基板間に封入した表示媒体を電界により移動させて情報を表示する情報表示用パネルの基板クリーニング装置であって、上記基板を搬送する基板搬送装置と、上記基板搬送装置で搬送される基板表面に、その斜め前方からエアーを吹き付けるブロー装置と、上記ブロー装置の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断する仕切り板と、上記飛散する異物に対し、その上方から別途エアーを下向きに吹き出すダウンブロー装置と、上記ダウンブロー装置に対応して上記基板搬送装置の下方に設けられ、上記ダウンブロー装置により下方に吹き出される異物を吸引する吸引装置と、を備えることを特徴とする情報表示用パネルの基板クリーニング装置。前記ブロー装置が、少なくとも基板の幅全体にわたってエアーを吹き付けるラインブローヘッドと該ラインブローヘッドにエアーを供給するエアー配管とを有することを特徴とする請求項1に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。前記基板搬送装置が、搬送ローラー群を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。前記ダウンブロー装置の他に、前記仕切り板を挟み、前記ダウンブロー装置と対向する位置にエアーを下方に向けて吹き出すダウンブロー装置を設けたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。前記仕切り板に、イオナイザーを設けたことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。上述したように、特許文献2に記載されたような除塵装置を、本発明が対象とする情報表示用パネルの基板クリーニングに使用しようとすると、クリーニングヘッド103が大型のため、搬送装置により基板を移動させて連続した処理を行うライン上に設置することが困難な問題があった。また、ブロア105が強力なため基板102をステージ101に強固に固定する必要があり、この点でも、ライン上での製造に不向きとなる問題があった。本発明の目的は上述した問題点を解消して、構造がコンパクトとなるとともに基板固定が不要であり、ライン上で基板を搬送しながら基板上の異物をクリーニングすることができる情報表示用パネルの基板クリーニング装置を提供しようとするものである。本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置は、基板間に封入した表示媒体を電界により移動させて情報を表示する情報表示用パネルの基板クリーニング装置であって、上記基板を搬送する基板搬送装置と、上記基板搬送装置で搬送される基板表面に、その斜め前方からエアーを吹き付けるブロー装置と、上記ブロー装置の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断する仕切り板と、上記飛散する異物に対し、その上方から別途エアーを下向きに吹き出すダウンブロー装置と、上記ダウンブロー装置に対応して上記基板搬送装置の下方に設けられ、上記ダウンブロー装置により下方に吹き出される異物を吸引する吸引装置と、を備えることを特徴とするものである。本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の好適例としては、前記ブロー装置が、少なくとも基板の幅全体にわたってエアーを吹き付けるラインブローヘッドと該ラインブローヘッドにエアーを供給するエアー配管とを有することが挙げられる。また、前記基板搬送装置が、搬送ローラー群を備えることが挙げられる。さらに、前記ダウンブロー装置の他に、前記仕切り板を挟み、前記ダウンブロー装置と対向する位置にエアーを下方に向けて吹き出すダウンブロー装置を設けたことが挙げられる。さらにまた、前記仕切り板に、イオナイザーを設けたことが挙げられる。本発明によれば、情報表示用パネルの基板クリーニング装置を、基板搬送装置、ブロー装置、仕切り板、ダウンブロー装置、吸引装置により構成し、ブロー装置、仕切り板、ダウンブロー装置、吸引装置により構成し、基板搬送装置により搬送される基板に対し、ブロー装置および仕切り板で基板上の塵等の異物を他の部位を汚染することなく巻き上げ、巻き上げた異物をダウンブロー装置および吸引装置により吸引除去できる構成としたため、構造がコンパクトとなるとともに基板固定が不要であり、ライン上で基板を搬送しながら基板上の異物をクリーニングすることができる。また、ブロー装置を、少なくとも基板の幅全体にわたってエアーを吹き付けるラインブローヘッドとラインブローヘッドにエアーを供給するエアー配管とから構成した場合は、基板に対し後方に吹き付けるエアーを効果的に供給することができ、基板の幅方向全体にエアーを吹き付けることで、より効果的に基板の搬送路に対する固定ができるとともに、より効果的な異物除去を行うことができるため好ましい。<本発明の基板クリーニング装置によるクリーニングの対象となる基板を備える情報表示用パネルについて>まず、本発明の対象となる情報表示用パネルの一例である帯電粒子気体中移動型情報表示用パネルの基本的な構成について説明する。この情報表示用パネルでは、対向する2枚の基板間に封入した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に対向電極対から電界が付与される。付与された電界方向にそって、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動方向が切り換わることにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、表示情報を書き換える時あるいは表示した情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。図1a、bに示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した2種類の表示媒体ここでは負帯電性白色粒子3Waを含んだ白色粒子群3Wと正帯電性黒色粒子3Baを含んだ黒色粒子群3Bを示すを、隔壁4で形成された各セル7において、背面側のパネル基板1に設けた電極5ストライプ電極と観察側の透明なパネル基板2に設けた透明電極6ストライプ電極とが対向直交交差して形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板1、2と垂直に移動させる。そして、図1aに示すように白色粒子群3Wを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図1bに示すように黒色粒子群3Bを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示できるようにしている。なお、図1a、bにおいて、手前にある隔壁は省略している。また、8は接着剤である。さらに、ここではセルと画素ドットとが1対1に対応する従来の情報表示用パネルの例を示している。<本発明のクリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法について>図2は本発明のクリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。図2に示す例に従って、本発明の対象となる情報表示用パネルの製造方法の概略を説明すると、まず、下側の基板1にフォトリソ法などにより隔壁4を形成して隔壁付き下基板1を作製する。次に、下基板1上において隔壁4により形成されたセル7内に表示媒体となる粒子群例えば、白色粒子群3Wを撒布法などにより充填配置する。このとき、必要に応じて、他の色の粒子群例えば、黒色粒子群3Bを白色粒子群3Wに重ねてセル7内に充填する。次に、別に準備した上基板2を、粒子群を充填配置した下基板1上に接着剤などを介して貼り合わせて、下基板1上に上基板2を重ね合わせて、情報表示用パネル前駆体13を作製する。最後に、情報表示用パネル前駆体13を例えば加熱装置14中で加熱して、隔壁4と上基板2との間の接着剤を本硬化させることで、本発明の対象となる情報表示用パネルを得ている。本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置は、好適例として、図2に示す情報表示用パネルの製造方法の各工程のうち、隔壁4を形成する前の下基板1および下基板1と重ね合わす前の上基板2のそれぞれの表面上に残存する塵等の異物を除去するために使用されている。<本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の構成について>図3は本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の一例の構成を説明するための図である。図3に示す例において、本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置は、基板を搬送する基板搬送装置21と、基板搬送装置21で搬送される基板表面に、その斜め前方からエアーを吹き付けるブロー装置31と、ブロー装置31の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断する仕切り板41と、飛散する異物に対し、その上方から別途エアーを下向きに吹き出すダウンブロー装置51と、ダウンブロー装置51に対応して基板搬送装置21の下方に設けられ、ダウンブロー装置51により下方に吹き出される異物を吸引する吸引装置61とから構成されている。以下、上記本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置について、基板搬送装置21、ブロー装置31、仕切り板41、ダウンブロー装置51および吸引装置61の具体的な構成の一例を、図3および図4を参照して説明する。図3に示す例において、基板搬送装置21は、複数の搬送ローラー22を一例に並べた搬送ローラー群から構成されており、クリーニングの対象となる基板23を図中矢印で示す基板搬送方向に移動させる。ローラー22から構成される搬送路の幅は、基板23の幅と同じかそれ以上とする。本例では、基板搬送装置21を各搬送ローラー22間に空間が存在する搬送ローラー群から構成することで、ダウンブロー装置51から下方に吹き出される異物を、搬送ローラー群を介して、その下方に設けた吸引装置61で吸引することが可能となる。図3に示す例において、ブロー装置31は、基板搬送装置21で搬送される基板23に対してごく僅かの距離を隔てた近接した位置に設けられ、基板搬送装置21の基板搬送方向に対し後方に向けてエアーを吹き出すよう構成されている。また、本例において、ブロー装置31は、少なくとも基板23の幅全体の長さに配置されたラインブローヘッド32と、このラインブローヘッド32にエアーを供給するエアー配管33とから構成されている。ラインブローヘッド32を基板搬送装置21の搬送路に対し斜めに配置することで、基板23の表面上において、基板搬送装置21の基板搬送方向に対し後方に向けてエアーを吹き出すよう構成されている。この後方に向くエアーが基板23の表面に残存する塵等の異物を巻き上げる。図3に示す例において、仕切り板41は、基板搬送装置21の基板搬送方向よりも前方の位置であって、基板23に対してごく僅かの距離を隔てた近接した位置に設けられている。また、本例において、仕切り板41は、少なくとも基板23の幅全体の長さにわたって設けられている。この仕切り板41により、ブロー装置31の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断することができ、その結果、ブロー装置31により巻き上げられた塵等の異物が、クリーニング後の次工程に入り込み次工程を汚染することを防止することができる。図3に示す例において、ダウンブロー装置51は、基板搬送装置21の基板搬送方向に対してブロー装置31よりも後方の位置であって、基板搬送装置21の上側に設けられ、エアーを下方向に向けて吹き出すよう構成されている。本例において、ダウンブロー装置51は、HEPAフィルター52を介してエアー配管53から供給されるエアーを下向きに吹き出すよう構成されている。ダウンブロー装置51の下向きのエアーにより、巻き上げられた塵等の異物を下向きに移送することができる。また、HEPAフィルター52により、巻き上げられた塵等の異物を下方に移送するためのエアーの清浄化を図っている。図3に示す例において、吸引装置61は、ダウンブロー装置51の位置に対応させて、基板搬送装置21の下側に設けられている。また、本例において、吸引装置61は、プレフィルター62とHEPAフィルター63とから構成されている。プレフィルター62およびHEPAフィルター63により、巻き上げられ下方に移送された異物を含むエアーから異物を除去することができ、異物を除去した排気エアーをエアー配管64を介して外部に放出することができる。図4は本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の他の例の構成を説明するための図である。図4に示す例において、図3に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図4に示す例では、図3に示す構成に加えて、仕切り板41よりも基板搬送装置21の基板搬送方向に対して前方の位置であって、基板搬送装置21の上側に、エアーを下方向に向けて吹き出すダウンブロー装置71と、仕切り板41に設けたイオナイザー81とを備えている。図4に示す例において、ダウンブロー装置71は、HEPAフィルター72を介してエアー配管73から供給されるエアーを下向きに吹き出すよう構成されている。ダウンブロー装置71を設けた場合は、ダウンブロー装置71から供給される下向きのエアーが基板23の表面に衝突することにより、クリーニング工程終了後におけるクリーニングした基板23の清浄さを保つことができ好ましい。また、図4に示す例において、仕切り板41にイオナイザー81を設けた場合は、イオナイザー81が仕切り板41の除電を行い、巻き上げられた塵等の異物が仕切り板41に付着することを防止でき好ましい。<本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング方法について>図5a、bはそれぞれ本発明の基板クリーニング方法の一例を説明するための図である。図5a、bに示す例に沿って本発明の基板クリーニング方法の一例を説明すると、まず、図5aに示すように、基板搬送装置21の搬送路上を移動する基板23の表面に対し、ブロー装置31のラインブローヘッド32からエアーを基板搬送方向後方へ吹き付け、基板23の表面からクリーニングすべき異物を巻き上げる。次に、図5bに示すように、巻き上げた異物をダウンブロー装置51からのエアーで下方へ移動させ、下方へ移動した異物を吸引装置61で吸引して除去する。上述した本発明の基板クリーニング装置及びそれを用いた基板クリーニング方法では、エアーの吹き付けのみの構造であるため、基板搬送装置21によるライン上で基板23を搬送しながら基板23上の異物をクリーニングすることができる。また、従来のように、基板から異物を吸い込むための大型の配管およびブロアが不要となるため、省スペースでの設置が可能となり、設備費を安価に抑えることができる。