"光源から射出された照明光を集光して試料面に照射する対物レンズと、前記光源と前記対物レンズとの間に配置され、前記照明光により前記試料面を走査する走査ユニットと、を有し、前記走査ユニットは、それそれが、第1の方向を向く回転軸を中心に回転される反射面を有する第1の偏向素子及び第2の偏向素子と、前記第1の方向とは異なる第2の方向を向く回転軸を中心に回転される反射面を有する第3の偏向素子と、を有し、前記光源側から入射した前記照明光を前記第1の偏向素子で反射し、さらに、前記第1の偏向素子で反射された前記照明光を前記第2の偏向素子で反射して、前記照明光を前記試料面上で前記第1の方向に略直交する方向に走査するように前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子が配置されるとともに、前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子による前記照明光の回転中心が、前記第1の偏向素子よりも前記光源側、若しくは、前記第2の偏向素子よりも前記試料面側に位置するように、前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子が回転し、前記回転中心に前記反射面が位置し、前記試料面上を前記第2の方向と略直交する方向に走査するように前記第3の偏向素子が配置されることを特徴とする走査型顕微鏡。前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子は、前記反射面に対する前記照明光の入射角度が45°より小さくなるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の走査型顕微鏡。前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子は、前記第1の偏向素子の前記反射面に入射する前記照明光に対して、前記第2の偏向素子の前記反射面で反射されて射出する前記照明光が交差するように配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の走査型顕微鏡。前記第1の偏向素子及び前記第2の偏向素子は、前記第1の偏向素子の前記反射面に入射する前記照明光に対して、前記第2の偏向素子の前記反射面で反射されて射出する前記照明光が略直交するように配置されていることを特徴とする請求項3に記載の走査型顕微鏡。前記第1の偏向素子、前記第2の偏向素子、及び前記第3の偏向素子が互いに位置関係を変えずに、前記対物レンズの光軸方向に沿って移動することを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。しかし、上述の走査型顕微鏡では、偏向の中心位置回転中心が第1及び第2の偏向素子の間にあるため、上記一方向とは垂直をなす方向に沿って偏向する第3の偏向素子を第1及び第2の偏向素子の間に配置する必要がある。そのために、第1及び第2の偏向素子の間隔が広がってしまい、この走査型顕微鏡全体が大型化してしまうという課題があった。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、第1及び第2の偏向素子を近づけて配置することができ、全体を小型化した走査型顕微鏡を提供することを目的とする。前記課題を解決するために、本発明に係る走査型顕微鏡は、光源から射出された照明光を集光して試料面に照射する対物レンズと、光源と対物レンズとの間に配置され、照明光により試料面を走査する走査ユニットと、を有し、走査ユニットは、それぞれが、第1の方向を向く回転軸を中心に回転される反射面を有する第1の偏向素子及び第2の偏向素子と、第1の方向とは異なる第2の方向を向く回転軸を中心に回転される反射面を有する第3の偏向素子と、を有し、光源側から入射した照明光を第1の偏向素子で反射し、さらに、この第1の偏向素子で反射された照明光を第2の偏向素子で反射して、この照明光を試料面上で第1の方向に略直交する方向に走査するように第1の偏向素子及び第2の偏向素子が配置されるとともに、第1の偏向素子及び第2の偏向素子による照明光の回転中心が、第1の偏向素子よりも光源側、若しくは、第2の偏向素子よりも試料面側に位置するように、第1の偏向素子及び第2の偏向素子が回転し、さらに、この回転中心に反射面が位置し、試料面上を第2の方向と略直交する方向に走査するように第3の偏向素子が配置されることを特徴とする。このような走査型顕微鏡において、第1の偏向素子及び第2の偏向素子は、反射面に対する照明光の入射角度が45°より小さくなるように配置されていることが好ましい。また、このような走査型顕微鏡において、第1の偏向素子及び第2の偏向素子は、第1の偏向素子の反射面に入射する照明光に対して、第2の偏向素子の反射面で反射されて射出する照明光が略直交し、且つ、交差するように配置されていることが好ましい。このとき、第1の偏向素子及び第2の偏向素子は、第1の偏向素子の反射面に入射する照明光に対して、第2の偏向素子の反射面で反射されて射出する照明光が略直交するように配置されていることが好ましい。また、このような走査型顕微鏡は、第1の偏向素子、第2の偏向素子、及び第3の偏向素子が互いに位置関係を変えずに、対物レンズの光軸方向に沿って移動することが好ましい。本発明に係る走査型顕微鏡を以上のように構成すると、第1及び第2の偏向素子を近づけて配置することにより、この走査型顕微鏡全体を小型化することができる。以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1を用いて本実施形態に係る走査型顕微鏡の構成を説明する。この走査型顕微鏡10は、光源20から放射されたレーザビーム照明光を観察試料の試料面50に照射して走査する走査光学系30と、試料面50からの反射光または蛍光を検出する検出光学系40と、を有して構成される。走査光学系30は、光源20側から順に、ビームエキスパンダ31、ビームスプリッター32、走査ユニット33、瞳投影レンズ34、結像レンズ35、及び、対物レンズ36から構成される。また、検出光学系40は、走査光学系30の側方に配置され、ビームスプリッター32側から順に、結像レンズ41、遮光板42、及び、光検出器43から構成される。また、この走査型顕微鏡10には、走査ユニット33で走査する位置試料面50上の座標及び光検出器43で検出された値を処理する処理部70が設けられている。この走査型顕微鏡10において、光源20から放射されたレーザビームは、ビームエキスパンダ31で必要なビーム径の略平行光束となり、ビームスプリッター32を透過し、走査ユニット33に入射する。この走査ユニット33は、後述するように光軸に直交する方向にレーザビームを2次元的に走査するものであり、例えば、図2に示すようにレーザビームを反射することによりこのレーザビームを偏向させる第1の偏向素子33a、第2の偏向素子33b及び第3の偏向素子33cからなる3つの偏向素子で構成されている。また、これらの第1~第3の偏向素子33a~33cは、駆動部60のモータで回転揺動されるように構成されている。そして、この走査ユニット33を出射したレーザビーム略平行光束は瞳投影レンズ34により一次像面Iに結像された後、結像レンズ35を通過することにより再び略平行光束となり、対物レンズ36によって試料面対物レンズ36の焦点面50上に結像される。試料面50上に結像されたレーザビームの像は点像となっており、その点像の径は対物レンズ36の開口数NAで決まる大きさである。試料面50上の点像照射領域からの反射光は、再び対物レンズ36で集光されて略平行光束となり、結像レンズ35により一次像面Iに結像された後、さらに瞳投影レンズ34で略平行光束にされて走査ユニット33に入射する。そして、この走査ユニット33を出射した反射光略平行光束はビームスプリッター32で反射されて検出光学系40内に入り、結像レンズ41により遮光板42の開口部42a上に集光される。この遮光板42の開口部42aを通過した光のみが光検出器43に到達し検出される。上述のように、遮光板42の開口部42aは試料面50上に結像されたレーザビームの点像と共役であり、試料面50上の照射領域から出た光反射光または蛍光はこの開口部42aを通過することができる。一方、試料面50上の他の領域から出た光のほとんどはこの開口部42a上には結像されず、通過することができない。以上より、処理部70が走査ユニット33の走査に同期させて光検出器43で検出された光信号を処理することにより、試料面50の二次元的な画像を得ることができる。これによりこの走査型顕微鏡10は、高い分解能で試料面50の像を得ることができる。ところで、上述したように、このような走査型顕微鏡10において、レーザビームの2次元スキャンによりムラのない2次元画像を得るためには、走査ユニット33を構成する第1~第3の偏向素子33a~33cによるレーザビームの回転中心振り角の中心と対物レンズ36の射出瞳Pの位置を共役関係とすることが必要である。瞳投影レンズ34は、対物レンズ36の射出瞳Pの像を走査ユニット33の回転中心に形成するように構成されている。以下に、この走査ユニット33の構成について説明する。[第1の実施形態]上述の図2は、第1の実施形態に係る走査ユニット33の構成を示しており、この図2に示すように、光軸に略直交する試料面50において所定の方向図2においては上下方向をx軸方向とし、このx軸方向に直交する方向図2においては左右方向をy軸方向とすると、レーザビームの点像をこの試料面50においてx軸方向に走査させる2枚の偏向素子第1及び第2の偏向素子33a,33bと、y軸方向に走査させる1枚の偏向素子第3の偏向素子33cとから構成される。なお、図2の構成において、第1及び第2の偏向素子33a,33bは、y軸方向に延びる走査回転軸を有し、第3の偏向素子33cは、x軸方向に延びる走査回転軸を有しており、これらの回転軸が、上述の駆動部60のモータで回転されることにより、第1及び第2の偏向素子33a,33bの反射面がx軸方向に回転揺動し、第3の偏向素子33cの反射面がy軸方向に回転揺動する。また、図3cに示すように、この走査ユニット33を射出して、試料面50のx軸方向における光軸上の領域にレーザビームを照射するときは、第1及び第2の偏向素子33a,33bの反射面は略平行で光軸に対して45°傾いて配置されているレーザビームの入射角が45°となる。図3は、第1及び第2の偏向素子33a,33bにより、光軸上を入射したレーザ光を、試料面50においてx軸方向に走査する場合を示している。第1及び第2の偏向素子33a,33bはその走査回転軸がy軸方向に互いに略平行に延びており、それぞれの回転角度揺動角度を調整することにより、第2の偏向素子33bよりも試料面50側の点P′を回転中心としてこのレーザビームを走査させることができる。そのため、この点P′に、レーザ光をy軸方向に走査する第3の偏向素子33cの回転中心を配置し、また、瞳投影レンズ34により形成される対物レンズ36の射出瞳の像を位置させることにより、x軸方向の回転中心、y軸方向の回転中心及び対物レンズ36の射出瞳の像を略一致させることができるので、レーザビームの2次元スキャンによりムラのない2次元画像を得ることができる。なお、図4に示すように、第1及び第2の偏向素子33a,33bによる回転中心P′が、第1の偏向素子33aよりも光源20側に位置するようにこれらの回転角度揺動角度を制御し、この回転中心P′に第3の偏向素子33cの回転中心を配置するとともに、瞳投影レンズ34により形成される対物レンズ36の射出瞳の像を位置させるように構成することも可能である。さらに、第1及び第2の偏向素子33a,33bにより、試料面50においてレーザ光をy軸方向に走査させ、第3の偏向素子33cによりx軸方向に走査させるように構成することも可能である。以上のように、第2の偏向素子33bの試料面50側、若しくは、第1の偏向素子33aの光源20側に第3の偏向素子33cを配置することにより、第1及び第2の偏向素子33a,33bを近づけて配置することができるため、走査光学系30を小型化し、結果として走査型顕微鏡10全体を小型化することができる。[第2の実施形態]第1の実施形態に係る走査ユニット33に示すように、この走査ユニット33から光軸上にレーザビームが射出されるときの、第1及び第2の偏向素子33a,33bの反射面に入射するレーザビームの入射角度をそれぞれ45°に設定すると、図5aに示すように、第1の偏向素子33aの回転揺動により第2の偏向素子33bに入射する光束がx軸方向に移動するため、この第2の偏向素子33bの反射面が大きくなってしまう。そこで、図5bに示すように、第1の偏向素子33aに入射する光束と第2の偏向素子33bから射出する光束とを交差させることで、第2の偏向素子33bの反射面を小型化することができる。これは、第1及び第2の偏向素子33a,33bに対するレーザビームの入射角この走査ユニット33から光軸上に射出されるときの入射角を45°より小さくすることができるため、これにより、第1の偏向素子33aの回転により第2の偏向素子33bに入射する光束のx軸方向の移動量が小さくなるからである。また、このように配置すると、図5aの場合に比べて第1の偏向素子33aも小型化することができる。さらに、図5aに示すように走査光学系30が像面の中心光軸上を走査する状態において、第1の偏向素子33aに入射する光束と第2の偏向素子33bから出射する光束が略平行光束である場合は、第1の偏向素子33aと第2の偏向素子33bも平行である。この状態で第1の偏向素子33aと第2の偏向素子33bとを一定以上近づけると第2の偏向素子33bが入射光束を妨げてしまう。一方、図5bのように第1の偏向素子33aに入射する光束と第2の偏向素子33bから出射する光束を交差させる構成では光束を折り畳むことができるために、走査光学系30をより小型化することができる。以下の表1に、入射ビーム径φが5.5mm、走査最大角θが6.89°、第1及び第2の偏向素子33a,33bの反射面の光軸上の面間隔L1が10.0mm、及び、第2の偏向素子33bの反射面から対物レンズ36の入射瞳と共役な面P′までの光軸上の距離L2が15.0mmのときの、図5aに示す入出射光束が平行な場合と、図5bに示す入出射光束が交差する場合における第1及び第2の偏向素子33a,33bの反射面の有効径φ1,φ2を示す。また、図6bに示すように、第1の偏向素子33aに入射する光束と第2の偏向素子33bから射出する光束の交差角が90°である場合は、図6aに示す通常の2次元走査光学系の入射光束方向及び、射出光束方向が変わらないために光学系の他要素を一切変更せずに、第2の実施形態に係る走査光学系30を導入することができる。第1及び第2の実施形態の目的は、対物レンズ36を含む観察光学系結像レンズ35よりも試料面50側の光学系をいうの瞳共役位置に光束の回転中心を合わせることである。観察光学系の瞳位置は対物レンズ36の種類によって、又は観察光学系に変倍光学系が含まれる対物レンズ36と結像レンズ35との間に配置ときは、変倍光学系の倍率によって瞳位置は移動する。その移動の際に第1~第3の偏向素子33a~33cを相対的な位置関係を変えずに、観察光学系対物レンズ36の光軸方向に全体を移動させることで、常に観察光学系の瞳共役位置と光束の回転中心とを合わせることができる。"