フレームと、前記フレームに固定された固定子と、軸が取り付けられ前記固定子の内側に配置され、前記固定子との間に電磁的な駆動力が発生することで前記固定子に対して前記軸方向に移動する可動子とを有するリニア駆動装置であって、前記フレームは、前記固定子が挿入される開口を形成するための開口端部と、前記開口端部に設けられた凹部とを有し、前記固定子は、前記フレームの前記凹部に係合可能な突起部を有し、前記固定子の前記突起部が前記フレームの凹部に係合され、前記固定子が、前記可動子が配置された前記フレーム内に前記開口を介して挿入されることにより、前記固定子が前記フレームに支持されるリニア駆動装置。フレームと、前記フレームに固定された固定子と、軸が取り付けられ前記固定子の内側に配置され、前記固定子との間に電磁的な駆動力が発生することで前記固定子に対して前記軸方向に移動する可動子とを有するリニア駆動装置を、治具を用いて製造する製造方法であって、前記フレームは、前記固定子が挿入される開口を形成するための開口端部と、前記開口端部に設けられた凹部とを有し、前記固定子は、前記フレームの前記凹部に係合可能な突起部を有し、前記治具は、突起部と凹面部とを有し、前記可動子を前記フレーム内に配置する工程と、前記治具の前記突起部が前記フレームの前記凹部に係合した状態で、前記可動子の外周側面のうち前記軸方向に沿って延在した部分が前記治具の前記凹面部への当接部分となるように、かつ、該当接部分が前記軸周りで複数発生するように、前記凹面部に前記可動子を当接させることで、前記可動子を前記フレームに対して位置決めする工程と、前記位置決めされた可動子に取り付けられた前記軸の両端部寄りの位置を支持機構により支持させる工程と、前記治具を前記フレームから取り外す工程と、前記固定子の前記突起部を前記フレームの凹部に係合させて、前記開口を介して前記固定子を前記フレーム内に挿入することにより、前記固定子を前記フレームに支持させる工程とを具備するリニア駆動装置の製造方法。請求項2に記載のリニア駆動装置の製造方法であって、前記支持機構は、前記フレームに取り付けられた板バネであるリニア駆動装置の製造方法。例えば、特許文献1の図1に記載のようなリニアアクチュエータを組み立てる場合、一般には次のような手順により行われる。すなわち、固定子構成部材により構成される固定子を所定の位置に配置、固定し、それら固定子構成部材に囲まれた中央の空間内に、可動子を軸方向に挿入して可動子を固定子に対して位置決めする、といった作業が行われる。しかしながら、各固定子構成部材の、可動子に対面する位置には永久磁石がそれぞれ設けられ、可動子と固定子との間に吸引力が働くので、この吸引力が外乱となり、固定子に対して可動子を高精度に位置決めできないおそれがある。特に、可動子の軸方向の真直精度真直度や、可動子の、軸周りでの回転角度の位置精度を高めることが困難になる。固定子と可動子との相対的な位置決めが高精度に行われないと、磁束を効率良く使用できず、推力特性が低下する要因となる。また、このように可動子を固定子の内側に挿入して位置決めする場合、例えば可動子軸の両端を支持する軸受等を含む支持機構を用いることが考えられる。可動子軸の両端をそれぞれ支持する支持機構のうち一方の支持機構により可動子軸の一端が支持された状態で、固定子の一側から可動子が挿入される。そして、固定子の他側に配置されている他方の支持機構に可動子軸の他端が接続される、といった手順である。この場合、固定子の内側に可動子が挿入されると、固定子及び支持機構に可動子が隠れ、可動子が外観上見えづらくなるか、あるいは全く見えなくなる場合もある。そうなると、作業者は可動子の配置や姿勢を目視で確認しづらくなり、作業性が悪化する。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、固定子と可動子との相対的な位置決め、特に、可動子の軸方向での真直精度及び軸周りでの回転方向の位置の精度を向上させることができ、それにより所期の推力特性を確保することができるとともに、さらにその位置決め作業を含む、リニア駆動装置の組み立て作業の作業性を高めることができるリニア駆動装置の製造方法を提供することにある。また、本発明の目的は、リニア駆動装置の製造時における、上記のような固定子と可動子との相対的な位置決め精度の向上によって、所期の推力特性を確保することができるリニア駆動装置を提供することにある。本発明の一形態に係るリニア駆動装置の製造方法は、フレームと、前記フレームに固定された固定子と、軸が取り付けられ前記固定子の内側に配置され、前記固定子との間に電磁的な駆動力が発生することで前記固定子に対して前記軸方向に移動する可動子とを有するリニア駆動装置を、治具を用いて製造する製造方法であって、前記フレームは、前記固定子が挿入される開口を形成するための開口端部と、前記開口端部に設けられた凹部とを有し、前記固定子は、前記フレームの前記凹部に係合可能な突起部を有し、前記治具は、突起部と凹面部とを有し、前記可動子を前記フレーム内に配置する工程と、前記治具の前記突起部が前記フレームの前記凹部に係合した状態で、前記可動子の外周側面のうち前記軸方向に沿って延在した部分が前記治具の前記凹面部への当接部分となるように、かつ、該当接部分が前記軸周りで複数発生するように、前記凹面部に前記可動子を当接させることで、前記可動子を前記フレームに対して位置決めする工程と、前記位置決めされた可動子に取り付けられた前記軸の両端部寄りの位置を支持機構により支持させる工程と、前記治具を前記フレームから取り外す工程と、前記固定子の前記突起部を前記フレームの凹部に係合させて、前記開口を介して前記固定子を前記フレーム内に挿入することにより、前記固定子を前記フレームに支持させる工程とを具備する。本発明では、軸が取り付けられた可動子がフレーム内に配置された後、フレーム及び可動子に治具を係合させることによって、フレーム内の可動子がフレームに対して位置決めされる。すなわち、フレームに対して固定子より先に可動子が位置決めされる。したがって、固定子が可動子より先にフレームに対して位置決めされた後において、その固定子の内側に配置される可動子が磁力により固定子に吸引されて可動子の位置決めが困難になる、という問題を回避することができる。したがって、固定子及び可動子の位置決めが高精度になされる。特に、本発明では、治具の突起部がフレームの凹部に係合した状態で治具の凹面部が可動子に当接するときに、可動子の軸方向で延在した当接部分が軸周りで複数発生するので、可動子の軸方向での真直精度及び軸周りでの回転方向の位置精度を向上させることができる。その結果、リニア駆動装置の動作時に、リニア駆動装置は磁束を効率良く使用することができ、可動子の所期の推力特性を確保することができる。また、フレームに対して固定子より先に可動子が配置されるので、このリニア駆動装置の組み立て作業を行う作業者は、フレームの開口を介してフレームの外側から目視により可動子の姿勢や配置を確認することができる。このように可動子の姿勢や配置が作業者にとって見えやすい状態で、作業者は治具を設置することにより可動子をフレームに対して位置決めし、軸の両端部寄りの位置を支持機構により支持させる。したがって、作業者は、位置決め作業を含む組み立て作業を容易に行うことができ、作業性を向上させることができる。さらに、可動子が位置決めされた後、作業者は治具をフレームから取り外し、治具が配置されていたフレームの位置に固定子を配置して固定すればよい。すなわち、フレームに対して可動子が既に治具により位置決めされているので、その治具の代わりとして固定子をフレームに取り付けることにより、固定子及び可動子の相対的な位置決めがなされる。したがって、固定子に対して直接可動子を組み込んで位置決めを行う場合に比べ、位置決め作業を含む組み立て作業が容易となる。前記支持機構は、前記フレームに取り付けられた板バネであってもよい。このように可動子が板バネにより支持される場合、作業者がフレームに固定子を固定する作業を行う時、可動子の姿勢が多少不安定になる。しかし、フレームに固定子が固定される前に既に治具により可動子が位置決めされているので、作業者は位置決め精度を低下させることなく組み立て作業を行うことができる。本発明の一形態に係るリニア駆動装置は、フレームと、前記フレームに固定された固定子と、軸が取り付けられ前記固定子の内側に配置され、前記固定子との間に電磁的な駆動力が発生することで前記固定子に対して前記軸方向に移動する可動子とを有するリニア駆動装置であって、前記フレームは、前記固定子が挿入される開口を形成するための開口端部と、前記開口端部に設けられた凹部とを有し、前記固定子は、前記フレームの前記凹部に係合可能な突起部とを有し、前記固定子の前記突起部が前記フレームの凹部に係合され、前記固定子が、前記可動子が配置された前記フレーム内に前記開口を介して挿入されることにより、前記固定子が前記フレームに支持されることを特徴とする。本発明では、作業者はフレームの開口を介してフレームの外側から目視により可動子の姿勢や配置を確認しながら、開口を介して固定子をフレーム内に挿入して、固定子の突起部がフレームの凹部に係合されることで固定子がフレームに支持される。したがって、作業者は、可動子の姿勢や配置が作業者にとって見えやすい状態となり、固定子、可動子及びフレームの高精度な位置決め作業に寄与し、その結果、所期の推力特性を確保することができる。以上、本発明によれば、固定子と可動子との相対的な位置決め、特に、可動子の軸方向での真直精度及び軸周りでの回転方向の位置精度を向上させることができ、それにより所期の推力特性を確保することができるリニア駆動装置を実現できるとともに、さらにその位置決め作業を含む、リニア駆動装置の組み立て作業を容易に行うことができ、作業性を向上させることができる。以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。リニア駆動装置の構成図1は、本発明の一実施形態に係るリニア駆動装置を示す正面図である。図2は、図1におけるA-A線断面図である。図3は、このリニア駆動装置の平面図図2においてY軸方向で見た図である。リニア駆動装置100は、固定子1及び概略円柱状の可動子3を備える。図1は、可動子3の移動方向Z軸方向で見た図である。固定子1は、固定子コア11及び12と、固定子コア11及び12にそれぞれ設けられたコイル13、14、15及び16とを備える。固定子コア11及び12は、可動子3を挟んでY軸方向で対向するように設けられている。固定子コア11には、可動子3の移動方向に配列された2つの固定子歯111及び112が設けられている。また同様に、固定子コア12には、可動子3の移動方向に配列された2つの固定子歯121及び122が設けられている。これらの固定子歯111、112、121及び122にそれぞれ上記コイル13、14、15及び16が巻回されている。固定子歯111及び112は、図2及び3に示すように連結部113により互いに連結されており、同様に固定子歯121及び122は連結部123により互いに連結されている。図1に示すように、固定子歯111は、可動子3の外周面に沿った曲面111aを有している。そのほかの固定子歯112、121、122も、固定子歯111と同様の形状を有している。固定子コア11の固定子歯111と、固定子コア12の固定子歯121とがY軸方向で対向するように配置されている。また、固定子コア11の固定子歯112と、固定子コア12の固定子歯122とがY軸方向で対向するように配置されている。図2に示すように、可動子3は、それらの固定子歯111及び121、112及び122に対面するように配置されている。図2に示すように、可動子3の中央には、Z軸方向に沿って貫通した、軸33の挿通穴31cが形成されている。軸33は、図示しない軸受やバネ等の支持部材によって軸33がZ軸方向に沿って移動可能となるように支持される。なお、リニア駆動装置100がリニアクチュエータとして用いられる場合、軸33を支持する支持部材としてバネ部材が用いられる。典型的にはバネ部材としては、図8及び9を用いて後に説明するように、スパイラル状の板バネが用いられる。支持部材の他の例として、8の字形状の板バネ、リニアブッシュ、ボールスプライン、エアベアリング、リニアガイド等が挙げられる。可動子3は、可動子コア31と、図2に示すように可動子コア31に埋め込まれた永久磁石321、322、323、341、342及び343とを有する。可動子コア31は、渦電流の抑制のため、可動子3の移動方向Z軸方向に積層された複数の磁性材板で構成されていてもよい。可動子コア31は、図1に示すように、永久磁石321等を埋め込むためのZ軸方向に長く形成された埋設穴31aが、軸33の周りで円周状に複数設けられている。埋設穴31aは、固定子コア11に近い側で4つ設けられ、固定子コア12に近い側で同じく4つ設けられている。図2に示すように、1つの埋設穴31a内に上記3つの永久磁石321、322及び323以下、永久磁石セット32という。が配設されている。図2に示すように、永久磁石セット32は、それらの永久磁石の表面側固定子コア11あるいは12側に現れる磁極がZ軸方向で交互に異なるように着磁されている。すなわち、各永久磁石321等は、図1で見てZ軸方向を中心として可動子コア31の径方向に着磁されている。なお、図2において、固定子コア11側の永久磁石セット32の磁極N、S、Nは、固定子コア11側に現れる磁極を示している。また同様に、固定子コア12側の永久磁石セット32の磁極S、N、Sは、固定子コア12側に現れる磁極を示している。各永久磁石321等のZ軸方向の長さ及びZ軸方向に沿って並ぶ永久磁石の個数等や配置は、固定子コア11及び12の各固定子歯111等のZ軸方向の長さ、個数、配置、あるいは、可動子3のストローク長等によって適宜設定される。可動子コア31の外周面の一部には平面部319が設けられている。平面部34は、固定子歯111、112、121及び122と対面しない位置に配置されている。このような平面部34が可動子コア31に形成されることにより、可動子コア31の外形がZ軸方向で見て円形の場合に比べ、平面部34においてその円形が切り欠かれた状態となっているので、可動子3の軽量化を実現することができる。また、この平面部34が設けられることにより、後述するように、リニア駆動装置100の組み立て時において、可動子3の位置決めを高精度に行うことができるようになる。図4は、リニア駆動装置100のハウジング状のフレームを示す斜視図である。このフレーム2の外形は概略直方体形状を有する。フレーム2は、例えばステンレス、アルミニウム等の非磁性体でなる。フレーム2の、対向する一対の側壁21には、可動子3を通す円形の穴部21aがそれぞれ形成されている。また、フレーム2は四角筒形状を有しており、対向する一対の端部開口端部23には開口23aがそれぞれ形成されている。端部23の近傍であって開口23a内フレーム2内には、その端部23より高さの低い部分である凹部25が、X軸方向及びY軸方向で対向するようにそれぞれ設けられている。凹部25の、Z軸方向における実質的に中央位置には、凸部26がそれぞれ設けられている。図1にもフレーム2の断面形状を示している。図1~3に示すように、固定子コア11のY軸方向における概略中央位置には、固定子歯111及び112にそれぞれ対応して、X軸方向に突起した突起部114及び115が形成されている。これらの突起部114及び115が、図3に示すようにフレーム2の凸部26を挟んで凹部25に当接するように、固定子コア11がフレーム2に位置決めされて固定されている。同様に、固定子コア12のY軸方向における概略中央位置には、固定子歯121及び122にそれぞれ対応して、X軸方向に突起した突起部124及び125が形成されている。これらの突起部124及び125が、フレーム2の凸部26を挟んで凹部25に当接するように、固定子コア12がフレーム2に位置決めされて固定されている。このように、固定子1がフレーム2に対して位置決めされ固定されている状態では、後述するように可動子3がこの固定子1及びフレーム2に対して高精度に位置決めされている。リニア駆動装置の動作次に、以上のように構成されたリニア駆動装置100の動作を説明する。図5A及びBは、その動作を説明するための図である。なお、図5A及びBで表された、可動子3の永久磁石セット32の極性は、固定子コア11及び12側に向く磁極を示している。図5Aに示すように、固定子コア11側の2つのコイル13及び14に互いに逆向きの電流が同じタイミングで加えられ、かつ、固定子コア12側の2つのコイル15及び16に互いに逆向きの電流が同じタイミングで加えられる。Y軸方向で同じ位置に配置されたコイル1314及び1516にも互いに逆向きの電流が加えられる。そうすると、固定子歯111、112、121及び122に磁束が発生し、固定子歯111、112、121及び122に図示するように磁極が生成される。各固定子歯111、112、121及び122に発生した磁束と、可動子3に設けられた永久磁石321等により生成される磁束との相互作用により、可動子3は図5A中、右へ移動する。図5Bに示すように、図5Aで示した各電流の向きとは逆向きの電流がコイル13~16にそれぞれ同じタイミングで加えられる。そうすると、図5Aで示した磁極とは反対の磁極が、固定子歯111、112、121及び122にそれぞれ生成される。これにより、可動子3は図5B中、左へ移動する。<リニア駆動装置の製造方法組み立て方法>次に、リニア駆動装置の組み立て方法を説明する。図6及び7は、その組み立て方法を説明するための図である。組み立てを行う作業者により、フレーム2及び可動子3が用意される。そして、フレーム2の穴部21aを介して、図7に示すように、軸33が取り付けられた可動子3がフレーム2内に収容される。そして図6及び7に示すように、2つの治具4が、フレーム2の開口23aに被せられるように、フレーム2の対向する2つの端部23に取り付けられ、図示しないボルト等の固定具により固定される。治具4は、アルミニウム、ステンレス、樹脂等の非磁性体である。治具4は、上記した固定子コア11及び12の形状を模したものであり、X軸方向に突出して設けられた、フレーム2の凹部25及び凸部26に係合する突起部44及び45を有する。突起部44及び45の形状は、固定子コア11の突起部114及び115固定子コア12の突起部124及び125の形状に対応している実質的に同一である。すなわち、治具4の突起部44及び45が凸部26を挟んで凹部25に係合して当接することで、治具4がフレーム2に係合する。図6に示すように、治具4は、可動子3に当接する凹面部43をさらに有する。例えば凹面部43には、可動子コア31の外周側面の所定の部分が当接する。例えば、凹面部43と、可動子コア31の両平面部34とが当接する部分を、図6及び7において符号S2及びS3で示している。また、凹面部43と、可動子コア31の頂点部とが当接する部分を、符号S1で示している。これら当接部分S1、S2、S3は、可動子3の軸33の方向Z軸方向に沿って延在した部分である。すなわち、治具4の突起部44及び45がフレーム2の凹部25に係合した状態で、可動子コア31の外周面のうち上記軸方向に沿って延在した部分が、治具4の凹面部43への当接部分となるように、かつ、その当接部分が軸周りで複数本実施形態では3つ発生するように、凹面部43に可動子3が当接される。軸方向及び軸周りで、凹面部43と可動子3とが当接することにより、可動子3の軸方向での真直精度及び軸周りでの回転方向の位置精度を向上させることができる。その結果、リニア駆動装置100の動作時に、磁束が効率良く使用され、可動子3の所期の推力特性を確保することができる。また、本実施形態では、図6に示すように、治具4の突起部4445における、フレーム2の凹部25に対する当接面から、凹面部43におけるX軸方向に沿った平面43aまでの距離Lが所期の値になるように設定されている。そして、図1に示すように、固定子コア1112の突起部114124における、フレーム2の凹部25に対する当接面から、固定子歯111112、121、122の頂点位置までの距離L’<Lも所期の値になるように設定されている。したがって、治具4により可動子3が一度位置決めされれば、その後、可動子コア31の側面31bと、固定歯111112、121、122とのギャップを高精度に調整することができる。以上のように、本実施形態に係る製造方法によれば、可動子3の軸方向で真直精度軸心精度、軸周りでの回転方向の位置精度、及び、固定子1及び可動子3間のギャップを高精度に調整することが可能となる。このように、フレーム2に対して可動子3が位置決めされた状態で、軸33の両端部寄りの位置が軸受133を含む支持機構によって支持される。支持機構は、例えば軸受133をそれぞれ保持するホルダ及びそれらのホルダを固定する台座等を有するものである。このような支持機構により軸33が支持されることにより、フレーム2及び可動子3がその支持機構に対して固定され安定する。支持機構により軸33が支持されると、治具4がフレーム2から取り外される。そして、固定子1、つまり固定子コア11及び12が、そのフレーム2に取り付けられ、図示しないボルト等の固定具により固定される。このとき、フレーム2から取り外された治具4が配置されていたフレーム2の位置に、固定子コア11及び12がそれぞれ配置されて固定される。すなわち、図1~3で説明したように、固定子コア11の突起部114及び115、また、固定子コア12の突起部124及び125が、フレーム2の凹部25に係合され、それら固定子コアが、フレーム2内に開口23aを介して挿入されることにより、固定子1はフレーム2に支持され取り付けられる。治具4は、固定子コア11及び12の寸法に対応するように実質的に一致するように形成されたものであるので、固定子コア11及び12がフレーム2に取り付けられることにより、フレーム2、固定子コア11及び12、可動子コア31が相互に位置決めされる。特に、このような位置決めにより、可動子コア31の外周面と、固定子1の各固定子歯111、112、121及び122のそれぞれの内周面とのギャップを高精度に調整することができる。以上のように、軸33が取り付けられた可動子3がフレーム2内に配置された後、治具4をフレーム2に係合させることによって、フレーム2内の可動子3がフレーム2に対して位置決めされる。すなわち、フレーム2に対して固定子1より先に可動子3が位置決めされる。したがって、固定子1が可動子3より先にフレーム2に対して位置決めされた後において、可動子3が磁力により固定子1に吸引されて可動子3の位置決めが困難になる、という問題を回避することができる。したがって、固定子1及び可動子3の位置決めが高精度になされ、特に、上述のように可動子3の軸33方向での真直精度及び軸33周りでの回転方向の位置精度を向上させることができる。その結果、リニア駆動装置100の動作時に、リニア駆動装置100は磁束を効率良く使用することができ、可動子3の所期の推力特性を確保することができる。また、フレーム2に対して固定子1より先に可動子3が配置されるので、このリニア駆動装置100の組み立て作業を行う作業者は、フレーム2の外側から目視によって可動子3の配置や姿勢を確認することができる。すなわち、作業者はフレーム2の、特に開口23aを介して可動子3の配置や姿勢を確認することができる。このように可動子の姿勢が作業者にとって見えやすい状態で、作業者は治具を設置することにより可動子をフレームに対して位置決めし、軸の両端部寄りの位置を支持機構により支持させる。したがって、作業者は、位置決め作業を含む組み立て作業を容易に行うことができる。さらに、可動子が位置決めされた後、作業者は治具をフレーム2から取り外し、治具が配置されていたフレーム2の位置に固定子1を配置して固定すればよい。すなわち、フレーム2に対して可動子が既に治具により位置決めされているので、その治具の代わりとして固定子1をフレーム2に取り付けることにより、固定子1及び可動子3の相対的な位置決めがなされる。したがって、固定子に対して直接可動子を組み込んで位置決めを行う場合に比べ、位置決め作業を含む組み立て作業が容易となり、作業性を高めることができる。このように可動子3の姿勢や配置が作業者にとって見えやすい状態で、作業者は治具4をフレーム2に設置することにより可動子3をフレーム2に対して位置決めするので、作業者は、位置決め作業を含む組み立て作業を容易に行うことができ、作業性を向上させることができる。支持部材が取り付けられたリニア駆動装置の例図8は、上記リニア駆動装置100の可動子3に取り付けられた軸を支持する、上述した支持部材として、スパイラル状の板バネが用いられた例を示す平面図。図9は、その一側面図である。この例では、フレーム2の対向する側壁21の外面にはその板バネ6がそれぞれ取り付けられている。板バネ6は、軸33に取り付け固定される取り付け部61と、その取り付け部61からスパイラル状に延びる足部62とを有する。足部62の端部はボルト等の固定具により側壁21に固定される。このように可動子3が板バネ6により支持される場合、作業者は、上記のようにまず治具4により可動子3をフレーム2に対して位置決めし固定した後、その可動子3に取り付けられた軸33とフレーム2とを接続するために、板バネ6を軸33及びフレーム2に取り付ける。そして、この状態で治具4を外し、代わりに固定子1をフレームに取り付け固定する。この場合に、作業者がフレーム2に固定子1を固定する作業を行う時、可動子3の姿勢が多少不安定になる。しかし、フレーム2に固定子1が固定される前に既に治具4により可動子3が位置決めされているので、作業者は位置決め精度を低下させることなく組み立て作業を行うことができる。フレーム等の他の実施形態図10は、他の実施形態に係るフレームの一部及び治具を示す断面図である。この断面図は、図6と同様にZ軸方向で見た図である。フレーム52の開口を形成するための開口端部523に設けられた凹部525には、斜面525aが設けられている。この斜面525aは斜め上方に面している。また、治具64における、X軸方向に延びる突起部644にも、斜め下方に面する斜面644aが設けられている。これら斜面525a及び斜面644aの水平X軸に対する角度は、実質的に同じである。また、本実施形態に係るフレーム52も、上記実施形態のフレーム4と同様に、凸部526を有している。可動子3図10及び11では図示せずの、フレーム52に対する位置決め時には、治具64の突起部644の斜面644aが、フレーム52の凹部525の斜面525aに当接する。図11は、そのように可動子3が位置決めされた後、さらにこのフレーム52及びその可動子3に対して、固定子71固定子コア711が位置決めされた状態を示す図である。この固定子コア711の突起部714には、治具64の突起部644の斜面644aと実質的に同じ角度の斜面714aが設けられている。このような固定子コア711及びフレーム52の構成により、フレーム52及び可動子3に対して、固定子コア711を高精度に位置決めすることができる。その他の実施形態本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。上記実施形態では、作業者が人手でリニア駆動装置100を組み立てる例を説明したが、ロボット等の製造装置がそれを組み立ててもよいし、作業者と製造装置とが分担してそれを組み立ててもよい。図1に示した固定子コア11及び12は、Y軸方向で2つに分割されていたが、これらの固定子コア11及び12はY軸方向で連続するように接続されていてもよい。固定子歯、永久磁石、永久磁石セットの数は適宜変更可能である。永久磁石、固定子コア、可動子コアの各形状等も適宜変更可能である。可動子の移動方向における磁極数あるいは永久磁石の数は、上記実施形態では3つであったが、1つであってもよいし、4つ以上であってもよい。例えば、固定子歯は、可動子の移動方向で1つだけ設けられていてもよい。この場合、可動子の移動方向での長さも適宜調整される。上記実施形態では、図4に示すように、可動子3の一断面で見て2極構造の例を挙げた。すなわち、軸33方向で見て可動子3の一断面内では、可動子3の上半分の磁極がN極外周側に向く磁極がN極であり、下半分の磁極がS極外周側に向く磁極がS極であった。しかし、このような形態に限られず、可動子3の一断面で見て単極構造、つまり、その一断面におけるすべての永久磁石の外周側に向く磁極がNまたはSの1極とされる形態であってもよい。上記図4、9等で示した各実施形態では、フレーム252に凹部25525が設けられる構成とした。しかし、フレーム252には凹部が設けられず、その開口端部23523から突出した凸部が設けられていてもよい。凸部は、固定子コアの突起部114及び115の数上記実施形態では2つの固定子コア11及び12の分の合計8つだけ設けられる。そして、例えば固定子コアの突起部114及び115にそれぞれ凹部溝部が設けられ、フレームのそれらの凸部がその固定子コアの各凹部に嵌合するようにして、フレーム及び固定子コアが相対的に位置決めされてもよい。この場合、治具にも、固定子コアと同様な凹部が設けられる。