内燃機関の排気通路に上流から順に未燃成分保持触媒ユニットと排気ガス成分検知手段と浄化触媒ユニットを設け、前記未燃成分保持触媒ユニットと前記浄化触媒ユニットにはそれぞれ触媒を昇温する電気ヒータと触媒温度を検知する触媒温度検知手段を設け、前記未燃成分保持触媒ユニットの上流側には二次エアを供給する電動ポンプを設け、前記排気ガス成分検知手段の出力を入力するとともに前記電気ヒータと前記電動ポンプを制御する制御装置を設け、前記制御装置は、下流側に設けた前記浄化触媒ユニットの電気ヒータを通電し、その内蔵した3元触媒が活性状態となる設定温度に達するまで昇温を行い、上流側に設けた前記未燃成分保持触媒ユニットの電気ヒータを通電し、その内蔵したトラップ触媒が活性状態となる設定温度に達するまで昇温を行い、昇温された前記未燃成分保持触媒ユニットを通過した後の排気ガスの空燃比を前記排気ガス成分検知手段で検知し、この検知した空燃比に基づいて二次エアを供給する前記電動ポンプの動作を行うことを特徴とする内燃機関の排気浄化装置。前記排気ガス成分検知手段は空燃比を出力し、前記制御装置は、この空燃比がリッチを示す場合に前記電動ポンプを駆動し、この空燃比に応じて前記電動ポンプの駆動をフィードバック制御し、前記電動ポンプの駆動時間を計測し、この駆動時間が所定時間に達した場合に前記電動ポンプの駆動を停止することを特徴とする請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。しかし、前述特開平5-18236号の排気浄化装置では、空気ポンプからの二次エアの供給量に、排気ガスの空燃比からの応答制御がされていないことにより、下流側の補助触媒ユニットに流入する排気ガスの空燃比が、補助触媒ユニットの浄化可能空燃比領域浄化ウインドウから外れてしまい、浄化が適正に行われない可能性が危惧される。また、前述特開平5-18236号の排気浄化装置のように、ヒータや空気ポンプを含め、複数の補機を電気で駆動する場合、これら複数の補機を同時に使用すると電力消費が重なって瞬間的な使用電力が大きくなり易く、継続的に電力消費を行う動作が含まれていた場合、車両全体的な電気負荷が極めて大きくなる不都合がある。この発明は、排気ガス成分を検知して高い浄化効率を発揮するシステムを提供すること、電力消費に配慮しつつ、浄化性能を高めた状態にできるだけ早くもっていくようなシステムを提供することを目的とする。この発明は、内燃機関の排気通路に上流から順に未燃成分保持触媒ユニットと排気ガス成分検知手段と浄化触媒ユニットを設け、前記未燃成分保持触媒ユニットと前記浄化触媒ユニットにはそれぞれ触媒を昇温する電気ヒータと触媒温度を検知する触媒温度検知手段を設け、前記未燃成分保持触媒ユニットの上流側には二次エアを供給する電動ポンプを設け、前記排気ガス成分検知手段の出力を入力するとともに前記電気ヒータと前記電動ポンプを制御する制御装置を設け、前記制御装置は、下流側に設けた前記浄化触媒ユニットの電気ヒータを通電し、その内蔵した3元触媒が活性状態となる設定温度に達するまで昇温を行い、上流側に設けた前記未燃成分保持触媒ユニットの電気ヒータを通電し、その内蔵したトラップ触媒が活性状態となる設定温度に達するまで昇温を行い、昇温された前記未燃成分保持触媒ユニットを通過した後の排気ガスの空燃比を前記排気ガス成分検知手段で検知し、この検知した空燃比に基づいて二次エアを供給する前記電動ポンプの動作を行うことを特徴とする。この発明の内燃機関の排気浄化装置は、先に未燃成分保持触媒ユニットおよび浄化触媒ユニットを活性化した後、排気ガスの空燃比に応じて二次エアを供給するので、浄化触媒ユニットの浄化効率を高く保つよう動作できる。この発明の内燃機関の排気浄化装置は、優先順序として、浄化触媒ユニットの活性化、未燃成分保持触媒ユニットの活性化を先に行って、悪化した排気ガスの成分を早期に抑制し、その後、二次エアを供給することにより、未燃成分保持触媒ユニットが保持した未燃ガス成分を浄化触媒ユニットの浄化効率の高い排気ガス成分比の排気ガスとして下流側の浄化触媒ユニットに供給でき、浄化効率を高く保つことができる。この発明の内燃機関の排気浄化装置は、各触媒ユニットの電気ヒータと二次エアの電動ポンプヘの通電を順次に行い、動作開始タイミングを明確に異ならせるようにしたので、電気負荷を抑えることができる。この発明の内燃機関の排気浄化装置は、各触媒ユニットの冷機から活性化するまでの時間を短くすることができるので、停止時間が長く冷機状態となり易い内燃機関に好適である。以下、図面に基づいて、この発明の実施例を説明する。図1、図2は、この発明の実施例を示すものである。図1において、1は内燃機関、2は排気浄化装置である。内燃機関1は、運転状態に応じて自動停止自動始動される自動停止始動内燃機関である。ここで、自動停止始動内燃機関とは、アイドルストップ車に搭載された内燃機関のように、停車時にアイドリングを停止され、発進時に始動アイドルストップ制御される内燃機関や、また、シリーズハイブリッド車レンジエクステンダー電気自動車、動力分配型ハイブリッド車に搭載された内燃機関のように、バッテリの充電状態や走行状態に応じて走行中に停止、始動される内燃機関である。前記内燃機関1の排気浄化装置2は、内燃機関1の排気通路3に、上流から順に未燃成分保持触媒ユニット4と排気ガス成分検知手段5と浄化触媒ユニット6を設けている。未燃成分保持触媒ユニット4は、排気ガス中の未燃成分HCを吸着、離脱するトラップ触媒7を内蔵している。排気ガス成分検知手段5は、広域空燃比LAFセンサからなり、未燃成分保持触媒ユニット4と浄化触媒ユニット6と間の排気通路3にある排気ガスの空燃比を検出して出力する。浄化触媒ユニット6は、排気ガス中のCO、HC、NOx成分を酸化還元反応により浄化する3元触媒8を内蔵している。前記未燃成分保持触媒ユニット4には、トラップ触媒7を昇温する電気ヒータ9と、トラップ触媒7の温度を検知する触媒温度検知手段10を設けている。前記浄化触媒ユニット6には、3元触媒8を昇温する電気ヒータ11と、3元触媒8の温度を検知する触媒温度検知手段12を設けている。前記未燃成分保持触媒ユニット4の上流側の排気通路3には、二次エア通路13を接続している。二次エア通路13には、二次エアを供給する電動ポンプ14を設けている。二次エアとは、内燃機関1の内部での燃焼後に排気通路3に排出された排気ガスに対して供給するエア酸化ガスを含むガスであれば良いのことであり、ここでは異物を除くようフイルタで濾過した大気を供給している。前記排気ガス成分検知手段4と前記電気ヒータ9、11と前記触媒温度検知手段10、12と前記電動ポンプ14は、制御装置15に接続している。制御装置15は、排気ガス成分検知手段5の出力する空燃比を入力するとともに、触媒温度検知手段10、12の出力する触媒温度を入力し、電気ヒータ9、11と電動ポンプ14を制御する。前記制御装置15は、未燃成分保持触媒ユニット4の下流側に設けた浄化触媒ユニット6の電気ヒータ11を通電し、その内蔵した3元触媒8が活性状態となる設定温度に達するまで昇温を行い、浄化触媒ユニット6の上流側に設けた未燃成分保持触媒ユニット4の電気ヒータ9を通電し、その内蔵したトラップ触媒7が活性状態となる設定温度に達するまで昇温を行い、昇温された未燃成分保持触媒ユニット4を通過した後の排気ガスの空燃比を排気ガス成分検知手段5で検知し、この検知した空燃比に基づいて二次エアを供給する電動ポンプ14の動作を行う。制御装置15は、排気ガス成分検知手段5の出力した空燃比がリッチを示す場合に電動ポンプ14を駆動し、この空燃比に応じて電動ポンプ14の駆動をフィードバック制御する。そして、制御装置15は、電動ポンプ14の駆動時間を計測し、この駆動時間が所定時間に達した場合に電動ポンプ14の駆動を停止する。次に作用を説明する。内燃機関1の排気浄化装置2は、図2に示すように、内燃機関1が始動されて排気浄化処理のプログラムがスタートするとS01、未燃成分保持触媒ユニット4のトラップ触媒7の温度が所定温度T1例えば、75°C以下であるかを判断するS02。この判断S02がNOの場合は、プログラムをエンドにするS15。この判断S02がYESの場合は、トラップ触媒7の温度が所定温度T1以下の状態が設定時間t1例えば、30秒以上継続しているかを判断するS03。この判断S03がNOの場合は、スタートS01に戻る。この判断S03がYESの場合は、浄化触媒ユニット6の電気ヒータ11を通電して3元触媒8を加熱しS04、3元触媒8の温度が活性状態となる設定温度T2例えば、400°C以上であるかを判断するS05。この判断S05がNOの場合は、3元触媒8の加熱S04に戻る。この判断S05がYESの場合は、未燃成分保持触媒ユニット4の電気ヒータ9を通電してトラップ触媒7を加熱しS06、トラップ触媒7の温度が活性状態となる設定温度T2例えば、250°C以上であるかを判断するS07。この判断S07がNOの場合は、トラップ触媒7の加熱S06に戻る。この判断S07がYESの場合は、排気ガス成分検知手段5の検出した空燃比から、供給される空気量と理論的に必要な空気量との割合を示すλが1未満λ<1:供給空気量不足→空燃比がリッチであるかを判断するS08。この判断S08がNOの場合は、電動ポンプ14の駆動を停止しS14、プログラムをエンドにするS15。この判断S08がYESの場合は、電動ポンプ14の駆動を開始して二次エアの供給量を最小流量としS09、電動ポンプ14の駆動時間が所定時間t2例えば、30秒以下であるかを判断するS10。この判断S10がNOの場合は、電動ポンプ14の駆動を停止しS14、プログラムをエンドにするS15。この判断S10がYESの場合は、λが1未満λ<1:供給空気量不足であるかを判断するS11。この判断S11がYESの場合は、二次エアの供給量を増加するように電動ポンプ14を駆動しS12、判断S10に戻る。この判断S11がNOの場合は、二次エアの供給量を減少するように電動ポンプ14を駆動しS12、判断S10に戻るS15。二次エアの供給量の増加、減少は、所定時間t2が経過するまでS10:NO、電動モータ14のフィードバック制御により行われる。排気浄化装置2は、複数の補機として、上流側に設けた未燃成分保持触媒ユニット4のトラップ触媒7に設けた電気ヒータ9、下流側に設けた浄化触媒ユニット6にの3元触媒8に設けた電気ヒータ11、二次エアを供給する電動ポンプ14を備えている。排気浄化装置2は、これら複数の補機の動作を、図2に示すフローチャートに示す通り、最初に3元触媒8に設けた補機である電気ヒータ11の主動作通電して、その3元触媒8が活性状態となる設定温度T2に達するまで昇温するを行い、次いでトラップ触媒7に設けた補機である電気ヒータ10の主動作通電して、そのトラップ触媒7が活性状態となる設定温度T1に達するまで昇温するを行い、最後に二次エアを供給する補機である電動ポンプ14の動作を行っている。図2のフローチャートにおいて、排気浄化装置2が判断に用いる判定値となる設定温度T1~T3、所定時間t1、t2は、触媒浄化装置2を適用する内燃機関1に固有の値としてそれぞれ設定すれば良い。第一の設定温度T1と第一の所定時間t1は、内燃機関1の冷機始動であることを判断できるように設定する。第二の設定判定温度T2は、排気ガスの浄化触媒ユニット6である3元触媒8の浄化機能が働く活性状態に応じて設定する。第三の設定温度T3は、未燃成分を一時的に保持する未燃成分保持触媒ユニット4のトラップ触媒7の保持機能が働く活性状態に応じて設定する。第二の所定時間t2は、二次エアを供給する電動ポンプ14の継続動作を許容する時間として設定する。いずれの値も、浄化性能確保と電力消費量の抑制をバランスして決定する。このように、内燃機関1の排気浄化装置2は、制御装置15によって、下流側に設けた浄化触媒ユニット6の電気ヒータ10を通電し、その内蔵した3元触媒8が活性状態となる設定温度T2に達するまで昇温を行い、上流側に設けた未燃成分保持触媒ユニット4の電気ヒータ9を通電し、その内蔵したトラップ触媒7が活性状態となる設定温度T1に達するまで昇温を行い、昇温された未燃成分保持触媒ユニット4を通過した後の排気ガスの空燃比を排気ガス成分検知手段5で検知し、この検知した空燃比に基づいて二次エアを供給する電動ポンプ14の動作を行っている。これにより、この排気浄化装置2は、先に未燃成分保持触媒ユニット4および浄化触媒ユニット6を活性化した後、排気ガスの空燃比に応じて二次エアを供給するので、浄化触媒ユニット6の浄化効率を高く保つよう動作できる。この排気浄化装置2は、優先順序として、浄化触媒ユニット6の活性化、未燃成分保持触媒ユニット4の活性化を先に行って、悪化した排気ガスの成分を早期に抑制し、その後、二次エアを供給することにより、未燃成分保持触媒ユニット4が保持した未燃ガス成分を浄化触媒ユニット6の浄化効率の高い排気ガス成分比の排気ガスとして下流側の浄化触媒ユニット6に供給でき、浄化効率を高く保つことができる。また、排気浄化装置2は、各触媒4、6の電気ヒータ9、11と二次エアの電動ポンプ14ヘの通電を順次に行い、動作開始タイミングを明確に異ならせるようにしたので、電気負荷を抑えることができる。さらに、排気浄化装置2は、各触媒4、6の冷機から活性化するまでの時間を短くすることができるので、停止時間が長く冷機状態となり易い内燃機関に好適である。また、内燃機関1の排気浄化装置2は、制御装置15によって、排気ガス成分検知手段5の出力する空燃比がリッチを示す場合に電動ポンプ14を駆動し、この空燃比に応じて電動ポンプ14の駆動をフィードバック制御し、電動ポンプ14の駆動時間を計測し、この駆動時間が所定時間t2に達した場合に電動ポンプ14の駆動を停止する。これにより、この排気浄化装置2は、電動ポンプ14の駆動をフィードバック制御して二次エアの量を調整するので、浄化効率を高く保つことができる。また、排気浄化装置2は、排気浄化システムの状態を、高い浄化効率を発揮する状態にした後で、時間を区切って電動ポンプ14の駆動を停止することになるので、浄化効率の低下を招くことなく、電力消費を抑えることができる。