"音響フィルタに適した材料の積層体を備え、前記積層体は少なくとも一つの圧電層を含み、更に幅と間にギャップを有する少なくとも2つの共振器を備え、前記共振器は前記圧電層の異なる面上に電極を備え、前記圧電層の少なくとも一つの面上の電極は少なくとも2つの共振器領域を形成するように分離されている、音響フィルタにおいて、前記積層体の材料、幅及び分離された電極間のギャップが、少なくとも一つの横方向定在波共振にそれぞれ寄与する少なくとも2つの異なる音響板波モードを当該音響フィルタ内で発生するように構成されている、ことを特徴とする音響フィルタ。前記圧電層の一つの面上の電極のみが少なくとも2つの共振器領域を形成するように分離され、前記圧電層の反対面上に連続電極が設けられている、請求項1に記載の音響フィルタ。前記圧電層の両面上の電極が少なくとも2つの共振器領域を形成するように分離されている、請求項1に記載の音響フィルタ。前記電極の少なくとも2つは平衡電気ポートを提供するように電気的に接続されている、請求項3に記載の音響フィルタ。前記音響フィルタの構造は、前記音響フィルタ内において全部で少なくとも3つの横方向定在波共振を有する少なくとも2つの異なる板波モードをトラップするように構成されている、請求項1-4のいずれかに記載の音響フィルタ。前記少なくとも3つの横方向定在波共振のうちの少なくとも2つが一つの板波モードに対して生じ、前記少なくとも3つの横方向定在波共振のうちの少なくとも1つが別の板波モードに対して生じる、請求項5に記載の音響フィルタ。前記音響フィルタの構造は、前記音響フィルタ内において全部で少なくとも4つの横方向定在波共振を有する少なくとも2つの異なる板波モードをトラップするように構成されている、請求項1-6のいずれかに記載の音響フィルタ。前記少なくとも2つの異なる音響板波モードは少なくとも1つの縦モード及び少なくとも1つのすべりモードを備える、請求項1-7のいずれかに記載の音響フィルタ。前記積層体構造内に少なくとも2つの圧電層を備える、請求項1-8のいずれかに記載の音響フィルタ。前記圧電層は、それらのc軸が垂直方向にある対称性群6mmから選択される、請求項1-9のいずれかに記載の音響フィルタ。前記圧電層は、それらのc軸が垂直方向に対して傾斜した方向にある対称性群6mmから選択される、請求項1-9のいずれかに記載の音響フィルタ。垂直電界が縦音響波及びすべり波の両方に結合される、請求項11に記載の音響フィルタ。前記圧電層の対称性群及び結晶方向が、縦及びすべり音響厚みモードの両方で垂直電界と固有の結合を形成するように選択されている、請求項1-9のいずれかに記載の音響フィルタ。前記圧電層はAlN又はZnOから形成される、請求項1-13のいずれかに記載の音響フィルタ。音響広帯域フィルタのための構造設計及び材料を選択するステップ、及び所望の中心周波数及び帯域幅を指定するステップ、を備える、音響広帯域フィルタを製造する方法において、前記選択された構造設計及び材料を幅及びそれらの間のギャップを有する一組の共振器と一緒に使用して、全部で少なくとも2つの共振を有する少なくとも2つの異なる横方向伝搬厚み振動板波モードの結合を達成するような積層体を設計するステップ、及び全部で少なくとも2つの共振を有する前記少なくとも2つの異なる横方向伝搬厚み振動板波モードを結合するように設計された前記フィルタ積層体を製造するステップ、を備えることを特徴とする音響広帯域フィルタの製造方法。前記積層体を、前記指定された中心周波数が前記少なくとも2つの異なる板波モードのオンセット周波数の間に位置し、異なる2つの板モードの前記オンセット周波数の周波数差が前記所望の帯域幅の約13になるように設計するステップを備える、請求項15に記載の製造方法。請求項15または16に記載の方法で製造されたフィルタ。ここに記載するフィルタは図4に示すSMRLCRF構造に基づくものである。本例の電極は図5に示すようなインターディジタルくし形であるが、他の形状例えば環状も可能である。図4はZ方向に積層された2電極SMRLCRF構造40の概略図である。この構造の最上部に2つのポート41及び42が存在する。ポートは圧電層43に固定される。圧電層の下に電極44、音響反射器45及び基板46が存在する。周期p矢印52で示すを有するインターディジタル電極の実施形態が図5に50で示されている。図4及び図5は一般的な構造を示し、本発明を限定する意図はない。例えば、本発明では電極を入力及び出力に交互に接続する必要はなく、一つの電極が中間で接地又は非接地のフィンガを有することができる。また、電極接続は規則的にする必要はなく、つまり電極は必要に応じ任意にポートに接続することができる。3つ以上のポート、例えば1つの入力及び2つの出力平衡出力用、2つの入力及び1つの出力平衡入力用又は2つの入力及び2つの出力平衡入力及び平衡出力用にすることもできる。電極幅及びギャップ幅は電極構造内で変化させることができ、材料はAlN及びWSiO2に限定されない。いくつかの他の適切な圧電材料、例えばZnO.PZTを圧電材料として使用することもでき、反射器及び電極の材料もここで考察する材料に限定されない。底部電極44は電極41及び42に対応する個別電極44a及び44b図4には示さずに分割することができる。前記個別電極の幅はそれらの対応電極の幅と同一にする必要はなく、それらの間のギャップも対応電極の間のギャップと同一にする必要はない。図4に示すSMRタイプの構造に加えて、他のタイプの構造、例えば図6に示すようなメンブレン構造も、音響特性が適切であれば、使用することができる。図6は電極64の上の圧電層63に固定された2つのポート61及び62を有するメンブレン構造を示す。SMRと対照的に、電極64の下部に空隙65が存在する。空隙の幅は、図6に示すように共振器61,62の共通幅と少なくとも同じ大きさにするのが好ましい。現在のLCRFは、TEモード、具体的にはTE1モードで、動作するように設計されている。その理由は、多くの圧電薄膜材料は厚さ方向により強い電気機械結合を有する、つまり縦振動が圧電層の厚さを超える電気的励振に効率的に結合するためである。しかしながら、TS2モードによる強いスプリアスパスバンドで示されるように非特許文献3参照、LCRF構造の横方向トポロジのためにすべり振動モードに対しても強い結合が存在する。従って、TS2モードを使用して、垂直CRFなどの純粋に垂直方向のトポロジでは不可能な電気的周波数応答を生成することも実現可能になる。本発明の実施形態によれば、バンドパス応答を形成するためにTE1及びTS2バルク振動モードの両方を使用する。これは、構造の横方向トポロジによって可能になる。これまでスプリアス応答と考えられていたTS2パスバンドがTE1パスバンドに融合され、TE1モード単独で得られるパスバンドの少なくとも2倍のパスバンドがもたらされる。本発明ではパスバンド4極フィルタ応答形成するために、2つの横方向定在波共振TE1板モードの偶数及び奇数共振の代わりに、4つの横方向定在波共振TE1及びTS2板モード両方の偶数及び奇数共振を使用することができる。1つだけの代わりに2つの周波数的に近接する音響板波モードを使用するため、2つだけの代わりに4つの横方向定在波共振がパスバンド2つの音響板モードブランチ内の偶数及び奇数共振を形成する。これはより広い帯域の生成及び製造公差の緩和を可能にする。これは、単一の広帯域応答を形成するために、全体として板波モードが所望の横方向定在波共振を適切な周波数でサポートする分散特性を達成するように共振器の寸法を設計し、さらに装置の材料を選択することによって可能になる。また、装置ジオメトリ幾何学形状は、所望の横方向定在波共振のすべてに対する電気機械結合が高くなるように、例えば細長い反復フィンガ状機構を使用するように設計される。すべり振動に対する電気的結合は、異なる圧電対称性を有する材料で達成することができる。しかしながら、本発明では所望の結果を得るために、電界をすべり及び縦振動の両方に結合しなければならない。ここでは厚さ方向に強い電気機械結合を有する材料を横方向装置ジオメトリで使用する。別の可能性として、横方向及び厚さ方向の両方向に強い結合を有する材料、又は横方向に強い結合を有し、さらに垂直方向励振ジオメトリを有する材料がある。図7は本発明の動作原理を示す。図3からの模擬分散曲線が、伝搬波型のTE1及びTS2板波モードに対して示されている。分散曲線に沿って移動すると、横方向定在波が前節で説明したように生じる。図7の例の電極構造は、両板波モードにおいて、2つの電極に対応する偶数及び奇数の横方向定在波共振がトラップされ、それらがパスバンド応答の形成に使用されるように設計される。TS2板波モードに対しては、周波数が増加するにつれて波長が増加する。それゆえ、奇数共振は偶数共振より低い周波数で生じる。TE1板波モードに対しては、周波数の増加とともに波長が減少するので、奇数及び偶数共振の順位が逆になる。電極間の音響結合及び横方向定在波共振間の周波数差を正しく設計すると、広帯域周波数応答を得ることができる。得ることができる帯域幅は積層体の音響特性及び電極構造によって決まる。概算により、TE1板波モードのみを使用して達成し得るパスバンドに比べて3倍広いパスバンドを得ることができることが分かった図8参照。図9は、電極領域内青色、実線及び電極外赤色、破線における板波分散の一例を示す。k=0の左側の値は虚数波ベクトル値を表し、k=0の右側の値は実数波ベクトル値を表す。電極内の音響波は電極領域内において、外部領域が図に緑/灰色でマークされた虚数波ベクトルエバネッセント波を有する周波数でトラップされる。TE1及びTS2板波モードが電極領域及び外部領域の両方に対して示されている。例えば、層数、層厚などに関する装置の最終設計規則は、材料、積層体及び最終的にはその分散に依存する。しかしながら、以下の記載において、所望の効果を発生させることができるものとして個別に又は組み合わせて考慮することができる一組の好ましい設計要件が与えられる。上部電極によりもたらされる質量負荷は、使用する共振モードが横方向に伝搬する板波の周波数トラッピング領域内で誘起され得るように、つまり外部周波数領域分散曲線のエバネッセント部分により決まる周波数トラッピング領域が使用する共振モードを封入し得るように、十分小さくしなければならない。それゆえ、上部電極は、低密度の金属、例えばアルミニウム及び/又はλz4未満の薄い厚さにしなければならないここで、λzは厚さz方向の縦音響波の波長である。TS2及びTE1板波モードのkx=0における周波数図9のfb及びfa間の周波数差は、所望のパスバンド形状及び幅が達成されるようにしなければならない。底部電極も上述の周波数差に影響を与える。底部電極は、周波数差|fa-fb|が所望値になるように設計するのと同時に、積層体のシングルワイド共振器から測った1-D電気機械結合係数keffが小さな損失を補償するに十分な大きさになるように設計しなければならない。反射鏡積層体の層厚は通常λz4未満にしなければならずここで、λzは厚さ方向の縦音響波の波長である、これはすべり波も反射されるようにするために必要とされる。電極幅は、横方向音響板波の1半波長λxが奇数共振周波数で電極に収まるようにするのが好ましい。ギャップ幅は、TE1及びTS2板波モードの両方による偶数横共振器の横波長λxが最大になるようにするのが好ましい。電極の数は、所望の周波数帯域幅に達するように選択され、且つ構造がシステムインピーダンスに整合するように、即ち抵抗損が最小になるように電極の長さを維持しながらその静的キャパシタンスが整合に必要な値になるように選択される。TE1及びTS2以外の他の厚み振動モードを使用することもできる。その要件は、それらのモードが周波数的に適切に離れていること及び適切な横方向定在波共振が生成され得ることである。TE1及びTS2モードは周波数的に他の次数にすることもできる。一つの特定の非限定的な例は以下の通りである。インターディジタル電極構造は11個のフィンガを有するものを使用した。電極の幅は10μm、電極間ギャップは2μmにした。電極は第1及び第2のポートに交互に接続した。薄膜層の厚さを表2に示す。TE1及びTS2板波モードの両方を使用して得られた10dB帯域幅は約220MHzであり、1850MHzの中心周波数の12に相当し、現在の技術を上回る著しい向上が得られた。本発明の所望の性能を達成するためには、縦及びすべり運動モードの両方への電気的結合が不可欠である。これは、主として適切な圧電材料及び装置ジオメトリの選択によって達成される。更に、任意のSMR応用においては反射器が縦波及びすべり波の両方を反射するのが好ましい。また、正しい音響特性分散を選択することも重要である。所望の中心周波数をTE1及びTS2モードのオンセット周波数の間にしなければならない。更に、TE1及びTS2モードが同じ構造でトラップされるようにTE1及びTS2モード間の周波数差を適正化しなければならない。TE1及びTS2モード両方の損失を低くするためにQ値も十分に高くしなければならない。適切な電極設計の選択においては、偶数及び奇数定在波共振間の周波数差を、所望の帯域幅を与えるのに適切であるものとしなければならない。考慮しなければならない他のファクタは、製造公差が臨界的でないこと、ギャップが十分に広いこと、電極長さによる抵抗値が大きすぎないこと、及びコンポーネントサイズが目的の用途に対して十分に小さいことである。更に、パスバンドにノッチを生じる中間横方向定在波共振が存在しないようにすることも重要である。本発明のフィルタは、その設計及び製造方法から理解することもできる。更に、新規な方法もここに与えられる。少なくとも4つの横方向定在波共振をトラップする広帯域音響結合BAWフィルタを設計するために、2つの異なる厚み振動モード板波モードの電気機械結合が達成される構造及び関連材料が選択される。本実施形態においては、2つの厚み振動モード板波モードはTE1及びTS2であるが、本発明の範囲から外れることなく他の振動モードを選択することもできる。次に、所望の中心周波数が2つの厚み振動モードの板波分散曲線のオンセットkx=0周波数の間に位置し、2つの振動モードのオンセットkx=0周波数間の周波数差が所望の帯域幅の約13になり、Q及びkeffが両モードに対して最大になり、縦波及びすべり波の両方が反射層で反射されるように積層体が設計される。分散曲線から、2つの板波モードの分散曲線間の周波数差がほぼ所望の帯域幅である横波数kxを選択する。次に、この選択kx値によって奇数横方向定在波共振モードの波長を決定する。波長が分かると、電極の幅及びギャップを選択することができる。適切な幅及びギャップが容易に明らかにならない場合には、設計を小さいギャップから始め、そこから結合を弱めなければならないかを決定するのが望ましい。所望のコンポーネントサイズ及び整合要件を知ることによって、電極の数を選択することができる。多数の電極は50オームへのより容易な整合を可能にする。多数の電極は、弱く結合する横方向共振により生じるノッチの深さも低減し得る。この段階において、所望の設計要件が選択され、関連設計パラメータが見つけ出される。必要に応じ、スカート部をもっと急勾配にするために並列又は直列共振器を設計することができ、その設計を整合が必要かどうかに関してチェックすることができる。パスバンドの形状は、必要に応じ、例えば同調インダクタを追加することによって修正することができる。その後、広帯域音響結合BAWフィルタはいつでも製造できる状態となる。本発明を上記の特定の実施形態について説明したが、それらの実施形態は本発明の範囲を限定することを意図するものではない。本発明の範囲は広帯域バンドパス応答を生成するために縦モードに加えてすべりモードを使用するすべてのものに及ぶ。両方の厚み板波モードに対する電気的結合は、一般に、上では具体的に列挙されていない材料の異なる組み合わせ及び励振ジオメトリによって達成することができる。横方向装置ジオメトリとの強い厚さ方向及び弱い横方向の電気機械結合を使用したが、これは一つの個別の例にすぎない。別の可能性として、縦方向装置ジオメトリとの強い厚さ方向及び強い横方向の電気機械結合、又は強い横方向及び弱い厚さ方向の電気機械結合を使用することもできる。重要なことは、2つの代わりに少なくとも3つ、特に少なくとも4つの横方向定在波共振の新規な使用によって極めて広帯域のパスバンドが簡単な製造プロセスで達成可能であることにある。得られる広帯域はより幅の広い電極を使用するなどの設計の自由度の向上をもたらし、より多くの電極の50オームへの整合が容易になる。更に、整合インダクタンス又は他の整合素子を使用する必要がある場合に、その必要性が小さくなる。また、帯域幅がそれを僅かに犠牲しても十分である場合には、ギャップ幅に関する要件が緩和され、これにより容易な製造が促進されることとなって、より良好な性能より低い損失などを達成することができる。3共振システムでは、3つの共振のうち2つの共振は一つの板波モードに対して生じ、他の一つは別の板波モードに対して生じる。一実施形態によれば、圧電層はそのc軸が垂直方向にある対称性群6mmから選択される。一実施形態によれば、圧電層はそのc軸が垂直方向に対して傾斜した方向にある対称性群6mmから選択される。この場合には、垂直電界は縦音響波例えばTE1及びすべり波例えばTS2の両方に結合される。一般的に言えば、圧電層の対称性群及び結晶方向は、縦音響モード例えばTE1及び横音響モード例えばTS2の両方で、垂直電界と固有の結合を形成するように選択することもできる。音響フィルタは2つ以上の圧電層を積層構造で備えることもできる。この場合には、積層体に沿って、即ち垂直方向に定在波モードが生じる。すべり振動との結合を提供するために、代替材料を使用することもできる。一つの例では、AlN又はZnNなどの6mm材料が使用され、c軸が垂直方向から傾くように堆積され、垂直電界と垂直方向に伝搬するすべり音響振動との結合が与えられる。別の例では、LiNbO3、LiTaO3などの圧電材料の薄膜形態を使用する。別の例では、本質的に垂直電界と垂直方向に伝搬するすべり音響振動との結合を与える材料を使用する。"