"ALogP値が5以下の連鎖移動剤を用いて重合された、色素構造を有する構造単位を含む色素重合体、及びB溶媒を含有する着色感放射線性組成物。前記LogP値が5以下の連鎖移動剤が、アルキルメルカプタンである請求項1に記載の着色感放射線性組成物。前記LogP値が5以下の連鎖移動剤が、炭素数10以下のアルキルメルカプタンである請求項1又は請求項2に記載の着色感放射線性組成物。前記LogP値が5以下の連鎖移動剤が、分子内にエステル構造、及び、エーテル構造から選択される構造を有するアルキルメルカプタンである請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。前記色素構造が、下記一般式IIIで表されるジピロメテン系化合物と金属若しくは金属化合物とから得られるジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体由来の色素構造である請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。一般式III中、R1、R2、R3、R4、R5、及びR6は各々独立に水素原子又は1価の置換基を表し、R7は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表す。ただし、R1とR6とが互いに結合して環を形成することはない。さらに、C前記A色素重合体とは構造が異なる重合体を含有する請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。さらに、D顔料を含有する請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。C前記Aとは構造が異なる重合体が、顔料分散剤である請求項1~請求項7のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。さらに、E重合性化合物、F重合開始剤を含有する請求項1~請求項8のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。基板上に、請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を用いて形成された着色パターンを備えるカラーフィルタ。支持体上に、請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を付与する着色感放射線性層形成工程と、形成された着色感放射線性層を露光する露光工程と、露光後の着色感放射線性層を現像して未露光部を除去する現像工程とを含む着色パターンの製造方法。基板上に、請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を付与する着色感放射線性層形成工程と、形成された着色感放射線性層を露光する露光工程と、露光後の着色感放射線性層を現像して未露光部を除去する現像工程とを含むカラーフィルタの製造方法。請求項10に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。請求項10に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。しかしながら、着色剤として色素構造を含む色素重合体を用いた場合においても、色ムラやコントラストに対し更に高まる市場からの要求に応じるには不十分であり、さらなる改良が望まれていた。本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の第1の目的は、色素構造を有する構造単位を含む色素重合体を含有してなる、色ムラが抑制された均一な色相の塗膜を形成することができ、着色パターンを形成するに際し、露光工程の後、未露光部の現像性が良好でパターン形成性に優れた着色感放射線性組成物を提供することにある。本発明の第2の目的は、色ムラが抑制された均一な色相を有し、且つ、良好な形状を有する着色パターンを形成しうる着色パターンの製造方法を提供することにある。更に、本発明の第3の目的は、前記着色感放射線性組成物を用いて形成され、濃度ムラが小さく色特性に優れた着色領域を有するカラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた液晶表示装置、及び固体撮像素子を提供することにある。本発明者らは鋭意検討の結果、色素重合体の合成時に、特定の連鎖移動剤を共存させることで組成物における色ムラの発生を抑制しうる色素重合体を得られることを見出し、本発明を完成した。即ち、前記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。<1>ALogP値が5以下の連鎖移動剤を用いて重合された、色素構造を有する構造単位を含む色素重合体、及びB溶媒を含有する着色感放射線性組成物。<2>前記LogP値が5以下の連鎖移動剤が、アルキルメルカプタンである<1>に記載の着色感放射線性組成物である。<3>前記LogP値が5以下の連鎖移動剤が、炭素数10以下のアルキルメルカプタンである<1>又は<2>に記載の着色感放射線性組成物である。<4>前記LogP値が5以下の連鎖移動剤が、分子内にエステル構造、及び、エーテル構造から選択される構造を有するアルキルメルカプタンである<1>~<3>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物である。<5>前記色素構造が、下記一般式IIIで表されるジピロメテン化合物と金属若しくは金属化合物とから得られるジピロメテン金属錯体化合物又はその互変異性体由来の色素構造である<1>~<4>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物である。一般式III中、R1、R2、R3、R4、R5、及びR6は各々独立に水素原子又は1価の置換基を表し、R7は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表す。ただし、R1とR6とが互いに結合して環を形成することはない。<6>C前記A色素重合体とは構造が異なる重合体を含有する<1>~<5>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物である。<7>さらに、D顔料を含有する<1>~<6>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物である。<8>C前記Aとは構造が異なる重合体が、顔料分散剤である<1>~<7>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物である。<9>さらに、E重合性化合物、F重合開始剤を含有する<1>~<8>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物である。<10>基板上に、<1>~<9>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を用いて形成された着色パターンを備えるカラーフィタである。<11>支持体上に、<1>~<9>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を付与する着色感放射線性層形成工程と、形成された着色感放射線性層を露光する露光工程と、露光後の着色感放射線性層を現像して未露光部を除去する現像工程とを含む着色パターンの製造方法である。<12>基板上に、<1>~<9>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を付与する着色感放射線性層形成工程と、形成された着色感放射線性層を露光する露光工程とを含むカラーフィルタの製造方である。<13><10>に記載のカラーフィルタを備えたる固体撮像素子である。<14><10>に記載のカラーフィルタを備えたことを特徴とする液晶表示装置である。本発明の作用は明確ではないが、以下のように推測される。即ち、ALogP値が5以下の連鎖移動剤を用いて重合された、色素構造を有する構造単位を含む色素重合体は、重合体末端部に、前記連鎖移動剤に由来する親水的な部位が導入されていると考えられる。このため、色素重合体と、組成物中で共存する他の成分、特に、C前記A色素重合体とは構造が異なる重合体との相溶性が向上し、塗布時における相分離が抑制されて、塗膜中の染料重合体の相分離に起因する色むらの発生が抑制されたものと考えられる。特に、C前記A色素重合体とは構造が異なる重合体を顔料分散剤として用いる場合には、その効果が顕著に現れる。また、該A色素重合体の末端部に親水的な部位が導入されているため、重合体全体の親水性が向上し、現像性が良化したものと考えている。従って、前記本発明の着色感放射線性組成物を用いることにより、色ムラが小さく色特性に優れたカラーフィルタを作製することができる。本発明によれば、色素構造を有する構造単位を含む色素重合体を含有してなる、色濃度ムラが抑制された均一な色相の塗膜を形成しうる着色感放射線性組成物を提供することができる。また、本発明によれば、着色パターンを形成するに際し、露光工程の後、未露光部の現像性が良好でパターン形成性に優れた着色感放射線性組成物を提供することができる。本発明によれば、色ムラが抑制された均一な色相を有し、且つ、良好な形状を有する着色パターンを形成しうる着色パターンの製造方法を提供することができる。さらに、本発明の前記着色感放射線性組成物を用いることで、色ムラが抑制され、色特性に優れ現像性が良好な着色領域を有するカラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた液晶表示装置、及び固体撮像素子を提供することができる。以下、本発明の着色感放射線性組成物、カラーフィルタ、着色パターン及びカラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置について詳細に説明する。<<着色感放射線性組成物>>本発明の着色感放射線性組成物は、ALogP値が5以下の連鎖移動剤を用いて重合された、色素構造を有する構造単位を含む色素重合体オキシム化合物は、350nm~500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものであり、360nm~480nmの波長領域に吸収波長を有するものであることが好ましく、365nm及び455nmの吸光度が高いものが特に好ましい。オキシム化合物は、365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1000~300,000であることが好ましく、2000~300,000であることがより好ましく、5000~200,000であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計Varian社製Carry-5spctrophotometerにて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。本発明に用いられる重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明の着色感放射線性組成物に用いられるF重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α-ヒドロキシケトン化合物、α-アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン-ベンゼン-鉄錯体及びその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3-アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン化合物、α-アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物であり、トリハロメチルトリアジン化合物、α-アミノケトン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が最も好ましい。特に、本発明の着色感放射線性組成物を固体撮像素子が備えるカラーフィルタの作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、固体撮像素子において微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、重合開始剤の添加量も低く抑える必要があるため、これらの点を考慮すれば、固体撮像素子の如き微細パターンを形成するにはD重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが最も好ましい。本発明の着色感放射線性組成物に含有されるF重合開始剤の含有量は、着色感放射線性組成物の全固形分に対し0.1質量以上50質量以下であることが好ましく、より好ましくは0.5質量以上20質量以下、更に好ましくは1質量以上15質量以下である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。<その他の成分>本発明の着色組成物には、必要に応じて公知の各種添加物、例えば、界面活性剤、酸化防止剤、pH調整剤、凝集防止剤等を配合することができる。各種添加物本発明の着色感放射線性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。これらの例としては、特開2008-292970号公報の段落0274~0276に記載の添加剤を挙げることができる。前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス2-メトキシエトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2-チオビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール、2,6-ジ-t-ブチルフェノール等の酸化防止剤:2-3-t-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル-5-クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。また、非硬化部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の着色感放射線性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1,000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバリン酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。界面活性剤本発明の着色感放射線性組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。特に、本発明の着色感放射線性組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性特に、流動性がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色感放射線性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量~40質量が好適であり、より好ましくは5質量~30質量であり、特に好ましくは7質量~25質量である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色感放射線性組成物中における溶解性も良好である。フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781以上、DIC株製、フロラードFC430、同FC431、同FC171以上、住友スリーエム株製、サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC1068、同SC-381、同SC-383、同S393、同KH-40以上、旭硝子株製等が挙げられる。ノニオン系界面活性剤として具体的には、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステルBASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1等、ソルスパース20000日本ルーブリゾール製等が挙げられる。カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体商品名:EFKA-745、森下産業株製、オルガノシロキサンポリマーKP341信越化学工業株製、メタアクリル酸系共重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95共栄社油脂化学工業株製、W001裕商株製等が挙げられる。アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017裕商株社製等が挙げられる。シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レダウコーニング株製DC3PA、SH7PA、DC11PA、SH21PA、SH28PA、SH29PA、SH30PA、SH8400、モメンティブパフォーマンスマテリアルズ社製TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452、信越シリコーン株製KP341、ビックケミー社製BYK323、BYK330等が挙げられる。界面活性剤は、単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。界面活性剤の含有量は、着色感放射線性組成物の全固形分に対して、0.001質量~10質量であるのが好ましく、0.01質量~5質量であるのがより好ましい。重合禁止剤本発明の着色感放射線性組成物においては、該着色感放射線性組成物の製造中又は保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-t-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、t-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス3-メチル-6-t-ブチルフェノール、2,2’-メチレンビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。重合禁止剤の添加量は、着色感放射線性組成物の全質量に対して、約0.005質量~約5質量が好ましい。本発明の着色感放射線性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの例としては、特開2008-292970号公報の段落0274~0276に記載の添加物を挙げることができる。-着色感放射線性組成物の調製方法-本発明の着色感放射線性組成物の調製に際しては、上述の各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。全成分を同時に溶剤に溶解して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液としておいて、使用時塗布時にこれらの溶液を混合して着色感放射線性組成物として調製してもよい。上記のようにして調製された着色感放射線性組成物は、好ましくは孔径0.01~3.0μm、より好ましくは孔径0.05~0.5μm程度のフィルタなどを用いて濾別した後、使用に供することもできる。本発明の着色感放射線性組成物は、液晶表示装置LCDや固体撮像素子例えば、CCD、CMOS等、に用いられるカラーフィルタなどの着色画素形成用として好適に用いることができる。また電子ペーパーや有機EL等の画像表示デバイスにも好適に用いることができる。特に、CCD、及びCMOS等の固体撮像素子用のカラーフィルタ形成用として好適に用いることができる。本発明の着色感放射線性組成物は、着色パターンが微少サイズで薄膜に形成され、しかも良好な矩形の断面プロファイルが要求される固体撮像素子用のカラーフィルタの形成に特に好適である。本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置や固体撮像装置に用いることができ、液晶表示装置の用途に好適である。本発明のカラーフィルタを液晶表示装置に用いた場合、分光特性及び耐熱性に優れた金属錯体色素構造を含む色素多量体を着色剤として含有しながらも、着色剤に起因する色ムラの発生が抑制され、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れる。<液晶表示装置>本発明のカラーフィルタは、色ムラの発生が抑制され、且つ耐光性に優れた着色画素を有することから、液晶表示装置用のカラーフィルタとして好適である。このようなカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。表示装置の定義や各表示装置の詳細については、例えば電子ディスプレイデバイス佐々木昭夫著、株工業調査会1990年発行、ディスプレイデバイス伊吹順章著、産業図書株平成元年発行などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば次世代液晶ディスプレイ技術内田龍男編集、株工業調査会1994年発行に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の次世代液晶ディスプレイ技術に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明のカラーフィルタは、なかでも、カラーTFT方式の液晶表示装置に対して有用である。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えばカラーTFT液晶ディスプレイ共立出版株1996年発行に記載されている。更に、本発明はIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、STN、TN、VA、OCS、FFS、及びR-OCB等にも適用できる。また、本発明のカラーフィルタは、明るく高精細なCOAColorfilterOnArray方式にも供することが可能である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタ層に対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率及び剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタにおいては、前記金属錯体色素構造を含む色素多量体を着色剤として含むものであり、着色硬化膜における着色剤に起因する色ムラの発生が抑制され、且つ、パターン形成性にも優れることから色純度、着色領域の色相の均一性に優れ、解像度が高く長期耐久性に優れたCOA方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。さらに、COA方式により形成される着色層には、着色層上に配置されるITO電極と着色層の下方の駆動用基板の端子とを導通させるために、一辺の長さが1~15μm程度の矩形のスルーホールあるいはコの字型の窪み等の導通路を形成する必要であり、導通路の寸法即ち、一辺の長さを特に5μm以下にすることが好ましいが、本発明を用いることにより、5μm以下の導通路を形成することも可能である。これらの画像表示方式については、例えば、EL、PDP、LCDディスプレイ-技術と市場の最新動向-東レリサーチセンター調査研究部門2001年発行の43ページなどに記載されている。本発明の液晶表示装置は、本発明のカラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなど様々な部材から構成される。本発明のカラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示素子に適用することができる。これらの部材については、例えば、94液晶ディスプレイ周辺材料ケミカルズの市場島健太郎株シーエムシー1994年発行、2003液晶関連市場の現状と将来展望下巻表良吉株富士キメラ総研、2003年発行に記載されている。バックライトに関しては、SIDmeetingDigest13802005A.Konnoet.alや、月刊ディスプレイ2005年12月号の18~24ページ島康裕、同25~30ページ八木隆明などに記載されている。本発明のカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に、赤、緑、青のLED光源RGB-LEDをバックライトとすることによって輝度が高く、また、色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。[固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法]本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法は、支持体上に、既述の本発明の着色感放射線性組成物を付与して着色感放射線性組成物層を形成する工程以下、着色感放射線性組成物層形成工程ともいうと、前記着色感放射線性組成物層を、マスクを介して露光する工程以下、露光工程ともいうと、露光後の着色感放射線性組成物層を現像して着色パターン以下、着色画素ともいうを形成する工程以下、現像工程ともいうと、を含む。また、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法によって製造されたものである。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法によって製造された着色パターンを少なくとも有していればよい。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの具体的形態としては、例えば、前記着色パターンと他の着色パターンとを組み合わせた多色のカラーフィルタの形態例えば、赤色パターン、青色パターン、及び緑色パターンを少なくとも有する3色以上のカラーフィルタが好適である。以下、固体撮像素子用カラーフィルタを単にカラーフィルタということがある。<着色感放射線性組成物層形成工程>着色感放射線性組成物層形成工程では、支持体上に、本発明の着色感放射線性組成物を付与して着色感放射線性組成物層を形成する。本工程に用いうる支持体としては、例えば、基板例えば、シリコン基板上にCCDChargeCoupledDeviceやCMOSComplementaryMetalOxideSemiconductor等の撮像素子受光素子が設けられた固体撮像素子用基板を用いることができる。本発明における着色パターンは、固体撮像素子用基板の撮像素子形成面側おもて面に形成されてもよいし、撮像素子非形成面側裏面に形成されてもよい。固体撮像素子用基板における各撮像素子間や、固体撮像素子用基板の裏面には、遮光膜が設けられていてもよい。また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。支持体上への本発明の着色硬化性組成物の付与方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。着色硬化性組成物層の膜厚としては、0.1μm~10μmが好ましく、0.2μm~5μmがより好ましく、0.2μm~3μmがさらに好ましい。支持体上に塗布された着色硬化性組成物層の乾燥プリベークは、ホットプレート、オーブン等で50°C~140°Cの温度で10秒~300秒で行うことができる。<露光工程>露光工程では、着色感放射線性組成物層形成工程において形成された着色感放射線性組成物層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、所定のマスクパターンを有するマスクを介してパターン露光する。露光に際して用いることができる放射線光としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく特に好ましくはi線用いられる。照射量露光量は30~1500mJ/cm2が好ましく50~1000mJ/cm2がより好ましく、80~500mJ/cm2が最も好ましい。<現像工程>次いでアルカリ現像処理を行うことにより、露光工程における光未照射部分の着色硬化性組成物層がアルカリ水溶液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20°C~30°Cであり、現像時間は、従来は20秒~90秒であった。より残渣を除去するため、近年では120秒~180秒実施する場合もある。さらには、より残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-[5,4,0]-7-ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が0.001~10質量、好ましくは0.01~1質量となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、現像液には無機アルカリを用いてもよく、無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウムなどが好ましい。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄リンスする。次いで、乾燥を施した後に加熱処理ポストベークを行うことが好ましい。多色の着色パターンを形成するのであれば、各色ごとに前記工程を順次繰り返して硬化皮膜を製造することができる。これによりカラーフィルタが得られる。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100°C~240°C、好ましくは200°C~240°Cの熱硬化処理を行う。このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン熱風循環式乾燥機、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。なお、本発明の製造方法は、必要に応じ、上記以外の工程として、固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法として公知の工程を有していてもよい。例えば、上述した、着色硬化性組成物層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを加熱及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。また、本発明に係る着色硬化性組成物を用いる場合、例えば、塗布装置吐出部のノズルや配管部の目詰まりや塗布機内への着色硬化性組成物や顔料の付着沈降乾燥による汚染等が生じる場合がある。そこで、本発明の着色硬化性組成物によってもたらされた汚染を効率よく洗浄するためには、前掲の本組成物に関する溶剤を洗浄液として用いることが好ましい。また、特開平7-128867号公報、特開平7-146562号公報、特開平8-278637号公報、特開2000-273370号公報、特開2006-85140号公報、特開2006-291191号公報、特開2007-2101号公報、特開2007-2102号公報、特開2007-281523号公報などに記載の洗浄液も本発明に係る着色硬化性組成物の洗浄除去として好適に用いることができる。上記のうち、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート及びアルキレングリコールモノアルキルエーテルが好ましい。これら溶媒は、単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合する場合、水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤とを混合することが好ましい。水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤との質量比は、1/99~99/1、好ましくは10/90~90/10、更に好ましくは20/80~80/20である。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEAとプロピレングリコールモノメチルエーテルPGMEの混合溶剤で、その比率が60/40であることが特に好ましい。なお、汚染物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には前掲の本組成物に関する界面活性剤を添加してもよい。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の着色硬化性組成物を用いているため、剥がれ欠陥及び残渣欠陥が少なく、また、着色パターンの耐熱性に優れている。また、一般式1で表されるアゾ顔料を用いて形成されているため、赤色としての分光特性に優れる。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、CCD、CMOS等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCDやCMOS等に好適である。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、例えば、CCD又はCMOSを構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。固体撮像素子用カラーフィルタにおける着色パターン着色画素の膜厚としては、2.0μm以下が好ましく、1.0μm以下がより好ましい。また、着色パターン着色画素のサイズパターン幅としては、2.5μm以下が好ましく、2.0μm以下がより好ましく、1.7μm以下が特に好ましい。[固体撮像素子]本発明の固体撮像素子は、既述の本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。支持体上に、固体撮像素子CCDイメージセンサー、CMOSイメージセンサー、等の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを有する構成である。更に、前記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下支持体に近い側に集光手段例えば、マイクロレンズ等。以下同じを有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその趣旨を越えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、部は質量基準である。合成例1:染料ポリマーIの合成下記原料Aを、LiebigsAnnalenderChemie,1990年、8p.741-744を参考に合成した。得られた原料A30.6g、グリシジルメタクリレート14.2g、p-メトキシフェノール1.24g、及び、テトラブチルアンモニウムブロミド3.22gをN-メチル-2-ピロリドン以下、NMPと称する200gに溶解させた溶液を調製し、100°Cで5時間に加熱攪拌した。次に、酢酸エチル1L、1NHCl塩酸水溶液1Lを添加し、攪拌後、有機層を分離し、その後、濃縮し、下記構造の中間体Bを35g得た。得られた中間体B10g、メタクリル酸1.53g、チオグリコール酸オクチル連鎖移動剤:LogP値3.00、1.64g、及び、2,2-アゾビス2-メチルプロピオン酸ジメチル和光純薬株製のV-6010.92gを、PGMEA16.9gに溶解させ、窒素雰囲気下、85°Cのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート以下、PGMEAと称する10gに3時間かけて滴下した。その後、85°Cでさらに2時間攪拌を続けた。その後、反応溶液を、メタノール200mL、水25mLに攪拌しながら、滴下した。析出した粉黛をろ過し、得られた粉黛を減圧乾燥したところ、染料ポリマーIを9g得た。得られた染料ポリマーIの重量平均分子量Mwは10000、酸価は80mgKOH/gであった。スキームを以下に示す。合成例2~7:染料ポリマーII、III、IV、V、IX、X及びXIの合成中間体Bに添加する連鎖移動剤を、以下のように変更した以外は染料ポリマーIの合成と同様にして、下記構造の染料ポリマーII、III、IV、V、IX、X、及びXIを合成した。染料ポリマーII連鎖移動剤チオグリコール酸エチル:LogP値0.42染料ポリマーIII連鎖移動剤:2-メルカプトエタノール:LogP値0.04染料ポリマーIV連鎖移動剤:下記化合物:LogP値4.14染料ポリマーV連鎖移動剤:1-ヘキサンチオール:LogP値2.63染料ポリマーIX連鎖移動剤:1-ドデカンチオール:LogP値5.14染料ポリマーX連鎖移動剤:1-オクタデカンチオール:LogP値7.64染料ポリマーXI連鎖移動剤チオグリコール酸オクタデシル:LogP値7.17<染料ポリマーVIIIの合成>PGMEA5.21gを80°Cで攪拌しながら、M-53下記構造:7.0gとメタクリル酸0.45g、チオグリコール酸オクチル0.17g、ジメチル2,2’-アゾビス2-メチルプロピオネート0.096gをPGMEA12.2gに溶解させた溶液を4時間かけて滴下した。滴下終了から2時間後、ジメチル2,2’-アゾビス2-メチルプロピオネート0.029g、チオグリコール酸オクチル0.051gをPGMEA0.35gに溶解させた溶液を追加し、80°Cでさらに2時間攪拌を続けた。反応溶液に、PGMEA175ml、メタノール200mlを加え、アセトニトリル800mlを攪拌しながら、反応液を滴下した。析出した結晶をろ過し、得られた結晶を減圧乾燥し、P1下記構造を3.99g得た。得られたP1の重量平均分子量Mwは7000、酸価は185mgKOH/gであった。P1の構造であることは、1H-NMRにより、前記M-53の重合性基部位である5.53、6.11のピークの消失と、酸価測定によるメタクリル酸の導入により確認した。化合物P15.0gとグリシジルメタクリレート0.47g、pメトキシフェノール5.5mgをPGMEA31.0gに溶解させた溶液を100°Cで5時間に加熱攪拌した。次に、アセトニトリル350mlを攪拌しているところに、反応液を滴下した。析出した結晶をろ過し、得られた結晶を減圧乾燥し、P1を3.59g得た。得られたP1の重量平均分子量Mwは8000、酸価は110mgKOH/gであった。例示化合物VIIIの構造であることは、1H-NMRにより、グリシジルメタクリレートのエポキシ部位の消失と酸価測定によるグリシジルメタクリレート分の酸価減少により確認した。スキームを以下に示す。合成例8~13:染料ポリマーXII、XIII、XIV、XV、XVI及びXVIIの合成添加する連鎖移動剤として連鎖移動剤8LogP:3.00を用い、合成用の染料モノマーとして以下に示す化合物を用いた以外は染料ポリマーIの合成と同様にして、下記構造の染料ポリマーXII、XIII、XIV、XV、XVI及びXVIIを合成した。顔料分散剤の合成<樹脂1の合成>500mL三口フラスコに、εカプロラクトン600.0g、2-エチル-1-ヘキサノール22.8gを導入し、窒素を吹き込みながら、攪拌溶解した。モノブチル錫オキシド0.1gを加え、100°Cに加熱した。8時間後、ガスクロマトグラフィーにて、原料が消失したのを確認後、80°Cまで冷却した。2,6ジtブチル-4-メチルフェノール0.1gを添加した後、2メタクリロイロキシエチルイソシアネート27.2gを添加した。5時間後、1HNMRにて原料が消失したのを確認後、室温まで冷却し、固体状の前駆体M1を200g得た。M1であることは、1HNMR、IR、質量分析により確認した。前駆体M1500g、NKエステルCB-150.0g、ドデシルメルカプタン2.3g及びPGMEA233.3gを、窒素置換した三口フラスコに導入し、攪拌機新東科学株:スリーワンモータにて攪拌し、窒素をフラスコ内に流しながら加熱して75°Cまで昇温した。これに、2,2-アゾビス2-メチルプロピオン酸ジメチル和光純薬株製のV-601を0.2g加え、75°Cにて2時間加熱攪拌を行った。2時間後、さらにV-601を0.2g加え、3時加熱攪拌の後、下記構造の樹脂1の30溶液を得た。<樹脂2~4の合成>樹脂1の合成方法と同様の合成法により、以下に記載の樹脂2~樹脂4を合成した。<顔料分散組成物の調整>顔料分散組成物1下記組成1の成分を混合し、ホモジナイザーを用いて回転数3,000r.p.m.で3時間撹拌して混合し、顔料を含む混合溶液を調製した。組成1顔料PigmentBlue15:695部顔料誘導体I15部分散剤樹脂130溶液125部PGMEA750部続いて、上記より得られた混合溶液を、さらに0.3mmφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ディスパーマットGETZMANN社製にて6時間分散処理を行ない、顔料分散液P-1を得た。<着色感放射線性組成物の調製>まず、カラーフィルタ形成用として着色感放射線性組成物を調整した例を挙げて説明する。[実施例1]前記で得た顔料分散液P-1を用いて、下記の感光性樹脂組成物R-1を作製した。顔料分散液P-11000部KAYARADDPHA100部光重合性化合物1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニルオキシム光重合開始剤30部染料ポリマーI100部樹脂メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/共重合体モル比=70/30、重量平均分子量30000の30PGMEA溶液10部PGMEA溶剤300部下記組成の成分を混合して溶解し、下塗り層用レジスト液を調製した。<下塗り層用レジスト液の組成>PGMEA溶剤19.20部乳酸エチル36.67部樹脂メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸-2-ヒドロキシエチル共重合体モル比=70/22/8の30PGMEA溶液30.51部エチレン性不飽和二重結合含有化合物KAYARADDPHA12.20部重合禁止剤p-メトキシフェノール0.0061部フッ素系界面活性剤F-475、DIC株製1.0部光重合開始剤トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤0.586部TAZ-107、みどり化学社製下塗り層付シリコン基板の作製6inchのシリコンウエハをオーブン中で200°Cのもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に前記下塗り層用レジスト液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布し、更に220°Cのオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。-固体撮像素子着色パターンの形成-前記で得られた下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に、着色層の乾燥膜厚が0.7μmになるように、スピン塗布機能を持つコータ/デベロッパ東京エレクトロン株製Act-8を用いて下記条件で着色光硬化性組成物を塗布した。次いで、この着色塗布基板を100°Cのホットプレートを用いて120秒間加熱処理プリベークを行なった後、i線ステッパー露光装置FPA-3000i5Canon株製を使用して365nmの波長でパターンが1.5μm四方のIslandパターンマスクを通して500mJ/cm2の露光量で露光した。その後、露光後の着色層が形成されているシリコンウエハをスピンシャワー現像機DW-30型、株ケミトロニクス製の水平回転テーブル上に載置し、CD-2000富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ株製を用いて23°Cで60秒間、パドル現像を行なった後、該シリコンウエハを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハを回転数50r.p.m.で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後、スプレー乾燥して、着色画素の付いたウエハ基板を得た。[実施例2~12、比較例1~3]前記実施例1で用いた感光性樹脂組成物R-1において、連鎖移動剤、染料ポリマー、樹脂を下記表1に記載のように変更した以外は実施例1と同様にして固体撮像素子着色パターンを形成した。<着色感放射線性組成物の評価>i色むら色むらの評価は、下塗り層付きウエハの代わりにガラス基板を使用し、またマスクを用いずにベタで露光する以外は、固体撮像素子着色パターンの形成の方法と同様にして評価用基板を作成した。輝度分布を下記方法で解析し、平均からのずれが±5以内である画素が全画素数に占める割合をもとに行った。輝度分布の測定方法について説明する。まず、着色層付きのガラス板の輝度分布を顕微鏡MX-50オリンパス社製にて撮影した画像を解析した。なお輝度分布において、最も画素数の多い輝度を平均輝度と定義する。-評価基準-5:平均からのずれが±5以内である画素が全画素数中の99以上4:平均からのずれが±5以内である画素が全画素数中の98以上99未満3:平均からのずれが±5以内である画素が全画素数中の97以上98未満2:平均からのずれが±5以内である画素が全画素数中の95以上97未満1:平均からのずれが±5以内である画素が全画素数中の95未満ii残渣現像性の評価上記した露光工程で光が照射されなかった領域未露光部の残渣の有無をSEMで観察し、残渣を評価した。評価基準は以下の通りである。-評価基準-4:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった3:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった2:未露光部に、残渣がやや確認された。1:未露光部に、残渣が著しく確認された。表1に明らかなように、本発明の着色感放射線性組成物を用いて形成された着色パターンは、色むらの発生が抑制されていた。また、現像残渣も見られないことから現像性が良好であることが分かる。実施例1~実施例3より、連鎖移動剤の親水性増加に伴い、色むらの抑制効果が高まる傾向が確認できた。また、実施例1及び実施例5と、実施例7及び実施例11との対比において、末端親水性が高く、重量平均分子量が比較的小さい特定色素重合体が、分散剤との相溶性、親水化による現像液の浸透性により、色むらの抑制効果、現像性向上効果が高いことが分かる。[実施例13~18]前記実施例1で用いた感光性樹脂組成物R-1において、連鎖移動剤、染料ポリマー、樹脂を下記表2に記載のように変更した以外は実施例1と同様にして固体撮像素子着色パターンを形成した。得られた着色パターンを実施例1と同様にして評価した。結果を下記表2に併記する。表2に明らかなように、本発明の着色感放射線性組成物を用いて形成された着色パターンは、色むらの発生が抑制されていた。また、現像残渣も見られないことから現像性が良好であることが分かる。このように、色素多量体に含まれる色素骨格を変更した場合においても、本発明の着色感放射線組成物は優れた効果を奏することが確認された。実施例19<カラーフィルタの作製>下記顔料40部、分散剤としてDisperbyk-161ビックケミーBYK社製、30溶液50部、および溶剤としてPGMEA110部からなる混合液を、ビーズミルにより15時間混合分散して、顔料分散液P-2を調製した。P-2で用いた顔料:PigmentRed254:PigmentRed177=7:3P-3で用いた顔料:PigmentGreen36:PigmentYellow150=7:3前記分散処理した顔料分散液P2を用いて下記組成比となるよう撹拌混合し、重合性組成物の塗布液R-2を調製した。着色剤顔料分散液P-2350部重合開始剤オキシム系光重合開始剤IRGACUREOXE01、BASF社製30部TO-1382東亞合成株製25部重合性化合物東亜合成化学株製カルボキシル基含有5官能アクリレートKAYARADDPHA30部樹脂メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/共重合体モル比=70/30、重量平均分子量30000の30PGMEA溶液0.4部溶剤PGMEA200部基板密着剤3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン1部ウエハ上に、前記赤色R用着色重合性組成物R-2を用いて、1.6×1.6μmの赤色Rの着色パターンを形成した。さらに、同様にして緑色G用着色重合性組成物R-3を用いて1.6×1.6μmの緑色G、及び、上記の青色B用着色重合性組成物R-1を用いて青色Bの有彩色着色パターンを順次形成して固体撮像素子用のカラーフィルタを作製した。-評価-フルカラーのカラーフィルタを固体撮像素子に組み込んだところ、該固体撮像素子は、高解像度で、色分離性に優れることが確認された。-液晶表示装置用カラーフィルタの作製-ブラックマトリックス上に、前記赤色R用着色重合性組成物R-2を用いて、実施例1に記載の方法と同じ要領で80×80μmの赤色Rの着色パターンを形成した。さらに、同様にして緑色G用着色重合性組成物R-2を用いて緑色G、及び青色B用着色重合性組成物R-1を用いて青色Bの有彩色着色パターンを順次形成して液晶表示装置用カラーフィルタを作製した。-評価-フルカラーのカラーフィルタにITO透明電極、配向膜等の加工を施し、液晶表示装置を設けた。本発明の重合性組成物は塗布面均一性が良好で、液晶表示装置は表示ムラも無く、画質は良好であった。以上の検討から、本発明の着色感放射線性組成物は、色ムラが小さく、しかも高い現像性を有する着色パターンを形成しうることが確認された。"