"ガラス基板の板厚をTμmとし、当該ガラス基板の表面から当該ガラス基板内に存在する泡までの距離をDμmとし、前記泡の球換算径をeμmとしたときに、少なくとも一方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足することを特徴とするガラス基板。筋目方向に沿って搬送されるガラス基板に光源から光を照射し、前記ガラス基板で反射した光が到達する位置に配置された撮影手段によって、前記ガラス基板を撮影する撮影ステップと、前記撮影手段で撮影された画像内における、前記ガラス基板内の同一の泡に起因する2つの重なり合う楕円形の像の位置関係に基づいて、前記ガラス基板内での前記泡の高さ方向位置を算出する演算ステップと、前記泡の球換算径eを算出する球換算径算出ステップと、前記泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、前記泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定する判定ステップとを含むガラス基板検査方法によって、少なくとも前記表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される請求項1に記載のガラス基板。演算ステップで、同一の泡に起因する2つの重なり合う像の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さから、前記搬送方向に平行な泡の径の長さを減算した値を計算し、計算した前記値と、前記ガラス基板内での光の屈折角とにより、前記ガラス基板内での前記泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、前記搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、前記泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、前記泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも前記表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される請求項2に記載のガラス基板。演算ステップで、同一の泡に起因する2つの重なり合う像の位置関係から、搬送方向に直交するガラス基板の幅方向における像の位置を変数として含む、予め定められた算出式を用いて、前記泡の特徴量を算出し、当該特徴量を用いて、前記2つの重なり合う像の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さから、前記搬送方向に平行な泡の径の長さを減算した値を計算し、計算した前記値と、前記ガラス基板内での光の屈折角とにより、前記ガラス基板内での前記泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、前記搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、前記泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、前記泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも前記表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される請求項2に記載のガラス基板。演算ステップで、同一の泡に起因する2つの重なり合う像の位置関係から、予め定められた算出式を用いて、特徴量として搬送方向に平行な泡の径の長さを計算し、前記2つの重なり合う像の外接矩形における前記搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さから前記径の長さを減算した値を計算し、計算した前記値と、前記ガラス基板内での光の屈折角とにより、前記ガラス基板内での前記泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、前記搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、前記泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、前記泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも前記表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される請求項4に記載のガラス基板。演算ステップで、予め定められた算出式を用いて、同一の泡に起因する2つの重なり合う像の位置関係から、特徴量として、泡の2つの径の比を算出し、撮影手段の正面方向の撮影位置に相当する画像内のラインと、前記2つの像の各中心を通過するラインとのなす角と、前記比とにより、前記2つの重なり合う像の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さから、前記搬送方向に平行な泡の径の長さを減算した値を計算し、計算した前記値と、前記ガラス基板内での光の屈折角とにより、前記ガラス基板内での前記泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、前記搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、前記搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、前記泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、前記泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも前記表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される請求項4に記載のガラス基板。フロート法で製造されたガラスリボンから採板されたガラス基板であり、前記ガラスリボンのボトム面に該当する方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足する請求項1から請求項6のうちのいずれか1項に記載のガラス基板。液晶表示パネルのガラス基板であり、液晶側に向けられる方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足する請求項1から請求項6のうちのいずれか1項に記載のガラス基板。ガラス基板の表面には、欠陥に起因する膨らみがないことが好ましい。例えば、ガラス基板内の欠陥の例として泡が挙げられる。泡が、ガラス基板の表面の近傍にあると、ガラス基板の表面に膨らみが生じてしまうという問題が生じる。例えば、このように表面に膨らみのあるガラス基板を液晶表示パネルにおける透明基板として用いると、その膨らみによってセルギャップが均一にならなくなってしまう。特に立体画像3次元画像を表示する液晶表示パネルの場合には、左眼用画像と右眼用画像の2種類の画像を扱うので、2次元画像を表示する液晶表示パネルと比較して、扱う映像情報量が2倍になる。そして、左眼用画像と右眼用画像を高速に切り替える必要があり、セルギャップを狭ギャップにする必要がある。このため、立体画像3次元画像を表示する液晶表示パネルの場合は、セルギャップの均一性がより厳しく求められ、従来、許容されていたガラス基板の表面の近傍に存在する泡に起因するガラス基板の微小な表面の膨らみも許容されなくなった。また、表面の膨らみがある限界以上になると、ガラス基板を重ねたときに、その膨らみ部分に荷重が集中して割れの原因となる。従って、液晶表示パネルで使用されるガラス基板では、少なくとも一方の側の表面液晶側の表面に膨らみがないことが好ましい。そこで、本発明は、少なくとも一方の表面が膨らんでいないガラス基板を提供することを目的とする。本発明によるガラス基板は、ガラス基板の板厚をTμmとし、当該ガラス基板の表面から当該ガラス基板内に存在する泡までの距離をDμmとし、泡の球換算径をeμmとしたときに、少なくとも一方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足することを特徴とする。本発明によるガラス基板の板厚Tμmは特に限定されないが、ガラス基板内に泡が存在する場合、ガラス基板の板厚Tμmが薄くなる程、ガラス基板の表面からガラス基板内に存在する泡までの距離をDμmが小さくなりガラス基板表面が膨らむ可能性が高くなるので、10μm以上700μm以下が好ましく、10μm以上400μm以下がより好ましく、10μm以上100μm以下がさらに好ましく、10μm以上50μm以下がとくに好ましい。例えば、本発明によるガラス基板は、筋目方向に沿って搬送されるガラス基板に光源例えば、光源2から光を照射し、ガラス基板で反射した光が到達する位置に配置された撮影手段例えば、ラインカメラ3によって、ガラス基板を撮影する撮影ステップと、撮影手段で撮影された画像内における、ガラス基板内の同一の泡に起因する2つの重なり合う楕円形の像の位置関係に基づいて、ガラス基板内での泡の高さ方向位置を算出する演算ステップと、泡の球換算径eを算出する球換算径算出ステップと、泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定する判定ステップとを含むガラス基板検査方法によって、少なくとも表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される。また、例えば、本発明によるガラス基板は、演算ステップで、同一の泡に起因する2つの重なり合う像例えば、像21,22の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さ例えば、hから、搬送方向に平行な泡の径の長さ例えば、sを減算した値を計算し、計算したその値と、ガラス基板内での光の屈折角とにより、ガラス基板内での泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される。また、例えば、本発明によるガラス基板は、演算ステップで、同一の泡に起因する2つの重なり合う像の位置関係から、搬送方向に直交するガラス基板の幅方向における像の位置を変数例えば、変数uとして含む、予め定められた算出式例えば、式6や式7を用いて、泡の特徴量例えば、sやrを算出し、当該特徴量を用いて、2つの重なり合う像の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さから、搬送方向に平行な泡の径の長さを減算した値を計算し、計算したその値と、ガラス基板内での光の屈折角とにより、ガラス基板内での泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される。また、例えば、本発明によるガラス基板は、演算ステップで、同一の泡に起因する2つの重なり合う像の位置関係から、予め定められた算出式例えば、式6を用いて、特徴量として搬送方向に平行な泡の径の長さ例えば、sを計算し、2つの重なり合う像の外接矩形における搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さからその径の長さを減算した値を計算し、計算したその値と、ガラス基板内での光の屈折角とにより、ガラス基板内での泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される。また、例えば、本発明によるガラス基板は、演算ステップで、予め定められた算出式例えば、式7を用いて、同一の泡に起因する2つの重なり合う像の位置関係から、特徴量として、泡の2つの径の比例えば、rを算出し、撮影手段の正面方向の撮影位置に相当する画像内のラインと、2つの像の各中心を通過するラインとのなす角と、上記の比とにより、2つの重なり合う像の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さから、搬送方向に平行な泡の径の長さを減算した値を計算し、計算したその値と、ガラス基板内での光の屈折角とにより、ガラス基板内での泡の高さ方向位置を算出し、撮影手段で撮影された画像によって、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップを含み、球換算径算出ステップで、搬送方向に平行な泡の径の長さをsμmとし、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さをtμmとしたときにs×t21/3を計算することによって、当該泡の球換算径eを算出し、判定ステップで、泡の高さ方向位置によって定まるガラス基板の表面から泡までの距離Dと、泡の球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615が満たされているか否かを判定するガラス基板検査方法によって、少なくとも表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足すると判定される。また、例えば、本発明によるガラス基板は、フロート法で製造されたガラスリボンから採板されたガラス基板であり、ガラスリボンのボトム面に該当する方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足するガラス基板であってもよい。また、例えば、本発明によるガラス基板は、液晶表示パネルのガラス基板であり、液晶側に向けられる方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eがe≦0.01×D1.615を満足するガラス基板であってもよい。本発明のガラス基板によれば、少なくとも一方の側の表面における膨らみを防止することができる。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は、本発明のガラス基板の側面図の例を示す説明図である。本発明のガラス基板51は、以下の条件を満足するガラス基板である。すなわち、本発明のガラス基板51は、ガラス基板の板厚をTμmとして、そのガラス基板の表面からそのガラス基板内に存在する泡までの距離をDμmとし、その泡の球換算径をeμmとしたときに、ガラス基板の2つの表面のうち、少なくとも一方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡の球換算径eが、以下に示す式4満たすという条件を満足する。e≦0.01×D1.615式4ここで、D≦T/2である。具体的には、ガラス基板の表面から泡までの距離は、その泡に近い方の表面を基準に定めるものとする。図1に示す例では、ガラスの表面から泡57までの距離Dとは、ガラス基板の主面となる2つの表面52,53のうち、泡57に近い方の表面52を基準とした場合における、表面52から泡57までの距離である。また、泡は、ガラス基板やガラスリボン内の欠陥の一種である。図1では、球換算径eを示すために便宜的に泡57を球形で図示しているが、実際の泡は、楕円の長軸を中心にして楕円を回転させた回転楕円体に近い形状となっている。よって、ガラス内の泡は、楕円の長軸を中心にして楕円を回転させた回転楕円体であるとみなすことができる。また、この楕円の短軸の長さをtμmとし、長軸の長さをsμmとする。図2は、このような泡の形状を示す説明図である。また、図3は、このような泡を上方から観察した状態を示す説明図である。図2に示すように、泡の高さと泡の幅は、共通の値であるとみなすことができ、いずれもtである。また、泡の長さは、楕円の長軸と等しい値であり、sである。この泡の球換算径をeμmとすると、球換算径eは、以下に示す式5の計算によって求められる。e=s×t21/3式5すなわち、球換算径eは、s×t2の3乗根である。例えば、ガラス基板51が液晶表示パネルの透明基板として用いられるガラス基板であるとする。この場合、ガラス基板51の主面となる2つの表面のうち、少なくとも、液晶側に向けられる方の表面を基準として、その表面から泡までの距離をDμmとしたときに、その泡の球換算径eと距離Dとの間に、式4が成立していればよい。ただし、この泡は、液晶側に向けられる方の表面からT/2μm以内の層に存在する泡であり、D≦T/2である。なお、ガラス基板の他方の表面を基準とした場合にも、球換算径eと距離Dとの間に同様の関係が成立していてもよい。なお、ガラス基板の主面となる2つの表面のうち、液晶側に向けられる方の表面とは、例えば、透明電極が配置される面であると言うこともできる。従って、図1に示すガラス基板51が液晶表示パネルに用いられるガラス基板であり、表面52が液晶側に向けられる面であるならば、表面52を基準にして表面から泡までの距離Dを測定すればよい。また、フロート法で製造されたガラスリボンからガラス基板を採板して、液晶表示パネルに用いられるガラス基板を製造する場合、ガラスリボンのボトム面に該当する方の面を研磨し、その面を液晶側に向ける構成として液晶表示パネルを製造する。従って、フロート法で製造されたガラスリボンからガラス基板を採板して、液晶表示パネルに用いられるガラス基板を製造した場合、ガラス基板51の主面となる2つの表面のうち、少なくとも、ガラスリボンのボトム面に該当する方の表面を基準として、そのボトム面から泡までの距離をDμmとしたときに、その泡の球換算径eと距離Dとの間に、式4が成立していればよい。ただし、この泡は、ボトム面に該当する側の表面からT/2μm以内の層に存在する泡であり、D≦T/2である。なお、ガラスリボンのトップ面に該当する方の面を基準とした場合にも、球換算径eと距離Dとの間に同様の関係が成立していてもよい。なお、フロート法で製造されたガラスリボンの下側の面をボトム面と呼び、上側の面をトップ面と呼ぶ。従って、図1に示すガラス基板51が、フロート法で製造されたガラスリボンから採板されたガラス基板であり、表面52がボトム面に該当する面であるならば、表面52を基準にして表面から泡までの距離Dを測定すればよい。ガラス基板の表面ここでは、図1に示す表面52とする。からT/2μm以内の層に存在する泡に関して、表面から泡までの距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているということは、表面52に近い泡ほど球換算径が小さいということである。換言すれば、表面52の近くに、球換算径の大きな泡は存在していないということである。従って、泡の影響による表面52の膨らみを防止することができ、ガラス基板の品質を向上させることができる。また、本発明のガラス基板51では、このように表面52の膨らみを防止することができるので、液晶表示パネルにおける透明基板として用いた場合、セルギャップを均一にすることができる。なお、フロート法で製造されたガラスリボンから採板したガラス基板を液晶表示パネルに用いる場合には、ガラスリボンのボトム面に該当する方の面を研磨するが、本発明のガラス基板51は、研磨する前における表面52を基準として、表面52から泡までの距離Dただし、D≦T/2と泡の球換算径eとの間で式4が成立しているガラス基板であってもよい。また、フロート法等によって製造されたガラスリボンや、そのガラスリボンから採板されたガラス基板には、ガラスリボンの主要な延伸方向に沿った筋目が生じている。ガラスリボンの主要な延伸方向とは、ガイド部材によるガラスリボンの幅方向への延伸ではなく、ガラスリボンの進行方向に沿った延伸の方向を意味する。以下、ガラスリボンの主要な延伸方向を、単に、ガラスリボンの延伸方向と記す。筋目とは、ガラスリボンの延伸方向に垂直な方向における板厚の変動およびうねりに起因して、ガラスリボンの延伸方向に生じる筋である。ガラスリボンから採板したガラス基板にも筋目は生じている。また、ガラスリボンの延伸方向は、ガラスリボンがガラスリボン製造装置図示せず。から送り出される進行方向と同じであるので、筋目方向と、ガラスリボンの延伸方向と、製造時に送り出されるガラスリボンの進行方向はいずれも同じ方向である。以下、ガラス基板における表面から泡までの距離Dを測定したり、泡の球換算径eを算出したりして、式4が成立しているかを検査するガラス基板検査方法に用いられる検査システムの例や、ガラス基板検査方法について説明する。このガラス基板検査方法によって、式4が成立していると判定されるガラス基板であれば、本発明のガラス基板51に該当する。このガラス基板検査方法では、ガラス基板の各種欠陥のうち泡を対象として、ガラス基板の表面から泡までの距離Dを算出する。ガラスリボンやガラス基板内の泡は楕円体となっている。そのため、ガラス基板内の泡を撮影して得られる画像では、泡の像は楕円となる。また、画像として撮影された泡の像楕円形の像において、中心部分は白色となる。よって、画像に写された泡の像の中心部分は、特徴的な点以下、特徴点と記す。として利用することができる。まず、ガラス基板に関して式4が成立しているか否かを検査するガラス基板検査方法のうち、第1のガラス基板検査方法について説明する。図4は、ガラス基板における表面から泡までの距離Dと泡の球換算径eとの間に式4が成立しているか否かを検査する検査システムの構成例を示す模式図である。この検査システムは、搬送ローラ1と、光源2と、ラインカメラ3と、演算装置4とを備える。搬送ローラ1は、検査対象となるガラス基板5を支持し、ガラス基板5を一定方向に一定速度で搬送する。ガラス基板5は、ガラス基板5自身の筋目方向に沿った方向に搬送される。従って、搬送ローラ1によるガラス基板5の搬送方向は、ガラス基板5の筋目方向と同じ方向である。また、本例では、ガラス基板の2つの表面のうち、泡までの距離を定める基準となる表面図1における表面52とする。を、光源2およびラインカメラ3とは反対側に向けて、ガラス基板5を搬送ローラ1に支持させる場合を例にする。例えば、ガラス基板5が、フロート法で製造されたガラスリボンから採板されたガラス基板である場合、ガラスリボンのボトム面に相当する面を光源2およびラインカメラ3とは反対側に向けて、ガラス基板5を搬送ローラ1に支持させればよい。また、ガラス基板5が液晶表示パネルにおける透明基板として用いられるのであれば、液晶側に向けられる面を光源2およびラインカメラ3とは反対側に向けて、ガラス基板5を搬送ローラ1に支持させればよい。そして、このガラス基板検査方法では、ガラス基板5における搬送ローラ1側の表面52から泡までの高さ方向位置距離を測定する。ここで、高さ方向位置は、搬送ローラ1側の表面から泡までの距離である。従って、基準となる表面を搬送ローラ1側に向けた場合、高さ方向位置の測定値は、基準となる表面から泡までの距離Dを意味する。なお、泡までの距離を定める基準となる表面52を搬送ローラ1とは反対側に向けてガラス基板5を搬送ローラ1に支持させてもよい。この場合、基準となる表面から泡までの距離Dは、ガラス基板5の板厚Tから、高さ方向位置の測定値を減算した値である。板厚Tは既知であり、泡までの距離を定める基準となる表面52をどちら側に向けた場合であっても、基準となる表面から泡までの距離Dは、泡の高さ方向位置の測定値に応じて定められる。既に説明したように、ここでは、泡までの距離を定める基準となる表面52を、光源2およびラインカメラ3とは反対側すなわち、搬送ローラ1側に向けてガラス基板5を搬送ローラ1に支持させる場合を例にする。光源2は、ガラス基板5の2つの面のうち、一方の面の側に配置され、ガラス基板5に向けて光を照射する。この光は、界面8からガラス基板5に入射し、ガラス基板内を通過して入射側とは反対側の面52で反射する。反射した光は、入射側の界面8を通過してラインカメラ3に到達する。なお、図4では光の経路を簡略化して示しているが、図16の上段の側面図に示したように、光の経路は、光が界面8に入射するとき、および、界面52での反射後に界面8を通過するときに、それぞれ屈折する。ラインカメラ3は、光源2から照射されてガラス基板5で反射した光が到達する位置に配置される。具体的には、ガラス基板5を基準として、光源2と同じ側に配置される。また、例えば、ラインカメラ3は、光源2を基準として、ガラス基板5の搬送方向に配置される。そして、ラインカメラ3は、ガラス基板5の内部を撮影し、撮影結果として画像を生成する。光源2およびラインカメラ3の配置位置が定まっていることにより、光の経路において入射角α図16の上段を参照も固定値として決まっている。さらに、ガラス基板5の屈折率nも既知であり、式1を解くことにより、光源2からラインカメラ3までの光の経路における屈折角βの値も固定値として決定されているものとする。ガラス基板5は搬送され、ラインカメラ3は固定位置でガラス基板5の撮影を行い続ける。従って、時間経過とともに、ガラス基板5において、撮影される箇所が変化する。よって、ラインカメラ3の正面方向の撮影位置の連なりを、ガラス基板5の界面8に正射影すると直線として表される。この直線をセンターラインと呼ぶこととする。図5Aは、センターラインを示す説明図であり、図5Bは、画像内におけるセンターラインに相当するラインを示す説明図である。図5Aは、ガラス基板5の上面図である。ガラス基板5の搬送に伴いラインカメラ3の正面の撮影位置が変化し、その連なりの界面への正射影をセンターライン95として図示している。また、図5Bは、ラインカメラ3によって撮影した画像を表す。画像内において、センターライン95に相当するライン96を、一点鎖線で示している。このライン96は、ラインカメラ3の正面方向の撮影位置に対応する画素の連なりということができる。また、センターライン95は、ガラス基板5の搬送方向と平行であり、センターライン95に相当する画像内のライン96は、画像内における、ガラス基板5の搬送方向に相当する方向を表しているということができる。なお、ガラス基板5はその筋目方向に沿って搬送されるので、画像内のライン96は筋目方向に相当する方向を表しているということもできる。センターライン95に相当する画像内のライン96を、搬送方向ラインと記す。なお、図5Bでは、説明のために搬送方向ライン96を図示したが、実際の撮影画像において搬送方向ライン96が画像内に写っているわけではない。ガラス基板5内に泡が存在する場合、1つの泡に起因して、ラインカメラ3が撮影する画像内では、その泡の像が2つ現れる。また、泡を撮影した画像内に現れる泡の像は楕円形であり、その中心部は白色となっている。演算装置4は、ラインカメラ3によって撮影された画像を参照して、泡の高さ方向位置を測定する。この泡の高さ方向位置は、図16の上段の側面図においてdとして示した長さである。すなわち、ガラス基板5において、光源2とは反対側の表面52から泡までの距離である。演算装置4は、共通の泡を撮影して得られた対になる楕円形の像が重なり合っている場合に、その対になる楕円形の位置関係に基づいて、ガラス基板5内における泡の高さ方向位置を算出する。具体的には、演算装置4は、画像内において重なり合う2つの楕円形の像の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での距離から、泡の径のうち、搬送方向に平行な径の長さを減算した値を計算する。なお、画像内において、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行であるということは、搬送方向ライン96図5B参照に平行であるということである。演算装置4は、上記の減算によって求めた値と、ガラス基板5での屈折角βとにより、泡の高さ方向位置を算出する。この計算については、図8を参照して、後述する。また、ガラス基板の筋目方向に沿ってガラス基板を搬送した場合、ガラス基板内の泡の長径は、搬送ローラ1による搬送方向換言すれば、ガラス基板5の筋目方向と略平行となっている。図6に示すように、泡の長径72の方向と搬送ローラ1によるガラス基板5の搬送方向71とのずれは、最大で10°である。このように、泡の長径72と搬送ローラ1による搬送方向71とは略平行であるので、ラインカメラ3が撮影した画像においても、楕円形として表れる泡の像の長径と、搬送方向ライン96図5B参照も略平行となる。以下、撮影した画像において、泡の像の長径と搬送方向ライン96とが平行になっている場合を例にして説明する。なお、対になる像が重なり合っていない場合には、演算装置4は、公知の方法によって、泡の高さ方向位置を算出すればよい。また、ラインカメラ3の配置位置は固定される。従って、ラインカメラ3が撮影した画像における1ピクセル分に応じた実空間における距離も固定値として定められる。画像における1ピクセル分に応じた実空間における距離は、既知であるものとする。図7は、ガラス基板に存在する泡に関して式4の条件が満たされているか否かを検査するガラス基板検査方法のうち、第1のガラス基板検査方法の例を示すフローチャートである。まず、光源2が検査対象のガラス基板5に対して光の照射を開始するステップS1。そして、搬送ローラ1は、搬送ローラ1上に配置されたガラス基板5を一定方向に搬送し、ラインカメラ3は、搬送されるガラス基板5の内部の撮影を継続し続ける。このとき、ガラス基板5は、ガラス基板5自身の筋目方向が、搬送方向と同じになるように搬送ローラ1上に配置され、筋目方向に沿って搬送される。そして、ラインカメラ3は、撮影結果として、画像を生成するステップS2。ラインカメラ3は、撮影により得た画像を演算装置4に送信する。ガラス基板5の内部に泡が存在する場合、ステップS2で得られた画像には、泡の像が含まれる。具体的には、画像内には泡の像として楕円形の像が写される。また、図16で説明したように、泡が反射前の光の経路と重なる位置図16の上段の側面図に示す位置91に移動したときと、泡が反射後の光の経路と重なる位置図16の上段の側面図に示す位置92に移動したときに、それぞれ像として画像に写される。従って、1つの泡が存在する場合、画像2には2つの像が写る。また、泡が大きい場合や、泡がガラス基板5の表面52図4参照の付近に存在する場合には、その2つの像は重なり合う。演算装置4は、ステップS2で生成された画像を受信すると、画像中から、2つの重なり合う像の外接矩形の領域を検出する。そして、その外接矩形の辺のうち、画像内において、ガラス基板5の搬送方向に相当する方向と平行な辺すなわち、画像内の搬送方向ライン96と平行な辺のピクセル数をカウントする。そして、演算装置4は、その辺のピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算することによって、その辺のピクセル数に応じた実空間での長さを算出するステップS3。図8は、2つの重なり合う像の外接矩形の領域を示す説明図である。図8に示すように、重なり合う2つの像21,22の外接矩形として、図8に示す外接矩形23が定まる。像21,22は、楕円であり、合同であるとみなすことができる。図8に示す例では、外接矩形23の長辺が、搬送方向ライン96図5B参照と平行であるとものとする。この場合、演算装置4は、像21,22の外接矩形23の長辺24のピクセル数をカウントし、そのピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算する。この長辺24に応じた実空間での長さをhで表す。ここでは、hの単位はμmであるとする。また、欠陥が泡である場合、像21の中心部21aは、画像上において白色となっている。この中心部21aは、像21の特徴点である。演算装置4は、一方の像21の中心部21aから、外接矩形23の短辺のうち近い方の短辺までのピクセル数をカウントする。すなわち、図8おいて符号Aで示す部分のピクセル数をカウントする。演算装置4は、そのピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算する。この乗算結果は、図8に示すAに相当する部分に応じた実空間での長さであり、具体的には、搬送方向に平行な泡の径泡の径のうち、搬送方向に平行な径の1/2の長さである。図8に示す例では、この径は、泡の長径である。演算装置4は、上記の乗算結果を2倍することによって、搬送方向に平行な泡の径の長さを算出するステップS4。この泡の径の長さは、図3に示すsに相当する。ここでは、sの単位はμmであるとする。実空間におけるs/2の長さに対応する画像内での箇所が、図8おいて符号Aで示す部分である。また、2つの像21,22は合同であるとみなすことができるので、図8において、A=A’とみなすことができる。なお、ここでは、像21の中心部21aを用いてsを計算する場合を例にして説明したが、像22の中心部を用いてsを計算してもよい。また、図8では、泡の像の長径と搬送方向ラインとが平行になっている場合を例にして説明しているが、泡の像の長径と搬送方向ラインとが完全には平行となっていない場合もある。しかし、ガラス基板内の泡の長径とガラス基板の搬送方向とのずれは最大でも10°しかない図6参照。よって、泡の像の長径と搬送方向ラインとが完全には平行になっていなくても、両者が平行になっているとみなして、上記のステップS3,S4と同様にh,sを計算してよい。すなわち、hを求める際には、重なり合う2つの像の外接矩形の長辺のピクセル数をカウントし、そのピクセル数に1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算すればよい。また、sを求める際には、一方の像の中心部から外接矩形の短辺のうち近い方の短辺までのピクセル数をカウントし、そのピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算し、その乗算結果を2倍すればよい。泡の像の長径と搬送方向ラインとが完全には平行になっていなくても、上記のようにh,sを計算し、そのh,sを用いて泡の高さ方向位置を計算しても、無視し得る程度の誤差しか含まれない。また、この場合にも、sを泡の長径とみなしてよい。次に、演算装置4は、ステップS3で算出したhから、ステップS4で算出したsを減算するステップS5。この減算結果をydとする。ydは、1つ目の像が撮影された位置から、2つ目の像が撮影された位置までの泡の移動距離である。すなわち、ステップS5で算出されるydは、泡の像が撮影される2点間の距離である。なお、実空間におけるydの長さに対応する画像内での箇所が、図8において符号Bで示す部分である。演算装置4は、ステップS5で算出されたydと、予め定められた屈折角βとを用いて、式2の計算を行い、泡の高さ方向位置dを計算する。すなわち、yd/2tanβを計算し、その計算結果をdとするステップS6。泡の高さ方向位置dは、ガラス基板5における搬送ローラ1側の表面52図4参照から泡までの距離である。次に、演算装置4は、泡の高さ方向位置dに応じて、基準とする表面52から泡までの距離Dを定めるステップS7。本例のように、泡までの距離を定める基準となる表面を搬送ローラ1側に向けてガラス基板を配置した場合、その表面から泡までの距離Dは、ステップS6で算出した泡の高さ方向位置dに等しい。従って、泡の高さ方向位置dの値を、基準とする表面52から泡までの距離Dとすればよい。すなわち、演算装置4は、D=dとして、距離Dの値を定めればよい。なお、泡までの距離を定める基準となる表面を搬送ローラ1とは反対側に向けてガラス基板を配置した場合、その表面から泡までの距離Dは、ガラス基板の板厚Tμmから、泡の高さ方向位置dの値を減算することによって得られる。すなわち、この場合には、演算装置4は、D=T-dとして、距離Dの値を定めればよい。ただし、ガラス基板の板厚Tは、既知であるものとする。ステップS7の後、演算装置4は、ステップS2で撮影された画像に基づいて、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さを算出するステップS8。ステップS8では、ステップS3で検出された2つの重なり合う像の外接矩形の領域図8参照を利用する。具体的には、演算装置は、重なり合う2つの像の一方の像の中心部から、外接矩形の長辺のうち近い方の長辺までのピクセル数をカウントし、そのピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算し、その乗算結果を2倍すればよい。この値は、泡の幅であり、図2に示すtに相当する。ここでは、tの単位はμmとする。また、泡は回転楕円体であるので、泡の高さも、泡の幅と同じくtμmである。次に、演算装置4は、ステップS4で算出した搬送方向に平行な泡の径の長さsと、ステップS8で算出した搬送方向に直交する方向の泡の径の長さtとを用いて、その泡の球換算径eを算出するステップS9。演算装置4は、式5の計算を行うことによって、球換算径eを算出すればよい。すなわち、演算装置4は、s×t2の3乗根を計算することによって、球換算径eを算出する。ここでは、eの単位はμmであるものとする。なお、ステップS3~S9は、対になる楕円形の像の組毎にそれぞれ行う。次に、演算装置4は、ガラス基板5の表面52からの距離Dが、T/2以下になっている泡を検出する。Tはガラス基板5の板厚である。そして、演算装置4は、その泡を順に選択し、選択した泡について算出した距離Dおよび球換算径eとの間で式4が成立しているか否かを判定するステップS10。演算装置は、対になる楕円形の像の組毎に、表面52からの距離Dおよび球換算径eを計算している。ステップS10において、演算装置4は、距離DがT/2以下となった楕円形の組毎に、1つの泡が存在すると判定することによって、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡を検出すればよい。そして、検出した泡を個々に順次、選択し、選択した泡について算出した距離Dおよび球換算径eとの間で、e≦0.01×D1.615という関係が成立しているか否かを判定する。表面52からの距離DがT/2以下となっている泡それぞれについて、e≦0.01×D1.615という関係が成立しているガラス基板は、本発明のガラス基板に該当する。一方、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡の中に、e≦0.01×D1.615という関係が成立していない泡が存在する場合、そのガラス基板は、本発明のガラス基板に該当しない。従って、本発明のガラス基板51図1参照に対して、上記のガラス基板検査方法図7に示すステップS1~S10を行った場合、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡それぞれについて、e≦0.01×D1.615という関係が成立していると判定される。搬送ローラ1図4参照側の表面52の近傍に存在する泡を撮影した画像では、その泡に起因する2つの像が重なり合って現れる。また、泡が大きい場合にも、その泡を撮影した画像では、2つの像が重なり合って現れる。図14Aを参照して説明した第2の測定方法では、同一の欠陥に起因する2つの像が重なる場合、その像の高さ方向位置を測定できない。また、図15Aを参照して説明した第3の測定方法では、図15Bに示すように上側からの画像と下側からの画像を撮影するので、いずれか一方の画像において像が重なっていなければ、欠陥の高さ方向位置を測定することができる。しかし、欠陥が大きい場合には、2つのラインカメラで撮影した各画像において、像が重なってしまうこともあり、その場合には、欠陥の高さ方向位置を測定できない。これに対して、上記のガラス基板検査方法図7に示すステップS1~S10では、同一の泡に起因する像が重なっていても泡の高さ方向位置を計算することができる。よって、表面52からの距離Dを定めることができ、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡に関して、その距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているか否かを判定することができる。また、図14Aを参照して説明した第1の測定方法では、欠陥の高さ方向位置の測定結果が、搬送されるガラス基板の上下の振動の影響を受けやすいが、上記のステップS1~S10で示したガラス基板検査方法ではそのような影響を受けにくく、泡の高さ方向位置を精度よく計算することができる。その結果、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡に関して、その距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているか否かを精度よく判定できる。ガラス基板における基準とする表面52からの距離DがT/2以下となっている泡に関して、その距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているか否かを検査するガラス基板検査方法は、図7に示す方法ステップS1~S10に限定されない。以下、同様の検査を行う第2のガラス基板検査方法、および、第3のガラス基板検査方法について説明する。いずれの場合も、例えば、図4に例示する検査システムを用いて検査することができる。検査対象となるガラス基板5に対する光源2およびラインカメラ3の位置関係は、第1のガラス基板検査方法と同様であり、説明を省略する。ただし、演算装置4による泡の高さ方向位置dの測定方法が、第1のガラス基板検査方法と異なる。なお、第2のガラス基板検査方法および第3のガラス基板検査方法においても、ガラス基板は、ガラス基板自身の筋目方向に沿った方向に搬送されるように搬送ローラ1に配置され、搬送される。第2のガラス基板検査方法では、演算装置4は、検査対象のガラス基板5内の泡の特徴量を算出する。そして、演算装置4は、その特徴量を用いて、重なり合う2つの像の外接矩形における、ガラス基板の搬送方向に相当する方向に平行な辺のピクセル数に応じた実空間での長さから、ガラス基板の搬送方向に平行な泡の径泡の径のうち、搬送方向に平行な径の長さを減算した値を計算する。また、演算装置4は、上記の特徴量を計算するときには、重なり合う2つの像の位置関係に基づき、予め定められた計算式を用いて特徴量を計算する。また、第2のガラス基板検査方法では、特徴量として、ガラス基板の搬送方向に平行な泡の径の長さを計算する。上記の特徴量を算出するための式は、ガラス基板の端部を基準とする像の特徴点に対応する位置の座標と、第1のガラス基板検査方法で説明したhと、2つの重なり合う像の面積とを変数とする関数として予め定めておく。この特徴量泡の径のうち、搬送方向に平行な径を定めるための計算式は、例えば、以下の式6で表すことができる。s=a1u2a2h2a3p2a4uha5hpa6upa7ua8ha9pa10式6式6において、uは、ガラス基板の端部を基準とする像の特徴点に対応する位置の座標であり、具体的には、搬送方向に平行なガラス基板の側面から泡の中心までの距離である。ここでは、uの単位はmmであるものとする。hは、泡を撮影した画像に基づいて、第1のガラス基板検査方法におけるステップS3と同じ計算によって得られる値である。ここでは、hの単位はμmであるものとする。pは、泡を撮影した画像において、2つの像が占める領域2つの像の領域の和集合の面積であり、具体的には、画像内でのピクセル数で表される。式6におけるa1~a10は、係数である。また、式6におけるsは、ガラス基板の搬送方向に平行な泡の径である。特徴量となる径sは、ガラスリボンにおける幅方向の泡の位置によって影響を受けやすい。そして、帯状のガラスリボンからガラス基板を採板する位置は、ガラスリボンの幅方向において一定であることが一般的である。例えば、ガラスリボンの側部からガラス基板の採板位置までの距離をXとすると、Xを一定にして、ガラス基板群を順次、採板していくことが一般的である。このことから、特徴量となる径sは、ガラス基板における搬送方向に垂直な方向における泡の位置換言すれば、ガラス基板における筋目方向に垂直な方向における泡の位置によっても影響を受けやすいということが言える。そこで、上記の変数uを含む算出式例えば、上記の式6をsの計算に用いる。また、撮影した画像において、泡の像の長径と搬送方向ラインとが平行になっている場合、上記のsは、泡の長径に該当する。ただし、画像において、泡の像の長径と搬送方向ラインとが完全には平行になっていない場合であっても、両者はほぼ平行であるので、上記の特徴量sは、泡の長径とみなすことができる。このようにsを泡の長径とみなしても、無視し得る程度の誤差しか含まれておらず、泡の高さ方向位置の算出に影響しない。式6における係数a1~a10は、最小二乗法によって予め求めておく。具体的には、サンプルとなる泡を用いて、s,uを実測する。また、サンプルとなる泡を含むガラス基板に対して、第1のガラス基板検査方法で説明したステップS1~S3と同じ処理を行いhを得る。また、そのときステップS2で得た画像から、2つの像の和集合となる領域のピクセル数pをカウントする。サンプルとなる泡を複数個用意して、それらの各泡について、このようにs,u,h,pを得る。s,u,h,pの組を複数組得たならば、それらのs,u,h,pの組から、最小二乗法により、式6における係数a1~a10を求めればよい。sは、u,h,pとの間に相関を有しており、最小二乗法により、式6における各係数を求めることができる。演算装置4は、泡の高さ方向位置の測定対象となるガラス基板を撮影することによって得られた画像から、u,h,pを求め、式6に代入することによって、sを算出する。そして、演算装置4は、h-s=ydを計算し、その計算結果と屈折角βとを用いて、泡の高さ方向位置を算出する。図9は、第2のガラス基板検査方法の例を示すフローチャートである。第1のガラス基板検査方法と同様の処理に関しては、図7と同一の符号を付し、説明を省略する。ステップS3でhを算出するまでの動作は、第1のガラス基板検査方法と同様である。図10は、画像内に写されるガラス基板の例を示す説明図である。泡が存在する場合、画像内に泡の像21,22も写される。また、図10に示す例では、像の特徴点として、各像21,22の中心部分21a,22aも白色の領域として画像内に現れる。なお、像21,22の外接矩形23を図示しているが、外接矩形23は、画像内に写っているわけではない。ステップS3の後、演算装置4は、画像内におけるガラス基板の端部31から、像の特徴点までのピクセル数をカウントする。すなわち、図10において符号Cで示す部分のピクセル数をカウントする。そして、演算装置4は、そのピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算するステップS11。この乗算結果は、実空間におけるガラス基板の端部側面から泡までの距離uに該当する。すなわち、ステップS11では、uを算出する。ただし、上記のステップS11の説明では、説明を簡単にするために、ガラス基板の端部31が画像内に映っている場合を例にして説明した。ガラス基板の端部31が画像内に映っていない場合には、以下のようにして、距離uを計算すればよい。ラインカメラ3の設置位置は固定であるので、ガラス基板の端部から、ラインカメラ3によって撮影された画像内におけるガラス基板端部側の端までの実空間における距離u0とする。は、予め求めておくことができる。そして、演算装置4は、撮影された画像におけるその端の部分から、像の特徴点までの距離を計算する。この計算では、例えば、画像におけるその端の部分から特徴点までのピクセル数をカウントし、そのピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算すればよい。演算装置4は、この距離に、ラインカメラ設置位置により定まるu0を加算することにより、実空間におけるガラス基板の端部側面から欠陥までの距離uを算出すればよい。なお、図10に示す例では、特徴点として像21の中心部分21aを用い、画像内におけるガラス基板の端部31から中心部分21aまでの距離を求める場合を例にしている。特徴点として、もう一方の像22の中心部分22aを用いてもよい。どちらの中心部分を特徴点として用いても、実空間におけるガラス基板の端部側面から泡までの距離uを求めることができる。特徴点として中心部分21a,22aのどちらを用いるかによりピクセル数のカウント結果が異なるが、その差は僅かであり、距離uには無視し得る誤差しか含まれない。また、特徴点として、外接矩形23内の特徴的な点例えば、外接矩形23のいずれかの頂点を用いてもよい。この場合でも、距離uには無視し得る誤差しか含まれない。ステップS11の後、演算装置4は、重なり合う2つの像21,22が占める領域2つの像の領域の和集合の面積として、その領域内のピクセル数pをカウントするステップS12。そして、演算装置4は、ステップS3,S11,S12で求めたh,u,pを、式6に代入することにより、泡の径のうち、搬送方向に平行な径sを計算するステップS13。図10に示すように像の長径が搬送方向ラインと平行になっている場合、この径sは、泡の長径である。既に説明したように、撮影画像において、像の長径が搬送方向ラインと完全には平行になっていなくても、両者はほぼ平行であるので、ステップS13で計算した径sは、泡の長径とみなすことができる。以降の処理は、第1のガラス基板検査方法におけるステップS5~S10と同様である。すなわち、演算装置4は、ステップS3で算出したhから、ステップS13で算出したsを減算することにより、ydを求めるステップS5。そして、演算装置4は、ydと、屈折角βとを用いて、式2の計算を行い、泡の高さ方向位置dを計算するステップS6。さらに、演算装置4は、泡の高さ方向位置dに応じて、基準とする表面52から泡までの距離Dを定めるステップS7。泡までの距離を定める基準となる表面を搬送ローラ1側に向けてガラス基板を配置した場合、D=dとすればよい。また、泡までの距離を定める基準となる表面を搬送ローラ1とは反対側に向けてガラス基板を配置した場合、演算装置4は、D=T-dとして、距離Dの値を定めればよい。そして、演算装置4は、ステップS2で撮影された画像に基づいて、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さtを算出するステップS8。このtの算出方法は、第1のガラス基板検査方法におけるステップS8と同様でよい。続いて、演算装置4は、s×t2の3乗根を計算することによって、泡の球換算径eを算出するステップS9。なお、ステップS3~S9の処理は、対になる楕円形の像の組毎にそれぞれ行う。さらに、演算装置4は、ガラス基板5の表面52からの距離Dが、T/2以下になっている泡を検出する。そして、演算装置4は、その泡を順に選択し、選択した泡について算出した距離Dおよび球換算径eとの間で式4の関係すなわち、e≦0.01×D1.615が成立しているか否かを判定するステップS10。本発明のガラス基板51図1参照に対して、第2のガラス基板検査方法図9に示すステップS1~S10を行った場合にも、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡それぞれについて、e≦0.01×D1.615という関係が成立していると判定される。また、図9に示す第2のガラス基板検査方法においても、第1のガラス基板検査方法図7参照と同様に、同一の泡に起因する像が重なっていても泡の高さ方向位置を計算できる。また、搬送されるガラス基板の上下の振動の影響を受けにくく、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡に関して、その距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているか否かを精度よく判定できる。次に、第3のガラス基板検査方法について説明する。第3のガラス基板検査方法においても、検査対象となるガラス基板5に対する光源2およびラインカメラ3図4参照の位置関係は、第1のガラス基板検査方法と同様であり、説明を省略する。第3のガラス基板検査方法においても、演算装置4は、ガラス基板5内の泡の特徴量を算出し、その特徴量を用いて、ydを計算する。ただし、第2のガラス基板検査方法では、特徴量として泡の径sを算出したが、第3のガラス基板検査方法では、泡の2つの径の比を計算する。具体的には、演算装置4は、泡の径のうち、搬送方向に直交する方向の径に対する、搬送方向の径の割合を泡の特徴量として求める。すなわち、泡の径のうち、搬送方向に直交する方向の径をr1とし、搬送方向の径をr2とすると、r2/r1を特徴量として計算する。以下、r2/r1をrと記す。なお、撮影した画像において、泡の像の長径と搬送方向ラインとが平行になっている場合、上記のr1は泡の短径に該当し、r2は泡の長径に該当する。すなわち、特徴量rとして、長径/短径を計算することになる。ただし、画像において、泡の像の長径と搬送方向ラインとが完全には平行になっていない場合であっても、両者はほぼ平行であるので、上記のr1を泡の短径とみなし、上記のr2を泡の長径とみなすことができる。すなわち、画像において、泡の像の長径と搬送方向ラインとが完全には平行になっていない場合であっても、特徴量として計算したrを泡の長径/短径とみなすことができる。このようにみなしても、rには無視し得る程度の誤差しか含まれず、泡の高さ方向位置dの算出に影響しない。演算装置4は、泡の特徴量としてrを算出した後、そのrを用いて、yd1つ目の像が撮影された位置から、2つ目の像が撮影された位置までの泡の移動距離を求める。また、演算装置4は、上記の特徴量rを計算するときには、重なり合う2つの像の位置関係に基づき、予め定められた計算式を用いて特徴量を計算する。この特徴量rを算出するための式は、ガラス基板の端部を基準とする像の特徴点に対応する位置の座標と、第1のガラス基板検査方法で説明したhと、2つの重なり合う像の面積とを変数とする関数として予め定めておく。特徴量rを求めるための計算式は、例えば、以下の式7で表すことができる。r=b1u2b2h2b3p2b4uhb5hpb6upb7ub8hb9pb10式7この関数における変数u,h,pは、第2のガラス基板検査方法で示した式6における変数u,h,pと同様である。すなわち、uは、搬送方向に平行なガラス基板の側面から泡の中心までの距離である。hは、泡を撮影した画像に基づいて、第1のガラス基板検査方法におけるステップS3と同じ計算によって得られる値である。pは、泡を撮影した画像において、2つの像が占める領域2つの像の領域の和集合の面積であり、具体的には、画像内でのピクセル数で表される。式7におけるb1~b10は、係数である。特徴量rは、ガラスリボンにおける幅方向の泡の位置によって影響を受けやすい。そして、既に説明したように、帯状のガラスリボンからガラス基板を採板する位置は、ガラスリボンの幅方向において一定であることが一般的である。このことから、特徴量rは、ガラス基板における搬送方向に垂直な方向における泡の位置換言すれば、ガラス基板における筋目方向に垂直な方向における泡の位置によっても影響を受けやすいということが言える。そこで、上記の変数uを含む算出式例えば、上記の式7をrの計算に用いる。式7における係数b1~b10は、最小二乗法によって予め求めておく。具体的には、サンプルとなる泡を用いて、r,uを実測する。また、サンプルとなる泡を含むガラス基板に対して、第1のガラス基板検査方法で説明したステップS1~S3と同じ処理を行いhを得る。また、そのときステップS2で得た画像から、2つの像の和集合となる領域のピクセル数pをカウントする。サンプルとなる泡を複数個用意して、それらの各泡について、このようにr,u,h,pを得る。r,u,h,pの組を複数組得たならば、それらのr,u,h,pの組から、最小二乗法により、式7における係数b1~b10を求めればよい。rは、u,h,pとの間に相関を有しており、最小二乗法により、式7における各係数を求めることができる。演算装置4は、泡の高さ方向位置の測定対象となるガラス基板を撮影することによって得られた画像から、u,h,pを求め、式7に代入することによってrを算出する。また、演算装置4は、撮影された画像において、搬送方向ライン96と、2つの像の中心を通過するラインとのなす角をθとしたときに、tanθの値を求める。そして、演算装置4は、h,u,r,tanθを用いて、ydを計算する。演算装置4は、そのydと屈折角βとを用いて、泡の高さ方向位置dを算出する。図11は、第3のガラス基板検査方法の例を示すフローチャートである。第1のガラス基板検査方法や第2のガラス基板検査方法と同様の処理に関しては、図7や図9と同一の符号を付し、説明を省略する。ステップS12でpを求めるまでの動作ステップS1,S2,S3,S11,S12は、第2のガラス基板検査方法と同様である。ステップS12の後、演算装置4は、ステップS3,S11,S12で求めたh,u,pを、式7に代入することにより、rすなわち、泡の径のうち、搬送方向に直交する方向の径の長さに対する、搬送方向の径の長さの割合を計算するステップS21。図12は、画像内に写されるガラス基板の例を示す説明図である。図10と同様の要素については、図10と同一の符号を付し、説明を省略する。ステップS21の後、演算装置4は、2つの重なり合う像21,22の外接矩形23の辺のうち、ガラス基板の搬送方向に相当する方向と直交する辺換言すれば、画像における搬送方向ラインと直交する辺のピクセル数をカウントする。すなわち、図12において符号Dで示す部分のピクセル数をカウントする。そして、演算装置4は、そのピクセル数に、1ピクセル当たりの実空間での距離を乗算するステップS22。この結果得られる長さをwと記す。すなわち、wは、図12において符号Dで示す部分に対応する実空間での長さである。また、演算装置4は、外接矩形の辺のうち、ガラス基板の搬送方向に相当する方向と平行な辺と、2つの像21,22の中心部分21a,22aを通過するラインとのなす角θの正接であるtanθを求めるステップS23。θは、2つの像21,22の中心部分21a,22aを通過するラインと、搬送方向ラインとのなす角であるということもできる。従って、演算装置4は、例えば、予めyc図17参照の値を定めておき、xccを既に説明した方法で計算し、式3の計算を行うことによってtanθを計算してもよい。あるいは、他の方法でtanθを計算してもよい。次に、演算装置4は、ステップS23までの処理で算出済みであるh,r,w,tanθを用いて、ydを算出するステップS24。具体的には、演算装置4は、以下に示す式8の計算を行うことによって、ydを計算すればよい。yd=h-rw/1-rtanθ式8演算装置4は、上記のydと、予め定められた屈折角βとを用いて、式2の計算を行い、泡の高さ方向位置dを計算するステップS25。この計算は、第1のガラス基板検査方法におけるステップS6と同様である。ステップS25の後、演算装置4は、泡の高さ方向位置dに応じて、基準とする表面52から泡までの距離Dを定めるステップS7。泡までの距離を定める基準となる表面を搬送ローラ1側に向けてガラス基板を配置した場合、D=dとすればよい。また、泡までの距離を定める基準となる表面を搬送ローラ1とは反対側に向けてガラス基板を配置した場合、演算装置4は、D=T-dとして、距離Dの値を定めればよい。この処理は、第1のガラス基板検査方法図7参照や第2のガラス検査方法図9参照におけるステップS7図9参照と同様である。続いて、演算装置4は、搬送方向に平行な泡の径の長さsを算出するステップS4。搬送方向に平行な泡の径の長さsの算出は、第1のガラス基板検査方法図7参照におけるステップS4と同様の方法で行ってもよい。あるいは、第2のガラス検査方法図9参照におけるステップS13の処理と同様の処理を行うことによって、搬送方向に平行な泡の径の長さsを算出してもよい。以降の処理は、第1のガラス基板検査方法や第2のガラス基板検査方法におけるステップS8~S10と同様である。すなわち、演算装置4は、ステップS2で撮影された画像に基づいて、搬送方向に直交する方向の泡の径の長さtを算出するステップS8。続いて、演算装置4は、s×t2の3乗根を計算することによって、泡の球換算径eを算出するステップS9。なお、ステップS3~S9の処理は、対になる楕円形の像の組毎にそれぞれ行う。さらに、演算装置4は、ガラス基板5の表面52からの距離Dが、T/2以下になっている泡を検出する。そして、演算装置4は、その泡を順に選択し、選択した泡について算出した距離Dおよび球換算径eとの間で式4の関係すなわち、e≦0.01×D1.615が成立しているか否かを判定するステップS10。本発明のガラス基板51図1参照に対して、第3のガラス基板検査方法図11に示すステップS1~S10を行った場合にも、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡それぞれについて、e≦0.01×D1.615という関係が成立していると判定される。図11に示す第3のガラス基板検査方法においても、第1のガラス基板検査方法図7参照や第2のガラス基板検査方法図9参照と同様に、同一の泡に起因する像が重なっていても泡の高さ方向位置を計算できる。また、搬送されるガラス基板の上下の振動の影響を受けにくく、表面52からの距離DがT/2以下となっている泡に関して、その距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているか否かを精度よく判定できる。上記の各ガラス基板検査方法において、演算装置4は、例えば、プログラムに従って動作するコンピュータによって実現される。例えば、コンピュータが、プログラムに従って、演算装置4として動作してもよい。次に、本発明のガラス基板51図1参照の製造方法について説明する。図1に示す本発明のガラス基板51は、例えば、フロート法で製造されたガラスリボンに対して、上記の第1のガラス基板検査方法図7参照、第2のガラス基板検査方法図9参照、および第3のガラス基板検査方法図11参照のうちのいずれか一つの方法を適用し、ボトム面からの距離DがT/2以下となっている泡に関して、その距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているガラスリボンを選別し、そのガラスリボンからガラス基板を切り出せばよい。ガラスリボンに対して第1のガラス基板検査方法、第2のガラス基板検査方法および第3のガラス基板検査方法のいずれかの方法を適用する場合、上記のガラス基板の代わりにガラスリボンを用いればよい。このとき、上記の第1のガラス基板検査方法、第2のガラス基板検査方法および第3のガラス基板検査方法のいずれを採用する場合であっても、ボトム面を基準として、ボトム面から泡までの距離Dを算出するとともに、泡の球換算径eを算出し、距離DがT/2以下となっている泡に関して、距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているガラスリボンを選別すればよい。このように選別したガラスリボンから採板したガラス基板では、ボトム面に該当する面の膨らみを防止することができる。また、このようにして採板したガラス基板を液晶表示パネルの透明基板として用いる場合は、ガラスリボンにおけるボトム面に相当する面を研磨し、その面が液晶側を向くようにして液晶表示パネルを製造すればよい。この結果、セルギャップが均一となっている液晶表示パネルを製造することができる。また、泡による表面の膨らみを防止することができるので、本発明によるガラス基板は、立体画像を表示する液晶表示パネルにも好適に利用可能である。表面の膨らみを防止することができるので、ガラス基板を重ねた場合に、ガラス基板の一部に荷重が集中することを防止できる。従って、ガラス基板を重ねた場合であっても、ガラス基板の割れを防止することができる。なお、ガラスリボンの製造方法としてフュージョン法がある。フュージョン法で製造されたガラスリボンに関しては、どちらの表面を、距離Dを定めるための基準面としてもよい。そして、基準面とした表面から泡までの距離Dを算出するとともに、泡の球換算径eを算出し、距離DがT/2以下となっている泡に関して、距離Dと泡の球換算径eとの間で式4が成立しているガラスリボンを選別し、上記と同様にガラス基板を採板すれば、本発明のガラス基板51図1参照が得られる。フュージョン法で製造されたガラスリボンから採板したガラス基板を液晶表示パネルの透明基板として用いる場合にも、距離Dを定めるための基準面とした面が液晶側を向くようにして液晶表示パネルを製造すればよい。この場合にも、セルギャップが均一となっている液晶表示パネルを製造することができる。なお、フュージョン法で製造されたガラスリボンから採板したガラス基板を液晶表示パネルの透明基板として用いる場合には、研磨を行わなくてよい。表1に、本発明の実施例として例1~例10及び比較例として例11~例20をそれぞれ示す。例1~20の試料は、フロート法によって成形した後、切断したガラス基板旭硝子社製無アルカリガラスAN100を使用した。表1のfDの欄は、例1~20の試料の表面から泡までの距離Dの値に対するfD=0.01×D1.615の値をそれぞれ記載している。表1の泡の球換算径eの欄は、上述の方法を用いて算出した例1~20の試料の泡の球換算径eを記載している。表1の表面の膨らみ量の欄は、例1~20の試料の表面に垂直な方向の試料表面の膨らみ量をオリンパス株式会社OlympusCorporation製3Dレーザー顕微鏡機種名:LEXTOLS3100MODEL:OLS31-SUを用いて測定した結果を記載している。表中N.Dと表記した試料は、膨らみ量が測定限界以下0.1μm以下であることを示している。表1の評価の欄は、ガラス基板の表面から泡までの距離Dと泡の球換算径eとの間で、e≦fDが満たされているか否かの判定を行った結果を記している。e≦fDが満たされている場合は○を、e≦fDが満たされていない場合は×を記載している。表1から明らかなように、e≦0.01×D1.615を満たしている実施例の例11~10の試料は、試料の表面に垂直な方向の試料表面の膨らみ量は測定限界以下であった。これに対し、e≦0.01×D1.615が満たしていない実施例の例11~例20の試料は、試料の表面に垂直な方向の試料表面の膨らみ量が1.5~6.2μmであった。したがって、ガラス基板の表面から泡までの距離Dと泡の球換算径eとが、e≦0.01×D1.615を満たすようにすることによって、ガラス基板の表面の膨らみ量を測定限界以下とすることができることがわかる。本出願を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。本出願は、2010年12月9日出願の日本特許出願特願2010275049に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。"