固定部と、該固定部内部に位置し、該固定部に対して軸線方向に相対変位可能に設けられた可動部とを有するリニアモータであって、前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の一方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1摺動部とを備え、前記固定部は、前記第1摺動部を摺動可能に支持する前記固定部内面に当接された非磁性材から成る第1軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、前記第1摺動部は、前記第1摺動部中心軸が前記コイルによって形成される内空間の断面中心軸から前記第1軸受側に偏心して配置されると共に前記第1軸受と当接することで、前記永久磁石からの磁気吸引力が偏心方向に作用させることを特徴とするリニアモータ。前記固定部の内断面は矩形状であり、前記第1摺動部は矩形状であり、前記第1軸受の断面はL字形状であることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。前記第1軸受の断面は平板状であることを特徴とする請求項2に記載のリニアモータ。固定部と、該固定部内部に位置し、該固定部に対して軸線方向に相対変位可能に設けられた可動部とを有するリニアモータであって、前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の両方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1及び第2摺動部とを備え、前記固定部は、前記第1及び第2摺動部を摺動可能に支持する前記固定部内面に当接された非磁性材から成る第1及び第2軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、前記第1及び第2摺動部は、前記第1及び第2摺動部中心軸が前記コイルによって形成される内空間の断面中心軸から前記第1及び第2軸受側に偏心して配置されると共に前記第1及び第2軸受と当接することで、前記永久磁石からの磁気吸引力が偏心方向に作用させることを特徴とするリニアモータ。前記固定部の内断面は矩形状であり、前記第1及び第2摺動部は矩形状であり、前記第1及び第2軸受の断面はL字形状であることを特徴とする請求項4に記載のリニアモータ。前記第1及び第2軸受の断面は平板状であることを特徴とする請求項5に記載のリニアモータ。固定部と、該固定部内部に位置し、該固定部に対して軸線方向に相対変位可能に設けられた可動部とを有するリニアモータであって、前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の一方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1摺動部とを備え、前記固定部は、前記固定部中心軸に対して非回転対称形で前記固定部内面に固着された磁性材から成る第1中間部材と、前記第1摺動部を摺動可能に支持する前記第1中間部材に当接された非磁性材から成る第1軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、前記第1摺動部は、前記第1軸受と当接することで前記永久磁石からの磁気吸引力が前記第1中間部材側に作用させることを特徴とするリニアモータ。前記固定部の内断面は矩形状であり、前記第1摺動部は矩形状であり、前記第1軸受と前記第1中間部材の断面はL字形状であることを特徴とする請求項7に記載のリニアモータ。前記第1軸受と前記第1中間部材の断面は平板状であることを特徴とする請求項8に記載のリニアモータ。固定部と、該固定部内部に位置し、該固定部に対して軸線方向に相対変位可能に設けられた可動部とを有するリニアモータであって、前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の両方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1及び第2摺動部とを備え、前記固定部は、前記固定部中心軸に対して非回転対称形で前記固定部内面に固着された磁性材から成る第1及び第2中間部材と、前記第1及び第2摺動部を摺動可能に支持する前記第1及び第2中間部材に当接された非磁性材から成る第1及び第2軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、前記第1及び第2摺動部は、前記第1及び第2軸受と当接することで前記永久磁石からの磁気吸引力が前記第1及び第2中間部材側に作用させることを特徴とするリニアモータ。前記固定部の内断面は矩形状であり、前記第1及び第2摺動部は矩形状であり、前記第1及び第2軸受と前記第1及び第2中間部材の断面はL字形状であることを特徴とする請求項10に記載のリニアモータ。前記第1及び第2軸受と前記第1及び第2中間部材の断面は平板状であることを特徴とする請求項11に記載のリニアモータ。従来のリニアモータは、以上のように構成されているので、軸受と軸部材の間に設けられた微小なギャップ分だけ、軸受と軸部材の間にがたつきや変動が生じ、結果として、例えば、可動部に機械に推力を伝達するシャフトが設けられているシャフト型リニアモータにおいては、シャフト先端部の位置決め精度が低下するという問題点があった。この発明は、上述のような問題を解決するためになされたもので、その目的は、軸受と軸部材間のがたつきや変動をなくし、例えば、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることにある。この発明に係るリニアモータにおいては、固定部と、固定部内部に位置し、固定部に対して軸線方向に相対変位可能に設けられた可動部とを有するリニアモータであって、可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、磁石部の一方の先端部に配置され、固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1摺動部とを備え、固定部は、第1摺動部を摺動可能に支持する固定部内面に当接された非磁性材から成る第1軸受と、固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、磁石部に作用させて可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、第1摺動部は、第1摺動部中心軸がコイルによって形成される内空間の断面中心軸から第1軸受側に偏心して配置されると共に第1軸受と当接することで、永久磁石からの磁気吸引力が偏心方向に作用させる。この発明により、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることができ、表面実装機や基板検査機等、精密電子機器へのシャフト型リニアモータの適用が可能となる。実施例1.図1は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータの断面図であり、図2は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータの分解斜視図である。図1と図2において、1はシャフト型リニアモータの固定部、2はシャフト型リニアモータの可動部で、固定部1に対して軸線方向に相対変位が可能ある。31は第1軸受として機能する、軸方向に沿って断面がL字形状をしたすべり軸受、51は電源用リード線、11は電源用リード線51から電流を流して磁束を発生させるための複数個のコイル、12は複数個のコイル11を絶縁する樹脂製のボビン、13は発生した磁束の磁気回路となる上フレーム、14は発生した磁束の磁気回路となる、軸方向に沿って断面がU字形状をした下フレーム、15は機械剛性を高くするためのベース、16は軸シャフトを支える軸受、17は軸受16を保持するブラケット、18は異物の侵入を防ぐカバー、41は位置検出器であり、固定部1は、すべり軸受31、コイル11、ボビン12、上フレーム13、下フレーム14、ベース15、軸受16、ブラケット17、カバー18、位置検出器41で構成される。一方、32は第1摺動部として機能する、すべり軸受31の表面を摺動案内する摺動部材、21は磁石部であり、複数個のコイル11の発生磁束との相互作用により推力を発生するために積層された複数個の永久磁石である。22は磁性材もしくは非磁性材からなり、積層された複数個の永久磁石21のN極及びS極の磁極が軸線方向に交互に形成されるように複数個の永久磁石21の間に配置されるスペーサ、23はシャフト結合部材、24は発生推力を機械に伝達する軸シャフトであり、可動部2は、摺動部材32、永久磁石21、スペーサ22、シャフト結合部材23で構成され、可動部2はシャフト24の端部と接続される。シャフト24のもう一方の端部は固定部1の外部に出ており、位置検出用に使われる。複数個の永久磁石21の中心軸とスペーサ22の中心軸とシャフト結合部材23の中心軸は、それぞれシャフト24の中心軸と一致している。可動部2は固定部1の内部に配置され、図1中のZ方向に可動な構造となっている。また、複数個のコイル11と複数個のボビン12は複数個の永久磁石21の外側に同心状に配置されており、複数個のコイル11の中心軸と複数個のボビン12の中心軸は、それぞれシャフト24の中心軸と一致している。42はスケール、25はシャフト24のシャフト先端部、26はスケール結合部材、52は位置検出器用リード線である。スケール42はスケール結合部材26によって、シャフト先端部25に結合されており、シャフト24の動きに合わせて可動する構造となっている。また、スケール42は、その内部には光学的もしくは磁気的な位置情報が記録されており、固定部1に結合された位置検出器41によって、シャフト24の図1中のZ方向の位置を検出し、位置検出器用リード線52から制御部へ位置信号を伝達する構造となっている。なお、A-A’断面とB-B’断面は、図1に示すシャフト型リニアモータのX-Y面に沿った断面を示す。図3は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータの制御部の構成図である。図3において、90は制御部、100はシャフト型リニアモータである。91は位置制御回路、92は速度制御回路、93は電流制御回路、99は電流検出器であり、制御部90は位置制御回路91、速度制御回路92、電流制御回路93、電流検出器99で構成される。スケール42及び位置検出器41により検出された位置情報は、シャフト型リニアモータ100の制御部90にフィードバックされる。位置制御回路91は位置検出器41からの位置フィードバック値と指令値とを比較することによって位置制御し、速度制御回路92は位置制御回路91からの出力値と位置フィードバック値を微分した速度フィードバック値を比較することによって速度制御し、電流制御回路93は速度制御回路92からの出力値と電流検出器99からの電流フィードバック値を比較することによって推力制御することがそれぞれ可能である。図4は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータのすべり軸受の構造図である。61は磁束、62aと62bは永久磁石21の作る磁束61の影響によって発生する磁気吸引力である。すべり軸受31は樹脂製非磁性材であり、図4のA-A’断面に示すように軸方向に沿って断面がL字形状をしている。一方、摺動部材32は、例えばS50C材、上フレーム13及び下フレーム14は、例えばSPCC材であり、いずれも磁性材である。ここで、摺動部材32は、シャフト24の中心軸に対して同心状に配置されているコイル11の内空間の中心軸に対して同心ではなく、すべり軸受31側に偏心するように設置される。その結果、摺動部材32と上フレーム13の間のギャップと、摺動部材32と下フレーム14の間のギャップは、それぞれ断面がL字形状のすべり軸受31が介在する側図4のA-A’断面では、摺動部材32の左側面と下面では存在せず、介在しない側図4のA-A’断面では、摺動部材32の右側面と上面では所定の距離をもって存在することになる。図4のA-A’断面において、磁束61が、磁性材である上フレーム13と永久磁石21の間、磁性材であるU字形状の下フレーム14の両側面と永久磁石21の間、磁性材である断面がU字形状の下フレーム14の下面と永久磁石21の間でそれぞれ形成される。形成された磁束61の影響により、磁性材である摺動部材32と磁性材である上フレーム13及びU字形状の下フレーム14の間に磁気吸引力62aと62bが発生するが、摺動部材32が下フレーム14の断面がL字形状のすべり軸受31の介在する側に偏って設置されているため、この摺動部材32の偏りによって、磁気吸引力62aが、断面がL字形状のすべり軸受31が介在する側図4のA-A’断面では、摺動部材32の左側面と下面では強く作用し、磁気吸引力62bはL字形状のすべり軸受31の介在しない側図4のA-A’断面では、摺動部材32の右側面と上面ではほとんど作用しないことになる。このように構成されたシャフト型リニアモータにおいては、摺動部材32と断面がL字形状のすべり軸受31が、一定の磁気吸引力62aでもって常に接触した状態となるため、摺動部材32とすべり軸受31の間にはギャップが存在せず、その結果、従来のシャフト型リニアモータの構成では生じていたギャップに起因したがたつきや変動もなく、シャフト先端部25の位置決め精度を高くすることが可能となる。また、従来のシャフト型リニアモータの構成のままでギャップを小さくしようとした場合、摺動部材32とすべり軸受31の寸法を高精度に加工する必要があったが、この実施例1におけるシャフト型リニアモータの構成ではその加工も必要もない。以上、この実施例1で説明したシャフト型リニアモータの構成によれば、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることができるので、表面実装機や基板検査機へのシャフト型リニアモータの適用が可能となり、例えば、電子基板に実装する部品の高密度化が可能となる。実施例2.この発明の実施例1では、可動部2の一端部のみをすべり軸受31とした場合について説明したが、図5に示すように、可動部2の両端部を第1軸受であるすべり軸受31aと、第2軸受であるすべり軸受31bとしても良く、このような構成によっても同様の効果を得ることができる。可動部2の両端部をすべり軸受31a、31bとすることに対応して、固定部1のすべり軸受31a、31bと摺動する両側には、第1摺動部である摺動部材32aと、第2摺動部である摺動部材32bが設置される。実施例3.この発明の実施例1及び実施例2では、L字形状のすべり軸受31の二面を使用してX及びY方向の位置精度を確保した場合について説明したが、位置精度を必要とする方向が一方向のみ、例えばX方向だけの場合は、図6に示すように、すべり軸受35を軸方向に沿って下フレーム14の下面と平行な平板状にしても良い。この場合も、実施例1及び実施例2と同様の効果を得ることができる。実施例4.図7は、この発明の実施例4を示すシャフト型リニアモータのすべり軸受の構造図である。71は第1中間部材であり、図7では中間部材としている。すべり軸受31は樹脂製非磁性材であり、図7のA-A’断面に示すように軸方向に沿って断面がL字形状をしており、中間部材71の右側面と上面に当接している。また、中間部材71は、例えばSPCC材等の磁性材であり、図7のA-A’断面に示すように軸方向に沿って断面がL字形状をしており、下フレーム14の左側面と下面に当接している。一方、摺動部材32は、例えばS50C材、上フレーム13及び下フレーム14は、例えばSPCC材であり、いずれも磁性材である。ここで、摺動部材32は、シャフト24の中心軸に対して同心状に配置されているコイル11の内空間の中心軸と一致して設置される。その結果、摺動部材32と上フレーム13の間のギャップと、摺動部材32と下フレーム14の間のギャップは、それぞれ断面がL字形状のすべり軸受31と中間部材71が介在する側図7のA-A’断面では、摺動部材32の左側面と下面では存在せず、介在しない側図7のA-A’断面では、摺動部材32の右側面と上面では所定の距離をもって存在することになる。図7のA-A’断面において、磁束61が、磁性材である上フレーム13と永久磁石21の間、磁性材であるU字形状の下フレーム14の右側面と永久磁石21の間、磁性材である断面がL字形状の中間部材71の下面と永久磁石21の間、磁性材である断面がL字形状の中間部材71の右側面と永久磁石21の間でそれぞれ形成される。形成された磁束61の影響により、磁性材である摺動部材32と磁性材である上フレーム13とU字形状の下フレーム14とL字形状の中間部材71の間に磁気吸引力62aと62bが発生するが、磁気吸引力62aが、断面がL字形状のすべり軸受31と中間部材71が介在する側図7のA-A’断面では、摺動部材32の左側面と下面では強く作用し、磁気吸引力62bはL字形状のすべり軸受31と中間部材71の介在しない側図7のA-A’断面では、摺動部材32の右側面と上面ではほとんど作用しないことになる。このように構成されたシャフト型リニアモータにおいては、摺動部材32と断面がL字形状のすべり軸受31が、一定の磁気吸引力62aでもって常に接触した状態となるため、摺動部材32とすべり軸受31の間にはギャップが存在せず、その結果、従来のシャフト型リニアモータの構成では生じていたギャップに起因したがたつきや変動もなく、シャフト先端部25の位置決め精度を高くすることが可能となる。また、従来のシャフト型リニアモータの構成のままでギャップを小さくしようとした場合、摺動部材32とすべり軸受31の寸法を高精度に加工する必要があったが、この実施例1におけるシャフト型リニアモータの構成ではその加工も必要もない。以上、この実施例4で説明したシャフト型リニアモータの構成によれば、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることができるので、表面実装機や基板検査機へのシャフト型リニアモータの適用が可能となり、例えば、電子基板に実装する部品の高密度化が可能となる。実施例5.この発明の実施例4では、可動部2の一端部のみに中間部材71を適用した場合について説明したが、図8に示すように、可動部2の両端部に第1中間部材である中間部材71aと、第2中間部材である中間部材71bを適用しても良く、このような構成によっても同様の効果を得ることができる。実施例6.この発明の実施例4及び実施例5では、L字形状の中間部材71の二面を使用してX及びY方向の位置精度を確保した場合について説明したが、位置精度を必要とする方向が一方向のみ、例えばX方向だけの場合は、図9に示すように、中間部材75を軸方向に沿って下フレーム14の下面と平行な平板状にしても良い。この場合も、実施例4及び実施例5と同様の効果を得ることができる。この実施例4から実施例6で説明したシャフト型リニアモータの構成では、中間部材71、71a、71bと下フレーム14をそれぞれ別部材として扱った場合について説明したが、下フレーム14に中間部材71、71a、71bの構造を有した新たな下フレーム14とした構成においても同様の効果を得ることができる。なお、この発明の実施例1から実施例6では、この発明をシャフト型リニアモータに適用する場合について説明したが、これに限るものではなく、他のリニアモータに適用しても同様の効果を得ることができる。