"若干量の、鉄、ニッケル、コバルト及びクロムからなる群から選ばれる1種以上の、金属並びに炭素を含有する、物理蒸着のための二ホウ化チタンターゲットにおいて、-TiB2粒子の平均粒度が1μm~20μmであり、-炭素含有量が0.1~5重量の範囲内であり、-Fe、Ni、Co及び/又はCrの全含有量が500~3,000μg/gの範囲内であり、-炭素が、個々の炭素粒子間の平均距離が20μm未満であるように遊離した形で、TiB2粒子の粒界に分布しており、-気孔率が5容量未満であることを特徴とする二ホウ化チタンターゲット。炭素含有量が0.5~3重量の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の二ホウ化チタンターゲット。TiB2粒子の平均粒度が2μm~10μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の二ホウ化チタンターゲット。1,000~2,000μg/gの範囲内のFe含有量を有することを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の二ホウ化チタンターゲット。TiB2粉末と黒鉛粉末とからなる出発粉末混合物を、Fe、Ni、Co及びCrからなる群から選ばれる一つ以上の金属を含んでなる粉砕用ビーズを用いて、Fe、Ni、Co及び/又はCrの全含有量が500~3,000μg/gの範囲内となるまで、粉砕ユニットで粉砕し、且つ、粉砕し終わった粉末混合物の圧縮を、10MPa~40MPaの範囲内のプレス圧及び1,600°C~2,000°Cの範囲内の温度で加熱プレスによって、行なうことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の二ホウ化チタンターゲットの製法。TiB2粉末と黒鉛粉末とからなる出発粉末混合物を、磨砕器中で鉄から成る粉砕用ビーズを用いて鉄含有量が1,000~2,000μg/gの範囲内となるまで、粉砕し、且つ、粉砕した粉末混合物を、加熱プレスによって、25MPa~35MPaの範囲内のプレス圧及び1,600°C~1,850°Cの範囲内の温度で圧縮することを特徴とする請求項4に記載の二ホウ化チタンターゲットの製法。従って、本発明の課題は、実際にアーク被覆法にも問題なく使用し得る二ホウ化チタンターゲットを提供することである。本発明によれば、この課題は、二ホウ化チタン粒子の平均粒度が1μm~20μmであり、炭素含有量が0.1~5重量の範囲内であり、鉄、ニッケル、コバルト及び/又はクロムの全含有量が500~3,000μg/gの範囲内であり、そして、炭素が、個々の炭素粒子間の平均距離が20μm未満であるように遊離した形で、二ホウ化チタン粒子の粒界に分布しており、且つ気孔率が5容量未満であることによって達成される。このとき、前記金属成分の少なくとも一つが前記範囲内に存在することが重要であり、その際、当然のことながら、低融点金属成分、例えば銅又はアルミニウム、も更に存在していてよいが、これらの金属成分は、単独では、所望の効果を決して達成しない。二ホウ化チタン粒子の平均粒度は、レーザー回折法により測定される。ここで、炭素含有量が0.5~3重量の範囲内であり、金属成分として鉄が1,000~2,000μg/gの範囲内で存在し、且つTiB2粒子の平均粒度が2μm~10μmであると、特に有利である。本発明に基づき、完全に均一な炭素分布及び前記範囲内の金属添加物の分布によって、ターゲットの局所的又は完全な粉砕が熱応力によってもたらされることなく、問題なくアークPVD法でも蒸発されうる二ホウ化チタンターゲットが得られることが確認された。このことは、TiB2粉末と黒鉛粉末との出発粉末混合物が、Fe、Ni、Co及びCrからなる群から選ばれる一つ以上の金属を含んでなる粉砕用ビーズを用いて、Fe、Ni、Co及び/又はCrの全含有量が500~3,000μg/gの範囲内となるまで、粉砕ユニットで粉砕され、且つ、粉砕され終わった粉末混合物の圧縮が、10MPa~40MPaの範囲内のプレス圧及び1,600°C~2,000°Cの範囲内の温度で加熱プレスによって、行なわれることによって、達成される。ここで、金属成分が粉末として添加されるのではなく、前記金属の少なくとも一つを含有してなる粉砕用ビーズの磨耗片としてのみ導入されることが重要である。この方法は、TiB2粉末と黒鉛粉末とからなる出発粉末混合物が、磨砕器中で鉄から成る粉砕用ビーズを用いて鉄含有量が500~3,000μg/gの範囲内となるまで、粉砕され、且つ、粉砕された粉末混合物の圧縮が、加熱プレスによって、25MPa~35MPaの範囲内のプレス圧及び1,650°C~1,850°Cの範囲内の温度で、行なわれる場合に、特に有利である。前記粉砕過程は、本質的に、炭素及び金属成分の均一な分布に役立つ。金属添加物が前記特定の範囲内の量で導入される通常の粉砕時間は、使用されるミルの種類に応じて、10~120分のオーダーである。特に迅速な導入は、磨砕器をミルとして使用することによって達成される。ターゲットの製造にとって特に重要なことは、完全に粉砕された粉末混合物の圧縮がHIP法によって行なわれるのではなく、加熱プレスによって前記のプレス圧及び温度の範囲内で行なわれることである。それにより、HIP法の場合に等方プレス圧を与えるのに必要な出発粉末混合物の封止を不要にすることができ、このことによって前記方法がより低コストになり、更に、とりわけ、HIP法の場合に封止材と二ホウ化チタンとの著しく異なる熱膨張係数のために生じる、圧縮されたターゲットにおける内部応力が小さくなる。ここで、本発明の意味するところにおいて、加熱プレスという用語には、直接通電を伴う又は伴わない加熱プレスの全ての変形形態、例えばSPS法sparkplasmasintering又はFAST法fieldassistedsinteringtechnology、が含まれる。以下に、製造例及び図を参照して、本発明を説明する。例1試験のため、直径60mm及び厚さ8mmの円形プレス素材形状のターゲットを、本発明に従って製造した。出発材料として、ホウ素含有量30.88重量、鉄含有量0.023重量、炭素含有量0.020重量、残りがチタンである、平均粒度d50が2.39μmの二ホウ化チタン粉末を使用した。ポットミキサ中で、前記二ホウ化チタン粉末1,980gを、黒鉛20g及びイソプロパノール2,000gと共に、直径15mmの鋼球8,000gを用いて、2時間、粉砕した。引き続き、この粉末混合物をアルコールの蒸発によって乾燥した。化学分析によれば、前記粉末混合物中の、鉄含有量0.154重量これは1,540μg/gに相当する。及び炭素含有量1.0重量という結果が得られた。引き続き、粉末混合物を、加熱プレス中で黒鉛工具を使用して、最大プレス圧30MPa及び最大温度1,830°Cで、持続時間40分で、圧縮して、直径60mm及び厚さ8mmの円形プレス素材にした。加熱プレスによって材料の密度4.4g/cm3が達成された。これは理論的密度の98に相当する。この写真から、TiB2粒子の粒界に濃色の薄片状の黒鉛粒子が、10μmのオーダーの平均距離を隔てて、存在することがはっきりと分かる。更には、組織の密度が高く、気孔率が著しく僅かであることが分かる。例2比較のため、炭素を添加しなかったほかは、例1の場合と同一の寸法のターゲットを同様の製造パラメータで、製造した。出発材料として、ホウ素含有量31.71重量、鉄含有量0.032重量、炭素含有量0.044重量、残りがチタンである、平均粒度d50が4.48μmの二ホウ化チタン粉末を使用した。ポットミキサ中で、前記二ホウ化チタン粉末200gを、イソプロパノール200gと共に、直径15mmの鋼球800gを用いて、3時間、粉砕した。引き続き、この粉末をアルコールの蒸発によって乾燥した。化学分析によれば、鉄含有量0.119重量これは1,190μg/gに相当する。及び炭素含有量0.050重量という結果が得られた。引き続き、粉末を、加熱プレスで最大プレス圧30MPa及び最大温度1,800°Cで、持続時間20分で、圧縮した。加熱プレスによって材料の密度4.4g/cm3が達成され、これは理論的密度の98に相当する。例3比較のため、炭素を添加せず且つ出発粉末を粉砕しなかったほかは、例1の場合と同一の寸法のターゲットを2個、例1と同様の製造パラメータで、製造した。出発材料として、ホウ素含有量31.4重量、鉄含有量0.028重量、炭素含有量0.042重量、残りがチタンである、平均粒度d50が3.81μmの二ホウ化チタン粉末を使用した。引き続き、加熱プレスを用いて、一方では、最大プレス圧30MPa及び最大温度1,800°C、持続時間60分で、他方では、最大プレス圧30MPa及び最大温度2,200°C、持続時間30分で、出発粉末を圧縮した。第1のケースでは、加熱プレスによって、材料の密度3.3g/cm3を有するターゲットが達成され、これは理論的密度の73に相当し、第2のケースでは、材料の密度3.4g/cm3を有するターゲットが達成され、これは理論的密度の76に相当する。比較試験のために、例1及び2により製造されたターゲットを熱的な接触のためのモリブデン被膜を備えたモリブデンから成るカソードホルダに組み込んだ。次に、対応するカソードについて、以下の被覆パラメータを有するアークPVD装置で、その挙動を試験した:-アーク電流60~70A-電圧21V-チャンバ温度24°C-プロセス圧1.5Paアルゴン。例3により製造されたターゲットは、その低い密度のために、カソードホルダに組み込むための加工の際に既に破損され、従って、使用することができなかった。本発明に従って例1により製造されたターゲットは、60分間の運転において安定して挙動した。ターゲットは、亀裂を全く有さず、厚さが1~2mm減少した平滑な表面を示した。本発明に従わないで例2により製造されたターゲットは、数分間の運転後に既に亀裂を生じ、そしてそれからまもなくして完全に破壊された。比較例2及び3に従って製造されたターゲットによって明らかに示されるように、炭素の添加及び粉砕の際の摩耗によってのみ出発粉末にもたらされる僅かな割合の鉄の均一な分布が、ターゲットの良好な機能を保証するために必要である。本発明は、決して、前記製造例に限定されるものではない。従って、とりわけ、結合方法によって接着力により、例えばモリブデンから成る、冷却プレートと結合されているターゲットも含まれる。"