被検査基板を固定するための固定治具と、前記固定治具を垂直方向に可動させる可動部を備えた固定治具接続部と、前記固定治具接続部を水平方向に移動させる駆動部と、前記被検査基板に対し前記固定治具を垂直方向に加圧するための加圧部と、前記加圧部に取り付けられ、前記固定治具の水平方向の移動を誘導するとともに、前記加圧部の加圧力を前記固定治具に伝達するための加圧用レールとを備える被検査基板固定装置であって、前記固定治具は、その中央部に空洞部を有する支持板と前記支持板上に設けられた2以上の治具本体とを有し、前記治具本体の略中央部には、回転軸を有する回転部が備えられ、前記回転部が前記支持板に設置固定されることにより、前記治具本体は、前記回転軸を中心に回転可能に前記支持板上に設置され、前記治具本体は、その先端部にパッドをそれぞれ備え、前記治具本体の他端部には前記支持板との間にばねがそれぞれ設けられたことを特徴とする被検査基板固定装置。固定時には、前記回転部中の回転軸の中心の高さが被検査基板の固定面の高さと同じ高さになるように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の被検査基板固定装置。前記パッドの被検査基板の固定面からの高さは4mm以内であることを特徴とする請求項1または2に記載の被検査基板固定装置。前記回転部中の前記回転軸の中心からパッドまでの距離は、前記回転軸の中心から前記ばねまでの距離よりも長いことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の被検査基板固定装置。前記固定治具が交換可能であることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の被検査基板固定装置。しかしながら、特に、平面アンテナを含むフィルム基板を、上述のように人手でネジ等によって検査台等に固定する方法においても、1枚1枚の基板の固定に相当の時間がかかってしまうという問題があった。また、ネジとタップ部との間の摩擦により、金属バリやカスが発生し、この金属バリやカスが、アンテナ回路基板面に付着し、接触不良や回路短絡を起こすという問題があった。さらに、上述のようにクランプを用いて平面アンテナ等のフィルム基板を検査台に固定する場合には、被検査物であるフィルム基板の厚みが設定に対して厚い場合あるいは薄い場合、クランプ部と被検査物であるフィルム基板とが平行に接触せず、フィルム基板に対してクランプが片当たりをするという問題があった。また、一定以上の高さをもったクランプや一定以上の大きさのクランプ部を使用すると、被検査物が平面アンテナのようなフィルム基板である場合には、平面アンテナのビーム放射面に対してクランプが悪影響を及ぼし、好ましい測定値を得られないという問題があった。そこで、本発明は、以上のような課題に鑑みてなされたものであり、従来の検査治具と比較して簡素な構成で、高速かつ精密な検査を行うことができ、さらには、金属バリやカスの発生に伴う接触不良や回路短絡を防止し、良好な測定結果を得ることができる平面アンテナ等の被検査基板固定装置を提供することを目的とする。本発明にかかる被検査基板固定装置は、被検査基板を固定するための固定治具と、前記固定治具を垂直方向に可動させる可動部を備えた固定治具接続部と、前記固定治具接続部を水平方向に移動させる駆動部と、前記被検査基板に対し前記固定治具を垂直方向に加圧するための加圧部と、前記加圧部に取り付けられ、前記固定治具の水平方向の移動を誘導するとともに、前記加圧部の加圧力を前記固定治具に伝達するための加圧用レールとを備える被検査基板固定装置であって、前記固定治具は、その中央部に空洞部を有する支持板と前記支持板上に設けられた2以上の治具本体とを有し、前記治具本体の略中央部には、回転軸を有する回転部が備えられ、前記回転部が前記支持板に設置固定されることにより、前記治具本体は、前記回転軸を中心に回転可能に前記支持板上に設置され、前記治具本体は、その先端部にパッドをそれぞれ備え、前記治具本体の他端部には前記支持板との間にばねがそれぞれ設けられたことを特徴とする。このような構成により、手動でネジ等を用いて平面アンテナを固定する場合と比べ高速に平面アンテナを固定することができる。また、固定時には、前記回転部中の回転軸の中心の高さが被検査基板の固定面の高さと同じ高さになるように構成されたことを特徴とするまた、前記回転部中の前記回転軸の中心からパッドまでの距離は、前記回転軸の中心から前記ばねまでの距離よりも長いことを特徴とする。本発明にかかる平面アンテナ等の被検査基板固定装置によれば、従来ネジ又はクランプを用いて手動により固定されていた被検査基板を高速に自動的に固定することができる。また、検査台への被検査基板の固定において金属バリやカスが発生しないため、金属バリやカスによる回路短絡不良等を起こることが無い。また、被検査基板が平面アンテナである場合、一定の高さを有するクランプや一定の大きさを有するクランプによって、被検査平面アンテナのビーム放射に対する影響が無いため、良好な測定結果を得ることができる。以下、本発明にかかる検査用固定装置を実施するための形態について、図面を参照しながら詳述する。図1A~図1Cに、本発明の一実施形態における被検査基板固定装置100の全体図を示す。図1Aは、被検査基板固定装置100の上面図であり、図1Bは、図1Aにおける被検査基板固定装置100をIの方向から見た場合の側面構造図であり、図1Cは、図1Aにおける被検査基板固定装置100をIIの方向から見た場合の側面構造図である。図中、101はベースプレートである。このベースプレート101上には、加圧部102が設置され、加圧部102には加圧用レール103が接続されている。また、ベースプレート101上には、固定治具104をスライドさせるための駆動部105が設置されており、固定治具104は、駆動部105上にネジ止めされた固定治具接続部106に対して垂直方向に可動する可動部106bに接続固定されている。また、ベースプレート101上には、ステージ108が設置されており、図1A中、ステージ108上には、被検査基板である平面アンテナ107が載置されている。なお、後述するように、ステージ108上には、平面アンテナ107を位置決めするための位置決めピン114が付設されている図1B、図1C。ここで、加圧部102には、エアシリンダ、油圧シリンダ、モータ等、自動で一定加圧力をかけられる機構を備えるものであれば、いずれのものでも採用することができる。また、本実施形態においては加圧部102の数を4個としているが、この個数にも特に制限は無い。但し、固定治具104への加圧を均一に行うために、固定治具104の両側に同数ずつ配置することが好ましい。駆動部105は、サーボモータ、パルスモータ等、移動量を制御可能な機構を備えるものであれば、いずれのものでも採用することができる。ここで、移動制御量の精度としては、設定値±0.1mm以下の設定が可能なものであることが望ましい。±0.1mm以下の範囲であれば、固定治具104が被検査基板である平面アンテナ107に対して位置ずれを起こした場合であっても、測定値には影響を与えない。また、ステージ108の上面には、被検査基板である平面アンテナ107を位置決め載置するための位置決めピン14が付設されている。そして、平面アンテナ107には、位置決めピン14が嵌合するような位置決め穴不図示が設けられている。位置決めピン14及び位置決め穴の数は、典型的には基板の四隅にそれぞれ一箇所ずつ、計4箇所設けられる。そして、位置決めピン14の設置精度は、位置決め穴に対して±0.05mm以下であることが好ましい。すわなち、設置精度誤差が±0.05mm以下の範囲であれば、被検査基板である平面アンテナ107がステージ108に対して位置ずれを起こした場合であっても誤差の範囲となり、被検査基板の測定に影響を与えない。固定治具接続部106の下端部は、駆動部105と接続されており、駆動部105の駆動機構不図示によって、固定治具接続部106は駆動部105上をスライド移動する。また、固定治具接続部106に対して垂直方向に可動する可動部106bには、固定治具104が取り付けられている。可動部106bは、加圧部102の加圧によって、固定治具接続部106に対して垂直方向に可動する。そして、上述の固定治具接続部106のスライド移動によって、固定治具104は、加圧用レール103に誘導案内されてステージ108及びステージ108上に載置された平面アンテナ107の上部まで移動し、加圧部102の加圧によって、可動部106に取り付けられた固定治具104が下降し、平面アンテナ107を固定する。図2に、固定治具104の詳細構造を示す。図2Aは、固定治具104の上面図である。図2Bは、図2Aにおいて被検査基板である平面アンテナ107をステージ108上に位置決め載置し、これを治具本体109及び治具本体109の先端部に設けられたパッド111で固定する前の状態を、図2AのIの方向から見た側面構造図である。図2Cは、被検査基板である平面アンテナ107を治具本体109及びパッド111で固定した状態を、図2AのIの方向から見た側面構造図を示している。治具本体109は、被検査基板107を適切に固定できる位置に合わせて支持板110上に設置されている。なお、支持板110の中央部には、ステージ108の断面積よりも大きな矩形状の空洞部が設けられている。また、治具本体109の略中央部には、回転軸113bを有する回転部113が備えられ、この回転部113が支持板110にネジ止め等により設置固定されることで、治具本体109は、回転軸113bを中心に回転可能に支持板110上に設置されている。また、支持板110からみた回転軸113bの軸中心の高さは、被検査基板107が治具本体109及び治具本体109の先端部に設けられたパッド111によってステージ108に固定された時に、被検査基板107の平面と略同一平面となるような高さに設定されている。これにより、被検査基板107の固定時には、パッド111の接触面と被検査基板107とが均一に接触するため、被検査基板107に対する片当たりの発生を防止し、良好に固定することができる。また、パッド111の被検査基板の固定面からの高さは、4mm以内であることが望ましい。なお、治具本体109においてパッド111とは反対側に設けられたばね112は、コイル状ばね、皿ばね等の様々なばねを用いることができ、パッド111が被検査基板107に接触して加圧部102によって加圧されたときに適度な力でパッド111を基板107に押し付けるよう作用する。ここで、用いるばねの特性としては、任意のばね定数のばねと任意のばね押し潰し量を設定することで、被検査基板107への加圧力を容易に選択することができる。例えば、ばね定数150N/mmのばねを2mm押し潰せば、治具本体109あたり300Nの加圧力を被検査基板である平面アンテナに付勢できる。これにより、加圧部102の出力を変更せずに、被検査基板107に対し加わる圧力を容易に自由に変更することができる。なお、図2Cにおいて、回転部113の回転軸113bの中心からパッド111までの距離をaとし、回転軸113bの中心からばね112までの距離をbとしたとき、a>bとなるように構成すると、より好適である。すなわち、距離bに対して、距離aを十分にとっているので、被測定アンテナの厚みが、設定値からずれた場合においても、被固定アンテナを片当たりすることなく安定して固定することができる。また、固定治具104は、固定治具接続部106に対して垂直方向に可動する可動部106bに接続固定されているが、既知の着脱可能な接続部材を用いることによって、交換可能に構成することもできる。着脱可能な構成にすれば、様々な大きさの被検査基板に対応することができる。併せて、ステージ108も着脱可能に構成することによって、さらに多様な種類の被検査基板に対応できる。次に、本発明の一実施形態における被検査基板固定装置の動作を、図3を参照しながら詳述する。図3Aは平面アンテナ107を固定する前の被検査基板固定装置100を示すものである。また、図3Bは、平面アンテナ107を固定した状態の被検査基板固定装置100を示すものである。始めに、図3Aにおいて、被検査基板である平面アンテナ107をステージ108上に載置する。この時、平面アンテナ107に設けられた位置決め穴とステージ108上面に付設された位置決めピン114とを嵌合するようにこと平面アンテナ107を載置することにより、平面アンテナ107は、ステージ108上の所定の位置に位置決めされる。続いて、制御装置不図示による制御により駆動部105を駆動し、固定治具104を取り付けた固定治具接続部106を平面アンテナ107のある方向へスライド移動させ、固定治具接続部106及び固定治具接続部106に接続された固定治具104は、加圧用レール103に設けられたレール溝に誘導案内され、スライド移動する。そして、固定治具104は、平面アンテナ107のちょうど上部に達したところで停止する。続いて、加圧部102が、加圧部102に接続された加圧用レール103を平面アンテナ107のある向き図中下方に対し、3000Nで加圧する。このとき、固定治具104中の治具本体109は平面アンテナ107と接地し、ばね112は、ある程度押し潰される。ここで、ばね定数150N/mmのばねが2mm押し潰されるように設定しておけば、治具本体109あたり、300Nの加圧力が平面アンテナ107に付勢されることとなり、この加圧力によって、平面アンテナ107はステージ108に良好な圧力で固定される。平面アンテナ107がステージ108上に固定された後は、図示しない検査装置によって自動的に検査される。検査が終了すると、加圧部102の加圧力は自動的に開放され、駆動部105が再び駆動し、今度は、固定治具104を取り付けた固定治具接続部106を平面アンテナ107から遠ざかる方向へスライド移動させ、固定治具104は、元の位置に戻される。そこで、検査を終了した平面アンテナ107をステージ108から取り出し、次の平面アンテナ107をステージ108に載置し、効率よく連続して被検査基板の検査を実施することができる。以上のとおり、本発明にかかる被検査基板固定装置によれば、従来の検査治具と比較して簡素な構成で、高速かつ精密な検査を行うことができ、さらには、金属バリやカスの発生に伴う接触不良や回路短絡を防止し、良好が測定結果を得ることができる平面アンテナ等の被検査基板固定装置を提供することができる。