含Crオーステナイト合金管の内表面に、厚さが005~15μmであり、かつ下記式で規定される関係を有するクロム酸化物皮膜を形成した含Crオーステナイト合金管であって、管内面側の表層部より深さ5~10μmの範囲内におけるC平均濃度が、母材のC濃度未満であることを特徴とする含Crオーステナイト合金管。04≦δ1δ2≦25ただし、δ1、δ2は管の両端それぞれにおけるクロム酸化物皮膜の厚さである。管の長さが5~50mで、かつ管の内径が10~30mmであることを特徴とする請求項1に記載の含Crオーステナイト合金管。含Crオーステナイト合金管が、質量で、C:015以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:100~400、Ni:80~800、Ti:05以下、Cu:06以下、Al:05以下およびN:020以下を含有し、残部がFeおよび不純物からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の含Crオーステナイト合金管。含Crオーステナイト合金管が、原子力プラント用部材として用いられることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管。含Crオーステナイト合金管の内面に、水蒸気を含有した非酸化性ガスを流通させて加熱し、含Crオーステナイト合金管の内表面に、厚さが005~15μmで、かつ下記式で規定される関係を満足するクロム酸化物皮膜を形成することを特徴とする含Crオーステナイト合金管の製造方法。04≦δ1δ2≦25ただし、δ1、δ2は管の両端それぞれにおけるクロム酸化物皮膜の厚さである。水蒸気を250~25000ppmを含有した非酸化性ガスを60~50L分の範囲で管内に流通させながら800~1200°Cの温度範囲において1分以上保持する条件で加熱することを特徴とする請求項5に記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。含Crオーステナイト合金管が、管内面側の表層部より深さ5~10μmの範囲内におけるC平均濃度が、母材のC濃度未満であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。管の長さが5~50mで、かつ管の内径が10~30mmであることを特徴とする請求項5から請求項7までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。含Crオーステナイト合金管が、質量で、C:015以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:100~400、Ni:80~800、Ti:05以下、Cu:06以下、Al:05以下およびN:020以下を含有し、残部がFeおよび不純物からなることを特徴とする請求項5から請求項8までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。含Crオーステナイト合金管が、原子力プラント用部材として用いられることを特徴とする請求項5から請求項9までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。特許文献1に開示の方法によって形成される皮膜は、その厚さが不十分であるため、長期間の使用により皮膜が損傷すると、溶出防止効果が失われるという問題がある。特許文献2に開示の方法には、酸化したNiが皮膜中に取り込まれやすく、使用中にこのNiが溶出するという問題がある。管を酸化する酸化性ガスとしては水蒸気、酸素などが考えられるが、安全性、コストなどの面から水蒸気が最も適していると考えられる。管に設ける皮膜には耐食性を発揮するのに十分な厚い膜厚と、品質面より皮膜の厚みの管長手および管周方向の均一性が要求される。しかし、特許文献3~5に記載の水蒸気量を制御して酸化物皮膜を形成させる方法では、これらの要求を満たすことはできない。それは、高濃度の原料が供給される入口では、反応速度が早くなり皮膜は厚く、出口に近づくほど原料は消費され、その濃度は低下するため、出口の皮膜は薄くなるからである。特に水蒸気は反応性が高く、またNi基合金管の酸化では高温が必要となるため、入口と出口とでは反応量の違いが大きく、管全体を通して均一な酸化物皮膜を形成することは困難である。酸化物皮膜の厚さは、薄すぎると耐Ni溶出性の効果が得られないが、厚すぎると剥離しやすくなり、逆に、耐Ni溶出性が劣化する。本発明者らの研究によれば、酸化物皮膜の厚さは、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダーの範囲で調整する必要がある。そこで特許文献6~8では、水蒸気より反応性の低い二酸化炭素を酸化ガスとして用いるガス条件を採用し、皮膜の均一性の向上を目指している。しかし、二酸化炭素は金属酸化後に有害な一酸化炭素を発生する。また、条件によっては生成した一酸化炭素によってNi基合金が浸炭する場合があるので、安全で高品質な製品を提供する方法とはいえない。本発明者らは、鋭意研究を行い、酸化性ガスとして安全で安価な水蒸気を用いることとして、流量を中心としたガス条件、さらには処理対象となる管の長さと管の径を制限することによって、反応性の高い水蒸気を用いても、長尺の含Crオーステナイト合金管の皮膜の厚さを制御することが可能であることを見出し、本発明を完成させた。本発明は、安価で、かつ均一にクロム酸化物を含Crオーステナイト合金管の表面に形成させた含Crオーステナイト合金管の製造方法および含Crオーステナイト合金管を提供することを目的とする。本発明は、下記の1~4に示す含Crオーステナイト合金管および下記の5~10に示す含Crオーステナイト合金管の製造方法を要旨とする。1含Crオーステナイト合金管の内表面に、厚さが005~15μmであり、かつ下記式で規定される関係を有するクロム酸化物皮膜を形成した含Crオーステナイト合金管であって、管内面側の表層部より深さ5~10μmの範囲内におけるC平均濃度が、母材のC濃度未満であることを特徴とする含Crオーステナイト合金管。04≦δ1δ2≦25ただし、δ1、δ2は管の両端それぞれにおけるクロム酸化物皮膜の厚さである。2管の長さが5~50mで、かつ管の内径が10~30mmであることを特徴とする前記1に記載の含Crオーステナイト合金管。3含Crオーステナイト合金管が、質量で、C:015以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:100~400、Ni:80~800、Ti:05以下、Cu:06以下、Al:05以下およびN:020以下を含有し、残部がFeおよび不純物からなることを特徴とする前記1または2に記載の含Crオーステナイト合金管。4含Crオーステナイト合金管が、原子力プラント用部材として用いられることを特徴とする前記1から3までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管。5含Crオーステナイト合金管の内面に、水蒸気を含有した非酸化性ガスを流通させて加熱し、含Crオーステナイト合金管の内表面に、厚さが005~15μmで、かつ下記式で規定される関係を満足するクロム酸化物皮膜を形成することを特徴とする含Crオーステナイト合金管の製造方法。04≦δ1δ2≦25ただし、δ1、δ2は管の両端それぞれにおけるクロム酸化物皮膜の厚さである。6水蒸気を250~25000ppm含有した非酸化性ガスを60~50L分の範囲で管内に流通させながら800~1200°Cの温度範囲において1分以上保持する条件で加熱することを特徴とする前記5に記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。7含Crオーステナイト合金管が、管内面側の表層部より深さ5~10μmの範囲内におけるC平均濃度が、母材のC濃度未満であることを特徴とする前記5または6に記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。8管の長さが5~50mで、かつ管の内径が10~30mmであることを特徴とする前記5から7までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。9含Crオーステナイト合金管が、質量で、C:015以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:100~400、Ni:80~800、Ti:05以下、Cu:06以下、Al:05以下およびN:020以下を含有し、残部がFeおよび不純物からなることを特徴とする前記5から8までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。10含Crオーステナイト合金管が、原子力プラント用部材として用いられることを特徴とする前記5から9までのいずれかに記載の含Crオーステナイト合金管の製造方法。なお、クロム酸化物皮膜とは、Cr2O3を主体とする酸化物皮膜を意味し、Cr2O3以外の酸化物、例えば、MnCr2O4、TiO2、Al2O3、SiO2などの酸化物が含まれていてもよい。また、含Crオーステナイト合金管の表面にクロム酸化物からなる酸化物皮膜を有するのであれば、クロム酸化物層の上層外側の層および/または下層内側の層に他の酸化物層が形成されていてもよい。本発明によれば、含Crオーステナイト合金管の内面に、安価で、かつ均一にクロム酸化物皮膜を形成させることができる。本発明方法により製造された含Crオーステナイト合金管は、高温水環境、例えば、原子力発電プラントにおける高温水環境で長時間にわたり使用してもNiの溶出が極めて少ないから、蒸気発生器用伝熱管SteamGeneratortubing等の高温水中で使用される部材、特に原子力プラント用部材に最適である。1.管内面に形成する皮膜厚さについて耐Ni溶出性は、クロム酸化物皮膜の厚さに依存するので、皮膜厚さを制御する必要がある。皮膜厚さは、005μm未満では耐Ni溶出性は不十分である。皮膜厚さは005μm以上で十分な耐食性を発揮するが、01μm以上であることが好ましい。一方、Ni含有量が40を超えるような高Ni合金では、皮膜厚さを02μm以上とすることがより好ましく、03μm以上とすることがさらに好ましい。しかし、皮膜厚さが厚くなるほど、剥離が発生しやすくなり、皮膜の剥離は、厚さが15μmを超えると顕著となる。従って、皮膜の厚さは15μm以下とする。皮膜厚さの上限は095μmとするのが望ましく、より望ましい上限は085μmである。2.皮膜厚さのばらつきについて管の長手方向における皮膜厚さのばらつきが大きく、局部的に厚さの薄い皮膜が形成されると、その部分でNi溶出量が多くなる。そのため、皮膜厚さのばらつきは小さい方がよい。即ち、クロム酸化物皮膜の厚さは、下記式で規定される関係を満足することとする。04≦δ1δ2≦25ただし、δ1、δ2は管の両端それぞれにおけるクロム酸化物皮膜の厚さである。なお、上記式は、05≦δ1δ2≦20とするのが好ましく、070≦δ1δ2<155とするのがより好ましい。なお、含Crオーステナイト合金管の皮膜形成処理は、製品として出荷される管長さで熱処理されるため、その熱処理をした後、管の両端部からの試片を切り出し、皮膜厚さを測定する。3.管内に供給する雰囲気ガスについて本発明の含Crオーステナイト合金管の製造方法では、含Crオーステナイト合金管を、水蒸気および非酸化性ガスからなる雰囲気ガスで加熱することにより、含Crオーステナイト合金管内面にクロム酸化物皮膜を形成させる。管内面に存在するCrのみを酸化させるためには、管内を低酸素ポテンシャル環境にする必要がある。このような環境下では、酸化性ガスの供給が酸化反応を律速していると考えられる。一方、雰囲気ガスを管内に供給すると濃度勾配が生じるが、このときのガス拡散性は、酸化性ガス濃度および雰囲気ガスの流量に依存すると考えられる。酸化性ガスの供給は、ガス拡散性に依存するので、酸化性ガス濃度および雰囲気ガスの流量にも依存すると考えることができる。酸化性ガスとして二酸化炭素ガスを用いた場合、あるいは管内壁に油など有機物が付着している場合などにおいて、C源を有するガスが合金表面と接触反応すると合金の表層にごくわずかにC濃度が母材のC濃度より高くなる場合がある。C濃度が高まると、表層部の粒界強度が高まり、応力腐食割れが発生するおそれがある。本発明では耐食性の劣化を抑制するため、管内面側の表層部より深さ5~10μmの範囲内におけるC平均濃度が母材のC濃度未満であることを規定した。管内面側の表層部より深さ5~10μmの範囲内におけるC平均濃度とは、汎用の深さ分析GDS、XPS、SIMSにおいて、5~10μmの範囲内の濃度を01μmピッチ以下で算出し、それを平均化した値である。また母材のC濃度は、管の肉厚中央部から採取した切り粉試料を用いた高周波燃焼赤外線吸収法による分析値を用いることとした。そのようなC濃度を有する合金表層部を得るには、管内に供給する雰囲気ガスとして、水蒸気を含有する雰囲気ガスを用い、さらに管内部を清浄たとえば脱脂しておくことが好ましい。雰囲気ガス中の二酸化炭素ガス濃度は低いほど好ましい。不純物として混入する場合、50ppm以下とすることが好ましい。本発明では、雰囲気ガス中の水蒸気濃度および雰囲気ガスの流量を適切な範囲とすることで、均一な皮膜厚さの酸化物皮膜を形成させることができる。<雰囲気ガス>水蒸気は、微量でも含まれておれば、クロム酸化物皮膜を形成するため、特に下限を定めないが、250ppm以上含まれる場合にその効果が顕著となる。水蒸気の濃度の上限については、特に限定しないが、製造コストを低減させる観点からは、25000ppm以下とするのが好ましい。さらに本発明では酸化ガスとして水蒸気の他に酸素を一部供給しても良い。酸素は水蒸気と同様にクロム酸化物を形成させることができる。酸素ガスの含有量は10000ppm以下が好ましい。酸素ガスを多量に含有させると、クロム酸化物皮膜の形成を促進して母材中のCr濃度を低下させ、耐食性を劣化させるからである。酸素は、微量でも含まれておれば上記の効果を発揮するため、特に下限を定めないが、その効果が顕著となるのは、00001vol以上含まれる場合である。非酸化性ガスとしては、例えば、水素ガス、希ガスAr、He等、一酸化炭素ガス、窒素ガス、炭化水素ガスなどが挙げられる。これらの非酸化性ガスのうち、一酸化炭素ガス、窒素ガス、炭化水素ガスを用いた場合は、浸炭や窒化の懸念があるため、水素ガスおよび希ガスの少なくとも1種が含まれるのが好ましい。なお、水素ガスは、工業的に熱処理の雰囲気ガスとしてよく利用されており、これを水蒸気ガスの希釈に用いれば、製造コストを下げることができる。よって、雰囲気ガスを水蒸気ガスおよび水素ガスからなるガス雰囲気として熱処理をすることが最も好ましい。水素ガスを少なくとも一部用いたときは、酸化ガスとして酸素を供給することにより、水素と酸素を反応させ水を生成し、管の酸化に用いても良い。その場合は爆発に注意する必要がある。水蒸気を含有させる場合の雰囲気ガスの濃度は、水蒸気ガスおよび非酸化性ガス、またはさらに、酸素ガスの濃度を調整した後、露点管理により水蒸気濃度を調整することにより管理できる。また、非酸化性ガスを用いて露点を調整した後、水蒸気ガスまたはさらに酸素ガスを添加してもよい。<管内面に供給する雰囲気ガスの流量>管の内面に供給する雰囲気ガスの流量は60~50L分とするのが好ましい。60L分未満では、水蒸気濃度や加熱条件を調整しても所望の厚さの酸化物皮膜を形成できない。一方、50L分を超えると逆に酸化物皮膜が過度に厚くなってしまう。4.管の長さおよび内径について本発明で規定する水蒸気濃度、熱処理条件で製造した含Crオーステナイト合金管は、管の長さが5~50m、管の内径が10~30mmである原子力プラント用の蒸気発生器用伝熱管に好適である。雰囲気ガスが拡散性の大きい水蒸気と非酸化性ガスの混合ガスでは、皮膜厚さのばらつきが大きくなりやすい。本発明では、水蒸気と非酸化性ガスとの混合ガスであっても、水蒸気の濃度およびガス流量を管の長さや内径に対応して適切に調整することで、管内面の酸化物皮膜厚さのばらつきを少なくすることができる。5.加熱処理温度および加熱処理時間について加熱処理温度および加熱処理時間については特に制限はないが、例えば、加熱温度は800~1200°Cの範囲、加熱時間は1分以上の範囲とすることができる。それぞれの限定理由は下記の通りである。<加熱温度>加熱温度は、適切な酸化物皮膜の厚さおよび組成ならびに合金の強度特性を得ることができる範囲であればよい。具体的には、加熱温度が800°C未満の場合、クロムの酸化が不十分となる場合がある。適正な膜厚を持った皮膜を適正時間で得るには、900°C以上が好ましい。より好ましくは1000°C以上である。一方、上限は1200°Cとする。1200°Cを超えると、含Crオーステナイト合金管材の強度を確保できなくなるおそれがある。従って、加熱温度は800~1200°Cの範囲とするのがよい。<加熱時間>加熱時間は、適切な酸化物皮膜の厚さと組成を得ることができる範囲で設定すればよい。即ち、クロム酸化物を主体とする酸化物皮膜を形成するためには、1分以上加熱することが望ましい。上限は特に定めないが、少なくとも本発明で好ましい温度範囲800~1200°Cの範囲では24時間を超えて加熱しても、酸化物皮膜はほとんど生成せず、製造コスト面からも不利となる。従って、加熱時間は1分~24時間の範囲とするのがよい。なお、連続式熱処理炉で皮膜形成処理を行う場合は、加熱時間を短くして生産性を向上させる必要がある。加熱温度が高いほど加熱時間を短くできるため、本発明の厚さの皮膜を形成するには、加熱温度を1000~1200°Cの範囲とし、加熱時間を1~60分の範囲とするのが好ましく、1~20分の範囲とするのがさらに好ましい。6.含Crオーステナイト合金管の素管の化学組成について本発明の製造方法に供される含Crオーステナイト合金管の素管の化学組成としては、例えば、質量で、C:015以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:100~400、Ni:80~800、Ti:05以下、Cu:06以下、Al:05以下およびN:020以下を含有し、残部がFeおよび不純物からなるものがよい。ここで不純物とは、合金を工業的に製造する際に、鉱石、スクラップ等の原料、製造工程の種々の要因によって混入する成分であって、本発明に悪影響を与えない範囲で許容されるものを意味する。各元素の限定理由は下記のとおりである。なお、以下の説明において含有量についてのは、質量を意味する。C:015以下Cは、015を超えて含有させると、耐応力腐食割れ性が劣化するおそれがある。従って、Cを含有させる場合には、その含有量を015以下にするのが望ましい。さらに望ましいのは、006以下である。なお、Cは、合金の粒界強度を高める効果を有する。この効果を得るためにはCの含有量は001以上とするのが望ましい。Si:100以下Siは製錬時の脱酸材として使用され、合金中に不純物として残存する。このとき、100以下に制限するのがよい。その含有量が050を超えると合金の清浄度が低下することがあるため、Si含有量は050以下に制限するのがより望ましい。Mn:20以下Mnは、20を超えると合金の耐食性を低下させるので、20以下とするのが望ましい。さらに望ましいのは、10以下である。Mnは、Crに比べて酸化物の生成自由エネルギーが低く、加熱によりMnCr2O4として析出する。また、拡散速度も比較的早いため、通常は、加熱により母材近傍にCr2O3が優先的に生成し、その外側に上層としてMnCr2O4が形成される。MnCr2O4層が存在すれば、使用環境中においてCr2O3層が保護され、また、Cr2O3層が何らかの理由で破壊された場合でもMnCr2O4によりCr2O3の修復が促進される。このような効果が顕著となるのは、01以上含有させた場合である。P:0030以下Pは合金中に不純物として存在する元素である。その含有量が0030を超えると耐食性に悪影響を及ぼすことがある。従って、P含有量は0030以下に制限するのが望ましい。S:0030以下Sは合金中に不純物として存在する元素である。その含有量が0030を超えると耐食性に悪影響を及ぼすことがある。従って、S含有量は0030以下に制限するのが望ましい。Cr:100~400Crは、クロム酸化物からなる酸化物皮膜を生成させるために必要な元素である。合金表面にそのような酸化物皮膜を生成させるためには、100以上含有させるのが望ましい。しかし、400を超えると加工性が劣化するおそれがある。従って、Crの含有量は100~400が望ましい。Ni:80~800Niは、含Crオーステナイト合金の耐食性を確保するために必要な元素であり、80以上含有させるのが望ましい。一方、Niは高価であるため、用途に応じて必要最小限含有させれば良く、800以下とするのが望ましい。Ti:05以下Tiは、その含有量が05を超えると、合金の清浄性を劣化させるおそれがあるので、その含有量は05以下とするのが望ましい。さらに望ましいのは、04以下である。但し、合金の加工性向上および溶接時における粒成長の抑制の観点からは、01以上含有させることが望ましい。Cu:06以下Cuは合金中に不純物として存在する元素である。その含有量が06を超えると合金の耐食性が低下することがある。従って、Cu含有量は06以下に制限するのが望ましい。Al:05以下Alは製鋼時の脱酸材として使用され、合金中に不純物として残存する。残存したAlは、合金中で酸化物系介在物となり、合金の清浄度を劣化させ、合金の耐食性および機械的性質に悪影響を及ぼすおそれがある。従って、Al含有量は05以下に制限するのが望ましい。N:020以下Nは、添加しなくてもよいが、本発明が対象とする含Crオーステナイト合金中には、通常、001程度のNが不純物として含有されている。しかし、Nを積極的に添加すれば、耐食性を劣化させることなく、強度を高めることができる。ただし、020を超えて含有させると耐食性が低下するので、含有させる場合の上限は020とする。上記含Crオーステナイト合金の中でも特に、C:015以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:100~400、Ni:450~800、Ti:05以下、Cu:05以下およびAl:05以下を含有し、残部がFeおよび不純物からなる組成のニッケル基合金が好ましい。耐食性がより優れるからである。その含Crニッケル基合金管の組成として代表的なものは、以下の二種類である。C:015以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:140~170、Fe:60~100、Ti:05以下、Cu:05以下およびAl:05以下を含有し、残部がNiおよび不純物からなる含Crニッケル基合金管。C:006以下、Si:100以下、Mn:20以下、P:0030以下、S:0030以下、Cr:270~310、Fe:70~110、Ti:05以下、Cu:05以下およびAl:05以下を含有し、残部がNiおよび不純物からなる含Crニッケル基合金管。上記の合金は、Crを140~170含み、Niを70~80含むため、塩化物を含む環境での耐食性に優れる合金である。この合金においては、Ni含有量とCr含有量のバランスの観点からFeの含有量は60~100とするのが望ましい。上記の合金は、Crを270~310含み、Niを55~65含むため、塩化物を含む環境のほか、高温における純水およびアルカリ環境での耐食性にも優れる合金である。この合金においてもNi含有量とCr含有量のバランスの観点からFeの含有量は70~110とするのが望ましい。7.含Crオーステナイト合金管の素管の製造方法本発明が対象とする含Crオーステナイト合金管の素管の製造方法としては、所定の化学組成の含Crオーステナイト合金管を溶製してインゴットとした後、通常、熱間加工-焼きなましの工程、または、熱間加工―冷間加工―焼きなましの工程で製造される。さらに、母材の耐食性を向上させるため、TT処理ThermalTreatmentと呼ばれる特殊熱処理が施されることもある。本発明の熱処理方法は、上記の焼きなましの後に行ってもよく、また焼きなましを兼ねて行ってもよい。焼きなましを兼ねて行えば、従来の製造工程に加えて酸化物皮膜形成のための熱処理工程を追加する必要がなくなり、製造コストが嵩まない。また、前述したように、焼きなまし後にTT処理を行う場合は、これを酸化物皮膜形成の熱処理と兼ねて行ってもよい。さらには、焼きなましとTT処理の両者を酸化物皮膜形成の処理としてもよい。実験に供する素管は、下記の製造方法により製造した。まず、表1に示す化学組成の合金を溶解、鋳造し、インゴットを得た。このインゴットを熱間鍛造してビレットにした後、熱間押出製管法により管に成形した。このようにして得た管をコールドピルガーミルによる冷間圧延により、外径250mm、肉厚165mmとした。次いで、この冷間圧延後の管を1100°Cの水素雰囲気中で焼きなました後、冷間抽伸法により製品寸法が外径190mm、肉厚10mm、長さ20000mm断面減少率=53の管に仕上げた。その後、必要な長さに切断した後、各管の内外面をアルカリ性脱脂液およびリンス水で洗い、さらに内面をアセトン洗浄した。得られた管にヘッダーを介して所定の流量の雰囲気ガスを供給しつつ、加熱炉内で管を移動させながら加熱して管の内表面にクロム酸化物皮膜を形成させた。熱処理後の管の両端を切り出し、EDXEnergyDispersiveXraymicroanalyzerにて皮膜組成を調査したところ、クロム酸化物からなる酸化物皮膜が形成されていることが判明した。その皮膜をGDSGlowDischargeOpticalEmissionSpectroscopyを用いて分析し、最表面から観測される酸素のピークについて、その強度が半減する位置までの厚さを膜厚とした。それぞれのガス入口、出口での厚さをδ1、δ2とし、両厚さのばらつきをδ1δ2として評価した。結果を表2に示す。表2より本発明例の平均膜厚は005~15μmの範囲にあり、膜厚分布も所定の範囲に入っている。雰囲気ガスの流量および水蒸気濃度を本発明の規定の範囲に調整することによって、水蒸気処理でも適正な膜厚範囲および分布になることが分かる。特に雰囲気ガスの流量を60L分以上とすると、広範囲の水蒸気濃度において所定の膜厚および厚み分布を有する酸化物皮膜を形成することが可能となる。さらに図1には、実験No1および3、比較実験のGDSによるC濃度の分布の結果を示す。比較実験では上記のオーステナイト合金管に対して、二酸化炭素ガスを5600ppm含んだ水素を90L分で流しながら加熱時間1100°C、保持時間5分で処理し、その表面にクロム酸化物皮膜を形成させた。本発明の実験No1および3では、内面側の表層部より深さ5~10μmの範囲においてC平均濃度は双方とも0013であり、母材濃度の0019未満になっていることが分かる。それに対して、酸化性ガスとして二酸化炭素ガスを用いると、表層部におけるC平均濃度は0027であり、母材濃度の0019より高くなる結果となった。Cは粒界強度を高めるべく含有される母材濃度を超えて存在すると応力腐食割れが起こる可能性が高まる。水蒸気処理では、表面付近でC濃度は適度に減少しており、製品材料として、より安全に使用できる。次いでパラメータの影響として、管径と管長を変えた含Crオーステナイト合金管を作製し、実施例1と同様の方法で表3に示す条件でクロム酸化物皮膜を形成させた。結果を表3に示す。表3より本発明で規定される熱処理条件を満足すれば、得られるクロム酸化物皮膜の平均膜厚は005~15μmの範囲にあり、膜厚分布も所定の範囲に入っていた。管内径が10~30mmの範囲内において、適正な膜厚範囲および分布を有するCr酸化物皮膜を備えた含Crオーステナイト合金管を作製することができる。さらに管長の影響については、水蒸気濃度および雰囲気ガス流量を適切に調整することによって、30mと長い管であっても膜厚範囲および分布とも本発明の所定範囲に収まるクロム酸化物皮膜を管内部に形成させることができる。表4に示した成分の合金管管長:20m、管径:17mmを水蒸気で酸化し、クロム酸化物皮膜を形成させた。皮膜形成の条件は、実験No5と同様に水蒸気3960ppmを含む水素を流量12L分で雰囲気ガスを流し、加熱処理温度1100°C-処理時間5分とした。処理後の試料の膜厚およびC濃度の測定結果を表5に示す。実施例1~3に供した合金Aと比較して、合金B、CおよびDは皮膜の厚さおよび分布の双方においてほぼ同等の結果が得られた。また、いずれの成分の合金においても表層部におけるC平均濃度が母材のC濃度未満であることが確認された。