精密基板を収納する、底面にガスパージ用の開閉弁を備えた容器本体と、前記精密基板を前記容器本体に出し入れするための、前記容器本体の前記底面の片端部に底辺を有する矩形状の開口部と、前記開口部を開閉する蓋体と、前記開口部と前記蓋体の間に介在する弾性変形可能な矩形状のシール部材と、を備え、前記シール部材は、前記容器本体の前記開口部内周又は前記蓋体外周のいずれか一方に全周にわたって切り欠き形成された嵌合保持部に嵌合される基体部と、当該基体部から外周外方向に斜めに伸びる屈曲可能な突片と、前記基体部の1面に突出形成されて前記嵌合保持部の内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとを含み、矩形状の前記シール部材の横方向辺における前記突片のつぶし量を1としたとき、前記シール部材の側辺における前記突片のつぶし量比率を1.3以上に形成することを特徴とする基板収納容器。矩形状の前記シール部材の前記横方向辺における前記突片の高さに対する、前記シール部材の前記側辺における前記突片の高さの比率を変えることで、前記つぶし量比率を形成することを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。矩形状の前記シール部材の前記横方向辺における前記蓋体から前記容器本体方向への高さに対する、前記シール部材の前記側辺における前記蓋体から前記容器本体方向への高さの比率を変えることで、前記つぶし量比率を形成することを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。前記突片の厚みが、矩形状の前記シール部材の前記横方向辺におけるより、前記シール部材の前記側辺において厚く形成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。前記シール部材は、前記横方向辺においては高硬度に形成され、前記側辺においては低硬度に形成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の基板収納容器。前記シール部材の突片表面粗さが、矩形状の前記シール部材の前記横方向辺におけるよりも、前記シール部材の前記側辺において滑らかに形成されていることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の基板収納容器。上記の従来の基板収納容器においては、シールガスケットのシールリップは、外向きに湾曲形成されているので、基板収納容器の外方向からの気体の侵入は防止することには優れていた。しかし、基板収納容器の内部の圧力が高まると、シールリップの先端から気体が外部へ漏れ易いので、基板収納容器内部の気体を不活性ガス等を供給して置換するときに、内部の圧力の高まりと共に、折角供給した気体が短時間でそのまま開口部から外部に漏れ出してしまうようになり、気体の置換に時間が掛かり、効率的でないと言った問題があった。具体的には、基板収納容器の内部の酸素濃度や、水分量が一定以下の値まで低下するための時間が長く掛かってしまい、作業の効率が悪くなってしまう問題があった。また、気体が完全に置換されないまま運用してしまうと、前記したような基板の変質のために製品の歩留が低下してしまう可能性があった。本発明は上記に鑑みなされたもので、基板収納容器の内部の気体を置換するときに、基板収納容器の内部から気体が特定箇所から漏れるようにして、効率良く気体を置換可能な基板収納容器を提供することを目的としている。本発明の基板収納容器の特徴は、精密基板を収納する、底面にガスパージ用の開閉弁を備えた容器本体と、精密基板を容器本体に出し入れするための、容器本体の底面の片端部に底辺を有する矩形状の開口部と、その開口部を開閉する蓋体と、開口部と蓋体の間に介在する弾性変形可能なシール部材と、を備え、シール部材は、容器本体の開口部内周又は記蓋体外周のいずれか一方に全周にわたって切り欠き形成された嵌合保持部に嵌合される基体部と、その基体部から外周外方向に斜めに伸びる屈曲可能な突片と、基体部の1面に突出形成されて嵌合保持部の内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブと、を含み、矩形状のシール部材の、底辺及び頂辺を含む横方向辺における突片のつぶし量を1としたとき、シール部材の側辺における突片のつぶし量比率を1.3以上に形成することを要旨とする。シール部材の側辺における突片のつぶし量比率を1.3以上に形成することにより、容器本体の開口部を蓋体により閉じ、突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた基板収納容器に開閉弁の一方からパージガスを供給し、基板収納容器の内圧が外圧よりも高まった状態で、基板収納容器の開口部周辺から外部への気体の漏れが、矩形状の開口部の横方向辺からのみ起るようにすることができる。矩形状のシール部材の横方向辺における突片の高さに対する、シール部材の側辺における突片の高さの比率を変えることで、上記つぶし量比率を形成することができる。また、矩形状のシール部材の横方向辺における蓋体から容器本体方向への高さに対する、シール部材の側辺における蓋体から容器本体方向への高さの比率を変えたり、突片の厚みを、矩形状のシール部材の横方向辺におけるより、シール部材の側辺において厚く形成することにより、上記つぶし量比率を形成することができる。シール部材は、横方向辺においては高硬度に形成し、側辺においては低硬度に形成するのが好ましい。また、シール部材の突片表面粗さを、シール部材の横方向辺におけるよりも、シール部材の側辺において滑らかに形成するのが好ましい。精密基板は、200mm、300mm、450mmタイプの半導体ウェーハ、石英ガラス、液晶セル等のいずれでもよい。容器本体と蓋体は、透明、不透明、半透明のいずれでもよい。蓋体の周縁部には、蓋体の周壁と蓋体の裏面周縁部のいずれもが含まれる。シールガスケットは、エンドレスの枠形でも良いが、可撓性を有する単数複数の線条でも良い。さらに、基板収納容器は、フロントオープンボックスタイプ、トップオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプのいずれでもよい。本発明によれば、基板収納容器の内部圧力が上昇したときの内部からの気体の漏れを特定箇所にすることで、基板収納容器内部の気体を効率よく置換できる。以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態以下、実施形態という。を説明する。本実施形態における基板収納容器は、図1に示すように、複数枚の精密基板を収納する容器本体1と、この容器本体1の矩形状の開口部40に嵌合される蓋体2と、これら容器本体1と蓋体2との間に介在してシールする変形可能な弾性体からなる矩形状のシールガスケット3とを備え、容器本体1の開口部40の内周縁に、シールガスケット3と接触してこれを変形させるシール形成面4側辺側シール形成面4a、横方向辺側シール形成面4bを形成し、蓋体2の周縁部には、シールガスケット3用の嵌合溝が形成されている。本実施形態においては、シールガスケット3は、図2に示したように矩形状をしており、図の頂辺及び底辺を含む横方向辺と、両側の側辺とからなる。基板は、例えば口径300mmタイプの薄く丸い半導体ウェーハSiウェーハや再生ウェーハ等からなり、周縁部に位置決め用のノッチが選択的に切り欠かれており、容器本体1内に1~25枚、あるいは1~26枚の枚数で整列収納される。容器本体1は、図1に示すように、所定の成形材料を使用して正面の開口したフロントオープンボックスタイプに成形され、内部両側には、基板の側部周縁を水平に支持する左右一対のティース5が突出形成されており、この相対向する一対のティース5が所定の間隔をおいて上下方向に並設される。この容器本体1の成形材料としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂があげられ、この熱可塑性樹脂には、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤等が適宜添加される。容器本体1の底面には、平面略Y字形、多角形、あるいは三角形等のボトムプレート6が着脱自在に装着され、このボトムプレート6には、図示しない加工装置に対する断面略V字形の位置決め具が配列して装着されており、容器本体1の天井中央部には図1に示すように、搬送ロボットに把持されるロボティックフランジ7が着脱自在に装着される。容器本体1の開口部40は、図1に示すように、外方向に張り出すように段差を付けて屈曲形成され、この段差の段差面が平坦なシール形成面4側辺側シール形成面4a、横方向辺側シール形成面4bとして機能する。容器本体1の矩形状の開口部40の内周縁上下には、左右一対の係止穴8が所定の間隔をおいて凹み形成される。また、容器本体の底部には、貫通穴9が設けられ、ここに内部の気体を置換するための開閉バルブ10供給側開閉バルブ10a、排気側開閉バルブ10bが1対又は複数対設けられている。蓋体2は、図1に示すように、容器本体1の開口部40に嵌合され内部に設置されて、蓋体2を容器本体1に施錠する一対の施錠機構11を備えている。この蓋体2、一対の施錠機構11は、容器本体1と同様の成形材料を使用して成形される。蓋体2の裏面の凹んだ中央部には、精密基板の前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ12が着脱自在に装着される。各施錠機構11は、蓋体2に軸支されて加工装置の外部操作により回転する回転プレート13と、この回転プレート13の周縁部に連結されてその回転に連動することにより蓋体2の内外方向図1の上下方向にスライドする一対の動力伝達プレート14と、各動力伝達プレート14の先端部に軸支され、蓋体2の施錠時には、動力伝達プレート14のスライドにより蓋体2の周壁の貫通口から突出して容器本体1の開口部40の内周縁の係止穴8に係止し、蓋体2の解錠時には、スライドした動力伝達プレート14の復帰により容器本体1の係止穴8から蓋体2の貫通口内に退没する出没可能な一対の係止爪15を備えて構成される。シールガスケット3は、図1~5に示すように、蓋体2の嵌合保持溝5に嵌入される矩形状に形成される基体16と、この基体16に並べて形成され、嵌合保持溝の内面容器本体1側の内面に圧接される屈曲可能な嵌合突起17と、基体16から水平に張り出す中間部18と、中間部18に設けられ容器本体1のシール形成面4側辺側シール形成面4a、横方向辺側シール形成面4bに圧接される屈曲シール片19側辺側屈曲シール片19a、横方向辺側屈曲シール片19bとを備えて一体形成される。シールガスケット3は、例えばポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマー等からなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、EPDM、シリコーン系のゴム等の成形材料を用いて成形される。この成形材料には、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤等が適宜添加される。また、表面の固着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等からなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂が所定量選択的に添加される。シールガスケット3は、上記の材料を用いて、例えば射出成形等の公知の技術を用いて製造することができる。基体16は、図2に示すように、エンドレスの枠形に形成され、その断面は、図3a、bに示すように、後述する蓋体2の嵌合溝22の断面形状に略対応するよう略矩形とされており、略直線的な内側面が接触面として嵌合溝22の略直線的な最奥面に平行に密接するとともに、外側面が嵌合溝22の開口部40側に位置する。嵌合突起17は、基体16の一面に突出形成される2列の山形のリブとして設けることができる。屈曲シール片19側辺側屈曲シール片19a、横方向辺側屈曲シール片19bは、図3a、bに示すように、基体16の外側面に形成されて、これと略平行となるように直線的に突出する中間部18と、この中間部18の先端に設けられて容器本体1のシール形成面4側辺側シール形成面4a、横方向辺側シール形成面4b方向に曲りながら伸びる断面略円弧形の湾曲部20と、この湾曲部20の先端に膨張形成されてシール形成面4側辺側シール形成面4a、横方向辺側シール形成面4bに圧接する球状突起21とから形成される。ここで、基体16の側辺側屈曲シール片19aの中間片の下面から湾曲部の頂点までの高さh1は、横方向辺側屈曲シール片19bの中間片の下面から湾曲部の頂点までの高さh2よりも、高くなるように形成されている。好ましくは、h1≧1.3×h2とすることで、供給される不活性ガスと効率よく置換できるようになる。第1実施形態図4a、bは、上記した側辺側屈曲シール片19aを備えたシールガスケット3によるシール形成部の断面を表したものである。図4aは容器本体1の開口部40に蓋体2が挿入され、側辺側シール形成面4aと側辺側屈曲シール片19aとが接近した状態であり、図4bは、蓋体2が容器本体1に施錠されて、側辺側屈曲シール片19aが側辺側シール形成面4aと接触してシールを形成した状態を表している。一方、図5a、bは、横方向辺側屈曲シール片19bを備えたシールガスケット3によるシール形成部の断面を表すものである。図5aは、容器本体1の開口部40に蓋体2が挿入され、横方向辺側シール形成面4bと横方向辺側屈曲シール片19bとが接近した状態であり、図5bは、蓋体2が容器本体1に施錠されて、横方向辺側屈曲シール片19bが横方向辺側シール形成面4bと接触してシールを形成した状態を表している。側辺側屈曲シール片19aと横方向辺側屈曲シール片19bは、側辺側の高さが高くなるように設定されているので、側辺側屈曲シール片19aが開口部40の側辺側シール形成面4aにより強く押し付けられることで、ここからの気体の漏れ出しを防止できるようになる。次に、こうしたシールガスケット3を備えた基板収納容器の気体を置換することを説明する。容器本体1に設けられた開閉バルブ10の一方の供給用開閉バルブ10aから、窒素等の不活性ガスを供給し、他方の排気用開閉バルブ10bから排気するときに、基板収納容器内部が陽圧となるようにして気体の置換が行われる。このとき、容器本体1の内部が陽圧となるので、シールガスケット3の屈曲シール片19側辺側屈曲シール片19a、横方向辺側屈曲シール片19bは、圧力に押されてシール片の先端20がシール形成面4側辺側シール形成面4a、横方向辺側シール形成面4bから離れ易くなるが、ガス供給用開閉バルブ10aの周辺の開口部40から気体が洩れる場合は、供給された不活性ガスが基板収納容器内部に充満する前に、漏れ出してしまうので、基板収納容器内部の空気を不活性ガスで置換することに時間が掛かってしまうことになる。本発明の実施形態では、開口部40の任意の場所から供給した不活性ガス等の気体が直ぐに漏れてしまわないように、不活性ガス等の気体が容器本体1内に、ある程度充満してから漏れるようにすることで、基板収納容器に存在していた空気がここから漏れるようにできる。これにより、置換効率を良くすることができるようになる。また、こうした漏れ出し部は、例えば底面から供給された不活性ガスが充満される、開口部40の上部又は下部になるようにすることができる。ここで、シールガスケットの屈曲シール片19側辺側屈曲シール片19a、横方向辺側屈曲シール片19bの撓み量を、図2に示した矩形状の枠体の横方向辺側のb1、b2において1としたときに、側辺側のa1、a2において1.3倍以上となるように設定することで、空気の漏れ出し位置を制御することができる。1.3未満であれば、側辺側からの漏れ出しを防ぐことが十分でなく、不活性ガスの置換時間を短縮できなくなるためである。具体的には、シールガスケット3の屈曲シール片19側辺側屈曲シール片19a、横方向辺側屈曲シール片19bの中間片の下面からの高さh1、h2を枠体の横方向辺側h1を1としたときに、側辺側h2を1.3倍の高さとなるようにして、開口40の左右の側辺側シール形成面4aに強く押し圧されるようにすることで、供給された不活性ガスが、ある程度充満するまでは気体の漏れ出しを防止して、ある程度充満した後は、横方向辺のb1、b2である頂辺あるいは底辺から漏れ出すようにすることで、気体の置換時間を短縮できるようになる。図6a、bは、第1実施形態の変形例であり、シールガスケット3の屈曲シール片23側辺側屈曲シール片23a、横方向辺側屈曲シール片23bのうち、横方向辺側屈曲シール片23bの肉厚t2よりも側辺側屈曲シール片23aの肉厚t1を厚くして、蓋体2を開口部40に取り付けるときのシールガスケット3のつぶし強度に差をつけたものである。この場合も、供給直後の気体が、開口部40の左右の側辺から漏れ出すことを防止できるので、第1実施形態と同様の効果が得られる。第2実施形態図7a、bは、第2実施形態を示したものである。図7a、bで、シールガスケット3の屈曲シール片24側辺側シール形成面24a、横方向辺側シール形成面24bの寸法は変えていない。側辺側においては、図7aに示したように、側辺側シール形成面24aに突起25を設けて、側辺側屈曲シール片19aをより強く押圧するようにしたものである。横方向辺側においては、図7bに示したように、横方向辺側シール形成面24bに突起を設けていない。この場合も、第1実施形態と同様の効果が得られる。第3実施形態図8、図9a、bは、第3実施形態を示したものであり、シールガスケット26の横方向辺側屈曲シール片27bあるいは開口部40の横方向辺側シール形成面28bに、基板収納用機器の内圧が高くなったときに、シール性能を損ねるような微小の凹凸29凸29a、凹29bを形成してここから気体が漏れ出しやすくしたものである。図10は、横方向辺側シール形成面28bに、リーク用の溝30を形成した例である。これらの場合も、上記の第1実施形態、第2実施形態と同様の効果が得られる。第1~3実施形態においては、シールガスケットは矩形状の枠体の部位によらず一定の性質を持つことを前提としているが、例えば、枠体の側辺を横方向辺よりも低硬度に形成することにより、シール効果が高くなる。このような部位による硬度の調整は、例えば、シールガスケットに用いるエラストマーの可塑剤の配合量を部位によって変えたり、ゴム材料の架橋を相対する一対の辺の間で差を設けたり、異なる性状の材料を2色成形することによって達成される。図1に示すような基板収納容器と、シールガスケットを使用して、基板収納容器内に窒素ガスを供給して、シールガスケットの屈曲シール片又は開口部の寸法を変えたものを複数準備して、図11に示すように基板収納容器内部に酸素濃度や湿度、圧力などを測定するためのセンサーを挿入して計測を行い、酸素濃度が所定の値である11ppm以下となる置換時間をそれぞれ計測した。実施例1シールガスケットの横方向辺の屈曲シール片の高さを1とし、側辺の屈曲シール片の高さを1.3としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を40L/min供給し、他方から排気して、その値が11ppm以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。実施例2横方向辺の屈曲シール片の高さを1とし、側辺の屈曲シール片の高さを1.5としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を40L/min供給し、他方から排気して、その値が11ppm以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。実施例3横方向辺の屈曲シール片の高さを1とし、側辺の屈曲シール片の高さを1としたシールガスケットと、容器本体の横方向辺側開口部よりも、側辺側開口部が1.3倍高くなるように形成された側辺を形成した容器本体を用いて、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を40L/min供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が11ppm以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。実施例4横方向辺の屈曲シール片の高さを1とし、側辺の屈曲シール片の高さを1とし、側辺側の屈曲シール片の厚さが、横方向辺側より厚く形成し、撓み力が1.3倍となるように形成したシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を40L/min供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が11ppm以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。比較例1横方向辺の屈曲シール片の高さを1とし、側辺の屈曲シール片の高さを1としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を40L/min供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が11ppm以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。比較例2横方向辺の屈曲シール片の高さを1とし、側辺の屈曲シール片の高さを1.2倍としたシールガスケットを使用して、容器本体の開閉バルブの一方から窒素を40L/min供給し、他方から排気して、基板収納容器内部の酸素濃度を測定して、その値が11ppm以下となる時間を測定した。この値を置換時間とした。表1は、実施例1~4、比較例1、2のそれぞれのシールガスケット高さと容器本体シール形成面高さに対する、基板収納容器内への窒素ガス置換時間を示したものである。シールガスケット高さと容器本体シール形成面高さを変えて、シール部材の側辺における突片のつぶし量比率を1.3以上に形成することにより、窒素ガス置換時間が86以下に低減されることが示されている。