ガラス基板を基板処理部に受け渡す際にアライメントする装置であって、ガラス基板を搬送する手段を載置したステージAと、ステージA上に設けられたステージBの内部に備えられ、アライメント時にガラス基板を上昇させて支持するガラス基板支持手段と、ガラス基板支持手段によって支持されたガラス基板の一辺を把持する手段と、前記ガラス基板の一辺を押圧する第一のアライメントピンと、前記把持する手段と、把持する手段に繋がれた第一のアライメントピンと、を移動する手段と、前記ガラス基板一辺と対向する辺を押圧する第二のアライメントピンと、前記第二のアライメントピンを移動する手段と、ガラス基板の一辺を把持した状態でステージAを水平方向に旋回してガラス基板を所定の方向に旋回する手段と、を備え、且つ、前記ガラス基板を所定の方向に旋回する動作と、ガラス基板の前記一辺を押圧する第一のアライメントピンと前記ガラス基板の一辺と対向する辺を押圧する第二のアライメントピンによってガラス基板を狭持してセンタリングする動作と、を同時に行なってガラス基板をアライメントすることを特徴とする基板アライメント装置。前記ガラス基板支持手段によって支持されたガラス基板の一辺の端部を把持する手段と、把持する手段と連結されガラス基板の前記一辺を押圧する第一のアライメントピンと、はロータリーアクチュエータによって移動することを特徴とする請求項1に記載の基板アライメント装置。前記ガラス基板の一辺と対向する辺を押圧する手段は、シリンダで移動されることを特徴とする請求項1または2に記載の基板アライメント装置。前記ガラス基板の一辺の端部を把持する手段は、高分子樹脂部材からなることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の基板アライメント装置。図4に示される従来のアライメント装置の多くは、位置決め治具にシリンダを用い、その先端にガラス基板を押圧するためのアライメントピンを設けた機構となっている。この機構では、位置決めの動作時間を短縮するためにセンタリング動作と旋回動作を同時に行なった場合、旋回開始時に慣性により基板が滑ってしまいセンタリング動作による位置決めが確実に行なうことが出来ず、また、ガラス基板のワレカケ等の損傷が発生するといった問題がある。上記の問題に鑑みて本発明は、センタリング動作と旋回動作を同時に行なってガラス基板のアライメント時間を短縮し、また、ガラス基板の損傷を抑制することを可能とするアライメント装置を提供することを目的とする。そこで本発明の請求項1に係る発明は、ガラス基板を基板処理部に受け渡す際にアライメントする装置であって、ガラス基板を搬送する手段を載置したステージAと、ステージA上に設けられたステージBの内部に備えられ、アライメント時にガラス基板を上昇させて支持するガラス基板支持手段と、ガラス基板支持手段によって支持されたガラス基板の一辺を把持する手段と、前記ガラス基板の一辺を押圧する第一のアライメントピンと、前記把持する手段と、把持する手段に繋がれた第一のアライメントピンと、を移動する手段と、前記ガラス基板の一辺と対向する辺を押圧する第二のアライメントピンと、前記第二のアライメントピンを移動する手段と、ガラス基板の一辺を把持した状態でステージAを水平方向に旋回してガラス基板を所定の方向に旋回する手段と、を備え、且つ、前記ガラス基板を所定の方向に旋回する動作と、ガラス基板の前記一辺を押圧する第一のアライメントピンと前記ガラス基板の一辺と対向する辺を押圧する第二のアライメントピンによってガラス基板を狭持してセンタリングする動作と、を同時に行なってガラス基板をアライメントすることを特徴とする基板アライメント装置である。本発明の請求項2に係る発明は、前記ガラス基板支持手段によって支持されたガラス基板の一辺の端部を把持する手段と、把持する手段と連結されガラス基板の前記一辺を押圧する第一のアライメントピンと、はロータリーアクチュエータによって移動することを特徴とする請求項1に記載の基板アライメント装置である。本発明の請求項3に係る発明は、前記ガラス基板の一辺と対向する辺を押圧する手段は、シリンダで移動されることを特徴とする請求項1または2に記載の基板アライメント装置である。本発明の請求項4に係る発明は、前記ガラス基板の一辺の端部を把持する手段は、高分子樹脂部材からなることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の基板アライメント装置である。本発明の基板アライメント装置によれば、ガラス基板の一辺の端部を把持する手段によってガラス基板を旋回する際に生じるガラス基板の滑りを抑制することが可能となり、ガラス基板の割れや、傷つきの発生を抑えることが出来る。また、基板の滑りを抑制することが可能となるため、ガラス基板のセンタリング動作と旋回動作を同時に行なうことが出来、ガラス基板のアライメント動作に要する時間を短縮することが可能となる。以下、図面を参照して本発明に係る基板アライメント装置を実施するための形態を説明する。図5は本発明に係る基板アライメント装置の概略構成図である。図5aは側面から見た図、図5bは上面から見た図である。図5に示される基板アライメント装置は、ガラス基板100を搬送する手段である搬送ローラ49を載置したステージA41aと、ステージA41a上に設けられたステージB41bの内部に備えられ、ステージB41b上に上昇してアライメント時にガラス基板を上昇させて支持し、ガラス基板のアライメント終了後には下降してガラス基板の支持を開放するガラス基板支持手段である、ガラス基板支持ピン42と支持ピンの先端に設けられた基板支持体45と、ガラス基板支持手段によって支持されたガラス基板100の一辺100aを把持する手段である基板把持パッド43と、把持する手段と連結されガラス基板の前記一辺を押圧する第一のアライメントピン43aと、基板把持パッド43と第一のアライメントピン43aを移動する手段であるロータリーアクチュエーター46aと、前記一辺と対向する辺100bを押圧する手段である第二のアライメントピン43bと、第二のアライメントピン43bを矢印49で示す方向に移動する手段であるシリンダ46bと、ガラス基板の一辺100aを把持した状態でステージ41を矢印48で示す水平方向に旋回してガラス基板100を所定の方向に向きを修正する旋回手段である旋回ユニット47と、を備えている。ガラス基板100は、第一のアライメントピン43aと第二のアライメントピン43bの押圧による狭持によってセンタリングされ、また、旋回ユニット47によって所定の方向に向きが修正されてアライメントされる。ガラス基板100を搬送する手段である搬送ローラ49は、ステージA41a上に載置され、ガラス基板100を上流の搬送装置から受け取り、下流の処理装置へ投入するもので、搬送ローラ49でガラス基板100を上流の搬送装置から受け取った時点で、ガラス基板100の搬送を停止し、停止した位置で、ガラス基板のアライメントが行われる。ステージA41a上に設けられたステージB41bの内部に備えられたガラス基板支持ピン42と支持ピンの先端に設けられた基板支持体45は、搬送ローラ49がガラス基板100を上流の搬送装置から受け取った時点で、ステージB41bの上面から上昇し、ガラス基板100を支持しながらリフトアップする。支持ピンの先端に設けられた基板支持体45は、ガラス基板100との摩擦を軽減するために基板支持部が回転自在で磨耗しにくい材料で作れれている。ガラス基板支持手段によって支持されたガラス基板100の一辺100aを把持する手段である基板把持パッド43と、把持する手段と連結されガラス基板の前記一辺を押圧する手段である第一のアライメントピン43aは、図5bに示すように、ガラス基板の1辺100a側に2個設けられており、共に連結棒を介してロータリーアクチュエーター46aの回転軸に繋がれ、矢印50で示す方向に回転する。ガラス基板100の一辺100aと対向する辺100bを押圧する手段である第二のアライメントピン43bは、ステージA41aに設けられたシリンダ46bによって、矢印49で示す方向に移動することが出来る。尚、図5bに示すように第二のアライメントピン43bとシリンダ46bはガラス基板の1辺100b側に2個設けられている。上記第一のアライメントピン43aと第二のアライメントピン43bによってガラス基板100は矢印44に示す方向に移動されてセンタリングされる。旋回ユニット47は、ガラス基板の一辺100aを基板把持パッド43で把持した状態でステージ41aを矢印48で示す水平方向に旋回することが出来、その結果、ガラス基板100を所定の方向に向けることが出来る。図5に示される基板アライメント装置は、ガラス基板を上昇させて支持するガラス基板支持手段として、ガラス基板支持ピン42と支持ピンの先端に設けられた基板支持体45を例示したが、これに限定されるものではなく、エアー浮上パッドを用いたステージを用い、エアーの吹き出しによってガラス基板をリフトアップするものでも良い。図6は基板把持パッド43と第一のアライメントピン43aの動作を説明するための図で、図5aにおける破線51で示した部分を拡大した図である。図6a~dは、アライメント開始時~終了時を示すもので、ロータリーアクチュエーター46aが矢印50で示される方向に回転することによって基板把持パッド43と第一のアライメントピン43aが移動する推移を示すものである。図6aは、アライメント開始時の状態を示す図で、基板把持パッド43が基板100に接することによって把持している。基板把持パッド43は例えばウレタンゲルのような柔らかい溶出物の発生しない高分子樹脂部材を用いることによって、ガラス基板100を把持することが出来る。図6b及び図6cに示すようにロータリーアクチュエーター46aが矢印52で示される方向に回転した場合でも、基板把持パッド43はガラス基板に接しているため把持状態が維持され、この状態で、更にロータリーアクチュエーター46aが矢印52で示される方向に回転した図6dの場合には、ガラス基板100の把持は開放される。図6dに示されるガラス基板100の把持が開放された時点で、第一のアライメントピン43aがガラス基板100と接触し、ガラス基板のセンタリングが終了する。本発明によるガラス基板アライメント装置の動作フローを、図7に示すフロー図と、図5に示す本発明によるガラス基板アライメント装置の概要図と、図6に示す基板把持パッド43と第一のアライメントピン43aの動作を説明するための図を用いて説明する。先ず、ガラス基板100を上流の搬送装置から搬送ローラ49で受け取るS1。受け取った時点でガラス基板100の搬送を停止するS2。その後、基板支持ピン42を上昇させガラス基板100をリフトアップさせるS3。リフトアップさせた後、図6aで示されるように基板把持パッド43がガラス基板100を把持出来るように、例えばガラス基板100を基板把持パッド43の位置よりも上方になるまで更にリフトアップさせた後、ロータリーアクチュエーター46aを回転させガラス基板100の下方に基板把持パッド43を位置させるS4。次に、基板把持パッド43がガラス基板100を把持した状態で、ロータリーアクチュエーター46aを回転させると同時に、旋回ユニット47を矢印48で示す水平方向に旋回してガラス基板100の向きを所定の方向に修正するS5。この場合基板把持パッド43によってガラス基板100が把持されているため、旋回開始時の慣性によるガラス基板の滑りはない。更に、ロータリーアクチュエーター46aを図6b、cに示すように回転させ、これと同時に、ガラス基板の把持されている辺と対向する辺を押し込む第二のアライメントピン43bをシリンダ46bで矢印49で示す方向に押し込む動作を開始するS6。ロータリーアクチュエーター46aを図6dで示す状態まで回転し、基板把持パッド43によるガラス基板100の把持を開放するS7。更にロータリーアクチュエーター46aの回転による第一のアライメントピン43aと、シリンダ46bによる第二のアライメントピン43bと、の狭持によって、ガラス基板100はセンタリングされるS8。このようにして、ガラス基板100は所定の方向への向きの修正と、センタリングによってアライメントされる。アライメントされたガラス基板100は、第一のアライメントピン43aと第二のアライメントピン43bの狭持が解かれS9、その後、基板支持ピン42が下降し、搬送ローラ49によって下流の処理装置に搬送され受け渡されるS10。以上のように本発明による基板アライメント装置によれば、基板把持パッドによってガラス基板を把持した状態で旋回させるためガラス基板の滑りの発生を抑制することが出来、その結果、基板の破損や傷つきの発生を抑えることが出来る。更にガラス基板の旋回による所定の方向への修正と、センタリングを同時に行なうことが出来、アライメントに要する時間を短縮することが出来る。