軟質発泡シートの両面に合成樹脂フィルムが積層されてなり、かつ、前記合成樹脂フィルムの表面抵抗が103~1012Ωであることを特徴とするウェーハ保護クッション材。前記合成樹脂フィルムが、格子状又はドット状にエンボス加工されてなることを特徴とする請求項1記載のウェーハ保護クッション材。上記特許文献1記載のクッション材は、軟質ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム、ポリプロピレンフォーム、ポリスチレンフォーム等の軟質発泡シートに、帯電防止剤または導電性フィラーを含有させることで帯電防止性や導電性を付与し、クッション材にパーティクルが付着するのを抑制している。ところが、クッション材にパーティクルが付着するのを完全に防ぐことは難しく、例えば図5に示すように軟質発泡シートのセル同士間に塵や埃などのパーティクルが入り込んでしまう。そして、その塵や埃を除去することは難しく、清浄度クリーン性の高いクッション材を提供することは困難であった。その結果、搬送容器内においてクッション材をはじめ、スペーサーシート、ウェーハの清浄度が低くなり、すなわち、搬送容器内のような局所空間の清浄化、いわゆるミニエンバイロメントを実現することはできていなかった。そこで、本発明は、これまで実現されていなかった清浄度の高いクッション材を提供することを目的とする。具体的には、クッション材に空気中に浮遊していた塵や埃などのパーティクルが付着しても、その塵や埃を除去することができ、しかもクッション材自体から発生する塵や埃などのパーティクルを抑制することができる、すなわち、清浄度の高いクッション材を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の請求項1記載のウェーハ保護クッション材は、軟質発泡シートの両面に合成樹脂フィルムが積層されてなり、かつ、前記合成樹脂フィルムの表面抵抗が103~1012Ωであることを特徴とする。また、請求項2記載のウェーハ保護クッション材は、請求項1記載の構成に加えて、前記合成樹脂フィルムが、格子状又はドット状にエンボス加工されてなることを特徴とする。本発明のウェーハ保護クッション材は、空気中に浮遊していた塵や埃などのパーティクルが付着しても、その塵や埃などのパーティクルを容易に除去することができ、しかもクッション材自体から発生する塵や埃などのパーティクルを抑制することができた清浄度の高いクッション材を提供することができる。以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細を説明する。図1に示すように本発明のウェーハ保護クッション材1は、軟質発泡シートの両面に合成樹脂フィルムが積層されてなり、かつ、前記合成樹脂フィルムの表面抵抗が103~1012Ωであることを特徴とする。本発明のウェーハ保護クッション材1は、従来のようにセル同士間に塵埃が入り込むことがなく、図2に示すように合成樹脂フィルム3上に塵埃が付着しても、洗浄水やエアー等で洗浄することにより容易に塵埃を除去することができる。更に、軟質発泡シート2の製造時に起因するガスやイオン性物質を外部環境へ放出するのを抑制することができる。また、本発明の軟質発泡シート2の素材としては、軟質ポリエチレンシート、軟質ポリウレタンシート、軟質ポリプロピレンシート、軟質ポリスチレンシート等を用いることができる。また、軟質発泡シート2の厚みは1~20mmであり、好ましくは3~10mmである。この厚みが1mm未満であると、緩衝性に劣る。また、厚みが20mmを超えると、容器中のウェーハを収納するスペースが少なくなり、搬送性に劣る。また、軟質発泡シート2は、緩衝性や腰の強さを考えると、独立気泡率の軟質発泡シートが好ましい。なお、ここでいう独立気泡率の軟質発泡シートとは、独立気泡の占める体積の割合がシート全体の25以上の軟質発泡シートをいう。また、軟質発泡シート2にも導電性や帯電防止性を付与させ、その表面抵抗が1011Ω以下としてもよい。導電性や帯電防止性を付与するためには、軟質発泡シート中に導電性フィラーや帯電防止材を含有させることが挙げられる。本発明の合成樹脂フィルム3の表面抵抗は103~1012Ωであり、好ましくは、105~1010Ωである。なお、静電気放電と電界から静電気敏感性デバイスESDSを保護するための一般要求事項を規定したRCJS-5-1:2010日本電子部品信頼性センター規格において、静電気拡散性の表面抵抗は105~1010Ωが望ましいとされている。また、合成樹脂フィルムの表面抵抗を103~1012Ωにするためには、合成樹脂フィルム中に導電性フィラーや帯電防止剤を含有させる、或いは合成樹脂フィルムの表面にポリピロールやポリアニリン、ポリチオフェン等の導電性ポリマーの薄膜を設けることが挙げられる。本発明の合成樹脂フィルム3の素材としては、ポリエチレンフィルムやポリプロピレンフィルム等のポリオレフィン系フィルム、およびポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム等を用いることができる。また、これらフィルムは、インフレーション法や押出し法により連続的に成形することができる。また、合成樹脂フィルム3の厚みは10~200μmであり、好ましくは20~50μmである。この厚みが10μm未満であると、容器やスペーサーシートとの接触時に破損し易く、ウェーハ保護クッション材を容器へ収納或いは取り出す際に用いる自動機との接触時にも破損し易い。また、厚みが200μmを超えると、軟質発泡シートの緩衝性を低下させる原因となり易い。また、合成樹脂フィルム3は、図3に示すように格子状又はドット状にエンボス加工してもよい。このようにエンボス加工された合成樹脂フィルムを、軟質発泡シートの両面に積層させることで復元性を向上させることができる。ウェーハ保護クッション材は、例えば搬送容器に収納される際、或いは搬送容器から取り出される際、折れ曲がる場合がある。そうすると、クッション材にシワが発生し、そのシワ部分に塵や埃が溜まり、クリーン性が低くなり易い。そこで、合成樹脂フィルムにエンボス加工することで表面に微細な凹凸を設け、それによりウェーハ保護クッション材が折れ曲がっても元の形状に復元し易くなる。次に、本発明のウェーハ保護クッション材1の製造方法について説明する。軟質発泡シート2の両面に、合成樹脂フィルム3を加熱しながら対ロールでラミネート加工し、軟質発泡シート2の両面に合成樹脂フィルム3が積層されたウェーハ保護クッション材1を得る。なお、対ロールには多数の突起を有するエンボスロールが使用されていてもよく、そうすることで格子状或いはドット状の凹凸が多数形成された合成樹脂フィルム3を、軟質発泡シート2の両面にラミネートすることができる。そして、得られたクッション材を円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材1を得た。本発明のウェーハ保護クッション材1は、例えば図4に示すような容器本体と蓋体とからなる搬送容器に収納される。具体的には、ウェーハWとスペーサシートSとは交互に複数枚重ねられて容器内に収納されると共に、その上下端部には本発明のウェーハ保護クッション材1が設けられる。したがって、運搬時の振動等により容器に与えられる衝撃は、本発明のウェーハ保護クッション材1によって吸収され、ウェーハWは該衝撃から保護される。合成樹脂フィルムAの作製低密度ポリエチレン樹脂プライムポリマー社製:ミラソン16P100重量部に、高分子型帯電防止剤15重量部三井デュポンポリケミカル社製:EntiraSD100、及びピンク色顔料3重量部を添加し、押出し法にて厚み30μmの合成樹脂フィルムAを得た。なお、得られた合成樹脂フィルムAの表面抵抗をJISK6911に準じて、ハイレスタ-UP三菱化学社製のMCP-HT450型を用いて測定した結果、108~1010Ωであった。低密度ポリエチレン樹脂プライムポリマー社製:ミラソン16Pを、押出し法にて厚み30μmのフィルムを成形した。続いて、得られたフィルムを、π電子共役系高分子モノマーとしてピロール1wtに酸化重合剤兼ドーパント剤としてパラトルエンスルホン酸第二鉄5wtを加えた水溶液中へ浸漬させ、ピロールモノマーを重合化学酸化重合させて、フィルム両面にポリピロールを析出させ、厚み30μmの合成樹脂フィルムBを得た。なお、得られた合成樹脂フィルムBの表面抵抗をJISK6911に準じて、ハイレスタ-UP三菱化学社製のMCP-HT450型を用いて測定した結果、105~107Ωであった。実施例1厚みが3mmの軟質発泡ポリエチレンシートの両面に、得られた合成樹脂フィルムAを加熱しながら対ロールでラミネート加工し、クッション材を得た。なお、対ロールには多数の突起を有するエンボスロールが使用されており、合成樹脂フィルムAに格子状の凹凸が多数形成された状態で軟質発泡ポリエチレンシートの両面にラミネートされている。続いて、得られたクッション材を直径300mmの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材を得た。厚みが3mmの軟質発泡ポリエチレンシートの両面に、得られた合成樹脂フィルムAを加熱しながら対ロールでラミネート加工され、クッション材を得た。なお、対ロールにはエンボスロールは使用されていない、すなわち、軟質発泡ポリエチレンシートの両面には、表面が平滑である合成樹脂フィルムAがラミネートされている。続いて、得られたクッション材を直径ウェーハ300mmの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材を得た。厚みが3mmの軟質発泡ポリエチレンシートの両面に、得られた合成樹脂フィルムBを加熱しながら対ロールでラミネート加工され、クッション材を得た。なお、対ロールには多数の突起を有するエンボスロールが使用されており、合成樹脂フィルムBに格子状の凹凸が多数形成された状態で軟質発泡ポリエチレンシートの両面にラミネートされている。続いて、得られたクッション材を直径300mmの円状プレス裁断ウェーハ断し、ウェーハ保護クッション材を得た。厚みが3mmの軟質発泡ポリエチレンシートの両面に、得られた合成樹脂フィルムBを加熱しながら対ロールでラミネート加工され、クッション材を得た。なお、対ロールにはエンボスロールは使用されていない、すなわち、軟質発泡ポリエチレンシートの両面には、表面が平滑である合成樹脂フィルムBがラミネートされている。続いて、得られたクッション材を直径300mmの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッシウェーハを得た。厚みが3mmの軟質発泡ポリエチレンシートを、直径300mmの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材とした。なお、この軟質発泡ポリエチレンシートの表面抵抗をJISK6911に準じて、ハイレスタ-UP三菱化学社製のMCP-HT450型を用いて測定した結果、107~108Ωであった。厚みが3mmで円状の軟質発泡ポリエチレンシートを、ウェーハ保護クッション材として用いた。なお、この軟質発泡ポリエチレンシートの表面抵抗をJISK6911に準じて、ハイレスタ-UP三菱化学社製のMCP-HT450型を用いて測定した結果、109~1011Ωであった。厚みが3mmの軟質発泡ポリウレタンシートを、直径300mmの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材とした。なお、この軟質発泡ポリウレタンシートの表面抵抗をJISK6911に準じて、ハイレスタUP三菱化学社製のMCP-HT450型を用いて測定した結果、109~1011Ωであった。厚みが3mmの軟質発泡ポリエチレンシートを、直径300mmの円状プレス裁断機で裁断し、ウェーハ保護クッション材とした。なお、この軟質発泡ポリエチレンシートの表面抵抗をJISK6911に準じて、ハイレスタUP三菱化学社製のMCP-HT450型を用いて測定した結果、1013以上であった。実施例1~4、および比較例1~4にて得られたクッション材について、1発塵性、2洗浄性、3復元性の評価を行った。その結果を表1に示す。なお、評価方法と評価基準について、以下に示す通りである。1発塵性得られたウェーハ保護クッション材を、側方散乱方式の気中パーティクルカウンタリオン社製:KM-27型により、片面を1分間ずつ吸引し、粒子径が0.5μm以上の発塵量を計測した。2洗浄性得られたウェーハ保護クッション材を搬送容器に収納し、実使用を想定した輸送試験JISZ0232準拠後に搬送容器からクッション材を取り出し、続いて洗浄水で該クッション材を洗浄し、側方散乱方式の気中パーティクルカウンタリオン社製:KM-27型により、片面を1分間ずつ吸引し、粒子径が0.5μm以上の発塵量を計測した。3復元性得られたウェーハ保護クッション材を、中央で半分に折り、1分後にシワの状態が回復するか否かを目視で観察した。◎:シワの状態が回復した。○:部分的にシワの状態が回復しない部分があった。