ターゲット物質を供給するターゲット供給装置であって、少なくともターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記ターゲット貯蔵部に貯蔵されたターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたターゲット出力部と、前記ターゲット出力部に対向して配置され、前記ターゲット出力部から出力されるターゲット物質が通過する貫通孔が形成された電極であって、少なくとも前記ターゲット出力部に対向する面の一部に電気絶縁材料がコートされた前記電極と、少なくとも前記ターゲット物質と前記電極との間に電圧を印加する電圧生成器と、を備えるターゲット供給装置。ターゲット物質を供給するターゲット供給装置であって、少なくともターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記ターゲット貯蔵部に貯蔵されたターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたターゲット出力部と、前記ターゲット出力部に対向して配置され、前記ターゲット出力部から出力されるターゲット物質が通過する貫通孔が形成された電極であって、セレンSe、白金Pt、イリジウムIr、ニッケルNi、金Au、炭素C、及び、コバルトCoの内の少なくとも1つを含む前記電極と、少なくとも前記ターゲット物質と前記電極との間に電圧を印加する電圧生成器と、を備えるターゲット供給装置。前記ターゲット出力部が電気伝導性を有し、前記電極が、前記貫通孔の周囲の部分が周辺部よりもターゲット物質の進行方向上流側に位置するように凸状の形状を有する、請求項1記載のターゲット供給装置。前記ターゲット出力部が電気伝導性を有し、前記電極が、前記貫通孔の周囲の部分が周辺部よりもターゲット物質の進行方向上流側に位置するように凸状の形状を有する、請求項2記載のターゲット供給装置。前記ターゲット出力部に固定されて前記電極を保持する電気絶縁部材であって、前記ターゲット出力部と前記電極との間の空間に面する領域に複数の溝が形成されている前記電気絶縁部材をさらに備える、請求項1記載のターゲット供給装置。前記ターゲット出力部に固定されて前記電極を保持する電気絶縁部材であって、前記ターゲット出力部と前記電極との間の空間に面する領域に複数の溝が形成されている前記電気絶縁部材をさらに備える、請求項2記載のターゲット供給装置。ターゲット物質が通過する貫通孔が形成され、電気的に接地され、前記ターゲット出力部から出力されて前記電極の貫通孔を通過したターゲット物質を加速するための加速電極をさらに備え、前記電極の少なくとも前記加速電極に対向する面の一部、及び、前記加速電極の少なくとも前記電極に対向する面の一部に、電気絶縁材料がコートされている、請求項1記載のターゲット供給装置。ターゲット物質が通過する貫通孔が形成され、電気的に接地され、前記ターゲット出力部から出力されて前記電極の貫通孔を通過したターゲット物質を加速するための加速電極をさらに備え、前記加速電極が、セレンSe、白金Pt、イリジウムIr、ニッケルNi、金Au、炭素C、及び、コバルトCoの内の少なくとも1つを含む、請求項2記載のターゲット供給装置。前記ターゲット出力部から出力されて前記電極の貫通孔を通過したターゲット物質を偏向するための少なくとも1対の偏向電極と、前記少なくとも少なくとも1対の偏向電極間に電圧を印加する偏向電圧生成器と、をさらに備え、前記少なくとも1対の偏向電極の少なくとも互いに対向する面の一部に、電気絶縁材料がコートされている、請求項1記載のターゲット供給装置。前記ターゲット出力部から出力されて前記電極の貫通孔を通過したターゲット物質を偏向するための少なくとも1対の偏向電極と、前記少なくとも少なくとも1対の偏向電極間に電圧を印加する偏向電圧生成器と、をさらに備え、前記少なくとも1対の偏向電極の各々が、セレンSe、白金Pt、イリジウムIr、ニッケルNi、金Au、炭素C、及び、コバルトCoの内の少なくとも1つを含む、請求項2記載のターゲット供給装置。レーザ装置から出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、少なくともターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記ターゲット貯蔵部に貯蔵されたターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたターゲット出力部と、前記ターゲット出力部に対向して配置され、前記ターゲット出力部から出力されるターゲット物質が通過する貫通孔が形成された電極であって、少なくとも前記ターゲット出力部に対向する面の一部に電気絶縁材料がコートされた前記電極と、少なくとも前記ターゲット物質と前記電極との間に電圧を印加する電圧生成器と、前記電極の貫通孔を通過したターゲット物質に照射されるレーザ光を導入する貫通孔が形成されたチャンバと、を備える極端紫外光生成装置。レーザ装置から出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、少なくともターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、前記ターゲット貯蔵部に貯蔵されたターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたターゲット出力部と、前記ターゲット出力部に対向して配置され、前記ターゲット出力部から出力されるターゲット物質が通過する貫通孔が形成された電極であって、セレンSe、白金Pt、イリジウムIr、ニッケルNi、金Au、炭素C、及び、コバルトCoの内の少なくとも1つを含む前記電極と、少なくとも前記ターゲット物質と前記電極との間に電圧を印加する電圧生成器と、前記電極の貫通孔を通過したターゲット物質に照射されるレーザ光を導入する貫通孔が形成されたチャンバと、を備える極端紫外光生成装置。前記電圧生成器が、第1の電位と該第1の電位よりも高い第2の電位との間で変化する電圧信号を生成して、前記電極に該第1の電位を与え、前記ターゲット物質に該電圧信号を印加する、請求項11記載の極端紫外光生成装置。前記電圧生成器が、第1の電位と該第1の電位よりも高い第2の電位との間で変化する電圧信号を生成し、前記電極に該第1の電位を与え、前記ターゲット物質に該電圧信号を印加する、請求項12記載の極端紫外光生成装置。前記電圧生成器が、第1の電位と該第1の電位よりも高い第2の電位との間で変化する電圧信号を生成して、前記電極に電圧信号を印加し、前記ターゲット物質に第2の電位以上の電位を与える、請求項11記載の極端紫外光生成装置。前記電圧生成器が、第1の電位と該第1の電位よりも高い第2の電位との間で変化する電圧信号を生成して、前記電極に電圧信号を印加し、前記ターゲット物質に第2の電位以上の電位を与える、請求項12記載の極端紫外光生成装置。前記電圧生成器が、前記ターゲット物質に基準電位を与え、前記電極に負の電位を与える、請求項11記載の極端紫外光生成装置。前記電圧生成器が、前記ターゲット物質に基準電位を与え、前記電極に負の電位を与える、請求項12記載の極端紫外光生成装置。