"回転軸と、前記回転軸の外側に回転自在に挿入した浮動ブッシュと、前記浮動ブッシュの外側に配した固定軸受筒と、磁石と磁性流体とで形成され、前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のスラスト面側の隙間、および前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のラジアル面側の隙間に装着されるフルイドダンパ機構と、気体軸受部とを備え、前記固定軸受筒は、外周に形成された空気供給口と、前記空気供給口に連通し、前記固定軸受筒の内面側に設置された複数のオリフィスとを備え、前記気体軸受部は、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、前記オリフィスから前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間の隙間部分に通すことによって、前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第一の軸受部と、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、ジョイント部を通って前記浮動ブッシュの管路を経由して前記オリフィスから前記浮動ブッシュと前記回転軸との間の隙間部分に通すことによって、前記浮動ブッシュと前記回転軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、前記フルイドダンパ機構は、前記磁性流体の粘性または前記隙間を変えることによって、前記第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、前記回転軸の外乱に対する整定時間を制御することを特徴とする気体軸受。回転軸と、前記回転軸の外側に挿入した不回転の浮動ブッシュと、前記浮動ブッシュの外側に配した固定軸受筒と、2つの磁石間に磁性流体を保持し、前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のスラスト面側の隙間、および前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のラジアル面側の隙間に前記2つの磁石の磁力によって装着されるフルイドダンパ機構と、気体軸受部とを備え、前記浮動ブッシュは、外周に形成された空気供給口と、前記空気供給口に連通する管路と、前記固定軸受筒の両端面側および内面側並びに回転軸の両端面側および内面側に設置され前記管路と連通する複数のオリフィスとを備え、前記気体軸受部は、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、前記オリフィスから前記浮動ブッシュと前記固定軸受筒との間の隙間部分に通すことによって、前記浮動ブッシュと前記固定軸受筒との間のスラスト面とラジアル面とに形成される第一の軸受部と、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、前記オリフィスから前記浮動ブッシュと前記回転軸との間の隙間部分に通すことによって、前記浮動ブッシュと前記固定軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、前記フルイドダンパ機構は、前記磁性流体の粘性または前記隙間を変えることによって、前記第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、前記回転軸の外乱に対する整定時間を制御することを特徴とする気体軸受。請求項2記載の気体軸受において、前記フルイドダンパ機構は、前記浮動ブッシュの回転止め手段を構成することを特徴とする気体軸受。非特許文献1に記載された技術は、静圧式の気体軸受にフルイドダンパを付加することにより、整定時間の短縮化と不安定振動の発生防止という点で優れているものの、減衰係数を高めるためにフルイドダンパを回転軸に付加すると、ダンパの粘性のために発熱が大きく、高速回転が不可能であった。また、浮動ブッシュを内蔵した静圧式の気体浮動ブッシュ軸受は、回転軸と軸受との間に補助軸受として浮動軸受を介在させて、その浮動軸受を回転軸の回転数の1/2で回転させることにより、最も少ない消費動力で高速回転させることができる。従って、発熱を低減することができるという長所を有しているが、その反面、構造が複雑であり、部品の製作精度が厳しく、製作の困難性が高く、また、回転軸受部の軸剛性、減衰特性が低いことから、全体にコストパフォーマンスが悪く、一般的には商品として使用されていなかった。そこで、本発明は、前述した従来の欠点を改良すると共に、構造としての長所から、浮動ブッシュを内蔵した気体静圧浮動ブッシュ軸受を利用して、さらに軸受全体の剛性を高めることが可能でかつ減衰特性の高い静圧式の気体軸受を提供することを目的とする。また、本発明は、回転軸の減衰特性を比較的容易に設定可能な静圧式の気体軸受を提供することを目的とする。さらに本発明は、加工機械等に採用してその特性を左右する回転軸の整定時間応答性を制御できる静圧式の気体軸受を提供することを目的とする。請求項1に係る発明は、回転軸と、前記回転軸の外側に回転自在に挿入した浮動ブッシュと、前記浮動ブッシュの外側に配した固定軸受筒と、磁石と磁性流体とで形成され、前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のスラスト面側の隙間、および前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のラジアル面側の隙間に装着されるフルイドダンパ機構と、気体軸受部とを備え、前記固定軸受筒は、外周に形成された空気供給口と、前記空気供給口に連通し、前記固定軸受筒の内面側に設置された複数のオリフィスとを備え、前記気体軸受部は、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、前記オリフィスから前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間の隙間部分に通すことによって、前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第一の軸受部と、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、ジョイント部を通って前記浮動ブッシュの管路を経由して前記オリフィスから前記浮動ブッシュと前記回転軸との間の隙間部分に通すことによって、前記浮動ブッシュと前記回転軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、前記フルイドダンパ機構は、前記磁性流体の粘性または前記隙間を変えることによって、前記第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、前記回転軸の外乱に対する整定時間を制御することを特徴とする。請求項2に係る発明は、回転軸と、前記回転軸の外側に挿入した不回転の浮動ブッシュと、前記浮動ブッシュの外側に配した固定軸受筒と、2つの磁石間に磁性流体を保持し、前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のスラスト面側の隙間、および前記固定軸受筒と前記浮動ブッシュとの間のラジアル面側の隙間に前記2つの磁石の磁力によって装着されるフルイドダンパ機構と、気体軸受部とを備え、前記浮動ブッシュは、外周に形成された空気供給口と、前記空気供給口に連通する管路と、前記固定軸受筒の両端面側および内面側並びに回転軸の両端面側および内面側に設置され前記管路と連通する複数のオリフィスとを備え、前記気体軸受部は、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、前記オリフィスから前記浮動ブッシュと前記固定軸受筒との間の隙間部分に通すことによって、前記浮動ブッシュと前記固定軸受筒との間のスラスト面とラジアル面とに形成される第一の軸受部と、前記空気供給口から供給される圧縮空気を、前記オリフィスから前記浮動ブッシュと前記回転軸との間の隙間部分に通すことによって、前記浮動ブッシュと前記固定軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、前記フルイドダンパ機構は、前記磁性流体の粘性または前記隙間を変えることによって、前記第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、前記回転軸の外乱に対する整定時間を制御することを特徴とする。請求項3に係る発明は、請求項2記載の気体軸受において、前記フルイドダンパ機構は、前記浮動ブッシュの回転止め手段を構成することを特徴とする。本発明によれば、浮動ブッシュの付加と、固定軸受筒と浮動ブッシュとの間に配される第一の軸受部の減衰特性、ばね剛性を調整することができる構成としたので、浮動ブッシュの欠点を解消して、かつ静圧気体軸受の長所を合わせ持つ新たな回転型静圧気体軸受を得ることができる。また、本発明によれば、固定軸受筒と浮動ブッシュとの間に配される第一の軸受部にフルイドダンパ機構を付加したので、このフルイドダンパ機構の流体粘度を変えたり隙間を変化させて、軸受部の減衰特性、ばね剛性を調整することが容易になり、静圧気体軸受の長所を合わせ持つ新たな回転型静圧気体軸受を得ることができる。以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。第一実施形態図1は、本発明の第一実施形態に係る静圧式の気体軸受を示す一部断面図である。本実施形態に係る気体軸受は、回転軸KJと、この回転軸KJの外側に回転自在に挿入した浮動ブッシュFBと、この浮動ブッシュFBの外側に配した固定軸受筒CJとで構成されている。固定軸受筒CJに対して浮動ブッシュFBは回転自在である。固定軸受筒CJの外周中央部に形成された空気供給口ASから供給された圧縮空気は、固定軸受筒CJの内面側に設置されたオリフィスOLOL11~OL14を通過して固定軸受筒CJとの間の隙間部分で第一の軸受部軸受部Aを形成し、同時に、ジョイント部を通って浮動ブッシュFBの管路ASDに流入し、浮動ブッシュFBの内径側の軸受面に設置されたオリフィスOLOL1~OL6を通過して回転軸KJとの間の隙間部分で第二の軸受部軸受部Bを形成して排気口EXEX1~EX4を介して外部へ排気される。図示したように、軸受部A、軸受部Bは、夫々浮動ブッシュFBの内外径側で、ラジアル面とスラスト面両端側とに亘って形成されている。これらのオリフィス構造は図示していないが、回転軸KJの全周囲に亘って均等分割位置に例えば8等分のように形成されている。軸受部Aは、前述した軸受部による静圧式の気体軸受を構成していると共に、フルイドダンパ機構FDを設けている。フルイドダンパ機構FDは、軸受部Aと同様に固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの間の隙間に形成されており、隙間の一方の面側に装着した磁石MGと隙間に位置する磁性流体JRとの組み合わせにより形成され、本実施形態では、両端側のスラスト面のフルイドダンパ機構FD1,FD4と、ラジアル面に配置したフルイドダンパ機構FD3,FD4の4箇所に設けてある。また、軸受部Bは、従来と同等な静圧気体軸受を構成しており、軸受部Aと同様にスラスト面とラジアル面との組み合わせから構成されている。以上のような構成において、本発明者等は、フルイドダンパ機構FDを除いた浮動ブッシュ静圧気体軸受構造において、図2に示すように、回転軸KJに衝撃外乱を与えた場合の応答特性から、固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの間の隙間の減衰係数の変化が回転軸KJの応答特性整定時間に大きく関わってくることを見い出した。そして、浮動ブッシュFBと固定軸受筒CJとの間の軸受特性を改善するように調整することが、従来実用に供することが困難であった浮動ブッシュ静圧気体軸受の実用化を可能にした。そして、さらに、前述した浮動ブッシュFBと固定軸受筒CJとの間の軸受特性を改善するように調整する方法として、フルイドダンパ機構FDを前述した軸受部Aに設けた。図1に示した構造がそれである。すなわち、フルイドダンパ機構FDを構成する磁性流体JRの粘性を変化させることにより固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの間の隙間の減衰係数の変化につながり、また固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの間の隙間量を変化させることにより、同様に固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの間の隙間の減衰係数の変化につながり、その調整が回転軸KJの整定時間を改善制御することになる。そして、前述したように高剛性の特性をもった軸受が提供できる。図1に示す構造において、図2に示すような外乱Xを回転軸KJに付加したときの回転軸KJの整定時間は、図3に示すように、軸受部Aの減衰係数を変化させることで変えられることが確認できた。また、軸受部Aにフルイドダンパ機構FDFD1~FD4を用いることで、非特許文献1に記載したような高剛性、高減衰特性をもつ静圧気体軸受が達成できる。本実施形態によれば、浮動ブッシュFBの設置により、2つの軸受部A,Bが形成され、それぞれ軸受部A,Bの特性が回転軸KJに与える影響が明確になった。そして、特に浮動ブッシュFBと固定軸受筒CJと間に形成される第一の軸受部軸受部Aの減衰特性が回転軸KJの減衰特性、応答特性に大きく影響を及ぼすことがわかり、この軸受部Aの減衰特性、ばね剛性を調整することにより、回転軸KJの外乱に対する整定時間を制御することで回転軸KJの発熱を抑制しながら高速回転を可能にし、かつ浮動ブッシュ気体軸受の欠点であった低剛性に対し、軸受部Aの剛性を高めることにより気体軸受の剛性を高めることができる。このように、浮動ブッシュFBの付加と軸受部Aの減衰特性、ばね剛性を調整することにより、浮動ブッシュFBの欠点を解消して、かつ静圧気体軸受の長所を合わせ持つ新たな回転型静圧気体軸受を得ることができる。また、本実施形態によれば、第一の軸受部である軸受部Aにフルイドダンパ機構FDを付加したことで、このフルイドダンパ機構FDの流体粘度を変えたり隙間を変化させて、軸受部Aの減衰特性、ばね剛性を調整することが容易になり、静圧気体軸受の長所を合わせ持つ新たな回転型静圧気体軸受を得ることができる。第二実施形態図4は、本発明の第二実施形態に係る静圧式の気体軸受を示す一部断面図である。本実施形態に係る静圧式の気体軸受は、回転軸KJと浮動ブッシュFBとの間の軸受構造Bは第一実施形態に係る静圧気体軸受と同様であるが、圧縮空気の供給口ASを浮動ブッシュFBに設けた点で、第一実施形態に係る静圧気体軸受と相違する。本実施形態では、その供給口ASから圧縮空気を供給し、浮動ブッシュFBが回転しない構成としてある。本実施形態に係る静圧式の気体軸受は、第一実施形態に係る静圧式の気体軸受のように浮動ブッシュFBが回転しなくても同様の効果が得られる。本実施形態に係る静圧式の気体軸受における静圧軸受構造およびオリフィス構造は、第一実施形態に係る静圧式の気体軸受と同様であるから、説明を省略する。本実施形態においては、フルイドダンパ機構FDは、固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの向い合う両面に磁力の高い磁石MG1,MG2を設置して、その間に磁性流体JRを保持させるように構成した。なお、本実施形態において、固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの向い合う両面に磁力の高い磁石MG1,MG2を設置して、その間に磁性流体JRを保持させるように構成したフルイドダンパ機構FDについて説明したが、このフルイドダンパ機構FDを浮動ブッシュFBの回転止め手段として用いることもできる。要は、軸受部Aが、浮動ブッシュ静圧気体軸受としての応答特性を向上させ得る高い剛性、高い減衰係数を有することで、本発明のように構成することで達成が可能である。第三実施形態図5は、本発明の第三実施形態に係る静圧式の気体軸受を示す一部断面図である。本実施形態に係る静圧式の気体軸受は、固定軸受筒CJと浮動ブッシュFBとの間の軸受部Aにおいて、浮動ブッシュFBは回転しない構造とした。そして、軸受部Aは流体として非圧縮流体である油や水を利用することも可能である。本実施形態に係る静圧式の気体軸受は、固定軸受部CJ側に開口した流体供給口FSから油あるいは水を供給し、軸受部Aが油静圧軸受、水静圧軸受を構成する。浮動ブッシュFBと回転軸KJとの間は、浮動ブッシュFBの供給口ASからの圧縮空気による静圧気体軸受部Bを構成する。"