"ロングアーク型メタルハライドランプにおいて、円筒状の石英ガラスからなる発光管の内部に、発光物質として鉄が封入され、前記メタルハライドランプは、前記発光管の外表面上に、当該発光管の全長に亘って略一定幅に形成された紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、前記反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されていることを特徴とするロングアーク型メタルハライドランプ。ロングアーク型メタルハライドランプと、このメタルハライドランプを覆う略樋状の反射ミラーと、このメタルハライドランプおよび反射ミラーを通風により冷却する冷却機構とよりなる光照射装置において、前記反射ミラーは、当該光照射装置の光出射方向と対向する位置に冷却風用の開口が形成され、前記メタルハライドランプは、その発光管の外表面上であって前記反射ミラーの開口に対向した領域に紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、前記反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されていることを特徴とする光照射装置。しかしながら、上記装置の動作方法のもとで、反射膜を備えたメタルハライドランプを使用した場合、ランプの温度が上昇し過ぎて蒸着膜が揮発したり、アルミナ粒子の膜においても剥れるという問題が生じる。本発明者らがこのような現象が起こる原因を検討したところ、下記のことが原因であると推察した。上述したように、液晶パネル基板の製造にかかる光照射装置では、樹脂の硬化を過不足なく行い、かつ、基板に紫外線の過剰照射を回避しなければならず、このためにワークを搬送する間ランプらの放射光を遮光するためシャッタが閉じられる。このとき、冷却風の流路が閉ざされることになり、冷却は間欠的になってしまう。このため、ランプの温度が冷えにくい状況が定期的に発生する。反射膜として蒸着膜を用いると発光管が800°Cを超えるような過熱状態で使用されるため、蒸着物質が揮発して最終的になくなってしまう。一方、反射膜がアルミナ粒子より構成される場合には、蒸着膜よりも耐熱性を有するものの、アルミナは紫外光~赤外光にわたって、広範囲の波長領域の光を反射する特性を備えるため、メタルハライドランプから放射された光のうち、可視光から赤外光までも反射することで、ランプ自身の加熱につながり、アルミナの反射膜が剥がれ落ちるような事態に至るものと考えられる。なお、アルミナ反射膜の存在によりランプの過熱状態が続くと、放電空間内部では発光管を構成するシリカガラスと封入物である鉄Feとが反応を生じ、鉄が黒化して発光管に付着し、透過率が低下して照度が低下するという新たな問題が生じる。そこで、本発明が解決しようとする課題は、鉄を封入したメタルハライドランプを冷却風の通風路を備えた光照射装置に使用した場合にも、ランプから放射された光を効率よくワークに向けて放射することができると共に、ランプの過熱を防止できて、反射膜の剥れ、更には黒化を抑制して高い照度維持率を実現することができるメタルハライドランプ及び光照射装置を提供することを目的とする。本発明に係るロングアーク型メタルハライドランプは、円筒状の石英ガラスからなる発光管の内部に、発光物質として鉄が封入され、前記メタルハライドランプは、前記発光管の外表面上に、当該発光管の全長に亘って略一定幅に形成された紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、前記反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されていることを特徴とする。また更に本発明に係る光照射装置は、ロングアーク型メタルハライドランプと、このメタルハライドランプを覆う略樋状の反射ミラーと、このメタルハライドランプおよび反射ミラーを通風により冷却する冷却機構とよりなる光照射装置において、前記反射ミラーは、当該光照射装置の光出射方向と対向する位置に冷却風用の開口が形成され、前記メタルハライドランプは、その発光管の外表面上であって前記反射ミラーの開口に対向した領域に紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、前記反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されていることを特徴とする。発光管の外表面において、通風路の領域に対応して形成する反射膜に関し、シリカ粒子を主体とした膜にすることで、耐熱性に優れた反射膜とすることができるとともに、350~400nmの必要な光の反射性能を従来の反射膜と同等に維持することができ、波長400nm以上の不要な反射光を少なくしてランプ温度の上昇を軽減することができるようになる。シリカ粒子からなる反射膜はアルミナ粒子からなる反射膜に比べ、波長400nm以上の反射が劣るため、不要である可視光~赤外光領域の反射を抑えられるようになり、ランプの温度上昇を抑制することができる。従って、シリカ反射膜によりランプから放射された光を効率よくワークに向けて放射することができると共に、紫外光を主に反射するのでランプの過熱を防止できて、反射膜の剥れ、更には黒化を抑制して高い照度維持率を実現することができる、メタルハライドランプ及び光照射装置を提供することができる。以下、本願発明の実施形態を説明する。図1は本発明に係るメタルハライドランプであり、発光管の管軸に沿って切断した断面図である。図2は本発明に係るメタルハライドランプを光照射装置に組み込んだ状態を説明する図であり、A発光管の管軸に対して垂直方向に切断した断面図、B反射膜近傍を拡大して示す説明図である。なお、メタルハライドランプが搭載される光照射装置の全体の構成について、先に示した図5の構成と同様であり、ここでは図5を参照し、同符号を用いて説明する。図5において、光照射装置50は、上部に形成された通気孔52、ランプ配置用空間53、及び、下方に開口する光照射口54が形成された略箱型形状のランプハウス51を具えている。ランプハウス51は、上部に排気ファン不図示が設置され、通気口52に連通するダクト55が設けられている。ランプ配置用空間53には、メタルハライドランプ10の発光領域L発光長の大きさと同等またはそれ以上の長さを有すると共に楕円面反射面を有する樋状の反射ミラー20がその第1焦点の位置がメタルハライドランプ10の発光部を構成するランプ中心と一致する状態で配置されている。反射ミラー20は、内面の反射側にいわゆるコールドミラーと呼ばれる赤外光を透過して特定領域の紫外光を反射する機能を有する反射膜が設けられたものである。反射ミラー20内面に設けられた反射膜は例えば、酸化タンタルTa2O5と二酸化ケイ素SiO2とよりなる多層反射膜図示せずにより形成されたものである。メタルハライドランプ10は、図1に示すように、両端に封止部11aが形成された円筒状の石英ガラスからなる発光管11を具えており、この発光管11内に一対の電極12,13が対向して配置され、内部に希ガス、ハロゲン、鉄などの封入物が封入されて構成される。これらの金属のうち鉄は、波長300nm近傍において広域な発光を生じるものであり、必須に封入されるものである。同図に示すように発光管11の封止部11aには金属箔15が埋設され、この金属箔15に対して外部リード棒16が接続されている。同図中、符号11bで示される部材は封止部11a内部において電極12,13の軸部を指示するためのガラス製の筒体であり、かかるガラス製筒体11bはその外周面が封止部11aの内周面に溶着されて固定されている。発光管11は、外表面上に紫外線の反射膜17を備えている。かかる反射膜17は、おおむね光照射装置50の通気口52に対応する領域に形成されるものであり、シリカ粒子が積層状態に固着して形成されたものである。なお、この反射膜17は反射による光を有効に利用する場合にはベタ状であるのが好ましいが、反射膜と発光管との間で蓄熱された熱を積極的に放熱したい場合には、部分的に透過部を備えるよう例えば網目状に形成されるのが好ましい。反射膜17を構成するためのシリカ粒子は、粒子径が0.1~20μmの範囲にあるものであって、中心粒径が0.1~2μmのものが好ましく、より好ましくは0.3~0.5μmである。また中心粒径を有する粒子の割合は50以上であるのが好ましい。また、シリカ粒子の膜の厚さは100μm以上であり、好ましくは150μm以上である。シリカ粒子が上記範囲の粒子径を有するものであることにより、真空紫外光を効率よく拡散反射させることができる。なお本明細書において粒子径とは、粒子の投影像を2本の平行線で挟んだとき、平行線の間隔が最大となる粒子の幅をいう。このようなシリカ粒子からなる反射膜は、例えば流下法と呼ばれる方法により形成することができる。すなわち、水とPEO樹脂ポリエチレンオキサイドを組み合わせた粘性を有する溶剤に、シリカ粒子を混ぜて分散液を調製し、この分散液を放電容器形成材料内に流し込むことにより、発光管形成材料の外表面における所定の領域に付着させた後、乾燥、焼成することにより水とPEO樹脂を蒸発させることにより、反射膜20を形成する。このような反射膜は、シリカ粒子により形成されるものであるが、最終的な形状が必ずしもシリカ粒子の形状を維持した状態のものである必要はない。すなわち、シリカ粒子の一部が溶融して、隣接する他のシリカ粒子と結合されていても良い。図3は、シリカ粒子の反射率とアルミナ粒子における反射率の一例を示す図であり、曲線Aはシリカ粒子、曲線Bはアルミナ粒子の反射率をそれぞれ示したものである。なお、これらの反射率は、いずれも膜厚を150nmとして形成し、反射膜を形成したときの波長300nm~700nmまでのものである。同図に示されるように、波長約300~400nmの波長領域においては曲線A,B共、反射率は95を超えるような高いものとなっている。しかしながら、可視領域から赤外領域の波長帯の光では、曲線A,Bは、波長が長くなるに従い差異が大きくなっている。すなわち、曲線Aでは、波長が長い光では徐々に反射率が低下しており、これに対して曲線Bの場合、波長が長くなるに従って徐々に上昇しており、反射率は格段に高いものとなっている。従ってAのシリカ粒子からなる反射膜を使用すると、主要な波長300~450nm領域の光に対して高い反射率で反射することができ、一方、被処理物の処理に不要な可視ないし赤外領域の光については、低い反射率で反射することができるようになる。この結果、紫外光をメタルハライドランプの発光管を通過させることができ、ワーク側に取り出すことが可能になる共に、可視光~赤外光の光は発光管に戻る量が少なく、ランプの過熱を防止することができるようになる。なお、反射膜17は、シリカ粒子を主成分とするものであれば他の反射性の粒子を含む状態であっても構わない。なお本発明において、反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されているとは、反射膜の構成割合において50vol以上の割合でシリカ粒子を含んでいるという意味である。シリカ粒子以外の反射性の粒子の例としては、アルミナ、マグネシア、ジルコニア、チタニアなどである。以上の本発明に係るメタルハライドランプを、先に示した図5、6のような構成の光照射装置に用いることで、下記の作用効果が奏される。すなわち、メタルハライドランプにおいて、通気孔に対応する領域、すなわち、反射ミラーによって反射されない領域に反射膜が形成されているので、ランプから放射された光を、効率よく利用することができるという既存の効果に加えて、反射膜がシリカ粒子からなるものであるので、紫外領域の光については高い反射率を維持しつつ、実質的に不要となる紫外領域以外の光についてアルミナよりも反射率が低いことによって、可視光~赤外光の反射が抑制されて、発光管の過熱が抑制される。この結果、メタルハライドランプの冷却が間欠的に生じる場合であっても、発光管の過熱が抑制されて、反射膜が熱で剥がれ落ちたり、発光管を構成するシリカガラスと封入物である鉄Feとが反応して発光管が黒化したりするという問題を回避できるようになる。[実験例1]以下、以上説明した本願発明の構成に類似するサンプルを作製し、実際にメタルハライドランプ装置を動作させたときと同様の温度状態を擬似的に形成して、発光管に設けた反射膜の耐熱性がどのような程度であるか性能について検証を行った。まず、基材として発光管を構成するものと同じ材質、すなわち石英管を使用し、この表面に反射膜を形成したサンプルを作製した。具体的には、外径26mmの石英管の外表面上に、膜厚およそ100μmになるようにシリカ粒子又はアルミナ粒子を膜付けして作製した。このサンプルを合計10個作製し、電気炉を用いて昇温、冷却のサイクルを加えることにより膜剥れの耐久性を確認した。温度サイクルの条件は、800°Cキープを30分、0°Cキープ30分を1サイクルとし、これを100サイクル繰り返すことによった。テストの前後においてサンプルの重量を測定し、重量変化率から剥れが発生したか否かを検証した。なお重量変化率は、下記の式によって求めることができる。重量変化率=テスト前の重量-テスト後の重量÷テスト前の重量×100図4は、この実験結果を示す図である。同図Aはシリカ粒子からなる反射膜の体積変化率、Bはアルミナ粒子からなる反射膜の体積変化率の結果を示した表である。この結果から分かるように、アルミナ膜、シリカ膜の重量変化率を比較すると、Aのシリカ粒子で構成した反射膜によれば平均の重量変化率が約0.1程度であり、変化が非常に少なく耐熱性が良好である。一方、Bのアルミナ粒子で構成した反射膜では、平均の重量変化率が約1と10倍程度の違いがある。この理由は、石英管は熱による膨張と収縮が生じ、反射膜をシリカ粒子で構成した場合では石英管の熱膨張、収縮に対して熱膨張係数の差が実質的に無いので、石英管の表面と反射膜の境界において剥れが発生し難く、膜を安定的に保持することができるからであると考えられる。メタルハライドランプを間欠的に点灯すると電力の切り替えとほぼおなじ周期で温度の上昇、下降が生じるので、このような熱サイクル試験に類似する状態が引き起こされる。この実験例により、シリカ膜の方がアルミナ膜に対して剥れ難く、耐久性が大きいことが判明したので、シリカ粒子による反射膜を設けることがより優位であるといえる。以上、説明したように、本願発明に係るメタルハライドランプによれば、ランプを高い電力と低い電力とで切り替えて点灯する間欠的な点灯モードにより点灯した場合でも、反射膜の剥離を防止できて高い耐久性を備えた反射膜とすることができる。また、メタルハライドランプからの光のうち、紫外光について高い反射率で反射し、それよりも高い波長域の光については低い反射率で反射することになるので、メタルハライドランプに反射光が入射しても発光管が過熱することを回避することができる。"