"排ガスの流路となる一方の端部から他方の端部まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質セラミックからなる隔壁を有するハニカム構造体と、所定の前記セルの一方の開口端部と残余の前記セルの他方の開口端部とに配設された目封止部と、前記ハニカム構造体の前記排ガスが流入する側の前記開口端部が開口した前記セルの表面に配置された表面捕集層と、を備え、前記隔壁の厚さが、0.05mm以上、0.18mm以下であり、前記隔壁の水銀圧入法により測定された平均細孔径が10μm以上、18μm以下であり、且つ前記隔壁の前記水銀圧入法により測定された細孔径分布において、前記平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合が5以上、40以下であり、前記表面捕集層の平均細孔径が0.1μm以上、5μm以下であり、前記表面捕集層の気孔率が50以上、80以下であり、前記表面捕集層の厚さが1μm以上、50μm以下である排ガス浄化フィルタ。前記細孔径分布が、単一ピークの分布曲線である請求項1に記載の排ガス浄化フィルタ。自動車のエンジンから排出される排ガスを浄化するフィルタであって、欧州のNEDC規制モード運転において、排ガス中の粒子状物質の排出量が2×1012個/km以下のエンジン用として用いられる請求項1又は2に記載の排ガス浄化フィルタ。前記ハニカム構造体のセル密度が13セル/cm2以上、70セル/cm2以下である請求項1~3のいずれか一項に記載の排ガス浄化フィルタ。前記目封止部の、前記セルの延びる方向における長さが1mm以上、7mm以下である請求項1~4のいずれか一項に記載の排ガス浄化フィルタ。従来のディーゼルエンジンにおいては、エンジンから排出される排ガス中の粒子状物質の量が多いため、排ガス規制をクリアするために必要なフィルタの要求捕集効率が高く設定されている。例えば、排ガス中の粒子状物質の個数による排ガス規制の場合には、フィルタの要求捕集効率は99以上である。これに対し、直接噴射式ガソリンエンジンや天然ガス圧縮着火方式のエンジン即ち、粒子状物質の量が低減されたエンジンでは、エンジンから排出される排ガス中の粒子状物質の量が、従来のディーゼルエンジンと比較して少ない。このため、このようなエンジンに使用されるフィルタにおいては、その要求捕集効率が、上述したディーゼルエンジンの場合と比較して低く設定されている。例えば、粒子状物質の量が低減されたエンジンの場合には、フィルタの要求捕集効率が70程度である。このように、粒子状物質の量が低減されたエンジンに使用される排ガス浄化フィルタと、従来のディーゼルエンジン用に開発された排ガス浄化フィルタ例えば、従来のディーゼルパティキュレートフィルタとは、フィルタの要求捕集効率が異なるため、良好な浄化を行うためのフィルタの構成が異なることとなる。例えば、圧損の低減と捕集効率の向上を両立させる観点からの最適な隔壁の細孔径分布は、従来のディーゼルエンジン用のフィルタと粒子状物質の量が低減されたエンジン用のフィルタとで異なることとなる。従って、従来のディーゼルエンジン用として最適であった特許文献1に記載された技術が、粒子状物質の量が低減されたエンジンにそのまま適用することができないという問題があった。また、直接噴射式ガソリンエンジンや天然ガス圧縮着火方式のエンジン、及び燃料噴射圧力の高圧化、燃料噴射ノズル孔の小径化等の対策を行った先進ディーゼルエンジン即ち、粒子状物質の量が少ないディーゼルエンジンでは、エンジンから排出される高温の排ガスと、その排ガスに含まれる窒素酸化物NOXとにより、煤等の粒子状物質が酸化され、排ガス中の粒子状物質が除去される。このため、このようなエンジンに使用される排ガス浄化フィルタにおいては、隔壁上に粒子状物質が堆積していない状態における圧損の低減が重要となる。この点も、従来のディーゼルエンジン用のフィルタとは異なる点であり、粒子状物質の量がより少ないエンジン用として好適に用いられ、圧損が低く且つ適切な浄化性能を有する排ガス浄化フィルタの開発が要望されている。本発明は、このような従来技術が有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、エンジン、特に、排ガス中に含まれる粒子状物質の量が低減されたエンジンに好適に用いることができ、圧損の上昇を抑制しつつ、排ガス中の粒子状物質を適切に除去することが可能な排ガス浄化フィルタを提供することにある。本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、従来のディーゼルエンジンよりも排ガス中の粒子状物質が少なく、要求捕集効率が比較的低く設定されたエンジン用の排ガス浄化フィルタにおいては、特許文献1に記載されたような隔壁の細孔径分布をシャープにするのではなく、逆に、細孔径分布をブロードにし、更に、隔壁の厚さ及び平均細孔径を所定の範囲とし、更に、隔壁の表面に特定の表面捕集層を配設することにより、上記要求捕集効率を満足しつつ、圧損の上昇を抑制することができることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明によれば、以下に示す、排ガス浄化フィルタが提供される。[1]排ガスの流路となる一方の端部から他方の端部まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質セラミックからなる隔壁を有するハニカム構造体と、所定の前記セルの一方の開口端部と残余の前記セルの他方の開口端部とに配設された目封止部と、前記ハニカム構造体の前記排ガスが流入する側の前記開口端部が開口した前記セルの表面に配置された表面捕集層と、を備え、前記隔壁の厚さが、0.05mm以上、0.18mm以下であり、前記隔壁の水銀圧入法により測定された平均細孔径が10μm以上、18μm以下であり、且つ前記隔壁の前記水銀圧入法により測定された細孔径分布において、前記平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合が5以上、40以下であり、前記表面捕集層の平均細孔径が0.1μm以上、5μm以下であり、前記表面捕集層の気孔率が50以上、80以下であり、前記表面捕集層の厚さが1μm以上、50μm以下である排ガス浄化フィルタ。[2]前記細孔径分布が、単一ピークの分布曲線である前記[1]に記載の排ガス浄化フィルタ。[3]自動車のエンジンから排出される排ガスを浄化するフィルタであって、欧州のNEDC規制モード運転において、排ガス中の粒子状物質の排出量が2×1012個/km以下のエンジン用として用いられる前記[1]又は[2]に記載の排ガス浄化フィルタ。[4]前記ハニカム構造体のセル密度が13セル/cm2以上、70セル/cm2以下である前記[1]~[3]のいずれかに記載の排ガス浄化フィルタ。[5]前記目封止部の、前記セルの延びる方向における長さが1mm以上、7mm以下である前記[1]~[4]のいずれかに記載の排ガス浄化フィルタ。本発明の排ガス浄化フィルタは、多孔質の隔壁を有するハニカム構造体と、所定のセルの一方の開口端部と残余のセルの他方の開口端部とに配設された目封止部と、ハニカム構造体の排ガスが流入する側の開口端部が開口したセルの表面に配置された表面捕集層と、を備え、隔壁の厚さが、0.05mm以上、0.18mm以下であり、隔壁の水銀圧入法により測定された平均細孔径が10μm以上、18μm以下であり、且つ隔壁の水銀圧入法により測定された細孔径分布において、上記平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合が5以上、40以下であり、表面捕集層の平均細孔径が0.1μm以上、5μm以下であり、表面捕集層の気孔率が50以上、80以下であり、表面捕集層の厚さが1μm以上、50μm以下である。このように、本発明の排ガス浄化フィルタにおいては、上記細孔径分布における平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合を特定即ち、5以上、40以下とすることにより、隔壁の細孔径分布を従来のディーゼルエンジン用のフィルタにおける隔壁の細孔径分布に比してブロードにしている。また、本発明の排ガス浄化フィルタにおいては、従来のディーゼルエンジン用のフィルタと比較して、隔壁の厚さを薄く即ち、0.05mm以上、0.18mm以下とするとともに、水銀圧入法により測定された平均細孔径を特定の範囲即ち、10μm以上、18μm以下としている。このような細孔径分布の形状、隔壁厚さ、及び平均細孔径とすることで、夫々により奏される効果が相俟って、排ガス中に含まれる粒子状物質の量が低減されたエンジンにおいて、圧損の上昇を抑制しつつ、排ガス中の粒子状物質を良好に除去することができる。更に、本発明の排ガス浄化フィルタは、上述した平均細孔径、気孔率、及び厚さの表面捕集層が、排ガスが流入する側の開口端部が開口したセルの表面に配置されている。この表面捕集層により、排ガス浄化フィルタの圧損を過剰に上昇させることなく、捕集効率を良好に向上させることができる。従って、本発明の排ガス浄化フィルタは、直接噴射式ガソリンエンジンや天然ガス圧縮着火方式のエンジン、また、先進技術のディーゼルエンジン例えば、燃焼改善されたディーゼルエンジンのような、従来の一般的なディーゼルエンジンと比較して排ガス中の粒子状物質の量が少ないエンジンにおける排ガス規制に適合した排ガス浄化フィルタである。以下、本発明の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に入ることが理解されるべきである。[1]排ガス浄化フィルタ:本発明の排ガス浄化フィルタの一実施形態を、図を参照しながら説明する。ここで、図1は、本発明の排ガス浄化フィルタの一実施形態を模式的に示す斜視図である。図2は、本発明の排ガス浄化フィルタの一実施形態の、排ガスが流入する側の端面を模式的に示す平面図である。図3は、本発明の排ガス浄化フィルタの一実施形態の、セルの延びる方向に平行な断面を示す模式図である。図1~図3に示すように、本実施形態の排ガス浄化フィルタ100は、排ガスの流路となる一方の端部15aから他方の端部15bまで延びる複数のセル11を区画形成する多孔質セラミックからなる隔壁12を有するハニカム構造体10と、所定のセル11aの一方の開口端部と残余のセル11bの他方の開口端部とに配設された目封止部1313a,13bと、ハニカム構造体10の排ガスが流入する側の開口端部が開口したセル11図1~図3においては、残余のセル11bの表面に配置された表面捕集層14と、を備えた排ガス浄化フィルタ100である。なお、本実施形態の排ガス浄化フィルタ100は、直接噴射式ガソリンエンジンや天然ガス圧縮着火方式のエンジン、及び燃料噴射圧力の高圧化、或いは燃料噴射ノズル孔の小径化等の対策を行った先進ディーゼルエンジン等の、粒子状物質の量が少ないエンジンから排出される排ガス中の粒子状物質の除去に好適に用いられる排ガス浄化フィルタである。そして、本実施形態の排ガス浄化フィルタ100は、ハニカム構造体10の隔壁12の厚さが、0.05mm以上、0.18mm以下であり、この隔壁12の水銀圧入法により測定された平均細孔径が10μm以上、18μm以下であり、且つ隔壁12の水銀圧入法により測定された細孔径分布において、上記平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合が5以上、40以下となるように構成されたものである。また、表面捕集層14の平均細孔径が0.1μm以上、5μm以下であり、表面捕集層14の気孔率が50以上、80以下であり、表面捕集層14の厚さが1μm以上、50μm以下である。なお、表面捕集層14の平均細孔径、気孔率、及び厚さは、表面捕集層14のSEM走査型電子顕微鏡画像より求めた値である。具体的には、表面捕集層14の厚さは、以下のようにして算出した値である。まず、隔壁断面研磨面のうち、表面捕集層と隔壁の両者を含む視野をSEMで撮影し、撮影したSEM画像について、固体部と空隙部の輝度の差により2値化処理を行う。次に、上記固体部と空隙部の境界に内接する円を想定し、これらの内接円の直径と位置を、表面捕集層側から隔壁側に向かってプロットし、最小二乗近似により3次曲線を求める。次に、この最小二乗近似3次曲線と、2値化処理画像内の内接円の最大直径MAXと最小直径MINの平均のラインが交差する深さ表面捕集層の深さを20視野以上について測定し、得られた測定値の平均値を算出して表面捕集層の厚さとする。従って、表面捕集層と隔壁の境界は、SEM画像を輝度の差により2値化処理した後、固体部と空隙部の境界に内接する内接円の直径をプロットして最小二乗近似3次曲線を算出したときに、この最小二乗近似3次曲線が、内接円の最大直径と最小直径の平均値のラインと交差する深さ位置となる。表面捕集層は、セルを区画する側の表面捕集層の表面から上記境界までの領域に形成された多孔質の層である。表面捕集層の気孔率は、以下のようにして算出した値である。まず、隔壁断面のSEM画像を1000倍以上の拡大率で撮影し、撮影したSEM画像について、固体部と空隙部の輝度の差により2値化処理を行う。次に、表面捕集層における空隙部と固体部の面積比率を20箇所以上の視野で求め、面積比率の平均値を算出して表面捕集層の気孔率とする。表面捕集層の平均細孔径は、以下のようにして算出した値である。まず、隔壁断面のSEM画像を1000倍以上の拡大率で撮影し、撮影したSEM画像について、固体部と空隙部の輝度の差により2値化処理を行う。次に、表面捕集層における空隙部内で固体部の輪郭に内接する円をランダムな位置で20箇所以上描き、その内接円の直径の平均値を算出して表面捕集層の平均細孔径とする。本実施形態の排ガス浄化フィルタ100においては、水銀圧入法により測定された隔壁12の細孔径分布において、細孔の全容積に対する平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合を5以上、40以下とすることにより、隔壁12の細孔径分布を従来のディーゼルエンジン用のフィルタにおける隔壁の細孔径分布に比してブロードにしている。即ち、本実施形態の排ガス浄化フィルタ100においては、細孔径分布における平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合により、水銀圧入法により測定された隔壁の細孔径分布の形状を規定している。以下、細孔径分布における平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合のことを2倍の平均細孔径の割合ということがある。また、本実施形態の排ガス浄化フィルタ100においては、従来のディーゼルエンジン用のフィルタと比較して、隔壁12の厚さ以下、隔壁厚さということがあるを薄く即ち、0.05mm以上、0.18mm以下とするとともに、水銀圧入法により測定された平均細孔径を特定の範囲即ち、10μm以上、18μm以下としている。このような隔壁の細孔径分布の形状、隔壁厚さ、及び隔壁の平均細孔径とすることで、夫々により奏される効果が相俟って、排ガス中に含まれる粒子状物質の量が低減されたエンジンにおいて、圧損の上昇を抑制しつつ、そのエンジンから排出される排ガス中の粒子状物質を良好に除去することができる。即ち、本実施形態の排ガス浄化フィルタ100は、粒子状物質の量が少ないエンジンから排出される排ガスの処理浄化を行うためのものであり、このようなエンジンにおける排ガス規制に適合し、且つ、そのエンジンの排気系の圧損を極力抑制するように開発されたものである。このため、上記隔壁の細孔径分布の形状、隔壁厚さ、及び隔壁の平均細孔径は、それぞれが相互に連関し、各構成により奏される効果は、他の構成を満たしていることを前提として発現するものである。換言すれば、上記隔壁の細孔径分布の形状、隔壁厚さ、及び隔壁の平均細孔径のうち、一の構成がその数値範囲を満たしていない場合には、他の構成により奏される効果は十分に発現しなくなる。例えば、従来のディーゼルエンジン用に開発された排ガス浄化フィルタにおいて、上記隔壁の細孔径分布の形状、隔壁厚さ、及び隔壁の平均細孔径のうちの一の構成を満たす場合も想定されるが、従来のディーゼルエンジン用の排ガス浄化フィルタとは、対象とする排ガス規制の内容例えば、排ガス中の粒子状物質の個数による排ガス規制が全く異なり、これまで上記3つの構成を同時に満たすようなフィルタは開発されていなかった。特に、本実施形態の排ガス浄化フィルタは、単に捕集効率を高くするためのものではなく、対象とする排ガス規制に応じた適切な捕集効率が実現されるものである。但し、上記隔壁の細孔径分布の形状、隔壁厚さ、及び隔壁の平均細孔径を満たすハニカム構造体を備えた排ガス浄化フィルタが、浄化対象とする所定のエンジンの現時点における排ガス規制に適合したとしても、捕集効率に関しては十分な性能的な余裕が得られないことがある。本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、それを解消すべく、その厚さが極めて薄く、圧損の上昇が非常に少ない、特定の表面捕集層即ち、上述した平均細孔径、気孔率、及び厚さの表面捕集層を排ガスが流入する側の開口端部が開口したセルの表面に配置している。なお、表面捕集層を配設せずに、隔壁の細孔径分布の形状、隔壁厚さ、及び隔壁の平均細孔径のうちの少なくとも一の数値範囲を調整したとしても、圧損の上昇を抑制しつつ、捕集効率を向上することは極めて困難である。即ち、上述したように、隔壁に関する各規定は、相互に密接に連関しているため、上記一の数値範囲を調整しようとすると、排ガス浄化フィルタの捕集性能についての調和バランスを著しく乱してしまうこととなる。本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、隔壁の上記2倍の平均細孔径の割合を5以上とすることにより、細孔径分布の形状がブロードな形状となる。即ち、隔壁の上記2倍の平均細孔径の割合が5未満であると、隔壁の細孔径分布のピークの裾が狭くなり、細孔径分布の形状がシャープになる。従来のディーゼルエンジンのように、排ガス中の粒子状物質の量が多い場合には、排ガス規制をクリアするために必要なフィルタの要求捕集効率が高く設定されているため、隔壁の細孔径分布の形状がシャープなものが適当とされていた。しかしながら、粒子状物質の量が低減されたエンジンの場合には、フィルタの要求捕集効率がより低く設定されることとなり、要求捕集効率を向上させる有利な効果よりも、隔壁の細孔径分布の形状をシャープにすることによる圧損増加という不利益な欠点が増大してしまう。一方、隔壁の上記2倍の平均細孔径の割合を40以下とすることにより、細孔径分布の形状が過剰にブロードになるのを抑制することができる。即ち、本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、隔壁の水銀圧入法により測定された平均細孔径が10μm以上、18μm以下であるため、隔壁の2倍の平均細孔径の割合を40超とした場合には、本実施形態において規定される平均細孔径程度の大きさの細孔が相対的に減少し、細孔径がより大きな細孔が増加してしまう。細孔径が大きな細孔は、隔壁の透過性パ-ミアビリティーを大きくして圧損を下げることができるが、捕集効率を大きく低下させてしまうこともある。このため、粒子状物質の量が低減されたエンジンの要求捕集効率を満足させるためには、隔壁の上記2倍の平均細孔径の割合を40以下とすることが必要である。このように、ある程度小細孔を有し、一方で大細孔により透過性を良くすることで、圧損の抑制と、十分な捕集効率即ち、要求捕集効率を満足する捕集効率を実現することができる。2倍の平均細孔径の割合の下限値は、10以上であることが好ましく、15以上であることが更に好ましい。また、2倍の平均細孔径の割合の上限値は、30以下であることが好ましく、25以下であることが更に好ましい。このように構成することによって、適切な捕集効率と、圧損抑制とのバランスを良好に維持することができる。また、隔壁の細孔径分布が、単一ピークの分布曲線であることが好ましい。例えば、小細孔と大細孔とを混在させる方法としては、2山以上のピークの分布曲線とすることを挙げることもできるが、本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、隔壁の細孔径分布がガウス分布のような単一ピークの分布曲線であることが好ましい。このように構成することによって、隔壁の細孔により粒子状物質を良好に捕集しつつ、圧損を有効に低減することができる。なお、本発明における細孔径分布とは、水銀圧入法により測定された隔壁の細孔径を常用対数で示したときの細孔径分布のことであり、例えば、横軸を細孔径常用対数とし、縦軸をlog微分細孔容積とするグラフにより示すことができる。隔壁の平均細孔径及び細孔径分布は、水銀ポロシメータ例えば、島津製作所社製商品名:ポロシメータ型式9810で測定することができる。また、本実施形態の排ガス浄化フィルタは、水銀圧入法により測定された隔壁の平均細孔径が10μm以上、18μm以下のものである。平均細孔径を上記範囲とし、且つ隔壁の上記2倍の平均細孔径の割合及び隔壁厚さを所定の数値範囲とすることにより、排ガス中の粒子状物質を良好に捕集することができる。隔壁の平均細孔径が10μm未満では、上記2倍の平均細孔径の割合及び隔壁厚さを、上記数値範囲とした場合に、圧損が大きくなってしまう。また、隔壁の平均細孔径が18μm超では、上記2倍の平均細孔径の割合及び隔壁厚さを、上記数値範囲とした場合に、所望の捕集効率を実現することが困難になる。隔壁の平均細孔径の下限値は、11μm以上であることが好ましく、12μm以上であることが更に好ましい。また、隔壁の平均細孔径の上限値は、16μm以下であることが好ましく、14μm以下であることが更に好ましい。また、本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、隔壁の厚さが0.05mm以上、0.18mm以下である。この隔壁の厚さは、従来のディーゼルエンジン用のフィルタにおける隔壁の厚さと比較して、より薄く、且つ極めて狭い数値範囲のものである。これは、本実施形態の排ガス浄化フィルタが、排ガス中の粒子状物質の量が少ないエンジン用のフィルタを想定しているからである。即ち、従来のディーゼルエンジン用のフィルタのような99以上の捕集効率を必要としないため、隔壁の厚さにおいて、圧損の低減に重きを置いたためである。例えば、上記2倍の平均細孔径の割合及び平均細孔径を上記数値範囲とし、従来のディーゼルエンジン用のフィルタのように99以上の捕集効率とするためには、隔壁の厚さを0.18mm超の厚さとしなければならない。本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいて隔壁の厚さが0.05mm未満であると、フィルタの強度が低下してしまう。一方、隔壁の厚さが0.18mm超であると、圧損が大きくなり過ぎてしまう。隔壁の厚さの下限値は、0.075mm以上であることが好ましく、0.1mm以上であることが更に好ましい。また、隔壁の厚さの上限値は、0.15mm以下であることが好ましく、0.13mm以下であることが更に好ましい。表面捕集層は、ハニカム構造体の排ガスが流入する側の開口端部が開口したセル以下、流入セルということがあるの表面に配置された、多孔質体からなる膜状のもの捕集層である。この表面捕集層により、排ガス中の粒子状物質が捕集される。本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、表面捕集層の平均細孔径が0.1μm以上、5μm以下であり、表面捕集層の気孔率が50以上、80以下であり、表面捕集層の厚さが1μm以上、50μm以下である。表面捕集層の平均細孔径が0.1μm未満では、ガスの通過抵抗が大きくなり過ぎ、排ガス浄化フィルタの圧損が増加してしまう。また、表面捕集層の平均細孔径が5μm超では、薄い表面捕集層で粒子状物質を十分に捕集できなくなり、捕集効率が不十分となる。表面捕集層の平均細孔径の下限値は、0.3μm以上であることが好ましく、0.8μm以上であることが更に好ましい。また、表面捕集層の平均細孔径の上限値は、4μm以下であることが好ましく、3μm以下であることが更に好ましい。また、表面捕集層の気孔率が50未満では、排ガス浄化フィルタの圧損が増加してしまう。表面捕集層の気孔率が80超では、必要な構造強度を維持できず、表面捕集層が剥離脱落する危険性が増加する。表面捕集層の気孔率の下限値は、55以上であることが好ましく、60以上であることが更に好ましい。また、表面捕集層の気孔率の上限値は、75以下であることが好ましく、70以下であることが更に好ましい。また、表面捕集層の厚さが1μm未満では、表面捕集層での粒子状物質の捕集効率が不十分となる。表面捕集層の厚さが50μm超であると、セル流路が狭くなること、及び流体ガスが捕集層を通過する距離が長くなり、圧損が過大になってしまう。表面捕集層の厚さの下限値は、2μm以上であることが好ましく、5μm以上であることが更に好ましい。また、表面捕集層の厚さの上限値は、45μm以下であることが好ましく、40μm以下であることが更に好ましい。表面捕集層に関する平均細孔径、気孔率及び厚さに関する規定についても、ハニカム構造体の隔壁における規定と同様に、相互に密接に連関したものであり、夫々により奏される効果が相俟って、排ガス浄化フィルタの捕集効率を補完する機能が良好に発現する。本実施形態の排ガス浄化フィルタは、自動車のエンジンから排出される排ガスを浄化するフィルタであって、欧州のNEDCNewEuropeanDrivingCycle規制モード運転において、排ガス中の粒子状物質の排出量が、2×1012個/km以下のエンジン用のフィルタとして好適に用いることができる。欧州のNEDC規制モード運転とは、図4に示すような条件時間秒及び速度km/hでの運転のことをいう。ここで、図4は、欧州のNEDC規制モード運転の条件を示すグラフであり、横軸が時間秒を示し、縦軸が速度走行速度km/hを示す。図4に示すように、欧州のNEDC規制モード運転は、まず、ECE15サイクルを4回繰り返し、その後、EUDCサイクルを1回行うものである。ECE15サイクルは、都市部での走行状態を想定したもの市街地モードであり、最高速度が50km/hで、平均速度が18.7km/hである。一方、EUDCサイクルは、高速運転を想定したもの高速モードであり、最高速度が120km/hで、平均速度が62.6km/hである。この欧州のNEDC規制モード運転は、車両を最低6時間の室温で放置した後、アイドリングすることなく行われる。本実施形態の排ガス浄化フィルタは、上記欧州のNEDC規制モード運転における排ガス中の粒子状物質の排出量が2×1012個/km以下の、排ガス中の粒子状物質の量の少ないエンジンにおいて、排ガスの浄化、特に、エンジンから最終的に排出される粒子状物質の個数を所定個数以下に低減するために、好適に用いられる排ガス浄化フィルタである。このように、本実施形態の排ガス浄化フィルタは、予め粒子状物質の個数が少ないエンジン用のフィルタとして好適に用いられるものであるため、従来のディーゼルエンジン用のフィルタよりも、フィルタの捕集効率自体は低くなっている。本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、ハニカム構造体のセル密度が13セル/cm2以上、70セル/cm2以下であることが好ましい。このように構成することによって、フィルタの強度を維持しつつ、圧損の上昇を抑制することができる。セル密度の下限値は、15.5セル/cm2以上であることが好ましい。また、セル密度の上限値は、42セル/cm2以下であることが好ましい。また、本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、隔壁の気孔率が35以上、50以下であることが好ましい。このように構成することによって、フィルタの強度を維持しつつ、圧損の上昇を抑制することができる。例えば、上記2倍の平均細孔径の割合、平均細孔径及び隔壁厚さを上記数値範囲とした場合に、隔壁の気孔率が35未満であると、圧損が増大することがある。また、隔壁の気孔率が50超であると、フィルタの強度が低下してしまう。特に、本実施形態の排ガス浄化フィルタは、隔壁の厚さが薄いため、隔壁の過剰な高気孔率化は強度低下を招来し易い。隔壁の気孔率とは、水銀圧入法により測定された気孔率のことを意味する。図1~図3に示すように、本実施形態の排ガス浄化フィルタ100に用いられるハニカム構造体10は、排ガスの流路となる一方の端部15aから他方の端部15bまで延びる複数のセル11を区画形成する多孔質セラミックからなる隔壁12を有するものである。ハニカム構造体は、上記2倍の平均細孔径の割合、平均細孔径及び隔壁厚さが、これまでに説明した数値範囲を満たすものであれば、その他の構成については、従来公知の排ガス浄化フィルタに用いられるハニカム構造体と同様の構成を採用することができる。ハニカム構造体の全体形状については特に制限はなく、例えば、図1に示されるような円柱状の他、楕円柱状、四角柱状、三角柱状等の形状を挙げることができる。また、ハニカム構造体に形成されたセルの形状セルの貫通方向に対して垂直な断面におけるセル形状としては、例えば、図1~図3に示されるような四角形セルの他、六角形セル、八角セル、三角形セル等の形状を挙げることができる。但し、ハニカム構造体に形成されたセルの形状としては、このような形状に限られるものではなく、公知のセルの形状を広く包含することができる。また、ハニカム構造体においては、異なるセル形状を組み合わせることもできる。隣接するセルの一方のセルを八角形とし、他方のセルを四角形にすることで、一方のセル即ち、八角形セルを他方のセル即ち、四角形セルに比べ大きくすることができる。ハニカム構造体の材質については特に制限はないが、セラミックを好適例として挙げることができる。強度、耐熱性、耐食性等の観点から、コージェライト、炭化珪素、アルミナ、ムライト、アルミニウムチタネート、窒化珪素、及び炭化珪素を骨材とし金属珪素を結合部形成原料として形成された珪素-炭化珪素系複合材料のうちのいずれかであることが好ましい。これらの材質の中でも、コージェライトが特に好ましい。目封止部は、ハニカム構造体の所定のセルの一方の開口端部と残余のセルの他方の開口端部とに配置され、セルのいずれか一方の開口端部を封止するためのものである。この目封止部は、従来の排ガス浄化フィルタに用いられる目封止部と同様に構成されたものを用いることができる。目封止部は、ハニカム構造体の隔壁と同様のセラミック材料を用いて形成することができる。本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、一方の開口端部が封止され且つ他方の開口端部が開放されたセル即ち、上記所定のセルと、他方の開口端部が封止され且つ一方の開口端部が開放されたセル即ち、上記残余のセルとが交互に並び、目封止部が配置されたハニカム構造体の一方の端面において、目封止部とセルの開口端部とにより市松模様が形成されていることが好ましい。また、本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、セルの開口端部を封止する目封止部の、セルの延びる方向における長さが1mm以上、7mm以下であることが好ましい。セルの延びる方向における長さが1mm未満であると、目封止部がハニカム構造体から脱離し易くなることがある。目封止部の、セルの延びる方向における長さが7mm超であると、セルの封止部分の長さが長くなり過ぎて、排ガスを浄化するための隔壁の有効面積換言すれば、実質的な隔壁のセルの延びる方向の長さが減少し、フィルタの浄化性能が低下することがある。表面捕集層は、ハニカム構造体の排ガスが流入する側の開口端部が開口したセルの表面に配置されたものである。従来のディーゼルエンジン等の排ガス浄化フィルタにおいても、隔壁の表面に表面捕集層が配設されたものが提案されているが、本実施形態の排ガス浄化フィルタにおいては、これまでに説明したハニカム構造体の隔壁の構成に合わせて、表面捕集層の平均細孔径、気孔率、及び厚さが特定されている。特に、表面捕集層の厚さについては、極めて薄くなっている。表面捕集層の材質については特に制限はないが、ハニカム構造体の好ましい材質として挙げた材料を主成分とする材料を好適に用いることができる。特に、ハニカム構造体の材料と同一の主成分からなる材料であることが好ましい。また、本実施形態の排ガス浄化フィルタは、表面捕集層の表面や表面捕集層に形成された細孔の内面に、触媒が担持されたものであってもよい。このように触媒を担持することにより、表面捕集層の表面に堆積した粒子状物質を触媒作用により燃焼除去され易くすることができる。また、このような触媒は、隔壁に形成された細孔の内部に担持されていてもよい。触媒としては、三元触媒、NOX浄化触媒、酸化触媒等を挙げることができる。三元触媒としては、Pt、Pd、Rh等の貴金属をアルミナ、セリアを主成分とする担体に担持したもの等を挙げることができる。NOX浄化触媒としては、Ptと、NOX吸蔵成分としてのBa又はKとを、アルミナを主成分とする担体に担持したもの、Fe又はCuにより金属置換されたゼオライトを主成分とするもの、等を挙げることができる。触媒の担持量については特に制限はないが、ハニカム構造体の単位体積当りの担持量g/Lが、30g/L以下であることが好ましい。本実施形態の排ガス浄化フィルタは、粒子状物質の量が少ない排ガスを対象としており、過剰に触媒を担持すると、圧損が大きくなることがある。なお、これまでに説明した表面捕集層や隔壁の平均細孔径等の各値については、表面捕集層や隔壁に触媒が担持された場合には、触媒が担持される前の状態即ち、触媒が担持されていない表面捕集層及び隔壁において測定された値とする。[2]排ガス浄化フィルタの製造方法:以下、本発明の排ガス浄化フィルタを製造する方法について説明する。本発明のハニカム構造体を製造する方法としては、まず、排ガスの流路となる一方の端部から他方の端部まで延びる複数のセルを区画形成する多孔質セラミックからなる隔壁を有するハニカム構造体を作製する。この際、得られるハニカム構造体の隔壁の厚さを、0.05mm以上、0.18mm以下とし、隔壁の水銀圧入法により測定された平均細孔径を10μm以上、18μm以下とし、且つ隔壁の水銀圧入法により測定された細孔径分布において、平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合を5以上、40以下とする。隔壁の厚さについては、ハニカム構造体を作製するための成形用坏土を押出成形するための成形用口金のスリットの寸法を調整することによって実現することができる。また、得られるハニカム構造体の隔壁の平均細孔径、及び細孔径分布については、成形用坏土の調製に用いられるセラミック原料の粒子径及び配合処方を調整することにより、実現することができる。以下、成形用坏土の調製方法について、コージェライト化原料を用いて成形用坏土を調製する場合と、炭化珪素原料を用いて成形用坏土を調製する場合とについて、それぞれ具体的に説明する。コージェライト化原料を用いて成形用坏土を調製する場合には、コージェライト化原料に、水等の分散媒、及び所望により造孔材を加えて、更に、有機バインダ及び分散剤を添加して混練することによって、可塑性の成形用坏土を得る。コージェライト化原料とは、焼成によりコージェライトとなる原料を意味する。コージェライト化原料は、シリカSiO2が42~56質量、アルミナAl2O3が30~45質量、マグネシアMgOが12~16質量の範囲に入る化学組成となるように所定の原料が混合されたセラミック原料である。所定の原料としては、例えば、タルク、カオリン、アルミナ源原料、シリカ等を挙げることができる。なお、アルミナ源原料とは、アルミニウム酸化物、水酸化アルミニウム、ベーマイト等、焼成により酸化物化し、コージェライトの一部を形成する原料のことをいう。コージェライト化原料等の成形原料を混練して坏土を形成する方法としては特に制限はなく、例えば、ニーダー、真空土練機等を用いる方法を挙げることができる。得られるハニカム構造体の隔壁の水銀圧入法により測定された平均細孔径、及び細孔径分布は、原料として使用するタルクやシリカの粒子径と配合比率によってコントロールすることができる。より具体的には、隔壁の平均細孔径を10μm以上、18μm以下とし、且つ平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合を5以上、40以下とするためには、平均粒子径が35μm以上のシリカを原料として用いることと、平均粒子径が30μm以上のタルクを用いることと、の少なくとも一方の方法により実現することができる。勿論、シリカ及びタルク以外のその他の原料粒子の粒子径等も、隔壁の平均細孔径や細孔径分布に少なからず影響を与えるものであるが、上述した平均粒子径が35μm以上のシリカ及び平均粒子径が30μm以上のタルクのうちの少なくとも一方を、コージェライト化原料として適切な量を使用し、得られるハニカム構造体の隔壁の平均細孔径が10μm以上、18μm以下となるように成形用坏土を調製することにより、得られるハニカム構造体の隔壁の細孔径分布がブロードとなり、その結果、平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合が5以上、40以下を満足するようになる。炭化珪素原料を用いて成形用坏土を調製する場合には、炭化珪素原料に、水等の分散媒、及び所望により造孔材を加えて、更に、有機バインダ及び分散剤を添加して混練することによって、可塑性の成形用坏土を得る。得られるハニカム構造体の隔壁の水銀圧入法により測定された平均細孔径、及び細孔径分布は、炭化珪素原料の粒子径分布によってコントロールすることができる。より具体的には、隔壁の平均細孔径を10μm以上、18μm以下とし、且つ平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合を5以上、40以下とするためには、炭化珪素原料である炭化珪素粉末の粒子径分布において、粒子径の対数に対する粒子容積の分布をとった際、対数標準偏差の値が0.3μm以上である原料粒子径分布の原料炭化珪素粉末を用いることにより実現できる。このような原料粒子径分布の原料を使用し、得られるハニカム構造体の隔壁の平均細孔径が10μm以上、18μm以下となるように成形用坏土を調製することにより、得られるハニカム構造体の隔壁の細孔径分布がブロードとなり、その結果、平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合が5以上、40以下を満足するようになる。次に、得られた成形用坏土を所定の形状に成形してハニカム成形体を作製する。成形用坏土を成形してハニカム成形体を形成する方法としては特に制限はなく、押出成形、射出成形等の従来公知の成形方法を用いることができる。例えば、所望のセル形状、隔壁厚さ、セル密度を有する口金を用いて押出成形してハニカム成形体を形成する方法等を好適例として挙げることができる。口金の材質としては、摩耗し難い超硬合金が好ましい。次に、ハニカム成形体のセルの開口端部を、目封止部を形成するためのスラリーによって目封止して目封止部を形成する。その後、目封止部を形成したハニカム成形体を焼成本焼成する。ハニカム成形体を焼成する前に、仮焼きを行ってもよい。このようにして、セルの開口端部に目封止部が配設されたハニカム構造体を得ることができる。上記した仮焼きは、脱脂のために行われるものである。例えば、酸化雰囲気において550°Cで、3時間程度で行うものが挙げられるが、これに限られるものではなく、ハニカム成形体中の有機物有機バインダ、分散剤、造孔材等に応じて行われることが好ましい。一般に、有機バインダの燃焼温度は100~300°C程度、造孔材の燃焼温度は200~800°C程度であるので、仮焼温度は200~1000°C程度とすればよい。仮焼時間としては特に制限はないが、通常は、3~100時間程度である。焼成本焼成とは、仮焼体中の成形原料を焼結させて所定の強度を確保するための操作を意味する。焼成条件温度時間は、成形原料の種類により異なるため、その種類に応じて適当な条件を選択すればよい。例えば、焼成温度は一般的には、約1400~1500°C前後程度であるが、これに限定されるものではない。仮焼きと本焼成とは、別工程としてもよいが、仮焼き後に、引き続き温度を上げて、連続的に本焼成を行ってもよい。その後、得られたハニカム構造体の、排ガスが流入する側の開口端部が開口したセルの表面に、表面捕集層を形成する。表面捕集層の形成方法としては、例えば、表面捕集層を形成するための微細原料粒子を、気相工程又は液相工程で塗布し、乾燥、焼成等を行う方法を挙げることができる。このような方法により、微細原料粒子からなる表面捕集層を形成することができる。気相工程で塗布とは、微細原料粒子を気流に介して搬送換言すれば、気流に乗せて搬送して、ハニカム構造体の隔壁の表面に塗布することを意味する。このような気相工程によって表面捕集層を形成することにより、薄く均一な厚さの表面捕集層を形成することができる。また、液相工程で塗布とは、ハニカム構造体のセルの開口部から、表面捕集層を形成するための微細原料粒子を含有するスラリーを圧入して、セルを区画形成する隔壁の表面に上記スラリーを付着させ、その後、圧入したスラリーを排出し、隔壁の表面に残存したスラリーを乾燥させて、上記微細原料粒子を塗布する換言すれば、製膜することを意味する。スラリーの分散媒としては、特に制限はなく、水等を用いることができる。表面捕集層の平均細孔径、気孔率、及び厚さは、上記微細原料粒子の粒子径や、微細原料粒子を塗布する際の条件等によって調整することができる。例えば、気相工程においては、微細原料粒子の搬送量や気流の流速によって、表面捕集層の平均細孔径等を調整することもできる。また、例えば、液相工程においては、スラリーの濃度等を調整することによって、表面捕集層の平均細孔径等を調整することもできる。以上のようにして、目封止されたハニカム構造体の隔壁の表面に表面捕集層を形成して、本実施形態の排ガス浄化フィルタを製造することができる。上記製造方法においては、セルの開口端部を目封止する目封止部を形成した後に、仮焼き、及び本焼成を行って排ガス浄化フィルタを製造する例について説明しているが、目封止部は、ハニカム成形体の焼成を行った後に、別途形成してもよい。目封止部の形成方法については、所定のセルの一方の開口部にマスクを配設し、残余のセルの開口部に目封止スラリーを充填する方法を挙げることができる。なお、このような目封止部の形成方法は、例えば、公知のハニカム構造体における目封止部の作製方法に準じて行うことができる。目封止部の原料としては、上述したハニカム構造体の原料と同様の原料を用いると、ハニカム構造体と目封止部の焼成時の膨張率を同じにすることができ、耐久性の向上につながるため好ましい。また、上記製造方法においては、ハニカム構造体が、一体的に押出成形即ち、一体成形される場合の例について説明しているが、例えば、複数本のハニカムセグメントを接合したハニカムセグメント接合体からなるハニカム構造体を作製してもよい。以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例11排ガス浄化フィルタの作製:まず、排ガス浄化フィルタに用いるハニカム構造体を作製した。具体的には、コージェライト化原料として、アルミナ、水酸化アルミニウム、カオリン、タルク、及びシリカを使用し、コージェライト化原料100質量部に、分散媒を35質量部、有機バインダを6質量部、分散剤を0.5質量部、それぞれ添加し、混合、混練して成形用坏土を調製した。分散媒として水を使用し、有機バインダとしてヒドロキシプロピルメチルセルロースを使用し、分散剤としてはエチレングリコールを使用した。実施例1においては、タルクの平均粒子径を20μmとし、シリカの平均粒子径を25μmとした。調製した成形用坏土を押出成形し、ハニカム成形体を得た。得られたハニカム成形体をマイクロ波乾燥機を使用して乾燥し、更に熱風乾燥機を使用して完全に乾燥させた。その後、乾燥させたハニカム成形体の両端面を切断し、所定の寸法の長さのハニカム乾燥体を得た。次いで、ハニカム乾燥体のセルの両端面を、隣接するセルが互い違いに目封止されるように目封止部を形成した後、1410~1440°Cで5時間焼成することによって、セルの開口端部が目封止部により互い違いに封止されたハニカム構造体以下、目封止ハニカム構造体というを得た。得られた目封止ハニカム構造体の全体形状換言すれば、ハニカム構造体の全体形状は、円柱形状端面の直径が118mm、セルの延びる方向における長さが127mmであった。また、隔壁の気孔率が41であり、隔壁厚さが0.13mmであり、セル密度が31セル/cm2であった。目封止部のセルの延びる方向における長さは4mmであった。隔壁の気孔率は水銀圧入法により測定した値である。実施例1の排ガス浄化フィルタの隔壁の気孔率、隔壁厚さmm、及びセル密度セル/cm2を表1に示す。また、隔壁の平均細孔径、及び細孔径分布を、水銀圧入法により測定した。実施例1の排ガス浄化フィルタにおいては、水銀圧入法により測定された隔壁の平均細孔径が12μmであり、水銀圧入法により測定された隔壁の細孔径分布において、平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合表1においては、2倍の平均細孔径の割合と記すが6であった。隔壁の平均細孔径及び2倍の平均細孔径の割合を表1に示す。水銀圧入法による測定は、島津製作所社製の商品名:ポロシメータ型式9810を用いて行った。2倍の平均細孔径の割合は、細孔径分布を示すグラフの面積から算出した。また、得られた目封止ハニカム構造体の排ガスが流入する側の開口端部が開口したセルの表面に、表面捕集層を形成した。表面捕集層の原料微細原料粒子としては、平均粒子径が0.15μmのコージェライト粒子を用いた。表面捕集層は、微細原料粒子を気流に介して搬送することにより、排ガスが流入する側の開口端部が開口したセルの表面に塗布し、その後、300°Cで1時間、熱処理することにより凝着固定することにより形成した。表面捕集層の厚さが5μmであり、平均細孔径が0.1μmであり、気孔率が65であった。表面捕集層の平均細孔径、気孔率、及び厚さは、表面捕集層のSEM走査型電子顕微鏡画像より求めた。表面捕集層の平均細孔径は、1000倍の拡大率で撮影したSEM画像において、固体部と空隙部を2値化処理した後、空隙部に内接する円をランダムな位置で20箇所以上描き、その内接円の直径の平均値として算出される値とした。表面捕集層の気孔率は、1000倍の拡大率で撮影したSEM画像において、固体部と空隙部を2値化処理した後、空隙部と固体部の面積比率を20箇所以上の視野で求め、面積比率の平均値として算出される値とした。表面捕集層の厚さは、表面捕集層と隔壁の境界を上記SEM画像から求め、セルを区画する側の表面捕集層の表面から上記境界までの長さとして算出される値とした。2排ガス浄化フィルタの性能評価:次に、以下の方法で、得られた排ガス浄化フィルタの初期圧損比率、及び捕集効率を測定した。また、排ガス浄化フィルタの表面捕集層について、耐剥離性の評価を行った。初期圧損比率及び捕集効率の測定結果から、初期圧損と捕集効率の評価を行い、更に、全ての結果から、排ガス浄化フィルタの総合評価を行った。結果を表1に示す。[初期圧損比率]まず、排ガス浄化フィルタの圧損を測定した。具体的は方法としては、まず、排ガス浄化フィルタに、室温の空気を10Nm3/minの流量で流し、排ガス浄化フィルタの前後の圧力差即ち、流入側と流出側とにおける差圧を計測した。そして、実施例2の排ガス浄化フィルタにおける圧力差に対する、各実施例の排ガス浄化フィルタの圧力差の比率即ち、実施例1の圧力差圧損を1とした場合における比率を、各排ガス浄化フィルタの初期圧損比率として求めた。[捕集効率]排気量2リットルの直噴式ガソリンエンジンを持つ乗用車両の排気系に各実施例の排ガス浄化フィルタを搭載した際と、上記排ガス浄化フィルタを搭載しない際との、それぞれについて、シャシダイナモによる車両試験を行った。具体的には、欧州規制運転モードNEDCにて運転した際における排ガス中の粒子状物質の排出個数を、PMP欧州規制のパティキュレート計測プロトコルに沿った計測方法で計測し、その比率粒子状物質の総排出個数に対する排ガス浄化フィルタにより捕集された個数の比率より、捕集効率を求めた。[初期圧損と捕集効率の評価]各排ガス浄化フィルタの初期圧損比率の値をAとし、捕集効率の値をBとした場合に、B/Aの値を、各排ガス浄化フィルタの総合評価とした。この総合評価においては、その数値が大きいほど、排ガス浄化フィルタの評価が高いこととなる。即ち、B/Aの値は、初期圧損比率が低いか、或いは捕集効率が高い場合に、その数値が大きくなる。[耐剥離性]エアーガン栗田製作所社製の商品名エアーガンAG50を使用して0.4MPaに圧縮された空気を、各排ガス浄化フィルタの流出側端面の全体に吹きつけた。この際、エアーガンの噴出し口を、排ガス浄化フィルタを構成するハニカム構造体の流出側端面からの距離を20mmに固定して吹きつけた。上述したエアーガンによる空気の吹きつけ前後にて、排ガス浄化フィルタの質量を測定した。空気の吹きつけ前後の質量の変化により、表面捕集層を構成する粉末が排出されているか否か換言すれば、表面捕集層が剥離しているか否かを判断することができる。質量の変化が確認されない場合をOK合格とし、質量の変化が確認された場合をNG不合格とした。[総合評価]初期圧損と捕集効率の評価及び耐剥離性の評価の結果から、各排ガス浄化フィルタの総合評価を行った。耐剥離性の評価の結果がNG、又は初期圧損と捕集効率の評価が70未満の場合をNG不合格とし、耐剥離性の評価の結果がOKで、且つ初期圧損と捕集効率の評価が70以上の場合をOK合格とした。実施例2~14、比較例1~13隔壁厚さ、平均細孔径、平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の割合、及びセル密度を、表1に示すように変更し、更に、表面捕集層の構成を表1に示すように変更した以外は、実施例1の排ガス浄化フィルタと同様の方法により排ガス浄化フィルタを作製した。比較例1~4については、表面捕集層を形成しなかった。表1の表面捕集層の有無の欄において、隔壁の表面に表面捕集層を形成した実施例1~14及び比較例5~13については有りと示し、表面捕集層を形成しなかった比較例1~4については無しと示す。なお、成形用坏土を調製する際に、実施例2、9~12、14においては、タルクの平均粒子径を20μmとし、シリカの平均粒子径を25μmとした。実施例3においては、タルクの平均粒子径を25μmとし、シリカの平均粒子径を25μmとした。また、実施例4においては、タルクの平均粒子径を30μmとし、シリカの平均粒子径を35μmとした。実施例5においては、タルクの平均粒子径を35μmとし、シリカの平均粒子径を35μmとした。実施例6においては、タルクの平均粒子径を40μmとし、シリカの平均粒子径を45μmとした。実施例7においては、タルクの平均粒子径を45μmとし、シリカの平均粒子径を45μmとした。実施例8においては、タルクの平均粒子径を50μmとし、シリカの平均粒子径を50μmとした。実施例13においては、タルクの平均粒子径を35μmとし、シリカの平均粒子径を40μmとした。比較例1、2、7においては、実施例3と同様に調製された成形用坏土を用いた。比較例3においては、タルクの平均粒子径を20μmとし、シリカの平均粒子径を15μmとした。比較例4においては、タルクの平均粒子径を50μmとし、シリカの平均粒子径を30μmとした。比較例5においては、タルクの平均粒子径を20μmとし、シリカの平均粒子径を20μmとした。比較例6においては、実施例2と同様に調製された成形用坏土を用いた。比較例8~13においては、実施例4と同様に調製された成形用坏土を用いた。また、実施例2及び4~12においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、平均粒子径が6μmのコージェライト粒子を用いた。実施例3においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、平均粒子径が3μmのコージェライト粒子を用い、微細原料粒子を塗付する際の気流速度を排ガス浄化フィルタの入り口で1m/秒と高めに設定した。その他の実施例では、気流速度を0.3m/秒とした。実施例13及び14においては、実施例1と同様の方法で表面捕集層を形成した。比較例5においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、0.08μmのコージェライト粒子を用いた。比較例6においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、平均粒子径が8μmのコージェライト粒子を用いた。比較例7及び13においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、平均粒子径が6μmのコージェライト粒子と、平均粒子径が5μmの造孔用のカーボン粒子を用いた。比較例8及び9においては、表面捕集層の厚さを変更した以外は、実施例2の排ガス浄化フィルタの表面捕集層と同様の方法で表面捕集層を形成した。比較例10においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、粉砕コージェライトを用いた。比較例11においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、微粉砕コージェライトを用いた。比較例12においては、表面捕集層を形成する微細原料粒子として、微粉砕コージェライトを用いた。実施例2~14、及び比較例1~13の排ガス浄化フィルタについて、実施例1の排ガス浄化フィルタと同様の方法で、初期圧損比率及び捕集効率を測定した。また、排ガス浄化フィルタの表面捕集層について、耐剥離性の評価を行った。また、初期圧損比率及び捕集効率の測定結果から、初期圧損と捕集効率の評価を行い、更に、全ての結果から、排ガス浄化フィルタの総合評価を行った。結果を表1に示す。結果表1の結果から明らかなように、実施例1~14の排ガス浄化フィルタは、初期圧損と捕集効率の評価の値が全て高く、また、耐剥離性についても良好な結果であった。従って、総合評価も良好なものであった。特に、初期圧損比率と捕集効率の結果において、初期圧損と捕集効率の評価を著しく低下させるような、極端に悪い結果が、全ての実施例において確認されなかった。即ち、初期圧損比率と捕集効率とのそれぞれがバランスよく高い結果となっていた。また、実施例1~14の排ガス浄化フィルタの捕集効率の結果については、良好な結果を示す実施例が多く、本発明の排ガス浄化フィルタに用いられるハニカム構造体に対して、表面捕集層を備えた構成を採用することにより、圧損の過剰な上昇を抑制しつつ、捕集効率を良好に向上させることが可能であることが分かった。一方、比較例1及び4の排ガス浄化フィルタは、初期圧損比率については良好な結果であったが、捕集効率が極めて低く、初期圧損と捕集効率の評価が悪いという結果となった。また、比較例2及び3の排ガス浄化フィルタは、初期圧損比率が極めて高く、初期圧損と捕集効率の評価が悪いという結果となった。特に、比較例2及び3の排ガス浄化フィルタにおいて、更に捕集効率を向上させようとすれば、更なる初期圧損の上昇を招くことが予想され、比較例2及び3の排ガス浄化フィルタを、粒子状物質の量が少ない排ガスを浄化するフィルタとして用いることは困難である。また、表面捕集層を備えた排ガス浄化フィルタであっても、表面捕集層の厚さが薄すぎる場合には、表面捕集層による効果が十分に発現せず、捕集効率がほとんど向上しなかった。一方、表面捕集層の厚さが厚すぎる場合には、初期圧損が上昇してしまった。また、表面捕集層の平均細孔径についても、特定の数値範囲としない場合には、捕集効率又は初期圧損のいずれか一方の評価が悪くなってしまった。また、表面捕集層の気孔率が高すぎる場合には、表面捕集層が剥離しやすくなってしまった。表面捕集層の気孔率が低すぎる場合には、初期圧損が上昇してしまった。以上の結果から、隔壁厚さ、平均細孔径、及び平均細孔径の2倍の大きさ以上の細孔の容積の全細孔容積に対する割合2倍の平均細孔径の割合のいずれか1つでも、本発明において規定される数値範囲を外れると、初期圧損又は捕集効率が著しく低下し、特定のエンジン用の排ガス浄化フィルタとして不適なものとなってしまうことが分かった。更に、特定の表面捕集層を備えた構成を採用することにより、圧損の過剰な上昇を抑制しつつ、捕集効率を良好に向上させることが可能であることが分かった。"