サンプルと接触される光導波路を備えるSPRセンサセルであって、前記光導波路は、アンダークラッド層と、少なくとも一部が前記アンダークラッド層から露出するように、前記アンダークラッド層に設けられるコア層と、前記アンダークラッド層から露出された前記コア層を被覆し、前記サンプルに接触される金属粒子層とを備えることを特徴とする、SPRセンサセル。前記金属粒子層は、前記アンダークラッド層から露出された前記コア層の表面積のうち、15~60を被覆することを特徴とする、請求項1に記載のSPRセンサセル。前記金属粒子層を形成する金属粒子の平均粒子径は、5~300nmであることを特徴とする、請求項2に記載のSPRセンサセル。前記光導波路が、さらに、前記アンダークラッド層の上に、前記金属粒子層と接触するサンプルを取り囲むように形成されるオーバークラッド層を備えることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載のSPRセンサセル。請求項1~4のいずれか一項に記載のSPRセンサセルを備えることを特徴とするSPRセンサ。しかしながら、特許文献1に記載のSPRセンサセルでは、クラッドの貫通口に臨むコアの上面には、金属薄膜が形成されており、そのような形態では、分析サンプルの濃度や変化などを検出する感度に限界がある。本発明の目的は、検出感度に優れるSPRセンサセルおよびSPRセンサを提供することにある。上記した目的を達成するため、本発明のSPRセンサセルは、サンプルと接触される光導波路を備えるSPRセンサセルであって、前記光導波路は、アンダークラッド層と、少なくとも一部が前記アンダークラッド層から露出するように、前記アンダークラッド層に設けられるコア層と、前記アンダークラッド層から露出された前記コア層を被覆し、前記サンプルに接触される金属粒子層とを備えることを特徴としている。また、本発明のSPRセンサセルでは、前記金属粒子層は、前記アンダークラッド層から露出された前記コア層の表面積のうち、15~60を被覆することが好適である。また、本発明のSPRセンサセルでは、前記金属粒子層を形成する金属粒子の平均粒子径は、5~300nmであることが好適である。また、本発明のSPRセンサセルでは、前記光導波路が、さらに、前記アンダークラッド層の上に、前記金属粒子層と接触するサンプルを取り囲むように形成されるオーバークラッド層を備えることが好適である。また、本発明のSPRセンサは、上記したSPRセンサセルを備えることを特徴としている。本発明のSPRセンサセルおよびSPRセンサによれば、検出感度の向上を図ることができる。図1は、本発明のSPRセンサセルの一実施形態を示す斜視図である。図2は、図1に示すSPRセンサセルの断面図である。SPRセンサセル1は、図1および図2に示すように、平面視略矩形の有底枠形状に形成されており、光導波路2を備えている。SPRセンサセル1には、SPRセンサ11後述によって分析されるサンプルが配置される。また、SPRセンサセル1には、必要により、光導波路2を支持する支持部材図示せずを設けることができる。なお、以下のSPRセンサセル1の説明において、方向に言及するときは、SPRセンサセル1にサンプルを配置するときの状態を上下の基準とする。すなわち、図1において、紙面上側を上側とし、紙面下側を下側とする。光導波路2は、本実施形態においては、SPRセンサセル1そのものであり、アンダークラッド層3、コア層4、保護層5およびオーバークラッド層6を備えている。アンダークラッド層3は、上下方向に所定の厚みを有する平面視略矩形平板状に形成されている。コア層4は、アンダークラッド層3の幅方向厚み方向と直交する方向、以下同じおよび厚み方向の両方と直交する方向に延びる略角柱形状詳しくは、幅方向に扁平する断面矩形状に形成され、アンダークラッド層3の幅方向略中央部の上端部に埋設されている。なお、以下のSPRセンサセル1の説明において、コア層4が延びる方向を、光導波路2内を光が伝播する伝播方向とする。また、コア層4は、その伝播方向両面がアンダークラッド層3の伝播方向両面と面一となり、その上面がアンダークラッド層3の上面と面一となるように配置されている。つまり、コア層4は、その上面が、アンダークラッド層3から露出されている。コア層4が、その上面がアンダークラッド層3の上面と面一となるように、アンダークラッド層3に埋設されていれば、金属粒子層8後述を形成したときに、金属粒子10後述を、コア層4の上側のみに効率よく配置することができる。また、コア層4の伝播方向両端部には、光源12後述および光計測器13後述が光学的に接続される。保護層5は、必要により、アンダークラッド層3およびコア層4の上面をすべて被覆するように、平面視においてアンダークラッド層3と同じ形状の薄層として形成されている。保護層5が形成されていると、例えば、サンプルが液状である場合に、サンプルによってコア層4が膨潤することを防止することができる。オーバークラッド層6は、保護層5の上において、その外周がアンダークラッド層3の外周と平面視において略同一となるように、平面視矩形の枠形状に形成されている。これにより、光導波路2は、アンダークラッド層3およびコア層4の上に形成される保護層5を底壁とし、オーバークラッド層6を側壁とする有底枠形状に形成されている。そして、保護層5とオーバークラッド層6とで囲まれる部分が、サンプルを収容するサンプル収容部7として区画されている。そして、このような光導波路2において、サンプル収容部7には、金属粒子層8が設けられている。金属粒子層8は、図2および図3に示すように、サンプル収容部7内において、保護層5を均一に被覆するように形成されている。つまり、金属粒子層8は、コア層4の上面を均一に被覆するように形成されている。図4は、図1に示すSPRセンサセルの製造方法を示す工程図である。次いで、このSPRセンサセル1の製造方法について、図4を参照して説明する。この方法では、まず、図4aに示すように、平板状の基材9を用意し、次いで、その基材9の上に、コア層4を形成する。基材9は、例えば、シリコン、ガラスなどのセラミック材料、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス、鉄合金などの金属材料、例えば、ポリイミド、ガラス-エポキシ、ポリエチレンテレフタレートPETなどの樹脂材料などから形成されている。好ましくは、セラミック材料から形成されている。基材9の厚みは、例えば、10~5000μm、好ましくは、10~1500μmである。コア層4を形成する材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、またはこれらのフッ素化変性体や重水素化変性体、さらには、フルオレン変性体などの樹脂材料が挙げられる。これら樹脂材料は、好ましくは、感光剤を配合して、感光性樹脂として用いられる。コア層4を形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス樹脂溶液を調製して、そのワニスを、上記したパターンで基材9の表面に塗布した後、乾燥し、必要により硬化させる。また、感光性樹脂が用いられる場合には、基材9の全面にワニスを塗布し、乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像によりパターンとし、次いで、加熱する。このようにして形成されるコア層4の厚みは、例えば、5~100μmであり、幅は、例えば、5~100μmである。また、コア層4の屈折率は、例えば、1.44以上、1.65以下である。次いで、この方法では、図4bに示すように、アンダークラッド層3を、コア層4を被覆するように、基材9の上に、上記したパターンで形成する。アンダークラッド層3を形成する材料としては、例えば、上記と同様の樹脂材料から、コア層4よりも屈折率が低くなるように調整された樹脂材料が挙げられる。アンダークラッド層3を、基材9の上に形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス樹脂溶液を調製して、そのワニスを基材9の上に、例えば、キャスティング、スピンコータなどによって、コア層4を被覆するように塗布した後、乾燥し、必要により加熱する。なお、感光性樹脂が用いられる場合には、ワニスの塗布および乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像し、次いで、加熱する。このようにして形成されるアンダークラッド層3の、コア層4の表面からの厚みは、例えば、5~200μmである。また、アンダークラッド層3の屈折率は、コア層4の屈折率より低く設定されており、例えば、1.42以上、1.55未満である。これにより、基材9に接触される下面において、アンダークラッド層3とコア層4とが面一に形成される。次いで、この方法では、図4cに示すように、アンダークラッド層3およびコア層4から基材9を剥離させ、アンダークラッド層3およびコア層4を上下反転させる。すると、アンダークラッド層3およびコア層4の基材9に接触されていた面が上面として露出される。次いで、この方法では、図4dに示すように、アンダークラッド層3およびコア層4の上に保護層5を形成する。保護層5を形成する材料としては、例えば、二酸化ケイ素、酸化アルミニウムなどが挙げられ、好ましくは、それらの材料から、コア層4よりも屈折率が低くなるように調整された材料が挙げられる。保護層5を形成する方法としては、例えば、スパッタリング法、蒸着法などの方法が挙げられ、好ましくは、スパッタリング法が挙げられる。このようにして形成される保護層5の厚みは、例えば、1~100nm、好ましくは、5~20nmである。また、保護層5の屈折率は、コア層4の屈折率より低く設定されており、例えば、1.25以上、1.55未満である。次いで、この方法では、図4eに示すように、オーバークラッド層6を、保護層5の上に、上記したパターンで形成する。オーバークラッド層6を形成する材料としては、上記したアンダークラッド層3と同様の樹脂材料が用いられる。オーバークラッド層6を形成するには、例えば、別途、上記した材料から平面視矩形枠形状のシートを形成し、そのシートをオーバークラッド層6として、保護層5の上に積層する。なお、オーバークラッド層6を保護層5の上に積層するときには、予め、保護層5の表面に、シランカップリング剤などの公知のプライマーを処理した後、積層することもできる。保護層5の表面を上記したプライマーにより処理しておけば、金属粒子層8を形成したときに、金属粒子10後述を保護層5に強固に固着させることができる。シランカップリング剤としては、γ-アミノプロピルトリエトキシシランなどのアミノ基含有シランカップリング剤が挙げられる。プライマーとして、シランカップリング剤を処理する場合には、例えば、シランカップリング剤のアルコール溶液を保護層5に塗布し、その後、加熱処理する。また、オーバークラッド層6を形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス樹脂溶液を調製して、そのワニスを、上記したパターンで保護層5の表面に塗布した後、乾燥させ、必要により硬化させることもできる。また、感光性樹脂が用いられる場合には、保護層5の全面にワニスを塗布し、乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像によりパターンとし、次いで、加熱することもできる。このようにして形成されるオーバークラッド層6の厚みは、例えば、5~200μm、好ましくは、25~100μmである。また、オーバークラッド層6の屈折率は、コア層4の屈折率より低く設定されており、例えば、アンダークラッド層3の屈折率と同様に設定されている。なお、保護層5の屈折率がコア層4の屈折率より低い場合には、オーバークラッド層6の屈折率は、必ずしも、コア層4の屈折率より低くなくてもよい。また、このようなオーバークラッド層6において、サンプル収容部7の大きさおよび形状は、特に限定されず、サンプルの種類や用途に応じて、適宜決定される。SPRセンサセル1の小型化を図る場合には、好ましくは、サンプル収容部7を小さく形成する。次いで、この方法では、図4fに示すように、金属粒子層8を、サンプル収容部7内において、コア層4を被覆するように形成する。金属粒子層8を形成する金属粒子10としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、白金などの金属からなる粒子、例えば、シリカ、カーボンブラックなどの無機粒子の表面が上記した金属により被覆された粒子、例えば、樹脂などの有機粒子の表面が上記した金属により被覆された粒子などが挙げられる。好ましくは、金属からなる粒子が挙げられ、より好ましくは、金粒子が挙げられる。金属粒子10の平均粒子径は、例えば、電子顕微鏡観察により観察された任意の100個の粒子の平均値として算出され、例えば、5~300nm、好ましくは、10~150nmである。金属粒子10の平均粒子径が5nm未満であると、シグナル強度SPRセンサセル1を透過した光の強度が低下する場合がある。また、金属粒子10の平均粒子径が300nmを超過すると、検出感度が低下する場合がある。金属粒子層8を形成するには、例えば、上記した金属粒子10を公知の溶媒に分散させて粒子分散液を調製し、その粒子分散液を、保護層5に塗布し、乾燥する。なお、金属粒子10として金粒子が分散された金粒子分散液は、市販されており、例えば、EMGCシリーズBritishBioCellInternationalLtd.製などが挙げられる。このようにして形成される金属粒子層8では、各金属粒子10は、好ましくは、厚み方向に互いに積層されずに、単粒子層として形成される。また、各金属粒子10は、互いに接触しないように、わずかに間隔を隔てて、それぞれ独立して配置される。そして、金属粒子層8は、平面視において、アンダークラッド層3から露出されたコア層4の表面積のうち、例えば、15~60、好ましくは、20~50を被覆している図3拡大図参照。金属粒子層8が、上記した割合被覆率で、アンダークラッド層3から露出されたコア層4を被覆していると、ほぼすべての金属粒子10が独立して配置された単粒子層として、金属粒子層8が形成されるので、サンプルの濃度や変化などをより精度よく検出することができる。なお、金属粒子層8のサンプル収容部7の内面積に対する被覆率も上記と同様である。また、金属粒子層8が、上記した割合被覆率未満で、アンダークラッド層3から露出されたコア層4を被覆していると、シグナル強度が低下する場合がある。また、金属粒子層8が、上記した割合被覆率を超過する割合で、アンダークラッド層3から露出されたコア層4を被覆していると、金属粒子層8を、金属粒子10が独立して配置された単粒子層として形成することが困難となり、検出感度が低下する場合がある。このようにして、SPRセンサセル1を製造することができる。このSPRセンサセル1では、サンプル収容部7にサンプルが収容配置されることにより、金属粒子層8とサンプルとが接触される。すなわち、サンプルは、サンプル収容部7において、オーバークラッド層6に取り囲まれている。このようなSPRセンサセル1によれば、サンプルの濃度や変化などを精度よく検出することができる。また、オーバークラッド層6が、金属粒子層8と接触するサンプルを取り囲むように形成されているので、サンプルを容易に金属粒子層8の表面に配置することができるため、作業性の向上を図ることができる。図5は、本発明のSPRセンサの一実施形態を示す概略側断面図である。次いで、SPRセンサセル1を備えるSPRセンサ11について、図5を参照して説明する。SPRセンサ11は、図5に示すように、光源12と、光計測器13と、上記したSPRセンサセル1とを備えている。光源12は、例えば、白色光源、単色光光源などの公知の光源であって、光源側光コネクタ14を介して光源側光ファイバ15に接続され、この光源側光ファイバ15が、光源側光ファイバブロック16を介してSPRセンサセル1コア層4の伝播方向一方側端部に接続されている。また、SPRセンサセル1コア層4の伝播方向他方側端部には、計測器側光ファイバブロック17を介して計測器側光ファイバ18が接続されており、この計測器側光ファイバ18は、計測器側光コネクタ19を介して光計測器13に接続されている。光計測器13は、図示しないが、公知の演算処理装置に接続され、データの表示、蓄積および加工を可能としている。また、このようなSPRセンサ11において、SPRセンサセル1は、公知のセンサセル固定装置図示せずによって固定されている。センサセル固定装置図示せずは、所定方向例えば、SPRセンサセル1の幅方向に沿って移動可能とされており、これにより、SPRセンサセル1が任意の位置に配置されている。また、光源側光ファイバ15は、光源側光ファイバ固定装置20に固定され、計測器側光ファイバ18は、計測器側光ファイバ固定装置21に固定されている。光源側光ファイバ固定装置20および計測器側光ファイバ固定装置21は、公知の6軸移動ステージ図示せずの上に固定されており、光ファイバの伝播方向、幅方向伝播方向と水平方向において直交する方向および厚み方向伝播方向と垂直方向において直交する方向と、それら各方向3方向を軸とする回転方向3方向とに可動とされている。このようなSPRセンサ11によれば、光源12、光源側光ファイバ15、SPRセンサセル1コア層4、計測器側光ファイバ18および光計測器13を一軸上に配置することができ、これらを透過するように、光源12から光を導入することができる。そして、このSPRセンサ11では、上記したSPRセンサセル1が用いられるため、サンプルの濃度や変化などを精度よく検出することができる。以下において、このSPRセンサ11の一使用態様について説明する。この態様では、例えば、まず、図5に示すSPRセンサセル1のサンプル収容部7に、サンプルを収容配置し、サンプルと金属粒子層8とを接触させる。次いで、光源12から所定の光を、光源側光ファイバ15を介してSPRセンサセル1コア層4に導入する図5に示す矢印L1参照。SPRセンサセル1コア層4に導入された光は、コア層4内において全反射を繰り返しながら、SPRセンサセル1コア層4を透過するとともに、一部の光は、コア層4の上面において、保護層5を介して金属粒子層8に入射され、表面プラズモン共鳴により減衰される。その後、SPRセンサセル1コア層4を透過した光は、計測器側光ファイバ18を介して光計測器13に導入される図5に示す矢印L2参照。つまり、このSPRセンサ11において、光計測器13に導入される光は、コア層4において表面プラズモン共鳴を発生させた波長の光強度が減衰している。表面プラズモン共鳴を発生させる波長は、SPRセンサセル1に収容配置されたサンプルの屈折率などに依存するため、光計測器13に導入される光の、光強度の減衰を検出することにより、サンプルの屈折率の変化を検出することができる。より具体的には、例えば、光源12として白色光源を用いる場合には、光計測器13によって、SPRセンサセル1の透過後に光強度が減衰する波長表面プラズモン共鳴を発生させる波長を計測し、その減衰する波長が変化したこと検出すれば、サンプルの屈折率の変化を確認することができる。また、例えば、光源12として単色光光源を用いる場合には、光計測器13によって、SPRセンサセル1の透過後における単色光の光強度の変化減衰の度合いを計測し、その減衰の度合いが変化したことを検出すれば、上記と同様に、表面プラズモン共鳴を発生させる波長が変化したことを確認でき、サンプルの屈折率の変化を確認することができる。そのため、このようなSPRセンサ11では、サンプルの屈折率の変化に基づいて、例えば、サンプルの濃度の測定や、免疫反応の検出など、種々の化学分析や生物化学分析に用いることができる。より具体的には、例えば、サンプルが溶液である場合には、サンプル溶液の屈折率は、溶液の濃度に依存するため、そのサンプル溶液を金属粒子層8に接触させたSPRセンサ11において、サンプル溶液の屈折率を検出すれば、そのサンプルの濃度を測定することができる。また、サンプル溶液の屈折率が変化したことを検出すれば、サンプル溶液の濃度が変化したことを確認することができる。また、免疫反応の検出においては、例えば、SPRセンサセル1の金属粒子層8上に、誘電体膜を介して抗体を固定し、抗体に検体を接触させる。このとき、抗体と検体とが免疫反応すればサンプルの屈折率が変化するため、抗体と検体との接触前後においてサンプルの屈折率が変化することを検出することにより、その抗体と検体とが免疫反応したものと判断することができる。そして、このようなSPRセンサセル1およびSPRセンサ11によれば、簡易な構成により、検出感度の向上を図ることができる。なお、上記した実施形態では、SPRセンサセル1には、コア層4を1つ形成したが、コア層4の数は、特に制限されず、互いに幅方向に間隔を隔てて、複数形成することもできる。光導波路2が複数のコア層4を備える場合には、このSPRセンサセル1を備えるSPRセンサ11により、サンプルを複数回同時に分析できるため、分析効率を向上することができる。また、上記した実施形態では、コア層4を、略角柱形状に形成したが、コア層4の形状としては、特に制限されず、コア層4を、例えば、断面視略半円形状半円柱形状、断面視略凸形状凸柱形状など、任意の形状に形成することができる。また、上記した実施形態では、金属粒子層8を、サンプル収容部7内において、保護層5をすべて被覆するように形成したが、金属粒子層8を、少なくとも、コア層4を被覆するように、コア層4の上側のみに形成することもできる。また、上記した実施形態では、SPRセンサセル1の上端部は開放されているが、SPRセンサセル1の上端部には、サンプル収容部7を被覆する蓋を設けることもできる。これによれば、測定中に、サンプルが外気に接触することを防止することができる。また、サンプル収容部7を被覆する蓋に、サンプル収容部7内へサンプル液状を注入するための注入口と、サンプル収容部7からサンプルを排出するための排出口とを設け、サンプルを、注入口から注入し、サンプル収容部7内を通過させて、排出口から排出することもできる。これによれば、サンプル収容部7内にサンプルを流しながら、サンプルの物性を連続的に測定することができる。以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、何ら実施例および比較例に限定されない。実施例1シリコン基板基材の上に、感光性エポキシ樹脂を用いて、厚み50μm、幅50μmの略角柱形状のコア層を形成した図4a参照。次いで、コア層を被覆するように、シリコン基板の上に、コア層の形成に用いた感光性エポキシ樹脂より屈折率が低い感光性エポキシ樹脂を用いて、コア層の上面からの厚みが100μmとなるようにアンダークラッド層を形成した図4b参照。次いで、アンダークラッド層およびコア層からシリコン基板を剥離させ図4c参照、アンダークラッド層およびコア層を上下反転させた。次いで、アンダークラッド層およびコア層の上に、スパッタリング法により、厚み10nmの二酸化ケイ素薄膜を保護層として形成した図4d参照。次いで、γ-アミノプロピルトリエトキシシランシランカップリング剤の3質量エタノール溶液を保護層に塗布し、その後、100°Cで2時間加熱処理した。次いで、別途、幅方向長さ1mm、伝播方向長さ6mmの開口が形成されたシリコーンゴムシートを用意し、オーバークラッド層として、保護層に積層した図4e参照。これにより、幅方向長さ1mm、伝播方向長さ6mmのサンプル収容部を区画した。次いで、下記表1に記載される金粒子分散液EMGCシリーズ、BritishBioCellInternationalLtd.製を、所定の濃度に調整して、サンプル収容部内の保護層に塗布し、乾燥した後、保護層に付着していない金粒子を除去するために、サンプル収容部内の保護層をエタノールで洗浄し、保護層の上に金属粒子層を形成した図4f参照。このようにして、SPRセンサセルを得た。下記表1に、金粒子の平均粒子径、および、被覆率アンダークラッド層から露出されたコア層の表面積のうち、平面視において、金属粒子層が被覆している割合。を記載した。実施例2~25下記表1に示される金粒子分散液をサンプル収容部内の保護層に塗布した以外は、上記した実施例1と同様にして、SPRセンサセルを得た。下記表1に、各実施例における金粒子の平均粒子径、および、被覆率を記載した。比較例金粒子分散液を塗布する代わりに、金を蒸着することにより、サンプル収容部内の保護層の上に厚み50nmの薄膜を形成した以外は、上記した実施例1と同様にして、SPRセンサセルを得た。評価各実施例および各比較例により得られたSPRセンサセルを、SPRセンサ図5参照に固定した。その後、SPRセンサセルのサンプル収容部に、サンプルとして濃度が異なる5種のエチレングリコール水溶液濃度:1質量屈折率:1.33389、5質量屈折率:1.33764、10質量屈折率:1.34245、20質量屈折率:1.35231、30質量屈折率:1.36249を50μL投入し、コア層の一端から、実施例1~16では波長633nm、実施例17~25では波長700nmの光を入射し、他端から射出した光の強度を測定した。そして、エチレングリコール水溶液が無い状態での光の強度を100とした場合の透過率を求めた。そして、エチレングリコール水溶液の屈折率をX軸、透過率をY軸として、それらの関係をXY座標にプロットして、検量線を作成し、その傾きの絶対値、および、相関係数を求めた。その値を表1に示す。なお、傾きが大きいほど検出感度が高く、また、相関係数が1に近いほど検出感度が高いことを示す。結果金属粒子層を形成した各実施例は、金属薄膜を形成した比較例に比べ、傾きが大きく、また、相関係数が1に近い値であった。