複数のマークが周期的に配置されたスケールと、前記マークの位置を検出する第1の位置検出センサ及び第2の位置検出センサと、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサのそれぞれからの出力信号を演算処理する処理部と、を有し、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサは、前記スケールに対し相対移動可能なように、相対移動方向に互いに距離Lだけ離れて配置されており、前記処理部は、前記距離L、前記複数のマークのうちK個のマークが前記第1の位置検出センサ又は前記第2の位置検出センサによる検出位置を通過するのに必要な第1の時間TPK、及び、該第1の時間TPKと同時に計測された、該複数のマークのうち特定のマークが該距離Lを移動するのに必要な第2の時間TLを用いて、該複数のマークのマークピッチPの補正値P’を算出することを特徴とする変位検出装置。前記処理部は、前記マークピッチPの補正値P’は、前記第2の時間TLの間の移動速度L/TLで前記第1の時間TPKの間に移動した距離TPKL/TLを1/K倍して前記マークピッチPの補正値P’を算出することを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。前記処理部は、所定のマークピッチPの通過時間TPを用いて、前記第1の時間TPKの間に移動した距離TPKL/TLをTP/TPK倍して前記マークピッチPの補正値P’を算出することを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。前記処理部は、第n番目のマークが前記第1の位置検出センサを通過してから第ni番目のマークが該第1の位置検出センサを通過するまでの時間TPiが前記時間TLに最も近いときのiを前記Kとすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記処理部は、前記Kが2mmは正の整数のとき、第nm番目のマークピッチPnm、又は、第nm-1番目のマークピッチPnm-1に前記補正値P’を適用することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記処理部は、前記Kが2mmは正の整数のとき、第n番目のマークから第n2m番目のマークが前記第1の位置検出センサを通過する時間TP2mがTP2m≦TLの関係を満たす場合には前記第nm番目のマークピッチPnmに前記補正値P’を適用し、TP2m>TLの関係を満たす場合には前記第nm-1番目のマークピッチPnm-1に前記補正値P’を適用することを特徴とする請求項5に記載の変位検出装置。前記処理部は、前記Kが2m1mは正の整数のとき、第nm番目のマークピッチPnmに前記補正値P’を適用することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記処理部は、前記Kが1又はL<Pのとき、第n番目のマークが前記第1の時間TPKK=1の間に移動した距離TPKL/TLK=1を算出して前記スケールの上の任意の位置の位置誤差を補正することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記スケールの上又は該スケールに隣接して配置された原点マークと、前記原点マークの位置を検出する原点検出センサと、を更に有し、前記処理部は、前記原点検出センサにより前記原点マークの位置が検出された後、前記第1の位置検出センサにより最初に検出されたマークのマークナンバnを1とし、その後連続して検出されるマーク順に該マークナンバnを1ずつ加算することにより、前記複数のマークの位置を特定することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記原点マークは、発光体、反射体、磁性体、又は、帯電体により構成されていることを特徴とする請求項9に記載の変位検出装置。前記変位検出装置は、絶対値エンコーダとして用いられ、前記処理部は、前記特定のマークを、前記絶対値エンコーダの絶対位置に対応させることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記変位検出装置は、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサと前記スケールとの相対移動を繰り返し往復動作させて誤差補正を行い、複数の補正結果の平均値を前記補正値P’として用いることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記第1の時間TPKは、前記K個のマークが前記第1の位置検出センサによる検出位置を通過するのに必要な時間であり、前記処理部は、前記距離L、前記K個のマークが前記第2の位置検出センサによる検出位置を通過するのに必要な第3の時間TPK2、及び、前記特定のマークが該距離Lを移動するのに必要な第4の時間TL2を用いて該複数のマークのマークピッチPの補正値P’’を算出し、前記補正値P’と該補正値Pとの平均値を該マークピッチPに適用することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記スケールは無端スケールであり、前記処理部は、前記無端スケールに配置された同一マークの通過回数に応じて、複数の誤差見積量の平均値を前記補正値P’として用いることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の変位検出装置。前記処理部は、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサの材料の熱膨張係数に基づいて該距離Lを補正して前記補正値P’を決定することを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の変位検出装置。複数のマークが周期的に配置された変位検出装置用スケールの誤差補正方法であって、前記変位検出装置用スケールに対し相対移動可能なように相対移動方向に互いに距離Lだけ離れて配置された第1の位置検出センサ及び第2の位置検出センサを用いて前記マークの位置を検出し、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサのそれぞれからの出力信号を演算処理し、前記距離L、前記複数のマークのうちK個のマークが前記第1の位置検出センサ又は前記第2の位置検出センサによる検出位置を通過するのに必要な第1の時間TPK、及び、該第1の時間TPKと同時に計測された、該複数のマークのうち特定のマークが該距離Lを移動するのに必要な第2の時間TLを用いて該複数のマークのマークピッチPの補正値P’を算出する、ことを特徴とする変位検出装置用スケールの誤差補正方法。しかしながら、特許文献1、2に開示された構成において、変位検出装置用スケールのマークピッチの累積位置誤差を較正するには、予め高精度な標準スケールを別途用意しておく必要がある。また、装置へ実装された状態でのスケールのマークピッチ誤差や累積位置誤差値を見積もるには、この装置に併設する形態で高精度な標準スケールを備えた変位検出装置を構成する必要がある。すなわち、標準スケールによる装置自体の補正が必要となる。特に、スケールを安価な薄膜素材で作成すると、スケールの直線性が維持できずにマークピッチ誤差が大きくなる。これは、スケールの実装過程によっては、スケールが可動方向に対して蛇行することや、張力の加減によって伸縮することなどに起因する。さらに、素材の熱容量によっては、環境温度変化に依存して伸縮するため、常にマークピッチが変動する場合もある。従って、一般的に、マークピッチ誤差を最小限に抑制可能な材質を使用してマークピッチが高精度に記録されたスケールを用いる必要がある。そこで本発明は、変位検出装置用スケールの累積位置誤差を低減する変位検出装置及び誤差補正方法を提供する。本発明の一側面としての変位検出装置は、複数のマークが周期的に配置されたスケールと、前記マークの位置を検出する第1の位置検出センサ及び第2の位置検出センサと、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサのそれぞれからの出力信号を演算処理する処理部とを有し、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサは、前記スケールに対し相対移動可能であるように、相対移動方向に互いに距離Lだけ離れて配置されており、前記処理部は、前記距離L、前記複数のマークのうちK個のマークが前記第1の位置検出センサ又は前記第2の位置検出センサによる検出位置を通過するのに必要な第1の時間TPK、及び、該第1の時間TPKと同時に計測された、該複数のマークのうち特定のマークが該距離Lを移動するのに必要な第2の時間TLを用いて該複数のマークのマークピッチPの補正値P’を算出する。本発明の他の側面としての変位検出装置用スケールの誤差補正方法は、複数のマークが周期的に配置された変位検出装置用スケールの誤差補正方法であって、前記変位検出装置用スケールに対し相対移動可能なように相対移動方向に互いに距離Lだけ離れて配置された第1の位置検出センサ及び第2の位置検出センサを用いて前記マークの位置を検出し、前記第1の位置検出センサ及び前記第2の位置検出センサのそれぞれからの出力信号を演算処理し、前記距離L、前記複数のマークのうちK個のマークが前記第1の位置検出センサ又は前記第2の位置検出センサによる検出位置を通過するのに必要な第1の時間TPK、及び、該第1の時間TPKと同時に計測された、該複数のマークのうち特定のマークが該距離Lを移動するのに必要な第2の時間TLを用いて該複数のマークのマークピッチPの補正値P’を算出する。本発明の他の目的及び特徴は、以下の実施例において説明される。本発明によれば、変位検出装置用スケールの累積位置誤差を低減する変位検出装置及び誤差補正方法を提供することができる。以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。まず、本発明の実施例における変位検出装置の概略について説明する。本実施例における変位検出装置は、複数のマークが周期的に配置された変位検出装置用スケールの誤差補正方法を実行可能に構成されている。図1は、本実施例における直線型変位検出装置100の概略構成図である。本実施例において、第1の位置検出センサ111、第2の位置検出センサ112、及び、原点検出センサ108は、全て光学式反射型センサである。第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112は、第1の発光素子101及び第2の発光素子103から光線を射出する。そして、対象となるマーク上での反射光を検出し、光電変換された信号を後述の信号処理部405により処理することで、マークの位置を検出することができる。ただし、本実施例における位置検出センサは光学式反射型センサに限定されるものではなく、静電容量式や磁気式、音波式等の他の検出方法に基づく位置検出センサを採用してもよい。また、それらの組み合わせでも構わない。直線型変位検出装置100において、スライダ109は直線案内機能付ステージ上を図1中の矢印方向に直線往復移動する。スライダ109の上には、長尺方向に始点105から終点106まで周期的に配置されたマーク110が記されたスケール115変位検出装置用スケールが貼付されている。マーク110は、光源からの光線を効率的に反射する反射域と非反射域とが交互に配置された構成要素である。マーク110に対して、第1の発光素子101から照射された光の反射光は、第1の受光素子102により光電変換され、第1の位置検出信号S1として出力される。第1の発光素子101及び第1の受光素子102により第1の位置検出センサ111が構成される。同様に、マーク110に対して第2の発光素子103から照射された光の反射光は、第2の受光素子104により光電変換され、第2の位置検出信号S2として出力される。第2の発光素子103及び第2の受光素子104により第2の位置検出センサ112が構成される。第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112は、不図示の機構により直線案内機能付ステージに固定される。一方、スライダ109は、可動部として、第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112に対して相対的に移動する。スライダ109の移動は、第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112により検出される。また、スライダ109の移動時間は、第1の位置検出信号S1及び第2の位置検出信号S2に基づいて、信号処理部405のエンコーダ処理部113と区間検出処理部114により算出される。本実施例では、図1に示されるように、マークピッチをP公称値、第1の位置検出センサ111と第2の位置検出センサ112との間の距離をLと定義する。第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112は、スケール115に対して相対移動可能なように、相対移動方向X方向に互いに距離Lだけ離れて配置されている。マークピッチP及び距離Lの値は、変位量を演算する際の参照値として、予め記憶部408に記憶されている。本実施例において、距離Lは、工具顕微鏡などによる測長計測機器で予め高精度に実測されているが、その測長手段は限定されるものではない。そして、距離Lを定義する直線が可動方向と平行になるように、第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112は直線型変位検出装置100の固定部に固定されている。図1に示されるように、マークの始点105の直前には別途基準位置を示す原点マーク107が配置されている。原点マーク107の位置は、原点検出センサ108により検出され、マーク110上の基準位置を特定できるように構成されている。また原点マーク107は、例えば、発光体、反射体、磁性体、又は、帯電体により構成されている。原点検出センサ108は、第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112と同様に、不図示の機構により、直線案内機能付ステージに固定されている。原点マーク107は、スケール115上に付されており、マーク110と同様に光学的に読み取り可能なマークである。ただし、原点マーク107を他のマーク110と区別するため、そのマークピッチを既知の変動パターンとして、原点検出センサ108で検出される信号パターンS0の形状から判断できるようにしている。なお、原点マーク107は、スケール115上ではなくその隣接位置に配置されていてもよい。マーク110は、基準位置に対して、始点105から終点106まで順番に1から番号を付与されて構成されている。また、原点検出センサ108が第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112と同じ検出原理のセンサである場合、原点検出センサ108の代わりに第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112を使用して原点を検出してもよい。次に、本実施例におけるスケール115の具体的構成について説明する。マーク110は、スケール115の基材となるポリエステル樹脂に、アルミニウム蒸着した薄膜をエッチング処理して加工されている。このような加工によりマーク110を形成したスケール115は、スライダ109に両面テープや接着材などで固定される。なお、マークの形成方法としては、レーザーを照射して、蒸着膜層を蒸発又は昇華させて形成する方法でもよい。次に、信号処理部405及び原点検出処理部404処理部について説明する。処理部は、第1の位置検出センサ111、第2の位置検出センサ112、及び、原点検出センサ108のそれぞれから光電変換された信号を2値化し、各センサの検出時刻を計測し、マークが各センサを通過する時刻差を演算する。まず、第1の位置検出センサ111は、2値信号である第1の位置検出信号S1を検出する。そして信号処理部405を構成するエンコーダ処理部113は、第1の位置検出信号S1のパルス周期Tnを演算する。また、第2の位置検出センサ112は、2値信号である第2の位置検出信号S2を検出する。そして信号処理部405を構成する区間検出処理部114は、第1の位置検出信号S1及び第2の位置検出信号S2に基づいて同一のマークを通過する時間TL第2の時間TLを演算する。時間TLは、複数のマークのうち特定のマークが距離Lを移動するのに必要な時間距離Lの通過時間である。また時間TLは、後述の時間TPKと同時に計測されることが好ましく、時間TLと時間TPKの計測時刻の少なくとも一部は重複している。原点検出センサ108は、原点マーク107を取得するための信号パターンS0を検出する。そして原点検出処理部404は、予め設定された原点マーク107のパターンと原点検出センサ108で検出された信号パターンS0とが一致した位置を基準として、第1の位置検出センサ111が検出した最初のマークから順番に1から番号を付与する。例えば、第1の位置検出センサ111と第2の位置検出センサ112との間の距離Lにマーク110がK本含まれるとすると、第2の位置検出センサ112は、処理部の指示に従い、第1の位置検出センサ111にマークK個分だけ遅れて順番に1から番号を付与する。なお、必ずしも原点検出センサ108が、原点マーク107を検出した直後に第1の位置検出センサ111が検出した先頭部のマークを1番から順に番号を付与する必要はない。先頭位置をどこに設定するかは、各位置検出センサの配置によって自由に変更可能である。また、第1の位置検出センサ111を原点検出センサ108の代わりに使用し、原点マーク107を検出後最初にとらえたマークを第1番目のマークとし、順次、全領域のマークを走査してもよい。次に、スケール115の実装精度によりマークピッチPが変動することについて説明する。図2は、その説明図であり、第1の位置検出センサ111と第2の位置検出センサ112の位置、距離L、スライダの進行方向、及び、マーク110の相対的な関係を示している。ここでは、スライダ109に対して蛇行して装着されたスケール115の様子が示されている。図2に示されるように、スライダ109上にスケール115を実装する過程によっては、スケール115がその可動方向に対して蛇行し、また張力の加減によっては伸縮し、マークピッチPが一様にならない場合がある。また、スライダ109の熱容量によっては、膨張のためにマークピッチPが変動する場合もある。従って、マーク110を用いたエンコーダシステムでは、このようなマークピッチ誤差が生じることを予め予測している。そして一般的には、マークピッチのプロファイルを利用してマークピッチの計測後にそれを補正するか、又は、マークピッチ誤差を最小限に抑制可能な材質のスケールに高精度にマークピッチを記録したものを用いている。一方、本実施例のエンコーダシステム変位検出装置では、前述したように、特に安価に作成可能な樹脂製のスケールを対象としている。そして、前述した実装過程でのマークピッチ誤差が大きくなる問題が発生しても、その誤差を直接計測して補正することで、位置累積誤差を軽減することができる。次に、本実施例における直線型変位検出装置100による補正処理について説明する。図3は、直線型変位検出装置100のブロック図である。原点検出センサ108は、前述のようにスケール上の基準位置である原点マーク107を検出するために設けられており、その出力信号は原点検出処理部404に入力される。また、第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112は、前述のように距離Lの通過時間を検出するために設けられており、それらの出力信号は信号処理部405に入力される。406は、信号処理部405の出力からマークピッチPの累積誤差を演算する累積誤差演算処理部である。408は、累積誤差演算処理部406の演算結果をマーク位置に対応させて記憶する記憶部である。407は、記憶部408から読み出された補正値を適用し、補正後の変位量を演算する変位量演算処理部である。原点検出処理部404、信号処理部405、累積誤差演算処理部406、変位量演算処理部407、及び、記憶部408により処理部409が構成される。処理部409は、第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112のそれぞれからの出力信号を演算処理する。次に、図4を参照して、本実施例の直線型変位検出装置100による補正処理動作について説明する。図4は、本実施例における変位検出装置用スケールの誤差補正方法変位量測定方法のフローチャートである。図4の各ステップは、直線型変位検出装置100の制御部不図示の指示に基づいて実行される。全体の補正処理の流れとしては、まず、マーク110のマークナンバnを決定するため、原点信号の検出を行う。次に、原点位置検出後から直ちに個々のマークのマークナンバnを決定する。すなわち処理部409は、原点検出センサ108により原点マーク107の位置が検出された後、第1の位置検出センサ111により最初に検出されたマークのマークナンバnを1とする。そして、その後連続して検出されるマーク順にマークナンバnを1ずつ加算することにより、複数のマークの位置を特定する。また処理部は、各マークのマークナンバn毎にマーク通過時刻計測データを付与し、マークナンバn毎に付与された時刻データから演算処理により最終的な補正値を決定する。各マークナンバの補正値P’は、記憶部408に記憶される。以下、図4のフローチャートに示される記号を用いて詳述する。まずステップS4-1において、直線型変位検出装置100の制御部は、変位量測定の際に誤差補正を行う否か、すなわち補正動作を開始するか否かを判定する。誤差補正を行わない場合にはステップS4-9に進む。一方、誤差補正を行う場合には、制御部は補正動作を開始し、原点検出を行う。すなわちステップS4-2において、制御部は原点つきあて処理を行い、スライダ109を機構付き当て原点等の機械的原点位置に移動する。続いてステップS4-3において、制御部は、原点マークを検出したか否かを判定する。具体的には、スライダ109は一方向への移動動作を開始し、原点マーク107が原点検出センサ108を通過するときの原点検出センサ108の出力信号を原点検出処理部404にて処理を行い、原点マーク107を検出して特定する。ステップS4-3において原点マークが検出されない場合には、ステップS4-2に戻る。一方、原点マークが検出された場合にはステップS4-4において、スケール上の各マークのナンバリングが行われる。具体的には、第1の位置検出センサ111が出力する出力信号を信号処理部405にて処理し、マークの通過時刻を検出する。ここで、信号処理部405は各位置検出センサにおいて光電変換された検出信号を所定閾値にて2値化し、2値化信号のエッジ信号を検出処理し、マーク通過時刻を検出処理する。このようなマーク通過時刻検出と共に、累積誤差演算処理部406は、通過した各マークにナンバリング処理を行う。また、累積誤差演算処理部406は、第2の位置検出センサ112で通過時刻を検出したマークに対して、同一マークが第1の位置検出センサ111にて通過した時刻を検出しナンバリングした番号と同じ番号になるようにナンバリング処理を行う。続いてステップS4-5において、累積誤差演算処理部406は、マークピッチPの補正値P’を演算する。具体的には、累積誤差演算処理部406では、信号処理部405にて検出された信号から、各マークの同一箇所に相当する検出信号上の時刻の検出を行い、前述したようにナンバリングしたマークに対応して検出時刻を記録する。この検出時刻の記録は、第1の位置検出センサ111及び第2の位置検出センサ112の検出信号のそれぞれに対して実施される。累積誤差演算処理部406で得られた各マークの検出時刻と、各マークにナンバリングされたマークナンバとから、各マークピッチPの補正値P’が演算される。この演算方法については、図5を参照して後述する。そしてステップS4-6において、累積誤差演算処理部406は補正値P’の割り付け処理を行い、補正値P’をいずれのマークピッチPに割り付けるかを決定する。これについては、図6を参照して後述する。続いてステップS4-7において、補正値P’を記憶部408に記憶する。決定されたマークピッチPと補正値P’は、マークナンバnに関連付けられて記憶部408に記憶される。そしてステップS4-8において、制御部は全てのマークピッチPの補正が完了したか否かを判定する。マークピッチPの一連の補正処理は、スケール上の全てのマークに対して適用しても、可動区間に限定して適用してもよい。適用されるマークピッチPの全ての補正処理が完了するまで、ステップS4-5~S4-8の各ステップは繰り返される。ステップS4-5~S4-8ではマークピッチ誤差の演算動作が行われ、これらの一連の動作ではスライダ109が等速移動するように速度制御が行われる。一方、適用される全てのマークピッチPの補正が完了した場合には、ステップS4-9に進み、通常の変位量演算モードに移行する。ステップS4-10、S4-11では、前述のステップS4-2、S4-3と同様に、原点つきあて処理及び原点マークの検出が行われる。ステップS4-11において原点マークが検出されない場合、ステップS4-10に戻る。一方、原点マークが検出された場合には、ステップS4-12において、変位量演算処理部407は変位量を実測する。またステップS4-13において、変位量演算処理部407は、記憶部408に記憶された補正値P’を読み出す。そしてステップS4-14において、変位量演算処理部407は、変位量の実測値に補正値P’を適用して累積変位量を演算する。すなわち、補正値P’を用いて最初のマークから順にマークピッチPを加算し、累積変位量を演算する。ステップS4-15において、制御部は変位量測定が終了したか否かを判定する。変位量測定が終了していない場合にはステップS4-12~S4-15を繰り返す。一方、変位量測定が終了した場合には変位量測定の処理を終了する。次に、累積誤差演算処理部406の誤差演算処理について詳述する。まず、本実施例における誤差演算処理の基本概念を簡単に説明する。一般に、物体の移動速度を求める場合、物体が距離Lだけ離れた2つの位置検出センサの間を通過する時間TLを計測し、この通過時間と2つの位置検出センサの距離Lから物体の移動速度を正確に求める区間速度検出方法が知られている。本実施例では、この区間速度検出方法における物体を、変位検出装置用スケールのマークに当てはめ、マークの移動速度、すなわち移動体の速度を求め、同時に、1つ又は複数のマークの通過時間を計測する。そして、これら移動体の速度と、1つ又は複数のマークの通過時間とから、計数した1つ又は複数のマークの累積した長さを算出する。本実施例の誤差演算処理は、この算出結果を利用して、マークピッチの誤差算出、又は、補正されたマークピッチ算出を行い、スケール長全域における累積位置誤差を低減することを基本概念としている。以下、上記概念に基づき、累積誤差演算処理部406の誤差演算処理である、補正マークピッチを算出する処理方法に関して、図5を参照して詳述する。まず、移動体の移動速度を正確に求めるために、第nのマークが第1の位置検出センサ111を通過する時刻Tnと第nのマークが第2の位置検出センサ112を通過する時刻TnTLとの時刻差時間TLを測定する。時間TLの間に移動した距離は距離Lであるから、このときの平均速度をVLとすると、VL=L/TLが成立する。同時に、時間TLの間に、第1の位置検出センサ111では第nのマークから第nKのマークまでのK1個のマークが通過した状態となる。ここで、マークピッチの公称値をPと定義し、第nのマークと第n1のマークとの間の距離を第nのマークピッチPnと定義する。ここで、第1の位置検出センサ111が第nのマークを検出してから第n1のマークを検出するまでの時間、すなわちマークピッチPnを検出する時間をTnとする。このとき、第nのマークを通過してから第nKのマークを通過するまでの時間TPK第1の時間TPKは、TnTn1TnK-1で表される。時間TPKは、複数のマークのうちのK個のマークが第1の位置検出センサ111による検出位置を通過するのに必要な時間である。K個のマークは、例えば距離Lの間に含まれるマークであるが、これに限定されるものではない。また、このときの平均速度移動速度をVpとすると、マークピッチPnからマークピッチPnK-1までの累積距離は、以下の式1のように表される。ここで、前述のように、このときの平均速度Vp移動速度はVp=VL=L/TLで表されるため、前記の式1は、以下の式2のように表される。さらに、前記の式2は、K個のマークピッチの累積値であるため、マーク1個当たりの平均ピッチは、以下の式3のように表される。上記の式3のように、マークピッチPの補正値P’は、時間TLの間の移動速度L/TLで時間TPKの間に移動した距離TPKL/TLを1/K倍して算出される。このため、ピッチ変動がある場合にも、距離Lとその区間を通過する時間TLとから、各平均ピッチを逐次演算することができる。ここで、距離Lと前記のK個のマークが通過した距離は厳密には一致しない。このため、実際の系で制御上速度変動が存在した場合に、平均速度Vp、VLは厳密には一致しない。しかしながら、本発明者のシミュレーション結果によれば、図7を参照して後述しているように、効果的に累積位置誤差を低減することが認められる。また本実施例において、マークピッチPの補正値P’は、所定のマークピッチPの通過時間TPを用いて、時間TPKの間に移動した距離TPKL/TLをTP/TPK倍して算出することもできる。なお本実施例では、第1の位置検出センサを用いてK個のマーク通過時間を検出しているが、第2の位置検出センサを用いて同様の検出が可能である。以上のとおり、位置検出センサ間の距離Lと同一のマークが位置検出センサ間を移動する時間TL、及び、K個のマークが位置検出センサを通過する時間TPKを用いた演算処理から、K個のマークピッチPの累積演算が可能である。したがって、ナンバリングされた各マークの各位置検出センサによる検出時刻から、位置検出センサ間の距離Lと同一のマークが位置検出センサ間を移動する時間TL、及び、同時刻にK個のマークが位置検出センサを通過する時間を演算できる。このため、処理部は、距離L、時間TPK、及び、時間TLを用いて、複数のマークのマークピッチPの補正値P’を算出することが可能である。この演算処理、すなわち前述の式3の演算処理は、累積誤差演算処理部406にて行われる。得られた演算結果は、ナンバリングされたマークに対応して記憶部408に記憶される。以上の処理を、移動動作に伴い検出されるマーク周期に対応し逐次処理を行い、スケール上のマークの始点から終点までの位置検出センサの任意の通過位置のマークピッチを全て記録する。以上、本実施例における補正処理動作及び補正処理に関して説明した。なお、実際に変位検出装置として用いる場合、図3の変位量演算処理部407において、変位検出装置のスライダ109が復帰し、再度の原点検出時に、第1番目のマークピッチから既に記憶されているマークピッチの補正値を、実際のマークピッチとして用いる。次に、マークピッチの補正値を適用するときに、いずれのマークピッチに対して補正値を適用するのかという割り当て方法に関し、図6A、Bを参照して説明する。図6は、マークピッチの補正値の割り付け方法の説明図である。一般的に、一定速制御された移動物体の所定区間通過時の速度は、移動物体が所定区間中心に位置するときの速度に対して区間内前後位置での速度が平均化され、所定区間の1/2の距離の遅延を持って検出される。したがって、式3で与えられる平均化されたマークピッチは、距離Lの中央位置に対応するマークピッチ、すなわち、PnとPnK-1の中心のマークピッチに割り当てることが、誤差を最小化する上で最も良い構成となる。図6A、Bを参照して、前述したマークピッチの補正値を適用するマーク位置の選定方法について説明する。理解を容易にするため、K=2mmは正の整数の場合には代表値K=6m=3を、K=2m1mは正の整数の場合には代表値K=7m=3を用いる。図6Aに示されるようにK=6の場合、距離Lがほぼ1つのマークピッチに相当する。このため、唯一のマークピッチが補正値の適用対象となる。ここで、LとKの関係を説明する。図5を参照して説明したように、距離Lを第n番目のマークが通過する時間TLの間に、第1の位置検出センサを通過する最終マークを第nK番目のマークとした。これは、マークピッチの累積値がPnPn1...PnK―1であり、これが図6に示されるように距離Lに近い場合がある。また、最終マークの次に位置する第nK1番目のマークまでの累積値PnPn1...PnKの方が、距離Lにより近い場合もある。例えば、時間TLの間に第n番目のマークから第nK番目のマークが第1の位置検出センサを通過したときを考える。このとき、PnからPnK-1までのマークピッチの総和と、PnからPnKまでのマークピッチの総和のうち距離Lに近い方が、マークピッチの累積値として選定されることが望ましい。しかしながら、実際には、PnからPnK-1は測定前には未知数であるため、距離Lの実測値と公称値であるマークピッチPとの関係において、距離Lに最も近い値となるK×Pの値からKを決定することが考えられる。例えば、第n番目のマークが第1の位置検出センサ111を通過してから第ni番目のマークが第1の位置検出センサ111を通過するまでの時間TPiが時間TLに最も近いときのiをKとする。また、距離Lに最も近い値となるK×P値から決定したKを使用して一旦補正処理を行い、得られた補正ピッチの平均値を用いて、再度、距離Lに最も近い値となるようにKを選定し、最終的な補正処理を行うことも考えられる。本実施例では、マークピッチPと距離Lとの関係により累積数Kを決定する方式を説明する。ただし、マークピッチPの変動が大きくゆらぐ場合などは累積精度に影響する可能性があるため、状況に応じて、適切な方式を選択することが好ましい。また、LとKP’の関係がリアルタイムで変わりうる場合には、累積数Kを予め固定するのではなく、常時、実測値Pnを連続K1個分取得し、距離Lに最も近い累積数Kをマークが通過する毎に決定してもよい。以下、図6を参照して、累積数Kが偶数である場合と奇数である場合の補正ピッチの割当に関して説明する。図6Aは、Kが偶数の場合K=2m=6を示す。nからn6までの7個のマークが第1の位置検出センサを通過し、PnからPn5までの6周期のマークピッチが検出された場合の累積平均値PnPn1Pn5/6を、中央のマークピッチであるPn2又はPn3の補正結果とする。この補正結果は、中央のマークピッチであるPn2又はPn3のいずれか一方に割り当てられる。Pn2又はPn3のいずれに割り当てるかは、距離Lと上記K×Pとの大小関係により判定することが望ましい。すなわち、L>K×Pの場合には、距離Lの中心により近いPn3に割り当て、L≦K×Pの場合には、距離Lの中心により近いPn2に割り当てる。これを一般化すると、累積数Kが2mmは正の整数のとき、第nm番目のマークピッチPnm、又は、第nm-1番目のマークピッチPnm-1に補正値P’を適用するということになる。より好ましくは、第n番目のマークから第n2m番目のマークが第1の位置検出センサ111を通過する時間TP2mがTP2m≦TLの関係を満たす場合、第nm番目のマークピッチPnmに補正値P’を適用する。一方、TP2m>TLの関係を満たす場合、第nm-1番目のマークピッチPnm-1に補正値P’を適用する。本実施例では、公称値であるマークピッチPを用いて判定しているが、マークピッチPにおいて一旦補正処理を行い、補正処理の結果から補正ピッチである補正値P’を算出し、補正値P’から上述の判定手法により、累積数K及び割当マーク位置を見直してもよい。図6Bは、Kが奇数の場合K=2m1=7を示す。nからn7までの8個のマークが第1の位置検出センサを通過し、PnからPn6までの7周期のマークピッチが検出された場合の累積平均値PnPn1Pn6/7を中央のマークピッチPn3の補正結果として割り当てる。これを一般化すると、累積数Kが2m1mは正の整数のとき、第nm番目のマークピッチPnmに補正値P’を適用するということになる。累積数Kが奇数の場合には、基本的に距離Lの中心に周期マークが来るため、特に偶数の場合のような対応は必要ない。このようにして、式3により、算出された補正値P’を中央のマークピッチに割り当てる。以上、本実施例におけるピッチ補正処理方法に説明した。続いて、上記の補正処理方法における累積位置補正のシミュレーションによる検証結果について説明する。シミュレーション条件として、L=10mm、P=100μm、K=100を想定し、各マークピッチに最大1μmの誤差が含まれる場合に200mm移動した場合に発生する累積位置誤差を算出した。また、補正処理動作時、移動速度200mm/sに対して、0.5mm/sの高周波変動をしているという条件とした。累積位置誤差は、連続する100本のマークピッチ累積値から100×Pの差分を演算し、これを第1番目のマークから累計したものである。図7Aは累積位置誤差を示し、図7Bは本実施例のピッチ補正処理を行って補正値を適用したことによる累積位置誤差の改善効果を示すグラフである。図7A、Bにおいて、横軸はマークナンバnn=1で100μm相当を示し、縦軸は原点検出後に第2000番目のマークが通過するまでの累積位置誤差μmを示している。このとき、速度変動は200mm/sに対して、0.5mm/sの高周波変動をしている。このシミュレーション結果により、マークピッチ誤差による変位量の累積誤差が本実施例の方法により半減していることがわかる。前述の式3から得られた累積マークピッチを平均化して得た補正値を単一のマークピッチPの補正値P’としているため、個々においては真のピッチ情報ではない。しかしながら、以下の式4のように表されるK個分の累積値は、実際の値より近い近似値になるため、長区間における変位量を比較すると、真値に近い値となる。また、2つの位置検出センサは、数十ミクロン程度のサイズの受光素子を隣接配置させることにより、技術的にLをPと同じにすることは可能である。すなわち、累積演算を行わないK=1ことで、前述のようにピッチ誤差を平均化しない構成を考えることができる。この場合、処理部409は、Kが1又はL<Pのとき、第n番目のマークが時間TPKK=1の間に移動した距離TPKL/TLK=1を算出してスケール115上の任意の位置の位置誤差を補正する。次に、図8を参照して、マークピッチ変動と速度変動が同時に存在する場合について説明する。図8は、マークピッチ変動と速度変動がある場合のマークピッチの誤差補正効果を示すグラフである。図8では、LとPの関係が、L=1.5P、L=10.5P、L=100.5Pである場合における累積誤差補正効果を比較している。ここで、LとPの関係を整数倍にしないのは、図6を参照して説明したように、一般的にはLがPの整数倍にならない現実に即したものであり、この場合にKの選定により誤差が生じることを考慮するためである。図8において、横軸は左から、L=1.5P、L=10.5P、L=100.5Pを示し、縦軸は補正前後での改善率補正後累積誤差残差/補正前累積誤差を示す。数値が小さい方がより補正効果があるといえる。図8において、実線Aは、速度200mm/sに対して2mm/sの振幅で2kHzの変動がある場合の結果を示す。破線Bは、速度200mm/sに対して10mm/sの振幅で200Hzの変動がある場合の結果を示す。点線Cは、速度200mm/sに対して0.5mm/sの振幅でホワイトノイズで高周波変動1MHzしている場合の結果を示す。ピッチ変動は、P=100μmに対して1μmの振幅であり、200mm区間で2周期の緩やかな正弦波変動である。その結果、変動パラメータによっては、距離Lに対しての良否判定結果が変わるため、ピッチ変動、速度変動等、変位検出装置の系の状態に応じて距離Lを設定することが望ましい。以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は上記実施例として記載された事項に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。例えば、補正処理時の等速速度制御における速度変動が非常に小さな計測系を前提にすれば、マークピッチを通過する時間に応じて誤差を配分し、加算平均よりも個々のマークピッチPnを真値に近づけることができる。また本実施例では、マークナンバnを定義するために原点検出センサ108とそれに付随する原点検出処理部404を用いたが、マーク110自体に絶対位置を特定するコードが関連付けられた絶対値エンコーダを用いてマークナンバnを定義する構成でもよい。このとき処理部409は、特定のマークを、絶対値エンコーダの絶対位置に対応させることができる。なお絶対値エンコーダを用いた場合、位置を特定するための原点マーク107、原点検出センサ108、原点検出処理部404は不要になる。また、本実施例において直線型変位検出装置100を参照したが、スライダ109を往復動作させ、各補正マークピッチを複数回計測しそれらの平均をとる手法で速度変動に起因する誤差を軽減することが可能となる。また、複写機やLBPの転写ベルトの周回運動のように、同一位置を繰り返し測定するエンコーダや周回運動する円盤状スケールのロータリエンコーダなど、繰り返し同じマーク110を通過する場合も同一マークピッチの複数の補正値の平均化で誤差を低減できる。さらに、ラインプリンタにみられるように、ヘッドの往復動作で、印刷状態と非印刷状態が2分されている場合に、安定速度で運動する方向で前記の補正データを蓄積し、逐次更新した補正データを適用し位置検出を行うことができる点でも誤差低減効果が期待できる。また、繰り返し動作がない場合でも、前述したように第1の位置検出センサで累積補正値を得るのと同様に第2の位置検出センサで累積補正値を得ることができるため、この平均化による誤差低減効果を図ることもできる。このとき処理部409は、距離L、K個のマークが第2の位置検出センサ112による検出位置を通過するのに必要な時間TPK2第3の時間TPK2、及び、特定のマークが距離Lを移動するのに必要な時間TL2第4の時間TL2を用いる。処理部409は、距離L、時間TPK2、及び、時間TL2を用いて複数のマークのマークピッチPの補正値P’’を算出し、補正値P’と補正値Pとの平均値をマークピッチPに適用する。また、異なる時刻での同一マークピッチの複数の補正値の平均化による誤差低減効果は、補正処理動作中に想定以上の速度変動が生じたために適切な誤差補正が行われない場合にも有効となる。また、マークピッチPを記憶する記憶部408は、各位置検出センサの信号処理装置上に配置される揮発性メモリ上にあっても、外部に接続されたPCのような外部記憶装置であってもよい。この記憶エリアは書き換えが自由にできて変位検出装置の環境が変化しても、常時、前述の補正処理方法により最新の補正値に更新することができるため、高精度変位検出装置を提供することが可能となる。また、熱膨張により位置検出センサの距離L自体の伸縮やスケールのマークピッチの伸縮が生じても、距離Lに寄与する熱膨張温度係数から区間の温度補正をすることも可能である。2つの位置検出センサが搭載された固定基板の線膨張係数熱膨張係数をCs/°Cとする。位置検出センサ区間Lは、初期温度T0でL0であり、計測時点の温度TSでL01CsTS-T0になる。これを、式3に適用することで、位置検出センサ区間Lの温度依存を考慮した真のマークピッチP’が補正処理により得られる。また、本実施例のスケールは無端変位検出装置用スケール無端スケールでもよい。このとき処理部は、無端変位検出装置用スケールに配置された同一マークの通過回数に応じて、複数の誤差見積量の平均値をマークピッチの補正量として用いることができる。また、各位置検出センサや隣接部品が、熱膨張する材質のために伸縮して距離Lが変動することにより、補正値P’の精度が低下する場合がある。このため、距離Lに寄与する各位置検出センサや隣接部品の材質の熱膨張率係数を、距離Lに対して温度差分だけ加算し補正することにより、補正値P’の温度依存の誤差残差を低減させることが望ましい。このとき処理部は、第1の位置検出センサ、第2の位置検出センサ、又は隣接部品の材料の熱膨張係数に基づいて距離Lを補正して補正値P’を決定することができる。本実施例によれば、スケールの加工精度や実装精度による誤差因子や、温度、湿度等の環境変化に伴うスケール材の伸縮による誤差因子の蓄積から生じる、変位量の累積誤差を、予め実測された2つの位置検出センサの距離Lから見積もることが可能になる。このため、マークピッチ精度が高精度である理想的な評価系を構築する必要がなく、実施系システム上で、直接エンコーダの累積誤差値を距離Lを基準として計測することができる。また、熱膨張により距離L自体の伸縮やスケールのマークピッチの伸縮が生じても、距離Lに寄与する熱膨張温度係数から区間の温度補正をすることができる。このため、安価で高精度の変位検出装置及び変位検出装置用スケールの誤差補正方法を提供することができる。