"ベース素材に複数の機械加工工程と熱処理工程とを施すことにより最終形状に加工される機械部品の製造方法であって、いずれかの機械加工工程の後の前記ベース素材の中間形状における熱処理後の強度を計算により推定する工程と、推定された強度を最終形状に要求される基準強度と比較する工程とを有し、比較結果により、前記いずれかの機械加工工程の後に熱処理を行うことを特徴とする機械部品の製造方法。前記熱処理工程後に仕上げ加工を行うことを特徴とする請求項1の機械部品の製造方法。前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記ベース素材の厚みを調整することを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の機械部品の製造方法。前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記ベース素材を、中央に開口部を設ける円筒形状とすることを特徴とする請求項3に記載の機械部品の製造方法。前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記円筒形状となったベース素材の外面にカバー外形を形成することを特徴とする請求項4に記載の機械部品の製造方法。前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記カバー外形を形成したベース素材に流路を形成することを特徴とする請求項5に記載の機械部品の製造方法。前記請求項1~6のいずれかの製造方法によって製造された機械部品であるインペラと、このインペラを駆動する駆動軸とを有することを特徴とする、インペラを備えた回転機械。しかしながら、上記特許文献1~3に開示された一体型インペラの場合においても耐久性強化の目的として、焼入れ焼き戻し熱処理を行うため、熱処理時には変形が発生する。このような変形は事前に予測できない場合があり、この点においてさらなる寸法精度向上の余地が残されている。具体的には、一体型インペラでは、機械加工後に熱処理することで表面を硬化させ、靱性を向上させる処理が行なわれるが、機械加工前の母材金属の塊の状態では、図14に示されるように、中央に位置する中心部Cが表面から遠いため、焼き入れの効果が及び難く、強度が低くなる傾向がある。このような熱処理に際して、事前に予測できない変形が生じると、所望の寸法精度を得るために、熱処理後に研削等の仕上げ加工の工程が新たに必要になる場合がある。この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、焼入れ焼戻し等の熱処理時の強度を予測することで、ベース素材の変形量を低減して熱処理時形状を最適化して、回転機械に用いられる機械部品インペラの性能を向上させることができる、機械部品の製造方法及びこの製造方法によって製造されたインペラを備えた回転機械の提供を目的とする。上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。すなわち、本発明は、ベース素材に複数の機械加工工程と熱処理工程とを施すことにより最終形状に加工される機械部品の製造方法であって、いずれかの機械加工工程の後の前記ベース素材の中間形状における熱処理後の強度を計算により推定する工程と、推定された強度を最終形状に要求される基準強度と比較する工程とを有し、比較結果により、前記いずれかの機械加工工程の後に熱処理を行うことを特徴とする。本発明によれば、いずれかの機械加工工程の後のベース素材の中間形状における熱処理後の強度を推定する工程と、推定された強度を最終形状に要求される基準強度と比較する工程とを有し、該比較結果により、前記いずれかの機械加工工程の後にベース素材の熱処理を行うようにした。これにより、機械加工工程の後のベース素材の中間形状において推定される熱処理後の強度が、最終形状にて要求される基準強度を満たさないとの比較結果となる場合に、該ベース素材の形状を変更するなどの加工を行うことで、要求される該ベース素材の強度を確保することができる、すなわち、熱処理時のベース素材の変形量を低減して熱処理時形状を最適化することにより、回転機械に用いられる機械部品インペラの性能を向上できる効果を奏する。また、本発明に係る機械部品の製造方法によれば、前記熱処理工程後に仕上げ加工機械加工あるいは放電加工を行うことを特徴とする。このような発明によれば、熱処理工程の後に仕上げ加工を行うことで、焼き入れにより硬化したベース素材を最小限の加工量で最終形状に仕上げることができる。また、本発明に係る機械部品の製造方法によれば、前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記ベース素材の厚みを調整することを特徴とする。更に、本発明に係る機械部品の製造方法によれば、前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記ベース素材を、中央に開口部を設ける円筒形状とすることを特徴とする。更に、本発明に係る機械部品の製造方法によれば、前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記円筒形状となったベース素材の外面にカバー外形を形成することを特徴とする。更に、本発明に係る機械部品の製造方法によれば、前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、前記カバー外形を形成したベース素材に流路を形成することを特徴とする。このような発明によれば、前記比較工程において、推定された強度が最終形状に要求される基準強度を満たさない場合に、ベース素材の厚みを調整する、ベース素材の中央に開口部を設ける円筒形状とする、該円筒形状のベース素材の外面にカバー外形を形成する、該ブレードを形成したベース素材に流路を形成する、といった各種の形状変更を行うことによって、要求されるベース素材の強度を確実に確保することができる、すなわち、ベース素材の形状を適宜変更することで、熱処理時のベース素材の中心部まで確実に熱処理の硬化が及ぶように熱処理時形状を最適化することができ、これにより、回転機械に用いられる機械部品インペラの性能を向上させることができる。また、本発明では、上記のいずれかの製造方法によってインペラを備えた回転機械を製造すること特徴とする。そして、このような発明によれば、コンプレッサなどの回転機械に、上記製造方法によって製造された高性能のインペラを備えることによって、該回転機械全体の品質を向上させることができる。本発明によれば、いずれかの機械加工工程の後のベース素材の中間形状における熱処理後の強度を推定する工程と、推定された強度を最終形状に要求される基準強度と比較する工程とを有し、該比較結果により、前記いずれかの機械加工工程の後にベース素材の熱処理を行うようにした。これにより、機械加工工程の後のベース素材の中間形状において推定される熱処理後の強度が、最終形状にて要求される基準強度を満たさないとの比較結果となる場合に、該ベース素材の形状を変更するなどの加工を行うことで、要求される該ベース素材の強度を確保することができる、すなわち、熱処理時のベース素材の変形量を低減して熱処理時形状を最適化することにより、回転機械に用いられる機械部品インペラの性能を向上できる効果を奏する。実施例1本発明の第1実施例を図1~図6を参照して説明する。図1は本発明の第1実施例に係わる工程を概略的に示した工程図、図2は図1の工程S10~S13を具体的に示すフローチャートである。本発明の第1実施例に係わる工程は、図1に示す手順で行う。まず何らかの機械加工を経たインペラ素材ベース素材を準備するS10。本機械加工としては無垢材塊からの削り出し加工が例示される。また本ベース素材としては例えば短円柱状、円錐台状などの金属塊が例示される。このベース素材に規定の強度を付与するために、シミュレーションにより推定した条件に基づき熱処理を行うS11。その後、機械加工による削り出しや放電加工によって、前記ベース素材からカバーシュラウド、ブレード、ディスクハブを形成する放電加工による仕上げ加工S12、及び電解研磨化学研磨などによる手入れ磨き加工S13を行う。本発明の第1実施例に係わる工程では、熱処理時の変形量を低減して最終形状の寸法精度を向上させるために、流路加工や外形状加工を行う前の素材形状のまま、焼入れ焼戻しの熱処理を行う。すなわち、カバー、ディスク、ブレードの形状を削り出す前に、熱処理を行い要求された材料特性にすることで、最終形状に及ぼす熱処理変形の影響を最小限に抑えるようにしている。ただし、図14に示すように、ベース素材のままでは従来方法と比べて熱処理時の肉厚が厚いため、中心部Cの熱処理性が悪化して要求強度が確保できない場合がある。流路を形成するカバー、ブレード、ディスクの表面部近傍は特に高硬度、高強度が要求されるが、ベース素材の形状によっては、当該表面部近傍とベース素材の中心部Cが重なる場合もある。このため、まず、熱処理後に規定の強度を有し得るための条件を得る必要がある。以下、図2のフローチャートを参照して、上述した図1の工程S10~S13を具体的に説明する。[SP100]まず、何らかの機械加工工程を経たインペラ素材を準備する。ここでは、図3に示されるような厚さtの円柱形状のベース素材20を想定する。[SP101]~[SP102]次に、図4~図6を用いてベース素材20に熱処理を行なったと仮定して計算する。インペラ素材の厚みは目的とするインペラ形状を基に定まり、焼入れ時の冷却速度はインペラ厚さで決まる。一般的に熱処理後の硬度、強度耐力は焼入れ時の冷却速度と相関があり、冷却速度を大きくする程、硬度、強度の高い材料となる。この硬度、強度は、図4に示す連続冷却変態曲線CCT曲線と図5に示す焼き戻し性能曲線を使用して予測できる。例えば、図4のCCT曲線には、ベース素材を0.25°C/secで冷却した場合のブリネル硬さHBは518となることが示されており、これを図5の焼戻し曲線を参照して、ブリネル硬さHBを示す基準線Aからの差分で計算するならば、650°Cで焼戻した場合のブリネル硬さHBは250であり、このときの耐力YPは基準線Bからの差分によりおよそ70kgf/mm2であることが理解できるブリネル硬さHBの基準線Aからの硬度差ΔHB78は、耐力YPの基準線Bからの強度差Δ26kgf/mm2に相当する、ことを根拠として計算する。このようにして求めた650°Cで焼戻した場合における、ベース素材中心部の耐力YPを、冷却速度°C/secと、ベース素材20の厚さt:mmとの関係からまとめたものが図6である。そして、この図6を参照して分かるように、ベース素材の厚みが増加するほど、中心部Cの冷却速度が小さくなりそれに応じて達成される強度関連データ耐力、硬度他も小さくなることが分かる。具体的には、90kgf/mm2の耐力を得ようとした場合には、ベース素材厚さtは約60mm以下として冷却速度は3°C/sec以上とする必要があり、同様に、80kgf/mm2の耐力を得ようとした場合には、ベース素材厚さtは約120mm以下として冷却速度は1°C/sec以上とする必要がある。なお、上述した焼入れ時の冷却速度に関しては、例えば数値シミュレーション技術を活用して冷却速度を評価する方法や、実験等により直接測定する方法を用いて推定することができる。従って、図4のCCT曲線、図5の焼戻し曲線、図6の冷却速度を用いて要求強度に対応した素材厚さが得られ、熱処理時の素材形状が策定可能となる。なお、インペラ素材厚みと冷却速度及び達成強度の関係は、熱処理設備の仕様加熱、冷却性能及び製造状況に応じて整理すればよい。なお、上述した図4~図6のグラフはデータベースに記憶され、必要に応じて該データベースから読み出されるSP102[SP103]上記SP101での解析結果に基づき、SP100で用意した厚さtのベース素材20が、熱処理後に既定の強度を有しているかを判断し、NOの場合にSP104に進み、YESの場合にSP105に進む。[SP104]SP101の解析結果に基づきベース素材20の厚さtを変更するなどの機械加工を行なった後状況に応じて、ベース素材20の厚さを薄くする、又は厚さの小さい材料に差し替えるなどの仕様変更を行った後、再度、SP101に戻り、該ベース素材の熱処理後の強度を推定する。[SP105]SP101で推定した強度を満たす条件で、ベース素材20の熱処理を行う。[SP106]SP105で熱処理したベース素材20を所定の形状に切削するなどの機械加工及び仕上げ処理を行う。ここでは、通常の機械加工の他、硬度が増したベース素材20を効率良く加工することができる放電加工などが用いられる。[SP107]SP106で加工したベース素材20を、電解研磨化学研磨するなどの手入れ磨き処理する。以上詳細に説明したように第1実施例に示される機械部品の製造方法では、いずれかの機械加工工程の後のベース素材20の中間形状における熱処理後の強度を推定する工程SP100~SP102と、推定された強度を最終形状に要求強度と比較する工程SP103~SP104とを有し、該比較結果により、前記いずれかの機械加工工程の後にベース素材20の熱処理を行うようにしたSP105~SP107。これにより、機械加工工程の後のベース素材20の中間形状において推定される熱処理後の強度が、最終形状にて要求強度を満たさないとの比較結果となる場合に、該ベース素材20の形状を変更するなどの加工を行うことでSP104、要求される該ベース素材20の強度を確保することができる、すなわち、熱処理時のベース素材20の変形量を低減して熱処理時形状を最適化することにより、回転機械に用いられる機械部品インペラの性能を向上できる効果を奏する。また、上記第1実施例に示される機械部品の製造方法では、前記熱処理工程SP105の後に放電加工を行うことで、強度が増したベース素材20も容易に加工することができる。実施例2本発明の第2実施例を図7及び図8を参照して説明する。前述した第1実施例では、SP104にて、SP101の解析結果に基づきベース素材20の厚さtを変更するなどの機械加工を行なうようにしたが、第2実施例では、ベース素材20の厚さtだけではなく、該ベース素材20の厚みに応じて適切な荒加工を施し、該ベース素材20の全体形状を変更することで熱処理形状を最適化する、ことを特徴とする。具体的には、ベース素材20の当初の形状が、図7aに示すように円柱状の塊形状符号20Aで示すであり、この形状で熱処理後に強度が不足すると推定される場合には、熱処理前加工として、例えば、図7bに示すように、インペラ素材の中央にシャフト穴を設ける円筒形状符号20Bで示すとなるように荒加工する。さらに円筒形状符号20Bで示すであり、この形状で熱処理後に強度が不足すると推定される場合には、図7cに示すように、中央に開口部有するベース素材20の外面にカバー外形を形成してなる円筒形状符号20Cで示すに荒加工すると良い。これにより、熱処理時の冷却速度を大きくして、該ベース素材20の強度をアップさせると良い。なお、SP104において、ベース素材20を形状20A~20Cのいずれかにするかは、図8に示される冷却速度と形状20A~20C毎の素材厚みとの関係を示すグラフから決定される。例えば、要求強度70、80、90kgf/mm2に応じて、形状20A~20Cを選択し、選択した形状に対応した冷却速度と形状20A~20C毎の素材厚みとの関係を示すグラフから、定めた冷却速度本例では、3°C/secに応じた素材厚さを決定する。具体的には、冷却速度を3°C/secとした場合、形状20Aでは約60mmしか採れない素材厚みが、形状20Bにすると約85mm、形状20Cにすると120mmまで可能となる。このように第2実施例では、SP104において、要求強度70、80、90kgf/mm2に応じて、形状20A~20Cのいずれかに変更する加工をし、その後、SP101にてベース素材20が実際に強度を満たしているかを再度、解析する。以上詳細に説明したように第2実施例に示される機械部品の製造方法では、SP104において、SP101の解析結果に基づきベース素材20の厚さtを変更するなどの機械加工を行なうだけでなく、該ベース素材20の厚みに応じて適切な荒加工を施し、該ベース素材20の全体形状を変更する例えば、形状20Aから形状20B、さらに形状20Cへ変更することで熱処理形状を最適化するようにした。すなわち、第2実施例では、インペラ素材20の厚みが比較的大きい場合においては、荒加工形状時の材料厚みと冷却速度及び達成強度の関係を予め整理しておくことで、最適な形状を選択して、第1実施例と同様に変形量を低減した熱処理を行うことができる。実施例3本発明の第3実施例を図9a~cを参照して説明する。前述した第2実施例では、SP104にて、ベース素材20の厚みに応じて適切な荒加工を施し、該ベース素材20の全体形状を変更する形状20Aから形状20B、20Cへの変更することで熱処理形状を最適化するようにしたが、その際、図9aに示すような、ベース素材20に、流路21を形成するための機械加工を行うようにしても良いこれを形状20Dとする。そして、このような図9aに示す形状20Dの場合も、第2実施例と同様に、図9bcに示される該ベース素材20の熱処理後の変形程度を示す解析結果から、熱処理時の要求強度を計算する。また、その際、冷却速度と形状20Dの素材厚みの関係だけでなく、流路間の素材の適正な肉厚も考慮した熱処理時の要求強度を計算する。そして、SP104において、要求強度70、80、90kgf/mm2に応じて、形状20Dのブレード部における各部の厚さを変更する加工をし、その後、SP101にてベース素材20が実際に強度を満たしているかを解析する。以上詳細に説明したように第3実施例に示される機械部品の製造方法では、SP104において、SP101の解析結果に基づきベース素材20の厚さtを変更するなどの機械加工を行なうだけでなく、該ベース素材20の各部厚みに応じて適切な荒加工を施し、該ベース素材20の全体形状を変更する形状20Aから形状20B,20Cへの変更するとともに、ベース素材20となる形状20Cの外面に流路21を形成した形状20Dに変更することで、熱処理形状を最適化するようにした。すなわち、第3実施例では、ベース素材20の全体形状を変更する形状20Aから形状20B,20Cへの変更するとともに、ベース素材20の外面に流路21を形成した形状20Dに変更する処理を行うことで、第2実施例と同様に変形量を最小限に抑えた熱処理を行うことができる。なお、図4~図6及び図8に示されるグラフを用いた熱処理後のベース素材20の強度予測は一例であって、評価するベース素材の形状が異なれば、グラフが異なるのも当然であり、評価対象に応じて適宜、グラフも差し替えられることになる。以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。"