弁体が当接又は離間する弁座を備える匡体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、前記匡体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる弾性部材を有することを特徴とする手動弁。請求項1に記載の手動弁において、前記匡体内には、前記ロッドが貫通してロッドの移動を案内する案内部材を備え、前記弾性部材は、前記ロッドを囲む環状形状をなして前記案内部材上に支持されていると共に、前記ロッドには、そのロッドの移動に伴って前記弾性部材に当接する当接部材が設けられていることを特徴とする手動弁。請求項2に記載の手動弁において、前記匡体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記匡体内に固定されていることを特徴とする手動弁。請求項2又は請求項3に記載の手動弁において、前記案内部材の、前記ロッドの他端部側面には、前記ロッドを囲うようにして環状の溝部が形成され、前記弾性部材は、Oリングで構成されると共にその溝部内に保持されており、前記溝部の幅は、前記弁体の閉方向への移動途中において、前記弾性部材の弾性変形に伴って弾性部材が溝部を区画する壁面に接触するような幅に設定されていることを特徴とする手動弁。請求項2または請求項3に記載の手動弁において、前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されていることを特徴とする手動弁。しかしながら、特許文献1に開示された手動弁のように、ロッドが、ノブの回転によりノブと当接した状態でねじ送りにされて、弁体を移動させる手動弁では、ノブを回転させて閉弁操作を行うとき、弁体が弁座に当接した後も、過大なトルクをかけてノブを回転させてしまうことがある。そして、ピストンと一体に連結した弁体が過度に弁座を押圧して、弁座に変形、破損等の損傷が生じる恐れがあった。本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、ロッドを介した弁体を移動させる手動弁において、構造が簡単で、且つノブの回転操作によって弁座を損傷させる恐れが少ない構造を有する手動弁を提供することを目的とする。その解決手段である本発明の手動弁は、次のような構成を有している。1弁体が当接又は離間する弁座を備える匡体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、前記匡体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる弾性部材を有することを特徴とする。21に記載の手動弁において、前記匡体内には、前記ロッドが貫通してロッドの移動を案内する案内部材を備え、前記弾性部材は、前記ロッドを囲む環状形状をなして前記案内部材上に支持されていると共に、前記ロッドには、そのロッドの移動に伴って前記弾性部材に当接する当接部材が設けられていることを特徴とする。32に記載の手動弁において、前記匡体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記匡体内に固定されていることを特徴とする。42又は3に記載の手動弁において、前記案内部材の、前記ロッドの他端部側面には、前記ロッドを囲うようにして環状の溝部が形成され、前記弾性部材は、Oリングで構成されると共にその溝部内に保持されており、前記溝部の幅は、前記弁体の閉方向への移動途中において、前記弾性部材の弾性変形に伴って弾性部材が溝部を区画する壁面に接触するような幅に設定されていることを特徴とする。52または3に記載の手動弁において、前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されていることを特徴とする。1本発明は、弁体が当接又は離間する弁座を備える匡体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、前記匡体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる弾性部材を有するので、ノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。21に記載の手動弁において、前記匡体内には、前記ロッドが貫通してロッドの移動を案内する案内部材を備え、前記弾性部材は、前記ロッドを囲む環状形状をなして前記案内部材上に支持されていると共に、前記ロッドには、そのロッドの移動に伴って前記弾性部材に当接する当接部材が設けられているので、簡単な構造で、且つノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。32に記載の手動弁において、前記匡体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記匡体内に固定されているので、簡単な構造で、且つノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。42又は3に記載の手動弁において、前記案内部材の、前記ロッドの他端部側面には、前記ロッドを囲うようにして環状の溝部が形成され、前記弾性部材は、Oリングで構成されると共にその溝部内に保持されており、前記溝部の幅は、前記弁体の閉方向への移動途中において、前記弾性部材の弾性変形に伴って弾性部材が溝部を区画する壁面に接触するような幅に設定されているので、簡単な構造で、且つノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。52または3に記載の手動弁において、前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されているので、簡単な構造で、且つノブの回転操作により弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の過度の押圧による弁座の損傷が防止できる。実施形態1以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本実施形態に係る手動弁の構成を示す断面図である。図2は、手動弁の側面図である。図3は、図1に示す手動弁のI-I線における中央付近の断面図である。図4は、図1に示す手動弁のII-II線における中央付近の断面図である。手動弁1は、例えば、半導体製造装置において、薬液供給ユニットに供給する薬液流体の流量を制御する薬液弁や、薬液をサンプリングするときの薬液採取バルブ等として用いられる。ここでは、接続呼び1/2inchの手動弁1を例として、以下に説明する。この手動弁1は、図1に示すように、操作部2、駆動伝達部3及び弁機構部4から構成されている。操作部2はさらに、つまみ10、スライドナット20、止めネジ30及びストッパーネジ40等からなる。つまみ10は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性または耐アルカリ性を有する樹脂からなり、図1に示すように、その中央部に、図1において上下方向に貫通する貫通孔10Hを有する略円筒状の形状をなしている。ロッド送出部材であるところのスライドナット20は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性または耐アルカリ性を有する樹脂からなる。このスライドナット20は、その中央部に図1において上下方向に貫通する貫通孔20Hを有する略円筒状で、この貫通孔20H内に、雌ねじ部22が形成されている。また、このスライドナット20の上部は、前記つまみ10の貫通孔10H内に挿入され、止めネジ30により前記つまみ10と一体的に回転するように固定されている。さらに、スライドナット20の下方部分は、膨径部24が設けられている。次に、駆動伝達部3について説明する。前記駆動伝達部3は、この発明のカバー部材に相当するカバー80、この発明の案内部材に相当するロッドガイド81、ロッド50などから構成されている。前記カバー80は、略円筒状をなしており、その上方部分の内部には、前記スライドナット20の膨径部24が配置されている。また、前記カバー80の下方部分の内部には、前記ロッドガイド81が配置されており、したがって、前記スライドナット20は、その膨径部24が前記カバー80の上部と前記ロッドガイド81との間に挟まれた状態で、前記カバー80内で回転可能に保持されている。さらに、前記カバー80の上方部分には、ストッパーネジ40が螺着されており、ストッパーネジ40を前記スライドナット20に向かってねじ込むことにより、前記スライドナット20の回転を規制することができる。本実施形態1では、図1に示すように、膨径部24の上面および下面には、上下方向に突出した突起24a、24bが形成されている。このような突起24a、24bを有した形態の膨径部24にすることにより、膨径部24と、カバー80及びロッドガイド81との接触面積が小さくでき、スライドナット20がカバー80及びロッドガイド81に対して回転し易くしている。前記ロッド50は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性またはアルカリ性を有する樹脂からなり、その上端部外周に雄ねじ部52が、その下端部にはロッド50自身の周方向の回転を規制する回転止め部53がそれぞれ形成されている。前記雄ねじ部52は、前記スライドナット20の貫通孔20Hに形成された雌ねじ部22と螺合している。つまり、このロッド50は、つまみ10と直接に連結せず、前記スライドナット20を介して連結されている。また、前記ロッド50は、ロッドガイド81、つまみ10の貫通孔10H及びスライドナット20の貫通孔20H内を、図1において上下方向に移動可能に配置されている。このロッド50は、回転止め部53を図4に示すようにロッドガイド81の一部に周方向に係止させることにより、ロッドガイド81内での回転を規制している。したがって、作業者が前記つまみ10を指でつまみながら回転操作すると、前記止めネジ30を介して前記スライドナット20も回転し、それに伴って、前記スライドナット20の貫通孔20Hに形成された雌ねじ部22に螺合する前記雄ねじ部52を有する前記ロッド50が前記ロッドガイド81に案内されながら、図1において上下方向に移動する。前記ロッド50の上端には、ロッド50の位置が識別可能なインジケータ61が設けられている。インジケータ61は、つまみ10の貫通孔10H内を出入り可能に配置され、本実施形態1では、閉弁状態になると貫通孔10H内に位置し図1参照、ロッド50が図1に示す位置から上昇して開弁状態になると、つまみ10の上面よりも上方に位置するようになる。なお、図示しないが、インジケータ61には弁開度を識別するための標識を付している。この標識は、例えば色テープや着色塗料などにより、弁開度に対応した色分けで識別されたものとなっている。前記ロッド50の上下方向の中間部分外周部には、図1及び図3に示すように、環状の溝56が形成され、その溝56には、ストッパーリング58が取り付けられている。前記ストッパーリング58は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性または耐アルカリ性を有する樹脂からなり、略C字型形状に成形されており、この発明の当接部材に相当する。また、前記ロッドガイド81の上面には、環状の凹溝86が形成され、その凹溝86内には、Oオーリング87が配置されている。したがって、Oリング87が変形しきって前記ストッパーリング58の下面が前記ロッドガイド81の上面に当接すると、前記つまみ10を回転操作したときの前記ロッド50の下方向の移動が規制され、前記つまみ10のその方向への回転操作ができなくなる。なお、本実施形態では、Oリング87の太さ直径は、3.53mm、凹溝86の溝幅が3.7mmに設定されており、Oリング87の太さに比べて凹溝86の溝幅が若干広く設定されている。Oリング87の太さや凹溝86の溝幅は、任意の寸法に設定できるが、Oリング87の太さに比べて凹溝86の溝幅を若干広く設定した方が前記つまみ10の回転操作性が向上する。なお、Oリング87がこの発明の弾性部材に相当する。また、Oリング87として、市販のOリングを使用すれば、手動弁を安価に製作できる。次に、弁機構部4について説明する。弁機構部4は、弁体保持部材62、弁体63及び弁本体90等から構成されている。弁体保持部材62は、前記ロッド50の下端に一体に固着されていて、ダイアフラムである弁体63とも固着されている。弁本体90には、第1ポート91及び第2ポート92と、弁座93とを有している。また、前記弁本体90の上部は、略円筒状をなし、その円筒部分内には、前記カバー80の下方部分が嵌入し、その状態で固定ネジ82により一体的に固定されている。したがって、この状態では、前記ロッドガイド81の下部外周より突出する鍔部83が前記弁本体90と前記カバー80の間で挟持固定され、前記ロッドガイド81の前記カバー80および前記弁本体90内での位置が定まる。前記ロッドガイド81の回転方向の位置は、前記ロッドガイド81に植設されたピン84が前記弁本体90の係合凹部に係合することにより定まる。なお、前記弁本体90と前記カバー80とにより、この発明の筐体が構成される。手動弁1では、後述するように、つまみ10を回転操作すると、ロッド50が上下方向に移動し、このロッド50を介して弁体63も上下方向に移動するようになっている。ロッド50、すなわち弁体63が下方側図1下方に移動し弁座93に当接すると、手動弁1は閉弁状態になる。その反対に、上方向図1上方に移動し弁座93から離間すると、手動弁1は開弁状態となる。本実施形態においては、前記弁座93は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性または耐アルカリ性を有する樹脂、例えばPFAからなり、また、前記弁体63は、例えば、耐酸性または耐アルカリ性を有するゴム、例えばPTFEからなる。また、前記弁座93の上面は、平板状に形成されており、したがって、前記弁体63の下面も平板状に形成され、それにより弁座93および弁体63の耐久性を向上させている。さらに、本実施形態においては、弁体63が弁座93に当接してからの潰し代が0.数mm、例えば、0.2mm~0.4mmつまり、弁体63が弁座93に当接してからのロッド50の下方向への移動量が0.2mm~0.4mmあると、経時変化に対してもシール性を保つことができる。つまり、本実施形態においては、例えば、0.5MPaの狙いのシール力を確保できる。次に、手動弁1の作用について説明する。まず、手動弁1を開弁状態から閉弁状態にする場合について説明をする。図5には、手動弁1の開弁状態を示す説明図である。図5に示す手動弁1の開弁状態から、図1に示す閉弁状態にするには、まず、作業者がつまみ10を指でつまんで一方向例えば右回りに回転させると、スライドナット20とつまみ10とが共に同方向に回転し、このスライドナット20の回転によって、ロッド50が図5の状態から弁体63の閉方向である下方向へ移動する。ロッド50が下方に移動する途中において、ストッパーリング58の下面がOリング87の上面に当接し、Oリング87を変形し始める。これが図6において、沈み込み量-0.2mmのポイントである。その後まもなく弁体63が弁座93に当接する。これが図6において、沈み込み量0.0mmのポイントである。したがって、つまみ10の操作に作業者は若干の負荷を感じるようになる。作業者がつまみ10をさらに回転操作すると、Oリング87が変形して凹溝86の側壁に当接すると、図6において実線で示すように、つまみ10の操作が急速に重くなり始める。その後更に、つまみ10を回転操作すると、弁体63による弁座93部分のシール力が十分に確保された状態となる。これが図6において、沈み込み量0.数mmのポイントである。その後、さらにつまみ10を回転させようとすると、弁体63の変形に伴う抗力に加えて、Oリング87が凹溝86の側壁に当接したのちに凹溝86内に充填されるように弾性変形するために、つまみ10の操作が更に急速に重くなる。このようになると、作業者は、弁を閉鎖状態まで完全に操作したものと感じ、つまみ10の回転操作を完了する。したがって、弁体63の変形に伴う抗力に応じて作業者がつまみ10の回転操作を中止する場合に比べて、つまみ10を回転操作し過ぎる、つまり過剰に回転操作される恐れがなく、弁体63および弁座93の劣化が防止できて使用可能な開閉回数耐久性が向上する。なお、図6において、一点鎖線で示す範囲が本実施形態における沈み込み量とロッド推力の狙い範囲である。図6に、太さ3.53mmのOリング87を、溝幅4.5mmの凹溝86に支持した場合の、ロッド50を下方に移動させるに必要なロッド推力の変化を点線で示したが、この場合には略直線的に推力が増加するが、それに比べて、本実施形態の場合、推力が急激に増加し、つまみ10を回転操作し過ぎるのを防止できる。また、過剰な作業者のつまみ10の回転操作がないので、弁体63が弁座93に過剰な荷重により当接することがなく、したがって、弁体63および弁座93から擦れて遊離する破片もなく、制御する液体を汚すこともない。なお、万が一、作業者が更につまみ10を回転操作した場合には、ストッパーリング58の下面がロッドガイド81の上面に当接し、それ以上のロッド50の下方方向への移動が規制され、弁体63および弁座93の破損が回避される。これが図6において、沈み込み量1.2mmのポイントである。次に、手動弁1を閉弁状態から開弁状態にする場合について説明をする。図1に示す手動弁1の閉弁状態から、図5に示す開弁状態にするには、まず、作業者がつまみ10を指でつまんで他方向例えば左回りに回転させると、スライドナット20とつまみ10とが共に同方向に回転し、このスライドナット20の回転によって、ロッド50が図1の状態から弁体63の開方向である上方向へ移動する。ロッド50の上方への移動に伴って、弁体63が弁座93から離れ、弁座93が開放され、第1ポート91と第2ポート92と連通する。さらにつまみ10を他方向例えば左回りに回転させると、ストッパーリング58の下面がOリング87の上面から離れ、弁座93が大きく開放されるようになる。任意のつまみ10の回転位置で、ストッパーネジ40をスライドナット20に向かってねじ込むことにより、前記スライドナット20の回転を規制することができる。したがって、弁座93の任意の開放状態が、保持可能となり、手動弁1が取り付けられた装置の振動などの影響を受けて手動弁1の開放状態が維持できる。さらに、つまみ10を回転させると、前記ロッド50の回転止め部53がロッドガイド81の下面に当接し、それ以上のつまみ10の回転操作は不可能となる。なお、この発明は、本実施形態の手動弁に限定されるものではない。本実施形態では、凹溝86の側壁は、平行な形状としたが、これに限定されるものではなく、例えば、図7aに示すように、側壁の間隔が上方に向かうに従って広くなるような環状の溝861としてもよく、また、図7bに示すように、二段形状の環状の溝862としても差し支えない。また、弾性部材としてOリング87を用いたが、例えば、図8aに示すように、断面形状台形形状の環状のクッションゴム871や、図8bに示すように、断面形状段差形状のクッションゴム872、つまり、断面形状においてクッションゴムの底辺の長さが上面の長さよりも長いクッションゴムを用いることも可能である。このとき、クッションゴム871、872の上部の厚みYは、弁体63の潰し代と略同じの0.2mm~0.4mmに設定されている。また、図8cに示すように、クッションゴム872の上部の幅は、上方からの投影面積において、上段上面の面積をA、中段の面積をBとすると、A対Bが2対3になるように上段上部の幅と中段の幅とが設定されている。この場合、上段上部の幅と中段の幅との和が底部の幅となる。さらに、本実施形態では、前記弁本体90の上部は、略円筒状をなし、その円筒部分内に、前記カバー80の下方部分が嵌入して筐体を構成するようにしたが、前記カバー80の下方部分を略円筒状に形成して、その下方部分内に前記弁本体90の上部を嵌入して筐体を構成するようにしても差し支えない。