"光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムにおいて、ライン上を搬送される前記光学表示部品に前記光学部材を貼り合わせる貼合装置と、前記光学表示部品の搬送方向で前記貼合装置よりも上流側に配置されて前記光学表示部品の貼合面の異物除去及び洗浄を行う洗浄装置とを備えることを特徴とする光学表示デバイスの生産システム。前記洗浄装置が、前記光学表示部品の貼合面をブラシ掛けして異物を除去するブラッシング部と、前記光学表示部品の貼合面を研磨して異物を除去するポリッシュ部とを有することを特徴とする請求項1に記載の光学表示デバイスの生産システム。前記洗浄装置が、前記ブラッシング部及びポリッシュ部よりも前記搬送方向で下流側に配置されて前記光学表示部品の貼合面に洗浄用流体を吹き付けて異物を除去する洗浄部と、前記洗浄部よりも前記搬送方向で下流側に配置されて前記光学表示部品の貼合面に気体を吹き付けて水滴を除去する液切り部とを有することを特徴とする請求項2に記載の光学表示デバイスの生産システム。ところで、上記従来の生産システムにおいて、実際の生産で多数の液晶パネルに偏光フィルムを貼合する工程は、クリーンルーム等を利用して貼合異物が生じないようにしているものの、ラインに投入した液晶パネルに異物が付着している場合には貼合異物が生じてしまう。このような貼合異物は、異常を検出した時点では相当数の不良品を発生させてしまうため、前記生産システムの歩留まりを低下させるという問題がある。本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムにおいて、貼合異物による不良品の発生を抑えて前記生産システムの収率悪化を防止することを目的とする。上記課題の解決手段として、本発明は、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムにおいて、ライン上を搬送される前記光学表示部品に前記光学部材を貼り合わせる貼合装置と、前記光学表示部品の搬送方向で前記貼合装置よりも上流側に配置されて前記光学表示部品の貼合面の異物除去及び洗浄を行う洗浄装置とを備えることを特徴とする。本発明は、前記洗浄装置が、前記光学表示部品の貼合面をブラシ掛けして異物を除去するブラッシング部と、前記光学表示部品の貼合面を研磨して異物を除去するポリッシュ部とを有する構成であってもよい。また、本発明は、前記洗浄装置が、前記ブラッシング部及びポリッシュ部よりも前記搬送方向で下流側に配置されて前記光学表示部品の貼合面に洗浄用流体を吹き付けて異物を除去する洗浄部と、前記洗浄部よりも前記搬送方向で下流側に配置されて前記光学表示部品の貼合面に気体を吹き付けて水滴を除去する液切り部とを有する構成であってもよい。本発明によれば、光学表示部品に光学部材を貼合する前に、洗浄装置により光学表示部品の貼合面の異物除去及び洗浄を行うことで、貼合異物による不良品の発生を確実に抑え、前記生産システムの収率悪化を防止することができる。以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、光学表示デバイスの生産システムに含まれる、フィルム貼合システム及びパネル洗浄システムについて説明する。図1は、本実施形態のフィルム貼合システム1の概略構成を示す。フィルム貼合システム1は、例えば液晶パネルや有機ELパネルといったパネル状の光学表示部品に、偏光フィルムや反射防止フィルム、光拡散フィルムといったフィルム状の光学部材を貼合するもので、前記光学表示部品及び光学部材を含んだ光学表示デバイスを生産する生産システムの一部として構成される。フィルム貼合システム1では、前記光学表示部品として液晶パネルPを用いている。図3は、液晶パネルPをその液晶層P3の厚さ方向から見た平面図である。液晶パネルPは、平面視で長方形状をなす第一基板P1と、第一基板P1に対向して配置される比較的小形の長方形状をなす第二基板P2と、第一基板P1と第二基板P2との間に封入された液晶層P3とを備える。液晶パネルPは、平面視で第一基板P1の外形状に沿う長方形状をなし、平面視で液晶層P3の外周の内側に収まる領域を表示領域P4とする。図4は、液晶パネルPに貼合する光学部材F1を含む光学シートFの断面図である。光学シートFは、フィルム状の前記光学部材F1と、光学部材F1の一方の面図では上面に設けられた粘着層F2と、粘着層F2を介して光学部材F1の一方の面に分離可能に積層されたセパレータF3と、光学部材F1の他方の面図では下面に積層された表面保護フィルムF4とを有する。光学部材F1は偏光板として機能し、液晶パネルPの表示領域P4の全域とその周辺領域とにわたって貼合される。なお、図示都合上、図4の各層のハッチングは略す。光学部材F1は、その一方の面に粘着層F2を残しつつセパレータF3を分離した状態で、液晶パネルPに粘着層F2を介して貼合される。以下、光学シートFからセパレータF3を除いた部分を貼合シートF5という。セパレータF3は、粘着層F2から分離されるまでの間に粘着層F2及び光学部材F1を保護する。表面保護フィルムF4は、光学部材F1とともに液晶パネルPに貼合される。表面保護フィルムF4は、光学部材F1に対して液晶パネルPと反対側に配置されて光学部材F1を保護すると共に、所定のタイミングで光学部材F1から分離される。なお、光学シートFが表面保護フィルムF4を含まない構成であったり、表面保護フィルムF4が光学部材F1から分離されない構成であってもよい。光学部材F1は、シート状の偏光子F6と、偏光子F6の一方の面に接着剤等で接合される第一フィルムF7と、偏光子F6の他方の面に接着剤等で接合される第二フィルムF8とを有する。第一フィルムF7及び第二フィルムF8は、例えば偏光子F6を保護する保護フィルムである。なお、光学部材F1は、一層の光学層からなる単層構造でもよく、複数の光学層が互いに積層された積層構造でもよい。前記光学層は、偏光子F6の他に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等でもよい。第一フィルムF7と第二フィルムF8の少なくとも一方は、液晶表示素子の最外面を保護するハードコート処理やアンチグレア処理を含む防眩などの効果が得られる表面処理が施されてもよい。光学部材F1は、第一フィルムF7と第二フィルムF8の少なくとも一方を含まなくてもよい。例えば第一フィルムF7を省略した場合、セパレータF3を光学部材F1の一方の面に粘着層F2を介して貼り合わせてもよい。以下、図1,2を参照してフィルム貼合システム1について説明する。なお、図1,2において、図中右側は液晶パネルPの搬送方向上流側以下、パネル搬送上流側というを、図中左側は液晶パネルPの搬送方向下流側以下、パネル搬送下流側というをそれぞれ示す。フィルム貼合システム1は、貼合工程の始発位置から終着位置まで、例えば駆動式のローラコンベヤ5を用いて液晶パネルPを搬送しつつ、液晶パネルPに順次所定の処理を施す。液晶パネルPは、その表裏面を水平にした状態でローラコンベヤ5上を搬送される。ローラコンベヤ5は、後に詳述する第一反転装置15を境に、上流側コンベヤ6と下流側コンベヤ7とに分かれる。液晶パネルPは、例えば上流側コンベヤ6では前記表示領域P4の短辺を搬送方向に沿わせた向きで搬送され、下流側コンベヤ7では表示領域P4の長辺を搬送方向に沿わせた向きで搬送される。この液晶パネルPの表裏面に対して、帯状の前記光学シートFから所定長さに切り出した前記貼合シートF5が貼合される。フィルム貼合システム1の各部は、電子制御装置としての制御部20により統括制御される。フィルム貼合システム1は、上流工程パネル洗浄システム31の終着位置まで搬送された液晶パネルPを吸着して上流側コンベヤ6の始発位置まで搬送すると共に液晶パネルPのアライメントを行う第一吸着装置11と、始発位置よりもパネル搬送下流側に設けられる第一集塵装置12と、第一集塵装置12よりもパネル搬送下流側に設けられる第一貼合装置13と、第一貼合装置13よりもパネル搬送下流側に設けられる第一ズレ検査装置14と、第一ズレ検査装置14よりもパネル搬送下流側に設けられて上流側コンベヤ6の終着位置に達した液晶パネルPを下流側コンベヤ7の始発位置まで搬送する第一反転装置15とを備える。また、フィルム貼合システム1は、下流側コンベヤ7の始発位置よりもパネル搬送下流側に設けられる第二集塵装置16と、第二集塵装置16よりもパネル搬送下流側に設けられる第二貼合装置17と、第二貼合装置17よりもパネル搬送下流側に設けられる第二ズレ検査装置18と、第二ズレ検査装置18よりもパネル搬送下流側に設けられる第二反転装置19と、第二反転装置19よりもパネル搬送下流側に設けられる欠陥検査装置21とを備える。第一吸着装置11は、液晶パネルPを保持して垂直方向及び水平方向で自在に搬送すると共に液晶パネルPのアライメントを行うパネル保持部11aと、例えばパネル保持部11aに設けられて液晶パネルPのアライメント基準を検出するアライメントカメラ11bとを有する。パネル保持部11aは、上流工程の終着位置に運ばれた液晶パネルPの上面を真空吸着によって保持すると共に、この液晶パネルPを貼合工程上流側コンベヤ6の始発位置へ水平状態のまま搬送し、当該位置で前記吸着を解除して液晶パネルPを上流側コンベヤ6に受け渡す。アライメントカメラ11bは、例えば上流工程の終着位置に達した液晶パネルPの搬送方向先頭側下流側を上方から撮像する。アライメントカメラ11bの撮像データは前記制御部20に送信され、この撮像データに基づき制御部20がパネル保持部11aを作動させる。これにより、上流側コンベヤ6に対する液晶パネルPのアライメントがなされる。このとき、液晶パネルPは、上流側コンベヤ6に対して、搬送方向と直交する水平方向以下、部品幅方向というでの位置決めと、垂直軸回りの回転方向以下、単に回転方向というでの位置決めとがなされる。第一集塵装置12は、第一貼合装置13の貼合位置に近接してそのパネル搬送上流側に設けられ、貼合位置に導入される直前の液晶パネルPの下面側の静電気の除去及び集塵を行う。なお、第一集塵装置12が上流工程の終着位置の直前に設けられてもよい。第一貼合装置13は、貼合位置に導入された液晶パネルPの下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートF5の貼合を行う。第一貼合装置13は、光学シートFが巻回された原反ロールR1から光学シートFを巻き出しつつ光学シートFをその長手方向に沿って搬送する搬送装置22と、搬送装置22が光学シートFから分離させた所定長さの貼合シートF5を上流側コンベヤ6が搬送する液晶パネルPの下面に貼合する挟圧ロール23とを備える。搬送装置22は、セパレータF3をキャリアとして貼合シートF5を搬送するもので、帯状の光学シートFを巻回した原反ロールR1を保持すると共に光学シートFをその長手方向に沿って繰り出すロール保持部22aと、原反ロールR1から巻き出した光学シートFを所定の搬送経路に沿って案内するべく光学シートFを巻きかける複数のガイドローラ22bと、搬送経路上の光学シートFにハーフカットを施す切断装置22cと、ハーフカットを施した光学シートFを鋭角に巻きかけてセパレータF3から貼合シートF5を分離させつつこの貼合シートF5を貼合位置に供給するナイフエッジ22dと、ナイフエッジ22dを経て単独となったセパレータF3を巻き取るセパレータロールR2を保持する巻き取り部22eとを有する。搬送装置22の始点に位置するロール保持部22aと搬送装置22の終点に位置する巻き取り部22eとは、例えば互いに同期して駆動する。これにより、ロール保持部22aが光学シートFをその搬送方向へ繰り出しつつ、巻き取り部22eがナイフエッジ22dを経たセパレータF3を巻き取る。以下、搬送装置22における光学シートFセパレータF3の搬送方向上流側をシート搬送上流側、搬送方向下流側をシート搬送下流側という。各ガイドローラ22bは、搬送中の光学シートFの進行方向を搬送経路に沿って変化させると共に、複数のガイドローラ22bの少なくとも一部が搬送中の光学シートFのテンションを調整するべく可動する。切断装置22cは、光学シートFが所定長さ繰り出された際、光学シートFの長手方向と直交する幅方向の全幅にわたって、光学シートFの厚さ方向の一部を切断するハーフカットを施す。切断装置22cは、光学シートFの搬送中に働くテンションによって光学シートFセパレータF3が破断しないように所定の厚さがセパレータF3に残るように、切断刃の進退位置を調整し、粘着層F2とセパレータF3との界面の近傍まで前記ハーフカットを施す。なお、切断刃に代わるレーザー装置を用いてもよい。ハーフカット後の光学シートFには、その厚さ方向で光学部材F1及び表面保護フィルムF4が切断されることにより、光学シートFの幅方向の全幅にわたる切込線が形成される。切込線は、帯状の光学シートFの長手方向で複数並ぶように形成される。例えば同一サイズの液晶パネルPを搬送する貼合工程の場合、複数の切り込み線は光学シートFの長手方向で等間隔に形成される。光学シートFは、前記複数の切込線によって長手方向で複数の区画に分けられる。光学シートFにおける長手方向で隣り合う一対の切込線に挟まれる区画は、それぞれ貼合シートF5における一つのシート片とされる。ナイフエッジ22dは、上流側コンベヤ6の下方に配置されて光学シートFの幅方向で少なくともその全幅にわたって延在する。ナイフエッジ22dは、ハーフカット後の光学シートFのセパレータF3側に摺接するようにこれを巻きかける。ナイフエッジ22dは、光学シートFの幅方向上流側コンベヤ6の幅方向から見て伏せた姿勢に配置される第一面と、第一面の上方で光学シートFの幅方向から見て第一面に対して鋭角に配置される第二面と、第一面及び第二面が交わる先端部とを有する。ナイフエッジ22dは、その先端部に光学シートFを鋭角に巻きかける。光学シートFは、ナイフエッジ22dの先端部で鋭角に折り返す際、セパレータF3から貼合シートF5のシート片を分離させる。ナイフエッジ22dの先端部は、挟圧ロール23のパネル搬送下流側に近接して配置される。ナイフエッジ22dによりセパレータF3から分離した貼合シートF5は、上流側コンベヤ6が搬送する液晶パネルPの下面に重なりつつ、挟圧ロール23の一対の貼合ロール間に導入される。挟圧ロール23は、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラ23aを有する。一対の貼合ローラ23a間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第一貼合装置13の貼合位置となる。前記間隙内には、液晶パネルP及び貼合シートF5が重なり合って導入される。これら液晶パネルP及び貼合シートF5が、各貼合ローラ23aに挟圧されつつパネル搬送下流側に送り出される。これにより、液晶パネルPの下面に貼合シートF5が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを片面貼合パネルP11という。第一ズレ検査装置14は、片面貼合パネルP11における第一貼合装置13で貼合した貼合シートF5の液晶パネルPに対する位置が適正か否か位置ズレが公差範囲内にあるか否かを検査する。第一ズレ検査装置14は、例えば片面貼合パネルP11のパネル搬送上流側及び下流側における貼合シートF5の端縁を撮像する一対のカメラ14aを有する。各カメラ14aによる撮像データは前記制御部20に送信され、この撮像データに基づき貼合シートF5及び液晶パネルPの相対位置が適正か否かが判定される。前記相対位置が適正ではないと判定された片面貼合パネルP11は、不図示の払い出し手段によりシステム外に排出される。第一反転装置15は、例えば液晶パネルPの搬送方向に対して平面視で45°に傾斜した回動軸15aと、回動軸15aを介して上流側コンベヤ6の終着位置及び下流側コンベヤ7の始発位置の間に支持される反転アーム15bとを有する。反転アーム15bは、第一ズレ検査装置14を経て上流側コンベヤ6の終着位置に達した片面貼合パネルP11を吸着や挟持等により保持し、この反転アーム15bが回動軸15a回りに180°回動することで、片面貼合パネルP11の表裏を反転させると共に、例えば前記表示領域P4の短辺と平行に搬送されていた片面貼合パネルP11を表示領域P4の長辺と平行に搬送されるように方向転換させる。前記反転は、液晶パネルPの表裏面に貼合する各光学部材F1が偏光軸方向を互いに直角に配置するような場合になされる。上流側コンベヤ6及び下流側コンベヤ7は、共に図の右側から左側へ向う方向を液晶パネルPの搬送方向とするが、第一反転装置15を経由することで、上流側コンベヤ6及び下流側コンベヤ7が平面視で所定量オフセットする。なお、単に液晶パネルPの表裏を反転させる場合には、例えば搬送方向と平行な回動軸を有する反転アームを有する反転装置を用いればよい。この場合、第一貼合装置13のシート搬送方向と第二貼合装置17のシート搬送方向とを平面視で互いに直角にして配置すれば、液晶パネルPの表裏面に互いに偏光軸方向を直角にした光学部材F1を貼合できる。反転アーム15bは、前記第一吸着装置11のパネル保持部11aと同様のアライメント機能を有する。第一反転装置15には、前記第一吸着装置11と同様のアライメントカメラ11b撮像装置10が設けられる。第二集塵装置16は、第二貼合装置17の貼合位置に近接してそのパネル搬送上流側に設けられ、貼合位置に導入される直前の片面貼合パネルP11の下面側の静電気の除去及び集塵を行う。第二貼合装置17は、貼合位置に導入された片面貼合パネルP11の下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートF5の貼合を行う。第二貼合装置17は、前記第一貼合装置13と同様の搬送装置22及び挟圧ロール23を備えている。挟圧ロール23の一対の貼合ローラ23a間の間隙内第二貼合装置17の貼合位置には、片面貼合パネルP11及び貼合シートF5が重なり合った状態で導入され、片面貼合パネルP11の下面に貼合シートF5が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを両面貼合パネルP12という。第二ズレ検査装置18は、両面貼合パネルP12における第二貼合装置17で貼合した貼合シートF5の液晶パネルPに対する位置が適正か否か位置ズレが公差範囲内にあるか否かを検査する。第二ズレ検査装置18は、例えば両面貼合パネルP12のパネル搬送上流側及び下流側における貼合シートF5の端縁を撮像する一対のカメラ18aを有する。各カメラ18aによる撮像データは前記制御部20に送信され、この撮像データに基づき貼合シートF5及び液晶パネルPの相対位置が適正か否かが判定される。前記相対位置が適正ではないと判定された両面貼合パネルP12は、不図示の払い出し手段によりシステム外に排出される。第二反転装置19は、第一反転装置15を経てバックライト側を上向きにした液晶パネルP両面貼合パネルP12の表裏を反転させ、フィルム貼合システム1への搬入時と同様に表示面側を上向きにする。欠陥検査装置21は、第二反転装置19を経て表示面側を上向きにした液晶パネルP両面貼合パネルP12を、その下面側バックライト側から光を当てて上面側表示面側よりカメラ21aで撮像し、この撮像データに基づき両面貼合パネルP12の欠陥貼合不良等の有無を検査する。図5,6は、本実施形態のパネル洗浄システム31の概略構成を示す。パネル洗浄システム31は、フィルム貼合システム1の上流工程として設けられ、例えば駆動式のローラコンベヤ32を用いて液晶パネルPを搬送しつつ、液晶パネルPに順次所定の洗浄処理を施す。液晶パネルPは、その表裏面を水平にした状態でローラコンベヤ32上を搬送される。なお、図5,6においては、図中左側を液晶パネルPの搬送方向上流側パネル搬送上流側とし、図中右側を液晶パネルPの搬送方向下流側パネル搬送下流側とする。パネル洗浄システム31は、パネル搬送上流側から順に、例えばカセット単位40枚程度の液晶パネルPを搬入可能とするパネル投入部33と、前記パネル投入部33から送り出された液晶パネルPの表裏面のブラシ掛けを行うブラッシング部34と、前記ブラッシング部34を経た液晶パネルPの表裏面の研磨を行うポリッシュ部35と、前記ポリッシュ部35を経た液晶パネルPの表裏面の異物除去を行うジェット洗浄部36と、前記ジェット洗浄部36を経た液晶パネルPの表裏面の洗い流しを行う純水リンス部37と、前記純水リンス部37を経た液晶パネルPの表裏面の水滴除去を行う液切り部38と、前記液切り部38を経た液晶パネルPを搬出位置39bへ移送する払い出し部39とを備える。パネル投入部33は、例えば平面視長方形状の液晶パネルPをその短辺が概ね搬送方向に沿った向きで受け入れる。パネル投入部33のパネル搬送下流側には、搬送方向と直交する水平方向部品幅方向でローラコンベヤ32の両側に位置する一対の位置決めローラ33aが設けられる。各位置決めローラ33aは、液晶パネルPがパネル搬送下流側へ送り出される際に、液晶パネルPの部品幅方向両側に転接する。これにより、部品幅方向で液晶パネルPのセンター基準での位置決めアライメントがなされる。ブラッシング部34は、搬送方向で並ぶように配置された複数2つのブラシ対34aを有する。各ブラシ対34aは、部品幅方向でローラコンベヤ32の両側に渡って延びる回転ブラシ34bを、液晶パネルPを挟んで上下一対に有する図示都合上、図では液晶パネルP上方の回転ブラシ34bのみ示す。。各ブラシ対34aの上下回転ブラシ34b間に導入された液晶パネルPは、上下回転ブラシ34bの回転により表裏面にブラシ掛けがなされる。なお、前記回転ブラシ34bについて、回転速度は100~600rpm、回転方向は正逆切替及び独立回転可能、ブラシ線材はポリアミド系樹脂、ブラシ線径は500μm、植込量は2000本/cm2以上とされる。ブラシ対34aの数量は液晶パネルPのサイズ等に応じて適宜変更可能である。回転ブラシ34bは部品幅方向に対して傾斜して配置することも可能である。図7を併せて参照し、ポリッシュ部35は、無端状の研磨ベルト35cを駆動させる研磨装置35aを液晶パネルPを挟んで上下一対に有する図示都合上、図では液晶パネルP上方の研磨装置35aのみ示す。。各研磨装置35aは、部品幅方向でローラコンベヤ32の両側に配置された駆動ローラ35bに、前記研磨ベルト35cを巻き掛けて駆動させる。研磨ベルト35cにおける液晶パネルPに対向する面には、例えば多数の研磨材チップ35dが格子状に固着される。研磨ベルト35cにおける液晶パネルPに対向する面の裏側には、研磨ベルト35cを液晶パネルPに押し付けるべく循環水wが噴射される。上下研磨装置35a間に導入された液晶パネルPは、研磨ベルト35cの駆動により表裏面に研磨がなされる。なお、前記研磨ベルト35cについて、ベルト幅は30~60mm程、ベルト磨耗管理はギャップ測定式自動補正可能、研磨圧力は水圧及び水量により制御可能とされる。各研磨装置35aは、上面視で部品幅方向に対して研磨ベルト35cの駆動方向を若干傾斜させるが、研磨ベルト35cの駆動方向を部品幅方向に沿わせてもよい。図5,6を参照し、ジェット洗浄部36は、搬送方向で並ぶように配置された複数2つの圧力パイプ対36aを有する。各圧力パイプ対36aは、部品幅方向に沿って延びる圧力パイプ36bを液晶パネルPを挟んで上下一対に有する図示都合上、図では液晶パネルP上方の圧力パイプ36bのみ示す。。上下圧力パイプ36bには、部品幅方向で並ぶ複数のノズル36cが設けられる。各ノズル36cは、圧力パイプ36b内に加圧圧送された純水又は洗浄機能水を微小液滴で高圧高速で噴出する。上下圧力パイプ36b間に導入された液晶パネルPは、各ノズル36cからの噴射により表裏面に付着した異物等の除去がなされる。なお、ジェット洗浄部36について、吐出量は1160ml/min、吐出圧は10MPaとされる。各ノズル36cのスプレーパターンはスプレー角度90°の扁平扇形、各ノズル36cの配列は平面視千鳥状とされる。ノズル36cがエア圧力を用いて液体と気体を混合した2流体を吐出する構成であってもよい。純水リンス部37は、搬送方向で並ぶように配置された複数2つの圧力パイプ対37aを有する。各圧力パイプ対37aは、部品幅方向に沿って延びる圧力パイプ37bを液晶パネルPを挟んで上下一対に有する図示都合上、図では液晶パネルP上方の圧力パイプ37bのみ示す。。上下圧力パイプ37bには、部品幅方向で並ぶ複数のノズル37cが設けられる。各ノズル37cは、圧力パイプ37b内に加圧圧送された純水を噴出する。上下圧力パイプ37b間に導入された液晶パネルPは、各ノズル37cからの噴射により表裏面の洗い流しがなされる。なお、純水リンス部37について、圧力パイプ37bへの給水経路に設けるフィルターの粗さメッシュの大きさは0.02μm程、各ノズル37cのスプレーパターンはスプレー角度90°の扁平扇形、各ノズル37cの配列は平面視千鳥状とされる。液切り部38は、搬送方向で並ぶように配置された複数2つのエアナイフ対38aを有する。各エアナイフ対38aは、部品幅方向に対して傾斜して配置されたエアナイフ38bを液晶パネルPを挟んで上下一対に有する図示都合上、図では液晶パネルP上方のエアナイフ38bのみ示す。。上下エアナイフ38bにおけるスリット状の吹き出し口38cは、液晶パネルPの表裏面と対向するように設けられる。上下エアナイフ38b間に導入された液晶パネルPは、各エアナイフ38bの噴射エアにより表裏面の水滴除去がなされる。なお、液切り部38について、上下エアナイフ38bの本体材質はステンレス、吹き出し口38cのスリット幅は0.2mmシム調整可能、部品幅方向に対するエアナイフ38bの配置角度は基準±15°の範囲で調整可能目盛有り、エアナイフ38bのエア噴射方向の仰角も基準±15°の範囲で調整可能、エアナイフ38bと液晶パネルPとのギャップは基準±3mm以上の範囲で調整可能とされる。各エアナイフ38bはCDAクリーンドライエアー方式のエア供給装置に接続される。エアナイフ対38aは単一であってもよい。払い出し部39は、液切り部38等よりも比較的速い速度で液晶パネルPを搬送するローラコンベヤ39aを有する。ローラコンベヤ39aが液晶パネルPを搬送する搬出位置39bは、洗浄後の液晶パネルのバッファエリアでもある。搬出位置39bに搬送された液晶パネルPは、前記第一吸着装置11によりフィルム貼合システム1のパネル搬送上流側に順次搬送される。ローラコンベヤ5,32,39aは、本実施形態の光学表示デバイスの生産システムのライン搬送経路を形成している。上記パネル洗浄システム31を通過した液晶パネルPは、その表裏面シート貼合面に付着した塵埃等の異物が除去されると共に、ポリッシュ部35によって液晶パネルPの表裏面に固着した糊やカレットガラスクズ等までも除去される。これにより、フィルム貼合システム1における貼合異物による不良品の発生が確実に抑えられる。以上説明したように、上記実施形態における光学表示デバイスの生産システムは、液晶パネルPに光学部材F1を貼合してなる光学表示デバイスを生産するものにおいて、ライン上を搬送される液晶パネルPに光学部材F1を貼り合わせるフィルム貼合システム1と、前記液晶パネルPの搬送方向で前記フィルム貼合システム1よりも上流側に配置されて前記液晶パネルPの表裏面の異物除去及び洗浄を行うパネル洗浄システム31とを備えるものである。この構成によれば、液晶パネルPに光学部材F1を貼合する前に、パネル洗浄システム31により液晶パネルPの表裏面貼合面の異物除去及び洗浄を行うことで、貼合異物による不良品の発生を確実に抑え、前記生産システムの収率悪化を防止することができる。また、上記光学表示デバイスの生産システムは、前記パネル洗浄システム31が、前記液晶パネルPの表裏面をブラシ掛けして異物を除去するブラッシング部34と、前記液晶パネルPの表裏面を研磨して異物を除去するポリッシュ部35とを有することで、液晶パネルPの表裏面の塵埃等のみならず、ブラシ掛けでは除去できない糊やカレット等までも確実に除去することができる。また、上記光学表示デバイスの生産システムは、前記パネル洗浄システム31が、前記ブラッシング部34及びポリッシュ部35よりも前記搬送方向で下流側に配置されて前記液晶パネルPの表裏面に洗浄用流体を吹き付けて異物を除去する洗浄部ジェット洗浄部36及び純水リンス部37と、前記洗浄部よりも前記搬送方向で下流側に配置されて前記液晶パネルPの表裏面に気体を吹き付けて水滴を除去する液切り部38とを有することで、ブラシ掛け及び研磨後の液晶パネルPの表裏面を確実に洗浄することができる。なお、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、例えば、図8に示すように、要求仕様等の都合によりポリッシュ部35を不要とする場合には、ブラッシング部34に研磨ブラシ対34cを設置した構成としてもよい。研磨ブラシ対34cは、部品幅方向でローラコンベヤ32の両側に渡って延びる研磨ブラシ34dを、液晶パネルPを挟んで上下一対に有する図示都合上、図では液晶パネルP上方の研磨ブラシ34dのみ示す。。研磨ブラシ34dは、例えばポリアミド系樹脂製のブラシ線材の表面にアルミナを蒸着してなる。研磨ブラシ対34cの上下研磨ブラシ34d間に導入された液晶パネルPは、上下研磨ブラシ34dの回転により表裏面に強くブラシ掛けがなされる。研磨ブラシ対34cは搬送方向で複数設けられてもよい。そして、上記実施形態における構成は本発明の一例であり、当該発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。"