"原水の前処理装置、一次純水製造装置および二次純水製造装置を備え、更に、架橋ウレアーゼ固定化繊維を収容した尿素分解装置を含む超純水製造装置を使用し、尿素分解装置における架橋ウレアーゼ固定化繊維に対する被処理水の接触時間を3分以下とすることを特徴とする超純水の製造方法。架橋ウレアーゼ固定化繊維が、陰イオン交換官能基をグラフト重合により固定した繊維にウレアーゼを固定化した後、更にトランスグルタミナーゼでウレアーゼを架橋して得られたものである請求項1に記載の超純水の製造方法。架橋ウレアーゼ固定化繊維の繊維がナイロン繊維である請求項1又は2に記載の超純水の製造方法。本発明は、上記実情に鑑みなされたものであり、その目的は、尿素の酵素分解装置を含む超純水製造装置を使用する超純水の製造方法であって、尿素の分解効率が高く、超純水中の全有機体炭素TOCを一層低減することが出来、しかも、生産性に優れた超純水の製造方法を提供することにある。すなわち、本発明の要旨は、原水の前処理装置、一次純水製造装置および二次純水製造装置を備え、更に、架橋ウレアーゼ固定化繊維を収容した尿素の酵素分解装置を含む超純水製造装置を使用し、尿素の酵素分解装置における架橋ウレアーゼ固定化繊維に対する被処理水の接触時間を3分以下とすることを特徴とする超純水の製造方法に存する。架橋ウレアーゼ固定化繊維は、繊維の単位量当りのウレアーゼの吸着担持量密度が高く、また、酵素の脱離による処理水への漏洩や尿素分解能力の経時的な低下が殆どなく、尿素の分解反応速度が高い。また、尿素の酵素分解装置の充填量を減少することができ、処理量の向上及び処理装置の小型化を図ることができる。以下、本発明を詳細に説明する。先ず、図1に基づき本発明で使用する超純水製造装置の基本的構成について説明する。本発明で使用する超純水製造装置の基本的構成は、原水の前処理装置、一次純水製造装置および二次純水製造装置から成り、この点は、前述の特開平6-86997号公報に記載されたものと同様である。原水の前処理装置Aは、除濁UF装置1と活性炭塔2とを順次に設けて構成されている。なお、活性炭塔2は任意の設備であり、状況によっては省略することが出来る。一次純水製造装置Bは、RO膜装置3と電気再生式イオン交換装置4とを順次に設けて構成されている。電気再生式イオン交換装置4の代わりにRO膜装置を使用し、2段の膜分離装置を配置することも可能である。一次純水製造装置Bで得られた一次純水は一次純水槽5にて貯留される。二次純水製造装置Cは、低圧紫外線酸化装置6、脱気装置7、混床式イオン交換装置8及びUF膜装置9を順次に設けて構成されている。低圧紫外線酸化装置6はTOCをイオン化ないし分解する機能を有する。二次純水製造装置Cの前段には後述の酵素反応装置10が設けられ、ここで、被処理水中の尿素はアンモニアと二酸化炭素とに分解されるが、これらは脱気装置7及び混床式イオン交換装置8で除去される。なお、上記の前処理装置A、一次純水製造装置Bおよび二次純水製造装置Cの各構成要素は、何れも、超純水製造装置の分野では周知であり、それらの運転条件についても同様である。また、前述の特開平6-86997号公報の図1a又はbと同一の構成としてもよい。本発明の特徴は、酵素反応装置10に架橋ウレアーゼ固定化繊維を収容した点にある。なお、架橋ウレアーゼ固定化繊維を収容した酵素反応装置10は、尿素の分解効率が高いため、その設置位置は任意に選択することが出来る。図1においては、一次純水製造装置Bと二次純水製造装置Cとの間に設置されているが、設置位置は前処理装置Aの前後の何れであってもよい。ところで、本出願人の一人は、陰イオン交換グラフト鎖搭載多孔性中空孔膜にウレアーゼを吸着させた後にトランスグルタミナーゼでウレアーゼを架橋固定したウレアーゼ固定多孔性中空糸膜を提案すると共に、これによれば4M尿素溶液であっても3分程度の膜内滞留時間で尿素が100分解される実験結果を報告しているグラフト重合のおいしいレシピ斎藤恭一、須郷高信共著、丸善株式会社2008年2月15日発行、第152頁。ところが、ウレアーゼ固定多孔性中空糸膜は、中空糸膜内部への液の浸透を前提としているため、前述と同様に、拡散速度が尿素の分解反応の律速となる等の問題があり、超純水製造装置における尿素の酵素分解装置としては適切ではない。本発明で使用する架橋ウレアーゼ固定化繊維は、中空糸膜の代わりに繊維を使用し、ウレアーゼ固定多孔性中空糸膜と同様の方法で得ることが出来る。繊維としては、例えば、ポリオレフィンポリエチレン、ポリプロピレン等、ナイロン、ポリテトラフルオロエチレン等が挙げられるが、強度やコストの点から、ナイロン繊維が好適である。先ず、放射線グラフト重合法に従って、繊維に例えば電子線を照射してラジカルを形成させた後、陰イオン交換グラフト鎖を導入する。陰イオン交換グラフト鎖の導入に使用する単量体としては、特に制限されないが、例えば、アミノ基を有する炭素数1~10の脂肪族アルコールとα,β-不飽和カルボン酸とから導かれるα,β-不飽和カルボン酸エステル、すなわち、N,N-ジエチルアミノエチルアクリレート、N,N-ジエチルアミノエチルメタクリレート、N,N-ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N-ジメチルアミノエチルメタクリレート、N-メチル-N-エチルアミノエチルアクリレート、N-メチル-N-エチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。これらの中では、N,N-ジメチルアミノエチルメタクリレートDMAEMAが好ましい。放射線としては、α、β、γ線、電子線などがあり何れも使用可能であるが、電子線が適している。また、放射線を照射した後、生成したラジカルを起点として単量体と接触させる前照射法や、単量体溶液中で放射線を照射する同時照射法があるが、安定した製造が可能になるのは、前照射法である。照射線量は、通常50~300kGyである。重合溶媒は特に制限されないが、通常は水で十分である。単量体濃度は、通常1~10v/v、重合温度は通常25~60°C、重合時間は通常1~30時間である。また、次の式1で表されるグラフト率は通常15~50でり、次の式2で表されるグラフト基密度は0.5~5mmol/g-dryである。[数1]グラフト率[w/w]=付与したグラフト鎖重量/重合前繊維重量×100式1[数2]グラフト基密度[mmol/g-dry]=付与したグラフト基モル数/陰イオン交換グラフト鎖搭載繊維重量式2次いで、陰イオン交換グラフト鎖搭載繊維にウレアーゼを吸着させる。この際、ウレアーゼは、適当な緩衝液、例えば、pH8.0の20mMTris-HCl緩衝液に溶解して溶液として使用される。吸着方法は、特に制限されないが、適当長さに切断した陰イオン交換グラフト鎖搭載繊維をカラムに充填しカラム上部からウレアーゼ溶液を供給するカラム方式を採用するならば、カラムの流出液中のウレアーゼ濃度を追跡することにより、ウレアーゼの吸着状況を容易に把握することが出来る。カラム上部から供給するウレアーゼ溶液の濃度は通常0.01~0.5w/vである。次いで、トランスグルタミナーゼ等の酵素的架橋剤によってウレアーゼを架橋する。酵素的架橋剤溶液の濃度は通常0.001~0.1w/vである。架橋反応は、上記のカラム方式によるウレアーゼの吸着操作に引き続き行うのが簡便であり、適当なポンプを使用してカラムに酵素的架橋剤溶液を循環させることによって行う。架橋温度は通常25~60°C、架橋時間は通常1~10時間である。その後、未架橋のウレアーゼを溶出除去する。溶出には例えば0.1~1M濃度のNaCl水溶液を使用することができる。この操作は、前記のカラム方式を採用し、カラム上部からNaCl水溶液を供給して行うのが簡便である。カラムの流出液中のウレアーゼ濃度を追跡することにより、未架橋のウレアーゼの溶出除去状況を容易に把握することが出来る。ウレアーゼの架橋固定容量と架橋率とは次の式3及び4によって算出することが出来る。[数3]ウレアーゼの架橋固定容量mmol/mL-bed=[ウレアーゼ吸着量-ウレアーゼ洗浄および溶出量]/陰イオン交換グラフト鎖搭載繊維のカラム充填体積式3[数4]架橋率=[ウレアーゼ吸着量-ウレアーゼ洗浄および溶出量]/ウレアーゼ吸着量×100式4図2に例示した尿素の酵素分解装置10は、内部に架橋ウレアーゼ固定化繊維15が収容され、被処理水流入管11に接続された散水管12が上部に配置され、処理水流出管13に接続された集水管14が下部に配置された装置構造を有する。尿素を含む被処理水は、散水管12の通水孔から加圧状態で供給され、架橋ウレアーゼ固定化繊維15と降下流で接触し、集水管14のスリットを介して取り出される。そして、原水中に存在している尿素はウレアーゼにより二酸化炭素とアンモニアに分解される。本発明に係る超純水の製造方法は、前記のような超純水製造装置を使用し、尿素の酵素分解装置10における架橋ウレアーゼ固定化繊維15に対する被処理水の接触時間を3分以下とすることを特徴とする。架橋ウレアーゼ固定化繊維15に対する被処理水の接触時間架橋ウレアーゼ固定化繊維床の滞留時間が3分を超えるSV=20h-1未満の場合は、滞留時間が長すぎて処理水中のウレアーゼの溶出濃度の増加が懸念される。上記の接触時間は好ましくは2分以下SV=30h-1以上である。接触時間の下限は、通常5秒SV=714h-1、好ましくは10秒SV=357h-1である。接触時間が5秒より短い場合は尿素の分解反応に支障を来す恐れがある。以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明は、その要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。製造例1:窒素雰囲気下、太さ25μmの市販のナイロン-6Ny繊維1.0gの表面に200kGyの電子線を照射した後、濃度3v/vのDMAEMA水溶液に40°Cで10分浸漬し、Ny繊維にグラフト鎖を付与し、陰イオン交換グラフト鎖搭載繊維を得た。前記の式1のグラフト率は37であり、前記の式2のグラフト基密度は1.7mmol/g-dryであった。次いで、上記の陰イオン交換グラフト鎖搭載繊維0.2gを1cm毎に切断し、内径5.5mmのカラムに充填し、カラムの上部からシリンジポンプによりSV:20h-1の条件下に供給し陰イオン交換グラフト鎖搭載繊維にウレアーゼを吸着させた。次いで、上記のシリンジポンプの代わりにペリスタポンプを使用し、濃度0.04w/vのトランスグルタミナーゼTG溶液をカラムの上部から供給して循環してウレアーゼを架橋した。次いで、上記のペリスタポンプの代わりにシリンジポンプを使用し、濃度0.5MのNaCl水溶液をカラムの上部からSV:20h-1の条件下に供給して未架橋のウレアーゼを溶出除去し、架橋ウレアーゼ固定化繊維を得た。前記の式3のウレアーゼの架橋固定容量13mg/mL-bedであり、前記の式4の架橋率は79であった。参考例1:上記の製造例1における未架橋のウレアーゼを溶出除去操作の後、シリンジポンプから0.2mg/L200ppbの尿素水溶液を供給し、架橋ウレアーゼ固定化繊維による尿素の分解試験を行った。試験は尿素水溶液の供給速度SVを変えて行った。結果を図3に示す。同図から明らかなようにSV=300h-1接触時間12秒においても尿素の分解率は100であった。実施例1及び比較例1:図1及び図2に示す、処理水量3m3/hの超純水装置を使用した。図2に示す尿素の酵素分解装置の架橋ウレアーゼ固定化繊維15には製造例1と同様な方法で得られたものを1cm毎に切断して使用した。原水としては尿素をTOCとして約10ppb添加した横浜市水を使用した。架橋ウレアーゼ固定化繊維15に対する被処理水の接触時間は0.3分18秒SV=200h-1とした。得られた超純水のTOCを測定し表1に示した。比較のため、尿素の酵素分解装置を使用しなかった以外は上記と同様にして超純水を製造し、得られた超純水のTOCを測定し表1に示した。"