"レーザー材料加工のために、レーザー光3を被加工材9へフォーカシングするビーム整形ユニット1であって、該ビーム整形ユニットは、前記レーザー光3の入射する第1の光学素子5と、光伝搬方向で前記第1の光学素子5に後置された第2の光学素子7と、前記光伝搬方向で前記第2の光学素子7に後置されたフォーカシング光学系8とを含み、前記第1の光学素子5に、該第1の光学素子5を制御することによって焦点直径Dを設定する第1の焦点設定装置10が対応しており、前記第2の光学素子7に、該第2の光学素子7を制御することによって前記レーザー光3の光伝搬方向での焦点位置を設定する第2の焦点設定装置12が対応している、ビーム整形ユニット1において、前記レーザー光3は、前記第1の光学素子5を通り、中間焦点6を経て、前記第2の光学素子7へ結像されることを特徴とするビーム整形ユニット。前記第1の光学素子は、透過性光学素子、有利にはレンズ5によって形成されており、該透過性光学素子は、有利には50mmより小さい焦点距離、特に有利には40mmよりも小さい焦点距離を有する、請求項1記載のビーム整形ユニット。前記第1の光学素子5は、前記焦点直径Dを設定する前記第1の焦点設定装置10により、前記レーザー光3の光軸11に沿って移動可能である、請求項1または2記載のビーム整形ユニット。前記第2の光学素子は、有利には透過性光学素子、例えばレンズ7によって形成されており、該透過性光学素子は、前記焦点位置を設定する前記第2の焦点設定装置12により、前記レーザー光3の光軸11に沿って移動可能である、および/または、その結像特性を変更可能である、請求項1から3までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット。前記第1の焦点設定装置10および/または前記第2の焦点設定装置12をアプリケーション固有の設定値23およびその時点の補正値24に基づいて駆動する制御ユニット22が設けられており、前記設定値および前記その時点の補正値は例えばプロセス監視装置25の測定データに基づいている、請求項1から4までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット。さらに、前記第1の光学素子5および前記第2の光学素子7および各素子の支承部材13,14によって複数の室17,18,19に分割されたケーシング2が設けられており、前記複数の室17,18,19間でのガス交換および圧力交換のために上方流路15,16が設けられている、請求項1から5までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット。前記光伝搬方向で前記フォーカシング光学系8に後置される別の光学系、例えばプレーンウィンドウ20が、前記ビーム整形ユニット1をガス圧に対して遮閉するために設けられている、請求項1から6までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット。前記フォーカシング光学系8と前記別の光学系20とのあいだに、衝突防止のための分離部21aが設けられており、該分離部21aの領域は弾性を有するシース21によって覆われている、請求項7記載のビーム整形ユニット。複数の焦点設定装置10,12をアプリケーション固有の設定値23に基づいて駆動する、請求項1から8までのいずれか1項記載のビーム整形ユニット1の駆動方法において、前記複数の焦点設定装置10,12を駆動する際に、その時点の補正値24を考慮することを特徴とするビーム整形ユニットの駆動方法。前記その時点の補正値24を用いて、熱によって前記ビーム整形ユニット1に発生する結像誤差を補償する、請求項9記載のビーム整形ユニットの駆動方法。前記その時点の補正値24を、照射時間と、前記ビーム整形ユニット1の少なくとも1つの光学部品20に供給されるレーザーパワーとに基づいて求める、請求項9または10記載のビーム整形ユニットの駆動方法。前記その時点の補正値24を前記ビーム整形ユニット1の少なくとも1つの光学部品での温度測定によって求め、前記少なくとも1つの光学部品は、例えば、光伝搬方向の最後方に配置された光学部品20である、請求項9から11までのいずれか1項記載のビーム整形ユニットの駆動方法。"