上流側からガスが供給される一次室、制御された圧力のガスを下流側に供給する二次室、及び、前記一次室と二次室とを連通させる弁孔を備えたバルブボディと、前記二次室に配置されて二次室側から前記弁孔を開閉する弁体と、前記弁体に対して前記弁孔を開弁させる方向に電磁駆動力を及ぼすソレノイドと、前記一次室側から前記弁孔を貫通して一端が前記弁体に接続され、他端が前記一次室内に突出する前記ソレノイドの駆動ロッドに接続されるバルブロッドと、前記バルブロッドに一端が気密接続され、前記駆動ロッドを覆うように軸方向に延設され、他端が前記バルブボディ側に気密接続されるベローズと、前記二次室内に配置されて前記弁体を閉弁させる方向に付勢させるバネとを備えることを特徴とする圧力制御弁。前記ベローズがステンレス製であることを特徴とする請求項1記載の圧力制御弁。前記ベローズの有効径と前記弁孔の径とを等しく設定することを特徴とする請求項1または2記載の圧力制御弁。上記従来技術1では、第2の入出口ポート51の圧力をダイヤフラムシール部材62の背面に印加し、弁体56の有効受圧径とダイヤフラムシール部材62の有効受圧径を相等しく設定することにより、第1の入出口ポート50の圧力と第2の入出口ポート51の圧力との差圧により弁体56に加わる力を相殺する構造としているため、一定の電流値で一定の開口面積を保持することができるが、第1の入出口ポート50の圧力が変動したときに第2の入出口ポート51の圧力流量が変動してしまうという問題がある。また、ダイヤフラムシール部材62としてゴム部材を用いているため、ガス透過によりリークが発生する。さらに、材質がゴムであることにより、ダイヤフラムシール部材62の耐圧限度が低く、第1の入出口ポート50の圧力を高く設定することができないという問題もあった。さらにまた、ソレノイド内部の摺動部品がガスと接触してしまう構造のため、ガス中へのコンタミ混入の可能性がある。上記従来技術2は、樹脂または金属材料を基材とする蛇腹部材73によりアクチュエータ78側が二次側通路71から遮蔽される構造であるが、受圧に伴い変形する方向において伸縮可能な構造とされた蛇腹部材73を設けたことで小型化を可能にしたところに特徴があり、1次側通路70の圧力の変動に対応する配慮がなされていないため、1次側通路70の圧力が変動したときに二次側通路71の圧力流量が変動してしまうという問題がある。本発明は、上記従来技術1及び2の有する問題点を解決するためになされたものであって、弁体に作用する下流側の制御圧力による閉弁方向の力とソレノイドによる開弁方向の力を対抗させる構造とすることにより、ガスの消費量が変動し流量が変化する場合及び上流側の圧力が変化する場合でも、ソレノイドに通電する電流によって下流側の制御圧力を任意の値に制御可能な圧力制御弁を提供することを目的とする。また、ソレノイド内部の摺動部分と制御ガスとを遮断することにより、制御ガスへのコンタミ混入を防止できる圧力制御弁を提供することを目的とする。さらに、ベローズをステンレス製とすることにより、上流側圧力を高く、広い範囲に設定できるとともにガスリークの少ない圧力制御弁を提供することを目的とする。さらにまた、ベローズの受圧面積と弁体の受圧面積を等しくすることにより、弁体への上流側の圧力による力を相殺することができる圧力制御弁を提供することを目的とする。上記目的を達成するため本発明の圧力制御弁は、第1に、上流側からガスが供給される一次室、制御された圧力のガスを下流側に供給する二次室、及び、前記一次室と二次室とを連通させる弁孔を備えたバルブボディと、前記二次室に配置されて二次室側から前記弁孔を開閉する弁体と、前記弁体に対して前記弁孔を開弁させる方向に電磁駆動力を及ぼすソレノイドと、前記一次室側から前記弁孔を貫通して一端が前記弁体に接続され、他端が前記一次室内に突出する前記ソレノイドの駆動ロッドに接続されるバルブロッドと、前記バルブロッドに一端が気密接続され、前記駆動ロッドを覆うように軸方向に延設され、他端が前記バルブボディ側に気密接続されるベローズと、前記二次室内に配置されて前記弁体を閉弁させる方向に付勢させるバネとを備えることを特徴としている。第1の特徴により、ガスの消費量が変動し流量が変化する場合及び上流側の圧力が変化する場合でも、ソレノイドに通電する電流によって下流側の制御圧力を任意の値に制御できる。また、ソレノイド内部の摺動部分と制御ガスとを遮断しているため、制御ガスへのコンタミ混入を防止できる。また、本発明の圧力制御弁は、第2に、第1の特徴において、ベローズがステンレス製であることを特徴としている。第2の特徴により、上流側圧力を高く、広い範囲に設定できるとともにガスリークの量を少なくすることができる。また、本発明の圧力制御弁は、第3に、第1または第2の特徴において、ベローズの有効径と弁孔の径とを等しく設定することを特徴としている。第3の特徴により、弁体への上流側の圧力による力を相殺することができる。本発明は、以下のような優れた効果を奏する。1上流側からガスが供給される一次室、制御された圧力のガスを下流側に供給する二次室、及び、前記一次室と二次室とを連通させる弁孔を備えたバルブボディと、前記二次室に配置されて二次室側から前記弁孔を開閉する弁体と、前記弁体に対して前記弁孔を開弁させる方向に電磁駆動力を及ぼすソレノイドと、前記一次室側から前記弁孔を貫通して一端が前記弁体に接続され、他端が前記一次室内に突出する前記ソレノイドの駆動ロッドに接続されるバルブロッドと、前記バルブロッドに一端が気密接続され、前記駆動ロッドを覆うように軸方向に延設され、他端が前記バルブボディ側に気密接続されるベローズと、前記二次室内に配置されて前記弁体を閉弁させる方向に付勢させるバネとを備えることにより、ガスの消費量が変動し流量が変化する場合及び上流側の圧力が変化する場合でも、ソレノイドに通電する電流によって下流側の制御圧力を任意の値に制御できる。また、ソレノイド内部の摺動部分と制御ガスとを遮断しているため、制御ガスへのコンタミ混入を防止できる。2ベローズがステンレス製であることにより、上流側圧力を高く、広い範囲に設定できるとともにガスリークの量を少なくすることができる。3ベローズの有効径と弁孔の径とを等しく設定することにより、弁体への上流側の圧力による力を相殺することができる。本発明に係る圧力制御弁を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加えうるものである。図1は、本発明の実施の形態に係る圧力制御弁1がマニホールド部材2に装着された状態を示す正面断面図であって、圧力制御弁1はマニホールド部材2の収容室3に挿入され、ボルト4により固定されている。本実施の形態において、圧力制御弁1は、燃料電池へ供給する水素ガスの流量を調整するため、ノズル部のガス圧力を制御するために使用されるものである。マニホールド部材2には、ガス供給源から水素ガスが供給される入口側通路5及び燃料電池のノズル部に制御された圧力の水素ガスを供給する出口側通路6を備えている。入口側通路5のガス圧力Poはおよそ1~2MPa、出口側通路6のガス圧力Pcは出口側の最小圧力通常0から1MPa程度である。圧力制御弁1は、入口側通路5から水素ガスが供給される一次室7、制御された圧力の水素ガスを出口側通路6に供給する二次室8、及び、一次室7と二次室8とを連通させる弁孔9を備えたバルブボディ10と、二次室8に配置されて二次室側から弁孔9を開閉する弁体11と、弁体11に対して弁孔9を開弁させる方向に電磁駆動力を及ぼすソレノイド12とを有している。前記一次室7と二次室8とを連通させる弁孔9は、一次室7と二次室8との間に位置する隔壁13により形成されており、隔壁13の二次室8側の面には弁座14が形成されている。二次室8内において、弁体11から離れた背後位置にリテーナ15が螺子等により調整自在に装着されており、該リテーナ15と弁体11との間には弁体11を閉弁させる方向に付勢させるバネ16が設けられている。弁体11及びリテーナ15の対向する側は、バネ16が装着しやすいようにバネ16の内側に位置する部分が突出した形状となっている。バネ16の装着の方法については、これに限らず、例えば、バネ16を外側から保持するようにしてもよい。また、リテーナ15の軸心にはガスの通路となる孔21が形成されている。一次室7内にはソレノイド12の駆動ロッド18が突出するように配置され、該駆動ロッド18と二次室8内に配置された弁体11とを連結するバルブロッド17が一次室7側から弁孔9を貫通するようにして設けられている。本例では、バルブロッド17の弁体11側の端部が弁体11の中心に形成された凹部22に嵌合し、また、駆動ロッド18側の端部が駆動ロッド18の先端を収容できる印籠部23を有し、該印籠部23に駆動ロッド18の端部が挿入されている。なお、弁体11の凹部22に雌ネジを形成し、これに嵌合するバルブロッド17の端部に雄ネジを形成して、両者を螺合するようにしてもよい。ソレノイド12は、ケース24、励磁コイル25、可動鉄芯26、スプリング27、固定鉄芯28及び前記駆動ロッド18等から構成される。本例において、弁体11の制御圧はベローズ19の内側、すなわち、ソレノイド12の内部の圧力を基準として設定される。たとえば、ソレノイド12の内部が図示しない穴により外部と連通し、大気圧に保たれる場合、制御圧は大気圧基準ゲージ圧で制御される。また、ソレノイド12の内部が外部と連通していない場合、ソレノイド12の内部を真空に設定することにより、制御圧は真空基準絶対圧で制御されるものである。そして、一次室7内において、蛇腹状のベローズ19が、バルブロッド17の印籠部23に一端が溶接等により気密接続され、駆動ロッド18を覆うように軸方向に延設され、他端が一次室7のソレノイド12側にOリング29を介してバルブボディ10と気密に嵌合して設けられたベース20に溶接等により気密接続されて設けられている。このように、ベローズ19を設けることにより、一次室7とソレノイド12の可動部分とは気密に分離された状態にあり、ソレノイド側からガス中へのコンタミ混入を防止することができる。このベローズ19は一次室7内のガスの圧力を受けて、その長さが縮む方向、すなわち、弁体11を閉弁させる方向への力F2を発生するものである。ベローズ19の材料としては、ガス透過性の小さいステンレス、特に水素ガス用としてはSUS316Lが望ましく、この場合、コンタミ混入の防止に加えてリークガス量を低減することもできる。図2は、図1に示す圧力制御弁の弁体部の拡大断面図であって、一次室7内の水素ガス圧を一次室圧力Po、また、二次室8内の制御された水素ガス圧を二次室圧力Pcとする。また、弁孔9の面積をA1、ベローズ19の有効受圧面積をA2とする。弁体11は、一次室圧力Poにより、一次室7側から弁体を開く向きの力F1=A1×Poを受ける。同時に、バルブロッド17を介して、一次室圧力Poによりベローズ19に作用する弁体を閉じる向きの力F2=A2×Poを受ける。このとき、A1とA2とを等しく設定することにより、F1=F2となり一次室圧力Poにより弁体11に作用する力を相殺することができる。これにより、一次室7に供給される上流側のガスの圧力が変動しても弁体の作動に対する影響を極力抑えることができる。一方、弁体11は、二次室圧力Pcにより弁体を閉じる向きの力F3=A1×Pcを受ける。詳述すると、弁体11と弁座14との金属接触部A1より径方向外側の部分には二次室圧力Pcが周り込むので、結局、A1の範囲で弁体11の背後に作用する二次室圧力Pcが弁体を閉じる方向に力F3=A1×Pcを発生するからである。また、弁体11は、バネ16により初期的に閉じる向きの力F4を受けている。さらに弁体11には、ソレノイド12から、駆動ロッド18及びバルブロッド17を介して弁体を開く向きの推力F5が伝えられる。バネ力F4及びソレノイド推力F5は弁体11の位置により変化するが、これらの力の勾配を正負逆で絶対値が概略等しくなるように設定することができる。このように設定しておけば、バネ力F4とソレノイド推力F5の合成推力Fは弁体11の位置の影響が小さく、ソレノイド12に通電される電流値により任意の値をとることが可能である。図3は、本発明に係る圧力制御弁におけるソレノイドの制御電流と制御圧力Pcの関係を説明する図である。今、ソレノイド12に通電され、合成推力Fが0を越えると、弁体11が開き、ガスが一次室7から二次室8へ流入し、二次室圧力Pcが上昇する。これにより、弁体11を閉じる向きの力F3が発生するが、F=F3=A1×Pcとなる弁体の位置で力の釣り合いが成立する。したがって、ソレノイド12への電流値の設定により二次室圧力Pcを任意の値に制御することが可能になる。出口側通路6に接続される機器のガス消費量が変化し、流量が変化する場合でも、上記の釣り合いが成立する弁体位置が変化することにより、二次室圧力Pcを保持することが可能である。また、入口側通路5に供給されるガス供給源の圧力が変化する場合でも同様に、二次室圧力Pcを保持することが可能である。