多数の微小要素で表現されるモデルを用いてコンピュータによりあるスカラー値の拡散解析を行った後、前記拡散解析によって得られた解析結果を用いて前記スカラー値に依存する膨張による変形を解く変形解析手法であって、予め所定の時間における各節点の変形量を解析し、前記各節点の変形量を元の形状における節点から差し引いた形状を初期形状として変形解析することを特徴とする変形解析手法。請求項1に記載の膨潤変形解析手法を備えたことを特徴とする変形解析装置。請求項1に記載の膨潤変形解析手法をコンピュータに実行させるためのプログラム。請求項3に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、研磨中のドレッシングによる研磨部材表面が削り取られる現象を考慮すること、すなわち、研磨中において、吸水膨潤変形するが表面は平らな状態であることをモデル化した変形解析方法および変形解析装置を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明は以下の構成を採用する。すなわち、1多数の微小要素で表現されるモデルを用いてコンピュータによりあるスカラー値の拡散解析を行った後、前記拡散解析によって得られた解析結果を用いて前記スカラー値に依存する膨張による変形を解く変形解析手法であって、予め所定の時間における各節点の変形量を解析し、前記各節点の変形量を元の形状における節点から差し引いた形状を初期形状として変形解析することを特徴とする変形解析手法。2前記1に記載の変形解析手法を備えたことを特徴とする変形解析装置。3前記1に記載の変形解析手法をコンピュータに実行させるためのプログラム。4前記3に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。本発明において微小要素とは、メッシュ、セル、計算格子等で呼ばれるものので、三次元であれば4面体や6面体等のことをいう。解析領域を多数の微小要素で分割し、それぞれの微小要素で物理方程式を解くことで解析領域全体の変形量等を解析する。本発明においてスカラー値とは、物理量の大きさのことをいう。本発明の物理量としては、例えば、温度や水の吸水率等が挙げられる。本発明において節点とは、微小要素を構成する頂点のことをいう。三次元であれば4面体は4つの節点から、6面体は8つの節点から構成される。本発明によれば、たとえば研磨における研磨中のドレッシングによる研磨部材表面が削り取られる現象を考慮することができ、その結果、研磨再開時の研磨部材表面形状がシミュレーションできる。以下、本発明の最良の実施形態の例を、図面を参照して研磨装置に適用した事例を詳細に説明する。研磨装置に適用した場合、スカラー値は吸水率になり、吸水率の拡散は吸水拡散解析で、吸水率に依存する膨張による変形は膨潤変形解析でシミュレーションする。図1は本発明の一実施形態における解析方法の概略手順を示すフローチャートである。図2は本発明の一実施形態における研磨部材の変形解析方法を示す概略図である。aは研磨部材の溝近傍の二次元断面図であり、bは四面体や六面体などの多面体の解析用の微小要素で分割した図であり、cは吸水拡散解析の境界条件、dは膨潤変形解析の境界条件を示した図であり、eは所定の時間Aにおける変形状態であり、fは所定の時間Aにおける各節点の変位量を吸水前のモデルから差し引いた形状であり、gは所定の時間Bにおける変形状態を示す図である。手順s1の初期のモデル作成では研磨前の変形していないモデルを作成する。図2aにその一例を示す。解析は二次元、三次元のいずれであってもよいが、二次元での例を示す。ここでは、図3に示す研磨部材断面の一部分溝ひとつ分を抜き出している。溝の数は複数であっても良い。図1に示す手順s2では、図2bのように解析領域を解析用微小要素で分割する。二次元であれば三角形や四角形、三次元であれば、四面体や六面体などの多面体で分割する。図1に示す手順s3では、解析に必要な物性を設定する。吸水拡散解析と膨潤変形解析それぞれに必要な物性を設定する。吸水拡散解析には研磨部材中の水の拡散係数を、膨潤変形解析には弾性率ヤング率、ポアソン比、吸水率に依存する膨張係数等を設定する。図1に示す手順s4では、境界条件を設定する。物性の設定と同様に吸水拡散解析と膨潤変形解析それぞれに対して行う。図2cに吸水拡散解析の一例を示す。水と接触している領域二次元であれば線、三次元であれば面に吸水率100の境界条件2を、水と接触していない領域には対称境界条件3線、あるいは面の法線方向に対して吸水率の勾配が0になる条件を設定する。図2dに膨潤変形解析の一例を示す。研磨部材底辺は完全拘束境界条件4を、両辺は左右方向のみ拘束している境界条件5を設定する。図1に示す手順s5では、計算条件の設定を行う。ここでは、どのパラメータ応力やひずみなどを出力するか、何秒後までの計算を実施するか、といった計算条件の設定を行う。図1に示す手順s6では、所定の時間Aまで解析を実施する。所定の時間Aとは、研磨を中断するまでの時間である。解析結果の一例を図2eに示す。溝近傍は水との接触長さが長いため大きく変形している。図1に示す手順s7では、所定の時間における各節点の変位量を吸水前の形状6から差し引いたモデルを作成する。作成したモデルの外形を図2fに示す。この作業は、市販されている解析ソフト内の機能を使用しても良い。無い場合は、自らプログラムを作成しモデルを作ることになる。前記手順s7で作成したモデルを初期形状として所定の時間Aまで解析すると、その形状はほぼ前記手順s1で作成した研磨前の変形していないモデルになる。所定の時間Aまでの間、吸水し膨潤した形状が吸水前の研磨部材表面がフラットな形状になる。すなわち、ドレッシングにより研磨部材表面が削られてフラットな状態になっている現象をモデル化したことになる。厳密に言えば、溝内はドレッシングされていないためフラットな状態ではない。しかし、本発明は研磨中のドレッシングによる研磨部材表面が削り取られる現象を考慮した変形解析方法であるため、溝内の変形については問題にならない。図1に示す手順s8では、手順s6で作成したモデルを初期形状として所定の時間Bまで解析を行う。解析結果の一例を図2gに示す。所定の時間Bは、所定の時間Aより長い時間である。すなわち、所定の時間Bと所定の時間Aとの差が、研磨を中断していた時間を表す。上記手順により研磨中のドレッシングによる研磨部材表面が削り取られる現象を考慮したシミュレーションができる。なお、本発明は、研磨装置以外でも適用することができる。例えば、スカラー値として温度を設定することにより、熱膨張変形をシミュレーションすることができるため、金属の研磨装置やドリルによる穴あけ加工装置への適用も可能である。