"カーボンナノチューブと、非極性溶媒である第1の有機溶媒と、該第1の有機溶媒より極性が高く且つ該第1の有機溶媒と相溶する第2の有機溶媒とを混合して得られる、カーボンナノチューブ分散液。分散剤を用いることなく前記カーボンナノチューブが分散している、請求項1に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記カーボンナノチューブの含有量が1ppmから100ppmの範囲にある、請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1の有機溶媒と前記第2の有機溶媒の含有量の質量比が1/9から9/1の範囲にある、請求項1から3のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1有機溶媒と前記第2有機溶媒との混合液の沸点が100°Cから280°Cの範囲にある、請求項1から4のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1の有機溶媒の比誘電率が2.5未満であり、前記第2の有機溶媒の比誘電率が3以上である、請求項1から5のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1の有機溶媒は、沸点が110°C以上260°C以下の炭化水素である、請求項1から6のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1の有機溶媒は、炭素数8~18の鎖式飽和炭化水素である、請求項1から7のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1の有機溶媒は、n-デカン、n-ドデカン、n-テトラデカンから選ばれる少なくとも1種の溶媒である、請求項1から6のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1の有機溶媒は、炭素数7~9の芳香族単環炭化水素である、請求項1から7のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第1の有機溶媒は、トルエン、キシレン、メシチレンから選ばれる少なくとも1種の溶媒である、請求項1から6のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、炭素数4~12のグライム類である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテルから選ばれる少なくとも1種の溶媒である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、炭素数5~8のグリコールアセテート類である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートから選ばれる少なくとも1種の溶媒である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、アミド類である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミドから選ばれる少なくとも1種の溶媒である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、炭素数3~6の一価の脂肪族アルコール類である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、イソプロピルアルコールである、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、炭素数2~6のハロゲン化脂肪族炭化水素である、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記第2の有機溶媒は、1,2-ジクロロエタンである、請求項1から11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。昇華点が220°C以下の昇華性有機物が添加されている、請求項1から21のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。アズレン又はグアイアズレンが添加されている、請求項1から22のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブである、請求項1から23のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液。基板上にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート電極の両側にソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に、該ソース電極及び該ドレイン電極と接するように半導体チャネル層を形成する工程を有し、前記半導体チャネル層の形成工程は、請求項1から24のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブ分散液を塗布または印刷し、乾燥する工程を含む、半導体装置の製造方法。CNTのランダムネットワークは、前述したように、CNT分散液の塗布または印刷により形成できる。この方法によれば表示装置の大面積化が低コストで実現可能であると共に、そのプロセス温度が低く、基板材料の制限が少ない。そのため、ガラス基板上にシリコン系のTFTを形成する方法に比べて、大幅に製造コストを抑えることが可能である。しかしながら、通常のCNT分散液には不揮発性の分散剤が含まれているため、CNT分散液を塗布または印刷し、溶媒を除去した後、分散剤が残留する問題がある。特に、CNTランダムネットワークの電気伝導性を利用する際には、この問題は大きな障害となる。分散剤を使用しないでCNTを分散できる有機溶媒として、1,2-ジクロロエタンがある。1,2-ジクロロエタンは沸点が83.7°Cであるため、十分に揮発させることができる。しかしながら、CNT濃度が充分に薄くなければ分散せず、また、このようなCNT分散液は、印刷後にCNTが偏析しやすく、均一性に劣るランダムネットワークが形成されるという問題がある。図1に、分散剤を用いず、溶媒に1,2-ジクロロエタンのみを使用したCNT分散液の印刷後の状態を、コンダクティブ原子間力顕微鏡C-AFMで観察した結果を示す。図1の左側Aは段差像を示し、右側Bは電流像を示す。電流像において偏在している濃色部分が、実際に通電しているアクティブな電流チャネルを示している。左側の段差像Aでは、CNTが均一性よく分布しているように見えるが、右側の電流像Bでは、アクティブな電流チャネルの均一性が低いことがわかる。また、印刷時に、インク液滴の乾燥条件が不適当であると、液滴内部に生じる対流の影響でコーヒーステインと呼ばれるリング状のしみが生じることが知られている。このようなコーヒーステインが発生する不適当な条件で、1,2-ジクロロエタンを用いた上記CNT分散液を印刷すると、さらに均一性が劣化する。図2に、上記CNT分散液の印刷で生じたコーヒーステインを、C-AFMで観察した結果を示す。図2の左側Aは段差像を示し、右側Bは電流像を示す。図2の電流像では、通電箇所は白い部分で示している。縞状にCNTの密度が極度に大きい部分と、ほとんどCNT無い部分が生じている。通電部分では、CNT密度が大きすぎて、金属的な電気伝導を示し、薄膜トランジスタのチャネルには適さない。コーヒーステインは、前述のように、液滴の対流に起因した現象であり、液滴の対流を減らすことにより抑制することができる。液滴の対流を低減するためには、液滴を小さくしたり、分散液の粘度を大きくしたりすること等が有効であると考えられる。しかしながら、1,2-ジクロロエタンは、沸点が83.7°Cと低く、蒸気圧も高いために、インクジェットなどの微細なノズルから極微量の液滴を吐出しようとすると、室温下ではノズル内部で揮発するため、安定に微細な液滴を印刷することができない。さらに、1,2-ジクロロエタンの粘度は、0.84mPasと小さく、このような小さい粘度も、安定な液滴の形成と、乾燥時の均一なCNTネットワークの形成を阻害する要因となっている。本発明の目的は、分散安定性の高いCNT分散液を提供することである。また、本発明の他の目的は、CNT分散液を用いてCNTのランダムネットワークからなる電流通路を形成することにより、電気特性に優れた半導体装置を提供することにある。本発明の一態様によれば、カーボンナノチューブと、非極性溶媒である第1の有機溶媒と、該第1の有機溶媒より極性が高く且つ該第1の有機溶媒と相溶する第2の有機溶媒とを混合して得られる、カーボンナノチューブ分散液が提供される。このカーボンナノチューブ分散液は、分散剤を用いることなくカーボンナノチューブが分散しているものである。本発明の他の態様によれば、基板上にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート電極の両側にソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、前記ソース電極と前記ドレイン電極の間に、該ソース電極及び該ドレイン電極と接するように半導体チャネル層を形成する工程を有し、前記半導体チャネル層の形成工程は、上記のカーボンナノチューブ分散液を塗布または印刷し、乾燥する工程を含む、半導体装置の製造方法が提供される。本発明によれば、安定なCNTの分散液を得ることができる。また、本発明のCNT分散液は、CNT以外は気化して除去可能な成分のみで構成されている。したがって、本発明のCNT分散液を用いて形成したCNTランダムネットワークは、電気伝導を阻害する物質が残留しないために、薄膜トランジスタ等の電子デバイスの電流通路に好適である。また、本発明によるCNT分散液を用いた製造方法によれば、均一性に優れたCNTランダムネットワークを形成できるので、電気的特性に優れた半導体装置を提供できる。さらに、本発明によるCNT分散液を用いて印刷法や塗布法でCNTランダムネットワークを形成する製造方法によれば、低コストで、大型の半導体装置を提供できる。本実施形態によるカーボンナノチューブ分散液CNT分散液は、カーボンナノチューブと、非極性溶媒である第1の有機溶媒と、この第1の有機溶媒より極性が高く且つこの第1の有機溶媒と相溶する第2の有機溶媒とを混合して得られ、分散剤を添加しなくてもカーボンナノチューブが分散しているものである。第1の有機溶媒と第2の有機溶媒の質量比は、より安定な分散液を得る点から、1/9から9/1の範囲にあることが好ましく、1/4~4/1の範囲にあることがより好ましい。第1の有機溶媒は、炭化水素を用いることができる。沸点が110°C以上260°C以下の炭化水素を好適に用いることができる。第1の有機溶媒は、脂肪族炭化水素を用いることができ、例えば炭素数8~18鎖式飽和炭化水素を用いることができ、特に直鎖飽和炭化水素、例えばn-デカン、n-ドデカン、n-テトラデカンから選ばれる少なくとも1種の溶媒を用いることができる。また、第1の有機溶媒は、芳香族炭化水素を用いることができ、例えば炭素数7~9の芳香族単環炭化水素を用いることができ、特にトルエン、キシレン、メシチレンから選ばれる少なくとも1種の溶媒を用いることができる。第2の有機溶媒は、第1の有機溶媒と相溶する極性溶媒を用いることができる。第2の有機溶媒は、グライム類を用いることができ、炭素数4~12のグライム類が好ましい。グライム類としては、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテルが挙げられる。これらの中でも、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテルから選ばれる少なくとも1種の溶媒が好ましい。また、第2の有機溶媒は、酢酸エステル類を用いることができ、例えば酢酸エチルやグリコールアセテート類、特にエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートから選ばれる少なくとも1種の溶媒を用いることができる。また、第2の有機溶媒は、アミド類を用いることができ、例えばN-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミドから選ばれる少なくとも1種の溶媒を用いることができる。また、第2の有機溶媒は、アルコール類を用いることができ、例えば炭素数3~6の一価の脂肪族アルコール類を用いることができ、特にイソプロピルアルコールを用いることができる。また、第2の有機溶媒は、ハロゲン化炭化水素を用いることができ、例えば炭素数2~6の脂肪族炭化水素のハロゲン化物、特に1,2-ジクロロエタンを用いることができる。本発明において、第1有機溶媒としては、沸点や浸食性、取り扱い性等の観点から、炭素数8~18の鎖式飽和炭化水素が好ましく、炭素数8~18の直鎖飽和炭化水素がより好ましく、特に、n-デカン、n-ドデカン、n-テトラデカンから選ばれる少なくとも1種の溶媒が好ましい。第2有機溶媒としては、沸点や侵食性等の観点から、グライム類、グリコールアセテート類が好ましく、炭素数4~12のグライム類、炭素数5~8のグリコールアセテート類がより好ましく、特に、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートから選ばれる少なくとも1種以上の溶媒が好ましい。さらに取り扱い性等の観点から、グライム類が好ましく、炭素数4~12のグライム類がより好ましく、特に、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテルから選ばれる少なくとも1種以上の溶媒が好ましい。本発明において、第1の有機溶媒としては、比誘電率が2.5未満の溶媒を用いることができ、第2の有機溶媒は、第1の有機溶媒の比誘電率より大きい比誘電率をもつ溶媒を用いることができる。十分な分散効果を得る点から第2の有機溶媒の比誘電率は3以上が好ましく、4以上がより好ましく、5以上がさらに好ましい。本発明において、第1有機溶媒と第2有機溶媒との混合液の沸点は、印刷や塗布時の乾燥を抑えて良好な電流通路CNTランダムネットワークを形成する点から、100°C以上が好ましく、150°C以上がより好ましく、200°C以上がさらに好ましい。このような沸点の混合液を用いることにより、特にインクジェット法による印刷においてノズル部の乾燥を抑えることができ、良好な印刷が可能になる。他方、印刷後や塗布後の乾燥時間や重ね塗りを良好に行う観点から、この混合液の沸点は280°C以下であることが好ましく、250°C以下であることがより好ましい。本発明のCNT分散液中のCNT濃度は、より十分な電気特性を有する電流通路を形成する点から、1ppm以上が好ましく、5ppm以上がより好ましい。他方、CNT分散液の分散安定性や印刷後または塗布後のCNT分布の均一性の観点から、CNT濃度は100ppm以下が好ましく、50ppm以下がより好ましい。本発明における分散とは、溶媒に溶解しない固形物CNTが当該溶媒第1の有機溶媒と第2の有機溶媒の混合液中に一様に浮遊あるいは懸濁している状態を意味する。また、分散液の調製直後から少なくとも70時間は、分散状態を維持できることを意味する。液中の特定の部分例えば底や表面、液内領域に固形物が集まって析出したり、その析出物が浮遊したりしていることが目視で判別できる状態は分散とはいわない。本発明において、第1有機溶媒と第2有機溶媒の混合液は、当該第1有機溶媒と第2有機溶媒とが相溶し、均一な液体の状態のものをいう。本発明のCNT分散液は、一般に固体粒子を液中へ分散させるための分散剤として使用されるイオン性界面活性剤や非イオン性界面活性剤を用いることなく、CNTが分散しているものである。このCNT分散液は、第1の有機溶媒と第2の有機溶媒とCNTのみから構成することができる。これにより、塗布または印刷されたCNT分散液から溶媒を除去した後、分散剤が残留することなく、CNTのみからなる電気特性に優れたCNTランダムネットワークを形成することができる。本発明に用いられるCNTは、単層のチューブ形状のシングルウォールカーボンナノチューブSingleWalledCarbonNanoTube:SWCNTが好ましく、その直径及び長さに特に制限はないが、直径0.7nm~2nm、長さ0.5μm~2.0μmのものが好適に用いられる。SWCNTの端部については、カルボキシル基や水酸基等で修飾されて端面が開いているものと、官能基で修飾されずに閉じているものが存在するが、本発明で使用する際には、端部の構造は限定されない。本発明のCNT分散液には、溶媒とともに気化できる他の成分を添加してもよい。例えば、ナフタレンやアダマンタン等の昇華性有機物を増粘剤として添加したり、アズレンやグアイアズレン等の揮発性の高い有機物を着色剤として添加することができる。以下、本発明の実施形態のCNT分散液および半導体装置の製造方法について説明する。[第1の実施形態]本実施形態では、非極性の第1の有機溶媒としてキシレンを用い、第2の有機溶媒として種々の極性有機溶媒を用いた100mlの混合溶媒に対して、1mgの割合で単層CNTSWCNTを加え、さらに超音波を照射し、約10ppmの濃度のCNT分散液を調整した。ここで使用した単層CNTは、あらかじめ強酸処理が施され、CNTの合成時に使用された微小な金属触媒、CNTと同時に生成されたアモルファスカーボンなどが取り除かれ、CNTの純度が高められている。このような強酸処理を経て純度が高められた単層CNTでは、表面にカルボキシル基などの官能基が付与され、分散性に寄与することが一般に知られている。この単層CNTは、HipcoHighPressureCarbonmonooxide法により作製されたものCNI社製、purifiedgrade、直径1.0~1.2nm、長さ1.0~1.5μmを用いた。後述の各実施形態においても同様の単層CNTを用いた。本実施形態の混合溶媒は、非極性の第1の有機溶媒としてキシレンm-キシレンの誘電率は2.374を用い、第1の有機溶媒と混合する第2の有機溶媒として、1,2-ジクロロエタン誘電率は10.3、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル誘電率は5.97、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、N-メチル-2-ピロリドン誘電率は32.0を用いた。第1の有機溶媒であるキシレンと第2の有機溶媒の混合比質量比は1:1とした。比較例として、第2の有機溶媒として、n-テトラデカンを用いた分散液、メシチレン誘電率は2.279を用いた分散液を調製した。また、混合溶媒に代えてキシレン単独100キシレン溶媒を用いた分散液を調製した。なお、n-テトラデカンの誘電率は、同じアルカン類で同様な分子構造のn-ドデカン、n-デカンの誘電率がそれぞれ2.016、1.991であるので、n-テトラデカンの誘電率は2程度と推定できる。また、トリエチレングリコールジメチルエーテルとジエチレングリコールジエチルエーテルの誘電率は、同じグライム類で同様な複数のエーテル結合を有するジエチレングリコールジメチルエーテルの誘電率が5.97であるので、トリエチレングリコールジメチルエーテルとジエチレングリコールジエチルエーテルの誘電率は6程度と推定できる。ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートの誘電率は、同じエステル類の酢酸エチルの誘電率は6.053であるので、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートの誘電率は6程度と推定できる。図3に、超音波照射から70時間経過後のCNT分散液の様子を示した。キシレン非極性の第1の有機溶媒とn-テトラデカンの混合液を用いたCNT分散液A、キシレンとメシチレンの混合液を用いたCNT分散液B、および、キシレン単独溶媒Cを用いたCNT分散液では、CNTが互いに凝集し、沈殿している。これらに対して、キシレンと1,2-ジクロロエタンの混合液を用いたCNT分散液D、キシレンとトリエチレングリコールジメチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液E、キシレンとジエチレングリコールジエチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液F、キシレンとジエチレングリコールジメチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液G、キシレンとジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートの混合液を用いたCNT分散液H、キシレンとN-メチル-2-ピロリドンの混合液を用いたCNT分散液Iでは、CNTが安定に分散している。このように、誘電率の小さな非極性の単環の芳香族炭化水素と、より誘電率が大きい極性の有機溶媒の混合溶媒は、分散剤を使用することなくCNTを安定に分散することができる。ここで用いられた溶媒は、いずれも室温25°C下で適度な蒸気圧を有するため、このような混合溶媒を用いたCNT分散液を塗布または印刷し、乾燥させることで、電流通路に適したCNTのランダムネットワークを形成することができる。[第2の実施形態]本実施形態では、非極性の第1の有機溶媒としてn-テトラデカンを用い、第2の有機溶媒として種々の極性有機溶媒を用いた100mlの混合溶媒に対して、1mgの割合で単層CNTを加え、さらに超音波を照射し、約10ppmの濃度のCNT分散液を調整した。ここで使用した単層CNTは、第1の実施形態で使用したものと同様なものを用いた。本実施形態の混合溶媒は、非極性の第1の有機溶媒としてn-テトラデカンを用い、第1の有機溶媒と混合する第2の溶媒として、1,2-ジクロロエタン誘電率は10.3、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル誘電率は5.97、イソプロピルアルコール誘電率は18.62を用いた。第1の有機溶媒であるn-テトラデカンと第2の有機溶媒の混合比質量比は1:1とした。比較例として、第2の有機溶媒として、n-ドデカン誘電率は2.016を用いた分散液、n-デカン誘電率は1.991を用いた分散液、メシチレン誘電率は2.279を用いた分散液、キシレンm-キシレンの誘電率は2.374を用いた分散液を調製した。また、混合液が層分離する例として、第2の有機溶媒として、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを用いた分散液、N-メチル-2-ピロリドン誘電率は32.0を用いた分散液を調製した。また、混合溶媒に代えてn-テトラデカン単独100n-テトラデカン溶媒を用いた分散液を調製した。図4に、超音波照射から70時間経過後のCNT分散液の様子を示した。n-テトラデカン単独溶媒を用いたCNT分散液A、n-テトラデカン非極性の第1の有機溶媒とn-ドデカンの混合液を用いたCNT分散液B、n-テトラデカンとn-デカンの混合液を用いたCNT分散液C、n-テトラデカンとメシチレンの混合液を用いたCNT分散液D、n-テトラデカンとキシレンの混合液を用いたCNT分散液Eでは、CNTが互いに凝集し、沈殿している。また、n-テトラデカンとジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートの混合液を用いたCNT分散液J、n-テトラデカンとN-メチル-2-ピロリドンの混合液を用いたCNT分散液Kは、2層に分離している。これらに対して、n-テトラデカンと1,2-ジクロロエタンの混合液を用いたCNT分散液F、n-テトラデカンとトリエチレングリコールジメチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液G、n-テトラデカンとジエチレングリコールジエチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液H、n-テトラデカンとジエチレングリコールジメチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液I、n-テトラデカンとイソプロピルアルコールの混合液を用いたCNT分散液Lでは、CNTが安定に分散している。このように、誘電率の小さなアルカン型の非極性炭化水素と、より誘電率が大きい極性有機溶媒の混合溶媒は、溶媒が二相分離しない限り、分散剤を使用することなく安定にCNTを分散することができる。ここで用いられた溶媒は、いずれも室温25°C下で適度な蒸気圧を有するため、このような混合溶媒を用いたCNT分散液を塗布または印刷し、乾燥させることで、電流通路に適したCNTのランダムネットワークを形成することができる。[第3の実施形態]本実施形態では、極性の第2の有機溶媒として1,2-ジクロロエタンを用い、第1の有機溶媒として種々の非極性有機溶媒を用いた100mlの混合溶媒に対して、1mgの割合で単層のCNTを加え、さらに超音波を照射し、約10ppmの濃度のCNT分散液を調整した。ここで使用した単層CNTは、第1の実施形態で使用したものと同様なものを用いた。本実施形態の混合溶媒は、極性の第2の有機溶媒として1,2-ジクロロエタン誘電率は10.3を用い、第1の有機溶媒として、n-テトラデカン、メシチレン誘電率は2.279、キシレンm-キシレンの誘電率は2.374を用いた。第1の有機溶媒と第2の有機溶媒である1,2-ジクロロエタンの混合比質量比は1:1とした。比較例として、第1の有機溶媒として、トリエチレングリコールジメチルエーテルを用いた分散液、ジエチレングリコールジエチルエーテルを用いた分散液、ジエチレングリコールジメチルエーテル誘電率は5.97を用いた分散液、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを用いた分散液、N-メチル-2-ピロリドン誘電率は32.0を用いた分散液、イソプロピルアルコール誘電率は18.62を用いた分散液を調製した。また、混合溶媒に代えて1,2-ジクロロエタン単独1,2-ジクロロエタン100溶媒を用いた分散液を調製した。図5に、超音波照射から70時間経過後のCNT分散液の様子を示した。1,2-ジクロロエタン極性の第2の有機溶媒とn-テトラデカンの混合液を用いたCNT分散液A、1,2-ジクロロエタンとメシチレンの混合液を用いたCNT分散液B、1,2-ジクロロエタンとキシレンの混合液を用いたCNT分散液Cは、CNTを安定に分散している。また、1,2-ジクロロエタン単独溶媒を用いたCNT分散液Dは、前述したようにCNTを分散している。これらに対して、1,2-ジクロロエタンとトリエチレングリコールジメチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液E、1,2-ジクロロエタンとジエチレングリコールジエチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液F、1,2-ジクロロエタンとジエチレングリコールジメチルエーテルの混合液を用いたCNT分散液G、1,2-ジクロロエタンとジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートの混合液を用いたCNT分散液H、1,2-ジクロロエタンとN-メチル-2-ピロリドンの混合液を用いたCNT分散液I、1,2-ジクロロエタンとイソプロピルアルコールの混合液を用いたCNT分散液Jでは、CNTが互いに凝集し、沈殿している。このように、誘電率の小さな非極性のアルカン型の炭化水素、あるいは、単環の芳香族炭化水素と、より誘電率が大きい1,2-ジクロロエタンの混合溶媒は、分散剤を使用することなくCNTを安定に分散することができる。本実施形態で用いられた溶媒は、いずれも室温25°C下で適度な蒸気圧を有するため、このような混合溶媒を用いたCNT分散液を塗布または印刷し、乾燥させることで、電流通路に適したCNTのランダムネットワークを形成することができる。[第4の実施形態]本実施形態では、非極性の第1の有機溶媒としてn-テトラデカンを用い、極性の第2の有機溶媒としてトリエチレングリコールジメチルエーテルを用い、第1の有機溶媒と第2の有機溶媒の混合比質量比の異なる分散液を調製した。100mlの混合溶媒に対して、1mgの割合で単層CNTを加え、さらに超音波を照射し、約10ppmの濃度のCNT分散液を調製した。ここで使用した単層CNTは、第1の実施形態で使用したものと同様なものを用いた。図6には、n-テトラデカンの割合質量が0トリエチレングリコールジメチルエーテルの割合が100、25、50、75のCNT分散液の分散状態を示し、図7には、n-テトラデカンの割合質量が25、50、75、100トリエチレングリコールジメチルエーテルの割合が0のCNT分散液の分散状態を示す。いずれのCNT分散液も、超音波照射してから70時間経過後の状態である。これらの図より明らかなように、混合溶媒を用いたCNT分散液は、混合溶媒の混合比によらず、安定した分散性を示している。このような混合比の自由度の高さは、CNT分散液の利用形態に応じた溶媒設計を可能にし、CNT分散液の適用範囲を広げることができる。本実施形態で用いたn-テトラデカンのようなアルカン類、トリエチレングリコールジメチルエーテルのようなグライム類は、ともに直鎖状の分子構造をもち、分子量が大きくなるにつれて分子鎖が長くなり、粘度と沸点がともに高くなる傾向がある。したがって、溶媒の種類や混合比を適宜変更することによって、CNTランダムネットワークの形成の際、CNT分散液の塗布や印刷の手法に応じて粘度と沸点を調整することが可能になる。例えば、スピンコート法などの塗布法を用いる場合は、CNT分散液の粘度は低く、溶媒の沸点は低めに設定すると、均一なCNTランダムネットワークを形成しやすい。このような場合は、アルカン類、グライム類ともに低分子量体が適している。これに対して、インクジェットプリンタやディスペンサなど、微細なノズルから微小な液滴を吐出する印刷描画法を用いる場合は、溶媒の沸点が低いと微細なノズル内で溶媒が揮発し、ノズルが詰まり易くなる。また、溶媒の粘度が高い方が吐出時の液滴形状が安定し、さらに、液滴が基板に着弾した後の印刷描画パターンの安定性も高い。したがって、このような印刷描画法を用いる場合は、沸点が高く、粘度がより大きい、分子量の大きいアルカン類、グライム類が適している。本実施形態で用いたn-テトラデカンとトリエチレングリコールジメチルエーテルの沸点はそれぞれ、252.5°C及び216°Cであり、これらの混合溶媒を用いたCNT分散液は、印刷中にノズル内で揮発しにくく、安定な印刷が可能である。また、粘性率もそれぞれ、2.06CPmPas及び3.80CPmPasと大きく、吐出時の液滴形状および印刷描画パターンの安定性にも優れている。尚、どちらの溶媒も、室温では充分な蒸気圧があることと、微細な液滴では表面が活性になることから、基板上の印刷描画パターンでの蒸発乾燥は実用上、問題がない。より高速に乾燥させるためには、印刷後に減圧環境下で保持することが特に効果的である。乾燥した後に、さらに、180°C程度の高温環境下で保持することで、残留した溶媒成分を揮発させることも可能である。さらに、アルカン類とグライム類の混合溶媒を用いたCNT分散液には以下の利点がある。第一に、作業環境的に有利な点である。芳香族炭化水素やハロゲンを含有する溶剤に比べて環境負荷が低く、特に大面積の表示装置などの大型の半導体装置を塗布法や印刷法で製造する際には大きな利点となる。第二に、他の樹脂材料に対する侵食性が低いことである。例えば、液体材料で提供され、低温で硬化するポリイミド樹脂は、N-メチル-2-ピロリドンなどのアミド溶媒に侵されるが、アルカン類やグライム類に対しては耐性がある。印刷法で電子デバイスを製造する際には、金属、半導体、絶縁体などの様々な材料を層状に重ねて配置していく必要があり、材料に対する侵食性が低いことは、電子デバイスの製造上で極めて重要な利点となる。このように、本発明のCNT分散液は、2種類以上の溶媒を組み合わせた混合溶媒を用いて形成される。この混合溶媒を構成する溶媒の種類や混合比を適宜選択することによって、分散性を確保しながら、用途に応じて特性を付与したり調整したりすることができる。特に、電子デバイスの製造においてCNTのランダムネットワークを印刷形成する場合には、溶媒の沸点、蒸気圧、粘度、材料に対する侵食性などを考慮した分散液を調整することができる。結果、印刷性に優れ、且つCNTの分散性に優れたCNT分散液を提供することができる。また、本発明のCNT分散液は、必要に応じて、溶媒とともに気化できる添加剤を加えることにより、さらに特性を改善することができる。たとえば、ナフタレンやアダマンタンなどの昇華点が220°C以下の固体を添加すると、CNT分散液の粘度を増加するとともに、印刷された液滴が乾燥する際に析出する固体成分がCNTを固定することで、印刷精度が向上する。ナフタレンやアダマンタンは、その後、200°C程度の熱処理で十分に昇華させることができ、CNTランダムネットワークの電気伝導を阻害する要因とはならない。また、アズレンや、グアイアズレンのなどの金属元素を含まない有色の有機物の添加も効果的である。たとえば、薄膜トランジスタの半導体チャネルに用いられるCNTはとても少量で、通常の光学顕微鏡等では、その存在を確認が困難である。アズレンや、グアイアズレンをCNT分散液に添加しおくと、それらが発する色により、CNT分散液を印刷した領域を、光学顕微鏡等による確認が容易になる。金属イオンを含有する通常の顔料とは異なり、アズレンや、グアイアズレンは、200°C程度の熱処理で十分に揮発させることができる。したがって、CNT分散液を印刷した領域を確認した後に除去でき、良好な電気伝導性をしめすCNTランダムネットワークを得ることができる。[第5の実施形態]本発明の一実施形態のCNT分散液CNT濃度:10ppmを用いて作製した半導体素子の断面構造を図8に示す。この半導体素子は、CNTのランダムネットワークをチャネル層に用いた電界効果トランジスタである。図8に示されるように、支持基板81上にゲート電極82が形成され、ゲート電極82を覆うように、ゲート絶縁膜83が形成されている。このゲート絶縁膜83上には、チャネル長に応じた距離を隔ててソース電極84及びドレイン電極85が配置されている。さらに、ゲート絶縁膜83、ソース電極84及びドレイン電極85に接するように、チャネル層86としてCNTのランダムネットワークが配置されている。上記の構造を有する半導体素子は、例えば以下のような作製方法で作製される。まず、0.2mm厚のポリイミド基板81上に、銀のナノ粒子を溶媒で分散させた分散液をインクとして、例えばインクジェットプリンタを用いて所望のゲート電極82の形状を描画し、乾燥させる。次に、200°Cで熱処理を行い、焼結させたゲート電極82を得る。次に、有機高分子からなる絶縁体を、前記ゲート電極82を覆うように塗布し、180°Cで焼き締め、ゲート絶縁膜83を形成する。このゲート絶縁膜83の膜厚は特に制限されるものではないが、薄すぎるとゲート電極と他の電極間のリーク電流を効果的に抑制することが困難となり、厚すぎるとゲートバイアス電圧による活性層のスイッチング現象を効果的に制御できなくなるため、10~1000nmの範囲が好ましい。ソース電極84、ドレイン電極85を形成する際には、銀のナノ粒子を溶媒で分散させた分散液をインクとして、例えばインクジェットプリンタを用いて所望の電極の形状に描画し、乾燥させる。次に、180°Cで熱処理を行い、焼結させた電極を得る。強酸処理で高純度化された単層CNTを、n-テトラデカン75質量、トリエチレングリコールジメチルエーテル質量25の混合溶媒と混合し、超音波を照射してCNT分散液CNTインクを調製する。その後、CNTインクを、ディスペンサを用いてソース電極84及びドレイン電極85間に塗布し、乾燥させる。ポリイミド上に、CNTインクを滴下し、乾燥させた後の、C-AFMによる観察像段差像を図9に示す。CNT白い部分は均一に配置していることがわかる。印刷法でこのようにCNTを均一に配置するには、CNTインク中でCNTが安定に分散していること、印刷時のインク吐出が安定であること、適当な乾燥条件が施されていることなどの、多くの条件を満足する必要がある。本実施形態のCNT分散液はこうした要求を満足していることが確認された。このC-AFMによる観察像のCNTの、密度は低く、CNTは相互の接続点が少ない。さらに、CNTインクを塗り重ねることによりCNTのランダムネットワークが形成され、良好な半導体チャネルが形成される。このようにして作製された、印刷法によるCNT薄膜トランジスタの伝達特性を図10に示す。横軸のゲート電圧を正に増やしていくと、縦軸のドレイン電流が低下し、反対に、ゲート電圧を負に増やしていくとドレイン電流が増加している。すなわち、p型のトランジスタ特性が得られた。on/off比は約104を得た。本実施形態のCNT分散液を用いることで、印刷手法で、このように高性能なCNT薄膜トランジスタを製造することができる。[第6の実施形態]図11Aに、本発明の実施形態による半導体素子を複数備えた半導体装置の一例を示す。図11Bから図11Dには、この半導体装置を構成する基本セルの例を示す。この半導体装置は、複数のビット線151~154と、ビット線と直交する複数のワード線161~164、複数のプレート線166~169を有している。ビット線151~154の一端は、X-周辺回路141に接続されており、ワード線161~164及びプレート線166~169の一端は、Y-周辺回路142に接続されている。X-周辺回路141及びY-周辺回路142は、それぞれデコーダ回路、ドライバ回路、On/Offスイッチなどで構成されている。ビット線151~154と、ワード線161~164及びプレート線166~169が交差する領域には、それぞれ、基本セル143が配置されている。図11Aでは、4×4のマトリックス状に基本セル143が配置されている。基本セル143には、それぞれ3つの接続点を有し、各接続点は、ビット線、ワード線、プレート線にそれぞれ接続されている。例えば、図11A中の破線で囲まれた基本セルは、ビット線152、ワード線162、プレート線167に接続されている。基本セル143の一例を図11Bに示す。この例では、基本セルは、1つの電界効果トランジスタ147bと、この電界効果トランジスタ147bと直列に接続された強誘電体コンデンサ148bから構成されている。強誘電体コンデンサ148bの他方の端子はプレート線146bに接続されている。電界効果トランジスタ147bの他方の端子はビット線144bに、電界効果トランジスタ147bのゲート電極はワード線145bに接続されている。電界効果トランジスタ147bは、選択トランジスタであり、第5の実施形態による薄膜トランジスタが用いられている。この電界効果トランジスタ147bの作用により、2次元アレイ中で、所定の強誘電体コンデンサ148bが選択される。選択された強誘電体コンデンサ148bには、ビット線144bとプレート線146bの電位差で決められる規定の電圧が印加され、強誘電体RAMとして機能する。各基本セルのトランジスタは、第5の実施形態と同様に、プラスチック基板上に印刷法で作製できるため、大面積の強誘電体RAMを安価に製造することが可能である。基本セル143の第2の例を図11Cに示す。この例では、基本セルは、1つの電界効果トランジスタ147cと、この電界効果トランジスタ147cと直列に接続された、いわゆる電子インクと呼ばれる、電気泳動型マイクロカプセル148cから構成されている。電気泳動型マイクロカプセル148cの他方の端子はプレート線146cに接続されている。電界効果トランジスタ147cの他方の端子はビット線144cに、電界効果トランジスタ147cのゲート電極はワード線145cに接続されている。電界効果トランジスタ147cは、選択トランジスタであり、第5の実施形態による薄膜トランジスタが用いられている。この電界効果トランジスタ147cの作用により、2次元アレイ中で、所定の電気泳動型マイクロカプセル148cが選択される。選択された電気泳動型マイクロカプセル148cには、ビット線144cとプレート線146cの電位差で決められる規定の電圧が印加され、電気泳動型マイクロカプセル148cの表示状態を変更することができる。各基本セルのトランジスタは、第5の実施形態のように、プラスチック基板上に印刷法で作製できるため、大面積かつ柔軟性のある表示装置を安価に製造することが可能である。基本セル143の第3の例を図11Dに示す。この例では、基本セルは、1つの電界効果トランジスタ147dと、この電界効果トランジスタ147dと直列に接続された可変抵抗148dから構成されている。可変抵抗148dの他方の端子はグランド接地されている。電界効果トランジスタ147dの他方の端子はビット線144dに、電界効果トランジスタ147dのゲート電極はワード線145dに接続されている。電界効果トランジスタ147dは、選択トランジスタであり、第5の実施形態による薄膜トランジスタが用いられている。この電界効果トランジスタ147dの作用により、2次元アレイ中で、所定の可変抵抗148dが選択される。選択された可変抵抗148dには、X-周辺回路141図11Aから、ビット線144d、電界効果トランジスタ147dを介して、一定の電流もしくは一定の電圧が印加され、可変抵抗148dの抵抗値が検出される。可変抵抗148dとしては、磁界あるいは圧力により抵抗値が変化するものを用いることができる。すなわち、この半導体装置は、磁場あるいは圧力の2次元的な分布を調べることができるセンサアレイである。各基本セルのトランジスタは、第5の実施形態のように、プラスチック基板上に印刷法で作製できるため、大面積かつ柔軟性のあるセンサアレイを安価に製造することが可能である。以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。この出願は、2010年1月19日に出願された日本出願特願2010-009253を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。"