"被処理水に無機凝集剤を添加して、被処理水中の被凝集物質を凝集させる無機凝集剤反応槽と、前記無機凝集剤反応槽から流出される流出水に高分子凝集剤を添加して、前記凝集した被凝集物質を凝集させる高分子凝集剤反応槽と、前記高分子凝集剤反応槽から流出される流出水中の汚泥を沈降分離する沈殿槽と、前記沈殿槽から引き抜かれた汚泥に酸、アルカリのうち少なくともいずれかを添加して、前記汚泥を再生処理する汚泥再生槽と、前記沈殿槽から引き抜かれた汚泥を前記汚泥再生槽に供給する供給手段と、前記汚泥再生槽内の汚泥を前記無機凝集剤反応槽に返送する第1返送手段と、前記供給手段に接続され、前記供給手段を経由する汚泥の一部又は全部を前記高分子凝集剤反応槽に返送する第2返送手段と、を備えることを特徴とする凝集沈殿装置。請求項1記載の凝集沈殿装置であって、前記第2返送手段に接続され、前記第2返送手段を経由する汚泥の一部又は全部を系外へ排出する排出手段を備えることを特徴とする凝集沈殿装置。請求項1又は2記載の凝集沈殿装置であって、前記汚泥再生槽に供給する汚泥の量は、単位時間当たりの平均汚泥流量として、前記沈殿槽から引き抜かれる汚泥引き抜き量の40~90の範囲であることを特徴とする凝集沈殿装置。請求項1~3のいずれか1項に記載の凝集沈殿装置であって、前記沈殿槽から引き抜かれる汚泥引き抜き量は、単位時間当たりの平均汚泥流量として、前記被処理水の流量の10~30の範囲であることを特徴とする凝集沈殿装置。請求項1~4のいずれか1項に記載の凝集沈殿装置であって、運転開始後から30分の間~120分の間に前記汚泥再生槽に供給する単位時間当たりの平均汚泥流量は、該時間の経過後に前記汚泥再生槽に供給する単位時間当たりの平均汚泥流量より少ないことを特徴とする凝集沈殿装置。請求項1~5のいずれか1項に記載の凝集沈殿装置であって、前記沈殿槽がスラッジブランケット型であることを特徴とする凝集沈殿装置。本発明の目的は、沈殿槽内の汚泥の濃縮が必要以上に上昇することを防止すると共に、無機凝集剤反応槽中のSS濃度を安定させ、安定した凝集性能を得ることができる凝集沈殿装置を提供することである。本発明の凝集沈殿装置は、被処理水に無機凝集剤を添加して、被処理水中の被凝集物質を凝集させる無機凝集剤反応槽と、前記無機凝集剤反応槽から流出される流出水に高分子凝集剤を添加して、前記凝集した被凝集物質をさらに凝集させる高分子凝集剤反応槽と、前記高分子凝集剤反応槽から流出される流出水中の汚泥を沈降分離する沈殿槽と、前記沈殿槽から引き抜かれた汚泥に酸、アルカリのうち少なくともいずれかを添加して、前記汚泥を再生処理する汚泥再生槽と、前記沈殿槽から引き抜かれた汚泥を前記汚泥再生槽に供給する供給手段と、前記汚泥再生槽内の汚泥を前記無機凝集剤反応槽に返送する第1返送手段と、前記供給手段に接続され、前記供給手段を経由する汚泥の一部又は全部を前記高分子凝集剤反応槽に返送する第2返送手段と、を備える。また、前記凝集沈殿装置において、前記第2返送手段に接続され、前記第2返送手段を経由する汚泥の一部又は全部を系外へ排出する排出手段を備えることが好ましい。また、前記凝集沈殿装置において、前記汚泥再生槽に供給する汚泥の量は、単位時間当たりの平均汚泥流量として、前記沈殿槽から引き抜かれる汚泥引き抜き量の40~90の範囲であることが好ましい。また、前記凝集沈殿装置において、前記沈殿槽から引き抜かれる汚泥引き抜き量は、単位時間当たりの平均汚泥流量として、前記被処理水の流量の10~30の範囲であることが好ましい。また、前記凝集沈殿装置において、運転開始後から30分の間~120分の間に前記汚泥再生槽に供給する単位時間当たりの平均汚泥流量は、該時間の経過後に前記汚泥再生槽に供給する単位時間当たりの平均汚泥流量より少ないことが好ましい。また、前記凝集沈殿装置において、前記沈殿槽がスラッジブランケット型であることが好ましい。本発明によれば、沈殿槽内の汚泥の濃縮が必要以上に上昇することを防止すると共に、無機凝集剤反応槽中のSS濃度を安定させ、安定した凝集性能を得ることができる。本発明の実施の形態について以下説明する。本実施形態は本発明を実施する一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。図1は、本実施形態に係る凝集沈殿装置の構成の一例を示す模式図である。図1に示す凝集沈殿装置1は、フッ素含有排水の処理に適用した場合の一例であるが、本実施形態に係る凝集沈殿装置1はフッ素含有排水の処理に適用する場合に限定されるものではない。すなわち、本実施形態において、処理対象となる被凝集物質を含む被処理水は、如何なる由来の水であっても良く、例えば、半導体関連産業をはじめとする電子産業排水、用水処理等が対象となる河川水等でもよい。また、フッ素のようなイオン状の有害物質を含む排水に対しては、予めカルシウムと反応させてフッ化カルシウム等として、固形物化した上で、凝集剤を添加し凝集沈殿処理を行うことが望ましい。したがって、図1に示す凝集沈殿装置1には、以下に説明するように、カルシウム反応槽10が設置されている。図1に示す凝集沈殿装置1は、カルシウム反応槽10、無機凝集剤反応槽12、高分子凝集剤反応槽14、沈殿槽16、汚泥再生槽18、汚泥引き抜きポンプ20、沈殿槽16から引き抜かれた汚泥を汚泥再生槽18に供給する汚泥再生槽供給管22、汚泥再生槽18内の汚泥を無機凝集剤反応槽12に返送するための無機凝集剤反応槽返送管26、汚泥再生槽供給管22内の汚泥の一部又は全部を高分子凝集剤反応槽14に返送するための高分子凝集剤反応槽返送管28、高分子凝集剤反応槽返送管28内の汚泥の一部又は全部を系外へ排出するための汚泥排出管32、を備える。カルシウム反応槽10、カルシウム反応槽10と無機凝集剤反応槽12との間、無機凝集剤反応槽12と高分子凝集剤反応槽14との間、高分子凝集剤反応槽14と沈殿槽16との間は配管34a,34b,34c,34dで接続されている。また、沈殿槽16と汚泥再生槽18との間には汚泥再生槽供給管22が接続され、汚泥再生槽18と無機凝集剤反応槽12との間には無機凝集剤反応槽返送管26が接続されている。また、高分子凝集剤反応槽返送管28の一端は、汚泥再生槽供給管22に接続され、他端は高分子凝集剤反応槽14に接続されている。また、汚泥排出管32の一端は高分子凝集剤反応槽返送管28に接続され、他端は凝集沈殿装置1の系外まで延びている。本実施形態の汚泥再生槽供給管22には、汚泥引き抜きポンプ20、第1バルブ24及び汚泥計量槽36が設置されている。また、第1バルブ24及び汚泥計量槽36の設置箇所は、高分子凝集剤反応槽返送管28の接続位置と汚泥再生槽18との間である。汚泥計量槽36は、例えば三角堰の原理を利用して汚泥の流量を計測できるもの等である。高分子凝集剤反応槽返送管28には、第2バルブ30が設置されている。第2バルブ30の設置箇所は、汚泥排出管32の接続位置と高分子凝集剤反応槽28との間である。汚泥排出管32には排泥バルブ34が設置されている。上記各バルブは、汚泥の排出循環が自動制御可能な自動弁とすることが望ましいが、これに制限されるものではなく手動弁等であってもよい。また、カルシウム反応槽10には、カルシウム剤を供給することが可能なカルシウム剤添加配管38、pH調整剤を添加することが可能なpH調整剤添加配管40が接続されている。また、無機凝集剤反応槽12には、無機凝集剤を供給することが可能な無機凝集剤添加配管44、pH調整剤を添加することが可能なpH調整剤添加配管42が接続されている。また、高分子凝集剤反応槽14には、高分子凝集剤を供給することが可能な高分子凝集剤添加配管46が接続されている。また、汚泥再生槽18には酸アルカリ添加配管48が接続されている。以下に、本実施形態の凝集沈殿装置1の動作について説明する。まず、フッ素を含む排水フッ素含有排水が配管34aからカルシウム反応槽10に供給される。また、カルシウム剤添加配管38からカルシウム反応槽10にカルシウム剤が供給される。そして、カルシウム反応槽10内では、カルシウム剤添加配管38から供給されたカルシウム剤により、フッ素含有排水中のフッ素がカルシウムと反応し、不溶性のフッ化カルシウム等の微粒子が形成される。カルシウム剤としては、例えば塩化カルシウム、水酸化カルシウムの水溶液等が挙げられる。フッ素含有排水の処理では、上記形成されたフッ化カルシウム等の微粒子が、後段で凝集処理される非凝集物質の主な成分となる。但し、本実施形態の凝集沈殿装置1は、フッ素含有排水の処理に限定されるものではなく、非凝集物質は、無機凝集剤及び高分子凝集剤により凝集可能な全ての物質が対象になる。また、例えばフッ素とカルシウムを良好に反応させるために、pH調整剤添加配管40からカルシウム反応槽10にpH調整剤を添加して、槽内のpHを7.0~10.0の範囲内に調整することが好ましい。pH調整剤としては、例えば、塩酸や水酸化ナトリウムなどが挙げられる。次に、カルシウム反応槽10から流出した流出水は、配管34bを通り無機凝集剤反応槽12に導入される。また、無機凝集剤添加配管44から無機凝集剤反応槽12に無機凝集剤が供給されると共に、後述するように、汚泥再生槽18から再生処理された汚泥が無機凝集剤反応槽返送管26を介して無機凝集剤反応槽12に供給される。そして、無機凝集剤反応槽12内では、槽内に導入された流出水中に含まれるフッ化カルシウムの微粒子等を含む非凝集物質と汚泥再生槽18から返送された汚泥が無機凝集剤の働きにより凝結凝集される。またカルシウム反応槽10でフッ化カルシウムとならずに液中に残留したフッ素イオンは、添加された無機凝集剤、後述する汚泥再生槽18から返送された汚泥中のアルミニウム塩等の凝集剤由来の成分に吸着され、流出水中から除去される。無機凝集剤反応槽12に供給される無機凝集剤としては、例えばPACポリ塩化アルミニウム、硫酸バンド硫酸アルミニウム等のアルミニウム系凝集剤や塩化第二鉄等の鉄系凝集剤等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、例えば、無機凝集剤の凝集能力を十分に発揮させるために、無機凝集剤反応槽12にpH調整剤を添加して、pHを6.0~8.0の範囲内に調整するのが好ましい。pH調整剤としては、塩酸や水酸化ナトリウムなどが挙げられる。なお、無機凝集剤反応槽12内には、攪拌装置50が設置されているが、この攪拌装置50の設置は任意である。無機凝集剤反応槽12より流出した流出水は配管34cを通り、高分子凝集剤反応槽14へ導入される。また、高分子凝集剤添加配管46から高分子凝集剤反応槽14に高分子凝集剤が添加される。高分子凝集剤反応槽14内では、無機凝集剤反応槽12にて形成された微細フロック凝集した被凝集物質は高分子凝集剤の働きにより凝集され、粗大化が図られる。なお、高分子凝集剤反応槽返送管28から高分子凝集剤反応槽14へ返送される汚泥の作用については後述する。また、高分子凝集剤反応槽14内には、攪拌装置52が設置されているが、この攪拌装置52の設置は任意である。高分子凝集剤としては、フロックの凝集性を向上させることが可能な任意の高分子を使用することができ、例えば、アニオン性高分子有機凝集剤、ノニオン性高分子有機凝集剤及びカチオン基を有する高分子有機凝集剤を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。アニオン性高分子有機凝集剤としては、例えば、アルギン酸又はその塩、カルボキシメチルセルロース、アクリル酸又はその塩の重合物、アクリル酸又はその塩とアクリルアミドとの共重合物等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、ノニオン性高分子有機凝集剤としては、例えば、アクリルアミドの重合物等が挙げられるが、これに限定されるものではない。また、カチオン基を有する高分子有機凝集剤としては、例えば、カチオン性有機凝結剤、カチオン性高分子有機凝集剤及び両性高分子有機凝集剤等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。高分子凝集剤反応槽14から流出した流出水は、配管34dを通り沈殿槽16に導入される。沈殿槽16内では、高分子凝集剤反応槽14内で形成されたフロック微細フロックが凝集したものの沈降分離が行われる。すなわち、フロックは沈殿槽16の底部に堆積して汚泥となり、清澄化された水は処理水として沈殿槽16上部に接続された処理水排出管54より流出する。沈殿槽16の形式としては横流式やスラリー循環式、スラッジブランケット式、傾斜装置付上向流式等があり、いずれの形式においても適用可能である。しかし、汚泥再生循環法においては、分離した汚泥の再生、循環を効率的に行う観点から、スラッジブランケット型の沈殿槽が好ましい。本実施形態の沈殿槽16の底部には、モータにより回転するスクレーパ56が設けられており、スクレーパ56が回転することにより、沈殿槽16の底部に堆積した汚泥が沈殿槽16の底部中央に掻き寄せられる。そして、汚泥再生槽供給管22の第1バルブ24を開き、汚泥引き抜きポンプ20を稼働させることにより、沈殿槽16の底部に堆積した汚泥は沈殿槽16から引き抜かれ、汚泥再生槽供給管22を通り、汚泥計量槽36を経由して汚泥再生槽18へ導入される。また、酸アルカリ添加配管48から汚泥再生槽18に塩酸、硫酸、硝酸等の酸又は水酸化ナトリウム、水酸化カルシウム等のアルカリが添加される。そして、汚泥再生槽18内では、沈殿槽16から引き抜かれた汚泥と酸又はアルカリとが混合されて、pHの調整が行われ、汚泥中に含まれるフッ素を吸着している水酸化アルミニウム等の凝集剤由来の成分が溶解される再生処理。例えば、汚泥再生槽18内のpHをアルカリ性に調整した場合、不溶性であった水酸化アルミニウムAlOH3は溶解しアルミン酸[AlOH4]-となる。このとき水酸化アルミニウムに吸着していたフッ素はフッ素イオンとして放出されるため、汚泥再生槽18では、さらに水酸化カルシウムを添加して、放出したフッ素を水酸化カルシウムと反応させて、フッ化カルシウムを生成させることが望ましい。フッ素を放出した後のアルミン酸は、汚泥再生槽18内の汚泥と共に、無機凝集剤反応槽返送管26を通り無機凝集剤反応槽12へ導入され、再度水酸化アルミニウムの形態となり、凝集剤やフッ素吸着剤等として再利用される。また、例えば、汚泥再生槽18内のpHを酸性に調整した場合、不溶性であった水酸化アルミニウムAlOH3はAlOH2となり、以下アルカリ性に調整した場合と同様の反応過程をたどり、凝集剤、フッ素吸着剤として再利用される。汚泥再生槽18に供給される酸又はアルカリとしては、例えば塩酸や水酸化ナトリウムなどが挙げられる。このように、再生処理においては、酸、アルカリのいずれを添加してpH調整を行ってもよいが、反応性が良く、pH調整剤が少量で済むアルカリを添加するのが好ましい。なお、汚泥再生槽18内には、攪拌装置を設置してもよい。沈殿槽16から引き抜かれた汚泥は、汚泥再生槽18へ送られる他、高分子凝集剤反応槽返送管28を通り、高分子凝集剤反応槽14へも返送される。本実施形態では、汚泥再生槽供給管22の第1バルブ24及び高分子凝集剤反応槽返送管28の第2バルブ30の開閉度を調整し、沈殿槽16から引き抜かれた汚泥の全部を高分子凝集剤反応槽14へ供給してもよいし、沈殿槽16から引き抜かれた汚泥の一部を高分子凝集剤反応槽14へ供給し、残りを汚泥再生槽18に供給する等でもよい。高分子凝集剤反応槽返送管28から高分子凝集剤反応槽14に流入した汚泥は、汚泥中に含まれる水酸化アルミニウムによって既に荷電中和されているものであるため、無機凝集剤の添加等が行われなくても、高分子凝集剤反応槽14にて添加される高分子凝集剤と混合されることによって、無機凝集剤反応槽12から流入する微細フロックと共に粗大なフロックとして再凝集される。また、沈殿槽16から引き抜かれた汚泥の一部又は全部が再生されることなく、高分子凝集剤反応槽14を介して循環されるため、汚泥の全部が脱水縮合した含有率の低いものにならず、汚泥全体として適度に沈降性濃縮性を有したものとなる。また、汚泥再生槽18、高分子凝集剤反応槽14へ汚泥を分割して供給することが可能となるため、無機凝集剤反応槽12中のSS濃度固形物濃度に対して無機凝集剤が不足傾向になることを防止し、無機凝集剤反応槽12中のSS濃度を安定させることができる。これらのことにより、汚泥再生循環法による安定した凝集性能やフッ素吸着性能等を発揮させることができる。沈殿槽16から引き抜く汚泥の量は、単位時間当たりの平均汚泥流量として、無機凝集剤反応槽12に導入される被処理水の流量の10~30の範囲内が好ましい。被処理水の流量の10未満であると、汚泥再生槽供給管22並びに高分子凝集剤反応槽返送管28の管内が閉塞する可能性が高くなる場合があり、30を超えると、最終的に得られる処理水のSS濃度が高くなる場合がある。また、汚泥再生槽18に返送する汚泥の量は、単位時間当たりの平均汚泥流量として、沈殿槽16からの汚泥引き抜き量の40~90の範囲内であることが好ましい。汚泥引き抜き量の40未満若しくは90を超えると、最終的に得られる処理水のSS濃度が高くなる場合がある。ここで、本明細書中の平均汚泥流量は、汚泥再生槽18並びに高分子凝集剤反応槽14への汚泥返送を常時連続して行う他、間欠で返送してもよく、単位時間当たりの汚泥返送量が当該範囲内にあればよいことを意味する。また、沈殿槽16内に堆積する汚泥界面の位置を一定の範囲内に維持することが必要となるが、沈殿槽16から汚泥を引き抜いて汚泥再生槽18および高分子凝集剤反応槽14に返送し、汚泥を循環させていても、沈殿槽16内の汚泥界面が一定の範囲を超過する場合がある。そのような場合は、汚泥排出管32の排泥バルブ34を開き、汚泥排出管32を通して、沈殿槽16から引き抜いた汚泥の一部又は全部を系外に排出することが好ましい。汚泥排出管32は、本実施形態のように高分子凝集剤反応槽返送管28に接続することが好ましい。これにより排泥の際にも、例えば、再生処理した汚泥を無機凝集剤反応槽12に安定して返送できるため、フロック形成も良好かつ安定なものになる。本実施形態では、沈殿槽16内に堆積した汚泥界面の位置高さは、沈殿槽16に設置された汚泥界面計58により計測される。汚泥界面計58は、例えば超音波式の汚泥界面計であることが好ましいが、必ずしもこれに制限されるものではない。また、汚泥界面計58は圧力水噴射によりセンサーを定期的に自動洗浄する機構を有したものであることが望ましい。次に、装置停止の状態から再度運転を再開する場合について考える。この場合、運転開始後の一定時間は、運転開始後の一定時間経過後の汚泥再生槽18へ供給する汚泥の平均汚泥流量よりも低い平均汚泥流量で汚泥の供給を行うことが好ましい。すなわち、上記運転開始後の一定時間経過後には、汚泥再生槽18へ供給する汚泥の平均汚泥流量を、運転開始後の一定時間の平均汚泥流量より高くする。これにより、例えば、装置停止期間中に沈殿槽16底部にて圧密濃縮した高濃度汚泥が運転開始直後に大量に汚泥再生槽18および無機凝集剤反応槽12へ流入することを防ぎ、無機凝集剤反応槽12において無機凝集剤が不足傾向になることを抑制することができる。その結果、運転と停止を頻繁に繰り返す状況においても、例えば、汚泥再生循環法が本来もつ高い凝集性能やフッ素吸着性能等を安定的に発揮させることができる。この汚泥再生槽18に供給する汚泥の平均汚泥流量を低下させる運転開始後の一定時間としては、沈殿槽16底部における汚泥の滞留時間から考えて、運転開始後から30分の間~120分の間にすることが好ましい。運転開始後から30分未満では、処理水中のSS濃度が一時的に上昇する場合があり、運転開始後から120分を超過すると、停止時に沈降濃縮した汚泥が沈殿槽16からほぼ完全に排出されるので、平均汚泥流量を増加させても、無機凝集剤反応槽12において適度な固形物濃度となる。以下、実施例および比較例を挙げ、本発明をより具体的に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。<実施例1,2>図2は、実施例1で使用した凝集沈殿装置の構成を示す模式図である。図2に示す凝集沈殿装置2において、図1に示す凝集沈殿装置1と同様の構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。図2の実施例1で用いた凝集沈殿装置2と図1の凝集沈殿装置1では、汚泥排出管の設置位置が異なっており、図2の実施例1で用いた凝集沈殿装置2は、汚泥排出管33が汚泥再生槽供給管22に設置されており、図1の凝集沈殿装置1は汚泥排出管32が高分子凝集剤反応槽返送管28に設置されている。実施例2では図1に示す凝集沈殿装置1を用いた。<実施例1,2の凝集沈殿装置のサイズ>カルシウム反応槽10のサイズ:1.0m3無機凝集剤反応槽12のサイズ:1.0m3高分子凝集剤反応槽14のサイズ:1.0m3沈殿槽16のサイズ:3.5m3直胴部高さ:3m、有効面積1.0m2汚泥再生槽18のサイズ:0.3m3実施例1,2では、上記装置を用いて、以下の条件で、フッ素含有排水の処理を行った。沈殿槽16からの汚泥総引き抜き流量沈殿槽16からの汚泥引き抜き量を被処理水流量の10に当たる0.6m3/hとした。また、実施例1,2共に汚泥再生槽返送率汚泥総引き抜き流量のうち、汚泥再生槽18へ返送される流量の割合を70に設定し、残り30は高分子凝集剤反応槽14へ返送されるようにした。また、実施例1,2共にスラッジブランケット型の沈殿槽を用い、沈殿槽16内に形成されるスラッジブランケット層の界面位置が沈殿槽16底部より1.5mの位置を上回ると、該位置を下回るまで180秒間隔で60秒間、沈殿槽16から汚泥を引き抜き、汚泥排出管32,33から系外へ排出した。その他の試験条件は、以下の通りに設定した。被処理水:地下水にNaFをFが200mg/Lとなるように溶解させた模擬排水被処理水流量:6m3/hLV:6m/h無機凝集剤:300mg/LのPAC高分子凝集剤:2mg/Lのポリアクリルアミドカルシウム剤添加量:沈殿槽16からの流出水中の残留カルシウムとして300mg/L実施例1,2の試験時間は、沈殿槽16内に汚泥が存在しない状態から装置を稼働させ、30時間連続運転させた。比較例1及び2図3は、比較例1及び2で使用した凝集沈殿装置の構成を示す模式図である。図3に示す凝集沈殿装置3において、図2に示す凝集沈殿装置2と同様の構成については同じ符号を付し、その説明を省略する。比較例1及び2で用いた図3の凝集沈殿装置3は、汚泥再生槽供給管22、無機凝集剤反応槽返送管26を備えるが、高分子凝集剤反応槽返送管28を備えていない。すなわち、実施例1,2とは異なり、比較例1及び2では、沈殿槽16底部から引き抜かれた汚泥は、高分子凝集剤反応槽14には返送されず、汚泥再生槽18に供給され、再生処理された後、無機凝集剤反応槽12に返送されることになる。比較例1,2の凝集沈殿装置のサイズは実施例1,2の凝集沈殿装置のサイズと同じとし、以下の条件で、フッ素含有排水の処理を行った。比較例1においては、沈殿槽16からの汚泥総引き抜き流量沈殿槽16からの汚泥引き抜き量を被処理水流量の10に当たる0.6m3/hとした。比較例2においては、汚泥総引き抜き流量沈殿槽16からの汚泥引き抜き量を比較例1と同様に0.6m3/hとし、そのうち70を汚泥再生槽18へ供給し、残りの30を常時汚泥排出管33から系外へ排出した。比較例1,2共にスラッジブランケット型の沈殿槽を用いた。比較例1では、沈殿槽16内に形成されるスラッジブランケット界面位置が沈殿槽16底部より1.5mの位置を上回ると、該位置を下回るまで180秒間隔で60秒間、沈殿槽16から汚泥を引き抜き、汚泥排出管33から系外へ排出した。比較例2では、前述した通り、スラッジブランケット層の界面位置に関わらず常時沈殿槽16から汚泥を引き抜き、汚泥排出管33から系外へ排出した。使用した被処理水、被処理水流量、無機凝集剤、高分子凝集剤、カルシウム剤添加量等のその他の比較例1,2の試験条件は、実施例1,2と同様とした。図4は、実施例1,2及び比較例1の運転経過時間に対する汚泥濃度の結果をまとめた図である。図4の汚泥濃度は、汚泥再生槽供給管22に設置した汚泥計量槽36で測定した値である。図5は、比較例1の運転経過時間に対するブランケット界面高さ及び処理水中のフッ素濃度の結果をまとめた図である。図6は、実施例1の運転経過時間に対するブランケット界面高さ及び処理水中のフッ素濃度の結果をまとめた図である。図7は、実施例2の運転経過時間に対するブランケット界面高さ及び処理水中のフッ素濃度の結果をまとめた図である。図8は、実施例1,2及び比較例1の運転経過時間に対する処理水SSの結果をまとめた図である。<比較例1の結果>図4に示すように、汚泥濃度は運転初期から徐々に上昇し、運転開始後20時間までに15w/v程度にまで上昇し続けた。汚泥の高濃度化はその後も継続し、図8に示すように処理水SSも上昇した。また、比較例1においては汚泥再生槽供給管22に接続した汚泥排出管33から排泥を行うため、排泥が行われた際には、汚泥再生槽供給管22内の汚泥流量が減少した。これによって無機凝集剤反応槽12への汚泥供給量が一時的に低下する場合があるため、これに伴って、図5に示すように、処理水フッ素濃度が上昇する傾向が認められた。<比較例2の結果>比較例2においては常時、大量の汚泥排出を行ったため汚泥の蓄積がほとんどなされなかった。これにより、無機凝集剤反応槽12に返送されるアルミの量が不足し、処理水フッ素濃度は運転開始から停止まで8mg/L程度で推移した。また、沈殿槽16内でスラッジブランケット層も形成されず、処理水SSも10mg/L程度で推移した。以上により、比較例2のように汚泥再生槽18への返送率を下げるために、常時汚泥の排出を行った場合には汚泥が濃くなりすぎることはなかったが、返送汚泥量が不足したことにより、フッ素処理が十分に行われなかった。また、ブランケット型の沈殿槽16においてはスラッジブランケット層も十分に形成されなかった。<実施例1の結果>図4に示すように、汚泥濃度は運転開始後から比較例1と同様徐々に上昇し、運転開始からおよそ15時間程度経過後には7程度に到達し、その後上昇することなく試験終了まで安定していた。図8に示すように、処理水SSの推移を見ても、運転開始初期から低い値で推移していた。汚泥の全量を汚泥再生槽18に返送することによって、汚泥濃度及び処理水SSが上昇した比較例1や、汚泥再生槽18への返送量を減らすために汚泥の一部を常時排出して運転することによって、フッ素処理が十分に行われなかった比較例2に比べて、実施例1では終始安定して良好な処理水が得られた。但し、実施例1では、スラッジブランケット層の界面が1.5mを超え、排泥が開始されると汚泥再生槽18への汚泥返送量が低下するため、図6に示すように、排泥時には処理水フッ素濃度がやや上昇する傾向が認められた。<実施例2の結果>一方、図7に示すように、実施例2では、処理水フッ素濃度の推移を見ると排泥が行われた後も安定して処理がなされていた。これは、実施例2の凝集沈殿装置1では、高分子凝集剤反応槽返送管28に接続され汚泥排出管32から排泥を行うことができるため。汚泥再生槽18への汚泥返送量を常に一定に保つことが可能となり、無機凝集剤反応槽12への汚泥供給量が低下することなく、安定してフッ素処理が行われたためである。汚泥濃度に関しては実施例1とほぼ同じ傾向が認められた。処理水SSに関しても実施例1とほぼ同じ傾向であり、実験期間を通して良好に処理がなされた。実施例3実施例3では、図1に示す実施例1の凝集沈殿装置1と同様の装置を用いて、装置系内に汚泥が全く無い状態から実施例1と同様の条件で20時間運転を行った後、装置を停止させて、沈殿槽16内の汚泥を濃縮させた。装置の停止時間を60分とした。そして、実施例3では、装置の運転を再開させ、運手開始後30分間は汚泥再生槽返送率を50とし、30分経過後は70になるよう運転した。比較例3比較例3では、装置を60分停止させた後、装置の運転を再開させ、運転開始後から一貫して汚泥再生槽返送率を70としたこと以外は、実施例3と同様に試験を行った。図9は、実施例3及び比較例3の運転再開経過時間に対する汚泥濃度と処理水SSの結果をまとめた図である。<比較例3の結果>図9に示すように、汚泥濃度は最初20程度で、運転再開後から次第に低下し、運転再開後から30~40分経過後には8程度にまで低下し、その後安定した。処理水SSの推移は、運転開始後に高濃度汚泥が比較的多めに汚泥再生槽へ返送されてしまったため、運転再開初期に処理水SSの上昇が確認された。この上昇はしばらく続くが、さらに時間が経過すると低下し始めた。これは、沈殿槽16底部に堆積した高濃度汚泥が、新規に堆積した比較的濃度の低い汚泥に入れ替わったためであると推察される。その後、運転再開後から3時間程度経過後に5mg/L程度で安定した。<実施例3の結果>図9に示すように、汚泥濃度の推移は比較例3と同様であった。その一方で、処理水SSは運転再開初期から上昇しすぎることなく良好に処理できた。これは沈殿槽16底部に堆積した高濃度の汚泥が大量に返送されることが抑制されたためであると推察される。したがって、高濃度汚泥の返送量が多く、一時的に無機凝集剤が不足気味になり得る比較例3とは異なり、運転再開後の高濃度汚泥返送量を適度に収めた実施例3では、運転再開後も安定して良好な処理水を得ることができるとわかった。なお、汚泥濃度は運転再開後120分程度になると安定に推移しており、停止時に沈降濃縮した汚泥が沈殿槽16からほぼ完全に排出されていると推察される。すなわち、これ以降は、汚泥再生槽返送率を下げなくても無機凝集剤反応槽12での固形物量を適度に保つことができるため、良好な処理水を得ることができるといえる。したがって、汚泥再生槽18への汚泥返送量を縮減させる時間は、運転開始後から30分の間~120分の間が望ましい。実施例4実施例4では、実施例1で用いた図2の凝集沈殿装置2と同様の装置を用いた。そして、沈殿槽16からの汚泥総引き抜き流量沈殿槽16からの汚泥引き抜き量を被処理水流量の10に当たる0.6m3/h、汚泥総引き抜き流量沈殿槽16からの汚泥引き抜き量を被処理水流量の20に当たる1.2m3/h、汚泥総引き抜き流量沈殿槽16からの汚泥引き抜き量を被処理水流量の30に当たる1.8m3/hとし、また、それぞれの汚泥総引き抜き流量のうち、汚泥再生槽返送率汚泥総引き抜き流量のうち、汚泥再生槽18へ返送される流量の割合を20~100に変えて連続試験を行ったこと以外は、実施例1と同様の条件で試験を行った。<実施例4の結果>図10は、実施例4の汚泥再生槽返送率に対する処理水SSの結果をまとめた図である。図10に示すように、沈殿槽16からの汚泥総引き抜き流量汚泥再生槽への汚泥供給量を被処理水流量の10~30に設定した場合では、より低い処理水SSを得られる観点から、汚泥再生槽返送率を40~90の範囲とすることが好ましいとわかった。"