それぞれ2つの異なる材料で構成された第1の回折格子と第2の回折格子を積層することによって形成される回折光学素子であって、前記第1の回折格子を構成する2つの材料のd線に対する消衰係数の差は0.0002よりも大きく且つ0.002より小さく、前記第2の回折格子を構成する2つの材料のd線に対する消衰係数の差は0.0002よりも大きく且つ0.002より小さく、以下の条件式を満足することを特徴とする回折光学素子。0.05<|Δnd1|<0.30.05<|Δnd2|<0.320<|Δνd1|<40|Δνd2|<15但し、Δnd1は前記第1の回折格子を構成する前記2つの材料のd線に対する屈折率の差、Δnd2は前記第2の回折格子を構成する前記2つの材料のd線に対する屈折率の差、Δνd1は前記第1の回折格子の前記2つの材料のアッベ数の差、Δνd2は前記第2の回折格子の前記2つの材料のアッベ数の差である。以下の条件式を更に満たすことを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。0<|d1|×k11-k12|d2|×k21-k22<0.006但し、k11、k12は前記第1の回折格子を構成する前記2つの材料のd線に対する前記消衰係数、k21、k22は前記第2の回折格子を構成する前記2つの材料のd線に対する前記消衰係数、d1は第1の回折格子の格子高さ、d2は第2の回折格子の格子高さである。前記第1の回折格子と前記第2の回折格子のそれぞれの2つの材料のいずれか一方が吸収を有する材料であることを特徴とする請求項1または2に記載の回折光学素子。前記吸収を有する材料はITO微粒子を含む材料であることを特徴とする請求項3に記載の回折光学素子。前記第1の回折格子と前記第2の回折格子の前記吸収を有する材料が同じ材料であることを特徴とする請求項3または4に記載の回折光学素子。前記吸収を有する材料がITO微粒子を混合させた樹脂材料であることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載の回折光学素子。以下の条件式を更に満足することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の回折光学素子。0.940≦{d1×n12-n11d2×n22-n21}/m×λ≦1.060但し、n11、n12は前記第1の回折格子を構成する前記2つの材料の可視帯域の任意の波長の光に対する屈折率、n21、n22は前記第2の回折格子を構成する前記2つの材料の可視帯域の任意の波長の光に対する屈折率、d1は第1の回折格子の格子高さ、d2は第2の回折格子の格子高さ、波長λは前記可視帯域の前記任意の波長、mは設計次数である。以下の条件式を更に満たすことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の回折光学素子。|d1||d2|<30μm前記第1の回折格子と前記第2の回折格子を構成する少なくとも一つの材料は以下の条件式を更に満たすことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の回折光学素子。0.35<θgF<-1.665E-07×νd35.213E-05×νd2-5.656E-03×νd0.715但し、θgFは材料の部分分散比、νdは前記少なくとも一つの材料のアッベ数である。請求項1乃至9のいずれか1項に記載の回折光学素子を有することを特徴とする光学系。請求項10に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。特許文献2、3は、リニア異常分散性を有する材料としてITOIndium-TinOxide微粒子を樹脂に分散した材料を用いている。しかし、ITOは電子遷移による屈折率の変化と錫のドーピングや酸素の空孔によりフリーキャリアが発生し屈折率が変化する。この電子遷移とフリーキャリアの存在により非常に強いリニア分散特性を有する。一方、ITOは透明電極に使用されるなど、透過率が比較的高い材料として知られている。しかしながら、それ以上の高い透過率を要求される光学系にITOを用いる場合には十分とはいえない。このITOの透過率の低下は錫のドーピングに起因しており、強いリニア分散特性を有しかつ透過率が極めて高い材料を得ることは極めて困難である。このため、単一格子内において、ITOを分散した材料の格子高さの絶対値が相対的に高い部分と絶対値が相対的に低い部分とを比較すると、透過率差が発生してしまう。回折光学素子の単一格子内における透過率差は格子と格子の間隔ピッチに対して光束の幅が広いときには問題とならないが、光束の幅が狭くなるにつれて像面照度ムラを引き起こす。透過率差を小さくするためにITO微粒子の混合比率を下げると回折効率が低下する。本発明は、高い回折効率を得ながら単一格子内における透過率差の低減を可能にする回折光学素子、光学系および光学機器を提供することを目的とする。本発明の回折光学素子は、それぞれ2つの異なる材料で構成された第1の回折格子と第2の回折格子を積層することによって形成される回折光学素子であって、前記第1の回折格子を構成する2つの材料のd線に対する消衰係数の差は0.0002よりも大きく且つ0.002よりも小さく、前記第2の回折格子を構成する2つの材料のd線に対する消衰係数の差は0.0002よりも大きく且つ0.002よりも小さく、0.05<|Δnd1|<0.3、0.05<|Δnd2|<0.3、20<|Δνd1|<40、|Δνd2|<15を満足する。但し、Δnd1は前記第1の回折格子を構成する前記2つの材料のd線に対する屈折率の差、Δnd2は前記第2の回折格子を構成する前記2つの材料のd線に対する屈折率の差、Δνd1は前記第1の回折格子の前記2つの材料のアッベ数の差、Δνd2は前記第2の回折格子の前記2つの材料のアッベ数の差である。本発明によれば、高い回折効率を得ながら単一格子内における透過率差の低減を可能にする回折光学素子、光学系および光学機器を提供することができる。図1は本実施形態の回折光学素子10の正面図及び側面図である。平板又は曲面より成る基板レンズ20、30の面に回折光学素子DOE10が形成されている。本実施例では、DOE10が形成されている基板レンズ20、30の面は曲面となっている。DOE10は光軸Oを中心とした同心円状の回折格子形状からなり、レンズ作用を有している。図2は図1のA-A′線に沿った部分拡大断面図である。格子形状を分かりやすくするために、格子高さ深さ方向にかなりデフォルメされ、基板レンズ20、30のDOE10が形成される面を平面としている。DOE10は、材料11で構成される回折格子と材料12で構成される回折格子が密着した第1の回折格子1と材料21で構成される回折格子と材料22で構成される回折格子が密着した第2の回折格子2が密着されることによって形成されている積層DOE。第1、第2の回折格子1、2は同心円状のブレーズ構造の格子形状からなり、格子ピッチを中心光軸から周辺へ向かって徐々に変化させることでレンズ作用光の収斂作用や発散作用を得ることができる。そして、各回折格子1、2は、格子面および格子壁面は互いに隙間なく接し、全層を通して一つのDOE子10として作用している。ブレーズ構造にすることによってDOE10に入射した入射光は、特定の回折次数図では1次方向に集中して回折する。図2に示す積層DOEにおいて、設計波長又は使用波長λにおいてある次数の回折光の回折効率を最大にするために、スカラー回折理論に従い、格子部の最大光路長差を回折格子全体に亘って加算した値が設計波長の整数倍になるように決定する。回折格子のベース面に垂直に入射する波長λの光線に対して、回折次数mの回折光の回折効率が最大となる条件は次式で与えられる。数式1において、n11、n12、n21、n22はそれぞれ回折格子を形成する材料11、材料12、材料21、材料22の波長λでの屈折率、d1、d2は第1、第2の回折格子の格子高さであり、mは回折次数である。ここで、図2に示す0次光よりも下向きに回折する光線の回折次数を正の回折次数とし、0次光よりも上向きに回折する光線の回折次数を負の回折次数とする。また、屈折率n11、n12、n21、n22がn11>n12、n21<n22であり、格子高さの正負の符号は、図2の下から上に向かって回折格子を構成する材料11の格子高さが減少する材料12の格子高さが増加する場合d1、d2共に負とする。図2に示すDOEにおいて、波長λでの回折効率ηλは次式で与えられる。数式2のm1、m2、φ1、φ2は次式で与えられる。本実施形態の回折光学素子の使用波長領域は可視域であるため、可視領域全体で単一格子内の透過率差を低減しながら設計次数の回折光の回折効率が高くなるように、第1の回折格子1及び第2の回折格子2を構成する材料及び格子高さを選択する。即ち、複数の回折格子を通過する光の最大光路長差回折部の山と谷の光路長差の最大値が使用波長域内で、その波長の整数倍付近となるように各回折格子の材料及び格子高さが定められている。このように回折格子の材料、形状を適切に設定することによって、使用波長全域で高い回折効率が得られる。可視波長帯域全域で99以上の回折効率を得るためには、吸収を有するITOを含んだ材料を用いることが必要不可欠であるが、単一格子内において透過率差が発生してしまう。これに対して、本発明者は、第1の回折格子で発生する透過率差と第2の回折格子で発生する透過率差を積層DOEの素子構成によって相殺して上記透過率差を低減することができることを発見した。図4は、実施例1~5および比較例のDOEの材料のd線における屈折率ndとアッベ数νdの関係を示す図である。比較例は、2つの回折格子を密着配置し、各回折格子を構成する材料に低屈折率高分散材料と高屈折率低分散材料を用い、回折格子の高さを適切に設定した密着2層DOEを使用している。一方、本実施例は、密着2層DOEの高屈折率低分散材料をさらに高屈折率化させ、それにより回折効率が低下する部分について、低屈折率高分散材料と高屈折率高分散材料を組み合わせた第2の回折格子として、第1の回折格子と積層した構成としている。これにより、可視域全域で99以上の回折効率を得ることができ、同時に単一格子内における透過率差を低減できる。図示していないが、第2回折格子について低屈折率高分散材料と低屈折率低分散材料を組み合わせて第1の回折格子と積層した構成とすることによっても可視域全域で99以上高い回折効率を得ることができる。しかしこの場合は、単一格子内における透過率差を低減することができない構成となることを確認している。以下の条件式を満足することにより、高い回折効率と透過率差の低減を可能にするDOEを得ることができる。但し、Δnd1、Δnd2はそれぞれ第1、第2の回折格子のそれぞれの2つの材料のd線における屈折率の差、また、Δνd1、Δνd2はそれぞれ第1、第2の回折格子のそれぞれ2つの材料のアッベ数の差である。数式5、6の下限を満足しないと屈折率差が小さくなり、可視域全域の回折効率を高くした場合に第1と第2の回折格子の格子高さの差が大きくなる。この結果、透過率差の低減効果が小さくなるため好ましくない。数式7の下限、数式8を満足しないと可視域全域の回折効率を高くすることができないため好ましくない。数式5の上限、数式6の上限、数式7の上限を満足しないと材料を選択することが困難になるため好ましくない。また、以下の条件式を満足することが好ましい。但し、k11、k12、k21、k22はそれぞれ第1の回折格子を構成する材料11、12、第2の回折格子を構成する材料21、22のd線における消衰係数である。数式9、10の下限を満たさないと吸収を有する材料を用いないため、可視域全域で高い回折効率を得ることが困難となる。また、第1の回折格子と第2の回折格子の透過率差を相殺することができないために、透過率差を低減することができない。数式9、10の上限を満たさないと第1の回折格子を構成する材料11、12、第2の回折格子を構成する材料21、22のいずれかの材料の吸収が大きくなる。この結果、透過率の絶対値が下がり、高い透過率を要求される光学系への適用が困難となるので、好ましくない。更に、次式の条件を満足することにより単一格子内における透過率差の低減を可能にする回折光学素子得ることができる。回折格子の少なくとも一つの材料に、以下の条件式の上限を満足する部分分散比がリニア特性を有する材料を使用することによって可視域全域で高い回折効率を得ることができる。なお、νdは前記少なくとも一つの材料のアッベ数である。条件式の下限を満足しないと材料を選択することが困難になるため好ましくない。また、数式1を設計次数と波長の積で割った式が以下を満足することによって、設計次数の回折効率の低下を低減して可視域全域で99以上の高い回折効率を得ることができる。但し、λは可視帯域の任意の波長である。また、回折効率の角度依存性を小さくして応用できる光学系の制限を少なくするために、第1の回折格子の格子高さと第2の回折格子の格子高さの絶対値の和は次式を満足することが好ましい。実施例1は、材料11にZrO2微粒子を20vol混合させたアクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.6087、νd=48.7、θgF=0.582を使用する。また、材料12にITO微粒子を15vol混合させたフッ素アクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.4970、νd=19.0、θgF=0.410を使用する。また、材料21にITO微粒子を15vol混合させたフッ素アクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.4970、νd=19.0、θgF=0.410を使用する。材料22にチオアクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.6356、νd=22.7、θgF=0.689を使用する。材料12と材料21は同じITO微粒子を混合させた樹脂材料である。格子高さd1は-10.12μm、d2は-4.00μm、設計次数は1次である。材料11、12、21、22のベース厚h11、h12、h21、h22はそれぞれ30μm、1.0μm、1.0μm、30μmである。ベース厚とは格子が形成されていない部分の厚さである。部分分散比θgFは次式で定義される。材料12と21に可視波長帯域で吸収を有するITOを含んだ材料を使用し、第1の回折格子1と第2の回折格子2の格子の向きが同じである。このため、単一格子内において第1の回折格子1で発生する透過率差と第2の回折格子2で発生する透過率差をあわせた透過率差を低減することができる。また、本実施例では材料12と21は同じ材料を用いているため、図2のh12とh21の界面はないことになる。図3aは、実施例1のDOE10の設計次数1次での回折効率および0次と2次の回折効率の特性を示すグラフである。不要次数光の回折効率については0次と2次の回折光についてのみ対象にしているが、これは0次と2次から離れた次数ほど、回折効率が急激に下がるためである。図3aにおいて、設計次数である1次光の回折効率を左側の縦軸に、0次光および2次光の回折効率を右側の縦軸に示し、横軸は波長nmである。入射角度は垂直の場合である。同図に示すように、設計次数の回折効率は可視全域波長430nm~670nmで99.8以上得られており、不要次数の回折効率も可視全域で0.1以下となっている。また、可視波長帯域として知られている400nm~700nmの帯域のうち、波長430nm~670nmを対象としている。これは400nm~430nmおよび670nm~700nmは波長比視感度が低いため画像に対する影響が小さいためである。もちろん、この波長帯域が広いほうがより好ましく、この波長帯域に限定されない。これらは以下の実施例についても同様である。図3bは、実施例1のDOE10の単一格子内の両端における透過率差ΔTの特性を示すグラフである。横軸が波長nmで縦軸が透過率差である。単一格子内における透過率差とは図2に示すような透過率T1とT2の差であり、次式で与えられる。但し、k11、k12、k21、k22はそれぞれ材料11、12、21、22の材料の消衰係数である。また、材料11および22は吸収がほとんどないために無視して問題はない。図3bに示すように、実施例1のDOE10の透過率差は可視全域波長430nm~670nmの平均値で8.4となっており、後述する比較例よりも透過率差が低減しており、像面照度ムラを低減することができる。以上、本実施例によれば、数式5~8を満足する材料と数式13を満たす格子高さを選択し、数式9~11を満足する所定の積層DOEを採用しているので可視域全域において99以上の回折効率を確保して単一格子内の透過率差を低減することができる。なお、本実施例は、DOEの材料、製造方法に限定されない。これは以下の実施例でも同様である。実施例2は、材料11にZrO2微粒子の混合比率を増加させ、ZrO2微粒子を30vol混合させたアクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.6493、νd=47.8、θgF=0.589を使用する。材料12、21、22は実施例1と同じである。格子高さd1は-9.54μm、d2は-6.20μm、設計次数は1次である。また、材料11、12、21、22のベース厚はh11、h12、h21、h22は実施例1と同じである。図5aは、実施例2のDOE10の設計次数1次での回折効率および0次と2次の回折効率の特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3aと同じである。同図に示すように、設計次数の回折効率は可視全域で99.5以上得られており、不要次数の回折効率も可視全域で0.2以下となっている。図5bは、実施例2のDOE10の単一格子内における透過率差ΔTの特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3bと同じである。同図に示すように、透過率差は可視全域の平均値で4.5となっており、後述する比較例よりも透過率差が低減しており、像面照度ムラを低減することができる。実施例1と比較して設計次数の回折効率が若干低下しているが、透過率差は実施例1よりも低減している。以上、本実施例によれば、数式5~8を満足する材料と数式13を満たす格子高さを選択し、数式9~11を満足する所定の積層DOEを採用しているので可視域全域において99以上の回折効率を確保して単一格子内の透過率差を低減することができる。実施例3は、材料22にアクリル系紫外線硬化樹脂40volとチオアクリル系紫外線硬化樹脂60volを混合した樹脂nd=1.5919、νd=28.0、θgF=0.667を使用し、材料11、12、21は実施例1と同じである。格子高さd1は-10.38μm、d2は-4.88μm、設計次数は1次である。また、材料11、12、21、22のベース厚はh11、h12、h21、h22は実施例1と同じである。図6aは、実施例3のDOE10の設計次数1次での回折効率および0次と2次の回折効率の特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3aと同じである。同図に示すように、設計次数の回折効率は可視全域で99.6以上得られており、不要次数の回折効率も可視全域で0.2以下となっている。図6bは、実施例3のDOE10の単一格子内における透過率差ΔTの特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3bと同じである。同図に示すように、透過率差は可視全域の平均値で7.4となっており、後述する比較例よりも透過率差が低減しており、像面照度ムラを低減することができる。以上、本実施例によれば、数式5~8を満足する材料と数式13を満たす格子高さを選択し、数式9~11を満足する所定の積層DOEを採用しているので可視域全域において99以上の回折効率を確保して単一格子内の透過率差を低減することができる。実施例4は、材料11にK-VC80K-VC80は株式会社住田光学ガラスの商品名、nd=1.6938、νd=53.1、θgF=0.549を使用している。また、材料22にK-CD120K-CD120は株式会社住田光学ガラスの商品名、nd=1.7722、νd=29.2、θgF=0.604を使用している。材料12、21は実施例1と同じである。格子高さd1は-11.55μm、d2は-7.46μm、設計次数は1次である。また、材料11、12、21、22のベース厚はh11、h12、h21、h22は実施例1と同じである。図7aは、実施例4のDOE10の設計次数1次での回折効率および0次と2次の回折効率の特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3aと同じである。同図に示すように、設計次数の回折効率は可視全域で99.7以上得られており、不要次数の回折効率も可視全域で0.1以下となっている。図7bは、実施例4のDOE10の単一格子内における透過率差ΔTの特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3bと同じである。同図に示すように、透過率差は可視全域の平均値で5.3となっており、後述する比較例よりも透過率差が低減しており、像面照度ムラを低減することができる。以上、本実施例によれば、数式5~8を満足する材料と数式13を満たす格子高さを選択し、数式9~11を満足する所定の積層DOEを採用しているので可視域全域において99以上の回折効率を確保して単一格子内の透過率差を低減することができる。実施例5は、材料12にITO微粒子を15vol混合させたフッ素アクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.4970、νd=19.0、θgF=0.410を使用している。また、材料21にITO微粒子を23vol混合させたフッ素アクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.5313、νd=14.9、θgF=0.395を使用している。材料11、22は実施例1と同じである。格子高さd1は-13.34μm、d2は-8.55μm、設計次数は1次である。また、材料11、12、21、22のベース厚はh11、h12、h21、h22は実施例1と同じである。図8aは、実施例5のDOE10の設計次数1次での回折効率および0次と2次の回折効率の特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3aと同じである。同図に示すように、設計次数の回折効率は可視全域で99.0以上得られており、不要次数の回折効率も可視全域で0.4以下となっている。図8bは、実施例5のDOE10の単一格子内における透過率差ΔTの特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3bと同じである。同図に示すように、透過率差は可視全域の平均値で0.3となっており、後述する比較例よりも透過率差が大幅に低減しており、像面照度ムラを低減することができる。以上、本実施例によれば、数式5~8を満足する材料と数式13を満たす格子高さを選択し、数式9~11を満足する所定の積層DOEを採用しているので可視域全域において99以上の回折効率を確保して単一格子内の透過率差を低減することができる。実施例5は、材料12と21に異なった材料を用いているために、素子構成の自由度が上がる。特に、第1の回折格子と比較して、格子高さが低い第2の回折格子の材料に吸収の大きいITO分散量が大きい材料を選択した構成とすることによって、透過率差がほとんどない素子構成が実現できる。積層DOEの素子構成については第1の回折格子と第2の回折格子の順番、格子の向きを適宜変えても回折効率、単一格子内の透過率差は変わらない。実施例5の構成を例として積層DOEの素子の構成を入れ替えた構成例1~7を表1に示す。構成例1は図9の構成で実施例5の材料11と材料12、材料21と材料22をそれぞれ入れ替えて、格子の向きを共に反転させた構成である。構成例2は図10の構成で実施例5の材料21と材料22を入れ替えて、第2の回折格子の向きを反転させた構成である。構成例3は図11の構成で実施例5の材料11と材料12を入れ替えて、第1の回折格子の向きを反転させた構成である。構成例4、5、6、7はそれぞれ構成例1、2、3の材料11と材料21、材料12と材料22をそれぞれ入れ替えた構成である。これらの構成はそれぞれのベース厚を同じと仮定した場合、全て構成例1と同じ回折効率、透過率差となる。比較例図13は、DOE10に対応する比較例の密着2層DOE3の部分拡大断面図である。材料31はZrO2微粒子を6vol混合させたアクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.5521、νd=50.4、θgF=0.570を使用している。材料32はITO微粒子を15vol混合させたフッ素アクリル系紫外線硬化樹脂nd=1.4970、νd=19.0、θgF=0.410を使用している。格子高さd3は-10.52μm、設計次数は1次である。また、材料31、32のベース厚はh31、h32はそれぞれ30μm、1.0μmである。図14aは、DOE3の設計次数1次での回折効率および0次と2次の回折効率の特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3aと同じである。同図に示すように、設計次数の回折効率は可視全域で99.9以上得られており、不要次数の回折効率も可視全域で0.1以下となっている。図14bは、DOE3の単一格子内における透過率差ΔTの特性を示すグラフである。縦軸と横軸の定義は図3bと同じである。同図に示すように、DOE3の透過率差は可視全域の平均値で14.9となっており、実施例1~5のDOE10と比較して大きく、像面照度ムラが発生する。比較例では密着2層DOEの構成を示したが、図13の回折格子材料31と32を分離させて、境界に空間を有する構成にすると積層DOEの構成となる。この場合も透過率差は図14bと同じになる。このため、従来の密着2層DOEも積層DOEの透過率差は同じく大きいことになる。図12は、デジタルスチルカメラの撮影レンズ撮影光学系101の断面図であり、撮影レンズ101は絞り40と各実施例のDOE10を有している。41は結像面で、フィルムまたはCCD等の光電変換素子が配置されている。DOE10は撮影レンズ101の色収差を補正する。DOE10は、高い回折効率を維持すると共に単一格子内の透過率差を低減しているので、フレアが少なく像面照度ムラが少ない高性能な撮影レンズが得られる。図12では前玉のレンズの貼り合せ面にDOE10が設けられているが、これに限定されるものではなく、レンズ表面に設けても良いし、撮影レンズ内に複数DOE10を使用してもよい。また、光学機器と光学系はデジタルスチルカメラの撮影レンズに限定されず、ビデオカメラの撮影レンズ、事務機のイメージスキャナー、デジタル複写機のリーダーレンズなど広波長域で使用される結像光学系に適用可能である。以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。