改質用原料を改質して水素リッチな改質ガスを得る改質工程と、所定圧力に昇圧された前記改質ガスをCO吸着剤が充填された第1のPSA吸着塔に通じてCOを吸着除去しCO除去ガスを得るCO吸着ステップと前記CO吸着剤を再生するCO吸着剤再生ステップと前記第1のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第1の昇圧ステップとを有した第1の除去工程と、前記CO吸着ステップで得られたCO除去ガスをCO以外の不要ガス吸着剤が充填された第2のPSA吸着塔に通じてCO以外の不要ガスを吸着除去し高純度水素を得るCO以外の不要ガス吸着ステップと前記CO以外の不要ガス吸着剤を再生するCO以外の不要ガス吸着剤再生ステップと前記第2のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第2の昇圧ステップとを有した第2の除去工程と、前記第2の除去工程で得られた高純度水素を前記第2のPSA吸着塔の後段に設けられたバッファタンクに一時貯蔵する一時貯蔵工程と、前記第2のPSA吸着塔から排出されるオフガスを水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンクに通じて所定温度かつ所定圧力下で前記オフガス中の水素を前記水素吸蔵合金に吸蔵させる水素吸蔵ステップとこの水素吸蔵ステップ後に所定のタイミングで前記水素吸蔵合金に吸蔵された水素を所定温度かつ所定圧力下で前記水素貯蔵タンク内に放出する水素放出ステップとを有した水素吸蔵放出工程と、を備え、前記CO吸着剤再生ステップ並びに前記第1の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンクに一時貯蔵された高純度水素以下、バッファタンク内の高純度水素という及び前記水素貯蔵タンクに放出された水素以下、水素貯蔵タンク内の水素というの内の少なくとも前記水素貯蔵タンク内の水素を前記CO吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第1のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用い、前記CO以外の不要ガス吸着剤再生ステップ並びに前記第2の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記バッファタンク内の高純度水素を前記CO以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第2のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用いることを特徴とするPSA方式高純度水素製造方法。前記第1のPSA吸着塔内に、前記所定圧力に昇圧された改質ガス中の水蒸気以下、H2Oというを吸着除去するためのH2O吸着剤がさらに充填されたことにより、前記第1の除去工程が、COとともにH2Oを吸着除去しCO及びH2O除去ガスを得るCO及びH2O吸着ステップと、CO吸着剤及びH2O吸着剤を再生するCO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップと、前記第1のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第1の昇圧ステップとを有した構成となり、前記第2の除去工程が、前記CO及びH2O吸着ステップで得られたCO及びH2O除去ガスをCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤が充填された第2のPSA吸着塔に通じてCO及びH2O以外の不要ガスを吸着除去し高純度水素を得るCO及びH2O以外の不要ガス吸着ステップと、前記CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤を再生するCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップと、前記第2のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第2の昇圧ステップとを有した構成となり、前記CO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップ並びに前記第1の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記水素貯蔵タンク内の水素を前記CO吸着剤及びH2O吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第1のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用い、前記CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ並びに前記第2の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記バッファタンク内の高純度水素を前記CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第2のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用いることを特徴とする請求項1に記載のPSA方式高純度水素製造方法。前記改質工程が、以下のa~eのいずれかの工程である請求項1または2に記載のPSA方式高純度水素製造方法。a改質用原料を水蒸気で改質して水素リッチな改質ガスを得る工程b改質用原料を水蒸気で改質した後に変成させて水素リッチな改質ガスを得る工程c炭化水素含有燃料を部分酸化により改質して水素リッチな改質ガスを得る工程d炭化水素含有燃料を部分酸化により改質させると同時に水蒸気で改質して水素リッチな改質ガスを得る工程e炭化水素含有燃料を水蒸気で改質した後にセラミックフィルタ等の粗製分離膜を流通させて水素濃度を高めて水素リッチな改質ガスを得る工程前記第1のPSA吸着塔、第2のPSA吸着塔及び水素貯蔵タンクは、それぞれ3つ以上備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のPSA方式高純度水素製造方法。前記水素放出ステップにおいて、水素吸蔵合金に吸蔵された水素を水素貯蔵タンク内に放出するための所定温度かつ所定圧力を得るために、前記改質工程で発生する熱が用いられることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のPSA方式高純度水素製造方法。上記特許文献1に開示されたPSA方式高純度水素製造方法では、1段目及び2段目の各PSA吸着塔における吸着剤の再生用洗浄ガス並びに各PSA吸着塔の昇圧用ガスとして精製した高純度水素を消費するため、製品水素の損失が多い。また、2段目のPSA吸着塔から排出されるオフガスを1段目のPSA吸着塔における吸着剤の再生用洗浄ガスとして用いることで、上記製品水素の損失が多少軽減する。しかし、この2段目のPSA吸着塔から排出されるオフガス中にも水素がまだ含まれ、この水素が1段目のPSA吸着塔からオフガスとしてそのまま排出されてしまい、高純度水素の回収率の向上を妨げるという問題点があった。また、特許文献2に開示された純水素製造装置におけるオフガスの活用の仕方では、基本的に高純度水素の回収率の向上には繋がらない。本発明の目的は、製品水素の損失を低減するとともに、改質ガスから高い回収率で高純度水素を回収可能なPSA方式高純度水素製造方法を提供することにある。この目的を達成するために、本発明の請求項1に記載の発明は、改質用原料を改質して水素リッチな改質ガスを得る改質工程と、所定圧力に昇圧された前記改質ガスをCO吸着剤が充填された第1のPSA吸着塔に通じてCOを吸着除去しCO除去ガスを得るCO吸着ステップと前記CO吸着剤を再生するCO吸着剤再生ステップと前記第1のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第1の昇圧ステップとを有した第1の除去工程と、前記CO吸着ステップで得られたCO除去ガスをCO以外の不要ガス吸着剤が充填された第2のPSA吸着塔に通じてCO以外の不要ガスを吸着除去し高純度水素を得るCO以外の不要ガス吸着ステップと前記CO以外の不要ガス吸着剤を再生するCO以外の不要ガス吸着剤再生ステップと前記第2のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第2の昇圧ステップとを有した第2の除去工程と、前記第2の除去工程で得られた高純度水素を前記第2のPSA吸着塔の後段に設けられたバッファタンクに一時貯蔵する一時貯蔵工程と、前記第2のPSA吸着塔から排出されるオフガスを水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンクに通じて所定温度かつ所定圧力下で前記オフガス中の水素を前記水素吸蔵合金に吸蔵させる水素吸蔵ステップとこの水素吸蔵ステップ後に所定のタイミングで前記水素吸蔵合金に吸蔵された水素を所定温度かつ所定圧力下で前記水素貯蔵タンク内に放出する水素放出ステップとを有した水素吸蔵放出工程と、を備え、前記CO吸着剤再生ステップ並びに前記第1の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンクに一時貯蔵された高純度水素以下、バッファタンク内の高純度水素という及び前記水素貯蔵タンクに放出された水素以下、水素貯蔵タンク内の水素というの内の少なくとも前記水素貯蔵タンク内の水素を前記CO吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第1のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用い、前記CO以外の不要ガス吸着剤再生ステップ並びに前記第2の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記バッファタンク内の高純度水素を前記CO以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第2のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用いることを特徴とするPSA方式高純度水素製造方法である。請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記第1のPSA吸着塔内に、前記所定圧力に昇圧された改質ガス中の水蒸気以下、H2Oというを吸着除去するためのH2O吸着剤がさらに充填されたことにより、前記第1の除去工程が、COとともにH2Oを吸着除去しCO及びH2O除去ガスを得るCO及びH2O吸着ステップと、CO吸着剤及びH2O吸着剤を再生するCO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップと、前記第1のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第1の昇圧ステップとを有した構成となり、前記第2の除去工程が、前記CO及びH2O吸着ステップで得られたCO及びH2O除去ガスをCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤が充填された第2のPSA吸着塔に通じてCO及びH2O以外の不要ガスを吸着除去し高純度水素を得るCO及びH2O以外の不要ガス吸着ステップと、前記CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤を再生するCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップと、前記第2のPSA吸着塔内の圧力を所定圧力に昇圧する第2の昇圧ステップとを有した構成となり、前記CO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップ並びに前記第1の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記水素貯蔵タンク内の水素を前記CO吸着剤及びH2O吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第1のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用い、前記CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ並びに前記第2の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記バッファタンク内の高純度水素を前記CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第2のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用いることを特徴とする。請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の発明において、前記改質工程が、以下のa~eのいずれかの工程である。a改質用原料を水蒸気で改質して水素リッチな改質ガスを得る工程b改質用原料を水蒸気で改質した後に変成させて水素リッチな改質ガスを得る工程c炭化水素含有燃料を部分酸化により改質して水素リッチな改質ガスを得る工程d炭化水素含有燃料を部分酸化により改質させると同時に水蒸気で改質して水素リッチな改質ガスを得る工程e炭化水素含有燃料を水蒸気で改質した後にセラミックフィルタ等の粗製分離膜を流通させて水素濃度を高めて水素リッチな改質ガスを得る工程請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発明において、前記第1のPSA吸着塔、第2のPSA吸着塔及び水素貯蔵タンクは、それぞれ3つ以上備えたことを特徴とする。請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発明において、前記水素放出ステップにおいて、水素吸蔵合金に吸蔵された水素を水素貯蔵タンク内に放出するための所定温度かつ所定圧力を得るために、前記改質工程で発生する熱が用いられることを特徴とする。以上のように、本発明に係るPSA方式高純度水素製造方法によれば、第1のPSA吸着塔を用いた第1の除去工程と、この第1の除去工程の下流側に設けられた第2のPSA吸着塔を用いた第2の除去工程と、前記第2の除去工程で得られた高純度水素製品水素を前記第2のPSA吸着塔の後段に設けられたバッファタンクに一時貯蔵する一時貯蔵工程と、前記第2のPSA吸着塔から排出されるオフガスを水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンクに通じて所定温度かつ所定圧力下で前記オフガス中の水素を前記水素吸蔵合金に吸蔵させる水素吸蔵ステップと、この水素吸蔵ステップ後に所定のタイミングで前記水素吸蔵合金に吸蔵された水素を所定温度かつ所定圧力下で前記水素貯蔵タンク内に放出する水素放出ステップとを有した水素吸蔵放出工程とを備え、前記第1の除去工程におけるCO吸着剤再生ステップ並びに第1の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記水素貯蔵タンク内の水素を前記CO吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第1のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用い、前記第2の除去工程におけるCO以外の不要ガス吸着剤再生ステップ並びに第2の昇圧ステップにおいて、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記バッファタンク内の高純度水素を前記CO以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第2のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用いるため、製品水素の損失を低減するとともに、改質ガスから高い回収率で高純度水素を回収可能なPSA方式高純度水素製造方法を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施形態に係るPSA方式高純度水素製造装置の構成の概要を模式的に説明する説明図である。図1において、1は改質用原料Aを改質して水素リッチな改質ガスBを得る改質装置、2は所定圧力としての高圧{例えば、0.9MPaGゲージ圧}に昇圧された改質ガスBからCOとともにH2Oを吸着除去しCO及びH2O除去ガスを得る第1のPSA装置、3は第1のPSA装置2の後段に設けられ、前記CO及びH2O除去ガスからCO及びH2O以外の不要ガスを吸着除去し高純度水素製品水素Cを得る第2のPSA装置、4は第2のPSA装置3の後段に設けられ、前記第2のPSA装置3で得られた高純度水素製品水素Cを一時貯蔵するバッファタンク、5は第2のPSA装置3から排出されるオフガスD中の水素を吸蔵放出するための水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンク5a、5b、5cから構成される水素貯蔵部である。また、第1のPSA装置2は、3つの第1のPSA吸着塔2a、2b、2cを有し、各第1のPSA吸着塔2a、2b、2cにはCO吸着剤及びH2O吸着剤が充填されている。このCO吸着剤として、例えばアルミナに塩化銅Iが担持されたものが用いられ、H2O吸着剤としては、活性アルミナが用いられる。なお、CO吸着剤とH2O吸着剤は、第1のPSA吸着塔2a、2b、2c内において、それぞれCO吸着剤を下流側に、H2O吸着剤を上流側に設置するのが好ましい。また、第2のPSA装置3は、3つの第2のPSA吸着塔3a、3b、3cを有し、各第2のPSA吸着塔3a、3b、3cにはCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤が充填されている。このCO及びH2O以外の不要ガスすなわち、CO2、CH4吸着剤として、例えば活性炭が用いられる。また、水素貯蔵部5は、3つの水素貯蔵タンク5a、5b、5cを有し、各水素貯蔵タンク5a、5b、5cには水素吸蔵合金が充填されている。この水素吸蔵合金として、例えばAB5系水素吸蔵合金が用いられる。ライン101は改質ガスBの導入ラインである。ライン101と各第1のPSA吸着塔2a、2b、2cとはそれぞれ弁PU-1A、弁PU-1B、弁PU-1Cを介して接続されている。ライン102は第1のPSA吸着塔2a、2b、2c内を減圧するために用いるラインで、均圧後述の均圧ステップ参照の終了した各第1のPSA吸着塔2a、2b、2cの圧力をさらに常圧付近例えば、0.1MPaGまで減圧する後述の第1減圧ステップ参照ために使用される。ライン102は弁V16、弁PU-3A、弁PU-3B、弁PU-3Cを介して第1のPSA吸着塔2a、2b、2cとそれぞれ接続されている。ライン102の排気ガスはオフガスEとして排気される。ライン103は常圧付近までの減圧第1減圧ステップが終了した各第1のPSA吸着塔2a、2b、2cをさらに大気圧以下例えば、-0.05MPaG以下の負圧まで減圧後述の第2減圧ステップ参照するラインであり、真空ポンプ6と第1のPSA吸着塔2a、2b、2cとがそれぞれ弁V17、弁PU-3A、弁PU-3B、弁PU-3Cを介して接続されている。ライン103の真空ポンプの排気ガスはオフガスEとして排気される。ライン104は各第1のPSA吸着塔2a、2b、2cにて改質ガスBよりCO及びH2Oを除去して得たCO及びH2O除去ガスを回収し、第2のPSA吸着塔3a、3b、3cへ導入するラインであり、第1のPSA吸着塔2a、2b、2cとはそれぞれ弁PU-2A、弁PU-2B、弁PU-2Cを介して接続され、第2のPSA吸着塔3a、3b、3cとは弁V10、弁PV-1A、弁PV-1B、弁PV-1Cを介して接続されている。ライン105は第2のPSA吸着塔3a、3b、3cにてCO及びH2O以外の不要ガスを除去して得た高純度水素の回収ラインであり、第2のPSA吸着塔3a、3b、3cとはそれぞれ弁PV-2A、弁PV-2B、弁PV-2Cを介して接続されており、回収した高純度水素はバッファタンク4に一時的に貯蔵される。ライン106は均圧後述の第2のPSA吸着塔3a、3b、3cにおける均圧ステップ参照を行うためのラインであり、後述するCO及びH2O以外の不要ガス吸着ステップの終了した第2のPSA吸着塔と後述するCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップの終了した第2のPSA吸着塔との間でガスの均圧を行うために用いられる。具体的には弁PV-4A、弁PV-4B、弁PV-4Cのうち、均圧を行う2つの塔に接続された弁2個を開放し、他の弁を閉じることにより2つの第2のPSA吸着塔の均圧が可能となる。ライン107は第2のPSA吸着塔3a、3b、3c内を減圧するために用いるラインで、均圧後述の均圧ステップ参照の終了した各第2のPSA吸着塔3a、3b、3cの圧力をさらに常圧付近例えば、0.1MPaGまで減圧する後述の第1減圧ステップ参照ために使用される。ライン107は弁PV-3A、弁PV-3B、弁PV-3Cを介して第2のPSA吸着塔3a、3b、3cとそれぞれ接続されるとともに、弁V14を介してオフガスDを水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンク5a、5b、5cへ導入し、オフガスD中の水素を所定温度例えば、20°Cかつ所定圧力例えば、0.1MPaG下で水素吸蔵合金に吸蔵させるためのラインでもある。ライン107と水素貯蔵タンク5a、5b、5cとは弁V14、弁PW-1A、弁PW-1B、弁PW-1Cを介して接続されている。ライン108は常圧付近までの減圧第1減圧ステップが終了した各第2のPSA吸着塔3a、3b、3cをさらに大気圧以下例えば、-0.05MPaG以下の負圧まで減圧後述の第2減圧ステップ参照するラインであり、真空ポンプ7と第2のPSA吸着塔3a、3b、3cとがそれぞれ弁V15、弁PV-3A、弁PV-3B、弁PV-3Cを介して接続されるとともに、真空ポンプ7の排気ガスをオフガスDとして水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンク5a、5b、5cへ導入し、オフガスD中の水素を所定温度例えば、20°Cかつ所定圧力例えば、-0.05MPaG以下下で水素吸蔵合金に吸蔵させるためのラインでもある。また、真空ポンプ7と水素貯蔵タンク5a、5b、5cとは弁PW-1A、弁PW-1B、弁PW-1Cを介して接続されている。ライン109は水素吸蔵合金に吸蔵された水素を所定温度例えば、200°Cかつ所定圧力例えば、0.9MPaG下で水素貯蔵タンク5a、5b、5c内に放出した水素で後述する第1のPSA吸着塔2a、2b、2cのCO吸着剤及びH2O吸着剤を再生するための再生ステップ用並びに後述する第1のPSA吸着塔2a、2b、2c内の各圧力を所定圧力例えば、0.9MPaに昇圧する第1の昇圧ステップ用に供給するラインである。ライン109と水素貯蔵タンク5a、5b、5cとは弁V18、弁PW-2A、弁PW-2B、弁PW-2Cを介して接続されている。また、ライン109と第1のPSA吸着塔2a、2b、2cとはそれぞれ弁PU-4A、弁PU-4B、弁PU-4Cを介して接続されている。ライン110は上述した水素貯蔵タンク5a、5b、5c内に放出した水素を後述する第2のPSA吸着塔3a、3b、3cのCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ用及び後述する第2のPSA吸着塔3a、3b、3c内の圧力を所定圧力例えば、0.9MPaGに昇圧する第2の昇圧ステップ用に供給するラインである。第2のPSA吸着塔3a、3b、3cのCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ用及び後述する第2のPSA吸着塔3a、3b、3c内の圧力を所定圧力例えば、0.9MPaGに昇圧する第2の昇圧ステップ用には、前述したライン110を経由して供給される水素とともにバッファタンク4内に一時貯蔵された高純度水素も弁V12を経由して供給される。ライン110と水素貯蔵タンク5a、5b、5cとは弁V19、弁PW-2A、弁PW-2B、弁PW-2Cを介して接続されている。また、ライン110と第2のPSA吸着塔3a、3b、3cとは、弁V13を経由してそれぞれ弁PV-5A、弁PV-5B、弁PV-5Cを介して接続されている。また、バッファタンク4と第2のPSA吸着塔3a、3b、3cとは、弁V12を経由してそれぞれ弁PV-5A、弁PV-5B、弁PV-5Cを介して接続されている。最初に、改質工程について、説明する。改質工程本発明の改質工程には、例えば通常用いられる水蒸気改質器と変成器との組合せからなる改質装置1を用いればよい。改質器にて天然ガス等の炭化水素を含有する改質用原料Aを水蒸気で改質してH2およびCOを主成分とするガスとした後、変成器にてこのガスにさらに水蒸気を添加して変成しH2を主成分とする水素リッチな改質ガスBを生成する。この改質ガスB中には、H2の他、少量のCO2、CH4、H2Oなどとともに、0.9程度のCOが残留している。なお、改質工程の後工程であるCOとともにH2Oを吸着除去する後述の第1の除去工程およびCO及びH2O以外の不要ガスを吸着除去する後述の第2の除去工程においては低温ほど吸着反応が促進されるため、改質装置1と第1のPSA装置2との間のライン101には高温の改質ガスBを冷却するための熱交換器図示せずを設けるのが望ましい。次に、改質工程の後工程である第1の除去工程におけるCO及びH2O吸着除去、CO吸着剤及びH2O吸着剤再生並びに第1のPSA吸着塔内の昇圧の各操作手順を具体的に説明する。なお、以下においては第1のPSA吸着塔2aの操作手順のみについて説明するが、運転は下記表1のタイムテーブルに示すように、第1のPSA吸着塔2a、2b、2cの3塔を用いてサイクリックに行う。1[CO及びH2O吸着ステップ]:上記所定圧力0.9MPaGに昇圧された改質ガスBを第1のPSA吸着塔2aに導入し、CO及びH2OをそれぞれCO吸着剤及びH2O吸着剤により除去し、CO及びH2O除去ガスを回収し、さらに前記CO及びH2O除去ガスを第2のPSA吸着塔3aへ導入する弁PU-3A、弁PU-4A:閉、弁PU-1A、弁PU-2A、弁V10:開。2[均圧ステップ]:上記CO及びH2O吸着ステップを終了し、第1のPSA吸着塔2aのガスの一部をCO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップの終了した第1のPSA吸着塔2cに移送する。ここで、例えば、第1のPSA吸着塔2aを0.9MPaGでCO及びH2O吸着操作を行った場合、第1のPSA吸着塔2aのCO吸着剤及びH2O吸着剤は減圧下で再生するため、本ステップで第1のPSA吸着塔2a、2cの内圧はいずれも約0.4MPaGとなる弁V18、PU-1A、PU-2A、PU-3A、PU-1C、PU-2C、PU-3C:閉、PU-4A、PU-4C:開。また、この均圧ステップの間に、水素貯蔵タンク5c内の水素以外の不要ガスをオフガスEとして排気し弁V18、V19、PW-2A、PW-2B、PW-1C:閉、弁V20、PW2C:開、その後に水素吸蔵合金に吸蔵された水素を上記所定温度かつ所定圧力下で水素貯蔵タンク5c内に放出し水素放出ステップ、次の水素供給に備える。3[第1減圧ステップ]:均圧ステップの終了した第1のPSA吸着塔2aの内圧を常圧付近例えば、0.1MPaGまで減圧する弁PU-1A、PU-2A、PU-4A:閉、弁V16、PU-3A:開。4[第2減圧ステップ]:常圧付近の圧力まで減圧した第1のPSA吸着塔2aをさらに真空ポンプ6を用いて負圧例えば、-0.05MPaG以下まで減圧する弁PU-1A、PU-2A、PU-4A:閉、弁V17、PU-3A:開。5[CO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップ]:第1のPSA吸着塔2aを減圧した状態で水素貯蔵タンク5c内の水素を第1のPSA吸着塔2a内のCO吸着剤及びH2O吸着剤の再生用洗浄ガスとして流し、CO吸着剤及びH2O吸着剤を再生する弁V10、PU-1A、PU-2A、PW-2A、PW-2B、PW-1C:閉、弁V17、PU-3A、PU-4A、V18、PW-2C:開。6[均圧ステップ]:CO吸着剤及びH2O吸着剤の再生が終了した第1のPSA吸着塔2aにCO及びH2O吸着ステップの終了した第1のPSA吸着塔2b内のガスの一部を移送する弁V18、PU-1A、PU-2A、PU-3A、PU-1B、PU-2B、PU-3B:閉、弁PU-4A、PU-4B:開。また、この均圧ステップの間に、水素貯蔵タンク5a内の水素以外の不要ガスをオフガスEとして排気し弁V18、V19、PW-1A、PW-1B、PW-2B、PW-1C、PW2C:閉、弁V20、PW-2A:開、その後に水素吸蔵合金に吸蔵された水素を上記所定温度かつ所定圧力下で水素貯蔵タンク5a内に放出し水素放出ステップ、次の水素供給に備える。7[第1の昇圧ステップ]:第1のPSA吸着塔2a内に水素貯蔵タンク5a内の水素を昇圧用ガスとして供給し、第1のPSA吸着塔2a内の圧力をCO及びH2O吸着を行なうための上記所定圧力まで昇圧する弁V10、PU-1A、PU-2A、PU-3A、PW-1A、PW-2B、PW-2C:閉、弁V18、PU-4A、PW-2A:開。8上記1から7の操作ステップを繰り返し、CO及びH2O吸着除去、CO吸着剤及びH2O吸着剤再生並びに第1のPSA吸着塔内の昇圧を繰り返す。次に、上記第1の除去工程の後工程である第2の除去工程におけるCO及びH2O以外の不要ガス吸着除去、CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生及び第2のPSA吸着塔内の昇圧の各操作手順を具体的に説明する。なお、以下においては第2のPSA吸着塔3aの操作手順のみについて説明するが、運転は下記表2のタイムテーブルに示すように、第2のPSA吸着塔3a、3b、3cの3塔を用いてサイクリックに行う。11[CO及びH2O以外の不要ガス吸着ステップ]:上記第1の除去工程で得られたCO及びH2O除去ガスを第2のPSA吸着塔3aへ導入し、CO及びH2O以外の不要ガスをCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤により除去し、高純度水素を回収し、さらに前記高純度水素をバッファタンク4内に一時貯蔵するとともに製品水素Cを得る弁PV-3A、弁PV-4A、PV-5A:閉、弁V10、PV-1A、弁PV-2A:開。12[均圧ステップ]:上記CO及びH2O以外の不要ガス吸着ステップを終了し、第2のPSA吸着塔3aのガスの一部をCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップの終了した第2のPSA吸着塔3cに移送する。ここで、例えば、第2のPSA吸着塔3aを0.9MPaGでCO及びH2O以外の不要ガス吸着操作を行った場合、第2のPSA吸着塔3aのCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤は減圧下で再生するため、本ステップで第2のPSA吸着塔3a、3cの内圧はいずれも約0.4MPaGとなる弁V11、PV-1A、PV-2A、PV-3A、PV-5A、PV-1C、PV-2C、PV-3C、PV-5C:閉、PV-4A、PV-4C:開。また、この均圧ステップの間に、水素貯蔵タンク5c内の水素以外の不要ガスをオフガスEとして排気し弁V18、V19、PW-2A、PW-2B、PW-1C:閉、弁V20、PW2C:開、その後に水素吸蔵合金に吸蔵された水素を上記所定温度かつ所定圧力下で水素貯蔵タンク5c内に放出し水素放出ステップ、次の水素供給に備える。13[第1減圧ステップ]:均圧ステップの終了した第2のPSA吸着塔3aの内圧を常圧付近例えば、0.1MPaGまで減圧するとともに、オフガスDを水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンク5aへ導入し、オフガスD中の水素を所定温度例えば、20°Cかつ所定圧力例えば、0.1MPaG下で水素吸蔵合金に吸蔵させ水素吸蔵ステップる弁PV-1A、PV-2A、PV-4A、PV-5A、PW-2A、PW-1B、PW-2B、PW-1C、PW2C:閉、弁V14、PV-3A、PW-1A:開。14[第2減圧ステップ]:常圧付近の圧力まで減圧した第2のPSA吸着塔3aをさらに真空ポンプ7を用いて負圧例えば、-0.05MPaG以下まで減圧するとともに、オフガスDを水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンク5aへ導入し、オフガスD中の水素を所定温度例えば、20°Cかつ所定圧力例えば、0.1MPaG下で水素吸蔵合金に吸蔵させ水素吸蔵ステップる弁PV-1A、PV-2A、PV-4A、PV-5A、PW-2A、PW-1B、PW-2B、PW-1C、PW2C:閉、弁V15、PV-3A、PW-1A:開。15[CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ]:第2のPSA吸着塔3aを減圧した状態でバッファタンク4内の高純度水素及び水素貯蔵タンク5c内の水素を第2のPSA吸着塔3a内のCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガスとして流し、CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤を再生するとともに、オフガスDを水素吸蔵合金が充填された水素貯蔵タンク5aへ導入し、オフガスD中の水素を上記所定温度かつ所定圧力下で水素吸蔵合金に吸蔵させ水素吸蔵ステップる弁V18、V20、PV-1A、PV-2A、PV-4A、PW-2A、PW-1B、PW-2B、PW-1C:閉、弁V12、V13、V15、V19、PV-5A、PV-3A、PW-1A、PW2C:開。16[均圧ステップ]:CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生が終了した第2のPSA吸着塔3aにCO及びH2O以外の不要ガス吸着ステップの終了した第2のPSA吸着塔3b内のガスの一部を移送する弁V11、PV-1A、PV-2A、PV-3A、PV-5A、PV-1B、PV-2B、PV-3B、PV-5B:閉、弁PV-4A、PV-4B:開。また、この均圧ステップの間に、水素貯蔵タンク5a内の水素以外の不要ガスをオフガスEとして排気し弁V18、V19、PW-1A、PW-1B、PW-2B、PW1C、PW2C:閉、弁V20、PW-2A:開、その後に水素吸蔵合金に吸蔵された水素を上記所定温度かつ所定圧力下で水素貯蔵タンク5a内に放出し水素放出ステップ、次の水素供給に備える。17[第2の昇圧ステップ]:第2のPSA吸着塔3a内にバッファタンク4内の高純度水素及び水素貯蔵タンク5a内の水素を昇圧用ガスとして供給し、第2のPSA吸着塔3a内の圧力をCO及びH2O以外の不要ガス吸着を行なうための上記所定圧力まで昇圧する弁V18、V20、PV-1A、PV-2A、PV-3A、PV-4A、PW-1A、PW-1B、PW-2B、PW-1C、PW-2C:閉、弁V12、V13、V19、PV-5A、PW-2A:開。18上記11から17の操作ステップを繰り返し、CO及びH2O以外の不要ガス吸着除去、CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生及び第2のPSA吸着塔内の昇圧を繰り返す。本実施形態では、CO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップ並びに第1の昇圧ステップを有した第1の除去工程において、いずれかの水素貯蔵タンク5a、5b、5c内の水素をCO吸着剤及びH2O吸着剤の再生用洗浄ガス並びに第1のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用い、CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ並びに第2の昇圧ステップを有した第2の除去工程において、バッファタンク4内の高純度水素及びいずれかの水素貯蔵タンク5a、5b、5c内の水素をCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス並びに第2のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用いる例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではない。すなわち、本発明の技術思想を満足させるためには、CO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップ並びに第1の昇圧ステップを有した第1の除去工程において、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記水素貯蔵タンク内の水素を前記CO吸着剤及びH2O吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第1のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用い、CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ並びに第2の昇圧ステップを有した第2の除去工程において、前記バッファタンク内の高純度水素及び前記水素貯蔵タンク内の水素の内の少なくとも前記バッファタンク内の高純度水素を前記CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス並びに前記第2のPSA吸着塔の昇圧用ガスとして用いればよい。これにより、少なくともオフガスD中の水素が活用され、製品水素の損失を低減させるとともに、改質ガスから高い回収率で高純度水素を回収できる。ただし、本実施形態のような構成を採用することにより、上記第1の除去工程では前記バッファタンク内の高純度水素すなわち、製品水素を使用する必要がなく、かつ、上記第2の除去工程では前記バッファタンク内の高純度水素すなわち、製品水素の使用量を低減できるため、製品水素の損失をさらに低減させ、改質ガスからより高い回収率で高純度水素を回収するのに好適である。また、本実施形態においては、第1の除去工程において、COとともにH2Oを吸着除去し、第2の除去工程において、CO及びH2O以外の不要ガスを吸着除去する例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、第1の除去工程において、COを吸着除去し、第2の除去工程において、CO以外の不要ガスを吸着除去する構成であっても構わない。ただし、本実施形態のような構成すなわち、第1の除去工程において、COとともにH2Oを吸着除去する構成を採用することにより、水素貯蔵タンクに充填された水素吸蔵合金の劣化がさらに抑えられるため、製品水素の損失を低減させながら、高純度水素を長期間に亘って高い回収率で得られる。なお、上述した第1の除去工程におけるCOとともにH2Oを吸着除去とは、COとH2Oを吸着除去できる吸着工程を経るという趣旨であり、必ずしもCOとH2Oをそれぞれ完全に除去することに限定されるものではない。また、上述した第2の除去工程におけるCO及びH2O以外の不要ガスを吸着除去とは、この不要ガスを吸着除去できる吸着工程を経るという趣旨であり、必ずしも前記不要ガスを完全に除去することに限定されるものではない。また、上述した第1の除去工程におけるCOを吸着除去とは、COを吸着除去できる吸着工程を経るという趣旨であり、必ずしもCOを完全に除去することに限定されるものではない。また、上述した第2の除去工程におけるCO以外の不要ガスを吸着除去とは、この不要ガスを吸着除去できる吸着工程を経るという趣旨であり、必ずしも前記不要ガスを完全に除去することに限定されるものではない。また、本実施形態においては、第1のPSA装置2、第2のPSA装置3のそれぞれにおいて、3塔を有する例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、第1のPSA装置2、第2のPSA装置3のそれぞれにおいて、2塔または4塔以上の構成でもよい。ただし、2塔で構成する場合は、均圧操作ができず、高圧化したガスの圧力エネルギを有効に回収できないので、3塔以上で構成するのが推奨される。また、本実施形態においては、水素貯蔵部5に関しても3つの水素貯蔵タンクを有する例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、少なくとも複数の水素貯蔵タンクを有すればよい。なお、本実施形態においては、第2の除去工程における第1減圧ステップ、第2減圧ステップ及びCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップのいずれのステップにおいてもオフガスDを水素貯蔵タンク5aへ導入する例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、少なくともCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップにおけるオフガスDを水素貯蔵タンク5aへ導入する構成であればよい。また、本実施形態においては、CO吸着剤として、アルミナにハロゲン化銅Iとしての塩化銅Iが担持された材料を用いた例について説明したが、必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、CO吸着剤としては、シリカ、アルミナ、活性炭、グラファイトおよびポリスチレン系樹脂よりなる群から選択される1種以上の担体に、ハロゲン化銅Iおよび/もしくはハロゲン化銅IIを担持させた材料、またはこの材料を還元処理したものが好適に用いられる。ただし、本実施形態で用いたアルミナ担体に塩化銅Iを担持した材料はCOに対する選択性が高く推奨される。実施例本発明の効果を確認するため、図1に示すPSA方式高純度水素製造装置上記本実施形態に同じを用いて水素精製実験高純度水素製造実験を行った。改質用原料Aはメタノールであり、このメタノールを改質装置1で改質した改質ガスBの組成は、H2:70.3、H2O:6.2、CO:0.9、CO2:22.5、CH4:0.1である。また、第1、第2の除去工程における操作手順は、上述した本実施形態に同じであるすなわち、上記表1、表2に従う。<上記表1における各ステップの時間>CO及びH2O吸着ステップ:5分均圧ステップ:10秒第1減圧ステップ:50秒第2減圧ステップ:3分CO吸着剤及びH2O吸着剤再生ステップ:1分均圧ステップ:10秒第1の昇圧ステップ:4分50秒<上記表2における各ステップの時間>CO及びH2O以外の不要ガス吸着ステップ:5分均圧ステップ:10秒第1減圧ステップ:50秒第2減圧ステップ:3分CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤再生ステップ:1分均圧ステップ:10秒第2の昇圧ステップ:4分50秒<使用吸着剤>H2O吸着剤:活性アルミナユニオン昭和製:品番D-201CO吸着剤:アルミナに塩化銅Iを担持当社と関西熱化学の共同開発品CO及びH2O以外の不要ガス吸着剤:活性炭日本エンバイロケミカル製:品番G2X<使用水素吸蔵合金>AB5系水素吸蔵合金比較例比較例が、上記実施例に対して異なるのは、何よりも水素貯蔵部5を有さない点にある。また、比較例においては、第1の除去工程におけるCO吸着剤及びH2O吸着剤の再生用洗浄ガスとして第2のPSA装置3のオフガスDを用い、第1のPSA装置2の各PSA吸着塔の昇圧用ガスとしてバッファタンク4内の高純度水素製品水素Cのみを用い、さらに第2の除去工程におけるCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス及び第2のPSA装置3の各PSA吸着塔の昇圧用ガスとして共にバッファタンク4内の高純度水素製品水素Cのみを用いる点が、上記実施例と異なる。但し、第1、第2の除去工程の運転タイムテーブルは、基本的に上記表1及び表2に同じである。また、ここに記載した条件以外は、原則として上記実施例に同じである。実験結果実施例、比較例における高純度水素99.999の回収率は、それぞれ90.5、80.2であった。このように実施例の回収率が比較例の回収率に比べて10.3も向上したのは、オフガスD中の水素が有効に活用されたことに起因する。特に、本実施例においては、第1のPSA装置2の各PSA吸着塔2a、2b、2cの昇圧用ガスとして、バッファタンク4内の高純度水素製品水素Cを用いることなく、オフガスD中から抽出した水素貯蔵タンク5a、5b、5c内の水素が活用されたこと、並びに、第2の除去工程におけるCO及びH2O以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス及び第2のPSA装置3の各PSA吸着塔3a、3b、3cの昇圧用ガスとして、オフガスD中から抽出した水素貯蔵タンク5a、5b、5c内の水素も活用されたことにより、バッファタンク4内の高純度水素製品水素Cの使用量が大幅に低減したことの作用効果によるところ大である。但し、第1の除去工程におけるCO吸着剤の再生用洗浄ガス並びに第1のPSA吸着塔2a、2b、2cの昇圧用ガスとして、バッファタンク4内の高純度水素及び水素貯蔵タンク5a、5b、5c内の水素の内の少なくとも水素貯蔵タンク5a、5b、5c内の水素を用い、第2の除去工程におけるCO以外の不要ガス吸着剤の再生用洗浄ガス及び第2のPSA装置3の各PSA吸着塔3a、3b、3cの昇圧用ガスとして、バッファタンク4内の高純度水素及び水素貯蔵タンク5a、5b、5c内の水素の内の少なくともバッファタンク4内の高純度水素を用いる構成を採用した場合であれば、上記実施例のような作用効果にまでは到達しないまでも、本発明の作用効果は奏するすなわち、製品水素の損失を低減させるとともに、改質ガスから高い回収率で高純度水素を回収できる。。