被処理水を膜モジュールで膜ろ過してろ過水を得る膜ろ過方法における膜モジュールの洗浄方法であって、膜モジュールの1次側および2次側を洗浄用薬品に浸漬し、前記膜モジュールの1次側の洗浄用薬品を前記膜モジュールの系外に排出し、被処理水を前記膜モジュールに供給し、膜ろ過を再開し、膜ろ過再開初期のろ過水を薬品残留水槽に貯留し、前記薬品残留水槽に貯留した前記膜ろ過再開初期のろ過水を前記膜モジュールの2次側から1次側に洗浄水を圧送する逆圧水洗浄時に使用することを特徴とする膜モジュールの洗浄方法。膜ろ過の再開前に、前記被処理水で前記膜モジュールの1次側をフラッシングすることを特徴とする請求項1に記載の膜モジュールの洗浄方法。前記被処理水で前記膜モジュールの1次側をフラッシングする際に、前記膜モジュールの1次側に空気を供給することを特徴とする請求項2に記載の膜モジュールの洗浄方法。前記薬品残留水槽に貯留した前記膜ろ過再開初期のろ過水と、ろ過水槽に貯留した通常のろ過水とを混合した水を逆圧水洗浄時に使用することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の膜モジュールの洗浄方法。本発明の目的は、膜モジュールの効率的な洗浄方法を提供し、膜モジュールを長期安定的に運転するとともに、廃水処理コストを低減する方法を提供することにある。前記課題を解決するために本発明は次の構成をとる。1被処理水を膜モジュールで膜ろ過してろ過水を得る膜ろ過方法における膜モジュールの洗浄方法であって、膜モジュールの1次側および2次側を洗浄用薬品に浸漬し、前記膜モジュールの1次側の洗浄用薬品を前記膜モジュールの系外に排出し、被処理水を前記膜モジュールに供給し、膜ろ過を再開し、膜ろ過再開初期のろ過水を薬品残留水槽に貯留し、前記薬品残留水槽に貯留した前記膜ろ過再開初期のろ過水を前記膜モジュールの2次側から1次側に洗浄水を圧送する逆圧水洗浄時に使用することを特徴とする膜モジュールの洗浄方法。2膜ろ過の再開前に、前記被処理水で前記膜モジュールの1次側をフラッシングすることを特徴とする1に記載の膜モジュールの洗浄方法。3前記被処理水で前記膜モジュールの1次側をフラッシングする際に、前記膜モジュールの1次側に空気を供給することを特徴とする2に記載の膜モジュールの洗浄方法。4前記薬品残留水槽に貯留した前記膜ろ過再開初期のろ過水と、ろ過水槽に貯留した通常のろ過水とを混合した水を逆圧水洗浄時に使用することを特徴とする1~3のいずれかに記載の膜モジュールの洗浄方法。本発明によって、通常運転時においても膜モジュールの汚れ物質を効率的に除去することが可能となり、安定的な運転を長期間継続することが可能となるとともに、薬品洗浄頻度を低くすることができるため、使用する薬品量を抑えることができ、低処理コスト運転の実現が可能となる。以下、本発明の好ましい実施の形態を、加圧型中空糸膜モジュールのろ過装置を例にとって、図面を参照しながら説明する。ただし、本発明の範囲がこれらに限られるものではない。図1は、本発明が適用される膜ろ過装置の一例を示す装置概略フロー図である。通常の膜ろ過運転において、膜モジュール1で処理する被処理水は、被処理水配管2から被処理水供給ポンプ3によって連続的に膜モジュール1の1次側に供給され、膜モジュール1内の膜によって膜モジュール1の2次側に膜ろ過される。なお、膜ろ過流束は、膜モジュ-ル1の1次側への被処理水供給量によって決定されるため、被処理水供給量の調整は被処理水弁4の開閉度合いによって行われる。膜モジュール1での膜ろ過によって得られたろ過水は、その後、ろ過水配管5およびろ過水弁6を介してろ過水槽7に流入し、ろ過水が貯留される膜ろ過工程。膜ろ過工程終了後は、被処理水供給ポンプ3を停止し、被処理水弁4およびろ過水弁6を閉じ、物理洗浄を開始する。逆洗では、通常、洗浄水にろ過水を用い、逆洗水配管8から逆洗ポンプ9によって一定時間、膜モジュール1の2次側に洗浄水を供給して膜表面や膜内部に蓄積した汚れ物質の除去を行う。なお、一般的に逆洗流束は、膜ろ過流束の1~2倍程度とされており、膜モジュール1への洗浄水の供給量は、逆洗弁10の開閉度合いによって調整される。また、逆洗は逆洗排水弁12を開け、逆洗排水配管11を介して逆洗排水を系外に排出させながら実施される。なお、逆洗水には、膜表面や膜内部の汚れ物質を効率良く除去するために次亜塩素酸ナトリウムなどの酸化剤や硫酸などの酸を添加してもよい。また、逆洗水を加温しても同様な効果が期待できる。逆洗水の加温は、ろ過水槽7あるいは逆洗水配管8内にヒーターなどの加温設備を設け、30~40°C程度とすることが好ましい。続いて、空気などの気体を膜モジュール1の下部から膜モジュール1内に供給して膜面を洗浄する空洗を実施する。なお、空気などの気体は被処理水供給配管2あるいは排水配管13から供給することが望ましい。さらに、空洗は逆洗とは別々に、逆洗の前後いずれのタイミングで実施、あるいは逆洗と同時に実施しても問題はないが、逆洗による膜表面や膜内部に蓄積した汚れ物質の除去と、空洗による懸濁物質の震い落としの両方の効果が期待できる同時の実施が好ましい形態である。物理洗浄終了後、膜モジュール1内に残存する洗浄排水は排水弁14を開にし、排水配管13を介して系外に排出する。洗浄排水を膜モジュール1から排出した後は、通常、排水弁14を閉にし、膜ろ過工程を再開させるが、逆洗排水弁12を開とし、数秒~数十秒間だけフラッシングを実施してから膜ろ過工程を再開させてもよい。数秒~数十秒間のフラッシングを実施することにより、膜モジュール1の1次側に残存している汚れ物質を膜モジュール1の系外に排出することが可能となる。ここで、フラッシングとは、被処理水などを膜モジュール内に高流束で流すことにより、膜面や膜間の付着物を除去する洗浄方法である。通常の膜ろ過運転を長期間継続した後に実施する薬品洗浄は、膜モジュール1の1次側または2次側から薬品貯留槽図示しないから薬品供給ポンプ図示しないにて膜モジュール1内に供給し、膜モジュール1内の1次側および2次側が薬品に満たされた時点で供給を止め、数時間程度浸漬させるか、膜モジュール1の1次側または2次側から薬品貯留槽図示しないから薬品供給ポンプ図示しないにて薬品を膜モジュール1内に供給し、膜モジュール1から排出された薬品を再度、薬品貯留槽に戻し、膜モジュール1から排出された薬品を再度膜モジュール1に供給する操作を数時間継続させて行う薬品を循環させる場合も、本発明の浸漬に含まれるものとする。。なお、膜モジュールに供給する薬品を加温すると、より洗浄効果が一層期待できる。薬品の加温は、薬品貯留槽図示しないあるいは配管内にヒーターなどの加温設備を設け、30~40°C程度とすることが好ましい。また、薬品浸漬している間に間欠的に膜モジュール1の下部から空気などの気体を供給して、膜表面に付着している汚れ物質の掻き取りを促進する方法も好ましく用いられる。膜モジュール1内の膜が薬品によって十分に洗浄された後は、排水弁14を開とし、排水配管13を介して膜モジュール1の1次側の洗浄用薬品を膜モジュール1の系外に排出する。また、薬品の排出時に膜モジュール1の下部から空気などの気体を供給して、膜表面に付着している汚れ物質の掻き取りを促進する方法も好ましく用いられる。また、膜ろ過運転では、1~3日に1回の頻度で膜ろ過運転を一時的に停止させ、前述の薬品洗浄で使用する薬品濃度の1/10程度の濃度の薬品を用いた薬品洗浄を実施することもある。この薬品洗浄は、前述の薬品洗浄よりも浸漬時間が短く、15~30分程度であること以外、洗浄操作方法は前述の薬品洗浄と同じである。さらに、膜ろ過装置が海水淡水化や下水再利用の際に用いられる装置のように膜モジュール1のろ過水をさらに逆浸透膜で処理する装置であった場合いわゆる、MF/UFRO、逆浸透膜での処理時に発生する濃縮水で通常の物理洗浄やフラッシングを行い、薬品洗浄を実施する際に薬品を希釈するために逆浸透膜での処理によって得られた淡水を用いる方法を採用することも可能である。本発明では、膜モジュール1の1次側から薬品を排出した後つまり、薬品洗浄工程が終了した後、リンス工程を次のように行う。被処理水を被処理水配管2から被処理水供給ポンプ3によって連続的に膜モジュール1の1次側に供給させ、膜モジュール1内の膜によって膜モジュール1の2次側に膜ろ過させるとともに、薬品残留水流入弁16を開とし、薬品残留水流入配管15を介して、薬品残留水槽17に薬品が残留しているろ過水を貯留する。なお、この操作は膜モジュール1内のpHや酸化還元電位ORP、残留塩素濃度などの水質が正常値目安は、pH:6.5~8.0、ORP:200~700mV、残留塩素濃度:0.1mg/L以下になるまで継続し、正常値になった際には薬品残留水流入弁16を閉じ、ろ過水弁6を開とし、ろ過水をろ過水槽7に再度貯留させる。本発明のようなリンス工程を実施することにより、一般的に薬品洗浄のリンス水として使用されるろ過水を利用しなくなるために、膜ろ過設備全体におけるろ過水の回収率供給した被処理水量に対して生産水として利用可能なろ過水量の割合を高めることが可能になるとともに、膜モジュール1内のpHやORP、残留塩素濃度などを短時間で正常値にするためにリンス水に添加されることがある中和剤や還元剤などの使用もなくなり、処理コストの低減に寄与することができる。また、薬品洗浄工程終了時に、膜モジュール1の1次側に膜表面へ付着していた汚れ物質が残存している場合には、本発明のリンス工程時に再度、汚れ物質が膜表面に付着することが懸念されるため、逆洗排水弁12を開とし、数秒~数十秒間だけフラッシングを実施してから薬品残留水槽17への薬品残留水の貯留を開始すればよい。数秒~数十秒間のフラッシングを実施することにより、膜モジュール1の1次側に残存している膜表面へ付着していた汚れ物質の膜表面への再付着を防止することが可能となる。さらに、前記フラッシング時に膜モジュール1の下部から空気を供給することで、効率よく残存する汚れ物質を膜モジュール1の外に排出することができ、フラッシング時間を短くすることが可能となり好ましい形態となる。ところで、膜モジュール1の1次側に残存している膜表面へ付着していた汚れ物質の膜モジュール1の1次側からの排出を目的として、膜モジュール1の2次側からろ過水槽7に貯留されたろ過水を洗浄水として数秒から数十秒間供給して逆洗排水配管を介して洗浄水を排出させてから被処理水を膜モジュール1に供給する方法が考えられるが、本方法では、微量ながらろ過水を消費することになるため、本発明よりもろ過水の回収率が低下し、処理コストのアップにつながる。薬品洗浄が終了し、通常工程膜ろ過と物理洗浄の繰り返しに戻った後、本発明では物理洗浄逆洗時に、薬品洗浄の際に薬品残留水槽17に貯留された薬品残留水を薬品残留水供給ポンプ19にて、薬品残留水供給配管18を介して膜モジュール1の2次側に一定時間供給し、逆洗排水配管11を介して逆洗排水を系外に排出させながら実施する。なお、膜モジュール1への薬品残留水の供給量は、薬品残留水供給弁20の開閉度合いによって調整される。続いて実施する空洗は、前記と同様に逆洗とは別々に、逆洗の前後いずれのタイミングで実施、あるいは逆洗と同時に実施しても問題はないが、逆洗による膜表面や膜内部に蓄積した汚れ物質の除去と、空洗による懸濁物質の震い落としの両方の効果が期待できる同時の実施が好ましい形態である。また、薬品残留水は、その量に限りがあることから薬品洗浄後初期には使用せず、一定期間はろ過水を用いた逆洗を行い、その後、膜表面や膜内に汚れ物質が蓄積してきた時点で薬品残留水を用いた逆洗を行ってもよい。なお、ろ過水を用いた逆洗を行う際に膜表面や膜内部の汚れ物質を効率良く除去するために次亜塩素酸ナトリウムなどの酸化剤や硫酸などの酸を洗浄水に添加してもよいが、処理コスト低減のためには、酸化剤や酸を添加しない方が好ましい。いずれの方法を採用した場合においても、逆洗時に薬品が残留したろ過水を用いることができるため、新たな薬品の添加なしに、あるいは低減化した状態でも通常工程時から効率的な膜モジュール1の洗浄が可能となり、ろ過水を用いた逆洗での膜ろ過運転よりも薬品洗浄を開始する時期を遅くすることが可能となる。ここで、薬品残留水槽17に比較的高濃度の薬品残留水を貯留できた場合、図1に示した逆洗方法以外に、図2に示すように薬品残留水をろ過水を用いた洗浄水に添加する方法も適用可能である。本方法では、1回の逆洗における薬品残留水の消費量が少なく抑えることができる。本発明において、薬品洗浄に使用される薬品は、硫酸、塩酸、硝酸、シュウ酸、クエン酸、アスコルビン酸、水酸化ナトリウム、次亜塩素酸ナトリウム、過酸化水素、および界面活性剤からなる群から選ばれる1種以上を含む薬品であることが好ましい。これらの薬品を用いれば、被処理水中に含まれる無機物や有機物等の汚れ物質を溶解あるいは分解させることが可能となり膜モジュール1の安定的な運転を長期間継続することが可能となる。また、薬品を用いた膜モジュール1の洗浄方法として、異なる2種の薬品を用いて、それぞれの薬品での洗浄を連続で行うことも好ましく用いられる。その方法は特に限定されるものではないが、例えば、最初に次亜塩素酸ナトリウムを用いた洗浄により、膜表面および膜内に蓄積された有機物由来の汚れ物質を溶解あるいは分解させ、膜モジュール1の系外に排出し、その後、クエン酸を用いた洗浄により、膜表面および膜内に蓄積した無機物由来の汚れ物質を溶解あるいは分解させ、膜モジュール1の系外に排出させる方法もある。さらには、薬品を用いた洗浄を行う場合、膜モジュール1内すべてが薬品を含有させた洗浄水で満たされた後に、その状態を維持、つまり、薬品での浸漬を一定時間行うことがより好ましく採用される。これらの方法を用いて洗浄を行うことで、被処理水由来の汚れ物質のほぼ全てを膜モジュール1の系外に排出することができ、膜モジュール1の安定的な運転を長期間継続することが可能となる。このように、異なる2種の薬品を用いて薬品洗浄を行う際には、薬品残留水槽17を2つ設置し、それぞれの薬品残留水を貯留してもよいし、薬品残留水槽17を1つ設置し、いずれかの薬品残留水を貯留してもよい。本発明で用いる膜モジュール1の形状としては、中空糸膜、チューブラー膜、平膜等がある。ここで、中空糸膜とは直径2mm未満の円筒状の分離膜、チューブラー膜とは直径2mm以上の円管状の分離膜をいう。本発明においては、いずれの形状の膜モジュールを用いても構わないが、一般的に高い膜ろ過流束での逆洗ができない構造であることが多い平膜形状の膜モジュールよりも、充分に高い膜ろ過流束での逆洗ができる構造である中空糸膜やチューブラー膜形状の膜モジュールを用いた方が薬品洗浄時に膜表面および膜内の汚れ物質を溶解または分解しやすいので好ましい。また、分離膜としては、本発明の主旨からどのようなものでも構わないが、一般的には除濁用途として用いられる精密ろ過膜や限外ろ過膜が好ましい。精密ろ過膜や限外ろ過膜に使用される膜の素材は、特に限定しないが、ポリアクリロニトリル、ポリフェニレンスルフォン、ポリフェニレンスルフィドスルフォン、ポリフッ化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスルホン、ポリビニルアルコール、酢酸セルロースやセラミック等の無機素材からなる群から選ばれる少なくとも1種を含んでいると好ましい。さらに膜強度、耐薬品性の点から、ポリフッ化ビニリデンを主成分とする樹脂膜であることがより好ましい。膜表面の細孔径についても特に限定されないが、0.001μm~1μmの範囲内で適宜選択することができる。本発明における被処理水としては、特に限定されるものではなく、河川水、湖沼水、地下水、工業用水、都市下水、工業廃水等のいずれの水でも構わなく、また、これらの水に凝集、沈殿、ろ過、吸着、生物処理等の処理を施した水でも構わない。実施例および比較例を実施するために公称分画分子量150kDaのポリフッ化ビニリデン製中空糸UF膜からなる加圧型膜モジュール東レ株式会社製HFU-2008を3本準備し、図1に示したフローの膜ろ過装置を用いて膜ろ過運転を行った。なお、実施例および比較例の実施には、濁度2~3NTUの表流水を原水として用いた。また、実施例および比較例では、1回/日の頻度で膜ろ過運転を一時的に停止させ、300mg/Lの次亜塩素酸ナトリウムを膜モジュールの2次側から供給し、膜モジュールの1次側および2次側が次亜塩素酸ナトリウムで満たされるまで供給を継続し、次亜塩素酸ナトリウムの供給を停止した後に、膜モジュールを20分間浸漬する薬品洗浄を実施した。<実施例1>1回/日の頻度で実施する次亜塩素酸ナトリウムによる薬品洗浄を実施した後に、膜モジュールの1次側の次亜塩素酸ナトリウムを膜モジュールの系外に排出し、被処理水を膜モジュールの1次側に供給し、膜ろ過を再開し、残留塩素濃度が0.1mg/L以下になるまでろ過水を薬品残留水槽に貯留した。その後、膜ろ過運転を継続することでろ過水をろ過水槽に貯留し、ろ過を30分継続させた後薬品残留水槽に貯留した次亜塩素酸ナトリウム含有水を用いて1分間逆洗を行った。その後、空洗を1分間行い、膜モジュール内から洗浄排水を排出した。さらにその後、被処理水を膜モジュールに供給して、再度、膜ろ過運転を開始した。その結果、運転開始から2ヶ月後の膜モジュールの透水性能は、初期値比63.8であった。また、そのときのろ過水の回収率は99.6であった。<実施例2>実施例1と同様に1回/日の頻度で実施する次亜塩素酸ナトリウムによる薬品洗浄を実施した後に、膜モジュールの1次側の次亜塩素酸ナトリウムを膜モジュールの系外に排出し、被処理水を膜モジュールの1次側に供給し、膜ろ過を再開し、残留塩素濃度が0.1mg/L以下になるまでろ過水を薬品残留水槽に貯留した。その後、膜ろ過運転を継続することでろ過水をろ過水槽に貯留し、ろ過を30分継続させた後ろ過水槽に貯留されたろ過水に薬品残留水槽に貯留された次亜塩素酸ナトリウム含有ろ過水を逆洗供給量の1/10の量となるよう供給したものを用いて1分間逆洗を行った。その後、空洗を1分間行い、膜モジュール内から洗浄排水を排出した。さらにその後、被処理水を膜モジュールに供給して、再度、膜ろ過運転を開始した。その結果、運転開始から2ヶ月後の膜モジュールの透水性能は、初期値比42.5であった。また、そのときのろ過水の回収率は96.4であった。<比較例1>1回/日の頻度で実施する次亜塩素酸ナトリウムによる薬品洗浄を実施した後に、膜モジュールの1次側の次亜塩素酸ナトリウムを膜モジュールの系外に排出し、ろ過水槽に貯留されたろ過水を膜モジュールの2次側から1次側に向けて圧送するリンス工程を実施し、リンス水の残留塩素濃度が0.1mg/Lになるまでリンス工程を継続した。その後、膜ろ過運転を再開し、ろ過を30分継続させた後ろ過水槽に貯留されたろ過水を用いて1分間逆洗を行った。その後、空洗を1分間行い、膜モジュール内から洗浄排水を排出した。さらにその後、被処理水を膜モジュールに供給して、再度、膜ろ過運転を開始した。その結果、運転開始から2ヶ月後の膜モジュールの透水性能は、初期値比23.7であった。また、そのときのろ過水の回収率は90.3であった。以上より、実施例1および2における運転開始2ヶ月後の膜モジュールの透水性能の初期値比およびろ過水の回収率は、いずれも比較例における運転開始2ヶ月後の膜モジュールの透水性能の初期値比およびろ過水の回収率よりも優れていることが示された。また、実施例の中でも薬品残留水をそのまま逆洗水に利用する実施例の方が、ろ過水利用の逆洗水に薬品残留水を添加する実施例よりも薬品洗浄頻度およびろ過水の回収率の両方で優れている。