"主走査方向において所定幅の有効走査領域上に光ビームを走査させる光走査装置において、光ビームを射出する光源と、前記主走査方向とほぼ直交する駆動軸回りに共振振動する振動ミラーを有し、該振動ミラーによって前記光源から射出された光ビームを偏向して、前記有効走査領域に対応する第1走査範囲を含むとともに該第1走査範囲を超える、第2走査範囲で光ビームを走査する偏向手段と、前記第2走査範囲内で、かつ前記第1走査範囲を外れた位置を移動する走査光ビームを検出して信号を出力する検出手段と、前記検出手段からの出力信号に基づき前記振動ミラーに与えるミラー駆動信号を制御して前記振動ミラーの振幅を調整する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記検出手段からの出力信号により前記振動ミラーの振幅変動を検出し、該検出結果に応じて前記振動ミラーの駆動を停止することを特徴とする光走査装置。前記制御手段は、前記有効走査領域から前記検出手段を経由して再び前記有効走査領域に戻る往復光ビームを前記検出手段が検出して該検出に応じて出力する、出力信号に基づき前記振動ミラーの振幅変動を検出する請求項1記載の光走査装置。前記制御手段は、前記振動ミラーの振動周期に合わせて前記検出手段から出力される信号に基づいて各振動周期での振動ミラーの最大振幅角が増大する割合を示す増幅率を求め、該増幅率が予め設定された臨界値を超えると、前記振動ミラーの駆動を停止する請求項2記載の光走査装置。前記制御手段は、前記振動ミラーの振動周期に合わせて前記検出手段から出力される信号に基づいて各振動周期での振動ミラーの最大振幅角を求め、前記最大振幅角が予め設定した回数以上連続して所定の振幅角を超えると、前記振動ミラーの駆動を停止する請求項2記載の光走査装置。光源から射出される光ビームを共振振動する振動ミラーにより主走査方向に偏向して有効走査領域上に光ビームを走査させる光走査装置において、前記有効走査領域に対応する第1走査範囲を含むとともに該第1走査範囲を超える、第2走査範囲で光ビームを走査するように前記振動ミラーを駆動しながら、前記第2走査範囲内で、かつ前記第1走査範囲を外れた位置を移動する走査光ビームを検出手段により検出し、前記検出手段から出力される信号に基づき前記振動ミラーに与えるミラー駆動信号を制御して前記振動ミラーの振幅を調整する光走査装置の制御方法であって、前記振動ミラーの振動周期ごとに、前記有効走査領域から前記検出手段を経由して再び前記有効走査領域に戻る往復光ビームを検出して信号を出力する工程と、前記出力信号に基づき前記振動ミラーの振幅変動を検出する工程と、前記検出結果に応じて前記振動ミラーの駆動を停止する工程とを備えたことを特徴とする光走査装置の制御方法。従来装置では、共振型アクチュエータ等の振動ミラーの振幅を制御すべく制御部が設けられている。この制御部はフォトダイオードなどの検出手段から出力される信号に基づき駆動電流などの駆動制御量を制御するように構成されており、駆動制御量の制御により振動ミラーの振幅を調整している。このため、ノイズや外乱などの影響により制御部が不適正な駆動信号を振動ミラーに与えてしまうと、振動ミラーの振幅角が大きく変動してしまうことがある。特に、ノイズなどの影響が振動ミラーを加振する方向に作用すると、振動ミラーが破壊限界角を超えて振動して破壊されてしまうことがある。したがって、振動ミラーにより光ビームを走査させる光走査装置では、振動ミラーが破壊限界角まで振動するのを確実に防止することが非常に重要となる。この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、共振型の振動ミラーにより走査される光ビームを光検出センサなどの検出手段で検出し、該検出結果に基づき振動ミラーを制御する光走査装置において、振動ミラーが破壊されるのを未然に防止することを目的とする。この発明は、主走査方向において所定幅の有効走査領域上に光ビームを走査させる光走査装置であって、上記目的を達成するため、光ビームを射出する光源と、主走査方向とほぼ直交する駆動軸回りに共振振動する振動ミラーを有し、該振動ミラーによって光源から射出された光ビームを偏向して、有効走査領域に対応する第1走査範囲を含むとともに該第1走査範囲を超える、第2走査範囲で光ビームを走査する偏向手段と、第2走査範囲内で、かつ第1走査範囲を外れた位置を移動する走査光ビームを検出して信号を出力する検出手段と、検出手段からの出力信号に基づき振動ミラーに与えるミラー駆動信号を制御して振動ミラーの振幅を調整する制御手段とを備え、制御手段は、検出手段からの出力信号により振動ミラーの振幅変動を検出し、該検出結果に応じて振動ミラーの駆動を停止することを特徴としている。また、この発明は、光源から射出される光ビームを共振振動する振動ミラーにより主走査方向に偏向して有効走査領域上に光ビームを走査させる光走査装置において、有効走査領域に対応する第1走査範囲を含むとともに該第1走査範囲を超える、第2走査範囲で光ビームを走査するように振動ミラーを駆動しながら、第2走査範囲内で、かつ第1走査範囲を外れた位置を移動する走査光ビームを検出手段により検出し、検出手段から出力される信号に基づき振動ミラーに与えるミラー駆動信号を制御して振動ミラーの振幅を調整する光走査装置の制御方法であって、上記目的を達成するため、振動ミラーの振動周期ごとに、有効走査領域から検出手段を経由して再び有効走査領域に戻る往復光ビームを検出して信号を出力する工程と、出力信号に基づき振動ミラーの振幅変動を検出する工程と、検出結果に応じて振動ミラーの駆動を停止する工程とを備えたことを特徴としている。このように構成された発明光走査装置および該装置の制御方法では、検出手段が所定位置に配設され、第2走査範囲内で、かつ第1走査範囲を外れた位置を移動する走査光ビームを検出して信号を出力する。そして、検出手段からの出力信号に基づき振動ミラーに与えるミラー駆動信号が制御され、その結果、振動ミラーの振幅が調整される。このように構成された光走査装置では、ノイズや外乱などの影響により制御手段が不適正な駆動信号を振動ミラーに与えてしまうことがある。このような現象が生じた場合には、制御手段は不適切なミラー駆動信号を出力してしまう。そして、このミラー駆動信号を受けた振動ミラーは振幅を大きく変動させ、振動ミラーの破壊に導く可能性がある。ここで、本願発明者が着目したのは、共振型の振動ミラーにおいては、ミラー駆動信号が変更されたとしても振動ミラーの振幅が瞬間的に変動するわけではなく、各振動周期における振動ミラーの最大振幅角は振動周期を重ねるごとに徐々に変化する点である。つまり、振動ミラーに対して不適切なミラー駆動信号が与えられたとしても、振幅が徐々に増大する。したがって、振動ミラーの振幅変動を監視しておくことで振動ミラーの最大振幅角がミラー破壊に至る程度の振幅角、つまり破壊限界角に向けて増大していることを確認することができる。そこで、この発明では、検出手段からの出力信号により振動ミラーの振幅変動が検出され、該検出結果に応じて振動ミラーの駆動が停止される。その結果、ノイズや外乱などにより振動ミラーに対して不適切なミラー駆動信号が与えられたとしても、ミラーの駆動を停止させて振動ミラーの破壊を確実に防止することができる。図1は本発明にかかる光走査装置の一実施形態を装備した画像形成装置を示す図である。この画像形成装置は、いわゆるタンデム方式のカラープリンタであり、潜像担持体としてイエローY,マゼンタM,シアンC,ブラックKの4色の感光体2Y,2M,2C,2Kを装置本体5内に並設している。そして、各感光体2Y,2M,2C,2K上のトナー像を重ね合わせてフルカラー画像を形成したり、ブラックKのトナー像のみを用いてモノクロ画像を形成する装置である。すなわち、この画像形成装置では、ユーザからの画像形成要求に応じてホストコンピュータなどの外部装置から画像形成指令がコントローラ1に与えられると、このコントローラ1からの画像信号、基準信号および各種の制御信号に応じてエンジン部EGが作動して複写紙、転写紙、用紙およびOHP用透明シートなどのシートSに画像形成指令に対応する画像を形成する。このエンジン部EGでは、4つの感光体2Y,2M,2C,2Kのそれぞれに対応して帯電ユニット,現像ユニット,露光ユニットおよびクリーニング部が設けられている。このように,各トナー色ごとに,感光体,帯電ユニット,現像ユニット,露光ユニットおよびクリーニング部を備えて該トナー色のトナー像を形成する画像形成手段が設けられている。そして,コントローラ1からの信号に応じて画像形成手段の各部が制御されて画像形成が実行される。なお,これらの画像形成手段感光体,帯電ユニット,現像ユニット,露光ユニットおよびクリーニング部の構成はいずれの色成分についても同一であるため,ここではイエローに関する構成について説明し,その他の色成分については相当符号を付して説明を省略する。感光体2Yは図1の矢印方向副走査方向に回転自在に設けられている。より具体的には,感光体2Yの一方端部には,駆動モータ図示省略が機械的に接続されており、コントローラ1からの回転駆動指令に基づき駆動制御される。これによって感光体2Yが回転移動する。また、このようにして駆動される感光体2Yの周りにその回転方向に沿って、帯電ユニット3Y、現像ユニット4Yおよびクリーニング部図示省略がそれぞれ配置されている。帯電ユニット3Yは例えばスコロトロン帯電器で構成されており、コントローラ1からの帯電バイアス印加によって感光体2Yの外周面を所定の表面電位に均一に帯電させる。そして、この帯電ユニット3Yによって帯電された感光体2Yの外周面に向けて露光ユニット6Yから走査光ビームLyが照射される。これによって画像形成指令に含まれるイエロー画像データに対応する静電潜像が感光体2Y上に形成される。このように露光ユニット66Y,6M,6C,6Kが本発明にかかる光走査装置の一実施形態となっている。なお、露光ユニット6および露光ユニットを制御するための露光制御部の構成および動作については後で詳述する。こうして形成された静電潜像は現像ユニット4Yによってトナー現像される。この現像ユニット4Yはイエロートナーを内蔵している。そして、コントローラ1から現像バイアスが現像ローラ41Yに印加されると、現像ローラ41Y上に担持されたトナーが感光体2Yの表面各部にその表面電位に応じて部分的に付着する。その結果、感光体2Y上の静電潜像がイエローのトナー像として顕像化される。なお、現像ローラ41Yに与える現像バイアスとしては、直流電圧、もしくは直流電圧に交流電圧を重畳したもの等を用いることができるが、特に感光体2Yと現像ローラ41Yとを離間配置し、両者の間でトナーを飛翔させることでトナー現像を行う非接触現像方式の画像形成装置では、効率よくトナーを飛翔させるために直流電圧に対して正弦波、三角波、矩形波等の交流電圧を重畳した電圧波形とすることが好ましい。現像ユニット4Yで現像されたイエロートナー像は、一次転写領域TRy1で転写ユニット7の中間転写ベルト71上に一次転写される。また、イエロー以外の色成分についても、イエローと全く同様に構成されており、感光体2M、2C、2K上にマゼンタトナー像、シアントナー像、ブラックトナー像がそれぞれ形成されるとともに、一次転写領域TRm1、TRc1、TRk1でそれぞれ中間転写ベルト71上に一次転写される。この転写ユニット7は、2つのローラ72、73に掛け渡された中間転写ベルト71と、ローラ72を回転駆動することで中間転写ベルト71を所定の回転方向R2に回転させるベルト駆動部図示省略とを備えている。また、中間転写ベルト71を挟んでローラ73と対向する位置には、該ベルト71表面に対して不図示の電磁クラッチにより当接離間移動可能に構成された二次転写ローラ74が設けられている。そして、カラー画像をシートSに転写する場合には、一次転写タイミングを制御することで各トナー像を重ね合わせてカラー画像を中間転写ベルト71上に形成するとともに、カセット8から取り出されて中間転写ベルト71と二次転写ローラ74との間の二次転写領域TR2に搬送されてくるシートS上にカラー画像を二次転写する。一方、モノクロ画像をシートSに転写する場合には、ブラックトナー像のみを感光体2Kに形成するとともに、二次転写領域TR2に搬送されてくるシートS上にモノクロ画像を二次転写する。また、こうして画像の2次転写を受けたシートSは定着ユニット9を経由して装置本体の上面部に設けられた排出トレイ部に向けて搬送される。なお、中間転写ベルト71へトナー像を一次転写した後の各感光体2Y,2M,2C,2Kは、不図示の除電手段によりその表面電位がリセットされ、さらに、その表面に残留したトナーがクリーニング部により除去された後、帯電ユニット3Y,3M,3C,3Kにより次の帯電を受ける。また、ローラ72の近傍には、転写ベルトクリーナ75が図示を省略する電磁クラッチによってローラ72に対して近接離間移動可能となっている。そして、ローラ72側に移動した状態でクリーナ75のブレードがローラ72に掛け渡された中間転写ベルト71の表面に当接し、二次転写後に中間転写ベルト71の外周面に残留付着しているトナーを除去する。図2は本発明の光走査装置の一実施形態たる露光ユニットの構成を示す主走査断面図、図3は図2の露光ユニット光走査装置における光ビームの走査領域を示す図、図4は図1の画像形成装置の露光ユニットおよび露光ユニットを制御するための露光制御部本発明の制御手段に相当の構成を示す図である。以下、これらの図面を参照しつつ、露光ユニット6、露光制御部ミラー駆動制御部111、周波数制御部112および計測部113の構成および動作について詳述する。なお、この実施形態では、各色ごとに露光ユニット6、ミラー駆動制御部111、および計測部113を有しているが、それらの構成はいずれの色成分についても同一であるため、ここではイエローに関する構成について説明し、その他の色成分については相当符号を付して説明を省略する。この露光ユニット6Y6M,6C,6Kは露光筐体61を有している。そして、露光筐体61に単一のレーザー光源62が固着されており、レーザー光源62から光ビームを射出可能となっている。このレーザー光源62には、図4に示すように、コントローラ1から出力される画像信号Svが入力される。この画像信号Svは画像形成指令に含まれるイエロー画像データに対応する信号であり、この画像信号Svに応じてレーザー光源62がON/OFF制御されてレーザー光源62からイエロー画像データに対応して変調された光ビームLyが射出される。また、この露光筐体61の内部には、レーザー光源62からの光ビームを感光体2Yの表面図示省略に走査露光するために、コリメータレンズ631、シリンドリカルレンズ632、偏向器65、走査レンズ66が設けられている。すなわち、レーザー光源62からの光ビームは、コリメータレンズ631により適当な大きさのコリメート光にビーム整形された後、副走査方向Yにのみパワーを有するシリンドリカルレンズ632に入射される。そして、シリンドリカルレンズ632を調整することでコリメート光は副走査方向Yにおいて偏向器65の偏向ミラー面651付近で結像される。このように、この実施形態では、コリメータレンズ631およびシリンドリカルレンズ632がレーザー光源62からの光ビームを整形するビーム整形系63として機能している。この偏向器65は半導体製造技術を応用して微小機械を半導体基板上に一体形成するマイクロマシニング技術を用いて形成されるものであり、共振振動する振動ミラーで構成されている。すなわち、偏向器65では、共振振動する偏向ミラー面振動ミラー面651により光ビームを主走査方向Xに偏向可能となっている。より具体的には、偏向ミラー面651は主走査方向Xとほぼ直交する駆動軸ねじりバネ周りに揺動自在に軸支されるとともに、作動部652から与えられる外力に応じて駆動軸周りに揺動する。この作動部652はミラー駆動制御部111からのミラー駆動信号に基づき偏向ミラー面651に対して静電気的、電磁気的あるいは機械的な外力を作用させて偏向ミラー面651を予め設定された駆動周波数で振動させる。なお、作動部652による駆動方式は静電吸着、電磁気力あるいは機械力などのいずれの方式を採用してもよく、それらの駆動方式は周知であるため、ここでは説明を省略する。このようにして駆動される偏向器65には、例えば特開平9-197334号公報に記載されたような共振周波数調整部653が設けられており、偏向器65の共振周波数を変化させることが可能となっている。すなわち、この共振周波数調整部653では偏向器65のねじりバネ図示省略に電気抵抗素子が形成されるとともに、該電気抵抗素子が露光制御部の周波数制御部112と電気的に接続されている。そして、周波数制御部112による電気抵抗素子への通電制御によりねじりバネの温度が変化する。これによって、ねじりバネのバネ定数が変化し、偏向器65の共振周波数を変更させることができる。このように偏向器65の共振周波数を駆動制御量とし、共振周波数を変化させることで偏向ミラー面651の振幅角を制御可能となっている。そこで、この実施形態では、後述するように共振周波数が予め設定された駆動周波数と不一致である場合には、共振周波数調整部653により偏向器65の共振周波数を変動させて駆動周波数とほぼ一致させている。なお、偏向器65の共振周波数を変化させる具体的な構成はこれに限定されるものではなく、従来より周知の構成を採用することができる。また、ミラー駆動制御部111はミラー駆動信号の周波数や電圧などの駆動条件、つまり駆動制御量を変更設定することができるように構成されている。したがって、必要に応じてミラー駆動信号の周波数を変更設定することが可能となっている。また、ミラー駆動信号の電圧を変更させることで振幅値を調整することも可能となっている。そして、偏向器65の偏向ミラー面651で偏向された光ビームは走査レンズ66に向けて偏向される。この実施形態では、走査レンズ66は、感光体2の表面上の有効走査領域ESRの全域においてF値が略同一となるように構成されている。したがって、走査レンズ66に向けて偏向された光ビームは、走査レンズ66を介して感光体2Yの表面の有効走査領域ESRに略同一のスポット径で結像される。これにより、光ビームが主走査方向Xと平行に走査して主走査方向Xに伸びるライン状の潜像が感光体2の表面上に形成される。なお、この実施形態では、偏向器65により走査可能な走査範囲本発明の第2走査領域SR2は、図3に示すように、有効走査領域ESR上で光ビームを走査させるための走査範囲本発明の第1走査範囲SR1よりも広く設定されている。また、第1走査範囲SR1が第2走査範囲SR2の略中央部に位置しており、光軸に対してほぼ対称となっている。さらに、同図中の符号θirは有効走査領域ESRの端部に対応する偏向ミラー面651の振幅角を示し、符号θsは次に説明する光検出センサに対応する偏向ミラー面651の振幅角を示している。また、この実施形態では、図2に示すように、走査光ビームの走査経路の一方端を折り返しミラー69aにより光検出センサ60に導いている。この折り返しミラー69aは第2走査範囲SR2の一方端部に配置され、第2走査範囲SR2内で、かつ第1走査範囲SR1を外れた位置を移動する走査光ビームを光検出センサ60に導光する。そして、光検出センサ60により該走査光ビームが受光されてセンサ位置Hsync相当角θsを通過するタイミングで信号が光検出センサ60から出力される。この光検出センサ60による走査光ビームの検出信号Hsyncは露光制御部の計測部113に伝達され、該計測部113において偏向器65の振幅角、有効走査領域ESRを光ビームが走査する走査時間や駆動周期などに関連する駆動情報が算出される。そして、この計測部113において算出された実測情報がミラー駆動制御部111に伝達され、ミラー駆動制御部111は後述するように振幅制御やミラー駆動の停止処理などを行う。また、光検出センサ60からの水平同期信号Hsyncはコントローラ1にも直接入力されており、光ビームが有効走査領域ESRを主走査方向Xに走査する際の同期信号として機能させている。すなわち、このセンサ60は水平同期信号Hsyncを得るための水平同期用読取センサとして機能している。ところで、上記のように構成された装置では、偏向器65が振動停止している状態で画像形成指令が与えられると、画像形成開始前に起動処理を実行して光ビームがコントローラ1と同期しながら偏向器65によって良好に走査されるように調整している。すなわち、偏向器65を作動させるための駆動制御量を予めメモリ図示省略に記憶されている初期値に設定する。より具体的には、ミラー駆動信号および共振周波数調整部653に与える信号の電気特性値周波数、電圧や電流をメモリから読み出し、設定している。そして、初期設定の完了後に、上記した初期値でミラー駆動が開始される。このとき、偏向器65の振幅は例えば図5に示すようにゼロから徐々に増大していく。そして、振幅角がHsync相当角θsに達する、つまり走査光ビームを光検出センサ60を通過するタイミングで信号Hsyncが光検出センサ60から出力される。この後、光検出センサ60からの出力信号Hsyncに基づく振幅制御が実行される。なお、この実施形態では、短時間に続けて光検出センサ60から出力される2つの信号Hsyncの時間差Tnpに基づき振幅制御を行っている。すなわち、振動ミラーにより構成された偏向器65を用いた装置では、有効走査領域ESRから遠ざかる方向に走査移動している光ビームが光検出センサ60を通過すると、第1検出信号Hsyncが出力される。その後、走査光ビームは最大振幅角θmaxで反転動作した偏向ミラー面651により走査方向が反転される。そして、走査光ビームが有効走査領域ESRに向かって移動し、センサ位置Hsync相当角θsを通過するタイミングで第2検出信号Hsyncが光検出センサ60から出力される。このように、この実施形態では、有効走査領域ESRから光検出センサ60を経由して再び有効走査領域ESRに戻る往復光ビームを光検出センサ60が検出して該検出に応じて信号Hsyncを出力している。また、これらの検出信号Hsyncは偏向器65の振動周期ごとに出力され、各振動周期振幅の1周期に相当での第1および第2検出信号Hsyncの間隔Tnpは最大振幅角θmaxに関連している。そこで、この実施形態では、計測部113において第1および第2検出信号の間隔Tnpを振幅角に関連する振幅関連情報として求めてミラー駆動制御部111に与えている。また、ミラー駆動制御部111は計測部113からの振幅関連情報とコントローラ1から与えられる信号Sdで示される振幅目標値とに基づき作動部652に与えるミラー駆動信号の電圧や電流を調整している。なお、振幅制御の具体的な手法については、これに限定されるものではなく、従来より周知の振幅制御を用いることができる。こうして振幅制御が正常に行われている間においては、第1および第2検出信号の間隔Tnpはほぼ一定であり、最大振幅角θmaxも振幅目標値となっている。しかしながら、ノイズや外乱などの影響によりミラー駆動制御部111が不適正なミラー駆動信号を偏向器65の作動部652に与えてしまうと、偏向器65の振幅角が大きく変動してしまうことがある。特に、ノイズなどの影響が偏向器65を加振する方向に作用することがある。そこで、この実施形態では、偏向器65の振幅変動を監視し、異常動作最大振幅角θmaxが破壊限界角に向けて増大する振幅動作を確認すると、偏向器65の駆動を停止している。以下、図6および図7を参照しつつ詳述する。図6は図1の画像形成装置に装備された露光ユニットの動作を示すフローチャートである。また、図7は偏向器の振幅状態および検出信号の出力状態を示す図である。この実施形態では、上記のようにして振幅制御が開始されたことを確認するステップS1と、往復光ビームが光検出センサ60を通過して連続する2つの検出信号Hsyncから両者の時間差Tnpを計測部113により計測するステップS2。そして、計測部113からの振幅関連情報Tnpに基づき往復光ビームの最大振幅角θmaxをミラー駆動制御部111が算出しステップS3、この最大振幅角θmaxが振幅目標値以上であるか否かを判定するステップS4。なお、このステップS4でNOと判定されている間、上記ステップS2に戻って、次の振動周期における検出信号Hsyncの時間差Tnpと最大振幅角θmaxとを求める。一方、ステップS4でYESと判定されると、偏向器65の振幅変動の監視を開始する。すなわち、次の振動周期における検出信号Hsyncの時間差Tnpを上記ステップ2と同様にして求めるステップS5。そして、現時点での振動周期における時間差Tnpと直前の振動周期における時間差Tnpとの差ΔTを算出するステップS6。この差ΔTは現時点での振動周期における最大振幅角θmaxと直前の振動周期における最大振幅角θmaxとの差Δθmax、つまり連続する振動周期の間での偏向器65の最大振幅角θmaxが増大する割合を示す増幅率に相当するものである。例えば、差ΔTがゼロの場合には、図7aに示すように、振幅制御が良好に行われて最大振幅角θmaxはほぼ一定値となっている。これに対し、ノイズなどの影響によって振幅変動が例えば同図bに示すように生じている場合には、差ΔTはゼロ以上となり、最大振幅角θmaxが時間経過に伴って増大している。そこで、この実施形態では、差ΔTが予め設定した臨界値ΔTth以上となっているか否か、つまり最大振幅角θmaxの増幅率が大きくなり破壊限界角に近づいているか否かを判定しているステップS7。そして、このステップS7でNOと判定されている間は偏向器65の振幅変動はない、あるいは許容範囲であると判断し、現時点での時間差Tnpを直前の時間差Tnpに書き換えた後、ステップS5に戻る。こうして、各振動周期での増幅率を求めるとともに、その増幅率に基づき偏向器65の振幅変動を監視している。その監視中に、例えば図7bに示すように、差ΔT=Tnp-Tnpが大きくなって臨界値ΔTth以上となり、偏向器65の異常動作ミラー破壊に向かう動作が確認されると、ミラー駆動制御部111は作動部652へのミラー駆動信号の出力を停止し、ミラー駆動を停止させるステップS9。以上のように、この実施形態によれば、光検出センサ60からの出力信号Hsyncに基づき偏向器65の振幅変動を監視することによって偏向器65の最大振幅角がミラー破壊に至る程度の振幅角、つまり破壊限界角に向けて増大しているという異常動作を確認している。そして、異常動作の確認後、直ちに偏向器65の駆動を停止している。そのため、ノイズや外乱などにより偏向器65の作動部652に対して不適切なミラー駆動信号が与えられたとしても、ミラーの駆動を停止させて偏向器65の破壊を確実に防止することができる。なお、上記実施形態では、現時点の振動周期での増幅率に相当するΔTを求めるにあたって、直前の振動周期での時間差Tnpを用いているが、さらに複数回前の振動周期における時間差Tnpmを用いてもよいなお、mは、n2、、...である。また、上記実施形態では、最大振幅角θmaxが振幅目標値に達した後に振幅変動の監視を行っているが、振幅制御の開始時点より振幅変動の監視を行うようにしてもよい。図8はこの発明にかかる光走査装置の他の実施形態の動作を示すフローチャートである。また、図9は図8の実施形態における動作を示す図である。この実施形態が先の実施形態図6と大きく相違する点は、最大振幅角θmaxが予め設定した回数N2以上の自然数以上連続して所定の振幅角を超えることを異常動作の判定基準としている点であり、その他の構成は基本的に同一である。以下、本実施形態について図8および図9を参照しつつ説明する。この実施形態においては、振幅制御が開始されたことを確認するステップS11と、カウント値NをゼロにリセットするステップS12。そして、往復光ビームが光検出センサ60を通過して連続する2つの検出信号Hsyncから両者の時間差Tnpを計測部113により計測するステップS13。そして、計測部113からの振幅関連情報Tnpに基づき往復光ビームの最大振幅角θmaxをミラー駆動制御部111が算出しステップS14、この最大振幅角θmaxが予め設定した値θth以上となっているか否かを判定するステップS15。ここで、設定値θthは、振幅目標値よりも大きく、しかも破壊限界角よりも小さな値に設定することができる。なお、図9中の警戒位置は設定値θthに相当する位置を示している。このステップS15でNOと判定されている間、上記ステップS12に戻って、カウント値Nをリセットした上で次の振動周期における検出信号Hsyncの時間差Tnpと最大振幅角θmaxとを求める。一方、ステップS15でYESと判定されると、カウント値Nが3に達しているか否かを判定しステップS16、NOと判定されると、ステップS17においてカウント値Nを1だけインクリメントした上でステップS13に戻って次の振動周期における検出信号Hsyncの時間差Tnpと最大振幅角θmaxとを求め、さらに最大振幅角θmaxが予め設定した値θth以上となっているか否かを判定する。一方、ステップS16でYESと判定された場合、つまり図9に示すように、最大振幅角θmaxが連続して3回警戒位置を超えて振幅している場合には、偏向器65の異常動作ミラー破壊に向かう動作が確認される。そこで、ミラー駆動制御部111は作動部652へのミラー駆動信号の出力を停止し、ミラー駆動を停止させるステップS18。以上のように、この実施形態においても、先の実施形態と同様の作用効果が得られる。すなわち、光検出センサ60からの出力信号Hsyncに基づき偏向器65の振幅変動を監視することによって偏向器65の最大振幅角θmaxがミラー破壊に至る程度の振幅角、つまり破壊限界角に向けて増大しているという異常動作を確認することができる。そして、異常動作の確認後、直ちに偏向器65の駆動を停止している。そのため、ノイズや外乱などにより偏向器65の作動部652に対して不適切なミラー駆動信号が与えられたとしても、ミラーの駆動を停止させて偏向器65の破壊を確実に防止することができる。なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、第2走査範囲SR2の一方端部で光ビームを検出して振幅制御する光装置装置に本発明を適用しているが、他方端部で光ビームを検出して振幅制御する装置に対しても本発明を適用することができる。さらに、第2走査範囲SR2のうち、有効走査領域ESRを間に挟み相対する両側端部で光ビームを検出して振幅制御する装置に対しても同様に本発明を適用することができる。また、上記実施形態では、タンデム方式のカラー画像形成装置の露光ユニットに本発明にかかる光走査装置を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、いわゆる4サイクル方式のカラー画像形成装置あるいは単色画像を形成するモノクロ画像形成装置の露光ユニットに本発明を適用することができる。また、光走査装置の適用対象は画像形成装置に装備される露光ユニットに限定されるものではなく、光ビームを被走査面上に走査させる光走査装置全般に適用することができる。さらに、上記実施形態では、振動ミラーとしてマイクロマシニング技術を用いて形成された偏向器65を採用しているが、共振振動する振動ミラーを用いて光ビームを偏向して光ビームを走査させる光走査装置全般に本発明を適用することができる。"