"圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分を備えた部材の周波数応答を解析する部材の振動特性解析方法であって、前記圧電素子に電圧を印加して該圧電素子の各節点の反力又は変位を取得する取得工程と、前記反力又は変位を除いて前記圧電素子の前記各節点に前記取得した反力又は変位を付与する付与工程と、前記反力付与又は変位付与に基づいてモード重ね合わせ法により周波数応答解析を行う解析工程と、を備えたことを特徴とする部材の振動特性解析方法。圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分を備えた部材の周波数応答を解析する部材の振動特性解析方法であって、前記圧電素子に電圧を印加して該圧電素子の各節点の反力又は変位を取得する第1の取得工程と、前記電圧印加を除去して前記圧電素子の前記各節点に前記取得した反力又は変位を与えて各節点の変位又は反力を取得する第2の取得工程と、前記反力又は変位を除いて前記圧電素子の前記各節点に前記取得した変位又は反力を付与する付与工程と、前記反力付与又は変位付与に基づいてモード重ね合わせ法により周波数応答解析を行う解析工程と、を備えたことを特徴とする部材の振動特性解析方法。請求項1又は2記載の部材の振動特性解析方法であって、前記部材は、ディスクドライブの読み書き用のヘッド部を支持するヘッドサスペンションであり、前記ヘッドサスペンションは、剛体部及びばね部を含みベースプレートに前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されたロードビームと、前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部をタング部に支持して前記ロードビームに取り付けられたフレキシャとを備え、前記圧電素子は、前記ベースプレートとロードビームとの間、又は前記タング部に取り付けられ、前記ヘッド部を前記ベースプレート側に対してスウェイ方向へ微小動作可能とし、前記圧電素子への電圧印加に基づく前記ヘッドサスペンションの周波数応答解析を行う、ことを特徴とする部材の振動特性解析方法。解決しようとする問題点は、圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分を備えた部材の振動特性解析を、正確に短時間で行うことに困難があった点である。本発明は、圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分を備えた部材の周波数応答解析を、正確に短時間で行うことを可能とするため、圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分を備えた部材の周波数応答を解析する部材の振動特性解析方法であって、前記圧電素子に電圧を印加して該圧電素子の各節点の変位を取得する変位取得工程と、前記電圧印加を除去して前記圧電素子の前記各節点に前記取得した変位を与えて各節点の反力を取得する反力取得工程と、前記変位を除いて前記圧電素子の前記各節点に前記取得した反力を付与する反力付与工程と、前記反力付与に基づいてモード重ね合わせ法により周波数応答解析を行う解析工程とを備えたことを特徴とする。本発明は、上記構成であるから、反力付与に基づいたモード重ね合わせ法による周波数応答解析の結果が、圧電素子に電圧を印加したときの部材の振動特性に近似させることができ、精度良い振動特性の管理を行わせることができる。しかも、モード重ね合わせ法による周波数応答解析ができるから、短時間で振動特性を得ることができる。圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分を備えた部材の周波数応答解析を、正確に短時間で行うことを可能にするという目的を、圧電素子に電圧を印加して該圧電素子の各節点の変位を取得する変位取得工程と、電圧印加を除去して圧電素子の前記各節点に取得した変位を与えて各節点の反力を取得する反力取得工程と、前記変位を除いて圧電素子の各節点に取得した反力を付与する反力付与工程と、反力付与に基づいてモード重ね合わせ法により周波数応答解析を行う解析工程とにより実現した。図1は、部材の振動特性解析方法の工程図である。図1のように、本発明実施例の部材の振動特性解析方法は、PZTチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分としてヘッド部を備えた部材であるHDDのヘッドサスペンションの周波数応答を解析するものであり、第1の取得工程としての変位取得工程S1と、第2の取得工程としての反力取得工程S2と、付与工程としての反力付与工程S3、解析工程S4とを備えている。変位取得工程S1は、圧電素子に電圧を印加して該圧電素子の各節点の変位を取得する。変位の取得は、静解析で行う。反力取得工程S2は、S1での電圧印加を除去して前記圧電素子の各節点に前記取得した変位を与えて各節点の反力を取得する。反力の取得は、静解析で行う。反力付与工程S3は、S2で付与した変位を除いて前記圧電素子の前記各節点に前記取得した反力を付与する。解析工程S4は、S3での反力付与に基づいてモード重ね合わせ法により周波数応答解析を行う。なお、S1~S4それぞれの工程は、マクロプログラム等により連続して行っても良い。図2は、周波数応答解析の対象部材であるヘッドサスペンションの斜視図、図3は、実施例Iに係り、圧電素子を示すタング部裏面側の略斜視図、図4は、比較例に係り、圧電素子を示すタング部裏面側の拡大斜視図、図5は、実施例1に係り、Aは、周波数応答解析により得られたゲイン線図、Bは、位相線図、図6は、比較例に係り、Aは、周波数応答解析により得られたゲイン線図、Bは、位相線図である。図2のように、ヘッドサスペンション1は、ベースプレート3とロードビーム5とヘッド部7を支持したフレキシャ9とを備えている。ロードビーム5は、剛体部11及びばね部13を含んでいる。フレキシャ9は、ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すし、ロードビーム5に取り付けられている。圧電素子は、フレキシャ9のタング部に取り付けられている。図3のように、フレキシャ9のタング部15に、圧電素子17A,17Bが一対備えられ、電圧印加によりタング部15に支持するヘッド部7をスェイ方向へ微小動作させる。前記反力付与工程S3では、図3で示す微小な多数の矢印で示すように、圧電素子17A,17Bの各節点に前記反力を付与する。図4の比較例では、圧電素子17A,17Bの各エッジに1gfの加振力を矢印のように付与する。図3の反力付与により重ね合わせ法による周波数応答解析をした結果を含むのが図5であり、図4の加振力付与により重ね合わせ法による周波数応答解析の結果を含むのが図6である。図3に基づく実施例1の周波数解析では、図5の振動特性となった。図5から明らかなように、反力付与による振動特性19が電圧印加時の振動特性21にほとんど重なり、正確な特性を得ることができた。これに対し、図4に基づく比較例の周波数解析では、図6の振動特性となった。図6から明らかなように、加振力付与による振動特性23が電圧印加時の振動特性25に対して誤差を生じており、正確な特性を得ることには限界があった。図5、図6の何れにおいても重ね合わせ法による周波数解析であるため、10min未満と短時間での処理が可能である。しかし、図5、図6の比較で明らかなように、比較例では正確な特性を得ることには限界があるのに対し、実施例1では、正確な特性を得ることができた。図7は、他の形態のヘッドサスペンションの斜視図である。このヘッドサスペンション1Aは、ベースプレート3Aとロードビーム5Aとの間に圧電素子17AA,17BAを配置したものである。他の構成は、図2のものと同様であり、対応する構成部分に同符号を付す。このヘッドサスペンション1Aにおいて図1の周波数応答解析により得た振動特性が図8である。図8Aは、周波数応答解析により得られたゲイン線図、Bは、位相線図である。図8のように、反力付与による振動特性27が電圧印加時の振動特性29にほとんど重なり、正確な特性を得ることができた。図9は、ロードビームの剛体部等にダンパー材を取り付けたヘッドサスペンションおいて図1の周波数応答解析により得た振動特性である。図9から明らかなように、反力付与による振動特性31が電圧印加時の振動特性33にほとんど重なり、正確な特性を得ることができた。以上、圧電素子の配置形態、ダンパー材の有無に係わらず、図1の周波数応答解析により短時間で正確な振動特性を得ることができる。[実施例の効果]本発明実施例の部材の振動特性解析方法は、圧電素子17A17AA、17B17BAを介設して電圧印加により動作を行わせるヘッド部7を備えたヘッドサスペンション11Aの周波数応答を解析するヘッドサスペンション1、1Aの振動特性解析方法であって、圧電素子17A17AA、17B17BAに電圧を印加して圧電素子17A17AA、17B17BAの各節点の変位を取得する変位取得工程S1と、電圧印加を除去して圧電素子17A17AA、17B17BAの各節点に取得した変位を与えて各節点の反力を取得する反力取得工程S2と、変位を除いて圧電素子17A17AA、17B17BAの各節点に取得した反力を付与する反力付与工程S3と、反力付与に基づいてモード重ね合わせ法により周波数応答解析を行う解析工程S4とを備えた。このため、反力付与による振動特性19、27、31が電圧印加時の振動特性21、29、33にほとんど重なる図5、図8、図9のような、正確な特性を得ることができた。ヘッドサスペンション1、1Aは、剛体部11及びばね部13を含みベースプレート3、3Aに剛体部11の基端側がばね部13を介して支持されたロードビーム5、5Aと、ヘッド部7を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共にヘッド部7をタング部15に支持してロードビーム5、5Aに取り付けられたフレキシャ9とを備え、圧電素子17AA、17BAは、ベースプレート3Aとロードビーム5Aとの間、又は圧電素子17A、17Bは、タング部15に取り付けられ、ヘッド部7をベースプレート3、3A側に対してスェイ方向へ微小動作可能とし、圧電素子17A17AA、17B17BAへの電圧印加に基づくヘッドサスペンション1、1Aの周波数応答解析を行う。このため、各種形態のヘッドサスペンション1、1Aについて、反力付与による振動特性19、27、31が電圧印加時の振動特性21、29、33にほとんど重なる図5、図8、図9のような、正確な特性を得ることができた。[その他]部材としては、圧電素子を介設して電圧印加により動作を行わせる部分を備えたものであれば、ヘッドサスペンション以外の他の部材にも図1の部材の振動特性解析方法を適用することができる。上記実施例の他、第1の取得工程で圧電素子に電圧を印加して各節点の反力を取得し、第2の取得工程で圧電素子の各節点の反力に応じた変位を取得し、付与工程では、取得した各節点の各変位を各節点へ与え、解析工程でモード重ね合わせ法による振動伝搬解析を行わせることもできる。また、取得工程で圧電素子に電圧を印加して各節点の反力又は変位を取得し、付与工程で各反力又は変位を各節点へ与え、解析工程でモード重ね合わせ法による振動伝搬解析を行わせることもできる。"