走査型プローブ顕微鏡を用いて収集された3次元空間内の各位置における所定の物理量を示す3次元分布データに基づいて該物理量の分布を示す画像を作成して表示する走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置において、a前記所定の物理量の3次元分布データに基づいてそのデータ値を色情報又は濃淡情報とした3次元分布画像を作成して表示する3次元分布画像表示処理手段と、b前記第3次元分布画像表示処理手段により表示される3次元分布画像上で該画像により示される立体オブジェクトを任意の位置で切断する平面をユーザが指定するための断面位置指定手段と、c前記断面位置指定手段により指定された平面で切断された2次元断面上の各位置のデータ値を該断面に交差する方向の凹凸として示す凹凸像を作成して表示する凹凸像表示処理手段と、を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置であって、d前記凹凸像表示処理手段により表示される凹凸像上で任意の点をユーザが指定するための点指定手段と、e前記点指定手段により指定された点に対応するデータ値について、予め決められた若しくはユーザにより選択された処理を実行してデータ値を更新する、又は予め決められた若しくはユーザにより選択された処理により得られたデータ値に置換するデータ値処理手段と、をさらに備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置であって、前記データ値処理手段は、前記点指定手段により指定された点に対応するデータ値を、2次元的又は3次元的にその周囲にあるデータ値を用いた補間値に置換するものであることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その主な目的は、SPMにより収集される種々の物理量の3次元分布データについて、空間的に任意の位置にある関心領域や異常値発生部位などをユーザが探索する際に、データ値の変動や異常値などの目視上の認識を容易にすることができる走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置を提供することにある。上記課題を解決するためになされた本発明は、走査型プローブ顕微鏡を用いて収集された3次元空間内の各位置における所定の物理量を示す3次元分布データに基づいて該物理量の分布を示す画像を作成して表示する走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置において、a前記所定の物理量の3次元分布データに基づいてそのデータ値を色情報又は濃淡情報とした3次元分布画像を作成して表示する3次元分布画像表示処理手段と、b前記第3次元分布画像表示処理手段により表示される3次元分布画像上で該画像により示される立体オブジェクトを任意の位置で切断する平面をユーザが指定するための断面位置指定手段と、c前記断面位置指定手段により指定された平面で切断された2次元断面上の各位置のデータ値を該断面に交差する方向の凹凸として示す凹凸像を作成して表示する凹凸像表示処理手段と、を備えることを特徴としている。ここで所定の物理量はSPMにおいて得られる任意の物理量とすることができる。本発明に係る走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置では、断面位置指定手段は例えばマウス等のポインティングデバイスであり、3次元分布画像により示される立体オブジェクトを任意の位置で切断する平面を移動させたり回転させたりすることで切断位置を任意に決めることができる。この平面である切断面には該断面上の各位置におけるデータ値が色情報又は濃淡情報で示されるが、凹凸像表示処理手段は各データ値に基づいた凹凸像を作成し、平面状の2次元断面像に代えてこの凹凸像を表示する。このようにデータ値が凹凸で示されることにより、2次元断面上でのデータ値の変化や分布の理解が視覚的に容易になり、ユーザが関心領域を見つけ易くなる。また、分析の不具合などにより正常なデータ値から大きく外れた異常なデータ値が存在した場合にユーザは簡単にこれを見つけることができる。また本発明に係る走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置は、好ましくは、d前記凹凸像表示処理手段により表示される凹凸像上で任意の点をユーザが指定するための点指定手段と、e前記点指定手段により指定された点に対応するデータ値について、予め決められた若しくはユーザにより選択された処理を実行してデータ値を更新する、又は予め決められた若しくはユーザにより選択された処理により得られたデータ値に置換するデータ値処理手段と、をさらに備える構成とするとよい。具体的に、前記データ値処理手段は例えば、前記点指定手段により指定された点に対応するデータ値を、2次元的又は3次元的にその周囲にあるデータ値を用いた補間値に置換するものである構成とすることができる。一般にSPMで上記のような3次元分布データを収集するのには時間が掛かるため、少数の異常値が見られただけで再測定を実行するのは非効率である。これに対し、上記構成によれば、前述したように、ユーザが凹凸像の観察によって正常なデータ値から大きく外れた異常なデータ値の存在を確認した場合に、ごく簡便な操作で異常データ値を補間等による妥当な値に置き換えることができる。そのため、面倒な再測定を行うことなく、構造解析などに有用な試料表面近傍の情報を得ることが可能となる。本発明に係る走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置によれば、ユーザが指定した断面上でのデータ値が凹凸で示されるため、ユーザはデータ値の変化や分布を直感的に把握することができ、例えば着目する構造に沿った関心領域や測定不具合等による異常値を容易に見つけることができる。それにより、所定の物理量の3次元分布データを用いた構造や特性の解析が従来に比べて効率良く行えるようになる。以下、本発明に係るSPM用データ処理装置について、該データ処理装置を用いたSPMの一実施例を挙げて説明する。図1は本実施例のSPMの概略構成図である。測定部10において、観察対象である試料11は略円筒形状であるスキャナ13の上に設けられた試料台12の上に保持される。スキャナ13は圧電素子を備え、スキャナ駆動部16から印加される電圧によって試料11をX、Yの2軸方向に走査し且つX軸、Y軸に直交するZ軸方向に微動させる。試料11の上方には先端に探針15を有するカンチレバー14が配置され、カンチレバー14は図示しない圧電素子を含む励振部により振動される。カンチレバー14の上方には、カンチレバー14の変位を検出するために、レーザ光源17、レンズ18、ビームスプリッタ19、ミラー20、光検出器21などを含む変位検出部が設けられている。レーザ光源17から出射しレンズ18で集光したレーザ光をビームスプリッタ19で反射させ、カンチレバー14の先端付近に照射する。その反射光をミラー20を介して光検出器21で検出する。光検出器21はカンチレバー14の変位方向Z軸方向に複数に分割された受光面を有する。DFMモードによる通常観察を行う際には、カンチレバー14はその共振点付近の周波数fでZ軸方向に振動される。このとき探針15と試料11の表面との間に原子間力などによる引力又は斥力が作用すると、カンチレバー14の振動振幅が変化する。カンチレバー14が上下に変位すると、光検出器21の複数の受光面に入射する光量の割合が変化する。変位量算出部22は、その複数の受光面のそれぞれの受光光量に応じた検出信号を演算処理することにより、カンチレバー14の変位量を算出し制御部31に入力する。制御部31は、カンチレバー14の変位量をゼロにするように、つまり探針15と試料11表面との間の距離が一定になるように、スキャナ13をZ軸方向に変位させる電圧値を算出し、スキャナ駆動部16を介してスキャナ13をZ軸方向に微動させる。また、制御部31は予め決められた走査パターンに従って、試料11がX-Y平面内で探針15に対して相対移動するようにX軸、Y軸方向の電圧値を算出し、スキャナ駆動部16を介してスキャナ13をX軸及びY軸方向に微動させる。Z軸方向のフィードバック量スキャナ電圧を反映した信号は制御部31からデータ処理部32にも送られ、データ処理部32はX軸、Y軸方向の各位置においてその信号を処理することによって試料表面の凹凸等に対応するデータを計算し、これにより表示処理部33は3次元画像を形成して表示部36の画面上に描出する。また、取得されたデータはデータ記憶部34に格納される。上記のような試料11表面の凹凸形状の観察のほか、このSPMではカンチレバー14をZ軸方向にも所定範囲で走査し、例えば液中に載置された試料11表面試料11と液体との界面付近の微小3次元空間における力や電位などの測定も行えるようになっている。こうして得られた3次元分布データも全てデータ記憶部34に格納される。なお、制御部31、データ処理部32、表示処理部33などはパーソナルコンピュータ30により具現化され、このコンピュータ30に予めインストールされた専用の制御処理ソフトウエアを実行することにより、上述したようなデータ収集のための動作や後述する画像表示処理などを行うようにすることができる。次に、本実施例のSPMにおいてデータ処理部32及び表示処理部33を中心に実行される特徴的なデータ処理について、図2~図8により説明する。図2はこの特徴的な画像表示処理を示すフローチャート、図3は画像表示処理を模式的に示す説明図である。制御部31の制御の下に、測定部10は試料11に対して上述したような微小3次元空間における力などの所定の物理量の測定を行い、該物理量の3次元分布データを取得する。得られたデータはデータ記憶部34に格納されるステップS1。ユーザによる入力部35からの指示を受けて表示処理部33はデータ記憶部34から上記データを読み出し、図3aに示すような、所定物理量の3次元分布を示す立体オブジェクト50を含む画像を作成して表示部36の画面上に表示するステップS2。なお、図3において様々な態様の塗りつぶしにより示されているスケールは実際にはカラースケール又はグレイスケールであり、その表示色又はグレイスケールの濃淡により3次元空間内の各位置点におけるデータ値が示される。ユーザは、上述した立体オブジェクト50を任意の平面で切断したときの断面画像により、着目すべき関心領域を見つけたり或いは異常なデータ値をみつけたりする。そのために、ユーザは入力部35に含まれるマウス等のポインティングデバイスを用いたドラッグ操作等により、図3bに示されるような切断平面51の位置や方向角度を設定するステップS3。図3bではZ軸方向に所定の高さであるX-Y平面を切断平面51を例示しているが、図4aに示すようにY-Z平面又はX-Z平面を切断平面51としてもよいし、図4bに示すように、X、Y、Zの3軸のうちの1軸のみに平行な平面やいずれの軸にも平行でない平面を切断平面51としてもよい。即ち、この切断平面51は3次元空間内で任意の状態に設定することができる。切断平面51が決まると、表示処理部33は指定された切断平面51の位置における2次元分布データを取得するステップS4。図3cは取得される2次元分布データから形成される2次元分布画像52のイメージである。この2次元分布画像52上では、所定物理量、つまり各位置のデータ値はカラースケール又はグレイスケールで表されている。表示処理部33は、切断平面51で切断された断面画像である上記2次元分布画像52上のX-Y平面内の各位置のデータ値に基づいて、そのデータ値をX-Y平面に直交するZ軸方向の凹凸で示した凹凸像を作成する。即ち、Z軸上の任意の位置のX-Y平面をデータ値の基準面とし、2次元分布画像52上の各位置のデータ値を基準面からの高さZ軸方向の距離で表す。これにより、図3cに示した平面的な2次元分布画像52に対し図3d中に矢印で示すように凹凸が形成され、図3eに示したような凹凸像53となる。この凹凸像53上のカラースケールは元の2次元分布画像52と同じである。そして、図3fに示すように、この凹凸像53を切断平面51の位置に置いた3次元画像を表示部36の画面上に表示するステップS5。凹凸像53はデータ値が単にカラースケールやグレイスケールで示されているのみならず値の大小に応じた凹凸で示されるため、ユーザは2次元断面上のデータ値の変化や分布、或いは特異的な状態を直感的に認識することができる。図5及び図6はいずれも、実際に試料から収集した所定物理量の3次元分布データに基づいて作成された凹凸像の表示例である。図6は3次元分布データ中に異常値が含まれている例であり、図6に示すように、多くの場合、異常値はその周囲とは異なる極端な凹部又は凸部として現れるので、凹凸像から異常値が存在する位置とその程度との視認が容易に行える。また、図5中に記載したように、X-Y平面内の特徴的な構造を持つある点におけるZ軸方向垂直方向のデータ値などを解析する場合に、平面的な断面画像ではなく凹凸像を表示することで、例えば周辺と比較して値が高い部分は鋭い凸型になるなど、特徴が強調されるため、関心領域の視認が容易になる。上記ステップS3が実行された後、ステップS4、S5の処理はきわめて迅速に実行されるから、実質的には、図3fに示した切断平面51に対応した凹凸像53が表示部36の画面上に表示された状態でユーザがその凹凸像53をポインティングデバイスにより移動させたり回転させたりする操作を行うとステップS6でYes、その操作に連動して移動後回転後の切断平面51の位置に新たな凹凸像53が形成される。即ち、ユーザの操作感としては、凹凸像自体を移動させたり回転させたりして、任意の位置の切断平面51に対応した凹凸像を観察することが可能である。通常、ユーザはこのような凹凸像を適宜移動、回転させながら様々な位置における凹凸像を目視で確認し、データが正しく取得できているか否かを確認する。また、同時にユーザは構造解析に有用である特徴的な関心領域を見つける。例えば図6に示したように一部データに明らかな異常値が見られる場合、これは測定上の不具合や外乱などの影響である可能性が高い。そうした明らかな異常が見られる場合に再測定を実行してもよいが、SPMによる3次元データ収集には時間が掛かるため、異常値をデータ補間等の処理により求まる妥当な値で置き換えてしまうほうが効率的である。そこで、本実施例のSPMには、図3fに示したような凹凸像53上の任意の位置にあるデータ値を周囲のデータ値等から求まる補間値で置き換える機能が備えられている。即ち、ユーザが凹凸像53上の任意の位置をポインティングデバイスによるクリック操作等により指示した上でデータ補間処理を選択するとステップS7でYes、この操作を受けたデータ処理部32は、指示されたデータに対応する2次元分布画像52上の位置の周囲の複数のデータ値を収集する。そして、それらデータ値の平均を計算する等により、上記指示されたデータに対応する位置における妥当な値を求め、異常値をその妥当な値で置き換えることでデータ補間を実施するステップS8。そして、表示処理部33は補間されたデータを含む凹凸像に表示を更新するステップS9。また、ステップS7では、或る1点のみを指示するのではなく、所定の範囲を指示するようにすることもできる。この場合には、指示された範囲に含まれる各位置におけるデータ値が全て補間される。もちろん、多数の異常値がある場合には測定自体の信頼性が乏しいから、ユーザの判断により、再測定を実行することが好ましい。以上のようにして、様々な位置の凹凸像を観察することでデータが正しく取得されていることを確認し且つ関心領域が見いだされたならば、ユーザはその関心領域を含む凹凸像から、関心領域周辺の構造等を解析する。図7、図8はいずれも実際の試料表面近傍の測定結果に基づく表示例であり、表示画面60中には、3次元的な凹凸像53を表示する凹凸像表示欄61と、2次元分布画像52を平面的に表示する断面画像表示欄62と、凹凸像53上又は2次元分布画像52上に設定された直線状又は曲線状の観察区間62aにおけるデータ値の1次元グラフ表示欄63と、が配置されている。図7は図6に示した、一部データに異常値がある場合の表示例である。ユーザが入力部35を操作し、凹凸像表示欄61に描画された凹凸像53上に重畳して表示されるカーソル61aを移動させて異常値をクリック操作すると、プルダウンメニューとして補正メニュー61bが表示される。図示しないが、補正メニュー61bには複数の異なるデータ補間法などの選択肢が用意されており、その選択肢の一つを選択指示すると前述のようにその選択肢に対応した処理が実施され、異常値が妥当な値に置き換えられる。なお、異常値が複数個所に存在する場合には、一つの画像だけでは異常値が重なって適切に指示できない場合もある。そこで、入力部35により異常値を複数指示することができるように、同じ凹凸像を異なる方向角度から見た複数の画像を同時に又は簡便に選択可能に表示するようにしてもよい。図8は、試料上の溝部など、或る特徴的な構造に沿った範囲のデータ値を解析する際の例である。こうした解析は、前述したマイカや二酸化チタンなどの水和構造の解析、或いはDNAなどの生体分子構造の観察などでよく行われる。溝部などに沿った解析では図8中に点線E1、E2で示したようなデータの稜線部を指定してデータ値の1次元グラフを観察したい場合があるが、断面画像表示欄62に表示される2次元分布画像ではデータ値の起伏を色グレイスケールの場合には濃淡のみで判別する必要があり稜線部を見つけるのが困難である。これに対し、凹凸像表示欄61に表示される凹凸像を見ればデータ値の起伏が一目で分かるため、点線E1、E2で示される稜線部の判別が容易である。以上のように、本実施例のSPMでは、試料表面付近の所定物理量の3次元分布を示す立体オブジェクトを任意の平面で切断したときの断面画像を平面的なカラー画像又はグレイスケール画像で表示するのではなく、その断面の各位置におけるデータ値を立体化した凹凸像で表示するようにしたので、ユーザはデータ値の起伏を一目で把握することができる。なお、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変形、修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。