第1の加速度検出部とこの第1の加速度検出部と直交する方向の加速度を検出する第2の加速度検出部と前記第1の加速度検出部および第2の加速度検出部と直交する方向の加速度を検出する第3の加速度検出部とを設けた加速度検出素子と、この加速度検出素子の周囲の温度を検出する温度センサと、前記加速度検出素子における第1の加速度検出部からの出力信号を処理する第1のブリッジ回路と、前記加速度検出素子における第2の加速度検出部からの出力信号を処理する第2のブリッジ回路と、加速度検出素子における第3の加速度検出部からの出力信号を処理する第3のブリッジ回路と、前記第1のブリッジ回路と第2のブリッジ回路とから出力される出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第1のデジタルマルチプレクサと、前記第3のブリッジ回路と温度センサとから出力される出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第2のデジタルマルチプレクサと、前記第1のデジタルマルチプレクサからのアナログ信号からなる出力信号をデジタル信号に変換して出力する第1のΔΣAD変換器と、前記第2のデジタルマルチプレクサからのアナログ信号からなる出力信号をデジタル信号に変換して出力する第2のΔΣAD変換器と、前記第1のΔΣAD変換器および第2のΔΣAD変換器から出力される出力信号を演算処理する演算回路とを備え、前記演算回路により第2のΔΣAD変換器からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正するようにした加速度センサ。しかしながら、上記従来の構成においては、信号処理をする際にアナログマルチプレクサ26を使用しているため、アナログ信号を出力できる反面、X軸、Y軸およびZ軸の3軸のデジタル信号を出力する場合に、デジタルマルチプレクサを使用しようとすると、入力端子数があわなくなり、信号を処理できなくなってしまうという課題を有していた。本発明は上記従来の課題を解決するもので、X軸、Y軸およびZ軸の3軸のデジタル信号を出力する場合においても、容易にデジタル信号を出力することが可能な加速度センサを提供することを目的とするものである。本発明の請求項1に記載の発明は、第1の加速度検出部とこの第1の加速度検出部と直交する方向の加速度を検出する第2の加速度検出部と前記第1の加速度検出部および第2の加速度検出部と直交する方向の加速度を検出する第3の加速度検出部とを設けた加速度検出素子と、この加速度検出素子の周囲の温度を検出する温度センサと、前記加速度検出素子における第1の加速度検出部からの出力信号を処理する第1のブリッジ回路と、前記加速度検出素子における第2の加速度検出部からの出力信号を処理する第2のブリッジ回路と、加速度検出素子における第3の加速度検出部からの出力信号を処理する第3のブリッジ回路と、前記第1のブリッジ回路と第2のブリッジ回路とから出力される出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第1のデジタルマルチプレクサと、前記第3のブリッジ回路と温度センサとから出力される出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第2のデジタルマルチプレクサと、前記第1のデジタルマルチプレクサからのアナログ信号からなる出力信号をデジタル信号に変換して出力する第1のΔΣAD変換器と、前記第2のデジタルマルチプレクサからのアナログ信号からなる出力信号をデジタル信号に変換して出力する第2のΔΣAD変換器と、前記第1のΔΣAD変換器および第2のΔΣAD変換器から出力される出力信号を演算処理する演算回路とを備え、前記演算回路により第2のΔΣAD変換器からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正するようにしたもので、この構成によれば、第1のブリッジ回路と第2のブリッジ回路とからの出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第1のデジタルマルチプレクサと、前記第3のブリッジ回路と温度センサとからの出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第2のデジタルマルチプレクサとを設け、さらに、第2のΔΣAD変換器からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正するようにしたため、X軸、Y軸およびZ軸の3軸のデジタル信号を出力する場合に、デジタルマルチプレクサを使用することによる入力端子数が各々2信号づつと正規であり、第2のΔΣAD変換器からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正することができるという作用効果を有するものである。本発明の請求項1に記載の発明は、第1の加速度検出部とこの第1の加速度検出部と直交する方向の加速度を検出する第2の加速度検出部と前記第1の加速度検出部および第2の加速度検出部と直交する方向の加速度を検出する第3の加速度検出部とを設けた加速度検出素子と、この加速度検出素子の周囲の温度を検出する温度センサと、前記加速度検出素子における第1の加速度検出部からの出力信号を処理する第1のブリッジ回路と、前記加速度検出素子における第2の加速度検出部からの出力信号を処理する第2のブリッジ回路と、加速度検出素子における第3の加速度検出部からの出力信号を処理する第3のブリッジ回路と、前記第1のブリッジ回路と第2のブリッジ回路とから出力される出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第1のデジタルマルチプレクサと、前記第3のブリッジ回路と温度センサとから出力される出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第2のデジタルマルチプレクサと、前記第1のデジタルマルチプレクサからのアナログ信号からなる出力信号をデジタル信号に変換して出力する第1のΔΣAD変換器と、前記第2のデジタルマルチプレクサからのアナログ信号からなる出力信号をデジタル信号に変換して出力する第2のΔΣAD変換器と、前記第1のΔΣAD変換器および第2のΔΣAD変換器から出力される出力信号を演算処理する演算回路とを備え、前記演算回路により第2のΔΣAD変換器からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正するようにしたもので、この構成によれば、第1のブリッジ回路と第2のブリッジ回路とのいずれかからの出力信号を時分割で選択して出力する第1のデジタルマルチプレクサと、前記第3のブリッジ回路と温度センサとからの出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第2のデジタルマルチプレクサとを設け、さらに、第2のΔΣAD変換器からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正するようにしたため、X軸、Y軸およびZ軸の3軸のデジタル信号を出力する場合に、デジタルマルチプレクサを使用することによる入力端子数が各々2信号づつと正規であり、第2のΔΣAD変換器からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正することが可能な加速度センサを提供することができるという効果を有するものである。以下、本発明の一実施の形態における加速度センサについて図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施の形態における加速度センサの上面図である。図2は同加速度センサの上面図、図3は同加速度センサにおける3軸方向の加速度の各々を検出するブリッジ回路図、図4は同加速度センサの回路図である。図1~図4において、加速度検出素子20は、内部に中空領域21が形成された枠部22と、枠部22にそれぞれ一端が接続され、中空領域21に延伸した梁部23、24、25、26と、梁部23、24、25、26の他端にそれぞれ接続された錘部27、28、29、30と、梁部23、24、25、26の上にそれぞれ設けられたX軸方向の加速度を検出する第1の加速度検出部31、32、Y軸方向の加速度を検出する第2の加速度検出部33、34とを設けている。また、前記枠部22には、Z軸方向の加速度を検出する第3の加速度検出部38を設けている。錘部27と錘部28とが対向し、錘部29と錘部30とが対向している。そして、第1の加速度検出部31、32、第2の加速度検出部33、34および第3の加速度検出部38として、歪抵抗方式や静電容量方式などを用いることができる。歪抵抗方式としてピエゾ抵抗を用いることにより、加速度検出素子20の感度を向上させることができる。また、歪抵抗方式として酸化膜歪み抵抗体を用いた薄膜抵抗方式を用いることにより、加速度検出素子20の温度特性を向上させることができる。図2は加速度の検出方法を説明するための回路例を示した図である。図2は第1の加速度検出部31、32と第2の加速度検出部33、34および第3の加速度検出部38として、歪抵抗方式を用いた場合の歪抵抗の配置を示している。図2に示す如く、第1の加速度検出部31として歪抵抗R2、R4を形成し、第1の加速度検出部32として歪抵抗R1、R3を形成し、第2の加速度検出部33として歪抵抗R5、R7を形成し、第2の加速度検出部34として歪抵抗R6、R8を形成している。また、枠部22の上に第3の加速度検出部38として歪抵抗R9、R10を形成している。図3aはX軸方向の加速度を検出する第1のブリッジ回路41の回路図である。図3aに示す如く、R1、R2、R3、R4をブリッジ接続し、対向する一対の接続点VddとGNDとの間に電圧を印加し、他の一対の接続点Vx1とVx2との間の電圧を検出することにより、X軸方向の加速度を検出することができる。そして、図4に示すように、第1のブリッジ回路41は前記第1の加速度検出部31、32からの出力信号を処理してX軸方向の加速度を出力するものである。図3bはY軸方向の加速度を検出する第2のブリッジ回路42の回路図である。図3bに示す如く、R5、R6、R7、R8をブリッジ接続し、対向する一対の接続点VddとGNDとの間に電圧を印加し、他の一対の接続点Vy1とVy2との間の電圧を検出することにより、Y軸方向の加速度を検出することができる。そして、図4に示すように、第2のブリッジ回路42は前記第2の加速度検出部33、34からの出力信号を処理してY軸方向の加速度を出力するものである。図3cはZ軸方向の加速度を検出する第3のブリッジ回路43の回路図である。図3cに示す如く、R5、R10、R8、R9をブリッジ接続し、対向する一対の接続点VddとGNDとの間に電圧を印加し、他の一対の接続点Vz1とVz2との間の電圧を検出することにより、Z軸方向の加速度を検出することができる。そして、図2、図3cに示すように、第3のブリッジ回路43は前記第3の加速度検出部38および第2の加速度検出部33、34の一部からの出力信号を処理してZ軸方向の加速度を出力するものである。44は温度センサで、この温度センサ44は前記加速度検出素子20の周囲の温度を検出している。45は第1のデジタルマルチプレクサで、この第1のデジタルマルチプレクサ45は前記第1のブリッジ回路41と第2のブリッジ回路42とから出力信号のいずれかを時分割で選択して出力している。46は第2のデジタルマルチプレクサで、この第2のデジタルマルチプレクサ46は前記第3のブリッジ回路43と温度センサ44とかの出力信号のいずれかを時分割で選択して出力している。47は第1のΔΣAD変換器で、この第1のΔΣAD変換器47は前記第1のデジタルマルチプレクサ45からのアナログからなる出力信号をデジタル信号に変換して出力している。48は第2のΔΣAD変換器で、この第2のΔΣAD変換器48は前記第2のデジタルマルチプレクサ46からのアナログからなる出力信号をデジタル信号に変換して出力している。49は演算回路で、この演算回路49は第1のΔΣAD変換器47または第2のΔΣ変換器48からのX軸方向、Y軸方向またはZ軸方向の加速度信号出力を、温度センサ44からの温度情報を基に、補正して出力するものである。すなわち、本発明の一実施の形態における加速度センサにおいては、第1のブリッジ回路41と第2のブリッジ回路42とからの出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第1のデジタルマルチプレクサ45と、第3のブリッジ回路43と温度センサ44とからの出力信号のいずれかを時分割で選択して出力する第2のデジタルマルチプレクサ46とを設け、さらに、第2のΔΣAD変換器48からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正するようにしたため、X軸、Y軸およびZ軸の3軸のデジタル信号を出力する場合に、第1のデジタルマルチプレクサ45および第2のデジタルマルチプレクサ46を使用することによる入力端子数が各々2信号づつと正規であり、第2のΔΣAD変換器48からの温度情報を基に、直交する3軸の加速度出力信号を補正することができるという作用効果を有するものである。以上のように構成された本発明の一実施の形態における加速度センサについて、次にその動作を説明する。まず最初に、X軸方向の加速度を検出する場合について説明する。加速度検出素子20にX軸方向の正方向に加速度が加わると、錘部28は下方に移動し、一方、錘部27は上方に移動する。そうすると、梁部24の上面には引張応力が加わり第1の加速度検出部32の抵抗値は増加する。また、梁部23の上面には圧縮応力が加わり、第1の加速度検出部31の抵抗値は減少する。したがって、図3aに示すように、第1のブリッジ回路41からはX軸方向に加わる加速度に応じた出力信号を出力するものである。次に、Y軸方向の加速度を検出する場合について説明する。加速度検出素子20にY軸方向の正方向に加速度が加わると、錘部29は下方に移動し、一方、錘部30は上方に移動する。そうすると、梁部25の上面には引張応力が加わり第2の加速度検出部33の抵抗値は増加する。また、梁部26の上面には圧縮応力が加わり、第2の加速度検出部34の抵抗値は減少する。したがって、図3bに示すように、第2のブリッジ回路42からはY軸方向に加わる加速度に応じた出力信号を出力するものである。最後に、Z軸方向の加速度を検出する場合について説明する。加速度検出素子20にZ軸方向の正方向に加速度が加わると、錘部29および錘部30は下方に移動し、一方、枠部22は移動しない。そうすると、梁部25および梁部26の上面には引張応力が加わり第2の加速度検出部33および第2の加速度検出部34の抵抗値は増加する。また、枠部22は移動しないため、第3の加速度検出部38の抵抗値は変化しない。したがって、図3cに示すように、第3のブリッジ回路43からはZ軸方向に加わる加速度に応じた出力信号を出力するものである。実際には前述のX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向の3軸の加速度が加速度センサに加わっている。第1のブリッジ回路41から出力される出力信号と第2のブリッジ回路42から出力される出力信号は第1のデジタルマルチプレクサ45により時分割により選択されて出力される。さらに、第3のブリッジ回路43から出力される出力信号と温度センサ44から出力される出力信号とは第2のデジタルマルチプレクサ46により時分割により選択されて出力される。そして、第1のデジタルマルチプレクサ45から出力されるX軸方向の加速度およびY軸方向の加速度の出力信号は第1のΔΣAD変換器47によりデジタル信号に変換され、同様に、第2のデジタルマルチプレクサ46からの出力されるZ軸方向の加速度および温度情報の出力信号は、第2のΔΣAD変換器48によりデジタル信号に変換される。演算回路49は、前記第1のΔΣAD変換器47からの出力されるデジタル信号からなるX軸方向およびY軸方向の加速度出力信号と、第2のΔΣAD変換器48から出力されるZ軸方向の加速度出力信号を、第2のΔΣAD変換器48から出力される温度情報を基に補正して出力するものである。