エネルギー偏向器を備え、1次ビームを試料に照射し発生する2次電子を検出することにより試料の観察を行うエネルギー分析器の軸と1次ビームの軸とを3次元的に軸合わせするための方法であって、試料を3次元的x方向、y方向、z方向に移動可能な試料ステージに載置し、エネルギー偏向器の直前にスリットを備えた2次電子捕集器を設け、エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度Ispectrを検出するとともに、2次電子捕集器により2次電子を捕集し、2次電子強度Isを検出し、特定の信号電子のスペクトル強度Ispectrと2次電子の強度との比Ispectr/Isを算出し、x-y平面で1次ビームを移動させ、前記の算出法によりx-y平面における位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求めるとともに、試料をz方向に移動させ、前記の算出法によりz方向の位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求め、x-y平面における前記ピーク位置とz方向における前記ピーク位置を最適点とすることを特徴とするエネルギー分析器の軸合わせ方法。エネルギー偏向器を備え、1次ビームを試料に照射し発生する2次電子を検出することにより試料の観察を行うエネルギー分析器の軸と1次ビームの軸とを3次元的に軸合わせするための装置であって、試料を3次元的x方向、y方向、z方向に移動可能に載置する試料ステージと、エネルギー偏向器の直前に設けられたスリットを備えた2次電子捕集器と、エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度Ispectrを検出する検出器と、検出器で検出した特定の信号電子のスペクトル強度Ispectrと2次電子捕集器により2次電子を捕集して得られたスペクトル強度Isとの比Ispectr/Isを算出する割り算器と、x-y平面で1次ビームを移動させて得られ、前記割り算器で算出された、x-y平面における位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線からピーク位置を求めるとともに、試料をz方向に移動させて得られ、前記割り算器で算出された、z方向の位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線からピーク位置を求める、x-y平面における前記ピーク位置とz方向における前記ピーク位置を最適化位置として演算する演算手段とを備えることを特徴とするエネルギー分析器の軸合わせ装置。本発明は、以上のような従来技術の実情に鑑みてなされたものであり、軸合わせの作業に未習熟な者でも、容易にかつ精度良くエネルギー分析器の軸合わせを行うことができる技術を提供することを課題とする。本発明は、上記課題を解決するため、エネルギー偏向器を備え、1次ビームを試料に照射し発生する2次電子を検出することにより試料の観察を行うエネルギー分析器の軸と1次ビームの軸とを3次元的に軸合わせするための方法であって、試料を3次元的x方向、y方向、z方向に移動可能な試料ステージに載置し、エネルギー偏向器の直前にスリットを備えた2次電子捕集器を設け、エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度Ispectrを検出するとともに、2次電子捕集器により2次電子を捕集し強度Isを検出し、特定の信号電子のスペクトル強度Ispectrと2次電子の強度との比Ispectr/Isを算出し、x-y平面で1次ビームを移動させ、前記の算出法によりx-y平面における位置に対する信号強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求めるとともに、試料をz方向に移動させ、前記の算出法によりz方向の位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求め、x-y平面における前記ピーク位置とz方向における前記ピーク位置で定まる点を最適点とすることを特徴とするエネルギー分析器の軸合わせ方法を提供する。また、本発明は、エネルギー偏向器を備え、1次ビームを試料に照射し発生する2次電子を検出することにより試料の観察を行うエネルギー分析器の軸と前記1次ビームの軸とを3次元的に軸合わせするための装置であって、試料を3次元的x方向、y方向、z方向に移動可能に載置する試料ステージとエネルギー偏向器の直前に設けられたスリットを備えた2次電子捕集器と、エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度Ispectorを検出する検出器と、検出器で検出した特定の電子のスペクトル強度Ispectrと2次電子捕集器により2次電子を捕集して得られたスペクトル強度Isとの比Ispectr/Isを算出する割り算器と、x-y平面で1次ビームを移動させて得られ、前記割り算器で算出された、x-y平面における位置に対するスペクトル強度比Ispectr/Isの曲線からピーク位置を求めるとともに、試料をz方向に移動させて得られ、前記割り算器で算出された、z方向の位置に対するスペクトル強度比Ispectr/Isの曲線からピーク位置を求める、x-y平面における前記ピーク位置とz方向における前記ピーク位置で定まる点を最適化位置として演算する演算手段とを備えることを特徴とするエネルギー分析器の軸合わせ装置を提供する。本発明によれば、前記技術的手法ないし技術的手段を採用したので、軸合わせの作業に訓練と経験を積んだ者でなくとも、容易にかつ精度良くエネルギー分析器の軸合わせを行うことが可能となる。以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。本発明は、エネルギー偏向器を備えたエネルギー分析器を正しい状態で使用するため、電子ビーム等の1次ビームが試料に入射し、それによって試料から放射される特定の信号電子オージェ電子、背面散乱反射電子、背面散乱非弾性電子、エネルギー損失電子、真の2次電子等と2次電子広義の意味で、放射されたすべての電子を含むの強度比を取ってこれが最大強度になるように最適化して3次元的に軸を合わせようとするものである。この手法によれば、たとえ1次電子ビームが時間的に揺らいでいても強度比は一定であるので安定した最適化が可能になる。この比を取るということは一種の規格化Normalizationである。図1は、本発明による軸合わせの原理を模式的に示した説明図である。図中1は90度偏向型エネルギー分析器であり、エネルギー偏向器2を備えている。試料3はx方向、y方向、z方向の3次元方向に移動可能な試料ステージの上に載置されている。エネルギー偏向器2の直前にはスリット4が形成された2次電子捕集器5が配置されている。6は1次電子ビームx-y平面上に移動可能、7は上記した特定の信号電子、8は2次電子である。エネルギー偏向器2の出口にはスリット9が設けられている。検出器10はスリット9を通過した集光された特定の信号電子7の信号強度を検出し、検出したスペクトル強度のデータIspectrを割り算器11に送る。割り算器11は2次電子捕集器5から捕集した電子の信号強度Isを受け取る。そして割り算器11は特定の信号電子7のスペクトル強度Ispectrと2次電子8のスペクトル強度Isの比Ispectr/Isを算出する。図中f0は1次電子ビーム6の試料3上の照射位置である。本発明では、まず、x-y平面で1次ビーム6を移動させてx-y平面における位置に対するスペクトル強度比Ispectr/Isを計測し最適点最大値を求める。次に試料3をz方向に上下させてz方向における位置に対するスペクトル強度比Ispectr/Isを同様に求める。図2に示す同軸円筒鏡型エネルギー分析器CMAのように、特定の信号電子28が大きく広がる機種では、z軸方向の最適化ではエネルギー偏向電圧もスペクトルが最大となるように調整する必要がある。なおエネルギー偏向電圧の調整はx-y平面での最適化では狭い範囲なら通常特に必要ない。このようにして3次元的にそれぞれピーク位置となる1点を最適点とする。なお計測の順番は特に問わないが、ここで述べた順序が実際的である。この最適点の算出は例えばパーソナルコンピュータ等を用いて自動的に行うことができる。次に、実際にエネルギー分析器の軸合わせを行った例について述べる。ここでは、図2に示す同軸円筒鏡型エネルギー分析器CMA21を用いた。このCMA21は内筒と外筒の2重の筒で形成されるエネルギー偏向器22を備える。エネルギー偏向器22には入射スリット23と出射スリット24が設けられている。試料25は、図1の場合と同様にx方向、y方向、z方向の3次元方向に移動可能な試料ステージの上に載置されている。エネルギー偏向器22の直前には入射スリット23が形成された2次電子捕集器26が配置されている。27は1次電子ビーム、28は上記した特定の信号電子、29は2次電子である。エネルギー偏向器22の出口には検出器30が配置され、この検出器30は出射スリット24を通過した集光された特定の信号電子28のスペクトル強度を検出し、検出したスペクトル強度のデータIspectrを割り算器31に送る。割り算器31は2次電子捕集器26から捕集した電子のスペクトル強度Isを受け取る。そして割り算器31は特定の信号電子28のスペクトル強度Ispectrと2次電子29の信号強度Isとの比Ispectr/Isを算出する。この同軸円筒鏡型エネルギー分析器CMA21の動作は、基本的に図1に示す場合と同様である。すなわち、検出器30で検出した特定の信号電子28のスペクトル強度Ispectrと2次電子捕集器26により2次電子29を捕集して得られた2次電子強度Isとの比Ispectr/Isを割り算器31で求める。そしてx-y平面で1次ビーム27を移動させて得られ、割り算器31で算出された、x-y平面における位置に対するスペクトル強度比Ispectr/Isの曲線からピーク位置を求めるとともに、試料23をz方向に移動させて得られ、割り算器31で算出された、z方向の位置に対するスペクトル強度比Ispectr/Isの曲線からピーク位置を求める、図示しないパーソナルコンピュータ等の演算手段により、x-y平面における前記ピーク位置とz方向における前記ピーク位置で定まる1点を最適点として特定する。この同軸円筒鏡型エネルギー分析器CMA21を用い、表面組成にむらのある清浄化してないAlについて最適化を行った。1次電子ビーム27の加速電圧は2.5kV、電流は約1μAとした。図3にエネルギー偏向器22の最適化、すなわち1次ビーム27のx-y面での最適化を行うための試料位置とスペクトル強度比との関係をグラフで示す。スペクトル強度比Ispectr/Isのピーク位置が最適点である。また、図4に試料高さの最適化、すなわち試料25のz方向での最適化を行うための試料位置とスペクトル強度比との関係をグラフで示す。スペクトル強度比Ispectr/Isのピーク位置が最適点である。以上で求めたx-y面での最適点とz方向での最適点のデータに基づき、3次元的な最適点が1点だけ特定され、最適化された軸合わせを行うことができた。この実験で使用した割り算器31単独の実験では特定の信号電子28と2次電子29の狭い範囲、たとえば通常経験する10の変動に対して割り算器31の出力両者の比は0.01の変動に収まっており、大幅に性能が改善されていることがわかった。以上、本発明の実施形態を90度偏向型エネルギー分析器と同軸円筒鏡型エネルギー分析器CMAにより説明してきたが、180度偏向型エネルギー分析器等のその他のタイプのエネルギー分析器に対しても本発明は適用可能である。また、上記実施形態では1次ビームとして電子ビームを用いたが、本発明においては光、X線、やイオン等のビーム線を用いることも可能である。