1次側構造体と、2次側構造体と、の間に架け渡された金属製かつ梁状の起歪部を備え、当該起歪部を介して一方の前記構造体から他方の前記構造体へトルクが伝達されるトルク計測装置であって、前記起歪部におけるトルク中心軸に垂直な面に配置され、前記起歪部の歪量を検出する薄膜型歪センサと、当該薄膜型歪センサによって検出された歪量に基づいて直接トルク計算を行う信号処理部と、を備えたトルク計測装置。請求項1記載のトルク計測装置であって、前記薄膜型歪センサの近傍に設けられ、温度を検出する温度センサを更に備え、前記信号処理部は、前記薄膜型歪センサにより検出された歪量と、前記温度センサにより検出された温度と、に基づいて、前記直接トルク計算を行う、ことを特徴とするトルク計測装置。請求項2記載のトルク計測装置であって、前記薄膜型歪センサと、該薄膜型歪センサ及び温度センサに一端側が接続された配線パターンと、該配線パターンの他端側に接続された電極と、が一体的に、前記1次側構造体及び起歪部に取付けられている、ことを特徴とするトルク計測装置。請求項3記載のトルク計測装置であって、前記起歪部におけるトルク中心軸に垂直な面には、複数の前記薄膜型歪センサが配置されており、前記配線パターンの長さは均一になっている、ことを特徴とするトルク計測装置。請求項3又は4記載のトルク計測装置であって、前記薄膜型歪センサ、前記温度センサ、前記配線パターン、及び前記電極は、薄膜付け処理により一体的に取付けされている、ことを特徴とするトルク計測装置。請求項1乃至5のうちずれか1項記載のトルク計測装置であって、前記薄膜型歪センサは、前記起歪部の側面上に積層された絶縁膜と、該絶縁膜上に積層された歪抵抗膜と、該歪抵抗膜上に積層された電極膜と、を有していることを特徴とするトルク計測装置。請求項6記載のトルク計測装置であって、前記歪抵抗膜は、Cr-N薄膜である、ことを特徴とするトルク計測装置。請求項3乃至5のうちいずれか1項記載のトルク計測装置であって、前記1次側構造体の電極上に前記信号処理部の基板が一体的に配置されている、ことを特徴とするトルク計測装置。請求項2乃至5のうちいずれか1項記載のトルク計測装置であって、前記温度センサは、前記1次側構造体において歪変形が少ない位置に取り付けられている、ことを特徴とするトルク計測装置。しかしながら、上記特許文献1に示すトルク計測装置において、複数の歪センサを起歪部の起歪方向に対して垂直な面上に配置するため例えば、図8、所定位置に正確に貼付するのが困難となる。このため、その配置によって各歪センサの特性にバラツキが生じ、トルクの計測精度を低下させる要因となる。本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、高精度にトルクを計測できるトルク計測装置を提供することを主たる目的とする。上記目的を達成するための本発明の一態様は、1次側構造体と、2次側構造体と、の間に架け渡された金属製かつ梁状の起歪部を備え、当該起歪部を介して一方の前記構造体から他方の前記構造体へトルクが伝達されるトルク計測装置であって、前記起歪部におけるトルク中心軸に垂直な面に配置され、前記起歪部の歪量を検出する薄膜型歪センサと、当該薄膜型歪センサによって検出された歪量に基づいて直接トルク計算を行う信号処理部と、を備えたトルク計測装置である。この一態様によれば、高精度にトルクを計測できる。この一態様において、前記薄膜型歪センサの近傍に設けられ、温度を検出する温度センサを更に備え、前記信号処理部は、前記薄膜型歪センサにより検出された歪量と、前記温度センサにより検出された温度と、に基づいて、前記直接トルク計算を行ってもよい。これにより、歪センサの温度特性を補正することができる。この一態様において、前記薄膜型歪センサと、該薄膜型歪センサ及び温度センサに一端側が接続された配線パターンと、該配線パターンの他端側に接続された電極と、が一体的に、前記1次側構造体及び起歪部に取付けられていてもよい。これにより、複数のセンサ間の特性を均一化することができる。この一態様において、前記起歪部におけるトルク中心軸に垂直な面には、複数の前記薄膜型歪センサが配置されており、前記配線パターンの長さは均一になっていてもよい。この一態様において、前記薄膜型歪センサ、前記温度センサ、前記配線パターン、及び前記電極は、薄膜付け処理により一体的に取付けされていてもよい。これにより、歪センサ、温度センサ、配線パターン、及び電極を、所定位置に正確に取り付けることができる。この一態様において、前記薄膜型歪センサは、前記起歪部の側面上に積層された絶縁膜と、該絶縁膜上に積層された歪抵抗膜と、該歪抵抗膜上に積層された電極膜と、を有していてもよい。これにより、歪検出感度の高い歪センサを構成できる。この一態様において、前記歪抵抗膜は、Cr-N薄膜であってもよい。この一態様において、前記1次側構造体の電極上に前記信号処理部の基板が一体的に配置されていてもよい。これにより、小型化を図りつつノイズを低減できる。この一態様において、前記温度センサは、前記1次側構造体において歪変形が少ない位置に取り付けられていてもよい。本発明によれば、高精度にトルクを計測できるトルク計測装置を提供することができる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。本発明の実施の形態に係るトルク計測装置1は、例えば、アクチュエータに連結された減速機などの入力部と、出力軸などの出力部と、の間に生じるトルクを計測することができる。図1は、本発明の実施の形態に係るトルク計測装置における歪み検出部の概略的構成を示す図である。本実施の形態に係るトルク計測装置1の歪み検出部2は、略円環状の2次側構造体3と、2次側構造体3の円環の内側に配置された略板状の1次側構造体4と、1次側構造体4と2次側構造体3との間に架け渡され、金属製かつ梁状で右側一対及び左側一対の起歪部5と、複数の薄膜型歪センサ6と、複数の温度センサ7と、複数の配線パターン8と、複数の電極9と、信号処理回路10と、を備えている。1次側構造体4から2次側構造体3へ、あるいは2次側構造体4から1次側歪体3へ起歪部5を介してトルクが伝達され、1次側構造体4と2次側構造体3とは円周方向に相対変位する。これにより、1次側構造体4と2次側構造体3とを夫々接続する各起歪部5に円周方向に歪みが生じる。各薄膜型歪センサ6は、この起歪部5の円周方向に生じた歪みを検出する。各起歪部5のトルク中心軸に垂直な面上には一対の薄膜型歪センサ6が配置されている。また、従来の各歪センサは、起歪部の起歪方向に対して垂直の面に配置されているが図8、本実施の形態に係る各薄膜型歪センサ6は、図2に示す如く、起歪部5におけるトルク中心軸に垂直な面に配置されている。これにより、薄膜膜付け技術を用いて、各薄膜型歪センサ6を起歪部5の所定位置へ正確かつ容易に取付けることができ、位置再現性が良好となり、各薄膜型歪センサ6間のセンサ特性を均一にすることができる。また、薄膜型歪センサ6自体は、従来の歪センサ歪ゲージと比較して非常に小型であるため、当該装置1の小型化を容易に図ることができる。さらに、各薄膜型歪センサ6は、上述の如く、非常に小型でありかつ位置決め精度が良好であることから、例えば、歪み変位の大きな起歪部5の側面のエッジ近傍に精度よく夫々配置することができる。したがって、起歪部5の歪みを高精度に検出できるため、トルクを高精度に算出することができる。なお、各起歪部5に配置される薄膜型歪センサ6の数は任意でよい。また、各薄膜型歪センサ6は、起歪部5において、所定の負荷に対して均一な歪変化を生じる位置又はその近傍に配置されるのが好ましい。一方で、各薄膜型歪センサ6の取付位置は、起歪部5において歪変化を生じる位置であればよいため、その位置決めの適用範囲が広い。但し、各薄膜型歪センサ6のセンサ特性を均一にするために、取付位置の位置再現性は必要となる。図3は、薄膜型歪センサの概略的構成を示す断面図である。薄膜型歪センサ6は、例えば、起歪部5の側面上に積層された絶縁膜61と、絶縁膜61上に積層された歪抵抗膜62と、歪抵抗膜62上に積層された電極膜63と、を有している。歪抵抗薄膜62は、例えば、Cr-N薄膜などから構成されている。ここで、Cr-N薄膜型歪センサ6を用いることで、高いゲージ率抵抗変化率/歪=10となり従来の歪センサのゲージ率=2、歪検出感度を高めることができ、したがって、剛性の高い起歪部5を設計することができる。また、各薄膜型歪センサ6は、抵抗値例えば、~5kΩが大きいため高分解能の計測が可能であり、その抵抗値を自在に調整できるため信号処理回路10との親和性にも優れている。さらに、各薄膜型歪センサ6は、温度変化に対する安定性が高く、温度適応範囲も広い例えば、-196~200°Cで使用可能。さらにまた、各薄膜型歪センサ6は、半導体などの薄膜膜付け技術パターニング技術を用いて、起歪部5の所定位置に正確に位置決めできるため、センサの位置再現性が高い。薄膜型歪センサ6のパターン形成には、例えば、放電加工及び化学エッチングにより作製した金属マスクを使用し、マスク法を用いて行うことができる。右側一対の起歪部5に配置された4つの薄膜型歪センサ6から1つのブリッジ回路を構成しており、同様に、左側一対の起歪部5に配置された4つの薄膜型歪センサ6から1つのブリッジ回路を構成している。なお、任意の薄膜型歪センサ6を組み合わせてブリッジ回路を構成することができる。上記のように構成された各ブリッジ回路は、信号処理回路信号処理部10に接続されている。各起歪部5の各薄膜型歪センサ6は、一対の配線からなる各配線パターン8を介して、1次側構造体4上に一列に配置された電極9に夫々接続されている。このように、複数の薄膜型歪センサ6を組み合わせて、起歪部5の歪みを検出することで、歪検出の多重化を行い、加算平均処理、相乗平均処理、優先処理、相互故障検出などのセンサシステムの信頼性を向上させることができる。上側一対の薄膜型歪センサ6と下側一対の薄膜型歪センサ6との間であって、1次側構造体4の略中央付近には、温度センサ7が配置されており、この温度センサ7は配線パターン8を介して電極9に接続されている。温度センサ7は、温度抵抗薄膜例えば、Fe-Pdなどから構成されている。各温度センサ7は、1次側構造体4において、負荷による歪変形が少ない位置に取付けられている。このように、各薄膜型歪センサ6近傍に温度センサ7を設け、この温度センサ7を用いることで、各薄膜型歪センサ6の温度特性を補正し、より高精度に起歪部5の歪みを検出でき、トルクを高精度に計測することができる。なお、温度センサ7は、本実施の形態において、必須の構成ではなく、各薄膜型歪センサ6に対して温度特性の補正が必要な場合に設ける。各温度センサ7、各薄膜型歪センサ6、各配線パターン8、各電極9は、薄膜膜付け処理によって、一体的に成形されている図4。これにより、取付け時の位置再現性が良好となり、各温度センサ7及び各薄膜型歪センサ6におけるセンサ特性のバラツキを抑え、センサ特性の均一化を図ることができ、量産化も容易に行なうことができる。さらに、各薄膜型歪センサ6と各電極9との間の各配線パターン8の各配線の長さは、均一となっており、その抵抗値も均一となっている。これにより、各薄膜型歪センサ6の特性を安定させることができる。1次側構造体4の各電極9上には信号処理回路10の基板が一体的に載置され図5、各電極9と信号処理回路10の基板とが電気的に接続されている。このように、薄膜型歪センサ6と信号処理回路10の基板とを一体的に構成することで、当該装置1をコンパクトに構成し、高いS/N比信号/ノイズで信号処理を行うことができる。図6は、本実施の形態に係る信号処理回路の概略的な構成を示すブロック図である。信号処理回路10は、複数の薄膜型歪センサ6を相互に接続してなるブリッジ回路からの出力信号に対してフィルタ処理を行うフィルタ回路11と、フィルタ回路11でフィルタ処理された信号に対して増幅処理を行うアンプ回路12と、増幅処理された信号に対してアナログ/デジタル変換処理を行うADC回路13と、変換されたデジタル信号に対して所定の演算処理を行い、トルクを算出する主制御回路MCU14と、を有している。信号処理回路10は、薄膜型歪センサ6によって検出された歪量に基づいて、直接トルク計算を行う。すなわち、信号処理回路10は、薄膜型歪センサ6の出力値とトルクとの相関関係を予め求めておき、その相関関係と実測した薄膜型歪センサ6の出力値とに基づいて、直接トルク計算を行う。一方、従来の6軸力センサにおいてもトルクモーメントを測定可能であるが、xyz3軸の力を歪センサによって測定し、それら3軸の力を複雑な演算式により変換してトルクを求める必要がある。主制御回路14は、各薄膜型歪センサ6で構成されたブリッジ回路からの出力信号に応じた歪み値と、対応する各温度センサ7からの出力信号に応じた温度値と、に基づいて、周知のトルク換算演算及び温度補正演算を行い、トルクを算出する。主制御回路14には、例えば、サーボコントローラ15が接続されており、サーボコントローラ15は、主制御回路14により算出されたトルクに基づいて、サーボモータ16を制御する。なお、信号処理回路10は、上記構成に加えて、無線通信機能を有する回路を含んでいてもよい。これにより、算出したトルクを離れた位置にある機器に対して容易に送信することができる。図7は、本実施の形態に係るトルク計測装置を用いたトルク制御システムの概略的な構成を示すブロック図である。トルク制御システム100において、出力部17を回転駆動するサーボモータ16にトランスミッション18が連結されており、トランスミッション18にはトルク計測装置1の1次側構造体4が連結されている。トルク計測装置1の1次側構造体4と2次側構造体3とは、各起歪部5を介して接続され、トルク計測装置1の2次側構造体3には出力部17が連結されている。サーボコントローラ15には、サーボモータ16及びサーボモータ16の回転軸の回転位置を検出するエンコーダ19が夫々接続されている。また、サーボコントローラ15には、トルク計測装置1の信号処理回路10が接続されており、サーボコントローラ15は、信号処理回路10からのトルクτと、エンコーダ19からの回転位置θと、に基づいて、フィードバック制御などを行う。例えば、サーボモータ16が回転し、トランスミッション18が回転すると、トランスミッション18に連結された1次側構造体4と、出力部17に連結された2次側構造体3と、を接続する各起歪部5に回転方向の歪みが生じる。各起歪部5の各薄膜型歪センサ6は、この回転方向の歪みを検出する。信号処理回路10は、各薄膜型歪センサ6により検出された歪みと、各温度センサ7により検出された温度と、に基づいてトルクτを算出し、算出したトルクτをサーボコントローラ15に対して出力する。サーボコントローラ15は、信号処理回路10からのトルクτと、エンコーダ19からの回転位置θと、に基づいて制御信号を生成し、サーボモータ16に対して出力する。以上、本実施の形態に係るトルク計測装置1において、各薄膜型歪センサ6は、1次側構造体4と2次側構造体3との間に架け渡された金属製かつ梁状の起歪部5におけるトルク中心軸に垂直な面上に配置されている。これにより、薄膜膜付け技術を用いて、各薄膜型歪センサ6を起歪部5の所定位置へ正確に取付けることができる。したがって、位置再現性が良好となり、各薄膜型歪センサ6間のセンサ特性を均一にすることができるため、高精度にトルクを計測できる。なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、上記実施の形態において、Cr-N薄膜により構成された薄膜型歪センサ6を用いて起歪部5の歪を検出しているが、これに限らず、酸化クロム薄膜により構成された薄膜型歪センサを用いてもよい。なお、酸化クロム薄膜により構成された薄膜型歪センサであっても、Cr-N薄膜により構成された薄膜型歪センサ6と同様に、スクリーン印刷技術などを用いて起歪部5のトルク中心軸に垂直な面上に形成することができる。