レーザ光を発振する発振器と、前記発振器を支持する支持部とを含む第1のモジュールと、レーザ光を伝送するビーム伝送器と、前記ビーム伝送器を支持する支持部とを含む第2のモジュールと、レーザ光を増幅する増幅器と、前記増幅器を支持する支持部とを含む第3のモジュールと、のうちの少なくとも2つのモジュールと、前記少なくとも2つのモジュールが載置されるフレームであって、前記少なくとも2つのモジュールの各々につき、前記支持部が載置されるマウントを含む前記フレームと、を含むレーザシステム。前記少なくとも2つのモジュールの各々につき、前記少なくとも2つのモジュールを前記マウントに対して昇降する昇降機構をさらに含む、請求項1に記載のレーザシステム。前記フレームに設置された少なくとも2つのガイドと、前記少なくとも2つのモジュールをそれぞれ支持する少なくとも2つの群のガイドフォロアであって、前記少なくとも2つのガイドにそれぞれ沿って動くことにより前記少なくとも2つのモジュールをそれぞれ移動させる前記少なくとも2つの群のガイドフォロアと、をさらに含む、請求項1に記載のレーザシステム。前記少なくとも2つのモジュールの各々につき、前記少なくとも2つの群のガイドフォロアとの間の距離をそれぞれ伸縮することにより前記少なくとも2つのモジュールをそれぞれ昇降する昇降機構をさらに含む、請求項3に記載のレーザシステム。前記少なくとも2つのモジュールが、それぞれ第1の位置と前記第1の位置の下方の第2の位置とに配置される、請求項1に記載のレーザシステム。前記第2の位置に配置されるモジュールが、前記第1の位置に配置されるモジュールより質量が小さい、請求項5に記載のレーザシステム。レーザ光を増幅する増幅器と、前記増幅器を支持する第1~第3の支持部とを含むモジュールと、前記モジュールが載置されるフレームであって、前記第1~第3の支持部がそれぞれ載置される第1~第3のマウントを含む前記フレームと、を含み、前記モジュールは、入射光が第1の外部ユニットから入射するための入射部と、出射光が第2の外部ユニットへ出射するための出射部と、を更に含み、前記第1の支持部は、前記モジュールの重心から見て前記入射部側の第1の位置に有し、前記第2の支持部は、前記第1の位置から見て前記入射光の入射方向側の第2の位置に有し、前記第3の支持部は、第3の位置に有する、レーザシステム。前記第1のマウントは、前記第1の支持部を所定位置に位置決めし、前記第2のマウントは、前記第2の支持部が前記入射光の入射方向に沿った方向に移動できるように前記第2の支持部を支持し、前記第3のマウントは、前記第3の支持部が重力方向と交差する面内において移動できるように前記第3の支持部を支持する、請求項7に記載のレーザシステム。レーザ光を増幅する増幅器と、前記増幅器を支持する第1~第3の支持部とを含むモジュールと、前記モジュールが載置されるフレームであって、前記第1~第3の支持部がそれぞれ載置される第1~第3のマウントを含む前記フレームと、を含み、前記モジュールは、出射光が外部ユニットへ出射するための出射部を更に含み、前記第1の支持部は、前記モジュールの重心から見て前記出射部側の第1の位置に有し、前記第2の支持部は、前記第1の位置から見て前記出射光の出射方向とは反対側の第2の位置に有し、前記第3の支持部は、第3の位置に有する、レーザシステム。前記第1のマウントは、前記第1の支持部を所定位置に位置決めし、前記第2のマウントは、前記第2の支持部が前記出射光の出射方向に沿った方向に移動できるように前記第2の支持部を支持し、前記第3のマウントは、前記第3の支持部が重力方向と交差する面内において移動できるように前記第3の支持部を支持する、請求項9に記載のレーザシステム。レーザ光を増幅する増幅器と、前記増幅器を支持する第1~第3の支持部とを含むモジュールと、前記モジュールが載置されるフレームであって、前記第1~第3の支持部がそれぞれ載置される第1~第3のマウントを含む前記フレームと、を含み、前記モジュールは、入射光が第1の外部ユニットから入射するための入射部と、出射光が第2の外部ユニットへ出射するための出射部と、を更に含み、前記第1の支持部は、前記モジュールの重心から見て前記入射部側の第1の位置に有し、前記第2の支持部は、前記モジュールの重心から見て前記出射部側の第2の位置に有し、前記第3の支持部は、第3の位置に有する、レーザシステム。前記第1のマウントは、前記第1の支持部を所定位置に位置決めし、前記第2のマウントは、前記第2の支持部が前記出射光の出射方向に沿った方向に移動できるように前記第2の支持部を支持し、前記第3のマウントは、前記第3の支持部が重力方向と交差する面内において移動できるように前記第3の支持部を支持する、請求項11に記載のレーザシステム。前記第1のマウントは、前記第2の支持部を所定位置に位置決めし、前記第2のマウントは、前記第1の支持部が前記入射光の入射方向に沿った方向に移動できるように前記第1の支持部を支持し、前記第3のマウントは、前記第3の支持部が重力方向と交差する面内において移動できるように前記第3の支持部を支持する、請求項11に記載のレーザシステム。レーザ光を増幅する増幅器と、前記増幅器を支持する第1~第3の支持部とを含むモジュールと、前記モジュールが載置されるフレームであって、前記第1~第3の支持部がそれぞれ載置される第1~第3のマウントと、前記第1~第3のマウントがそれぞれ載置される第1~第3の設置部と、を含む前記フレームと、を含み、前記第1のマウントは、前記第1の支持部を前記フレームの所定位置に位置決めし、前記第2のマウントは、前記第2の設置部に形成された段差に沿って移動できるように前記第2の設置部に載置され、前記第2の設置部が重力方向に垂直な面に対して傾斜していることにより、前記第2のマウントは前記段差に押し付けられ、前記第2のマウントは、前記第2の支持部を前記第2のマウントの所定位置に位置決めすることにより、前記第2の支持部が前記フレームに対して前記段差に沿った方向に移動できるように前記第2の支持部を支持し、前記第3のマウントは、前記第3の支持部が前記フレームに対して重力方向と交差する面内において移動できるように前記第3の支持部を支持する、レーザシステム。レーザ光を増幅する増幅器と、前記増幅器を支持する第1~第3の支持部とを含むモジュールと、前記モジュールが載置されるフレームであって、前記第1~第3の支持部がそれぞれ載置される第1~第3のマウントと、前記第1~第3のマウントがそれぞれ載置される第1~第3の設置部と、を含む前記フレームと、を含み、前記第1のマウントは、前記第1の支持部を前記フレームの所定位置に位置決めし、前記第2のマウントは、前記第2の設置部に形成された段差に沿って移動できるように前記第2の設置部に載置され、前記第2の設置部又は前記第2のマウントに設けられた弾性部材により、前記第2のマウントは前記段差に押し付けられ、前記第2のマウントは、前記第2の支持部を前記第2のマウントの所定位置に位置決めすることにより、前記第2の支持部が前記フレームに対して前記段差に沿った方向に移動できるように前記第2の支持部を支持し、前記第3のマウントは、前記第3の支持部が前記フレームに対して重力方向と交差する面内において移動できるように前記第3の支持部を支持する、レーザシステム。レーザ光を伝送するビーム伝送器と、前記ビーム伝送器を支持する第1~第3の支持部とを含むモジュールと、前記モジュールが載置されるフレームであって、前記第1~第3の支持部がそれぞれ載置される第1~第3のマウントを含む前記フレームと、を含み、前記第1及び第2のマウントは、前記フレームの第1の面に設けられ、前記第3のマウントは、前記フレームの第2の面であって前記第1の面と交差する面に設けられ、前記第1のマウントは、前記第1の支持部を所定位置に位置決めし、前記第2のマウントは、前記第2の支持部が前記第1のマウントに近づく方向に沿った方向に移動できるように前記第2の支持部を支持し、前記第3のマウントは、前記第3の支持部が前記第2の面に沿った方向に移動できるように前記第3の支持部を支持する、レーザシステム。レーザ光を発振する発振器と、前記発振器を支持する支持部とを含む第1のモジュールと、レーザ光を伝送するビーム伝送器と、前記ビーム伝送器を支持する支持部とを含む第2のモジュールと、レーザ光を増幅する増幅器と、前記増幅器を支持する支持部とを含む第3のモジュールと、のうちの少なくとも2つのモジュールが載置されるフレームであって、前記少なくとも2つのモジュールの各々につき、前記支持部が載置されるマウントを含む、フレーム。