加圧気体を通過させて微細気泡を生成するアルミナ多孔質膜と、前記アルミナ多孔質膜の少なくとも前記加圧気体が通過して放出される側に被覆され、あるいは、積層され、生成された前記微細気泡を前記アルミナ多孔質膜から離脱させる多孔質部と、を備えた微細気泡形成装置。前記アルミナ多孔質膜及び前記多孔質部は、それぞれ細孔を有し、前記多孔質部に形成されている細孔の径は、アルミナ多孔質膜の細孔の径以上とされている、請求項1記載の微細気泡形成装置。前記多孔質部に形成されている細孔の径は、アルミナ多孔質膜の細孔の径の2倍程度とされている、請求項2記載の微細気泡形成装置。前記アルミナ多孔質膜の厚さをh1とし、前記多孔質部の厚さをh2とした場合に、h1≦h2≦2h1とされている、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の微細気泡形成装置。前記多孔質部は、処理対象の液体に対して所定の濡れ性を有する有機系材料、セラミック系材料あるいは金属系材料で形成されている、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の微細気泡形成装置。前記多孔質部は、前記アルミナ多孔質膜に積層され、あるいは、前記アルミナ多孔質膜に一体に形成されている、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の微細気泡形成装置。前記アルミナ多孔質膜は、αアルミナにより形成されている請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の微細気泡形成装置。前記アルミナ多孔質膜及び前記多孔質部の変形を抑制する補強板と、前記アルミナ多孔質膜、前記多孔質部及び補強板を収納する耐圧性を有するハウジングと、を備えた請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の微細気泡形成装置。ところで、これらの技術は、液中の気泡の表面の性質を利用し、粒子の吸着や物質の移動を行う技術であり、気泡がより微細になれば、同一体積の気体を利用する際に、より高い効果を得ることができることが予測される。しかしながら、従来技術においては、多孔質の膜材料として焼結金属や有機材料系の膜等、細孔形状が複雑に入り組んだ形状の材料や、ゴム製の板材に穿孔加工した膜材料が使用されている。焼結金属のような多孔質体は、細孔が互いに連通しているため、気泡が合体し粗大化する。板材に孔を加工した膜材の場合も細孔の径が数百μm程度であり、より微細な気泡を形成することは難しい。また、多孔質材料の細孔から気体が気泡として液中に離れる際には、気泡は急激に成長し、細孔径以上の気泡径となって液中に分散されてしまい、所望の気泡径を有する微細な気泡を形成することは困難であった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、気泡の粗大化を抑制し、より微細な気泡を液中に分散させることが可能な微細気泡形成装置を提供する。実施形態の微細気泡形成装置のアルミナ多孔質膜は、加圧気体を通過させて微細気泡を生成する。これにより多孔質部は、アルミナ多孔質膜の少なくとも加圧気体が通過して放出される側に被覆あるいは積層され、生成された微細気泡をアルミナ多孔質膜から離脱させる。次に好適な実施形態について図面を参照して説明する。図1は、実施形態の微細気泡形成装置を適用した液体処理システムの一例の概要構成説明図である。液体処理システム10は、バッチ処理で液体処理を行うシステムであり、処理対象水を貯留する貯留槽11と、処理対象水のバッチ処理を行うためのバッチ処理槽12と、貯留槽11内の処理対象水をバッチ処理槽12へ搬送する搬送ポンプ13と、バッチ処理槽12内へ微細気泡を散気するための散気ポンプ14と、散気ポンプ14に散気させる気体を供給する気体供給装置15と、バッチ処理後の気体を回収するための気体回収装置16と、を備えている。バッチ処理槽12の内底部には、散気ポンプ14の気体供給経路の末端に接続された散気ユニット20が設けられている。この場合において、気体供給装置15が供給する気体としては、空気、酸素、窒素、オゾン等処理目的に応じた気体ガスが用いられる。図2は、散気ユニットの外観斜視図である。散気ユニット20は、散気ユニット本体20A内に複数の微細気泡形成装置21が埋設された状態で設けられている。各微細気泡形成装置21は、直径およそ10cmであり、散気ユニット本体20Aの上面に蜂の巣状に配置されている。図3は、微細気泡形成装置の断面図である。微細気泡形成装置21は、耐圧構造を有するハウジング22と、ハウジング22内のハウジング22の給気口22I側に収納されたアルミナ多孔質膜23と、アルミナ多孔質膜23に積層あるいはアルミナ多孔質膜23と一体に形成された多孔質部24と、アルミナ多孔質膜23及び多孔質部24の変形を抑制すべく両者を保持する補強板25と、アルミナ多孔質膜23、多孔質部24及び補強板25をハウジング22内で所定位置に保持するとともに、気密性を保持する一対のOリング26と、を備えている。この場合において、ハウジング22は、排気口22Bが形成された蓋体22Aと、給気パイプの接続部22Cが形成されたハウジング本体22Dと、を備えている。また、ハウジング22の形成材料としては、例えば、ステンレス等が用いられる。また、アルミナ多孔質膜23の厚さh1は、50μm~200μmとなっている。これは、50μm以下では、十分な強度が得られなく、200μmを超えると均一な陽極酸化処理が行えなくなるからである。ここで、アルミナ多孔質膜23について説明する。図4は、アルミナ多孔質膜の微細構造の模式図である。アルミナ多孔質膜23は、アルミニウムAlをリン酸水溶液やシュウ酸水溶液中で、陽極酸化することにより得られる。陽極酸化直後のアルミナ多孔質膜23は、非晶質構造となっているが、その後の熱処理により結晶化し、結晶性のアルミナ多孔質膜23とすることができる。熱処理条件としては、600°C以上900°C未満であれば、γアルミナ及びアモルファス非晶質アルミナの混相状態のアルミナ多孔質膜23が得られる。また、900°C以上1200°C未満であれば、γアルミナのアルミナ多孔質膜23が得られる。さらに1200°C以上であれば、αアルミナのアルミナ多孔質膜23が得られる。これらのうち、1200°C以上の熱処理により得られるαアルミナで形成されたアルミナ多孔質膜23は、化学的安定性を大きく向上させることができる。結晶化したアルミナ多孔質膜23を用いることで、アモルファス非晶質アルミナと比較して、水中での長期安定性や、アルカリ溶液中での安定性が向上し、微細気泡形成装置21の適用範囲を拡げることが可能となっている。また、結晶性のアルミナ多孔質膜23を使用することで、微細気泡形成装置21の耐久性、化学的安定性が求められる環境中での使用が可能になる。アルミナ多孔質膜23は、陽極酸化条件に応じた直径約数μm~数十nm程度の細孔連通孔31が均一に形成されている。細孔31は、膜面垂直方向に互いに交わること無く、異方性をもって形成されている。このように細孔31の径が微細で異方性を有した構造をしていることから、気泡の合体による泡の粗大化を抑制し、微細気泡の液中への分散を行うことができる。また細孔径が均一であるため、焼結金属等のように焼結によって製造された多孔質材料に比べ、極端に大きな細孔が存在しないことも利点となっている。また、細孔31の形状は、円形に限るものではなく、矩形形状の細孔31も同様に用いることが可能である。次に多孔質部24について説明する。多孔質部24の厚さh2は、図3に示すように、アルミナ多孔質膜23の厚さh1と同様から2倍以下程度とするのが好ましいh1≦h2≦2h1。多孔質部24は、アルミナ多孔質膜23の表面における気泡径の粗大化を抑え、微細なまま気泡を液中に分散させるために設けられている。多孔質部24は、アルミナ多孔質膜23に別部材として積層され、あるいは、アルミナ多孔質膜23と一体に形成されている。多孔質部24は、処理対象の液体に対して、濡れ性の高い濡れやすい多孔質の材料で形成されている。多孔質部24をアルミナ多孔質膜23の表面に積層あるいは一体に形成することで、アルミナ多孔質膜23から圧送される気泡が、多孔質部24に接触した際に、多孔質部24の壁面を液体で濡らす作用によって、液体が多孔質部24と気泡の接触部に流れ込み、気泡をアルミナ多孔質膜23表面から容易に離脱させることができ、アルミナ多孔質膜23単体で気体を圧送するよりも、より微細な気泡を形成することができる。この場合に、多孔質部24の材料としては、有機系、セラミック系あるいは金属系の材料を用いることが可能である。多孔質部24に用いる有機系の材料としては、ニトロセルロース、ポリカーボネートやフッ素樹脂例えば、親水化処理されたPTFE膜。等の比較的入手が容易で、細孔径についても選択の幅が広く、アルミナ多孔質膜23の細孔径に合わせた選択が可能である。処理対象の液体が水である場合には、分子の一部に親水基、例えばヒドロキシル基を有する有機材料を選択することができる。また、物理蒸着や化学処理によって多孔質部24をアルミナ多孔質膜23と一体に形成する場合よりも、有機膜としての多孔質部24を積層するだけで形成できるので、微細気泡形成装置21の製造を簡素化できるという点も利点となる。また、多孔質部24に用いるセラミック系の材料としては、処理対象の液体が水である場合には、水に対する濡れ性から、酸化物系セラミック、シリカガラス等が挙げられる。多孔質部24としてセラミック系の材料を用いた場合、処理対象の液体が水である場合には、親水性が高く、有機系の材料を用いる場合と比較して、気泡の離脱を促進でき、より微細な気泡を得ることが可能となる。また、多孔質部24に用いる金属系の材料としては、銅Cu、白金Pt、金Au等が挙げられる。多孔質部24として金属系の材料を用いた場合、処理対象の液体が水である場合には、有機系の材料を用いる場合と比較して高い親水性を得ることができる。また、導電性を利用して、電気化学処理を併用することが可能となり、気泡発生効率と処理能力の向上を図ることができる。例えば、金属系の材料として、金を蒸着し、電解を併用して液中のイオンの選択分離を促進することも可能である。さらに、多孔質部24に形成されている細孔41図5参照の径は、アルミナ多孔質膜23の細孔31の径以上とすることが望ましい。より望ましくは、アルミナ多孔質膜23の細孔31の径の2倍程度とする。これは、多孔質部24の細孔41の径がアルミナ多孔質膜23の細孔31の径よりも小さい場合、両多孔質材料の接触面で気泡の通過の際に圧力損失が生じ、同量の気泡を発生させようとした場合に、より装置構成の大型化及び複雑化を招くこととなるからである。補強板25としては、ステンレスメッシュ等の比較的強度が高く、アルミナ多孔質膜23及び多孔質部24の変形を抑制しつつ、微細気泡の放出を妨げない材料が用いられる。次に液体処理システム10の動作について説明する。液体処理システム10において、液体のバッチ処理を行うに際しては、貯留槽11から搬送ポンプ13により、所定量の液体がバッチ処理槽12内に搬送される。この状態において、散気ポンプ14は、気体供給装置15から供給された気体を所定の圧力で、バッチ処理槽12内の散気ユニット20に給気パイプP1を介して圧送する。これにより、圧送された気体は、散気ユニット本体20Aの複数の微細気泡形成装置21の給気口22Iを介してアルミナ多孔質膜23に至る。図5は、微細気泡形成作用の説明図である。アルミナ多孔質膜23に至った気体を、処理対象の液体LQ中例えば、水中に微細気泡として、分散させる場合、アルミナ多孔質膜23を通過して形成され気泡MB0は、より濡れ性例えば、親水性の高い多孔質部24に接触する。この結果、気泡MB0と、多孔質部24との接触面に液体例えば水が浸入することとなり、アルミナ多孔質膜23の表面から気泡MB0が微細気泡MBとして離脱する。ここでの微細気泡MBとは、500μm以下の気泡、より望ましくは、100μm以下の径の気泡をいう。そして、バッチ処理槽12内の液体を通過して、液体を通過した気体は、バッチ処理槽12の上部より気体回収装置16により回収され、再利用、あるいは、そのまま若しくは脱臭処理等の処理後に排出されることとなる。以上の説明のように、本実施形態によれば、気泡の粗大化を抑制し、より微細な気泡を液中に効率的に分散させることができる。さらに簡易な構成で、耐久性の高い微細気泡形成装置を構成することができる。以上の説明においては、微細気泡形成装置21に気体を圧送するだけで、微細気泡を生成する構成を採っていたが、アルミナ多孔質膜23および多孔質部24により形成される気泡の微細化をより促進するため、超音波装置を設けるように構成することも可能である。また、微細気泡形成装置21の上面に対し、水流を平行に流す流路構造を有する水流供給装置を設けることにより、せん断力により気泡の微細化を図ることが可能である。この結果、より気泡を微細化し、気体と液体との接触面積を増大させて気泡供給効率を向上させることができる。以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。