"透光性ガラス基板上に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を積層した太陽電池活性部を有する太陽電池モジュールの製造方法において、前記太陽電池活性部の周辺部の透明電極、光電変換層、裏面電極を機械的研磨で除去する工程と、機械的研磨で除去する部分より太陽電池活性部側に隣接した光電変換層、裏面電極層を光ビームにより除去する工程とを有することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。光ビームによる除去が、矩形の前記太陽電池活性部に対し少なくともこの太陽電池活性部を分割するセル分割線と直交する該太陽電池活性部の対向する2辺について行なわれることを特徴とする請求項1記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記機械的研磨にブラストを用いるとともに、この際、前記透明性ガラス基板外周側に向けて噴射するようブラストノズルを傾けて加工することを特徴とする請求項1または2記載の太陽電池モジュールの製造方法。光電変換層と裏面電極を除去する光ビームを、円形を前記太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて伸張した形状の楕円形とすることを特徴とする請求項1から3のいずれか記載の太陽電池モジュールの製造方法。透光性ガラス基板上に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を積層した太陽電池活性部を有する太陽電池であって、該太陽電池活性部の周辺部には前記透明電極が延設され、該透明電極の表面状態が、前記太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて粗さを付与されている2つの領域を有することを特徴とする太陽電池モジュール。しかしながら、光ビームによる絶縁分離線は100μm程度と幅が狭く、太陽電池活性部と周辺部間での高い絶縁性を得ることが困難であった。絶縁性が不十分な場合においては、セル間でのリーク電流が生じ、モジュール出力特性の低下が生じる問題がある。絶縁分離線を用いずに、太陽電池活性部以外の膜を光ビームにより取り除く方法も公知である。しかしながら、光ビームにより膜除去を行った箇所は平滑であり、周辺部に充填する充填剤との接着強度を得ることが難しく、密着性が低下して長期信頼性に問題が生じる場合があった。本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。1.太陽電池活性部と周辺部間での高い絶縁性を得ること。2.周辺部と充填剤との充分な接着強度密着性を得ること。3.長期信頼性に優れたモジュールを製造可能とすること。4.作業時間を短縮し、製造コストの削減を図ること。本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、透光性ガラス基板上に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を積層した太陽電池活性部を有する太陽電池モジュールの製造方法において、前記太陽電池活性部の周辺部の透明電極、光電変換層、裏面電極を機械的研磨で除去する工程と、機械的研磨で除去する部分より太陽電池活性部側に隣接した光電変換層、裏面電極層を光ビームにより除去する工程とを有することにより上記課題を解決した。本発明において、光ビームによる除去が、矩形の前記太陽電池活性部に対し少なくともこの太陽電池活性部を分割するセル分割線と直交する該太陽電池活性部の対向する2辺について行なわれることがより好ましい。本発明において、前記機械的研磨にブラストを用いるとともに、この際、前記透明性ガラス基板外周側に向けて噴射するようブラストノズルを傾けて加工することがより好ましい。本発明において、光電変換層と裏面電極を除去する光ビームを、円形を前記太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて伸張した形状の楕円形とすることがより好ましい。本発明の太陽電池モジュールは、透光性ガラス基板上に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を積層した太陽電池活性部を有する太陽電池であって、該太陽電池活性部の周辺部には前記透明電極が延設され、該透明電極の表面状態が、前記太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて粗さを付与されている2つの領域を有することにより上記課題を解決した。本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、透光性ガラス基板上に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を積層した太陽電池活性部を有する太陽電池モジュールの製造方法において、前記太陽電池活性部の周辺部の透明電極、光電変換層、裏面電極を機械的研磨で除去する工程と、機械的研磨で除去する部分より太陽電池活性部側に隣接した光電変換層、裏面電極層を光ビームにより除去する工程とを有することにより、前記周辺部における平坦な透明電極の表面状態が、前記太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて粗さを付与されている2つの領域を有するようにできる。これにより、より外周側の粗さが粗い領域を設けることができるので、透明性ガラス基板の表面が粗い部分とともに、該周辺部に充填する充填剤との密着性を向上することが可能となる。これにより、従来に比べて周辺部の幅寸法を減少し、その分、太陽電池活性部の面積を拡大することができるため、密閉性を維持した状態で、発電効率の向上をも図ることが可能となる。ここで、光ビーム処理と機械的研磨処理との順番はどちらが先でもかまわない。本発明において、光ビームによる除去が、矩形の前記太陽電池活性部に対し少なくともこの太陽電池活性部を分割するセル分割線と直交する該太陽電池活性部の対向する2辺について行なわれることで、充分であり、他の2辺については、機械的研磨での除去のみでよい。これにより製造時間の短縮とコストの削減を図ることができる。本発明において、前記機械的研磨にブラストを用いるとともに、この際、前記透明性ガラス基板外周側に向けて噴射するようブラストノズルを傾けて加工することにより、ブラストが、反射して、太陽電池活性部が傷つくあるいは汚れてしまうことを防止できる。具体的には、ブラストノズルを10°以上85°未満に傾けることができる。本発明において、光電変換層と裏面電極を除去する光ビームを、円形を前記太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて伸張した形状の楕円形とすることで、周辺部の幅方向にビーム径を拡大することで、幅方向にビームを照射する回数を低減して、加工時間を減少することが可能となる。同時に、ビームの長手方向ではエネルギーの収束度が低いため、必要な加工をおこなうとともに、太陽電池活性部に対する好ましくないダメージの発生を低減することが可能となる。具体的には、ビームの長径と短径の比率を1.5以上とし、セル分割線と長径がなす角が±45°以内とすることができる。このような光ビームの楕円照射により、ブラストダメージ領域の除去を短時間で行え、処理時間の短縮を図ることができる。本発明の太陽電池モジュールは、上述した製造方法により、透光性ガラス基板上に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を積層した太陽電池活性部を有する太陽電池であって、該太陽電池活性部の周辺部には前記透明電極が延設され、該透明電極の表面状態が、前記太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて大きくなる粗さを付与されている2つの領域を有することができるので、周辺部に充填する充填剤との密着性を向上することが可能となり、従来に比べて周辺部の幅寸法を減少し、その分、太陽電池活性部の面積を拡大することができるため、密閉性を維持した状態で、発電効率の向上をも図ることが可能となる。ここで、透明電極が、太陽電池活性部から前記透明性ガラス基板外周側に向けて大きくなる粗さを付与されている2つの領域を有するとは、周辺部のうち、太陽電池活性部に接して透明電極が延在し、しかも透明電極の表面が、太陽電池活性部側と透明性ガラス基板外周側との2つの領域に分けられて、太陽電池活性部側の領域に比べて外側の領域の表面粗さが粗く設定されているものである。具体的には、太陽電池活性部側の領域は、光ビームによって表面処理されて粗さが小さい領域であり、外側の領域は、ブラストによって処理され粗い領域とされてなる。なお、外側の領域は、光ビーム処理とブラスト処理との順番によって、透明電極の端面外側側面のみ、あるいは、端面とこれに連続する表面の一部をなることができる。本発明によれば、ブラストの斜め噴射により、光ビームでの除去が必要なブラストダメージ領域の幅を狭めることができ、これにより、透明性ガラス基板および透明電極表面において粗さを増して周辺部に充填する充填剤との密着性を向上することが可能となるとともに、従来に比べて周辺部の幅寸法を減少し、その分、太陽電池活性部の面積を拡大することができるため、密閉性を維持した状態で、発電効率の向上をも図ることが可能となる、絶縁分離線を用いない構造であるためセル間でのリーク電流が少なく、機械的研磨で周辺を除去するため、アンカー効果により充填剤と透明性ガラス基板との接着力が高まり長期信頼性に優れたモジュールを作製できるという効果を奏することができる。以下、本発明に係る太陽電池モジュール及びその製造方法の一実施形態を、図面に基づいて説明する。図1は、本実施形態における太陽電池モジュールを示す平面図であり、図2は、本実施形態における太陽電池モジュールを示す拡大断面図であり、図において、符号10は、太陽電池モジュールである。本実施形態において、太陽電池モジュール10は、図1、図2に示すように、透光性ガラス基板1の一主面上に形成された透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6の少なくとも一部をセル分割線3によって複数のセルに分離し相互に電気的に集積化した略矩形の太陽電池活性部11と、太陽電池活性部11の透光性ガラス基板1の外側となる周辺部12と、を有し、少なくともこの周辺部12を封止する充填材8と、カバーフィルム9とを備える。なお、カバーフィルム9の代替としてカバーガラスを用いることもできる。周辺部12は、その外周側で透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6がいずれも除去された除去領域12aと、除去領域12aの内側で透明電極層2のみが残る透明電極粗領域12bと、透明電極滑領域12cとからなる。除去領域12aに隣接する透明電極粗領域12bと、太陽電池活性部11に隣接する透明電極滑領域12cとは、その表面粗さが異なるように設定されており、透明電極粗領域12bは、ブラスト処理による粗れた状態、透明電極滑領域12cは光ビーム処理による滑らかな状態とされている。透明電極粗領域12bと、透明電極滑領域12cとは、セル分割線3と直交する太陽電池活性部11の2辺にのみ設けられる。太陽電池モジュール10において透光性ガラス基板1には青板ガラス、白板ガラス、硼ケイ酸ガラスなどの薄膜太陽電池モジュールに一般に用いられているものが用いられる。ナトリウム等の半導体に影響がある不純物が含まれる青板ガラスや白板ガラス等のガラスを使用するときはこれらの不純物の拡散を防止するために酸化ケイ素SiO2等のアルカリバリア層を形成したり、透明電極層の光散乱を助長するためにシリカビーズなどの下地層を設けることができる。透明電極層としては、酸化錫SnO2、酸化亜鉛ZnO、ITO、フッ素をドープした酸化スズFTO等を用いることができる。光半導体層としては、シリコンを主成分とする層、例えばp型a-SiC:H層、i型a-Si:H層、およびn型微結晶Si:H層の積層構造を用いることが出来る。また、光半導体層としては、近年においては、i型微結晶Si層を発電層とした太陽電池に用いられる光半導体層、あるいはa-Siと微結晶Siの太陽電池を積層したタンデム太陽電池に用いられる光半導体層、更には、CIS,CdTe、CIGS等の化合物半導体などの光半導体層が開発されており、これらを用いた薄膜太陽電池についても本発明を利用することができる。裏面電極層金属層6としては、Ag、Al、Cr、Tiおよびこれらと金属酸化物との積層体等を用いることが出来る。金属酸化物としては酸化亜鉛ZnOなどが有力であるがこれらに限定されるものではない。これらの層は、レーザースクライブ等の方法により加工され、周知の構造で、集積化される。上記、透明電極層、光半導体層、金属層、集積化された太陽電池セル群の両端には電極取り出し用の配線を形成するための領域があり、好ましくは、半田メッキ銅箔が特殊半田にて接続される。以下、本実施形態に係る太陽電池モジュールの製造方法を説明する。図3は、本実施形態における太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図、図4は、本実施形態における太陽電池モジュールの製造方法を示す拡大平面図である。本実施形態の太陽電池モジュールの製造方法は、図3aに示すように、少なくとも太陽電池活性部11を覆うように、透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6を透光性ガラス基板1に積層してセル分割線3によって複数のセルに分離する。次いで、セル分割線3と直交する太陽電池活性部11の2辺において、図3bに示すように、少なくとも透明電極滑領域12cに相当する部分と、その外側までの領域で、光半導体層4および裏面電極層6を光ビーム21により除去する。ここで、光ビーム21は、QスイッチYAGレーザーを、例えばφ100μm程度で、ビームの長径と短径の比率を1.5以上となる楕円形として照射され、この光ビーム21を、図4aに示すように、矢印方向に一部重なるように略連続的に複数照射することにより、除去加工が可能である。この場合、加工した面、特に、透明電極滑領域12cと、透明電極粗領域12b一部分の領域で鏡面状の加工が可能である。光ビーム21のスポットは、また、図4bに示すように、セル分割線3と光ビーム21の楕円の長径がなす角θ2が±45°以内とすることができる。さらに、隣り合うビーム21の列において、ビーム21aとビーム21bとを同じ方向に傾けることや、あるいは、逆向きに傾けることもできる。次いで、透明電極滑領域12cの外側の領域を、機械的研磨、具体的には、ブラストによって除去領域12aの透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6と、透明電極粗領域12bの光半導体層4および裏面電極層6とを除去する。周辺部12aおよび透明電極粗領域12bは、ブラストノズル20から微粒子であるブラスト20aを吹き付けるブラスト処理にて行われる。微粒子20aの材料は、ガラスビーズやアルミナセラミック等があり、粒径も各種存在し、所定の加工度合に合せて適宜選択できる。この場合の加工面は磨りガラス状となり、処理表面に微細な凹凸が形成される。また、サンドブラストは、図3cに示すように、ブラストノズル20の噴射方向が透光性ガラス基板1の外側を向くように、ブラストノズル20の噴射方向と透光性ガラス基板1の法線方向とが為す角θ1が10°以上85°未満となるように傾けてブラスト20aを噴出する。これにより、対象に衝突したブラストが跳ね返って、太陽電池活性部11側に再度衝突することを防止できる。従って、透明電極滑領域12cおよび太陽電池活性部11の表面が傷つくことを防止できる。同時に、ブラストノズル20を傾斜することによって、ブラストによって面荒れを生じる透明電極粗領域12bの幅寸法を小さくすることができ、これにより、IEC規格上で定められた絶縁距離に対応する領域となる周辺部12を確保しつつ、この周辺部12に隣接して表面荒れした部分である透明電極粗領域12bを狭めることが可能となるため、太陽電池活性部11の面積を拡大することができる。また、周縁露出部の幅は、適宜設計でなされるものであるが、太陽電池の安全規格であるIEC61730に適合させる場合では600V仕様の太陽電池モジュールで6.4mm幅以上が必要である。しかし、有効に働くためには、少なくとも絶縁の観点からは0.5mm以上の幅が必要である0.5mm以上の幅が有れば良いが、工業規格の他、透光性ガラス基板に対する太陽電池セルの出力に必要な面積の割合、電気化学的腐食を防止するために必要な距離等を各種考慮して適宜選択することが可能である。この後は、従来からの封止技術を利用することが可能である。封止に用いる封止充填材として例えば、エチレン酢酸ビニル共重合体EVAを用いることができる。さらにその上にカバーフィルムとして、例えばAl箔の両面をPVF商品名:テドラー登録商標フィルムでサンドイッチしたものを積層し、これらを真空ラミネート法で溶融密着硬化してモジュールのラミネート部を製造することもできる。ラミネート部に端子箱を取付け、ラミネートの端部にブチルゴムを塗布し、EPDMなどのガスケットを嵌め込んで、アルミフレームを取り付けて薄膜太陽電池モジュールを完成することができる。本実施形態の太陽電池モジュール及びその製造方法によれば、ブラスト20aの斜め噴射により、光ビーム21での除去が必要なブラストダメージ領域の幅を狭めることができ、これにより、透明性ガラス基板1の除去領域12aおよび透明電極層2表面の透明電極粗領域12bにおいて粗さを増して周辺部12に充填する充填剤8との密着性を向上することが可能となるとともに、従来に比べて周辺部12の幅寸法を減少し、同一の大きさとされる透明性ガラス基板1に対して、太陽電池活性部11の面積を拡大することができるため、密閉性を維持した状態で、発電効率の向上をも図ることが可能となる。また、本実施形態の太陽電池モジュール10は、従来のように絶縁分離線を用いてはいない構造であるためセル間でのリーク電流が少ない。さらに、機械的研磨で周辺部12aを除去するため、アンカー効果により充填剤8と透明性ガラス基板1との接着力が高まり長期信頼性に優れたモジュールを作製できるという効果を奏することができる。以下、本発明に係る太陽電池モジュール及びその製造方法の他の実施形態を、図面に基づいて説明する。図5は、本実施形態における太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。本実施形態で上述した実施形態と異なるのは、機械的研磨処理と光ビーム処理との工程順のみであるので、対応する構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態では、図5aに示すように、透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6を透光性ガラス基板1に積層した後、図5bに示すように、除去領域12aに対応する部分において、ブラストによって除去領域12aの透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6を除去する。この際、上述した実施形態と同様に、ブラストノズル20はθ1だけ外向きに噴射するよう傾斜させる。これにより、除去領域12aの透光性ガラス基板1表面および、透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6の積層体の端面が粗い面となる。次いで、セル分割線3と直交する太陽電池活性部11の2辺において、図5cに示すように、少なくとも透明電極滑領域12cに相当する部分で、光半導体層4および裏面電極層6を光ビーム21により除去する。ここで、光ビーム21により光半導体層4および裏面電極層6を除去した部分が透明電極滑領域12cとなる。また、透明電極粗領域12bは、除去領域12aに接する透明電極層2の端面側面のみとなる。本実施形態によれば、ブラスト処理後に光ビーム処理をおこなっているので、ブラスト処理で微少な傷の付いた太陽電池活性部11を除去することができるので、ブラスト処理後に、微少な傷の付いた太陽電池活性部11を除去する処理をおこなう必要がない。同時に、ブラストノズル20を傾斜することによって、周辺部12に隣接する内側部分において、ブラストによって表面面荒れを生じる部分の幅寸法を小さくすることができ、これにより、除去することになる透明電極滑領域12cに対応する部分の幅寸法を小さくして、IEC規格上で定められた絶縁距離に対応する領域となる周辺部12を確保しつつ、この周辺部12に隣接する除去部分に対応した透明電極滑領域12cを狭めることが可能となるため、結果的に、太陽電池活性部11の面積を拡大することができる。本発明に係る実施例を説明する。まず、透明性ガラス基板1にFTOからなる厚さ0.8μmとされる透明電極層2を形成し、セル分割線3に沿って光ビームにより絶縁分離する。次いで、CVD処理によって、厚さ0.3μmとされる光半導体層光電変換層4を形成、セル分割線3に沿って光ビームによって分離する。スパッタにより厚さ0.1μmの酸化亜鉛と厚さ0.2μmのAgとの積層からなる裏面電極層6を形成後、光ビームにより、光半導体層4および裏面電極層6を除去し、セル分割線3に沿って裏面電極を分離する。セル分割線3と直交する太陽電池活性部11の2辺において、図3bに示すように、透明性ガラス基板1端から9.8~11mmの領域における光半導体層4および裏面電極層6を光ビームにより除去する。光ビーム21は図4aに示すように、長軸がセル分割線3と略平行となるようにされた楕円計上とされる。これにより、幅1.2mmの光半導体層4および裏面電極層6を少ないビーム照射回数加工時間で処理をおこなうことができる。次いで、透明性ガラス基板1端から10mmまでの領域において、図3cに示すように、ブラストノズル20をθ1=50°として傾けてブラスト処理をおこない、透明電極層2、光半導体層4および裏面電極層6を除去する。これにより、透明性ガラス基板1端から11mm以上離れた太陽電池活性部11へのダメージを少なくすることができる。以上のように構成されるセルをモジュ-ル化するために、EVAシート8とフッ素系フィルムからなる保護フィルム9を真空ラミネータを用いて被覆して封止し封止工程、端子箱を取り付けた端子箱取り付け工程。本実施例によれば、透明性ガラス基板1端から11mmより内側の領域を太陽電池活性部11とすることができる。"