"蛍光体、膨潤性粒子、及び水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下である混合液を用い、該混合液を発光素子上に塗布して加熱することで波長変換層を形成する工程と、前記波長変換層上に透光性セラミック材料を供給する工程と、を有する発光装置の製造方法。前記混合液が有機溶媒及び/又は無機粒子を含むことを特徴とする請求項1記載の発光装置の製造方法。前記波長変換層中の前記膨潤性粒子の含有量が0.3重量以上70重量以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の発光装置の製造方法。前記膨潤性粒子が層状ケイ酸塩鉱物であることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の発光装置の製造方法。前記層状ケイ酸塩鉱物が膨潤性粘土鉱物であることを特徴とする請求項4記載の発光装置の製造方法。前記膨潤性粘土鉱物がスメクタイト構造であることを特徴とする請求項5記載の発光装置の製造方法。前記透光性セラミック材料を供給する工程は、有機金属化合物又は無機ポリマーを含む溶液を塗布し、焼成する工程を含むことを特徴とする請求項1~6の何れかに記載の発光装置の製造方法。前記有機金属化合物が有機シロキサン化合物であることを特徴とする請求項7記載の発光装置の製造方法。前記無機ポリマーがポリシラザンであることを特徴とする請求項7記載の発光装置の製造方法。前記蛍光体の体積平均粒径が1μm以上50μm以下であることを特徴とする請求項1~9の何れかに記載の発光装置の製造方法。前記波長変換層の厚みが5μm以上500μm以下であることを特徴とする請求項1~10の何れかに記載の発光装置の製造方法。前記混合液中の前記膨潤性粒子に対する前記水と前記有機溶媒の合計量の割合が1000重量以上9000重量以下であることを特徴とする請求項2記載の発光装置の製造方法。前記膨潤性粒子が表面処理されていない親水性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記水とを混合することを特徴とする請求項1~12の何れかに記載の発光装置の製造方法。前記膨潤性粒子が表面処理された親水性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記有機溶媒とを混合することを特徴とする請求項2記載の発光装置の製造方法。請求項1~14の何れかに記載の発光装置の製造方法によって製造された発光装置。蛍光体、膨潤性粒子、及び水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下である混合液を用い、該混合液を透光性基板の少なくとも片面に塗布して加熱することで波長変換層を形成する工程と、前記波長変換層上に透光性セラミック材料を供給する工程と、を有する波長変換素子の製造方法。前記混合液が有機溶媒及び/又は無機粒子を含むことを特徴とする請求項16記載の波長変換素子の製造方法。前記波長変換層中の前記膨潤性粒子の含有量が0.3重量以上70重量以下であることを特徴とする請求項16又は17記載の波長変換素子の製造方法。前記膨潤性粒子が層状ケイ酸塩鉱物であることを特徴とする請求項16~18の何れかに記載の波長変換素子の製造方法。前記層状ケイ酸塩鉱物が膨潤性粘土鉱物であることを特徴とする請求項19記載の波長変換素子の製造方法。前記膨潤性粘土鉱物がスメクタイト構造であることを特徴とする請求項20記載の波長変換素子の製造方法。前記透光性セラミック材料を供給する工程は、有機金属化合物又は無機ポリマーを含む溶液を塗布し、焼成する工程を含むことを特徴とする請求項16~21の何れかに記載の波長変換素子の製造方法。前記有機金属化合物が有機シロキサン化合物であることを特徴とする請求項22記載の波長変換素子の製造方法。前記無機ポリマーがポリシラザンであることを特徴とする請求項22記載の波長変換素子の製造方法。前記蛍光体の体積平均粒径が1μm以上50μm以下であることを特徴とする請求項16~24の何れかに記載の波長変換素子の製造方法。前記波長変換層の厚みが5μm以上500μm以下であることを特徴とする請求項16~25の何れかに記載の波長変換素子の製造方法。前記混合液中の前記膨潤性粒子に対する前記水と前記有機溶媒の合計量の割合が1000重量以上9000重量以下であることを特徴とする請求項17記載の波長変換素子の製造方法。前記膨潤性粒子が表面処理されていない親水性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記水とを混合することを特徴とする請求項16~27の何れかに記載の波長変換素子の製造方法。前記膨潤性粒子が表面処理された親油性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記有機溶媒とを混合することを特徴とする請求項17記載の波長変換素子の製造方法。請求項16~29の何れかに記載の波長変換素子の製造方法によって製造された波長変換素子。請求項16~29の何れかに記載の波長変換素子の製造方法に、前記波長変換素子を発光素子の発光面側に設置する工程を加えた発光装置の製造方法。請求項31に記載の発光装置の製造方法によって製造された発光装置。蛍光体と膨潤性粒子とを含む混合液を用い、該混合液を発光素子上に塗布して加熱することで前記膨潤性粒子により前記蛍光体を前記発光素子上に固定して波長変換層を形成する工程を有する発光装置の製造方法。前記混合液は、水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下であることを特徴とする請求項33に記載の発光装置の製造方法。蛍光体層の形成に用いる混合液であって、蛍光体、膨潤性粒子、及び水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下である混合液。しかしながら、特許文献5のように無機粒子を蛍光体分散溶液中に添加しても、上記のような高レベルの色の均一性が求められる用途において使用できる程度まで色むらを低減することは困難である。なぜなら、本発明者らが検証したところ、蛍光体の沈降を抑制するために無機粒子を大量に添加した場合、無機粒子による散乱等により透過率が低下したり、蛍光体を含有する層の表面の平滑性が損なわれて散乱を起こしたりすることが判明した。一方、無機粒子の添加量を少なくした場合は、蛍光体の沈降を十分に抑制できず、色むらを十分に解消できなかった。さらに、本発明者らは特許文献5に記載されている耐熱性を高める技術に、特許文献1~3に記載されている蛍光体の沈降を抑制する技術を適用することを試みた。まず、特許文献1の技術は粘度の高い樹脂を用いることを特徴としているので、樹脂を用いない特許文献5の技術に特許文献4の技術を組み合わせることはできない。次に、特許文献2の技術ではLEDの構成が複雑になってコストアップに繋がるという問題に加え、特許文献2の筒状容器に特許文献5の高耐熱性の金属アルコキシドやセラミック前駆体組成物と蛍光体との分散溶液を充填した場合には加熱しても硬化しないので、特許文献2の技術に特許文献4の技術を組み合わせることはできない。次に、特許文献5の金属アルコキシドやセラミック前駆体組成物と蛍光体との分散溶液に、蛍光体の沈降防止材として特許文献3の層状化合物を添加する組み合わせによれば、蛍光体の分散状態がある程度安定し、色むらの発生をある程度低減できたが、封止材料と沈降防止材との混合液の粘度を十分に高めることはできず、封止材料が硬化する前に蛍光体が沈降してしまい、蛍光体の均一性が損なわれるので、色むらの発生を十分に抑制するには至らなかった。本発明は、自動車のヘッドライトのように高レベルの色の均一性が求められる用途において十分使用可能な程度に色むらの発生を低減すること、耐久性に優れていることを課題とし、その波長変換素子の製造方法、その波長変換素子、その発光装置の製造方法、その発光装置をそれぞれ提供することを目的とする。上記目的を達成するために本発明は、蛍光体、膨潤性粒子、及び水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下である混合液を用い、該混合液を発光素子上に塗布して加熱することで波長変換層を形成する工程と、前記波長変換層上に透光性セラミック材料を供給する工程と、を有する発光装置の製造方法とする。上記の発光装置の製造方法において、前記混合液が有機溶媒及び/又は無機粒子を含んでいてもよい。また上記の発光装置の製造方法において、前記波長変換層中の前記膨潤性粒子の含有量が0.3重量以上70重量以下であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記膨潤性粒子が層状ケイ酸塩鉱物であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記層状ケイ酸塩鉱物が膨潤性粘土鉱物であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記膨潤性粘土鉱物がスメクタイト構造であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記透光性セラミック材料を供給する工程は、有機金属化合物又は無機ポリマーを含む溶液を塗布し、焼成する工程を含むことが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記有機金属化合物が有機シロキサン化合物であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記無機ポリマーがポリシラザンであることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記蛍光体の体積平均粒径が1μm以上50μm以下であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記波長変換層の厚みが5μm以上500μm以下であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記混合液中の前記膨潤性粒子に対する前記水と前記有機溶媒の合計量の割合が1000重量以上9000重量以下であることが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記膨潤性粒子が表面処理されていない親水性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記水とを混合することが好ましい。また上記の発光装置の製造方法において、前記膨潤性粒子が表面処理された親水性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記有機溶媒とを混合することが好ましい。また本発明の発光装置は、上記の発光装置の製造方法の何れかによって製造されたものである。また本発明は、蛍光体、膨潤性粒子、及び水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下である混合液を用い、該混合液を透光性基板の少なくとも片面に塗布して加熱することで波長変換層を形成する工程と、前記波長変換層上に透光性セラミック材料を供給する工程と、を有する波長変換素子の製造方法とする。上記の波長変換素子の製造方法において、前記混合液が有機溶媒及び/又は無機粒子を含んでいてもよい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記波長変換層中の前記膨潤性粒子の含有量が0.3重量以上70重量以下であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記膨潤性粒子が層状ケイ酸塩鉱物であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記層状ケイ酸塩鉱物が膨潤性粘土鉱物であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記膨潤性粘土鉱物がスメクタイト構造であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記透光性セラミック材料を供給する工程は、有機金属化合物又は無機ポリマーを含む溶液を塗布し、焼成する工程を含むことが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記有機金属化合物が有機シロキサン化合物であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記無機ポリマーがポリシラザンであることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記蛍光体の体積平均粒径が1μm以上50μm以下であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記波長変換層の厚みが5μm以上500μm以下であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記混合液中の前記膨潤性粒子に対する前記水と前記有機溶媒の合計量の割合が1000重量以上9000重量以下であることが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記膨潤性粒子が表面処理されていない親水性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記水とを混合することが好ましい。また上記の波長変換素子の製造方法において、前記膨潤性粒子が表面処理された親油性の粒子である場合、前記混合液の調整時には、最初に前記膨潤性粒子と前記有機溶媒とを混合することが好ましい。また本発明の波長変換素子は、上記の波長変換素子の製造方法によって製造されたものである。また本発明の発光装置の製造方法は、上記の波長変換素子の製造方法において波長変換素子を発光素子の発光面側に設置する工程を加えたものである。また本発明の発光装置は、上記の発光装置の製造方法によって製造されたものである。また本発明の発光装置の製造方法は、蛍光体と膨潤性粒子とを含む混合液を用い、該混合液を発光素子上に塗布して加熱することで前記膨潤性粒子により前記蛍光体を前記発光素子上に固定して波長変換層を形成する工程を有するものである。上記の発光装置の製造方法において、前記混合液は、水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下であることが好ましい。また本発明の混合液は、蛍光体層の形成に用いる混合液であって、蛍光体、膨潤性粒子、及び水を含み、粘度が25mPas以上800mPas以下である。本発明によると、自動車のヘッドライトのように高レベルの色の均一性が求められる用途の発光装置において、十分使用可能な程度に色むらの発生を低減すること、耐久性に優れていることを実現することができる。以下、本発明の波長変換素子及びそれを備えた発光装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の第1実施形態の発光装置の概略断面図である。図1に示すように、発光装置100は、平板状のLED基板1上にメタル部2を設け、メタル部2上に発光素子としてLED素子3を配置している。LED素子3は、メタル部2に対向する面に、突起電極4が設けられており、メタル部2とLED素子3とを突起電極4を介して接続している。本実施形態では、LED素子3として青色LED素子を用いている。青色LED素子は、例えばサファイア基板上にn-GaN系クラッド層、InGaN発光層、p-GaN系クラッド層、及び透明電極を積層してなる。また、LED素子3の上面には波長変換素子9が設けられている。波長変換素子9は、ガラス基板5と、ガラス基板5の上面に形成された波長変換部6とを有している。ガラス基板5の形状には特に限定はなく、平板状、レンズ状等を採用できる。なお、波長変換部6はガラス基板5の下面に形成してもよい。波長変換部6は、ガラス基板5上に形成された波長変換層7と、波長変換層7上に形成されたセラミック層8とを有している。波長変換層7は、LED素子3から出射される所定波長の光を異なる波長の光に変換する部分であり、LED素子3からの波長により励起されて、励起波長と異なる波長の蛍光を出す蛍光体が含まれている。セラミック層8は、波長変換層7を封止して保護するための層であり、少なくともLED素子3の光及び波長変換層7の蛍光を透過する透光性を有する。次に、波長変換部6波長変換層7及びセラミック層8の構成及び形成方法と、発光装置100の製造方法とについて詳述する。波長変換層7は、少なくとも蛍光体、膨潤性粒子、及び水を含み、さらに有機溶媒及び/又は無機粒子無機微粒子を含んでいてもよい混合液を加熱して得られる層である。セラミック層8は、有機金属化合物又は無機ポリマーを溶媒に混合したゾル状の前駆体溶液を加熱によりゲル状態とし、さらに焼成する、いわゆるゾルゲル法により形成された透明セラミック層ガラス体である。蛍光体蛍光体は、LED素子3からの出射光の波長励起波長により励起されて、励起波長と異なる波長の蛍光を出射するものである。本実施形態では、青色LED素子から出射される青色光波長420nm~485nmを黄色光波長550nm~650nmに変換するYAGイットリウムアルミニウムガーネット蛍光体を使用している。このような蛍光体は、Y、Gd、Ce、Sm、Al、La、Gaの酸化物、または高温で容易に酸化物となる化合物を使用し、それらを化学量論比で十分に混合して混合原料を得る。或いは、Y、Gd、Ce、Smの希土類元素を化学量論比で酸に溶解した溶液をシュウ酸で共沈したものを焼成して得られる共沈酸化物と、酸化アルミニウム、酸化ガリウムとを混合して混合原料を得る。そして、得られた混合原料にフラックスとしてフッ化アンモニウム等のフッ化物を適量混合して加圧し、成形体を得る。得られた成形体を坩堝に詰め、空気中1350~1450°Cの温度範囲で2~5時間焼成し、蛍光体の発光特性をもつ焼結体を得る。なお、本実施形態ではYAG蛍光体を使用しているが、蛍光体の種類はこれに限定されるものではなく、例えばCeを含まない非ガーネット系蛍光体等の他の蛍光体を使用することもできる。また、蛍光体の粒径が大きいほど発光効率波長変換効率は高くなる反面、膨潤性粒子との界面に生じる隙間が大きくなって形成された波長変換層の膜強度が低下する。従って、発光効率と膨潤性粒子との界面に生じる隙間の大きさを考慮し、体積平均粒径が1μm以上50μm以下のものを用いることが好ましく、加熱後の波長変換層7の厚さより小さいものを用いる。蛍光体の体積平均粒径は、例えばコールターカウンター法やレーザー回折散乱式粒径測定装置によって測定することができる。膨潤性粒子膨潤性粒子としては、フッ化マグネシウム、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等のフッ化物粒子や、層状ケイ酸塩鉱物を用いることができる。その中でも層状ケイ酸塩鉱物が好ましく、雲母構造、カオリナイト構造、スメクタイト構造等の構造を有する膨潤性粘土鉱物がより好ましく、膨潤性に富むスメクタイト構造が特に好ましい。これは、後述するように混合液中に水を添加することで、スメクタイト構造の層間に水が進入して膨潤したカードハウス構造をとるため、混合液の粘性を大幅に増加させる効果があるためである。ここでの鉱物とは、天然又は合成の無機質で一定の化学組成と結晶構造を有する固体物質であるとする。波長変換層7における膨潤性粒子の含有量が0.3重量未満になると混合液中の蛍光体等の固形成分の割合が高くなり、それらの分散性が悪化する。一方、膨潤性粒子の含有量が70重量を超えると膨潤性粒子による励起光の散乱が多く発生し、波長変換層7の発光輝度が低下する。従って、膨潤性粒子の含有量は0.3重量以上70重量以下とすることが好ましく、0.5重量以上65重量以下がより好ましく、1重量以上60重量以下がさらに好ましい。スメクタイト構造の膨潤性粘土鉱物には増粘効果があるが、波長変換層7中での割合が高ければ混合液の粘度が高くなるわけではなく、混合液の粘度は水、有機溶媒、蛍光体など他の成分との比率で決まる。なお、溶媒との相溶性を考慮して、層状ケイ酸塩鉱物の表面をアンモニウム塩等で修飾表面処理したものを適宜用いることもできる。水水は親水性の膨潤性粒子を膨潤させる役割がある。例えば、表面処理されていない親水性の層状ケイ酸塩鉱物に水を添加することにより、層状ケイ酸塩鉱物の層間に水が入り込んで混合液の粘性が増加するため、蛍光体の沈降を抑制することができる。なお、水に不純物が含まれていると膨潤を阻害するおそれがあるため、添加する水は不純物を含まない純水を用いる必要がある。有機溶媒有機溶媒は、混合液のぬれ性向上、粘度調整のために用いられる。表面処理されていない親水性の層状ケイ酸塩鉱物などの親水性の膨潤性粒子に水を添加して膨潤させる場合には、有機溶媒として、水との相溶性に優れたメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類を用いることが好ましい。一方、表面処理した親油性の層状ケイ酸塩鉱物などの親油性の膨潤性粒子を用いる場合は、膨潤性粒子の膨潤に水は作用しないが、水を加えることにより粘度が増加するため、水との相溶性に優れた有機溶媒を用いることが好ましい。高沸点150~250°Cが好ましいの有機溶媒を用いることにより、混合液のポットライフが短くならず、取り扱い性に優れる。無機粒子無機粒子は、蛍光体と膨潤性粒子との界面に生じる隙間を埋める充填効果、加熱前の混合液の粘性を増加させる増粘効果を有する。本発明に用いられる無機粒子としては、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化亜鉛等の酸化物微粒子、フッ化マグネシウム等のフッ化物微粒子等が挙げられる。なお、溶媒との相溶性を考慮して、無機粒子の表面をシランカップリング剤やチタンカップリング剤で処理したものを適宜用いることもできる。無機粒子の粒径分布には特に制限はなく、広範囲に分布していてもよいし、比較的狭い範囲に分布していてもよい。なお、無機粒子の粒径としては、一次粒径の中心粒径が0.001μm以上1μm以下であり、蛍光体より小さいものが好ましく、加熱後の波長変換層7の厚さより小さいものを用いる。無機粒子の平均粒径は、例えばコールターカウンター法によって測定することができる。前駆体溶液前駆体溶液は、有機金属化合物又は無機ポリマーを溶媒に混合したものであり、前駆体溶液を加熱することにより透光性のセラミック層8を得ることができる。セラミック層8で波長変換層7を封止することで、ガスバリア性や膜強度を向上させることができる。また、前駆体溶液に無機粒子、膨潤性粒子、水などを混合することにより、セラミック層8の屈折率等の特性を調整できる。有機金属化合物に対する溶媒としては、水を添加する場合は水との相溶性に優れたメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類が好ましい。また、溶媒に対する有機金属化合物の混合量が5重量未満になると溶液の粘性を増加させることが困難となり、有機金属化合物の混合量が50重量を超えると重合反応が必要以上に速く進んでしまう。そのため、溶媒に対する有機金属化合物の混合量は5重量以上50重量以下が好ましく、8重量以上40重量以下がより好ましい。無機ポリマーに対する溶媒としては、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、ハロゲン炭化水素、エーテル類、エステル類を使用することができる。好ましくはメチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、ベンゼン、トルエン、キシレン、ジメチルフルオライド、クロロホルム、四塩化炭素、エチルエーテル、イソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、エチルブチルエーテルである。有機金属化合物本発明に用いられる有機金属化合物としては、金属アルコキシド、金属アセチルアセトネート、金属カルボキシレート等が挙げられるが、加水分解と重合反応によりゲル化し易い金属アルコキシドが好ましい。金属アルコキシドは、テトラエトキシシランのような単分子のものでもよいし、有機シロキサン化合物が鎖状または環状に連なったポリシロキサンでもよいが、前駆体溶液の粘性が増加するポリシロキサンが好ましい。なお、透光性のガラス体を形成可能であれば金属の種類に制限はないが、形成されるガラス体の安定性や製造の容易性の観点から、ケイ素を含有していることが好ましい。また、複数種の金属を含有していてもよい。無機ポリマー本発明に用いられる無機ポリマーとしては、ポリシラザンが挙げられるが、低温度、低湿度でセラミックへ硬化するという硬化条件の緩いパーハイドロポリシラザンが好ましい。ポリシラザンは、下記の一般式1で表される。R1R2SiNR3n1式1において、R1~R3は、それぞれ独立して水素原子又はアルキル基、アリール基、ビニル基、シクロアルキル基を表し、R1~R3のうち少なくとも1つは水素原子であり、全てが水素原子である場合がパーハイドロポリシラザンである。nは1~60の整数である。ポリシラザンの分子形状はいかなる形状でもよく、例えば、直鎖状又は環状であってもよい。式1に示すポリシラザンと必要に応じた反応促進剤を、適切な溶媒に溶かして塗布し、加熱やエキシマー光処理、UV紫外光処理を行うことで硬化し、耐熱性、耐光性に優れたセラミック層を作製することができる。反応促進剤としては酸、塩基などを用いることが好ましいが必ずしも用いる必要はない。反応促進剤としては例えばトリエチルアミン、ジエチルアミン、N,N-ジエチルエタノールアミン、N,N-ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、塩酸、シュウ酸、フマル酸、スルホン酸、酢酸やニッケル、鉄、パラジウム、イリジウム、白金、チタン、アルミニウムを含む金属カルボン酸塩などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。反応促進剤を用いる場合に特に好ましいのは金属カルボン酸塩であり、添加量はポリシラザンを基準にして0.01~5molが好ましい。混合液の調整手順混合液の調製手順としては、表面処理された層状ケイ酸塩鉱物などの親油性の膨潤性粒子を用いる場合は、まず有機溶媒に親油性の膨潤性粒子を予備混合し、その後に蛍光体、水、必要に応じて無機粒子を混合する。一方、表面処理されていない層状ケイ酸塩鉱物などの親水性の膨潤性粒子を用いる場合は、まず水に膨潤性粒子を予備混合し、その後に蛍光体、必要に応じて有機溶媒や無機粒子を混合する。これにより、膨潤性粒子を均一に混合して増粘効果をより高めることができる。混合液の好ましい粘度は25~800mPasであり、最も好ましい粘度は25~600mPasである。発光装置の製造方法以上のようにして得られた混合液をガラス基板5の片面に所定量塗布し、加熱して所定の膜厚の波長変換層7を形成する。上記混合液を塗布、加熱することで、ガラス基板5上に均一な厚さ均一な蛍光体分布の波長変換層7が形成される。次に、波長変換層7の上面に前駆体溶液を所定量塗布する。塗布された前駆体溶液の一部は蛍光体粒子や膨潤性粒子の隙間に浸透する。前駆体溶液が塗布されたガラス基板5を焼成することでセラミック層8が形成される。ここで、波長変換層7に浸透した前駆体溶液はセラミック材料に変化するため、セラミック材料は蛍光体粒子と膨潤性粒子とガラス基板5に対してバインダとして作用する。したがって、波長変換層7の上面に前駆体溶液を塗布して焼成することで、波長変換層7上にセラミック層8が明確に形成されなくても、ガラス基板5に波長変換層7が確実に固定される。また、波長変換層7上にセラミック層8が明確に形成される場合には、波長変換層7を封止するという機能もある。なお、混合液及び前駆体溶液の塗布方法は特に限定されるものではなく、バーコート法、スピンコート法、スプレーコート法等、従来公知の種々の方法を用いることができる。そして、波長変換部6が形成されたガラス基板5を所定の大きさ例えば2×2mmに切断してLED素子3上に配置することにより、発光装置100を製造することができる。形成された波長変換部7の厚みが5μm未満である場合は波長変換効率が低下して十分な蛍光が得られず、波長変換層7の厚みが500μmを超える場合は膜強度が低下してクラック等が発生し易くなる。従って、波長変換層7の厚みは5μm以上500μm以下であることが好ましい。なお、上記実施形態ではガラス基板5を使用しているが、ガラス基板に限らず、透光性の無機材料からなる基板であれば、例えば、単結晶サファイア等の結晶基板やセラミック基板を用いてもよい。図2は、本発明の第2実施形態の発光装置の概略断面図である。図2に示すように、発光装置101は、断面凹状のLED基板1の底部にメタル部2が設けられ、メタル部2上にLED素子3が配置されるとともに、LED基板1の凹部に蓋をするように波長変換素子9が設けられている。波長変換素子9を含む他の部分の構成は第1実施形態と同様であるため説明を省略する。本実施形態の発光装置101は、LED基板1の凹部にLED素子3を配置し、第1実施形態で用いた波長変換素子9をLED基板1の側壁の上端に凹部を覆うように接着して製造することができる。本実施形態の発光装置101は、第1実施形態に比べて、LED素子3の側面から出射される光も効率良く蛍光に変換される。なお、LED基板1の凹部の形状や大きさは発光装置101の仕様に応じて適宜設計することができる。例えば、凹部の側面をテーパ状としてもよい。また、凹部の内面を反射面とすることにより、発光装置101の発光効率を高める構成としてもよい。図3は、本発明の第3実施形態の発光装置の概略断面図である。図3に示すように、発光装置102は、断面凹状のLED基板1の底部にメタル部2が設けられ、メタル部2上にLED素子3が配置されるとともに、LED素子3を覆うようにLED基板1の凹部に波長変換部6が設けられている。本実施形態の発光装置102は、LED基板1の凹部にLED素子3を配置し、LED基板1の凹部及びLED素子3表面に蛍光体の混合溶液をスプレーコート法により噴霧し、加熱して波長変換層7を形成し、波長変換層7の上に前駆体溶液をスプレーコート法により噴霧し、焼成してセラミック層8を形成して製造することができる。その他、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。また、上記各実施形態では青色LEDと蛍光体とを併用することで白色発光する発光装置を例に挙げて説明したが、緑色LEDや赤色LEDと蛍光体とを併用する場合にも同様に適用できるのはもちろんである。さらに言えば、蛍光体は1種類だけでなく、紫外光を吸収して赤色、緑色、青色の光をそれぞれ放射する3種類の蛍光体や、青色光を吸収して赤色、緑色の光をそれぞれ放射する2種類の蛍光体を併用してもよい。また、蛍光体の混合液を塗布する前に、ガラス基板5又はLED素子3の表面に、上述したセラミック層8のような透光性のセラミック層を形成しておいてもよい。以下、本発明の発光装置について実施例及び比較例により更に具体的に説明する。実施例1~15、29~33及び比較例1~6は第1又は第2実施形態の波長変換素子9の例であり、実施例16~28は第3実施形態の発光装置102の例である。蛍光体の調製例各実施例及び比較例で用いる蛍光体は、蛍光体原料として、Y2O37.41g、Gd2O34.01g、CeO20.63g、Al2O37.77gを十分に混合し、これにフラックスとしてフッ化アンモニウムを適量混合したものをアルミ製の坩堝に充填し、水素含有窒素ガスを流通させた還元雰囲気中において、1350~1450°Cの温度範囲で2~5時間焼成して焼成品Y0.72Gd0.243Al5O12:Ce0.04を得た。得られた焼成品を粉砕、洗浄、分離、乾燥して、体積平均粒径が1μm程度の黄色蛍光体粒子を得た。波長465nmの励起光における発光波長を測定したところ、おおよそ波長570nmにピーク波長を有していた。ガラス基板各実施例及び比較例で用いるガラス基板は、横50mm、縦20mm、厚さ1mmの直方体で薄板のものを用いた。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水2.2gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水5.5gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水2.2gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとイソプロピルアルコールIPA2.2gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水2.2gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA4.4gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水2.2gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA3.3gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水2.2gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA3.85gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.05gと純水1gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA2gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が30μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.43gと純水8.6gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA17.2gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が50μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製1.5gと純水30gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA60gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が200μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理された親油性スメクタイトルーセンタイトSPN、コープケミカル社製0.11gとIPA4.4gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gと純水1.1gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。実施例4において、ポリシロキサン分散液をポリシラザン分散液NL120-20;ポリシラザン20重量、ジブチルエーテル80重量;AZエレクトロニックマテリアルズ社製に代えて波長変換素子のサンプルを作製した。他の条件は実施例4と同じである。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.9gと純水18gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体0.1gとIPA36gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が400μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水2.2gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体21.9gとIPA4.4gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水1.4gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA0.3gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.02gと純水0.4gを混合して分散させた。これにポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量1gと、上記調製例により調製した蛍光体0.7gと、無機粒子であるNanoTekPowderメジアン径D5025nmの酸化ケイ素微粒子;CIKナノテック社製0.03gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、焼成後の波長変換層の膜厚が40μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、さらにその上から、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。実施例2と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例3と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例4と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例5と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例6と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例7と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が30μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例8と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が50μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例9と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が200μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例10と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例17において、ポリシロキサン分散液をポリシラザン分散液NL120-20;ポリシラザン20重量、ジブチルエーテル80重量;AZエレクトロニックマテリアルズ社製に代えて発光装置のサンプルを作製した。他の条件は実施例17と同じである。実施例4と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.02gと純水0.4gを混合して分散させ、これにポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を1g混合して前駆体溶液を調整した。この前駆体溶液を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例4と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.01gと純水0.2gを混合して分散させ、これにポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を1g混合して前駆体溶液を調整した。この前駆体溶液を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。実施例7と同様の蛍光体が分散した混合液を調整した。この混合液を、加熱後のLED素子上の波長変換層の膜厚が30μmとなるように、LED基板の凹部及びLED素子表面にスプレーコート法によりスプレー圧02MPaにて噴霧し、50°Cで10分間加熱した。次に、表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.02gと純水0.4gを混合して分散させ、これにポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を1g混合して前駆体溶液を調整した。この前駆体溶液を、焼成後のLED素子上のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にスプレーコート法によりスプレー圧01MPaにて噴霧し、120°Cで1時間焼成して発光装置のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.05gと純水1gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gと無機粒子であるNanoTekPowder0.06gとIPA1gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.05gと純水1gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gと無機粒子であるRX3001次粒子の平均粒径が7nmのシリル化処理無水ケイ酸;日本アエロジル社製0.06gとIPA1gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.05gと純水1gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gと無機粒子であるRX300を0.06gとIPA0.5gとプロピレングリコール0.5gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.05gと純水1gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gと無機粒子であるRX300を0.06gとIPA0.5gと13ブタンジオール0.5gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.05gと純水1gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gと無機粒子であるサイリシア4701次粒子の平均粒径14μm、比表面積300m2g;富士シリシア社製0.06gとIPA0.5gと13ブタンジオール0.5gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量1gに、上記調製例により調製した蛍光体0.3gを混合して混合液を調製した。この混合液を、焼成後の膜厚が45μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。ポリシラザン分散液NL120-20;ポリシラザン20重量、ジブチルエーテル80重量;AZエレクトロニックマテリアルズ社製1gに、上記調製例により調製した蛍光体0.8gと、無機粒子であるRX3001次粒子の平均粒径が7nmのシリル化処理無水ケイ酸;日本アエロジル社製0.06gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、焼成後の膜厚が50μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量2.6gに、上記調製例により調製した蛍光体0.5gと、無機粒子であるNanoTekPowderメジアン径D5025nmの酸化ケイ素微粒子;CIKナノテック社製0.3gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、焼成後の膜厚が160μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水0.55gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水11gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。表面処理されていない親水性スメクタイトルーセンタイトSWN、コープケミカル社製0.11gと純水2.2gを混合して分散させた。これに上記調製例により調製した蛍光体1gとIPA11gとを混合して混合液を調製した。この混合液を、加熱後の波長変換層の膜厚が35μmとなるように、ガラス基板上にバーコート法により塗布し、50°Cで10分間加熱した。次に、ポリシロキサン分散液ポリシロキサン14重量、イソプロピルアルコール86重量を、焼成後のセラミック層の膜厚が1μmとなるように、波長変換層上にバーコート法により塗布し、500°Cで1時間焼成して波長変換素子のサンプルを作製した。評価、検討各実施例及び比較例のサンプルは各々5つずつ作製した。そして、膜厚の測定にはミツトヨ社製レーザホロゲージを用いた。混合液の粘度を、1000mPas未満は振動式粘度計VM-10A-L、CBC社製を用い、1000mPas以上は振動式粘度計VM-10A-MH、CBC社製を用いて測定した。発光装置は、1000×1000×100μmの青色LED上に、約1mm角に切断した波長変換素子をフリップチップタイプで実装して作製した。発光の色度を分光放射輝度計CS-1000A、コニカミノルタセンシング社製を用いて測定した。図4は実施例1~7の成分データを示す図であり、図5は実施例8~14の成分データを示す図、図6は実施例29~33の成分データを示す図、図7は比較例1~6の成分データを示す図である。図中、水、IPA、プロピレングリコール、13ブタンジオールの値は膨潤性粒子親水性又は親油性スメクタイトの重量の何倍であるかを示している。図8は、実施例1~15、29~33及び比較例1~6の膜厚、及び色度の評価結果を蛍光体が分散した混合液の粘度と併せて示した図である。膜厚の評価は、各サンプル5枚のうち最初に塗布した1枚の膜厚を基準値100とし、残りの4枚の膜厚のばらつきが±10の範囲内であるとき◎、±20の範囲内であるとき○、±30の範囲内であるとき△、膜厚のばらつきが±40を超えるとき×とした。色度は、色空間をXYZ座標系で表したCIE-XYZ表色系で、ある点と原点を結ぶ直線が平面xyz=1と交わる点で定義される。色度はx、y座標で表し、xyz=1の関係から得られるz座標は省略する。白色光の色度は0.33,0.33であり、色度がこの値に近いほど白色光に近くなる。x座標の値が小さくなると青色がかった白色になり、x座標の値が大きくなると黄色がかった白色になる。図8中の5つの色度は5枚の塗布サンプルそれぞれの色度であり、各サンプルの値は50mm×20mmのサイズから切り出された多数の波長変換素子のうち任意の3枚を用いて測定した色度の平均値を示した。図9は、実施例4、7~9、12、13の親水性スメクタイトの含有量と輝度とを示す図である。5枚の各塗布サンプルの50mm×20mmのサイズから切り出された多数の波長変換素子のうち任意の3枚を用い、計15枚のサンプルについて輝度を測定した。輝度は実施例7の輝度を1とし、相対値で示した。ここでの輝度とは鉛直方向のみの輝度であり、スメクタイトにより散乱された鉛直方向以外の光を積分球で測定したものではない。図10は、実施例6及び実施例15の蛍光体が分散した混合液の粘度を経時測定した結果を示す図である。粘度測定の結果は、混合液の調製直後と、調製から3時間後と、調製から168時間後とを記している。バインダとなるセラミック材料ポリシロキサンを含む実施例15は、調製から時間が経つと化学反応を起こして粘度が高くなり、調製から168時間後では塗布するのに好ましくない粘度にまで上昇する。すなわち、塗布液にバインダ成分を含むと、塗布液のポットライフが短くなってしまう。したがって、蛍光体、膨潤性粒子、水を含む溶液には、バインダ成分の量が少ないことが好ましく、バインダ成分を含まないことがさらに好ましい。ここでバインダ成分とは、焼成後にセラミックとなる無機ポリマーや有機金属化合物のことである。図11は、実施例26~28の成分データを示す図である。図中、ポリシロキサンの配合割合については焼成後のセラミックになった際の重量で記している。また、水の値は膨潤性粒子親水性スメクタイトの重量の何倍であるかを示している。図12は、実施例16~28の色度、水及びIPAの含有量、蛍光体が分散した混合液のぬれ性を示す図である。図中、水とIPAの値は膨潤性粒子親水性又は親油性スメクタイトの重量の何倍であるかを示している。ぬれ性の評価は、均一に塗布できる場合◎、均一に塗布できるが塗布液のはじかれる箇所がある場合○とした。実施例及び比較例の評価結果を検討したところ、比較例1~3、5、6は、粘度が低いため蛍光体が沈殿しやすく、膜厚も安定していない。そのため、発光の色度のばらつきが大きい。比較例4は、図8に示したように、粘度が高すぎるため膜厚が安定しない。実施例1~11、13、14、29~33は、粘度が高く、膜厚及び色度が安定している。実施例12は、粘度が高く、膜厚及び色度が安定しているが、スメクタイト量が多いため、散乱により鉛直方向の輝度が若干低下する。また、実施例16~28のように、波長変換素子をLED素子に直接塗布しても同様の効果が得られことがわかった。ただし、実施例16では有機溶媒であるIPAが含まれていないため、ぬれ性が若干低下する。また、実施例29~33では添加された各種シリカの増粘効果により、塗布液内で蛍光体が沈降しにくく、一様に分散された状態で塗布でき、経時でも安定した塗布ができる。また、蛍光体が均一に分散された状態で乾燥されるので、色むらの発生を抑制することができる。さらに、実施例29~33ではプロピレングリコールやブタンジオールなどの高沸点の有機溶媒を用いることにより、塗布液のポットライフが短くならず、またスプレー塗布時にはノズルの詰まりを防ぎ、取り扱い性に優れる。また、比較例4の粘度が高すぎ、比較例5及び6の粘度が低すぎることから、水と有機溶媒の合計の含有量は膨潤性粒子の10~90倍1000重量以上9000重量以下であることが好ましい。また、粘度調整と固形成分の分散、発光時の輝度の低下を抑えるためには、波長変換層中の膨潤性粒子の含有量が0.3重量以上70重量以下であることが好ましい。また、波長変換層を均一に塗布する際の好ましい粘度は、バーコート法では25~800mPasであり、スプレーコート法では粘度が高すぎると噴射できないため25~500mPasである。なお、スプレーコート法により噴霧する場合、蛍光体が分散した塗布液は有機溶媒を含有し、ノズル詰まりの防止のために有機溶媒の含有量は水の3倍以下であることが好ましい。"