脆性材料基板に対して進退させられることによって、スクライビングホイールの進行方向に沿ったスクライブラインを、前記脆性材料基板上に形成するスクライブヘッドであって、前記進行方向と略垂直な第1回転軸を中心に、前記スクライビングホイールを回転可能に支持するホルダと、前記ホルダの上方に設けられたホルダ取付ブロックと、下部に前記ホルダが取り付けられるとともに、前記進行方向および前記第1回転軸のそれぞれと略垂直な第2回転軸を中心に回転させられることによって、前記ホルダ取付ブロックに対して揺動可能に支持されるホルダジョイントと、前記ホルダジョイントを前記ホルダ取付ブロックに対して固定させるための固定動作を担う固定部と、を備え、前記固定部は、前記ホルダジョイントを前記ホルダ取付ブロックに対して固定させる固定力が前記ホルダ取付ブロックにおいて前記第2回転軸と略平行な向きの力として作用するように動作し、前記第1回転軸は、前記第2回転軸の直下から前記スクライビングホイールの進行方向に沿ってズレて配置されることを特徴とするスクライブヘッド。請求項1に記載のスクライブヘッドにおいて、前記ホルダジョイントは、前記ホルダ取付ブロックに対して回転可能に支持された旋回部、を有しており、前記ホルダ取付ブロックは、前記第2回転軸に沿って延びる中空状の筒体を有するコレットチャックと、前記筒体と同心状とされており、前記コレットチャックの上方から前記コレットチャックに向かって延びる円環状の壁部、を有するコレットリングと、前記コレットリングの上方に設けられており、前記コレットリングを前記第2回転軸と略平行に押込む押込み部と、を有し、前記ホルダジョイントの前記旋回部は、前記コレットチャックの前記筒体に挿入された状態で前記ホルダ取付ブロックに対して回転可能とされてなるとともに、前記固定部は、前記押込み部に押込み動作をさせることによって、前記押込み部に前記固定力として前記コレットリングを前記第2回転軸と略平行に押込む押込み力を生じさせ、前記押込み部からの前記押込み力が前記コレットリングに付与されることにより、前記壁部により囲繞された囲繞空間において前記筒体が前記壁部と前記旋回部とに当接することによって、前記ホルダジョイントの前記旋回部が前記コレットチャックに固定される、ことを特徴とするスクライブヘッド。請求項2に記載のスクライブヘッドにおいて、前記押込み部の外周には、雄ネジが形成されており、前記ホルダ取付ブロックの上部には、前記雄ネジに対応するネジ孔が設けられており、前記固定部は、前記押込み部を回転させ、前記押込み部の先端を前記ホルダ取付ブロック内にねじ入れさせることによって、前記コレットリングに前記押込み力を付与することを特徴とするスクライブヘッド。請求項3に記載のスクライブヘッドにおいて、前記ホルダ取付ブロックを上下方向に移動させることによって、前記ホルダに支持された前記スクライビングホイールから前記脆性材料基板に押圧力を付与する昇降部、をさらに備え、前記昇降部は、前記ホルダ取付ブロックの上方に配置されており、前記上下方向の駆動力を供給する駆動力供給源と、前記上下方向に沿って配置された前記ホルダ取付ブロックおよび前記駆動力供給源の間に設けられており、前記駆動力を前記ホルダ取付ブロックに伝達する伝達部と、前記上下方向に沿って移動するように、前記ホルダ取付ブロックをガイドするガイド機構と、を有し、前記固定部は、前記押込み部の上方に配置されており、前記押込み部を回転させる第1回転要素と、前記第1回転要素の側方に配置されており、前記第1回転要素と連動連結された第2回転要素と、前記第2回転要素を回転させることによって、前記第2回転要素から前記第1回転要素に回転力を付与する回転力供給源と、を有しており、前記伝達部は、前記上下方向に沿って配置された前記押込み部および前記第1回転要素を跨ぐように設けられていることを特徴とするスクライブヘッド。請求項1から請求項4のいずれかに記載のスクライブヘッドにおいて、前記コレットチャックは、前記筒体の下部に設けられるとともに、中心付近で前記筒体内の中空空間と連通する貫通孔が形成された円環板、をさらに有しており、前記ホルダ取付ブロックは、前記円環板の下に配置されており、前記旋回部を軸支えするベアリング、をさらに有しており、前記ベアリングは、前記ホルダ取付ブロックの底部と、前記円環板と、の間に挟まれていることを特徴とするスクライブヘッド。請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のスクライブヘッドと、前記脆性材料基板を保持しつつ、保持された前記脆性材料基板を前記スクライブヘッドに対して相対的に移動させる保持ユニットと、を備えることを特徴とするスクライブ装置。このように、特許文献1の技術では、2つの軸第1および第2軸によりスクライビングホイールの姿勢が調整される。すなわち、スクライブラインが基板上に形成される場合、スクライブヘッドの各軸は、固定されていない。これにより、スクライビングホイール、並びに第1および第2軸の位置関係によっては、スクライブラインは、スクライビングホイールの進行方向並びに第1および第2軸と略垂直な方向以下、単に、うねり方向とも呼ぶに波打つ。その結果、ガラス基板と比較して高精度なスクライブラインが要求される半導体基板の場合には、うねり方向におけるスクライブラインの振れ幅以下、単にスクライブラインの形成幅とも呼ぶが、許容値以上となるという問題が生ずる。そこで、本発明では、良好なスクライブラインを形成することができるスクライブヘッド、およびスクライブ装置を提供することを目的とする。上記の課題を解決するため、請求項1の発明は、脆性材料基板に対して進退させられることによって、スクライビングホイールの進行方向に沿ったスクライブラインを、前記脆性材料基板上に形成するスクライブヘッドであって、前記進行方向と略垂直な第1回転軸を中心に、前記スクライビングホイールを回転可能に支持するホルダと、前記ホルダの上方に設けられたホルダ取付ブロックと、下部に前記ホルダが取り付けられるとともに、前記進行方向および前記第1回転軸のそれぞれと略垂直な第2回転軸を中心に回転させられることによって、前記ホルダ取付ブロックに対して揺動可能に支持されるホルダジョイントと、前記ホルダジョイントを前記ホルダ取付ブロックに対して固定させるための固定動作を担う固定部と、を備え、前記固定部は、前記ホルダジョイントを前記ホルダ取付ブロックに対して固定させる固定力が前記ホルダ取付ブロックにおいて前記第2回転軸と略平行な向きの力として作用するように動作し、前記第1回転軸は、前記第2回転軸の直下から前記スクライビングホイールの進行方向に沿ってズレて配置されることを特徴とする。また、請求項2の発明は、請求項1に記載のスクライブヘッドにおいて、前記ホルダジョイントは、前記ホルダ取付ブロックに対して回転可能に支持された旋回部、を有しており、前記ホルダ取付ブロックは、前記第2回転軸に沿って延びる中空状の筒体を有するコレットチャックと、前記筒体と同心状とされており、前記コレットチャックの上方から前記コレットチャックに向かって延びる円環状の壁部、を有するコレットリングと、前記コレットリングの上方に設けられており、前記コレットリングを前記第2回転軸と略平行に押込む押込み部と、を有し、前記ホルダジョイントの前記旋回部は、前記コレットチャックの前記筒体に挿入された状態で前記ホルダ取付ブロックに対して回転可能とされてなるとともに、前記固定部は、前記押込み部に押込み動作をさせることによって、前記押込み部に前記固定力として前記コレットリングを前記第2回転軸と略平行に押込む押込み力を生じさせ、前記押込み部からの前記押込み力が前記コレットリングに付与されることにより、前記壁部により囲繞された囲繞空間において前記筒体が前記壁部と前記旋回部とに当接することによって、前記ホルダジョイントの前記旋回部が前記コレットチャックに固定されることを特徴とする。また、請求項3の発明は、請求項2に記載のスクライブヘッドにおいて、前記押込み部の外周には、雄ネジが形成されており、前記ホルダ取付ブロックの上部には、前記雄ネジに対応するネジ孔が設けられており、前記固定部は、前記押込み部を回転させ、前記押込み部の先端を前記ホルダ取付ブロック内にねじ入れさせることによって、前記コレットリングに前記押込み力を付与することを特徴とする。また、請求項4の発明は、請求項3に記載のスクライブヘッドにおいて、前記ホルダ取付ブロックを上下方向に移動させることによって、前記ホルダに支持された前記スクライビングホイールから前記脆性材料基板に押圧力を付与する昇降部、をさらに備え、前記昇降部は、前記ホルダ取付ブロックの上方に配置されており、前記上下方向の駆動力を供給する駆動力供給源と、前記上下方向に沿って配置された前記ホルダ取付ブロックおよび前記駆動力供給源の間に設けられており、前記駆動力を前記ホルダ取付ブロックに伝達する伝達部と、前記上下方向に沿って移動するように、前記ホルダ取付ブロックをガイドするガイド機構と、を有し、前記固定部は、前記押込み部の上方に配置されており、前記押込み部を回転させる第1回転要素と、前記第1回転要素の側方に配置されており、前記第1回転要素と連動連結された第2回転要素と、前記第2回転要素を回転させることによって、前記第2回転要素から前記第1回転要素に回転力を付与する回転力供給源と、を有しており、前記伝達部は、前記上下方向に沿って配置された前記押込み部および前記第1回転要素を跨ぐように設けられていることを特徴とする。また、請求項5の発明は、請求項1から請求項4のいずれかに記載のスクライブヘッドにおいて、前記コレットチャックは、前記筒体の下部に設けられるとともに、中心付近で前記筒体内の中空空間と連通する貫通孔が形成された円環板、をさらに有しており、前記ホルダ取付ブロックは、前記円環板の下に配置されており、前記旋回部を軸支えするベアリング、をさらに有しており、前記ベアリングは、前記ホルダ取付ブロックの底部と、前記円環板と、の間に挟まれていることを特徴とする。また、請求項6の発明は、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のスクライブヘッドと、前記脆性材料基板を保持しつつ、保持された前記脆性材料基板を前記スクライブヘッドに対して相対的に移動させる保持ユニットとを備えることを特徴とする。請求項1から請求項6に記載の発明によれば、スクライビングホイールの第1回転軸は、ホルダジョイントの第2回転軸の直下から、スクライビングホイールの進行方向に沿ってズレている。これにより、スクライビングホイールにはキャスター効果が生ずる。また、請求項1から請求項6に記載の発明によれば、固定部の作用により第2回転軸と略平行な固定力が付与されることによって、ホルダ取付ブロックに対して揺動可能とされたホルダジョイントが、ホルダ取付ブロックに対して固定される。この場合、ホルダジョイントは、スクライビングホイールの進行方向と略同一方向の力、およびスクライビングホイールの回転軸方向と略同一方向の力、を固定力として受けない。そして、この固定によって、スクライブライン形成時におけるキャスター効果が無効化される。これらにより、脆性材料基板に対するスクライビングホイールの姿勢調整のように、ホルダ取付ブロックに対してホルダジョイントを揺動させる必要がある場合には、固定部による固定を解除し、スクライビングホイールにキャスター効果を生じさせることができる。一方、固定部の作用によりホルダジョイントがホルダ取付ブロックに固定されており、キャスター効果を無効化した場合には、スクライブラインの形成幅を、ホルダジョイントが固定されていない場合と比較して、小さくすることができる。加えて、固定力として第2回転軸と略平行な押込み力が付与されるので、例えば、姿勢調整を行った後、ホルダジョイントを固定するにあたって、固定力に起因してホルダジョイントの固定位置がズレることが抑制される。すなわち、姿勢調整を良好に完了することが出来る。これにより、スクライビングホイールの姿勢調整時においてはホルダ取付ブロックに対するホルダジョイントの回転位置を容易に変更でき、スクライブラインの形成時においてはスクライブラインの形成幅が増大すること有効に抑制することができる。特に、請求項2に記載の発明によれば、固定部の作用により、押込み部からコレットリングに対して押込み力が付与される。これにより、コレットチャックの筒体がコレットリングの囲繞空間に挿入された状態で、ホルダジョイントの旋回部がコレットチャックに固定される。すなわち、コレットリングおよびコレットチャックによって、ホルダジョイントの旋回部が良好に固定される。特に、請求項3に記載の発明によれば、押込み部が回転させられ、押込み部の先端がホルダ取付ブロック内にねじ入れられると、押込み部は、コレットリングに押込み力を付与し続ける。そのため、コレットリングに押込み力が付与された状態を良好に維持することができ、結果として、コレットチャックに対してホルダジョイントの旋回部が固定された状態を良好に維持することができる。特に、請求項4に記載の発明によれば、伝達部は、固定部の第1回転要素と、ホルダ取付ブロックの押込み部と、を跨ぐように設けられている。これにより、スクライビングホイールから脆性材料基板に付与される押圧力と、押込み部を下向きに押込む押込み力とが略同一直線上にて作用するように、第1回転要素および押込み部を配置することができる。これにより、スクライブラインの形成時においてキャスタ効果が無効化された状態をさらに良好に維持しつつ、スクライブラインの形成幅が増大することさらに有効に抑制することができる。特に、請求項5に記載の発明のよれば、押込み力がコレットリングに付与されると、コレットチャックの円環部は、下方向に押さえ付けられる。これにより、ホルダ取付ブロックの底部と円環板との間に配置されたベアリングに圧縮力が付与され、ベアリングの回転が阻害される。そのため、ホルダ取付ブロックに対してホルダジョイントを、さらに良好に固定することができる。以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。<1.スクライブ装置の構成>図1および図2は、それぞれスクライブ装置1の全体構成の一例を示す正面図および側面図である。図3は、スクライビングホイール60付近の構成の一例を示す正面図である。スクライブ装置1は、例えばガラス基板またはセラミックス基板等のように、脆性材料で形成された基板以下、単に、脆性材料基板とも呼ぶ4の表面に、スクライブライン切りすじ:縦割れを入れる装置である。図1および図2に示すように、スクライブ装置1は、主として、保持ユニット10と、スクライブユニット20と、撮像部ユニット80と、制御ユニット90と、を備えている。なお、図1および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Z軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系が付されている。ここで、図3に示すように、スクライブ装置1により脆性材料基板4の表面にスクライブラインSLが形成されると、脆性材料基板4には、垂直方向Z軸方向に延びる垂直クラックKが発生するスクライブ工程。この垂直クラックKが発生した脆性材料基板4に対して応力を付与することブレーク工程によって、スクライブラインSLが形成された側の主面からその逆側の主面まで垂直クラックKを成長させ、脆性材料基板4を切断する手法を、割断と呼ぶ。一方、スクライブ工程のみによってすなわち、ブレーク工程を実行することなく、垂直クラックKを脆性材料基板4のスクライブラインSLの主面から逆側の主面まで伸展させ、脆性材料基板4を切断する手法を、分断と呼ぶ。これら割断および分断は、切断のための本質的要素が垂直クラックの伸展であり、切りくずが出ない点で、切りくずを出すことが切断のための本質的要素であるダイヤモンドカッティングソー若しくはホイール、またはダイヤモンドダイシングソーを用いた研削切断よりも好ましい切断手法である。本実施の形態のスクライブ方法により割断または分断可能な脆性材料基板4の材質の例としては、ガラス、セラミック、シリコン、またはサファイア等が挙げられる。特に近年、通信機器関連の高周波モジュールに用いる基板として、HTCCHighTemperatureCofiredCeramicsから、比較的加工のしやすいLTCCLowTemperatureCofiredCeramicsへの移行が加速している。そのため、本実施の形態のスクライブ方法は、益々有効に用いられることになる。保持ユニット10は、脆性材料基板4を保持するとともに、保持された脆性材料基板4をスクライブユニット20に対して相対的に移動させる。図1に示すように、保持ユニット10は、基部10a上に設けられており、主として、テーブル11と、ボールねじ機構12と、モータ13と、を有している。ここで、基部10aは、例えば略直方体状の石定盤により形成されており、その上面保持ユニット10と対向する面は、平坦加工されている。これにより、基部10aの熱膨張を低減でき、保持ユニット10に保持された脆性材料基板4を良好に移動させることができる。テーブル11は、載置された脆性材料基板4を吸着保持する。また、テーブル11は、保持された脆性材料基板4を、矢印AR1方向X軸プラスまたはマイナス方向:以下、単に、進退方向とも呼ぶに進退させるとともに、矢印R1方向に回転させる。図1および図2に示すように、テーブル11は、主として、吸着部11aと、回転台11bと、移動台11cと、を有している。吸着部11aは、回転台11bの上側に設けられている。図1および図2に示すように、吸着部11aの上面には、脆性材料基板4が載置可能とされている。また、吸着部11aの上面には、複数の吸着溝図示省略が格子状に配置されている。したがって、脆性材料基板4が載置された状態で、各吸着溝内の雰囲気が排気吸引されることによって、脆性材料基板4は、吸着部11aに対して吸着される。回転台11bは、吸着部11aの下側に設けられており、Z軸と略平行な回転軸11dを中心に吸着部11aを回転させる。また、移動台11cは、回転台11bの下側に設けられており、進退方向に沿って、吸着部11aおよび回転台11bを移動させる。したがって、テーブル11に吸着保持された脆性材料基板4は、矢印AR1方向に進退させられるとともに、吸着部11aの進退動作にともなって移動する回転軸11dを中心に回転させられる。ボールねじ機構12は、テーブル11の下側に配置されており、テーブル11を矢印AR1方向に進退させる。図1および図2に示すように、ボールねじ機構12は、主として、送りネジ12aと、ナット12bと、を有している。送りネジ12aは、テーブル11の進退方向に沿って延びる棒体である。送りネジ12aの外周面には、螺旋状の溝図示省略が設けられている。また、送りネジ12aの一端は支持部14aにより、送りネジ12aの他端は支持部14bにより、それぞれ回転可能に支持されている。さらに、送りネジ12aは、モータ13と連動連結されており、モータ13が回転すると、その回転方向に送りネジ12aが回転する。ナット12bは、送りネジ12aの回転にしたがい、不図示のボールの転がり運動によって、矢印AR1方向に進退する。図1および図2に示すように、ナット12bは、移動台11cの下部に固定されている。したがって、モータ13が駆動させられ、モータ13の回転力が送りネジ12aに伝達されると、ナット12bは、矢印AR1方向に進退する。その結果、ナット12bが固定されているテーブル11は、ナット12bと同様に矢印AR1方向に進退する。一対のガイドレール15、16は、進行方向におけるテーブル11の移動を規制する。図2に示すように、一対のガイドレール15、16は、基部10a上において、矢印AR2方向に所定距離だけ隔てて固定されている。複数本実施の形態では2つの摺動部1717a、17bは、ガイドレール15に沿って矢印AR1方向に摺動自在とされている。図1および図2に示すように、摺動部1717a、17bは、移動台11cの下部において、矢印AR1方向に所定距離だけ隔てて固定されている。複数本実施の形態では2つの摺動部18は、ガイドレール16に沿って矢印AR1方向に摺動自在とされている。ただし、図示の都合上、一の摺動部18aのみを図2に示している。摺動部18は、摺動部17と同様に、移動台11cの下部において、進退方向に所定距離だけ隔てて固定されている。このような構成を有する保持ユニット10においては、モータ13の回転力がボールねじ機構12に付与されると、テーブル11が、一対のガイドレール15、16に沿って移動する。これにより、進退方向におけるテーブル11の直進性が確保される。スクライブユニット20は、保持ユニット10に保持された脆性材料基板4に対し、スクライビングホイール60図3参照を圧接転動させることによって、脆性材料基板4の表面にスクライブラインSLを形成する。図1および図2に示すように、スクライブユニット20は、主として、スクライビングホイール60を保持するスクライブヘッド30と、駆動部70と、を有している。スクライブヘッド30は、スクライビングホイール60を保持する。また、スクライブヘッド30においては、後述する昇降部50図9および図10参照の作用により、保持されたスクライビングホイール60から脆性材料基板4の表面に対し、保持しているスクライビングホイール60を脆性材料基板4の表面に圧接させる際の押圧力以下、単に、スクライブ荷重とも呼ぶが調整される。なお、スクライブヘッド30の詳細な構成については、後述する。駆動部70は、スクライビングホイール60が設けられたスクライブヘッド30を、矢印AR2方向Y軸プラスまたはマイナス方向:以下、単に、往復方向とも呼ぶに往復させる。図2に示すように、駆動部70は、主として、複数本実施の形態では2本の支柱7171a、71bと、複数本実施の形態では2本のガイドレール72と、モータ73と、を有している。支柱7171a、71bは、基部10aから上下方向Z軸方向に延びる。図2に示すように、各ガイドレール72は、支柱71a、71bの間に挟まれた状態で、これら支柱71a、71bに対して固定される。ガイドレール72は、往復方向におけるスクライブヘッド30の移動を規制する。図2に示すように、ガイドレール72は、上下方向に所定距離だけ隔てて固定されている。モータ73は、不図示の送り機構例えば、ボールねじ機構と連動連結されている。これにより、モータ73が回転すると、スクライブヘッド30は、ガイドレール72に沿って矢印AR2方向に往復する。スクライビングホイール60は、ダイヤモンド含有物を成形したものである。ここで、このダイヤモンド含有物の一例としては、焼結ダイヤモンドPolycrystallinediamond:単にPCDとも称する、多結晶体ダイヤモンド、天然単結晶ダイヤモンド、および合成単結晶ダイヤモンドが挙げられる。撮像部ユニット80は、保持ユニット10に保持された脆性材料基板4を撮像する。図2に示すように、撮像部ユニット80は、複数本実施の形態では2台のカメラ8585a、85bを有している。カメラ8585a、85bは、図1および図2に示すように、保持ユニット10の上方に配置されている。カメラ8585a、85bは、脆性材料基板4上に形成された特徴的な部分例えば、アライメントマーク図示省略の画像を撮像する。そして、カメラ8585a、85bにより撮像された画像に基づいて、脆性材料基板4の位置および姿勢が求められる。ここで、脆性材料基板4の位置とは、絶対座標系における脆性材料基板4上の任意の位置を言うものとする。また、脆性材料基板4の姿勢とは、スクライブヘッド30の往復方向に対する脆性材料基板4の基準線例えば、脆性材料基板4が角形の場合、4辺のうちの1辺の傾きを言うものとする。角形の脆性材料基板4が割断または分断される場合、脆性材料基板4の4つのコーナーのうち、隣接する2つのコーナーにアライメントマークが形成される。各アライメントマークは、対応するカメラ85a、85bで撮像され、これら撮像された画像に基づいて、絶対座標系における各アライメントマークの位置が求められる。そして、これらアライメントマークの位置に基づいて、脆性材料基板4の位置および姿勢が演算される。制御ユニット90は、スクライブ装置1の各要素の動作制御、およびデータ演算を実現する。図1および図2に示すように、制御ユニット90は、主として、ROM91と、RAM92と、CPU93と、を有している。ROMReadOnlyMemory91は、いわゆる不揮発性の記憶部であり、例えば、プログラム91aが格納されている。なお、ROM91としては、読み書き自在の不揮発性メモリであるフラッシュメモリが使用されてもよい。RAMRandomAccessMemory92は、揮発性の記憶部であり、例えば、CPU93の演算で使用されるデータが格納される。CPUCentralProcessingUnit93は、ROM91のプログラム91aに従った制御例えば、シリンダ51の進退動作、ロータリーアクチュエータ55aの回転動作、および駆動部70によるスクライブヘッド30の往復動作等の制御、および脆性材料基板4の位置演算等のデータ処理を実行する。<2.スクライブヘッドの構成>図4は、ホルダ取付ブロック40付近の構成の一例を示す側面図である。図5は、スクライビングホイール60付近の構成の一例を示す下面図である。図6は、キャスター効果を説明するための下面図である。図7は、ホルダジョイント35がホルダ取付ブロック40に固定された後の様子を示す側面図である。図8は、図7のV-V線から見たホルダ取付ブロック40付近の断面図である。図9および図10は、スクライブヘッド30付近の構成の一例を示す側面図および正面図である。スクライブヘッド30は、脆性材料基板4に対して進退させられることによって、スクライビングホイール60の進行方向矢印AR2方向:図2参照に沿ったスクライブラインSL図3参照を、脆性材料基板4上に形成する。図4および図7ないし図10に示すように、スクライブヘッド30は、主として、ホルダ31と、ホルダジョイント35と、ホルダ取付ブロック40と、昇降部50と、固定部55と、を有している。なお、図9では、図示の都合上、固定部55の一部ロータリーアクチュエータ55aおよび駆動側歯車56aが省略されている。ホルダ31は、図4に示すように、スクライビングホイール60の進行方向と略垂直な第1回転軸32aを中心に、スクライビングホイール60を回転可能に支持する。ホルダ31は、図4に示すようにホルダジョイント35の下部に取り付けられており、図3ないし図8に示すように、主として、ピン32と、支持枠体33と、を有している。ピン32は、スクライビングホイール60を貫通する棒体である。図3および図5に示すように、スクライビングホイール60の貫通孔60aにピン32が挿入されることによって、ピン32は、スクライビングホイール60に対して固定される。すなわち、貫通孔60aは、X軸と略平行な第1回転軸32aに沿って延びている。支持枠体33は、図3に示すように、貫通孔60aの両開口両端を覆うように配置された構造物である。貫通孔60aの両端から突出するピン32は、支持枠体33に対して、回転可能に設置されている。したがって、スクライビングホイール60は、支持枠体33に対して回転自在とされている。ホルダジョイント35は、後述する固定時を除き、スクライビングホイール60の進行方向および第1回転軸32aのそれぞれと略垂直な第2回転軸38aを中心に回転可能とされており、ホルダ取付ブロック40に対して揺動可能に支持される。図4に示すように、ホルダジョイント35は、主として、取付片36と、旋回部38と、を有している。取付片36は、ホルダジョイント35の下部にホルダ31を取り付けるための取付要素である。図4に示すように、取付片36は、ホルダジョイント35の下端に設けられており、取付片36の形状は、スクライビングホイール60の進行方向に向かって略L字状とされている。旋回部38は、図4に示すように、ベアリング46、47の内径面に挿嵌され、さらに、コレットチャック44の筒体44bのなす中空空間44dに挿入されている。これにより、旋回部38は、後述する固定時を除き、第2回転軸38aを中心に、ホルダ取付ブロック40に対して回転可能に支持されている。また、図5に示すように、下面から見た旋回部38の回転軸38aの位置と、脆性材料基板4におけるスクライビングホイール60の接触位置60cとは、XY平面内においてズレている。すなわち、図5に示すように、スクライビングホイール60の第1回転軸32aは、回転軸38aの直下からスクライビングホイール60の進行方向Y軸方向に沿ってズレている。そのため、後述する固定時を除き、スクライビングホイール60の進行方向が、図6に示すように、矢印AR32点鎖線方向から矢印AR4実線方向に変化すると、キャスター効果によりスクライビングホイール60には、回転軸38a周りのトルクが働く。これにより、スクライビングホイール60は矢印R2方向に回動し、スクライビングホイール60の位置は2点鎖線位置から実線位置に変化する。すなわち、ホルダジョイント35がホルダ取付ブロック40に固定されていない場合、スクライビングホイール60の姿勢と進行方向とが略平行な状態から、スクライビングホイール60の進行方向が変化し、スクライビングホイール60の姿勢が進行方向に対して角度θ1だけズレたとしても、矢印R2方向のトルクが働き、スクライビングホイール60は旋回することで、スクライビングホイール60の姿勢は、再びスクライビングホイール60の進行方向と略平行となる。ホルダ取付ブロック40は、図4、図7および図8に示すように、ホルダジョイント35の取付片36の上方、およびホルダ31の上方に設けられており、主として、コレットリング42と、コレットチャック44と、ベアリング46、47と、押込みボルト48と、を有している。押込みボルト48、コレットリング42、コレットチャック44、ベアリング46、47は、Z軸プラス側からこの順番に配置されている。ホルダ取付ブロック40は、上述のようにホルダジョイント35を揺動可能に支持する一方、以下に示すように、押込みボルト48、コレットリング42、コレットチャック44、固定部55等の作用によって、ホルダジョイント35を固定し、キャスター効果を無効化できるようにも構成されている。押込みボルト48押込み部は、図4、図7および図8に示すように、コレットリング42の上方に設けられている。押込みボルト48は、円盤状の回転板48aと、回転板48aの中心付近から下側に延びる円柱体48bとを有している。円柱体48bの外周には、雄ネジが形成されており、取付ブロック本体40aの上部には、雄ネジに対応するネジ孔40bが形成されている。そして、円柱体48bがネジ孔40bに挿入された状態で、回転板48aが回転させられると、円柱体48bがネジ孔40bにねじ入れられる。すなわち、押込みボルト48は、取付ブロック本体40aの上部にネジ止めされており、そのネジ込みの程度を違えることにより、押込みボルト48の先端48cは、上下方向に移動可能とされている。押込みボルト48の円柱体48bがホルダ取付ブロック本体40a内にねじ入れられて、押込みボルト48の先端48cがコレットリング42の上面に押し当てられると、押込みボルト48は、コレットリング42を下向きに押込む押込み力を、第2回転軸38aと略平行な固定力として付与する。押込みボルト48のねじ入れは、固定部55が押込みボルト48を回転させることによって実現される。固定部55の詳細については後述する。なお、図4、図7および図8に示すように、押込みボルト48の先端48cは、略球状とされているので、押込みボルト48の先端48cは、コレットリング42に点接触することができる。これにより、ホルダ取付ブロック40に対しホルダジョイント35をさらに良好に固定することができる。コレットリング42およびコレットチャック44は、ホルダ取付ブロック40に対してホルダジョイント35を固定する固定要素である。図4、図7および図8に示すように、コレットチャック44は、主として、円環板44aと、筒体44bと、を有している。筒体44bは、第2回転軸38aに沿って延びる中空状の部材である。図4、図7および図8に示すように、筒体44bは、円環板44aと同心状となるように形成されている。上述のように、筒体44bのなす中空空間44dには、ホルダジョイント35の旋回部38が挿入される。筒体44bは、その内径D11図8参照がZ軸方向について同じ値を保ちつつ可変可能であるように構成されている。一方、筒体44bの外径D12図8参照は、上方コレットリング42側から下方ベアリング46側に向かうに従って、徐々に幅広となり、その後一定幅となる。円環板44aは、筒体44bの下部に設けられた板体である。平面視におけるZ軸プラス側から見た円環板44aの中心付近には、筒体44b内の中空空間44dと連通する貫通孔44cが形成されている。また、図4、図7および図8に示すように、コレットリング42は、主として、円盤体42aと、外壁42bと、内壁42cと、を有している。円盤体42aは、コレットリング42の上部に設けられた板体である。外壁42bは、円盤体42aの外周に沿って形成された円環状の壁部である。内壁42cは、外壁42bの内側に設けられており、コレットチャック44の筒体44bと同心状とされた円環状の壁部である。図4、図7および図8に示すように、外壁42bおよび内壁42cは、コレットチャック44の上方から、コレットチャック44に向かって延びる。ここで、内壁42cの内径D21は、下方コレットチャック44側から上方押込みボルト48側に向かうに従って徐々に幅狭となり、その後一定幅となる。圧縮バネ45は、弾性部材により形成された付勢部材である。図8に示すように、圧縮バネ45の上端はコレットリング42に、圧縮バネ45の下端はコレットチャック44に、それぞれ固定されている。これにより、押込みボルト48によってコレットリング42が下方向に押し下げられる。このとき、コレットリング42は圧縮バネ45によって上方向に付勢される。図4に示すような、旋回部38がホルダ取付ブロック40に対して揺動可能な状態において、押込みボルト48からの押込み力がコレットリング42に付与されてコレットリング42が押し下げられると、コレットチャック44の筒体44bが、内壁42cにより囲繞された囲繞空間において内壁42cに当接する。さらに押込み力が付与されることで、筒体44bの内径D11は、内壁42cの形状にしたがって徐々に小さくなる。やがては、図7および図8に示すように、ホルダジョイント35の旋回部38が、コレットチャック44の筒体44bに当接する。これにより、ホルダジョイント35の旋回部38がコレットリング42およびコレットチャック44によって固定された状態が実現される。すなわち、押込み力が付与されることによって、ホルダジョイント35は、ホルダ取付ブロック40に対して固定される。押込みボルト48からの押込み力が解除されると、コレットリング42は、圧縮バネ45から受けていた付勢力によって、コレットチャック44の上方の初期位置に戻る。なお、コレットリング42の内壁42cおよびコレットチャック44の筒体44bの形状いずれもテーパ状とされているおよび材質によっては、コレットリング42は、圧縮バネ45からの付勢力なしに、コレットチャック44の上方の初期位置に戻る場合がある。このような場合には、圧縮バネ45は不要である。ベアリング46は、コレットチャック44の下に配置されており、ホルダジョイント35の旋回部38を軸支えする。一方、ベアリング47は、ベアリング46の下に配置されており、ベアリング46と同様に、旋回部38を軸支えする。図4、図7および図8に示すように、ベアリング46、47は、ホルダ取付ブロック40の底部に設けられた底板40cと、コレットチャック44の円環板44aとの間に挟まれている。押込みボルト48からの押込み力がコレットリング42に付与されると、ホルダ取付ブロック40の底板40cとコレットチャック44の円環板44aとの間に配置されたベアリング46、47に圧縮力が付与され、ベアリング46、47の回転が阻害される。これにより、ホルダジョイント35を、ホルダ取付ブロック40に対してさらに良好に固定することができる。なお、本実施の形態では、2つのベアリング46、47を用いるものとして説明したが、ベアリングの個数はこれに限定されず、例えば、1つであっても良いし、3つ以上であっても良い。昇降部50は、ホルダ取付ブロック40を上下方向に移動させることによって、ホルダ31に支持されたスクライビングホイール60から保持ユニット10に保持された脆性材料基板4図1および図2参照に押圧力を付与する。図9および図10に示すように、昇降部50は、主として、シリンダ51と、伝達部52と、ガイド機構53と、取付プレート54とを有している。シリンダ51は、ホルダ取付ブロック40を上下方向Z軸プラスまたはマイナス方向に移動させるための駆動力供給源である。図9および図10に示すように、シリンダ51は、ホルダ取付ブロック40の上方に配置されており、主として、本体部51aと、ロッド51bとを有している。ロッド51bは、本体部51aに対して進退可能とされている。図9および図10に示すように、ロッド51bの下端は、伝達部52と対向する。したがって、シリンダ51が駆動し、ロッド51bが本体部51aから進出することによって、伝達部52は、ロッド51bの下端により下方向に押し下げられる。伝達部52は、シリンダ51とホルダ取付ブロック40の間に設けられており、シリンダ51からの駆動力をホルダ取付ブロック40に伝達する。図9および図10に示すように、伝達部52は、主として、受け部材52aと、門形ブラケット52bとを有している。受け部材52aは、シリンダ51のロッド51bと対向する位置に設けられている。受け部材52aは、上部に設けられた円盤体52a1と、円盤体52a1から下方に延びる棒体52a2と、を有している。円盤体52a1は、図9および図10に示すように、ロッド51bの下端と対向するように配置されており、ロッド51bが下方向に進出すると、ロッド51bの下端は、円盤体52a1の上面に押し当てられる。また、棒体52a2は、門形ブラケット52bの上部梁部材52dに埋設されている。門形ブラケット52bは、ホルダ取付ブロック40の上部に設けられた架橋構造体である。図9および図10に示すように、門形ブラケット52bは、上下方向に延びる2本の支柱部材52cと、両支柱部材52cの上部に架設された梁部材52dとを有している。ガイド機構53は、図10に示すように、主として、ガイドレール53aと、ガイドレール53aに沿って上下方向に摺動自在とされたガイドブロック53bとを有している。また、取付プレート54は、ガイド機構53とホルダ取付ブロック40との間に挟まれた板材である。ホルダ取付ブロック40は、取付プレート54を介してガイドブロック53bに固定されている。以上の構成を有することにより、昇降部50においては、シリンダ51から伝達部52を通じて駆動力が与えられたホルダ取付ブロック40が、ガイド機構53にガイドされて上下方向に移動する。シリンダ51による駆動力を調整することにより、ホルダ取付ブロック40の下方に備わるスクライビングホイール60のスクライブ荷重が好適に設定される。固定部55は、ホルダジョイント35をホルダ取付ブロック40に対して固定する際に、コレットリング42を下向きに押込む押込み力を押込みボルト48に生じさせる。図10に示すように、固定部55は、主として、ロータリーアクチュエータ55aと、複数本実施の形態では2個の歯車56駆動側歯車56a、受動側歯車56bとを有している。ロータリーアクチュエータ55aは、圧縮空気の供給状態に従って、シャフト57aを回転させる回転力供給源である。図10に示すように、シャフト57aの下端には駆動側歯車56a第2回転要素が設けられており、ロータリーアクチュエータ55aの回転状態に応じて回転する。受動側歯車56b第1回転要素は、押込みボルト48の上方に配置されている。図9および図10に示すように、受動側歯車56bは、シャフト57bに固定されている。また、図9に示すように、シャフト57bの上端および下端付近は、それぞれベアリング58a、58bにより軸支えされている。さらに、ベアリング58a、58bは、それぞれ対応する上側および下側ベアリングホルダ59a、59bを介してベース板50cに固定されている。受動側歯車56bは駆動側歯車56aと連動連結されている。したがって、ロータリーアクチュエータ55aが駆動側歯車56aを回転させることによって、駆動側歯車56aから受動側歯車56bに回転力が付与される。また、図9および図10に示すように、受動側歯車56bと押込みボルト48との間には、両者の回転を同期させるためのピン57cが設けられている。ピン57cは、受動側歯車56bと押込みボルト48より具体的には回転板48aのそれぞれに設けられた孔に挿入されている。これにより、受動側歯車56bが受けた回転力は、ピン57cを介して、押込みボルト48に伝達され、押し込みボルト48を回転させる。以上の構成を有することにより、固定部55においては、シリンダ51を回転させることによって、押込みボルト48を回転させ、その先端48cを上下方向に移動させることが可能となっている。押込みボルト48が取付ブロック本体40aにねじ入れられるようにシリンダ51を回転させることによって、上述したように、押込みボルト48の先端48cをコレットリング42の上面に当接させ、さらには、コレットリング42を下向きに押込む押込み力を、第2回転軸38aと略平行な固定力として付与することができる。その結果、ホルダジョイント35はホルダ取付ブロック40に固定される。当然ながら、シリンダ51に逆向きの回転が与えられることで、コレットリング42に作用していた押し込みボルト48からの押込み力は解除される。なお、本実施の形態に係るスクライブ装置1においては、伝達部52が、固定部55の受動側歯車56bと、ホルダ取付ブロック40の押込みボルト48とを跨ぐように設けられている。そして、スクライビングホイール60から脆性材料基板4に付与される押圧力と、押込みボルト48を下向きに押込む押込み力とが、略同一直線上にて作用するように、受動側歯車56bと押込みボルト48とが配置されている。これにより、スクライブラインSL図3参照の形成時においてキャスター効果が無効化された状態をさらに良好に維持しつつ、スクライブラインの形成幅が増大することさらに有効に抑制することができる。<3.本実施の形態のスクライブヘッドおよびスクライブ装置の利点>以上のように、本実施の形態のスクライブヘッド30、およびこのスクライブヘッド30を含むスクライブ装置1においては、スクライビングホイール60の第1回転軸32aが、ホルダジョイント35の第2回転軸38aの直下の位置から、スクライビングホイール60の進行方向に沿ってズレた位置に設定されている。これにより、スクライブ装置1においては、スクライビングホイール60にキャスター効果をもたらすことができる。一方で、スクライブ装置1においては、固定部55の作用によりコレットリング42に対して第2回転軸38aと略平行な押込み力固定力が付与されると、ホルダ取付ブロック40に対して揺動可能とされたホルダジョイント35が、ホルダ取付ブロック40に対して固定される。この場合、スクライブラインSLの形成時におけるキャスター効果は無効化される。係るスクライブ装置1においては、例えば、脆性材料基板4に対するスクライビングホイール60の姿勢調整のように、ホルダ取付ブロック40に対してホルダジョイント35を揺動させる必要がある場合、固定部55の作用による固定を解除し、スクライビングホイール60にキャスター効果を生じさせることができる。しかも、姿勢調整を完了するべくホルダジョイント35を固定するにあたっては、第2回転軸38aと略平行な押込み力固定力を付与するのみであるので、押込み力に起因してホルダジョイント35の固定位置がズレることが抑制される。また、固定部55の作用によりホルダ取付ブロック40に対してホルダジョイント35を固定することで、キャスター効果を無効化した場合には、スクライブラインの形成幅を、ホルダジョイント35が固定されていない場合と比較して、小さくすることができる。この場合、ホルダジョイント35が、スクライビングホイール60の進行方向と略同一方向の力、およびスクライビングホイール60の第1回転軸32a方向と略同一方向の力を、押込み力固定力として受けることがない。ゆえに、本実施の形態に係るスクライブ装置1によれば、スクライビングホイール60の姿勢調整時においてはホルダ取付ブロック40に対するホルダジョイント35の回転位置を容易に変更でき、スクライブラインSLの形成時においてはスクライブラインの形成幅が増大すること有効に抑制することができる。