"上下方向へ直線移動する可動部を有するリニアモータと、該リニアモータの可動部に接続されており、該可動部と一体的に直線移動する第1可動子、及び該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子を有する移動方向変換機と、前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に設けられており、前記リニアモータが駆動した場合に前記移動方向変換機の前記第1可動子及び前記第2可動子に働く反作用力を均衡させる重りとを備えることを特徴とするリニア駆動装置。前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に接続された負荷を備え、前記重り、前記リニアモータ、前記移動方向変換機及び前記負荷の質量と、前記移動方向変換機による第1可動子及び第2可動子の移動速度比とは下記式を満たすことを特徴とする請求項1に記載のリニア駆動装置。Ma/Mb=α但し、Ma:前記移動方向変換機の前記第1可動子側の質量Mb:前記移動方向変換機の前記第2可動子側の質量α:前記第1可動子の移動速度に対する第2可動子の移動速度の比上下方向へ直線移動する可動部を有するリニアモータと、該リニアモータの可動部に接続されており、該可動部と一体的に直線移動する第1可動子、及び該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子を有する移動方向変換機と、前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に設けられており、前記リニアモータが駆動した場合に前記移動方向変換機の前記第1可動子及び前記第2可動子に働く反作用力を均衡させる重りが取り付けられる重り取付部とを備えることを特徴とするリニア駆動装置。前記重り取付部に取り付けられた重りを備えることを特徴とする請求項3に記載のリニア駆動装置。上下方向へ直線移動する可動部を有するリニアモータと、該リニアモータの可動部に接続されており、該可動部と一体的に直線移動する第1可動子、及び該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子を有する移動方向変換機と、前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に接続された負荷と、前記リニアモータ、前記移動方向変換機及び前記負荷の質量と、前記移動方向変換機による第1可動子及び第2可動子の移動速度比とは下記式を満たすことを特徴とするリニア駆動装置。Ma/Mb=α但し、Ma:前記移動方向変換機の前記第1可動子側の質量Mb:前記移動方向変換機の前記第2可動子側の質量α:前記第1可動子の移動速度に対する第2可動子の移動速度の比前記移動方向変換機は、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された磁性体を有する中間ヨークを備え、前記第1可動子及び第2可動子は、前記中間ヨークを介して対向しており、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された複数の磁極対を有し、前記移動方向における単位長さ当たりの前記磁性体の個数は、前記第1可動子及び第2可動子夫々が有する前記複数の磁極対の各個数の合計となるようにしてあることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一つに記載のリニア駆動装置。前記移動方向変換機は、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された磁極対を有する固定子を備え、前記第1可動子又は前記第2可動子は、前記固定子に対向しており、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された複数の磁性体を有し、前記第2可動子又は前記第1可動子は、前記第1可動子を介して、前記固定子に対応しており、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された磁極対を有し、前記移動方向における単位長さ当たりの前記磁性体の個数は、前記第2可動子又は前記第1可動子と、前記固定子とが夫々有する前記複数の磁極対の各個数の差分となるようにしてあることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一つに記載のリニア駆動装置。しかしながら、ワイヤーで接続されたカウンターウェイトを備える方法では、リニアモータの非接触伝達駆動の利点をそこなうため、好ましくない。また、機械式ストッパでリニアモータの可動子を停止させた場合、装置の一部が損傷するおそれがあった。本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、ワイヤーで接続されるカウンターウェイトや、機械式ストッパを設けることなく、リニアモータの駆動電流が途絶えた際、リニアモータの可動子が自由落下することを防止することができるリニア駆動装置を提供することを目的とする。第1発明に係るリニア駆動装置は、上下方向へ直線移動する可動部を有するリニアモータと、該リニアモータの可動部に接続されており、該可動部と一体的に直線移動する第1可動子、及び該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子を有する移動方向変換機と、前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に設けられており、前記リニアモータが駆動した場合に前記移動方向変換機の前記第1可動子及び前記第2可動子に働く反作用力を均衡させる重りとを備えることを特徴とする。第2発明に係るリニア駆動装置は、前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に接続された負荷を備え、前記重り、前記リニアモータ、前記移動方向変換機及び前記負荷の質量と、前記移動方向変換機による第1可動子及び第2可動子の移動速度比とは下記式を満たすことを特徴とする。Ma/Mb=α但し、Ma:前記移動方向変換機の前記第1可動子側の質量Mb:前記移動方向変換機の前記第2可動子側の質量α:前記第1可動子の移動速度に対する第2可動子の移動速度の比第3発明に係るリニア駆動装置は、上下方向へ直線移動する可動部を有するリニアモータと、該リニアモータの可動部に接続されており、該可動部と一体的に直線移動する第1可動子、及び該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子を有する移動方向変換機と、前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に設けられており、前記リニアモータが駆動した場合に前記移動方向変換機の前記第1可動子及び前記第2可動子に働く反作用力を均衡させる重りが取り付けられる重り取付部とを備えることを特徴とする。第4発明に係るリニア駆動装置は、前記重り取付部に取り付けられた重りを備えることを特徴とする。第5発明に係るリニア駆動装置は、上下方向へ直線移動する可動部を有するリニアモータと、該リニアモータの可動部に接続されており、該可動部と一体的に直線移動する第1可動子、及び該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子を有する移動方向変換機と、前記第1可動子、前記第2可動子又は前記リニアモータの可動部に接続された負荷と、前記リニアモータ、前記移動方向変換機及び前記負荷の質量と、前記移動方向変換機による第1可動子及び第2可動子の移動速度比とは下記式を満たすことを特徴とする。Ma/Mb=α但し、Ma:前記移動方向変換機の前記第1可動子側の質量Mb:前記移動方向変換機の前記第2可動子側の質量α:前記第1可動子の移動速度に対する第2可動子の移動速度の比第6発明に係るリニア駆動装置は、前記移動方向変換機は、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された磁性体を有する中間ヨークを備え、前記第1可動子及び第2可動子は、前記中間ヨークを介して対向しており、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された複数の磁極対を有し、前記移動方向における単位長さ当たりの前記磁性体の個数は、前記第1可動子及び第2可動子夫々が有する前記複数の磁極対の各個数の合計となるようにしてあることを特徴とする。第7発明に係るリニア駆動装置は、前記移動方向変換機は、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された磁極対を有する固定子を備え、前記第1可動子又は前記第2可動子は、前記固定子に対向しており、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された複数の磁性体を有し、前記第2可動子又は前記第1可動子は、前記第1可動子を介して、前記固定子に対応しており、前記リニアモータの可動部の移動方向に沿って略等間隔に配された磁極対を有し、前記移動方向における単位長さ当たりの前記磁性体の個数は、前記第2可動子又は前記第1可動子と、前記固定子とが夫々有する前記複数の磁極対の各個数の差分となるようにしてあることを特徴とする。第1及び第2発明にあっては、リニアモータの可動部には移動方向変換機が設けられている。移動方向変換機は、リニアモータの可動部と一体的に直線移動する第1可動子と、該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子とを有する。また、第1可動子、第2可動子又は前記リニアモータの可動部には、リニアモータの可動部、第1及び第2可動子に重力加速度が働いた場合に移動方向変換機の第1可動子及び第2可動子に働く反力を均衡させるための重りが設けられているため、リニア駆動装置全体に加わる力は相殺する。言い換えると、リニアモータの可動部が降下することによる第1可動子側を構成する部材の位置エネルギーの減少量と、第1可動子の降下に伴う第2可動子の上昇による第2可動子側を構成する部材の位置エネルギーの増加量とが略同一である。このため、リニア駆動装置の系全体の位置エネルギーは、第1可動子及び第2可動子が昇降しても変化せず、一定である。従って、重力加速度による可動部の加速は生じず、リニアモータの駆動電流が失われたとしても、可動部は自由落下しない。第3及び第4発明にあっては、重り取付部を備えており、負荷に応じた重りを適宜取り付けることが可能である。第5発明にあっては、リニアモータの可動部には移動方向変換機が設けられている。移動方向変換機は、リニアモータの可動部と一体的に直線移動する第1可動子と、該第1可動子に対して逆向きに直線移動する第2可動子とを有する。また、第1可動子側と、第2可動子側の質量は、リニアモータの可動部、第1及び第2可動子に重力加速度が働いた場合に移動方向変換機の第1可動子及び第2可動子に働く反力が拮抗するように設定しているため、リニア駆動装置全体に加わる力は相殺する。このため、リニア駆動装置の系全体の位置エネルギーは、第1可動子及び第2可動子が昇降しても変化せず、一定である。従って、重力加速度による可動部の加速は生じず、リニアモータの駆動電流が失われたとしても、可動部は自由落下しない。第6及び第7発明にあっては、第1可動子と、第2可動子と、中間ヨーク又は固定子とは直動磁気歯車を構成しているため、非接触で第1可動子及び第2可動子は直線移動する。従って、リニアモータの可動部の自由落下を防止することができ、通常使用時においては、非接触機構で第1可動子及び第2可動子を磁気結合させておくことができる。本発明によれば、ワイヤーで接続されるカウンターウェイトや、機械式ストッパを設けることなく、リニアモータの駆動電流が途絶えた際、リニアモータの可動子が自由落下することを防止することができる。以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。図1は、本実施の形態に係るリニア駆動装置の一構成例を示した斜視図、図2は、直線移動方向に直交する方向から見たリニア駆動装置の側断面図、図3は、直線移動方向から見たリニア駆動装置の平断面図である。なお図2中ハッチングが付された部分は、磁石又は磁性体で構成されている部分を示している。ベース1に設けられた本実施の形態に係るリニア駆動装置は、上下方向に直線移動する可動部22を有するリニアモータ2と、可動部22に接続されており、該可動部22と一体的に直線移動する第1可動子31、及び該第1可動子31に対して逆向きに直線移動する第2可動子32を有する移動方向変換機3と、第2可動子32に設けられており、リニアモータ2が駆動した場合に移動方向変換機3の第1可動子31及び第2可動子32に働く反作用力を均衡させる重り35とを備える。本実施の形態に係るリニア駆動装置は、精密ステージ、半導体製造装置等の工業機械に適用することができるが、以下では負荷5を有する一般的な装置を想定して説明する。負荷5は、例えば、可動部22に取り付けられている。なお、負荷5は、第1可動子31又は第2可動子32に固定するように構成しても良い。リニアモータ2は、長手方向に沿って略等間隔に複数の磁極対が配された長尺平板状の固定子21を備え、固定子21はベース1に立設されている。固定子21の両長辺側には、その長手方向に沿ってリニアモータスライドレール23が立設されている。また、リニアモータ2は、間隙を有して固定子21に対向するように、各リニアモータスライドレール23に沿って移動可能に支持された可動部22とを備える。可動部22は、固定子21の長手方向に沿って略等間隔に複数の磁極対が配されている。固定子21及び可動部22の一方は、永久磁石で構成され、他方は電磁石で構成されている。電磁石への通電は図示しない制御部によって制御されており、電磁石の励磁方向を順次変化させることによって、可動部22は、固定子21に沿って直線移動する。移動方向変換機3は、例えば空間高調波型の直動磁気歯車であり、可動部22の移動方向に沿って略等間隔に配された磁性体を有する中間ヨーク33と、前記中間ヨーク33を介して対向している第1可動子31及び第2可動子32とを備える。また、移動方向変換機3は、可動部22の移動方向に沿ってベース1に立設された移動方向変換機用スライドレール34を備える。図4は、移動方向変換機3の要部を示した分解斜視図である。第1可動子31は、可動部22の移動方向に長い矩形板状をなし、図1に示すように、可動部22に接続されている。第1可動子31は、磁性体からなる板311を有し、板311の横面には、厚さ方向に着磁された右側N極の磁石312a及び右側S極の磁石312bからなる磁極対312が、可動部22の移動方向に沿って単位長さΔL当たり6個配されている。ここでは、第1可動子31の長手方向の寸法は、例えば単位長さΔLの2/3倍である。したがって、第1可動子31は、6×2/3=4個の磁極対312を有している。なお、厚さ方向に着磁された磁石とは、左側及び右側が異極となるよう着磁されていることを意味する。例えば、磁石312aは、左側及び右側がS極及びN極に着磁され、磁石312bは、右側及び左側夫々がN極及びS極に着磁されている。第2可動子32は、図4に示すように、可動部22の移動方向に沿って略等間隔に配された複数の磁極対322を有し、中間ヨーク33を介して第1可動子31と対向している。第2可動子32は、磁性体からなる長尺の板321を有し、板321の横面には、厚さ方向に着磁された左側N極の磁石322a及び左側S極の磁石322bからなる磁極対322が、可動部22の移動方向に沿って単位長さΔL当たり14個配されている。ここでは、第2可動子32の長手方向の長さは、例えば単位長さΔLの3/2倍である。したがって、第2可動子32は、14×3/2=21個の磁極対322を有している。磁極対312と磁極対322は中間ヨーク33を介して対向する様にそれぞれ板311及び321に配されている。中間ヨーク33は、長尺板状をなし、その長手方向が移動方向変換機用スライドレール34の長手方向と同じ方向を向き、第1可動子31と第2可動子32との間に間隙を有して配され、その下端部がベース1に固定されている。中間ヨーク33は、例えば、図4に示すように、第1可動子31及び第2可動子32夫々が有する磁極対312,322の単位長さΔL当たりの個数6及び14の合計となる20個の強磁性の磁性体331を等間隔に長手方向に沿って単位長さΔL毎に保持している。中間ヨーク33の長手方向の長さは、単位長さΔLの2倍である。ここで強磁性の磁性体とは軟磁性体のことをいい、又磁性体とは軟磁性体のことを指す。より一般的には、前記長手方向に沿って第1可動子31に配された磁極対312の単位長さΔL当たり個数がph、前記長手方向に沿って第2可動子32に配された磁極対322の単位長さΔL当たり個数がpl、前記長手方向に沿って中間ヨーク33に配された磁性体331の単位長さΔL当たり個数がnsである場合、下記式1を満たすように各磁極対312,322及び磁性体331の個数を合わせる。plph=ns...1このように構成された移動方向変換機3においては、リニアモータ2への給電が途絶えるなどして、可動部22と共に第1可動子31が下方へ移動しようとした場合、第1可動子31及び第2可動子32夫々が有する磁極対312、322間の磁気的相互作用により、第1可動子31とは逆方向に第2可動子32が移動する池田哲也中村健二一ノ倉理、永久磁石式磁気ギアの効率向上に関する一考察、磁気学会論文誌、2009年、33巻、2号、130-134頁参照。つまり、第1可動子31が移動しようとした場合、第1可動子31からの磁束の空間高調波が中間ヨーク33により変調され、第2可動子32側の磁極対ピッチと同じ周期の空間高調波が生成される。上記式1が成立するときに、第1可動子31を移動させると、第2可動子32は単位長さ当たりの磁極対ピッチと反比例した減速比で移動する。第2可動子32に配置してある磁極対の単位長さΔL当たりの個数plと、第1可動子31に配置してある磁極対の単位長さΔL当たりの個数phとの比ph/plが第2可動子32に対する第1可動子31のギア比となる。図4に示す磁気ギア装置の例では、ギア比3/7となる。このため、リニアモータ2の可動部22と共に第1可動子31が移動した場合、第2可動子32は第1可動子31よりもゆっくり逆方向へ移動する。なお、ここでは、第1可動子31における単位長さΔLあたりの磁極対312の個数が、第2可動子32における単位長さΔLあたりの磁極対322の個数より小さい場合、つまり第1可動子31の直線移動量に対して、第2可動子32の移動量が小さくなる場合について説明したが、第1可動子31の移動量に対して第2可動子32の移動量が大きくなる場合にも本発明は適用できる。また、第1可動子31及び第2可動子32の長手方向の寸法をそれぞれΔL×2/3、ΔL×3/2、中間ヨーク33の長手方向の寸法がΔL×2の場合を説明したが、所定範囲を移動する第1可動子31と、第2可動子32とが同期ずれしない磁力で結合できていれば十分であり、第1可動子31、第2可動子32及び中間ヨーク33の長さは特に限定されない。例えば、上述の実施の形態において、中間ヨーク33の長手方向の寸法を、第1可動子31と略同一寸法になるように構成しても良い。更に、第1可動子31及び第2可動子32の磁気結合力を増強するために、第1可動子31及び第2可動子32の長手方向の寸法をΔL、中間ヨーク33の長手方向の寸法を2ΔLとしても良い。第1及び第2可動子31,32及び中間ヨーク33に配されている、第1可動子31はΔLの長さに磁極対を6個、第2可動子32はΔLの長さに磁極対を14個、中間ヨーク33は2ΔLの長さに磁性体を40個、長手方向に等配している。本明細書では磁極対を二つの磁石で形成したが、一つの磁石を等分にNS着磁して磁極対を形成しても良い。重り35は、例えば、第2可動子32の側面に固定された板状の部材である。重り35の固定位置は特に限定されないが、第2可動子32の重心位置など、重量バランスが取れる位置に固定すると良い。また、重り35の大きさ及び部材は特に限定されない。更に、小さな重り35でリニア駆動装置に加わる反作用力を相殺するためには、重り35の密度を大きくすると良い。重り35は、第2可動子32に着脱不能に固定しても良いし、適宜着脱できるように構成しても良い。例えば、重り35を着脱自在に固定する重り取付部4を第2可動子32に設け、負荷5の質量に応じて、後述の式2を満たす質量を有する重り35を前記重り取付部4に取り付けるように構成しても良い。重り取付部4は、例えば、重り35を第2可動子32に締結するためのネジ孔、重り35が嵌合する凹部、重り35を係止する爪部材などで構成される。リニア駆動装置の自由落下を抑えることができる重り35の質量は下記式を満たすように第2可動子32に配置される。Ma×a=Mb×b...2ここで、Maは、可動部22、第1可動子31からなる直線移動部分の質量の総和である。Mbは、第2可動子32、重り35及び重り取付部4からなる直線移動部分の質量の総和である。a、bは、移動方向変換機3の第1可動子31及び第2可動子32の移動量である。つまり、第1可動子31の移動量:第2可動子32の移動量=a:bである。なお、特許請求の範囲における変数αは、第1可動子31の移動量に対する第2可動子32の移動量の比、即ちb/aである。次に、本実施の形態に係るリニア駆動装置の作用について説明する。図5及び図6は、リニア駆動装置の動作説明図である。図5に示すように、可動部22が下方向へ移動した場合、移動方向変換機3の第2可動子32は上方向へ移動する。可動部22に連結している第1可動子31と、第2可動子32との質量及び移動量の比は、上記式2を満たすため、第1可動子31及び第2可動子32に働く力は互いに相殺される。同様に、図6に示すように、可動部22が上方向へ移動した場合、移動方向変換機3の第2可動子32は下方向へ移動する。可動部22に連結している第1可動子31と、第2可動子32との質量及び移動量の比は、上記式2を満たすため、第1可動子31及び第2可動子32に働く力は互いに相殺する。従って、リニアモータの可動部22、第1可動子31及び第2可動子32に重力が働いている状態で第1可動子31及び第2可動子32が昇降した場合、第1可動子と一体的に移動する部材の位置エネルギーが変化するが、その変化量は、第2可動子と一体的に移動する部材の位置エネルギーの変化量と正負が逆で絶対値が略等しくなる。なお本実施の形態では第1可動子31は、長手方向の長さ4/3ΔLの範囲で移動することができる。このように構成されたリニア駆動装置にあっては、リニア駆動装置の系全体の位置エネルギーは、第1可動子31及び第2可動子32が昇降しても変化せず、一定である。従って、ワイヤーで接続されるカウンターウェイト、機械式ストッパを設けなくても、リニアモータの駆動電流が途絶えた際、重力による可動部22の加速は生じず、可動部22が自由落下することを防止することができる。又反力を相殺することから、このリニア駆動装置を電子部品のマウンタやICボンダなどに使用しても振動を抑制できているので、振動、騒音の低減が期待できるほか、部品のマウント精度の向上も期待できる。また、移動方向変換機3は、直動磁気歯車機構であるため、第2可動子32を第1可動子31に対して非接触で逆方向へ移動させることができ、不要な摩擦力が発生せず、効率的である。更に、第2可動子32は、第1可動子31の移動に対して逆向きに移動するが、この移動は、受動的な移動であるため、可動部22の自由落下を防止する処理は受動的であり、安定性に優れている。更にまた、本実施の形態に係るリニア駆動装置を利用することによって、搬送装置、露光装置、マウンタ、ロボットなどの精度向上、装置の小型軽量化などが実現できる。なお、実施の形態では、重りを第2可動子32に固定する例を説明したが、第1可動子31又はリニアモータ用可動子に固定しても良い。また、重りを設けることで上記式2を満たすように構成してあるが、重りが無くとも、上記式2を満たすのであれば、重りを設けなくても良い。更に、本実施の形態では、リニアモータ2と、移動方向変換機3とが互いに面対向しているが、リニアモータ及び移動方向変換機3の側面が対向するように構成しても良い。更にまた、実施の形態に係るリニア駆動装置の移動方向変換機は、中間ヨーク33を固定した構成であったが、実施の形態における第2可動子32をベース1に固定し、中間ヨーク33を移動可能に構成しても良い。例えば、実施の形態における第2可動子32を固定子以下、変換機用固定子という。とし、実施の形態における中間ヨーク33を可動子以下、第2中間ヨーク可動子という。として構成すると良い。この場合、長手方向に沿って第1可動子31に配された磁極対の単位長さΔL当たり個数がph、前記長手方向に沿って変換機用固定子に配された磁極対の単位長さΔL当たり個数がpl、前記長手方向に沿って第2中間ヨーク可動子に配された磁性体の単位長さΔL当たり個数がnsである場合、下記式3を満たすように各磁極対及び磁性体の個数を合わせる。nsph=pl...3また、上述の変形例では、実施の形態における第2可動子32を固定子として構成した場合を説明したが、実施の形態における第1可動子31を変換機用固定子として、可動部22を第2可動子又は中間ヨークに連結するように構成しても良い。この場合、例えば、第2可動子は、例えば、変換機用固定子及び第1可動子夫々が有する磁極対の単位長さΔL当たりの個数6及び14の差分となる8個の強磁性の磁性体を等間隔に長手方向に沿って保持している。変形例にあっては、実施の形態と同様、ワイヤーで接続されるカウンターウェイト、機械式ストッパを設けることなく、リニアモータの駆動電流が途絶えた場合であっても、リニアモータの可動子が自由落下することを防止することができる。又反力を相殺することから、このリニア駆動装置を電子部品のマウンタやICボンダなどに使用しても振動を抑制できているので、振動、騒音の低減が期待できるほか、部品のマウント精度の向上も期待できる。本明細書では、移動方向変換機3を構成する磁気ギアの一次側の質量と、二次側の質量×ギア比が一致する場合について述べたが、完全に一致していなくても反力相殺効果は期待できる。なお、一次側の質量とは、移動方向変換機3の第1可動子31側の質量であり、二次側の質量とは、移動方向変換機3の第2可動子32側の質量である。例えば電子部品のマウンタのようなケースにおいて、電子部品をマウンタに載置してある状態と無い状態でも重量は異なる。またマウンタに空気や電気を送る配管や配線の位置でも負荷は異なる。このような場合でも反力相殺機構が無い場合に比べて落下の加速度は低減される。また振動発生も大幅に低減される。本願発明の更なる応用例として磁気ギアを利用することで振動を低減し高速駆動が可能な電子部品のマウンタやICボンダを実現できる。この場合にはモータ駆動側、即ち移動方向変換機3を構成する磁気ギアの一次側である第1可動子31の単位長さΔLあたりの磁極対数をplとし、二次側である第2可動子32の単位長さΔLあたりの磁極対数をphとすることで、一次側の可動子の移動量に対して二次側の可動子の移動量の移動量を大きくし、二次側可動子にマウンタやボンダのヘッドを載置すると、一次側であるモータ駆動側のストロークが短く、速度が低い状態で、二次側に載置したマウンタやボンダの高速駆動を行うことができる。また反力は相殺されているので低振動や低騒音を実現することができる。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"