"2つの区画を備える容器を有する、気相状態にある材料の蒸着供給源10であって、前記2つの区画とは、前記材料のための入れ物および前記入れ物21の中に配置された前記材料を加熱するための手段を備える蒸気生成区画20と、前記生成区画と連通し、かつ少なくとも1つのオリフィス30を備え、その結果、気相状態にある前記材料は前記オリフィス30を通って前記容器の外側に向かって送られるチャンバ50とである蒸着供給源であって、一方では、チャンバ50は、熱輸送液体25が満たされる中間空間を画定する内壁52および外囲器60を有し、他方では、前記蒸着供給源は熱輸送液体25を加熱するための手段を備えることを特徴とする、蒸着供給源。熱輸送液体25を加熱するための前記手段が、全面的または部分的に前記チャンバ50の外囲器60に接触している少なくとも1つの電気抵抗41を含む、請求項1に記載の蒸着供給源。電気抵抗41が、前記チャンバ50外囲器60の外表面に接触している、請求項2に記載の蒸着供給源。熱輸送液体25の前記加熱手段が、前記中間空間内に全面的または部分的に配置されている少なくとも1つの電気抵抗41を含む、請求項1~3のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。電気抵抗41が内壁52の外表面に接触している、請求項4に記載の蒸着供給源。前記熱輸送液体を加熱するための前記手段が、前記チャンバの外側に配置される、前記熱輸送液体25を加熱するための装置、および前記熱輸送液体を前記加熱装置と前記中間空間との間で循環させるための手段を含む、請求項1~5のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。内壁52の熱伝導率が外囲器60の熱伝導率より大きい、請求項4~6のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。入れ物21が、熱輸送液体25で満たされる第2の中間空間を画定する内壁および外囲器29を含む、請求項1~7のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。入れ物21を加熱するための前記手段が、前記入れ物の外囲器29と全面的または部分的に接触している少なくとも1つの電気抵抗27を含む、請求項8に記載の蒸着供給源。入れ物加熱手段21が、前記第2の中間空間内に全面的または部分的に配置された少なくとも1つの電気抵抗27を含む、請求項8または9に記載の蒸着供給源。入れ物21を加熱するための前記手段が、入れ物21の外側に配置される前記熱輸送液体25を加熱するための装置、および、前記加熱装置と前記第2の中間空間との間で前記熱輸送液体25を循環させるための手段を含む、請求項8~10のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。入れ物21の内壁の熱伝導率が、入れ物21の外囲器29の熱伝導率より大きい、請求項10または11に記載の蒸着供給源。入れ物21が、前記材料と接触するその内部表面上に1つあるいは数個のフィン22を含む、請求項1~12のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。前記少なくとも1つのオリフィス30が、前記中間空間を通り抜けるノズルを有する、請求項1~13のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。前記中間空間が、チャンバ50の内壁52のすべての外表面を取り囲む、請求項1~14のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。前記蒸気生成区画20およびチャンバ50が、直角に連結される、請求項1~15のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。蒸気生成区画20が、チャンバ50の幅の中央に置かれる、請求項16に記載の蒸着供給源。少なくとも1つのオリフィス30の高さに位置する局部加熱手段を有する、請求項1~17のうちいずれか1項に記載の蒸着供給源。前記局部加熱手段が、各オリフィス30のために、オリフィス30の周壁を囲むフィラメント31を含む、請求項18に記載の蒸着供給源。フィラメント31が、前記中間空間の外側に位置している、請求項19に記載の蒸着供給源。フィラメント31が、前記中間空間内に位置している、請求項19に記載の蒸着供給源。それ故、本発明の全般的な目的は、蒸着を停止したり再開したりしながら連続的に作動することが必要とされる気相蒸着システムの線形供給源で見つかっている上記の弱点の1つを少なくとも部分的に克服することである。蒸発温度に近い破壊温度を有する有機材料の蒸着を可能にする線形供給源を記載することも本発明の目的である。本発明の他の目的、特徴および利点は、以下の説明および添付図面を検討することで明らかになるであろう。他の利点が組み込まれてもよいことは言うまでもない。これらの目的を達成するために、本発明は、材料の気相蒸着のための供給源を記載する。この供給源は、2つの区画に分けられている容器から成る。第1の区画は、蒸気を生成するためのものである。この区画は、材料のための入れ物およびその入れ物の中に置かれる材料を加熱するための手段を備えている。第2は、拡散区画であり、この拡散区画は、生成区画と連通する容器を有し、かつ少なくとも1つの開口を備え、その結果、気相状態の材料がこの開口を通って容器の外側に向かって送られる。この供給源の特徴は、一方では、空間が熱輸送液体で満たされる中間空間を画定している内壁および外囲器を有し、他方では、空間がこの液体を加熱するための手段で埋められていることである。本発明は、以下のオプションを含んでいてもよい。-熱輸送液体を加熱するための手段は、全面的または部分的にチャンバ外囲器と接触する少なくとも1つの電気抵抗を含む。-電気抵抗は、チャンバ外囲器の外部表面と接触している。-加熱手段は、中間空間の中に、全面的または部分的に配置される少なくとも1つの電気抵抗を有する。-電気抵抗は、内壁の外部表面と接触している。-熱輸送液体を加熱するための手段は、チャンバの外側に配置される熱輸送液体を加熱するための装置、および加熱装置と中間空間との間で熱輸送液体を循環させるための手段を含む。-内壁の熱伝導率は、外囲器の熱伝導率より大きい。-入れ物は、熱輸送液体で満たされる第2の中間空間を画定している内壁および外囲器を有する。-入れ物を加熱するための手段は、全面的または部分的に入れ物の外囲器と接触する少なくとも1つの電気抵抗を含む。-入れ物加熱手段は、第2の中間空間の中に全面的または部分的に配置される少なくとも1つの電気抵抗を含む。-入れ物加熱手段は、入れ物の外側に位置する熱輸送液体を加熱するための装置、および熱輸送液体をこの加熱装置と第2の中間空間との間で循環させるための手段を含む。-入れ物壁の熱伝導率は、入れ物外囲器の熱伝導率より大きい。-入れ物は、材料と接触するその内部表面上に1つあるいは数個のフィンを含む。-少なくとも1つのオリフィスは、中間空間を通るノズルを備えている。-中間空間は、チャンバの内壁のすべての外部表面を取り囲む。-蒸気生成区画およびチャンバは、直角に連結する。-蒸気生成区画は、チャンバの幅の中央に置かれる。-加熱手段は、少なくとも1つのオリフィスの高さに位置する。-各オリフィスに対して、加熱手段は、オリフィスの周壁のまわりにフィラメントを有する。-フィラメントは、中間空間の外側に置かれる。-フィラメントは、中間空間の中に置かれる。本発明の目的、目標、特徴および利点は、以下の添付図面に示す実施形態の詳細な記述によってより良く理解されるであろう。添付図は、実施例として与えられており、限定的なものではない。図1Aおよび図1Bは、本発明による線形気相蒸着供給源を示しており、この線形気相蒸着供給源では、加熱フィラメントが、加熱炉の外囲器および蒸気ディフューザの周りに巻かれている。本発明は、線形気相蒸着供給源10が、好適な実施形態において、加熱炉または材料生成区画20とチャンバ50のオリフィス30を形成する蒸発ノズルとの間で非常に緩やかな温度勾配を得ることをどのように可能にしているかについて記載する。本発明と同じ種類の蒸着供給源は、その高さで材料が加熱されると気相に変化する蒸気生成区画を有する。供給源は、供給源の外側にオリフィス30を通って蒸気をもたらすことができる前記蒸気のための生成区画を有し、その結果、材料は蒸着され得る。供給源は、拡散を実行、すなわち生成区画20から蒸気を分散するチャンバを含む。示した実施形態においては、蒸発させられる材料23の入れ物21と連通するのに、生成区画20とチャンバ50は、パイプ40を介して連結されている。有利には、パイプ40は、2つの供給源区画の間にT字形を形成しているチャンバ50の一体化部分である。形容詞線形のlinearは、いくつかのノズル好適な実施形態を有する供給源を意味するものとし、これらのノズルは供給源の1つの寸法に従って隣接配置されている。好ましくは、この隣接配置は直線に沿ったノズルの配列を含むが、これは制限的な配置ではない。炉の坩堝または入れ物21は、蒸発させられる材料23、例えばエレクトロルミネセンスダイオードを製造するのに使われる種類の有機材料を含む。坩堝は、中間空間の坩堝のまわり中に存在する熱輸送流体25に浸漬している。この中間空間は、これから先では第2の中間空間チャンバ50の高さで形成され以後記述される中間空間に対してと呼ばれ、これは、加熱炉、すなわち坩堝自体および炉の外囲器29を形成する2つの同軸チューブ間の空間である。この筒状構成は、有利ではあるが、限定的ではない。材料23を受けている入れ物21の内壁と外囲器29の間に、第2の中間空間は、一般に形成される。有利には、第2の中間空間は入れ物21の底面および側面の壁の部分をカバーする。そして、その底面に対向する入れ物21の部分はチャンバ50と連結する。図1Aおよび図1Bに示される本発明の実施形態の例において、加熱手段は、加熱炉の外囲器を囲むフィラメント27から成る。それ故、入れ物21は、加熱フィラメントと直接には接触していない。これにより、ホットポイントの発生が防がれる。ホットポイントは、背景技術に関する導入で述べた不都合、すなわち、蒸発させられる材料には劣化および高コストの材料の損失があり、使用寿命が短いという不都合を有する。それ故、坩堝の加熱は間接的である。これは、全体として一様な蒸発温度を確保する熱輸送流体を介して行われる。入れ物21のように、チャンバは熱輸送液体25に浸漬している。この熱輸送液体25は、すべての環状空間に存在し、一方で、パイプ40とディフューザの内壁52との間にそして、他方では、T形の外側の筒状外囲器60に入れられている。T形筒状外囲器の分岐部分は、パイプ40およびチャンバ50の横向き部分のそれぞれと同軸になっている。熱輸送液体は、材料の蒸発温度と両立する温度範囲内で熱を移動できなければならない。使用される液体を選択するうえでの主制約は、温度に関するその化学的安定性であり、物理化学的特性は温度の立ち上がりとは無関係のままである。特にここでより考慮される有機材料のために、流体は、通常は400°Cまで機能できなければならない。液体は、様々な化学組成を有してもよい。すなわち、シリコンベース、合成芳香族化合物または合成製品の使用に基づくものである。さらに、これらの液体は、液体の体積が一定であることを保証するための低熱膨張係数、および供給源の内壁への熱伝達量を最適化するような高熱伝達係数を有することが好ましい。これらの基準を満たす流体は、貿易筋から入手可能である。例えば:-SOlutiaEuropeSPRL/BVBA社製Therminol75登録商標、ここで、SOlutiaEuropeSPRL/BVBA社の住所は、3RueLaidBurniat,B-1348LouvainlaNeuveSud,Belgiumである。-ダウケミカルDowChemical社製Syltherm800登録商標、ここで、ダウケミカルDowChemical社のフランスでの登録事務所および販売代理店は、DowFranceS.A.S,AvenueJulesRimet,93631LaPlaineStDenisである。本発明のこの実施形態において、加熱フィラメント41も、熱輸送液体を用いて間接的にディフューザを加熱するために外側の筒状外囲器を取り囲む。この熱輸送液体は、それによって、一方では、加熱炉内で蒸発される材料に接触する、他方では、噴射パイプ40および水平ディフューザを有するチャンバ内で蒸気に接触するすべての表面上での熱の良好な分布を確実にする。さらに、図には、オリフィス30の高さに位置するオプションの加熱手段を示す。図1Aおよび図1Bに図示した実施形態において、この局所加熱手段は、オリフィス30の上端、すなわちパイプのノズル吹出口に置かれるフィラメント31を含む。フィラメント31は、中間空間の外側のパイプの末端の周壁と結合する。オプションとして、図2Aおよび図2Bには、中間空間の内側の、オリフィス30のパイプ周辺のフィラメント31を示す。環状形状において、フィラメント31により、温度勾配のさらに微細な調整が確保される。この加熱手段は、入れ物21およびその外囲器20、ならびに良好な熱伝導を有する材料例えば、金属の垂直パイプ40、チャンバ50およびそれらの外囲器60の本体の実施形態と組み合わせて使用され、蒸発される材料またはその蒸気に接触する壁の全体に渡る非常に一様な温度を確保する。これによって、フィラメントがこれらの壁と直接に接触すると発生するかもしれないホットポイントが排除される。坩堝または入れ物21の中に置かれ蒸発させられる材料について、その芯まで確実に均一な温度にするために、入れ物は、放射状のフィン22を有する。フィンは、坩堝と負荷との間の加熱面を大いに増大させ、入れ物内部のいかなる温度差も避けるためにすべての加熱パワーを伝導により拡散する。これにより、壁に接触している材料が局部的に焦げることが、一方、もしこれが行われなかったら、坩堝の中央の材料が低い温度になったであろうことが避けられる。わずかではあるが、それでもなお正である温度勾配は、蒸着される材料の破壊温度を超えないと共に、蒸着供給源が適切に機能することを確実にするために、蒸気供給源からノズルまで有利につくられなければならない。そして、この温度勾配は、加熱フィラメントの電気的制御の実行、ならびにすべてのディフューザ、垂直噴射パイプおよび坩堝に渡る加熱フィラメントの分布によって確保され得る。熱輸送液体の存在は、非常に効果的にいかなる変化も取り除いて、ホットスポットの出現を防止する。1つの実施形態において、フィラメントまたは抵抗27および41の様々な制御が、この調整を容易にする。それ故、抵抗値27および41は、供給源の位置に依存して、加熱を調整するために、異なって制御される数個の本体に分割され得る。最後に、連続的な工業生産のために用いられる本発明の線形供給源のために、蒸発される材料を破損することなく蒸発処理を止めたり再開したりするための手段もまた提供されなければならない。本発明のこの目的は、ディフューザ内に蒸気チェックバルブを配置することによって、本発明のこの第1の実施形態において達成される。このチェックバルブは、ディフューザの内径に相当する直径を有する回転スリーブ70の形をしており、軸方向の機械的調節装置72を使って回転可能である。オリフィス73は、蒸着操作中に蒸気が通過することができるように、ノズルの位置に穿設される。スリーブを簡単に回転させるだけで、ノズルを遮蔽し蒸着処理を中断するのに十分である。下部オリフィス71は、垂直蒸気噴射パイプ40に対向して配置されている。この下部オリフィス71は、回転させられノズルを遮蔽したとき、この回転によって、蒸気噴射パイプ40がふさがれないようになっている。図2Aおよび図2Bには、本発明による線形気相蒸着供給源の変形例を示し、この変形例において、加熱または電気抵抗フィラメントが熱輸送液体に直接接触している。この図は、熱輸送液体25を含んでいる環状空間に加熱エレメントを配置することができることを示している。フィラメントは、熱輸送液体に浸漬されおり、そして直接熱を加え、それによって、温度が先のケースと少なくとも同じように一様になることを確実にしている。これは、入れ物21を加熱するために用いるフィラメント27、ならびに、垂直パイプ40および内壁52周辺で温度勾配を維持するために用いるフィラメント41の両方に関する。この場合、外壁の方がずっと冷たく、そして、これは蒸着供給源を含んでいる蒸着チャンバの中の線形供給源からの放熱を制限する。本発明のこの第2の実施形態において、坩堝29の外囲器およびディフューザ60の外囲器は、この放熱をさらに減少させるために、低熱伝導率を有する材料で有利には作製可能である。あるいは、水などの液体クーラントシステムがこの放熱を制限してもよい。それ故、熱輸送液体の加熱は、蒸着チャンバの外部に配置されるバッファータンク図示せずに代えられ得ることがわかる。液体は、その後、供給源および/またはチャンバの高さで循環され、使用中に交換することが可能であり、例えば、供給源の急速冷却、そして、一般に、温度を外部装置から制御することを可能にする。この場合、加熱フィラメントを設置する必要はない。この本発明の第2の実施において、回転スリーブ70は、摺動スリーブ70と置き換えられる。ノズルはチャンバ50の横本体を形成しているディフューザより少し短いので、ノズルは軸方向調節装置72を使い摺動スリーブ70の横方向の移動によって今回は閉じられる。前と同じように、開口73は、蒸着フェーズ中に蒸気を通過させるためにノズルの位置に穿設される。下部オリフェス81は、垂直蒸気噴射パイプ40に対向して配置されている。この下部オリフィス81は、ノズルを遮蔽するための横方向移動が、蒸気パイプ40をどんなやり方であれ遮断しないような形状や大きさを有している。もちろん、図1、図2に示される実施形態のオプションは、いかなる不都合も無く組み合され得る。フィラメントは熱輸送液体中に置かれてもよいし、そして、これは回転スリーブの使用を伴ってもよい。また、この逆も可能である摺動スリーブおよび外囲器のまわりの加熱エレメント。したがって、記載されている加熱手段もまた組み合わせ可能である。同様に、液体25は、2つの中間空間において同一であっても、あるいは、同一でなくてもよい。空間は、温度を一様にするために連通することも、あるいは切り離されることも可能である。バルブはさらにインターロックされ、温度変化無しでフラックスの急速な変化またはフラックスの安定を確実なものにする放出フラックス調節を確保するために使用され得る。具体的には、この解決策は、坩堝を埋めている材料の高さによって左右されるいかなるフラックス変化も急速に取り除く。中間空間が拡散ノズルを取り囲んでいることがわかる。蒸気は、蒸着供給源の最終端までこのように加熱される。"