"テトラクロロシランと水素とを含む原料ガスからトリクロロシランを製造する装置であって、下方から前記原料ガスを供給されてトリクロロシランと塩化水素等とを含む反応ガスを生成する略筒状の反応室と、前記反応室内に設置されて前記原料ガスを加熱する複数のヒータと、これらヒータの下端に接続され前記反応室の底板に固定された複数の電極とを備え、各前記ヒータは、一対の前記電極に固定された一対の非発熱部と、これら非発熱部に取り付けられ電気を供給されて発熱する発熱部とを有し、前記発熱部は、各前記非発熱部から上方へ延びて前記一対の非発熱部間を接続する板状の第1発熱体と、この第1発熱体よりも高さが低く、各前記非発熱部から上方へ延びて前記一対の非発熱部間を接続する板状の第2発熱体とを備えることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。前記第1発熱体と前記第2発熱体とは、それぞれ異なる断面積を有することを特徴とする請求項1に記載のトリクロロシラン製造装置。トリクロロシランの製造装置においては、高い熱効率で反応室内を加熱するとともに、原料ガスが均一に加熱されることが求められる。しかしながら、特許文献1,2記載の構造であると、反応室の外部に配した発熱体により反応室内を加熱するが、発熱体から半径方向外方に放射される輻射熱を有効に利用できず、熱効率が低いという不都合がある。特許文献3記載の構造の場合、反応室の内部にヒータが設置されており、ヒータの熱を高効率で利用できる。しかしながら、ガスが反応室内を均一に流れて各ヒータ内に一様に流入しなければ、ガス全量が均一に加熱されず、反応効率が低くなるおそれがある。特許文献4記載のヒータは、ヒータの断面積を上部よりも下部で小さくすることにより下部の出力密度を上昇させている。しかしながら、出力密度を上下で大きく変化させようとすると、下部の断面積を上部に比較して著しく小さくしなければならず、上部の重量を支えるのが困難となり、ヒータの強度に問題が生じるおそれがある。本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、反応室内の原料ガスを均一にかつ高い熱効率で加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にするトリクロロシラン製造装置を提供することを目的とする。本発明は、テトラクロロシランと水素とを含む原料ガスからトリクロロシランを製造する装置であって、下方から前記原料ガスを供給されてトリクロロシランと塩化水素等とを含む反応ガスを生成する略筒状の反応室と、前記反応室内に設置されて前記原料ガスを加熱する複数のヒータと、これらヒータの下端に接続され前記反応室の底板に固定された複数の電極とを備え、各前記ヒータは、一対の前記電極に固定された一対の非発熱部と、これら非発熱部に取り付けられ電気を供給されて発熱する発熱部とを有し、前記発熱部は、各前記非発熱部から上方へ延びて前記一対の非発熱部間を接続する板状の第1発熱体と、この第1発熱体よりも高さが低く、前記非発熱部から上方へ延びて前記一対の非発熱部間を接続する板状の第2発熱体とを備える。このトリクロロシラン製造装置によれば、ヒータを反応室の中に設置することにより、ヒータの熱がその周囲を流通する原料ガスに直接伝わるので、原料ガスを高い熱効率で加熱することができる。また、反応室内にヒータを設置するので、反応室を大型化しても、その必要個所にヒータを設置することができ、熱効率を損なうことがない。さらに、このトリクロロシラン製造装置によれば、ヒータの発熱部が板状の第1発熱体および第2発熱体を備えることにより、発熱部の下部において発熱体の本数が上部の2倍となっているので、発熱体の断面積変化により出力密度を変化させなくても、発熱部の下部における発熱量を大きくすることができる。また、一つのヒータにおいて、非発熱部を介して二つの発熱体が備えられているので、スペースの少ない反応室下部に発熱部を密に立設することが容易である。このトリクロロシラン製造装置において、前記第1発熱体と前記第2発熱体とは、それぞれ異なる断面積を有していてもよい。各断面積を任意に設定することにより、ヒータの上部および下部における出力割合の設定が容易となる。本発明に係るトリクロロシラン製造装置によれば、ヒータを反応室の中に設置したことにより、ヒータの熱を原料ガスに直接伝え、原料ガスを高い熱効率で加熱して、トリクロロシランへの転換率をより向上させることができる。しかも、反応室を大型化しても、必要個所にヒータを設置することができ、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産が可能である。また、ヒータの発熱部を二本の板状の発熱体により形成したことで、ヒータの強度を低下させることなくヒータの下部における発熱量を大きくでき、温度が上昇しにくい反応室の下部の温度を効果的に上昇させ、高い反応効率を得ることができる。以下、本発明に係るトリクロロシラン製造装置の一実施形態について説明する。本実施形態のトリクロロシラン製造装置100は、テトラクロロシランと水素とを含む原料ガスを加熱して、転換反応によりトリクロロシランと塩化水素等とを含む反応ガスを生成し、トリクロロシランを製造する装置であって、図1に示すように、原料ガスを供給される反応容器10と、この反応容器10の中に備えられて原料ガスを加熱するヒータ20と、これらヒータ20の下端に接続され反応容器10の底板13に固定された複数の電極23とを備えている。反応容器10は断熱容器30を備えており、ヒータ20による熱が反応容器10から放出されることによる加熱効率の低下が防止されている。反応容器10は、略筒状の壁体11と、この壁体11の上端を閉じる天板12と、壁体11の下端を閉じる底板13とを備えている。壁体11は、それぞれ同心状に設けられた略筒状の内側壁体11Aと外側壁体11Bとを備えている。これら内側壁体11Aと外側壁体11Bとの間には、円筒状の空間円筒状流路11aが形成されている。外側壁体11Bの下端部は底板13に接続して閉塞されており、一方、内側壁体11Aは下端部が底板13から離間するように配置されている。これにより、内側壁体11Aの下端部に開口するリング状のガス導入流路11bが形成され、円筒状流路11aと内側壁体11Aの内部空間とを連通させている。この壁体11において、円筒状流路11aの上部に接続する環状流路11cが設けられている。さらに、この環状流路11cの上部に、原料ガス供給管14が接続されている。また、壁体11の上端を閉じる天板12の中央を貫通するように、反応ガスを装置外に導出するガス導出管15が接続されている。反応容器10の底板13は、外側壁体11Bの下端に接続されて壁体11の下端を閉じるとともに、複数のヒータ20を同心状の多重に円を描いて配列されるように立設保持している。また、反応容器10の天板12は、壁体11の内側壁体11Aおよび外側壁体11Bの上端に接続されて壁体11の上端を閉じている。この天板12,壁体11内側壁体11A、および底板13によって囲まれて複数のヒータ20が立設している空間が、このトリクロロシラン製造装置100における反応室101である。この反応室101内で原料ガスを加熱する複数本実施形態では20個のヒータ20は、それぞれ、一対の電極23に固定された一対の非発熱部22と、これら非発熱部22に取り付けられ電気を供給されて抵抗発熱する略板状の発熱部21とを有し、図2に示すように、三重の同心円を描くように配列されている。図3に示すように、ヒータ20の発熱部21には、各非発熱部22から上方へ延びてこれら非発熱部22間を接続する逆U字板状の第1発熱体21Aと、第1発熱体21Aよりも高さが低く、非発熱部22から上方へ延びて一対の非発熱部22間を接続する逆U字板状の第2発熱体21Bとが備えられている。すなわち、発熱部21の下部における発熱体の本数が上部における発熱体の本数よりも多くなっている。このため、各ヒータ20においては、第1発熱体21Aと第2発熱体21Bとが二重に設けられている下部での発熱量が大きく、この下部に比較して第1発熱体21Aのみが設けられている上部での発熱量が小さい。各電極23は、一対の非発熱部22を支持し、隣接するヒータ20同士を電気的に接続している。これにより、複数個たとえば4個のヒータ20が直列に接続されている。これら直列接続されたヒータ20が複数列たとえば5組並列に接続されて電力を供給されることにより、各発熱部21が抵抗発熱して、反応室101内の原料ガスを加熱することができる。なお、第1発熱体21Aと第2発熱体21Bとは、非発熱部22を介して並列に接続された抵抗体である。発熱部21の基端部すなわち非発熱部22の上端部の高さ位置には、ガス導入流路11bの上方に配置される分散板40が略水平に設けられている。分散板40は、反応室101内における各ヒータ20の配置位置に応じた形状のガス流通孔40aを有している。このように配置された分散板40によって、反応室101は、非発熱部22を収容し原料ガスが導入される低温の下部と、発熱部21を収容し原料ガスを加熱する高温の上部とに隔てられる。以上のように構成されたトリクロロシラン製造装置100において、原料ガス供給管14から反応容器10に供給された原料ガスは、環状流路11cに充満した後、円筒状流路11aに導入され、ガス導入流路11bを通じて反応室101内の下部へ導入される。反応室101に導入された原料ガスは、たとえば400°C~700°Cであり、流通抵抗により分散板40の下方に充満して、分散流路40aを通過して分散板40の上方に分散供給され、ヒータ20の発熱部21によって均一に加熱される。このとき、発熱部21は、下部に第2発熱体21Bを備えることにより、発熱部21全体の出力を過剰に上げることなく、比較的低温で供給される原料ガスを加熱初期において強く加熱することができる。反応室101の下部で加熱された原料ガスは、反応室101内を上昇し、反応室101の上部で第1発熱体21Aによってさらに加熱される。発熱部21によって加熱された原料ガスの転換反応により生成された反応ガスは、たとえば800°C~1100°Cであり、ガス導出管15を通じてこのトリクロロシラン製造装置100から取り出される。以上説明したように、このトリクロロシラン製造装置100によれば、ヒータ20を反応室101の中に設置することにより、ヒータ20の熱がその周囲を流通する原料ガスに直接伝わるので、原料ガスを高い熱効率で加熱することができる。また、反応室101内にヒータ20を設置するので、反応容器10を大型化しても、その必要個所にヒータ20を設置することができ、熱効率を損なうことがない。反応室101の下部には比較的低温の原料ガスが供給されるため、発熱部21の下部においては発熱体の温度が低下しやすく、原料ガスの反応が進む上部においては発熱体の温度が低下しにくい。このため、図4に示すような従来のヒータ50では、発熱体下部の温度を十分に上昇させようとすると発熱体上部の温度が過剰に上昇し、使用可能温度を超えてしてしまう。しかしながら、このヒータ20は、発熱部21の下部に第1発熱体21Aに加えて第2発熱体21Bを備えているので、下部における発熱量が高く、加熱初期において原料ガスの温度を速やかに上昇させることができる。そして、発熱部21の上部には第1発熱体21Aのみが備えられていることから、反応室101の上部において原料ガスはこの第1発熱体21Aによって所定の温度にまで加熱される。すなわち、このトリクロロシラン製造装置100によれば、発熱部21の発熱体の出力を過大にすることなく、下部における出力を十分に得て、効率よく原料ガスを加熱することができる。また、一つの非発熱部22電極23に2つの発熱体を支持させているとともに、これら発熱体が2重の逆U字板状に設けられていることから、スペース効率に優れ、配置が容易なヒータ20が実現されている。なお、本発明は前記実施形態の構成のものに限定されるものではなく、細部構成においては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。たとえば、第1発熱体21Aと第2発熱体21Bとは同じ断面積を有していてもよいが、それぞれ異なる断面積を有していてもよい。これら発熱体を異なる断面積とする場合、断面を矩形として幅又は厚さのいずれか又は両方を異ならせてもよいし、断面の形状も異ならせるようにしてもよい。第1発熱体と第2発熱体とをそれぞれ異なる断面積にすることにより、発熱部21の上部と下部とにおけるヒータ出力の割合を容易に設定することができる。また、原料ガスを加熱するヒータは、反応室内の全体に設けなくてもよい。図5および図6に、本発明の第2実施形態に係るトリクロロシラン製造装置110を示す。このトリクロロシラン製造装置110では、原料ガスが加熱されやすい反応室101の中心部にはヒータ20および分散流路40aを設けない構造とすることにより、反応室101内の温度分布を均一にしている。なお、図5および図6において、前述の実施形態と共通する部分には、同一符号を付して説明を省略する。また、反応室内の下部を効果的に加熱するための第2発熱体の高さは、各ヒータ20において同じでなくてもよい。図7に、本発明の第3実施形態に係るトリクロロシラン製造装置120を示す。このトリクロロシラン製造装置120では、反応室101の下部において原料ガスが中心部に集まるように偏流するなど、分散板40による原料ガスの分散が十分でない場合に対応し、原料ガスの流動状態に合わせて第2発熱体20Bの高さをヒータ20毎に異ならせている。すなわち、原料ガスの偏流に合わせて、反応室101内の各領域における加熱強度を異ならせることにより、反応室101内の原料ガスを均一に加熱している。なお、本実施形態では第1発熱体21Aの高さは各ヒータ20で同じにしているが、さらに、第1発熱体21Aの高さをヒータ20毎に異ならせてもよい。なお、図7において、前述の実施形態と共通する部分には、同一符号を付して説明を省略する。実施例および比較例ここで、本発明のトリクロロシラン製造装置に係る実施例および比較例について説明する。実施例として、図3に示すように第1発熱体21Aおよび第2発熱体21Bを備えるヒータ20を用いた。また、比較例として、図4に示すように電極53によって支持されている2つの非発熱部52から上方に延びてこれら非発熱部52同士を接続する単一の発熱部51を備える構造の従来のヒータ50を用いた。そして、これら各実施例および比較例のヒータについて、発熱部の各部位における出力および比率と、発熱部の上部と下部とにおける出力および比率について比較した。実施例1まず、図3に示すヒータ20について、発熱部21の各部位21a~21fにおける出力および比率を算出した結果を表1に示す。実施例1で用いたヒータ20の発熱部21の各部における寸法は以下の通りである。厚さ:36mm第1発熱体の幅W1:13mm非発熱部22から第1発熱体の上端までの高さH1:1400mm第2発熱体の幅W2:13mm非発熱部22から第2発熱体の上端までの高さH2:350mmこの実施例1のヒータ20の発熱部21において、下部および上部における出力分布は以下のようになり、発熱部21の下部における出力が高いことが確認できた。下部高さ0~350mmの範囲:出力70kW、比率89上部高さ350~1400mmの範囲:出力9kW、比率11実施例2次に、図3に示すヒータ20について、発熱部21の各部位21a~21fにおける出力および比率を算出した結果を表2に示す。実施例2で用いたヒータ20の発熱部21の各部における寸法は以下の通りである。厚さ:36mm第1発熱体の幅W1:20mm非発熱部22から第1発熱体の上端までの高さH1:1400mm第2発熱体の幅W2:20mm非発熱部22から第2発熱体の上端までの高さH2:700mmこの実施例2のヒータ20の発熱部21において、下部および上部における出力分布は以下のようになり、発熱部21の下部における出力が高いことが確認できた。下部高さ0~700mmの範囲:出力65kW、比率82上部高さ700~1400mmの範囲:出力14kW、比率18実施例3次に、図3に示すヒータ20について、発熱部21の各部位21a~21fにおける出力および比率を算出した結果を表3に示す。実施例3で用いたヒータ20の発熱部21の各部における寸法は以下の通りである。厚さ:36mm第1発熱体の幅W1:30mm非発熱部22から第1発熱体の上端までの高さH1:1400mm第2発熱体の幅W2:15mm非発熱部22から第2発熱体の上端までの高さH2:700mmこの実施例3のヒータ20の発熱部21において、下部および上部における出力分布は以下のようになり、発熱部21の下部における出力が高いことが確認できた。下部高さ0~700mmの範囲:出力56kW、比率73上部高さ700~1400mmの範囲:出力21kW、比率27比較例次に、図4に示すヒータ50について、発熱部51の各部位51a,51b,51cにおける出力および比率を算出した結果を表4に示す。比較例で用いたヒータ50の発熱部51の各部における寸法は以下の通りである。厚さ:36mm発熱部の幅W3:60mm非発熱部52から発熱部の上端までの高さH3:1400mmこの比較例のヒータ50の発熱部51において、下部および上部における出力分布は以下のようになり、発熱部51の下部における出力が低いことが確認できた。10~350mmおよび350~1400mmの各範囲で比較した場合下部高さ0~350mmの範囲:出力18kW、比率24上部高さ350~1400mmの範囲:出力57kW、比率7620~700mmおよび700~1400mmの各範囲で比較した場合下部高さ0~700mmの範囲:出力36kW、比率48上部高さ700~1400mmの範囲:出力39kw、比率52以上から、実施例では発熱体の下部での出力比率が高く、かつ各部の最大出力が小さくなっていることが確認できた。すなわち、各実施例のヒータ20では、発熱体の負荷を抑制しながら、下部で強く加熱することができるのに対して、比較例のヒータ50では、発熱体の負荷が大きくても下部での加熱が弱いことが確認できた。"