚の絶縁体324の中に埋め込まれている。結果、複数の印加電極320A~320Eによる電界放出面322が連なって、1つの共通電界放出面328が構成される。なお、この共通電界放出面328では、部分的に電位を変化させることができるので、電子機器Pの近傍の空間に生じさせる電界に勾配を形成することができる。この絶縁体324はナイロン等を素材としたシート状になっており、内部の第1~第5印加電極320A~320Eは、導電ゴムなどのフレキシブルな高抵抗材料を利用することが好ましい。これによって第1~第5印加電極320A~320Eは互いに絶縁される。電界変動手段330は、第1~第5印加電極320A~320Eに対する供給電圧を、互いに独立して制御する。図14Bに示されるように、第1~第5印加電極320A~320Eに対して、タイミングをずらした状態の電圧を付与する。この結果、第1~第5印加電極320A~320Eが、タイミングの異なる電界を電子機器Pに印加することができる。即ち、電界放出面322の面方向に沿って、第1~第5印加電極320A~320Eの順番に移動するような電界を、電子機器Pに印加することができる。なお、電圧の供給波形は、隣接する印加電極同士で互いに重なり合うようにすることが好ましく、滑らかに移動する電界を創出することが可能になる。例えば電子機器Pを自動改札機とした場合、この第1~第5印加電極320A~320Eを自動改札機の側面に配置して、変動する電界を印加する。この結果、静電気を帯びた利用者が、自動改札機の側面を歩いて通過する状況を擬似的に作り出すことが可能となる。なお、ここでは第1~第5印加電極320A~320Eが直線上に沿って配置される場合を示したが、例えば図15Aに示されるように、第3印加電極320Cが電子機器Pに最も接近し、第1及び第5印加電極320A、320Eが最も離れるようにV字状に配置しても良い。このような状態で、図14Bのように電圧を制御すれば、電界が電子機器Pに近づいて離れていくような環境を創出することが可能になる。反対に、図15Bに示されるように、電子機器Pを囲むように、V字状又は円弧状に沿って第1~第5印加電極320A~320Eを配置することも可能である。また、これらの第1~第5印加電極320A~320Eは、周囲が絶縁体で覆われているので、電子機器Pに貼り付けた状態で検査することも可能である。貼り付けることにより、電圧が低くても印加する電界を強くすることができる。また更に、ここでは第1~第5印加電極320A~320Eがプレート状板状であり、これらの平面が電界放出面322となり、電子機器Pに対向する場合を例示した。しかし、例えば図15Cに示されるように、第1~第5印加電極320A~320Eの端面を電界放出面322とし、この端面が電子機器Pに対向するように配置することも好ましい。これらの複数の電界放出面322が連なって、一つの共通電界放出面328が構成される。電極となるプレートの平面と比較して、プレートの端面の方が電気力線の密度が高められるので、電子機器Pに対して効率良く誘導帯電を生じさせることが可能となる。なお、ここでは図示しないが、第1~第5印加電極320A~320Eを形成するプレートの周縁の角部を丸めることも好ましい。角部が尖った形状になると、そこからコロナ放電が発生し易くなるからである。コロナ放電が生じる事による問題はいくつかある。一つは、コロナ放電によって印加電極の電位が低下し、電界放出性能を低下させる事である。次に、放電によりオゾンを放出し、周辺を腐蝕、酸化させる事である。更に、コロナ放電によって放電ノイズを放出する事である。コロナ放電による放電ノイズは、本装置により検出しようとしている誘導ESDで発生する火花放電に比べると、その放射ノイズの含む周波数スペクトルは極めて狭く、ノイズレベルも低いという特徴がある。更にまた、ここでは第1~第5印加電極320A~320Eがプレート状板状となる場合を例示したが、図15Dに示されるように、これらを棒状電極とし、この長手方向に伸びる側面を電子機器Pに対向させることも好ましい。棒状電極の側面は、電気力線の密度が高められるので、電子機器Pに対して効率良く誘導帯電を生じさせることが可能となる。次に第5実施形態に係る検査装置410について図16A、図16Bを参照しながら説明する。図16Aは検査装置410の側面図であり、図16Bはこの検査装置410の正面図である。なお、この検査装置410の図示及び説明で用いている符号の下二桁は、第1実施形態の検査装置10の符号と一致させることで、重複説明を省略し、ここでは第1実施形態と異なる点を中心に説明する。この検査装置410は、合計25個の印加電極420が、電子機器Pの一方の面に対向するようにマトリクス状に配置されている。更にこれらの印加電極420が1枚の絶縁体424の中に埋め込まれている。結果、複数の印加電極420による電界放出面422が連なって、1つの共通電界放出面428が構成される。なお、この共通電界放出面428では、面方向の全域に亘って、マトリクス状に電位を変化させることができるので、電子機器Pの近傍の空間に生じさせる電界に対して、2次元方向に自在に勾配を形成することができる。特に図示しない電界変動手段は、これらの印加電極420に対する供給電圧を、互いに独立して制御する。具体的には、電界放出面422の面方向に沿って、電界が上下方向に移動するように電圧を制御する。例えば電子機器Pを航空管制の制御パネルとした場合、この検査装置410を制御パネルの正面に配置して、上下方向に変動する電界を印加する。この結果、静電気を帯びた利用者が、椅子から立ち上がったり座ったりしながら制御パネルを操作する状況を擬似的に作り出すことが可能となる。次に第6実施形態に係る検査装置510について図17を参照しながら説明する。なお、この検査装置510の図示及び説明で用いている符号の下二桁は、第1実施形態の検査装置10の符号と一致させることで、重複説明を省略し、ここでは第1実施形態と異なる点を中心に説明する。この検査装置510は、円筒型の印加電極520が、自走式の移動機構580によって直線上に移動する構造になっている。この印加電極520は、2枚のアルミ素材の板状電極を十字に交差させて羽根形状に構成している。また、この印加電極520の周囲が、ABS樹脂などの絶縁素材からなる円筒524で覆われている。この印加電極520を移動機構580で自立走行させることにより、例えば、横に細長い構造の電子機器に対して、この印加電極520が長手方向に沿って移動した場合の影響を検査することができる。次に第7実施形態に係る検査装置610について図18Aを参照しながら説明する。なお、この検査装置610は印加電極620の形状に特徴があることから、この印加電極620に限定して詳細に説明する。この検査装置610の印加電極620は、ベース電極板621と、このベース電極板621に対してスペーサ621Aを介して間隔を空けて固定される複数ここでは4つの板状電極片623A~623Dを有している。この4つの板状電極片623A~623Dは、細長い帯状の板であり、互いに並んで配置され、各平面は電子機器Pに対向している。また、これらの板状電極片623A~623Dは相互に通電した状態となっている。即ち、板状電極片623A~623Dの各平面が電界放出面片となり、これらの電界放出面片が連なることで、同電位となる一つの電界放出面622が形成される。このように、一つの印加電極620においても、複数の板状電極片623A~623Dを配置することで、各板状電極片623A~623Dの周縁から放出される高密度の電気力線を有効活用することができるので、電子機器Pに対して効率良く誘導帯電を生じさせることが可能となる。また、例えば図18Bに示されるように、ベース電極版621に対して、板状電極片623A~623Dが垂直となるように立設することも更に好ましい。このようにすることで、4つの板状電極片623A~623Dの各端面を、電子機器Pに対向させることができる。結果、板状電極片623A~623Dの各端面が電界放出面片となり、これらの電界放出面片が連なることで、同電位の一つの電界放出面622が形成される。図18Aの例と比較して、電気力線の密度が高い端面が電子機器Pに対向しているので、電子機器Pに対して効率良く誘導帯電を生じさせることが可能となる。ここでは、板状電極片623A~623Dの端面を丸めた状態を示している。このように端面を丸めると、コロナ放電を抑制できる。一方、端面の角を尖った形状にすると、そこからコロナ放電が発生しやすい。コロナ放電の問題は既に述べた通りである。なお、図18Bでは、ベース電極版621に対して板状電極片623A~623Dを立設する場合を例示したが、図18Cに示されるように、複数の板状電極片623A~623Dを、棒状又は板状のスペーサ材629で串刺し状態にすることも好ましい。更に、図18Bでは、ベース電極版621と板状電極片623A~623Dが別部材である場合を例示したが、これらが一体形成されていても良い。具体的にこの場合は、図18Dに示されるように、ベース電極版621に対して、帯状の突起625A~625Dが形成されている状態と理解できる。帯状の突起625A~625Dの各突端が、帯状の電界放出面片となる。これらの帯状の電界放出面片が連なって、同電位の一つの電界放出面622が形成される。また、図18A~図18Cでは、印加電極620が、複数の板状電極片623A~623Dを有する場合を例示したが、図18Eに示されるように、印加電極620が複数の棒状電極片625A~625Dを備えるようにし、各棒状電極片625A~625Dの長手方向に延びる側面を電子機器Pに対向させることも好ましい。このようにすると、各棒状電極片625A~625Dの側面が、帯状の電界放出面片となり、これらの電界放出面片が連なることで、同電位の一つの電界放出面622が形成される。なお、複数の複数の棒状電極片625A~625Dは、スペーサ材629で串刺し状態にすることが好ましい。なお、上記第1~第7実施形態において、印加電極の素材は特に限定されないが、例えば印加電極の材料として高抵抗材料を用いることが好ましい。この高抵抗材料としては、例えば体積抵抗率が100kΩm以上となるような材料を選択することが好ましく、セラミックなどが好適である。また、印加電極へ電圧を供給する接続線路の抵抗値は、通常の金属線銅線ではなく高抵抗の線例えばゴム製の高抵抗線などを使用する事が望ましい。このような高抵抗材料を選択すると、十分な電界を電子機器Pに印加しつつ、電圧印加時に急速な電流が発生する事による電磁界放射を抑制する事ができる。この結果、ESDガンによる従来方式のESDテストとの混同を避ける事ができる。即ち、本発明で求めているような電子機器P内部の放電現象を積極的に誘発できる。また、仮に作業者が印加電極に触れてしまっても、感電を抑制できるようになる、装置の安全性を高めることにも繋がる。また、上記実施形態において、被測定物となる電子機器の種類は特に限定されない。携帯電話、電子計算機、自動改札機などの構造物の他、ICチップ、部品搭載基板、半導体デバイス、水晶デバイス、MEMSデバイス、各種電子センサーなど、電子機器で用いられるあらゆる部品、材料が含まれる。なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。"