"複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記判定手段は、前記検査抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して判定することを特徴とする基板検査装置。複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記閾値設定手段は、前記基準抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して閾値を設定することを特徴とする基板検査装置。前記基準基板の枚数は、2以上の所定数であって、前記測定点セット毎に、前記所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求める統計計算手段を備え、前記閾値設定手段は、前記平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値を設定することを特徴とする請求項1または2に記載の基板検査装置。前記被検査基板は、ビアを有するビルドアップ基板であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の基板検査装置。複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査法であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定工程と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定工程と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定工程と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定工程と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出工程と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出工程とを備え、前記判定工程において、前記検査抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して判定することを特徴とする基板検査方法。複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査法であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定工程と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定工程と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定工程と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定工程と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出工程と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出工程とを備え、前記閾値設定工程において、前記基準抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して閾値を設定することを特徴とする基板検査方法。一方、近年、回路基板の微細化の進行に伴い配線パターンの幅が狭くなり、配線パターンの幅又は、厚さのバラツキが測定点間の抵抗値に及ぼす影響が大きくなっている。そのため、測定点間の抵抗値のバラツキが大きく、上述のように測定点間の抵抗値が高精度に測定された場合でも、その良否判定の基準となる閾値の設定が困難となり、その結果、基板の導通検査を正確に行うことが困難となる場合がある。特に、基板がビアを有するビルドアップ基板である場合には、例えば、レーザビア等のビアに発生した接合不良に伴う測定点間の抵抗値の増加が小さく、配線パターンの幅等のバラツキに伴う測定点間の抵抗値のバラツキと同程度あるいはそれ以下となり、良否判定の基準となる閾値の設定が極めて困難となる。本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、被検査基板の導通検査を正確に行う基板検査装置、及び基板検査方法を提供することを目的としている。請求項1に記載の基板検査装置は、複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記判定手段は、前記検査抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して判定する。上記の構成によれば、基準抵抗測定手段によって、被検査基板と同一種類の基準基板について、測定点セット間の抵抗値が基準抵抗値として測定される。また、基準総和算出手段によって、基準基板の1枚当りの基準抵抗値の総和が求められ、検査総和算出手段によって、被検査基板毎に検査抵抗値の総和が求められる。そして、判定手段によって、検査抵抗値が、検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて判定される。従って、検査抵抗値が検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて判定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が補正されることによって、検査抵抗値の良否が更に正確に判定される。請求項2に記載の基板検査装置は、複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記閾値設定手段は、前記基準抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して閾値を設定することを特徴としている。上記の構成によれば、基準抵抗測定手段によって、被検査基板と同一種類の基準基板について、測定点セット間の抵抗値が基準抵抗値として測定される。また、基準総和算出手段によって、基準基板の1枚当りの基準抵抗値の総和が求められ、検査総和算出手段によって、被検査基板毎に検査抵抗値の総和が求められる。そして、閾値設定手段によって、基準抵抗値が、検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて閾値が設定される。従って、基準抵抗値が、検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて閾値が設定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が補正された適正な閾値が設定される。請求項3に記載の基板検査装置は、前記基準基板の枚数が、2以上の所定数であって、前記測定点セット毎に、前記所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求める統計計算手段を備え、前記閾値設定手段が、前記平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値を設定することを特徴としている。上記の構成によれば、基準基板の枚数が、2以上の所定数であって、統計計算手段によって、測定点セット毎に、所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方が求められる。そして、閾値設定手段によって、平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値が設定される。従って、2以上の所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値が設定されるため、適切な閾値が容易に設定される。請求項4に記載の基板検査装置は、前記被検査基板がビアを有するビルドアップ基板であることを特徴としている。上記の構成によれば、被検査基板がビアを有するビルドアップ基板であるため、ビアにおいて接合不良等が発生した場合にも、検査抵抗値の良否が正確に判定される。請求項5に記載の基板検査方法は、複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査法であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定工程と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定工程と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定工程と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定工程と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出工程と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出工程とを備え、前記判定工程において、前記検査抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して判定することを特徴としている。請求項6に記載の基板検査方法は、複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置の基板検査法であって、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定工程と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定工程と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定工程と、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定工程と、基準基板の1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出工程と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出工程とを備え、前記閾値設定工程において、前記基準抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して閾値を設定することを特徴としている。上記の方法によれば、被検査基板の配線パターン上に予め設定され、2つの測定点の組合せである測定点セット間の抵抗値が検査抵抗値として測定される。そして、測定点セットに対応して閾値が設定され、検査抵抗値の良否が、測定点セット毎に設定された閾値に基づいて判定される。従って、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値の良否が、測定点セットに対応して設定された閾値に基づいて判定されるため、閾値を測定点セットに対応して適切な値に設定することにより、検査抵抗値の良否が正確に判定され、被検査基板の導通検査が正確に行われる。請求項1、5に記載の発明によれば、検査抵抗値が検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて判定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が補正されることによって、検査抵抗値の良否を更に正確に判定できる。請求項2、6に記載の発明によれば、基準抵抗値が、検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて閾値が設定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が補正された適正な閾値を設定できる。請求項3に記載の発明によれば、2以上の所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値が設定されるため、適切な閾値を容易に設定できる。請求項4に記載の発明によれば、ビアにおいて接合不良等が発生した場合にも、検査抵抗値の良否を正確に判定できる。図1は、この発明に係る基板検査装置の一実施形態を示す側面断面図であり、図2は図1の基板検査装置の平面図である。後述する各図との方向関係を明確にするために、XYZ直角座標軸を記載している。これらの図に示すように、この基板検査装置は、装置前方側-Y側に装置本体1に対して開閉扉11が開閉自在に配設されており、この開閉扉11を開いた状態で、配線パターンが複数の層に形成されたビルドアップ基板である基板2被検査基板に相当する:図6参照を、装置前方側中央部に設けられた搬出入部3から装置本体1内に搬入可能とされている。また、この搬出入部3の後方側Y側には、検査信号を伝送する複数本例えば、500本の接触子44を備え、基板2の配線パターンのランド測定点に相当するに接触子44を当接させるべく後述する検査治具41を移動させる検査部4が設けられている。更に、この検査部4に対して接触子44を測定点に当接させるべく移動させる指示信号及び接触子44を介して測定点に出力する検査信号等を出力すると共に、検査部4を介して検査信号等が入力され、検査信号を後述する制御部8図示省略へ伝送する測定実行部74が適所ここでは、装置本体1内の上部に配設されている。そして、検査部4及び測定実行部74等による検査すなわち、良否判定が終了した基板2は、搬出入部3に戻され、開閉扉11が開状態とされてオペレータによって搬出可能となる。この基板検査装置では、搬出入部3と検査部4との間で基板2を搬送するために、搬送テーブル5がY方向に移動自在に設けられるとともに、搬送テーブル5は搬送テーブル駆動機構6によってY方向に移動されて位置決めされるように構成されている。すなわち、搬送テーブル駆動機構6では、Y方向に延びる2本のガイドレール61が所定間隔だけX方向に離間して配置され、これらのガイドレール61に沿って搬送テーブル5がスライド自在となっている。また、これらのガイドレール61と平行にボールネジ62が配設され、このボールネジ62の一方-Y側端が装置本体1に軸支されるとともに、他方Y側端が搬送テーブル駆動用のモータ63の回転軸64と連結されている。更に、このボールネジ62には、搬送テーブル5を固定したブラケット65が螺合され、後述する制御部8図3、図5参照からの指令に応じてモータ63が回転駆動されると、その回転量に応じて搬送テーブル5がY方向に移動して搬出入部3と検査部4との間を往復移動される。図2を参照して、搬送テーブル5は、基板2を載置するための基板載置部51を備えている。この基板載置部51は、載置された基板2が3つの係合ピン53と係合するとともに、これらの係合ピン53と対向する方向から基板2を付勢する付勢手段図示省略によって、基板2が係合ピン53側に付勢されて基板載置部51上で基板2を保持可能となっている。また、このように保持された基板2の下面に形成された配線パターンに後述する下部検査ユニット4Dの接触子44を当接させるために、基板載置部51には貫通開口図示省略が形成されている。検査部4は、搬送テーブル5の移動経路を挟んで上方側Z側に基板2の上面側に形成された配線パターンを検査するための上部検査ユニット4Uと、下方側-Z側に基板2の下面側に形成された配線パターンを検査するための下部検査ユニット4Dとを備えている。検査ユニット4U,4Dは、略同一の構成を有しており、搬送テーブル5の移動経路を挟んで略対称に配置されている。検査ユニット4U,4Dは、検査治具41と検査治具駆動機構43とを備えている。図3は、基板検査装置の電気的構成の一例を示す構成図である。基板検査装置は、CPU,ROM,RAM,モータドライバ等を備えて予めROMに記憶されているプログラムに従って装置全体を制御する制御部8図5参照と、テスターコントローラ75と、測定実行部74とを備えている。テスターコントローラ75は、制御部8からの検査開始指令を受け付けて、予め記憶されたプログラムに従って、基板2の配線パターンのランドに当接された複数本の接触子44の中から検査すべき配線パターンの両端に位置する2つのランド以下、測定点セットというにそれぞれ接触した2つの接触子44を順次、選択するものである。また、テスターコントローラ75は、選択した2つの接触子44間の検査を行わせるべく、測定実行部74へスキャン指令を出力するものである。更に、テスターコントローラ75は、測定実行部74図4にて後述する検査処理部741から測定された抵抗値を受信して、制御部8へ伝送するものである。一方、検査治具駆動機構43は、図3に示すように、装置本体1に対してX方向に検査治具41を移動させるX治具駆動部43Xと、X治具駆動部43Xに連結されて検査治具41をY方向に移動させるY治具駆動部43Yと、Y治具駆動部43Yに連結されて検査治具41をZ軸回りに回転移動させるθ治具駆動部43θと、θ治具駆動部43θに連結されて検査治具41をZ方向に移動させるZ治具駆動部43Zとで構成されており、制御部8により検査治具41を搬送テーブル5に対して相対的に位置決めしたり、検査治具41を上下方向Z方向に昇降させて接触子44を基板2に形成された配線パターンに対して当接させたり、離間させたりすることができるように構成されている。図4は、測定実行部74の構成の一例を説明するための概念図である。測定実行部74は、所定値制御部8で設定された値I0の測定用直流電流を出力する直流電流源からなる電流生成部742と、測定用直流電流によって配線パターン内に生成される電圧降下量電位差を測定する電圧測定部743と、検査治具41が備える複数本の接触子44の中からテスターコントローラ75図3参照によって選択された接触子44に電流生成部742及び電圧測定部743を接続するスイッチアレー等からなるスキャナ744とを備えている。検査処理部741は、テスターコントローラ75からのスキャン指令に応じて、電流供給対象となる2つの接触子44間に電流生成部742を接続し、電位差検出対象となる2つの接触子44間に電圧測定部743をそれぞれ接続させるべく、スキャナ744へ制御信号を出力するものである。また、検査処理部741は、電圧測定部743で測定された電圧値電位差を測定用直流電流値I0で除して、2つの接触子44間すなわち、測定点セットの間の抵抗値を求めてテスターコントローラ75へ送信するものである。図5は、制御部8のハードウェア構成の一例を示す構成図である。制御部8は、例えば、パーソナルコンピュータ等からなり、制御部8の全体の動作を制御する主制御部81と、外部からの操作を受け付ける図略のキーボード、マウス等からなる操作部82と、外部に音声を出力するスピーカ83と、外部に画像を出力するモニタ84と、テスターコントローラ75と通信を行う通信制御部85と、種々の情報を記録用紙に印刷するプリンタ86とがデータ伝送路であるバスBA8を介して接続されている。主制御部81は、制御部8の全体の動作を制御するもので、情報処理部CPU811と、処理途中の情報等を一時的に格納するRAM812と、OSoperatingsystem、所定の画像情報等が予め記憶されたROM813とを備えている。RAM812またはROM813に記憶された各種データのうち装着脱可能な記録媒体に記憶され得るデータは、例えばハードディスクドライブ、光ディスクドライブ、フレキシブルディスクドライブ、シリコンディスクドライブ、カセット媒体読み取り機等のドライバで読み取り可能にしてもよく、この場合、記録媒体は、例えばハードディスク、光ディスク、フレキシブルディスク、CD、DVD、半導体メモリ等である。インターフェイス部821及び861は、それぞれ操作部82及びプリンタ86と主制御部81との間のデータの授受を行うためのものである。音声再生部831は、主制御部81からの指示に従って所定の音声例えば、アラーム、操作ガイダンス用の音声等等をスピーカ83に出力するものである。描画処理部841は、主制御部81からの画像表示指示に従って所要の画像をモニタ84に表示させるもので、ビデオRAM等を備えている。図6は、基板2の構成の一例を示す概念図である。aは、配線パターン以外を透明化した斜視図であり、bは断面図である。基板2は、絶縁基板212の上面211に配線パターン211aが形成された第1基板21と、絶縁基板222の上面221に配線パターン221aが形成されると共に、下面223に配線パターン223aが形成された第2基板22とから構成されたビルドアップ多層ここでは、3層プリント配線基板ビルドアップ基板に相当するである。配線パターン211aは、絶縁基板212に形成されたビアTH1を介して配線パターン221aと通電可能に接続され、更に、この配線パターン221aは、絶縁基板222に形成されたビアTH2を介して配線パターン223aと通電可能に接続されている。ビアTH1及びビアTH2は、ここでは、レーザによって形成されたマイクロビアであるレーザビアであって、ビアの円筒状の側面に形成された銅メッキ層と、配線パターン221a、223aとの接合面に欠陥が発生し易いが、欠陥が軽微である場合には、欠陥に伴う測定点セット間例えば、配線パターン211a上の測定点MP1と測定点MP2との間の抵抗値の増大が小さく、検出が困難である場合がある。<第1実施形態>次に、図7~12を用いて、本発明の第1実施形態に係る基板検査装置について説明する。図7は、第1実施形態に係る制御部8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部8のCPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部811a基準抵抗測定手段に相当すると、測定点セット毎に、基準抵抗値の平均値及び標準偏差を求める統計計算部811b統計計算手段に相当すると、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部811c閾値設定手段に相当すると、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部811d検査抵抗測定手段に相当すると、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部811e判定手段に相当するとを備えている。また、制御部8のRAM812は、基準抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する基準抵抗記憶部812aと、閾値の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する閾値記憶部812bと、検査抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する検査抵抗記憶部812cとを備えている。基準抵抗測定部811aは、同一種類の複数例えば、10000枚の被検査基板の中から予め選択された所定数ここでは、30枚の被検査基板である基準基板について測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定すると共に、得られた基準抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部812aに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。なお、基準基板は、同一種類の10000枚の被検査基板の中から予め導通検査を行って、検査結果が良好なものを基準基板として選択するものである。統計計算部811bは、所定数ここでは、30枚の基準基板について、測定点セット毎に、基準抵抗測定部811aによって測定された基準抵抗値を基準抵抗記憶部812aから読み出して、その平均値及び標準偏差を求めると共に、得られた平均値及び標準偏差を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部812aに格納するものである。閾値設定部811cは、測定点セットを基準抵抗値の平均値の大きさに基づいて昇順に並べ替えることによって測定点セット毎に順番号を付与し、順番号が隣接する2組の測定点セットの基準抵抗値の平均値の差に基づいて閾値を設定すると共に、設定した閾値を順番号情報及び2組の測定点セットの識別情報と対応付けて閾値記憶部812bに格納するものである。具体的な閾値の設定方法については図10を用いて後述する。検査抵抗測定部811dは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検査抵抗記憶部812cに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。判定部811eは、順番号が隣接する2組の測定点セットの検査抵抗値を検査抵抗記憶部812cから読み出してそれらの差以下、検査抵抗差ΔRというを求め、閾値設定部811cによって設定された対応する閾値との大小関係に基づいて判定するものである。具体的には、順番号が隣接する2組の測定点セットの検査抵抗差ΔRが閾値設定部811cによって設定された下限値SHLA未満であるか、または、上限値SHUA超である場合に不良であると判定するものである図8参照。更に詳細な処理は、図12に示すフローチャートを用いて後述する。基準抵抗記憶部812aは、基準抵抗測定部811aによって求められた基準抵抗値と、統計計算部811bによって求められた基準抵抗値の平均値及び標準偏差とを2組の測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。閾値記憶部812bは、閾値設定部811cによって設定された閾値を順番号情報及び2組の測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。検査抵抗記憶部812cは、検査抵抗測定部811dによって求められた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。なお、制御部8を、基準抵抗測定部811a、統計計算部811b等として機能させる本発明の基板検査プログラムが、例えばROM813に格納されており、CPU811によって実行されることにより、制御部8が基準抵抗測定部811a、統計計算部811b等の各機能部として機能するものである。図8は、判定部811eによる検査抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。aは、検査抵抗値Rの一例を示すグラフG1であり、横軸が順番号SNであり、縦軸が検査抵抗値Rである。順番号SNは、測定点セット毎の基準抵抗値の平均値の大きさに基づいて昇順に並べ替えることによって付与されるものであり、測定点セット間の基準抵抗値の大小関係と検査抵抗値の大小関係とは略一致するものであるから、グラフG1は、概ね、順番号SNの増加に伴って検査抵抗値Rが増大する曲線となっている。ただし、ここでは、順番号SNが455である測定点セット間の配線パターン内に不良箇所があり、この不良箇所に起因して、グラフG1には、この測定点セット間の検査抵抗値Rに対応する順番号SNが455の位置で検査抵抗値Rが急激に増大する不良箇所EPがある。なお、この不良箇所EPの抵抗値は、順番号SNが1の測定点セット間の抵抗値R1以上であり、且つ、順番号SNが最大ここでは、925の測定点セット間の抵抗値R2以下であるため、被検査基板内の全ての測定点セットに対して一定の閾値を使用する場合には検出され得ないものである。bは、aに示す検査抵抗値Rに対応する、順番号が隣接する2組の測定点セットのグラフG2である。図の横軸が順番号SNであり、縦軸が検査抵抗差ΔRである。ここで、検査抵抗差ΔRについて図9を用いて説明する。図9は、検査抵抗差ΔRの説明図である。図の横軸が順番号SNであり、縦軸が検査抵抗値Rである。検査抵抗差ΔRiは次の1式で定義される順番号SNが隣接するここでは、順番号SNがi、i1である2組の測定点セットの検査抵抗値Rの差である。ΔRi=Ri1-Ri1ただし、Riは順番号SNがiである測定点セットの検査抵抗値Rである。なお、i=1~925である。再び、図8bに戻って、上述のように順番号SNの増加に伴って検査抵抗値Rが概ね増大するため、検査抵抗差ΔRは、グラフG2に示すように、通常、微小な正の値例えば、1mΩ程度となる。ただし、順番号SNが455の位置で検査抵抗値Rが急激に増大する不良箇所EPが存在するため、検査抵抗差ΔRiの内、iが454である検査抵抗差ΔRiが他の点の検査抵抗差ΔRiとは桁違いの大きな値例えば、10mΩ程度となり、iが455である検査抵抗差ΔRiが他の点の検査抵抗差ΔRiとは桁違いの小さな値例えば、-10mΩ程度となる。従って、閾値図8のグラフG3で示す上限値、及び、グラフG4で示す下限値を適正値例えば、3mΩ及び-2mΩに設定することによって、不良箇所EPを正確に検出することが可能となるのである。図10は、閾値の算出方法の一例を説明する図表である。aは、統計計算部811bによって算出される平均値AV及び標準偏差σを示す図表であり、bは、閾値設定部811cによって算出される閾値上限値SHUA及び下限値SHLAを示す図表である。aには、上欄から順に、測定点セットの番号以下、ポイント番号PNというと、ポイント番号PNに対応する測定点セットについて、基準抵抗測定部811aによって測定された基準抵抗値の平均値AV及び標準偏差σと、閾値設定部811cによって各測定点セットに付与される順番号SNが表示されている。ここでは、ポイント番号PNがiの測定点セットの平均値AViが最小であり、このポイント番号PN=iに対応する順番号SNが1となっている。また、ポイント番号PNがjの測定点セットの平均値AVjが2番目に小さく、このポイント番号PN=jに対応する順番号SNが2となっている。bには、上欄から順に、順番号SN、平均値AV、標準偏差σが表示され、aに示すデータを順番号SNでソート並び替えした結果を示している。上述のように、順番号SNが1及び2の測定点セットのポイント番号PNはそれぞれi及びjである。ここで、順番号SNがn及びn1の測定点セットのポイント番号PNを、それぞれp及びqとしている。bの上から4番目のポイント番号PNの欄の下側には、閾値設定部811cによって設定される上限値SHUA及び下限値SHLAが表示されている。また、欄外に示すように、順番号SNがn及びn1の測定点セットから設定される上限値SHUAn及び下限値SHLAnは、それぞれ次の2、3式で求められる。SHUAn=AVq-AVp3×σpσq/22SHLAn=AVq-AVp-3×σpσq/23図11は、制御部8の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図2に示す基板載置部51上に、検査される対象の基板2が載置される前に、基板2を検査する準備動作として実行されるものである。まず、基準抵抗測定部811aによって、30枚の基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値SRiji=1~N、j=1~M、N:測定点セットの個数ここでは、N=925、M:基準基板の枚数ここでは、M=30が測定され、測定点セットの識別情報ここでは、ポイント番号PNと対応付けて基準抵抗記憶部812aに格納されるステップS101。次に、統計計算部811bによって、測定点セット毎に基準抵抗値SRijの平均値AVi及び標準偏差σiが求められ、測定点セットの識別情報ここでは、ポイント番号PNと対応付けて基準抵抗記憶部812aに格納されるステップS103。そして、閾値設定部811cによって、基準抵抗値SRijの平均値AViの大きさに基づいて昇順にすなわち、平均値AViの小さい順に並べ替えることによって測定点セット毎に順番号SNが付与されるステップS105。次に、閾値設定部811cによって、順番号SNが隣接する2組の測定点セットここでは、順番号SNがn及びn1の測定点セットの基準抵抗値SRijの平均値AVi及び標準偏差σiを用いて上述の2、3式によって、検査抵抗差ΔRnに対する上限値SHUAn及び下限値SHLAnが設定され図10参照、上限値SHUAn及び下限値SHLAnが順番号SN情報及び2組の測定点セットの識別情報ポイント番号PNと対応付けて閾値記憶部812bに格納されステップS107、処理が終了される。図12は、制御部8の検査実行時の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図11に示す動作が完了し、図2に示す基板載置部51上に検査される対象の基板2が載置された状態で実行されるものである。なお、以下の処理は、特に明示しない限り、判定部811eによって行われる。まず、順番号SKのカウンタkの値が1に初期化されるステップS201。そして、閾値記憶部812bを参照して、順番号SKの値がカウンタkの値であるすなわち、基準抵抗値の平均値AVが小さい方からk番目の測定点セットのポイント番号PNkが求められるステップS203。つぎに、検査抵抗測定部811dによって、ポイント番号PNkの測定点セットの抵抗値Rkが測定されて、ポイント番号PNkと対応付けて検査抵抗記憶部812cに格納されるステップS205。次いで、カウンタkの値が1であるか否かの判定が行われるステップS207。カウンタkの値が1である場合ステップS207でYESには、カウンタkの値が1だけインクリメントされてステップS209、処理がステップS203に戻され、ステップS203以降の処理が繰り返し実行される。カウンタkの値が1ではないすなわち、2以上である場合ステップS207でNOには、順番号SKが隣接するここでは、順番号SKがk及びk-1である2組の測定点セットの検査抵抗値Rk、Rk-1が検査抵抗記憶部812cから読み出されて、次の4式を用いて検査抵抗差ΔRkが求められるステップS211。ΔRk=Rk-Rk-14そして、検査抵抗差ΔRkが、図11に示すフローチャートのステップS107で求められた下限値SHUAk-1以上、且つ、上限値SHLAk-1以下であるか否かの判定が行われるステップS213。検査抵抗差ΔRkが、下限値SHLAk-1以上、且つ、上限値SHUAk-1以下ではないすなわち、下限値SHLAk-1未満、または、上限値SHUAk-1超であると判定された場合ステップS213でNOには、ポイント番号PNk-1に対応する測定点セット間の配線パターンまたは、ビアが不良であると判定されステップS221、処理が終了される。一方、検査抵抗差ΔRkが、下限値SHLAk-1以上、且つ、上限値SHUAk-1以下であると判定された場合ステップS213でYESには、カウンタkの値が測定点セットの個数N以上か否かの判定が行われるステップS215。カウンタkの値が測定点セットの個数N以上ではないすなわち、測定点セットの個数N未満であると判定された場合ステップS215でNOには、カウンタkの値が1だけインクリメントされてステップS217、処理がステップS203に戻され、ステップS203以降の処理が繰り返し実行される。一方、カウンタkの値が測定点セットの個数N以上であると判定された場合ステップS215でYESには、基板2の導通状態は良好であると判定されてステップS219、処理が終了される。このようにして、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値Rkの良否が、測定点セット毎に設定された上限値SHUAk-1及び下限値SHLAk-1に基づいて判定されるため、上限値SHUAk-1及び下限値SHLAk-1を測定点セット毎に適切な値に設定することにより、検査抵抗値Rkの良否が正確に判定される。また、2組の測定点セットの検査抵抗値Rk、Rk-1の差ΔRkが、対応する上限値SHUAk-1及び下限値SHLAk-1に基づいて判定されるため、測定点セット毎に検査抵抗値Rkを判定する場合と比較して、被検査基板2毎の製造条件、及び、被検査基板2毎の検査抵抗値Rkの測定条件の差が相殺されることによって、検査抵抗値Rkの良否が更に正確に判定される。例えば、基板2は製造条件によって配線パターンの幅の広狭のバラツキが発生し、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に大きい場合配線パターンの幅が狭い場合と、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に小さい場合配線パターンの幅が広い場合とがあるが、検査抵抗値Rk、Rk-1の差ΔRkが判定されるため、検査抵抗値Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。同様に、基板2は測定条件によって、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に高い場合例えば、基板2の表面温度が高い場合と、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に低い場合例えば、基板2の表面温度が低い場合とがあるが、検査抵抗値Rk、Rk-1の差ΔRkが判定されるため、検査抵抗値Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。更に、順番号SKが隣接するすなわち、基準抵抗値SRの大きさが隣接する2つの測定点セットの検査抵抗値Rk、Rk-1の差ΔRkが、対応する上限値SHUAk-1及び下限値SHLAk-1に基づいて判定されるため、被検査基板2毎の製造条件、及び、被検査基板2毎の検査抵抗値Rkの測定条件の差が更に相殺されることによって、検査抵抗値Rkの良否が更に正確に判定される。すなわち、被検査基板2と同種の基板であって、導通状態の良好な基板である基準基板の基準抵抗値SRの平均値AVの大きさの順である順番号SKが隣接する2つの測定点セットは、本来的に、抵抗値が同程度の大きさの測定点セットであるから、対応する検査抵抗値Rk、Rk-1の差ΔRkの絶対値が小さくなるため、更に正確に判定されるのである。加えて、順番号SKが隣接する2組の測定点セットの基準抵抗値SRの平均値AV及び標準偏差σに基づいて上述の2式及び3式を参照、上限値SHUAn及び下限値SHLAnが設定されるため、適切な上限値SHUAn及び下限値SHLAnが容易に設定される。また、検査抵抗値Rkが測定される度に、検査抵抗値Rk、Rk-1の差ΔRkの良否が判定されて、不良が発生した時点で検査抵抗値Rkの測定が中止されるため、特に不良が発生する頻度が高い場合には、基板2の検査が効率的に行われる。なお、本発明は以下の形態をとることができる。A第1実施形態においては、閾値設定部811cが、所定数ここでは、30枚の基準基板の基準抵抗値の平均値AVの大きさに基づいて測定点セット毎に順番号SNを付与する場合について説明したが、その他のルールに則って順番号SNを付与する形態でもよい。例えば、基板2の検査抵抗値Rの測定が行われる測定点セットの順番を順番号SNとして付与する形態でもよい。この場合には、基準抵抗値の平均値AV等を求める処理が不要となり、処理が簡略化される。B第1実施形態においては、閾値設定部811cが、30枚の基準基板の基準抵抗値の平均値AVの小さい順に測定点セット毎に順番号SNを付与する場合について説明したが、基準基板の枚数は30枚に限定されるものではなく何枚でもよく基準基板の枚数が1枚である場合には、平均値を求める処理が不要となる、また、基準抵抗値の平均値AVの小さい順昇順ではなく大きい順降順に順番号SNを付与する形態でもよい。C第1実施形態においては、閾値設定部811cが、下限値SHLA及び上限値SHUAを設定する場合について説明したが、下限値SHLA及び上限値SHUAの少なくとも一方を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。D第1実施形態においては、閾値設定部811cが、下限値SHLA及び上限値SHUAを、基準基板の基準抵抗値の平均値AV及び標準偏差σに基づいて設定する場合について説明したが、平均値AV及び標準偏差σの少なくとも一方に基づいて設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。E第1実施形態においては、閾値設定部811cが、基準基板の基準抵抗値の平均値AV及び標準偏差σに関する上述の式2及び式3を用いて下限値SHLA及び上限値SHUAを設定する場合について説明したが、その他の式を用いて設定する形態でもよいし、その他の区分テーブル等を介して設定する形態でもよい。例えば、2つの測定点セットの基準抵抗値の平均値AVである平均値AVp、AVqを所定の大きさ例えば、2mΩの間隔で区分して区分毎に下限値SHLA及び上限値SHUAが格納されたテーブルルックアップテーブルを予め設定しておき、平均値AVp、AVq及びこのテーブルに基づいて、下限値SHLA及び上限値SHUAを設定する形態でもよい。<第2実施形態>次に、図13~16を用いて、本発明の第2実施形態に係る基板検査装置について説明する。なお、図1~図6を用いて説明した構成は、第1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。図13は、第2実施形態に係る制御部8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部8のCPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部811f基準抵抗測定手段に相当すると、基準基板の1枚当りの基準抵抗値の総和を求める基準総和算出部811g基準総和算出手段に相当すると、測定点セット毎に、基準抵抗値の平均値及び標準偏差を求める統計計算部811h統計計算手段に相当すると、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部811i閾値設定手段に相当すると、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部811j検査抵抗測定手段に相当すると、被検査基板毎に検査抵抗値の総和を求める検査総和算出部811k検査総和算出手段に相当すると、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部811m判定手段に相当するとを備えている。また、制御部8のRAM812は、基準抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する基準抵抗記憶部812fと、閾値の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する閾値記憶部812gと、検査抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する検査抵抗記憶部812hとを備えている。基準抵抗測定部811fは、同一種類の複数例えば、10000枚の被検査基板の中から予め選択された所定数ここでは、30枚の被検査基板である基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定すると共に、得られた基準抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部812fに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。なお、基準基板は、同一種類の10000枚の被検査基板の中から予め導通検査を行って、検査結果が良好なものを基準基板として選択するものである。基準総和算出部811gは、基準抵抗測定部811fによって測定された基準抵抗値について、基準基板の1枚当りの基準抵抗値の総和を求め、基準抵抗記憶部812fに格納するものである。具体的には、30枚の基準基板について、全ての基準基板の基準抵抗値の総和を求め、基準基板の枚数である30で除することによって1枚当りの基準抵抗値の総和を求めるものである。統計計算部811hは、所定数ここでは、30枚の基準基板について、測定点セット毎に、基準抵抗測定部811fによって測定された基準抵抗値を基準抵抗記憶部812fから読み出して、その平均値及び標準偏差を求めると共に、得られた平均値及び標準偏差を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部812fに格納するものである。閾値設定部811iは、測定点セットの基準抵抗値の平均値及び標準偏差に基づいて閾値を設定すると共に、設定した閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて閾値記憶部812gに格納するものである。具体的には、測定点セットの基準抵抗値SRii=1~N、N:測定点セットの個数の平均値AVi及び標準偏差σiを用いて、次の5、6式によって、それぞれ上限値SHUBi、下限値SHLBiを求めるものである図15参照。SHUBi=AVi3×σi5SHLBi=AVi-3×σi6検査抵抗測定部811jは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検査抵抗記憶部812hに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。検査総和算出部811kは、検査抵抗測定部811jによって測定された検査抵抗値について、被検査基板の1枚当りの検査抵抗値の総和を求め、検査抵抗記憶部812hに格納するものである。判定部811mは、測定点セットの検査抵抗値Rkk=1~Nを検査抵抗記憶部812hから読み出して、検査抵抗値Rkを、検査総和算出部811kによって求められた検査抵抗値の総和TMと基準総和算出部811gによって求められた基準抵抗値の総和SMとを用いて下記の7式によって補正して補正抵抗値RNkを求め、補正抵抗値RNkと、閾値設定部811iによって設定された対応する上限値SHUBk、下限値SHLBkとの大小関係に基づいて良否を判定するものである。具体的には、測定点セットの補正抵抗値RNkが閾値設定部811iによって設定された下限値SHLBk未満であるか、または、上限値SHUBk超である場合に不良であると判定するものである図14参照。更に詳細な処理は、図16に示すフローチャートを用いて後述する。RNk=Rk×SM/TM7基準抵抗記憶部812fは、基準抵抗測定部811fによって求められた基準抵抗値と、統計計算部811hによって求められた基準抵抗値の平均値及び標準偏差とを測定点セットの識別情報と対応付けて格納すると共に、基準総和算出部811gによって求められた基準抵抗値の総和を格納するものである。閾値記憶部812gは、閾値設定部811iによって設定された閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。検査抵抗記憶部812hは、検査抵抗測定部811jによって求められた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納すると共に、検査総和算出部811kによって求められた検査抵抗値の総和を格納するものである。なお、制御部8を、基準抵抗測定部811f、統計計算部811h等として機能させる本発明の基板検査プログラムが、例えばROM813に格納されており、CPU811によって実行されることにより、制御部8が基準抵抗測定部811f、統計計算部811h等の各機能部として機能するものである。図14は、判定部811mによる検査抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。この図は、検査抵抗値Rを補正して得られた補正抵抗値RNの一例を示すグラフG1Nであり、横軸が順番号SNであり、縦軸が補正抵抗値RNである。ここで、順番号SNとは、測定点セット毎の基準抵抗値の平均値の大きさに基づいて昇順に並べ替えることによって付与されるものであり、測定点セット間の基準抵抗値の大小関係と検査抵抗値の大小関係とは略一致するものであるから、グラフG1Nは、概ね、順番号SNの増加に伴って検査抵抗値Rが増大する曲線となっている。ただし、ここでは、順番号SNが455である測定点セット間の配線パターン内に不良箇所があり、この不良箇所に起因して、グラフG1Nには、この測定点セット間の検査抵抗値Rに対応する順番号SNが455の位置で補正抵抗値RNが急激に増大する不良箇所EPがある。なお、この不良箇所EPの抵抗値は、順番号SNが1の測定点セット間の補正抵抗値R1N以上であり、且つ、順番号SNが最大ここでは、925の測定点セット間の補正抵抗値R2N以下であるため、被検査基板内の全ての測定点セットに対して一定の閾値を使用する場合には検出され得ないものである。上述のように順番号SNの増加に伴って補正抵抗値RNが概ね増大し、閾値設定部811iによって上限値SHUBi、下限値SHLBiがそれぞれ5、6式によって求められるため、上限値SHUBi、下限値SHLBiは、それぞれ、グラフG5、G6に示すように、グラフG1Nに沿って上下方向に略並行移動されたグラフとなる。従って、上限値SHUBi、下限値SHLBiにそれぞれ対応するグラフG5及びグラフG6を適正に設定するグラフG5、G6とグラフG1Nとの間隔を適正に設定することによって、不良箇所EPを正確に検出することが可能となるのである。図15は、制御部8の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図2に示す基板載置部51上に、検査される対象の基板2が載置される前に、基板2を検査する準備動作として実行されるものである。まず、基準抵抗測定部811fによって、30枚の基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値SRiji=1~N、j=1~M、N:測定点セットの個数ここでは、N=925、M:基準基板の枚数ここでは、M=30が測定され、測定点セットの識別情報以下、ポイント番号PNというと対応付けて基準抵抗記憶部812fに格納されるステップS301。次に、統計計算部811hによって、測定点セット毎に基準抵抗値SRijの平均値AVi及び標準偏差σiが求められ、測定点セットの識別情報ここでは、ポイント番号PNと対応付けて基準抵抗記憶部812fに格納されるステップS303。そして、基準総和算出部811gによって、平均値AViの総和SM基準基板の1枚当りの基準抵抗値の総和に相当するが求められるステップS305。次いで、閾値設定部811iによって、測定点セットの基準抵抗値SRijの平均値AVi及び標準偏差σiを用いて上述の5、6式によって、上限値SHUBi及び下限値SHLBiが設定され、上限値SHUBi及び下限値SHLBiが測定点セットの識別情報ポイント番号PNと対応付けて閾値記憶部812gに格納されステップS307、処理が終了される。図16は、制御部8の検査実行時の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図15に示す動作が完了し、図2に示す基板載置部51上に検査される対象の基板2が載置された状態で実行されるものである。なお、以下の処理は、特に明示しない限り、判定部811mによって行われる。まず、検査抵抗測定部811jによって、全ての測定点セットの検査抵抗値Rkk=1~Nが測定され、検査抵抗記憶部812hに格納されるステップS401。そして、検査総和算出部811kによって、検査抵抗値Rkの総和TMが求められ、検査抵抗記憶部812hに格納されるステップS403。次いで、検査抵抗値Rkが検査抵抗値の総和TMと基準抵抗値の総和SMとを用いて、上述の式7によって補正され補正抵抗値RNkが求められるステップS405。そして、補正抵抗値RNkが、図15に示すフローチャートのステップS307で求められた下限値SHLBk以上、且つ、上限値SHUBk以下であるか否かの判定が行われるステップS407。少なくとも1の補正抵抗値RNkが、下限値SHLBk以上、且つ、上限値SHUBk以下ではないすなわち、下限値SHLBk未満、または、上限値SHUBk超であると判定された場合ステップS407でNOには、基板2の導通状態が不良であると判定されステップS411、処理が終了される。一方、全ての補正抵抗値RNkが、下限値SHLBk以上、且つ、上限値SHUBk以下であると判定された場合ステップS407でYESには、基板2の導通状態は良好であると判定されてステップS409、処理が終了される。このようにして、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値Rkの良否が、測定点セット毎に設定された上限値SHUBk及び下限値SHLBkに基づいて判定されるため、上限値SHUBk及び下限値SHLBkを測定点セット毎に適切な値に設定することにより、検査抵抗値Rkの良否が正確に判定される。また、検査抵抗値Rkが検査抵抗値Rkの総和TMの基準抵抗値RSの総和SMに対する比率で補正された補正抵抗値RNkとして判定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が補正されることによって、検査抵抗値Rkの良否が更に正確に判定される。例えば、基板2は製造条件によって配線パターンの幅の広狭のバラツキが発生し、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に大きい場合配線パターンの幅が狭い場合と、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に小さい場合配線パターンの幅が広い場合とがあるが、検査抵抗値Rkが検査抵抗値Rkの総和TMの基準抵抗値RSの総和SMに対する比率で補正された補正抵抗値RNkとして判定されるため、検査抵抗値Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。同様に、基板2は測定条件によって、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に高い場合例えば、基板2の表面温度が高い場合と、検査抵抗値Rkが基板2内で全体的に低い場合例えば、基板2の表面温度が低い場合とがあるが、検査抵抗値Rkが検査抵抗値Rkの総和TMの基準抵抗値RSの総和SMに対する比率で補正された補正抵抗値RNkとして判定されるため、検査抵抗値Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。更に、測定点セットの基準抵抗値SRの平均値AVi及び標準偏差σiに基づいて上述の5式及び6式を参照、上限値SHLBi及び下限値SHUBiが設定されるため、適切な上限値SHLAi及び下限値SHUAiが容易に設定される。なお、本発明は以下の形態をとることができる。F第2実施形態においては、判定部811mが、検査抵抗値の総和TMと基準抵抗値の総和SMとを用いて検査抵抗値Rkを補正して補正抵抗値RNkを求め、補正抵抗値RNkを判定する場合について説明したが、検査抵抗値の総和TMと基準抵抗値の総和SMとを用いて上限値SHUBk及び下限値SHLBkを補正する形態でもよい。この場合には、例えば、閾値設定部811iが、次の8式及び9式により、それぞれ上限値SHUBk及び下限値SHLBkを補正すればよい。SHUBk←SHUBk×TM/SM8SHLBk←SHLBk×TM/SM9G第2実施形態においては、閾値設定部811iが、30枚の基準基板の基準抵抗値の平均値AVを用いて総和SMを求める場合について説明したが、基準基板の枚数は30枚に限定されるものではなく、何枚でもよい。例えば、基準基板の枚数が1枚である場合には、平均値AVを求める処理が不要となる。H第2実施形態においては、閾値設定部811iが、下限値SHLB及び上限値SHUBを設定する場合について説明したが、下限値SHLB及び上限値SHUBの少なくとも一方を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。I第2実施形態においては、閾値設定部811iが、下限値SHLB及び上限値SHUBを、基準基板の基準抵抗値の平均値AV及び標準偏差σに基づいて設定する場合について説明したが、平均値AV及び標準偏差σの少なくとも一方に基づいて設定する形態でもよい。例えば、平均値AVに予め設定された所定の数例えば、5mΩを、減算及び加算して、それぞれ下限値SHLB及び上限値SHUBを求める形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。J第2実施形態においては、閾値設定部811iが、基準基板の基準抵抗値の平均値AV及び標準偏差σに関する上述の5式及び6式を用いて下限値SHLB及び上限値SHUBを設定する場合について説明したが、その他の式を用いて設定する形態でもよいし、その他の区分テーブル等を介して設定する形態でもよい。例えば、基準抵抗値の平均値AVを所定の大きさ例えば、2mΩの間隔で区分して区分毎に下限値SHLB及び上限値SHUBが格納されたテーブルルックアップテーブルを予め設定しておき、平均値AV及びこのテーブルに基づいて、下限値SHLB及び上限値SHUBを設定する形態でもよい。<第3実施形態>次に、図17~20を用いて、本発明の第3実施形態に係る基板検査装置について説明する。なお、図1~図6を用いて説明した構成は、第1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。図17は、第3実施形態に係る制御部8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部8のCPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部811p基準抵抗測定手段に相当すると、測定点セット毎に、順番号の平均値及び標準偏差を求める統計計算部811q閾値設定手段の一部に相当すると、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部811r閾値設定手段の一部に相当すると、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部811s検査抵抗測定手段に相当すると、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部811t判定手段に相当するとを備えている。また、制御部8のRAM812は、基準抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する基準抵抗記憶部812pと、閾値の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する閾値記憶部812qと、検査抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する検査抵抗記憶部812rとを備えている。基準抵抗測定部811pは、同一種類の複数例えば、10000枚の被検査基板の中から予め選択された所定数ここでは、30枚の被検査基板である基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定すると共に、得られた基準抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部812pに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。なお、基準基板は、同一種類の10000枚の被検査基板の中から予め導通検査を行って、検査結果が良好なものを基準基板として選択するものである。統計計算部811qは、各基準基板について、基準抵抗測定部811pによって測定された基準抵抗値を基準抵抗記憶部812pから読み出して、基準抵抗値の測定点セット毎に順番号を付与し、その平均値及び標準偏差を求めると共に、得られた平均値及び標準偏差を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部812pに格納するものである。閾値設定部811rは、測定点セット毎に統計計算部811qによって求められた順番号の平均値及び標準偏差に基づいて閾値を設定すると共に、設定した閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて閾値記憶部812qに格納するものである。具体的には、各基準基板における測定点セットの順番号SNi,ji=1~N、j=1~M、N:測定点セットの個数ここでは、925、M:基準基板の枚数ここでは、30枚の平均値NAVi及び標準偏差Nσiを用いて、次の10、11式によって、それぞれ上限値SHUCi、下限値SHLCiを求めるものである図19参照。SHUCi=NAVi3×Nσi10SHLCi=NAVi-3×Nσi11検査抵抗測定部811sは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検査抵抗記憶部812rに格納するものである。具体的には、図4に示す電圧測定部743で測定された電圧値を電流生成部742に付与された電流値I0で除したものを抵抗値として求めるものである。判定部811tは、測定点セットの検査抵抗値Rii=1~Nを検査抵抗記憶部812rから読み出して、検査抵抗値Riを、昇順に並べ替えることによって測定点セット毎に対応する順番号TNiを求め、順番号TNiと、閾値設定部811rによって設定された対応する上限値SHUCi、下限値SHLCiとの大小関係に基づいて良否を判定するものである。具体的には、測定点セットの順番号TNiが閾値設定部811rによって設定された下限値SHLCi未満であるか、または、上限値SHUCi超である場合に不良であると判定するものである図18参照。更に詳細な処理は、図20に示すフローチャートを用いて後述する。基準抵抗記憶部812pは、基準抵抗測定部811pによって求められた基準抵抗値と、統計計算部811qによって求められた基準抵抗値の順番号の平均値及び標準偏差とを測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。閾値記憶部812qは、閾値設定部811rによって設定された閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。検査抵抗記憶部812rは、検査抵抗測定部811sによって求められた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。なお、制御部8を、基準抵抗測定部811p、統計計算部811q等として機能させる本発明の基板検査プログラムが、例えばROM813に格納されており、CPU811によって実行されることにより、制御部8が基準抵抗測定部811p、統計計算部811q等の各機能部として機能するものである。図18は、判定部811tによる検査抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。aは、各測定点セットの基準抵抗値SRの平均値を昇順の並べたグラフG7であり、横軸が順番号SNであり、縦軸が基準抵抗値SRである。また、所定の測定点セット以下、注目測定点セットというの順番号の平均値NAViと、上限値SHUCi及び下限値SHLCiとを図中に示している。bは、ある被検査基板2の各測定点セットの検査抵抗値Rを昇順の並べたグラフG8であり、横軸が順番号SNであり、縦軸が検査抵抗値Rである。図中に、この検査基板における注目測定点セットの検査抵抗値Riの順番号TNiが表示されている。この被検査基板2では、順番号TNiが下限値SHLCi以上、且つ、上限値SHUCi以下であるため、良好であると判定される。cは、bとは別の被検査基板2の各測定点セットの検査抵抗値Rを昇順の並べたグラフG9であり、横軸が順番号SNであり、縦軸が検査抵抗値Rである。図中に、この検査基板における注目測定点セットの検査抵抗値Riの順番号TNiが表示されている。この被検査基板2においても、順番号TNiが下限値SHLCi以上、且つ、上限値SHUCi以下であるため、良好であると判定される。dは、b及びcとは別の被検査基板2の各測定点セットの検査抵抗値Rを昇順の並べたグラフG10であり、横軸が順番号SNであり、縦軸が検査抵抗値Rである。図中に、この検査基板における注目測定点セットの検査抵抗値Riの順番号TNiが表示されている。この被検査基板2においては、順番号TNiが上限値SHUCi超であるため、不良であると判定される。図19は、制御部8の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図2に示す基板載置部51上に、検査される対象の基板2が載置される前に、基板2を検査する準備動作として実行されるものである。まず、基準抵抗測定部811pによって、30枚の基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値SRiji=1~N、j=1~M、N:測定点セットの個数ここでは、N=925、M:基準基板の枚数ここでは、M=30が測定され、測定点セットの識別情報以下、ポイント番号PNというと対応付けて基準抵抗記憶部812pに格納されるステップS501。次に、統計計算部811qによって、基準基板毎に、測定点セットの基準抵抗値SRijが昇順にソート並び替えされて、順番号SNijが付与されるステップS503。次いで、統計計算部811qによって、測定点セット毎に、順番号SNijの平均値NAVi及び標準偏差Nσiが求められ、測定点セットの識別情報ここでは、ポイント番号PNと対応付けて基準抵抗記憶部812pに格納されるステップS505。そして、閾値設定部811rによって、測定点セットの順番号SNijの平均値NAVi及び標準偏差Nσiを用いて上述の10、11式によって、上限値SHUCi及び下限値SHLCiが設定され、上限値SHUBi及び下限値SHLBiが測定点セットの識別情報ポイント番号PNと対応付けて閾値記憶部812qに格納されステップS507、処理が終了される。図20は、制御部8の検査実行時の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図19に示す動作が完了し、図2に示す基板載置部51上に検査される対象の基板2が載置された状態で実行されるものである。なお、以下の処理は、特に明示しない限り、判定部811tによって行われる。まず、検査抵抗測定部811sによって、全ての測定点セットの検査抵抗値Rkk=1~Nが測定され、検査抵抗記憶部812rに格納されるステップS601。そして、検査抵抗値Riが、昇順に並べ替えることによって測定点セット毎に対応する順番号TNiが求められるステップS603。次いで、順番号TNiが図19に示すフローチャートのステップS507で求められた下限値SHLCi以上、且つ、上限値SHUCi以下であるか否かの判定が行われるステップS605。少なくとも1の順番号TNiが、下限値SHLCi以上、且つ、上限値SHUCi以下ではないすなわち、下限値SHLCi未満、または、上限値SHUCi超であると判定された場合ステップS605でNOには、基板2の導通状態が不良であると判定されステップS609、処理が終了される。一方、全ての順番号TNiが、下限値SHLCi以上、且つ、上限値SHUCi以下であると判定された場合ステップS605でYESには、基板2の導通状態は良好であると判定されてステップS607、処理が終了される。このようにして、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値Riの良否が、測定点セット毎に設定された上限値SHUCi及び下限値SHLCiに基づいて判定されるため、上限値SHUCi及び下限値SHLCiを測定点セット毎に適切な値に設定することにより、検査抵抗値Riの良否が正確に判定される。また、測定点セットが検査抵抗値Riの大きさに基づいて昇順に並べ替えられて、各測定点セットに順番号TNiが付与され、この順番号TNiが、上限値SHUCi及び下限値SHLCiと比較されて検査抵抗値Riの良否が判定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が相殺されることによって、検査抵抗値の良否が更に正確に判定される。例えば、基板2は製造条件によって配線パターンの幅の広狭のバラツキが発生し、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値Riが基板2内で全体的に大きい場合配線パターンの幅が狭い場合と、検査抵抗値Riが基板2内で全体的に小さい場合配線パターンの幅が広い場合とがあるが、検査抵抗値Riが、検査基板内の検査抵抗値Riの大きさに基づいて昇順に並べ替えられて、順番号TNiとして判定されるため、検査抵抗値Rkの絶対値の変動の影響が相殺されるのである。同様に、基板2は測定条件によって、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値Riが基板2内で全体的に高い場合例えば、基板2の表面温度が高い場合と、検査抵抗値Riが基板2内で全体的に低い場合例えば、基板2の表面温度が低い場合とがあるが、検査抵抗値Riが、検査基板内の検査抵抗値Riの大きさに基づいて昇順に並べ替えられて、順番号TNiとして判定されるため、検査抵抗値Riの絶対値の変動の影響が相殺されるのである。更に、基準基板毎に、測定点セットが基準抵抗値SRの大きさに基づいて昇順に並べ替えられて、各測定点セットに順番号SNが付与され、付与された順番号SNに基づいて上限値SHUCi及び下限値SHLCiが求められるため、適正な閾値が設定される。加えて、各測定点セットに付与された順番号SNの平均値NAVi及び標準偏差Nσiが求められ、求められた順番号SNの平均値NAVi及び標準偏差Nσiに基づいて、上限値SHUCi及び下限値SHLCi求められる上述の10、11式を参照ため、更に適正な上限値SHUCi及び下限値SHLCiが容易に設定される。なお、本発明は以下の形態をとることができる。K第3実施形態においては、閾値設定部811rが、基準基板の基準抵抗値に基づいて閾値を設定する場合について説明したが、その他の方法により閾値を設定する形態でもよい。例えば、検査抵抗測定部811sによる過去の測定時の検査抵抗値に基づいて閾値を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。具体的には、過去の測定において良好と判断されたものの検査抵抗値の順番号を基準として所定数例えば、10を減算及び加算したものを、それぞれ、下限値及び上限値として設定する形態でもよい。L第3実施形態においては、閾値設定部811rが、30枚の基準基板の基準抵抗値の順番号の平均値NAVを用いて閾値を設定する場合について説明したが、基準基板の枚数は30枚に限定されるものではなく、何枚でもよい。例えば、基準基板の枚数が1枚である場合には、平均値NAVを求める処理が不要となる。M第3実施形態においては、閾値設定部811rが、下限値SHLC及び上限値SHUCを設定する場合について説明したが、下限値SHLC及び上限値SHUCの少なくとも一方を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。N第3実施形態においては、閾値設定部811rが、下限値SHLC及び上限値SHUCを、基準基板の基準抵抗値の順番号の平均値NAV及び標準偏差Nσに基づいて設定する場合について説明したが、平均値NAV及び標準偏差Nσの少なくとも一方に基づいて設定する形態でもよい。例えば、平均値NAVに予め設定された所定の数例えば、10を、減算及び加算して、それぞれ下限値SHLC及び上限値SHUCを求める形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。O第3実施形態においては、閾値設定部811rが、基準基板の基準抵抗値の平均値AV及び標準偏差σに関する上述の10及び11式を用いて下限値SHLC及び上限値SHUCを設定する場合について説明したが、その他の式を用いて設定する形態でもよいし、その他の区分テーブル等を介して設定する形態でもよい。例えば、基準抵抗値の順番号の平均値NAVを所定の大きさ例えば、5の間隔で区分して区分毎に下限値SHLC及び上限値SHUCが格納されたテーブルルックアップテーブルを予め設定しておき、平均値NAV及びこのテーブルに基づいて、下限値SHLC及び上限値SHUCを設定する形態でもよい。更に、本発明は以下の形態をとることができる。P第1~第3実施形態においては、基板検査装置が上部検査ユニット4U及び下部検査ユニット4Dを備える形態について説明したが、基板検査装置が上部検査ユニット4U及び下部検査ユニット4Dの少なくとも一方を備える形態でもよい。Q第1~第3実施形態においては、多数の接触子44を支持し、Z軸方向に移動されることにより基板2の各測定点にそれぞれ接触子44の先端を圧接させる検査治具いわゆる多針状検査治具を備える基板検査装置に、本発明が適用される場合について説明したが、1対の接触子44又は、プローブをそれぞれ互いに独立してX,Y,Z軸方向に移動可能に支持し、予め設定されたプログラムに従って順次基板2の測定点に接触子44の先端を圧接させる検査治具いわゆる、移動プロープ式検査治具を備える基板検査装置に、本発明が適用される形態でもよい。R第1~第3実施形態においては、検査対象である基板2がビアを有するビルドアップ基板である場合について説明したが、その他の種類の基板例えば、1枚の絶縁基板上の片面に配線パターンが形成されたプリント配線基板等である形態でもよい。S第1~第3実施形態においては、基準基板が、基準基板と同一種類の複数の被検査基板の中から選択される場合について説明したが、被検査基板と同一種類の基板であればよい。例えば、過去に検査を行った被検査基板と、製造ロットが異なる被検査基板の検査を行う場合に、過去の検査で使用した基準基板被検査基板の中から選択された基板をそのまま用いる形態でもよいし、特別に製造管理を完璧に行って欠陥が全くない基板を製造して基準基板とする形態でもよい。"