"被成膜材に成膜材料を成膜するための成膜処理を行う成膜室を備える成膜装置であって、前記成膜室内に配置されるパーティクル捕獲板を備え、前記パーティクル捕獲板の表面には、第1の凹凸と、前記第1の凹凸上に設けられ、前記第1の凹凸よりも微細な第2の凹凸とが形成されていることを特徴とする成膜装置。前記第1の凹凸は、第1の加工により形成され、前記第2の凹凸は、前記第1の加工の後に実施される第2の加工により形成されていることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。前記第1の加工は、ローレット加工であり、前記第2の加工は、エアーブラスト加工であることを特徴とする請求項2記載の成膜装置。前記第1の凹凸は、前記ローレット加工により形成されたあや目であることを特徴とする請求項3記載の成膜装置。前記パーティクル捕獲板の前記表面の反対側の裏面に、冷却板が設けられていることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項記載の成膜装置。前記パーティクル捕獲板は、銅製であることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項記載の成膜装置。前記パーティクル捕獲板は、板厚が略3mmであることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項記載の成膜装置。前記冷却板は、スタットボルト及びナットにより前記パーティクル捕獲板に一体に設けられていることを特徴とする請求項5~7のいずれか一項記載の成膜装置。成膜装置の成膜室内に配置されるパーティクル捕獲板であって、表面には、第1の凹凸と、前記第1の凹凸上に設けられ、前記第1の凹凸よりも微細な第2の凹凸とが形成されていることを特徴とするパーティクル捕獲板。前記第1の凹凸は、第1の加工により形成され、前記第2の凹凸は、前記第1の加工の後に実施される第2の加工により形成されていることを特徴とする請求項9記載のパーティクル捕獲板。前記第1の加工は、ローレット加工であり、前記第2の加工は、エアーブラスト加工であることを特徴とする請求項10記載のパーティクル捕獲板。しかしながら、上記従来の構成では、成膜材料の捕獲機能及びパーティクルが堆積してなる堆積膜の保持性が十分ではなく、堆積膜の剥離がどうしても生じてしまう。したがって、堆積膜の剥離に関して、更なる改善が望まれている。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、堆積膜の剥離を効果的に抑制できる成膜装置及びパーティクル捕獲板を提供することを目的とする。本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、成膜材料が付着する表面を特定の形状とすることにより、成膜材料を効果的に捕獲して保持できることを見出し、本発明に至った。すなわち、本発明に係る成膜装置は、被成膜材に成膜材料を成膜するための成膜処理を行う成膜室を備える成膜装置であって、成膜室内に配置されるパーティクル捕獲板を備え、パーティクル捕獲板の表面には、第1の凹凸と、第1の凹凸上に設けられ、第1の凹凸よりも微細な第2の凹凸とが形成されていることを特徴とする。この成膜装置では、パーティクル捕獲板の表面に、第1の凹凸と、この第1の凹凸よりも微細な第2の凹凸とが形成されている。パーティクル捕獲板では、第1の凹凸及び第2の凹凸により表面積が拡大されているため、成膜材料の付着面が確保されている。また、微細な第2の凹凸のアンカー効果により、成膜材料を効果的に捕獲できる。さらに、第2凹凸よりも凹凸の大きい第1の凹凸により、第2の凹凸により捕獲した成膜材料パーティクルを堆積させて保持できる。したがって、成膜材料を効果的に捕獲して保持できる。その結果、堆積膜の剥離を効果的に抑制できる。第1の凹凸は、第1の加工により形成され、第2の凹凸は、第1の加工の後に実施される第2の加工により形成されている。このように、第1の加工後に第2の加工を施すことにより、第1の凹凸の全面に亘って第2の凹凸が形成される。第1の加工は、ローレット加工であり、第2の加工は、エアーブラスト加工である。このような加工方法を用いることにより、第1の凹凸及び第2の凹凸をそれぞれ良好に形成できる。第1の凹凸は、ローレット加工により形成されたあや目である。第1の凹凸をあや目とすることにより、パーティクル捕獲板における表面積を拡大でき、その結果、第2の凹凸の形成面も増加する。したがって、成膜材料の捕獲面をより一層確保できる。また、あや目とすることにより、多方向から成膜材料を捕獲できる。パーティクル捕獲板は、銅製であることが好ましい。銅板を用いることにより、第1の凹凸及び第2の凹凸の加工を良好に行うことができる。パーティクル捕獲板は、板厚が略3mmであることが好ましい。このように、板厚を3mmとすることで、剛性を確保できる。そのため、パーティクル捕獲板に付着した成膜材料の除去洗浄作業を良好に行うことができる。また、本発明に係るパーティクル捕獲板は、成膜装置の成膜室内に配置されるパーティクル捕獲板であって、表面には、第1の凹凸と、第1の凹凸上に設けられ、第1の凹凸よりも微細な第2の凹凸とが形成されていることを特徴とする。このパーティクル捕獲板では、第1の凹凸と、この第1の凹凸よりも微細な第2の凹凸とが形成されている。これにより、第1の凹凸及び第2の凹凸により表面積が拡大されているので、成膜材料の付着面が確保されている。また、微細な第2の凹凸のアンカー効果により、成膜材料を効果的に捕獲できる。さらに、第2凹凸よりも凹凸の大きい第1の凹凸により、第2の凹凸により捕獲した成膜材料パーティクルを堆積させて保持できる。したがって、成膜材料を効果的に捕獲して保持できる。その結果、堆積膜の剥離を抑制できる。本発明によれば、堆積膜の剥離を効果的に抑制できる。以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図1は、一実施形態に係る成膜装置の構成を示す図である。図2は、図1に示す成膜装置を横から見た図である。成膜装置1は、成膜室である真空容器3と、真空容器3中にプラズマビームPBを供給するプラズマ源であるプラズマガン5と、真空容器3内の底部に配置されてプラズマビームPBが入射する陽極部材7と、真空容器3上部に配置されてトレイTを陽極部材7の上方で移動させる搬送機構10とを備える。ここで、プラズマガン5は、プラズマビームPBを発生する圧力勾配型のプラズマガンであり、プラズマガン5と真空容器3との間には、プラズマビームPBを真空容器3まで導く中間電極12,14、ステアリングコイル図示を省略などが配置されている。また、陽極部材7は、プラズマガン5からのプラズマビームPBを下方に導くとともに成膜材料を収容するハース本体18を有するハース16と、その周囲に配置された環状の補助陽極20とからなる。搬送機構10は、搬送路22内に水平方向に配列された複数のコロ24と、これらのコロ24を適当な速度で回転させてトレイTを一定速度で移動させる駆動装置図示を省略とを備える。搬送路22内には、ガラス基板被成膜材Wを加熱するヒータ26が配置されている。この成膜装置1においては、プラズマガン5の陰極図示を省略と真空容器3内のハース16との間で放電が生じ、これによりプラズマビームPBが生成される。このプラズマビームPBは、ステアリングコイルや補助陽極20内の永久磁石等により決定される磁界に案内されてハース16に到達する。ハース本体18に収納された例えばITOインジウム錫酸化物等の成膜材料は、プラズマビームPBにより加熱されて蒸発する。この蒸発した成膜材料蒸発粒子は、プラズマビームPBによりイオン化され、搬送機構10によって一定速度で移動するトレイTの下面に露出するガラス基板Wの表面に付着し、ここにITOインジウム錫酸化物等の被膜が形成される。上記の構成を有する成膜装置1の真空容器3内においては、成膜材料が真空容器3の内側面内壁に付着して、パーティクル粗大粒子が堆積する。このパーティクルがある程度堆積すると、真空容器3の内側面から堆積したパーティクル膜が剥離し、真空容器3内に飛散しガラス基板Wに付着するおそれがある。これにより、ガラス基板Wが汚染され、品質が低下するといった問題が生じる。そこで、成膜装置1は、真空容器3内に配置されるパーティクル捕獲板30を備えている。パーティクル捕獲板30は、真空容器3の内側面に沿って配置されており、成膜材料を捕獲して保持する機能を有している。パーティクル捕獲板30は、例えば銅製の板部材であり、その厚みが例えば3mm程度である。以下、パーティクル捕獲板30について、図3及び図4を参照しながら詳細に説明する。図3は、パーティクル捕獲板の表面を示す図である。図4は、図3に示すパーティクル捕獲板の表面を拡大して示す断面図である。図3及び図4に示すように、パーティクル捕獲板30の表面30aには、第1凹凸第1の凹凸32と、第2凹凸第2の凹凸34とが形成されている。第1凹凸32は、ローレット加工により形成されたローレット目のあや目である。ローレット目英文名称:Knurlingは、JISB0951に規定されているものである。第1凹凸32は、凸部分の断面が略山形を呈している。第1凹凸32のピッチtは、例えば1.6mm程度である。第1凹凸32における溝の深さ底部から頂部までの高さhは、例えば0.7mm程度である。第1凹凸32は、例えば、銅板にローレット工具を押し当てて銅板の表面を押し潰して塑性変形をさせたり、銅板の表面を切削したりすることによりことにより形成される。第2凹凸34は、第1凹凸32上に形成されている。第2凹凸34は、エアーブラスト加工により形成される微細な凹凸であり、第1凹凸32に比べて凹凸が非常に小さい。第2凹凸34は、第1凹凸32をローレット加工により形成した後に、その第1凹凸32の表面にエアーブラスト加工により形成される。すなわち、第1凹凸32の表面パーティクル捕獲板30の表面30aは、梨地面となっている。第2凹凸34は、例えば粒径が300~355μm程度の投射物例えば、アルミナを衝突させて形成することが好ましく、中心線平均粗さRzは、例えば20~40μm程度であることが好ましい。パーティクル捕獲板30は、第1凹凸32及び第2凹凸34が形成された表面30aが真空容器3の内側を向くように、真空容器3内に配置される。具体的には、パーティクル捕獲板30は、陽極部材7を取り囲むように、真空容器3の内側面に沿って配置されている。パーティクル捕獲板30の表面30aの反対側の裏面30bは、光沢面無加工面となっている。この裏面30bには、冷却板40が設けられている。冷却板40は、例えば厚みが5mm程度の板状の部材であり、真空容器3内において、真空容器3の内側面とパーティクル捕獲板30との間に配置されている。冷却板40は、パーティクル捕獲板30にスタッドボルト50と袋ナット52とにより取り付けられている。図5は、パーティクル捕獲板と冷却板との取り付け構造を拡大して示す断面図である。図5に示すように、冷却板40は、その一面40aがパーティクル捕獲板30の裏面30bに対向して配置され、裏面30bと密着している。なお、ここでいう密着とは、パーティクル捕獲板30の裏面30bと冷却板40の一面40aとが少なくとも面接触していればよい。このような構成により、冷却板40は、パーティクル捕獲板30と一体に設けられている。パーティクル捕獲板30に冷却板40を取り付けるときには、真空容器3の内側面側から、スタッドボルト50に対して、冷却板40、パーティクル捕獲板30、押さえ座金54及び袋ナット52の順でセットし、袋ナット52をスタッドボルトにスバナ締めする。なお、スタットボルト50には、ナット56が設けられており、ナット56には、噛み止め用セットねじ58が取り付けられている。図1及び図2に示すように、冷却板40には、冷却剤水が通される冷却管42が設けられている。冷却管42は、冷却板40の他面40b側に配置されている。冷却管42は、冷却板40の全面にわたって配置されている。冷却板40及び冷却管42により、冷却機構が構成されている。以上説明したように、本実施形態では、真空容器3内にパーティクル捕獲板30が配置されている。パーティクル捕獲板30の表面30aには、第1凹凸32と、この第1凹凸32よりも微細な第2凹凸34とが形成されている。パーティクル捕獲板30では、第1凹凸32及び第2凹凸34により表面積が拡大されており、成膜材料の付着面が確保されている。また、微細な第2凹凸34のアンカー効果により、成膜材料を効果的に捕獲できる。さらに、第2凹凸34よりも凹凸の大きい第1凹凸32により、第2凹凸34により捕獲したパーティクルを堆積させて保持できる。したがって、成膜材料を効果的に捕獲して保持できる。その結果、堆積膜の剥離を効果的に抑制できる。また、パーティクル捕獲板30は、その厚みが3mm程度であるため、剛性が確保されている。そのため、付着物の除去作業を良好に行うことができる。また、パーティクル捕獲板30では、深さhが0.7mm程度の第1凹凸32が形成されているため、再生時は、第1凹凸32にエアーブラスト加工を行って第2凹凸34を形成すればよい。したがって、再生作業を簡易に行うことができる。その結果、作業性の向上及びコストの低減が図れる。また、第1凹凸32は、ローレット加工により形成されたあや目であるため、表面積の拡大を図れると共に、一方向に沿って目が形成されている平目場合に比べて、成膜材料を多方向で捕獲できる。したがって、成膜材料の捕獲性の向上を図れる。また、パーティクル捕獲板30と冷却板40とを一体に設けているため、パーティクル捕獲板30自体に冷却機能を付加することができる。したがって、冷却機構の構成、ひいては成膜装置1の構成の簡易化を図れる。また、パーティクル捕獲板30と冷却板40とは、スタッドボルト50及び袋ナット52により取り付けられているため、冷却板40の板厚が薄い場合例えば、5mm程度であっても、冷却板40の取り付けねじを保護でき、パーティクル捕獲板30と冷却板40とを強固に固定できる。本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、第1凹凸32をローレット加工により形成し、第2凹凸34をエアーブラスト加工により形成しているが、第1凹凸32及び第2凹凸34は、その他の加工方法により形成してもよい。また、上記実施形態では、プラズマを用いたイオンプレーティングによる成膜処理を行う成膜装置1にパーティクル捕獲板30が配置される構成について説明したが、パーティクル捕獲板30は、スパッタリングなどによる成膜処理を行う装置に配置されてもよい。また、上記実施形態では、パーティクル捕獲板30と一体的に冷却板40を設けているが、成膜装置1における真空容器3の温度環境によっては冷却板40を設けなくてもよい。また、上記実施形態では、パーティクル捕獲板30を銅製の板部材としているが、パーティクル捕獲板30はその他の素材から構成されていてもよい。加工容易性の観点からは、パーティクル捕獲板30が銅製であることが好ましい。また、上記実施形態では、第1凹凸32における凹部にも微細な第2凹凸34が設けられた形態について説明したが、第1凹凸32の凹部には、第2凹凸34が設けられていなくてもよい。パーティクル捕獲板30において、微細な第2凹凸32に主として成膜材料を捕獲する機能をもたせ、第1凹凸32の凹部に主として堆積した成膜材料を保持する機能を持たせる場合には、上記のように第1凹部32の凹部に第2凹凸34を形成しなくとも、堆積膜の剥離を効果的に抑制できる。"