"所定の歪み量を持つ振動源に接合され、該振動源の振動の機械エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換素子であって、前記振動源に接合され、該振動源の振動を緩和するためのダンピング部材と、該ダンピング部材に接合され、該振動源の緩和された前記振動の機械エネルギを前記電気エネルギに変換するための発電部材と、該発電部材に取り付けられ、該発電部材で変換された前記電気エネルギを取り出すための電極とを有し、前記発電部材と前記ダンピング部材との接合面、及び前記振動源と前記ダンピング部材との接合面は、前記振動源の振動方向に対して平行であり、前記発電部材のヤング率をEMPa、前記ダンピング部材によって緩和された前記発電部材との接合面における歪みをSy、前記ダンピング部材の厚さをTm、ダンピング部材のヤング率をyMPa、σ1及びσ2をそれぞれ前記発電部材の下限強度MPa及び弾性限界強度MPa、前記振動源により決まる歪み量をZとし、fyを、その係数が前記ダンピング部材の厚さをTに応じて定まる、前記ダンピング部材のヤング率yの関数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1を満足することを特徴とするエネルギ変換素子。σ1<ESy<σ2...1Sy=fyZ0<Z<0.10<T<0.020<y<50000前記発電部材は、圧電セラミックスであり、そのヤング率をEbMPaとし、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みをSby、A2を係数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1bを満足する請求項1に記載のエネルギ変換素子。σ1<EbSby<σ2...1bSby=A2yZi0<T<0.0012E-6<A2<2.7E-6ii0.001<T<0.011.6E-6<A2<2.2E-6iii0.01<T<0.021E-6<A2<1.5E-6前記圧電セラミックスの弾性限界歪をZ0とする時、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSbyは、下記不等式2bで与えられる請求項2に記載のエネルギ変換素子。Z0/2<Sby<Z0...2b前記圧電セラミックスの弾性限界歪Z0が、1.0×10-3である時、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSbyは、下記不等式3bで与えられる請求項3に記載のエネルギ変換素子。5.0×10-4<Sby<1.0×10-3...3b前記圧電セラミックスの弾性限界強度σ2が60MPaであるとき、下限強度σ1は30MPaであり、上記不等式1bは、下記式4bで表される請求項2~4のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。30<EbSby<60...4b前記係数A2が、以下の値である請求項2~5のいずれか1項記載のエネルギ変換素子。i0<T<0.001A2=2.4E-6ii0.001<T<0.01A2=1.9E-6iii0.01<T<0.02A2=1.3E-6前記圧電セラミックスが、チタン酸ジルコン酸鉛PZT、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛、マグネシウムニオブ酸チタン酸鉛固溶体PMN-PT及びニッケルニオブ酸チタン酸鉛固溶体PNN-PTを含むリラクサー系強誘電体から成る鉛系圧電セラミックス、並びに、チタン酸バリウム、ニオブ酸カリウムKN、KNN、ビスマスフェライトBFO、BNT、BKT、及びそれらの固溶体から成る非鉛系圧電セラミックスから選択される1つである請求項2~6のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。前記発電部材は、圧電高分子であり、そのヤング率をEpMPaとし、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みをSpy、A3及びA4を係数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1pを満足する請求項1に記載のエネルギ変換素子。σ1<EpSpy<σ2...1pSpy=A4LnyA3Zi0<T≦0.0010.001<A4<0.00150.0017<A3<0.0025ii0.001<T≦0.010.0008<A4<0.00120.0013<A3<0.002iii0.01<T<0.020.0004<A4<0.00080.0008<A3<0.0015前記圧電高分子の弾性限界歪をZ0とする時、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSpyは、下記不等式2pで与えられる請求項8に記載のエネルギ変換素子。Z0/2<Spy<Z0...2p前記圧電高分子の弾性限界歪Z0が、2.0×10-2である時、ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSpyは、下記不等式3pで与えられる請求項9に記載のエネルギ変換素子。0.5×10-2<Spy<1.0×10-2...3p前記圧電高分子の弾性限界強度σ2が50MPaであるとき、下限強度σ1は25MPaであり、上記不等式1pは、下記式4pで表される請求項8~10のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。25<EpSpy<50...4p前記係数A3及びA4が、それぞれ以下の値である請求項8~11のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。i0<T≦0.001A4=0.0012、A3=0.002ii0.001<T≦0.01A4=0.00094、A3=0.0016iii0.01<T<0.02A4=0.00059、A3=0.0011前記圧電高分子が、ポリフッ化ビニリデンPVDF強誘電体、フッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体強誘電体から選択される1つである請求項8~12のいずれか1項に記載のエネルギ変換素子。前記発電部材と前記ダンピング部材との接合面、及び前記振動源と前記ダンピング部材との接合面は、接着剤によって接合される請求項1~13のいずれかに記載のエネルギ変換素子。所定の歪み量を持つ振動源に接合され、該振動源の振動を緩和するためのダンピング部材と、該ダンピング部材に接合され、該振動源の緩和された前記振動の機械エネルギを前記電気エネルギに変換するための発電部材と、該発電部材に取り付けられ、該発電部材で変換された前記電気エネルギを取り出すための電極とを有し、前記発電部材と前記ダンピング部材との接合面、及び前記振動源と前記ダンピング部材との接合面は、前記振動源の振動方向に対して平行である、前記振動源の振動の機械エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換素子を製造するに際し、前記発電部材のヤング率をEMPa、前記ダンピング部材によって緩和された前記発電部材との接合面における歪みをSy、前記ダンピング部材の厚さをTm、ダンピング部材のヤング率をyMPa、σ1及びσ2をそれぞれ前記発電部材の下限強度MPa及び弾性限界強度MPa、前記振動源により決まる歪み量をZとし、fyを、その係数が前記ダンピング部材の厚さをTに応じて定まる、前記ダンピング部材のヤング率yの関数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1を満足するように決定したことを特徴とするエネルギ変換素子の製造方法。σ1<ESy<σ2...1Sy=fyZ0<Z<0.10<T<0.020<y<50000前記発電部材は、圧電セラミックスであり、そのヤング率をEbMPaとし、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みをSby、A2を係数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1bを満足するように決定した請求項15に記載のエネルギ変換素子の製造方法。σ1<EbSby<σ2...1bSby=A2yZi0<T<0.0012E-6<A2<2.7E-6ii0.001<T<0.011.6E-6<A2<2.2E-6iii0.01<T<0.021E-6<A2<1.5E-6前記発電部材は、圧電高分子であり、そのヤング率をEpMPaとし、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みをSpy、A3及びA4を係数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1pを満足するように決定した請求項15に記載のエネルギ変換素子の製造方法。σ1<EpSpy<σ2...1pSpy=A4LnyA3Zi0<T<0.0010.001<A4<0.00150.0017<A3<0.0025ii0.001<T<0.010.0008<A4<0.00120.0013<A3<0.002iii0.01<T<0.020.0004<A4<0.00080.0008<A3<0.0015所定の歪み量を持つ振動源に接合され、該振動源の振動を緩和するためのダンピング部材と、該ダンピング部材に接合され、該振動源の緩和された前記振動の機械エネルギを前記電気エネルギに変換するための発電部材と、該発電部材に取り付けられ、該発電部材で変換された前記電気エネルギを取り出すための電極とを有し、前記発電部材と前記ダンピング部材との接合面、及び前記振動源と前記ダンピング部材との接合面は、前記振動源の振動方向に対して平行である、前記振動源の振動の機械エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換素子を製造するに際し、前記発電部材のヤング率をEMPa、前記ダンピング部材によって緩和された前記発電部材との接合面における歪みをSy、前記ダンピング部材の厚さをTm、ダンピング部材のヤング率をyMPa、σ1及びσ2をそれぞれ前記発電部材の下限強度MPa及び弾性限界強度MPa、前記振動源により決まる歪み量をZとし、fyを、その係数が前記ダンピング部材の厚さをTに応じて定まる、前記ダンピング部材のヤング率yの関数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1を満足するように決定したことを特徴とするエネルギ変換素子のダンピング部材のヤング率の決定方法。σ1<ESy<σ2...1Sy=fyZ0<Z<0.10<T<0.020<y<50000ところで、従来の機械エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換素子の構造としては、振動源に圧電材料を蒸着やスパッタ等の成膜技術を用いて直接積層形成し、接着剤等を用いて直接貼り付けることが行われているが、機械エネルギである振動によって発電部材の破壊、振動源からの各種部材の剥離が発生する等の問題を引き起こすことがある。このため、従来のエネルギ変換素子では、振動源に対して発電のために使用可能な圧電材料が制限されたり、圧電材料によって利用可能な振動源が制限されたり、振動源の利用可能な振動の大きさや振動数が制限されたりするため、圧電材料の発電能力を充分に活かせず、振動源の振動エネルギを充分に効率よく電気エネルギに変換できないという問題があった。例えば、特許文献1に開示の発電装置では、これを持つ腕時計装置を装着したユーザの腕や体の動き等を回転錘の回転力を変換し、この回転力を伝達してカムを駆動し、駆動されるカムの突出部で振動片を打撃して振動片を振動させる等の複雑な構造の振動系を用いることにより、振動源の振動を予め予測されるものに制限して、振動片のシム材の両面に成膜技術により直接積層形成された圧電体層の破壊等を防止しているものと思われる。また、特許文献2に開示の発電装置では、圧電材料として圧電繊維を用い、複数の圧電繊維を樹脂マトリックス中に埋め込んだ圧電構造体を用いることにより、圧電材料の破損やひび割れを防止しているばかりでなく、このような圧電構造体を、振動源となるタイヤの内面にダンピング部材となる支持基板を介して取り付けることにより、圧電構造体に均一な剛性を付与することによって機械的歪をさらに分散させており、樹脂マトリックスや支持基板のヤング率に関しては、何ら考慮されておらず、圧電材料の発電能力を充分に活かせず、振動源の振動エネルギを充分に効率よく電気エネルギに変換できていると言えないという問題があった。本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消し、発電する機能性部材を破壊させず、又振動源から各種部材を剥離させずに、振動源の最大の歪み、応力を伝えることができ、圧電材料の発電能力を充分に活かすことができ、振動源の振動エネルギを充分に効率よく電気エネルギに変換することができるエネルギ変換素子及びその製造方法、並びにエネルギ変換素子のダンピング部材のヤング率の決定方法を提供することにある。上記目的を達成するために、本発明の第1の態様のエネルギ変換素子は、所定の歪み量を持つ振動源に接合され、該振動源の振動の機械エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換素子であって、前記振動源に接合され、該振動源の振動を緩和するためのダンピング部材と、該ダンピング部材に接合され、該振動源の緩和された前記振動の機械エネルギを前記電気エネルギに変換するための発電部材と、該発電部材に取り付けられ、該発電部材で変換された前記電気エネルギを取り出すための電極とを有し、前記発電部材と前記ダンピング部材との接合面、及び前記振動源と前記ダンピング部材との接合面は、前記振動源の振動方向に対して平行であり、前記発電部材のヤング率をEMPa、前記ダンピング部材によって緩和された前記発電部材との接合面における歪みをSy、前記ダンピング部材の厚さをTm、ダンピング部材のヤング率をyMPa、σ1及びσ2をそれぞれ前記発電部材の下限強度MPa及び弾性限界強度MPa、前記振動源により決まる歪み量をZとし、fyを、その係数が前記ダンピング部材の厚さをTに応じて定まる、前記ダンピング部材のヤング率yの関数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1を満足することを特徴とする。σ1<ESy<σ2...1Sy=fyZ、0<Z<0.1、0<T<0.02、0<y<50000また、上記目的を達成するために、本発明の第2の態様のエネルギ変換素子の製造方法及び本発明の第3の態様のエネルギ変換素子のダンピング部材のヤング率の決定方法は、所定の歪み量を持つ振動源に接合され、該振動源の振動を緩和するためのダンピング部材と、該ダンピング部材に接合され、該振動源の緩和された前記振動の機械エネルギを前記電気エネルギに変換するための発電部材と、該発電部材に取り付けられ、該発電部材で変換された前記電気エネルギを取り出すための電極とを有し、前記発電部材と前記ダンピング部材との接合面、及び前記振動源と前記ダンピング部材との接合面は、前記振動源の振動方向に対して平行である、前記振動源の振動の機械エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換素子を製造するに際し、前記発電部材のヤング率をEMPa、前記ダンピング部材によって緩和された前記発電部材との接合面における歪みをSy、前記ダンピング部材の厚さをTm、ダンピング部材のヤング率をyMPa、σ1及びσ2をそれぞれ前記発電部材の下限強度MPa及び弾性限界強度MPa、前記振動源により決まる歪み量をZとし、fyを、その係数が前記ダンピング部材の厚さをTに応じて定まる、前記ダンピング部材のヤング率yの関数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1を満足するように決定したことを特徴とする。σ1<ESy<σ2...1Sy=fyZ、0<Z<0.1、0<T<0.02、0<y<50000ここで、前記発電部材は、圧電セラミックスであり、そのヤング率をEbMPaとし、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みをSby、A2を係数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1bを満足することが好ましい。σ1<EbSby<σ2...1bSby=A2yZi0<T<0.0012E-6<A2<2.7E-6ii0.001<T<0.011.6E-6<A2<2.2E-6iii0.01<T<0.021E-6<A2<1.5E-6また、前記圧電セラミックスの弾性限界歪をZ0とする時、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSbyは、下記不等式2bで与えられることが好ましい。Z0/2<Sby<Z0...2bまた、前記圧電セラミックスの弾性限界歪Z0が、1.0×10-3である時、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSbyは、下記不等式3bで与えられることが好ましい。5.0×10-4<Sby<1.0×10-3...3bまた、前記圧電セラミックスの弾性限界強度σ2が60MPaであるとき、下限強度σ1は30MPaであり、上記不等式1bは、下記式4bで表されることが好ましい。30<EbSby<60...4bまた、前記係数A2が、以下の値である。i0<T<0.001A2=2.4E-6ii0.001<T<0.01A2=1.9E-6iii0.01<T<0.02A2=1.3E-6前記圧電セラミックスが、チタン酸ジルコン酸鉛PZT、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛、マグネシウムニオブ酸チタン酸鉛固溶体PMN-PT及びニッケルニオブ酸チタン酸鉛固溶体PNN-PTを含むリラクサー系強誘電体から成る鉛系圧電セラミックス、並びに、チタン酸バリウム、ニオブ酸カリウムKN、KNN、ビスマスフェライトBFO、BNT、BKT、及びそれらの固溶体から成る非鉛系圧電セラミックスから選択される1つであることが好ましい。また、前記発電部材は、圧電高分子であり、そのヤング率をEpMPaとし、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みをSpy、A3及びA4を係数とする時、前記ダンピング部材のヤング率yが、下記不等式1pを満足することが好ましい。σ1<EpSpy<σ2...1pSpy=A4LnyA3Zi0<T<0.0010.001<A4<0.00150.0017<A3<0.0025ii0.001<T<0.010.0008<A4<0.00120.0013<A3<0.002iii0.01<T<0.020.0004<A4<0.00080.0008<A3<0.0015また、前記圧電高分子の弾性限界歪をZ0とする時、前記ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSpyは、下記不等式2pで与えられることが好ましい。Z0/2<Spy<Z0...2pまた、前記圧電高分子の弾性限界歪Z0が、2.0×10-2である時、ダンピング部材の前記発電部材との接合面における歪みSpyは、下記不等式3pで与えられることが好ましい。0.5×10-2<Spy<1.0×10-2...3pまた、前記圧電高分子の弾性限界強度σ2が50MPaであるとき、下限強度σ1は25MPaであり、上記不等式1pは、下記式4pで表されることが好ましい。25<EpSpy<50...4pまた、前記係数A3及びA4が、それぞれ以下の値であることが好ましい。i0<T<0.001A4=0.0012、A3=0.002ii0.001<T<0.01A4=0.00094、A3=0.0016iii0.01<T<0.02A4=0.00059、A3=0.0011また、前記圧電高分子が、ポリフッ化ビニリデンPVDF強誘電体、フッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体強誘電体から選択される1つであることが好ましい。また、前記発電部材と前記ダンピング部材との接合面、及び前記振動源と前記ダンピング部材との接合面は、接着剤によって接合されることが好ましい。本発明によれば、所定の歪み量を持つ振動源に接合され、その振動を緩和するためのダンピング部材の剛性、即ちヤング率を振動源に応じて適切に決定することができるので、発電する機能性部材を破壊させず、又振動源から各種部材を剥離させずに、振動源の最大の歪み、応力を伝えることができ、圧電材料の発電能力を充分に活かすことができ、振動源の振動エネルギを充分に効率よく電気エネルギに変換することができる。以下、本発明に係るエネルギ変換素子及びその製造方法、並びに、エネルギ変換素子のダンピング部材のヤング率の決定方法を図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明に係るエネルギ変換素子の一実施形態を示す模式的断面図である。図1に示す本発明のエネルギ変換素子10は、振動源12と、振動源12上に接着層14を介して接着されるダンピング部材16と、ダンピング部材16上に接着層18を介して接着される発電部材20と、発電部材20の両側の表面にそれぞれ接続される電極22と、電極24と、を有する。振動源12は、所定の歪み量Z、例えば1の歪みで振動し、その振動エネルギを、本発明のエネルギ変換素子10によって発電する機械エネルギとして供給するものである。また、本発明に用いられる振動源12としては、接着層14を介してダンピング部材16の接合面16aと接合される接合面12aを、図中に矢印aで示す振動方向と平行な方向に持つことができれば、特に制限的ではなく、どのような振動源でも良いが、例えば各種タイヤ、床、建築物ダンパ、自動車等の乗り物、特にそのサスペンション、橋梁、高速道路、波等を挙げることができる。なお、振動源12の歪み量Zは、特に限定されないが、発電部材20として、圧電材料、特に圧電セラミックスや圧電高分子の場合には、0超、0.1未満0<Z<0.1であるのが好ましく、0.001以上、0.05以下0.001~0.05であるのがより好ましい。その理由は、この圧電材料を用いて発電する場合に、この範囲内の歪みであれば、この範囲内の歪みを生じさせる応力を無理なく容易にダンピング部材16で緩和し、圧電材料を破壊することなく、圧電材料の発電能力を充分に活して、充分に効率よく発電することができるからである。ダンピング部材16は、その接合面16aが振動源12の接合面12aに接着層14を介して接合され、振動源12の振動を緩和するためのものである。本発明に用いられるダンピング部材16としては、特に制限的ではなく、図中に矢印aで示す振動方向の振動源12の振動を緩和する、即ち振動源12の振動の歪みを所要の減衰率で減衰させることができ、そのヤング率剛性によって減衰率を制御できればどのようなものでも良い。その理由は、ダンピング部材16によって、振動源12の振動の歪みを、発電部材20を破壊することなく、その発電能力を充分に活して、発電部材20に充分に効率よく発電できる歪みに減衰させることができるからである。このようなダンピング部材16としては、例えばNBRアクリロニトリルゴム、高弾性率ゴムコンパウンド、導電性ゴム等のゴム材料、その他、各種エラストマー等を挙げることができる。なお、本発明に用いられるダンピング部材16の詳細については、後述する。発電部材20は、その接合面20aが、ダンピング部材16の接合面16bに接着層18を介して接合され、ダンピング部材16によって緩和された振動源12の振動の機械エネルギを電気エネルギに変換する、即ち発電を行うためのものである。本発明に用いられる発電部材20としては、一方の面がダンピング部材16の接合面16bとの接合面20aとなるシート状又は板状の部材であって、その接合面20aに平行な方向の歪み変形に応じた発電を行うもので、ダンピング部材16によって緩和された、図中に矢印aで示す振動方向の振動源12の振動の機械エネルギを電気エネルギに変換することができれば、特制限的ではなく、どのようなものでも良いが、例えば、圧電セラミックスや、圧電高分子や、単結晶等を挙げることができ、その中では、圧電セラミックスや、圧電高分子が好ましい。その理由は、圧電セラミックスや圧電高分子等は、振動源12に接着剤等により直接取り付けると、振動源12の振動の歪み量によっては破壊に至ることがあるので、ダンピング部材を介在させて歪み量を減衰させることにより、その発電能力を最大限に活かすことができるからである。ここで、圧電セラミックスとしては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛PZT、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛、マグネシウムニオブ酸チタン酸鉛固溶体PMN-PT及びニッケルニオブ酸チタン酸鉛固溶体PNN-PTなどのリラクサー系強誘電体等の鉛系圧電セラミックスや、チタン酸バリウム、チタン酸バリウム、ニオブ酸カリウムKN、ニオブ酸ナトリウムカリウムKNN、ビスマスフェライトBFO、チタン酸ナトリウムビスマスBNT、チタン酸カリウムビスマスBKT及びそれらの固溶体等の非鉛系圧電セラミックス等を挙げることができる。また、圧電高分子としては、例えば、PVDFポリフッ化ビニリデン、PVCポリ塩化ビニル、フッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体等の強誘電体等を挙げることができる。この他、単結晶としては、例えば、水晶石英やニオブ酸リチウム等の単結晶、リラクサー系単結晶、非鉛圧電単結晶等を挙げることができる。電極22及び24は、発電部材20の両側の表面に取り付けられ、発電部材20で発電された電気エネルギを取り出すためのものであって、電極22は、ダンピング部材16側の発電部材20の接合面20a図1中下側の下表面に電気的に接続され、電極24は、ダンピング部材16と反対側の発電部材20の表面20b図1中上側の上表面に電気的に接続される。電極22及び24は、発電部材20の両表面全面に作製されるものであっても良いが、デバイスによっては、パターン電極などであっても良い。本発明に用いられる電極22及び24としては、発電部材20に電気的に接続することができ、振動源12の振動による発電部材20の歪みによって電気的な接続が切断されないものであれば、どのような導電性材料を用いてもよい。このような導電材料としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム等の金属材料や導電性ゴム等を挙げることができる。また、電極22及び24としては、電極22及び24は、それぞれ発電部材20の互いに対向する接合面20a及び表面20bに電極層として設けてもよい。このような電極層は、公知のスクリーン印刷技術と銀入りエポキシ樹脂、カーボン、黒鉛等の導電性インクとを用いて形成することができる。図示例においては、電極22及び24は、発電部材20の互いに対向する接合面20a及び表面20bの全面に形成されているように記載されているが、本発明はこれに限定されず、発電部材20から電気エネルギを効率良く取り出すことができれば、それぞれ接合面20a及び表面20bの一部又は全部に形成されるものであっても良い。接着層14は、振動源12の接合面図中上面12aとダンピング部材16の接合面図中下面16aとを接合し、接着層18は、ダンピング部材16の接合面図中上面16bと発電部材20の接合面図中下面20aとを接合するためのもので、接着剤等によって両接合面を強力に接着する。接着層14及び18として用いられる接着剤は、振動源12の振動によって上述した両接合面が剥離することが無ければ、どのようなものでも良いし、接着層14及び18の厚さ、即ち接合面に塗布される接着剤の厚さは、どのような厚さであっても良いし、両接合面の接着強度も特に限定的ではない。このような接着剤としては、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤等を挙げることができる。なお、図示例においては、理解を容易にするため、電極層22、24及び接着層14及び18の各層は、誇張された厚さで記載されているが、これらの各層の厚さは、ダンピング部材16及び発電部材20の厚さに比べて薄く、本発明においては、ダンピング部材16の下面16aは、振動源12の上面12aとの接合面であり、ダンピング部材16の上面16bは、発電部材20の下面20aとの接合面であると見做すことができるものである。ダンピング部材16は、上述したように、振動源12の振動を緩和して、振動源12の振動の歪みを、発電部材20を破壊することなく、その発電能力を充分に活して、発電部材20に充分に効率よく発電できる歪みに減衰するためのもので、そのヤング率剛性や厚さに応じて、振動源12の振動の歪みを所要の減衰率で減衰させるものであり、ダンピング部材16のヤング率y及び厚さT、振動源12からの距離tが、下記不等式1を満足するものである。σ1<ES<σ2...10<T<0.020<t<0.020<Z<0.10<y<50000ここで、Eは、発電部材20のヤング率MPaであり、yは、ダンピング部材16のヤング率であり、Syは、ダンピング部材16によって緩和減衰された、発電部材20との接合面における歪みであり、tは、振動源12からの距離m、Tは、ダンピング部材16の厚さmであり、σ1及びσ2は、それぞれ発電部材20の下限強度MPa、及び弾性限界強度MPaであり、Zは、振動源12により決まる歪み量である。本発明において、振動源12の振動エネルギを電気エネルギに変換して発電するためには、発電部材20に掛かる応力σは、発電部材20が破壊されない応力未満でなければならないので、σ2を発電部材20の弾性限界強度MPaとすると、σ<σ2である必要がある。一方、発電部材20に掛かる応力σは、低すぎた場合、発電効率が下がるため望ましくないので、σ1を発電部材20の下限強度MPaとすると、σ1<σである必要がある。なお、下限強度σ1は、発電が行うことのできる最低限の応力として定義しても良い。したがって、発電部材20に掛かる応力σは、下記不等式5を満足する必要がある。σ1<σ<σ2...5ここで、発電部材20のヤング率をEとし、歪みをεとするとき、発電部材20に掛かる応力σは、ヤング率Eと、歪みεとの積、Eεで表される。即ち、σ=Eεで表されるので、上記不等式5は、下記不等式6として表すことができる。σ1<Eε<σ2...6引張応力も圧縮応力も受けておらず、歪んでいないダンピング部材16が、図2aで表されるとき、図2bに示すように、ダンピング部材16の接合面16a図中下面が、振動源12による歪み量Zによって伸び量δaだけ伸び、ダンピング部材16の作用によって、接合面16aと対向する接合面16b図中上面が、伸び量δbだけ伸びるとすると、減衰率αは、α=1-δb/δaで表される。同様に、ダンピング部材16が、図2cに示すように、ダンピング部材16の接合面16a図中下面が、振動源12による歪み量Zによって縮み量δaだけ縮み、ダンピング部材16の作用によって、接合面16aと対向する接合面16b図中上面が、縮み量δbだけ縮むとすると、減衰率αは、α=1-δb/δaで表される。なお、変形率β=δb/δa=1-αで表してもよい。ダンピング部材16の上面16bの伸びδbは、その全長ダンパー長を用いて、ダンピング部材16の上面16bの歪みに換算できるので、ダンピング部材16の上面16bの歪みSは、ダンピング部材16のヤング率y、厚みTに依存することから、厚みTによる場合分けを行い、ヤング率y、及び振動源20により決まる歪み量Zの関数として、上述したように、Sy、例えば、圧電セラミックスの場合はSby、圧電高分子の場合はSpyとして表すことができる。一方、本発明のエネルギ変換素子10においては、ダンピング部材16の上面である接合面16bは、発電部材20の接合面20aと接着層18によって接合されているので、ダンピング部材16の上面16bの歪みSySby,Spyは、発電部材20の接合面16aに平行な方向aの発電部材20の歪みεと等価であるみなすことができる。したがって、上記不等式8から、下記不等式1、例えば1a及び1bを得ることができる。ここで、Ep及びEbは、それぞれ発電部材20が圧電高分子及び圧電セラミックスである場合のヤング率である。σ1<Eε=ES<σ2...1σ1<Epε=EpSpy<σ2...1pσ1<Ebε=EbSby<σ2...1bここで、ダンピング部材16の上面16bの歪みSyは、発電部材20に応じて設定される関数fyを用いて、下記式で表されるのが好ましい。関数fyは、その係数がダンピング部材16の厚さをTに応じて定まる、ダンピング部材16のヤング率yの関数である。Sy=fyZ0<Z<0.10<T<0.020<t<0.020<y<50000ここで、関数fyは、発電部材20の種類に応じて設定されるもので、本発明では、発電部材20が、それぞれ圧電セラミックスの場合、圧電高分子の場合、及び単結晶である場合に応じて求めればよい。例えば、ダンピング部材16の厚さTに応じて場合分けをして、振動源12により決まる歪み量Zに対して、発電部材20の種類のそれぞれに応じてヤング率yとダンピング部材16の上面16bの歪みSyとの関係を求めることにより、関数fyを設定すれば良い。なお、本発明において、ダンピング部材16の厚さTを、0m超、0.02m20cm未満に制限するのは、デバイス形状からかんがみ、20cm以上はその他の制約が大きいためである。また、本発明において、振動源12からの距離tを、0m超、0.02m20cm未満に制限するのは、デバイス形状からかんがみ、20cm以上はその他の制約が大きいためである。さらに、本発明において、ダンピング部材16のヤング率yを、0MPa超、50000MPa未満に制限するのは、それ以上硬い場合、主な発電部材よりも硬いため、ダンピング部材として機能しないからである。例えば、発電部材20が、圧電セラミックスである時、ダンピング部材16の上面16bの歪みSbyは、A2を係数とする時、下記式で表されるのが好ましい。Sby=A2yZfy=A2yi0<T<0.0012E-6<A2<2.7E-6ii0.001<T<0.011.6E-6<A2<2.2E-6iii0.01<T<0.021E-6<A2<1.5E-6なお、上記係数A2は、以下の値であるのがより好ましい。i0<T<0.001A2=2.4E-6ii0.001<T<0.01A2=1.9E-6iii0.01<T<0.02A2=1.3E-6本発明者は、ダンピング部材16としてNBRニトリルブタジエンゴム、発電部材20としてC-91H富士セラミックス製圧電セラミックスを用い、発電部材20の厚さを0.1mmとし、ダンピング部材16の変形歪み方向の全長Lmを100mmとしたとき、ダンピング部材16の厚さTmが0.1mm、5mm、及び15mmの3種類について、ダンピング部材16のヤング率yを、各厚さTに対して、それぞれ2MPa、20MPa、200MPa、1GPa、及び2GPaの5種類に変化させて、ダンピング部材16の下面16aに振動源12の0.01の歪みZに等しい0.01の強制変位伸びδaを与えた時のダンピング部材16の上面16bの変位量伸びδbmを求め、求めた変位量から歪みSby=δb/Lの値を求めた。その結果を図3に示す。そこで、本発明者は、図3に示す結果に対して関数近似を行った結果、上記式で表すことができることを知見した。なお、本発明者は、振動源12の歪み量Zを変えた場合にも、上記係数A2の範囲でこの上記式が成り立つことを確認している。一方、発電部材20が、圧電高分子である時、ダンピング部材16の上面16bの歪みSpyは、A3及びA4を係数とする時、下記式で表されるのが好ましい。Spy=A4LnyA3Zi0<T<0.0010.001<A4<0.00150.0017<A3<0.0025ii0.001<T<0.010.0008<A4<0.00120.0013<A3<0.002iii0.01<T<0.020.0004<A4<0.00080.0008<A3<0.0015なお、上記係数A3及びA4は、以下の値であるのがより好ましい。i0<T<0.001A4=0.0012、A3=0.002ii0.001<T<0.01A4=0.00094、A3=0.0016iii0.01<T<0.02A4=0.00059、A3=0.0011本発明者は、ダンピング部材16としてNBR、発電部材20としてPVDFポリフッ化ビニリデンを用い、発電部材20の厚さを1mmとして、ダンピング部材16の変形歪み方向の全長Lmを100mmとしたとき、ダンピング部材16の厚さTmが0.1mm、5mm、及び15mmの3種類について、ダンピング部材16のヤング率yを、各厚さTに対して、それぞれ0.2MPa、2MPa、20MPa、200MPa、及び2GPaの5種類に変化させて、ダンピング部材16の下面16aに振動源12の0.01の歪みZに等しい0.01の強制変位伸びδaを与えた時のダンピング部材16の上面16bの変位量伸びδbmを求め、求めた変位量から歪みSpy=δb/Lの値を求めた。その結果を図4に示す。そこで、本発明者は、図4に示す結果に対して関数近似を行った結果、上記式で表すことができることを知見した。なお、本発明者は、振動源12の歪み量Zを変えた場合にも、上記係数A3及びA4の範囲でこの上記式が成り立つことを確認している。ところで、本発明のエネルギ変換素子10において、発電部材20の弾性限界歪をZ0とする時、発電部材20の弾性限界強度σ2は、σ2=EZ0となり、発電部材20の下限強度σ1がσ1=σ2/2として表すことができれば、σ1=EZ0/2となるので、発電部材20とダンピング部材16の界面接合面の歪みSyについての上記不等式1は、下記不等式2として表すことができる。Z0/2<Sy<Z0...2なお、発電部材20が圧電セラミックスの場合には、σ2=EbZ0、σ1=EbZ0/2となるので、発電部材20とダンピング部材16の界面の歪みSbyについての上記不等式1bは、下記不等式2bとして表すことができる。Z0/2<Sby<Z0...2b一方、発電部材20が圧電高分子の場合には、σ2=EpZ0、σ1=EpZ0/2となるので、発電部材20とダンピング部材16の界面の歪みSpyについての上記不等式1pは、下記不等式2pとして表すことができる。Z0/2<Spy<Z0...2pここで、発電部材20の下限強度σ1をσ2/2として表すのは、発電部材20の発電効率をより大きくする観点から1/2としているのであり、これより低すぎても現実的ではないからである。ここで、上述したように、発電部材20が、圧電セラミックスである場合の発電部材20の弾性限界歪Z0が、1.0×10-3で与えられるとき、発電部材20とダンピング部材16の界面の歪みSbyについての上記不等式2bは、下記不等式3bとして表すことができる。5.0×10-4<Sby<1.0×10-3...3bここで、発電部材20の弾性限界歪Z0を、1.0×10-3としているのは、種々の圧電セラミックスにおいて1.0×10-3未満の歪みを生じさせる負荷を加えても、発電部材20が破壊に至ることが無いからである。なお、発電部材20が、圧電セラミックスである場合には、発電部材とダンピング部材16の接合面の歪みSbyについての上記不等式1bにおいて、発電部材20の下限強度σ1は、30MPaとすることができ、発電部材20の弾性限界強度σ2は、60MPaとすることができ、発電部材20とダンピング部材16の界面接合面の歪みSbyについての上記不等式1bは、下記不等式4bとして表すことができる。30<EbSby<60...4bここで、発電部材20の弾性限界強度σ2を60MPaとしているのは、上述した種々の圧電セラミックスにおいて、60Mpa未満の応力を生じさせる負荷を加えても、発電部材20が破壊に至ることが無いからである。また、発電部材20の下限強度σ1を30MPaとしているのは、上述した理由により、発電部材20の下限強度σ1を発電部材20の弾性限界強度σ2の1/2とすることができるからである。ここで、上述したように、発電部材20が、圧電高分子である場合の発電部材20の弾性限界歪Z0が、2.0×10-2で与えられるとき、発電部材20とダンピング部材16の界面の歪みSpyについての上記不等式2pは、下記不等式3pとして表すことができる。1.0×10-2<Spy<2.0×10-2...3pここで、発電部材20の弾性限界歪Z0を、2.0×10-2としているのは、種々の圧電高分子において、2.0×10-2未満の歪みを生じさせる負荷を加えても、発電部材20が破壊に至ることが無いからである。なお、発電部材20が、圧電高分子である場合には、発電部材とダンピング部材16の界面の歪みSpyについての上記不等式1pにおいて、発電部材20の下限強度σ1は、25MPaとすることができ、発電部材20の弾性限界強度σ2は、50MPaとすることができ、発電部材とダンピング部材16の界面の歪みSpyについての上記不等式1pは、下記不等式4pとして表すことができる。25<EpSpy<50...4pここで、発電部材20の弾性限界強度σ2を50MPaとしているのは、上述した種々の圧電高分子において、50Mpa未満の応力を生じさせる負荷を加えても、発電部材20が破壊に至ることが無いからである。また、発電部材20の下限強度σ1を25MPaとしているのは、上述した理由により、発電部材20の下限強度σ1を発電部材20の弾性限界強度σ2の1/2とすることができるからである。本発明のエネルギ変換素子は、基本的に以上のように構成される。上述した本発明のエネルギ変換素子を製造する際には、まず、始めに、振動源12に対して使用する発電部材20や接着層14及び18を構成する接着剤を設定し、ダンピング部材16の種類を設定する。次いで、選択された発電部材20に応じて、上記不等式1~2の1つを満たすように、ダンピング部材16の厚さT、及びヤング率yを決定する。例えば、発電部材20が圧電セラミックスである場合には、上記不等式1b~4bの1つを満たすように、ダンピング部材16の厚さTに対応して、ヤング率yを決定し、発電部材20が圧電高分子である場合には、上記不等式1p~4pの1つを満たすように、ダンピング部材16のヤング率yを決定する。こうして、本発明のエネルギ変換素子に用いられるダンピング部材16のヤング率yを決定することができる。その後、決定されたヤング率yを持つダンピング部材16を、設定された接着剤を用いて、振動源12に、接合面12aと接合面16aとが密着するように接合する。次に、設定された発電部材20を、設定された接着剤を用いて、振動源12に、接合面16bと接合面20aとが密着するように接合する。こうして、本発明のエネルギ変換素子を製造することができる。以下に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。実施例Iダンピング部材16として、その変形歪み方向の全長Lが100mm、幅が50mmその厚さTが0.1mmで、ヤング率yが2MPaのNBRニトリルブタジエンゴムと、発電部材20として、ダンピング部材16と略同形状の、その厚さが1mmのC-91H富士セラミックス社製圧電セラミックスと、振動源12として、厚さ5mmゴムを引張試験機サーボパルサMMT-101NV-10で引っ張り、図1に示す本発明のエネルギ変換素子を製造した。この場合、発電部材20として用いられるC-91H富士セラミックス社製圧電セラミックスの下限強度σ1は、約10MPaであり、その弾性限界強度σ2は、約100MPaであった。こうして得られた実施例1のエネルギ変換素子の振動源12となるゴムの両端を冶具に取り付け、2つの冶具をサーボパルサに取り付け、10Hzのサイン波、ダンピング部材16の下面16aでの歪み量が0.01となるように、実施例1のエネルギ変換素子に対して、荷重25Nバイアス±24N振幅を印加して、ダンピング部材16及び発電部材20の状態を観察した。その結果を表1に示す。続いて、表1に示すように、実施例1のエネルギ変換素子において、ダンピング部材16として用いられるNBRのヤング率yを、20MPa及び200Mpaに変更した実施例2及び3のエネルギ変換素子と、1GPa及び2Gpaに変更した比較例1及び2のエネルギ変換素子とを製造し、実施例1と同様にして、同様な荷重を印加し、同様な発電を同様に行い、ダンピング部材16及び発電部材20の状態を観察した。その結果を表1に示す。表1の結果から明らかなように、EbSbyの値が、発電部材20として用いられるC-91H富士セラミックス社製圧電セラミックスの下限強度σ110MPa超、弾性限界強度σ2100MPa未満である実施例1~3では、剥離が無く、発電部材20の弾性限界強度σ2以上である比較例1及び2では、剥離が生じ、本発明の実施例1~3は、発電部材20の発電能力を最大限に活かすことができることが分かる。実施例II発電部材20として、ダンピング部材16と略同形状の、その厚さが0.1mmのPVDFポリフッ化ビニリデンを用い、ダンピング部材16のNBRのヤング率yを2MPaに変更した以外は、実施例1と全く同様にして、実施例4のエネルギ変換素子を製造した。この場合、発電部材20として用いられるPVDFの下限強度σ1は、約1MPaであり、その弾性限界強度σ2は、約100MPaであった。こうして得られた実施例1のエネルギ変換素子に対して、実施例1と同様にして、同様な荷重を印加し、同様な発電を同様に行い、ダンピング部材16及び発電部材20の状態を観察した。その結果を表2に示す。続いて、表1に示すように、実施例1のエネルギ変換素子において、ダンピング部材16として用いられるNBRのヤング率yを、20Mpaに変更した実施例5のエネルギ変換素子と、200MPa及び2Gpaに変更した比較例3及び4のエネルギ変換素子とを製造し、実施例1と同様にして、同様な荷重を印加し、同様な発電を同様に行い、ダンピング部材16及び発電部材20の状態を観察した。その結果を表1に示す。表1の結果から明らかなように、EbSbyの値が、発電部材20として用いられるPVDFの下限強度σ11MPa超、弾性限界強度σ2100MPa未満である実施例4及び5では、剥離が無く、発電部材20の弾性限界強度σ2以上である比較例3及び4では、剥離が生じ、本発明の実施例4及び5は、発電部材20の発電能力を最大限に活かすことができることが分かる。以上、本発明に係るエネルギ変換素子及びその製造方法、並びにエネルギ変換素子のダンピング部材のヤング率の決定方法について種々の実施形態を挙げて詳細に説明したが、本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行っても良いのはもちろんである。"