フッ化水素アンモニウムと珪素化合物とを含有する固形状の混合物から、前記フッ化水素アンモニウムを分離する分離方法であって、前記混合物を溶媒に溶解してなる第1の溶液を得る準備工程と、前記第1の溶液を冷却し、晶析を行うことにより、前記珪素化合物を前記混合物よりも多く含む固形状の第1の固体を析出させ、前記第1の溶液から前記第1の固体と第2の溶液とに分離する第1の晶析工程と、前記第2の溶液を前記第1の晶析工程よりも低い温度に冷却し、晶析を行うことにより、前記混合物よりも前記フッ化水素アンモニウムの含有率が高い第2の固体を析出させ、前記第2の溶液から前記第2の固体を分離する第2の晶析工程と、を有することを特徴とする分離方法。前記第1の晶析工程では、前記第1の溶液を、30~60°Cに冷却する請求項1に記載の分離方法。前記第2の晶析工程では、前記第2の溶液を、5~20°Cに冷却する請求項1または2に記載の分離方法。前記準備工程では、前記溶媒と前記混合物とを加熱しながら溶解させる請求項1ないし3のいずれかに記載の分離方法。乾燥した前記第2の固体における前記フッ化水素アンモニウムの含有率は、95wt以上である請求項1ないし4のいずれかに記載の分離方法。請求項1ないし5のいずれかに記載の分離方法を備えることを特徴とする分離装置。本発明の目的は、少なくともフッ化水素アンモニウムと珪素化合物とを含有する固形状の混合物から、簡単に、高純度のフッ化水素アンモニウムを分離することができる分離方法およびかかる分離方法を行うための分離装置を提供することにある。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。[適用例1]本発明の分離方法は、フッ化水素アンモニウムと珪素化合物とを含有する固形状の混合物から、前記フッ化水素アンモニウムを分離する分離方法であって、前記混合物を溶媒に溶解してなる第1の溶液を得る準備工程と、前記第1の溶液を冷却し、晶析を行うことにより、前記珪素化合物を前記混合物よりも多く含む固形状の第1の固体を析出させ、前記第1の溶液から前記第1の固体と第2の溶液とに分離する第1の晶析工程と、前記第2の溶液を前記第1の晶析工程よりも低い温度に冷却し、晶析を行うことにより、前記混合物よりも前記フッ化水素アンモニウムの含有率が高い第2の固体を析出させ、前記第2の溶液から前記第2の固体を分離する第2の晶析工程と、を有することを特徴とする。これにより、簡単に、高純度のフッ化水素アンモニウムを分離回収することができる。[適用例2]本発明の分離方法では、前記第1の晶析工程では、前記第1の溶液を、30~60°Cに冷却することが好ましい。これにより、第2の固体として、より高純度のフッ化水素アンモニウムを分離回収することができる。[適用例3]本発明の分離方法では、前記第2の晶析工程では、前記第2の溶液を、5~20°Cに冷却することが好ましい。これにより、第2の固体として、より高純度のフッ化水素アンモニウムを分離回収することができる。[適用例4]本発明の分離方法では、前記準備工程では、前記溶媒と前記混合物とを加熱しながら溶解させることが好ましい。これにより、第1の晶析工程および第2の晶析工程にて、効率的に、晶析を行うことができる。[適用例5]本発明の分離方法では、乾燥した前記第2の固体における前記フッ化水素アンモニウムの含有率は、95wt以上であることが好ましい。これにより、第2の固体として分離されたフッ化水素アンモニウムの濃度純度を再利用するのに充分なものとすることができる。[適用例6]本発明の分離装置は、本発明の分離方法を備えることを特徴とする。これにより、簡単に、高純度のフッ化水素アンモニウムを分離回収することができる装置を提供できる。以下、本発明の分離方法および分離装置を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の好適な実施形態に係る分離方法を行うための分離装置の概略図、図2は、本発明の好適な実施形態に係る分離方法を説明するための概略図、図3および図4は、実施例を説明するための表である。1.晶析装置本発明の分離装置図1に示すように、晶析装置1は、溶液200を収納する容器11と、容器11内の溶液200を加熱冷却する温調装置12とを有している。なお、温調装置12の構成としては、溶液200の温度を所定温度に調節することができれば特に限定されない。また、この晶析装置1には、好ましくは溶液200を攪拌する攪拌手段13を備えてもよく、この攪拌手段13は、溶液200内に位置するスターラーバー131と、スターラーバー131を回転させるスターラー132とを有している。なお、スターラーを備えなくとも、容器の壁面に振動を加える等の物理的手段で容器11内の内容物が流動するようにして攪拌してもよい。晶析装置1は、容器11内に溶液200を供給し、溶液200を温調装置12によって冷却することにより、溶液200の温度を所定温度まで下げ、溶液200から固体を析出させるための装置である。このような装置により、溶液200に対して、後述する第1の晶析工程と、第2の晶析工程とを行う。なお、溶液200は、フッ化水素アンモニウム[NH4HF2]を主成分とする固体101と、珪素化合物としての珪フッ化アンモニウム[NH42SiF6]を主成分とする固体102との混合物100を溶媒300に溶解してなる第1の溶液201、または第1の晶析工程で得られた第2の溶液202である。2.フッ化水素アンモニウムの分離方法次に、図2に基づいて、混合物100から高純度のフッ化水素アンモニウムを分離回収する方法本発明の分離方法について説明する。混合物100からフッ化水素アンモニウムを分離する方法は、準備工程と、第1の晶析工程と、第2の晶析工程とを有している。以下、これら各工程について順次説明する。準備工程本工程は、混合物100を溶媒300に溶解してなる第1の溶液201を得る工程である。まず、フッ化水素アンモニウムを主成分とする固体101と、珪フッ化アンモニウムを主成分とする固体102との混合物100を用意する。混合物100中の固体101の含有率フッ化水素アンモニウムの濃度としては、特に限定されず、例えば、80~90wt程度である。次いで、この混合物100を溶媒300に溶解し、第1の溶液201を得る。溶媒300としては、混合物100を溶解することができれば、特に限定されず、例えば、蒸留水等の水を用いることができる。また、本工程では、溶媒300への混合物100の溶解を、溶媒300と混合物100とを加熱しつつ行うのが好ましい。これにより、溶媒300に対する混合物100の溶解度を高めることができるため、効率的に混合物100の溶解を行うことができる。また、後述するように溶液200を冷却する際に、効率的に、析出物を析出させることができる。本工程における溶媒300の加熱温度としては、特に限定されず、例えば、溶媒300として蒸留水を用いる場合には、50~70°C程度であるのが好ましい。第1の晶析工程本工程は、第1の溶液201を冷却し、晶析を行うことにより、珪フッ化アンモニウムが混合物100よりも多く含まれている固体第1の固体400を析出させ、第1の溶液201から固体400と第2の溶液202とに分離する工程である。例えば、第1の溶液201を容器11に入れ、第1の溶液201を攪拌しながら、温調装置12によって、第1の溶液201を所定温度に冷却する。これにより、第1の溶液201から珪フッ化アンモニウムが混合物100よりも多く含まれている固体第1の固体400が析出する。次に、沈殿法を用いて、第1の溶液201から固体400を分離する。なお、以下では、第1の溶液201から固体400を除去した溶液を第2の溶液202とする。第1の溶液201の冷却温度としては、特に限定されないが、30~60°C程度であるのが好ましく、35~40°C程度であるのがより好ましい。これにより、最終的に、より高純度のフッ化水素アンモニウムを分離回収することができる。なお、特に限定されないが、乾燥した固体400におけるフッ化水素アンモニウムの含有率は、70~80wtである。第2の晶析工程本工程は、第2の溶液202を第1の晶析工程よりも低い温度に冷却し、晶析を行うことにより、混合物100よりもフッ化水素アンモニウムの含有率が高い固体第2の固体500を析出させ、第2の溶液202から固体500を分離する工程である。第2の溶液202を容器11に入れ、温調装置12によって、溶液200’を所定温度に冷却する。この時、溶液を攪拌しながら行ってもよい。これにより、第2の溶液202からフッ化水素アンモニウムを多く含む固体500が析出する。次に、沈殿法を用いて、第2の溶液202から固体500を分離回収する。乾燥した固体500には、混合物100よりも高い含有率のフッ化水素アンモニウムが含まれている。すなわち、高純度のフッ化水素アンモニウムを固体500として分離回収することができる。固体500中のフッ化水素アンモニウムの含有率としては、特に限定されないが、95wt以上であるのが好ましく、96以上であるのがより好ましい。また、第2の溶液202の冷却温度としては、特に限定されないが、5~20°C程度であるのが好ましく、5~10°C程度であるのがより好ましい。これにより、より高純度のフッ化水素アンモニウムを固体500として分離回収することができる。以上、混合物100からのフッ化水素アンモニウムの分離方法を説明した。このような方法によれば、簡単かつ効率的に、高純度のフッ化水素アンモニウムを分離回収することができる。回収したフッ化水素アンモニウムは、例えば、エッチング液の原料として用いることができる。これにより、エッチング処理の低コスト化を図ることができる。3.混合物100混合物100は、例えば、次のようにして得られるものである。例えば、ガラス材料、水晶等をエッチング処理する際に用いられるエッチング液として、フッ酸[HF]、フッ化水素アンモニウム[NH4HF2]および水[H2O]を含むものが知られている。また、使用済みのエッチング液エッチング廃液には、さらに珪素が含まれており、この珪素は、エッチング廃液中にて珪素化合物、具体的には、珪フッ化アンモニウム[NH42SiF6]として存在している。このようなエッチング廃液中には、エッチング処理において未反応のフッ化水素アンモニウムが相当量残存している。そのため、フッ化水素アンモニウムを分離回収することにより、回収したフッ化水素アンモニウムを再びエッチング液または、エッチング液の材料として用いることができる。本発明の分離方法は、エッチング廃液からフッ化水素アンモニウムを回収する用途に好適に用いることができる。エッチング廃液から新たなエッチング液を生成することにより、エッチング廃液の再利用を図ることができ、エッチング処理の低コスト化を図ることができる。また、廃棄処分されるエッチング廃液の量が減るため、優れた環境性を発揮することもできる。エッチング廃液におけるフッ酸の濃度は、特に限定されないが、例えば、10~20wt程度である。また、エッチング廃液におけるフッ化水素アンモニウムの濃度は、特に限定されないが、例えば、25~35wt程度である。また、エッチング廃液における珪素珪フッ化アンモニウムの濃度は、特に限定されないが、例えば、0.1~1.0wt程度である。ここで、エッチング廃液におけるフッ酸、フッ化水素アンモニウム、珪素の濃度は、次のようにして求めることができる。珪素の濃度測定IPC発光分析装置例えば、株島津製作所製、製品名ICPS-7510を用いてエッチング廃液中に含まれる金属元素の定性および定量分析を行う。これにより、エッチング廃液中の金属原子は、珪素のみであるから、これにより、エッチング廃液における珪素珪フッ化アンモニウムの濃度Amol/lを求めることができる。フッ化水素アンモニウムの濃度測定紫外可視分光光度計例えば、株島津製作所製、製品名IUV-1240を用いて、インドフェノールブルー吸光光度法を実施し、これにより、エッチング廃液におけるフッ化水素アンモニウムおよび珪フッ化アンモニウムが有するNH4の合計濃度Bmol/lを求めることができる。前述したように、エッチング廃液中の珪素は、珪フッ化アンモニウムとして存在しているのであるから、合計濃度Bから濃度Aを引くことにより、エッチング廃液におけるフッ化水素アンモニウムの濃度Cmol/lを求めることができる。すなわち、C=B-2Aである。フッ酸の濃度測定電位差自動滴定装置例えば、京都電子工業株製、製品名AT-510を用いて、エッチング廃液の酸濃度を測定する。具体的には、0.1mol/dm3水酸化ナトリウム水溶液による中和滴的を行うことにより、エッチング廃液の酸濃度を測定する。これにより、エッチング廃液におけるフッ酸の濃度を求めることができる。前述で、エッチング廃液中のケイフッ化アンモニウム濃度Aおよびフッ化水素アンモニウム濃度Bが分かっている為、合計酸濃度Dからケイフッ化アンモニウムが有する酸濃度4A、フッ化水素アンモニウムが有する酸濃度Bを引くことにより、エッチング廃液におけるフッ酸濃度Emol/lを求めることができる。すなわち、E=D-4A-Bである。以上、エッチング廃液におけるフッ酸、フッ化水素アンモニウム、珪素の濃度の測定方法の一例を説明した。このようなエッチング廃液を蒸留すると、フッ酸および水を含む留出液が回収されるとともに、フッ化水素アンモニウムおよび珪フッ化アンモニウムを含む缶出液が回収される。そして、例えば、缶出液を冷却等により晶析し、フッ化水素アンモニウムと、珪フッ化アンモニウムと含有する混合物を析出させる。最後に、前記混合物を缶出液から除去し、除去した混合物を乾燥することにより、フッ化水素アンモニウムと、珪フッ化アンモニウムとを含有した固形状の混合物100が得られる。以上、本発明の分離方法および分離装置を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明の分離方法および分離装置は、これらに限定されるものではなく、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。以下、本発明の具体的実施例について説明する。実施例1エッチング廃液である混酸を用意した。なお、この混酸のフッ酸濃度は、12.6wtであり、フッ化水素アンモニウムの濃度は、27.6wtであり、珪素珪フッ化アンモニウムの濃度は、0.4wtであり、残りがほぼ水であった。これら濃度の測定は、前述した装置および方法を用いて行った以下に述べる濃度についても同様。[蒸留工程]次に、混酸500gを蒸留缶内に投入し、大気圧下にて、混酸を120°Cに加熱することにより蒸留を行った。この工程を留出量が60となるまで行い、193gの缶出液Aを得た。次に、缶出液Aを20°Cに冷却し、缶出液A内に固体を析出させた。缶出液Aから前記固体を分離し、乾燥することにより、97gの固体Bを得た。固体Bの成分を測定した結果、固体Bには、フッ化水素アンモニウムが85.1wt、珪フッ化アンモニウムが11.0wt、含まれていた。[準備工程]次に、50gの蒸留水に80gの固体Bを混合し、50°Cにて完全に溶解させて130gの第1の溶液C以下、単に溶液Cと言うを得た。[第1の晶析工程]次に、溶液Cを35°Cに冷却し、溶液C中に第1の固体D以下、単に固体Dと言うを析出させた。次に、沈殿法によって、溶液Cから固体Dを分離し、固体Dを乾燥した。これにより、13gの固体Dを得た。固体Dの成分を測定した結果、固体Dには、フッ化水素アンモニウムが77.7wt、珪フッ化アンモニウムが21.3wt、含まれていた。[第2の晶析工程]次に、溶液Cから固体Dを分離除去した後の第2の溶液108gを10°Cに冷却し、第2の溶液中に第2の固体E以下、単に固体Eと言うを析出させた。次に、沈殿法によって、第2の溶液から固体Eを分離し、固体Eを乾燥した。これにより、14gの固体Eを得た。固体Eの成分を測定した結果、固体Eには、フッ化水素アンモニウムが96.6wt、珪フッ化アンモニウムが3.4wt、含まれていた。溶液Aからのフッ化水素アンモニウムの収率は、29.1であった。このように、固体Eとして、高純度のフッ化水素アンモニウムを回収することができた。なお、以上の結果を図3に示す。