ロボットアームの先端に取り付けられた基板ハンドリング装置を使用して基板搬送装置へ基板を搭載する方法であって、前記基板を立てた状態で保持した前記基板ハンドリング装置を前記基板搬送装置の挿入する工程と、前記基板ハンドリング装置を前記基板搬送装置の基板保持枠に向けて前進させる工程と、前記基板ハンドリング装置を傾ける工程と、前記基板ハンドリング装置のロック機構を解除する工程と、前記基板の底部付近を前記基板保持枠に押し付ける工程と、前記基板を前記基板保持枠に押し付けたまま降ろして前記基板の荷重を前記基板保持枠に移す工程と、前記基板を垂直に立てて前記基板保持枠でクランプする工程と、前記基板ハンドリング装置を前記基板保持枠から離間させる工程と、を有することを特徴とする基板搭載方法。前記基板ハンドリング装置として、前記ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、前記板状保持部材に先端が垂直方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部を備えた基板保持アームと、前記基板保持アームを板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、前記基板吸着パッド部を前記基板保持アームから突出する方向に付勢する突出機構と、前記基板保持アームの前記板状保持部材からの突出を制限する吸着パッド部と、を備えたものを使用することを特徴とする請求項1記載の基板搭載方法。前記基板吸着パッド部は、前記基板保持アームに対して揺動可能に取り付けられたことを特徴とする請求項2記載の基板搭載方法。前記基板保持アームは、先端に前記基板を保持する保持突起を有することを特徴とする請求項2または3記載の基板搭載方法。前記基板保持アームは、前記板状保持部材の長手方向に沿った中心軸線の近傍に軸支されるとともに、軸線方向に所定間隔を有してかつ中心軸線に対称に配置されたことを特徴とする請求項2~4のいずれか一項に記載の基板搭載方法。ロボットアームの先端に取り付けられた基板ハンドリング装置を使用して基板搬送装置から基板を取り出す方法であって、前記基板ハンドリング装置を前記基板搬送装置へ挿入する工程と、前記基板ハンドリング装置のロック機構のロックを解除する工程と、前記基板ハンドリング装置を前記基板に近づかせて吸着する工程と、前記基板ハンドリング装置を傾ける工程と、前記基板を傾けたまま上昇して一時吸着を解除して前記基板の荷重を前記基板ハンドリング装置に移す工程と、前記基板ハンドリング装置を前記基板保持枠から離間させる工程と、前記基板を垂直に立てる工程と、前記基板ハンドリング装置を前記基板搬送装置から離間させる工程と、を有することを特徴とする基板取出方法。前記基板ハンドリング装置として、前記ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、前記板状保持部材に先端が垂直方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部を備えた基板保持アームと、前記基板保持アームを板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、前記基板吸着パッド部を前記基板保持アームから突出する方向に付勢する突出機構と、前記基板保持アームの前記板状保持部材からの突出を制限する吸着パッド部と、を備えたものを使用することを特徴とする請求項6記載の基板取出方法。前記基板吸着パッド部は、前記基板保持アームに対して揺動可能に取り付けられたことを特徴とする請求項7記載の基板取出方法。前記基板保持アームは、先端に前記基板を保持する保持突起を有することを特徴とする請求項7または8記載の基板取出方法。前記基板保持アームは、前記板状保持部材の長手方向に沿った中心軸線の近傍に軸支されるとともに、軸線方向に所定間隔を有してかつ中心軸線に対称に配置されたことを特徴とする請求項7~9のいずれか一項に記載の基板取出方法。しかし、従来の基板搬送装置では、人間が2人掛かりで1枚ずつ基板を搭載し、基板の各辺をバネ操作でクランプあるいは解除していたため、作業に手数がかかり量産装置に対応していなかった。また、自動化するにも、基板搬送装置が複数の基板を保持する場合、狭隘な搭載場所に設置するのは困難であった。この発明は、上記に鑑み提案されたもので、基板搬送装置への基板の搭載および基板搬送装置からの基板の取り出しを自動化することのできる基板搭載方法および基板取出方法を提供することを目的とするものである。上記目的を達成するために、本発明では、基板搭載方法に係る第1の解決手段として、ロボットアームの先端に取り付けられた基板ハンドリング装置を使用して基板搬送装置へ基板を搭載する方法であって、基板を立てた状態で保持した基板ハンドリング装置を基板搬送装置の挿入する工程と、基板ハンドリング装置を基板搬送装置の基板保持枠に向けて前進させる工程と、基板ハンドリング装置を傾ける工程と、基板ハンドリング装置のロック機構を解除する工程と、基板の底部付近を基板保持枠に押し付ける工程と、基板を基板保持枠に押し付けたまま降ろして基板の荷重を基板保持枠に移す工程と、基板を垂直に立てて基板保持枠でクランプする工程と、基板ハンドリング装置を基板保持枠から離間させる工程とを有する、という手段を採用する。また、基板搭載方法に係る第2の解決手段として、上記第1の解決手段において、基板ハンドリング装置として、ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、板状保持部材に先端が垂直方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部を備えた基板保持アームと、基板保持アームを板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、基板吸着パッド部を基板保持アームから突出する方向に付勢する突出機構と、基板保持アームの板状保持部材からの突出を制限する吸着パッド部と、を備えたものを使用する、という手段を採用する。基板搭載方法に係る第3の解決手段として、上記第2の解決手段において、基板吸着パッド部は、基板保持アームに対して揺動可能に取り付けられた、という手段を採用する。基板搭載方法に係る第4の解決手段として、上記第2または第3の解決手段において、基板保持アームは、先端に基板を保持する保持突起を有する、という手段を採用する。基板搭載方法に係る第5の解決手段として、上記第2~第4のいずれかの解決手段において、基板保持アームは、板状保持部材の長手方向に沿った中心軸線の近傍に軸支されるとともに、軸線方向に所定間隔を有してかつ中心軸線に対称に配置された、という手段を採用する。一方、本発明では、基板取出方法に係る第1の解決手段として、ロボットアームの先端に取り付けられた基板ハンドリング装置を使用して基板搬送装置から基板を取り出す方法であって、基板ハンドリング装置を基板搬送装置へ挿入する工程と、基板ハンドリング装置のロック機構のロックを解除する工程と、基板ハンドリング装置を基板に近づかせて吸着する工程と、基板ハンドリング装置を傾ける工程と、基板を傾けたまま上昇して一時吸着を解除して基板の荷重を基板ハンドリング装置に移す工程と、基板ハンドリング装置を基板保持枠から離間させる工程と、基板を垂直に立てる工程と、基板ハンドリング装置を基板搬送装置から離間させる工程とを有する、という手段を採用する。基板取出方法に係る第2の解決手段として、上記第1の解決手段において、基板ハンドリング装置として、ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、板状保持部材に先端が垂直方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部を備えた基板保持アームと、基板保持アームを板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、基板吸着パッド部を基板保持アームから突出する方向に付勢する突出機構と、基板保持アームの板状保持部材からの突出を制限する吸着パッド部と、を備えたものを使用する、という手段を採用する。基板取出方法に係る第3の解決手段として、上記第2の解決手段において、基板吸着パッド部は、基板保持アームに対して揺動可能に取り付けられた、という手段を採用する。基板取出方法に係る第4の解決手段として、上記第2または第3の解決手段において、基板保持アームは、先端に基板を保持する保持突起を有する、という手段を採用する。基板取出方法に係る第5の解決手段として、上記第2~第4のいずれかの解決手段において、基板保持アームは、板状保持部材の長手方向に沿った中心軸線の近傍に軸支されるとともに、軸線方向に所定間隔を有してかつ中心軸線に対称に配置された、という手段を採用する。本発明によれば、基板の搭載および取り出し作業を自動化することができる。また、基板および基板保持枠の個体差に対応することができる。また、基板を確実に保持することができる。また、種々の基板の精度誤差に対応することができる。以下、本発明に係る基板搭載方法及び基板取出方法の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態における基板ハンドリング装置10を示す側面図である。図2は、基板ハンドリング装置10の平面図である。図3は、基板ハンドリング装置10のハンドリング部を示す正面図である。図4は、ハンドリング部を示す側面図、図5は、図3のA-A線拡大断面図である。基板ハンドリング装置10は、6軸ロボット12のロボットアーム11に接続されており、旋回、回転、移動等の種々の動作をすることができる。板状保持部材14は、重量を軽減するために開口部14aおよび14bを有している。また、基端部は、アングル部材19および補強プレート20で補強されている。更に、基板21の左右両端を規制する鈎型の規制部材22を備えている。板状保持部材14の長手方向に沿った中心軸線Cの近傍に軸23が配置されており、この軸23に基板保持アーム16が軸支されている。基板保持アーム16は、軸線方向に所定間隔を有して一対配置されるとともに、中心軸線Cに対称に合計4個設けられている。基板保持アーム16は、軸23によって基板保持方向に突出可能に構成されている。基板保持アーム16の先端は、コイルバネである突出バネ18によって所定寸法だけ突出可能に構成されるとともに、蛇腹状の吸着パッド24によって、後退可能となっている。つまり、吸着パッド24に負圧を供給することにより、基板保持アーム16の先端は、板状保持部材14側に移動してロックされる。また、基板保持アーム16は、先端に板状の基板21を保持する保持突起16aを有している。基板保持アーム16の先端に配置された基板吸着パッド部15は、基板21に吸着する表面に複数の孔を有したピークパッド25と、ピークパッドの背面に配置された蛇腹パッド26から構成されている。浅い円筒状のピークパッド25は、周囲に形成されたフランジ25aによって所定量以上の突出が制限されるとともにあらゆる向きにも対応できる。蛇腹パッド26は、不図示のエアー配管によって負圧が供給され、ピークパッド25とともに、基板21を吸着する。また、基板吸着パッド部15の両端には、前述の突出バネ18および吸着パッド24が配置されている。図6は、基板搬送装置13を示す斜視図である。基板搬送装置13は、複数の基板保持枠27を走行方向に対して直角方向に所定間隔を有して立設収容するものである。本実施例では、6枚の基板保持枠が配設されている。また、基板搬送装置13は、下端に車輪13aを備えており、製造ラインに沿って移動することができる。基板搬送装置13は、搭載位置で搭載された複数の基板21を基板保持枠27で保持して、プラズマCVD装置内に移送し、シリコン薄膜を基板面に形成した後、基板取り出し位置まで搬送するものである。図7~図9は、本実施形態の基板ハンドリング装置10の動作を示す説明図あって、図7は基板吸着パッド部15が基板21に接触する状態、図8は基板吸着パッド部15が基板21に吸着する状態、図9は基板吸着パッド部15により基板21が完全に吸着保持された状態を示す図である。基板21を把持する際には図7から図9の順に動作し、逆に、基板21の把持を開放する際には図9から図7の順に動作する。なお、図7b、図8b、図9bは、それぞれ基板吸着パッド部15の周辺を拡大した図である。図7に示すように、例えば、基板21を取りに行く場合には、ロック機構17は解除されており、基板保持アーム16は板状保持部材14に対して数度回動している。また、吸着パッド24も解除され、基板吸着パッド部15は係止ピン28で係止されていない上端が突出方向に数度傾いている。仮止ピン28で吸着パッド24の下部角度を拘束し、基板21が基板ハンドリング装置10の保持突起16aにかからない状態では吸着しないようにしている。この状態で基板21の各種誤差を吸収して吸着することができる。図8に示すように、基板吸着パッド部15を作動させると、蛇腹パッド26が伸びた状態でピークパッド25が基板21に密着する。そして、図9に示すように、蛇腹パッド26を収縮させることで、基板21が吸着保持される。次に、以上のように構成された本実施形態の基板ハンドリング装置10を使用した基板搭載方法について説明する。図10は、基板搬送装置13に基板を搭載する方法を工程順に示した図である。まず、図10aに示すように、基板21を保持した基板ハンドリング装置10が基板搬送装置13の対向配置された基板保持枠27の間に挿入される。この時、基板21と基板保持枠27までの距離L1は、数十mm、基板21を保持した基板ハンドリング装置10の厚さDは、数十mmである。また、基板ハンドリング装置10の底部と基板21を載置する載置パッドまでの距離Hは、数mmである。次に、図10bに示すように、基板ハンドリング装置10を基板保持枠27側へ前進させる。これは、基板21を傾けた際に、後ろの基板保持枠27に接触させない為である。そして、図10cに示すように、基板ハンドリング装置10を数度傾けるとともに、ロック機構17を解除する。この時、基板ハンドリング装置10の下端と基板保持枠27に隙間がなくならないような角度とする。更に、図10dに示すように、吸着パッド24を解除し、突出バネ18によって、基板21が基板保持枠27側へ突出する。次いで、図10eに示すように、傾けたまま基板21の底辺付近を基板保持枠27に押し付ける。この際、基板ハンドリング装置10と基板21の端部は突出バネ18等により押し付け方向に逃げがある。そして、図10fに示すように、基板21を基板保持枠27に押し付けたまま基板保持枠27の受け部27a上に下ろす。この際、一時基板吸着パッド部15を解除し、基板21を自由に動けるようにする。基板21の自重を基板保持枠27の受け部27aに移動する。更に、図10gに示すように、基板ハンドリング装置10を数度遥動回転させてほぼ垂直として、基板21全体を基板保持枠27に当接させる。この時、ロック機構17は固定する。一方、基板保持枠27側では、不図示のクランプアームによって基板21をクランプする。最後に、図10hに示すように、基板ハンドリング装置10は、基板保持枠27から離れる。以上のような手順で、重量のある基板21を基板ハンドリング装置10は基板搬送装置13に基板吸着パッド上を滑らせることにより、自動で載せ換えて搭載することができる。次に、基板ハンドリング装置10を使用した基板搬送装置13からの基板取り出し方法について説明する。図11は、基板搬送装置13から基板21を取り出す方法を工程順に示した図である。先ず、図10aに示すように、基板ハンドリング装置10は基板保持枠27の前へ移動する。この時、基板保持アーム16の保持突起16aは、基板21の端部下に位置する。そして、図11bに示すように、ロック機構17を解除する。更に、図11cに示すように、基板21に近づきながら基板吸着パッド部15で基板21を吸着する。押し付け量は、数mmであるが突出バネ18による逃げがある。一方、基板保持枠27は、不図示のクランプアームを解除する。次いで、図11dに示すように、基板ハンドリング装置10を数度傾け、基板21の自重を基板ハンドリング装置10に預けるとともに並進して基板保持枠27から外す。そして、図11eに示すように、基板21を傾けたまま上昇し、離脱する。この際、一時基板吸着パッド部15を解除して、基板21の自重を基板ハンドリング装置10側に移動する。同時にロック機構17をロックする。更に、図11fに示すように、基板ハンドリング装置10は、基板保持枠27から並進して離れる。次いで、図11gに示すように、基板ハンドリング装置10ごと基板21を垂直に立てる。この時、基板21は基板保持枠27から並行して離れている。最後に、図11hに示すように、基板保持枠27と干渉しないように後退して、基板搬送装置13から出る。以上のような手順で、基板ハンドリング装置10は、基板搬送装置13から基板21を基板吸着パッド部15上で滑らせることにより、自動で載せ換えて取り外すことができる。なお、上述した実施の形態において示した動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。例えば、上述した実施形態では、基板21の乗せ換え時に、基板21を基板吸着パッド部15上で滑らせる例について説明したが、基板21を保持している基板ハンドリング装置10自体を上下にスライドする構造としてもよい。また、ロボットアーム11の軸を回転させ、基板ハンドリング装置10を裏返し、上述した実施形態の背面の基板保持枠27への基板21の乗せ換えも可能である。