直線偏光されたレーザ光を出力する基本波レーザ光源と前記レーザ光を波長変換して高調波レーザ光を出力する波長変換部とを備えるレーザ光源装置において、前記直線偏光されたレーザ光は偏光分離素子を介して前記波長変換部に入力されるレーザ光源装置。前記波長変換部は周期的分極反転構造を有しており、前記直線偏光されたレーザ光のうち前記波長変換部の分極反転方向に垂直な方向と一致する偏光成分のみを通過するように、前記基本波レーザ光源と前記波長変換部との間に前記偏光分離素子を配置する請求項1に記載のレーザ光源装置。前記基本波レーザ光源は、ファイバーレーザである請求項1に記載のレーザ光源装置。前記偏光分離素子は、入射された光をs偏光とp偏光とに分離できる偏光子である請求項1記載の光源装置。前記直線偏光されたレーザ光のs偏光成分が前記波長変換部の分極反転方向に垂直な方向と一致するように前記偏光分離素子を前記基本波レーザ光源と前記波長変換部との間に前記偏光分離素子を配置する請求項4に記載のレーザ光源装置。しかしながら、前記従来の構成では、波長変換部から出力される高調波が1.5Wを越えるような高出力になると、波長変換部から出力されるビーム径が変動してしまうという課題を有していた。本発明は、波長変換部から高出力で出力光を出射する際に、出力される高調波のビーム径の変動の少ないレーザ光源装置を提供することを目的とする。上記課題を解決するための構成は、直線偏光されたレーザ光を出力する基本波レーザ光源と前記レーザ光を波長変換して高調波レーザ光を出力する波長変換部とを備えるレーザ光源装置において、前記直線偏光されたレーザ光は偏光分離素子を介して前記波長変換部に入力されることを特徴としたものである。本発明においては、ファイバーレーザ部と波長変換部の間に、基本波の主成分の偏光方向に対し、基本波の主成分の偏光面内で90°C傾いた偏光方向を有する光を除去する偏光子を設けることによって、その偏光方向が偏光面内で90°C傾いた偏光方向を有する光が、波長変換部に入力されることを抑えることができる。その結果として、波長変換部から出力される高調波のビーム径の変動を抑えることができるのである。まず、従来の構成において、波長変換部から出力される高調波のビーム径が変動する理由について説明する。図1に、ファイバーレーザ部から出力された基本波106が波長変換部110に入射する部分の拡大図を示す。ここで、基本波106は、図中のZ軸方向から波長変換部110に入射するように配置されている。一方、波長変換部はY軸方向に分極反転した部位斜線部と分極していない部位とをZ軸方向に整列するように配置されている。このように形成された波長変換部110に、その分極方向の偏光が入力されると高調波が発生するので、基本波106には、波長変換部110の分極方向Y軸方向と一致する直線偏光の光を用いる。しかしながら、ファイバーレーザ部から出力される基本波が、偏波保持ファイバーへの熱的外乱等によって直線偏光の方向が揺ぐ。そのため、ファイバーレーザ部からの基本波は直線偏光ではあるが、その偏光方向が波長変換部110の分極方向Y軸方向と常に一致せず、Y軸方向を中心としたわずかな変動を生ずる。このため、波長変換部110の入射側から見ると、基本波106は、Y軸方向の偏光をもった基本波主成分106as偏光とX軸方向の偏光をもった基本波副成分106bp偏光とが合成した光となる。発明者らが基本波副成分106bの最大変動を実測した結果、その変動は基本波全体の約10であった。このように、ファイバーレーザは基本波の偏光方向が変動するため、基本波主成分を一定に制御するためには、基本波の出力自体を増減する制御が行われる。次に、発明者らは、高調波の出力が1.5W一定となるようにAPC制御された光源装置の波長変換部110から出力される高調波のビーム径の時間的変動と基本波の基本波副成分106bの光量の時間的変動を測定した。なお、基本波副成分106bを直接観察することは難しいので、波長変換部を透過した基本波に偏光子を挿入して基本波副成分106bを取り出し、その時間変化を計測した。光源装置内の波長変換部から出力される高調波のビーム径の時間的変動を図2aに示す。ビーム径の絶対値は2mmであるが、変動を明確に示すため、発光初期のビーム径を100として無次元化した。図からわかるように、高調波のビーム径は、時間の経過に従い分単位で周期的が長くなる変動をしている。一方、ファイバーレーザ部から出力された基本波の基本波副成分106bの光量の時間的変動を図2bに示す。図からわかるように、基本波副成分も、高調波のビーム径の時間的変動と非常に良く似た変動しており、両図を見ると、出力光のビーム径の時間的変動の山と谷が基本波の基本波副成分の谷と山に同期している。発明者らは、この同期現象から、基本波副成分の変動がそのまま出力光のビーム径の時間的変動に影響することを見出した。これは、以下のようなメカニズムで生じていると考えられる。すなわち、図1で説明したとおり、基本波の偏向方向が変動するため、基本波副成分が生じ、この基本波副成分の大きさは時間と共に変動する。そのため、波長変換部には、高調波を生み出すための基本波主成分とこの基本波副成分とが入力される。ところが、従来の光源装置では、基本波主成分から変換された高調波の出力を用いてAPC制御を行うので、基本波副成分の変動分だけ、波長変換部に入力される基本波の光量が変動することとなる。その結果、波長変換部内部では、基本波レーザ光が通過する部分は通過光量が変動するため、通過に伴う発熱量が変化して波長変換部の屈折率が変動する。この屈折率変動により、熱レンズ効果が生じて波長変換部内部を通過する基本波主成分のビーム径に影響を与える。これが基本波副成分の変動により高調波のビーム径が変動する原因である。これは、ファイバーレーザと波長変換素子とを組み合わせたレーザ光源に特有の問題である。1.5Wと高出力のレーザを実現するには、ファイバーレーザの出力を大きくする必要がある。しかし、以上の現象により、ファイバーレーザ出力を大きくするほど、高調波レーザのビーム径変動が顕著になる。従来は、この種のレーザ光源の出力がさほど大きくないため、この問題は知られていなかった。以上、説明したようにビーム径変動のメカニズムが明らかになった。すなわち、高調波のビーム径の変動を抑えるには、波長変換部へ入力されるファイバーレーザ部から出力される基本波の基本波副成分を除去すればよい。実施の形態1以下に、本発明の光源装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。[光源装置の構成に関する説明]図3は、本発明の実施の形態1における光源装置の構成を示すブロック図である。図に示すように、ファイバーレーザ部101は、基本波106を出力する。このファイバーレーザ部101は、半導体レーザ102とYbドープファイバーを用いたファイバー103、全反射ファイバブラッググレーティング以下、全反射FBG104と、一部反射FBG105とで構成される。本実施例では、ファイバーレーザ部101の半導体レーザ102は、波長915nmのレーザ光を出力するものを用いた。半導体レーザ102が出力するレーザ光は、全反射FBG104に入射し、ファイバー103を介して、全反射FBG104と一部反射FBG105間で共振する。その結果、半導体レーザ102からファイバー103に入力されたレーザ光は、ファイバー103にて励起されることにより、スペクトル幅が狭帯域化した基本波106として、一部反射FBG105から波長1064nmのレーザ光が出力される。このときの基本波106は直線偏光の光である。本発明の特徴は、基本波106の偏光が波長変換部110の分極方向に一致する偏光のみを透過するように偏光子107を配置した構成にある。この構成詳細は、図4にて後述する。ファイバーレーザ部101から出力された基本波106は、偏光子107に入力された後、集光レンズ109により集光され、波長変換部110に入力される。本実施形態における波長変換部110は、分極反転構造を形成したMgO:LiNbO3結晶素子MgLN素子を用いた。波長変換部110に入力された基本波106は、波長変換部110を通過すると、基本波106の一部が高調波111に変換される。この高調波111は、高調波111に変換されなかった基本波106とともに波長変換部110から出力される。波長変換部110から出力された高調波111と高調波111に変換されなかった基本波106は、再コリメートレンズ112により並行光あるいは適当なNAに調整される。これらの光は、高調波111と基本波106とに帯域分離する波長分離ミラー114に導かれ、高調波111のみ選択して出力するように構成されている。なお、波長分離ミラー114で分離された基本波106は、IR吸収体118に導かれ吸収される。波長分離ミラー114によって分離された高調波111は、モニタリングフィルタミラー117に入力される。高調波111の大部分は、モニタリングフィルタミラー117を通過して、光ファイバーや導光板図示せずなどで治療位置や加工位置に導光される。一方、一部の高調波111が、モニタリングフィルタミラー117によって反射され、高調波出力検出部113に入力される。高調波出力検出部113では、入力された高調波111の光量を検出し、電気信号に変換して出力する。高調波出力検出部113が出力した光量検出信号は、LD制御部300に入力される。このLD制御部300によって、レーザ駆動部150を介して、高調波111の出力を一定にするAPCAutoPowerControl制御を行う。波長変換部110の波長変換効率を最適に保つためには、予め定められた最適温度に波長変換部の温度を保たなければならない。そのため、波長変換部110は、CPU部200が指定した最適温度になるように、温度設定部115の上に配置されている。波長変換部110の温度は、この温度設定部115を介して、サーミスタなどの温度センサ116で検出される。温度センサ116で検出された温度は温度制御部400へ伝達され、温度センサ116の検出温度が設定温度になるように、温度設定部115への駆動電流と駆動極性の制御を、温度制御部400が行う。温度設定部115は、温度制御部400が出力した駆動電流によって、波長変換部110を加熱冷却して、温度センサ116が出力する温度信号を所定の設定温度にすることができる。本実施例では、ペルチェ素子と波長変換部を支持固定するアルミ台とで温度設定部115を構成した。[偏光子107と波長変換部110と基本波106との関係の説明]以下に、本発明の特徴であるファイバーレーザ部101のレーザ出力側に配置した偏光子107と波長変換部110との関係について説明する。説明を簡単にするため、図3で示した集光レンズ109は省略している。図4は、本発明の実施の形態1における光源装置内の偏光子107と波長変換部110と基本波106との関係を説明する斜視図である。ファイバーレーザ部101から出力された基本波106は、波長変換部110の前すなわちファイバーレーザ部101と波長変換部110との間に設けた偏光子107によって、基本波主成分106aと基本波副成分106bに分光される。偏光子107を透過した基本波主成分106aの光路図中のAを、波長変換部110の分極反転の周期構造の方向図中のBと一致するように配置することが重要である。この配置により、偏光子107に入力された基本波106の基本波副成分106bが除去され基本波主成分106aのみが偏光子107が通過する。従って、波長変換部110には、基本波主成分106aのみが偏光子107を通過し、集光レンズ109図1中に図示により集光されて、入力される。本実施の形態で用いた偏光子107は、具体的には多層膜ミラーであり、基本波106の光路に対して45°の角度で挿入してある。多層膜には、45°入射の波長1064nmでは、ミラーに対して平行な偏光をもったp偏光は反射、ミラーに対して垂直な偏光をもったs偏光は透過する特性を持たせているため、図4に示したようにミラーを挿入すると、基本波主成分106aは透過、基本波副成分106bは反射し、基本波主成分106aと基本波副成分106bを分離することができる。本実施形態で偏光子107は多層膜ミラーを用いたが、これに限るものはなく、偏光分離できる素子であれば良い。たとえばグラントムソンあるいはローションプリズム等の偏光ビームスプリッタによっても、偏光分離することが出来るので、多層膜ミラーと同様に使用することができる。次に、この構成による効果を説明する。図5aは、本発明の実施の形態1における光源装置内の波長変換部から出力される高調波のビーム径の時間的変動を示す図である。このときの高調波の出力は1.5Wでビーム径は2mmである。図5aは、図2aと比較を容易にするために無次元化している。偏光子107の効果は、図2aと図5aとを比較すると明らかである。基本波106と波長変換部110との間の光路に偏光子107を挿入することで、基本波副成分106bの変動に同期したビーム径の変動は、大幅に抑えられている。また、偏光子107を用いた場合は、レーザ発光から30分以上経つと、ビーム径の変動が極めて少なくなり、非常に安定した出力光が得られている。なお、図5bに本実施形態においても基本波副成分106bの時間変化を示す。図2bと同様の変動をしていることが分かる。しかし、本発明のように、ファイバーレーザ部101と波長変換部110との間に偏光子107を設けることにより、基本波副成分106bによる高調波111のビーム径の変動を効果的に抑圧することが出来る。