"平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、前記開口部の周縁を形成する枠部材の表面に塗膜を形成する塗装材のガラス転移点が50°C以上350°C以下であることを特徴とするペリクル枠体。前記塗膜の鉛筆硬度がB以上8H以下である請求項1に記載のペリクル枠体。前記塗装材は、塗布型である請求項1又は2記載のペリクル枠体。前記塗装材は、主成分がエポキシ系、アクリル系又はフッ素系である請求項1~3のいずれか一項記載のペリクル枠体。前記枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とから構成されており、前記長辺及び前記短辺によって形成される少なくとも一つの角部の塗膜の厚みは、前記長辺又は前記短辺の中央部の塗膜の厚みの20倍以下である請求項1~4のいずれか一項記載のペリクル枠体。請求項1~5のいずれか一項に記載のペリクル枠体と、当該ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを備えることを特徴とするペリクル。平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体の製造方法であって、前記開口部の周縁を形成する枠部材を準備する工程と、前記枠部材にガラス転移点が50°C以上350°C以下である塗装材を塗布して塗膜を形成する工程と、前記塗膜を加熱処理する工程とを含むことを特徴とするペリクル枠体の製造方法。ところで、ペリクル枠体は、1枚のシート状母材を打ち抜くことにより作製され、接合部のない一体型のものが多い。これは、ペリクルの平坦性を確保する観点等に基づくものである。母材の平坦性によってはペリクル枠体の作製に使用できない母材もあり、ペリクル枠体が大型化するほど、ペリクル枠体の平坦性の精度を出すことは容易ではない。そのため、製造工程にも手間がかかり、歩留まり低下やペリクル枠体作製のコスト向上の原因となっている。これに加えて、ペリクル枠体を黒色化するべく、ペリクル枠体に対してアルマイト処理や電着塗装処理を施すためには大規模な槽が必要となるため、設備の増大によりコストの増大を招来していた。更には、大型のペリクル枠体では、均一にアルマイト処理や電着塗装処理を実施することが困難であり、平坦性の精度を向上させることが難しかった。そこで、ペリクル枠体に塗装を施すことが提案されているが、塗装材と枠部材との密着性を確保できないため剥がれ易く、また、ハンドリング治具にて操作する際に塗装が削れるため、アウトガスや異物等が発生し、現実性に乏しかった。本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル、及びペリクル枠体の製造方法を提供することを目的とする。本発明らは、鋭意研究を重ねた結果、枠部材に特定の塗装材をコーティングすることで、塗装の破損を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、開口部の周縁を形成する枠部材の表面に塗膜を形成する塗装材のガラス転移点が50°C以上350°C以下であることを特徴とする。このペリクル枠体では、枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を50°C以上350°C以下としている。これにより、ペリクル枠体に撓みが生じた場合であっても、枠部材と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜の剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜の削れも防止できる。したがって、塗膜の亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、塗膜の破損を抑制することにより、塗膜の剥がれ等に起因するアウトガスや異物の発生を防止できる。その結果、ヘイズを抑制できる。また、大規模な装置を必要としないため、コストの低減も図れる。また、塗装材を用いることで、塗装のムラも少なくなり、平坦性を維持することができる。更に、熱を加えて塗装材を重合させることが多いため、アルミニウムの熱処理も同時に行うことができ、ペリクルの使用中に熱が加わって寸法が変形してしまうことを防止できる。塗膜の鉛筆硬度がB以上8H以下であることが好ましい。このような鉛筆硬度とすることにより、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に耐え得る強度を確保することができる。また、所定の強度を有しているため、ペリクル枠体にペリクル膜を展張支持した際、ペリクル膜の余分な部分をカッティングする工程において、一般的なカミソリを使用することができる。これにより、製造過程において特殊な機器器具等を用いなくてもよく、設備の増大を防止できる。塗装材は、塗布型であることが好ましい。このように、塗布型の塗装材を用いることで、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコート等といった塗装方法を使用できる。これにより、塗膜を均一に形成することができ、ペリクル枠体の平坦性を確保することができる。塗装材は、主成分がエポキシ系、アクリル系又はフッ素系のものを用いることができる。枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とから構成されており、長辺及び短辺によって形成される少なくとも一つの角部の塗膜の厚みは、長辺又は短辺の中央部の塗膜の厚みの20倍以下であることが好ましい。このような構成によれば、角部に無理な力が加わった場合も密着性がよいため、剥がれやクラック等を抑制できる。本発明に係るペリクルは、上述のいずれかのペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを備えることを特徴とする。上述のペリクル枠体にペリクル膜を展張することにより、ペリクル枠体に撓みが生じた場合であっても、枠部材と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜の剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜の削れも防止できる。したがって、塗膜の亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、本発明に係るペリクル枠体の製造方法は、平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体の製造方法であって、開口部の周縁を形成する枠部材を準備する工程と、枠部材にガラス転移点が50°C以上350°C以下である塗装材を塗布して塗膜を形成する工程と、塗膜を加熱処理する工程とを含むことを特徴とする。このような工程にてペリクル枠体を製造することにより、ペリクル枠体に撓みが生じた場合であっても、枠部材と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜の剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜の削れも防止できる。したがって、塗膜の亀裂等の破損の発生を抑制できるペリクル枠体を製造できる。本発明によれば、塗装材にて枠部材に塗装を行う場合において、ハンドリング時の塗膜の削れ等といった破損を抑制できる。以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。図1は、本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図であり、図2は、図1に示すペリクルを上から見た図である。各図に示すように、ペリクル1は、ペリクル枠体2と、ペリクル枠体2の上縁面2eに展張支持されたペリクル膜3とを備えている。なお、図示しないが、ペリクル1は、ペリクル枠体2の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムとを更に備えている。ペリクル1は、大型ペリクルであり、ペリクル枠体2は、大型のペリクル用枠体である。ペリクル枠体2は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金5000系、6000系、7000系等、鉄及び鉄系合金、セラミックスSiC、AlN、Al2O3等、セラミックスと金属との複合材料Al-SiC、Al-AlN、Al-Al2O3等、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ、ポリマー等からなり、平面視略矩形状を呈している。これらの中でも、アルミニウム、アルミニウム合金が、ペリクル枠体として利用するために密着性、耐湿性、ハンドリング時の枠体の撓みに追随する柔軟性と硬さを兼ね備えているためより好ましい。なお、平面視略矩形状を呈するとは、ペリクル膜3を展張支持した際に平面視略矩形状を呈する形状であり、ペリクル膜3の展張支持前の形状は特に制限されない。ペリクル膜3の展張支持前の具体的な形状としては、平面視略矩形状や、ペリクル枠体2の外側に湾曲した形状や、ペリクル枠体2の外側に突出した箇所を有する形状である。このペリクル枠体2は、対向する一対の長辺枠部材2a,2bと、この長辺2a,2bよりも短い対向する一対の短辺枠部材2c,2dとから構成されている。ペリクル枠体2において、長辺2aと長辺2bとの長さは等しく形成されており、短辺2cと短辺2dとの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体2は、矩形状の開口部4を有しており、長辺2a,2b及び短辺2c,2dは、開口部4の周縁を形成している。この開口部4の開口面積は、好ましくは1000cm2以上、より好ましくは3000cm2以上、更に好ましくは5000cm2以上、35000cm2以下である。一対の長辺2a,2bは、幅が例えば9.0mmの柱部材からなり、その長さは、例えば800mmである。一対の短辺2c,2dは、幅が例えば7.0mmの柱部材からなり、その長さは、例えば480mmである。つまり、短辺2c,2dの平面視上面視における幅は、長辺2a,2bの幅よりも狭い。ペリクル枠体2の角部5の曲率は、例えば、R=2mmである。なお、角部5に曲率が存しないと仮定した際の頂点を、以下、単に頂点と記載する。ペリクル枠体2の側面6には、溝部7が長手方向辺方向に沿って設けられている。ペリクル枠体2の各辺2a~2dの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜3の展張時にペリクル膜3の張力でペリクル枠体2が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮した幅の太さになるため、各辺2a~2dは、3mm~25mm程度とすることができる。また、ペリクル枠体2の厚みに関しても、薄ければ薄いほど軽くて扱いやすいペリクル1となるが、薄すぎるとペリクル膜3の展張時にペリクル膜3の張力でペリクル枠体2が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺2a~2dの長さに応じた両者のバランスから、ペリクル枠体2の厚みは、好ましくは4.5mm~12mm程度とすることができる。ペリクル膜3は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、又はシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば10μm以下0.1μm以上が好ましい。このペリクル膜3は、ペリクル枠体2の開口部4を覆うように上縁面2eに展張され、ペリクル枠体2に貼着支持されている。ペリクル膜3をペリクル枠体2の上縁面2eに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、又は含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。また、貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、又は発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さは、ペリクル枠体2の厚さと粘着材厚さの合計が規定されたペリクル膜3とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、10mm以下0.01mm以上が好ましい。また、ペリクル膜3をフォトマスクに貼り付けた際に、貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、ペリクル枠体2の下縁面に粘着剤を塗布する際には、ペリクル1をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部4に粘着剤がはみ出さない程度にペリクル枠体2の開口部4内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が粘着剤層の塗布幅の0.35倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅はペリクル枠体2の各辺2a~2dの幅に対し0.3~0.6倍であることが好ましく、ペリクル枠体2の各辺2a~2dに沿って塗布することが好ましい。粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、又はポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、又はフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、1mm以下0.01mm以上が好ましい。図3に示すように、上述の構成を有するペリクル枠体2の表面全体には、塗膜Pが形成されている。ペリクル枠体2の表面をコーティングする塗膜Pは、塗装材によって形成されている。図3は、図2におけるIIIIII線断面図である。ここで、塗装材は、ペリクル1のハンドリング中にペリクル枠体2が撓んだり、ハンドリング冶具の接触や輸送中の衝撃に耐え得る材料でなければならない。ペリクル枠体2の撓みによる接触や衝撃に耐え得るためには、塗装材に柔軟性がなくてはならない。一方で、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に塗膜Pが耐え得るためには、硬さを兼ね備えておく必要もある。つまり、塗装材の物性には、柔軟性と硬さの相反する特性が必要とされる。そこで、塗膜Pを形成する塗装材は、ガラス転移点が50°C以上350°C以下のものであり、より好ましくは50°C以上200°C以下であり、更に好ましくは80°C以上150°C以下であり、最も好ましくは80°C以上140°C以下のものである。50°Cよりもガラス転移点が高ければ、輸送中に高温高質になった場合でも塗装面が柔らかくなることを抑制することができ、膜接着剤や貼着剤層との密着性の悪化を防ぐことができるため好ましい。350°Cよりもガラス転移点が低ければ、内部応力が増加を抑えることができるため、ボイドや粒状の膨れ等の発生を抑止し、異物と混合されて検査に時間がかかることを防ぐと共に輸送中に異物となるおそれを無くすことができるため好ましい。また、枠部材と線膨張率の差が大きいと、内部応力が大きくなりため、塗膜の膨潤、剥離、割れ等の発生の恐れがあるが、ガラス転移点が上記範囲であれば塗膜としての熱膨張が抑制されるため、線膨張率の差を考慮しなくても良いため好ましい。また、塗装材を塗布して形成された塗膜Pの鉛筆硬度は、B以上で8H以下となることが好ましく、B以上6H以下となることがより好ましく、B以上5H以下であることが更に好ましい。Bよりも大きいと、塗膜が柔らかくなりすぎることを防ぐため、ハンドリング治具と擦れ難くなり異物の発生を抑止することができる。また、8Hより小さいと、硬すぎないため、瞬間的な伸縮運動に耐えることができ、ハンドリング時の撓みに追随できて割れや剥れ等の恐れが生じない。このような物性を有する塗装材は、塗布型であることが好ましい。ここで言う塗布型の塗装材とは、液体状のままでコーティングを行い、その後加熱することで重合が進み塗膜Pを形成するものである。塗装材を液体状のままコーティングする方法としては、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコートが望ましく、その中でもエアスプレー方式の塗装方法が好ましい。塗装材を塗布した後、加熱処理が行われる。このときの加熱温度は、100°C以上であることが好ましい。そして、100°C以上の温度にて上記のガラス転移点と鉛筆硬度の範囲内に収まるように塗布方法や加熱温度を調整し、最適な重合度を選択する。最良の塗装のためには、塗装材として、主成分がエポキシ系、アクリル系、フッ素系の材料を用いることが好ましく、フッ素系またはアクリル系の材料の使用が最も好ましい。塗膜Pは一層でもよいし、多層コーティングであればアルミニウムとの密着性を向上させることができる。一般的に使用されているペリクル枠体は、アルミニウム合金であり、アルミニウム合金の熱膨張係数から、塗装材に用いられる塗装材としては伸びが大きい樹脂がよいが、塗膜の硬さの低下を抑制する必要もあるため上記塗装材が好ましいといえる。更に、上記アルミニウム合金は化学的、物理的な吸着水で覆われていると考えられるため、吸着水表面のOH基と架橋反応や水素結合を示す化合物が上記塗装材の末端や側鎖にあることが好ましい。例えば有機珪素化合物等をもつ場合は、有機珪素化合物の加水分解、縮合反応等により、吸着水とシロキサン結合を形成することで、密着性をよくしている。また、カルボキシル基等の極性基をもつ場合は、吸着水に対して強い相互作用、例えば水素結合や酸―塩基相互作用等により密着性がよくなると考えられる。極性基としては、カルボキシル基が最も好ましく、水酸基、カルボン酸の金属塩例えば、ナトリウム塩、マグネシウム塩などやアルキルエステル類、フェノール類、アミノ酸類、脂肪族アミン等が挙げられる。これらの化合物は、表面のOH基の数と同等であることが好ましい。ここでいう同等とは、極性基:OH基=1:0.8~1.2の範囲である。上記化合物が過剰に存在すると界面において水分を吸着し、塗膜の膨潤や剥離等を生じる恐れがある。具体的には、エポナシリーズオリジン電気株式会社製、オリジツークシリーズオリジン電気株式会社製、ファスコートシリーズミリオンペイント株式会社製、ARBtシリーズ久保孝ペイント株式会社製、スーパーラックエコ日本ペイント製などが挙げられる。また、ペリクル枠体2は、長辺2a,2b又は短辺2c,2dの所定部分角部5の塗膜Pの厚みを、他の部分中央部の20倍以下程度の厚みとすることが好ましい。角部には、ハンドリング治具の装着等で無理な力が加わることがある。また、角部は剛性が高いために、マスクに強度に貼り付けられている傾向があり、マスクからペリクルを剥離する際、中央付近よりも角部に強い力が加わる可能性がある。このとき、角部の塗膜が他の部分より20倍以上厚いと、密着性が悪くなるために塗膜の剥がれ等が生じる可能性がある。したがって、角部5の塗膜Pの厚みとしては、他の部分の20倍以下とすることが好ましく、より好ましくは他の部分の0.05倍~20倍である。また、塗膜Pの膜厚そのものとしては、5μm~100μmあればよい。膜厚が5μm以上であれば、下地の影響を極力抑えることができ、下地の欠陥による密着性の低下を抑え、また、塗膜面の平坦性が十分となる。100μm以下であれば、塗膜中への気泡の巻き込みを抑止でき、気泡が割れたり膨れたりすることによる剥れ等の発生を抑えることができる。この特異的な特性を施す箇所は、ペリクル枠体2の角部5であることが好ましく、更には4つの角部5よりも1つの角部5であれば好ましいが、特に個数を限定するものではなく1箇所以上であるとより効果が顕著となる。続いて、ペリクル枠体2の製造方法について説明する。まず、例えばアルミミウム又はアルミニウム合金から成る長辺2a,2b及び短辺2c,2dを有する枠部材を準備する。次に、枠部材に対して、上述の塗装材を例えばエアスプレー方式によって塗布する。このとき、角部5においては、塗装厚みを他の部分よりも厚くする。そして、塗装材が塗布された枠部材に加熱処理を施し、枠部材の表面に塗膜Pを形成する。以上により、ペリクル枠体2が形成される。その後、ペリクル枠体2にペリクル膜3が展張されることで、ペリクル1が形成される。以上説明したように、ペリクル1のペリクル枠体2は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を50°C以上350°C以下としている。これにより、ペリクル枠体2に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体2と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Pの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Pの削れも防止できる。したがって、塗膜Pの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、塗膜Pの破損を抑制することにより、塗膜Pの剥がれ等に起因するアウトガスや異物の発生を防止できる。その結果、ヘイズを抑制できる。また、大規模な装置を必要としないため、コストの低減も図れる。特に、ペリクル1が大型の場合には、本実施形態の構成が更に効果的となる。また、塗装材を用いることで、塗装のムラも少なくなり、平坦性を維持することができる。更に、熱を加えて塗装材を重合させることが多いため、アルミニウムの熱処理も同時に行うことができ、ペリクルの使用中に熱が加わって寸法が変形してしまうことを防止できる。また、塗膜Pの鉛筆硬度がB以上8H以下である。このような鉛筆硬度とすることにより、ハンドリング冶具や輸送中の衝撃に耐え得る強度を確保することができる。また、所定の強度を有しているため、ペリクル枠体2にペリクル膜3を展張支持した際、ペリクル膜3の余分な部分をカッティングする工程において、一般的なカミソリを使用することができる。これにより、製造過程において特殊な機器器具等を用いなくてもよく、設備の増大を防止できる。塗膜Pの形成に用いられる塗装材は、塗布型である。このように、塗布型の塗装材を用いることで、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコート等といった塗装方法を使用できる。これにより、塗膜Pを均一に形成することができ、ペリクル枠体2の平坦性を確保することができる。ペリクル枠体2は、対向する一対の長辺2a,2bと、対向する一対の短辺2c,2dとから構成されており、長辺2a,2b及び短辺2c,2dによって形成される少なくとも一つの角部5の塗膜Pの厚みは、長辺2a,2b又は短辺2c,2dの中央部の厚みの20倍以下である。このような構成によれば、角部5に無理な力が加わった場合でも密着性がよいため、剥がれやクラック等を抑制できる。次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施の形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。[実施例1]ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを4.0mm、長辺の幅を6.0mm、長さを430mmとした。また、短辺は、幅を6.0mm、長さを300mmとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを2mm、溝の高さを1.5mmとした。また、角部の曲率をR=2mmとした。その他の構成は、図2に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、アクリル系樹脂塗料商品名ファスコートミリオンペイント社製を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140度で加熱を30分行うことでガラス転移点を100°C、鉛筆硬度を2Hとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。アウトガス評価10cmの棒状をサンプルとして作製し、加熱脱着法にてGC-MSSUPELCO製で測定した。加熱温度50°C、加熱時間60分、吸着剤CarbopackBCarbosieveSIII、キャリアガスの条件とした。ハンドリング性ハンドリングジグで装着作業を5回行い、装着時の削れ等を集光灯にて目視検査した。5回とも結果が良いものを○、1回傷が生じたがペリクルとして問題ないレベルを△、1回以上削れが発生し、ペリクルとして不具合があるものを×とした。[実施例2]ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を9.0mm、長さを800mmとし、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとして、角部は曲率をR=0mmとした。それ以外の溝の長さ深さ、枠体の厚みは実施例1と同様に作製した。塗装材には、エポキシ系樹脂塗料商品名エポナオリジン電気社製を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140°Cで加熱を30分行うことでガラス転移点を80°C、鉛筆硬度をHとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。[実施例3]ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を21.0mm、長さを2000mmとし、短辺の幅を19.5mm、長さを1800mmとして、角部の曲率をR=0mmとした、また、枠体の厚みを6.0mmとした。それ以外の溝の長さ深さは実施例1と同様にした。塗装材には、フッ素系樹脂塗料商品名ファスコートフッ素系ミリオンペイント社製を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140°Cの加熱を30分行うことでガラス転移点を120°C、鉛筆硬度を5Hとした塗膜を作成した。評価結果を表1に示す。[実施例4]ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を21.0mm、長さを2000mmとし、短辺の幅を19.5mm、長さを1800mmとして、角部の曲率をR=0mmとした、また、枠体の厚みを6.0mmとした。それ以外の溝の長さ深さは実施例1と同様にした。塗装材には、ウレタン系樹脂塗料商品名ミリウレタンミリオンペイント社製を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、100°Cの加熱を30分行うことでガラス転移点を90°C、鉛筆硬度をFとした塗膜を作成した。評価結果を表1に示す。[比較例1]ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、厚みを4.0mm、長辺の幅を6.0mm、長さを430mmとした。また、短辺は、幅を6.0mm、長さを300mmとし、短辺側全長に渡って溝を設け、溝の深さを2mm、溝の高さを1.5mmとした。また、角部の曲率をR=2mmとした。その他の構成は、図2に示す構成にてペリクル枠体を形成した。塗装材には、ウレタン系樹脂塗料商品名BYKETOL住友バイエルウレタン社製を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140°Cの加熱を30分行うことでガラス転移点を40°C、鉛筆硬度を3Bとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。[比較例2]ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を9.0mm、長さを800mmとし、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとして、角部の曲率をR=0mmとした。それ以外の溝の長さ深さ、枠体の厚みは実施例1と同様に作製した。塗装材には、エポキシ系樹脂塗料商品名オーデックス神東塗料社製を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、120°Cの加熱を20分の行うことでガラス転移点を30°C、鉛筆硬度を2Bとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。実施例5ペリクル枠体は、材質がアルミニウム合金であり、長辺の幅を9.0mm、長さを800mmとし、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとして、角部の曲率をR=0mmとした。それ以外の溝の長さ深さ、枠体の厚みは実施例1と同様に作製した。塗装材には、有機ケイ素系塗料商品名チラノコート宇部興産社製を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、250°Cの加熱を10分の行うことでガラス転移点を300°C、鉛筆硬度を7Hとした塗膜を形成した。評価結果を表1に示す。本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、ペリクル枠体2を1枚のシート状母材から切り出した接合部を有さない構成としていが、ペリクル枠体は、少なくとも一箇所の接合部を有する分割枠体であってもよい。"