試験体に装着されてその内部の水素またはヘリウムを検出する水素またはヘリウム用の検出計であって、金属製のフィラメントと、グリッドと、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の電源と、フィラメントより高い電位をグリッドに与えるグリッド用の電源と、を備え、フィラメント用の電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、前記フィラメントとグリッドとの間でのエミッション電流を測定する検出手段を更に備えて、検出手段で測定したエミッション電流から水素またはヘリウムを検出することを特徴とする水素またはヘリウム用の検出計。請求項1記載の水素またはヘリウム用の検出計であって、前記フィラメントが所定径の線材からなるものにおいて、前記フィラメントの径を、所定圧力範囲にて平均自由工程より大きくなるように設定することを特徴とする水素またはヘリウム用の検出計。前記フィラメントは、イリジウムの母材と、この母材表面を覆う酸化イットリウムとから構成されることを特徴とする請求項1記載の酸素検出計。金属製のフィラメントとグリッドとを試験体に装着した後、この試験体内部を減圧し、フィラメントに直流電流を通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させると共に、フィラメントより高い電位をグリッドに与え、前記フィラメントの径が平均自由工程より大きくなる圧力範囲にてフィラメントとグリッドとの間で測定したエミッション電流から水素またはヘリウムを検出することを特徴とする水素またはヘリウムの検出方法。請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の水素またはヘリウム用の検出計を備えたことを特徴とするリークディテクタ。本発明は、以上の点に鑑み、簡単な構成で、しかも、省スペース化を図ることができ、試験体内に残留するガスのうち水素またはヘリウムのみを効率よく検出することができるようにした低コストの水素またはヘリウム用の検出計及び水素またはヘリウムの検出方法を提供することをその第1の課題とするものである。また、本発明は、少ない部品点数で低コストのリークディテクタを提供することをその第2の課題とするものである。上記第1の課題を解決するために、本発明は、試験体に装着されてその内部の水素またはヘリウムを検出する水素またはヘリウム用の検出計であって、金属製のフィラメントと、グリッドと、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の電源と、フィラメントより高い電位をグリッドに与えるグリッド用の電源と、を備え、フィラメント用の電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、前記フィラメントとグリッドとの間でのエミッション電流を測定する検出手段を更に備えて、検出手段で測定したエミッション電流から水素またはヘリウムを検出することを特徴とする。本発明によれば、試験体内の水素またはヘリウムを検出する場合、金属製のフィラメントとグリッドとを試験体に装着した後、この試験体内部を減圧真空引きし、フィラメントに直流電流を通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させると共に、フィラメントより高い電位をグリッドに与える。ここで、金属製のフィラメント表面から単位面積及び単位時間当たりに飛び出す熱電子の数熱電子放出電流密度は、リチャードソンダッシュマンの式からフィラメント温度が高くなる程、多くなる。他方で、水素やヘリウムの熱伝導率は酸素や窒素といった他の気体と比べて高く、熱を奪いやすい。つまり、試験体内に残留する水素やヘリウムの濃度が高い程、フィラメントが熱を奪われてその温度が低下し、これに伴いエミッション電流も低下する。このため、フィラメントに印加する電圧が同一の場合、減圧下の試験体内に残留する水素やヘリウムの濃度に応じてエミッション電流が変化する。従って、エミッション電流と試験体内の水素またはヘリウム酸素濃度との関係を予め取得しておけば、測定したエミッション電流から水素またはヘリウムの濃度を検出することができる。このように本発明では、フィラメントと、グリッドと、フィラメント用の電源と、グリッド用の電源と、エミッション電流を測定する検出手段とから水素またはヘリウム用の検出計が構成されるため、部品点数が少なく、簡単な構成でかつ低コストである。しかも、試験体内の水素やヘリウムを検出するに際しては、少なくともフィラメントとグリッドとのみを試験体に装着すればよいため、省スペース化を図ることができる。ところで、気体分子の熱伝導は、フィラメントの径が平均自由工程より十分大きい場合、試験体内の圧力に関係なく、気体の種類や温度等によって一定となり、気体の性質を顕著に観察することができる。他方、フィラメントの径が平均自由工程より十分小さい場合、試験体内の圧力に比例し、気体の種類の影響が小さくなる。そこで、本発明において、所定径の線材からなるフィラメントの径を、試験体内の圧力が所定範囲例えば、リーテテスト時に利用される1~100Paにおいて平均自由工程より大きくなるように設定することが好ましい。これによれば、フィラメントの径が平均自由工程より十分大きい試験体内の圧力範囲でエミッション電流を測定することで、水素またはヘリウムの濃度を高感度で検出できるようになる。また、本発明においては、前記フィラメントは、イリジウムの母材と、この母材表面を覆う酸化イットリウムとから構成されることが好ましい。これにより、上記圧力範囲内で水素やヘリウムを検出するときでも、フィラメントの高寿命化を図ることができる。また、上記第1の課題を解決するために、本発明の水素またはヘリウムの検出方法は、金属製のフィラメントとグリッドとを試験体に装着した後、この試験体内部を減圧し、フィラメントに直流電流を通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させると共に、フィラメントより高い電位をグリッドに与え、前記フィラメントの径が平均自由工程より大きくなる圧力範囲にてフィラメントとグリッドとの間で測定したエミッション電流から水素またはヘリウムを検出することを特徴とする。更に、上記第2の課題を解決するために、本発明のリークディテクタは、請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の水素またはヘリウム用の検出計を備えたことを特徴とする。これによれば、質量分析計等の高価な部品を必要としない簡単な構成でかつ低コストのリークディテクタを実現することができる。以下、図面を参照して、真空チャンバ気密容器や配管などの試験体に装着されて、減圧下の試験体内部の水素またはヘリウム濃度を検出するために用いられる本発明の実施形態の水素またはヘリウム用の検出計及び検出方法を説明する。図1を参照して、Mは、本実施形態の水素またはヘリウム用の検出計である。検出計Mは、イリジウムからなる母材金属の表面をメッキ処理により酸化イットリウムで被覆した棒状のフィラメント1と、フィラメント1の周囲を囲うように配置される筒状のグリッド2とを備える。そして、これらフィラメント1及びグリッド2が検出計のセンサ部Msを構成し、センサ部Msが図外の試験体内に存するように設置される。フィラメント1の一端は、フィラメント用の電源E1に電気的に接続されている。また、グリッド2は、グリッド用の電源E2の正の出力側に電気的に接続され、グリッド2に対してフィラメント1より高い電位をこのグリッド2に与えるようになっている。電源E2の負の出力側は、フィラメント用の電源E1の負の出力側に接続されてアース接地されている。また、電源E2の負の出力側には、フィラメント1とグリッド2との間を流れるエミッション電流Ieを測定するエミッション電流用の電流計検出手段3が介設されている。また、検出計Mは、コンピュータ、メモリやシーケンサ等を備えた制御部Cを備え、この制御部Cは、上記電源E1、E2の作動や電流計3からの出力の処理を統括制御するようになっている。以下に、試験体内に残留する水素またはヘリウムの濃度の検出方法を説明する。先ず、フィラメント1とグリッド2とを図外の試験体に装着し、試験体を真空ポンプにより真空引き減圧する。次に、電源E1によりフィラメント1に所定値の直流電流Ifを通電してフィラメント1を点灯させ、熱電子を放出させる。そして、電源E2によりグリッド2に所定電位を与えてグリッド2とフィラメント1との間の電位差で熱電子をグリッド2側に引き込む。このとき、熱電子がグリッド2に到達してエミッション電流Ieが生じる。ここで、上記フィラメント1表面から単位面積及び単位時間当たりに飛び出す熱電子の数熱電子放出電流密度は、リチャードソンダッシュマンの式からフィラメント温度が高くなる程、多くなる。他方で、水素やヘリウムの熱伝導率熱伝導率の理論値、水素:3.87×10-4calcm-1s-1K-1、ヘリウム:3.52×10-4calcm-1s-1K-1は、酸素や窒素例えば、酸素:0.568×10-4calcm-1s-1K-1といった他の気体と比べて高く、熱を奪い易い。このため、試験体内に残留する水素やヘリウムの濃度が高い程、フィラメント1が熱を奪われてその温度が低下し、エミッション電流も低下する。従って、フィラメント1への印加電圧が一定の場合におけるエミッション電流と試験体内の水素またはヘリウム濃度との関係を予め取得しておけば、測定したエミッション電流から水素またはヘリウムの濃度を検出することができる。そこで、試験体に検出計Mを装着し、減圧下で、フィラメント1に一定の電圧例えば、1.93Vを印加し、この状態で、試験体内に水素またはヘリウムを導入して、エミッション電流と試験体内の水素またはヘリウムの濃度との関係を予め取得し、これを制御部Cのメモリに記憶させておく。これにより、測定したエミッション電流Ieから試験体内の水素またはヘリウムの濃度が検出できる。ところで、気体分子の熱伝導は、フィラメント1の径が平均自由工程より十分大きい場合、試験体内の圧力に関係なく、気体の種類や温度等によって一定となり、気体の性質が顕著に観察できる。他方、フィラメント1の径が平均自由工程より十分小さい場合、試験体内の圧力に比例し、気体の種類の影響が小さくなる。このため、フィラメント1の径を、試験体内の圧力が所定範囲例えば、リークテストに利用される1~100Paにおいて平均自由工程より大きくなるように設定することが好ましい。これによれば、フィラメント1の径が平均自由工程より十分大きい試験体内の上記圧力範囲でエミッション電流Ieを測定することで、水素またはヘリウムの濃度を高感度で検出できるようになる。以上説明したように、本実施形態の検出計Mは、フィラメント1と、グリッド2と、フィラメント用の電源E1と、グリッド用の電源E2と、エミッション電流を測定する電流計3とから構成されるため、部品点数が少なく、簡単な構成でかつ低コストである。しかも、試験体内の水素やヘリウムを検出するに際しては、少なくともフィラメント1とグリッド2とからなるセンサ部Msのみを試験体に装着すればよいため、省スペース化を図ることができ、試験体内に残留する水素濃度またはヘリウム濃度を効率よく検出することができる。また、上記構成のフィラメント1を用いることで、タングステン製のフィラメント等を用いる場合と比較して、上記圧力範囲内で水素やヘリウムを検出するときに高寿命化を図ることができる。以上の効果を確認するために、次のような実験を行った。即ち、所定容積の試験体を用意し、この試験体に排気管を介してドライポンプ等の所謂低真空用の真空ポンプを接続した。そして、排気管に、上記検出計Mのセンサ部Msとピラニ真空計とを気密保持した状態で装着した。フィラメント1としては、イリジウムからなる母材金属の表面をメッキ処理により酸化イットリウムで被覆した棒状のものでフィラメント直径が0.127mmのものを用いた。また、上記排気管のうち、検出計Mとピラニ真空計の真空ポンプ側にコンダクタンスバルブを介設すると共に、それらの試験体側にテストポートバルブを介設した。次に、真空ポンプを起動し、コンダクタンスバルブ及びテストポートバルブを夫々開弁して試験体内を真空引き減圧する。この場合、校正済みのピラニ真空計で測定される試験体内の圧力が1~100Paの範囲で一定となるようにコンダクタンスバルブが制御できるようになっている。なお、上記フィラメント直径0.127mmに一致する平均自由工程が得られる圧力は約58Paであり、この圧力より高い圧力範囲では、試験体内に残留する気体の熱伝導率が、試験体内の圧力に関係なく、気体の種類や温度等によって一定となり、気体の性質を顕著に観察することができる。次に、電源E1よりフィラメント1に通電すると共に、電源E2によりグリッド2に電位を印加する。この場合、試験体の圧力が1Pa、ヘリウム濃度が0となるときのエミッション電流Ieが1mAとなるように、フィラメントの印加電圧Vfを1.93V、電流Ifを1.8Aとした。そして、試験体内にヘリウムガスを一定流量で導入したつまり、試験体内のヘリウムの濃度を変化させた。。図2aは、試験体内のヘリウム濃度とエミッション電流との関係を示すグラフである。これによれば、エミッション電流IemAとヘリウム濃度CHeとの間には、Ie=a×CHe-b本実験の測定結果から回帰直線を得たときのa=0.5579、b=0.04である式1の関係があることが判った。このようにヘリウム濃度とエミッション電流との相関が予め判っていれば、本実施形態のものがヘリウム用の検出計Mとして利用できることが判る。なお、上記においては、ヘリウムを例に説明したが、水素においても同様に検出できることが確認された。なお、試験体の圧力を100Paとし、このときの試験体内のヘリウム濃度とエミッション電流との関係を測定し、その結果を図2bに示す。これによれば、上記フィラメント直径0.127mmに一致する平均自由工程が得られる圧力より高い圧力範囲の方が、試験体内のヘリウム濃度に応じてエミッション電流が顕著に変化することが確認された。図3を参照して、本実施形態の水素またはヘリウム用の検出計を備えたリークディテクタLDについて説明する。リークディテクタLDは、水素またはヘリウム用の検出計のセンサ部Msと、ロータリーポンプやドライポンプ等の所謂低真空用の真空ポンプPとを備える。ドライポンプには排気管P1が接続され、排気管P1の一端が試験体Tpの接続ポートに接続される。そして、排気管P1にセンサ部Msとピラニ真空計PGとが介設されている。排気管P1にはまた、センサ部Msとピラニ真空計PGとの接続個所の真空ポンプP側にコンダクタンスバルブCvが設けられ、それらの試験体Tp側にテストポートバルブTvが介設されている。更に、排気管P1には、校正リークバルブCLvを介して校正リークCLが設けられている。前述の各部品は、検出計Mのうちフィラメント用の電源上記実施形態では、E1及びグリッド用の電源上記実施形態では、E2と電流計とを備え、各部品の作動を制御する図示省略の制御ユニットにより統括制御されるようになっている。リークテストに際しては、排気管P1の一端を試験体Tpのテストポートに接続し、真空ポンプPを起動する。そして、コンダクタンスバルブCv及び校正リークバルブCLvを夫々開弁して排気管P1内を真空引き減圧する。この場合、校正済みのピラニ真空計PGで測定される排気管P1内の圧力が1~100Paの範囲で一定となるようにコンダクタンスバルブCvを制御する。次に、フィラメント用の電源によりフィラメント1に所定値の直流電流Ifを通電してフィラメント1を点灯させ、熱電子を放出させる。そして、グリッド用の電源によりグリッドに所定電位を与えてグリッドとフィラメントとの間の電位差で熱電子をグリッド側に引き込む。このとき、熱電子がグリッドに到達してエミッション電流が生じる。そして、このときのエミッション電流が校正リーク時におけるヘリウムの流量と関係付けられる。次に、校正リークバルブCLvを閉弁し、フィラメント用の電源によるフィラメント1への通電加熱を一旦停止する。この状態で、テストバルブTvを開弁し、真空計PGで測定される試験体Tp内の圧力が1~100Paの範囲で一定となるようにコンダクタンスバルブCvを制御する。試験体Tp内の圧力が一定になると、フィラメント1への通電を再開し、電流計によるエミッション電流の測定を開始する。そして、試験体Tpにヘリウムを吹き付ける。このとき測定したエミッション電流が、校正リーク時におけるヘリウム流量でのエミッション電流より小さければ、校正リーク時におけるものより大きな漏れが試験体Tpに生じていると判定できる。この場合、校正リーク時において複数の流量でエミッション電流を測定できるように構成しておけば、上述したエミッション電流IemAとヘリウム濃度CHeとの間の関係式上記式1を求めることができ、このような場合にはエミッション電流をヘリウム濃度に換算できるようになる。以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、棒状のフィラメント1の周囲に筒状のグリッド2を配置したものを例に説明したが、フィラメント1及びグリッド2の形態は上記のものに限定されるものではなく、公知のどのような形態のものでも本発明を適用でき、また、フィラメントの材質も、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたものであればよい。また、上記実施形態では、試験体内に残留する水素またはヘリウムの濃度を測定する際、フィラメント1に印加する電圧を一定とし、エミッション電流の変化から水素またはヘリウムの濃度を検出するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、エミッション電流を一定とし、水素またはヘリウムの濃度を変化するフィラメント電流から検出するように構成することもできる。