"Eu、Ce、Mn、及びTbのうちの少なくとも一つの発光イオンを含んだ化合物を有した原料粉末を容器内に収容し、気相状態のSiOx0.5≦x≦1.9を供給しながら前記原料粉末を焼成することを特徴とするケイ酸塩系蛍光体の製造方法。前記原料粉末は、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、マグネシウム化合物、及び、希土類化合物の少なくとも一つをさらに含んだ混合物であることを特徴とする請求項1に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。前記ケイ酸塩系蛍光体がM2SiO4:Eu2ただし、MはCa、SrおよびBaからなる群より選ばれる1種以上である。であることを特徴とする請求項2に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。前記SiOxのxの範囲が0.8≦x≦1.2であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。前記焼成は、1200~1700°Cの温度のガス雰囲気下で前記SiOxを前記原料粉末に供給し、かつ、700~1700°Cの温度で前記原料粉末を気相-固相反応させることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。前記ガス雰囲気が還元性ガス雰囲気であることを特徴とする請求項5に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。請求項1~6のいずれか1項に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法により製造されたケイ酸塩系蛍光体。そこで、本発明は、前記事情に鑑み、発光強度に優れたケイ酸塩系蛍光体及びケイ酸塩系蛍光体の製造方法を提供することを目的とする。従来、ケイ酸塩系蛍光体の一般的な製造方法としては、蛍光体母体を構成する元素を含む化合物と付活剤元素を含む化合物を粉末等の固体状態で所定量混合し、所定温度で焼成させることにより蛍光体を得る手法が広く採用されている非特許文献2を参照。この合成法は固相間反応によるため、一般に固相法と呼ばれる。しかしながら、固相法では純粋に化学量論的な組成を有する蛍光体を製造することは難しく、固相間反応の結果、反応しない余剰の不純物や反応によって生ずる副塩等が残留し、化学量論的に高純度な蛍光体を得ることが難しい。その結果として、上述した蛍光体の輝度低下等の問題点が指摘されている。本発明者らは、蛍光体製造分野で通常利用されない、気相状態のSiOxを利用して蛍光体を合成すること揮発させたSiOxとその他の固相原料とを反応させて蛍光体を合成する手法、気相‐固相法とも呼ぶ。、及び、気相‐固相法を利用して得られた蛍光体が従来の固相法で得られる蛍光体よりも良好な発光特性を示すことを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち本発明は、以下の構成特徴を備えるものである。[1]Eu、Ce、Mn、及びTbのうちの少なくとも一つの発光イオンを含んだ化合物を有した原料粉末を容器内に収容し、気相状態のSiOx0.5≦x≦1.9を供給しながら前記原料粉末を焼成することを特徴とするケイ酸塩系蛍光体の製造方法。[2]前記原料粉末は、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、マグネシウム化合物、及び、希土類化合物の少なくとも一つをさらに含んだ混合物であることを特徴とする[1]に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。[3]前記ケイ酸塩系蛍光体がM2SiO4:Eu2ただし、MはCa、SrおよびBaからなる群より選ばれる1種以上である。であることを特徴とする[2]に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。[4]前記SiOxのxの範囲が0.8≦x≦1.2であることを特徴とする[1]~[3]のいずれか1項に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。[5]前記焼成は、1200~1700°Cの温度のガス雰囲気下で前記SiOxを前記原料粉末に供給し、かつ、700~1700°Cの温度で前記原料粉末を気相-固相反応させることを特徴とする[1]~[4]のいずれか1項に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。[6]前記ガス雰囲気が還元性ガス雰囲気であることを特徴とする[5]に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法。[7][1]~[6]のいずれか1項に記載のケイ酸塩系蛍光体の製造方法により製造されたケイ酸塩系蛍光体。本発明によれば、蛍光体製造プロセスの一部において気相合成を利用するため、従来の固相法で得られる蛍光体よりも良好な発光特性を有する蛍光体を提供することができる。例えば、Ba2SiO4:Eu2の実施例と従来法で合成した比較例とで対比すると、それぞれの最適励起波長で励起した場合で約2.6倍、実用的な近視外LED405nmで励起させた場合で約3.5倍となっており、従来法で作製した蛍光体よりも非常に高い発光強度を示した。以下、添付の図面を参照しながら下記の具体的な実施形態に基づき本発明を説明するが、本発明はこれらの実施形態に何等限定されるものではない。本発明に係るケイ酸塩系蛍光体の製造方法は、Eu、Ce、Mn、及びTbのうちの少なくとも一つの発光イオンを含んだ化合物を有した原料粉末を容器内に収容し、気相状態のSiOx0.5≦x≦1.9を供給しながら原料粉末を焼成することを特徴とする。加えて、原料粉末はアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、マグネシウム化合物、及び、希土類化合物の少なくとも一つをさらに含んだ混合物であることが好ましい。ここで、前記発光イオンを含んだ化合物として、特に限定されるものではないが、Eu2O3、Eu2CO332H2O、EuNO336H2O、Eu2C2O4310H2OなどのEuを含んだ化合物、Ce2O3、Ce2CO335H2O、Ce35H2O、Ce2C2O439H2O、Ce2C2O4310H2OなどのCeを含んだ化合物、MnO、MnCO3、Mn26H2O、MnC2O4、MnC2O432H2OなどのMnを含んだ化合物、Tb2O3、Tb2CO3nH2O、TbNO336H2O、TbC2O4310H2OなどのTbを含んだ化合物及びこれらの組合せなどが好適に用いられる。また、前記発光イオンを含んだ化合物には厳密には含まれないが、前記Ce2O3や前記Tb2O3に類似の物性を示すCeO2やTb4O7を使用してもよい。また、前記アルカリ金属化合物として、特に限定されるものではないが、Li2O、Li2CO3、LiNO3、Li2C2O4、Na2O、Na2CO3、NaNO3、Na2C2O4、K2O、K2CO3、KNO3、Rb2O、Rb2CO3、RbNO3、Cs2O、Cs2CO3、CsNO3、Cs2C2O4及びこれらの組合せなどが用いられ、好ましくは、高温で分解及び酸化して酸化物になりうるものが用いられる。また、前記アルカリ土類金属化合物として、特に限定されるものではないが、CaO、CaCO3、CaNO32、CaNO324H2O、SrO、SrCO3、SrNO32、SrNO324H2O、BaO、BaCO3、BaNO32、BaC2O4、及びこれらの組合せなどが用いられ、好ましくは、高温で分解及び酸化して酸化物になりうるものが用いられる。また、前記アルカリ土類金属化合物と同じ二価のMgを含んだマグネシウム化合物も前記アルカリ土類金属化合物に代替して用いることができる。また、希土類化合物として、特に限定されるものではないが、Sc2O3、Y2O3、La2O3、及びこれらの組合せなどが用いられ、好ましくは、高温で分解及び酸化して酸化物になりうるものが用いられる。本発明においては、上述したアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、マグネシウム化合物、及び、希土類化合物の少なくとも一つを好適に含んだ原料混合物を、例えば700°C~1700°Cの温度範囲にて1~100時間保持することで焼成させるとともに、1200°C~1700°Cの温度のガス雰囲気下で気相状態となったSiOxをさらに供給して原料混合物を気相-固相反応させることで発光特性に非常に優れた蛍光体が得られる。なお上述した金属化合物に、水和物、水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩など高温で分解及び/または酸化して酸化物になりうるものが含有されている場合、焼成の前に前記原料混合物を、例えば焼成温度よりも低い温度で保持して仮焼することにより、酸化物としたり、結晶水を除去したりすることで蛍光体の前駆体とすることも可能である。また、仮焼後に粉砕を行うこともできる。本発明のケイ酸塩系蛍光体の製造方法のうち、図1に好適な製造方法のフローチャートを示す。出発原料として、固相反応を起こすための原料固相反応用原料と気相反応を起こすための原料気相反応用原料とを別々に用意する例えば、反応容器内の別々の皿に載置する。そして、固相反応用原料の混合加熱と気相反応用原料の加熱とを経て、所望のケイ酸塩系蛍光体を製造するのである。ここで、固相反応用原料の加熱温度焼成温度範囲は700°C~1700°Cの範囲が好ましく、SiOxの供給のための気相反応用原料の加熱温度範囲は1200°C~1700°Cの範囲が好ましい。なお、後述の実証結果よれば、本発明のケイ酸塩系蛍光体としてBa2SiO4:Eu2を使用した場合には、焼成温度を1400°C~1600°Cに設定することがさらに好ましい。本発明の重要な特徴の一つは、気相状態のSiOx0.5≦x≦1.9を供給しながら原料粉末固相反応用原料を焼成する点すなわち、出発原料の一部気相反応用原料を加熱することで気相反応させ、かつ、この気相反応物を固相反応物に反応させながら焼成させる点、別言すれば、気相-固相反応させる点であり、従来の蛍光体製造方法に用いられる一般的な固相合成すなわち、出発原料全てを固相合成させる点と大きく相異する。なお、従来の気相合成は、1~100nm程度のナノ粒子を作製するプロセスに適用される合成方法である。これに対して白色LED用蛍光体の製造には10~100μm程度に成長した大きな粒子を得る必要があるため、上述の固相法が好適かつ長年の実績ある手法となっている。従って、ナノオーダー粒子の製造に好適な気相合成を蛍光体製造に採り入れようとする考え方は、蛍光体製造分野の研究者にとって通常、不可解かつ想到しにくいことである。さらに、従来の気相法による気相原料は、通常、有機金属化合物など高価な材料であり、かつ、蛍光体製造時の還元雰囲気ガス中で取り扱う類のものではなかったため、蛍光体製造に気相合成の考えを適用して実用的な特性を報告した例も見受けられない。一方、本発明の製造方法は、気相状態のSiOxと固相状態の他の原料とを反応させる気相‐固相合成を特徴とするものである。本発明の製造方法において気相状態で合成させるための原料であるSiOx0.5≦x≦1.9は安価で取扱いが安全な材料である。なお、一般的なSiOxの製造方法は、二酸化珪素系酸化物粉末とそれを還元する物質、例えば金属珪素との混合物を不活性ガス雰囲気下又は減圧下、1100~1600°Cの温度範囲で加熱し、発生したSiOxガスを冷却捕集して製造する。しかし、SiOxには未反応物Si、SiO2あるいはSiOの酸化によるSiO2など不純物として存在することがある。発明者らによる現在までの検証によれば、SiOxはSiOに近い状態がより好適に作用するため、SiOxのxの範囲は0.8≦x≦1.2であることが好ましく、更に好ましくは0.95≦x≦1.1である。このような好適な高純度SiOは、例えば、株式会社大阪チタニウムテクノロジーズや三洋貿易株式会社から市販されている。固体状のSiOxは、ガス雰囲気下で1200~1700°C、好ましくは1400~1700°Cに加熱することで揮発し、気相状態にすることができる。この気相状態のSiOxを前記原料混合物に供給して、700°C~1700°Cの温度範囲内の所望の温度で前記原料混合物を加熱して気相-固相反応させる。前記ガス雰囲気には、1窒素やアルゴン等からなる不活性ガス雰囲気、2空気、酸素、酸素含有窒素、酸素含有アルゴン等からなる酸化性ガス雰囲気、3水素を0.1~10体積含有する水素含有窒素、水素を0.1~10体積含有する水素含有アルゴン等の還元性ガス雰囲気等が挙げられる。なお、本発明の気相-固相反応を高収率で進めるために、SiOxを供給させるキャリアガス及び焼成時の雰囲気としては、水素を0.1~10体積含有する水素含有窒素、水素を0.1~10体積含有する水素含有アルゴン等の還元性雰囲気等が特に好ましい。以上のように製造された本発明のケイ酸塩系蛍光体は、前記製造方法で合成されるものであれば特に限定されるものではないが、M2SiO4:Eu2、Li2MSiO4:Eu2、M3SiO5:Eu2、M2Mg,ZnSi2O7:Eu2、M3Si2O7:Eu2、M3MgSi2O8:Eu2、MAl2Si2O8:Eu2、M3Sc2Si3O12:Ce3、M9Sc2Si6O24:Eu2及びこれらの組合せなどが好適である。ここで、MはCa、SrおよびBaからなる群より選ばれる1種以上である。なお、発光特性以外の諸特性を踏まえた蛍光体の実用化の観点からは、本発明のケイ酸塩系蛍光体としてM2SiO4:Eu2が好ましく、Ba1-ySry2SiO4:Eu20≦y≦1がさらに好ましい。なお、Ba1-ySry2SiO4:Eu20≦y≦1を製造するための出発原料であって固相反応させる材料SiOxを除いた出発原料、例えばBaCO3は、SiOxの気相合成に前記好ましい温度範囲1200~1700°Cで良好に固相合成されるため、蛍光体製造容器内を前記好ましい温度範囲で加熱すれば、SiOxの揮発と固相合成つまり焼成とを同時に効果的に行うことが可能になる。図2に本発明のケイ酸塩系蛍光体の製造方法を実現する蛍光体製造装置1の例を幾つか示す。図2aに示す製造装置1は、前記発光イオンを含んだ化合物を含んだ原料粉末3つまり、固相反応用原料を載置した気体透過性例えば、多孔質の第1の皿5が容器2内に設けられ、SiOx粉末4つまり、気相反応用原料を載置した第2の皿6が第1の皿5の下方に設けられ、かつ、キャリアガスを供給するガス供給口7a、ガス排出口7bがそれぞれ容器2の側面、上面に設けられた構成をしている後述の図2bとの比較のため、縦型製造装置と呼ぶ。容器2内を所定温度に加熱することで、固相反応用原料3は焼成されるが、ガス雰囲気下好ましくは還元ガス雰囲気下でSiOx粉末4から揮発した気相状態のSiOx図中の符号8に示すが第1の皿5を通過して原料粉末3に入り込みながら焼成反応が進むことになる。なお、固相反応用原料粉末を収容する第1の皿5の原料として、例えば、ボロンナイトライドBN、アルミナAl2O3、炭化ケイ素SiCが挙げられるが、焼成中に原料粉末との意図しない反応を起こしにくいボロンナイトライドBNが好ましい。また、図示しないが、第2の皿6を別の容器内に収容して、ガス供給口7aからキャリアガスとともに気相状態のSiOxを固相反応用原料粉末3に供給するように縦型製造装置を構成してもよい。また、図2bに示すように、原料粉末3を載置した第1の皿5とSiOx粉末4を載置した第2の皿6を容器2内の同一の水平面2aに設置し、焼成時にキャリアガスが第2の皿6から第1の皿5に向かって流れる図中の矢印参照ように容器2側面にキャリアガスの供給口7aと排出口7bとを設けた横型構成の製造装置1を用いてもよい。なお、この場合、SiOx符号8参照が、キャリアガスの流れに沿って第2の皿6の上方空間から第1の皿5の上方空間に移動してこの第1の皿5内の原料粉末3に降り注ぐため、第1の皿5は必ずしも気体透過性の材料から構成されていなくても良い。実施例1のケイ酸塩系蛍光体Ba2SiO4:Eu2実施例1のケイ酸塩系蛍光体は、本発明の気相-固相合成手法により製造した。なお、実施例1の製造方法のフローチャートを図3に示す。出発原料のうち固相反応用原料として、BaCO3関東化学株,3N、Sc2O3信越化学工業株4N、Al2O3高純度化学研究所,4N、Eu2O3信越化学工業株,4Nを用いた。各原料を化学量論比に従って秤量し、メノウ乳鉢でアセトン湿式混合を行なった。混合後、ペレット状に加圧成形し、ついで乾燥した試料を容器内の第1の皿アルミナ製ボートに載置し、水素ガスを5vol.含有させたアルゴンガスからなる還元性ガス雰囲気下で、SiOx0.95≦x≦1.1を1500°Cに加熱揮発させて供給し、12時間蛍光体原料を焼成して気相-固相反応を行った。その結果、出発原料内の固相反応によりBa0.99Eu0.017Sc6Al2O19を主相とする固相反応物が得られるとともに、容器内に供給されたSiOxと出発原料との気相-固相反応により前記固相反応物表面にBa2SiO4:Eu2が高収率で生成した。試料の同定焼成後の試料の同定には粉末X線回折装置株マックサイエンス製,MX-Laboを使用した。図4は、実施例1により製造された試料のX線回折XRD測定結果を示す。ここで、最下段及びその上段の結果は、それぞれ、試料実施例1の内部及び表面におけるXRDパターンを示す。一方、最上段およびその下段の結果は、それぞれ、社団法人化学情報協会JAICIが提供している無機結晶構造データベースICSDから取得されたBa0.99Eu0.017Sc6Al2O19とBa2SiO4とのXRDパターンを示す。図4の最下段及びその上段のXRDパターンは、それぞれ、見本となる最上段およびその下段のXRDパターンと良く一致対応しており、Ba0.99Eu0.017Sc6Al2O19が内部基盤となり、この基盤表面には目的物であるBa2SiO4:Eu2が生成されていることが裏付けられた。比較例1:従来のBa2SiO4:Eu2の合成法比較例1として従来の固相反応によってBa2SiO4:Eu2を合成した。なお、比較例1の製造方法のフローチャートを図5に示す。出発原料としてBaCO3,SiO2,及びEu2O3を用い、各原料を化学量論量で秤量して、メノウ乳鉢でアセトン湿式混合の後、H2-Arの弱い還元性ガス雰囲気において、1300°C、12時間焼成した。なお、焼成温度を1500°Cに設定すると、原料粉末が溶融してしまい目的の蛍光体が得られなかったため、比較例1では1300°Cを焼成温度に設定した。蛍光特性の評価図6は、本発明の製造方法実施例1により製造したBa2SiO4:Eu2の励起発光スペクトルと従来の固相法比較例1により製造したBa2SiO4:Eu2の励起発光スペクトルとを比較した図である。ここで、図6中、破線は、実施例1又は比較例1の励起スペクトルを示し、実線はそれぞれの最適励起波長で励起した場合の発光スペクトルを示す。励起発光スペクトルの測定には、分光蛍光光度計日本分光株,FP-6500を使用した。なお、後述する実施例2及び実施例3の蛍光体に関する蛍光特性を示した図においても、図6と同様に表示する。実施例1及び比較例1の蛍光体は、双方ともに300~450nm範囲で非常に幅広い励起スペクトルを示している。なお、実施例1の蛍光体は380nm付近の波長で強く励起され、比較例1の蛍光体は360nm付近の波長で強く励起されている。ここで、一般に近紫外LEDが出す波長は350~400nmであり、実施例1及び比較例1の蛍光体は近紫外LED用蛍光体として効率よく励起されることがわかる。なお、実施例1と比較例1とで励起スペクトルのピークに差が生じた理由は、実施例1の手法の方が、発光イオンであるEu2の濃度がより高い蛍光体を合成できたためであると考えられる。また、実施例1及び比較例1は、双方共に、図6に示すように500nm近くにピークを持った発光スペクトルを示し、緑色に発光した。しかしながら、実施例1の発光強度ルは、比較例1の発光強度に比べて、それぞれの最適励起波長で励起した場合で約2.6倍、実用的な近視外LED405nmで励起させた場合で約3.5倍となっており、非常に高い値を示した。これにより、本発明の製造方法を使用すれば、発光強度に非常に優れたケイ酸塩系蛍光体が提供されることが明らかになった。また、図6の励起発光スペクトルの結果から、実施例1の蛍光体は、近紫外LEDを備えた三波長型白色LEDの緑色蛍光体として利用可能であると考えられる。量子効率の評価実施例1の蛍光体と比較例1の蛍光体とで発光強度に大きな違いが生じた理由を検討するために、それぞれの蛍光体の量子効率を分光蛍光光度計日本分光株,FP-6500用いて測定した。これらの測定結果を以下の表1に示す。ここで、内部量子効率とは吸収したエネルギーに対する放出率を意味する。一方、外部量子効率とは照射したエネルギーに対する放出効率を意味し、内部量子効率に試料吸収率を乗ずることで計算される。表1の結果より、実施例1の外部量子効率は、比較例1の場合より約20程度、向上していることがわかる。ここで、双方の内部量子効率の測定結果に大差が無いことから、実質的には試料吸収率の違いが実施例1の外部量子効率の向上に影響を及ぼしているといえる。実施例1の試料吸収率が向上した理由は、発光イオンEu2の付活量が増大したこと、蛍光体粒子の結晶性が向上したこと、等が考えられる。図7は、走査型電子顕微鏡日本電子株製,JSM-5600によって実施例1の蛍光体表面と比較例1の蛍光体表面を同様の倍率で観察した結果を示す。図7aに示すように実施例1の蛍光体は15~20μm程度の粒径を有する大きな粒子で均一に構成されているのに対し、比較例1の蛍光体は、図7bに示すように、5μm未満であるが不均一な粒径を有する小さな粒子で構成されていることがわかる。本発明の手法は気相合成を採用しているため、その蛍光体合成過程において粒子の結晶成長と粒子サイズの均一化とが促進され易いと考えられる。なお、粒子が大きい程、発光強度が高くなるとの報告も過去にされている。以上の理由により、本発明の手法により合成された蛍光体ではその発光強度が向上したものと考えられる。以上の実施例1では、ケイ酸塩系蛍光体としてBa2SiO4:Eu2を製造してその発光特性を詳細に説明したが、例えば出発原料にSrCO3などを追加してBa1-ySry2SiO4:Eu20≦y≦1を製造するようにしてもよい。また、実施例1では、蛍光体の合成過程において出発原料同士の固相反応によりBa0.99Eu0.017Sc6Al2O19を主相とする固相反応物を先ず生成し、その反応物表面に蛍光体を生成する手法を採用したが、必ずしもこれに限定されるわけではない。出発原料の組合せにより種々の固相反応物を生成してもよい。また、図1で説明した手法のように、このような固相反応物を生成させないまま、気相-固相反応によりケイ酸塩系蛍光体のみを合成させるようにしてもよい。焼成温度の検討次に、実施例1のケイ酸塩系蛍光体を製造する上での焼成温度の条件について検討する。1500°Cでの上記温度条件に加え、1400°C及び1600°Cの温度条件でもケイ酸塩系蛍光体を製造し、同様に蛍光特性を評価した。なお、1400°C及び1600°Cの焼成温度の場合は、焼成温度以外の製造条件については、1500°Cの場合と同様である。図8は、焼成温度が実施例1の蛍光体の蛍光特性に及ぼす影響を示した図である。焼成温度が1400°C、1500°C、1600°Cのいずれの場合であっても、励起スペクトル及び発光スペクトルは、ほぼ同一の波長にて励起と発光のピークを示していることがわかる。また、焼成温度が1600°C、1400°C、1500°Cの順に励起強度及び発光強度が向上しており、つまり、焼成温度が1500°Cの場合が最も優れた蛍光特性を示していることがわかる。また、図9は、比較例1で示したような固相法による試料の発光強度と、実施例1の各焼成温度条件で製造された試料の発光強度と、を比較した図である。図示の横軸は実施例1での各焼成温度を示し、縦軸は各焼成温度下での実施例1の試料の発光強度を固相法による試料の発光強度で除した値のパーセンテージ値発光強度比とも呼ぶ。を示している。図9から、1400°Cにて焼成された試料の発光強度比は170であり、発光特性の向上が確認できた。1500°Cにて焼成された試料の発光強度比は265であり、最も発光特性が向上していた。一方、1600°Cにて焼成された試料の発光強度比は約100であり、期待した発光特性の向上は確認できなかった。これは、焼成された試料を構成する粒子が過剰に成長していたことが原因の一つとして考えられる。しかしながら、1600°Cの温度条件でも、少なくとも固相法の試料と同等の発光特性を有することは確認できた。上述の実施例1では、Ba成分のみを含んだシンプルなケイ酸塩系Ba-Si-O系の蛍光体を使用した。後述の実施例2又は実施例3では、Ba成分以外にもSc成分やAl成分を含んだケイ酸塩系蛍光体を本発明の気相‐固相法により製造できるか否かとともに、製造物が適切な発光特性を示すか否かを検討することとした。なお、実施例2及び実施例3における製造方法は、図1に示す方法蛍光体内部に固相反応生成物が生じない方法を採用した。実施例2のケイ酸塩系蛍光体Ba9Sc2Si6O24:Eu2出発原料のうち固相反応用原料として、BaCO3関東化学株,3N、Sc2O3信越化学工業株4N、Eu2O3信越化学工業株,4Nを用いた。各原料を化学量論比に従って秤量し、メノウ乳鉢でアセトン湿式混合を行い、乾燥させた。この混合及び乾燥させた固相反応用試料を第1の皿ボロンナイトライドBN製の収容皿に載置するとともに、気相反応用原料であるSiOを第2の皿に載置した。これらの皿はアルゴンのみからなる不活性ガス雰囲気下に置かれた容器内に収容され、1600°Cにて12時間、焼成して気相-固相反応を行った。なお、揮発した気相状態のSiOが固相反応用試料に向かって適切に供給されるように、SiOを載置した第2の皿は、固相反応用試料を載置した第1の皿よりも不活性ガスの流れ方向上流側に配置した。試料の同定実施例1と同様に、粉末X線回折装置株マックサイエンス製,MX-Laboを使用して焼成後の試料の同定を行った。図10は、実施例2により製造された試料のX線回折XRD測定結果を示す。ここで、下段の結果は、それぞれ、試料実施例2のXRDパターンを示す。一方、上段およびその中段の結果は、それぞれ、社団法人化学情報協会JAICIが提供している無機結晶構造データベースICSDから取得されたSiO2とBa9Sc2Si6O24とのXRDパターンを示す。図10の下段のXRDパターンは、それぞれ、見本となる中段のXRDパターンとほぼ良く一致対応しており、目的物であるBa9Sc2Si6O24:Eu2が生成されていることが裏付けられた。また、下段のXRDパターンは、上段のXRDパターンに対応するピークも有しており、目的物以外に不純物としてSiO2が多少混在していることがわかる。これは、気相状態で供給したSiOが酸化されたためであると考えられる。なお、SiO2は、上記蛍光体の発光特性に影響を及ぼさない。蛍光特性の評価図11は、実施例2により製造したBa9Sc2Si6O24:Eu2の蛍光特性を示した図である。実施例2の蛍光体は、300nm付近をピークとした幅広い励起スペクトルを示し、460nm近くにピークを持った発光スペクトルを示し、青色に発光した。図11に示す蛍光特性は、従来の固相法で得られるBa9Sc2Si6O24:Eu2の既知の蛍光特性図示せずと良く一致することを確認した。なお、従来の固相法で得られる上記蛍光体は、製造条件等により青色に発光する場合と緑色に発光する場合とがある。実施例3のケイ酸塩系蛍光体BaAl2Si2O8:Eu2出発原料のうち固相反応用原料として、BaCO3関東化学株,3N、Al2O3高純度化学研究所,4N、Eu2O3信越化学工業株,4Nを用いた。混合方法及び焼成方法等の条件は、実施例2の場合と同様であり、ここでは説明を省略する。試料の同定図12は、実施例3により製造された試料のX線回折XRD測定結果を示す。ここで、下段の結果は、それぞれ、試料実施例3のXRDパターンを示す。一方、上段およびその中段の結果は、それぞれ、社団法人化学情報協会JAICIが提供している無機結晶構造データベースICSDから取得されたSiO2とBaAl2Si2O8とのXRDパターンを示す。図12の下段のXRDパターンは、それぞれ、見本となる中段のXRDパターンとほぼ良く一致対応しており、目的物であるBaAl2Si2O8:Eu2が生成されていることが裏付けられた。なお、実施例2のXRD結果と同様に、下段のXRDパターンは、上段のXRDパターンに対応するピークも有しており、目的物以外に不純物としてSiO2が多少混在していることがわかる。蛍光特性の評価図13は、実施例3により製造したBaAl2Si2O8:Eu2の蛍光特性を示した図である。実施例3の蛍光体は、310nm付近をピークとした幅広い励起スペクトルを示し、510nm近くにピークを持った発光スペクトルを示し、緑色に発光した。実施例3の上記結果によれば、本発明の気相‐固相法により、目的物であるBaAl2Si2O8:Eu2を合成し、これを発光させることができることがわかった。さらに、本発明により製造される蛍光体は、上述した新規な合成法における発明の趣旨から逸脱しない限り、必ずしもこれらの蛍光体に限定されない。"