粉粒体を搬送できる搬送手段と、該搬送手段によって搬送された粉粒体が通過できる開口部を有する回転板とを備えた、粉粒体を次工程へと定量供給するための装置であり、該回転板の開口部は断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有することを特徴とする、粉粒体供給装置。本発明者らは、従来技術に係る粉粒体供給装置よりも、粉粒体の供給精度をより高度に制御することのできる、粉粒体供給装置の提供を目的とした。本願発明の請求項1にかかる発明は、粉粒体を搬送できる搬送手段と、該搬送手段によって搬送された粉粒体が通過できる開口部を有する回転板とを備えた、粉粒体を次工程へと定量供給するための装置であり、該回転板の開口部は断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有することを特徴とする、粉粒体供給装置。である。本発明の請求項1にかかる粉粒体供給装置は、断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有する回転板を、その構成に備えていることを特徴としている。断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造の開口部を有することによって、開口一つあたりを通過する粉粒体の通過量を均一にすることができて、脈流の発生を防ぐことができる。また、断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造であることによって、回転板の総開口面積と隣接する開口同士の最短距離を一定とした時に、回転板に開口数を最も多くして設けることができ、各開口一つあたりを通過する粉粒体の量を微少量に制御して、脈流の発生を更に防ぐことができる。本発明に係る粉粒体供給装置12について、一例として図3aを用いて説明する。なお、本発明でいう断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造とは、断面形状が正六角形かつ同じ断面積を有する断面形状が同一の開口が複数集合している態様であると共に、隣接する正六角形の開口間の最短距離が同一である態様を意味する。また、本発明では開口が集合した領域を開口部と称する。図3aは本発明に係る粉粒体供給装置12の、長手方向における模式的断面図を示したものである。図3aに示す粉粒体供給装置12は、管状ケース1の一端に粉粒体図示せずの貯蔵容器となるホッパー11が設けられおり、ホッパー11と管状ケース1が接続している箇所が粉粒体の供給口2となっている。管状ケース1内には、回転軸4とその軸上に螺旋状に配置された羽根3以降、回転軸4および羽根3を合わせて、スクリュー10と称するがスクリューモータ5により、回転可能な態様で設けられている。管状ケース1の他端側は粉粒体の吐出口9となっており、吐出口9付近には、回転板6が回転軸7を介して回転板モータ8により回転可能な態様で設けられている。ホッパー11に貯蔵されている粉粒体は、供給口2を経由して管状ケース1内部へと供給される。管状ケース1内部へと供給された粉粒体は、スクリューモータ5により回転されているスクリュー10の螺旋状に配置された羽根3によって、吐出口9へと向かい搬送される。吐出口9まで搬送されてきた粉粒体は、回転軸7を介して回転板モータ8により回転している回転板6に接触する。なお、回転板6には後述するように、断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有する開口部図3aでは図示せずが設けられている。粉粒体は、回転する回転板6の開口部によって切削されて解される。そして解された粉粒体は、主として回転板6の開口部から吐出されて、各種の機械装置や試験装置へと供給される。本発明に係る粉粒体供給装置12は、断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有する開口部を備えた回転板6であることによって、粉粒体の供給精度をより高度に制御することができる。以降、本発明に係る粉粒体供給装置12を構成する、各部材の説明をする。本発明に係る粉粒体供給装置12が供給できる粉粒体の種類は、特に限定されるものではない。粉粒体は固体状の粒子である限り、無機質又は有機質のいずれであることもでき、このような粒子の一種以上を適宜選択することができる。このような粉粒体の種類としては、例えば、活性炭、ゼオライトのほかに、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化チタン、二酸化マンガン、酸化鉄、酸化亜鉛、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムなどの酸化物、窒化硼素、窒化アルミニウムなどの窒化物、炭化珪素などの炭化物、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウムなどの水酸化物、吸水性樹脂、イオン交換樹脂、金属粒子、トルマリン、炭酸カルシウム、又は撥水性樹脂など、種々の粉粒体を使用することができる。また、この様な粉粒体の粒子径は、回転板6の開口部を通過することができる大きさであれば、特に限定されるものではない。供給する粉粒体の種類やその粉粒子の形状は、適宜調整できる。しかし、粉粒体の粒子径が300μmより大きいと粉粒体が開口部を構成する開口に目詰まりする傾向があり、粉粒体を定量供給することが困難となるおそれがある。そのため、供給する粉粒体の粒子径は、300μm以下であるのが好ましく、100μm以下であるのがより好ましい。なお、これら例示以外の種類の粉粒体も使用可能であり、例示以外の粉粒体も含め、2種以上の粉粒体を混合したものを用いることもできる。また、搬送時において酸化あるいは光により変性しないよう、上述の粉粒体へ、酸化防止剤、光安定剤などを添加しても良い。ホッパー11は粉粒体を貯蔵する働きを担うと共に、供給口2を経由して粉粒体を管状ケース1内部へと供給する役割を担う。ホッパー11の形状は、粉粒体を貯蔵可能で、粉粒体を供給口2へと供給することができる形状であれば良く、例えば、漏斗形状や擂鉢形状、多角錘形状や飼い葉桶形状などが挙げられる。また、ホッパー11に貯蔵されている粉粒体の量が変動することなく、粉粒体の供給量が一定となるように、ホッパー11に貯蔵されている粉粒体の量を一定に保つことのできる別の粉粒体供給装置図示せずを設けるのが好ましい。スクリュー10の形状は、粉粒体をスクリュー10の回転により搬送できるのであれば、特別限定するものではない。スクリュー10の長さ、羽根3が回転軸4の軸方向となす螺旋角度、羽根3同士の間隔は、粉粒体の種類や粒子形状、また凝集性や流動性など粉粒体の性状により、適宜調整するのが好ましい。スクリュー10における軸の長さは、粉粒体を吐出口9へと搬送することができるのであれば、特別限定するものではない。図3bの態様のように、管状ケース1の吐出口9側にスクリュー10が存在しない充填室21を形成するようにしても良い。充填室21が形成されていると、供給口2からスクリュー10の回転により搬送されてきた粉粒体を、充填室21で圧縮することができるため、粉粒体間に気体が混入して発生するかさ密度の変動や、粉粒体の送りムラによる供給精度の低下を解消することができる。また、スクリュー10の回転速度はスクリューモータ5の回転により調整されるが、粉粒体を搬送することができる限り、スクリュー10の回転速度は特に限定されるものではない。粉粒体の搬送量供給量所望吐出量、粉粒体の種類や粒子形状、また凝集性や流動性など粉粒体の性状により、適宜調整するのが好ましい。回転板6には、後述する断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有する開口部が設けられていると共に、回転軸7を介して回転板モータ8により回転して、粉粒体と接触することで粉粒体を切削して解す働きを担う。この時、回転板6の回転速度ならびに回転方向は、粉粒体を切削して解すことができる限り、特に限定されるものではない。粉粒体の種類や粒子形状、また凝集性や流動性など粉粒体の性状により、適宜調整するのが好ましい。スクリュー10の回転方向と回転板6が反対方向に回転できると、スクリュー10により搬送されてきた粉粒体と回転する回転板6とが激しく接触して、粉粒体を効率よく切削して解すことができる。なお、回転板6は管状ケース1の内部及び又は外部に設けることができる。この時、管状ケース1と回転板6が接触した態様であると、回転板6の回転が阻害されて、粉粒体の供給に脈流が発生する場合があることや、接触により管状ケース1と回転板6が摩耗して、粉粒体に磨耗粉が混入する場合があるため、管状ケース1と回転板6は離間しているのが好ましい。管状ケース1と回転板6の離間距離が大きければ大きいほど、搬送されてきた粉粒体のうち、回転板6と管状ケース1の間を通過する粉粒体の割合が高くなると共に、回転板6の開口部を通過することで切削されて解される粉粒体の割合が低下して、その結果、粉粒体の供給に脈流が発生する傾向がある。そのため、粉粒体の供給に脈流が発生することを防ぐことができるように、管状ケース1と回転板6の離間距離は適宜調整するのが好ましい。具体的には、管状ケース1と回転板6の離間距離は0mmよりも大きく05mm以下であるのが好ましく、0mmよりも大きく01mm以下であるのがより好ましい。なお、本発明に係る粉粒体供給装置12において、回転板6が設置されている位置やその態様は、粉粒体の供給精度を高度に制御することができる限り限定されるものではない。例えば、図3aの態様のように、回転板6を管状ケース1の外側に設けることも、図3cの態様のように、回転板6を管状ケース1の内側に設けることもできる。図4a、bは、本発明に係る別の粉粒体供給装置12の、長手方向における模式的断面図を示したものである。図4a、bは、図3とは異なり、スクリュー10の回転軸4の吐出口9側の末端に回転板6が設けられた粉粒体供給装置12を図示している。回転板6の大きさと回転軸4の長さが調整されていることで、図4aの態様では、回転板6が管状ケース1の外側に存在するように設けられており、図4bの態様では、回転板6が管状ケース1の内側に存在するように設けられている。このような態様であると、回転板モータを使用することなく回転板6をスクリュー10の回転に同調して回転させることができるため、回転板6の開口部から吐出される粉粒体の量を、スクリューモータ5の回転速度を調整するだけで簡便に調整することができる。図5は、本発明に係る更に別の粉粒体供給装置12の、長手方向における模式的断面図である。図5の粉粒体供給装置12は、図4bの粉粒体供給装置12の管状ケース1の外側に、回転軸7を介して回転板モータ8により回転可能な、別の回転板6’が設けられている態様を図示している。なお、別の回転軸6’も同様に、断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有する開口部を備えている。このように、粉粒体供給装置12が複数の回転板6、6’を有する態様であると、回転板6の開口部を通過した粉粒体を、別の回転板6’により更に切削して解すことができるため、脈流の発生を防ぐとともに、粉粒体の定量供給をより精密に制御することができる。図6は、本発明に係る粉粒体供給装置が備える開口部を有する回転板を、粉粒体の移動方向側から見た模式的正面図である。本発明に係る回転板6は、スクリューを構成する回転軸図6では図示せず又は回転板の回転軸図6では図示せずと接続する接続部位32を、回転板6の中心に備えている。回転板6において接続部位32が設けられている位置や数は、回転板6と管状ケース1の離間距離を均一にして回転板6が回転できる限り、限定されるものではない。本発明に係る回転板6は、断面形状が六角形の開口31が集合したハニカム構造の開口部を有しているため、粉粒体の吐出時において各開口31一つあたりを通過する粉粒体の通過量を均一にすることができて、脈流の発生を防ぐことができる。更に、回転板6の中心から、各開口31は60度ずつの回転方向に繰り返し存在しており、6回回転対称であることから、ある瞬間の回転板6の開口部の状態が再度同じ状態となるまでの時間が短くなり、各開口31からの粉粒体の通過量を均一化でき、脈流の発生を防ぐことができる。なお、例えば、図1bで示したような、開口部が四角形メッシュ構造の回転板Aは、回転板Aの中心から、各開口Bは90度ずつの回転方向に繰り返し存在しており、4回回転対称をなしている。そのため、ある瞬間の回転板Aの開口部の状態が再度同じ状態となるまでの時間が、本願発明に係る回転板6よりも長くなることから、粉粒体の吐出時において各開口Bからの粉粒体の通過量を均一化し難く、脈流の発生を防ぐことが難しい。また、本発明に係る回転板6は、断面形状が六角形の開口が集合したハニカム構造を有する開口部を有しているため、回転板6の総開口面積と隣接する開口31同士の最短距離を一定とした時に、断面形状が六角形以外の多角形や丸形状などの開口が集合したハニカム構造の開口部を設ける場合よりも、回転板6に開口数を最も多くして設けることができる。そのため、回転板6の総開口面積が一定である場合、開口31数を多くすることができるため、各開口31一つあたりを通過する粉粒体の量を微少量に制御して、脈流の発生を更に防ぐことができる。なお、回転板6に断面形状が六角形以外の多角形や丸形状などの開口が集合したハニカム構造の開口部を設けた場合、隣接する開口31同士の最短距離が開口31の外周全体において一定とはならず、回転板6に設けることのできる開口31の数に限度がある。そのため、各開口31一つあたりを通過する粉粒体の量を微少量に制御し難く、粉粒体をグラム単位などの少量かつ一定速度で供給しようとする場合において、脈流の発生を防ぐことが難しい。回転板6に設ける開口31の数と開口31一つあたりの断面積、回転板6の主面面積に占める総開口面積の割合開口率は、粉粒体を切削することができる限り、特に限定されるものではない。開口31の数が回転板61cm2あたり10個未満であると、開口31一つあたりを通過する粉粒体の量が多くなり、粉粒体の供給量を高度に制御することが困難となるおそれがある。また、開口31の数が回転板61cm2あたり400個より多いと、粉粒体が開口31に目詰まりし、管状ケース1と回転板6との隙間から粉粒体が吐出されやすくなることで、粉粒体の供給量を高度に制御することが困難となるおそれがある。そのため、回転板6に設ける開口31の数は、1cm2あたり10~400個であるのが好ましく、1cm2あたり20~300個であるのがより好ましく、1cm2あたり40~250個であるのが最も好ましい。回転板6に設ける開口31一つあたりの断面積は限定されるものではないが、開口31一つあたりの断面積が8mm2より大きいと、開口31一つあたりを通過する粉粒体の量が多くなり、粉粒体の供給量を高度に制御することが困難となるおそれがある。また、開口31一つあたりの断面積が008mm2未満であると、粉粒体が開口31に目詰まりし、管状ケース1と回転板6との隙間から粉粒体が吐出されやすくなることで、粉粒体の供給量を高度に制御することが困難となるおそれがある。そのため、開口31一つあたりの断面積は、008mm2~8mm2であるのが好ましく、015mm2~4mm2であるのがより好ましく、025mm2~2mm2であるのが最も好ましい。回転板における開口率は限定されるものではないが、開口率が30未満であると、粉粒体が回転板6の開口31を通過し難くなり、管状ケース1と回転板6との隙間から粉粒体が吐出されやすくなるため、粉粒体の供給量を高度に制御することが困難となるおそれがある。また、開口率が95より大きいと、回転板6の強度が低下して開口31形状が変形し易くなるため、粉粒体の供給量を高度に制御することが困難となるおそれがある。そのため、開口率は、30~95であるのが好ましく、60~90であるのがより好ましく、70~85であるのが最も好ましい。本発明に係る回転板6の製作方法は、特に限定されるものではなく、打ち抜きやレーザーによる切取りによって回転板6へ開口部を形成する方法、あるいはエレクトロフォーミングやエッチング等により開口部を形成する方法、あるいはエレクトロフォーミングやエッチング等により開口部を形成した薄層を単層、あるいは複数の前記薄層を拡散接合して、開口部を備えた回転板6を得る方法を例示できる。これらの中でも、エッチングあるいは拡散接合を用いて回転板6を得ると、各開口31の断面形状を均一に調整できると共に、隣接する開口31同士の最短距離を一定に調整することができ、開口部の寸法精度に優れた回転板6を製作できるため、脈流の発生を防ぎやすい。