"印加された加速度を検出する加速度センサであって、平板状の絶縁性材料からなる一対の基板と、中空状の枠体であって、前記一対の基板に上下面が固定された表面が導電性材料からなる枠部と、前記枠部が前記一対の基板に固定された状態で、前記一対の基板それぞれが互いに対向する面と前記枠部の内周面とで構成される空隙部の内部に配置された表面が導電性材料からなる可動電極と、表面が導電性材料からなり、一端が前記枠部の内周面に固定され、他端が前記可動電極の外周面に固定され、当該一端と他端との間が前記可動電極の周面を取り囲むように配置されて前記可動電極を揺動自在に保持するバネ部と、前記一対の基板のうち少なくとも何れか一方の基板の前記対向する面に凹状に形成された凹部と、前記凹部の底面および側壁に設けられた導電性の薄膜からなる固定電極と、前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記枠部の表面と電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極と、前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記固定電極と電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極と、を備え、前記固定電極と前記枠部とは電気的に絶縁されてなり、前記可動電極は、一部が前記凹部の内部に収容され、前記加速度が印加された場合に前記固定電極と当接可能であることを特徴とする加速度センサ。前記可動電極は、前記凹部の側壁と対向する接触面を備えていることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。前記接触面は、前記凹部の側壁と平行な面であることを特徴とする請求項2に記載の加速度センサ。前記固定電極は、複数個からなり、当該複数の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置され、前記固定電極貫通電極は、該複数の固定電極にそれぞれ電気的に接続された複数個からなることを特徴とする請求項1~請求項3の何れか一項に記載の加速度センサ。前記複数の固定電極は、前記凹部の底面に設けられた第一の固定電極と、前記凹部の側壁に設けられた第二の固定電極と、からなることを特徴とする請求項4に記載の加速度センサ。前記第二の固定電極は、互いに絶縁された複数個からなり、当該複数の第二の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する第二の固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されたことを特徴とする請求項5に記載の加速度センサ。前記可動電極は、前記凹部の底面と対向する面に凹状に形成された可動電極凹部を備え、前記凹部の底面は、前記可動電極凹部に一部が収容され、前記加速度が印加されていない状態で該可動電極凹部の側面および底面から離間して配置された凸状の突出部を備え、前記固定電極は前記突出部の表面に形成され、前記加速度が印加された場合に、前記可動電極凹部と前記突出部とが当接することを特徴とする請求項1~請求項3の何れか一項に記載の加速度センサ。前記可動電極凹部の側壁と前記突出部の側壁とは、互いに平行な面を備えることを特徴とする請求項7に記載の加速度センサ。前記固定電極は、互いに絶縁された複数個からなり、当該複数の第二の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する第二の固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されたことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の加速度センサ。しかしながら、図9および図10に示す加速度センサ101においては、下記のような問題がある。すなわち、加速度センサ101においては、固定電極105の周面を囲むように可動電極103を形成せねばならず、しかも、加速度検出に必要な可動電極103の質量を十分に確保する必要があるため、可動電極103を大きくしなければならない。従って加速度センサ101の小型化が難しかった。本発明は上記のような事情に考慮してなされたもので、その目的は、消費電力が嵩まず且つ小型の加速度センサを提供することである。本発明は上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。1本発明は、印加された加速度を検出する加速度センサであって、平板状の絶縁性材料からなる一対の基板と、中空状の枠体であって、前記一対の基板に上下面が固定された表面が導電性材料からなる枠部と、前記枠部が前記一対の基板に固定された状態で、前記一対の基板それぞれが互いに対向する面と前記枠部の内周面とで構成される空隙部の内部に配置された表面が導電性材料からなる可動電極と、表面が導電性材料からなり、一端が前記枠部の内周面に固定され、他端が前記可動電極の外周面に固定され、当該一端と他端との間が前記可動電極の周面を取り囲むように配置されて前記可動電極を揺動自在に保持するバネ部と、前記一対の基板のうち少なくとも何れか一方の基板の前記対向する面に凹状に形成された凹部と、前記凹部の底面および側壁に設けられた導電性の薄膜からなる固定電極と、前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記枠部の表面と電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極と、前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記固定電極と電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極と、を備え、前記固定電極と前記枠部とは電気的に絶縁されてなり、前記可動電極は、一部が前記凹部の内部に収容され、前記加速度が印加された場合に前記固定電極と当接可能であることを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、加速度が印加された場合にはじめて、互いに導電性材料からなる可動電極と固定電極とが当接して電力を消費するノーマリーオフタイプの加速度センサであるので、待機時の消費電力が嵩まない。また、本発明にかかる加速度センサによると、固定電極が基板に設けられた凹部の底面および側壁に設けられているため、上述した従来技術の如く、可動電極の中央に固定電極を配置するための穴を開ける必要がなく、同一の質量であれば可動電極の外形を小さくすることができる。つまり、本発明では、可動電極を小型化し、その結果加速度センサを小型化することが出来る。2また、本発明の加速度センサにおいて、前記可動電極は、前記凹部の側壁と対向する接触面を備えていることを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、加速度が印加されて可動電極と固定電極が接触したときに、接触面が固定電極に接触するため、接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができ、S/N比を向上させることが出来る。3また、本発明の加速度センサは、前記接触面は、前記凹部の側壁と平行な面であることを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、接触面が凹部の側壁と平行な面からなるので、接触面と固定電極との接触面積が一層大きくなって出力信号を大きくすることができるため、S/N比をさらに向上させることができる。4また、本発明の加速度センサにおいて、前記固定電極は、複数個からなり、当該複数の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置され、前記固定電極貫通電極は、該複数の固定電極にそれぞれ電気的に接続された複数個からなることを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、印加される加速度の方向に応じて可動電極と当接する固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されているので、可動電極がいずれの固定電極に接触したかを調べることにより、加速度の方向を検出することができる。5また、本発明の加速度センサにおいて、前記複数の固定電極は、前記凹部の底面に設けられた第一の固定電極と、前記凹部の側壁に設けられた第二の固定電極と、からなることを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、凹部の底面に垂直な方向に加速度が印加された場合には可動電極が第一の固定電極に接触し、凹部の底面に平行な方向に加速度が印加された場合には可動電極が第二の固定電極に接触するため、可動電極が第一の電極と第二の電極のいずれに接触したかを調べることにより、加速度が凹部の底面に垂直な方向に印加されたか、平行な方向に印加されたかを検出することができる。6また、本発明の加速度センサにおいて、前記第二の固定電極は、互いに絶縁された複数個からなり、当該複数の第二の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する第二の固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されたことを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、凹部の底面に平行な方向に加速度が印加された場合に、可動電極がいずれの固定電極に接触したかを調べることにより、凹部の底面に平行な方向のうちいずれの方向に加速度が印加されたかを検出することができる。7また、本発明の加速度センサにおいて、前記可動電極は、前記凹部の底面と対向する面に凹状に形成された可動電極凹部を備え、前記凹部の底面は、前記可動電極凹部に一部が収容され、前記加速度が印加されていない状態で該可動電極凹部の側面および底面から離間して配置された凸状の突出部を備え、前記固定電極は前記突出部の表面に形成され、前記加速度が印加された場合に、前記可動電極凹部と前記突出部とが当接することを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、突出部の表面に固定電極が設けられているため、該固定電極を一層小型化することができ、該加速度センサを小型化することができる。8また、本発明の加速度センサにおいて、前記可動電極凹部の側壁と前記突出部の側壁とは、互いに平行な面を備えることを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、可動電極凹部の側壁と突出部の側壁とは、互いに平行な面を備えるため、加速度が印加されて可動電極と固定電極が接触したときに、可動電極凹部の側壁と突出部の側壁との接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができ、S/N比を向上させることが出来る。9また、本発明の加速度センサにおいて、前記固定電極は、互いに絶縁された複数個からなり、当該複数の第二の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する第二の固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されたことを特徴とする。本発明にかかる加速度センサは、固定電極が複数の固定電極からなるため、該加速度センサに印加された加速度の方向によって、可動電極が接触する固定電極が異なる。従って、いずれの固定電極に接触したかを調べることにより、加速度の方向を検出することができる。本発明によれば、待機時に電力を消費しないとともに可動電極および固定電極を小型化することができるので、消費電力が嵩まず且つ小型の加速度センサを提供することができる。第1実施形態以下、本発明にかかる加速度センサの第1実施形態を、図1および図2を参照して説明する。図1は本実施形態にかかる加速度センサ1の平面図を、図2は図1のA―A線における加速度センサ1の垂直断面を矢印の方向にむかって眺めた図を示している。なお、図1は簡単のため、後述する第一の基板、第二の基板、固定電極および貫通電極を省略して示している。この加速度センサ1は、所定の間隔を隔てて相互に対向するように保持された第一の基板6および第二の基板7一対の基板と、第一の基板6の第二の基板7に対向する面,第二の基板7の第一の基板6に対向する面に設けられた凹部9,90と、第一の基板6と第二の基板7とに挟まれて固定された枠部2と、第一の基板6,第二の基板7,枠部2,で挟まれた箇所に形成される空隙部20と、空隙部20内に配設される可動電極3と、可動電極3の周面を取り囲むように配置されたバネ部4と、凹部9の底面および側壁に設けられた固定電極5と、第一の基板6に貫通して設けられ、一端が枠部2に電気的に接続された枠部貫通電極8と、第一の基板6に貫通して設けられ、一端が固定電極5に電気的に接続された固定電極貫通電極13と、を備えている。第一の基板6および第二の基板7は、それぞれ、平板状の絶縁性材料からなる。当該絶縁性材料としては、例えば、溶融石英やホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラスなどのガラスや、セラミック等を用いることが出来る。そして、第一の基板6および第二の基板7は、それぞれ、図2に示すように、第二の基板7および第一の基板6と対抗する面に凹部9,90が形成される。凹部9,90は、図2に示す第一の基板6および第二の基板7のそれぞれの対向面より、開口側よりも底面側の面積が小さくなるように形成された断面視台形状の窪みである。なお、凹部9,90は、凹状であればよく、断面視台形状に限定されるものではない。枠部2は、上下方向において、第一の基板6と第二の基板7とに挟まれるように設けられ、第一の基板6と第二の基板7とを上下に連接する中空状のフレーム枠体である。そして、枠部2は、上面視でロ字状に形成される。つまり、枠部2は、上面が第一の基板6の下面のうち凹部9が形成されていない部分で固定され、下面が第二の基板7の上面のうち凹部90が形成されていない部分で固定される。また、枠部2は、少なくとも表面が、金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料からなる。空隙部20は、第一の基板6の下面と第二の基板7との対向面つまり、第一の基板6の下面と第二の基板7の上面と、枠部2の内周面と、で形成される密閉された空洞部分であり、内部に可動電極3を密封する。可動電極3は、空隙部20内に配設され、バネ部4に支持された電極である。具体的には、可動電極3は、上端部分,下端部分が凹部9,90の底面と上下方向に間隙を隔てた状態で収容され、且つ水平方向について枠部2の内周面から所定の間隔を隔てた状態で当該枠部2に囲まれてなる。また、可動電極3は、表面が金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料から形成される。バネ部4は、一端が枠部2に接続され、他端が可動電極3に接続され、当該一端と他端間が可動電極3の周面を取り囲むような形状からなる部材である。つまり、バネ部4は、加速度センサ1に加わる加速度の向き/大きさに応じて可動電極3を揺動可能に支持するとともに、加速度センサ1に加速度が加わっていない状態で可動電極3を水平に支持する。また、バネ部4は、シリコン等の弾性部材であり、少なくとも表面が、金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料からなる。固定電極5は、凹部9の底面,側壁および固定電極貫通電極13の下端にわたって第一の基板6の下面に設けられた電極である。当該固定電極は、金や白金、銅、アルミニウム等の導電性の薄膜からなる。なお、固定電極5と枠部2とは連接しておらず、電気的に絶縁された状態にある。枠部貫通電極8は、一端下端が枠部2と電気的に接続されるように、枠部2の設けられた水平位置において第一の基板6の上下方向を貫通して設けられた電極である。固定電極貫通電極13は、一端下端が固定電極5と電気的に接続されるように、固定電極5の設けられた水平位置において第一の基板6の上下方向を貫通して設けられた電極である。加速度センサ1の動作上述のように構成された加速度センサ1に加速度を印加すると、可動電極3に当該加速度に応じた慣性力が作用する。そして、可動電極3は、バネ部4によって揺動自在に保持されているので、慣性力の作用に従って変位する。特に、印加された加速度が所定の大きさを超えると、可動電極3は固定電極5に接触する。そのため、枠部2および可動電極3ならびにバネ部4はいずれも少なくとも表面が導電性材料からなり、固定電極5は導電性の薄膜からなるので、可動電極3と固定電極5が接触すると、枠部貫通電極8から固定電極貫通電極13までの間が導通する。従って、例えば枠部貫通電極8と固定電極貫通電極13との間に所定の電圧を印加しておくと、加速度センサ1に印加された加速度が小さいときには可動電極3と固定電極5とは接触せず、枠部貫通電極8と固定電極貫通電極13との間に電流が流れないため、電力は消費されない。一方、加速度センサ1に所定の大きさを超える加速度が印加され可動電極3と固定電極5とが接触すると、枠部貫通電極8と固定電極貫通電極13との間に電流が流れ、加速度の印加を検出することができる。また、バネ部4は可動電極3の周面を囲むように形成されているため、加速度センサ1の平面方向であれば当該平面方向へ可動電極3が変位して固定電極5と接触出来るので、いずれの方向に加速度が印加されても検出できる。また固定電極5は凹部9の底面にも形成されているので、加速度センサ1の垂直方向に加速度が印加されても可動電極3と固定電極5を接触させることができ、加速度を検出することができる。このように構成された加速度センサ1は、待機時に電力を消費しないノーマリーオフタイプの加速度センサとなっている。また、図9および図10に示す従来の加速度センサ101は、固定電極105が可動電極103に囲まれるように配置されているのに対し、本実施形態の加速度センサ1は固定電極5が第一の基板6に設けられている。そのため、可動電極3の中央に固定電極105を配置するための穴を開ける必要がなく、同一の質量であれば可動電極3の外形を小さくすることができる。その結果加速度センサ1を小型化することが出来る。第2実施形態次に、本発明にかかる第2実施形態を、図3を参照して説明する。第2実施形態においては、第1実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。図3は第2実施形態の加速度センサ1aを示す断面図である。第2実施形態の加速度センサ1aにおいては、可動電極3が、固定電極5に対向する面である側面および上面の間に、凹部9の側壁と当接した際に当該側壁と面接触が可能な面である接触面10を備えた形状からなることを特徴としている。このように構成された加速度センサ1に対して、例えば、図3に示す加速度センサ1aの左右方向や接触面10の法線方向等へ加速度が印加されて可動電極3と固定電極5が接触したときに、可動電極3の接触面10が凹部9の側壁に備わる固定電極5に面接触する。つまり、加速度センサ1aによると、可動電極3と固定電極5との接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができるので、S/N比を向上させることが出来る。特に、接触面10を凹部9の側壁に対して略平行に配置すれば、接触面10と固定電極5の接触面積をより大きくすることができるので、一層好適にS/N比の向上を図ることができる。第3実施形態次に、本発明にかかる第3実施形態を、図4および図5を参照して説明する。第3実施形態においては、第1実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。図4は第3実施形態の加速度センサ1bの平面図を、図5は図4のB-B線における垂直断面を矢印の方向にむかって眺めた図を示している。なお、図4は簡単のため、後述する第一の基板および第二の基板を省略した。第3実施形態の加速度センサ1bにおいては、凹部9の底面に設けられた導電性薄膜からなる第一の固定電極5bと、凹部9の側面に配置されそれぞれ可動電極3の側面と当接可能なように設けられた第二の固定電極5c,第三の固定電極5d,第四の固定電極5e,第五の固定電極5fと、第一の基板6に貫通して設けられ、第一の固定電極5b、第二の固定電極5c、第三の固定電極5d、第四の固定電極5eおよび第五の固定電極5fにそれぞれ電気的に接続された第一の固定電極貫通電極13b,第二の固定電極貫通電極13c,第三の固定電極貫通電極13d,第四の固定電極貫通電極13e,第五の固定電極貫通電極13fと、を備えたことを特徴とする。つまり、第1実施形態及び第2実施形態では一体的に形成されていた固定電極5を、本実施形態では、第一の固定電極5b~第五の固定電極5fのように、凹部9の底面と四つの側面とに各々分離した状態で配設する。また、当該固定電極の分離に伴い、固定電極貫通電極13も、第一の固定電極貫通電極13b~第五の固定電極貫通電極13fのように各々分離した状態で配設する。このように構成された加速度センサ1に加速度が印加されると、加速度の方向によって可動電極3は第一の固定電極5bから第五の固定電極5fまでのいずれかの固定電極に接触する。従って、枠部貫通電極8と、第一の固定電極貫通電極13bから第五の固定電極貫通電極13fのうちどの貫通電極と、が導通したかを調べることにより、加速度センサ1に印加された加速度の方向を検知することができる。なお、本実施形態においては第一の固定電極5bから第五の固定電極5fまでの複数の固定電極を備えた加速度センサ1について説明した。しかしながら、例えば固定電極は凹部9の底部に設けられた第一の固定電極と、凹部9の側壁に設けられた第二の固定電極つまり、第二の固定電極5c~第五の固定電極5fまでを一体的に形成した固定電極とからなるように構成された加速度センサであっても良い。この場合には、加速度センサに印加された加速度のうち、加速度センサに垂直に印加された加速度と、加速度センサに平行に印加された加速度とを分離して検出し、加速度センサに平行に印加された加速度についてはその方向にかかわらず検出する無指向性加速度センサとして動作させることもできる。さらに、例えば、加速度センサ1bを一層高性能な無指向性加速度センサとして機能させるために、凹部90の底面に固定電極を設けることで、上下方向の加速度検出も可能な構成を採用しても勿論よい。第4実施形態次に、本発明にかかる第4実施形態を、図6を参照して説明する。第4実施形態においては、第1実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。図6は第4実施形態の加速度センサ1を示す断面図である。第4実施形態の加速度センサ1cにおいては、可動電極3の上面に設けられた凹状の窪みである可動電極凹部11と、凹部9の底面に設けられた突出部12と、突出部12の表面と凹部9の底面とに設けられた導電性材料からなる固定電極5とを備えている。ここで、突出部12は、可動電極凹部11に挿入可能な形状からなり、加速度センサ1cに対して上下方向に加速度が印加された場合に、可動電極凹部11に一部が収容される。また、突出部12は、加速度センサ1cに対して加速度が印加されていない状態で、可動電極凹部11の側面および底面と所定の間隔を隔てて配置される。このように構成された加速度センサ1cに加速度が印加されると、慣性力の作用によって可動電極3が変位し、固定電極5と接触し、枠部貫通電極8と固定電極貫通電極13との間が導通するため、加速度センサ1に印加された加速度を測定することができる。また、固定電極5は可動電極凹部11に一部が収容され、可動電極凹部11の側面および底面と所定の間隔を隔てて配置されているので、凹部9の側面が可動電極3の側面と対向するように設けられている場合と異なり、固定電極5を小型化することができ、加速度センサ1を小型化することができる。また、可動電極凹部11の側面と突出部12の側面とが略平行になるように形成すれば、可動電極3と固定電極5が接触したときの接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができるので、S/N比を向上させることが出来る。第5実施形態次に、本発明にかかる第5実施形態を、図7および図8を参照して説明する。第5実施形態においては、第4実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。図7は第5実施形態の加速度センサ1の平面図を、図8は図7のC-C線における垂直断面を矢印の方向にむかって眺めた図を示している。なお、図8は簡単のため、後述する第一の基板および第二の基板を省略した。第5実施形態の加速度センサ1dにおいては、突出部12の表面にそれぞれ可動電極3の側面に対向するように設けられた導電性薄膜からなる第一の固定電極5bと、第二の固定電極5cと、第三の固定電極5dと、第四の固定電極5eと、第一の基板6に貫通して設けられ、それぞれ第一の固定電極5b、第二の固定電極5c、第三の固定電極5dおよび第四の固定電極5eに電気的に接続された第一の固定電極貫通電極13bと、第二の固定電極貫通電極13cと、第三の固定電極貫通電極13dと、第四の固定電極貫通電極13eとを備えたことを特徴とする。つまり、第4実施形態では一体的に形成されていた固定電極5を、本実施形態では、第一の固定電極5b~第四の固定電極5eのように、突出部12と連接する凹部9の四つの底面に各々分離した状態で配設する。また、当該固定電極の分離に伴い、固定電極貫通電極13も、第一の固定電極貫通電極13b~第四の固定電極貫通電極13eのように各々分離した状態で配設する。このように構成された加速度センサ1dに加速度が印加されると、加速度の方向によって可動電極3は第一の固定電極5bから第四の固定電極5eまでのいずれかの固定電極に接触する。従って、枠部貫通電極8と、第一の固定電極貫通電極13bから第四の固定電極貫通電極13eまでのどの貫通電極と導通したかを調べることにより、加速度センサ1に印加された加速度の方向を検知することができる。"