"アクリル樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、無機充填剤と、分散剤とを含み、前記無機充填剤の感光性組成物全固形分における含有量が、50質量以上であり、前記無機充填剤の平均粒子径が、0.55μm未満であることを特徴とする感光性組成物。分散剤の無機充填剤に対する含有量が、1質量以上である請求項1に記載の感光性組成物。分散剤が、塩基性基を有する請求項1から2のいずれかに記載の感光性組成物。塩基性基が、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、及び含窒素ヘテロ環から選択された少なくとも1種の官能基を含む請求項3に記載の感光性組成物。分散剤が、数平均分子量が500~50,000の側鎖ポリマー鎖を有し、前記側鎖ポリマー鎖が繰り返し単位を有するホモポリマー及びコポリマーのいずれかである請求項1から4のいずれかに記載の感光性組成物。分散剤が、下記構造式1~3で表される構造単位を有し、全体の重量平均分子量が3,000~100,000であり、側鎖の数平均分子量が500~10,000である請求項1から5のいずれかに記載の感光性組成物。ただし、構造式3中、xは5~20の整数を表し、yは11~41の整数を表す。無機充填剤が、シリカである請求項1から6のいずれかに記載の感光性組成物。アクリル樹脂が、側鎖にエチレン性不飽和基を有し、下記構造式Iで表される構造単位を含有する請求項1から7のいずれかに記載の感光性組成物。ただし、前記構造式I中、R1、R2、及びR3は水素原子又は1価の有機基を表す。Lは有機基を表し、なくてもよい。Arはヘテロ環を含んでもよい芳香族基を表す。アクリル樹脂が、下記構造式a~cで表される構造単位を含有する請求項1から8のいずれかに記載の感光性組成物。アクリル樹脂が、下記構造式d~fで表される構造単位を含有する請求項1から8のいずれかに記載の感光性組成物。ただし、前記構造式d中、Rは1価の有機基を表す。熱可塑性エラストマーを更に含む請求項1から10のいずれかに記載の感光性組成物。熱可塑性エラストマーが、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、及びシリコーン系エラストマーから選択される少なくとも1種のエラストマーである請求項11に記載の感光性組成物。支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有してなり、前記感光層が、請求項1から12のいずれかに記載の感光性組成物からなることを特徴とする感光性フィルム。請求項1から12のいずれかに記載の感光性組成物を、基体の表面に塗布し、乾燥して感光層を積層して積層体を形成した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法。請求項14に記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターン。請求項14に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板。本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、耐熱衝撃性TCT特性及び電気絶縁性HAST特性に優れた高性能な硬化膜を得ることができる感光性組成物、並びに、感光性フィルム、永久パターン、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することを目的とする。前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、<1>アクリル樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、無機充填剤と、分散剤とを含み、前記無機充填剤の感光性組成物全固形分における含有量が、50質量以上であり、前記無機充填剤の平均粒子径が、0.55μm未満であることを特徴とする感光性組成物である。<2>分散剤の無機充填剤に対する含有量が、1質量以上である前記<1>に記載の感光性組成物である。<3>分散剤が、塩基性基を有する前記<1>から<2>のいずれかに記載の感光性組成物である。<4>塩基性基が、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、及び含窒素ヘテロ環から選択された少なくとも1種の官能基を含む前記<3>に記載の感光性組成物である。<5>分散剤が、数平均分子量が500~50,000の側鎖ポリマー鎖を有し、前記側鎖ポリマー鎖が繰り返し単位を有するホモポリマー及びコポリマーのいずれかである前記<1>から<4>のいずれかに記載の感光性組成物である。<6>分散剤が、下記構造式1~3で表される構造単位を有し、全体の重量平均分子量が3,000~100,000であり、側鎖の数平均分子量が500~10,000である前記<1>から<5>のいずれかに記載の感光性組成物である。ただし、構造式3中、xは5~20の整数を表し、yは11~41の整数を表す。<7>無機充填剤が、シリカである前記<1>から<6>のいずれかに記載の感光性組成物である。<8>アクリル樹脂が、側鎖にエチレン性不飽和基を有し、下記構造式Iで表される構造単位を含有する前記<1>から<7>のいずれかに記載の感光性組成物である。ただし、前記構造式I中、R1、R2、及びR3は水素原子又は1価の有機基を表す。Lは有機基を表し、なくてもよい。Arはヘテロ環を含んでもよい芳香族基を表す。<9>アクリル樹脂が、下記構造式a~cで表される構造単位を含有する前記<1>から<8>のいずれかに記載の感光性組成物である。<10>アクリル樹脂が、下記構造式d~fで表される構造単位を含有する前記<1>から<8>のいずれかに記載の感光性組成物である。ただし、前記構造式d中、Rは1価の有機基を表す。<11>熱可塑性エラストマーを更に含む前記<1>から<10>のいずれかに記載の感光性組成物である。<12>熱可塑性エラストマーが、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、及びシリコーン系エラストマーから選択される少なくとも1種のエラストマーである前記<11>に記載の感光性組成物である。<13>支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有してなり、前記感光層が、前記<1>から<12>のいずれかに記載の感光性組成物からなることを特徴とする感光性フィルムである。<14>前記<1>から<12>のいずれかに記載の感光性組成物を、基体の表面に塗布し、乾燥して感光層を積層して積層体を形成した後、露光し、現像することを特徴とする永久パターン形成方法である。<15>前記<14>に記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とする永久パターンである。<16>前記<14>に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板である。本発明によれば、従来における前記諸問題を解決し、前記目的を達成することができ、耐熱衝撃性TCT特性及び電気絶縁性HAST特性に優れた高性能な硬化膜を得ることができる感光性組成物、並びに、感光性フィルム、永久パターン、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することを目的とする。感光性組成物本発明の感光性組成物は、アクリル樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、無機充填剤と、分散剤と、を含有してなり、熱架橋剤、有機溶剤、熱可塑性エラストマー、熱硬化促進剤、着色剤、密着促進剤、熱重合禁止剤、さらに必要に応じてその他の成分を含有してもよい。<アクリル樹脂>前記アクリル樹脂は、メタアクリル酸の重合体を含んでなる。前記アクリル樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、水に不溶で、かつ、アルカリ性水溶液により膨潤乃至は溶解する化合物が好ましい。なお、本明細書において、アクリル及びメタアクリルを総称してメタアクリルという。共重合成分として、メタアクリル酸を含むという時、アクリル酸及びメタアクリル酸の少なくともいずれかを含むことを意味する。前記メタアクリル酸としては、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸-2-クロロエチル、グリシジルアクリレート等のアルキルアクリレート;メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸-2-クロロエチル、グリシジルメタクリレート等のアルキルメタクリレートなどが挙げられる。前記アクリル樹脂の製造方法としては、従来知られているグラフト共重合法、ブロック共重合法、ランダム共重合法等の方法を用いることができ、例えば、溶媒、好ましくはイソプロピルアルコール、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール系溶媒に各単量体を溶解し、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾビス系重合開始剤又はベンゾイルパーオキサイド等の過酸化物系開始剤等を用いて、共重合させることができる。前記アクリル樹脂におけるメタアクリル酸の含有量としては、アクリル樹脂中、1モル~70モルが好ましく、5モル~40モルがより好ましく、10モル~30モルが特に好ましい。前記メタアクリル酸の含有量が、1モル未満であると、現像できないことがあり、70モルを超えると、埋め込みできないことがある。前記アクリル樹脂は、それ自体で好ましい絶縁信頼性をもたらすが、更に、他の共重合成分を共重合させることもできる。他の共重合成分としては、前記メタアクリル酸以外のビニル系単量体、例えば、スチレン、アクリル酸エステル、アクリルアミド、アクリロニトリル、マレイミド、ビニルアセテート、N-ビニルピロリドンなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、特に耐熱性を必要とする場合には、スチレンを、アクリル樹脂を構成する全単量体のうち5質量~30質量の範囲で共重合させることが好ましい。前記他の共重合成分は、アクリル樹脂を構成する全単量体のうち40質量以下の範囲で共重合させることが好ましい。40重量を超えると、HAST耐性が悪化することがある。前記アクリル樹脂の重量平均分子量としては、3,000~100,000が好ましく、10,000~100,000がより好ましく、30,000~60,000が特に好ましい。前記分子量が、3,000未満であると、HAST特性が悪化することがあり、100,000を超えると、埋め込みできないことがある。なお、前記重量平均分子量は、例えば、ポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法GPCにより測定することができる。前記感光性組成物の全固形分中における前記アクリル樹脂の含有量としては、1質量~50質量が好ましく、更に5重量~20重量であることが好ましい。前記含有量が1質量以下であると、HAST特性が悪化することがあり、50重量を超えると、埋め込みできないことがある。前記アクリル樹脂としては、側鎖にエチレン性不飽和基を有し、下記構造式Iで表される構造単位を含有することが好ましい。ただし、前記構造式I中、R1、R2、及びR3は水素原子又は1価の有機基を表す。Lは有機基を表し、なくてもよい。Arはヘテロ環を含んでもよい芳香族基を表す。前記側鎖にエチレン性不飽和基を有し、上記構造式Iで表される構造単位を含有するアクリル樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、下記構造式a~cで表される構造単位、又は下記構造式d~fで表される構造単位を含有することが好ましい。ただし、前記構造式d中、Rは1価の有機基を表す。前記構造式Iを含有するアクリル樹脂は、例えば、下記構造式Aで表される化合物を共重合させることにより得ることができる。ただし、前記構造式A中、R1、R2、及びR3は水素原子又は1価の有機基を表す。Lは有機基を表し、なくてもよい。Arはヘテロ環を含んでもよい芳香族基を表す。前記Lの有機基としては、例えば、非金属原子からなる多価の有機基であり、1から60個までの炭素原子、0個から10個までの窒素原子、0個から50個までの酸素原子、1個から100個までの水素原子、及び0個から20個までの硫黄原子から成り立つものが挙げられる。より具体的には、前記Lの有機基としては、下記の構造単位が組み合わさって構成されるもの、多価ナフタレン、多価アントラセンなどを挙げることができる。前記Lの連結基は、置換基を有してもよく、前記置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホナト基、ニトロ基、シアノ基、アミド基、アミノ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、置換オキシ基、置換スルホニル基、置換カルボニル基、置換スルフィニル基、スルホ基、ホスホノ基、ホスホナト基、シリル基、ヘテロ環基などが挙げられる。前記構造式Aのうち、連結基を有しているものが安定性の点で好ましく、前記Lの有機基としては、炭素数1~4のアルキレン基が非画像部の除去性現像性の点で好ましい。前記構造式Aで表される化合物としては、特に制限はないが、例えば、以下の例示化合物1~24が挙げられる。前記例示化合物1~24の中でも、1、2、8、及び22が好ましく、これらの中でも、1及び2が保存安定性及び現像性の点でより好ましい。前記構造式Iで表される構造単位の前記アクリル樹脂における含有量は、特に制限はないが、アクリル樹脂の全構造単位を100molとした場合に、前記構造式Iで表される構造単位を20mol以上含有することが好ましく、30mol~45mol含有することがより好ましい。前記含有量が20mol未満であると、保存安定性が低くなることがあり、45molを超えると現像性が低下することがある。前記エチレン性不飽和基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、下記構造式III~Vで表されるものが好ましい。ただし、前記構造式III~V中、R1~R11はそれぞれ独立して水素原子、又は1価の有機基を表す。X及びYはそれぞれ独立して、酸素原子、硫黄原子、又は-N-R12を表す。Zは酸素原子、硫黄原子、-N-R13、又はフェニレン基を表す。R12及びR13は水素原子、又は1価の有機基を表す。前記構造式IIIにおいて、R1としては、例えば、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが好ましく、水素原子、メチル基がラジカル反応性が高いことからより好ましい。前記R2及びR3としては、それぞれ独立して、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が、ラジカル反応性が高いことからより好ましい。前記R4としては、例えば、置換基を有してもよいアルキル基などが好ましく、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基がラジカル反応性が高いことからより好ましい。ここで、導入しうる前記置換基としては、例えば、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、アミド基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基などが挙げられる。前記Xとしては、酸素原子、硫黄原子、又は-N-R12-を表す。R12は、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などを表し、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基がラジカル反応性が高いことから好ましい。前記構造式IVにおいて、R4~R8としては、それぞれ独立して、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが好ましく、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がより好ましい。導入しうる前記置換基としては、前記構造式IIIにおいて挙げたものが例示される。前記Yとしては、酸素原子、硫黄原子、又は-N-R12-を表す。R12は、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などを表し、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基がラジカル反応性が高いことから好ましい。前記構造式Vにおいて、R9としては、例えば、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが好ましく、水素原子、メチル基がラジカル反応性が高いことからより好ましい。前記R10及びR11としては、それぞれ独立して、例えば、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが好ましく、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基がラジカル反応性が高いことからより好ましい。ここで、導入しうる前記置換基としては、構造式IIIにおいて挙げたものが例示される。前記Zとしては、酸素原子、硫黄原子、-N-R13-、又は置換基を有してもよいフェニレン基を表す。R13は、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などを表し、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基がラジカル反応性が高いことから好ましい。前記構造式III~Vで表されるエチレン性不飽和基の中でも、構造式IIIのものが、重合反応性が高く感度が高くなる点で、より好ましい。前記エチレン性不飽和基の前記アクリル樹脂における含有量としては、特に制限はないが、0.5meq/g~3.0meq/gが好ましく、1.0meq/g~3.0meq/gがより好ましく、1.5meq/g~2.8meq/gが特に好ましい。前記含有量が0.5meq/g未満であると、硬化反応量が少ないため低感度となることがあり、3.0meq/gを超えると、保存安定性が劣化することがある。ここで、前記含有量meq/gは、例えば、ヨウ素価滴定により測定することができる。前記構造式IIIで表されエチレン性不飽和基を側鎖に導入する方法としては、特に制限はないが、例えば、側鎖にカルボキシル基を含有するアクリル樹脂とエチレン性不飽和基及びエポキシ基を有する化合物を付加反応させることで得ることができる。前記エチレン性不飽和基及びエポキシ基を有する化合物としては、これらを有すれば特に制限はないが、例えば、下記構造式VIで表される化合物及びVIIで表される化合物が好ましく、特に、構造式VIで表される化合物が、高感度化の点で好ましい。ただし、前記構造式VI中、R1は水素原子又はメチル基を表し、L1は有機基を表す。ただし、前記構造式VII中、R2は水素原子又はメチル基を表し、L2は有機基を表し、Wは4員環~7員環の脂肪族炭化水素基を表す。前記構造式VIで表される化合物及び構造式VIIで表される化合物の中でも、構造式VIで表される化合物が好ましく、前記構造式VIにおいても、L1が炭素数1~4のアルキレン基のものがより好ましい。前記構造式VIで表される化合物又は構造式VIIで表される化合物としては、特に制限はないが、例えば、以下の例示化合物25~34が挙げられる。前記カルボキシル基を含有するラジカル重合性化合物しては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、インクロトン酸、マレイン酸、p-カルボキシルスチレンなどがあり、特に好ましいものとしては、アクリル酸、メタクリル酸などが挙げられる。前記側鎖への導入反応としては、例えば、トリエチルアミン、ベンジルメチルアミン等の3級アミン、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、ピリジン、トリフェニルフォスフィンなどを触媒として有機溶剤中、反応温度50°C~150°Cで数時間~数十時間反応させることにより行うことができる。前記側鎖にエチレン性不飽和基を有する構造単位としては、特に制限はないが、例えば、下記構造式iで表される構造、構造式iiで表される構造、及びこれらの混合により表されるものが好ましい。ただし、前記構造式i及びii中、Ra~Rcは水素原子又は1価の有機基を表し、R1は水素原子又はメチル基を表し、L1は連結基を有してもよい有機基を表す。前記構造式iで表される構造乃至構造式iiで表される構造のアクリル樹脂における含有量は、20mol以上が好ましく、20mol~50molがより好ましく、25mol~45molが特に好ましい。前記含有量が20mol未満では、硬化反応量が少ないため低感度となることがあり、50molを超えると、保存安定性が劣化することがある。<無機充填剤>前記無機充填剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、表面が酸性である無機充填剤が好ましい。前記表面が酸性である無機充填剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、シリカが好ましい。なお、前記無機充填剤がシリカ粒子を含有することにより、前記硬化膜の耐熱性を向上させるとともに、前記アクリル樹脂との分散性が良好となり、感光性組成物の粘度を好適な範囲に維持することができ、好適な塗布適性が得られる。前記シリカとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択でき、例えば、気相法シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカなどが挙げられる。前記無機充填剤の平均粒子径d50としては、0.55μm未満である限り特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.01μm以上0.55μm未満が好ましく、0.04μm以上0.55μm未満がより好ましく、0.1μm~0.5μmが特に好ましい。前記無機充填剤の平均粒子径d50が、0.55μm以上であると、耐熱衝撃性TCT特性及び絶縁信頼性HAST特性が低下することがある。一方、前記無機充填剤の平均粒子径d50が、前記特に好ましい範囲内であると、塗布粘度と硬化膜の平滑性、耐熱衝撃性、絶縁信頼性の点で有利である。なお、前記無機充填剤の平均粒子径d50は、積算累積重量百分率で表したときの積算値50の粒度で定義されるもので、d50D50などと定義されるものであり、例えば、ダイナミック光散乱光度計商品名DLS7000、大塚電子株製を用いて、測定原理を動的光散乱法とし、サイズ分布解析手法をキュムラント法及び/又はヒストグラム法として、測定することができる。前記感光性組成物の全固形分中における前記無機充填剤の含有量としては、50質量以上である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、55質量~85質量が好ましく、60質量~75質量がより好ましい。前記含有量が、55質量未満であると、TCT特性、HAST特性が不十分であることがあり、85質量を超えると、分散性が不十分であることがある。一方、前記含有量が前記好ましい範囲内であると、分散性、TCT特性及びHAST特性のバランスを維持することができる点で有利である。<分散剤>前記分散剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、高分子分散剤であることが好ましく、塩基性基を有することが好ましく、また、高分子の立体保護基を有することが好ましい。前記分散剤としては、適宜合成したものを用いてもよいし、市販品を用いてもよい。前記市販品としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ソルスパース3000、ソルスパース17000、ソルスパース20000、ソルスパース24000GR、ソルスパース24000SC、ソルスパース26000、ソルスパース27000、ソルスパース28000、ソルスパース32000、ソルスパース33000、ソルスパース38500、ソルスパース39000、ソルスパース41000、ソルスパース55000、ソルスパース56000、ソルスパース71000、ソルスパース76500いずれもルーブリゾール社製;Disperbyk-161、Disperbyk-167、Disperbyk-182、Disperbyk-2155、Disperbyk-102、Disperbyk-111、Disperbyk-106、Disperbyk-108、Disperbyk-112、Disperbyk-2000、Disperbyk-2001、Disperbyk-2008、Disperbyk-2009、Disperbyk-2015、Disperbyk-2020、Disperbyk-2022、Disperbyk-2025、いずれもBYKChemie社製;Efka-4008、Efka-4009、Efka-4010、Efka-4015、Efka-4020、Efka-4046、Efka-4047、Efka-4400、Efka-4401、Efka-4002、Efka-4003、Efka-4480、Efka-4300、Efka-4310、Efka-4320、Efka-4330、Efka-4340、Efka-4061、Efka-5044、Efka-5244、Efka-5054、Efka-5055、Efka-5063、Efka-5065、Efka-5066、Efka-5070、Efka-5071、Efka-5207、Efka-6220、Efka-6225いずれもBASF社製などが挙げられる。これらの中でも、塩基性基を有するもの、立体保護基を有するものなどが好ましい。前記塩基性基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、及び含窒素ヘテロ環から選択された少なくとも1種の官能基を含むことが好ましく、前記官能基を有するポリマーが好適に用いられる。前記ポリマーが塩基性の官能基を有するものでなく、酸性の官能基、塩構造を有するものである場合は、シリカ等の無機充填剤に対して十分な吸着量が得られないため、フィルムにした場合に無機充填剤同士の凝集が抑制できないために粘度が低下しない。前記ポリマーは、ブロック型であってもよく、単鎖型であってもよい。前記立体保護基としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、数平均分子量が500~50,000の側鎖ポリマー鎖を有し、前記側鎖ポリマー鎖が繰り返し単位を有するホモポリマー及びコポリマーのいずれかであることが好ましい。前記立体保護基が、高分子量でなく、低分子量であると、十分な立体反発を得ることができず、シリカ等の無機充填剤に対して十分な立体反発が得られないため、フィルムにした場合に、無機充填剤同士の凝集を抑制することができず、粘度が低下しない。また、前記立体保護基は、ブロック型のポリマーであってもよく、単鎖型のポリマーであってもよい。前記分散剤としては、下記構造式1~3で表される構造単位を有することが好ましい。ただし、構造式3中、xは5~20の整数を表し、yは11~41の整数を表す。また、前記分散剤の重量平均分子量としては、3,000~100,000が好ましく、6,000~20,000がより好ましい。前記分子量が、3,000未満であると、分散性が悪化することがあり、100,000を超えると、現像性が悪化することがある。また、前記分散剤の側鎖の数平均分子量としては、500~10,000が好ましい。なお、前記分子量は、例えば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPC法などにより測定することができる。前記分散剤の前記無機充填剤に対する含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記含有量の下限値としては、1質量以上が好ましく、前記含有量の上限値としては、10質量以下が好ましく、5質量以下がより好ましく、2質量以下が特に好ましい。前記含有量が、1質量未満であると、無機充填剤の分散性が不十分となり、TCT特性及びHAST特性が低下することがあり、10質量を超えると、フィルムのタック性が悪化することがある。一方、前記含有量が前記好ましい範囲内であると、分散性とタック性の両立という点で有利である。<重合性化合物>前記重合性化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、分子中に少なくとも1個の付加重合可能な基を有し、沸点が常圧で100°C以上である化合物が好ましく、例えば、メタアクリル基を有するモノマーから選択される少なくとも1種が好適に挙げられる。前記メタアクリル基を有するモノマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメタアクリレート、フェノキシエチルメタアクリレートなどの単官能アクリレート乃至単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジメタアクリレート、ポリプロピレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタアクリレート、ペンタエリトリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタアクリレート、ヘキサンジオールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリロイルオキシプロピルエーテル、トリアクリロイルオキシエチルイソシアヌレート、トリアクリロイルオキシエチルシアヌレート、グリセリントリメタアクリレート、トリシクロデカンジメタノールメタアクリレート、トリメチロールプロパンやグリセリン、ビスフェノールなどの多官能アルコールに、エチレンオキサイド乃至プロピレンオキサイドを付加反応した後でメタアクリレート化したもの、特公昭48-41708号公報、特公昭50-6034号公報、特開昭51-37193号公報などの各公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48-64183号公報、特公昭49-43191号公報、特公昭52-30490号公報などの各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂とメタアクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類などの多官能アクリレート乃至メタクリレート;ジヒドロジシクロペンタジエニルジメタアクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリトリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサメタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメタアクリレート、ジヒドロジシクロペンタジエニルジメタアクリレートがより好ましい。前記重合性化合物の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2質量~50質量が好ましく、3質量~40質量がより好ましく、4質量~35質量が特に好ましい。前記含有量が2質量未満であると、パターン形成ができないことがあり、50質量を超えると、耐クラック性が劣ることがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好なパターン形成と耐クラック性とを両立できる点で有利である。<光重合開始剤>前記光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するものなど、ホスフィンオキサイド、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテルなどが挙げられる。前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、29241969に記載された化合物、英国特許1388492号明細書に記載された化合物、特開昭53-133428号公報に記載された化合物、独国特許3337024号明細書に記載された化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、15271964に記載された化合物、特開昭62-58241号公報に記載された化合物、特開平5-281728号公報に記載された化合物、特開平5-34920号公報に記載された化合物、などが挙げられ、前記オキサジアゾール骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、米国特許第4212976号明細書に記載された化合物などが挙げられる。前記オキシム誘導体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0085に記載された化合物などが挙げられる。前記ケトン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0087に記載された化合物などが挙げられる。また、上記以外の光重合開始剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0086に記載された化合物などが挙げられる。また、後述する感光層への露光における露光感度や感光波長を調整する目的で、前記光重合開始剤に加えて、増感剤を添加することが可能である。前記増感剤は、後述する光照射手段としての可視光線や紫外光レーザ、可視光レーザなどにより適宜選択することができる。前記増感剤は、活性エネルギー線により励起状態となり、他の物質例えば、ラジカル発生剤、酸発生剤などと相互作用例えば、エネルギー移動、電子移動などすることにより、ラジカルや酸などの有用基を発生することが可能である。前記増感剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0089に記載された化合物などが挙げられる。前記光重合開始剤と前記増感剤との組合せとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2001-305734号公報に記載の電子移動型開始系[1電子供与型開始剤及び増感色素、2電子受容型開始剤及び増感色素、3電子供与型開始剤、増感色素及び電子受容型開始剤三元開始系]などの組合せが挙げられる。前記増感剤の含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光性組成物中の全成分に対し、0.05質量~30質量が好ましく、0.1質量~20質量がより好ましく、0.2質量~10質量が特に好ましい。前記含有量が、0.05質量未満であると、活性エネルギー線への感度が低下し、露光プロセスに時間がかかり、生産性が低下することがあり、30質量を超えると、保存時に前記感光層から前記増感剤が析出することがある。前記光重合開始剤は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の特に好ましい例としては、ホスフィンオキサイド類、前記α-アミノアルキルケトン類、前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物と後述する増感剤としてのアミン化合物とを組合せた複合光開始剤、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、チタノセンなどが挙げられる。前記光重合開始剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.5質量~20質量が好ましく、0.5質量~15質量がより好ましく、1質量~10質量が特に好ましい。前記含有量が0.5質量未満であると、露光部が現像中に溶出する傾向があり、20質量を超えると、耐熱性が低下することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好なパターン形成ができ、耐熱性も良好になる点で有利である。<その他の組成物><<熱架橋剤>>前記熱架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物などが挙げられる。これらの中でも、1分子内に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ樹脂化合物、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物が好ましい。前記エポキシ樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0095に記載された化合物、特開2010-72340号公報の段落0130などが挙げられる。前記多官能オキセタン化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0096に記載された化合物などが挙げられる。前記熱架橋剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1質量~50質量が好ましく、2質量~40質量がより好ましく、3質量~30質量が特に好ましい。前記含有量が1質量未満であると、耐熱性が劣ることがあり、50質量を超えると、現像性や耐クラック性が劣ることがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、良好な感度で硬化膜が作製でき、形成された硬化膜も、耐熱性と耐クラック性とを両立できる点で有利である。前記その他の熱架橋剤は、前記エポキシ樹脂や多官能オキセタン化合物とは別に添加することができる。前記その他の熱架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0098~0100に記載された化合物などが挙げられる。<<有機溶剤>>前記有機溶剤は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開平11-240930号公報の段落0043に記載された化合物、特開2007-2030の段落0121に記載された化合物などが挙げられる。前記有機溶剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1質量~80質量が好ましく、2質量~70質量がより好ましく、3質量~60質量が特に好ましい。前記含有量が1質量未満であると、組成物の粘度が高く塗膜の形成が困難になることがあり、80質量を超えると、所望の膜厚の制御が困難になることがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、塗膜製造適性の点で有利である。<<熱可塑性エラストマー>>前記熱可塑性エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、及びシリコーン系エラストマーから選択される少なくとも1種のエラストマーが好適に挙げられる。これらのエラストマーは、ハードセグメント成分とソフトセグメント成分から成り立っており、一般に前者が耐熱性、強度に、後者が柔軟性、強靭性に寄与している。前記エラストマーは、特開2007-199532号公報の段落0197~0207に記載された通りである。<<熱硬化促進剤>>前記熱硬化促進剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0101に記載された化合物が挙げられる。前熱硬化促進剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.01質量~20質量が好ましく、0.05質量~15質量がより好ましく、0.1質量~10質量が特に好ましい。前記含有量が0.01質量未満であると、硬化膜の強靭性を発現することができないことがあり、20質量を超えると、感光性組成物の保存安定性が悪化することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、感光性組成物の保存安定性と良好な硬化膜物性とを両立できる点で有利である。<<着色剤>>前記着色剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、公知の着色顔料又は公知の染料の中から、適宜選択したものを使用することができる。前記着色顔料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0106に記載された化合物などが挙げられる。<<密着促進剤>>前記密着促進剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0108に記載された化合物などが挙げられる。前記密着促進剤の前記感光性組成物における含有量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.01質量~20質量が好ましく、0.05質量~15質量がより好ましく、0.1質量~10質量が特に好ましい。前記含有量が0.01質量未満であると、硬化膜の強靭性を発現することができないことがあり、20質量を超えると、感光性組成物の保存性が悪化することがある。一方、前記含有量が、前記特に好ましい範囲内であると、感光性組成物の良好な保存安定性と良好な硬化膜物性とを両立できる点で有利である。<<熱重合禁止剤>>前記熱重合禁止剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2007-2030号公報の段落0113に記載された化合物などが挙げられる。<<その他の成分>>前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ベントン、モンモリロナイト、エアロゾル、アミドワックス等のチキソ性付与剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤、レベリング剤のような添加剤類を用いることができる。感光性フィルム本発明の感光性組成物は、導体配線の形成された基板上に塗布乾燥することにより液状レジストとしても使用可能であるが、感光性フィルムの製造に特に有用である。前記感光性フィルムは、図1に示すように、支持体1と、前記支持体1上に感光層2とを少なくとも有してなり、好ましくは保護フィルム3を有してなり、更に必要に応じて、クッション層、酸素遮断層以下PC層と省略する。などのその他の層を有してなる。前記感光性フィルムの形態としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記支持体上に、前記感光層、前記保護膜フィルムをこの順に有してなる形態、前記支持体上に、前記PC層、前記感光性層、前記保護フィルムをこの順に有してなる形態、前記支持体上に、前記クッション層、前記PC層、前記感光層、前記保護フィルムをこの順に有してなる形態などが挙げられる。なお、前記感光層は、単層であってもよいし、複数層であってもよい。<感光層>前記感光層は、本発明の感光性組成物からなり、前記感光性組成物は、上述した通りである。前記感光層の70°Cにおける溶融粘度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、2×103Pas以下が好ましく、1.5×103Pas以下がより好ましく、1×103Pas以下が特に好ましい。前記感光層の70°Cにおける溶融粘度が、2×103Pasを超えると、埋め込み性が悪化する。一方、前記感光層の70°Cにおける溶融粘度が、特に好ましい範囲であると、埋め込み性が充分得られる点で有利である。前記感光層の30°Cにおける溶融粘度としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、1×105Pas以上が好ましく、1.3×105Pas以上がより好ましく、3×105Pas以上が特に好ましい。前記感光層の30°Cにおける溶融粘度が、1×105Pas未満であると、エッジヒュージョンが悪化することがある。一方、前記感光層の70°Cにおける溶融粘度が、特に好ましい範囲であると、埋め込み性とエッジヒュージョンを両立できる点で有利である。前記感光層の溶融粘度の測定は、レオメーターVAR-1000型レオロジカル株式会社製、バイブロンDD-III型東洋ボールドウイン株式会社製などの溶融粘度測定装置を用いて測定することができる。詳細は、特開2007-2030号公報の段落0115~段落0127に記載された通りである。永久パターン形成方法及び永久パターン本発明の永久パターン形成方法は、上述した本発明の感光性組成物を、基体の表面に塗布し、乾燥して感光層を積層して積層体を形成した後、露光し、現像する工程を含み、更に必要に応じてその他の工程を含む。本発明の永久パターンは、本発明の永久パターン形成方法により得られる。前記永久パターンとしては、特開2007-2030号公報の段落0128~段落0283に記載された通りである。プリント基板本発明のプリント基板は、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンが形成されてなる。前記プリント基板は、少なくとも基体と、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンとを有してなり、更に、必要に応じて適宜選択した、その他の構成を有する。その他の構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材と前記永久パターン間に、更に絶縁層が設けられたビルドアップ基板などが挙げられる。以下、本発明の実施例について説明するが、本発明は下記実施例に何ら限定されるものではない。合成例1アクリル樹脂1の合成1,000mL三口フラスコに1-メトキシ-2-プロパノール159gを入れ、窒素気流下、85°Cまで加熱した。これに、ベンジルメタクリレート63.4g、メタクリル酸72.3g、V-601和光純薬工業株式会社製4.15gの1-メトキシ-2-プロパノール159g溶液を、2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に5時間加熱して反応させた。次いで、加熱を止め、ベンジルメタクリレート/メタクリル酸30/70mol比の共重合体を得た。次に、前記共重合体溶液の内、120.0gを300mL三口フラスコに移し、グリシジルメタクリレート16.6g、p-メトキシフェノール0.16gを加え、撹拌し溶解させた。溶解後、テトラエチルアンモニウムクロリド24gを加え、100°Cに加熱し、付加反応を行った。グリシジルメタクリレートが消失したことを、ガスクロマトグラフィーで確認し、加熱を止めた。1-メトキシ-2-プロパノールを加え、固形分30質量の下記構造式で表される構造単位からなるアクリル樹脂1の溶液を調製した。ただし、各構造式の下に示す数字は、それぞれの構造のモル比を表す。また、1は、下記構造式b1及びb2で表される構造の混合を表す。得られたアクリル樹脂1の重量平均分子量Mwをポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法GPCにより測定した結果、15,000であった。また、水酸化ナトリウムを用いた滴定から、固形分あたりの酸価カルボキシル基の含有量は、2.2meq/gであった。更に、ヨウ素価滴定により求めた固形分あたりのエチレン性不飽和基の含有量C=C価は、2.1meq/gであった。合成例2ウレタン樹脂1の合成コンデンサー、撹拌機を備えた500mLの3つ口丸底フラスコに、2,2-ビスヒドロキシメチルプロピオン酸DMBA32.00g0.216モルと、ポリプロピレングリコール重量平均分子量1,000PPG10009.00g0.009モルをプロピレングリコールモノメチルエーテルモノアセテート118mLに溶解した。これに、4,4-ジフェニルメタンジイソシアネートMDI37.54g0.15モル、2,6-ジ-t-ブチルヒドロキシトルエン0.1g、ネオスタンU-600日東化成株製0.2gを添加し、75°Cで5時間撹拌した後、メチルアルコール9.61g添加した。その後、ビニル基含有エポキシとしてのグリシジルメタクリレートGMA17.91g0.126モルと触媒のトリフェニルフォスフィン5,000ppmとをさらに添加し、110°Cで5時間撹拌した後、室温まで冷却し、214gのポリマー溶液を得た。上記で得られたウレタン樹脂1酸変性ビニル基含有ポリウレタン樹脂は、固形分濃度が40質量であり、固形分酸価が75mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCにて測定した重量平均分子量ポリスチレン標準が12,000であり、ビニル基当量が1.3mmol/gであった。実施例1<感光性組成物塗布液の調製>下記の各成分を混合し、感光性組成物塗布液を調製した。―――――――――――――――――――――――――――――――――――――――合成例1で合成したアクリル樹脂1固形分30質量32.3質量部着色顔料:HELIOGENBLUED7086BASF社製0.021質量部着色顔料:PariotolYellowD0960BASF社製0.006質量部分散剤:ソルスパース24000GRルーブリゾール社製0.16質量部重合性化合物:DCP-A共栄社化学株製5.3質量部開始剤:イルガキュア907BASF株製0.6質量部増感剤:DETX-S日本化薬株製0.005質量部反応助剤:EAB-F保土ヶ谷化学株製0.019質量部硬化剤:メラミン和光純薬工業株製0.16質量部熱架橋剤:エポトートYDF-170東都化成株製2.9質量部無機充填剤:SO-C2シリカ、平均粒子径0.5μm、アドマテックス社製16.8質量部イオントラップ剤:IXE-6107東亞合成株製0.82質量部塗布助剤:メガファックF-780F0.2質量部大日本インキ株製:30質量メチルエチルケトン溶液エラストマー:エスペル1612日立化成工業株製2.7質量部シクロヘキサノン溶媒38.7質量部なお、前記感光性組成物塗布液に含まれる分散剤ソルスパース24000GRは、下記構造式で表される構造単位を有する。<感光性フィルムの作製>図1に示すように、支持体1として、厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィムPETを用い、該支持体1上に前記感光性組成物塗布液をバーコーターにより、乾燥後の感光層2の厚みが約30μmになるように塗布し、80°C、30分間熱風循環式乾燥機中で乾燥させ、感光性フィルムを作製した。<永久パターンの形成>-積層体の形成-次に、前記基材として、配線形成済みの銅張積層板スルーホールなし、銅厚み12μmのプリント配線板の表面に化学研磨処理を施して調製した。該銅張積層板上に、前記感光性フィルムの感光層が前記銅張積層板に接するようにして、真空ラミネーターニチゴーモートン株製、VP130を用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体とがこの順に積層された積層体を形成した。圧着条件は、圧着温度70°C、圧着圧力0.2MPa、加圧時間10秒とした。-露光工程-前記調製した積層体における感光層に対し、ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体側から、回路基板用露光機EXM-1172オーク製作所社製を用いて、フォトマスク越しに、40mJ/cm2で露光して、前記感光層の一部の領域を硬化させた。-現像工程-室温にて10分間静置した後、前記積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム支持体を剥がし取り、銅張積層板上の感光層の全面に、アルカリ現像液として、1質量炭酸ナトリウム水溶液を用い、30°Cにて60秒間、0.18MPa1.8kgf/cm2の圧力でスプレー現像し、未露光の領域を溶解除去した。その後、水洗し、乾燥させ、永久パターンを形成した。-硬化処理工程-前記永久パターンが形成された積層体の全面に対して、150°Cで1時間、加熱処理を施し、永久パターンの表面を硬化し、膜強度を高め、試験板を作製した。<評価方法><<耐熱衝撃性TCT特性>>信頼性試験項目として、温度サイクル試験TCTによりクラック、剥れ等の外観を評価した。前記TCTは、気相冷熱試験機を用い、電子部品モジュールを温度が-65°C、25°C、150°C、25°Cの気相中に各5分間放置し、これを1サイクルとした。250サイクル毎に外観を観察し、各サイクルにおけるクラック発生率から近似直線を引き、クラックが発生する最小のサイクル数クラック発生サイクル数を求め、以下の基準で耐熱衝撃性を評価した。結果を表1に示す。-評価基準-○:クラック発生サイクル数が1,000サイクル以上。×:クラック発生サイクル数が1,000サイクル未満。<<絶縁性HAST特性>>12μm厚の銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント基板の銅箔にエッチングを施して、ライン幅/スペース幅が25μm/25μmであり、互いのラインが接触しておらず、互いに対向した同一面上の櫛形電極を得た。この基板の櫛形電極上にソルダーレジスト層を定法にて形成し、最適露光量40mJ/cm2で露光を行った。次いで、常温で1時間静置した後、30°Cの1質量炭酸ナトリウム水溶液にて20秒間スプレー現像を行った。続いて、オーク製作所社製紫外線照射装置を使用して1J/cm2のエネルギー量で感光層に対する紫外線照射を行った。更に感光層を150°Cで60分間加熱処理を行うことにより、ソルダーレジストを形成した評価用積層体を得た。加熱後の評価用積層体の櫛形電極間に電圧が印加されるように、ポリテトラフルオロエチレン製のシールド線をSn/Pbはんだによりそれらの櫛形電極に接続した後、評価用積層体に50Vの電圧を印可した状態で、該評価用積層体を130°C、85RHの超加速高温高湿寿命試験HAST槽内に200時間静置した。その後の評価用積層体のソルダーレジストの抵抗値を1時間毎に測定し、抵抗値が1×108Ω以上であった最終の測定時間を短絡時間として測定した。結果を表1に示す。-評価基準-○:短絡時間が200時間以上。×:短絡時間が200時間未満。実施例2実施例1において、感光性組成物塗布液の処方を表1に示す処方に変更することにより感光性組成物の全固形分中におけるシリカの含有量を50質量から70質量に変更した以外は、実施例1と同様にして感光性フィルムを作製し、実施例1と同様に評価を行った。結果を表1に示す。比較例1実施例1において、感光性組成物にシリカ及び分散剤を添加しなかった以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルムを作製し、実施例1と同様に評価を行った。結果を表1に示す。比較例2実施例1において、感光性組成物塗布液の処方を表1に示す処方に変更することにより感光性組成物の全固形分中におけるシリカの含有量を50質量から20質量に変更した以外は、実施例1と同様に感光性組成物塗布液調製し、該塗布液を用いて実施例1と同様に感光性フィルムを作製して、実施例1と同様に評価を行った。結果を表1に示す。比較例3実施例1において、感光性組成物塗布液の処方を表1に示す処方に変更することにより感光性組成物の全固形分中におけるシリカの含有量を50質量から30質量に変更した以外は、実施例1と同様に感光性組成物塗布液調製し、該塗布液を用いて実施例1と同様に感光性フィルムを作製して、実施例1と同様に評価を行った。結果を表1に示す。実施例3及び4、並びに比較例4~6実施例1において、合成例1で合成したアクリル樹脂1に代えて、下記構造式で表される構造単位からなるサイクロマーPダイセル化学工業株製を用いて、表2に示す各処方の感光性組成物塗布液を実施例1と同様に調製し、更に、該塗布液を用いて実施例1と同様に感光性フィルムを作製して、実施例1と同様に評価を行った。結果を表2に示す。比較例7~11実施例1において、合成例1で合成したアクリル樹脂1に代えて、合成例2で合成したウレタン樹脂1を用いて、表3に示す各処方の感光性組成物塗布液を、実施例1と同様に調製し、さらに、該塗布液を用い、実施例1と同様に感光性フィルムを作製して、評価を行った。結果を表3に示す。比較例12~16実施例1において、分散剤としてのソルスパース24000GRルーブリゾール社製を添加せずに、表4に示す各処方の感光性組成物塗布液を、実施例1と同様に調製し、さらに、該塗布液を用い、実施例1と同様に感光性フィルムを作製して、評価を行った。結果を表4に示す。比較例17実施例1において、無機充填剤をSO-C2に代えて、SO-C3アドマテックス社製、平均粒子径1.0μmを用いた以外は、感光性組成物塗布液を実施例1と同様に調製し、更に、該塗布液を用い、実施例1と同様に感光性フィルムを作製して、実施例1と同様に評価を行った。結果を表5に示す。実施例5実施例1において、無機充填剤に対する分散剤の添加量を1質量から2質量に変更した以外は、実施例1と同様に感光性組成物塗布液を調製し、更に、該塗布液を用い、実施例1と同様に感光性フィルムを作製して、実施例1と同様に評価を行った。結果を表5に示す。表1~5に示す結果から、アクリル樹脂と、分散剤と、含有量が50質量以上でありかつ平均粒子径が0.55μm未満である無機充填剤とを含有する感光性組成物を用いて形成された硬化膜は、耐熱衝撃性TCT特性及び電気絶縁性HAST特性のいずれにも優れていることがわかる。"