"基板上に配列された複数の放射線検出素子と、前記放射線検出素子の上にそれぞれ所定の傾斜角で間隔をあけて並べて配置され、前記放射線検出素子に入射する放射線の向きを制限する複数のコリメータ板と、前記複数のコリメータ板を前記所定の傾斜角でそれぞれ支持する支持部材とを有し、前記コリメータ板は、両端にそれぞれ上側突起と下側突起を有し、前記支持部は、前記放射線検出素子の配列の両脇にそれぞれ配置され、前記支持部の前記放射線検出素子側の面には、前記複数のコリメータ板の上側突起と下側突起に対応する位置に複数の上側溝と複数の下側溝が配置され、当該上側溝および下側溝に前記コリメータ板の上側突起および下側突起が挿入されることにより、前記所定の傾斜角で前記コリメータ板を支持し、前記複数の上側溝および前記複数の下側溝は、いずれも深さ方向が前記基板の主平面に垂直であり、前記上側溝と前記下側溝の位置は、支持する前記コリメータ板の傾斜角に応じて前記基板の主平面と平行で、前記支持部の前記放射線検出素子側の面に平行な方向にずれていることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項1に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記支持部は、前記放射線検出素子側の側面に上下に固定された、2枚の板状部材を有し、前記上側溝は、上側の前記板状部材の上面から前記基板の法線方向に所定の深さまで形成され、前記下側溝は、下側の前記板状部材の上面から前記基板の法線方向に所定の深さまで形成されていることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項1または2に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記コリメータ板の上側突起および下側突起は、前記コリメータ板と一体に形成されていることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項1ないし3のいずれか1項に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記コリメータ板の両端の下端の角部が、前記下側突起を兼用していることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項4に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記支持部の複数の下側溝は、前記上側溝よりも前記放射線検出素子に近い位置に配置されていることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項1ないし5のいずれか1項に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記複数の上側溝および前記複数の下側溝の幅は、前記複数のコリメータ板のそれぞれの傾斜角に応じて異なる幅であることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項1ないし5のいずれか1項に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記複数の上側溝および前記複数の下側溝の幅は、前記複数のコリメータ板について同じであり、前記光電変換素子の感度が電気的に補正されていることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項1ないし5のいずれか1項に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記複数の上側溝および前記複数の下側溝は、前記コリメータ板の前記上側突起および下側突起の下端が接する部分が、円弧形状の凹面であることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項8に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記コリメータ板の前記上側突起および下側突起は、前記円弧形状の凹面以外の前記上側溝および前記下側溝の内壁に接触しないことを特徴とする放射線検出モジュール。請求項8または9に記載の放射線検出モジュールにおいて、前記複数のコリメータ板の厚み方向の中心軸は、いずれもそのコリメータ板が支持されている上側溝および下側溝の円弧形状の円弧の中心を通っていることを特徴とする放射線検出モジュール。請求項1ないし10のいずれか1項に記載の複数の放射線検出モジュールを、前記コリメータ板を内側に向けて、前記基板が正多角形の一部を構成するように並べて固定したことを特徴とする放射線検出器。中心に被検体が挿入される開口を有する回転円板と、前記回転円板上の前記開口を挟んで対称な位置に搭載されたX線源およびX線検出器と、前記X線検出器で検出されたX線強度に基づいて前記被検体の画像を再構成する画像再構成部とを有するX線CT装置において、前記X線検出器として、請求項11に記載の放射線検出器を用い、前記放射線検出器を構成する複数の前記放射線検出モジュールのコリメータ板は、いずれも主平面の延長線上に前記X線源の焦点が位置するように傾斜していることを特徴とするX線CT装置。X線CT装置で撮像される画像は、X線検出モジュールの各X線検出素子で検出されるX線量によって決定されるので、各X線検出素子へのX線入射特性が均質であることが要求される。このため、コリメータ板を精度よく等角度ピッチで放射状に配置することが望まれる。従来、コリメータ板を支持する溝は、例えば特許文献2のようにブレードを移動させてコリメータブロックに切り込みを入れることにより形成される。複数の支持溝を所定の角度ピッチで放射状に形成するためには、ブレードを傾斜させながら溝を切る必要がある。コリメータ板は高さがあるため、支持溝の長さも長く、ブレードを少しずつ傾斜させて複数の支持溝を高精度に形成するのは容易ではない。また、対となるコリメータブロックの両脇の支持溝を揃えて精度よく所定の傾斜角度に形成する必要がある。支持溝の精度が悪い場合には、X線源の焦点方向からコリメータ板を支持溝に挿入する際、コリメータ板106が支持溝の途中で引っかかり、それ以上挿入できなくなったり、挿入できてもコリメータ板が変形することがある。この場合、製造歩留が低下する。そこで本発明の目的は、製造が容易で、放射線検出素子の均一な検出精度を実現できる放射線検出モジュールを提供することにある。上記目的を達成する本発明の放射線検出モジュールは、基板上に配列された複数の放射線検出素子と、放射線検出素子の上にそれぞれ所定の傾斜角で間隔をあけて並べて配置され、放射線検出素子に入射する放射線の向きを制限する複数のコリメータ板と、複数のコリメータ板を所定の傾斜角でそれぞれ支持する支持部とを有する。コリメータ板は、両端にそれぞれ上側突起と下側突起を有する。支持部は、放射線検出素子の配列の両脇にそれぞれ配置され、支持部の放射線検出素子側の面には、複数のコリメータ板の上側突起と下側突起に対応する位置に複数の上側溝と複数の下側溝が配置されている。上側溝および下側溝にコリメータ板の上側突起および下側突起が挿入されることにより、所定の傾斜角でコリメータ板を支持部が支持する。このとき、複数の上側溝および複数の下側溝は、いずれも深さ方向が基板の主平面に垂直であり、上側溝と下側溝の位置は、支持するコリメータ板の傾斜角に応じて基板の主平面と平行で、支持部の放射線検出素子側の面に平行な方向にずれている。以上のように、本発明によれば、コリメータ板を支持する上側溝および下側溝は、基板の主平面に垂直であるため、高精度の支持溝加工を必要とせずに高精度に形成できる。よって、精度よく所定の傾斜角にコリメータ板を支持した放射線検出モジュールを提供することができる。この放射線検出モジュールを用いた放射線検出器をX線CT装置に搭載することにより、画質を向上させ、診断の精度を向上させることができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。第1の実施形態本発明の第1の実施形態のX線CT装置の構造についてまず説明する。図1にX線CT装置の主要部を示す。図1のようにX線CT装置は、ガントリ100と、寝台105と、操作ユニット不図示とを備えている。ガントリ100は、寝台105上に載置された被検体150が入る大きさの開口部152を備える回転円板151と、回転円板151に搭載された、X線源140と、X線検出器160と、X線源140に電力を供給するための高電圧発生ユニット142等を備える。X線源140は、寝台105上に載置された被検体150にX線を照射する装置である。X線検出器160は、被検体150を透過したX線を検出する。X線源140とX線検出器160は、開口152を挟んで対向する位置に配置されている。回転円板151が被検体150の周囲を回転しながら、X線源140がX線141を照射し、X線検出器160が被検体150を通過したX線を検出することにより、様々な角度の透過X線の空間的な分布が計測される。図2にX線検出器160の斜視図を、図3にX線検出モジュール10の斜視図をそれぞれ示す。X線検出器160は、ポリゴン20と、ポリゴン20に固定された複数のX線検出モジュール10とを備えている。ポリゴン20は、主平面内で円弧状に湾曲した板状部材である。円弧の曲率半径は、X線検出器160とX線源140の焦点との距離である。湾曲形状のポリゴン20は、内周側を回転円板151の中心側に向け、主平面が回転円板151の主平面とほぼ平行になるように回転円板151に搭載されている。ポリゴン20の外周面は、X線検出器160とX線源140の焦点との距離を内接円の半径とする正多角形を形成している。複数のX線検出モジュール10は、ポリゴン20の外周面ごとにそれぞれ配置されている。X線検出モジュール10は、図3のように、平板状の基板15上に、配列された光電変換素子12と、板状のシンチレータ11とを順に積み重ね、その上に複数のコリメータ板13を所定の向きで立てて配置した構造である。光電変換素子12とシンチレータ11とが組み合わせられることによりX線検出素子となる。複数のコリメータ板13は、X線検出素子の配列の両脇にポリゴン20と平行に配置された一対のコリータ支持ブロック16によって支持されている。基板15の裏面側には、コネクタ部14が配置されている。シンチレータ11は、CdWO4や希土類酸化物等の放射線の照射を受けて光を発するシンチレータ材料からなる。シンチレータ11は、縦横に設けた溝によって複数のチャンネルブロックに分割されている。溝の内部、上面および側壁は、シンチレータ11の発生する光を反射する光反射部材によって覆われている。一方、光電変換素子12は、シンチレータ11のチャンネルブロックの底面の大きさに対応する面積のチャンネルに分割されている。シンチレータ11の各チャンネルは、周囲が光反射部材で覆われているため、シンチレータ11のチャンネル内で発生した光が直下の光電変換素子12にのみ受光され、周囲のチャンネルへの光の流出が防止される。基板15の裏面のコネクタ部14を構成する複数の端子はそれぞれ、基板15上に形成された導体パターン不図示および基板15を貫通するビア不図示によって、各チャンネルの光電変換素子12と接続されている。コネクタ部14は、光電変換素子12の発生した電気信号をX線CT装置の信号処理系等へ接続する。コリメータ板13は、シンチレータ11へ入射するX線の向きを制御するとともに散乱線を吸収するために配置されている。コリメータ板13は、X線を透過しない材料によって構成されている。コリメータ板13は、主平面の延長線上にX線源140の焦点が位置するようにその向きが定められている。すなわち、X線源140の焦点を中心に、主平面が放射状に広がるようにコリメータ板13は傾斜している。図4にコリメータ板13を側面方向から見た状態を模式的に示す。X線検出器160に図2のようにポリゴン20の長手方向湾曲方向に沿って5つのX線検出モジュール10-1~10-5が支持されている場合、図4に示すようにコリメータ板13を基板15に対して傾斜させる。すなわち、ポリゴン20の長手方向に沿って7枚のコリメータ板13-1~13-7が搭載されている場合、中央に位置するコリメータ板13-4は、直上にX線源140の焦点が位置するため基板15に対して垂直に向けられている。それ以外のコリメータ板13-1~13-3、13-5~13-7は、中央のコリメータ板13-4に向かってそれぞれ異なる傾斜角で傾斜している。他のX線検出モジュール10-1、10-2、10-4、10-5のコリメータ板13もX線検出モジュール10-3と同様に、各X線検出モジュールの基板15に対して傾斜している。また、コリメータ支持ブロック16は、上端X線源140側の長手方向の長さが、下端基板15側の長手方向の長さよりも短い台形に形成されている。これにより、隣接して配置されるX線検出モジュール10同士で、コリメータ支持ブロック16の上端角部がぶつかりあう干渉することなく、ポリゴン20にX線検出モジュール10-1~10-5を搭載することができる。上述のように、コリメータ板13はそれぞれ、主平面の延長線上にX線源140の焦点が位置するように放射状に配置されるため、基板15に対する傾斜角は、コリメータ板13ごとに異なる。本発明では、以下のような構造により、簡単な構成で、個々に異なる傾斜角にコリメータ板13を支持する。コリメータ板13の両端にはそれぞれ、図5に示すように、高さ方向の中央に切り欠き133が形成され、これにより上端部分と下端部分に、外側に張り出した板状の突起131,132が設けられている。コリメータ支持ブロック16には、内側側面に、上下2段に支持プレート161、162が固定されている。コリメータ支持ブロック16の内側側面には、支持プレート161,162を位置決めして固定するための突起165、166が備えられている。支持プレート161、162には、それぞれ突起165,166に対応する位置に貫通孔が設けられている。支持プレート161、162の貫通孔に突起165、166を挿入することにより、支持プレート161,162が位置決めされてコリメータ支持ブロック16に固定されている。支持プレート161,162は、コリメータ板13の並び方向ポリゴン20の長手方向に沿って並べられた複数の溝163,164を備えている。溝163、164は、いずれも支持プレート161,162を厚み方向については貫通し、上端から下端に向かって所定の長さ深さDまで設けられている。溝163,164の深さ方向は、基板15の主平面に対して垂直である。コリメータ板13は、両端の突起131、132をそれぞれ支持プレート161,162の溝163、164に挿入することにより、コリメータ支持ブロック16によって支持される。図6にコリメータ板13の側面方向から見た支持プレート161,162を示す。図6のように、上段の支持プレート161に設けられた溝163の位置と、下段の支持プレート162に設けられた溝164の位置とをポリゴン20の長手方向にずらすことにより、コリメータ板13を所望の傾斜角に傾斜させて支持している。例えば、図6の例では、コリメータ板13-4の上側の突起131が挿入される上段の支持プレート161の溝163-4は、下側の突起132が挿入される下段の支持プレート162の溝164-4の位置と、ポリゴン20の長手方向について一致している。これにより、コリメータ板13-4を、基板15の主平面に対して垂直に配置している。また、コリメータ板13-5については、上段の溝163-5と下段の溝164-5の位置を、ポリゴン20の長手方向についてずれ量Y1だけずらすことにより、コリメータ板13-5を基板15の法線方向についてθ-1だけ傾斜させる。同様に、コリメータ板13-6については、上段の溝163-6と下段の溝164-6の位置を、ずれ量Y2だけずらすことにより、コリメータ板13-6を基板の法線方向についてθ-2だけ傾斜させている。このように、本実施形態の構成によれば、上段の溝163と下段の溝164とを設け、これらの位置をずれ量Yだけずらすことにより、基板15の法線方向に平行な溝163、164によって、コリメータ板13を所望の傾斜角度θで支持することができる。なお、ずれ量Yは、以下の式1によって定めることができる。上記式1における傾斜角度θは、以下の式2により決定される。また、溝163,164の幅Wは、傾斜角度θに応じて式3により設定する。このように、本実施形態では、基板15の主平面に対して垂直な溝163,164により、コリメータ板13をそれぞれ必要な傾斜角度で支持することができる。溝163,164は、独立した支持プレート161,162によって支持され、かつ、溝163,164の長さ方向が基板15の主平面に対して垂直である。よって、溝163,164を傾斜させて形成する必要がなく、しかも、溝163,164の長さDは、従来のようにコリメータ板13の高さと同じ長さに形成していた場合よりも大幅に小さい。このため、支持プレート161,162をダイシング等により容易に加工して、所定の位置に高精度に溝163,164を形成できる。したがって、複数のコリメータ板13をそれぞれ必要な傾斜角度に精度よく支持し、各チャンネルのX線検出感度が均一なX線検出器を、歩留まりよく製造することができる。次に、本実施形態のX線検出モジュール10の製造方法について説明する。まず図7に示すように光電変換素子12を予め搭載した基板15上に、シンチレータ11を接着等により固定し、その両脇にコリメータ支持ブロック16を接着等により固定する。このとき、光電変換素子12のチャンネルパターンとシンチレータ11のチャンネルパターンを位置合わせする。また、コリメータ支持ブロック16の突起165、166を位置基準として、光電変換素子12およびシンチレータ11と位置合わせする。一方、支持プレート161,162に、溝163,164をそれぞれ所定の位置にダイシング等により形成する。下側のプレート162の溝164は、シンチレータ11のチャンネルの境界の位置に対応させて形成する。上側のプレート161の溝163の位置は、下側のプレート161の溝164の位置に対して、上述の式1、2で定められるずれ量Yだけずらした位置に形成する。ずれ量Yは、式1、2のように、チャンネルの位置によって異なる。溝163,164の幅Wは、上述の式3で定められる値に設定する。溝163、164はいずれも、基板15の主平面に対して垂直な溝であるため、溝ごとに傾斜角を変える必要がない。しかも、溝163,164の長さDは、コリメータ板13の突起131,132の下端が挿入できれば良く、最大でも突起131,132の高さと同等程度あればよい。このため、垂直な浅い溝163,164を設計した位置に形成すればよいため、ダイシング等により容易に溝163,164を形成できる。また、溝163,164の幅Wは、例えばダイシングブレードの厚さを変えることにより容易に変更することができる。次に、溝163,164がそれぞれ形成されたプレート161,162を、コリメータ支持ブロック16に固定する。具体的には、コリメータ支持ブロック16の突起165,166がプレート161,162の貫通孔167、168にそれぞれ挿入されるように、プレート161,162をコリメータ支持ブロック16に固定する。コリメータ板13は、X線を透過しない材料の板状部材に切り欠き133を設けることにより、図5に示すように、両端に板状の突起131,132を備える構造に予め形成しておく。このコリメータ板13を、図8に示すように、両端の上側の突起131が上側のプレート161よりも上側に位置し、下側の突起132が、上側のプレート161と下側のプレート162との間に位置するように、一対のコリメータ支持ブロック16の端部から、一対のコリメータ支持ブロック16の間に挿入し、そのコリメータ板13を挿入すべき溝163,164の位置まで移動させたならば、コリメータ板13を下に降ろすようにして、突起131を上側プレート161の溝163に、突起132を下側プレートの溝164にそれぞれ上から挿入する。これにより、コリメータ板13は、上側の溝163と下側の溝164との位置ずれ関係によって、図6のように所望の傾斜角で傾斜して配置される。これを、すべてのコリメータ板13が配置されるまで順次繰り返す。以上により、X線検出モジュール10を製造することができる。上述のように溝163,164は、長さDが短く、垂直な溝であるため、容易に精度よく形成できる。このため、コリメータ板13の突起131,132を挿入する際に溝163,164の途中で引っかかってそれ以上挿入できない等の問題が生じるのを防止でき、歩留まりを向上させることができる。比較例として、コリメータ板13の高さ方向と同等の長さの溝263を、コリメータ支持ブロック16に形成した場合のコリメータ板13の側面図を図9に示す。図9のように、コリメータ板13ごとに異なる傾斜角の溝263を、コリメータ板13の高さと同等の長さで形成しなければならず、溝263を精度よく形成するのは容易ではない。精度が低下すると、コリメータ板13を溝263に挿入する際に、途中で引っかかってそれ以上に挿入できなくなったり、コリメータ板13に撓みが生じ、製造歩留まりが低下する。本実施形態の構造では、上述のように溝を精度よく形成でき、比較例よりも歩留まりを向上させることができる。ここで、本実施形態のX線CT装置の動作を説明する。被検体150を寝台に搭載してガントリの開口内152に配置し、回転円板151を回転させながらX線源140からX線を照射すると、被検体150を透過したX線は、X線検出器160の各X線検出モジュール10のコリメータ板13の間を通過してシンチレータ11の各チャンネルに入射する。複数のコリメータ板13は、X線を透過しない材料からなり、それぞれ主平面の延長線上にX線源140の焦点が位置するように精度よく向けられているため、X線は被検体150の通過領域に対応したチャンネルごとにコリメータ板13によって導かれてシンチレータ11に入射する。光電変換素子12は、シンチレータ11の各チャンネルで発生した光を光電変換する。光電変換により生じた電気信号は、コネクタ部14を介して、不図示の信号処理部に受け渡される。信号処理部では、被検体画像を再構成する。コリメータ板の位置精度が悪い場合、再構成された画像上にリング状の偽像リングアーチファクトが生じるが、本発明によるX線検出器を採用することにより、高精度にコリメータ板13を支持することができるため、コリメータ板13の位置精度に起因するリングアーチファクトを防止することができる。従ってX線CT装置による診断精度を上げることができる。尚、以上説明したX線検出モジュールの形状、加工方法は、本発明のX線検出モジュールを実現するための例示であって、本発明はこれらに限定されるものではない。本発明のX線検出モジュールは、X線に限らず、放射線を検出するためのモジュールとして利用することができる。X線CT装置として用いる場合、X線検出器が多数のX線検出モジュールを配列したものを用いる構成のものであれば、その方式や世代は問わない。例えばX線源140は、X線管であってもビーム方式であってもよい。第2の実施形態本発明の第2の実施形態について説明する。第1の実施形態では、上述の式3により、コリメータ板13ごとに傾斜角度に応じた溝163,164の幅Wを設計することにより、コリメータ板13を高精度に所望の傾斜角に配置する構成であった。しかしながら、本発明は、この構成に限定されるものではなく、すべての溝163,164の溝幅を、同一にすることも可能である。例えば、式3によって溝幅が最も大きくなる端部のチャンネルのコリメータ板13の溝幅で、すべての溝163,164を形成する。この場合、X線検出器160の中心チャンネル付近では、コリメータ板13に対する溝163,164の幅のクリアランスが増大するため、コリメータ板13の設置位置がばらつく。このため、チャンネル感度のばらつきは、第1の実施形態よりも増大する。例えば、溝幅を端部の溝幅に合わせて統一した場合、1~2程度のチャンネル感度のばらつきが生じると見積もられる。一方、通常、チャンネル感度のばらつきは、感度補正によって補正可能である。例えば、光電変換素子12の感度補正や、光電変換素子12の出力を受け取ってA/D変換を行うA/D変換器のゲイン補正によって補正可能である。通常、補正可能な範囲は、1~数程度である。よって、すべての溝163,164の幅を同じ幅にすることにより生じるチャンネル感度のばらつき1~2が、光電変換素子12やA/D変換器の感度補正によって補正可能な範囲1~数内である場合には、溝幅を同一幅にすることで生じる感度ばらつきを補正することができる。もしくは、すべての溝幅を端部の溝幅に合わせて統一し、クリアランスが増大する中心チャンネル付近については、コリメータ板13として溝幅に対応させて板厚tの厚いものを用い、クリアランスの増大を防ぐ構成にすることも可能である。また、コリメータ板13の板厚tを変更することなく、溝幅に対応させて突起131,132の厚さを厚くしたり、突起131,132に厚さ調整用のスペーサを付加してもよい。もしくは、感度補正と、板厚tを変更することによるクリアランス調節の両方行うことも可能である。このように、チャンネル感度のばらつきを感度補正によって補正することを前提として、溝幅を統一することにより、プレート161,162に溝163,164を形成する際に溝ごとに幅を変えることなく一定の幅で形成することができるというメリットがある。よって、溝幅を変えるために例えばダイシングブレードの厚さを複数種用意する必要がなく、第一の実施形態よりもさらに容易に歩留まりよく溝163,164を形成することができる。他の構成および作用効果は、第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。第3の実施形態本発明の第3の実施形態について説明する。第1の実施形態では、コリメータ板13として、図5のように両端の上部と下部に突起131、132が備えられているものを用いたが、図10aに示すように、両端の上部にのみ突起131があり、下部には突起がない形状のものを用いることも可能である。下側のプレート162は、図10bに示すように、上側のプレート161よりもシンチレータ11に近い所定位置に配置され、コリメータ板13の下端の角部が下側突起の代わりに下側のプレート162の溝164に挿入されるようにする。例えば、下側のプレート162をシンチレータ11に近い所定位置に配置するために、上側のプレート161の下部を延長し、上側のプレート161に重ねて下側のプレート162を配置する構成とする。このような構造にすることにより、コリメータ板13の形状を両端の上部にのみ突起131を備える単純な形状にすることができるため、コリメータ板13の製造が容易になるという効果が得られる。他の構成および作用効果は、第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。第4の実施形態本発明の第4の実施形態について説明する。第1および第2の実施形態では、図6のように矩形の溝163,164によってコリメータ板13を支持する構成であるため、コリメータ板13の傾斜角度によって溝163,164に必要な溝幅Wが異なっていた。このため、クリアランスを一定以下にするためには、コリメータ板13の傾斜角度に応じて溝幅Wを変更するか、コリメータ板13の板厚を変更する必要があった。もしくは、クリアランスが所定値以上であることを許容し、チャンネルの感度補正を行う必要がある。第4の実施形態では、コリメータ板13の傾斜角度に関わらず、溝163,164の幅を一定にすることのできる構成を提供する。第4の実施形態の溝形状を図11に示す。図11は、プレート161およびコリメータ板13を、プレート161を支持するコリメータ支持ブロック16側から見た側面図である。プレート161の溝163の底面は、図11のようにプレートの主平面内において円弧状であり、円弧状の底面で、コリメータ板13の突起131,132の下端面134を支持する構成とする。突起131,132の下端面134は、コリメータ板13の主平面に垂直な面である。溝163の円弧の中心は、第1の実施形態で定められる溝163の中心位置を含み、基板15の主平面に対して垂直な線163a上に位置する。図11の例では、溝163の中心位置を含む線163aと、プレート161の上面との交点13bを円弧の中心としている。図11では、円弧は半円状にしているが、必ずしも半円状でなくてもよく、半円よりも小さい中心角の円弧でもよい。円弧の大きさは、最も大きく傾斜する端部のコリメータ板13が傾斜した状態でも円弧状の溝163の縁に接触しない大きさに設計する。円弧の直径は、コリメータ板13の厚さより大きくする。また、図11には図示していないが、下側のプレート162についても、同様に円弧状の溝164を形成する。図11のように円弧状の溝163,164にコリメータ板13の突起131、132を挿入すると、下端面134の両側の角部が円弧状の溝に接触して、コリメータ板13を支持する。これにより、コリメータ板13が基板15の主平面に対して垂直な場合でも、傾斜している場合でも、突起131,132の二つの角部が円弧状の溝の内壁に支持され、コリメータ板13の厚み方向の中心軸は、溝163の円弧の中心13bを通る構造となる。よって、傾斜角に関わらず、コリメータ板13を溝の内壁で支持することができる。また、コリメータ板13の中心軸13aは、円弧の中心13bに位置するため、コリメータ板13が溝163、164内でガタついたり、下端面134の角部以外で溝163と接することがない。すなわち、傾斜角によって溝163,164の幅を変える必要がなく、傾斜角によって、コリメータ板13と溝163、164とのクリアランスが変わることもないため、精度よく所定の位置にコリメータ板13を配置することができる。他の構成および作用効果は、第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。なお、第4の実施形態では、図11のように円弧形状のみで溝163を形成しているが、本発明はこの形状に限定されるものではなく、底面が円弧形状で、その両脇に垂直もしくは傾斜した側面を有する形状の溝163、164にすることも可能である。この場合、所定の傾斜角で傾斜したコリメータ板13に溝163,164の側面が接触しないように、溝の大きさや側面の形状を設計する。また、下端面134の形状は、必ずしも平面でなくてもよく、両端の角部の位置が平面の場合の角部と同じ位置であれば、凹面であってもよい。また、両端の角部と同様に、溝163の円弧に接触してコリメータ板13と支持可能な構成であれば、下端面134が凸面であってもかまわない。また、第4の実施形態においてコリメータ板13の端部の形状は、上下に突起部131、132を備えた形状に限らず、第3の実施形態のように上部にのみ突起部131を備え、下部は、コリメータ板13の角部を溝164に挿入する形状であってもかまわない。なお、第1ないし第4の実施形態では、放射線検出素子として、シンチレータと光電変換素子とを組み合わせたX線検出素子を例に説明したが、X線を直接電気信号に変換する半導体素子を放射線検出素子として用いてもよい。"