"X線源において、該X線源に、電子を発出する電子ビーム源22を含む電子発生チャンバ12と、ターゲット30及び支持構造物36を含むターゲットチャンバ14とが含まれ、前記ターゲット30が平らな面41を有し、前記支持構造物36が下面37と上面35とを有する内部区域を有し、前記ターゲット30が、その平らな面と事実上平行の少なくとも1方向に支持構造物の内部区域を並進運動可能であり、前記発出された電子が、電子発生チャンバ12からターゲットチャンバ14へ延在する縦軸線と事実上平行にターゲット30へ向って移動し、ターゲット30に照射付与することでX線を発生させ、前記X線源には更に、電子発生チャンバ12とターゲットチャンバ14とを連結する可とう性シール部材16と、前記ターゲット30に接続され、ターゲット30に電子が照射付与する間に、ターゲット30の平らな面と事実上平行の少なくとも1方向に沿ってターゲット30を変位させるようにされた第1ターゲット区画設定器32と、前記ターゲットに接続され、前記縦軸線と事実上直角であり且つ前記1方向とは異なる少なくとも1つの第2方向に沿ってターゲットを変位させるようにされている第2ターゲット区画設定器33とが含まれている、X線源。以上のような事情であるとすれば、必要とされるのは、明らかに、回転陽極に関連する長い使用寿命及び耐久性という長所と、高度のX線使用に要する高輝度とを有する単一スポットの微小集束X線源である。既述の欠点及び他の欠点を克服するために、本発明により提供されるX線源は、電子を放出する電子ビーム源を備えた電子発生チャンバと、支持構造物及び支持構造物内に配置されたターゲットを有するターゲットチャンバとを含んでいる。ターゲットは、X線を放射中も、電子発生チャンバとターゲットチャンバ間に延在する縦軸線と直角の少なくとも1方向に支持構造物に対し可動である。放出された電子は、縦軸線と事実上平行方向にターゲットに向って移動し、ターゲットに衝激を与えてX線を発生させる。電子発生チャンバは、可とう性シール部材によってターゲットチャンバに連結されている。2つのチャンバは、通常、真空シールされている。X線源は少なくとも1ターゲット区画設定器を含み、該区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ縦軸線と事実上直角の少なくとも1つの第1方向にターゲットを移動させるようになっている。幾つかの実施例では、X線源は第2ターゲット区画設定器を含み、該区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ縦軸線と事実上直角の第2方向にターゲットを移動させる。ターゲットは、縦軸線と非直角の角度に傾斜する事実上平らな面を形成することができる。第2ターゲット区画設定器は、この平らな面と事実上平行な第2方向にターゲットを移動させる。種々の実施例の場合、ターゲットは、縦軸線と直角の平らな面を形成している。別の実施例では、この平らな面は、縦軸線と非直角の角度で傾斜している。ターゲットは、弾性部材により支持構造物に固定され、縦軸線と直角の少なくとも1方向に支持構造物に対して可動である。或る実施例では、ターゲットからのX線は1つ以上の出口開口を通過できる。ここに説明されているように、本発明は、先行X線源設計に比較して多くの長所を有している。特に、本発明は、衝突するX線ビームに対しターゲットを移動させるようにした機械式又は電気機械式の少なくとも1ターゲット区画設定器を含んでいる。ターゲットの移動が簡単かつ安定的であることにより、ターゲットの使用寿命が延び、したがってX線管の有効寿命も延びることになる。加えて、外部光学素子に対して固定的な位置にX線源を維持することにより、本発明は、実験室設備内での反復的かつ効率的な使用に容易に適合できる。第一観点として、X線源において、該X線源に、電子ビーム源を含む電子発生チャンバと、支持構造物を含むターゲットチャンバ及び支持構造物内に配置されたターゲットとが含まれ、発生した電子が、電子発生チャンバとターゲットチャンバとの間に延在する縦軸線と事実上平行方向にターゲットへ向って移動し、ターゲットに照射を与えてX線を発生させ、該ターゲットが、電子による照射付与の間に、支持構造物に対して縦軸線と事実上直角の少なくとも1方向に変位可能であり、該X線源には、更に、電子発生チャンバとターゲットチャンバとを連結する可とう性のシール部材が含まれ、電子発生チャンバとターゲットチャンバとの内部が周囲の汚染からシールされている。第二観点として、第一観点において、更に、ターゲット区画設定器が含まれており、該ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ縦軸線と直角の少なくとも1方向にターゲットを変位させるようにされている。第三観点として、第二観点において、更に、第2ターゲット区画設定器が含まれ、該第2ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、縦軸線と事実上直角かつ第1方向と直角の少なくとも1つの第2方向に変位させるようにされている。第四観点として、第一観点において、更に、プレートとプレートに結合された弾性部材とが含まれ、該弾性部材とプレートとが、ターゲットと支持構造物との間に配置されている。第五観点として、第一観点において、更に、少なくとも1つの出口開口が含まれ、ターゲットから発せられるX線の一部が該出口開口を通過する。第六観点として、第一観点において、前記ターゲットが、縦軸線に対し事実上直角の平らな面を形成している。第七観点として、第一観点において、前記ターゲットが事実上平らな面を形成し、該平らな面が縦軸線に対し非直角の角度で傾斜している。第八観点として、第七観点において、更に、ターゲット区画設定器が含まれ、該ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ縦軸線に対して直角の少なくとも第1方向にターゲットを変位させるようにされている。第九観点として、第八観点において、更に、ターゲットに接続された第2ターゲット区画設定器が含まれ、該第2ターゲット区画設定器によって、ターゲットが、前記平らな面と事実上平行の少なくとも1つの第2方向に変位される。第十観点として、第一観点において、更に、電子ビームを集束させる集束光学素子が含まれ、該集束光学素子が、磁気集束光学素子、静電式集束光学素子、これら双方の組み合わせのいずれかから成る群から選択される。第十一観点として、X線源において、該X線源に、電子を発出する電子ビーム源を含む電子発生チャンバと、ターゲット及び支持構造物を含むターゲットチャンバとが含まれ、該支持構造物が下面と上面とを画成しており、前記ターゲットが、電子発生チャンバとターゲットチャンバとの間に延在する縦軸線と事実上直角の1方向に支持構造物内部を変位可能であり、発出された電子が、縦軸線と事実上平行方向にターゲットへ向って移動し、ターゲットに照射付与してX線を発生させ、前記X線源には、更に、前記下面に取り付けられ、電子発生チャンバとターゲットチャンバとを連結する可とう性のシール部材と、前記ターゲットに結合され、かつ電子がターゲットに照射を与えている間に、縦軸線と直角の少なくとも1方向にターゲットを変位させるようにされた少なくとも1ターゲット区画設定器とが含まれている。第十二観点として、第十一観点において、更に、プレートとプレートに結合された弾性部材が含まれ、該弾性部材及びプレートがターゲットと支持構造物との間に配置されている。第十三観点として、第十一観点において、更に、出口開口が含まれ、ターゲットから放出されるX線の一部が該出口開口を通過する。第十四観点として、第十一観点において、前記ターゲットが事実上平らな面を形成しており、該平らな面が、縦軸線と非直角の角度で傾斜している。第十五観点として、第十四観点において、更に、第2ターゲット区画設定器が含まれ、該第2ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ前記平らな面と事実上平行にターゲットを変位させるようにされている。第十六観点として、第十一観点において、更に、集束光学素子が含まれ、該光学素子が、磁気集束光学素子、静電集束光学素子、これら双方の光学素子の組み合わせのいずれかから成る群から選択される。本発明のこのほかの特徴及び長所は、以下の詳細な説明及び特許請求の範囲の記載から明らかになろう。本明細書に含まれ、かつその一部をなす添付図面は、説明と共に本発明の幾つかの態様を示し、本発明の原理を説明するのに役立つものである。図示の構成部材は、必ずしも縮尺で描かれてはおらず、本発明の原理を説明することに重点が置かれている。加えて、図には、全図面を通じて同じ部材には同じ符号が付されている。本発明にしたがって、電子発生チャンバ12と、ターゲットチャンバ14と、可動ターゲット30とを含むX線源10を添付図面につき説明する。添付図面の幾つかでは、デカルト座標が説明目的のために用いられるが、その場合には、z軸が、例えば電子発生チャンバ12とターゲットチャンバ14間に延在する縦軸線と事実上平行に整合されている。特に図1に示されているように、電子発生チャンバ12とターゲットチャンバ14とは、可とう性のシール部材16によって結合されている。電子発生チャンバ12は、金属製外殻18とガラス又はセラミック等の絶縁材20とにより画成され、空気、塵埃、その他X線源10の動作にとって有害な汚染物質の侵入を防止するように、該外殻と絶縁材とは真空シール可能である。電子は、電子発生チャンバ12内で電子ビーム源22又は陰極によって発生させられる。電子は、陽極24の開口に入る前に、縦軸線に沿って加速される。電子ビームの集束は、磁気又は静電気により、又は双方を組み合わせて実現することができる。例えば、磁石26により可変磁場を作り出すことで、電子ビームをターゲット面41に、又はターゲット面近くに集束させる。ターゲットチャンバ14は、概して、支持構造物36が周囲に配置されたシュート28を含んでいる。シュート28には、X線の通過可能な出口開口34が画成されている。出口開口34は、シュート28に形成された窓でよい。支持構造物36の内部は、部分的に上面35と下面37とによって仕切られ、更に、出口開口34を覆い隠していない点が特徴である。上面35は、シュート28を受容する開口33を含み、したがって、電子ビーム源22が発生させる電子を下面37へ向けて通過させることができる。ターゲット面41を有するターゲット30は、支持構造物36内に配置されている。弾性部材38が下面37と結合されていることにより、ターゲット30が上面35と同一平面内に維持されるように、ターゲット30に対し十分な圧力が加えられる。一好適実施例では、前記弾性部材38は、必要な力を及ぼすのに十分な圧縮力を有する1個のばねである。別の実施例では、該弾性部材38を、より一様な区画にわたって必要な圧力が加わるように1組のばねにしてもよい。X線の放射特性は、ターゲット面41の材料によって決定される。ターゲット30は、通常、銅製だが、これは銅が優れた熱伝導体だからである。ターゲット面41は、ターゲット本体と同じ材料製でよいが、異なる材料製でもよい。弾性部材38が加える圧力をターゲットに分配するため、弾性部材38とターゲット30との間にプレート40を間挿してもよい。別の実施例では、プレート40は1組の弾性部材38に結合しても良い。該弾性部材38は、既述のばね等の1組のばね等でよい。ターゲット30は、更に少なくとも1ターゲット区画設定器32に接続されている。ターゲット区画設定器32の操作により、ターゲットがX線で衝撃付与されている間に、ターゲット30を縦軸線と直角方向に目標距離だけ移動させることができる。一好適実施例では、ターゲット区画設定器32は、支持構造物32に取り付けられ、機械式手段を用いてターゲット30を移動させる。ターゲット区画設定器32は、支持構造物36の外部から接近可能であり、制御ユニット、例えばパーソナルコンピュータからの信号に応じて動作する電気機械式装置でよい。例えば、ターゲット区画設定器は、サーボモータ又は他の何らかの適当な種類の電気機械式モータでよい。冷却機構39は、電子の衝撃によって生じるターゲット30の熱を除去するために、支持構造物36の内部に導入できる。図2は、ターゲットチャンバ14の一部を除去して示した図で、特に、シュート28と支持構造物36との連結部が詳細に示されている。特に注目すべき点は、既述のように、X線が出口開口34を通過できるように、支持構造物36が付形されている点である。図3は、縦軸線方向で見たターゲットチャンバ14の断面図である。図示のように、ターゲット区画設定器32は、第2ターゲット区画設定器33に対し直角の位置で支持構造物36の周囲に配置されている。ターゲット区画設定器32は、x軸に沿ってターゲット30を移動させ、ターゲット区画設定器33はy軸に沿ってターゲット30を移動させるようにされている。したがって、ターゲット区画設定器32,33の操作により、x‐y平面内でターゲット30の移動が調整される。x‐y平面内でのターゲット30の移動により、電子の照射付与区画が最大化される。図1‐図3に示した実施例では、上面35は、ターゲット区画設定器32,33を使用してターゲット30を移動させる間、X線源の位置が変化しないように、通常、ターゲット面41と平行になっている。再び図1を参照して言えば、X線源10が作動すると、電子ビーム源22は電子を発し、該電子が陽極24の開口に入る前に加速される。開口に入った後、電子は、ターゲット電子との相互作用前には、著しくは加速せずに移動する。ターゲット30のところで電子が突然に減速する結果、X線はあらゆる方向に分散し、出口開口34を通過するX線部分は、とりわけX線回折に使用できる。ターゲット30への反復的な照射付与により、ターゲット温度が上昇し、ターゲット材料が劣化する結果、X線源10の効率が低下する。最終的には、ターゲット30、又はX線源10全体を交換せねばならなくなる。ターゲット30の寿命を延ばすために、本発明のターゲットは、電子の入射方向に対し直角の平面内を可動であり、電子照射が付与されるターゲット30の区画を変えることができ、それによって、ターゲットに対する電子の照射付与面積を拡大することができる。図4は、縦軸線方向で見たターゲット30の略示図である。既に示したように、電子照射が付与されるターゲット30の区画はシュート28によって取り囲まれ、放射されるX線の1部は出口開口34を通過できる。選択されたターゲット区画42には、何らかの特定の時間に電子により衝撃付与される。操作員は、ターゲット区画設定器32を起動して、x軸に沿ってターゲット30を変位させることで、区画44に照射付与することができる。同じようにして、操作員は、ターゲット区画設定器33を起動して、ターゲット30をy軸に沿って変位させ、区画46に照射付与できる。ターゲット区画設定器32,33は順次に又は同時に操作できる。ターゲット30は、X線による照射付与中に変位させることができる。もちろん、X線源は、選択した区画をX線で照射付与した後、スイッチを切り、次いでターゲットを変位させた後に、再度、スイッチを入れて、新たな区画をX線に曝露することもできる。一好適実施例では、微小集束管の場合、区画42,44,46の各々は約0.05mm2を超えない。したがって、ターゲット30は約1mm2の範囲にわたって可動であり、その場合、X線源10は、ターゲットがx-y平面内で不動のままである従来に設計に比して、実質的に使用寿命が延長される。図5に見られるように、ターゲット30は、単独の開口34の場合、例えば約8°の角度θだけ傾斜させることができる。この構成では、ターゲット30は、両矢印50の方向に前進後退できるが、同じように、両矢印50の図平面に対し直角方向にも移動できる。別の構成では、図6に見られるように、1つ以上の開口34がターゲット30の上方に設けられ、これにより、各開口34を通る照準線lとターゲット30の上面とは、図5に示した角度θとは異なる或る角度δを形成する。4つ以上の開口34が設けられる構成の場合もある。どの多開口構成の場合でも、1つの開口を通過する照準線は、隣接開口を通る照準線と通常は直角方向である。既述のように、本発明のX線源は、ターゲットを移動させる効果的な微小集束能力を備えていることにより、ターゲットを変位させて、電子により照射付与される有効ターゲット区画を増すことができ、したがってX線源の耐久性を増すことができる。特に、ターゲットは、好ましくは平面的に構成され、入射電子ビーム方向と直角の2方向に独立的に移動可能である。以上、本発明を一好適実施例につき説明したが、当業者は、特許請求の範囲に記載された本発明の枠を逸脱することなしに前記好適実施例に対して種々の変更及び調節を加えることが可能である。"