圧電片に作用する外力を検出する外力検出装置であって、一端側が基台に支持された片持ちの圧電片と、この圧電片を振動させるために、当該圧電片の一面側及び他面側に夫々設けられた一方の励振電極及び他方の励振電極と、一方の励振電極に電気的に接続された発振回路と、前記圧電片において前記一端側から離れた部位に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記圧電片とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電片の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、前記圧電片をアースに接続して、前記圧電片に発生した静電荷をアースに放出するための除電路、とを備え、前記発振回路から一方の励振電極、他方の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電片に作用する力を評価するためのものであることを特徴とする外力検出装置。前記除電路を開閉するための除電用のスイッチを備えたことを特徴とする請求項1記載の外力検出装置。前記発振回路を電源部に接続するための電源投入用のスイッチを備え、前記除電用のスイッチは、前記電源投入用のスイッチがオフの時にオンとなり、オンの時にオフとなるように構成されていることを特徴とする請求項2記載の外力検出装置。本発明は、このような背景の下になされたものであり、その目的は圧電片に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することができ、しかも静電気による悪影響を排除することができる外力検出装置を提供することにある。本発明は、圧電片に作用する外力を検出する外力検出装置であって、一端側が基台に支持された片持ちの圧電片と、この圧電片を振動させるために、当該圧電片の一面側及び他面側に夫々設けられた一方の励振電極及び他方の励振電極と、一方の励振電極に電気的に接続された発振回路と、前記圧電片において前記一端側から離れた部位に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記圧電片とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電片の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、前記圧電片に帯電した電荷をアースに放出するための圧電片とアースの間を接続するための除電路、とを備え、前記発振回路から一方の励振電極、他方の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電片に作用する力を評価するためのものであることを特徴とする。本発明の具体的態様の一例として、前記発振ループ内の導電路上に第1のスイッチを設け、スイッチをオンにすることにより前記圧電片と前記固定電極との間の電位差を0にする構成を挙げることができる。なお、この構成においては、前記発振回路と前記電源部との間に、第1のスイッチ使用中に前記発振回路と前記電源部の短絡を防止するように作動する第2のスイッチを設ける。さらに本発明の別の一態様として、圧電片、励振電極、可動電極及び固定電極からなる組として、第1の組及び第2の組を設け、第1の組及び第2の組に夫々対応して発振回路を設け、前記周波数情報検出部は、前記第1の組に対応する発振周波数及び前記第2の組に対応する発振周波数の差分に応じた信号を求める機能を有する構成が挙げられる。本発明は、圧電片に外力が加わって撓むとあるいは撓みの程度が変わると、圧電片側の可動電極とこの可動電極に対向する固定電極との間の距離が変わり、このため両電極間の容量が変わり、この容量変化を圧電片の発振周波数の変化として捉えている。従って、圧電片の僅かな変形も発振周波数の変化として検出できるので、圧電片に加わる外力を高精度に測定することができる。さらに圧電片とアースとを接続する除電路を設けているため、圧電片に蓄積される静電荷を除去し、測定結果に対する静電気力の影響を排除することができる。[第1の実施形態]本発明を加速度検出装置に適用した第1の実施形態について説明する。図1中、1は直方体形状の密閉型の例えば水晶からなる容器であり、内部に不活性ガス、例えば窒素ガスが封入されている。この容器は基台をなす下部分301とこの下部分301に周辺部にて接合される上部分302とから構成され、絶縁基板11上に設けられている。なお容器1としては必ずしも密閉型の容器に限定されるものではない。容器301内には台座部8が設けられ、この台座部8の上面に導電性接着剤10により圧電片である水晶片2の一端側が固定されている。即ち水晶片2は台座部8に片持ち支持されている。水晶片2は、例えばXカットの水晶を短冊状に形成したものであり、厚さが例えば数十μmオーダ、例えば0.03mmに設定されている。従って水晶片に交差する方向に加速度を加えることにより、先端部が撓む。水晶片2は、図2aに示すように上面の中央部に一方の励振電極31が設けられ、また図2bに示すように下面における、前記励振電極31と対向する部位に他方の励振電極41が設けられて水晶振動子を構成している。水晶片2の上面側の励振電極31には、帯状の引き出し電極32が接続され、この引き出し電極32は、水晶片2の一端側で下面に折り返されて、導電性接着剤10に固着されている。台座8の内部及び絶縁基板11には金属層からなる導電路12が設けられ、この導電路12は、一端が導電性接着剤10と接触し、他端側が絶縁基板11上の発振回路17に接続されている。またこの導電路12の途中から除電路12aが分岐され、この除電路12aは第1のスイッチ21を介してアースに接続されている。水晶片2の下面側の励振電極41には、帯状の引き出し電極42が接続され、この引き出し電極42は、水晶片2の他端側先端側まで引き出され、可変容量形成用の可動電極5に接続されている。一方容器1側には、可変容量形成用の固定電極6が設けられている。容器1の底部にはコンベックス状の水晶からなる突起部7が設けられている。この突起部7は平面図で見ると四角形である。本発明は水晶片2の変形に基づいて起こる可動電極5と固定電極6との間の容量変化を介して外力を検出するものであることから、可動電極5は検出用電極と言うこともできる。固定電極6はこの突起部7において、可動電極5と概ね対向するように設けられている。水晶片2は過大に触れて先端が容器1の底部に衝突すると、劈開へきかい:Cleavageという現象により結晶の塊でも欠け易いという性質がある。このため水晶片2が過大に触れたときに可動電極5よりも水晶片2の基端側一端側の部位が突起部7に衝突するように突起部7の形状が決定されている。図1等では実際の装置とは少しイメージを変えて記載してあるが、実際に大きく容器1を振ると、水晶片2の先端より中央寄りの部位が突起部7に衝突する。固定電極6は、絶縁基板11を介して配線された導電路16の一端に接続され、導電路16の他端は発振回路17に接続されている。発振回路17は第2のスイッチ22を介して電源部18に接続されている。第1のスイッチ21及び第2のスイッチ22は、絶縁基板11上に配置してもよいが、絶縁基板11とは別の場所、例えば図1に示した容器1及び絶縁基板11の組立体を収納する図示しない筐体内に設けてもよい。図3は加速度センサーの配線の接続状態を示し、図4は具体的な回路を示している。上面側の励振電極31および下面側の励振電極41は発振回路17に接続されるが、下面側の励振電極と発振回路17との間に、前記可動電極5および固定電極6との間に形成される可変容量Cvが介在することになる。図3中、101は例えばパーソナルコンピュータからなるデータ処理部であり、このデータ処理部101は、周波数検出部100から得られた周波数情報例えば周波数に基づいて、水晶片2に加速度が加わらないときの周波数f0と加速度が加わったときの周波数f1との差を求め、この周波数差から算出した周波数の変化分と加速度とを対応付けたデータテーブルを参照して加速度を求める機能を有する。周波数情報としては、周波数差の変化分に限らず、周波数の差分そのものであってもよい。ここで国際規格IEC60122-1によれば、水晶発振回路の一般式は次の1式のように表される。FL=Fr×1xx=C1/2×1/C0CL......1FLは、水晶振動子に負荷が加わったときの発振周波数であり、Frは水晶振動子そのものの共振周波数である。本実施形態では、図3及び図4に示されるように、水晶片2の負荷容量は、CLにCvが加わったものである。従って1式におけるCLの代わりに2式で表されるyが代入される。y=1/1/Cv1/CL......2従って水晶片2の撓み量が状態1から状態2に変わり、これにより可変容量CvがCv1からCv2に変わったとすると、周波数の変化dFLは、3式で表される。dFL=FL1-FL2=A×CL2×Cv2-Cv1/B×C...3ここで、A=C1×Fr/2B=C0×CLC0CL×Cv1C=C0×CLC0CL×Cv2である。また水晶片2に加速度が加わっていないときのいわば基準状態にあるときにおける可動電極5及び固定電極6の間の離間距離をd1とし、水晶片2に加速度が加わったときの前記離間距離をd2とすると、4式が成り立つ。Cv1=S×ε/d1Cv2=S×ε/d2......4ただしSは可動電極5及び固定電極6の対向領域の面積、εは比誘電率である。d1は既知であることから、dFLとd2とが対応関係にあることが分かる。次に上述実施例の作用について説明する。水晶片2は、冬期乾燥時などの静電気の発生しやすい環境下において、静電荷が蓄積され、容器1との間の静電力により例えば可動電極5が固定電極6側に撓む場合がある。このときの水晶片2の撓み量は、例えば約1度である。このような状態で測定を行うと、測定結果の誤差の要因となる。水晶片2の撓みが大きい場合では、可動電極5と固定電極6とが接触してしまい、測定ができない状態になる。そこで、第2のスイッチ22をオンにする前電源を投入する前に、第1のスイッチ21をオンにする。これにより水晶片2とアースとの間に除電路が形成され、水晶片2に蓄積された静電荷がアースに放出される。そして水晶片2が静電荷による引力から解放されて所定の位置へと戻るので、正確な測定が行える状態となる。その後、スイッチ21はオフの状態に戻し、続いて第2のスイッチ22をオンにし、加速度の検出に備えることになる。そして地震が発生してあるいは模擬的な振動が加わると、水晶片2が図1の鎖線で示すようにあるいは図3に実線で示すように撓む。既述のように水晶片2に外力が加わらない基準の状態において可動電極5と固定電極6との間の容量をCv1とすると、水晶片2に外力が加わって当該水晶片2が撓むと両電極5、6間の距離が変わるので容量がCv1から変化する。このため発振回路14から出力される発振周波数が変化する。振動が加わらない状態において周波数情報検出部である周波数検出部100により検出した周波数をFL1、振動加速度が加わった場合の周波数をFL2とすると、周波数の差分FL1-FL2は3式で表される。本発明者は状態1から状態2に変わったときの周波数の変化率を周波数の差分FL1-FL2から算出し、周波数の変化率{FL1-FL2/FL1}と、加速度との関係を調べて、直線関係が得られている。従って前記周波数の差分を測定することにより加速度が求まることが裏付けられている。なお、FL1の値はある温度を基準温度と決めて、その基準温度例えば25°Cにおける周波数の値である。続いてスイッチ21および22の一例を図5aに示す。この例は、スイッチ21、22が夫々通電時に開成するスイッチ、通電時に閉成するスイッチとしてリレー回路に組み込まれており、メインスイッチSWがオフの状態ではリレーコイル200に通電されていないのでスイッチ21はオン、スイッチ22はオフである。スイッチSWをオンにすると、コイル200に通電され、スイッチ21はオフ、スイッチ22はオンになる。従ってこの例によれば発振回路17に対して電源を投入していないときは、確実に除電が行える。またスイッチ21、22は図5bに示すように連動スイッチとして構成し、操作部201の操作によりスイッチ21、22がオン、オフの状態と、オフ、オンとの状態とが得られるようにしてもよい。ここで水晶片2の帯電について検証した一例について記載しておく。図1に示す装置を用い、発振器17を動作させる前に水晶片2に2kVの直流電圧を10秒間与えたところ、水晶振動子の並列容量C0が2.15pFであった。その後5分経過した後、発振器17の電源のスイッチ22を30秒間オンこのときスイッチ21はオフであるにし、続いてスイッチ22、21をオフ、オンにしたところ、水晶振動子の並列容量C0が2.26pFであった。この変化は、水晶片2が静電気により撓んだ結果であると推測できる。なお、水晶振動子のFrは73.832294MHz、Rrは6.9Ω、CLは9.665Fであった。[第2の実施形態]次に本発明を加速度センサーに応用した第2の実施形態について図6~図11を参照しながら説明する。この第2の実施形態は、既述の水晶片2、励振電極31、41、可動電極5、固定電極6及び発振回路17の組を2組設けた点が第1の実施の形態と異なる。水晶片2及び発振回路17について、一方の組の部品には符号Aを添え、他方の組の部品には符号Bを添えている。圧力センサーの内部を平面的に見ると、図6に示すように第1の水晶片2Aと第2の水晶片2Bとが横に平行に配置されている。これら水晶片2A、2Bは同一の構造であるため、一方の水晶片2Aについて説明する。水晶片2Aの一面側上面側において一端側から幅の狭い引き出し電極32が他端側に向かって伸び、当該引き出し電極32の先端部に一方の励振電極31が角形形状に形成されている。そして水晶片2Aの他面側下面側には、図6および図8に示すように一方の励振電極31に対向して他方の励振電極41が形成され、当該励振電極41における水晶片2の先端側に向かって幅の狭い引き出し電極42が伸びている。更にこの引き出し電極42の前記先端側には短冊状の可変容量生成用の可動電極5Aが形成されている。これら電極31等は、導電膜例えば金属膜により形成されている。容器1の底部には、図1と同様にコンベックス状の水晶からなる突起部7が設けられているが、突起部7の横幅は、2枚の水晶片2A、2Bの配置に対応した大きさに設定されている。水晶片2及びその周辺部位に関し、図9を参照しながら各部の寸法の一例について説明しておく。水晶片2の長さ寸法S及び幅寸法は、夫々18mm及び3mmである。水晶片2の厚さは、例えば数μmである。水晶片2の一端側における支持面を水平面に平行に設定したとすると、加速度が加わらず放置した状態では自重により撓んだ状態となり、その撓み量d1は例えば150μm程度であり、容器1の下部分における凹部空間の深さd0は、例えば175μmである。また突起部7の高さ寸法は例えば55~60μm程度である。これらの寸法は一例に過ぎない。図10は第2の実施形態に係る加速度検出装置の回路を示している。第1の実施形態と異なる箇所は、第1の水晶片2A及び第2の水晶片2Bに夫々対応して第1の発振回路14A及び第2の発振回路2Bが接続されており、第1の水晶片2A及び第2の水晶片2Bごとに、発振回路14A14B、励振電極31、41、可動電極5A5Bおよび固定電極6を含む発振ループが形成されている。これら発振回路14A、14Bからの出力は周波数情報検出部100に送られ、ここで各発振回路14A、14Bからの発振周波数の差分あるいは周波数の変化率の差が検出される。図10では第1の水晶片2A及び第2の水晶片2Bに夫々対応して、除電用のスイッチ21Aおよびスイッチ21Bが設けられている。また第1の発振回路14A及び第2の発振回路14Bに対して共通の電源202から電圧を供給するための共通の電源投入用のスイッチ22が設けられている。装置の不使用時には、水晶片2A、2Bの帯電を防ぐためにスイッチ21A、21Bがオンとされ、装置を使用するときはスイッチ21A、21Bをオフとし、電源投入用のスイッチ22をオンにする。これらスイッチ21A、21B、22はリレー回路として構成してもよく、この場合には、メインスイッチSWがオフの時にはスイッチ21A、21Bがオン、スイッチ22がオフとされ、スイッチSWがオンの時にはスイッチ21A、21Bがオフ、スイッチ22がオンとなる。このような動作を実現した回路図の一例を図11に示す。図11は図5の回路図で示した回路の応用である。第2の実施形態によれば、水晶片2A及び水晶片2Bを同一の温度環境に配置しているため、水晶片2A及び水晶片2Bの各々の周波数が温度により変化したとしても、この変化分がキャンセルされ、結果として水晶片2A、2Bの撓みに基づく周波数の変化分だけを検出できるので、検出精度が高いという効果がある。更にこの実施形態による装置は、第1の実施例の装置と同様に圧電片に蓄積された静電荷をスイッチ操作で容易に除去する機構を備えており、静電荷による引力によって測定結果に誤差が出る現象を防止することができる。[第3の実施形態]第3の実施形態は、水晶片2に専用の除電用の電極を設け、常時水晶片2をアースに接続するものである。図12に当該実施形態の一例を示す。水晶片2上の、励振電極31、41及び可動電極5と離間した部分に除電専用の電極19を設け、除電専用の電極19は常時アースに接続しておく。除電専用の電極19は励振電極31、41及び可動電極5から電気的に接続されていないので、装置が稼働している状態であっても、水晶片2上の静電荷そのもののみがアースへと放出されることになり、第1の実施形態および第2の実施形態で上述したスイッチ21、22を用いて水晶片2の静電荷をアースに放出する方法と同一の効果が得られる。また当該実施形態は、第1の実施形態の加速度検出装置及び第2の実施形態の加速度センサーにも応用可能である。この当該実施形態の利点は、スイッチをオンおよびオフする手段を必要とせずに簡便に蓄積された静電荷を放出でき、正確な測定を可能とすることにある。以上において本発明は、加速度を測定することに限らず、磁力の測定、被測定物の傾斜の度合いの測定、流体の流量の測定、風速の測定、重力の測定などにも適用することができる。