インクを収容し、インクを吐出するノズルを有する2以上の圧力室と、前記圧力室に連通し、前記圧力室に供給されるインクが流れるインク供給流路と、前記圧力室に連通し、前記圧力室から排出されたインクが流れるインク排出流路と、前記圧力室のそれぞれと、前記インク供給流路とを接続するインク入口流路と、前記圧力室のそれぞれと、前記インク排出流路とを接続するインク出口流路と、前記圧力室ごとに配置され、前記圧力室内のインクに圧力を加えるアクチュエータと、を有するインクジェットヘッドであって、前記インク出口流路の内面は凹凸を有する、インクジェットヘッド。前記インク入口流路の内面は凹凸を有する、請求項1に記載のインクジェットヘッド。前記凹凸は弾性部材からなる、請求項1に記載のインクジェットヘッド。前記インク入口流路およびインク出口流路は直線状であり、前記インク入口流路と前記圧力室との接続部と、前記インク出口流路と前記圧力室との接続部とは対向し、前記インク入口流路を通過する直線は、前記インク出口流路も通過する、請求項1に記載のインクジェットヘッド。前記インク入口流路および前記インク出口流路は、それぞれ、前記圧力室に向けて流れるインクのエネルギー損失よりも、前記圧力室から流れ出るインクのエネルギー損失を大きくする形状に形成されている、請求項1に記載のインクジェットヘッド。請求項1に記載のインクジェットヘッドを有するインクジェット装置。しかしながら、特許文献2のように、圧力室と連通したインク排出流路を設けた場合、アクチュエータの駆動によって圧力室内で生じた圧力波が、インク排出流路に伝搬することがあった。特許文献2に開示されたようなインク循環型インクジェットヘッドでは、圧力室内をインクがインク排出流路に向かって流れるので、アクチュエータの駆動によって圧力室内で生じた圧力波は、インクの流れに乗ってインク排出流路に伝搬しやすいからである。インク排出流路に伝搬した圧力波は、他の圧力室まで伝搬し、他の圧力室におけるインクの吐出に影響を与えてしまう。このように、1つの圧力室内で生じた圧力波が、他の圧力室におけるインクの吐出に影響を与えることはクロストークと称される。クロストークが生じると、圧力室間で吐出するインク滴の量が不安定になったり、インクの吐出ピッチが不安定になったりする。このため、従来のインク循環型インクジェットヘッドでは、クロストークによってインクを高精度に吐出することができなかった。これに対し、特許文献3~5に開示されたようにインク共通室インク供給流路またはインク排出流路の内面に凹凸を設けることでクロストークを抑えることも考えられる。しかし、特許文献3~5に開示されたようにインク共通室の内面の凹凸で、圧力室からインク共通室に伝搬した圧力波を減衰する方法では、圧力室で生じた圧力波がインク共通室に伝搬することを防止することができない。圧力室内で生じた圧力波がインク共通室に伝搬すると、インク共通室の圧力が不安定になり、圧力室にインクが安定して供給されなかったり、圧力室内のインクの循環が不安定になったり、インクの吐出が不安定になったりする。本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、クロストークが小さく、かつ圧力室内のインクの循環がスムーズなインク循環型インクジェットヘッドを提供することを目的とする。本発明者は、圧力室とインク排出流路とを接続するインク出口流路の内面に凹凸を設けることで、圧力室間のクロストークを抑制しつつ、かつインク排出流路内の圧力が安定することを見出し、さらに検討を加え発明を完成させた。すなわち本発明は、以下に示すインクジェットヘッドに関する。[1]インクを収容し、インクを吐出するノズルを有する2以上の圧力室と、前記圧力室に連通し、前記圧力室に供給されるインクが流れるインク供給流路と、前記圧力室に連通し、前記圧力室に供給されるインクが流れるインク供給流路と、前記圧力室のそれぞれと、前記インク供給流路とを接続するインク入口流路と、前記圧力室のそれぞれと、前記インク排出流路とを接続するインク出口流路と、前記圧力室ごとに配置され、前記圧力室内のインクに圧力を加えるアクチュエータと、を有するインクジェットヘッドであって、前記インク出口流路の内面は凹凸を有する、インクジェットヘッド。[2]前記インク入口流路の内面は凹凸を有する、[1]に記載のインクジェットヘッド。[3]前記凹凸は弾性部材からなる、[1]または[2]に記載のインクジェットヘッド。[4]前記インク入口流路およびインク出口流路は直線状であり、前記インク入口流路と前記圧力室との接続部と、前記インク出口流路と前記圧力室との接続部とは対向し、前記インク入口流路を通過する直線は、前記インク出口流路も通過する、[1]~[3]のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。[5]前記インク入口流路および前記インク出口流路は、それぞれ、前記圧力室に向けて流れるインクのエネルギー損失よりも、前記圧力室から流れ出るインクのエネルギー損失を大きくする形状に形成されている、[1]~[4]のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。[6][1]~[5]のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを有するインクジェット装置。本発明によれば、圧力室間のクロストークを抑制し、かつ圧力室内をインクがスムーズに循環することができる。1.本発明のインクジェットヘッド本発明のインクジェットヘッドは、複数の圧力室を有するドロップオンデマンド型の圧電式インクジェットヘッドである。ドロップオンデマンド型のインクジェットヘッドは、入力信号に応じて必要なときに必要な量のインクを塗布することができる。また、本発明のインクジェットヘッドは、圧力室内をインクが流れるインク循環型のインクジェットヘッドである。本発明のインクジェットヘッドは、1複数の圧力室と、2インク供給流路と、3インク排出流路と、4複数のアクチュエータと、5インク入口流路およびインク出口流路と、を有する。以下、インクジェット装置のそれぞれの構成要素について説明する。1圧力室圧力室は、インク入口流路を介してインク供給流路と連通し、インク供給流路から供給されたインクを収容するための空間である。1のインク供給流路に連通する圧力室の数の最大数は、通常1024個である。複数の圧力室は、通常、一列に配列され、圧力室同士は直接連通しない。また、隣接する圧力室同士の間隔は、50~200μmである。また圧力室は、収容されたインクを吐出するためのノズルを有する。ノズルは、外部と連通した、吐出口である。1つの圧力室は、1つのノズルを有してもよいし、2以上のノズルを有していてもよい。圧力室内のインクは、ノズルから外部に吐出される。ノズルの径は、特に限定されず、例えば10~100μm程度であり、約20μmでありうる。圧力室は、圧力室の底面を構成するノズルプレートと、圧力室の天面を構成する天井プレートと、ノズルプレートと天井プレートによって挟まれ、圧力室の側面を構成するスペーサと、を貼り合わせることで形成される図2参照。ここで圧力室の側面とは、圧力室の壁面のうちインクの吐出方向に平行な面を意味する。2インク供給流路インク供給流路は、インク入口流路を介して圧力室に連通し、圧力室に供給されるインクが流れる流路である。インク供給流路は、外部からインクが供給されるインク導入口を有する。インク供給流路内を流れるインク供給量は、特に限定されず、数ml/minであっても、それ以上であってもよい。インク供給流路を流れるインクは、分配され、複数の圧力室のそれぞれに供給される。インク供給流路内を流れるインクの種類は、特に限定されず、インクの塗布によって得られる製造物の種類によって適宜選択される。例えば、前記製造物が有機ELパネルや液晶パネルである場合、インクの例には、発光材料などの有機発光物質を含む溶液などの高粘度のインクが含まれる。3インク排出流路インク排出流路は、インク出口流路を介して圧力室に連通し、圧力室から排出されたインクが流れる流路である。圧力室とインク排出流路とはインク出口流路によって接続されている。インク排出流路は、通常、インク供給流路へ、インクを供給するように接続される。インク排出流路は、外部にインクを排出するためのインク排出口を有していてもよい。また、インク排出流路内のインクの流れの方向は、通常、インク供給流路を流れるインクの流れの方向と平行である。4アクチュエータアクチュエータは、駆動電圧を含む制御信号を実際の動きに変換し、各圧力室内のインクに圧力を加える作動装置である。本発明におけるアクチュエータは、薄膜ピエゾ素子であっても、積層ピエゾ素子であってもよいが、積層ピエゾ素子であることが好ましい。薄膜ピエゾは、入力に対する出力応答が速いが、出力が低くなりがちである。そのため、薄膜ピエゾの駆動は、吐出するべきインクの粘度によってばらつきやすい。一方、積層ピエゾは、入力に対する出力応答が遅いが、出力を高めやすい。そのため積層ピエゾは、吐出するべきインクの粘度に影響を受けにくく、安定して駆動することができる。積層ピエゾ素子の高さ積層方向の長さは、通常、100~1000μmである。積層ピエゾは、ピエゾプレート上にチタン酸ジルコニウム酸鉛PZTのシートと導電膜とを複数積層して駆動体を作製し、そして駆動体を分割することで作製されればよい。駆動体を分割するには、回転ブレードが組み込まれたダイシング装置を用いればよい。アクチュエータは、圧力室の壁面を変位させる。アクチュエータが圧力室の壁面を変位させることで、圧力室内の圧力を制御する。これにより圧力室内にインクを補給したり、ノズルからインクを吐出させたりする。アクチュエータが変位させる圧力室の壁面は、圧力室の天面であってもよいし、圧力室の側面であってもよい。また、アクチュエータが変位させる圧力室の壁面は、振動板ダイヤフラムであってもよい。また、アクチュエータの頂面が圧力室の壁面を構成してもよい。5インク入口流路およびインク出口流路インク入口流路は、インク供給流路と圧力室とを接続する流路であり;インク出口流路は圧力室とインク排出流路とを接続する流路である。より具体的には、インク入口流路は、インク供給流路と圧力室との間のインク流路のうち、横断面インクの流れ方向に垂直な断面の面積以下単に横断面積とも称するが、圧力室よりも小さい領域を意味し;インク出口流路は、圧力室とインク排出流路と圧力室との間のインク流路のうち、横断面積が圧力室よりも小さい領域を意味する。また、インク入口流路およびインク出口流路において、横断面積が最も小さい領域はオリフィスとも称される。インク入口流路およびインク出口流路は、屈曲していても直線状であってもよいが、直線状であることが好ましい。インク入口流路およびインク出口流路が、屈曲すると、インク入口流路およびインク出口流路の流路抵抗が増加し、インクジェットヘッド内をインクが循環しにくくなるからである。インク入口流路の長さは特に限定されないが、例えば、0.5~5.0mmである。同様にインク出口流路の長さは特に限定されないが、例えば0.5~4.0mmである。また、インク出口流路の横断面積は、インク入口流路の横断面積と同じであってもよいが、インク出口流路の横断面積は、インク入口流路の横断面積よりも小さいことが好ましい図3参照。具体的には、インク入口流路の横断面積は、1000~7500μm2であり、インク出口流路の横断面積は、500~5000μm2であり、インク出口流路の横断面積は、インク入口流路の横断面積よりも、500~2500μm2小さいことが好ましい。このように、インク出口流路の横断面積を、インク入口流路の横断面積よりも小さくすることで、インク出口流路の流路抵抗を、インク入口流路の流路抵抗よりも大きくすることができる。これにより、インク出口流路から圧力室内にインクが逆流することを防止することができる。圧力室とインク入口流路との接続部以下入口接続部とも称するおよび圧力室とインク出口流路との接続部以下出口接続部とも称するの相対的な位置関係は、特に限定されない。例えば、出口接続部は、入口接続部よりもノズル側に位置してもよいし実施の形態1参照、入口接続部と出口接続部とは対向していてもよい実施の形態2参照。本発明では、インク出口流路の内面が凹凸を有することを特徴とする。また、本発明では、インク入口流路の内面も凹凸を有することが好ましい実施の形態2参照。このようにインク出口流路の内面に凹凸を設けると、アクチュエータの駆動によって圧力室内で生じた圧力波が、インク出口流路の内面の凹凸によって減衰され、インク排出流路に伝搬することを抑制することができる。前記凹凸の凸部の高さは、例えば1~30μmであり、凸部の幅は、例えば1~100μmである。前記凹凸はインク出口流路の内面の全面に設けられてもよいが、インク出口流路のうち前記凹凸が設けられた領域以下単に凹凸領域とも称するの長さ図5A符番109L’参照は、100~200μmであることが好ましい。凹凸領域の長さが100μm未満であると、圧力室内で生じた圧力波が、前記凹凸によって充分に減衰されない恐れがある。一方、凹凸領域の長さが200μm超であると、インク出口流路の圧力損失が増大し、インクが圧力室内からインク排出流路に流れにくくなり、インクが圧力室内に滞留する恐れがある。インク出口流路の内面に前記凹凸を設けるには、インク出口流路の内面自体を加工してもよいし、インク出口流路の内面に凹凸を有する膜を貼り付けてもよい。インク出口流路の内面自体を加工することで、インク出口流路の内面に前記凹凸を設けるには、インク出口流路の内面の所望の領域を例えばブラスト加工などによって粗面化すればよい。また、前記凹凸を有する膜は、弾性部材からなる膜の表面を加工することで作製されることが好ましい。すなわち、前記凹凸は弾性部材からなることが好ましい。弾性部材からなる凹凸は圧力波の吸収能力が高く、圧力波をより効果的に減衰することができるからである。弾性部材の例には、ゴムやプラスチック系またはアスファルト系の高分子材料が含まれる。このように、本発明では、1の圧力室内で生じた圧力波が、インク排出流路に伝搬することが抑制されるので、1の圧力室内で生じた圧力波が、他の圧力室まで伝搬することが抑制される。このため、本発明では圧力室間のクロストークが小さい。また、圧力波が、インク排出流路に伝搬することが抑制されるので、インク排出流路内の圧力も安定する。このため、本発明では、インクが、圧力室を通して、インク供給流路からインク排出流路にスムーズに循環することができる。前記インク入口流路および前記インク出口流路は、それぞれ、前記圧力室に向けて流れるインクのエネルギー損失よりも、前記圧力室から流れ出るインクのエネルギー損失を大きくする形状に形成されていることが、さらに前記圧力室の圧力を高める観点から好ましい。このような前記インク入口流路および前記インク出口流路以下、これらの流路の総称としてインク流路とも言うは、例えば、前記インク流路の横断面積が前記圧力室に向けて漸次減少する縮小部と、前記インク流路の横断面積が前記圧力室に向けて急激に拡大する拡大部とを含む。前記インク流路に配置される前記縮小部及び前記拡大部のセットの数は、単数でも複数でもよい。ここで、前記横断面積が漸次減少する縮小部と急激に拡大する拡大部とは、前記縮小部における断面積の変化の割合が、前記拡大部における断面積の変化の割合よりも小さいことを意味する。例えば、前記インク流路の軸方向に対する前記縮小部の傾きの絶対値は、前記拡大部の傾きの絶対値よりも小さい。この傾きの関係は、例えば、以下の方法で設定され得る図12参照。前記縮小部の始端r1を、前記インク流路の横断面積が前記圧力室に向かう方向に沿って縮小し始める位置とし;前記縮小部の終端r2を、前記インク流路の横断面積が前記圧力室に向かう方向に沿って縮小し終わる位置とする。また、前記拡大部の始端s1を、前記インク流路の横断面積が前記圧力室に向かう方向に沿って拡大し始める位置とし;前記拡大部の終端s2を、前記インク流路の横断面積が前記圧力室に向かう方向に沿って拡大し終わる位置とする。前記縮小部の始端r1と終端r2とを結ぶ線と、前記圧力室に向かう方向に沿って終端r2を終点とする、前記インク流路の軸に平行な直線との、前記縮小部の終端r2での交点における交差角度をαとする図12A~C参照。前記拡大部の始端s1と終端s2とを結ぶ線と、始端s1から前記圧力室に向かう方向に延出する、前記インク流路の軸に平行な直線との、前記拡大部の始端s1での交点における交差角度をβとする図12A~C参照。このとき、角度αを角度βよりも小さく設定するα<β。角度αは、90°未満であり、角度βは180°未満である。角度αは、10~80°であることが好ましく、30~60°であることがより好ましい。また、角度βは、80~170°であることが好ましく、90~120°であることがより好ましい。また角度αと角度βとの差β-αは、大きいほど、圧力室の圧力を高める観点から好ましく、例えば20~160°であることが好ましく、30~120°であることがより好ましい。また、前記インク流路の軸方向の断面において、前記縮小部は、直線、又は凸面状の曲線で形成されることが好ましい。前記断面における前記拡大部の形状は、凸面状の曲線で形成されないことが好ましいが、特に限定されない。また前記インク流路は、前記縮小部及び前記拡大部の間に、前記縮小部によって縮小された横断面積の流路を形成する直管部をさらに有していてもよい。前記直管部を有することは、前記圧力室の圧力を高める観点から好ましい。特に前記縮小部及び前記拡大部のセットが一つの場合に前記直管部を有することが、前記の観点から好ましい。前記縮小部及び前記拡大部は、例えば、前記インク入口流路及び前記インク出口流路の側壁に配置される特定形状の凸部によって形成することができる。或いは、前記縮小部及び前記拡大部は、前記インク入口流路及び前記インク出口流路中に配置される特定形状の島部によって形成することができる。なお前記縮小部及び前記拡大部は、同じ大きさや同じ形態の前記縮小部及び前記拡大部のみを含んでいてもよいし、異なる大きさや異なる形態の前記縮小部及び前記拡大部を含んでいてもよい。2.本発明のインクジェット装置について本発明のインクジェット装置は、前述のインクジェットヘッドを具備することを特徴とするが、それ以外は公知のインクジェット装置の部材を適宜有する。例えば、インクジェットヘッドを固定する部材や、インクを塗布する対象物を載置して移動するための移動ステージなどを有する。インクジェット装置は、インク循環装置を具備する。インク循環装置は、インクに駆動圧力を供給することでインクを循環させる。インクに駆動圧力を供給するには、ポンプを用いてもよいが、圧縮空気を利用して圧力を供給するレギュレータを用いることが好ましい。レギュレータを用いることで駆動圧力が一定になり、インクの循環速度が安定するからである。インクジェット装置は、インクジェットヘッドのインクを、装置作動中に絶えず循環させてもよいし、断続的に循環させてもよい。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明するが、本発明はこれらの実施の形態により限定されない。[実施の形態1]図2は、実施の形態1のインクジェットヘッド100の斜視図を示す。図2に示されるようにインクジェットヘッド100は、インク供給流路101と、インク排出流路102と、複数の圧力室110と、を有する。また、インク供給流路101はインク導入口103を有する。インク排出流路102はインク排出口104を有する。また、インクジェットヘッド100は、ノズルが形成されたノズルプレート120と、スペーサ123と、および天井プレートピエゾプレート121とを貼り合わせることで作製される。図3Aは、図2に示されたインクジェットヘッド100のA線による断面図である。図3Bは、図2に示されたインクジェットヘッド100のB線による断面図である。図3Aおよび図3Bにおける矢印は、インクの流れ方向を表す。図3Aおよび図3Bに示すように、インクジェットヘッド100は、インク入口流路107、インク出口流路108、アクチュエータ113をさらに有する。圧力室110は、ノズル111が形成されたノズルプレート120から構成される底面と、スペーサ123から構成される側面と、天井プレートピエゾプレート121から構成される天面とを有する。アクチュエータ113は、圧力室110の天面を形成する振動板130を振動させる。圧力室110は、インク入口流路107を介してインク供給流路101に連通しており、インク出口流路108を介してインク排出流路102に連通している。インク入口流路107およびインク出口流路108は、屈曲しない直線状の流路である。圧力室110とインク入口流路107との入口接続部107aおよび圧力室110とインク出口流路108との出口接続部108aは、圧力室110の側面に設けられている。図3Aおよび図3Bに示されるようにインク出口流路108の内面には、凹凸109が設けられている。図4は、インク出口流路108の内面に設けられた凹凸109の拡大図である。凹凸109における凸部の高さ109Tは1~30μmであり、凸部の幅109Wは1~100μmであることが好ましい。次に、図3Aおよび図3Bを参照しながら、本実施の形態のインクジェットヘッド100の動作について説明する。まず、インクタンク図示せずからインク供給流路101にインクを供給する。インクタンクは圧力調節機構図示せずを有することが好ましい。インクタンクが圧力調節機構を有することで、インクタンク内のインクが消費され、インクタンク内のインク液面が下がっても、インクタンクからインク供給流路101にインクを一定の圧力で供給することができる。圧力調節機構は、インクタンクの高さを調節し、インク液面の高さを一定にすることで、供給されるインクの圧力を一定にしてもよい。インク供給流路101に供給されたインクは、インク入口流路107を通じて圧力室110に供給される。圧力室110に供給されたインクは、さらにインク出口流路108を通ってインク排出流路102に排出される。このため、圧力室110内を、インクが入口接続部107aから、出口接続部108aにまで流れる。これにより、圧力室110内には常に新しいインクが供給される。次に、アクチュエータ113に駆動電圧を加える。これにより、アクチュエータ113が伸長し、振動板130がアクチュエータ113によってインクの吐出方向Xに押され、圧力室110の容量が縮小する。これにより、圧力室110内のインクに、吐出方向Xの圧力が加わり、インクがノズル111から吐出される。一方、アクチュエータ113の駆動によって生じた圧力波の一部は、圧力室110内を流れるインクの流れに乗ってインク出口流路108にも伝搬する。しかし、インク出口流路108に伝搬した圧力波は、インク出口流路108の内面に設けられた凹凸109によって吸収および減衰され、インク排出流路102に伝搬することはない。このため、1の圧力室110で生じた圧力波が、他の圧力室110に伝搬することはない。したがって、本実施の形態によれば、圧力波に起因したクロストークを抑制することができる。また、圧力波がインク排出流路102に伝搬しないことで、インク排出流路102内の圧力が安定する。このため、圧力室110内をインクがスムーズに循環することができる。インクの吐出後、アクチュエータ113の駆動電圧を解除すると、アクチュエータが収縮し、圧力室110の容積が増大する。圧力室110の容積が増大すると、圧力室110内の圧力が低下し、圧力室110内にインクが供給される。なお、図3Aは、インク入口流路107とインク出口流路108とが一直線上にはない形態を図示している。しかしながら、本実施の形態において、振動板130とノズルプレート120との間の任意の位置において、インク入口流路107とインク出口流路108とが一直線上にあってもよい。この場合、後述するよりスムーズなインクの循環による効果がさらに得られる。[実施の形態2]実施の形態1では、インク出口流路の内面のみが凹凸を有する形態について説明した。実施の形態2では、インク出口流路およびインク入口流路の内面が凹凸を有する形態について説明する。図5Aは、実施の形態2のインクジェットヘッド200のA線図2参照による断面図であり、図5Bは、実施の形態2のインクジェットヘッド200のB線図2参照による断面図である。実施の形態1のインクジェットヘッド100と同一の構成については、説明を省略する。図5Aおよび図5Bに示されるように、インクジェットヘッド200では、インク入口流路107の内面にも、凹凸109が設けられている。このように、インク出口流路108だけでなく、インク入口流路107の内面に凹凸109を設けることで、圧力室110内で生じた圧力波が、インク供給流路内に伝搬することを抑制することができる。これにより、実施の形態1よりもさらに圧力室間のクロストークを抑制し、かつインクの循環をスムーズにすることができる。インク入口流路107のうち凹凸109が設けられた領域の長さ109Lは、インク出口流路108のうち凹凸109が設けられた領域の長さ109L’と、同じであってもよいが、本実施の形態では、109Lは、109L’よりも短いことが好ましい図5A参照。具体的には、109Lは、50~150μmであり、109L’は100~200μmであることが好ましい。上述のように本発明のようなインク循環型インクジェットヘッドでは、圧力室内をインクがインク入口流路107からインク出口流路108に流れるので、圧力室110内で生じた圧力波がインク入口流路107に伝搬するには、インクの流れに逆らう必要がある。このため、圧力室110内で生じた圧力波は、インク入口流路107に伝搬しにくい。したがって、インク入口流路107の凹凸109が設けられた領域の長さ109Lが短くとも、インク入口流路107に伝搬した圧力波を充分に減衰することができる。また、109Lを短くすることで、インク入口流路107の圧力損失を小さくすることができ、インクの循環をスムーズにすることができる。また、本実施の形態では、本実施の形態では、インク入口流路107およびインク出口流路108は、屈曲しない直線状の流路である。さらにインク入口流路107を通過する直線Yは、インク出口流路108も通過する。このように、インク入口流路107およびインク出口流路108が同一直線上に位置することで、インク入口流路107からインク出口流路108へのインクの流れを円滑にすることができる。これによりインクジェット装置内のインクの循環がよりスムーズになり、高粘度のインクを供給する場合であっても、低い循環圧力で、インクジェットヘッド内にインクを循環させることができる。このように、本実施の形態によれば、よりスムーズな循環が可能になることから、インク内の異物やノズル詰りをより効果的に抑制することができる。なお、図5Aは、インク入口流路107とインク出口流路108とが一直線上にある形態を図示している。しかしながら、本実施の形態において、振動板130とノズルプレート120との間の任意の位置において、インク入口流路107とインク出口流路108とが一直線上になくてもよい。この場合、よりスムーズなインクの循環による効果以外の前述の効果が得られる。[実施の形態3]実施の形態3では、インク入口流路及びインク出口流路の内面が特定の形状の凸部を有する形態について説明する。図6Aは、実施の形態3のインクジェットヘッド300のA線図2参照による断面図である。図6Bは、実施の形態3のインクジェットヘッド300の、図6AにおけるC線による断面図である。実施の形態1のインクジェットヘッド100と同一の構成については、説明を省略する。図6Aおよび図6Bに示されるように、インクジェットヘッド300のインク入口流路107及びインク出口流路108は、いずれも、平らな内壁面図6C中の符号301に配置された複数の凸部309を有する。凸部309は、前記インク流路の軸方向に断続的に配置されている。凸部309は、図6Cに示されるように、圧力室110に向けて、前記インク流路の平面方向図6Bにおける流路幅を漸次減少させる傾斜部309aと、前記流路幅を急激に拡大する拡幅部309bとを有する。図6Cにおける矢印Zは、圧力室110がある方向を示している。凸部309は、図6Bに示されるように、前記インク流路の一対の内壁面301のそれぞれに配置されている。一方の内壁面301の凸部309と、他方の内壁面301の凸部309とは、傾斜部309a同士、及び拡幅部309b同士が、それぞれ対向するように配置されている。傾斜部309aは、前記インク室流路の内壁面301に凸面状の曲面を形成している。傾斜部309aは前述の縮小部を構成している。拡幅部309bは、傾斜部309aの圧力室110側の端と前記インク流路の内壁面301との間に形成される。拡幅部309bは、前記インク流路の横断面中の平面を形成している。拡幅部309bは前述の拡大部を構成している。ここで図12Aに示すように、Z方向における傾斜部309aの始端をr1とし、終端をr2とする。またZ方向における拡幅部309bの始端をs1とし、終端をs2とする。ただし、凸部309では、傾斜部309aの終端と拡幅部309bの始端とは同一の点である。前記r1とr2とを結ぶ線と、前記インク流路の軸と平行な直線Axのうちの、Z方向においてr2を終点とする部分との、r2での交点における交差角度α1は、例えば30°である。また、前記s1とs2とを結ぶ線と、前記直線Axのうちのs1からZ方向側の部分との、s1での交点における交差角度β1は、90°である。また、傾斜部309aは前述したように凸面状の曲線で形成されており、拡幅部309bは直線で形成されている。なおβ1が90°を越える場合では、拡幅部309bの終端s2は、Z方向において、始端s1よりも上流側に位置するが、この場合も、Z方向における拡幅部309bの始端s1、終端s2と言う。前記インク流路は、圧力室110と同様にスペーサ123の掘削によって形成することができる。凸部309は、例えば、前記インク流路の形成において、前記インク流路の壁面が凸部309を有するようにスペーサ123を掘削することによって形成することができる。凸部309の突出高さ前記インク流路の前記幅方向における前記インク流路の内壁面301から前記傾斜部309aの圧力室110側の端までの距離は、例えば、前記インク流路の前記流路幅の0.25~2.0倍である。一般に、流体が管内を流れる場合、その流体の損失ヘッドは下記の式で求められる。下記式中、ζは損失係数、umは管内の流体の平均速度、gは重力加速度を表す。ζは流路形状に応じて異なる。流路の壁面に形成される形状のうち、流路の流れ方向に対して直交する面を有する形状の損失係数は高い。例えば、管径A1を有する第一の管と、管径A1/2を有する第二の管とをそのまま接続したときの接続部の損失係数は0.5である。これに対して、凸面状の曲面を有する形状の損失係数は非常に小さい。例えば、前記第一の管と前記第二の管とを、凸面状の円弧の断面形状を有する周曲面を介して接続したときの接続部の損失係数は、0.005~0.06である。前記インク流路は、圧力室110に向けて漸次突出する弧状の傾斜部309aと、圧力室110に対向する、前記インク流路の横断面中の面を形成する拡幅部309bとを有している。このため、インク入口流路107及びインク出口流路108では、圧力室110に向けて流れるインクのエネルギー損失は小さく、また、圧力室110から流れ出るインクのエネルギー損失は大きい。インクジェットヘッド300において、インク入口流路107内の圧力をインク出口流路108内の圧力に比べて高くすることによってインクを流す。インク入口流路107を流れたインクは圧力室110に入る。インク入口流路107では、インクは傾斜部309aに沿って流れるので、圧力室110へ流れやすい。アクチュエータ113により圧力室110を変形させると、圧力室110内の圧力が高まる。インク入口流路107及びインク出口流路108は、いずれも、圧力室110に面する拡幅部309bを有する。このため、圧力室110中のインクは、インク入口流路107及びインク出口流路108のいずれにも、流れ込みにくい。このため、圧力室110で高められた圧力が前記インク流路を介して外部に伝達することが、抑制される。したがって、アクチュエータ113によって高められた圧力室110内の圧力がより下がりにくい。そしてこのような圧力室110の圧力でノズル111よりインクが吐出される。例えば、前記インク流路に凸部を有さない循環型インクジェットヘッドにおいて、ノズルからの正常なインクの吐出を行うためには、1ノズル当たり1~50μL/minのインクの循環流量が必要である。この循環流量は実験的に確かめられている。この循環流量において、アクチュエータ113による変位量を100~500nmとしたときに、圧力室110内の圧力は1.0~2.5MPaになる。この圧力はシミュレーションによって求められている。この条件において、前記インク流路に前記凸部を配置すると、圧力室110内の圧力が1.3~4.5MPaになる。このように前記凸部の設置によって、所定の循環流量1~50μm/minでの圧力室110のさらなる高圧力化が可能となる。本実施の形態は、実施の形態2の効果に加えて、インクの同一循環流量において圧力室の圧力をおよそ1.5~2倍高くすることができる、という効果を奏する。[実施の形態4]本実施の形態におけるインクジェットヘッド400を図7A~図7Cに示す。インクジェットヘッド400では、凸部409が、前記インク流路の平らな内壁面401を介さずに連続して配置されている。この点以外は、インクジェットヘッド400は、実施の形態3におけるインクジェットヘッド300と同様に構成されている。本実施の形態は、実施の形態3と同じ効果を奏する。本実施の形態は、実施の形態3に比べて、凸部409をより多く配置することができることから、圧力室110の圧力を高める観点でより効果的である。[実施の形態5]本実施の形態におけるインクジェットヘッド500を図8A~図8Cに示す。インクジェットヘッド500では、凸部509が、前記インク流路の平らな内壁面501と平行な水平部509cを傾斜部509aと拡幅部509bとの間にさらに有する。この点以外は、インクジェットヘッド500は、実施の形態4におけるインクジェットヘッド400と同様に構成されている。水平部509cは前述した直管部を構成している。ここで図12Bに示すように、Z方向における傾斜部509aの始端をr1とし、終端をr2とする。またZ方向における拡幅部509bの始端をs1とし、終端をs2とする。前記r1とr2とを結ぶ線と、前記インク流路の軸と平行な直線Axのうちの、Z方向においてr2を終点とする部分との、r2での交点における交差角度α2は、例えば45°である。また、前記s1とs2とを結ぶ線と、前記直線Axのうちのs1からZ方向側の部分との、s1での交点における交差角度β2は、90°である。また、傾斜部509aは凸面状の曲線で形成されており、拡幅部509bは直線で形成されている。本実施の形態は、実施の形態3と同じ効果を奏する。本実施の形態は、実施の形態3に比べて、前述の縮小部の断面積を有する流路がより長く形成されることから、圧力室110の圧力を高める観点でより効果的である。[実施の形態6]本実施の形態におけるインクジェットヘッド600を図9A~図9Cに示す。インクジェットヘッド900は、前記凸部に代えて、前記インク流路中に島部609を有する。図9A及び9Bに示すように、インクジェットヘッド600は、前記インク流路中に、前記インク流路の軸方向に断続的に配置される複数の島部609を有する。島部609は、例えば、スペーサ123の掘削による前記インク流路の形成時に、島部609を残すように前記インク流路を掘削することによって形成することができる。島部609は、図9B及び図9Cに示すように、前記インク流路の中央部から前記インク流路の内壁面に漸次近づく形状の一対の傾斜部609aと、それぞれの傾斜部609aにおける圧力室110側の端から前記インク室の中央部に向けて広がる一対の拡幅部609bとを有する。傾斜部609aは、前記インク流路の平面方向において、前記インク流路の中央部から前記内壁面に向かう凸面状の曲面を形成している。拡幅部609bは、前記インク流路の幅方向における中央で互いに接続し、前記インク流路の横断面中の平面を形成している。ここで図12Cに示すように、Z方向における傾斜部609aの始端をr1とし、終端をr2とする。またZ方向における拡幅部609bの始端をs1とし、終端をs2とする。ただし、島部609では、傾斜部609aの終端と拡幅部609bの始端とは同一の点である。前記r1とr2とを結ぶ線と、前記インク流路の軸と平行な直線Axのうちの、Z方向においてr2を終点とする部分との、r2での交点における交差角度α3、α3’は、それぞれ、例えば30°である。また、前記s1とs2とを結ぶ線と、前記直線Axのうちのs1からZ方向側の部分との、s1での交点における交差角度β3、β3’は、それぞれ90°である。また、傾斜部609aは、前述したように凸面状の曲線でそれぞれ形成されており、拡幅部609bはそれぞれ直線で形成されている。インクジェットヘッド600では、前記インク流路の内壁面と島部609の傾斜部609aとの間に前述した縮小部が形成される。そして拡幅部609bによって前述した拡大部が形成される。本実施の形態も、実施の形態3と同じ効果を奏する。本実施の形態は、前記インク流路の軸方向に島部609が連続して配置されると、実施の形態4と同じ効果を奏する。また本実施の形態は、島部609が傾斜部609aと拡幅部609bとの間に水平部をさらに有すると、実施の形態5と同じ効果を奏する。[実施の形態7]本実施の形態におけるインクジェットヘッド700を図10A及び図10Bに示す。インクジェットヘッド700は、実施の形態3における凸部309と実施の形態6における島部609との両方を有する。すなわち前記インク流路において、前記インク流路の軸方向に、圧力室110側から、島部609、凸部309、及び島部609が断続的に配置されている。この点以外は、インクジェットヘッド700は、実施の形態3におけるインクジェットヘッド300と同様に構成されている。本実施の形態は、実施の形態3と同じ効果を奏する。本実施形態は、前記インク流路の幅方向において、中央部に配置される拡幅部609bと、両端部に配置される拡幅部309bとの両方を有する。したがって、本実施の形態では、前記インク流路における圧力室110からのインクの流れがより一層遮られる。このため、本実施の形態は、実施の形態3や実施の形態6に比べて、圧力室110の圧力を高める観点でより効果的である。なお、本実施の形態7は、図11A及び図11Bに示すように、凸部309と島部609との配置を入れ替えてもよい。このような構成を有するインクジェットヘッド700’場合も、インクジェットヘッド700と同じ効果を奏する。本出願は、2011年1月14日出願の特願2011-005956に基づく優先権を主張する。当該出願明細書に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。