"レンズと鏡枠を有する光学系ユニットの光軸を、前記鏡枠を加熱することにより変形させることで調整して固定し、前記鏡枠の変形は、該鏡枠の加熱領域以外を冷却して変形しないようにして行うことを特徴とする光学系ユニットの製造方法。前記鏡枠の変形は、変形させる部分の内面及び外面の少なくとも一方に金属製の形状作成部材を挿入して調整し、該調整後に前記形状作成部材を抜き取ることを特徴とする請求項1に記載の光学系ユニットの製造方法。前記鏡枠が合成樹脂製であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学系ユニットの製造方法。前記鏡枠が金属と合成樹脂とを有する複合材料であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学系ユニットの製造方法。しかしながら、特許文献1では、顕微鏡の倍率が高いこと等に起因して、わずかなズレであっても性能に影響するため、金属製の鏡枠を高精度に切削加工等するのは困難であった。また、加工に先立ち、対物レンズ鏡枠をチャックで保持したり位置合わせするために、加工や調整時間に長時間を要していた。さらに、切削加工等により生じる切り粉等の異物が対物レンズ鏡枠内に混入する等のおそれもあった。このため、全体的に作業工数が増大し、製造コストがアップするという課題があった。本発明は斯かる課題を解決するためになされたもので、焦点距離の調整や視野調整を高精度でかつ低コストで行える光学系ユニットの製造方法を提供することを目的とする。前記目的を達成するため、請求項1に係る発明は、レンズと鏡枠を有する光学系ユニットの光軸を、前記鏡枠を加熱することにより変形させることで調整して固定し、前記鏡枠の変形は、該鏡枠の加熱領域以外を冷却して変形しないようにして行うことを特徴とする。請求項2に係る発明は、請求項1に記載の光学系ユニットの製造方法において、前記鏡枠の変形は、変形させる部分の内面及び外面の少なくとも一方に金属製の形状作成部材を挿入して調整し、該調整後に前記形状作成部材を抜き取ることを特徴とする。請求項3に係る発明は、請求項1または2に記載の光学系ユニットの製造方法において、前記鏡枠が合成樹脂製であることを特徴とする。請求項4に係る発明は、請求項1または2に記載の光学系ユニットの製造方法において、前記鏡枠が金属と合成樹脂とを有する複合材料であることを特徴とする。本発明によれば、レンズと鏡枠を有する光学系ユニットの光軸を、鏡枠を変形させることで調整して固定することにより、焦点距離の調整や視野調整を高精度でかつ低コストで行うことができる。以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。[光学機器の概略構成の説明]図1は、顕微鏡等の光学機器の概略構成を示している。この光学機器10は、光学系ユニット12とユニット本体13とを有している。ユニット本体13内には、光学系ユニット12を通過してきた対象物16からの光を電子信号に変換するCCDやCMOS等の撮像素子18が配置されている。なお、ユニット本体13内の接眼レンズ等は図示を省略している。光学系ユニット12は、鏡枠14と、これに内蔵された3個の対物レンズ221,222,223とを有している。鏡枠14は、合成樹脂ポリカーボネート等からなる中空円筒状をなし、ユニット本体13との接続基部にフランジ部24及びネジ部26を有している。この光学系ユニット12は、ネジ部26によりユニット本体13の取付基準面Pに螺合されている。この光学系ユニット12は、例えば顕微鏡の対物レンズユニットが該当する。なお、鏡枠14は、合成樹脂以外の、例えば金属又は金属と合成樹脂との複合材料からなるものであってもよい。この場合、光学系ユニット12における対物レンズ22の中心軸光軸Oとフランジ部24の底面24aとは、略直交するように精密に加工されている。このため、通常、光学系ユニット12をネジ部26によりユニット本体13に螺合し、かつフランジ部24の底面24aをユニット本体13の取付基準面Pに当接した状態では、ユニット本体13の中心軸撮像素子18とねじ部26との関係から設定される基準軸と、光学系ユニット12の光軸Oとが一致するようになっている。または、一致するように調整されている。しかし、光学系ユニット12の鏡枠14が、例えば合成樹脂等で構成されている場合、加工誤差、取付誤差、又はクリープ等により光軸Oが一致しない場合が生じ得る。特に、鏡枠14が合成樹脂製の場合には加工精度やクリープの影響が大きい。このときの誤差としては、光軸Oに対する位置ずれシフト、倒れチルト、又は軸方向の変位例えば、対物レンズ221とフランジ部24の底面24aとの間隔等が考えられる。このため、例えば、光学系ユニット12に内蔵された対物レンズ22に中心軸上に存在するフランジ部から設計的に決定されている物点位置から光線を出し、その焦点位置が設計値と一致するまで、フランジ部24の根元部付近を加熱部材20で加熱、軟化させて変形させ、調整を行う。図1に示すように、このときに鏡枠14を変形させる方向は、中心軸と平行なA方向、中心軸に対し垂直なB方向、又は中心軸に対する光軸Oの傾き、場合によっては中心軸に対する光軸Oの回転捩りである。なお、フランジ部24の根元部付近を加熱軟化させるには、その根元部に高温の気体を照射して加熱したり、加熱部材等の固体物質を直接接触させたり、ホーン治具により超音波振動を与えて非接触で発熱させたり、或いはレーザ光等の電子ビームを照射することで行うことができる。そして、光軸Oを調整するための鏡枠14の変形量が決定された状態で、鏡枠14を冷却し、位置調整を行う。このとき鏡枠14を変形させる量は、検出された調整量よりも材料物性のクリープ、収縮による戻り量を見込んだ量とするのが好ましい。次に、鏡枠14を変形するための具体的な実施形態について説明する。[第1の実施の形態]図2及び図3は、第1の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。図2は、対象物16の像が中心軸=理想の光軸Oからずれて結像している状態を示し、図3は、鏡枠14を変形させて光軸を調整した状態を示す図である。図2のずれは、光学系ユニット12の光軸が中心軸に対して傾斜チルト、又は横ずれシフトが生じていることに起因している。このため、光学系ユニット12の鏡枠14を変形させることで調整を行う。図3において、光軸方向に延びる鏡枠14のうち、対物レンズ222と223の中間位置の領域27を変形させる。そして、光学系ユニット12の光軸を、中心軸=理想状態の光軸Oと一致させる。鏡枠14を変形させるには、鏡枠14が合成樹脂製の場合、例えば鏡枠14の領域27の周りを所定温度に加熱して軟化させることにより行う。そして、軟化させた後に、所定方向例えば矢印C方向に圧力を付与して変形させる。こうして、光学系ユニット12の光軸調整を行う。なお、同時に必要に応じて傾斜又は横ずれの調整も行う。このとき、鏡枠14の加熱領域以外の部分は冷却して変形しないようにするとよい。鏡枠14を変形させた後は、領域27の付近を冷却して固化する。なお、鏡枠14を加熱するには、前述したように、領域27に高温の気体を照射したり、加熱ごて等の固体物質を直接接触させたり、超音波振動を与えて非接触で発熱させたり、或いはレーザ光等の電子ビームを照射することで行うことができる。また、鏡枠14が金属製の場合、変形方向に所定の荷重を加えて塑性変形させるとよい。さらに、加熱することで変形が容易となれば加熱後に荷重を加えて変形させてもよい。こうして、鏡枠14の対象物16に近い方の側を、領域27を中心として矢印C方向に光軸Oの周りに変形させて、撮像素子18の中心線方向に合致させたり、傾斜させたりする。本実施形態によれば、鏡枠14の所定領域27を変形させて光学系ユニット12の光軸を調整して光軸Oへ合致させることで、光学系ユニット12の視野中心のずれ、焦点位置のずれの補正等を容易かつ低コストで行うことができる。また、本実施形態によれば、鏡枠14を切削等により加工するものではないので、切削屑が発生することもなく、これらが鏡枠14内に入り込むこともない。このため、変形後も高い光学性能を維持することができる。[第2の実施の形態]図4及び図5は、第2の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。図4は、対象物16の像が撮像素子18の中心からずれて結像している状態を示し、図5は、鏡枠14を変形させて光学系ユニット12の光軸を中心軸=光軸Oと合致するよう調整した状態を示す図である。図4において、鏡枠14を例えば熱可塑性の合成樹脂で構成し、フランジ部24の近傍に不連続な調整部28を設けている。この調整部28は、円筒状をなす鏡枠14の部分よりも局部的に大径に形成され、かつ微小長さの円筒部からなっている。この調整部28は、鏡枠14において光軸方向の任意の位置に設けることができるが、フランジ部24に近い位置に設けるほど大きな変形量を得やすい。構造的に、固定部であるフランジ部24から調整部28までのスパンが長く、鏡枠14を光軸Oと直交する方向に撓みやすいためである。そして、本実施形態では、図5に示すように、この調整部28を変形させるため、該調整部28に対してレーザ照射部29からレーザ光を照射する。こうして、熱可塑性の樹脂からなる調整部28を加熱して軟化させる。次に、調整部28から対象物16側に近い鏡枠14部分を、矢印D方向に所定圧で付勢して変形させる。このときの鏡枠14を変形させる姿勢変化は、横ずれシフト、又は軸方向の鏡枠14の変位長さである。この場合、前記と同様に、加熱した調整部28のみを変形させるようにし、それ以外の鏡枠14の部分は変形しないように冷却するのが望ましい。本実施形態によれば、鏡枠14を変形させる領域の形状が、不連続な調整部28を有しているので、この調整部28付近の領域を加熱することで容易に変形させることができる。しかも、調整部28は構造的に変形しやすい構造であるので、変形の自由度を大きくとることができる。また、鏡枠14を切削等により加工するものではないので、切削屑が発生することもなく、これらが鏡枠14内に入り込むこともない。[第3の実施の形態]図6は、第3の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。本実施形態では、図6に示すように、鏡枠14の軸方向の中間部の変形領域33破線参照を変形させるものであるが、鏡枠14の円周方向の複数箇所に、軸方向に長い金属板55を矢印E方向に挿入している。そして、鏡枠14を変形させるには、例えばその変形領域33を加熱軟化させて変形させる。その後、鏡枠14の変形領域33に沿って部分的に形成した溝53、54に夫々金属板55を挿入する。この金属板55は、その弾発力で溝53、54に係止されたり、必要に応じて接着剤等で接着される。すると、この金属板55は、鏡枠14を変形させた後の変形に対する強度向上に寄与し、応力緩和やクリープ現象等の変形を防止する。本実施形態によれば、鏡枠14を金属と合成樹脂とを有する複合材料として構成したので、鏡枠14の機械的強度が増大するとともに、特に変形後の応力緩和やクリープによる変形に対する強度を向上させることができる。この場合も、鏡枠14を切削等により加工するものではないので、切削屑が発生することもなく、これらが鏡枠14内に入り込むこともない。[第4の実施の形態]図7は、第4の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。本実施形態では、光学系ユニット12とユニット本体13図1参照との取付け側を、樹脂製の鏡枠14と金属製の支持部材30との複合材料としたものである。すなわち、図7に示すように、鏡枠14は、ユニット本体13との取付け側に小径の円筒状の調整部21を有している。また、金属製の支持部材30は、内周壁31と外周壁32とを有する円筒状をなしている。そして、鏡枠14の調整部21の内周面21aを支持部材30の内周壁31で支持し、また、鏡枠14の外周面14aを支持部材30の外周壁32の先端部32aで支持している。こうして、光学系ユニット12とユニット本体13との取付は、支持部材30を介して行われる。光学系ユニット12の光軸を調整するには、調整部21の内周面21aを加熱軟化させ、支持部材30の外周壁32の先端部32aを支点として、鏡枠14を矢印F方向又は矢印G方向に付勢して傾斜させ、光軸Oに合致させる。この場合の鏡枠14の加熱は、例えばレーザ照射器34と反射鏡35を用いてレーザ光を調整部21の内周面21aの所定の位置に照射することにより行う。これにより、支持部材30に対する鏡枠14の傾きチルトが調整しやすくなる。本実施形態によれば、鏡枠14のユニット本体13との取付部を、樹脂部調整部21と金属部支持部材30との組み合わせで構成し、樹脂部を加熱軟化させて変形させるようにしたので、鏡枠14の傾きチルトを容易に調整することができる。また、金属製の支持部材30の先端部32aを支点として、鏡枠14を傾斜変形させるので、高精度な調整を行うことができる。[第5の実施の形態]図8~図11は、第5の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。図8は、変形対象の樹脂製鏡枠14を示し、図9は、樹脂製鏡枠14の内面にインサート部材36を挿入した状態を示し、図10は、樹脂製鏡枠14の内面にインサート部材36を挿入して軸方向に延ばした状態を示し、図11は、先端をテーパ状にしたインサート部材36の外観を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。本実施形態では、図8に示すように、変形対象の鏡枠14として合成樹脂製で、かつ軸方向の中間に厚肉の調整部58を有する場合を考える。そして、この鏡枠14の内面に、形状作成部材としての金属製のインサート部材36を矢印H方向に挿入する。この状態で、図9に示すように、トーチヒータ38を用いて不図示の気体供給元から供給された高温のガスを鏡枠14の調整部58に噴射する。これにより、鏡枠14の調整部58は加熱されて軟化する。この状態で、図10に示すように、鏡枠14の一端図10の左端側を不図示の引張り手段により矢印I方向に引っ張り、調整部58を同方向に引き延ばす。こうして、鏡枠14の対象物16側図10の左端側の長さが引き延ばされる。調整部58を引き延ばした後は、インサート部材36を鏡枠14から引き抜く。なお、このとき、図11に示すように、鏡枠14のチルトを調整するために、インサート部材36の先端部36aをテーパ状に形成してもよい。鏡枠14の調整時には、このテーパ面に沿って鏡枠14を傾斜させることで、鏡枠14のチルトを調整することができる。なお、本実施形態では、鏡枠14の内面にインサート部材36を挿入した場合について説明したが、これに限らない。例えば、鏡枠14の外面に円筒状のインサート部材36を嵌入してもよい。本実施形態によれば、鏡枠14の内面に金属製のインサート部材36を挿入して鏡枠14を加熱軟化し、調整した後に抜き取るようにしたので、鏡枠14の対象物16に近い側の長さを任意に調整することができる。この場合、鏡枠14の内面にはインサート部材36が挿入されているので、鏡枠14の内径が大きく変化することはない。このため、鏡枠14の内面に、設計値通りの対物レンズ221,222,223を収容することができる。[第6の実施の形態]図12は、第6の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。第2の実施の形態では、その図5において、熱可塑性の樹脂の調整部28を加熱して軟化させ、鏡枠14を所定方向に圧力を付加して変形させた。本実施形態では、同様の手段によって鏡枠14を変形させた後に、変形後の鏡枠14の外周に中空円筒状の外装部品40を嵌合するようにしたものである。この外装部品40は、軸方向の一端に形成されて鏡枠14のフランジ部24に当接する当接面40aと、軸方向の他端に形成されたテーパ部40bとを有している。このテーパ部40bの内側には、鏡枠14の先端側対象物側の外周面及び端面に係合する段差部40cが形成されている。この鏡枠14に外装部品40を取付けるには、変形させた後の鏡枠14の調整部28の最外部に外装部品40の内面を当接させ、かつ鏡枠14の先端側の外周面及び端面に段差部40cを係合させる。もちろん接着剤を用いた固定を行ってかまわない。これにより、鏡枠14は外装部品40によって変形後の形状がそのまま保持され、温度湿度等の環境変化によっても容易には変形することがない。このため、光学系ユニット12の視野中心のずれ、焦点位置のずれの補正等を行った後の状態を長期に亘り維持することができる。本実施形態によれば、鏡枠14の変形は、変形させた領域を利用して鏡枠14に外装部品40を取付けるようにしたので、鏡枠14は外装部品40によって、応力緩和やクリープ、あるいは外力等による変形に対して形状をそのままかつ長期に亘って保持することができる。[第7の実施の形態]図13は、第7の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。本実施の形態では、鏡枠14に光線を透過させた状態で撮像素子18に形成された結像をモニタリングしながら、設計位置からズレのある光学系ユニット12の光軸を、中心軸=光軸Oの位置へ調整を行うものである。図13において、ユニット本体13と光学系ユニット12とは調整治具42を介して取り付けられている。この調整治具42は、ユニット本体13の取付基準面Pに固定されたアウタレース43と、光学系ユニット12のフランジ部24に固定されたインナレース44、及びこれらアウタレース43とインナレース44の対向面間の溝に嵌入された多数のボール45とを有している。この調整治具42により、光学系ユニット12とユニット本体13とは、光軸Oの周りに相対的に回転可能となっている。また、対象物としてのチャート16と調整治具42、及び撮像素子18は予め同軸に調整され、中心軸上に配置されている。チャート16には、図14に示すように、直角に交差する十字線461が描かれている。図15は、撮像素子18で撮像された十字線461の画像462を示している。この画像462は、撮像素子18の中心の座標460に対し略平行に微小距離X,Yだけずれている。そこで、光学系ユニット12に光を透過させてチャート16を撮影し、モニタリングしながら撮像素子18上で撮影された画像462のずれがなくなるように調整する。そのために、光学系ユニット12の光軸Oの調整を行うが、そのためには、前述したように、例えば鏡枠14を加熱軟化させて行う。図16は、鏡枠14の変形を、光学系ユニット12とユニット本体13とを光軸Oの周りに相対的に回転させながら行う場合を示している。そして、撮像素子18上で撮像された画像462のずれがなくなるように調整する。このように、光学系ユニット12を回転させてモニタリングしながら鏡枠14を変形させることで、全ての方向での鏡枠14のチルトやシフト等のずれ量を検査することができる。このとき、鏡枠14を変形させて調整するずれ量XΔX,YΔYは、モニタリング画像によるずれ量X,Yよりも大きめに、材料物性のクリープ、応力緩和や収縮等による戻り量を見込んだ量とする。すなわち、予想される合成樹脂の変形量の総和を見込んで調整すべきずれ量XΔX,YΔYを決定する。また、鏡枠14を変形させるには、前述したように、鏡枠14に高温の気体を照射して加熱したり、加熱部材等の固体物質を接触させたり、ホーン治具により超音波振動を与えて非接触で発熱させたり、或いはレーザ光等の電子ビームを照射することで行うことができる。なお、本実施形態では、鏡枠14に光線を透過させた状態でモニタリングしながら光軸調整を行う場合について説明したが、これに限らない。例えば、鏡枠14に光線を反射させた状態で行ってもよい。またチャート16は、軸上光軸Oに対して回転させても位置が変わらないでモニタリングしているが、軸外視野、撮影範囲内の、光軸からずれた位置に用意されたチャートを同様に撮影して、撮像素子の中心軸からのズレ量が、回転させても一定になる様調整してももちろんかまわない。なお、これまで説明してきた光軸の調整は、近軸領域における調整だけではなく、透過光線全体のバランスを調整し最良の状態を得るために行う手段であっても良い。本実施形態によれば、鏡枠14の変形は、ユニット本体13に対し鏡枠14を光軸Oの周りに相対的に回転させながら調整を行うため、全方向のズレを検査しながら正確に行うことができる。また、調整後の樹脂のクリープや収縮、応力緩和等による変化を見込んでずれ量を決定しているので、経年変化の少ない高精度な光軸調整を行うことができる。[第8の実施の形態]図17abは、第8の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。本実施の形態では、鏡枠14を加熱軟化させる手段として鏡枠14に加熱治具48を接触させて加熱するものである。こうして、鏡枠14を加熱軟化させた後に変形させる。図17abに示すように、鏡枠14の変形したい領域47破線部の周りに加熱治具48を接近させて接触させ、加熱軟化して変形させている。加熱治具48は、円周を略等間隔に分割した4個の加熱部材481,482,483,484を有している。これらの加熱部材481,482,483,484を、矢印の4方向から鏡枠14に近づけて接触させる。これにより、鏡枠14を変形させ調整した後、加熱治具48を退避させる。その後、変形させた領域が元に戻らないように鏡枠14を冷却し、固化させる。なお、鏡枠14を加熱軟化させる手段としては、本実施形態のように、加熱部材481,482,483,484等を直接接触させる以外にも、高温の気体を照射して加熱したり、ホーン治具により超音波振動を与えて非接触で発熱させたり、レーザ光等の電子ビームを照射して加熱することができる。本実施形態によれば、鏡枠14の変形したい領域47破線部の周りに4方から加熱治具48を直接接触させて加熱軟化させているので、鏡枠14の所望の変形領域のみを集中的に変形させることができる。こうして、光学系ユニット12の光軸調整を正確に行うことができる。[第9の実施の形態]図18は、第9の実施の形態の光学系ユニットの製造工程を示している。なお、第1の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。本実施の形態では、鏡枠14を変形させる領域が、光学素子ユニット12の光線出口側を変形させるものである。図18において、この光学機器10のユニット本体13は、ランプ等の光源60からの光を集光する集光レンズ61と、集光レンズ61を通過した光を反射させる反射鏡62と、光学系ユニット12を通過してきた対象物16からの光を拡大する接眼レンズ64と、この接眼レンズ64を通過した光を電子信号に変換する撮像素子18とを備えている。そして、鏡枠14を変形させる領域として、光学系ユニット12における光線出口側に設けた調整部28を変形させている。鏡枠14を合成樹脂製とし、その調整部28を加熱軟化させて変形させる。これにより、光学系ユニット12の光軸調整を行っている。なお、本実施形態では、光学系ユニット12の光線出口側の鏡枠14を変形させた場合について説明したが、これに限らず、例えば光学系ユニット12の撮像面側又は観察側を変形させても良い。さらに、光学系ユニット12の光線出口側、撮像面側、又は観察側のいずれか複数箇所を組み合わせて変形させてもよい。本実施形態によれば、光学系ユニット12の光線出口側の鏡枠14を変形させるようにしたので、光線出口側の調整部28を少し変形させるだけで、光軸Oに対する鏡枠14の傾きチルトの調整量を大きくとることができる。すなわち、少しの変形で大きな調整幅を得ることができる。"