圧力を受けるダイヤフラム部21が変形して圧力に応じた電気信号を出力するセンサチップ2と、前記ダイヤフラム部21が所定量以上変形しようとするときに前記ダイヤフラム部21が当接して前記ダイヤフラム部21の所定量以上の変形を防止するストッパ121と、前記ダイヤフラム部21の周辺部位にて前記センサチップ2に接合されたボンディングワイヤ35と、前記センサチップ2と前記ボンディングワイヤ35との接合部を封止するゲル状の封止部材36と、前記ダイヤフラム部21と前記封止部材36との間に配置されて、前記封止部材36が前記ダイヤフラム部21側に移動するのを阻止する移動阻止部23、24とを備えることを特徴とする圧力センサ。前記移動阻止部は、前記センサチップ2の表面から突出した壁23であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。前記移動阻止部は、前記ダイヤフラム部21を囲む筒形状の壁23であることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。前記壁23の断面形状が台形であることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。前記移動阻止部は、前記センサチップ2の表面に形成された溝24であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。前記溝24は、複数個形成されていることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。前記ストッパ121における前記ダイヤフラム部21と対向する面に、弾性材よりなる緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。前記センサチップ2の一端側に室113を形成する蓋部12を備え、この蓋部12に前記ストッパ121が一体に形成されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の圧力センサ。前記ストッパ121における前記ダイヤフラム部21と対向する面は、半円球形状であることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の圧力センサ。前記ストッパ121における前記ダイヤフラム部21と対向する面は、円錐台形状であることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の圧力センサ。しかしながら、センサチップとボンディングワイヤとの接合部やダイヤフラム部がゲル状の封止部材にて封止されている圧力センサに、ダイヤフラム部の過度の変形を防止するストッパを設けた場合には、ダイヤフラム部が変形したときにダイヤフラム部とストッパとの間に挟まれた封止部材が流動し、この封止部材の流動によりボンディングワイヤに負荷がかかり、ボンディングワイヤが断線する虞があった。本発明は上記点に鑑みて、封止部材の流動によるボンディングワイヤの断線を防止することを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、圧力を受けるダイヤフラム部21が変形して圧力に応じた電気信号を出力するセンサチップ2と、ダイヤフラム部21が所定量以上変形しようとするときにダイヤフラム部21が当接してダイヤフラム部21の所定量以上の変形を防止するストッパ121と、ダイヤフラム部21の周辺部位にてセンサチップ2に接合されたボンディングワイヤ35と、センサチップ2とボンディングワイヤ35との接合部を封止するゲル状の封止部材36と、ダイヤフラム部21と封止部材36との間に配置されて、封止部材36がダイヤフラム部21側に移動するのを阻止する移動阻止部23、24とを備えることを特徴とする。これによると、接合部を封止する封止部材36はダイヤフラム部21側に移動しないため、ダイヤフラム部21は封止部材36がない状態が維持される。したがって、ダイヤフラム部21がストッパ121に当接する状態になっても封止部材36は流動せず、ボンディングワイヤ35の断線が防止される。請求項2に記載の発明のように、請求項1に記載の圧力センサにおいて、移動阻止部は、センサチップ2の表面から突出した壁23にすることができる。請求項3に記載の発明では、請求項2に記載の圧力センサにおいて、移動阻止部は、ダイヤフラム部21を囲む筒形状の壁23であることを特徴とする。これによると、筒形状の壁23によってダイヤフラム部21が囲まれているため、ダイヤフラム部21側への封止部材36の移動を確実に防止することができる。請求項4に記載の発明では、請求項3に記載の圧力センサにおいて、壁23の断面形状が台形であることを特徴とする。これによると、抜き勾配が付くため、成形型によって製造する場合に製造しやすい。請求項5に記載の発明のように、請求項1に記載の圧力センサにおいて、移動阻止部は、センサチップ2の表面に形成された溝24にすることができる。請求項6に記載の発明では、請求項5に記載の圧力センサにおいて、溝24は複数個形成されていることを特徴とする。これによると、一本の長い溝にした場合よりも、センサチップ2の耐圧強度を高くすることができる。請求項7に記載の発明では、請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサにおいて、ストッパ121におけるダイヤフラム部21と対向する面に、弾性材よりなる緩衝部材を設けたことを特徴とする。これによると、ダイヤフラム部21がストッパ121に当接した際のダイヤフラム部21の破損をより確実に防止することができる。請求項8に記載の発明では、請求項1ないし7のいずれか1つに記載の圧力センサにおいて、センサチップ2の一端側に室113を形成する蓋部12を備え、この蓋部12にストッパ121が一体に形成されていることを特徴とする。これによると、部品点数を少なくすることができる。請求項9に記載の発明のように、請求項1ないし8のいずれか1つに記載の圧力センサにおいて、ストッパ121におけるダイヤフラム部21と対向する面は、半円球形状にすることができる。請求項10に記載の発明のように、請求項1ないし8のいずれか1つに記載の圧力センサにおいて、ストッパ121におけるダイヤフラム部21と対向する面は、円錐台形状にすることができる。なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。本発明の一実施形態について説明する。図1は一実施形態に係る圧力センサの正面断面図、図2は図1のA部を拡大して示す正面断面図、図3は図2のセンサチップ2の平面図である。なお、図3はボンディングワイヤ35が接合される前の状態を示している。本実施形態の圧力センサは、例えば、自動車のディーゼルエンジンの排気管に設けられたDPFディーゼルパティキュレートフィルタの圧力損失を検出するために排気管に取り付けられ、DPF前後の排気管の差圧、すなわち、DPFの上流側圧力とDPFの下流側圧力との差圧を検出する差圧相対圧検出型の圧力センサとして用いられる。なお、DPFとは、排気管途中に煤煙をトラップするフィルタを設け、一定量溜まったら煤煙を燃やすことで、大気中に煤煙が放出されることを防ぐシステムである。図1~図3に示すように、本実施形態の圧力センサは、樹脂製のケース1を備え、ケース1は、ケース本体部11と第1、第2蓋部12、13とを備えている。ケース本体部11には、内部空間を3つに分割する第1隔壁部111および第2隔壁部112が形成されている。より詳細には、第1蓋部12と第1隔壁部111との間に、大気に開放された大気圧室113が形成されている。また、第2蓋部13と第1隔壁部111と第2隔壁部112とによって、DPFの上流側の圧力が導入される第1正圧室114と、DPFの下流側の圧力が導入される第2正圧室115が形成されている。また、第1隔壁部111には、大気圧室113と第1正圧室114とを連通させる第1連通孔116と、大気圧室113と第2正圧室115とを連通させる第2連通孔117が形成されている。さらに、ケース本体部11には、図示しない相手コネクタと結合されるコネクタハウジング部118が一体に形成されている。ケース1内には、第1連通孔116の部位、および第2連通孔117の部位に、それぞれセンサチップ2が配置されている。このセンサチップ2は、圧力を検出する検出部を構成するものであり、印加された圧力値に応じたレベルの電気信号を出力するものである。具体的には、センサチップ2は、シリコン等で構成された半導体基板に、歪みゲージとして機能するダイヤフラム部21が形成された半導体ダイヤフラム式の半導体センサチップである。このようなセンサチップ2は、表裏両面で圧力を受け、両圧力の差圧によってダイヤフラム部21が歪み、ダイヤフラム部21に形成された図示しないピエゾ抵抗により構成されたブリッジ回路歪みゲージによって、このダイヤフラム部21の歪みに基づく信号を出力するようになっている。なお、一方のセンサチップ2は、大気圧室113の圧力すなわち大気圧と第1正圧室114の圧力すなわちDPFの上流側の圧力との圧力差に応じた信号を出力し、他方のセンサチップ2は、大気圧室113の圧力と第2正圧室115の圧力すなわちDPFの下流側の圧力との圧力差に応じた信号を出力する。センサチップ2は、セラミックよりなる筒状のステム31と接着剤32により接着されている。さらに、センサチップ2とステム31により各連通孔116、117を覆うようにして、ステム31が接着剤33により第1隔壁部111に接着されている。このようにして、センサチップ2は、ケース1に固定されている。また、ステム31内および各連通孔116、117には、耐酸性のゲル状の材料からなる第1封止部材34が充填されている。この第1封止部材34は、第1正圧室114または第2正圧室115の圧力をセンサチップ2に媒介すると共に、腐食ガスや湿度からセンサチップ2を保護するものである。センサチップ2は、大気圧室113側の面のうちダイヤフラム部21の周辺部位に、ダイヤフラム部21と電気的に接続された複数本例では4個のボンディングパッド22を備えている。そして、このボンディングパッド22にボンディングワイヤ35が接合され、ボンディングパッド22とボンディングワイヤ35との接合部は、ゲル状の材料からなる第2封止部材36にて封止され、保護されている。センサチップ2には、大気圧室113側の面に、移動阻止部としての壁23が一体に形成されている。この壁23は、センサチップ2の表面から突出し、ダイヤフラム部21を囲む円筒状になっている。また、この壁23は、ダイヤフラム部21と第2封止部材36の間に配置されて、ダイヤフラム部21と第2封止部材36を分離し、これにより、第2封止部材36がダイヤフラム部21側に移動するのを阻止するようになっている。第1蓋部12には、大気圧室113側の面に、円柱状のストッパ121が一体に形成されている。このストッパ121は、先端部が壁23内に挿入され、先端面がダイヤフラム部21と対向している。また、ストッパ121の先端面は、ダイヤフラム部21と平行な平面になっている。そして、センサチップ2が受ける差圧が通常の範囲内のときには、ダイヤフラム部21はストッパ121に当接せず、一方、センサチップ2が受ける差圧がダイヤフラム部21の許容圧力に近い値になって、ダイヤフラム部21が所定量以上変形しようとするときには、ダイヤフラム部21がストッパ121に当接するようになっている。上記構成になる本実施形態の圧力センサによると、第2封止部材36が硬化するまでの間、壁23によりダイヤフラム部21側への第2封止部材36の移動が阻止されるため、ダイヤフラム部21は封止部材がない状態が維持される。したがって、センサチップ2が受ける差圧が大きくなってダイヤフラム部21がストッパ121に当接する状態になっても、第2封止部材36は流動しない。これにより、ボンディングワイヤ35に負荷がかかることが防止され、ひいてはボンディングワイヤ35の断線が防止される。なお、上記実施形態においては、ストッパ121の先端面を平面にしたが、図4に示す第1変形例のように、ストッパ121の先端面を半円球形状にしてもよいし、あるいは、図5に示す第2変形例のように、ストッパ121の先端面を円錐台形状にしてもよい。また、図6に示す第3変形例のように、センサチップ2の壁23は、断面形状が台形の円筒形状にしてもよい。これによると、抜き勾配が付くため、成形型によって製造する場合に製造しやすい。さらに、図7に示す第4変形例のように、センサチップ2の壁23の代わりに、移動阻止部としての溝24を形成してもよい。より詳細には、この溝24は、センサチップ2における大気圧室113側の面に形成され、ダイヤフラム部21と第2封止部材36との間に複数個本例では4個配置されている。そして、ダイヤフラム部21側へ向かって広がろうとする硬化前の第2封止部材36は、溝24に流入してダイヤフラム部21側への移動が阻止されるため、ダイヤフラム部21は封止部材がない状態が維持される。また、このように溝24を複数個に分割して形成することにより、一本の長い溝にした場合よりも、センサチップ2の耐圧強度を高くすることができる。なお、ストッパ121はダイヤフラム部21に当たることを考慮して、ストッパ121の先端面にゴム等の弾性材よりなる緩衝部材を配置するのが望ましい。これによると、ダイヤフラム部21がストッパ121に当接した際のダイヤフラム部21の破損をより確実に防止することができる。また、上記実施形態では、DPFに用いられる圧力センサを例として説明したが、本発明は他の用途の圧力センサにも適用することができる。