"電磁ポンプであって、第1の内径部と該第1の内径部よりも径の小さな第2の内径部とを有する段差付きの内径部が形成されたシリンダと、前記シリンダ内に挿入され、該シリンダの第1の内径部を摺動可能な第1の外径部と該シリンダの第2の内径部を摺動可能な第2の外径部とを有する段差付きの外径部が形成され、前記第1の外径部を隔てて前記第2の外径部とは反対側の第1の流体室と該第2の外径部側の第2の流体室とに区画し、往復動に伴う前記第1の流体室の容積変化が前記第2の流体室の容積変化よりも大きくなるよう形成されたピストンと、前記第1の流体室の容積が縮小すると共に前記第2の流体室の容積が拡大する方向に前記ピストンを往動させる電磁部と、前記第1の流体室の容積が拡大すると共に前記第2の流体室の容積が縮小する方向に前記ピストンを復動させる付勢部材と、供給元から前記第1の流体室への作動流体の移動を許可し逆方向の作動流体の移動を禁止する第1の開閉弁と、前記ピストンに内蔵され、前記第1の流体室と前記第2の流体室との間に介在し、該第1の流体室から該第2の流体室への作動流体の移動を許可し逆方向の作動流体の移動を禁止する第2の開閉弁と、を備え、前記ピストンは、前記第1の外径部の前記第1の流体室側が開口し前記第2の開閉弁を内蔵する底付きの中空部と、該中空部と前記第2の流体室とを連通する連通孔とが形成され、前記中空部は、前記第1の外径部から前記第2の外径部の途中まで延伸されてなることを特徴とする電磁ポンプ。請求項1記載の電磁ポンプであって、前記第2の開閉弁は、ボールと、前記第1の外径部の前記第1の流体室側に前記ボールの外径よりも小さな内径の開口部を形成する開口部材と、前記ボールを前記開口部に押し付ける第2の付勢部材と、を備え、前記中空部に前記第2の付勢部材,前記ボール,前記開口部材の順に配置されてなる電磁ポンプ。前記連通孔は、所定角度間隔で前記第2の外径部を径方向に貫通する複数の貫通孔である請求項1または2記載の電磁ポンプ。上述した電磁ポンプでは、ピストンに逆止弁を内蔵するため、別途、逆止弁をバルブボディに配置する必要がなくなるものの、ピストンの内部に逆止弁を設けるスペースが必要となるから、ピストンに逆止弁を内蔵しないタイプに比して軸長が長くなり、ポンプが大型化する場合がある。本発明の電磁ポンプは、小型化を図ることを主目的とする。本発明の電磁ポンプは、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。本発明の電磁ポンプは、第1の内径部と該第1の内径部よりも径の小さな第2の内径部とを有する段差付きの内径部が形成されたシリンダと、前記シリンダ内に挿入され、該シリンダの第1の内径部を摺動可能な第1の外径部と該シリンダの第2の内径部を摺動可能な第2の外径部とを有する段差付きの外径部が形成され、前記第1の外径部を隔てて前記第2の外径部とは反対側の第1の流体室と該第2の外径部側の第2の流体室とに区画し、往復動に伴う前記第1の流体室の容積変化が前記第2の流体室の容積変化よりも大きくなるよう形成されたピストンと、前記第1の流体室の容積が縮小すると共に前記第2の流体室の容積が拡大する方向に前記ピストンを往動させる電磁部と、前記第1の流体室の容積が拡大すると共に前記第2の流体室の容積が縮小する方向に前記ピストンを復動させる付勢部材と、供給元から前記第1の流体室への作動流体の移動を許可し逆方向の作動流体の移動を禁止する第1の開閉弁と、前記ピストンに内蔵され、前記第1の流体室と前記第2の流体室との間に介在し、該第1の流体室から該第2の流体室への作動流体の移動を許可し逆方向の作動流体の移動を禁止する第2の開閉弁と、を備え、前記ピストンは、前記第1の外径部の前記第1の流体室側が開口し前記第2の開閉弁を内蔵する底付きの中空部と、該中空部と前記第2の流体室とを連通する連通孔とが形成され、前記中空部は、前記第1の外径部から前記第2の外径部の途中まで延伸されてなることを要旨とする。この本発明の電磁ポンプでは、第1の内径部と第1の内径部よりも径の小さな第2の内径部とを有する段差付きの内径部が形成されたシリンダと、シリンダ内に挿入されシリンダの第1の内径部を摺動可能な第1の外径部とシリンダの第2の内径部を摺動可能な第2の外径部とを有する段差付きの外径部が形成され第1の外径部を隔てて第2の外径部とは反対側の第1の流体室と第2の外径部側の第2の流体室とに区画し往復動に伴う第1の流体室の容積変化が第2の流体室の容積変化よりも大きくなるよう形成されたピストンと、第1の流体室の容積が縮小すると共に第2の流体室の容積が拡大する方向にピストンを往動させる電磁部と、第1の流体室の容積が拡大すると共に第2の流体室の容積が縮小する方向にピストンを復動させる付勢部材と、供給元から第1の流体室への作動流体の移動を許可し逆方向の作動流体の移動を禁止する第1の開閉弁と、ピストンに内蔵され第1の流体室と第2の流体室との間に介在し第1の流体室から第2の流体室への作動流体の移動を許可し逆方向の作動流体の移動を禁止する第2の開閉弁と、を備えるものにおいて、ピストンに、第1の外径部の第1の流体室側が開口し第2の開閉弁を内蔵する底付きの中空部と、中空部と第2の流体室とを連通する連通孔とを形成し、中空部を、第1の外径部から第2の外径部の途中まで延伸する。これにより、ピストンの軸長を比較的短くしてもピストンに第2の開閉弁を内蔵させることができるから、第2の開閉弁を内蔵するタイプの電磁ポンプをより小型化することができる。こうした本発明の電磁ポンプにおいて、前記第2の開閉弁は、ボールと、前記第1の外径部の前記第1の流体室側に前記ボールの外径よりも小さな内径の開口部を形成する開口部材と、前記ボールを前記開口部に押し付ける第2の付勢部材と、を備え、前記中空部に前記第2の付勢部材,前記ボール,前記開口部材の順に配置されてなるものとすることもできる。また、本発明の電磁ポンプにおいて、前記連通孔は、所定角度間隔で前記第2の外径部を径方向に貫通する複数の貫通孔であるものとすることもできる。こうすれば、比較的簡単な加工を施すだけで、第1の流体室から第2の流体室への作動流体の流れをスムーズにすることができる。次に、本発明の実施の形態を実施例を用いて説明する。図1は、本発明の一実施例としての電磁ポンプ20の構成の概略を示す構成図である。実施例の電磁ポンプ20は、図示するように、ピストン50を往復動させて作動油を圧送するピストンポンプとして構成されており、電磁力を発生させるソレノイド部30と、ソレノイド部30の電磁力により作動するポンプ部40と、を備える。この電磁ポンプ20は、例えば、自動車に搭載されるオートマチックトランスミッションが備えるクラッチやブレーキをオンオフするための油圧回路の一部としてバルブボディに組み込まれている。ソレノイド部30は、底付き円筒部材としてのケース31に、電磁コイル32,可動子としてのプランジャ34,固定子としてのコア36が配置されており、電磁コイル32に電流を印加することにより磁束がケース31,プランジャ34,コア36を周回する磁気回路が形成されてプランジャ34が吸引され、プランジャ34の先端に当接するシャフト38を押し出す。ポンプ部40は、ソレノイド部30に接合された中空円筒状のシリンダ42と、シリンダ42内を摺動可能に配置され基端面がソレノイド部30のシャフト38の先端に同軸上で当接するピストン50と、ピストン50に先端面に当接しソレノイド部30からの電磁力が作用する方向とは逆向きに付勢力を付与するスプリング46と、スプリング46をピストン50の先端面とは反対側から支持しポンプ室41への吸入する方向の作動油の流れを許可し逆方向の流れを禁止する吸入用逆止弁60と、ピストン50に内蔵されポンプ室41から吐出する方向の作動油の流れを許可し逆方向の流れを禁止する吐出用逆止弁70と、吸入用逆止弁60の上流側に配置されポンプ室41へ吸入される作動油に含まれる異物を捕捉するためのストレーナ47と、シリンダ42内にソレノイド部30とは反対側の開口部42aからピストン50と吐出用逆止弁70とスプリング46と吸入用逆止弁60とストレーナ47とがこの順に組み込まれた状態で開口部42aを覆うシリンダカバー48と、を備える。シリンダカバー48の内周面とシリンダ42の開口部42aの外周面には周方向に螺旋状の溝が形成されており、シリンダカバー48をシリンダ42の開口部42aに被せて締め付けることにより、シリンダカバー48がシリンダ42の開口部42aに取り付けられている。なお、ポンプ部40は、シリンダカバー48の軸中心に作動油を吸入するための吸入ポート49が形成され、シリンダ42の側面に吸入した作動油を吐出するための吐出ポート43が形成されている。ピストン50は、円筒形状のピストン本体52と、ピストン本体52よりも外径が小さく端面がソレノイド部30のシャフト38の先端に当接された円筒形状のシャフト部54bとにより形成されており、ソレノイド部30のシャフト38に連動してシリンダ42内を往復動する。吸入用逆止弁60は、シリンダ42の開口部42aの内周面に嵌挿され内部に底付きの中空部62aが形成されると共にこの中空部62aの底に軸中心で中空部62aとポンプ室41とを連通させる中心孔62bが形成された弁本体62と、ボール64と、ボール64に付勢力を付与するスプリング66と、ボール64とスプリング66とが弁本体62の中空部62aに組み込まれた状態で中空部62aの内周面に嵌挿されるプラグ68と、を備える。プラグ68は、ボール64の外径よりも小さな内径の中心孔69を有する環状部材として形成されており、スプリング66により付勢されたボール64が中心孔69に押し付けられている。この吸入用逆止弁60は、吸入ポート49側の圧力P1とポンプ室41側の圧力P2との差圧P1-P2がスプリング66の付勢力に打ち勝つ所定圧力以上のときには、スプリング66の収縮を伴ってボール64がプラグ68の中心孔69から離されることにより開弁し、上述した差圧P1-P2が所定圧力未満のときには、スプリング66の伸張を伴ってボール64がプラグ68の中心孔69に押し付けられて中心孔69を塞ぐことにより閉弁する。吐出用逆止弁70は、ボール74と、ボール74に対して付勢力を付与するスプリング76と、ボール74の外径よりも小さな内径の中心孔79を有する環状部材としてのプラグ78とを備え、これらはピストン50の中空部52aに開口部52bからスプリング76,ボール74,プラグ78の順に組み込まれ、スナップリング79により固定されている。この吐出用逆止弁70は、ポンプ室41側の圧力P2と吐出ポート側43の圧力P3との差圧P2-P3がスプリング76の付勢力に打ち勝つ所定圧力以上のときには、スプリング76の収縮を伴ってボール74がプラグ78の中心孔79から離されることにより開弁し、上述した差圧P2-P3が所定圧力未満のときには、スプリング76の伸張を伴ってボール74がプラグ78の中心孔79に押し付けられて中心孔79を塞ぐことにより閉弁する。図2は、ピストン50および吐出用逆止弁70の分解斜視図であり、図3は、図2のピストン50のA-A断面を示す断面図である。ピストン50は、図2に示すように、軸中心に、吐出用逆止弁70を収容可能に円筒形状の底付き中空部52aが形成されている。ピストン50の中空部52aは、ピストン50の先端面からピストン本体52内部を貫通しシャフト部54内部の途中まで延伸されている。また、シャフト部54には、図3に示すように、径方向に、互いに90度の角度で交差する2本の貫通孔54a,54bが形成されている。シャフト部54の周囲には吐出ポート43が形成されており図1参照、ピストン50の中空部52aは2本の貫通孔54a,54bを介して吐出ポート43と連通している。このように、ピストン50の中空部52aは、ピストン50の先端面からピストン本体52内部を貫通しシャフト部54内部の途中まで延伸されていることから、ピストン50の軸長を、ピストン50とシリンダ42との摺動面の隙間から作動油が漏れない範囲内でできる限り短くするなどの必要最小限の長さとするものとしても、吐出用逆止弁70をピストン50に内蔵させることができる。また、シャフト部54に径方向に貫通孔54a,54bを形成するだけでピストン50の中空部52aと吐出ポート43とを連通させることができるから、加工を容易なものとすることができる。シリンダ42は、ピストン本体52が摺動する内壁42aとピストン本体52のスプリング46側の面と吸入用逆止弁50の弁本体62のスプリング46側の面とにより囲まれる空間によりポンプ室41を形成する。ポンプ室41は、スプリング46の付勢力によりピストン50が移動すると、ポンプ室41内の容積の拡大に伴って吸入用逆止弁60が開弁すると共に吐出用逆止弁70が閉弁して吸入ポート49を介して作動油を吸入し、ソレノイド部30の電磁力によりピストン50が移動すると、ポンプ室41内の容積の縮小に伴って吸入用逆止弁60が閉弁すると共に吐出用逆止弁70が開弁して吸入した作動油を吐出ポート43を介して吐出する。また、シリンダ42は、ピストン本体52が摺動する内壁42aと、シャフト部54が摺動する内壁42bとが段差をもって形成されており、段差部分に吐出ポート43が形成されている。この段差部分は、ピストン本体52とシャフト部54との段差部分の環状の面とシャフト部54の外周面とにより囲まれる空間を形成する。この空間は、ピストン本体52を隔ててポンプ室41とは反対側に形成されるから、ポンプ室41の容積が拡大する際に容積が縮小し、ポンプ室41の容積が縮小する際に容積が拡大する。このとき、この空間の容積変化は、ピストン本体52のポンプ室41側からの圧力を受ける面積受圧面積が吐出ポート43側から圧力を受ける面積受圧面積よりも大きいため、ポンプ室41の容積変化よりも小さくなる。このため、この空間は第2のポンプ室56として機能する。即ち、ソレノイド部30の電磁力によりピストン50が移動すると、ポンプ室41の容積の縮小分と第2のポンプ室56の容積の拡大分との差分に相当する量の作動油がポンプ室41から吐出用逆止弁70を介して第2のポンプ室56に送り出されて吐出ポート43を介して吐出され、スプリング46の付勢力によりピストン50が移動すると、ポンプ室41の容積の拡大分に相当する量の作動油が吸入ポート49から吸入用逆止弁60を介してポンプ室41に吸入される一方で第2のポンプ室56の容積の縮小分に相当する量の作動油が第2のポンプ室56から吐出ポート43を介して吐出されることになる。したがって、ピストン50の一回の往復動で作動油が吐出ポート43から2回吐出されるから、吐出ムラを少なくし吐出性能を向上させることができる。以上説明た実施例の電磁ポンプ20によれば、ピストン本体52とシャフト部54とからなるピストン50に吐出用逆止弁70を内蔵するための中空部52aを、ピストン50の先端面から軸中心にピストン本体52内部を貫通しシャフト部54内部の途中まで延伸するから、ピストン50の軸長を必要最小限の長さとするものとしても、吐出用逆止弁70をピストン50に内蔵させることができる。しかも、シャフト部54に径方向に貫通孔54a,54bを形成するだけでピストン50の中空部52aと吐出ポート43とを連通させることができるから、加工を容易なものとすることができる。実施例の電磁ポンプ20では、吸入用逆止弁60をシリンダ42に内蔵させるものとしたが、これに限定されるものではなく、吸入用逆止弁60をシリンダ42外に配置するものとしてもよい。実施例の電磁ポンプ20では、自動車に搭載されるオートマチックトランスミッションのクラッチやブレーキのオンオフするための油圧の供給に用いるものとしたが、これに限られず、例えば、燃料を移送したり、潤滑用の液体を移送するなど、如何なるシステムに適用するものとしてもよい。ここで、実施例の主要な要素と課題を解決するための手段の欄に記載した発明の主要な要素との対応関係について説明する。実施例では、シリンダ42がシリンダに相当し、ピストン50がピストンに相当し、ソレノイド部30が電磁部に相当し、スプリング46が付勢部材に相当し、吸入用逆止弁60が第1の開閉弁に相当し、吐出用逆止弁70が第2の開閉弁に相当する。また、ボール74がボールに相当し、プラグ78が開口部材に相当し、スプリング76が第2の付勢部材に相当する。なお、実施例の主要な要素と課題を解決するための手段の欄に記載した発明の主要な要素との対応関係は、実施例が課題を解決するための手段の欄に記載した発明を実施するための最良の形態を具体的に説明するための一例であることから、課題を解決するための手段の欄に記載した発明の要素を限定するものではない。即ち、課題を解決するための手段の欄に記載した発明についての解釈はその欄の記載に基づいて行なわれるべきものであり、実施例は課題を解決するための手段の欄に記載した発明の具体的な一例に過ぎないものである。以上、本発明の実施の形態について実施例を用いて説明したが、本発明はこうした実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施し得ることは勿論である。"