"カーボンナノチューブ[A]と、カルボキシメチルセルロース[B]とが、[A]に対する[B]の質量比[B]の含有量/[A]の含有量が0.5~9で含まれる、水[C]を分散媒とした分散液を、基材上に[A]を1~40mg/m2の範囲となるよう塗布し乾燥した塗布面に、酸触媒[D]とアルコール[E]とを、[E]に対する[D]の質量比[D]の含有量/[E]の含有量が0.005~0.1である処理液を25°C~100°C、5秒~20分の条件で接触させた後、乾燥させることを特徴とする導電体の製造方法。アルコールの炭素数が1~4である請求項1に記載の透明導電体の製造方法。処理液の接触方法が浸漬もしくは塗布であることを特徴とする請求項1または2に記載の導電体の製造方法。カーボンナノチューブ[A]と、カルボキシメチルセルロースのエステル化物[B’]とを、[A]に対する[B’]の質量比[B’]の質量/[A]の質量が0.525~11.7の割合で含まれる導電層を、1.05~52.0mg/m2の範囲で基材の片面に有する導電体。特許文献1には、耐熱安定性、耐湿熱安定性に関する記載は見られない。さらに、水によるリンス工程は量産性、量産安定化の大きな課題となりうる。本発明は、上記問題状況に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、耐熱安定性、耐湿熱安定性に優れ、かつ高導電性の導電体、またその簡便な製造方法を提供することである。本発明の発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討する過程において、導電体上で酸触媒を含んだアルコール液を接触させ、分散剤カルボキシメチルセルロースのイオン性基カルボン酸基をエステル化することで、耐熱安定性、耐湿熱安定性を向上させることが可能であることを見出し、本発明に到ったものである。すなわち本発明の導電体の製造方法は、カーボンナノチューブ[A]と、カルボキシメチルセルロース[B]とが、[A]に対する[B]の質量比[B]の含有量/[A]の含有量が0.5~9で含まれる、水[C]を分散媒とした分散液を、基材上に[A]を1~40mg/m2の範囲となるよう塗布し乾燥した塗布面に、酸触媒[D]とアルコール[E]とを、[E]に対する[D]の質量比[D]の含有量/[E]の含有量が0.005~0.1である処理液を25°C~100°C、5秒~20分の条件で接触させた後、乾燥させることを特徴とする。また、本発明の導電体は、カーボンナノチューブ[A]と、カルボキシメチルセルロースのエステル化物[B’]とを、[A]に対する[B’]の質量比[B’]の質量/[A]の質量が0.525~11.7の割合で含まれる導電層を、1.05~52.0mg/m2の範囲で基材の片面に有することを特徴とする。前記アルコールの炭素数は1~4であることが好ましい。また、前記処理液の接触方法が浸漬もしくは塗布であることが好ましい。本発明によれば、基材上でカルボキシメチルセルロースに含まれるイオン性基がエステル化されるので、耐熱安定性、耐湿熱安定性に優れた導電体を得ることができる。導電体を製造するにあたり、カーボンナノチューブ[A]と、カルボキシメチルセルロース[B]とが、[A]に対する[B]の質量比[B]の含有量/[A]の含有量が0.5~9で含まれる水[C]を分散媒とした分散液以降、塗布用分散液と呼ぶこともあるを、基材上に[A]を1~40mg/m2の範囲となるよう塗布し乾燥した塗布面に酸触媒[D]とアルコール[E]とを、[E]に対する[D]の質量比[D]の含有量/[E]の含有量が0.005~0.1である処理液を25°C~100°C、5秒~20分の条件で接触させた後、乾燥させる。このような工程を経て導電体の製造を行うことにより、基材の上に形成されるカーボンナノチューブ[A]を含む導電層の耐熱安定性、耐湿熱安定性を向上させることが出来る。導電層の耐熱安定性、耐湿熱安定性を向上させる効果は、かかる製造方法を採用することにより、高温度高湿度などの環境変化に影響されやすく抵抗値安定性を悪化させる要因であると考えられる分散剤のカルボキシメチルセルロース[B]の構造に含まれるカルボン酸基をエステル化することで、反応性を抑えることにより達成可能となったものと考えられる。なお、以降、本明細書において、本発明の導電体の製造方法における各段階での導電層について、塗布用分散液を基材上に[A]を1~40mg/m2の範囲となるよう塗布し乾燥して得た段階では未処理導電層、未処理導電層に酸触媒[D]とアルコール[E]とを、[E]に対する[D]の質量比[D]の含有量/[E]の含有量が0.005~0.1である処理液を25°C~100°C、5秒~20分の条件で接触させ乾燥させた後は、エステル化処理導電層と記載して区別することとする従来の導電体の導電層については、エステル化処理の有無にかかわらず、単に導電層と記すものとする。[カーボンナノチューブ]本発明において用いられるカーボンナノチューブ[A]は、実質的にグラファイトの1枚面を巻いて筒状にした形状を有するものであれば特に限定されず、グラファイトの1枚面を1層に巻いた単層カーボンナノチューブ、多層に巻いた多層カーボンナノチューブいずれも適用できるが、中でもグラファイトの1枚面を2層に巻いた特に2層カーボンナノチューブがカーボンナノチューブ100本中50本以上であるとカーボンナノチューブの導電性ならびに塗布用分散液中でのカーボンナノチューブの分散性が極めて高くなることから好ましい。さらに好ましくは100本中75本以上が二層カーボンナノチューブ、最も好ましくは100本中80本以上が二層カーボンナノチューブである。また、2層カーボンナノチューブは酸処理などによって表面が官能基化されても導電性などの本来の機能が損なわれない点からも好ましい。カーボンナノチューブは、例えば以下のように製造される。マグネシアに鉄を担持した粉末状の触媒を、縦型反応器中、反応器の水平断面方向全面に存在させ、該反応器内にメタンを鉛直方向に流通させ、メタンと前記触媒を500~1200°Cで接触させ、カーボンナノチューブを製造した後、カーボンナノチューブを酸化処理することにより得られる。すなわち上記カーボンナノチューブの合成法により、単層~5層のカーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブを得ることができる。カーボンナノチューブは、製造した後、酸化処理を施すことにより単層~5層の割合を、特に2層~5層の割合を増加させることができる。酸化処理は例えば、硝酸処理する方法により行われる。硝酸処理法は本発明のカーボンナノチューブが得られる限り、特に限定されないが、通常、140°Cのオイルバス中で行われる。硝酸処理時間は特に限定されないが、5時間~50時間の範囲であることが望ましい。[分散剤]本発明においては、多糖類であるカルボキシメチルセルロースまたはその誘導体以降、単にカルボキシメチルセルロース[B]と記す。が、分散剤として用いられる。カルボキシメチルセルロース[B]がカーボンナノチューブを分散媒中に均一に孤立に分散させる理由については、次のように考えられる。カーボンナノチューブは、強固なバンドルを形成したり、互いに絡まり合い強固な凝集体を形成するため、分散媒中に孤立に分散させることが非常に困難である。カーボンナノチューブを分散媒中で孤立分散させるためには、カーボンナノチューブのグラファイトとπ電子相互作用しバンドルや凝集を解すこと、もしくはカーボンナノチューブとの疎水性相互作用によりバンドルや凝集を解すことが必要である。本発明においては、上記より孤立したカーボンナノチューブの分散液を得られるという観点から、多糖類ポリマーが有効に作用しているものと推測される。本発明において、カルボキシメチルセルロースの誘導体の塩を用いる場合、塩を構成するカチオン性の物質としては、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属のカチオン、カルシウム、マグネシウム、バリウム等のアルカリ土類金属のカチオン、アンモニウムイオン、あるいはモノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モルホリン、エチルアミン、ブチルアミン、ヤシ油アミン、牛脂アミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、ポリエチレンイミン等の有機アミンのオニウムイオン、または、これらのポリエチレンオキシド付加物を用いることができるが、これらに限定されるものではない。[分散剤の分子量]本発明において用いられるカルボキシメチルセルロース[B]の重量平均分子量は、分散媒への溶解性と塗布用分散液の粘度上昇等を考慮して、1万~100万であることが好ましい。[分散媒]本発明において用いられる分散媒は、上記分散剤を溶解できる点、廃液の処理等、環境や防災上の観点から、水が好ましい。[塗布用分散液]本発明において用いる塗布用分散液の調製方法は、特に限定されないが、例えば次のような手順で行うことができる。分散時の処理時間が短縮できることから、一旦、分散媒中にカーボンナノチューブを0.003~0.15質量の濃度範囲で含まれる分散溶液を調製した後、希釈することで、所定の濃度とすることが好ましい。本発明において、カーボンナノチューブ[A]に対するカルボキシメチルセルロース[B]の質量比[B]の含有量/[A]の含有量以降、単に質量比[B]/[A]と略すは0.5~9である。質量比[B]/[A]が0.5より少ない場合は、均一に分散させることが困難になるため適さない。一方、質量比[B]/[A]が9より多い場合は、分散剤の増加による導電性の低下の影響が大きくなり、エステル化による安定性のメリットが失われてしまうため適さない。かかる観点より、質量比[B]/[A]は、1~6であることが好ましい。調製時の分散手段としては、カーボンナノチューブと分散剤を分散媒中で塗装製造に慣用の混合分散機例えばボールミル、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ホモジナイザー、超音波ホモジナイザー、高圧ホモジナイザー、超音波装置、アトライター、デゾルバー、ペイントシェーカー等を用いて混合することが挙げられる。中でも、超音波装置を用いて分散する方法が、得られる塗布用分散液中のカーボンナノチューブの分散性が良好であることから好ましい。[基材]本発明においては、以上のようにして得た塗布用分散液を基材上に塗布した後、乾燥させて未処理導電層を形成する。本発明に用いられる基材の素材としては、樹脂、ガラスなどを挙げることができる。樹脂としては、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPENなどのポリエステル、ポリカーボネートPC、ポリメチルメタクリレートPMMA、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、アラミド、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ乳酸、ポリ塩化ビニル、ポリメタクリル酸メチル、脂環式アクリル樹脂、シクロオレフィン樹脂、トリアセチルセルロースなどを用いることができる。ガラスとしては、通常のソーダガラスを用いることができる。また、これらの複数の基材を組み合わせて用いることもできる。例えば、樹脂とガラスを組み合わせた基材、2種以上の樹脂を積層した基材などの複合基材であってもよい。樹脂フィルムにハードコートを設けたようなものであっても良い。基材の種類は上記に限定されることはなく、用途に応じて耐久性やコスト等から最適なものを選ぶことができる。[塗布用分散液の基材への塗布]本発明の導電体の製造方法における未処理導電層の形成工程では、上記方法により得た塗布用分散液を基材に塗布し、その後分散媒を乾燥させてカーボンナノチューブを基材上に固定して未処理導電層を形成する。本発明において、塗布用分散液を基材上に塗布する方法は特に限定されない。既知の塗布方法、例えば吹き付け塗装、浸漬コーティング、スピンコーティング、ナイフコーティング、キスコーティング、グラビアコーティング、スロットダイコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、パット印刷、他の種類の印刷、またはロールコーティングなどが利用できる。また塗布は、複数回に分けて行ってもよく、異なる2種類の塗布方法を組み合わせても良い。最も好ましい塗布方法は、ロールコーティングである。[塗布厚みの調整]塗布用分散液を基材上に塗布する際の塗布厚みウェット厚みは塗布用分散液の濃度にも依存するため、望む表面抵抗値が得られるように適宜調整すればよい。本発明におけるカーボンナノチューブ塗布量は、導電性を必要とする種々の用途を達成するために、容易に調整可能である。例えば、塗布量が1mg/m2~40mg/m2であれば表面抵抗値は100~104Ω/□とすることができ、好ましい。さらに、塗布量を40mg/m2以下とすれば表面抵抗値を101Ω/□以下とすることができる。塗布量を30mg/m2以下とすれば表面抵抗値を102Ω/□以下とすることができる。さらに、塗布量が20mg/m2以下であれば、103Ω/□以下、塗布量が10mg/m2以下であれば104Ω/□以下とすることできる。[濡れ剤]塗布用分散液を基材上に塗布する際、塗布ムラを抑制するため、塗布用分散液中に濡れ剤を添加しても良い。本発明の製造方法では塗布用分散液の分散媒に水を選択しているので、非親水性の表面を有する基材上に塗布する場合には界面活性剤やアルコール等の濡れ剤を塗布用分散液に添加することで、基材上で前記塗布用分散液がはじかれることなく塗布用分散液を塗布することができる。濡れ剤としては、アルコールが好ましく、アルコールの中でもメタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノールが好ましい。メタノール、エタノール、イソプロパノールなどの低級アルコールは揮発性が高いために塗布後の基材乾燥時に容易に除去可能である。場合によってはアルコールと水の混合液を用いても良い。[エステル化処理液]未処理導電層に所定の条件で接触させることによりエステル化処理を行うエステル化処理液は、酸触媒[D]とアルコール[E]とを、[E]に対する[D]の質量比[D]の含有量/[E]の含有量以降、質量比[D]/[E]と記すが0.005~0.1となるよう調製する。質量比[D]/[E]が0.005未満では得られるエステル化処理導電層の耐熱安定性、耐湿熱安定性向上の効果が十分に得られず、0.1を超えて増やしても同効果が頭打ちとなるためである。酸触媒の種類は、特に限定されない。例えば、硫酸、塩酸、硝酸、ホウ酸、ヨウ素酸、過塩素酸、フッ化水素酸、塩素酸、臭素酸、過臭素酸、メタ過ヨウ素酸、過マンガン酸、チオシアン酸が好ましい。その中でも、特に、エステル化効果の高い、硫酸、塩酸がより好ましい。アルコールの種類は、反応性の高さと溶剤の扱いやすさより、炭素数が1~4であることが好ましい。エステル化処理液を導電体上に接触させる方法は、浸漬もしくは塗布であることが好ましい。既知の塗布方法として、例えば吹き付け塗装、浸漬コーティング、スピンコーティング、ナイフコーティング、キスコーティング、グラビアコーティング、スロットダイコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、パット印刷、他の種類の印刷、またはロールコーティングなどが利用できる。また塗布は、複数回に分けて行ってもよく、異なる2種類の塗布方法を組み合わせても良い。処理液の接触時の条件は、エステル化を十分に進行させるために、温度は25°C~100°C、時間は5秒~20分であることが好ましい。[エステル化処理後の導電体]上記処理により、カルボキシメチルセルロース[B]のカルボキシル基がエステル化することによる下記の質量変化が起こる。かかる質量変化は、カルボキシメチルセルロース[B]中のカルボキシル基の含有量に依存し、カルボキシメチルセルロース[B]の比で5~30質量の増加となる。すなわち、エステル化処理導電層におけるカーボンナノチューブ[A]と、カルボキシメチルセルロースのエステル化物[B’]との質量比[B’]の含有量/[A]の含有量は、0.525~11.7となり、これに伴い基材上のカルボキシメチルセルロースの単位面積当たりの質量が1.05~52.0mg/m2となる。[耐熱安定性]上述した本発明の製造方法により耐熱安定性に優れた導電体が得られる。すなわち、150°C、1時間熱処理前後の表面抵抗値の変化が、該熱処理前の1.0~1.2倍の範囲に収まり、導電性の低下率が非常に小さい。表面抵抗値の変化がこの範囲内にあることで、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス、電子ペーパーなどの導電膜付き基材として好ましく用いることができる。すなわち、上記処理後の抵抗値変化が1.0~1.2倍であることで、上記基材として誤差の小さい安定な動作を実現することができる。[耐湿熱安定性]上述した本発明の製造方法により耐湿熱安定性に優れた導電体が得られる。すなわち、60°C、相対湿度90、1時間湿熱処理前後の表面抵抗値の変化が、該熱処理前の1.0~1.4倍の範囲に収まり、導電性の低下率が小さい。表面抵抗値の変化がこの範囲内にあることで、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス、電子ペーパーなどの導電膜付き基材として好ましく用いることができる。すなわち、上記処理後の抵抗値変化が1.0~1.4倍であれば、上記基材として誤差の小さい安定な動作を実現することができる。[導電性]本発明の導電体の導電性について、表面抵抗値が1×100~1×104Ω/□であることが好ましい。より好ましくは、表面抵抗値が1×100~1×103Ω/□であることが好ましい。かかる表面抵抗値の範囲は、カーボンナノチューブの塗布量により調整することができる。表面抵抗値がこの範囲内にあることで、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス、電子ペーパーなどの導電膜付き基材として好ましく用いることができる。すなわち、1×100Ω/□以上であれば、上記の基材として消費電力を少なくすることができ、1×104Ω/□以下であれば、タッチパネルの上記の座標読み取り時における誤差の影響が小さくすることができる。[本発明の導電体の用途]本発明の導電体は、例えば、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンス、電子ペーパーなどのディスプレイ関連の電極として好ましく用いることができる。以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例により限定されるものではない。本実施例で用いた測定法を以下に示す。なお、特にn数を示していないものは、n数2で測定を行っており、平均値を記している。1表面抵抗値5cm×10cmにサンプリングした導電体の導電面の中央部を4端子法により室温下で以下に示すプローブを導電層側に密着させて抵抗値を測定した。用いた測定器はダイアインスツルメンツ株製の抵抗率計MCP-T360型、4探針プローブはダイアインスツルメンツ株製MCP-TPO3Pを用いた。2分散剤の分子量測定方法ゲル浸透クロマトグラフィーGPC、島津製作所、10Aシリーズポンプ、インジェクター等LCSolution、使用カラム、昭和電工株社製Shodex/AsahiGF-7MHQを用い、臭化リチウム水溶液10mmol/lをサンプル濃度0.48mg/ml、注入量100μl、Flowrate1.0ml/min、時間30minにて重量平均分子量Mwを測定した。[触媒調製例]約24.6gのクエン酸鉄IIIアンモニウム和光純薬工業社製をイオン交換水6.2kgに溶解した。この溶液に、酸化マグネシウム岩谷社製MJ-30を約1000g加え、撹拌機で60分間激しく撹拌処理した後に、懸濁液を10Lのオートクレーブ容器中に導入した。この時、洗い込み液としてイオン交換水0.5kgを使用した。密閉した状態で160°Cに加熱し6時間保持した。その後オートクレーブ容器を放冷し、容器からスラリー状の白濁物質を取り出し、過剰の水分を吸引濾過により濾別し、濾取物中に少量含まれる水分は120°Cの乾燥機中で加熱乾燥した。得られた固形分は篩い上で、乳鉢で細粒化しながら、20~32メッシュの範囲の粒径のものを回収した。左記の顆粒状の触媒体を電気炉中に導入し、大気下600°Cで3時間加熱した。かさ密度は0.32g/mLであった。また、濾液をエネルギー分散型X線分析装置EDXにより分析したところ鉄は検出されなかった。このことから、添加したクエン酸鉄IIIアンモニウムは全量酸化マグネシウムに担持されたことが確認できた。さらに触媒体のEDX分析結果から、触媒体に含まれる鉄含有量は0.39質量であった。[カーボンナノチューブ含有組成物製造工程1]触媒調製例に従い調製した固体触媒体132gをとり、鉛直方向に設置した反応器の中央部の石英焼結板上に導入した。反応管内温度が約860°Cになるまで、触媒体層を加熱しながら、反応器底部から反応器上部方向へ向けてマスフローコントローラーを用いて窒素ガスを16.5L/minで供給し、触媒体層を通過するように流通させた。その後、窒素ガスを供給しながら、さらにマスフローコントローラーを用いてメタンガスを0.78L/minで60分間導入して触媒体層を通過するように通気し、反応させた。この際の固体触媒体の質量をメタンの流量で割った接触時間W/Fは、169ming/L、メタンを含むガスの線速は6.55cm/secであった。メタンガスの導入を止め、窒素ガスを16.5L/min通気させながら、石英反応管を室温まで冷却した。加熱を停止させ室温まで放置し、室温になってから反応器から触媒体とカーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブ含有組成物を取り出した。[カーボンナノチューブ含有組成物製造工程2]カーボンナノチューブ含有組成物製造工程1で得られた触媒付きカーボンナノチューブ組成物を115g用いて4.8Nの塩酸水溶液2000mL中で1時間撹拌することで触媒金属である鉄とその担体であるMgOを溶解した。得られた黒色懸濁液は濾過した後、濾取物は再度4.8Nの塩酸水溶液400mLに投入し脱MgO処理をし、濾取した。この操作を3回繰り返し、触媒が除去されたカーボンナノチューブ組成物を得た。上記のカーボンナノチューブ組成物を約300倍の質量の濃硝酸和光純薬工業社製1級Assay60~61に添加した。その後、約140°Cのオイルバスで25時間攪拌しながら加熱還流した。加熱還流後、カーボンナノチューブ含有組成物を含む硝酸溶液をイオン交換水で3倍に希釈して吸引ろ過した。イオン交換水で濾取物の懸濁液が中性となるまで水洗後、水を含んだウェット状態のままカーボンナノチューブ組成物を保存した。このカーボンナノチューブ組成物の平均外径は1.7nmであった。また2層カーボンナノチューブの割合は100本中90本であり、波長633nmで測定したラマンG/D比は79であり、燃焼ピーク温度は725°Cであった。[塗布用分散液1の調製]20mLの容器に上記製造工程1,2を経て得られた含水ウェット状態のカーボンナノチューブ組成物を乾燥時換算で15mg分秤量し、1質量カルボキシメチルセルロースナトリウムダイセル社製40kDa,50~200cps水溶液1.5gを量りとり、イオン交換水を加え10gにした。アンモニアを用いてpHを10.0に合わせ超音波ホモジナイザー出力20W、7.5分間で氷冷下分散処理しカーボンナノチューブ液を調製した。分散中液温が10°C以下となるようにした。得られた液を高速遠心分離機にて10000G、15分遠心し、上清9mLを得た。この上清液にイオン交換水を添加し、カーボンナノチューブが0.15質量となるように濃度を調整し塗布用分散液1を得た。[塗布用分散液2の調製]20mLの容器に上記製造工程1,2を経て得られた含水ウェット状態のカーボンナノチューブ組成物を乾燥時換算で15mg分秤量し、1質量カルボキシメチルセルロースナトリウムダイセル社製11kDa,50~200cps水溶液9.0gを量りとり、イオン交換水を加え10gにした。アンモニアを用いてpHを10.0に合わせ超音波ホモジナイザー出力20W、7.5分間で氷冷下分散処理しカーボンナノチューブ液を調製した。分散中液温が10°C以下となるようにした。得られた液を高速遠心分離機にて10000G、15分遠心し、上清9mLを得た。この上清液にイオン交換水を添加し、カーボンナノチューブが0.15質量となるように濃度を調整し塗布用分散液2を得た。[カーボンナノチューブ分散液塗布]上記塗布用分散液1または2にイオン交換水を添加してそれぞれカーボンナノチューブ含有量を0.04質量、0.03質量に調整後、基材としてコロナ処理を行ったPETフィルム東レ株製ルミラーU46を用い、該PETフィルム上にワイヤーバーを用いて塗布して、125°C乾燥機内で1分間乾燥させカーボンナノチューブ組成物を固定化した。以下の各実施例では、本処方で作成したものをカーボンナノチューブ塗布フィルムとして用いた。実施例1塗布用分散液1をワイヤーバー10を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量6.0mg/m2を、エタノール90gに濃硫酸5gを加えた処理液中に浸積し、水浴中で80°C、20分間加熱した後、流水にて水洗、乾燥した。その後以下のように、耐湿熱性試験を行った。恒温恒湿槽の中で、60°C、相対湿度90の雰囲気下で1時間放置以降、単に湿熱処理と記すし、湿熱処理前、湿熱処理後、湿熱処理後を起点として2時間後、52時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図1のAに示した図中、湿熱処理後を起点として2時間後および52時間後の各時点は、2hr後、52hr後とそれぞれ略記した。以下同様に略している。なお、処理後とは、恒温槽からサンプルを20°Cの雰囲気下に出し25°Cまで降温した時点とした以下同じ。実施例2実施例1と同様の条件で作成したカーボンナノチューブ塗布フィルムを作製した後、以下のように耐熱性試験を行った。熱風オーブン中で、150°C、1時間放置以降、単に熱処理と記すし、熱処理前、熱処理後、熱処理後を起点として3時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図2のAに示した。実施例3塗布用分散液1をワイヤーバー3を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量1.8mg/m2に、エタノール90gに濃硫酸0.5gを加えた処理液をワイヤーバー26を用いてバーコートし、常温で1分放置後、さらに40°C、2分の乾燥を行い、流水にて水洗、乾燥した。その後、耐湿熱性試験を行った。湿熱処理前、湿熱処理後の各時点での表面抵抗値を測定し、図3の例3Aに示した。実施例4塗布用分散液1をワイヤーバー3を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量1.8mg/m2に、エタノール90gに濃塩酸0.5gを加えた処理液をワイヤーバー26を用いてバーコートし、常温で1分放置後、さらに40°C、2分乾燥した。その後、耐湿熱性試験を行った。湿熱処理前、処理後の各時点での表面抵抗値を測定し、図3の例4Aに示した。実施例5実施例4と同様の条件で作成したカーボンナノチューブ塗布フィルムにバーコートした後、耐熱性試験を行った。熱処理前、熱処理後、熱処理後を起点として24時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図4の例5Aに示した。実施例6塗布用分散液2をワイヤーバー5を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量2.25mg/m2に、エタノール90gに濃硫酸0.5gを加えた処理液をワイヤーバー26を用いてバーコートし、常温で1分放置後、さらに40°C、2分の乾燥を行い、流水にて水洗、乾燥した。その後、耐湿熱性試験を行った。湿熱処理前、湿熱処理後の各時点での表面抵抗値を測定し、図5の例6Aに示した。実施例7実施例6と同様の条件で作成したカーボンナノチューブ塗布フィルムにバーコートした後、耐熱性試験を行った。熱処理前、熱処理後を起点として3時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図6の例7Aに示した。比較例1塗布用分散液1をワイヤーバー3、10を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量1.8mg/m2:比較例1-1、6.0mg/m2:比較例1-2を得、それぞれに耐湿熱性試験を行った。比較例1-1:湿熱処理前、湿熱処理後の各時点での表面抵抗値を測定し、図3の例1Bに示した。比較例1-2:湿熱処理前、湿熱処理後、湿熱処理後を起点として2時間後、52時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図1のBに示した。比較例2塗布用分散液1をワイヤーバー3、10を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量1.8mg/m2:比較例2-1、6.0mg/m2:比較例2-2を得、それぞれに耐熱性試験を行った。比較例2-1:熱処理前、熱処理後、熱処理後を起点として24時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図4の例2Bに示した。比較例2-2:熱処理前、熱処理後、熱処理後を起点として3時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図2のBに示した。比較例3塗布用分散液2をワイヤーバー5を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量2.25mg/m2を、流水にて水洗後、耐湿熱性試験を行った。湿熱処理前、湿熱処理後の各時点での表面抵抗値を測定し、図5の例3Bに示した。比較例4塗布用分散液2をワイヤーバー5を用いて塗布し作成したカーボンナノチューブ塗布フィルム塗布量2.25mg/m2を、流水にて水洗後、耐熱性試験を行った。熱処理前、熱処理後を起点として3時間後の各時点での表面抵抗値を測定し、図6の例4Bに示した。以上、発明の実施例について述べてきたが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変更を行うことができる。実施例例A、比較例例Bの耐熱もしくは耐湿熱性試験の結果各試験における表面抵抗値の処理前後の変化率を表1にまとめた。表1において、耐熱性試験は熱処理後3時間以上経過した後の安定した表面抵抗値R1を熱処理前の表面抵抗値R0で除して、また耐湿熱性試験は湿熱処理後の表面抵抗値R2を湿熱処理前の表面抵抗値R0で除して、各処理前後の表面抵抗値変化率とした。図1~4に、質量比[B]/[A]が1の塗布用分散液を用いて作成したカーボンナノチューブ塗布フィルムに対して、上記のエステル化処理を行った場合とエステル化処理を行わなかった場合の、耐熱もしくは耐湿熱処理前後の表面抵抗値の比較を示し、図5,6に、質量比[B]/[A]が6の塗布用分散液を用いて作成したカーボンナノチューブ塗布フィルムに対して、同様の比較を示した。なお、図1と図2において、同内容のサンプル例えば実施例1図1のAと実施例2図2のAの処理前、比較例1図1のBと比較例2図2のBの処理前においてカーボンナノチューブ[A]とカルボキシメチルセルロース[B]の塗布量が6.0mg/m2と同じであるのにもかかわらず抵抗値に変化が生じているのは、ワイヤーバーによるハンドコートによる実験誤差の影響である。同様に、図3と図4、また図5と図6における同内容の処理前のサンプルにおける表面抵抗値の差はハンドコートによる実験誤差の影響である。図1は、エステル化未処理の場合B:比較例1-2と、エタノール/濃硫酸への浸積によるエステル化処理した場合A:実施例1との耐湿熱試験結果を比較したデータである。図2は、エステル化未処理の場合B:比較例2-2と、エタノール/濃硫酸への浸積によるエステル化処理した場合A:実施例2との耐熱試験結果を比較したデータである。図3は、エステル化未処理の場合例1B:比較例1-1と、エタノール/濃硫酸のバーコートによるエステル化処理した場合例3A:実施例3、またエタノール/濃塩酸のバーコートによるエステル化処理した場合例4A:実施例4の耐湿熱試験結果を比較したデータである。図4は、エステル化未処理の場合例2B:比較例2-1と、エタノール/濃硫酸のバーコートによるエステル化処理した場合例5A:実施例5との耐熱試験結果を比較したデータである。図5は、エステル化未処理の場合例3B:比較例3と、エタノール/濃硫酸のバーコートによるエステル化処理した場合例6A:実施例6との耐湿熱試験結果を比較したデータである。図6は、エステル化未処理の場合例4B:比較例4と、エタノール/濃硫酸のバーコートによるエステル化処理した場合例7A:実施例7との耐熱試験結果を比較したデータである。"