希土類酸化物粉末、鉄粉末、及び該希土類酸化物を還元するための還元剤を混合し、この混合物を還元拡散法により非酸化性雰囲気中で加熱焼成して希土類-鉄母合金を含む還元拡散反応生成物を得る工程、得られた希土類-鉄母合金を窒化処理する工程とを含む下記の一般式1で表される希土類-鉄-窒素系磁石粉末を得る製造方法において、前記希土類酸化物を鉄粉末、及び還元剤と混合する前に、前記希土類酸化物のイグロス成分を0.1質量以下に低減する条件で加熱乾燥処理することを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末を得る製造方法。RaFe100-a-bNb1式1中、Rは1種類または2種以上の希土類元素であり、またa、bは原子で、4≦a≦18、10≦b≦17を満たす。前記希土類酸化物が、450~700°Cで0.5~2時間かけて加熱乾燥処理されることを特徴とする請求項1に記載の希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法。前記希土類酸化物が、酸素含有ガス及び/または不活性ガスの流通下、あるいは真空減圧条件下に加熱乾燥処理されることを特徴とする請求項1に記載の希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法。希土類-鉄母合金粉末の平均粒径が5~100μmであることを特徴とする請求項1に記載の希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法。窒化処理後、さらに微粉砕または解砕することを特徴とする請求項1に記載の希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法請求項1~5のいずれかに記載の製造方法によって得られた希土類-鉄-窒素系磁石粉末。希土類-鉄-窒素合金粉末の平均粒径が1~10μmであることを特徴とする請求項6に記載の希土類-鉄-窒素系磁石粉末。希土類-鉄-窒素合金粉末が、飽和磁化1.30~1.35T、保磁力800~830kA/m、BHmax270~300kJ/m3の磁気特性を有することを特徴とする請求項6に記載の希土類-鉄-窒素系磁石粉末。本発明は、このような状況に鑑み、還元拡散法を利用して製造される希土類-鉄合金粉末を均一に窒化でき、磁気特性を向上しうる希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法、及び得られる希土類-鉄-窒素系磁石粉末を提供することにある。本発明者らは、かかる従来の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、希土類-鉄母合金を窒化して製造する希土類-鉄-窒素磁石粉末の製造方法において、希土類酸化物、鉄粉末及び還元剤からなる原料粉末を混合する前に、希土類酸化物を加温装置で特定の条件で乾燥処理することによりイグロス成分が低減されるため、還元拡散の際に還元剤の劣化が抑制され、より均一に還元拡散された希土類-鉄母合金粉末が得られ、均一な窒化が実現できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の第1の発明によれば、希土類酸化物粉末、鉄粉末、及び該希土類酸化物を還元するための還元剤を混合し、この混合物を還元拡散法により非酸化性雰囲気中で加熱焼成して希土類-鉄母合金を含む還元拡散反応生成物を得る工程、得られた希土類-鉄母合金を窒化処理する工程とを含む下記の一般式1で表される希土類-鉄-窒素系磁石粉末を得る製造方法において、前記希土類酸化物を鉄粉末、及び還元剤と混合する前に、前記希土類酸化物のイグロス成分を0.1質量以下に低減する条件で加熱乾燥処理することを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末を得る製造方法が提供される。RaFe100-a-bNb1式1中、Rは1種類または2種以上の希土類元素であり、またa、bは原子で、4≦a≦18、10≦b≦17を満たす。また、本発明の第2の発明によれば、第1の発明において、前記希土類酸化物が、450~700°Cで0.5~2時間かけて加熱乾燥処理されることを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法が提供される。また、本発明の第3の発明によれば、第1の発明において、前記希土類酸化物が、酸素含有ガス及び/または不活性ガスの流通下、あるいは真空減圧条件下に加熱乾燥処理されることを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法が提供される。また、本発明の第4の発明によれば、第1の発明において、希土類-鉄母合金粉末の平均粒径が5~100μmであることを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法が提供される。また、本発明の第5の発明によれば、第1の発明において、窒化処理後、さらに微粉砕または解砕することを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末の製造方法が提供される。一方、本発明の第6の発明によれば、第1~5のいずれかの発明の製造方法によって得られた希土類-鉄-窒素系磁石粉末が提供される。また、本発明の第7の発明によれば、第6の発明において、希土類-鉄-窒素合金粉末の平均粒径が1~10μmであることを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末が提供される。また、本発明の第8の発明によれば、第6の発明において、希土類-鉄-窒素合金粉末が、飽和磁化1.30~1.35T、保磁力800~830kA/m、BHmax270~300kJ/m3の磁気特性を有することを特徴とする希土類-鉄-窒素系磁石粉末が提供される。本発明によれば、希土類酸化物-鉄粉末-還元剤の原料混合物に対して還元拡散処理を行い、これにより得られた希土類-鉄母合金を窒化して製造する希土類-鉄-窒素磁石粉末の製造方法において、希土類酸化物を鉄粉末、及び還元剤と混合する前に、希土類酸化物を乾燥処理することによりイグロス成分を低減するので還元剤の劣化が抑制され、均一に還元拡散された希土類-鉄母合金粉末が製造され、均一な窒化が実現できる。その結果、希土類-鉄-窒素磁石粉末が高磁石特性を有するようになり、小型化、高特性化を実現した永久磁石が得られる。この希土類-鉄-窒素磁石粉末を用いれば、高磁石特性を有するボンド磁石用組成物、並びに磁気特性に優れたボンド磁石を得ることができ、携帯電話やデジタルカメラ、デジタルビデオなどを始めとする家電製品の小型化、軽量化、高性能化に対応できる。以下、本発明の希土類-鉄-窒素磁石粉末とその製造方法について、詳しく説明する。1.希土類-鉄-窒素磁石粉末本発明の希土類-鉄-窒素磁石粉末は、後で詳述する製造方法によって得られ、希土類元素、鉄元素、及び窒素から構成されている。すなわち、本発明の希土類-鉄-窒素磁石粉末は、次の一般式1で表される希土類-鉄-窒素合金からなる、保磁力発生機構がニュークリエーションタイプの磁石粉末である。RaFe100-a-bNb...1式1中、Rは1種または2種以上の希土類元素であり、また、a、bは原子で、4≦a≦18、10≦b≦17を満たす。希土類元素希土類-鉄-窒素磁石粉末を構成する、主要成分の希土類元素Rは、磁気異方性を発現させ、保磁力を発生させる上で本質的な役割を果たす元素である。希土類元素としては、Yを含むランタノイド元素のいずれか1種または2種以上であり、例えば、Y、La、Ce、Pr、Nd、およびSmの群から選ばれる少なくとも1種以上の元素が挙げられる。これらの中でも、Sm及び/又はNdが好ましい。また、これらとEu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、およびYbの群から選ばれる少なくとも1種の元素とを組み合わせれば、磁気特性を高めることができる。希土類-鉄-窒素磁石粉末の希土類元素は、4原子以上18原子以下であることが必要であり、7原子以上15原子以下であることが好ましい。4原子よりも少なければ、合金中に軟磁性相であるα-Feが多く存在するようになり高い保磁力が得にくくなり、18原子を超えると主相となる合金相の体積が減少してしまい飽和磁化が低下するため好ましくない。希土類元素の中では、特に、Smが好ましく、Smが希土類元素の50原子以上含むと高い保磁力を持つ材料が得られる。ここで用いる希土類元素は、工業的生産により入手可能な純度でよく、製造上、混入が避けられない元素、例えば、O、H、C、Al、Si、F、Na、Mg、Ca、Liなどが含まれていても差し支えない。鉄元素本発明の希土類-鉄-窒素磁石粉末を構成する主要な鉄元素としては、具体的には、鉄Feが必須成分として挙げられ、希土類-鉄-窒素磁石粉末の磁気特性を損なうことなく温度特性や耐食性を改善する目的で、その一部をCoまたはNiの1種以上で置換してもよい。Fe単独、またはFeの一部をCoまたはNiの1種以上で置換した合金をまとめて以下、Fe成分と称する。Fe成分は、強磁性を担う基本元素であり、希土類-鉄-窒素磁石粉末としたとき、65原子以上、約86原子以下含有する必要がある。Fe成分が、65原子より少ないと磁化が低くなり好ましくない。また、Fe成分が86原子を超えると希土類元素の割合が少なくなり過ぎ、高い保磁力が得られず好ましくない。Fe成分の組成範囲が70~80原子であれば、保磁力と磁化のバランスのとれた材料となり、特に好ましい。窒素窒素は、本発明で得られた希土類-鉄母合金を窒化して、磁石化するために必要な元素であり、10~17原子含有する必要がある。窒素の好ましい含有量は、12~16原子である。窒素が10原子未満では9eサイトに窒素が埋まりきらず高い磁気特性が得られず、窒素が17原子より多く入ってしまうと結晶構造が壊れ磁気特性が下がってしまう。本発明では、窒素が希土類-鉄母合金に対して均一に含有されているので、磁気特性が高い希土類-鉄-窒素磁石粉末である。磁気特性本発明の希土類-鉄-窒素磁石粉末は、上記の組成を有し、平均粒径が1~10μmであり、製造過程でイグロス成分が抑制されているので、磁気特性が向上している。すなわち、飽和磁化が1.30~1.35T、保磁力が800~830kA/m、BHmaxが270~300kJ/m3という優れた磁気特性を有している。2.希土類-鉄-窒素磁石粉末の製造方法本発明の希土類-鉄-窒素磁石粉末の製造方法は、1希土類酸化物粉末、鉄粉末、及び該希土類酸化物を還元するための還元剤を混合し、混合物を非酸化性雰囲気中で加熱焼成して希土類-鉄母合金を含む還元拡散反応生成物とし、2該還元拡散反応生成物を非酸化雰囲気中で湿式処理、乾燥させ希土類-鉄母合金粉末とし、3該希土類-鉄母合金粉末を窒素含有雰囲気中で加熱処理して、希土類-鉄母合金の窒化物とする工程を含んでいる。本発明では、4得られた窒化物を必要により微粉砕又は解砕して所定の粒径を有する希土類-鉄-窒素系磁石粉末を製造する工程を含むことができる。1還元拡散反応生成物の製造本発明では、鉄合金粉末、希土類酸化物粉末、及び該希土類酸化物を還元するための還元剤を混合した後、該混合物を非酸化性雰囲気中で加熱焼成して、希土類-鉄母合金を含む還元物を得る還元拡散法を採用する。希土類酸化物希土類酸化物は、前記希土類元素、すなわち、例えば、Y、La、Ce、Pr、Nd、およびSmの群から選ばれる少なくとも1種以上の元素の酸化物である。希土類-鉄-窒素磁石粉末の希土類元素は、4原子以上18原子以下であることが必要である。4原子よりも少なければ、合金中に軟磁性相であるα-Feが多く存在するようになり高い保磁力が得にくくなり、18原子を超えると主相となる希土類-鉄-窒素合金相の体積が減少してしまい飽和磁化が低下するため好ましくない。希土類元素の中では、特に、Smが好ましく、Smが希土類元素の50原子以上含むと高い保磁力を持つ材料が得られる。希土類酸化物粉末は、目標組成より2~20質量程度多く入れることが好ましい。これは希土類元素の投入量が少ないと還元剤を除去する湿式処理時に希土類元素成分がより多く溶け出てしまうため、希土類元素量が目標組成以下となって希土類が不足し軟磁性相が出現してしまい保磁力を下げてしまうからである。一方、希土類成分が上記範囲より多すぎると非磁性相が多くなり磁化が下がってしまうため好ましくない。ここで、希土類酸化物粉末の粒径は、特に制限されないが、反応性、作業性等の面から10μm以下であることが好ましい。さらに好ましくは、希土類酸化物粉末は、粒径0.1~10μmの粉末が希土類酸化物粉末全体の80質量以上を占める粉末を用いるようにする。鉄粉末鉄粉末は、鉄の金属粉末を必須として、鉄酸化物粉末、コバルト粉末、ニッケル粉末などの鉄含有粉末を混合することができる。鉄粉末としては、例えば還元鉄粉、ガスアトマイズ粉、水アトマイズ粉、電解鉄粉などが使用でき、必要に応じて最適な粒度になるように分級する。ここで鉄粉末の30質量までを鉄酸化物粉末として投入し、還元拡散反応の発熱量を調整することもできる。また、Feの20質量以下をCoで置換した組成の希土類-鉄-コバルト-窒素系磁石粉末を製造する場合には、Co源としてコバルト粉末および/またはコバルト酸化物粉末および/または鉄-コバルト合金粉末を用いる。コバルト酸化物としては、たとえば酸化第一コバルトや四三酸化コバルト、これらの混合物で、上記粒度を持つものが使用できる。鉄粉末には製造上、混入が避けられない元素、例えば、O、H、C、Al、Si、F、Na、Mg、Ca、Liなどが0.05質量程度まで含まれていても差し支えない。原料として用いる鉄粉末の粒度分布は、特に制限されるわけではないが、希土類-鉄-窒素磁石粉末の目標の粒度分布に近いものを用いることが好ましい。特に、鉄粉末は、粒径が10~70μmの粉末が全体の80質量以上を占めるようにすることが好ましい。鉄粉末は、粒径70μmを超えるものが多くなると、希土類-鉄母合金粉末中に希土類元素が拡散していない鉄部が多くなるとともに母合金粉末の粒径も大きくなり、窒素分布が不均一になって、得られた希土類-鉄-窒素系磁石粉末の角形性が低下しやすい。これに対し、希土類酸化物粉末、コバルト酸化物粉末は、これらの中でもっとも多い希土類酸化物粉末でも組成が30質量未満であることから、還元拡散反応時に、反応容器内部で上記鉄粉末の周りに均一に分布存在していることが望ましい。したがって、粒径が0.1~10μmの粉末が全体の80質量以上を占めるものであることが好ましい。粒径が0.1μm未満の粉末が多くなると、製造中に粉末が舞い上がり取り扱いにくくなる。また、10μmを超えるものが多くなると、還元拡散法で得られた希土類-鉄-母合金粉末中の希土類元素が拡散していない鉄部が多くなる。還元剤還元剤には、希土類酸化物を還元する機能を有するアルカリ金属又はアルカリ土類金属が用いられる。例えば、Li及び/又はCa、あるいはこれらの元素とNa、K、Mg、Sr又はBaから選ばれる少なくとも1種が使用できる。これら還元剤は、その投入量と粉体性状、希土類酸化物の粉体性状、各種原料粉末の混合状態、還元拡散反応の温度と時間を注意深く制御して使用することが望ましい。なお、上記還元剤の中では、取り扱いの安全性とコストの点から、金属Li又はCaが好ましく、特にCaが好ましい。還元剤の投入量は、該希土類酸化物を還元するに足るように、反応当量よりも若干過剰とすることが好ましい。還元剤を当量より過剰にしないと容器内の残存酸素や水分により還元剤が酸化し、希土類酸化物を十分還元できなくなり磁石粉末特性を低下させてしまう。上記各原料の混合方法は、特に限定されないが、Sブレンダー、Vブレンダー、各種ミキサー等を用いて行うことができる。例えば、各原料を所定の量、秤量し、Vブレンダーで1時間程度混合すれば良い。上記混合物を、還元拡散を行うための反応容器に移す際には、希土類酸化物などは平均粒径が数μmと細かく粉が飛散しやすく、飛散を防止するためにカバー等を取り付けることが好ましい。この操作により合金粉に組成ずれを起こすことが抑制できる。その後、上記混合物を投入した反応容器を還元拡散炉に入れ、酸素が実質的に存在しない非酸化性雰囲気とすることが好ましい。還元拡散法まず、上記の原料である希土類酸化物粉末、鉄粉末、希土類酸化物を還元するために足る還元剤を用意する。そして、希土類酸化物粉末については、鉄粉末、還元剤と混合する前に加温装置に装入して乾燥処理する。加温装置とは加熱乾燥する機能を有しているものであれば、加熱手段や構造によって限定されず、一般的な乾燥機でよく、密閉容器内の攪拌翼や真空乾燥機能を持たないものでもよい。上記希土類酸化物粉末を乾燥機に投入し、圧縮空気を流しながらイグロス成分が揮発する温度まで昇温し加熱乾燥する。また、圧縮空気を流すかわりに、真空乾燥機能によって揮発した成分を効率的に除去するようにしてもよい。加熱温度は、特に制限されないが、450~700°Cの温度範囲で処理することが好ましい。450°C未満ではイグロス成分が除去できない場合があり、また700°Cを超える温度にしてもイグロス成分の除去の量に大きな変化は期待できずエネルギーの無駄になる。加熱乾燥時間は特に制限されないが、0.5~2時間程度で良い。そうすることで、希土類酸化物に含まれるイグロス成分は0.1質量以下となり、イグロス成分による還元剤の劣化が抑制され、均一な還元拡散が行われる。より好ましい加熱条件は、500~700°Cの温度範囲で1~2時間処理することである。その後、該原料混合物を所定の割合で配合し、反応容器に入れる。この際、原料を圧縮すると還元時間を短縮できる。圧縮するために使用する装置に特に限定はないが、例えば、ノッカー、バイブレーター、プレス機などが挙げられる。バイブレーターを使用する際は棒タイプのものを反応容器に入れた該原料混合物に突き刺すなどすると効率的に圧縮できる。上記原料混合物の入った反応容器を還元拡散炉に入れ、非酸化性雰囲気中、例えば、アルゴンを流しながら還元拡散炉で上記還元剤が溶融状態になる温度まで昇温し加熱焼成する。加熱温度は1000~1250°C程度として処理することが好ましい。還元剤として上記したようにCaを選定した場合、Caの融点が838°C、沸点が1480°Cであるため、1000~1250°Cの温度範囲内であれば還元剤は溶解するが、蒸気にはならずに処理することができる。この加熱焼成により、上記混合物中の希土類酸化物が希土類元素に還元されるとともに、該希土類元素が鉄粉中に拡散され、希土類-鉄母合金が合成される。この還元拡散反応が起きる際、原料混合物が圧縮されていると圧縮されていない場合に比較して、原料混合物が炉内の底部、つまり高温部で、温度分布の小さい範囲に配置され、均一に熱がかかることにより場所による反応のばらつきが小さくなり、よって組成ばらつきが小さい還元物が得られ、ひいては磁気特性の優れた合金粉末が得られることになる。さらに原料混合物が圧縮されていることにより各原料粒子間の距離が短いため熱伝導がよく、短時間で還元拡散反応が起こり昇温時間も短くなる。還元拡散時間が長い場合、蒸気圧の高い希土類元素は高温部で揮発し、低温部に濃縮し組成のばらつき原因になる。したがって、このように短時間で還元拡散反応できることは特性を向上させる大きな要因となる。希土類-鉄母合金を生成後は、速やかに反応容器内を室温まで冷却し、希土類-鉄母合金を含む還元拡散反応生成物還元物とも記すを取り出す。2希土類-鉄母合金粉末の湿式処理次いで、上記還元物を水中に投入水砕し、デカンテーションにより洗浄して還元剤を除去し、次いで酸洗、固液分離、乾燥を行い、希土類-鉄母合金粉末を得る。水洗、デカンテーション、酸洗水洗では、例えば、得られた粉状還元物を、窒素置換した濾過乾燥機に装入し、還元物1kgあたり約1リットルの水の割合で水中に投入し、1~3時間攪拌し還元物を崩壊させ、スラリー化させる。窒素流量2.0~4.0L/分とすることが好ましい。このときスラリー溶液のpHは11~12程度であり、還元物はほとんど崩壊しており、還元物を水で処理し過剰還元剤を酸化させていると、水と反応し水素がでることなく安全に作業できる。この後、デカンテーションを5~10回程度繰り返す。デカンテーション条件は、例えば、該スラリー溶液に注水し、攪拌1分、静置分離2分、排水することを1回とする。デカンテーション条件は、この方法に限定されるわけでなく、スラリー溶液の状態に合わせて適宜選定すればよい。その後、スラリーのpHが5~6になるように酢酸を添加し、酸洗を行うことで固液分離し、固相分を乾燥して希土類-鉄母合金粉末を得る。還元剤として用いたCaは非磁性であり、希土類-鉄母合金粉末の粒界や粒子表面に存在するCaは磁気特性を下げるので、できるだけ除去することが好ましい。酸洗後は例えば水洗、アルコール等の有機溶剤で洗浄し脱水した後、真空乾燥すればよい。3希土類-鉄母合金の窒化物の製造窒化処理希土類-鉄母合金粉末は、予め窒素ガス又はアンモニア、あるいはアンモニア-水素混合ガスのいずれかを含む含窒素雰囲気とした後、特定の温度で特定時間加熱して窒化処理を行う。窒化ガスには、窒素、またはアンモニアを用いることが好ましい。特に、アンモニアは希土類-鉄合金粉末を窒化しやすく、短時間で窒化できるため好ましい。この際、水素との混合ガスとして窒化するとさらに好ましい。本発明では、窒化ガスとして、少なくともアンモニアと水素とを含有していることが好ましく、反応をコントロールするためにアルゴン、窒素、ヘリウムなどを混合することができる。アンモニア-水素混合ガスを用いるとアンモニアだけ窒化した場合と比較し、アンモニア分圧が下がり、表面付近が過窒化になりづらく粉末内部まで均一に窒化できる。窒化ガスの量は、磁石粉末中の窒素量が3.3~3.7質量となるに十分な量であることが好ましい。全気流圧力に対するアンモニアの比アンモニア分圧は、0.3~0.7、好ましくは0.4~0.6となるようにする。アンモニア分圧がこの範囲であると、母合金の窒化が進み、窒素量を3.3~3.7質量とすることができ、十分に磁石粉末の飽和磁化と保磁力を向上できる。窒化反応を行う反応装置は、特に限定されず、横型、縦型の管状炉、回転式反応炉、密閉式反応炉などが挙げられる。何れの装置においても、本発明の希土類-鉄-窒素磁石粉末を調製することが可能であるが、特に窒素組成分布の揃った粉体を得るためにはキルンのような回転式反応炉を用いるのが好ましい。窒化処理は、該希土類-鉄母合金粉末を含窒素雰囲気中で、例えば、200~700°Cに加熱する。加熱温度は、300~600°Cが好ましく、さらに好ましくは350~550°Cとする。200°C未満では十分に母合金の窒化速度が遅く、700°Cを超える温度では希土類の窒化物と鉄とに分解してしまうので好ましくない。加熱時間は、例えば2~10時間とし、5~10時間するのが好ましく、より好ましくは7~10時間とする。窒化を効率よく行うためには、通常100μm程度以下の希土類-鉄母合金粉末粒子を用いることが好ましい。粒子の大きさは特に制限されないが、凝集融着部を実質的に含まない平均粒径5~100μmの粉末であればなお好ましい。このため、希土類-鉄母合金粉末の凝集融着部をなくすために、必要により解砕しておくことが好ましく、粒径の大きな希土類-鉄系合金粉末をさらに微粉化解砕を含むして製造してもよい。粒径が5μmよりも細かいと発火し易く取り扱いが難しくなる。また、粒径が100μmよりも粗いと粒子内を均一に窒化することが行いずらくなり、磁気特性が低くなってしまう。希土類-鉄母合金粉末を粉砕、解砕する方法は、特に制限されず、例えば、湿式粉砕法ではボールミル粉砕や媒体攪拌型ミル粉砕等を、乾式粉砕法では不活性ガスによるジェットミル粉砕等を用いることができる。これらの中でも、粉末の凝集を少なくできるジェットミル粉砕が特に好ましい。また、希土類-鉄母合金粉末の凝集をさらに少なくするため、例えば、ジェットミル粉砕では、不活性ガス中に5体積以下の酸素を導入することで微粉化することができる。また、ボールミル粉砕や媒体攪拌ミル粉砕等では、小径の粉砕ボール、あるいはステンレス鋼等ではなくジルコニア等の低比重のセラミックス粉砕ボールを用いることによって微粉化することができる。窒化処理前の熱処理なお、上記希土類-鉄母合金粉末の粒径が粗大であるため粉砕処理を行った場合は、得られた希土類-鉄母合金粉末には、粉砕により生じた結晶の歪みが残留し、次の窒化工程においてα-Fe等の軟磁性相が発生する原因となる場合がある。α-Fe等の軟磁性相が発生すると保磁力や角型性が低下するため、磁気特性を向上させるためには、粉砕により得られた母合金微粉末を、窒化処理に先立って、アルゴン、ヘリウム、真空等の非酸化性かつ非窒化性雰囲気中、600°C以下で熱処理し、結晶の歪みを除去しておくことが好ましい。特に、窒化処理と同時に400~600°Cで熱処理を行うと処理コストを下げられるためメリットが大きい。窒化処理と同時の場合は、熱処理温度が400°C未満であると、残留する結晶の歪みを除去する効果が十分でなく、一方、600°Cを超えると、合金が希土類元素の窒化物と鉄に分解するので好ましくない。水素アニール、アルゴンアニール上記窒化処理の終了後、水素アニール、アルゴンアニールをすることが好ましい。例えば、水素アニールを0.5~2時間、アルゴンアニールを0.3~1時間行い、アルゴンを流した状態で室温まで自然または強制冷却をすればよい。水素アニールは、希土類-鉄-窒素合金主相に過剰に入った窒素を抜きだす効果があり、また、アルゴンアニールは希土類-鉄-窒素合金主相に過剰に入った水素を抜く効果がある。これにより該合金粉末の過剰な窒素、水素が抜け、理論上最も磁気特性の高い組成に近づかせることができる。なお、上記のように、アンモニア-水素混合ガス中で窒化した後の合金粉中には水素が高含有量で残留している場合があり、水素残留量が多いままでは磁気特性が低下するため、必要によって真空加熱を行うなどの方法で十分に水素除去しておく必要がある。4希土類-鉄-窒素系磁石粉末の粉砕解砕又は微粉砕ニュークリエーションタイプの磁石粉末は、上記の方法で得られた粗粉末では高い保磁力を得ることができないため、平均粒径が1~10μmになるように微粉砕を行うことが必要になる。より好ましい平均粒径は、1~8μmであり、さらに好ましい平均粒径は、1~5μmである。微粉砕を行う方法は特に限定されないが、例えば湿式粉砕機、乾式粉砕機、ジェットミル、アトライターなどが挙げられる。アトライターは適当な粉砕溶媒を選択することにより合金粉末を安価に微粉砕できるので好ましい装置といえる。この際、微粉末を乾燥する必要があるが、真空中で乾燥すれば短時間で効率的に乾燥できるので好ましい。粉砕溶媒としては、イソプロピルアルコール、エタノール、トルエン、メタノール、ヘキサン等が使用できるが、特にイソプロピルアルコールが好ましい。粉砕後に所定の目開きのフィルターを用いて、ろ過、乾燥して希土類-鉄-窒素系磁石微粉末を得る。磁石粉末の表面処理得られた希土類-鉄-窒素磁石粉末は、空気中、温度や湿度の高い雰囲気中に置かれると錆びたり劣化したりして磁気特性が低下する場合があるため、燐酸や有機燐酸エステル系化合物、亜鉛などの金属粉末、シリルイソシアネート系化合物、あるいはチタネート系、アルミニウム系、シラン系など各種カップリング剤によって表面処理することが望ましい。例えば、希土類-鉄-窒素磁石粉末に亜鉛粉末とカップリング剤を加えたものを、有機溶媒を媒液として湿式粉砕することができる。希土類-鉄-窒素磁石粉末の粉砕時に亜鉛粉末及びカップリング剤が存在すると、粉砕された磁石粉末表面にカップリング剤及び亜鉛粉末がコ-ティングされ、粒子同士の付着が防止されて粉砕速度が早くなる。また、亜鉛粉末がコ-ティングされることにより、磁石粉末表面近傍の変質層が磁気的に無害なものになるため、高い磁気特性が得られる。また、表面処理剤として有機燐酸エステル系化合物あるいはシリルイソシアネート系化合物を用いる場合、被覆または塗布手段は特に限定されないが、例えば、まず処理剤を磁性粉100重量部に対して約5~10重量部の溶媒に溶解した後、磁性粉と充分に混合撹拌し、24時間以上真空または減圧乾燥することにより行うことができる。この時、溶媒としては、アルコール類、ケトン類、低級炭化水素類、芳香族類、またはこれらの混合系有機溶媒等が用いられる。以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。得られた窒化粉末は次の方法で測定した。<イグロス成分量の測定>希土類酸化物粉末のイグロス成分量は、熱重量測定-質量分析TG-MSを用いて次のように測定した。Sm2O3粉を入れたサンプルケースを20°C/分の昇温速度で1000°Cまで加熱し、その時の質量減少量をイグロス成分量とする。<平均粒径の測定>磁石粉末の平均粒径は、レーザー回折式粒度分布計Sympatec社製を用いて測定を行った。<磁気特性評価>希土類-鉄-窒素磁石粉末試料の磁気特性は、次のように測定した。まず、パラフィンを詰めたサンプルケースを準備し、それにSm-Fe-N合金粉末を詰め、その後、加熱配向、冷却固化を行い、サンプルを作製した。次に振動試料型磁力計VSM東英工業株製を用い、ヒステリシスループを描かせた最大印加磁場:1670kA/m21kOe。実施例1~3次に示す製造方法でSm-Fe-N合金粉末を作製した。まず、出発原料として、Fe粉平均粒径:38.3μm、純度:99.0以上、酸素<0.1、Sm2O3粉平均粒径:3.1μm、純度:99.0以上、炭素<0.05、SiO2<0.01、還元剤として、Ca粒度:5mm以下、純度:99.1以上を準備した。次に、Sm2O3粉末を乾燥機に入れ、空気を流通させ大気圧条件下にて、600°Cで1時間加熱乾燥を行った。乾燥処理の終わったSm2O3粉末と上記Fe粉、Caを混合機で1時間混合した。その後、得られた混合物を反応容器に入れ、さらに還元拡散容器に入れた後、電気炉還元拡散炉に装入し、アルゴン置換した後、アルゴン流量0.5~1.0L/分として、1200°Cで8時間保持し、その後室温まで冷却してSm-Fe還元物を含む反応生成物を得た。次に、上記反応生成物1kgを真空引きできるステンレス製容器に入れ、0.001MPaまで真空引きした後、水素を入れ反応させ、崩壊させた。次に、上記崩壊物を崩壊物1kgに対し1Lの水と共に水槽に入れ、窒素置換せずに、1時間攪拌しスラリー化させる。その後、該スラリー溶液に注水し、攪拌1分、静置分離2分、排水することを1回とし、この作業を5回繰り返してCaを除去し、酢酸を用いて酸洗処理を行った。その後、アルコールでデカンテーションし、固相部分を乾燥機に移し、真空中100°C、3時間乾燥し、Sm-Fe合金粉末を得た。次に回転するレトルトに片側からガス供給を行い反対側からガスを排気する電気炉を用い、Sm-Fe合金粉末に対して、Sm-Fe母合金粉末1kgあたり水素ガス流量を0.1L/min、アンモニア流量を0.2L/minとしたアンモニア-水素混合ガスを流しながら460°Cで10時間、窒化を行った。窒化後は、温度を460°Cに維持したまま、Sm-Fe合金粉末1kgあたり水素ガスを1L/min流しながら1時間保持し、次いでSm-Fe合金粉末1kgあたり窒素ガスを1L/min流しながら1時間保持するアニールを行い、その後、窒素を流したまま室温まで冷却した。冷却後は得られたSm-Fe-N合金粉末を全量回収した。実施例1のSm2O3粉末のイグロス成分量、Sm-Fe合金粉末の平均粒径およびSm-Fe-N合金粉末の組成分析、平均粒径の結果を表1に示す。さらに、実施例1のSm-Fe-N合金粉末を媒体攪拌ミルでアルコールを溶媒として用い、200rpm、2時間粉砕を行った。その後濾過し、ミキサーで攪拌しながら真空熱乾燥を行い、実施例1のSm-Fe-N合金微粉末を製造した。得られたSm-Fe-N合金微粉末の平均粒径と磁気特性測定を行った結果を表2に示す。実施例2、3Sm2O3粉末を加熱乾燥する際の加熱温度を500°C実施例2、700°C実施例3としたこと以外は、実施例1と同様にして、Sm-Fe合金粉末、Sm-Fe-N合金粉末、Sm-Fe-N合金微粉末を得た。実施例1と同様に、実施例2、3のSm2O3粉末のイグロス成分量、Sm-Fe合金粉末の平均粒径およびSm-Fe-N合金粉末の組成分析、平均粒径の結果を表1に示す。また、実施例2、3のSm-Fe-N合金微粉末の平均粒径および磁気特性測定を行った結果を表2に示す。比較例1実施例1と同様の出発原料を用意し、Sm2O3粉末の乾燥処理を行わなかったこと以外は、実施例1と同様にして、還元拡散、水素処理、湿式処理、窒化、粉砕を行い比較例1のSm-Fe合金粉末、Sm-Fe-N合金粉末、Sm-Fe-N合金微粉末を得た。比較例1のSm2O3粉末のイグロス成分量、Sm-Fe合金粉末の平均粒径およびSm-Fe-N合金粉末の組成分析、平均粒径の結果を表1に示す。また、比較例1のSm-Fe-N合金微粉末の平均粒径および磁気特性測定を行った結果を表2に示す。比較例2、3Sm2O3粉末を加熱乾燥する際の加熱温度を200°C比較例2、400°C比較例3としたこと以外は、実施例1と同様にして、Sm-Fe合金粉末、Sm-Fe-N合金粉末、Sm-Fe-N合金微粉末を得た。実施例1と同様に、比較例2、3のSm2O3粉末のイグロス成分量、Sm-Fe合金粉末の平均粒径およびSm-Fe-N合金粉末の組成分析、平均粒径の結果を表1に示す。また、比較例2、3のSm-Fe-N合金微粉末の平均粒径および磁気特性測定を行った結果を表2に示す。評価表1、2の結果から、実施例1~3のSm-Fe-N合金微粉末は、磁気特性が比較例1~3と比較して全特性とも高く、ばらつきも小さいことがわかる。これは、原料のSm2O3粉末を予め乾燥処理しているために、原料からイグロス成分が除去されたためと考えられる。これに対して、比較例1~3をみると、還元拡散や窒化が均一に進まずSm-Fe-N合金粉のサマリウム量や窒素量が実施例1~3と比較して、数値が低くばらつきも大きいことが分かる。これは原料のSm2O3粉末に対して乾燥処理を行っていない、あるいは不十分なために、原料にイグロス成分が存在していると考えられる。以上より、本発明の実施例で製造されたSm-Fe-N合金微粉末は、比較例に比べ高い磁気特性を示し、ばらつきも小さいことから、原料のSm2O3粉末を他の原料粉末や還元剤粉末と混合する前に乾燥処理する効果が十分認められると言える。