"少なくとも一つの高調波モータ組立部品を含む駆動システムと、前記少なくとも一つの高調波モータ組立部品に結合された少なくとも一つの駆動軸と、前記少なくとも一つの駆動軸に取り付けられた、密閉環境内に位置する少なくとも一つのロボットアームと、前記駆動システムの出力面に取り付けられ、前記少なくとも一つの駆動軸が大気バリアを通じて前記密閉環境まで及び、前記少なくとも一つの高調波モータ組立部品が前記密閉環境の外に設置されるように配置された大気バリアを形成する、少なくとも一つの大気隔離シールと、を有するロボット式搬送装置であって、前記装置は大容量ペイロード搬送装置である、ロボット式搬送装置。前記少なくとも一つの高調波モータ組立部品の一部が、前記少なくとも一つの大気隔離シールの座面として構成されている、請求項1に記載のロボット式搬送装置。前記大気隔離シールは磁性流体シールである、請求項1に記載のロボット式搬送装置。前記少なくとも一つの高調波モータ組立部品の出力部分は、前記高調波モータ組立部品の入力部分から密閉されて隔離されている、請求項1に記載のロボット式搬送装置。前記少なくとも一つの高調波モータ組立部品は、直線状に配置され、共通の回転軸を有する第一の高調波モータ組立部品と第二の高調波モータ組立部品とを含み、また、前記少なくとも一つの駆動軸は、第一及び第二の同軸駆動軸組立部品を含む、請求項1に記載のロボット式搬送装置。前記第一及び第二の高調波モータ組立部品は、前記少なくとも一つの磁性流体シールが配置される隙間を提供するために、前記第一及び第二の駆動軸の同心性を十分に維持するように構成されている、請求項5に記載のロボット式搬送装置。さらに、前記第一及び第二の駆動軸と同心状に配置され、第三の高調波モータ組立部品が結合する第三の駆動軸を有する、請求項5に記載のロボット式搬送装置。前記少なくとも一つの駆動軸は、ワイヤが前記同軸駆動軸組立部品を通じて移動するために構成されたフィードスルーを含む、請求項1に記載のロボット式搬送装置。前記ロボットアームは、スライド式のエンドエフェクタ配列を有する、請求項1に記載のロボット式搬送装置。前記駆動システムは、Z軸駆動モータを含む、請求項1に記載のロボット式搬送装置。前記ロボット式搬送装置は、約1~20キログラムのペイロード、約15~20キログラムのペイロード、約15キログラムのペイロード、または約20キログラムのペイロードを運搬するように構成されている、請求項1に記載のロボット式搬送装置。少なくとも二つの駆動軸と、対応するモータ回転子及びモータ固定子を有する同軸駆動スピンドルを含む、少なくとも一つのモータ組立部品を含む駆動システムと、同軸スピンドルに取り付けられた少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームと、を有し、前記同軸モータ組立部品は、前記同軸スピンドルを通して前記少なくとも一つのスライド式ロボットアームに結合され、前記少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームを移動させるために前記少なくとも二つの駆動軸を実質的に直接駆動するように構成されている、ロボット式搬送装置において、前記同軸駆動スピンドルは密閉環境の中にあり、少なくとも一つの前記モータ固定子及びモータ回転子は前記密閉環境の外に隔離され、前記同軸駆動スピンドルを密閉環境内に密閉するすべてのシールは固定シールである、ロボット式搬送装置。前記少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームは、直線状にスライドするエンドエフェクタ配列を有する、請求項12に記載のロボット式搬送装置。前記少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームは、互いに積み重ねられた少なくとも二つのエンドエフェクタと、それぞれのエンドエフェクタが、少なくとも二つのエンドエフェクタの他方とは独立してスライドして取り付けられる基板部材と、を含む、請求項12に記載のロボット式搬送装置。前記ロボット式搬送装置はさらにZ軸駆動モータを含む、請求項12に記載のロボット式搬送装置。前記駆動システムは、前記密閉環境を保持する筐体、駆動軸ごとの固定子及び回転子、並びに、少なくとも一つの固定隔離バリアを含み、前記固定子、回転子及び隔離バリアは前記筐体内に配置され、前記少なくとも一つの固定隔離バリアは、前記固定子が筐体内で前記密閉環境の外に配置されるように、前記固定子を前記密閉環境から遮断するように構成され、また、前記筐体の内部は前記密閉環境に開かれている、請求項12に記載のロボット式搬送装置。外部環境から遮断された密閉環境を規定するケーシングを有するフレームと、前記フレームに接続された、前記密閉環境内に遮断された少なくとも三つの駆動軸を含む三軸駆動システムを含む基板搬送装置と、前記駆動システムに結合された、基板部材と、大容量の負荷を支持するように構成された、少なくとも一つの基板ホルダとを含む搬送アームと、を有し、前記少なくとも一つの基板ホルダは、前記少なくとも一つの基板ホルダが前記基板部材に対して直線状にスライド可能であるように、前記基板部材にスライド可能に取り付けられ、前記搬送アームと前記駆動システム間の結合は、前記搬送アームの回転及び伸張をもたらす、前記少なくとも三つ駆動軸のそれぞれへの実質的に直接的な駆動による結合である、基板処理装置。前記駆動システムは、一方の同軸駆動軸が、回転の駆動軸についての前記基板部材を回転させるために前記基板部材に実質的に直接結合され、その他の同軸駆動軸は、他の前記少なくとも一つの基板ホルダから独立しているそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダのスライド動作をもたらすために、それぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダに実質的に直接結合されている、同軸駆動軸を含む、請求項17に記載の基板処理装置。前記少なくとも一つの基板ホルダは、前記基板部材にスライド可能に結合された、ラビリンスシールの少なくとも一部を形成するように構成された支持体を含む、請求項17に記載の基板処理装置。前記基板部材に結合された、前記ラビリンスシールの少なくとも一部を形成するように前記支持体と相互作用するように構成された遮蔽部材をさらに有する、請求項19に記載の基板処理装置。前記少なくとも一つの基板ホルダは、積み重ねられた構造に配置された少なくとも二つの基板ホルダを有する、請求項17に記載の基板処理装置。シールの支持ベアリングとしてモータアクチュエータの出力ベアリングを活用する大容量ペイロードロボットアクチュエータがあれば有利である。これはまた、非密閉のロボットアクチュエータ例えば、異なる大気を隔離するシールを持たないロボットアクチュエーションにも適用でき、同様に有益である。直接駆動大容量ロボットアクチュエータがあればまた有利である。開示される発明の第一の実施形態に従って、ロボット式搬送装置が提供される。ロボット式搬送装置は、少なくとも一つの高調波モータ組立部品、少なくとも一つの高調波モータ組立部品に結合された少なくとも一つの駆動軸、密閉環境内に配置された、少なくとも一つの駆動軸に取り付けられた少なくとも一つのロボットアーム、及び駆動システムの出力面に取り付けられ、少なくとも一つの駆動軸が大気バリアを通って密閉環境に伸張し、少なくとも一つの高調波モータ組立部品が密閉環境の外に設置されるように配置された大気バリアを形成する少なくとも一つの大気隔離シールを含む駆動システムを含む、大容量ペイロード搬送装置であるロボット式搬送装置である。開示される発明の第一の実施形態に従って、少なくとも一つの高調波モータ組立部品の一部は、少なくとも一つの大気隔離シールの座面として構成されている。開示される発明の第一の実施形態に従って、大気隔離シールは磁性流体シールである。開示される発明の第一の実施形態に従って、少なくとも一つの高調波モータ組立部品の出力部分は、高調波モータ組立部品の入力部分から密閉されて隔離されている。開示される発明の第一の実施形態に従って、少なくとも一つの高調波モータ組立部品は、直線状に配置され、共通の回転軸を有する第一の高調波モータ組立部品と第二の高調波モータ組立部品とを含み、また、少なくとも一つの駆動軸は、第一及び第二の同軸駆動軸組立部品を含む。さらなる実施形態において、第一及び第二の高調波モータ組立部品は、少なくとも一つの磁性流体シールが配置される隙間を提供するために、第一及び第二の駆動軸の同心性を実質的に維持するように構成される。別の実施形態において、ロボット式搬送装置はさらに、第一及び第二の駆動軸と同心状に配置された第三の駆動軸を含み、第三の高調波モータ組立部品が第三の駆動軸に結合される。開示される発明の第一の実施形態に従って、ワイヤが同軸駆動軸組立部品を通じて移動するために構成されたフィードスルーを含む。開示される発明の第一の実施形態に従って、ロボットアームは、スライド式のエンドエフェクタ配列を有する。開示される発明の第一の実施形態に従って、駆動システムは、Z軸駆動モータを含む。開示される発明の第一の実施形態に従って、ロボット式搬送装置は、約1~20キログラムのペイロード、約15~20キログラムのペイロード、約15キログラムのペイロード、または約20キログラムのペイロードを運搬するように構成されている。開示される発明の第二の実施形態に従って、ロボット式搬送装置が提供される。ロボット式搬送装置は、少なくとも二つの駆動軸と、対応するモータ回転子及びモータ固定子を有する同軸駆動スピンドルを含む少なくとも一つのモータ組立部品を含む駆動システムと、同軸スピンドルに取り付けられた少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームとを含み、同軸モータ組立部品は、同軸スピンドルを通して少なくとも一つのスライド式ロボットアームに結合され、少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームを移動させるために少なくとも二つの駆動軸を実質的に直接駆動するように構成され、同軸駆動スピンドルは密閉環境の中にあり、少なくとも一つのモータ固定子及びモータ回転子は密閉環境の外に隔離され、同軸駆動スピンドルを密閉環境内に密閉するすべてのシールは固定シールである。開示される発明の第二の実施形態に従って、少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームは、直線状にスライドするエンドエフェクタ配列を有する。開示される発明の第二の実施形態に従って、少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームは、互いに積み重ねられた少なくとも二つのエンドエフェクタと、それぞれのエンドエフェクタが、少なくとも二つのエンドエフェクタの他方とは独立してスライドして取り付けられる基板部材とを含む。開示される発明の第二の実施形態に従って、ロボット式搬送装置はさらにZ軸駆動モータを含む。開示される発明の第二の実施形態に従って、駆動装置は、密閉環境を保持する筐体、駆動軸ごとの固定子及び回転子、並びに、少なくとも一つの固定隔離バリアを含み、固定子、回転子及び隔離バリアは筐体内に配置され、少なくとも一つの固定隔離バリアは、固定子が筐体内で密閉環境の外に配置されるように、固定子を密閉環境から遮断するように構成され、また、筐体の内部は密閉環境に開かれている。開示される発明の第三の実施形態に従って、基板処理装置が提供される。基板処理装置は、外部環境から遮断された密閉環境を規定するケーシングを有するフレームと、フレームに接続された、密閉環境内に遮断された少なくとも三つの駆動軸を含む三軸駆動システムを含む基板搬送装置と、駆動装置に結合された、基板部材と、大容量の負荷を支持するように構成された少なくとも一つの基板ホルダとを含む搬送アームとを有し、少なくとも一つの基板ホルダは、少なくとも一つの基板ホルダが基板部材に対して直線状にスライド可能であるように、基板部材にスライド可能に取り付けられ、搬送アームと駆動装置間の結合は、搬送アームの回転及び伸張をもたらす、少なくとも三つ駆動軸のそれぞれへの実質的に直接的な駆動による結合である。開示される発明の第三の実施形態に従って、駆動システムは、一方の同軸駆動軸が、回転の駆動軸についての基板部材を回転させるために基板部材に実質的に直接結合され、その他の同軸駆動軸は、他の少なくとも一つの基板ホルダから独立しているそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダのスライド動作をもたらすために、それぞれの少なくとも一つの基板ホルダに実質的に直接結合されている、同軸駆動軸を含む。開示される発明の第三の実施形態に従って、少なくとも一つの基板ホルダは、基板部材にスライド可能に結合された、ラビリンスシールの少なくとも一部を形成するように構成された支持体を含む。さらなる実施形態において、基板処理装置はさらに、基板部材に結合され、ラビリンスシールの少なくとも一部を形成するために支持体と相互作用するように構成された遮蔽部材を含む。開示される発明の第三の実施形態に従って、少なくとも一つの基板ホルダは、積み重ねられた構造に配置された少なくとも二つの基板ホルダを有する。図1は、開示される発明における実施形態に基づく特徴を組み込む基板処理装置の一部の略図である。開示される発明における実施形態は図面を参照して説明されるが、開示される発明における実施形態は、その他の多くの形態でも実施可能である。また、あらゆる適切な大きさ、形、要素の種類、または素材も使用可能である。図1に示される基板処理装置100は、開示される発明における実施形態に基づく特徴を有する代表的な基板処理器具である。この例において、処理装置100は、一般的なバッチ処理器具の構造を有するものとして示されている。その他の実施形態において、器具は、例えば基板のシングルステップ処理を実行するように構成され、もしくは、図2及び図3に図示されるように直線状またはデカルト配置に構成されるなど、あらゆる望ましい配置を有する。さらに別の実施形態において、基板処理装置は、分類装置、貯蔵装置、または計測装置等の、あらゆる望ましい種類の装置である。装置100で処理された基板Sは、液晶ディスプレイパネル、ソーラーパネル、直径200mm、300mm、450mmのウエハ等の半導体ウエハ、もしくは、ブランクの基板等の、基板処理装置100によって処理されるのに適切なあらゆる形、大きさ、及び厚さを有するその他のあらゆる直径の基板を含むがそれに限定されないあらゆる適切な基板、または、ある寸法や特定の質量等の基板の特徴と類似する特徴を有する物体である。一つに実施形態において、装置100は一般的に、例えば真空室として機能するために備えられた、例えばミニ環境と、隣接する、制御された密閉環境を維持するために外部環境から密閉された、大気によって分離可能または密閉されたセクション110を形成するフロントセクション105とを有する。他の実施形態において、密閉環境セクションは、不活性ガス例えばN2または他のあらゆる環境的に密閉及び/または制御された大気を有する。フロントセクション105は一般的に、例えば一つ以上の基板保持カセット115と、フロントエンドロボット120とを有する。フロントセクション105はまた、例えば、アライナ162、またはそこに位置するバッファ等の、他のステーションまたはセクションを有する。セクション110は、一つ以上の処理モジュール125と、真空ロボットアーム130とを有する。処理モジュール125は、材料堆積、エッチング、ベーキング、研磨、イオン注入、洗浄等、あらゆる種類である。当然のことながら、ロボット基準系のような望ましい基準座標系について、それぞれのモジュールの状態は、制御部170によって記録される。また、一つ以上のモジュールは、例えば基板上の基準を用いて規定された、望ましい配向にある基板を用いて基板Sを処理する。処理モジュールにおける基板の望ましい配向はまた、制御部170に記録される。密閉セクション110はまた、ロードロックと呼ばれる一つ以上の中間室を有する。図1に示される装置100は、ロードロック135及びロードロック140の二つのロードロックを有する。ロードロック135及び140は、基板Sがフロントセクション105と密閉セクション110の間を、密閉セクション110に存在するあらゆる環境的に密閉された大気の全体性を破らないように通過させるインターフェイスとして動作する。基板処理装置100は一般的に、基板処理装置100の動作を制御する制御部170を含む。一つの実施形態において、その発明全体を本願に包含するものである、2005年7月11日に出願された米国特許出願番号11/178615に記載されているように、制御部は、クラスタ化制御アーキテクチャの一部である。制御部170は、プロセッサ173とメモリ178とを有する。上記に加え、メモリ178は、オンザフライ基板偏心、及び不整合検出修正のための方法を備えるプログラムを含む。メモリ178はさらに、処理モジュール及び装置のセクション105、110のその他の部分やステーションの温度及び/または圧力等の処理パラメータと、処理される基板Sの一時的な情報及び基板の計量情報と、オンザフライ基板偏心を規定する装置及び基板の位置データを適用するためのアルゴリズム等のプログラムとを含む。ATM大気的ロボットとも呼ばれるフロントエンドロボット120は、駆動セクション150と、一つ以上のアーム155とを含む。少なくとも一つのアーム155は、駆動セクション150に取り付けられる。少なくとも一つのアーム155は、一つ以上の基板Sを保持するための一つ以上のエンドエフェクタ165に結合された、リスト160に結合される。エンドエフェクタ165は、リスト160に回転可能に結合される。ATMロボット120は、フロントセクション105内のあらゆる位置に基板を搬送するように構成されている。例えば、ATMロボット120は、基板保持カセット115、ロードロック135、及びロードロック140の間で基板を搬送する。ATMロボット120はまた、基板Sをアライナ162との間で搬送する。駆動セクション150は、制御部170から指令を受け取り、それに応じて、ATMロボット120の、半径方向動作、円周方向動作、上昇動作、複合動作や、その他の動作を指示する。真空ロボットアーム130は、セクション110の中央室175に取り付けられる。制御部170は、隙間180及び185を回転するように動作し、処理モジュール125、ロードロック135、及びロードロック140間で基板を搬送するための、真空ロボットアーム130の動作を調整する。真空ロボットアーム130は、駆動セクション190下記に詳細が記載される及び一つ以上のエンドエフェクタ195を含む。他の実施形態において、ATMロボット120及び真空ロボットアーム130は、スライド式アームロボット例えば図1、7A-7B、9A-11C、13A、13C-14B、16-21を参照、自由度2例えば、ここに説明されるように二つの出力軸を有する同軸駆動部を用いる場合、及び/または自由度3ここに説明されるように三つの出力軸を有する三軸駆動部を用いる場合例えば図1-3を参照を有するスカラ型ロボット、チョウ形の形状の、二つのアームを有するスカラ型ロボット例えば図25、参照番号25120を参照二つの前腕部とエンドエフェクタを持つ単一の上腕部を有するスカラ型ロボット例えば図29、参照番号29120を参照、不等長アームリンクスカラ型ロボット例えば図26、参照番号26120を参照、分岐したスカラ型ロボット例えば図28、参照番号28120を参照、関節アームロボット例えば図23A、23B、参照番号23120を参照、ロストモーションメカニズムを組み込んだ機械的スイッチを有するスカラ型搬送アーム例えば図27、参照番号27120を参照、カエル足型搬送装置例えば図1を参照、跳躍カエル型搬送例えば図22、参照番号22120を参照、または左右対称の搬送装置例えば図24A-24D、参照番号24120を参照を含むがそれに限定されない、搬送装置のあらゆる適切な種類のものである。当然のことながら、他の実施形態において、上記のアームは、アームが積み重ねられた一つ以上のエンドエフェクタ、または横に並べられた一つ以上のエンドエフェクタを含むようにするために、搬送基板をまとめるように構成されている。図2を参照すると、開示される実施形態における特徴に基づく、別の基板処理装置10の概略平面図が示されている。基板処理装置10は、細長い搬送室を通して搬送ロボット間を基板Sが通過する、直線状またはデカルト配置を有するように図示されている。ワークピース処理システム10、またはツールは一般的に、処理セクション13とインターフェイスセクション12を有する。ツール10のインターフェイス及び処理セクションは、互いに接続され、相互間のワークピースの搬送を可能とする。ツールの処理セクション13は、実質的に図1と関連して上記に記載されたものと類似した、処理モジュールまたは室を有する。処理モジュールは、ワークピースが処理プロトコルに基づく望ましい処理モジュール間を搬送される、ワークピース搬送室16によって結合される。搬送室は、ワークピースを搬送室内、及び処理モジュール125へと移動可能な搬送ロボット20を有する。処理モジュール125及び搬送室は、大気的に隔離可能であり、搬送室内の大気を処理モジュールと同一、または、図1と関連して上記に記載されたものと実質的に類似する方法でワークピースが処理モジュール間を搬送されるのに適切なように維持するために、外部の大気から環境的に遮断された、制御された大気に保持可能である。ツールインターフェイスセクション12は、ツール処理セクション13とその制御された密閉大気、及びツールの外側との間に、ワークピースの取り付け/取り外しのためのインターフェイスを提供する。適切な環境インターフェイスセクションの例は、その発明全体を本願に包含するものである、2005年7月11日に出願された米国特許出願番号11/178836に開示されている。従って、ツールインターフェイスセクションは、ツールの外側で運搬装置によって搬送されるワークピースが、運搬装置からツールに取り外され、逆もまた同様に行われることを可能とする。搬送室は、例えば直線状に引き伸ばされた搬送室を形成するために、端と端を接続された搬送室モジュールから成る。従って、搬送室の長さは、搬送室モジュールを加えたり取り除いたりすることにより可変である。搬送室モジュールは、搬送室の隣接部分から望ましい搬送室モジュールを隔離可能な入口/出口ゲートバルブを有する。セクション12に類似するツールインターフェイスセクションは、ワークピースがツール内の望ましい位置に取り付けられまたは取り外されるように、直線状に引き伸ばされた搬送室に沿った、あらゆる望ましい位置に配置される。処理モジュールは、搬送室の長さに沿って分布される。処理モジュールは、搬送室の長さに対して角度を持った方向に積み重ねられる。搬送室モジュールは、処理モジュールから望ましい搬送室モジュールを隔離するための入口/出口ゲートバルブを有する。搬送システム20は、搬送室に沿って分布している。複数の搬送室モジュールは、モジュールに固定されたインターフェイス/マウントを有する一体可動アームと、搬送室に沿って、また、搬送室と処理モジュール間においてワークピースを直線状に保持及び移動可能な可動エンドエフェクタとを、それぞれ有する。異なる搬送室モジュール内の搬送アームは、直線状に分布された搬送システムの少なくとも一部を形成するたよう協働する。搬送システム、処理モジュール、処理セクション、インターフェイスセクション、及びツールの他のあらゆる部分の動作は、上記に記載の制御部170と実質的に類似する制御部400によって制御される。搬送室と搬送システムは、搬送室内に複数のワークピース移動通路が規定されるよう配置される。移動通路は、ワークピースの前進及び戻りのために、搬送室内において分極化または専用化される。搬送室はまた、搬送室の異なるセクションが異なる大気を保持することを可能とし、ワークピースが搬送室の異なる大気のセクション間を通過することを可能とする中間ロードロックを有する。搬送室は、ワークピースが搬送室の望ましい位置から挿入/除去される、入口/出口ステーションを有する。例えば、入口/出口ステーションは、インターフェイスセクション12の反対端、または搬送室内の他の望ましい位置に配置される。搬送室の入口/出口ステーションは、搬送室の入口/出口ステーションを遠隔のツールインターフェイスセクション12に結合する、ワークピース高速移動通路と伝達を行う。高速移動通路は、搬送室16から独立し、隔離可能である。高速移動通路は、ワークピースがインターフェイスセクションと移動通路との間を移動するように、一つ以上のインターフェイスセクション12と伝達を行う。ワークピースは、搬送室に作用することなく、ツールの高度のセクションに急速に配置され、処理された後、高速移動通路を通ってインターフェイスセクション12に戻され、結果的に仕掛品WIPの減少をもたらす。搬送室はまた、ワークピースが高速移動通路を移動することができるように高速移動通路と伝達を行う、中間入口/出口ステーションを有する。このことにより、その発明全体を本願に包含するものである、2006年5月26日に出願された米国特許出願番号11/442511に記載されているように、ワークピースが、処理の流れに作用することなく、処理の望ましい中間部に挿入または除去されることが可能となる。インターフェイスセクション12は、間にロードロックを介さずに搬送室と直接結合する図1に示される。他の実施形態において、ロードロックはインターフェイスセクション12と搬送室との間に置かれる。図1に示されるインターフェイスセクションは、ロードポートLPに結合されたカセット115から搬送室16へワークピースを移動するためのワークピース搬送部15を有する。搬送部15は、インターフェイスセクション室14内に配置され、上記に記載の搬送部150と実質的に類似する。インターフェイスセクションはまた、アライナステーション、バッファステーション、計測ステーション、及びワークピースの他のあらゆる望ましい操作ステーション等の、ワークピースステーションAを含む。本発明の実施形態は、例えば、図3の搬送部800のように、真空ロボットまたは搬送部に関連して説明されるが、当然のことながら、開示される実施形態は、大気環境、制御された大気環境、及び/または真空環境を含むがそれに限定されない、あらゆる適切な環境で動作する、あらゆる適切な搬送または他の処理装置例えばアライナ等に用いることができる。一つの実施形態において、搬送部800は、例えば、複数のワークピースを独立して移動するための、独立して可動な複数のエンドエフェクタを有する。図3の搬送部800は、例えば、回転、伸張/後退、及び/またはリフト例えばZ軸動作に関するあらゆる適切な自由度を有する、例えば多関節リンクアームとして示されている。また、当然のことながら、典型的な実施形態に基づく搬送部は、スライド式アームロボット図1、7A-7B、9A-11C、13A、13C-14B、16-21を参照、自由度2ここに説明されるように、例えば二つの出力軸を有する同軸駆動部を用いる場合、及び/または自由度3ここに説明されるように三つの出力軸を有する三軸部を用いる場合例えば図1-3を参照を有するスカラ型ロボット、チョウ形の形状の、二つのアームを有するスカラ型ロボット例えば図25、参照番号25120を参照二つの前腕部とエンドエフェクタを持つ単一の上腕部を有するスカラ型ロボット例えば図29、参照番号29120を参照、不等長アームリンクスカラ型ロボット例えば図26、参照番号26120を参照、分岐したスカラ型ロボット例えば図28、参照番号28120を参照、関節アームロボット例えば図23A、23B、参照番号23120を参照、ロストモーションメカニズムを組み込んだ機械的スイッチを有するスカラ型搬送アーム例えば図27、参照番号27120を参照、カエル足型搬送装置例えば図1を参照、跳躍カエル型搬送例えば図22、参照番号22120を参照、または左右対称の搬送装置例えば図24A-24D、参照番号24120を参照を含むがそれに限定されない、あらゆる適切な構造を備えることができる。典型的な実施形態における駆動システムが採用されるロボットアームの適切な例は、その発明全体を本願に包含するものである、米国特許第4666366号、第4730976号、第4909701号、第5431529号、第5577879号、第5720590号、第5899658号、第5180276号、第5647724号、第7578649号、及び二重スカラアームと題された2005年6月9日付け米国特許出願番号11/148871、機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置と題された2008年5月8日付け米国特許出願番号12/117415、複数の独立可動関節アームを伴う基板搬送装置と題された2007年4月6日付け米国特許出願番号11/697390、不等長リンクスカラアームと題された2005年7月11日付け米国特許出願番号11/179762に見られる。上記のように、他の実施形態において、上記アームは、アームが積み重ねられた一つ以上のエンドエフェクタ、または横に並べられた一つ以上のエンドエフェクタを含むようにするために、搬送基板をまとめるように構成されている。当然のことながら、ここに開示される実施形態に記載される搬送部は、例えば液晶ディスプレイパネルやソーラーパネル、または例えば約1キログラムから20キログラムを超えるペイロード、具体的には約15キログラムから20キログラムのペイロード、さらに具体的には約15キログラムのペイロード及び約20キログラムのペイロード等の他の重いペイロードのような、重い及び/または大きいペイロードを搬送するために構成された大容量ペイロード搬送部である。他の実施形態において、ペイロードは、約20キログラム以下、または約1キログラムである。次に、図3~5を参照すると、大容量搬送部は、上腕部810、前腕部820、及び少なくとも一つのエンドエフェクタ830を有する少なくとも一つのアーム800を含む。当然のことながら、開示される実施形態におけるいくつかの形態はアーム800について説明されるが、上記に記載されているようなその他の適切なアームは、ここに記載される駆動システムに取り付けられ、駆動システムによって駆動する。エンドエフェクタ830は前腕部820に回転可能に結合され、前腕部820は上腕部810に回転可能に結合される。上腕部810は、例えば搬送装置の駆動セクション840に回転可能に取り付けられる。典型とする目的においてのみ、駆動セクション840は、駆動軸システムがあらゆる適切な下図の同軸駆動軸またはスピンドル図5に示される同軸駆動システムは、例とする目的のための二つの同軸シャフトを有し、他の実施形態においてはこれよりも多いまたは少ないシャフトが用いられるを含む、同軸駆動システムを含む。駆動システム840は、アームが作動する搬送室の内部や他の基板処理環境のような密閉制御環境SEを、制御環境SEの外部にあり駆動セクションの筐体840H内にある大気的または外部環境ATMから密閉隔離することができるように、環境フランジ595に密閉して取り付けられる。その結果、駆動筐体840H内の環境は、下記にさらに記載されるように、大気的である。駆動セクション840は、高調波駆動セクションとして構成される。例えば、駆動セクション840は、あらゆる適切な数の高調波駆動モータを含む。駆動セクション840は、駆動セクション840がインストールされる処理モジュールを修正することなく、実質的に駆動セクション840が非高調波型駆動セクションと互換性があるような、あらゆる適切な形や大きさである。一つの実施形態において、図5に示される駆動セクション840は、外部軸211を駆動するための一方のモータ及び内部軸212を駆動するための他方のモータである、二つの高調波駆動モータ208、209を含む。他の実施形態において、駆動セクションは、例えば同軸駆動システム内のあらゆる適切な数の駆動軸に対応して、あらゆる適切な数の高調波駆動モータを含むことに留意されたい。高調波駆動モータ208、209は、一般的に磁性流体シール500と呼ばれる磁性流体シールの構成部品が、少なくとも部分的に、ロボットアームの望ましい回転Tと伸張Rの動作の間に十分な安定性と隙間とを有する高調波駆動モータ208、209によって中心に置かれ支持されるために、大容量出力ベアリングを有する。磁性流体シール500は、下記に記載されるように、実質的に同心の同軸シールを形成するいくつかの部品を含むことに留意されたい。この例において、駆動セクション840は、二つの駆動モータ208と209を、その発明全体を本願に包含するものである、米国特許第6845250号、第5899658号、第5813823号、及び第5720590号に記載に方法に類似した方法で、連続して例えば、共通の回転軸上に直列してまたは一方の上に他方が積み重ねられ、もしくは他の実施形態においては、モータは互いにネストされ、または互いに相殺され適切な搬送装置を通して同軸シャフト組立部品のそれぞれの軸に取り付けられる格納する筐体840Hを含む。モータは、最上部のモータ208が貫通孔を有し例えば、モータ回転子は外部軸に取り付けられる、下層のモータ209または図6に示されるように三つ以上の同軸シャフトの場合には複数の下層モータが、貫通孔を通って筐体840Hの駆動エンドに達する駆動軸212を有するように構成されている。磁性流体シール500は、下記にさらに記載されるように、同軸駆動軸組立部品内のそれぞれの駆動軸を密閉することを許容可能である。最内部の駆動軸712もまた、ワイヤまたは他のあらゆる適切なアイテムの、例えば駆動部840に取り付けられたアーム800のようなアーム組立部品への、同軸駆動組立部品内の通過を許容するための中空構造を有する例えば、駆動軸の中心に沿って長手方向に穴を有することに留意されたい。アーム800が動作する制御環境を駆動部840の内部から密閉するために、大気圧環境内で動作する駆動部840は、アームが例えばワイヤを傷つけることなく回転することを可能とする、隔離ワイヤフィードスルー590を含む。ワイヤフィードスルーの一つの適切な例は、その発明全体を本願に包含するものである、米国特許第6265803号に見られる。次に、図3及び5を参照すると、二つのモータ208、209は、アームが少なくとも自由度2例えば、図3に示される、一般的にT動作と呼ばれる、例えばZ軸の回りの回転、及び、一般的にR動作と呼ばれる、例えばX-Y面の伸張を有するように、アーム800の動作を可能とする。他の実施形態において、駆動セクション840はまた、例えば、基板搬送面または基板保持ステーションに設置されたアーム800及びエンドエフェクタ830を上下に動かすために、駆動セクションが矢印210Aの方向に移動することを可能とするZ軸モータ210を含む。当然のことながら、Z軸モータ210が用いられる場合、ロボットアーム駆動システムは、例えば駆動システムの筐体840Hと環境フランジ595との間の、あらゆる適切な可撓接続を含む。一つの実施形態において、可撓接続はベローズ670であるが、他の実施形態においては、あらゆる適切な接続が用いられる。同軸シャフトまたはスピンドルが二つの駆動軸211、212を有するように図示されているものの、他の実施形態においては、スピンドルは二つ以上または以下の駆動軸を有する。さらに他の実施形態において、駆動軸はあらゆる適切な構造を有する。この例において、同軸駆動軸の外部軸211は、上腕部810に適切に結合され、内部軸212は前腕部820に適切に結合される。この例において、エンドエフェクタ830はスレーブ構造において動作するが、他の実施形態においては例えば図6を参照、エンドエフェクタ830を動作するために追加の駆動軸が駆動ユニットに含まれる。当然のことながら、駆動軸は、高調波駆動システムに上記に記載のような異なるアーム構造を取り付けるために共通のアームインターフェイスを提供するように構成される。上記のように、モータ208、209はそれぞれ、モータが互いに直列に配置されるように同心状に積み重ねられた構造で、筐体840H内に取り付けられる。モータは、あらゆる適切な交流ACモータまたは直流DCモータ、例えばサーボモータ、ステッピングモータ、AC誘導モータ、DCブラシレスモータ、DCコアレスモータ、または他のあらゆる適切なモータである。この典型的な実施形態において、モータ208は、筐体840H内に固定して取り付けられた固定子208Sと、ベアリング208Bによって等あらゆる適切な方法で筐体840H内に回転可能に取り付けられた回転子208Rとを含む。カム部材、または造波機208Wと呼ばれるものは、回転子208Rと調和して回転するために適切なあらゆる方法で回転子208Rに取り付けられる。造波機208Wは、一般的に楕円形のカムの外周に組み込まれた適切なボールベアリング208WBを含む。ベアリングの内部配線管はカムに固定され、外部配線管はボールベアリング208WBを介して弾性変形にさらされる。第一のスプライン部材208Fは、筐体840Hに回転可能に固定されるために適切なあらゆる方法で筐体840H内に固定して支持される。第一のスプライン部材は、実質的にねじれて固い構造を形成する、実質的に固い部分208F及び実質的に柔軟な部分208FFを有する。スプライン部材208Fは、カムの作用下においては局所的に柔軟であるが、シャフト組立部品の中心線の位置をアームのR、T動作の範囲以下例えば図3のZ軸に実質的に調整するために望ましい全身硬直を提供し、従って、磁性流体シールにおける望ましい隙間を維持する。第一のスプライン部材208Fは、実質的に固い部分208FRを通して筐体に取り付けられる。第二のスプライン部材208Cは、それぞれ同軸シャフトに取り付けられる。ここで、第二のスプライン部材208Cは、外部軸211と第二のスプライン部材208Cとが一体として回転するために適切なあらゆる方法で外部軸211に結合される。第二のスプライン部材208Cは、実質的に固い環状である。第一のスプライン部材208Fは、第一のスプライン部材208Fの柔軟な部分208FFの外周の周りに形成されたギアの歯を有する。第二のスプライン部材208Cも、第二のスプライン部材208Cの内周の周りに形成された歯を有する。回転子208Rが回転すると、第一のスプライン部材208Fのギアの歯が、第二のスプライン部材208Cのギアの歯とかみ合って連動するように、造波機はカムを用いて第一のスプライン部材208Fの柔軟な部分208FFを局所的に屈折させる。しかしながら、造波機のカムの楕円形の形状により、造波機楕円の主要な軸と連携している第一のスプライン部材208Fの歯のみが第二のスプライン部材208Cの歯と連動し、造波機楕円のその他の軸に沿った第一のスプライン部材208Fの歯は第二のスプライン部材208Cのギアの歯から実質的に完全に遊離している。第一のスプライン部材208Fの歯は、第二のスプライン部材208Cの歯よりも少なくもしくは逆もまた同様、駆動軸211の回転をもたらす第一のスプライン部材208Fと関連して、第二のスプライン部材208Cの回転動作をもたらす。第一のスプライン部材のねじれた固さ及び/または高調波駆動部によって提供された減速は、駆動システムに取り付けられたロボットアームの結合を駆動するための増加したトルクプロファイルを許容する。当然のことながら、駆動軸211は、あらゆる適切な方法で矢印210Aの方向の軸方向に支持される。一つの実施形態において、駆動軸211は、高調波駆動208によって矢印210Aの方向に支持される。他の実施形態において、駆動軸211は、あらゆる適切なベアリングによって矢印210Aの方向に支持される。さらに他の実施形態において、駆動軸211は、高調波駆動208及び適切なベアリングの組み合わせによって矢印210Aの方向に支持される。モータ209は、モータ208に関して上記の、固定子208S、回転子208R、造波機208W、第一のスプライン部材208F、及び第二のスプライン部材208Cにそれぞれ類似する、固定子209S、回転子209R、造波機209W、第一のスプライン部材209F、及び第二のスプライン部材209Cをモータ209も含む点で、形状と動作においてモータ208と実質的に類似する。内部駆動軸212は、内部駆動軸212と第二のスプライン部材209Cが一体として回転するために適切なあらゆる方法で第二のスプライン部材209Cに固定して結合される。上記に記載された方法と実質的に類似した方法で、駆動軸212は、あらゆる適切な方法で矢印210Aの方向に軸方向に支持される。一つの実施形態において、駆動軸212は、高調波駆動部209によって矢印210Aの方向に軸方向に支持される。他の実施形態において、駆動軸212は、あらゆる適切なベアリングによって矢印210Aの方向に支持される。さらに他の実施形態において、駆動軸212は、高調波駆動部209及び適切なベアリングの組み合わせによって矢印210Aの方向に支持される。当然のことながら、互いに、またシャフト組立部品及び筐体を制御環境SEから隔離する磁性流体シールに対する内部及び外部駆動軸211、212の同心性は、磁性流体シール500を維持するように例えば、高調波駆動部208、209は、一つ以上の磁性流体シールが一つ以上のシャフト及び筐体の間に配置されるように、それぞれの駆動軸を互いに、及び筐体の少なくとも一部に対して実質的に同心状に配置する、シャフトと筐体の一部との間の隙間を制御するための高調波駆動部209、209の第一及び第二のスプライン部材208F、208C、209F、209Cのそれぞれのギア間の相互作用を通して維持される。例えば、上記のように、それぞれモータ208、209の第二のスプライン部材208C、209Cは、実質的に固い環状である。対応する第二のスプライン部材208C、209Cに対する第一のスプライン部材208F、209Fの変形これによって歯がかみ合わさるは、対応する第二のスプライン部材208C、209Cに、互いに及び筐体840Hの少なくとも一部に対して実質的に同心状に結合されたシャフト211、212を保持する。当然のことながら、他の実施形態において、ベアリングは高調波駆動部と連動して、駆動軸の間の実質的な同心性を維持するために、例えば駆動軸の間または駆動システム内の他のあらゆる適切な位置に配置される。上記のように、高調波駆動部208、209は、アーム800駆動システム840の駆動軸に取り付けられるのようなロボットアームが駆動システムの筐体840H及び他の外部環境内の大気圧環境から動作する、密閉制御環境を隔離するための、駆動システム840内での実質的に同心の同軸磁性流体シール500または他のあらゆる適切なシールの使用を許容する。高調波駆動システムは、磁性流体シールが配置される隙間を厳重に制御するために、実質的に駆動軸のぶれを最小限にするように構成されている。さらに図5を参照し、第一の磁性流体シール500Aは、例えば第二のスプライン部材208Cと筐体840Hの一部との間に配置される。一つの例において、高調波駆動部208の第二のスプライン部材208Cは、第一の磁性流体シール500Aを少なくとも部分的に維持するための磁性流体シール面208CSを含む。第二の磁性流体シール500Bは、外部駆動軸211と内部駆動軸212との間に配置される。そのようにして、高調波駆動部208と筐体840Hとの間、及び外部軸211と内部軸212との間に、駆動システム840内の大気環境から、密閉制御環境を駆動システム840の出力側に密閉して隔離するための大気的バリアが形成される。当然のことながら、この実施形態において、高調波駆動部208、209の出力部は、例えば磁性流体シール500A、500Bによって、高調波駆動部208、209の入力部から密閉して隔離されている。反対に、上記のように、磁性流体シールは少なくとも部分的に出力部208CS、または高調波駆動部の出力部に従属する部分例えば内部軸212の外面に従属する。駆動システム840に関連して二つの磁性流体シール500A、500Bが記載されているが、他の実施形態においては、二つ以上または以下の磁性流体シールが、大気環境から実質的に密閉制御環境を密閉するために筐体840H内のあらゆる適切な位置に配置されることに留意されたい。磁性流体シール500A、500Bは、筐体840H内で駆動システム840によって生成された微粒子が密閉制御環境に漏れ出ないように、制御密閉環境の腐食性材料が筐体840H内に入らないように、かつ真空で用いられた際に、磁性流体シール500は大気バリアを提供するため、例えば筐体840H内に配置された駆動システム840の内部コンポーネントが真空に準拠している必要がないように、密閉制御環境及び大気環境が相互作用することができる、筐体840Hのインターフェイスに備えられる。また、駆動システム840の磁性流体シール500A、500Bの配置は典型であるだけであり、他の実施形態においては、磁性流体シールは他のあらゆる適切な配置及び構造を有することにも留意されたい。アーム800などのロボットアームが正確に配置されるように、一つ以上の適切な絶対値または相対値エンコーダ208E、209E、もしくは他のあらゆる適切な位置検知装置は、それぞれ高調波ドライブ208、209の回転を検知するために、少なくとも部分的に筐体内におけるあらゆる適切な位置に配置される。一つ以上のエンコーダ変換ユニット208EC、209ECは、例えばそれぞれエンコーダ208E、209Eからの信号を変換するため、例えば、制御部170のようなあらゆる適切な制御部による使用のために、筐体840H内に配置される。筐体840Hは、エンコーダ208E、209E、及び/または固定子208S、209S、または筐体840H内に配置された他のあらゆる適切な電気部品への電気的接続を可能とするための、一つ以上のワイヤフィードスルー650を有する。当然のことながら、エンコーダ、エンコーダ変換ユニット、及びフィードスルーの配置は典型であるだけであり、他の実施形態においては、エンコーダ、エンコーダ変換ユニット、及びフィードスルーはあらゆる適切な配置及び構造を有する。開示される発明の実施形態を包含する別の高調波駆動システムが、図6に示されている。駆動セクション840’は、各モータがそれぞれ内部軸712、中間軸713、及び外部軸711を駆動する、三つの高調波駆動モータ708、709、710を有する三つの軸または三軸シャフト組立部品を含む。この例において、それぞれのアームリンクが独立して回転可能なように、同軸駆動軸の外部軸711は例えばアーム800の上腕部810に適切に結合され、内部軸712はエンドエフェクタ830に適切に結合され、中間軸は前腕部820に適切に結合される。各モータ708、709、710は、すべてそれぞれに対応する固定子208S、209S、回転子208R、209R、造波機208W、209W、第一のスプライン部材208F、209F、第二のスプライン部材208C、209Cと実質的に類似する、固定子708S、709S、710S、回転子708R、709R、710R、造波機708W、709W、710W、第一のスプライン部材708F、709F、710F、第二のスプライン部材708C、709C、710Cを含む点で、上記のモータ208、209に実質的に類似している。内部軸712は、シャフト212に関連して上記に記載の方法と類似した方法で、ワイヤまたは他のあらゆる適切な物体のための実質的に密閉されたフィードスルーを、例えばロボットアーム800の一つ以上のリンクに入れることを可能とするために中空である。この実施形態において、図6に関連した上記に記載の方法と類似した方法で、モータ708は外部軸711を駆動し、モータ709は内部軸712を駆動し、モータ710は中間軸を駆動する。上記のように、互いの、及び/または筐体840H’に対するシャフトの同心性は、高調波駆動モータ708、709、710によって実質的に維持される。例えば、上記のように、第一及び第二のスプライン部材708F、708C、709F、709C、710F、710C間のそれぞれの相互作用は、磁性流体シール500が維持されるように例えば、高調波駆動部708、709、710は、一つ以上の磁性流体シールがシャフト間、及び一つ以上のシャフトと筐体の間に配置されるように、それぞれの駆動軸を互いに、及び少なくとも筐体の一部に対して実質的に同心状に配置する、シャフトと筐体の一部との間の隙間を制御する。さらに、上記のように、他の実施形態において、適切なベアリングは、高調波駆動モータ708、709、710とともに、一つ以上のシャフト間の、及び/または筐体の一部と一つ以上のシャフトとの間の実質的な同心性を維持するために駆動軸の間、または筐体840H’内の他のあらゆる適切な位置に配置される。開示される発明のいくつかの実施形態は真空ロボットと駆動システムに関連して記載されてきたが、当然のことながら、典型的な実施形態における典型的な駆動システムは、大気的ロボットにも同様に適用可能である。当然のことながら、駆動システムの内部に関連して大気境界は必要とされないが、例えば磁性流体シールは他のあらゆる適切なシールに取って代えられる。この典型的な実施形態において、磁性流体シール500Aは、上記に記載された方法と実質的に類似する方法で、スプライン部材708Cと筐体の一部との間に配置される。磁性流体シール500Bは、上記に記載された方法と実質的に類似する方法で、外部軸711と中間軸713との間に配置される。さらなる磁性流体シール500Cは、磁性流体シール500Bに関連して上記に記載された方法と実質的に類似する方法で、中間軸713と内部軸712との間に備えられる。このように、高調波駆動部708、709、710のそれぞれの出力部は、駆動部708、709、710のそれぞれの入力部からは密閉して隔離されている。当然のことながら、エンコーダ708E、709E、710E及びエンコーダ変換ユニット708EC、709EC、710ECこれらは、エンコーダ208E、209E及び変換ユニット208EC、209ECと実質的に類似しているのような適切な位置検知装置は、上記に記載の方法と実質的に類似する方法で高調波駆動部708、709、710の回転を検知するために、少なくとも部分的に筐体内に配置される。エンコーダ及びエンコーダ変換ユニットの位置は典型であるだけであり、他の実施形態においては、駆動モータ708、709、710のそれぞれの位置を検知するのに適切なあらゆる位置に配置される。次に図7A及び7Bを参照すると、開示される発明の実施形態を包含する別の大容量基板搬送装置1700が示されている。ここで、搬送装置1700は、大気環境内での動作のために構成され、アーム組立部品1710と駆動セクション1720を含む。他の実施形態において、搬送装置は真空環境内での動作のために適切に構成される。一つの実施形態において、アーム組立部品1710は、下記に記載されるように、適切な所定のアームの届く範囲を許容するように適切な大きさの、無制限のシータθ回転を有する。また、図8A~8Cを参照すると、駆動セクション1720は、上記のフランジ595図5に実質的に類似している取付フランジ1810に固定して接続されている駆動システムシャーシ1840を含む。シャーシはまた、駆動システムの少なくとも一部を支持するために構成された下部支持プレート1840Bを含む。Z軸駆動部1823は、ボールねじ1821がフランジ1810に向かって伸び、あらゆる適切な支持ベアリングによって駆動していない端を支持されるように、少なくとも部分的に下部指示プレート1840Bに取り付けられる。Z軸駆動部1823は、ボールねじ1821を回転するために適切なあらゆる適切な駆動モータ1823Mを含む。例えば、駆動モータ1823Mは、あらゆる適切な交流電流ACモータまたは直流DCモータ、例えばサーボモータ、ステッピングモータ、AC誘導モータ、DCブラシレスモータ、DCコアレスモータ、または他のあらゆる適切なモータである。Z軸駆動部はまた、ボールねじ1821の回転を中断し、それによりアーム1710下記に記載されるように、これは駆動部1800に結合されるのZ軸動作を中断する、あらゆる適切な崩壊機構1823Bを含む。Z軸駆動部1823はまた、例えば、適切な信号を、例えば制御部170図1のようなあらゆる適切な制御部に送信することによってアーム1710のZ軸位置を検知するために適切なあらゆるエンコーダのような、あらゆる適切な位置検知装置を含む。当然のことながら、ボールねじZ軸駆動部が図8A-8Cに示されているものの、他の実施形態においてZ軸駆動部は、流体駆動スライド機構、ソレノイド、磁気駆動スライド機構、または他のあらゆる適切な線形駆動を含む、あらゆる適切なタイプの駆動システムを含む。図8A~8Cに示される駆動システムは、スピンドル組立部品1800Sの少なくとも一部がZ軸に沿ってフランジ内を自由に移動するように、シャーシ1840内に移動可能に取り付けられたスピンドル組立部品1800Sを含む。スピンドル組立部品1800Sは、一つの実施形態において上記の高調波駆動部840図5と実質的に類似する、高調波駆動部組立部品1800を含む。他の実施形態において、二つ以上の駆動軸が望ましい点で、高調波駆動部組立部品1800は、高調波駆動部840’と実質的に類似する。高調波駆動部1800は、あらゆる適切は方法でスピンドル支持チューブ1830A内に固定して取り付けられる。スピンドル支持チューブ1830Aは、同様に、あらゆる適切な方法でZ軸搬送部1830B内に固定して取り付けられる。スピンドル支持チューブ1830A及びZ軸搬送部1830Bは別々のユニットとして示されているが、他の実施形態において、スピンドル支持チューブ及びZ軸搬送部は一体となった単一構造を有する。Z軸搬送部1830Bは、ボールねじ1821の回転に応じてZ軸駆動部1823によってスピンドル組立部品1800SがZ軸に沿って移動するために、スピンドル組立部品1800SをZ軸駆動部1823に接続するためのボールねじナット1822を含む突起部1822Pを含む。Z軸搬送部1830Bはまた、Z軸搬送部1830Bの周辺に沿ったあらゆる適切な角度位置に配置された突起部1860A、1860Bを含む。この例において、突起部1860A、1860Bは実質的に180°離れて配置されているが、他の実施形態において、突起部は互いに、及び突起部1822Pに対してあらゆる適切な角度関係を有する。一つ以上のガイド部材1865A、1865Bは、シャーシ1840内におけるスピンドル組立部品1800SのZ軸動作をガイドするために、例えばガイドレール1850A、1850Bとスライド可能に協働するために、それぞれ突起部1860A、1860B内に配置される。ガイドレール1850A、1850Bは、あらゆる適切な構造を有し、シャーシ1840内においてあらゆる適切な方法で取り付けられる。他の実施形態において、あらゆる適切なガイド機構が、シャーシ1840内におけるスピンドル1800SのZ軸動作をガイドするために用いられる。あらゆる適切なスリップリング1815または他の適切なワイヤフィードスルーは、アーム1710の無制限シータθ回転を実質的に妨げることなく、ワイヤまたは他の適切なケーブル、チューブ等がスピンドル組立部品1800Sを通ってアーム1710へと通過できるように、上記に記載された方法と類似した方法でスピンドル組立部品1800S内に備えられる。また図9A、9B及び10を参照すると、アーム1900は、基板部材1960、下部筐体1900L、及び上部筐体1900Uを含む、上腕部1901を含む。アーム1900はまた、移動フレーム1910Tとエンドエフェクタ1905を含む。基板部材1960は、外部駆動軸211が回転すると基板部材1960がそれとともに回転するように、例えば駆動部1800の外部駆動軸211に固定して結合されるように構成されている。基板部材1960は、機械的ファスナを通すなどのようなあらゆる適切な方法で駆動軸211に取り付けられる。移動フレーム1910Tは、移動フレーム1910Tが基板部材1960に固定されるようにあらゆる適切な方法で基板部材1960に取り付けられる。例えば、移動フレーム1910Tは、あらゆる適切な方法で、それぞれのレールがそれぞれの端部で、対応するエンドプレート1900E1、1900E2に結合されている、一つ以上のガイドレール1910A、1910Bを含む。一つ以上のガイド部材1930A、1930B、1930C、1930Dは、それぞれのガイドレール1910A、1910Bにスライド可能に結合される。それぞれのガイドレール及び/またはエンドプレート1900E1、1900E2は、対応するガイドレール1910A、1910Bに伴うガイド部材1930A、1930B、1930C、1930Dのスライド動作を実質的に妨げずに、移動フレーム1910Tを基板部材1960に取り付けるための取付金具または他の適切な取付機構を含む。上部及び下部筐体1900U、1900Lは、エンドプレート1900E1、1900E2とともに、ガイドレール1910A、1910B、ガイド部材1930A-1930D及びアーム伸張/後退駆動部品下記に記載されるを実質的に包むまたは格納するために、一つ以上のエンドプレート1900E1、1900E2、基板部材1960、及び互いに取り付けられる。当然のことながら、上部及び下部筐体1900U、1900Lは、アーム1900に取り付けられると、エンドエフェクタ1905とガイド部材1930A-1930Dとの間の接続を許容するために上部及び下部筐体1900U、1900Lの間にスリット1999が形成されるように構成されている。例えば、一つ以上の接続部材1905Cは、レール1910A、1910Bに沿ったガイド部材1930A-1930Dの動作がエンドエフェクタの放射軸Rに沿った伸張及び後退をもたらすように図7A、スリット1999を通じてエンドエフェクタ1905をガイド部材1930A-1930Dに接続する下記により詳細に記載される。図10をまた参照すると、ガイド部材は、駆動部1800の内部駆動軸212によってあらゆる適切な方法で駆動される。例えば、内部駆動軸212が回転するのに伴って滑車1920Cが回転するように、駆動滑車1920Cは内部駆動軸212に取り付けられる。一つ以上のガイドレール1910A、1910Bは、それぞれレール1910A、1910Bの反対端に配置されたガイド滑車1920A、1920Bを含む。図10においてガイド滑車1920A、1920Bはガイドレール1910B上にのみ示されているが、他の実施形態においてガイド滑車はガイドレール1910A上にも配置されることに留意されたい。ベルト、バンド、ワイヤ等の一つ以上の適切な搬送部材2010は、駆動滑車1920C及びそれぞれのガイド滑車1920A、1920Bを周るように付設される。この例においてはガイド部材1930A、1930Bである一つ以上のガイド部材、及び接続部財1905Cは、駆動滑車1920Cの回転とともに搬送部材がガイド滑車1920A、1920B間を直線的に移動するように、搬送部材2010に固定して結合される。ガイド滑車1920A、1920B間の搬送部材2010の直線移動は、例えば搬送部材2010及び一つ以上のガイド部材1930A、1930B、及び接続部財1905C間の固定した結合によって、エンドエフェクタの放射軸Rに沿った伸張及び後退をもたらす。一つの実施形態において、あらゆる微粒子がスリット1999から抜け出てアーム1900が動作する室に入ることを実質的に防ぐために、あらゆる適切な密閉部材がスリット1999内に備えられることに留意されたい。他の実施形態において、真空チューブまたは他の空気循環/微粒子除去装置は、例えばアーム1900内の滑車や搬送部によって生成されるあらゆる微粒子を捕獲し除去するために、アーム1900内に備えられる。エンドエフェクタ1905は、例えば、能動的または受動的な保持を有する端部保持エンドエフェクタまたは底部保持エンドエフェクタのような、あらゆる適切なエンドエフェクタである。一つの実施形態において、エンドエフェクタ1905は、基部1905B及び保持部1905Gを含む。基部1905Bは、一つ以上の接続部材1905に結合されるこの例において、図示される一つの接続部材は、基部1905Bの側面1905BSにそれぞれ配置される。接続部材1905Cは、基部1905Bが移動フレーム1910Tによって安定して保持されるように、ガイド部材1930A-1930Bに結合される。エフェクタ1905の保持部1905Gは、この例においては端部保持エンドエフェクタとして示されているが、上記のように他の実施形態において保持部は基板Sを支持し保持するために適切なあらゆる構造を有する。一つの実施形態において、保持部1905Gは、基部1905Bに取り外し可能に取り付けられ、別の実施形態において保持部1905Gは基部1905Bと一体構造で形成される。能動的な保持の制御、またはエンドエフェクタ1905に配置された基板センサの動作のなどのために、電気的接続、圧縮空気を用いた接続、真空接続、光学的接続またはその他の接続が望ましいが、ワイヤ、チューブ、ケーブル等は、アーム1900内の柔軟な通路を縛らずにエンドエフェクタの伸張及び後退を許容するために柔軟な通路1950が折れるまたは形状を変更するように構成されているエンドエフェクタへの接続のために、スピンドル1800Sを通って実質的に柔軟な通路1950へ送られる。上記においてアーム1900は一段階の伸張例えば、基部及び一つのスライド部材を有すると記載されているが、他の実施形態においてアーム1900は、図9Cに示されるように複数段階の伸張を含むことに留意されたい。例えば、アームは上腕部1901を含む。一つ以上の中間腕部1903は、エンドエフェクタ1905に関して上記に記載の方法と実質的に類似した方法で上腕部1901にスライド可能に取り付けられる。エンドエフェクタ1905は、例えばアームが伸張しているときに、エンドエフェクタの上腕部1901への取り付けに関して上記に記載の方法と実質的に類似した方法で最遠位中間腕部1903にスライド可能に取り付けられる。当然のことながら、アーム1900は、エンドエフェクタ及び上腕部1901に関連するあらゆる適切な数の中間腕セクションの両方の伸張を通したエンドエフェクタ1905の伸張をもたらすあらゆる適切な搬送システムを含む。他の実施形態において、搬送装置は複数のアームまたは基板ホルダ、例えば各アームが駆動システムのそれぞれの駆動軸によって駆動されている例えば伸張し後退する下記に記載の方法と類似した方法で互いに積み重ねられたアーム/基板ホルダを有する。複数のアーム/基板ホルダは、同一方向または逆方向に伸張するように構成される。次に図11A~11Cを参照すると、開示される発明の別の実施形態に基づく大容量搬送装置2100が示されている。搬送装置2100は、特に断りのない限り、搬送装置1700と実質的に類似する。例えば、アーム2710は、アーム1710に実質的に類似し、基部図示されていない、下部筐体2900L、上部筐体2900U、移動フレーム2910T、及びエンドエフェクタ2905を含む。上記のように、基部は、外部駆動軸211が回転するとそれに伴って基部が回転するように、例えば駆動システム2720の外部駆動軸211図12A~12Cに固定して結合されるように構成されている。基部は、機械的ファスナを通すなどのようなあらゆる適切な方法で駆動軸211に結合される。移動フレーム2910T端部2900E1、2900E2を含むは、移動フレーム1910Tと実施的に類似し、移動フレーム2910Tが基部に固定されるように、あらゆる適切な方法で基部に取り付けられる。エンドエフェクタ2905は、上記のエンドエフェクタ1905の基部1905及び保持部1905Gと実質的に類似する、基部2905B及び保持部2905Gを含む。エンドエフェクタ2905は、上記に記載の方法と実質的に類似する方法でエンドエフェクタが放射軸Rに沿って伸張及び後退するように、上記に記載の方法と実質的に類似する方法で接続部材2905Cを通して移動フレームのガイド部材に接続される。例えば、スリット2905Cは、例えばアーム2710内の滑車及び搬送部によって生成された微粒子が、スリットから抜け出てアーム2710が動作する制御された大気に入ることを防ぐために構成されたシールを含む。この実施形態において、搬送装置2100は、アーム2710が動作する制御密閉環境SEが、例えば駆動システム2720の内部にある大気環境ATM及び、例えば駆動システムが配置される環境から密閉されるように、制御された大気内での動作のために構成される。駆動システム2720は、制御環境の駆動システム2720の内部からの密閉をもたらす適切なシールを含む。例えば、駆動システム2720は、シャーシ2840、底部2840B、Z駆動部2823、ボールねじ2821、ボールねじナット2822、ボールねじ支持部2820、及びスピンドル支持チューブ2830AとZ軸搬送部2830Bを含むスピンドル組立部品2800Sを含む点で、上記の駆動システム1720と実質的に類似している。当然のことながら、スピンドル組立部品2800SがZ軸に沿って駆動されることを許容するために、スピンドル支持チューブ2830Aとフランジ2810フランジ1810と実質的に類似しているとの間には隙間Gが存在する。この隙間Gを密閉するために、柔軟な密閉部材2610の一端が例えばフランジ2810に密閉して取り付けられ、もう一方の端部が例えば一つ以上のスピンドル支持チューブ2830AとZ軸搬送部2830Bに密閉して取り付けられるように、ベローズのようなあらゆる適切な柔軟な密閉部材2610が備えられる。適切なシール2600上記のシール500A、500Bと実質的に類似しているはまた、図5に関して上記に記載の方法と類似した方法で、駆動軸211、212の間、及び駆動軸211とモータ筐体804H図5との間に配置される。従って、駆動システム内の大気環境ATMから駆動システムの出力側にある密閉制御環境SEを密閉して隔離するために、大気バリアは、高調波駆動部と筐体との間、及び外部軸211と内部軸212との間に形成される。例えば、ワイヤ、チューブ、ケーブル等がエンドエフェクタへの接続のために通過する内部駆動軸212内の通路は、アームが例えばワイヤ、チューブ、ケーブル等を傷つけることなく回転することができるように、隔離ワイヤフィードスルー590を用いて隔離される。図13A~13Cを参照すると、開示される発明の実施形態に基づく別の大容量搬送装置5300が示されている。この例において、搬送装置は、駆動セクション5300D及びアームセクション5300Aを含む。アームセクションは、縦に伸びた基板部材5310及び一つ以上の基板ホルダ5320、5322を含む。一つ以上の基板ホルダは、下記により詳細に記載される方法で、伸張及び後退Rの方向に基板部材の全長の少なくとも一部に沿って移動図14A及び14Bを参照するように構成されている。駆動セクション5300Dは、下記により詳細に記載されるように、同軸駆動軸組立部品5371の各駆動軸がそれぞれ基板部材5310及び一つ以上の基板ホルダ5320、5322にあらゆる適切な方法で取り付けられる同軸駆動軸組立部品5371を含む同軸駆動システムを含む。図13B及び15を参照すると、駆動セクション5300Dは、例えば図12Cに関して上記に記載のシャーシ2840と実質的に類似しているシャーシ5370を含む。この実施形態において、駆動部は、出力軸が駆動部の固定子によって直接駆動される、直接駆動部として構成されている。同軸スピンドル組立部品の少なくとも一部は、図12Cに関して上記に記載の方法と実質的に類似した方法でシャーシ5370内に配置され、スピンドル組立部品がスピンドル支持チューブ5530A及びZ軸搬送部5530Bを含む。Z軸搬送部5530Bは、Z軸駆動部2823に関して上記の記載されるように、あらゆる適切な方法であらゆる適切なZ軸駆動部に結合される。Z軸駆動部2823は、例えばアーム組立部品5300Aを同軸駆動軸組立部品5371の回転軸5599に実質的に沿って及び実質的に平行に移動させる図15を参照ために、シャーシ5370に対してスピンドル組立部品を移動するように構成されている。当然のことながら、隙間Gは、スピンドル組立部品がZ軸に沿って駆動されるように、スピンドル支持チューブ5530Aとフランジ2810との間に存在する。上記に記載の方法と実質的に類似した方法で、この隙間Gを密閉するために、柔軟な密閉部材2610の一端が例えばフランジ2810に密閉して取り付けられ、柔軟な密閉部材2610の他方の端が例えば一つ以上のスピンドル指示チューブ5530A及びZ軸搬送部5530Bに密閉して取り付けられるように、ベローズのようなあらゆる適切な柔軟な密閉部材2610が備えられる。ベローズ2610は、駆動部を密閉するための一つ以上の固定された隔離バリア下記に記載されると協働する例えば、駆動部に接続されたアームの動作環境を外部環境から密閉する。一つの実施形態において、スピンドル支持チューブ5530Aは、同軸駆動軸組立部品5371のそれぞれの駆動軸を回転して駆動するための一つ以上のモータを保持するように構成されている。開示される発明のこの実施形態において、同軸駆動軸組立部品は三つの駆動軸5511、5512、5513を含むが、当然のことながら、他の実施形態において同軸駆動軸は三つ以上または以下の駆動軸を有する。第一の、または上部駆動モータは、駆動軸組立部品の外部駆動軸5511を駆動するように構成され、固定子5560M及び回転子5560Rを含む。固定子5560Mは、あらゆる適切な方法でスピンドル支持チューブ5530A内に固定して取り付けられる。回転子5560Rは、回転軸5599の周りを駆動軸5511を回転して駆動するために、固定子5560Mが回転子5560Rの移動/回転をもたらすと、駆動軸5511が回転子5560Rと共に移動するように、あらゆる適切な方法で駆動軸5511に取り付けられる。固定子5560Mをスピンドル支持チューブ5530A内の環境及び、下記に記載されるように、スピンドル支持チューブの内部が、アーム組立部品が動作する環境に開かれていると、アーム組立部品が動作する環境から分離または隔離するために固定子5560Mをスピンドル支持チューブ5530A内に密閉するように構成された、静的環境例えば真空等隔離バリアのようなあらゆる適切な密閉部材5560Sは、固定子5560Mと回転子5560Rとの間に備えられる。第二の、または中間駆動モータは、駆動軸組立部品の中間駆動軸5513を駆動するように構成され、固定子5561M及び回転子5561Rを含む。固定子5561Mは、あらゆる適切な方法でスピンドル支持チューブ5530A内に固定して取り付けられる。回転子5561Rは、回転軸5599の周りを駆動軸5513を回転して駆動するために、固定子5561Mが回転子5561Rの移動をもたらすと、駆動軸5513が回転子5561Rとともに移動するように、あらゆる適切な方法で駆動軸5513に取り付けられる。固定子5561Mをスピンドル支持チューブ5530A内の環境及び、下記に記載されるように、スピンドル支持中0部の内部が、アーム組立部品が動作する環境に開かれていると、アーム組立部品が動作する環境から分離または隔離するために、固定子5561Mをスピンドル支持チューブ5530A内に密閉するように構成された、静的環境例えば真空等隔離バリアのようなあらゆる適切な密閉部材5561Sは、固定子5561Mと回転子5561Rとの間に備えられる。第三の、または下部駆動モータは、駆動軸組立部品の内部駆動軸5512を駆動するように構成され、固定子5562M及び回転子5562Rを含む。固定子5562Mは、あらゆる適切な方法でスピンドル支持チューブ5530A内に固定して取り付けられる。回転子5562Rは、回転軸5599の周りを駆動軸5512を回転して駆動するために、固定子5562Mが回転子5562Rの移動をもたらすと、駆動軸5512が回転子5562Rとともに移動するように、あらゆる適切な方法で駆動軸5512に取り付けられる。固定子5562Mをスピンドル支持チューブ5530A内の環境及び、下記に記載されるように、スピンドル支持中0部の内部が、アーム組立部品が動作する環境に開かれていると、アーム組立部品が動作する環境から分離または隔離するために、固定子5562Mをスピンドル支持チューブ5530A内に密閉するように構成された、静的環境例えば真空等隔離バリアのようなあらゆる適切な密閉部材5562Sは、固定子5562Mと回転子5562Rとの間に備えられる。当然のことながら、搬送部5300は大気環境内で使用されるが、密閉部材5560S、5561S、5562Sは備えられる、または備えられない。一つの実施形態において、スピンドル支持チューブ5530Aは一体構造を有することに留意されたい。他の実施形態において、スピンドル支持チューブ5530Aは、別個の積み重ね可能な保持部材またはモジュール例えば、各モータにつき一つの保持部材またはモジュールから構成され、保持部材は、あらゆる適切な数のモータを有するスピンドル支持チューブを形成するために互いにモジュールによって結合され得る。駆動軸は、それぞれ駆動軸5511、5512、5513に取り付けられた回転子5560R、5561R、5562Rが、それぞれ固定子5560M、5561M、5562Mと相互作用するように配置されるために、スピンドル支持チューブ5530A内であらゆる適切な方法で支持される。一つの実施形態において、各駆動軸5511、5512、5513は、あらゆる適切なベアリングによってスピンドル支持チューブ5530Aに支持される。例えば、外部駆動軸5511は、スピンドル支持チューブ5530Aの最上部に向かって配置された一つ以上の適切なベアリング5550Aによってすなわち同心円状及び軸方向に支持される。中間駆動軸5513は、スピンドル支持チューブ5530Aの中間部に向かって配置された一つ以上の適切なベアリング5550Bによってすなわち同心円状及び軸方向に支持される。内部軸5512は、スピンドル支持チューブ5530Aの底部に向かって配置された一つ以上の適切なベアリング5550Cによってすなわち同心円状及び軸方向に支持される。スピンドル支持チューブ5530A内におけるベアリングの位置は典型であるのみであり、他の実施形態において、ベアリングは実質的にスピンドル指示チューブ5530A内のあらゆる適切な位置に配置されることに留意されたい。また、ベアリングは真空環境内で動作するように構成されることにも留意されたい。静的環境隔離バリア5560S、5561S、5562Sは、例えば、そうでなければ同軸スピンドル組立部品5371とスピンドル支持チューブ5530Aとの間、及びそれぞれの駆動軸5511、5512、5513の間、に配置される、動的環境例えば真空等シールの欠如を許容する。駆動セクション5300Dにおける動的環境シールの欠如は、例えば、動的環境シールを用いた搬送よりも良い流出を伴う高真空レベルの環境において、搬送部5300の使用を許可する。三つの別個の静的環境隔離バリアが別の実施形態で記載されたが、単独のバリアは固定子をスピンドル支持チューブ内の環境から密閉するために備えられている。駆動セクション5300Dはまた、駆動軸5511、5512、5513の回転を監視するために適切なあらゆるセンサを含む。一つの実施形態において、あらゆる適切なエンコーダ5540A、5540B、5540Cは、それぞれ駆動軸5511、5512、5513の回転を監視するために、少なくとも部分的にスピンドル支持チューブ5530A内の適切な位置に備えられる。次に図13A~14B及び16~19を参照すると、アーム組立部品5300Aは、駆動セクション5300Dによって駆動される。例えば、外部駆動軸5311は、駆動軸5311が回転すると、アーム組立部品5300Aの角度位置を変更するすなわちシータθ軸回転ように基板部材がそれに伴って回転するために適切なあらゆる方法で基板部材5310に結合される。アーム組立部品5300A及び駆動セクション5300Dは、無制限のシータθ軸回転を提供するように構成されていることに留意されたい。第一の、または上部駆動滑車5610、及び第二の、または下部駆動滑車5611は、少なくとも部分的に基板部材5310内に配置され、駆動軸組立部品5371と同軸に配置される。中間軸5513は、中間軸5513が回転すると下部駆動滑車5611が同様に回転するように、あらゆる適切な方法で下部駆動滑車5611に結合される。下部駆動滑車5611は、下部駆動滑車5611の回転が内部駆動軸5512または上部駆動滑車5610によって妨げられないようにするため、内部駆動軸5512が、上部駆動滑車5610に結合するために下部駆動滑車5611を通過することができるように構成された開口部を含む。当然のことながら、アーム組立部品5300Aは、同軸駆動セクション5300Dに関連して記載されているものの、当然のことながら、アーム組立部品5300Aは、図4-6、8A-8C、及び12A~12Cに関して上記に記載の、高調波駆動セクション及び同軸駆動セクションと類似した方法で用いられる。同様に、図3、7A、7B、及び9A~11Cに関して上記に記載のアーム組立部品は、駆動軸とアーム組立部品との間の適切な接続を通して、同軸駆動セクション5300Dとともに使用することができる。図10に関して上記に記載の方法と実質的に類似する方法で、遊び滑車5720、5721は基板部材5310の第一の端部に配置され、遊び滑車5722、5723は基板部材5310の第二の実質的に反対側の端部に配置される。遊び滑車5720、5723は、あらゆる適切は搬送部5920例えばベルト、バンド等が、例えば伸張及び後退軸Rに沿った基板ホルダ5320の伸張及び後退を駆動するために滑車の周りに配置されるように、下部駆動滑車5611と同一の面に配置される。例えば、遊び滑車5720、5723は、遊び滑車5720、5723間を伸張する搬送部5920の一部が伸張及び後退軸Rと実質的に平行であるように配列される。結合部材5910は、駆動滑車5611の回転が結合部材5910の伸張及び後退Rの方向への直線移動をもたらし、同様に、基板ホルダ5320の伸張及び後退軸Rに沿った移動がもたらされるように、下記に記載されるように、搬送部5920を基板ホルダ5320に結合する。遊び滑車5721、5722は、あらゆる適切な搬送部5921例えばベルト、バンド等が、例えば伸張及び後退軸Rに沿った基板ホルダ5322の伸張及び後退を駆動するために滑車の周りに配置されるように、上部駆動滑車5610と同一の面に配置される。例えば、遊び滑車5721、5722は、遊び滑車5721、5722間を伸張する搬送部5921の一部が伸張及び後退軸Rと実質的に平行であるように配列される。結合部材5911は、駆動滑車5610の回転が結合部材5911の伸張及び後退Rの方向への直線移動をもたらし、同様に、基板ホルダ5322の伸張及び後退軸Rに沿った移動がもたらされるように、下記に記載されるように、搬送部5921を基板ホルダ5322に結合する。当然のことながら、動作において各基板ホルダ5320、5322は、基板部材5310のための駆動軸5511が実質的に固定されている間に、一つ以上の基板ホルダ5320、5322が、それぞれ駆動軸5512、5513の回転を通して基板を拾い/配置するために同時に伸張することができるように、基板ホルダ5320、5322の他方から独立して伸張または後退し得る。アーム組立部品は、例えば駆動軸5511、5512、5513を実質的に同一のスピードで同一方向に回転させることによって、軸5599の周りを一体として回転可能である。上記のように、アーム組立部品5300Aの基板部材5310が、縦方向に細長く、駆動滑車5610、5611、遊び滑車5720-5723及び搬送部5920、5921が少なくとも部分的に含まれるチューブ状の構造を形成する。基板部材5310の端部は、キャップ図示されていない、または滑車及び搬送部によって生成されたあらゆる微粒子が基板部材5310を抜け出してアーム組立部品5300Aが動作する環境内に入ることを実質的に防ぐために、チューブの端部を閉じる、他の構造含むことに留意されたい。基板部材は、基板部材5310に沿って縦方向に伸張し、基板ホルダ5320、5322の半径方向移動を支持しガイドするために適切なあらゆる形状を有する、一つ以上の適切なトラックまたはレール5701T、5702T、5703T、5704Tを含む。一つの実施形態において、トラックは基板部材5310と一体構造で形成され、他の実施形態においては、トラックはあらゆる適切な方法で基板部材5310に取り付けられる。基板ホルダ5320、5322は、あらゆる適切な方法で互いに積み重ねられる。例えば、下部基板ホルダ5322は、あらゆる適切な形及び大きさの基板部材5322Bと、基板部材5322Bから伸張する一つ以上の基板支持体またはフィンガ5323とを含む。一つの実施形態において、一つ以上の基板支持体は、基板S2を保持するために適切なあらゆる形状を有する。一つ以上の基板支持体5323は、末端部が基板部材5322Bから飛び出すように、近接端部で基板部材5322Bに結合される。一つの実施形態において、一つ以上の基板支持体5323は、基板S2を受動的に保持するように構成され、他の実施形態においては、一つ以上の基板支持体5323は、基板S2を能動的に保持するように構成される。下部基板ホルダ5322の基板部材5322Bは、一つ以上のガイド部材5703R、5704R及び伸張部材5322Eを含む。一つの実施形態において、ガイド部材5703R、5704Rは基板部材5322Bと一体構造で形成され、他の実施形態においては、ガイド部材5703R、5704Rはあらゆる適切な方法で基板部材5322Bに取り付けられる。ガイド部材5703R、5704Rは、ガイド部材5703R,5704Rがトラック5703T,5704Tに沿ってスライドし、基板ホルダ5322の半径方向変位を許容するために、それぞれトラック5703T、5704Tと相互作用するように構成される。ガイド部材5703R、5704R及びトラック部材5703T、5704Tは、基板部材に対する基板ホルダ5322の傾き及び/または回転が実質的にないように、基板ホルダ5322が基板部材5310上に固定して保持されるよう構成される。トラック及びガイド部材は、微粒子の生成及びトラックとガイド部材間の摩擦を最小限に抑えるために、あらゆる適切な素材で構成されることに留意されたい。伸張部材5322Eは、基板部材5322Bから伸張し、駆動滑車5610の回転が、伸張及び後退軸Rを沿った基板ホルダ5322の伸張及び後退をもたらすように、結合部材5922を通してあらゆる適切な方法で基板ホルダ5322を搬送部5921に結合する。基板ホルダ5320は、あらゆる適切な形及び大きさ、及び一つ以上の基板支持体またはフィンガ5323を有する基板部材5320Bを含む。基板支持体5323基板支持体5322に関して上記に記載の基板支持体と実質的に類似するは、基板ホルダ5322に関して上記に記載の方法と実質的に類似する方法で、基板部材5320Bに接続される。基板ホルダ5320、5322の積み重ねられた配置を許容するため、一つの実施形態において、基板ホルダ5320の基板部材5320Bは、少なくとも部分的に基板部材5320Bによって形成された開口部を通って基板ホルダ5322が通過するように、基板ホルダ5322の周りを伸張するようにまたは包むように構成される。例えば、基板ホルダ5320の基板部材5320Bは、基板支持体5323が伸張する上部材5320Eを含む。第一のスペーサ部材5320A1は、上部5320Eの第一の側面に取り付けられる。第二のスペーサ部材5320A2は、上部材5320Eの第二の反対の側面に取り付けられる。第一及び第二のスペーサ部材5320A1、5320A2は、下部基板ホルダ5322の基板部材5322Bをまたぐように、互いにあらゆる適切な距離Xの間隔を空けて配置される。第一の下部材5320B1は、第一の端部で第一のスペーサ部材5320A1に取り付けられ、基板部材5310に向かって伸張する。ガイド部材5701Rガイド部材5703R、5704Rと実質的に類似するは、基板部材5310のトラック5701Tと相互作用するために、下部基板ホルダ5322に関して上記に記載の方法と実質的に類似する方法で第一の下部材5320B1の第二の反対の端部に配置される。伸張部材5322Eと実質的に類似する伸張部材5320Eは、駆動滑車5611の回転が伸張及び後退軸Rに沿った基板ホルダ5320の回転及び後退をもたらすために適切なあらゆる方法で、結合部材5910を通して基板ホルダ5320を搬送部5920に結合するために第一の下部材の第二の端部に取り付けられる。第二の下部材5320B2は、第一の端部で第二のスペーサ部材5320A2に取り付けられ、基板部材5310に向かって伸張する。ガイド部材5702Rガイド部材5703R、5704Rと実質的に類似するは、基板部材5310のトラック5702Tと相互作用するために、下部基板ホルダ5322に関して上記に記載の方法と実質的に類似する方法で、第二の下部材5320B2の第二の反対の端部に配置される。当然のことながら、上部材5320E、スペーサ部材5320A1、5320A2及び下部材5320B1、5320B2は、基板ホルダ5322が実質的に遮るものなく少なくとも部分的に通過する開口部を形成する。当然のことながら、アーム組立部品5300Aの基板ホルダは、同一方向に伸張するものとして記載されているものの、他の実施形態において、基板ホルダは実質的に反対の方向に伸張する。次に、図20を参照すると、一つの実施形態において、基板部材5310はまた、基板ホルダ5320’、5322’と協働し、トラック及びガイド部材によって生成された微粒子がアーム組立部品の動作する環境に入ることを実質的に防止するためのラビリンスシールを形成する、シール部材5380-5383を含む。基板ホルダ5320’、5322’及び基板部材5310’は、特に断りのない限り、上記に記載の基板ホルダ5320、5322及び基板部材5310と実質的に類似する。この実施形態において、トラック5701T-5704Tは、図16及び17に関して上記に記載のように基板部材の上ではなく、基板部材5310’の側面に配置される。基板支持体5322’は、基板支持体5322’から伸張し、基板部材5310’の側面をまたぐ接続部材5392、5393を含む。各接続部材5392、5393は、基板部材5322’の基部5322Bから離れる方向に伸張する第一の部分5393Dを含む。第二の部分5393Hは、基部5322Bの反対の第一の部分5393Dの端部から伸張する。第二の部分5393Hは、第一の部分5393Dから離れ、基部5322Bと実質的に平行に、また基板部材5310’に向かって伸張する。第三の部分5393Uは、第三の部分5393U、第二の部分5393H及び第一の部分5393Dがポケットまたは陥凹部5393Rを形成するように、第二の部分5393Hから基部5322Bに向かって伸張する。ガイド部材5703R、5704Rは、ガイド部材5703R、5704R及びそれぞれトラック5703T、5704Tの間のインターフェイスを通して基板支持体5322’を基板部材5310’にスライド可能に結合するために、第三の部分5393Uのそれぞれに取り付けられる。当然のことながら、接続部材5392、5393の少なくとも一つは、上記に記載の方法と実質的に類似する方法で搬送部5921を基板ホルダ5322’に結合するための結合部材5911に結合された伸張部材5322E’を含む。シール部材5381、5382は、例えば基板部材5310’の面5310Tに取り付けられ、基板部材5310’から、それぞれトラック5703T、5704T、ガイド部材5703R、5704R及び第三の部分5393Uの周りを囲み、それぞれ陥凹部5393Rに入るように伸張する、実質的にU字型の形状を有し、それぞれ接続部材5392、5393とラビリンスシールを実質的に形成する。当然のことながら、接続部材5392、5393及びシール部材5381、5382の形状は典型的であり、他の実施形態においては、接続部材及びシール部材はあらゆる適切な構成及び形状を有する。基板支持体5320’は、基板支持体5322’に関して上記に記載の方法と実質的に類似する方法で基板支持体5320’から伸張し、基板部材5310’の側面をまたぐ接続部材5390、5391を含む。各接続部材5390、5391は、基板部材5320’のそれぞれ下部材5320B1、5320B2から離れる方向に伸張する第一の部材5390Dを含む。第二の部分5390Hは、それぞれ下部材5320B1、5320B2の反対の第一の部分5390Dの端部から伸張する。第二の部分5390Hは、第一の部分5390Dから離れ、それぞれ下部材5320B1、5320B2と平行に、また基板部材5310’に向かって伸張する。第三の部分5390Uは、第三の部分5390U、第二の部分5390H及び第一の部分5390Dがポケットまたは陥凹部5390Rを形成するように、第二の部分5390Hから、それぞれ下部材5320B1、5320B2に向かって伸張する。ガイド部材5701R、5702Rは、害子部材5701R,5702R及びそれぞれトラック5701T、5702Tの間のインターフェイスを通して基板支持体5320’を基板部材5310’にスライド可能に結合するために、それぞれ第三の部分5390Uに取り付けられる。当然のことながら、接続部材5390、5391の少なくとも一つは、上記に記載の方法と類似する方法で、搬送部5920を基板ホルダ5320’に結合するための結合部材5910に結合された伸張部材5320E’を含む。シール部材5380、5383は、例えば基板部材5310’のそれぞれ面5310T1、5383T2に取り付けられ、基板部材5310’から伸張する実質的にL字型の形状を有し、それぞれ接続部材5390、5391とラビリンスシールを実質的に形成するために、それぞれトラック5701T、5702T、ガイド部材5701R、5702R及び第三の部分5390Uの周りを囲み、それぞれ陥凹部5390Rに入るように伸張する。当然のことながら、接続部材5930、5931及びシール部材5380、5383は、典型的であり、他の、他の実施形態においては、接続部材及びシール部材はあらゆる適切な構成及び形状を有する。図21に関して、追加のシール部材5383-5386は、ラビリンスシールを形成するために基板部材5310’に取り付けられる。例えば、シール部材5385、5386は、シール部材5385、5386の自由端がそれぞれ第一の部分5393Dに沿って及び実質的に並行な方向に伸張するように、基板部材5310’から伸張し、それぞれトラック5703T、5704T、ガイド部材5703R、5704R、及び接続部材5392、5393の少なくとも一部の下及び周りを伸張する、実質的にL字型の形状を有する。同様に、シール部材5384、5387は、シール部材5384、5387の自由端がそれぞれ第一の部分5390Dに沿って及び実質的に並行な方向に伸張するように、基板部材5310’から伸張し、それぞれトラック5701T、5702T、ガイド部材5701R、5702R及び接続部材5390、5391の少なくとも一部の下及び周りを伸張する、実質的にL字型の形状を有する。当然のことながら、シール部材5384-5387の形状及び構造は典型であり、シール部材は、それぞれ接続部材53905393とラビリンスシールを形成するために適切なあらゆる形状及び構造を有する。当然のことながら、シール部材5380-5383は基板ホルダ5320’、5322’に関連して記載されてきたものの、基板ホルダ5320、5322は、実質的にトラック5701T-5704T及びガイド部材5701R-5704Rの周りにあらゆる適切なシールを形成するために基板部材5310に取り付けられたシール部材と協働する、図20に関して上記に記載の伸張部または突起部と実質的に類似する形状を有する他の伸張部または他の突起部を含む。当然のことながら、ここに記載される典型的な実施形態は、個別に、またはそれらのあらゆる適切な組み合わせによって用いられる。また、当然のことながら、上述の記載は実施形態の具体例であるのみである。本発明の趣旨から逸脱することなく、様々な代替や改良が当業者によって考えられるだろう。従って、本発明は、添付の請求項の範囲に含まれる代替、修正及び不足をすべて包含するものとする。"