バインダを含む成形品を収容する内部空間を有する炉と、前記炉の内部空間へマイクロ波を供給するマイクロ波発生手段と、前記成形品の温度を測定する温度測定手段と、前記バインダの液化後の前記成形体の温度上昇率が、前記バインダの液化前の前記成形体の温度上昇率より低くなるように、かつ、前記バインダの気化後は、前記バインダが気化を開始する気化開始温度に前記成形品の温度を保つように、前記マイクロ波発生手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とするマイクロ波脱脂装置。前記成形品の表面の反射度を検知する第1の反射センサと、前記成形品を加熱することにより生じる煙を検知する第1の煙センサと、を備え、前記成形品の表面の反射度が所定の閾値を越えた場合には、前記制御手段は、前記所定の閾値を越えた後の前記成形体の温度上昇率が、前記所定の閾値を越える前の前記成形体の温度上昇率より低くなるように前記マイクロ波発生手段を制御し、前記第1の煙センサにより検知される検知量が所定の閾値を越えた場合には、前記制御手段は、前記成形体の温度を前記所定の閾値を越えた時点の温度に保つように前記マイクロ波発生手段を制御することを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波脱脂装置。前記第1の煙センサとは異なる位置に配置され、前記炉の内部空間の基準検知量を検知するための第2の煙センサを備え、前記第2の煙センサにより検知される基準検知量と、前記第1の煙センサにより検知される検知量と、に基づき、前記バインダの気化の開始を識別することを特徴とする請求項2に記載のマイクロ波脱脂装置。前記第1の反射センサとは異なる位置に配置され、前記成形品の基準反射度を検知するための第2の反射センサを備え、前記第2の反射センサにより検知される基準反射度と、前記第1の反射センサにより検知される反射度と、を比較することにより、バインダの液化を識別することを特徴とする請求項2又は3に記載のマイクロ波脱脂装置。バインダを含む成形品を脱脂するためにマイクロ波を用いるマイクロ波脱脂方法であって、前記バインダの液化後の前記成形品の温度上昇率が、前記バインダの液化前の前記成形品の温度上昇率より低くなるように前記成形品を加熱する工程と、前記バインダの気化後は、前記バインダが気化を開始する気化開始温度に、前記成形品の温度を保つように加熱する工程と、を備えることを特徴とするマイクロ波脱脂方法。成形品の形状を保持するために必要なバインダとして、水やワックスなどいろいろな材料が用いられている。例えば、陶磁器などの成形品を成形する場合には、水、即ち、一種類のバインダだけが用いられる。また、粉末冶金により金属粉末から作製される成形品の場合は、摂氏数百度で行う仮焼結に至るまで成形品の形を維持するために、融点や沸点が異なる複数のバインダを用いている。しかしながら、従来の脱脂方法のように、マイクロ波を照射することによる成形品の表面の温度上昇に対応して、成形品の周囲に存在する脱脂ガスの温度を上昇させ、成形品の表面とその周囲の温度と一致させただけでは、成形品に亀裂や変形などが発生することを防止することが困難であった。本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、脱脂処理において成形品に亀裂や変形などが生じないマイクロ波脱脂装置及びマイクロ波脱脂方法を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、発明者等は、鋭意研究し以下のような知見を得た。即ち、固相⇒液相⇒気相又は固相から直接気相に相転移するバインダを含む成形品は、成形品の基材である粉末の粒子間の隙間に、バインダが満たされた状態で固化されている。脱脂工程でワークが加熱されると、バインダが液化することで生じる液化バインダ又は気化することで生じる気化バインダが、排出経路である相対的に狭い粒子間の隙間を通り外部へ出される。液化又は気化したバインダをすべてワークの外部へ出す前に、バインダの沸点又は昇華点における気化温度を越えてワークの温度を上昇させると、バインダの液化又は気化に伴う急激な圧力上昇や体積膨張によりワークに亀裂や変形等が発生していると考えられる。上記知見に基づき、本発明のマイクロ波脱脂装置の第1の態様は、バインダを含む成形品を収容する内部空間を有する炉と、前記炉の内部空間へマイクロ波を供給するマイクロ波発生手段と、前記成形品の温度を測定する温度測定手段と、前記バインダの液化後の前記成形体の温度上昇率が、前記バインダの液化前の前記成形体の温度上昇率より低くなるように、かつ、前記バインダの気化後は、前記バインダが気化を開始する気化開始温度に前記成形品の温度を保つように、前記マイクロ波発生手段を制御する制御手段と、を備える。さらに、本発明のマイクロ波脱脂装置の第2の態様によれば、マイクロ波脱脂装置の第1の態様であって、前記成形品の表面の反射度を検知する第1の反射センサと、前記成形品を加熱することにより生じる煙を検知する第1の煙センサと、を備え、前記成形品の表面の反射度が所定の閾値を越えた場合には、前記制御手段は、前記所定の閾値を越えた後の前記成形体の温度上昇率が、前記所定の閾値を越える前の前記成形体の温度上昇率より低くなるように前記マイクロ波発生手段を制御し、前記内部空間の検知量が所定の閾値を越えた場合には、前記制御手段は、前記成形体の温度を前記所定の閾値を越えた時点の温度に保つように前記マイクロ波発生手段を制御する。また、本発明のマイクロ波脱脂装置の第3の態様によれば、マイクロ波脱脂装置の第2の態様であって、前記第1の煙センサとは異なる位置に配置され、前記炉の内部空間の基準検知量を検知するための第2の煙センサを備え、前記第2の煙センサにより検知される基準検知量と、前記第1の煙センサにより検知される検知量と、に基づき、前記バインダの気化を識別する。さらに、本発明のマイクロ波脱脂装置の第4の態様によれば、マイクロ波脱脂装置の第2又は第3の態様であって、前記第1の反射センサとは異なる位置に配置され、前記成形品の基準反射度を検知するための第2の反射センサを備え、前記第2の反射センサにより検知される基準反射度と、前記第1の反射センサにより検知される反射度と、を比較することにより、バインダの液化を識別する。本発明のマイクロ波脱脂装置の第5の態様によれば、第1の態様のマイクロ波脱脂装置であって、前記成形品の表面の反射度を検知する第1の反射センサを備え、前記成形品の表面の反射度が所定の閾値を越えた場合には、前記制御手段は、前記所定の閾値を越えた後の前記成形体の温度上昇率が、前記所定の閾値を越える前の前記成形体の温度上昇率より低くなるように前記マイクロ波発生手段を制御する。本発明のマイクロ波脱脂装置の第6の態様によれば、第1の態様のマイクロ波脱脂装置であって、前記成形品を加熱することにより生じる煙を検知する第1の煙センサを備え、前記第1の煙センサにより検知される検知量が所定の閾値を越えた場合には、前記制御手段は、前記成形体の温度を前記所定の閾値を越えた時点の温度に保つように前記マイクロ波発生手段を制御する。さらに、上述した課題を解決し、目的を達成するために、バインダを含む成形品を脱脂するためにマイクロ波を用いる本発明のマイクロ波脱脂方法は、前記バインダの液化後の前記成形品の温度上昇率が、前記バインダの液化前の前記成形品の温度上昇率より低くなるように前記成形品を加熱する工程と、前記バインダの気化後は、前記バインダが気化を開始する気化開始温度に、前記成形品の温度を保つように加熱する工程と、を備える。なお、本明細書において、バインダの融点、沸点は、それぞれ、常圧約0.1MPaの下で昇温したときに、固体から液体へ転移する温度、液体から気体へ転移する温度を意味する。成形品を加熱し、バインダが固体から液体へ転移するのに必要な熱エネルギーが融解熱で、このときの温度が融点である。そして、液体のバインダが気体に転移するのに必要な熱エネルギーが気化熱である。なお、常圧以外の圧力条件においても、本発明の作用効果が得られることは言うまでもない。また、本明細書においてバインダの液化後とは、バインダの一部が融点に達し、その一部が液化を開始した時点以降を意味する。従って、バインダの液化前では、バインダ全体が固体状である。同様に、バインダの気化後とは、バインダの一部が沸点に達し、その一部が気化蒸発を開始した時点以降を意味する。従って、バインダの気化前では、バインダ全体が液体状昇華の場合には、固体状である。本発明にかかるマイクロ波脱脂装置及びマイクロ波脱脂方法は、成形品に用いられているバインダの液化後は、バインダの液化前よりワークの温度上昇率を下げてワークを加熱し、バインダが気化しているときには、成形品をその気化温度に保つように加熱することで、成形品に亀裂や変形が生じることなく短時間でバインダの脱脂することができる。以下に、本発明にかかるマイクロ波脱脂装置の実施形態及び実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態及び実施例によりこの発明が限定されるものではない。第1の実施形態図1は、第1の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置のブロック図である。マイクロ波脱脂装置1は、主として、バインダを有する成形品であるワーク3を収容するための炉である脱脂炉5と、脱脂炉5内へマイクロ波を供給するマイクロ波発生手段、すなわちマイクロ波発振器7と、炉5内へ脱脂ガスを供給する脱脂ガス供給手段、すなわち脱脂ガス供給源9と、ワーク3の温度を測定する第1の温度測定手段、すなわち放射温度計11と、バインダの気化が起きているときは、放射温度計11により測定されるワーク3の温度を、バインダの気化温度に保つようにマイクロ波発振器7を制御する制御手段である、制御部13と、を備える。以下に各構成要素について説明する。ワーク3は、粉末冶金成形のためにワックス系や樹脂系等のバインダを繋ぎとして混練りされた金属粉末や非金属粉末の混練物を、圧縮成形、押出成形、射出成形等により成形したものである。金属粉末としては、鉄、ニッケル、コバルト、銅、アルミニウム等やこれらの化合物を用いることができる。また、非金属粉末としては、炭化物、窒化物等の非金属の無機材料を用いることができる。脱脂炉5は、ステンレス鋼等などからなる箱形状の部材から構成され、ワーク3の脱脂処理をするためのほぼ密閉状態に保持できる内部空間5aを有している。なお、本実施形態及び後述の実施形態及び実施例において、ワーク3は、内部空間5aに載置される。また、マイクロ波発振器7は、導波管25により脱脂炉5へ連結され、マイクロ波は、導波管25を介して脱脂炉5内へ供給される。マイクロ波発振器7のマイクロ波発振デバイスには、大出力まで発振可能なマグネトロンを利用することができる。マグネトロンのマイクロ波出力は、平均陽極電流がマイクロ波出力に比例するので、平均陽極電流を測定することにより取得することができる。マイクロ波出力の制御は、陽極電圧の波高値や流通角を増減させることにより平均陽極電流を増減させることで行われる。脱脂炉5に設けられている攪拌器17は、脱脂炉5の内部でマイクロ波を攪拌するための回転羽根15と、回転羽根15を回転させるモータ16と、を有し、ワーク3の加熱ムラを抑制する効果を有する。また、脱脂ガス供給源9は、脱脂ガス供給管19により脱脂炉5に連結され、脱脂ガス供給源9から脱脂炉5内へ脱脂ガスを供給できるように構成されている。なお、図示されていないが、攪拌機17は、制御部13に電気的に連結され、攪拌機17の作動は、制御部13により制御される。脱脂ガスとしては、空気、酸素ガス、水素ガス湿潤水素ガスを含む。二酸化炭素ガス、窒素ガス、アルゴンガス等を使用できる。また、脱脂炉5の内部空間5aで、ワーク3の脱脂処理で発生するバインダの蒸気などを含有する脱脂ガスを外部に放出するための排風機21が、排気管23により連結されている。排風機21は、従来から知られているように、ロータを回転させて吸引する遠心式の構成とすることができる。また、脱脂ガスを排気する手段としては、真空ポンプやエジェクタを備える構成としてもよい。なお、排風機21を用いる代わりに、脱脂炉5の内部空間5a内に脱脂ガス等を送り込む送風機を脱脂ガス供給管19に設け、排気管23は単に大気と連通する構成としても良い。後述する他の実施形態の構成においても同様の変形が可能である。さらに、脱脂炉5には、ワーク3の表面温度を非接触に測定できるに放射温度計11が配置されている。また、マイコンやシーケンサ等から構成される制御部13は、マイクロ波発振器7、脱脂ガス供給源9、放射温度計11、及び排風機21それぞれに電気的に接続されており、各動作を司っている。さらに、制御部13には、記憶部例えば、RAMRandomAccessMemoryやROMReadOnlyMemory27が接続され、ワーク3のバインダの融点、沸点等のワーク3に関する情報、ワーク3の温度を温度プロファイル通りに最適制御するためのPID制御パターン及びマイクロ波出力に関する情報、温度プロファイル、ワーク温度と最大マイクロ波出力との関係、及びマイクロ波脱脂装置1の作動プログラムといったワーク3を脱脂する際の温度制御情報が記憶部37に格納される。上記構成のマイクロ波脱脂装置1において、使用者は、ワーク3に使用されているバインダの融点、沸点及び昇華点等の温度特性を入力部29を介し記憶部27に保存する。脱脂処理は、記憶部27に記憶されたバインダの温度特性を参照しつつ、放射温度計11により検出されたワーク3の表面温度に基づき制御部13によりマイクロ波発振器7を制御して行われる。マイクロ波発振器7から導波管25を介して脱脂炉5の内部空間5aに供給されたマイクロ波は、攪拌器17により攪拌され、ワーク3に吸収されワーク3を加熱する。ワーク3を、マイクロ波により加熱する際、ワーク3の表面温度は、放射温度計11により検出されており、温度上昇率すなわち、単位時間当たりのワーク3の表面3aの温度の上昇量が所定値になるように制御部13により制御されている。これは、以下の理由による。バインダが融点又はその近傍の温度に達すると、バインダは液化し始める。液化バインダは、ワークに含まれる金属粒子間の隙間により構成される経路を通り、ワーク3の表面3aに滲出する。液化バインダの容量が、経路の容積に比べ相対的に大きくなると、ワークの内圧が高まり、ワークの変形や割れなどが生じる恐れがある。そこで、液化バインダが、ワーク3の表面に確実に滲出できるように、温度上昇率を相対的に下げている。一方、バインダが、ワークの変形や割れが生じる恐れが少ない固体状である場合には、加熱時間を短縮化するために、温度上昇率を相対的に高くしている。このように、予め記憶部27に保存されているバインダの融点バインダの液化開始温度に、ワーク3の表面温度が達した時点以降は、バインダの融点に達する前のワークの温度上昇率より、下げるようにマイクロ発振器7が制御され、ワーク3が加熱される。もちろん、温度上昇率がマイナスになってしまうと、液化したバインダが再度固化する恐れがあるため、温度上昇率は、0以上にすることが好ましい。さらに、液体から気体又は固体から気体に相転移する気化温度にワーク3の表面温度が達した場合には、ワーク3を気化温度に維持するように、マイクロ波発振器7が制御され、ワーク3が加熱される。これは、ワーク3に含有されるバインダの量によっては、ワーク3の表面温度をバインダの沸点より高い温度に加熱すると、バインダの体積の急激な膨張により成形品に変形や、割れが生じる恐れがあるからである。そして、当該バインダの気化が完了すると、脱脂処理が終了する。なお、本実施形態及び後述の第2の実施形態及び実施例では、バインダが一つの場合について説明している。しかし、本発明は、複数のバインダを含むワークの脱脂処理を行うことも可能である。複数のバインダを含む場合には、気化温度の最も低いバインダから、順番に、すべてのバインダの脱脂処理を行う構成となる。第2の実施形態第2の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置201について、図2を参照しつつ説明する。図2は、第2の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置201のブロック図であり、図3は、図2に示される脱脂炉5に装着される反射センサ231及び煙センサ203の位置関係を示す模式平面図である。なお、図3は、脱脂炉5の上方から見た場合における反射センサ231及び煙センサ203の位置関係を説明するための図であるため、図2に示されるその他の構成要素は図面から割愛されている。第2の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置201は、第1の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置1に、バインダが気化することで生じる煙を検知する煙ガス検知手段、すなわち第1の煙ガスセンサ203と、ワーク3の表面に滲出する液状バインダを検知する液状バインダ検出手段、すなわち第1の反射センサ231と、を加えた構成である。なお、特に記載しないマイクロ波脱脂装置201の構成、作用、及び効果は、第1の実施形態のマイクロ波脱脂装置1と同じである。光電センサにより構成される第1の反射センサ231は、光を照射する発光素子と、発光素子から照射された光の反射光を受光する受光素子と、を有する。第1の反射センサ231に用いられる光電センサは、公知の構成であるので詳細は割愛する。第1の反射センサ231の発光素子から照射される光が、ワーク3で反射すると、ワーク3に対する入射角と等しい反射角で反射する正反射光と、入射光とは異なる反射角で拡散するように反射する拡散反射光と、が生じる。正反射光と拡散反射光との割合は、光が照射されるワーク3の表面3aの反射度によって異なる。ワーク3の表面3aの反射度が高いほどすなわち、ワーク3の表面3aに存在する液化バインダの量が多いほど、正反射光の割合が高くなり、ワーク3の表面3aの反射度が低いほどすなわち、ワークの表面に存在する液化バインダの量が少ないほど、正反射光の割合が低くなる。従って、受光素子の正反射光の受光量の閾値を設定し、当該閾値を越えた場合には、ワーク3の表面3aに液化バインダが滲出していることを識別する構成である。なお、本実施形態において、ワーク3の鉛直方向図2の上下方向の上面、すなわち表面3aに、照射する発光素子からの光を照射する構成である。光を照射するワーク3の部位は、適宜変更できることは言うまでもない。このような構成のマイクロ波脱脂装置201により、ワーク3の温度を上昇させると、第1のバインダの融点或いはその近傍の温度で、ワーク3の表面3aに液化したバインダが滲出し始める。このとき、ワーク3の表面3aのバインダにより、発光素子から照射された光の反射量が増大する。一方、予備実験により液化バインダがワーク3の表面3aに滲出するときの受光素子の出力値閾値を取得しておく。そして、反射センサ231の受光素子の出力がその閾値を越えた場合には、バインダの液化の開始を識別できる。このように、本実施形態では、バインダの融点に達したか否かは、液化バインダがワーク3の表面3aへ滲出したか否かにより識別され、ワーク3の温度上昇率を変更するタイミングを制御できる。従って、予備実験によりワークに含まれるバインダ固有の融点を取得することなく、ワーク3の加熱の制御を行う事も可能となる。第2の実施形態によれば、第1の実施形態に比べ脱脂処理を簡易に行うことができる。次に、第1の煙センサ203について説明する。光電式の第1の煙センサ203は、脱脂工程の際に、脱脂炉5内でワーク3に含まれるバインダに起因する煙ガスを検知するためのものであり、互いに隣り合うように配置される発光素子及び受光素子を有する検知部材203aと、光反射部材203bとを備える。互いに光軸方向に対向するように、検知部材203aと光反射部材203bとが脱脂炉5の側壁に装着されている。検知部材203aの発光素子から照射された光は、光反射部材203bで反射され、受光素子で受ける。第1の煙センサ203に用いられる光電センサは、公知の構成であるので詳細は割愛する。煙センサ203は、発光素子及び受光素子の間の光路上に感知すべき煙、塵埃が存在すると、受光素子で受ける光量が減少し検知量が閾値を越え、電気出力が減少することを利用して、煙、塵埃を感知する構成である。なお、発光素子と受光素子とをある角度を設けて設置し、発光素子からの光が煙、塵埃により散乱される散乱光を受光素子で検知して、煙、塵埃の存在を感知する光散乱方式の煙センサを用いることも可能である。さらに、検知部材203aに対向するように、光反射部材203bを配置し、発光素子と同軸に配置された受光素子で反射部材により反射された散乱光を受光する構成ではなく、発光素子と受光素子とを互いに対面する構成としても良い。上記構成のマイクロ波脱脂装置201では、煙センサ203によりバインダが沸点に達していることを感知できる。第1の実施形態においては、固体から気体へ昇華を開始する昇華開始温度や、液体から気体へ気化を開始する気化開始温度を予備実験で取得し、その情報を記憶部27に予め保存しておく。そして、気化温度にワークが達した場合には、その温度にワークを維持するように制御していた。しかし、本実施形態によれば、液体又は固体であるバインダが気化する気化温度を記憶部27に保存する必要がない。バインダの気化により生じる煙ガスを煙センサ203により検出し、検出時のワーク3の気化開始温度沸点を放射温度計11により測定する。そして、煙センサ203により、煙が検出されている間は、ワーク3の表面温度をその気化開始温度に維持するようにマイクロ波発振器7を制御部13により制御する。なお、制御部13は、反射センサ231及び煙センサ203が電気的に連結され、両センサの作動は、制御部13により制御されることは言うまでもない。第1の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置1に比べ、ワーク3に含まれるバインダが液化又は気化する際の液化温度又は気化温度を予め調べることが不要となり、脱脂処理の作業効率をより高めることができる。また、脱脂処理をするワーク間に個体差がある場合であっても、脱脂処理を正確かつ確実に行うことができる。変形例さらに、第2の実施形態の変形例について説明する。変形例は、第2の実施形態のマイクロ波脱脂装置201に、第2の煙センサ303図2に一点鎖線で示す及び第2の反射センサを加える構成である。第2の煙センサは、第1の煙センサ203と同じ構成であるが、配置される場所が異なる。第2の煙センサ303は、炉5の内壁5bであって、煙が比較的滞留しない部位に配置される。気化バインダに起因する煙は、内部空間5aの上部図2の紙面の上下方向上方に滞留する傾向がある。従って、第1の煙センサ203より図2の紙面の上下方向に関し下方又は図2の紙面の上下方向に関し同じ位置であって、図3の上下方向に関し第1の煙センサ203と離間する位置すなわち、ワーク3が煙センサ203の光路を通らない位置に配置する。もちろん、図3の上下方向に対向する脱脂炉5の壁面に配置することも可能である。第2の煙センサ303により内部空間5aに脱脂処理を行うべきワークを配置した状態で、検知量すなわち基準検知量を検出する。例えば、脱脂処理を行ったマイクロ波脱脂装置201の内部空間5aの雰囲気状態で、第2の煙センサ303により基準検知量を検出する。その後、ワークの脱脂処理工程において、第1の煙センサ203により検出される検知量と、第2の煙センサ303により検出される基準検知量との差分が、所定の閾値を越えた場合には、バインダの気化が開始したことを識別する。従って、脱脂炉5の内部空間5aの雰囲気の状態に拘わらず、バインダの気化開始温度を正確に識別できる。同様に、ワークの基準反射度を検出するための第2の反射センサを設けることも可能である。第2の反射センサは、その発光素子が、液化バインダの滲出する量が比較的少ない部位に向くように配置される。脱脂処理されるワークの個体差により反射度が異なる場合がある。その場合でも、液化バインダの存在しない又は存在がほとんど無い部位の反射度を第2の反射センサにより基準反射度として検出し、第1の反射センサにより検出される反射度と、基準反射度との差分が閾値を越えた場合には、バインダの液化が開始したことを識別する構成とすることができる。ワークの個体差に拘わらず、パインダの液化を正確に識別することができる。以下に、マイクロ波脱脂装置の実施例について図3、図4を参照しつつ説明する。実施例は、第2の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置201によりワーク3を脱脂処理する例である。図4は、実施例に係るワーク3を脱脂するためのマイクロ波照射実験を示すグラフである。図4のグラフの左側縦軸は、ワーク3の表面温度°C及び第1の反射センサ231の受光素子の受光量を示し、右側縦軸は、第1の煙センサー203を構成する受光素子の受光量を示し、横軸は、ワークの処理時間分を示す。グラフLは、第1の煙センサー203の受光量と処理時間との関係を示し、グラフSは、第1の反射センサー231の受光量と処理時間との関係を示し、グラフHは、ワーク3の表面温度°Cと処理時間分との関係を示し、Tは、煙の有無を識別するために用いる第1の煙センサ203の受光量の閾値4700を示し、Rは、滲みの有無を識別するために用いる第1の反射センサ231の受光量の閾値310を示す。上記閾値は、予め試験片を用いた予備試験により取得することができる。なお、図4のグラフに示す受光量は、第1の煙センサ203の発光素子からの光を遮断した場合の受光素子の受光量を0とし、第1の煙センサ203の発光素子から受光素子までの光路に障害物が無い場合の受光素子の受光量最大値を5000としたときの、第1の煙センサ203の受光素子が受ける受光量の相対値である。同様に、第1の反射センサ231の発光素子からの光を遮断した場合の受光素子の受光量200とし、第1の反射センサ231の発光素子から受光素子までの光路に障害物が無い場合の受光量最大値を4095としたときの、第1の反射センサ231の受光素子が受ける受光量の相対値である。従って、利用する煙センサー及び反射センサの種類や発光量が変わることにより、受光量の値が変わることはいうまでもない。本実施例では、バインダが液化しワーク表面に滲みが生じた場合の第1の反射センサ231の受光素子の受光量閾値を310とし、受光量が閾値未満の場合にはバインダの液化による滲みは生じていないとみなし、受光量が閾値以上の場合には、液化による滲みが生じているとみなしている。また、バインダが気化しガスが生じた場合の第1の煙センサ203の受光素子の受光量閾値を、4700とし、受光量が閾値より高い場合にはバインダの気化による煙は生じていないとみなし、閾値以下の場合には、気化による煙が生じているとみなしている。使用したワーク3は、SCM415JISG4053:2008を用いて作製されている。また、ワーク3は、円盤部材の円形面の一方に円柱形状の突起が設けられたボタン形状であり、円盤部材の直径は、直径が35mmであり、ワーク3の高さが15mm~18mmである。また、ワーク3は、SCM415と仮焼結の温度まで、ワークの形状を保つようにするため、3種類のバインダとを混練りし射出成形された成形品であり、バインダを、8.59重量パーセント含む。また、本実施例では、第2の実施形態に係るマイクロ波脱脂装置201を使用した。従って、マイクロ波脱脂装置の構成、作用、及び効果は、第2の実施形態のマイクロ波脱脂装置201と同じであるので、説明は割愛する。さらに、本実施例では、脱脂ガス供給源9から供給される窒素N2ガスを、流量2m3/hで脱脂炉5の内部空間5a内に供給し、気化バインダを排出している。図4に示されるとおり、ワーク3の最初の表面温度は、10°Cである。そして、ワーク3が、平均50°C/240秒の温度上昇率単位時間当たりの温度上昇量で昇温するように、ワーク3にマイクロ波を照射する。ワーク3の温度が上昇するとともに、第1の反射センサ231の受光素子による受光量が増加する。照射開始から約8分経過後に、第1の反射センサ231の受光素子の受光量が閾値である310に到達したことを制御部13が識別すると、制御部13は、その時に放射温度計11により測定される表面温度、すなわち80°Cに維持するようにマイクロ波発振器7を制御する。照射開始から62分経過後に、第1の反射センサ231の受光素子の受光量が再度閾値未満になると、ワーク3上に滲み出た液化バインダが無いことが、制御部13により識別され、マイクロ波発振器7により、ワーク3の表面3aの温度が、50°C/240秒の温度上昇率となるように制御される。62分から100分位までの間は、第1の反射センサ231の受光素子の受光量が閾値を越えたり、超えなかったりの変化を繰り返すので、閾値を超えた場合には、閾値を超えた時の温度にワーク3を維持し、閾値より下回っている場合には、所定の温度上昇率でワーク3を加熱する。なお、第1の反射センサ231の受光量が閾値を超えている100分から128分までは、ワーク3の温度上昇率が安定していないが、これは、放射温度計11の測定精度によるものと考えられる。実際は、100分から128分までの滲みが発生しない状態では、50°C/240秒の温度上昇率でワークが加熱されている。処理時間が約120分経過すると、、第1の煙センサ203の受光素子203bによる受光量が減少する。照射開始から約128分経過後に、第1の煙センサ203の受光素子203bの受光量が閾値である4700以下となった閾値を越えることを制御部13が識別すると、制御部13は、放射温度計11により測定される温度、すなわち液体から気体への気化温度である130°Cに維持するようにマイクロ波発振器7を制御する。そして、第1の煙センサ203の受光素子により測定される受光量が閾値4700より大きくなるまで、制御部13は、放射温度計11から得られる温度情報を参照しつつ、ワーク3を気化温度に維持する。図4のグラフに示されるように、加熱を開始してから約232分後に煙センサ203の受光素子の受光量が閾値以上となったことを制御部13が識別すると脱脂処理の完了、制御部13は、所定の温度上昇率となるようにマイクロ波発振器7を制御し、ワーク3を昇温させる。その後、放射温度計11により測定されたワーク3の温度が、所定温度例えば、仮焼結温度等に到達したことを、制御部13により識別されると、制御部13はマイクロ発振器7、脱脂ガス供給源9等を停止し仮焼結工程が終了する。このように、バインダの気化が生じている間、ワーク3をバインダの気化温度に維持することで、成形品に亀裂や変形が生じることなくバインダを脱脂することができる。なお、図4に示されるように、ワークの温度を気化温度に維持するように制御しているときであっても、ワーク3の実際の表面温度は、所定の温度幅±約10°C内で変化している。しかし、脱脂処理したワーク3に、亀裂や変形は生じなかった。また、同一のバインダにより成形されている複数のワークを脱脂処理する場合には、以下のように行うこともできる。最初のワークの温度特性についての情報例えば、図4に示す情報を取得するため、上述の通り、第1の煙センサーを用いて脱脂処理を行う。そして、取得した温度特性を記憶部27に格納し、格納された温度特性に従って、2つめ以降のワーク3を脱脂装置201内において脱脂処理することにより、成形品に亀裂や変形が生じることなくバインダを脱脂することができる。さらに、ワークにバインダが複数含まれている場合には、受光量が閾値以下である場合には、その気化温度に維持するように制御されることになる。さらに、上述した実施形態及び実施例のマイクロ波脱脂装置は、ワークを脱脂処理するために必要な加熱条件を検出することを目的としているため、脱脂炉5の内部空間5a内に静止状態でワークが載置され、加熱される構成であるが、本発明のマイクロ波脱脂装置は、この構成に限定されない。本発明のマイクロ波脱脂装置は、回転可能なターンテーブルを脱脂炉5内に備え、回転した状態のワーク3を加熱し脱脂処理する構成とすることもできる。このマイクロ波脱脂装置の場合には、回転するターンテーブル上に配置されているワークの温度や滲みを検出できるように、反射センサ及び反射温度計を、複数設ける構成とすることやワークの移動に同期させて回転させる構成とすることも可能である。なお、本実施形態及び本実施例では、固相から液相を経て気相にバインダを用いて説明しているが、固相から気相へ昇華するバインダの脱脂処理をできることは言うまでもない。この場合には、気化したバインダに起因する煙を検知し、煙が検知された温度にワークの温度に維持するように加熱する構成となる。第2の実施形態及び実施例では、反射センサ及び煙センサを備える構成のマイクロ波脱脂装置であるが、本発明のマイクロ波脱脂装置は、この構成に限定されず、反射センサ及び煙センサの一方を備える構成とすることも可能である。例えば、反射センサのみを備えるマイクロ波脱脂装置の場合には、第1の実施形態のように、気化温度煙センサのみを備えるマイクロ波脱脂装置の場合には液化温度を予備試験により取得しておき、気化温度煙センサのみを備えるマイクロ波脱脂装置の場合には液化温度に到達した場合には、気化開始温度にワークの温度を保つように煙センサのみを備えるマイクロ波脱脂装置の場合には、バインダの液化後のワークの温度上昇率がバインダの液化前のワークの温度上昇率より低くなるようにマイクロ波発生器を制御する。