慣性力によって揺動しようとする振り子部材の基準位置からの変位分を検出し、その検出結果に基づいて当該振り子部材を基準位置に静止させるように操作部により前記振り子部材に外力を加え、このときの前記外力の大きさに基づいて、前記振り子部材に作用する加速度を評価する加速度計測装置において、圧電板と、この圧電板を振動させるために、当該圧電板の一面側及び他面側に夫々設けられた一方の励振電極及び他方の励振電極と、前記一方の励振電極に電気的に接続された発振回路と、前記振り子部材に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記振り子部材とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、前記振り子部材の揺動により前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、を備え、前記発振回路から前記一方の励振電極、前記他方の励振電極、前記可動電極及び前記固定電極を経て前記発振回路に戻る発振ループが形成され、前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、前記振り子部材の位置の変位分を評価するためのものであることを特徴とする加速度計測装置。前記可動電極として、前記振り子部材を挟んで前記慣性力の働く方向に対向するように第1の可動電極及び第2の可動電極が設けられ、前記固定電極として、第1の可動電極及び第2の可動電極に夫々対向するように前記振り子部材とは離間して、第1の固定電極及び第2の固定電極が設けられ、前記発振回路の電気的な接続先を、前記第1の可動電極及び第1の固定電極間の第1の可変容量と、前記第2の可動電極及び第2の固定電極間の第2の可変容量との間で切り替え可能なように、切り替え部を設け、前記周波数情報検出部は、前記切り替え部により時分割された前記第1の可変容量に対応する発振周波数及び前記第2の可変容量に対応する発振周波数の差分に応じた情報を求めるものであることを特徴とする請求項1記載の加速度計測装置。前記振り子部材は、支持部にて、その一端側で片持ちで支持されていることを特徴とする請求項1または2に記載の加速度計測装置。前記振り子部材は、前記圧電板であるか、あるいはその一部に前記圧電板を含むことを特徴とする請求項3に記載の加速度計測装置。本発明は、このような背景の下になされたものであり、その目的は加速度を高精度にかつ容易に検出することができる加速度計測装置を提供することにある。本発明の加速度計測装置は、慣性力によって揺動しようとする振り子部材の基準位置からの変位分を検出し、その検出結果に基づいて当該振り子部材を基準位置に静止させるように操作部により前記振り子部材に外力を加え、このときの前記外力の大きさに基づいて、前記振り子部材に作用する加速度を評価する加速度計測装置において、圧電板と、この圧電板を振動させるために、当該圧電板の一面側及び他面側に夫々設けられた一方の励振電極及び他方の励振電極と、前記一方の励振電極に電気的に接続された発振回路と、前記振り子部材に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記振り子部材とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、前記振り子部材の揺動により前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、を備え、前記発振回路から前記一方の励振電極、前記他方の励振電極、前記可動電極及び前記固定電極を経て前記発振回路に戻る発振ループが形成され、前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、前記振り子部材の位置の変位分を評価するためのものであることを特徴とする。また、本発明の加速度計測装置は、前記可動電極として、前記振り子部材を挟んで前記慣性力の働く方向に対向するように第1の可動電極及び第2の可動電極が設けられ、前記固定電極として、第1の可動電極及び第2の可動電極に夫々対向するように前記振り子部材とは離間して、第1の固定電極及び第2の固定電極が設けられ、前記発振回路の電気的な接続先を、前記第1の可動電極及び第1の固定電極間の第1の可変容量と、前記第2の可動電極及び第2の固定電極間の第2の可変容量との間で切り替え可能なように、切り替え部を設け、前記周波数情報検出部は、前記切り替え部により時分割された前記第1の可変容量に対応する発振周波数及び前記第2の可変容量に対応する発振周波数の差分に応じた情報を求めるものであってもよい。前記振り子部材は、支持部にて、その一端側で片持ちで支持されていてもよい。また前記振り子部材は、前記圧電板であるか、あるいはその一部に前記圧電板を含んでいてもよい。本発明は、加速度により振り子部材が揺動して基準位置から変位したときにその変位分を、振り子部材側の可動電極とその可動電極に対向する固定電極との間の容量変化を介して圧電板の発振周波数の変化として捉えている。このため加速度を高精度にかつ容易に検出することができる。更に、可変容量を振り子の振れる方向に対して両側に形成することにより、発振周波数の変化を計測する際に差動法を適用することができるため、ノイズや温度特性の影響を抑制することができ、より一層高精度に加速度を検出することができる。本発明の実施形態であるサーボ式加速度計測装置について説明する。本実施形態のサーボ式加速度計測装置は主に、位置制御の対象である振り子部材、発振周波数の変化に基づいて振り子の位置変位を検出しその位置変位データの電気信号を出力する振り子位置検出部、振り子位置検出部から受信した位置変位データに基づき、振り子が静止状態を保つようにアクチュエータの出力を制御する調整部、振り子に力を作用させるアクチュエータ及び例えばアクチュエータの駆動電力量から慣性力の加速度を算出するデータ処理部などにより構成される。図1は、本実施形態のサーボ式加速度計測装置を示す図であり、図1中、1は直方体形状の密閉型の例えば水晶からなる容器であり、内部に不活性ガス例えば窒素ガスが封入されている。なお容器1としては必ずしも密閉型の容器に限定されるものではない。この容器1は、絶縁基板13に固定されている。容器1内には、板状の振り子部材2が、その一端側における一面側及び他面側において、支持部に相当する容器1の内側壁の上方部位に導電性接着剤10、11、12により固定されている。即ち振り子部材2は、容器1内の上部において、支持箇所を上にして鉛直方向に立てた状態で片持ち支持されている。振り子部材2は、その長手方向鉛直方向に沿って上の部分から、先ず導電性接着剤10、11、12により容器1に固定されている被支持部21、この被支持部21よりも厚さが薄く形成されており、振り子部材2に慣性力が作用したときに撓もうとする撓み部22、そして撓み部22よりも厚さを厚くして質量を確保し、作用する慣性力をより大きくして振り子部材2の位置変位を検出し易くするための錘部23の3つの部分に区分できる。振り子部材2は、被支持部21を支点にして図1における左右方向X方向に振れる。錘部23では、後述する第1の可動電極33及び第2の可動電極35の厚さを大きくすることにより錘として兼用してもよい。振り子部材2の一面側における被支持部21の表面には、図2aに示すように、引き出し電極31が形成されている。この引き出し電極31は、一面側の表面上に形成された導電路32を介して、振り子部材2の錘部23の一面側の表面に設けられた第1の可動電極33と電気的に接続している。更にこの第1の可動電極33は、錘部23の一面側から他面側に振り子部材2の他端を通って折り返すように形成された導電路34を介して、錘部23の他面側の表面に設けられた第2の可動電極35と電気的に接続している。本実施形態における導電路及び各種電極は、例えばスパッタ形成された金属薄膜よりなる。振り子部材2の他面側における被支持部21には、図2bに示すように、左右方向Y方向における両端部に例えば金属薄膜からなる引き出し電極54、56が夫々形成されている。この引き出し電極54、56は、夫々導電路53、55を介して、振り子部材2の他面側における撓み部22の表面に設けられているコイル部51内のコイルの両端に夫々電気的に接続されている。容器1の内壁には、第1の可動電極33及び第2の可動電極35夫々に対向するように、第1の固定電極36及び第2の固定電極38が形成されている。第1の可動電極33と第1の固定電極36の間の隙間は第1の可変容量Cv1を形成しており、第2の可動電極35と第2の固定電極38の間の隙間は第2の可変容量Cv2を形成している。容器1の内壁には、コイル部51に対向するように、例えば永久磁石などを有する磁気回路52が設けられている。コイル部51のコイルは、コイルに通電したときに生じる磁束の向きがこの磁気回路52に向くように設定されており、通電する電流の向きや大きさを調整することにより、振り子部材2の位置振れ位置の調整を行うことができる。コイル部51と磁気回路52とでアクチュエータ5が構成されている。図3は加速度センサーの配線の接続状態を示し、図4は等価回路を示している。図4中、L1は水晶振動子の質量に対応する直列インダクタンス、C1は直列容量、R1は直列抵抗、C0は電極間容量を含む実効並列容量、Coscは発振回路14の負荷容量である。可動電極33、35と接続している引き出し電極31は、図1及び図3に示すように、導電性接着剤10、容器1及び絶縁基板13を通る導電路30を介して水晶振動子4に電気的に接続されている。そしてこの水晶振動子4は、発振回路41の一端に電気的に接続されている。一方固定電極36、38は夫々、導電路37、39を介して切り替え部42の切り替え接点側に接続されている。この切り替え部42の固定接点側は、発振回路41の他端に電気的に接続されており、発振回路41を固定電極37、39間で交互に切り替え接続できるようになっている。水晶振動子4、発振回路41及び切り替え部42は、絶縁基板13に固定されている容器3内に収納されている。この切り替え部42による切り替えは、例えば10Hzの周期で接続時間が100msで自動で行うように構成され、これにより第1の可変容量Cv1を介するループで得られる発振周波数FLx1と第2の可変容量Cv2を介するループで得られる発振周波数FLx2とが時分割で振り子位置検出部6に取り込まれることになる。ここで、JISC6701水晶振動子通則によれば、水晶発振回路の一般式は次の1式のように表される。FL=Fr×1xx=C1/2×1/C0CL......1FLは、水晶振動子に負荷が加わったときの発振周波数であり、Frは水晶振動子そのものの共振周波数である。本実施形態では、図3及び図4に示されるように、負荷容量CLは、Coscと可変容量Cvが直列接続した合成容量である。従って1式におけるCLの代わりに2式で表されるyが代入される。y=1/1/Cv1/Cosc......2従って振り子部材2の位置が変化し、これにより可変容量CvがCv0からCvxに変わったとすると、周波数の変化dFLは、3式で表される。dFL=FL0-FLx=A×Cosc2×Cvx-Cv0/B×C...3ここで、A=C1×Fr/2B=C0×CoscC0Cosc×Cv0C=C0×CoscC0Cosc×Cvxである。また振り子部材2に加速度が加わっていないときのいわば基準状態静止状態にあるときにおける可動電極及び固定電極の間の離間距離をd0とし、振り子部材2に加速度が加わったときの前記離間距離をdxとすると、4式が成り立つ。Cv0=S×ε/d0Cvx=S×ε/dx......4ただしSは可動電極及び固定電極の対向領域の面積、εは比誘電率である。d0は既知であることから、dFLとdx即ち、振り子部材2の位置変位Δd=d0-dxとが対応関係にあることが分かる。振り子位置検出部6では、第1の可変容量及び第2の可変容量夫々に対応する発振周波数FLx1、FLx2について、振り子部材2が静止位置にあるときの発振周波数以下、基準周波数と言うFL01、FL02との差分ΔF1=FL01-FLx1、ΔF2=FL02-FLx2を夫々算出し、更にこれら差分ΔF1、ΔF2をそれらに対応する基準周波数で夫々割った値である周波数変化率ΔF1/FL01、ΔF2/FL02を算出する。そしてこれら周波数変化率ΔF1/FL01、ΔF2/FL02の差分ΔFを算出する。この変化率差分ΔFから振り子部材2の位置変位Δdを算出することができる。ここで言う位置変位Δdとは、振り子部材2の静止位置における第1の可動電極と第1の固定電極との離間間隔第1の離間間隔dx1をd01、第2の可動電極と第2の固定電極との離間間隔第2の離間間隔dx2をd02としたときのΔd=d01-dx1=dx2-d02のことである。図5は、振り子部材2の位置変位Δdと発振周波数の差分ΔF1ΔF2との関係を示す実験データである。このように位置変位Δdと発振周波数の差分ΔF1ΔF2とは一対一に対応する関係にあることから、発振周波数差分ΔF1ΔF2を測定することにより位置変位Δdを算出することができる。また発振周波数差分ΔF1、ΔF2の変化率差分ΔFを求めて、この変化率差分ΔFから位置変位Δdを算出することにより、ノイズや温度特性による悪影響を抑制することができる。このようにして振り子位置検出部6において算出された位置変位Δdに相当する信号は、調整部61に送信される。調整部61は、受信した位置変位Δdの大きさに基づいて、例えばサイリスタ位相制御によりアクチュエータ5のコイル部51のコイルに流す電流の大きさと向きを調整することで、位置変位Δdを零にするようにアクチュエータ5を動作させて振り子部材2が基準位置において静止状態を維持するように制御する。また調整部61は、アクチュエータ5により振り子部材2に作用させる電磁気力の大きさに相当する信号、例えばコイル部51のコイルの電流値などを、データ処理部62に送信する。このデータ処理部62は、例えばパーソナルコンピュータからなり、調整部61から得られたアクチュエータ5の電磁気力の大きさに関する情報例えばコイル部51のコイルに流れる電流値を基にして、事前にメモリに記憶してあるコイル部51のコイルの電流値と振り子部材2に作用する加速度とを対応付けたデータテーブルを参照して慣性力の加速度を求める機能を有する。振り子部材2の静止状態を維持できている限り、検出対象である慣性力と、アクチュエータ5により振り子部材2に作用させる電磁気力の大きさとは釣り合っていることから、コイル部51のコイルの電流値から慣性力の加速度を算出することができる。続いて、本実施形態の作用について説明する。先ずこの加速度計測装置を容器1が予め決められた姿勢となるように振動検出対象物に固定する。この振動検出対象物が振動し、この加速度計測装置の振動計測方向の振動成分が生じると、振り子部材2の錘部23に慣性力が作用する。そしてこの慣性力の大きさに応じて振り子部材2の撓み部22が撓むため片方の離間間隔例えば第1の離間間隔はわずかに狭まり、逆にもう一方の離間間隔例えば第2の離間間隔はわずかに広がる。このため第1の可変容量は大きくなり、第2の可変容量は小さくなる。これにより第1の可変容量及び第2の可変容量夫々に対応する発振周波数が変化する。このときの発振周波数と基準周波数との差分ΔF1、ΔF2を振り子位置検出部6にて検出し、それらの差分ΔF1、ΔF2から振り子部材2の位置変位を算出する。この算出した位置変位のデータは随時調整部61に送られており、調整部61ではこの位置変位データに基づいて、例えばサイリスタ位相制御によりアクチュエータ5のコイル部51のコイルに流す電流の大きさと向きを調整することで、位置変位が零になるように制御する。こうすることにより、実際には振り子部材2は基準位置、この例では垂直姿勢で静止状態を維持しているとみなすことができる。そして、例えばコイル部51のコイルの電流値を常時監視することで、検出対象の振動の加速度を計測することができる。この加速度センサを3台用意し、夫々の振り子の振動方向が全て異なりかつ振動方向が3台同一平面上にならないように設置することにより、3次元の振動を測定することができる。上述の実施形態によれば、加速度計測装置が振動することにより、その容器1の内部に片持ちで支持された振り子部材2にはその振動による慣性力が作用し、そのため振り子部材2が撓む。この結果振り子部材2が基準位置から変位し、振り子部材2の先端側に形成された可動電極3335とそれに対向する固定電極36、38との離間距離が変わるので、可変容量Cv1Cv2の容量が変化する。このため、この容量変化が発振周波数の変化ΔF1ΔF2として現れる。従って、振り子部材2の僅かな位置変位Δdも発振周波数の変化ΔF1ΔF2として検出できるので、振り子部材2の位置変位Δdを高精度に測定することができ、しかも装置構成が簡素である。また、1つの振り子部材2に対して2つの可変容量Cv1、Cv2が形成されており、同一の温度環境に配置されているため、可変容量Cv1、Cv2に対応する各々の周波数が温度により変化したとしても、この変化分がキャンセルされ、結果として振り子部材2の位置変位Δdに基づく周波数変化率の変化分だけを検出できるので、検出精度が高いという効果がある。次に本発明の他の実施形態について、図6及び図7を用いて説明する。この実施形態では、上述の実施形態における振り子部材2の被支持部21が水晶振動子4を兼ねるという点が上述の実施形態と異なる。先ず本実施形態における加速度計測装置の構造について説明する。上述の実施形態と同様の構造である場合には、上述の実施形態と同様の符号を付して説明を省略する。本実施形態における振り子部材2aは水晶からなる。この被支持部21aの一面側及び他面側には夫々励振電極24a、25aが形成されている。一面側の励振電極24aは、導電路32を介して可動電極33に電気的に接続されている。他面側の励振電極25aは、導電路26a、振り子部材2aを容器1に固定するための導電性接着剤10a及び図示しない導電路を介して発振回路41の一端に接続されている。この実施形態によれば、上述の実施形態の効果に加えて、振り子部材2とは別の場所に水晶振動子4の設置スペースを設ける必要がないため、加速度計測装置の小型化に寄与する。本実施形態では振り子部材2全体が水晶からなっているが、被支持部21aにおける励振電極24a、25aに挟まれている部分が水晶であればよい。図8に他の実施形態に関する振り子部材2bを示す。この実施形態では、振り子部材2の形状が上述の実施形態のように板状ではなく、その水平面による断面が正方形となる棒状の振り子部材2となっており、撓み部22は水平方向のどの方向にも撓むことが可能である。そして錘部23の4つの側面には各々可動電極33b、35b、70b、71bが形成されている。錘部23を間に挟んで対向している2組の可動電極33bと35bの組及び70bと71bの組は各々、図示しない固定電極と対向して振り子部材2bの錘部23bの表面に形成されている。即ち、第1の可変容量Cv1及び第2の可変容量Cv2の組が2組水平方向に対して直交して設けられていることになる。このような構成にすることにより、水平方向におけるあらゆる方向の振動について、加速度を検出できる。図8では、図を見易くするための便宜上、導電路及び端子は省略している。この実施形態では、第1の可変容量Cv1及び第2の可変容量Cv2の組を2組水平方向に対して直交して設けているが、直交していなくても2組が平行に設けられてさえいなければよい。上述の実施形態では、電磁気力により振り子部材2の静止状態を維持するようにしたが、例えば静電気力など他の力を作用させて静止状態を維持してもよい。また上述の実施形態では、振り子部材2は片持ち支持の板状部材あるいは棒状部材であったが、本発明はそれに限らず、例えば振り子部材の両側を弾性部材で揺動可能に支持したものでもよい。