スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング中に配設されたベアリングと、前記ベアリングの中心に形成された回転軸挿入穴中に回転可能に挿入された回転軸と、から構成されたスピンドルユニットであって、前記スピンドルハウジングには前記回転軸の回転を停止させるための少なくとも1つの回転停止手段を備え、前記回転停止手段は、前記スピンドルハウジングと前記回転軸の間に前記回転軸を囲繞して配設された筒状部材と、前記筒状部材に水圧を供給する水圧供給部と、を備え、前記筒状部材は、前記回転軸の外径よりも大きな内径で形成された回転軸挿入穴と、前記回転軸挿入穴を画成する内壁の一部で且つ水圧により変形する部材により肉薄に形成された変形部と、からなり、前記変形部の外径方向外側は水で満たされており、前記水圧供給部から供給された水圧により前記変形部が外径方向内側に変形し前記回転軸挿入穴の内径を縮小し前記回転軸の外周に当接して前記回転軸の回転を停止させる、ことを特徴とするスピンドルユニット。特許文献1のスピンドルユニットでは、回転軸に係合穴が形成されているため、回転軸に対して遠心力がアンバランスに作用する。このため、近年のスピンドル回転の高速化に伴い、低速回転域では生じなかったアンバランス偏芯の問題が増大する。本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、高速回転時に回転軸のアンバランスを低減できるスピンドルユニットを提供することを目的とする。本発明のスピンドルユニットは、スピンドルハウジングと、前記スピンドルハウジング中に配設されたベアリングと、前記ベアリングの中心に形成された回転軸挿入穴中に回転可能に挿入された回転軸と、から構成されたスピンドルユニットであって、前記スピンドルハウジングには前記回転軸の回転を停止させるための少なくとも1つの回転停止手段を備え、前記回転停止手段は、前記スピンドルハウジングと前記回転軸の間に前記回転軸を囲繞して配設された筒状部材と、前記筒状部材に水圧を供給する水圧供給部と、を備え、前記筒状部材は、前記回転軸の外径よりも大きな内径で形成された回転軸挿入穴と、前記回転軸挿入穴を画成する内壁の一部で且つ水圧により変形する部材により肉薄に形成された変形部と、からなり、前記変形部の外径方向外側は水で満たされており、前記水圧供給部から供給された水圧により前記変形部が外径方向内側に変形し前記回転軸挿入穴の内径を縮小し前記回転軸の外周に当接して前記回転軸の回転を停止させる、ことを特徴とする。この構成によれば、水圧による変形部の変形によって回転軸挿入穴の内径が縮小されることで、変形部の内周面が回転軸の外周面に押し付けられる。この変形部の押し付けによって回転軸に対する制動力が生み出され、回転軸の回転が停止される。このため、回転軸に係合穴等を設ける必要がなく、回転軸に対して均等な遠心力を作用させることができる。よって、高速回転時の回転軸のアンバランスを低減でき、回転軸の回転を安定させることができる。本発明によれば、回転軸に係合穴等を設けることなく回転軸を停止可能にすることで、高速回転時に回転軸のアンバランスを低減できる。以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、以下においては、スピンドルユニットを切削装置に適用する構成について説明するが、この構成に限定されるものではない。本実施の形態に係るスピンドルユニットは、研削装置等のようにスピンドルシャフトを高速回転させる装置に適用可能である。図1に示すように、切削装置1は、切削ブレード31を有するブレードユニット3と加工対象のワーク不図示を保持したチャックテーブル4とを相対移動させて、ワークを切削するように構成されている。ワークは、半導体ウェーハや無機材料基板等の薄板状に形成されており、表面に切削位置を示すストリートが形成されている。切削装置1では、高速回転された切削ブレード31によりストリートに沿ってワークが切削されることで、ワークが個々のチップに分割される。切削装置1の基台2上にはチャックテーブル4をX軸方向に移動するチャックテーブル移動機構5が設けられている。チャックテーブル移動機構5は、基台2上面に配置されたX軸方向に平行な一対のガイドレール51と、一対のガイドレール51にスライド可能に設置されたモータ駆動のX軸テーブル52とを有している。X軸テーブル52の上部には、チャックテーブル4が設けられている。また、X軸テーブル52の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ53が螺合されている。ボールネジ53の一端部には、駆動モータ54が連結されている。駆動モータ54によりボールネジ53が回転駆動されることで、チャックテーブル4がガイドレール51に沿ってX軸方向に移動される。チャックテーブル4は、X軸テーブル52の上面に固定されたZ軸回りに回転可能なθテーブル41と、θテーブル41の上部に設けられ、ワークを吸着保持する保持部42とを有している。保持部42は、所定の厚みを有する円盤状であり、上面中央部分にはポーラスセラミック材により吸着面43が形成されている。吸着面43は、負圧によりワークを吸着し、θテーブル41の内部の配管を介して吸引源に接続されている。切削装置1の基台2上には、ブレードユニット3をチャックテーブル4の上方でY軸方向及びZ軸方向に移動するブレードユニット移動機構6が設けられている。ブレードユニット移動機構6は、基台2上面に配置されたY軸方向に平行な一対のガイドレール61と、一対のガイドレール61にスライド可能に設置されたモード駆動のY軸テーブル62とを有している。Y軸テーブル62は上面視矩形状に形成されており、そのX軸方向における一端部には側壁部63が立設している。また、ブレードユニット移動機構6は、側壁部63の壁面に設置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール64と、一対のガイドレール64にスライド可能に設置されたZ軸テーブル65とを有している。Z軸テーブル65には、チャックテーブル4に向ってY軸方向に延在するスピンドルユニット7が片持で支持されている。また、Y軸テーブル62、Z軸テーブル65の背面側には、それぞれ図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ66、67が螺合されている。ボールネジ66、67の一端部には、それぞれ駆動モータ68、69が連結されている。駆動モータ68、69によりボールネジが回転駆動され、ブレードユニット3がガイドレール61、64に沿ってY軸方向及びZ軸方向に移動される。ブレードユニット3は、Y軸回りに回転するスピンドルの先端に設けられた円盤状の切削ブレード31と、切削部分に切削水を噴射する図示しないノズルとを有している。ブレードユニット3は、切削ブレード31を高速回転させ、複数のノズルから切削部分に切削水を噴射しつつワークを切削加工する。また、ブレードユニット3には、アライメント用の撮像機構8が設けられている。撮像機構8による撮像画像に含まれるチップパターンと予め登録された基準パターンとのマッチングにより、アライメント処理が行われる。このように構成された切削装置1においては、Y軸テーブル62の移動によって切削ブレード31がワークのストリートに位置合わせされる。次に、Z軸テーブル65の移動によって回転された切削ブレード31のワークに対する切り込み深さが調整される。そして、切削ブレード31に対してX軸テーブル52が相対移動されることにより、チャックテーブル4に保持されたワークがストリートに沿って切削される。図2及び図3を参照して、スピンドルユニットについて説明する。図2は、本実施の形態に係るスピンドルユニットの分解図である。図3は、本実施の形態に係るスピンドルユニットの断面図である。なお、以下の説明ではスピンドルユニットとしてエアスピンドルを例示して説明するが、この構成に限定されない。例えば、スピンドルシャフトを機械的に支持するメカスピンドルでもよい。図2及び図3に示すように、スピンドルユニット7は、いわゆるエアスピンドルであり、圧縮エアによるエア層によってスピンドルハウジング71に対してスピンドルシャフト回転軸72を浮動状態で支持している。スピンドルハウジング71は、ステンレス等によって中空円筒状に形成されており、内側に一対のスラストベアリングベアリング73、一対のラジアルベアリングベアリング74、筒状部材75等の中空の各種部材が圧入されている。スピンドルシャフト72は、これら各種部材の内側に隙間を空けた状態で挿入される。スピンドルハウジング71には、この隙間に供給される圧縮エアの供給路711、712が形成されている。スピンドルシャフト72は、ステンレス等によってスピンドルハウジング71に支持される中央部分721が最も大径に形成されている。スピンドルシャフト72の中央部分721には、外周面722から径方向に突出したスラストプレート723が形成されている。スピンドルシャフト72の一端部分724は、最も小径に形成されており、スピンドルハウジング71の一端側から突出して切削ブレード31が取り付けられる。スピンドルシャフト72の他端部分725は、中央部分721よりも僅かに小径に形成されており、スピンドルハウジング71の他端側から突出して電動モータ等の駆動源76が連結される。一対のスラストベアリング73は、ステンレス等によって挿通穴を設けたリング状に形成されており、スピンドルシャフト72のスラストプレート723を挟むようにスピンドルハウジング71に圧入されている。このようなスラストベアリング73の配置により、スピンドルハウジング71には、スラストプレート723に対応した環状溝726が形成される。スラストプレート723と環状溝726との間には圧縮エアが介在する僅かな隙間が形成される。また、一対のスラストベアリング73のスラストプレート723に対する対向面713には、周方向に沿って複数の嵌合穴が形成されている。各嵌合穴には、所定の開口径のオリフィスピン79が嵌合されている。また、各オリフィスピン79の開口は、各スラストベアリング73に形成された環状供給路731を介して、スピンドルハウジング71の供給路711に連通されている。各オリフィスピン79には、スピンドルハウジング71の供給路711を介してコンプレッサー等の圧縮エア供給源77から圧縮エアが供給される。そして、各オリフィスピン79からスラストプレート723と各スラストベアリング73との隙間に圧縮エアが噴射されることで、スラストプレート723の周囲にエア層が形成され、スピンドルシャフト72のスラスト方向が支持される。一対のラジアルベアリング74は、ステンレス等によって挿通穴を設けた中空円筒状に形成されており、筒状部材75を間に挟み込むようにして軸方向に離間してスピンドルハウジング71に圧入されている。各ラジアルベアリング74とスピンドルシャフト72との間には圧縮エアが介在する僅かな隙間が形成される。また、各ラジアルベアリング74には、周方向に沿って複数の嵌合穴が形成されている。各嵌合穴には、スラストベアリング73と同様に、所定の開口径のオリフィスピン79が嵌合されている。また、各オリフィスピン79の開口は、スピンドルハウジング71に形成された環状供給路714を介して供給路712に連通されている。各オリフィスピン79には、スピンドルハウジング71の供給路712を介して圧縮エア供給源77から圧縮エアが供給される。そして、各オリフィスピン79からスピンドルシャフト72と各ラジアルベアリング74との隙間に圧縮エアが噴射されることで、スピンドルシャフト72の周囲にエア層が形成され、スピンドルシャフト72のラジアル方向が支持される。筒状部材75は、合成樹脂製等により、中空円筒状の薄肉部変形部751の両端に一対のフランジ部752を設けて形成されている。筒状部材75には、スピンドルシャフト72の外径よりも大きな内径のシャフト挿入穴回転軸挿入穴753が形成されている。シャフト挿入穴753にスピンドルシャフト72が挿入されることで、筒状部材75とスピンドルシャフト72との間に隙間が形成される。この隙間には、筒状部材75を挟み込むように配置された一対のラジアルベアリング74の各オリフィスピン79から圧縮エアが供給されてエア層が形成される。一対のフランジ部752は、ラジアルベアリング74の外径と略同一の外径を有し、スピンドルハウジング71に圧入されている。この場合、各フランジ部752の外周面754にはOリング756が装着されており、各フランジ部752の外周面754とスピンドルハウジング71の内周面715とが液密に当接する。このような構成により、一対のフランジ部752と薄肉部751とスピンドルハウジング71とによって液密な円筒空間Sが画成される。円筒空間Sは、水で満たされており、スピンドルハウジング71内の流路716を介してポンプ等の水圧供給部78から水圧が加えられる。薄肉部751は、円筒空間Sからの水圧によりシャフト挿入穴753を狭めるように変形する。薄肉部751の内周面755は、水圧によってシャフト挿入穴753の内径を縮小することで、スピンドルシャフト72の外周面722に押し付けられる。薄肉部751の内周面755とスピンドルシャフト72の外周面722との接触により、スピンドルシャフト72の回転に対する制動力が生じてスピンドルシャフト72の回転が停止される。なお、薄肉部751の厚みは、特に限定されるものではなく、水圧によって変形可能な厚みであればよい。このように、本実施の形態に係るスピンドルユニット7では、水圧供給部78からの水圧によって筒状部材75を変形させることでシャフトロック機構回転停止手段を構成している。ところで、スピンドルシャフト72に作用する遠心力は、回転数の増加に伴って大きくなるので、高速回転時にはスピンドルシャフト72のアンバランス偏芯の要因となっている。したがって、従来のロックピンを用いたシャフトロック機構において、特に低速回転時には問題にならなかったシャフトロック用の穴も、高速回転時にはスピンドルシャフト72に大きな影響を与えている。この点、本実施の形態のシャフトロック機構では、筒状部材75の当接によってシャフトロックするため、スピンドルシャフト72にシャフトロック用の穴を設ける必要がない。よって、スピンドルシャフト72の高速回転時のアンバランスが抑制される。また、本実施の形態のシャフトロック機構では、圧力媒体として水圧によって筒状部材75を変形させている。よって、仮にスピンドルユニット7が漏水した場合であっても、ワークに悪影響を与えることがない。図4を参照して、スピンドルユニットによるシャフトロック構成について説明する。図4は、本実施の形態に係るスピンドルユニットによるシャフトロック機構の説明図である。なお、図4Aは、シャフトロック機構のアンロック状態を示し、図4Bは、図4AのA-A線に沿う断面図を示す。また、図4Cは、シャフトロック機構のロック状態を示し、図4Dは、図4CのB-B線に沿う断面図を示す。図4A及び図4Bに示すシャフトロック機構のアンロック時には、先ず一対のスラストベアリング73及び一対のラジアルベアリング74の各オリフィスピン79から圧縮エアが噴射される。圧縮エアの供給により、ベアリング73、74とスピンドルシャフト72との間にエア層が形成され、スピンドルシャフト72がスラスト方向及びラジアル方向に支持される。この状態で、駆動源76の駆動されることで、スピンドルシャフト72がスピンドルハウジング71に対して浮動状態で回転される。また、筒状部材75の薄肉部751の径方向外側は、上記したように円筒空間Sが形成されており、水で満たされている。シャフトロック機構のアンロック状態では、薄肉部751が変形しない程度に円筒空間Sの水圧が抑えられている。したがって、筒状部材75のシャフト挿入穴753の内周面755とスピンドルシャフト72の外周面722とが離間され、薄肉部751とスピンドルシャフト72との間にエア層が介在される。この場合、スピンドルシャフト72の外周面722が全周に亘って一様な表面形状を有するため、スピンドルシャフト72の高速回転時のアンバランスが解消されている。図4C及び図4Dに示すシャフトロック機構のロック時には、水圧供給部78から円筒空間Sを介して筒状部材75の薄肉部751に水圧が加えられる。この場合、水圧供給部78では、筒状部材75の内周面755とスピンドルシャフト72の外周面722との間のエア圧に抗して、薄肉部751を変形可能な水圧に調整される。薄肉部751は、円筒空間Sからの径方向内向きの水圧によって、一対のラジアルベアリング74の間でエア層を遮断するように収縮変形外形方向内側に変形する。この薄肉部751の収縮変形によって、薄肉部751の内周面755がスピンドルシャフト72の外周面722に全周に亘って当接し、スピンドルシャフト72に制動力が作用する。そして、スピンドルシャフト72の回転は、薄肉部751の変形による制動力によって停止される。なお、本実施の形態では、筒状部材75の薄肉部751に対して一度に強い水圧を加えてスピンドルシャフト72を停止させる構成としたが、この構成に限定されない。以上のように、本実施の形態に係るスピンドルユニット7によれば、水圧による薄肉部751の変形によってシャフト挿入穴753の内径が縮小されることで、薄肉部751の内周面755がスピンドルシャフト72の外周面722に押し付けられる。この薄肉部751の押し付けによってスピンドルシャフト72に対する制動力が生み出され、スピンドルシャフト72の回転が停止される。このため、スピンドルシャフト72に係合穴等を設ける必要がなく、スピンドルシャフト72の回転軸周りの表面形状を一様に形成できる。よって、スピンドルシャフト72に対して略均等な遠心力を作用させることができ、高速回転時のスピンドルシャフト72のアンバランスを低減できる。なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。例えば、本実施の形態に係るスピンドルユニット7では、軸方向に離間した一対のラジアルベアリング74の間に筒状部材75を配置する構成としたが、ラジアルベアリング74の数や筒状部材75の配置位置は限定されない。例えば、単一のラジアルベアリング74に隣接して筒状部材75を配置してもよい。また、ラジアルベアリング74は、スピンドルハウジング71に一体形成されてもよい。また、本実施の形態に係るスピンドルユニット7では、筒状部材75が合成樹脂によって成形される構成としたが、この構成に限定されない。筒状部材75は、水圧によって内径を縮小可能な材質で成形されていればよい。この場合、筒状部材75は、スピンドルシャフト72との接触によって、スピンドルシャフト72を傷つけない材質であることが好ましい。また、本実施の形態に係るスピンドルユニット7では、シャフトロック機構のロック時に、筒状部材75の薄肉部751が全周に亘ってスピンドルシャフト72に当接する構成としたが、この構成に限定されない。筒状部材75の薄肉部751は、スピンドルシャフト72に当接して制動可能であればよく、例えば、周方向において部分的にスピンドルシャフト72に当接する構成でもよい。