"インクを吐出するノズルを有する記録ヘッドと、前記記録ヘッドにインクを供給するインクタンクと、前記記録ヘッドから前記インクタンクまでインクを案内する流路の間に配置され、インクを一時的に貯留して前記ノズル内を負圧にするためのダンパとを備え、前記ダンパは、インクを収容する収容部が形成され、当該収容部を開放する開口部を備えた容器本体と、可撓性を有し、前記開口部を閉塞するフィルム部材と、前記収容部の内部に配置され、前記フィルム部材に対して外側へ向かう力を付勢する弾性部材と、前記フィルム部材に接するように当該フィルム部材の外側に配置され、前記フィルム部材と前記弾性部材との当接位置を露出させる規制部材とを備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。請求項1記載のインクジェット記録装置において、前記規制部材は、前記当接位置を含んだ該当接位置よりも大きい領域を露出させるための開口を有した板状部材であることを特徴とするインクジェット記録装置。請求項2記載のインクジェット記録装置において、前記フィルム部材は、前記開口部を覆った状態で、前記容器本体における前記開口部周縁に接着されていて、前記規制部材は、前記フィルム部材の接着部分に接するように配置されていることを特徴とするインクジェット記録装置。請求項2記載のインクジェット記録装置において、前記規制部材は、前記開口部を覆った状態で、前記容器本体における前記開口部周縁に取り付けられていて、前記フィルム部材は、前記規制部材の開口よりも大きく、当該開口を閉塞するように当該規制部材の内側に取り付けられていて、前記フィルム部材の周縁が前記規制部材に接着されるとともに、当該周縁から前記規制部材の開口までは接着されていない状態で前記規制部材に接していることを特徴とするインクジェット記録装置。請求項1~4のいずれか一項に記載のインクジェット記録装置において、前記流路における前記ダンパの上流側には、前記インクタンク内のインクを前記記録ヘッドまで供給するための送液ポンプが設けられていることを特徴とするインクジェット記録装置。ところで、負圧形成時の廃液は極力抑制することが望まれているが、フィルム部材に外側に膨らむ凸部が形成されていると、それだけ充填されるインクも多くなるので、廃液が多くなってしまっていた。特に、フィルム部材の張力が均一となるように凸部を形成することが極めて困難であり、負圧形成の観点から考えるとそのままでの実用化は厳しいのが実状である。本発明の課題は、ダンパのフィルム部材が平面形状であっても、少ない廃液で負圧を確保可能とすることである。請求項1に記載の発明に係るインクジェット記録装置は、インクを吐出するノズルを有する記録ヘッドと、前記記録ヘッドにインクを供給するインクタンクと、前記記録ヘッドから前記インクタンクまでインクを案内する流路の間に配置され、インクを一時的に貯留して前記ノズル内を負圧にするためのダンパとを備え、前記ダンパは、インクを収容する収容部が形成され、当該収容部を開放する開口部を備えた容器本体と、可撓性を有し、前記開口部を閉塞するフィルム部材と、前記収容部の内部に配置され、前記フィルム部材に対して外側へ向かう力を付勢する弾性部材と、前記フィルム部材に接するように当該フィルム部材の外側に配置され、前記フィルム部材と前記弾性部材との当接位置を露出させる規制部材とを備えていることを特徴としている。請求項2記載の発明は、請求項1記載のインクジェット記録装置において、前記規制部材は、前記当接位置を含んだ該当接位置よりも大きい領域を露出させるための開口を有した板状部材であることを特徴としている。請求項3記載の発明は、請求項2記載のインクジェット記録装置において、前記フィルム部材は、前記開口部を覆った状態で、前記容器本体における前記開口部周縁に接着されていて、前記規制部材は、前記フィルム部材の接着部分に接するように配置されていることを特徴としている。請求項4記載の発明は、請求項2記載のインクジェット記録装置において、前記規制部材は、前記開口部を覆った状態で、前記容器本体における前記開口部周縁に取り付けられていて、前記フィルム部材は、前記規制部材の開口よりも大きく、当該開口を閉塞するように当該規制部材の内側に取り付けられていて、前記フィルム部材の周縁が前記規制部材に接着されるとともに、当該周縁から前記規制部材の開口までは接着されていない状態で前記規制部材に接していることを特徴としている。請求項5記載の発明は、請求項1~4のいずれか一項に記載のインクジェット記録装置において、前記流路における前記ダンパの上流側には、前記インクタンク内のインクを前記記録ヘッドまで供給するための送液ポンプが設けられていることを特徴としている。本発明によれば、ダンパのフィルム部材が平面形状であっても、少ない廃液で負圧を確保することができる。以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。ただし、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。図1は本実施形態に係るインクジェット記録装置1の概略構成を示す説明図である。インクジェット記録装置1は、スキャン式のインクジェットプリンタであり、記録ヘッドから記録媒体に対してインクを吐出し、記録媒体上に画像を形成するものである。ここで、スキャン式のインクジェット記録装置は、記録媒体が搬送装置により所定の方向に搬送され、インクを吐出する記録ヘッドが記録媒体の面に沿って、記録媒体の搬送方向に直交する方向に走査することで記録媒体に画像を形成するものである。図1に示すように、インクジェット記録装置1は、記録媒体に対して画像を形成する本体部2と、本体部2に対してインクを供給する供給ユニット3とを備えている。本体部2は、記録媒体に対してインクを吐出する複数の記録ヘッド21と、供給ユニット3から供給されたインクを記録ヘッド21に送液する送液部22と、記録ヘッド21のメンテナンスを行うメンテナンスユニット23とを備えており、これらが吐出する色毎に複数組設けられている。図1においては、一色あたりの記録ヘッド21と、送液部22と、メンテナンスユニット23を示している。各組の記録ヘッド21及び送液部22はキャリッジ24に搭載されている。キャリッジ24が記録媒体の搬送方向に直交する方向に走査することによって、各組の記録ヘッド21及び送液部22が記録媒体上を走査するようになっている。図2は、記録ヘッド21及び送液部22の概略構成を示す説明図である。図2に示すように、送液部22は、供給ユニット3に配設されたインク流路31に接続され、当該供給ユニット3から供給されたインクを一時的に貯留するダンパ4を備えている。ダンパ4には、各記録ヘッド21までインクを案内するインク流路41が接続されている。これら各インク流路41には、当該インク流路41を開閉する第一開閉弁42が設けられている。また、ダンパ4の上部には、ダンパ4の内部に連通し上方へと延びた連通管43が設けられている。連通管43のダンパ4側の端部には液面センサ44が取り付けられていて、連通管43の上端部には圧力センサ45が取り付けられている。そして連通管43における中間部には、水平に延びる分岐管46が設けられていて、その分岐管46には当該分岐管46を開閉する第二開閉弁47と、空気を濾過するエアフィルタ48とが設けられている。図1に示すように、メンテナンスユニット23は、各記録ヘッド21のノズル面2aを覆う吸引キャップ231が記録ヘッド21の数に対応して設けられている。また、吸引キャップ231の底面には、吸引キャップ231の内部に連通するインク連通管232が設けられている。このインク連通管232の途中には、吸引ポンプ233が設けられており、インク連通管232の他端には、吸引したインクを受ける廃インクタンク234が設けられている。各吸引キャップ231の直下流には、インク連通管232を開閉する第三開閉弁235が設けられている。これにより任意の記録ヘッド21を個別にメンテナンスすることができる。また、メンテナンスユニット23は、記録ヘッド21のノズル面2aを摺擦し、付着しているインクを拭き取るクリーニングローラ236が設けられている。クリーニングローラ236は、例えば硬度65度以下の多孔質体例えばPVAスポンジからなるローラである。メンテナンスユニット23によるメンテナンス動作について説明すると、メンテナンス開始により記録ヘッド21のノズル面2aを吸引キャップ231により覆ってから、吸引ポンプ233を駆動し、記録ヘッド21のノズルからインクを吸引する。記録ヘッド21を吸引するときに、メンテナンスを行う記録ヘッド21以外の第一開閉弁42を閉じるとともに、メンテナンスを行う記録ヘッド21に対応する吸引キャップ231に通じる第三開閉弁235を開き吸引を行う。インクの吸引が完了すると、吸引キャップ231がノズル面2aから離間する。離間時あるいは離間後においては、吸引キャップ231とノズル面2aとの間にインクが残存している場合もあるので、少し離間してから再度吸引ポンプ233を駆動し空吸引を行うことで残存したインクも吸引する。空吸引後には、キャリッジ24により走査された記録ヘッド21のノズル面2aをクリーニングローラ236が摺擦することにより、ノズル面2aに付着したインクが拭き取られる。摺擦時にはクリーニングローラ236は記録ヘッド21の移動方向とは逆らう方向に回転している。供給ユニット3には、インクを収容するメインタンク30と、インクを供給する際のインク内の空気を除去するための脱気ユニット32と、一時的にインクを貯留した後に本体部2にインクを供給する中間ユニット33とを備えている。脱気ユニット32は、メインタンク30から中間ユニット33までを連通するインク流路321を備えている。インク流路321の途中には、上流側から順に、フィルタ322、第四開閉弁323、第一送液ポンプ324及び脱気モジュール325が設けられている。脱気モジュール325には、リークバルブ326と、真空ポンプ327と、真空圧センサ328とが接続されている。これらの協働によって気泡が除去されたインクが中間ユニット33に供給される。中間ユニット33は、インクを一時的に貯留した後に記録ヘッド21にインクを供給する中間タンクインクタンク331を備えている。中間タンク331は、可撓性の袋により形成されており、貯留するインクが変動することにより膨張/収縮するようになっている。そして、中間タンク331は、インク流路31を介してダンパ4に連通している。インク流路31の途中には、第五開閉弁332と、第二送液ポンプ333が設けられている。メインタンク30から中間タンク331にインクを供給する際には、第五開閉弁332は閉状態とし、第四開閉弁323は開状態としてから、第一送液ポンプ324を駆動させる。このときリークバルブ326を開状態として真空ポンプ327も駆動させておく。これにより、メインタンク30からインク流路321を介して中間タンク331に供給されるインクが、脱気されることになる。また、フィルタ322も通過しているので、インクに混入していた不純物も除去される。次に、中間タンク331からダンパ4にインクを供給する際には、第一開閉弁42を閉状態として、第二開閉弁47及び第五開閉弁332を開状態としてから、第二送液ポンプ333を駆動してダンパ4内にインクを供給する。このとき、ダンパ4内のインクが増加して液面センサ44まで達すると第二送液ポンプ333によるインクの供給が停止する。この停止に関連して、第二開閉弁47も閉状態に切り替わる。そして、記録ヘッド21のノズル面2aを吸引キャップ231で覆ってから、吸引ポンプ233を駆動し、記録ヘッド21のノズルからインクを吸引する。このとき、圧力センサ45の検出値をモニタリングし、所望の圧力例えば-15cmAq~-16cmAqとなったら、インクの吸引を完了する。完了後には、吸引キャップ231はノズル面2aから離間し、クリーニングローラ236がノズル面2aを摺擦して、ノズル面2aに付着したインクを拭き取る。これによりノズルの先端内部には所定の負圧が付与されることになる。この負圧によってノズル内にメニスカスが形成される。この負圧は、ダンパ4によっても維持されるようになっている。以下ダンパ4について詳細に説明する。図3はダンパ4の概略構成を示す説明図であり、aは正面図、bは断面図である。図3に示すように、ダンパ4には、容器本体5と、フィルム部材6と、弾性部材7と、規制部材8とを備えている。容器本体5には、正面視円形状の凹部からなる収容部51が形成されており、その収容部51は、正面視円形状の開口部52によって開放されている。開口部52はフィルム部材6によって閉塞されている。具体的には、フィルム部材6は、開口部52を覆った状態で、容器本体5における開口部52周縁に接着されている。フィルム部材6は、平面形状の可撓性樹脂フィルムから形成されている。このような可撓性樹脂フィルムに用いられる樹脂としては、例えば低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、テフロン登録商標、サラン、塩化ビニル、PVA、ポリプロピレン、ナイロン、PET等が挙げられる。中でも塩素フリーでフィルム成形しやすく、且つ必要十分なガス水蒸気透過阻止性のある低密度ポリエチレンが好ましい。本実施形態では、低密度ポリエチレンを使用しアルミの蒸着膜を成膜した多層膜にしている。また、フィルム部材6はインク耐性を有していることが好ましく、インク耐性が高いフッ素樹脂をコーティングしてもよい。また、フィルム部材6は多層のフィルムにより形成することも可能である。この場合、いずれかの層のフィルムが、ガス透過性及び水蒸気透過性を満足していればよく、各層を機能分化させることができる。例えば表面がインクと直に接するインク接液層には、ガス透過性や水蒸気透過性よりもインク耐性を優先させ、それに隣接するバリア層にガス透過性や水蒸気透過性の低いフィルムを用いることができる。バリア層はインク耐性を考慮する必要はなく、ガス透過性や水蒸気透過性の低い点のみに着目してフィルム素材を選択することができる。このバリア層として好ましいフィルムは、フッ素樹脂、酢酸エチル共重合体その鹸化物、例えばEVOH、ポバール等を含む。又は塩化ビリニデン共重合体少量の塩化ビニルを含む。から選ばれる可撓性樹脂フィルムが挙げられる。またバリア層によってガス透過性や水蒸気透過性を低くすることができるため、インク接液層には、インク耐性のみに着目した素材とすることができる。このインク接液層は、上記と同様の理由でそのフィルム素材中に脂肪酸類が含まれないことが好ましく、具体的にはフィルム素材として柔軟で安価であることからポリエチレンが挙げられ、またインク耐性が高いフッ素樹脂が挙げられる。中間層に相当するバリア層の外側には、例えばナイロン、PET等からなる補強層が設けられているが、補強層は必要に応じて設ければよく、またこの補強層は、インク接液層とバリア層との間に介在されていてもよい。また、バリア層に金属膜例えばアルミ薄等、蒸着膜例えばアルミ蒸着、シリカ蒸着、アルミナ蒸着等等を用いることにより、高いガス透過阻止性及び水蒸気透過阻止性を付与することもできる。弾性部材7は、例えばバネ部材であり、フィルム部材6の略中央に接するように、収容部51の内側に配置されている。これにより、弾性部材7は、フィルム部材6に対して外側に向かう力を付勢している。規制部材8は、板状部材であり、フィルム部材6と接するように当該フィルム部材6の外側に配置されている。この規制部材8には、フィルム部材6と弾性部材7との当接位置を含んだ該当接位置よりも大きい領域Hを露出させるための円形の開口81が形成されている。そして、規制部材8は、容器本体5の四隅に固定されており、この固定部分以外に関してはフィルム部材6とは固定されておらず重なっているだけである。つまり、規制部材8は、フィルム部材6と容器本体5との接着部分に対しては接するように配置されている。ここで、図4に示すように規制部材8が設けられていないダンパ4Aを例示してフィルム部材6の張力と負圧との関係を説明する。負圧形成前では弾性部材7が無負荷の状態であるので通常の長さのままとなっているが、負圧形成後にあると弾性部材7が収縮することで収容部51内が負圧となる。この弾性部材7の負圧形成前と負圧形成後との突き出し量の変化、つまり弾性部材7の圧縮長さをxとし、弾性部材7のバネ定数kを積算式1参照すると、弾性部材7による力f1が求まる。f1=kx1また、図5はフィルム部材6の張力を説明するための模式図である。図5に示すようにフィルム部材6の張力Tによる当該フィルム部材6の垂直方向の力f2は、フィルム部材6の突き出し角度θとの関係式2によって求まる。f2=Tsinθ2そして、ダンパ4Aにより形成される負圧Fは、力f1と力f2とを加算した値を、フィルム部材6が収容部51を閉塞した面積Sで除算することで求まる式3参照。F=f1f2/S3ところで、図6はダンパ4Aで負圧を形成する際の排出するインクと負圧との関係を示すグラフである。この場合、フィルム部材6が収容部51を閉塞した面積Sをなす円は直径60mmとし、収容部51の深さは8mm、弾性部材7の突き出し量は4mm±1mm、バネ定数kは30gf/mmとしている。図6に示すように、-15cmAqの負圧を形成するには4mlのインクを排出しなければならない。そして、-15cmAq近傍の傾きは、1mlあたり2.5cmAqの傾きを持つ。このときダンパ4Aに対する送液量が100ml/minの第二送液ポンプ333を用いている場合には1cmAqに制御するために第二送液ポンプ333の制御時間が240msec以内となるために十分余裕のある制御を行うことができる。しかしながら、高速化を実現するためには記録ヘッド21を増やさねばならない。例えば上述したように記録ヘッド21を9個搭載し、1つの記録ヘッド21の1つあたりの流量を31ml/minとすると、全体で279ml/minの流量が必要となる。これを満たすべく、第二送液ポンプ333として送液量が300ml/minの送液ポンプを用いなければならないが、1cmAq以内に制御しようとすると、第二送液ポンプ333の稼働時間は80msec以内に制御しなければならず、ポンプ制御の負荷が大きい。そのため高速印字をする場合はインクの消費量が多くなってしまい、ポンプがそのままでは使用できない。これを改善するためには、面積Sを大きくすることにより1mlあたりのインク量に対する弾性部材7の変化量を小さくすることにより発生する負圧を抑えること、つまりフィルム部材6が収容部51を閉塞した面積Sをなす円の直径を大きくする必要となる。図7はダンパ4,4Aで負圧を形成する際の排出するインクと負圧との関係を示すグラフである。図7のラインL1は面積Sをなす円の直径を90mmとし、他の条件は図6で示したものと同じにした場合の出力結果である。なお、図7中、ラインLは図6の出力結果である。この図7のラインL1に示すように、-15cmAqの負圧を形成するためには約19mlのインクを排出しなければならず、廃液量が多くなってしまう。一方、図6の場合と同様の廃液量に設定してしまうと、ダンパ4Aの設置位置がノズル面2aから7cmの高さに配置しなければならず、設置スペース上好ましくない。そこで、上述した本実施形態のダンパ4についてであるが、ダンパ4には規制部材8が設けられているため、図8に示すように規制部材8がない場合図8中、点線部参照と比べても、フィルム部材6の突き出しによる容積が小さくなる。このように前記容積が小さくなると、少ないインク量でフィルム部材6が収容部51の底面に平行な領域が大きくなる。収容部51の底面と平行な領域が広くなればなるほどフィルム部材6の張力Tの影響が小さくなり、式3のf2も小さくなる。このように、インクの送液量に対して圧力変動が小さくなるので、第二送液ポンプ333として送液量の大きなポンプを用いることが可能となる。そして、図7のラインL2は、直径60mmの開口81を有する規制部材8が設けられたダンパ4での出力結果である。また図7のラインL3は、直径40mmの開口81を有する規制部材8が設けられたダンパ4での出力結果である。その他の条件は図6に示した場合と同様である。これらラインL2,L3に示すように、ラインL1よりも少ないインクの廃液量で同じ負圧が実現できていることが分かる。さらに、-15cmAq近傍では、ラインL2,L3がラインLよりも傾きが小さく1mlあたりの圧力変化量が小さくなっているため、例えば300ml/min等の送液量の大きなポンプを使用したとしても、200msecでの制御が可能となる。以上のように、本実施形態によれば、フィルム部材6に接するように当該フィルム部材6の外側に配置され、フィルム部材6と弾性部材7との当接位置を露出させる規制部材8がダンパ4に備えられているので、フィルム部材6の突き出しによる容積を小さくすることができ、結果としてフィルム部材6が平面形状であっても、少ない廃液で負圧を確保することができる。また、開口部の小さいダンパと比較しても送液量に対して負圧の変動が少ないため、ポンプの個体差やポンプに供給される電圧の差、制御遅れによる送液量の変動があっても安定的に負圧を確保することができる。また、規制部材8が、弾性部材7とフィルム部材6との当接位置を含んだ該当接位置よりも大きい領域を露出させるための開口81を有しているので、フィルム部材6が平面形状のままであっても突き出し量を確保することができる。また、インク流路31におけるダンパ4の上流側には、中間タンク331内のインクを記録ヘッド21まで供給するための第二送液ポンプ333が設けられているので、当該ポンプとして双方向性を有するポンプを用いた場合よりも製造コストを抑えることができる。なお、本発明は上記実施形態に限らず適宜変更可能である。なお、以下の説明において上記実施形態と同一部分においては同一符号を付してその説明を省略する。例えば、上記実施形態では、フィルム部材6が容器本体5に接着されている場合を例示して説明したが、フィルム部材6bが規制部材8側に接着されていてもよい。例えば、図9はフィルム部材6bが規制部材8側に接着されたダンパ4Bを示す説明図であり、aは正面図、bは分解断面図である。この図9に示すように、フィルム部材6bは、規制部材8の開口81よりも大きく、当該開口81を閉塞するように当該規制部材8の内側に取り付けられている。ここで、フィルム部材6bの周縁のみが規制部材8に接着されており、当該周縁から規制部材8の開口81までの領域hは接着されていない状態で規制部材8に接している。そして、規制部材8は、開口部52を覆った状態で、容器本体5における開口部52周縁に取り付けられている。この場合においても、フィルム部材6bの突き出しによる容積を小さくすることができ、結果としてフィルム部材6bが平面形状であっても、少ない廃液で負圧を確保することができる。また、上記実施形態では規制部材8の開口81が円形である場合を例示して説明したが、開口の形状は、容器本体5の開口部52よりも小さな形状であれば如何様でもよく、これ以外にも例えば多角形状や楕円形状等が挙げられる。"