加速した電子を照射し、加熱して蒸発させた坩堝内の材料を基板の表面に付着させて薄膜を連続的に形成する際の前記材料の連続的な供給制御を、坩堝内の材料の蒸発速度が一定になるように制御されているエミッション電流値を検出することで行う電子ビーム蒸着用材料供給装置であって、前記坩堝として、内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成したものを使用することを特徴とする電子ビーム蒸着用材料供給装置。前記坩堝の内面に突起を更に設けたことを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム蒸着用材料供給装置。加速した電子を照射し、加熱して蒸発させた坩堝内の材料を基板の表面に付着させて薄膜を連続的に形成する際の前記材料の連続的な供給制御を、内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成した坩堝内の材料湯面の昇降に伴って増減する蒸発表面積に起因するエミッション電流値の増減により行うことを特徴とする電子ビーム蒸着用材料供給方法。請求項1又は2に記載の電子ビーム蒸着用材料供給装置を備えたことを特徴とする電子ビーム蒸着装置。本発明が解決しようとする問題点は、特許文献1に開示された装置は、制御精度が悪いので長時間の運転の場合は途中で供給量の調整が必要であり、また、成膜条件が変わると、その度に供給量の最適化が必要であるという点である。本発明の電子ビーム蒸着用材料供給装置は、蒸発量に見合った材料を連続的に供給可能とするために、加速した電子を照射し、加熱して蒸発させた坩堝内の材料を基板の表面に付着させて薄膜を連続的に形成する際の前記材料の連続的な供給制御を、坩堝内の材料の蒸発速度が一定になるように制御されているエミッション電流値を検出することで行う電子ビーム蒸着用材料供給装置であって、前記坩堝として、内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成したものを使用することを最も主要な特徴としている。上記の本発明の電子ビーム蒸着用材料供給装置は、内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成した坩堝を使用するので、次のように蒸発量に見合った材料を供給することができる。すなわち、上記形状の坩堝を使用した場合、坩堝内の材料が蒸発して材料湯面が下がると、蒸発表面積が減少するためにエミッション電流値が増加する。エミッション電流値が増加すると、供給装置からの材料の供給量が増加して、坩堝内の材料湯面が上昇する。坩堝内の材料湯面が上昇すると、蒸発表面積が増加するためにエミッション電流値が減少する。エミッション電流値が減少すると、供給装置からの材料の供給量が減少して、坩堝内の材料湯面が下がる。上記の繰り返しにより材料供給装置からの材料の供給量が自動的に制御され、蒸発量に見合った材料を供給できるので、長時間の運転が可能になる。これが本発明の電子ビーム蒸着用材料の供給方法である。上記の本発明の電子ビーム蒸着用材料供給装置において、坩堝の内面に突起を更に設けた場合には、突起によってエミッション電流値が一時的に変動するので、この一時的な変動の検出を、例えば材料の供給量制御のためのトリガとすることができる。本発明では、内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成した坩堝を使用するので、材料供給装置からの材料の供給量が自動的に制御され、蒸発量に見合った材料を供給できるので、長時間の運転が可能になる。本発明では、蒸発量に見合った材料を連続的に供給するという目的を、内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成した坩堝を使用することで実現した。以下、本発明を実施するための形態を、図1を用いて詳細に説明する。先ず、電子ビーム蒸着設備の概略構成について述べた後、この電子ビーム蒸着設備に設置する本発明の材料供給装置について説明する。図1中の1は真空容器であり、この真空容器1の内部上方に、表面に薄膜を形成される基板フィルム2が配置されている。この基板フィルム2は、例えば巻き出しロール3aに巻き取られ、アイドルロール3b、張力制御ロール3cを経て冷却ロール3dに巻き回された後、張力制御ロール3c、アイドルロール3bを経て巻き取りロール3eに巻き取られる。4は前記冷却ロール3dの成膜範囲を除く下半分を覆う防着板であり、この防着板4で覆われない成膜範囲に、真空容器1の内部下方に配置した電子銃5より放出された電子の衝突により加熱蒸発した坩堝6内の材料7が蒸着して薄膜を形成する。なお、図1中の8は電子銃5より放出された電子の進路を曲げて、接地電位である坩堝6内に導く磁石である。9は、坩堝6内の材料7に照射された後の反射電子や軌道をそれた電子が成膜範囲に入射し、基板フィルム2への材料7の蒸着を阻害することを防止するために、冷却ロール3dの成膜範囲と、電子銃5坩堝6磁石8の間に配置された磁石であり、例えば基板フィルム2の進行方向に所定の間隔を存した格子状となるように4個設置している。10は蒸発した坩堝6内の材料7が基板フィルム2に蒸着するまでの間に設けられる水晶振動式膜厚センサであり、前記蒸着材料が水晶振動子に付着することによる振動数の変化を測定することで基板フィルム2に形成される薄膜の厚みを求めるものである。本発明は、上記構成の電子ビーム蒸着設備を用いて基板フィルム2に薄膜を連続的に形成するに際し、前記坩堝6内に蒸発量に見合った材料7を連続的に供給することができる材料供給装置11であり、以下のような構成を採用している。12はワイヤ状に形成した前記材料7を巻き取るドラムであり、このドラム12から巻き戻された材料7は、ガイド13を通って坩堝6の上方に、図示省略したフィード装置により速度制御されて定量的に供給されるようになっている。このような材料供給装置11において、本発明では、坩堝6の内面形状を、図1bに示すように、底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成したものを使用することを主要な特徴としている。一例として、銅製の坩堝6内に、底部内径が20mm、開口部内径が30mm、深さが20mmの、底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成したBN窒化ホウ素製のハースライナーを設置した場合の材料7の供給について説明する。前記ハースライナー内に10mm程度に切断したAlワイヤを予め装入しておき、この予め装入しておいたAlワイヤに電子ビームを照射し、ハースライナー内の7分目程度までAlの溶かし込みを行う。この状態から、前記溶融したAlに加速電圧が2kV、エミッション電流が300mAの電子ビームを照射し、Alの蒸発速度が一定になるまで待った後、Alワイヤを低速で連続供給した。なお、エミッション電流は、前記膜厚センサ10の情報に基づいて坩堝6からの材料7の蒸発量が一定になるように制御されている。このとき、ハースライナー内のAl湯面が下がると、Alの蒸発表面積が減少し、蒸着速度も減少するが、蒸着速度を一定に維持しようとするフィードバック制御が働いてエミッション電流が300mAから増加する。このエミッション電流値の増加を検知し、Alワイヤの供給速度を上げる制御を行う結果、Al供給量が蒸発量を上回り、ハースライナー内のAl湯面は初期レベルに戻る。一方、ハースライナー内のAl湯面が上昇すると、Alの蒸発表面積が増加し、蒸着速度も増加するが、蒸着速度を一定に維持しようとするフィードバック制御が働いてエミッション電流が300mAから減少する。このエミッション電流値の減少を検知し、Alワイヤの供給速度を下げる制御を行う結果、Alワイヤの供給量が蒸発量を下回り、ハースライナー内の湯面は初期レベルに戻る。上記の繰り返しにより、ハースライナー内のAl湯面はハースライナー内の6分目から8分目の範囲内で制御され、Al材料の枯渇やハースライナーからのオーバーフロー無しに、長時間のAl連続供給による自動運転が可能になる。なお、上記湯面の制御は、事前に材料7の蒸発量における、蒸発表面積湯面位置とエミッション電流との関係を把握計測しておき、その値に基づいて行われる。これが本発明の電子ビーム蒸着用材料の供給方法である。上記本発明において、材料7の蒸発表面積の変化が顕著となるようにして材料7の供給量を制御し易くするためには、坩堝6の内面に形成する逆末広がりのテーパを大きくすれば良いが、大きくし過ぎると蒸着速度の変化が顕著になるため、蒸着速度変動の許容範囲内でテーパの大きさを変化させることが必要である。望ましいテーパ角は、例えば9°~30°の範囲である。また、上記本発明の材料供給装置11において、図2に示すように、坩堝6の内面に突起6aを更に設けた場合には、前記制御に際し、この突起6a部によって材料7の蒸発表面積が変動し、エミッション電流値が一時的に変動することになる。従って、この一時的な変動の検出を、例えば材料7の供給量制御のためのトリガとすれば、より狭い範囲での制御が可能になる。突起6a部の形状や面積は、表面積の変動量に応じて適宜設定するものである。材料の枯渇やハースライナーからのオーバーフロー無しに、長時間の連続供給による自動運転が可能になる上記本発明の材料供給装置11を備えた本発明の電子ビーム蒸着装置を使用した場合は、長時間の連続的な薄膜形成が可能になる。本発明は、前記の例に限るものではなく、各請求項に記載の技術的思想の範疇であれば、適宜実施の形態を変更しても良いことは言うまでもない。例えば材料7の蒸着表面積の変化が顕著となるようにして材料7の供給量を制御し易くするために、図3に示すように、坩堝6の内面のテーパの大きさを不連続に変化させたものでも良い。しかしながら、このようにする場合は、テーパの不連続部で蒸着速度の変化が顕著になるので、蒸着速度変動の許容範囲内でテーパの大きさを変化させることが必要である。また、上記の例では、坩堝6に設置するハースライナーの内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成したものについて説明したが、ハースライナーを設置しない場合は坩堝6の内面を底部から開口端にかけて逆末広がりのテーパ状に形成することは言うまでもない。