"流路を有し、この流路の内部と外部とを連通する流路開口を封止用フィルムによって封止した検査チップに対し送液を行う送液装置であって、先端に開口を有し、この開口から前記流路に液体を吐出可能又は吸引可能なノズルと、前記検査チップを着脱できるように保持可能な保持部と、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で、前記ノズルの先端が前記流路開口を向いた姿勢で当該ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる往復移動部と、前記往復移動部を制御する制御部と、を備え、前記ノズルは、その外径が前記先端に向って縮径するような形状を先端側に有し、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内へ差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込むことを特徴とする送液装置。前記ノズルに加わる当該ノズルの移動方向の負荷を検出する負荷検出部をさらに備え、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込むときに、前記負荷検出部により検出される負荷に基づいて所定の位置まで前記ノズルを差し込み、その後、前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込むことを特徴とする請求項1に記載の送液装置。前記制御部は、前記ノズルを貫通させることにより開口した前記封止用フィルムの開口周縁部から当該ノズルの先端までの距離が所定の距離より大きくなるように当該ノズルを前記流路開口から差し込み、前記所定の距離は、前記ノズルの先端の内周面と外周面との間の距離であることを特徴とする請求項1又は2に記載の送液装置。前記ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる方向と直交する方向に移動させる直交方向移動部をさらに備え、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記直交方向移動部により前記ノズルを前記流路開口と対応する位置に移動させ、前記往復移動部により前記流路開口と対応する位置のノズルを前記検査チップに接近又は離間させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の送液装置。前記ノズルの先端の外径は、前記検査チップの流路における流路開口からの当該ノズルの差し込み方向の深さよりも小さいことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の送液装置。外径が先端に向って縮径するような形状を有するノズルにより液体が注入され又は吸引される検査チップであって、流路を有し、当該流路の内部と外部とを連通する流路開口がその表面に設けられる検査チップ本体と、前記流路開口を封止する封止用フィルムと、を備え、前記封止用フィルムは、前記ノズルをその先端から所定の位置まで貫通させたときに、当該封止用フィルムにおける前記ノズルを囲む部位が当該ノズルの外周面と密着可能な高延性及び低弾性を有することを特徴とする検査チップ。前記封止用フィルムの延性は100以上で且つ弾性率は0.02GPA~1.5GPAであることを特徴とする請求項6に記載の検査チップ。前記封止用フィルムは、前記高延性を有する第1の層と、遮光性を有し且つ前記第1の層よりも延性の低い第2の層とを含む多層膜であることを特徴とする請求項6又は7に記載の検査チップ。以下、本発明の一実施形態について、添付図面を参照しつつ説明するが、先ず、図1に基づいて検査チップ10を説明し、次に、図2~図6に基づいて、送液装置20について説明する。本実施形態に係る検査チップ10は、抗原抗体反応等による生体物質の検査分析等に用いられる。この検査チップ10は、流路11を有する。送液装置20により注入される液体等がこの流路11内を流れる。具体的に、検査チップ10は、検査チップ本体12と封止用フィルム17とを備える。検査チップ本体12は、前記の流路11を有し、透明な樹脂やガラスにより形成される。本実施形態の検査チップ本体12は、屈折率の高い樹脂やガラスにより形成される。具体的には、検査チップ本体12は、PCポリカーボネイトやPMMAアクリルにより形成される。流路11は、反応部13と、複数の連通部14とを有する。反応部13は、検査チップ本体12の内部において所定の方向図1においては検査チップ本体12の上面12aに沿った方向に延びる。各連通部14は、反応部13の両端において当該反応部13と検査チップ本体12の外部とを連通する。具体的に、反応部13は、その内部に反応物質15を有する。この反応物質15は、反応部13流路11を画定する周壁面に付着している。そのため、この流路11に液体が流れると、この液体が反応物質15と接しつつ流れる。本実施形態の検査チップ10では、薬液群が送液装置20のノズル22から反応部13内に吐出され、反応物質15の反応促進反応停止洗浄等がこの薬品群によって行われる。その後、反応物質15が光学的に検査される。この反応物質15は、例えば、抗体である。各連通部14は、反応部13の両端から検査チップ本体12の上面12aに向ってそれぞれ延び、検査チップ本体12の上面表面12aに開口する流路開口16を介して検査チップ本体12の外部と連通する。この連通部14の長さL図1における上下方向の長さは、送液装置20におけるノズル22の先端の外径D1図5A参照よりも大きい。本実施形態の連通部14の長さLは、2~3mmである。封止用フィルム17は、流路開口16を封止する。この封止用フィルム17は、気密性を有する。本実施形態の封止用フィルム17は、検査チップ本体12の上面12aにおいてその全域を覆うように設けられているが、これに限定されない。封止用フィルム17は、少なくとも、流路開口16を封止できる領域に設けられていればよい。このような領域に封止用フィルム17が設けられることにより、流路11が密封される。また、封止用フィルム17は、所定の延性及び弾性を有する。本実施形態の封止用フィルム17は、多層フィルムである。詳しくは、封止用フィルム17は、表面側から順に第1~第3の層17a,17b,17cが積層された三層構造を有する。各層の厚さは、第1の層17aが20~100μmであり、第2の層17bが2~10μmであり、第3の層17cが10~100μmである。尚、送液装置20のノズル22が貫通できるように、封止用フィルム17全体の厚さは、50~200μmが好ましく、50~100μmがより好ましい。第1の層17aは、封止用フィルム17をノズル22が貫通したときに、封止用フィルム17とノズル22との境目における密閉性を確保するための層である。具体的に、第1の層17aは、封止用フィルム17に空けられた穴を囲う部位開口周縁部とノズル22の外周面22aとが密着することにより、封止用フィルム17とノズル22との境目における密閉性を確保する。詳しくは、第1の層17aは、低弾性で且つ高延性を有する膜例えば、延性が100以上で且つ弾性率が0.02GPA~1.5GPAの膜である。この第1の層17aは、PEポリエチレン、LDPE低密度ポリエチレン、LLDPE直鎖状低密度ポリエチレン、EVAエチレン酢酸ビニル共重合体等により形成されている。第2の層17bは、遮光性を有する層である。本実施形態の第2の層17bは、アルミ薄膜により形成されている。第3の層17cは、第1の層17aと同様に、低弾性で且つ高延性を有する膜である。本実施形態の第3の層17cは、第1の層17aと同一の素材により形成されている。尚、第3の層17cは、第1の層17aと異なる素材により形成されてもよい。送液装置20は、ノズル22と、ポンプ24と、昇降部往復移動部30と、負荷検出部26と、水平方向移動部直交方向移動部40と、保持部28と、制御部50とを備える図2参照。また、送液装置20は、各種薬液液体が貯留された複数の薬液容器図示省略と、薬液等液体を廃棄するための廃液容器図示省略とを備える。ノズル22は、先端に開口23を有し、ポンプ24が駆動することにより開口23から検査チップ10の流路11に液体が吐出され又は吸引される。このノズル22は、その外径が先端に向って縮径するような形状を先端側に有する。具体的に、ノズル22は、封止用フィルム17との密着性を高めるためにポリプロピレン等の弾性部材により形成さる。ノズル22の先端側は、テーパ形状に形成されている。このテーパ形状の部位は、先端に向って一定の割合で縮径し、即ち、傾斜角が一定である。具体的に、ノズル22の先端側は、傾斜角が軸方向に対して1°~15°、好ましくは、2°~5°となるように形成されている。ノズル22先端の外径D1図5A参照は、検査チップ10の流路11における連通部14の長さLよりも小さい。本実施形態のノズル22先端の外径D1は、φ1mm程度である。また、このノズル22先端の内径開口径D2図5A参照はφ0.5mmである。ポンプ24は、その吐出部24aにノズル22が接続され、このノズル22を通じて液体を吐出し又は吸引する。このポンプ24は、制御手段50と接続され、この制御手段50によって制御される。昇降部30は、ノズル22の先端が下方即ち、保持部28に保持された状態の検査チップ10の上面を向いた姿勢で当該ノズル22を昇降Z軸方向に往復移動させる。本実施形態の昇降部30は、ノズル22をポンプ24と共にZ軸方向に移動させる。具体的に、昇降部30は、リニアステージ31とZ軸モータ駆動モータ35とを備える。リニアステージ31は、送りネジ32と、上下方向に延びるガイド部材33と、これら送りネジ32及びガイド部材33にそれぞれ係合し、ポンプ24を所定の範囲内で上下動可能に保持する移動台34とを備える。Z軸モータ35は、リニアステージ31の送りネジ32を回転させることにより、移動台34をガイド部材33に沿ってZ軸方向に移動させる即ち、昇降させる。本実施形態のZ軸モータ35は、パルスモータである。このZ軸モータ35は、制御部50に接続され、この制御部50によって制御される。負荷検出部26は、ノズル22に加わるZ軸方向の負荷を検出する。本実施形態の負荷検出部26は、ロードセルであり、Z軸方向においてポンプ24と移動台34とに挟まれた状態となるように設置される。ポンプ24が移動台34に所定の範囲内で上下動可能に保持されているため、ノズル22の先端にZ軸方向上向きの負荷が加わると、ポンプ24によって負荷検出部26が移動台34に押し付けられる。この押付けられる力に基づいて、負荷検出部26がノズル22に加わる負荷を検出する。負荷検出部26は、制御部50詳しくは、Z軸方向制御部53と接続され、検出した負荷を負荷信号として出力する。尚、負荷検出部26は、ノズル22に加わるZ軸方向の負荷を検出できればよく、圧電素子等でもよい。また、負荷検出部26は、Z軸モータ35の電流値から負荷を求める構成でもよい。水平方向移動部40は、ノズル22を水平方向本実施形態ではX軸方向:図2における左右方向、即ち、Z軸方向と直交する方向に移動させる。本実施形態の水平方向移動部40は、ノズル22、ポンプ24及び昇降部30を一緒にX軸方向に移動させる。具体的に、水平方向移動部40は、リニアステージ41とX軸モータ駆動モータ45とを備える。リニアステージ41は、送りネジ42と、X軸方向に延びるガイド部材43と、これら送りネジ42及びガイド部材43にそれぞれ係合し、昇降部30及びガイド部材33を保持する移動台44とを備える。X軸モータ45は、リニアステージ41の送りネジ42を回転させることにより、移動台44をガイド部材43に沿ってX軸方向に移動させる。本実施形態のX軸モータ45は、パルスモータである。このX軸モータ45は、制御部50に接続され、この制御部50によって制御される。保持部28は、検査チップ10を着脱できるように保持可能な部位である。本実施形態の保持部28は、流路開口16が上方を向き且つ検査チップ本体12の上面12aに開口する2つの流路開口16がノズル22のX軸方向の軌道下にそれぞれ位置するように、検査チップ10を保持する。薬液容器及び廃液容器は、ノズル22を上方から差し込めるようにそれぞれ上端部が開口する容器であり、ノズル22のX軸方向の軌道下にそれぞれ配置されている。制御部50は、送液装置20の各構成の制御を行い、ノズル位置制御部51と、ポンプ制御部54と、記憶部55とを備える図3参照。ノズル位置制御部51は、ノズル22の位置を制御する。詳しくは、ノズル位置制御部51は、保持部28に保持された状態の検査チップ10に対するノズル22の相対位置を制御する。ノズル位置制御部51は、X軸方向制御部52と、Z軸方向制御部53とを有する。X軸方向制御部52は、水平方向移動部40を制御してノズル22のX軸方向の位置を制御する。Z軸方向制御部53は、昇降部30を制御してノズル22のZ軸方向の位置を制御する。具体的に、X軸方向制御部52は、水平方向移動部40のX軸モータ45を駆動パルス数によって制御し、移動台44をガイド部材43に沿ってX軸方向に移動させる。詳しくは、X軸方向制御部52は、各薬液容器図示省略及び廃液容器図示省略の各開口の上方位置と、各流路開口16の上方位置と、にノズル22が移動するようにX軸モータ45を制御する。より詳しくは、X軸方向制御部52は、ポンプ24が薬液容器からノズル22を通じて薬液を吸引するときは、当該ノズル22を当該薬液容器の開口の上方位置に移動させる。また、X軸方向制御部52は、一方の流路開口16を封止する封止用フィルム17に空気穴を空けるときは、当該ノズル22を一方の流路開口16の上方位置に移動させる。また、X軸方向制御部52は、ポンプ24が他方の流路開口16からノズル22を通じて流路11内に薬液を吐出し又は吸引するときは、当該ノズル22を他方の流路開口16の上方位置に移動させる。また、X軸方向制御部52は、ポンプ24が廃液容器にノズル22を通じて薬液を廃棄するときは、当該ノズル22を廃液容器の開口の上方位置に移動させる。Z軸方向制御部53は、X軸方向制御部52によりノズル22がX軸方向の所定の位置に移動した後、昇降手段30のZ軸モータ35を駆動パルス数によって制御し、移動台34をガイド部材33に沿ってZ軸方向に移動させる。詳しくは、Z軸方向制御部53は、ノズル22がX軸方向に移動するときには当該ノズル22が検査チップ10、薬液容器、及び廃液容器と干渉しない高さ位置退避位置までノズル22を上昇させる。また、Z軸方向制御部53は、ノズル22がX軸方向に沿って薬液容器の開口や廃液容器の開口の上方位置、又は流路開口16の上方位置に移動したときに当該ノズル22を降下させる。より詳しくは、Z軸方向制御部53は、ノズル22がX軸方向に沿って薬液容器の開口の上方位置に移動したときは、ノズル22を所定の高さ位置まで降下させる。これにより、ノズル22の先端が薬液容器内に貯留されている薬液内に差し込まれる。そして、Z軸方向制御部53は、ポンプ24がノズル22を通じて薬液を吸引した後、ノズル22を退避位置まで上昇させる。また、Z軸方向制御部53は、ノズル22がX軸方向に沿って廃液容器の開口の上方位置に移動したときは、ノズル22を降下させる。そして、Z軸方向制御部53は、ノズル22の先端側が開口から廃液容器内に差し込まれた状態となったときにノズル22の降下を停止させる。Z軸方向制御部53は、ポンプ24がノズル22を通じて廃棄する薬液を吐出した後、ノズル22を退避位置まで上昇させる。また、Z軸方向制御部53は、検査チップ10の流路11内に薬液を吐出し又は吸引するためにノズル22がX軸方向に沿って他方の流路開口16の上方位置に移動したときは、負荷検出手段26により検出される負荷に基づいて所定の位置までノズル22を降下させる。これにより、ノズル22の先端部が流路開口16から流路11内へ差し込まれる。Z軸方向制御部53は、ポンプ24がノズル22を通じて薬液の吐出及び吸引を行った後、退避位置までノズル22を上昇させる。その後、Z軸方向制御部53は、再度、ノズル22を流路開口16から差し込む場合には、差し込む毎に当該ノズル22の先端を流路開口16からより深い位置まで差し込む。より詳細には、Z軸方向制御部53は、Z軸モータ35を制御することにより、封止用フィルム17に封止された流路開口16に向けてノズル22を降下させる図4A参照。ノズル22が降下すると、先ず、ノズル22の先端が封止用フィルム17に当接する。さらにノズル22が降下し続けると、封止用フィルム17がノズル22の先端によって押されて徐々に伸びる図4B参照。やがて、ノズル22が封止用フィルム17を貫通する図4C参照。Z軸方向制御部53は、この貫通したときのZ軸方向のノズル22の位置貫通位置を負荷検出手段26において検出した負荷の変化から特定する。ここで、負荷検出部26によって検出される負荷の変化について図5A乃至図6を参照しつつ説明する。この検出される負荷は、ノズル22の先端が封止用フィルム17に当接してからノズル22が停止するまでのものである。ノズル22の先端が封止用フィルム17に当接した後、さらにノズル22が降下を続けることにより封止用フィルム17が徐々に伸び始める図5A参照。これと同時に、ノズル22に加わる負荷が大きくなる。さらにノズル22が降下を続けると、多層フィルム封止用フィルム17の各層17a,17b,17cの中で最も伸び率の小さな第2の層本実施形態ではアルミ薄膜17bが破断する。このとき、第2の層17bは、ノズル22のエッジeと当接する部位から破断する図5B参照。これにより、負荷検出部26によって検出される負荷が急激に落ち込む。さらにノズル22が降下を続けると、高延性の第1及び第3の層17a,17cが伸び続ける図5C参照。この伸びに伴って負荷検出部26によって検出される負荷が僅かに増加する。やがて、第1及び第3の層17a,17cも伸び限界に達し、ノズル22のエッジeと当接した部位から破断する図5D参照。これにより、負荷検出部26によって検出される負荷が急激に落ち込む。ノズル22の先端側がテーパ形状であるため、さらにノズル22が降下を続けると、封止用フィルム17に空いた穴の開口周縁部がノズル22により押し広げられる図5E参照。これにより、負荷検出部26によって検出される負荷が僅かに増加する。Z軸方向制御部53は、前記のような負荷の変化に基づいてき、2回目の急激な負荷の落ち込みの後のノズル22の位置を貫通位置として特定する。Z軸方向制御部53は、この貫通位置から所定の距離だけノズル22を降下させた後、ノズル22の降下を停止させる。この所定の距離は、ノズル22の先端から薬液等を吸引したときに、弁状の破片17d図5D参照によってノズル22の先端の開口23が塞がれることを防ぐことができるような距離である。この弁状の破片17dは、ノズル22を封止用フィルムに貫通させたときに生じるものである。具体的に、図5Dに示す状態でノズル22が停止すると、ノズル22が薬液等を吸引したときに、弁状の破片17dが薬液の流れと共にノズル22の開口23に吸い寄せられる。これにより、開口23全体が弁状の破片17dにより塞がれる。これに対し、図5Eに示すように、ノズル22が貫通位置からさらに差し込まれる降下すると、ノズル22が薬液等を吸引するときに弁状の破片17dが開口23に吸い寄せられても、ノズル22の先端によって弁状の破片17dが途中で折り曲げられ、開口23が完全に塞がれることが防がれる。本実施形態の所定の距離は、ノズル22の先端の内周面と外周面との間の距離D3図5A参照よりも大きな距離である。尚、弁状の破片17dとは、開口周縁部にその一部が繋がった開口形状の破片である。この弁状の破片17dは、封止用フィルム17がノズル22のエッジeに沿って破断するときに一部を残して破断することによって形成される。Z軸方向制御部53は、この停止したZ軸方向の位置を初回停止位置として記憶部55に格納する。そして、Z軸方向制御部53は、ノズル22からの薬液の吐出又は吸引が終わると、ノズル22を退避位置まで上昇させる。Z軸方向制御部53は、同じ流路開口即ち、前記のノズル22の降下により封止用フィルム17に穴が空いた状態の流路開口16にノズル22を差し込むためにノズル22を退避位置から降下させるときは、記憶部55に格納された初回停止位置よりも下方位置までノズル22を降下させる図6参照。Z軸方向制御部53は、この位置を2回目の停止位置として記憶部55に格納する。Z軸方向制御部53は、ノズル22からの薬液の吐出又は吸引が終わると、ノズル22を退避位置まで上昇させる。Z軸方向制御部53は、さらに、同じ流路開口16にノズル22を差し込むためにノズル22を退避位置から降下させるときは、記憶部55に格納された2回目の停止位置よりも下方位置までノズル22を降下させる図6参照。Z軸方向制御部53は、この位置を3回目の停止位置として記憶部55に格納する。このように、Z軸方向制御部53は、同一の流路開口16にノズル22を複数回挿抜する場合、ノズル22を流路開口16から差し込む毎に当該ノズル22の先端を流路開口16からより深い位置まで差し込むように制御する。また、Z軸方向制御部53は、ノズル22が空気穴を空けるためにX軸方向に沿って移動して一方の流路開口16の上方位置に到達したときは、空気穴形成位置までノズル22を降下させる。この空気穴形成位置は、ノズル22が降下しているときに負荷検出手段26が検出するノズル22の負荷に基づいてZ軸方向制御部53によって決定される。この空気穴形成位置は、前記の初回停止位置よりも下方側の位置である。ノズル22の先端側がテーパ形状であるため、前記の初回停止位置よりも深くノズル22が流路開口16に差し込まれると、より大きな穴が封止用フィルム17に形成される。これにより、ノズル22が引き抜かれた状態のときに、封止用フィルム17に形成された穴が弁状の破片17dによって塞がれることを防いて空気穴としての機能を確保することができる。ポンプ制御部54は、ノズル位置制御部51によってノズル22が所定の位置まで移動したときに、ポンプ24を駆動することによってノズル22から薬液を吐出させ又は吸引させる。記憶部55は、ノズル位置制御部51詳しくは、Z軸方向制御部53から送られてくるノズル22の停止位置の情報を格納する部位である。以上のように構成される送液装置20は、図7及び図8も参照しつつ以下に説明されるように、検査チップ10において送液を行う。検査チップ10が送液装置20に設置される。このとき、ノズル22は、送液装置20の起動時に検査チップ10と干渉しない位置において待機している。送液装置20は、起動時に保持確認手段図示省略により、保持部28に検査チップ10が保持されていることを確認する。この確認後、制御部50のノズル位置制御部51詳しくは、X軸方向制御部52は、水平方向移動部40のX軸モータ45を駆動制御して、ノズル22を検査チップ10の一方の流路開口16の上方位置に移動させる。一方の流路開口16の上方位置にノズル22が到達すると、ノズル位置制御部51のZ軸方向制御部53は、昇降部30のZ軸モータ35を駆動制御して、ノズル22を流路開口16に向けて降下させる。この時点では、検査チップ10の複数の流路開口16全てが封止用フィルム17により封止されている。即ち、検査チップ10の流路11は密閉状態である。ノズル22が降下してノズル22の先端が封止用フィルム17に当接すると、負荷検出部26が負荷を検出し始める。Z軸方向制御部53は、ノズル22を降下させ続け、負荷検出部26によって検出される負荷に基づいてノズル22が封止用フィルム17を貫通する位置貫通位置を特定する図6参照。そして、Z軸方向制御部53は、この貫通位置から所定の距離だけ降下した位置である空気穴形成位置を決定する。Z軸方向制御部53は、この空気穴形成位置までノズル22を降下させる。そうすると、ノズル22の先端側がテーパ形状であるため、封止用フィルム17に空いた空気穴がノズル22によって押し広げられる。ノズル22が空気穴形成位置まで降下すると、封止用フィルム17の開口周縁部が弾性変形量以上に押し広げられる。これにより、ノズル22が引き抜かれても弁状の破片17d図5D参照によって塞がれることのない十分な大きさの空気穴が封止用フィルム17に形成される。尚、空気穴形成位置は、ノズル22のテーパの角度や封止用フィルム17の延性及び弾性に基づいて決定される。即ち、空気穴形成位置は、ノズル22が封止用フィルム17から引き抜かれたときに弁状の破片17dにより塞がれることのない大きさになるまでノズル22によって穴が押し広げられるような位置である。このように空気穴が形成されると、Z軸方向制御部53はノズル22を上昇させ、封止用フィルム17からノズル22を引き抜く。ノズル22が退避位置まで上昇すると、X軸方向制御部52は、ノズル22を他方の流路開口封止用フィルム17に穴が空いていない流路開口16の上方位置に移動させる。ノズル22が他方の流路開口16の上方位置に到達すると、Z軸方向制御部53は、昇降部30のZ軸モータ35を駆動制御して、ノズル22を流路開口16に向けて降下させるステップS1。ノズル22の先端が封止用フィルム17に当接すると、負荷検出部26がノズル22に加わる負荷の変化を検出し始めるステップS2。Z軸方向制御部53は、2回目の急激な負荷変動急激な負荷の落ち込みが生じるまで、ノズル22を降下させ続けるステップS3。Z軸方向制御部53は、2回目の急激な負荷変動の後のノズル22の位置をノズル22が封止用フィルム17を貫通した位置貫通位置と特定する。Z軸方向制御部53は、貫通位置を特定すると、この貫通位置からノズル22の降下距離の測定を開始するステップS4。Z軸方向制御部53は、ノズル22を貫通位置から所定の距離本実施形態では、ノズル22の先端の内周面と外周面との間の距離D3図5A参照だけ降下させた後ステップS5、Z軸モータ35を停止させるステップS6。Z軸方向制御部53は、Z軸モータ35を停止させた位置を初回停止位置として記憶部55に格納するステップS7。このように、ノズル22が貫通位置よりも下方の初回停止位置まで封止用フィルム17に差し込まれることにより、ノズル22を貫通させたときに生じた弁状の破片17dがノズル22の先端の開口23を塞ぐことを防ぐことができる。また、このようにノズル22が押し込まれることにより、封止用フィルム17の開口周縁部がノズル22の外周面22aにより押し広げられる。その結果、ノズル22と封止用フィルム17との境目におけるノズル22の外周面22aと封止用フィルム17の開口周縁部とが好適に密着する。これは、封止用フィルム17が高延性且つ低弾性であるためである。ノズル22の先端の外径D1が検査チップ10の連通部14の長さLよりも小さいことから、ノズル22を貫通させたときに生じる弁状の破片17dが、ノズル22の差し込み方向即ち、封止用フィルムの拡がる方向と直交する方向まで十分に開くことができる図4Cに示す状態。このため、弁状の破片17dが、ノズル22の開口23からの薬液等の吐出又は吸引の邪魔にならない。即ち、ノズル22の先端の外径D1が連通部14の長さLよりも大きい場合、弁状の破片17dがノズル22の差し込み方向まで開く前に連通部14の底にぶつかって開口23の前方に位置することになる。この場合、弁状の破片17dが邪魔をして、開口23からの薬液等の吐出及び吸引の効率が低下する場合がある。次に、制御部50のポンプ制御部54は、ノズル22内に仕込んでおいた薬液を流路11内に吐出させる。薬液は、流路11を流れて反応物質15と接触し、反応を開始する。反応を促進させるために、ポンプ制御部54は、ポンプ24によりノズル22を通じて流路11内の薬液の吸引と吐出とを繰り返す。このとき、ノズル22と封止用フィルム17との境目では、ノズル22の外周面22aと封止用フィルム17の開口周縁部とが密着しているため、密閉性が確保されている。このため、ノズル22からの薬液の吐出及び吸引が繰り返されることによって流路11内に圧力変化が生じても、液漏れが生じない。また、流路11のノズル22が挿入されている流路開口16と反対側の流路開口16には、前記の空気穴が形成されている。このため、ノズル22からの薬液の吐出及び吸引の際のポンプ24への負荷が抑えられる。このようにして送液装置20による検査チップ10における薬液液体の送液が行われる。ポンプ制御部54は、所定の時間が経過すると、ポンプ24を制御して流路11内の薬液を全て吸引する。前記所定の時間は、反応物質15と薬液との反応が終了すると予想される時間である。薬液を吸引し終わると、Z軸方向制御部53は、ノズル22を上昇させて、封止用フィルム17からノズル22を引き抜く。ノズル22が封止用フィルム17から引き抜かれると、X軸方向制御部52は、ノズル22を廃液容器の開口の上方位置まで移動させる。Z軸方向制御部53は、ノズル22が廃液容器の開口の上方位置に到達すると、ノズル22を降下させてその先端側を廃液容器内に差し込ませる。ポンプ制御部54は、ノズル22が廃液容器に差し込まれると、ポンプ24を制御し、ノズル22内の薬液を廃液容器内に吐出させる。この廃液容器内に吐出された薬液は、前記の反応物質と反応した後の薬液である。薬液の廃棄が終わると、Z軸方向制御部53がノズル22を退避位置まで上昇させる。その後、X軸方向制御部52がノズル22を所定の薬液容器の開口の上方位置に移動させる。そして、Z軸方向制御部53が、薬液容器内に貯留されている薬液内にノズル22の先端部が漬かるまでノズル22を降下させる。ノズル22が降下すると、ポンプ制御部54が、ポンプ24によってノズル22内に薬液容器内の薬液を吸引する。薬液が吸引されると、Z軸方向制御部53がノズル22を退避位置まで上昇させる。その後、X軸方向制御部52が、ノズル22を、再び、他方の流路開口16の上方位置まで移動させる。このとき、封止用フィルム17には穴が既に空いているので、Z軸方向制御部53は、前記のようにノズル22に加わる負荷に基づいて停止位置を求めるのではなく、記憶部55に格納されている前回の停止位置に基づいて今回の停止位置を求める。具体的には、Z軸方向制御部53は、昇降部30のZ軸モータ35を駆動制御してノズル22を流路開口16に向けて降下させるステップS11。Z軸方向制御部53は、ノズル22の降下距離の測定を開始するステップS12。Z軸方向制御部53は、初回停止位置から所定の距離だけ降下した位置までノズル22を降下させた後ステップS13、Z軸モータ35を停止させるステップS14。Z軸方向制御部53は、このZ軸モータ35を停止させた位置を2回目の停止位置として記憶部55に格納するステップS15。このように、Z軸方向制御部53がノズル22を前回よりも深く差し込むことにより、ノズル22と封止用フィルム17との境目の密閉性が確実に確保される。具体的に、水平方向移動部40は、どのような構成であっても停止位置精度を有している。このため、水平方向移動部40は、一旦、ノズル22を水平方向X軸方向に動かすと、同じ流路開口16の上方位置にノズル22を移動させても、ノズル22の位置が停止位置精度分だけずれることがある。このずれた状態でノズル22が降下し、封止用フィルム17に形成されている穴にノズル22が差し込まれても、この穴に対するノズル22のX軸方向の位置が僅かにずれている。このため、前回と同じ深さまでしかノズル22が穴に差し込まれない場合には、ノズル22と封止用フィルム17との境目に隙間が生じて密閉性が確保されない。そこで、Z軸方向制御部53がノズル22を封止用フィルム17の穴に前回よりも深く差し込む。これにより、ノズル22の傾斜角によって稼げるノズル外径の太り分が前記のズレ量停止位置精度程度のズレを超えるため、ノズル22と封止用フィルム17との境目においてノズル22の外周面22aと封止用フィルム17の開口周縁部とが密着する。その結果、ノズル22と封止用フィルム17との境目において密閉性が確保される。尚、ノズル22の前回の停止位置からの降下量は、ノズル22のテーパ形状部の傾斜角によって規定される。2回目の停止位置においてノズル22が停止すると、ポンプ制御部54がノズル22を通じて流路11内への薬液の吐出及び吸引を行い送液を行い、反応物質の反応停止を行う。ポンプ制御部54は、反応物質15と薬液との反応停止が終了すると、流路11内の薬液を全て吸引する。そして、Z軸方向制御部53がノズル22を上昇させて封止用フィルム17から引き抜く。次に、X軸方向制御部52が廃液容器の開口の上方位置までノズル22を移動させる。ノズル22が廃液容器の開口の上方位置に到達すると、Z軸方向制御部53がノズル22を降下させてその先端側を廃液容器内に差し込ませる。次に、ポンプ制御部54がノズル22内の薬液を廃液容器内に吐出させて廃棄する。薬液の廃棄が終わると、Z軸方向制御部53がノズル22を退避位置まで上昇させる。次に、X軸方向制御部52が前回とは別の薬液容器の開口の上方位置にノズル22を移動させる。Z軸方向制御部53がノズル22の先端部が薬液容器内に貯留されている薬液今回は洗浄液内に漬かるまでノズル22を降下させる。次に、ポンプ制御部54が薬液容器内の薬液洗浄液をノズル22内に吸引する。薬液洗浄液が吸引されると、Z軸方向制御部53が退避位置までノズル22を上昇させる。その後、X軸方向制御部52が、再び、他方の流路開口16の上方位置までノズル22を移動させる。この薬液のノズル22内への吸引、ノズル22の流路開口16の上方位置までの移動、封止用フィルム17の穴に前回よりも深くまで差し込まれるノズル22の降下、薬液の流路11への吐出及び吸引薬液液体の検査チップ10での送液、及び薬液の廃棄、のサイクルが所定の回数繰り返される。以上のような送液装置20によれば、検査チップ10が保持部28に保持された状態のときに検査チップ10の流路開口16へのノズル22の挿抜が複数回行われても、ノズル22が差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることにより、ノズル22が差し込まれる毎にノズル22によって封止用フィルム17に形成された穴が押し広げられる。これにより、ノズル22と封止用フィルム17との境目における密閉性が確保される。即ち、外径が先端に向って縮径するような形状をノズル22が有しているため、ノズル22が差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることによって封止用フィルム17の開口周縁部がノズル22により押し広げられる。これにより、ノズル22が封止用フィルム17に差し込まれる毎に封止用フィルム17の開口周縁部がノズル22の外周面22aに密着する。また、負荷検部26がノズル22に加わる当該ノズル22の移動方向の負荷を検出することによって、封止用フィルム17を貫通したときのノズル22の位置を検知することが可能となる。その結果、確実にノズル22の先端が流路11内に差し込まれる。尚、本発明の送液装置、及び検査チップは、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記実施形態の送液装置20では、水平方向移動部40は、ノズル22をX軸方向にしか移動できないが、ノズル22をY軸方向にも移動できるように構成されてもよい。ここで、Y軸方向は、X軸方向とZ軸方向とに直交する方向であり、図2において紙面と直交する方向である。このようにノズル22がX-Y方向に移動可能に構成されれば、検査チップ10の流路開口16の位置や数、薬液容器及び廃液容器の配置の自由度が向上する。また、流路開口16へのノズル22の挿抜方向は、限定されない。上記実施形態の送液装置20では、流路開口16が設けられた面が上を向くように検査チップ10が設置される。そして、ノズル22の先端が下を向いた状態でノズル22が上下に移動し、流路開口16へのノズル22の挿抜が行われる。しかし、これに限定されず、例えば、流路開口16が設けられた面が垂直となる例えば、図2において右向を向くように検査チップ10が設置される。そして、ノズル22の先端が水平且つ流路開口16側を向いた状態例えば、図2において先端を左に向けた状態で、ノズル22が水平方向例えば、図2において左右に往復動してもよい。また、上記実施形態の送液装置20では、ポンプ24が昇降部30の移動台34に保持され、ノズル22と共に移動する。しかし、これに限定されず、例えば、図9に示すように、ポンプ324が昇降部30や水平方向移動部40と離れた位置に配置されてもよい。この場合、ポンプ324とノズル22とがフレキシブル325な配管により接続され、ノズル22が移動台34に保持されたホルダー326によって保持される。また、上記実施形態では、制御部50に記憶部55が含まれているが、制御部50と別に記憶部60が設けられてもよい図9参照。また、送液装置20が組み込まれた装置の記憶部等が利用されてもよい。上記実施形態の検査チップ10では、封止用フィルム17は多層フィルムであるが、これに限定されない。例えば、封止用フィルムは、単層の高延性フィルムでもよい。封止用フィルムが高延性を有することにより、封止用フィルムにノズル22を貫通させたときに、ノズル22と封止用フィルムとの境目において密閉性が確保される。この場合、ノズル22が封止用フィルムを貫通するときに負荷検出部26が検出する負荷の変動は、図10に示すようになる。制御部50上記実施形態ではZ軸方向制御部53は、1回目の急激な負荷の落ち込み後のノズル22の位置を貫通位置と特定する。また、封止用フィルムの構成によって、負荷検出部26によって検知される負荷の変動曲線が図11ようになる場合がある。この場合、変位差し込み深さの増大に伴う負荷の変化の変曲点位置図11における第2の層破断位置において最も延び率の小さな第2の層例えば、アルミ層が破断する。そして、変曲点位置の後のピーク位置高延性膜破断位置においてノズル22が樹脂層を貫通し負荷が急激に減少する。制御部50はこのピーク位置を貫通位置として特定する。[実施の形態の概要]以上の実施形態をまとめると、以下の通りである。本実施形態に係る送液装置は、流路を有し、この流路の内部と外部とを連通する流路開口を封止用フィルムによって封止した検査チップに対し送液を行う送液装置であって、先端に開口を有し、この開口から前記流路に液体を吐出可能又は吸引可能なノズルと、前記検査チップを着脱できるように保持可能な保持部と、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で、前記ノズルの先端が前記流路開口を向いた姿勢で当該ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる往復移動部と、前記往復移動部を制御する制御部と、を備える。そして、前記ノズルは、その外径が前記先端に向って縮径するような形状を先端側に有し、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内へ差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込む。かかる構成によれば、検査チップが保持部に保持された状態のときに検査チップの流路開口へのノズルの挿抜が複数回行われても、ノズルが差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることにより、ノズル22が差し込まれる毎にノズル22によって封止用フィルム17に形成された穴が押し広げられる。これにより、ノズル22が封止用フィルム17に形成された穴に差し込まれる毎に、封止用フィルムの開口周縁部がノズルの外周面に密着した状態となる。上記の送液装置は、前記ノズルに加わる当該ノズルの移動方向の負荷を検出する負荷検出部をさらに備える。そして、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込むときに、前記負荷検出部により検出される負荷に基づいて所定の位置まで前記ノズルを差し込み、その後、前記ノズルを前記流路開口から流路内に差し込む毎に当該ノズルの先端を前記流路開口から前回より深い位置まで差し込むことが好ましい。このようにノズルに加わる当該ノズルの移動方向の負荷が検出されることによって封止用フィルムを貫通したときのノズルの位置が検知可能となる。その結果、ノズルが封止用フィルムを貫通してノズルの先端が流路内に確実に差し込まれる。前記制御部は、前記ノズルを貫通させることにより開口した前記封止用フィルムの開口周縁部から当該ノズルの先端までの距離が所定の距離より大きくなるように当該ノズルを前記流路開口から差し込み、前記所定の距離は、前記ノズルの先端の内周面と外周面との間の距離であることか好ましい。かかる構成によれば、ノズルが封止用フィルムを貫通したときに生じる開口形状の破片弁状の破片が、ノズル先端の開口を塞ぐのを防ぐことができる。具体的に、ノズルが封止用フィルムを貫通して生じた弁状の破片は、ノズルが流路内から液体を吸引したときに液体の流れによってノズル先端の開口に引き寄せられる。しかし、ノズルの先端が封止用フィルムの開口周縁部から前記ノズルの先端の内周面と外周面との間の距離よりも大きく差し込まれることによって、弁状の破片がノズルの開口全体を塞ぐことができなくなる。上記の送液装置は、前記ノズルを前記検査チップに接近又は離間させる方向と直交する方向に移動させる直交方向移動部をさらに備える。そして、前記制御部は、前記保持部に前記検査チップが保持された状態で前記直交方向移動部により前記ノズルを前記流路開口と対応する位置に移動させ、前記往復移動部により前記流路開口と対応する位置のノズルを前記検査チップに接近又は離間させることが好ましい。かかる構成によれば、検査チップの表面前記直交する方向に沿った面に複数の流路開口が設けられていても、各流路開口へのノズルの挿抜が可能になる。前記ノズルの先端の外径は、前記検査チップの流路における流路開口からの当該ノズルの差し込み方向の深さよりも小さいことが好ましい。かかる構成によれば、ノズルを貫通させたときに生じ且つ当該フィルムの開口周縁部にその一部が繋がった開口形状の破片弁状の破片が、ノズルの差し込み方向まで前記繋がっている部位を支点にして十分に開くことができる。これにより、弁状の破片がノズルの開口からの液体の吐出又は吸引の邪魔にならない。本実施形態に係る検査チップは、外径が先端に向って縮径するような形状を有するノズルにより液体が注入され又は吸引される検査チップであって、流路を有し、当該流路の内部と外部とを連通する流路開口がその表面に設けられる検査チップ本体と、前記流路開口を封止する封止用フィルムと、を備える。そして、前記封止用フィルムは、前記ノズルをその先端から所定の位置まで貫通させたときに、当該封止用フィルムにおける前記ノズルを囲む部位が当該ノズルの外周面と密着可能な高延性及び低弾性を有する。このような封止用フィルムが用いられれば、封止用フィルムへのノズルの挿抜を繰り返しても、ノズルが差し込まれる毎により深くまで差し込まれることにより、ノズルが封止用フィルムに差し込まれた状態における当該ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性が確保される。即ち、外径が先端に向って縮径するような形状のノズルが封止用フィルムに突き刺される場合、ノズルが差し込まれる毎にその先端がより深い位置まで差し込まれることによって封止用フィルムの開口周縁部がノズルにより押し広げられる。これにより、ノズルの挿抜が繰り返されても封止用フィルムの開口周縁部がノズルの外周面に密着した状態となる。具体的に、前記封止用フィルムの前記延性が100以上で且つ前記弾性率が0.02GPA~1.5GPAであれば、ノズルを封止用フィルムに貫通させた状態において当該ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性が十分に確保される。尚、前記封止用フィルムは、前記高延性を有する第1の層と、遮光性を有し且つ前記第1の層よりも延性の低い第2の層とを含む多層膜であること、が好ましい。このようなフィルムであれば、ノズルが突き刺さされたときの当該ノズルと封止用フィルムとの境目の密閉性が確保されつつ、遮光性が備わった封止用フィルムとすることができる。"