"上下方向に沿って多段に基板を支持する複数本のワイヤを設けたワイヤカセットに対して、基板を出し入れするための基板移載装置であって、前記ワイヤカセットの上下のワイヤの間に進出及び後退が自在な長尺状のアームと、前記アームの長手方向に沿って、アームの上側に少なくとも2列に配置された支持部材と、前記少なくとも2列の支持部材を、基板を支持する上昇位置と、ワイヤを回避する下降位置との間で、列毎に昇降させる昇降駆動部と、前記昇降駆動部を制御する制御部、とを備えることを特徴とする、基板移載装置。基板を把持するクランプ部材が前記アームの基端付近に設けられていることを特徴とする、請求項1の基板移載装置。前記昇降駆動部は、前記アームの長尺方向に沿って伸びて、前記少なくとも2列の支持部材を列毎に駆動する駆動部材を備えていることを特徴とする、請求項1または2の基板移載装置。前記支持部材は、基板の底面に浮力を及ぼして基板を浮上させる素子を備えていることを特徴とする、請求項1~3のいずれかの基板移載装置。この発明の基本的課題は、ワイヤカセットでの1段分の高さが小さくても、任意の高さに基板を出し入れできる基板移載装置を提供することにある。この発明での追加の課題は、基板をアームと共に確実に水平動させることにある。この発明での追加の課題はまた、支持部材の昇降を単純かつ確実に行うことにある。この発明での追加の課題はまた、基盤の支持を2列の支持部材の間で頻繁に切り替えても、基板が損傷しないようにすることにある。この発明は、上下方向に沿って多段に基板を支持する複数本のワイヤを設けたワイヤカセットに対して、基板を出し入れするための基板移載装置であって、前記ワイヤカセットの上下のワイヤの間に進出及び後退が自在な長尺状のアームと、前記アームの長手方向に沿って、アームの上側に少なくとも2列に配置された支持部材と、前記少なくとも2列の支持部材を、基板を支持する上昇位置と、ワイヤを回避する下降位置との間で、列毎に昇降させる昇降駆動部と、前記昇降駆動部を制御する制御部、とを備えることを特徴とする。ここでアームの上側に支持部材を少なくとも2列に配置するとは、例えば複数本のアームに各々支持部材を少なくとも2列に配置することの他に、1本のアームに支持部材を例えば4列、6列、8列等に配置すること、支持部材を1列配置したアームを例えば4本、6本、8本等に設けることを含んでいる。この発明では、少なくとも2列の支持部材を列毎に昇降させることにより、ワイヤを回避しながら、基板の底面を支持する。このためワイヤとワイヤとの間のピッチを大きくしなくともアームを出退させることができ、しかもカセットの任意の高さ位置に対し、基板の移載ができる。好ましくは、基板を把持するクランプ部材が前記アームの基端付近に設けられている。本発明では、少なくとも2列の支持部材が基板を交互に支持するので、支持部材が基板を水平方向に移動させる力が不足しやすい。そこでクランプ部材を設けると、基板を確実にアームと共に移動させることができる。また好ましくは、昇降駆動部は、アームの長尺方向に沿って伸びて、少なくとも2列の支持部材を列毎に駆動する駆動部材を備えている。駆動部材は例えばシャフト、ネジ棒等で、その進退あるいは回転によって支持部材を1列分一括して昇降させる。この結果、支持部材毎にソレノイド等の昇降駆動部を設ける場合に比べ、簡単かつ確実に昇降させることができる。特に好ましくは、支持部材は基板の底面に浮力を及ぼして基板を浮上させる素子を備えている。浮上搬送により基板を移載すると、少なくとも2列の支持部材により基板を交互に支持しても、基板を損傷させることがない。このような素子としては例えば超音波浮揚を行うピエゾアクチュエータ、空気を噴射するノズルなどがある。以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。図1~図5に、実施例の基板移載装置2を示す。基板移載装置2は、フラットパネルディスプレイ等のガラス基板22を、ワイヤカセット20の任意の高さレベルに対し移載する。基板移載装置2では、図1,図2に示すように、ワイヤカセット20の奥行き方向と鉛直方向とに移動自在な基部4から、複数本の長尺状のアーム6が水平方向に沿って平行に突出している。各アーム6の長尺方向に沿って、支持部材8,9が少なくとも2列にアーム6の上面に支持されており、図3,図4に示す機構により、支持部材8,9は列毎に一括して昇降する。実施例ではアーム6を複数本平行に配置し、各アーム6に支持部材8,9を少なくとも2列に配置し、ガラス基板22を浮上搬送する。しかし支持部材8のみを設けたアームと、支持部材9のみを設けたアームとを、各々複数本設けても良い。また実施例では、支持部材8,9はガラス基板22の底面に浮力を付与するピエゾアクチュエータ、あるいはガラス基板22の底面に空気を噴射するノズルを備えている。しかしゴムなどの摩擦片を支持部材8,9の上面に設けてガラス基板22の底面と接触させ、摩擦力により搬送しても良い。実施例では、支持部材8,9が非接触でガラス基板22を浮上させるため、ガラス基板22をアーム6に対し水平面内で固定する力が不足する。そこでアーム6の基端付近に、即ち基部4の付近にクランプ10を設けて、ガラス基板22の端部を把持する。基部4は図2に示すようにキャリッジ12に取り付けられ、キャリッジ12は水平方向ガイド14に沿ってワイヤカセット20の奥行き方向に前後進し、水平方向ガイド14は基板移載装置2の台車18に設けられた垂直方向ガイド16に沿って昇降する。また基板移載装置2の台車18はレール19上を水平移動し、複数個のワイヤカセット20に対し、ガラス基板22を移載できるようにする。基板移載装置2は、制御部17により、台車18の走行、アーム6の昇降及び前後進、アーム6の前後進と同期した支持部材8,9の昇降、支持部材8,9からの浮力の付与、及びクランプ10によるガラス基板22の把持と解放を制御する。ワイヤカセット20はガラス基板22を複数枚収容し、23はワイヤカセット20のフレームで、フレーム23,23間を差し渡すように、ワイヤ24が高さ方向に沿って一定のピッチで配置されている。またワイヤ24は水平面内でも平行に複数本所定のピッチで配置されている。ワイヤカセット20の例えば4隅を支持する位置に例えばリフタ26を設けて、カセット20を昇降させても良い。このようにするとアーム6の鉛直方向の移動量を小さくし、ガラス基板22の移載を高速化できるが、リフタ26は設けなくても良い。図3,図4に示すように、アーム6の長手方向に沿って支持部材8,9が例えば2列に配置されている。そして支持部材8,9の上面に設けたピエゾアクチュエータ29を用い、超音波浮揚によりガラス基板22の底面に浮力を及ぼし、あるいは支持部材8,9の上面に設けたノズル30からガラス基板22の底面に空気を吹き付けることにより、ガラス基板22を浮上搬送する。ノズル30を用いる場合、送気管31を設けて、枝管44から個別の支持部材8,9に送気する。支持部材8,9は例えばパンタグラフ機構により昇降自在で、脚32は一端が支持部材8,9に固定され、脚34は支持部材8,9への取付位置がスライドできる。脚34はピン35により取付部38に接続され、シャフト36,37の前後進により取付部38が前後進すると脚34も前後進して、支持部材8,9が昇降する。なお図3の右側に示すように、シャフト36,37に代えてネジ棒40を用い、取付部38に代えてナット42を用いて、ネジ棒40の回転でナット42を進退させても良い。さらに、シャフト36,37に図示しないカムを複数個設け、取付部38をこのカムに係合し、シャフト36,37の前後進で、支持部材8,9を昇降させても良い。実施例の動作を示す。例えばワイヤカセット20からガラス基板22を取り出す場合、リフタ26でワイヤカセット20を昇降させ、もしくは水平方向ガイド14を昇降させて、アーム6を目的のガラス基板22を支持するワイヤの下方へ移動させる。次いで制御部17により、2列の支持部材8,9を例えばいずれも下降させた状態で、アーム6をワイヤカセット20内へ前進させる。アーム6の前進が終了すると、2列の支持部材8,9の一方を上昇させてガラス基板22の底面を支持すると共に、例えば他方を下降させたままとし、ガラス基板22をワイヤからリフトさせると共に、ガラス基板22の一端をクランプ10で把持してアーム6を後退させる。この時の状況を図4,図5に示し、支持部材8,9が辿る軌跡を図示してある。支持部材8,9は、ワイヤ24の水平方向ピッチの例えば1/2ずつずらして、奥行き方向アーム6の進退方向に沿って配置してあり、支持部材8,9の一方が平面視でワイヤと重なる位置、即ちワイヤと干渉する位置にある場合、他方はワイヤと干渉しない位置にある。例えば支持部材9がワイヤ24と干渉する位置にある場合、複数の支持部材9を一括して下降させてワイヤ24を回避し、複数の支持部材8を一括して上昇させ、ピエゾアクチュエータ29からの浮力等でガラス基板22を浮上させる。逆に支持部材8がワイヤと干渉する位置にある場合、支持部材8を一括して下降させ、支持部材9を一括して上昇させて、支持部材9からの浮力でガラス基板22を浮上させる。支持部材8,9の移動を模式的に図5に示し、キャリッジ12が水平方向ガイド14に対して後退することにより、アーム6が後退する。この時、ワイヤの水平方向ピッチの1/2毎に支持部材8,9の昇降を繰り返して、交互にガラス基板22を浮上させる。なお支持部材8,9間で基板22の支持を切り替える時は、支持部材8,9は共に上昇位置にあることが好ましい。この間、クランプによりガラス基板を把持して、ガラス基板22が滑ることを防止し、アーム6がワイヤカセットから完全に後退すると、取り出した基板22を例えばコンベヤ上に荷下ろしして、1枚ずつ図示しない処理装置内へ搬送させる。ワイヤカセット20へガラス基板22を載置する場合、例えばアーム6が下降した状態で、図1の左側へアーム6を後退させて、コンベヤ28へガラス基板が搬送されるまで待機する。次いでガラス基板22をコンベヤ28からすくい上げるようにアーム6を上昇させ、支持部材8,9からの浮力によりガラス基板22を浮上させ、クランプ10でガラス基板22を把持しながら、アーム6をワイヤカセット20内へ前進させる。この時、支持部材8,9を交互に昇降させて、一方の支持部材はワイヤ24を回避し、他方の支持部材で基板22を浮上させる。ガラス基板22を奥行き方向に沿って所定の位置まで移動させると、支持部材8.9を共に下降させ、ピエゾアクチュエータ29の動作を停止することにより、ガラス基板22をワイヤ24上へ荷下ろしする。そして支持部材8,9を共に下降させた状態でアーム6をワイヤカセット20から後退させる。実施例では以下の効果が得られる。2列の支持部材8,9を列毎に交互に昇降させることにより、ワイヤ24を回避しながら、ガラス基板22を出し入れできる。また軽量の支持部材8,9を昇降させるので、正確に昇降させることができる。仮に2種類のアームを設けて、アームで直接ガラス基板22を支持し、2種類のアームを交互に昇降させると、剛性の高いアームを正確に繰り返し昇降させる必要が生じる。支持部材8,9の昇降によりワイヤ24を回避するので、アーム6等の高さ方向サイズを小さくできる。このためワイヤ24,24間の高さ方向のピッチを大きくする必要がなく、ワイヤカセット20の収容枚数を大きくできる。支持部材8,9を列毎にシャフト36,37等により一括して駆動できる。クランプ10により基板22の端部を把持することにより、ガラス基板22を水平方向に沿って確実に移動させることができる。浮上搬送のみの場合、ガラス基板22が滑るおそれがある。制御部17により、支持部材8,9の昇降と、ピエゾアクチュエータ29あるいはノズル30の動作を制御し、ワイヤ24に対する支持部材8,9の位置に応じた制御ができる。"