脱塩室と、前記脱塩室の両隣に設けられるとともに、アニオン交換体が充填された一対の濃縮室とから構成される脱塩処理部が陰極室と陽極室との間に少なくとも1つ設けられた電気式脱イオン水製造装置であって、前記脱塩室は、イオン交換膜によって、前記一対の濃縮室の一方に隣接する第1小脱塩室と、前記一対の濃縮室の他方に隣接する第2小脱塩室とに仕切られ、前記第1小脱塩室には、アニオン交換体が充填され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填され、前記第2小脱塩室に充填されている前記アニオン交換体の陰極側には、バイポーラ膜がそのアニオン交換膜面が前記アニオン交換体と対向する向きで配置されていることを特徴とする電気式脱イオン水製造装置。前記第2小脱塩室と該第2小脱塩室の陰極側に設けられた濃縮室との間を仕切るイオン交換膜の上に前記バイポーラ膜が重ねて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第2小脱塩室と該第2小脱塩室の陰極側に設けられた濃縮室との間を仕切るイオン交換膜の一部が前記バイポーラ膜とされていることを特徴とする請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第1小脱塩室には、アニオン交換体の層が一層形成され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体の層とカチオン交換体の層とが少なくとも一層ずつ積層されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電気式脱イオン水製造装置。前記第2小脱塩室への被処理水の流入方向と、前記濃縮室への濃縮水の流入方向とが逆向きとなるように流路が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の電気式脱イオン水製造装置。前記陰極室と前記第2小脱塩室に隣接している前記濃縮室との間に、アニオン交換体が充填された副脱塩室がさらに設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の電気式脱イオン水製造装置。しかし、脱イオン水製造装置では、濃縮室にアニオン交換体を充填することでスケールの生成を回避できたとしても、スケールの生成とは別に、濃縮水に含まれる炭酸やシリカに代表される弱酸アニオン成分が濃縮室と脱塩室とを仕切るイオン交換膜を通過して拡散し、処理水の純度を低下させるという問題がある。かかる処理水の純度低下は、濃縮室にアニオン交換体が充填されている場合により顕著に現れてしまう。以下、炭酸とシリカを例として、具体的に説明する。一般的に、カチオン交換膜はカチオンのみ選択的に透過させるイオン交換膜である。その原理は、膜自体に-電荷を持たせ、-電荷を有するアニオンに対して反発力を働かせ透過を阻止するものである。一方、炭酸やシリカは水溶液中で各イオン種の形態を取り、それらは平衡状態にある。CO2⇔HCO3⇔CO32SiO2⇔SiOH4⇔SiOH3O上記のような平衡状態において各イオン種が全体に占める割合は、pHによって大きく変化する。pHが低い領域では炭酸やシリカの大部分はイオン化していない、つまり電荷を持たない状態でCO2、SiO2として存在している。このため、pHが低い領域でカチオン交換膜を用いて炭酸やシリカの移動を阻止しようとしても、-電荷による反発力が有効に働かないために、これらの分子は容易にカチオン交換膜を通過してしまう。図6を参照して具体的に説明する。脱塩室Dの陰極側にはカチオン交換膜を介して濃縮室C2が配置され、陽極側にはアニオン交換膜を介して濃縮室C1が配置されている。ここで、脱塩室Dにはカチオン交換体およびアニオン交換体が充填され、濃縮室C1、C2にはアニオン交換体が充填されている。処理水は脱塩室Dを通過して系外に排出される。脱塩室Dから濃縮室C2に向かって、被処理水中のカチオン成分と供に水解離反応により生じる多量の水素イオンHがカチオン交換体を伝って移動してくる。濃縮室C2にはアニオン交換体が充填されているので、カチオン交換膜を通過した水素イオンHは、カチオン交換膜の濃縮室側表面で一斉に放出される。すなわち、カチオン交換膜の濃縮室側表面は、水素イオンHが多い状態=pHが低い状態になる。一方、濃縮水に含まれる炭酸やシリカ図では炭酸で説明しているが、シリカでも同じは濃縮室C1及びC2内のアニオン交換体によりイオンとして捕捉され、アニオン交換体を伝ってカチオン交換膜表面まで移動する。濃縮室C2のカチオン交換膜表面では炭酸やシリカの濃度が高くなる上に、pHが低くなっている。結果としてpHが低い条件下でイオン化しない炭酸やシリカは、アニオン交換体から遊離した後に電荷を失い、カチオン交換膜を透過して被処理水に拡散してしまう。また、図7に示したように、脱塩室が複数設けられている構成では、濃縮水にもともと含まれている炭酸やシリカに加え、被処理水に含まれている炭酸やシリカが脱塩室から濃縮室へ移動してくるため、濃縮室内における炭酸やシリカの濃度が上昇し、脱塩室への混入による処理水の純度低下はより顕著となる。図では炭酸で説明しているが、シリカでも同じ。本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、スケールの発生を抑制しつつ、高純度の脱イオン水を製造可能とすることである。脱塩室と、前記脱塩室の両隣に設けられるとともに、アニオン交換体が充填された一対の濃縮室とから構成される脱塩処理部が陰極室と陽極室との間に少なくとも1つ設けられた電気式脱イオン水製造装置であって、前記脱塩室は、イオン交換膜によって、前記一対の濃縮室の一方に隣接する第1小脱塩室と、前記一対の濃縮室の他方に隣接する第2小脱塩室とに仕切られている。さらに、前記第1小脱塩室には、アニオン交換体が充填され、前記第2小脱塩室には、被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体となる順序で、アニオン交換体とカチオン交換体とが充填されている。加えて、前記第2小脱塩室に充填されている前記アニオン交換体の陰極側には、バイポーラ膜がそのアニオン交換膜面が前記アニオン交換体と対向する向きで配置されている。ここで脱塩室は2室に仕切られてはいるが、イオンの挙動は、脱塩室が仕切りのない1室の場合と基本的に同じである。上記構成をとることで、陰極側の濃縮室に存在する炭酸やシリカなどのアニオン成分の一部がイオン交換膜を通過して第2小脱塩室へ移動した場合、そのアニオン成分は第2小脱塩室内のアニオン交換体によって捕捉され、第1小脱塩室を介して陽極側の濃縮室へ移動する。よって、濃縮室に存在する炭酸やシリカなどが処理水中に拡散することがない。また、バイポーラ膜によって水の解離反応が促進されるとともに、電流密度の適切な分配が実現する。本発明によれば、スケールの発生を抑制しつつ、高純度の脱イオン水を製造可能な電気式脱イオン水製造装置が実現される。実施形態1以下、図面を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の一例について説明する。図1は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置の概略構成図である。図1に示す脱イオン水製造装置では、陰極を備えた陰極室E1と陽極を備えた陽極室E2との間に、脱塩室Dと、脱塩室Dの両隣に配置された一対の濃縮室C1、C2から構成される脱塩処理部が設けられている。以下の説明では、一対の濃縮室C1、C2のうち、陽極室E2に隣接している濃縮室C1を第1の濃縮室C1、陰極室E1に隣接している濃縮室C2を第2の濃縮室C2と呼んで区別する。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。ここで、脱塩室Dは二つの小脱塩室に仕切られている。具体的には、脱塩室Dは、第1の濃縮室C1に隣接している第1小脱塩室D1と、第2の濃縮室C2に隣接している第2小脱塩室D2とに仕切られている。これまで説明した各室は、枠体1の内部を複数のイオン交換膜によって多数の空間に仕切ることによって形成されており、イオン交換膜を介して隣接している。各室の配列状況を陰極室E1の側から順に説明すると、次の通りである。すなわち、陰極室E1は、第1のアニオン交換膜a1を介して第2の濃縮室C2に隣接し、第2の濃縮室C2は、第1のカチオン交換膜c1を介して第2小脱塩室D2と隣接している。第2小脱塩室D2は、第2のアニオン交換膜a2を介して第1小脱塩室D1と隣接し、第1小脱塩室D1は、第3のアニオン交換膜a3を介して第1の濃縮室C1と隣接している。第1の濃縮室C1は、第2のカチオン交換膜c2を介して陽極室E2と隣接している。以下の説明では、上記複数のイオン交換膜のうち、脱塩室Dを第1小脱塩室D1と第2脱塩室D2とに仕切っているアニオン交換膜を中間イオン交換膜と呼んで他のイオン交換膜と区別する場合がある。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。陰極室E1には陰極が収容されている。陰極は金属の網状体あるいは板状体からなっており、例えばステンレス製の網状体あるいは板状体を用いることができる。陽極室E2には陽極が収容されている。陽極は金属の網状体あるいは板状体からなっている。被処理水にClを含む場合、陽極に塩素が発生する。このため、陽極には耐塩素性能を有する材料を用いることが望ましく、一例として、白金、パラジウム、イリジウム等の金属、あるいはチタンをこれらの金属で被覆した材料が挙げられる。陰極室E1および陽極室E2には電極水がそれぞれ供給される。これらの電極水は電極近傍での電気分解により、水素イオン及び水酸化物イオンを発生させる。脱イオン水製造装置の電気抵抗を抑えるために、陰極室E1および陽極室E2にはイオン交換体が充填されていることが好ましい。さらに、陰極室E1には、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等のアニオン交換体が充填されていることがより好ましい。また、陽極室E2には、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等のカチオン交換体が充填されていることがより好ましい。第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2は、脱塩室Dから排出されるアニオン成分またはカチオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。各濃縮室C1、C2には、スケールの発生を抑制すべくアニオン交換体が単床形態で充填されている。図2は、図1に示す脱塩室Dの拡大図である。図2に示すように、第1小脱塩室D1には、アニオン交換体が単床形態で充填されている。また、第2小脱塩室D2には、アニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されている。具体的には、カチオン交換体の層とアニオン交換体の層とが被処理水の通水方向に沿って積層されている。より具体的には、通水方向前段にカチオン交換体層が配置され、通水方向後段にアニオン交換体層が配置されている。すなわち、第2小脱塩室D2に流入した被処理水は、カチオン交換体層とアニオン交換体層をこの順で通過する。換言すれば、第2小脱塩室D2において被処理水が最後に通過するイオン交換体の層がアニオン交換体層となる順序でアニオン交換体層とカチオン交換体層とが積層されている。さらに、第2小脱塩室D2には、バイポーラ膜が配置されている。具体的には、第2小脱塩室D2に充填されているアニオン交換体アニオン交換体層と第1のカチオン交換膜c1との間にバイポーラ膜4aが配置されている。ここで、バイポーラ膜とは、アニオン交換膜とカチオン交換膜とが貼り合わされて一体化されたイオン交換膜であって、アニオン交換膜とカチオン交換膜の接合面において水の解離反応が非常に促進されるという特徴を有する。図2に示すように、バイポーラ膜4aは、そのアニオン交換膜2がアニオン交換体アニオン交換体層と対向する向きで配置されている。再び図1を参照する。図1では、枠体1が一体的に示されている。しかし、実際には部屋毎に別々の枠体を備え、枠体同士が互いに密着して設けられている。枠体1は絶縁性を有し、被処理水が漏洩しない素材であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ABS、ポリカーボネート、m-PPE変性ポリフェニレンエーテル等の樹脂を挙げることができる。ここで、本発明の理解を容易するために、図1に示す脱イオン水製造装置における被処理水および濃縮水の主な流れについて予め概説する。被処理水は、RORverseOsmosis膜に通液された後に第1小脱塩室D1へ供給され、該小脱塩室D1を通過する。第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、第2小脱塩室D2に供給され、該小脱塩室D2を通過した後に系外に排出される。一方、濃縮水は、第1の濃縮室C1および第2の濃縮室C2にそれぞれ並列的に供給され、これら濃縮室を通過して系外に排出される。上記のように被処理水および濃縮水を流すためにいくつかの流路U1~U3、L1~L2が設けられている。図1において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U1は、その一端が被処理水の供給側に接続され、他端が第1小脱塩室D1に接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L1は、その一端が第1小脱塩室D1に接続され、他端が第2小脱塩室D2に接続されている。脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U2は、その一端が第2小脱塩室D2に接続され、他端が被処理水の排出側に接続されている。図1において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U3は、その一端が濃縮水の供給側に接続され、他端側は途中で分岐されて、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2にそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L2は、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2にそれぞれ接続され、途中で合流した後に濃縮水の排出側に接続されている。なお、図示は省略されているが、陰極室E1および陽極室E2には、電極水を供給するための流路と供給された電極水を排出するための流路がそれぞれ接続されている。次に、上記構成を有する脱イオン水製造装置の動作および作用について説明する。第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2に、流路U3から濃縮水を供給し、流路L2から排出されるようにしておく。また、陰極室E1および陽極室E2には、図示しない流路から電極水が供給され、図示しない流路から電極水が排出されるようにしておく。さらに、陽極、陰極の間に所定の直流電圧を印加しておく。以上の状態の下で、流路U1から第1小脱塩室D1に被処理水を供給する。供給された被処理水は、第1小脱塩室D1を通過する過程でアニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2等が捕捉される。そして、第1小脱塩室D1において捕捉されたアニオン成分は、第1小脱塩室D1と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。次に、第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、流路L1を介して第2小脱塩室D2に供給される。ここで、第2小脱塩室D2には、カチオン交換体層とアニオン交換体層とがこの順で積層されていることは既述の通りである。よって、第2小脱塩室D2に供給された被処理水は、まずカチオン交換体層を通過し、その後にアニオン交換体層を通過する。その際、カチオン交換体層を通過する過程で、被処理水中のカチオン成分Na、Ca2、Mg2等が捕捉される。具体的には、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体において捕捉されたカチオン成分は、第2小脱塩室D2と第1のカチオン交換膜c1を介して隣接する第2の濃縮室C2へ移動し、該第2の濃縮室C2を通水する濃縮水と共に系外に排出される。さらに、第2小脱塩室D2においてカチオン交換体層を通過した被処理水は、次段のアニオン交換体層を通過する過程で、アニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2等が再度捕捉される。具体的には、第2小脱塩室D2のアニオン交換体において捕捉されたアニオン成分は、第2小脱塩室D2と中間イオン交換膜a2を介して隣接する第1小脱塩室D1へ移動する。第1小脱塩室D1へ移動したアニオン成分は、第1小脱塩室D1と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。以上が本実施形態に係る脱イオン水製造装置における脱イオン処理の流れである。しかし、上記処理の過程で、第2の濃縮室C2に供給される濃縮水に含まれているアニオン成分炭酸やシリカの一部が第1のカチオン交換膜c1を通過し、第2小脱塩室D2へ移動する。炭酸やシリカがカチオン交換膜を通過する原理については既に説明した通りである。ここで、第2の濃縮室C2から第2小脱塩室D2へ移動した炭酸やシリカは、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面上に一様に拡散する。すなわち、炭酸やシリカは、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面のうち、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体層と接している領域にも、アニオン交換体層と接している領域にも拡散する。そして、炭酸やシリカはカチオン交換体によっては捕捉されないので、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面のうち、カチオン交換体層と接している領域に拡散した炭酸やシリカは被処理水の流れに乗ってカチオン交換体層を通過してしまう。しかし、第2小脱塩室D2には、被処理水の通水方向に沿ってカチオン交換体層とアニオン交換体層とが積層されている。よって、カチオン交換体層を通過した炭酸やシリカは、次段のアニオン交換体層において再度イオン化し捕捉され、第1小脱塩室D1へ移動する。第1小脱塩室D1に移動した炭酸やシリカは、第3のアニオン交換膜a3を通過して、第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。従って、濃縮水に含まれている炭酸およびシリカが被処理水中に拡散し、処理水の純度を低下させることはない。なお、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体層とアニオン交換体層の積層順序が逆の場合には、第1のカチオン交換膜c1の陽極側表面のうち、カチオン交換体層と接している領域に拡散した炭酸やシリカを捕捉することはできず、処理水の純度が低下することは自明である。これまでの説明より、第2小脱塩室D2内に設けられたイオン交換体の積層体の最終段がアニオン交換体層であれば上記効果が得られることが理解できるはずである。換言すれば、第2小脱塩室D2を通過する被処理水が最後に通過するイオン交換体がアニオン交換体であれば上記効果が得られる。よって、最終段のアニオン交換体層よりも前段のイオン交換体層の種類、積層順序、積層数は特に限定されない。例えば、カチオン交換体層とアニオン交換体層を最終段がアニオン交換体層となる順序で4層以上積層してもよい。さらに、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、被処理水が最初に供給される第1小脱塩室D1にアニオン交換体が充填され、被処理水が次に供給される第2小脱塩室D2には、カチオン交換体とアニオン交換体がこの順で積層されている。よって、被処理水は、最初にアニオン交換体を通過する。これにより、被処理水からアニオン成分が除去され、被処理水のpHが上昇する。さらに、第1小脱塩室D1を通過した被処理水は、カチオン交換体とアニオン交換体がこの順で積層されている第2小脱塩室D2に供給される。すなわち、第1小脱塩室D1内のアニオン交換体を通過した被処理水は、次いでカチオン交換体を通過し、続いてアニオン交換体を再度通過する。要するに、本実施形態の構成よれば、被処理水は、アニオン交換体とカチオン交換体を交互に通過する。ここで、アニオン交換体は被処理水のpHが低い場合にアニオン成分の捕捉能力が高まり、カチオン交換体は被処理水のpHが高い場合にカチオン成分の捕捉能力が高まる。よって、被処理水が最初にアニオン交換体を通過し、その後にカチオン交換体とアニオン交換体を交互に通過することになる本実施形態の構成によれば、アニオン交換体を通過することによってアニオン成分が除去され、pHが上昇した被処理水が続けてカチオン交換体を通過する。よって、カチオン交換体によるカチオン除去反応が通常よりも促進される。さらに、カチオン交換体を通過することによってカチオン成分が除去され、pHが低下した被処理水が続けてアニオン交換体を通過する。よって、アニオン交換体によるアニオン除去反応が通常よりも促進される。よって、炭酸やシリカを含むアニオン成分の除去能力がさらに向上するのみでなく、カチオン成分の除去能力も向上し、よって処理水の純度がより一層向上する。以上のように、本実施形態に係る脱イオン水製造装置によれば、濃縮水に含まれている炭酸やシリカの一部がイオン交換膜を通過して被処理水中に拡散することが防止されることによって処理水の純度が向上する効果に加えて、被処理水に含まれている炭酸やシリカ等のアニオン成分の除去能力が向上し、さらには被処理水に含まれているカチオン成分の除去能力も向上する。次に、脱塩室Dにバイポーラ膜4aが配置されていることの意義について説明する。脱イオン水製造装置では、電気により解離した水がイオン交換体の再生剤として機能することは既述の通りである。ここで、脱イオン水製造装置に印加される電圧の大部分は水の解離反応に利用される。したがって、低電圧、高電流密度での運転を実現するためには、水の解離反応を促進させることが望ましい。この点、脱塩室Dにバイポーラ膜4aが配置されている本実施形態の脱イオン水製造装置では、水の解離反応が促進され、低電圧、高電流密度での運転が可能となる。さらに、本実施形態の脱イオン水製造装置では、水の解離反応を促進させるバイポーラ膜4aが第2小脱塩室D2内のアニオン交換体とイオン交換膜カチオン交換膜c1との間のみ配置されている。換言すれば、第2小脱塩室D2内のカチオン交換体とイオン交換膜カチオン交換膜c1およびアニオン交換膜a2との間にはバイポーラ膜が配置されていない。このことには、次のような意義がある。すなわち、第2小脱塩室D2内に異符号のイオン交換体が積層されている本実施形態の脱イオン水製造装置では、水解離に必要な過電圧が各層で異なり偏流が発生し、その偏流は上記構造によってさらに顕著になる。具体的には、アニオン成分が除去されるアニオン交換体層に流れる電流はより増加し、カチオン成分が除去されるカチオン交換体層に流れる電流はより減少する。このことは、アニオン成分の除去量が相対的に増加し、カチオン成分の除去量が相対的に減少することを意味する。しかし、RO膜に通された被処理水においては、アニオン成分に比べてカチオン成分が少ない場合が多い。特に、RO膜に2回以上通された被処理水においては、アニオン成分に比べてカチオン成分が少ない場合が殆どである。よって、上記偏流によってアニオン成分およびカチオン成分を十分に除去することができる。換言すれば、上記偏流は、むしろ望ましい分配である。本実施形態では、イオン交換膜の上にバイポーラ膜を設置する構成について説明した。しかし、イオン交換膜の一部をバイポーラ膜で置換することも可能であり、かかる置換によっても上記と同様の作用効果が得られる。例えば、図2に示すカチオン交換膜c1の上半分アニオン交換体と接している部分をバイポーラ膜に置換してもよい。また、第2小脱塩室D-2内のイオン交換体の積層数を4層以上にする場合、各アニオン交換体と接する各イオン交換膜上にそれぞれバイポーラ膜を設置すればよい。比較試験1本発明の効果を確認すべく、次のような比較試験を行った。すなわち、図1に示す第2小脱塩室D2におけるバイポーラ膜の有無または配置個所が異なる4つの脱イオン水製造装置を用意した。図3aに示すように、当該脱イオン水製造装置実施例1の第2小脱塩室D2には、バイポーラ膜4aが配置されている。さらに、バイポーラ膜4aは、そのアニオン交換膜2がアニオン交換体アニオン交換体層と対向する向きで配置されている。すなわち、当該脱イオン水製造装置は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置と同一の脱塩室を備えている。図3bに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例1の第2小脱塩室D2には、バイポーラ膜は配置されていない。図3cに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例2の第2小脱塩室D2には、第1のバイポーラ膜4aおよび第2のバイポーラ膜4bがそれぞれ配置されている。さらに、第1のバイポーラ膜4aは、そのアニオン交換膜2がアニオン交換体アニオン交換体層と対向する向きで配置され、第2のバイポーラ膜4bは、そのカチオン交換膜3がカチオン交換体カチオン交換体層と対向する向きで配置されている。図3dに示すように、当該脱イオン水製造装置比較例3の第2小脱塩室D2には、図3cに示す第2のバイポーラ膜4bのみが配置されている。今回の比較試験において、実施例1および各比較例に共通する仕様、通水流量、供給水等の条件は以下のとおりである。なお、CERはカチオン交換体カチオン交換樹脂、AERはアニオン交換体アニオン交換樹脂の略である。陰極室:寸法100×300×4mmAER充填陽極室:寸法100×300×4mmCER充填第1小脱塩室:寸法100×300×8mmAER充填第2小脱塩室:寸法100×300×8mmAER/CER充填積層濃縮室:寸法100×300×4mmAER充填脱塩室流量:50Lh濃縮室流量:5Lh電極室流量:10Lh電極室、脱塩室、濃縮室供給水:二段RO透過水5±1μScm印加電流値:3A以上の条件の下で実施例1および比較例1~3に係る脱イオン水製造装置をそれぞれ200時間連続運転し、運転開始時と運転開始から200時間後の運転電圧、処理水の水質および処理水中のシリカ濃度を測定した。測定結果を表1に示す。実施形態2以下、図面を参照して、本発明の電気式脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置は、陰極室と陽極室との間に複数の脱塩処理部が設けられている点を除いて、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と共通の構成を有する。そこで、実施形態1に係る脱イオン水製造装置と異なる構成についてのみ以下に説明し、共通する構成についての説明は適宜省略する。図4は、本実施形態に係る脱イオン水製造装置の概略構成図である。図4に示す脱イオン水製造装置では、陰極室E1と陽極室E2との間に2つの脱塩処理部が設けられている。2つの脱塩処理部のうち、相対的に陰極側に位置する第1の脱塩処理部は、脱塩室D1と、脱塩室D1の両隣に配置された一対の濃縮室C1、C2から構成されている。一方、相対的に陽極側に位置する第2の脱塩処理部は、脱塩室D2と、脱塩室D2の両隣に配置された一対の濃縮室C1、C3から構成されている。以下の説明では、第1の脱塩処理部を構成している脱塩室D1を陰極側脱塩室D1、第2の脱塩処理部を構成している脱塩室D2を陽極側脱塩室D2と呼んで区別する。また、濃縮室C1を第1の濃縮室C1、濃縮室C2を第2の濃縮室C2、濃縮室C3を第3の濃縮室C3と呼んで区別する。もっとも、かかる区別は説明の便宜上の区別に過ぎない。さらに、陰極側脱塩室D1および陽極側脱塩室D2は、それぞれ二つの小脱塩室に仕切られている。以下の説明では、陰極側脱塩室D1を構成している二つの小脱塩室のうち、第1の濃縮室C1と隣接している小脱塩室を陰極側第1小脱塩室D11、第2の濃縮室C2と隣接している小脱塩室を陰極側第2小脱塩室D12と呼ぶ。また、陽極側脱塩室D2を構成している二つの小脱塩室のうち、第3の濃縮室C3と隣接している小脱塩室を陽極側第1小脱塩室D21、第1の濃縮室C1と隣接している小脱塩室を陽極側第2小脱塩室D22と呼ぶ。かかる区別も説明の便宜上の区別であることは勿論である。各室の配列状況を陰極室E1の側から順に説明すると、次の通りである。すなわち、陰極室E1は、第1のアニオン交換膜a1を介して第2の濃縮室C2に隣接し、第2の濃縮室C2は、第1のカチオン交換膜c1を介して陰極側第2小脱塩室D12と隣接している。陰極側第2小脱塩室D12は、第2のアニオン交換膜a2を介して陰極側第1小脱塩室D11と隣接し、陰極側第1小脱塩室D11は、第3のアニオン交換膜a3を介して第1の濃縮室C1と隣接している。第1の濃縮室C1は、第2のカチオン交換膜c2を介して陽極側第2小脱塩室D22と隣接し、陽極側第2小脱塩室D22は、第4のアニオン交換膜a4を介して陽極側第1小脱塩室D21と隣接している。陽極側第1小脱塩室D21は、第5のアニオン交換膜a5を介して第3の濃縮室C3と隣接し、第3の濃縮室C3は、第3のカチオン交換膜c3を介して陽極室E2と隣接している。第1~第3の濃縮室C1~C3は、陰極側脱塩室D1または陽極側脱塩室D2から排出されるアニオン成分またはカチオン成分を取り込み、それらを系外に放出するために設けられている。各濃縮室C1~C3には、スケールの発生を抑制すべくアニオン交換体が単床形態で充填されている。陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21には、それぞれアニオン交換体が単床形態で充填されている。また、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22には、それぞれアニオン交換体およびカチオン交換体が複床形態で充填されている。なお、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22におけるアニオン交換体およびカチオン交換体の具体的な充填形態は実施形態1において説明した通りである。また、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22には、バイポーラ膜4aがそれぞれ配置されている。バイポーラ膜4aの具体的な位置や向きは実施形態1において説明した通りである。次に、図4に示す脱イオン水製造装置における被処理水および濃縮水の主な流れについて概説する。被処理水は、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21にそれぞれ並列的に供給され、これら小脱塩室を通過する。陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水は、これら小脱塩室外で一度合流した後に分流されて、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ並列的に供給され、これら小脱塩室を通過した後に系外に排出される。一方、濃縮水は、第1~第3の濃縮室C1~C3にそれぞれ並列的に供給され、これら濃縮室を通過して系外に排出される。上記のように被処理水および濃縮水を流すためにいくつかの流路U1~U3、L1~L2が設けられている。図4において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U1は、その一端が被処理水の供給側に接続され、他端側は途中で分岐されて、陰極側第1小脱塩室D11と陽極側第1小脱塩室D21とにそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L1は、陰極側第1小脱塩室D11と陽極側第1小脱塩室D21とにそれぞれ接続され、途中で合流した後に分岐されて、陰極側第2小脱塩室D12と陽極側第2小脱塩室D22とにそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U2は、陰極側第2小脱塩室D12と陽極側第2小脱塩室D22とにそれぞれ接続され、途中で合流して被処理水の排出側に接続されている。図4において脱イオン水製造装置の上方に示されている流路U3は、その一端が濃縮水の供給側に接続され、他端側は途中で分岐されて、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2および第3の濃縮室C3にそれぞれ接続されている。脱イオン水製造装置の下方に示されている流路L2は、第1の濃縮室C1、第2の濃縮室C2および第3の濃縮室C3にそれぞれ接続され、途中で合流した後に濃縮水の排出側に接続されている。次に、上記構成を有する脱イオン水製造装置の動作および作用について説明する。第1~第3の濃縮室C1~C3に、流路U3から濃縮水を供給し、流路L2から排出されるようにしておく。また、陰極室E1および陽極室E2には、図示しない流路から電極水が供給され、図示しない流路から電極水が排出されるようにしておく。さらに、陽極、陰極の間に所定の直流電圧を印加しておく。以上の状態の下で、流路U1から陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21に被処理水を並列的に供給する。供給された被処理水は、これら第1小脱塩室D11、D21を通過する過程でアニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2等が捕捉される。そして、陰極側第1小脱塩室D11において捕捉されたアニオン成分は、陰極側第1小脱塩室D11と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、陽極側第1小脱塩室D21において捕捉されたアニオン成分は、陽極側第1小脱塩室D21と第5のアニオン交換膜a5を介して隣接する第3の濃縮室C3へ移動し、該第3の濃縮室C3を通水する濃縮水と共に系外に排出される。次に、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水は、流路L1を介して陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22に供給される。ここで、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22には、カチオン交換体層とアニオン交換体層とがこの順で積層されていることは既述の通りである。よって、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22にそれぞれ供給された被処理水は、まずカチオン交換体層を通過し、その後にアニオン交換体層を通過する。その際、カチオン交換体層を通過する過程で、被処理水中のカチオン成分Na、Ca2、Mg2等が捕捉される。具体的には、陰極側第2小脱塩室D12内のカチオン交換体において捕捉されたカチオン成分は、陰極側第2小脱塩室D12と第1のカチオン交換膜c1を介して隣接する第2の濃縮室C2へ移動し、該第2の濃縮室C2を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、陽極側第2小脱塩室D22内のカチオン交換体において捕捉されたカチオン成分は、陽極側第2小脱塩室D22と第2のカチオン交換膜c2を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。さらに、陰極側第2小脱塩室D12および陽極側第2小脱塩室D22においてカチオン交換体層を通過した被処理水は、次段のアニオン交換体層を通過する過程で、アニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2等が再度捕捉される。具体的には、陰極側第2小脱塩室D12のアニオン交換体において捕捉されたアニオン成分は、陰極側第2小脱塩室D12と中間イオン交換膜a2を介して隣接する陰極側第1小脱塩室D11へ移動する。陰極側第1小脱塩室D11へ移動したアニオン成分は、陰極側第1小脱塩室D11と第3のアニオン交換膜a3を介して隣接する第1の濃縮室C1へ移動し、該第1の濃縮室C1を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、陽極側第2小脱塩室D22のアニオン交換体において捕捉されたアニオン成分は、陽極側第2小脱塩室D22と中間イオン交換膜a4を介して隣接する陽極側第1小脱塩室D21へ移動する。陽極側第1小脱塩室D21へ移動したアニオン成分は、陽極側第1小脱塩室D21と第5のアニオン交換膜a5を介して隣接する第3の濃縮室C3へ移動し、該第3の濃縮室C3を通水する濃縮水と共に系外に排出される。以上が本実施形態に係る脱イオン水製造装置における脱イオン処理の流れである。しかし、本実施形態に係る脱イオン水製造装置のように、脱塩室が複数設けられている場合には、特定の濃縮室における炭酸やシリカの濃度が他の濃縮室におけるそれに比べて高くなる。例えば、本実施形態に係る脱イオン水製造装置においては、図4に示す脱塩室D1に隣接している第1の濃縮室C1には、該濃縮室C1に供給される濃縮水に含まれている炭酸やシリカに加え、陰極側脱塩室D1から炭酸やシリカが移動してくる。また、図4に示す脱塩室D2に隣接している第3の濃縮室C3には、該濃縮室C3に供給される濃縮水に含まれている炭酸やシリカに加え、陽極側脱塩室D2から炭酸やシリカが移動してくる。隣接する脱塩室から濃縮室へ炭酸やシリカが移動してくる原理は実施形態1において説明した通りである。よって、第1の濃縮室C1、第3の濃縮室C3では、他の濃縮室C2に比べて炭酸やシリカの濃度が高くなり、隣接するカチオン交換膜を通過する量も増大する。特に、濃縮室C1は陽極側脱塩室D2と隣接しており、かかる炭酸やシリカの陽極側脱塩室D2への移動被処理水への拡散が問題となる。しかし、本実施形態に係る構成によれば、第1の濃縮室C1から陽極側第2小脱塩室D22へ移動した炭酸やシリカは、該脱塩室D22に充填されているアニオン交換体によって捕捉され、陽極側第1小脱塩室D21を介して第3の濃縮室C3に移動し、系外に排出され、被処理水に拡散することはない。なお、本実施形態においても、被処理水が最初に供給される陰極側第1小脱塩室D11及び陽極側第1小脱塩室D21にはアニオン交換体が充填されている。また、陰極側第1小脱塩室D11及び陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水が供給される陰極側第2小脱塩室D12及び陽極側第2小脱塩室D22には、カチオン交換体とアニオン交換体とがこの順で積層されている。すなわち、被処理水は、最初にアニオン交換体を通過し、次いでカチオン交換体を通過し、その後にアニオン交換体を再度通過する。よって、実施形態1で説明したのと同様の原理により、被処理水の純度がより一層向上する。さらに、陰極側第2小脱塩室D12及び陽極側第2小脱塩室D22には、バイポーラ膜4aがそれぞれ配置されている。よって、実施形態1において説明したのと同様の原理により、低電圧、高電流密度での運転が可能となる。加えて、積極的な電流の偏流分配によって、アニオン成分およびカチオン成分を十分に除去することができる。実施形態3次に、図5を参照して本発明の脱イオン水製造装置の実施形態の他例について説明する。もっとも、本実施形態に係る脱イオン水製造装置の基本構成は、実施形態2に係る脱イオン水製造装置と共通である。そこで、実施形態2に係る脱イオン水製造装置との相違点についてのみ以下に説明し、共通点についての説明は省略する。図5に示すように、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、陰極室E1と第2の濃縮室C2との間に、副脱塩室S1が設けられている。副脱塩室S1は、第6のアニオン交換膜a6を介して陰極室E1と隣接し、第1のアニオン交換膜c1を介して第2の濃縮室C2と隣接し、室内にはアニオン交換体が単床形態で充填されている。本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、流路U1から陰極側第1小脱塩室D11、陽極側第1小脱塩室D21および副脱塩室S1に被処理水が並列的に供給される。副脱塩室S1に供給された被処理水は、該副脱塩室S1を通過する過程でアニオン成分Cl、CO32、HCO3、SiO2等が捕捉される。捕捉されたアニオン成分は、副脱塩室S1と第1のアニオン交換膜a1を介して隣接する第2の濃縮室C2へ移動し、該第2の濃縮室C2を通水する濃縮水と共に系外に排出される。一方、副脱塩室S1を通過した被処理水は、陰極側第1小脱塩室D11および陽極側第1小脱塩室D21を通過した被処理水と合流した後に、陰極側第2小脱塩室D12または陽極側第2小脱塩室D22に供給される。これ以後の被処理水の流れやイオンの動きは実施形態1や実施形態2において説明した通りなので説明は省略する。ここで、脱イオン水製造装置においては、被処理水に含まれているマグネシウムイオンやカルシウムイオンなどの硬度成分が脱塩室から濃縮室へ移動する。これら硬度成分は、イオン交換膜の表面においてCO32やOHなどのイオンと反応し、炭酸カルシウム、水酸化マグネシウムなどがスケールとして析出する。このようなスケールの析出は、pHが高い部分で発生し易く、脱イオン水製造装置では、陰極室の陰極表面やアニオン交換膜面などの局所的にpHが高い部分でスケールの発生がしばしば見られる。こうした問題を解決するためには、スケール発生箇所のpHを下げることが有効であり、炭酸などのアニオン成分を供給できればその効果が得られる。このため、脱塩室から隣接する濃縮室へアニオン成分を供給し、スケールの発生を抑制することが可能である。ここで図4を参照する。実施形態2に係る脱イオン水製造装置では、第1の濃縮室C1へは主に陰極側脱塩室D1から、第3の濃縮室C3へは主に陽極側脱塩室D2から、それぞれアニオン成分が供給される。よって、第3のアニオン交換膜a3や第5のアニオン交換膜a5の膜面上におけるスケールの発生は抑制される。しかし、最も陰極室側に位置している第2の濃縮室C2へのアニオン成分の供給量は、第1の濃縮室C1および第3の濃縮室C3への供給量に比べて少ない。すなわち、第3のアニオン交換膜a3や第5のアニオン交換膜a5の膜面上に比べて、第1のアニオン交換膜a1の膜面上はスケールが発生し易い状況にある。一方、陰極室E1と第2の濃縮室C2との間に、アニオン交換体が充填された副脱塩室S1が設けられている本実施形態の脱イオン水製造装置では、副脱塩室S1から第2の濃縮室C2へアニオン成分が供給される。よって、第1のアニオン交換膜a1の膜面上における局所的なpHの上昇が抑制され、スケールの発生も抑制される。さらに、副脱塩室S1に充填されているアニオン交換体は陰極室E1で生成されたOHにより再生される。従って、本実施形態に係る脱イオン水製造装置では、陰極室E1で発生し、従来は利用されることなく捨てられていたOHがイオン交換体の再生に有効利用される。加えて、陰極室E1におけるOHの生成効率は高いため、電位が低くても十分な量のOHが副脱塩室S1に移動する。このため、電極間の印加電圧を抑え、脱イオン水製造装置の運転費用を低減することができる。また、本実施形態では、副脱塩室S1が新たな脱塩室として追加されているが、それに伴い新たな濃縮室を追加する必要がない。つまり、相対的に濃縮室の数を減らすことができる。これは装置サイズ及び装置コストを抑えるだけでなく、印加電圧及び運転費用の低減にもつながる。なお、本実施形態では、陰極室と陽極室との間に2つの脱塩処理部が設けられた例について説明したが、脱塩処理部は1つでも3つ以上であってもよい。例えば、図1に示す陰極室E1と第2の濃縮室C2との間に上記構成の副脱塩室を設けることもできる。本発明の脱イオン水製造装置に用いられるアニオン交換体としては、イオン交換樹脂、イオン交換繊維、モノリス状多孔質イオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なイオン交換樹脂が好適に用いられる。アニオン交換体の種類としては、弱塩基性アニオン交換体、強塩基性アニオン交換体等が挙げられる。また、カチオン交換体としては、イオン交換樹脂、イオン交換繊維、モノリス状多孔質イオン交換体等が挙げられ、最も汎用的なイオン交換樹脂が好適に用いられる。カチオン交換体の種類としては、弱酸性カチオン交換体、強酸性カチオン交換体等が挙げられる。