外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削方法において、前記ウェーハの前記面取部がカップ型研削砥石に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させ、前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記面取部を除去し、前記ウェーハの前記平坦部が前記カップ型研削砥石に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させ、前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記平坦部を研削する、ウェーハ研削方法。前記ウェーハはベース基材に貼付けられている、請求項1に記載のウェーハ研削方法。前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである、請求項2に記載のウェーハ研削方法。外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削装置において、前記ウェーハを研削するカップ型研削砥石と、前記ウェーハの前記面取部または前記平坦部が前記カップ型砥石に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させる移動機構部と、を具備し、該移動機構部によって前記ウェーハの前記面取部をカップ型研削砥石に対応した位置に位置決めして前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記面取部を除去した後で、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記平坦部をカップ型研削砥石に対応した位置に位置決めして前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記平坦部を研削するようにした、ウェーハ研削装置。前記ウェーハはベース基材に貼付けられている、請求項4に記載のウェーハ研削装置。前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである、請求項5に記載のウェーハ研削装置。しかしながら、特許文献1の手法においては、面取部を除去するための回転ブレードおよび回転ブレードを駆動するためのモータが必要である。そして、特許文献1においてはターンテーブルでウェーハを移動させているので、ウェーハの位置を微調整することができない。ウェーハの位置を微調整する代わりに、特許文献1では、回転ブレードを位置決めするための位置決め機構部を別途必要としている。つまり、特許文献1では、回転ブレード、回転ブレードのためのモータ、および位置決め機構が必要である。従って、特許文献1では装置全体が大型化するという問題があった。本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、回転ブレードおよびその関連部材を必要とすることなしに、ウェーハの面取部の除去とウェーハの平坦部の研削の両方を行うウェーハ研削方法およびそのような方法を実施するウェーハ研削装置を提供することを目的とする。前述した目的を達成するために1番目の発明によれば、外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削方法において、前記ウェーハの前記面取部がカップ型研削砥石に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させ、前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記面取部を除去し、前記ウェーハの前記平坦部が前記カップ型研削砥石に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させ、前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記平坦部を研削する、ウェーハ研削方法が提供される。2番目の発明によれば、1番目の発明において、前記ウェーハはベース基材に貼付けられている。3番目の発明によれば、2番目の発明において、前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである。4番目の発明によれば、外周に位置する面取部と該面取部よりも内方に位置する平坦部とを含むウェーハを研削するウェーハ研削装置において、前記ウェーハを研削するカップ型研削砥石と、前記ウェーハの前記面取部または前記平坦部が前記カップ型砥石に対応した位置に位置決めされるように前記ウェーハを前記カップ型研削砥石に対して相対的に移動させる移動機構部と、を具備し、該移動機構部によって前記ウェーハの前記面取部をカップ型研削砥石に対応した位置に位置決めして前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記面取部を除去した後で、前記移動機構部によって前記ウェーハの前記平坦部をカップ型研削砥石に対応した位置に位置決めして前記カップ型研削砥石により前記ウェーハの前記平坦部を研削するようにした、ウェーハ研削装置が提供される。5番目の発明によれば、4番目の発明において、前記ウェーハはベース基材に貼付けられている。6番目の発明によれば、5番目の発明において、前記ベース基材は前記ウェーハと同一寸法の他のウェーハである。1番目および4番目の発明においては、ウェーハの面取部および平坦部をカップ型研削砥石に対応して位置決めできるので、単一のカップ型研削砥石を用いてウェーハの面取部の除去と平坦部の研削との両方を行うことができる。従って、回転ブレードおよびその関連部材の必要性を排除できる。2番目および5番目の発明においては、ウェーハの面取部を除去する際に、ベース基材の一部分が一緒に削除できる。このため、ベース基材を保持する保持部が損傷するのを避けられる。なお、ベース基材は接着剤などによってウェーハに貼付けられるのが好ましい。3番目および6番目の発明においては、ウェーハと同一寸法のベース基材を容易に準備することができる。以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。図1は、本発明に基づくウェーハ研削装置の略斜視図である。図1に示されるように、ウェーハ研削装置10は、カップ型研削砥石36を備えるアーチ型のコラムユニット12と、コラムユニット12の下方部に配置された搬送ユニット11とを主に含んでいる。ウェーハ研削装置10は、ウェーハ60、例えばシリコンウェーハを研削する。図示されるように、コラムユニット12の一方の側面12bには単一の溝13が縦方向に形成されており、この溝13はメインユニット12の頂面12aから下方通路14まで延びている。また、搬送ユニット11は、そのようなウェーハ60をカップ型研削砥石36に対応した所望の二つの位置に位置決めさせられる。さらに、搬送ユニット11は、ウェーハ60の研削部への搬入および研削部からの搬出を行う。図1から分かるように、側面12bには、二つのリニアガイド32、33がそれぞれ溝13の両縁部、もしくは隣接して設けられている。さらに、同様なリニアガイド31が溝13の底部において、コラム32、33に対して平行に設けられている。これらコラム31、32、33は単一のサドルを摺動する案内レールとしての役目を果たす。図2は本発明に基づくウェーハ研削装置の側面図であり、図3は図2に示されるウェーハ研削装置の正面図であり、図4は図2に示されるウェーハ研削装置の頂面図である。これら図面から分かるように、搬送ユニット11は、互いに平行な二つのレール22が配置された搬送台21を含んでいる。レール22上には、ウェーハ60を保持するチャック29が摺動可能に配置されている。チャック29に結合されたスライダ25は、ベルトプーリ機構24を介してモータ26によりボールネジのネジ23を摺動する。これにより、スライダ25はレール22上を摺動するようになる。なお、チャック29は図示しない真空源に接続されており、真空作用などによりウェーハ60を吸着保持する。さらに、搬送台21の下方にはモータ27が配置されており、チャック29はウェーハ60を保持しつつ鉛直軸回りに回転する。さらに、図2および図3から分かるように、メインユニット12のリニアガイド32、33には、サドル34が摺動可能に取付けられている。また、サドル34は、ボールネジ38のナット39を介してリニアガイド31にも摺動可能に取付けられている。図示されるように、サドル34の下方には、カップ型のカップ型研削砥石36が取付けられており、カップ型研削砥石36はサドル34と一体的にリニアガイド31~33に沿って摺動する。カップ型研削砥石36の回転軸はリニアガイド31~33に対して平行に配置されており、サドル34内部に備えられたモータ35が駆動すると、カップ型研削砥石36は回転軸回りに回転する。前述したように、ボールネジ38はサドル34とリニアガイド31との間に配置されている。ボールネジ38は上方に配置されたモータ37により駆動し、カップ型研削砥石36をチャック29のウェーハ60に向かって付加的に送込む研削送り部としての役目を果たす。図2および図4から分かるように、カップ型研削砥石36をウェーハ60に向かって送込む送込み方向上、あるいは送込み方向に隣接して、カップ型研削砥石36の縁部が位置している。ところで、図5はウェーハを示す図である。図5に示されるように、ウェーハ60の表面61には、前工程において複数の回路パターンC、例えば貫通電極が格子状に形成されている。図5から分かるように、全ての回路パターンCはウェーハ60の平坦部67上に形成されており、平坦部67周りに位置するウェーハ60の外周部は面取部68として形成されている。なお、ウェーハ60の裏面62には、このような回路パターンCは形成されていない。そして、図5においては、ウェーハ60の表面21はベース基材70に接着剤などにより貼付けられている。図1等に示されるウェーハ研削装置10には、ベース基材70が下方に位置するようにこのようなウェーハ60が、供給されるものとする。図5に示されるように、ベース基材70はウェーハ60と概ね同一形状の平坦な部材である。ベース基材70として他のウェーハ60を使用するのが好ましく、そのような場合にはベース基材70を容易に準備することができる。ただし、他の形状のベース基材70を使用してもよい。図6aは面取部を除去するときのウェーハ研削装置の部分断面図であり、図6bは図6aに示されるウェーハ研削装置の部分頂面図である。以下、これら図面を参照して、本発明に基づくウェーハ研削装置10による面取部68の除去動作について説明する。はじめにウェーハ60をチャック29に載置する。チャック29がウェーハ60を真空保持した後で、モータ26を駆動させる。これにより、チャック29はスライダ25と一緒にレール22およびネジ23に沿って摺動するようになる。そして、チャック29は、図6aおよび図6bに示されるように、カップ型研削砥石36の先端がウェーハ60の面取部68に対応した位置に位置決めされる。次いで、モータ35を駆動してカップ型研削砥石36を回転軸回りに回転させると共に、モータ27を駆動してチャック29を回転軸線回りに回転させる。さらに、モータ37を駆動してカップ型研削砥石36をチャック29のウェーハ60に向かって送込む。これにより、カップ型研削砥石36の先端はウェーハ60の面取部68のみを研削するようになる。そして、カップ型研削砥石36がウェーハ60の面取部68を除去するのに十分な量だけ送込まれると、モータ37を逆回転させて、カップ型研削砥石36をウェーハ60から離間させる。図7は面取部除去後におけるウェーハの部分側面図である。図7に示されるように、カップ型研削砥石36は、ウェーハ60の面取部68と、これに対応するベース基材70の一部分を除去する。図7から分かるように、ベース基材70は、面取部68を除去するときに、チャック29が破損するのを防止する役目を果たす。なお、ベース基材70を排除してウェーハ60をチャック29に直接的に保持して面取部68を除去することも可能である。図8aは平坦部を研削するときのウェーハ研削装置の部分断面図である。図8bは図8aに示されるウェーハ研削装置の部分頂面図である。以下、これら図面を参照して、本発明に基づくウェーハ研削装置10によるウェーハ60の研削動作について説明する。面取部68の除去が終了すると、ウェーハ60およびベース基材70をチャック29に保持させたままで、モータ26を駆動させる。これにより、チャック29はスライダ25と一緒にレール22およびネジ23に沿って摺動する。そして、チャック29は、図8aおよび図8bに示されるように、カップ型研削砥石36の先端がウェーハ60の平坦部67に対応した位置に位置決めされる。次いで、モータ35を駆動してカップ型研削砥石36を回転軸回りに回転させると共に、モータ27を駆動してチャック29を回転軸線回りに回転させる。さらに、モータ37を駆動してカップ型研削砥石36をチャック29のウェーハ60に向かって所定量ウェーハ60の厚さよりも小さいだけ送込む。これにより、カップ型研削砥石36の先端によってウェーハ60の平坦部67が研削されるようになる。カップ型研削砥石36がウェーハ60を所定の厚さまで研削する量だけ送込まれると、モータ37を逆回転させて、カップ型研削砥石36をウェーハ60から離間させる。図9は平坦部研削後におけるウェーハの部分側面図である。図9に示されるように、平坦部67の厚さ部分が研削されると、ウェーハ60は所望の厚さまで薄膜化される。その後、チャック29の保持を解除して、ウェーハ60およびベース基材70を取外す。次いで、所定の治具図示しない等を用いて、ウェーハ60をベース基材70から離間させる。これにより、薄膜化したウェーハ60を得ることができる。このように本発明においては、スライダ25をネジ23上に摺動させることにより、ウェーハ60の面取部68および平坦部67をカップ型研削砥石36に対応して位置決めできる。従って、カップ型研削砥石36は、ウェーハ60の面取部68を除去するエッジトリミング用のカッタと、ウェーハ60の裏面62を研削する研削部材としての両方として機能する。このため、本発明では、従来技術のような回転ブレードおよびその関連部材を必要とすることはなく、装置全体を小型化することも可能である。