"真空断熱槽内にそれぞれ配置されている、i大気圧下で液化窒素と液化酸素を含む混合液Lが収納された混合液槽Aと、ii混合液槽Aからヘッド差を利用して混合液Lが供給される、検査用熱交換器Bと、iii検査用熱交換器Bから流出してきた混合液Lを窒素ガスと酸素ガスの混合ガスからなるリフトガスGを使用して混合液槽AにリサイクルするエアリフトポンプCと、iv窒素ガスと酸素ガスから調製されたリフトガスGを冷却してエアリフトポンプCに供給するためのリフトガス冷却器Dと、からなることを特徴とする、熱交換器試験装置。前記混合液槽Aに収納されている混合液Lを調製するための、液化窒素容器及び液化酸素容器、又は液化窒素容器、液化酸素容器、及び不純物ガス容器が設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の熱交換器試験装置。前記混合液槽A中の混合液Lの酸素濃度を測定するための酸素濃度計が設置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の熱交換器試験装置。前記リフトガス冷却器Dに供給する、窒素ガスと酸素ガスからなるリフトガスGを調製するための、窒素ガス供給配管と酸素ガス供給配管にそれぞれ流量調製器が設けられていることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の熱交換器試験装置。リフトガス冷却器Dが大気圧下での液化窒素、又は液化窒素と液化酸素からなる混合液によりリフトガスGを間接熱交換で冷却する熱交換器であることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の熱交換器試験装置。大気圧下で液化窒素と液化酸素を含む混合液Lが収納された混合液槽Aから、ヘッド差を利用して混合液Lを検査用熱交換器Bに供給し、検査用熱交換器Bから流出してきた混合液Lを、リフトガス冷却器Dで冷却された、窒素ガスと酸素ガスの混合ガスからなるリフトガスGを用いたエアリフトポンプCにより、混合液槽Aにリサイクルする、熱交換器試験方法であって、該エアリフトポンプCに供給するリフトガスGが混合液槽A中の混合液Lの液組成に平衡なガス組成であり、かつエアリフトポンプC内の混合液Lの温度よりも3~10°C高いことを特徴とする、熱交換器試験方法。このように空気分離装置等の熱交換器表面の観察を簡素化するために、過大な設備を必要とすることなく、液体窒素や液体酸素の利用も最小として、ファイバースコープ等が設置可能で、高圧ガスの製造設備とすることなく、液体窒素や液体酸素を循環利用するための試験方法が必要とされていた。液化ガスを極低温に冷却して大気圧下又は0.2MPaG未満で使用すると、高圧ガスの法的な制限が少なくなり、また容器等の内圧が0.2MPaG未満の場合でも、密封系で気液状態変化を伴う場合は、高圧ガスの製造設備として設備要件を満たす必要があるので開放系で使用すれば高圧ガスの製造設備の法的な制限が少なくなる。一方、液体窒素と酸素を循環させて使用する場合には、ポンプアップ等何らかの動力を用いて一旦使用した試験容器に供給した液体窒素と酸素を供給元にリサイクルする必要がある。本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、深冷分離法の空気分離装置に使用される、熱交換器の使用状態を想定した試験を行うに際して、該熱交換器に供給する液体窒素や液体酸素からなる混合液の濃度変化を極力少なくし、かつ長時間該混合液をリサイクルすることが可能で、高圧ガス製造設備にも該当しない熱交換器試験装置、及び該装置を使用する熱交換器試験方法を提供することを目的とする。本発明者等は、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、所定濃度に調整された液体窒素や液体酸素からなる混合液を被検体である検査用熱交換器に循環させるために、エアリフトポンプ手段を採用し、かつ該エアリフトポンプ用のリフトガスを該混合液と平衡な気相組成と同じ組成で該ガス温度を該混合液の温度よりも多少高めの一定温度範囲に制御することにより、該混合液の濃度変化を少なくし、かつ長時間該混合液をリサイクルすることが可能で、高圧ガス製造設備にも該当しない熱交換器試験装置、及び熱交換器試験方法を見出し、本発明を完成させるに至った。すなわち本発明は、以下の1~6に記載する発明を要旨とする。1真空断熱槽内にそれぞれ配置されている、i大気圧下で液化窒素と液化酸素を含む混合液Lが収納された混合液槽Aと、ii混合液槽Aからヘッド差を利用して混合液Lが供給される、検査用熱交換器Bと、iii検査用熱交換器Bから流出してきた混合液Lを窒素ガスと酸素ガスの混合ガスからなるリフトガスGを使用して混合液槽AにリサイクルするエアリフトポンプCと、iv窒素ガスと酸素ガスから調製されたリフトガスGを冷却してエアリフトポンプCに供給するためのリフトガス冷却器Dと、からなることを特徴とする、熱交換器試験装置以下、第1の態様ということがある。2前記混合液槽Aに収納されている混合液Lを調製するための、液化窒素容器及び液化酸素容器、又は液化窒素容器、液化酸素容器、及び不純物ガス容器が設けられていることを特徴とする、前記1に記載の熱交換器試験装置。3前記混合液槽A中の混合液Lの酸素濃度を測定するための酸素濃度計が設置されていることを特徴とする、前記1又は2に記載の熱交換器試験装置。4前記リフトガス冷却器Dに供給する、窒素ガスと酸素ガスからなるリフトガスGを調製するための、窒素ガス供給配管と酸素ガス供給配管にそれぞれ流量調製器が設けられていることを特徴とする、前記1から3のいずれかに記載の熱交換器試験装置。5リフトガス冷却器Dが大気圧下での液化窒素、又は液化窒素と液化酸素からなる混合液によりリフトガスGを間接熱交換で冷却する熱交換器であることを特徴とする、前記1から4のいずれかに記載の熱交換器試験装置。6大気圧下で液化窒素と液化酸素を含む混合液Lが収納された混合液槽Aから、ヘッド差を利用して混合液Lを検査用熱交換器Bに供給し、検査用熱交換器Bから流出してきた混合液Lを、リフトガス冷却器Dで冷却された、窒素ガスと酸素ガスの混合ガスからなるリフトガスGを用いたエアリフトポンプCにより、混合液槽Aにリサイクルする、熱交換器試験方法であって、該エアリフトポンプCに供給するリフトガスGが混合液槽A中の混合液Lの液組成に平衡なガス組成であり、かつエアリフトポンプC内の混合液Lの温度よりも3~10°C高いことを特徴とする、熱交換器試験方法以下、第2の態様ということがある。本発明の熱交換器試験装置によれば、液化窒素と液化酸素からなる混合液を大気圧下で使用する装置仕様となっているので、高圧ガス製造設備には該当しない。混合液槽Aから検査用熱交換器Bへの混合液Lの供給はヘッド差を利用し、検査用熱交換器Bから混合液槽Aへの該混合液LリサイクルはエアリフトポンプCを使用するので、回転機等の動力を必要とするポンプは使用しないので簡素な熱交換器試験装置である。また、特に微量不純物を含む混合液Lを検査用熱交換器Bに連続的に、長時間、安定的に供給することが可能になる。更に、検査用熱交換器Bの表面を観察可能なようにファイバースコープを検査用熱交換器B表面近傍に挿入することにより、熱交換器表面での高沸点不純物の固化、凝縮、蓄積状況を容易に観測することが可能である。これらの設備上の機能により、i長時間の連続的な運転試験が可能になり、実設備に近い熱交換器の運転条件を安定的に持続させ、ii液体窒素、液体酸素及び不純物の補充及びこれらの調整頻度を著しく低減させることを可能にした。これらは検査用熱交換器Bの汚れや熱交換効率の低下など、経時的に変化する状況試験に好適かつ、顕著に観測できる状態を作り出すことができる。又、本発明の熱交換器試験方法によれば混合液槽Aから検査用熱交換器Bへの混合液Lの供給はヘッド差を利用し、検査用熱交換器Bから混合液槽Aへの該混合液LリサイクルはエアリフトポンプCを使用し、かつエアリフトポンプCに供給するリフトガスGを混合液槽A中の混合液Lと同組成として、エアリフトポンプC内の混合液Lの温度よりも3~10°C高い温度とすることにより、混合液Lの組成変化を極力少なくでき、組成変化を少なくした混合液Lを検査用熱交換器Bに安定的に循環することが可能になる。又、本発明の熱交換器試験方法によれば熱交換器表面での高沸点不純物の固化、凝縮、蓄積状況を観察するのに実用上極めて有用である。以下、本発明の第1の態様である、1熱交換器試験装置、及び第2の態様である2熱交換器試験方法について説明する。1熱交換器試験装置本発明の第1の態様である熱交換器試験装置は、真空断熱槽内にそれぞれ配置されている、i大気圧下で液化窒素と液化酸素を含む混合液Lが収納された混合液槽Aと、ii混合液槽Aからヘッド差を利用して混合液Lが供給される、検査用熱交換器Bと、iii検査用熱交換器Bから流出してきた混合液Lを窒素ガスと酸素ガスの混合ガスからなるリフトガスGを使用して混合液槽AにリサイクルするエアリフトポンプCと、iv窒素ガスと酸素ガスから調製されたリフトガスGを冷却してエアリフトポンプCに供給するためのリフトガス冷却器Dと、からなることを特徴とする。尚、上記混合液槽A、検査用熱交換器B、エアリフトポンプC、及びリフトガス冷却器Dは混合液Lの冷却温度を維持するためにそれぞれ真空断熱槽内に配置されていて、これらの装置間に流出入する混合液L用配管、及びリフトガスG用配管は真空による断熱構造とされている。本発明の熱交換器試験装置を典型例である図1を用いて説明する。尚、図1は本発明の熱交換器試験装置の例示であり、本発明の熱交換器試験装置は図1に示すものに限定されるものではない。液体酸素容器21、液体窒素容器22、及び不純物ガス容器23から調製された混合液槽A1内の混合液L5は、開閉弁29を通って検査用熱交換器B2内にヘッド差で流入する。検査用熱交換器B2からエアリフトポンプC11に流出した混合液L6は該ポンプ内のリフトガス導入管36に所定の速度で流入するリフトガスG39により揚液管37内で混合液Lが揚液されて、循環ライン14を経て混合液槽A1にリサイクルされる。リフトガスGは例えば、酸素ガス容器15、と窒素ガス容器16からそれぞれ流量制御器31、32により、流量が制御されて、混合液槽A1内の混合液L5と平衡にある気相組成と同じ組成となるように混合されてリフトガスG冷却前12が調製される。該リフトガスはリフトガス冷却器D4で冷却され、冷却されたリフトガスG冷却後13はエアリフトポンプC11のリフトガス導入管36に流入する。リフトガスの冷却器の例としては図1に示すように液体窒素18が収納されたリフトガス冷却器D4内に配設されたリフトガスG配管19内のリフトガスGは液体窒素18との間接熱交換により冷却される。尚、混合液槽A1、エアリフトポンプC11、リフトガス冷却器D4には大気に連通する排気口25、26、27がそれぞれ設けられていて、大気圧の圧力条件が維持されている。図1において、混合液槽Aは真空断熱槽a7内に、検査用熱交換器BとエアリフトポンプCは真空断熱槽b8内に、リフトガス冷却器Dは真空断熱槽c9内に、混合液Lの冷却温度を維持するためにそれぞれ配置されているが、混合液槽A、検査用熱交換器B、エアリフトポンプC、及びリフトガス冷却器Dを収納する真空断熱槽はそれぞれ任意に組み合わせて真空断熱槽内に収納することも可能である。1混合液槽A混合液槽A1内には、検査用熱交換器B内に供給する混合液L5が収納されている。混合液槽A内の混合液Lは液体酸素容器21と液体窒素容器22から開閉弁28をそれぞれ経由して調製することができるが、該混合割合の調整は例えば、配設された酸素濃度計24の測定値と混合液槽Aの液量から、混合液槽Aに補充する液体酸素量と液体窒素量を演算し、液体酸素容器と液体窒素容器のそれぞれの重量の減少量を測定することにより調整、供給できる。不純物ガスとしては、アルゴン、二酸化炭素、亜酸化窒素、一酸化炭素等から選択された1種または2種以上が挙げられ、不純物ガス容器23は複数設置することができる。混合液槽A1の底部には混合液L5を検査用熱交換器B2に供給する配管が設けられている。また、混合液槽A1内の混合液Lの酸素濃度を測定するために酸素濃度計24を配設することができる。該酸素濃度の測定値と混合液量Lの値から、液体酸素容器21と、液体窒素容器22から液体酸素と液体窒素をそれぞれ混合液槽A1に流入するための開閉弁28の開時間等を調整して、目的の濃度調整をおこなうことができる。2検査用熱交換器B検査用熱交換器Bには前記混合液槽Aから流量調節弁29を経由して混合液Lが流入してくる。混合液槽Aから検査用熱交換器Bへの混合液Lの流れはヘッド差によりで行われ、混合液Lの流量は流量調節弁29により制御することができる。検査用熱交換器Bとしては、プレートフィン、チューブフィン等の実装置で使用される熱交換器、又はその一部が設置される。プレートフィンは混合液L流路を形成するフィン部と高温側流路部該流路部側にもフィンが設けられる場合があるとが交互に積層された構造を有する。チューブフィン型は管とその外側に設けられたフィンより構成される。尚、検査用熱交換器Bとしては、塔底リボイラ、塔頂コンデンサ等が例示されるが、これらの検査用熱交換器Bには、電熱ヒータ、温流体等で熱交換器側面を加熱する手段を設けておくと、検査用熱交換器B出口の混合液Lを加熱した状態で配管6を通過、排出させることが可能になる。検査用熱交換器Bに混合液Lが長時間循環させることにより、熱交換器内での前記不純物の固化、凝縮、蓄積状況を観測することが可能になる。尚、これらの不純物ガスの沸点が非常に低く、観察のために装置を解体すると、不純物ガスが蒸発して観察不可能となることも想定される。このような場合には、検査用熱交換器Bの表面を観察可能なようにファイバースコープを検査用熱交換器B表面近傍に挿入することにより、該熱交換器表面での固化、凝縮、蓄積状況を容易に観測することが可能である。また、熱交換器は通常2種類の流体間で熱交換が行われるが、本発明の熱交換器試験装置における検査用熱交換器Bに供給されるプロセス流体が混合液L1種類であるので、低温側に混合液Lを流入させる場合には、前記高温側流路部に相当する側には混合液Lが流入しないように、流路を閉止する閉止板等を取り付けて必要熱量を電気加熱等で供給するか、又は必要熱量をガス体で供給することにより検査用熱交換器Bの該表面側を検査することができる。3エアリフトポンプC検査用熱交換器B2からエアリフトポンプC11に流出した混合液L6は該ポンプ内の揚液管37で、リフトガス導入管36に流入するリフトガスG39により揚液されて、混合液槽A1にリサイクルされる。エアリフトポンプCは通常二重の円管が用いられ、例えば図1に示すような内管側にリフトガスG13が供給されるリフトガス導入管36が設置され、外管側に混合液Lが供給される揚液管37が設置される。該リフトガスGの流量は流量制御器31、32により制御される。流量制御器31,32の流量比は、混合液Lの予め設定される濃度によって決定される。尚、混合液Lの循環量を大容量の循環とする場合には特許文献5に開示されているように、二重円管構造のエアリフトポンプの内管に上部側からリフトガスを供給して内管の下部側からリフトガスを放出する方式を採用することができる。エアリフトポンプC11への混合液L6の流入部近傍には温度指示計38を配設することにより、リフトガスG温度の設定範囲を決定することができる。4リフトガス冷却器DエアリフトポンプCに供給される窒素ガスと酸素ガスからなるリフトガスG13は、例えば窒素ガス供給配管と酸素ガス供給配管にそれぞれ流量調製器31、32が設けられて所定の濃度と流量に調製される。上記窒素ガスと酸素ガスの供給源としては、酸素ガス容器15と窒素ガス容器16を使用することができる。また、窒素ガスと酸素ガスからなるリフトガスG13の濃度調整は、前記酸素濃度計での測定値をもとに該エアリフトポンプC11に供給するリフトガスG13が混合液槽A中の混合液Lの液組成に平衡なガス組成であることが望ましい。これはエアリフトポンプCから排出されるガス組成を混合液槽Aの気相におけるガス組成と同じ組成として混合液槽A内の混合液L組成を可能な限り変更させないためである。リフトガスG12を冷却するリフトガス冷却器D4は、図1に示すように大気圧下での液化窒素18、又は液化窒素と液化酸素からなる混合液によりリフトガスGを間接熱交換により冷却する熱交換方式を採用することができる。尚、リフトガス冷却器Dには、図1に示す液面指示計33と温度指示計34を設けることによりリフトガスG13の温度制御を容易化できる。5その他前述のような熱交換器試験装置を使用することにより、液化窒素と液化酸素からなる混合液を大気圧下で使用する装置仕様とすることが可能となり、その結果、熱交換器試験装置は高圧ガス製造設備には該当しなくなる。本発明の熱交換器試験装置は、混合液槽Aから検査用熱交換器Bへの混合液Lの供給はヘッド差を利用し、検査用熱交換器Bから混合液槽Aへの該混合液LリサイクルはエアリフトポンプCを使用するので、回転機等の動力を必要とするポンプは使用しないので簡素な試験装置である。また、微量不純物を含む混合液Lを検査用熱交換器Bに連続的に、長時間の安定的に供給することが可能になる。更に、検査用熱交換器Bの表面を観察可能なようにファイバースコープを検査用熱交換器B表面近傍に挿入することにより特許文献4参照、該熱交換器表面での高沸点不純物の固化、凝縮、蓄積状況を容易に観測することが可能になる。2熱交換器試験方法本発明の第2の態様である熱交換器試験方法は、大気圧下で液化窒素と液化酸素を含む混合液Lが収納された混合液槽Aから、ヘッド差を利用して混合液Lを検査用熱交換器Bに供給し、検査用熱交換器Bから流出してきた混合液Lを、リフトガス冷却器Dで冷却された、窒素ガスと酸素ガスの混合ガスからなるリフトガスGを用いたエアリフトポンプCにより、混合液槽Aにリサイクルする、熱交換器試験方法であって、該エアリフトポンプCに供給するリフトガスGが混合液槽A中の混合液Lの液組成に平衡なガス組成であり、かつエアリフトポンプC内の混合液Lの温度よりも3~10°C高いことを特徴とする。1熱交換器試験方法に使用する熱交換器試験装置熱交換器試験方法に使用する熱交換器試験装置は前記、第1の態様に記載した熱交換器試験装置を使用することができる。2混合液槽Aにおける混合液Lの調製前記混合液槽A1内の混合液L5は、商業装置において想定される液化窒素と液化酸素の濃度、及び不純物ガスの種類とその濃度を考慮して、図1に示す、液化窒素容器22及び液化酸素容器21、又は液化窒素容器22、液化酸素容器21、及び不純物ガス容器23から開閉弁28をそれぞれ経由して調製することができるが、該混合割合の調整は例えば、液体酸素容器と液体窒素容器のそれぞれの重量の減少量を測定することにより調整できる。混合液槽A1内の混合液Lの酸素濃度を測定するために酸素濃度計24を配設することができる。該酸素濃度の測定値と混合液量Lの値から、開閉弁28の開時間等を調整して、目的の濃度調整を行うことができる。また、前記不純物はアルゴン、二酸化炭素、亜酸化窒素等から選択された1種または2種以上とすることができる。3混合液槽Aから検査用熱交換器Bへの混合液Lの供給混合液槽A1から検査用熱交換器B2への混合液L5の供給は、ヘッド差を利用して行われ、その流量は流量調節弁29により調節可能である。尚、該調節弁の下流側に流量指示計を設置することにより混合液Lの循環量を把握することができるので、該循環量から流量調節弁29の開度を調整して所定の流量とすることができる。4エアリフトポンプCによる混合液Lの循環エアリフトポンプCは、第1の態様に記載したリフトガス導入管と揚液管からなる二重円管を用いることができる。図1に示すように、リフトガス導入管36が揚液管37の下端部側から上部に向かって浸漬されていて、該リフトガス導入管の上端部に開口部が設けられている。リフトガス導入管の下方側から、リフトガスG13を供給して、該リフトガス39の浮上力で混合液Lを上昇させるものであり、構造的には従来の井戸水の汲上げ用、石油の輸送等に用いられているものと同様の方式である。なお、リフトガス導入管36の先端部には、リフトガスGを適度な大きさの気泡として混合液L中に噴出するためのノズルを設けておくことが好ましい。上記のようなエアリフトポンプCを低温液化ガスである混合液の揚液用等に用いると、リフトガス導入管から供給されるリフトガスの組成と温度により、リフトガスが混合液の一部を蒸発気化し、揚液駆動源である気泡量が増加し、リフトガスが混合液により冷却される結果、リフトガスが液化されて揚液駆動源である気泡量が減少するおそれがある。従って、エアリフトポンプC中に供給されたリフトガスG量を極力変化させないために、エアリフトポンプCに供給するリフトガスGは混合液槽A中の混合液Lの液組成に平衡なガス組成であり、かつエアリフトポンプC内の混合液Lの温度よりも3~10°C高いことが望ましい。5リフトガス冷却器DにおけるリフトガスGの調製エアリフトポンプCに供給される窒素ガスと酸素ガスからなるリフトガスGは、窒素ガス供給配管と酸素ガス供給配管にそれぞれ流量調製器31、32が設けられて所定の濃度と流量に調製される。上記窒素ガスと酸素ガスの供給源としては、窒素ガス容器と酸素ガス容器を使用することができる。また、窒素ガスと酸素ガスからなるリフトガスGの濃度調整は、前記酸素濃度計での測定値をもとに該エアリフトポンプCに供給するリフトガスGが混合液槽A中の混合液Lの液組成に平衡なガス組成であることが望ましい。これはエアリフトポンプCから排出されるガス組成を混合液槽Aの気相におけるガス組成と同じ組成として混合液槽A内の混合液L組成を可能な限り変更させないためである。例えば、図2に示す、大気圧下における混合液L中の液体窒素濃度モルと気相中の窒素濃度モルの平衡図から混合液槽A中の混合液L中の窒素濃度が20モルのときは、リフトガスG中の窒素ガス濃度は46モル程度が望ましい。リフトガスGを冷却するリフトガス冷却器Dは、図1に示すように大気圧下での液化窒素、又は液化窒素と液化酸素からなる混合液によりリフトガスGを間接熱交換により冷却する熱交換方式を採用することができる。この場合、リフトガスGの冷却温度の制御は、リフトガスGの流量とリフトガス冷却器Dにおける前記液化窒素、又は液化窒素と液化酸素からなる混合液の液面高さを制御して伝熱面積を変えることにより行うことができるが、リフトガス冷却器Dにおける冷却方式は他の方式を採用することもできる。リフトガスGの冷却温度は、エアリフトポンプC内の混合液Lの温度よりも3~10°C高いことが好ましい。該リフトガスG13の温度は、例えば図1に示す温度指示計38により検出して液体窒素18の液面制御により調整することが可能である。リフトガスGの温度は、液化ガス貯槽の流体温度に可能な限り近い温度であることが望ましいが、温度が低すぎるとリフトガスがリフトガス調整部で液化する可能性がある他、リフトガス調整部のリフトガスが過剰に加圧されていると、混合液槽A内の混合液L組成の沸点温度であっても、リフトガスGが液化してしまうので、実際には混合液槽A内の混合液L組成の沸点温度より3~10度程度高い温度のリフトガスGがエアリフトポンプC内に供給される。6その他本発明の第2の態様である、熱交換器試験方法を採用することにより、混合液槽Aから検査用熱交換器Bへの混合液Lの供給はヘッド差を利用し、検査用熱交換器Bから混合液槽Aへの該混合液LのリサイクルはエアリフトポンプCを使用し、かつエアリフトポンプCに供給するリフトガスGを混合液槽A中の混合液Lの液組成と平衡にある気相組成と同じ組成として、エアリフトポンプC内の混合液Lの温度よりも3~10°C高い温度とすることにより、混合液Lの組成変化を極力少なくでき、組成変化を少なくした混合液Lを検査用熱交換器Bに安定的に循環することが可能になる。又、本発明の熱交換器試験方法によれば熱交換器表面での固化、凝縮、蓄積状況を観察するのに実用上極めて有用である。次に、実施例により本発明をより具体的に説明する。尚、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。本実施例1、比較例1、2において、以下に記載する熱交換器試験装置図1参照を使用した。イ混合液槽混合液槽として、真空断熱槽内に配置された、内容積2,000リットルの容器を使用した。該混合液槽の上端部には該槽内の気相部が大気に連通する排気口が設けられている。該混合液槽には、混合液を調製するための、液化窒素容器、液化酸素容器、及び不純物液化ガス容器からの供給配管がそれぞれ設けられている。該混合液槽の底部からの混合液をヘッド差で検査用熱交換器に送液するための送液配管が設けられ、該配管には混合液の循環量を調節するための流量調節弁流量指示計を含むと、酸素濃度計が設置されている。ロ検査用熱交換器真空断熱槽内に配置された検査用熱交換器としてプレートフィン型の熱交換器を使用した。ハエアリフトポンプエアリフトポンプとしては、リフトガスが供給されるリフトガス導入管と、混合液を揚液する揚液管からなる二重円管タイプを用いた。エアリフトポンプ内には図1に示す位置に温度指示計が設けられている。尚、エアリフトポンプの上部に設けられた排出口は大気に連通している。エアリフトポンプで揚液された混合液は混合液槽にオーバーフロー可能な配管が配置されている。ニリフトガス冷却器酸素ガス容器と窒素ガス容器の取出配管にそれぞれ設置された流量制御器で混合ガスの濃度と流量を制御して、リフトガスを調製後、大気圧の液体窒素が収納されている冷却層内に配管を貫通させた冷却器により89Kに冷却された、リフトガスはエアリフトポンプのリフトガス導入管に供給した。[実施例1]真空断熱槽内に配置された、混合液槽内に主成分が表1に示す組成の液化酸素と液化窒素からなり、該混合液中の不純物として亜酸化窒素10ppmモルを混入させた混合液を表1に供給液量で検査用熱交換器に供給した。リフトガスとして、酸素ガス容器と窒素ガス容器からなるリフトガスをそれぞれの容器の取出配管に設置された流量制御器で混合ガスの濃度と流量を調整して、リフトガス冷却器で89Kに冷却して、リフトガスはエアリフトポンプのリフトガス導入管に供給した。混合液槽の取出配管部に設置された酸素濃度計で混合液中の酸素濃度、及びエアリフトポンプ内に設置された温度指示計を測定しながら、リフトガス濃度を混合液と平衡濃度とほぼ同じ組成になるように、温度は混合液の温度より3~5度高い89Kとなるように調整した。運転継続時間を表1に示す。[比較例1]混合液槽から検査用熱交換器に供給した混合液を回収せずに、すべてを排気した以外は、実施例1に記載の方法と同様に行った。条件と結果をまとめて表1に示す。[比較例2]リフトガスとして常温の窒素ガスを使用した以外は実施例1に記載の方法と同様に行った。条件と結果をまとめて表1に示す。[評価のまとめ]比較例1の供給液の全てを排気した場合回収なしは運転継続時間が0.75daysと最も短時間であった。比較例2でリフトガスとして常温の窒素ガスを使用した場合には運転継続時間が5.8daysであった。本発明に相当する実施例1では運転継続時間が7.1daysで、供給液の組成変化は、従来技術に比べ非常に低いことがわかった。"