搬送対象の基板を載置して、該基板を所定の搬送方向に沿って搬送する搬送部と、前記搬送部で搬送される前記基板の撮像処理を行う撮像処理部と、を有する基板画像取得装置において、前記搬送方向に沿って配列され、略円柱状をなし、該円柱の中心軸を回転軸として自転可能な複数のローラと、前記複数のローラの少なくとも一端側に設けられ、各ローラを連結駆動する連結機構と、前記複数のローラから選択されたローラに接続し、接続したローラを回転させる駆動用モータと、隣り合う任意の2つのローラの間で搬送中の前記基板と接触しながら回転する回転板を有し、該回転板の回転量に基づいて前記基板の移動量を検出するローラエンコーダと、前記基板の前記移動量に基づいて前記撮像処理部に前記基板の撮像を行わせる撮像制御部と、前記撮像処理部が撮像した基板画像の画像信号を取得する画像取得部と、を備えたことを特徴とする基板画像取得装置。前記ローラエンコーダは、前記中心軸方向の端部側で前記基板の表面または裏面の少なくとも一方に設けられることを特徴とする請求項1に記載の基板画像取得装置。前記ローラエンコーダは、前記中心軸方向の中央部で前記基板の表面または裏面の少なくとも一方に設けられることを特徴とする請求項1に記載の基板画像取得装置。前記連結機構は、前記ローラの両端側にそれぞれ設けられ、前記ローラエンコーダは、前記回転板が2つの前記ローラと各連結機構とに囲まれた領域に設けられることを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載の基板画像取得装置。前記撮像処理部は、前記回転板が前記基板と接触する領域と異なる領域において前記基板を撮像することを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載の基板画像取得装置。しかしながら、特許文献1が開示するプリント基板搬送装置では、基板が、エンコーダとベルトとの間で固定された状態で搬送されるため、搬送中に生じた振動等が基板に伝わると、固定部分に負荷が加わり、基板が損傷してしまうおそれがあった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、搬送中の基板の移動量を正確に検知するとともに、基板の損傷を防止することが可能な基板画像取得装置を提供することを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる基板画像取得装置は、搬送対象の基板を載置して、該基板を所定の搬送方向に沿って搬送する搬送部と、前記搬送部で搬送される前記基板の撮像処理を行う撮像処理部と、を有する基板画像取得装置において、前記搬送方向に沿って配列され、略円柱状をなし、該円柱の中心軸を回転軸として自転可能な複数のローラと、前記複数のローラの少なくとも一端側に設けられ、各ローラを連結駆動する連結機構と、前記複数のローラから選択されたローラに接続し、接続したローラを回転させる駆動用モータと、隣り合う任意の2つのローラの間で搬送中の前記基板と接触しながら回転する回転板を有し、該回転板の回転量に基づいて前記基板の移動量を検出するローラエンコーダと、前記基板の前記移動量に基づいて前記撮像処理部に前記基板の撮像を行わせる撮像制御部と、前記撮像処理部が撮像した基板画像の画像信号を取得する画像取得部と、を備えたことを特徴とする。また、本発明にかかる基板画像取得装置は、上記の発明において、前記ローラエンコーダは、前記中心軸方向の端部側で前記基板の表面または裏面の少なくとも一方に設けられることを特徴とする。また、本発明にかかる基板画像取得装置は、上記の発明において、前記ローラエンコーダは、前記中心軸方向の中央部で前記基板の表面または裏面の少なくとも一方に設けられることを特徴とする。また、本発明にかかる基板画像取得装置は、上記の発明において、前記連結機構は、前記ローラの両端側にそれぞれ設けられ、前記ローラエンコーダは、前記回転板が2つの前記ローラと各連結機構とに囲まれた領域に設けられることを特徴とする。また、本発明にかかる基板画像取得装置は、上記の発明において、前記撮像処理部は、前記回転板が前記基板と接触する領域と異なる領域において前記基板を撮像することを特徴とする。本発明によれば、搬送中の基板と接触しながら回転する回転板を有するローラエンコーダにおいて、少なくとも回転板が、隣り合う任意の2つのローラと2つの連結機構とに囲まれた領域を含み、配列されたローラを通過する平面と直交する略柱状の領域で搬送中の基板と接触しながら回転し、この回転板の回転量に基づいて基板の移動量を検出するようにしたので、搬送中の基板の移動量を正確に検知するとともに、基板の損傷を防止することができるという効果を奏する。以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎない。従って、本発明は各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。まず、本発明の実施の形態にかかる基板画像取得装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、基板画像取得装置として基板の検査を行うフラットパネルディスプレイFPDの搬送に用いられる装置を例に挙げて説明する。基板画像取得装置は、例えば製造装置等に直結するインライン型であって、2つの製造装置間を連結するための搬送装置として用いられる。図1は、本実施の形態にかかる基板画像取得装置の構成を示す模式図である。図2は、本実施の形態にかかる基板画像取得装置の要部の構成を模式的に示す上面図である。図3は、本実施の形態にかかる基板画像取得装置の構成を示す側視図である。図1に示すように、基板画像取得装置1は、搬送された矩形をなす基板Wの欠陥を検出する基板処理部2と、基板処理部2全体の制御を行う制御機構3と、を備える。基板処理部2は、基板Wを搬送方向Dに沿って搬送する搬送部21と、移動する基板Wの画像を撮像する撮像処理部22と、基板Wと接触することによって基板Wの移動量を検出するローラエンコーダ23と、を備える。なお、基板処理部2は、搬送方向Dに沿った両端部で搬送対象の製造装置とそれぞれ接続する。搬送部21は、基板の搬送方向Dに沿って配列され、略円柱状をなし、この円柱の中心軸を回転軸として自転可能な複数のローラ21aと、複数のローラ21aの両端側にそれぞれ設けられる2つの連結機構21bと、複数のローラ21aから選択されたローラ21a本実施の形態では1つに接続し、接続したローラ21aを回転させる駆動用モータ21cと、を有する。本実施の形態では、2つの連結機構21bは、各ローラ21aの同じ側の端部とそれぞれ接触して複数のローラ21aを周回するベルトを用いた例で説明する。なお、連結機構21bベルトは、基板Wに接触しないように設けられる。駆動用モータ21cは、制御部31の制御のもとで駆動し、駆動による回転動力を、連結するローラ21aに伝える。搬送部21には、搬送経路上に設定され、ローラ21aの軸方向に平行な撮像ラインL1が設けられている。なお、各ローラ21aは、基板Wの撓み振動が発生しにくい間隔ピッチで配置されることが好ましい。また、2つの連結機構21b間の長さ搬送方向Dに垂直な方向の長さ幅は、載置される基板Wにおける同一方向の長さ幅より大きい。撮像処理部22は、搬送部21に設けられた撮像ラインL1を通過する基板Wに対して、図示しない照明部材からの照明光による基板Wからの反射光を取り込んで、基板Wの全体画像を取得するラインスキャンCCDカメラからなる。ラインスキャンCCDカメラは、基板Wが反射した照明部材からの反射光を取り込める位置に配設される。なお、ラインスキャンCCDカメラは、照明部材が照射する照射光に対して、正反射光を取得するものであってよいし、散乱光を取得するものであってもよい。取得する光に応じてラインスキャンCCDカメラの位置、角度は適宜変更可能である。照明部材は、例えば搬送部21の幅方向に延び、基板Wを照明する線状光源を有する。ローラエンコーダ23は、搬送中の基板Wと接触しながら回転する回転板23aを有する。回転板23aは、円板状をなし、板面の中心で搬送方向Dに垂直な方向に延びる軸によって支持され、接触する基板Wの移動に連動して回転する。ローラエンコーダ23は、回転板23aの回転量を基板Wの移動量として制御部31に出力する。ここで、ローラエンコーダ23は、ローラ21aの中心軸方向の端部側であって、搬送方向Dの撮像ラインL1が設けられている2つのローラ21a間より上流側のローラ21a間に設けられる。また、回転板23aは、少なくとも基板Wと接触する側面がゴムや摩擦係数の大きい樹脂等によって被覆されている。これにより、回転板23aと基板Wとの間におけるすべりを防止し、基板Wの移動に追従して回転板23aを回転させることができる。基板処理部2は、例えばブロック状の大理石やスチール材を組み合わせたフレームなど、耐震性の高い部材によって構成される架台に固定されることが好ましい。加えて、架台と設置面例えば床との間には、例えばスプリングや油圧ダンパなどで構成された振動吸収機構が設けられていればより好ましい。これにより、基板処理部2の振動がさらに防止される。また、基板画像取得装置1が、少なくとも基板処理部2を囲んで設けられるクリーンな空気以下、クリーンエアというを送り込むFFUFanFilterUnitを有する外装を備えていれば、クリーンルームを形成することができるので好ましい。このクリーンルームは、基板の搬入口および搬出口ならびに下部のダクト以外、密閉された内部空間である。FFUは、例えば、パーティクルなどのダストが除去されたクリーンエアを送出する。この結果、特に撮像処理部22の配設領域を、ダストの少ないクリーンな状態とする。また、撮像処理部22近傍に集中して送出されたクリーンな空気は、クリーンルーム内でダウンフローを形成したのち、ダクトから排気される。制御機構3は、制御部31、画像取得部32、記憶部33および表示部34を備える。制御機構3は、ROM、RAM、通信機能等を備えたコンピュータで実現される。制御部31は、基板画像取得装置1全体の制御を行う。画像取得部32は、撮像処理部22のラインスキャンCCDカメラが撮像した基板Wの画像全体画像の画像信号画像データを取得する。記憶部33は、情報を磁気的に記憶するハードディスクと、基板画像取得装置1が処理を実行する際にその処理にかかわるプログラムを含む各種プログラムをハードディスクからロードして電気的に記憶するメモリとを用いて構成される。また、記憶部33は、画像取得部32が取得した画像データを記憶する。表示部34は、ディスプレイ等を用いて構成され、記憶部33が記憶する画像データ等をもとに画像の表示を行う。また、制御部31は、撮像処理部22の撮像タイミングを制御する撮像制御部31aを有する。撮像制御部31aは、制御部31に出力されるローラエンコーダ23からの基板Wの移動量の情報をもとに、撮像処理部22に対して撮像を指示する撮像開始信号を出力する。撮像処理部22は、この撮像開始信号をトリガとして基板Wの撮像を行う。上述した基板画像取得装置1では、外部から搬送部21に搬入された基板Wに対して、制御部31の制御のもと、ローラ21aが回転することで基板Wが搬送方向Dに搬送されるとともに、基板Wと接触した回転板23aを介してローラエンコーダ23が基板Wの移動量を検出し、この移動量をもとに撮像制御部31aが撮像処理部22に撮像開始信号を出力して基板Wの撮像を行わせることによって、基板Wの所定の移動量ごとに基板Wの画像を取得する。このとき、ローラエンコーダ23は、隣り合う任意の2つのローラ21aの間で基板Wに接触するように設けられる。具体的には、回転板23aと基板Wとの接触点が、隣り合う任意の2つのローラ21aと2つの連結機構21bとに囲まれた領域を含み、配列されたローラを通過する平面と直交する略柱状の領域、例えば、領域E1に位置するように設けられている。このため、搬送中に生じた振動等がローラ21aを介して基板Wに伝わった場合であっても、ローラ21aの基板Wの支持位置と回転板23aの基板Wの接触位置とが異なるため、振動は回転板23aの接触位置に到達するまでに減衰し、基板Wの損傷を防止することができる。また、基板Wにおいて、ローラ21aおよび回転板23aの基板Wの接触面と対向する面側は、回転板23aまたはローラ21aとは接触していないフリーの状態であり、伝搬する振動に対して、ローラ21aおよび回転板23aのそれぞれの支持位置において基板Wを両面側から押さえ込むことがないため、基板Wの損傷を防止することができる。また、ローラエンコーダ23は、撮像ラインL1が設けられていないローラ21a間に設けられている。このため、基板Wは、回転板23aとの接触時に加えられる荷重に応じて撓んだ場合であっても、撮像ラインL1に到達する前にローラ21aに接触して支持される。これにより、ローラエンコーダ23回転板23aからの荷重による基板Wの撓みは解消され、撮像処理部22は、撮像ラインL1において撓みのない基板Wを撮像することができる。上述した実施の形態では、搬送中の基板と接触しながら回転する回転板を有するローラエンコーダにおいて、少なくとも回転板が、隣り合う任意の2つのローラと2つの連結機構とに囲まれた領域を含み、配列されたローラを通過する平面と直交する略柱状の領域で搬送中の基板と接触しながら回転し、この回転板の回転量に基づいて基板の移動量を検出するようにしたので、搬送中の基板の移動量を正確に検知するとともに、基板を損傷させることなく搬送することができる。また、撮像ラインが設けられていないローラ間にローラエンコーダを設け、搬送方向に搬送される基板に対して直接接触して移動量を検出するとともに、ローラエンコーダが加えた荷重により基板が撓んだ場合であっても、ローラによってその撓みを解消するようにしたので、搬送中の基板の移動量を正確に検知するとともに、確実に撮像することができる。なお、本実施の形態では、インライン型の基板画像取得装置に適用されるものとして説明したが、ラインスキャンCCDカメラが固定され、基板を搬送させて画像を取得するものであれば、オフライン型の基板画像取得装置にも適用可能である。また、連結機構21bとしてベルトを用いた例で説明したが、複数のローラを連結駆動させるものであれば、ベルト以外に、ギアやマグネットなどの構成を用いた連結機構を用いてもよい。また、駆動部21bは必ずしも連結機構21bの両端側に設ける必要はなく、複数のローラ21の一端側のみに設ける構成としてもよい。さらにローラ21は略円柱状の部材に限らず、シャフトと、このシャフトを回転軸として回転可能な円柱状のコロ、プーリ等を複数設けた構成としてもよい。図4は、本実施の形態の変形例1にかかる基板画像取得装置の要部の構成を模式的に示す上面図である。なお、図1等で上述したものと同じ構成要素には同じ符号を付してある。変形例1では、ローラエンコーダ23が、ローラ21aの軸方向の中央部に位置するように設けられる。変形例1では、ローラエンコーダ23がローラ21aの幅方向の中央部に配設され、回転板23aが基板Wの幅方向の中心部と接触し、基板Wに加わる回転板23aからの荷重が基板Wに対して幅方向で均等になるため、撓み等による基板Wの損傷をより確実に防止することが可能となる。図5は、本実施の形態の変形例2にかかる基板画像取得装置の構成を示す側視図である。なお、図1等で上述したものと同じ構成要素には同じ符号を付してある。変形例2では、ローラエンコーダ23が、ローラ21aに支持された基板Wに対して下方から接触するように設けられる。変形例2では、ローラエンコーダ23がローラ21aに支持された基板Wに対して下方から接触するように配設されるため、回転板23aは、上述した構成と比して小さい荷重で基板Wの移動量を検出することができる。また、基板Wの支持方向に荷重を加えるため、一段と安定して基板Wを搬送することができる。なお、変形例2にかかるローラエンコーダ23のローラ21aに対する位置は、上述した実施の形態のようにローラ21aの軸方向の端部側であってもよいし、変形例1のように中央部であってもよい。以上のように、本発明にかかる基板搬送装置は、搬送中の基板の移動量を正確に検知するとともに、基板を損傷させることなく搬送することに有用である。