フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段;前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段;及び前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置された前記スラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを含むセラミックグリーンシート製造装置。前記乾燥防止チャンバの内部は、蒸気圧を大気圧より高く維持される請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記乾燥防止チャンバの内部は、前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持する請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記乾燥手段は、前記フィルムの移動方向にしたがって配置された排気部と吸気部を含む請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記乾燥防止チャンバの内部に配置された真空ロ-ルをさらに含む請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造装置。フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段;前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段;及び前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、内部に外部気体を提供する吸入口と外部に内部気体を排出する排気口を含む乾燥防止チャンバ;を含むセラミックグリーンシート製造装置。前記吸入口と前記排気口の開閉を夫々調節することができるバルブをさらに含む請求項6に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記排気口と前記吸入口の配置順序は、前記スラリーが塗布されたフィルムの移動方向に、順次、前記乾燥防止チャンバの上端に配置される請求項6に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記外部気体は不活性気体を用いる請求項6に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記乾燥防止チャンバの内部で、前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持する請求項6に記載のセラミックグリーンシート製造装置。フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段;前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段;前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、少なくとも一面に開口部を備え、前記スラリーの乾燥を防止する乾燥防止チャンバ;及び前記開口部の開閉を調節して、前記乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧を大気圧より高く維持するための蒸気圧調節制御手段;を含むセラミックグリーンシート製造装置。前記蒸気圧調節制御手段は楕円形のロール形態を有し、多数のスリットを備えるスリット部と前記スリット部と連結された遮断部を含む請求項11に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記蒸気圧調節制御手段の両側内部に配置され、前記蒸気圧調節制御手段の回転を通じて前記開口部の開閉を調節する駆動ローラーをさらに含む請求項11に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記蒸気圧調節制御手段は、多数の第1スリットを備える第1スリット部;及び前記第1スリットと対応された第2スリットを備え、前記第1スリット部上で左右に移動して前記第1スリットをカバーしたりオープンすることができる第2スリット部;を含む請求項11に記載のセラミックグリーンシート製造装置。前記乾燥防止チャンバの内部で、前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持する請求項11に記載のセラミックグリーンシート製造装置。従って、本発明はセラミックグリーンシート製造装置で発生する問題点を解決するために導き出されたものであり、具体的には、スラリー塗布手段で乾燥手段の間に配置された乾燥防止チャンバを含んで、無欠点の薄型セラミックグリーンシートを製造することができるセラミックグリーンシート製造装置を提供することをその目的とする。本発明の目的はセラミックグリーンシート製造装置を提供することである。前記セラミックグリーンシート製造装置は、フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段;前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段;及び前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置された前記スラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを含むことができる。ここで、前記乾燥防止チャンバの内部は、蒸気圧を大気圧より高く維持することができる。また、前記乾燥防止チャンバの内部は、前記スラリーから揮発した溶剤濃度を前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値以下に維持することができる。また、前記乾燥手段は前記フィルムの移動方向によって配置された排気部と吸気部を含むことができる。また、前記乾燥防止チャンバの内部に配置された真空ロ-ルをさらに含むことができる。本発明の他の目的はセラミックグリーンシート製造装置を提供することである。前記セラミックグリーンシート製造装置は、フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段;前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段;及び前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、内部に外部気体を提供する吸入口と外部に内部気体を排出する排気口を含む乾燥防止チャンバ;を含むことができる。ここで、前記吸入口と前記排気口の開閉を夫々調節することができるバルブをさらに含むことができる。また、前記排気口と前記吸入口の配置順序は、前記スラリーが塗布されたフィルムの移動方向に順次的に、前記乾燥防止チャンバの上端に配置されることができる。また、前記外部気体は不活性気体を用いることができる。また、前記乾燥防止チャンバの内部で、前記スラリーから揮発された溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持することができる。本発明のまた他の目的はセラミックグリーンシート製造装置を提供することである。前記セラミックグリーンシート製造装置は、フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段;前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段;前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、少なくとも一面に開口部を備え、前記スラリーの乾燥を防止する乾燥防止チャンバ;及び前記開口部の開閉を調節して、前記乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧を大気圧より高く維持させるための蒸気圧調節制御手段;を含むことができる。ここで、前記蒸気圧調節制御手段は楕円形のロール形態を有し、多数のスリットを備えるスリット部と前記スリット部と連結された遮断部を含むことができる。また、前記蒸気圧調節制御手段の両側内部に配置され、前記蒸気圧調節制御手段の回転を通じて前記開口部の開閉を調節する駆動ローラーを含むことができる。また、前記蒸気圧調節制御手段は多数の第1スリットを備える第1スリット部;及び前記第1スリットと対応された第2スリットを備え、前記第1スリット部上で左右に移動して前記第1スリットをカバーしたりオープンすることができる第2スリット部;を含むことができる。また、前記乾燥防止チャンバの内部で前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持することができる。本発明のセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段と乾燥手段の間にスラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを備えることにより、無欠点の薄型グリーンシートの製造を可能にすることができる。また、セラミックグリーンシート製造装置は乾燥防止チャンバを備えることにより、スラリーが外部異物から汚染されることを防止することができる。また、セラミックグリーンシート製造装置は乾燥防止チャンバを備えることにより、スラリーから揮発された溶剤によって作業室の内部が汚染されることを防止することができる。また、乾燥防止チャンバは蒸気圧調節制御手段を備えることにより、溶剤からの燃焼または爆発を防止することができる。以下、本発明の実施例をセラミックグリーンシート製造装置の図面を参照して詳細に説明する。次に紹介される実施例は、当業者に本発明の思想が十分に伝達されるための例として提供されるものである。従って、本発明は以下で説明される実施例に限定されず、他の形態で具体化することもできる。そして、図面において、装置の大きさ及び厚さなどは便宜のために誇張されて表現することもある。明細書の全体における同一の参照番号は同一の構成要素を示す。図1は本発明の第1実施例によるセラミックグリーンシート製造装置の一部概略図である。図1を参照すると、本発明の第1実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段110、乾燥手段120、及び塗布手段110と乾燥手段120の間に配置された乾燥防止チャンバ130を含むことができる。塗布手段110はフィルムF上にセラミック粉末、バインダー樹脂及び溶剤を含むスラリーSを塗布する役割をすることができる。ここで、セラミック粉末、バインダー樹脂及び溶剤は、通常的にグリーンシートを形成する材質であれば何れも用いられることができる。また、フィルムFの材質は、例えば、PETとすることができるが、本発明の実施例はこれに限定されない。塗布手段110はフィルムF上にスラリーSを噴射して塗布することができる。しかし、本発明の実施例はこれに限定されず、例えば塗布手段110は、ドクターブレード装置、ロールコーティング装置、リバースコーティング装置、スリットダイコーティング装置等とすることができる。ここで、フィルムF上に塗布されたスラリーSは薄型、例えば1um以下の厚さに形成することができる。スラリーSの塗布は、地面に対して垂直のフィルムF上に遂行することができる。しかし、本発明の実施例はこれに限定されない。スラリーSが塗布されたフィルムFは、真空ロール140によって乾燥手段120に移動させることができる。ここで、真空ロール140は多数の真空ホールを備えることができる。この際、真空ホールを通じて真空を印加した後、真空ロール140の回転により、真空ロール140に対し、スラリーSが塗布されたフィルムFを、垂直または傾斜した状態から水平の状態にして乾燥手段120に移動させることができる。乾燥手段120は、フィルムF上に塗布されたスラリーSを乾燥してセラミックグリーンシートGを形成することができる。この際、乾燥手段120はスラリーを乾燥するための加熱手段を備えることができる。また、乾燥手段120は、フィルムFの移動方向に順次、配置された排気部121と吸気部122を備えることができる。即ち、排気部121はフィルムFの投入のための投入口123の近くに配置し、吸気部122はフィルムFの排出のための排出口124の近くに配置することができる。これにより、乾燥手段120の内部では、フィルムの移動方向と反対方向の気流を発生させることができ、乾燥手段120の内部の溶剤濃度を、領域別に一定にすることができる。これは、スラリーSから揮発した溶剤濃度は、乾燥手段120の排出口124よりも投入口123でもっと高くなる可能性があるため、グリーンシートに欠陥が発生する可能性があるためである。ここで、乾燥手段120は一つの乾燥室からなっていると図示したが、本発明の実施例はこれに限定されず、例えば、乾燥手段は二つ以上の乾燥室を備えることができる。乾燥防止チャンバ130は、塗布手段110と乾燥手段120の間に配置させることができる。乾燥防止チャンバ130はスラリーSの不安定な乾燥を防止するために、その内部は、大気圧より高い蒸気圧を有することができる。その際、蒸気圧はスラリーSから揮発した溶剤濃度の調節を通じて高めることができる。即ち、蒸気圧は溶剤濃度の増加によって上昇させることができる。これにより、フィルムF上に塗布されたスラリーSの厚さが小さいため発生するスラリーSの急激な乾燥を防止することができる。即ち、フィルムF上に塗布されたスラリーSは、乾燥手段120でのみ乾燥がなされるようにすることができ、スラリーSの乾燥制御が可能になり、無欠点の薄型セラミックグリーンシートを製造することができる。これに加えて、乾燥防止チャンバ130の内部でスラリーSから揮発した溶剤濃度が継続的に増加する場合、燃焼及び爆発が発生しやすくなる可能性がある。これにより、燃焼及び爆発を防止するために、乾燥防止チャンバの内部の溶剤濃度を、溶剤の燃焼下限値または爆発下限値以下に維持することができる。この際、溶剤の種類によって、溶剤濃度の燃焼下限値または爆発下限値が異なるようにすることができる。例えば、溶剤のトルエンの重量比とエタノールの重量比が1:1である場合、溶剤の爆発下限値を2.25volとすることができるため、乾燥防止チャンバ130の内部を2.25vol以下に維持することができる。この際、爆発を安定的に防止するために、乾燥防止チャンバ130の内部の溶剤濃度を溶剤の爆発下限値の50以下、即ち1.13vol以下に維持することができる。従って、本発明の第1実施例のように、スラリー塗布手段とスラリー乾燥手段の間に配置され、スラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを備えることにより、塗布手段と乾燥手段の間での外部からの異物と風による初期乾燥の不安定性を抑制することができる。即ち、本発明の第1実施例によるセラミックグリーンシート製造装置を通じて、無欠点の薄型グリーンシートの製造が可能になる。以下、図2を参照して、本発明の第2実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に対して説明する。ここで、排気口と吸気口を備えた乾燥防止チャンバを除いては、上述した第1実施例と同一の構成を有するため、重複する説明は省略し、図2では乾燥防止チャンバのみを図示する。図2は本発明の第2実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。図2を参照すると、本発明の第2実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、スラリーSを塗布する塗布手段110とスラリーSを乾燥する乾燥手段120の間でスラリーSの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバ230を含むことができる。前記乾燥防止チャンバ230は、内部の蒸気圧を大気圧より高く維持することにより、乾燥防止チャンバ230内でスラリーSの乾燥を防止することができる。蒸気圧の調節は、スラリーSから揮発した溶剤濃度を通じて調節することができる。しかし、蒸気圧は溶剤濃度を通じてのみ調節する場合、乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧の制御が容易でないだけでなく、蒸気圧を高めるために多くの時間がかかる可能性がある。これを解決するために、乾燥防止チャンバ230は吸入口231を備えることができる。吸入口231は乾燥防止チャンバ230の内部に、蒸気圧を高めるための気体を投入し、乾燥防止チャンバ230の内部の蒸気圧を容易に大気圧より高めることができる。ここで、気体はスラリーに化学的に影響を与えない不活性気体、例えば窒素、アルゴン、ヘリウム、及びネオン等を用いることができる。これに加えて、乾燥防止チャンバ230の内部の溶剤濃度が一定濃度以上である場合、燃焼または爆発が発生する可能性がある。この場合、乾燥防止チャンバ230の内部の溶剤濃度は、さらに安定的な管理のために、燃焼下限値または爆発下限値に対して50以下に維持することができる。これにより、乾燥防止チャンバ230の内部の溶剤濃度が一定濃度以上に増加した時、内部の気体を外部に排出するための排気口232を備えることができる。これに加えて、吸入口231から投入された気体を通じて溶剤濃度を希薄することにより、大気圧より高い蒸気圧を維持することができる。ここで、吸入口231と排気口232には、その開閉を調節可能なバルブ233を夫々備えることができる。これにより、バルブ233の操作によって、乾燥防止チャンバ230の内部の溶剤濃度を一定に維持することができる。また、排気口232と吸入口231は、スラリーSが塗布されたフィルムFの移動方向に順次。乾燥防止チャンバ230の上端に配置することができる。ここで、排気口232と吸入口231を通じた気体の流れ方向は、スラリーSが塗布されたフィルムFの移動方向と反対方向とすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ230の内部で、領域別に発生する溶剤濃度の勾配を減らすことができ、初期塗布されたスラリーSの安定性を確保することができる。これは、乾燥防止チャンバ230の内部の溶剤濃度は、フィルムFの投入口234の付近が排出口235の付近より高い可能性があるためである。確認要従って、本発明の第2実施例のように、乾燥防止チャンバは不活性気体の投入のための吸入口及び排気口を備えて、乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧を容易に制御できるだけでなく、揮発した溶剤による燃焼または爆発を効果的に防止することが可能である。以下、図3を参照して、本発明の第3実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に対して説明する。ここで、排気口と吸気口を備えた乾燥防止チャンバを除いては、上述した第2実施例と同一の構成を有するため、重複する説明は省略し、図3では乾燥防止チャンバのみを図示する。図3は、本発明の第3実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。図3を参照すると、本発明の第3実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段110、乾燥手段120及び塗布手段110と乾燥手段120の間に配置された乾燥防止チャンバ330を含むことができる。乾燥防止チャンバ330は上面に開口された開口部331を備えることができる。開口部331に蒸気圧調節制御手段335が設けることができる。蒸気圧調節制御手段335は、開口部331の開閉を調節することができる。ここで、蒸気圧調節制御手段335は、楕円形のロール形態を有することができる。この場合、蒸気圧調節制御手段335は、多数のスリット333を備えるスリット部332と、スリット部332から延長されて配置された遮断部334とを含むことができる。また、ロールの両側内部に、蒸気圧調節制御手段335の回転駆動のための駆動ローラー336を配置することができる。ここで、蒸気圧調節制御手段335は回転して、開口部331に配置されるスリット部332の面積を調節することができる。即ち、蒸気圧調節制御手段335は回転によって開口部331の開閉を調節し、内部の蒸気圧を制御することができる。例えば、乾燥防止チャンバ330の内部で蒸気圧が大気圧より低い場合、蒸気圧調節制御手段335は回転して、遮断部334を開口部331に配置するようにすることができる。これにより、スラリーSから揮発された溶剤によって、乾燥防止チャンバ330の内部の蒸気圧を上昇させることができる。一方、乾燥防止チャンバ330の内部で、スラリーSから揮発しれた溶剤濃度が一定以上である場合、蒸気圧調節制御手段335が回転して、スリット部332を開口部331に配置するようにすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ330の内部で溶剤が外部に放出され、燃焼または爆発の発生を防止することができる。この場合、溶剤を外部に排出する時、開口部331に配置されたスリット部332の面積を調節して、溶剤の排出速度を調節することができる。これにより、蒸気圧調節制御手段335は、乾燥防止チャンバ330の内部の蒸気圧を大気圧より高く維持するように調節し、乾燥防止チャンバ330の内部でスラリーSの乾燥を防止する役割をすることができる。また、蒸気圧調節制御手段335は、乾燥防止チャンバ330の内部でスラリーSから揮発された溶剤によって燃焼または爆発が発生することを防止するために、乾燥防止チャンバ330の内部でスラリーSから揮発した溶剤濃度を燃焼下限値または爆発下限値以下に維持する役割をすることができる。従って、本発明の実施例のように、乾燥防止チャンバが蒸気圧調節制御手段を備えることにより、スラリーの不安定な初期乾燥を防止し、良質のグリーンシートを製造できるだけでなく、乾燥防止チャンバ内で発生する可能性がある燃焼または爆発を防止することができる。以下、図4を参照して、本発明の第4実施例によるセラミックグリーンシート製造装置を説明する。ここで、蒸気圧調節制御手段を除いては、上述した第3実施例と同一の構成を有するため、重複する説明は省略し、図4では乾燥防止チャンバのみを図示する。図4は、本発明の第4実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。図4を参照すると、本発明の第4実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段110、乾燥手段120及び塗布手段110と乾燥手段120の間に配置された乾燥防止チャンバ430を含むことができる。乾燥防止チャンバ430の開口部431に、内部の蒸気圧を調節する蒸気圧調節制御手段436を配置することができる。蒸気圧調節制御手段436は、多数の第1スリット433を備える第1スリット部432と、第1スリット433に対応した多数の第2スリット435を備える第2スリット部434とを備えることができる。第1スリット部432と第2スリット部434は、平らな基板の形態を有することができる。第1スリット部432と第2スリット部434は、互いに重畳されるように配置することができる。ここで、第2スリット部434は、第1スリット部432上を左右に移動することができる。このとき、第1スリット部432の第1スリット433は、第2スリット部434の移動によりカバーされたり、オープンされることができる。ここで、蒸気圧調節制御手段436は、第1スリット433の開閉を調節して、乾燥防止チャンバ430内部の蒸気圧を制御することができる。例えば、乾燥防止チャンバ430の内部で蒸気圧が大気圧より低い場合、第2スリット部434は移動して第1スリット433をカバーすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ430の開口部は外部から遮断され、スラリーSから揮発された溶剤によって、乾燥防止チャンバ430の内部の蒸気圧は上昇することができる。一方、乾燥防止チャンバ430の内部で、スラリーSから揮発した溶剤濃度が一定以上である場合、第2スリット部434が移動して、第1スリット433と第2スリット435が互いに重畳するようにして、第1スリット433をオープンすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ430の内部の溶剤は、第1及び第2スリット433、435を通じて外部に排出されて、溶剤による燃焼または爆発を防止することができる。この際、溶剤を外部に排出する時、第1スリット433の開閉程度を調節し、溶剤の排出速度を制御することができる。これにより、蒸気圧調節制御手段436は、乾燥防止チャンバ430の内部の蒸気圧を大気圧より高く維持するように調節し、乾燥防止チャンバ430の内部でのスラリーの乾燥を防止する役割をすることができる。また、蒸気圧調節制御手段436は、乾燥防止チャンバ430の内部でスラリーから揮発した溶剤濃度を燃焼下限値または爆発下限値以下に維持して、溶剤による燃焼または爆発を防止する役割をすることができる。本発明の実施例で、第2スリット部434が移動して第1スリット433の開閉を調節すると説明したが、これに限定されない。例えば、第2スリット部434を固定して第1スリット部432を移動させ、又は、第1及び第2スリット部432、434を全て移動させることができる。従って、本発明の実施例のように、乾燥防止チャンバが蒸気圧調節制御手段を備えることにより、スラリーの不安定な初期乾燥を防止し、良質のグリーンシートを製造することができるだけでなく、乾燥防止チャンバ内で発生する可能性がある燃焼または爆発を防止することができる。以下、図5及び図6を参照して、乾燥防止チャンバの有無によるセラミックグリーンシートの表面を観察する。図5は、乾燥防止チャンバを備えていないセラミックグリーンシート製造装置から製造された比較例のセラミックグリーンシートの写真である。図6は、乾燥防止チャンバを備えたセラミックグリーンシート製造装置から製造された本発明のセラミックグリーンシートの写真である。ここで、乾燥防止チャンバ内部の溶剤濃度は0.23volを維持した。図5及び図6のように、比較例のセラミックグリーンシートの表面には、本発明によるセラミックグリーンシートに比べて多くの欠陥が表れることを確認することができた。本発明のセラミックグリーンシート製造装置では、塗布手段と乾燥手段の間に配置されてスラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを備えることにより、無欠点の薄型グリーンシートを製造することができた。