"同一の像の複数の波長成分を並行して撮像する撮像光学系に適用される撮像制御装置であって、物体に対する前記撮像光学系の焦点調節状態を予め決められた変化パターンで変化させながら、前記撮像光学系を繰り返し駆動する制御手段と、前記変化パターンの下で前記撮像光学系が生成した一連のマルチバンド画像の各々から合焦度の評価値を波長毎に抽出する評価手段と、前記焦点調節状態の変化に対する前記評価値の波長毎のプロフィールに基づき、前記撮像光学系の軸上色収差の情報を取得する解析手段と、前記撮像光学系が生成した、前記波長成分の数と同数のマルチバンド画像と、前記解析手段が取得した、前記軸上色収差の情報とに基づき、前記軸上色収差に起因する色滲みの補正された1枚の合成マルチバンド画像を生成する画像生成手段と、を備えたことを特徴とする撮像制御装置。請求項1に記載の撮像制御装置において、前記評価手段は、前記一連のマルチバンド画像の各々の合焦度の評価値として、そのマルチバンド画像のエッジ量を使用することを特徴とする撮像制御装置。請求項2に記載の撮像制御装置において、前記評価手段は、前記一連のマルチバンド画像の各々を平滑化し、そのマルチバンド画像の平滑化前後における差分の絶対値の総和を、そのマルチバンド画像のエッジ量とすることを特徴とする撮像制御装置。請求項1~請求項3の何れか一項に記載の撮像制御装置において、前記評価手段は、前記一連のマルチバンド画像の各々における前記評価値の抽出元を、そのマルチバンド画像上で予め決められた着目エリアのみに制限することを特徴とする撮像制御装置。請求項4に記載の撮像制御装置において、前記評価手段は、前記一連のマルチバンド画像の各々における前記着目エリアを、そのマルチバンド画像上で予め決められた構造パターンの存在領域に設定することを特徴とする撮像制御装置。請求項1~請求項5の何れか一項に記載の撮像制御装置において、前記解析手段は、前記波長毎のプロフィールの各々の平滑化カーブを求めると共に、それら平滑化カーブの各々のピーク位置の位置関係を、前記軸上色収差の情報として取得することを特徴とする撮像制御装置。請求項6に記載の撮像制御装置において、前記画像生成手段は、前記変化パターンの下で前撮像光学系が生成した前記一連のマルチバンド画像の中から、前記波長毎のピーク位置の各々に対応する波長成分を抽出して合成することにより、前記合成マルチバンド画像を生成することを特徴とする撮像制御装置。請求項6に記載の撮像制御装置において、前記制御手段は、前記軸上色収差の情報の取得後は、前記焦点調節状態の変化パターンを、前記ピーク位置の位置関係に応じた変化パターンに設定し、前記画像生成手段は、前記変化パターンの下で前記撮像光学系が生成した複数のマルチバンド画像の各々から、合焦している波長成分を抽出して合成することにより、前記合成マルチバンド画像を生成することを特徴とする撮像制御装置。同一の像の複数の波長成分を並行して撮像する撮像光学系と、前記撮像光学系を制御する請求項1~請求項8の何れか一項に記載の撮像制御装置と、を備えたことを特徴とする撮像装置。請求項9に記載の撮像装置を備えたことを特徴とする顕微鏡装置。同一の像の複数の波長成分を並行して撮像する撮像光学系に適用される撮像制御方法であって、物体に対する前記撮像光学系の焦点調節状態を予め決められた変化パターンで変化させながら、前記撮像光学系を繰り返し駆動する制御手順と、前記変化パターンの下で前記撮像光学系が生成した一連のマルチバンド画像の各々から合焦度の評価値を波長毎に抽出する評価手順と、前記焦点調節状態の変化に対する前記評価値の波長毎のプロフィールに基づき、前記撮像光学系の軸上色収差の情報を取得する解析手順と、前記撮像光学系が生成した、前記波長成分の数と同数のマルチバンド画像と、前記解析手段が取得した、前記軸上色収差の情報とに基づき、前記軸上色収差に起因する色滲みの補正された1枚の合成マルチバンド画像を生成する画像生成手順と、を含むことを特徴とする撮像制御方法。しかしながら、この特許文献1では、撮像光学系が製造誤差を有していた場合や、撮像光学系の少なくとも一部が交換される場合などは考慮していない。そこで本発明は、撮像光学系の軸状色収差に起因してマルチバンド画像に生じる色滲みを補正する撮像制御装置、撮像装置、顕微鏡装置、撮像制御方法において、撮像光学系の製造誤差や仕様に左右されることなく補正を行うことを目的とする。本発明の撮像制御装置は、同一の像の複数の波長成分を並行して撮像する撮像光学系に適用される撮像制御装置であって、物体に対する前記撮像光学系の焦点調節状態を予め決められた変化パターンで変化させながら、前記撮像光学系を繰り返し駆動する制御手段と、前記変化パターンの下で前記撮像光学系が生成した一連のマルチバンド画像の各々から合焦度の評価値を波長毎に抽出する評価手段と、前記焦点調節状態の変化に対する前記評価値の波長毎のプロフィールに基づき、前記撮像光学系の軸上色収差の情報を取得する解析手段と、前記撮像光学系が生成した、前記波長成分の数と同数のマルチバンド画像と、前記解析手段が取得した、前記軸上色収差の情報とに基づき、前記軸上色収差に起因する色滲みの補正された1枚の合成マルチバンド画像を生成する画像生成手段と、を備える。また、本発明の撮像装置は、同一の像の複数の波長成分を並行して撮像する撮像光学系と、前記撮像光学系を制御する本発明の撮像制御装置と、を備える。また、本発明の顕微鏡装置は、本発明の撮像装置を備える。また、本発明の撮像制御方法は、同一の像の複数の波長成分を並行して撮像する撮像光学系に適用される撮像制御方法であって、物体に対する前記撮像光学系の焦点調節状態を予め決められた変化パターンで変化させながら、前記撮像光学系を繰り返し駆動する制御手順と、前記変化パターンの下で前記撮像光学系が生成した一連のマルチバンド画像の各々から合焦度の評価値を波長毎に抽出する評価手順と、前記焦点調節状態の変化に対する前記評価値の波長毎のプロフィールに基づき、前記撮像光学系の軸上色収差の情報を取得する解析手順と、前記撮像光学系が生成した、前記波長成分の数と同数のマルチバンド画像と、前記解析手段が取得した、前記軸上色収差の情報とに基づき、前記軸上色収差に起因する色滲みの補正された1枚の合成マルチバンド画像を生成する画像生成手順と、を含む。本発明によれば、撮像光学系の軸状色収差に起因してマルチバンド画像に生じる色滲みを補正する撮像制御装置、撮像装置、顕微鏡装置、撮像制御方法において、撮像光学系の製造誤差や仕様に左右されることなく補正を行うことが可能となる。[第1実施形態]以下、本発明の第1実施形態として顕微鏡装置を説明する。図1は、本実施形態の顕微鏡装置の構成図である。図1に示すとおり顕微鏡装置には、光源11と、照明用レンズ12と、ハーフミラー13と、対物レンズ14と、ステージ15と、第2対物レンズ17と、撮像装置18と、制御装置19と、表示装置20とが備えられ、制御装置19には、制御部19A、評価部19B、解析部19C、画像生成部19Dが備えられる。なお、ステージ15には、例えば半導体ウエハなどの工業製品が観察対象物16としてセットされる。光源11は、複数の波長の光を同時に出射する光源である。以下、光源11を、可視光域の各波長の光を同時に出射する白色光源と仮定する。光源11から射出した光照明光は、照明用レンズ12を介してハーフミラー13へ入射すると、ハーフミラー13を反射し、対物レンズ14へ胴付き面側から入射する。対物レンズ14に入射した照明光は、対物レンズ14を通過すると、対物レンズ14の先端側から観察対象物16の一部の領域観察対象領域16Aを照射する。なお、以上の光源11から対物レンズ14までの光学系が、落射照明光学系を構成している。観察対象物16の観察対象領域16Aでは、入射した照明光に応じて反射光観察光が発生する。この観察光は、可視光域の各波長の光を有している。この観察光は、対物レンズ14の先端側から対物レンズ14へ入射すると、対物レンズ14を通過した後、ハーフミラー13を透過する。ハーフミラー13を透過した観察光は、第2対物レンズ17によって集光され、撮像装置18の撮像面18A上に観察対象領域16Aの像を形成する。なお、以上の対物レンズ14から撮像装置18までの光学系が、撮像光学系10を構成している。因みに、撮像光学系10の観察倍率は、1よりも大きく、例えば、10倍、20倍、200倍の何れかに設定されている。ステージ15は、対物レンズ14の光軸方向Z方向へ移動することが可能であって、この移動により、観察対象物16に対する撮像光学系10の焦点調節状態つまり、撮像面18Aに形成される観察対象領域16Aの像の合焦度が変化する。また、ステージ15は、Z方向に垂直な2方向XY方向へ移動することも可能であって、この移動により、観察対象物16における観察対象領域16Aの位置が変化する。このようなステージ15のXYZ方向の座標X座標、Y座標、Z座標は、不図示の調整機構を介してユーザが自在に調節することができる。撮像装置18は、撮像面18Aに形成された像の複数の波長成分を並行して撮像するマルチバンド画像撮像装置である。以下、撮像装置18は、単板型のカラー撮像装置であって、赤色の波長に対して感度ピークを有したR受光素子と、緑色の波長に対して感度ピークを有したG受光素子と、青色の波長に対して感度ピークを有したB受光素子とをベイヤ配列パターン図2参照で撮像面18A上に配列しているものと仮定する。このような撮像装置18は、R成分とG成分とB成分とからなるカラー画像をマルチバンドが像として1回の撮像で生成する。但し、撮像装置18の撮像面18Aで検出された直後のカラー画像は、R画素とG画素とB画素とがベイヤ配列パターンで配列されたカラー画像RAW画像であるので、個々の画素は単一の色成分の値しか有していない。よって、本実施形態の撮像装置18は、R成分とG成分とB成分とを画素欠けなく有したカラー画像を生成するに当たり、撮像面18Aで検出されたRAW画像に対して予め決められたデベイヤ処理ベイヤ配列用の色補間処理を施すものと仮定する。制御装置19の制御部19Aは、必要に応じて撮像装置18を駆動してカラー画像R成分、G成分、B成分を取り込むと共に、必要に応じてステージ15のZ座標を制御する。制御部19Aの動作の詳細は、後述する。制御装置19の評価部19Bは、制御部19Aから指定されたカラー画像の合焦度を評価する。評価部19Bの動作の詳細は、後述する。制御装置19の解析部19Cは、評価部19Bによる評価の結果に基づき、撮像光学系10の軸上色収差データすなわち、対物レンズ14及び第2対物レンズ17からなる光学系の軸上色収差データを取得する。解析部19Cの動作の詳細は、後述する。制御装置19の画像生成部19Dは、解析部19Cが取得した軸上色収差データに基づき、軸上色収差に起因する色滲みの補正された合成カラー画像を生成する。画像生成部19Dの動作の詳細は、後述する。表示装置20は、制御装置19の制御部19Aから指定されたカラー画像を適当な形式で可視化する。図3は、観察処理に関する制御装置19の動作フローチャートである。以下、図3の各ステップを順に説明する。ステップS11:制御装置19の制御部19Aは、撮像装置18の連続駆動を開始すると共に、その連続駆動中に撮像装置18が生成するカラー画像を順次に表示装置20へ送出する。これによって、ライブビュー表示が開始されるので、ユーザは、表示装置20の画面上で観察対象領域16Aの現在の様子を観察することができる。ステップS12:制御装置19の制御部19Aは、フォーカス調整をユーザに行わせるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、ステージ15のXYZ座標を調節しながら表示装置20の画面を観察し、観察対象物16の所望の構造パターンが画面内に収まり、かつ、その構造パターンの合焦度が十分に高くなった時点で、ステージ15のXYZ座標を固定する。ステップS13:制御装置19の制御部19Aは、ユーザに対して着目エリアを指定させるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、表示装置20に表示された所望の構造パターン上に着目エリアを設定する。なお、ユーザによる着目エリアの設定は、制御装置19に接続された不図示の入力器マウスなどを介して行われる。因みに、着目エリアのサイズは、カラー画像の100×100pixel分程度のサイズに設定されることが望ましく、着目エリアの位置は、エリア内に明確な構造が包含されるように設定されることが望ましい。ステップS14:制御装置19の制御部19Aは、現時点で表示されているカラー画像のうち、ユーザの設定した着目エリア内に存在している構造パターンを、基準パターンとして記憶する。ステップS15:制御装置19の制御部19Aは、ステージ15の現在の座標を中心とし、かつZ方向に等ピッチで並ぶN通りの座標の間で、ステージ15のZ座標をステップ状に変化させる但し、Nは、撮像装置18が並行して検出できる波長の種類数3より十分に大きい数である。。そして、制御装置19の制御部19Aは、ステージ15のZ座標が各座標にあるときに撮像装置18を1回ずつ駆動すると共に、このときに撮像装置18が生成するカラー画像Nフレームのカラー画像を順次に不図示のメモリへ格納する。例えば、撮像光学系10の観察倍率が50倍であったならば、これらN通りの座標のピッチは0.1μm程度に設定され、座標の数Nは200程度に設定されることが望ましい。これによって、N通りの座標の範囲は、撮像光学系10が有しうる軸上色収差を十分にカバーすることができる。以下、本ステップで取得されるカラー画像のフレーム番号iを、取得順に1~Nとする。なお、ステージ15のZ座標を変化させる際には、ステージ15のXY方向の位置が若干変動する可能性があるので、フレーム番号iの異なるカラー画像の間では、フレーミングが若干ずれている可能性がある。ステップS16:制御装置19の制御部19Aは、フレーム番号iを初期値1に設定する。ステップS17:制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納されたNフレームのカラー画像の中から、現在のフレーム番号iに対応するカラー画像を評価対象画像として読み込む。そして、制御装置19の制御部19Aは、評価対象画像上の着目エリア内の構造パターンを参照し、その構造パターンと、ステップS14で記憶した基準パターンとの間の一致度を算出する。ステップS18:制御装置19の制御部19Aは、算出した一致度が予め決められた閾値よりも高ければステップS110へ移行し、そうでなければ着目エリアの位置を微調整するべくステップS19へ移行する。ステップS19:制御装置19の制御部19Aは、評価対象画像上の着目エリアの近傍から、着目エリアと同形同大であり、基準パターンとの間の一致度が前記閾値より高い構造パターンを有したエリアを探索し、それによって検出したエリアを、評価対象画像の新たな着目エリアに設定する。これによって、評価対象画像の着目エリアの位置が微調整される。ステップS110:制御装置19の評価部19Bは、評価対象画像上の着目エリアのR成分を参照し、そのR成分に対して空間的な平滑化処理を施し、平滑化処理の前後におけるR成分の差分の絶対値の総和を、評価対象画像のR成分に関する合焦度の評価値ERとして算出する。この評価値ERは、着目エリアのR成分のエッジ量を示している。また、制御装置19の評価部19Bは、同じ着目エリアのG成分を参照し、そのG成分に対して空間的な平滑化処理を施し、平滑化処理の前後におけるG成分の差分の絶対値の総和を、評価対象画像のG成分に関する合焦度の評価値EGとして算出する。この評価値EGは、着目エリアのG成分のエッジ量を示している。また、制御装置19の評価部19Bは、同じ着目エリアのB成分を参照し、そのB成分に対して空間的な平滑化処理を施し、平滑化処理の前後におけるB成分の差分の絶対値の総和を、評価対象画像のB成分に関する合焦度の評価値EBとして算出する。この評価値EBは、着目エリアのB成分のエッジ量を示している。そして、制御装置19の制御部19Aは、評価部19Bが算出した以上の評価値ER、EG、EBを、現在のフレーム番号iに対応づけて不図示のメモリへ格納する。ステップS111:制御装置19の制御部19Aは、現在のフレーム番号iが最終値Nに達したか否かを判別し、達していない場合にはステップS112へ移行し、達していた場合にはステップS113へ移行する。ステップS112:制御装置19の制御部19Aは、フレーム番号iをインクリメントしてからステップS17へ戻る。したがって、色成分毎の評価値ER、EG、EBは、Nフレームのカラー画像の各々から抽出される。ステップS113:制御装置19の解析部19Cは、不図示のメモリに格納されたN個の評価値ERを読み出し、それらをフレーム番号iの順に並べることにより、フレーム番号iの変化に対する評価値ERのプロフィールを作成する図4A参照。このプロフィールは、ステージ15のZ座標の変化に対する評価値ERのプロフィールを表している。また、制御装置19の解析部19Cは、不図示のメモリに格納されたN個の評価値EGを読み出し、それらをフレーム番号iの順に並べることにより、フレーム番号iの変化に対する評価値EGのプロフィールを作成する図4B参照。。このプロフィールは、ステージ15のZ座標の変化に対する評価値EGのプロフィールを表している。また、制御装置19の解析部19Cは、不図示のメモリに格納されたN個の評価値EBを読み出し、それらをフレーム番号iの順に並べることにより、フレーム番号iの変化に対する評価値EBのプロフィールを作成する図4C参照。このプロフィールは、ステージ15のZ座標の変化に対する評価値EBのプロフィールを表している。ステップS114:制御装置19の解析部19Cは、評価値ERのプロフィールと、評価値EGのプロフィールと、評価値EBのプロフィールとを、それぞれ平滑化する図5A、B、Cを参照。。この平滑化には、例えば、i方向の係数の配列が[1,2,1]に設定された平滑化フィルタが使用される。ステップS115:制御装置19の解析部19Cは、評価値ERの平滑化後のプロフィール図5A、評価値EGの平滑化後のプロフィール図5B、評価値EBの平滑化後のプロフィール図5Cの各々からピーク位置を算出する。以下、評価値ERに関するピーク位置をiRとおき、評価値EGに関するピーク位置をiGとおき、評価値EBに関するピーク位置をiBとおく図5A、B、Cの矢印を参照。。これらのピーク位置iR、iG、iBのズレ量が、撮像光学系10の軸上色収差を表している。なお、ピーク位置iR、iG、iBの各々は、整数になるとは限らない。ステップS116:制御装置19の解析部19Cは、ピーク位置iRに最も近いフレーム番号iR’と、ピーク位置iGに最も近いフレーム番号iG’と、ピーク位置iBに最も近いフレーム番号iB’とをそれぞれ求める。このうちフレーム番号iR’は、Nフレームのカラー画像の中で、着目エリアのR成分の合焦度が最も高いカラー画像のフレーム番号を示しており、フレーム番号iG’は、G成分の合焦度が最も高いカラー画像のフレーム番号を示しており、フレーム番号iB’は、B成分の合焦度が最も高いカラー画像のフレーム番号を示している。続いて、制御装置19の画像生成部19Dは、不図示のメモリに格納されたNフレームのカラー画像から、フレーム番号iR’を有したカラー画像のR成分と、フレーム番号iG’を有したカラー画像のG成分と、フレーム番号iB’を有したカラー画像のB成分とを読み込む。但し、これらのR成分、G成分、B成分の間では、フレーミングが若干ずれている可能性がある。ステップS117:制御装置19の画像生成部19Dは、読み込んだR成分、G成分、B成分の間の位置合わせを行う。この位置合わせは、R成分の構造パターンと、G成分の構造パターンと、B成分の構造パターンとの間の一致度が最高となるように、それら3つの成分のうち少なくとも2つを回転シフトさせるものである。そして、画像生成部19Dは、位置合わせ後のR成分、G成分、B成分を、合成カラー画像のR成分、G成分、B成分として不図示のメモリへ格納する。続いて制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納された合成カラー画像を表示装置20に対して表示する。この合成カラー画像では、少なくともユーザの所望する構造パターンは合焦しており、軸上色収差に起因した色滲みは、この合成カラー画像の全域に亘って解消されている。ステップS118:制御装置19の制御部19Aは、ユーザに対して保存指示を入力させるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、必要に応じて合成カラー画像の保存指示及び保存先を制御装置19へ入力する。なお、ユーザによる保存指示及び保存先の入力は、制御装置19に接続された不図示の入力器マウスなどを介して行われる。ユーザから保存指示及び保存先が入力されると、制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納されている合成カラー画像に対して必要な情報を付与して1つのカラー画像ファイルを作成すると、そのカラー画像ファイルをユーザの入力した保存先不図示のハードディスク、不図示の可搬メモリなどへ書き込み、フローを終了する。以上、本実施形態の制御装置19は、同一の像の複数の波長成分を並行して撮像する撮像光学系10に適用され、物体観察対象物16に対する撮像光学系10の焦点調節状態ステージ15のZ座標を予め決められた変化パターンで変化させながら、撮像光学系10を繰り返し駆動する制御手段制御部19Aと、その変化パターンの下で撮像光学系10が生成した一連のマルチバンド画像Nフレームのカラー画像の各々から合焦度の評価値ER、EG、EBを波長毎に抽出する評価手段評価部19Bと、焦点調節状態の変化ステージ15のZ座標の変化に対する評価値ER、EG、EBの波長毎のプロフィールに基づき、撮像光学系10の軸上色収差の情報軸上色収差データを取得する解析手段解析部19Cと、撮像光学系19が生成した、波長成分の数と同数のマルチバンド画像3フレームのマルチバンド画像と、解析手段解析部19Cが取得した、軸上色収差の情報軸上色収差データとに基づき、軸上色収差に起因する色滲みの補正された1枚の合成マルチバンド画像合成カラー画像を生成する画像生成手段画像生成部19Dとを備える。このように、撮像光学系10の軸上色収差の計測を、撮像光学系10の設計データではなく、撮像光学系10の実測データNフレームのカラー画像に基づき行えば、軸上色収差の情報軸上色収差データを、撮像光学系10の製造誤差や仕様に左右されることなく正確に取得することができる。よって、本実施形態の制御装置19は、軸上色収差に起因する色滲みの補正を、撮像光学系10の製造誤差や仕様に左右されることなく高精度に行うことができる。また、本実施形態の評価手段評価部19Bは、一連のマルチバンド画像Nフレームのカラー画像の各々の合焦度の評価値として、そのマルチバンド画像のエッジ量を使用するので、合焦度の評価を正確に行うことができる。また、本実施形態の評価手段評価部19Bは、一連のマルチバンド画像Nフレームのカラー画像の各々を平滑化し、そのマルチバンド画像の平滑化前後における差分の絶対値の総和を、そのマルチバンド画像のエッジ量とするので、エッジ量を正確に算出することができる。また、本実施形態の評価手段評価部19Bは、一連のマルチバンド画像Nフレームのカラー画像の各々における評価値の抽出元を、そのマルチバンド画像上で予め決められた着目エリアのみに制限するので、合焦度の評価に要する演算量を抑えることができる。また、本実施形態の評価手段評価部19Bは、一連のマルチバンド画像Nフレームのカラー画像の各々における着目エリアを、そのマルチバンド画像上で予め決められた構造パターンの存在領域に設定するので、焦点調節状態を変化させたときにおけるフレーミングのずれに対処することができる。また、本実施形態の解析手段解析部19Cは、波長毎のプロフィールの各々の平滑化カーブを求めると共に、それら平滑化カーブの各々のピーク位置iR、iG、iBの位置関係を、軸上色収差の情報軸上色収差データとして取得するので、平滑化カーブを利用しない場合と比較して、実測データNフレームのカラー画像に含まれる測定誤差に対してロバストである。また、本実施形態の画像生成手段画像生成部19Dは、一連のマルチバンド画像Nフレームのカラー画像の中から、波長毎のピーク位置iR、iG、iBの各々に対応する波長成分を抽出して合成することにより、合成マルチバンド画像合成カラー画像を生成するので、軸上色収差の計測時に生成したマルチバンド画像Nフレームのカラー画像の情報を有効利用することができる。[第2実施形態]以下、本発明の第2実施形態として顕微鏡装置を説明する。本実施形態は、第1実施形態の動作の変形例なので、第1実施形態との動作の相違点のみを説明する。第1実施形態の顕微鏡装置は、撮像光学系10の軸上色収差の測定を観察の度に実行するものであったが、本実施形態の顕微鏡装置は、撮像光学系10の軸上色収差の測定を、対物レンズ14が交換されたときのみに限定する。すなわち、本実施形態の顕微鏡装置は、対物レンズ14が交換される度に以下の前測定処理を実行し、観察の旅に後述の観察処理を実行する。図6は、前測定処理に関する制御装置19の動作フローチャートである。以下、図6の各ステップを順に説明する。ステップS21:制御装置19の制御部19Aは、テストサンプルをユーザにセットさせるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、複数の構造パターンを点在させたテストサンプルを観察対象物16の代わりにステージ15へセットする。なお、構造パターンの個数を複数にしたのは、軸上色収差の計測精度を高めるためである。以下、これら複数の構造パターンのパターン番号jを1~Mとおく。ステップS22:制御装置19の制御部19Aは、パターン番号jを初期値1に設定する。ステップS23:制御装置19の制御部19Aは、j番目の構造パターンに対するフォーカス調整をユーザに行わせるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、ステージ15のXYZ座標を調節しながら表示装置20の画面を観察し、テストサンプル上のj番目の構造パターンが画面内に収まり、かつ、その構造パターンの合焦点度が十分に高くなった時点で、ステージ15のXYZ座標を固定する。ステップS24:制御装置19の制御部19Aは、ユーザに対して着目エリアを指定させるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、表示装置20に表示されたi番目の構造パターン上に着目エリアを設定する。なお、ユーザによる着目エリアの設定は、制御装置19に接続された不図示の入力器マウスなどを介して行われる。因みに、着目エリアのサイズは、カラー画像の100×100pixel分程度のサイズに設定されることが望ましく、着目エリアの位置は、エリア内に明確な構造が包含されるように設定されることが望ましい。ステップS25:制御装置19の制御部19Aは、現時点で表示されているカラー画像のうち、ユーザの設定した着目エリア内に存在している構造パターンを、基準パターンとして記憶する。ステップS26:制御装置19の制御部19Aは、ステージ15の現在の座標を中心とし、かつZ方向に等ピッチで並ぶN通りの座標の間で、ステージ15のZ座標をステップ状に変化させる但し、Nは、撮像装置18が並行して検出できる波長の種類数3より十分に大きい数である。。そして、制御装置19の制御部19Aは、ステージ15のZ座標が各座標にあるときに撮像装置18を1回ずつ駆動すると共に、このときに撮像装置18が生成するカラー画像Nフレームのカラー画像を順次に不図示のメモリへ格納する。例えば、撮像光学系10の観察倍率が50倍であったならば、これらN通りの座標のピッチは0.1μm程度に設定され、座標の数Nは200程度に設定されることが望ましい。これによって、N通りの座標の範囲は、撮像光学系10が有しうる軸上色収差を十分にカバーすることができる。以下、本ステップで取得されるカラー画像のフレーム番号iを、取得順に1~Nとする。なお、ステージ15のZ座標を変化させる際には、ステージ15のXY方向の位置が若干変動する可能性があるので、フレーム番号iの異なるカラー画像の間では、フレーミングが若干ずれている可能性がある。ステップS27:制御装置19の制御部19Aは、フレーム番号iを初期値1に設定する。ステップS28:制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納されたNフレームのカラー画像の中から、現在のフレーム番号iに対応するカラー画像を評価対象画像として読み込む。そして、制御装置19の制御部19Aは、評価対象画像上の着目エリアに存在する構造パターンを参照し、その構造パターンと、ステップS25で記憶した基準パターンとの間の一致度を算出する。ステップS29:制御装置19の制御部19Aは、算出した一致度が予め決められた閾値よりも高ければステップS211へ移行し、そうでなければ着目エリアの位置を微調整するべくステップS210へ移行する。ステップS210:制御装置19の制御部19Aは、評価対象画像上の着目エリアの近傍から、着目エリアと同型同大であり、基準パターンとの間の一致度が前記閾値より高い構造パターンを有したエリアを探索し、それによって検出したエリアを、評価対象画像の新たな着目エリアに設定する。これによって、評価対象画像の着目エリアの位置が微調整される。ステップS211:制御装置19の評価部19Bは、評価対象画像上の着目エリアのR成分を参照し、そのR成分に対して空間的な平滑化処理を施し、平滑化処理の前後におけるR成分の差分の絶対値の総和を、評価対象画像のR成分に関する合焦度の評価値ERとして算出する。この評価値ERは、着目エリアのR成分のエッジ量を示している。また、制御装置19の評価部19Bは、同じ着目エリアのG成分を参照し、そのG成分に対して空間的な平滑化処理を施し、平滑化処理の前後におけるG成分の差分の絶対値の総和を、評価対象画像のG成分に関する合焦度の評価値EGとして算出する。この評価値EGは、着目エリアのG成分のエッジ量を示している。また、制御装置19の評価部19Bは、同じ着目エリアのB成分を参照し、そのB成分に対して空間的な平滑化処理を施し、平滑化処理の前後におけるB成分の差分の絶対値の総和を、評価対象画像のB成分に関する合焦度の評価値EBとして算出する。この評価値EBは、着目エリアのB成分のエッジ量を示している。そして、制御装置19の制御部19Aは、評価部19Bが算出した以上の評価値ER、EG、EBを、現在のフレーム番号iに対応づけて不図示のメモリへ格納する。ステップS212:制御装置19の制御部19Aは、現在のフレーム番号iが最終値Nに達したか否かを判別し、達していない場合にはステップS213へ移行し、達していた場合にはステップS214へ移行する。ステップS213:制御装置19の制御部19Aは、フレーム番号iをインクリメントしてからステップS28へ戻る。したがって、色成分毎の評価値ER、EG、EBは、Nフレームのカラー画像の各々から抽出される。ステップS214:制御装置19の解析部19Cは、不図示のメモリに格納されたN個の評価値ERを読み出し、それらをフレーム番号iの順に並べることにより、フレーム番号iの変化に対する評価値ERのプロフィールを作成する。このプロフィールは、ステージ15のZ座標の変化に対する評価値ERのプロフィールを表している。また、制御装置19の解析部19Cは、不図示のメモリに格納されたN個の評価値EGを読み出し、それらをフレーム番号iの順に並べることにより、フレーム番号iの変化に対する評価値EGのプロフィールを作成する。このプロフィールは、ステージ15のZ座標の変化に対する評価値EGのプロフィールを表している。また、制御装置19の解析部19Cは、不図示のメモリに格納されたN個の評価値EBを読み出し、それらをフレーム番号iの順に並べることにより、フレーム番号iの変化に対する評価値EBのプロフィールを作成する。このプロフィールは、ステージ15のZ座標の変化に対する評価値EBのプロフィールを表している。ステップS215:制御装置19の解析部19Cは、評価値ERのプロフィールと、評価値EGのプロフィールと、評価値EBのプロフィールとを、それぞれ平滑化する。この平滑化には、例えば、i方向の係数の配列が[1,2,1]に設定された平滑化フィルタが使用される。ステップS216:制御装置19の解析部19Cは、評価値ERの平滑化後のプロフィール、評価値EGの平滑化後のプロフィール、評価値EBの平滑化後のプロフィールの各々からピーク位置を算出する。以下、評価値ERに関するピーク位置をiRとおき、評価値EGに関するピーク位置をiGとおき、評価値EBに関するピーク位置をiBとおく図7A、B、Cの点線部を参照。。これらのピーク位置iR、iG、iBのズレ量が、撮像光学系10の軸上色収差を表している。なお、ピーク位置iR、iG、iBの各々は、整数になるとは限らない。ステップS217:制御装置19の解析部19Cは、図7の上部に示すとおり、ピーク位置iGを基準としたピーク位置iRのズレ量iR-iGと、ピーク位置iGを基準としたピーク位置iBのズレ量iB-iGとを求める。さらに、制御装置19の解析部19Cは、それらズレ量iR-iG、iB-iGの各々を、ステージ15のZ座標のズレ量ΔR、ΔBへと換算するなお、その換算式は、前述したステップS26におけるZ座標の変化パターンによって一義的に決まる。。このうちズレ量ΔRは、j番目の構造パターンの像のG成分を撮像面18A上に合焦させるためのステージ15のZ座標と、R成分を撮像面19A上に合焦させるためのステージ15のZ座標との間のオフセット量である。また、ズレ量ΔBは、j番目の構造パターンの像のG成分を撮像面18A上に合焦させるためのステージ15のZ座標と、B成分を撮像面18A上に合焦させるためのステージ15のZ座標との間のオフセット量である。よって、以下では、ズレ量ΔR、ΔBをオフセット量ΔR、ΔBと称す。続いて、制御装置19の制御部19Aは、これらのオフセット量ΔR、ΔBを、現在のパターン番号jに対応づけて不図示のメモリへ格納する。ステップS218:制御装置19の制御部19Aは、現在のパターン番号jが最終値Mに達したか否かを判別し、達していない場合にはステップS219へ移行し、達していた場合にはステップS220へ移行する。ステップS219:制御装置19の制御部19Aは、パターン番号jをインクリメントしてからステップS23へ移行する。したがって、オフセット量ΔR、ΔBは、M個の構造パターンの各々から算出される。ステップS220:制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納されたM個のオフセット量ΔRの総和をMで除することにより、平均化されたオフセット量ΔR’を算出する。また、制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納されたM個のオフセット量ΔBの総和をMで除することにより、平均化されたオフセット量ΔB’を算出する。そして、制御装置19の制御部19Aは、それらのオフセット量ΔR’、ΔB’を、使用中の対物レンズ14に関する軸上色収差データとして、不図示の不揮発性メモリに保存し、フローを終了する。なお、オフセット量ΔR’、ΔB’の保存先を不揮発性メモリとしたのは、顕微鏡装置の電源がオフされたときにも保存を継続させるためである。図8は、観察処理に関する制御装置19の動作フローチャートである。以下、図8の各ステップを順に説明する。ステップS31:制御装置19の制御部19Aは、撮像装置18の連続駆動を開始すると共に、その連続駆動中に撮像装置18が生成するカラー画像を順次に表示装置20へ送出する。これによって、ライブビュー表示が開始されるので、ユーザは、表示装置20の画面上で観察対象領域16Aの現在の様子を観察することができる。ステップS32:制御装置19の制御部19Aは、フォーカス調整をユーザに行わせるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、ステージ15のXYZ座標を調節しながら表示装置20の画面を観察し、観察対象物16の所望の構造パターンが画面内に収まり、かつ、その構造パターンの合焦度が十分に高くなった時点で、ステージ15のXYZ座標を固定する。ステップS33:制御装置19の制御部19Aは、不図示の不揮発性メモリに格納された軸上色収差データオフセット量ΔR’、ΔB’を呼び出す。ステップS34:制御装置19の制御部19Aは、ステージ15の現在の座標CGと、その座標CGからオフセット量ΔR’だけずれた座標CR=CGΔR’と、その座標CGからオフセット量ΔB’だけずれた座標CB=CGΔB’とからなる3通りの座標の間で、ステージ15のZ座標をステップ状に変化させる。ここでは、座標CGを、前述した所望の構造パターンの像のG成分を撮像面18A上に合焦させるためのステージ15のZ座標であるとみなす。その場合、座標CRは、同じ像のR成分を撮像面18A上に合焦させるためのステージ15のZ座標となり、座標CBは、同じ像のB成分を撮像面18A上に合焦させるためのステージ15のZ座標となる。そして、制御装置19の制御部19Aは、ステージ15のZ座標が座標CG、CR、CBの各々にあるときに撮像装置18を1回ずつ駆動すると共に、このときに撮像装置18が生成するカラー画像3フレームのカラー画像IG、IR、IBを順次に不図示のメモリへ格納する。ステップS35:制御装置19の画像生成部19Dは、不図示のメモリに格納された3フレームのカラー画像IG、IR、IBのうち、カラー画像IGのG成分と、カラー画像IRのR成分と、カラー画像IBのB成分とを読み込む。これらのG成分、R成分、B成分の各々では、少なくともユーザの所望した構造パターンは合焦しているはずである。但し、これらのR成分、G成分、B成分の間では、フレーミングが若干ずれている可能性がある。ステップS36:制御装置19の画像生成部19Dは、読み込んだR成分、G成分、B成分の間の位置合わせを行う。この位置合わせは、R成分の構造パターンと、G成分の構造パターンと、B成分の構造パターンとの間の一致度が最高となるように、それら3つの成分のうち少なくとも2つを回転シフトさせるものである。そして、画像生成部19Dは、位置合わせ後のR成分、G成分、B成分を、合成カラー画像のR成分、G成分、B成分として不図示のメモリへ格納する。続いて制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納された合成カラー画像を表示装置20に対して表示する。この合成カラー画像では、少なくともユーザの所望した構造パターンは合焦しており、軸上色収差に起因した色滲みは、この合成カラー画像の全域に亘って解消されている。ステップS37:制御装置19の制御部19Aは、ユーザに対して保存指示を入力させるためのメッセージを表示装置20に表示する。ユーザは、必要に応じて合成カラー画像の保存指示及び保存先を制御装置19へ入力する。なお、ユーザによる保存指示及び保存先の入力は、制御装置19に接続された不図示の入力器マウスなどを介して行われる。ユーザから保存指示及び保存先が入力されると、制御装置19の制御部19Aは、不図示のメモリに格納されている合成カラー画像に対して必要な情報を付与して1つのカラー画像ファイルを作成すると、そのカラー画像ファイルをユーザの入力した保存先不図示のハードディスク、不図示の可搬メモリなどへ書き込み、フローを終了する。以上、本実施形態の制御手段制御部19Aは、軸上色収差の情報軸上色収差データの取得後は前測定処理の実行後の観察処理では、焦点調節状態ステージ15のZ座標の変化パターンを、前述したピーク位置の位置関係オフセット量ΔR、ΔBに応じた変化パターンに設定し、画像生成手段画像生成部19Dは、その変化パターンの下で撮像光学系10が生成した複数のマルチバンド画像3フレームのカラー画像の各々から、合焦している波長成分を抽出して合成することにより、合成マルチバンド画像合成カラー画像を生成する。すなわち、本実施形態の制御装置19は、前測定処理によって軸上色収差の計測を済ませておき、観察処理の際には、軸上色収差の計測を省略すると共に、前測定処理で取得した軸上色収差の情報軸上色収差データを利用する。したがって、本実施形態の制御装置19は、観察処理におけるマルチバンド画像カラー画像の生成枚数を必要最小限3フレームに抑えることができる。[補足]なお、第1実施形態又は第2実施形態では、評価値プロフィールの横軸をフレーム番号iとしたが、ステージ15のZ座標としてもよいことは言うまでもない。その場合、第2実施形態では、ピーク位置のズレ量をZ座標のズレ量へと換算する処理は不要となる。また、第2実施形態の前測定処理では、軸上色収差データとして保存するデータを、ズレ量ΔR、ΔBとしたが、ピーク位置iR、iG、iBとしてもよい。但し、その場合は、ピーク位置iR、iG、iBから座標CR、CBを算出する処理を、観察処理の際に実行する必要がある。また、第1実施形態又は第2実施形態では、撮像光学系10の焦点調節状態を変化させるためにステージ15をZ方向へ移動させたが、ステージ15を移動させる代わりに、撮像光学系10を構成する1又は複数のレンズフォーカシングレンズをZ方向へ移動させてもよい。或いは、撮像装置18の撮像面18AをZ方向へ移動させてもよい。或いは、ステージ15のZ方向への移動と、レンズのZ方向への移動と、撮像面18AのZ方向への移動との少なくとも2つを組み合わせてもよい。また、第1実施形態のステップS14、S17~S19では、処理の対象をカラー画像としたが、カラー画像の代表色成分例えばG成分としてもよい。このように代表色成分を処理の対象とすれば、それらステップS14、S17~S19の演算量を抑えることができる。また、このことは、第2実施形態の同様のステップステップS25、S28~S210にも当てはまる。また、第1実施形態のステップS14、S17~S19では、処理の対象をデベイヤ処理後のカラー画像としたが、デベイヤ処理前のカラー画像すなわちRAW画像としてもよい。また、このことは、第2実施形態の同様のステップステップS25、S28~S210にも当てはまる。また、第1実施形態又は第2実施形態の撮像光学系10には、単板型の撮像素子が採用されたが、同一の像の複数の波長成分を並行して撮像することができるのであれば、多板型の撮像素子が採用されてもよい。また、第1実施形態又は第2実施形態では、ユーザの所望する構造パターンに対するフォーカス調整と、着目エリアの設定との双方がユーザの手動で行われたが、ユーザの所望する構造パターンが予め制御装置19の側へ登録されている場合には、そのフォーカス調整と着目エリアの設定との少なくとも一方は自動で行われてもよい。また、第2実施形態では、テストサンプルにおけるM個の構造パターンに対するフォーカス調整と、着目エリアの設定との双方がユーザの手動で行われたが、テストサンプルにおけるM個の構造パターンが予め制御装置19の側へ登録されている場合には、そのフォーカス調整と着目エリアの設定との少なくとも一方は自動で行われてもよい。また、第1実施形態又は第2実施形態では、顕微鏡装置を説明したが、他の光学装置にも第1実施形態又は第2実施形態は適用が可能である。但し、顕微鏡装置の撮像光学系10は、撮影距離つまり観察対象領域16Aの高さが変化しても観察倍率が変化しないので、倍率色収差ではなく軸上色収差を対象とした第1実施形態又は第2実施形態の有用性は、特に高いと考えられる。"