"先端部が針状に形成された弁軸と、この弁軸の先端部の挿抜によって開閉される通路とを備えたニードル弁において、前記通路内において前記弁軸の先端部の全周にその内周面が面するリング状の部材と、前記リング状の部材の内径をピエゾ効果によって変化させる電気回路とを備えることを特徴とするニードル弁。請求項1に記載されたニードル弁において、前記リング状の部材は、少なくともその一部がピエゾ素子とされていることを特徴とするニードル弁。請求項1に記載されたニードル弁において、前記リング状の部材の外周に少なくとも1つ以上ピエゾ素子が設けられていることを特徴とするニードル弁。請求項1~3の何れか1項に記載されたニードル弁において、前記弁軸による前記通路の閉時に前記ピエゾ効果によって前記リング状の部材の内径を縮小するようにしたことを特徴とするニードル弁。請求項1~3の何れか1項に記載されたニードル弁において、前記弁軸による前記通路の開時に前記ピエゾ効果によって前記リング状の部材の内径を拡大するようにしたことを特徴とするニードル弁。請求項1~3の何れか1項に記載されたニードル弁において、前記ピエゾ効果によって前記リング状の部材を振動させるようにしたことを特徴とするニードル弁。しかしながら、上述したニードル弁では、弁軸を締め込んだ場合、弁軸の先端部と通路の内壁面とが接触し、かじりが生じる例えば、特許文献1の従来技術、非特許文献1の2頁技術情報参照。このようなかじり以下、弁のかじりと呼ぶが生じると、弁軸の先端部と通路の内壁面とは横滑りの動きをするため、弁軸の先端部を通路の内壁面から引き離す際に、大きな力が必要となる。なお、弁のかじりを防止するための方策として、弁軸を全閉位置にしても、完全に弁軸の先端部と通路の内壁面とを密着させないようにする方法がある。しかし、この場合、全閉状態において内部漏れリークが発生するので、すなわち弁の締め切りが行われないので、他に全閉用の弁を設けるなどの必要がある。また、全閉位置において弁軸の先端部と通路の内壁面とを密着させるようにすれば、内部漏れは発生しないが、全閉状態を長く続けることで弁軸の先端部と通路の内壁面とが固着以下、弁の固着と呼ぶする場合があり、定期的なメンテナンスや弁の開閉が必要となる。また、上述した弁のかじりの問題もある。なお、特許文献1には、弁のかりじを防止するための方策として、リーク穴を形成した真空装置内壁の外側面に、嵌め込み板を固着し、この嵌め込み板に接触シール部材としての押え板を押え棒で押し付けるようにした構成が示されている。しかし、この構成では、表面粗さのオーダ0.1~10μm程度の隙間しか流体の流れる部分がない。このため、弁を開いた時の開口部が小さく、用途が限られてしまう。本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、他に全閉用の弁を設けることなく、弁の締め切りを行わせるとともに、弁のかじりをなくし、小さな力で弁軸を引き離せるようにすることが可能なニードル弁を提供することにある。また、全閉状態を長く続けることで生じる虞のある弁の固着に対し、定期的なメンテナンスや弁の開閉を不要とすることが可能で、かつ用途が限られることもないニードル弁を提供することにある。このような目的を達成するために本発明は、先端部が針状に形成された弁軸と、この弁軸の先端部の挿抜によって開閉される通路とを備えたニードル弁において、通路内において弁軸の先端部の全周にその内周面が面するリング状の部材と、リング状の部材の内径をピエゾ効果によって変化させる電気回路とを備えることを特徴とする。本発明において、リング状の部材は、そのリング状の部材の全てをピエゾ素子としてもよいし、その一部をピエゾ素子としてもよい。また、リング状の部材の外周に少なくとも1つ以上、ピエゾ素子を設けるようにしてもよい。この場合、ピエゾ効果によって、ピエゾ素子が伸縮し、リング状の部材の内径が変化する。例えば、本発明において、弁軸による通路の閉時に、ピエゾ効果によってリング状の部材の内径を縮小させるようにすると、リング状の部材の内周面を弁軸の先端部の全周に密着させて、弁の締め切りを行わせることが可能となる。また、本発明において、弁軸による通路の開時に、ピエゾ効果によってリング状の部材の内径を拡大させるようにすると、リング状の部材の内周面を弁軸の先端部の全周から離して、弁のかじりをなくすことが可能となる。また、弁の固着が生じていた場合、剥離力を与えて、その固着を解消することも可能である。また、本発明において、弁の固着がひどいような場合、ピエゾ効果によってリング状の部材を振動させるようにすると、より大きな剥離力を与えて、そのひどい固着を解消することも可能となる。本発明によれば、通路内において弁軸の先端部の全周にその内周面が面するリング状の部材と、リング状の部材の内径をピエゾ効果によって変化させる電気回路とを設けたので、リング状の部材の内径を縮小させたり、拡大させたりして、他に全閉用の弁を設けることなく、弁の締め切りを行わせるとともに、弁のかじりをなくして、小さな力で弁軸を引き離せるようにすることが可能となる。また、リング状の部材の内径を拡大させることにより、弁の固着が生じていた場合、その固着を解消させるようにしたり、また、弁の固着がひどいような場合、リング状の部材を振動させることにより、より大きな剥離力を与えて、そのひどい固着を解消したりすることもできる。これにより、全閉状態を長く続けることで生じる虞のある弁の固着に対し、定期的なメンテナンスや弁の開閉を不要とすることが可能となる。また、本発明では、弁軸の先端部の挿抜によって通路を開閉するという基本構成はそのまま保たれるので、弁を開いたときの開口部を大きくとることができ、用途が限られることもない。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。実施の形態1図1はこの発明に係るニードル弁の第1の実施の形態実施の形態1の要部を示す図である。同図において、1は先端部1aが針状に形成された弁軸ステム、2は弁軸1の先端部1aの挿抜によって開閉される通路であり、通路2はポートと呼ばれる部材3に形成されている。このニードル弁の詳細な構造については後述する。通路2の内壁面2aは、弁軸1の先端部1aの形状に合わせて、図示上方から下方に向かってその内径が小さくなるテーパ面とされている。この通路2の内径は、弁軸1の先端部1aの外径よりも若干広くされ、弁軸1を全閉位置にしても、完全に弁軸1の先端部1aと通路2の内壁面2aとが密着しないものとされている。また、通路2の上部の開口部2bにはリング状のピエゾ素子以下、リングと呼ぶ44Aが組み込まれている。このリング4Aが本発明でいうリング状の部材に相当する。この例では、リング4Aの全てがピエゾ素子とされている。図2にリング4Aの平面図を示す。リング4Aの内径は通路2の内径と同一とされている。すなわち、リング4Aを通路2の開口部2bに組み込んだ状態において、リング4Aの内周面4aと通路2の内壁面2aとは面一となる。リング4Aに対しては、このリング4Aを伸縮させるための電気回路5が設けられている。この電気回路5はリング4Aに対する電圧の印加状態を変える回路であり、電気回路5の電圧の印加状態をオフ状態からオン状態に切り替えると、リング4Aが縮小動作して、リング4Aの内径が縮小する。電気回路5の電圧の印加状態をオン状態からオフ状態に切り替えると、リング4Aが伸長動作して、リング4Aの内径が拡大する通常の内径に戻る。図1は電気回路5の電圧の印加状態をオフ状態としている場合を示している。閉時の動作図3を用いてこのニードル弁の閉時の動作について説明する。図3aはニードル弁を開いている状態を示す図である。この状態は図1に示した状態に対応する。この状態から、通路2を閉じるために、弁軸1を締め込み、A方向へ移動させる。図3bは弁軸1を最後まで締め込んだ状態全閉位置とした状態を示す。この場合、弁軸1の先端部1aと通路2の内壁面2aとは完全には密着せず、僅かな隙間が生じる。このため、弁のかじりは生じないが、内部漏れリークが発生する。この状態において、電気回路5図1を操作して、リング4Aへの電圧の印加状態をオン状態とし、リング4Aを縮小動作させる図3c。これにより、リング4Aの内径が縮小し、リング4Aの内周面4aが弁軸1の先端部1aの全周に密着し、弁の締め切りが行われる。開時の動作次に、図4を用いてこのニードル弁の開時の動作について説明する。図4aはニードル弁を閉じた状態を示す図である。この状態は図3cに示した状態に対応する。この状態では、弁軸1の先端部1aの全周にリング4Aの内周面4aが密着しており、弁のかじりと同様の状態が生じている。この状態から、通路2を開く場合、電気回路5図1を操作して、リング4Aへの電圧の印加状態をオフ状態とし、リング4Aを伸長動作させる図4b。これにより、リング4Aの内径が拡大し、リング4Aの内周面4aが弁軸1の先端部1aの全周から離れ、弁のかじりがなくなる。そして、この状態から、弁軸1を緩め、B方向へ移動させる図4b,c。この場合、弁のかじりがないので、横滑りの摩擦抵抗がなく、小さな力で弁軸1を引き離すことができる。図4cに示した状態は図3aに示した状態に対応する。弁の固着の解消この実施の形態1では、弁軸1による通路2の開時、リング4Aの内径を拡大させる図4b。これにより、弁の固着が生じていた場合、剥離力を与えて、その固着を解消することができる。軽い固着であれば、このリング4Aの内径の拡大で、解消することが可能である。弁の固着がひどい場合には、電気回路5図1からリング4Aに対して交流電圧を印加するなどして、リング4Aを振動させる。これにより、より大きな剥離力を与え、そのひどい固着を解消させるようにすることができる。これにより、全閉状態を長く続けることで生じる虞のある弁の固着に対し、定期的なメンテナンスや弁の開閉を不要とすることが可能となる。なお、リング4Aの振動は開時に開かない或いは開き難い場合に行うようにするが、全閉状態中に定期的に行わせるようにしてもよい。また、本実施の形態では、弁軸1の先端部1aの挿抜によって通路2を開閉するという基本構成はそのまま保たれるので、弁を開いたときの開口部を大きくとることができ、特許文献1に示された構成のように用途が限られることもない。実施の形態2図5はこの発明に係るニードル弁の第2の実施の形態実施の形態2の要部を示す図である。この実施の形態2では、リング44Bの内径を小さくし、通路2の開口部2bに組み込まれた状態において、リング4Bの内周面4aが通路2の内壁面2aよりも内側に突き出るようにしている。また、この実施の形態2では、電気回路5の電圧の印加状態をオフ状態からオン状態に切り替えると、リング4Bが伸長動作して、リング4Bの内径が拡大し、電気回路5の電圧の印加状態をオン状態からオフ状態に切り替えると、リング4Bが縮小動作して、リング4Bの内径が縮小する通常の内径に戻るものとされている。図5は電気回路5の電圧の印加状態をオフ状態としている場合を示している。閉時の動作図6を用いてこのニードル弁の閉時の動作について説明する。図6aはニードル弁を開いている状態を示す図である。この状態は図5に示した状態に対応する。この状態から、通路2を閉じるために、弁軸1を締め込み、A方向へ移動させる。図6bは弁軸1を最後まで締め込んだ状態全閉位置とした状態を示す。この場合、リング4Bの内周面4aが通路2の内壁面2aよりも内側に位置しているので、弁軸1の先端部1aの全周にリング4Bの内周面4aが密着し、弁の締め切りが行われる。開時の動作次に、図7を用いてこのニードル弁の開時の動作について説明する。図7aはニードル弁を閉じた状態を示す図である。この状態は図6bに示した状態に対応する。この状態では、弁軸1の先端部1aの全周にリング4Bの内周面4aが密着しており、弁のかじりと同様の状態が生じている。この状態から、通路2を開く場合、電気回路5図5を操作して、リング4Bへの電圧の印加状態をオン状態とし、リング4Bを伸長動作させる図7b。これにより、リング4Bの内径が拡大し、リング4Bの内周面4aが弁軸1の先端部1aの全周から離れ、弁のかじりがなくなる。そして、この状態から、弁軸1を緩め、B方向へ移動させる図7b。この場合、弁のかじりがないので、横滑りの摩擦抵抗がなく、小さな力で弁軸1を引き離すことができる。そして、電気回路5図5を操作して、リング4Bに対する電圧の印加状態をオフ状態とし、リング4Bを縮小動作させる図7c。これにより、リング4Bの内径が縮小し、通常の内径に戻る。図7cに示した状態は図6aに示した状態に対応する。弁の固着の解消この実施の形態2では、弁軸1による通路2の開時、リング4Bの内径を拡大させる図7b。これにより、弁の固着が生じていた場合、剥離力を与えて、その固着を解消することができる。軽い固着であれば、このリング4Bの内径の拡大で、解消することが可能である。弁の固着がひどい場合には、電気回路5図5からリング4Bに対して交流電圧を印加するなどして、リング4Bを振動させる。これにより、より大きな剥離力を与え、そのひどい固着を解消させるようにすることができる。これにより、全閉状態を長く続けることで生じる虞のある弁の固着に対し、定期的なメンテナンスや弁の開閉を不要とすることが可能となる。なお、なお、リング4Bの振動は開時に開かない或いは開き難い場合に行うようにするが、全閉状態中に定期的に行わせるようにしてもよい。また、本実施の形態では、弁軸1の先端部1aの挿抜によって通路2を開閉するという基本構成はそのまま保たれるので、弁を開いたときの開口部を大きくとることができ、特許文献1に示された構成のように用途が限られることもない。なお、上述した実施の形態1,2では、リング44A,4Bをリング状のピエゾ素子としたが、すなわりリング44A,4Bの全てをピエゾ素子としたが、その一部をピエゾ素子としてもよい。例えば、図8に示すように、リング6の一部にピエゾ素子6aを設け、このピエゾ素子6aを設けたリング6をリング4の代わりに使用するようにしてもよい。このピエゾ素子6aを設けたリング6では、ピエゾ素子6aをリング6の周方向に縮小動作させると図9a参照、リング6の内径が縮小する。また、ピエゾ素子6aをリング6の周方向に伸長動作させると図9b参照、リング6の内径が拡大する。なお、リング6に、ピエゾ素子6aを複数設けるものとしてもよい。この例では、ピエゾ素子6aを設けたリング6が本発明でいうリング状の部材に相当する。また、図10に示すように、リング7の外周にピエゾ素子8を例えば4つ設け、このピエゾ素子8を外周に設けたリング7をリング4の代わりに使用するようにしてもよい。このピエゾ素子8を外周に設けたリング7では、ピエゾ素子8をリング7の内径方向に縮小動作させると図11a参照、リング7の内径が拡大する。また、ピエゾ素子8をリング7の内径方向に伸長動作させると図11b参照、リング7の内径が縮小する。なお、この例では、リング7の外周にピエゾ素子8を4つ設けるようにしたが、1つ以上であればその数は幾つでもよい。この例では、リング7が本発明でいうリング状の部材に相当する。また、実施の形態1,2では、電気回路5からのリング44A,4Bへの電圧の印加状態をオン状態とオフ状態とにしたが、極性が異なる電圧を印加するようにしてもよい。実施の形態1の具体例図12~図16に実施の形態1のニードル弁の具体例を示す。図12はこのニードル弁の全体を示す外観図、図13はこのニードル弁の開時の状態を示す縦断面図、図14はこのニードル弁の閉時の状態を示す縦断面図、図15はこのニードル弁の開時の要部の状態を示す断面図、図16はこのニードル弁の閉時の要部の状態を示す断面図である。図12~図15において、10は弁軸ステム、11はポート、12は弁箱、13は入力ブロック、14はガイドプレート、15はボールスライド、16はカップリング、17は柱、18はモータプレート、19は中空モータ、20はボールスクリュー、21はボールネジ、22は流体の導入管、23は流体の導出管、24,25は継手、26-1~26-3はOリング、27はシールである。このニードル弁において、ポート11は、弁箱12と入力ブロック13との間に挟まれたブロック状の部品であり、弁箱12の内部空間12aと入力ブロック13の内部空間13aとを連通する通路28を有している。この通路28が図1に示した構成における通路2に対応する。通路28の上部の開口部にはリング状のピエゾ素子がリング29として組み込まれている。このリング29が図1に示した構成におけるリング4Aに対応する。リング29に対しては、このリング29を伸縮させるための電気回路30が設けられている。この電気回路30が図1に示した構成における電気回路5に対応する。閉時の動作閉時には、図13に示した状態開時の状態から、通路28を閉じるために、弁軸10を締め込む。そして、弁軸10を最後まで締め込んだ後、電気回路30を操作して、リング29への電圧の印加状態をオン状態とし、リング29を縮小動作させる図16参照。これにより、リング29の内径が縮小し、リング29の内周面27aが弁軸10の先端部10aの全周に密着し、弁の締め切りが行われる。開時の動作開時には、図14に示した状態閉時の状態から、通路28を開くために、電気回路30を操作して、リング29への電圧の印加状態をオフ状態とし、リング29を伸長動作させる。これにより、リング29の内径が拡大し、リング29の内周面29aが弁軸10の先端部10aの全周から離れ、弁のかじりがなくなる。そして、この状態から弁軸10を緩める図15参照。参考例上述した実施の形態では、リングの内径を変化させるためにピエゾ素子を用いるようにしたが、他の方法で実現することも可能である。例えば、リングを形状記憶合金で作り、熱変形させるようにしてもよい。但し、この方法では、流体の熱の影響を受ける虞がある。また、応答速度が遅いため、弁の締め切りに要する時間がかかり、頻繁な開閉には向かないと思われる。また、モータやソレノイドを用いて、リングの内径を変化させるようにしてもよい。図17にモータを用いた例を示す。同図において、31はリングであり、モータ32によって変形機構33を駆動し、この変形機構33を介してリング31に周方向への力を加え、リング31の内径を変化させる。但し、このような方法では、大型化が避けられず、消費エネルギーも大となる。実施の形態の拡張以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。また、各実施の形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。"