"外力として回転モーメントが加わることで、第1端と第2端との間で弾性的に捩れ変形が生じる弾性部材と、前記弾性部材の前記第2端に固定されて当該第2端を支持する支持部材と、被検出部および検出部を有して、当該検出部と被検出部の相対変位を検出可能な変位センサとを備え、前記弾性部材は、前記第1端に、外力を入力する部材が結合される第1結合部と、前記検出部および前記被検出部の一方を支持する第1センサ支持部とを有し、前記支持部材は、外力を入力する部材が結合される第2結合部と、前記弾性部材の前記第1端を回転可能に支持する第1回転支持部と、前記検出部および前記被検出部の他方を支持する第2センサ支持部とを有することを特徴とする捩れセンサ。前記第1回転支持部は、転がり軸受を介して前記第1端を支持していることを特徴とする請求項1に記載の捩れセンサ。請求項1または請求項2に記載の捩れセンサと、前記捩れセンサの前記第1結合部に結合された第1リンクと、前記第1リンクを回転可能に支持する第2回転支持部を有し、前記捩れセンサの前記第2結合部に結合された第2リンクと、前記第1結合部と前記第1リンクの間に設けられ、前記第1結合部と前記第1リンクの間で相対的な回転駆動力を生ずる駆動源とを備えることを特徴とする駆動関節機構。請求項1または請求項2に記載の捩れセンサと、前記捩れセンサの前記第1結合部に結合された第1リンクと、前記第1リンクを回転可能に支持する第2回転支持部を有し、前記捩れセンサの前記第2結合部に結合された第2リンクと、前記第2結合部と前記第2リンクの間に設けられ、前記第2結合部と前記第2リンクの間で相対的な回転駆動力を生ずる駆動源とを備えることを特徴とする駆動関節機構。前記第2リンクは、前記第1リンクと前記第2リンクの相互の回転を支持する第3回転支持部を前記第2回転支持部から前記回転の軸方向に離れた位置に備えることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の駆動関節機構。ところで、SEAを用いてロボットなどの適切な制御をするためには、関節に掛かる回転モーメントを正確に検出する必要がある。この回転モーメントは、弾性部材の捩れ変形量を測定し、この捩れ変形量から算出することができる。しかしながら、特許文献1の構成では、この捩れ変形量の検出において、弾性部材トーションバーの両端のベアリングの互いの回転軸が完全には一致しないことに起因する誤差が発生していた。より具体的に説明すると、特許文献1の構成では、2つのベアリングは、軸方向に離れた2箇所で2つのリンク同士の回転を支持し、一方のリンクがこの2つのベアリングを介してトーションバーの両端を支持するように構成されていた。このような構成では、2つのリンク同士が回転するときに、2つのベアリングもリンクの回転に応じて回転し、ベアリング同士の僅かな軸のずれ詳細には、一方のリンクの、ベアリングを支持する部分の軸線のずれに応じて、トーションバーを曲げるないし捩るような力が働き、この力により、結果として算出される回転モーメントが不正確になっていた。このような、同軸の製造誤差に起因する検出された回転モーメントの誤差は、1つのリンクがトーションバーの両端をベアリングなどで支持する場合に限られず、リンク同士の回転に応じてトーションバーを支持するベアリングが回転する関係にあるときは、1つのリンクがトーションバーの一端のみを支持する場合においても発生する。本発明は、上述した背景に基づきなされたものであり、正確な捩れ量の検出を可能にする捩れセンサおよび当該捩れセンサを備えた駆動関節機構を提供することを目的とする。前記した課題を解決する本発明は、捩れセンサであって、外力として回転モーメントが加わることで、第1端と第2端との間で弾性的に捩れ変形が生じる弾性部材と、前記弾性部材の前記第2端に固定されて当該第2端を支持する支持部材と、被検出部および検出部を有して、当該検出部と被検出部の相対変位を検出可能な変位センサとを備え、前記弾性部材は、前記第1端に、外力を入力する部材が結合される第1結合部と、前記検出部および前記被検出部の一方を支持する第1センサ支持部とを有し、前記支持部材は、外力を入力する部材が結合される第2結合部と、前記弾性部材の前記第1端を回転可能に支持する第1回転支持部と、前記検出部および前記被検出部の他方を支持する第2センサ支持部とを有することを特徴とする。このような構成によると、第1結合部に、関節を構成する一方のリンクなどの外力を入力する部材が結合され、第2結合部に、関節を構成する他方のリンクなどが結合され、2つのリンク間に回転モーメントが発生することで、第1結合部と第2結合部の間に回転モーメントが掛けられる。すると、一方のリンクから第1結合部を介して弾性部材の第1端に力が掛かり、他方のリンクから第2結合部を介して支持部材に力が掛かり、この力はさらに支持部材を通じて弾性部材の第2端に伝わる。これにより弾性部材が弾性的に捩れ変形し、この変形量が、変位センサにより検出される。この捩れセンサでは、支持部材は弾性部材の第1端を回転可能に支持しているが、同じ支持部材が弾性部材の第2端に固定されているので、第1回転支持部と第1端とは、弾性部材の捩れ量の分だけ相対的に回転し、第1結合部と第2結合部に結合される2つのリンク同士の回転に応じては回転しない。そのため、2つのリンクの回転に応じて弾性部材が捩れるような力が発生しないので、捩れ量を正確に検出することができる。そして、このようにして検出された捩れ量から、外力としての回転モーメントを正確に算出することができる。前記した捩れセンサにおいては、前記第1回転支持部は、転がり軸受を介して前記第1端を支持していることが望ましい。第1回転支持部が、転がり軸受を介して第1端を支持していると、第1回転支持部と第1端の間の摩擦が小さくなり、より正確な捩れ量を検出し、より正確な回転モーメントを算出することができる。前記した課題を解決する本発明は、前記した捩れセンサを備える駆動関節機構であり、前記捩れセンサの前記第1結合部に結合された第1リンクと、前記第1リンクを回転可能に支持する第2回転支持部を有し、前記捩れセンサの前記第2結合部に結合された第2リンクと、前記第1結合部と前記第1リンクの間に設けられ、前記第1結合部と前記第1リンクの間で相対的な回転駆動力を生ずる駆動源とを備える構成とすることができる。また、この駆動関節機構は、駆動源が、前記第1結合部と前記第1リンクの間に設けられ、前記第1結合部と前記第1リンクの間で相対的な回転駆動力を生ずるものであってもよい。このような駆動関節機構では、前記したように、第1リンクと第2リンクの間に回転モーメントが掛かると、捩れセンサにより弾性部材の捩れ量が正確に検出され、第1リンクと第2リンクの間に掛かる回転モーメントを正確に算出することができる。そして、この駆動関節機構においては、前記第2リンクは、前記第1リンクと前記第2リンクの相互の回転を支持する第3回転支持部を前記第2回転支持部から前記回転の軸方向に離れた位置に備える構成とすることができる。本発明の捩れセンサまたは駆動関節機構によれば、弾性部材の捩れ量を正確に検出することができ、捩れセンサに結合される2つの部材同士に掛かる回転モーメントを正確に算出することができる。次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の一実施形態の説明において、便宜上、図面を基準として上下、左右を用いて説明するが、本発明の捩れセンサおよび駆動関節機構は、重力の向きとは関係なくいかなる姿勢でも使用可能であることはいうまでもない。図1に示すように、本発明の一実施形態に係る捩れセンサ1は、弾性部材の一例としてのトーションバー2と、支持部材の一例としてのハウジング3と、変位センサの一例としての光学式エンコーダ4とを備えて構成されている。トーションバー2は、外力として回転モーメントが加わることで、右端第1端21と左端第2端22の間で弾性的に捩れ変形を生じる部材である。そのため、トーションバー2は、適度に細い金属管から形成されたシャフト20を有している。トーションバー2の右端21には、第1結合部の一例として、シャフト20の軸を中心に径方向に広がる円盤部25が設けられている。この円盤部25には、外力を入力する部材をボルトで締結するためのねじ孔25Aが複数設けられている。円盤部25は、外周縁から左に向けて延びた筒状部25Bが形成されており、この筒状部25Bの内周が、光学式エンコーダ4の被検出部としてのエンコーダ板41を支持する第1センサ支持部23となっており、外周が、転がり軸受5の内輪と嵌合する内輪嵌合部24となっている。トーションバー2の左端22も、シャフト20の軸を中心に円盤状にやや広がっており、その外周には、後述するハウジング3の支持部31と嵌合可能となる外周面22Aが設けられている。ハウジング3は、トーションバー2の左端22に固定されて当該左端22を支持する部材である。ハウジング3は、シャフト20の軸と同軸の円錐状をなし、右端の開口縁部にフランジ35を有している。フランジ35は、外力を入力する部材が結合される第2結合部の一例であり、本実施形態では、ボルトを通すための孔35Aが形成されている。ハウジング3の左端は、シャフト20の左端22を支持する支持部31であり、中心に貫通孔31Aが形成されている。左端の貫通孔31Aは、トーションバー2の左端22の外周面22Aと嵌合可能なように機械加工されており、本実施形態では、貫通孔31Aにシャフト20の左端22の外周面22Aが溶接されることで、支持部31が左端22に固定されている。もっとも、シャフト20の左端22とハウジング支持部材3の固定方法は、圧入に限らず、任意の固定方法を用いることができる。なお、トーションバー2のシャフト20が捩れ変形可能な程度の弾性を有しているのに対して、ハウジング3は、同等の外力では変形しない十分な剛性を有している。ハウジング3の左右方向の中程には、内周に円筒面に形成された第1回転支持部の一例としての外輪嵌合部34が設けられている。外輪嵌合部34は、トーションバー2の右端21を回転可能に支持する部分であり、本実施形態においては、転がり軸受5の外輪と嵌合し、転がり軸受5を介してトーションバー2の右端21を支持している。光学式エンコーダ4は、前記したエンコーダ板41と、エンコーダ板41に設けられた符号を読み取る、検出部の一例としての光学式センサ42を備えてなる。エンコーダ板41は、円筒状のブラケット41Aに固定されており、ブラケット41Aが、前記した第1センサ支持部23に嵌合して、トーションバー2の右端21に固定されている。ハウジング3の外輪嵌合部34の左側には、ハウジング3の内外を貫通するセンサ孔36が形成されており、エンコーダ板41は、このセンサ孔36を通して外部に突出している。また、センサ孔36の左側には、第2センサ支持部33が設けられ、ボルト49を用いて第2センサ支持部33に光学式センサ42が固定されている。これにより、光学式センサ42はエンコーダ板41に対面しており、トーションバー2が捩れ変形したときに、エンコーダ板41に対する光学式センサ42の相対変位を検出可能となっている。以上のように構成された捩れセンサ1は、円盤部25とフランジ35にそれぞれ別の部材が固定されることで、捩れ量を測定するセンサとして使用することができる。これを詳しく説明すると、円盤部25とフランジ35に、シャフト20回りの回転モーメントを与えると、フランジ35からシャフト20の左端22に力が伝わり、一方、円盤部25からシャフト20の右端21に力が伝わる。これにより、右端21が、左端22に対して捩れ変形する。このとき、円盤部25は、転がり軸受5によりハウジング3に対する回転が支持されているので、円盤部25は、ハウジング3に対して少ない抵抗で回動することができる。ハウジング3に対して右端21が回転すると、エンコーダ板41も右端21と一緒に回転し、光学式センサ42に対するエンコーダ板41の位置が変わる。光学式センサ42は、このエンコーダ板41の相対変位を検出して出力するので、この出力から、トーションバー2の捩れ量を得ることができる。そして、シャフト20の捩れについての弾性係数を用いれば、トーションバー2の捩れ量から、外力として加わった回転モーメントの大きさを算出することができる。そして、上記の捩れ変形の際に、転がり軸受5におけるハウジング3と右端21の相対回転量はシャフト20の捩れ量の分だけであり、円盤部25とフランジ35に取り付けられるリンクなどの相対的な回転の量には応じない。そのため、2つのリンクなどの相対回転を支持する2つの軸支部が製造誤差により軸ずれを有する場合においても、その軸ずれの影響を受けず、正確な捩れ量を検出することができる。もっとも、シャフト20の左端22と右端21の軸の支持においても軸ずれは生ずるのであるが、右端21の回転量は、シャフト20の捩れ量の分だけで僅かであるので、左端22と右端21の軸ずれによる、捩れ量の検出精度の悪化はないと言ってよい。このように、本実施形態の捩れセンサ1によれば、2つのリンクの回転に応じて弾性部材が捩れるような力が発生しないので、捩れ量を正確に検出することができる。また、外輪嵌合部34が、転がり軸受5を介してトーションバー2の右端21を回転可能に支持しているので、回転の抵抗が小さく、より正確に捩れ量を検出することができる。なお、この捩れセンサ1においては、ハウジング3が転がり軸受5の外輪を支持し、トーションバー2が転がり軸受5の内輪を支持していたが、これは逆であってもよい。例えば、図2は、前記実施形態の変形例を示す図であり、図1の例と実質的に異なる点についてのみ異なる符号を付したものである。図2に示す捩れセンサ1′は、トーションバー2の右端21に転がり軸受5の外輪と嵌合する外輪嵌合部24′を設け、ハウジング3第2ハウジング3Bに転がり軸受5の内輪と嵌合する内輪嵌合部34′を設けたものである。そして、図2に例示するように、光学式エンコーダ4は、ハウジング3を貫通する必要はなく、ハウジング3内に収めてもよい。また、トーションバー2やハウジング3は、複数部品から構成されるものでもよい。一例として、図2においてはハウジング3を第1ハウジング3Aと第2ハウジング3Bの2つの部品から構成する例について示した。次に、捩れセンサ1を、ロボットなどの駆動関節機構に適用した実施形態について説明する。図3に示すように、駆動関節機構100は、第1リンク110と、第2リンク120と、モータ130と、捩れセンサ1とからなるものである。第1リンク110は、ハウジング3のフランジ35にボルト152により結合されている。第2リンク120は、駆動源の一例としてのモータ130および変速機140を介してトーションバー2の右端21の円盤部25に結合されている。第2リンク120は、左端部に第2回転支持部の一例として外輪嵌合部122を有し、外輪嵌合部122において、転がり軸受192を介して第1リンク110を回転可能に支持している。また、第2リンク120は、右端部に、第3回転支持部の一例として外輪嵌合部123を有し、外輪嵌合部123において、転がり軸受193を介して第1リンク110を回転可能に支持している。これにより、第1リンク110は、回転の軸方向に離れた2箇所において、第2リンク120に回転が支持されている。モータ130は、ステータ131と、ロータ132を有し、ステータ131が、第1リンク110に固定されている。ロータ132は、出力軸133を有しており、出力軸133には、変速機140の入力側の回転体であるウェーブジェネレータ141が固定されている。変速機140は、ウェーブジェネレータ141、ボールベアリング142、フレクスプライン143およびサーキュラスプライン144を備えた、波動歯車装置である。サーキュラスプライン144は、モータ130のステータ131とともに第1リンク110に固定されている。フレクスプライン143は、ボルト151によりトーションバー2の右端21の円盤部25に締結されている。なお、以上の構成において、トーションバー2、変速機140、モータ130、転がり軸受192,193の軸線は、設計上は同一となっている。このような駆動関節機構100によれば、モータ130を回転させると、変速機140によりこの回転が減速され、フレクスプライン143から出力された回転が、トーションバー2の円盤部25を回転させ、これにより捩れセンサ1が第1リンク110に対し回転する。そして、捩れセンサ1は、出力側となるハウジング3のフランジ35が第2リンク120に固定されているので、捩れセンサ1が回転すると第2リンク120が回転することになる。したがって、モータ130を正転または逆転させれば、第1リンク110に対して第2リンク120を正転または逆転させることができる。すなわち、駆動関節機構100は、ロボットなどの関節として利用することができる。この駆動関節機構100の第1リンク110や第2リンク120に物がぶつかるなどして外力が加わった場合、第1リンク110と第2リンク120に、互いに回転しようとする力が加わる。この力は、捩れセンサ1のトーションバー2の円盤部25とハウジング3のフランジ35に加わり、円盤部25とフランジ35を互いに回転させようとする回転モーメントとして働く。そうすると、上述したように、トーションバー2の左端22に対する右端21の回転量シャフト20の捩れ量が光学式エンコーダ4により検出される。つまり、駆動関節機構100の第1リンク110と第2リンク120に加わった回転モーメントによる捩れ量が検出され、この捩れ量から、その回転モーメントを算出することができる。このとき、第1リンク110と第2リンク120とは、互いに軸方向に離れた2つの転がり軸受192,193により互いの回転が支持されているので、2つの外輪嵌合部122,123の加工時の軸ずれによって、転がり軸受192,193により支持されている第1リンク110を捩るないし曲げるような力が僅かに働く。この力は、軸ずれの傾向に応じ、第1リンク110に対する第2リンク120の向き位相によって少しずつ変化する。従来の駆動関節機構では、この誤差を生む力がトーションバーに掛かっていたため、トーションバーの捩れ量から外力としての回転モーメントを算出すると正確な値を算出することができなかったが、本実施形態の駆動関節機構100においては、この軸ずれによる力は、トーションバー2にはほとんど掛からないため、捩れ量を正確に検出することができる。そして、この検出した捩れ量から正確に回転モーメントを算出することができる。以上に本発明の実施形態について説明したが、本発明は、前記した実施形態に限定されることなく適宜変形して実施することができる。例えば、駆動関節機構100においては、トーションバー2の円盤部25第1結合部と第1リンク110の間に駆動源を設けていたが、駆動源は、第2結合部フランジ35と第2リンク120の間に設けてもよい。また、モータ130と捩れセンサ1との間には変速機140を設けていたが、変速機140は設けなくてもよい。また、弾性部材の一例としてトーションバー2シャフト20を例示したが、弾性部材は、板バネや、コイルバネなど弾性的に捩れ変形が可能な要素であればどのような部材であっても構わない。前記実施形態においては、第1リンク110と第2リンク120を2つの転がり軸受192,193で互いの回転を支持していたが、一方の軸受のみで回転を支持してもよい。また、回転の支持は、転がり軸受を用いる場合に限らず、滑り軸受や流体軸受を用いることもできる。支持部材による弾性部材の回転支持も同様に、転がり軸受を用いる場合に限らず、滑り軸受や流体軸受を用いることができる。前記実施形態においては、支持部材に変位センサの検出部を設け、弾性部材の第1端に被検出部を設けたが、これは逆でもよく、支持部材に変位センサの被検出部を設け、弾性部材の第1端に検出部を設けることもできる。また、変位センサは、光学式エンコーダに限らず、レゾルバ、ホール素子、MRセンサなどの他の変位センサを採用することができる。また、本発明の捩れセンサは、駆動関節機構に適用されるだけでなく、回転モーメントを測定するあらゆる装置に用いることができる。例えば、本発明の捩れセンサは、トルクレンチにおいてトルク回転モーメントを検出するのに用いることもできる。"