"ウェハが収納される収納部を備えたウェハカセットと、前記ウェハカセットが収納される収納ケースと、を含み、前記収納ケースは、前記収納部が前記収納ケースの底に対して37°乃至45°の角度で傾斜するように前記ウェハカセットを支持する支持部を備えることを特徴とするウェハ収納具。前記収納部は、前記ウェハを挿入する挿入口と、挿入される前記ウェハが載置される載置部と、挿入される前記ウェハの挿入方向先端部が当接する当接部と、を有し、前記ウェハカセットは、前記挿入口が前記収納ケースの底に対して前記角度で上方に向くように前記収納ケースに収納され、前記支持部で支持されることを特徴とする請求の範囲第1項に記載のウェハ収納具。前記収納ケースは、前記支持部が設けられた箱部と、前記箱部に開閉自在に設けられた蓋部と、を有し、前記支持部で支持された前記ウェハカセットは、前記蓋部が閉じられることで形成される前記箱部と前記蓋部の間の密閉空間に収納されることを特徴とする請求の範囲第1項又は第2項に記載のウェハ収納具。前記支持部は、前記収納ケースに収納される前記ウェハカセットと接触する接触面を有し、前記接触面で前記ウェハカセットを支持することを特徴とする請求の範囲第1項乃至第3項のいずれかに記載のウェハ収納具。前記支持部は、前記収納ケースに収納される前記ウェハカセットと接触する線状の凸部を有し、前記線状の凸部で前記ウェハカセットを支持することを特徴とする請求の範囲第1項乃至第3項のいずれかに記載のウェハ収納具。前記支持部は、前記収納ケースに収納される前記ウェハカセットと接触する点状の凸部を有し、前記点状の凸部で前記ウェハカセットを支持することを特徴とする請求の範囲第1項乃至第3項のいずれかに記載のウェハ収納具。ウェハを収納し底面と当該底面に垂直な側面とを有するウェハカセットを収納する、ウェハカセットの収納ケースにおいて、前記ウェハカセットを傾斜させて支持する第1の支持部と、前記第1の支持部に直交する第2の支持部とを有し、前記第1の支持部は、収納ケースの底面に対して37°乃至45°の角度で傾斜していることを特徴とするウェハカセットの収納ケース。ウェハの収納具では、その搬送時に、ウェハを収納している収納部からウェハが飛び出したり、収納部とウェハとが擦れてウェハから発塵したりする可能性があった。ウェハを傾斜させて収納することは、このようなウェハの飛び出しや発塵を抑えるのに一定の効果を示し得る。しかし、収納時のウェハの傾斜角度等、その収納具の形態によっては、ウェハの飛び出しや発塵を十分に抑えられない場合があった。本発明の一観点によれば、ウェハが収納される収納部を備えたウェハカセットと、前記ウェハカセットが収納される収納ケースと、を含み、前記収納ケースは、前記収納部が前記収納ケースの底に対して37°乃至45°の角度で傾斜するように前記ウェハカセットを支持する支持部を備えるウェハ収納具が提供される。また、本発明の一観点によれば、ウェハを収納し底面と当該底面に垂直な側面とを有するウェハカセットを収納する、ウェハカセットの収納ケースにおいて、前記ウェハカセットを傾斜させて支持する第1の支持部と、前記第1の支持部に直交する第2の支持部とを有し、前記第1の支持部が、収納ケースの底面に対して37°乃至45°の角度で傾斜しているウェハカセットの収納ケースが提供される。本発明に係るウェハ収納具によれば、収納部からのウェハの飛び出し、収納部に収納されたウェハからの発塵を、効果的に抑制することが可能になる。また、本発明に係るウェハカセットの収納ケースによれば、ウェハカセットからのウェハの飛び出し、ウェハカセットに収納されたウェハからの発塵を、効果的に抑制することが可能になる。本発明の上記および他の目的、特徴および利点は本発明の例として好ましい実施の形態を表す添付の図面と関連した以下の説明により明らかになるであろう。図1はウェハ収納具の説明図である。ここで、図1Aは開状態のウェハ収納具の一例を模式的に示す図、図1Bは閉状態のウェハ収納具の一例を模式的に示す図である。図1に例示するウェハ収納具1は、シリコン等のウェハが収納されるウェハカセット100と、そのウェハカセット100が収納される収納ケース200とを有している。ウェハカセット100は、傾けた姿勢で収納ケース200に収納されるようになっている。ここでは、収納ケース200に、2つのウェハカセット100が収納されている状態を例示している。収納ケース200は、箱部210と、その箱部210に開閉図1Aの矢印方向自在に設けられた蓋部220とを有している。収納ケース200には、閉状態とされた箱部210と蓋部220とを連結して閉状態を維持するための連結部230が設けられている。以下、このようなウェハ収納具1のウェハカセット100及び収納ケース200について、より詳細に説明する。尚、ここでは、収納するウェハとして、裏面研削バックグラインドにより薄型化され、エッジがいわゆるナイフエッジとされたウェハを例にして説明する。まず、収納ケース200に収納されるウェハカセット100について説明する。図2はウェハカセットの説明図である。ここで、図2Aはウェハカセットの一例の外観模式図、図2BはAの一点鎖線L1に沿った断面をx方向に見たときの断面模式図、図2CはAの二点鎖線L2に沿った断面をy方向に見たときの断面模式図である。図2に例示するウェハカセット100には、ウェハWを収納する収納部110が設けられている。ウェハカセット100には、このような収納部110が複数設けられており、各収納部110にそれぞれ、ウェハWを収納することができるようになっている。複数の収納部110は、ウェハカセット100の底面131と平行に設けられ、各収納部110にそれぞれウェハWが収納されたときには、それらのウェハWがウェハカセット100内に平行に収納されるようになっている。尚、図2には、便宜上、一の収納部110に収納された1枚のウェハWのみを図示している。収納部110は、図2A~Cに示すように、ウェハWがz方向に向かって挿入される挿入口111と、挿入されたウェハWが載置される載置部112とを有している。載置部112は、ウェハカセット100の筐体部120の内側に突出するように、各収納部110につき一対設けられており、ウェハWは、その縁部を載置部112に支持された状態で載置される。また、収納部110には、図2B,Cに示すように、ウェハWの挿入方向奥側に、筐体部120の内側に向かって湾曲した当接部113が設けられている。挿入口111からz方向に向かって挿入され、載置部112に載置されたウェハWは、その後のウェハカセット100の振動や傾斜により、その挿入方向の先端部が当接部113に当接したときは、それ以上奥側背面132側に移動しないようになっている。即ち、このウェハカセット100は、収納部110へのウェハWの収納、及び収納されたウェハWの収納部110からの取り出しが、いずれも挿入口111から行われるようになっている。尚、挿入口111から挿入して載置部112に載置するウェハWの収納、及び収納されたウェハWの挿入口111からの取り出しは、例えば、半導体製造装置が備える搬送アームによって行われる。ウェハカセット100の収納部110の数は、任意に設定することができる。各収納部110の幅w及び高さhは、収納するウェハWのサイズ径及び厚さに基づいて設定される。例えば、上記のような搬送アームによる収納挿入、載置、或いは収納部110からの取り出しの際に、ウェハWと収納部110との衝突が生じないような幅w及び高さhに設定される。また、ウェハWを薄型化した場合には、そのような薄型化したウェハWを用いた半導体装置の製造過程において、そのウェハWにしばしば反りが発生することがある。ウェハカセット100については、そのようなウェハWの反りの発生を考慮した収納部110の幅w及び高さh、更には載置部112の突出量pを設定してもよい。上記のような構成を有するウェハカセット100は、アルミニウムやアルミニウム合金等の金属で形成することができる。例えば、そのような金属の研削加工、鋳造等により、上記のような構造を有するウェハカセット100を形成することが可能である。尚、ウェハカセット100の収納部110の内面は、例えば、収納するウェハWよりも硬質な材料を用いて形成する。収納部110の内面をウェハWより軟質な材料を用いて形成した場合には、ウェハカセット100の使用に伴い、ウェハWとの接触で収納部110の内面が削れ、収納部110ごとにウェハWの当接位置にずれが生じることが起こり得る。また、削れた材料がウェハWに付着してしまうことも起こり得る。更にまた、収納されたウェハWのエッジが、そのような軟質の収納部110の内面に食い込んでしまうことも起こり得る。その場合、例えば、搬送アームを使ってウェハWを収納部110から取り出す際に、その搬送アームが載置部112のウェハWを一旦持ち上げ、それからそのウェハWを挿入口111から引き出すような動作をする場合には、ウェハWの持ち上げ動作のときに、ウェハWが食い込みに引っ掛かって破損してしまう可能性がある。このような観点から、ウェハカセット100は、例えば、樹脂等の軟質な材料よりは硬質な材料であって、ナイフエッジ化したウェハWが突き刺さらない程度の硬度の材料を用いて形成される。また、ウェハカセット100として加工しやすい材料を選択すればよい。例えばアルミニウム材等が好適である。更に表面をアルマイト処理することで、硬度を高めることもできる。続いて、ウェハカセット100が収納される収納ケース200について説明する。図3は収納ケースの説明図である。ここで、図3Aは開状態の収納ケースの一例の外観模式図、図3Bは閉状態の収納ケースの一例の外観模式図、図3CはBの一点鎖線L3に沿った断面の模式図である。上記のように、収納ケース200は、箱部210、蓋部220及び連結部230を有している。箱部210は、例えば、底部211、側壁部212、及び上方に開いた開口213を有する箱状の容器である。蓋部220は、その箱部210の開口213を開閉する部材であって、ここでは箱状の部材を例示している。例えば、蓋部220の一端を箱部210の側壁部212に軸支し、その蓋部220を一方向図3Aの矢印方向に回動させることで、箱部210の開閉を行う。或いは、蓋部220全体を箱部210の開口213側に脱着できるようにし、蓋部220の脱着によって箱部210の開閉を行うようにしてもよい。収納ケース200では、蓋部220が閉じられることで、例えば、箱部210と蓋部220の間に密閉空間が形成される。また、連結部230は、蓋部220と、蓋部220で閉じられた箱部210とを連結し、図3Bのような閉状態を維持するための機構を備える。更に、収納ケース200には、図3A~Cに示したように、箱部210の底部211に対して所定の角度θa,θbでそれぞれ傾斜した第1,第2の面214a,214bを備える支持部214が設けられている。これら第1,第2の面214a,214bは、境界線214cからそれぞれ角度θa,θbで斜め上方に向かってV字状に傾斜している。支持部214は、このように第1,第2の面214a,214bを開口213側に向けて、箱部210に設けられている。箱部210には、このような支持部214が、少なくとも1つ設けられる。図3A,Bには、このような支持部214が2つ、並設されている場合を例示している。収納ケース200は、例えば、樹脂材料を用い、射出成型等の方法で形成することができる。このような構成を有する収納ケース200に、上記のウェハカセット100が収納される。尚、この例では、並設された2つの支持部214のそれぞれに1つずつウェハカセット100が載置される。図4は収納ケースにウェハカセットを収納した状態の一例を示す図である。ここで、図4Aには収納ケースの蓋部が開いている状態を示し、図4Bには収納ケースの蓋部が閉じている状態を示している。ウェハカセット100を収納ケース200に収納する際、ウェハカセット100は、図4Aに示すように、収納ケース200の、V字状に第1,第2の面214a,214bを設けた支持部214上に載置される。このときウェハカセット100は、ウェハWの出し入れが行われる挿入口111が斜め上方開口213側を向くように、支持部214上に載置される。即ち、ウェハカセット100の底面131と背面132が、支持部214のV字状の第1,第2の面214a,214bと対向するように、ウェハカセット100が支持部214上に載置される。ウェハカセット100は、その底面131と背面132を、第1,第2の面214a,214bで支持されて、支持部214上に載置される。支持部214の第1,第2の面214a,214bは、このようにウェハカセット100が載置されたときに、ウェハカセット100の底面131と背面132が、第1,第2の面214a,214bと接触するように、予め角度θa,θbが設定される。尚、ウェハカセット100の底面131と背面132のなす角度θwと、第1,第2の面214a,214bの角度θa,θbとの間には、次式1の関係が成立する。θw=180°-θaθb1上記のようにウェハカセット100の挿入口111を斜め上方に向けて載置する場合において、ここでは、図4Aに示したように、ウェハカセット100の底面131が支持部214の第1の面214aと接触する場合を例にする。この場合、ウェハカセット100の、底面131に平行に設けられた収納部110は、第1の面214aと同じ角度θaで、挿入口111を斜め上方に向けて、傾斜した状態になる。図4Aに示したようにウェハカセット100を支持部214上に載置した後は、図4Bに示したように、蓋部220によって箱部210に蓋をする。これにより、ウェハカセット100が、収納ケース200の箱部210と蓋部220の間の空間内に収納される。このとき、箱部210と蓋部220の間に密閉空間が形成されるようにしておき、そのような密閉空間にウェハカセット100を収納すれば、ウェハカセット100内のウェハWを、収納ケース200外部の環境から保護することができる。このように収納ケース200にウェハカセット100が収納されたウェハ収納具1を、ウェハWの搬送のために使用したり、ウェハWの保管に使用したりすることができる。ウェハ収納具1では、ウェハWの収納部110をその挿入口111が斜め上方に向くように傾斜させて、ウェハカセット100を支持部214上に載置するため、ウェハ収納具1の搬送時に振動や傾斜が生じたとしても、ウェハWの挿入口111からの飛び出しが抑制される。更に、収納部110の傾斜角度第1の面214aの角度θaを調整することにより、ウェハWからの発塵も効果的に抑制することが可能になる。ここで、ウェハカセット100の収納部110の傾斜角度について説明する。ウェハカセット100の収納部110の傾斜角度と、ウェハWからの発塵数の関係を調査するため、ウェハWを収納した収納部110を所定の角度で傾斜させたウェハカセット100を台車で搬送し、そのときのウェハWからの発塵数を測定した。このような搬送と発塵数の測定を、収納部110の傾斜角度を変えて、行った。尚、収納部110の傾斜角度を除く条件用いる台車、台車による搬送方法搬送速度、搬送経路等、ウェハWのウェハカセット100内での収納位置等は同じにしている。図5は収納部傾斜角度と発塵数との関係の一例を示す図である。図5には、ウェハカセット100の収納部110の傾斜角度が0°,45°,90°のそれぞれの場合での、ウェハWからの発塵数を示している。ここで、傾斜角度0°とは、収納部110を水平方向にした場合挿入口111が横向きになるようにした場合であり、傾斜角度90°とは、収納部110を鉛直方向にした場合挿入口111が鉛直上向きになるようにした場合である。また、傾斜角度45°とは、収納部110を水平方向に対して45°傾けた場合挿入口111が水平方向に対して45°斜め上方に向くようにした場合である。まず、収納部110の傾斜角度を0°とした場合、ウェハWは、その主面が水平方向と平行になるように、収納部110に収納される。この場合、この例での搬送条件では、ウェハWは、収納部110の内面、例えば当接部113等に衝突する機会が少なく、また、衝突してもその力が弱いために、図5に示すように、ウェハWからの発塵数が少なく抑えられる。但し、ウェハWをこのような向きで収納している場合には、挿入口111からのウェハWの飛び出しが起こり易くなるため、ウェハWが収納部110外に飛び出して破損する可能性が高まる。これに対し、収納部110の傾斜角度を90°とした場合、ウェハWは、その主面が鉛直方向と平行になり、その自重により、エッジ下端が当接部113に当接した状態で、収納部110に収納される。そのため、傾斜角度を0°としたときのようにウェハWが収納部110から飛び出してしまうのを、防止することができる。しかし、このように収納部110の傾斜角度を90°とした場合、ウェハWは、ウェハカセット100が振動すると、その振動に伴って上下動し、エッジが収納部110の当接部113に衝突することが起こり易くなる。ウェハカセット100の振動が大きければ、その分、ウェハWのエッジが当接部113に強く衝突するようになる。また、収納部110のサイズがウェハWのサイズよりも大きいため、ウェハカセット100の振動時にウェハWが横方向主面と平行方向或いは主面と垂直方向にも動き易く、ウェハWが当接部113に偏って衝突し、ウェハWに局所的に強い衝撃が加わることも起こり得る。このようにウェハWが当接部113に衝突することで、ウェハWのエッジが摩耗したり破損したりして、発塵が起こる。収納部110の内面をウェハWよりも硬質の材料で形成している場合には、このような発塵が一層起こり易くなる。このようなことから、収納部110の傾斜角度を90°とした場合には、図5に示したように、ウェハWからの発塵数が多くなってしまう。一方、収納部110の傾斜角度を45°とした場合、ウェハWは、その主面が水平方向対して45°或いは45°に近い角度で傾斜した状態で、収納部110に収納される。図6は傾斜角度45°の収納部に収納されたウェハの収納状態の一例を模式的に示す図である。尚、図6は収納部の当接部位置での断面を模式的に例示するものであって、図2CのL4-L4断面の位置に相当する。収納部110の傾斜角度を45°とした場合、ウェハWは、その自重により、エッジ下端が当接部113に当接し、そのエッジを当接部113で支持される。更に、このウェハWは、その自重により載置部112側にも当接するため、裏面の少なくとも一部を載置部112で支持される。ウェハWは、収納部110内でこのように支持されることで、ウェハカセット100が振動しても、収納部110の傾斜角度を90°としたときに比べ、収納部110内で動き難くなる。そのため、収納部110の内面とウェハWとの衝突の機会が減少し、発塵が抑えられるようになる。更に、ウェハWのエッジナイフエッジ先端が、収納部110における筐体部120の内面と載置部112の表面とが連続する湾曲面114に対して垂直に接し易くなることによっても、発塵が抑えられるようになる。また、収納部110の傾斜角度を45°にすることで、収納部110の傾斜角度を0°としたときのように収納部110からウェハWが飛び出してしまうのを、効果的に抑制することができる。図7は収納部傾斜角度と発塵数との関係の別例を示す図である。図7には、代表例として、ウェハカセット100の収納部110の傾斜角度を10°,20°,30°,37°,45°にして、上記図5について述べたのと同様の調査を各傾斜角度について行った結果を示している。図7より、収納部110の傾斜角度を45°にすることで、発塵を再現性良く抑えることができる。収納部110の傾斜角度を37°とした場合も同様に、発塵は再現性良く抑えられている。一方、収納部110の傾斜角度を10°,20°,30°とした場合には、発塵数が大幅に増加し、発塵を抑えることができない。37°~45°の間の傾斜角度についても、傾斜角度を37°,45°としたときと同様に、発塵数を一定レベル以下に再現性良く抑えることができる。発塵数及び再現性の観点から、収納部110の傾斜角度は37°~45°に設定することが可能であり、好ましくは、発塵を再現性良く効果的に抑えることのできる45°に設定する。このように、ウェハカセット100の収納部110を、37°~45°の角度で傾斜させることで、収納部110からのウェハWの飛び出し、及びウェハWからの発塵を効果的に抑えることが可能になる。図4に例示したように、ここではウェハカセット100の底面131を支持部214の第1の面214aと接触させるようにするため、第1の面214aの角度θaは、収納部110を傾斜させる角度37°~45°に設定される。ウェハカセット100の背面132が接触することとなる第2の面214bの角度θbは、ウェハカセット100の底面131と背面132の角度θw通常は90°に応じ、上記の式1に従って、設定される。そして、このような角度θa,θbの第1,第2の面214a,214bを有する支持部214を設けた収納ケース200が形成される。このように、収納ケース200には、37°~45°の角度θaの第1の面214aと、角度θaに基づいて決定される角度θbの第2の面214bとを有する支持部214を設けておく。それにより、ウェハカセット100を収納ケース200の支持部214の上に、底面131が第1の面214aに接触し、背面132が第2の面214bに接触するようにして載置したときには、収納部110が37°~45°の角度θaで傾斜した状態が得られる。その結果、上記のように、収納部110からのウェハWの飛び出し、及びウェハWからの発塵が効果的に抑えられるようになる。また、このように37°~45°の角度θaで収納部110を傾斜させたときには、いずれの収納部110においても、ウェハWがその自重により収納部110の奥側へと滑り、ウェハWのエッジが当接部113に当接するようになる。即ち、いずれのウェハWも、当接部113に当接した状態でウェハ収納具1に収納されるようになる。例えば、製造装置による処理を行う際、ウェハカセットの複数の収納部にそれぞれ収納されているウェハを、搬送アームで取り出す場合を想定する。この場合、仮に各ウェハの位置が収納部によって異なっていると、搬送アームがウェハを把持することができなかったり、ウェハとウェハカセットや製造装置との衝突を招いたりする可能性がある。例えば、上記のウェハカセット100を、その収納部110を水平方向に向けて、或いは水平方向に近い角度に傾けて搬送を行ったような場合には、各収納部110でウェハWの位置に違いが生じ易く、上記のような搬送アームによる搬送時の不具合が発生してしまう可能性がある。これに対し、上記のようなウェハ収納具1を用いると、ウェハカセット100が収納ケース200に収納されているときに、複数枚のウェハWを当接部113に当接した状態でウェハカセット100の収納部110に収納することができる。そのため、いずれのウェハWも収納部110内の同等の位置に置かれているため、収納ケース200から取り出したウェハカセット100から、搬送アームでウェハWを取り出す際、上記のような搬送時の不具合を効果的に抑えることが可能になる。尚、以上の説明では、ウェハカセット100を、その底面131を第1の面214aに接触させ、背面132を第2の面214bに接触させて、収納ケース200に収納する場合を例にして説明した。このほか、ウェハカセット100を、その底面131を第2の面214bに接触させ、背面132を第1の面214aに接触させて、収納ケース200に収納することも可能である。その場合には、第2の面214bの角度θbを、収納部110を傾斜させる角度37°~45°に設定し、式1を用いて第1の面214aの角度θaを設定するようにすればよい。また、以上の説明では、ウェハカセット100を支持する支持部214に、角度θa,θbの第1,第2の面214a,214bを設ける場合を例にしたが、支持部214の構成はこの例に限定されるものではない。図8は収納ケースの変形例の説明図である。ここで、図8Aは収納ケースの第1変形例を示す図、図8Bは収納ケースの第2変形例を示す図である。図8Aに示す収納ケース200Aは、各支持部214のウェハカセット100載置面側に、並設された複数の線状の凸部215が設けられている。各凸部215は、支持部214の第1,第2の面214a,214bに沿って設けられ、第1,第2の面214a,214bから上端までの高さは一定としている。即ち、第1の面214a上の凸部215の上端215aは、底部211に対して角度θaで傾斜しており、第2の面214b上の凸部215の上端215bは、底部211に対して角度θbで傾斜している。このような凸部215を設けた支持部214の上に、ウェハカセット100がその収納部110の挿入口111が斜め上方を向くようにして載置される。この図8Aに示したような収納ケース200Aでは、載置されるウェハカセット100が、複数ここでは2本の凸部215の上端215a,215bで支持されることになる。即ち、ウェハカセット100は、複数の線状の凸部215と接触し、所定の角度で傾斜した状態で、それら線状の凸部215によって支持される。また、図8Bに示す収納ケース200Bは、各支持部214のウェハカセット100載置面側に、複数の点状の凸部216が設けられている。各凸部216の、第1,第2の面214a,214bから上端までの高さは一定としている。即ち、第1の面214a上における複数の凸部216の上端を結んでできる平面は、底部211に対して角度θaで傾斜する平面となり、第2の面214b上における複数の凸部216の上端を結んでできる平面は、底部211に対して角度θbで傾斜する平面となる。このような凸部216を設けた支持部214の上に、ウェハカセット100がその収納部110の挿入口111が斜め上方を向くようにして載置される。この図8Bに示したような収納ケース200Bでは、載置されるウェハカセット100が、複数ここでは1面につき4つの凸部216の上端で支持されることになる。即ち、ウェハカセット100は、複数の点状の凸部216と接触し、所定の角度で傾斜した状態で、それら点状の凸部216によって支持される。以上説明したように、開示のウェハ収納具では、収納ケースにウェハカセットを収納したときに、そのウェハカセットのウェハ収納部が所定の角度で傾斜するようになる。その結果、ウェハカセットの収納部からのウェハの飛び出し、及び収納されているウェハからの発塵が、効果的に抑制されるようになる。上記については単に本発明の原理を示すものである。さらに、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、本発明は上記に示し、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではなく、対応するすべての変形例および均等物は、添付の請求項およびその均等物による本発明の範囲とみなされる。"