内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すために必要な駆動力を発生する駆動装置であって、前記区画室の外部に配置した駆動部材と、前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第1受圧板と、前記区画室の内圧と同一の内圧に保持される補助区画室と、前記補助区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該補助区画室の内外方向に移動する第2受圧板と、前記区画室内において前記第1受圧板に連結されている被駆動部材とを有しており、前記駆動部材には、当該駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第1受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第2受圧板が連結されており、前記第1受圧板における前記外圧の受圧面と前記第2受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。請求項1において、流体圧シリンダを有しており、当該流体圧シリンダは、その前後の端面から突出している作動ロッドを備えており、前記作動ロッドは前記駆動部材であり、その軸線方向の一方の端が前記第1受圧板に連結され、他方の端が前記第2受圧板に連結されていることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。請求項1または2において、前記区画室と前記補助区画室の間は相互に連通状態に保持されていることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すために必要な駆動力を発生する駆動装置であって、前記区画室の外部に配置した駆動部材と、前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第1受圧板と、前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記外圧と前記内圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第2受圧板と、前記区画室内に配置されている被駆動部材とを有しており、前記被駆動部材には、当該被駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第1受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第2受圧板が連結されており、前記駆動部材には、前記第1受圧板あるいは前記第2受圧板が連結されており、前記第1受圧板における前記外圧の受圧面と前記第2受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すワーク処理装置であって、前記処理に必要な駆動力を発生する駆動装置を有しており、当該駆動装置は請求項1ないし4のうちのいずれかの項に記載の差圧相殺機能付き駆動装置であることを特徴とするワーク処理装置。真空あるいは減圧状態に保持された成形室内においてワークに対してプレス成形を行う成形装置において、前記成形室内に配置された一対のプレス型と、前記プレス型にプレス力を加えるためのプレス機構とを有しており、前記プレス機構は、請求項1ないし4のうちのいずれかの項に記載の差圧相殺機能付き駆動装置を備えており、前記区画室は真空あるいは減圧状態の前記成形室であり、前記被駆動部材は、前記一対のプレス型の一方、あるいは、当該一方のプレス型に連結された部材であることを特徴とする成形装置。上記のように、従来における差圧相殺機構は、圧力センサによる差圧検出と、検出された差圧検出に基づく駆動力の算出制御あるいは差圧解消用の加圧手段が必要である。これらの部品を必要とせず、また、駆動力の算出制御を必要とせずに差圧を解消できれば、装置の小型コンパクト化に有利であり、製造コストの低減化にも有利である。本発明の課題は、この点に鑑みて、差圧検出、差圧解消用の駆動力の算出処理、差圧解消用の駆動機構を用いることなく、簡単な機構により差圧相殺機能を実現可能なワーク処理装置に用いる駆動装置を提案することにある。また、本発明の課題は、当該駆動装置を備えた成形装置などのワーク処理装置を提案することにある。上記の課題を解決するために、本発明による、内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すために必要な駆動力を発生する駆動装置は、前記区画室の外部に配置した駆動部材と、前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第1受圧板と、前記区画室の内圧と同一の内圧に保持される補助区画室と、前記補助区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該補助区画室の内外方向に移動する第2受圧板と、前記区画室内において前記第1受圧板に連結されている被駆動部材とを有しており、前記駆動部材には、当該駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第1受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第2受圧板が連結されており、前記第1受圧板における前記外圧の受圧面と前記第2受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴としている。本発明の駆動装置の駆動部材は、その駆動方向の一方の側の部位に区画室の第1受圧板が連結され、その他方の側の部位に補助区画室の第2受圧板が連結されている。したがって、駆動部材には、第1、第2受圧板から、駆動方向に沿って逆向きに差圧が加わる。区画室と補助区画室の内圧は同一であり、第1、第2受圧板の受圧面積は同一であるので、第1受圧板から駆動部材に作用する区画室側の差圧は、第2受圧板から駆動部材に作用する補助区画室側の差圧に等しい。よって、駆動部材に作用する区画室側の差圧が補助区画室側の差圧によって相殺されるので、内外の差圧に影響されることなく、駆動部材を用いて、第1受圧板を介して区画室内の被駆動部材を所定の駆動力で駆動することができる。このように、補助区画室の内圧を区画室の内圧に等しくなるように保持することにより、駆動部材に作用する区画室の内外の差圧に起因する影響を除去できる。よって、差圧を検出するための圧力センサの配置が不要になる。また、検出された差圧に基づく駆動部材の駆動力の補正制御、あるいは、検出された差圧を相殺するための流体圧シリンダなどの加圧手段の配置も不要になる。したがって、小型コンパクトで簡単な機構により差圧を相殺して精度良く駆動部材の駆動力を制御できる。ここで、補助区画室の内圧を区画室の内圧と同一の状態に保持するためには、これらを相互に連通状態にしておくだけでよい。また、駆動部材を駆動するための機構としては、エアーシリンダなどの流体圧シリンダを用いることができる。この場合には、当該流体圧シリンダとして、その作動ロッドが前後の端面から突出している構成のものを用い、当該作動ロッドの一方の端を第1受圧板に連結し、他方の端を第2受圧板に連結しておけばよい。この構成によれば、駆動部材として機能する作動ロッドに作用する区画室側の差圧による影響が補助区画室側の差圧によって相殺されるので、作動ロッドによる駆動力を差圧に影響されずに精度良く制御できる。次に、本発明の駆動装置は、第2受圧板を備えた補助区画室を配置する代わりに、当該補助区画室を省略して区画室に第1受圧板および第2受圧板の双方を配置した構成を採用することができる。この場合の本発明による駆動装置は、前記区画室の外部に配置した駆動部材と、前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第1受圧板と、前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記外圧と前記内圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第2受圧板と、前記区画室内に配置されている被駆動部材とを有しており、前記被駆動部材には、当該被駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第1受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第2受圧板が連結されており、前記駆動部材には、前記第1受圧板あるいは前記第2受圧板が連結されており、前記第1受圧板における前記外圧の受圧面と前記第2受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴としている。区画室の外に配置されている駆動部材は第1受圧板に連結され、当該第1受圧板を介して被駆動部材を駆動する。区画室内の被駆動部材は、その駆動方向の一方の側の部位に第1受圧板が連結され、他方の側の部位に第2受圧板が連結されているので、内外の差圧が逆方向に被駆動部材に作用するので差圧が相殺される。したがって、駆動部材による駆動力が被駆動部材に伝達され、当該駆動力によって被駆動部材が駆動される。よって、差圧を検出するための圧力センサの配置が不要になる。また、検出された差圧に基づく駆動部材の駆動力の補正制御、あるいは、検出された差圧を相殺するための流体圧シリンダなどの加圧手段の配置も不要になる。したがって、小型コンパクトで簡単な機構により差圧を相殺して精度良く駆動部材の駆動力を制御できる。次に、本発明は、内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すワーク処理装置に関するものである。本発明によるワーク処理装置は、処理に必要な駆動力を発生する駆動装置として上述の差圧相殺機能付き駆動装置が備わっていることを特徴としている。また、本発明は、真空あるいは減圧状態に保持された成形室内においてワークに対してプレス成形を行う成形装置に関するものである。本発明による成形装置は、成形室内に配置された一対のプレス型と、プレス型にプレス力を加えるためのプレス機構とを有しており、プレス機構は、上述の差圧相殺機能付き駆動装置を備えていることを特徴としている。以下に、図面を参照して本発明を適用した実施の形態を説明する。実施の形態1図1は、本発明を適用した差圧相殺機能付きのプレス機構を備えた真空プレス成形装置を示す概略構成図である。真空プレス成形装置1は垂直に配置された円筒状の真空成形室2を備えており、この内部には、上下に開閉可能な一対の上プレス型3および下プレス型4被駆動部材が同軸状態に配置されている。上プレス型3は固定側の型であり、下プレス型4はプレス機構5によって上下に駆動され、ワークWのプレス動作が行われる。真空成形室2は密閉室であり、空気供給制御回路6によって、その内圧が所定の減圧状態に調整可能となっている。プレス機構5および空気供給制御回路6の駆動制御は制御盤7によって行われる。真空成形室2の天板は型支持板8によって規定されており、この型支持板8に上プレス型3が取り付けられている。型支持板8は真空成形室2の外側に配置されている昇降シリンダ9によって上下に移動可能であり、上方に移動すると真空成形室2が開き、プレス対象のワークWの着脱が可能である。また、真空成形室2の外周壁には上下方向に撓み可能な可撓性外周壁部分10が備わっており、真空成形室2内における上プレス型3の上下方向の配置位置を調整可能となっている。プレス機構5は、エアーシリンダ11を駆動力発生源とする差圧相殺機能付き駆動装置から構成されている。エアーシリンダ11は真空成形室2の下側に同軸状態に配置されており、円筒状のシリンダ本体13と、このシリンダ本体13を同軸状態でスライド可能な状態で貫通して延びている作動ロッド14駆動部材とを備えている。シリンダ本体13の内部には、作動ロッド14に一体形成した仕切り盤15によって区画されている第1、第2圧力室16、17が形成されている。これら第1、第2圧力室16、17の圧力を空気供給制御回路6によって制御することにより、作動ロッド14はその軸線方向図における上下方向に所定のストロークで移動可能である。この構成のエアーシリンダ11を備えたプレス機構5の構成を詳しく説明する。まず、真空成形室2の底板21の中心部分には開口22が形成されている。この開口22における真空成形室2の内側の部位には、当該開口22よりも一回り大きな輪郭形状の第1受圧板23が配置されている。第1受圧板23は下プレス型4を支持している型支持板である。第1受圧板23を取り囲む状態に蛇腹状のダイヤフラム24が配置されている。ダイヤフラム24は上下方向に伸縮可能であり、その上端は下プレス型4の底面あるいは第1受圧板23の外周面に密閉状態で固定され、その下端は開口22を取り囲む状態で底板21に密閉状態で固定されている。第1受圧板23は、その上面側すなわち、下プレス型4が真空成形室2の内部に位置し、その底面側が真空成形室2の外側に露出しているので、内圧と外圧本例では大気圧の差圧が作用し、差圧に応じて上下方向に移動可能である。この第1受圧板23は、エアーシリンダ11の作動ロッド14の上端部に同軸状態で連結固定されている。一方、エアーシリンダ11の下側には円筒状の補助真空室25が同軸状態に配置されている。補助真空室25は密閉された室であり、連通管26を介して真空成形室2の内部に連通しており、真空成形室2の内圧と同一の内圧状態に保持可能である。補助真空室25の天板27の中心部分には開口28が形成されている。この開口28における補助真空室25の内側の部位には、当該開口28よりも一回り大きな輪郭形状の第2受圧板29が配置されている。第2受圧板29を取り囲む状態に蛇腹状のダイヤフラム30が配置されている。ダイヤフラム30は上下方向に伸縮可能であり、その上端は開口28を取り囲む状態で天板27に密閉状態で固定され、その下端は第2受圧板29の上面に密閉状態で固定されている。第2受圧板29は、その上面が補助真空室25の外側に露出しており、その底面側が補助真空室25の内部に位置しているので、内圧と外圧の差圧が作用し、差圧に応じて上下方向に移動可能である。この第2受圧板29は、エアーシリンダ11の作動ロッド14の上端部に同軸状態で連結固定されている。ここで、真空成形室2の側の第1受圧板23における上方向に大気圧が作用する受圧面の面積と同一となるように、補助真空室25の側の第2受圧板29における下方向に大気圧が作用する受圧面が形成されている。したがって、エアーシリンダ11の作動ロッド14の上端部分には、真空成形室2の内圧と大気圧との差圧による上向きの力が作用し、その下端部分には補助真空室25の内圧と大気圧との差圧による下向きの同一大きさの力が作用する。よって、作動ロッド14に作用する差圧による上下方向の力が相殺される。制御盤7の制御の下に行われるプレス成形動作においては、昇降シリンダ9を上昇させて真空成形室2を開け、プレス対象のワークWを上プレス型3に取り付け、昇降シリンダ9を降下して真空成形室2を閉じると共に真空成形室2内においてワークWを所定の高さ位置に位置決めする。次に、空気供給制御回路6によって真空成形室2を真空引きして、ワークWのプレス成形に必要な所定の減圧状態を形成する。真空成形室2は連通管26を介して補助真空室25に連通しているので、補助真空室25も同時に真空引きされて真空成形室2と同一の減圧状態になる。ここで、上述したように、プレス機構5のエアーシリンダ11の作動ロッド14に作用する真空成形室2の内外の差圧に起因する上下方向の力が、補助真空室25の内外の差圧に起因する上下方向の力によって相殺されるので、差圧に起因する上下方向の力は作用しない。空気供給制御回路6によってエアーシリンダ11を駆動して作動ロッド14を押し上げると、ここに連結されている第1受圧板23が押し上げられ、当該第1受圧板23に支持されている下プレス型4がワークWに押圧されてワークWのプレス成形が行われる。作動ロッド14には差圧に起因する力が作用していないので、目標とするプレス力で精度良くプレス成形を行うことができる。実施の形態2図2は、本発明を適用した差圧相殺機能付き搬送機構を備えたワーク処理装置を示す概略構成図である。ワーク処理装置40は真空処理室41と、この真空処理室41の内部において処理対象のワークWを直線方向に搬送する搬送機構42を備えている。真空処理室41は空気供給制御回路43によって内圧が制御され、空気供給制御回路43、搬送機構42の駆動は制御盤44の制御の下に行われる。真空処理室41の内部では、例えば、搬送機構42の搬送台45にワークWを載せて搬送して、その表面処理、検査などが行われる。搬送機構42は本発明による差圧相殺機能付き駆動装置から構成されている。詳細に説明すると、搬送機構42は、真空処理室41の外部に配置した搬送用駆動力の発生源としてのエアーシリンダ46を備えており、その作動ロッド47駆動部材を伸縮させることにより、真空処理室41の内部に配置されている搬送台45の搬送動作が行われる。真空処理室41は、相互に平行な状態で対峙している第1端板48および第2端板49を備えている。第1端板48の中心部分には開口51が形成されており、この開口51の外側には第1受圧板52が配置されている。開口51は、第1受圧板52と、第1端板48に直交する方向であるワーク搬送方向53に伸縮可能な蛇腹状のダイヤフラム54によって密閉されている。したがって、第1受圧板52は真空処理室41の内外の差圧に応じてワーク搬送方向53に移動可能である。同様に、他方の第2端板49の中心部分には開口55が形成されており、この開口55の外側には第2受圧板56が配置されている。開口55は、第2受圧板56と、ワーク搬送方向53に伸縮可能な蛇腹状のダイヤフラム57によって密閉されている。したがって、第2受圧板56は真空処理室41の内外の差圧に応じてワーク搬送方向53に移動可能である。ここで、第2受圧板56において、ワーク搬送方向53に大気圧が作用する受圧面の面積は、第2受圧板52におけるワーク搬送方向53に大気圧が作用する受圧面の面積と同一となっている。真空処理室41の内部には、ワーク搬送方向53に沿って連結軸58被駆動部材が配置されている。連結軸58は、軸受59、60によって、その軸線方向にスライド自在の状態で支持されている。連結軸58における一方の端には第1受圧板52が同軸状態に連結固定されており、他方の端には第2受圧板56が同軸状態に連結固定されている。連結軸58における軸線方向の中程の部位には搬送台45が取り付けられている。ここで、第1受圧板52は、真空処理室41の外側に配置されているエアーシリンダ46の作動ロッド47の先端部に同軸状態に連結固定されている。したがって、エアーシリンダ46を駆動して作動ロッド47を伸縮させると、これによって第1受圧板52が移動し、ここに連結固定されている連結軸58がその軸線方向ワーク搬送方向53に移動する。これにより、真空処理室41の内部において、連結軸58に取り付けた搬送台45に搭載されているワークWを搬送することができる。処理動作において、真空処理室41を真空引きして所定の減圧状態を形成し、この状態でエアーシリンダ46を駆動して真空処理室41の内部において搬送台45に搭載されているワークWを移動させる。エアーシリンダ46の作動ロッド47には、真空処理室41の内外の圧力差に起因する力が作用しない。すなわち、第1受圧板52と第2受圧板56には、ワーク搬送方向53に沿って逆向きに同一の大きさの差圧に起因する力が作用するので、差圧に起因する力が相殺される。よって、差圧に影響されることなく、エアーシリンダ46によって搬送台45を精度良く微小移動させて、所定の移動位置に精度良く位置決めして所定の処理をワークWに行うことができる。なお、搬送台の代わりに可動側のプレス型を取り付け、真空処理室内に固定側のプレス型を設置しておけば、実施の形態1の場合と同様なプレス機構を構築することが可能である。その他の実施の形態上記の各例は、真空成形室、真空処理室内での処理についてのものであるが、本発明は、大気圧よりも高い圧力状態の加圧室内でのワークに対して処理を行うための駆動装置にも同様に適用可能なことは勿論である。また、上記の各例では、外圧が大気圧の場合についてのものであるが、例えば、所定の圧力状態に保持された雰囲気中に、異なる内圧状態に保持した区画室を配置し、この区画室内においてワークの搬送、ワークのプレスなどの各処理を行う場合の駆動装置にも同様に適用可能である。さらに、上記の各例では、駆動源としてエアーシリンダを用いているが、駆動源としてはエアーシリンダ以外の流体圧シリンダを用いることができる。また、流体圧シリンダ以外の駆動源、例えば、電動モータ、圧電素子などを用いることができる。