"圧電板に作用する外力を検出する外力検出装置であって、容器内の基台にその一端側が支持された片持ちの前記圧電板と、この圧電板を振動させるために、当該圧電板の一面側及び他面側に夫々設けられた一方の励振電極及び他方の励振電極と、一方の励振電極に電気的に接続された発振回路と、前記圧電板の他端側に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記圧電板とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電板の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、前記容器内における圧電板の可動電極と対向する側の内壁部に、前記圧電板が過剰に撓んだときに当該圧電板の胴部が接触することで前記圧電板の先端が当該内壁部に衝突しないようにするために、当該内壁部を圧電板側に突出させた突起部と、を備え、前記発振回路から一方の励振電極、他方の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電板に作用する外力を評価するためのものであることを特徴とする外力検出装置。前記突起部における前記圧電板に対向する面の長さ方向の切断面の形状が山形であることを特徴とする請求項1記載の外力検出装置。前記圧電板、励振電極、可動電極及び固定電極からなる組として、第1の組及び第2の組を設け、第1の組及び第2の組に夫々対応して発振回路を設け、前記周波数情報検出部は、前記第1の組に対応する発振周波数及び前記第2の組に対応する発振周波数の差分に応じた信号を求めるものであることを特徴とする請求項1または2記載の外力検出装置。前記圧電片に外力が加わったときに励振電極が設けられている部位が撓むのを防止するために、前記圧電片の下面側における励振電極と可動電極との間の部位を支持する支持部を前記基台に設けたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の外力検出装置。前記支持部の先端と圧電片とは互いに固定されていることを特徴とする請求項4に記載の外力検出装置。圧電板に作用する外力を圧電板の発振周波数に基づいて検出するための外力検出センサーであって、容器内の基台にその一端側が支持された片持ちの前記圧電板と、この圧電板を振動させるために、当該圧電板の一面側に設けられ、発振回路に電気的に接続される一方の励振電極と、前記圧電板の他面側に設けられた他方の励振電極と、前記圧電板の他端側に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記圧電板とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電板の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記容器内における圧電板の可動電極と対向する側の内壁部に、前記圧電板が過剰に撓んだときに当該圧電板の胴部が接触することで前記圧電板の先端が当該内壁部に衝突しないようにするために、当該内壁部を圧電板側に突出させた突起部と、を備えたことを特徴とする外力検出センサー。前記突起部における前記圧電板に対向する面の長さ方向の切断面の形状が山形であることを特徴とする請求項6記載の外力検出センサー。本発明は、このような背景の下になされたものであり、圧電板に加わる外力を簡易な構造で高精度に検出することができる外力検出装置及び外力検出センサーを提供することにある。本発明の外力検出装置は、圧電板に作用する外力を検出する外力検出装置であって、容器内の基台にその一端側が支持された片持ちの前記圧電板と、この圧電板を振動させるために、当該圧電板の一面側及び他面側に夫々設けられた一方の励振電極及び他方の励振電極と、一方の励振電極に電気的に接続された発振回路と、前記圧電板の他端側に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記圧電板とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電板の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、前記容器内における圧電板の可動電極と対向する側の内壁部に、前記圧電板が過剰に撓んだときに当該圧電板の胴部が接触することで前記圧電板の先端が当該内壁部に衝突しないようにするために、当該内壁部を圧電板側に突出させた突起部と、を備え、前記発振回路から一方の励振電極、他方の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電板に作用する外力を評価するためのものであることを特徴とする。前記突起部における前記圧電板に対向する面の長さ方向の切断面の形状は山形であってもよい。また、本発明の好ましい一態様としては、前記圧電板、励振電極、可動電極及び固定電極からなる組として、第1の組及び第2の組を設け、第1の組及び第2の組に夫々対応して発振回路を設け、前記周波数情報検出部は、前記第1の組に対応する発振周波数及び前記第2の組に対応する発振周波数の差分に応じた信号を求める機能を有する構成を挙げることができる。この構成においては、第1の組及び第2の組に対して発振回路を共通化することもでき、この場合、第1の組の発振ループと第2の組の発振ループとが交互に形成されるように、発振回路とループとの間に切替えスイッチ部を設ければよい。本発明の外力検出センサーは、圧電板に作用する外力を圧電板の発振周波数に基づいて検出するための外力検出センサーであって、容器内の基台にその一端側が支持された片持ちの前記圧電板と、この圧電板を振動させるために、当該圧電板の一面側に設けられ、発振回路に電気的に接続される一方の励振電極と、前記圧電板の他面側に設けられた他方の励振電極と、前記圧電板の他端側に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記圧電板とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電板の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記容器内における圧電板の可動電極と対向する側の内壁部に、前記圧電板が過剰に撓んだときに当該圧電板の胴部が接触することで前記圧電板の先端が当該内壁部に衝突しないようにするために、当該内壁部を圧電板側に突出させた突起部と、を備えたことを特徴とする。前記突起部における前記圧電板に対向する面の長さ方向の切断面の形状は山形であってもよい。本発明は、前記圧電片に外力が加わったときに励振電極が設けられている部位が撓むのを防止するために、前記圧電片の下面側の部位であって、前記圧電片における励振電極と可動電極との間の部位を支持する支持部を前記基台に設けるようにしてもよい。本発明は、圧電板に外力が加わって撓むとあるいは撓みの程度が変わると、圧電板側の可動電極とこの可動電極に対向する固定電極との間の距離が変わり、このため両電極間の容量が変わり、この容量変化と圧電板の撓みの度合とを圧電板の発振周波数の変化として捉えている。更に、圧電板の他端の振幅を規制するための突起部を設けることにより、圧電板の損傷リスクを低減できるため、より安定した測定を行うことができる。圧電板の僅かな変形も発振周波数の変化として検出できるので、圧電板に加わる外力を高精度に測定することができ、しかも装置構成が簡素である。[第1の実施形態]本発明を加速度検出装置に適用した実施形態を説明する。図1は加速度検出装置のセンサー部分である外力検出センサーに相当する加速度センサーを示す図であり、図1中、1は直方体形状の密閉型の例えば水晶からなる容器であり、内部に不活性ガス例えば窒素ガスが封入されている。この容器は基台をなす下部分とこの下部分に周縁部にて接合される上部分とから構成されている。なお容器1としては必ずしも密閉型の容器に限定されるものではない。容器1内には、水晶からなる台座11が設けられ、この台座11の上面に導電性接着剤10により圧電板である水晶板2の一端側が固定されている。即ち水晶板2は台座11に片持ち支持されている。水晶板2は、例えばXカットの水晶を短冊状に形成したものであり、厚さが例えば数十μmオーダ、例えば0.03mmに設定されている。従って水晶板2に交差する方向に加速度を加えることにより、先端部が撓む。水晶板2は、図2aに示すように上面の中央部に一方の励振電極31が設けられ、また図2bに示すように下面における、前記励振電極31と対向する部位に他方の励振電極41が設けられている。上面側の励振電極31には、帯状の引き出し電極32が接続され、この引き出し電極32は、水晶板2の一端側で下面に折り返されて、導電性接着剤10と接触している。台座11の上面には金属層からなる導電路12が設けられ、この導電路12は、容器1を支持している絶縁基板13を介して、絶縁基板13上の発振回路14の一端に接続されている。下面側の励振電極41には、帯状の引き出し電極42が接続され、この引き出し電極22は、水晶板2の他端側先端側まで引き出され、可変容量形成用の可動電極5に接続されている。一方容器1側には、可変容量形成用の固定電極6が設けられている。容器1の底部にはコンベックス状の水晶からなる突起部7が設けられている。この突起部7は平面図で見ると四角形であり、水晶板2の長さ方向を前後方向とすると、左右方向から見た断面においては、上面が上に膨らんだ曲線となっている。即ち突起部7は、上面が水晶板2の長さ方向に沿って水晶板2側に突出した円弧状に曲がっており、水晶板2が突起部7側に過度に膨らんだときに先端部よりも基端側が突起部7に衝突するように構成されている。固定電極6はこの突起部7において、可動電極5と概ね対向するように設けられている。水晶板2は過大に触れて先端が容器1の底部に衝突すると、劈開という現象により結晶の塊で欠けやすいという性質がある。このため水晶板2が過大に触れたときに可動電極5よりも水晶板2の基端側一端側の部位が突起部7に衝突するように突起部の形状が決定されている。図1等では実際の装置とは少しイメージを変えて記載してあるが、実際に大きく容器1を振ると、水晶板2の先端よりも中央寄りの部位が突起部7に衝突する。固定電極6は、突起部7の表面及び絶縁基板13を介して配線された導電路15を介して発振回路14の他端に接続されている。図3は加速度センサーの配線の接続状態を示し、図4は等価回路を示している。L1は水晶振動子の質量に対応する直列インダクタンス、C1は直列容量、R1は直列抵抗、C0は電極間容量を含む実効並列容量、CLは発振回路14の負荷容量である。上面側の励振電極31及び下面側の励振電極41は発振回路14に接続されるが、下面側の励振電極41と発振回路14との間に、前記可動電極5及び固定電極6の間に形成される可変容量Cvが介在することになる。水晶板2の先端部には錘を設けて、加速度が加わったときに撓み量が大きくなるようにしてもよい。この場合、可変電極5の厚さを大きくして錘を兼用してもよいし、水晶板2の下面側に可変電極5とは別個に錘を設けてもよいし、あるいは水晶板2の上面側に錘を設けても良い。ここで国際規格IEC60122-1によれば、水晶発振回路の一般式は次の1式のように表される。FL=Fr×1xx=C1/2×1/C0CL......1FLは、水晶振動子に負荷が加わったときの発振周波数であり、Frは水晶振動子そのものの共振周波数である。本実施形態では、図3及び図4に示されるように、水晶板2の負荷容量は、CLにCvが加わったものである。従って1式におけるCLの代わりに2式で表されるyが代入される。y=1/1/Cv1/CL......2従って水晶板2の撓み量が状態1から状態2に変わり、これにより可変容量CvがCv1からCv2に変わったとすると、周波数の変化ΔFは、3式で表される。dFL=FL1-FL2=A×CL2×Cv2-Cv1/B×C...3ここで、A=C1×Fr/2B=C0×CLC0CL×Cv1C=C0×CLC0CL×Cv2である。また水晶板2に加速度が加わっていないときのいわば基準状態にあるときにおける可動電極5及び固定電極6の間の離間距離をd1とし、水晶板2に加速度が加わったときの前記離間距離をd2とすると、4式が成り立つ。Cv1=S×ε/d1Cv2=S×ε/d2......4ただしSは可動電極5及び固定電極6の対向領域の面積、εは比誘電率である。d1は既知であることから、dFLとd2とが対応関係にあることが分かる。このような実施形態のセンサー部分である加速度センサーは、加速度に応じた外力が加わらない状態においても水晶板2が若干撓んだ状態にある。なお水晶板2が撓んだ状態にあるか水平姿勢が保たれているかは、水晶板2の厚さなどに応じて決まってくる。そしてこのような構成の加速度センサーを例えば横揺れ検出用の加速度センサーと縦揺れ検出用の加速度センサーとを用い、前者は水晶板2が垂直になるように設置され、後者は水晶板2が水平になるように設置される。そして地震が発生してあるいは模擬的な振動が加わると、水晶板2が図1の鎖線で示すようにあるいは図3に実線で示すように撓む。振動が加わらない状態において周波数情報検出部である周波数検出部100により検出した周波数をFL1、振動加速度が加わった場合の周波数をFL2とすると、周波数の差分FL1-FL2は3式で表される。本発明者はFL1-FL2/FL1と、加速度との関係を調べて、図5に示す関係を得ている。従って前記周波数の差分を測定することにより加速度が求まることが裏付けられている。図3中、101は例えばパーソナルコンピュータからなるデータ処理部であり、このデータ処理部101は、周波数検出部100から得られた周波数情報例えば周波数に基づいて、水晶板2に加速度が加わらないときの周波数f0と加速度が加わったときの周波数f1との差を求め、この周波数差と加速度とを対応付けたデータテーブルを参照して加速度を求める機能を有する。周波数情報としては、周波数差に限らず、周波数の差分に対応する情報である周波数の変化率[f1-f0/f0]であってもよい。第1の実施形態によれば、水晶板2に外力が加わって撓むとあるいは撓みの程度が変わると、水晶板2側の可動電極5とこの可動電極5に対向する固定電極6との間の距離が変わり、両電極5、6間の容量が変わる。このため、この容量変化と水晶板2の変形とが水晶板2の発振周波数の変化として現れる。この結果、水晶板2の僅かな変形も発振周波数の変化として検出できるので、水晶板2に加わる外力を高精度に測定することができ、しかも装置構成が簡素である。更にまた、水晶板2の先端部はへきかいという現象により結晶の塊で欠け易いという性質があるが、本実施形態では水晶板2が過度に撓んだ場合にも水晶板2の先端部よりも先にその胴体部先端部よりも基端側の部分でぶつかるように突起部7が設けられているため、水晶板2の先端部が装置容器1の内壁に衝突しにくくなっておりその先端部の破損リスクを低減することができる。このとき水晶板2の胴体部は突起部7の曲面部と衝突するため、水晶板2はその胴体部においても破損しにくい。また図6に示す変形例では、水晶板2の可動電極5よりも基端部側に寄った位置に、平面的に見ると水晶板2と同じ幅の四角形をしているが、側面で見ると水晶板2に力が加わったときの撓み形状に対応するように上面曲面形状の突起部7が設けられている。これにより、水晶板2の先端が容器1側に衝突するリスクを抑えている。また固定電極6は、突起部7とは分離された台座61に設けられている。なお、図6では励振電極などは省略している。[第2の実施形態]図7に加速度センサーの他の例を示す。この実施形態は、既述の水晶板2、励振電極31、34、可変電極5、固定電極6及び発振回路14の組を2組設けた点が前述の第1の実施形態と異なる。301は容器1の下側を構成する、基台をなす下部分であり、302は容器1の上側をなす蓋体をなす上部分である。水晶板2及び発振回路14について、一方の組の部品には符号Aを添え、他方の組の部品には符号Bを添えている。図7では、一方側の水晶板2が示されており、側面から見た図としては図1と同じである。図7の圧力センサーの内部を平面的に見ると、図8に示すように第1の水晶板2Aと第2の水晶板2Bとが横に平行に配置されている。これら水晶板2A、2Bは同一の構造であるため、一方の水晶板2Aについて説明すると、水晶板2Aの一面側上面側において一端側から幅の狭い引き出し電極32が他端側に向かって伸び、当該引き出し電極32の先端部に一方の励振電極31が角形形状に形成されている。そして水晶板2Aの他面側下面側には、図8及び図10に示すように一方の励振電極31に対向して他方の励振電極41が形成され、当該励振電極41における水晶板2Aの先端側に向かって幅の狭い引き出し電極42が伸びている。更にこの引き出し電極42の前記先端側には短冊状の可変容量形成用の可動電極5が形成されている。これら電極31等は、導電膜例えば金属膜により形成されている。容器1の底部には、図1と同様にコンベックス状の水晶からなる突起部7が設けられているが、突起部7の横幅は、2枚の水晶板2A、2Bの配置に対応した大きさに設定されている。即ち、突起部7は2枚の水晶板2A、2Bの投影領域を含む大きさに設定されている。そして図8及び図9に示すように突起部7に、水晶板2Aの可動電極5及び水晶板2Bの可動電極5ごとに短冊状の固定電極6が設けられている。なお、図7等では、構造の理解の容易さを優先しているため、水晶板2A2Bの撓み形状が正確に記載されていないが、後述の寸法により作成した場合には、水晶板2A2Bが過大に振れると、水晶板2A2Bの先端よりも中央寄りが突起部7に衝突する。水晶板2A2B及びその周辺部位に関し、図11を参照しながら各部の寸法の一例について説明しておく。水晶板2A2Bの長さ寸法S及び幅寸法は、夫々20mm及び1.6mmである。水晶板2A2Bの厚さは、例えば30μmである。水晶板2A2Bの一端側における支持面を水平面に平行に設定したとすると、加速度が加わらず放置した状態では自重により撓んだ状態となり、その撓み量d1は例えば151μm程度であり、容器1の下部分における凹部空間の深さd0は、例えば156μmである。また突起部7の高さ寸法は例えば105μm程度である。これらの寸法は一例に過ぎない。図12には、この実施形態の加速度検出装置の回路が示されている。また図13には、加速度検出装置の一部の外観が示されている。前述の第1の実施形態と異なる箇所は、第1の水晶板2A及び第2の水晶板2Bに夫々対応して第1の発振回路14A及び第2の発振回路14Bが接続されており、第1の水晶板2A及び第2の水晶板2Bごとに、発振回路14A14B、励振電極31、41、可動電極5及び固定電極6を含む発振ループが形成されている。これら発振回路14A、14Bからの出力は周波数情報検出部102に送られ、ここで各発振回路14A、14Bからの発振周波数の差分あるいは周波数の変化率の差が検出される。周波数の変化率とは次の意味である。発振回路14Aにおいて、水晶板2Aが自重で撓んでいる基準状態における周波数を基準周波数と呼ぶとすると、水晶板2Aが加速度により更に撓んで周波数が変化したとき、周波数の変化分/基準周波数で表わされる値であり、例えばppbの単位で表わされる。同様に水晶板2Bについても周波数の変化率が演算され、これら変化率の差分が周波数に対応する情報としてデータ処理部101に出力される。データ処理部101では、例えば変化率の差分と加速度との大きさとを対応付けたデータをメモリに記憶しておき、このデータと変化率の差分とに基づいて加速度が検出できる。水晶板2A2Bの撓み量水晶板が一直線に伸びている状態と撓んでいるときとの先端部分の高さレベルの差分と周波数の変化量との関係の一例を挙げておくと、例えば水晶板2A2Bの先端が10-5μmオーダで変化すると、発振周波数が70MHzの場合、周波数の変化分は0.65ppbである。従って極めて小さな外力例えば加速度をも正確に検出できる。上述の第2の実施形態によれば、第1の実施形態における効果に加えて、水晶板2A及び水晶板2Bを同一の温度環境に配置しているため、水晶板2A及び水晶板2の各々の周波数が温度により変化したとしても、この変化分がキャンセルされ、結果として水晶板2A、2Bの撓みに基づく周波数の変化分だけを検出できるので、検出精度が高いという効果がある。また水晶板2A、2Bが過大に振動した場合に、この水晶板2A、2Bの他端先端よりも中央寄りが突起部7と衝突し他端が装置容器の内壁に衝突しないように、水晶板2A、2Bの撓み形状と略同じ表面形状の突起部7を設けている。これにより、水晶板2A、2Bの損傷リスクを低減できるため、より安定した測定を行うことができる。[本発明の変形例及び適用例]図14及び図15に本発明の更なる変形例を記載しておく。図14に示す加速度センサーは、水晶板2の励振電極31、41を水晶板2の先端側に形成し、下面側の励振電極41が可動電極5を兼用している。図15に示す加速度センサーは、水晶板2を含む水晶振動子として第2の実施形態に用いた水晶板2A2Bの上面と下面とを反対にした構造を採用している。この場合には可動電極5と固定電極6との間に水晶板2が介在するが、この構造においても同様の作用、効果が得られる。図15に示す加速度センサーは、第2の実施形態に用いられている水晶板2A2Bにおいて、下面側の可動電極5を上面側に回り込ませると共に、当該可動電極6に対向するように容器1の内部空間の内壁上面側に固定電極6を設けた構成としている。この場合においても同様の作用、効果が得られる。[第3の実施形態]この実施の形態は、水晶片2において、水晶振動子としての役割を持つ部位と外力により撓みを発生させる部位との間を、基台に相当する容器1の下部分に設けた支持部である支持部材により支持する例である。即ち、水晶片2におけるこの支持部による支持部位は、励振電極31、41が設けられている部位と可動電極5が設けられている部位との間である。そして外力が水晶片2に加わったときに水晶片2の撓みの程度が大きくなるように、つまり高い感度が得られるようにするために、前記支持部位から水晶片2の先端までの距離を大きく確保することが好ましい。このような例を図18及び図19に示す。この例では容器の底部に、角型の支持部8を設け、この支持部8の上面により、水晶片2の下面における励振電極41よりも例えば0.1mm~数mmだけ水晶片2の先端側に寄った部位を支持している。支持部8の横幅は、水晶片2の幅寸法と同じかあるいはそれよりも大きいことが好ましいが、励振電極31、41が配置されている部位の撓みを十分に防止できる機能を発揮できる場合には、水晶片2の幅寸法より小さくてもよい。支持部8の高さ寸法は、例えば水晶片2が台座11の上面から水平に伸び出した状態において水晶片2の下面に接触する寸法に設定される。図18では、容器内の構造を誇張して記載しているため、実際の外力センサーの一例の構造とはイメージが少し異なる。支持部8の寸法の一例としては、高さが例えば05mm~1mm、厚さは0.3mmであり、横幅は水晶片2の幅と同じ1.6mmである。この寸法は一例であって、容器1の構造や水晶片2の設置位置などに応じて決まってくる。支持部8と水晶片2の下面固定電極6と対向する側の面とは、例えば導電性接着剤あるいは低誘電ガラスなどの固着材料により互いに固定されている。なお支持部8と水晶片2の下面とは互いに固定されていない構造としてもよい。支持部8を設ける手法としては、例えば容器1の下部分301を製造するときにエッチングにより形成する手法を挙げることができるが、支持部8を下部分301とは別個に製造し、接着剤により接着するようにしてもよい。また支持部8を用いる構造は、2組の水晶振動子を設けてこれら水晶振動子の発振周波数の差分を求める例である第2の実施形態などに適用してもよい。この場合各組の水晶片2A、2B例えば図9を参照ごとに、支持部8により図18、図20に示したように励振電極31、41と可変電極5との間の部位を支持する構造となる。支持部8としては、水晶片2A、2Bごとに独立して設けてもよいし、水晶片2Aの左縁から水晶片2Bの右縁に亘って延びる共通の支持部8により水晶片2A、2Bを支持してもよい。2組の水晶振動子を用いた例に対して支持部8を用いた構成を図20に示しておく。ここで図18に示す構造において、励振電極41を直接発振回路に接続したサンプルを作成し、水平な面に載置したときの発振周波数f0と、水平面から10度だけ水晶片2の先端側が低くなるように傾斜した面に載置したときの発振周波数f10とを複数回測定した。周波数の変化率であるf0-f10/f0の値は、0.1ppb~5ppbであった。これに対して前記サンプルにおいて支持部8を設けない場合のサンプルについて、同様の試験を行ったところ、周波数の変化率であるf0-f10/f0の値は、8ppb~45ppbであった。この結果から、水晶片2が外力により撓んだときに、発振周波数の変化分の中で、水晶片2の振動部位励振電極31,41が設けられている部位の撓みによる周波数の変化分の占める割合について、支持部8を設ける構造の方が小さいことが分かる。この結果は水晶片2における支持部8の先端側が撓んでも、振動部位は、支持部8の存在によりほとんど撓まないことに基づいた結果であるといえる。振動部位の周波数の変化は再現性に欠けることから、上述のように支持部8を設ける構造とすることにより、より一層正確に水晶片2の撓みに対応する周波数変化を得ることができる。以上において本発明は、加速度を測定することに限らず、磁力の測定、被測定物の傾斜の度合いの測定、流体の流量の測定、風速の測定などにも適用することができる。磁力を測定する場合の構成例について述べる。水晶板2における可動電極5と励振電極41との間の部位に磁性体の膜を形成し、磁場に当該磁性体が位置すると水晶板2が撓むように構成する。更にまた気体や液体などの流体中に水晶板2を晒し、水晶板の撓み量に応じて周波数情報を介して流速を検出することができる。この場合、水晶板2の厚さは流速の測定範囲などにより決定される。更にまた本発明は重力を測定する場合にも適用できる。本発明は、上述の実施形態のように外力値そのものを検出する場合の他に、外力に応じた振動振動の周波数を検出することができる。具体的には、地震等を対象とした振動検出装置などに適用できる。ここでは、それについて説明する。この実施形態における振動検出装置の構造は第2の実施形態における外力検出装置と同様なため、その説明は省略する。地震が発生してこの振動検出装置に振動が加わると、水晶板2が揺れて例えば図16aに示す第1の状態と、図16bに示す第2の状態とが繰り返される。第1の状態及び第2の状態の可変容量Cvの値を夫々Cv3及びCv4とすると、夫々の発振周波数FL3及びFL4は上述の式1及び式2より求まり、発振周波数はFL3及びFL4の間で図17のように時間と共に変化する。従って周波数情報検出部102にて検出された周波数データをデータ処理部101により解析することにより、図17に示される周波数変化の波の周期T周波数に対応するを求めることができる。地震波により振動検出装置が振動するときには、一方向及び反対方向に加速度が水晶板2に加わり、既述のように例えば図17に示す周波数データが取得できることから、0.5Hz程度の低周波の振動であっても性格に検出することができる。以上において本発明は、地震の震動に限らず模擬的に発生させた振動の周期を検出する場合にも適用することができる。また例えば洗濯機を運転しているときに洗濯物を含む回転水流などにより洗濯機本体に生じる振動の周期を検出する場合などに適用してもよい。"