"基板に付されたアライメントマークを撮像する撮像部と、前記アライメントマークを位置合せのために参照するテンプレートマークとして登録する操作を行う操作部と、前記テンプレートマークの登録及び、前記テンプレートマークと前記アライメントマークのマッチング処理を行う制御部と、前記制御部の処理内容を表示する表示部と、を備え、前記制御部は、前記テンプレートマークを登録する際に、前記テンプレートマークを登録するために撮像した画像あるいは該画像に設定される領域に対してマッチング処理を行い、アライメントマーク候補を抽出して前記表示部に表示するテンプレートマーク識別装置。前記制御部は、前記テンプレートマークを登録する時に、前記アライメントマーク候補が複数存在する場合に、相関値の第1位と第2位との相関比率を計算して、前記相関比率が予め設定された相関比率の閾値より高い場合に、マーク分別処理を追加で設定することが可能であり、運用モード時に、マッチング処理にて前記アライメントマーク候補が複数存在し、マーク分別処理が設定されている場合に、マーク分別処理を実行する請求項1記載のテンプレートマーク識別装置。前記制御部は、複数の前記アライメントマーク候補が存在する場合に、前記マーク分別処理として、前記テンプレートマーク及び前記アライメントマーク候補に含まれる特定範囲の輝度を有する画素の面積を比較する請求項2記載のテンプレートマーク識別装置。前記制御部は、複数の前記アライメントマーク候補が存在する場合に、前記マーク分別処理として、前記テンプレートマーク及び前記アライメントマーク候補を水平及び垂直方向に投影して得た投影画像の形状を比較する請求項2記載のテンプレートマーク識別装置。演算処理装置に、基板に付されたアライメントマークを撮像する手順と、前記アライメントマークを位置合せのために参照するテンプレートマークとして登録する操作が行われると、前記テンプレートマークの登録及び、前記テンプレートマークと前記アライメントマークのマッチング処理を行う手順と、前記処理の内容を表示部に表示する手順と、前記テンプレートマークを登録する際に、前記テンプレートマークを登録するために撮像した画像あるいは該画像に設定される領域に対してマッチング処理を行い、アライメントマーク候補を抽出して前記表示部に表示する手順と、を実行させるプログラム。ところで、運用モード時にサーチエリア内からアライメントマークを検出できなかった場合には、改めてFPD基板を撮影し直した上で、サーチエリアの再設定を行い、アライメントマークを再サーチしており、サーチエリアの設定作業に後戻りが生じる。また、サーチエリアの位置、大きさ等の設定を誤ったままFPD基板を撮像することによって、アライメントマークに類似するマークをテンプレートマークに一致すると誤認識する場合がある。この場合には、誤認識されたマークがFPD基板に付された位置を位置合せの基準に用いてしまうため、位置合せが正確さを欠いてしまう。本発明はこのような状況を考慮して成されたものであり、FPD基板にアライメントマークと、これに類似するマークが付されている場合であっても、確実にFPD基板の位置合せの基準となるアライメントマーク候補を抽出することを目的とする。本発明は、基板に付されたアライメントマークを撮像する撮像部と、アライメントマークを位置合せのために参照するテンプレートマークとして登録する操作を行う操作部と、テンプレートマークの登録及び、テンプレートマークとアライメントマークのマッチング処理を行う制御部と、制御部の処理内容を表示する表示部と、を備える。そして、制御部は、テンプレートマークを登録する際に、テンプレートマークを登録するために撮像した画像あるいは該画像に設定される領域に対してマッチング処理を行い、アライメントマーク候補を抽出して表示部に表示するものである。また、本発明は、演算処理装置に、上記のテンプレートマーク識別装置で処理される手順を実行させるために用いるプログラムである。本発明によれば、テンプレートマークを登録する際に、テンプレートマークを登録するために撮像した画像あるいは該画像に設定される領域に対してマッチング処理を行い、アライメントマーク候補を抽出して表示部に表示するようにしている。このため、アライメントマークに類似するマークが対象物に付されていても、アライメントマーク候補を抽出することができるため、サーチエリアの再設定等の後戻りを防止することができる。以下、本発明を実施するための形態を、図1~図9を参照しながら説明する。本実施の形態では、FPD基板30に付されたアライメントマーク15により、FPD基板30の位置合わせの基準となるテンプレートマークを登録し、このアライメントマーク15をサーチするテンプレートマーク識別装置1に適用した例以下、本例という。について説明する。このテンプレートマーク識別装置1は、以下に制御部2が行うテンプレートマーク識別方法を、ソフトウェアプログラムを実行することにより実現するものである。図1は、本発明の一実施の形態に係るテンプレートマーク識別装置1の設置例を示す。テンプレートマーク識別装置1は、アライメントマーク15を付したFPD基板30の製造工程に設置されており、不図示のフラットパネルディスプレイ組立装置に用いられる。そして、テンプレートマーク識別装置1は、テンプレートマーク26後述する図5A参照の登録作業を行う機能と、FPD基板30の位置合せの際にアライメントマーク15をサーチする機能とを有する。テンプレートマーク識別装置1と同じ製造工程には、搬送されるFPD基板30を撮像する撮像部としてのカメラ10と、FPD基板30を撮影した画像が画面20に表示される表示装置であるモニター11と、FPD基板30を載置して位置合せを行うためのステージ12とが設置されている。カメラ10の撮像素子には、CCDChargeCoupledDevicesイメージャ又はCMOSComplementaryMetalOxideSemiconductorセンサ等が用いられる。そして、カメラ10は、FPD基板30に付されたアライメントマーク15を撮像する。また、モニター11は、制御部の処理内容をグラフィカルユーザインタフェースで表示する。図2は、テンプレートマーク識別装置1の内部構成例を示す。テンプレートマーク識別装置1は、ファームウェアを組み込んだハードウェア装置であり、例えば、コンピュータのような演算処理装置である制御部2と、マウス及びキーボードから成り、ユーザが操作入力を行う操作部3と、テンプレートマーク26後述する図5A参照が登録される記憶部4とを備えている。操作部3は、テンプレートマーク26の登録作業時や位置合せの際の画像処理時に各種操作を行うために用いられる。また、操作部3は、位置合せの対象物本例では、FPD基板30に付されたアライメントマーク15を撮影した画像のうち、アライメントマーク15を位置合せに参照するテンプレートマーク26として登録する領域本例では、登録枠21後述する図4参照を設定する操作に用いられる。記憶部4は、テンプレートマーク26の画像データや画像処理時のサーチ結果を記憶するために用いられる。図1及び図2に示すように、カメラ10で撮影したFPD基板30の画像データは、テンプレートマーク識別装置1に送られた後、制御部2を介してモニター11に送られる。このとき、制御部2は、テンプレートマーク26を登録する際に、テンプレートマーク26を登録するために撮像した画像あるいは該画像に設定される領域に対してマッチング処理を行い、アライメントマーク候補を抽出してモニター11に表示する。本発明の実施の形態では、テンプレートマーク26の登録と、テンプレートマーク26及び複数のアライメントマークのパターンマッチング処理を行ってテンプレートマーク26に一致するマーク本例では、アライメントマーク15のサーチを行う制御部2の処理に特徴がある。これらの処理を説明する前提として、まず、位置合せにおける制御部2の画像処理アライメントマーク15のサーチ処理例について説明する。図3は、制御部2の画像処理として位置合せの際に行われるサーチ処理の例を示す。操作部3により、サーチ対象となる画像を確定する操作である画像取込みステップS1と、取り込んだ画像内でサーチ対象とするサーチエリア24を設定する操作ステップS2とが行われると、制御部2が、テンプレートマーク26に一致するアライメントマーク15をサーチするテンプレートマークサーチ処理ステップS3を行う。このステップS3のテンプレートマークサーチ処理では、制御部2は、第1段階1次サーチとして、サーチエリア24内の画像データと、予め登録されて記憶部4に記憶されているテンプレートマーク26の画像データとを、間引き処理によって圧縮するステップS11。そして、それらの圧縮した画像データ同士のパターンマッチングを行うステップS12ことにより、おおまかなサーチによって複数の検出点を求める。求める検出点は、例えば、後述する図4に示す四角形の登録枠21の左上の頂点である。なお、制御部2は、サーチエリア24を、テンプレートマーク26の登録処理に用いるだけでなく後述する図8を参照、FPD基板30本例ではガラスパネルに付されたアライメントマーク15をサーチする処理においても用いる後述する図9を参照。続いて制御部2は、第2段階2次サーチとして、ステップS12で求めた複数の検出点を候補点として、正規化相関サーチにより、圧縮前のサーチエリア24内の画像元の画像の候補点の近傍で圧縮前のテンプレートマーク26に形状が一致するマークをサーチしステップS13、相関値が予め設定した閾値を超える候補点を、最終的な検出点とするステップS14。このような2段階の処理を行うことにより、最初から非圧縮の画像データ同士でサーチ処理を行う場合よりも、サーチ処理を高速化することができる。ステップS3のテンプレートマークサーチ処理を終えると、制御部2は、検出に成功したか相関値が閾値を超える候補点が存在していたか否かを判断しステップS4、成功していた場合にはサーチ結果を記憶部4に格納するステップS5。失敗した場合には、モニター11にエラー表示を行うなどのエラー処理を行ってステップS6、サーチ処理を終了する。そして、このサーチ処理のステップS5で記憶されたサーチ結果に基づき、図1のステージ12上で、アライメントマーク15の位置を基準としてFPD基板30の位置合せが行われる。次に、図5Aに示すテンプレートマーク26の登録作業時における制御部2の処理について、図4を参照して説明する。図4は、テンプレートマーク26の登録作業時のモニター11の画面の表示レイアウトの例を示す図である。FPD基板30の一部を撮像した画像が表示されるモニター11の画面20上には、十字形状のアライメントマーク15と、テンプレートマーク26として登録する領域を設定するためのグラフィカルユーザインターフェースとして、登録枠21と、センターマーク22と、カーソル23と、サーチエリア24が表示される。テンプレートマーク26の登録又はサーチ時に、制御部2は、モニター11の画面上に、操作部3の操作によってテンプレートマーク26として登録する領域として用いる登録枠21と、サーチエリア24を設定するためのグラフィカルユーザインターフェースと各種のウィンドウを表示させる。登録枠21は、アライメントマーク15をテンプレートマーク26として登録する領域の大きさ及び位置を設定するための枠である。登録枠21は、操作部3に含まれるマウスのドラッグ操作によって枠のサイズの変更及び画面上での位置の移動を行うことができる。センターマーク22は、アライメントマーク15の中心を座標通知点として設定するためのマークである。このセンターマーク22は、図3のステップS12について説明したようにサーチ処理時に登録枠21の左上の頂点を検出点として求める場合に、検出点に対するアライメントマーク15の中心の位置を通知するオフセット情報の役割を持っている。センターマーク22も、マウス操作によって画面上の位置を移動させることができる。サーチエリア24は、テンプレートマーク26を基準としてアライメントマーク15をサーチする時に、マーク候補を探索するエリアを規定するために用いられる。ここで、テンプレートマーク26として登録した形状であり、本来のアライメントマーク15であるものを正常マークと呼ぶ場合があり、本来のアライメントマーク15に形状が類似した、後述するマーク16,17を類似マークと呼ぶ場合がある。サーチエリア24内に複数のマークが存在する場合には、実際にFPD基板30の位置合せを行う際に、誤って類似マークをアライメントマーク15であると誤認識して位置合せの基準に用いる可能性がある。このため、制御部2は、サーチエリア24内に含まれる正常マークだけでなく、類似マークについても予め存在を把握するため、後述する分別設定が行われる。また、モニター11の画面20上には、操作ガイダンス25がウィンドウ表示される。操作ガイダンス25は、マウスのドラッグ操作によって画面上の位置を移動させ、大きさや形状を変えることができる。操作ガイダンス25は、操作部3の操作によってアライメントマーク15をテンプレートマーク26として登録する領域を設定する際やアライメントマーク15をサーチする際のガイダンス文を表示する。操作ガイダンス25の表示内容は操作の段階に応じて変化する。図5は、正常マーク及び類似マーク並びに記憶部4に記憶されるテンプレートマーク26の例を示す。図5Aは、テンプレートマーク26の例を示す。テンプレートマーク26は、十字形の形状としてあり、後述する図8のステップS21~S30の処理において、予め記憶部4に登録される。このとき、テンプレートマーク26は、形状だけでなく、FPD基板30における座標位置と共に登録される。図5Bは、輝度が異なり、白部と黒部が反転したアライメントマーク15とマーク16をモニター11に表示した例を示す。カメラ10が撮影するアライメントマーク15を含むFPD基板30の画像は、モニター11の画面20に取得画像として表示される。この取得画像より、FPD基板30の左上隅には、図5Bの紙面上下方向y方向に2種類のマークとして、アライメントマーク15と、アライメントマーク15と同一形状のマーク16が付されている。なお、FPD基板30の左上隅は図1に示すようにステージ12からはみ出して空中に配置されている。アライメントマーク15とマーク16は、サーチエリア24内に含まれており、材質、照明等の違いによりそれぞれ輝度が異なるが、互いに類似する。制御部2は、画面20内に設定されたサーチエリア24内に複数のマークが含まれる場合に、複数のマーク毎にテンプレートマーク26として識別される可能性がある複数の候補画像を定める。複数の候補画像は互いに類似するため、制御部2は、アライメントマーク15と類似マークを分別する分別アルゴリズム後述する図6,図7参照によって動作するソフトウェアプログラムを用いてサーチエリア24から第1の候補画像31と第2の候補画像32を分別する。このとき、制御部2は、モニター11の画面20上に、操作部3の操作によってテンプレートマーク26として登録されるアライメントマーク15の周囲を含めた領域本例では、登録枠21を設定するためのグラフィカルユーザインタフェースを表示させる。ここで、テンプレートマーク26として登録されるアライメントマーク15を囲む登録枠21に含まれる画像を第1の候補画像31とし、マーク16が含まれる画像を第2の候補画像32としている。制御部2は、予め登録されたテンプレートマーク26に対して複数の候補画像を比較し、分別する分別アルゴリズムを用いて、複数の候補画像に含まれるそれぞれのマークに対して、テンプレートマーク26に一致する正常マークと類似マークとに分別する。そして、分別した結果を示す操作ガイダンスをモニター11にウィンドウ表示させる、最も高い優先順位が付された第1の候補画像31だけをサーチエリア24に含めるようにサーチエリア24の形状、大きさの変更を指示する操作ガイダンスをモニター11にウィンドウ表示させる。この分別した結果を示す操作ガイダンスをモニター11にウィンドウ表示させる処理は、アライメントマーク15のサーチ時にも行われる。ユーザは、操作ガイダンスの指示に従い、モニター11に表示される取得画像を見ながら操作部3を操作して、サーチエリア24の大きさを調整する。本例では、アライメントマーク15が含まれる第1の候補画像31がテンプレートマーク26の形状と一致するため、サーチに際して複数のマークの中から選択される優先順位が最も高い。ところで、サーチエリア24内には、第1の候補画像31に加えて、アライメントマーク15に類似するマーク16を含む第2の候補画像32が含まれているが、制御部2は、2つの候補画像から直ちにテンプレートマーク26に一致するマークを選択することはできない。このため、制御部2は、サーチエリア24内に類似マークが存在することを知らせるガイダンス文を操作ガイダンス25に表示させる。そして、類似マークマーク16を含む候補画像を除いてサーチエリア24の形状、大きさを再設定することを指示するガイダンス文を操作ガイダンス25に表示させる。このガイダンス文によりユーザは、第1の候補画像31だけを含むようにサーチエリア24の形状、大きさを再設定して、第1の候補画像31に含まれるアライメントマーク15を位置合せの基準に用いることができる。ところが、FPD基板30をステージ12により移動する際、移動誤差が発生する。そのため、サーチエリア24は移動誤差を考慮したアライメントマーク15の出現位置を包含するように設定しなければならない。その結果、変更されたサーチエリア24内に複数の候補画像が含まれる場合があるため、制御部2は、最も高い優先順位が付された候補画像以外の候補画像を類似マークとみなしてサーチエリア24から除く処理を行う。本例では、制御部2は、分別アルゴリズムを用いてサーチエリア24から第1の候補画像31と第2の候補画像32を分別し、サーチエリア24から第2の候補画像32を除く処理を行う。このようにして、制御部2は、サーチに際して、第2の候補画像32に含まれるマーク16を誤ってアライメントマーク15であると検出しないようにする。また、制御部2は、テンプレートマーク26に一致するアライメントマーク15をFPD基板30からサーチする際に、優先順位が付された第1の候補画像31と第2の候補画像32を比較し、分別する分別アルゴリズムを選択可能にモニター11にウィンドウ表示させる。そして、ユーザに正常マークである第1の候補画像31を選択させる処理を行う。これにより、ユーザは任意に分別アルゴリズムを選択し、サーチエリア24内に含まれる複数の候補画像から第1の候補画像31を選択し、第1の候補画像31に含まれるアライメントマーク15を位置合せの基準に用いることができる。図5Cは、形状の異なるアライメントマーク15とマーク17をモニター11に表示した例を示す。画面20に表示されるFPD基板30の左上隅には、図5Cの紙面左右方向x方向に2種類のアライメントマーク15とマーク17が付されている。上述したようにアライメントマーク15は十字形状であるが、マーク17は左側の凸部が欠けた形状としてある。このようにアライメントマーク15に類似するマーク17が含まれる画像を第3の候補画像33としている。この場合においても、ユーザは、第1の候補画像31だけを含むように登録枠21とサーチエリア24の形状、大きさを設定して、第1の候補画像31をテンプレートマーク26として記憶部4に登録する。サーチエリア24の形状、大きさを再設定しても第3の候補画像33がサーチエリア24内に含まれてしまう場合には、制御部2は、分別アルゴリズムを用いてサーチエリア24から第3の候補画像33を除く処理を行う。このようにして、制御部2は、第3の候補画像33に含まれるマーク17を誤ってアライメントマーク15であると検出しないようにする。図6は、輝度毎の面積比較を行う分別アルゴリズムを用いた場合におけるモニター11への表示例を示す。図6を参照して、テンプレートマーク26及び候補画像に含まれるマークに含まれる、特定の輝度を有する画素の面積を比較する処理を表す分別アルゴリズムについて説明する。図6と後述する図7で説明する分別アルゴリズムは、後述する図8と図9の処理において、制御部2が複数のマークを分別するために用いられる。図6Aは、候補画像内における輝度が高い部分の面積が、輝度が低い部分の面積より小さい場合の例を示す。第1の候補画像31では、アライメントマーク15の輝度がFPD基板30より高いため、アライメントマーク15は、第1の候補画像31内でアライメントマーク15以外の部分より明るく表示される。つまり、輝度が高い部分の面積アライメントマーク15の部分は、輝度が低い部分の面積アライメントマーク15以外の部分より小さい。図6Bは、候補画像内における輝度が高い部分の面積が、輝度が低い部分の面積より大きい場合の例を示す。第2の候補画像32では、FPD基板30の輝度がマーク16の輝度より高いため、マーク16は、第2の候補画像32内でマーク16以外の部分より暗く表示される。つまり、輝度が高い部分の面積マーク16以外の部分は、輝度が低い部分の面積マーク16の部分より大きい。制御部2は、図6A、図6Bに示されるように、複数のアライメントマーク候補が存在する場合に、マーク分別処理として、テンプレートマーク及びアライメントマーク候補に含まれる特定範囲の輝度を有する画素の面積を比較する。このとき、分別アルゴリズムを用いることによって、アライメントマーク15とアライメントマーク15以外の部分の輝度毎の面積画素数を求め、マーク16とマーク16以外の部分の輝度毎の面積画素数を求める。この結果、第1の候補画像31と第2の候補画像32における輝度が高い部分の面積が異なることが分かるため、アライメントマーク15とマーク16を明確に識別できる。そして、テンプレートマーク26の輝度が高い部分の面積を求めることにより、アライメントマーク15を正常マークとし、マーク16を類似マークとして分別できる。図7は、水平又は垂直方向x,y方向への投影画像により投影画像の凸部の幅を比較する分別アルゴリズムを用いた場合におけるモニター11への表示例を示す。図7を参照して、テンプレートマーク26及び候補画像に含まれるマークを水平又は垂直方向に投影して得た投影画像の形状を比較する処理を表す分別アルゴリズムについて説明する。図7Aは、第1の候補画像31内に含まれるアライメントマーク15を水平又は垂直方向に投影した投影画像の例を示す。このとき、水平又は垂直方向にそれぞれ投影して得られるアライメントマーク15の輝度ヒストグラムは互いに同じ山形の形状となり、凸部の幅は等しい。図7Bは、第3の候補画像33内に含まれるマークアライメントマーク15と比較されるマーク17を水平又は垂直方向に投影した投影画像の例を示す。このとき、マーク17を水平方向に投影して得られる輝度ヒストグラムは山形の形状となるが、垂直方向に投影して得られる輝度ヒストグラムは左側が欠けた形状となり、凸部の幅が異なる。制御部2は、図7A、図7Bに示されるように、複数のアライメントマーク候補が存在する場合に、マーク分別処理として、テンプレートマーク及びアライメントマーク候補を水平及び垂直方向に投影して得た投影画像の形状を比較する。このとき、アライメントマーク15とマーク17を投影して得られる投影画像の凸部の幅を比べる。この結果、第1の候補画像31と第2の候補画像32の投影画像の凸部の幅が異なることが分かるため、アライメントマーク15とマーク17を明確に識別できる。そして、テンプレートマーク26の投影画像の凸部の幅を求めることにより、アライメントマーク15を正常マークとし、マーク17を類似マークとして分別できる。このように、制御部2は、輝度の面積又は投影画像の凸部の幅に関する分別アルゴリズムを用いることにより、複数のマークから正常マークと類似マークを分別する。このため、制御部2は、サーチエリア24に複数のマークが存在していても、正常マークを位置合せの基準に用いることができる。なお、図7では、投影画像を求めるために、水平及び垂直方向に投影した例について説明したが、水平又は垂直方向のいずれかに投影して得た投影画像を用いて分別するようにしてもよい。図8は、テンプレートマーク26を記憶部4に登録し、分別設定を行う処理の例を示すPADProblemAnalysisDiagram図である。<通常のテンプレートマーク26の登録処理>まず、ユーザがアライメントマーク15を含む登録枠21を設定して、このアライメントマーク15をテンプレートマーク26として記憶部4に登録する処理について説明する。始めに、制御部2は、カメラ10がFPD基板30を撮影した画像をモニター11に表示させステップS21、操作部3からの入力を待つステップS22。このとき、ユーザは、操作部3を用いて、登録枠21の始点、終点、又は戻り点を選択する。始点とは、ユーザがモニター11の画面上でカーソル23を動かしてクリックすることにより指定する登録枠21の開始位置を示し、終点とは、始点から登録枠21の枠をドラッグした後、ドロップすることによって指定する登録枠21の終了位置を示す。この始点と終点を指定する操作により、登録枠21の大きさと形状が決まる。また、戻り点とは、例えば、登録枠21の枠内に表示されるアライメントマーク15の基準位置例えば、重心が指定される位置を示す。この戻り点を指定する操作により、登録枠21内に含まれるアライメントマーク15をテンプレートマーク26として登録することができる。ユーザが操作部3を用いて入力を選択する際に、制御部2は、始点が入力済みであるか否かを判断するステップS23。始点が入力済みであれば、操作部3により終点を入力するステップS24。一方、始点が入力済みでなければ、操作部3により始点を入力するステップS25。また、制御部2は、終点が入力済みであるか否かを判断するステップS26。終点が入力済みであれば、操作部3により新たに別の場所に始点を入力するステップS27。また、制御部2は、戻り点が入力済みであるか否かを判断するステップS28。戻り点が入力済みであれば、操作部3により新たに別の場所に戻り点を入力するステップS29。また、制御部2は、操作部3による操作入力を終了することもできるステップS30。このようにして、通常の操作では、ユーザが指定した登録枠21内にあるアライメントマーク15を含む矩形領域の画像をテンプレートマーク26として記憶部4に登録する。<分別機能の設定処理>次に、サーチエリア24内に正常マークと類似マークが存在する場合における分別機能の設定処理について説明する。ここで、分別機能とは、複数のマークに対してある特徴輝度、投影画像の幅等に注目して正常マークと類似マークを分別する機能であり、分別アルゴリズムに基づいて制御部2が実行可能である。制御部2は分別機能を有効にする分別設定が選択されると、テンプレートマーク26として登録されているアライメントマーク15を正常マークとし、アライメントマーク15以外のマーク16,17を類似マークとして分別する。この結果、サーチエリア24内に複数のマークが含まれていたとしても、ユーザがサーチエリア24を1回設定するだけで、正常マークと類似マークを適切に分別することができる。始めに、制御部2は、モニター11の全画面又はサーチエリア24内に含まれるマークについて、既に記憶部4に登録したテンプレートマーク26とのマッチング処理を実行しステップS31、サーチエリア24内あるいはカメラ10の視野内に正常マーク又は複数のマーク候補である類似マークが存在するか否かを判断するステップS32。サーチエリア24内にマーク候補が1つしかない場合、このマークが正常マークであるので、他に類似マークが見つからなければ処理を終了する。サーチエリア24内に複数のマークが存在する場合には、ステップS32の処理において、制御部2は、サーチ結果相関比率が相関比率閾値より大きいか否かを判断する。サーチ結果相関比率とは、テンプレートマークを登録する時に、マーク候補が複数存在する場合に、サーチ結果より求めた第1位の相関値と第2位の相関値を用いて、第2位の相関値÷第1位の相関値で計算される。また、チェック用相関比率閾値とはテンプレートマーク26を登録するときに適用する閾値であり、サーチ時相関比率閾値とは運用モードで適用する閾値である。チェック用相関比率閾値は、サーチ時相関比率閾値よりマージンDN例えば0.1を取ることにより、登録時に類似マークが見つかるようにする。一例として、サーチ時相関比率閾値は0.8であり、チェック用相関比率閾値は0.7とする。そして、制御部2は、サーチ結果相関比率が予め設定された相関比率閾値より高い場合に、マーク分別処理を追加で設定することが可能であり、運用モード時に、マッチング処理にてアライメントマーク候補が複数存在し、マーク分別処理が設定されている場合に、マーク分別処理を実行する。制御部2は、マークの正規化相関値が上述したチェック用相関比率閾値の範囲内とした条件を満たす正規化相関値を有する複数のマークを検出すると、モニター11に類似マークが存在することを知らせるガイダンス文を表示させるステップS33。このとき、ユーザは、操作部3を用いて、分別設定を行うか否か判断するステップS34。操作部3によって分別設定することが選択されると、制御部2は、サーチエリア24内に含まれるマークの分別設定に移行するステップS35。分別設定では、制御部2は、図6と図7で説明した輝度毎の面積又は投影画像の幅の相違を検出する複数の分別アルゴリズムを実行し、正常マークと類似マークを分別するために適した分別アルゴリズムを求める。一方、操作部3によって分別設定することが選択されなければ、制御部2は、類似マークが含まれる候補画像を分別設定しないステップS36。ステップS31,S32の処理において、類似マークが存在しなければ、制御部2は、最も優先順位が高い候補画像本例では、第1の候補画像31をテンプレートマーク26として記憶部4に登録するか否かの指示をユーザに促すガイダンス文を操作ガイダンス25に表示させるステップS37。アライメントマーク15をテンプレートマーク26として登録する場合、操作部3の指示に従って、制御部2は、第1の候補画像31をテンプレートマーク26として記憶部4に登録するステップS38。一方、第1の候補画像31をテンプレートマーク26として登録しない場合、操作部3の指示に従って、制御部2は、第1の候補画像31をテンプレートマーク26として登録する処理をキャンセルしステップS39、登録処理を終了する。図9は、運用モード時のアライメントマーク15のサーチにおけるマークとテンプレートマーク26のマッチング処理の例を示す。制御部2は、サーチエリア24内に含まれる様々なマークとテンプレートマーク26のマッチング処理の実行を開始するステップS41。次に、制御部2は、テンプレートマーク26に対する各マークの正規化相関値を求め、最も高い正規化相関値を第1位の相関値として定め、この第1位の相関値がサーチ時相関比率閾値を超えるか否かを判別することによりステップS42、サーチエリア24内に何らかのマークが含まれるか否かを判断する。ステップS42の処理において、サーチエリア24に含まれるマークについて、テンプレートマーク26に対する正規化相関の値がサーチ時相関比率閾値より大きい場合に、制御部2は、サーチエリア24内に何らかのマークが含まれると判断する。図5Bを例に挙げると、制御部2は、第1の候補画像31と第2の候補画像32について、それぞれテンプレートマーク26に対する正規化相関値を求め、サーチ時相関比率閾値を超えた場合にサーチエリア24内にマークが存在すると判断する。このとき、サーチエリア24内に第1の候補画像31と第2の候補画像32が存在しているため、制御部2は、2つのマークがサーチエリア24内に存在すると判断する。なお、テンプレートマークの登録時には、第1の候補画像31がテンプレートマーク26として登録されるため、第1の候補画像31の正規化相関値が最も高く、第2の候補画像32の正規化相関値が次に高い。このため、以下の説明では、正規化相関値が最も高い候補画像の正規化相関値について順に、第1位の相関値、第2位の相関値と呼ぶ。そして、サーチエリア24内にマークが複数n個ある場合には、マークの正規化相関値が高い順に、第3位の相関値、第4位の相関値...第n位の相関値と呼ばれる。ここで、第2位の相関値を第1位の相関値で除して得た比をサーチ結果相関比率と呼ぶ。上述したように制御部2は、サーチに際して、サーチエリア24内に含まれる候補画像の有無を判別する。そして、サーチエリア24内に複数の候補画像が含まれる場合に、最も高い優先順位が付された候補画像の次に高い優先順位が付された候補画像の相関値に対する最も高い優先順位が付された候補画像の相関値の比をサーチ結果相関比率として求め、このサーチ結果相関比率が所定値より小さいか否かを判断するステップS43。このサーチ結果相関比率は、サーチエリア24内に含まれると判別された全てのマークの正規化相関値に対して求められる。第1の候補画像31と第2の候補画像32によって求められたサーチ結果相関比率が所定値より小さい場合に、制御部2は、最も高い優先順位が付された第1の候補画像31がテンプレートマーク26に一致するため、アライメントマーク15をサーチエリア24内で検出できたと判断する。そして、この第1の候補画像31に含まれるアライメントマーク15の座標をFPD基板30の位置合せに用いる座標として採用するステップS44。サーチ結果相関比率が所定値より小さい場合とは、例えば、サーチエリア24内に1つのマークしか存在せず、第2位の相関値が得られなかった場合が想定される。この場合に、第1位の相関値がサーチ結果相関比率の分母とされ、第2位の相関値ゼロが分子とされることにより、サーチ結果相関比率はゼロとなる。このとき、サーチ結果相関比率が所定値より小さくなるため、制御部2は、サーチエリア24内に含まれる第1の候補画像31より、アライメントマーク15のサーチに成功したと判断できる。制御部2は、サーチ結果相関比率が所定値以上である場合、サーチエリア24内には、互いに類似する複数のマークが含まれると判断し、分別設定がされているか否かを判断するステップS45。ここで、サーチ結果相関比率が所定値以上であるとは、第1の候補画像31と第2の候補画像32が互いに類似しており、類似マークを正常マークであると誤検出する可能性があることを意味する。このため、図8のステップS35で説明したように、分別設定がされている場合には、制御部2は、分別アルゴリズムを用いて、第1の候補画像31と第2の候補画像32にそれぞれ適用する。この処理では、分別設定がされた際に、第1の候補画像31と第2の候補画像32を効率的に分別することが可能な分別アルゴリズムが用いられる。分別設定がされている場合、制御部2は、サーチ結果相関比率が所定値以上である候補画像に含まれるマークを全て選択した上でステップS46、分別アルゴリズム図6,図7を参照を実行するステップS47。分別アルゴリズムを実行することにより、複数のマークから正常マークと類似マークを分別することができる。次に、制御部2は、分別アルゴリズムの実行によってマークを検出して得られたことを示すOKが1個であるか否かを判断するステップS48。OKが1個である場合、制御部2は、正常マークのサーチが成功したものとして、OKとなった第1の候補画像31に含まれるアライメントマーク15座標を位置合せの基準として採用するステップS49。一方、OKが複数である場合、制御部2は、サーチエラーとして、モニター11に類似マークがあります。と表示させステップS50、アラームコードに類似マークがあったことを知らせる類似マークエラーを付して、不図示のPLCにアラームコードを送信するステップS51。このとき、テンプレートマーク識別装置1は、図8に示すテンプレートマーク26の登録処理に戻り、新たに別のアライメントマークをテンプレートマーク26として登録する処理を行う。ステップS45の処理において、分別設定がされていないと判断した場合、制御部2は、サーチエラーとして、モニター11に類似マークがあります。と表示させステップS52、アラームコードに類似マークエラーを付して、不図示のPLCにアラームコードを送信するステップS53。このとき、テンプレートマーク識別装置1は、図8に示すテンプレートマーク26の登録処理に戻り、新たに別のアライメントマークをテンプレートマークとして登録する処理を行う。また、ステップS42の処理において、制御部2は、サーチエリア24内にマークが含まれないと判断した場合、サーチエリア24を再設定し、アライメントマーク15を再サーチするリトライサーチを実行するか否かを判断するステップS54。リトライサーチを実行する場合ステップS55、FPD基板30に対するサーチエリア24の位置と大きさを変えた後、再度アライメントマーク15をサーチする処理を行うため、ステップS41からサーチ処理を繰り返す。一方、リトライサーチが失敗又は未実行である場合ステップS56、制御部2は、サーチエラーとして、モニター11にマークが見つかりません。と表示させステップS57、マッチング処理を終了する。以上説明した本実施の形態に係るテンプレートマーク識別装置1によれば、テンプレートマーク26を登録するために撮像した画像あるいは該画像に設定される領域に対してマッチング処理を行い、アライメントマーク候補を抽出してモニター11に表示するようにしている。このため、アライメントマーク15に類似するマークが対象物に付されていても、アライメントマーク15と、類似するマークを適切に分別することができる。このとき、制御部2は、テンプレートマーク26の登録に際して、サーチエリア24内に含まれるアライメントマーク15をテンプレートマーク26として登録する。そして、サーチエリア24におけるアライメントマーク15を含めた複数のマークにそれぞれ候補画像として優先順位を付け、分別アルゴリズムを用いてマークの分別設定を行う。このため、テンプレートマーク26の登録段階で、検出した複数のマークに対して、アライメントマークのサーチ時にはどの分別アルゴリズムを用いるかを分別設定することができる。これにより、サーチエリア24を設定する回数が少なくても、複数のマークから効率的にマークを分別することができ、サーチエリアの再設定やテンプレートマーク26の登録作業の後戻りを防止することができる。また、制御部2は、記憶部4にテンプレートマーク26を登録した後、画面20の全体をサーチすることによって、類似マークが存在することをモニター11に表示する。そして、サーチエリア24の形状、大きさを変えるためにモニター11にガイダンス文を表示してユーザに注意を促す。このため、ユーザは、テンプレートマーク26と同一形状のアライメントマーク15の近くに存在する類似マークに気づくことができ、類似マークをテンプレートマーク26への登録対象から除くことができる。また、制御部2は、テンプレートマーク26の登録に際してサーチエリア24内に類似マークを含めなければならない場合、優先順位が最も高いアライメントマーク15を正常マークとし、優先順位が下位であるマーク16,17を類似マークとして分別し、マークを分別するために用いた分別アルゴリズムを記憶部4に記憶させる。そして、運用モードにおけるサーチ時には、サーチエリア24内に含まれるマークに対して、記憶部4に記憶させた分別アルゴリズムを用いることで確実に正常マークと類似マークを分別することができる。このため、ユーザは、正常マークとして分別されたアライメントマーク15をFPD基板30の位置合せの基準として用いることができる。また、制御部2は、分別アルゴリズムとして、図6に示した輝度を用いる方法、図7に示した投影画像の形状を用いる方法のいずれかを適宜選択することができる。このため、ある分別アルゴリズムを用いても正常マークと類似マークを適切に分別できない場合であっても、別の分別アルゴリズムを用いることで適切にマークを分別することが可能となる。なお、本発明は上述した実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りその他種々の応用例、変形例を取り得ることは勿論である。"