剛性基板が平面状の円形表面を有し、該基板に、該円形表面に関して一定レベル内に位置する有限面積の平坦な頂面を持つ切れ刃の集合を交差する二組の平行線群からなる格子状に整列配置した研磨工具であって、各切れ刃は頂部における該工具の軸に垂直な断面が四辺形でありかつ上記軸方向に延びた縦稜線を有する焼結ダイヤモンドで構成され、かかる切れ刃は集団として限定された面積を持つ複数個の研磨島に形成され、該研磨島の複数個が一定間隔ごとに、工具の回転中心に関する同心円上に規則的に配置されていることを特徴とする、CMPパッドのドレッシングに適した研磨工具。前記切れ刃の水平断面が平行四辺形である、請求項1に記載の研磨工具。前記切れ刃の水平断面が長方形である、請求項1又は2に記載の研磨工具。前記四辺形の短辺対長辺の比が1対200~1の長方形又は平行四辺形である、請求項1に記載の研磨工具。前記四辺形の短辺対長辺の比が1対50~10である、請求項4に記載の研磨工具。前記四辺形の短辺対長辺の比が1対20以下である、請求項4乃至5に記載の研磨工具。前記四辺形の一辺が20μm以上である、請求項1乃至4の各項に記載の研磨工具。前記切れ刃が頂面を横切る1乃至複数本の溝を有し鋸歯状の輪郭を呈する、請求項1乃至6の各項に記載の研磨工具。前記切れ刃が軸方向断面において、切れ刃乃至工具の軸に対する傾斜角が10°以下の下方に広がる側面を有する、請求項1の研磨工具。前記二組の平行線群間の交差角がα>90°又はα<90であり、かつ一方の平行線群の方向が回転方向に対して垂直な方向を含む、請求項9に記載の研磨工具。前記2組の平行線群間の交差角がα=90°である、請求項10に記載の研磨工具。前記研磨島の少なくとも1個において、上記二組のうち一組の平行線群が半径方向の切れ刃列を含む、請求項1に記載の研磨工具。前記研磨島の少なくとも1個において、前記切れ刃が回転方向に関して隙間を生じないように傾斜配置されている、請求項1に記載の研磨工具。前記切れ刃群が、ダイヤモンドが熱力学的に安定な圧力温度条件下で一体化されたダイヤモンド焼結体の焼結ダイヤモンド層内に形成されたものである、請求項1に記載の研磨工具。平面状の円形表面を有する剛性基板の表面に、該表面に関して一定レベル内に位置する有限面積の平坦な頂面及び該頂面に直角に隣接する縦稜線を持つ焼結ダイヤモンドからなる四辺形断面の切れ刃を複数個の平行直線状に整列配置した研磨工具の切れ刃を被加工物の表面へ押圧することにより、被加工物表面に押圧方向へ変位した変位部分を生ぜしめ、さらに切れ刃の縦稜線に、該変位部分に対して水平方向の相対運動を生ぜしめることによって、稜線周囲の変位部分と残部との境界における被加工物材料を削り取ることを特徴とする、請求項1の工具を用いた研磨方法。前記被加工物が硬質ウレタンである、請求項15に記載の研磨方法。しかしながら、従来型のドレッサーを用いて砥粒や研磨単位の尖端でパッド表面を削り取る平坦化工程では、材料除去率の制御と表面粗さとは互いに複雑に絡み合っていて、これらの両性能を目的に合わせて制御することは困難であった。さらに電着タイプにおいては固着される砥粒の粒度が細かくなるにつれ、露出させて加工に供される砥粒の割合が減少し、この点において、工具寿命は必ずしも満足いくものではなかった。本発明は従来のパッドコンディショニングにおいて材料除去率の制御及び表面平坦度の確保を容易にすることにより前記の問題を解決し、同時に工具寿命の向上も達成可能としたコンディショニングのための工具を提供することを主な目的とする。本発明者は以下の知見を得た。即ち、平面状の円形表面を有する剛性基板の表面に、該表面に関して一定レベル内に位置する有限面積の平坦な頂面、及び該頂面に直角に隣接する工具軸方向の縦稜線を持つ、該軸方向に垂直な断面において四辺形状の焼結ダイヤモンドからなる切れ刃を複数個整列配置した研磨工具を用い、この際工具全体の頂面の総面積を個々の頂面及び切れ刃間隔等の調節により工程の制御が容易で、工具寿命の向上も達成できる。かかる知見に基づき本発明を完成するに至った。従って本発明は、剛性基板が平面状の円形表面を有し、該基板に、該円形表面に関して一定レベル内に位置する有限面積の平坦な頂面を持つ切れ刃の集合を交差する二組の平行線群からなる格子状に整列配置した研磨工具であって、各切れ刃は頂部における該工具の軸に垂直な断面が四辺形でありかつ上記軸方向に延びた縦稜線を有する焼結ダイヤモンドで構成され、かかる切れ刃は集団として限定された面積を持つ複数個の研磨島に形成され、該研磨島の複数個が一定間隔ごとに、工具の回転中心に関する同心円上に規則的に配置されていることを特徴とする、CMPパッドのドレッシングに適した研磨工具を要旨とする。本発明はまた別の側面において、かかる工具を用いた研磨方法において、平面状の円形表面を有する剛性基板の表面に、該表面に関して一定レベル内に位置する有限面積の平坦な頂面及び該頂面に直角に隣接する縦稜線を持つ焼結ダイヤモンドからなる四辺形断面の切れ刃を複数個の平行直線状に整列配置した研磨工具の切れ刃を被加工物の表面へ押圧することにより、被加工物表面に押圧方向へ変位した変位部分を生ぜしめ、さらに切れ刃の縦稜線に、該変位部分に対して水平方向の相対運動を生ぜしめることによって、稜線周囲の変位部分と残部との境界における被加工物材料を削り取る方法を要旨とする。本発明の研磨工具は、尖った頂部の切れ刃を持つ従来の工具に比べて食い込み深さが小さく、かつかかる尖った先端による従来の切削機構とは異なり、有限の面積を主として切れ刃の特に縦稜線及び該稜線に隣接した頂部側面による切削が進行する。即ち被加工物表面を押圧すると材質の圧縮率に応じて変位するが、この状態で工具の回転などにより切れ刃との間に相対運動を行う場合、切れ刃の縦稜線及び隣接側面によって、稜線周囲の、変位部分と残部との境界付近の被加工物材料が削り取られる。本発明において工具の自転及び公転によって被加工物の加工域が拡大していくが、加工は主として縦稜線及び隣接側面によるものでかんな掛けやのみ打ちのように面状の刃でおこなわれることにより、平坦度が高く、うねりの少ない表面が達成される。さらに特に硬質ウレタンの精密研磨において、切れ刃頂面の面積や切れ刃群の間隔を変えて受負荷面積を調整することにより、高い時間当たりの材料除去率、及び/又は小さな仕上げ面粗さを達成でき、しかもこの性能が従来の同様の工具に比較して数倍維持されるという利点を有する。以下に本発明を、添付の説明図に拠って説明する。本発明の研磨工具において被加工物の除去を行う切れ刃は、前記のように、有限面積の平坦な頂面10、20と、縦稜線11、12、13;21、22、23及び側面15、16;25、26とによって特徴づけられ、このような切れ刃としては切れ刃の高さ乃至工具軸に垂直な断面における形状が四辺形、例えば正方形や菱形を含む長方形乃至平行四辺形、特に加工の容易さや切れ刃の強度等の観点から、一辺の長さが20μm以上の長方形や平行四辺形のものが適切である。切れ刃は長方形乃至長平行四辺形とし、長手方向を工具半径方向に一致させ、或いは半径に対して小さな傾斜角度で整列させる。四辺形の短辺と長辺との比が大きいほど、工具回転時に個々の切れ刃によってカバーされる面積が大きくなるので有利であるが、大きすぎるとカットレートが低下する傾向がある。これらの点において四辺形の短辺対長辺比は1:200~1が有効であるが、実用的には1:50~10、特に1:20以下が好ましい。本発明の切れ刃においてエッジとして作用する縦稜線11~13;21~23は、平坦な四辺形の頂面に隣接する四つの側面の交差によって構成される。これらの各側面は切れ刃乃至工具の軸方向に平行であってもいいが、例えば四辺形の中心を通り辺に平行な軸方向断面図を示した図3に示すように、軸方向に平行な基準線Aに対して傾斜角度γで傾斜させ、切れ刃の底部に向かって断面積が増加するような補強角度を設けることは、特に切れ刃の幅が小さい構成において特に有効である。γの値としては10°以下、特に7~8°が適切である。本発明の切れ刃はダイヤモンド焼結体、即ち整粒されたダイヤモンド粒子を支持材としての超硬合金板に共に、ダイヤモンドが熱力学的に安定な圧力温度条件下で層状に一体化焼結した複合材の、焼結ダイヤモンド層に形成される。切れ刃31、32、33は、所定形状にプリカットされたこのような複合材の素材板34、35、36に、ワイヤカットやEDM等の放電加工、レーザービーム、その他公知の手法により、図4、5及びより詳細な図6に示す、交差角αで交差する2方向の直線41、42;43、44;45、46及びこれらに平行な直線群に沿って、格子状に整列配置された一群として形成される。これらの手法は単独で利用、或いは併用し、特に50nmや20nmのような細かい切れ刃辺の形成にはレーザービームの利用が好適である。前記交差角αは切れ刃の四辺形の各頂角を規定するが、αとしては45°≦α<90°又は90°<α≦135°、好ましくは60°≦α<90°又は90°<α≦150°が利用可能であり、これらの範囲において切れ刃の尖点強度と性能との最適化を図る。α=90°乃至α≒90°の場合には鋭利な頂点による切り込みは得にくいが、縦稜線による加工性能は保持される。この際一方の平行線群を工具の回転方向R→に対して傾斜角βで傾斜させると共に、切れ刃の長辺方向の配置を、横方向1ピッチごとに切れ刃長さのn分の1ずつずらすことによって回転方向に関して間隙なく配置した場合、該工具の一回転による被加工物上の加工域が最大となることにより、被加工物の表面粗さの制御がより容易に達成できる。β=0の場合には工具の自転による加工域に空白が生じ効率が低下するが、本発明における縦稜線による加工を確保することは可能である。一方、切れ刃の短辺と長辺との比率が大きい場合、図7に例示するように、切れ刃51の頂面に、短辺に平行して1乃至複数個の切り込み52、53を設けて輪郭を鋸刃状にすると、削り粉や研磨液が移動しやすくなり、作業効率の改善に寄与するので有効である。本発明による前記形状配置の切れ刃は例えば、図8に示すような、丸みをつけた台形乃至扇形等にプリカットされた研磨島としての複数個のダイヤモンド焼結体に形成される。各研磨島55は形状を揃え、工具基板56上に規則的に、例えば同心円上に一定間隔で配置して利用される。この際各研磨島において、切れ刃格子の二方向の列のうち一方向、特に長辺方向の複数本を工具基板の半径方向に一致させ、或いは半径方向に対する傾斜角が小となるように整列させて固定する。この場合、もう一方の列は、回転方向に対してほぼ傾斜角βでの傾斜配置となる。本発明においてカットレート、仕上げ面粗さ等の加工性能は切れ刃の頂部面積乃至水平断面積及び切れ刃間ピッチ、及びによって支配される。高いカットレートを望む場合は個々の頂面を小さくし、或いは/更に切れ刃間の間隔を大きくとる。一方面精度に重点を置く場合には各頂面を大きくし、更に/或いは切れ刃間の間隔を小さくするのが有効である。基板は、SUS系ステンレス鋼が耐食性の点で好ましいが、使用環境によってはアルミニウム等他の金属材やベークライトのような合成樹脂、金属被覆の合成樹脂等も利用可能である。前記の切れ刃チップは、工具基板の外周部分に、同心円状、放射状、或いはこれらの組み合わせ等、様々な形状に配置することができる。この際、基板への固定には材種に応じて各種の公知技術が利用できる。上記において、焼結ダイヤモンドで作成された切れ刃は、超高圧下で焼結されダイヤモンド-ダイヤモンド結合を介して強固に一体化された複合材表層の焼結ダイヤモンド層に形成されているので、刃の欠損を生じにくく、これに伴うトラブルが少ないという利点がある。図8に概略示すような、超高圧高温下で焼結されたダイヤモンド焼結体から成るプリカット素材片に切れ刃を形成したものを6個、直径108mmのSUS630ステンレス鋼製円形基板の同一円周上に等間隔でエポキシ系接着剤で固着し、研磨島として用いた。プリカット素材は各隅を丸めた台形状で、PCD層は厚さ10mmで、公称粒度812μmのダイヤモンド粒子で構成され、同時焼結によって超硬合金基体と一体化されていた。このPCD片に、焼結ダイヤモンド層の表面を型放電加工により平坦化した後、ワイヤカット放電加工により交差平行線状にダイヤモンド層表面に切り込み、表面全域に切れ刃の格子を創生した後、レーザービーム加工により7°の補強角を有する、50×200μmの平坦な頂面を持つ、高さ200μmの切れ刃群を形成した。格子状の切れ刃は2方向の交差角75度、ピッチは長手方向700μm、他方が600μmであった。かかる工具をラッピングマシンに装着し、研磨パッドのコンディショニングを模した硬質ウレタンの研磨試験に供した。工具への加圧荷重は3kgの荷重で20分間で、カットレート10μmh、Ra粗さ23μmを得た。上記において、本発明をダイヤモンド焼結体に関して説明したが、これに代えて硬質相チッ化ホウ素焼結体を利用することも可能である。