"超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体を流通させて第1面および第2面とそれら面の間に延びる側面とを有する立体構造のフィルタを洗浄する気密構造洗浄室と、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口と、前記洗浄室から前記洗浄流体を流出させる流出口とを備えた洗浄容器を利用し、前記洗浄流体を前記洗浄室に収容された前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流させることで該フィルタを洗浄する洗浄システムにおいて、前記洗浄システムが、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラを有し、前記洗浄容器が、前記洗浄室に設置されて前記フィルタを覆う被覆材と、前記洗浄室に設置されて前記被覆材から延びていて前記流出口につながる管材とを含み、前記被覆材が、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか一方の面から離間して該面全域を覆う中央部と、前記フィルタの側面の周方向外方に位置して該側面全域を覆う周縁部とを有し、前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して該洗浄流体を前記管材に導くスペースが、前記フィルタの面と前記被覆材の中央部との間に形成され、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記マスフローコントローラを介して前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで該洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させる流体圧力逓減手段を実行し、前記流体圧力逓減手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることを特徴とする洗浄システム。前記超臨界流体または前記亜臨界流体が、二酸化炭素ガスを5.0~30.0MPaの圧力に加圧しつつ30~120°Cの温度に加熱することで作られ、前記マスフローコントローラが、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを該洗浄室の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する請求項1記載の洗浄システム。前記洗浄システムが、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御する第1温度制御手段を実行し、前記第1温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項1または請求項2に記載の洗浄システム。前記洗浄システムが、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節する調節バルブとを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、前記流入量制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項3記載の洗浄システム。前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御する第2温度制御手段を実行し、前記第2温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項4記載の洗浄システム。前記洗浄システムが、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御する第3温度制御手段を実行し、前記第3温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項1または請求項2に記載の洗浄システム。前記洗浄システムが、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、前記流入量制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項6記載の洗浄システム。前記洗浄システムでは、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御する第4温度制御手段を実行し、前記第4温度制御手段によって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項7記載の洗浄システム。前記管材が、前記流出口の側に位置する第1部分と、前記第1部分から複数に分岐して前記被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている請求項1ないし請求項8いずれかに記載の洗浄システム。前記洗浄室には、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態で該フィルタを載せる通気性の台座が設置され、前記洗浄システムでは、前記フィルタが前記被覆材と前記台座との間に位置し、前記洗浄流体が前記台座の整流作用によって前記フィルタの略全域を通流する請求項1ないし請求項9いずれかに記載の洗浄システム。前記洗浄システムでは、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている請求項1ないし請求項10いずれかに記載の洗浄システム。超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体を流通させて第1面および第2面とそれら面の間に延びる側面とを有する立体構造のフィルタを洗浄する気密構造洗浄室と、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口と、前記洗浄室から前記洗浄流体を流出させる流出口とを備えた洗浄容器を利用し、前記洗浄流体を前記洗浄室に収容された前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流させることで該フィルタを洗浄する洗浄方法において、前記洗浄方法が、前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラを含み、前記洗浄容器が、前記洗浄室に設置されて前記フィルタを覆う被覆材と、前記洗浄室に設置されて前記被覆材から延びていて前記流出口につながる管材とを含み、前記被覆材が、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか一方の面から離間して該面全域を覆う中央部と、前記フィルタの側面の周方向外方に位置して該側面全域を覆う周縁部とを有し、前記フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して該洗浄流体を前記管材に導くスペースが、前記フィルタの面と前記被覆材の中央部との間に形成され、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記マスフローコントローラを介して前記洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで該洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させ、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることを特徴とする洗浄方法。前記超臨界流体または前記亜臨界流体が、二酸化炭素ガスを5.0~30.0MPaの圧力に加圧しつつ30~120°Cの温度に加熱することで作られ、前記マスフローコントローラが、前記洗浄室内から流出する洗浄流体の質量と流量とを該洗浄室の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する請求項12記載の洗浄方法。前記洗浄方法が、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項12または請求項13に記載の洗浄方法。前記洗浄方法が、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させ、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項14記載の洗浄方法。前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する請求項15記載の洗浄方法。前記洗浄方法が、前記洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記ヒータの温度を調節して前記洗浄容器の温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項12または請求項13に記載の洗浄方法。前記洗浄方法が、前記洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、前記予熱タンクによって予熱された洗浄流体の前記洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して前記予熱タンクから前記洗浄室に除々に流入させ、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項17記載の洗浄方法。前記洗浄方法では、前記洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、前記予熱タンクの温度を制御し、それによって前記洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる請求項18記載の洗浄方法。前記管材が、前記流出口の側に位置する第1部分と、前記第1部分から複数に分岐して前記被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている請求項12ないし請求項19いずれかに記載の洗浄方法。前記洗浄室には、前記フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態で該フィルタを載せる通気性の台座が設置され、前記洗浄方法では、前記フィルタが前記被覆材と前記台座との間に位置し、前記洗浄流体が前記台座の整流作用によって前記フィルタの略全域を通流する請求項12ないし請求項20いずれかに記載の洗浄方法。前記洗浄方法では、前記洗浄室へ前記洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている請求項12ないし請求項21いずれかに記載の洗浄方法。超臨界流体を洗浄室に流通させて洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、その被洗浄物を洗浄室から取り出すには、洗浄室内の超臨界流体の圧力を大気圧にまで下げ、超臨界流体を通常流体に戻す必要がある。前記公報に開示の洗浄システムでは、洗浄後の被洗浄物を洗浄室から取り出すときに、圧力調節バルブを一気に開き、超臨界流体を洗浄室から汚染分離室に流出させて洗浄室内の流体の圧力を大気圧に戻すから、洗浄室内における超臨界流体の圧力が不規則に低下する。超臨界流体の圧力が不規則に低下すると、洗浄室内の流体の密度が臨界点の前後において急速に低下し、被洗浄物の内部に浸透した超臨界流体の急激な密度変化によって被洗浄物が変形、膨張、発泡等のダメージを受ける場合がある。本発明の目的は、洗浄室内の洗浄流体の急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後の被洗浄物がダメージを受けることがない洗浄システムおよび洗浄方法を提供することにある。前記課題を解決するための本発明の第1の前提は、超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体を流通させて第1面および第2面とそれら面の間に延びる側面とを有する立体構造のフィルタを洗浄する気密構造洗浄室と、洗浄室へ洗浄流体を流入させる流入口と、洗浄室から洗浄流体を流出させる流出口とを備えた洗浄容器を利用し、洗浄流体を洗浄室に収容されたフィルタの第1面から第2面に向かって通流させることでそのフィルタを洗浄する洗浄システムである。前記第1の前提における本発明の特徴は、洗浄システムが、洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラを有し、洗浄容器が、洗浄室に設置されてフィルタを覆う被覆材と、洗浄室に設置されて被覆材から延びていて流出口につながる管材とを含み、被覆材が、フィルタの第1面と第2面とのいずれか一方の面から離間して面全域を覆う中央部と、フィルタの側面の周方向外方に位置して側面全域を覆う周縁部とを有し、フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して洗浄流体を管材に導くスペースが、フィルタの面と被覆材の中央部との間に形成され、洗浄システムでは、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、マスフローコントローラを介して洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させる流体圧力逓減手段を実行し、流体圧力逓減手段によって洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることにある。本発明の洗浄システムの一例としては、超臨界流体または亜臨界流体が二酸化炭素ガスを5.0~30.0MPaの圧力に加圧しつつ30~120°Cの温度に加熱することで作られ、マスフローコントローラが洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを該洗浄室の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する。本発明の洗浄システムの他の一例としては、洗浄システムが洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、この洗浄システムでは、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御する第1温度制御手段を実行し、第1温度制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する。本発明の洗浄システムの他の一例としては、洗浄システムが、洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節する調節バルブとを含み、この洗浄システムでは、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、流入量制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する。本発明の洗浄システムの他の一例として、洗浄システムでは、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御する第2温度制御手段を実行し、第2温度制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する。本発明の洗浄システムの他の一例としては、洗浄システムが洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、この洗浄システムでは、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御する第3温度制御手段を実行し、第3温度制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。本発明の洗浄システムの他の一例としては、洗浄システムが、洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、この洗浄システムでは、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を該調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、流入量制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。本発明の洗浄システムの他の一例として、洗浄システムでは、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御する第4温度制御手段を実行し、第4温度制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。本発明の洗浄システムの他の一例としては、管材が流出口の側に位置する第1部分と第1部分から複数に分岐して被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている。本発明の洗浄システムの他の一例として、洗浄室には、フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態でフィルタを載せる通気性の台座が設置され、洗浄システムでは、フィルタが被覆材と台座との間に位置し、洗浄流体が台座の整流作用によってフィルタの略全域を通流する。本発明の他の一例として、洗浄システムでは、洗浄室へ洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている。前記課題を解決するための本発明の第2の前提は、超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体を流通させて第1面および第2面とそれら面の間に延びる側面とを有する立体構造のフィルタを洗浄する気密構造洗浄室と、洗浄室へ洗浄流体を流入させる流入口と、洗浄室から洗浄流体を流出させる流出口とを備えた洗浄容器を利用し、洗浄流体を洗浄室に収容されたフィルタの第1面から第2面に向かって通流させることでそのフィルタを洗浄する洗浄方法である。前記第2の前提における本発明の特徴は、洗浄方法が、洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラを含み、洗浄容器が、洗浄室に設置されてフィルタを覆う被覆材と、洗浄室に設置されて被覆材から延びていて流出口につながる管材とを含み、被覆材が、フィルタの第1面と第2面とのいずれか一方の面から離間して面全域を覆う中央部と、フィルタの側面の周方向外方に位置して側面全域を覆う周縁部とを有し、フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して洗浄流体を管材に導くスペースが、フィルタの面と被覆材の中央部との間に形成され、洗浄方法では、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、マスフローコントローラを介して洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させ、それによって洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることにある。本発明の洗浄方法の一例としては、超臨界流体または亜臨界流体が二酸化炭素ガスを5.0~30.0MPaの圧力に加圧しつつ30~120°Cの温度に加熱することで作られ、マスフローコントローラが洗浄室内から流出する洗浄流体の質量と流量とを洗浄室の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する。本発明の洗浄方法の他の一例としては、洗浄方法が洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、洗浄方法では、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する。本発明の洗浄方法の他の一例としては、洗浄方法が、洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、洗浄方法では、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させ、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する。本発明の洗浄方法の他の一例として、洗浄方法では、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する。本発明の洗浄方法の他の一例としては、洗浄方法が洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、洗浄方法では、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。本発明の洗浄方法の他の一例としては、洗浄方法が、洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、洗浄方法では、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させ、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。本発明の洗浄方法の他の一例として、洗浄方法では、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。本発明の洗浄方法の他の一例としては、管材が流出口の側に位置する第1部分と第1部分から複数に分岐して被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている。本発明の洗浄方法の他の一例として、洗浄室には、フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態でフィルタを載せる通気性の台座が設置され、洗浄方法では、フィルタが被覆材と台座との間に位置し、洗浄流体が台座の整流作用によってフィルタの略全域を通流する。本発明の洗浄方法の他の一例として、洗浄方法では、洗浄室へ洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている。本発明にかかる洗浄システムによれば、洗浄容器が流入口および流出口とフィルタを覆う被覆材と流出口につながる管材とを備え、被覆材がフィルタの面全域を覆う中央部とフィルタの側面全域を覆う周縁部とを有し、フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して洗浄流体を管材に導くスペースがフィルタの面と被覆材の中央部との間に形成されているから、洗浄流体をフィルタの第1面から第2面に向かって確実に通流させることができ、フィルタを通流しない洗浄流体の発生を防ぐことができるとともに、洗浄流体の無駄な消費を防ぐことができる。洗浄システムは、洗浄流体を利用してフィルタ全域を確実に洗浄することができる。洗浄システムは、フィルタを洗浄した後、マスフローコントローラを介して洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に一定値に保持することで、洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させる流体圧力逓減手段を実行し、それによって洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させるから、洗浄室内において洗浄流体の圧力が不規則に低下することはなく、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができる。この洗浄システムは、洗浄流体の急激な密度変化によるフィルタの変形や膨張、発泡等を防止することができるから、洗浄後のフィルタがダメージを受けることはない。超臨界流体または亜臨界流体が二酸化炭素ガスを5.0~30.0MPaの圧力に加圧しつつ30~120°Cの温度に加熱することで作られ、マスフローコントローラが洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを洗浄室の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する洗浄システムは、マスフローコントローラを介して洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に前記範囲で一定に保持し、洗浄室内の洗浄流体の圧力をゆっくりと低下させるから、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、フィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御する第1温度制御手段を実行し、洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する洗浄システムは、第1温度制御手段によって洗浄後における洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することができるから、洗浄室内の洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。この洗浄システムは、洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することで、洗浄後のフィルタを洗浄室内において乾燥させることができる。洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節する調節バルブとを含み、フィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させる流入量制御手段を実行し、洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する洗浄システムは、流入量制御手段によって洗浄後における洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することができるから、洗浄室内の洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。この洗浄システムは、洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することで、洗浄後のフィルタを洗浄室内において乾燥させることができる。フィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御する第2温度制御手段を実行し、第2温度制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する洗浄システムは、洗浄後における洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することができるから、洗浄室内の洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。この洗浄システムは、洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することで、洗浄後のフィルタを洗浄室内において乾燥させることができる。洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、フィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御する第3温度制御手段を実行し、洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる洗浄システムは、第3温度制御手段によって洗浄後の洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で確実に低下させることができるから、洗浄室内において洗浄流体の温度を不規則に低下させることによる洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、フィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を予熱タンクから洗浄室に徐々に流入させる流入量制御手段を実行し、洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる洗浄システムは、流入量制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で確実に低下させることができるから、洗浄室内において洗浄流体の温度を不規則に低下させることによる洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。フィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御する第4温度制御手段を実行し、洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる洗浄システムは、第4温度制御手段によって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で確実に低下させることができるから、洗浄室内において洗浄流体の温度を不規則に低下させることによる洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。管材が流出口の側に位置する第1部分と第1部分から複数に分岐して被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている洗浄システムは、フィルタを通流した洗浄流体を被覆材の複数箇所から管材に捕集することができ、フィルタの全域に略均一の流量の洗浄流体を通流させることができるとともに、フィルタ全域を確実に洗浄することができる。フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態でフィルタを載せる通気性の台座が洗浄室に設置され、フィルタが被覆材と台座との間に位置し、洗浄流体が台座の整流作用によってフィルタの略全域を通流する洗浄システムは、整流作用を有する台座の流体抵抗により、洗浄流体を台座全域に満遍なく分布させつつ、洗浄流体をフィルタに通流させることができるから、洗浄流体をフィルタの第1面の略全域から第2面の略全域に向かって確実に通流させることができ、フィルタに対する高い洗浄機能を有する。この洗浄システムは、洗浄流体を利用してフィルタ全域を確実に洗浄することができる。洗浄室へ洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている洗浄システムは、洗浄流体を複数の流入口から放出してフィルタの複数部分に満遍なく当てることができるから、フィルタの略全域に略均一の流量の洗浄流体を通流させることができる。この洗浄システムは、洗浄流体を利用してフィルタ全域を確実に洗浄することができる。本発明にかかる洗浄方法によれば、洗浄容器が流入口および流出口とフィルタを覆う被覆材と流出口につながる管材とを備え、被覆材がフィルタの面全域を覆う中央部とフィルタの側面全域を覆う周縁部とを有し、フィルタの第1面から第2面に向かって通流した洗浄流体を捕集して洗浄流体を管材に導くスペースがフィルタの面と被覆材の中央部との間に形成されているから、洗浄流体をフィルタの第1面から第2面に向かって確実に通流させることができ、フィルタを通流しない洗浄流体の発生を防ぐことができるとともに、洗浄流体の無駄な消費を防ぐことができる。洗浄方法は、洗浄流体を利用してフィルタ全域を確実に洗浄することができる。洗浄方法は、フィルタを洗浄した後、マスフローコントローラを介して洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に一定値に保持することで、洗浄室内の洗浄流体の圧力を次第に低下させ、それによって洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させるから、洗浄室内において洗浄流体の圧力が不規則に低下することはなく、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができる。この洗浄方法は、洗浄流体の急激な密度変化によるフィルタの変形や膨張、発泡等を防止することができるから、洗浄後のフィルタがダメージを受けることはない。超臨界流体または亜臨界流体が二酸化炭素ガスを5.0~30.0MPaの圧力に加圧しつつ30~120°Cの温度に加熱することで作られ、マスフローコントローラが洗浄室内から流出する洗浄流体の質量と流量とを洗浄室の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する洗浄方法は、マスフローコントローラを介して洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に前記範囲で一定に保持し、洗浄室内の洗浄流体の圧力をゆっくりと低下させるから、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、フィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する洗浄方法は、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御することによって洗浄後における洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することができるから、洗浄室内の洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。この洗浄方法は、洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することで、洗浄後のフィルタを洗浄室内において乾燥させることができる。洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、フィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させ、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する洗浄方法は、予熱された洗浄流体を調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させることによって洗浄後における洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することができるから、洗浄室内の洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。この洗浄方法は、洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することで、洗浄後のフィルタを洗浄室内において乾燥させることができる。フィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持する洗浄方法は、予熱タンクの温度を制御することによって洗浄後における洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することができるから、洗浄室内の洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。この洗浄方法は、洗浄室内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することで、洗浄後のフィルタを洗浄室内において乾燥させることができる。洗浄容器の温度を調節可能なヒータを含み、フィルタを洗浄した後、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる洗浄方法は、ヒータの温度を調節して洗浄容器の温度を制御することによって洗浄後の洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で確実に低下させることができるから、洗浄室内において洗浄流体の温度を不規則に低下させることによる洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。洗浄室に流入する洗浄流体を予熱する予熱タンクと、予熱タンクによって予熱された洗浄流体の洗浄室への流入量を調節可能な調節バルブとを含み、フィルタを洗浄した後、調節バルブにおける洗浄流体の流量を制御しつつ、予熱された洗浄流体を調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させ、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる洗浄方法は、予熱された洗浄流体を調節バルブを介して予熱タンクから洗浄室に除々に流入させることによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で確実に低下させることができるから、洗浄室内において洗浄流体の温度を不規則に低下させることによる洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。フィルタを洗浄した後、予熱タンクの温度を制御し、それによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる洗浄方法は、予熱タンクの温度を制御することによって洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で確実に低下させることができるから、洗浄室内において洗浄流体の温度を不規則に低下させることによる洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタの内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄後のフィルタがダメージを受けることを確実に防ぐことができる。管材が流出口の側に位置する第1部分と第1部分から複数に分岐して被覆材の複数箇所につながる第2部分とから形成されている洗浄方法は、フィルタを通流した洗浄流体を被覆材の複数箇所から管材に捕集することができ、フィルタの全域に略均一の流量の洗浄流体を通流させることができるとともに、フィルタ全域を確実に洗浄することができる。フィルタの第1面と第2面とのいずれか他方の面を当接させた状態でフィルタを載せる通気性の台座が設置され、フィルタが被覆材と台座との間に位置し、洗浄流体が台座の整流作用によってフィルタの略全域を通流する洗浄方法は、整流作用を有する台座の流体抵抗により、洗浄流体を台座全域に満遍なく分布させつつ、洗浄流体をフィルタに通流させることができるから、洗浄流体をフィルタの第1面の略全域から第2面の略全域に向かって確実に通流させることができ、フィルタに対する高い洗浄機能を有する。この洗浄方法は、洗浄流体を利用してフィルタ全域を確実に洗浄することができる。洗浄室へ洗浄流体を流入させる流入口が複数形成されている洗浄方法は、洗浄流体を複数の流入口から放出してフィルタの複数部分に満遍なく当てることができるから、フィルタの略全域に略均一の流量の洗浄流体を通流させることができる。この洗浄システムは、洗浄流体を利用してフィルタ全域を確実に洗浄することができる。添付の図面を参照し、本発明に係る洗浄システムおよび流体密度制御方法の詳細をフィルタの洗浄を例として説明すると、以下のとおりである。図1は、一例として示す洗浄システム10の構成図である。洗浄システム10は、気体を濾過した後の使用済みのエアフィルタ26被洗浄物の洗浄や液体を濾過した後の使用済みのリキッドフィルタ26被洗浄物の洗浄に好適に利用される図2,3参照。それらフィルタ26の洗浄には、超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体が使用される。なお、この洗浄システム10で洗浄される被洗浄物には、フィルタ26のみならず、超臨界流体または亜臨界流体によって洗浄可能な全ての洗浄物が含まれる。この洗浄システム10は、液化二酸化炭素を収容したボンベ11と、二酸化炭素ガスを所定の圧力に加圧するポンプ12と、二酸化炭素ガスを所定の温度に加熱する加熱器13と、洗浄流体の温度を一定に保持する予熱タンク14と、フィルタ26を収容かつ洗浄する洗浄容器15と、洗浄流体の質量と流量とを同時に制御可能なマスフローコントローラ16と、洗浄流体を冷却かつ減圧する冷却減圧装置17と、制御装置18とから形成されている。ボンベ11やポンプ12、加熱器13、予熱タンク14、洗浄容器15、マスフローコントローラ16、冷却減圧装置17は、管路19を介して連結されている。加熱器13と予熱タンク14との間に延びる管路19には、調節バルブ57と流量計20とが取り付けられている。予熱タンク14と洗浄容器15との間に延びる管路19には、調節バルブ21が取り付けられ、洗浄容器15とマスフローコントローラ16との間に延びる管路19には、調節バルブ58が取り付けられている。予熱タンク14には、ヒータ22が取り付けられ、洗浄容器15には、温度計23と圧力計24とヒータ25とが取り付けられている。ボンベ11から供給される二酸化炭素ガスは、ポンプ12によって5.0~30.0MPaの圧力に加圧された後、加熱器13によって30~120°Cの温度に加熱されることで、超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体になる。洗浄流体は、ポンプ12を介して強制的に加熱器13から予熱タンク14に送られるとともに、予熱タンク14から洗浄容器15に供給され、洗浄容器15の後記する気密構造洗浄室38に流入する。洗浄容器15から流出した洗浄流体は冷却減圧装置17で冷却かつ減圧されて非超臨界または非亜臨界の通常流体に戻り、通常流体が管路19を通って再びポンプ12へ流入する。通常流体は、ポンプ12と加熱器13とによって再び洗浄流体になる。フィルタ26の洗浄中は、洗浄流体と通常流体とがシステム10を循環する。フィルタ26の洗浄中では、洗浄流体の洗浄室38への流入量がポンプ12や調節バルブ21によって調節され、洗浄流体の洗浄室38からの流出量が調節バルブ58によって調節されている。なお、この洗浄システム10には、図示はしていないが、循環中の洗浄流体または通常流体に含まれる不純物を濾過する濾過装置が取り付けられている。濾過装置は、冷却減圧装置17とポンプ12との間に延びる管路19に設置される。ポンプ12や加熱器13、調節バルブ57、流量計20、ヒータ22、調節バルブ21、温度計23、圧力計24、ヒータ25、調節バルブ58、マスフローコントローラ16、冷却減圧装置17は、インターフェイス有線または無線を介して制御装置18に接続されている。ポンプ12や加熱器13、流量計20,調節バルブ21,57,58、ヒータ21,25、温度計23、圧力計24は、制御装置18とともに洗浄中における洗浄流体の流量や温度、圧力を目標値の範囲に一致させるフィードバック制御の制御要素を形成する。制御装置18は、中央処理部CPUまたはMPUと記憶部とを有するコンピュータである。制御装置18には、大容量ハードディスクが内蔵され、図示はしていないが、キーボードやディスプレイ、プリンタがインターフェイス有線または無線を介して接続されている。記憶部の内部アドレスファイルには、このシステム10においてフィルタ26の洗浄を実行するための洗浄プログラムが格納され、さらに、フィルタ26洗浄後の各手段を実行するための流体密度制御プログラムが格納されている。制御装置18の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、記憶装置の内部アドレスファイルに格納された各プログラムを起動し、洗浄プログラムに従ってフィルタ26の洗浄を実行するとともに、流体密度制御プログラムに従ってフィルタ26洗浄後の流体圧力逓減手段や第1~第4温度制御手段、流入量制御手段等の各手段を実行する。システム10の稼働中、制御装置18には、流量計20を介して管路19を流れる洗浄流体の流量が常時入力され、温度計23を介して洗浄室38内の洗浄流体の温度が常時入力されるとともに、圧力計24を介して洗浄室38内の洗浄流体の圧力が常時入力される。制御装置18には、調節バルブ21に取り付けられた流量計図示せずからバルブ21の弁機構を通過する洗浄流体の流量洗浄容器15に流入する洗浄流体の流量が常時入力され、調節バルブ58に取り付けられた流量計図示せずからバルブ58の弁機構を通過する洗浄流体の流量洗浄容器15から流出する洗浄流体の流量が常時入力されている。マスフローコントローラ16は、図示はしていないが、質量流量センサ、コントロールバルブ、比較制御回路、記憶装置等から形成され、記憶装置に格納された質量流量制御プログラムに従い、フィルタ26洗浄後に洗浄室から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定に保持する。マスフローコントローラ16は、質量流量センサによって洗浄流体の流量を精密に測定し、洗浄室38から流出する洗浄流体の質量および流量をあらかじめ設定された設定値に自動調節する。マスフローコントローラ16は、洗浄流体が流れるセンサの上流側と下流側との間に生じる温度差によって質量流量に比例した出力を取得し、この出力とあらかじめ設定された設定値とが一致するようにバルブ開度を自動的に調節する。なお、マスフローコントローラ16はフィルタ26を洗浄した後の流体密度制御において使用され、フィルタ26の洗浄中は停止している。マスフローコントローラ16のON/OFF制御は、制御装置18によって行われる。図2,3は、蓋31を省略した一例として示す洗浄容器15の上面図と、蓋31を取り付けた状態で示す図2の3-3線矢視断面図とであり、図4は、台座44と被覆材45と管材46との一例を示すそれらの斜視図である。図2,3では、縦方向を矢印A図3のみ、径方向を矢印Bで示し、周方向を矢印Cで示す図2のみ。図2,3に示す洗浄容器15の気密構造洗浄室38には、エアフィルタ26またはリキッドフィルタ26が収容されている。それらフィルタ26は、気体中や液体中に存在する不純物を除去する機能を有し、気体や液体を浄化する。フィルタ26を性能別に分類すると、粗大な不純物を除去するプレフィルタ、微細な不純物を除去する中性能フィルタまたは高性能フィルタ、極めて微細な不純物を除去するHEPAヘパフィルタやULPAウルパフィルタ、化学物質を除去するケミカルフィルタがある。エアフィルタ26には、セパレータ型エアフィルタやミニプリーツ型エアフィルタ等がある。エアフィルタ26は、主に空調用フィルタや空気清浄用フィルタ、排気処理用フィルタ、車両用エアコンフィルタとして使用される。リキッドフィルタ26は、浄水装置用フィルタや浸透圧を利用する膜装置用フィルタとして使用される。図示のエアフィルタ26やリキッドフィルタ26は、ガラス繊維や吸着剤、合成樹脂繊維を濾材とし、フィルタハウジングまたはフィルタカートリッジに収納して使用される。それらフィルタ26は、蛇腹に折り畳まれた立体構造を有し、四角形の上面27および下面28と、上下面27,28の間に延びる四角形の4つの側面29周面とを有する6面体である。なお、この洗浄システム10で洗浄されるフィルタには、立体構造を有するそれの他に、略扁平のフィルタも含まれ、さらに、上下面の形状が円形や楕円形、多角形のフィルタも含まれる。吸着剤には、活性炭やセラミック多孔体等がある。合成樹脂繊維には、ポプロピレン、ポリエステル、ポリエーテルスルフォン、ポリスルホン、ナイロン6、ポリフェニレンサルファイド等がある。濾材としては、繊維間に粒状活性炭や粒状セラミック多孔体等の吸着剤を担持させたもの、重なり合う繊維集合物の間に粒状活性炭や粒状セラミック多孔体等の吸着剤を介在させたものも含まれる。なお、超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体は、気体と液体との性質を有し、フィルタ26を形成する濾材の微細な間隙に容易に進入して濾材表面に付着した汚れを容易に溶かし込むとともに、濾材内部に容易に浸透して濾材内部に滲入した汚れを容易に溶かし込む。洗浄流体は、それを利用することで濾材表面に付着した汚れを落とすことができるのみならず、濾材内部に滲入した汚れを落とすことができる。洗浄容器15は、容器本体30および蓋31と、本体30に蓋31を固定するクランプ32とから形成されている。容器本体30は、縦方向へ長い略円柱状を呈し、底壁33と、底壁33の周縁から上方へ延びる周壁34と、円形の上部開口35とを有する。周壁34の上部外周面には、周方向へ交互に並ぶ凹部36と凸部37とが形成されている。容器本体30の内部には、底壁33と周壁34とに囲繞された気密構造洗浄室38が形成されている。底壁33には、洗浄室38に洗浄流体を流入させる5つの流入口39と、洗浄室38から洗浄流体を流出させる流出口40とが形成されている。流入口39と流出口40とは、底壁33を貫通して洗浄室38から容器本体30の外側に通じている。流入口39は調節バルブ21から延びる管路19につながり、流出口40は容器本体30から延びる管路19につながっている。蓋31は、その平面形状が円形を呈し、上下面と上下面の間に延びる周面とを有する。蓋31の周面には、容器本体30と同様に、周方向へ交互に並ぶ凹部図示せずと凸部41とが形成されている。蓋31を容器本体30に乗せると、蓋31の周縁部が周壁34の上部に当接し、本体30の上部開口35が蓋31によって閉塞される。クランプ32は、リング状を呈し、その内周面に周方向へ交互に並ぶ凹部42と凸部43とが形成されている。気密構造洗浄室38は、円筒状を呈し、フィルタ26を収容可能な所定の容積を有する。洗浄室38には、フィルタ26を乗せる台座44と、フィルタ26を覆う被覆材45と、洗浄流体が流れる中空の管材46とが設置されている。台座44や被覆材45、管材46は、ステンレスやアルミ、鉄等の金属から作られている。台座44は、複数の貫通孔47が等間隔で形成された四角形の整流板48と、整流板48の周縁から下方へ延びる脚部49とから形成されている。脚部49は、底壁33に当接している。整流板48には、フィルタ26の下面28が当接している。整流板48は底壁33から上方へ離間した状態にあり、底壁33と整流板48との間には空間50が形成されている。なお、台座44は、洗浄流体が容易に通過する四角形の金網と、金網の周縁から下方へ延びる脚部とから形成されていてもよい。流入口39は、5つのそれらが台座44を挟んでフィルタ26の下方に位置し、底壁33と台座44との間に形成された空間50に突出している。それら流入口39は、1つが台座44の中心に位置し、他の4つが台座44の脚部49の間の長さ寸法を二分した箇所に位置している。被覆材45は、フィルタ26の4つの側面29周面の周方向外方に位置する周縁部51と、フィルタ26の上面27から上方へ離間する中央部52とを有する。中央部52は、その平面形状が四角形を呈し、その面積がフィルタ26の上面27のそれと略同一またはフィルタ26の上面27のそれよりもわずかに大きく、フィルタ26の上面27全域を覆っている。周縁部51は、中央部52の周縁から下方へ延び、縦方向の寸法がフィルタ26の側面29のそれよりも大きく、フィルタ26の側面29全域を覆っている。被覆材45の周縁部51とフィルタ26の側面29との間に隙間がないことが好ましいが、フィルタ26の大きさによってはわずかに隙間が形成される場合もある。フィルタ26の上面27と被覆材45の中央部52との間にはフィルタ26を通流した洗浄流体を捕集して洗浄流体を管材46に導くスペース53が形成され、洗浄室38にはスペース53を除く空間54が形成されている。管材46は、流出口40の側に位置する第1部分55と、第1部分55から5本に分岐する第2部分56とから形成されている。第1部分55は、流出口40につながり、流出口40から上方へ延びた後、被覆材45の中央部52の中心部分に向かって径方向へ水平に延び、さらに、中央部52の中心部分で下方へわずかに延びている。第2部分56は、被覆材45の中央部52の中心部分につながるとともに、中央部52の4つの角部分複数箇所につながっている。第2部分56は、第1部分55から中央部52の角部分に向かって径方向へ水平に延びた後、中央部52の角部分で下方に延びている。この洗浄容器15を使用して使用済みのエアフィルタ26やリキッドフィルタ26を洗浄する手順の一例は、以下のとおりである。フィルタ26を気密構造洗浄室38に入れ、フィルタ26の下面28を整流板48に当接させた状態でフィルタ26を台座44に乗せた後、被覆材45をフィルタ26に被せ、被覆材45によってフィルタ26の上面27と側面29とを覆う。フィルタ26は、その上面27全域と側面29全域とが被覆材45に覆われ、台座44と被覆材45との間に位置する。フィルタ26を洗浄室38に設置した後は、容器本体30の凸部37と蓋31の凸部41とを互いに一致させた状態で蓋31を本体30の周壁34上部に乗せ、蓋31を介して本体30の上部開口35を閉じる。次に、容器本体30の凹部36と蓋31の凹部との間にクランプ32の凸部43を差し込み、クランプ32を本体30の周壁34と蓋31の周面とに嵌め込んだ後、クランプ32を周方向へ回して本体30および蓋31の凸部37,41とクランプ32の凸部43とを縦方向へ並べる。容器本体30および蓋31の凸部37,41とクランプ32の凸部43とが縦方向へ並ぶと、蓋31の下面が本体30の周壁34の上部に圧接し、蓋31を本体30に密着させることができ、洗浄室38を密閉することができる。蓋31によって容器本体30の上部開口35を閉塞した後、洗浄システム10を起動させる。洗浄システム10を起動させると、制御装置18やポンプ12、加熱器13、予熱タンク14、ヒータ22,25、バルブ21,58の弁機構、冷却減圧装置17が稼動するとともに、流量計20、温度計23、圧力計24、調節バルブ21,58の流量計が計測を開始し、ボンベ11から二酸化炭素ガスが管路19に供給される。二酸化炭素ガスは、ポンプ12と加熱器13とによって超臨界流体または亜臨界流体のいずれかの洗浄流体になり、図3に矢印L1で示すように、洗浄流体が流入口39から洗浄室38に流入するとともに、管材46を通って流出口40から洗浄容器15の外側に流出する。フィルタ26の洗浄中、制御装置18は、調節バルブ57の弁機構を全開に保持する。フィルタ26の洗浄中、制御装置18は、ポンプ12や調節バルブ21,58を制御し、管路19を流れる洗浄流体の流量を目標値に保持し、洗浄流体の洗浄室38への流入量や洗浄室38からの洗浄流体の流出量を目標値に保持するとともに、洗浄室38内の洗浄流体の圧力を目標値に保持する。さらに、制御装置18は、加熱器13の熱量や予熱タンク14のヒータ22の熱量、容器15に取り付けられたヒータ25の熱量を制御し、洗浄室38内の洗浄流体の温度を目標値に保持する。なお、キーボードから目標値を入力することで、制御装置18の記憶部に格納された各目標値を随時変更することができる。制御装置18の中央処理部は、フィルタ26の洗浄中にシステム10を循環する洗浄流体の流量が目標値の範囲から外れ、洗浄流体の洗浄室38への流入量や洗浄室38からの洗浄流体の流出量が目標値から外れると、ポンプ12の出力やバルブ21,58の弁機構を調節して洗浄流体の流量や流入量、流出量を目標値の範囲内に復帰させる。中央処理部は、フィルタ26の洗浄中にシステム10を循環する洗浄流体の圧力が目標値の範囲から外れると、ポンプ12の出力やバルブ21,58の弁機構を調節して洗浄流体の圧力を目標値の範囲内に復帰させる。中央処理部は、フィルタ26の洗浄中に洗浄室38内の洗浄流体の温度が目標値の範囲から外れると、加熱器13の熱量や予熱タンク14のヒータ22の熱量、容器15に取り付けられたヒータ25の熱量を調節して洗浄室38内の洗浄流体の温度を目標値の範囲内に復帰させる。流入口39から洗浄室38に流入した洗浄流体は、台座44の整流板48に当たり、整流板48の流体抵抗により、整流板48全域に満遍なく分布した後、貫通孔47を通り抜け、フィルタ26の下面28の略全域からフィルタ26の内部濾材間隙に進入し、下面28から上面27に向かって通流する。洗浄流体は、フィルタ26を形成する濾材の間隙を通って濾材に付着した汚れを落とし、さらに、濾材の内部に浸透して濾材に滲入した汚れを落とし、フィルタ26を洗浄する。フィルタ26の上面27から流出した洗浄流体は、それの流路となるスペース53に捕集され、図3に矢印L2で示すように、スペース53を通って管材46に向かって流れ、管材46に吸引される。洗浄流体は、管材46を通って流出口40に達し、流出口40から洗浄容器15の外側に流出した後、バルブ58とコントローラ16とを通って冷却減圧装置17に流入し、冷却減圧装置17で冷却かつ減圧されて通常流体に戻る。通常流体は、濾過装置によってそれに含まれる不純物が濾過された後、再びポンプ12と加熱器13とによって洗浄流体となり、洗浄容器15の洗浄室38に流入する。フィルタ26の洗浄中は、冷却減圧装置17によって洗浄流体を通常流体に戻し、ポンプ12と加熱器13とによって通常流体を洗浄流体に戻すサイクルを繰り返し、ポンプ12によって通常流体と洗浄流体とを強制的に循環させながら、洗浄流体を常時洗浄容器15の洗浄室38に流通させる。ここで、フィルタ26の洗浄時間は、洗浄するフィルタ26によって異なり、約5~120分である。洗浄時間は制御装置18の記憶部にあらかじめ格納されているが、キーボードから洗浄時間を入力することで、記憶部に格納された洗浄時間を随時変更することができる。図5は、フィルタ26を洗浄した後における洗浄室38内の洗浄流体の温度や圧力、密度の時系列変化の一例を示す図である。図5の左縦軸には洗浄流体の温度T°Cおよび圧力PMPaが表示され、右縦軸には洗浄流体の密度ρkg/m3が表示されている。図5の横軸には時間tminが表示されている。フィルタ26の洗浄直後の洗浄流体は、図5に示すように、密度ρが約800kg/m3、温度Tが約48°C、圧力Pが約20MPaである。フィルタ26を洗浄室38から取り出すときの通常流体は、密度ρが1.68kg/m3、洗浄流体の温度を略一定に保持した場合の温度Tが約43°C、洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で下げた場合の温度Tが約20°C、圧力Pが0.1MPaである。洗浄システム10では、フィルタ26を洗浄した後、制御装置18とマスフローコントローラ16とによって流体密度制御が自動的に実行され、流体密度制御によって洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で下げ、洗浄流体の密度を臨界点以下にして洗浄室38内の洗浄流体を通常流体に戻す。システム10では、洗浄室38内の洗浄流体を通常流体に戻した後、クランプ32を外して蓋31を開け、洗浄室38から洗浄済みのフィルタ26を取り出す。洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で下げる流体密度制御は、制御装置18やマスフローコントローラ16の制御に基づいて、ポンプ12や予熱タンク14、調節バルブ21,57,58、ヒータ22,25を使用して行う。この洗浄システム10が実行する流体密度制御の一例は、以下のとおりである。システム10において洗浄流体を所定時間循環させると制御装置18の中央処理部は、フィルタ26の洗浄が完了したと判断し、流体密度制御を自動的に実行する。流体密度制御では、制御装置18がその記憶部に格納された流体密度制御プログラムを起動させ、マスフローコントローラ16を介して流体圧力逓減手段を実行するとともに、ポンプ12や予熱タンク14、調節バルブ21,57,58、ヒータ22,25を介して第1温度制御手段や流入量制御手段、第2温度制御手段を同時に実行し、洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定に保持しつつ、洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。なお、流体圧力逓減手段や第1温度制御手段、流入量制御手段、第2温度制御手段の実行時間は、10分~6時間の範囲にある。フィルタ26の洗浄時間が経過すると、制御装置18の中央処理部は、フィルタ26の洗浄が完了したと判断し、ポンプ12の稼動と加熱器13の稼動とを停止するとともに、調節バルブ57の弁機構を全閉にし、加熱器13と予熱タンク14との間に延びる流路18を遮断して加熱器13から先へ洗浄流体が流れることを防止する。さらに、中央処理部は、マスフローコントローラ16のスイッチをONにしてコントローラ16を起動させ、洗浄容器15からマスフローコントローラ16に一定圧力の洗浄流体が流入するように、調節バルブ58の弁機構を制御して管路19を流れる洗浄流体の圧力を一定に保持する。コントローラ16は、その記憶装置に格納された質量流量制御プログラムが起動して洗浄流体の質量流量制御を実行する。マスフローコントローラ16は、そのコントロールバルブを調節して洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御し、洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持する。すなわち、マスフローコントローラ16によって洗浄流体の一定の質量と流量とが洗浄室38から流出する。制御装置18の中央処理部は、マスフローコントローラ16を介して洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで、洗浄室38内の洗浄流体の圧力を次第に低下させる流体圧力逓減手段を実行し、流体圧力逓減手段によって洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させる。質量流量制御においてマスフローコントローラ16は、洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを洗浄室38の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する。好ましくは、洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを洗浄室38の容積に対して200~2000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する。たとえば、洗浄室38の容積が2リットルの場合は、洗浄流体の質量流量N2:20°C,1atmを2~100[L/min]の範囲好ましくは、4~40[L/min]の範囲で低下させる。また、洗浄室38の容積が50リットルの場合は、洗浄流体の質量流量N2:20°C,1atmを50~2500[L/min]の範囲好ましくは、100~1000[L/min]の範囲で低下させる。洗浄流体の質量流量の低下範囲が100Vol.[L/min]未満では、流体密度の下り勾配の傾きが小さくなり、洗浄室38内の洗浄流体の密度を所定時間内に低下させることができず、システム10における洗浄効率が低下する。洗浄流体の質量流量の低下範囲が5000Vol.[L/min]を超過すると、流体密度の下り勾配の傾きが大きくなり、洗浄流体の密度を一定の下り勾配で低下させることができない。制御装置18の中央処理部は、流体圧力逓減手段と平行し、予熱タンク14のヒータ22熱量を調節してタンク14の温度を制御しタンク温度の上昇下降制御:第2温度制御手段、それによって洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定値に保持する。中央処理部は、流体圧力逓減手段と平行し、バルブ21の弁機構流量を制御してタンク14から洗浄室38に流入する洗浄流体の流入量を調節し、タンク14から洗浄室38に洗浄流体を徐々に流入させる流入量制御手段。さらに、中央処理部は、流体圧力逓減手段と平行し、洗浄容器15に取り付けられたヒータ25熱量を調節して容器15の温度を制御し容器温度の上昇下降制御:第1温度制御手段、それによって洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定値に保持する。中央処理部は、第1温度制御手段や流入量制御手段、第2温度制御手段を同時に実行することで洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定に保持する。第1温度制御手段や流入量制御手段、第2温度制御手段において中央処理部は、設定、調節、操作、検出の各要素が閉ループを形成するフィードバック制御を実行する。なお、フィードバック制御の制御動作は、PID制御である。第2温度制御手段の一例は、以下のとおりである。第2温度制御手段において制御装置18の中央処理部は、洗浄室38内の洗浄流体の温度を計測しつつ、洗浄室38内の洗浄流体の温度が略一定になるように、予熱タンク14のヒータ22を0~100°Cの範囲で調節してタンク14の温度を上昇または下降させるフィードバック制御を行う。流入量制御手段の一例は、以下のとおりである。流入量制御手段において制御装置18の中央処理部は、バルブ21の弁機構流量を調節してバルブ21における洗浄流体の流量を制御し、洗浄室38の容積に対する所定割合の洗浄流体を予熱タンク14から洗浄室38に流入させる。洗浄室38の容積に対する洗浄流体の割合は、10/h~200/hの範囲にある。中央処理部は、バルブ21の弁機構の開度を計測し、洗浄流体の割合が前記範囲になるように、弁機構の開度を増減させるフィードバック制御を行う。第1温度制御手段の一例は、以下のとおりである。第1温度制御手段において制御装置18の中央処理部は、洗浄室38内の洗浄流体の温度を計測しつつ、洗浄室38内の洗浄流体の温度が略一定になるように、ヒータ25を0~100°Cの範囲で調節して洗浄容器15の温度を上昇または下降させるフィードバック制御を行う。流体密度制御の実行中では、予熱タンク14の温度と洗浄容器15の温度とが上昇または下降しつつ、予熱タンク14から洗浄流体が洗浄室38に徐々に流入するとともに、洗浄室38から一定の質量および重量の洗浄流体が流出して冷却減圧装置16に流入する。この洗浄システム10では、制御装置18の中央処理部が流体圧力逓減手段や第1温度制御手段、流入量制御手段、第2温度制御手段を実行することで、図5に示すように、洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定に保持しつつ、洗浄室38内に存在する洗浄流体の密度が略一定の下り勾配で次第に低下する。それら手段の実行時間が経過すると、洗浄流体の圧力が大気圧に戻り、洗浄流体の密度が臨界点以下に低下して洗浄流体が通常流体に戻る。流体密度制御を実行した後の洗浄室38内の通常流体は、その密度ρが1.68kg/m3、その温度Tが約43°C、その圧力Pが0.1MPaである。洗浄システム10では、流体密度制御において制御装置18が流体圧力逓減手段、第1温度制御手段、流入量制御手段、第2温度制御手段を同時に実行しているが、制御装置18が流体圧力逓減手段と第1温度制御手段とを同時に実行してもよく、制御装置18が流体圧力逓減手段と第1温度制御手段と流入量制御手段とを同時に実行してもよい。また、制御装置18が流体圧力逓減手段と第1温度制御手段と第2温度制御手段とを同時に実行してもよい。洗浄システム10は、マスフローコントローラ16を介して洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを前記範囲で一定に保持し、洗浄室38内の洗浄流体の圧力をゆっくりと低下させるから、洗浄室38内において洗浄流体の圧力が不規則に低下することはなく、洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることができる。洗浄システム10は、フィルタ26やフィルタ構成部材の内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄流体の急激な密度変化よるフィルタ26やフィルタ構成部材の変形、膨張、発泡等を防ぐことができるから、洗浄後のフィルタ26やフィルタ構成部材がダメージを受けることを確実に防ぐことができる。また、この洗浄システム10は、第1温度制御手段や第2温度制御手段、流入量制御手段を実行することにより、洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定に保持するから、洗浄室38内の洗浄流体の温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタ26の内部やフィルタ構成部材の内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を確実に防ぐことができる。洗浄システム10は、洗浄室38内の洗浄流体の温度を所定の温度に保持することで、洗浄後の被洗浄物を洗浄室38内において乾燥させることができる。この洗浄システム10が実行する流体密度制御の他の一例は、以下のとおりである。システム10において洗浄流体を所定時間循環させると制御装置18の中央処理部は、フィルタ26の洗浄が完了したと判断し、流体密度制御を自動的に実行する。流体密度制御では、制御装置18がその記憶部に格納された流体密度制御プログラムを起動させ、マスフローコントローラ16を介して流体圧力逓減手段を実行するとともに、ポンプ12や予熱タンク14、調節バルブ21,57,58、ヒータ22,25を介して第3温度制御手段や流入量制御手段、第4温度制御手段を同時に実行し、洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で低下させるとともに、洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させる。なお、流体圧力逓減手段や第3温度制御手段、流入量制御手段、第4温度制御手段の実行時間は、10分~6時間の範囲にある。フィルタ26の洗浄時間が経過すると、制御装置18の中央処理部は、フィルタ26の洗浄が完了したと判断し、ポンプ12の稼動と加熱器13の稼動とを停止するとともに、調節バルブ57の弁機構を全閉にする。中央処理部は、マスフローコントローラ16のスイッチをONにしてコントローラ16を起動させ、洗浄容器15からマスフローコントローラ16に一定圧力の洗浄流体が流入するように、調節バルブ58の弁機構を制御して管路19を流れる洗浄流体の圧力を一定に保持する。コントローラ16は、その記憶装置に格納された質量流量制御プログラムが起動して洗浄流体の質量流量制御を実行する。マスフローコントローラ16は、そのコントロールバルブを調節して洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを同時に制御し、洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持する。制御装置18の中央処理部は、マスフローコントローラ16を介して洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを一定値に保持することで、洗浄室38内の洗浄流体の圧力を次第に低下させる流体圧力逓減手段を実行し、流体圧力逓減手段によって洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させる。なお、質量流量制御においてマスフローコントローラ16は、洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを洗浄室38の容積に対して100~5000Vol.[L/min]の範囲好ましくは、200~2000Vol.[L/min]の範囲で一定値に保持する。制御装置18の中央処理部は、流体圧力逓減手段と平行し、予熱タンク14のヒータ22熱量を調節してタンク14の温度を制御しタンク温度の上昇下降制御:第4温度制御手段、それによって洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。中央処理部は、流体圧力逓減手段と平行し、バルブ21の弁機構流量を制御してタンク14から洗浄室38に流入する洗浄流体の流入量を調節し、タンク14から洗浄室38に予熱された洗浄流体を徐々に流入させる流入量制御手段。さらに、中央処理部は、流体圧力逓減手段と平行し、洗浄容器15に取り付けられたヒータ25熱量を調節して容器15の温度を制御し、それによって洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。中央処理部は、第1温度制御手段や流入量制御手段、第2温度制御手段を同時に実行することで洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で次第に低下させる。第3温度制御手段や流入量制御手段、第4温度制御手段において中央処理部は、設定、調節、操作、検出の各要素が閉ループを形成するフィードバック制御を実行する。なお、フィードバック制御の制御動作は、PID制御である。第4温度制御手段の一例は、以下のとおりである。第4温度制御手段において制御装置18の中央処理部は、洗浄室38内の洗浄流体の温度を計測しつつ、洗浄室38内の洗浄流体の温度が略一定の下り勾配で次第に低下するように、予熱タンク14のヒータ22を0~100°Cの範囲で調節してタンク14の温度を上昇または下降させるフィードバック制御を行う。流入量制御手段の一例は、以下のとおりである。流入量制御手段においてコントローラ17の中央処理装置は、調節バルブ20の弁機構を調節してバルブ20における洗浄流体の流量を制御し、洗浄室38の容積に対する所定割合の洗浄流体を予熱タンク14から洗浄室38に流入させる。洗浄室38の容積に対する洗浄流体の割合は、10/h~200/hの範囲にある。中央処理装置は、調節バルブ20の弁機構の開度を計測し、洗浄流体の割合が前記範囲になるように、弁機構の開度を増減させるフィードバック制御を行う。第3温度制御手段の一例は、以下のとおりである。第3温度制御手段においてコントローラ17の中央処理装置は、洗浄室38内の洗浄流体の温度を計測しつつ、洗浄室38内の洗浄流体の温度が略一定の下り勾配で次第に低下するように、ヒータ25を0~100°Cの範囲で調節して洗浄容器15の温度を上昇または下降させるフィードバック制御を行う。流体密度制御の実行中では、予熱タンク14の温度と洗浄容器15の温度とが上昇または下降しつつ、予熱タンク14から洗浄流体が洗浄室38に徐々に流入するとともに、洗浄室38から一定の質量および重量の洗浄流体が流出して冷却減圧装置16に流入する。この洗浄システム10では、制御装置18の中央処理部が流体圧力逓減手段や第3温度制御手段、流入量制御手段、第4温度制御手段を実行することで、図5に示すように、洗浄室38内の洗浄流体の温度が略一定の下り勾配で次第に低下するとともに、洗浄室38内に存在する洗浄流体の密度が略一定の下り勾配で次第に低下する。それら手段を実行時間が経過すると、洗浄流体の圧力が大気圧に戻り、洗浄流体の密度が臨界点以下に低下して洗浄流体が通常流体に戻る。流体密度制御を実行した後の洗浄室38内の通常流体は、その密度ρが1.68kg/m3、その温度Tが約20°C、その圧力Pが0.1MPaである。洗浄システム10では、流体密度制御においてコントローラ17が流体圧力逓減手段、第3温度制御手段、流入量制御手段、第4温度制御手段を同時に実行しているが、コントローラ17が流体圧力逓減手段と第3温度制御手段とを同時に実行してもよく、コントローラ17が流体圧力逓減手段と第3温度制御手段と流入量制御手段とを同時に実行してもよい。また、コントローラ17が流体圧力逓減手段と第3温度制御手段と第4温度制御手段とを同時に実行してもよい。洗浄システム10は、マスフローコントローラ16を介して洗浄室38から流出する洗浄流体の質量と流量とを前記範囲で一定に保持し、洗浄室38内の洗浄流体の圧力をゆっくりと低下させるから、洗浄室38内において洗浄流体の圧力が不規則に低下することはなく、洗浄室38内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させることができる。洗浄システム10は、フィルタ26やフィルタ構成部材の内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を防ぐことができ、洗浄流体の急激な密度変化よるフィルタ26やフィルタ構成部材の変形、膨張、発泡等を防ぐことができるから、洗浄後のフィルタ26やフィルタ構成部材がダメージを受けることを確実に防ぐことができる。この洗浄システム10は、第3温度制御手段や流入量制御手段、第4温度制御手段を実行することにより、洗浄室38内の洗浄流体の温度を略一定の下り勾配で低下させるから、洗浄室38内の洗浄流体の温度が急速に低下することはなく、洗浄室38内の洗浄流体の急激な温度変化を防ぐことができるとともに、フィルタ26の内部やフィルタ構成部材の内部に浸透した洗浄流体の臨界点前後における急激な密度変化を確実に防ぐことができる。この洗浄システム10で使用される洗浄容器15では、被覆材45がフィルタ26の上面27全域と側面29全域とを覆い、フィルタ26を通流した洗浄流体の流路となるスペース53がフィルタ26の上面27と被覆材45の中央部52との間に形成されているから、洗浄流体をフィルタ26の下面28から上面27に向かって確実に通流させることができる。洗浄容器15は、フィルタ26を通流しない洗浄流体の発生を防ぐことができ、洗浄流体の無駄な消費を防ぐことができる。洗浄容器15は、整流作用を有する整流板48の流体抵抗により、洗浄流体を整流板48全域に満遍なく分布させつつ、洗浄流体をフィルタ26に通流させることができるから、洗浄流体をフィルタ26の下面28の略全域から上面27の略全域に向かって確実に通流させることができ、フィルタ26に対する高い洗浄機能を有する。このシステム10で使用される洗浄容器15は、被覆材45の周縁部51が立体構造を有するフィルタ26の側面29周面の周方向外方に位置して側面29全域を覆っているから、立体構造を有するフィルタ26であっても、洗浄流体をその略全域に確実に通流させることができる。洗浄容器15は、管材46がその第1部分55から5本に分岐して被覆材45の中央部52の複数箇所につながる第2部分56を有するから、フィルタ26を通流した洗浄流体を被覆材45の複数箇所から管材46に捕集することができ、フィルタ26の全域に略均一の流量の洗浄流体を通流させることができる。洗浄容器15は、洗浄流体の流入口39が被覆材45の中央部52の中心部分の下方に形成され、さらに、被覆材45の周縁部51の一辺の長さ寸法を二分した位置の下方に形成され、洗浄流体を5つのそれら流入口39から放出してフィルタ26の複数部分に満遍なく当てることができるから、フィルタ26の略全域に略均一の流量の洗浄流体を通流させることができる。この洗浄システム10では洗浄流体の原料として二酸化炭素ガスを使用しているが、洗浄流体の原料として、二酸化炭素ガスの他に、水やメタノールを使用することができる。洗浄流体の原料に水を使用する場合は、ポンプ12によって圧力が22.1MPa以上に加圧されるとともに、加熱器13によって温度が374°C以上に加熱される。また、洗浄流体の原料にメタノールを使用する場合は、ポンプ12によって圧力が7.9MPa以上に加圧されるとともに、加熱器13によって温度が239°C以上に加熱される。"