隔壁で区画形成される流体を流通するセルのうち、流体の流出側端部を市松状に目封止材により目封止し、残余のセルにおいて流体の流入側端部を目封止材により目封止するセラミックハニカムフィルタの製造方法であって、前記目封止材は、未焼成のセラミック材料を含み、前記セラミックハニカムフィルタの流入側から微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルの有無を検査し、その後、目封止材を焼成することを特徴とするセラミックハニカムフィルタの製造方法。前記検査で、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルを特定し、前記特定したセルの流出側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止し、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止し、その後、目封止材を焼成することを特徴とする請求項1に記載のセラミックハニカムフィルタの製造方法。前記特定したセルの流出側端部を目封止したセルの数、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセルの数が、全セル数の1以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミックハニカムフィルタの製造方法。前記セルへ流通させる気体が室温以上の温度であることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のセラミックハニカムフィルタの製造方法。隔壁で区画形成される流体を流通するセルを備え、流体の流入側端部が開口されかつ流体の流出側端部が目封止されたセルと、流体の流入側端部が目封止されかつ流体の流出側端部が開口されたセルとが交互に配設されてなるセラミックハニカムフィルタにおいて、前記セラミックハニカムフィルタの流入側から微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルを特定し、前記特定したセルの流出側端部を目封止したこと、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したこと、を特徴とするセラミックハニカムフィルタ。前記特定したセルの流出側端部を目封止したセルの数、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセルの数が、全セル数の1以下であることを特徴とする請求項5に記載のセラミックハニカムフィルタ。しかしながら、特許文献1、特許文献2、特許文献3、特許文献4に記載の発明では、いずれも、検査後のセラミックハニカムフィルタには、検査に使用した微粒子が残留している。このままでは、排気ガス中のNOxを酸化させる酸化触媒等の触媒を担持させた場合、この微粒子が不純物となり、安定して触媒を担持することができないという問題のため、検査後に微粒子を除去する工程を増やす必要があり、工数増加の問題があった。さらに、検査でセラミックハニカムフィルタの隔壁の欠陥を検出して、所定の判定基準に従って合否の判定をした後は、不合格となった製品は廃却していた。したがって、本発明の課題は、工数を増加することがなく、さらに、セラミックハニカムフィルタの隔壁の欠陥を検査して、不合格となった製品を廃却せず、安定して触媒を担持することができるセラミックハニカムフィルタとその製造方法を得ることにある。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法は、隔壁で区画形成される流体を流通するセルのうち、流体の流出側端部を市松状に目封止材により目封止し、残余のセルにおいて流体の流入側端部を目封止材により目封止するセラミックハニカムフィルタの製造方法であって、前記目封止材は、未焼成のセラミック材料を含み、前記セラミックハニカムフィルタの流入側から微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルの有無を検査し、その後、目封止材を焼成することを特徴とする。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法において、前記検査で、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルを特定し、前記特定したセルの流出側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止し、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止し、その後、目封止材を焼成することことが好ましい。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法において、前記特定したセルの流出側端部を目封止したセルの数、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセルの数が、全セル数の1以下であることが好ましい。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法において、前記セルへ流通させる気体が室温以上の温度であることが好ましい。本発明のセラミックハニカムフィルタは、隔壁で区画形成される流体を流通するセルを備え、流体の流入側端部が開口されかつ流体の流出側端部が目封止されたセルと、流体の流入側端部が目封止されかつ流体の流出側端部が開口されたセルとが交互に配設されてなるセラミックハニカムフィルタにおいて、前記セラミックハニカムフィルタの流入側から微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルを特定し、前記特定したセルの流出側端部を目封止したこと、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したことを特徴とする。本発明のセラミックハニカムフィルタにおいて、前記特定したセルの流出側端部を目封止したセルの数、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセルの数が、全セル数の1以下であることが好ましい。次に、本発明の作用効果について説明する。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法は、隔壁で区画形成される流体を流通するセルのうち、流体の流出側端部を市松状に目封止材により目封止し、残余のセルにおいて流体の流入側端部を目封止材により目封止するセラミックハニカムフィルタの製造方法であって、前記目封止材は、未焼成のセラミック材料を含み、前記セラミックハニカムフィルタの流入側から微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルの有無を検査し、その後、目封止材を焼成することで、次の作用効果を有する。すなわち、目封止材が、未焼成のセラミック材料を含み、セラミックハニカムフィルタの流入側から微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルの有無を検査し、その後、焼成することで、隔壁に残留している、セラミックハニカムフィルタの流入側から流通させた微粒子が、燃焼して隔壁から除去される。そのため、微粒子を除去する工程を増加させる必要がなく、目封止材の焼成と同時に行うことができるので、工数が増加するという問題が無くなるのである。そして、検査で用いた微粒子が除去されるので、触媒担持の際に、安定して触媒を担持することができる。ここで、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルは、その有無を次のようにして確認する。すなわち、セラミックハニカムフィルタの流入側からセルへ流通させる気体に含まれる微粒子に、直径3nm~500nmのカーボン粒子を使用する。そして、カーボン粒子はセルに付着しセルが黒く着色されるので、カーボン粒子が流出するセルの流出端部付近の4つの隔壁がカーボン粒子の付着により黒くなる。そして、カーボン粒子を含む気体の流入を止めたあとでも、簡単に目視で微粒子が流出するセルを確認し、特定することができるのである。キレやワレ等の欠陥のない隔壁でも流入初期では、流出側セルからカーボン粒子が漏れる場合もあるが、キレやワレ等の欠陥のあるセルに比べて極微量であり、流入が進むにつれて流出量が減っていくので流出端近傍の隔壁が目視で判別できるほど黒く着色されないためキレやワレ等の欠陥のあるセルが特定できる。尚、微粒子を含む気体に市販のスモークボールを用いて発生させた煙を使用することもできる。スモークボールで発生させた色の付いた煙が、微粒子が流出するセルの流出端から流出するので目視にて特定が可能である。そのセルをマーキングしておくことで、スモークボールを用いて発生させた煙の流入を止めたあとでも、微粒子が流出するセルを特定することができる。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法において、前記検査で、所定量以上の流出側から微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルを特定し、前記特定したセルの流出側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止し、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止し、その後、目封止材を焼成することで次の作用効果を有する。すなわち、の場合、図1に示すように、目封止材3a、3bは、未焼成のセラミック材料を含み、前記セラミックハニカムフィルタの流入側aから微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側bから所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセル22bを特定し、特定したセル22bの流出側端部bを未焼成のセラミック材料を含む目封止材33bで目封止したことで、隔壁にキレやワレ等の欠陥4を有していても、開口された流入側端部から流入した排気ガス中のPMが、隔壁のキレやワレ等の欠陥を通過して隣接するセルにPMが流出しても、隣接するセルの流出側端部が目封止されていることから、PMはセラミックハニカムフィルタから流出しない。そのため、捕集率は低下することがなく、隔壁にキレやワレ等の欠陥を有していても、不合格として廃却する必要のないセラミックハニカムフィルタを得ることができる。そして、特定したセル22bの流出側端部bを未焼成のセラミック材料を含む目封止材33bで目封止し、その後、目封止材を焼成することで、流体の流出側端部と流入側端部を目封止された未焼成のセラミック材料を含む目封止材3a、3bと、特定したセル22bの流出側端部を目封止した未焼成のセラミック材料を含む目封止材33bとを、同時に焼成することができるので、別々に焼成する場合と比べて、工数を低減することができる。そして、隔壁に残留している、セラミックハニカムフィルタの流入側から流通させた微粒子が、燃焼して隔壁から除去されるので、微粒子を除去する工程を増加させる必要がなく、目封止材の焼成と同時に行うことができるので、工数が増加するという問題が無くなるのである。そして、検査で用いた微粒子が除去されるので、触媒担持の際に、安定して触媒を担持することができる。一方、の場合、図2に示すように、目封止材3a、3bは、未焼成のセラミック材料を含み、前記セラミックハニカムフィルタの流入側aから微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側bから所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセル22bを特定し、特定したセル22bに隣接するセル22aの流入側端部aを未焼成のセラミック材料を含む目封止材33aで目封止したことで、隔壁にキレやワレ等の欠陥4を有していても、排気ガス中のPMは、流入側端部から隔壁にキレやワレ等の欠陥を有しているセルに流入せず、隔壁にキレやワレ等の欠陥のない、流入側端部が開口されたセルに流入して隔壁で捕集される。そのため、捕集率は低下することがなく、隔壁にキレやワレ等の欠陥を有していても、不合格として廃却する必要のないセラミックハニカムフィルタを得ることができる。そして、特定したセル22bに隣接するセル22aの流入側端部aを未焼成のセラミック材料を含む目封止材33aで目封止し、その後、目封止材を焼成することで、流体の流出側端部bと流入側端部aを目封止された未焼成のセラミック材料を含む目封止材3a、3bと、特定したセル22bに隣接するセル22aの流入側端部aを目封止した未焼成のセラミック材料を含む目封止材33aとを、同時に焼成することができるので、別々に焼成する場合と比べて、工数を低減することができる。そして、隔壁に残留している、セラミックハニカムフィルタの流入側から流通させた微粒子が、燃焼して隔壁から除去されるので、微粒子を除去する工程を増加させる必要がなく、目封止材の焼成と同時に行うことができるので、工数が増加するという問題が無くなるのである。そして、検査で用いた微粒子が除去されるので、触媒担持の際に、安定して触媒を担持することができる。ここで、特定したセルに隣接するセルの流入側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止する場合、四角形セルの場合、特定したセルに隣接する4つのセルのうち何れかを目封止すれば良いが、欠陥部のある隔壁の位置が確認できないことがあるので、4つのセルを目封止することが好ましいまた、従来は不合格として廃却していた、隔壁に、開口幅01mm以上、長さ03mm以上の欠陥部を有するセラミックハニカムフィルタであっても、流出側から所定量以上の微粒子が流出するセル、もしくは、流出側から微粒子が流出するセルに隣接するセルの流入側端部を目封止材で目封止することで、排気ガス中のPMはセラミックハニカムフィルタから流出せず、捕集率は低下することがなく、不合格として廃却する必要がないセラミックハニカムフィルタを得ることができるのである。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法において、前記特定したセルの流出側端部を目封止したセルの数、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセルの数が、全セル数の1以下であることが好ましいのは次の理由による。すなわち、前記特定したセルの流出側端部を目封止したセル22bは、その流入側端部も目封止されている。さらに、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセル22aは、その流出側端部も目封止されている。この場合、セラミックハニカムフィルタとして使用した場合、排気ガスが流通するセルが減少するため、圧力損失が上昇することになるが、全セル数の1以下であれば、圧力損失の上昇が小さいセラミックハニカムフィルタを得ることができるのである。好ましくは、08以下である。本発明のセラミックハニカムフィルタの製造方法において、前記セルへ流通させる気体が室温以上の温度であることで、流出側bから微粒子が流出するセル22bを特定する検査を行いながら、目封止材3a、3bの乾燥を行うことができる。そのため、目封止材を形成した後に行う乾燥工程を単独で行うことなく、検査を行いながら乾燥が可能であるので工数を短縮することができる。セルへ流通させる気体の温度は、目封止材の乾燥が行えるよう、50°C以上が好ましく、70°C以上がさらに好ましい。次に、本発明のセラミックハニカムフィルタは、隔壁で区画形成される流体を流通するセルを備え、流体の流入側端部が開口されかつ流体の流出側端部が目封止されたセルと、流体の流入側端部が目封止されかつ流体の流出側端部が開口されたセルとが交互に配設されてなるセラミックハニカムフィルタにおいて、前記セラミックハニカムフィルタの流入側から微粒子を含む気体をセルへ流通させ、流出側から所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセルを特定し、前記特定したセルの流出側端部を目封止したこと、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したことで、次の作用効果を有する。すなわち、の場合、図1に示すように、流出側bから所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセル22bを特定し、特定したセル22bの流出側端部bを目封止材33bで目封止したことで、隔壁にキレやワレ等の欠陥4を有していても、開口された流入側端部から流入した排気ガス中のPMが、隔壁のキレやワレ等の欠陥を通過して隣接するセルにPMが流出しても、隣接するセルの流出側端部が目封止されていることから、PMはセラミックハニカムフィルタから流出せず、捕集率は低下することがなく、隔壁にキレやワレ等の欠陥を有しているセラミックハニカムフィルタであっても不合格として製品を廃却する必要がなくなる。一方、の場合、図2に示すように、流出側bから所定量以上の微粒子が流出する隔壁に欠陥部を有するセル22bを特定し、前記特定したセル22bに隣接するセル22aの流入側端部を目封止材33aで目封止したことで、隔壁にキレやワレ等の欠陥4を有していても、排気ガス中のPMは、流入側端部から隔壁にキレやワレ等の欠陥を有しているセルに流入せず、隔壁にキレやワレ等の欠陥のない、流入側端部が開口されたセルに流入して隔壁で捕集される。そのため、PMはセラミックハニカムフィルタから流出せず、捕集率は低下することがなく、隔壁にキレやワレ等の欠陥を有しているセラミックハニカムフィルタであっても不合格として製品を廃却する必要がなくなる。ここで、特定したセルに隣接するセルの流入側端部を未焼成のセラミック材料を含む目封止材で目封止する場合、四角形セルの場合、特定したセルに隣接する4つのセルのうち何れかを目封止すれば良いが、欠陥部のある隔壁の位置が確認できないことがあるので、4つのセルを目封止することが好ましいまた、従来は不合格として廃却していた、隔壁に、開口幅01mm以上、長さ03mm以上の欠陥部を有するセラミックハニカムフィルタであっても、流出側から微粒子が流出するセル、もしくは、流出側から微粒子が流出するセルに隣接するセルの流入側端部を目封止材で目封止することで、排気ガス中のPMはセラミックハニカムフィルタから流出せず、捕集率は低下することがなく、不合格として廃却する必要がなくなるのである。本発明のセラミックハニカムフィルタにおいて、前記特定したセルの流出側端部を目封止したセルの数、もしくは、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセルの数が、全セル数の1以下であることが好ましいのは次の理由による。すなわち、前記特定したセルの流出側端部を目封止したセル22bは、その流入側端部も目封止されている。さらに、前記特定したセルに隣接するセルの流入側端部を目封止したセル22aは、その流出側端部も目封止されている。この場合、セラミックハニカムフィルタとして使用した場合、排気ガスが流通するセルが減少するため、圧力損失が上昇することになるが、全セル数の1以下であれば、圧力損失の上昇が小さく、セラミックハニカムフィルタとして良好に使用することができるのである。好ましくは、08以下である。本発明によれば、工数を増加することがなく、さらに、セラミックハニカムフィルタの隔壁の欠陥を検査して、不合格となった製品を廃却せず、安定して触媒を担持することができるセラミックハニカムフィルタとその製造方法を得ることができる。以下、本発明の実施の形態を実施例を基に説明する。実施例カオリン、タルク、シリカ、アルミナなどの粉末を調整し、質量比で、SiO2:48~52、Al2O3:33~37、MgO:12~15を含むコージェライト生成原料粉末とし、これにバインダーとしてメチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、潤滑剤、造孔材として発泡済み樹脂を添加し、乾式で十分混合した後、規定量の水を添加、十分な混練を行って可塑化したセラミック杯土を作製した。次に、このセラミック坏土を押出成形用口金を通過させた後、所定長さに切断し、周縁部と隔壁とが一体に形成されたセラミックハニカム構造を有する成形体とした。次に、セラミックハニカム成形体の周縁部を加工により除去して、セラミックハニカム本体とした。次に、セラミックハニカム成形体を乾燥および焼成し、外径が267mm、全長が305mm、隔壁厚が03mm、セルピッチが157mmのコージェライト質のセラミックハニカム構造体とした。次に、セラミックハニカム構造体の端面に樹脂製フィルムを貼り付け、このフィルムに対してセルが市松模様になるようレーザ加工で溶融させて貫通孔を開けて、このセラミックハニカム構造体端面をコージェライト質の目封止材スラリーが配置された容器内に浸漬し、目封止部長さ約15mmが得られるように、セラミックハニカム構造体のもう一方の端面から加圧手段により圧力を加えることにより、貫通穴を通じて目封止材スラリーをセルの端部に導入した。そして、フィルムを除去し、目封止されたセラミックハニカムフィルタを得た。この時、目封止の乾燥の有無を表1に示す条件とした。次いで、得られたセラミックハニカムフィルタを、図3に示す検査装置50にセットして、隔壁の欠陥部の有無を検査する。検査装置50は、筒状の保持治具51、52にセラミックハニカムフィルタ10を保持し、一方の保持治具52からブロアー53で吸引し、他方の保持治具51からすす発生装置54で人工カーボンを投入する。ブロアーは室温の空気を10Nm3minの流量で、人工カーボンを2gminで投入する。10分間人工カーボンを投入した後、検査装置からセラミックハニカムフィルタを取り出し、流出側端部に人工カーボンが黒く付着したセルを有するセラミックハニカムフィルタを選定して本実施例1~6の試料とした。そして、流出側端部に人工カーボンが黒く付着したセルを特定し、特定されたセルの流出側端部に目封止材スラリーを導入した。人工カーボンが黒く付着し、目封止材スラリーを導入したセル数の全セル数に対する割合を表1に示す。次に、再び、検査装置50にセットして、同じ検査を実施し、流出側端部に人工カーボンが黒く付着するセルの有無を確認した。次に、検査済みのセラミックハニカムフィルタを焼成炉に入れ、1400°Cで10時間で目封止材の焼成を行った。その後、セラミックハニカムフィルタの外周に外周壁を形成し、圧力損失の測定を行った。圧力損失テストスタンドに固定したセラミックハニカムフィルタに、空気を流量10Nm3minで送り込み、流入側と流出側との差圧圧力損失で表した。圧力損失が07kPa以下の場合を◎、07を超え10kPa以下の場合を○、10を超え15kPa以下の場合を△、15kPaを越える場合を×として初期圧力損失を評価した。また、触媒を担持させて、触媒が担持可能か確認を行った。比較例1実施例と同様に、コージェライト質のセラミックハニカム構造体を作製し、目封止材スラリーをセルの端部に導入し、フィルムを除去し、80°Cの熱風炉で目封止材を乾燥し、目封止されたセラミックハニカムフィルタを得た。次に、セラミックハニカムフィルタを焼成炉に入れ、1400°Cで10時間で目封止材の焼成を行った。次に、検査装置50にハニカムフィルタをセットして、実施例と同様に、人工カーボンを投入した。その後、人工カーボンが黒く付着したセルを有するハニカムフィルタは廃却した。一方、人工カーボンを投入した状態で、人工カーボンが黒く付着したセルの無いハニカムフィルタは、焼成炉で1400°Cで10時間の焼成を行って、人工カーボンを燃焼除去した。尚、人工カーボンを投入した状態で、人工カーボンが黒く付着したセルの無いハニカムフィルタに、触媒を担持することを試みたが、触媒は担持されなかった。表1より、本発明は、工数を増加することがなく、さらに、セラミックハニカムフィルタの隔壁の欠陥を検査して、不合格となった製品を廃却せず、安定して触媒を担持することができるセラミックハニカムフィルタを得ることができる。一方、比較例では、工数が増加し、不合格となった製品を廃却する必要がある。