"筒状のスリーブ本体、当該スリーブ本体の一端部に配設されたスプリング取付部、および外径が前記スリーブ本体の外径よりも大径に形成されて当該スリーブ本体の他端部に配設されたフランジ部を有するスリーブと、前記スリーブに対して摺動自在に挿通されたプランジャ本体、前記スプリング取付部側から突出する前記プランジャ本体の一端側に形成されたスプリング係合部、および前記フランジ部側から突出する前記プランジャ本体の他端側の先端部に配設された基板受けヘッドを有するプランジャと、前記プランジャ本体の前記一端側が挿入され、かつ一端側が前記スプリング係合部に係合されると共に他端側が前記スプリング取付部に取り付けられたコイルスプリングとを備えた基板受けピンであって、前記スリーブは、外径が前記フランジ部の外径以下の筒状に形成されて前記プランジャ本体を挿通可能に当該フランジ部における当該スリーブ本体側とは反対側に配設された摺動量制限部を備え、前記摺動量制限部は、前記基板受けヘッド上に検査基板が載置されていない常態において、当該基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面と、当該摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばした前記コイルスプリングの長さから当該常態における当該コイルスプリングの長さを差し引いた第1の長さよりも短い第2の長さだけ離間するように筒長が規定されている基板受けピン。前記プランジャは、内径が前記摺動量制限部の外径よりも大径に形成されると共に前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面から当該スリーブ側に突出するように当該基板受けヘッドに配設された筒体を備え、前記筒体は、前記常態において前記摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端部が当該筒体内に位置するように前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の前記端面からの突出長が規定されて形成されている請求項1記載の基板受けピン。請求項1または2記載の複数の基板受けピンと、前記検査基板の複数の支持位置に対応する各位置に第1取付孔がそれぞれ形成されると共に当該検査基板の複数のプロービング位置に対応する各位置に第2取付孔がそれぞれ形成された平板状のボード本体と、前記ボード本体に取り付けられた複数のコンタクトピンとを備え、前記基板受けピンは、前記ボード本体における前記検査基板の搭載面側に前記基板受けヘッドおよび前記フランジが位置するように前記スリーブが前記各第1取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられ、前記コンタクトピンは、前記検査基板と接触する先端部が前記搭載面側に位置するように前記各第2取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられているピンボードユニット。請求項3記載のピンボードユニットと、前記ピンボードユニットに対して接離動自在に前記ボード本体における前記搭載面側に配設されて、前記各基板受けピンの前記基板受けヘッド上に載置された前記検査基板を前記コイルスプリングの復元力に抗して前記ボード本体側へ押し動かして前記複数のコンタクトピンの前記先端部を前記プロービング位置に接触させるための押さえピンと、前記押さえピンを前記ピンボードユニットに対して接離動させる駆動部と、前記複数のコンタクトピンに対して検査用信号を出力すると共に、当該検査用信号の出力に起因して前記検査基板に発生する電気信号を当該複数のコンタクトピンを介して測定する測定部と、前記検査用信号および前記測定された電気信号に基づいて前記検査基板に対する検査を実行する処理部とを備えている基板検査装置。ところが、このピンボードユニット51には、以下の改善すべき課題が存在している。すなわち、このピンボードユニット51では、各基板受けピン54上に検査基板8を載置した状態において押さえユニットによって検査基板8が下向きに押さえ付けられたときに、基板受けヘッド62bにおけるスリーブ61側の端面と、フランジ部61cにおける基板受けヘッド62b側の端面とが当接するまでの長さLcの範囲内で、プランジャ62がスリーブ61に対して摺動することができるように構成されている。この場合、前述したように、検査基板8の載置等に伴って、プランジャ62がスリーブ61に対して下向きに摺動させられたときには、その摺動量に応じてコイルスプリング63が伸長させられる。この際に、コイルスプリング63が弾性限度弾性限界を超えて伸長させられたときには、コイルスプリング63に塑性変形が生じる結果、押さえユニット3による検査基板8の押さえ付けを解除したときに、いわゆる塑性伸びの分だけコイルスプリング63の全長が長くなる。この場合、コイルスプリング63の全長が塑性変形に起因して設計値よりも長くなった状態では、プランジャ62がスリーブ61に対して塑性伸びの分だけ下方に位置することとなる。したがって、仮に、ピンボードユニット51のすべての基板受けピン54において各コイルスプリング63に互いに等しい塑性伸びが生じたきには、各基板受けヘッド62bが設計値よりも下方寄りボード本体52寄りに位置することとなる。この結果、塑性伸びの量が大きいときには、押さえユニットによって検査基板8を押さえ付ける以前に、各コンタクトピン55が検査基板8に接触するおそれがあり、検査基板8の載置作業時にコンタクトピン55や検査基板8が傷付くおそれがある。また、各基板受けピン54毎のコイルスプリング63の塑性伸びにばらつきが生じた状態においては、ボード本体52の搭載面から基板受けヘッド62bの上端面までの高さLbをほぼ一定均一に設定したにも拘わらず、検査基板8の未搭載時におけるボード本体52の搭載面から基板受けヘッド62bの上端面までの高さLb図10参照にばらつきが生じた状態となるおそれがある。この結果、検査基板8の搭載時におけるボード本体52の搭載面から基板受けヘッド62bの上端面までの高さLd図8参照にばらつきが発生してピンボードユニット51に対して検査基板8が傾いた状態で搭載されるおそれがある。一方、コイルスプリング63として、その全長が十分に長いコイルスプリングを使用して基板受けピン54を構成することで、スリーブ61に対するプランジャ62の摺動に伴ってコイルスプリング63が弾性限度弾性限界を超えて伸長させられる事態コイルスプリング63が塑性変形させられる事態を回避できる可能性がある。しかしながら、そのような構成を採用した場合には、基板受けピン54の全長が長くなり、これに起因して、ボード本体52からの基板受けピン54の下方への突出長が長くなる結果、ピンボードユニット51が大形化するという問題が生じる。本発明は、かかる課題を改善すべくなされたものであり、コンタクトピンや検査基板に傷付きを生じさせることなく、検査基板をボード本体に対して平行な状態で支持し得る基板受けピン、ピンボードユニットおよび基板検査装置を提供することを主目的とする。上記目的を達成すべく請求項1記載の基板受けピンは、筒状のスリーブ本体、当該スリーブ本体の一端部に配設されたスプリング取付部、および外径が前記スリーブ本体の外径よりも大径に形成されて当該スリーブ本体の他端部に配設されたフランジ部を有するスリーブと、前記スリーブに対して摺動自在に挿通されたプランジャ本体、前記スプリング取付部側から突出する前記プランジャ本体の一端側に形成されたスプリング係合部、および前記フランジ部側から突出する前記プランジャ本体の他端側の先端部に配設された基板受けヘッドを有するプランジャと、前記プランジャ本体の前記一端側が挿入され、かつ一端側が前記スプリング係合部に係合されると共に他端側が前記スプリング取付部に取り付けられたコイルスプリングとを備えた基板受けピンであって、前記スリーブは、外径が前記フランジ部の外径以下の筒状に形成されて前記プランジャ本体を挿通可能に当該フランジ部における当該スリーブ本体側とは反対側に配設された摺動量制限部を備え、前記摺動量制限部は、前記基板受けヘッド上に検査基板が載置されていない常態において、当該基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面と、当該摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばした前記コイルスプリングの長さから当該常態における当該コイルスプリングの長さを差し引いた第1の長さよりも短い第2の長さだけ離間するように筒長が規定されている。また、請求項2記載の基板受けピンは、請求項1記載の基板受けピンにおいて、前記プランジャは、内径が前記摺動量制限部の外径よりも大径に形成されると共に前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の端面から当該スリーブ側に突出するように当該基板受けヘッドに配設された筒体を備え、前記筒体は、前記常態において前記摺動量制限部における前記フランジ部側とは反対側の端部が当該筒体内に位置するように前記基板受けヘッドにおける前記スリーブ側の前記端面からの突出長が規定されて形成されている。上記目的を達成すべく請求項3記載のピンボードユニットは、請求項1または2記載の複数の基板受けピンと、前記検査基板の複数の支持位置に対応する各位置に第1取付孔がそれぞれ形成されると共に当該検査基板の複数のプロービング位置に対応する各位置に第2取付孔がそれぞれ形成された平板状のボード本体と、前記ボード本体に取り付けられた複数のコンタクトピンとを備え、前記基板受けピンは、前記ボード本体における前記検査基板の搭載面側に前記基板受けヘッドおよび前記フランジが位置するように前記スリーブが前記各第1取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられ、前記コンタクトピンは、前記検査基板と接触する先端部が前記搭載面側に位置するように前記各第2取付孔に挿着されて当該ボード本体に取り付けられている。上記目的を達成すべく請求項4記載の基板検査装置は、請求項3記載のピンボードユニットと、前記ピンボードユニットに対して接離動自在に前記ボード本体における前記搭載面側に配設されて、前記各基板受けピンの前記基板受けヘッド上に載置された前記検査基板を前記コイルスプリングの復元力に抗して前記ボード本体側へ押し動かして前記複数のコンタクトピンの前記先端部を前記プロービング位置に接触させるための押さえピンと、前記押さえピンを前記ピンボードユニットに対して接離動させる駆動部と、前記複数のコンタクトピンに対して検査用信号を出力すると共に、当該検査用信号の出力に起因して前記検査基板に発生する電気信号を当該複数のコンタクトピンを介して測定する測定部と、前記検査用信号および前記測定された電気信号に基づいて前記検査基板に対する検査を実行する処理部とを備えている。請求項1記載の基板受けピンでは、フランジ部におけるスリーブ本体側とは反対側に摺動量制限部が設けられると共に、常態において、基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面と、摺動量制限部におけるフランジ部側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリングの長さから常態におけるコイルスプリングの長さを差し引いた第1の長さよりも短い第2の長さだけ離間するように摺動量制限部の筒長が規定されている。したがって、請求項1記載の基板受けピンによれば、基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面と、摺動量制限部におけるフランジ部側とは反対側の端面とが互いに接するまでスリーブに対してプランジャを摺動させられたとしても、コイルスプリングが第2の長さを超えて伸長させられることがないため、スリーブに対するプランジャの摺動に伴って、コイルスプリングに塑性変形が生じる事態を回避することができる。このため、この基板受けピンによれば、常態におけるコイルスプリングの長さを常態におけるコイルスプリングの長さに維持することができる結果、基板受けピン上に載置した検査基板が押さえユニット等による押さえ付けに先立ってコンタクトピンに接触してコンタクトピンや検査基板に傷付きが生じる事態を回避することができると共に、常態においてスリーブのフランジ部における基板受けヘッド側の端面から基板受けヘッドの端面までの距離を一定にすることができる。請求項2記載の基板受けピンによれば、常態において摺動量制限部におけるフランジ部側とは反対側の端部が筒体内に位置するように基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面からの突出長が規定されて、基板受けヘッドにおけるスリーブ側の端面からスリーブ側に突出するように基板受けヘッドに配設された筒体を備えたことにより、基板受けピン上に検査基板を未搭載の常態から、基板受けピン上に載置した検査基板を押さえユニット等によって押さえ付けた状態のすべての状態において、プランジャ本体における基板受けヘッド側の端部を筒体によって覆った状態とすることができる。したがって、この基板受けピンによれば、プランジャ本体における基板受けヘッド側の端部に塵埃が付着したり、プランジャ本体と摺動量制限部におけるプランジャ本体の挿通孔との間に塵埃が侵入したりするのを防止できる結果、スリーブに対してプランジャをスムーズに摺動させ得る状態を長期に亘って維持することができる。請求項3記載のピンボードユニットによれば、請求項1または2記載の複数の基板受けピンを備えたことにより、各基板受けピンにおけるコイルスプリングの常態における長さを製造当初の長さに維持することができるため、検査基板の未搭載時においても、また検査基板の搭載時においても、ピンボードユニットにおけるボード本体の搭載面から各基板受けヘッドの上端面までの高さを確実に一定に揃えることができる。したがって、このピンボードユニットによれば、搭載された検査基板をボード本体に対して、平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持することができる。請求項4記載の基板検査装置によれば、請求項3記載のピンボードユニットを備えたことにより、ボード本体に対して平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持されてピンボードユニットに搭載されている検査基板に押さえユニットをほぼ同時に接触させて、押し動かすことができるため、各押さえピンの接触および押し動かし移動の際に、各押さえピンから検査基板に対して作用している検査基板を変形させる応力を大幅に低減することができる。以下、添付図面を参照して、基板受けピン13、この基板受けピン13を備えたピンボードユニット2、およびこのピンボードユニット2を備えた基板検査装置1の実施の形態について説明する。最初に、基板検査装置1の構成について、図1を参照して説明する。基板検査装置1は、図1に示すように、ピンボードユニット2、押さえユニット3、駆動部4、測定部5、処理部6および表示部7を備え、検査基板8に対する検査を実行可能に構成されている。ピンボードユニット2は、ボード本体11、複数のガイド棒12、複数の基板受けピン13、および複数のコンタクトピン14を備えている。なお、発明の理解を容易にするため、ガイド棒12、基板受けピン13およびコンタクトピン14のいずれについても一例として2つを図示しているが、ピンボードユニット2は、実際にはこれらの各要素12,13,14のいずれについても3つ以上の任意の数を備えている。ボード本体11は、樹脂材料例えばアクリルを用いて平板状に形成されている。各ガイド棒12は、検査基板8に形成されたガイド孔8aの形成位置に対応させて、ボード本体11における検査基板8の搭載面側図1中の上面側の位置に突設されている。また、ボード本体11には、検査基板8に予め規定された複数の支持位置に対応する各位置に第1取付孔貫通孔11aが形成され、かつ検査基板8の複数のプロービング位置に対応する各位置に第2取付孔貫通孔11bが形成されている。各基板受けピン13は、後述する基板受けヘッド、およびスリーブのフランジが検査基板8の搭載面側に位置するように各第1取付孔11aに挿着されることにより、検査基板8の上記した支持位置に対応させてボード本体11に取り付けられている。各コンタクトピン14は、先端部検査基板8と接触する端部が検査基板8の搭載面側に位置するように各第2取付孔11bに挿着されることにより、検査基板8の上記したプロービング位置に対応させてボード本体11に取り付けられている。具体的には、各基板受けピン13は、図1,3に示すように、スリーブ21、プランジャ22およびコイルスプリング23を備えている。スリーブ21は、図3に示すように、スリーブ本体21a、スプリング取付部21b、フランジ部21cおよび摺動量制限部21dが一体的に形成されている。スリーブ本体21aは、筒状本例では一例として円筒状に形成されている。スプリング取付部21bは、内径がスリーブ本体21aの内径と同一で、かつ外径がスリーブ本体21aの外径よりも小径な筒状本例では一例として円筒状に形成されて、スリーブ本体21aの一端側図3中の右端側の端面にスリーブ本体21aと同軸に設けられている。この場合、スプリング取付部21bの外周面には、コイルスプリング23をねじ込んで嵌めるための取り付けるための雄ねじ部21eが形成されている。フランジ部21cは、内径がスリーブ本体21aの内径と同一で、かつ外径がスリーブ本体21aの外径よりも大径な環状本例では一例として円環状に形成されて、スリーブ本体21aの他端側図3中の左端側の端面にスリーブ本体21aと同軸に設けられている。摺動量制限部21dは、内径がスリーブ本体21aの内径と同一で、外径がフランジ部21cの外径以下の筒状本例では一例として円筒状に形成されて、フランジ部21cにおけるスリーブ本体21aとは反対側にスリーブ本体21aやフランジ部21cと同軸に設けられている。プランジャ22は、スリーブ21内スプリング取付部21b内、スリーブ本体21a内、フランジ部21c内および摺動量制限部21d内に軸線方向図3中の左右方向に沿って摺動自在に挿通された柱状本例では一例として円柱状のプランジャ本体22a、スプリング取付部21b側から突出するプランジャ本体22aの一端側の外周面に形成された突起部22b、および摺動量制限部21d側から突出するプランジャ本体22aの先端部図3中の左端部:他端側の先端部に配設された基板受けヘッド22cを備えている。プランジャ本体22aは、スプリング取付部21b側から突出する部位の先端部22dスプリング係合部の一例のみが他の部位よりも小径に形成されている。突起部22bは、一例として、プランジャ本体22aの全周に亘る環状リブに形成されると共に、この環状リブの外周面がスプリング取付部21b側に向かうに従って拡径して、スプリング取付部21bの外径と同一の状態または若干小径な状態に至るテーパ面に形成されている。基板受けヘッド22cは、一例として、外径がスリーブ21におけるスリーブ本体21aや摺動量制限部21dの外径と同程度の柱状本例では一例として円柱状に形成されると共に、図3に破線で示すように、その裏面側同図では、右側に、プランジャ本体22aの一端部を挿入可能な凹部22caが形成されている。また、基板受けヘッド22cには、内径がスリーブ21における摺動量制限部21dの外径よりも大径の筒状本例では一例として円筒状に形成されて、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面図3における右側の端面からスリーブ21側に突出させられた筒状部22cb筒体の一例が一体的に形成されている。コイルスプリング23は、一端側図3中の右端側の部位を除く他の部位がほぼ均一な内径他端側をスプリング取付部21bの外周面に形成された雄ねじ部21eにねじ込んで取り付け可能な内径に形成されている。また、コイルスプリング23の一端側の部位は、図3に示すように、内径が徐々に縮径してつまり、外径も縮径して構成されて、図4に示すように、その先端部図4中の右端側の内径が、プランジャ本体22aの先端部22dは挿通し、かつ、この先端部22dよりも大径なプランジャ本体22aの他の部位は挿通不能な寸法に形成されている。この基板受けピン13では、後述するように、スリーブ21に対するプランジャ22の摺動に伴ってコイルスプリング23が伸長させられる際に、コイルスプリング23の全長が、図7に示す長さL3を超えることのないようにスリーブ21およびプランジャ22における各部のサイズが規定されている。この場合、上記の長さL3は、コイルスプリング23を弾性限度まで伸ばしたときの長さよりも短い長さに規定されている。このため、コイルスプリング23が上記の長さL3よりも長く伸長させられたときには、コイルスプリング23に塑性変形が生じて、塑性伸びの分だけその全長が長くなる。したがって、この基板受けピン13では、図4,5に示すように、基板受けヘッド22c上に検査基板8が載置されていない常態において、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側摺動量制限部21d側の端面と、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端面すなわち、基板受けヘッド22c側の端面とが、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリング23図示せずの長さから、常態におけるコイルスプリング23の長さL1を差し引いた長さ第1の長さの一例よりも短い長さL1s第2の長さの一例だけ離間するように、スリーブ21における上記の摺動量制限部21dの長さL4筒長が規定されてプランジャ22およびスリーブ21が形成されている。これにより、この基板受けピン13では、コイルスプリング23が、上記の長さL1と長さL1sとの和の長さである長さL3を超えて伸長させられるのが阻止される。また、この基板受けピン13では、図4,5に示すように、基板受けヘッド22c上に検査基板8が載置されていない常態において、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端部が筒状部22cb内に位置するように基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面からの筒状部22cbの突出長長さL5が規定されてプランジャ22およびスリーブ21が形成されている。以上のような構成要素を備えた基板受けピン13は、一例として以下の手順で組み立てられる。まず、プランジャ本体22aの他端側図3中の左端側をスプリング取付部21b側からスリーブ21内に挿入することにより、プランジャ本体22aをスリーブ21に挿通させる。次いで、プランジャ本体22aにおけるスリーブ21の摺動量制限部21d側から突出する先端部に、ねじ込みや圧入などの方法で基板受けヘッド22cを取り付ける。この際には、図4に示すように、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端部が筒状部22cb内に位置する状態となり、プランジャ本体22aの他端側が筒状部22cbによって覆われた状態となる。続いて、スプリング取付部21b側から突出しているプランジャ本体22aにコイルスプリング23を嵌めるコイルスプリング23内にプランジャ本体22aを挿通させる。次いで、コイルスプリング23の小径な一端側図3中の右端側にプランジャ本体22aの先端部22dを挿通して、コイルスプリング23の一端側とプランジャ本体22aの一端側先端部22dとを係合させる。なお、コイルスプリング23の一端側とプランジャ本体22aの一端側先端部22dとの係合構造は、上記した従来の基板受けピン54におけるコイルスプリング63の一端側とプランジャ本体62aにおける小径な先端部62cとの係合構造と同一であることから、詳細な説明を省略する。次いで、コイルスプリング23を伸長させて、コイルスプリング23の他端側図3中の左端側をスプリング取付部21bの外周面に形成された雄ねじ部21eにねじ込んで固定する。この場合、この基板受けピン13では、突起部22bが、上記したように外周面がスプリング取付部21b側に向かうに従って拡径して最終的にスプリング取付部21bの外径と同一の状態または若干小径な状態に至るテーパ面に形成されているため、プランジャ本体22aにコイルスプリング23を嵌めるコイルスプリング23内にプランジャ本体22aを挿通させる際に、コイルスプリング23のスプリング取付部21b側の端部が突起部22bによって案内されて、スプリング取付部21bの端面端部と干渉することなく、スプリング取付部21bにスムーズにねじ込むことが可能となっている。また、スプリング取付部21bへの取り付けが完了した状態のコイルスプリング23は、取り付け前の長さL0自由長:図3参照よりも僅かに伸長させられて、図4,5に示すように、その全長が長さL1となる。これにより、図4に示すように、基板受けピン54が完成する。なお、上記の手順では、プランジャ本体22aに基板受けヘッド22cを取り付けた後に、コイルスプリング23を取り付けているが、逆に、コイルスプリング23を取り付けてから基板受けヘッド22cを取り付ける手順で組み立てもよいのは勿論である。この基板受けピン13では、上記したように、コイルスプリング23を自由長である長さL0よりも伸長させて長さL1とした状態で、スリーブ21のスプリング取付部21bとプランジャ本体22aの先端部22dとの間に配設している。このため、プランジャ本体22aには、その先端部22dをスプリング取付部21b側に移動させる向きの付勢力がコイルスプリング23から常時作用した状態となっている。また、このコイルスプリング23の付勢力復元力は、プランジャ22の自重に対して十分に強い検査基板8の搭載時に各基板受けピン13に分散して加わる検査基板8の重さを考慮したとしても強い大きさに規定されている。このため、図4に示す完成状態において、図5に示すように、基板受けピン13をスリーブ21に対してコイルスプリング23が下になるように起立させた状態においても、突起部22bは、そのスプリング取付部21b側の端面がスプリング取付部21bの端面と当接した状態図5に示す状態に維持されている。したがって、この状態において、すべての基板受けピン13では、スリーブ21のフランジ部21cにおける基板受けヘッド22c側の端面から基板受けヘッド22cの端面までの突出長距離Laが一定となっている。この基板受けピン13は、図5に示すように、ボード本体11にその厚み方向に沿って形成された第1取付孔11a内に、ボード本体11における検査基板8の搭載面側図5に示す上面側から、コイルスプリング23およびスリーブ21の順で挿入することで、第1取付孔11aに挿着される取り付けられる。一例として本例では、基板受けピン13は、フランジ部21cがボード本体11の搭載面表面に当接するまで第1取付孔11a内にスリーブ本体21aを圧入することによって挿着される。一方、図1に示すように、押さえユニット3は、一例として、平板状のベース部31および複数の押さえピン32を備え、ボード本体11における検査基板8の搭載面ピンボードユニット2における検査基板8の搭載面でもあるに対向する位置搭載面側の位置に配設されている。複数の押さえピン32は、ベース部31におけるピンボードユニット2との対向面に、一例として、ボード本体11に取り付けられた各基板受けピン13に対応する位置対向する位置に1つずつ立設されている。また、各押さえピン32のベース部31からの突出長は、同一に規定されている。駆動部4は、押さえユニット3のベース部31を、ピンボードユニット2のボード本体11と平行な状態で、かつボード本体11に対して接離動可能に保持するガイド機構例えばガイドレールと、処理部6によって制御されて、ピンボードユニット2に対してベース部31を接離動させるつまり、押さえユニット3を接離動させる駆動機構いずれも図示せずとを備えている。測定部5は、ピンボードユニット2の各コンタクトピン14に接続されている。また、測定部5は、処理部6によって制御されて、コンタクトピン14に対して検査用信号を出力すると共に、検査用信号の出力に起因して検査基板8検査基板8に形成された配線パターンや実装された電子部品などに発生する電気信号を、コンタクトピン14を介して入力して測定する。処理部6は、測定部5から出力される上記の検査用信号および測定部5で測定された上記の電気信号に基づいて、検査基板8に対する検査を実行する。例えば、測定部5が、検査基板8に形成された一対の配線パターン間に検査用信号として規定電圧の電圧信号を出力し、この配線パターン間に流れる電流信号を電気信号として測定する場合には、処理部6は、検査用信号としての電圧信号と、電気信号として測定される電流信号とに基づいて、一対の配線パターン間の絶縁抵抗を算出し、算出した絶縁抵抗を予め規定された基準抵抗値と比較することにより、一対の配線パターン間の絶縁状態を検査する。また、処理部6は、例えばディスプレイ装置で構成された表示部7に検査結果を表示させる。次に、基板検査装置1の動作について説明する。なお、図1に示すように、ボード本体11上には、検査基板8が、ガイド孔8a内にガイド棒12が挿通され、かつその支持位置に基板受けピン13のプランジャ22具体的には、基板受けヘッド22cが当接した状態で予め載置されているものとする。非検査状態においては、処理部6は、駆動部4を制御することにより、押さえユニット3を検査基板8から離間した待機位置に移動させている。検査基板8に対する検査を実行するときには、処理部6は、まず、駆動部4を制御することにより、押さえユニット3を検査基板8側図1では下方に向けて移動させる検査基板8に接近させると共に、ベース部31に取り付けられている各押さえピン32が検査基板8に当接した後には、各押さえピン32で検査基板8をボード本体11側図1中の下方に押し動かして、ボード本体11に取り付けられた各コンタクトピン14の先端部と検査基板8に規定された接触位置とが接触する検査状態図2に示す状態に移行させた後に、押さえユニット3の移動を停止させる。この場合、この基板検査装置1のピンボードユニット2に取り付けられた基板受けピン13では、上記したように、プランジャ本体22aには、その先端部22dをスプリング取付部21b側に移動させる向きの付勢力がコイルスプリング23から常時作用しており、かつその付勢力コイルスプリング23の復元力がプランジャ22の自重に対して十分に強い大きさに規定されている。このため、検査基板8の未搭載時図5に示す状態のときにおいても、また検査基板8の搭載時においても、図5に示すように、コイルスプリング23の付勢力復元力によってプランジャ22が上方に引き上げられて、プランジャ22に形成された突起部22bがスリーブ21におけるスプリング取付部21bの端面図中の下端部の端面と当接した状態に維持されている。したがって、検査基板8の未搭載時においても、また検査基板8の搭載時においても、ピンボードユニット2におけるボード本体11の搭載面から各基板受けヘッド22cの上端面までの高さLbは、すべての一定となっている。これにより、ピンボードユニット2に搭載された検査基板8は、ピンボードユニット2のボード本体11に対して平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持される。したがって、押さえユニット3の各押さえピン32が検査基板8に対してほぼ同時に接触して、検査基板8の移動を開始することができるため、各押さえピン32の接触の際、および各押さえピン32による移動の際に、各押さえピン32から検査基板8に対して作用する検査基板8を変形させる応力が大幅に低減されている。また、図2に示す状態において、各基板受けピン13では、検査基板8を介して各押さえピン32で押し動かされる結果、プランジャ22は、コイルスプリング23の付勢力復元力に抗して、基板受けヘッド22cがスリーブ21側へ接近する向きで所定距離だけ移動させられた状態、つまり、プランジャ22のプランジャ本体22aに形成された突起部22bがスリーブ21のスプリング取付部21bから離反した状態となる図6参照。しかしながら、ボード本体11とベース部31とは平行であり、かつベース部31からの押さえピン32の突出長は一定の長さに規定されているため、検査基板8は、ボード本体11に対して平行な状態で、各基板受けピン13によって支持されている。このため、ボード本体11に取り付けられた各コンタクトピン14は、検査基板8の対応するプロービング位置にほぼ均一な接触圧で接触する。次いで、処理部6は、測定部5に対する制御を実行し、コンタクトピン14を介して検査基板8に対して検査用信号を出力させると共に、コンタクトピン14を介して検査基板8からの電気信号を測定させる。続いて、処理部6は、検査用信号と電気信号とに基づいて、検査基板8に対する検査を実行し、その検査結果を表示部7に表示させる。最後に、処理部6は、駆動部4による制御を実行して、押さえユニット3を待機位置に移動させる。これにより、検査基板8に対する検査が完了する。この場合、この基板検査装置1ピンボードユニット2、基板受けピン13では、検査基板8に対する電気的検査に際して押さえユニット3によって検査基板8が押さえ付けられたときに、図6に示すように、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側摺動量制限部21d側の端面と、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端面すなわち、基板受けヘッド22c側の端面との間に長さL2sの隙間が生じている状態において、各コンタクトピン14が検査基板8の対応するプロービング位置に接触するように構成されている。この状態においては、各基板受けピン13のコイルスプリング23が、前述した長さL3よりも短い長さL2まで伸長させられる。したがって、検査基板8に対する正常な検査時には、各基板受けピン13のコイルスプリング23が長さL3を超えて伸長させられることがなく、これにより、コイルスプリング23に塑性変形が生じる事態が回避されている。一方、例えば、想定外の事故が生じて、押さえユニット3によって検査基板8が必要以上に下方まで押さえ付けられたとき一例として、複数枚の検査基板8が搬送されてピンボードユニット2上に載置されてしまったときには、図6に示す状態よりも、基板受けヘッド22cがスリーブ21側に移動させられることとなる。この結果、スリーブ21に対するスリーブ21の摺動に伴ってコイルスプリング23が、長さL2よりも長く伸長させられる。しかしながら、この基板受けピン13では、スリーブ21における上記の摺動量制限部21dの長さL4が前述したように規定されている。したがって、検査基板8基板受けヘッド22cが図6に示す状態からさらに下降させられたときには、図7に示すように、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側摺動量制限部21d側の端面と、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端面すなわち、基板受けヘッド22c側の端面とが接して、それ以上の下降スリーブ21に対するプランジャ22の摺動が阻止される。この状態におけるコイルスプリング23の長さL3が、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリング23図示せずの長さよりも短い長さであるため、想定外の事故が生じて、押さえユニット3によって検査基板8が必要以上に下方まで押さえ付けられたときであっても、コイルスプリング23に塑性変形が生じる事態が回避される。また、前述したように、この基板受けピン13では、常態において、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端部が筒状部22cb内に位置するように基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面からの突出長長さL5が規定されてプランジャ22およびスリーブ21が形成されている。したがって、非検査時において、プランジャ本体22aにおける基板受けヘッド22c側の端部が筒状部22cbによって覆われているため、この部位に塵埃が付着する事態が回避されている。なお、この基板受けピン13では、図7に示すように、スリーブ21に対してプランジャ22最も摺動させられたときには、筒状部22cbの下端部とフランジ部21cとの間に長さL3sの隙間が生じるように筒状部22cbの長さL5が規定されており、これにより、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面と、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端面とが接するのに先立って筒状部22cbが基板受けヘッド22cに接触する事態が回避されている。このように、この基板受けピン13では、フランジ部21cにおけるスリーブ本体21a側とは反対側に摺動量制限部21dが設けられると共に、常態において、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面と、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端面とが、弾性限度まで伸ばしたコイルスプリング23の長さから、常態におけるコイルスプリング23の長さL1を差し引いた長さ第1の長さよりも短い長さL1s第2の長さだけ離間するように摺動量制限部21dの長さL4筒長が規定されている。したがって、この基板受けピン13によれば、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面と、摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端面とが互いに接するまでスリーブ21に対してプランジャ22を摺動させられたとしても、コイルスプリング23が長さL1と長さL1sとの和の長さ長さL3を超えて伸長させられることがないため、スリーブ21に対するプランジャ22の摺動に伴って、コイルスプリング23に塑性変形が生じる事態を回避することができる。このため、この基板受けピン13によれば、常態におけるコイルスプリング23の長さを上記の長さL1に維持することができる結果、基板受けピン13上に載置した検査基板8が押さえユニット3による押さえ付けに先立ってコンタクトピン14に接触してコンタクトピン14や検査基板8に傷付きが生じる事態を回避することができると共に、常態においてスリーブ21のフランジ部21cにおける基板受けヘッド22c側の端面から基板受けヘッド22cの端面までの距離Laを一定にすることができる。また、この基板受けピン13によれば、常態において摺動量制限部21dにおけるフランジ部21c側とは反対側の端部が筒状部22cb内に位置するように基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面からの長さL4突出長が規定されて、基板受けヘッド22cにおけるスリーブ21側の端面からスリーブ21側に突出するように基板受けヘッド22cに配設された筒状部22cbを備えたことにより、基板受けピン13上に検査基板8を未搭載の常態から、基板受けピン13上に載置した検査基板8を押さえユニット3によって押さえ付けた状態のすべての状態において、プランジャ本体22aにおける基板受けヘッド22c側の端部を筒状部22cbによって覆った状態とすることができる。したがって、この基板受けピン13によれば、プランジャ本体22aにおける基板受けヘッド22c側の端部に塵埃が付着したり、プランジャ本体22aと摺動量制限部21dにおけるプランジャ本体22aの挿通孔との間に塵埃が侵入したりするのを防止できる結果、スリーブ21に対してプランジャ22をスムーズに摺動させ得る状態を長期に亘って維持することができる。また、このピンボードユニット2によれば、上記の基板受けピン13を複数備えたことにより、各基板受けピン13におけるコイルスプリング23の常態における長さを製造当初の長さに維持することができるため、検査基板8の未搭載時においても、また検査基板8の搭載時においても、ピンボードユニット2におけるボード本体11の搭載面から各基板受けヘッド22cの上端面までの高さLbを確実に一定に揃えることができる。したがって、このピンボードユニット2によれば、搭載された検査基板8をボード本体11に対して、平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持することができる。また、この基板検査装置1によれば、上記のピンボードユニット2を備えたことにより、ボード本体11に対して平行な状態で、かつガタの極めて少ない状態で支持されてピンボードユニット2に搭載されている検査基板8に押さえユニット3をほぼ同時に接触させて、押し動かすことができるため、各押さえピン32の接触および押し動かし移動の際に、各押さえピン32から検査基板8に対して作用している検査基板8を変形させる応力を大幅に低減することができる。なお、上記の基板受けピン13では、スリーブ21のスリーブ本体21a、スプリング取付部21bおよび摺動量制限部21dを円筒状に形成すると共に、フランジ部21cを円環状に形成する構成を採用しているが、スリーブ本体21a、スプリング取付部21bおよび摺動量制限部21dを三角筒状や四角筒状などの多角筒状に形成したり、フランジ部21cを平面視三角筒状や四角筒状などの多角筒状の環状に形成したりすることもできる。この場合、摺動量制限部21dを多角筒状に形成した場合には、摺動量制限部21dの外周面と、筒状部22cbの内周面との間に過剰に拡い隙間が生じることのないように、筒状部22cbについても多角筒状に形成するのが好ましい。また、上記の基板受けピン13では、プランジャ本体22aを円柱状に形成する構成を採用しているが、スリーブ21に対して摺動自在に装着される構成であれば、スリーブ本体21aを多角柱状に形成してもよいのは勿論である。さらに、突起部22bを環状リブに形成し、かつその外周面を上記のようなテーパ面に形成する好ましい構成を採用したが、突起部22bに代えて、外径が一定の環状リブに形成する構成を採用することもできる図示せず。なお、この場合、突起部の外径は、コイルスプリング23の内径よりも小径にする必要があり、さらにはスプリング取付部21bの外径よりも小径にするのが、コイルスプリング23をスムーズに装着可能とする観点から好ましい。また、スプリング取付部21bと当接して、プランジャ22のスリーブ21からの突出長を一定にするという突起部22bの主たる機能が確保し得る限り、図示はしないが、突起部22bは円環リブの形状に限定されず、複数の突起で構成するなど、種々の構成を採用することができる。"