"酸化物担体粒子に複数個の金属原子が集まった金属クラスターが担持された金属クラスター担持触媒の製造方法であって、イオン液体中に金属クラスターが分散した分散液を用意する工程、該分散液と溶媒に分散された酸化物担体粒子とを混合する工程、および得られた混合液に、イオン液体と金属クラスターとの結合力を弱めるために外力を加えて酸化物担体粒子に金属クラスターを担持させる工程、を含む、前記方法。前記溶媒が、含窒素化合物又は含酸素化合物系有機溶媒である請求項1に記載の方法。前記金属クラスター担持触媒が、酸化物担体粒子に平均径が10nm未満の金属クラスターが担持されたものである請求項1又は2に記載の方法。前記外力が、加熱、マイクロ波又は超音波である請求項1~3のいずれか1項に記載の方法。さらに、金属クラスターが担持された酸化物担体粒子をイオン液体からろ取し、溶媒で洗浄し、乾燥する工程を含む請求項1~4のいずれか1項に記載の方法。前記外力が、分散液の温度を0~300°Cの範囲の温度に上昇させるために行われる加熱である請求項1~5のいずれか1項に記載の方法。前記加熱が、不活性雰囲気下に100~300°Cに加熱して行われる請求項6に記載の方法。前記酸化物担体粒子がAl2O3粒子、SiO2粒子、CeO2粒子、ZrO2粒子、TiO2粒子、CeO2-ZrO2複合酸化物粒子、CeO2-Al2O3複合酸化物粒子、CeO2-TiO2複合酸化物粒子、CeO2-SiO2複合酸化物粒子又はCeO2-ZrO2-Al2O3複合酸化物粒子であり、前記担持触媒が排ガス浄化用触媒である請求項1~7のいずれか1項に記載の方法。前記分散液が、イオン液体に金属クラスターを蒸着させて調製される請求項1~8のいずれか1項に記載の方法。前記金属クラスターの金属が、金、銀、白金、ロジウム又はパラジウムあるいはそれぞれの合金である請求項1~9のいずれか1項に記載の方法。前記イオン液体が、TMPA-TFSAである請求項1~10のいずれか1項に記載の方法。しかし、前記非特許文献1に記載の方法を排ガス浄化用に適用しようとすると、ガス分子との接触面積を多くする必要があるため表面積の大きい二次粒子径の小さいμmオーダーの酸化物担体粒子に担持する必要がある。この場合、前記非特許文献1に記載の方法によっては酸化物担体粒子に金のナノ粒子を均一に担持することが困難である。このように、従来公知の技術によれば、金属ナノ粒子を製造することあるいは担体基板やグラファイトに金ナノクラスターを担持させることは可能であるが、排ガス浄化用触媒に用いられ得る酸化物担体粒子に金属クラスターが均一に担持された金属クラスター担持触媒の製造方法は知られていない。従って、本発明の目的は、酸化物担体粒子に金属クラスターが均一に担持された金属クラスター担持触媒の製造方法を提供することである。本発明は、酸化物担体粒子に複数個の金属原子が集まった金属クラスターが担持された金属クラスター担持触媒の製造方法であって、イオン液体中に金属クラスターが分散した分散液を用意する工程、該分散液と溶媒に分散された酸化物担体粒子とを混合する工程、および得られた混合液に、イオン液体と金属クラスターとの結合力を弱めるために外力を加えて酸化物担体粒子に金属クラスターを担持させる工程、を含む、前記方法に関する。本発明によれば、酸化物担体粒子に金属クラスターが均一に担持された金属クラスター担持触媒を容易に得ることができる。特に、本発明において、以下の実施態様を挙げることができる。1前記溶媒が、含窒素化合物又は含酸素化合物系有機溶媒である前記方法。2前記金属クラスター担持触媒が、酸化物担体粒子に平均径が10nm未満の金属クラスターが担持されたものである前記方法。3前記外力が、加熱、マイクロ波又は超音波である前記方法。4さらに、金属クラスターが担持された酸化物担体粒子をイオン液体からろ取し、溶媒で洗浄し、乾燥する工程を含む前記方法。5前記外力が、分散液の温度を0~300°Cの範囲の温度に上昇させるために行われる加熱である前記方法。6前記加熱が、不活性雰囲気下に100~300°Cに加熱して行われる前記方法。7前記酸化物担体粒子がAl2O3粒子、SiO2粒子、CeO2粒子、ZrO2粒子、TiO2粒子、CeO2-ZrO2複合酸化物粒子、CeO2-Al2O3複合酸化物粒子、CeO2-TiO2複合酸化物粒子、CeO2-SiO2複合酸化物粒子又はCeO2-ZrO2-Al2O3複合酸化物粒子であり、前記担持触媒が排ガス浄化用触媒である前記方法。8前記分散液が、イオン液体に金属クラスターを蒸着させて調製される前記方法。9前記金属クラスターの金属が、金、銀、白金、ロジウム又はパラジウムあるいはそれぞれの合金である前記方法。10前記イオン液体が、TMPA-TFSAである前記方法。本発明においては、酸化物担体粒子に複数個の金属原子が集まった金属クラスターが担持された金属クラスター担持触媒を、イオン液体中に金属クラスターが分散した分散液を用意する工程、該分散液と溶媒に分散された酸化物担体粒子とを混合する工程、および得られた混合液に、イオン液体と金属クラスターとの結合力を弱めるために外力を加えて酸化物担体粒子に金属クラスターを担持させる工程、を含むことが必要であり、これによって酸化物担体粒子に金属クラスターが均一に担持された金属クラスター担持触媒を得ることができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳説する。本発明の実施態様の製造方法は、図1に示すように、金ターゲットに対するスパッタリング法などにより金を蒸着させてイオン液体中に金クラスターが分散した分散液を用意する工程a、該分散液と溶媒に分散された酸化物担体粒子とを混合する工程b、得られた混合液に、イオン液体と金属クラスターとの結合力を弱めるために加熱による外力を加えて酸化物担体粒子に金属クラスターを担持させる工程c、および金属クラスターが担持された酸化物担体粒子をイオン液体からろ取し、溶媒で洗浄し、乾燥する工程dからなる。本発明の方法においては、イオン液体中に金属クラスターが分散した分散液を用意することが必要であり、前記の分散液は、イオン液体に金属クラスターを蒸着させる方法によって調製され得る。前記の蒸着方法としては、特に制限はなく、例えば化学蒸着法や物理蒸着法、例えば真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法など、好適にはスパッタリング法が挙げられる。本発明においては、金属として金、銀、白金、ロジウム又はパラジウムあるいはそれぞれの銅もしくはニッケルとの合金が挙げられる。前記の方法において、イオン液体の蒸気圧が極めて低いため、イオン液体を含む蒸着装置内を減圧に保つことが可能となり、金属をイオン液体に蒸着させ得る。前記の工程によって、イオン液体中に複数個の金属原子が集まった金属クラスター、通常は10nm未満、特に5nm以下の平均径を有する金属クラスターが分散され、イオン液体に取り囲まれて安定化する。前記のイオン液体は、陽イオンと陰イオンのみから構成される塩であって常温で液体である一連の化合物をいい、高温安定性であり液体温度範囲が広い、蒸気圧が略ゼロ、イオン性でありながら低粘性、高い酸化還元耐性などの特性を有しているものであり、例えば脂肪族系イオン液体、イミダゾリウム系イオン液体、ピリジニウム系イオン液体などが挙げられ、好適には、N,N,N-トリメチル-N-プロピルアンモニウムビストリフルオロメタンスルホニルイミドやN-メチル-N-プロピルピペリジニウムビストリフルオロメタンスルホニルイミド、N,N-ジエチル-N-メチル-N-2-メトキシエチルアンモニウムビストリフルオロメタンスルホニルイミド、N,N-ジエチル-N-メチル-N-2-メトキシエチルアンモニウムテトラフルオロホウ酸塩、N,N,N-トリメチル-N-プロピルアンモニウムビストリフルオロメタンスルホニルアミド以下、TMPA-TFTAと略記する。など、好適にはTMPA-TFTAを挙げることができる。本発明の方法においては、前記の工程で得られた分散液と酸化物担体粒子とを混合することが必要である。前記酸化物担体粒子としては、Al2O3粒子、SiO2粒子、CeO2粒子、ZrO2粒子、TiO2粒子、CeO2-ZrO2複合酸化物粒子、CeO2-Al2O3複合酸化物粒子、CeO2-TiO2複合酸化物粒子、CeO2-SiO2複合酸化物粒子又はCeO2-ZrO2-Al2O3複合酸化物粒子が挙げられる。前記の分散液と酸化物担体粒子とを混合する際には、前記酸化物担体粒子を溶媒に予め分散させたものを用いることが必要である。単に酸化物担体粒子と分散液とを混合したのでは、酸化物担体粒子に金属クラスターと均一に担持させることはできない。前記の酸化物担体粒子を分散させるための溶媒としては、極性を有する有機溶媒、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール、アセトニトリル、プロピオニトリルなどのニトリル、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル、酢酸エチルや酢酸ブチルなどのエステル、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン、アニリン、ピリジンなどの含窒素化合物又は含酸素化合部、その中でも沸点が200°C未満の有機溶媒が挙げられる。前記溶媒の量は、前記分散液と溶媒との割合が1:10~10:1、特に1:5~5:1、その中でも1:3~3:1容量比であることが好適である。また、前記の分散液と混合する酸化物担体粒子の量は、酸化物担体粒子に対する金属クラスターの質量割合で示される金属の担持量が0.05~3質量とすることが好適である。本発明の方法においては、得られた混合液に、イオン液体と金属クラスターとの結合力を弱めるために外力を加えて酸化物担体粒子に金属クラスターを担体させることが必要である。前記の工程によって、酸化物担体粒子にナノサイズの金属クラスターが均一に担持することが可能となる。前記の外力としては、加熱、マイクロ波又は超音波、好適には分散液の温度を0~300°Cの範囲の温度に上昇させるために行われる加熱、その中でも不活性雰囲気下に、例えば窒素を導入して分散液の温度を100~300°Cに上昇させる加熱が挙げられる。特に、前記分散液を100~150°Cの温度で5分間~5時間程度、例えば10~60分間程度の加熱を行うことが好適である。前記の外力として加熱を用いる場合、温度が高すぎると金属クラスターの粒成長が起こるので避ける必要がある。また、前記の外力としてマイクロ波又は超音波を用いる場合は、付与するエネルギーが過大にならないように留意する必要がある。前記の加熱、マイクロ波又は超音波を用いる技術は、それ自体周知である。前記の各工程によって生成された、金属クラスターが担持された酸化物担体粒子は、イオン液体からろ取し、溶媒で洗浄し、乾燥され得る。前記のイオン液体からのろ取には、ろ過、遠心分離などのろ取手段が適用され得る。前記溶媒としては、極性を有する有機溶媒、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール、アセトニトリル、プロピオニトリルなどのニトリル、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル、酢酸エチルや酢酸ブチルなどのエステル、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン、アニリン、ピリジンなど、好適にはニトリルが挙げられる。前記の乾燥は、300°C未満の温度、通常は100~150°Cで1~10時間程度行い得る。本発明の前述の方法によって、酸化物担体粒子に平均径が10nm未満、特に5nm以下の金属クラスターが均一に担持された金属クラスター担持触媒を得ることができる。そして、前記の金属クラスター担持触媒は、自動車エンジンなどの内燃機関からの排ガスを浄化するための排ガス浄化用触媒として用い得る。以下、本発明の実施例を示す。以下の実施例は単に説明するためのものであり、本発明を限定するものではない。以下の各例において、金属クラスター担持触媒は、図1に模式図を示す工程に従って作製した。以下の各例において、得られた貴金属クラスター担持前および金属クラスター酸化物担体粒子担持触媒の貴金属クラスターについて、日立製作所社製STEMHD-2000を用いて、加速電圧:200kVにて測定を行った。実施例11.Auクラスターの合成TMPA-TFSAを0.600cm3分取し、120°Cで3時間以上減圧乾燥した。アセトンで超音波洗浄したスライドガラス26mmx38mm上にこのTMPA-TFSA0.600cm3を均一に塗布し、DCスパッタリング装置SanyuElectronCo.,Ltd,SC-701HMCIIにターゲットとイオン液体との距離を20mmとして設置した。Au円板純度99.99をターゲット有効直径49mmとして用い、イオン液体への金属のスパッタリング蒸着を行った。スパッタリング蒸着条件はチャンバー内をアルゴンガスに置換し、圧力10Pa、スパッタリング蒸着電流40mAの条件でプレスパッタリングを300秒間行った後、スパッタリング蒸着時間900秒として行った。スパッタリング蒸着後のスライドガラス表面のイオン液体を回収し、Auクラスター分散イオン液体を得た。イオン液体中に堆積させたAuクラスターのSTEM観察像を図2に、Auクラスターの粒度分布を図3に示す。図2および3から、平均2.9nmのAuクラスターが形成されたことが確認された。2.AuクラスターのAl2O3担体粒子への担持得られたAuクラスター分散液0.5mLを1mLサンプル管に入れ、次いで0.3mLのアセトニトリルに分散させたAl2O3ナノテック社製、球状アルミナ50mgアルミナの量を加えた。窒素気流下、150°Cで30分間加熱、攪拌を行った。加熱後、冷却し、アルミナ粉末をろ取し、アセトニトリルで3回洗浄した。得られた粉末を110°Cで5時間乾燥し、AuクラスターAl2O3担体粒子担持触媒を得た。AuクラスターAl2O3担体粒子担持触媒のSTEM観察像を図4に、担持されたAuクラスターの粒度分布を図3に示す。図4および5から、平均4.34nmのAuクラスターがAl2O3担体粒子に高分散して担持されていることが確認された。実施例2実施例1と同様にして得られたAuクラスター分散液0.5mLを1mLサンプル管に入れ、次いで0.3mLのアセトニトリルに分散させたAl2O3ナノテック社製、球状アルミナ50mgを加えた。窒素気流下、100°Cで30分間加熱、攪拌を行った。加熱後、冷却し、アルミナ粉末をろ取し、アセトニトリルで3回洗浄した。得られた粉末を110°Cで5時間乾燥し、AuクラスターAl2O3担体粒子担持触媒を得た。AuクラスターAl2O3担体粒子担持触媒のSTEM観察像を図6に、担持されたAuクラスターの粒度分布を図7に示す。図6および7から、平均3.96nmのAuクラスターがAl2O3担体粒子に高分散して担持されていることが確認された。実施例3実施例1と同様にして得られたAuクラスター分散液0.5mLを1mLサンプル管に入れ、次いで0.3mLのアセトニトリルに分散させたSiO2ナノテック社製、球状シリカ50mgを加えた。窒素気流下、150°Cで30分間加熱、攪拌を行った。加熱後、冷却し、シリカ粉末をろ取し、アセトニトリルで3回洗浄した。得られた粉末を110°Cで5時間乾燥し、AuクラスターSiO2担体粒子担持触媒を得た。AuクラスターSiO2担体粒子担持触媒のSTEM観察像を図8に示す。図8から、10nm未満の粒径を有する子AuクラスターがSiO2担体粒子に高分散して高分散に担持されていることが確認された。実施例4実施例1と同様にして得られたAuクラスター分散液0.5mLを1mLサンプル管に入れ、次いで0.3mLのアセトニトリルに分散させたCeO2ナノテック社製、球状セリア50mgを加えた。窒素気流下、150°Cで30分間加熱、攪拌を行った。加熱後、冷却し、セリア粉末をろ取し、アセトニトリルで3回洗浄した。得られた粉末を110°Cで5時間乾燥し、AuクラスターCeO2担体粒子担持触媒を得た。AuクラスターCeO2担体粒子担持触媒のSTEM観察像を図9に示す。図9から、10nm未満の粒径を有する子AuクラスターがCeO2担体粒子に高分散に担持されていることが確認された。比較例1実施例1と同様にして得られたAuクラスター分散液0.5mLを1mLサンプル管に入れ、次いでAl2O3ナノテック社製、球状アルミナ50mgを加えた。得られたスラリーを400°Cで26時間焼成することにより、担持触媒を得た。担持触媒のSTEM観察像を図10に、担持されたAuの粒度分布を図11に示す。図10および11から、400°Cでの焼成によりAuクラスター粒成長し、平均径は10nm以上であった。"