発熱部品と密着させて伝熱を行う熱伝導シートであって、前記熱伝導シートはグラファイト粉体と熱可塑性樹脂を混合してシート状に成形したものであり、前記グラファイト粉体は厚さ方向に歪まされた三次元形状を有し、前記熱伝導シートには気泡が含まれていることを特徴とする熱伝導シート。前記グラファイト粉体は厚さ方向に歪まされることにより凹部を有した三次元形状をしており、前記凹部に前記気泡が付着していることを特徴とする請求項1記載の熱伝導シート。前記グラファイト粉体は、三次元形状を有する第1のグラファイト粉体とこれよりも小さい第2のグラファイト粉体を含むことを特徴とする請求項1または2記載の熱伝導シート。前記グラファイト粉体は、円弧状に歪ませたものであることを特徴とする請求項1または2記載の熱伝導シート。しかしながら、従来のような熱伝導シートでは厚み方向への熱伝導率が高いものが得られるが、発熱部品とヒートシンク、ヒートスプレッダ等の放熱部品を取り付ける時には加圧が必要な場合がある。この場合に薄いシートを貼り合わせて、貼り合わせ面に対して垂直に切断したものでは、加圧力は貼り合わせ面が倒れ込む方向にも力が働いてしまう。この結果、貼り合わせ面や、グラファイトシートの層間で剥離してしまうことがある。また面方向の強度が弱いため、発熱部品と熱伝導シート、あるいは熱伝導シートとヒートシンクの間の密着性が弱くなり、十分に熱を受け渡すことができず、結果として熱伝導率が低いものとなってしまっていた。さらに積層した後で切断するという工程が増えるため、コストアップの要因となっていた。本発明は、このような課題を解決し、所望の厚さが得られ、機械的強度に優れ、発熱部品等との密着性を向上させることにより、厚さ方向の熱伝導率が高い熱伝導シートを提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明は発熱部品と密着させて伝熱を行う熱伝導シートであって、この熱伝導シートはグラファイト粉体と熱可塑性樹脂を混合してシート状に成形したものであり、グラファイト粉体は厚さ方向に歪まされた三次元形状を有し、熱伝導シートには気泡が含まれているように構成したものである。このようにすることにより、グラファイト粉体の熱伝導率の高い方向を熱伝導シートの厚さ方向にも配置させることができ、熱伝導シートの厚さ方向の熱伝導率を向上させるとともに、熱伝導シートに含まれる気泡がクッションの役割をすることにより、発熱部品等との密着性を向上させることができる。以上のように本発明によれば、所望の厚さが得られ、厚さ方向の熱伝導率が高く、機械的強度に優れた熱伝導シートを得ることができる。実施の形態1以下、本発明の一実施の形態における熱伝導シートについて、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施の形態における熱伝導シート11の断面図であって、アクリルからなる熱可塑性樹脂12と、グラファイト粉体13と、気泡14とにより熱伝導シート11を構成されている。グラファイト粉体13は厚さ方向に歪まされた三次元形状を有している。一般的なグラファイト粉体は鱗片状の形状をしているため、熱可塑性樹脂と混ぜてシートを形成したとき、面方向に配向しやすく、そのため面方向には熱伝導率が高くなるが、厚さ方向には熱伝導率が低いものとなる。これに対して、本実施の形態のようにグラファイト粉体13を厚さ方向に歪まされた形状とし、気泡14を内在させることにより、厚さ方向にも配向させ、厚さ方向の熱伝導率を高めることができる。さらに気泡14によりクッション性を増すことができ、これにより発熱部品等との密着性を向上させることができ、実質的な熱伝導性を向上させることができる。また、熱可塑性樹脂を用いているため、発熱部品が発熱すると、その温度で熱可塑性樹脂が柔らかくなり、その密着性がさらに向上するため、より多くの熱を伝導させることができ、発熱部品の温度上昇を抑制することができる。グラファイト粉体13は、粒度分布の比較的大きな第1のグラファイト粉体13aと、これよりも粒度分布の小さな第2のグラファイト粉体13bとを混ぜたものを用いることが望ましい。本実施の形態では、第1のグラファイト粉体13aは平面方向の平均の大きさ約18μmのグラファイト粉体からなり、第2のグラファイト粉体13bは平面方向の平均の大きさ約3μmのグラファイト粉体からなっており、熱伝導シート11におけるグラファイト粉体の粒度分布をとったときに、図2のように第1のグラファイト粉体13aによる第1のピーク、第2のグラファイト粉体13bによる第2のピークの2つのピークを有している。ここで粒度分布とは、グラファイト粉体の平面方向の大きさによって、そのフルイ体積の度数の分布状態を示したものである。このように粒度分布のピークが大きく異なる第1のグラファイト粉体13aと第2のグラファイト粉体13bを熱可塑性樹脂12に混ぜてシート状に成形することにより、第1のグラファイト粉体13aの面方向熱伝導率が高い方向が、熱伝導シート11の面方向だけでなく、厚さ方向にも向くため、熱伝導シート11の厚さ方向の熱伝導率を向上させることができる。このとき第1のグラファイト粉体13aの平面方向の平均の大きさを15~100μm、第2のグラファイト粉体13bの平面方向の平均の大きさを0.5~10μmとするのが望ましく、さらに第1のグラファイト粉体13aの平均の大きさを、第2のグラファイト粉体13bの平均の大きさの3倍以上、より好ましくは5倍以上とすることがより望ましい。ここで、厚さ方向に歪まされた三次元形状を有しているのは、第1のグラファイト粉体13aのみでも構わない。粒度分布の大きい第1のグラファイト粉体13aを厚さ方向に歪まされた三次元形状を有するようにすることにより、熱可塑性樹脂12と混合した時に熱伝導シート11の厚さ方向に、第1のグラファイト粉体13aの熱伝導率が高い方向が向きやすくなり、厚さ方向の熱伝導率を向上させることができる。また第1のグラファイト粉体13aを、厚さ方向に歪まされることにより凹部15を有した三次元形状とし、この凹部15に気泡14が付着しているようにすることが望ましい。通常樹脂に熱伝導粒子を混合してシート状にした熱伝導シートでは、樹脂の中に気泡が入っていると熱伝導率が悪くなるため、気泡が入らないようにしている。これに対して本実施の形態のように、第1のグラファイト粉体13aの凹部15に気泡14が付着するようにしていると、気泡14のまわりを第1のグラファイト粉体13aが包むようになるため、気泡14そのものの熱伝導率が悪くても、熱伝導性に優れた第1のグラファイト粉体13aを熱が伝わるため、良好な熱伝導率を確保することができる。一方、熱伝導シート11として気泡14を含むため、クッション性を向上させることができ、実質的な熱伝導率を向上させることができる。なお、以上のような熱伝導シートに熱分解グラファイトシートを貼り合わせても良い。このようにすることにより、面方向の熱伝導率をさらに向上させることができる。この場合、熱分解グラファイトシートと貼り合わせる熱伝導シートの表面部分の熱可塑性樹脂の割合を多くしておくことが望ましい。このようにすることにより、熱伝導シートと熱分解グラファイトシートの接着性を向上させることができる。次に本発明の一実施の形態における熱伝導シート11の製造方法について説明する。まず、厚さ約25μmの熱分解グラファイトシートを例えば約1mm角の大きさに切断する。これをジェットミルを用いて粉砕することにより鱗片状の粉体を得たあと、ふるいにかけることにより、大きな粉体と小さな粉体に分ける。この大きな粉体が第1のグラファイト粉体13aとなる。この第1のグラファイト粉体13aの大きさを約18μm、厚さ約1μmとしている。天然黒鉛あるいは人造黒鉛等を用いてグラファイト粉体を作る場合、その大きさをコントロールすることが難しいが、本実施の形態のように、熱分解グラファイトシートを切断したあと粉砕して鱗片状の粉体を得るようにすると、切断する大きさ、粉砕時間等により所望の大きさの鱗片状の粉体を得ることができる。このとき第1のグラファイト粉体13aのアスペクト比平面方向の大きさ/厚さを5以上、好ましくは20以上とすることが望ましい。このようにすることにより第1のグラファイト粉体13aが変形しやすくなり、厚み方向の熱伝導率を向上させることができる。なお、第1のグラファイト粉体13aを作るための熱分解グラファイトシートは、大きなシートでなくても良く、周辺部の端材や、金型で抜いた後の廃材を用いても良い。このようにすることにより、低コストの熱伝導シート11を得ることができる。次に第1のグラファイト粉体13aを三次元形状になるように厚さ方向に歪ませて変形させる。この方法としては、薄いシート上に第1のグラファイト粉体13aを広げたものを、2つの回転するローラの間に通す。このとき2つのローラの回転速度を異ならせることにより、第1のグラファイト粉体13aを円弧状に歪ませ、凹部15を有する形状にすることができる。あるいはジルコニア等の固い球状粒子と第1のグラファイト粉体を混ぜ合わせて袋に入れ、これに静水圧をかけることを行なっても良い。このようにすることにより、第1のグラファイト粉体13aを球状粒子に沿って円弧状の形に歪ませることができる。このとき球状粒子の大きさは、第1のグラファイト粉体13aよりも大きいものを用いる。このようにすることにより、容易に第1のグラファイト粉体13aと球状粒子とを分離することができる。本実施の形態では、第1のグラファイト粉体13aを熱分解グラファイトシートから作っているため、柔軟性を有しており、これらの方法により三次元形状になるように厚さ方向に変形させることができる。このときの形状は、第1のグラファイト粉体13aの厚さの3倍以上、より好ましくは5倍以上変形させることが望ましい。次に熱可塑性樹脂を加熱して液状にする。この液状化した熱可塑性樹脂にバブリングを行うことにより、微細な気泡を含む状態にする。このあと液状化した熱可塑性樹脂に上記第1のグラファイト粉体13aを入れて混ぜ合わせる。このとき大きな気泡は熱可塑性樹脂の外に排出されるが、凹部15に付着した気泡14は排出されにくいために、熱可塑性樹脂の中に残ることになる。次に、熱可塑性樹脂に第1のグラファイト粉体13aを混ぜたものに、さらに第1のグラファイト粉体13aよりも粒度分布が小さい第2のグラファイト粉体13bを混ぜ合わせる。第2のグラファイト粉体13bは、第1のグラファイト粉体13aを作る時にふるいによって分離された小さな粉体をさらに粉砕することにより、第2のグラファイト粉体13bとして使っても良い。あるいは天然黒鉛、人造黒鉛等を細かく粉砕したもの、またはこれらと小さな粉体を粉砕したものを混合したものであっても良い。このようにすることにより、凹部15に気泡14が付着した第1のグラファイト粉体13aの間に第2のグラファイト粉体13bが入り込んだ状態となり、より熱伝導性を向上させることができる。この混合物をドクターブレード法によりシート状に成形し、冷却し所定の大きさに切断することにより熱伝導シート11を得ることができる。なお、熱可塑性樹脂に第1のグラファイト粉体13aを混ぜたあと、あるいはさらに第2のグラファイト粉体13bを混ぜた後に、真空脱泡により大きな気泡を取り除いても良い。このようにしても凹部15に入り込んだ気泡14は抜けにくいため、そのまま熱可塑性樹脂の中に残すことができる。ここで第1のグラファイト粉体13aと第2のグラファイト粉体13bとの配合割合は、重量比で第1のグラファイト粉体13aの方が多くなるようにすることが望ましい。このようにすることにより熱伝導シート11の厚さ方向の熱伝導率を向上させることができる。また熱伝導シート11の熱可塑性樹脂12の重量割合を33から97とすることが望ましい。樹脂量が33よりも少なくなると、シートの膜強度を得にくくなり、またグラファイト粉が脱落しやすくなる。逆に97よりも多くなると、熱伝導率が極端に悪くなってくる。また成形して硬化した熱伝導シート11の厚さと第1のグラファイト粉体13aの平均粒径の比は、2.5~100、好ましくは5~50とすることが望ましい。この比が2.5より小さくなると成形性が悪化し、100を超えると熱伝導率が悪化してくるためである。