"防湿剤を基板上に吐出する吐出ユニットと、前記吐出ユニットと前記基板とを相対的に3次元方向に移動させる移動部と、を備え、前記吐出ユニットは、防湿剤を前記基板上に吐出する第1から第NのノズルNは1以上の整数を有するノズルユニットと、前記基板に防湿剤を塗布する際に、前記移動部による前記吐出ユニットの移動方向と直交する方向に前記ノズルユニットを振動可能な振動手段と、を備える、基板塗布装置。前記振動手段は、前記ノズルユニットの振動の幅を変更可能である、請求項1記載の基板塗布装置。前記ノズルユニットの第1から第NのノズルNは2以上の整数は、直線上に均等に配置されており、前記振動手段は、前記ノズルユニットを振動させる際に、前記第1から第Nのノズルの隣接する2個のノズルの幅と略同じ幅に前記ノズルユニットを振動させる、請求項1または請求項2記載の基板塗布装置。広い領域に防湿剤を塗布する場合には、吐出幅の広いノズルを用いて防湿剤を塗布すればよい。一方、狭い領域に防湿剤を塗布する場合には、吐出幅の狭いノズルを用いて防湿剤を塗布すればよい。しかしながら、広い領域及び狭い領域の両方に防湿剤を塗布する場合には、装置が両方の種類のノズルを備えるか、あるいは、ノズルを付け替える作業が必要になる。両方の種類のノズルを備えると、装置の機構が複雑になり、また塗布の制御方法も複雑化するという問題があった。また、ノズルを付け替える場合には、その煩雑な作業が必要になるという問題があった。本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる基板塗布装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明による基板塗布装置は、防湿剤を基板上に吐出する吐出ユニットと、吐出ユニットと基板とを相対的に3次元方向に移動させる移動部と、を備え、吐出ユニットは、防湿剤を基板上に吐出する第1から第NのノズルNは1以上の整数を有するノズルユニットと、基板に防湿剤を塗布する際に、移動部による吐出ユニットの移動方向と直交する方向にノズルユニットを振動可能な振動手段と、を備える、ものである。このような構成により、ノズルユニットを振動させながら移動させることによって、広い範囲に防湿剤を効率よく塗布することができ、ノズルユニットを振動させないで移動させることによって、狭い範囲に防湿剤を塗布することができる。したがって、複数種類のノズルを備えることなく、広い範囲にも、狭い範囲にも防湿剤を塗布することができ、装置の機構の複雑化や、塗布の制御方法の複雑化を回避することができる。また、本発明による基板塗布装置では、振動手段は、ノズルユニットの振動の幅を変更可能であってもよい。このような構成により、例えば、塗布の領域に応じて振動の幅を変更することができうる。また、本発明による基板塗布装置では、ノズルユニットの第1から第NのノズルNは2以上の整数は、直線上に均等に配置されており、振動手段は、ノズルユニットを振動させる際に、第1から第Nのノズルの隣接する2個のノズルの幅と略同じ幅にノズルユニットを振動させてもよい。このような構成により、振動手段がN本のノズルを有するノズルユニットを振動させる際に、塗布もれがないように防湿剤を塗布することができる。また、本発明による基板塗布装置では、前記ノズルユニットは、第1から第Nのノズルを支持し、前記振動手段に対して水平方向に振動可能な支持板を有し、前記振動手段は、前記支持板の有する垂直方向の長孔に挿入される突起と、当該突起の配設された回転板と、当該回転板を回転させる振動用モータとを有してもよい。また、前記振動手段は、前記回転板の半径方向に摺動可能であり、前記回転板の前記ノズルユニット側に前記突起を有するガイドと、当該ガイドに設けられ、前記回転板の前記ノズルユニットと反対側の面において突出しているモータ側突起と、前記モータ側突起が挿入される複数の環状溝と、前記モータ側突起の挿入される環状溝を切り替える切り替え機構とをさらに有してもよい。このような構成により、モータ側突起の挿入される環状溝を切り替えることにより、ノズルの振動の幅が変更されることになる。また、本発明による基板塗布装置では、前記ノズルユニットは、第1から第Nのノズルを支持し、前記振動手段に対して水平方向に振動可能な支持板を有し、前記振動手段は、前記支持板の有する垂直方向の長孔に挿入される突起と、当該突起の配設されたギア支持板と、ギアが平行に対向するように前記ギア支持板に設けられた一対のラックギアと、前記一対のラックギアの一方に係合しているときには他方に係合しない欠歯ギアと、前記欠歯ギアを回転させる振動用モータと、前記ギア支持板におけるラックギアの長さ方向を、前記ノズルユニットの振動方向に対して回動させる回動機構とを有してもよい。このような構成により、ギア支持板におけるラックギアの長さ方向と、ノズルユニットの振動方向とのなす角度と変更させることができ、その結果、ノズルの振動の幅を変更することができる。本発明による基板塗布装置によれば、広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる。以下、本発明による基板塗布装置について、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素は同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。実施の形態1本発明の実施の形態1による基板塗布装置について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による基板塗布装置は、ノズルを振動させながら防湿剤を基板にコーティングすることができるものである。図1は、本実施の形態による基板塗布装置1の吐出ユニット2の構成を示す斜視図である。図2は、吐出ユニット2の分解斜視図である。図3は、本実施の形態による基板塗布装置1の上面図である。本実施の形態による基板塗布装置1は、吐出ユニット2と、移動部3と、制御部4とを備える。吐出ユニット2は、防湿剤を基板61上に吐出するものであり、ノズルユニット6と、振動手段7とを備える。ここで、基板61は、通常、プリント基板であるが、防湿剤の塗布対象となるその他の基板例えば、半導体基板等であってもよい。プリント基板は、回路素子等の電子部品が固定され、配線されるための基板であり、回路基板と呼ばれることもある。ノズルユニット6は、防湿剤を基板上に吐出する第1のノズル11と、第2のノズル12とを有する。第1及び第2のノズル11,12は、それぞれ第1及び第2のノズル支持部13,14で支持されている。また、第1及び第2のノズル支持部13,14には、それぞれガイド15,16が固定されている。ガイド15,16が、それぞれ支持板21に固定されたレール17,18に摺動可能に設けられている。また、ソレノイド19,20は、それぞれ第1及び第2のノズル支持部13,14をZ軸方向に移動させる。したがって、第1のノズル11は、ソレノイド19によって、支持板21に対してZ軸方向に移動されることになる。また、第2のノズル12は、ソレノイド20によって、支持板21に対してZ軸方向に移動されることになる。すなわち、支持板21で支持される第1及び第2のノズル11,12は、それぞれ独立して上下可能である。例えば、基板61上に高い素子が配設されている場合には、第1または第2のノズル11,12がその素子の上を通過する際に、ソレノイド19,20によって、第1または第2のノズル11,12を上方に移動させてもよい。容器62,63は、防湿剤を加圧状態で収容している。防湿剤は、例えば、乾燥した状態で防湿性を有する流体であってもよい。防湿剤は、例えば、防湿のためのコーティング剤や塗料であってもよい。容器62,63の内気圧は、調整可能であってもよく、あるいは、そうでなくてもよい。なお、容器62,63については、防湿剤等の粘性流体を塗布する装置においてすでに公知であり、その詳細な説明を省略する。第1及び第2のノズル11,12は、それぞれ流体通路64,65を介して容器62,63と接続されており、容器62,63に収容されている防湿剤を基板上に吐出する。なお、図2,図3では、流体通路や容器62,63を省略している。ノズルユニット6と、振動手段7とは、ガイド25とレール24とを介して振動方向に相対的に移動可能に接続されている。すなわち、ノズルユニット6の支持板21に固定されたガイド25が、振動手段7の支持板23に固定されたレール24に摺動可能に設けられていることにより、ノズルユニット6がレール24の長手方向に移動可能に保持されている。なお、ノズルユニット6の移動方向、すなわち、ノズルユニット6の振動方向は、第1及び第2のノズル11,12を結ぶ直線の方向である。振動手段7は、振動用モータ26と、その振動用モータ26によって回転される回転板27とを有している。すなわち、振動用モータ26の回転軸26aが、回転板27の回転中心に固定されており、回転軸26aの回転により回転板27が回転されることになる。その回転板27上にレール29が設けられており、ガイド30がそのレール29に摺動可能に設けられている。ガイド30は、ノズルユニット6側の突起であるノズル側突起31と、振動用モータ26側の突起であるモータ側突起32とを備えている。ガイド30は、回転板27に設けられた孔を介して、回転板27の両面に突起31,32を突出させることができる。ノズル側突起31及びモータ側突起32は、それぞれ回転板27の法線方向に突設された棒状円柱状の部材である。回転板27の振動用モータ26側には、2個の環状溝33,34が回転軸26aと同心に設けられている。環状溝33の半径は、環状溝34の半径よりも小さくなっている。モータ側突起32は、環状溝33または環状溝34に挿入される。モータ側突起32が環状溝33,34のどちらに挿入されるのかに応じて、ガイド30の位置が決まることになり、その結果、ノズル側突起31の回転半径が決まることになる。ノズル側突起31は、ノズルユニット6の支持板21に設けられた垂直方向の長孔22に挿入される。ノズルユニット6は、レール24に対して摺動可能に設けられているガイド25に固定されているため、水平方向にのみ移動可能である。振動用モータ26が回転板27を回転させると、その回転板27の回転に応じてノズル側突起31が回転する。そのノズル側突起31が支持板21に設けられた垂直方向の長孔22に挿入されているため、ノズル側突起31の回転に応じて、支持板21が、支持板23に対して水平方向に振動することになる。その結果、第1及び第2のノズル11,12を有するノズルユニット6がレール24の方向に振動することになる。その際に、ノズル側突起31は、長孔22内を上下に動くことになる。そのノズルユニット6の振動の幅は、ノズル側突起31の回転直径と同じである。したがって、モータ側突起32が挿入される溝に応じて、ノズルユニット6の振動幅が決定されることになる。回転板27が回転している際には、モータ側突起32は、環状溝33または環状溝34に沿って回転することになる。次に、振動幅を変更する機構、すなわち、ノズル側突起31の回転半径を変更する切り替え機構について説明する。環状溝33の内側の円筒状の領域、環状溝33,34の間の円筒状の領域、及び、環状溝34の外側の領域には、モータ側突起32の回転半径を切り替えるための半径切り替え部材35が、回転板27の半径方向に移動可能なように間隙が設けられている。半径切り替え部材35には、環状溝33,34の溝と同形状の凹部35aが設けられている。そして、半径切り替え部材35がソレノイド36によって半径方向に移動されることにより、その凹部35aは、内側の環状溝33の溝の位置、あるいは、外側の環状溝34の位置となる。振動幅を変更する場合には、回転板27に設けられた切り欠き27aがフォトインタラプタ28の位置になった状態で、振動用モータ26の回転を止める。フォトインタラプタ28は、図示しない発光素子と、その発光素子の発した光を受光する図示しない受光素子とを有しており、切り欠き27aの位置を発光素子の発した光が通過したことを検知できる。したがって、受光素子が光を検知した状態が、切り欠き27aがフォトインタラプタ28の位置になった状態となる。なお、その状態において、半径切り替え部材35の凹部35aの位置に、モータ側突起32が位置するように切り欠き27aの位置が設定されているものとする。その状態でソレノイド36が、凹部35aを内側の環状溝33から外側の環状溝34に移動させることにより、あるいは、凹部35aを外側の環状溝34から内側の環状溝33に移動させることによってガイド30が移動し、ノズル側突起31の回転半径が変更されることになる。なお、モータ側突起32を半径の異なる2個の環状溝33,34の間で移動させる、上記説明以外の切り替え機構を用いて、ノズル側突起31の回転半径を変更してもよいことは言うまでもない。また、上記説明では、2個の環状溝33,34を用い、2段階に半径を切り替え可能な場合について説明したが、3個以上の環状溝を用いて、3段階以上に半径を切り替えられるようにしてもよい。または、振動の幅を変更する必要がない場合には、振動手段7は、フォトインタラプタ28やレール29、ガイド30、モータ側突起32、環状溝33,34、半径切り替え部材35等を備えていなくてもよく、ノズル側突起31は、回転板27に直接固定されていてもよい。次に、吐出ユニット2を移動させる機構について説明する。移動部3は、吐出ユニット2と基板61とを相対的に3次元方向に移動させる。また、移動部3は、基板61に垂直な軸において、吐出ユニット2と基板61とを相対的に回動させる。相対的に移動させるとは、吐出ユニット2を移動させてもよく、基板61を移動させてもよく、その両方を移動させてもよい、という意味である。また、相対的に回動させるとは、吐出ユニット2を回動させてもよく、基板61を回動させてもよく、その両方を回動させてもよい、という意味である。本実施の形態では、移動部3が吐出ユニット2を移動させ、回動させる場合について説明する。また、3次元方向の移動とは、位置関係の移動であり、基板61に平行な平面内XY方向と呼ぶこともあるでの移動と、基板61の法線方向に基板61に接近し、離間する方向Z軸方向と呼ぶこともあるへの移動とを含むものである。本実施の形態では、基板塗布装置1において、Y軸方向に延びる2本のY軸レール51が設けられており、そのY軸レール51に沿って、スライドユニット52がY軸方向に摺動可能に設けられている。スライドユニット52は、例えば、モータ等の駆動手段によって、Y軸方向に移動されてもよい。また、そのスライドユニット52上において、X軸方向に延びるX軸レール53が設けられており、そのX軸レール53に沿って、スライドユニット54がX軸方向に摺動可能に設けられている。スライドユニット54は、例えば、モータ等の駆動手段によってX軸方向に移動されてもよい。また、スライドユニット54には、Z軸方向図3中の紙面に垂直な方向に延びるZ軸ポール55が設けられており、そのZ軸ポール55に沿って吐出ユニット2がZ軸方向に移動可能に設けられている。吐出ユニット2は、例えば、モータ等の駆動手段によってZ軸方向に移動されてもよい。また、Z軸ポール55を回転させることにより、吐出ユニット2はZ軸ポール55を中心として回動するように設けられている。Z軸ポール55は、例えば、モータ等の駆動手段によって回動されてもよい。このように、吐出ユニット2は、スライドユニット52,54の移動に応じて基板61に対してXY方向に移動され、Z軸ポール55に沿った移動に応じて基板61に対してZ軸方向に移動され、Z軸ポール55を中心とした回転に応じて基板61に対して回転されることになる。移動部3は、吐出ユニット2をXYZの各方向に移動させるモータ等の駆動手段を制御することによって、吐出ユニット2を3次元方向に移動させ、回動させる。なお、移動部3に、吐出ユニット2をXYZの各方向に移動させるモータ等の駆動手段も含まれると考えてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。この吐出ユニット2の移動については、防湿剤等の粘性流体を塗布する装置においてすでに公知であり、その詳細な説明を省略する。制御部4は、吐出ユニット2及び移動部3を制御することにより、基板61上の防湿剤を塗布する領域である塗布領域に防湿剤を吐出させる。具体的には、制御部4は、図示しない記録媒体で記憶されている軌跡情報の示す軌跡に応じて吐出ユニット2が移動、回転するように移動部3を制御してもよい。また、制御部4は、軌跡情報の示す吐出の有無に応じて防湿剤が塗布されるように吐出ユニット2を制御してもよい。その吐出ユニット2の制御の際に、制御部4は、第1のノズル11と、第2のノズル12とを独立して制御してもよく、両者を一緒に制御してもよい。制御部4は、例えば、第1のノズル11のみに防湿剤を吐出させてもよく、第2のノズル12のみに防湿剤を吐出させてもよく、その両方に防湿剤を吐出させてもよい。また、制御部4は、軌跡情報の示す振動の有無に応じてノズルユニット6が振動されたり、されなかったりするように、振動手段7を制御してもよい。軌跡情報は、例えば、基板61上において防湿剤を塗布する領域等を示す情報であり、具体的には、以下で示すようなものであってもよい。軌跡情報の一例:ID座標X,Y,Z高さフラグ角度吐出フラグ振動フラグ1X1,Y1,Z10,0θ10,002X2,Y2,Z20,0θ21,113X3,Y3,Z30,0θ31,114X4,Y4,Z40,0θ40,005X5,Y5,Z51,0θ50,106X6,Y6,Z60,0θ60,007X7,Y7,Z70,0θ71,118X8,Y8,Z80,0θ80,009X9,Y9,Z90,0θ91,11::::::::::::この軌跡情報において、各レコードを識別するIDと、吐出ユニット2の位置例えば、第1及び第2のノズル11,12の中点の位置等を示す座標X,Y,Zと、第1及び第2のノズル11,12の高さを示す高さフラグと、吐出ユニット2の角度と、防湿剤の吐出の有無を示す吐出フラグと、振動の有無を示す振動フラグとが対応付けられている。高さフラグの1番目の数字は第1のノズル11に対応しており、2番目の数字は第2のノズル12に対応している。そして、高さフラグが0の場合には第1または第2のノズル11,12がノズルユニット6において下方に位置し、高さが1の場合には第1または第2のノズル11,12がノズルユニット6において上方に位置しているものとする。ソレノイド19,20が、第1及び第2のノズル11,12を上方の位置と下方の位置との間で移動させることは、前述の通りである。また、吐出フラグの1番目の数字は第1のノズル11に対応しており、2番目の数字は第2のノズル12に対応している。そして、吐出フラグが0の場合には防湿剤の吐出を行わず、吐出フラグが1の場合には防湿剤の吐出を行うものとする。また、振動フラグが0の場合にはノズルユニット6を振動させず、振動フラグが1の場合にはノズルユニット6を振動させるものとする。上記軌跡情報のID1のレコードによって、吐出ユニット2は、角度θ1で、両ノズル11,12からの防湿剤の吐出なしに、また振動なしに座標X1,Y1,Z1に移動することが示される。その際に第1及び第2のノズル11,12は下方に位置している。また、ID2のレコードによって、座標X1,Y1,Z1から、座標X2,Y2,Z2まで、角度θ2で、両ノズル11,12から防湿剤を吐出しながら移動することが示される。なお、その移動の際に、ノズルユニット6が振動されることになる。また、ID3のレコードによって、座標X2,Y2,Z2から、座標X3,Y3,Z3まで、角度θ3で、両ノズル11,12から防湿剤を吐出しながら移動することが示される。その際にも、ノズルユニット6が振動されることになる。なお、座標X,Y,Zは、基板塗布装置1におけるグローバルな座標であってもよく、あるいは、基板61上のローカルな座標であってもよい。両者を適宜、変換することができるからである。制御部4は、例えば、上記ID1のレコードを読み出し、移動部3を制御することによって、吐出ユニット2の角度をθ1とし、吐出ユニット2の位置を座標X1,Y1,Z1に移動させる。また、第1及び第2のノズル11,12は下方に位置することになる。また、その移動の際に、吐出フラグが0であるため、防湿剤の吐出が行われないように制御され、振動フラグが0であるため、ノズルユニット6の振動が行われないように制御される。次に、制御部4は、上記ID2のレコードを読み出し、移動部3を制御することによって、吐出ユニット2の角度をθ2とし、吐出ユニット2の位置を座標X2,Y2,Z2に移動させる。その際に、吐出フラグが1であるため、防湿剤の吐出が行われ、振動フラグが1であるため、ノズルユニット6の振動が行われる。具体的には、制御部4は、振動手段7の振動用モータ26を回転させることにより、ノズルユニット6が振動するようにする。なお、通常、その振動方向は、移動方向に直交する方向とされる。なお、ID5のレコードに対応した制御の場合には、第1のノズル11はソレノイド19によって上方に移動され、第2のノズル12は下方に位置している状態で、その第2のノズル12のみを用いた防湿剤の塗布が行われることになる。なお、振動フラグは0であるため、振動手段7によるノズルユニット6の振動は行われない。すなわち、ID5のレコードに対応した制御によっては、細かい範囲に対して防湿剤を塗布することができる。このようにして、軌跡情報を用いた防湿剤の基板61への塗布が行われることになる。この軌跡情報を用いた制御は、防湿剤等の粘性流体を塗布する装置においてすでに公知であり、その詳細な説明を省略する。次に、ノズルユニット6を振動させながらの防湿剤の塗布について説明する。図4で示されるように、基板61に防湿剤を塗布する際に、振動手段7は、移動部3による吐出ユニット2の移動方向と直交する方向にノズルユニット6、すなわち、第1及び第2のノズル11,12を振動させる。振動手段7は、隣接する第1及び第2のノズル11,12のノズルの幅図2中のPと略同じ幅にノズルユニット6を振動させる。すると、第1及び第2のノズル11,12によって、図4で示されるように、広い範囲に防湿剤を塗布することができるようになる。その塗布領域の幅は、ノズルの幅Pの略2倍である。なお、移動部3による移動速度が速い場合には、振動の周期を速くすることによって、塗布もれがないようにすることができる。一方、移動部3による移動速度が遅い場合には、振動の周期を遅くすることによって、余分な防湿剤の塗布により、目的としていない領域に防湿剤が流れていく事態を回避することができる。したがって、移動速度が一定である場合には、振動手段7は、その移動速度に応じた周期でノズルユニット6を振動させることが好適である。また、移動速度が変わりうる場合には、例えば、移動速度と振動の周期との対応を示す情報例えば、テーブルの情報や、周期の算出式等を図示しない記録媒体で記憶しておき、振動手段7等は、その情報を用いて、移動速度に応じた振動の周期を取得し、その取得した周期でノズルユニット6を振動させてもよい。ここで、ノズルの幅Pと振動の幅との関係についてより詳細に説明する。ノズルから1滴の防湿剤を基板61上に滴下した場合に、その防湿剤は基板61上において直径Dの円形状になったとする。その場合には、厳密には、振動の幅をP-Dにすれば、もれなく塗布することができるようになる。なお、通常、DはPと比較して微小な値であるため、ノズルの幅Pは、振動の幅と略同じであると言うことができうる。以上のように、本実施の形態による基板塗布装置1によれば、ノズルユニット6を振動させながら防湿剤を塗布することによって、広い領域に防湿剤を塗布することができる。また、ノズルユニット6を振動させないで防湿剤を塗布することによって、狭い領域に防湿剤を塗布することができる。したがって、広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる。なお、本実施の形態では、ノズルユニット6において、第1及び第2のノズル11,12を別々に上下方向に移動可能である場合について説明したが、そうでなくてもよい。ノズルユニット6において、第1及び第2のノズル11,12を両方一緒に上下方向に移動可能であってもよく、あるいは、第1及び第2のノズル11,12を上下方向に移動できなくてもよい。前者の場合には、ノズルユニット6は1個のソレノイドのみを備えており、軌跡情報において、高さフラグが1個のフラグのみであってもよく、後者の場合には、ノズルユニット6はソレノイドを備えておらず、軌跡情報において、高さフラグが存在しなくてもよい。また、本実施の形態では、軌跡情報において、Z軸方向の座標も指定できるようにしたが、そうでなくてもよい。例えば、一定の高さで防湿剤を吐出する場合には、軌跡情報において、Z軸方向の座標が指定できなくてもよい。また、本実施の形態では、軌跡情報における吐出フラグによって、第1及び第2のノズル11,12のそれぞれについて吐出の有無を指定できる場合について説明したが、そうでなくてもよい。吐出フラグによって、第1及び第2のノズル11,12の両方について一括して吐出の有無を指定してもよい。その場合には、吐出フラグが1個のフラグのみであってもよい。また、本実施の形態では、振動手段7がノズルユニット6の振動の幅を変更する一つの例について説明したが、上記説明以外の方法によってノズルユニット6の振動の幅が変更されてもよいことは言うまでもない。ここでは、ノズルユニット6の振動の幅を無段階で変更することができる一例について図5~図8を用いて説明する。図5は、吐出ユニット2の他の一例を示す斜視図である。図6は、図5で示される吐出ユニット2の分解斜視図である。図7は、図5で示される吐出ユニット2の振動の幅を調整する機構を示す分解斜視図である。図8は、図5で示される吐出ユニット2の振動の幅の調整について説明するための図である。なお、図5等では、吐出ユニット2に第1のノズル支持部13によって指示された第1のノズル11のみが含まれる場合について示しているが、前述の説明のように、吐出ユニット2に第2のノズル12も含まれてもよいことは言うまでもない。また、第1及び第2のノズル11,12は、ソレノイド19,20によってZ軸方向に移動可能に設けられていてもよい。図7で示されるように、振動用モータ26の回転軸26aには、欠歯ギア71が固定されている。また、振動幅調整円板72に固定された一対のレール73に対して、一対のガイド74が摺動可能に設けられている。その1対のガイド74は、ギア支持板75に固定されている。したがって、ギア支持板75は、振動幅調整円板72に対して振動可能摺動可能となる。ギア支持板75には、長孔75aを中心として向かい合う位置に一対のラックギア76a,76bが、ギアが対向するように平行に固定されている。また、ギア支持板75の四隅に設けられた4本の支柱77によって、ギア支持板75と、突起支持板78が固定されている。その突起支持板78の中心には、ノズルユニット6の方に突出するように突起79が設けられている。その結果、ギア支持板75に対して突起79が固定されていることになり、ギア支持板75の振動に応じて突起79が振動することになる。突起79は、ノズルユニット6の支持板21に設けられた垂直方向の長孔22に挿入される。振動用モータ26の回転軸26aは、振動幅調整円板72の中心孔72aと、ギア支持板75の長孔75aとを通って、ラックギア76a,76bに係合した欠歯ギア71を回転させる。なお、欠歯ギア71は、一対のラックギア76a,76bのうち、一方に係合している場合には、他方に係合しないものとする。したがって、回転された欠歯ギア71は、ラックギア76a,76bに交互に係合することになり、ラックギア76a,76bのうち、係合しているもののみが移動されることになる。その結果、振動用モータ26が回転することにより、ギア支持板75がラックギア76a,76bの長さ方向図7では図中の左右方向に振動することになる。すなわち、図7において、欠歯ギア71が時計回りに回転する場合には、欠歯ギア71がラックギア76aに係合したときには、ギア支持板75が図7の右方向に移動され、次に欠歯ギア71がラックギア76bと係合したときには、ギア支持板75が図7の左方向に移動される。なお、ラックギア76a,76bの長さ方向とは、ラックギア76a,76bの歯の並びの方向である。このように、振動用モータ26の回転に応じてギア支持板75が振動し、突起79も振動することになり、その結果、支持板21も振動することになる。また、振動手段7は、欠歯ギア71を回転させる振動用モータ26と、その欠歯ギア71と係合する一対のラックギア76a,76bと、その一対のラックギア76a,76bが固定されるギア支持板75と、ギア支持板75に固定された突起79とを備え、突起79を振動可能な振動機構と、その振動機構を支持する支持板23とを備えていることになる。なお、支持板23には、一対のコ型部材81が設けられており、そのコ型部材81のノズルユニット6側にそれぞれ、ガイド82が固定されている。また、そのガイド82に摺動可能に設けられているレール83が、支持板21に固定されている。その結果、支持板21は、支持板23に対して、水平方向に振動可能となる。また、振動幅調整円板72と、プーリー86とは、同心となるように固定されており、振動幅調整円板72は、4個の外周軸受け84によって、支持板23に対して回動可能に保持されている。プーリー86は、中心が空いている円環状のものであり、そのプーリー86の中心に対応する支持板23にも孔90が設けられている。そして、振動用モータ26は、その孔90を介して欠歯ギア71を回転させる。プーリー86は、ベルト88によってプーリー87の回転が伝わるように設けられている。プーリー87は、幅調整用モータ89によって回転させられる。したがって、幅調整用モータ89がプーリー87を回転されることによって、振動幅調整円板72が図6中の矢印方向に回動されることになる。センサ85は、振動幅調整円板72に設けられた原点マーク72bを検出するためのものである。振動幅調整円板72が、センサ85によって原点マーク72bが検出された回転位置にある場合には、ギア支持板75は、図8aで示されるように、最も大きく振動することになる。また、振動幅調整円板72が、センサ85によって原点マーク72bが検出された位置から45度回転した位置にある場合には、ギア支持板75は、図8bで示されるように、図8aのときに比べて約0.7倍の振動幅で振動することになる。また、振動幅調整円板72が、センサ85によって原点マーク72bが検出された位置から90度回転した位置にある場合には、ギア支持板75は、図8cで示されるように、振動しなくなる。幅調整用モータ89が振動幅調整円板72を回動させることによって、ギア支持板75におけるラックギア76a,76bの長さ方向図8中の振動方向を、ノズルユニット6の振動方向図8中の振動幅の矢印の方向に対して回動させることができ、振動幅を最大から最小0までの間において、任意に設定することができる。ここで、ラックギア76a,76bの長さ方向と、ノズルユニット6の振動方向とのなす角度をφとし、ノズルユニット6の最大の振動幅をAとすると、ノズルユニット6の振動幅は、A×cosφとなる。このようにして、振動の幅を無段階で調整することも可能である。このように、ギア支持板75が、回動機構によって回動されることによって、ノズルユニット6の振動方向に対するギア支持板75の振動方向が変化し、その結果、ノズルユニット6の振動の幅が変更されることになる。ここでは、その回動機構が、ギア支持板75を振動可能に保持する振動幅調整円板72と、その振動幅調整円板72を回動させるプーリー86、87、ベルト88、及び幅調整用モータ89とから構成される場合について説明したが、そうでなくてもよい。他の構成によって回動機構が構成されてもよい。また、本実施の形態では、振動手段7がノズルユニット6の振動の幅を変更可能である場合について説明したが、そうでなくてもよい。すなわち、振動手段7がノズルユニット6の振動の幅を変更できないものであってもよい。また、振動手段7がノズルユニット6を振動させる機構は問わない。振動手段7は、例えば、リニア振動アクチュエータによってノズルユニット6を振動させてもよく、クランクを用いて回転運動を往復運動に変換することによってノズルユニット6を振動させてもよく、あるいは、他の機構や方法を用いてノズルユニット6を振動させてもよい。また、本実施の形態において、基板塗布装置1は、防湿剤の収容される容器62,63を備えていてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。後者の場合には、基板塗布装置1は、装置外に存在する容器62,63から供給される防湿剤をノズルユニット6によって吐出するものであってもよい。また、本実施の形態では、ノズルユニット6が第1及び第2のノズル11,12を有する場合について説明したが、そうでなくてもよい。ノズルユニット6は、第1から第NのノズルNは1以上の整数を有するものであってもよい。すなわち、ノズルユニット6は、単一のノズルを有するものであってもよく、前述のように第1及び第2のノズル11,12を有するものであってもよく、あるいは、3以上のノズルを有するものであってもよい。ノズルユニット6が第1から第Nのノズルを有する場合には、その第1から第Nのノズルはそれぞれ、第1から第Nの容器に接続され、その第1から第Nの容器で収容されている防湿剤を塗布してもよい。また、ノズルユニット6が2以上のノズルを有する場合、すなわち、整数Nが2以上である場合には、第1から第Nのノズルは直線上に均等に配置されていてもよい。また、N=2の場合について前述したように、振動手段7による振動の幅は、第1から第Nのノズルの隣接する2個のノズルの幅Pと略同じであってもよい。略同じとは、例えば、同じであってもよく、あるいは、前述したようにP-Dであってもよい、という意味である。3以上のノズルをノズルユニット6が有する場合にも、振動の方向は3以上のノズルを結ぶ直線方向であることが好適であり、また、吐出ユニット2の移動方向は、その振動方向と直角であることが好適である。また、本実施の形態では、ノズルごとに異なる容器に収容されている防湿剤を塗布する場合について説明したが、そうでなくてもよい。複数のノズルが単一の容器に収容されている防湿剤を塗布してもよい。また、上記実施の形態において、各構成要素が処理で用いる移動速度に応じた振動の周期等の情報は、上記説明で明記していない場合であっても、図示しない記録媒体において、一時的に、あるいは長期にわたって保持されていてもよい。また、その図示しない記録媒体への情報の蓄積を、各構成要素、あるいは、図示しない蓄積部が行ってもよい。また、その図示しない記録媒体からの情報の読み出しを、各構成要素、あるいは、図示しない読み出し部が行ってもよい。また、上記実施の形態において、各構成要素等で用いられる情報、例えば、各構成要素が処理で用いるしきい値やアドレス、各種の設定値等の情報がユーザによって変更されてもよい場合には、上記説明で明記していない場合であっても、ユーザが適宜、それらの情報を変更できるようにしてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。それらの情報をユーザが変更可能な場合には、その変更は、例えば、ユーザからの変更指示を受け付ける図示しない受付部と、その変更指示に応じて情報を変更する図示しない変更部とによって実現されてもよい。その図示しない受付部による変更指示の受け付けは、例えば、入力デバイスからの受け付けでもよく、通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体から読み出された情報の受け付けでもよい。また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムをCPU等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。"