"強誘電体基板上に2つの分岐導波路を有するマッハツェンダー型光導波路が形成され、該分岐導波路を伝搬する光波を変調する変調電極を各分岐導波路に対応して設け、該マッハツェンダー型光導波路から出力される光波が、所定の周波数差を有する複数の光周波数成分を同時に生成している光波となる光周波数コム信号発生器において、各変調電極は、電極長の異なる共振電極を備え、1種類の変調信号を各変調電極に印加する給電線路は、1つの給電線路を2つに分岐し、分岐点から各共振電極への接続点までの距離が等しく、さらに、該接続点は、各共振電極に形成される定在波の位相が同相であり、かつ該給電線路と該共振電極とは該接続点においてインピーダンス整合していることを特徴とする光周波数コム信号発生器。請求項1に記載の光周波数コム信号発生器において、該共振電極の電極端は、開放-開放、短絡-短絡、短絡-開放のいずれかの組み合わせを用いることを特徴とする光周波数コム信号発生器。請求項1又は2に記載の光周波数コム信号発生器において、該分岐導波路に沿って配置された各共振電極の長さは、光周波数コム信号が発生する条件を満たすように各々長さが設定されていることを特徴とする光周波数コム信号発生器。請求項1乃至3のいずれかに記載の光周波数コム信号発生器において、各共振電極の長さL1,L2を、L1=n1c/2fnm、L2=n2c/2fnmとしただし、n1、n2は自然数、fは共振周波数、各分岐導波路にかかる変調度をA1、A2としたとき、共振電極長L1、L2は、A1/A2=A1/A1π/2=n1/n21/2の条件を満たすように各々長さが設定されていることを特徴とする光周波数コム信号発生器。本発明が解決しようとする課題は、上述したような問題を解決し、スタブ等のインピーダンス整合回路を使用することなく、小型化が可能で、大きな変調度を得ることができる光周波数コム信号発生器を提供することである。上記課題を解決するため、請求項1に係る発明は、強誘電体基板上に2つの分岐導波路を有するマッハツェンダー型光導波路が形成され、該分岐導波路を伝搬する光波を変調する変調電極を各分岐導波路に対応して設け、該マッハツェンダー型光導波路から出力される光波が、所定の周波数差を有する複数の光周波数成分を同時に生成している光波となる光周波数コム信号発生器において、各変調電極は、電極長の異なる共振電極を備え、1種類の変調信号を各変調電極に印加する給電線路は、1つの給電線路を2つに分岐し、分岐点から各共振電極への接続点までの距離が等しく、さらに、該接続点は、各共振電極に形成される定在波の位相が同相であり、かつ該給電線路と該共振電極とは該接続点においてインピーダンス整合していることを特徴とする。請求項2に係る発明は、請求項1に記載の光周波数コム信号発生器において、該共振電極の電極端は、開放-開放、短絡-短絡、短絡-開放のいずれかの組み合わせを用いることを特徴とする。請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載の光周波数コム信号発生器において、該分岐導波路に沿って配置された各共振電極の長さは、光周波数コム信号が発生する条件を満たすように各々長さが設定されていることを特徴とする。請求項4に係る発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の光周波数コム信号発生器において、各共振電極の長さL1,L2を、L1=n1c/2fnm、L2=n2c/2fnmとしただし、n1、n2は自然数、fは共振周波数、各分岐導波路にかかる変調度をA1、A2としたとき、共振電極長L1、L2は、A1/A2=A1/A1π/2=n1/n21/2の条件を満たすように各々長さが設定されていることを特徴とする。請求項1に係る発明により、強誘電体基板上に2つの分岐導波路を有するマッハツェンダー型光導波路が形成され、該分岐導波路を伝搬する光波を変調する変調電極を各分岐導波路に対応して設け、該マッハツェンダー型光導波路から出力される光波が、所定の周波数差を有する複数の光周波数成分を同時に生成している光波となる光周波数コム信号発生器において、各変調電極は、電極長の異なる共振電極を備え、1種類の変調信号を各変調電極に印加する給電線路は、1つの給電線路を2つに分岐し、分岐点から各共振電極への接続点までの距離が等しく、さらに、該接続点は、各共振電極に形成される定在波の位相が同相であり、かつ該給電線路と該共振電極とは該接続点においてインピーダンス整合しているため、小型化が可能で、大きな変調度を得ることができる光周波数コム信号発生器を提供することができる。つまり、従来の2電極型の光変調器を用いた場合では、2種類の変調信号が必要であり、変調信号を光周波数コムが平坦化するような条件になるように、振幅と位相を調整する必要があった。本発明の光周波数コム信号発生器では、変調信号は1種類で良く、給電線路を2つに分岐し、分岐点から各変調電極までの距離長さが等しいため、光周波数コムが平坦化するような条件になるように、別途、振幅や位相を調整する必要がない。また、変調電極に共振電極を用いることで、変調効率が向上し、大きな変調度が得られると共に、低駆動電圧化も可能となる。特に、スタブや整合回路を用いず、給電位置の調整によるインピーダンス整合を行うため、簡易に作製が可能であり、またデバイスサイズの小型化が可能となる。請求項2に係る発明により、共振電極の電極端は、開放-開放、短絡-短絡、短絡-開放のいずれかの組み合わせを用いることができるため、変調電極の配置に応じて適切な共振電極の構造を採用することができ、設計の自由度が大きくなる。請求項3に係る発明により、分岐導波路に沿って配置された各共振電極の長さは、光周波数コム信号が発生する条件を満たすように各々長さが設定されているため、光周波数コム信号を簡単な構成で容易に得ることができる。請求項4に係る発明により、各共振電極の長さL1,L2を、L1=n1c/2fnm、L2=n2c/2fnmとしただし、n1、n2は自然数、fは共振周波数、各分岐導波路にかかる変調度をA1、A2としたとき、共振電極長L1、L2は、A1/A2=A1/A1π/2=n1/n21/2の条件を満たすように各々長さが設定されているため、当該条件を満足するように共振電極長を調整するだけで、容易に光周波数コム信号を得ることができる。以下、本発明の光周波数コム信号発生器について、詳細に説明する。本発明の光制御素子は、図1に示すように、強誘電体基板1上に2つの分岐導波路21,22を有するマッハツェンダー型光導波路2が形成され、該分岐導波路を伝搬する光波を変調する変調電極31,32を各分岐導波路に対応して設け、該マッハツェンダー型光導波路から出力される光波が、所定の周波数差を有する複数の光周波数成分を同時に生成している光波となる光周波数コム信号発生器において、各変調電極は、電極長の異なる共振電極31,32を備え、1種類の変調信号を各変調電極に印加する給電線路は、1つの給電線路40を2つに分岐し、分岐点41から各共振電極への接続点44,45までの距離が等しく、さらに、該接続点は、各共振電極に形成される定在波点線で示した波形。W1,W2の位相が同相であり、かつ該給電線路と該共振電極とは該接続点44,45においてインピーダンス整合していることを特徴とする。強誘電体基板1としては、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、PLZTジルコン酸チタン酸鉛ランタン、及び石英系の材料及びこれらの組み合わせが利用可能である。特に、電気光学効果の高いニオブ酸リチウムLNやタンタル酸リチウムLT結晶が好適に利用される。本発明の光制御素子では、図1のように、光導波路上に共振型電極を配置する構成が、最も効果的な変調が期待できるため、Zカット型の基板が好ましい。光導波路2は、基板にリッジを形成する方法や基板の一部の屈折率を調整する方法、又は両者を組み合わせた方法で形成することが可能である。リッジ型導波路では、光導波路となる基板部分を残すように、その他の部分を機械的に切削したり、化学的にエッチングを施すことで除去する。また、光導波路の両側に溝を形成することも可能である。屈折率を調整する方法では、Tiなどを熱拡散法したり、プロトン交換法などを利用することで、光導波路に対応する基板表面の一部の屈折率を、基板自体の屈折率より高くなるよう構成する。変調電極は、共振電極31,32などの信号電極や給電線路共振電極に変調信号を供給する配線。40,42,43と、接地電極不図示などで構成されている。変調電極は、TiAuの電極パターンの形成及び金メッキ方法などにより形成することが可能である。また、各電極は、必要に応じて、基板との間にSiO2膜などのバッファ層を介して配置されている。バッファ層には、光導波路を伝搬する光波が、変調電極により吸収又は散乱されることを防止する効果を有している。また、バッファ層の構成としては、必要に応じ、薄板の焦電効果を緩和するため、Si膜などを組み込むことも可能である。次に、図1に示す光変調器が光周波数コム信号発生器として機能するための条件について説明する。以下では、変調電極は共振型とし、両端は開放とした。給電線路に供給された変調信号は二つに分岐され、それぞれ共振電極に接続される。分岐点から共振線路への接続点までの距離は等しくなるように調整する。共振電極への接続点はインピーダンスが整合し、それぞれの電極に立つ定在波が同相となる位置とする。MZ変調器に入力される高周波信号は正弦波とし、両アームにかかる位相変調を以下の式1ようにあらわす。ただし、iは、各共振電極を区別するために付したものであり、i=1は一方の共振電極1符号31、i=2は他方の共振電極2符号32を意味する。θi=AisinωmtBi1ここでは高周波信号による位相変調の振幅、ωmは変調周波数、BiはDCバイアスによる位相変調分を含めて光波が分岐導波路以下、アームとも言う。を進行したときの直流的な位相進みである。アーム1符号21とアーム2符号22に入力される高周波信号は、分岐点41から接続点44,45までの距離給電線路42及び43の長さを等しくし、タイミングが完全に一致しているとした。MZ型光変調の出力波形は、次式2で表すことができる。E=1/2Eineiω0nωmteiB1[JnAJnAΔAeiΔθ]2式2において、Jnはn次の第1種ベッセル関数であり、A、ΔA、Δθはそれぞれ、以下のような意味を示す。共振電極1における位相変調の変調効率振幅値A1=A共振電極2における位相変調の変調効率振幅値A2=AΔA2つのアーム間の直流的な光位相差Δθ=B1-B2また、ω0は光変調器に入射する光の周波数である。また、nは周波数コム成分の変調次数に対応しており、級数を構成している要素は、それぞれ周波数コム成分の電界に対応している。それぞれの周波数コム成分が現われる周波数は式2からわかるようにω0nωmである。式2から、それぞれの周波数コム成分のパワーを求めると、以下の式3となる。Pn=1/4Pin[Jn2AJn2AΔA2JnAJnAΔAcosΔθ]3Pinは変調器に入射する光のパワーである。今、Aが十分大きいとき、±ΔAΔθ=π4の条件のときに、nによらずPnは、Pn=Pin[1-cos2Δθ]/[2p2A1ΔA]5と一定の値となる。特に、ΔA=1/2π,Δθ=1/2π又は3/2π6のとき出射光パワーが最大となる。つまり式6の条件を満たすようにアーム1とアーム2の変調効率を調整することができれば、変調信号は1種類でよいことがわかる。図1のように、それぞれの共振電極の長さをL1、L2とする。周波数fで共振するためには、それぞれの共振電極長は式7-1,7-2を満たせば良い。L1=n1c/2fnm7-1L2=n2c/2fnm7-2ここでfは変調周波数、nmはマイクロ波の実効屈折率、cは真空中の光速、n1,n2はそれぞれ独立な自然数である。今、アーム1の変調効率がA1である場合、アーム2の変調効率A2は、式8となる。A2=A1n2/n11/28式6を満たすような電極長は、式9を満たすように調整すればよい。A1/A2=A1/A1π/2=n1/n21/29例えば、光周波数コムが発生するように、それぞれのアームの変調効率をA1=4.5π、A2=5.0πとした場合、アーム1と2の共振電極はそれぞれ、L1=9/2Λm、L2=11/2Λmとすればよい。なお、Λmはマイクロ波の波長を意味する。以上のように、本発明の光周波数コム信号発生器では、変調電極を共振型とすることで変調効率を向上させるとともに、電極長L1,L2の調整だけで、平坦な光周波数コム発生条件を満たすように構成されている。光周波数コムが発生する条件は複数あり、また共振電極の端は、図2aのように開放-開放の組み合わせ共振電極3の両端が接地電極5と短絡していない。だけでなく、図2bのように開放-短絡の組み合わせ、図2cのように短絡-短絡の組み合わせでも可能である。共振電極で光周波数コムを発生させるためには、式9を満たす必要がある。以下の、表1に開放-開放、表2に開放-短絡、表3には短絡-短絡の場合において、光周波数コムが発生する共振電極長を示した。発生しない場合は×、発生する場合は○とした。表1~3より、共振電極の端部が開放又は短絡に変更された場合でも、限られた条件ではあるが、2つの共振電極により光周波数コム信号が発生可能であることが理解される。本発明の光周波数コム信号発生器は、図1に示すものに限らず、図3のように、PLCプレーナ光回路を用いて構成することも可能である。例えば、光導波路2の一部を石英や半導体などの光導波路が形成できる基板10に形成して、強誘電体基板1と接合することで、光周波数コム信号発生器を構成する。さらに、本発明の光周波数コム信号発生器では、給電線路と共振電極とのインピーダンス整合は、両者の接続点を調整することで、容易に両者のインピーダンスを整合させることが可能である。しかしながら、インピーダンス整合をより改善するため、必要に応じ、共振電極に接続される給電線路に、スタブや整合回路を付加することも可能である。"