"3相の各相のコイルが直線方向に並び1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な複数の個別モータを、可動子の移動経路に沿って間隔を開けて配置し、前記可動子を永久磁石で構成した同期型のリニアモータを制御する装置であって、前記各個別モータをそれぞれ制御する複数の個別モータ制御手段と、入力された位置指令に応じて前記各個別モータに位置指令を分配する統括制御手段とを備え、前記各個別モータ制御手段が、位置制御および速度制御の両方または位置制御のみを行う位置速度制御手段と、電流制御を行う電流制御手段とを有し、前記個別モータの各相の電流成分を検出する電流検出手段と、前記可動子の位置および速度をそれぞれ検出する位置検出手段および速度検出手段とを設け、前記電流制御手段は、前記位置速度制御手段から与えられる推力電流指令値であるq軸電流指令値iqに対して、前記電流検出手段の検出値から得られる個別モータのq軸電流検出値iqが追随するように制御するq軸電圧指令値Vq′を出力する推力電流制御部と、設定された磁束電流指令値であるd軸電電流値idに対して、個別モータのd軸電流検出値idが追随するように制御するd軸電圧指令値Vd′を出力する磁束電流制御部と、これらq軸電圧指令値Vq′とd軸電圧指令値Vd′とを、個別モータの各相の座標の指令値に変換する座標変換部と、この座標変換部の出力を個別モータの駆動電流に変換する電力変換部とを有するベクトル制御形式であり、前記推力電流制御部で出力されて前記座標変換部に入力するq軸電圧指令値Vq′に対して、前記速度検出手段で検出された可動子の速度検出値xと、定められた誘起電圧定数Φとで得られる電圧補償値Φxを加算する誘起電圧補償手段を設けたリニアモータ制御装置。前記位置検出手段で検出される可動子の位置検出値xと、前記速度検出手段で検出される可動子の速度検出値xと、前記電流検出手段で検出した電流値をq軸およびd軸の電流値に座標変換して得られるq軸電流検出値iqおよびd軸電流検出値idとによって、定められた演算式に従ってq軸電圧補償値およびd軸電圧補償値を演算し、前記推力電流制御部で出力されて前記座標変換部に入力するq軸電圧指令値Vq′に対して前記q軸電圧補償値を加算し、前記磁束電流制御部で出力されて前記座標変換部に入力するd軸電圧指令値Vd′に対して前記d軸電圧補償値を加算する位置変化インダクタンス補償手段を設けた請求項1記載のリニアモータ制御装置。前記位置速度制御手段から与えられた推力電流指令値に対して、定められたコギング補償電流値icoggingを減算し、前記推力電流制御部に入力する前記q軸電流指令値iqとするコギング補償手段を設けた請求項2記載のリニアモータ制御装置。前記誘起電圧補償手段で用いる前記誘起電圧定数Φを、個別モータの可動子移動方向の中間部では一定値とし、両端部では端側へ次第に小さくなる値とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のリニアモータ制御装置。前記位置変化インダクタンス補償手段が加算するq軸電圧補償値d軸電圧補償値は、次式5q,5dによって定まる値である請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のリニアモータ制御装置。τp:可動子の1磁極対のピッチLd:L-MLq:L-ML:各相の自己インダクタンスM:各相間の相互インダクタンスリニア誘導モータは推力が低くて走行性能の向上が困難である。そのため、工作機械のローダとなる搬送装置等への適用において、リニア同期モータの採用を試みた。従来のリニア同期モータは、地上側にマグネットを配置してコイル側を移動する方式が大部分を占める。しかし、コイル側を移動させるには、可動子に給電が必要であり、可動子への配線の都合上、無端経路での走行が不能であるなど、走行経路が限られたり、給電系が複雑化したりする。このため、リニア同期モータにおいて、経路全長に渡り、地上側に1次コイルを配置することを試みた。しかし、地上側に1次コイルを配置する場合、従来のリニアモータのように、移動経路の全長に渡って連続してコイルを配置するのでは、コイルの使用量が増えてコストが増大する。このような課題を解消する同期形リニアモータとして、それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な電機子からなる複数の個別モータを、可動子の移動方向に、経路全長に渡って間隔を開けて配列した離散配置のリニア同期モータを考えた。この構成によると、個別モータが離散配置されるため、コイルの使用量が削減できて、コスト低下が図れる。しかし、離散配置リニアモータ特有の問題として、インダクタンスや誘起電圧が、個別モータに対する可動子の位置によって変化し、また個別モータ端部における外乱例えば、コギング力も生じる。これらは、モータを制御する上で大きな外乱となる。この問題は、非特許文献1に触れられているが、その影響を考慮した制御については、提案されていない。この発明の目的は、コイル使用量の削減や給電形式上で有利となる個別モータの地上離散配置形式を採用しながら、個別モータに対する可動子の位置に対する誘起電圧の変化に対応した円滑な移動制御が行えるリニアモータ制御装置を提供することである。この発明のリニアモータ制御装置を実施形態に用いた符号を付して説明する。なお、この明細書では、速度検出値を示すxの符号につき、図では分かり易いようにをxの文字の上側に付したが、明細書中では、使用可能な文字の制限上、xの文字の右上にを付してxと示した。この発明のリニアモータ制御装置は、3相の各相のコイルが直線方向に並び1台のリニアモータ1の一次側の電機子として機能可能な複数の個別モータ3を、可動子4の移動経路に沿って間隔を開けて配置し、前記可動子4を永久磁石で構成した同期型のリニアモータ1を制御する装置であって、前記各個別モータ3をそれぞれ制御する複数の個別モータ制御手段6と、入力された位置指令に応じて前記各個別モータ3に位置指令を分配する統括制御手段7とを備える。前記各個別モータ制御手段6は、位置制御および速度制御の両方または位置制御のみを行う位置速度制御手段17と、電流制御を行う電流制御手段13とを有し、さらに、前記各個別モータ制御手段6に、前記個別モータ3の各相の電流成分を検出する電流検出手段14と、前記可動子4の位置および速度をそれぞれ検出する位置検出手段15および速度検出手段16とを設ける。前記電流制御手段14は、前記位置速度制御手段17から与えられる推力電流指令値であるq軸電流指令値iqに対して、前記電流検出手段14の検出値から得られる個別モータ3のq軸電流検出値iqが追随するように制御するq軸電圧指令値Vq′を出力する推力電流制御部18と、設定された磁束電流指令値であるd軸電電流値idに対して、個別モータ3のd軸電流検出値idが追随するように制御するd軸電圧指令値Vd′を出力する磁束電流制御部19と、これらq軸電圧指令値Vq′とd軸電圧指令値Vd′とを、個別モータ3の各相の座標の指令値に変換する座標変換部20と、この座標変換部20の出力を個別モータ3の駆動電流に変換する電力変換部21とを有するベクトル制御形式である。この構成において、前記推力電流制御部18で出力されて前記座標変換部20に入力するq軸電圧指令値Vq′に対して、速度検出手段16で検出された可動子4の速度検出値xと、定められた誘起電圧定数Φとで得られる電圧補償値Φxを加算する誘起電圧補償手段31を設けている。ベクトル制御は、モータの電流や鎖交磁束をベクトルの瞬時値として把握し、それらのベクトルを瞬時値で制御することで、モータの瞬時推力を指令に追従させる技術であり、効率の良い制御が可能であるため、回転型モータの制御において広く採用されている。この発明では、前記推力電流制御部、磁束電流制御部、および座標変換部によりベクトルが成される。しかし、一次側の電機子である個別モータ3を、地上側に間隔を開けて設置した離散配置リニアモータ1では、個別モータ3に対する可動子4の位置によってインダクタンスが変化し、誘起電圧が変化する。これらの変化に対する制御は、一般的なベクトル制御だけでは、適切に行うことができない。これにつき、上記構成によると、推力電流制御部18で出力されて前記座標変換部20に入力するq軸電圧指令値Vq′に対して、前記速度検出手段16で検出された可動子4の速度検出値sと、定められた誘起電圧定数Φとで得られる電圧補償値Φsを加算する誘起電圧補償手段31を設けたため、可動子4の位置によるインダクタンス変化、誘起電圧変化に対して、q軸電圧指令値Vq′を適切に補償し、可動子4の円滑な動作が得られる。また、制御対象となるリニアモータ1は、固定側として、一次側の電機子からなる個別モータ3を離散配置したため、コイル使用量が少なくて済み、かつ移動側に給電する場合に比べて給電系が簡素にできると言う離散配置リニアモータ1の利点を得ることができる。この発明において、次の位置変化インダクタンス補償手段32を設けるのが良い。この位置変化インダクタンス補償手段32は、前記位置検出手段15で検出される可動子4の位置検出値xと、前記速度検出手段16で検出される可動子4の速度検出値sと、前記電流検出手段1で検出した電流値をq軸およびd軸の電流値に座標変換して得られるq軸電流検出値iqおよびd軸電流検出値idとによって、定められた演算式に従ってq軸電圧補償値およびd軸電圧補償値を演算する。前記推力電流制御部18で出力されて前記座標変換部20に入力するq軸電圧指令値Vq′に対して前記q軸電圧補償値を加算し、前記磁束電流制御部19で出力されて前記座標変換部20に入力するd軸電圧指令値Vd′に対して前記d軸電圧補償値を加算する。このように、q軸電圧補償値およびd軸電圧補償値を演算し、q軸電圧指令値Vq′およびd軸電圧指令値Vd′を補償することで、可動子4の位置によるインダクタンス変化に対して、q軸電圧指令値Vq′およびd軸電圧指令値Vd′を適切に補償し、可動子4のより円滑な動作を得ることができる。この発明において、前記位置速度制御手段17から与えられた推力電流指令値に対して、定められたコギング補償電流値icoggingを減算し、前記推力電流制御部に18入力する前記q軸電流指令値iqとするコギング補償手段33を設けるのが良い。適切なコギング軽減ができるコギング補償電流値icoggingは、可動子4の位置により一義的に決まるため、予め試験等で求めるとこができる。その求まった値でコギング補償を行うことで、個別モータ3の離散配置に起因するコギングを軽減することができる。この発明において、誘起電圧補償手段31で用いる前記誘起電圧定数Φを、個別モータの可動子移動方向の中間部では一定値とし、両端部では端側へ次第に小さくなる値としても良い。例えば、誘起電圧定数Φを台形状に変化する値としても良い。これにより、可動子4の位置による誘起電圧の変化に対応した円滑な移動制御を、演算処理能力の比較的低い処理装置を用いても可能となる簡単な制御で実現可能となる。この発明において、前記位置変化インダクタンス補償手段32が加算するq軸電圧補償値d軸電圧補償値は、次式5q,5dによって定まる値である。τp:可動子の1磁極対のピッチLd:L-MLq:L-ML:各相の自己インダクタンスM:各相間の相互インダクタンスこれにより、可動子4の位置によるインダクタンスの変化に対応した円滑な移動制御を、演算処理能力の比較的低い処理装置を用いても可能となる簡単な制御で実現可能となる。請求の範囲および/または明細書および/または図面に開示された少なくとも2つの構成のどのような組合せも、本発明に含まれる。特に、請求の範囲の各請求項の2つ以上のどのような組合せも、本発明に含まれる。この発明の一実施形態を図1ないし図13と共に説明する。図1は、制御対象となるリニアモータ1と、リニアモータ制御装置2とでなるリニアモータシステムを示す。リニアモータ1は、リニア同期モータLSMであって、それぞれが独立した1台のリニアモータの一次側の電機子として機能可能な電機子からなる地上側の複数の個別モータ3を、可動子4の移動方向Xに間隔を開けて設置した離散配置リニアモータである。個別モータ3は、可動子4の移動範囲の全体に渡って配列する。各個別モータ3は、可動子4のレール図示せずを有する共通のフレーム5に設置されている。フレーム5には、この他に、各個別モータ3毎に、可動子4の位置を検出する位置検出器となるセンサ15が設置される。なお、センサ15は、図1では図示の便宜上、個別モータ3間に示しているが、実際には、可動子移動方向X方向につき、個別モータ3と同じ位置に配置され、個別モータ3よりも若干長い範囲で位置検出が可能なリニアセンサ15が用いられる。可動子4は、永久磁石からなるN,Sの磁極を可動子基体4aに移動方向Xに並べて複数設けたものであり、前記フレーム5に設けられたレール図示せずによって進退自在に案内される。可動子4は、複数の個別モータ3間に渡る長さに形成されている。各個別モータ3は、例えば図2AおよびBに示すように、各層の磁極となる複数のコイル3aとコア3bを、前記移動方向Xに並べたものである。各コア3bは、共通の本体部からくし歯状に突出した部分で構成される。この例では、3相の交流電流で駆動するものとされ、その各相U,V,W相毎に一つの電極を設けた3極の一次側の電機子とされている。なお、個別モータ3は、各相U,V,W相毎に複数の電極を設け、相数の整数倍の電極を有する電機子としても良い。図1において制御系を説明する。制御装置2は、各個別モータ3をそれぞれ制御する複数の個別モータ制御手段6と、これら複数の個別モータ制御手段6に位置指令を与える一つの統括制御手段7とを備える。統括制御手段7は、弱電系の回路素子や、コンピュータおよびそのプログラムの一部等で構成される。統括制御手段7は、リニアモータ全体の移動範囲を各個別モータ3毎に区分した担当範囲を記憶していて、上位制御手段図示せずから入力された位置指令の指令位置を、各個別モータ3に対応する位置指令に変換して与える。各個別モータ3に対応する位置指令は、その個別モータ3の座標に座標変換した指令とされる。各個別モータ制御手段6は、モータ電流を個別モータに流す強電系のモータ駆動回路と、このモータ駆動回路を制御する弱電系の制御部図示せずとでなる。弱電系の制御部は、マイクロコンピュータおよびそのプログラムや回路素子によって構成され、図3に示すフィードバック制御を行う。図3において、個別モータ制御手段6は、それぞれ位置,速度,電流のフィードバック制御を行う位置制御手段11と、速度制御手段12と、電流制御手段13とを有し、位置ループ、速度ループ、および電流ループを有するカスケード制御のフィードバック制御を行う。位置制御手段11は、個別モータ3に対する可動子4の現在位置を検出する前記センサ15の検出値と位置指令の指令値との偏差に応じ、定められた位置ループゲインのフィードバック制御を行う。位置制御手段11は、その出力として速度指令値を出力する。速度制御手段12は、速度検出手段16を経て得られる可動子4の速度検出値と、速度指令値との偏差に応じ、定められた速度ループゲインのフィードバック制御を行う。速度制御手段12は、その出力として電流指令値を出力する。速度検出手段16は、この例では、センサ15の位置検出値から速度を求める微分手段等からなるが、センサ15とは別に設けられて速度を直接に検出するものであっても良い。なお、これら位置制御手段11と速度制御手段12とを合わせた手段を、位置速度制御手段17と称す。この実施形態では、位置制御および速度制御を行うようにしたが、位置速度制御手段17は、速度制御を行わずに位置制御だけを行うものとしても良い。電流制御手段13は、個別モータ3に印加される駆動電流を電流検出器等の電流検出手段14で検出して、電流検出値と電流指令値との偏差に応じた電流指令値を、定められ電流ループゲインを用いて生成し、モータ駆動電流を制御する。電流検出手段14は、詳しくは前記駆動電流の各相の成分を検出するものであり、3相のうちの2相の検出を行う相電流検出部14a,14b図4を有する。2相分の検出を行えれば、残り1相の電流成分は計算により求まる。図4は、図3の電流制御手段13の詳細を示す。電流制御手段13は、ベクトル制御を行う制御手段であって、この発明,実施形態の特徴となる各種の補償手段を有するが、説明の簡明化のために、まず、図4から各補償手段31~33を省略した、ベクトル制御の基本構成を、図5を用いて説明する。この電流制御手段13は、基本構成として、推力電流制御部18と、磁束電流制御部19と、座標変換部20と、電力変換部21とを有する。推力電流制御部18は、前記位置速度制御手段17の速度制御手段12から与えられる推力電流指令値であるq軸電流指令値iqに対して、電流検出手段14の検出値から、検出座標αβ変換部22および検出座標dq変換部23を介して得られる個別モータ3のq軸電流検出値iqが追随するように制御する手段であり、出力としてq軸電圧指令値Vq′を出力する。推力電流制御部18は、q軸電流検出値iqを減算する減算部18aと、減算部18aの出力を制御する演算部18bとでなる。磁束電流制御部19は、磁束電流指令値設定手段29に設定された磁束電流指令値であるd軸電流値idに対して、電流検出手段14の検出値から、検出座標αβ変換部22および検出座標dq変換部23を介して得られる個別モータ3のd軸電流検出値idが追随するように制御する手段であり、出力としてd軸電圧指令値Vd′を出力する。磁束電流指令値設定手段29は、個別モータ3のモータ特性等に応じて適宜設定されるが、通常は、d軸電電流値idを0に設定する。磁束電流制御部19は、d軸電流検出値idを減算する減算部19aと、減算部19aの出力を制御する演算部19bとでなる。前記検出座標αβ変換部22は、個別モータ3のU相,V相,W相を流れる電流ia,ib,icの検出値を、静止直交2相座標成分の実電流α軸上の実電流、およびβ軸上の実電流の検出値iα,iβに変換する手段である。検出座標dq変換部23は、可動子4の位相に基づき、前記静止直交2相座標成分の実電流の検出値iα,iβを、q,d軸上の検出値iq,idに変換する手段である。q軸とは、リニアモータの進行方向の軸であり、d軸はq軸に直交する方向の軸である。検出座標dq変換部23に入力される可動子位相は、位置検出器であるセンサ15の出力を、磁極テーブル24およびsincos変換部25で変換して得た位相の検出値である。磁極テーブル24は、センサ15から得られる直線位置の検出値を、電気角θに変換するテーブルである。sincos変換部25は、磁極テーブル24で出力される電気角θにつき、cos,sin間で変換する手段である。前記推力電流制御部18および磁束電流制御部19の各演算部18b,19bは、例えば、定められた演算式により、PID制御比例積分微分制御を行う。この演算式として、例えば次式が用いられる。なお、Kpは比例制御のゲイン、Kiは積分制御のゲイン、Kdは微分制御のゲインである。前記座標変換部20は、αβ変換部20aと、abc変換部20bとでなる。αβ変換部20aは、q軸電圧指令値Vqおよびd軸電圧指令値Vdを、可動子位相に基づき、前記固定2層座標成分の実電圧の指令値Vα,Vβに変換する手段である。可動子位相は、前記センサ15の位置検出値から、前記磁極テーブル24およびsincos変換部25を介して得る。abc変換部20bは、αβ変換部20aの出力する実電圧の指令値Vα,Vβを、個別モータ3のU相,V相,W相を制御する電圧指令値Va,Vb,Vcに変換する手段である。電力変換部21は、座標変換部20の出力を個別モータ3の駆動電流に変換する手段であり、インバータ21aとこのインバータ21aを制御する出力制御部21bとでなる。出力制御部21bは、インバータ21aによる出力される電力を制御できるものであれば良く、特に制御形式は問わないが、例えばパルス幅変調PWMを行う手段とされる。図4に示す実施形態の電流制御手段13は、図5と共に前述したベクトル制御を基本とし、誘起電圧補償手段31、位置変化インダクタンス補償手段32、およびコギング補償手段33を設けたものである。誘起電圧補償手段31は、推力電流制御部18で出力されて座標変換部20に入力するq軸電圧指令値Vq′に対して、速度検出手段16で検出された可動子4の速度検出値xと、定められた誘起電圧定数Φとで得られる電圧補償値を加算する手段である。この誘起電圧補償値は、可動子の速度検出値xと誘起電圧定数Φとの積、Φxとする。誘起電圧補償手段31は、電圧補償値Φxを演算する演算部31aと、この演算した電圧補償値Φxを加算する加算部31bとでなる。位置変化インダクタンス補償手段32は、演算部32aと2つの加算部32b,32cとでなる。演算部32aは、位置検出手段であるセンサ15で検出される可動子4の位置検出値xと、前記速度検出手段16で検出される可動子の速度検出値xと、電流検出手段14で検出した電流値をq軸およびd軸の電流値に座標変換して得られるq軸電流検出値iqおよびd軸電流検出値idとによって、定められた演算式に従ってq軸電圧補償値およびd軸電圧補償値を演算する。加算部32bは、前記推力電流制御部18で出力されて前記座標変換部20に入力するq軸電圧指令値Vq′に対して、演算部32aで演算されたq軸電圧補償値を加算する。加算部32cは、前記磁束電流制御部19で出力されて前記座標変換部20に入力するd軸電圧指令値Vd′に対して、演算部32aで演算されたd軸電圧補償値を加算する。位置変化インダクタンス補償手段32の演算部32aは、例えば次式5q,5dの演算を行う。ただし、τpは可動子の1磁極対のピッチ、LdはL-M、LqはL-M、Lは各相の自己インダクタンス、Mは各相間の相互インダクタンスである。コギング補償手段33は、位置速度制御手段17から与えられた推力電流指令値に対して、定められたコギング補償電流値icoggingを減算し、前記推力電流制御部18に入力するq軸電流指令値iqとする手段である。つまり、個別モータ3の端部での外乱を考慮して任意に定めた電流補償値icoggingだけ、q軸電流指令値から減算を行う。これにより、可動子4が個別モータ3に突入または突出する場合のコギングが緩和される。コギング補償手段33は、前記電流補償値icoggingを定めた電流補償値設定部33aと、前記減算を行う減算部33bとでなる。つぎに、上記各補償手段31~33が必要となる理由と、これら補償手段31~33の作用を説明する。まず、離散配置リニアモータにおける問題点を整理する。問題点1図6に示すように、永久磁石からなる可動子4の個別モータ3への突入突出時において、コイルインダクタンスや鎖交磁束が位置で変化する。問題点2例えば、この変化は、図6において、可動子4の個別モータ3への突入時や突出時に、U相→V相→W相の順で変化する。また、逆走ではW相→V相→U相の順で変化する。なお、Lu,Lv,Lwは、各相のコイルインダクタンスである。φfu,φfv,φfwは、可動子4と個別モータ3の各相が対向する範囲における鎖交磁束である。図6では、例として台形変化させている。また、同図は、各相の違いの考慮した変化を示す。上記問題点1,2を解決するための補償器を考えたが、これらの補償器の導入は、個別モータ制御手段6を構成するサーボアンプの性能CPUの処理速度やメモリ容量により導入が困難な場合がある。そこで、次の表1に各場合を示した4つの場合に分け、この実施形態では、場合1、2で補償器補償手段31~33の導入を行った。表中の4つの場合1~4は、理論上,精度が上がる補償器である。このうち、場合1、2は、サーボアンプ性能が低くても導入可能な補償器である。モータ端部とは、固定子個別モータ領域において、磁石可動子と固定子のかかり具合が完全対向でない状態のことを指す。各相の違いを考慮しないものに関しては、図8Aのようにパラメータが変化するとみなして補償器の導入を行う。各相の違いを考慮しない場合、同図のように、個別モータ3の端部でパラメータが変化する。図8Bは、各相の違いを考慮した変化であり、比較のために示す。各相の違いを考慮すると、同図のように個別モータ3の中間でもパラメータが変化する。なお、Φfは、可動子4と個別モータ3が対向したときの個別モータ3側の鎖交磁束である。図7は、上記4つの場合1~4のメモリやCPUへの負担と精度との関係を示す。サーボアンプへの負担を考えなくても良い状況であれば、場合4の補償器を用いることが計算上、理想である。しかし、場合3、4は、メモリやCPUへの負担が高い。そこで、この実施形態では、メモリやCPU等のサーボアンプへの負担を考慮し、場合1、2の補償とした。図9と共に、誘起電圧補償のパラメータの説明をする。同図において、τpは、個別モータ3の磁石の1極辺りの長さであり、1磁極対のピッチと同じである。なお、磁極は等ピッチとしてある。xは、図では台車速度と記したが、可動子4の速度であり、可動子4が台車等の走行体に設置されている場合、その走行体の速度である。φf1~φf5は、1磁極対辺りの鎖交磁束である。個別モータ3の各相の電極のピッチは等しいものとする。この個別モータ3をモデル化すると、鎖交磁束φfおよび電圧Vq′′は、図中にも示したように、次式のようになる。なお、nは個別モータ3と可動子4とが対向している部分の鎖交磁束の数であり、個別モータ3の両端部上にある磁極の鎖交磁束は、Φfn×対向面積比で計算する。以上のようにモデルを行うことで、鎖交磁束φfは、図10のような形で変化する。また、誘起電圧定数Φは、鎖交磁束φfに比例するため、同じく図10の形で表せる。なお同図は、速度xが一定で、各相の違いは考慮していない。誘起電圧補償について説明する。鎖交磁束を直接に測定することは困難であるため、例えば、誘起電圧定数Φは、個別モータ3と可動子4が完全対向しているときに、速度xm/secで可動子4を走行させた時に発生する誘起電圧から求める。なお、このとき、可動子4は制御フリーで、別の駆動源図示せずを用いて引っ張る。このようにして、誘起電圧定数Φは、次式のように定まる。このようにして試験により求めた誘起電圧定数Φを、図4の誘起電圧補償手段31における計算に用いる。なお、上記の誘起電圧定数Φを実験的に求める方法は一例である。誘起電圧定数ΦのMAX値が求まると、端部は対向面積に応じて変化するため、前述の図10の図の形で書くことができる。図4の誘起電圧補償手段31で用いる誘起電圧定数Φは、このような位置に応じて可変となる値、つまり個別モータ3の両端で次第に小さくなる値としても良い。この可変の誘起電圧定数Φを用いる場合の位置のデータは、位置検出値xから得られる。性能面から理想的な誘起電圧補償について説明する。より精度の高い誘起電圧補償器を用いるためには、図11と共に示す、次のモデルを用いる必要がある。φfu,φfv,φfwに関しては、各相のモータが完全対応したときの、各相の鎖交磁束を最大とし、モータ端部では面積比に応じて値を変化するようなモデル化を行う。この場合の図4の誘起電圧補償手段31による計算は、誘起電圧係数Φにつき、図11のように個別モータ3の端部では、対向面積の面積比に応じて変化し、かつ各相の違いも考慮して変化する値とする。図12と共にインダクタンス補償のパラメータを説明する。同図において、φu,φv,φwは、各相に電流が流れた時に発生する磁束を示す。これには、互いに影響を及ぼす項として、相互インダクタンスが入る。φu,φv,φwは、次式で示される。コイル抵抗Rは、例えば、どの相も同じとする。一例として、Ru=Rv=Rw=R、とする。この実施形態では、位置変化インダクタンス補償手段32によるインダクタンス補償は次の式で定まる値を用いる。なお、上式のインダクタンス補償は、次式の関係式における、右辺の線で囲んだ項に相当する。このインダクタンス補償は、インダクタンスの変化を考慮しないと見なした補償であり、計算の負荷が小さくて済み、個別モータ制御手段6を構成するサーボアンプにおけるメモリやCPUの能力が低くても採用できる。精度上で理想的なインダクタンス変化補償について説明する。より精度の高いインダクタンス変化補償器を用いるためには、次式のモデルを用いる必要がある。インダクタンス変化の部分に関して式展開を行うと、次式のようになる。同図の式において、実線で囲んだ部分は、逆軸電流補償に係る部分であり、点線で囲んだ部分はLの位置時間変化補償に係る部分である。これらの部分を、図4の位置変化インダクタンス補償手段32で用いる。なお、1点鎖線で囲んだ部分は、制御の時定数に関する項である。コギング補償について説明する。図13に示すように、可動子4が個別モータ3に突入または突出する場合、可動子4と個別モータ3との間に引き込み力が発生し、外乱として制御に影響を与える。この外乱を予め予測してモデル化しておき、その分の外乱を考慮して電流指令を出すことで、引き込み力による外乱を抑えることができる。図4のコギング補償手段33は、この外乱を考慮して任意に定めた電流補償値icoggingだけ、q軸電流指令値から減算を行う。これにより、可動子4が個別モータ3に突入または突出する場合のコギングが緩和される。上記モータのモデルや補償等の明確化のため、モータ回路方程式、誘起電圧、インダクタンス等につき、まとめ直して説明する。この実施形態における3相同期リニアモータの電圧と電流の関係式を書き表すと、次の式となる。交流の制御を直流とみなして簡単に行えるようにするため、3相の回転方程式を2相に座標変換すると、次式となる。座標変換を行い、qd座標系でまとめると、次の式となる。上記の式の一部を、明確化のために拡大式して次に示す。本来、離散リニアモータの端部において、個別モータ3の各相と対向する可動子4の鎖交磁束は、その対向面積に比例する。このことを考慮すると、より精度の高い誘起電圧補償器を作成することができる。しかし、アンプ性能によっては、数式を簡略化する必要がある。ここで、個別モータ3と可動子4とが完全に対向したとき、各相の鎖交磁束φfu=φfv=φfw=φfとなり、誘起電圧に関する項は次の式でまとめられる。一般に、一次側電気子と永久磁石とが完全に対向したリニアモータや回転モータ等では、φfu=φfv=φfw=φfと置いても、その誤差は非常に小さい。上記の式の一部を、明確化のために拡大式して次に示す。インダクタンス行列L5~L8について書き表すと、次の前半の式としてまとめることができる。さらに、L5~L8に含まれるインダクタンスL1~L4について書き表すと、次の後半の式となる。以上のことから、L5~L8は各コイルの自己インダクタンスLu,Lv,Lwと相互インダクタンスMuv,Mvw,Mwuからもとまる。つまり、この6つのインダクタンスに関して適切なモデル化を行うことで、より精度の高い補償器ができる。各相の自己インダクタンスをLu=Lv=Lw、相互インダクタンスをMuv=Mvw=Mwuとしたとき、すなわちL=Lu=Lv=Lw,M=Muv=Mvw=Mwuとしたとき、L5=L-M=Ld、L6=0、L7=0、L8=L-M=Lq、となり、次式で書き表すことができる。この式のうち、次のように線で囲んだ部分を電圧補償することで、単純な一次遅れ系の形となり、制御が行い易くなる。次に、図14,図15と共に、上記リニアモータ1およびリニアモータ制御装置を適用した搬送装置41および工作機械42からなる加工システムにつき説明する。図14に示すように、工作機械42は、図示の例では旋盤からなり、ベッド51上に、主軸からなるワーク支持手段52を支持する主軸台53と、加工手段であるタレット型の刃物台54とが設置されている。搬送装置41は、加工の素材となる被搬送物Wを搬送する走行体43を、レール44に走行自在に設置し、走行体43を走行駆動するモータとして、前記リニアモータ1を設けたものであり、工作機械42のワーク支持手段52に対して被搬送物Wの受渡しを行う。レール44は、支柱45aにより架設された水平なフレーム45に、長手方向に沿って設けられている。図15に示すように、走行体43は、レール44に案内される走行用の車輪61と、レール44の側面に転接して走行体43の幅方向の位置を規制するガイドローラ62とを有する。リニアモータ1は、フレーム46に設置された複数の個別モータ3と、走行体43に設置された可動子4とでなる。走行体43には、走行方向X方向と直交する前後方向Z方向に進退する前後移動台46が搭載され、前後移動台46に昇降自在に設置された棒状の昇降体47の下端にワーク保持ヘッド48が設けられている。ワーク保持ヘッド48に、被搬送物保持手段である複数のチャック49が設けられている。前後移動台46は、走行体3に設置されたモータ等の駆動源図示せずにより前後移動させられ、昇降体47は前後移動台46に設置されたモータ等の駆動源により昇降駆動される。チャック49は、シリンダ装置やソレノイド等の駆動源で開閉駆動されて被搬送物Wを保持するチャック爪図示せずを有している。このような工作機械42用の搬送装置41に、前記離散配置の同期型リニアモータ1を適用することで、そのコイル使用量の削減や給電形式上で有利となる効果が、効果的に発揮される。また、そのリニアモータ1の制御にこのリニアモータ制御装置を適用することで、誘起電圧の変化やインダクタンスの変化に対応する円滑な移動制御の効果が、効果的に発揮される。以上のとおり、図面を参照しながらこの発明の好適な実施形態を説明したが、この発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。したがって、そのようなものもこの発明の範囲内に含まれる。"