"内部に気体が加圧封入されている金属製の密閉管から、前記気体が漏洩しているか否かを検査する密閉管の漏洩検査方法であって、健全な密閉管の外周面に超音波を入射すると共に、反射超音波に対応する応答電気信号を基準応答信号とし、検査対象である密閉管に超音波を入射すると共に、反射超音波に対応する応答電気信号を求め、前記基準応答信号と、検査対象である密閉管から得た応答電気信号との相互相関係数を求め、求めた相互相関係数が予め決めた基準値以下であるときには、検査対象である密閉管に漏洩が発生していると判定することを特徴とする密閉管の漏洩検査方法。内部に気体が加圧封入されている金属製の密閉管から、前記気体が漏洩しているか否かを検査する密閉管の漏洩検査方法であって、検査対象である複数の密閉管に個別に超音波を入射すると共に、反射超音波に対応する応答電気信号を個々の密閉管ごとに求め、個々の密閉管ごとに求めた複数の応答電気信号を平均したものを基準応答信号とし、前記基準応答信号と、検査対象である各密閉管から得た応答電気信号との相互相関係数をそれぞれ求め、求めた複数の相互相関係数のうち、予め決めた基準値以下である相互相関係数がある場合には、当該相互相関係数を求めるのに用いた応答電気信号を得た密閉管に漏洩が発生していると判定することを特徴とする密閉管の漏洩検査方法。前記超音波の入射は、前記密閉管の外周面に振動子を密着させて前記振動子から超音波を入射すると共に、反射超音波を前記振動子で受けて応答電気信号を求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の密閉管の漏洩検査方法。上記超音波の入射は、前記密閉管の外周面に第1の振動子を密着させて第1の振動子から超音波を入射すると共に、反射超音波を第2の振動子で受けて応答電気信号を求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の密閉管の漏洩検査方法。ところで、図4,図5に示したような超音波を使用した検査手法では、密閉管の底部に水が溜まっている場合にしか適用することができず、底部に水が溜まっていない場合には、ピンホールなどの微細な貫通孔が発生して、加圧封入したガスが漏洩していることを検出することができなかった。本発明は、上記従来技術に鑑み、密閉管にピンホール等の微細な貫通孔が発生して、密閉管内に加圧封入した気体が外部に漏洩したことを、正確確実に検出することができる、密閉管の漏洩検査方法を提供することを目的とする。上記課題を解決する本発明の構成は、内部に気体が加圧封入されている金属製の密閉管から、前記気体が漏洩しているか否かを検査する密閉管の漏洩検査方法であって、健全な密閉管の外周面に超音波を入射すると共に、反射超音波に対応する応答電気信号を基準応答信号とし、検査対象である密閉管に超音波を入射すると共に、反射超音波に対応する応答電気信号を求め、前記基準応答信号と、検査対象である密閉管から得た応答電気信号との相互相関係数を求め、求めた相互相関係数が予め決めた基準値以下であるときには、検査対象である密閉管に漏洩が発生していると判定することを特徴とする。また本発明の構成は、内部に気体が加圧封入されている金属製の密閉管から、前記気体が漏洩しているか否かを検査する密閉管の漏洩検査方法であって、検査対象である複数の密閉管に個別に超音波を入射すると共に、反射超音波に対応する応答電気信号を個々の密閉管ごとに求め、個々の密閉管ごとに求めた複数の応答電気信号を平均したものを基準応答信号とし、前記基準応答信号と、検査対象である各密閉管から得た応答電気信号との相互相関係数をそれぞれ求め、求めた複数の相互相関係数のうち、予め決めた基準値以下である相互相関係数がある場合には、当該相互相関係数を求めるのに用いた応答電気信号を得た密閉管に漏洩が発生していると判定することを特徴とする。また本発明の構成は、前記超音波の入射は、前記密閉管の外周面に振動子を密着させて前記振動子から超音波を入射すると共に、反射超音波を前記振動子で受けて応答電気信号を求めることを特徴とする。また本発明の構成は、上記超音波の入射は、前記密閉管の外周面に第1の振動子を密着させて第1の振動子から超音波を入射すると共に、反射超音波を第2の振動子で受けて応答電気信号を求めることを特徴とする。本発明によれば、気体漏洩の有無が音響インピーダンスの変化として現れる知見を基に、超音波検査して得た応答電気信号から気体漏洩の有無を判定しているため、正確確実に漏洩している密閉管を判定することができる。以下、本発明の実施の形態について、実施例に基づき詳細に説明する。まず検査対象となる密閉管1の配置状態や検査状態について説明する。大形の設備機器の容器内に貯溜した水の中には、図1に示すような管集合体10が備えられている。管集合体10は、例えば17行17列に配列したNo1~No289の289本の密閉管1を1組として構成されている。このような管集合体10を構成する密閉管1にピンホール等の微細な貫通孔が発生しているか否かを検査するには、本実施例では、管集合体10を設備機器の容器から取り出して、検査用のプールに貯めた水中に設置する。なお、通常では、管集合体10のうち、貫通孔が発生している密閉管1は、1本から2本程度である。検査用のプールの水中に設置された管集合体10のうち、ピンホール等の微細な貫通孔が発生していない密閉管健全管1では、密閉管1の内部の気体Gの圧力は約40気圧となっている。一方、ピンホール等の微細な貫通孔が発生している密閉管漏洩管1では、封入していた気体ヘリウムGが外部に漏洩しているため、密閉管1の内部の圧力は外部と同じく1気圧から2気圧程度になっている。つまり、漏洩管では、封入していた気体が外部に漏洩し内部圧力が低下しているため内部の密度は、健全管の内部の密度に比べて大幅に低下している。なお、密閉管漏洩管1内には水蒸気も含まれている。ここで健全管と漏洩管の内部の音響インピーダンスを比べると、健全管の内部の音響インピーダンスに比べて、漏洩管の内部の音響インピーダンスは著しく小さい。これは、音響インピーダンスは、音速に密度を掛けたものであるが、音速は両者でほぼ等しいが、密度は漏洩管の方が健全管に比べて大幅に低下しているからである。本発明の密閉管の漏洩検査方法は、健全管の内部と漏洩管の内部とで、音響インピーダンスが大きく異なることに着目して検査をするものである。図2を参照して本発明の実施例の手法及び装置を説明する。なお、図2においては、密閉管1は軸方向に沿って破断した断面状態で示している。図2に示す密閉管漏洩検査装置100は、超音波検査部110と漏洩管判定部120とで構成されている。超音波検査部110は、通常の超音波検査装置と同じ構成となっており、振動子111と、電気回路部分であるパルス発振部112,受信部113,表示部114,掃引部115等を有している。超音波検査部110の動作の概要を説明すると、パルス発振部112から出力された高周波パルス電気信号が振動子111に入力されると、振動子111は超音波振動して超音波Pを発生する。振動子111を密閉管1の外周面に密着させておくと、発生した超音波Pは、密閉管1に対して半径方向に入射する。密閉管1に入射された入射超音波Piは、密閉管1の管部分金属部分及び密閉管1の内部空間の気体G中を伝播するとともに、音響インピーダンスが大きく変化する境界部分b1,b2,b3で一部が反射して反射超音波エコーPr1,Pr2,Pr3として振動子111に戻ってくる。振動子111は、反射超音波エコーPr1,Pr2,Pr3に応じた応答電気信号Sを出力する。なお、境界部分b1は、密閉管1と密閉管1の内部空間との境であり、境界部分b2は、密閉管1の内部空間と密閉管1との境であり、境界部分b3は密閉管1と密閉管1の外部の水との境界である。また、実際には、反射超音波が再反射や再々反射等することにより、エコーはもっと複雑であるが、ここでは説明を簡略化するために、代表的なエコーのみを示している。応答電気信号Sは受信部113で受信されてから表示部114に送られる。掃引部115は、パルス発振部112の発振動作と同期して表示部114の掃引制御をするため、表示部114には、図3bに示すような、入射超音波Piや反射超音波エコーPr1,Pr2,Pr3に対応した応答電気信号Sの波形が表示される。なお図3は、健全管を超音波検査して得た応答電気信号Sを示し、図3bは漏洩管を超音波検査して得た応答電気信号Sを示している。前述したように、漏洩管の内部の音響インピーダンスは、健全管の内部の音響インピーダンスに比べて著しく小さい。この結果、漏洩管を超音波検査して得た応答電気信号Sのうち、反射超音波エコーPr1,Pr2,Pr3に対応した部分の振幅は、健全管を超音波検査して得た応答電気信号Sのうち、反射超音波エコーPr1,Pr2,Pr3に対応した部分の振幅に比べて大きい。また、漏洩管を超音波検査して得た応答電気信号Sのうち、反射超音波エコーPr2,Pr3に対応した部分の位相は、健全管を超音波検査して得た応答電気信号Sのうち、反射超音波エコーPr2,Pr3に対応した部分の位相に対して遅れている。漏洩管判定部120は、記憶部121と演算処理部122と表示/出力部123とで構成されている。記憶部121は、超音波検査部110の振動子111が出力する、反射超音波エコーPr1,Pr2,Pr3に応じた応答電気信号Sを記憶する。演算処理部122は、後述する第1の漏洩検査方法、または、後述する第2の漏洩検査方法による演算処理をして、漏洩が発生している密閉管を判定する。この判定結果は、表示/出力部123で表示ないし出力される。<第1の漏洩検査方法>第1の漏洩検査方法について説明する。まず、漏洩が発生していないことが確認されている健全管、例えば未使用の密閉管1に対して超音波検査部110で超音波検査をして応答電気信号Sを得る。そして、この応答電気信号Sを、漏洩判定部120の記憶部121に記憶する。このような健全管を超音波検査して得た応答電気信号Sを、基準応答信号S0とする。次に、検査プールの水中に設置された管集合体10の個々No1~No289の密閉管1に対して、1本づつ、超音波検査部110で超音波検査をして応答電気信号S1~S289を得る。そして、この応答電気信号S1~S289を、漏洩判定部120の記憶部121に記憶する。演算処理部122は、基準応答信号S0と応答電気信号S1との相互相関係数C1、基準応答信号S0と応答電気信号S2との相互相関係数C2、基準応答信号S0と応答電気信号S3との相互相関係数C3、基準応答信号S0と応答電気信号S4との相互相関係数C4、、基準応答信号S0と応答電気信号S289との相互相関係数C289、というように、基準応答信号S0と各応答電気信号S1~S289との相互相関係数C1~C289を求める。演算処理部122は、求めた相互相関係数C1~C289のうちで、その値が予め決めた基準値以下になったものを求める。そして、基準値以下となった相互相関係数に対応する密閉管が漏洩管であると判定する。例えば、相互相関係数C100の値が予め決めた基準値以下になった場合には、基準値以下となった相互相関係数C100に対応するNo100の密閉管1が漏洩管であると判定する。<第2の漏洩検査方法>第2の漏洩検査方法について説明する。まず、検査プールの水中に設置された管集合体10の個々No1~No289の密閉管1に対して、1本づつ、超音波検査部110で超音波検査をして応答電気信号S1~S289を得る。そして、この応答電気信号S1~S289を、漏洩判定部120の記憶部121に記憶する。演算処理部122は、応答電気信号S1~S289を平均した信号を求め、この平均した信号を基準応答信号S00とする。演算処理部122は、基準応答信号S00と応答電気信号S1との相互相関係数C01、基準応答信号S00と応答電気信号S2との相互相関係数C02、基準応答信号S00と応答電気信号S3との相互相関係数C03、基準応答信号S00と応答電気信号S4との相互相関係数C04、、基準応答信号S00と応答電気信号S289との相互相関係数C0289、というように、基準応答信号S00と各応答電気信号S1~S289との相互相関係数C01~C0289を求める。演算処理部122は、求めた相互相関係数C01~C0289のうちで、その値が予め決めた基準値以下になったものを求める。そして、基準値以下となった相互相関係数に対応する密閉管が漏洩管であると判定する。例えば、相互相関係数C0100の値が予め決めた基準値以下になった場合には、基準値以下となった相互相関係数C0100に対応するNo100の密閉管1が漏洩管であると判定する。第2の方法では、管集合体10のNo1~No289の密閉管1のうち、漏洩管は1本から2本程度であるため、応答電気信号S1~S289を平均して得た基準応答信号S00は、健全管を超音波検査して得た応答電気信号Sである基準応答信号S0とほぼ等しいことを前提として漏洩管の検査をするものである。なお、管集合体10を設備機器の容器から取り出して、大気中に設置した状態で、上述した第1の漏洩検査方法や第2の漏洩検査方法を適用して、漏洩管を特定することもできる。なお上記の例では、振動子111により超音波の入射と、反射超音波の受信をしているが、超音波入射用の振動子と、超音波受信用の振動子を別のものにしてもよい。"