"検査基板に設けられる配線の検査を行うため、該検査基板に設けられる検査点と該検査基板を検査する検査装置を電気的に接続するための検査治具であって、一端が前記検査点と導通接触するとともに、他端が前記検査装置と電気的に接続される電極部と導通接触する可撓性且つ導電性の接触子と、前記接触子の一端を前記検査点に案内する検査案内孔を有する検査側支持体と、前記接触子の他端を前記電極に案内する電極案内孔を有する電極側支持体と、前記検査側支持体と前記電極側支持体を、所定間隔を有して配置して保持する支柱と、前記電極が複数配置されるとともに、非検査時において、前記電極側支持体を所定距離離間させて保持する付勢手段を有する電極体とを有し、前記接触子は、前記検査点と接触する第一端部と前記電極部と接触する第二端部を有するとともに可撓性を有する棒状の導電性の導体部と、前記第一端部と第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被膜される絶縁部を有し、前記第二端部の長さは、前記電極体に当接する前記電極案内孔の深さよりも短く形成されていることを特徴とする検査治具。前記電極側支持体は、前記電極体へ向かって延出される軸部を有し、前記電極体は、前記軸部を摺動可能に挿入保持する軸受部を有することを特徴とする請求項1記載の検査治具。前記付勢手段は、前記電極側支持体の表面に当接する当接面を有する当接部材と、前記当接部材を前記電極側支持体に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の検査治具。前記検査治具に設けられる前記付勢手段の押圧力は、該検査治具に設けられる前記接触子の押圧力よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の検査治具。さらに、前記電極側支持体と前記電極体との間に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項1に記載の検査治具。さらに、前記電極体の周囲に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項1に記載の検査治具。本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、接触子の後端と電極との位置決めを容易にし、正確な検査の実施を可能にする検査治具を提供する。また、本発明は、接触子の交換等のメンテナンスが容易な検査治具を提供する。請求項1に記載の発明は、検査基板に設けられる配線の検査を行うため、該検査基板に設けられる検査点と該検査基板を検査する検査装置を電気的に接続するための検査治具であって、一端が前記検査点と導通接触するとともに、他端が前記検査装置と電気的に接続される電極部と導通接触する可撓性且つ導電性の接触子と、前記接触子の一端を前記検査点に案内する検査案内孔を有する検査側支持体と、前記接触子の他端を前記電極に案内する電極案内孔を有する電極側支持体と、前記検査側支持体と前記電極側支持体を、所定間隔を有して配置して保持する支柱と、前記電極が複数配置されるとともに、非検査時において、前記電極側支持体を所定距離離間させて保持する付勢手段を有する電極体とを有し、前記接触子は、前記検査点と接触する第一端部と前記電極部と接触する第二端部を有するとともに可撓性を有する棒状の導電性の導体部と、前記第一端部と第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被膜される絶縁部を有し、前記第二端部の長さは、前記電極体に当接する前記電極案内孔の深さよりも短く形成されていることを特徴とする検査治具を提供する。請求項2に記載の発明は、前記電極側支持体は、前記電極体へ向かって延出される軸部を有し、前記電極体は、前記軸部を摺動可能に挿入保持する軸受部を有することを特徴とする請求項1記載の検査治具を提供する。請求項3に記載の発明は、前記付勢手段は、前記電極側支持体の表面に当接する当接面を有する当接部材と、前記当接部材を前記電極側支持体に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の検査治具を提供する。請求項4に記載の発明は、前記検査治具に設けられる前記付勢手段の押圧力は、該検査治具に設けられる前記接触子の押圧力よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の検査治具を提供する。請求項5に記載の発明は、さらに、前記電極側支持体と前記電極体との間に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項1に記載の検査治具を提供する。請求項6に記載の発明は、さらに、前記電極体の周囲に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項1に記載の検査治具を提供する。請求項1記載の発明は、接触子の第二端部の長さが、電極体に当接する電極案内孔の深さよりも短く形成されているので、接触子の他端が電極案内孔の内部に位置決めされることになり、接触子の後端を電極に安定して当接させることができ、接触子と電極を安定的に接触させることができる。請求項2記載の発明は、電極側支持体に軸部を設け、電極体に軸受部を設けることによって、電極側支持体と電極体を正確に接触させることができ、検査毎による位置ずれを起こすことがない。請求項3記載の発明は、付勢手段が、電極側支持体の表面に当接する当接面を有する当接部材と、当接部材を電極側支持体に付勢する付勢部を有して形成されることにより、付勢手段と電極側支持体が磨耗することなく、耐久性の高い検査治具を提供することができる。請求項4記載の発明は、検査治具に設けられる付勢手段の押圧力が、検査治具に設けられる接触子の押圧力よりも大きいため、接触子が検査点と電極の両方に確実に接触することができる。請求項5に記載の発明は、さらに、電極側支持体と電極体との間に可動プレートを有し、付勢手段が、可動プレートとともに電極側支持体を検査側支持体側に付勢する付勢部を有するため、電極側支持体側からの検査治具のメンテナンスを容易に行うことができる。請求項6に記載の発明は、さらに、電極体の周囲に可動プレートを有し、付勢手段が、可動プレートとともに電極側支持体を検査側支持体側に付勢する付勢部を有するため、電極側支持体側からの検査治具のメンテナンスを容易に行うことができるとともに、接触子の後端部と電極との接触を確実なものとすることができる。本発明を実施するための最良の形態を説明する。以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施の形態にかかる検査冶具1の概略側面図である。ただし、本発明の構造理解のために一部を断面図にしている。図2は、図1に示す検査冶具1の平面図である。図3は、図1に示す検査側支持体2の断面構造を示す概略部分断面図である。図4は、図1に示す電極側支持体3の断面構造を示す概略部分断面図であり、aは非検査時の状態を示し、bは検査時の状態を示している。図5は、電極側支持体3の底面図である。図6は、電極体6の平面図である。図7は、図6のA-A線方向に見た、非検査時の検査治具1の状態を示しており、図1の一部を拡大した概略断面図を示す。図8は、図7に示す状態に対して、検査時の検査治具の状態を示しており、一部を拡大した概略断面図である。この図においても、断面は図6のA-A線に沿って見た方向である。図9は、図1に示す検査冶具を搭載した検査装置の概略構成図である。なお、接触子の一端が図3で示されており、接触子の後端が図4で示されている。図7と図8は、非検査自と検査時を示しており、検査が行われる毎にこれらの状態が変移することになる。以下の説明では、図1、図3、図4、図7乃至図9において、図面の上及び下をそれぞれ先、先方又は前方及び後又は後方として説明する。[検査冶具の概要]本実施形態の検査冶具1は、プリント配線基板や半導体集積回路等の被検査物50の電気的検査を行う検査装置30に搭載されて使用される図9参照。この検査冶具1は、図1又は図2に示すように、治具本体部40と、治具本体部40が載置されるベース板41と、治具本体部40の先方への動きを規制する規制部材42とを備えている。治具本体部40は、図1に示すように、検査側支持体2と、検査側支持体2の後方に所定の間隔を介して配置される電極側支持体3とを備えている。検査側支持体2は、後述する接触子5の一端先端5eを検査点に案内する検査案内孔13を有している図3参照。電極側支持体3は、接触子5の他端後端5fを電極7に案内する電極案内孔20を有している図4a、b参照。検査側支持体2及び電極側支持体3は、それぞれ扁平な直方体状矩形の板状に形成されている。また、検査側支持体2と電極側支持体3とは、それらの表面が相互に平行になるように配置されている。具体的には、検査側支持体2の4隅に配置される4本の支柱4によって、検査側支持体2と電極側支持体3とは連結固定されている図1、図2参照。本実施形態では、支柱4が、検査側支持体2と電極側支持体3とを連結している。また、検査側支持体2及び電極側支持体3には、被検査物50の検査点に接触する接触子としての複数の接触子5が挿通されている。電極体6は、電極側支持体3の後方に取り付けられている図1参照。電極体6は、図1に示すように、接触子5具体的には、接触子5の後端5fに導電接触する複数の電極7が固定されている。また、電極体6には、電極側支持体3を先方に向かって付勢する付勢手段14と、被検査物50の検査時に電極側支持体3の移動を規制するスライド機構8が取り付けられている。接触子5は、タングステン、ハイス鋼SKH、ベリリウム銅Be-Cu等の金属その他の導電体で形成されるとともに、屈曲可能な弾性可撓性を有する棒状に形成されている。本形態の接触子5は、図3及び図4に示すように、上記のような導電体で構成される導体部5aと、この導体部5aの外周面を覆う絶縁部5bとを備えている。絶縁部5bは、合成樹脂等の絶縁体で形成されている。絶縁部5bは、導体部5aの表面に絶縁塗装を施すことによって形成される絶縁被膜を用いることができる。接触子5の両端には、絶縁部5bが形成されておらず、接触子5の一端先端には第一端部5cが形成され、接触子5の他端後端には第二反部5dが形成されている。なお、説明の都合上、第一端部5cの検査点に当接する部位を先端5fと、第二端部5dの電極に当接する部位を後端5fとする。第一端部5cの先端5fや第二端部5dの後端5fは、図示のように半球面状に形成することもできる。接触子5の第一端部5cは、検査時において、検査側支持体2の検査案内孔13内を挿入支持される図3参照。第一端部5cの先端5eは、被検査物50上に形成される検査点に導通接触することになる。この第一端部5cの長さは、この検査案内孔13の長さよりも長く形成される。これは、検査時に検査点と電極とにより接触子5が挟持されて湾曲するためである。図3では、非検査時の検査治具が示されており、接触子5の第一端部5cは検査案内孔13内に収容され、第一端部5cの先端5eも検査案内孔13内に配置されることになる。接触子5の第二端部5dは、後述する電極側支持体3の電極案内孔20により電極7接触面7aへ案内される図4参照。第二端部5dの後端5fは、電極7に導通接触することになる。第二端部5dの長さは、詳細は後述するが、この電極案内孔20を構成する小径孔17bの軸方向の長さより短く形成される。検査側支持体2は、被検査物50が配置される側先方から順に複数本形態では3枚の支持板10、11、12が積層されて構成されている。これらの支持板10~12はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。また、図3に示すように、各支持板10、11、12にはそれぞれ貫通孔10a、11a、12aが形成されている。これらの貫通孔10a、11a、12aが相互に連結されるように配置されることによって、接触子5の第一端部5cが挿通される1つの検査案内孔13が構成されている。更に、支持板10の先側の表面が、被検査物50に対向する対向面2aとなっている。検査案内孔13は、被検査物50への先方に向く接触子5の案内方向を有している。具体的には、検査案内孔13は、対向面2aに直交する接触子5の案内方向を有していることになる。そのため、被検査物50の検査点に対してほぼ直角方向から接触子5の先端5eを接触させることができる。また、検査案内孔13は、検査冶具1が有する接触子5の数だけ形成されている。3つの貫通孔10a、11a、12aは同心状に形成されている。図3では、貫通孔10aは、小径孔10bと小径孔10bより大径の大径孔10cとから構成され、貫通孔12aは、小径孔12bと小径孔12bより大径の大径孔12cとから構成されている。また、小径孔10bと小径孔12bとは、導体部5aの外径よりも若干大きく、かつ、絶縁部5bの部分の接触子5の外径よりも若干小さな内径で形成されている。また、貫通孔11aの内径は、小径孔10bの内径及び小径孔12bの内径よりも大きくなっている。接触子5の第一端部5cに形成される導体部5aと絶縁部5bの境界である先端縁5gは、図3で示す如く、検査案内孔13の小径孔12bよりも後方に配置されている。また、上述のように、小径孔12bは、絶縁部5bの部分の接触子5の外径よりも若干小さな内径で形成されている。そのため、絶縁部5bの先端縁5gは、小径孔12bの開ロ縁12dに当接することになる。すなわち、先端縁5gと開ロ縁12dとは、接触子5が検査対象側に抜け落ちることを防止するための抜け止め部となっている。電極側支持体3は、検査側支持体2の先方から順に複数本形態では3枚の支持板15、16、17が積層されて構成されている。これらの支持板15~17はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。図4a又は図4bに示されるように、各支持板15~17にはそれぞれ貫通孔15a、16a、17aが形成されている。これらの貫通孔15a~17aが相互に連結されるように配置されることによって、接触子5の第二端部5dが挿通される1つの電極案内孔20が構成されている。この電極案内孔20は、検査冶具1が有する接触子5の数だけ形成される。電極案内孔20は、検査案内孔13に形成される案内方向すなわち、対向面2aの直交方向に対して傾斜する案内方向に形成されている。すなわち、3つの貫通孔15a~17aは、それぞれの中心が少しずつずれた状態で形成されており、電極案内孔20の全体が対向面2aの直交方向に対して傾斜する方向に形成されている。たとえば、図4aに示すように、貫通孔15a~17aの順でその中心が図示右方向に少しずつずれた状態で、3つの貫通孔15a~17aが形成されている。すなわち、接触子5の後端側を案内する案内方向は、電極側支持体3の表面と直交する法線に対して傾斜する方向に案内することになる。貫通孔15aは、小径孔15bと小径孔15bより大径の大径孔15cとから構成されている。同様に、貫通孔16aは、小径孔16bと大径孔16cとから構成され、貫通孔17aは、小径孔17bと大径孔17cとから構成されている。小径孔15b、16b、17bは、絶縁部5bが形成された部分の接触子5の外径よりも若干大きな内径で形成されている。また、上述のように、小径孔17bは、絶縁部5bの部分の接触子5の外径よりも若干大きな内径で形成されており、絶縁部5bの後端縁5hは、小径孔17bの内部に挿入可能となっている。接触子5は電極側支持体3の表面と直交する法線に対して傾斜して配置される。このため、接触子5は図4bに示すように、小径孔17bに対しても傾斜して配置されることになる。なお、この小径孔17bは軸方向が電極側支持体3の表面に対して直交するように形成されている。接触子5の第二端部5dに形成される導体部5aと絶縁部5bの境界である後端縁5hは、図4bの検査時の検査治具の状態に示されるように、電極案内孔20の大径孔17cよりも後方に配置されている。このとき、後端5fの電極側支持体3の後方表面に平行な方向へ移動可能な量は、接触子5が小径孔17bの内部で移動する範囲に規制されることになる。このため、接触子5が傾斜して挿入される場合非検査時から検査時へ移行する場合又は検査時から非検査時へ移行する場合に、第二端部5dの後端5fの移動可能な量を極めて少なくすることができ、安定して電極と接触することになる。これにより、後述する電極7の接触面7aと後端5fを接触させる場合に、接触面7aと後端5fの精密な位置決めを行うことが可能となる。特に実際の検査においては、接触子5及び電極7は通常数千本設けられるため、接触面7aと後端5fの位置決めが容易であることは、作業時間の短縮に大きく貢献することになる。電極側支持体3の底面後方表面には、図5に示すように、円形状の挿入孔3aが形成されている。具体的には、支持板17を貫通するように、かつ、支持板17の四隅のそれぞれの近傍に挿入孔3aが形成されている。なお、図7に示すように、挿入孔3aには、スライド機構8を構成する後述の軸部8aが挿入されて固定されている。各接触子5では、検査案内孔13に挿通された第一端部5cが電極案内孔20に挿通された第二端部5dよりも電極案内孔20の案内方向の傾斜方向にずれた位置に配置されている。すなわち、接触子5の第一端部5cが挿通される検査案内孔13の後端側の開口位置すなわち、支持板12の貫通孔12aの開口位置は、図5に示すように、その接触子5の第二端部5dが挿通される電極案内孔20から見て、電極案内孔20の案内方向の傾斜側に配置されている。電極体6は、図1に示すように、複数の電極7が埋設された矩形の支持板22、23と、電極7に導電接続される配線24を保持する略ブロック状の支持部材25とが積層されて構成されている。本形態の電極体6は全体として略直方体状に形成されており、後端面が固定板48を介してベース板41の前方表面に固定されている。なお、配線24は後述する検査装置30の制御部31に接続される。電極7の先方の表面は、図4に示すように、接触子5の後端5fが接触する接触面7aとなっている。なお、接触子5の後端5fは、上述のように球面状に形成されている。そのため、傾斜する案内方向を有する電極案内孔20に沿って接触子5の第二端部5dが傾斜しても、後端5fと接触面7aは好適な導電接触状態になる。電極体6には、スライド機構8が取り付けられることに加え、付勢手段14も取り付けられている。具体的には、図6に示すように、電極体6の四隅のそれぞれの近傍にスライド機構8及び付勢手段14が取り付けられている。本形態では、付勢手段14がスライド機構8よりも電極体6の四隅から遠い位置に取り付けられている。スライド機構8は、電極側支持体3の後方表面から突出する棒状の軸部8aと、電極体6に固定され軸部8aが挿入される円筒形状の軸受部8bを備えている図1参照。軸部8aは一端が電極側支持体3の支持板17に後ろ方向に固定され、他端は後述する軸受部8bに挿通される。このとき、軸部8aは軸方向が支持板17の後方表面に対して直角となるように固定される。軸受部8bは、電極体6に設けられた貫通孔図示せずに嵌めこまれて固定される。この軸受部8bは、例えば軸方向に並べた複数のボールベアリングを複数条内部に備えるリニアブッシュなどの直動軸受であり、軸受の内側の形状に応じて断面の形状や直径が好適に調整された軸部8aが挿入されることになる。軸受部8bに軸部8aが挿通されることにより、軸部8aは精度良く軸方向に直角な方向への移動量が少なく軸方向に直線運動摺動することができることになる。スライド機構8は、電極側支持体3の電極体6に対する先後方向の移動を高精度に行うために設けられており、電極支持体3の後方表面と電極体6の前方表面が当接する際に、電極案内孔20内に挿通された接触子5の後端5fと、電極体6に形成される電極7の接触面7aを精度良く当接することを可能としている。このため、スライド機構8を取り付ける際には、後端5dと接触面7aが好適に接触するようにスライド機構8を取り付けることになる。上述のように本形態では、スライド機構8が電極体6に取り付けられ、電極側支持体3と電極体6が前後方向に精度良く移動することを可能にしている。このため、電極側支持体3が外力によって前方に移動したとき、電極7の接触面7aと電極側支持体3に挿通されている接触子5の後端5fを精度良く接触させることができる。付勢手段14は、電極体6の前方表面から突出して電極側支持体3に当接する当接部材43と、当接部材43の後端側が収納される筒部材44と、筒部材44に対して当接部材43を先へ付勢する付勢部圧縮コイルバネ45と、筒部材44に当接部材43を取り付けるためのE型止め輪等の止め輪46とを備えている図1参照。筒部材44は、前端側が開口する有底の円筒状に形成されており、電極体6に固定されている。また、当接部材43は、円筒形状を有しており、前側に配置される円筒部43a、後側に配置され円筒部43aよりも径の小さな小径部43bとから構成されている。円柱部43aは、長軸方向に直角な平面を端面に有する円柱状に形成されている。そのため、当接部材43の先端側は支持板17の後方表面に当接することになる。小径部43bの外周側には、圧縮コイルバネ45が挿通されている。具体的には、円筒部43aの後端面及び筒部材44の底面に圧縮コイルバネ45の端部のそれぞれが当接した状態で小径部43bの外周側に圧縮コイルバネ45が挿通されている。また、小径部43bの後端側は、筒部材44の底面に形成された貫通孔に挿通され、筒部材44の底面よりも後側に突出している。小径部43bの後端には、止め輪46が固定されている。上述のように本形態では、付勢手段14は、電極体6に取り付けられ、電極側支持体3を先方向に向かって付勢している。すなわち、付勢手段14は、電極体6に固定された電極7の接触面7aと、支柱4を介して電極側支持体3に固定された検査側支持体2の前方表面すなわち、対向面2aとが離れる方向に、検査側支持体2、電極側支持体3及び支柱4を付勢している。規制部材42は、図1に示すように、電極側支持体3の前方表面に当接する規制板47と、規制板47が固定される固定板48とを備えている。固定板48は、治具本体部40の後方に配置され、ベース板41に固定されている。規制板47は、固定板48の前端に固定されている。本形態では、非検査時において、圧縮コイルバネ45がわずかに撓んだ状態で、当接部材43が電極側支持体3の後方表面支持板17の後方表面に当接し、また、電極側支持体3の前方表面が規制板47に当接している。すなわち、電極側支持体3は、付勢手段14に付勢された状態で、規制板47に当接している図7参照。また、この状態では、電極側支持体3と電極保持体6との間にはわずかな隙間が形成されている。なお、この状態では、検査側支持体2、電極側支持体3及び支柱4は前方に付勢されており、接触子5の先端5eは、対向面2aから突出していない図7参照。すなわち、この状態では、接触子5の先端5eは検査案内孔13の中に収納されていることになる。[検査装置の概要]図9は、図1に示す検査冶具1を搭載した検査装置30の概略構成図である。本形態の検査冶具1は、図9に示すように、被検査物50の電気的検査具体的には、断線や短絡等の検査を行う検査装置30に搭載されて使用される。被検査物50には、接触子5の先端5eが接触する検査点が形成されている。なお、被検査物50には、たとえば、検査後にIC等の電子部品が載置される。また、載置された電子部品は、たとえば、ワイヤボンディングによって検査で利用された検査点に接合される。検査装置30は、被検査物50の導通状態を判定する検査回路を含む電気的検査手段としての制御部31と、制御部31に接続される駆動部図示省略と、駆動部によって駆動される検査機構33とを備えている。制御部31には、検査冶具1の電極7が配線24を介して導電接続されている。検査機構33は、検査冶具1が固定される第1支持盤34と、第1支持盤34に対向配置され、被検査物50が固定される第2支持盤35と、第1支持盤34を先後方向に移動させる移動機構36とを備えている。移動機構36は、たとえば、ボールネジ機構や油圧機構等によって構成され、駆動部によって駆動される。本形態では、第2支持盤35は、被検査物50を固定する固定手段であり、移動機構36は、被検査物50と検査冶具1の対向面2aとが近づく方向に検査冶具1を移動させる移動手段となっている。なお、移動機構36は、第2支持盤35を先後方向に移動させても良い。また、第1支持盤34は図示を省略する移動機構によって図9の紙面垂直方向に移動可能に構成され、第2支持盤35は、図示を省略する移動機構によって図9の左右方向に移動可能に構成されても良い。[検査対象の検査手順及び検査時の検査冶具の動き]図7は非検査時の検査治具の状態を示す図であり、図8は検査時の検査治具の状態を示す図である。本形態の検査装置30は、検査冶具1の対向面2aと被検査物50と当接させながら、被検査物50の電気的検査を行う。具体的には、検査装置30は、以下のように検査を行う。まず、第1支持盤34に検査冶具1を固定し、第2支持盤35に被検査物50を固定する。この状態では、図7に示すように、圧縮コイルバネ45がわずかに撓んだ状態で、当接部材43が電極側支持体3の後方表面に当接するとともに、規制板47に電極側支持体3の前方表面が当接している。また、電極側支持体3の後方表面と電極体6の前方表面との間にはわずかな隙間が形成されている。さらに、この状態では、接触子5の先端5eは、対向面2aから突出しておらず、検査案内孔13の中に収納されている。また、この状態では、接触子5の後端5fは、電極7の接触面7aに接触している。なお、この状態で、接触子5の後端5fが接触面7aから僅かに離れていても良い。その後、制御部31の制御信号で駆動部が移動機構36を駆動すると、第1支持盤34が第2支持盤35に向けて接近し、やがて、対向面2aが被検査物50に当接する。対向面2aが被検査物50に当接すると、図8に示すように、付勢手段14の付勢力に抗して、検査側支持体2、電極側支持体3及び支柱4が電極体6に向かって相対移動する。すなわち、接触面7aと対向面2aとが近づく方向に、検査側支持体2、電極側支持体3及び支柱4が電極体6に対して相対移動する。なお、このときには、電極側支持体3の前方表面は規制板47から離れた状態となる。すると、接触子5の後端5fは、電極7によって前方に向かって押される。このとき接触子5の先端5eは被検査物50の検査点に当接しているので、検査側支持体2と電極側支持体3との間で傾斜姿勢にあった接触子5の中間部分は撓む屈曲する。電極側支持体3の後方表面が電極体6の前方表面に当接するまで、検査側支持体2等が電極体6に対して相対移動して、接触子5の中間部分の撓み量が所定量になると、検査案内孔13の中に収納されていた接触子5の先端5eは検査点に対して所定の接触圧で接触することになる。このとき、対向面と検査点が形成される面が隙間なく当接する場合には、先端5eは対向面から突出しないが、わずかに隙間がある場合には、隙間の分だけ先端5eが対向面から突出することになる。なお、屈曲する接触子5の中間部分の撓み方向は、接触子5の傾斜方向に応じた方向となっている。なおこのとき、スライド機構8の軸部8aは一端に取り付けられた電極側支持体3が後方に移動するので、軸受部3bから後方に突出する長さが、電極側支持体3の移動量だけ長くなることになる。すると、接触子5の先端5eが被検査物50の検査点に所定の接触圧で接触したとき、接触子5は検査点に導通する。この状態で、制御部31が検査冶具1に対して所定の信号を供給したり、検査冶具1で検出した電位等を受け取ったりすることで、被検査物50の電気的試験を行う。なお、図8に示す状態から、第1支持盤34が第2支持盤35から離れる方向へ移動していくとすなわち、被検査物50から離れる方向へ対向面2aが移動していくと、接触子5の中間部分の撓みが次第に解消され、検査冶具1は、図7に示す状態に戻る。すなわち、圧縮コイルバネ45がわずかに撓んだ状態で、規制板47に電極側支持体3の前方表面が当接し、接触子5の先端5eは検査案内孔13の中に収納される。また、このときには、接触子5の後端5fは、電極7の接触面7aに接触している。[本形態の効果]以上説明したように、本形態では、接触子5の第二端部5dが電極側支持体3の最も後側の支持板17に形成される小径孔17bの軸方向長さよりも短く形成されている。このため、電極側支持体3で接触子5の後端側を安定して保持することができるので、検査治具を組み立てる際には、各部材電極側支持体3、電極体6、スライド機構8等の位置決めが容易になり、後端5fが精度良く電極7の接触面7aに接触するようにすることができる。また、電極側支持体3の後方表面と電極体6の前方表面が近接している検査時には、接触子5の後端5dは電極7の接触面7aに当接するとともに押圧されている。このとき、上述のように接触子5の後端側は電極側支持体3により安定して保持されているので、検査を行う度ごとに後端5dと接触面7aの接触する位置が変化しないため、接触子5の接触抵抗値を一定に保つことができる。このため、正確な検査結果を得ることができる。また更に、検査治具1及び検査装置30の検査時の動作は上述のとおりであるが、実際の使用時には、例えば、被検査物50を自動的に供給搬出する装置ともに図示せずを検査装置30に備えることで、連続して被検査物の検査を行うことがある。この場合、検査治具1は連続して上記の検査時の動作を行うことになる。このとき、上述のように接触子5の後端側は電極側支持体3により安定して保持されているので、連続して検査が行われる場合であっても、後端5fと接触面7aの位置が検査動作の度に相対的に変化しないため、後端5fが接触面7aを擦ることによる接触面7aの摩耗を防止することができる。また、付勢機構14によって、電極7に形成される接触面7aと検査側支持体2に形成される対向面2aとが離れる方向に、検査側支持体2、電極側支持体3及び支柱4が付勢されている。そのため、被検査物50と当接面2aとが当接しておらず、検査冶具1に外力が働かないときには、付勢手段14の付勢力で、検査側支持体2、電極側支持体3及び支柱4を付勢して、対向面2aから接触子5の先端5eが突出しない状態すなわち、接触子5の先端5eが検査案内孔13内に配置される状態にすることができる。一方、被検査物50の検査時には、対向面2aと被検査物50とを当接させることで、付勢手段14の付勢力に抗して接触面7aと対向面2aとを近づけることができる。そのため、検査時には、検査案内孔13に挿通された接触子5の先端5eを対向面2aからわずかに突出させて被検査物50に所定の接触圧で接触させることができる。このように、本形態では、被検査物50の検査時に、対向面2aを被検査物50に当接させた状態で、接触子5の先端5eを被検査物50の検査点に所定の接触圧で接触させることができる。そのため、被検査物50の検査点に先端5eが接触した状態における接触子5の先端5eのずれ量を接触子5の第一端部5cと検査案内孔13との間の隙間程度に抑えることができる。すなわち、検査点に接触した状態での接触子5の先端5eのずれ量を微小にすることができ、その結果、被検査物50の検査点の表面の傷の発生を抑制することができる。特に、本形態では、検査案内孔13は被検査物50に向く案内方向を有し、電極案内孔20は先端側挿通孔20のプローブ案内方向に対して傾斜する案内方向を有し、接触子5の第一端部5cは、接触子5の第二端部5dに対して電極案内孔20の案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置されている。したがって、被検査物50の検査時に、検査側支持体2と電極側支持体3との隙間に配置される接触子5の中間部分が屈曲するため、被検査物50の検査点に接触した状態で接触子5の先端5eがずれやすくなるが、本形態の構成を採用することで、検査点に接触した状態での接触子5の先端5eのずれ量を微小にすることができる。本形態では、付勢手段14は、電極体6に取り付けられて電極側支持体3を付勢している。そのため、対向面2aが被検査物50に当接したときすなわち、検査時には、互いに固定された検査側支持体2、電極側支持体3及び連結体4を一体で電極体6に対して相対移動させることができ、複数の接触子5の先端5eを確実に被検査物50の検査点に接触させることが可能になる。すなわち、互いに固定された検査側支持体2、電極側支持体3及び連結体4は比較的剛性が高く、電極体6に対して相対移動しても変形しにくいため、対向面2aからの複数の接触子5の先端5eの突出量をほぼ均等にすることが可能になり、複数の接触子5の先端5eを確実に被検査物50の検査点に接触させることが可能になる。本形態では、付勢手段14は、電極側支持体3の後方表面に先端が当接する当接部材43を有し、当接部材43の円柱部43a先端は電極側支持体3の後方表面と平行な平面を有するように形成されている。そのため、当接部材43が当接する電極側支持体3の後方表面の箇所は摩耗することがなく、付勢手段14による付勢力の変化もないため、複数ある付勢手段14は均一な付勢力を保ったまま、検査を実施することができる。本形態では、検査冶具1は、電極側支持体3の前方表面に当接して、前方へ向かう電極側支持体3の動きを規制する規制部材42を備えている。そのため、前後方向において、検査冶具1に外力が働いていないときの検査側支持体2、電極側支持体3及び連結体4の位置決めを行うことができる。[他の実施の形態]上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々に変形可能である。上述した形態では、接触子5の後端5fが接触する電極7の接触面7aは平面状に形成されているが、この形状に限られない。例えば接触面7aを平面状に形成した後接触面7a上にめっきなどを施して盛り上げたような形状に形成しても良い。上述した形態では、接触子5は、図示のように球面状に形成されている先端5eや後端5fを有している。この他にもたとえば、先端5eや後端5fは先端に向かって斜面を有するように円錐状に形成されていても良く、接触子5の長軸方向に対して直角な平面状に形成されていても良い。上述した形態では、接触子5は、検査側支持体2と電極側支持体3との間の中間部分が傾斜するように、検査側支持体2及び電極側支持体3に挿通されているが、接触子5は、中間部分が傾斜しないように検査側支持体2及び電極側支持体3に挿通されても良い。上述した形態では、付勢手段14は、当接部材43aの先端が、電極側支持体3後方表面と平行な平面を有するように形成されている。この他にもたとえば、当接部材43aの先端形状は、平面よりもやや丸みを帯びた形状に形成しても良い。上述した形態では、付勢手段14は、付勢部材としての圧縮コイルバネ45によって付勢力を発生させている。この他にもたとえば、付勢手段14は、引張りコイルバネあるいは板バネ等の他のバネ部材や、ゴム等の弾性部材等を付勢部材として付勢力を発生させても良い。上述した形態では、検査治具1は、電極側支持体3の前方表面に当接して電極側支持体3等の先への動きを規制する規制部材42を備えている。この他にもたとえば、検査治具1は、検査側支持体2の対向面2aに当接して検査側支持体2の先への動きを規制する規制部材を備えていても良い。また、検査治具1は、電極側支持体3等の先への動きを規制する規制部材を備えていなくても良い。この場合には、電極側支持体3等の先への抜けを防止する抜け止め部材が設けられていることが好ましい。上述した形態では、3枚の支持板10~12によって検査側支持体2が構成されている。この他にもたとえば、2枚以下あるいは4枚以上の支持板で検査側支持体2が構成されても良い。同様に、上述した形態では、3枚の支持板15~17によって電極側支持体3が構成されているが、2枚以下あるいは4枚以上の支持板で電極側支持体3が構成されても良い。また、上述した形態では、電極側支持体3の支持板17から後方に延出するガイド機構の軸部8aが支持板17に固定されているが、軸部8aを支持板17から取り外し自在であるように構成してもよい。次に、図10A,10B,10C,11及び12に基づいて、他の実施形態に係る検査治具について説明する。図1から図9に示す実施形態では、スライド機構8の軸部8aの先方の端部が、電極側支持体3の支持板17に固定され、また、付勢手段14の円筒部43aが電極体6の貫通孔を貫通して電極側支持体3の支持板17の後方の面を検査側支持体2に向けて付勢していた。図10A,10B,10C,11及び12に示す実施形態では、詳しくは後述する通り、スライド機構8の軸部8aの先方の端部は、電極体6の支持板22の一部の可動プレート22bに固定され、付勢手段14の円筒部43aは、電極体6の支持板22の一部の可動プレート22bの後方の面を検査側支持体2に向けて付勢する。図10Aは、第二実施形態に係る電極体6の平面図であり、図10B及び図10Cは、図10Aに示す電極体6の正面図である。第一実施形態と同様に、第二実施形態でも、電極体6は、支持板22,23と支持部材25とからなる。ただし、第二実施形態では、支持板22に相当するものを、電極7の接触面7aが固定された中央の電極プレート22aとその周囲に配置された可動プレート22bとから構成する。電極プレート22aは支持板23に固定されているが、可動プレート22bは、支持板23から離れるように付勢される。つまり、図10B及び図10Cに示すように、可動プレート22bは、検査治具の先後方向に移動することができる。また、図10Aに示すように、可動プレート22bの先方の面上の四隅の近くには、小突起部52aが設けられており、また、図10Aに向かって右側縦方向の2つの小突起の間に大突起52bが設けられている。これらの突起は可動プレート22bが支持板17に当接した状態で支持板17に形成された凹部図示せずに入り込んでいて、可動プレート22bと支持板17の位置決めを行う。また、図10Aに示すように、電極プレート22a上の四隅の近くには、4つの付勢手段26が設けられている。これらの付勢手段は、図示していないが、付勢手段14と同様に、円筒部と円柱部とを備えており、円筒部が支持部材25内に固定されていて円柱部が支持板17の後方の面に当接する。付勢手段43aは可動プレート22bとともに支持板17に付勢力を与えるため、それによる付勢力は電極プレート22aの領域に面する支持板17には作用しない。この結果、付勢手段43aの付勢力だけでは支持板が反り返る可能性がある。このため、付勢手段26によって、電極の設けられている電極プレート22aの領域に面する支持板17に付勢力を与えるようにし、これにより、支持板に比較的分散して均一な付勢力を加えることができるようにした。図11は、第二実施形態に係る電極体を備える検査治具の一部拡大断面図で、非検査時の検査治具の状態を示す。この図に示すように、可動プレート22bは支持板23から離れた位置に保持されている。図11に示すように、スライド機構8の軸受部8bが、電極体6の支持板23及び支持部材25に設けた貫通孔に嵌め込まれて固定され、スライド機構8の軸部8aの先端部が、可動プレート22bに形成された貫通孔22bhに嵌め込まれて固定されている。これにより、可動プレート22bが、軸部8aの軸線方向に沿って平行移動をすることができる。また、付勢手段14の筒部材44が、支持部材25に設けた貫通孔に嵌め込まれて固定されており、また、付勢手段14の円筒部43aの先方の端部が、支持板23の貫通孔を貫通し、その先端面が可動プレート22bの後方面に当接して可動プレート22bを先方に付勢している。図10Aに示すように、可動プレート22bの貫通孔22bhにスライド機構8の軸部8aが固定され、また、可動プレート22bの後方面の符号43aで示す位置に付勢手段14の円柱部43aの先端部が当接する。すなわち、スライド機構8及び付勢手段14が可動プレート22bに作用するように配置されている。これらの位置は、第一実施例において電極体6の支持板22を貫通しているスライド機構8の軸部8a及び付勢手段14の円柱部43aの位置と同じである。再度図11を参照すると、この図に示す状態では、電極体6の支持板22bの後方面に付勢手段14の円柱部43aの先端面が当接して、可動プレート22b及び電極側支持体3が規制板47に向けて付勢されている。可動プレート22bと支持板23との間にはわずかな隙間が形成されている。次に、検査時に、検査治具1図1が被検査物50に向けて動かされて、検査側支持体2の対向面2aが被検査物50に当接すると、電極側支持体3が後方に押し戻されて規制板47から離れる。それに伴い、可動プレート22bが、付勢手段14の圧縮コイルばね45の付勢力に抗して円柱部43aを支持部材25の円筒部44内に押し下げ、それとともに、スライド機構8の軸部8aの軸線方向に沿って可動プレート22bが下降する。図12に示すように、可動プレート22bが停止した際には、可動プレート22bと支持板23との間には隙間がある。これにより、接触子の後端部と電極との接触が確実になる前に可動プレート22bが支持板23に当接して下降が停止することを防止することができる。また、図1に示すように、電極側支持体3の支持板17の表面は、可動プレート22b及び電極プレート22aを合わせた面と同一の形状となるので、支持板17によって可動プレート22b及び電極プレート22aの全面を押すことになる。つまり、可動プレート22bが停止した際には、可動プレート22bの先方の面と電極プレート22aの先方の面とは、同一平面に配置されていることになる。これによっても、接触子の後端部と電極との接触が確実になることを保証することができる。なお、この場合には、規制板47の後方面と電極側支持体3の支持板15の先方面との間に隙間が形成されている。検査の際のプローブの作用は第一実施形態と同じである。接触子を交換する際には、検査治具1から治具本体部40を取り外し、電極側支持体3の支持板17の後方面から接触子の抜き取り及び取り付けを行う。その際、第一実施形態では、4本のスライド機構8の軸部8aが電極側支持体3の支持板17の後方面に固定されており、また、それらの4本の軸部8aが、接触子の第二端部5dが取り付けられた電極案内孔20の形成されている部分の四隅を囲んでいる。特に、近年の検査対象の微細化に伴い検査治具の治具本体部40が小型化し、その結果、支持板17上に固定された4本の軸部8aの間隔が狭小化しているような場合には、接触子にアクセスするのが困難になる。また、微細化が進むことにより、治具本体部40に用いられる支持板も薄いものが用いられることになる。このため、このような薄い支持板であれば、加工が難しくなったり、複数の孔を設けることにより、支持板自体の強度が低下したりする問題を有している。しかしながら、第二実施形態では、スライド機構8の軸部8aは、可動プレート22bに固定されていて電極側支持体3の支持板17に固定されていないため、軸部8aが作業を阻害することがなく、また、支持体17自体の強度が低下して湾曲したりすることがないため、小型化された治具本体部40であっても、接触子の交換等のメンテナンスを容易に行うことができる。上記の第二実施形態では、電極体6を電極プレート22a及び可動プレート22bで構成した。それに代えて、電極体6は、第一実施形態の場合と同様に一体のものを使用し、電極側支持体3の支持板17と電極体6の支持板22との間に、別途、移動自在な矩形のプレートを介装し、そのプレートにスライド機構8の軸部8aの先端を固定するとともに、付勢手段14の円柱部43aの先端面をそのプレートの後方面に当接してプレートを電極側支持体3の支持板17に付勢するように構成してもよい。ただし、プレートには、電極側支持体3から突出する接触子の端部が電極体6の電極と接触できるような構成が形成されている必要がある。例えば、そのような接触位置に対応するプレートの部分に切欠きを形成したり、その部分に導電可能な構成を設けたりすることがある。この実施形態の場合も、第二実施形態と同様に、スライド機構8の軸部8aは、可動プレート22bに固定されていて電極側支持体3の支持板17に固定されていないため、電極側支持体3の接触子の設けられている領域における接触子の交換等のメンテナンスが容易に行える。可動プレートは、非検査時に電極側支持体3を検査側支持体2側に向けて付勢でき、検査時に電極側支持体3及び検査側支持体2を平行に保持した状態で後退できるものであればどのようなものでもよいが、電極側支持体3の接触子の後端部が配置されている領域の辺りには、電極側支持体3を移動させるための部材は固定させない。以上、本発明に係るいくつかの実施形態に係る検査治具について説明したが、本発明はそれらの実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。"