半導体プロセスツールの操作ウィンドウを示したルールセットを選択する工程と、前記ルールセットのリミットチェックルールに対して、前記半導体プロセスレシピ内の工程によって定義されたパラメータ値をチェックして、第1結果を生成する工程と、前記ルールセットの工程定義ルールを用いて、前記半導体プロセスレシピ内の工程から工程タイプを決定して、第2結果を生成する工程と、前記ルールセットの工程遷移ルールに対して、工程タイプ間の遷移をチェックして、第3結果を生成する工程と、前記第1結果、前記第2結果、及び前記第3結果に基づいて、前記半導体プロセスツールで前記半導体プロセスレシピを使用するための検証データを、コンピュータを使用して生成する工程を含む半導体プロセスレシピの検証のコンピュータ実装方法。前記選択する工程は、前記半導体プロセスツール用の設定データを取得する工程と、前記設定データに基づいて、複数のルールセットから前記ルールセットを選択する工程を含む請求項1記載の方法。前記リミットチェックルールは、前記半導体プロセスツールの変数パラメータに制約を定義する請求項1記載の方法。前記工程定義ルールは、前記工程タイプの夫々に対して1セットの要件を定義する請求項1記載の方法。前記工程遷移ルールは、工程タイプ間で許可された遷移及び必要な遷移を定義する請求項1記載の方法。前記検証データは、前記ルールセットのうちの少なくとも1つのルール違反を表す少なくとも1つのエラーインジケータを含む請求項1記載の方法。前記少なくとも1つのエラーインジケータは、前記違反を未然に防ぐために、前記半導体プロセスレシピの少なくとも1つの修正を更に表す、又は前記方法は、前記少なくとも1つのエラーインジケータによって表された前記違反を未然に防ぐために、前記コンピュータを用いて前記半導体プロセスレシピを修正する工程を更に含む請求項6記載の方法。前記少なくとも1つのエラーインジケータによって表された前記違反を未然に防ぐために、前記コンピュータを用いて前記半導体プロセスレシピを修正する工程を含み、前記修正する工程は、前記半導体プロセスレシピの工程間に新たな工程を挿入する工程を含む請求項6記載の方法。グラフィカルユーザーインターフェイスGUIを使用して、前記コンピュータに結合されたディスプレイ上に、前記検証データを表示する工程を含む請求項1記載の方法。半導体プロセスレシピを検証するための装置であって、レシピチェッカーソフトウェアと、半導体プロセスツールのための操作ウィンドウを表す複数のルールを格納するように構成されたメモリと、前記メモリに結合され、前記レシピチェッカーソフトウェアが、半導体プロセスツールのための前記複数のルールセットから1つのルールセットを選択する工程と、前記ルールセットのリミットチェックルールに対して、前記半導体プロセスレシピ内の工程によって定義されたパラメータ値をチェックして、第1結果を生成する工程と、前記ルールセットの工程定義ルールを用いて、前記半導体プロセスレシピ内の工程から工程タイプを決定して、第2結果を生成する工程と、前記ルールセットの工程遷移ルールに対して、工程タイプ間の遷移をチェックして、第3結果を生成する工程と、前記第1結果、前記第2結果、及び前記第3結果に基づいて、前記半導体プロセスツールで前記半導体プロセスレシピを使用するための検証データを生成する工程を実行するように構成されたプロセッサと、オプションで、前記プロセッサに結合され、グラフィカルユーザーインターフェイスGUIを使用して、前記検証データを表示するように構成されたディスプレイを含む装置。前記メモリは、前記半導体プロセスツールの夫々に対して設定データを格納するように構成され、前記プロセッサは、前記半導体プロセスツール用の前記設定データに基づいて、前記複数のルールセットから前記ルールセットを選択するように構成される請求項10記載の装置。前記リミットチェックルールは、半導体プロセスツールの可変パラメータに対して制約を定義し、前記工程定義のルールは、前記工程タイプの夫々に対して1セットの要件を定義し、前記工程遷移ルールは、工程タイプ間で許可された遷移及び必要な遷移を定義する請求項10記載の装置。前記検証データは、前記ルールセットの少なくとも1つのルール違反を表す少なくとも1つのエラーインジケータを含む請求項10記載の装置。前記プロセッサは更に、前記少なくとも1つのエラーインジケータによって表された前記違反を未然に防ぐために、前記コンピュータを用いて前記半導体プロセスレシピを修正するように構成される請求項13記載の装置。プロセッサによって実行されると、請求項1~9のいずれか1項に記載されるような方法を含む半導体プロセスレシピの検証方法を、前記プロセッサに実行させる命令を内部に格納するコンピュータ可読媒体。