"冷間加工率50~95の条件で作製された内部酸化性Ag合金を、加圧酸化炉中の大気を酸素に置換後、酸素圧を5kg/cm2~50kg/cm2の加圧酸素雰囲気中で200°C以下の温度から徐々に昇温し、上限700°Cで内部酸化処理をすることによって、最表面に生成するAgリッチ層と直下の酸化物凝集層の生成を抑制し、かつ、内部組織深層まで添加元素の複合酸化物を均一で微細に析出分散させてあるSn1~5重量、In3~10重量さらにFe、Ni、Coのうちの1種以上を0.05~1重量、残部AgからなるAg-酸化物系電気接点材料。冷間加工率50~95の条件で作製された内部酸化性Ag合金を、加圧酸化炉中の大気を酸素に置換後、酸素圧を5kg/cm2~50kg/cm2の加圧酸素雰囲気中で200°C以下の温度から徐々に昇温し、上限700°Cで内部酸化処理をすることによって、最表面に生成するAgリッチ層と直下の酸化物凝集層の生成を抑制し、かつ、内部組織深層まで添加元素の複合酸化物を均一で微細に析出分散させてあるSn1~5重量、In3~10重量、Bi0.05~2重量さらにFe、Ni、Coのうちの1種以上を0.05~1重量、残部AgからなるAg-酸化物系電気接点材料。冷間加工率50~95の条件で作製された内部酸化性Ag合金を、加圧酸化炉中の大気を酸素に置換後、酸素圧を5kg/cm2~50kg/cm2の加圧酸素雰囲気中で200°C以下の温度から徐々に昇温し、上限700°Cで内部酸化処理をすることによって、最表面に生成するAgリッチ層と直下の酸化物凝集層の生成を抑制し、かつ、内部組織深層まで添加元素の複合酸化物を均一で微細に析出分散させてあるSn1~5重量、In3~10重量、Sb0.05~5重量さらにFe、Ni、Coのうちの1種以上を0.05~1重量、残部AgからなるAg-酸化物系電気接点材料。冷間加工率50~95の条件で作製された内部酸化性Ag合金を、加圧酸化炉中の大気を酸素に置換後、酸素圧を5kg/cm2~50kg/cm2の加圧酸素雰囲気中で200°C以下の温度から徐々に昇温し、上限700°Cで内部酸化処理をすることによって、最表面に生成するAgリッチ層と直下の酸化物凝集層の生成を抑制し、かつ、内部組織深層まで添加元素の複合酸化物を均一で微細に析出分散させてあるSn1~5重量、In3~10重量、Bi0.05~2重量、Sb0.05~5重量さらにFe、Ni、Coのうちの1種以上を0.05~1重量、残部AgからなるAg-酸化物系電気接点材料。Ag中に、Sn、In、Sb、Bi等を添加した合金に内部酸化処理を施すことにより、酸化物が析出分散された内部構造が得られるが、接点の製造条件、内部酸化条件、接点特性評価試験後の損耗状況について研究した結果、接点作製時に表面に形成されるAgリッチ層とその直下の酸化物凝縮層が接点開閉時に溶着や接点温度上昇等の悪い結果を招来させることが判明した。そこで、Cdの使用廃止問題を解決し、しかも、Ag-CdO系電気接点材料に匹敵する諸特性を有し、Ag-Sn、In、Sb系のCdフリー接点材料における内部酸化処理に特有のAgリッチ層とその直下の酸化物凝集層の生成を抑制し、添加元素酸化物粒子の濃度分布の不均一や粒子の粗大化およびその凝集等の諸問題を解決することを目的とする。本発明者は、内部酸化機構における温度酸素圧添加元素が酸化組織の変化におよぼす諸要因を分析し、さらに、製造条件にもその分析範囲を拡げて検討を行った。また、Cd以外の種々の元素の酸化物の接点特性に寄与する役割についても再検討を行い、電気接点の表面における清浄作用やアークに対する諸現象、例えば添加する酸化物の特性、特にその蒸気圧の温度特性並びにAg中の分散状態と開閉時に発生するアーク中の消弧作用現象との関係を解析することにより、耐溶着性、耐アーク消耗性、低接触抵抗等の諸電気特性において、Ag-CdO系電気接点材料に匹敵する添加元素および複合酸化物を含むその酸化物のAg中の分散状態の最適な関係を確認することができた。このような確認のもとに、約1500~4000°Cの温度範囲でCdOより高い蒸気圧をもつ毒性の少ないSn酸化物やSb酸化物に着目し、それらがCdO系と同等以上の接点用面清浄化作用を発揮することを確認した。さらに、Sn以外の添加元素も各々の複合酸化物としてAg中に分散さることによりこれらの相乗効果が発揮されることも確認した。そこで本発明は、以上の確認のもとになされたものであり、Sn酸化物に、約500~4000°Cの温度範囲でCdOより低い蒸気圧をもつInの酸化物を分散させることにより、これらの金属複合酸化物形態の組み合わせた合成蒸気圧の挙動をより一層CdOの蒸気圧の挙動に近似させ、その相乗作用が優れた接点特性を発揮しうるようにし、また、接点の接触信頼性を不安定にするとされる接点最表面のAgリッチ層の生成を抑制する手段として、Ag中に、Snが1~5重量、Inが3~10重量、さらに、Fe、Ni、Coのうちの1種又は2種を0.05~1重量、残部Agからなる合金を内部酸化し、かつ内部組織において、添加元素のSnIn複合酸化物とFe、Ni、Coのうちの1種又は2種の酸化物が均一で微細に析出分散されたことを特徴とする。また、Sn、Bi酸化物に、約500~4000°Cの温度範囲でCdOより低い蒸気圧をもつInの酸化物を分散させることにより、これらの金属複合酸化物形態の組み合わせた合成蒸気圧の挙動をより一層CdOの蒸気圧の挙動に近似させ、その相乗作用が優れた接点特性を発揮しうるようにし、また、接点の接触信頼性を不安定にするとされる接点最表面のAgリッチ層の生成を抑制する手段として、Snが1~5重量、Inが3~10重量、Biが0.05~2重量、さらに、Fe、Ni、Coのうちの1種又は2種を0.05~1重量、残部Agからなる合金を内部酸化し、かつ内部組織において、添加元素のSnIn複合酸化物、InBi複合酸化物、SnBi複合酸化物ならびにSnInBi複合酸化物とFe、Ni、Coのうちの1種又は2種の酸化物が均一で微細に析出分散されたことを特徴とする。また、Sn、Sb酸化物に、約500~4000°Cの温度範囲でCdOより低い蒸気圧をもつInの酸化物を分散させることにより、これらの金属複合酸化物形態の組み合わせた合成蒸気圧の挙動をより一層CdOの蒸気圧の挙動に近似させ、その相乗作用が優れた接点特性を発揮しうるようにし、また、接点の接触信頼性を不安定にするとされる接点最表面のAgリッチ層の生成を抑制する手段として、Snが1~5重量、Inが3~10重量、Bbが0.05~5重量、さらに、Fe、Ni、Coのうちの1種又は2種を0.05~1重量、残部Agからなる合金を内部酸化し、かつ内部組織において、添加元素のSnIn複合酸化物、InSb複合酸化物、SnSb複合酸化物ならびにSnInSb複合酸化物とFe、Ni、Coのうちの1種又は2種の酸化物が均一で微細に析出分散されたことを特徴とする。また、Sn、Bi、Sb酸化物に、約500~4000°Cの温度範囲でCdOより低い蒸気圧をもつInの酸化物を分散させることにより、これらの金属複合酸化物形態の組み合わせた合成蒸気圧の挙動をより一層CdOの蒸気圧の挙動に近似させ、その相乗作用が優れた接点特性を発揮しうるようにし、また、接点の接触信頼性を不安定にするとされる接点最表面のAgリッチ層の生成を抑制する手段として、Snが1~5重量、Inが3~10重量、Biが0.05~2重量、Sbが0.05~5重量、さらに、Fe、Ni、Coのうちの1種又は2種を0.05~1重量、残部Agからなる合金を内部酸化し、かつ内部組織において、添加元素のSnIn複合酸化物、InBi複合酸化物、SnBi複合酸化物,SnSb複合酸化物、InSb複合酸化物ならびにSnInBiSb複合酸化物とFe、Ni、Coのうちの1種又は2種の酸化物が均一で微細に析出分散されたことを特徴とする。以上の如く、Ag中にSn、In、およびFe、Ni、Coのうちの1種又は2種、さらに場合によってBiとSbの1種以上を固溶させた合金を、加工率50~95の条件下で所望の接点形状に作製し、常圧にて純酸素に置換した後に酸素圧5kg/cm2~50kg/cm2の酸素雰囲気中で200°Cから昇温し700°Cを上限とする温度を内部酸化温度としたことにより、従来のプロセスによる内部酸化進行で発生するAgリッチ層およびその直下の酸化物凝集層の生成を抑制し、さらに上記の高い加工率である強加工により内部転位密度を高め、多数の結晶ならびに酸化物粒子生成の核を生じさせることによる相互作用によって、内部組織深層まで添加元素の複合酸化物を均一で微細に析出分散され、これによって耐溶着性、耐アーク消耗性、低接触抵抗等の諸電気特性に優れたCdフリーの電気接点とすることができる。なお、上記において、加工率の上限を95とした理由は、これ以上の加工は材料の加工性の限界であり、また50未満の加工では効果を十分に発揮する加工歪みを発生させることには不十分であることによる。また、常温で純酸素に置換し、酸素圧を5kg/cm2~50kg/cm2にする理由は、置換することで内部酸化炉中の非酸化性ガスすなわち空気中の窒素と水素を除去し、炉内の酸化雰囲気を向上させることと併せ、酸素圧が5kg/cm2未満では材料内部の深層まで添加元素の複合酸化物を均一で微細な析出分散を得るには不十分であり、50kg/cm2以上では炉体設備が膨大になり製造コストに見合う程の特性上の飛躍的な効果が得られないためである。さらに、加圧酸素雰囲気中で200°Cから昇温し700°Cを上限とする温度を内部酸化温度とした理由は、200°Cが内部酸化の温度範囲の下限であり、700°C以上では内部酸化における材料表面からの酸素の拡散速度よりも溶質元素の拡散速度が大きくなり、組織表層に層状の強固な凝集を形成して以後の内部酸化進行を阻害するためである。また、昇温前に加圧された酸素の供給が遅延すると、上述と同様に酸素の拡散が不十分な状態で溶質元素の拡散が始まり、酸素の供給が遅れて組織表層での酸化物生成反応がおこるため、最表面にAgリッチ層を堆積させることになると考えられる。さらに、AgへのSnの成分範囲の上限を5重量とした理由は、これを超過した添加では当該酸化物を微細に析出させることができず、酸化組織内部で層状の強固な凝集を形成して以後の内部酸化進行が困難となり、酸化後の組織に重大な脆化を引き起こすからである。また、1重量未満の添加では多元素との複合酸化を充足させることができず、十分な諸電気特性に対する添加効果が得られないからである。つぎに、Inの成分範囲の上限を10重量とする理由は、これ以上の添加ではその他の元素と組み合わさって内部酸化時に表面に緻密な酸化皮膜を形成し、表面からの酸素の進入を困難にするためである。3重量未満では上述したCdOより低い蒸気圧の効果であるアークによる揮発損耗を抑制する効果が発揮されないことによる。さらに、Biの成分範囲の上限を2重量とする理由は、それを超過する添加量の場合、熱間脆性を引き起こし、本発明の要素である酸化物の微細化のために合金を加工率50~95で作製することが困難となり、加えて内部酸化時に酸化物の著しい凝集を生じさせ、以後の内部酸化進行を困難にするためである。0.05重量未満では複合酸化物粒子を微細に分散させる効果が現れないからである。また、Sbの成分範囲の上限を5重量とする理由は、これ以上の添加ではその他の元素と組み合わさって内部酸化時に表面に緻密な酸化皮膜を形成し、表面からの酸素の進入を困難にするためである。0.05重量未満ではCdOより高い蒸気圧の効果である接点用面清浄作用の効果が発揮されないからである。さらに、Fe、Ni、Coのうちの1種又は2種の添加は、主に結晶を結晶粒微細化ならびに酸化物粒子サイズの均一化に効果を発揮し、この際、1重量を上限としたのはこれを超えて添加しても溶融法による合金化がきわめて困難であり、0.05重量未満では結晶粒微細化等の効果を発揮することができないためである。以上の本発明によると、耐溶着性、耐アーク消耗性、低接触抵抗等の諸電気特性に優れ、さらに、図1に示す形態例4の酸化組織と図2に示す従来例1の酸化組織に見られるように酸化物粒子および結晶粒径の観点からも理想的な効果がしめされている。また、再表面に見られるAgリッチ層の除去についても優れている効果がある。以下に本発明の実施の形態例を説明する。99.5重量以上の純度を有するSn、In、Bi、SbさらにFe、Ni、Coのうちの1種又は2種を原料として表1に示す組成合金を以下の工程で作製した。高周波誘導溶解炉にて、溶解、鋳造したインゴットを熱間圧延後、その1面にAg板を熱間圧着して、ろう付け用のAg層を形成する。つぎに、当該素材を表1に示す如く、形態例1~9をそれぞれの加工率で冷間圧延して厚さ2mmの板とした後、直径6mmの円盤状に打ち抜いた。この試料を形態例1では、酸素圧50kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~600°Cに昇温して内部酸化させた。形態例2では、酸素圧30kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~630°Cに昇温して内部酸化させた。形態例3では、酸素圧5kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~550°Cに昇温して内部酸化させた。形態例4では、酸素圧50kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~700°Cに昇温して内部酸化させた。形態例5では、酸素圧5kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~670°Cに昇温して内部酸化させた。形態例6では、酸素圧20kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~650°Cに昇温して内部酸化させた。形態例7では、酸素圧10kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~600°Cに昇温して内部酸化させた。形態例8では、酸素圧8kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~680°Cに昇温して内部酸化させた。形態例9では、酸素圧40kg/cm2の酸化雰囲気中で200°C~450°Cに昇温して内部酸化させた。比較のための従来例として、従来例1としてAg-12重量Cd、従来例2としてAg-6重量Sn-3重量In、従来例3としてAg-7重量Inの合金をつくり、それぞれ50以下の加工率で同様の形状とした後、酸素圧3kg/cm2の酸化雰囲気中で780°Cに固定した温度で内部酸化したものとした。接点試験は、接触抵抗と溶着試験機60A定格用ならびに市販接触器による実機テストAC200V、20Aを行ってその電気的特性を評価した。"