金属製の板体からなる加熱板1と、この加熱板1の中に埋設されたシースヒータ3とを有するプレートヒータにおいて、加熱板1に設けた溝11の中にシースヒータ3を埋め込み、同シースヒータ3のその径に対する埋め込み深さを3/4~5/6とすると共に、溝11とシースヒータ3との間隙に充填したフィラー16により、加熱板1とシースヒータ3のシース13とを固定したことを特徴とする基板加熱プレートヒータ。加熱板1の溝11の開口縁に面取りcが施されていることを特徴とする請求項1に記載のプレートヒータ。シースヒータ3のシース13の厚さtが、0.8mm以上、4mm以下とし、且つ溶接によるシース13の溶け込み深さの2倍以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のプレートヒータ。シースヒータ3のシース13の外径に対して、同シース13の片側の加熱板1への溶接長さ18が30以上であることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載のプレートヒータ。本発明は、従来におけるプレートヒータの前記の課題に鑑み、加熱板の中にシーズヒータを収納した場合に、加熱-冷却時の温度変化に伴う熱応力、熱歪みが生じにくく、しかも溶接時におけるシースヒータのシースの溶断が起こりにくく、溶接部分のブローホールが生じにくいシースヒータの溶接部分を有するプレートヒータを提供することを目的とする。本発明では、前記の目的を達成するため、加熱板1に設けた溝11の中にシースヒータ3を埋め込んで溶接するに当たり、シースヒータ3の溝11内への同シースヒータ3のその径に対する埋め込み深さを3/4~5/6とし、溝11とシースヒータ3との間隙に充填したフィラー16により溶接するようにした。このときシース3の厚みは0.8mm以上、4mm以下とする。すなわち、本発明によるプレートヒータは、加熱板1に設けた溝11の中にシースヒータ3を埋め込み、その当該シースヒータ3の径に対する埋め込み深さを3/4~5/6とすると共に、溝11とシースヒータ3との間隙に充填したフィラー16により、加熱板1とシースヒータ3のシース13とを溶接したものである。フィラー16には、加熱板1とシール13と同一材質又はそれらに合った溶接棒を使用する。加熱板1とシースヒータ3のシース13の厚みが大幅2倍を超えてに違う場合、AC-TIG、MIG溶接の様なアーク放電による溶接では、発熱範囲が大きい為、熱容量の違うシース13のみ温度上昇し、加熱板1は、熱容量、熱放散も大きく温度が上がり難い為にシース13の溶断が生じてしまう。また、その緩和のために加熱板1等を予備加熱し、数百度の温度上昇させて溶接を行なう場合もあるが、加熱板1との熱容量差の大きくシース13が始めに解けてしまう。従って、入熱が、局所的で非常に大きい電子ビーム溶接やレーザー溶接あるいは摩擦攪拌接合による接合が考えられる。溝11と埋め込まれるシースヒータ3の間隙に充填したフィラー16を用いて溶接面積を増やことにより、シースヒータ3と加熱板1の熱伝導性も良好になり、シースヒータ3と加熱板1の温度差も小さくなり、熱応力が発生しにくくなる。しかし、この様に、フィラー16を用いて接合する場合、摩擦攪拌接合の様に、回転体の摩擦熱による接合は、加熱板1とシースヒータ3とフィラー16を固定しなければならず、電子ビーム溶接やレーザー溶接が望ましい。シースヒータ3のリード部のように立体的に立ち上がる様な複雑な形状の場合は、フィラー16を全体的には三角形の断面にして且つヒータシースに当たる面を円弧にした物を高温で押し付けて拡散接合する場合もあり得る。勿論、コストは高くなるが全てを拡散接合にすることが出来ることは言うまでもない。ここでは、コスト的に安く技術的に簡単なレーザービーム等に絞って説明する。加熱板1に設けた溝11の中に埋め込んだシースヒータ3をレーザ溶接するに当たっては、まず第一にブローホールの発生の問題がある。ブローホールは、溶加材から溶接部に移行した溶着金属の中に発生する気孔による球状の空洞のことであり、溶接部における溶接欠陥の一種となり得る。溶接中に溶融した金属が高温にさらされると、溶融金属がガスを吸収し、それらのガスが溶融金属の表面に浮き上がる前に凝固することによって溶接部分の内部に空洞が出来る。ブローホールは溶接部に存在する不連続部として存在するため、加熱板1とシースヒータ3が加熱-冷却を繰り返すときの熱応力によって亀裂の発生原因ともなる。さらに溶接に当たっての第二の問題は、シースヒータ3のシース13の溶断の問題である。加熱板1に設けた溝11の中に埋め込んだシースヒータ3を溶接するに当たっては、溶加材と共にシース13の表面部分が溶融する。このとき、その溶融部分がシースの内側の無機絶縁材15にまで達して無機絶縁材15が露出しシース13内のガスが吹き上げて溶接できず、陥没状の穴が出来てしまうのが溶断である。溶断部分が小さいときは欠陥にはならないが、溶断部分が前記ブローホール等の溶接部分内部の空洞を通して外部に通じると、シース13の機能が失われ、シーズヒータ3の絶縁不良等の原因となる。本件発明者らは、これの溶接欠陥が起こる状態を再現しながら、加熱板1に設けた溝11の中にシースヒータ3を埋め込む際の当該シースヒータ3の埋め込み深さを検討したその結果、シースの厚みは0.8mm以上とし、その埋め込み深さをシースヒータ3の径の3/4~5/6とすることにより、溶接欠陥が起こりにくいことに着目した。なお且つ、このような埋め込み深さとすることで、溶接金属の厚みが増したためシースヒータ3を加熱し、放熱した時の温度変化に伴う熱応力、熱歪みも生じにくいことが確認された。本発明は、このような着目を基になされたものである。但し、シースヒータ3の加工上の問題等からシース13の厚さは5mm以下となる。さらに、シースヒータ3のシース13の加熱板1への溶接強度の観点から、同シース13の片側の加熱板1への溶接長さ18はシースヒータ3のシース13の外径ABに対して30以上であることが好ましい。但し、シース13の加熱板1への溶接長さ18は当然のことながら、シース13の片側の円周長以下となる。加熱板3の溝11の開口縁に面取りcを施すことは、フィラー16を溶かし込んでいくときのガス出しを良くするためのものであり、大気圧のシールドガス中で行なうレーザー溶接を使用する場合に必要条件となる。この面取りcを施した部分の加熱板1とシースヒータ3との間隙に溶可材としてのフィラー16を充填し、このフィラー16をレーザ溶接する。さらに、シースヒータ3のシース13の溶断欠陥を防止する観点からは、シース13の厚さtが、溶接によるシース13の溶け込み深さの2倍以上であることが必要となる。以上説明した通り、本発明によれば、溶接部分のブローホールやシースヒータのシースの溶断が生じにくく、しかも加熱板とシーズヒータとの加熱-冷却時の温度変化に伴う熱応力による亀裂が生じにくく、これによって加熱板からのシースヒータの密着性の喪失や加熱板の熱歪みによる変形が起こりにくいプレートヒータが得られる。本発明は、シースヒータの溝内への埋め込み深さをシースヒータの径の3/4~5/6とし、溝とシースヒータとの間隙に充填したフィラーにより溶接し、前記の目的を達成するものである。以下、本発明を実施するための最良の形態について、詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態によるプレートヒータの底面図であり、図2はその側面図である。加熱板1は金属製の板からなり、最も好ましくはアルミニウム系合金の板が使用される。例えば厚さ50mmのアルミニウム合金の板体からなる。加熱板1をアルミニウム合金の板体とした場合、その加熱板1は表面を耐蝕化するため陽極酸化等の手段で表面酸化処理し、表面にアルマイトAl2O3等の酸化膜被膜を形成する。そのため、加熱板1としては陽極酸化等による表面処理に適したアルミニウム合金が使用される。例えば国際アルミニウム合金名として5000番台のAl-Mg系合金や6000番台のAl-Mg-Si系合金等を使用することになる。この加熱板1の所要の剛性を維持しながら肉薄化と軽量化を図る目的で、図1に示すように、その裏面にはリブ2が形成され、その間の部分は凹部9となっている。さらに、この加熱板1の裏面中央には円筒形のリード線引出筒部6が立設されている。加熱板1の中には、シースヒータ3が配線され、このシースヒータ3のリード線は前記リード線引出筒部6から電源側に引き出される。このシースヒータ3の配線パターンは、例えば図1に示すようなものであるが、これに限るものではない。シースヒータ3の配線パターンの設計に必要な点は、シースヒータ3による加熱板1の加熱温度が全面にわたって出来るだけ均一になるようなパターンとすることである。加熱板1の放熱量はその中心部より周辺部の大きいが、例えば中心部に前述のようなリード線引出筒部6が立設されているとそこからの放熱もある。これらのバランスが均衡するようにシースヒータ3を配置することで、放熱板1の温度分布の均一性が得られるようなシースヒータ3の配置パターンを採用する。図3は加熱板1のシースヒータ3が埋設された部分の断面を示しており、図2とは上下を逆にして示している。すなわち、図3では加熱板1の上面が下側にしてある。この図3に示すように、シースヒータ3は、金属筒状のシースの中にタングステン、ニクロム、タンタル等の高融点金属からなる電熱線14が収納され、これがシース13の中に充填したマグネシア粉末等からなる無機絶縁材15で絶縁されている。シースヒータ3のシース13は一般にステンレスが使用されるが、加熱板1が前述のようなアルミニウム合金の場合、シース13には同じようなアルミニウム合金のものを使用するのが好ましい。これにより、加熱板1とシース13との熱膨張率の違いによる熱応力が低減され、熱歪みによる加熱板1の反りや曲がりを低減することが出来る。図3に示したように、加熱板1の裏面に溝11を設け、この溝11の中に前記のシースヒータ3を埋め込んで装着する。図3に示した実施例では、溝11は断面U字形であり、その部分円筒形の曲率半径はシースヒータ3の径より僅かに大きい。このシースヒータ3は加熱板1の裏面側、すなわち図1に示した面側、図2において下面側に寄せて加熱板1の中に埋設する。加熱板1のシースヒータ3が埋設された部分の断面を示した図3において溝11へのシースヒータ3の埋込深さBと、シースヒータ3が加熱板1の裏面から突出した寸法Aとの比、A:B=1:3~5とする。シースヒータ3の径はABであり、その径に対する埋込深さBの割合は:B/AB=3/4~5/6とする。図3aは、A:B=1:3であり、その径に対する埋込深さB/AB=3/4である。図3bは、A:B=1:4であり、その径に対する埋込深さB/AB=4/5である。図3cは、A:B=1:5であり、その径に対する埋込深さB/AB=5/6である。さらに図3に示すように、溝11の開口縁には、その長手方向に沿って面取りcを施す。この面取りcの角度θは、θ=45 ゚前後が最適である。面取りは、フィラー16を設置しやすくするためと、フィラー16の湯流れを良くして、ある必要不可欠の溶接長さ18を確保するためであるが、さらにレーザービームLBはシース13に穴をあけずに溶接をするために、シース13の断面に対して接線方向に照射する必要がある。このとき、シース13の断面の接線方向に沿うよう移動させるレーザービームLBを、溝11の開口縁が遮らないようにするために、前述の角度の面取り角θをつける必要がある。この面取りcを施した溝11の開口部とシースヒータ3のシース13との間に溶可材としてのフィラー16を充填し、これにレーザビームLBを照射し、溶接する。この溶接の過程で、加熱板1の溝11の部分とシースヒータ3のシース13の外周部分とがフィラー16と共に一旦溶融し、混合し、その後硬化して一体の融着部分を形成する。これにより、図4に示すように、シースヒータ3が加熱板1の溝11に固定される。このように、前記溶接工程では、フィラー16と共にシースヒータ3のシース13も溶融するが、このときシース13の厚さtは、溶接による当該シース13の溶け込み深さの2倍以上とする。これにより、溶接時のシース13の溶融がシース13の内周部分に達することはなく、シース13が溶断により欠損することはない。加熱板1の溝11へのシースヒータ3の径に対する埋込深さB/ABを前述のように、3/4~5/6とし、実際に溝11の開口部とシースヒータ3のシース13との間にフィラー16を充填し、これにレーザビームLBを照射し、溶接試験を行った。この溶接試験では、シースヒータ3のシース13の厚さtは、溶接時の通常のシース13の溶け込み深さの2倍とした。この溶接試験の結果、溶接不良は何れも0であった。ここで言う溶接不良とは、A:溶接部分のブローホールの発生、B:シースヒータ3のシース13の溶断の発生、C:溶着不良の発生の3点の有無である。何れも、サンプル個所の断面目視検査により判定した。これに対して比較例として、加熱板1の溝11へのシースヒータ3の径に対する埋込深さB/ABを3/4未満及び5/6を越えるとし、同様にして溝11の開口部とシースヒータ3のシース13との間にフィラー16を充填し、これにレーザビームLBを照射し、溶接試験を行った。この比較例の溶接試験の結果、例えば図6のaに示すように、試験によりシースヒータ3の径の1/2~3/4未満のときは、溶接が出来るが、シースヒータ3の熱サイクルによる剪段力によって簡単に溶接部に亀裂が生じシースヒータ3が埋め込み溝11から浮いてしまう事が判明した。さらに、図6のbに示すように、シースヒータ3の径の5/6を超えると、溶接時の溶融部の重さと溶融部内の攪拌作用によってシースヒータ3のシース13が溶けて、その溶融部分がシースの内側の無機絶縁材15にまで達して、無機絶縁材15が露出しシース13内のガスが吹き上げて溶接できず、陥没状の穴が出来てしまう。上記試験でシース13に対する最小溶け込み深さはばらつきがあるものの0.4~0.8mmという結果が生じており、従って、シース13の厚みを0.8mm以上と決定した。更に、溶接時の欠陥が無く確実な溶接を得る為には、1.6mm以上とする必要があり好ましくは、2mm程度のシース厚が望ましい。この観点からは、シース13の厚さtが、溶接によるシース13の溶け込み深さの2倍以上であることが必要であると確認された。なお、ここでいう溶け込み深さとは、シース13の厚み方向において溶融部分の占める距離を指す。但し、一般にシースヒータ3は曲げ加工しなければならず、シース13の厚さは5mm以下でないと曲げ加工できない。また、現在のレーザー溶接工具の最大容量から、製作可能はシース13の厚さは4mm以下である。さらに次に述べるように、シース13の溶接長さ18をシースヒータ3の外径ABの30以上にするためには、シース13の厚みを4mm以下にしなければ製作できない。さらに図4に示すように、同シース13の片側の加熱板1への溶接長さ18はシースヒータ3のシース13の外径ABに対して30以上であるのが良い。この溶接長さを確保することによってシースヒータ3のシース13から加熱板1への熱伝導が良くなり、シース13と加熱板1との温度差が非常に少なくなって溶接部に発生する熱応力が小さくなって溶接強度上の問題が無くなるからである。シース13の片側の円周長は、シース13の外径ABに対してπ/2ABであるから、当然のことながら、加熱板1へのシース13の溶接長さ18はそれ以下となる。図5に示すように、シースヒータ3を加熱板1の溝11に溶接した後、このシースヒータ3が固定された加熱板1の裏面を覆うように、カバープレート4を被せ、これを図示してない固定手段で加熱板1に固定する。なお、この固定手段についてネジ等でもよいが、摩擦撹拌接合を用いるとカバープレート4の浮き上がりを防止しながら接合することができるため、より強固に固定することができ好ましい。これにより、加熱板1へのシースヒータ3の組み込みが完了する。