ターゲットを取り付け可能なターゲット電極と、前記ターゲット電極を支持する第1支持部材と、前記ターゲットの表面に磁界を形成する磁石ユニットと、前記磁石ユニットを支持する第2支持部材と、前記第1支持部材と前記第2支持部材の間に設けられ、前記ターゲットと前記磁石ユニットとの間の磁界によって前記第2支持部材に対して作用する第1の力と反対方向の第2の力を発生する力発生部とを備え、前記第2の力の大きさは、前記磁石ユニットが前記ターゲット電極に近いほど大きい、ことを特徴とするスパッタリング装置。前記第2支持部材を移動させることによって前記ターゲット電極と前記磁石ユニットとの間の距離を変更する駆動部を更に備え、前記力発生部は、前記駆動部が前記第2支持部材を移動させる方向と平行な方向の力を前記第2の力として発生することを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。前記力発生部は、前記ターゲット電極と磁石ユニットとの距離が所定距離以内であるときに前記第2の力を発生することを特徴とする請求項2に記載のスパッタリング装置。前記力発生部は、前記第2の力を発生する弾性部材を含むことを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。前記弾性部材は、皿バネを含むことを特徴とする請求項4に記載のスパッタリング装置。前記力発生部は、前記第2の力を発生する磁石を含むことを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。上記のようなスパッタリング装置は、磁気ヘッド、磁気メディア、MRAMデバイス等の磁性膜を含むデバイスの生産工程でも使用される。しかし、この場合、磁石ユニットから発生する磁力線の多くが磁性ターゲット内部で遮蔽されてしまい、放電に必要な磁束密度をターゲット表面上で得ることが困難になる。従って、このようなことを防ぐために、近年では、磁性ターゲットの使用時には、磁石ユニットで使用される磁石材料として、エネルギー積が高いものが採用されている。しかしながら、このような磁力の強い磁石ユニットと磁性ターゲットとの間には、例えば6000N以上のような大きな吸引力が働く。成膜装置の稼働率を高めるために、ターゲットを厚くした場合、さらに吸引力は大きくなる。このような場合、磁石ユニットを従来の装置の駆動能力で駆動した場合、例えばモーターと直動変換機構との減速比を大きく取ることが考えられるが、これではプロセス停止時間が長くなってしまう。また、駆動源の定格出力を高めることも考えられるが、吸引力はわずか数mmで大きく変化するため、駆動源の定格出力を最大の吸引力が働く場合に合わせると効率が悪い。上記特許文献1、2では、ターゲット、または、磁性材料で構成されたバッキングプレートと、磁石ユニットとの吸引力による上述の問題点について全く考慮されていない。本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、ターゲット又は磁性材料と磁石ユニットとの間に働く吸引力等の力による装置の負荷等を低減することを目的とする。本発明の1つの側面は、スパッタリング装置に係り、該装置は、ターゲットを取り付け可能なターゲット電極と、前記ターゲット電極を支持する第1支持部材と、前記ターゲットの表面に磁界を形成する磁石ユニットと、前記磁石ユニットを支持する第2支持部材と、前記第1支持部材と前記第2支持部材の間に設けられ、前記ターゲットと前記磁石ユニットとの間の磁界によって前記第2支持部材に対して作用する第1の力と反対方向の第2の力を発生する力発生部とを備え、前記第2の力の大きさは、前記磁石ユニットが前記ターゲット電極に近いほど大きい。本発明によれば、ターゲット又は磁性材料と磁石ユニットの間に働く吸引力等の力による装置への負荷を低減できる。図1は本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング装置の構成を示す断面図である。ターゲット118を保持するターゲット電極としてのターゲット保持板119は、カソードボディー101によって支持される。カソードボディー101は、環状部材101aと、環状部材101cと、環状部材101aと環状部材101cとを連結する円筒状部材101bとを含む。環状部材101a、環状部材101cおよび円筒状部材101bは、例えば、ネジによって組み立てられうる。ターゲット保持板119の背面側には、磁石ユニット117を上下方向ターゲット保持板119から遠ざかる方向およびターゲット保持板119に近づく方向に移動させたり、磁石ユニット117を回転させたりするための駆動装置が配置されている。カソードボディー101、ターゲット保持板119および容器壁120によって、大気環境と基板を処理するための真空環境あるいは減圧環境とが分離されている。ターゲット保持板119の真空環境あるいは減圧環境側には、ターゲット118がインジウム、錫、または、インジウム錫合金などのボンディング材料によって固定されている。ターゲット保持板119には負の電圧が印加され、カソードボディー101および容器壁120は接地される。ターゲット保持板119と、カソードボディー101および容器壁120との間には、絶縁部材105、106が配置されている。ターゲット支持板119は、カソードボディー101によって絶縁部材106を介して支持されたカソード支持リング114に対して、ねじ止め等によって着脱可能に取り付けられうる。絶縁部材105は、カソード支持リング114を背面側から支持するものであり、これによりターゲット118に対して磁石ユニット117からの吸引力が作用しても、ターゲット118の位置が維持される。ターゲット電極としてのターゲット保持板119は、絶縁部材106及びカソード支持リング114を介してカソードボディー101に固定されている。カソードボディー101は、絶縁部材105、106およびカソード支持リング114を介してターゲット電極としてのターゲット保持板119を支持する第1支持部材として機能する。磁石ユニット117は、ターゲット保持板119の大気側に近接して配置されている。磁石ユニット117は、ターゲット118の表面でマグネトロン放電を発生させるための磁界を形成するものであり、駆動モーター109の回転軸109aに連結されている。駆動モーター109によって磁石ユニット117をターゲット118の表面に垂直な軸の周りで回転させることができる。磁石ユニット117の望ましい回転数は、磁石ユニット117の大きさによって異なるが、60rpm~600rpmの範囲内であることが望ましい。磁石ユニット117を回転させるための駆動モーター109は、環状の駆動ベース112にネジなどの固定部品によって固定されている。駆動モーター109はまた、連結部111を介してジャッキ機構108に連結されている。ジャッキ機構108は、連結部111によって駆動モーター104に連結されている。駆動モーター104は、その回転軸104aを回転させ、その回転がジャッキ機構108によって直線運動に変換され、駆動モーター109、駆動ベース112および磁石ユニット117が上下方向に駆動される。ここで、上下方向は、ターゲット118の表面の法線に平行な方向である。ジャッキ機構108は、ウォームギヤおよびウォームホイールなどで構成される減速機を含み、比較的小さなトルクを受けて駆動モーター109、駆動ベース112および磁石ユニット117を上下方向に駆動することができる。駆動モーター104及びジャッキ機構108は、駆動ベース112によって支持されたジャッキ支持部材103に固定されている。磁石ユニット117は、駆動モーター109を介して第2支持部材としての駆動ベース112によって支持されている。駆動モーター104及びジャッキ機構108は、第2支持部材としての駆動ベース112を移動させることによってターゲット電極としてのターゲット保持板119と磁石ユニット118との間の距離を変更する駆動部として機能する。第1支持部材としてのカソードボディー101と第2支持部材としての駆動ベース112との間には、ターゲット118と磁石ユニット117との間の磁界によって駆動ベース112に対して作用する第1の力と反対方向の第2の力を発生する力発生部102が配置されている。力発生部102は、力発生部102が変形する力を受けたときにその力に応じた復元力を発生する。より具体的には、力発生部102は、力発生部102を縮ませる、又は、撓ませる力を外部から受けると、その力を受けた方向と反対方向、すなわち反発する方向に力を発生する。ここで、図2イロを用いて力発生部102を例示的に説明する。力発生部102は、ガイド202とバネ弾性部材201とを含みうる。ガイド202をカソードボディー101aの面に対して垂直方向に固定するために、ガイド202とカソードボディー101aとにそれぞれネジ204、205が切ってある。バネ201にガイド202を挿入することで、バネ201の動作方向をガイド202の軸方向に矯正することが可能になる。そして、駆動ベース112にはガイド202を受けるための貫通穴203が設けられており、駆動ベース112をガイド202に沿って動かすことができると同時に、バネ201を伸縮させることが可能になる図2ロ。この際、バネ201の内側直径dsとガイド202の外周部直径dgは、2.0mm≧ds―dg≧0.2mmを満たすことが望ましい。2.0mm以上の隙間では、バネ201の動作方向以外に歪みが発生し、0.2mm以下では、バネ201とガイド202が擦れてしまい、余計な力が発生してしまう。図3イ、ロ、ハを用いて、力発生部102の動作を説明する。図3aは成膜プロセスなどで使用している通常の状態で、力発生部102のバネ201は縮んで長さD1になっている状態を示している。ここで、駆動モーター104およびジャッキ機構108で構成される駆動部により磁石ユニット117を駆動する力をfd、磁石ユニット117とターゲット118との間に働く吸引力をfm、そして、バネ201の反発力復元力をfとした場合、ffd=fmという関係が成り立つ。図3ロは、駆動モーター104およびジャッキ機構108で構成される駆動部により磁石ユニット117がターゲット118から離れていき、バネ201に力がかからなくなった瞬間を示している。このときバネ201は自由長D2になる。図3ハでは更にマグネットが遠ざかった状態を示している。図3イから図3ロに示す状態になる直前までは、バネ201が発生する反発力によりf=fm-fdという関係式が成立し、図3ロ、ハでは、バネ201に力がかかっていないので、駆動モーター104およびジャッキ機構108で構成される駆動部が発生する力だけで駆動ベース112が移動する。一方、バネ201は、図4のように、バネ201の縮んだ距離に比例して反発力が増加する。上記の動作に必要なバネ201のバネ定数はF/D2-D1[N/m]となる。図2、図3に例示されるようなコイルバネに代えて板バネなどの他のバネを用いることもできるし、空気バネなどの流体バネを用いることもできる。例えば、図5に示すように、反発部102のバネ弾性部材として、複数の皿バネ310からなる皿バネユニット301を用いることもできる。皿バネ301は、円板の中心に穴をあけたリング状の部品を円錐状に成形したものである。皿バネ301は比較的小さな体積でも大きな負荷に耐えることができるので、省スペースの観点から好適である。実施例1図6を参照して本発明の実施例1を説明する。図6は図1の断面位置130をジャッキ機構108側から見た図である。磁石ユニット117図1を支持する第2支持部材としての駆動ベース112は、駆動モーター109、連結部111、ジャッキ機構108を介してジャッキ支持部材103に固定されている。駆動ベース112は、モーター104図1が動作することで上下方向に移動する。図2で示された力発生部102は、図6では6箇所に配置されている。力発生部102は、図2を参照して説明したとおり、バネ201とガイド202を含んでいる。バネ201は、例えば、撓み量縮み量が6mmであるときに約220Nの反発力を発生するものを用いた。6つの力発生部102により、1320Nの反発力が発生する。磁石ユニット117図1として直径370mm×高さ35mmで最大エネルギー積50MGOeの磁石材料を使用し、ターゲット118図1として直径376mm×厚み6mmのFeCo65:35atomic、磁石ユニット117の表面とターゲット118の裏面との距離を13mmとした。このとき、ターゲット118の表面に発生した磁束密度は平均80mTであり、放電するためには十分な量である。バネ201は撓み量が6mmになるようにして図6のように6箇所に配置した。この状態からモーター104図1を動作させ、磁石ユニット117をターゲット118から引き離す際のトルクを測定した。トルクの測定は図7のような系を使って行った。モーター104はモータードライバー400によって制御されている。測定器401はモーター104で必要なトルクをデータ403から得ることができる。上記のような条件で評価を行ったところ、図8のような結果が得られた。撓み量6mmから自由長になるまで、モーター104トルクは反発部材102を設けない場合の最大トルクを100としたときの78前後を推移しており、本発明によりモーター104を変更することなく、動作に必要なトルクを下げることができた。実施例2次に、図5及び図9を参照して力発生部102として皿バネユニット301を用いた実施例を説明する。磁石ユニット117図1を支持する第2支持部材としての駆動ベース112は、連結部111、ジャッキ機構108を介してジャッキ支持部材103に固定されている。駆動ベース112は、モーター104図1が動作することで上下方向に移動する。図5で示された力発生部102は、図9では2箇所に配置されている。力発生部102は、複数の皿バネ310を重ねて集合体とした皿バネユニット301と、ガイド202を含んでいる。図9を使用して皿バネ310を用いた実施例を説明する。皿バネどうしを凸面が外側になるように交互に20枚積み重ねたものが皿バネユニット301である。この皿バネユニット301は、1組で重荷重に対応できるため、図9に示された適用例では2組のみ使用している。磁石ユニット117図1として直径370mm×高さ35mmで最大エネルギー積50MGOeの磁石材料を使用し、ターゲット118図1として直径376mm×厚み6mmのFeCo65:35atomic、磁石ユニット117の表面とターゲット118の裏面との距離を13mmとした。このとき、ターゲット118の表面に発生した磁束密度は平均80mTであり、放電するためには十分な量である。皿バネユニット301は撓み量が10mmになるようにして、図9のように2箇所配置した。この状態からモーター104図1を動作させ、磁石ユニット117をターゲット118から引き離す際のトルクを測定した。トルクの測定は図7のような系を使って行った。モーター104はドライバー400によって制御されており、同時にモーター104で必要なトルクを測定器401によってデータ403から得ることができる。上記のような条件で評価を行ったところ、図10のような結果が得られた。撓み量10mmから自由長になるまで、モーター104トルクは反発部材102を設けない場合の最大トルクを100としたときの66前後を推移しており、本発明によりモーター104を変更することなく、動作に必要なトルクを下げることができた。図11に力発生部102として磁石501を用いた例を示す。駆動ベース112には、対向するカソードボディー101aにN極が向くように磁石501が配置され、取付部502を介して固定されている。また、カソードボディー101aには、対向する駆動ベース112にN極が向くように磁石501が配置され、取付部502を介して固定されている。これにより、N極同士が近づくに従って大きくなる反発力が発生する。したがって、駆動モーター104が磁石ユニット117を移動させために必要なトルクを低減することが可能になる。磁石ユニットとターゲット電極との間の距離を変更するための駆動部は、ターゲット交換時に磁石ユニットを退避させる機構として用いられうる。また、該駆動部は、プロセス中又はプロセスの合間に磁石ユニットとターゲット電極との間の距離を調整してプラズマの生成状態を調整する機構としても用いられうる。また、距離変更機構は必須でない。また、駆動部の構成、支持方法などは上記実施形態に限定されない。例えば、駆動モーター109をジャッキ支持部材103にバネ等を用いて結合し、ターゲットに近づくほどジャッキ支持部材103方向への大きな力を与えてもよい。また、距離変更機構を磁石ユニット側に設け、距離変更機構と磁石ユニットを一体的に回転機構により回転させる構成でもよい。この場合、磁石ユニットを回転させるトルクも低減できる。図1に戻って、ターゲットの取り外しの手順を説明する。まず、駆動モーター104を動作させて回転軸104aを回転させ、ジャッキ機構108によって、駆動モーター109、駆動ベース112および磁石ユニット117を上方向に移動させる。磁石ユニット117とターゲット118との距離が所定の距離まで離れたら、磁石ユニット117からターゲット118にかかる吸引力が弱められる。次に、ターゲット保持板119をカソードボディー101に固定するためのネジを緩めることで、ターゲット保持板119とともにターゲット118を取り外す。ここで、ターゲット118の取り外しの際、磁性ターゲット118と磁石ユニット117との間には、強力な吸引力が働いているが、本発明によれば、力発生部102を備えることで、第1支持部材としてのカソードボディー101から第2支持部材としての駆動ベース112を遠ざける方向に力が作用する。したがって、第1支持部材としてのカソードボディー101を上方に移動させ更に駆動モーター104およびジャッキ機構108で構成される駆動部にかかる負荷が軽減される。