"パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドによって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置であって、前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給回収機構と、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給回収機構、ヘッド昇降機構とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動機構とを備え、前記クリーニングヘッドには、長尺板状の弾性体より成りこのクリーニングヘッドが上昇した状態において上端部が前記クリーニングペーパを介して前記スクリーンマスクの下面に当接するブレード部材が、前記クリーニング方向に直交する方向に長手方向を一致させて、且つクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜して配設されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。前記ブレード部材の剛性を長手方向に沿って変化させることにより、前記上端部がスクリーンマスクの下面に作用させる撓み反力の前記長手方向における分布、前記上端部とスクリーンマスクの下面との密着度の前記長手方向における分布を、それぞれについて所望の分布形態にすることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。前記ブレード部材の厚みを長手方向に沿って変えることにより、剛性を長手方向に沿って変化させることを特徴とする請求項2記載のスクリーン印刷装置。前記ブレード部材は複数の単位板部材を積層して成り、積層する単位板部材の枚数を長手方向に沿って変えることにより、剛性を長手方向に沿って変化させることを特徴とする請求項2記載のスクリーン印刷装置。パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドによって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置において、前記スクリーンマスクをクリーニングペーパによってクリーニングするマスククリーニング方法であって、前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給回収機構と、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給回収機構、ヘッド昇降機構とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動機構とを備え、前記クリーニングヘッドには、長尺板状の弾性体より成りこのクリーニングヘッドが上昇した状態において上端部が前記クリーニングペーパを介して前記スクリーンマスクの下面に当接するブレード部材が、前記クリーニング方向に直交する方向に長手方向を一致させて配設されており、前記ブレード部材をクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜させた状態で前記拭き取りを行うことを特徴とするマスククリーニング方法。しかしながら上述の先行技術例においては、マスクの変形度合いの変化によってヘッド部とスクリーンマスクとの密着性が安定しないという難点があった。すなわち、スクリーン印刷動作を反復する過程においてスクリーンマスクには繰り返し荷重が作用して湾曲度合いが変化する。このためヘッド面をスクリーンマスクに倣った形状にしていても、スクリーンマスクの経時変化によりクリーニングヘッドとの密着性が確保されず、マスククリーニング効果が安定しないという課題があった。そこで本発明は、クリーニングヘッドとスクリーンマスクとの密着性を常に確保して、マスククリーニング効果を安定させることができるスクリーン印刷装置およびマスククリーニング方法を提供することを目的とする。本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドによって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置であって、前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給回収機構と、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給回収機構、ヘッド昇降機構とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動機構とを備え、前記クリーニングヘッドには、長尺板状の弾性体より成りこのクリーニングヘッドが上昇した状態において上端部が前記クリーニングペーパを介して前記スクリーンマスクの下面に当接するブレード部材が、前記クリーニング方向に直交する方向に長手方向を一致させて、且つクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜して配設されている。本発明のマスククリーニング方法は、パターン孔が設けられたスクリーンマスクに基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングペーパをクリーニングヘッドによって前記スクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスクを下面側からクリーニングするクリーニング部とを有するスクリーン印刷装置において、前記スクリーンマスクをクリーニングペーパによってクリーニングするマスククリーニング方法であって、前記クリーニング部は、長尺シート状で提供される未使用の前記クリーニングぺーパを前記クリーニングヘッドに供給し使用後のクリーニングぺーパを回収するペーパ供給回収機構と、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面に対して昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを前記ペーパ供給回収機構、ヘッド昇降機構とともに一体的に水平移動させることにより、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクの下面においてクリーニング方向へ移動させるクリーニングヘッド移動機構とを備え、前記クリーニングヘッドには、長尺板状の弾性体より成りこのクリーニングヘッドが上昇した状態において上端部が前記クリーニングペーパを介して前記スクリーンマスクの下面に当接するブレード部材が、前記クリーニング方向に直交する方向に長手方向を一致させて配設されており、前記ブレード部材をクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜させた状態で前記拭き取りを行う。本発明によれば、クリーニングペーパをスクリーンマスクの下面に押しつけて拭き取るクリーニングヘッドに、長尺板状の弾性体より成りこのクリーニングヘッドが上昇した状態において上端部がクリーニングペーパを介してスクリーンマスクの下面に当接するブレード部材を、クリーニング方向に直交する方向に長手方向を一致させて配設し、ブレード部材をクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜させた状態で拭き取りを行い、ブレード部材をスクリーンマスクの状態に応じて撓ませることにより、クリーニングヘッドとスクリーンマスクとの密着性を常に確保して、マスククリーニング効果を安定させることができる。次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1、図2、図3を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図1において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部1の上方にスクリーン印刷部11を配設して構成されている。基板位置決め部1は、Y軸テーブル2、X軸テーブル3およびθ軸テーブル4を段積みし、更にその上に第1のZ軸テーブル5、第2のZ軸テーブル6を組み合わせて構成されている。第1のZ軸テーブル5の構成を説明する。θ軸テーブル4の上面に設けられた水平なベースプレート4aの上面側には、同様に水平なベースプレート5aが昇降ガイド機構図示省略によって昇降自在に保持されている。ベースプレート5aは、複数の送りねじ5cをモータ5bによってベルト5dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート5aには垂直フレーム5eが立設されており、垂直フレーム5eの上端部には基板搬送機構8が保持されている。基板搬送機構8は基板搬送方向X方向--図1において紙面垂直方向に平行に配設された2条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板10の両端部を支持して搬送する。第1のZ軸テーブル5を駆動することにより、基板搬送機構8によって保持された状態の基板10を、基板搬送機構8とともに後述するスクリーン印刷部11に対して昇降させることができる。図2、図3に示すように、基板搬送機構8は上流側図2、図3において左側および下流側に延出し、上流側から搬入された基板10は基板搬送機構8によって搬送され、さらに基板位置決め部1によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷部11によって印刷が行われた後の基板10は、基板搬送機構8によって下流側に搬出される。第2のZ軸テーブル6の構成を説明する。基板搬送機構8とベースプレート5aの中間には、水平なベースプレート6aが昇降ガイド機構図示省略に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート6aは、複数の送りねじ6cをモータ6bによってベルト6dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート6aの上面には、上面に基板10を保持する下受け面が設けられた基板下受部7が配設されている。第2のZ軸テーブル6を駆動することにより、基板下受部7は基板搬送機構8に保持された状態の基板10に対して昇降する。そして基板下受部7の下受け面が基板10の下面に当接することにより、基板下受部7は基板10を下面側から支持する。基板搬送機構8の上面にはクランプ機構9が配設されている。クランプ機構9は、左右対向して配置された2つのクランプ部材9aを備えており、一方側のクランプ部材9aを駆動機構9bによって進退させることにより、基板10を両側からクランプして固定する。次に基板位置決め部1の上方に配設されたスクリーン印刷部11について説明する。図1,図2において、マスク枠12aにはスクリーンマスク12が展張されており、スクリーンマスク12には、基板10において印刷対象となる電極10aの形状位置図3参照に対応して、パターン孔12bが設けられている。スクリーンマスク12上にはスキージユニット13が配設されている。スキージユニット13は、水平なプレート14にスキージ16を昇降させるスキージ昇降機構15を配設した構成となっている。スキージ昇降機構15を駆動することによりスキージ16は昇降して、スクリーンマスク12の上面に当接する。図2に示すように、縦フレーム25上に配置されたブラケット26上にはガイドレール27がY方向に配設されており、ガイドレール27にスライド自在に嵌合したスライダ28は、プレート14の両端に結合されている。これにより、スキージユニット13はY方向にスライド自在となっている。プレート14は、ナット30、送りねじ29および送りねじ29を回転駆動するスキージ移動用モータ図示省略より成るスキージ移動手段によりY方向に水平移動する。次に、スクリーンマスク12の下面をクリーニングするクリーニング部について説明する。図1に示すように、本実施の形態においては、クリーニングヘッドユニット18は基板10およびスクリーンマスク12を撮像するカメラヘッドユニット17と一体的に移動する構成となっている。カメラヘッドユニット17は、基板10を上方から撮像するための基板認識カメラ17aと、スクリーンマスク12を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ17bとを備えており、カメラヘッドユニット17を移動させることにより、基板10の認識とスクリーンマスク12の認識とを同時に行うことができる。図3に示すように、クリーニングヘッドユニット18は水平なユニットベース18aに未使用のクリーニングペーパ23を巻回したペーパロール22Aと、使用済みのクリーニングペーパを巻回したペーパロール22Bの間に、細長形状のクリーニングヘッド21を配設した構成となっている。ペーパロール22Aから引き出されたクリーニングペーパ23は、クリーニングヘッド21に設けられた吸引クリーニングツール21aおよびブレード部材24図5b参照を経由してペーパロール22Bに回収される。クリーニングヘッドユニット18は、カメラヘッドユニット17とともにヘッドX軸テーブル19に装着されてY方向に一体的に移動する。図2において縦フレーム25上にはガイドレール31がY方向に配設されており、ガイドレール31にスライド自在に嵌合したスライダ32は、ヘッドX軸テーブル19にブラケット19aを介して結合されている。これにより、ヘッドX軸テーブル19はY方向にスライド自在となっている。ヘッドX軸テーブル19は、ナット34、送りねじ33および送りねじ33を回転駆動するヘッド移動用モータ図示省略より成るヘッドY軸移動機構20によりY方向に水平移動する。ヘッドX軸テーブル19およびヘッドY軸移動機構20は、カメラヘッドユニット17およびクリーニングヘッドユニット18を一体的に水平移動させるヘッド移動機構を構成する。カメラヘッドユニット17による基板10やスクリーンマスク12の認識を行わず、またクリーニングヘッドユニット18によるマスククリーニングを行わないときには、図4aに示すように、カメラヘッドユニット17、クリーニングヘッドユニット18はともに基板位置決め部1の上方から側方に退避する。そしてマスククリーニングを実行する際には、図4bに示すように、クリーニングヘッドユニット18をカメラヘッドユニット17とともにスクリーンマスク12の下方に進出させ矢印a、次いでクリーニングヘッド21を上昇させる。そしてクリーニングヘッド21によってクリーニングペーパ23をスクリーンマスク12の下面に押し当てた状態で、前述のヘッド移動機構によってクリーニングヘッドユニット18を水平移動させることにより、クリーニングヘッド21の下面を拭き取ってクリーニングする。すなわちクリーニングヘッドユニット18およびこのクリーニングヘッドユニット18を移動させるヘッド移動機構は、クリーニングペーパ23をクリーニングヘッド21によってスクリーンマスク12の下面に押しつけて拭き取ることによりこのスクリーンマスク12を下面側からクリーニングするクリーニング部を構成する。次にスクリーン印刷部11による印刷動作について説明する。まず基板搬送機構8によって基板10が印刷位置に搬入されると、第2のZ軸テーブル6を駆動して基板下受部7を上昇させ、基板10の下面を下受けする。そしてこの状態で基板位置決め部1を駆動して基板10をスクリーンマスク12に対して位置合わせする。この後、第1のZ軸テーブル5を駆動して基板10を基板搬送機構8とともに上昇させてスクリーンマスク12の下面に当接させ、次いで基板10をクランプ機構9によってクランプする。これにより、スキージユニット13によるスキージングにおいて、基板10の水平位置が固定される。そしてこの状態で、ペーストであるクリーム半田が供給されたスクリーンマスク12上でスキージ16を摺動させることにより、パターン孔12bを介して基板10にはクリーム半田が印刷される。次に、図5,図6を参照して、クリーニング部を構成するクリーニングヘッドユニット18の構造を説明する。図5bは、図5aに示すクリーニングヘッドユニット18のA-A断面を示している。ユニットベース18aに立設された支持ブラケット18b、18cには、ペーパロール22A、22Bをそれぞれ貫通するロール支持軸40A、40Bが軸支される。ペーパロール22A、22Bの間には細長形状のクリーニングヘッド21がX方向に配設されている。支持ブラケット18cにはロール支持軸40Bと同軸位置にモータ41が配置されており、ロール支持軸40Bにはカップリング部材42を介してモータ41の回転軸が結合されている。モータ41を駆動することにより、ロール支持軸40Bが巻き取り方向に回転して、クリーニングペーパ23がペーパロール22Bに巻き取られる。これによりペーパロール22Aからクリーニングペーパ23が引き出され、引き出されたクリーニングペーパ23はガイドローラ37によって導かれてクリーニングヘッド21の上面側を周回し、ペーパロール22Bに回収される。ペーパロール22A、22Bおよびモータ41は、長尺シート状で提供される未使用のクリーニングぺーパ23をクリーニングヘッド21に供給し、使用後のクリーニングぺーパ23を回収するペーパ供給回収機構となっている。図5bに示すように、クリーニングヘッド21の下面には、ヘッド昇降機構35の昇降ロッドが結合されている。ヘッド昇降機構35を駆動することにより、クリーニングヘッド21はスクリーンマスク12の下面に対して昇降する矢印b。図5bに示す通常状態では、クリーニングヘッド21は下降状態にある。そしてスクリーンマスク12の下面を清掃するマスククリーニング時には、ヘッド昇降機構35を駆動してクリーニングヘッド21を上昇させ、クリーニングペーパ23をスクリーンマスク12の下面に押し付ける。上述の構成において前述構成のヘッド移動機構は、クリーニングヘッド21をペーパ供給回収機構、ヘッド昇降機構35とともに一体的に水平移動させることにより、クリーニングヘッド21をスクリーンマスク12の下面においてクリーニング方向Y方向へ移動させるクリーニングヘッド移動機構となっている。ここで、クリーニングヘッド21の構成および機能を説明する。図5に示すように、クリーニングヘッド21は、細長形状の吸引クリーニングツール21aに平行に、ブレード部材24をX方向すなわちクリーニング方向であるY方向に直交する方向に長手方向を一致させて配設した構成となっている。図6に示すように、吸引クリーニングツール21aの上面の吸引面21bには吸引孔21cが形成されており、吸引孔21cは真空吸引源38に接続されている。クリーニングペーパ23を介して吸引面21bをスクリーンマスク12の下面に押し当てて摺動させながら真空吸引源38を駆動することにより、クリーニングペーパ23に拭き取られた付着異物が吸引されて除去される。吸引クリーニングツール21aに並設されたブレード部材24は、金属や硬質樹脂などの弾性体を長尺板状に成形したものであり、クリーニング動作時には吸引クリーニングツール21aと一体的にクリーニング方向に移動する。クリーニングヘッド21が上昇した状態では、ブレード部材24の上端部はクリーニングペーパ23を介してスクリーンマスク12の下面に当接する。ブレード部材24の配設姿勢は垂直ではなく、クリーニング動作時の移動方向矢印c方向の後方側へ垂直面から傾斜角θだけ傾斜して配設されている。本実施の形態に示すスクリーン印刷装置では、マスククリーニング時のクリーニングヘッド21の移動方向は常に一方向に固定されており、クリーニング動作においてはブレード部材24は移動方向の反対側へ傾いた状態で、クリーニングペーパ23をスクリーンマスク12の下面に対して押し付け、付着異物をブレード部材24の上端部によって掻き取る。すなわち本実施の形態に示すマスククリーニング方法では、ブレード部材24をクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜させた状態で、クリーニングペーパ23をクリーニングヘッド21によってスクリーンマスク12の下面に押しつけて拭き取りを行うようにしている。このとき、ブレード部材24は常に移動方向の反対側へ傾いた姿勢にあるため、ブレード部材24の上端部がスクリーンマスク12のパターン孔12bに鋭角的に噛み込む状態が発生せず、マスククリーニングにおけるスクリーンマスク12の損傷を防止することができる。図7はこのようにして配設されるブレード部材24のマスククリーニング動作時における変形状態を示している。図7aはクリーニングヘッド21が下降状態でのブレード部材24の形状を示している。この状態ではブレード部材24はスクリーンマスク12から離れていることから外力が作用しておらず、ブレード部材24はスクリーンマスク12の中央、側端のそれぞれに対応する断面位置S1,S2のいずれにおいても、XZ平面内の撓みを生じることなく装着時の傾斜角θだけ傾いた姿勢を保っている。この状態におけるブレード部材24の垂直面内の投射高さhは、ブレード部材24の幅寸法Bと傾斜角θによって、B/cosθで表される。これに対し、図7bは、クリーニングヘッド21を上昇させてブレード部材24の上端部をスクリーンマスク12の下面に当接させた状態を示している。スクリーンマスク12は周囲をマスク枠12aによって保持された状態にあることから、スクリーンマスク12に対してブレード部材24が下方から当接して作用させる面外荷重がスクリーンマスク12の面内に作用する張力と釣り合う形で、スクリーンマスク12およびブレード部材24の変形状態が規定される。本実施の形態においては、ブレード部材24は傾斜角θだけ傾いた姿勢で配設されていることから、ブレード部材24がスクリーンマスク12の下面に当接することにより、ブレード部材24はスクリーンマスク12から垂直下向き方向の反力を受けて、曲げ変形による撓みを生じる。そしてこの撓みによって図7aに示すブレード部材24の垂直面内の投射高さhが変化し、これによりブレード部材24の上端部は、図7bに示すように、スクリーンマスク12の撓み変形状態に追従してスクリーンマスク12の下面に密着した状態となる。すなわち、断面位置S1,S2において、投射高さhはブレード部材24の撓みによりそれぞれh1,h2に変化する。スクリーンマスク12の撓み変形特性において、スクリーンマスク12は保持位置であるマスク枠12aから最も離れた位置で最も撓みやすく、マスク枠12aに近接する位置ほど撓みにくいことから、ブレード部材24が受ける反力はスクリーンマスク12の範囲によって異なる。すなわち、スクリーンマスク12の中央、側端のそれぞれに対応する断面位置S1,S2においてブレード部材24がそれぞれ受ける反力F1,F2は、スクリーンマスク12における張力分布によって異なる。したがって、ブレード部材24の上端部をスクリーンマスク12の撓み変形状態に良好に追従させるためには、ブレード部材24の有する剛性曲げ剛性と傾斜角θとを、スクリーンマスク12の張力分布に応じて適切に設定するとともに、ヘッド昇降機構35によってクリーニングヘッド21を上昇させてブレード部材24をスクリーンマスク12に対して押圧するクリーニング荷重を適正値に設定する必要がある。これらの適正値の選定は、使用対象のスクリーンマスク12に応じて、ブレード部材24の剛性や装着時の傾斜角θ、さらにヘッド昇降機構35によるクリーニング荷重などの条件パラメータを複数の異なるレベルに変化させながら、クリーニング動作を複数回試行して結果を観察する条件出し作業によって行われる。なお、図7に示す例では、ブレード部材24として同一厚みの単一部材を用い、長手方向X方向の剛性の分布が均一な場合を示したが、ブレード部材24の剛性を長手方向に沿って変化させることにより、ブレード部材24の上端部とスクリーンマスク12の下面との密着度の長手方向における分布、ブレード部材24の上端部がスクリーンマスク12の下面に作用させる撓み反力の長手方向における分布を、それぞれについて所望の分布形態にすることができる。図8a、bにそれぞれ示すブレード部材24A,ブレード部材24Bは、長手方向の剛性分布を、中央範囲が大きく両側端部が小さくなるような分布としたものである。すなわち、図8aに示すブレード部材24Aでは、単一の単位板部材24aの厚みを長手方向に変えて、中央位置における厚みt1の方が側端位置における厚みt2よりも大きくなるように成形することにより、長手方向の剛性分布を、中央範囲が大きく両側端部が小さくなるようにしている。また図8bに示すブレード部材24Bでは、ブレード部材24Bを複数ここでは2枚の単位板部材24b1,24b2を積層する構成とし、全通する単位板部材24b1の中央部分にのみ単位板部材24b2を重ねて積層することにより、長手方向の剛性分布を、中央範囲が大きく両側端部が小さくなるようにしている。このように、長手方向の剛性分布を中央範囲が大きく両側端部が小さくなるように構成形状を設定することにより、ブレード部材24A、24Bは、中央範囲においてより撓みにくい強度特性を有するようになる。これにより、図7bに示すスクリーンマスク12の下面への当接状態において、断面位置S1における撓みを断面位置S2における撓みよりも小さくすることができ、ブレード部材24の上端部がスクリーンマスク12の下面に作用させる撓み反力の長手方向における分布を極力均一にすることができる。また図9a、bにそれぞれ示すブレード部材24C,ブレード部材24Dは、長手方向の剛性分布を、中央範囲が小さく両側端部が大きくなるような分布としたものである。すなわち、図9aに示すブレード部材24Cでは、単一の単位板部材24cの厚みを長手方向に変えて、中央位置における厚みt3の方が側端位置における厚みt4よりも小さくなるように成形することにより、長手方向の剛性分布を、中央範囲が小さく両側端部が大きくなるようにしている。また図9bに示すブレード部材24Dでは、ブレード部材24Dを複数ここでは2枚の単位板部材24d1,24d2を積層する構成とし、全通する単位板部材24d1の両側部分にのみ単位板部材24d2を重ねて積層することにより、長手方向の剛性分布を、中央範囲が小さく両側端部が大きくなるようにしている。このように、長手方向の剛性分布を中央範囲が小さく両側端部が大きくなるように構成形状を設定することにより、ブレード部材24C、24Dは、両側端部においてより撓みにくい強度特性を有するようになる。これにより、図7bに示すスクリーンマスク12の下面への当接状態において、スクリーンマスク12の撓み量がより少ない断面位置S2において作用する反力F2を大きくすることができる。したがってブレード部材24の上端部とスクリーンマスク12の下面との密着度の長手方向における分布を極力均一にすることができる。上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置およびマスククリーニング方法においては、クリーニングペーパ23をスクリーンマスク12の下面に押しつけて拭き取るクリーニングヘッド21に、長尺板状の弾性体より成りこのクリーニングヘッド21が上昇した状態において上端部がクリーニングペーパ23を介してスクリーンマスク12の下面に当接するブレード部材24を、クリーニング方向に直交する方向に長手方向を一致させて配設し、ブレード部材24をクリーニング動作時の移動方向の後方側へ傾斜させた状態で拭き取りを行い、ブレード部材24をスクリーンマスク12の状態に応じて撓ませるようにしている。これにより、クリーニングヘッド21とスクリーンマスク12との密着性を常に確保して、マスククリーニング効果を安定させることができる。なお本実施の形態においては、クリーニングヘッド21としてスクリーンマスク12の下面に当接して吸引によってクリーニングを行う機能を有する吸引クリーニングツール21aをブレード部材24と併接する例を示したが、吸引クリーニングツール21aは必ずしも必須ではなく、ブレード部材24のみでクリーニングヘッド21を構成するようにしてもよい。"