"上面及び同上面と平行な下面を有する平板状圧電素子と、上面及び同上面と平行な下面を有するシートと、移動体と、を備える圧電アクチュエータにおいて、前記平板状圧電素子は、前記平板状圧電素子の前記上面が前記シートの前記上面と平行となるように前記シートに対して形成されており、前記シートは、前記シートの前記上面及び前記下面のうちの一方の面上に移動体駆動部を有し、前記移動体は、前記シートと前記移動体駆動部にて接触する接触部を有し、前記平板状圧電素子の前記上面と平行な方向の伸縮変形により前記移動体駆動部を前記シートの前記上面と平行な方向に移動させるとともに前記移動体駆動部と前記接触部との間に生じる摩擦力によって前記移動体を移動させるように構成された圧電アクチュエータ。請求項1に記載の圧電アクチュエータであって、前記シートの前記移動体駆動部が形成された面と反対側の面上であって前記移動体駆動部と対向する部分に前記移動体駆動部に向う力を付与するバネ要素を備えた圧電アクチュエータ。請求項1又は請求項2に記載の圧電アクチュエータであって、前記平板状圧電素子は、前記平板状圧電素子の前記上面に直交する方向から見た場合に長手方向と同長手方向と直交する幅方向を有する帯状であり、更に、前記圧電アクチュエータは、前記平板状圧電素子を少なくとも二つ有し、前記少なくとも二つの平板状圧電素子は、前記シートの前記上面に直交する方向から見た場合に前記二つの平板状圧電素子のそれぞれの前記長手方向と平行な中心線が同一直線上にあり、且つ、前記移動体駆動部を挟んで対向するように配置されている圧電アクチュエータ。請求項1又は請求項2に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記平板状圧電素子は、前記平板状圧電素子の前記上面に直交する方向から見た場合に長手方向と同長手方向と直交する幅方向を有する帯状であり、更に、前記圧電アクチュエータは、前記平板状圧電素子を少なくとも二つ有し、前記少なくとも二つの平板状圧電素子は、前記シートの前記上面に直交する方向から見た場合に前記二つの平板状圧電素子のそれぞれの前記長手方向と平行な中心線が前記移動体駆動部において交差するように配置されている圧電アクチュエータ。請求項4に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記少なくとも二つの平板状圧電素子は、前記シートの前記上面に直交する方向から見た場合に、前記移動体駆動部と前記接触部との接触点に対して回転対称位置となるように配置されている圧電アクチュエータ。請求項5に記載の圧電アクチュエータであって、前記平板状圧電素子を四つ有し、前記四つの平板状圧電素子は、前記シートの前記上面に直交する方向から見た場合に十字状に配置されている圧電アクチュエータ。請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の圧電アクチュエータにおいて前記平板状圧電素子は、前記シートの前記上面及び前記下面のうちの一方の面上に固定されている圧電アクチュエータ。請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の圧電アクチュエータにおいて前記シートは圧電体シートであり、前記平板状圧電素子は、前記圧電体シートを一対の電極により挟持した部分である圧電アクチュエータ。請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の圧電アクチュエータを複数個備え、前記複数個の圧電アクチュエータを格子状に配置してなる圧電アクチュエータアレイ。以下、図面を参照しつつ本発明の各実施形態に係る圧電アクチュエータについて説明する。各実施形態に係る圧電アクチュエータは、例えば、リソグラフィ装置、位置決めステージ、カメラレンズ移動装置等に適用されるが、これらに限定されるものではない。<第1実施形態>図1乃至図7に示したように、本発明の第1実施形態に係る圧電アクチュエータ10は、4つの平板状圧電素子20図4を参照。を備える。更に、圧電アクチュエータ10は、シート30、摩擦部材40、移動体50、第1支持部を兼ねる移動体保持部材60、第2支持部70、ミラー80、バネ要素90、及び、基部100を備える。圧電アクチュエータ10は、図13及び図14からも理解されるように、複数の圧電アクチュエータ10が縦方向及び横方向に略一定の間隔を隔てて隣接するように配列されてなる即ち、格子状、マトリクス状に配置されてなるアクチュエータアレイとして作成され得る。以下、一つの圧電アクチュエータ10について説明する。4つの平板状圧電素子20のそれぞれは板体である。即ち、平板状圧電素子20は平板形状を有している。従って、平板状圧電素子20の上面及び下面は何れも平面平坦面であり且つ互いに平行である。更に、平板状圧電素子20が圧電アクチュエータ10に取り付けられた状態において、平板状圧電素子20の上面及び下面はX-Y平面と平行である。平板状圧電素子20の上面及び下面は平板状圧電素子20の主面とも称呼される。平板状圧電素子20は、平板状圧電素子20の上面に直交する方向Z軸方向、以下、素子主面直交方向とも称呼する。から平板状圧電素子20を見た場合、図4に示したように、長辺及び短辺を有する長方形状を有している。即ち、平板状圧電素子20の平面視の形状素子主面直交方向から平板状圧電素子20を見た形状は、長手方向長辺と、その長手方向と直交する幅方向短手方向、短辺を有する帯状である。図5に模式的に示したように、平板状圧電素子20は、圧電層例えば、チタン酸ジルコン酸鉛PZT等の圧電材料からなる層21、上部電極上部電極層22、及び、下部電極下部電極層23、を備えている。上部電極22は圧電層21の上部に形成されている。下部電極23は圧電層21の下部に形成されている。即ち、上部電極22及び下部電極23は圧電層21を挟んで互いに対向するように形成されている。この結果、上部電極22の上面が平板状圧電素子20の上面20aとなり、下部電極23の下面が平板状圧電素子20の下面20bとなる。圧電層21は厚さ方向に分極処理がなされている。その分極の向きは、素子の主面に直交する方向であって、下部電極23から上部電極22に向う向きZ軸正方向である図5における圧電層21内の矢印を参照。。なお、図5において、摩擦部材40は省略されている。シート連結シート30は、銅、ステンレス、ニッケル及びコバール等の金属材料や、アルミナ、ジルコニア及びPZT等のセラミック材料からなる薄板シート;シリコン等の単結晶ウェハシート;ポリエステル及びポリイミド等の樹脂材料からなるフィルムシート;並びに、これらの種類のうちの互いに異なる材質からなる複数のシートを重ねて一体化した複合シート;である。従って、シート30の上面及び下面は何れも平面平坦面であり且つ互いに平行である。シート30が圧電アクチュエータ10に組み込まれた状態において、シート30の上面及び下面はX-Y平面と平行である。シート30の上面及び下面はシート30の主面とも称呼される。シート30の上面に直交する方向Z軸方向、以下、シート主面直交方向とも称呼する。からシート30を見た場合のシート30の形状シート30の平面視の形状は、図3に示したように、X軸に平行な辺及びY軸に平行な辺を有する正方形である。従って、シート30は、平面視において、Y軸方向の中心線であってX軸と平行な中心線CL1第1中心線CL1と、X軸方向の中心線であってY軸と平行な中心線CL2第2中心線CL2と、を有する。第1中心線CL1と第2中心線CL2との交点は、シート30の中心と称呼される。シート30には、4つの穴貫通穴31~34が形成されている。これらの穴31~34により、平面視でシート30の中に形成され、中心がシート30の中心と一致し、更に、二つの辺がX軸に平行であり、他の二つの辺がY軸に平行である第1の仮想正八角形VH1の外側の領域が残される。更に、これらの穴31~34により、シート30の中に形成され、中心がシート30の中心と一致し、更に、二つの辺がX軸に平行であり、他の二つの辺がY軸に平行であり、第1の仮想正八角形VH1よりも小さい第2の仮想正八角形VH2の内側の領域が残される。加えて、これらの穴31~34により、第1の仮想正八角形VH1の外側の領域と第2の仮想正八角形VH2の内側の領域とを連結する4つの帯状部B1~B4が残される。4つの帯状部B1~B4のそれぞれの幅は、平板状圧電素子20の幅よりも僅かに大きい。帯状部B1は、第1中心線CL1よりもY軸正方向側に配置され、その長手方向に平行な中心線は第2中心線CL2と一致している。帯状部B2は、第2中心線CL2よりもX軸負方向側に配置され、その長手方向に平行な中心線は第1中心線CL1と一致している。帯状部B3は、第1中心線CL1よりもY軸負方向側に配置され、その長手方向に平行な中心線は第2中心線CL2と一致している。帯状部B4は、第2中心線CL2よりもX軸正方向側に配置され、その長手方向に平行な中心線は第1中心線CL1と一致している。4つの平板状圧電素子20それぞれは、図4に示したように、シート30の上面であって、4つの帯状部B1~B4のそれぞれに配置固定される。これにより、平板状圧電素子20の上面及び下面はシート30の上面及び下面とそれぞれ平行となる。即ち、平板状圧電素子20は、平板状圧電素子20の主面上面がシート30の主面上面と平行になるように、シート30の主面上面に形成される。なお、帯状部B2の上部に形成された平板状圧電素子20は、便宜上、X軸第1圧電素子20X1と称呼される。帯状部B4の上部に形成された平板状圧電素子20は、便宜上、X軸第2圧電素子20X2と称呼される。帯状部B3の上部に形成された平板状圧電素子20は、便宜上、Y軸第1圧電素子20Y1と称呼される。帯状部B1の上部に形成された平板状圧電素子20は、便宜上、Y軸第2圧電素子20Y2と称呼される。摩擦部材40は、例えば、アルミナ及びジルコニア等の耐摩耗性の高いセラミック材料、ポリアセタール、ポリアミド、ポリイミド及びポリテトラフルオロエチレン等の摺動性の良いプラスチック材料、カーボン繊維及び無機質ウィスカ等を含んだ複合樹脂材料、ステンレス、ニッケル及び銅等の金属材料等からなる。摩擦部材40は、図1及び図4に示したように、平板状である。即ち、摩擦部材40の上面及び下面は何れも平面平坦面であり且つ互いに平行である。摩擦部材40が圧電アクチュエータ10に取り付けられた状態において、摩擦部材40の上面に直交する方向Z軸方向、以下、摩擦部材主面直交方向とも称呼する。から摩擦部材40を見た場合、図4に示したように、摩擦部材40は前述した第2の仮想正八角形VH2よりも小さい平板である。摩擦部材40の平面形状摩擦部材主面直交方向から摩擦部材40を見た場合の形状は、特に限定されず、円形であってもよく、四角形、六角形及び八角形等の多角形であってもよい。摩擦部材40は、シート30の上面であって、第2の仮想正八角形VH2の内側の領域に、その中心がシート30の中心と一致するように配置固定される。摩擦部材40は、後述するように、移動体50接触部51と接触し移動体50を移動させる。従って、シート30の摩擦部材40が配置されている部分は移動体駆動部とも称呼される。摩擦部材40は、移動体50の接触部51との摩擦力を適切な大きさにすることにより移動体50を移動させるための部材である。従って、シート30に摩擦部材40を設けない場合であっても、シート30と接触部51との間に適切な摩擦力が生じるのであれば、摩擦部材40は必要ない。その場合であっても、摩擦部材40が配置される領域に対応する領域は移動体駆動部と称呼される。X軸第1圧電素子20X1は、その長手方向に平行な中心線幅方向の中心線が第1中心線CL1と一致するように、第2中心線CL2よりもX軸負側に配置される。X軸第2圧電素子20X2は、その長手方向に平行な中心線幅方向の中心線が第1中心線CL1と一致するように、第2中心線CL2よりもX軸正側に配置される。この結果、二つの平板状圧電素子20X1、X2は、その二つの平板状圧電素子の長手方向と平行な中心線が一つの直線第1中心線CL1上に存在し、且つ、移動体駆動部としての摩擦部材40を挟んで対向するように、シート30の上面に配置されている。Y軸第1圧電素子20Y1は、その長手方向に平行な中心線幅方向の中心線が第2中心線CL2と一致するように、第1中心線CL1よりもY軸負側に配置される。Y軸第2圧電素子20Y2は、その長手方向に平行な中心線幅方向の中心線が第2中心線CL2と一致するように、第1中心線CL1よりもY軸正側に配置される。この結果、二つの平板状圧電素子20Y1、Y2は、その二つの平板状圧電素子の長手方向と平行な中心線が一つの直線第2中心線CL2上に存在し、且つ、移動体駆動部としての摩擦部材40を挟んで対向するように、シート30の上面に配置されている。更に、四つの平板状圧電素子20は、十字状に配置されていると言うこともできる。移動体50は、図1及び図2に示したように、上面が平坦であり、下面が球状であり、上面に直交する方向から移動体50を見た場合即ち、平面視において円形状を有している。移動体50は、銅、ステンレス、ニッケル及びコバール等の金属材料、アルミナ及びジルコニア等のセラミックス材料、ガラス、並びに、シリコン等の材料からなり、後述する移動体保持部材60と一体的に構成してもよい。移動体50の下面は接触部51を構成している。接触部51は摩擦部材40の上面と接触する。移動体保持部材60は、銅、ステンレス、ニッケル及びコバール等の金属材料、アルミナ及びジルコニア等のセラミックス材料、ガラス、並びに、シリコン等の材料からなる板体である。移動体保持部材60の上面は平面平坦面である。移動体保持部材60が圧電アクチュエータ10に組み込まれた状態において、移動体保持部材60の上面はX-Y平面と平行である。移動体保持部材60の上面に直交する方向Z軸方向、以下、保持部主面直交方向とも称呼する。から移動体保持部材60を見た場合の移動体保持部材60の形状移動体保持部材60の平面視の形状は、図2に示したように、X軸に平行な辺及びY軸に平行な辺を有する正方形である。従って、移動体保持部材60は、平面視において、Y軸方向の中心線であってX軸と平行な中心線DL1第1中心線DL1と、X軸方向の中心線であってY軸と平行な中心線DL2第2中心線DL2と、を有する。第1中心線DL1と第2中心線DL2との交点は、移動体保持部材60の中心と称呼される。移動体保持部材60の厚さは、図2に破線により示した正八角形SH1の外側領域において大きく、正八角形SH1の内側領域において小さい。この正八角形SH1は第1の仮想正八角形VH1と同一の形状を有している。即ち、移動体保持部材60は、その外周部に厚肉部を有している。この厚肉部は第1支持部とも称呼される。このように、第1支持部は、移動体保持部材60と一体的に構成することができる。但し、第1支持部は、移動体保持部材60とは別部材として構成され、その第1支持部材と移動体保持部材60とが接着又は接合されてもよい。第1支持部の下面は、平坦面であり、移動体保持部材60が圧電アクチュエータ10に組み込まれた状態においてX-Y平面と平行である。移動体保持部材60はジンバル構造を有する。より具体的に述べると、移動体保持部材60は、平面視において八角形形SH1の内側に円形の穴61を備えている。円形の穴61の中心は移動体保持部材60の中心と一致している。更に、移動体保持部材60は、リング部所定幅を有する円環部62を備えている。リング部62の中心は移動体保持部材60の中心と一致している。リング部62の外径は円形の穴61の径よりも小さい。リング部61の内径は移動体50の外径よりも大きい。移動体保持部材60は、第1のヒンジ部梁部63a、第2のヒンジ部梁部63b、第3のヒンジ部梁部63c及び第4のヒンジ部梁部63dを備えている。第1のヒンジ部63aは、X軸方向に長手方向を有する帯状であって、第2中心線DL2よりもX軸正側の位置にてリング部62と移動体保持部材60の円形の穴61の外側部とを連結している。第1のヒンジ部63aの長手方向に平行な中心線は移動体保持部材60の第1中心線DL1と一致している。第2のヒンジ部63bは、X軸方向に長手方向を有する帯状であって、第2中心線DL2よりもX軸負側の位置にてリング部62と移動体保持部材60の円形の穴61の外側部とを連結している。第2のヒンジ部63bの長手方向に平行な中心線は移動体保持部材60の第1中心線DL1と一致している。第3のヒンジ部63cは、Y軸方向に長手方向を有する帯状であって、第1中心線DL1よりもY軸正側の位置にて移動体50とリング部62とを連結している。第3のヒンジ部63cの長手方向に平行な中心線は移動体保持部材60の第2中心線DL2と一致している。第4のヒンジ部63dは、Y軸方向に長手方向を有する帯状であって、第1中心線DL1よりもY軸負側の位置にて移動体50とリング部62とを連結している。第4のヒンジ部63dの長手方向に平行な中心線は移動体保持部材60の第2中心線DL2と一致している。この結果、移動体50は、移動体保持部材60に、実質的に二つの軸の周りに回転可能となるように保持されている。即ち、図6に示したように、移動体50がX軸周りに回動しようとする力を受けたとき、第1のヒンジ部63a及び第2のヒンジ部63bがX軸周りに捩じれる。この結果、移動体50はX軸周りに回転することができる。同様に、移動体50がY軸周りに回動しようとする力を受けたとき、第3のヒンジ部63c及び第4のヒンジ部63dがY軸周りに捩じれる。この結果、移動体50はY軸周りに回転することができる。第2支持部70は、図7に示したように、銅、ステンレス、ニッケル及びコバール等の金属材料、アルミナ、ジルコニア及びPZT等のセラミックス材料、ガラス、シリコン等の材料、並びに、ポリエステル、ポリイミド及びエポキシ等の樹脂材料からなる板体である。従って、第2支持部70の上面及び下面は何れも平面平坦面であり且つ互いに平行である。第2支持部70が圧電アクチュエータ10に組み込まれた状態において、第2支持部70の上面及び下面はX-Y平面と平行である。第2支持部70の上面及び下面は第2支持部70の主面とも称呼される。第2支持部70の上面に直交する方向Z軸方向、以下、第2支持部主面直交方向とも称呼する。から第2支持部70を見た場合の第2支持部70の形状第2支持部70の平面視の形状は、図7に示したように、X軸に平行な辺及びY軸に平行な辺を有する正方形である。従って、第2支持部70は、平面視において、Y軸方向の中心線であってX軸と平行な中心線EL1第1中心線EL1と、X軸方向の中心線であってY軸と平行な中心線EL2第2中心線EL2と、を有する。第1中心線EL1と第2中心線EL2との交点は、第2支持部70の中心と称呼される。第2支持部70には貫通穴71が設けられている。この貫通穴71の平面視における形状は正八角形SH1及び第1の仮想正八角形VH1と同一の正八角形KH1である。図1に示したように、シート30は、移動体保持部材60の厚肉部第1支持部と、第2支持部70と、に挟持される且つ、接合されることによって支持されている。より具体的に述べると、シート30は、Z軸方向から圧電アクチュエータ10を見た場合、正八角形SH1、第1の仮想正八角形VH1及び正八角形KH1が一致するように、第1支持部と第2支持部70とに挟持される。シート30が第1支持部と第2支持部70との間に挟持されたとき、移動体50接触部51は摩擦部材40の上面に押し付けられるようになっている。バネ要素押圧手段90は、図1に示したように、基部100と第2支持部70との間に挟持されている。バネ要素90は、ステンレス、りん青銅及びベリリウム銅合金等の材料からなる弾性を有する板体であって、その一部に湾曲部91を備える。湾曲部91は、シート30を挟んで摩擦部材40と対向する位置シート30の中心を含む領域に当接している。これにより、バネ要素90は、シート30の中心部付近にZ軸正方向に向かう力を付与する。移動体50の上部には円柱状の支柱部81が固定されている。支柱部81の上部にはミラー80が固定されている。従って、移動体50が回動させられることによって、ミラー80の角度が変更される。支柱部81は、シリコン、ステンレス、ニッケル及び銅などの材料からなる。図8は、このように構成された圧電アクチュエータ10において、X軸第1圧電素子20X1及びX軸第2圧電素子20X2の分極処理を行う場合の回路の例を示している。本例においては、図5に示したように、下部電極23がX軸第1圧電素子20X1及びX軸第2圧電素子20X2の両方に共通であるので、その下部電極23を直流電源DCの陽極に接続する。更に、X軸第1圧電素子20X1及びX軸第2圧電素子20X2のそれぞれの上部電極22を直流電源DCの陰極に接続する。これにより、下部電極23から上部電極22に向う電界がそれぞれの圧電層21に加わり、分極処理がなされる。Y軸第1圧電素子20Y1及びY軸第2圧電素子20Y2も同様に分極処理を施すことができる。図9は、圧電アクチュエータ10の駆動回路の例を示している。この駆動回路はスイッチング素子S1~S4と、駆動電源VSと、を備える。この駆動回路において、スイッチング素子S1及びスイッチング素子S4が同時に閉じられたとき、スイッチング素子S2及びスイッチング素子S3は同時に開かれる。このとき、駆動電源VSの陽極に正の電位が発生していると、X軸第1圧電素子20X1においては上部電極22の電位が下部電極23の電位よりも高くなり、X軸第2圧電素子20X2においては上部電極22の電位が下部電極23の電位よりも低くなる。このため、X軸第1圧電素子20X1のX軸方向長さは長くなり、X軸第2圧電素子20X2のX軸方向長さは短くなる。よって、摩擦部材40はX軸正方向に変位する図10の実線を参照。。ところで、図10に示したように、駆動電源VSが発生する駆動電圧は、各周期において、最初は徐々に増大し時刻t0-t1、t2-t3、t4-t5を参照。、次いで、急激に減少する時刻t1-t2、t3-t4、t5-t6を参照。。例えば、時刻t0から時刻t1において駆動電圧が徐々に増大しているとき、X軸第1圧電素子20X1はX軸方向において緩慢に伸張し、X軸第2圧電素子20X2はX軸方向において緩慢に縮小する。その結果、摩擦部材40はX軸正方向に緩慢に移動する。従って、摩擦部材40と接触部51移動体50とは実質的に相対移動せず、それらの間には静止摩擦力又はそれに近い大きな動摩擦力第1の摩擦力が作用する。よって、接触部51は摩擦部材40とともに移動するから、移動体はY軸周りに第1の回転方向に回動する。次いで、時刻t1以降において駆動電圧が急激に減少すると、X軸第1圧電素子20X1はX軸方向において急激に縮小し、X軸第2圧電素子20X2はX軸方向において急激に伸張する。その結果、摩擦部材40はX軸負方向に急激に移動する。従って、接触部51移動体50は摩擦部材40の上面を滑り、それらの間には小さな動摩擦力前記第1の摩擦力よりも小さい第2の摩擦力が作用する。よって、接触部51は駆動電圧が急激に減少し始めた時点時刻t1の位置に留まる。以降、このような動作が繰り返されることにより、移動体50はY軸の回りに第1の回転方向に所望の角度だけ回転させられる。一方、スイッチング素子S2及びスイッチング素子S3が同時に閉じられたとき、スイッチング素子S1及びスイッチング素子S4は同時に開かれる。このとき、駆動電源VSの陽極に正の電位が発生していると、X軸第1圧電素子20X1においては上部電極22の電位が下部電極23の電位よりも低くなり、X軸第2圧電素子20X2においては上部電極22の電位が下部電極23の電位よりも高くなる。このため、X軸第1圧電素子20X1のX軸方向長さは短くなり、X軸第2圧電素子20X2のX軸方向長さは長くなる。よって、摩擦部材40はX軸負方向に変位する図10の破線を参照。。そして、前述した駆動電圧により、摩擦部材40の変位は図10の破線に示したように変化する。その結果、移動体50はY軸の周りに第1の回転方向とは反対の第2の回転方向に所望の角度だけ回転させられる。なお、駆動電圧の大きさを最初急激に増大させ次いで徐々に減少させると、駆動電圧の大きさを最初徐々に増大させ次いで急激に減少させた上述した場合の移動体50の回転方向と逆の方向に移動体50を回転させることもできる。なお、移動体50をX軸の周りに回動させたい場合、図9のX軸第1圧電素子20X1及びX軸第2圧電素子20X2をY軸第1圧電素子20Y1及びY軸第2圧電素子20Y2にそれぞれ置換した回路を構成しておき、X軸第1圧電素子20X1及びX軸第2圧電素子20X2への駆動電圧の印加期間と重ならない期間において、同様の駆動電圧をY軸第1圧電素子20Y1及びY軸第2圧電素子20Y2に印加すればよい。従って、下部電極23は、総て4つの平板状圧電素子20X1,X2,Y1,Y2に共通の電極層であってもよい。<第2実施形態>次に、図11及び図12を参照しながら、本発明の第2実施形態に係る圧電アクチュエータ110について説明する。先に説明した第1実施形態に係る圧電アクチュエータ10において、平板状圧電素子20はシート30と別体であり、平板状圧電素子20はシート30に固定されていた。これに対し、第2実施形態に係る圧電アクチュエータ110は、シート30に代わるシートを圧電体からなるシート以下、圧電シートと称呼する。120に置換する。従って、圧電シート120はシート30と同一の形状を有する。更に、図12に示したように、圧電アクチュエータ10の平板状圧電素子20が形成される場所に対応する圧電シート120の部分領域に上部電極上部電極層121及び下部電極下部電極層122を形成する。これにより、圧電シート120の所定の領域に、上部電極121と下部電極122とにより挟まれた部分が作成され、その部分が平板状圧電素子として機能する。この場合、図11から理解されるように、平板状圧電素子の上面は上部電極121の上面であるので、平板状圧電素子の上面と圧電シート120の上面とは平行となる。また、平板状圧電素子の下面は下部電極122の下面であるので、平板状圧電素子の下面と圧電シート120の上面及び下面とは平行となる。なお、圧電シート120の中央部の上面には、シート30と同様、摩擦部材40が配設される。そして、圧電アクチュエータ110は、上部電極121と下部電極122との間に第1実施形態と同様の駆動電圧を印加し、上部電極121と下部電極122とに挟まれている圧電シート120の部分を伸縮させ、それにより、摩擦部材40の位置を変化させる。この圧電アクチュエータ110によれば、シートと平板状圧電素子とを一体化できるので、部品点数を低減できるとともに、製造工程を簡素化できる。よって、より安価な圧電アクチュエータを提供することが可能である。以上、説明したように、本発明による圧電アクチュエータの各実施形態は、平板状圧電素子の主面上面と平行な方向の伸縮変形を利用して移動体を移動させるので、圧電素子の高さを高くする必要がなく、よって、より小型な圧電アクチュエータを提供することができる。本発明は上記実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において以下に述べるような種々の変形例を採用することができる。移動体50は回転する移動体であったが、X-Y平面内において平行移動する移動体であってもよい。或いは、移動体はX軸方向にのみ移動させられる移動体であってもよい。下部電極23、122は、複数の圧電素子に共通の電極層であったが、それぞれの圧電素子に固有の下部電極を形成してもよい。その場合、下部電極は上部電極に対向する位置に形成される。平板状圧電素子は、一つ以上であればよい。例えば、圧電アクチュエータ10は、図4に示した4つの平板状圧電素子のうちX軸第1圧電素子20X1のみを備えていてもよい。例えば、圧電アクチュエータ10は、図4に示した4つの平板状圧電素子のうちX軸第1圧電素子20X1及びX軸第2圧電素子20X2のみを備えていてもよい。例えば、圧電アクチュエータ10は、図4に示した4つの平板状圧電素子のうちX軸第1圧電素子20X1及びY軸第1圧電素子20Y1のみを備えていてもよい。平板状圧電素子20と摩擦部材40とは、シート30の異なる面上に作成されてもよい。即ち、摩擦部材40がシート30の上面に作成され、且つ、平板状圧電素子20がシート30の下面側に固定されてもよい。反対に、平板状圧電素子20がシート30の上面に作成され、且つ、摩擦部材40がシート30の下面側に固定されてもよい。更に、バネ要素90は、他の形状を有する弾性体例えば、コイルスプリングから構成されていてもよい。バネ要素90がなくても摩擦部材40と接触部51との間に適切な摩擦力を発生することができる場合、バネ要素90を省略することができる。このように、本発明に係る圧電アクチュエータの態様においては、平板状圧電素子20は、平板状圧電素子の上面がシート30の上面と平行となるようにシート30に対して形成されており、シート30は、シートの上面及び下面のうちの一方の面上に移動体駆動部40を有し、移動体50は、シート30と移動体駆動部40にて接触する接触部51を有している。更に、本発明に係る圧電アクチュエータの態様は、平板状圧電素子20の上面と平行な方向の伸縮変形により移動体駆動部40をシート30の上面と平行な方向に移動させるとともに、移動体駆動部40と接触部51との間に生じる摩擦力によって移動体50を移動させるように構成されている。更に、圧電アクチュエータの態様は、シート30の移動体駆動部40が形成された面と反対側の面上であって移動体駆動部40と対向する部分に移動体駆動部40に向う力を付与するバネ要素90を備える。更に、少なくとも二つの平板状圧電素子20は、シート30の上面に直交する方向から見た場合に二つの平板状圧電素子20のそれぞれの長手方向と平行な中心線が移動体駆動部40において交差するように配置されている。加えて、前記少なくとも二つの平板状圧電素子20は、シート30の上面に直交する方向から見た場合即ち、平板状圧電素子20及びシート30の平面視において、移動体駆動部40と接触部51との接触点で、各々の中心軸が交差するように配置されている。更に、平板状圧電素子20及びシート30の平面視において、少なくとも二つの平板状圧電素子20が移動体駆動部40と接触部51との接触点に関して回転対称位置となるように配置されていると言うこともできる。"