偏心した貫通穴を有する回転軸と、前記回転軸を回転可能に収容するケーシングと、前記ケーシング内に設けられ、処理液を収容可能な収容領域と、前記回転軸の前記貫通穴内に設けられた軸受と、前記収容領域内に配置された端部と、旋回運動を利用して、前記収容領域に収容された前記処理液を前記端部から前記軸受に導く流路とを有し、前記軸受に回転可能に支持された旋回軸とを具備する偏心旋回駆動装置。請求項1に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記流路は、前記端部から離れるにしたがって流路断面積が広がるように形成された広がり部を有する偏心旋回駆動装置。請求項2に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記広がり部は、ステップ状に形成されている偏心旋回駆動装置。請求項2に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記広がり部は、テーパ状に形成されている偏心旋回駆動装置。請求項2から4のうちいずれか1項に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記旋回軸は、前記端部に設けられた、前記処理液の前記流路内への導入を補助する導入補助部を有する偏心旋回駆動装置。請求項5に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記導入補助部は、前記広がり部として機能する導入流路を有する偏心旋回駆動装置。請求項5に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記導入補助部は、ネジ溝状またはネジ流路状に形成された導入流路を有する偏心旋回駆動装置。請求項1から7のうちいずれか1項に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記流路は、前記旋回軸を軸方向に貫通する貫通部を有する偏心旋回駆動装置。請求項1から8のうちいずれか1項に記載の偏心旋回駆動装置であって、前記旋回軸の端部側に設けられ、前記旋回軸の自転を規制する自転規制機構をさらに具備する偏心旋回駆動装置。偏心した貫通穴を有する回転軸と、前記回転軸を回転可能に収容するケーシングと、前記ケーシング内に設けられ、処理液を収容可能な収容領域と、前記回転軸の前記貫通穴内に設けられた軸受と、一部が少なくとも旋回時に前記収容領域に収容された前記処理液に浸されるように配置され、旋回運動により前記処理液を飛散させることが可能な旋回板と、前記旋回板の旋回運動により飛散する前記処理液が付着可能な位置に設けられた前記処理液の導入口と、前記導入口及び前記軸受との間を連通する流路とを有し、前記旋回板が接続され、前記軸受に回転可能に支持された旋回軸とを具備する偏心旋回駆動装置。特許文献1に記載の偏心旋回駆動装置は、例えば特許文献2に開示されているような潤滑油の供給機構を有していない。偏心旋回駆動装置が供給機構を有していない場合、例えばグリース等による潤滑が行われるのみである。グリース潤滑は油潤滑に比べ寿命が短く、冷却性能も悪い。特許文献2に記載の偏心旋回駆動装置では、重量の大きな移動板がその周囲に設けられた支持部材に対して摺動するので、摩擦やその慣性によるエネルギーの損失が大きい。また、この装置は、回転軸の回転運動旋回軸の旋回運動を、移動板の直線運動に変換しているので、移動板、支持部材、あるいは回転軸に、慣性力や衝撃力等の大きな荷重が加わり、それらの部材が破損しやすいという問題がある。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、摩擦によるエネルギーの損失や部材の破損を防止しつつ、処理液による適切な潤滑や冷却を行うことができる偏心旋回駆動装置を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る偏心旋回駆動装置は、回転軸と、ケーシングと、収容領域と、軸受と、旋回軸とを具備する。前記回転軸は、偏心した貫通穴を有する。前記ケーシングは、前記回転軸を回転可能に収容する。前記収容領域は、前記ケーシング内に設けられ、処理液を収容可能である。前記軸受は、前記回転軸の前記貫通穴内に設けられている。前記旋回軸は、前記軸受に回転可能に支持されている。また、前記旋回軸は、前記収容領域内に配置された端部と、旋回運動を利用して、前記収容領域に収容された前記処理液を前記端部から前記軸受に導く流路とを有する。本発明の別形態に係る偏心旋回駆動装置は、回転軸と、ケーシングと、収容領域と、軸受と、旋回板と、旋回軸とを具備する。前記回転軸は、偏心した貫通穴を有する。前記ケーシングは、前記回転軸を回転可能に収容する。前記収容領域は、前記ケーシング内に設けられ、処理液を収容可能である。前記軸受は、前記回転軸の前記貫通穴内に設けられる。前記旋回板は、その旋回板の一部が少なくとも旋回時に前記収容領域に収容された前記処理液に浸されるように配置され、旋回運動により前記処理液を飛散させることが可能である。前記旋回軸は、前記旋回板の旋回運動により飛散する前記処理液が付着可能な位置に設けられた前記処理液の導入口と、前記導入口及び前記軸受との間を連通する流路とを有し、前記旋回板が接続され、前記軸受に回転可能に支持される。一形態に係る偏心旋回駆動装置は、回転軸と、ケーシングと、収容領域と、軸受と、旋回軸とを具備する。前記回転軸は、偏心した貫通穴を有する。前記ケーシングは、前記回転軸を回転可能に収容する。前記収容領域は、前記ケーシング内に設けられ、処理液を収容可能である。前記軸受は、前記回転軸の前記貫通穴内に設けられている。前記旋回軸は、前記軸受に回転可能に支持されている。また、前記旋回軸は、前記収容領域内に配置された端部と、旋回運動を利用して、前記収容領域に収容された前記処理液を前記端部から前記軸受に導く流路とを有する。旋回軸が旋回することにより、この旋回軸の端部における流路内の処理液に遠心力が働き、これがポンプ力となり、処理液が軸受に供給される。これにより、従来における移動板等の別途のポンプ機構を設ける必要がない。したがって、摩擦によるエネルギーの損失や部材の破損を防止しつつ、処理液による適切な潤滑や冷却を行うことができる。前記流路は、前記端部から離れるにしたがって流路断面積が広がるように形成された広がり部を有してもよい。これにより、処理液が収容される領域から離れるにしたがって処理液に働く遠心力が大きくなり、処理液のポンプ力を高めることができる。前記広がり部は、ステップ状に形成されていてもよい。これにより、旋回軸の製造時において広がり部の加工が容易になる。あるいは、前記広がり部は、テーパ状に形成されていてもよい。前記旋回軸は、前記端部に設けられた、前記処理液の前記流路内への導入を補助する導入補助部を有してもよい。例えば前記導入補助部は、前記広がり部として機能する導入流路を有してもよいし、あるいは、ネジ溝状またはネジ流路状に形成された導入流路を有していてもよい。これにより、広がり部による高い遠心力の作用、または、ネジの形状による吸引作用が発生するので、処理液を確実に流路内に導入することができる。前記流路は、前記旋回軸を軸方向に貫通する貫通部を有してもよい。これにより、この旋回軸の端部領域内に配置された端部とは反対側の端部に接続される被駆動装置等にも貫通部を介して処理液を供給可能となる。前記偏心旋回駆動装置は、前記旋回軸の端部側に設けられ、前記旋回軸の自転を規制する自転規制機構をさらに具備してもよい。このような構成によれば、旋回軸が旋回する時に領域内の処理液を飛散させることで処理液を自転規制機構に供給することができる。これにより、旋回軸の旋回運動を利用して自転規制機構の潤滑または冷却をも行うことができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。第1の実施形態図1は、本発明の第1の実施形態に係る偏心旋回駆動装置を示す概略的な断面図である。この偏心旋回駆動装置は、例えばポンプ例えば真空ポンプ、圧縮機、またはその他の装置の駆動源として利用される。偏心旋回駆動装置100は、ケーシング10と、ケーシング10内に設けられたロータ11と、ロータ11の周囲に配置されケーシング10に取り付けられたステータ12とを備えている。ケーシング10は、円筒状の外観を有する本体1と、本体1の両端の開口部に装着されたカバー2、3とを有する。ロータ11は、回転軸6と、この回転軸6の周囲に設けられたロータコア7とを有する。回転軸6は、ケーシング10の本体1の軸受取付部1aに取り付けられた軸受14により回転可能に支持されている。ステータ12は、コイル8及びステータコア9を有する。図2は、この偏心旋回駆動装置の回転軸6を軸方向Z軸方向で見た図である。回転軸6の軸心から偏心した位置には貫通穴6aが形成され、その貫通穴6a内には旋回軸13を回転可能に支持する軸受15が設けられている。ケーシング10の2つのカバー2及び3のうち一方のカバー3には穴3aが形成され、その穴3aから、旋回軸13の出力端部13aがケーシング10外に露出している。旋回軸13の出力端部13aには、例えば図示しないスクロール機構、ピストン機構、ダイヤフラム機構等が接続される。ピストン機構やダイヤフラム機構がこの偏心旋回駆動装置100に接続される場合、図示しないコネクティングロッドなどの部材を介してそれらが接続され、旋回軸13の旋回運動が直線運動に変換される。旋回軸13の、出力端部13aとは反対側の端部13b側には自転規制機構自転防止機構20が接続されている。自転規制機構20は、旋回軸13に固定された旋回板21と、旋回板21及びケーシング10カバー2の間に接続されたクランクピン25とを有する。旋回板21は例えば円板状であり、その中心位置に旋回軸13が固定されている。旋回板21は円板状以外の形状を有していてもよい。旋回軸13は旋回板21の中心位置からずれた位置に固定されていてもよい。クランクピン25の一端部が旋回板21に軸受22を介して回転可能接続され、クランクピン25の他端部がカバー2の内面に軸受23を介して回転可能に接続されている。クランクピン25は複数設けられているが、1つでもよい。ケーシング10の一部としてのカバー2には、処理液としての潤滑油Fを収容する収容領域19が設けられている。例えば、カバー3に比べて厚さの厚い板状のカバー2に凹部が形成されることにより収容領域19が設けられる。本実施形態では、偏心旋回駆動装置100は、回転軸6及び旋回軸13の軸方向が実質的に鉛直方向に配置されるような姿勢で使用される。したがって、回転軸6及び旋回軸13側に開口した収容領域19に潤滑油Fが貯溜される。旋回軸13は、その端部13bが収容領域19内に配置されて潤滑油Fに浸されるような位置に配置されている。旋回軸13は、その内部に、潤滑油Fを流通させる流路131を有する。この流路131は、軸方向に沿って形成されたスラスト流路131aと、このスラスト流路131aから旋回軸13の径方向に沿って延びるラジアル流路131bとを有する。ラジアル流路131bの端部は軸受15に接続されている。このような流路131の構成により、潤滑油Fを、旋回軸13の端部13bから軸受15まで導くことができる。以上のように構成された偏心旋回駆動装置100の作用を説明する。ステータ12及びロータ11の電磁気的な相互作用によってロータ11が回転する。ロータ11が回転すると、旋回軸13がその回転軸6の中心の周りを旋回する。このとき、自転規制機構20により、旋回軸13及び旋回板21が一体的に旋回し、旋回軸13の自転が規制される。この旋回運動の動力が、ポンプ、圧縮機、またはその他の装置の動力源となる。また、旋回軸13が回転軸6の中心の周りを旋回する時、その旋回運動により、旋回軸13の端部13bにおける流路131内の潤滑油Fに遠心力が働く。そうすると流路131内の潤滑油Fは、流路131内の壁面からその抗力を受け、この抗力がポンプ力となって、抵抗の少ない側、つまり流路131の上方側へ導かれる。このようにして潤滑油Fが流路131内で吸い上げられ、スラスト流路131a及びラジアル流路131bを通り、十分な量の潤滑油Fが軸受15に供給される。これにより、旋回軸13及び軸受15を冷却し、また、軸受15の潤滑を行うことができる。このように本実施形態では、従来における重量のある移動板等の別途のポンプ機構を設ける必要がないので、摩擦によるエネルギーの損失や部材の破損を防止しつつ、潤滑油Fによる適切な潤滑及び冷却を行うことができる。本実施形態では、旋回軸13が旋回する時に収容領域19内の潤滑油を飛散させることができる。これにより、潤滑油Fを、例えば自転規制機構20のクランクピン25の軸受22及び23に供給することができ、これらの潤滑及び冷却を行うことができる。なお、遠心力だけでは潤滑油Fのポンプ力が弱い場合、スラスト流路131aの流路抵抗を小さくする加工が施されていてもよい。流路抵抗を小さくする加工としては、少なくともスラスト流路131a内の壁面が撥水処理されているものや、スラスト流路131aの壁面に軸方向に沿った複数の溝が形成されているもの等がある。あるいは、軸方向に沿った複数の溝に代えて、後述の図7A及びBで示すような形状のネジ溝が流路131内の壁面に形成されていてもよい。あるいは、スラスト流路131aの代わりに、後述の図7Cで示すような形状のネジ流路が設けられていてもよい。第2の実施形態図3は、本発明の第2の実施形態に係る旋回軸33を示す断面図である。これ以降の説明では、図1等に示した実施形態に係る偏心旋回駆動装置100が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。この旋回軸33に設けられた流路331のスラスト流路331aの流路断面積は、収容領域19図1参照側である端部33b側から離れるにしたがって、流路断面積がステップ状に広がるように形成されている。すなわち、流路331のうちスラスト流路331aは広がり部として機能する。例えば、スラスト流路331aは、流路断面積の小さい方から順に第1の流路336、第2の流路337及び第3の流路338を有している。また、このスラスト流路331aは、端部33bから出力端部33aまで貫通しており、貫通部として機能する。ラジアル流路331bは、第2の流路337から分岐して設けられ、もう1つのラジアル流路331bは第3の流路338から分岐して設けられている。このスラスト流路331aのうち第3の流路338の内径は、第1の流路336の内径の2~5倍程度である。しかしそれら流路の内径はその範囲に限られず、適宜変更可能である。第1、第2及び第3の流路336、337及び338の軸方向の長さの比は、約1:1:2である。しかし、その比は、1:1:1でもよいし、その他適宜変更可能である。このように構成されたスラスト流路331aによれば、一定の旋回軸33の旋回速度において、端部33bから離れるにしたがって潤滑油に働く遠心力mrω2が大きくなり、潤滑油のポンプ力を高めることができる。また、このスラスト流路331aは軸方向で貫通しているので、出力端部33aに接続される図示しない被駆動装置の機械にも潤滑油を供給することができる。さらに、本実施形態では、スラスト流路331aがステップ状に広がるように形成されていることにより、旋回軸33の製造時においてこのスラスト流路331aの加工が容易になる。すなわち、この例では、3段階の内径を有する流路336、337及び338を形成するために3段階の太さのドリルにより穴あけ加工を施すことにより、簡単にスラスト流路331aを形成することができる。なお、本実施形態では、旋回軸33のスラスト流路は3段階の流路断面積を有していたが、それは2段階でもよいし、4段階以上でもよい。第3の実施形態図4は、本発明の第3の実施形態に係る旋回軸を示す断面図である。この旋回軸43のスラスト流路431aは、端部43bから離れるにしたがい連続的に広がるテーパ状に形成されている。スラスト流路431aからラジアル流路431bが延びている。スラスト流路431aのテーパ形状において、この流路431aの壁面と空間とを区画する線は、図4のように断面で見て曲線状に形成されている。しかしこれは直線状であってもよい。このように構成されたスラスト流路431aも、上記第2の実施形態と同様に、遠心力を高めることができるので、潤滑油のポンプ力を高めることができる。また、スラスト流路431aが軸方向に貫通しているので、出力端部43aに接続される図示しない被駆動装置の機械にも潤滑油を供給することができる。第4の実施形態図5は、本発明の第4の実施形態に係る旋回軸及び収容領域付近を示す断面図である。本実施形態に係る旋回軸53は、本体55と、この本体55の端部53bに接続されて固定された導入補助部54とを有する。導入補助部54は、潤滑油Fの流路531への導入を補助する部材である。この導入補助部54が収容領域19に配置され、導入補助部54の一部または全部が潤滑油Fに浸されている。導入補助部54は、例えば本体55の外径と実質的に同じ外径を有し、円筒状に形成されている。また、導入補助部54は、内部に広がり部として機能する導入流路541が形成され、本体55に形成された流路スラスト流路531に連通している。本体55の流路531は、例えば図1に示したような、旋回軸13の流路131スラスト流路131aと実質的に同様の形状である。このように旋回軸53の少なくとも端部に広がり部として機能する導入流路541が設けられていれば、導入補助部54内における導入流路541内で潤滑油Fに、上記第1~3の実施形態の場合より大きな遠心力が働く。これにより、潤滑油Fを確実に本体55の流路531に導入することができる。本実施形態では、導入補助部54は、本体55と別部材として説明したが、これらは同じ部材であって、旋回軸53の端部に導入流路541が形成されていてもよい。なお、図4及び図1に示した例では、収容領域19内に収容された潤滑油Fの液面が、旋回軸の端部における流路内の潤滑油Fの液面と一致している。しかし、旋回軸の端部における流路の内径によっては、収容領域19に潤滑油Fを溜めただけでは、流路内の気圧によりその旋回軸の端部における流路内に流入しない場合もあり得る。このような場合であっても、旋回軸が旋回運動を開始すれば、潤滑油Fはその端部から流路内に吸い上げられる。第5の実施形態図6は、本発明の第5の実施形態に係る偏心旋回駆動装置を示す断面図である。本実施形態に係る偏心旋回駆動装置200は、旋回軸63及び回転軸6が、水平方向またはこれに近い方向に沿って配置されるような姿勢で使用される。潤滑油Fの収容領域29は、本体1の下方側、この例では、軸受取付部1a及びカバー2の間に設けられている。旋回軸63に取り付けられた、自転規制機構20の旋回板21の一部である下部側が、収容領域29内に配置されており潤滑油Fに浸っている。収容領域29は、本体1の下方側であって、少なくとも偏心旋回駆動装置200の駆動時に旋回板21の一部が浸るような配置及び構造を有していれば、どのような形態であってもよい。旋回軸63に形成された流路631は、ラジアル導入路631cを有する。ラジアル導入路631cは、ラジアル方向に形成され、潤滑油Fをスラスト流路631a内に導入させる。ラジアル導入路631cには、上方側に開口された導入口631dが形成されている。導入口631dは、旋回板21の旋回運動により飛散する潤滑油Fが付着可能な位置に設けられ、典型的には、旋回軸63の端部に設けられている。旋回軸63は、上記したように自転規制機構20により自転が規制されており、偏心旋回駆動装置200の駆動時においても旋回軸63の姿勢がほぼ維持された状態にある。したがって、この図6に示したような偏心旋回駆動装置200の姿勢では、導入口631dの開口の向きは上向きでほぼ一定となる。カバー2にはガイド部材39が取り付けられている。例えば、カバー2に凹部2aが形成されており、その凹部2a内にそのガイド部材39が配置されている。ガイド部材39は、後述するように飛散した潤滑油Fを旋回軸63の導入口631dに導く機能を有する。ガイド部材39は、旋回軸63に沿った方向で見て、直線状に形成されていてもよいし、例えば樋状または庇状のような、曲線状例えば円弧状、楕円弧状に形成されていてもよい。ガイド部材39の下面39aは、導入口631dに近づくに従って下方に位置するように設けられている。なお、凹部2aは、例えば上記実施形態では収容領域19を形成する凹部と同様の構造でもよい。偏心旋回駆動装置200の駆動時には、旋回軸63が旋回し、これに伴って旋回板21が旋回する。旋回板21が旋回移動することにより潤滑油Fを攪拌する作用が発生し、容領域29内の潤滑油Fが飛散する。これにより、飛散した潤滑油Fの一部が、ガイド部材39の下面39aに付着し、下面39aに付着した潤滑油Fは、その重力成分によりその下面39aを伝って流れ、導入口631dに導入される。そして潤滑油Fは、旋回軸63のラジアル導入路631cを介して旋回軸63のスラスト流路631a内に流入する。スラスト流路631a内の潤滑油Fには、旋回軸63の旋回により遠心力が作用し、これにより、ラジアル流路631bを介して軸受15に到達する。なお、偏心旋回駆動装置200の駆動時において、旋回板21が最も上方に位置する時、必ずしも旋回板21の下部側が収容領域29内に配置されていなくてもよい潤滑油Fに浸っていなくてもよい。。以上のように、旋回軸63が水平方向またはそれに近い方向に沿って配置されるように、偏心旋回駆動装置200が配置されたとしても、本実施形態に係る旋回軸63及び旋回板21により、軸受15に潤滑油Fを供給することができる。また、下方側に配置されたクランクピン25及びこれを支持する軸受22が、収容領域29内に配置されているので、これらの部材に十分な量の潤滑油Fが供給される。また軸受23にも十分に潤滑油Fが供給される。その他の実施形態本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。図3及び4に示した旋回軸33及び43においても、流路内の壁面が、上記のように撥水処理、軸方向溝、ネジ溝、またはネジ流路等の加工が施されていてもよい。ネジ溝またはネジ流路の形状としては、後述する図7A~Cで示すような形状がある。図1に示した旋回軸13のスラスト流路131aが軸方向で旋回軸13を貫通していてもよい。図5に示した導入補助部54が、図1、3及び4に示した旋回軸の端部にそれぞれ接続固定されるか、または、導入流路541がそれら旋回軸の端部の流路として形成されていてもよい。上記実施形態では、導入補助部54の導入流路541は、広がり部であるテーパ状に形成されていた。しかし、この導入流路はネジ溝状またはネジ流路状にそれぞれ形成されていてもよい。ネジ溝の形状の概念は、典型的には図7A及びBに示したようなものがある。図7Aに示す導入流路546では、ネジ溝が形成されている。図7Bに示す導入流路547では、旋回軸の軸方向中心に向かうにしたがって広くなる流路にネジ溝が形成されている。あるいは図7Cに示すように、導入流路548がネジ流路状スパイラル状の流路に形成されていてもよい。あるいは、図7Cに示したスパイラル状の流路の全体幅軸方向に直交する方向の幅が、軸方向中心に向かうにしたがって広がるように形成されていてもよい。上記第1の実施形態では、自転規制機構20が設けられていたが、自転規制機構20が設けられず、旋回軸13が回転軸6に対して回転自転自在に設けられていてもよい。上記実施形態では、収容領域19がカバー2に形成される構成であったが、潤滑油Fを収容可能な図示しない容器等がケーシング10内に設置されていてもよい。図6に示した実施形態において、ガイド部材39がなくてもよい。この場合、駆動時に旋回軸63より上方に飛散した潤滑油が自然に重力で落ちる時に、導入口631dまたは導入口631dに付近に潤滑油が付着し、流路631内に導入される。また、この場合、導入口631dは、Z軸方向で、旋回板21と回転軸6との間の位置に配置されていてもよい。図6に示した実施形態では、自転規制機構20の一部として旋回板21が設けられた。しかし、旋回板は、自転規制を目的とするのではなく、潤滑油Fを飛散させる目的で設けられていてもよい。この場合、クランクピン25等が不要になり、また、旋回板の形状も種々の変更が可能である。図6に示した実施形態では、ラジアル流路631bがスラスト流路631aから上方へ延びるように形成された。しかし、これらラジアル流路631bは、スラスト流路631aから下方へ延びるように形成されてもよい。これにより、スラスト流路631aに導入された潤滑油Fが、その下方へ延びるラジアル流路631bに自重で流れ込みやすくなる。