ワークと対向する本体と、前記本体からワーク側に突出して、前記本体およびワーク間に囲繞空間を形成する突出部と、前記囲繞空間から気体を吸引する吸引手段と、前記本体に配され、前記ワークまでの相対距離を測定する測定センサと、前記相対距離が所定の目標値で安定化するように前記吸引手段の吸引力を制御する吸引制御部と、を備えることを特徴とするチャック装置。前記吸引手段は、前記本体に配されることを特徴とする請求項1に記載のチャック装置。前記吸引手段および前記測定センサは複数設けられ、前記吸引制御部は、複数の前記測定センサが測定した相対距離に基づいて、複数の前記吸引手段の吸引力を独立して制御することを特徴とする請求項1または2に記載のチャック装置。前記ワークを把持した状態から解放する際、前記吸引手段は、前記囲繞空間に気体を噴出可能であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のチャック装置。ガラス板は、板厚が薄くなると紙やフィルムのように撓み易くなる。このようにガラス板が撓むと、単にベルヌーイチャックを用いただけでは、撓んだガラス板がベルヌーイチャックの吸引部分の穴の内部に吸い込まれて接触してしまうおそれがあった。この場合、ベルヌーイチャックを小型化すれば、吸引部分の穴の径が小さくなって板ガラスが入り込み難くなるため、このような接触を回避可能である。しかし、十分な吸引力を確保するため、ベルヌーイチャックを多数配置しなければならず、構成が複雑になってしまう。また、ガラス板の外周近傍は、当該搬送工程の後工程において、不要な部位として廃棄されることから、チャック時に接触しても問題がない場合がある。そのため、接触式の吸着パッド等で、ガラス板の外周近傍を吸着することで、ガラス板をチャックする機構も考えられる。しかし、ガラス板が撓み易いと、外周近傍のみのチャックではその撓みを防止することが困難である。本発明の目的は、ワークの板厚が薄く形成されたとしても、簡易な構成で、ワークの利用部位を非接触状態に維持したまま安定してチャック可能なチャック装置を提供することである。上記課題を解決するために、本発明のチャック装置は、ワークと対向する本体と、本体からワーク側に突出して、本体およびワーク間に囲繞空間を形成する突出部と、囲繞空間から気体を吸引する吸引手段と、本体に配され、ワークまでの相対距離を測定する測定センサと、相対距離が所定の目標値で安定化するように吸引手段の吸引力を制御する吸引制御部と、を備えることを特徴とする。吸引手段は、本体に配されてもよい。吸引手段および測定センサは、複数設けられ、吸引制御部は、複数の測定センサが測定した相対距離に基づいて、複数の吸引手段の吸引力を独立して制御してもよい。ワークを把持した状態から解放する際、吸引手段は、囲繞空間に気体を噴出可能であってもよい。本発明によれば、ワークの板厚が薄く形成されたとしても、簡易な構成で、ワークの利用部位を非接触状態に維持したまま安定してチャックできる。以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。本実施形態におけるチャック装置は、ロボットアーム等に接続され、例えば、コンベア等で搬送された薄い板ガラス等のワークをチャックする。そして、ロボットアームは、チャック装置がチャックしたワークを次工程へ移行させる。以下、かかるチャック装置について詳述する。図1は、チャック装置1を説明するための説明図である。特に、図1aは、チャック装置1の上面図を、図1bは、図1aのIb‐Ib線断面図を示す。本実施形態のチャック装置1は、本体2と、突出部3と、吸着部4と、吸引手段5と、測定センサ6と、吸引制御部7図3参照とを備える。本体2は、本実施形態において板形状の部材板部材であって、薄板状のワークWをチャックした状態チャック状態でワークWと互いの面が対向する。本体2におけるワークWとの対向面の外周近傍には、外周に沿って溝2aが形成され、その内側に後述する吸着部4の配管が挿通される吸着孔2b、さらに内側に後述する吸引手段5によって吸引された気体チャック装置1の雰囲気ガスであって、本実施形態では空気とするの流路となる吸引孔2cが複数設けられている。吸着孔2b、吸引孔2cはいずれも貫通孔であり、吸着孔2bよりも吸引孔2cの方が径が大きい。突出部3は、樹脂等の弾性材で構成され、例えば、本体2の外周に沿った筒状の形状であり、本体2の溝2aに一部が埋設される。そして、突出部3は、本体2からワークW側に突出して、本体2およびワークW間に囲繞空間Nを形成する。なお、本実施形態では、本体2に溝2aが設けられその溝2aに突出部3の一部が埋設されるとしたが、溝2aを設けず、突出部3が本体2のワークWとの対向面より出っ張るように、突出部3を本体2の外周に巻き付ける構成であってもよい。また、チャック状態において、突出部3は、ワークWと接触する。このとき、突出部3は、ワークWと密着することで、囲繞空間Nを半密閉状態とする。ここで、半密閉状態は、完全な密閉ではなく、吸引手段5による吸引力によって、ワークWをチャックできる程度に囲繞空間Nを負圧に維持可能な状態である。したがって、突出部3は、必ずしもワークWに接触しなければならないものではなく、ワークWとの間に僅かな間隙が維持されるように寸法設計してもよい。また、突出部3は、必ずしも弾性材である必要はなく、例えば、本体2の一部をワークW側に突出させて構成してもよい。いずれにしても、突出部3は、本体2からワークW側に突出するとともに、本体2とワークWとの間に、囲繞空間Nを形成するものであれば、本体2と一体であるか別体であるかは限定されず、また、その材質等も限定されるものではない。吸着部4は、例えば、配管と配管の先端に配された吸盤等とを含んで構成され、囲繞空間N内の外周側に複数配される。吸着部4の配管は、吸着孔2bに埋設されている。吸着部4の配管には、図示しない減圧手段が接続されており、ワークWと、ワークWと接触した吸盤との間の空間を負圧にすることでワークWの外周近傍の平面部分を吸着する。こうして、吸着部4は、ワークWの外周近傍を補助的にチャックする。ここで、減圧手段は、例えば、真空ポンプ、エゼクタ、ブロア等である。吸引手段5は、例えば、電動機から伝達された回転力によって気体を送風するファン等で構成される。吸引手段5は複数設けられ、これら複数の吸引手段5は、本体2に形成された吸引孔2cに対向する位置であって、囲繞空間Nに接する面の背面側にそれぞれ配される。吸引手段5は、吸引孔2cを介して囲繞空間Nと連通しており、後述する吸引制御部7の制御に応じて、囲繞空間Nから気体を吸引し、囲繞空間N外に排気する。測定センサ6は、例えば、レーザセンサや超音波センサ等の非接触センサで構成され、複数の測定センサ6が、本体2に設けられた複数の吸引孔2cの壁面にそれぞれ配される。測定センサ6は、当該測定センサ6から、ワークWまでの相対距離dを測定する。図2は、相対距離dを説明するための説明図である。図2では、図1bの左側の部分拡大図を示す。本実施形態において、相対距離dは、図2に示すように、測定センサ6と、ワークWのうち、測定センサ6のセンサ軸上の最も手前に位置する部分との距離である。なお、ここでは、測定センサ6のセンサ軸の向きは、本体2の対向面に垂直であるものとするが、本体2の対向面に対して傾斜していてもよい。図3は、チャック装置1の制御を説明するためのブロック図である。図3に示すように、吸引制御部7は、複数の測定センサ6が測定した相対距離dに基づいて、相対距離dが所定の目標値で安定化するように吸引手段5それぞれの吸引力ここでは、ファンの回転力を独立してフィードバック制御する。ここで、目標値は、ワークWをチャックするための最適な相対距離dとして予め設定されている。具体的に、本実施形態では、吸引制御部7は、例えば、予め設定された相対距離dの目標値と、測定センサ6の測定値との差分値を導出し、その差分値を伝達関数に通した後、伝達関数の出力値に応じて、吸引手段5の吸引力を制御する。また、この吸引力の具体的な値を導出するための伝達関数は、PID制御等、既存の様々な制御方式に基づいて任意に設定することができる。続いて、当該チャック装置1が、ワークWをチャック状態とする処理、およびチャック状態把持した状態から解放する処理の流れについて説明する。図4は、チャック装置1の制御処理の流れを説明するためのフローチャートであり、図5は、チャック装置1の使用例を説明するための説明図である。図4のフローチャートを参照すると、図示しないセンサを介して、コンベア10図5参照によってワークWがチャック装置1の処理位置まで搬送されたことを検出するとS200、チャック装置1が接続されたロボットアーム11図5参照が、チャック装置1の突出部3および吸着部4がワークWに触れるまで当該チャック装置1を押し当てる。そして、吸着部4は、減圧手段によってワークWの外周近傍の平面部分に吸着するS202。そして、吸引手段5による吸引を開始する前の、ワークWがコンベア10上で平坦な状態に維持されているとき、測定センサ6は、ワークWまでの相対距離dの初期値を測定するS204。吸引手段5は、吸引制御部7の制御に応じて、囲繞空間Nから気体を吸引し、囲繞空間N外に排気するS206。このとき、突出部3がワークWと接触しているので、囲繞空間Nが半密閉状態となっており、囲繞空間Nは弱い負圧となる。囲繞空間Nと大気圧との差圧は小さいものの、囲繞空間Nに接するワークWの面積は大きいため、十分なチャック力が生じることとなる。そして、ロボットアーム11が上昇すると、ワークWが載置されていた面から持ち上げられているかを確認するため、吸引制御部7は、ロボットアーム11が上昇した距離ロボットアーム11自体の移動距離と、測定センサ6が測定した相対距離dの初期値と現在値の差分とに基づいて、ワークWが初期位置から上昇した距離を導出するS208。そして、吸引制御部7は、ワークWが、予め設定された制御開始距離よりも浮き上がったか否かを、上昇距離導出ステップS208で導出した距離に基づいて判断するS210。ここで、制御開始距離は、吸引制御部7がフィードバック制御を開始する距離であり、ワークWの形状、材質、剛性等に応じて設定される。ワークWが制御開始距離まで上昇していないとS210におけるNO、上昇距離導出ステップS208に戻る。制御開始距離よりも浮き上がっているとS210におけるYES、吸引制御部7は、上述したフィードバック制御を開始するS212。図6は、チャック状態を説明するための説明図である。図6a、bには、チャック装置1の図1bと同じ位置の断面図を示す。例えば、ワークWは、図6aに示すように、囲繞空間Nに対して中央部分が凸となって外周近傍が凹となったり、図6bに示すように、囲繞空間Nに対して中央部分が凹となって外周近傍が凸となったりする。吸引制御部7は、相対距離dが所定の目標値で安定化するように、すなわち、ワークWを、本体2に接触させず、また、吸引手段5による吸引力によってワークWのチャック状態を維持可能な位置範囲に収めるようにする。そのため、チャック装置1は、ワークWに図6a、bに示すような撓みや反りがあっても、ワークWを、非接触状態を維持したままチャックし続けることができる。また、図6aに示すように、ワークWの外周近傍が突出部3より上方に向けて反っている場合、ワークWと突出部3との接触面積が小さくなり易く、囲繞空間Nの気密性が低下しかねない。しかし、本実施形態の突出部3の先端であるワークWとの接触部分3aは短手方向図6a中、左右方向に丸みを帯びている。このように、ワークWとの接触部分3aが丸みを帯びる構成により、図6aに示すようにワークWが反っても、ワークWが接触部分3aに沿うようにして接触することで接触面積の低下を抑制できる。そのため、チャック装置1は、囲繞空間Nの気密性を向上できる。また、ワークWにおける、突出部3と接触する部分に傷が付き難くなる。図4に戻って、ロボットアーム11は、チャック装置1がチャックしたワークWを次工程へ搬送するS214。そして、ロボットアーム11が、ワークWを置くための位置まで搬送すると、吸引制御部7はフィードバック制御を終了しS216、吸着部4による吸着を解除するS218。このワークWを把持した状態から解放する際、吸引制御部7は、吸引手段5を逆転制御し、囲繞空間Nに気体を噴出させる。このように、チャック状態からの解放時、吸引手段5が気体を囲繞空間Nに噴出可能な構成により、チャック装置1は、ワークWを、なるべく平坦な状態に保ったまま、迅速にチャック状態から開放できる。以上、上述したように、本実施形態のチャック装置1は、ワークWを囲繞空間Nに生じる負圧によって吸引し、ワークWのうち、外周近傍以外は非接触でチャックできる。そして、吸引制御部7が、測定センサ6の測定値に基づいて吸引手段5の吸引力を制御するため、ワークWの撓みや反りを一定の範囲内に収めることができる。そのため、チャック装置1は、撓みや反りによって本体2のワークWとの対向面とワークWとが接触することなく、安定してワークWをチャックすることが可能となる。また、チャック装置1は、囲繞空間Nを半密閉状態とすることで、吸引手段5による弱い吸引力で、ワークWをチャックできるため、薄板ガラス等、外力によって変形し易いワークWに対しても、その変形量を抑えて好適にチャックすることが可能となる。また、吸引手段5が本体2に配されるため、本体2と離間して配される構成に比べ、囲繞空間Nからの空気の吸引処理の即応性が高く、吸引制御部7による吸引手段5の吸引力の制御が容易となる。さらに、複数の測定センサ6がワークWの複数箇所との相対距離dを測定することで、吸引制御部7は、ワークWの部分的な撓みや反りの有無も把握できる。また、吸引制御部7は、複数の吸引手段5それぞれを独立して制御して、ワークWの部分的な撓みや反りを細やかに抑制できる。以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。例えば、上述した実施形態では、吸引手段5をファンとしたが、例えば、真空ポンプ、エゼクタ、ブロア等であってもよい。また、吸引手段5は本体2に配される場合に限らず、本体2と離間した位置に配されてもよい。また、突出部3の配置は、本体2の外周近傍に限らず、本体2の中央近傍に配されてもよいし、囲繞空間Nを囲繞できれば、本体2のいずれの位置に配されてもよい。また、上述した実施形態においては、測定センサ6は、吸引手段5の近傍の吸引孔2cに吸引手段5毎に1つずつ設けられるが、測定センサ6の配される位置は吸引孔2cに限らず、本体2の囲繞空間N側のいずれかの位置でもよい。また、測定センサ6の数は、吸引手段5と同数でなくてもよい。また、上述した実施形態においては、吸引手段5は、本体2の囲繞空間Nに接する面の背面側に配されるとしたが、囲繞空間N内の気体を囲繞空間N外に排気できる配置であれば、例えば、囲繞空間N内に設けられてもよい。ただし、吸引手段5の配置は、吸引手段5が突出部3よりもワークW側に飛び出さない位置とする。なお、本明細書の制御処理における各工程は、必ずしもフローチャートとして記載された順序に沿って時系列に処理する必要はなく、並列的あるいはサブルーチンによる処理を含んでもよい。