"フィルム状の電極基板を用意する工程と、複数のカレンダーローラー系に光電変換デバイスを構成する高分子有機材料を半溶融状態でそれぞれ供給し、該複数のカレンダーローラー系を構成する複数のカレンダーローラーによりそれぞれ圧延して複数のフィルムとする工程と、該複数のフィルムを光電変換機能が生ずる順に電極基板上に順次ラミネートする工程とを含む有機光電変換デバイスの製造方法。上記複数のカレンダーローラー系を構成する複数のカレンダーローラーによりそれぞれ圧延して複数のフィルムとする工程において、各カレンダーローラー間は密着し、材料の粘弾性に従ってこの間の圧力により膜厚を制御することを特徴とする請求項1に記載の有機光電変換デバイスの製造方法。上記複数のフィルムを光電変換機能が生ずる順に電極基板上に順次ラミネートする工程の後に、上記光電変換機能が生ずる順に電極基板上に順次ラミネートされたフィルム上に電極を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の有機光電変換デバイスの製造方法。上記有機光電変換デバイスは、高分子有機ELデバイスであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の有機光電変換デバイスの製造方法。本発明は、上記に鑑み提案されたものであり、本発明の課題は、高分子有機光電変換デバイスを、低分子有機光電変換デバイスと同様な多層構造を高い生産性によって実現することである。上記課題を解決するための手段は次のとおりである。1フィルム状の電極基板を用意する工程と、複数のカレンダーローラー系に光電変換デバイスを構成する高分子有機材料を半溶融状態でそれぞれ供給し、該複数のカレンダーローラー系を構成する複数のカレンダーローラーによりそれぞれ圧延して複数のフィルムとする工程と、該複数のフィルムを光電変換機能が生ずる順に電極基板上に順次ラミネートする工程とを含む有機光電変換デバイスの製造方法。2上記複数のカレンダーローラー系を構成する複数のカレンダーローラーによりそれぞれ圧延して複数のフィルムとする工程において、各カレンダーローラー間は密着し、材料の粘弾性に従ってこの間の圧力により膜厚を制御することを特徴とする1に記載の有機光電変換デバイスの製造方法。3上記複数のフィルムを光電変換機能が生ずる順に電極基板上に順次ラミネートする工程の後に、上記光電変換機能が生ずる順に電極基板上に順次ラミネートされたフィルム上に電極を形成する工程をさらに含むことを特徴とする1又は2に記載の有機光電変換デバイスの製造方法。4上記有機光電変換デバイスは、高分子有機ELデバイスであることを特徴とする1ないし3のいずれかに記載の有機光電変換デバイスの製造方法。本発明によれば、高分子有機光電変換デバイスを現在工業化されているプラスチックフィルムの製造方法と同一の手法で形成することによって、低分子有機光電変換デバイスと同様な多層構造が実現される。高分子材料は低分子系よりも多様性があり個々の分子設計のみならずプラスチック成形を背景に機能単位の空間配置も制御可能で、且つ低分子系より構造が安定しており水、酸素に対する耐性も高い。更に塗布、蒸着と異なり、投入材料の使用倍率は原理的に100である。特に多層化に於いては、押出成形の場合層間の粘度調整等で材料が限定されるが、本提案のカレンダー方式では、基本的に単膜を薄膜化してこれをラミネートする形式であるので、ほぼ全ての高分子材料が使用可能である。即ち、前記半溶融状態は、熱可塑から溶融状態に至る範囲を示しており、膜厚はローラーの段数、圧力、回転数等の精密制御可能なパラメーターで制御される点は工業技術として優れている点である。またカレンダー方式でのフィルム製造の速度は数100mminと高速で且つ装置コストも低い。また高分子融液を変形してフィルム状としているので、従来の塗布による高分子膜と異なり不純物は大幅に低減され高品質の膜となっている。従って照明用途等に要求される大量生産性、低コストと同時に高信頼性も実現することができる。以下高分子有機EL素子を例示して本発明を説明する。図1は、本発明により得られた有機EL素子構造を示したものである。電極基板となる陽極基板1に高分子有機ELフィルム2を接着して、この上に陰極電極3を付加する構成である。陽極基板の表面はITO電極とこれを一部覆う絶縁膜からなり、陽極端子4は基板裏面に形成されている。高分子有機ELフィルム、陰極電極を連続的に積層し、全体にパッシベーション膜6図はその一部を示すを被覆した連続テープの形で製造される。陰極電極は後述するように蒸着によって形成する。陰極端子5は陰極電極面上に置く。この両端子が端部に来る形でテープを切断、これが単位線状発光体7となる。図1は、この線状発光体を平面状に並べてパッシベーション膜を一部除去して陽極、陰極端子を露出して、各々の共通端子引き出し線8、9で接続したものであり、平面照明を構成する。図2は、カレンダーローラーの原理構成を示す図である。押出機10は高分子融液の供給源の機能であり、ここから押出された高分子融液を半溶融状態に保ったまま、カレンダーローラー系11の各カレンダーローラー11-1~11-4により段階的に薄膜化し、最終段の冷却及びラミネートローラー11-5によって目的とする膜厚のフィルム12が基板13にラミネートされる。これはプラスチック工業におけるカレンダー方式と同様の構成であるが、プラスチック工業の場合膜厚が20μmのオーダーであり、膜厚はローラーのギャップによって制御できる。本発明に於ける様に最終段が数10nm以下の膜厚が要求される場合は、このような考え方は成り立たない。即ち、現行の機械加工精度、ベアリングの精度からローラーの真円度は200nmが限界であり、従ってこれ以下の膜厚を形成できない。目標とする膜厚を達成するためには、図2に模式的に示す様に、二つのカレンダーローラー15-1、15-2間はそれぞれの回転軸16-1,16-2の位置のサーボ制御によりローラー間を常に密着させる。膜厚は材料の粘弾性に従って、この接触圧力とローラー相互の回転速度の差により制御される。なお、図2ではカレンダーローラーは4段で示されているが膜厚によってはこの段数を増やすことは特に断るまでもない。図3はカレンダーローラー系を多段に並べて多層膜を形成する原理を示す。第一段では押出成形機20-1から押出された高分子融液をカレンダーローラー系21-1によって第一層の薄膜22-1を形成、これをリール24から巻き出された陽極基板23上にラミネートする。以下層数に応じた第一段と同様なカレンダーローラー系を光電変換機能が発現する順に並べて多層構造を形成する。図3では7層の場合を例示している但し、第三~第六段は省略。図4は、本方式に於けるカレンダーローラーの原理構成図である。カレンダーローラーは少なくとも3段階の径からなるシャフトであり、AA’断面において左右対称な形状である。中心部の最大径の部分30-1、30-2がnmオーダーの面精度で研磨された圧延部である。当該圧延部の接触、加圧は次段階の径31-1、31-2を加圧系34-1~34-4で加圧することにより行われる。両者の接触部には固体潤滑膜が形成されている。ローラーの回転はベアリング33-1、33-2で保持された軸部32-1、32-2にモーター図に示していないの軸が接続されている。圧延部は35で示される部分に収納されたハロゲンランプ等により表面加熱され、軸部32-1、32-2は空冷乃至は水冷によって一定温度に保つ。図4はBB’断面図である。図5はフィルム状の陽極基板の構造を示す。基板材料は主として透明プラスチックで広幅のロールにITO電極41を成膜し、使用する幅にスリッティングした連続テープ40を陽極基板の基材テープとして用いる。48は基板の貫通孔でテープ走行のモニタ及び陰極部の位置等合わせに用いる。この基材テープの全面にCuをスパッタ等で成膜し、フォトリソ工程により図5に示すようにITO上のCuを基材テープの周辺部を残してエッチングで除去し、ITO補強電極32を形成する。同図AA’断面に対応した図5に示すように基材テープ背面の一部のCuを残し陽極端子43とする。図5BB’断面に対応する図5に示すように、端子部以外の背面のCuは除去され、EL発光の出射面となる。図5、におけるF、Gは切断部である。図5の44はITO補強電極の側断面で、ITOとの接触を示しており、更にこの表面にNi、Au等をメッキしてITO抵抗による電圧降下を大幅に低減する。陽極基板の最終形態は図5に示すように基材テープの側面と周辺部をSiOx絶縁層45で被覆、特にITO面の一部に陰極端子部に対応するSiOx層46を設ける。この膜によって陽極と陰極の絶縁を取る。図5は、図5のCC’断面、図5はEE’断面を示す。図6は、図3に示すようにRtR走行して高分子有機ELフィルムをラミネートした陽極基板基材テープに連続して陰極電極を形成する方法を示す。高分子有機ELフィルムをラミネートされた陽極基板50は、大気圧プラズマ表面処理51、差動排気系52を経て陰極蒸着チャンバー53に導入される。基材テープは回転ドラム55に密着しており、複数のLiF又はMoOx及びAlの蒸着源54によって陰極電極が成膜される。その後多段の有機パッシベーション蒸着系56、酸化物蒸着系57を用いて酸化膜-有機膜の交互多層膜のパッシベーション層を形成図では1段のみ示した、差動排気系52’を経由してリール58に巻き取られる。[実施例]陽極基板の出発材としてITOがスパッタされた厚み0.1mmの幅広のPENロールフィルムをスリッタによって幅20mmのリールにカットしたものを用いた。このリールをRtR機構を内臓したマグネトロンスパッタ装置により、ITO面は幅18mmのマスクをかけ、残る部分は全面100nmのCuをスパッタ、背面のCu除去と電極形成はRtRフォトリソ装置を用いて行った。この基材テープの両面に幅20mmのレジストフィルムを貼り付け、該基材テープ側面にNi、Auの順で10μmのメッキ膜を形成、このリールにRtR機構を内臓したマグネトロンスパッタ装置により、SiOxx1.6を300nmスパッタした後、大気圧プラズマ装置によりエッチングを行った。高分子有機EL材料としては、正孔輸送層はTPDを側鎖に有する高分子、電子輸送層はPBDを側鎖に有する高分子、発光層はイリジウム錯体系のRGBに対応する燐光材料を平均分子量25000のPVKにそれぞれ分散した材料を用いた。最終的な膜厚は各電荷輸送層が70~80nm、発光層が各15nm、5層の総膜厚を200nmとした。押出成形機のTダイ金型の出口スリット間隙を5μm、幅は10mmとした。各Tダイ金型の内面はCMP研磨を施し更にDLCをCVDによって被覆した。押し出された膜は半溶融状態でカレンダーローラーによって圧延した。輸送層は4段、発光層は5段である。各ホットローラーの表面は、4段まではELIT研磨、5段目はELIT研磨と最終仕上げにEEMElastEmissionMachining研磨を行ったものを用いた。最終膜厚に達した有機ELフィルムは図3に示すような機構によって陽極基板テープに圧着、これを図6に示したRtR陰極並びにパッシベーション成膜機で、まず陰極はLiFを0.5nm、Alを300nm蒸着した。パッシベーション膜は、SiOx膜30nm、ポリ尿素系化合物の蒸着重合膜2μmを交互に積み重ねた多層構造で5ペア積層した。以上実施例として高分子有機EL素子を例示して本発明を説明したが、本発明はこれに限らず、高分子有機材料を用いた太陽電池等を含む高分子有機光電変換デバイス全般の製造に適用できる。"