双極性帯電体の正または負の一方を除去して双極性帯電体を電荷帯電体に変換し、電荷量測定装置でそれを測定して双極性帯電量を測定する方法双極性帯電体の正または負の一方の電荷を除去する装置と電荷量測定装置とを組み合わせて双極性帯電量を測定する装置上記したように、静電界には縦波静電界と横波静電界とがあり、帯電には、電荷帯電と双極性帯電とがある。一方、測定器としては、縦波静電界測定器は市販されているが、横波静電界測定器は発明されていない。また、電荷帯電量を測定するファラデーケージや静電気測定器は市販されているが、双極性帯電量を測定する装置は発明されていない。この状態を克服するには、横波静電界測定器と双極性帯電量および電荷分布可視化装置を発明すればよい。ファラデーケージや静電気測定器は電荷量Qを測定できるが、±qの双極性電荷量は測定できない。そこで、双極性帯電体の±qのqまたは-qのいずれか一方のみを除電すれば、残された-qまたはqはファラデーケージまたは静電気測定器で測定できる。すなわち、双極性帯電を電荷帯電に変換すればよい。除電とは、正電荷qと負電荷-qとが吸引し、両者が合体すると再結合で消滅する現象を利用して帯電体の電荷を除去する方法のことで、種々の除電装置が市販されている。図2は、双極性帯電を電荷帯電に変換するための除電をおこなう作業とそれに使用する装置の説明図で、aはイオン空間容器、bは除電状態の説明図である。5は、接地された導体容器、6はコロナ放電電極、7は放電用直流高電圧電源、8はスイッチ、9は双極性帯電体、10はマイナスイオン、11は導体容器内面にマイナスイオンによって誘発したプラス電荷である。なお、この図は、放電電極極性がマイナスであるので、空気イオン等の極性の符号はそれに合致するようにした。装置の作業手順は下記のようにすすめる。図aでスイッチ8を閉じると放電極から放電が生じ、容器内は図では電源電圧が負であるから、負イオン空間が形成される。負イオン空間が十分形成されて後、スイッチを開き、放電電極を容器からはずす。放電電極を除去された容器内は閉じられた負イオン空間となる。時間とともにイオンは外壁方向に移動し、接地された容器壁に吸収される。b図は双極性帯電体をイオン空間に納入した状態で、帯電体の±qとイオン空間のイオンと容器壁面の電荷との間で吸引と反撥が生じる。図2では、イオン空間は負性であるから、双極子電荷±qのqが除去され、残余のマイナスイオンは壁面に吸収される。すなわち、双極子帯電体は-qの電荷帯電体となる。電荷帯電体となった帯電体を容器から取出し、静電気測定器またはファラデーケージで電荷量-qを測定し、±qの双極性帯電樽と記録する。従来は、帯電体の電荷帯電量を静電気測定器等で測定して帯電量とし、双極性帯電量は測定対象外としてきた。本発明により、電荷帯電量も双極性帯電量も測定できるので、従来の不具合の一つが解消できる。なお、横波静電界測定器と電荷分布可視化装置が別に発明されているので、これと、本発明とを併用すると、静電気応用であれば荷電状態の均一性の評価、生産現場における静電気除去では除去の均一性の評価や除去不良度の検出、帯電防止加工等であれば、帯電防止力を抵抗値で評価する従来方法の低信頼性に替わる方法としての帯電性評価など、静電気関係に種々の変革をもたらす。本発明は、双極性帯電量の測定に関するものである。しかし、その本質は静電気測定技術の枠内のみならず、静電気または帯電の概念の正常化につながる。すなわち、静電気の源泉である帯電状態は電荷分布で、電荷分布測定法は従来から重視されてきた。しかし、その中身としての電荷帯電と双極性帯電の量的関係は測定技術の未完成からあまり検討されてはいない。本発明では、測定手順そのものが電荷帯電と双極性帯電を意識させる。すなわち、測定は以下のように進行する。1試料を静電気測定器またはファラデーケージで測定して、電荷帯電量Qを求める。この操作は、従来の帯電測定そのものである。2α線などで試料上の電荷帯電量を除去し、双極性帯電体±qに変換する。3双極性帯電体の正電荷qまたは負電荷-qのいずれか一方の極性電荷のみを除電し、双極性帯電体をqまたは-qの電荷帯電体に変換する。4静電気測定器またはファラデーケージでqまたは-qを測定する。51と4を総合し、電荷帯電量Q、双極性帯電量±qと記録する。すなわち、Qと±qという意識が確立する。ただし、静電気の帯電体には種々の形態があるので、使用する器具はそれに合うように変形する必要がある。本発明の原理には下記の弱点がある。すなわち、図2bの9が無帯電の固体であれば、図2bの状態では負イオン濃度に応じた負の帯電体となり、なにがしかの双極性帯電体として測定される。これの補正は、容器内にイオン濃度測定器を設置し、双極性帯電体を電荷帯電体に変換する変換操作に習熟することが第一である。つぎに、複数の試料を使用して、qの電荷帯電体と-qの電荷帯電体の両方に変換した時の双極性帯電量を比較して測定値を決める第2の補正を併用して、本発明の弱点を克服する。実際問題としては、静電気は空間に分布した現象で、帯電体の総電荷量のみでは判断できない現象であるから、前述したように、電荷分布可視化装置と併用して実験はすすめられる。したがって、これによっても本発明の弱点は克服される。高密度除電をおこない双極性帯電が残留していないことをダストフィギュアー法で検査している半導体デバイス工程で、静電気障害らしきものが再発するようになった。本発明で双極性帯電の残留状態を再検査したところ、残留が認められた。除電装置の再調整をおこなった。デバイスは導体半導体絶縁物の微細構造の複合材である。そのために、比重と体積の大きな二酸化鉛粉と硫黄粉は空気イオンに比して検出不良が生じやすいことが判明した。従来の高密度除電では効果が薄いと高度化された新しい高機能性フィルムの除電工程で指摘を受けた。ダストフィギュアー法での検査に替えて本発明の検査をおこなったところ、残留双極性帯電が検出された。ダストフィギュアー法は、体積、質量に伴う慣性力が検出誤差を伴うことが判明した。更なる高密度除電装置を開発することになった。