"基材の面方向に対して垂直に成長させた複数のカーボンナノチューブを準備するカーボンナノチューブ準備工程と、前記カーボンナノチューブ準備工程の後に、前記カーボンナノチューブに触媒を担持させる触媒担持工程と、前記触媒担持工程の後に、前記触媒および前記カーボンナノチューブを被覆するように、前記カーボンナノチューブの表面にアイオノマを配置するアイオノマ配置工程と、前記触媒担持工程または前記アイオノマ配置工程の後に、前記カーボンナノチューブの成長端と固体高分子電解質膜とを対向させて、前記カーボンナノチューブと前記固体高分子電解質膜とを接合するために必要な第一の圧力をこれらの間に印加する第一圧力印加工程と、前記第一圧力印加工程の後に、前記基材を除去する基材除去工程と、を備える膜電極接合体の製造方法であって、前記カーボンナノチューブ準備工程の後、少なくとも前記第一圧力印加工程の前に、前記カーボンナノチューブのうちの任意の隣り合う2つのカーボンナノチューブ間に接点を形成するために必要な第二の圧力を、前記カーボンナノチューブのチューブ長さ方向に印加する第二圧力印加工程を備えることを特徴とする膜電極接合体の製造方法。前記カーボンナノチューブ準備工程の後、前記触媒担持工程の前に、前記第二圧力印加工程を実行することを特徴とする請求項1に記載の膜電極接合体の製造方法。前記第二の圧力を、形成させた接点を固定するのに必要な時間として予め定めた設定時間後に開放することを特徴とする請求項2に記載の膜電極接合体の製造方法。前記第二圧力印加工程は、前記チューブ長さ方向に、前記第二の圧力と、前記第二の圧力よりも低い圧力とを交互に印加する工程であることを特徴とする請求項1または2に記載の膜電極接合体の製造方法。前記第二の圧力を、前記アイオノマ配置工程の後に開放することを特徴とする請求項1または2に記載の膜電極接合体の製造方法。前記カーボンナノチューブは、チューブ長さ方向を軸とするらせん構造を有することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の膜電極接合体の製造方法。請求項1乃至6何れか1項に記載の製造方法により製造した膜電極接合体を備えることを特徴とする固体高分子型燃料電池。しかしながら、特許文献1のらせん状CNTは、チューブ長さを揃えて成長させるのが難しく、チューブ長さが不揃いになり易いという問題がある。チューブ長さが不揃いになるということは、即ち、チューブ長さの長いCNTの間に、チューブ長さの短いCNTが成長する場合があることを意味する。そのため、チューブ長さの短いCNTが外部回路と電気的に非接続となり、そのCNTのらせん軸方向に電流を流すことができなくなる。従って、磁場の形成が不十分となってしまう。同様に、特許文献2の直線状CNTも、チューブ長さを揃えて成長させるのが難しいという問題がある。そのため、らせん状CNT同様、軸方向に電流を流すことができなくなるので、そのCNTに担持させた電極用触媒の機能を利用できなくなる。即ち、触媒利用率が低下してしまう。ところで、特許文献2の製法によれば、直線状CNTを傾斜させながら電解質膜に転写できるので、見かけ上、CNTの転写方向長さを短くすることができる。図10は、特許文献2の第1の製法によって得られる燃料電池の電極構成を説明するための図である。図10に示すように、直線状のCNT54a~dは長さが異なる。しかしながら、CNT54a~dを電解質膜52の表面に傾斜配向させれば、電解質膜52からガス拡散部材60までの直線距離を短くすることができる。従って、チューブ長さの最も短いCNT54dと、導電性のガス拡散部材60との距離を狭めることができる。しかしながら、特許文献2の第1の製法においては、CNT54a~dを電解質膜52に接合する前に、CNT54a~dの表面にアイオノマ58を設ける。そのため、接合時には、アイオノマ58で覆われたCNT54a~dに圧力を印加することになる。従って、図10に示すように、CNT54dとCNT54cとの間にアイオノマ58が介在することになる。これでは、CNT54dとガス拡散部材60との電気的な接続が不十分となってしまう。一方、上述した特許文献2の第2の製法においては、CNT54a~dを電解質膜52に接合した後に、CNT54a~dの表面にアイオノマ58を設ける。そのため、例えば、CNT54dとCNT54cを接触させ、CNT54cを介してCNT54dとガス拡散部材60との電気的な接続を確保することが可能となる。しかしながら、CNTを傾斜配向させれば全てのCNTの電気的な接続を十分に確保できるとは言い難い。また、この第2の製法においては、滴下や浸漬といった湿式法や乾式法を用い、アイオノマ58をCNT54a~dの表面に設けている。しかしながら、滴下法ではアイオノマ58の偏析が起こり易く、CNT表面の被覆が不十分となる可能性が高い。また、浸漬法では、電解質膜52のCNT未転写側面にアイオノマ58が付着し、膜厚化を生じてしまうことがある。従って、燃料電池の出力低下に繋がる可能性がある。また、乾式法では、電解質膜にダメージを与えることになるので、燃料電池の出力低下だけでなく、耐久性低下にも繋がる可能性がある。この発明は、上述のような課題を解決するためになされたものである。即ち、チューブ長さの不揃いに起因した電気的接続の問題を解消しつつ、燃料電池の出力を向上させることが可能なMEAの製造方法および燃料電池を提供することを目的とする。第1の発明は、上記の目的を達成するため、基材の面方向に対して垂直に成長させた複数のカーボンナノチューブを準備するカーボンナノチューブ準備工程と、前記カーボンナノチューブ準備工程の後に、前記カーボンナノチューブに触媒を担持させる触媒担持工程と、前記触媒担持工程の後に、前記触媒および前記カーボンナノチューブを被覆するように、前記カーボンナノチューブの表面にアイオノマを配置するアイオノマ配置工程と、前記触媒担持工程または前記アイオノマ配置工程の後に、前記カーボンナノチューブの成長端と固体高分子電解質膜とを対向させて、前記カーボンナノチューブと前記固体高分子電解質膜とを接合するために必要な第一の圧力をこれらの間に印加する第一圧力印加工程と、前記第一圧力印加工程の後に、前記基材を除去する基材除去工程と、を備える膜電極接合体の製造方法であって、前記カーボンナノチューブ準備工程の後、少なくとも前記第一圧力印加工程の前に、前記カーボンナノチューブのうちの任意の隣り合う2つのカーボンナノチューブ間に接点を形成するために必要な第二の圧力を、前記カーボンナノチューブのチューブ長さ方向に印加する第二圧力印加工程を備えることを特徴とする。また、第2の発明は、第1の発明において、前記カーボンナノチューブ準備工程の後、前記触媒担持工程の前に、前記第二圧力印加工程を実行することを特徴とする。また、第3の発明は、第2の発明において、前記第二の圧力を、形成させた接点を固定するのに必要な時間として予め定めた設定時間後に開放することを特徴とする。また、第4の発明は、第1または第2の発明において、前記第二圧力印加工程は、前記チューブ長さ方向に、前記第二の圧力と、前記第二の圧力よりも低い圧力とを交互に印加する工程であることを特徴とする。また、第5の発明は、第1または第2の発明において、前記第二の圧力を、前記アイオノマ配置工程の後に開放することを特徴とする。また、第6の発明は、第1乃至第5の何れか1つの発明において、前記カーボンナノチューブは、チューブ長さ方向を軸とするらせん構造を有することを特徴とする。また、第7の発明は、固体高分子型燃料電池であって、第1乃至第6の発明の何れか1つにより製造した膜電極接合体を備えることを特徴とする。第1の発明によれば、少なくとも第一の圧力を印加する前にCNTのチューブ長さ方向に第二の圧力を印加するので、CNTと電解質膜とを接合する少なくとも前に、複数のCNTのうちの任意の隣り合う2つのCNT間に接点を形成できる。そのため、基材の面方向に対して垂直に成長させたCNTのチューブ長さが不揃いであったとしても、チューブ長さの長いCNTを介して、チューブ長さの短いCNTと外部回路との電気的接続を確保した上で、電解質膜に転写できる。従って、燃料電池の出力を向上できる。電極用触媒はCNTの表面に担持されるので、電極用触媒の担持後に第二の圧力を印加すると、CNT間の接点付近の触媒がCNTによって閉塞されて利用できなくなる可能性がある。この点、第2の発明によれば、電極用触媒の担持前に第二の圧力を印加するので、CNT間に接点を形成させた上で、電極用触媒をCNTに担持できる。従って、電極用触媒の有効活用を図ることが可能となるので、燃料電池の出力をより一層向上できる。第3の発明によれば、第二の圧力を、CNT間の接点を固定するのに必要な時間として予め定めた設定時間後に開放するので、第二の圧力の開放後に電極用触媒を担持させることが可能となる。従って、圧力を印加した状態で電極用触媒を担持させる場合に比べて作業を容易化でき、製造コストを低減できる。第4の発明によれば、第二圧力印加工程において、CNTのチューブ長さ方向に、第二の圧力と、この第二の圧力よりも低い圧力とを交互に印加するので、第二の圧力よりも低い圧力の印加中に、CNT間の接点の形成状態を確認することが可能となる。従って、第二の圧力を印加する場合に比べて、製品間ばらつきを低減できる。第5の発明によれば、第二の圧力を、アイオノマ配置工程の後に開放するので、第二の圧力の印加によって形成させた接点を、アイオノマによって固定できる。従って、短時間で接点を固定させることができるので、生産性を向上させることができる。第6の発明によれば、チューブ長さ方向を軸とするらせん構造を有するCNTを用いるので、第二の圧力を印加した場合に、隣り合うCNT間に接点を多数形成できる。従って、チューブ長さの短いCNTと外部回路との電気的接続を良好に確保できる。第7の発明によれば、チューブ長さの不揃いに起因した電気的接続の問題を解消しつつ、電池出力を向上させた燃料電池を提供できる。実施の形態1.[燃料電池の構成]先ず、図1~図8を参照して、本発明の実施の形態1について説明する。先ず、図1を参照して、燃料電池の構成を説明する。図1は、実施の形態1により製造される燃料電池10の断面構成の模式図である。図1に示すように、燃料電池10は、電解質膜12を備えている。電解質膜12は例えば、パーフルオロスルホン酸樹脂から構成されている。電解質膜12の両側には、これを挟むようにアノード電極14、カソード電極16が設けられている。アノード電極14、カソード電極16の詳細な構成については後述する。電解質膜12と、これを挟む一対のアノード電極14、カソード電極16とにより、MEA18が構成される。アノード電極14の外側には、ガス拡散層以下、GDLともいう。20が設けられている。GDL20は、カーボンペーパー、カーボンクロス、金属多孔体といった多孔質材から構成され、セパレータ22側から供給されたガスをアノード電極14に均一に拡散させる機能を有する。同様に、カソード電極16の外側には、GDL24が設けられている。GDL24は、セパレータ26側から供給されたガスをカソード電極16に均一に拡散させる機能を有する。本図においては、上記のように構成されたMEA18、GDL20,24、セパレータ22,26を1組のみ示したが、実際の燃料電池は、MEA18、GDL20,24がセパレータ22,26を介して複数積層されたスタック構造を有している。次に、図2、図3を参照して、MEA18の詳細な構成を説明する。図2は、図1のMEA18の断面構成の模式図である。なお、アノード電極14とカソード電極16の構成は基本的に共通するので、図2の説明においては、カソード電極16側の構成を説明することとする。図2に示すように、電解質膜12の表面には、CNT28が複数設けられている。CNT28のそれぞれは、らせん状のCNTから形成され、そのらせん外周の少なくとも1点で隣り合うCNT28と接し、互いに支え合いながら電解質膜12の面方向に対して実質上垂直に配向されている。ここで、電解質膜12の面方向に対して実質上垂直とは、電解質膜12の面方向と、CNT28の両端の中心部を結ぶ直線の方向とのなす角度が90°±10°であることを意味する。これは、製造時の条件等によって、必ずしも90°とならない場合を含むものである。CNT28は、このように配向されることで、全体として一つの層を構成している。また、図2に示すように、CNT28の外表面には、電極用触媒30が設けられている。電極用触媒30には白金を用いるが、ルテニウム、イリジウム、ロジウム、パラジウム、オスニウム、タングステン、鉛、鉄、クロム、コバルト、ニッケル、マンガン、バナジウム、モリブデン、ガリウム、アルミニウム等の金属、又はそれらの合金等の粒子を使用してもよい。また、図2に示すように、垂直配向CNT28の外表面には、CNT28や電極用触媒30を覆うようにアイオノマ32が設けられている。アイオノマ32は、電解質膜12に用いる高分子電解質よりもガラス転移温度の高い高分子電解質から構成される。電解質膜12同様、例えばパーフルオロスルホン酸樹脂から構成される。また、アイオノマ32で被覆されたCNT28と、それと隣り合うCNT28との間には、微細な空隙34が形成されている。このような空隙34が形成されていることで、電気化学反応に必要なガスの流路や、電気化学反応により生じた水の排水路として利用できる。図3は、図2のCNT28の近傍の構成を説明するための図である。図3Aに示すように、CNT28aとCNT28bとは、そのらせん外周で接する。そのため、互いに支え合うことができ、これらの配向性を保つことができる。また、CNT28bの先端は、電解質膜12側にのみ埋設しているが、CNT28aの先端は、電解質膜12、GDL24の両者に埋設している。そのため、CNT28aを介してCNT28bとGDL24との電気的な接続を確保できる。比較として示す図3Bから理解できるように、CNT28cとCNT28dとが独立して配向されている場合、CNT28dがGDL24と電気的に接続されていない。そのため、CNT28dに電流を流すことができず、CNT28dに担持された電極用触媒30の機能を利用できなくなってしまう。[MEAおよび燃料電池の製造方法]次に、図4を参照して、上述した構成のMEA18および燃料電池10の製造方法の各工程を説明する。実施の形態1では、1種触媒層形成工程、2CNT成長工程、3CNT絡み合い促進工程、4触媒担持工程、5アイオノマ配置工程、6転写MEA化工程を経ることでMEA18および燃料電池10を製造する。以下、これらの各工程について、詳細を説明する。1種触媒層形成工程本工程は、CNT基板上に、種触媒金属成長用触媒を担持させた種触媒層を形成する工程であるステップ100~140。本工程では、先ず、CNT基板上に、種触媒層の基材となる金属等と、種触媒金属の前駆体となる金属塩溶液を混合したペーストを塗工するステップ100。ここで、CNT基板としては、珪素基板、チタン基板やステンレス基板といった耐熱性の基板を用いることができる。CNT基板は、必要に応じて表面の洗浄を行うことができる。CNT基板の洗浄方法としては、例えば、真空中における加熱処理等が挙げられる。CNT基板上に塗工するペーストは、種触媒層の基材となる多孔質金属等の分散液と、種触媒金属の前駆体となる金属塩溶液とをエタノール等のアルコール中で混合分散させることで調製できる。ここで、種触媒層の基材となる金属等としては、アルミナAl2O3、ジルコニアZrO2、チタニアTiO2といった多孔質の金属酸化物、シリカSiO2といった多孔質の半金属酸化物、或いは、鉄、ニッケル、銅、アルミニウムといった金属の多孔体を用いることができる。また、種触媒金属の前駆体となる金属塩溶液としては、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、マンガン、モリブデン、パラジウムといった金属の塩溶液であり、これらは単独で用いてもよいし同時に用いてもよい。ペーストの塗工方法は、特に限定されず、スプレー法、スクリーン印刷、ドクターブレード法、インクジェット法等の各種塗布方法を用いることができる。本工程では、続いて、ペースト中の溶媒を乾燥除去するステップ120。具体的には、種触媒層を80°Cで24時間乾燥させる。これにより、種触媒層の表面に、数nm程度の酸化物状態の種触媒金属を担持させる。より好ましくは、種触媒層を80°Cで1時間乾燥させた後に、再度ペーストを塗工し、80°Cで24時間乾燥させる。こうすることで、種触媒層の担持表面積を大きくできるので、種触媒金属を沢山担持できる。乾燥温度や乾燥時間は、溶媒の沸点や形成させる種触媒層の膜厚等に応じて適宜変更できる。本工程では、続いて、還元剤ガス流通の下で種触媒層を加熱し、酸化物状態の種触媒金属を還元するステップ140。具体的には、種触媒層を水素混合不活性ガスの下で、800°C程度まで温度を上昇させる。上述したように、種触媒層は、多孔質の金属酸化物等から構成されているので表面積が大きくなっている。そのため、温度を上昇させた際に、種触媒金属がシンタリングして粗大化することなく高密度に担持させることができる。2CNT成長工程本工程は、化学気相成長法CVD法を用いて、種触媒層の面方向に対して実質上垂直にらせん状のCNTを成長させる工程であるステップ160。ここで、種触媒層の面方向に対して実質上垂直とは、種触媒層の面方向と、CNTの両端の中心部を結ぶ直線の方向とのなす角度が90°±10°であることを意味する。本工程では、種触媒層を不活性雰囲気の空間内に配置し、CNTの成長に適した所定温度通常、700°C程度に加熱した状態で原料ガスを供給する。これにより、種触媒金属を核として、らせん状のCNTが種触媒層の面方向に対し実質上垂直に配向形成される。供給する原料ガスとしては、例えば、メタン、エチレン、アセチレン、ベンゼン、アルコール等の炭素源ガスを用いることができる。原料ガスの流量、供給時間、総供給量等は特に限定されず、目的とするCNTのチューブ長さやチューブ径、或いはCNTの形状等を考慮して、適宜決定できる。例えば、供給する原料ガスの濃度[原料ガス流量/原料ガス流量不活性ガス流量]によって、成長するCNTのチューブ長さ、チューブ径やCNTの形状を設計できる。尚、本工程は、種触媒金属と原料ガスを高温条件下で共存させることによってCNTを成長させるCVD法を用いたものであるが、CNTを生成する方法はCVD法に限定されず、例えば、アーク放電法やレーザー蒸着法などの気相成長法、或いはその他の公知の合成法を用いてもよい。3CNT絡み合い促進工程本工程は、成長させたらせん状CNTのチューブ長さ方向に圧力を印加して、隣り合うCNT間の絡み合いを促進する工程であるステップ180~220。本工程では、先ず、締結用の平板を二枚準備し、この平板間に上記2CNT成長工程により得られたCNTをCNT基板ごと挟み込むステップ180。本工程では、続いて、定常圧力を一定時間印加するステップ200。実施の形態1では、定常圧力として、1MPa~5MPaを印加する。しかし、CNTの配向性を損なわない範囲で隣り合うCNTの絡み合いをより強固にするために、5MPaよりも高い圧力を印加してもよい。また、実施の形態1では、この定常圧力を、例えば24時間に亘って印加する。なお、この印加時間は、CNTの形状および加圧する圧力によって異なるため、印加時間に対するCNTの絡み合い効果を別途調べた上で、適宜設定することが好ましい。本工程では、続いて、締結を解除し圧力を開放するステップ220。4触媒担持工程本工程は、絡み合わせたCNTに電極用触媒を担持させる工程であるステップ240。電極用触媒の担持方法としては、具体的に、図2の電極用触媒30として例示した金属の塩溶液をCNT表面に塗布した後、水素雰囲気中で200°C以上に加熱して還元する方法が挙げられる。金属塩溶液は、水溶液でも有機溶媒溶液でもよい。金属塩溶液のCNT表面への塗布は、例えば、金属塩溶液中にCNTを浸漬する方法、CNTの表面に金属塩溶液を滴下する方法や、CNTの表面に金属塩溶液を噴霧スプレーする方法が挙げられる。電極用触媒に白金を用いる場合、金属塩溶液は、エタノールやイソプロパノール等のアルコール中に塩化白金酸や白金硝酸溶液例えば、ジニトロジアミン白金硝酸溶液など等を適量溶解させた白金塩溶液を用いることができる。CNT表面に白金を均一に担持できるという点から、特に、アルコール中にジニトロジアミン白金硝酸溶液を溶解させた白金塩溶液を用いることが好ましい。実施の形態1では、本工程を、上記3CNT絡み合い促進工程の後に行う。この理由について、図5を用いて説明する。図5は、実施の形態1の比較例として、上記3CNT絡み合い促進工程と、本工程との順番を逆にした場合に得られる触媒担持CNTの模式図である。本工程の後に上記3CNT絡み合い促進工程を行うと、図5の破線で囲んだ部分に示すように、絡み合いの生じた箇所に電極用触媒が担持されてしまうことになる。そして、この担持箇所が小さい場合には、後述するアイオノマ溶液が十分に到達しにくくなるので、電極用触媒の被覆が不十分となってしまう。この点、実施の形態1では、本工程を、上記3CNT絡み合い促進工程の後に行うことで、予め圧縮してCNTの絡み合い構造を作り込み、その上で電極用触媒を担持できる。そのため、アイオノマ溶液が到達しやすい箇所に電極用触媒を担持できる。従って、電極用触媒をアイオノマで確実に被覆できるので、触媒利用率を向上できる。5アイオノマ配置工程本工程は、電極用触媒を担持させたCNTの表面にアイオノマを配置する工程であるステップ260。具体的には、電極用触媒を担持させたCNTをアイオノマ溶液に浸漬し、その後、取り出すことでCNT表面にアイオノマを配置する。これにより、上記3CNT絡み合い促進工程で作り込んだCNTの絡み合い構造を強固にできる。なお、CNTを取り出した後に、乾燥して溶媒を除去してもよいし、減圧脱気してアイオノマ形成面とCNT表面との間に残留した気泡を除去してもよい。これにより、CNT表面に均一にアイオノマを配置できる。また、溶媒や気泡の除去は、後述する6転写工程と同時に行ってもよく、6転写工程の後に行ってもよい。アイオノマの配置に際しては、CNTを構成するカーボンに対する重量比以下、I/Cともいう。が1.6~3.5となるようにアイオノマの量を調整することが好ましい。アイオノマは、プロトンパスとして機能するだけでなく、CNTのチューブ長さ方向の補強材としても機能できる。そのため、補強機能を十分に発揮させるためには、I/Cが1.6以上であることが好ましい。一方、I/Cが3.5以上であると、隣り合うCNT間に形成させた空隙がアイオノマによって目詰まりし、ガス拡散性や排水性が低下する原因となるので好ましくない。なお、I/Cは、上記2CNT成長工程前後のカーボン重量を基準に設定できる。6転写MEA化工程本工程は、アイオノマが配置されたCNT層を電解質膜の両面に転写する工程であるステップ280,300。本工程では、先ず、電解質膜とCNTの成長端とを対向させ、CNTに電解質膜を密着させて接合するステップ280。これにより、CNT基板-CNT層-電解質膜接合体が作製できる。電解質膜は、その軟化点温度以上に加熱しながら密着させるが、膜劣化やプロトン伝導性の低下が生じるような過度な温度では加熱しない。例えば、電解質膜にパーフルオロカーボンスルホン酸樹脂を用いた場合には、100°C~160°Cに加熱して密着させる。接合に際しては、密着性を強固にするために、CNT層と電解質膜との間に5MPa~15MPaの圧力を印加する。本工程では、続いて、CNT基板とCNT層-電解質膜接合体とを分離するステップ300。具体的には、CNT基板側を酸またはアルカリ溶液中に浸して、CNT基板上に形成された種触媒層または種触媒金属を溶解除去する。酸、アルカリ溶液は、種触媒層の基材や種触媒金属に用いた材料の化学的性質に応じて適宜選択できる。なお、CNT基板とCNT層-電解質膜接合体とを物理的に引き剥がすことで分離してもよい。以上の工程により、らせん状CNTが、その外周の少なくとも1点で隣り合うCNTと接し、互いに支え合いながら電解質膜の面方向に対して実質上垂直に配向したMEAを作製できる。このようにして作製したMEAを、上述したGDL、セパレータで挟持することにより燃料電池10が製造できる。[実証試験とその結果]図6は、MEAのI-V特性図を示したものである。図6Aは、実施の形態1の製造方法を用いて作製したMEAのI-V特性図である。このMEAは、具体的に、図7に示すらせん状CNTに対して、セル締結圧力と同等の圧力2MPaを24時間に亘って印加し、圧力開放後、白金、アイオノマの順に担持させ、電解質膜にホットプレスすることで作製したものである。一方、図6Bは、従来製法を用いて作製した比較用MEAのI-V特性図である。この比較用MEAは、図7に示すCNTを用い、上記の工程を実施しない他は、実施の形態1の製造方法と同様に作製したものである。図6に示すように、実施の形態1の製造方法を用いて作製したMEAは、従来製法を用いて作製した比較用MEAに比べて出力が大幅に向上した。この結果から、実施の形態1の製造方法によれば、CNT絡み合いを促進できるので、電池出力を向上できることが示された。図8は、白金担持CNTにおける白金の有効反応表面積cm2/mgを示したグラフである。図8Aは、実施の形態1の製造方法に基づいて作製した白金担持CNTの有効反応表面積である。この白金担持CNTは、具体的に、図7のCNTに対して、セル締結圧力と同等の圧力2MPaを24時間に亘って印加し、圧力開放後、白金を担持させることで作製したものである。一方、図8Bは、従来製法を用いて作製した比較用の白金担持CNTの有効反応表面積である。この比較用の白金担持CNTは、図7に示すCNTを用い、上記の工程を実施せずに、白金を担持させることで作製したものである。有効反応表面積は、サイクリックボルタンメトリーを用い、これら白金担持CNTの吸着電気量を求めて算出した。図8に示すように、実施の形態1の製造方法に基づいて作製した白金担持CNTは、従来製法を用いて作製した比較用の白金担持CNTに比べて、27も有効反応表面積が向上した。この結果から、実施の形態1の製造方法によれば、白金担持前にCNT絡み合いを促進できるので、白金の利用率を向上できることが示された。以上、実施の形態1の製造方法によれば、3CNT絡み合い促進工程によって、隣り合うCNT間の絡み合いを促進でき、CNTの電気的接続を確保できるので電池出力を向上できる。また、3CNT絡み合い促進工程を4触媒担持工程の前に行うことで、CNTの絡み合い構造を作り込み、その上で電極用触媒を担持できる。そして、その後の5アイオノマ配置工程において、担持させた電極用触媒をアイオノマで確実に被覆できるので、触媒利用率を向上できる。なお、実施の形態1においては、CNT28はらせん状であるとしたが、例えば波型状であってもよい。即ち、CNTのチューブ長さ方向に圧力を印加した場合に、隣り合うCNT間に接点を形成しつつ電解質膜12の面方向に対して実質上垂直に配向可能な形状であれば、CNT28の形状は特に限定されない。本変形例については、後述する実施の形態2においても同様に適用が可能である。また、実施の形態1においては、アノード電極14およびカソード電極16を図2に示した構成としたが、両者ともに図2の構成となっていなくてもよい。例えば、図2において、アノード電極14の代わりに、公知の電極例えば、カーボン粒子に電極用触媒を担持させてアイオノマで被覆したものを用いてもよい。少なくとも一方の電極に、図2の構成のものを用いれば、本実施の形態の効果とほぼ同等の効果を得ることができる。本変形例については、後述する実施の形態2においても同様に適用が可能である。また、実施の形態1においては、3CNT絡み合い促進工程を4触媒担持工程の前に行ったが、これらの工程の順序は変えてもよい。3CNT絡み合い促進工程を行うことで、少なくとも隣り合うCNT間の絡み合い自体は促進できるので、CNT同士の電気的接続を確保することにより、電池出力の向上が期待できる。従って、4触媒担持工程は必ずしも3CNT絡み合い促進工程後でなくてもよく、3CNT絡み合い促進工程の前に4触媒担持工程を行ってもよい。また、実施の形態1においては、3CNT絡み合い促進工程において、定常圧力を印加したが、高圧例えば3~5MPaと低圧例えば0~1MPaとを交互に印加してもよい。印加圧力に変化を付けた場合には、低圧印加時にCNTの絡み合い状態を確認することが可能となるので、定常圧力を印加する場合に比して、製品間ばらつきを低減できる。なお、上述した実施の形態1においては、図4のステップ100~160が上記第1の発明におけるカーボンナノチューブ準備工程に、同図ステップ180~200が上記第1の発明における第二圧力印加工程に、同図ステップ240が上記第1の発明における触媒担持工程に、同図ステップ260が上記第1の発明におけるアイオノマ配置工程に、同図ステップ280が上記第1の発明における第一圧力印加工程に、同図ステップ300が上記第1の発明における基材除去工程に、それぞれ相当している。実施の形態2.次に、図9を参照して、本発明の実施の形態2について説明する。上記実施の形態1では、図4のステップ180~220によってらせん状CNTの絡み合いを促進させた。しかし、実施の形態2の製造方法では、後述する図9のステップ400,460によってCNTの絡み合いを促進させる点で実施の形態1と異なる。なお、実施の形態2により製造される燃料電池の構成は、図1の燃料電池10と同一である。従って、その構成に関する説明については省略する。[MEAおよび燃料電池の製造方法]実施の形態2では、1種触媒層形成工程、2CNT成長工程、3圧力印加工程、4触媒担持工程、5アイオノマ配置工程、6圧力開放工程、7転写MEA化工程を経ることでMEA18および燃料電池10を製造する。以下、これらの各工程について、詳細を説明する。1種触媒層形成工程及び2CNT成長工程1種触媒層形成工程は、CNT基板上に、種触媒金属成長用触媒を担持させた種触媒層を形成する工程であるステップ320~360。また、2CNT成長工程は、化学気相成長法CVD法を用いて、種触媒層の面方向に対して実質上垂直にらせん状のCNTを成長させる工程であるステップ380。これらの工程は、図4のステップ100~160と同一である。従って、その詳細な説明は省略する。3圧力印加工程本工程は、成長させたらせん状CNTのチューブ長さ方向に圧力を印加する工程であるステップ400。具体的には、締結用の平板を二枚準備し、この平板間に上記2CNT成長工程により得られたCNTをCNT基板ごと挟み込み、狙いの圧縮量まで面圧通常、1MPa~10MPaの圧力を印加する。これにより、隣り合うCNT間に絡み合いを生じさせる。4触媒担持工程及び5アイオノマ配置工程4触媒担持工程は、絡み合わせたCNTに電極用触媒を担持させる工程であるステップ420。また、5アイオノマ配置工程は、電極用触媒を担持させたCNTの表面にアイオノマを配置する工程であるステップ440。これらの工程は、上記3圧力印加工程で印加した圧力を開放せずに実行する点で図4のステップ240,260と異なるが、他は共通する。なお、5アイオノマ配置工程においては、実施の形態1と同様、溶媒や気泡の除去を、後述する6圧力開放工程や7転写工程と同時に行ってもよく、これらの後に行ってもよい。実施の形態1では、3CNT絡み合い促進工程図4のステップ180~220において、定常圧力を一定時間印加することでCNTの絡み合いを固定させた。一方、実施の形態2では、3圧力印加工程の後、CNTの圧縮状態を維持した状態で5アイオノマ配置工程を行うことで、CNTの絡み合いをアイオノマによって固定している。従って、実施の形態2では、実施の形態1に比べて短時間でCNTの絡み合いを固定できる。6圧力開放工程及び7転写MEA化工程6圧力開放工程は、上記3圧力印加工程で印加した圧力を開放する工程であるステップ460。7転写工程は、上記7圧力開放工程後のCNT層を電解質膜の両面に転写する工程であるステップ480,500。7転写工程は、図4のステップ280,300と同一である。従って、その詳細な説明は省略する。以上、実施の形態2の製造方法によれば、3圧力印加工程の後、CNTの圧縮状態を維持した状態で5アイオノマ配置工程を行うので、成長させたCNTの電気的接続を確保しつつ、CNTの絡み合い構造を短時間で固定できる。従って、実施の形態1の効果に加え、生産性の向上を図ることもできる。なお、実施の形態2においては、3圧力印加工程を4触媒担持工程の前に行ったが、これらの工程の順序は変えてもよい。実施の形態1と同様、3圧力印加工程を行うことで、少なくとも隣り合うCNT間の絡み合いを生じさせることができるので、CNT同士の電気的接続を確保することにより、電池出力の向上が期待できる。従って、4触媒担持工程は必ずしも3圧力印加工程後でなくてもよく、4触媒担持工程の後に3圧力印加工程を行ってもよい。"