被加工物を吸引保持するチャックテーブルを含むチャックテーブル機構であって、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに連結される第1の配管と、該第1の配管に連結される第2の配管を介して該チャックテーブルに連通する吸引源と、該第1の配管に連結される第3の配管を介して該チャックテーブルに連通する高圧エアー源と、該第2の配管に配設される第1の開閉弁と、該第3の配管に配設される第2の開閉弁と、該第1の配管に連結され負圧を測定する圧力計とから少なくとも構成され、該圧力計は、該第1の配管に対して立設され該第1の配管の内径より大きい内径を有し上部が閉塞した筒体と、該筒体の側壁に連結され該筒体の内径より小さい内径を有し上部が閉塞した枝筒体と、該枝筒体の閉塞端に配設され圧力を検知する圧力センサーと、から構成されたチャックテーブル機構。前記枝筒体は、水平部と、該水平部から立ち上がる立上部とから構成される請求項1に記載のチャックテーブル機構。しかし、圧力センサー8内に異物が侵入すると、ワークバキューム動作とブロー動作とによる圧力変動を繰り返しても異物が圧力センサー8の外部に排出されることはなく、圧力センサー8の内部の圧力検知部80に付着ないし衝突するため、圧力検知部80の歪みゲージに障害が発生し、正常な圧力測定ができなくなるという問題がある。本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、チャックテーブルに連通する配管の圧力を計測する圧力センサーに異物が侵入するのを防止し、圧力検知部に異物が付着ないし衝突しないようにすることを目的とする。本発明は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルを含むチャックテーブル機構に関するもので、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに連結される第1の配管と、第1の配管に連結される第2の配管を介してチャックテーブルに連通する吸引源と、第1の配管に連結される第3の配管を介してチャックテーブルに連通する高圧エアー源と、第2の配管に配設される第1の開閉弁と、第3の配管に配設される第2の開閉弁と、第1の配管に連結され負圧を測定する圧力計とから少なくとも構成され、圧力計は、第1の配管に対して立設され第1の配管の内径より大きい内径を有し上部が閉塞した筒体と、筒体の側壁に連結され筒体の内径より小さい内径を有し上部が閉塞した枝筒体と、枝筒体の閉塞端に配設され圧力を検知する圧力センサーとから構成される。枝筒体は、水平部と、水平部から立ち上がる立上部とから構成されることが望ましい。本発明では、チャックテーブルに連通する第1の配管よりも圧力センサーに接続される筒体を太くして容積差を持たせることで、流体速度を抑制して筒体内に異物を滞留させることができるため、バキューム動作によって吸引を行うと圧力計から異物を排出することができ、圧力センサーに異物が侵入するのを防止し、圧力を正常に測定することができる。また、枝筒体を水平部と立上部とで構成することで、異物が立上部に入り込みにくくなるため、圧力センサーへの異物の侵入をより確実に防止することができる。図1に示すチャックテーブル機構1は、切削装置、研削装置等の各種加工装置に搭載されるものであり、被加工物ワークWを吸引保持するチャックテーブル2を備えている。チャックテーブル2は、ポーラスセラミックス等の多孔質部材で形成された吸着部20と、吸着部20の下方に形成されたエアー流路21とを備えている。エアー流路21には第1の配管30が連結されている。第一の配管30は第二の配管31に連結され、第二の配管31には第1の開閉弁40が配設されている。第二の配管31は、吸引源50に連結されている。第1の開閉弁40が開状態になっていると、吸引源50が、第1の配管30及び第2の配管31を介してチャックテーブル2のエアー流路21及び吸着部20に連通するため、図1における矢印Aの方向に吸引力が働き、吸着部20においてワークWを吸着することができる。第1の配管30には、第2の配管31と並列に第3の配管32が連結されている。第3の配管32は、高圧エアー源51に連通している。第3の配管32には第2の開閉弁41が配設されている。第2の開閉弁41が開状態になっていると、高圧エアー源51が、第1の配管30及び第3の配管を介してチャックテーブル2のエアー流路21及び吸着部20に連通するため、図1における矢印Bの方向にエアブローの力が生じる。第1の配管30には、第1の配管30における負圧を測定する圧力計6が連結されている。圧力計6は、第1の配管30に対して立設された筒体60と、筒体60の側壁600に連結された枝筒体61と、枝筒体61の閉塞端に配設された圧力センサー62とを備えている。筒体60の内部には、側壁600によって囲まれた空洞部601が形成されている。空洞部601は、その内径が第1の配管30の内径よりも大きく形成されている。空洞部601の上部は、閉塞部602によって閉塞されている。枝筒体61は、筒体60の側壁600に連結され水平方向に延びる水平部610と、水平部610の一方の端部から上方に立ち上がる立上部611とから構成され、L字型に形成されている。水平部610及び立上部611の内部には、両者を貫通し、筒体60の空洞部601に連通する空洞部612が形成されている。空洞部612は、その内径が筒体60の空洞部601の内径よりも小さく形成されている。圧力センサー62の下部には、枝筒体61の空洞部611に連通する管部620が形成されている。管部620の上方には、管部620より小径のオリフィス621が形成されている。また、オリフィス61の上方には、圧力に応じて歪みが生じることにより圧力値を検知することができる圧力検知部であるダイヤフラム622を備えている。図1に示すチャックテーブル機構1において、ワークWを保持する場合は、吸着部20の上にワークWを載置した状態で第1の開閉弁40を開状態にするとともに第2の開閉弁41を閉状態とし、第1の配管30、第2の配管31及びエアー流路21を介して吸引源50と吸着部20とを連通させる。そうすると、ワークWが吸着部20において吸着される。そして、ワークWの加工を行うことにより加工屑が生じると、その加工屑は、チャックテーブル2におけるワークWの吸着によって異物10となって吸着部20からエアー流路21を通って第1の配管30に侵入し、その異物10が圧力計6にも入り込むことがある。加工時には加工液も使用されるため、加工液も第1の配管に入り込む。ワークWの加工が終了すると、第1の開閉弁40を閉状態にするとともに第2の開閉弁41を開状態とし、第1の配管30、第2の配管32及びエアー流路21を介して高圧エアー源51と吸着部20とを連通させる。そうすると、吸引部20におけるワークWの吸着が解除されてワークWを吸着部20から取り外せる状態となる。こうして高圧エアー源51と吸着部20とを連通させると、第1の配管30の内部の流体に矢印B方向の力が生じるため、筒体60にも矢印B方向の圧力が生じ、異物10が上昇する。しかし、筒体60の空洞部601は、その内径が第1の配管30よりも大きく形成されているため、容積差によって流体速度が抑制され、筒体60に異物10が滞留する。そして、後に新たにワークをチャックテーブル2に吸引保持する際に、吸着部20と高圧エアー源51とを連通させて矢印Aの方向に吸引力が生じると、異物10が筒体60から第1の配管30に排出されるため、圧力計6に入り込んだ異物10を除去することができる。また、枝筒体61は、筒体60の側壁600に連結されており、かつ、その内径が筒体60の内径より小さいため、筒体60から枝筒体61の内部に異物10が侵入しにくい。さらに、仮に異物10が枝筒体61に侵入したとしても、枝筒体1は、水平部610から立上部611が立ち上がった構造となっているため、立上部611には入り込みにくい。そして、圧力センサー62は、枝筒体61の立上部611の上部に配設されているため、圧力センサー62に異物が侵入するのを防止することができる。このように、第1の配管と筒体60との容積差によって流体速度を抑制することにより筒体60に侵入した異物10を滞留させ、その後の吸引によって筒体60から異物10を排除することができるため、枝筒体61及び圧力センサー62に異物が侵入するのを防止することができる。また、仮に筒体60から枝筒体61に異物10が侵入したとしても、枝筒体61は、その内径が筒体60よりも小さく、水平部610と立上部611とから構成されているため、圧力センサー62に異物10が侵入するのを防止することができる。したがって、圧力センサー62のダイヤフラム622に異物10が付着ないし衝突することがないため、圧力測定を正常に行うことができる。なお、本発明は、各種加工装置に搭載される洗浄手段において被加工物を保持して回転可能なスピンナーテーブルや、単体の洗浄装置のスピンナーテーブルにも適用することができる。