回転可能に配置されたサンギアと、前記サンギアと同芯に回転可能に配置され、前記サンギアより大きなピッチ円径を備え、前記サンギアとの間に環状領域を形成するインターナルギアと、前記環状領域内に回転可能に配置された環状の下定盤と、前記環状領域内であって前記下定盤の上側に回転可能に配置された環状の上定盤と、前記環状領域内において前記サンギア、及び前記インターナルギアと噛合するギア部を有し、かつ保持したワークが前記上定盤と前記下定盤との間に挟まれるように配置されているキャリアと、前記下定盤、前記上定盤、前記サンギア、及び前記インターナルギアを夫々予め定めた回転方向、及び速度で回転させ、前記キャリアで保持したワークの両面を前記下定盤、及び前記上定盤で夫々前記ワークを研磨し、前記ワークの研磨を行った後、前記ワークの研磨に使用した前記サンギアに代えて、前記サンギアのピッチ円径より小さいピッチ円径を備えている修正用サンギアを配置し、前記修正用サンギアと、前記インターナルギアと前記修正用サンギアとの間に形成される環状領域に前記キャリアのピッチ円径より大きいピッチ円径を有し、且つ前記修正用サンギアと前記インターナルギアに噛み合うギア部を有した修正キャリアを配置し、前記下定盤、前記上定盤、前記サンギア、及び前記インターナルギアを予め定めた回転方向、及び回転速度で回転して、前記下定盤、及び前記上定盤の研磨を行うことを特徴とする両面研磨方法。前記下定盤と前記上定盤とは、前記修正キャリアの公転による相対速度を等しくするよう、異なる回転速度で逆方向に駆動されることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨方法。回転可能に配置されたサンギアと、前記サンギアと同芯で回転可能に配置され、前記サンギアより大きなピッチ円径を備え、前記サンギアとの間に環状領域を形成するインターナルギアと、前記環状領域内に回転可能に配置された環状の下定盤と、前記環状領域内であって、前記下定盤内の上側に回転可能に配置している環状の上定盤と、前記環状領域内において前記サンギア、及び前記インターナルギアと噛合するギア部を有し、かつ保持したワークが前記上定盤と前記下定盤との間に挟まれるように配置されたているキャリアと、を備え、前記下定盤、前記上定盤、前記サンギア、及び前記インターナルギアを夫々予め定めた回転方向、及び速度で回転して、前記キャリアに保持したワークの両面研磨動作を行う両面研磨装置において、前記下定盤、及び前記上定盤の修正動作を行うに際して前記両面研磨動作における前記サンギアに代えて配置可能であり、前記サンギアよりピッチ円が小さい修正用サンギアを備えていることを特徴とする両面研磨装置。前記修正用サンギアと、前記両面研磨動作時に使用するサンギアと、を同一の回転軸に配置すると共に、前記修正動作時に前記回転軸を軸方向に移動して、前記修正用サンギアを前記両面研磨動作に使用したサンギアの位置に配置する回転軸移動手段を備えていることを特徴とする請求項3に記載の両面研磨装置。前記回転軸移動手段は、前記回転軸を軸方向に移動させる流体圧シリンダーを備えていることを特徴とする請求項4に記載の両面研磨装置。前記回転軸移動手段は、前記回転軸を軸方向に移動させる電動機を備えていることを特徴とする請求項4に記載の両面研磨装置。前記回転軸移動手段は、前記回転軸を軸方向に移動させる手動移動機構を備えていることを特徴とする請求項4に記載の両面研磨装置。前記ワークは、水晶ウエハーであることを特徴とする請求項4乃至7の何れか一項に記載の両面研磨装置。上述のように、修正キャリアの自転により、上定盤、及び下定盤の修正キャリアに対する相対速度に差が発生するため、修正キャリアを使用して上定盤、及び下定盤を修正するに際しては、上下両定盤を均等に修正できない。この相対速度の差は、定盤の内側に行くに従って大きくなるためである。図10は修正キャリアの外周位置での相対速度を示すものであり、aは相対速度を示すグラフ、bは修正キャリアの外周位置を示す模式図である。図10aのグラフは、同図bに示した各位置0°~360°における相対速度を表示している。修正キャリアに対する相対速度は、図10aに示すように、キャリアの内側180°付近と外側0°及び360°付近とで異なり、上下両定盤210、220の修正キャリア230に対する相対速度の差は、内側の180°で最大となることがわかる。この相対速度の差により、上下両定盤の修正の状態が異なることとなる。そして、この相対速度の差は、上下定盤の方向、速度、及び修正キャリアの自転、公転方向、速度をどのような値に調整しても発生することとなる。本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、修正キャリアを用いて下定盤、及び上定盤の各研磨面を修正するに際して、上下両定盤の修正状態をできるかぎり同じとし、マッチングのとれた定盤面を形成して、ワークを高精度で両面研磨できる両面研磨方法、及び両面研磨装置を提供することを目的とする。本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]本適用例の両面研磨方法は、回転可能に配置されたサンギアと、前記サンギアと同芯に回転可能に配置され、前記サンギアより大きなピッチ円径を備え、前記サンギアとの間に環状領域を形成するインターナルギアと、前記環状領域内に回転可能に配置された環状の下定盤と、前記環状領域内であって前記下定盤の上側に回転可能に配置された環状の上定盤と、前記環状領域内において前記サンギア、及び前記インターナルギアと噛合するギア部を有し、かつ保持したワークが前記上定盤と前記下定盤との間に挟まれるように配置されているキャリアと、前記下定盤、前記上定盤、前記サンギア、及び前記インターナルギアを夫々予め定めた回転方向、及び速度で回転させ、前記キャリアで保持したワークの両面を前記下定盤、及び前記上定盤で夫々前記ワークを研磨し、前記ワークの研磨を行った後、前記ワークの研磨に使用した前記サンギアに代えて、前記サンギアのピッチ円径より小さいピッチ円径を備えている修正用サンギアを配置し、前記修正用サンギアと、前記インターナルギアと前記修正用サンギアとの間に形成される環状領域に前記キャリアのピッチ円径より大きいピッチ円径を有し、且つ前記修正用サンギアと前記インターナルギアに噛み合うギア部を有した修正キャリアを配置し、前記下定盤、前記上定盤、前記サンギア、及び前記インターナルギアを予め定めた回転方向、及び回転速度で回転して、前記下定盤、及び前記上定盤の研磨を行うことを特徴とする。本適用例によれば、下定盤、及び上定盤を、修正キャリアで修正するに際して、下定盤の修正キャリアに対する相対速度と、上定盤の修正キャリアに対する相対速度との差が小さい修正キャリアの外側領域で修正をすることができ、上下両定盤の修正状態が大きく異なる状態となることがないマッチングのとれた定盤面を得ることができ、高精度の両面研磨を行うことができる。[適用例2]本適用例の両面研磨方法は、前記下定盤と前記上定盤とは、前記修正キャリアの公転による相対速度を等しくするよう、逆方向の異なる回転速度で駆動されることを特徴とする。本適用例によれば、修正キャリアの公転による上下両定盤の相対速度が等しくなり、上下両定盤の修正量のばらつきを少ないものとすることができる。[適用例3]本適用例の両面研磨装置は、回転可能に配置されたサンギアと、前記サンギアと同芯で回転可能に配置され、前記サンギアより大きなピッチ円径を備え、前記サンギアとの間に環状領域を形成するインターナルギアと、前記環状領域内に回転可能に配置された環状の下定盤と、前記環状領域内であって、前記下定盤内の上側に回転可能に配置している環状の上定盤と、前記環状領域内において前記サンギア、及び前記インターナルギアと噛合するギア部を有し、かつ保持したワークが前記上定盤と前記下定盤との間に挟まれるように配置されたているキャリアと、を備え、前記下定盤、前記上定盤、前記サンギア、及び前記インターナルギアを夫々予め定めた回転方向、及び速度で回転して、前記キャリアに保持したワークの両面研磨動作を行う両面研磨装置において、前記下定盤、及び前記上定盤の修正動作を行うに際して前記両面研磨動作における前記サンギアに代えて配置可能であり、前記サンギアよりピッチ円が小さい修正用サンギアを備えていることを特徴とする。本適用例によれば、下定盤、及び上定盤を、修正キャリアで修正するに際して、下定盤の修正キャリアに対する相対速度と、上定盤の修正キャリアに対する修正速度との差が小さい外側の領域で修正をするため、上下両定盤の修正状態が大きく異なる状態となることがないマッチングのとれた定盤面を得ることができ、高精度の両面研磨を行うことができる。[適用例4]本適用例の両面研磨装置は、前記修正用サンギアと、前記両面研磨動作時に使用するサンギアと、を同一の回転軸に配置すると共に、前記修正動作時に前記回転軸を軸方向に移動して、前記修正用サンギアを前記両面研磨動作に使用したサンギアの位置に配置する回転軸移動手段を備えていることを特徴とする。本適用例によれば、研磨動作に使用するサンギアと修正用サンギアと入れ替えは、回転軸移動手段で回転軸を移動させるだけでよく、容易に行うことができる。[適用例5]本適用例の両面研磨装置は、前記回転軸移動手段は、前記回転軸を軸方向に移動させる流体圧シリンダーを備えたことを特徴とする。本適用例によれば、研磨動作に使用するサンギアと修正用サンギアと入れ替えを流体圧シリンダー、例えば空気圧シリンダーや油圧シリンダーの駆動で容易に行うことができる。[適用例6]本適用例の両面研磨装置は、前記回転軸移動手段は、前記回転軸を軸方向に移動させる電動機を備えたことを特徴とする。本適用例によれば、研磨動作に使用するサンギアと修正用サンギアと入れ替えを電動機で行うので、大がかりな機構や制御装置を必要としない。[適用例7]本適用例の両面研磨装置は、前記回転軸移動手段は、前記回転軸を軸方向に移動させる手動移動機構を備えたことを特徴とする。本適用例によれば、研磨動作に使用するサンギアと修正用サンギアと入れ替えを手動で行うので本適用例によれば、研磨動作に使用するサンギアと修正用サンギアと入れ替え手動機構で行うので、大がかりな装置を必要としない。[適用例8]本適用例の両面研磨装置は、前記ワークは、水晶ウエハーであることを特徴とする。以下、本発明に係る両面研磨方法、及び両面研磨装置を図面に示した実施の形態に基づいて詳細に説明する。まず、本実施形態に係る両面研磨装置の基本的構成について説明する。図1、及び図2は本発明の一実施形態に係る両面研磨装置の基本構成を示すものであり、図1aは研磨時の状態を示す断面図、bは修正時の状態を示す断面図であり、図2aは研磨時の状態を示す平面図、bは修正時の状態を示す平面図である。本実施形態に係る両面研磨装置50は、研磨用サンギア111、及び修正用サンギア112を備えたサンギア部材110と、サンギア部材110と同芯状に回転可能に形成され、研磨用サンギア111のピッチ円径Raより大きなピッチ円径を備え、研磨用サンギア111との間に環状領域121を形成したインターナルギア22とを備える。また、両面研磨装置50は、環状領域121に配置された下定盤20と、下定盤20の上方に所定の間隔を隔てて対向配置された上定盤30とを備える。サンギア部材110の研磨用サンギア111はワーク11の研磨時に使用する。また、修正用サンギア112は、下定盤20、及び上定盤30の修正時に使用する。研磨用サンギア111と修正用サンギア112とは、回転軸である中空軸41の上部に同芯状に配置されている。また、研磨用サンギア111のピッチ円径Raは、修正用サンギア112のピッチ円径Rbよりも小さく構成されるRa<Rb。中空軸41は、例えば後述するエアシリンダー90により軸方向へ進退駆動され、軸方向へ進退することによりサンギア部材110を軸方向へ進退させる。ワーク研磨時には研磨用サンギア111がインターナルギア22の配置面に配置され図1a、両定盤20、30の修正時には、修正用サンギア112がインターナルギア22の配置面に配置される同図bよう駆動される。各サンギア111、1112が夫々インターナルギア22の配置面に切替え配置されることにより、各サンギアの外周ギア部がインターナルギア22の内周ギア部と対向し、後述するキャリア外周のギア部と噛合可能な位置関係となる。両面研磨装置50によりワーク11の上下両面の研磨を行うときには、図1a、及び図2aに示すように、下定盤20と上定盤30との間にワーク11を保持したキャリアである研磨キャリア10を配置し、キャリア外周のギア部を研磨用サンギア111とインターナルギア22に対して同時に噛み合わせる。また、両面研磨装置50により下定盤20、及び上定盤30の研磨面の修正を行うときには、図1b、及び図2bに示すように、下定盤20と上定盤30との間に修正キャリア120を配置し、その外周ギア部を研磨用サンギア111とインターナルギア22に噛み合わせる。研磨キャリア10は、ワーク11を保持する複数の基材保持孔としてのワーク保持孔を有するピッチ円形raの円盤状の部材である。また、研磨キャリア10は、ワーク11を研磨することにより得られる研磨上がりのワーク11の厚み目標値よりも薄い板厚で形成される。例えば、研磨キャリア10としては、厚さ80μm以下のSK材炭素工具鋼鋼材製の部材が使用される。また、修正キャリア120は、研磨キャリア10のピッチ円径raよりも大径のピッチ円径rbを備える円盤状の部材であり、厚さ寸法も大きいものである。修正キャリア120は厚さ20~30mm程度の鋳鉄、ステンレス鋼、黄銅などの部材が使用される。また、修正キャリア120は、研磨材を良好に保持する穴部を備える。下定盤20と上定盤30とは、環状領域121内で反対方向に所定速度で回転駆動される。また、インターナルギア22とサンギア部材110は、所定の方向に所定の速度で回転駆動される。両面研磨装置50によりワーク11を研磨するとき、サンギア部材110はエアシリンダー90等の駆動源によって持ち上げられ、研磨用サンギア111が環状領域121内に位置決めされる。また所定数の研磨キャリア10が下定盤20と上定盤30との間の環状領域121内に配置される。研磨キャリア10の外周のギア部は、研磨用サンギア111とインターナルギア22とに噛み合わされ、研磨用サンギア111とインターナルギア22との回転により、研磨キャリア10は、遊星歯車として公転、及び自転する。これにより、ワーク11の両面を下定盤20、及び上定盤30で研磨する。また、両面研磨装置50により両定盤20、30の研磨面の修正を行うとき、図1aの位置研磨位置にあったサンギア部材110は下降され、所定数の修正キャリア120が下定盤20、及び上定盤30の間の環状領域121内に配置され、外周ギア部が修正用サンギア112とインターナルギア22に噛み合わされ、修正用サンギア112とインターナルギア22との回転により、修正キャリア120は、遊星歯車として公転、及び自転する。これにより、下定盤20、及び上定盤30の研磨面を修正キャリア120により修正する。本実施形態に係る両面研磨装置50では、研磨面の修正時に、研磨用サンギア111のピッチ円径Raよりも小さいピッチ円径Rbの修正用サンギア112を使用すると共に、研磨に使用する研磨キャリア10のピッチ円径raより大径のピッチ円径rbの修正キャリア120を使用する。このため、下定盤20、及び上定盤30には、修正キャリア120の内側部分図2bの斜線部120aが接触せず、下定盤20、及び上定盤30は、修正キャリア120の外側部分にだけ接触して修正される。次に、修正時における下定盤20、及び上定盤30の修正キャリア120に対する相対速度について説明する。上述のように、下定盤20、及び上定盤30の回転による速度は、内周よりも外周の方が大きく、また、修正キャリア120の公転速度に起因する相対速度を考慮し、下定盤20と上定盤30との速度を逆方向に適正に選ぶ必要がある。また、上述のように、修正キャリア120の自転に起因する相対速度も内周と外周とでは方向が反対となる。このため、下定盤20、及び上定盤30の修正キャリア120の各位置に対する相対速度は、下定盤20の回転、上定盤30の回転、修正キャリア120の公転、修正キャリア120の自転を考慮した式で表される。ここでは、修正キャリア120の周縁の各位置における相対速度を検討する。数値計算の結果、修正キャリア120の周縁の各位置における相対速度は以下のようになる。図3は実施形態に係る両面研磨装置の上下両定盤の修正キャリアに対する相対速度を示すものであり、a相対速度を示す表、bは相対速度を示すグラフ、cは修正キャリアの周縁位置を示す模式図、図4は下定盤と上定盤のキャリアに対する相対速度の差を示す図であり、aはキャリアを使用した場合を示す模式図、bは修正キャリア1を使用した場合を示す模式図である。図3に示した値は、上定盤30:外径380mm、内径130mm、幅中心255mm、回転-10rpm下定盤20:外径380mm、内径130mm、幅中心255mm、回転30rpm修正キャリア120:半径70mm、公転10rpm、自転-2.424rpm、周速17.6mm/sec、PCDピッチ円直径139.3mm、Z歯数66修正用サンギア112:回転数13.5rpm、PCDピッチ円直径127mm、Z歯数80インターナルギア22:回転数10rpm、Z歯数192、に基づいて計算したものである。図3a、bの値は、cに示す修正キャリアの外周の0°~360°における上定盤、及び下定盤の修正キャリアに対する相対速度mm/minを示している。図3a、bから、修正キャリア120の内側、すなわち180°付近において、下定盤20、及び上定盤30の修正キャリア120に対する相対速度差が大きいことがわかる。すなわち、図4に示すように、下定盤20と上定盤30の修正キャリア120に対する相対速度の差Δv1は、下定盤20と上定盤30の研磨キャリア10に対する相対速度の差Δv0より小さくなる。実施形態に係る両面研磨装置50では、両定盤20、30の修正時、相対速度の差が大きい修正キャリア120の内側部分図2bの斜線部120aを下定盤20、及び下定盤20に接触させない。このため、下定盤と上定盤の相対速度のキャリアに対する相対速度の差が小さい領域において修正を行うこととなり、両定盤20、30の修正状態の相違を少なくすることができる。なお、修正用サンギア112、及び修正キャリア120の大きさ、すなわちピッチ円径は、両定盤20、30の速度、修正用サンギア112、及びインターナルギア22の回転速度等の修正条件により異なるため、一義的に決定することはできない。修正後の両定盤20、30の平面度が予め定めた基準値、例えば0.5μm以下になる各条件を実験等で求める。次に、両面研磨装置50の具体的構成例について説明する。図5は発明の一実施形態に係る両面研磨装置の構成を示す断面図、図6は本実施形態に係る両面研磨装置のサンギア部材を示すものであり、aは縦断面図、bはa中のL-L線に相当する断面図である。本実施形態において、両面研磨装置50は、研修キャリア10に設けたワーク保持孔内に保持された水晶ウエハー等のワークの両面を研磨する。両面研磨装置50は、サンギア部材110と、インターナルギア22と、下定盤20と、上定盤30とを備え、これらの回転部材110、22、20、30を独立に駆動可能としている。また、両面研磨装置50の上定盤30には、スラリー供給手段の一部としてのスラリー供給部分図示していないを備えている。サンギア部材110には、ワーク研磨用の研磨用サンギア111と、この研磨用サンギア111より小径である定盤修正用の修正用サンギア112とが中空軸41の上部に一体に形成されている。すなわち、ワーク研磨時に使用する研磨用サンギア111の下部に修正用サンギア112を同芯状、且つ一体的に配置している。中空軸41の下部には、ギア部40が一体化されている。このギア部40には、中空軸41を上下方向に移動させる回転軸移動手段としてのエアシリンダー90が接続されている。エアシリンダー90には図示していない制御弁、コンプレッサー等の駆動手段が接続され、エアシリンダー90は、オペレーターの操作により中空軸41を昇降動作させる。これにより、サンギア部材110を上下に移動させて、インターナルギア22と対向する位置に研磨用サンギア111または修正用サンギア112を選択的に配置する。なお、図5には両面研磨装置50でワーク11の両面研磨を行う状態が示されている。実施形態に係る両面研磨装置50では、ワーク11の研磨時、図1a、及び図2aに示すように、インターナルギア22が配置された平面に研磨用サンギア111を配置して、研磨用サンギア111とインターナルギア22とにワーク研磨用の研磨キャリア10を配置して各ギア111、22に噛み合わせる。一方、両定盤20、30の修正時、インターナルギア22が配置された平面に修正用サンギア112を配置して、修正用サンギア112とインターナルギア22との間に修正キャリア120を配置し各ギア112、22に噛み合わせる。中空軸41は、両面研磨装置50の中央を貫通して配置される。中空軸41下部にはギア部40が一体化され、このギア部40を介してサンギア部材110を駆動回転させるサンギア駆動装置46が接続される。サンギア駆動装置46は、例えばモータ、及びそのモータの回転を変速させる変速機を備え、このサンギア駆動装置46に直結されたギア47と上記ギア部40とにチェーン48がかけ回されている。これにより、サンギア駆動装置46の変速機により変速されたモータの回転が、ギア47とチェーン48とを介してギア部40に伝達され、サンギア部材110がサンギア駆動装置46の駆動力に対応した回転速度で回転する。図6に示すように、中空軸41は、ギア部40が形成された外筒部42と、エアシリンダー90が接続された内筒部43とから構成される。外筒部42と内筒部43は、セレーション部44で接合固定され、外筒部42と内筒部43は一体的に軸方向に移動可能で、かつギア部40の回転を研磨用サンギア111、修正用サンギア112に伝達できる。下定盤20は、サンギア部材110の外側の環状領域の下側に回転自在に取り付けられ、下端部にはギア部60が設けられる。ギア部60は、このギア部60を介して下定盤20を駆動回転させる定盤駆動装置66に接続される。定盤駆動装置66は、サンギア駆動装置46と同様に、モータ、及びモータの回転を変速する変速機を備える。定盤駆動装置66は、定盤駆動装置66直結されたギア67と、チェーン68とを備えている。また定盤駆動装置66は、チェーン68がかけ回されたギア69と、このギア69と共に回転軸69bに固着され、かつ下定盤20のギア部60に噛み合わされたギア69aとを有している。これにより、定盤駆動装置66の変速機により変速されたモータの回転が、ギア67とチェーン68とを介してギア69に伝達される。この結果、ギア69aがギア69と一体に回転し、下定盤20が定盤駆動装置66の駆動力に対応した回転速度で回転する。インターナルギア22は、下定盤20の外径側に環状領域の外縁を形成して回転自在に取り付けられている。インターナルギア22の下端部にはギア部70が設けられている。ギア部70は、このギア部70を介してインターナルギア22を駆動回転させるインターナルギア駆動装置76に接続されている。インターナルギア駆動装置76は、上記サンギア駆動装置46と同様に、モータ、及びそのモータの回転を変速させる変速機を備える。このインターナルギア駆動装置76に直結されたギア77とインターナルギア22のギア部70とにかけ回されたチェーン78が配置されている。これにより、インターナルギア駆動装置76の変速機により変速されたモータの回転が、ギア77とチェーン78とを介してギア部70に伝達され、インターナルギア22がインターナルギア駆動装置76の駆動力に対応した回転速度で回転するようになっている。一方、上定盤30は、上方に配置された図示しない油圧式または空気圧式のシリンダー39につり下げられており、シリンダー39を操作することにより昇降可能に設けられている。図5では、上定盤30を上昇させて例えば待機位置に待機させた状態を示している。上定盤30は、定盤駆動装置66によって駆動回転させるようにしている。具体的には、サンギア部材110を駆動する中空軸41の中心孔内に軸80が回転自在に挿入され、軸80の上端部に大径の接続部81が取り付けられている。接続部81には図示しない係合部が形成されており、上定盤30を下降させて研磨加工する状態にしたときに、この係合部が上定盤30のフック82と係合する。また、軸80の下端部にはギア部83が設けられ、このギア部83とギア85とにはチェーン84がかけ回されている。このギア85は、定盤駆動装置66の回転軸69bにギア69aと共に固着されている。これにより、定盤駆動装置66を作動させると、ギア85、及びチェーン84を介して、定盤駆動装置66の駆動力がギア部83に伝達され、接続部81に係合された上定盤30が下定盤20と逆方向に回転するようになっている。両面研磨装置50において、下定盤20と上定盤30とは、反対方向に回転され、その回転速度の比は、ギア部83、ギア部83、ギア69a、ギア部60の歯数により定まる。これらの歯数を変更することにより、下定盤20、及び上定盤30の回転速度の比を調整できる。また、上定盤30には、図示しないスラリー供給装置により、基材の研磨加工面に研磨スラリーを吐出あるいは滴下するスラリー供給部図示していないが設けられている。研磨スラリーは、粒子状の例えば人工ダイヤモンドなどの砥粒を水や油などに高濃度で分散させた研磨剤である。スラリー供給部から基材の研磨加工面に供給される研磨スラリーは、上記スラリー供給装置によって研磨加工中に研磨加工面に常時あるいは断続的に所定量供給されるように制御される。両面研磨装置50において、下定盤20上には、1または複数の研磨キャリア10が載置される。研磨キャリア10の外周に設けたギア部は、研磨用サンギア111、及びインターナルギア22に噛み合わされて、遊星歯車として公転、及び自転する。両面研磨装置50によってワーク11を研磨する際には、エアシリンダー90を駆動して中空軸41を上昇させ、インターナルギア22の配置面に研磨用サンギア111を固定する。そして、ワーク11を保持した複数の研磨キャリア10を、両面研磨装置50の中心部に配置した研磨用サンギア111、及び外周部のインターナルギア22の間に保持させる。また、研磨キャリア10の上下方向に配置されワーク11の両主面を同時に研磨する研磨布図示せずがワーク11の対向面に夫々貼付された下定盤20、及び上定盤30によりワーク11の両主面を押し付けるように研磨キャリア10を挟み込む。そして、ワーク11の上方のスラリー供給部分から研磨スラリーを供給しながら下定盤20、及び上定盤30をワーク11に対して相対方向に回転させると同時に、研磨用サンギア111とインターナルギア22とによって研磨キャリア10を自転、及び公転させることで、ワーク11の両主面を同時に研磨する。なおサンギア部材110、インターナルギア22、下定盤20、及び研磨キャリア10夫々の回転方向を適宜選択することにより、研磨キャリア10の回転方向は自公転比によって異なる場合がある。また、上定盤30を回転させずに固定させた状態で下定盤20、及び研磨キャリア10を回転させても、ワーク11の研磨加工を行うことができる。一方、下定盤20、及び上定盤30の修正を行うとき、エアシリンダー90を駆動して、中空軸41を上方に移動して、修正用サンギア112をインターナルギア22の配置面に位置決め固定する。そして、修正用サンギア112とインターナルギア22との間に修正キャリア120を保持し、下定盤20、及び上定盤30により修正キャリア120を挟み込む。そして、上方のスラリー供給部分から研磨スラリーを供給しながら下定盤20、及び上定盤30を反対方向に回転させると同時に、修正用サンギア112とインターナルギア22とによって修正キャリア120を自転、及び公転させる。これにより、下定盤20、及び上定盤30は修正キャリア120の外側部分、すなわち、下定盤20と上定盤30の修正キャリア120に対する相対速度の差が小さい領域で修正され、下定盤20、及び上定盤30はマッチングがとられた状態で修正される。なお、前記実施形態では、サンギア部材を進退させる回転軸移動手段として空気圧シリンダーを用いた例を示したが、回転軸移動手段として油圧シリンダーを用いても良いし、ラックとピニオン、ねじ機構などの直動機構と電動機とを備える機構、あるいはねじ機構や倍力機構を備えた手動移動機構を採用することができる。また、中空軸41を厚みの異なる位置調整部材によって異なる上下位置で支持したり、両定盤20、30の修正時に、研磨に使用したサンギアを取り外し、修正用サンギアを交換して取り付けるようにすることもできる。