試験室と、気流の供給を受け、前記試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置と、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測する流量計と、前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御する流量制御装置と、前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、を備える、環境提供装置。前記噴霧装置制御装置が、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積に基づき、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間を設定する、請求項1に記載の環境提供装置。前記噴霧装置制御装置が、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記制御された気流の流量の前記流量計による計測値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間として設定する、請求項1又は2に記載の環境提供装置。前記噴霧装置制御装置が、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記流量制御装置が制御する前記気流の流量の前記所定の値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間として設定する、請求項1又は2に記載の環境提供装置。前記微粒子が、生物微粒子である、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の環境提供装置。前記試験室がチャンバである、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の環境提供装置。前記試験室がダクト形状を有する、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の環境提供装置。前記試験室内部の気体を攪拌する攪拌装置を更に備える、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の環境提供装置前記試験室内部の気体を清浄化する清浄化装置を更に備える、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の環境提供装置噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、を含む、環境提供方法。前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積に基づき、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間を設定する、請求項10に記載の環境提供方法。前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記制御された気流の流量の計測値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間として設定する、請求項10又は11に記載の環境提供方法。前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記気流の流量の前記所定の値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止させる時間として設定する、請求項10又は11に記載の環境提供方法。前記微粒子が、生物微粒子である、請求項10乃至13のいずれか1項に記載の環境提供方法。前記試験室がチャンバである、請求項10乃至14のいずれか1項に記載の環境提供方法。前記試験室がダクト形状を有する、請求項10乃至14のいずれか1項に記載の環境提供方法。前記試験室内部の気体を攪拌することを更に含む、請求項10乃至16のいずれか1項に記載の環境提供方法。前記試験室内部に前記微粒子を含む流体を噴霧する前に、前記試験室内部の気体を清浄化することを更に含む、請求項10乃至17のいずれか1項に記載の環境提供方法。噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量の計測値を計測することと、前記計測値に基づき、前記噴霧装置に供給される前記気流の流量を所定の値に制御することと、前記試験室内部に前記微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、所定の量の前記微粒子が前記試験室内に噴霧された後、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、微粒子検出装置で、前記試験室内部に飛散している前記微粒子を検出すること、前記微粒子検出装置で検出された前記微粒子の量を評価することと、を含む、微粒子検出装置の評価方法。前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積に基づき、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間を設定する、請求項19に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記制御された気流の流量の計測値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間として設定する、請求項19又は20に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記微粒子を含む流体の噴霧を停止することにおいて、予め設定された、前記気流の流量と、前記微粒子を含む流体が噴霧される時間と、の積を、前記気流の流量の前記所定の値で割ることによって得られる時間を、前記微粒子を含む流体の噴霧を停止する時間として設定する、請求項19又は20に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記微粒子が、生物微粒子である、請求項19乃至22のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記試験室がチャンバである、請求項19乃至23のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記試験室がダクト形状を有する、請求項19乃至23のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記試験室内部の気体を攪拌することを更に含む、請求項19乃至25のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。前記試験室内部に前記微粒子を含む流体を噴霧する前に、前記試験室内部の気体を清浄化することを更に含む、請求項19乃至26のいずれか1項に記載の微粒子検出装置の評価方法。そこで、本発明は、飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置、環境提供方法、及び微粒子検出装置の評価方法を提供することを目的の一つとする。本発明の態様によれば、a試験室と、b気流の供給を受け、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置と、c噴霧装置に供給される気流の流量の計測値を計測する流量計と、d計測値に基づき、噴霧装置に供給される気流の流量を所定の値に制御する流量制御装置と、e試験室内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、f所定の量の微粒子が試験室内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、を備える、環境提供装置が提供される。また、本発明の態様によれば、a噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、b噴霧装置に供給される気流の流量の計測値を計測することと、c計測値に基づき、噴霧装置に供給される気流の流量を所定の値に制御することと、d試験室内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、e所定の量の微粒子が試験室内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、を含む、環境提供方法が提供される。さらに、本発明の態様によれば、a噴霧装置に気流を供給し、試験室内部に微粒子を含む流体を噴霧することと、b噴霧装置に供給される気流の流量の計測値を計測することと、c計測値に基づき、噴霧装置に供給される気流の流量を所定の値に制御することと、d試験室内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測することと、e所定の量の微粒子が試験室内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止することと、f微粒子検出装置で、試験室内部に飛散している微粒子を検出すること、g微粒子検出装置で検出された微粒子の量を評価することと、を含む、微粒子検出装置の評価方法が提供される。本発明によれば、飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置、環境提供方法、及び微粒子検出装置の評価方法を提供可能である。以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。図1に示す実施の形態に係る環境提供装置は、試験室1と、気流の供給を受け、試験室1内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置2と、噴霧装置2に供給される気流の流量の計測値を計測する流量計3と、計測値に基づき、噴霧装置2に供給される気流の流量を制御する流量制御装置4と、試験室1内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、所定の量の微粒子が試験室1内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、を備える。試験室1は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備えるチャンバである。ただし、試験室1の形状は、ダクト等であってもよい。試験室1内部の体積は、例えば3m3であるが、これに限定されない。試験室1には、例えば給気装置11A、11Bが設けられている。給気装置11A、11Bは、HEPAHighEfficiencyParticulateAirFilter及びULPAUltraLowPenetrationAirFilter等の超高性能エアフィルタを通して、試験室1内部に清浄な空気を送り込む。試験室1の側壁には、扉が設けられていてもよい。噴霧装置2は、例えばジェット式ネブライザであり、所定の濃度で微粒子を含む流体を保管する。流体に含まれる微粒子とは、例えば、細菌、真菌、ウイルス、及びアレルゲン物質等の微生物である。あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、無害又は有害な化学物質である。また、あるいは、流体に含まれる微粒子とは、例えば、ごみ、ちり、及び埃等のダストである。噴霧装置2は、所定の流量で圧縮ガス等の気流を供給され、気流を、微粒子を含む流体に吹きつけることによってエアロゾルを発生させ、試験室1内部に微粒子を含む流体をミスト状にして噴霧する。なお、図1においては、噴霧装置2は試験室1内部に配置されているが、噴霧装置2を試験室1の外部に配置し、噴霧装置2が噴霧したエアロゾルを、配管等で試験室1内部に誘導してもよい。実施の形態に係る環境提供装置は、圧縮ガスを貯蔵する貯蔵槽5をさらに備える。貯蔵槽5、流量計3、流量制御装置4、及び噴霧装置2は、例えばパイプ12で接続されている。また、貯蔵槽5と、流量計3と、の間には、圧縮ガスに含まれ得る微粒子等を除去するための、例えばHEPA等の超高性能エアフィルタが設けられている。なお貯蔵槽5は、コンプレッサーやポンプなどの圧縮ガス供給源でもよい。流量計3は、マスフローメータ等が使用可能であり、貯蔵槽5から供給される圧縮ガスの流量の計測値を計測する。図2に示すように、流量計3は、パイプ12と連通するパイプ状の流路31が設けられた筐体32と、流路31を流れる圧縮ガスの流量を検出するための流れセンサ38と、を備える。図3及び図4に示す流れセンサ38は、キャビティ66が設けられた基板60、及び基板60上にキャビティ66を覆うように配置された絶縁膜65を備える。基板60の厚みは、例えば0.5mmである。また、基板60の縦横の寸法は、例えばそれぞれ1.5mm程度である。絶縁膜65のキャビティ66を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。さらに流れセンサ38は、絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた発熱素子61と、発熱素子61を挟むように絶縁膜65のダイアフラムの部分に設けられた第1の測温素子62及び第2の測温素子63と、基板60上に設けられた保温素子64と、を備える。発熱素子61は、キャビティ66を覆う絶縁膜65のダイアフラムの部分の中心に配置されている。発熱素子61は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、発熱素子61に接する圧縮ガスを加熱する。第1の測温素子62及び第2の測温素子63は、例えば抵抗器等の受動素子等の電子素子であり、圧縮ガスの温度に依存した電気信号を出力する。第1の測温素子62は発熱素子61より流路31の上流側の温度を検出するために用いられ、第2の測温素子63は発熱素子61より流路31の下流側の温度を検出するために用いられる。図2に示す流路31中のガスが静止している場合、図3及び図4に示す発熱素子61から圧縮ガスに加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に伝播する。したがって、第1の測温素子62及び第2の測温素子63の温度は等しくなり、白金等からなる第1の測温素子62及び第2の測温素子63の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図2に示す流路31中の圧縮ガスが上流から下流に流れている場合、図3及び図4に示す発熱素子61から圧縮ガスに加えられた熱は、圧縮ガスによって下流方向に運ばれる。したがって、上流側の第1の測温素子62の温度よりも、下流側の第2の測温素子63の温度が高くなる。そのため、第1の測温素子62の電気抵抗と、第2の測温素子63の電気抵抗と、に差が生じる。第2の測温素子63の電気抵抗と、第1の測温素子62の電気抵抗と、の差は、図2に示す流路31中の圧縮ガスの速度と相関する。そのため、第2の測温素子63の電気抵抗と、第1の測温素子62の電気抵抗と、の差から、流路31を流れる圧縮ガスの流量が求められる。図3及び図4に示す保温素子64は、例えば抵抗器であり、電力を与えられて発熱し、基板60の温度を一定に保つ。基板60の材料としては、シリコンSi等が使用可能である。絶縁膜65の材料としては、酸化ケイ素SiO2等が使用可能である。キャビティ66は、異方性エッチング等により形成される。また発熱素子61、第1の測温素子62、第2の測温素子63、及び保温素子64のそれぞれの材料には白金Pt等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。流れセンサ38は、流れセンサ38の底面に配置されたガラス等からなる断熱部材68を介して、図2に示す流路31に固定される。断熱部材68を介して流れセンサ38を流路31に固定することにより、流れセンサ38の温度が、流路31の内壁の温度変動の影響を受けにくくなる。図1に示す流量制御装置4は、流量計3によって計測された流量の計測値に基づいて、パイプ12を流れる圧縮ガスの流量を、所定の値に制御する。図5に示すように、流量制御装置4は、例えば、流路43と、流路44と、流路43及び流路44の間に設けられた弁室45と、が設けられた弁座42を備える。さらに流量制御装置4は、磁性体のプランジャ47と、通電されてプランジャ47を上下させるソレノイドコイル48と、弁室45に収納され、プランジャ47に接続され、流路44を開閉する弁体46と、を備える。例えば、流量計3によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも大きい場合、流量制御装置4は、ソレノイドコイル48に通電して弁体46と、弁座42と、の間を狭め、圧縮ガスの流量を減少させる。また、流量計3によって計測された圧縮ガスの流量の計測値が所定の値よりも小さい場合、流量制御装置4は、ソレノイドコイル48に通電して弁体46と、弁座42と、の間を広げ、圧縮ガスの流量を増加させる。これにより、パイプ12を流れ、噴霧装置2に供給される圧縮ガスの流量が、所定の値の近傍に制御される。なお、図1においては、流量制御装置4は、流量計3の下流に配置されているが、流量制御装置4を、流量計3の上流に配置してもよい。試験室1内には、攪拌装置としての攪拌ファン10A、10B、10C、10Dが配置されている。攪拌ファン10A-10Dは、試験室1内部の空気を攪拌し、試験室1内部に散布された微粒子の自重による自然沈降を防止する。また、試験室1内には、清浄化装置としてのエアクリーナー6が配置されている。エアクリーナー6は、試験室1内部の空気等の気体に含まれる微粒子を除去して、気体を清浄化する。例えば、噴霧装置2から試験室1内に微粒子を含む流体を噴霧する前に、エアクリーナー6を運転することによって、噴霧装置2が噴霧する微粒子以外の微粒子をあらかじめ試験室1内部から除去することが可能である。なお、図1においては、エアクリーナー6は試験室1内部底面に配置されているが、エアクリーナー6を試験室1の壁面または天井部に配置してもよい。さらに、試験室1には、粒子計数器パーティクルカウンタ13が配置されている。粒子計数器13は、試験室1内部の微粒子の数、密度、又は濃度等の量を計測する。粒子計数器13には、光散乱式自動粒子計数器等が使用可能である。またさらに試験室1には、例えば微粒子の捕捉性能が試験される微粒子検出装置20A、20B、20C、20Dが設置される。微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれは、試験室1内部の空気を吸引して微粒子を捕捉し、試験室1内部を飛散する微粒子の数、密度、又は濃度等の量を計測する。例えば、粒子計数器13による微粒子の量の計測値に対する、微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれによる微粒子の量の計測値の比が、微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれの微粒子の捕捉性能として評価される。例えば噴霧装置2に接続されたタイマは、噴霧装置2が流体の噴霧を開始してからの時間を計測する。また、例えば噴霧装置2に接続された噴霧装置制御装置は、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積に基づき、噴霧装置2に流体の噴霧を停止させる時間を設定する。具体的には、噴霧装置制御装置は、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積を、流量計3によってリアルタイムで計測された圧縮ガスの流量の計測値で割ることによって得られる時間を、噴霧装置2に流体の噴霧を停止させる時間として設定する。タイマで計測されている時間が、噴霧装置2に流体の噴霧を停止させる設定時間になった時点で、噴霧装置制御装置は、噴霧装置2を制御して、噴霧装置2からの流体の噴霧を停止させる。なお、噴霧装置制御装置は、流量制御装置4を制御することにより、噴霧装置2からの流体の噴霧を停止させてもよい。以上説明した実施の形態に係る環境提供装置によれば、複数回の試験を行う毎に、噴霧装置2に供給される圧縮ガスの流量と、微粒子を含む流体が試験室1内に噴霧される時間と、の積を一定にすることが可能となる。そのため、噴霧装置2に貯蔵されている流体に含まれる微粒子の濃度が一定である場合、複数回の試験を行う毎に、試験室1内部に供給される微粒子の量を一定にすることが可能となる。ここで、試験室1内部を飛散する微粒子の量が、微粒子検出装置20A-20Dを試験する毎に異なっていては、微粒子検出装置20A-20Dのそれぞれの微粒子の捕捉性能を正確に評価することが困難となる。そのため、試験室1内部を飛散する微粒子の量は、微粒子検出装置20A-20Dを試験する毎に変わらないことが望ましい。これに対し、実施の形態に係る環境提供装置によれば、同一の試験環境を、再現性よく提供することが可能となる。その他の実施の形態上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態では、図1に示す噴霧装置2がジェット式ネブライザである例を示したが、気流の供給を受けて試験室1内部に微粒子を含む流体を噴霧できる限りにおいて限定されない。また、微粒子検出装置20A、20B、20C、20Dが試験室1の底面に設置されている例を示したが、微粒子検出装置20A、20B、20C、20Dは、試験室1の側面に設置されていてもよい。さらに、実施の形態では、図1に示す流量計3として、マスフローセンサを用いる例を示したが、他の種類の流量計も使用可能である。またさらに、実施の形態では、噴霧装置制御装置が、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積を、流量計3で計測された圧縮ガスの流量の計測値で割ることによって得られる時間を、噴霧装置2に流体の噴霧を停止させる時間として設定する例を説明した。これに対し、予め設定された、圧縮ガスの流量と、流体が噴霧される時間と、の積を、流量制御装置4が設定する流量の所定の値で割ることによって得られる時間を、噴霧装置2に流体の噴霧を停止させる時間として設定してもよい。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。