"CF規格フランジに真空シールを行うためのシール部材であって、前記CF規格フランジは、第1の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第1の円周の外側に形成され且つ前記第1の円周と同心の第2の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、前記シール部材は、前記第2の円周の直径より小さい直径を有する第3の円周に沿って形成された凸部と、前記第3の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記CF規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とするシール部材。請求項1において、前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第2の円周の外側の側面と接することを特徴とするシール部材。請求項1または2において、前記シール部材は、蓋または真空用配管の端部に形成されるものであることを特徴とするシール部材。請求項1乃至3のいずれか一項において、前記CF規格フランジは、真空用配管の端部、真空容器の開口部および前記真空容器の内部空間と繋げられた配管の端部のいずれかに形成されるものであることを特徴とするシール部材。CF規格フランジとシール部材を備えた真空容器であって、前記CF規格フランジは、前記真空容器の開口部または前記真空容器の内部空間と繋げられた真空用配管の端部に形成されており、前記シール部材は、前記CF規格フランジに真空シールを行うものであり、前記CF規格フランジは、第1の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第1の円周の外側に形成され且つ前記第1の円周と同心の第2の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、前記シール部材は、前記第2の円周の直径より小さい直径を有する第3の円周に沿って形成された凸部と、前記第3の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、前記真空容器は、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記CF規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とする真空容器。請求項5において、前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第2の円周の外側の側面と接することを特徴とする真空容器。請求項5または6において、前記シール部材は、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋、および、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部に接続される配管のいずれかに形成されていることを特徴とする真空容器。CF規格フランジとシール部材を備えた真空用配管であって、前記CF規格フランジは、前記真空用配管の端部に形成されており、前記シール部材は、前記CF規格フランジに真空シールを行うものであり、前記CF規格フランジは、第1の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第1の円周の外側に形成され且つ前記第1の円周と同心の第2の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、前記シール部材は、前記第2の円周の直径より小さい直径を有する第3の円周に沿って形成された凸部と、前記第3の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、前記真空用配管は、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記CF規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とする真空用配管。請求項8において、前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第2の円周の外側の側面と接することを特徴とする真空用配管。請求項8または9において、前記シール部材は、前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋または前記真空用配管の端部に接続される配管に形成されていることを特徴とする真空容器。本発明の一態様は、CF規格フランジの真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行えることを課題とする。一方、仮に、CF規格フランジと全く異なる構造でセンターリング作業が容易にできるようなフランジを新しく作製することは、当業者であれば簡単であるかもしれない。しかし、本発明の一態様は、そのような新しく作製するフランジとは全くことなる技術思想である。つまり、既に世の中で真空容器等に多く使用されているフランジはCF規格フランジであるため、本発明の一態様は、このCF規格フランジにおいて真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行えるシール部材等を提供することを課題とする。本発明の一態様は、CF規格フランジに真空シールを行うためのシール部材であって、前記CF規格フランジは、第1の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第1の円周の外側に形成され且つ前記第1の円周と同心の第2の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、前記シール部材は、前記第2の円周の直径より小さい直径を有する第3の円周に沿って形成された凸部と、前記第3の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記CF規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とするシール部材である。また、本発明の一態様において、前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第2の円周の外側の側面と接することが好ましい。また、本発明の一態様において、前記シール部材は、蓋または真空用配管の端部に形成されるものであるとよい。また、本発明の一態様において、前記CF規格フランジは、真空用配管の端部、真空容器の開口部および前記真空容器の内部空間と繋げられた配管の端部のいずれかに形成されるものであるとよい。本発明の一態様は、CF規格フランジとシール部材を備えた真空容器であって、前記CF規格フランジは、前記真空容器の開口部または前記真空容器の内部空間と繋げられた真空用配管の端部に形成されており、前記シール部材は、前記CF規格フランジに真空シールを行うものであり、前記CF規格フランジは、第1の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第1の円周の外側に形成され且つ前記第1の円周と同心の第2の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、前記シール部材は、前記第2の円周の直径より小さい直径を有する第3の円周に沿って形成された凸部と、前記第3の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、前記真空容器は、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記CF規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とする真空容器である。また、本発明の一態様において、前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第2の円周の外側の側面と接することが好ましい。また、本発明の一態様において、前記シール部材は、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋、および、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部に接続される配管のいずれかに形成されているとよい。本発明の一態様は、CF規格フランジとシール部材を備えた真空用配管であって、前記CF規格フランジは、前記真空用配管の端部に形成されており、前記シール部材は、前記CF規格フランジに真空シールを行うものであり、前記CF規格フランジは、第1の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第1の円周の外側に形成され且つ前記第1の円周と同心の第2の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、前記シール部材は、前記第2の円周の直径より小さい直径を有する第3の円周に沿って形成された凸部と、前記第3の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、前記真空用配管は、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記CF規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とする真空用配管である。また、本発明の一態様において、前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第2の円周の外側の側面と接することが好ましい。また、本発明の一態様において、前記シール部材は、前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋または前記真空用配管の端部に接続される配管に形成されているとよい。本発明の一態様によれば、CF規格フランジの真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行うことができる。以下では、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。本発明の一態様について図1および図2を参照しつつ説明する。図1A~Cに示すように、真空容器101の開口部101aにはCF規格フランジ102が形成されており、CF規格フランジ102は、接合面に形成された鋭く突き出したナイフエッジ11と溝12を有している。ナイフエッジ11は、直径φBの第1の円周108に沿って形成されている。溝12は、第1の円周108の外側に形成され、且つ第1の円周108と同心である直径φAの第2の円周107に沿って形成され、且つナイフエッジ11に隣接して形成されている。溝12の断面は、図1Cに示すように三角形のような形状を有している。また、CF規格フランジ102は、図1Aに示すように複数の穴106を有している。図2Aに示すように、蓋13の一方の面に形成されたシール部材は、凸部14とリング状弾性体であるOリング15を有している。また、蓋13の一方の面には溝15aが設けられており、この溝15a内にOリング15が嵌め込まれている。溝15aは凸部14に隣接して形成されている。図2Aに示す凸部14は、図1Cに示す第2の円周107の直径φAより小さい直径φCを有する第3の円周17に沿って蓋13の一方の面に形成されている。Oリング15は、第3の円周17の内側に形成され、且つ凸部14の側面14aに接して配置されている。また、蓋13は、図2に示すように複数の穴16を有している。なお、本実施形態では、リング状弾性体としてOリング15を用いているが、種々のリング状弾性体を用いてもよく、例えば角型リングを用いてもよい。次に、図2A~Cを参照しつつ、真空容器101の開口部101aをCF規格フランジ102とシール部材を備えた蓋13によって真空シールする手順について説明する。まず、CF規格フランジ102の溝12内に蓋13の凸部14を挿入して嵌合することにより、CF規格フランジ102のナイフエッジ11のエッジ面に蓋13のOリング15を当てることができる。この際、凸部14における側面14bが、第2の円周107の内側の側面12aと接するような大きさで凸部14と溝12が形成されているため、蓋13の凸部14とCF規格フランジ102の溝12のセンターリング位置合わせを作業者が容易に行うことができる図2A,B参照。次いで、蓋13を回転させることにより、蓋13の穴16とCF規格フランジ102の穴106を位置合わせする。次いで、これらの穴16,106に図示せぬボルトを挿入し、そのボルトをナットによって所定の力で締め付けることにより、Oリング15をナイフエッジ11のエッジ面で潰す。これにより、CF規格フランジ102にシール部材で真空シールを行うことができる図2C参照。CF規格フランジ102は、CF規格フランジ102を製造した製造者によって図1Cに示す直径φAと直径φBと寸法C以外の寸法は多少異なるが、直径φAと直径φBと寸法Cの寸法は、規格によって定められているため、製造者にかかわらず一定である。本実施形態では、φAの寸法で溝12と凸部14のセンターリングを行うため、様々な製造者によって製造されたCF規格フランジ102において溝12と凸部14のセンターリングを作業者が容易に行うことができる。そして、直径φBと寸法Cが一定であることから、ナイフエッジ11でOリング15を確実に潰すことができる。従って、様々な製造者によって製造されたCF規格フランジ102にシール部材で真空シールを行うことが可能となる。また、本実施形態では、蓋13の一方の面に溝15aを設けることにより、Oリング15を溝15aに嵌め込むことができる。なお、本実施形態では、真空容器101の開口部101aにCF規格フランジ102を形成し、蓋13にシール部材を形成し、CF規格フランジ102にシール部材によって真空シールを行うことで真空容器101の開口部101を蓋13で真空シールしているが、次のように変更して実施してもよい。真空用配管の端部にCF規格フランジ102を形成し、蓋13にシール部材を形成し、CF規格フランジ102にシール部材によって真空シールを行うことで真空用配管の端部を蓋13で真空シールしてもよい。真空容器101の内部空間と繋げられた配管の端部にCF規格フランジ102を形成し、蓋13にシール部材を形成し、CF規格フランジ102にシール部材によって真空シールを行うことで配管の端部を蓋13で真空シールしてもよい。真空容器101の開口部101aにCF規格フランジ102を形成し、真空用配管にシール部材を形成し、CF規格フランジ102にシール部材によって真空シールを行うことで真空容器101の開口部101と真空用配管との接続を真空シールしてもよい。一方の真空用配管の端部にCF規格フランジ102を形成し、他方の真空用配管の端部にシール部材を形成し、CF規格フランジ102にシール部材によって真空シールを行うことで一方の真空用配管と他方の真空用配管との接続を真空シールしてもよい。真空容器101の内部空間と繋げられた配管の端部にCF規格フランジ102を形成し、真空用配管の端部にシール部材を形成し、CF規格フランジ102にシール部材によって真空シールを行うことで配管と真空用配管との接続を真空シールしてもよい。以上説明したように、本実施形態では、既に世の中で真空容器等に多く使用されているCF規格フランジにおいて真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行えるシール部材等を提供することができる。従って、CF規格フランジを使用している多くの作業者の作業効率を飛躍的に高めることができる。"