"ベース部と、該ベース部に継ぎ手部を介して接続された板状の可動部と、前記ベース部と前記可動部とに掛け渡された加速度検出素子と、を備え、前記可動部は、両主面の少なくとも一方に質量部が配置され、前記可動部は、前記主面と交差する方向に加わる加速度に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記主面と交差する方向に変位可能であり、前記質量部は、前記主面側に突出する凸部を有し、前記凸部の先端部が前記可動部の前記主面に接合材を介して接合されていることを特徴とする加速度検出器。請求項1に記載の加速度検出器において、平面視で前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位を有した支持部を更に備え、前記質量部は、平面視において一部が前記支持部と重なるように配置され、前記質量部と前記支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間が設けられていることを特徴とする加速度検出器。請求項2に記載の加速度検出器において、前記支持部は、平面視において、前記ベース部とによって前記可動部を囲む枠状に形成されていることを特徴とする加速度検出器。請求項2または請求項3に記載の加速度検出器において、前記支持部は、3つ以上の固定部を有し、平面視において、隣り合う前記固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、前記加速度検出器の重心が位置することを特徴とする加速度検出器。請求項2または請求項3に記載の加速度検出器において、前記支持部は、2つの固定部を有し、平面視において、2つの前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することを特徴とする加速度検出器。請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の加速度検出器において、前記接合材は、シリコーン系樹脂を含む接着剤であることを特徴とする加速度検出器。請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の加速度検出器において、前記加速度検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定されたことを特徴とする加速度検出器。請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の加速度検出器と、前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする加速度検出デバイス。請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする電子機器。上記特許文献1の加速度検出器は、加わる加速度に応じて重り以下、質量部というが梁を撓ませることで、双音叉振動子以下、加速度検出素子というに引っ張り応力や圧縮応力が加わることによる、加速度検出素子の共振周波数の変化によって加速度を検出する構成となっている。しかしながら、上記加速度検出器は、梁の他端に配置された質量部が、例えば、接着剤などの接合材で梁の両面に広範囲に亘って接着されている構成となっている。これにより、上記加速度検出器は、上記梁と質量部との接合部において、梁と質量部と接合材との熱膨張係数熱膨張率の違いにより熱応力が発生する。この結果、上記加速度検出器は、上記梁に熱応力に伴う歪みが生じることにより、加速度検出素子には、加速度に応じて生じる引っ張り応力や圧縮応力とは別に、上記歪みに起因する応力が加わることになり、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性が劣化する虞がある。また、上記特許文献2の加速度検出器は、加わる加速度に応じて回動質量以下、可動部というが回動以下、変位というすることで、センサー手段以下、加速度検出素子というに引っ張り応力や圧縮応力が加わることによる、加速度検出素子の共振周波数の変化によって加速度を検出する構成となっている。上記加速度検出器は、可動部の変位の規制が、加速度検出器を収容する容器以下、パッケージというによって行われている。つまり、加速度検出器は、自身には可動部の変位を規制する構成要素が一切ないことから、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に衝突するまで変位可能な構成となっている。このように、上記加速度検出器は、可動部の変位の規制が外部部材であるパッケージに依存することから、可動部加速度検出素子とパッケージの内面との隙間に関わる数々の寸法公差要因例えば、パッケージを構成する各部品の寸法ばらつきや、パッケージへの加速度検出器の固定位置のばらつきなどによって、可動部とパッケージの内面との隙間が、設定値に対して大きくばらつく虞がある。このことから、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より大きい場合、加わる加速度の大きさによっては、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に激しく衝突して破損する虞がある。また、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より更に大きい場合、加わる加速度の大きさによっては、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に衝突しなくても、強度の限界を超える変位により破損する虞がある。一方、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より小さい場合、可動部の変位範囲が設定より小さくなることから、設定された加速度検出範囲を満足できない虞がある。本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例にかかる加速度検出器は、ベース部と、該ベース部に継ぎ手部を介して接続された板状の可動部と、前記ベース部と前記可動部とに掛け渡された加速度検出素子と、を備え、前記可動部は、両主面の少なくとも一方に質量部が配置され、前記可動部は、前記主面と交差する方向に加わる加速度に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記主面と交差する方向に変位可能であり、前記質量部は、前記主面側に突出する凸部を有し、前記凸部の先端部が前記可動部の前記主面に接合材を介して接合されていることを特徴とする。これによれば、加速度検出器は、質量部が主面側に突出する凸部を有し、凸部の先端部が可動部の主面に接合材を介して接合されている。したがって、加速度検出器は、従来のような、質量部が接着剤などの接合材で梁可動部に相当の両面に広範囲に亘って接着されている構成と比較して、質量部の接合範囲を狭くできることから、熱応力に伴う可動部の歪みを抑制することができる。この結果、加速度検出器は、上記歪みに起因する応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることができる。[適用例2]上記適用例にかかる加速度検出器において、平面視で前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位を有した支持部を更に備え、前記質量部は、平面視において一部が前記支持部と重なるように配置され、前記質量部と前記支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間が設けられていることが好ましい。これによれば、加速度検出器は、ベース部から延びる支持部を更に備え、平面視において、質量部の一部が支持部と重なるように配置され、質量部と支持部とが重なる領域の両者間に隙間が設けられている。このことから、加速度検出器は、加速度に応じて変位する可動部の変位を、可動部の主面に配置された質量部が隙間分変位したところで支持部と接触することによって、所定の範囲内に規制することができる。この結果、加速度検出器は、自身に可動部の変位を規制する構成要素以下、ストッパーというを設けたことから、外部部材であるパッケージに依存することなく、可動部の変位を自身で規制することが可能となる。したがって、加速度検出器は、例えば、パッケージの内面と加速度検出器との隙間を、質量部と支持部との隙間よりも十分に大きく設定することが可能となり、従来のような、パッケージの内面との衝突や強度の限界を超える変位による、可動部や加速度検出素子の破損を回避することができる。加えて、加速度検出器は、質量部と支持部との間の隙間のばらつきに、例えば、パッケージなどの外部部材の寸法ばらつき寸法公差が、ばらつき要因として加わることがない。このことから、加速度検出器は、質量部と支持部との隙間のばらつきを、従来のパッケージの内面と加速度検出器との隙間のばらつきよりも小さくすることが可能となる。これにより、加速度検出器は、従来のような、可動部の変位が設定より狭い範囲に規制され、設定された加速度検出範囲を満足できないという不具合を回避することができる。また、加速度検出器は、自身に可動部の変位を規制するストッパーを設けたことから、前述の従来構成では不可能であった、可動部の変位の規制具合を、例えば、パッケージなどの外部部材に収容する前に確認することができる。これにより、加速度検出器は、従来と比較して、良品率が格段に向上し、実使用時における破損などの不具合を低減することができる。[適用例3]上記適用例2にかかる加速度検出器において、前記支持部は、平面視において、前記ベース部とによって前記可動部を囲む枠状に形成されていることが好ましい。これによれば、加速度検出器は、平面視において、支持部がベース部とによって可動部を囲む枠状に形成されていることから、例えば、支持部が可動部の両側に分割されている場合と比較して、支持部における質量部の接触時衝突時の強度耐衝撃性を向上させることができる。加えて、加速度検出器は、平面視において、支持部がベース部とによって可動部を囲む枠状に形成されていることから、例えば、支持部が可動部の両側に分割されている場合と比較して、形状がゆがむことなく安定した状態で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。これにより、加速度検出器は、例えば、パッケージなどの外部部材に固定する際の質量部と支持部との隙間のばらつきの変化を抑制することができる。[適用例4]上記適用例2または適用例3にかかる加速度検出器において、前記支持部は、3つ以上の固定部を有し、平面視において、隣り合う前記固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、前記加速度検出器の重心が位置することが好ましい。これによれば、加速度検出器は、支持部が3つ以上の固定部を有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、加速度検出器の重心が位置する。このことから、加速度検出器は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。[適用例5]上記適用例2または適用例3にかかる加速度検出器において、前記支持部は、2つの固定部を有し、平面視において、2つの前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することが好ましい。これによれば、加速度検出器は、支持部が2つの固定部を有し、平面視において、2つの固定部同士を結んだ直線上に、加速度検出器の重心が位置する。このことから、加速度検出器は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。[適用例6]上記適用例にかかる加速度検出器において、前記接合材は、シリコーン系樹脂を含む接着剤であることが好ましい。これによれば、加速度検出器は、接合材がシリコーン系樹脂を含む接着剤であることから、シリコーン系樹脂の弾性により質量部と支持部との接触時衝突時の衝撃力を緩和及び吸収することができる。この結果、加速度検出器は、質量部と支持部との接触時の損傷を低減することができ、耐衝撃性能を向上させることが可能となる。[適用例7]上記適用例にかかる加速度検出器において、前記加速度検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定されたことが好ましい。これによれば、加速度検出器は、加速度検出素子が少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、基部の一方がベース部に固定され、基部の他方が可動部に固定されている。このことから、加速度検出器は、例えば、加わる加速度による可動部の変位に応じて振動梁が伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による振動梁の振動周波数の変化を加速度に変換するという構成が可能となる。加速度検出器の可動部の変位を自身で規制する本構成は、この振動梁を備えた加速度検出素子に対する衝撃を緩和し、加速度検出素子の破損を回避するという観点において、より効果的であるといえる。[適用例8]本適用例にかかる加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器と、前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。これによれば、加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器と、加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことから、上記適用例のいずれか一項に記載の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。[適用例9]本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする。これによれば、電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器を備えたことから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を奏する電子機器を提供することができる。以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。第1実施形態最初に、加速度検出器の一例について説明する。図1は、第1実施形態の加速度検出器の部分展開模式斜視図である。図2は、第1実施形態の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図2aは、平面図、図2bは、図2aのA-A線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。図1、図2に示すように、加速度検出器1は、平板状のベース部10と、ベース部10に継ぎ手部11を介して接続された矩形平板状の可動部12と、ベース部10と可動部12とに掛け渡された加速度検出素子13とを備えている。そして、加速度検出器1は、平面視において、ベース部10から可動部12の両側に沿って延び、ベース部10とによって可動部12を囲む略矩形の枠状に形成されている平板状の支持部14、を備えている。可動部12は、平板の表裏面に相当する両主面12a,12bに、平面視において、一部が支持部14と重なる一対の質量部重り15が配置されている。質量部15は、接合材16を介して主面12a,12bに接合されている。ベース部10、継ぎ手部11、可動部12、支持部14は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて一体で略平板状に形成されている。なお、可動部12と支持部14との間には、両者を分割するスリット状の孔が設けられている。ベース部10、継ぎ手部11、可動部12、支持部14の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。継ぎ手部11は、両主面12a,12b側からのハーフエッチングによって、ベース部10と可動部12とを区切るように、ベース部10と可動部12とを結ぶ方向Y軸方向と直交する方向X軸方向に沿って有底の溝部11aが形成されている。溝部11aにより、継ぎ手部11のY軸方向に沿った断面形状図2bの形状は、略H字状に形成されている。この継ぎ手部11により、可動部12は、主面12a12bと交差する方向Z軸方向に加わる加速度に応じて、継ぎ手部11を支点回転軸にして主面12aと交差する方向Z軸方向に変位回動可能となっている。質量部15は、可動部12の主面12a12b側に突出する円柱状円板状の凸部15aを有し、凸部15aには、平面視において質量部15の重心gが収まり、凸部15aの先端部が、可動部12の主面12a12bに接合材16を介して接合されている。なお、凸部15aは、熱応力の抑制の観点から、可動部12への接合に必要な面積を確保しつつ、平面サイズを極力小さくすることが好ましい。質量部15は、加速度検出器1の感度向上を図るべく平面サイズを極力大きくするために、可動部12における継ぎ手部11側とは反対側の自由端側から、加速度検出素子13を避けて二股状で継ぎ手部11近傍まで延び、平面視において、略U字状に形成されている。質量部15には、例えば、Cu、Auなどの金属に代表される比較的比重の大きい材料が用いられている。接合材16には、弾性に優れたシリコーン系樹脂変成シリコーン樹脂などを含む接着剤として、例えば、シリコーン系熱硬化型接着剤が用いられている。加速度検出器1は、質量部15と支持部14とが重なる領域B図2aのハッチング部分では、図2bに示すように、質量部15と支持部14との間に隙間Cが設けられている。本実施形態では、隙間Cを凸部15aの厚さ突出高さで管理している。加速度検出素子13は、ベース部10と可動部12とを結ぶ方向Y軸方向に沿って延びる少なくとも一以上ここでは2本の角柱状であって、X軸方向に屈曲振動をする振動梁13a,13bを有する加速度検出部13cと、加速度検出部13cの両端に接続された一対の基部13d,13eと、を備えている。加速度検出素子13は、2本の振動梁13a,13bと一対の基部13d,13eとで二組の音叉を構成することから、双音叉素子双音叉型振動片とも呼ばれている。加速度検出素子13は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、加速度検出部13cと基部13d,13eとが一体で略平板状に形成されている。また、加速度検出素子13の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。加速度検出素子13は、一方の基部13dが可動部12の主面12a側に、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なAu/Sn合金被膜などの接合部材17を介して固定され、他方の基部13eがベース部10の主面10a側可動部12の主面12aと同じ側に接合部材17を介して固定されている。なお、加速度検出素子13と、ベース部10の主面10a及び可動部12の主面12aとの間には、可動部12の変位時に加速度検出素子13とベース部10及び可動部12とが互いに接触しないように、所定の隙間が設けられている。この隙間は、本実施形態では、接合部材17の厚さで管理されている。具体的には、例えば、ベース部10及び可動部12と加速度検出素子13との間に、所定の隙間に相当する厚さに形成されたスペーサーを挟んだ状態で、ベース部10及び可動部12と加速度検出素子13とを接合部材17によって固定することで、隙間を所定の範囲内に管理することができる。加速度検出素子13は、振動梁13a,13bの図示しない励振電極駆動電極から基部13eに引き出された引き出し電極13f,13gが、例えば、Au、Alなどの金属ワイヤー18によって、ベース部10の主面10aに設けられた接続端子10b,10cと接続されている。詳述すると、引き出し電極13fは、接続端子10bと接続され、引き出し電極13gは、接続端子10cと接続されている。ベース部10の接続端子10b,10cは、図示しない配線によって支持部14の外部接続端子14e,14fと接続されている。詳述すると、接続端子10bは、外部接続端子14eと接続され、接続端子10cは、外部接続端子14fと接続されている。なお、励振電極、引き出し電極13f,13g、接続端子10b,10c、外部接続端子14e,14fは、例えば、Crを下地層とし、その上にAuが積層された構成となっている。支持部14は、パッケージ、基板などの外部部材に固定される部分である複数ここでは4箇所の固定部14a,14b,14c,14dを有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内例えば、図2aの2点鎖線で囲んだ範囲内のように、隣り合う固定部同士を結ぶ互いに交差し合わない線にて囲まれた範囲内に、加速度検出器1の重心Gが位置するように固定部14a~14dが配置されている。なお、固定部が2箇所の場合には、固定部同士を結んだ直線上に重心Gが位置するように2箇所の固定部が配置されていればよい。また固定部14b、14cは、ベース部10に形成されていてもよい。ここで、加速度検出器1の動作について説明する。図3は、加速度検出器の動作について説明する模式断面図である。図3aは、可動部が紙面下方-Z方向に変位した状態を示し、図3bは、可動部が紙面上方Z方向に変位した状態を示す。図3aに示すように、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度αに応じた慣性力によって、可動部12が、継ぎ手部11を支点にして-Z方向に変位した場合、加速度検出素子13には、Y軸方向に基部13dと基部13eとが互いに離れる方向の引っ張り力が加わり、加速度検出部13cの振動梁13a,13bに引っ張り応力が生じる。これにより、加速度検出器1は、例えば、巻き上げられた弦楽器の弦のように、加速度検出部13cの振動梁13a,13bの振動周波数以下、共振周波数ともいうが高くなる方に変化する。一方、図3bに示すように、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度-αに応じた慣性力によって、可動部12が、継ぎ手部11を支点にしてZ方向に変位した場合、加速度検出素子13には、Y軸方向に基部13dと基部13eとが互いに近づく方向の圧縮力が加わり、加速度検出部13cの振動梁13a,13bに圧縮応力が生じる。これにより、加速度検出器1は、例えば、巻き戻された弦楽器の弦のように、加速度検出部13cの振動梁13a,13bの共振周波数が低くなる方に変化する。加速度検出器1は、この共振周波数の変化を検出している。Z軸方向に加わる加速度α、-αは、この検出された共振周波数の変化の割合に応じて、ルックアップテーブルなどによって定められた数値に変換することで導出される。ここで、図3aに示すように、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度-αが所定の大きさより大きい場合、可動部12の主面12aに固定された質量部15の、平面視において支持部14と重なる部分が支持部14に接触する。これにより、加速度検出器1は、加速度αに応じて-Z方向に変位する可動部12の変位を、所定の範囲隙間Cに相当、図2b参照内に規制する。一方、図3bに示すように、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度αが所定の大きさより大きい場合、可動部12の主面12bに固定された質量部15の、平面視において支持部14と重なる部分が支持部14に接触する。これにより、加速度検出器1は、加速度-αに応じてZ方向に変位する可動部12の変位を、所定の範囲隙間Cに相当、図2b参照内に規制する。上述したように、第1実施形態の加速度検出器1は、質量部15が可動部12の主面12a12b側に突出する凸部15aを有し、凸部15aには、平面視において質量部15の重心gが収まり、凸部15aの先端部が可動部12の主面12a12bに接合材16を介して接合されている。したがって、加速度検出器1は、従来のような、質量部重りが接着剤などの接合材で梁の両面に広範囲に亘って接着されている構成と比較して、質量部15の姿勢のバランスを取りつつ、質量部15の接合範囲を狭くできることから、周囲の温度変化に起因する熱応力に伴う可動部12の歪みを抑制することができる。この結果、加速度検出器1は、上記歪みに起因する応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることができる。また、加速度検出器1は、可動部12の両主面12a,12bに、平面視において、一部が支持部14と重なる質量部15が配置され、可動部12がZ軸方向に加わる加速度α、-αに応じて継ぎ手部11を支点にしてZ軸方向に変位可能であり、質量部15と支持部14とが重なる領域Bにおける質量部15と支持部14との間に隙間Cが設けられている。このことから、加速度検出器1は、加速度に応じてZ軸方向に変位する可動部12の変位を、可動部12の両主面12a,12bに固定された質量部15が隙間C分変位して支持部14と接触することによって、所定の範囲内に規制することができる。この結果、加速度検出器1は、自身に可動部12の変位を規制するストッパーを設けたことから、例えば、外部部材であるパッケージに依存することなく可動部12の変位を自身で規制することが可能となる。したがって、加速度検出器1は、例えば、外部部材であるパッケージの内面と加速度検出器1との隙間を、質量部15と支持部14との隙間Cよりも十分に大きく設定することが可能となり、従来のような、パッケージの内面との衝突や強度の限界を超える変位による、可動部12や加速度検出素子13の破損を回避することができる。加えて、加速度検出器1は、質量部15と支持部14との間の隙間Cのばらつきに、例えば、パッケージなどの外部部材の寸法ばらつき寸法公差が、ばらつき要因として加わることがない。このことから、加速度検出器1は、質量部15と支持部14との隙間Cのばらつきを、従来のパッケージ内面と加速度検出器との隙間のばらつきよりも小さくすることが可能となる。これにより、加速度検出器1は、従来のような、可動部12の変位が設定より狭い範囲に規制され、設定された加速度検出範囲を満足できないという不具合を回避することができる。また、加速度検出器1は、自身に可動部12の変位を規制するストッパーを設けたことから、前述の従来構成では不可能であった、可動部12の変位の規制具合を、例えば、パッケージなどの外部部材に収容する前に確認することができる。これにより、加速度検出器1は、従来と比較して、良品率が格段に向上し、実使用時における破損などの不具合を低減することができる。また、加速度検出器1は、平面視において、支持部14がベース部10とによって可動部12を囲む略矩形の枠状に形成されていることから、例えば、後述する変形例のような、支持部14が可動部12の両側に分割されている場合と比較して、支持部14における質量部15の接触時衝突時の強度耐衝撃性を向上させることができる。加えて、加速度検出器1は、平面視において、支持部14がベース部10とによって可動部12を囲む略矩形の枠状に形成されていることから、例えば、支持部14が可動部12の両側に分割されている場合と比較して、支持部14を形状がゆがむことなく安定した状態で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。これにより、加速度検出器1は、例えば、パッケージなどの外部部材への固定時における質量部15と支持部14との隙間Cの変化を抑制することができる。換言すれば、加速度検出器1は、可動部12の変位を規制する規制範囲の変化を抑制することができる。また、加速度検出器1は、支持部14が4箇所に固定部14a~14dを有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、加速度検出器1の重心Gが位置するように固定部14a~14dが配置されている。このことから、加速度検出器1は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定可能である。なお、加速度検出器1は、固定部が2箇所の場合には、固定部同士を結んだ直線上に重心Gが位置するように2箇所の固定部が配置されていれば、同様の効果を奏することができる。また、加速度検出器1は、接合材16がシリコーン系樹脂を含む接着剤としてのシリコーン系熱硬化型接着剤であることから、シリコーン系樹脂の弾性により質量部15と支持部14との接触時衝突時の衝撃力を緩和及び吸収することができる。この結果、加速度検出器1は、質量部15と支持部14との接触時の損傷を低減することができ、耐衝撃性能を向上させることが可能となる。また、加速度検出器1は、加速度検出素子13が、Y軸方向に沿って延びる2本の振動梁13a,13bを有する加速度検出部13cと、加速度検出部13cの両端に接続された一対の基部13d,13eと、を備え、一方の基部13dが可動部12に固定され、他方の基部13eがベース部10に固定されている。これによって、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度による可動部12のZ軸方向の変位に応じて振動梁13a,13bがY軸方向に伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による共振周波数の変化を加速度に変換するという検出感度の高い構成が可能となっている。加速度検出器1の可動部12のZ軸方向の変位を自身で規制する本構成は、この振動梁13a,13bを備えた加速度検出素子13に対する衝撃を緩和し、加速度検出素子13の破損を回避するという観点において、より効果的であるといえる。なお、加速度検出器1は、Z軸方向に加わる加速度が一方向のみαのみ、または-αのみの場合には、支持部14に接触しない方の質量部15は、平面視において支持部14と重ならない形状としてもよく、質量部15そのものを除去してもよい。また、加速度検出器1は、加速度検出素子13を可動部12の主面12a側に代えて、主面12b側に備えてもよく、主面12a側及び主面12b側の両方に備えてもよい。また、加速度検出器1は、加速度検出素子13の引き出し電極13f,13gが、ベース部10の接続端子10b,10cと、金属ワイヤー18に代えて導電性接着剤で接続されていてもよい。なお、これらの付帯事項は、以下の変形例にも適用可能である。変形例次に、第1実施形態の変形例について説明する。図4は、第1実施形態の変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図4aは、平面図、図4bは、図4aのD-D線での断面図、図4cは、図4aのE-E線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、上記第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図4に示すように、加速度検出器2は、支持部114における可動部112の自由端側-Y側の、第1実施形態ではX軸方向に延びて繋がっていた部分が、Y軸方向からX軸方向に屈曲した根元部分を残して切り取られ、支持部114が可動部112のX側と-X側との2つに分割されている。また、加速度検出器2は、支持部114の切り取られたスペースに可動部112の自由端側が延在している。加速度検出器2は、可動部112の上記延在した部分に加速度検出素子113が配置可能なように、質量部115がX側と-X側との2つに分割されている。そして、可動部112の主面112a側では、2つに分割された質量部115が、加速度検出素子113をX側と-X側とから挟むように配置されている。なお、質量部115は、可動部112の主面112b側でも2つに分割され、平面視において、主面112a側と重なるように配置されている。質量部115は、可動部112の主面112a112b側に突出する円柱状円板状の凸部115aを有し、凸部115aには、平面視において質量部115の重心gが収まり、凸部115aの先端部が、可動部112の主面112a112bに接合材16を介して接合されている。質量部115の一部は、平面視において、支持部114における可動部112の自由端側のY軸方向からX軸方向に屈曲した部分先端部分と重なっている図4aのハッチング部分、領域B。質量部115と支持部114とが重なる領域Bでは、図4cに示すように、質量部115と支持部114との間に隙間Cが設けられている。なお、加速度検出器2の動作については、第1実施形態に準じるので説明を省略する。上記構成により、加速度検出器2は、加速度検出素子113の基部13eを第1実施形態と同じ位置に、基部13dを可動部112の自由端側の端部に移動させて配置することができる。このことから、加速度検出器2は、第1実施形態と比較して、Y軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子113の加速度検出部113cの振動梁113a,113bを第1実施形態よりも長くすることが可能となる。上述したように、変形例の加速度検出器2は、第1実施形態と比較して、Y軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子113の振動梁113a,113bを第1実施形態よりも長くすることが可能なことから、加速度による可動部112の僅かな変位でも振動梁113a,113bが伸縮しやすくなり、共振周波数の変化が発生しやすくなる。この結果、加速度検出器2は、第1実施形態と比較して、Y軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度の検出感度を向上させることができる。第2実施形態次に、上記第1実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた加速度検出デバイスについて説明する。図5は、第2実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図である。図5aは、リッド蓋体側から俯瞰した平面図であり、図5bは、図5aのF-F線での断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、各配線は省略してある。なお、上記第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。図5に示すように、加速度検出デバイス3は、上記第1実施形態で述べた加速度検出器1と、加速度検出器1を収容するパッケージ20と、を備えている。パッケージ20は、平面形状が略矩形で凹部を有したパッケージベース21と、パッケージベース21の凹部を覆う平面形状が略矩形で平板状のリッド22と、を有し、略直方体形状に形成されている。パッケージベース21には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。リッド22には、パッケージベース21と同材料、または、コバール、42アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。パッケージベース21には、内底面凹部の内側の底面23の外周部分から凹部の内壁に沿って突出した2箇所の段差部23aに、内部端子24,25が設けられている。内部端子24,25は、加速度検出器1の支持部14に設けられた外部接続端子14e,14fと対向する位置平面視において重なる位置に設けられている。なお、外部接続端子14eは、ベース部10の接続端子10bと接続され、外部接続端子14fは、ベース部10の接続端子10cと接続されている。なお、外部接続端子14e,14fは、支持部14の固定部14b,14cと平面視において重なる位置に設けられているのが好ましい。パッケージベース21の外底面内底面23の反対側の面、外側の底面26には、電子機器などの外部部材に実装される際に用いられる一対の外部端子27,28が形成されている。外部端子27,28は、図示しない内部配線によって内部端子24,25と接続されている。例えば、外部端子27は、内部端子24と接続され、外部端子28は、内部端子25と接続されている。内部端子24,25及び外部端子27,28は、Wなどのメタライズ層にNi、Auなどの各被膜をメッキなどの方法により積層した金属膜からなる。パッケージベース21には、凹部の底部にパッケージ20の内部を封止する封止部29が設けられている。封止部29は、パッケージベース21に形成された、外底面26側の孔径が内底面23側の孔径より大きい段付きの貫通孔29aに、Au/Ge合金、ハンダなどからなる封止材29bを投入し、加熱溶融後、固化させることでパッケージ20の内部を気密に封止する構成となっている。加速度検出デバイス3は、加速度検出器1の支持部14の固定部14a,14b,14c,14dが、接着剤30を介して、パッケージベース21の段差部23aに固定されている。ここで、固定部14b,14cが外部接続端子14e,14fと内部端子24,25とを接続する部分であることから、接着剤30には、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤例えば、シリコーン系導電性接着剤が用いられている。なお、固定部14a,14dの固定には、金属フィラーなどの導電性物質を含まない接着剤例えば、シリコーン系接着剤を用いてもよい。加速度検出デバイス3は、加速度検出器1がパッケージベース21の内部端子24,25と接続された状態で、パッケージベース21の凹部がリッド22により覆われ、パッケージベース21とリッド22とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材22aで接合される。加速度検出デバイス3は、リッド22の接合後、パッケージ20の内部が減圧された状態真空度の高い状態で、封止部29の貫通孔29aに封止材29bが投入され、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ20の内部が気密に封止される。なお、パッケージ20の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。なお、パッケージは、パッケージベース及びリッドの両方に凹部を有していてもよい。加速度検出デバイス3は、外部端子27,28、内部端子24,25、外部接続端子14e,14f、接続端子10b,10cなどを経由して加速度検出器1の励振電極に印加される駆動信号によって、加速度検出器1の振動梁13a,13bが所定の周波数で発振共振する。そして、加速度検出デバイス3は、加わる加速度に応じて変化する加速度検出器1の共振周波数を出力信号として出力する。上述したように、第2実施形態の加速度検出デバイス3は、加速度検出器1を備えたことから、上記第1実施形態に記載された効果を奏する加速度検出デバイス例えば、熱応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることが可能な加速度検出デバイスを提供することができる。なお、加速度検出デバイス3は、加速度検出器1に代えて加速度検出器2を備えた場合においても、上記と同様の効果及び加速度検出器2の特有の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。第3実施形態次に、上記実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた電子機器としての傾斜計について説明する。図6は、第3実施形態の傾斜計を示す模式斜視図である。図7は、傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図である。図6、図7に示すように、傾斜計4は、上記第1実施形態で述べた加速度検出器1を、傾斜センサーモジュール5の傾斜センサーとして備えている。図7に示すように、傾斜センサーモジュール5は、ベース基板201と、断熱基板202と、基台203と、加速度検出器1を備えた加速度検出デバイス3と、発振器204と、キャップ205と、を備え、傾斜計4の内部に収容されている。矩形平板状のベース基板201には、例えば、FR-4ガラス布入りエポキシ樹脂基板が用いられ、搭載された回路素子201aによって、加速度検出デバイス3や発振器204に関わる周辺回路が構成されている。また、ベース基板201には、外部傾斜計本体との入出力のための端子201bや、傾斜計本体への取り付け孔201cが形成されている。矩形平板状の断熱基板202は、PBTポリブチレンテレフタレート、LCP液晶ポリマーなどの低熱伝導率で耐熱性、電気特性、寸法安定性などに優れた樹脂が用いられ、厚み方向に貫通して固定されている細いピン状棒状の複数の接続ピン202aによって、ベース基板201に隙間を有して接続されている。基台203は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金などの金属を用いて、削り出しまたは板金加工により略直方体形状に形成され、断熱基板202に、例えば、接着剤などで固定されている。なお、基台203には、上記の樹脂や酸化アルミニウム質焼結体セラミック類などを用いてもよい。加速度検出デバイス3及び発振器204は、基台203の側面断熱基板202に対して直立する面に、例えば、導電性接着剤などによって固定されている。2つの加速度検出デバイス3は、基台203における隣り合う直角に接続された側面にそれぞれ固定されている。これにより、傾斜センサーモジュール5は、互いに直交する2軸に対する傾斜を検出することができる。発振器204は、基台203における一方の加速度検出デバイス3が固定された側面と対向する側面換言すれば、他方の加速度検出デバイス3が固定された側面と隣り合う側面に固定されている。加速度検出デバイス3及び発振器204は、リード線206によって断熱基板202の接続ピン202aに接続され、接続ピン202aを経由してベース基板201に接続されている。なお、一方の加速度検出デバイス3の外側には、周辺の温度を検知するサーミスター3a温度センサーが備えられている。サーミスター3aは、周辺の温度を検知して、加速度検出デバイス3及び発振器204の周波数特性の温度補償温度補正をする際の、温度検知手段として設けられている。サーミスター3aは、上記加速度検出デバイス3及び発振器204と同様に、リード線206によって断熱基板202の接続ピン202aに接続され、接続ピン202aを経由してベース基板201に接続されている。発振器204は、加速度検出時における加速度検出デバイス3加速度検出器1の共振周波数と比較する比較回路の基準周波数基準共振周波数発振源として備えられている。ベース基板201側に開口部を備えた箱状のキャップ205には、断熱基板202と同様に低熱伝導率の樹脂PBT、ABS、PCなどが用いられ、ベース基板201上の断熱基板202、基台203、加速度検出デバイス3、サーミスター3a、発振器204、回路素子201aなどを覆うようにベース基板201に固定されている。これらの構成により、傾斜センサーモジュール5は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス3への到達を遅延させることができる。詳述すると、ベース基板201からの接触による熱伝導は、細いピン状の接続ピン202aや低熱伝導率の樹脂が用いられた断熱基板202により遅延され、加速度検出デバイス3の周辺の大気の対流や、外部部材の放射熱輻射熱による熱伝導は、低熱伝導率の樹脂が用いられたキャップ205による外気及び放射熱源からの遮断によって遅延される。このように、傾斜センサーモジュール5は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス3への到達を遅延させることで、加速度検出デバイス3の温度変化をなだらかにすることが可能となることから、加速度検出デバイス3加速度検出器1の、例えば、加速度検出精度などの加速度検出特性を良好な状態に維持することができる。図6に戻って、傾斜計4は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計4は、外部からケーブル40を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって傾斜センサーモジュール5加速度検出器1に駆動信号が送られている。そして、傾斜計4は、図示しない検出回路によって、傾斜センサーモジュール5加速度検出器1に加わる重力加速度に応じて変化する共振周波数から、傾斜計4の姿勢の変化傾斜計4に対する重力加速度が加わる方向の変化を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線またはケーブル40などで基地局にデータ転送する。これにより、傾斜計4は、日常の管理や異常の早期発見に貢献することができる。なお、傾斜計4は、加速度検出器1に代えて加速度検出器2を傾斜センサーとして備えていてもよい。また、質量部15,115に凸部15a,115aが一体化された構成の方が、質量部15,115と可動部12、112との搭載位置ズレによって搭載質量部の重心と凸部との位置関係が個体間でばらつくことはないが、このような心配が無い場合であれば、傾斜センサーモジュール5に用いられる加速度検出器1,2は、質量部15,115に凸部15a,115aがなくてもよい。上述した加速度検出器1,2は、上記傾斜計に限らず、地震計、ナビゲーション装置、姿勢制御装置、ゲームコントローラー、携帯電話などの加速度センサー、傾斜センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態及び変形例で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。なお、上記各実施形態及び変形例において、ベース部、継ぎ手部、可動部、支持部の材料は、水晶に限定するものではなく、ガラス、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。また、加速度検出素子の基材は、水晶に限定するものではなく、タンタル酸リチウムLiTaO3、四ホウ酸リチウムLi2B4O7、ニオブ酸リチウムLiNbO3、チタン酸ジルコン酸鉛PZT、酸化亜鉛ZnO、窒化アルミニウムAlNなどの圧電材料、または酸化亜鉛ZnO、窒化アルミニウムAlNなどの圧電材料を被膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。"