"発光デバイスからの照射光の像を含む当該発光デバイスの撮影画像を受理する画像受理手段と、受理される撮影画像の各画素の階調値から、前記発光デバイスの発光の良否を判定する判定手段と、判定の結果を出力する出力手段と、を備える検査装置。前記発光デバイスは、配線により並列接続され、且つ前記配線を介して電流が供給される複数の発光素子を含む、請求項1に記載の検査装置。前記判定手段は、撮影画像の画素のうち、階調値が所定値以上である画素の総数から、前記発光素子の発光の良否を判定する手段を含む、請求項2に記載の検査装置。前記撮影画像は、前記発光デバイスが配された面を含む範囲を撮影することにより取得される撮影画像であって、前記判定する手段は、階調値が所定値以上である画素の撮影画像における位置を取得する画素位置取得手段と、前記画素位置取得手段により取得される画素位置と、前記面における各発光素子が配される位置とから、各発光素子の発光の良否を判定する手段を、含む、請求項3に記載の検査装置。前記撮影画像は、前記面の画像を含み、前記面は、当該面の画像と前記撮影画像とを位置合わせするためのマークを有する、請求項4に記載の検査装置。前記マークは、前記面に配列された複数個の発光素子のうちの1つ以上を指す、請求項5に記載の検査装置。前記検査装置は、発光素子に電流を印加するためのプローブを保持する光反射防止部材からなる保持部を、さらに備える、請求項2から6のいずれかに記載の検査装置。発光デバイスからの照射光の像を含む当該発光デバイスの撮影画像を受理するステップと、受理される撮影画像の各画素の階調値から、前記発光デバイスの発光の良否を判定するステップと、判定の結果を出力するステップと、を備える検査方法。発光デバイスからの照射光の像を含む当該発光デバイスの撮影画像を受理するステップと、受理される撮影画像の各画素の階調値から、前記発光デバイスの発光の良否を判定するステップと、判定の結果を出力するステップと、をプロセッサに実行させるためのプログラム。検査対象となるLEDは内部に並列接続された複数の発光素子を搭載しており、発光素子の断線などの不良により、定電流制御動作により断線している発光素子の輝度を補うよう動作するのでLED本体としては点灯し、結果として不良判別が困難となる。このように、従来の総合的な輝度判定の検査方式では、内部素子の不良を検出する事が不可能であった。それゆえに、本発明の目的は、発光デバイスの発光の良否を正確に判定できる検査装置、検査方法およびプログラムを提供することである。この発明のある局面に従う検査装置は、発光デバイスからの照射光の像を含む当該発光デバイスの撮影画像を受理する画像受理手段と、受理される撮影画像の各画素の階調値から、発光デバイスの発光の良否を判定する判定手段と、判定の結果を出力する出力手段と、を備える。好ましくは、発光デバイスは、配線により並列接続され、且つ配線を介して電流が供給される複数の発光素子を含む。好ましくは、判定手段は、撮影画像の画素のうち、階調値が所定値以上である画素の総数から、発光素子の発光の良否を判定する手段を含む。好ましくは、撮影画像は、発光デバイスが配された面を含む範囲を撮影することにより取得される撮影画像であって、判定する手段は、階調値が所定値以上である画素の撮影画像における位置を取得する画素位置取得手段と、画素位置取得手段により取得される画素位置と、面における各発光素子が配される位置とから、各発光素子の発光の良否を判定する手段を、含む。好ましくは、撮影画像は、面の画像を含み、面は、当該面の画像と撮影画像とを位置合わせするためのマークを有する。好ましくは、マークは、面に配列された複数個の発光素子のうちの1つ以上を指す。好ましくは、検査装置は、発光素子に電流を印加するためのプローブを保持する光反射防止部材からなる保持部を、さらに備える。本発明によれば、撮像画像から発光デバイスの発光の良否を正確に判定できる。本発明の実施の形態について図面を参照し詳細に説明する。ここでは、発光デバイスとしてLEDを例示するが、LEDに限定されるものではない。図1のAには、発光デバイスたとえばLED2が複数個搭載された製品1の概略が示される。発光デバイス2の内部には配線基板の面上に、図1のBに示すように、配線により並列接続された2つの発光素子3を含む。配線の不良などにより、2つの発光素子3のうちの一方に正常に電流が供給されない場合、図2のように一方の発光素子3のみが点灯する。このように、発光デバイス2は、配線により並列接続された発光素子3のセットを有する。ここでは、セットを構成する発光素子3は2個としているが、3個以上であってもよい。製品1の検査においては、図2の配線のノード31に電流が印加されることにより、当該電流は並列接続される各発光素子3に並列に供給されて、各発光素子3は供給される電流により点灯する。このとき、発光素子3に接続される配線が切断されている場合には、電流が供給されず発光素子3は点灯せず不良品と判定される。図3のAには、2つの発光素子3の点灯状態を撮影して得られる撮影画像データが示される。撮影画像は、各発光素子3の照射光で照らされた範囲4の画像を含む。図3のBにはセットのうち1個の発光素子3が断線により点灯しない不良状態を撮影して得られる撮影画像データが示される。この撮影画像は、セットのうちの他方の発光素子3の点灯による光照射の範囲4Aの画像を含む。範囲4Aは範囲4よりも大きい。これは、他方の発光素子3が、断線して点灯しない発光素子3の減光分を補う動作をするからである。ここでは、画像データは直交するX,Y軸で規定される2次元XY平面に配列された複数個の画素5からなると想定する。各画素5の値は、明るさ輝度を指す階調値たとえば、0~255のいずれかの値を指す。ここでは、真っ黒を0、最も明るい真っ白を255として表す。検査時の構成図4には、本発明の実施の形態に係る検査時の概略構成が示される。複数の製品1は、検査用パレット10の主面上の所定位置に固定配置される。各製品1は、配線基板の面上の所定位置にダイボンディングされた複数の発光素子3を含む。検査装置8には、撮影範囲に検査用パレット10を含む位置に取付けられたカメラ7が接続される。検査装置8は、カメラ7の動作を制御するとともに、カメラ7の撮影画像を受理して画像処理し、その結果を出力する。カメラ7は、CCDChargeCoupledDevice撮影素子など固体撮影素子を利用して被写体を撮影する。被写体からの入射光はCCDの各素子により受光されて、光電変換により、受光レベルに応じたレベルの電気信号が蓄えられる。カメラ7に撮影指令が与えられると、カメラ7はCCDの各素子に蓄えられた電荷を導出する。この結果、導出された各素子の電荷により画像信号が出力される。カメラ7は、検査用パレット10上の発光素子3からの照射光を入射可能な位置において固定して取り付けられるので、撮影画像は各発光素子3の照射光の像を含む。検査態様図5のAには、検査用パレット10上に取り付けられたフィクスチャ部のコンタクトプローブ保持台以下、保持台という11により、検査用パレット10上の各製品1に対し検査のためのコンタクトプローブ12を取付ける状態が示される。検査時は、検査装置8からの電流出力指示に応答して、各コンタクトプローブ12から、対応の発光デバイス2のノード31に対し、発光可能な所定レベルの電流が印加される。図5のBには、図5のAの矢印方向から見た概略図が示される。検査時の誤判定を防ぐために、保持台11は光反射防止部材からなる。たとえば、保持台11は反射防止シート13が貼付けられ図5のBを参照、カメラ7に対する不要な乱反射光の入射が防止される。ここでは、説明を簡単にするために、製品1の発光デバイス2を除いた部分の画素の階調値は0であり、検査用パレット10の製品1を除いた部分の画素は所定階調値0以外を有すると想定する。検査装置の構成図6のAには、検査装置8の概略構成が示される。検査装置8はCPUCentralProcessingUnit81、後述の対応テーブル821および基準位置データ822を含むデータおよびプログラムを格納するためのメモリ82、撮影画像データ831およびパレット画像データ832を含むデータを格納するための画像メモリ83、操作部88を介したユーザの操作を受付ける入力I/Fインターフェイスの略85、カメラ7へ撮影指示を出力するとともに、カメラ7により撮影されて出力される画像データを入力するためのカメラI/Fインターフェイスの略84、ディスプレイ87、ディスプレイ87の表示動作を制御するための表示制御部86、保持台11に電流出力指示を出力するための出力I/Fインターフェイスの略89、CD-ROMCompactDiscReadOnlyMemory901が着脱自在に装着される外部I/F90を含む。CPU81は、カメラI/F84を介して撮影指示を出力するタイミングに同期したタイミングで、出力I/F89を介して電流出力指示を出力する。検査時には、好ましくは、検査用パレット10は後述の図8のAに示すように撮影範囲15の中央など所定位置に置かれる。図6のBの対応テーブル821には、検査用パレット10が撮影範囲15の当該所定位置に置かれた場合のデータが予め格納される。つまり、各発光素子3について、当該発光素子3が良好に点灯した場合の光照射領域図3のAの領域4に相当画像の撮影画像データ831における位置座標91、当該発光素子3の素子識別子92、および当該発光素子3を含むセットのセット識別子93が、対応付けされて格納される。検査のための画像処理本実施の形態では、カメラ7が撮影することにより出力される画像信号は、カメラI/F84により受理されて、A/DAnalog/Digital変換により撮影画像データ831に変換され、変換後の撮影画像データ831は画像メモリ83に格納される。撮影画像データ831は、各画素について、画素値と座標位置2次元座標値とを対応付けて有する。撮影画像データ831の一例が図7に示される。図7には、カメラ7の撮影範囲15が示される。撮影画像データ831は、破線で示す撮影範囲15に相当するサイズの矩形の画像を指す。画像抽出本実施の形態では、撮影画像データ831から検査対象画像データを絞り込むために、検査対象画像が抽出される。CPU81は、まず、画像メモリ83の撮影画像データ831について、検査用パレット10の特徴点所定階調に基づく特徴点に基づきエッジ抽出処理を行う。エッジ抽出処理によって、撮影画像データ831から検査用パレット10のパレット画像データ832を抽出し、画像メモリ83に格納する。ここでは、検査用パレット10の画像は、撮影画像データ831の画像と相似の矩形を有すると想定する。パレット画像データ832は、各画素について、画素値と座標位置2次元座標値とを対応付けて有する。良否の判定CPU81は、パレット画像データ832の各画素値と点灯状態を示す画素の所定値点灯値というとを比較し、比較結果に基づき、当該画素は点灯状態を指すか否かを判定する。画素値が所定値以上であり点灯状態を指すと判定された各画素の座標位置に基づき、メモリ82の対応テーブル821を検索する。検索結果に基づき、当該座標位置を含む位置座標91を特定し、特定した位置座標91に対応の素子識別子92を対応テーブル821から読出し、表示制御部86に出力する。表示制御部86は、与えられる素子識別子92の情報をディスプレイ87に表示する。これにより良品と判定される発光素子3の識別情報が提示される。また、このとき、CPU81は、比較照合の結果に基づき、画素値が所定値未満であり点灯状態にないと判定された各画素の検査用パレット10の画像における座標値に基づき、対応テーブル821を検索する。検索結果に基づき、上述と同様に、当該座標値を含む位置座標91に対応の素子識別子92が対応テーブル821から読出されて、ディスプレイ87に表示される。これにより点灯状態とならずに不良品と判定される発光素子3の識別情報が提示される。他の良否判定また、図3に示す範囲4,4Aの画像の面積に基づき良否を判定してもよい。面積は画素のサイズと個数の積により算出される。画素サイズのデータ、および範囲4,4Aの面積データは、予めメモリ82に格納されていると想定する。CPU81は、上述のように点灯状態と判定された発光素子3の位置座標91を含む領域において、点灯状態と判定される画素の総数をカウントし、画素総数と画素サイズを積算することにより点灯範囲の面積を算出する。CPU81は、算出した面積とメモリ82の範囲4,4Aの面積データとを比較し、比較結果に基づき範囲4の面積<算出面積または範囲4の面積<算出面積≦範囲4Aの面積の条件が成立するか否かを判定する。すなわち、当該発光素子3が含まれるセットの他の発光素子3の点灯状態を判定する。条件が成立すると判定すると、対応テーブル821から当該発光素子3の位置座標91に対応のセット識別子93を読出し、表示制御部86を介して、ディスプレイ87に表示する。これにより不良品と判定される発光素子3のセット識別情報が提示される。一方、当該条件が成立すると判定されない場合には、同様にして対応テーブル821から読出されたセット識別子93の情報を表示する。これにより、良品と判定される発光素子3のセット識別情報が提示される。画像の位置補正パレット画像データ832の画素の位置と、対応テーブル821のデータとに基づき、発光素子3を特定するためには、撮影範囲15の撮影画像データ831の画素と、撮影範囲15に置かれた検査用パレット10のパレット画像データ832の対応する画素との座標位置2次元座標値は、図7のAのように一致させる必要がある。そこで、両座標位置を一致させるために、検査用パレット10の面上には位置合わせのためのマーク14A,14Bが印刷などによる付加される。そして、図7のAのように撮影範囲15の中央に検査用パレット10が置かれたときの、マーク14A,14Bの座標位置2次元座標値を予め検出し、基準位置データ822としてメモリ82に格納する。その後の検査時において、CPU81は、撮影画像データ831を入力すると、撮影画像データ831からパターンマッチングによりマーク14A,14Bの座標位置を抽出し、抽出した座標値と基準位置データ822の座標値とを比較照合する。比較照合の結果、一致すれば、図7のAのように撮影範囲15の中央に検査用パレット10が置かれた状態の撮影画像データ831であると判定することができる。一方、比較照合の結果、不一致と判定すると、抽出した座標値と基準位置データ822の座標値との差に基づき、パレット画像データ832を移動させる図7のB参照。CPU81は、移動後の各画素の座標値を、元の座標値と当該差との演算により算出して更新する。これにより、撮影範囲15の撮影画像データ831の画素と、撮影範囲15に置かれた検査用パレット10のパレット画像データ832の対応する画素との座標位置を一致させることができる。この移動後のパレット画像データ832を用いることにより、上述と同様に発光素子3の良否を判定できる。また、マーク14A,14Bに代替して、図8のAとBに示すように、既に良好と判定されている発光デバイス2または発光素子3の座標位置2次元座標値16A,16Bを、基準位置データ822として用いて、上述と同様に必要なパレット画像データ832の移動を行うようにしてもよい。処理フローチャート図9には、本実施の形態に係る検査処理のフローチャートが示される。当該フローチャートは、予めプログラムとしてメモリ82に格納されて、CPU81が当該プログラムを読出し、実行することにより検査処理が実現される。ここでは、図5のように製品1は検査可能な状態にセットされていると想定する。まず、操作部88を介してユーザの指示が入力されるか否かを判定するステップS3。CPU81は、ユーザの指示が入力されたと判定するとステップS3でYES、入力された指示は撮影指示であるか否かを判定するステップS5。撮影指示でないと判定されるとステップS5でNO、他の処理へ移行する。撮影指示であると判定されるとステップS5でYES、CPU81は、撮影指示の入力に応答して、カメラI/F84を介し、カメラ7へ撮影指示を出力する。これに同期して電流出力指示を送出する。カメラ7は撮影指示に応答して撮影動作し、撮影による撮影画像データ831は、画像メモリ83に格納されるステップS7。CPU81は、入力した撮影画像データ831を用いて上述の画像の位置補正ステップS11を行う。なお、検査用パレット10が正常に置かれていると判定される場合には、位置補正は省略される。その後、検査処理上述の画像の抽出および良否判定が行われるステップS13。検査結果は、ディスプレイ87に出力され、または、メモリ82に格納されるステップS15。以上で、検査処理は終了する。本実施の形態における検査装置8が行なう検査の方法は、プログラムとして提供することもできる。このようなプログラムは、検査装置8のコンピュータに付属するフレキシブルディスク、CD-ROM、ROMReadOnlyMemory、RAMRandomAccessMemoryおよびメモリカードなどのコンピュータ読取り可能な記録媒体にて記録させて、プログラム製品として提供することもできる。あるいは、コンピュータに内蔵するハードディスクなどの記録媒体にて記録させて、プログラムを提供することもできる。また、ネットワークを介したダウンロードによって、プログラムを提供することもできる。たとえば、図7の構成では、CPU81を備えてコンピュータの機能を有する検査装置8には、CD-ROM901を用いて当該プログラムを供給することができる。CPU81は、外部I/F90を介してCD-ROM901に格納されたプログラムを読出し、実行する。提供されるプログラム製品は、ハードディスクなどのプログラム格納部にインストールされてCPUにより読出されて実行される。なお、プログラム製品は、プログラム自体と、プログラムが記録された記録媒体とを含む。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"