"部品装着装置が有する装着ヘッドに取り付けられ、部品を吸着して保持するための吸着ノズルであって、自身の先端が部品吸着時にその部品に当接させられ、その先端に一端が開口する吸気通路が内部に形成されたノズル本体と、筒部を有し、その筒部の内側に前記ノズル本体が嵌入し、そのノズル本体をそれの先端部が突出した状態で摺動可能に保持するノズル本体保持体と、前記ノズル本体を前記ノズル本体保持体から突出させる方向に付勢する弾性体とを備え、前記ノズル本体に形成された吸気通路が、他端が前記筒部の内周面と向かい合うようにして前記ノズル本体の側面に開口するものとされ、前記ノズル本体保持体が、一端が前記筒部の内周面に開口し、前記ノズル本体の吸気通路と前記装着ヘッドに設けられた吸気通路とを連通する吸気連通路と、前記筒部の内側における前記ノズル本体の基端側の空間を大気と連通する大気連通路とを有し、前記弾性体が、前記ノズル本体保持体の外側に配設されたことを特徴とする吸着ノズル。前記ノズル本体保持体が、前記筒部としての内筒部材と、その内筒部材が内部に嵌合された外筒部材とを含んで構成され、前記内筒部材に、前記ノズル本体の吸気通路と繋がるようにして内側から外側に貫通する貫通穴が形成されるとともに、前記内筒部材の外周面と前記外筒部材の内周面との少なくとも一方に、前記貫通穴から延びる溝が形成され、それら貫通穴と溝とが、前記吸気連通路として機能するように構成された請求項1に記載の吸着ノズル。しかしながら、そのような構成の吸着ノズルは、弾性体が収容される空間が狭く、その弾性体は、その狭い空間に配設可能なものに限定されてしまい、例えば、ばね定数の小さなものを採用できない等の問題がある。つまり、上記特許文献1に記載された吸着ノズルも、部品に与える衝撃を十分に低減できているとは言い難いのである。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、部品に衝撃を与えない吸着ノズルを提供することを課題とする。上記課題を解決するために、本願発明の吸着ノズルは、ノズル本体保持体が、筒部の内側にノズル本体が嵌入してそのノズル本体をそれの先端部が突出した状態で摺動可能に保持するものとされ、ノズル本体に形成された吸気通路が、筒部の内周面と向かい合うようにしてノズル本体の側面に開口するものとされ、ノズル本体保持体が、一端が筒部の内周面に開口し、ノズル本体の吸気通路と装着ヘッドに設けられた吸気通路とを連通する吸気連通路と、筒部の内側におけるノズル本体の基端側の空間を大気と連通する大気連通路とを有し、かつ、弾性体が、ノズル本体保持体の外側に配設されたことを特徴とする。本願発明の吸着ノズルは、ノズル本体保持体の筒部内側におけるノズル本体の基端面より奥側の空間が大気と連通するとともに、ノズル本体の側面から吸気されるため、ノズル本体に筒部に進入する向きの力が作用しないため、セット荷重がほとんど必要ない。さらに、本発明の吸着ノズルは、弾性体がノズル本体保持体の外側に配設されているため、その弾性体の設計の自由度が高く、例えば、ばね定数の小さな弾性体を採用することが可能である。したがって、本発明の吸着ノズルは、それら2つの利点の両者を有することによって、部品吸着および部品装着の際、部品に当接する時にセット荷重に起因して部品に加わる力だけでなく、ノズル本体の移動に伴う弾性体の収縮によって部品に加わる力をも小さくすることが可能であり、部品吸着動作の全体および部品装着動作の全体において部品に加わる力を低減することが可能である。以下、請求可能発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記発明の態様の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。また、発明の態様の各項の説明に記載されている技術的事項を利用して、下記の実施例の変形例を構成することも可能である。<電子部品装着機の構成>実施例の吸着ノズル10を含んで構成される電子部品装着機20は、図1に示すように、大まかには、ベース22と、ベース22に立設された4つのポスト支柱24を有するフレーム26図では、全体の図示は省略されていると、ベース22上に配設され、回路基板S以下、単に基板Sという場合があるの搬入搬出を行うとともに、その基板を定められた位置に固定するコンベア装置28と、そのコンベア装置28を挟んでベース22上の前方側および後方側のそれぞれに一列に並んで配設され、それぞれがフィーダ型の部品供給装置として機能する複数の部品フィーダ30前方側の列のものは一部しか図示されていないと、フレーム26に支持され、それら複数の部品フィーダ30の各々から供給される電子部品P以下、単に部品Pという場合があるをコンベア装置28によって固定された基板Sに装着する部品装着装置32とを含んで構成されている。ちなみに、以下の説明において、図において矢印で示すように、当該装着機の左右方向をX方向,前後方向をY方向,上下方向をZ方向と呼ぶ場合がある。部品装着装置32は、部品Pを保持するための装着ヘッド40と、その装着ヘッド40を移動させるヘッド移動装置42とを含んで構成される。そのヘッド移動装置42は、XYロボット型の移動装置であり、装着ヘッド40を、水平面に沿って任意の位置に移動させるものである。装着ヘッド40は、インデックス型のヘッドであり、後に詳しく説明する8つの吸着ノズル10を備えている。8つの吸着ノズル10の各々は、負圧の供給大気圧より圧力を低くすることによって、部品を吸着保持し、負圧の供給の停止により、吸着保持した部品を自身から離脱させる。なお、図2に示すように、8つの吸着ノズル10の各々は、装着ヘッド40が有するノズルホルダ50によって保持されており、特定の位置にある1つの吸着ノズル10に対応するノズルホルダ50を、装着ヘッド40が有するノズル昇降機構図示省略によって昇降させることで、吸着ノズル10をZ方向移動させるように構成されている。つまり、部品装着装置32によって部品Pを保持する際には、まず、装着ヘッド40が、ヘッド移動装置42により部品フィーダ30の上方に位置させられる。そして、8つの吸着ノズル10のうちの特定位置にある吸着ノズル10がノズル昇降機構によって下降させられ、その吸着ノズル10に負圧が供給されて、その部品フィーダ30から供給される部品Pが吸着保持される。この吸着保持動作を、順次各吸着ノズル10について繰り返し行うことで、8つの吸着ノズル10の各々によって部品Pが吸着保持される。次いで、装着ヘッド40を部品装着装置32によって部品Pを装着する際には、装着ヘッド40が、ヘッド移動装置42により、コンベア装置28によって固定された基板Sにおけるその部品Pが装着位置の上方に位置させられる。そして、特定位置にある吸着ノズル10がノズル昇降機構によって下降させられ、その吸着ノズル10への負圧の供給が断たれて、その部品が装着位置に装着される。この装着動作を、順次各吸着ノズル10について繰り返し行うことで、8つの吸着ノズル10の各々によって吸着保持された部品Pが基板Sに装着される。<吸着ノズルの構成>次に、吸着ノズル10について、図3~図5をも参照しつつ、詳しく説明する。図3は、吸着ノズル10の斜視図であり、図4,図5は、それぞれ異なる方向からの視点で示す吸着ノズル10の断面図である。なお、図4は、図3におけるA-A断面であり、図5は、図3におけるB-B断面である。吸着ノズル10は、装着ヘッド40が備えるノズルホルダ50の下端に取り付けられ、着脱可能とされている。そのノズルホルダ50は、装着位置の調整のために装着ヘッド40が有するノズル回転機構図示省略によって軸線回りに回転させられるように構成されており、吸着ノズル10は、そのノズルホルダ50に対して相対回転不能に保持される。つまり、吸着ノズル10は、ノズルホルダ50と一体的に回転するように構成されている。なお、そのノズルホルダ50は、概して筒状に形成されたものであり、その内部が、負圧を供給するための通路、つまり、エアを吸引するための吸気通路52とされている。吸着ノズル10は、部品吸着時にその部品Pに当接させられるノズル本体60と、そのノズル本体60をそれの下端部が突出した状態で保持するノズル本体保持体としてのスリーブ62と、ノズル本体60をスリーブ62から突出させる方向に付勢する弾性体としての圧縮コイルスプリング64とを含んで構成される。上記スリーブ62は、概して筒状の内筒部材であるインナスリーブ70と、外筒部材であるアウタスリーブ72とが嵌め合わされたものとされている。そのアウタスリーブ72には、それの外周面から径方向外側に突出するように形成された円盤状の円盤部74が設けられており、その円盤部74は、吸着保持した部品Pを撮像する際の背景を形成する部分として機能する。一方、ノズル本体60は、円筒状のシャフト部材80と、そのシャフト部材80の下端から嵌入固定されたノズル先端部材82とで構成されている。そのノズル先端部材82は、シャフト部材80の下端に嵌入される円筒状の軸部84と、その軸部84の外周面から径方向外側に突出するように形成されたフランジ部86とを有している。ちなみに、ノズル先端部材82の下端には、部品Pにソフトに接触させるべく、円環状のゴム88が固定されている。スリーブ62の上端側には、インナスリーブ70およびアウタスリーブ72とを、スリーブ62の軸線に直交する方向に貫通する1対の貫通穴90が形成される。一方、ノズル本体60の上端側には、シャフト部材80の上端には、それの軸線に平行に延びる1対の長穴92が形成されている。そして、ローラニードル94は、スリーブ62の内部に、詳しく言えば、インナスリーブ70の内部に、ノズル本体60のシャフト部材80が嵌入された状態で、ノズル本体60の長穴92を挿通しつつスリーブ62に形成された1対の貫通穴90に圧入されている。つまり、そのような構造により、ノズル本体60は、スリーブ62に保持されるとともに、スリーブ62に対して、軸線方向に摺動可能とされている。また、ノズル本体60およびスリーブ62には、上記のローラニードル94の下方側において、もう1本のローラニードル96が圧入されている。そのローラニードル96は、ノズル本体60に設けられた貫通穴98に圧入され、スリーブ62に形成された長穴100と、アウタスリーブ72の円盤部74の外周側の端部に固定された保持部材102によって、ローラニードル96の上下方向の移動を許容しつつ回転を禁止する状態で保持されている。つまり、本吸着ノズル10は、このローラニードル96によって、ノズル本体60のスリーブ62に対する回転が確実に禁止されるようになっている。前述のコイルスプリング64は、アウタスリーブ72の円盤部74と、ノズル先端部材82のフランジ部86との間に、スリーブ62を取り巻くようにして配設され、フランジ部86は、コイルスプリング64の台座として機能するように構成されている。つまり、コイルスプリング64は、ノズル本体60のスリーブ62内に入り込む方向の移動に対して、ノズル本体60を突出させる方向に付勢するように構成されている。次に、吸気ノズル10に形成された吸気用の通路について説明する。まず、ノズル本体60のシャフト部材80は、それの中間部において壁部110が設けられており、内部が、先端側下方側の空間と基端側上方側の空間とに区画されている。シャフト部材80には、その先端側の空間に繋がるとともに、インナスリーブ70の内周面と向かい合うようにして側面に開口する1対の貫通穴112が設けられている。また、そのシャフト部材80の先端側の空間は、ノズル先端部材82の軸部84の内部と連なっている。つまり、ノズル先端部材82の軸部84の内部,シャフト部材80の先端側の空間,シャフト部材80の1対の貫通穴112によって、ノズル本体60の吸気通路114が形成されているのである。一方、スリーブ62は、前述したようにインナスリーブ70とアウタスリーブ72とによって構成され、それらの間に、ノズル本体60の吸気通路114を、ノズルホルダ50に形成された吸気通路52と連通させる吸気連通路120が形成されている。図6に、インナスリーブ70の側面図を示すとともに、図7にインナスリーブ70の断面図図6におけるC-C断面を示す。インナスリーブ70には、内周面から外周面に貫通する1対の貫通穴122が形成されるとともに、その1対の貫通穴122の各々から上方に向かって延びる1対の溝124が外周面に形成されている。そして、そのインナスリーブ70がアウタスリーブ72に嵌入されることで、図5に示すように、インナスリーブ70の1対の溝124とアウタスリーブ72の内周面とによって1対の通路が形成され、その1対の通路と上記1対の貫通穴122とによって、吸気連通路120が形成されている。また、スリーブ62の上端は、詳しく言えば、インナスリーブ70の上端は、栓体130によって塞がれている。つまり、スリーブ62の内側には、そのスリーブ62と栓体130とシャフト部材80とによって、シャフト部材80の基端面より奥側に空気室132が形成されている。また、スリーブ62には、その空気室132を大気と連通する大気連通路134が形成されている。詳しくは、インナスリーブ70には、栓体130の下側において内周面から外周面に貫通する1対の貫通穴136が形成されるとともに、その1対の貫通穴136の各々に対応して、その各々から先に述べた長穴100に延びる1対の溝138が形成されている。つまり、図4に示すように、インナスリーブ70に形成された1対の溝138とアウタスリーブ72の内周面とによって1対の通路が形成され、その1対の通路,上記1対の貫通穴136および1対の長穴100によって、大気連通路134が形成されている。つまり、空気室132は、大気圧室とされている。<部品吸着装着時の動作>次に、部品Pを吸着する際の動作と、部品Pを基板Sに装着する際の動作について説明する。部品Pを吸着する場合には、まず、ノズル昇降機構によって特定位置の吸着ノズル10に対応するノズルホルダ50が下降させられる。そして、吸着ノズル10の先端が部品Pに当接する直前に吸引負圧の供給が開始されて吸着ノズル10の先端が部品Pに当接させられ、部品Pが吸着保持される。その際、吸着ノズル10においては、ノズル本体60が、コイルスプリング64を収縮しつつスリーブ62内に進入し、部品Pに与える衝撃が緩和される。なお、本吸着ノズル10は、スリーブ62内部におけるノズル本体60の基端面より奥側に空気室132が大気と連通されるとともに、ノズル本体60の側面から吸気が行われる。そのため、空気室132の容積が減少させられても、ノズル本体60にスリーブ62から突出させる向きの力が作用することはなく、また、吸気によってノズル本体60にスリーブ62内に進入させる向きの力が作用することもない。続いて、部品Pを吸着保持した装着ヘッド40は、カメラ150の上方に移動させられ、部品Pの撮像が行われる。その撮像データに基づいて、部品Pの位置のズレおよび角度のズレが把握され、そのズレに基づいて、ノズル回転機構によってノズルホルダ50を軸線回りに回転させつつ、基板Sの装着位置の上方に移動させられる。そして、ノズル昇降機構によってノズルホルダ50が下降させられ、吸着ノズル10に保持された部品Pが基板Sに接触させられる。次いで、さらにノズルホルダ50が下降させられることで、ノズル本体60に対してスリーブ62が下降させられ、コイルスプリング64の弾性力に依拠した荷重が部品Pに加えられ、部品Pが基板Sに装着される。<本吸着ノズルの効果>本吸着ノズル10は、上述したように、スリーブ62内部におけるノズル本体60の基端面より奥側に大気圧室132が形成されるとともに、ノズル本体60の側面から吸気が行われる。そのため、本吸着ノズル10において、吸気の際に、ノズル本体60に上方側に向かう力が作用しない。ちなみに、吸気通路がノズル本体の基端に開口する構成とされた従来の吸着ノズルは、吸気によってノズル本体60に上方側に向かう力が作用するため、その力によってノズル本体が上方に移動しないように、ノズル本体とスリーブと間に配設された弾性体に、ノズル本体を突出させる向きの力を発生させるように、セット荷重が付与されていた。それに対し、本吸着ノズル10は、吸気の際にノズル本体60に上方側に向かう力が作用しないため、コイルスプリング64にはセット荷重は、ほとんど付与されていない。したがって、本吸着ノズル10は、図8に示すように、部品Pの吸着の際に吸着ノズル10が部品Pに当接する時,部品Pの装着の際に部品Pが基板Sに接触する時に、弾性体のセット荷重に起因する衝撃をほぼ無くすことが可能である。また、本吸着ノズル10は、スリーブ62の外部に、それを取り巻くように配設されている。例えば、コイルスプリングを、スリーブ62の内部の空気室132に配設した吸着ノズルと比較する。その比較例の吸着ノズルは、コイルスプリングの設計段階において、比較的狭い空気室132内にコイルスプリングを収めるために、制限が多くなる。それに対して、本吸着ノズル10は、スリーブ62の外部に配設するため、そのコイルスプリング64を設計する段階において、比較的自由度が高いものとなっている。具体的には、例えば、本吸着ノズル10は、上記の比較例の吸着ノズルに比較して、コイルスプリングの外径を大きくすることができ、コイルスプリングの長さを長くすることができ、コイルスプリングの巻数を増やすことができるのである。そのことにより、本吸着ノズル10が備えるコイルスプリング64は、ばね定数が比較的小さいものとされており、図8に示すように、部品吸着装着時において、ノズル本体60とスリーブ62との相対移動量に対する荷重の増加量が小さくされる。つまり、本吸着ノズル10は、部品吸着装着時において、部品Pに加わる荷重が急増しないため、部品Pに大きな衝撃が加わらないようになっている。また、ノズル本体60の摺動範囲全体を、その小さなばね定数となるコイルスプリングの伸張する範囲に納めることが容易となり、ノズル本体60の摺動が、その摺動範囲全体においてスムースなものとなる。以上のように、本吸着ノズル10は、部品Pに当接する時や部品を基板Sに接触させる時だけでなく、部品Pを吸着保持が完了するまでの動作全体,部品Pを基板Sに装着させるまでの動作全体において、部品Pに加わる力を低減し、部品Pを保護することが可能となっているのである。"