"屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが同時に励振されて振動する圧電素子と、前記圧電素子に備える接触部が接触し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、前記圧電素子を保持する保持部と、前記保持部材を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備え、前記保持部は、前記圧電素子の振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第1支持部および第2支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して他方に配置される第3支持部と、前記第2支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第4支持部と、を有する、ことを特徴とするアクチュエーター。前記圧電素子は、前記屈曲振動モードの屈曲振動方向に直交する方向に沿った長さをL、前記屈曲振動方向に沿った長さをW、とする矩形基板であり、前記第1支持部と前記第3支持部と、が前記圧電素子を支持する第1支持領域と、前記第2支持部と前記第4支持部と、が前記圧電素子を支持する第2支持領域と、を有し、前記第1支持領域の第1図心Q1と、前記圧電素子の前記長さL方向の一方の端部に最も近い振動の節P1と、の距離を距離D1とし、前記第2支持領域の第2図心Q2と、前記圧電素子の前記長さL方向の他方の端部に最も近い振動の節P2と、の距離を距離D2とした場合の、前記距離D1および前記距離D2が、D1≦0.13LD2≦0.13Lであり、且つ前記第1支持領域は前記振動の節P1を含み、前記第2支持領域は前記振動の節P2を含む、ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエーター。前記第1支持領域および前記第2支持領域の外縁部は、前記圧電素子の振動面の外縁部の内側である、ことを特徴とする請求項2に記載のアクチュエーター。前記第1支持領域および前記第2支持領域の少なくとも一方が矩形である、ことを特徴とする請求項2または3に記載のアクチュエーター。前記第1支持領域および前記第2支持領域の少なくとも一方は、前記屈曲振動方向に直交する方向に沿った幅が、前記第1図心Q1もしくは前記第2図心Q2から前記屈曲振動方向に離間するにしたがって、前記第1図心Q1もしくは前記第2図心Q2を含む前記縦振動方向の幅より徐々に小さくなる第1領域を含む、ことを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載のアクチュエーター。前記図心Q1もしくはQ2を含む矩形の第2領域を備え、前記第2領域に延在する前記第1領域を備える、ことを特徴とする請求項5に記載のアクチュエーター。前記第1支持部と前記第3支持部の少なくとも一方、および前記第2支持部と前記第4支持部の少なくとも一方、には緩衝部を含む、ことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のアクチュエーター。前記第1支持部と前記第3支持部の少なくとも一方、および前記第2支持部と前記第4支持部の少なくとも一方、には弾性部を含む、ことを特徴とする請求項7に記載のアクチュエーター。請求項1から8のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備えるロボットハンド。請求項1から8のいずれか一項に記載のアクチュエーター、または請求項9に記載のロボットハンドを備えるロボット。請求項1から8のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備える電子部品搬送装置。請求項1から8のいずれか一項に記載のアクチュエーター、または請求項11に記載の電子部品搬送装置を備える電子部品検査装置。請求項1から8のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備えるプリンター。しかし、上述の特許文献1,2では、圧電体の振動方向、特に屈曲振動に対して振動を制限するように圧電体を保持する弾性部材を配置することにより、圧電体の振動が弾性部材を通じて保持ケースに漏れ、被駆動体の駆動エネルギーを多く損失してしまう虞があった。また、特許文献3であっても、圧電体を保持ケースの案内部からの振動漏れを生じ、被駆動体の駆動エネルギーを多く損失してしまう虞があった。そこで、圧電体を保持ケースに保持しながらも、保持ケースへの圧電体の振動漏れを抑制し、圧電体の振動を確実に被駆動体の駆動に変換するアクチュエーターを提供する。本発明は、上述の課題を解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。適用例1本適用例のアクチュエーターは、屈曲振動モードが励振されて振動し、または前記屈曲振動モードと縦振動モードとが同時に励振されて振動する圧電素子と、前記圧電素子に備える接触部が接触し、前記接触部の振動によって駆動される被駆動体と、前記圧電素子を保持する保持部と、前記保持部材を前記被駆動体へ付勢する付勢手段を有する基台と、を備え、前記保持部は、前記圧電素子の振動面に交差する方向に配置され、前記圧電素子の一方に配置される第1支持部および第2支持部と、前記第1支持部に前記圧電素子を介して対向して他方に配置される第3支持部と、前記第2支持部に前記圧電素子を介して対向して前記圧電素子の前記他方に配置される第4支持部と、を有することを特徴とする。本適用例のアクチュエーターによれば、突起部の近傍にある振動面内での振幅の小さい位置である節を含む領域で、第1支持部と第3支持部により保持部材に対して圧電素子を保持することにより、圧電素子の屈曲振動を阻害することなく駆動させながら、突起部への被駆動体からの反力による移動を突起部近傍領域で抑制することができる。また、突起部に最も遠い位置にあり、振動面内での振幅の小さい位置である節を含む領域で、第2支持部と第4支持部により保持部材に対して圧電素子を保持することにより、圧電素子の屈曲振動を阻害することなく駆動させながら、第1支持部と第3支持部により支持される節を中心として、被駆動体からの突起部への反力によって圧電素子に生じるモーメントを効果的に抑制することができる。これにより、保持部材への圧電素子の保持を安定させることができ、被駆動体の確実な駆動を得ることができるアクチュエーターが実現できる。適用例2上述の適用例において、前記圧電素子は、前記屈曲振動モードの屈曲振動方向に直交する方向に沿った長さをL、前記屈曲振動方向に沿った長さをW、とする矩形基板であり、前記第1支持部と前記第3支持部と、が前記圧電素子を支持する第1支持領域と、前記第2支持部と前記第4支持部と、が前記圧電素子を支持する第2支持領域と、を有し、前記第1支持領域の第1図心Q1と、前記圧電素子の前記長さL方向の一方の端部に最も近い振動の節P1と、の距離を距離D1とし、前記第2支持領域の第2図心Q2と、前記圧電素子の前記長さL方向の他方の端部に最も近い振動の節P2と、の距離を距離D2とした場合の、前記距離D1および前記距離D2が、D1≦0.13LD2≦0.13Lであり、且つ前記第1支持領域は前記振動の節P1を含み、前記第2支持領域は前記振動の節P2を含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、このように第1支持領域および第2支持領域を形成することにより、第1支持部、第2支持部、第3支持部、第4支持部によって圧電素子が挟持、保持されても、圧電素子の屈曲振動の妨げになることを軽減することができ、保持部材への振動の漏れを抑制することができる。なお、本適用例における直交とは、互いに90度の角度で交差する、いわゆる完全な直交の状態を含め、互いに約90度の角度で交差する、いわゆる大体の直交の状態を言う。適用例3上述の適用例において、前記第1支持領域および前記第2支持領域の外縁部は、前記圧電素子の振動面の外縁部の内側であることを特徴とする。上述の適用例によれば、このように第1支持領域および第2支持領域を形成することにより、第1支持部、第2支持部、第3支持部、第4支持部によって圧電素子が挟持、保持されても、圧電素子の屈曲振動の妨げになることが回避でき、保持部材への振動の漏れを抑制することができる。適用例4上述の適用例において、前記第1支持領域および前記第2支持領域の少なくとも一方が矩形であることを特徴とする。上述の適用例によれば、突起部の近傍に形成される支持領域が矩形であれば、突起部への被駆動体からの反力による移動を突起部近傍領域で確実に抑制することができる。また、突起部に最も遠い位置に形成される支持領域が矩形であれば、被駆動体からの突起部への反力によって圧電素子に生じるモーメントを確実に抑制することができる。これにより、保持部材への圧電素子の保持を安定させることができ、被駆動体の確実な駆動を得ることができるアクチュエーターが実現できる。適用例5上述の適用例において、前記第1支持領域および前記第2支持領域の少なくとも一方は、前記屈曲振動方向に直交する方向に沿った幅が、前記第1図心Q1もしくは前記第2図心Q2から前記屈曲振動方向に離間するにしたがって、前記第1図心Q1もしくは前記第2図心Q2を含む前記縦振動方向の幅より徐々に小さくなる第1領域を含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、このように支持領域を形成することによって、屈曲振動の振幅の小さい節P1,P2に図心Q1,Q2を含む領域幅が大きい支持領域の部位が配置されることで強い圧電素子の支持力が確保される。そして、屈曲振動の振幅が節P1,P2領域より大きくなる圧電素子の屈曲振動方向の外形に近づくに従って、支持領域幅を小さくする第1領域が配置されることによって、圧電素子の保持力の増加を実現しながら、圧電素子の振幅が大きくなる外形部に向かって屈曲振動に追従しやすくし、振動の妨げを緩和させることができ指示領域を形成することができる。従って、圧電素子を確実に保持しながらも、所定の屈曲振動を得ることができ、確実に被駆動体を駆動させることができるアクチュエーターを得ることができる。なお、本適用例における直交とは、互いに90度の角度で交差する、いわゆる完全な直交の状態を含め、互いに約90度の角度で交差する、いわゆる大体の直交の状態を言う。適用例6上述の適用例において、前記図心Q1もしくはQ2を含む矩形の第2領域を備え、前記第2領域に延在する前記第1領域を備えることを特徴とする。上述の適用例によれば、このように支持領域を形成することによって、屈曲振動の振幅の小さい節P1,P2に図心Q1,Q2を含む領域面積が大きい矩形の支持領域の部位が配置されて、より強い圧電素子の支持力が確保される。適用例7上述の適用例において、前記第1支持部と前記第3支持部の少なくとも一方、および前記第2支持部と前記第4支持部の少なくとも一方、には緩衝部を含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、圧電素子を振動面に交差する方向に挟持するように緩衝材料を含む第1支持部と第3支持部の少なくとも一方、および第2支持部と第4支持部の少なくとも一方、を備えることにより、圧電素子の振動が保持材へ漏れることを抑制することができる。これによって、圧電素子の振動が無駄なく接触部の揺動を発生させ、接触部に当接される被駆動体の回転もしくは直線運動へ変換することができる。すなわち、駆動効率の高いアクチュエーターを得ることができる。また、緩衝材は、振動面方向の振動を振動変位として許容することにより、被駆動体の駆動に必要な振動を維持することができる。更に、節を含む領域では振動変位が分布するが、それを許容することにより、被駆動体の駆動に必要な振動を維持することができる。すなわち、駆動効率の高いアクチュエーターを得ることができる。適用例8上述の適用例において、前記第1支持部と前記第3支持部の少なくとも一方、および前記第2支持部と前記第4支持部の少なくとも一方、には弾性部を含むことを特徴とする。上述の適用例によれば、第1支持部と記3支持部の少なくとも一方、および第2支持部と第4支持部の少なくとも一方に弾性部材を配置することにより、弾性部材の弾性力に対する保持部材と圧電素子との間の摩擦力によって、振動による保持部材と圧電素子との相対的な位置ずれを抑制することができる。適用例9本適用例のロボットハンドは、上述の適用例によるアクチュエーターを備える。本適用例のロボットハンドによれば、動作の自由度を多くするためにモーターを多数備えても、電磁式のモーターなどに比べて小型、軽量にすることができる。適用例10本適用例のロボットは、上述の適用例によるアクチュエーター、またはロボットハンドを備える。本適用例のロボットは、駆動分解能が細かく、且つ高速振動のアクチュエーターによる駆動であるため、作業対象物を正確に保持し、目的位置まで正確に高速搬送することができ、ロボットの動作時間の短縮を可能とすることができ、高い生産性が実現できる。また複雑な電子機器の組立作業などを可能にすることができる。適用例11本適用例の電子部品搬送装置は、上述の適用例によるアクチュエーターを備える。本適用例の電子部品搬送装置は、駆動分解能が細かく、且つ高速振動であるため電子部品などを正確な位置に高速で搬送することができ、電子部品の検査時間、組立時間の短縮を可能とすることができる。また複雑な電子機器の組立作業などを可能にすることができる。適用例12本適用例の電子部品検査装置は、上述の適用例によるアクチュエーターまたは電子部品搬送装置を備える。本適用例の電子部品検査装置は、駆動分解能が細かく、且つ高速振動なアクチュエーターまたは電子部品搬送装置を備えることにより、検査対象の電子部品などを正確な位置に高速で搬送することができ、電子部品の検査時間、組立時間の短縮を可能とすることができる。適用例13本適用例のプリンターは、上述の適用例によるアクチュエーターを備える。本適用例のプリンターは、駆動装置部位に駆動分解能が細かく、且つ高速振動のアクチュエーターを備えることで、駆動対象物を目的位置まで正確に高速移動させることができ、プリンターの動作時間の短縮を可能とすることができ、高い生産性が実現できる。また、高速に駆動させることができることから、長い直線駆動を行わせる印刷媒体を切断するカッターの駆動をスムーズに行うことができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。第1実施形態図1は、第1実施形態のアクチュエーターを示し、aは平面図、bはaに示すA-A ́部の断面図、cはaに示すB-B ́部およびC-C ́部の断面図、である。図1aに示すように、アクチュエーター100は、保持部材としての保持ケース20と、保持ケース20に保持される圧電素子10と、保持ケース20の付勢手段としてのばね60が装着されるばね固定部50aを備える基台50と、被駆動体71もしくは被駆動体72と、を備えている。被駆動体71は図示するR方向に回転駆動され、被駆動体72は図示するH方向に直線駆動される。本実施形態に係るアクチュエーター100では、被駆動体72で示されるH方向の直線駆動によって説明するが、回転駆動される被駆動体71であっても良い。被駆動体72へは、基台50に備えるばね固定部50aに対してばね60によって保持ケース20の付勢部20aが付勢され、付勢された保持ケース20を介して圧電素子10が付勢される。圧電素子10には被駆動体72と接触する接触部を有する突起部10aが設けられ、詳細は後述するが、圧電素子10の振動によって突起部10aが楕円軌道を描いて揺動し、この楕円運動によって被駆動体72がH方向に直線駆動される。保持ケース20は、図1b,cに示すように、ケース本体21と、ケース本体21にねじ23によって固定される押え板22a,22bと、を備えている。ケース本体21の支持面21aと押え板22a,22bとの間に圧電素子10が配置される。圧電素子10は、圧電素子10と、保持ケース20の支持面21aと、の間に配置される第3支持部32および第4支持部42と、圧電素子10と押え板22aとの間に配置され、圧電素子10を介して第3支持部32と対向配置される第1支持部31と、圧電素子10と押え板22bとの間に配置され、圧電素子10を介して第4支持部42と対向配置される第2支持部41と、によって挟持されて保持ケース20に保持、固定される。支持部31,32,41,42は緩衝材料により形成され、圧電素子10の振動が保持ケース20に漏れることを抑制している。支持部31,32,41,42を形成する緩衝材料としては、圧電素子10に励起された振動を保持ケース20に漏れさせない性能として、動的粘弾性tanδが0.05以下であることが好ましい。動的粘弾性tanδとは、材料を引っ張りモードにおいて正弦波ひずみεを与えると、材料に生じる応力σの発生には、入力されたひずみに対して遅れの位相δが生じる。この位相δを用いて材料の動的な粘性を定量化しているのが、動的粘弾性tanδである。すなわち動的粘弾性が大きい、すなわち位相δが大きい、ということは与えられたひずみを材料の内部での伝達遅れを生じることとなる。言い換えると、振動の伝達を、より遅くさせ、保持ケース20への振動漏れを抑制することができる。支持部31,32,41,42を形成する緩衝材料としては、例えばゴム、エラストマー、ポリイミド、ポリエーテルサルフォンなどが好適に用いられるが、アクチュエーター100の駆動によって熱が生じやすいため、耐熱性に優れるポリイミドがより好適に用いることができる。緩衝材料によって支持部31,32,41,42を構成することが好ましいが、これに限定はされない。例えば、図1に示す支持部32,42が、図2に示す形態であっても良い。図2aは図1aに示すA-A ́部の断面部を示す断面図、図2bは図2aに示すD-D ́部およびE-E ́部の断面図である。図2a、bに示すように、ケース本体21の支持面21aに支持突起21b、21cを形成し、支持突起21bと緩衝材料により形成される支持部31とにより圧電素子10を挟持し、支持突起21cと緩衝材料により形成される支持部41とにより圧電素子10を挟持する構成であってもよい。図3は圧電素子10の形態を示す、aは表平面図、bは側面図、cは裏平面図、である。図3aに示すように圧電素子10は、圧電体10bの一方の面10cには屈曲振動を励振させる電極11,12,13,14が形成されている。更に、他方の面10dには共通電極15が形成されている。圧電体10bとしては、圧電性を有する材料であれば限定されないが、PZTチタン酸ジルコン酸鉛が好適に用いられる。電極としては、導電金属であれば限定されないが、例えばAl,Au,Ag,W,Cuなどをスパッタリング法、蒸着法などの方法で形成される。また、突起部10aは、被駆動体72と接触し、その摩擦によって被駆動体72を駆動させることから被駆動体72との摩擦係数は高く、且つ耐摩耗性の優れた材料により突起部10aを形成し、図示しない方法で固着することで形成される。もしくは、被駆動体72との摩擦係数は高く、且つ耐摩耗性の優れた材料を圧電体10bと一体的に形成した突起部10aの表面にコーティングすることで形成することができる。突起部10aに用いる耐摩耗性に優れた材料として、セラミックス、例えばアルミナなど、が好適に用いられる。図4は圧電素子10の動作を模式図的に説明する平面図である。図4aに示すように、電極11,13と図3に示す共通電極15との間に電荷を掛け、電極12,14には電荷を掛けないことにより、圧電素子10における電極11,13に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極12,14には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極11,13による縦振動と、電極12,14の無振動によって圧電素子10は屈曲振動が生じ圧電素子10Aのように振動し、突起部10aが図示する楕円軌道SRの矢印方向に揺動する。突起部10aの楕円軌道によるSR方向の揺動が、当接される被駆動体72を図示HR方向に駆動させる。図4bにより説明する圧電素子10の動作は、上述の図4aにより説明したHR方向への被駆動体72の駆動方向が、逆のHL方向に駆動される状態である。図4bに示すように、電極12,14と図3に示す共通電極15との間に電荷を掛け、電極11,13には電荷を掛けないことにより、圧電素子10における電極12,14に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極11,13には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極12,14による縦振動と、電極11,13の無振動によって圧電素子10は屈曲振動が生じ圧電素子10Bのように振動し、突起部10aが図示する楕円軌道SLの矢印方向に揺動する。突起部10aの楕円軌道によるSL方向の揺動が、当接される被駆動体72を図示HL方向に駆動させる。このように電極11,12,13,14への電荷の付加を切り換えることにより、圧電素子10の屈曲振動の方向を変え、被駆動体72の駆動方向を容易に切り換えることができる。上述の圧電素子10の屈曲振動および縦振動の2つの振動モードにおける振動の節について図4cを用いて説明する。図4cは圧電素子10の振動モードの概念図を示す。図4cに示すように、圧電素子10は、図4a,bを用いて説明した振動状態の屈曲振動モードによって圧電素子10A,10Bに示す振動状態となる。この時、振動停止状態の圧電素子10の被駆動体72への付勢方向に沿った、本実施形態に係る圧電素子10では中心線となる線Mは、振動状態における圧電素子10Aでは線MA,圧電素子10Bでは線MBのように屈曲した軌跡となる。この屈曲振動に対応する線MAおよび線MBと、縦振動モードに対応する線Mと、が互いに交差する位置が、振動の節P1,P2,P3以下、節P1,P2,P3というと呼ばれている。この節P1,P2,P3では圧電素子10の振動において振動面内での移動が少ない位置、すなわち振幅の小さい位置となることから、節P1,P2,P3のいずれかを含む領域に支持部31,32,41,42を配置することが好ましく、線Mに沿って圧電素子10の外形部に最も近い節P1,P2を含む領域に支持部31,32,41,42を配置することがなお好ましい。図4a,bにより、突起部10aの楕円軌道SR,SLによって被駆動体72を駆動させることは説明したが、例えば図4aに示すように被駆動体72をHR方向に駆動させる場合における突起部10aと被駆動体72との接触部での詳細を図4dに示す。図4dに示すように、圧電素子10の突起部10aにおける被駆動体72との接触部においては、突起部10aの振動による楕円軌道SRによって被駆動体72に対して接触部の摩擦によって駆動力Fを生じる。この駆動力Fによって被駆動体72がHR方向に駆動される。この時、接触部には突起部10aに対して駆動力Fの反力としてF ́が働き、突起部10aをHR方向とは逆の方向に移動させようとするが、この反力F ́による突起部10a、すなわち圧電素子10の移動を規制、抑制することにより駆動力Fが被駆動体72へ伝えられ、圧電素子10の屈曲振動を効率よく被駆動体72の駆動に変換させることができる。そこで、突起部10aの近傍にある振動面内での振幅の小さい位置である節P1を含む領域で、第1支持部31と第3支持部32により保持ケース20に対して圧電素子10を保持することにより、圧電素子10の屈曲振動を阻害することなく駆動させながら、突起部10aへの反力F ́による移動を突起部10a近傍領域で抑制することができる。また、突起部10aに最も遠い位置にあり、振動面内での振幅の小さい位置である節P2を含む領域で、第2支持部41と第4支持部42により保持ケース20に対して圧電素子10を保持することにより、圧電素子10の屈曲振動を阻害することなく駆動させながら、第1支持部31と第3支持部32により支持される節P1を中心として、反力F ́によって圧電素子10に生じるモーメントを効果的に抑制することができ、突起部10aの反力F ́による移動を規制することができる。なお、図4bに示すように被駆動体72がHL方向に駆動される場合においても、節P1を含む領域を第1支持部31と第3支持部32によって支持し、節P2を含む領域を第2支持部41と第4支持部42によって支持することにより、上述の図4dでの説明と同じように、突起部10aの近傍にある振動面内での振幅の小さい位置である節P1を含む領域で、第1支持部31と第3支持部32により保持ケース20に対して圧電素子10を保持することにより、圧電素子10の屈曲振動を阻害することなく駆動させながら、突起部10aへの被駆動体72からの反力による移動を近傍領域で抑制することができる。また、突起部10aに最も遠い位置にあり、振動面内での振幅の小さい位置である節P2を含む領域で、第2支持部41と第4支持部42により保持ケース20に対して圧電素子10を保持することにより、圧電素子10の屈曲振動を阻害することなく駆動させながら、第1支持部31と第3支持部32により支持される節P1を中心として、被駆動体72からの反力によって圧電素子10に生じるモーメントを効果的に抑制することができ、突起部10aの反力F ́による移動を規制することができる。図5は支持部31,32,41,42の圧電素子10との接地部、いわゆる支持領域の形状の形態を示す平面概念図である。図5aに示すように、圧電素子10の振動面における第1支持領域30は、第1支持部31および第3支持部32とにより圧電素子10が支持される領域を示し、第2支持領域40は、第2支持部41および第4支持部42とにより圧電素子10が支持される領域を示す。支持領域30,40は矩形に形成され、その矩形形状の図心が第1支持領域30はQ1、第2支持領域40はQ2である。圧電素子10は屈曲振動方向に略直交する方向において、突起部10aを除く長さL、屈曲振動方向の幅W、に形成されている。このように形成された圧電素子10のL方向の突起部10a側の端部から節P1はLP1の距離に、節P2は他方の端部からLP2の距離に存在している。節P1の位置LP1および節P2の位置LP2は、理論シミュレーションから、LP1≒0.13LLP2≒0.13Lであることが得られた。このことから、第1支持領域30の図心Q1と節P1との距離D1、第2支持領域40の図心Q2と節P2との距離D2、は、D1≦0.13LD2≦0.13Lであることが好ましく、D1およびD2を0に近づけることがなお好ましい。更に、第1支持領域30の領域内には節P1が含まれ、第2支持領域40の領域内には節P2が含まれていることが好ましい。このように支持領域30,40を形成することにより、支持部31,32,41,42によって圧電素子10が挟持、保持されても、圧電素子10の屈曲振動の妨げになることが回避でき、保持ケース20への振動の漏れを抑制することができる。図5bは、支持領域30,40の形成領域を説明する平面概念図である。まず、第1支持領域30の形成領域について図5bにより説明する。第1支持領域30は上述した図5aに示すように、第1支持領域30の図心Q1が節P1との距離D1≦0.13Lを満足した上で、L方向の長さK1、W方向の幅J1の矩形に設定され、第1支持部31と第3支持部32が形成される。K1とJ1は、K1とJ1で決定される支持領域30の支持面積、すなわち第1支持部31と第3支持部32とによる圧電素子10の保持力の設定値により適宜設定される。その際、圧電素子10の外形と第1支持領域30外形部との距離δ11,δ12,δK1は、δ11>0,δ12>0,δK1>0である。すなわち、圧電素子10の外形部に第1支持領域30の外形部が重ならないように形成する。また、第1支持領域30のL方向の第2支持領域40側の位置LK1は、圧電素子10の中央部の節P3位置LP31に対して、LK1<LP31とする。第2支持領域40も、第1支持領域30と同様に、第2支持領域40の長さK2、幅J2は第2支持部41と第4支持部42とによる圧電素子10の保持力の設定値により適宜設定される。また、圧電素子10の外形との距離δ21,δ22,δK2は、δ21>0,δ22>0,δK2>0である。すなわち、圧電素子10の外形部に第2支持領域40の外形部が重ならないように形成され、第2支持領域40のL方向の第1支持領域30側の位置LK2は、圧電素子10の中央部の節P3位置LP32に対して、LK2<LP32とする。すなわち、第1支持領域30と第2支持領域40は、節P3を挟んで離間している。このように支持領域30,40を設定することにより、支持部31,32,41,42によって圧電素子10が挟持、保持されても、圧電素子10の屈曲振動の妨げになることが回避できる。図6は、支持領域30,40のその他の形態を示す平面概念図である。図6aに図示する支持領域33,43は同じ形態の領域形態であるので、第1支持領域33により説明する。第1支持領域33は三角形の第1領域33aと矩形の第2領域33bとが連続して延在している。第1領域33aは圧電素子10の屈曲振動方向に中心からの距離αが大きくなるに従ってL方向の長さK1が徐々に少なくなるように配置される。このように支持領域33,43を形成することによって、屈曲振動の振幅の小さい節P1,P2に図心Q1,Q2を近づけ、領域面積が大きい矩形の第2領域33bが配置されて強い圧電素子10の支持力が確保される。そして、屈曲振動の振幅が節P1,P2領域より大きくなる圧電素子10の幅W方向の外形に近づくに従って、領域面積を小さくする第1領域33aが配置されることによって、圧電素子10の保持力の増加を実現しながら、圧電素子10の振幅が大きくなる外形部に向かって屈曲振動に追従しやすくし、振動の妨げを緩和させることができる。従って、圧電素子10を確実に保持しながらも、所定の屈曲振動を得ることができ、確実に被駆動体71,72を駆動させることができる。図6bは、第1領域34aが半円形状とした、いわゆるトラック形状の支持領域34を示す平面概念図である。図6bに示す第1支持領域34は、上述した支持領域33,43同様に、矩形の第2領域34bを備え、第2領域34bに連続して延在する半円形の第1領域34aとにより構成される。第2領域34bは、図6aにより説明した第2領域33b同様に、圧電素子10の外形に向かって、徐々に支持幅を狭くしている。このように、圧電素子10の屈曲振動方向に、外形に向かって徐々に支持幅を狭くする支持領域の形状であれば、特に限定されず、その他の例として、例えば図6cに示す支持領域35,45がいわゆる菱形形状であったり、図6dに示す支持領域36,46が楕円であったり、図5eに示す支持領域37,47が円形であっても良い。上述の図1、図5および図6により説明した支持領域30,40の形態は、図7に示すように、支持領域30,40の平面形状を、それぞれを組合せて用いることもできる。例えば、図7aに示すように、一方の支持領域は矩形形状の支持領域30,40であり、他方の支持領域は図6cに示す菱形形状の支持領域35,45であってもよい。また、図7bに示すように、一方の支持領域が図6aに示す形態の支持領域33,43であり、他方の支持領域は図6dに示す楕円形状の支持領域36,46であっても良い。なお、本実施形態に係るアクチュエーター100は、図8に示す圧電素子200を用いても良い。図8aは電極配置を示す表平面図、側面図、裏平面図を示し、図8b,cは圧電素子10Aの屈曲動作を説明する平面概念図、である。圧電素子200は圧電素子10に対して電極の配置が異なる形態であり、圧電素子10と同じ構成には同じ符号を付し、説明は省略する。図8aに示すように、圧電素子200は、圧電体10bの一方の面10cには屈曲振動を励振させる電極11,12,13,14と、縦振動を励振させる電極16と、が形成されている。更に、他方の面10dには共通電極15が形成されている。そして、このように形成された圧電素子200は、図8b,cに示すように動作する。図8b,cは圧電素子200の動作を模式図的に説明する平面図である。図8bに示すように、電極11,13,16と図8aに示す共通電極15との間に電荷を掛け、電極12,14には電荷を掛けないことにより、圧電素子200における電極11,13,16に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極12,14には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極11,13による縦振動と、電極12,14の無振動によって圧電素子200は屈曲振動が生じ圧電素子200Aのように振動する。この屈曲振動と電極16による圧電素子200の縦振動が同時に生じ、突起部10aが図示する楕円軌道SRの矢印方向に揺動する。突起部10aの楕円軌道によるSR方向の揺動が、当接される被駆動体72を図示HRに駆動させる。図8cにより説明する圧電素子200の動作は、上述の図8bにより説明したHR方向への被駆動体72の駆動方向が、逆のHL方向に駆動される状態である。図8cに示すように、電極12,14,16と図8aに示す共通電極15との間に電荷を掛け、電極11,13には電荷を掛けないことにより、圧電素子200における電極12,14,16に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極11,13には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極12,14による縦振動と、電極11,13の無振動によって圧電素子200は屈曲振動が生じ圧電素子200Bのように振動する。この屈曲振動と電極16による圧電素子200の縦振動が同時に生じ、突起部10aが図示する楕円軌道SLの矢印方向に揺動する。突起部10aの楕円軌道によるSL方向の揺動が、当接される被駆動体72を図示HLに駆動させる。第2実施形態図9に第2実施形態に係るアクチュエーターの支持部である、図1aに指示するB-B ́部、およびC-C ́部の概略断面図を示す。なお、第2実施形態に係るアクチュエーターは第1実施形態に係るアクチュエーター100に対して支持部31,32,41,42に弾性部材を含む点が異なり、その他の構成は同じであるため、第1実施形態に係るアクチュエーター100と同じ構成には同じ符号を付し、説明は省略する。図9aに示すアクチュエーター300は、第1支持部31および第2支持部41に弾性部材としての皿ばね91と、緩衝部材81とを備えている。皿ばね91は、第3支持部32および第4支持部42と、緩衝部材81とにより圧電素子10を挟持して押え板22a,22bとケース本体21の支持面21aとの間に配置される。押え板22a,22bと緩衝部材81との間に配置されて撓ませられた皿ばね91のばね力によって、圧電素子10は第3支持部32、第4支持部42、緩衝部材81を介して保持ケース20に保持、固定される。このように支持部に皿ばね91のような弾性部材を配置することによって、弾性部材のばね弾性が安定した圧電素子10の保持力を支持部に持たせることができるので、圧電素子10の屈曲振動を妨げたり、振動の漏れを生じたりすることを抑制することができ、安定した駆動力を発生するアクチュエーターを得ることができる。支持部に弾性部材を備える形態は、上述した図9aに示す皿ばね91には限定されず、例えば図9bに示すようにコイルばね92を備えるアクチュエーター310であっても良い。また、図9cに示すように第1支持部31および第2支持部41に弾性部材としての皿ばね91を備え、更に第3支持部32および第4支持部42にも皿ばね91を備えるアクチュエーター320であっても良い。このように支持部31,32,41,42の双方に皿ばね91を配置することで、圧電素子10への緩衝部材81,82を介して付加される押圧力をバランスよく配置させることができる。上述では、弾性部材として皿ばね91、コイルばね92を例示したが、例えば図9dに示すように支持部31,32,41,42は共に緩衝材料により形成され、押え板24a,24bとケース本体21の支持面21aとの間で、支持部31,32,41,42によって圧電素子10を挟持した際に、図示する押え板24c,24dのように撓ませ、撓みの応力によって押え板24a,24bを弾性部材として構成している。このように構成することで、弾性部材としての皿ばね91やコイルばね92を必要としないため、低コストのアクチュエーター330を得ることができる。本実施形態に係るアクチュエーター100は、圧電素子10を振動面に交差する方向に挟持するように緩衝材料を含む支持部31,32,41,42を備えることにより、圧電素子10の振動が保持ケース20へ漏れることを抑制することができる。これによって、圧電素子10の振動が無駄なく突起部10aの揺動を発生させ、突起部10aに当接される被駆動体71,72の回転もしくは直線運動へ変換することができる。すなわち、駆動効率の高いアクチュエーターを得ることができる。更に、支持部31,32,41,42の配置を圧電素子10の振動の節を含む領域に設けることにより、圧電素子10の振動の節を含む領域が圧電素子10の振動により移動の少ない領域、言い換えると振幅の小さい領域であることから、保持ケース20への振動漏れを抑制することができる。また、支持部31,32,41,42は、振動の節の内の外側の2箇所の節を含むように支持領域を形成して配置されことにより、被駆動体からの圧電素子10の突起部10aへの反力に対して、容易に圧電素子10を移動させないようにすることで、なお、圧電素子10の振動による突起部10aの揺動を、突起部10aに当接される被駆動体71,72に確実に伝達し、回転もしくは直線運動へ変換することができる。また、アクチュエーター300,310,320,330のように支持部31,32,41,42に弾性部材としての皿ばね91、コイルばね92、もしくは押え板24a,24bの撓み弾性によって保持ケース20内で緩衝部材81、緩衝材料により形成される支持部31,32,41,42が押圧され、その反発力に対する保持ケース20と圧電素子10との間の摩擦力によって、振動による相対的な位置ずれを抑制することができる。なお、緩衝部材81、緩衝材料により形成される支持部31,32,41,42の圧電素子10の支持領域を接着剤などにより固着しても良い。接着剤としては、例えばセメダインY611商標などのアクリル系接着剤が適応可能である。この接着剤は高温に優れており、接着剤樹脂の弾性によって良好な伸縮運動を確保することができる。第3実施形態図10は、第1実施形態に係るアクチュエーター100または300を備えたロボットハンド1000を示す外観図である。図10に示すロボットハンド1000に備えるアクチュエーター100は、第1実施形態に係るアクチュエーター100であって、回転駆動される被駆動体71を備えている図1参照形態をとり、後述するロボットハンド1000の関節部の回転駆動モーターとして用いられる。ロボットハンド1000は、基部1100に接続された指部1200を備えている。基部1100と指部1200との接続部1300と、指部1200の関節部1400とには、回転駆動モーターとしてのアクチュエーター100が組み込まれている。またロボットハンド1000には制御部1500を備え、制御部1500によってアクチュエーター100の駆動により接続部1300および関節部1400を回動させ指部1200を人間の指のように所望の形態に変形させることができる。第4実施形態図11は、第3実施形態に係るロボットハンド1000備えるロボット2000の構成を示す外観図である。ロボット2000は、本体部2100、アーム部2200およびロボットハンド1000を備え、図示するロボット2000は、いわゆる多関節型ロボットに分類される。本体部2100は、例えば床、壁、天井、移動可能な台車の上などに固定される。アーム部2200は、本体部2100に対して可動に設けられており、本体部2100にはアーム部2200を回転させるための動力を発生させる図示しないアクチュエーターや、アクチュエーターを制御する制御部等が内蔵されている。アーム部2200は、第1フレーム2210、第2フレーム2220、第3フレーム2230、第4フレーム2240および第5フレーム2250から構成されている。第1フレーム2210は、回転屈折軸を介して、本体部2100に回転可能または屈折可能に接続されている。第2フレーム2220は、回転屈折軸を介して、第1フレーム2210および第3フレーム2230に接続されている。第3フレーム2230は、回転屈折軸を介して、第2フレーム2220および第4フレーム2240に接続されている。第4フレーム2240は、回転屈折軸を介して、第3フレーム2230および第5フレーム2250に接続されている。第5フレーム2250は、回転屈折軸を介して、第4フレーム2240に接続されている。アーム部2200は、制御部の制御によって、各フレーム2210~2250が各回転屈折軸を中心に複合的に回転または屈折し動く。アーム部2200の第5フレーム2250のうち第4フレーム2240が設けられた他方には、ロボットハンド接続部2300が接続されており、ロボットハンド接続部2300にロボットハンド1000が取り付けられている。ロボットハンド接続部2300にはロボットハンド1000に回転動作を与えるアクチュエーター100が内蔵され、ロボットハンド1000は対象物を把持することができる。小型、軽量のロボットハンド1000を用いることによって、汎用性が高く、複雑な電子機器の組み立て作業や検査等が可能なロボットを提供することができる。第5実施形態図12は、第1実施形態に係るアクチュエーター100を備える、直交ロボットの一実施形態としての電子部品搬送ロボットを備える電子部品検査装置を示す外観図である。図12に示す電子部品検査装置5000以下、検査装置5000というは、電子部品の電気的特性を検査する機能を有する部分3000以下、検査部3000というと、電子部品を所定の位置間を搬送する電子部品搬送ロボットとしての搬送装置部分4000以下、搬送装置部4000というと、を備える装置である。図12に示す検査装置5000は、直方体状の装置基台3010を備えている。装置基台3010の長手方向をY方向とし、水平面においてY方向と直交する方向をX方向とする。そして、鉛直方向をZ-方向とする。装置基台3010上において図中左側には給材装置3020が設置されている。給材装置3020の上面には、Y方向に延びる一対の案内レール3031a,3031bが給材装置3020のY方向全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール3031a,3031bの上側には直動機構を備えたステージ3040が取付けられている。そのステージ3040の直動機構は、例えば案内レール3031a,3031bに沿ってY方向に延びるリニアモーターを備えた直動機構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモーターに入力されると、リニアモーターが前進または後退して、ステージ3040が同ステップ数に相当する分だけ、Y方向に沿って往動または復動する。ステージ3040のZ方向を向く面は載置面3040aであり、載置面3040aには電子部品6000が載置される。ステージ3040には吸引式の基板チャック機構が設置されている。そして、基板チャック機構が電子部品6000を載置面3040aに固定するようになっている。装置基台3010において給材装置3020のY方向側には撮像部としての第2撮像部3052が設置されている。第2撮像部3052は、受光する光を電気信号に変換するCCDChargeCoupledDevices素子等を搭載した電気回路基板、ズーム機構を備えた対物レンズ、落射照明装置、自動焦点合わせ機構を備えている。これにより、第2撮像部3052と対向する場所に電子部品6000が位置するとき、第2撮像部3052は電子部品6000を撮影することができる。そして、第2撮像部3052は電子部品6000に光を照射してピント合わせをした後撮影することにより、焦点の合った画像を撮影することができる。装置基台3010において第2撮像部3052のY方向側には検査台3060が設置されている。検査台3060は電子部品6000を検査するときに電気信号を送受信するための治具である。装置基台3010上において検査台3060のY方向側には除材装置3070が設置されている。除材装置3070の上面にはY方向に延びる一対の案内レール3032a,3032bが全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール3032a,3032bの上側には直動機構を備えたステージ3080が取付けられている。ステージ3080の直動機構は、給材装置3020が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、ステージ3080は案内レール3032a,3032bに沿って往動または復動する。ステージ3080のZ方向を向く面は載置面3080aであり、載置面3080aには電子部品6000が載置される。装置基台3010のX-方向には略直方体状の支持台4010が設置されている。装置基台3010に比べて支持台4010はZ方向に高い形状となっている。支持台4010においてX方向を向く面にはY方向に延びる一対の被駆動体としての駆動レール4021a,4021bが支持台4010のY方向全幅にわたり凸設されている。駆動レール4021a,4021bのX方向側には、一対の駆動レール4021a,4021bに沿って移動する直動機構を備えたYステージ4030が取付けられている。駆動レール4021aもしくは駆動レール4021bの少なくともどちらか一方が第1実施形態に係るアクチュエーター100の被駆動体72図1参照であり、Yステージ4030の直動機構には駆動レール4021aおよび駆動レール4021bのどちらか一方もしくは両方に当接される圧電素子10が備えられ、Yステージ4030に備える圧電素子10を振動させることにより、固定された駆動レール4021a,4021bに対して相対的にYステージ4030は駆動レール4021a,4021bに沿って往動または復動する。Yステージ4030においてX方向を向く面にはX方向に延在する角柱状の腕部4040が設置されている。腕部4040において-Y方向を向く面にはX方向に延びる一対の駆動レール4022a,4022bが腕部4040のX方向全幅にわたり凸設されている。一対の駆動レール4022a,4022bの-Y方向側には駆動レール4022a,4022bに沿って移動する直動機構を備えたXステージ4050が取付けられている。駆動レール4022aもしくは駆動レール4022bの少なくともどちらか一方が第1実施形態に係るアクチュエーター100の被駆動体72図1参照であり、Xステージ4050の直動機構には駆動レール4022aおよび駆動レール4022bのどちらか一方もしくは両方に当接される圧電素子10が備えられ、Xステージ4050に備える圧電素子10を振動させることにより、固定された駆動レール4022a,4022bに対して相対的にXステージ4050は駆動レール4022a,4022bに沿って往動または復動する。Xステージ4050には撮像部としての第1撮像部3051およびZ移動装置4060が設置されている。第1撮像部3051は第2撮像部3052と同様な構造と機能を備えている。そして、第1撮像部3051および第2撮像部3052にて撮像部を構成している。Z移動装置4060は内部に直動機構を備え、直動機構はZステージを昇降させる。そして、Zステージには回転装置4070が接続されている。そして、Z移動装置4060は回転装置4070をZ方向に昇降させることができる。Z移動装置4060の直動機構は、駆動レール4021a,4021bに沿って駆動されるYステージ4030、駆動レール4022a,4022bに沿って駆動されるXステージ4050、と同様に第1実施形態に係るアクチュエーター100もしくは第2実施形態に係るアクチュエーター300を備えることができる。回転装置4070は回転軸4070aを備え、回転軸4070aには把持部3090が接続されている。これにより、回転装置4070はZ方向を軸にして把持部3090を回転させることができる。回転装置4070は第1実施形態に係るアクチュエーター100において被駆動体71図1参照を用いた回転駆動機構を本実施形態では用いられ、減速装置と組み合わせて構成され、回転軸4070aを所定の角度に回動させる。なお、回転機構としてはステップモーターまたはサーボモーターを用いることもできる。サーボモーターの場合には、モーターの種類は特に限定されず、ACモーター、DCモーター、コアレスモーター、超音波モーター等を用いることができる。上述の、Yステージ4030、Xステージ4050、Z移動装置4060、回転装置4070等により可動部4080が構成されている。装置基台3010のX方向側には制御部としての制御装置3100が設置されている。制御装置3100は検査装置5000の動作を制御する機能を備えている。更に、制御装置3100は電子部品6000を検査する機能を備えている。各制御装置3100は入力装置3100aおよび出力装置3100bを備えている。入力装置3100aはキーボートや入力コネクター等であり、信号やデータの他に操作者の指示を入力する装置である。出力装置3100bは表示装置や外部装置に出力する出力コネクター等であり、信号やデータを他装置へ出力する。他にも検査装置5000の状況を操作者に伝達する装置である。上述の構成において、検査部3000の主な構成としては装置基台3010、給材装置3020、ステージ3040、第1撮像部3051、第2撮像部3052、検査台3060、除材装置3070、ステージ3080、などであり、検査対象となる電子部品6000の除給材、画像処理、電気的特性計測、などが行われる。また搬送装置部4000の主な構成としては支持台4010、駆動レール4021a,b、Yステージ4030、腕部4040、駆動レール4022a,b、Xステージ4050、Z移動装置4060、回転装置4070、などであり、電子部品6000を給材装置3020から検査台3060、そして除材装置3070までを搬送する。電子部品6000を検査する検査装置5000は、一般的にクリーン環境、すなわち防塵環境下に設置される。また、図示しないが、検査台3060には電子部品6000の電気的特性を計測するための複数のプローブが配置され、電子部品6000のプローブが接触すべき位置が全てのプローブに対して正確に配置されるように、給材装置3020から検査台3060に電子部品6000が搬送されなければならない。電子部品6000の位置は、検査台3060に載置される前に、第1撮像部3051、第2撮像部3052によって得られる電子部品6000の画像より、画像処理されて検査台3060に備えるプローブ位置に搬送装置部4000によって正確に位置合わせされ、検査台3060に載置される。更に、電子部品6000はより小型で精密且つ多機能が進行していることから、いわゆる全数検査が一般的となっている。従って、電子部品6000の一連の検査時間は、検査すべき電子部品6000の数量が極めて大量であることから、より短時間の検査処理を可能とすることが求められ、特に検査時間に占める電子部品6000の搬送時間の短縮が求められていた。そこで、第1実施形態に係るアクチュエーター100もしくは第2実施形態に係るアクチュエーター300を備えたYステージ4030、Xステージ4050、更にはZ移動装置4060を検査装置5000に備えることにより、所定の移動速度までの加速時間、更には停止までの減速時間、を短く制御することが可能となり、検査時間の短い電子部品検査装置を得ることができる。なお、電子部品500として、例えば半導体、LCDなどの表示デバイス、水晶デバイス、各種センサーデバイス、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイスなどを検査する電子部品検査装置として適用できる。第6実施形態図13は第5実施形態に係るプリンターを示し、aはプリンターを示す斜視図、bはaに示すプリンターが備えるカッティングヘッドを示す平面図、である。図13aに示すように、プリンター7000は、印刷用紙7020へ印刷する印刷部510と、印刷部510との間に印刷用紙7020を保持し且つガイドするステージでもあるプラテン7030と、印刷された印刷用紙7020を切断するためのカッティングヘッド7050と、プリンター7000を制御する制御部7080と、を備えている。この場合、カッティングヘッド7050は、印刷用紙7020の搬送される方向と直交する方向に印刷用紙7020を切断する方式であって、印刷用紙7020切断用のカッター7050aを有している。そして、印刷用紙7020を切断するための機構は、図13bに示すように、カッティングヘッド7050を支持しカッティングヘッド7050の移動をガイドするガイドレール7040と、ガイドレール7040に沿ってカッティングヘッド7050を移動させるリング状ベルト7060と、リング状ベルト7060にカッティングヘッド7050を連結させるためのベルト連結部7050bと、リング状ベルト7060を駆動するために、カッティングヘッド7050が移動する始端側および終端側に設けられた駆動軸7070aおよび従動軸7070bと、を有している。駆動軸7070aは、アクチュエーター100により回転して、リング状ベルト7060を駆動する。この場合、アクチュエーター100の回転軸の回転は、増速装置7090を介して駆動軸7070aへ伝達されるようになっている。このような構成のプリンター7000は、アクチュエーター100が駆動すると駆動軸7070aが回転し、駆動軸7070aの回転により、駆動軸7070aと従動軸7070bとの間をリング状ベルト7060が回転し、回転するリング状ベルト7060と連結したカッティングヘッド7050がガイドレール7040に沿って移動する。これにより、カッティングヘッド7050のカッター7050aが印刷用紙7020を切断する。プリンター7000は、駆動軸7070aの駆動にアクチュエーター100を用いることにより、駆動軸7070aまわりをコンパクトな構成にすることができるため、小型化が可能であり、併せて高耐久性も有している。"