a内部に流体流路が形成されたハウジングと、b前記流体流路内に回転自在に収容されて、外周に環状溝が形成されたバルブと、c前記環状溝に装着されて、前記ハウジングの流路壁面に密着して前記ハウジングと前記バルブとの間の環状隙間をシールすると共に、周方向の両端面間に所定の隙間を有するC字状のシールリングと、d前記バルブを支持するシャフトと、eこのシャフトに対して、前記バルブを閉弁作動方向または開弁作動方向に荷重を与えるスプリングとを備えた流体制御弁において、前記ハウジングは、前記シャフトを回転自在に支持する軸受け部を有し、前記流体制御弁は、前記シャフトの軸芯に対して、前記スプリングの偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ前記流体流路の軸芯をオフセット配置した構造を備えたことを特徴とする流体制御弁。請求項1に記載の流体制御弁において、前記ハウジングは、前記流体流路の軸芯と同一軸芯上に圧入穴を有するバルブボディと、前記圧入穴に圧入される筒体とを備えたことを特徴とする流体制御弁。請求項2に記載の流体制御弁において、前記流体流路の軸芯とは、前記バルブボディの圧入穴の軸芯のことであることを特徴とする流体制御弁。請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1つに記載の流体制御弁において、前記シールリングは、前記バルブに対して別体で構成されていることを特徴とする流体制御弁。請求項1ないし請求項4のうちのいずれか1つに記載の流体制御弁において、前記シールリングは、前記バルブに一体回転可能に装着されていることを特徴とする流体制御弁。請求項1ないし請求項5のうちのいずれか1つに記載の流体制御弁において、前記スプリングは、前記シャフトに対して、前記バルブを全閉位置に戻す方向に荷重を与えることを特徴とする流体制御弁。請求項1ないし請求項6のうちのいずれか1つに記載の流体制御弁において、前記バルブは、前記シャフトの回転軸方向の一端部に支持されていることを特徴とする流体制御弁。請求項1ないし請求項7のうちのいずれか1つに記載の流体制御弁において、前記バルブは、前記シャフトの回転軸方向に対して所定の傾斜角度だけ傾いた状態で、前記シャフトに固定されていることを特徴とする流体制御弁。請求項1ないし請求項8のうちのいずれか1つに記載の流体制御弁において、前記バルブとは、前記ハウジングおよび前記シールリングを伴って、前記流体流路を流れる流体の流量を制御する流量制御弁の弁体のことであることを特徴とする流体制御弁。本発明の目的は、シールリングの合口組み付け位置に因らず、弁洩れ流量特性の安定化を図ることのできる流体制御弁を提供することにある。請求項1に記載の発明流体制御弁は、内部に流体流路が形成されたハウジングと、流体流路内に回転自在に収容されて、外周に環状溝が形成されたバルブと、このバルブの環状溝に装着されて、ハウジングの流路壁面に密着してハウジングとバルブとの間の環状隙間をシールすると共に、周方向の両端面間に所定の隙間を有するC字状のシールリングと、バルブを支持するシャフトと、このシャフトに対して、バルブを閉弁作動方向または開弁作動方向に荷重を与えるスプリングとを備えている。ハウジングは、シャフトを回転自在に支持する軸受け部を設けている。流体制御弁は、シャフトの軸芯に対して、スプリングの偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ、ハウジングの流体流路の軸芯をオフセット配置した構造軸芯オフセット構造を備えている。請求項1に記載の発明によれば、シャフトの軸芯に対して、スプリングの偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ、ハウジングの流体流路の軸芯をオフセット配置した構造軸芯オフセット構造を採用することにより、スプリングの偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分を吸収することが可能となる。これにより、以上のような軸芯オフセット構造によって、バルブが、スプリングの偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ振れた場合であっても、ハウジングの流体流路の中央部にバルブを位置させることができるので、シールリングの合口組み付け位置に因らず弁洩れ流量特性の安定化を図ることができる。また、仮に、金属製のハウジングの側面に内径切削加工によって流路穴を設ける場合には、ハウジングの切削加工の位置を変更するのみで、シャフトの軸芯に対してハウジングの流体流路の軸芯をオフセット配置することができる。これにより、信頼性評価も不要となり、比較的に容易に課題解決することができる。また、バルブを開閉動作させた際に、バルブの周方向にシールリングが回転し、シールリングの隙間の位置合口組み付け位置が変化した場合であっても、隙間近傍のバルブの外周端面とハウジングの流路壁面との間の洩れ流路面積が変化しない。これにより、バルブの全閉時における弁洩れ流量が変わらない。また、流体制御弁を、内燃機関の排気通路から吸気通路へ再循環還流させる流体流路を流れる排気ガスの流量を制御する排気ガス流量制御弁に適用した場合、バルブの全閉時における弁洩れ流量特性の安定化を図ることができる。これにより、規定の新気量を確保できるので、エミッションの向上、例えばスモークの発生を抑制することができる。請求項2に記載の発明によれば、ハウジングが、バルブボディノズルホルダと筒体ノズル、ライナーとによって構成される。ノズルボディは、流体流路の軸芯と同一軸芯上に、筒体が圧入される圧入穴を設けている。この筒体は、例えば高温流体の熱からバルブボディの流路壁面を保護するのに使用される。請求項3に記載の発明によれば、流体流路の軸芯とは、バルブボディの圧入穴の軸芯のことである。流体制御弁は、シャフトの軸芯に対して、スプリングの偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ、バルブボディの圧入穴の軸芯をオフセット配置した構造軸芯オフセット構造を備えている。そして、例えば耐熱金属ブロックに孔開け加工を行うことで、筒体の外径よりも小さい孔径を有する圧入穴が形成される。なお、圧入穴を耐熱金属ブロックの側面で開口するように形成しても良い。ここで、流体流路とは、バルブボディまたは筒体に形成される断面円形状の流路穴のことである。また、バルブとは、流路穴の孔径よりも小さい外径を有する円形状のバタフライバルブのことである。請求項4に記載の発明によれば、シールリングが、バルブに対して別体で構成されている。請求項5に記載の発明によれば、シールリングが、バルブの環状溝に一体回転可能に装着されている。なお、シールリングの外周に、ハウジングの流路壁面に摺接する摺動部を設けても良い。また、例えば円板状のバルブの外周端面全周に、C字状のシールリングを装着する環状溝を設けても良い。この環状溝とは、バルブの外周端面に周設された円周方向のシールリング溝のことである。また、シールリングは、環状溝に対して、バルブの周方向およびバルブの板厚方向流体の流れ方向、流体流路の軸線方向へ移動可能に環状溝内に嵌め込まれている。請求項6に記載の発明によれば、スプリングとして、シャフトに対して、バルブを全閉位置に戻す方向に荷重を与えるスプリング例えばコイル状のリターンスプリングを採用している。これにより、バルブを開弁作動させる場合、スプリングの荷重に抗してシャフトを回転駆動することでバルブが開弁動作する。また、バルブを全閉作動させる場合、スプリングの荷重によってシャフトが回転することでバルブが全閉位置に戻される。請求項7に記載の発明によれば、シャフトの回転軸方向の一端部にバルブが支持されている。シャフトの回転軸方向の一端部とは、軸受け部よりもシャフトの回転軸方向の片端部のことである。つまりバルブは、シャフトの片端部に片持ち支持されている。請求項8に記載の発明によれば、シャフトの回転軸方向に対して所定の傾斜角度だけ傾いた状態で、バルブがシャフトに固定されている。これにより、バルブの全閉時に、ハウジングの軸受け部が、例えば高温流体に直接晒されることはなく、ハウジングの軸受け部に設置される部品ブッシュやベアリング等の軸受け部材の機能が低下することはない。請求項9に記載の発明によれば、バルブは、ハウジングおよびシールリングを伴って、流体流路を流れる流体の流量を制御する流量制御弁の弁体を構成している。以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。本発明は、シールリングの合口組み付け位置に因らず、弁洩れ流量特性の安定化を図るという目的を、シャフトの軸芯に対して、スプリングの偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ、ハウジングの流体流路バルブボディの圧入穴の軸芯の軸芯をオフセット配置した構造軸芯オフセット構造を採用したことで実現した。[実施例1の構成]図1ないし図7は本発明の実施例1、比較例1及び2を示したもので、図1はEGRガス流量制御弁EGRVを示した図で、図2はリターンスプリングの荷重方向とバルブギヤに作用する半時計廻りのモーメントを示した図で、図3はEGRVの軸芯オフセット構造を示した図で、図4はシールリングを示した図で、図5a、bはノズルの内径面に対するバタフライバルブの組付位置を示した図である。本実施例の内燃機関の排気装置は、複数の気筒を有する内燃機関エンジンの各気筒毎の燃焼室より排出された排気ガスの一部であるEGRガスを、排気管から吸気管へ再循環還流させる排気ガス循環装置EGRシステムを備えている。ここで、エンジンとして、燃料が直接燃焼室内に噴射供給される直接噴射式のディーゼルエンジンが採用されている。エンジンの各気筒毎の燃焼室には、吸気ポートおよび排気ポートがそれぞれ連通している。また、エンジンの各気筒には、インテークマニホールドおよびエキゾーストマニホールドが接続されている。また、エンジンの各気筒には、燃焼室内に燃料を噴射供給するインジェクタが搭載されている。インテークマニホールドに接続される吸気管には、エアクリーナ、ターボチャージャのコンプレッサ、インタークーラ、スロットルバルブが設置されている。また、インテークマニホールドおよび吸気管の内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室および吸気ポートに連通する吸気通路が形成されている。インテークマニホールドおよび吸気管には、EGRシステムから導入されるEGRガスを、エアクリーナで濾過された清浄な外気新気に合流させるEGRガス合流部合流部が設けられている。エキゾーストマニホールドに接続される排気管には、ターボチャージャのタービン、排気浄化装置触媒またはディーゼルパティキュレートフィルタ:DPF、マフラが設置されている。また、エキゾーストマニホールドおよび排気管の内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室および排気ポートに連通する排気通路が形成されている。エキゾーストマニホールドおよび排気管には、エンジンの排気ガスの一部であるEGRガスをEGRシステムへ分岐させるEGRガス分岐部分岐部が設けられている。EGRVは、EGRガスパイプの途中に結合される耐熱金属製のバルブボディ1と、このバルブボディ1のノズルホルダ2の内周に嵌合保持圧入固定されて、バルブボディ1をEGRガスの熱から保護するための円筒体耐熱金属製のスリーブ状ライナー:以下ノズルと言う3と、このノズル3の内部空間内に回転自在に収容される耐熱金属製のバタフライバルブバルブ本体4と、このバルブ本体4の外周の周方向溝環状凹溝:以下シールリング溝と言う5に嵌め込まれたシールリング6と、バルブ本体4を支持固定するバルブシャフト7と、このバルブシャフト7を回転駆動してバルブ本体4を開閉動作させるアクチュエータと、バルブ本体4を閉弁作動方向に付勢するリターンスプリング8とを備えている。なお、バルブボディ1とノズル3とによってハウジングが構成される。アクチュエータは、電力の供給を受けるとバルブ本体4を駆動する駆動力トルクを発生するモータMと、このモータMの回転を減速してバルブ本体4のバルブシャフト7に伝達する減速機構と、バルブ本体4のバルブシャフト7の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。減速機構は、モータMのモータシャフトモータ出力軸に連動して回転する3つの第1~第3減速ギヤと、モータシャフトに対して並列配置された1つの中間ギヤシャフト支持軸10とを備えている。また、3つの第1~第3減速ギヤは、ピニオンギヤモータギヤ11、中間ギヤ12およびバルブギヤ出力ギヤ、最終ギヤ13等によって構成されている。なお、EGRシステムおよびEGRVの詳細は後述する。エンジンのエンジン本体シリンダブロックおよびシリンダヘッドには、吸気バルブによって開閉される吸気ポート、および排気バルブによって開閉される排気ポートが形成されている。エンジンの各気筒シリンダヘッドには、各気筒毎の燃焼室内に燃料を噴射供給するインジェクタが取り付けられている。また、エンジンの各気筒シリンダブロックの内部には、複数の燃焼室シリンダボアがそれぞれ形成されている。各シリンダボア内には、連接棒を介して、クランクシャフトに連結されたピストンがその往復移動方向に摺動自在にそれぞれ支持されている。ここで、エアクリーナは、インレットダクト外気導入ダクトの上流端で開口した外気導入口より空気導入通路に導入される外気吸気を濾過するフィルタエレメント濾過エレメントを有している。そして、エアクリーナの出口端は、エアクリーナを通過した吸気新気が流れる吸気通路を形成するインテークダクトを介して、電子スロットル装置のスロットルボディに接続している。ここで、電子スロットル装置は、エアクリーナを通過した吸気が流れる吸気通路を形成する筒状のスロットルボディと、このスロットルボディの内部スロットルボアに回転自在開閉自在に収容されるスロットルバルブと、このスロットルバルブのシャフト回転軸を回転駆動してスロットルバルブを開閉動作させるアクチュエータとを備えている。この電子スロットル装置は、スロットルバルブの開閉動作により吸気の流量を調整する空気流量調整装置である。アクチュエータは、電力の供給を受けるとスロットルバルブを駆動する動力を発生するモータと、このモータの回転を減速してスロットルバルブのシャフトに伝達する減速機構と、スロットルバルブのシャフトの回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。なお、モータは、エンジン制御ユニット電子制御装置:以下ECUと言うによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。EGRシステムは、EGRガスパイプ、EGRガス流量制御弁排気ガス制御弁:以下EGRVと言うを備えている。このEGRシステムは、EGRVが開弁している時、エンジンより排出された排気ガスの一部が、EGRガスパイプを経由し、EGRガスとして吸気通路へ戻される。EGRシステムは、アクチュエータの動力源であるモータMを通電制御するECUを備えている。EGRガスパイプは、タービンよりも上流側の排気通路とインタークーラまたはスロットルバルブよりも下流側の吸気通路とを接続する排気ガス還流管EGRパイプである。あるいはタービンまたは排気浄化装置よりも下流側の排気通路とコンプレッサよりも上流側の吸気通路とを接続する排気ガス還流管EGRパイプである。このEGRガスパイプの内部には、EGRガスを排気通路から吸気通路へ再循環還流させるための排気ガス流路EGRガス流路が形成されている。EGRVは、バルブシャフト軸芯CL1に対して、リターンスプリング8の偏荷重により発生するバルブシャフト7の振れに起因するバルブ振れ量分だけ、バルブボディ1のノズル圧入穴軸芯CL2をオフセット配置する構造を備え、EGRガスパイプの途中に設置されている。このEGRVは、EGRガス流路流路穴21~23の開口面積を連続的または段階的に変更することで、EGRガス流路を経由して、排気通路から吸気通路へ再循環還流されるEGRガスの流量EGRガス量を可変制御する排気ガス流量制御弁である。これにより、エンジンの各気筒毎の燃焼室に供給する吸入空気の全流量に対するEGRガス量の比率であるEGR率が制御される。バルブボディ1は、例えば耐熱アルミニウム合金のダイカストまたはアルミニウム合金系の鋳物、あるいは耐熱性に優れる耐熱性材料例えば鉄系の鋳物、鋳鉄によって所定の形状に形成されている。バルブボディ1は、この前後上流側および下流側に配置されるEGRガスパイプあるいは排気管のEGRガス分岐部または吸気管のEGRガス合流部に締結ボルトを用いて締め付け固定されている。このバルブボディ1は、バルブ本体4およびバルブシャフト7を全閉位置から全開位置に至るまで回転方向に開閉自在回転自在に保持するハウジングである。そして、バルブボディ1の内部空間には、ノズル3、バルブ本体4、シールリング6およびバルブシャフト7が配設されている。バルブボディ1およびノズル3の内部には、EGRガスが通り抜ける断面円形状の流路穴21~23が形成されている。流路穴21~23は、排気管のEGRガス分岐部から吸気管のEGRガス合流部へEGRガスを還流させる排気ガス流路流体流路、バルブボディ1の内部流路である。なお、流路穴21は、流路穴22よりもEGRガス流方向の上流側または下流側に形成されている。また、流路穴22は、ノズル3の内部に形成される。バルブボディ1には、円筒状のノズル3の周囲を円周方向に取り囲むと共に、ノズル3の外周を嵌合保持する円筒状のノズルホルダ2が設けられている。このノズルホルダ2の内部には、ノズル3が圧入される断面円形状の嵌合穴ノズル圧入穴24が形成されている。このノズル圧入穴24は、バルブボディ1の側面上流側外面または下流側外面で開口した流路穴21~23と同一軸線上に中心点軸芯を有し、この中心点を曲率中心とする曲率半径を持つ内径圧入穴径を有している。なお、ノズル圧入穴24の内径は、流路穴21の孔径よりも小さく、且つノズル3の外径よりも小さい。バルブボディ1には、バルブシャフト7を回転方向に摺動自在に支持する軸受け部の周囲を周方向に取り囲む円筒状の軸受保持部が設けられている。この軸受保持部の内部には、バルブシャフト7の回転軸方向に延びる軸受け孔25が設けられている。この軸受け孔25は、シャフト貫通孔26を介して、流路穴21、22または流路穴23に連通している図8および図9参照。また、バルブボディ1には、例えばバルブボディ1の軸受け孔25および軸受け部の周囲に形成される冷却水流路27にエンジン冷却水を流入させるための2つの冷却水パイプ28が接続されている。ここで、本実施例のEGRVでは、バルブボディ1の軸受け部としてダストシール31、ブッシング32、オイルシール33およびボールベアリング34等が採用されている。ダストシール31は、バルブボディ1の軸受保持部の内周軸受け孔25の孔壁面に圧入固定されている。また、ダストシール31の内部には、バルブシャフト7の摺動面を回転方向に摺動自在に軸支する摺動孔が形成されている。ブッシング32は、バルブボディ1の軸受保持部の内周軸受け孔25の孔壁面に圧入固定されている。また、ブッシング32の内部には、バルブシャフト7の摺動面を回転方向に摺動自在に軸支する摺動孔が形成されている。そして、バルブシャフト7の摺動面とブッシング32の摺動孔の孔壁面との間には、バルブシャフト7をブッシング32の内部で円滑に回転させるための摺動クリアランスが形成されている。オイルシール33の外周部は、バルブボディ1の軸受保持部の内周軸受け孔25の孔壁面に圧入固定されている。また、オイルシール33の内周部は、バルブシャフト7の摺動面と摺動接触するように設置されている。ボールベアリング34は、外輪の内周面と内輪の外周面に環状凹溝を設け、この軌道面を転がるボール転動体のころがり摩擦により作動する軸受部材であって、円筒形状に形成されている。ここで、ボールベアリング34の外輪は、バルブボディ1の軸受保持部の内周軸受け孔25の孔壁面に圧入固定されている。また、ボールベアリング34の内輪は、バルブシャフト7の外周に圧入固定されている。なお、軸受け孔25の内部に侵入した排気ガス中に含まれる不純物燃焼残滓やカーボン等の微粒子を、例えば吸気負圧を利用してバルブ本体4よりもEGRガス流方向の下流側のEGRガス流路または吸気通路に戻すための連通孔35を形成しても良い図8参照。この場合に、ダストシール31を廃止できる。ノズル3は、高温に強い耐熱性材料、例えばステンレス鋼または耐熱鋼によって円筒形状に形成されている。このノズル3は、ノズルホルダ2の内周面ノズル圧入穴24の孔壁面に圧入される径大部41、ノズルホルダ2の内周面ノズル圧入穴24の孔壁面との間に環状隙間が形成される径小部42、および径大部41と径小部42とを繋ぐテーパ形状またはR形状の段差43を有している図9参照。これにより、ノズル3は、段差43の傾斜によりノズル圧入穴24内に容易に圧入される。そして、ノズル3は、バルブボディ1のノズルホルダ2の所定の位置に圧入固定される。ここで、ノズル3は、バルブ本体4のシールリング溝5に嵌め込まれたシールリング6の外周面摺動部に摺接する部分内周面に摺動面バルブシート面44を有している。このバルブシート面44は、バルブ本体4の回転軸線上に形成される中心点を中心とした曲率半径を有する凹曲面で構成されている。また、ノズル3は、流路穴21~23と同一軸線上に中心点軸芯を有し、この中心点を曲率中心とする曲率半径を持つ外径円筒面を有している。なお、ノズル3の外径は、流路穴21の孔径よりも小さく、且つノズル圧入穴24の内径よりも大きい。バルブ本体4は、高温に強い耐熱性材料、例えばステンレス鋼または耐熱鋼等によって円板形状に形成されている。このバルブ本体4は、バルブシャフト7の回転軸方向の一端部後述するに溶接手段を用いて固定されている。バルブ本体4は、全閉位置から全開位置に至るまでの動作可能範囲で回転動作されることで、流路穴21~23、特に流路穴22の開口面積を変更してEGR率を調整する。バルブ本体4は、バルブボディ1の内部において、バルブ本体4の中央部を通り、バルブシャフト7の軸線方向に真っ直ぐに延びる軸線バルブシャフト7の回転軸に対して所定の傾斜角度分だけ傾斜して、バルブシャフト7の回転軸方向の一端部第1突出部に溶接固定支持固定される円板状の斜板であって、バルブ本体4の中央部の軸心を中心にして放射状に延びるプレートバルブにより構成されている。バルブ本体4の外周端面には、円環状のシールリング溝5が円周方向に連続して形成されている。すなわち、シールリング溝5は、バルブ本体4の外周端面の外周全体全周に周設されている。このシールリング溝5の内部には、シールリング6が嵌め込まれている。バルブ本体4の板厚方向の片側面片端面、例えばバルブ本体4の全閉時流路穴21~23を全閉する全閉姿勢となるようにバルブ本体4の開度が設定されている際にEGRガス流方向の上流側に位置する上流側端面には、バルブシャフト7との結合部溶接固定部である嵌合溝45が形成されている。この嵌合溝45は、バルブ本体4の片端面で開口し、この開口側から奥側に至るまでバルブ本体4の片端面の面方向に対して所定の傾斜角度分だけ傾斜して延びる嵌合凹部バルブシャフト7を取り付けるシャフト取付部である。また、嵌合溝45には、バルブシャフト7の第1突出部が嵌合している。シールリング6は、高温に強い耐熱性材料、例えばステンレス鋼または耐熱鋼等によってC字形状に形成されている。このシールリング6は、その外周側端部が、バルブ本体4の外周端面より半径方向の外側に突出した状態で、内周側端部が、シールリング溝5内を半径方向、軸線方向および円周方向に移動できるようにシールリング溝5の内部に嵌め込まれて保持されている。また、シールリング6の半径方向の外側の端面には、バルブボディ1のノズルホルダ2に嵌合保持されたノズル3のバルブシート面44に密着することが可能な外周面摺動部46が設けられている。このシールリング6の摺動部46の軸線方向の両側のエッジに、バルブ本体4の開閉動作がし易いようにテーパ形状またはR形状の面取りを施しても良い。シールリング6は、バルブ本体4のシールリング溝5に対する組付性を考慮して、あるいはノズル3とシールリング6との熱膨張差に伴うシールリング6の膨張、収縮に備えて、周方向の両端面間合口に所定の切欠隙間以下合口隙間と言うGを有している。なお、シールリング6の合口形状は、パッドジョイント形状、テーパジョイント形状、ラップジョイント形状のいずれでも構わない。シールリング6は、その外周側部が、バルブ本体4の外周端面より径方向外側に突出した状態で、内周側部がシールリング溝5内を径方向、軸線方向および円周方向に移動できるようにシールリング溝5の内部に嵌め込まれて保持されている。したがって、本実施例のEGRVは、エンジン停止時またはEGRカット時に、バルブ本体4のシールリング溝5に嵌め込まれたシールリング6の軸線方向に対して直交する径方向拡径方向の張力を利用して、ノズル3の内径面バルブシート面44のバルブシート面とバルブ本体4の外周端面との間に形成される隙間を密閉シールするように構成されている。バルブシャフト7は、高温に強い耐熱性材料、例えばステンレス鋼または耐熱鋼等によって所定の形状に形成されている。このバルブシャフト7は、バルブボディ1の軸受け部に設けられた軸受け孔25の内部に回転自在または摺動自在に収容されている。また、バルブシャフト7は、円形状の断面を有し、一端側から他端側に向けて回転軸方向へ真っ直ぐに形成された円柱状の金属部材である。そして、バルブシャフト7は、バルブボディ1の軸受け孔25からシャフト貫通孔26を貫通して、流路穴21または流路穴22の内部に差し込まれている。バルブシャフト7の回転軸方向の一端部には、バルブボディ1の軸受保持部の開口端面から流路穴21、22の内部に向かって突出する第1突出部が設けられている。また、バルブシャフト7の回転軸方向の他端部には、バルブボディ1の軸受保持部の開口端面からアクチュエータ収容空間の内部に向かって突出する第2突出部が設けられている。なお、第2突出部には、減速機構と結合するためのバルブギヤプレート47が固定されている。アクチュエータは、バルブ本体4を開閉動作させるバルブ駆動装置として使用される。このアクチュエータは、バルブ本体4を開弁方向または閉弁方向に駆動するモータMと、このモータMの回転を2段減速してバルブシャフト7に伝達する減速機構動力伝達機構と、EGRVのバルブ開度を検出する回転角度検出装置と、これらの各構成部品を収容するアクチュエータケースとを備えている。アクチュエータケースは、モータMを収容保持するモータ収容凹部を有するモータハウジング51と、減速機構を回転自在に収容するギヤ収容凹部を有するギヤハウジング52と、このギヤハウジング52のギヤ収容凹部との間にギヤ収納空間を形成すると共に、ギヤ収容凹部の開口側を塞ぐセンサカバー53とを備えている。モータハウジング51およびギヤハウジング52は、バルブボディ1の外壁部に一体的に形成されている。また、センサカバー53は、電気絶縁性に優れる合成樹脂によって形成されている。モータMは、モータハウジング51のモータ収容凹部内に収容保持されている。減速機構は、モータMのモータシャフトの外周に圧入固定されたピニオンギヤ11、このピニオンギヤ11と噛み合って回転する中間ギヤ12、およびこの中間ギヤ12と噛み合って回転するバルブギヤ13等によって構成されている。バルブギヤ13は、合成樹脂によって一体的に形成されている。このバルブギヤ13の外周側には、円弧状の歯形成部54が一体的に形成されている。この歯形成部54の外周には、中間ギヤ12の凸状歯と噛み合う複数の凸状歯扇状の出力ギヤ歯55が所定の角度分だけ扇状に形成されている。バルブギヤ13の内周部には、合成樹脂製のロータ56が一体的に形成されている。このロータ56の内部には、金属製のバルブギヤプレート47がインサート成形されている。これにより、バルブギヤ13は、バルブギヤプレート47を介して、バルブシャフト7の回転軸方向の他端部第2突出部に回り止めされた状態で固定されている。また、バルブボディ1の軸受保持部円筒部48の外周およびバルブギヤ13の中間円筒部49の外周に、バルブ本体4を閉弁作動方向に付勢するリターンスプリング8が螺旋状に巻装されている。リターンスプリング8は、バルブボディ1の外壁面であるギヤハウジング52の環状凹部57の底面スプリング座部とバルブギヤ13の環状凹部58の底面スプリング座部との間に渦巻き状に巻装されたコイル部を有している。リターンスプリング8は、バルブシャフト7およびバルブギヤ13に対して、バルブ本体4を閉弁作動方向に付勢する付勢力バネ荷重、スプリング力を発生するコイルスプリング付勢手段である。このリターンスプリング8は、バルブ本体4を、全閉位置へ戻す方向閉弁作動方向に付勢する。リターンスプリング8の軸線方向の一端側ハウジング側には、ギヤハウジング52のスプリング座部に接触する円環状の第1コイル端部が設けられている。リターンスプリング8の軸線方向の他端側出力ギヤ側には、バルブギヤ13のスプリング座部に接触する円環状の第2コイル端部が設けられている。リターンスプリング8は、第1コイル端部の端末部からその接線方向に突出する第1フック部、第2コイル端部の端末部からその半径方向の外側に向けて延びる第2フック部を有している。第1フック部は、ギヤハウジング52に設けられる環状凹部57に保持されている。また、第2フック部は、バルブギヤ13に設けられる環状凹部58に保持されている。ここで、本実施例のEGRVは、バルブシャフト7を回転駆動することで、バルブ本体4を開閉動作させるアクチュエータを備えている。このアクチュエータの動力源であるモータMは、ECUによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。モータ駆動回路は、ECUのマイクロコンピュータより与えられる出力信号例えばPWM信号のデューティ比に対してモータMへの供給電力モータ駆動電流またはモータ印加電圧を可変制御する。ここで、アクチュエータ、特にモータMは、ECUによって通電制御されるように構成されている。ECUには、制御処理、演算処理を行うCPU、各種プログラムおよび各種データを保存する記憶装置ROMやRAM等のメモリ、入力回路入力部、出力回路出力部、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。このECUは、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、EGRV開度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ空燃比センサ、酸素濃度センサ等の各種センサからのセンサ出力信号が、A/D変換回路によってA/D変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。マイクロコンピュータは、エアフロメータより出力されるセンサ出力信号AFM信号またはスロットル開度センサより出力されるセンサ出力信号スロットル開度信号に基づいて、エンジンの吸気管を流れる新気量を計測算出し、この算出した新気量を各種エンジン制御例えばEGRバルブの開度制御:EGRV開度制御に使用する。また、マイクロコンピュータは、EGRV開度センサより出力されるセンサ出力信号EGRV開度信号に基づいて、エンジンの吸気管に還流するEGRガス量を計測算出し、この算出したEGRガス量を各種エンジン制御例えばスロットルバルブの開度制御:スロットル開度制御に使用する。マイクロコンピュータは、エンジンの運転状況例えばエアフロメータのAFM信号から測定された吸入空気量、クランク角度センサのNEパルス信号から測定されたエンジン回転速度、アクセル開度センサまたはスロットル開度センサのエンジン負荷信号に対応して目標EGRV開度を決定し、バルブ開度センサのEGRV開度信号から測定されたEGRV開度と目標EGRV開度との偏差がなくなるように、モータMを駆動するモータ駆動回路に与えるPWM信号のデューティ比に対して、PID制御比例積分微分制御によりフィードバック制御を行うように構成されている。回転角度検出装置は、マグネットロータの回転角度を測定してバルブ本体4のバルブシャフト7の回転角度に相当するEGRV開度を検出するEGRV開度センサバルブ位置検出手段として使用される。EGRV開度センサは、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応した電圧信号アナログ信号をECUへ向けて出力するホールIC61を主体として構成されている。ホールIC61は、マグネットロータ一対のマグネット62、ヨークの回転方向への移動に伴って変化する磁束を検出する非接触式の磁気検出素子である半導体ホール素子を有している。この半導体ホール素子には、マグネットロータ、特に一対のマグネット62の磁極面から印加される磁界の磁束密度磁束の量や磁界の強さを感磁する感磁面が設けられている。そして、ホールIC61は、センサカバー53のセンサ搭載部からギヤハウジング52のギヤ収容凹部底面側に突出するように設置されたステータコア63の対向部間に形成される磁気ギャップに設置されている。なお、ホールIC61の代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。マグネットロータは、バルブ本体4に一体回転可能に連結されている。具体的には、バルブ本体4のバルブシャフト7の回転軸方向の一端部に固定されたバルブギヤ13の内周部にマグネットロータがインサート成形により固定されている。マグネットロータは、EGRV開度センサへ磁束を与える一対のマグネット62、およびこのマグネット62から放出された磁束磁界をEGRV開度センサに対して集中させるヨーク等によって構成されている。[実施例1の特徴]次に、本実施例のEGRVの特徴を図1ないし図7に基づいて簡単に説明する。ここで、図6aはリターンスプリングの荷重方向が順方向で、且つシールリングの合口隙間が左側に有る場合のバタフライバルブの傾き方向を示した図で、図6bはリターンスプリングの荷重方向が逆方向で、且つシールリングの合口隙間が右側に有る場合のバタフライバルブの傾き方向を示した図である。また、図7aはリターンスプリングの荷重方向が逆方向で、且つシールリングの合口隙間が左側に有る場合のバタフライバルブの傾き方向を示した図で、図7bはリターンスプリングの荷重方向が逆方向で、且つシールリングの合口隙間が右側に有る場合のバタフライバルブの傾き方向を示した図である。EGRVは、バルブボディ1、ノズル3、バルブ本体4、シールリング6、リターンスプリング8およびバルブギヤ13を含むアクチュエータを備え、バルブ本体4の閉弁時に、バルブ本体4の外周部に保持されたシールリング6の軸線方向に対して直交する半径方向の外側への弾性変形力を利用して、シールリング6の半径方向の外側の端面摺動部46を、ノズル3の内径面バルブシート面44に密着させることで、バルブ本体4の外周端面とノズル3の内径面バルブシート面44との間に形成される環状隙間を密閉シールするように構成されている。ここで、EGRVは、モータMに電力を供給していない状態では、リターンスプリング8は自身の自由長に戻る。つまりバルブシャフト7の周囲を螺旋状に取り囲むように、しかもギヤハウジング52の環状凹部57とバルブギヤ13の環状凹部58との間に装着されるリターンスプリング8の組み付け状態では、リターンスプリング8がその軸線方向バルブシャフト7の回転軸方向に縮む方向圧縮方向、図2の白抜き矢印方向に荷重がかかっている。このときのリターンスプリング8の荷重方向を順方向と呼ぶ。これによって、リターンスプリング8の第2フック部と係合しているバルブギヤ13には、図1および図2の構造の場合、反時計廻りのモーメントがかかる。そして、ブッシング32およびボールベアリング34は、バルブボディ1の軸受け孔25の孔壁面に圧入されているが、バルブシャフト7との間は、軽圧入とされている。これにより、リターンスプリング8の偏荷重によりブッシング32の摺動クリアランス内で、バルブシャフト7の振れが発生する。そして、バルブシャフト7が、ブッシング32の摺動クリアランス内で振れるため、バルブシャフト7の回転軸方向の一端部第1突出部に溶接固定されているバルブ本体4も、ノズル3の内径面バルブシート面44に対して偏芯する。ここで、図6aに示したように、リターンスプリング8の荷重方向が順方向で、且つシールリング6の合口隙間Gが図示左側に有る場合のバルブ本体4は図示右側に傾く。また、図6bに示したように、リターンスプリング8の荷重方向が逆方向で、且つシールリング6の合口隙間Gが図示右側に有る場合のバルブ本体4は図示左側に傾く。また、図7aに示したような合口組み付け位置の場合、バルブシャフト軸芯CL1がバルブボディ1の軸受け孔25の中心線CL3に対して、図示左側に振れると、シールリング6の合口隙間G近傍のノズル3の内径面バルブシート面44とバルブ本体4の外周端面との間の洩れ流路面積が小さくなる。これにより、バルブ全閉時における弁洩れ流量が少なくなる。また、図7bに示したような合口組み付け位置の場合、バルブシャフト軸芯CL1がバルブボディ1の軸受け孔25の中心線CL3に対して、図示左側に振れると、シールリング6の合口隙間G近傍のノズル3の内径面バルブシート面44とバルブ本体4の外周端面との間の洩れ流路面積が大きくなる。これにより、バルブ全閉時における弁洩れ流量が多くなる。以上により、シールリング6の合口組み付け位置の違いによって合口寸法洩れ流路面積が変化し、バルブ全閉時における弁洩れ流量が変化してしまう。したがって、エンジン性能が低下したり、エミッションが悪化したりするという問題が生じている。そこで、本実施例のEGRVは、バルブシャフト軸芯CL1に対して、リターンスプリング8の偏荷重により発生するバルブシャフト7の振れに起因するバルブ振れ量分だけ、バルブボディ1のノズル圧入穴軸芯CL2をオフセット配置する構造軸芯オフセット構造を備えている。これにより、リターンスプリング8の偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分を吸収することが可能となる。これにより、以上のような軸芯オフセット構造によって、バルブ本体4が、リターンスプリング8の偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ振れた場合であっても、ノズル3の内径面バルブシート面44の中央部にバルブ本体4を位置させることができるので、シールリング6の合口組み付け位置に因らず弁洩れ流量特性の安定化を図ることができる。[実施例1の作用]次に、本実施例のEGRガス流量制御弁EGRVの作動を図1ないし図5に基づいて簡単に説明する。本実施例のEGRVのバルブ本体4およびバルブシャフト7を回転駆動するモータは、ECUによって通電制御されるように構成されている。ここで、モータへの電力供給が成されない場合には、リターンスプリング8の付勢力スプリング荷重によってバルブ本体4が全閉位置に設定される。このとき、バルブ本体4のシールリング溝5に嵌め込まれたシールリング6の摺動部46が、シールリング自体の拡径方向の張力弾性変形力によってバルブボディ1のノズルホルダ2に嵌合保持されるノズル3のバルブシート面44に張り付くため、シールリング6の摺動部46がノズル3のバルブシート面44に密着する。したがって、バルブ本体4の外周端面とノズル3の内周面との間の隙間が完全にシールされる。つまり流路穴21~23が閉鎖される。これにより、EGRガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気新気に混入しないEGRカット。次に、EGRVを開弁させるような運転状況エンジンの運転状況になると、バルブ本体4が運転状況に対応した所定の開度に開弁するように開弁作動させる。そして、モータMに電力を供給し、モータMのモータシャフトを開弁作動方向に回転させる。これにより、モータMの回転動力トルクが、ピニオンギヤ11、中間ギヤ12およびバルブギヤ13に伝達される。そして、バルブギヤ13からトルクが伝達されたバルブシャフト7が、バルブギヤ13の回転に伴って所定の回転角度バルブ開度だけ開弁作動方向に回転する。以上のように、エンジンの運転状況に対応して、モータMへの供給電力駆動電流値または印加電圧値を可変制御することで、EGRVのバルブ開度を変化させることにより、エアクリーナを通過した清浄な吸気に対する、EGRガスの導入量混入量が調節される。すなわち、バルブ本体4は、制御目標値に相当するバルブ開度に開弁制御される。つまり流路穴21~23が開放される。したがって、エンジンの各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部であるEGRガスが、排気管内に形成される排気通路EGRガス分岐部から、排気管側のEGRガスパイプの内部EGRガス流路→EGRVのバルブボディ1の内部流路EGRガス導入ポート→流路穴21~23→EGRガス導出ポート→吸気管側のEGRガスパイプの内部EGRガス流路を経由して、吸気管内に形成される吸気通路EGRガス合流部に再循環される。したがって、EGRガスがエンジンの各気筒毎の吸気ポートおよび燃焼室に供給される吸気に混入される。これによって、排気ガス中に含まれる有害物質例えばNOx等が低減される。[実施例1の効果]以上のように、本実施例のEGRVにおいては、バルブシャフト軸芯CL1に対して、リターンスプリング8の偏荷重により発生するバルブシャフト7の振れに起因するバルブ振れ量分だけ、バルブボディ1のノズル圧入穴軸芯CL2をオフセット配置した構造軸芯オフセット構造を採用することにより、リターンスプリング8の偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分を吸収することが可能となる。以上のような軸芯オフセット構造によって、バルブ本体4が、リターンスプリング8の偏荷重により発生するシャフト振れに起因するバルブ振れ量分だけ振れた場合であっても、バルブボディ1のノズルホルダ2に圧入固定されるノズル3の中央部にバルブ本体4を位置させることができる。これにより、シールリング6の合口組み付け位置に因らず弁洩れ流量特性の安定化を図ることができる。また、仮に、金属製のバルブボディ1の側面に内径切削加工によってノズル圧入穴24を設ける場合には、バルブボディ1の切削加工の位置を変更するのみで、つまりノズル圧入穴加工位置のみの変更であり、バルブシャフト軸芯CL1に対してバルブボディ1のノズル圧入穴軸芯CL2をオフセット配置することができる。これにより、信頼性評価も不要となり、比較的に容易に課題解決することができる。また、バルブ本体4を開閉動作させた際に、バルブ本体4の円周方向にシールリング6が回転し、シールリング6の合口隙間Gの位置合口組み付け位置が変化した場合であっても、シールリング6の合口隙間G近傍のバルブ本体4の外周端面とノズル3のバルブシート面44との間の洩れ流路面積が変化しない。これにより、バルブ全閉時における弁洩れ流量が変わらない。また、本実施例のように、エンジンの排気通路から吸気通路へ再循環還流させる流路穴21、22を流れるEGRガスの流量を制御するEGRVに適用した場合には、バルブ全閉時における弁洩れ流量特性の安定化を図ることができるので、規定の新気量を確保することができる。これにより、エミッションの向上、例えばスモークの発生を抑制することができる。[変形例]本実施例では、バルブボディ1のノズルホルダ2の内周にノズル3を嵌合保持し、更にノズル3内にバルブ本体4を開閉自在に収容しているが、バルブボディ1の円筒部のバルブ収容部内に直接バルブ本体4を開閉自在に収容しても良い。この場合には、ノズル3は不要となり、部品点数や組付工数を削減できる。また、スプリングバルブ付勢手段として、バルブ本体4を閉弁作動方向に付勢するリターンスプリングと、バルブ本体4を開弁作動方向に付勢するオーバーターンスプリングと、リターンスプリングとオーバーターンスプリングとの結合部を逆U字状に折り曲げることで形成されるU字フック部とを備えたコイルスプリングを採用しても良い。本実施例では、バルブ本体4をバルブシャフト7の回転軸を中心にして回転駆動するアクチュエータとして、電力の供給を受けてトルクを発生するモータ、このモータの回転を減速する減速機構動力伝達機構を備えた電動アクチュエータを採用しているが、バルブ本体4をバルブシャフト7の回転軸を中心にして回転駆動するアクチュエータとして、負圧制御弁を介して電動バキュームポンプからの負圧により駆動される負圧作動式アクチュエータや、コイルを含む電磁石を備えたリニアソレノイド電磁アクチュエータを採用しても良い。本実施例では、EGRガス流量制御弁に本発明を適用したが、EGRクーラの出口側に連通する低温排気ガス流路とEGRガスをEGRクーラより迂回させるバイパス流路高温排気ガス流路とを切り替える排気ガス流路切替弁や、エンジンの排気管ターボチャージャのタービンハウジングに設置される排気ガス流量圧力制御弁等の他の排気ガス制御弁に本発明を適用しても良い。また、吸気制御弁としては、タンブル制御弁、スワール制御弁、吸気流量制御弁、吸気圧力制御弁、流路切替弁等が考えられる。また、排気制御弁としては、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁等が考えられる。また、流体制御弁の弁体を構成するバルブとして、バタフライバルブを採用しているが、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。また、内燃機関エンジンとして、多気筒ディーゼルエンジンの代わりに、多気筒ガソリンエンジンを用いても良い。また、単気筒エンジンに適用しても良い。