第1フィルター部材を介して液体流路内に導入した液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに対して着脱可能に搭載されると共に、前記第1フィルター部材に押し当てた状態で接続される第2フィルター部材を有し、内部に貯留した液体を、前記第2フィルター部材と前記第1フィルター部材とを介して前記液体噴射ヘッド内に供給する液体供給部材と、前記第1フィルター部材と第2フィルター部材との接続部分を囲んで封止可能な封止部材と、該封止部材に封止された内部空間を減圧する減圧手段と、を備え、前記第2フィルター部材の空隙率は、前記第1フィルター部材よりも高いことを特徴とする液体噴射装置。前記ノズルが開口したノズル形成面を封止可能なノズル封止部材と、該ノズル封止部材に封止された内部空間を減圧して前記ノズルから液体を吸引する吸引手段と、を備え、該吸引手段は、前記封止部材に連通され、前記減圧手段として利用可能であることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射装置。前記第2フィルター部材は、空隙率の高い第1の気泡導出部と、空隙率が第1の気泡導出部より低い第2の気泡導出部とを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射装置。前記第1の気泡導出部は、前記第2フィルター部材の中央部から周縁部に亘って形成されていることを特徴とする請求項3に記載の液体噴射装置。しかしながら、上記のような従来のインクカートリッジを搭載したプリンターは、記録ヘッドのインク導入口およびインクカートリッジのインク供給部の両方にフィルターを設けているため、これらを接続する際に、この接続部に気泡が入り込んで留まってしまう場合があった。このため、当該気泡によって記録ヘッドへのインクの供給が阻害される虞があった。また、場合によっては、インクカートリッジからのインクの流入に伴って、一部の気泡がフィルターを通じて記録ヘッド内に侵入する虞もあった。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体噴射ヘッド内への気泡の侵入を防止することができる液体噴射装置を提供することにある。本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、第1フィルター部材を介して液体流路内に導入した液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドに対して着脱可能に搭載されると共に、前記第1フィルター部材に押し当てた状態で接続される第2フィルター部材を有し、内部に貯留した液体を、前記第2フィルター部材と前記第1フィルター部材とを介して前記液体噴射ヘッド内に供給する液体供給部材と、前記第1フィルター部材と第2フィルター部材との接続部分を囲んで封止可能な封止部材と、該封止部材に封止された内部空間を減圧する減圧手段と、を備え、前記第2フィルター部材の空隙率は、前記第1フィルター部材よりも高いことを特徴とする。本発明の液体噴射装置によれば、第1フィルター部材と第2フィルター部材とを接続する際に、これらの間に気泡が生じたとしても、減圧手段を作動させて封止部材の内部空間を減圧することで当該接続部分から第2フィルター部材を介して気泡を排出することができる。これにより、気泡が液体噴射ヘッド内に侵入することを防止できる。また、気泡の排出に伴って排出される液体を、多くとも接続部分に存在する液体だけに限定することができる。これにより、無駄に液体が消費されることを抑制できる。さらに、第1フィルター部材の空隙率を第2フィルター部材に比べて低くしたので、液体噴射ヘッド内の液体が第1フィルター部材を介して排出されることを抑制できる。上記構成において、前記ノズルが開口したノズル形成面を封止可能なノズル封止部材と、該ノズル封止部材に封止された内部空間を減圧して前記ノズルから液体を吸引する吸引手段と、を備え、該吸引手段は、前記封止部材に連通され、前記減圧手段として利用可能であることが望ましい。この構成によれば、ノズル封止部材の内部空間を吸引するための吸引手段を減圧手段として利用したので、液体噴射装置の構造を簡略化することができると共に、製造コストを低減することができる。上記各構成において、前記第2フィルター部材は、空隙率の高い第1の気泡導出部と、空隙率が第1の気泡導出部より低い第2の気泡導出部とを有することが望ましい。この構成によれば、空隙率の高い第1の気泡導出部を介して気泡を排出できるため、気泡の排出効率を上げることができる。これにより、無駄に液体が消費されることを一層抑制できる。また、上記構成において、前記第1の気泡導出部は、前記第2フィルター部材の中央部から周縁部に亘って形成されていることが望ましい。この構成によれば、接続部分の中央部の気泡も効率よく排出することができる。これにより、無駄に液体が消費されることをより一層抑制できる。以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置1以下、プリンターを例に挙げて説明する。図1はプリンター1の構成を示す斜視図である。このプリンター1は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド2が取り付けられると共に、液体供給部材の一種であるインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるキャリッジ4を備えている。このキャリッジ4の後部には、キャリッジ4を記録紙5記録媒体および着弾対象の一種の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構6を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド2の下方には、間隔を空けてプラテン7を備えている。そして、このプラテン7上には、プリンター1の後方に備えた搬送機構8によって、記録紙5が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。詳しく説明すると、キャリッジ4は、主走査方向に架設されたガイドロッド9に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構6の作動により、ガイドロッド9に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ4の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー10によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス位置情報の一種をプリンター1の制御部に送信する。キャリッジ4の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ4の走査の基点となるホームポジションが設定されている。プリンター1は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ4が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ4が戻る復動時との双方向で記録紙5上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。また、本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド2のノズル形成面36後述を封止するキャッピング部材11本発明におけるノズル封止部材に相当と、ノズル形成面36を払拭するためのワイパー部材12とが配置されている。キャッピング部材11は、長方形状の底部とこの底部の周縁から起立する側壁部とを有する上面が開放したトレイ状の部材であり、ゴム等の弾性部材により形成される。また、キャッピング部材11の底部には、キャップ用廃液管本実施形態では図示せずが連通している。このキャップ用廃液管は、一端がキャッピング部材11の底部と側壁部とに囲まれた内部空間封止空間内と連通し、他端がキャップ用ポンプ本実施形態では図示せずに連通している。これにより、ノズル34をキャッピング部材11により封止した後でキャップ用ポンプを動作させることで、記録ヘッド2内の気泡や増粘したインクを吸引することができるクリーニング動作。図2は、インクカートリッジ3と記録ヘッド2の構成を模式的に示した断面図である。上記のインクカートリッジ3は、熱可塑性プラスチック等で成型された箱状のインク貯留部15液体貯留部を備え、このインク貯留部15内にはインク記録ヘッド2から噴射する液体の一種を貯留する空間が形成されている。また、インク貯留部15内の空間には液体保持部材の一種であるインク保持材図示せずが収容されている。このインク保持材にインクを吸収することで、インク貯留部15内にインクを保持している。なお、インク保持材としては、例えば、スポンジ状の発泡素材多孔質材が好適に用いられる。インクカートリッジ3インク貯留部15の底面記録ヘッド2側には、後述するカートリッジ接続部21に接続され、インク貯留部15内のインクをカートリッジ接続部21に向けて流入させるインク供給部16液体供給部が形成されている。インク供給部16は、インク貯留部15からのインクが浸透するフォーム部17と、該フォーム部17のカートリッジ接続部21側に形成されたカートリッジ側フィルター18と、から構成されている。フォーム部17は、例えば、スポンジ状の発泡素材等からなる多孔質材を用いて、底面積がカートリッジ接続部21の接続面の面積より僅かに小さい円柱状あるいは多角柱状に形成されている。そして、インク供給部16がカートリッジ接続部21に接続された状態で、インク貯留部15からのインクは毛細管力によりフォーム部17内を浸透し、記録ヘッド2側に流入する。また、フォーム部17の底面は、カートリッジ側フィルター18により覆われている。詳しくは、カートリッジ側フィルター18は、フォーム部17の底面よりも僅かに大きく形成され、その全面を覆うことができるフィルター部18a本発明における第2フィルター部材に相当と、一端が当該フィルター部18aの周縁の一部に接続されると共に、他端がインク貯留部15の底面に固定される固定部18bとから構成される。この固定部18bは、例えば、フィルター部18aの厚みよりも細い針状の部材からなり、フィルター部18aの四方の端部に、それぞれの先端を当該端部側に折り曲げた状態で固定している。これにより、フォーム部17の底面が位置決めされる。そして、本実施形態では、カートリッジ側フィルター18のフィルター部18aの空隙率は、後述するヘッド側フィルター23よりも高くなるように設定されている。例えば、フィルター部18aおよびヘッド側フィルター23は、ナイロン、ガラス、ポリエステル、ポリエチレン等の繊維、またはこれらを組み合わせたものを原料とした不織布が用いられるが、この繊維間の平均間隔をヘッド側フィルター23よりもフィルター部18aの方が広くなるように設定される。インクカートリッジ3のインク供給部16と接続されるカートリッジ接続部21は、記録ヘッド2の上部インクカートリッジ3側、例えば、記録ヘッド2の上部に備えられたカートリッジホルダー図示を省略に設けられている。このカートリッジ接続部21は、インクカートリッジ3からのインクを受け入れるインク導入口22液体導入口と、インク導入口22の上端側の開口部を塞ぐヘッド側フィルター23本発明における第1フィルター部材に相当とを有している。インク導入口22は、上方から下方に向けて内径が次第に小さくなる漏斗状に形成されている。また、インク導入口22の下側は、後述するインク導入路30と連通する。ヘッド側フィルター23は、上記したようにフィルター部18aよりも空隙率の低い繊維等からなる不織布が用いられ、インク導入口22に流入するインクを濾過する。このヘッド側フィルター23の上面カートリッジ側フィルター18側の面が、フィルター部18aと接続される接続面となる。すなわち、インクカートリッジ3をカートリッジホルダーに装着すると、フィルター部18aがヘッド側フィルター23に対して押し当てられた状態で接続される。これにより、インク貯留部15の内部に貯留されたインクが、フォーム部17、フィルター部18aおよびヘッド側フィルター23を介して記録ヘッド2内に供給される。そして、本実施形態のプリンター1では、フィルター部18aとヘッド側フィルター23との接続部分の周囲、詳しくは、インク供給部16及びヘッド側フィルター23の周囲には、これらを囲んで封止可能な封止部材25が設けられている。この封止部材25は、樹脂等により上面を開放した中空トレイ状に形成されている。より詳しく説明すると、封止部材25は、ヘッド側フィルター23の下方であって、インク導入口22の上端側の開口部の縁から側方に向けて鍔状に延出した円形状あるいは多角形状の底面部25aと、この底面部25aの周縁から起立した側壁25bと、この側壁25bの上端に形成されたシール樹脂25cとから構成されている。側壁25bの高さは、インク供給部16フォーム部17およびフィルター部18aとほぼ同じ高さに揃えられている。このため、インク供給部16とカートリッジ接続部21とを接続すると、シール樹脂25cがインク貯留部15の底面に密着すると共に、底面部25aと側壁25bおよびシール樹脂25cとから構成される内部空間26内にインク供給部16が収容される。すなわち、フィルター部18aとヘッド側フィルター23とを接続すれば、これらの周囲が内部空間26内に封止される。また、封止部材25の側壁25bの下部には、インクや気体が流通できる排出管27の一端が接続されて、内部空間26と連通している。この排出管27の他端は、ポンプ28本発明における減圧手段に相当に連通している。これにより、内部空間26を封止した状態でポンプ28を動作させることで、排出管27を通じて内部空間26内を減圧することができる。次に、本実施形態の記録ヘッド2について説明する。記録ヘッド2は、ヘッドケース、流路形成基板、ノズルプレート等を積層して構成される。この記録ヘッド2の内部には、インク導入路30、リザーバー31、圧力室32、連通室33、及びノズル34に至るまでのインク流路と、圧力発生手段の一種として機能する圧電振動子35と、が設けられている。インク導入路30は、一端上流端がインク導入口22に連通し、他端がリザーバー31に連通した一連の流路である。リザーバー31は、ノズル列方向に沿って長尺な空部であり、当該リザーバー31の短尺方向において、インク導入路30とは反対側の端部で各圧力室32と連通している。したがって、リザーバー31内のインクは、各圧力室32にそれぞれ供給される。なお、リザーバー31と各圧力室32の連通部分は、圧力室32よりも狭い幅で形成されており、リザーバー31から圧力室32に流入するインクに対して一定の流路抵抗を付与している。圧力室32は、ノズル34の列設方向ノズル列方向に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、圧力室32を挟んでリザーバー31とは反対側には、連通室33が形成されている。連通室33は、一端上流端が圧力室32に連通し、他端がノズル34に連通した流路である。そして、ノズル34は記録ヘッド2の下面に開口している。このため、圧力室32内のインクに圧力変動が生じると、連通室33を通じてノズル34からインクが噴射される。なお、ノズル34は、ドット形成密度に対応したピッチ例えば180dpiで複数例えば、180個副走査方向に沿って列状に穿設されている。また、記録ヘッド2の下面が本発明におけるノズル形成面36に相当する。また、圧力室32の上面には、可撓性を有する振動板37が設けられている。この振動板37の圧力室32とは反対側の面には、圧電振動子35が配設されている。本実施形態の圧電振動子35は、所謂撓み振動モードの圧電振動子35であり、駆動電極と共通電極とによって圧電体を挟んで構成されている図示を省略。そして、圧電振動子35の駆動電極に駆動信号が印加されると、駆動電極と共通電極との間には電位差に応じた電場が発生する。この電場は圧電体に付与され、この電場の強さに応じて圧電体が変形する。そして、この変形により、圧力室32内の容積が変化し、圧力室32内のインクの圧力が変動する。そして、上記構成の記録ヘッド2では、カートリッジ接続部21ヘッド側フィルター23にインクカートリッジ3のインク供給部16フィルター部18aを接続することで、カートリッジ接続部21を通じてインクをインク導入路30からリザーバー31内に取り込むことができる。記録ヘッド2に取り込まれたインクは、リザーバー31を通じて、各圧力室32を満たす。そして、各圧力室32がインクで満たされた状態で、上記のように圧電振動子35を作動させると、圧力室32の容積が変化し、この圧力変動を制御することで、ノズル34からインク滴が噴射吐出される。ところで、カートリッジ接続部21とインク供給部16を接続する際に、ヘッド側フィルター23とカートリッジ側フィルター18との間に気泡が残ることがある。しかしながら、本実施形態では、上記のように構成したので、ヘッド側フィルター23とフィルター部18aとの間に気泡が生じたとしても、ポンプ28を作動させて封止部材25の内部空間16を減圧することで当該接続部分からフィルター部18aを介して気泡を吸引排出することができる。これにより、気泡が記録ヘッド2内に侵入することを防止できる。また、気泡の排出に伴って排出されるインクを、多くとも接続部分に存在するインクだけに限定することができる。これにより、無駄にインクが消費されることを抑制できる。さらに、ヘッド側フィルター23の空隙率をフィルター部18aに比べて低くしたので、記録ヘッド2内のインクがヘッド側フィルター23を介して排出されることを抑制できる。ところで、上記した第1の実施形態では、専用のポンプ28を用いて封止部材の内部空間を減圧可能に構成したが、これには限られない。図3に示す、第2の実施形態では、クリーニング動作時において、ノズル形成面36を封止したキャッピング部材11の内部空間を吸引するキャップ用ポンプ39本発明における吸引手段に相当を、封止部材25の内部空間26を減圧するポンプとして用いるように構成している。すなわち、キャップ用ポンプ39は、一端が封止部材25の内部空間26に連通した排出管27の他端、および一端がキャッピング部材11の内部空間に連通したキャップ用廃液管40の他端の両方に連通している。そして、キャッピング部材11の内部空間を減圧する場合は、図示しない弁等によって排出管27を閉じてからキャップ用ポンプ39を駆動し、封止部材25の内部空間26を減圧する場合は、図示しない弁等によってキャップ用廃液管40を閉じてからキャップ用ポンプ39を駆動する。このように、キャッピング部材11の内部空間を吸引するためのキャップ用ポンプ39を封止部材25の内部空間26を減圧するポンプとして利用したので、プリンター1の構造を簡略化することができると共に、製造コストを低減することができる。なお、その他の構成等は、第1の実施形態のプリンター1と同じであるため、説明を省略する。ところで、カートリッジ側フィルターのフィルター部としては、一部に空隙率の異なる部分を有するものを用いることもできる。例えば、図4に示す、第3の実施形態のカートリッジ側フィルター18′のフィルター部18a′は、当該フィルター部18a′における他の部分よりも空隙率を高くした気泡導出部42を板厚方向に貫通させている。すなわち、フィルター部18a′は、空隙率の高い気泡導出部42本発明における第1の気泡導出部に相当と、空隙率が気泡導出部42より低い他の部分本発明における第2の気泡導出部に相当とを有している。この気泡導出部42は、フィルター部18a′とヘッド側フィルター23との接続部分を封止部材25により封止した状態でこの内部空間26内を減圧する際に、接続部分に発生した気泡が積極的に通過する部分である。例えば、フィルター部18a′として繊維等からなる不織布を用いた場合は、気泡導出部42における繊維間の平均間隔を他の部分よりも広くなるように設定する。なお、フォーム部17側からのインクは、気泡導出部42およびそれ以外の部分の両方、すなわち、フィルター部18a′の面全体を通過して、カートリッジ接続部21に導入される。また、本実施形態の気泡導出部42は、フィルター部18a′の中央側から外縁側に向けて中央部から周縁部に亘って形成されている。例えば、図5aに示すフィルター部18a′では、フィルター部18a′の中心と外部の空間封止部材25の内部空間26とを繋ぐ筋状の気泡導出部42を、当該フィルター部18a′の中心から外周に向けて八方放射状に形成している。また、図5bに示すフィルター部18a′では、筋状の気泡導出部42を当該フィルター部18a′の中心から外周に向けて渦巻き状に形成している。これらのフィルター部18a′では、このフィルター部18a′とヘッド側フィルター23との接続部分において、当該接続部分の中心付近に気泡が発生したとしても、この接続部分を封止する内部空間26を減圧することで、この気泡を、筋状の気泡導出部42を通じて容易に排出することができる。なお、フィルター部18a′を固定する固定部18b′は、フィルター部18a′の端部において、気泡導出部42以外の部分に接続されている。このように、第3の実施形態では、空隙率の高い気泡導出部42を介して気泡を排出できるため、気泡の排出効率を上げることができる。特に、気泡導出部42を、フィルター部18a′の中央側から外縁側に向けて形成したので、接続部分の中央側の気泡も効率よく排出することができる。これにより、無駄に液体が消費されることをより一層抑制できる。なお、その他の構成等は、上記した各実施形態のプリンター1と同じであるため、説明を省略する。なお、気泡導出部42に関し、例示したものには限られず、例えば、多数の微小な気泡導出部42をフィルター部18a′の全面に分布させても良い。この場合、気泡導出部42の分布密度が、フィルター部18a′の中央側ほど高くなり、外周側に向けて低くなるようにすることが望ましい。さらに、本発明は、上記各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、上記各実施形態では、圧力発生手段として、所謂撓み振動型の圧電振動子を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電振動子を採用することも可能である。さらに、圧力発生手段としては圧電振動子には限らず、圧力室内に気泡を発生させる発熱素子や静電気力を利用して圧力室の容積を変動させる静電アクチュエーター等の各種圧力発生手段を用いる場合にも本発明を適用することができる。そして、本発明は、圧力発生手段を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射装置の液体噴射ヘッドであれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等に用いられる液体噴射ヘッドにも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからRRedGGreenBBlueの各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。