"静電荷像担持体を帯電する帯電工程と、帯電された該静電荷像担持体を露光して静電荷像を形成する露光工程と、該静電荷像をトナーにより現像して該静電荷像担持体上にトナー像を形成する現像工程と、該静電荷像担持体上の該トナー像を中間転写体を介してまたは介さずに転写材に転写する転写工程とを有する画像形成方法であって、該帯電工程では、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器により帯電が行われ、該静電荷像担持体が、少なくとも光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、該トナーは、結着樹脂と着色剤とを含有するトナー粒子と、シリカ微粒子とを有するトナーであり、該シリカ微粒子は、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後、シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより3段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であり、該シリカ微粒子は、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率が95.0質量以上、99.5質量以下であることを特徴とする画像形成方法。該1段目の表面処理に用いられるシリコーンオイル量が、該シリカ微粒子原体100.0質量部に対して10.0質量部以上、25.0質量部以下であり、該3段目の表面処理に用いられるシリコーンオイル量が、該シリカ微粒子原体100.0質量部に対して0.5質量部以上、4.0質量部以下であることを特徴とする請求項1に記載の画像形成方法。該トナーは、該トナー粒子100.0質量部に対して0.5質量部以上、4.0質量部以下の該シリカ微粒子を含有することを特徴とする請求項1または2に記載の画像形成方法。該感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和が6.60×1022原子/cm3以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の画像形成方法。本発明は上記問題点を解消した画像形成方法を提供するものである。すなわち、更なる高速化、高画質化を目指した電子写真装置において、長時間使用してもワイヤー汚染が問題にならず、同時に画像流れが問題とならない画像形成方法を提供するものである。静電荷像担持体を帯電する帯電工程と、帯電された該静電荷像担持体を露光して静電荷像を形成する露光工程と、該静電荷像をトナーにより現像して該静電荷像担持体上にトナー像を形成する現像工程と、該静電荷像担持体上の該トナー像を中間転写体を介してまたは介さずに転写材に転写する転写工程とを有する画像形成方法であって、該帯電工程では、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器により帯電が行われ、該静電荷像担持体が、光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、該トナーは、結着樹脂と着色剤とを含有するトナー粒子と、シリカ微粒子とを有するトナーであり、該シリカ微粒子は、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後、シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより3段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であり、該シリカ微粒子は、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率が95.0質量以上、99.5質量以下であることを特徴とする画像形成方法。本発明によれば、更なる高速化、高画質化を目指した電子写真装置において、長時間使用してもワイヤー汚染が問題にならず、同時に画像流れが問題とならない画像形成方法を提供することができる。本発明の画像形成方法は、静電荷像担持体を帯電する帯電工程と、帯電された該静電荷像担持体を露光して静電荷像を形成する露光工程と、該静電荷像をトナーにより現像して該静電荷像担持体上にトナー像を形成する現像工程と、該静電荷像担持体上の該トナー像を中間転写体を介してまたは介さずに転写材に転写する転写工程とを有する画像形成方法であって、該帯電工程では、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器により帯電が行われ、該静電荷像担持体が、光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、該トナーは、結着樹脂と着色剤とを含有するトナー粒子と、シリカ微粒子とを有するトナーであり、該シリカ微粒子は、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後、シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより3段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であり、該シリカ微粒子は、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率が95.0質量以上、99.5質量以下であることを特徴とする。本発明者らは、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器とa-SiC感光体を有し、高速化を進めた電子写真装置において、帯電器のワイヤー汚染抑制と画像流れ抑制という2つの課題を解決する為に、外添に用いるシリカ微粒子に着目し検討を行った。その結果、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後、シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより3段目の表面処理が施され、かつシリコーンオイルの炭素量基準の固定化率を制御したシリカ微粒子を用いることで上記2つの課題を同時に解決するに至った。以下にその理由を述べる。従来、ワイヤー汚染はトナーに外添されたシリカ微粒子が飛散するなどして引き起こされているものと考えられてきた。しかし、本発明者らは、シリカ微粒子に処理されたシリコーンオイルの方が揮発や飛散が起きやすいのではないかと考え、シリカ微粒子から遊離したシリコーンオイルに着目し検討を進めようとした。しかし、シリカ微粒子から遊離したシリコーンオイルは極微量なため、トナーからの分析が不可能であった。そこで、遊離したシリコーンオイル量と相関があるシリコーンオイルの固定化率に着目し、ワイヤー汚染の検討を行った。その結果、シリコーンオイルの固定化率とワイヤー汚染には相関があることを発見し、固定化率を高く制御することで、ワイヤー汚染が良化することを見出した。すなわち、シリカ微粒子からの遊離シリコーンオイル量を極微量に抑えることでワイヤー汚染が抑制されることを突き止めた。すなわち、飛散したシリカ微粒子がワイヤーを汚染していたわけではなく、シリカ微粒子から遊離したシリコーンオイルが飛散、揮発して、ワイヤーに到達することで、ワイヤー汚染が引き起こされていたと考えられる。しかし、シリコーンオイルの固定化率を高く制御すると、画像流れの問題が生じた。この課題に対し、鋭意検討した結果、シリコーンオイルの固定化率が低くなると画像流れが改善することを見出した。本発明において、上記のような効果が得られる理由は必ずしも明確ではないが、シリコーンオイルの固定化率を低く制御した場合に画像流れが改善した理由を以下のように考えている。シリコーンオイルは表面張力が小さいため、感光体上で薄膜として広がると考えられる。またシリコーンオイルは疎水性であるため、感光体上に形成されたシリコーンオイルの薄膜は、感光体への水の吸着を阻害する、よって、水と反応し形成される放電生成物を抑制できる。結果、画像流れを抑制できたと考えている。従来のシリカ微粒子では、シリコーンオイルの固定化率を高く制御すればワイヤー汚染が改善するが、画像流れが悪化する。逆に、シリコーンオイルの固定化率を低くすれば画像流れは改善するがワイヤー汚染が悪化した。すなわち、ワイヤー汚染と画像流れを解決する方法はトレードオフの関係にあるため、上記2つの課題を同時に解決することはできなかった。しかし、本発明者らは、鋭意検討した結果、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後、シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより3段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であって、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率を95.0質量以上、99.5質量以下に制御したところ、ワイヤー汚染を抑制しつつ、画像流れの問題を同時に解決できることを見出した。本発明において、上記のような効果が得られる理由は必ずしも明確ではないが、ワイヤー汚染を抑制しつつ、画像流れの問題を同時に解決できた理由を、以下のように考えている。シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施された上にさらに表面処理される3段目のシリコーンオイルは、2段目に用いられた化合物表面との間で弱い物理結合を形成する。そのため、シリコーンオイルがシリカ微粒子から離れやすくなり、現像によってトナーに付着したシリカ微粒子と感光体とが接した場合、シリコーンオイルを感光体上に残す作用が強いと考えられる。従来のシリカ微粒子は1段処理であって、1段目にシリコーンオイル処理をしていたため、シリコーンオイルはシリカ微粒子原体と化学結合し、シリコーンオイルを感光体上に残す作用は小さかったと考えられる。すなわち、シリカ微粒子に3段処理を施すことによって、高い固定化率であっても感光体にシリコーンオイルを残しやすく、画像流れに効果の高いシリカ微粒子が実現できたと考えられる。この作用によって、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後、シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより3段目の表面処理が施され、かつシリコーンオイルの固定化率を制御したシリカ微粒子を用いることで、画像流れとワイヤー汚染の課題を同時に解決することができた。[シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率の測定方法]炭素量測定酸素気流下、温度1100°Cで試料を燃焼させ、発生したCO、CO2量をIRの吸光度により測定して、試料中の炭素量を測定する。そして、シリコーンオイルの抽出前後での炭素量を比較して、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率を計算する。以下に具体的手順を記す。1.試料2gを円筒金型に入れプレスする。2.プレスした試料0.15gを精秤し、燃焼用ボードに乗せ、堀場製作所EMA-110で測定する。炭素量の測定は、以下のように、シリカ微粒子の表面処理の工程毎に測定用サンプルを採取し、実施する。1シリカ微粒子原体に1段目のシリコーンオイル処理をしたシリカ微粒子このときの炭素量をC1とする21段目のシリコーンオイル処理後に、遊離シリコーンオイルを下記手法にて抽出したシリカ微粒子このときの炭素量をC2とする31段目のシリコーンオイル処理後に、2段目のシラン化合物および/またはシラザン化合物で表面処理をしたシリカ微粒子このときの炭素量をC3とする41段目のシリコーンオイル処理後に、2段目のシラン化合物および/またはシラザン化合物で表面処理をし、さらに3段目のシリコーンオイル処理をしたシリカ微粒子このときの炭素量をC4とする51段目のシリコーンオイル処理後に、2段目のシラン化合物および/またはシラザン化合物で表面処理をし、さらに3段目のシリコーンオイル処理をした後、遊離シリコーンオイルを抽出したシリカ微粒子このときの炭素量をC5とする遊離シリコーンオイルの抽出1.ビーカーにシリカ微粒子0.5g、クロロホルム40mlを入れ、2時間撹拌する。2.撹拌を止めて、12時間静置する。3.サンプルをろ過して、クロロホルム40mlで3回洗浄する。4.減圧乾燥によりシリカ微粒子からクロロホルムを除去する。固定化率を計算シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率は以下のように計算して求める。シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率質量=100-{C4-C5/C1C4-C3}×100本発明のシリカ微粒子を得るのに用いられるシリカ微粒子の原体としては、ケイ素ハロゲン化合物の蒸気相酸化により生成された乾式法またはヒュームドシリカと称される乾式シリカ、及び、水ガラス等から製造される湿式シリカの両方が挙げられる。本発明では表面及び内部にあるシラノール基が少なく、製造残渣のない乾式シリカの方が好ましい。本発明に用いられるシリカ微粒子は高度に疏水化処理されている必要があり、疏水化処理するには、シリカ微粒子原体と化学吸着あるいは物理吸着する有機ケイ素化合物で処理する方法が挙げられる。本発明の効果を得るには、少なくともシリコーンオイルによる処理が必要である。本発明のシリカ微粒子は、処理前のシリカ微粒子原体のBET比表面積が、200m2/g以上400m2/g以下であることが好ましい。シリカ微粒子原体のBET比表面積が上記の範囲より小さい場合、シリカ微粒子の表面積が小さくなりすぎ、遊離するシリコーンオイル量が増加しやすく、ワイヤー汚染が発生しやすくなる傾向にある。そのため、上記範囲内であるときワイヤー汚染をより改善することができる。シリカ微粒子及びシリカ微粒子原体以下、シリカ微粒子等と称する。のBET比表面積の測定は、JISZ88302001年に準じて行なう。具体的な測定方法は、以下の通りである。測定装置としては、定容法によるガス吸着法を測定方式として採用している自動比表面積細孔分布測定装置TriStar3000島津製作所社製を用いる。測定条件の設定および測定データの解析は、本装置に付属の専用ソフトTriStar3000Version4.00を用いて行い、また装置には真空ポンプ、窒素ガス配管、ヘリウムガス配管が接続される。窒素ガスを吸着ガスとして用い、BET多点法により算出した値を本発明におけるBET比表面積とする。尚、BET比表面積は以下のようにして算出する。まず、シリカ微粒子等に窒素ガスを吸着させ、その時の試料セル内の平衡圧力PPaとシリカ微粒子等の窒素吸着量Vaモルg-1を測定する。そして、試料セル内の平衡圧力PPaを窒素の飽和蒸気圧PoPaで除した値である相対圧Prを横軸とし、窒素吸着量Vaモルg-1を縦軸とした吸着等温線を得る。次いで、シリカ微粒子等の表面に単分子層を形成するのに必要な吸着量である単分子層吸着量Vmモルg-1を、下記のBET式を適用して求める。Pr/Va1-Pr=1/Vm×CC-1×Pr/Vm×Cここで、CはBETパラメーターであり、測定サンプル種、吸着ガス種、吸着温度により変動する変数である。BET式は、X軸をPr、Y軸をPr/Va1-Prとすると、傾きがC-1/Vm×C、切片が1/Vm×Cの直線と解釈できるこの直線をBETプロットという。直線の傾き=C-1/Vm×C直線の切片=1/Vm×CPrの実測値とPr/Va1-Prの実測値をグラフ上にプロットして最小二乗法により直線を引くと、その直線の傾きと切片の値が算出できる。これらの値を用いて上記の傾きと切片の連立方程式を解くと、VmとCが算出できる。さらに、上記で算出したVmと窒素分子の分子占有断面積0.162nm2から、下記の式に基づいて、シリカ微粒子等のBET比表面積Sm2g-1を算出する。S=Vm×N×0.162×10-18ここで、Nはアボガドロ数モル-1である。本装置を用いた測定は、装置に付属のTriStar3000取扱説明書V4.0に従うが、具体的には、以下の手順で測定する。充分に洗浄、乾燥した専用のガラス製試料セルステム直径3/8インチ、容積約5mlの風袋を精秤する。そして、ロートを使ってこの試料セルの中に約0.1gのシリカ微粒子等を入れる。シリカ微粒子等を入れた前記試料セルを真空ポンプと窒素ガス配管を接続した前処理装置バキュプレップ061島津製作所社製にセットし、23°Cにて真空脱気を約10時間継続する。尚、真空脱気の際には、シリカ微粒子等が真空ポンプに吸引されないよう、バルブを調整しながら徐々に脱気する。セル内の圧力は脱気とともに徐々に下がり、最終的には約0.4Pa約3ミリトールとなる。真空脱気終了後、窒素ガスを徐々に注入して試料セル内を大気圧に戻し、試料セルを前処理装置から取り外す。そして、この試料セルの質量を精秤し、風袋との差からシリカ微粒子等の正確な質量を算出する。尚、この際に、試料セル内のシリカ微粒子等が大気中の水分等で汚染されないように、秤量中はゴム栓で試料セルに蓋をしておく。次に、シリカ微粒子等が入った前記の試料セルのステム部に専用の等温ジャケットを取り付ける。そして、この試料セル内に専用のフィラーロッドを挿入し、前記装置の分析ポートに試料セルをセットする。尚、等温ジャケットとは、毛細管現象により液体窒素を一定レベルまで吸い上げることが可能な、内面が多孔性材料、外面が不浸透性材料で構成された筒状の部材である。続いて、接続器具を含む試料セルのフリースペースの測定を行なう。フリースペースは、23°Cにおいてヘリウムガスを用いて試料セルの容積を測定し、続いて液体窒素で試料セルを冷却した後の試料セルの容積を、同様にヘリウムガスを用いて測定して、これらの容積の差から換算して算出する。また、窒素の飽和蒸気圧PoPaは、装置に内蔵されたPoチューブを使用して、別途に自動で測定される。次に、試料セル内の真空脱気を行った後、真空脱気を継続しながら試料セルを液体窒素で冷却する。その後、窒素ガスを試料セル内に段階的に導入してシリカ微粒子等に窒素分子を吸着させる。この際、平衡圧力PPaを随時計測することにより前記した吸着等温線が得られるので、この吸着等温線をBETプロットに変換する。尚、データを収集する相対圧Prのポイントは、0.05、0.10、0.15、0.20、0.25、0.30の合計6ポイントに設定する。得られた測定データに対して最小二乗法により直線を引き、その直線の傾きと切片からVmを算出する。さらに、このVmの値を用いて、前記したようにシリカ微粒子等のBET比表面積を算出する。本発明のシリカ微粒子を得るのに必要なシリコーンオイル処理の方法1段目及び3段目は、シリカ微粒子原体又はシリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後、シラン化合物および/またはシラザン化合物で2段目の表面処理が施されたシリカ微粒子単に、シリカ微粒子原体等ともいうと、シリコーンオイルとをヘンシェルミキサーの如き混合機を用いて直接混合しても良いし、シリカ微粒子原体等へシリコーンオイルを噴射する方法によっても良い。あるいは適当な溶剤にシリコーンオイルを溶解あるいは分散せしめた後、シリカ微粒子原体等を混合し、溶剤を除去して作製しても良い。シリコーンオイルのシリカ微粒子原体等への最適な固定化率を達成する為に、加熱しながら処理することが好ましい。処理温度としては150°C以上350°C以下の範囲が好ましい。この処理温度範囲に設定することで、ムラなく均一にシリコーンオイル処理ができ、更にシリコーンオイルのシリカ微粒子原体等表面への固定化率を高めやすい。シリコーンオイルとしては、ジメチルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーンオイル、メチルハイドロジェンシリコーンオイル等が使用できる。中でもジメチルシリコーンオイルが好ましく、且つ、シリコーンオイルの粘度は25°Cにおいて、30mm2/s以上300mm2/s以下であることが好ましい。30mm2/s以下では、シリカ微粒子原体等の表面に十分な量のシリコーンオイルを固定化しにくく、シリコーンオイルが遊離しやすい傾向にある。また、シリコーンオイルの表面張力は非常に小さいことが知られている。粘度が小さいほど表面張力も下がるが、30mm2/s以上の範囲であっても表面張力は十分小さく、十分な効果を有している。本発明のシリカ微粒子は、1段目の表面処理に用いるシリコーンオイル量が、シリカ微粒子原体100.0質量部に対して10.0質量部以上、25.0質量部以下であり、3段目の表面処理に用いるシリコーンオイル量が、シリカ微粒子原体100.0質量部に対して0.5質量部以上、4.0質量部以下であることが、より優れた効果を得る観点から好ましい。シリコーンオイル量が上記の範囲内であれば、シリカ微粒子原体表面を均一に覆い疎水性を高めた状態で、シラン化合物および/またはシラザン化合物上のシリコーンオイルの量を増やすことができる。その結果、ワイヤー汚染を良化しつつ、画像流れ抑制をより改善することができる。本発明で用いられるシラン化合物としては、メトキシシラン、エトキシシラン、プロポキシシラン等のアルコキシシラン類、クロルシラン、ブロモシラン、ヨードシラン等のハロシラン類、ハイドロシラン類、アルキルシラン類、アリールシラン類、ビニルシラン類、アクリルシラン類、エポキシシラン類、シリル化合物類、シロキサン類、シリルウレア類、シリルアセトアミド類、及びこれらのシラン化合物類が有する異種の置換基を同時に有するシラン化合物類があげられる。これらのシラン化合物を用いることにより、流動性、転写性、帯電安定化が得られる。これらのシラン化合物は複数用いても良い。具体例として、トリメチルシラン、トリメチルクロルシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジクロルシラン、メチルトリクロルシラン、アリルジメチルクロルシラン、アリルフェニルジクロルシラン、ベンジルジメチルクロルシラン、ブロムメチルジメチルクロルシラン、α-クロルエチルトリクロルシラン、β-クロルエチルトリクロルシラン、クロルメチルジメチルクロルシラン、トリオルガノシリルメルカプタン、トリメチルシリルメルカプタン、トリオルガノシリルアクリレート、ビニルジメチルアセトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ヘキサメチルジシロキサン、1,3-ジビニルテトラメチルジシロキサン、1,3-ジフェニルテトラメチルジシロキサン、及び1分子当り2から12個のシロキサン単位を有し、末端に位置する単位のSiに水酸基を1つずつ有するジメチルポリシロキサン等がある。これらは1種或いは2種以上の混合物として用いても良い。本発明で用いられるシラザン化合物は、分子中にSi‐N結合を有する化合物の総称である。具体的には、ジメチルジシラザン、トリメチルジシラザン、テトラメチルジシラザン、ペンタメチルジシラザン、ヘキサメチルジシラザン、オクタメチルトリシラザン、ヘキサメチルシクロトリシラザン、テトラエチルテトラメチルシクロテトラシラザン、テトラフェニルジメチルジシラザン、ジプロピルテトラメチルジシラザン、ジブチルテトラメチルジシラザン、ジヘキシルテトラメチルジシラザン、ジオクチルテトラメチルジシラザン、ジフェニルテトラメチルジシラザン、オクタメチルシクロテトラシラザンなどが挙げられる。また、これらシラザン化合物を部分的にフッ素などで置換した、有機含フッ素シラザン化合物などを用いてもよい。特に本発明では、ヘキサメチルジシラザンが好ましく用いられる。シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで1段目の表面処理が施された後に、シラン化合物および/またはシラザン化合物で処理する方法2段目には公知の技術が用いられる。例えば、シリコーンオイルで処理されたシリカ微粒子を処理槽に投入して、処理槽内を撹拌翼の如き撹拌部材で撹拌混合しながら、シラン化合物および/またはシラザン化合物を所定量滴下或いは噴霧して充分に混合する。このとき、シラン化合物および/またはシラザン化合物をアルコールの如き溶媒で希釈して処理することもできる。混合分散した処理剤を含むシリカ微粒子を、窒素雰囲気中で処理温度150°C以上350°C以下に加熱し、0.5乃至5時間、撹拌しながら還流する。好ましい製法としては、シリコーンオイルで処理されたシリカ微粒子を処理槽に投入し、処理するシラン化合物および/またはシラザン化合物の沸点以上、分解温度以下の温度に処理槽を保持する。ここに水蒸気を吹き込み、シリカ微粒子表面の水酸基がシラン化合物またはシラザン化合物と反応しやすい状態にしておく。さらにシラン化合物および/またはシラザン化合物を投入し、気相反応でシリカ微粒子表面を処理することが好ましい。その後、必要に応じて余剰の処理剤の如き余剰物を除去することも可能である。また、シラン化合物および/またはシラザン化合物を処理する前に、解砕処理を行うことが均一な処理を行う上で好ましい。これらシラン化合物および/またはシラザン化合物の好ましい処理量は、シリカ微粒子原体100質量部に対して、シラン化合物および/またはシラザン化合物の総量として、2.0質量部以上30.0質量部以下であることが好ましい。一方、本発明のトナーは、トナー粒子100.0質量部に対して0.5質量部以上、4.0質量部以下の上記シリカ微粒子を含有することが好ましい。シリカ微粒子の含有量が上記の範囲より少ないと、トナーとして流動性が落ち、現像性に弊害を生じやすい。また、遊離するシリコーンオイル量も少なくなるため、画像流れも発生し易い傾向にある。上記の範囲より多いと、遊離するシリコーンオイル量が多くなる傾向にあり、ワイヤー汚染が発生し易くなる。本発明のトナーに使用される結着樹脂としては、以下のものが挙げられる。ビニル系樹脂、スチレン系樹脂、スチレン系共重合樹脂、ポリエステル樹脂、ポリオール樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、フェノール樹脂、天然変性フェノール樹脂、天然樹脂変性マレイン酸樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ポリ酢酸ビニール、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアミド樹脂、フラン樹脂、エポキシ樹脂、キシレン樹脂、ポリビニルブチラール、テルペン樹脂、クマロンインデン樹脂、石油系樹脂。中でも好ましく用いられる樹脂として、スチレン系共重合樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステル樹脂とビニル系樹脂が混合、または両者が一部反応した、ハイブリッド樹脂が挙げられる。本発明においては、トナー粒子に対するシリカ微粒子の付着を制御する点で、過粉砕が起こりにくいポリエステル樹脂が好ましい。本発明に用いられるポリエステル樹脂の成分は以下の通りである。2価のアルコール成分としては、以下のものが挙げられる。エチレングリコール、プロピレングリコール、1、3-ブタンジオール、1、4-ブタンジオール、2、3-ブタンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、1、5-ペンタンジオール、1、6-ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、2-エチル-1、3-ヘキサンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノールCHDM、水素化ビスフェノールA、式1で表されるビスフェノール及びその誘導体:および式2で示されるジオール類。式中、Rはエチレンまたはプロピレン基であり、x、yはそれぞれ0以上の整数であり、かつ、xyの平均値は0乃至10である。これら中でも、トナー粒子の帯電制御及びガラス転移温度の維持において、ビスフェノール及びその誘導体が好ましい。一方、2価の酸成分としては、以下のジカルボン酸又はその誘導体が挙げられる。フタル酸、テレフタル酸、イソフタル酸、無水フタル酸の如きベンゼンジカルボン酸類又はその無水物又はその低級アルキルエステル;コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、アゼライン酸の如きアルキルジカルボン酸類又はその無水物又はその低級アルキルエステル;n-ドデセニルコハク酸、n-ドデシルコハク酸の如きアルケニルコハク酸類もしくはアルキルコハク酸類、又はその無水物又はその低級アルキルエステル;フマル酸、マレイン酸、シトラコン酸、イタコン酸の如き不飽和ジカルボン酸類又はその無水物又はその低級アルキルエステル。特にテレフタル酸、イソフタル酸が好ましい。本発明のトナーに用いられる着色剤としては、カーボンブラックやその他、従来知られているあらゆる顔料や染料、または磁性材料の一種又は二種以上を用いることができる。具体的には以下を例示することができる。染料としては、C.I.ダイレクトレッド1、C.I.ダイレクトレッド4、C.I.アシッドレッド1、C.I.べーシックレッド1、C.I.モーダントレッド30、C.I.ダイレクトブルー1、C.I.ダイレクトブルー2、C.I.アシッドブルー9、C.I.アシッドブルー15、C.I.べーシックブルー3、C.I.べーシックブルー5、C.I.モーダントトブルー7、C.I.ダイレクトグリーン6、C.I.べーシックグリーン4、C.I.べーシックグリーン6等がある。顔料としては、黄鉛、カドミウムイエロー、ミネラルファストイエロー、ネーブルイエロー、ナフトールイエローS、ハンザイエローG、パーマネントイエローNCG、タートラジンレーキ、赤口黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジGTR、ピラゾロンオレンジ、ベンジジンオレンジG、カドミウムレッド、パーマネントレッド4R、ウオッチングレッドカルシウム塩、エオシンレーキ、ブリリアントカーミン3B、マンガン紫、ファストバイオレットB、メチルバイオレットレーキ、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、ファーストスカイブルー、インダンスレンブルーBC、クロムグリーン、酸化クロム、ピグメントグリーンB、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンG等がある。本発明のトナーをフルカラー画像形成用トナーとして使用する場合には、次の様な着色剤が挙げられる。マゼンタ用着色顔料としては、C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、39、40、41、48、49、50、51、52、53、54、55、57、58、60、63、64、68、81、83、87、88、89、90、112、114、122、123、163、202、206、207、209、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.バットレッド1、2、10、13、15、23、29、35等が挙げられる。上記マゼンタ顔料を単独で使用しても構わないが、染料と顔料を併用してその鮮明度を向上させた方がフルカラー画像の画質の点からより好ましい。マゼンタ用染料としては、C.I.ソルベントレッド1、3、8、23、24、25、27、30、49、81、82、83、84、100、109、121、C.I.ディスパースレッド9、C.I.ソルベントバイオレット8、13、14、21、27、C.I.ディスパースバイオレット1などの油溶染料、C.I.ベーシックレッド1、2、9、12、13、14、15、17、18、22、23、24、27、29、32、34、35、36、37、38、39、40、C.I.ベーシックバイオレット1、3、7、10、14、15、21、25、26、27、28などの塩基性染料が挙げられる。シアン用着色顔料としては、C.I.ピグメントブルー2、3、15、16、17、C.I.バットブルー6、C.I.アシッドブルー45などである。イエロー用着色顔料としては、C.I.ピグメントイエロー1、2、3、4、5、6、7、10、11、12、13、14、15、16、17、23、35、73、83、C.I.バットイエロー1、3、20などが挙げられる。着色剤は、結着樹脂100.0質量部に対して、0.1質量部以上60.0質量部以下が好ましく、より好ましくは0.5質量部以上50.0質量部以下である。本発明のトナーを磁性一成分トナーとして用いる場合、磁性材料としては、マグネタイト、マグヘマイト、フェライトなどの酸化鉄、及び他の金属酸化物を含む磁性酸化鉄;Fe、Co、Niのような金属、あるいは、これらの金属とAl、Co、Pb、Mg、Ni、Sn、Zn、Sb、Be、Bf、Cd、Ca、Mn、Se、Ti、W、Vのような金属との合金、及びこれらの混合物等が挙げられる。従来、四三酸化鉄Fe3O4、三二酸化鉄γ-Fe2O3、酸化鉄亜鉛ZnFe2O4、酸化鉄イットリウムY3Fe5O12、酸化鉄カドミウムCd3Fe2O4、酸化鉄ガドリニウムGd3Fe5O12、酸化鉄銅CuFe2O4、酸化鉄鉛PbFe12O19、酸化鉄ニッケルNiFe2O4、酸化鉄ネオジムNdFe2O3、酸化鉄バリウムBaFe12O19、酸化鉄マグネシウムMgFe2O4、酸化鉄マンガンMnFe2O4、酸化鉄ランタンLaFeO3、鉄粉Fe、コバルト粉Co、ニッケル粉Ni等が知られている。特に好適な磁性材料は四三酸化鉄又は三二酸化鉄の微粉末である。また上述した磁性材料を単独で或いは2種以上の組合せで選択使用することもできる。本発明のトナーは磁性トナーであっても非磁性トナーであっても良いが、高速機における耐久安定性などの点から磁性トナーであることが好ましい。該磁性材料は、結着樹脂100質量部に対して、10質量部以上200質量部以下添加するのが好ましい。本発明においては、トナーに離型性を与えるために必要に応じて離型剤ワックスを用いることができる。該ワックスとしては、トナー粒子中での分散のしやすさ、離型性の高さから、低分子量ポリエチレン、低分子量ポリプロピレン、マイクロクリスタリンワックス、パラフィンワックスの如き炭化水素系ワックスが好ましく用いられる。必要に応じて一種または二種以上のワックスを、少量併用してもかまわない。例としては次のものが挙げられる。酸化ポリエチレンワックスの如き脂肪族炭化水素系ワックスの酸化物、または、それらのブロック共重合物;カルナバワックス、サゾールワックス、モンタン酸エステルワックスの如き脂肪酸エステルを主成分とするワックス類;脱酸カルナバワックスの如き脂肪酸エステル類を一部または全部を脱酸化したもの。さらに、以下のものが挙げられる。パルミチン酸、ステアリン酸、モンタン酸の如き飽和直鎖脂肪酸類;ブラシジン酸、エレオステアリン酸、バリナリン酸の如き不飽和脂肪酸類;ステアリルアルコール、アラルキルアルコール、ベヘニルアルコール、カルナウビルアルコール、セリルアルコール、メリシルアルコールの如き飽和アルコール類;長鎖アルキルアルコール類;ソルビトールの如き多価アルコール類;リノール酸アミド、オレイン酸アミド、ラウリン酸アミドの如き脂肪酸アミド類;メチレンビスステアリン酸アミド、エチレンビスカプリン酸アミド、エチレンビスラウリン酸アミド、ヘキサメチレンビスステアリン酸アミドの如き飽和脂肪酸ビスアミド類;エチレンビスオレイン酸アミド、ヘキサメチレンビスオレイン酸アミド、N,N’-ジオレイルアジピン酸アミド、N,N-ジオレイルセバシン酸アミドの如き不飽和脂肪酸アミド類;m-キシレンビスステアリン酸アミド、N,N-ジステアリルイソフタル酸アミドの如き芳香族系ビスアミド類;ステアリン酸カルシウム、ラウリン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸マグネシウムの如き脂肪酸金属塩一般に金属石けんといわれているもの;脂肪族炭化水素系ワックスにスチレンやアクリル酸の如きビニル系モノマーを用いてグラフト化させたワックス類;ベヘニン酸モノグリセリドの如き脂肪酸と多価アルコールの部分エステル化物;植物性油脂の水素添加によって得られるヒドロキシル基を有するメチルエステル化合物。使用できる具体的な例としては、以下のものが挙げられる。ビスコール登録商標330-P、550-P、660-P、TS-200三洋化成工業株式会社;ハイワックス400P、200P、100P、410P、420P、320P、220P、210P、110P三井化学株式会社;サゾールH1、H2、C80、C105、C77サゾールワックス社;HNP-1、HNP-3、HNP-9、HNP-10、HNP-11、HNP-12日本精蝋株式会社、ユニリン登録商標350、425、550、700、ユニシッド登録商標350、425、550、700東洋ペトロライト社;木ろう、蜜ろう、ライスワックス、キャンデリラワックス、カルナバワックス株式会社セラリカNODA。該離型剤ワックスを添加するタイミングは、トナーの製造中の溶融混練時において添加しても良いが結着樹脂の製造時であっても良く、既存の方法から適宜選ばれる。また、これらの離型剤は単独で使用しても併用しても良い。該離型剤は結着樹脂100質量部に対して、1質量部以上20質量部以下添加することが好ましい。1質量部未満の場合は望まれる離型効果が十分に得られにくく、20質量部を超える場合はトナー中での分散も悪く、静電荷像担持体へのトナー付着や、現像部材やクリーニング部材の表面汚染が起こりやすく、トナー画像が劣化し易い。本発明のトナーには、その摩擦帯電性を安定化させるために電荷制御剤を用いることができる。電荷制御剤は、その種類や他のトナー粒子構成材料の物性によっても異なるが、一般に、トナー粒子中に結着樹脂100質量部当たり0.1質量部以上10.0質量部以下含まれることが好ましく、0.1質量部以上5.0質量部以下含まれることがより好ましい。このような電荷制御剤としては、トナーの種類や用途に応じて種々のものを一種又は二種以上用いることができる。トナーを負帯電性に制御するものとしては、以下のものが挙げられる。有機金属錯体モノアゾ金属錯体;アセチルアセトン金属錯体;芳香族ヒドロキシカルボン酸又は芳香族ジカルボン酸の金属錯体又は金属塩。その他にも、トナーを負帯電性に制御するものとしては、芳香族モノ及びポリカルボン酸及びその金属塩や無水物;エステル類やビスフェノール等のフェノール誘導体が挙げられる。この中でも特に、安定な帯電性能が得られる芳香族ヒドロキシカルボン酸の金属錯体又は金属塩が好ましく用いられる。また、電荷制御樹脂も用いることができ、上述の電荷制御剤と併用することもできる。本発明のトナーには、必要に応じてシリカ微粒子以外の外部添加剤を併用して添加しても良い。このような外部添加剤としては、例えば、帯電補助剤、導電性付与剤、流動性付与剤、ケーキング防止剤、熱ローラ定着時の離型剤、滑剤、研磨剤等の働きをする樹脂微粒子や無機微粒子が挙げられる。滑剤としては、ポリフッ化エチレン粉末、ステアリン酸亜鉛粉末、ポリフッ化ビニリデン粉末が挙げられ、中でもポリフッ化ビニリデン粉末が好ましい。また研磨剤としては、酸化セリウム粉末、炭化ケイ素粉末、チタン酸ストロンチウム粉末が挙げられ、中でもチタン酸ストロンチウム粉末が好ましい。流動性付与剤としては、酸化チタン粉末、酸化アルミニウム粉末が挙げられ、中でも疎水化処理したものが好ましい。導電性付与剤としては、カーボンブラック粉末、酸化亜鉛粉末、酸化アンチモン粉末が挙げられる。またさらに、逆極性の白色微粒子及び黒色微粒子を現像性向上剤として少量用いることもできる。本発明のトナーを作製するには、結着樹脂及び着色剤、並びに、必要に応じてその他の添加剤を、ヘンシェルミキサー又は、ボールミルの如き混合機により十分混合してから加熱ロール、ニーダー、エクストルーダーの如き熱混練機を用いて溶融混練し、冷却固化後粉砕及び分級を行い、トナー粒子を得、更にトナー粒子にシリカ微粒子をヘンシェルミキサーの如き混合機により十分混合し、本発明のトナーを得ることが出来る。混合機としては、以下のものが挙げられる。ヘンシェルミキサー三井鉱山社製;スーパーミキサーカワタ社製;リボコーン大川原製作所社製;ナウターミキサー、タービュライザー、サイクロミックスホソカワミクロン社製;スパイラルピンミキサー太平洋機工社製;レーディゲミキサーマツボー社製。混練機としては、以下のものが挙げられる。KRCニーダー栗本鉄工所社製;ブスコニーダーBuss社製;TEM型押し出し機東芝機械社製;TEX二軸混練機日本製鋼所社製;PCM混練機池貝鉄工所社製;三本ロールミル、ミキシングロールミル、ニーダー井上製作所社製;ニーデックス三井鉱山社製;MS式加圧ニーダー、ニダールーダー森山製作所社製;バンバリーミキサー神戸製鋼所社製。粉砕機としては、以下のものが挙げられる。カウンタージェットミル、ミクロンジェット、イノマイザホソカワミクロン社製;IDS型ミル、PJMジェット粉砕機日本ニューマチック工業社製;クロスジェットミル栗本鉄工所社製;ウルマックス日曹エンジニアリング社製;SKジェットオーミルセイシン企業社製;クリプトロン川崎重工業社製;ターボミルターボエ業社製;スーパーローター日清エンジニアリング社製。分級機としては、以下のものが挙げられる。クラッシール、マイクロンクラッシファイアー、スペディッククラシファイアーセイシン企業社製;ターボクラッシファイアー日清エンジニアリング社製;ミクロンセパレータ、ターボプレックスATP、TSPセパレータホソカワミクロン社製;エルボージェット日鉄鉱業社製、ディスパージョンセパレータ日本ニューマチックエ業社製;YMマイクロカット安川商事社製。粗粒子をふるい分けるために用いられる篩い装置としては、以下のものが挙げられる。ウルトラソニック晃栄産業社製;レゾナシーブ、ジャイロシフター徳寿工作所社;バイブラソニックシステムダルトン社製;ソニクリーン新東工業社製;ターボスクリーナーターボエ業社製;ミクロシフター槙野産業社製;円形振動篩い。本発明に用いられる静電荷像担持体は、少なくとも光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、該感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和が6.60×1022原子/cm3以上であることが好ましい。さらには、該感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和が6.81×1022原子/cm3以上、であることがより好ましい。なお、a-SiC感光体では、13.0×1022原子/cm3という原子密度が珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和の上限となる。感光体の原子密度が上記の範囲であるとき、感光体の吸水性が低下する。従来のa-SiC感光体では、原子密度が低かったため表面層に-CH3基が多く、この部分がコロナ放電に暴露されると、表面層のSi-Cの結合が切断されやすかった。その結果-OH基が生じやすく、吸水性が高かった。しかし原子密度が高まることで、-CH3基密度が減少し、その結果-OH基の生成が抑制され、吸水性を抑えることができるものと考えられる。吸水性が抑えられることで感光体と疎水性のシリコーンオイルとの親和性が向上し、シリコーンオイルが広がりやすくなる。その結果画像流れをより抑制できると考えられる。本発明に用いられる感光体は、従来の電子写真感光体の表面層に比べて、水素化アモルファス炭化珪素を構成している珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和を増加させて、原子密度の高い膜構造を備えた表面層を形成している。上述したように、原子密度の高い膜構造を備えた表面層を形成するには、反応容器に供給するガス量が少ない方が好ましく、高周波電力は高い方が好ましく、反応容器内の圧力が高い方が好ましく、さらに、基体の温度が高い方が好ましい。まず、反応容器内に供給するガス量を減らし、かつ、高周波電力を上げることにより、ガスの分解を促進させることができる。これにより、珪素原子供給用のガスよりも分解しにくい炭素原子供給用のガスを効率良く分解することができる。その結果、水素原子の少ない活性種が生成され、基体上に形成した堆積膜中の水素原子が減少するため、原子密度の高い水素化アモルファス炭化珪素表面層が形成可能となる。また、反応容器内の圧力を高めることで、反応容器内に供給された原料ガスの滞留時間が長くなる、また、原料ガスの分解により生じた水素原子により弱結合水素の引き抜き反応が生じる。その結果、珪素原子と炭素原子のネットワーク化が促進されると考えられる。さらに、基体の温度を上げることにより、基体に到達した活性種の表面移動距離が長くなり、より安定した結合をつくることができる。その結果、水素化アモルファス炭化珪素表面層として、より構造的に安定した配置に各原子が結合できると考えられる。次に本発明に用いられる感光体の製造方法の一例について説明する。図1は、本発明のa-SiC感光体を作製するための高周波電源を用いたRFプラズマCVD法による感光体の堆積装置の一例を模式的に示したものである。この装置は大別すると、反応容器1110を有する堆積装置1100、原料ガス供給装置1200、および、反応容器1110内を減圧する為の排気装置図示せずから構成されている。堆積装置1100中の反応容器1110内にはアースに接続された導電性基体1112、導電性基体加熱用ヒーター1113、および、原料ガス導入管1114が設置されている。さらにカソード電極1111には高周波マッチングボックス1115を介して高周波電源1120が接続されている。原料ガス供給装置1200は、SiH4、H2、CH4、NO、B2H6等の原料ガスボンベ1221乃至1225、バルブ1231乃至1235、圧力調整器1261乃至1265、流入バルブ1241乃至1245、流出バルブ1251乃至1255およびマスフローコントローラ1211乃至1215から構成されている。各原料ガスを封入したガスのボンベは補助バルブ1260を介して反応容器1110内の原料ガス導入管1114に接続されている。次にこの装置を使った堆積膜の形成方法について説明する。まず、あらかじめ脱脂洗浄した導電性基体1112を反応容器1110に受け台1123を介して設置する。次に、排気装置図示せずを運転し、反応容器1110内を排気する。真空計1119の表示を見ながら、反応容器1110内の圧力がたとえば1Pa以下の所定の圧力になったところで、導電性基体加熱用ヒーター1113に電力を供給し、導電性基体1112を例えば50°Cから350°Cの所望の温度に加熱する。このとき、原料ガス供給装置1200より、Ar、He等の不活性ガスを反応容器1110に供給して、不活性ガス雰囲気中で加熱を行うこともできる。次に、原料ガス供給装置1200より堆積膜形成に用いるガスを反応容器1110に供給する。すなわち、必要に応じバルブ1231乃至1235、流入バルブ1241乃至1245、流出バルブ1251乃至1255を開き、マスフローコントローラ1211乃至1215に流量設定を行う。各マスフローコントローラの流量が安定したところで、真空計1119の表示を見ながらメインバルブ1118を操作し、反応容器1110内の圧力が所望の圧力になるように調整する。所望の圧力が得られたところで高周波電源1120より高周波電力を印加すると同時に高周波マッチングボックス1115を操作し、反応容器1110内にプラズマ放電を生起する。その後、速やかに高周波電力を所望の電力に調整し、堆積膜の形成を行う。所定の堆積膜の形成が終わったところで、高周波電力の印加を停止し、バルブ1231乃至1235、流入バルブ1241乃至1245、流出バルブ1251乃至1255、および補助バルブ1260を閉じ、原料ガスの供給を終える。同時に、メインバルブ1118を全開にし、反応容器1110内を1Pa以下の圧力まで排気する。以上で、堆積層の形成を終えるが、複数の堆積層を形成する場合、再び上記の手順を繰り返してそれぞれの層を形成すれば良い。原料ガス流量や、圧力等を光導電層形成用の条件に一定の時間で変化させて、接合領域の形成を行うこともできる。すべての堆積膜形成が終わったのち、メインバルブ1118を閉じ、反応容器1110内に不活性ガスを導入し大気圧に戻した後、導電性基体1112を取り出す。感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和、並びに、炭素原子比及び水素原子比の測定方法について以下に示す。まず、表1の電荷注入阻止層及び光導電層のみを積層させたリファレンス電子写真感光体を作製し、任意の周方向における長手方向の中央部を15mm四方で切り出し、リファレンス試料を作製した。次に、電荷注入阻止層、光導電層及び表面層を積層させた電子写真感光体を同様に切り出し、測定用試料を作製した。リファレンス試料と測定用試料を分光エリプソメトリーJ.A.Woollam社製:高速分光エリプソメトリーM-2000により測定し、表面層の膜厚を求めた。分光エリプソメトリーの具体的な測定条件は、入射角:60°、65°、70°、測定波長:195nmから700nm、ビーム径:1mm×2mmである。まず、リファレンス試料を分光エリプソメトリーにより各入射角で波長と振幅比Ψ及び位相差Δの関係を求めた。次に、リファレンス試料の測定結果をリファレンスとして、測定用試料をリファレンス試料と同様に分光エリプソメトリーにより各入射角で波長と振幅比Ψ及び位相差Δの関係を求めた。そして、電荷注入阻止層及び光導電層、表面層を順次積層し、最表面に表面層と空気層の体積比が8:2となる粗さ層を有する層構成を計算モデルとして用いて、解析ソフト:J.A.WoollamCo.,Inc.製WVASE32により各入射角における波長とΨ及びΔの関係を計算により求めた。更に、この計算により求めた波長とΨ及びΔの関係と、測定用試料を測定して求めた波長とΨ及びΔの関係の平均二乗誤差が最小となるときの表面層の膜厚を算出し、この値を表面層の膜厚とした。分光エリプソメトリーによる測定が終了した後、上記測定用試料をRBSラザフォード後方散乱法日新ハイボルテージ株製:後方散乱測定装置AN-2500により、RBSの測定面積における表面層中の珪素原子及び炭素原子の原子数を測定し、C/SiC[炭素原子比]を求めた。次に、RBSの測定面積から求めた珪素原子及び炭素原子の原子数に対し、分光エリプソメトリーにより求めた表面層の膜厚を用いて、珪素原子の原子密度、炭素原子の原子密度及び珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和SiC原子密度を求めた。RBSと同時に、上記測定用試料をHFS水素前方散乱法日新ハイボルテージ株製:後方散乱測定装置AN-2500により、HFSの測定面積における表面層中の水素原子の原子数を測定した。HFSの測定面積から求めた水素原子の原子数と、RBSの測定面積から求めた珪素原子の原子数及び炭素原子の原子数により、水素原子比[水素原子の原子数、珪素原子の原子数及び炭素原子の原子数の和に対する水素原子の原子数の比]を求めた。次に、HFS測定面積から求めた水素原子数に対し、分光エリプソメトリーにより求めた表面層の膜厚を用いて、水素原子の原子密度を求めた。RBS及びHFSの具体的な測定条件は、入射イオン:4He、入射エネルギー:2.3MeV、入射角:75°、試料電流:35nA、入射ビーム経:1mmであり、RBSの検出器は、散乱角:160°、アパーチャ径:8mm、HFSの検出器は、反跳角:30°、アパーチャ径:8mmSlitで測定を行った。以上本発明の基本的な構成と特色について述べたが、以下実施例に基づいて具体的に本発明について説明する。しかしながら、本発明は何らこれに限定されるものではない。なお、実施例及び比較例の部数及びは特に断りが無い場合、すべて質量基準である。[シリカ微粒子1の製造例]撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体BET比表面積300m2/gを投入し、撹拌による流動化状態において、250°Cに加熱した。反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体100質量部に対し、17質量部のジメチルシリコーンオイル25°Cにおける動粘度=50.0mm2/sを噴霧し、30分間撹拌を続けた。その後、撹拌しながら300°Cまで昇温させてさらに2時間撹拌し、最初のシリコーンオイル処理を終了した。反応終了後、解砕処理を行った。その後、反応器の温度を250°Cに下げ、シリカ微粒子原体100質量部に対し、30質量部のヘキサメチルジシラザンを水蒸気とともに内部に噴霧し、撹拌しながら流動化状態で処理を行なった。この反応を60分間継続した後、反応を終了した。反応終了後、オートクレーブを脱圧し、窒素ガス気流による洗浄を行い、疎水性シリカから過剰のヘキサメチルジシラザン及び副生物を除去した。さらに、反応器の温度を250°Cに維持し、反応槽内を撹拌しながらシリカ微粒子原体100質量部あたり、1質量部のジメチルシリコーンオイル25°Cにおける動粘度=50.0mm2/sを噴霧した。2時間撹拌した後に取り出し、本発明で使用したシリカ微粒子1を得た。得られたシリカ微粒子1表2ではシリカ1と表記している。の物性を表2に示す。[シリカ微粒子2の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積200m2/gのシリカを用いた。さらにジメチルシリコーンオイルの粘度として、300mm2/sのシリコーンオイルとした以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子2を得た。得られたシリカ微粒子2の物性を表2に示す。[シリカ微粒子3の製造例]3段目のジメチルシリコーンオイル添加量を1.5質量部とし、ジメチルシリコーンオイルの粘度として300mm2/sのシリコーンオイルを用いた以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子3を得た。得られたシリカ微粒子3の物性を表2に示す。[シリカ微粒子4の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積200m2/gのシリカを用いた。さらに、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.5質量部とした以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子4を得た。得られたシリカ微粒子4の物性を表2に示す。[シリカ微粒子5の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積200m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として300mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、25.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.5質量部とした。以上変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子5を得た。得られたシリカ微粒子5の物性を表2に示す。[シリカ微粒子6の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積200m2/gのシリカを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、10.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、1.5質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子6を得た。得られたシリカ微粒子6の物性を表2に示す。[シリカ微粒子7の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積200m2/gのシリカを用いた。さらに、ジメチルシリコーンオイルの粘度として300mm2/sのシリコーンオイルを用い、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.5質量部とした以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子7を得た。得られたシリカ微粒子7の物性を表2に示す。[シリカ微粒子8の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積200m2/gのシリカを用いた。さらに、ジメチルシリコーンオイルの粘度として300mm2/sのシリコーンオイルを用い、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、1.5質量部とした以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子8を得た。得られたシリカ微粒子8の物性を表2に示す。[シリカ微粒子9の製造例]ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用い、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.5質量部とした以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子9を得た。得られたシリカ微粒子8の物性を表2に示す。[シリカ微粒子10の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用いた。さらに、ジメチルシリコーンオイルの粘度として30mm2/sのシリコーンオイルを用い、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、1.5質量部とした以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子10を得た。得られたシリカ微粒子10の物性を表2に示す。[シリカ微粒子11の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、25.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.1質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子11を得た。得られたシリカ微粒子11の物性を表2に示す。[シリカ微粒子12の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、10.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、3.0質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子12を得た。得られたシリカ微粒子12の物性を表2に示す。[シリカ微粒子13の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、26.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.1質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子13を得た。得られたシリカ微粒子13の物性を表2に示す。[シリカ微粒子14の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、9.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、3.0質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子14を得た。得られたシリカ微粒子14の物性を表2に示す。[シリカ微粒子15の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積200m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、10.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.5質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子15を得た。得られたシリカ微粒子15の物性を表2に示す。[シリカ微粒子16の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用いた、ジメチルシリコーンオイルの粘度として300mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、25.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、1.5質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子16を得た。得られたシリカ微粒子16の物性を表2に示す。[シリカ微粒子17の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、9.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、0.1質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子17を得た。得られたシリカ微粒子17の物性を表2に示す。[シリカ微粒子18の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体として、BET比表面積180m2/gのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として10mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、26.0質量部とし、3段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、3.0質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子1と同様にしてシリカ微粒子18を得た。得られたシリカ微粒子18の物性を表2に示す。[シリカ微粒子19の製造例]撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体BET比表面積180m2/gを投入し、撹拌による流動化状態において、250°Cに加熱した。反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体100質量部に対し、26.0質量部のジメチルシリコーンオイル粘度=10mm2/sを噴霧し、30分間撹拌して、シリコーンオイル処理を終了した。反応終了後、解砕処理を行った。その後、反応器の温度を250°Cに保ったまま、シリカ微粒子原体100質量部に対し、10質量部のヘキサメチルジシラザンを内部に噴霧し、撹拌しながら流動化状態で処理を行なった。この反応を30分間継続した後、反応を終了した。反応終了後、オートクレーブを脱圧し、窒素ガス気流による洗浄を行い、疎水性シリカから過剰のヘキサメチルジシラザン及び副生物を除去して、本発明で使用したシリカ微粒子19を得た。得られたシリカ微粒子19の物性を表2に示す。[シリカ微粒子20の製造例]撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体BET比表面積180m2/gを投入し、撹拌による流動化状態において、150°Cに加熱した。反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体100質量部に対し、26.0質量部のジメチルシリコーンオイル粘度=10mm2/sを噴霧し、30分間撹拌を続けた。その後、撹拌しながら200°Cまで昇温させてさらに2時間撹拌した後に取り出し、反応終了後、解砕処理を行った。本発明で使用したシリカ微粒子20を得た。得られたシリカ微粒子20の物性を表2に示す。[シリカ微粒子21の製造例]未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体BET比表面積180m2/gを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用いた。さらに、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、9.0質量部とした以外は、上記シリカ微粒子19と同様にしてシリカ微粒子21を得た。得られたシリカ微粒子21の物性を表2に示す。[シリカ微粒子22の製造例]ジメチルシリコーンオイルの粘度として500mm2/sのシリコーンオイルを用い、1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、9.0質量部とした以外は、上記シリカ微粒子20と同様にしてシリカ微粒子22を得た。得られたシリカ微粒子22の物性を表2に示す。[シリカ微粒子23の製造例]1段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体100質量部に対し、26.0質量部とした以外は、上記シリカ微粒子20と同様にしてシリカ微粒子23を得た。得られたシリカ微粒子23の物性を表2に示す。[シリカ微粒子24の製造例]撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカシリカ微粒子原体BET比表面積180m2/gを投入し、撹拌による流動化状態において、250°Cに加熱した。反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体100質量部に対し、30質量部のヘキサメチルジシラザンを水蒸気とともに内部に噴霧し、撹拌しながら流動化状態で処理を行なった。この反応を60分間継続した後、反応を終了した。反応終了後、オートクレーブを脱圧し、窒素ガス気流による洗浄を行い、疎水性シリカから過剰のヘキサメチルジシラザン及び副生物を除去した。さらに、反応器の温度を250°Cに維持し、反応槽内を撹拌しながらシリカ微粒子原体100質量部あたり、26.0質量部のジメチルシリコーンオイル25°Cにおける粘度=50.0mm2/sを噴霧し、2時間撹拌した後に取り出し、解砕処理を行った。本発明で使用したシリカ微粒子24を得た。得られたシリカ微粒子24の物性を表2に示す。[感光体1製造例]図1に示す、周波数としてRF帯の高周波電源を用いたプラズマ処理装置を用いて、円筒状基体直径80mm、長さ358mm、厚さ3mmの鏡面加工を施した円筒状のアルミニウム基体上に下記表3に示す条件でプラス帯電a-SiC感光体を作製した。その際、電荷注入阻止層、光導電層、表面層の順に成膜を行った。なお、表3中の※は可変の値であることを示し、表面層作製時の高周波電力、SiH4流量及びCH4流量を下記表4に示す条件とした。上記方法により作製した電子写真感光体について、珪素原子の原子密度Si原子密度と炭素原子の原子密度C原子密度の和SiC原子密度、水素原子比H原子比、炭素原子比C原子比の評価を前述の条件で行った。その結果を表5に示す。[結着樹脂1製造例]ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物34.0mol平均付加mol数:2.2molビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物19.5mol平均付加mol数:2.2molイソフタル酸23.5moln-ドデセニルコハク酸13.5molトリメリット酸9.5mol上記モノマーと、ジブチル錫オキシドを全酸成分100質量部に対して0.03質量部添加し窒素気流下、22.0°Cにて6時間攪拌しつつ反応させ、ポリエステル結着樹脂1を得た。[トナー1の製造例]ポリエステル結着樹脂1100質量部磁性酸化鉄粒子個数平均粒径0.15μm75質量部フィッシャートロプシュワックス融点105°C2質量部電荷制御剤下式構造式12質量部上記材料をヘンシェルミキサーで前混合した後、二軸混練押し出し機によって、溶融混練した。得られた混練物を冷却し、ハンマーミルで粗粉砕した後、ジェットミルで粉砕し、得られた微粉砕粉末を、コアンダ効果を利用した多分割分級機を用いて分級し、重量平均粒径D4が6.8μmの負摩擦帯電性のトナー粒子を得た。トナー粒子100質量部に対し、シリカ微粒子1を2.0質量部、及びチタン酸ストロンチウム個数平均粒径1.2μm3.0質量部を外添混合し目開き150μmのメッシュで篩い、負摩擦帯電性のトナー1を得た。[トナー2乃至29の製造例]表5に示すように、シリカ微粒子の種類と添加量を変えた以外は、トナー1の製造例と同様にして、トナー2乃至29を得た。[実施例1]ワイヤー汚染評価1評価に用いたマシンとしては、市販の複写機imagePRESS-1135キヤノン製プロセススピード665mm/secを用いた。転写材には普通紙であるCS68068g紙キヤノン製を用いた。この評価機に感光体1をとりつけ、トナー1を充填し、常温低湿環境23°C、5RHで印字比率5のテストチャートを用いて、ワイヤー清掃パッドを取り外した状態で普通紙を連続片面通紙で50万枚耐久を行った。この際、感光体の暗部電位が一定になるようにコロナ帯電器の放電電流を調整して耐久を行い、以下に示す項目について評価を行った。新品のワイヤーの径と、耐久後のシリカの薄膜が形成したワイヤーの径とを比較し、耐久後のシリカの薄膜によるワイヤーの太さを比率で数値化した。ワイヤーの測定は一次帯電器を測定した。尚、測定に用いた顕微鏡はKH-3000VハイスコープアドバンストHiROX社製を用いて、200倍の倍率で測定を行った。なお、ワイヤー汚染評価1に対して、下記B評価以上で本発明の効果が得られていると判断した。[評価基準]A非常に良い110未満B良い110以上120未満C普通120以上130未満Dやや悪い130以上140未満E悪い140以上150未満ワイヤー汚染評価2評価機をimageRUNNER5075キヤノン製プロセススピード350mm/secにした以外は、ワイヤー汚染評価1と同様に画像を出力し、ワイヤー汚染評価1と同様の評価を行った。ワイヤー汚染評価3評価機をimageRUNNER5075キヤノン製にし、試験環境を常温常湿環境23°C、50RHにした以外は、ワイヤー汚染評価1と同様に画像を出力し、ワイヤー汚染評価1と同様の評価を行った。画像流れ評価1画像流れ評価1では、キヤノン株製のデジタル電子写真装置imagePRESS-1135キヤノン製プロセススピード665mm/secを用いた。この評価機に感光体1をとりつけ、トナー1を充填し、温度30°C、相対湿度80の高温高湿環境下で連続通紙試験前のA3文字チャート4pt、印字率4の画像を出力した。このとき、感光体ヒーターをONにする条件で実施した。連続通紙試験前の画像出力後、連続通紙試験を実施した。連続通紙試験時は、電子写真装置を稼働して連続通紙試験を実施している間および電子写真装置を停止している間を通じて常に感光体ヒーターをOFFにする条件で実施した。具体的には、印字率1のA4テストパターンを用いて、1日当たり2.5万枚の連続通紙試験を10日間実施して25万枚まで行った。連続通紙試験終了後、温度30°C、相対湿度80の環境下で15時間放置した。15時間後、感光体ヒーターをOFFのまま立ち上げ、A3文字チャート4pt、印字率4の画像を出力した。連続通紙試験前に出力した画像と、連続通紙試験後に出力した画像を、それぞれキヤノン株製のデジタル電子写真装置iRC-5870商品名を用いて、モノクロ300dpiの2値の条件でPDFファイルに電子化した。電子化した画像をAdobe製の画像編集ソフトAdobePhotoshop商品名を用いて、電子写真感光体1周分の画像領域251.3mm×273mmの黒比率を測定した。次に、連続通紙耐久前に出力した画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率の比率を求め、画像流れの評価を行った。画像流れが発生した場合、画像全体で文字がぼける、または、文字が印字されずに白抜けするため、連続通紙試験前の正常な画像と比較した場合、出力された画像における黒比率が低下する。よって、連続通紙試験前の正常な画像に対する連続通紙試験後に出力された画像の黒比率の比率が100に近いほど画像流れが発生していないこととなる。なお、画像流れ評価1では、下記B評価以上で本発明の効果が得られていると判断した。[評価基準]A非常に良い連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率が95以上105以下。B良い連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率が90以上95未満。C普通連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率が85以上90未満。Dやや悪い連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率が80以上85未満。E悪い連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率が70以上80未満。画像流れ評価2評価機をimageRUNNER5075キヤノン製プロセススピード350mm/secに変更した以外は、画像流れ評価1と同様に画像を出力し、画像流れ評価1と同様の評価を行った。画像流れ評価3試験環境を常温常湿環境23°C、50RHにした以外は、画像流れ評価1と同様に画像を出力し、画像流れ評価1と同様の評価を行った。画像流れ評価4感光体ヒーターを常時ONにした以外は、画像流れ評価1と同様に画像を出力し、画像流れ評価1と同様の評価を行った。画像流れ評価5感光体ヒーターを常時ONにした以外は、画像流れ評価2と同様に画像を出力し、画像流れ評価1と同様の評価を行った。以上の評価を行った結果、実施例1はいずれの評価でもAの評価となった。[実施例2]トナー1と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1がBに悪化した。感光体の原子密度が下がることによって、吸水性が上がり、画像流れ抑制の効果が薄くなったと考えられる。[実施例3]トナー2と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1および2の評価がBとなった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目添加量が少ないため、トナー中での遊離シリコーンオイル量が少なくなり、画像流れ抑制の効果が薄れたと考えられる。[実施例4]トナー3と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1がBとなった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が多くなり、トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。[実施例5]トナー4と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1がBとなった。シリカ微粒子原体のBET比表面積は小さくなったが、粘度が大きいオイルを用いることによって固定化率は適切な値となった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が多くなり、トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。[実施例6]トナー5と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1がBとなった。固定化しにくい粘度が大きいオイルを用いているが、3段目の処理オイル量を増やすことで固定化率は適切な値となった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が多くなり、トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。[実施例7]トナー6と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1および2がBとなった。シリカ微粒子原体のBET比表面積が200m2/gと表面積の小さいシリカ微粒子を用いているが、3段目の処理オイル量を減らすことで固定化率は適切な値となっている。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が少ないため、トナー中での遊離シリコーンオイル量が少なくなり、画像流れ抑制の効果が薄れたと考えられる。[実施例8]トナー7と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1がBとなった。シリカ微粒子原体のBET比表面積が200m2/gと表面積の小さいシリカ微粒子を用いているが、1段目と3段目の処理オイル量を制御することで固定化率は適切な値となっている。トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。[実施例9]トナー8と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1および2がBとなった。シリカ微粒子原体のBET比表面積が200m2/gのシリカ微粒子を用い、1段目と3段目の処理オイル量を制御することで固定化率は適切な値となっている。トナー中での遊離シリコーンオイル量が少なくなり、画像流れ抑制の効果が薄れたと考えられる。[実施例10]トナー9と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価3がBに悪化した。シリカ微粒子原体のBET比表面積が200m2/gのシリカ微粒子と、ジメチルシリコーンオイルの粘度として300mm2/sのシリコーンオイルを用い、3段目の処理オイル量を制御することで固定化率が範囲上限付近になっている。シリカ微粒子の入れ目も多いため、画像流れ評価3も悪化したと考えられる。[実施例11]トナー10と感光体2の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1、2がBとなった。シリカ微粒子原体のBET比表面積が200m2/gのシリカ微粒子と、ジメチルシリコーンオイルの粘度として300mm2/sのシリコーンオイルを用い、3段目の処理オイル量を制御することで固定化率が範囲下限付近になっている。シリカ微粒子の入れ目も多いため、ワイヤー汚染評価2も悪化したと考えられる。[実施例12]トナー9と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価4もBとなった。感光体の原子密度がより下がることによって、吸水性が上がり、画像流れ抑制の効果が薄くなったと考えられる。[実施例13]トナー11と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがBとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。[実施例14]トナー12と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがBとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。[実施例15]トナー13と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがBとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。[実施例16]トナー14と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがBとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。[実施例17]トナー15と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがBとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。[実施例18]トナー16と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがBとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。[実施例19]トナー17と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがBとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。[実施例20]トナー18と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがBとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。上記トナーと感光体の組み合わせを表7に各種評価結果を表9に示す。[比較例1]トナー19と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1、2および3がCとなった。固定化率が上限を超し、またシリカ微粒子の入れ目も好ましい下限を下まわったことで、感光体ヒーターを切った評価が悪化したと考えられる。[比較例2]トナー20と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1および2がCとなった。固定化率が下限を下まわり、またシリカの入れ目も好ましい上限を上まわったことで、低湿環境での評価が悪化したと考えられる。[比較例3]トナー21と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1、2および3がCとなった。固定化率が上限を超したことで、感光体ヒーターを切った評価が悪化したと考えられる。[比較例4]トナー22と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1および2がCとなった。固定化率が下限を下まわったことで、低湿環境での評価が悪化したと考えられる。[比較例5]トナー23と感光体1の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1、2および3がCとなった。固定化率が上限を超し、またシリカ微粒子の入れ目も好ましい下限を下まわったことで、感光体ヒーターを切った評価が悪化したと考えられる。[比較例6]トナー23と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価4、5についてもCとなった。すべての項目で好ましい範囲を外れており、それにより画像流れ評価が悪化したと考えられる。[比較例7]トナー24と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価3についてもCとなった。すべての項目で好ましい範囲を外れており、それによりワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。[比較例8]トナー25と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1、2および3がDとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカ微粒子を用いていることから、画像流れがより悪化したと考えられる。[比較例9]トナー26と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1、2および3がDとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカ微粒子を用いていることから、画像流れがより悪化したと考えられる。[比較例10]トナー27と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1、2および3がEとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカを用い、さらに固定化率も上限を上まわっていることから画像流れがより悪化したと考えられる。[比較例11]トナー28と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価1、2および3がEとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカを用い、さらに固定化率も上限を上まわっていることから画像流れがより悪化したと考えられる。[比較例12]トナー29と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1、2がDとなった。1段のオイル処理のみなので、遊離シリコーンオイル量も多く、ワイヤー汚染がより悪化したと考えられる。[比較例13]トナー30と感光体3の組み合わせにおいて、実施例1と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価1、2がEとなり、評価3がDとなった。シラン化合物の上にシリコーンオイル処理を施したシリカでは固定化率を上げることができず、遊離量がかなり多くなってしまう。その結果ワイヤー汚染がより悪化したものと考えられる。上記トナーと感光体の組み合わせを表8に各種評価結果を表9に示す。"