"樹脂フィルムの基材に、粘土膜が塗工、乾燥された水蒸気バリア性を有する積層フィルムであって、1粘土膜が、粘土と熱可塑性又は熱硬化性樹脂からなる添加物から構成され、2粘土膜において、粘土の全固体に対する重量比が60~90重量であり、3塗工、乾燥後に、耐水化熱処理が施され、室温における酸素ガスの透過係数が4.0×10-15cm2s-1cmHg-1未満であり、膜の垂直方向への体積抵抗率が10MΩ以上であり、水蒸気透過度が3g/m2day未満測定法:カップ法、試験時間:140hrであることを特徴とする水蒸気バリア性フィルム。前記粘土が、精製ベントナイト、あるいは合成スメクタイトであり、粘土の層間の交換性イオンの少なくとも90モルが、リチウムイオンである、請求項1記載の水蒸気バリア性フィルム。前記添加物が、ポリイミドである、請求項1記載の水蒸気バリア性フィルム。前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートPET製である、請求項1記載の水蒸気バリア性フィルム。請求項1から4のいずれかに記載の水蒸気バリア性を有する積層フィルムを製造する方法において、粘土と、熱可塑性又は熱硬化性からなる添加物と、分散媒から調製される粘土ペーストを、表面が平坦な樹脂フィルムに塗工、乾燥し、分散媒である溶剤を除去し、次いで、耐水化熱処理を行う水蒸気バリア性フィルムの製造方法であって、1粘土が、層間のイオン性物質が少なくとも90モルのリチウムイオンを有し、2粘土膜において、粘土の全固体に対する重量比が60~90重量であり、3耐水化熱処理の温度条件が100~200°Cである、ことを特徴とする水蒸気バリア性フィルムの製造方法。前記粘土が、天然あるいは合成粘土であり、原料粘土に対してシリル化剤を混合したものである、請求項5記載の水蒸気バリア性フィルムの製造方法。前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートPET製である、請求項5記載の水蒸気バリア性フィルムの製造方法。フレキシブルであり、屈曲性に優れ、ロールツーロール方式の連続塗工が可能である、請求項5記載の水蒸気バリア性フィルムの製造方法。請求項1から4のいずれかに記載の水蒸気バリア性フィルムからなることを特徴とする太陽電池バックシート。このような状況の中で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、上述の更なるガスバリア性及び水蒸気バリア性、柔軟性と機械的強度、高耐熱性、耐水性、耐候性を満たし、太陽電池をはじめ、ディスプレイ、燃料電池等の電子デバイス分野において実用化することが可能な粘土膜を応用した新しい水蒸気バリア性フィルムを開発することを目標として鋭意研究を重ねた結果、先に開発した、変性粘土を大幅に改善し、好ましい変性粘土と、これに好適な添加物、変性粘土と添加物の好適な混合比率、分散液の好適な固液比、好ましい分散方法等を見出し、この変性粘土ペーストを樹脂フィルム上に塗工した積層体が、樹脂フィルムの水蒸気バリア性、ガスバリア性を大幅に改善し、樹脂フィルムと粘土膜の密着性を向上させることができることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明は、樹脂フィルム上に変性処理した粘土を塗工し、粘土結晶を配向させ、緻密に積層させることにより得られる、柔軟性、機械的強度を有し、熱安定性に優れ、しかも、水蒸気バリア性、耐水性、ガスバリア性を向上させた太陽電池バックシート用水蒸気バリア性フィルムとその製造方法を提供することを目的とするものである。上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。1樹脂フィルムの基材に、粘土膜が塗工、乾燥された水蒸気バリア性を有する積層フィルムであって、1粘土膜が、粘土と熱可塑性又は熱硬化性樹脂からなる添加物から構成され、2粘土膜において、粘土の全固体に対する重量比が60~90重量であり、3塗工、乾燥後に、耐水化熱処理が施され、室温における酸素ガスの透過係数が4.0×10-15cm2s-1cmHg-1未満であり、膜の垂直方向への体積抵抗率が10MΩ以上であり、水蒸気透過度が3g/m2day未満測定法:カップ法、試験時間:140hrであることを特徴とする水蒸気バリア性フィルム。2前記粘土が、精製ベントナイト、あるいは合成スメクタイトであり、粘土の層間の交換性イオンの少なくとも90モルが、リチウムイオンである、前記1記載の水蒸気バリア性フィルム。3前記添加物が、ポリイミドである、前記1記載の水蒸気バリア性フィルム。4前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートPET製である、前記1記載の水蒸気バリア性フィルム。5前記1から4のいずれかに記載の水蒸気バリア性を有する積層フィルムを製造する方法において、粘土と、熱可塑性又は熱硬化性からなる添加物と、分散媒から調製される粘土ペーストを、表面が平坦な樹脂フィルムに塗工、乾燥し、分散媒である溶剤を除去し、次いで、耐水化熱処理を行う水蒸気バリア性フィルムの製造方法であって、1粘土が、層間のイオン性物質が少なくとも90モルのリチウムイオンを有し、2粘土膜において、粘土の全固体に対する重量比が60~90重量であり、3耐水化熱処理の温度条件が100~200°Cである、ことを特徴とする水蒸気バリア性フィルムの製造方法。6前記粘土が、天然あるいは合成粘土であり、原料粘土に対してシリル化剤を混合したものである、前記5記載の水蒸気バリア性フィルムの製造方法。7前記樹脂フィルムが、ポリエチレンテレフタレートPET製である、前記5記載の水蒸気バリア性フィルムの製造方法。8フレキシブルであり、屈曲性に優れ、ロールツーロール方式の連続塗工が可能である、前記5記載の水蒸気バリア性フィルムの製造方法。9前記1から4のいずれかに記載の水蒸気バリア性フィルムからなることを特徴とする太陽電池バックシート。次に、本発明について更に詳細に説明する。本発明は、樹脂フィルムの基材に、粘土膜が塗工、乾燥された水蒸気バリア性を有するフィルムであって、粘土膜が、粘土と熱可塑性又は熱硬化性樹脂からなる添加物から構成され、粘土膜において、粘土の全固体に対する重量比が60~90重量であり、塗工、乾燥後に、耐水化熱処理が施され、室温における酸素ガスの透過係数が4.0×10-15cm2s-1cmHg-1未満であり、膜の垂直方向への体積抵抗率が10MΩ以上であり、水蒸気透過度が3g/m2day未満測定法:カップ法、試験時間:140hrであることを特徴とするものである。また、本発明は、水蒸気バリア性フィルムを製造する方法において、粘土と、熱可塑性又は熱硬化性からなる添加物と、分散媒から調製される粘土ペーストを、表面が平坦な樹脂フィルムに塗工、乾燥し、分散媒である溶剤を除去し、次いで、耐水化熱処理を行う水蒸気バリア性フィルムの製造方法であって、粘土が、層間のイオン性物質が少なくとも90モルのリチウムイオンを有し、粘土膜において、粘土の全固体に対する重量比が60~90重量であり、耐水化熱処理の温度条件が100~200°Cである、ことを特徴とするものである。本発明の水蒸気バリア性フィルムは、変性処理した粘土を樹脂フィルム上に塗工した、積層フィルムであって、水蒸気バリア性を有し、40°C、相対湿度90における水蒸気透過度が3g/m2dayJISZ0208-1976、カップ法未満であり、耐熱性があり、フレキシブルで、しかも、連続塗工が可能な、効率よく製造することができるフィルムである。本発明では、シリル化による疎水性化と、耐水性の高い有機カチオン交換、あるいはリチウムイオン交換、もしくはこれらの処理を組み合わせ、変性した粘土と、少量の耐水性の高い添加物を溶剤に分散させ、ダマを含まない均一な粘土ペーストを得た後、この粘土ペーストを、表面が平坦な樹脂フィルムに塗工、乾操し、分散媒である溶剤を除去することで、積層フィルムを作製し、次に、塗工乾操温度よりも、高温で耐水化熱処理を行う。これにより、耐水性が高く、柔軟性があり、ガスバリア性に優れ、耐熱性も高い水蒸気バリア性フィルムが得られる。本発明で用いる粘土としては、天然あるいは合成物、例えば、結晶構造及び特性からスメクタイト系に属するバイデライト、ノントロナイト、サポナイト、ヘクトライト、スチーブンサイト、及びモンモリロナイトのうち一種以上、好適には、精製ベントナイトあるいは合成スメクタイトが例示される。ここで、精製ベントナイトとは、スメクタイト含有率の大きい天然粘土である。本発明では、粘土にシリル化剤を反応させたものが例示される。その際、粘土とシリル化剤の総重量に対するシリル化剤組成は、重量比30未満である。本発明の粘土に含まれるシリル化剤としては、特に制限されるものではないが、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクチルトリメトキシシラン、ドデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシランを例示することができる。粘土へのシリル化剤の導入方法としては、例えば、原料粘土と、原料粘土に対して、約2重量程度のシリル化剤を混合し、それらをボールミルにより一時間程度ミリングする方法が例示される。シリル化粘土を調製する場合のシリル化剤には、種々のものが市販されており、その中には、反応性官能基を有するものがあり、例えば、エポキシ基、アクリル基、アミノ基、ハロゲン基等の反応性官能基を有する。このような反応性末端を有するシリル化剤を用いて調製されたシリル化粘土は、その末端に反応性末端を有し、種々の化学反応を行わせることができる。すなわち、製膜中あるいは製膜後の処理によって、付加反応、縮合反応、重合反応等の化学反応を行わせ、新たな化学結合を生じさせて、光透過性、ガスバリア性、水蒸気バリア性あるいは機械的強度を改善することが可能である。特に、シリル化粘土がエポキシ末端を有する場合、製膜中あるいは製膜後の処理でエポキシ反応させ、粘土間に共有結合を形成させることが可能である。上述のように、種々の異なる反応性末端を有するシリル化粘土が調製できることから、ある反応性末端を有するシリル化粘土Aと、別の反応性末端を有するシリル化粘土Bを混合し、これを原料として製膜し、製膜中あるいは製膜後の処理で、粘土Aと粘土Bのそれぞれの反応性末端同士を化学結合させることが可能である。これにより、光透過性、ガスバリア性、水蒸気バリア性あるいは機械的強度を改善することが可能である。粘土の層間イオンをリチウム化して、加熱処理することによって、層間のリチウムが粘土八面体層内に移動し、層間のイオン成分が減少することにより、耐水性が向上する。この耐水性の向上は、層間のイオン性物質のうち、リチウムイオンを90モル以上にすることによって、顕著に現れる。熱処理は、通常、製膜後であり、温度条件が約100°Cから効果が現れる。高温側は、基材である樹脂フィルムの耐熱性により、適宜条件を設定することができる。熱処理時間は、20分以上、24時間以内である。低温の場合は、より長時間の処理が必要である。また、本発明では、添加物として、例えば、熱可塑性樹脂のポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ABC樹脂、PET樹脂等の汎用プラスチック、ポリカーボネート、フッ素樹脂及びアセタール樹脂等の、いわゆるエンジニアリングプラスチック、また、熱硬化性樹脂である、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、ポリウレタン、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル、ポリイミド等々、主なプラスチックは、本発明の添加物として有効である。添加物は、中でも、ポリアミド及びポリイミドが好ましく、好適には、ポリイミドである。本発明で用いる変性粘土は、有機溶剤によく分散する。このような添加物と変性粘土とは、互いの親和性があり、両者を有機溶剤中で混合すると、容易に結合し複合化する。本発明においては、最初に、有機溶剤に変性粘土及び添加物を加えた、均一な分散液を調製し、粘土ペーストとする。この分散液の調製方法としては、変性粘土を分散させてから添加物を加える方法、添加物を含む溶液に変性粘土を分散させる方法並びに変性粘土及び添加物を同時に上記分散媒に加えて分散液とする方法、変性粘土及び添加物をそれぞれ別に分散液とし、それらを混合する方法等が例示される。しかし、分散の容易さから、変性粘土を有機溶剤に分散させてから、添加物を加えるか、変性粘土及び添加物をそれぞれ別に分散液とし、それらを混合することが好ましい。この場合、先ず、変性粘土を、溶剤に加え、希薄で均一な変性粘土分散液を調製する。この変性粘土分散液における変性粘土濃度は、好適には0.3~15重量、より好ましくは、1~10重量である。このとき、変性粘土の濃度が薄過ぎる場合、乾燥に時間がかかり過ぎ、連続塗工がやりにくくなるという問題が生ずる。また、逆に、変性粘土の濃度が濃過ぎると、変性粘土が良好に分散しないため、ダマが発生しやすく、均一な塗工ができず、乾燥時に、収縮によるクラックの発生や、表面荒れ、膜厚の不均一性等の問題が生じる。次に、分散液を必要に応じて、脱気処理する。脱気処理の方法としては、例えば、真空引き、加熱、遠心等による方法があるが、真空引きを含む方法がより好ましい。次に、脱気処理した分散液、いわゆる粘土ペーストを樹脂フィルムに一定厚みで塗工する。塗工方法は、特に限定されるものではない。ダイコート、ロールコート、バーコートで、工業的には、図2に模式的示した、グラビアコーターで、連続塗工することができる。小規模には、キャスティング、ワイヤーコート、スピンコート等により塗工する方法もある。特に接着剤等は不要であるが、耐候性のある接着剤を、予め樹脂フィルムにアンカーコートしておいても差し支えない。樹脂フィルムには、アクリル系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、フッ素系及びポリエステル系等の樹脂が挙げられるが、特に限定するものではない。本発明では、汎用性のあるポリエステル系であるPETを樹脂フィルムとすることが好ましい。厚み寸法も、太陽電池モジュール、バックシートの設計値から決定されるもので、特に限定するものではない。一般的には、厚み5~300μmである。本発明の粘土膜の厚さについては、分散液に用いる固体重量を増減することによって、任意の厚さの膜を得ることができる。厚みについては、薄く成膜した方が表面平滑性に優れる傾向がある。その他、膜が厚くなることによって、柔軟性が低下するという問題があり、粘土ペーストの塗工厚みは、0.5mm以下であることが望ましい。本発明において、粘土粒子の積層を高度に配向させるとは、粘土粒子の単位構造層厚さ約1nmから1.5nmを、層面の向きを一にして積み重ね、層面に垂直な方向に、高い周期性を持たせることを意味する。このような粘土粒子の配向を得るためには、粘土及び添加物を含む、希薄で均一な粘土ペーストを樹脂フィルムに塗工し、分散媒である液体をゆっくりと蒸発させ、粘土粒子が緻密に積層した膜状に成形することが重要である。また、加熱乾燥法による乾燥条件は、用いる溶剤の種類にもよるが、室温から90°Cの温度条件下、より好ましくは、30°Cから60°Cの温度条件下で、10分から24時間程度の乾燥、溶媒が完全に蒸発する時間を設定する。次に、100~200°Cの温度条件で耐水化処理を行う。時間は、処理温度によるが、140°Cにおいて、約40時間である。耐水化処理温度は、樹脂フィルムの耐熱温度で決定される。安価で汎用性のある一般的なPETの耐熱温度は、約140°Cであるが、PETの延伸フィルムでは、約200°Cの耐熱温度を有している。樹脂フィルム上の粘土膜は、膜厚が3~100μm、好適には3~80μmであり、得られた水蒸気バリア性フィルムのガスバリア性能は、室温における酸素ガスの透過係数は、4.0×10-15cm2s-1cmHg-1未満であり、膜の垂直方向への体積抵抗率は10MΩ以上である。上記粘土膜は、その電気絶縁性を生かして、電気絶縁膜として、広範に用いることが可能である。本発明の水蒸気バリア性フィルムは、柔軟性があり、加工性に優れている。本発明のフィルムは、ケイ酸塩が主成分である粘土膜が構成成分になっており、耐紫外線、耐放射線性に優れており、太陽電池バックシートとして好適である。また、この水蒸気バリア性フィルムは、化学的に安定で、耐水性を保つことが可能で、柔軟な包装材料封止材料絶縁材等として用いることができる。本発明により、次のような効果が奏される。1本発明による水蒸気バリア性フィルムは、耐候性に優れ、水蒸気バリア性、ガスバリア性、柔軟性、耐熱性、電気絶縁性及び耐水性の要件を全て満たすことができる。2本発明の水蒸気バリア性フィルムは、太陽電池バックシートのほか、例えば、LCD用基板フィルム、LED用フィルム、等の電子デバイス用の基板や保護フィルムとして好適に用いることができる。3本発明の水蒸気バリア性フィルムは、柔軟なガスシール材料、包装材料、封止材料、電気絶縁材料等としても好適に用いることができる。4本発明の水蒸気バリア性フィルムは、例えば、金属、プラスチック、ゴム、紙、セラミック等と積層することによって、多層膜として広範に用いることが可能である。次に、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例によって何ら限定されるものではない。1リチウム交換粘土の作製天然の精製ベントナイトクニピアFクニミネ工業株式会社製を、オーブンで110°C以上の温度で十分乾燥させた。当該ベントナイト300gを、アルミナボールとともに、ボールミルポットに入れた。次に、これに、シリル化剤チッソ株式会社製サイラエースS3306gを加え、ポット内を窒素ガスに置換し、1時間のボールミル処理を行うことにより、シリル化粘土を得た。シリル化剤には、端末にアミノ基を持つものを使用した。シリル化粘土24gを、0.5規定の硝酸リチウム水溶液400mLに加え、振とうにより、混合分散させた。2時間振とう分散して、粘土の層間イオンをリチウムイオンに交換した。次に、上記分散液について、遠心分離により、固液分離し、得られた固体を、280gの蒸留水と120gのエタノールの混合溶液で洗浄し、過剰の塩分を除いた。この洗浄操作を、二回以上繰り返した。得られた生成物をオーブンで十分乾燥した後、解砕して、リチウム交換粘土を得た。2粘土ペーストの作製上記リチウム交換粘土10gを容器に取り、90gの純水を加え、混練することにより、リチウム交換粘土プレゲルを調製した。得られたゲルを、ホモジナイザーIKA社製ULTORATURRAXT50,シャフトは同社製S50N-G45Fを使って、ジメチルアセトアミドに分散させた。適当な容器に、ジメチルアセトアミドをリチウム交換粘土の350g入れて、ホモジナイザーで撹拌しながら、ポリイミドワニス宇部興産株製U-ワニスAを、4.76g加えた。ミキサーで、混合モード、2000rpm×10分間の混合の後、脱泡モードで、2200rpm×10分間の脱泡をして、粘土ペーストを得た。このときの粘度は、1.3~2.0Pas、平均値で、1.4Pas東機産業株TVB-22Lであった。3PET上への粘土膜の成形次に、上記粘土ペーストを、PETフィルム上に、キャスティングナイフにより、均一厚みとなるように塗工した。ここで、ペーストの塗工厚みを0.25mmとした。また、PETフィルムは、東洋紡績株製の東洋紡エステル登録商標A4300、厚さ75μmを使用した。この塗工された粘土膜を、PETフィルムごと、強制送風式オーブン中において、60°Cの温度条件下で、一晩乾燥することにより、粘土膜厚み3.5μmを有する、均一な粘土-PETフィルム塗工膜を得た。得られた粘土-PETフィルム塗工膜を、オーブン中に入れて、PETフィルム軟化点以下の、140°Cで、40時間から216時間までの加熱処理を施し、所定の水蒸気バリア性フィルムを得た。4粘土膜の特性上記140°Cの加熱処理を施したPETフィルム単体及び水蒸気バリア性フィルムの40°C、相対湿度90における水蒸気透過度を、JISZ0208-1976に規定する、カップ法により、試験評価時間140hrで、比較測定した。測定に際し、水蒸気バリア性フィルムの粘土膜層が、カップの内側になるように取り付けた。測定された水蒸気透過度を表1に示す。上表において、1PETフィルム単体、及び2PET/粘土膜の水蒸気バリア性フィルムのいずれにおいても、140°Cで、40から112hrの加熱処理を施した場合、加熱処理なし、と比較して、水蒸気透過度が低下し、更に、1PETフィルム単体の場合よりも、2PET/粘土膜の積層構造をとることで、水蒸気透過度が、3g/m2day未満となる水蒸気バリア性フィルムを実現できることが分かった。ただし、加熱処理時間が長い場合、PETの劣化により、水蒸気透過度は、増加傾向を示した。更に、室温における酸素ガスの透過係数は、3.1×10-15cm2s-1cmHg-1日本分光株式会社製Gasperm-100で測定未満であった。本実施例では、上記実施例1で作製したPET/粘土膜について、感湿センサーLyssy社製、商品名;L80-5000型を用いて、該水蒸気バリア性フィルムの水蒸気透過度を測定した。50cm2の試料フィルムで上下に隔てられた空間の下側の雰囲気を相対湿度100に、上側の雰囲気を相対湿度9.9以下にそれぞれ調整した。そして、この粘土フィルムを透過する水蒸気によって、試料フィルムの上側の雰囲気の相対湿度が、9.9から10.1になるまでの時間から、水蒸気透過率g/m2dayを算出した。その結果を表2に示す。140°Cで40hrの加熱処理をした、水蒸気バリア性フィルムにおいて、当該フィルムのセット方法を裏表入れ替えて、感湿センサーにて測定された水蒸気透過度は、1.9及び2.0g/m2dayであり、前記のカップ法による測定値と整合した結果が得られた。また、フィルムのセット方法で、表裏の差のないことを確認した。"