"振動子が駆動されて振動することにより、前記振動子から超音波を送信する超音波センサにおいて、前記振動子の残響振動を抑制する残響振動抑制回路を備え、前記残響振動抑制回路は、複数の異なる共振周波数での共振現象を利用して前記振動子の残響振動を吸収することにより、前記振動子の残響振動を抑制する、ことを特徴とする超音波センサ。前記残響振動抑制回路は、前記振動子と、第1の誘導素子と、互いに直列に接続された抵抗及び容量素子が第2の誘導素子に並列に接続されたLCR回路とを備え、前記振動子と前記第1の誘導素子との間に前記LCR回路が接続された回路から成る、ことを特徴とする請求項1に記載の超音波センサ。前記振動子から超音波を送信させる駆動回路をさらに備え、該駆動回路は、超音波を送信させるための送信信号の電圧を昇圧し、この電圧を昇圧した送信信号を前記振動子に供給することにより、この送信信号によって前記振動子を駆動して振動させて、前記振動子から超音波を送信させ、前記第1の誘導素子は、前記駆動回路に備えられている前記送信信号の電圧を昇圧する昇圧用の誘導素子である、ことを特徴とする請求項2に記載の超音波センサ。前記駆動回路は、前記送信信号をトランスによって昇圧し、前記駆動回路に備えられている前記昇圧用の誘導素子は、前記トランスの2次側コイルである、ことを特徴とする請求項3に記載の超音波センサ。前記駆動回路に備えられている前記昇圧用の誘導素子は、前記送信信号を自己誘導作用によって昇圧する誘導素子である、ことを特徴とする請求項3に記載の超音波センサ。前記残響振動抑制回路は、前記LCR回路を多重に備える回路から成る、ことを特徴とする請求項2乃至請求項5のいずれか一項に記載の超音波センサ。ところで、従来の超音波センサ80では、残響振動抑制回路90は、1つの共振周波数残響振動抑制回路90のインピーダンスが極小となる共振点の周波数での共振現象を利用して、振動子81の残響振動を吸収するようになっている。このため、従来の超音波センサ80では、その1つの唯一の共振周波数が振動子81の固有振動数からずれていると、残響振動の抑制効果が大きく減少する。振動子81の固有振動数は、振動子81の個体差振動子81の質量、形状、振動子81に用いられる振動体や圧電素子の固体差によってばらつきがあり、また、振動子81の温度の違い超音波センサ80の使用環境温度の違いによって変動する。従って、これら振動子81の固有振動数の個体差によるばらつき及び温度の違いによる変動が、残響振動抑制回路90の共振周波数が振動子81の固有振動数からずれる要因となる。従って、従来の超音波センサ80では、振動子81の個体差や超音波センサ80の使用環境によっては、残響振動の抑制効果が大きく減少する場合がある。また、従来の超音波センサ80では、残響振動の吸収が1つの共振周波数での共振現象を利用したものであるため、残響振動の抑制効果が小さい。これらのことから、従来の超音波センサ80では、振動子81の残響振動を十分に吸収することができず、振動子81の残響振動を十分に抑制することができない。その結果、従来の超音波センサ80では、近距離の対象物までの距離を計測することができない。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、残響振動を抑制することができる超音波センサを提供することを目的とする。上記目的を達成するために本発明の超音波センサは、振動子が駆動されて振動することにより、振動子から超音波を送信する超音波センサにおいて、振動子の残響振動を抑制する残響振動抑制回路を備え、残響振動抑制回路は、複数の異なる共振周波数での共振現象を利用して振動子の残響振動を吸収することにより、振動子の残響振動を抑制する、ものである。本発明の超音波センサにおいて、残響振動抑制回路は、振動子と、第1の誘導素子と、互いに直列に接続された抵抗及び容量素子が第2の誘導素子に並列に接続されたLCR回路とを備え、振動子と第1の誘導素子との間にLCR回路が接続された回路から成る、ものが好ましい。また、本発明の超音波センサにおいて、振動子から超音波を送信させる駆動回路をさらに備え、該駆動回路は、超音波を送信させるための送信信号の電圧を昇圧し、この電圧を昇圧した送信信号を振動子に供給することにより、この送信信号によって振動子を駆動して振動させて、振動子から超音波を送信させ、第1の誘導素子は、駆動回路に備えられている送信信号の電圧を昇圧する昇圧用の誘導素子である、ものが好ましい。また、本発明の超音波センサにおいて、駆動回路は、送信信号をトランスによって昇圧し、駆動回路に備えられている昇圧用の誘導素子は、トランスの2次側コイルである、ものが好ましい。また、本発明の超音波センサにおいて、駆動回路に備えられている昇圧用の誘導素子は、送信信号を自己誘導作用によって昇圧する誘導素子である、ものが好ましい。また、本発明の超音波センサにおいて、残響振動抑制回路は、LCR回路を多重に備える回路から成る、ものが好ましい。本発明によれば、複数の異なる共振周波数での共振現象を利用して振動子の残響振動が吸収されることにより、振動子の残響振動を抑制することができる。以下、本発明を具体化した実施形態による超音波センサについて図面を参照して説明する。<第1の実施形態>図1は、第1の実施形態による超音波センサの構成を示す。超音波センサ1は、超音波を送信すると共に、超音波を受信する装置である。この超音波センサ1は、超音波の送受信によって、対象物を検知し、対象物までの距離を計測する機能を備えている。超音波センサ1は、例えば、車両等の移動体に搭載されて、移動体の周辺の物体を検知するために用いられる。超音波センサ1は、振動子2と、駆動回路3と、受信回路4と、時間計測部5と、制御部6と、残響振動抑制回路7とを備える。振動子2は、超音波を送受信するためのものであり、圧電素子に振動体が一体的に取付けられた構成になっている。振動子2は、圧電素子に時間的に変化する電圧が印加されることにより、圧電素子が駆動されて、圧電素子が印加電圧の時間的変化に応じて振動すると共に、振動体が圧電素子と一緒に振動する。すなわち、振動子2は、圧電素子が超音波の周波数で変化する電圧の印加によって駆動されることにより、圧電素子が超音波の周波数で振動すると共に、振動体が圧電素子と一緒に超音波の周波数で振動して、超音波を送信する。また、振動子2は、振動体が振動することにより、圧電素子が振動体と一緒に振動して、その振動に応じて圧電素子の分極が変化し、その振動の周波数及び振幅に対応したその分極の変化に対応した波形の電気信号を受信信号として出力する。すなわち、振動子2は、音波超音波を含むを受けて振動することにより、その音波を受信して、その受信した音波の周波数及び振幅に対応した波形の受信信号を出力する。また、振動子2は、超音波の送信中には、超音波の送信のための電圧による受信信号を出力する。また、振動子2は、超音波の送信のための駆動が停止された後に残響振動を生じ、この残響振動中には、残響振動による受信信号を出力する。残響振動は、振動子2の固有振動数自己共振周波数で生じる。本実施形態では、振動子2の固有振動数は、常温環境下において、超音波の周波数である72kHzとなるように設計されている。駆動回路3は、振動子2から超音波を送信させる回路であり、駆動用トランジスタ31と、トランス32とを備えている。駆動用トランジスタ31は、接合形PNPトランジスタである。トランス32は、1次側コイル33と、2次側コイル34とを有する。駆動用トランジスタ31は、エミッタが電源に接続され、ベースが制御部6に接続され、コレクタがトランス32の1次側コイル33の一端側に接続されている。トランス32の1次側コイル33は、一端側が駆動用トランジスタ31のコレクタに接続され、他端側がグランドに接続されている。トランス32の2次側コイル34は、一端側が残響振動抑制回路7のコイル41を介して振動子2振動子2の圧電素子に接続され、他端側がグランドに接続されている。駆動回路3には、制御部6からセンサ駆動信号が供給される。センサ駆動信号は、所定の駆動周波数超音波の周波数であって、本実施形態では、72kHzでローレベルとハイレベルに変化する信号である。センサ駆動信号は、制御部6による制御のもと、振動子2から超音波を送信させるときに、制御部6から駆動回路3に供給され、駆動回路3に供給されたセンサ駆動信号は、駆動用トランジスタ31のベースに入力される。駆動用トランジスタ31は、ベースにセンサ駆動信号が入力されることにより、センサ駆動信号の駆動周波数でオン、オフして、送信信号を出力する。送信信号は、振動子2から超音波を送信させるための信号であって、センサ駆動信号の駆動周波数で電圧が変化する信号である。トランス32は、駆動用トランジスタ31から出力される送信信号の電圧を昇圧する。昇圧された電圧は、昇圧前の電圧電源電圧に1次側コイル33と2次側コイル34とのコイル巻数比を乗じた電圧になる。そして、トランス32は、この電圧を昇圧した送信信号を2次側コイル34から出力する。2次側コイル34から出力された送信信号は、残響振動抑制回路7のコイル41を介して振動子2振動子2の圧電素子に供給される。振動子2振動子2の圧電素子は、送信信号が供給されることにより、その送信信号によって駆動センサ駆動信号の駆動周波数で変化する電圧が印加される。これにより、振動子2は、センサ駆動信号の駆動周波数で振動して圧電素子がセンサ駆動信号の駆動周波数で振動すると共に、振動体が圧電素子と一緒に振動して、センサ駆動信号の駆動周波数の超音波本実施形態では、72kHzの超音波を送信する。このように、駆動回路3は、制御部6からセンサ駆動信号が入力されることにより、駆動用トランジスタ31から送信信号を出力する。そして、駆動回路3は、送信信号の電圧をトランス32によって昇圧し、この電圧を昇圧した送信信号を振動子2に供給することにより、この送信信号によって振動子2を駆動して振動させて、振動子2から超音波を送信させる。受信回路4は、振動子2から出力される受信信号を処理し、受信信号に含まれている超音波の周波数成分の信号振動子2から送信した超音波の周波数成分の信号を検出する。そして、受信回路4は、その検出した超音波成分の信号の振幅レベル強度を示す超音波成分信号を出力する。受信信号に含まれている超音波の周波数成分の信号が振動子2による超音波の受信によるものである場合には、超音波成分信号の信号レベルは、振動子2による超音波の受信強度に対応する。時間計測部5は、制御部6による制御のもと、振動子2から送信した超音波が対象物で反射して振動子2に戻ってくるまでの飛行時間振動子2が超音波の送信を開始したときから、振動子2が対象物で反射された超音波を受信したときまでの時間を計測する。すなわち、時間計測部5は、制御部6から計測開始信号を受けると、時間の計測を開始する。計測開始信号は、超音波の送信開始を示す信号であって、制御部6から駆動回路3へセンサ駆動信号が供給開始されるのと同時すなわち、振動子2からの超音波の送信開始と同時に、制御部6から時間計測部5に与えられる。従って、時間計測部5は、振動子2からの超音波の送信開始と同時に、時間の計測を開始する。そして、時間計測部5は、時間の計測開始後すなわち、振動子2からの超音波の送信開始後、受信回路4から出力される超音波成分信号の信号レベルが閾値未満の状態から閾値以上になるまでの時間を計測する。受信回路4から出力される超音波成分信号の信号レベルが閾値未満の状態から閾値以上になるのは、駆動回路3へセンサ駆動信号の供給を停止し、振動子2の残響振動が収束した後において、振動子2が超音波を受信したときである。これは、振動子2から送信した超音波が対象物で反射し、振動子2が対象物で反射した超音波を受信したときである。従って、時間計測部5による計測時間は、振動子2が超音波の送信を開始したときから、振動子が対象物で反射した超音波を受信したときまでの時間であり、振動子2から送信した超音波が対象物で反射して振動子2に戻ってくるまでの飛行時間である。制御部6は、対象物までの距離を計測するときに、センサ駆動信号を駆動回路3に供給する。このとき、制御部6は、所定の駆動時間例えば1msに亘って、センサ駆動信号を駆動回路3に供給する。また、制御部6は、駆動回路3へセンサ駆動信号を供給開始するのと同時すなわち、振動子2からの超音波の送信開始と同時に、送信開始信号を時間計測部5に与える。これにより、駆動回路3によって振動子2が所定の駆動時間に亘って駆動されて、振動子2から超音波が所定の駆動時間に亘って送信される。また、振動子2から受信信号が出力され、受信回路4から超音波成分信号が出力され、時間計測部5によって、振動子2から送信した超音波が対象物で反射して振動子2に戻ってくるまでの飛行時間が計測される。制御部6は、この時間計測部5による計測時間に基いて、対象物を検知し、対象物までの距離を計測する。なお、制御部6は、定期的例えば200ms毎に、対象物までの距離を計測する。すなわち、制御部6は、定期的に、センサ駆動信号を駆動回路3に供給すると共に送信開始信号を時間計測部5に与えて、時間計測部5による計測時間に基いて、対象物を検知し、対象物までの距離を計測する。残響振動抑制回路7は、振動子2の残響振動を抑制する回路である。残響振動抑制回路7は、振動子2と、トランス32の2次側コイル34第1の誘導素子であって、駆動回路3に備えられている送信信号の電圧を昇圧する昇圧用の誘導素子とを有する。また、残響振動抑制回路7は、コイル第2の誘導素子41と、抵抗42と、コンデンサ容量素子43とを有する。振動子2及びトランス32の2次側コイル34は、残響振動抑制回路7の一部を兼ねている。振動子2振動子2に用いられている圧電素子は、一端側がコイル41の一端側に接続され、他端側がグランドに接続されている。2次側コイル34は、一端側がコイル41の他端側に接続され、他端側がグランドに接続されている。コイル41は、振動子2と2次側コイル34との間に接続されており、一端側が振動子2の一端側に接続され、他端側が2次側コイル34の一端側に接続されている。抵抗42は、一端側がコイル41の一端側に接続され、他端側がコンデンサ43の一端側に接続されている。コンデンサ43は、一端側が抵抗42の他端側に接続され、他端側がコイル41の他端側に接続されている。すなわち、抵抗42及びコンデンサ43は、互いに直列に接続されて、コイル41に並列に接続されている。すなわち、残響振動抑制回路7は、振動子2と、2次側コイル34と、互いに直列に接続された抵抗42及びコンデンサ43がコイル41に並列に接続されたLCR回路とを備えた回路となっている。そして、残響振動抑制回路7は、振動子2と2次側コイル34との間に、互いに直列に接続された抵抗42及びコンデンサ43がコイル41に並列に接続されたLCR回路が接続された回路となっている。図2は、超音波センサ1の振動子2の等価回路及び残響振動抑制回路7の等価回路を示す。振動子2の等価回路20は、等価直列インダクタンスLP、等価直列静電容量CP、等価抵抗RP、及び等価並列静電容量CSを持つ回路となっている。等価直列インダクタンスLPは、振動子2の振動体が振動して変位するときの慣性振動体の質量に相当するものである。等価直列静電容量CPは、振動子2の振動体が振動して変形するときの弾性係数バネ係数に相当するものである。等価抵抗RPは、振動子2の振動体が振動するときの空気抵抗や摩擦抵抗に相当するものである。等価並列静電容量CSは、振動子2の圧電素子の静電容量圧電素子の電極間に生じる静電容量に相当するものである。そして、振動子2の等価回路20は、振動子20の残響振動による電流IP振動子2の残響振動により、振動子2の圧電素子の分極が変化することによって、電荷が移動することによる電流が流れる回路となっている。残響振動抑制回路7は、残響振動抑制回路7のインピーダンスが極小となる共振点を2つ生じると共に、残響振動抑制回路7のインピーダンスが極大となる反共振点を3つ生じる回路となっている。これら2つの共振点及び3つの反共振点は、等価インダクタンスLP、等価直列静電容量CP、等価抵抗Rp、等価並列静電容量CS、2次側コイル34、コイル41、抵抗42、コンデンサ43の複合的な作用によって生じる。これら2つの共振点の周波数残響振動抑制回路7のインピーダンスが極小となる共振点の周波数を、周波数の低い方から順に、第1の共振周波数ω1、第2の共振周波数ω2とする。また、これら3つの反共振点の周波数残響振動抑制回路7のインピーダンスが極大となる共振点の周波数を、周波数の低い方から順に、第1の反共振周波数ωa1、第2の反共振周波数ωa2、第3の反共振周波数ωa3とする。第1の共振周波数ω1、第2の共振周波数ω2、第1の反共振周波数ωa1、第2の反共振周波数ωa2、第3の反共振周波数ωa3は、各々、異なった周波数である。第1の共振周波数ω1、第2の共振周波数ω2、第1の反共振周波数ωa1、第2の反共振周波数ωa2、第3の反共振周波数ωa3は、以下の式で表される周波数となる。ここで、LPは、振動子2の等価回路20における等価直列インダクタンスであり、CPは、振動子2の等価回路20における等価直列静電容量であり、CSは、振動子2の等価回路20における等価並列静電容量である。また、L34は、2次側コイル34のインダクタンスであり、L41は、コイル41のインダクタンスであり、C43は、コンデンサ43の静電容量である。残響振動抑制回路7は、2つの異なる共振周波数第1の共振周波数ω1と第2の共振周波数ω2での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収することにより、振動子2の残響振動を抑制する。すなわち、残響振動抑制回路7は、第1の共振周波数ω1での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収すると共に、第2の共振周波数ω2での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収する。第1の共振周波数ω1での共振現象を利用しての振動吸収特性は、第1の共振周波数ω1での共振特性に対応し、第2の共振周波数ω2での共振現象を利用しての振動吸収特性は、第2の共振周波数ω2での共振特性に対応する。すなわち、第1の共振周波数ω1での共振現象を利用しての振動吸収特性は、主として、第1の共振周波数ω1と同じ周波数の振動を吸収周波数ω1に近い周波数の振動ほど強く吸収し、周波数ω1と同じ周波数の振動を最も強く吸収するものである。また、第2の共振周波数ω2での共振現象を利用しての振動吸収特性は、主として、第2の共振周波数ω2と同じ周波数の振動を吸収周波数ω2に近い周波数の振動ほど強く吸収し、周波数ω2と同じ周波数の振動を最も強く吸収するものである。残響振動抑制回路7は、これら第1の共振周波数ω1での共振現象を利用しての振動吸収特性と第2の共振周波数ω2での共振現象を利用しての振動吸収特性を重ね合わせた振動吸収特性で、振動子2の残響振動を吸収する。そして、残響振動抑制回路7は、吸収した振動のエネルギーを抵抗42から熱エネルギーとして放出する。振動子2の残響振動は、その振動が残響振動抑制回路7に吸収され、その振動のエネルギーが残響振動抑制回路7の抵抗42から放出されることにより、その分だけ早く減衰し、短い時間で収束する。残響振動抑制回路7は、2つの異なる共振周波数での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収することから、2重動吸振器の構成になっている。第1の共振周波数ω1、及び第2の共振周波数ω2は、常温環境下において、各々、振動子2の固有振動数ω0に近い周波数となるように設定される。この場合、ω1をω0より低くし、ω2をω0より高くするのが望ましい。また、ω1及びω2は、常温環境下において、いずれか一方がω0と同じ周波数となるように設定され、他方がω0に近い周波数となるように設定されてもよい。ω1及びω2がこのようになるように、常温環境化における振動子2の固有振動数ω0に応じて、コイル34のインダクタンス、コイル41のインダクタンス、抵抗42の抵抗値、コンデンサ43の静電容量が選定される。本実施形態では、常温環境化において、振動子2の固有振動数ω0は、ω0≒72kHzである。また、常温環境化において、振動子2の等価回路20における等価直列インダクタンスLPは、LP≒100mHであり、等価直列静電容量CPは、CP≒50pFであり、等価抵抗RPは、RP≒1kΩであり、等価並列静電容量CSは、CS≒1.5nFである。これに対し、本実施形態では、常温環境化において、2次側コイル34のインダクタンスL34は、L34≒3mHであり、コイル41のインダクタンスL41は、L41≒400μHである。また、常温環境下において、抵抗42の抵抗値R42は、R42≒100Ωであり、コンデンサ43の静電容量C43は、C43≒15nFである。第1の共振周波数ω1は、ω1≒58.9kHzとなり、第2の共振周波数ω2は、ω2≒81.4kHzとなる。また、第1の反共振周波数ωa1は、ωa1≒56.9kHzとなり、第2の反共振周波数ωa2は、ωa2≒71,7kHzとなり、第3の反共振周波数ωa3は、ωa3≒85.7kHzとなる。図3aは、従来の超音波センサにおける残響振動の特性を示し、図3bは、本発明の超音波センサ1における残響振動の特性を示す。図3abにおいて、横軸は、受信信号の周波数すなわち残響振動の周波数であり、縦軸は、受信信号の電圧すなわち残響振動の強度である。図3a中の曲線は、従来の超音波センサにおける、振動子の駆動を停止させた後の、ある時点での受信信号の電圧を示している。すなわち、図3a中の曲線は、従来の超音波センサにおける、ある時点での残響振動による受信信号すなわち残響振動の強度を示している。一方、図3b中の曲線は、本発明の超音波センサ1における、振動子2の駆動を停止させた後の、ある時点での受信信号の電圧を示している。すなわち、図3b中の曲線は、本発明の超音波センサ1における、ある時点での残響振動による受信信号すなわち残響振動の強度を示している。ただし、図3b中の曲線は、従来の超音波センサにおけるのと同じ条件で本発明の超音波センサ1の振動子2を駆動し、振動子2の駆動を停止させた後、従来の超音波センサにおけるのと同じ所定時間経過した時点でのものである。図3abから明らかなように、本発明の超音波センサ1における残響振動による受信信号の電圧は、全ての周波数において、従来の超音波センサにおける残響振動による受信信号よりも低くなっている。すなわち、本発明の超音波センサ1は、従来の超音波センサよりも残響振動が抑制されている。本実施形態の超音波センサ1によれば、2つの異なる共振周波数残響振動抑制回路7のインピーダンスが極小となる共振点の周波数での共振現象を利用して振動子2の残響振動が吸収されて、振動子2の残響振動が抑制される。このため、振動子2の固有振動数にばらつき振動子2の質量、形状、振動子2に用いられる振動体や圧電素子の個体差によるばらつきがあったとしても、その影響を受け難く、残響振動の抑制効果の減少が抑えられる。また、振動子2の固有振動数に変動振動子2の温度の違い超音波センサ1の使用環境温度の違いによる変動があったとしても、その影響を受け難く、残響振動の抑制効果の減少が抑えられる。また、残響振動の吸収が2つの共振周波数での共振現象を利用したものであるため、残響振動の抑制効果も大きい。従って、本実施形態の超音波センサ1によれば、振動子2の残響振動をより効率良く抑制することができる。これにより、より近距離の対象物までの距離を計測することが可能になる。<第2の実施形態>図4は、第2の実施形態による超音波センサの構成を示す。本実施形態の超音波センサ1は、駆動回路3の構成が上記第1の実施形態の構成と異なっている。本実施形態における他の構成については、上記第1の実施形態と同様である。本実施形態では、駆動回路3は、プッシュプル構成になっている。駆動回路3は、駆動用トランジスタ31a、31bと、トランス32とを備えている。駆動用トランジスタ31a、31bは、電界効果トランジスタである。トランス32は、中間点にセンタータップのある1次側コイル33と、2次側コイル34とを有する。駆動用トランジスタ31aは、ドレインがトランス32の1次側コイル33の一端側に接続され、ゲートが制御部6に接続され、ソースがグランドに接続されている。駆動用トランジスタ31bは、ドレインがトランス32の1次側コイル33の他端側に接続され、ゲートが制御部6に接続され、ソースがグランドに接続されている。トランス32の1次側コイル33は、センタータップ中間点が電源に接続され、一端側が駆動用トランジスタ31aのドレインに接続され、他端側が駆動用トランジスタ31bのドレインに接続されている。トランス32の2次側コイル34は、一端側が残響振動抑制回路7のコイル41を介して振動子2振動子2の圧電素子に接続され、他端側がグランドに接続されている。そして、本実施形態では、駆動回路3には、制御部6から第1のセンサ駆動信号及び第2のセンサ駆動信号が供給される。第1のセンサ駆動信号及び第2のセンサ駆動信号は、各々、上記第1の実施形態におけるセンサ駆動信号と同様である。但し、第1のセンサ駆動信号と第2のセンサ駆動信号は、互いに位相が180度ずれている。すなわち、第1のセンサ駆動信号がローレベルのときに第2のセンサ駆動信号がハイレベルであり、第1のセンサ駆動信号がハイレベルのときに第2のセンサ駆動信号がローレベルである。センサ駆動信号は、制御部6による制御のもと、振動子2から超音波を送信させるときに、制御部6から駆動回路3に供給される。駆動回路3に供給された第1のセンサ駆動信号は、駆動用トランジスタ31aのゲートに入力され、駆動回路3に供給された第2のセンサ駆動信号は、駆動用トランジスタ31bのゲートに入力される。駆動用トランジスタ31aは、ゲートに第1のセンサ駆動信号が入力されることにより、オン、オフして、送信信号を出力する。駆動用トランジスタ31bは、ゲートに第2のセンサ駆動信号が入力されることにより、オン、オフして、送信信号を出力する。トランス32は、駆動用トランジスタ31a、31bから出力される送信信号の電圧を昇圧する。そして、トランス32は、この電圧を昇圧した送信信号を2次側コイル34から出力する。2次側コイル34から出力された送信信号は、残響振動抑制回路7のコイル41を介して振動子2振動子2の圧電素子に供給される。振動子2は、送信信号が供給されることにより、上記第1の実施形態と同様に、その送信信号によって駆動されて、超音波を送信する。本実施形態の超音波センサ1によれば、上記第1の実施形態と同様に、振動子2の残響振動をより効率良く抑制することができ、より近距離の対象物までの距離を計測することが可能になる。<第3の実施形態>図5は、第3の実施形態による超音波センサの構成を示す。本実施形態の超音波センサ1は、駆動回路3の構成、及び残響振動抑制回路7の構成が上記第1の実施形態と異なっている。本実施形態における他の構成については、上記第1の実施形態と同様である。本実施形態では、駆動回路3は、上記第1の実施形態におけるトランス32に代えて、自己誘導コイル39を備えている。駆動用トランジスタ31は、エミッタが電源に接続され、ベースが制御部6に接続され、コレクタが自己誘導コイル39の一端側に接続されている。自己誘導コイル39は、一端側が駆動用トランジスタ31のコレクタに接続され、他端側がグランドに接続されている。駆動用トランジスタ31のコレクタと自己誘導コイル39の一端側との接続点が、残響振動抑制回路7のコイル41を介して振動子2振動子2の圧電素子に接続されている。駆動回路3には、上記第1の実施形態と同様に、センサ駆動信号が供給され、駆動回路3に供給されたセンサ駆動信号は、駆動用トランジスタ31のベースに入力される。駆動用トランジスタ31は、上記第1の実施形態と同様に、ベースにセンサ駆動信号が入力されることにより、送信信号を出力する。自己誘導コイル39は、駆動用トランジスタ31から出力される送信信号の電圧を自己誘導作用によって昇圧する。昇圧された電圧は、自己誘導コイル39の自己誘導作用による逆起電力によって、昇圧前の電圧電源電圧の2倍の電圧になる。そして、自己誘導コイル39は、この電圧を昇圧した送信信号を、駆動用トランジスタ31のコレクタと自己誘導コイル39の一端側との接続点から出力する。出力された送信信号は、残響振動抑制回路7のコイル41を介して振動子2振動子2の圧電素子に供給される。振動子2は、送信信号が供給されることにより、上記第1の実施形態と同様に、その送信信号によって駆動されて、超音波を送信する。このように、本実施形態では、駆動回路3は、送信信号を自己誘導コイル39によって昇圧し、この電圧を昇圧した送信信号を振動子2に供給することにより、この送信信号によって振動子2を駆動して振動させて、振動子2から超音波を送信させる。また、本実施形態では、残響振動抑制回路7は、上記第1の実施形態におけるトランス32の2次側コイル34に代えて、自己誘導コイル39第1の誘導素子であって、駆動回路3に備えられている送信信号の電圧を昇圧する昇圧用の誘導素子を備えている。自己誘導コイル39は、残響振動抑制回路7の一部を兼ねている。本実施形態の超音波センサ1によれば、上記第1の実施形態と同様に、振動子2の残響振動をより効率良く抑制することができ、より近距離の対象物までの距離を計測することが可能になる。しかも、上記第1の実施形態におけるトランス32に代えて自己誘導コイル39を用いることにより、コストを低減することができる。<第4の実施形態>図6は、第4の実施形態による超音波センサの構成を示す。本実施形態の超音波センサ1は、残響振動抑制回路7の構成が上記第1の実施形態と異なっている。本実施形態における他の構成については、上記第1の実施形態と同様である。本実施形態では、残響振動抑制回路7は、上記第1の実施形態における構成に加え、さらに別のコイル51と、抵抗52と、コンデンサ53とを有する。振動子2は、上記第1の実施形態において一端側がコイル41の一端側に接続されていることに代えて、一端側がコイル51の一端側に接続されている。コイル41は、上記第1の実施形態において一端側が振動子2の一端側に接続されていることに代えて、一端側がコイル51の他端側に接続されている。すなわち、コイル51は、振動子2とコイル41との間に接続されており、一端側が振動子2の一端側に接続され、他端側がコイル41の一端側に接続されている。抵抗42は、上記第1の実施形態において一端側がコイル41の一端側に接続されていることに代えて、一端側がコイル51の一端側に接続されている。すなわち、抵抗42及びコンデンサ43は、互いに直列に接続されて、コイル41及びコイル51に並列に接続されている。抵抗52は、一端側がコイル51の一端側に接続され、他端側がコンデンサ53の一端側に接続されている。コンデンサ53は、一端側が抵抗52の他端側に接続され、他端側がコイル51の他端側に接続されている。すなわち、抵抗52及びコンデンサ53は、互いに直列に接続されて、コイル51に並列に接続されている。つまり、本実施形態の残響振動抑制回路7は、上記第1の実施形態におけるコイル41に代えて、互いに直列に接続された抵抗52及びコンデンサ53がコイル51に並列に接続されたLCR回路が、コイル41に直列に接続された構成を備えた回路になっている。別の見方をすると、本実施形態の残響振動抑制回路7は、上記第1の実施形態における構成に加え、さらに、互いに直列に接続された抵抗52及びコンデンサ53がコイル51に並列に接続された別のLCR回路を備えた回路となっている。すなわち、本実施形態の残響振動抑制回路7は、互いに直列に接続された抵抗及びコンデンサがコイルに並列に接続されたLCR回路を2重に備える回路となっている。そして、本実施形態の残響振動抑制回路7は、振動子2と2次側コイル34との間に、これら2つの2重のLCR回路が接続された回路となっている。トランス32の2次側コイル34は、一端側がコイル41及びコイル51を介して振動子2に接続されており、2次側コイル34から出力された送信信号は、コイル41及びコイル51を介して振動子2に供給される。本実施形態では、残響振動抑制回路7は、残響振動抑制回路7のインピーダンスが極小となる共振点を3つ生じると共に、残響振動抑制回路7のインピーダンスが極大となる反共振点を4つ生じる回路となっている。これらの共振点及び反共振点は、等価インダクタンスLP、等価直列静電容量CP、等価抵抗Rp、等価並列静電容量CS、2次側コイル34、コイル41、抵抗42、コンデンサ43、コイル51、抵抗52、コンデンサ53の複合的な作用によって生じる。これら3つの共振点の周波数を、周波数の低い方から順に、第1の共振周波数ω1、第2の共振周波数ω2、第3の共振周波数ω3とする。また、これら4つの反共振点の周波数を、周波数の低い方から順に、第1の反共振周波数ωa1、第2の反共振周波数ωa2、第3の反共振周波数ωa3、第4の反共振周波数ωa4とする。第1の共振周波数ω1、第2の共振周波数ω2、第3の共振周波数ω3、第1の反共振周波数ωa1、第2の反共振周波数ωa2、第3の反共振周波数ωa3、第4の反共振周波数ωa4は、各々、異なった周波数である。残響振動抑制回路7は、3つの異なる共振周波数第1の共振周波数ω1、第2の共振周波数ω2、第3の共振周波数ω3での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収することにより、振動子2の残響振動を抑制する。すなわち、残響振動抑制回路7は、第1の共振周波数ω1での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収する。また、残響振動抑制回路7は、第2の共振周波数ω2での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収する。また、残響振動抑制回路7は、第3の共振周波数ω3での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収する。第1、第2、第3の共振周波数ω1、ω2、ω3での共振現象を利用しての振動吸収特性は、各々、第1、第2、第3の共振周波数ω1、ω2、ω3での共振特性に対応する。すなわち、ω1、ω2、ω3での共振現象を利用しての振動吸収特性は、各々、主として、ω1、ω2、ω3と同じ周波数の振動を吸収ω1、ω2、ω3に近い周波数の振動ほど強く吸収し、ω1、ω2、ω3と同じ周波数の振動を最も強く吸収するものである。残響振動抑制回路7は、これら第1、第2、第3の共振周波数ω1、ω2、ω3での共振現象を利用しての振動吸収特性を重ね合わせた振動吸収特性で、振動子2の残響振動を吸収する。そして、残響振動抑制回路7は、吸収した振動のエネルギーを抵抗42、52から熱エネルギーとして放出する。残響振動抑制回路7は、3つの異なる共振周波数での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収することから、3重動吸振器の構成になっている。第1、第2、第3の共振周波数ω1、ω2、ω3は、常温環境下において、各々、振動子2の固有振動数ω0に近い周波数となるように設定される。この場合、ω1をω0より低くし、ω2をω0と同じ周波数になるようにし、ω3をω0より高くするのが望ましい。ω1、ω2、ω3がこのようになるように、常温環境化における振動子2の固有振動数ω0に応じて、コイル34、41、51のインダクタンス、抵抗42、52の抵抗値、コンデンサ43、53の静電容量が選定される。本実施形態では、常温環境化において、振動子2の固有振動数ω0、振動子2の等価回路20における等価直列インダクタンスLP、等価直列静電容量CP、等価抵抗RP、等価並列静電容量CSは、上記第1の実施形態と同様である。すなわち、常温環境下において、ω0≒72kHz、LP≒100mH、CP≒50pF、RP≒1kΩ、CS≒1.5nFである。これに対し、本実施形態では、常温環境化において、コイル34のインダクタンスL34、コイル41のインダクタンスL41、抵抗42の抵抗値R42、コンデンサ43の静電容量C43は、上記第1の実施形態と同様である。すなわち、常温環境下において、L34≒3mH、L41≒400μH、R42≒100Ω、C43≒15nFである。また、本実施形態では、常温環境化において、コイル51のインダクタンスL51は、L51≒40μHであり、抵抗52の抵抗値R52は、R52≒50Ωであり、コンデンサ53の静電容量C53は、C53≒150nFである。本実施形態の超音波センサ1によれば、3つの異なる共振周波数残響振動抑制回路7のインピーダンスが極小となる共振点の周波数での共振現象を利用して振動子2の残響振動が吸収されて、振動子2の残響振動が抑制される。このため、振動子2の固有振動数にばらつきがあったとしても、また、振動子2の固有振動数に変動があったとしても、その影響をより一層受け難く、残響振動の抑制効果の減少がより一層抑えられる。また、残響振動の吸収が3つの共振周波数での共振現象を利用したものであるため、残響振動の抑制効果もより一層大きい。従って、本実施形態の超音波センサ1によれば、振動子2の残響振動をより効率良く抑制することができる。これにより、より近距離の対象物までの距離を計測することが可能になる。<第5の実施形態>図7は、第5の実施形態による超音波センサの構成を示す。本実施形態の超音波センサ1は、残響振動抑制回路7の構成が上記第4の実施形態と異なっている。本実施形態における他の構成については、上記第4の実施形態と同様である。本実施形態では、残響振動抑制回路7は、上記第4の実施形態における構成をさらに発展させた構成になっている。すなわち、残響振動抑制回路7は、互いに直列に接続された抵抗及びコンデンサがコイルに並列に接続されたLCR回路をM重M≧3に備える回路となっている。そして、本実施形態の残響振動抑制回路7は、振動子2と2次側コイル34との間に、これらM個のM重のLCR回路が接続された回路となっている。本実施形態では、残響振動抑制回路7は、残響振動抑制回路7のインピーダンスが極小となる共振点をN個N≧4個生じると共に、残響振動抑制回路7のインピーダンスが極大となる反共振点をN1個生じる回路となっている。残響振動抑制回路7は、N個の異なる共振周波数ω1、ω2、ωNでの共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収することにより、振動子2の残響振動を抑制する。残響振動抑制回路7は、N個の異なる共振周波数での共振現象を利用して振動子2の残響振動を吸収することから、N重動吸振器の構成になっている。残響振動抑制回路7は、互いに直列に接続された抵抗及びコンデンサがコイルに並列に接続されたLCR回路をM重にすることにより、共振点をN個N=M1個生じると共に、反共振点をN1個生じる回路になる。従って、残響振動抑制回路7を、共振点を4つN=4持つものにする場合には、互いに直列に接続された抵抗及びコンデンサがコイルに並列に接続されたLCR回路を3重M=3にすればよい。すなわち、上記第4の実施形態のコイル51に代えて、互いに直列に接続された抵抗62及びコンデンサ63がコイル61に並列に接続されたLCR回路が、コイル51に直列に接続された構成を設ければよい。また、残響振動抑制回路7を、共振点を5つN=5持つものにする場合には、互いに直列に接続された抵抗及びコンデンサがコイルに並列に接続されたLCR回路を4重M=4にすればよい。すなわち、コイル61に代えて、互いに直列に接続された抵抗72及びコンデンサ73がコイル71に並列に接続されたLCR回路が、コイル61に直列に接続された構成を設ければよい。残響振動抑制回路7を、共振点を6つ以上N≧6持つものにする場合も同様である。共振周波数ω1、ω2、、ωNは、常温環境下において、各々、振動子2の固有振動数ω0に近い周波数となるように設定される。この場合、ω1、ω2、、ωNのうちの幾つかをω0より高く又は低くし、別の幾つかをω0より低く又は高くするのが望ましい。また、ω1、ω2、、ωNは、常温環境下において、いずれか1つがω0と同じ周波数となるように設定され、残りがω0に近い周波数となるように設定されてもよい。この場合、残りのうちの幾つかをω0より高くし、残りのうちの別の幾つかをω0より低くするのが望ましい。本実施形態の超音波センサ1によれば、N個N≧4の異なる共振周波数残響振動抑制回路7のインピーダンスが極小となる共振点の周波数での共振現象を利用して振動子2の残響振動が吸収されて、振動子2の残響振動が抑制される。従って、振動子2の残響振動をより効率良く抑制することができる。これにより、より近距離の対象物までの距離を計測することが可能になる。なお、本発明は、上記各実施形態の構成に限られず、種々の変形が可能である。例えば、残響振動抑制回路は、複数の異なる共振周波数を持つ回路であれば、他の回路であってもよい。"