電気-機械エネルギ変換素子と前記電気-機械エネルギ変換素子が固定された弾性体と前記弾性体に設けられた突起部とを備え、前記突起部に楕円運動を生成する振動子と、前記突起部に接触し前記振動子に対して相対的に移動する被駆動体と、を有する振動型アクチュエータであって、前記突起部は、前記被駆動体と接触する接触面を有する接触部と、前記弾性体の一端面に対して突出し中空構造を形成する連続した側壁部と、前記接触部と前記側壁部を連結し前記接触面の法線方向に可撓性を有する連結部と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータ。前記接触面は、前記連結部の前記被駆動体側の面よりも前記被駆動体側に突出していることを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。前記連結部は複数に分割されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型アクチュエータ。前記突起部は円筒状であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。前記接触部の厚さは、前記連結部の厚さと同じであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。前記振動子は、前記接触面を前記接触面と垂直な方向に変位させる振動モードの振動と、前記接触面を前記接触面と平行な方向に主に変位させる振動モードの振動と、が合成されることにより、前記突起部に楕円運動を生成することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。前記振動子は、前記弾性体に進行波を励起することにより前記突起部に楕円運動を生成することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。電気-機械エネルギ変換素子と前記電気-機械エネルギ変換素子が固定された弾性体と前記弾性体に設けられた突起部とを備え、前記突起部に楕円運動を生成することで被駆動体を相対的に移動させる振動子であって、前記突起部は、前記被駆動体と接触する接触面を有する接触部と、前記弾性体の一端面に対して突出し中空構造の連続した側壁部と、前記接触部と前記側壁部を連結し前記接触面の法線方向に可撓性を有する連結部と、を有することを特徴とする振動子。前記接触面は、前記連結部の前記弾性体側とは反対側の面よりも前記反対側に突出していることを特徴とする請求項8に記載の振動子。前記連結部は複数に分割されていることを特徴とする請求項8又は9に記載の振動子。前記突起部は円筒状であることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の振動子。弾性体と、前記弾性体の一端面に対して突出した側壁部と被駆動体に接触する接触部と前記接触部と前記側壁部とを連結する連結部とを有する突起部と、を備え、前記突起部に楕円運動を生成することで被駆動体を相対的に移動させる振動子の製造方法であって、弾性部材を絞り加工することにより、連続した前記側壁部と、先端部と、を有する中空の凸状部を形成する工程と、前記先端部の外周をつぶして前記連結部となる薄肉部を形成し、前記薄肉部と前記接触部となる前記先端部中央とで段差を設けた前記突起部を形成する工程と、前記弾性部材を前記振動子の形状に打抜き加工する工程と、を有することを特徴とする振動子の製造方法。弾性体と、前記弾性体の一端面に対して突出した側壁部と被駆動体に接触する接触部と前記接触部と前記側壁部とを連結する連結部とを有する突起部と、を備え、前記突起部に楕円運動を生成することで被駆動体を相対的に移動させる振動子の製造方法であって、弾性部材に絞り加工を行うことにより、連続した前記側壁部と、先端部と、を有する中空の凸状部を形成する工程と、前記先端部に絞り加工を行うことにより、前記接触部となる前記先端部の中央を前記連結部となる前記先端部の外周よりもさらに突出させ、前記接触部と前記連結部とで段差を設けた前記突起部を形成する工程と、前記弾性部材を前記振動子の形状に打抜き加工する工程と、を有することを特徴とする振動子の製造方法。前記段差を設けた後に、打抜き加工により複数に分割された連結部を形成することを特徴とする請求項12又は13に記載の振動子の製造方法。前記弾性部材に打抜き加工を行い複数の穴を形成した後、前記凸状部を形成することで複数に分割された連結部を形成することを特徴とする請求項12又は13に記載の振動子の製造方法。電気-機械エネルギ変換素子と前記電気-機械エネルギ変換素子が固定された弾性体と前記弾性体に設けられた突起部とを備え、前記突起部に接触する被駆動体を相対的に移動させる振動子の製造方法であって、弾性部材をプレス成形することにより、前記弾性部材から突出し中空構造を形成する連続した側壁部と、前記被駆動体に接触する接触面を有する接触部と、前記側壁部と前記接触部とを連結し前記接触面の法線方向に可撓性を有する連結部と、を形成する工程と、前記弾性部材を前記振動子の形状に打抜き加工する工程と、を有することを特徴とする振動子の製造方法。しかしながら、上述のような従来の構成では以下のような課題があった。特許文献1のリニア型の振動型アクチュエータは、被駆動体の移動速度を速くするためには、振動子110の被駆動体との接触面114を高くして、送り方向X方向の振動振幅を拡大する必要がある。しかし、接触面114を高くすると連結部116のX方向の剛性が弱くなり、振動速度は出ても被駆動体に駆動力を効率良く伝達できなくなる。また、突起部119が振動する振動モードの共振周波数が下がるため、不要な振動が発生しやすくなり良好なアクチュエータ性能が得られない場合がある。特許文献2の回転型の振動型アクチュエータに関しても同様に、接触面を高くすると周方向や径方向の剛性が弱くなったり、不要な振動が発生しやすくなったりする。本発明の振動型アクチュエータは、電気-機械エネルギ変換素子と前記電気-機械エネルギ変換素子が固定された弾性体と前記弾性体に設けられた突起部とを備え、前記突起部に楕円運動を生成する振動子と、前記突起部に接触し前記振動子に対して相対的に移動する被駆動体と、を有する振動型アクチュエータであって、前記突起部は、前記被駆動体と接触する接触面を有する接触部と、前記弾性体の一端面に対して突出し中空構造を形成する連続した側壁部と、前記接触部と前記側壁部を連結し前記接触面の法線方向に可撓性を有する連結部と、を有することを特徴とする。また、本発明の振動子は、電気-機械エネルギ変換素子と前記電気-機械エネルギ変換素子が固定された弾性体と前記弾性体に設けられた突起部とを備え、前記突起部に楕円運動を生成することで被駆動体を相対的に移動させる振動子であって、前記突起部は、前記被駆動体と接触する接触面を有する接触部と、前記弾性体の一端面に対して突出し中空構造の連続した側壁部と、前記接触部と前記側壁部を連結し前記接触面の法線方向に可撓性を有する連結部と、を有することを特徴とする。また、本発明の振動子の製造方法は、電気-機械エネルギ変換素子と前記電気ー機械エネルギ変換素子が固定された弾性体と前記弾性体に設けられた突起部とを備え、前記突起部に接触する被駆動体を相対的に移動させる振動子の製造方法であって、弾性部材をプレス成形することにより、前記弾性部材から突出し中空構造を形成する連続した側壁部と、前記被駆動体に接触する接触面を有する接触部と、前記側壁部と前記接触部とを連結し前記接触面の法線方向に可撓性を有する連結部と、を形成する工程と、前記弾性部材を前記振動子の形状に打抜き加工する工程と、を有することを特徴とする本発明によれば、振動型アクチュエータの突起部の接触面にZ方向のバネ性を有しつつ、突起部の側面は連続して繋がっているため、X、Y方向の剛性を確保することができ、良好なアクチュエータ性能を得ることが可能となる。以下に、図面を参照して本発明の適用できる振動型アクチュエータの形態について説明する。第1の実施形態本実施形態では、リニア型の振動型アクチュエータに適用できる振動子について説明する。まずは、その駆動原理について図9、図10を用いて説明する。図9はリニア型の振動型アクチュエータの概観斜視図である。図9において、リニア型の振動型アクチュエータ200は振動子100および被駆動体であるスライダ106によって構成されている。振動子100は矩形の薄板状に形成された電気-機械エネルギ変換素子である圧電素子105と、圧電素子105の一端面に接合された弾性体102と、弾性体102に対して凸状に形成された2つの突起部103と、を有している。図10は図9に示した振動子に励振される2つの振動モードMODE-A、MODE-Bの変形形状を示す図である。ここで、2つの振動モードは、どちらも振動子100の面外方向の曲げ振動モードであり、共振周波数が略一致するように振動子100の形状は選択されている。図10aの下2つの図は、振動子100をY方向から見た図である。MODE-Aの振動は、図10aの最下図に示すように振動の節αが3ヶ所現れる2次の曲げ振動モードであり、節は、振動子100のY方向に延びている。突起部103は、MODE-Aの振動において節となる位置近傍に配置されており、MODE-Aの振動によって矢印で示すように接触面を主にX方向接触面と平行な方向であり被駆動体の送り方向に変位させる往復運動を生じる。図10bの下2つの図は、振動子100をX方向から見た図である。MODE-Bの振動は、同図の下に示すように振動の節βが2ヶ所現れる1次の曲げ振動モードであり、節は振動子100のX方向に延びている。すなわち、MODE-Aにおける振動の節とMODE-Bにおける振動の節とが、XY平面内において互いに直交するようになっている。突起部103は、図10bに示すようにMODE-Bの振動において腹となる位置の近傍に配置されており、MODE-Bの振動によって、突起部103には矢印で示すように接触面をZ方向接触面と垂直な方向であり突上げ方向に変位させる往復運動を生じる。圧電素子105に設けられた2つの電極不図示に時間位相が略π/2異なる交流信号を入力すると、振動子100に上述したMODE-AとMODE-Bの振動が時間的位相差が略±π/2となるように励起される。この2つの振動モードの振動が合成されることにより、突起部103の接触面104には、図9のXZ面内の楕円運動が生成される。この楕円運動により接触面104に加圧接触するスライダ106は振動子100に対して相対的に移動する。ただし、本発明のリニア型の振動型アクチュエータにおいて、接触面に楕円運動を生成する方法は上記方法に限られない。例えば、上記とは異なる曲げ振動モードの振動同士を組み合わせてもよいし、弾性体をX方向に伸縮させる縦の振動モードの振動と曲げ振動モードの振動とを組み合わせてもよい。接触面を送り方向に変位させる振動モードを主とする振動と、接触面を突上げ方向に変位させる振動モードの振動との組み合わせにより、接触面に楕円運動を生成する方式であれば、どのような駆動方式を用いても良い。次に第1の実施形態の振動子の具体的な構成について説明する。図1aは本発明の第1の実施形態が適用できる振動子の斜視図であり、図1bはその突起部の断面斜視図である。本実施形態はリニア型振動型アクチュエータであり、駆動原理は上述した従来のリニア型の振動型アクチュエータの駆動方式が適用できる。図1aに示すように、振動子10は、矩形の薄板状に形成された圧電素子15と、この圧電素子15に固定された弾性体12と、弾性体12の一端面例えば、圧電素子15が接合された面とは反対側の面に凸状に設けられた2つの突起部19と、を有する。また、本発明において、突起部は1つでもよく、本実施形態のように複数設けても良い。また、突起部19は圧電素子15が接合された面と同じ側の面に設けてもよい。突起部19は、図1bに示すように弾性体12に対して突出した中空構造の矩形状の側壁部14と、不図示のスライダ被駆動体との接触面17を有する接触部16と、側壁部14と接触部16とを連結する連結部11と、を有する。また、本実施形態のように、突起部19を弾性体12に固定する場合は、弾性体12上面にレーザー溶接などで固着される固定部13を有する。側壁部14は連続しているつまり、突起部19の全周に渡って筒状につながっているため、突起部19はXY面内の方向に対して所定の剛性が確保されている。連結部11と接触部16とでは段差が設けられており、連結部11の上面は接触部16の接触面17よりも低くなっている。つまり、接触面17は、連結部11の被駆動体側の面弾性体側とは反対側の面よりも被駆動体側弾性体側とは反対側に突出している。このような構造とすることにより、スライダが連結部11と接触しないようになっている。また連結部11は、接触部16に比べて薄くなっており、さらに、穴部18により2つに分割されて幅が狭くなっているため、Z方向の剛性を下げてバネ性可撓性を持たせている。なお連結部11は、厚さを減じるだけで所定のバネ性が得られる場合は、穴部18によって複数に分割する必要はない。以上のような構成にすることで、突起部19はZ方向接触面の法線方向のバネ性を有しているため振動子10とスライダはなめらかな接触が実現できる。また、高速化のために突起部19の高さを高くしても、突起部19は周囲が連続した側壁部14によりスライダの駆動方向であるX方向の剛性が確保されているため、振動子10の駆動力を効率良くスライダに伝達することができる。さらに突起部19は、バネ性を有する部分が突起部の先端であるため、その振動モードの共振周波数は振動子10の駆動周波数より充分高くなり、良好なアクチュエータ性能を得ることができる。第2の実施形態本実施形態の振動子は、突起部が円筒形状をしている点が第1の実施形態と異なる。図2aは本発明の第2の実施形態が適用できる振動子の斜視図であり、図2bは振動子の突起部の断面斜視図である。本実施形態もリニア型の振動型アクチュエータであり、駆動原理は従来のリニア型の振動型アクチュエータと同様であるため、その説明を省略する。図2aに示すように、振動子20は、圧電素子25と、圧電素子25に固定された弾性体22と、弾性体22の一端面に凸状に設けられた2つの突起部29と、を有する。突起部29は、図2bに示すように弾性体22から突出するように設けられた円筒状の側壁部24と、不図示のスライダとの接触面27を有する接触部26と、側壁部24と接触部26とを連結する連結部21と、を有する。また、側壁部24は、固定部23を介してレーザー溶接などで弾性体22と固着されている。側壁部24は突起部29の全周に渡って連続しているため、突起部29はXY面内の方向に対して所定の剛性が確保されている。連結部21と接触部26は段差が設けられており、連結部21の上面は接触部26の接触面27よりも低くなっているため、スライダが連結部21と接触しないようになっている。また連結部21は、接触部26に比べて厚さが接触部26に比べて薄くなっており、さらに、穴部28により4つに分割されて幅が狭くなっているため、Z方向の剛性を下げて所定のバネ性を持たせている。なお連結部21は、厚さを減じるだけで所定のバネ性が得られる場合は、穴部28によって分割する必要はない。このような構成にすることで、突起部29はZ方向のバネ性を有しているため振動子20とスライダはなめらかな接触が実現できる。また、高速化のために突起部29の高さを高くしても、突起部29は側壁部24によりスライダの駆動方向であるX方向の剛性が確保されているため、振動子20の駆動力を効率良くスライダに伝達することができる。さらに突起部29は、バネ性を有するのが突起部先端であるため、その振動モードの共振周波数は振動子20の駆動周波数より充分高くなり、良好なアクチュエータ性能を得ることができる。また、本実施形態においては、突起部29は円筒形状をしているため、第1実施形態と比べてさらに側壁部24の剛性を高くすることができる。第3の実施形態本実施形態の振動子は、接触部の厚さが連結部の厚さと同等で第2の実施形態の接触部と比べて体積が小さい。図3aは本発明の第2の実施形態が適用できる振動子の断面斜視図であり、図3bは振動子の突起部の断面斜視図である。本実施形態もリニア型の振動型アクチュエータであり、駆動原理は従来のリニア型の振動型アクチュエータと同様であるため、その説明を省略する。図3aに示すように、振動子30は、圧電素子35と圧電素子35が固定された弾性体32と、弾性体32の一端面に設けられた凸状の2つの突起部39と、を有する。突起部39は、図3bに示すように円筒状の側壁部34と、不図示のスライダとの接触面37を有する接触部36と、側壁部34と接触部36とを連結する連結部31と、を有する。また、側壁部34は、固定部33を介してレーザー溶接などで弾性体32と固着されている。連結部31と接触部36は段差が設けられており、連結部31の上面は、接触面37よりも低くなっているため、スライダが連結部31と接触しないようになっている。また連結部31は、穴部38により4つに分割して幅を狭くすることにより、Z方向の剛性を下げて所定のバネ性を持たせている。なお連結部31と接触部36との段差は、突起部39の先端部を絞り加工することにより形成されている。そのため、接触部36の厚さは連結部31の厚さと同等で第2の実施形態の接触部26と比べて体積が小さい。そのため、突起部29の振動モードの共振周波数を第2の実施形態に比べてさらに高くすることができる。第4の実施形態本実施形態の振動子は、回転型の振動型アクチュエータの振動子に関する。回転型の振動型アクチュエータは、主に進行波を振動子に励起して振動子の突起部に楕円運動を生成するものであり、振動子の構成及び駆動原理は、特許文献2などで数多く開示されているので、ここでは説明を省略する。図4は本発明の第4の実施形態が適用できる振動子の模式図であり、図2、図3に示した突起部29、39を回転型の振動型アクチュエータの振動子に適用したものである。図4に示すように、振動子40はリング状の圧電素子45と、圧電素子45が固定された弾性体42と、弾性体42の一端面に設けられた凸状の多数の突起部49と、を有する。このような構成にすることで、突起部49はZ方向のバネ性を有することとなり振動子40と被駆動体であるロータ不図示はなめらかな接触が実現できる。また、高速化のために突起部49の高さを高くしても、突起部49は振動子40の駆動力を効率良くロータに伝達することができる。第5の実施形態本実施形態の振動子は、弾性体と突起部とが同じ弾性部材により一体的に形成されている。それ以外の構成は第2の実施形態と同様であり、駆動原理も従来のリニア型の振動型アクチュエータと同様である。図5aは第5の実施形態が適用できる振動子の斜視図であり、図5bは突起部の断面斜視図である。図5aに示すように、振動子50は圧電素子55と、圧電素子55が固定された弾性体52と、弾性体52の一端面に設けられた凸状の2つの突起部59と、を有する。弾性体52と突起部59とは一体的に連続して形成されている。突起部59は、図5bに示すように円筒状の側壁部54と、不図示のスライダとの接触面57を有する接触部56と、側壁部54と接触部56とを連結する連結部51とを有し、連結部51は穴部58により4つに分割されている。連結部51の上面は接触面57より低くなるよう段差が設けられており、スライダが連結部51と接触しないようになっている。また、弾性体52は、突起部59との接続部薄肉部53において、Z方向の厚みが薄くなっている。なお、連結部51は厚さを減じるだけで所定のバネ性が得られる場合は、穴部58によって分割する必要はない。図12aは穴部58がない第5の実施形態の変形例を示す振動子の斜視図であり、図12bは突起部の断面斜視図である。振動子501は圧電素子551と、圧電素子551が固定された弾性体521と、弾性体521の一端面に設けられた凸状の2つの突起部591と、を有する。弾性体521と突起部591とは一体的に連続して形成されている。突起部591は、図5bに示すように円筒状の側壁部541と、不図示のスライダとの接触面571を有する接触部561と、側壁部541と接触部561とを連結する連結部511とを有する。連結部511には穴部はない。連結部511の上面は接触面571より低くなるよう段差が設けられており、スライダが連結部511と接触しないようになっている。連結部511の下面スライダとは反対側の面と接触部561の下面の高さは同じである。また、弾性体521は、突起部591との接続部薄肉部531において、Z方向の厚みが薄くなっている。このように、連結部511に穴部がない形状にすると、突起部591はXY面内の方向に対してさらに高い剛性が確保できるため効率向上がはかれる。また、突起部591の先端に設けられたバネ性を有する連結部511が振動する振動モードの共振周波数もさらに高くなるため、不要な振動を抑えることができる。次に、弾性体52と突起部59の製造方法を説明する。図6に弾性部材の板材から最終形状にプレス成形する工程を示す。以下、各工程について説明する。第1工程は、図6aに示す弾性部材であるステンレス等の金属の板材52aに絞り加工により2つの中空の凸状部後に突起部となるを形成する。絞り加工は板材52aが割れないように、何段階かに分けて少しずつ行うとよい。図6bはその途中段階の状態を示し、円筒状の連続した側壁部54bと、後に連結部と接触部になる先端部51b56bと、からなる凸状部59bが形成される。なお、絞り加工によって凸状部59bを設けるために、側壁部54bの周囲をつぶして薄肉部53bとし、その減肉分を側壁部54bに流動させている。通常は、側壁部54bの肉厚は板材52a52bより薄くなる。図6cは絞り加工の最終段階の状態を示し、円筒状の連続した側壁部54c、連結部51cおよび接触部56cからなる突起部59cが形成される。連結部51cは、絞り加工とともに、図6bの先端部51bの外周部分を凸状部を突出させた向きとは反対側に加圧するつぶし加工を行うことで、先端部中央の接触部56cと段差を有する板厚の薄い薄肉部連結部51cを設けている。これによって接触面57cに接触する不図示のスライダは、連結部51cとは接触しない。また、連結部51cは板厚が薄いのでバネ性を有することになる。なお、接触部56cと連結部51cとの段差は、図3bのように先端部51bにさらに絞り加工を行い、接触部となる先端部51bの中央を連結部となる先端部51bの外周よりもさらに突出させることにより設けてもよい。第2工程は、連結部51cに所定のバネ性を持たせるための打抜き加工であり、図6d、図6eにその様子を示す。本実施形態では、連結部は4ヶ所に分割されて幅が小さくなっているため、一度に打抜き加工を行うと割れや変形の可能性がある。そのため、打抜き加工を2段階に分けている。図6dは4ヶ所のうち対向する2ヶ所を打抜き加工し、穴部58dを形成する。その後、図6eに示すように残りの2ヶ所を打抜き加工し、穴部58eにより所定のバネ性を有する複数の連結部51eを形成する。なお本工程は、連結部が分割されなくても所定のバネ性が得られる場合は不要となる。最後の第3工程は、図6eの弾性部材52eを振動型アクチュエータとして機能する振動子の形状にするための外形打抜き加工であり、弾性体の最終形状を図6fに示す。弾性体52fは、図5aに示すようにXY面内における矩形状の弾性体の形状に打抜き加工されてもよく、図6fに示すように、弾性体を台座不図示に固定する支持部521を弾性体の側面に設ける場合は、弾性体と支持部とからなる形状に打抜くとよい。本発明において振動子の形状とは、圧電素子が接合される面内XY面内における弾性体の形状、又は、圧電素子が接合される面内における弾性体と支持部とからなる形状、を示す。支持部521は、図6fに示すように弾性体の長手方向両側等、弾性体52fの振動を阻害しない位置に設けるとよく、また形状も弾性体52fの振動を阻害しないような形状にするとよい。以上示したように、第1から第3の工程で説明した一体プレス加工により、突起部59fが一体になった弾性体52fが形成される。そして、この弾性体52fに圧電素子を接合することにより振動子が形成される。第6の実施形態本実施形態の振動子は、連結部が突起部の先端だけでなく、側面まで達している。また、それ以外の構成は第5の実施形態と同様であり、駆動原理も従来のリニア型の振動型アクチュエータと同様である。図7aは第6の実施形態の振動子の斜視図であり、図7bは突起部の断面斜視図である。図7aに示すように、振動子60は圧電素子65と、圧電素子65が固定された弾性体62と、弾性体62の一端面に設けられた2つの突起部69と、を有する。弾性体62と突起部69とは一体的に連続して形成されている。突起部69は、図7bに示すように円筒状の側壁部64と、不図示のスライダとの接触面67を有する接触部66と、側壁部64と接触部66とを連結する連結部61とからなる。連結部61の上面は接触面67よりも低くなるよう段差が設けられており、スライダが連結部61と接触しないようになっている。また、連結部61は、厚さを減じるとともに穴部68により複数に分割して幅を狭くすることにより、Z方向の剛性を下げて、所定のバネ性を持たせている。本実施形態では、連続した側壁部64は突起部69の根元のみに形成され、連結部61を分割する穴部68は突起先端だけでなく側面にまで達している。したがって、連結部61はZ方向だけでなく、XY面内方向にも若干のバネ性を有する。これは振動子60の振動のXY面内成分が大きい場合に、スライダとの接触をなめらかにするのに有効である。また、弾性体62は、突起部69との接続部薄肉部63において、Z方向の厚みが薄くなっている。次に、弾性体62と突起部69の製造方法を説明する。図8に弾性部材の板材から最終形状にプレス成形する工程を示す。以下、各工程について説明する。第1工程は、図8aに示す弾性部材であるステンレス等の金属の板材62aを打抜き加工することにより、図8bに示すような複数の穴部68bを形成した板材62bを用意する。第2工程は、図8bに示す板材62bを絞り加工することにより2つの凸状部後に突起部となるを形成する。絞り加工は板材62bが割れないように、何段階かに分けて少しずつ行うとよい。図8cはその途中段階の状態を示し、円筒状の連続した側壁部64c、後に接触部と連結部となる先端部先端部中央66cと先端部の外周部61cが形成される。連結部となる先端部外周部61cはあらかじめ第一工程で形成された穴部68cによって、複数に分割されている。なお、絞り加工によって凸状部69cを設けるために、側壁部64cの周囲をつぶして薄肉部63cとし、その減肉分を側壁部64cに流動させている。通常は、側壁部64cの肉厚は板材62a62cより薄くなる。図8dに絞り加工の最終段階の状態を示す。これにより、円筒状の連続した側壁部64dと、穴部68dにより複数に分割された連結部61dと、接触部66dと、からなる突起部69dが形成される。連結部61dは絞り加工とともにつぶし加工を行うことで、接触部66dと段差を設けて板厚を薄くしている。これによって連結部61dの上面よりも接触面67dのほうが高くなり、接触面67dに接触する不図示のスライダは、連結部61dとは接触しない。また、連結部61dは板厚が薄く複数に分割されているためZ方向に所定のバネ性を有しているとともに、側面も一部分割されているためXY方向にも若干バネ性を有している。なお、接触部66dと連結部61dとの段差は、図3bのように突起部先端をさらに絞り加工することにより設けてもよい。最後の第3工程は、第5の実施形態と同様に、図8dの弾性部材62dを振動型アクチュエータとして機能する振動子の形状にするための外形打抜き加工であり、弾性体の最終形状を図8eに示す。弾性体62eは、図7aに示すようにXY面内における矩形状の弾性体の形状に打抜き加工されてもよく、図8fに示すように支持部621を設ける場合は、矩形の弾性体と支持部とからなる振動子の形状に打抜くと良い。以上のようにして、第1から第3の工程の一体プレス加工により、突起部69eが一体になった弾性体62eが形成される。そして、この弾性体62eに圧電素子を接合することにより振動子が形成される。