被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを備えた切削手段と、を少なくとも備えた切削装置において、該切削手段に取り付けられる電極ユニットであって、該切削手段は、回転軸と、該回転軸の一方の端部に形成され切削ブレードが着脱自在に装着されるマウント部と、該回転軸をエアーで支持するエアーベアリングを備えたハウジングと、該ハウジングに連結され該回転軸を駆動するステータと、該ハウジングに装着され該回転軸の他方の端部に接触し該回転軸に通電する電極ユニットと、を含み、該電極ユニットは、該回転軸の他方の端部に接触する円柱状の電極端子と、該電極端子を進退自在に収容する貫通孔が形成された円柱部を備えたホルダーと、該ホルダーに形成されハウジングに装着されるつば部と、一方の端部が該電極端子に結合され他方の端部が該ホルダーに固定される固定部に連結された押圧スプリングと、から構成され、該ハウジングには、該つば部を係止するための爪部が形成され、該つば部には、該爪部を係合させる被係合部が形成され、該被係合部を該爪部に係合させて該円柱部を該ハウジングに挿入し、該円柱部を回転軸として該つば部を回転させることにより、該つば部が該爪部に係止され、該ホルダーが該ハウジングに固定される電極ユニット。前記ホルダーには、前記貫通孔が一対形成されており、該貫通孔のそれぞれに前記電極端子が収容される請求項1に記載の電極ユニット。前記ホルダーの円柱部またはつば部の側壁に凹部が形成され、前記ハウジングには該凹部に係合する凸部がバネで押圧されて配設されている請求項1または2に記載の電極ユニット。しかし、回転軸の後端部に接触する電極は、回転軸を回転可能に支持するハウジングにネジで固定されるため、電極の交換等の着脱に相当の時間がかかるという問題がある。本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、切削ブレードが装着される回転軸の後端部に対する電極の着脱を容易に行うことを課題とする。本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する回転可能な切削ブレードを備えた切削手段とを少なくとも備えた切削装置において、切削手段に取り付けられる電極ユニットに関するもので、切削手段は、回転軸と、回転軸の一方の端部に形成され切削ブレードが着脱自在に装着されるマウント部と、回転軸をエアーで支持するエアーベアリングを備えたハウジングと、ハウジングに連結され回転軸を駆動するステータと、ハウジングに装着され回転軸の他方の端部に接触し回転軸に通電する電極ユニットとを含み、電極ユニットは、回転軸の他方の端部に接触する円柱状の電極端子と、電極端子を進退自在に収容する貫通孔が形成された円柱部を備えたホルダーと、ホルダーに形成されハウジングに装着されるつば部と、一方の端部が電極端子に結合され他方の端部がホルダーに固定される固定部に連結された押圧スプリングとから構成され、ハウジングには、つば部を係止するための爪部が形成され、つば部には、爪部を係合させる被係合部が形成され、被係合部を爪部に係合させて円柱部をハウジングに挿入し、円柱部を回転軸としてつば部を回転させることにより、つば部が爪部に係止され、ホルダーがハウジングに固定される。ホルダーには、貫通孔が一対形成されており、貫通孔のそれぞれに電極端子が収容される。また、ホルダーの円柱部またはつば部の側壁に凹部が形成され、ハウジングには凹部に係合する凸部がバネで押圧されて配設されていることが望ましい。本発明では、電極ユニットの電極端子を収容するホルダーが円柱部とつば部とを備え、円柱部はハウジングに挿入され、ハウジングにはつば部を係止する爪部が形成され、つば部には爪部と係合する被係合部を備えているため、爪部と被係合部とを係合させた状態で電極ユニットをハウジングに挿入し、つば部を回転させるだけで電極ユニットをハウジングに対して固定することができる。したがって、ハウジングに対する電極ユニットの着脱が極めて容易となる。図1に示す切削装置1は、チャックテーブル2に保持された被加工物に対して切削手段3によって切削加工が施される装置であり、チャックテーブル2は切削送り手段4によってX軸方向に切削送りされ、切削手段3は、割り出し送り手段5によってY軸方向に割り出し送りされるとともに切り込み送り手段6によってZ軸方向に切り込み送りされる。切削手段3の側部には、被加工物の切削すべき位置を検出するための撮像手段10が固定されている。切削送り手段4は、X軸方向の軸心を有するボールネジ40と、ボールネジ40と平行に配設された一対のガイドレール41と、ボールネジ40の一端に連結されたサーボモータ42と、ボールネジ40に螺合する図示しないナットを内部に有するとともに下部がガイドレール41に摺接するベース部43とから構成され、サーボモータ42に駆動されてボールネジ40が回動するのに伴い、ベース部43がガイドレール41上をX軸方向に摺動し、これに伴いチャックテーブル2がX軸方向に移動する構成となっている。割り出し送り手段5は、Y軸方向の軸心を有するボールネジ50と、ボールネジ50と平行に配設された一対のガイドレール51と、ボールネジ50の一端に連結されたサーボモータ52と、ボールネジ50に螺合する図示しないナットを内部に有するとともに下部がガイドレール51に摺接するスライド部53とから構成され、サーボモータ52に駆動されてボールネジ50が回動するのに伴い、スライド部53がガイドレール51上をY軸方向に摺動し、これに伴い切削手段3もY軸方向に移動する構成となっている。切り込み送り手段6は、Z軸方向の軸心を有するボールネジ60と、ボールネジ60に平行に配設された一対のガイドレール61と、ボールネジ60の一端に連結されたサーボモータ62と、ボールネジ60に螺合する図示しない内部にナットを有するとともに側部がガイドレール61に摺接し切削手段3を支持する昇降部63とから構成され、サーボモータ62に駆動されてボールネジ60が回動するのに伴い支持部63がガイドレール61にガイドされてZ軸方向に昇降し、これに伴い切削手段3もZ軸方向に昇降する構成となっている。チャックテーブル2に保持される被加工物ワークWはテープTに貼着され、テープTの周縁部にはリング状のフレームFが貼着され、ワークWがテープTを介してフレームFに支持される。これに対応し、チャックテーブル2は、図示しない吸引源に連通し被加工物を保持する保持面20と、保持面20の周囲においてフレームFを支持するフレーム支持部21とから構成されている。保持面20は、金属製の枠体22によって外周側から支持されている。図2に示すように、切削手段3はY軸方向の軸心を有する金属製の回転軸30と、回転軸30を回転可能に支持するハウジング31と、回転軸30の一方の端部に形成されたマウント部32と、マウント部32の軸部320に着脱自在に装着される切削ブレード33と、マウント部32の先端部に形成された雄ねじ321に締結され切削ブレード33を固定するナット34とから構成されている。切削ブレード33は、金属製の基台330の周縁部に砥石部331が形成されて構成され、全体として導電性を有している。図3に示すように、ハウジング31には、回転軸30をエアーによってスラスト方向に支持するスラストエアーベアリング310と、回転軸30をエアーによってラジアル方向に支持するラジアルエアーベアリング311とを備えている。回転軸30は、ロータ35を備えており、ハウジング31には、ロータ35を回転駆動するステータ36が連結されている。ステータ36に電力を供給することにより、回転軸30を回転させることができる。ハウジング31の後端部には、開口部312が形成されており、開口部312には電極ユニット7が挿入され切削手段3のハウジング31に取り付けられる。ハウジングに装着される電極ユニット7は、図4に示すように、円柱状に形成された複数の電極端子70と、それぞれの電極端子70を進退自在に収容する貫通孔710が一対形成された円柱部71aを含むホルダー71と、ホルダー71に形成され円柱部71aから拡径しハウジング31に装着されるつば部72と、一方の端部が電極端子70に固定され導電性を有する押圧スプリング73と、導電性を有し押圧スプリング73の他端に連結されホルダー71に固定される固定部74とから構成されている。固定部74は、図4の例では平板状に形成されている。また、固定部74のそれぞれには導電線75が連結されている。図5に示すように、ホルダー71の後端面には断面L字型の係止部材710が設けられており、電極端子70を貫通孔710に挿入し、図6に示すように、固定部74を回転させて係止部材710の内側に挿入して係止すると、ホルダー71の貫通孔710の内部において電極端子70及び押圧スプリング73が固定される。電極端子70がホルダー71に収容されて固定されると、電極端子70の先端が図4に示した貫通孔710から露出した状態となる。図4~図6に示すように、円板状に形成されたつば部72の外周の一部には、円弧状に切り欠いて形成される被係合部720が形成されている。一方、図7に示すように、ハウジング31には、その後端面31aから小径の軸部8aが突出しており、軸部8aの先端には軸部8aよりも大径に形成された爪部8が形成されている。爪部8は、被係合部720に係合可能な形状に形成されている。例えば、被係合部720の内周部の曲率半径が、爪部8の外周の曲率半径以上となるように形成される。図4に示すように、ホルダー71の円柱部71aの側壁には凹部712が形成されている。一方、図7に示すように、ハウジング31の開口部312の内周面312aには、凹部712に嵌合する凸部313が形成されている。凸部313は、ハウジング31の内部に設けたバネ図示せずによって当該内周面312aから突出するように押圧された状態で配設されている。なお、凹部712がつば部72の側壁721に形成され、凸部313がハウジング31の後端面31aに形成されていてもよい。図7に示すように、つば部72に形成された被係合部720と爪部8とを位置あわせし、その状態で電極ユニット7の円柱部71aをハウジング31の開口部312に挿入する。そうすると、つば部72が爪部8と係合するため、爪部8よりも奥につば部72が挿入される。また、電極ユニット7の挿入時は、ハウジング31の内周面312aから突出した凸部313が没入する。電極ユニット7を開口部312に挿入した後、図8に示すように、ホルダー71の円柱部71aの軸心を回転軸としてつば部72を回転させると、被係合部720の位置と爪部8の位置とが合致しなくなり、つば部72が爪部8に係止される。また、このとき、図7に示した凸部313が図4に示した凹部712に係合し、電極ユニット7がハウジング31に固定される。こうして電極ユニット7がハウジング31に挿入されて固定されると、図9に示すように、電極ユニット7のホルダー71から突出した電極端子70が回転軸30の他方の端部であるロータ35の端面に接触する。電極ユニット7を構成する導電線75は、一方が電源90に接続され、他方がスイッチ91に接続されている。電源90とスイッチ91との間には電流計92が設けられており、電極ユニット7がハウジング31に装着され電極端子70がロータ35に接触した状態でスイッチ91がオンになると、電源90、回転軸30ロータ35、電極ユニット7、スイッチ91及び電流計92が導通して閉回路が構成され、電流計がかかる導通を検出することにより、電極端子がロータ35に接触していることを確認することができる。すなわち、電源90、ロータ35、スイッチ91及び電流計92からなる閉回路は、接触確認回路として機能する。一方、電源90は、スイッチ93、電流計94を介してチャックテーブル2の枠体22と接続されている。スイッチ93をオンにした状態で、図1に示した切り込み送り手段6によって駆動されて切削手段3が降下し、切削ブレード33が枠体22に接触すると、電源90、スイッチ93、電流計94、枠体22、切削ブレード33、回転軸30、ロータ35及び電極ユニット7が導通して閉回路が形成され、電流計94に接続された原点検出手段95は、かかる閉回路が形成され導通したことを検出し、その瞬間の切削ブレード33のZ軸方向の位置を原点として認識し、この原点を基準として以降の切り込み深さの制御を行う。すなわち、電源90、スイッチ93、電流計94、枠体22、切削ブレード33、回転軸30、ロータ35及び電極ユニット7からなる閉回路は、切削ブレード33のZ軸方向の原点位置を検出する原点検出回路として機能する。以上のように、ハウジング31に爪部8が形成され、電極ユニット7のつば部72には爪部8と係合する被係合部を720が形成されているため、爪部8と被係合部720とを係合させた状態で電極ユニット7をハウジング31の開口部312に挿入し、つば部72を回転させるだけで、電極ユニット7をハウジング31に対して固定することができる。一方、電極ユニット7をハウジング31から取り外すときは、つば部72を回転させて爪部8と被係合部720とを位置あわせし、その状態で電極ユニット7を引き抜くだけでよい。したがって、ハウジング31に対する電極ユニット7の着脱が極めて容易となる。また、ホルダー71の円柱部71aの側壁には凹部712が形成されているとともに、ハウジング31の開口部312の内周面312aには凹部712に嵌合する凸部313が形成されているため、電極ユニット7を開口部312に挿入してつば部72を回転させると、凸部313が凹部712に係合し、電極ユニット7がハウジング31の内部において安定的に保持される。前述のように、原点検出手段95によって切削ブレード33のZ軸方向の原点位置が認識されると、図1に示すように、テープTを介してフレームFに支持されたワークWがチャックテーブル2に保持される。そして、撮像手段10によってワークWの切削すべき位置が検出された後、チャックテーブル2がX軸方向に送られるとともに、切削ブレード33が高速回転しながら切削手段3が降下することにより、検出された位置が切削される。このときの切削ブレード33のワークWに対する切り込み深さは、原点検出手段95が認識した原点を基準として正確に制御される。このような切削を、切削手段3をY軸方向に割り出し送りしながら順次行い、さらにチャックテーブル2を90度回転させてから同様に切削を行うと、ワークWが縦横に切削され個々のデバイスに分割される。