"互いに直交の関係にあるx方向とy方向とによって規定されるx-y平面に主面11aが沿う基部11と、該基部11の主面11a上に設けられた第1アンカー17及び第2アンカー18と、前記第1アンカー17に支持された第1錘部19と、前記第1錘部19から延びた第1電極20及び前記第2アンカー18に支持された第2電極23と、前記第1錘部19と前記第1アンカー17とを連結する第1梁21と、を有し、前記第1錘部19は、重量の異なる、前記x方向に並んだ第1左部24と第1右部25から成り、前記第1梁21は、前記第1左部24から前記第1右部25へと前記x方向に延び、前記第1左部24と前記第1右部25とを連結する第1連結梁26と、該第1連結梁26から前記第1アンカー17へと前記y方向に延び、前記第1連結梁26と前記第1アンカー17とを支持する第1支持梁27と、を有し、前記x-y平面に直交するz方向に加速度が印加されると、前記第1左部24と前記第1右部25とが前記第1アンカー17を支点として、前記z方向と前記x方向とによって規定されるz-x平面にてシーソー状に互いに逆方向に運動可能となっており、前記第1電極20と前記第2電極23とが、前記x方向にて対向していることを特徴とする加速度センサ。前記第1錘部19及び前記第1梁21は、前記x方向に沿い前記第1アンカー17を通る基準線を介して、線対称であることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。第2錘部22と、該第2錘部22と前記第2アンカー18とを連結する第2梁30と、を有し、前記第2電極23は前記第2錘部22から延びており、前記第2錘部22は、重量の異なる、前記x方向に並んだ第2左部31と第2右部32から成り、前記第2梁30は、前記第2左部31から前記第2右部32へと前記x方向に延び、前記第2左部31と前記第2右部32とを連結する第2連結梁33と、該第2連結梁33から前記第2アンカー18へと前記y方向に延び、前記第2連結梁33と前記第2アンカー18とを支持する第2支持梁34と、を有し、前記z方向に加速度が印加されると、前記第2左部31と前記第2右部32とが前記第2アンカー18を支点として、前記z-x平面にてシーソー状に互いに逆方向に運動可能となっていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加速度センサ。前記第2錘部22及び前記第2梁30は、前記x方向に沿い前記第1アンカー17を通る基準線を介して、線対称であることを特徴とする請求項3に記載の加速度センサ。前記第1錘部19と前記第2錘部22とは、前記第1右部25と前記第2左部31とが隣り合うように、前記x方向にて並び、前記第1右部25に前記第1電極20が形成され、前記第2左部31に前記第2電極23が形成されており、前記第1左部24は前記第1右部25よりも重く、前記第2左部31は前記第2右部32よりも重い、若しくは、前記第1左部24は前記第1右部25よりも軽く、前記第2左部31は前記第2右部32よりも軽いことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の加速度センサ。前記第2錘部22を2つ有し、前記第1錘部19と2つの前記第2錘部22とは、一方の前記第2錘部22と前記第1錘部19とが、前記第2右部32と前記第1左部24とが隣り合い、且つ、前記第1錘部19と他方の前記第2錘部22とが、前記第1右部25と前記第2左部31とが隣り合うように、前記x方向にて並んでおり、一方の前記第2錘部22の第2右部32に前記第2電極23が形成され、前記第1左部24と前記第1右部25に前記第1電極20が形成され、他方の前記第2錘部22の前記第2左部31に前記第2電極23が形成されており、一方の前記第2錘部22の前記第2左部31は前記第2右部32よりも重く、前記第1左部24は前記第1右部25よりも重く、他方の前記第2錘部22の前記第2左部31は前記第2右部32よりも重い、若しくは、一方の前記第2錘部22の前記第2左部31は前記第2右部32よりも軽く、前記第1左部24は前記第1右部25よりも軽く、他方の前記第2錘部22の前記第2左部31は前記第2右部32よりも軽いことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の加速度センサ。外力が印加されていない状態における前記第1電極20及び前記第2電極23との対向間隔は、前記第1電極20及び前記第2電極23それぞれの前記z方向の厚さよりも短いことを特徴とする請求項1~6いずれか1項に記載の加速度センサ。ところで、上記したように、特許文献1に示されるMEMS装置では、2つの可動部が支持部を支点としてz-x平面にて運動可能となっており、これら2つの可動部に形成された櫛歯電極が、y方向にて対向している。これによれば、加速度などの印加によって、可動部が支持部を支点としてz-x平面にてシーソー状に運動すると、櫛歯電極の対向面積だけが主として変動する。このように、櫛歯電極によって構成されるコンデンサの静電容量の変化が主として対向面積だけに依存するため、加速度の検出精度が十分ではなかった。そこで、本発明は上記問題点に鑑み、加速度の検出精度が向上された加速度センサを提供することを目的とする。上記した目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、互いに直交の関係にあるx方向とy方向とによって規定されるx-y平面に主面11aが沿う基部11と、該基部11の主面11a上に設けられた第1アンカー17及び第2アンカー18と、第1アンカー17に支持された第1錘部19と、第1錘部19から延びた第1電極20及び第2アンカー18に支持された第2電極23と、第1錘部19と第1アンカー17とを連結する第1梁21と、を有し、第1錘部19は、重量の異なる、x方向に並んだ第1左部24と第1右部25から成り、第1梁21は、第1左部24から第1右部25へとx方向に延び、第1左部24と第1右部25とを連結する第1連結梁26と、該第1連結梁26から第1アンカー17へとy方向に延び、第1連結梁26と第1アンカー17とを支持する第1支持梁27と、を有し、x-y平面に直交するz方向に加速度が印加されると、第1左部24と第1右部25とが第1アンカー17を支点として、z方向とx方向とによって規定されるz-x平面にてシーソー状に互いに逆方向に運動可能となっており、第1電極20と第2電極23とが、x方向にて対向していることを特徴とする。このように本発明によれば、第1左部24と第1右部25との重量が異なる。したがって、例えば、第1左部24が第1右部25よりも重い場合において、z方向に加速度が印加されると、第1左部24に生じる慣性力は、第1右部25に生じる慣性力よりも大きくなる。z方向への加速度の印加によって、第1左部24と第1右部25とが互いに逆方向に運動しようとすると、第1連結梁26と第1支持梁27との連結部位をy方向に貫く軸方向周りのモーメントが第1連結梁26に生じ、第1連結梁26がz方向に捩れる。この捩れによって、第1左部24及び第1右部25それぞれは、z-x平面にて、第1連結梁26と第1支持梁27との連結部位第1アンカー17を支点としてシーソー状に互いに逆方向に運動する。この結果、第1左部24及び第1右部25それぞれに形成された第1電極20も、z-x平面にて、第1アンカー17を支点としてシーソー状に互いに逆方向に運動し、第1電極20と第2電極23との対向面積だけではなく、対向間隔も変動する。このように、加速度の印加によって対向面積だけでなく対向間隔も変動するので、加速度の印加によって対向面積だけが主として変動する構成と比べ、2つの電極19,23にて構成されるコンデンサの静電容量変化が大きくなる。これにより、加速度の検出精度が向上される。請求項2に記載のように、第1錘部19及び第1梁21は、x方向に沿い第1アンカー17を通る基準線を介して、線対称である構成が好適である。これによれば、z方向への加速度の印加によって、第1錘部19がy方向に運動することが抑制される。したがって、加速度の検出精度の低下が抑制される。請求項3に記載のように、第2錘部22と、該第2錘部22と第2アンカー18とを連結する第2梁30と、を有し、第2電極23は第2錘部22から延びており、第2錘部22は、重量の異なる、x方向に並んだ第2左部31と第2右部32から成り、第2梁30は、第2左部31から第2右部32へとx方向に延び、第2左部31と第2右部32とを連結する第2連結梁33と、該第2連結梁33から第2アンカー18へとy方向に延び、第2連結梁33と第2アンカー18とを支持する第2支持梁34と、を有し、z方向に加速度が印加されると、第2左部31と第2右部32とが第2アンカー18を支点として、z-x平面にてシーソー状に互いに逆方向に運動可能となっている構成が好ましい。これによれば、z方向に加速度が印加されると、第1錘部19及び該第1錘部19に形成された第1電極20だけではなく、第2錘部22及び該第2錘部22に形成された第2電極23も、z-x平面にてシーソー状に運動する。そのため、z方向への加速度の印加によって、第1電極のみがz-x平面にて運動する構成と比べて、2つの電極20,23にて構成されるコンデンサの静電容量変化が大きくなる。これにより、加速度の検出精度が向上される。請求項4に記載のように、第2錘部22及び第2梁30は、x方向に沿い第1アンカー17を通る基準線を介して、線対称である構成が好適である。これによれば、z方向への加速度の印加によって、第2錘部22がy方向に運動することが抑制される。したがって、加速度の検出精度の低下が抑制される。請求項5に記載のように、第1錘部19と第2錘部22とは、第1右部25と第2左部31とが隣り合うように、x方向にて並び、第1右部25に第1電極20が形成され、第2左部31に第2電極23が形成されており、第1左部24は第1右部25よりも重く、第2左部31は第2右部32よりも重い、若しくは、第1左部24は第1右部25よりも軽く、第2左部31は第2右部32よりも軽い構成が良い。これによれば、z方向への加速度の印加時に、第1電極20の形成された第1右部25と第2電極23の形成された第2左部31とが、z方向にて逆方向に運動する。そのため、z方向への加速度の印加時に第1右部と第2左部とが、z方向にて同方向に運動する構成と比べて、コンデンサの静電容量変化が大きくなる。これにより、加速度の検出精度が向上される。また、請求項6に記載の発明の作用効果は、請求項5に記載の発明の作用効果と同等なので、その記載を省略する。請求項7に記載のように、外力が印加されていない状態における第1電極20及び第2電極23との対向間隔は、第1電極20及び第2電極23それぞれのz方向の厚さよりも短い構成が良い。2つの電極20,23間の対向間隔の変位量、及び、2つの電極20,23間のz方向での相対位置の変位量それぞれが同一である場合、当初設定されていた対向間隔が、電極20,23の厚さよりも短い構成の方が、当初設定されていた電極20,23の厚さが、対向間隔よりも短い構成よりも静電容量の変化量が多くなる。したがって、請求項7に記載の構成によれば、加速度の検出精度が向上される。以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。第1実施形態図1~図4に基づいて、本実施形態に係る加速度センサを説明する。なお、図3及び図4では、第1錘部と第1電極の運動方向を実線矢印で示し、運動を説明するのに不要な符号を省略している。また、以下においては、互いに直交の関係にある2方向をx方向、y方向と示し、これら2つの方向に直交する方向をz方向と示す。図1及び図2に示すように、加速度センサ100は、半導体基板10に微細構造が形成されたものである。半導体基板10は、2つの半導体層11,12の間に絶縁層13が挟まれて成るSOI基板である。第1半導体層11の主面11aは、x方向とy方向とによって規定されるx-y平面に沿っており、上記した微細構造に相当するセンサ素子14が、主面11a上に形成されている。第1半導体層11が、特許請求の範囲に記載の基部に相当する。センサ素子14は、周知の露光技術を用いて、第2半導体層12と絶縁層13とを所定形状にエッチングすることで形成される。センサ素子14は、絶縁層13を介して、第1半導体層11に第2半導体層12が固定された固定部15と、絶縁層13を介さずに、第1半導体層11に対して第2半導体層12が浮いた浮遊部16と、を有する。固定部15は、第1半導体層11の主面11aから、z方向に延びた第1アンカー17及び第2アンカー18を有する。浮遊部16は、第1錘部19、第1錘部19から延びた第1電極20、及び、第1錘部19と第1アンカー17とを連結する第1梁21を有する。本実施形態において、固定部15は、第2アンカー18と一体的に形成された第2錘部22を有し、浮遊部16は、第2錘部22から延びた第2電極23を有する。第1錘部19は、重量の異なる、第1左部24と第1右部25から成る。図1に示すように、第1左部24は平面矩形状を成し、第1右部25は平面T字状を成し、第1アンカー17と第1梁21を介してx方向に並んでいる。第1左部24は、第1右部25よりも重くなっており、第1左部24と第1右部25は、x方向に沿い、第1アンカー17を通る基準線を介して線対称と成っている。そして、第1左部24と第1右部25それぞれにおけるy方向での第2錘部22との対向面から、第1電極20が櫛歯状にy方向に延びている。第1梁21は、第1左部24と第1右部25とを連結する第1連結梁26と、第1連結梁26と第1アンカー17とを支持する第1支持梁27と、を有している。第1連結梁26は、第1左部24から第1右部25へとx方向に延び、第1支持梁27は、第1連結梁26から第1アンカー17へとy方向に延びている。本実施形態において、第1梁21は第1連結梁26及び第1支持梁27それぞれを2つ有しており、これらによって、第1梁21の平面形状がH字状を成している。なお、第1梁21は、第1錘部19と同様にして、上記した基準線を介して線対称と成っている。本実施形態において、固定部15は、第1錘部19を介してx方向に並ぶ、2つの第2錘部22を有している。2つの第2錘部22はそれぞれ平面コの字状を成し、一方の第2錘部22によって、第1左部24の一部が囲まれ、他方の第2錘部22によって、第1右部25の一部が囲まれている。また、第2錘部22における第1錘部19とのy方向での対向面から、第2電極23が櫛歯状にy方向に延びている。これにより、第1電極20と第2電極23とが噛み合わさり、x方向にて互いに対向して、コンデンサが構成されている。このコンデンサの静電容量変化が、加速度として検出される。なお、2つの第2錘部22それぞれは、基準線を介して線対称と成っており、第1錘部19と連結された第1アンカー17、及び、第2錘部22と連結された第2アンカー18それぞれは、基準線上に並んでいる。これにより、加速度センサ100は、基準線を介して線対称と成っている。次に、図3及び図4に基づいて、z方向に加速度が印加された場合の第1錘部19の運動を説明する。z方向に加速度が印加されると、第1左部24と第1右部25それぞれに慣性力が生じる。上記したように、第1左部24は、第1右部25よりも重いので、第1左部24に生じる慣性力は、第1右部25に生じる慣性力よりも大きくなる。そのため、図3に白抜き矢印で示すように、第2半導体層12から第1半導体層11に向かう方向に加速度が印加されると、第1左部24は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第1右部25は、第1左部24とは逆の方向に運動しようとする。これとは逆に、図4に白抜き矢印で示すように、第1半導体層11から第2半導体層12に向かう方向に加速度が印加されると、第1左部24は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第1右部25は、第1左部24とは逆の方向に運動しようとする。z方向への加速度の印加によって、第1左部24と第1右部25とが互いに逆方向に運動しようとすると、第1連結梁26と第1支持梁27との連結部位をy方向に貫く軸方向周りのモーメントが第1連結梁26に生じ、第1連結梁26がz方向に捩れる。この捩れによって、第1左部24及び第1右部25それぞれは、z-x平面にて、第1連結梁26と第1支持梁27との連結部位第1アンカー17を支点としてシーソー状に互いに逆方向に運動する。この結果、第1左部24及び第1右部25それぞれに形成された第1電極20も、z-x平面にて、第1アンカー17を支点としてシーソー状に互いに逆方向に運動し、第1電極20と第2電極23との対向面積だけではなく、対向間隔も変動する。これにより、コンデンサの静電容量が変動し、加速度が検出される。次に、本実施形態に係る加速度センサ100の作用効果を説明する。上記したように、z方向に加速度が印加されると、第1電極20は、z-x平面にて、第1アンカー17を支点としてシーソー状に運動し、第1電極20と第2電極23との対向面積だけではなく、対向間隔も変動する。これによれば、加速度の印加によって対向面積だけが主として変動する構成と比べ、2つの電極20,23にて構成されるコンデンサの静電容量変化が大きくなる。したがって、加速度の検出精度が向上される。第1錘部19及び第1梁21は、基準線を介して、線対称となっている。これによれば、z方向への加速度の印加によって、第1錘部19がy方向に運動することが抑制される。したがって、加速度の検出精度の低下が抑制される。第2実施形態次に、本発明の第2実施形態を、図5~図8に基づいて説明する。なお、図7及び図8では、第1錘部と第1電極の運動方向を実線矢印、第2錘部と第2電極の運動方向を破線矢印で示し、運動を説明するのに不要な符号を省略している。第2実施形態に係る加速度センサ100は、第1実施形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明を省略し、異なる部分を重点的に説明する。なお、第1実施形態で示した要素と同一の要素には、同一の符号を付与している。第1実施形態では、固定部15が、第2アンカー18と一体的に形成された第2錘部22を有する例を示した。これに対し、本実施形態では、第1実施形態に係る加速度センサ100とは異なり、浮遊部16が、第2錘部22と、該第2錘部22を第2アンカー18に連結する第2梁30と、を有する点を特徴とする。すなわち、図6に示すように、第2錘部22は、絶縁層13を介さずに、第1半導体層11に対して浮いており、第1半導体層11に対して運動可能となっている。第2錘部22は、重量の異なる、第2アンカー18及び第2梁30を介してx方向に並んだ、第2左部31と第2右部32から成る。本実施形態において、浮遊部16は、第1錘部19を介してx方向に並ぶ、2つの第2錘部22を有している。図5に示すように、一方の第2錘部22の第2左部31、及び、他方の第2錘部22の第2右部それぞれは、平面矩形状を成している。これに対し、一方の第2錘部22の第2右部32、及び、他方の第2錘部22の第2左部それぞれは、x方向に長手方向が延びた長方形状を成し、互いにy方向にて対向する部位を2つ有する。2つの第2錘部22はそれぞれ平面コの字状を成し、一方の第2錘部22によって、第1左部24の一部が囲まれ、他方の第2錘部22によって、第1右部25の一部が囲まれている。2つの第2錘部22それぞれは、自身が有する第2右部32よりも第2左部31の方が重くなっており、基準線を介して線対称と成っている。そして、一方の第2錘部22の第2右部32と他方の第2錘部22の第2左部31それぞれにおける第1錘部19とのy方向での対向面から、第2電極23が櫛歯状にy方向に延びている。第2梁30は、第2左部31と第2右部32とを連結する第2連結梁33と、第2連結梁33と第2アンカー18とを支持する第2支持梁34と、を有している。第2連結梁33は、第2左部31から第2右部32へとx方向に延び、第2支持梁34は、第2連結梁33から第2アンカー18へとy方向に延びている。本実施形態において、第2梁30は第2連結梁33及び第2支持梁34それぞれを2つ有しており、これらによって、第2梁30の平面形状がH字状を成している。なお、第2梁30は、第2錘部22と同様にして、基準線を介して線対称と成っている。これにより、加速度センサ100は、基準線を介して線対称と成っている。次に、図7及び図8に基づいて、z方向に加速度が印加された場合の第2錘部22の運動を説明する。なお、z方向に加速度が印加されると第1錘部19も運動するが、その運動原理は第1実施形態で説明したので、説明を省略する。z方向に加速度が印加されると、第2錘部22を構成する第2左部31と第2右部32それぞれに慣性力が生じる。上記したように、2つの第2錘部22それぞれは、自身が有する第2右部32よりも第2左部31の方が重いので、第2左部31に生じる慣性力は、第2右部32に生じる慣性力よりも大きくなる。そのため、図7に白抜き矢印で示すように、第2半導体層12から第1半導体層11に向かう方向に加速度が印加されると、第2左部31は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第2右部32は、第2左部31とは逆の方向に運動しようとする。これとは逆に、図8に白抜き矢印で示すように、第1半導体層11から第2半導体層12に向かう方向に加速度が印加されると、第2左部31は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第2右部32は、第2左部31とは逆の方向に運動しようとする。z方向への加速度の印加によって、第2左部31と第2右部32とが互いに逆方向に運動しようとすると、第2連結梁33と第2支持梁34との連結部位をy方向に貫く軸方向周りのモーメントが第2連結梁33に生じ、第2連結梁33がz方向に捩れる。この捩れによって、第2左部31及び第2右部32それぞれは、z-x平面にて、第2連結梁33と第2支持梁34との連結部位第2アンカー18を支点としてシーソー状に互いに逆方向に運動する。この結果、第2左部31及び第2右部32それぞれに形成されていた第2電極23も、z-x平面にて、第2アンカー18を支点としてシーソー状に互いに逆方向に運動し、第1電極20と第2電極23との対向面積だけではなく、対向間隔も変動する。なお、第2半導体層12から第1半導体層11に向かう方向に加速度が印加されると、第1錘部19の第1左部24は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第1右部25は、第1左部24とは逆の方向に運動しようとする。これに対して、第2左部31は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第2右部32は、第2左部31とは逆の方向に運動しようとする。このように、第1左部24と第2右部32とは逆の方向に運動し、第1右部25と第2左部31とは逆の方向に運動する。そのため、第1電極20と第2電極23それぞれの運動方向が逆向きとなっている。また、これとは逆に、第1半導体層11から第2半導体層12に向かう方向に加速度が印加されると、第1左部24は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第1右部25は、第1左部24とは逆の方向に運動しようとする。これに対して、第2左部31は、加速度の印加方向とは逆の方向に運動しようとし、第2右部32は、第2左部31とは逆の方向に運動しようとする。このように、この場合においても、第1左部24と第2右部32とは逆の方向に運動し、第1右部25と第2左部31とは逆の方向に運動する。そのため、第1電極20と第2電極23のそれぞれの運動方向が逆向きとなっている。次に、本実施形態に係る加速度センサ100の作用効果を説明する。上記したように、z方向に加速度が印加されると、第1電極20だけではなく、第2電極23も、z-x平面にてシーソー状に運動する。そのため、z方向への加速度の印加によって、第1電極のみがz-x平面にて運動する構成と比べて、2つの電極20,23にて構成されるコンデンサの静電容量変化が大きくなる。これにより、加速度の検出精度が向上される。第2錘部22及び第2梁30は、基準線を介して、線対称となっている。これによれば、z方向への加速度の印加によって、第2錘部22がy方向に運動することが抑制される。したがって、加速度の検出精度の低下が抑制される。z方向への加速度の印加時に、第1左部24と第2右部32とは逆の方向に運動し、第1右部25と第2左部31とは逆の方向に運動する。そのため、第1電極20と第2電極23それぞれの運動方向が逆向きとなっている。これによれば、z方向への加速度の印加時に、第1電極と第2電極とが同方向に運動する構成と比べて、コンデンサの静電容量変化が大きくなる。これにより、加速度の検出精度が向上される。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。各実施形態では、第1電極20と第2電極23との対向間隔、及び、電極20,23それぞれのz方向の厚さについて特に言及してこなかった。しかしながら、外力が印加されていない状態における電極20,23の対向間隔が、電極20,23それぞれの厚さよりも短い構成が良い。詳しい説明は省くが、変位量をΔX、当初設定されていた対向間隔をd、厚さをhとすると、電極20,23の対向間隔がΔXだけ変化した場合における静電容量の変化量は、ΔX/d-ΔXに比例する。これに対して、電極20,23間のz方向での相対位置がΔXだけ変化した場合における静電容量の変化量は、ΔX/hに比例する。このように、対向間隔dの方が、厚さhよりも静電容量の変化量に効いてくる。そのため、対向間隔が、電極20,23の厚さよりも短い構成が良い。第1実施形態では、第1左部24が、第1右部25よりも重い例を示した。しかしながら、第1右部25が第1左部24よりも重い構成を採用することもできる。第1実施形態では、第1左部24と第1右部25は、基準線を介して線対称である例を示した。しかしなら、第1左部24と第1右部25は、線対称でなくとも良い。第1実施形態では、第1梁21は、基準線を介して線対称である例を示した。しかしなら、第1梁21は、線対称でなくとも良い。第1実施形態では、固定部15は、2つの第2錘部22を有する例を示した。しかしながら、固定部15が、1つの第2錘部22を有する構成を採用することもできる。第2実施形態では、第2右部32よりも第2左部31の方が重い例を示した。しかしながら、第2左部31よりも第2右部32の方が重い構成を採用することもできる。第2実施形態では、第2左部31と第2右部32は、基準線を介して線対称である例を示した。しかしなら、第2左部31と第2右部32は、線対称でなくとも良い。第2実施形態では、第2梁30は、基準線を介して線対称である例を示した。しかしなら、第2梁30は、線対称でなくとも良い。第2実施形態では、浮遊部16は、2つの第2錘部22を有する例を示した。しかしながら、浮遊部16が、1つの第2錘部22を有する構成を採用することもできる。"