支持部と、この支持部に接続された振動部と、前記振動部に設けられた駆動電極および検出電極を有する振動子と、前記振動子を収容するパッケージを備えた振動型の角速度センサであって、前記振動部の前記パッケージの内周面と近接する部分の断面形状を、前記パッケージに近づくにつれて薄くなるようにしたことを特徴とする振動型角速度センサ。振動部の駆動振動方向における先端部分に錘部を形成するとともに、この錘部の前記パッケージと近接する部分の断面形状を、前記パッケージに近づくにつれて薄くなるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の振動型角速度センサ。振動部を、駆動電極を設ける第1の振動部と、検出電極を設ける第2の振動部により形成するとともに、前記第1の振動部の前記パッケージと近接する部分の断面形状を、前記パッケージに近づくにつれて薄くなるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の振動型角速度センサ。しかしながら、角速度センサの小型化が進むにつれ、パッケージに収容された振動子の振動抵抗が大きくなる。つまり、パッケージの内周面と振動子の間隔が小さくなることで、この間に存在する気体の粘性の影響が大きくなるとともに、振動子の小型化に伴い振動子を振動させる力が小さくなっていることから、振動子においては駆動振動の速度低下や検出振動の振幅減少につながり、結果として振動型の角速度センサの検出感度を劣化させてしまうという問題があった。そこで、本発明はこのような問題を解決し、小型化に伴う振動型の角速度センサの検出感度の劣化を抑制することを目的とする。そして、この目的を解決するために本発明は、駆動電極と検出電極を有する振動子と、振動子を収容するパッケージを備えた振動型の角速度センサにおいて、パッケージの内周面と近接する振動子の少なくとも一部を、その断面形状がパッケージに近づくにつれて薄くする構造としたのである。この構成により本発明は、小型化に伴う振動型の角速度センサの検出感度の劣化を抑制することが出来るのである。以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて図を用いて説明する。図1は振動型の角速度センサを示したものであり、その基本的な構造はセラミクスからなるパッケージ1の内部に角速度を検出する振動子2と、この振動子2の駆動信号や検出信号を処理するIC3を配置した構造となっている。なお、振動子2は台座4を介してIC3の上面に実装することで、振動子2の振動空間を確保し、パッケージ1の上部開口はリッド5で封口している。また、振動子2はSi基板により形成され、図2に示すように、素子中心部6で接続された一対のT字状の支持部7と、この素子中心部6から両側に導出された一対のジャバラ型の振動部8と、この振動部8の先端には振動子2に必要な所望の慣性力を与える錘部9が形成され、振動部8の上面には駆動電極10や検出電極11が設けられている。なお、駆動電極10や検出電極11の電極構造は、特に図示していないが、Auからなる上部電極とPtからなる下部電極と、これらの間に配置されたPZTからなる圧電体層からなる積層電極構造としている。そして、この振動子2を用いた角速度の検出にあたっては、駆動電極10にIC3から駆動信号を印加して振動部8を素子中心部6を振動中心としてX軸方向に駆動振動させ、この駆動振動状態において振動平面XY平面に直交するZ軸方向の検出軸回りに角速度が加わることでコリオリ力により振動部8がY軸方向に検出振動し、この検出振動を検出電極11により電気信号に変換しIC3に出力するのである。なお、振動部8の素子中心部6の近傍に設けられたモニタ電極12は振動部8の駆動振動の振動状態を検出しIC3での駆動信号の生成にフィードバックするための電極である。そして、この振動型の角速度センサにおいては、パッケージ1の内周面に近接する振動子2の一部分、具体的にはパッケージ1の内周面と対向する錘部9の外周部分の断面形状を図3に示す如く、内周面に近付くにつれて厚みが薄くなる形状としており、この構造により角速度センサの小型化に伴う検出感度の劣化を抑制している。すなわち、振動子2がパッケージ1の内周面に向かう方向で駆動振動するため、この振動空間、つまり、振動子2とパッケージ1の内周面の間が狭くなるほど、この間に存在する気体の粘性が大きくなり、この気体粘性が振動抵抗として駆動振動の速度を劣化させ検出感度を劣化させていたのであるが、このパッケージ1の内周面と対向する振動子2の一部を、その断面形状がパッケージ1に近づくにつれて薄くなるテーパー状とすることで、振動子2の空気抵抗を小さくでき、これにより振動速度の低減を抑制し結果として検出感度の劣化を抑制できるのである。なお、この角速度センサにおいては、振動子2の先端部分に錘部9が設けられているが、この錘部9は振動子2に所望の慣性力を与える所定の重量を確保するため、パッケージ1の内周面との対向面積が大きくなることから、振動部8の中でも特に錘部9における対向部分をテーパー状とすることが有効である。ただし、錘部9は所定の重力を確保しなければならず、テーパーを大きくするとその分面積を増やさなければならないことから、より効率的に空気抵抗を抑制するために、断面形状を流線型とすることが好ましい。なお、この一実施の形態の角速度センサにおいては、振動子2をパッケージ1の底面、つまり角速度センサの実装面と水平に実装した構造で、振動子2の振動方向がパッケージ1の内周側面に対向する構造を挙げて説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものでなく、例えば、図4に示すように傾斜台13を用いて振動子2をパッケージ1の底面に対して傾斜させて実装した構造においては、振動子2が駆動振動により近接する部分が、パッケージ1の内周面における内部上面リッド5の内周面や内部底面となるが、これらの内部底面や内部上面に対向する振動子2の一部をテーパー状とすることで同様の効果を得ることができる。また、この一実施の形態の振動子は、駆動振動及び検出振動を一つの振動部8で行う構造を挙げて説明したが、図5に示すように支持部15を中心として王字状の振動部16a、16bを配置した振動子14で、両外の第1の振動部16aに駆動電極特に図示せずを設け先端部分をX軸方向に駆動振動させ、中央の第2の振動部16bに検出電極特に図示せずを設け検出振動を検出する構造であっても、駆動振動させる両外の第1の振動部16aにおけるパッケージ1の内周面と近接する破線17で囲んだ部分をテーパー状とすることで同様の効果を奏することができる。