一般式Iのシラオキサシクレンを、一般式IIの化合物の酸性触媒とアルコールAの存在下での反応によって製造する方法において、アルコールAのアルコール性OH基0.01~7モル当量を、一般式IIの化合物の[O-CH2-SiR22]単位1モル当量に対して使用し、かつ一般式Iのシラオキサシクレンの単離を、酸性触媒の除去後に行う前記製造方法[前記式中、xは、0より大きい整数値又は0であり、nは、1より大きい整数値又は1であり、R1は、非置換の又は1もしくはそれより多くの基Q1で置換された炭化水素基であって、1もしくはそれより多くのヘテロ原子によって中断されていてよい基又は基OR3であり、R2は、非置換の又は1もしくはそれより多くの基Q1で置換された炭化水素基であって、1もしくはそれより多くのヘテロ原子によって中断されていてよい基又は基OR4であり、R3は、非置換の又は1もしくはそれより多くの基Q1で置換された炭化水素基であって、1もしくはそれより多くのヘテロ原子によって中断されていてよい基であり、R4は、非置換の又は1もしくはそれより多くの基Q1で置換された炭化水素基であって、1もしくはそれより多くのヘテロ原子によって中断されていてよい基であり、かつQ1は、一価の、二価の、又は三価のヘテロ原子を有する基を意味し、式中、R1、R2、R3、R4及びQ1は、互いに結合されていてよく、こうして、1もしくはそれより多くの環を形成する]。一般式Iのシラオキサシクレンの単離を蒸留によって行う、請求項1に記載の方法。アルコールAが、式R13-OHを有し、式中、R13は、R3と同じ意味をとってよく、かつ付加的にOH置換基を有してよい、請求項2に記載の方法。xが1~3の値をとる、請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法。R1が、水素原子、C1~C12-アルキル基、C6~C12-アリール基、C7~C12-アルキルアリール基又はC7~C12-アリールアルキル基である、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。R2が、C1~C12-アルキル基、C6~C12-アリール基、C7~C12-アルキルアリール基もしくはC7~C12-アリールアルキル基、C1~C12-アルコキシ基、C2~C12-アルコキシアルコキシ基、C6~C12-アリールオキシ基、C7~C12-アリールアルコキシ基又はC7~C12-アルキルアリールオキシ基である、請求項1から5までのいずれか1項に記載の方法。R3が、C1~C12-アルキル基、C6~C12-アリール基、C7~C12-アルキルアリール基、C7~C12-アリールアルキル基又はC2~C12-アルコキシアルキル基である、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。基R1が、水素原子、メチル基もしくはエチル基であり、基R2は、互いに独立して、メチル基、メトキシ基もしくはエトキシ基であり、基R3は、メチル基もしくはエチル基であり、nは、1~3の整数値をとり、かつxは、1~3の整数値をとる、請求項1から7までのいずれか1項に記載の方法。酸性触媒が、-12~9のpKa値を有するブレンステッド酸を意味する、請求項1から8までのいずれか1項に記載の方法。触媒が、ハロゲン化水素酸;第3主族ないし第7主族の元素の酸素酸、その酸性塩及び酸性エステルその際、1もしくはそれより多くの酸素は、ハロゲンによって置換されていてよい;カルボン酸R8-COOH;元素P及びSの酸素酸であって、1つの共有結合された炭素を有する基を有する酸素酸;カルボキシル基を有する有機ポリマー;スルホン酸を有する有機ポリマー;アミドスルホン酸R11R12NSO3H;酸化アルミニウム、粘土鉱物、モンモリロナイト、アタパルジャイト、ベントナイト、酸性のゼオライト、イソポリ酸及びヘテロポリ酸;前記式中、R8は、水素、又は直鎖状のもしくは分枝鎖状の、飽和のもしくは一不飽和のあるいは多不飽和の、環式のもしくは非環式の、もしくは複数の環を含んでいる炭化水素基を意味し、かつR11及びR12は、水素、又は直鎖状のもしくは分枝鎖状の、飽和のもしくは一不飽和のあるいは多不飽和の、環式のもしくは非環式の、もしくは複数の環を含んでいる炭化水素基を意味する、請求項1から9までのいずれか1項に記載の方法。