"複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路と、前記圧力室を区画する区画部材を変形させて前記圧力室の容積を変化させることにより、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置であって、前記区画部材の変形量を調整する変形調整部材を有し、さらに、前記変形調整部材は、一部の前記圧力室に対する前記区画部材の変形調整量を、他の前記圧力室と異ならせるように構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。前記変形調整部材は、前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における前記区画部材の変形量を調整するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。前記液体流路が形成された流路ユニットを備え、前記複数の圧力室はそれぞれ一部が開口した凹形状に形成されるとともに、前記流路ユニットの一表面に沿って平面的に配置され、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室の開口を覆うように前記流路ユニットの前記一表面に接合された、前記区画部材としての封止板と、前記封止板に設けられて前記封止板の前記複数の圧力室と対向する部分をそれぞれ変形させる複数の駆動素子を有し、前記変形調整部材は、前記封止板の、前記一部の圧力室に対向する部分の変形調整量を、前記他の圧力室に対向する部分と異ならせるように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出装置。前記アクチュエータは、前記複数の駆動素子として、前記封止板の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する部分に設けられた複数の圧電素子を有し、前記変形調整部材は、前記圧電素子の変形量を調整することによって、前記区画部材の変形量を調整するものであり、さらに、前記変形調整部材は、前記一部の圧力室に対応する前記圧電素子の変形調整量を、前記他の圧力室に対応する前記圧電素子と異ならせるように構成されていることを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出装置。前記変形調整部材は、前記圧電素子に付着していることを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出装置。前記一部の圧力室に対応する圧電素子と前記他の圧力室に対応する圧電素子との間で、前記変形調整部材の付着面積が異なっていることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出装置。前記一部の圧力室に対応する圧電素子と前記他の圧力室に対応する圧電素子との間で、前記変形調整部材の付着位置が異なっていることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出装置。前記一部の圧力室に対応する圧電素子と前記他の圧力室に対応する圧電素子との間で、付着している前記変形調整部材の材質が異なっていることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出装置。前記複数の圧電素子は前記封止板の前記圧力室と反対側の面に設けられ、前記複数の圧電素子の前記封止板と反対側の面には複数の表面電極がそれぞれ設けられるとともに、これら複数の表面電極には配線部材が接続され、前記変形調整部材は、各表面電極に設けられて、この表面電極と前記配線基板の配線とを導通させる導電性のバンプであることを特徴とする請求項5~8の何れかに記載の液滴吐出装置。前記複数の圧電素子は前記封止板の前記圧力室と反対側の面に設けられ、前記複数の圧電素子の前記封止板と反対側の面には複数の表面電極がそれぞれ設けられ、前記複数の圧電素子を有する前記アクチュエータに配線部材が接着剤で接合されるとともに、前記複数の表面電極が前記配線部材の配線と電気的に接続され、前記変形調整部材は、各圧電素子の前記封止板と反対側の面に付着した前記接着剤であることを特徴とする請求項5~8の何れかに記載の液滴吐出装置。前記封止板の前記圧力室と反対側の面に前記複数の圧力室に跨って平面的に広がる圧電層が接合され、この圧電層の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する部分が、前記複数の圧電素子を構成しており、前記変形調整部材は、前記圧電層と直交する方向から見て、前記圧電層の縁との間に他の圧力室が存在しない、端位置の前記圧力室と、それ以外の前記圧力室との間で、前記圧電層の変形調整量が異なるように構成されていることを特徴とする請求項4~10の何れかに記載の液滴吐出装置。複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路と、前記圧力室を区画する区画部材を変形させて前記圧力室の容積を変化させることにより、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置であって、前記区画部材の変形量を調整する変形調整部材を有し、さらに、前記変形調整部材は、前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における前記区画部材の変形量を調整するように構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。複数の圧電素子を備えた圧電アクチュエータであって、前記圧電素子の変形量を調整する変形調整部材を有し、さらに、前記変形調整部材は、一部の前記圧電素子の変形調整量を他の前記圧電素子と異ならせるように構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置の製造方法であって、前記複数の圧力室はそれぞれ一部が開口した凹形状に形成されるとともに、前記流路ユニットの一表面に沿って平面的に配置され、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室の開口を覆うように前記流路ユニットの一表面に接合される封止板と、前記封止板に設けられて、前記封止板の前記複数の圧力室と対向する部分をそれぞれ変形させる複数の駆動素子を有するものであり、前記アクチュエータを前記流路ユニットに接合する接合工程と、前記接合工程の後に、前記アクチュエータに前記封止板の変形量を調整する変形調整部材を設け、一部の前記圧力室に対する前記封止板の変形調整量を他の前記圧力室と異ならせる変形調整工程を備えることを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。前記接合工程の後に、前記複数のノズルの吐出特性を検査する検査工程をさらに備え、前記変形調整工程において、前記検査工程で得られた前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における、前記封止板の変形量を調整することを特徴とする請求項14に記載の液滴吐出装置の製造方法。前記アクチュエータは、前記封止板の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する部分に設けられた複数の圧電素子を有するものであり、前記変形調整工程において、ある圧電素子に液状の硬化性材料を付着させた後に硬化させて前記変形調整部材を形成することにより、その圧電素子の変形量を調整することを特徴とする請求項14又は15に記載の液滴吐出装置の製造方法。前記変形調整工程において、インクジェットヘッドにより前記硬化性材料の液滴を前記圧電素子に着弾させることを特徴とする請求項16に記載の液滴吐出装置の製造方法。前記アクチュエータは、前記封止板の前記圧力室と反対側の面の、前記複数の圧力室とそれぞれ対向する領域に設けられた複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子の前記封止板と反対側の面にそれぞれ設けられた複数の表面電極とを有するものであり、前記接合工程の後に、前記複数の圧電素子を覆うようにレーザー光透過性の材料からなる配線部材を配置し、前記アクチュエータと前記配線部材とを接着剤で接合するとともに前記配線部材の配線を前記複数の表面電極と電気的に接続する配線部材接合工程をさらに備え、前記変形調整工程において、前記配線部材の前記複数の圧電素子と反対側の面からレーザー光を照射して前記接着剤の一部を溶融させ、ある圧電素子への前記接着剤の付着位置又は付着面積を、他の圧電素子と比べて異ならせることを特徴とする請求項14又は15に記載の液滴吐出装置の製造方法。複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置の製造方法であって、前記複数の圧力室はそれぞれ一部が開口した凹形状に形成されるとともに、前記流路ユニットの一表面に沿って平面的に配置され、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室の開口を覆うように前記流路ユニットの一表面に接合される封止板と、前記封止板に設けられて前記複数の圧力室と対向する部分をそれぞれ変形させる複数の駆動素子を有するものであり、前記アクチュエータを前記流路ユニットに接合する接合工程と、前記接合工程の後に、前記複数のノズルの吐出特性を検査する検査工程と、前記アクチュエータに前記封止板の変形量を調整する変形調整部材を設け、前記検査工程で得られた前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における前記封止板の変形量を調整する、変形調整工程を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。ところで、特許文献1に開示されているインクジェットヘッドのような、複数のノズルを有する液滴吐出装置においては、これら複数のノズル間での吐出特性吐出される液滴量や液滴速度が均一に揃っていることが好ましいのであるが、実際には、複数のノズル間の吐出特性が異なってしまうことも多い。例えば、特許文献1の例では、複数の圧力室にそれぞれ対向する圧電層部分圧電素子の厚みばらつき等によって圧電素子の特性に違いが生じていると、所定の駆動電圧が印加されたときの変形量がばらつく。あるいは、複数の圧力室間で振動板や圧電層の拘束条件が若干異なっている場合にも、複数の圧力室間で振動板の変形量に差が生じる。このように複数の圧力室間で振動板の変形量に差が生じると、インクに付与される圧力がばらつく、即ち、液滴速度や液滴量がばらついてしまうことになる。また、圧力室やノズル等の流路ユニットに形成されるインク流路の寸法誤差によって、複数のノズル間で吐出特性のばらつきが生じることも考えられる。本発明の目的は、複数のノズルの吐出特性のばらつきを抑制することである。第1の発明の液滴吐出装置は、複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路と、前記圧力室を区画する区画部材を変形させて前記圧力室の容積を変化させることにより、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置であって、前記区画部材の変形量を調整する変形調整部材を有し、さらに、前記変形調整部材は、一部の前記圧力室に対する前記区画部材の変形調整量を、他の前記圧力室と異ならせるように構成されていることを特徴とするものである。本発明によれば、変形調整部材による、一部の圧力室に対する区画部材の変形調整量を、他の圧力室に対する区画部材と異ならせることで、複数の圧力室間で液体に付与される圧力を調整し、複数のノズル間の吐出特性のばらつきを小さくすることが可能となる。尚、本発明において、変形量を調整するとは、変形量を減少させる変形抑制と変形量を増大させる変形促進の両方を含む概念である。また、本発明は、全ての圧力室について変形調整部材によって区画部材の変形量が調整される形態には限られず、区画部材の変形量が調整されない変形調整量が0である圧力室が存在する形態も本発明に含まれる。第2の発明の液滴吐出装置は、前記第1の発明において、前記変形調整部材は、前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における前記区画部材の変形量を調整するように構成されていることを特徴とするものである。本発明によれば、複数のノズルの吐出特性液滴速度や液滴量に応じて、区画部材の変形量を調整するため、複数のノズル間の吐出特性のばらつきを効果的に抑えることができる。第3の発明の液滴吐出装置は、前記第1又は第2の発明において、前記液体流路が形成された流路ユニットを備え、前記複数の圧力室はそれぞれ一部が開口した凹形状に形成されるとともに、前記流路ユニットの一表面に沿って平面的に配置され、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室の開口を覆うように前記流路ユニットの前記一表面に接合された、前記区画部材としての封止板と、前記封止板に設けられて前記封止板の前記複数の圧力室と対向する部分をそれぞれ変形させる複数の駆動素子を有し、前記変形調整部材は、前記封止板の、前記一部の圧力室に対向する部分の変形調整量を、前記他の圧力室に対向する部分と異ならせるように構成されていることを特徴とするものである。本発明では、流路ユニットの一表面に、複数の圧力室の開口を覆うように接合される封止板は、複数の圧力室の一壁部を構成する区画部材に相当し、この封止板の複数の圧力室と対向する部分が、複数の駆動素子によってそれぞれ変形するようになっている。そして、変形調整部材が、封止板の、一部の圧力室に対向する部分の変形調整量を、他の圧力室に対向する部分と異ならせることにより、複数のノズル間の吐出特性のばらつきを小さくすることができる。第4の発明の液滴吐出装置は、前記第3の発明において、前記アクチュエータは、前記複数の駆動素子として、前記封止板の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する部分に設けられた複数の圧電素子を有し、前記変形調整部材は、前記圧電素子の変形量を調整することによって、前記区画部材の変形量を調整するものであり、さらに、前記変形調整部材は、前記一部の圧力室に対応する前記圧電素子の変形調整量を、前記他の圧力室に対応する前記圧電素子と異ならせるように構成されていることを特徴とするものである。本発明では、封止板の圧力室と対向する部分を変形させる駆動素子が圧電素子であり、変形調整部材が、圧力室に対応する圧電素子の変形量を調整することによって、封止板の圧力室と対向する部分の変形量が調整される。第5の発明の液滴吐出装置は、前記第4の発明において、前記変形調整部材は、前記圧電素子に付着していることを特徴とするものである。本発明によれば、変形調整部材が圧電素子に付着していることから、この変形調整部材によって圧電素子の変形量を効果的に調整できる。尚、本発明において、圧電素子に付着とは、圧電素子そのものに直接付着している形態のみならず、圧電素子に電圧を印加するための電極表面に付着している形態も含む概念である。上記第5の発明において、前記一部の圧力室に対応する圧電素子と前記他の圧力室に対応する圧電素子との間で、前記変形調整部材の付着面積が異なっていてもよい第6の発明。または、前記一部の圧力室に対応する圧電素子と前記他の圧力室に対応する圧電素子との間で、前記変形調整部材の付着位置が異なっていてもよい第7の発明。あるいは、前記一部の圧力室に対応する圧電素子と前記他の圧力室に対応する圧電素子との間で、付着している前記変形調整部材の材質が異なっていてもよい第8の発明。第9の発明の液滴吐出装置は、前記第5~第8の何れかの発明において、前記複数の圧電素子は前記封止板の前記圧力室と反対側の面に設けられ、前記複数の圧電素子の前記封止板と反対側の面には複数の表面電極がそれぞれ設けられるとともに、これら複数の表面電極には配線部材が接続され、前記変形調整部材は、各表面電極に設けられて、この表面電極と前記配線基板の配線とを導通させる導電性のバンプであることを特徴とするものである。本発明においては、複数の圧電素子にそれぞれ設けられた複数の表面電極に、配線部材を接続するための導電性のバンプが設けられており、これら複数のバンプが変形調整部材として機能する。即ち、一部の圧力室に対応するバンプの、圧電素子個別電極に対する付着位置や付着面積等を、他の圧力室と異ならせることによって、前記一部の圧力室に対応する圧電素子の変形調整量を前記他の圧力室と異ならせる。第10の発明の液滴吐出装置は、前記第5~第8の何れかの発明において、前記複数の圧電素子は前記封止板の前記圧力室と反対側の面に設けられ、前記複数の圧電素子の前記封止板と反対側の面には複数の表面電極がそれぞれ設けられ、前記複数の圧電素子を有する前記アクチュエータに配線部材が接着剤で接合されるとともに、前記複数の表面電極が前記配線部材の配線と電気的に接続され、前記変形調整部材は、各圧電素子の前記封止板と反対側の面に付着した前記接着剤であることを特徴とするものである。本発明においては、複数の圧電素子を有するアクチュエータと配線部材とを接合する接着剤が、圧電素子に付着することによって変形調整部材として機能する。即ち、一部の圧力室に対応する領域において、接着剤の、圧電素子への付着位置や付着面積等を、他の圧力室と異ならせることによって、前記一部の圧力室に対応する圧電素子の変形調整量を前記他の圧力室と異ならせる。第11の発明の液滴吐出装置は、前記第4~第10の何れかの発明において、前記封止板の前記圧力室と反対側の面に前記複数の圧力室に跨って平面的に広がる圧電層が接合され、この圧電層の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する部分が、前記複数の圧電素子を構成しており、前記変形調整部材は、前記圧電層と直交する方向から見て、前記圧電層の縁との間に他の圧力室が存在しない、端位置の前記圧力室と、それ以外の前記圧力室との間で、前記圧電層の変形調整量が異なるように構成されていることを特徴とするものである。圧電層の縁との間に他の圧力室が存在しない、端位置の圧力室は、隣接する圧力室の数が少ない分、それ以外の圧力室とは圧電層の拘束条件が異なり、端位置の圧力室とそれ以外の圧力室とで、圧電層の変形量に違いが出やすい。そこで、端位置の圧力室とそれ以外の圧力室とで、変形調整部材により圧電層の変形調整量を異ならせることが好ましい。第12の発明の液滴吐出装置は、複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路と、前記圧力室を区画する区画部材を変形させて前記圧力室の容積を変化させることにより、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置であって、前記区画部材の変形量を調整する変形調整部材を有し、さらに、前記変形調整部材は、前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における前記区画部材の変形量を調整するように構成されていることを特徴とするものである。本発明によれば、複数のノズルの吐出特性液滴速度や液滴量に応じて、区画部材の変形量を調整するため、複数のノズル間の吐出特性のばらつきを効果的に抑えることができる。第13の発明の圧電アクチュエータは、複数の圧電素子を備えた圧電アクチュエータであって、前記圧電素子の変形量を調整する変形調整部材を有し、さらに、前記変形調整部材は、一部の前記圧電素子の変形調整量を他の前記圧電素子と異ならせるように構成されていることを特徴とするものである。複数の圧電素子を備えた圧電アクチュエータにおいて、これら複数の圧電素子の間で、素子特性の違い等の要因で、電圧が印加されたときの変形量が異なってしまうことがある。本発明においては、変形調整部材により一部の圧電素子の変形調整量を他の圧電素子と異ならせることで、複数の圧電素子間での変形量のばらつきを小さくすることが可能となる。第14の発明の液滴吐出装置の製造方法は、複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置の製造方法であって、前記複数の圧力室はそれぞれ一部が開口した凹形状に形成されるとともに、前記流路ユニットの一表面に沿って平面的に配置され、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室の開口を覆うように前記流路ユニットの一表面に接合される封止板と、前記封止板に設けられて、前記封止板の前記複数の圧力室と対向する部分をそれぞれ変形させる複数の駆動素子を有するものであり、前記アクチュエータを前記流路ユニットに接合する接合工程と、前記接合工程の後に、前記アクチュエータに前記封止板の変形量を調整する変形調整部材を設け、一部の前記圧力室に対する前記封止板の変形調整量を他の前記圧力室と異ならせる変形調整工程を備えることを特徴とするものである。本発明によれば、アクチュエータが流路ユニットに接合された、ノズルからの液滴吐出が可能な状態において、変形調整部材をアクチュエータに設けることによって吐出特性の最終的な調整ができる。また、流路ユニットやアクチュエータが、それぞれ、単体としては、複数のノズル間の吐出特性のばらつきを生じさせるような、不具合のないものであったとしても、流路ユニットにアクチュエータを接合したときに、その接合状態によっては、アクチュエータの特性が複数の圧力室間で異なってしまうことがある。しかし、本発明では、接合工程の後に、アクチュエータに変形調整部材を設ける変形調整工程を行うことで、接合工程に起因して生じた、吐出特性のばらつきを小さく抑えることが可能となる。第15の発明の液滴吐出装置の製造方法は、前記第14の発明において、前記接合工程の後に、前記複数のノズルの吐出特性を検査する検査工程をさらに備え、前記変形調整工程において、前記検査工程で得られた前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における、前記封止板の変形量を調整することを特徴とするものである。本発明によれば、接合工程後のノズルからの液滴吐出が可能な状態において、複数のノズルの吐出特性をそれぞれ検査し、その結果に応じて封止板の変形量を調整するため、ノズル間の吐出特性のばらつきを効果的に抑えることができる。第16の発明の液滴吐出装置の製造方法は、前記第14又は第15の発明において、前記アクチュエータは、前記封止板の前記複数の圧力室とそれぞれ対向する部分に設けられた複数の圧電素子を有するものであり、前記変形調整工程において、ある圧電素子に液状の硬化性材料を付着させた後に硬化させて前記変形調整部材を形成することにより、その圧電素子の変形量を調整することを特徴とするものである。本発明においては、変形調整部材を圧電素子に付着させることで、この変形調整部材によって圧電素子の変形量を効果的に調整することができる。また、液状の硬化性材料を用いて変形調整部材を形成することから、複数の圧電素子のそれぞれの表面の、所望の位置に所望のサイズの変形調整部材を容易に形成することができる。第17の発明の液滴吐出装置の製造方法は、前記第16の発明において、前記変形調整工程において、インクジェットヘッドにより前記硬化性材料の液滴を前記圧電素子に着弾させることを特徴とするものである。圧電素子表面の所望の位置に、所望のサイズの変形調整部材を精度よく形成することができる。第18の発明の液滴吐出装置の製造方法は、前記第14又は第15の発明において、前記アクチュエータは、前記封止板の前記圧力室と反対側の面の、前記複数の圧力室とそれぞれ対向する領域に設けられた複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子の前記封止板と反対側の面にそれぞれ設けられた複数の表面電極とを有するものであり、前記接合工程の後に、前記複数の圧電素子を覆うようにレーザー光透過性の材料からなる配線部材を配置し、前記アクチュエータと前記配線部材とを接着剤で接合するとともに前記配線部材の配線を前記複数の表面電極と電気的に接続する配線部材接合工程をさらに備え、前記変形調整工程において、前記配線部材の前記複数の圧電素子と反対側の面からレーザー光を照射して前記接着剤の一部を溶融させ、ある圧電素子への前記接着剤の付着位置又は付着面積を、他の圧電素子と比べて異ならせることを特徴とするものである。本発明では、複数の圧電素子と配線部材とを接合する接着剤を変形調整部材として使用する。即ち、複数の圧電素子に配線部材を接合した後に、配線部材にレーザー光を照射して接着剤の一部を溶融させ、複数の圧電素子間で接着剤の付着位置又は付着面積を異ならせることにより、複数の圧電素子のそれぞれについて変形量を調整することができる。第19の発明の液滴吐出装置の製造方法は、複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付与するアクチュエータを有する、液滴吐出装置の製造方法であって、前記複数の圧力室はそれぞれ一部が開口した凹形状に形成されるとともに、前記流路ユニットの一表面に沿って平面的に配置され、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室の開口を覆うように前記流路ユニットの一表面に接合される封止板と、前記封止板に設けられて前記複数の圧力室と対向する部分をそれぞれ変形させる複数の駆動素子を有するものであり、前記アクチュエータを前記流路ユニットに接合する接合工程と、前記接合工程の後に、前記複数のノズルの吐出特性を検査する検査工程と、前記アクチュエータに前記封止板の変形量を調整する変形調整部材を設け、前記検査工程で得られた前記複数のノズルの吐出特性に応じて、それら複数のノズルがそれぞれ連通する前記複数の圧力室における前記封止板の変形量を調整する、変形調整工程を備えたことを特徴とするものである。本発明によれば、接合工程後の、ノズルからの液滴吐出が可能な状態において、複数のノズルの吐出特性をそれぞれ検査し、その結果に応じて封止板の変形量を調整するため、ノズル間の吐出特性のばらつきを効果的に抑えることができる。本発明によれば、変形調整部材によって、一部の圧力室に対する区画部材の変形調整量を、他の圧力室に対する区画部材と異ならせることで、複数のノズル間の吐出特性のばらつきを小さくすることができる。次に、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本実施形態のインクジェットプリンタ1の概略平面図である。まず、図1を参照してインクジェットプリンタ1の概略構成について説明する。図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、記録用紙100が載置されるプラテン2と、このプラテン2と平行な走査方向に往復移動可能なキャリッジ3と、キャリッジ3に搭載されたインクジェットヘッド4本発明の液滴吐出装置と、記録用紙100を走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送機構5と、インクジェットプリンタ1の全体制御を司る制御装置8等を備えている。プラテン2の上面には、被記録媒体である記録用紙100が載置される。また、プラテン2の上方には、図1の左右方向走査方向に平行に延びる2本のガイドレール10,11が設けられ、キャリッジ3は、プラテン2と対向する領域において2本のガイドレール10,11に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ3には、2つのプーリ12,13間に巻き掛けられた無端ベルト14が連結されており、キャリッジ駆動モータ15によって無端ベルト14が走行駆動されたときに、キャリッジ3は、無端ベルト14の走行に伴って走査方向に移動する。尚、プリンタ1のプリンタ本体1aには、走査方向に間隔を空けて配列された多数の透光部スリットを有するリニアエンコーダ24が設けられている。一方、キャリッジ3には、発光素子と受光素子とを有する透過型光センサからなるヘッド位置検出センサ25が設けられている。そして、プリンタ1は、キャリッジ3の移動中にヘッド位置検出センサ25が検出したリニアエンコーダ24の透光部の計数値検出回数から、キャリッジ3インクジェットヘッド4の走査方向に関する現在位置を認識できるようになっている。インクジェットヘッド4は、キャリッジ3の下部に取り付けられており、プラテン2の上面と平行な、インクジェットヘッド4の下面図1の紙面向こう側の面が、複数のノズル40が開口する液滴噴射面となっている。また、図1に示すように、プリンタ1のプリンタ本体1aにはホルダ9が固定的に設けられ、このホルダ9には4色のインクブラック、イエロー、シアン、マゼンタがそれぞれ貯留された4つのインクカートリッジ17が装着される。また、図示は省略するが、キャリッジ3に搭載されたインクジェットヘッド4とホルダ9とが4本のチューブ図示省略で接続され、4つのインクカートリッジ17内のインクが、4本のチューブを介してインクジェットヘッド4にそれぞれ供給されるようになっている。そして、インクジェットヘッド4は、複数のノズル40から、4色のインクをプラテン2に載置された記録用紙100に対して吐出する。搬送機構5は、搬送方向にプラテン2を挟むように配置された2つの搬送ローラ18,19を有し、これら2つの搬送ローラ18,19によって、プラテン2に載置された記録用紙100を搬送方向に搬送する。そして、インクジェットプリンタ1は、プラテン2上に載置された記録用紙100に対して、キャリッジ3とともに走査方向図1の左右方向に往復移動するインクジェットヘッド4からインクを吐出させるとともに、2つの搬送ローラ18,19によって記録用紙100を搬送方向図1の下方に搬送することにより、記録用紙100に画像や文字を印刷する。次に、インクジェットヘッド4液滴吐出装置について説明する。図2は、インクジェットヘッド4の平面図、図3は、図2の一部拡大図、図4は、図3のIVIV線断面図、図5は、図3のVV線断面図である。尚、図2、図3においては、図面の簡単のため、図4、図5で明らかに示されているフレキシブルプリント配線板60を、二点鎖線で示している。図2~図5に示すように、インクジェットヘッド4は、ノズル40及びこのノズル40に連通した圧力室34を含むインク流路が形成された流路ユニット20と、圧力室34内のインクにノズル40から吐出させるための圧力を付与する圧電アクチュエータ21とを備えている。まず、流路ユニット20について説明する。図4、図5に示すように、流路ユニット20はキャビティプレート30、ベースプレート31、マニホールドプレート32、及びノズルプレート33を備えており、これら4枚のプレート30~33が積層状態で接合されている。尚、ここでは、図4、図5における上下方向プレート30~33の積層方向を上下方向と定義し、以下、上又は下という方向語を適宜用いて説明する。4枚のプレート30~33のうち、キャビティプレート30、ベースプレート31及びマニホールドプレート32はステンレス鋼等の金属製の板であり、これら3枚のプレート30~12に、後述するマニホールド37や圧力室34等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート33は、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート32の下面に接着される。図2~図5に示すように、4枚のプレート30~33のうち、最も上方に位置するキャビティプレート30には、平面に沿って配置された複数の貫通孔30aが形成されている。そして、このキャビティプレート30にベースプレート31が積層されて複数の貫通孔30aの下端開口が塞がれることによって、流路ユニット20には、その上面に沿って平面的に配置され、且つ、上方に開口した凹形状の複数の圧力室34が形成されている。さらに、この流路ユニット20の上面に、後述する圧電アクチュエータ21の封止板50が接合されることによって、複数の圧力室34は封止板50によって塞がれている。尚、図2に示すように、複数の圧力室34は、搬送方向図2の上下方向に沿って配列されて、4色のインクにそれぞれ対応した4列の圧力室列を構成している。また、各圧力室34は、平面視で走査方向図2の左右方向に長い、略楕円形状に形成されている。図3、図4に示すように、ベースプレート31の、平面視で圧力室34の両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔35,36が形成されている。また、マニホールドプレート32には、平面視で、4列に配列された圧力室34の連通孔35側の部分と重なるように、搬送方向に延びる4つのマニホールド37が形成されている。これら4つのマニホールド37は、図2に示される封止板50に形成された4つのインク供給口38に連通しており、4つのインクカートリッジ17図1参照にそれぞれ貯留された4色ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが、4つのインク供給口38を介して4つのマニホールド37へそれぞれ供給される。さらに、マニホールドプレート32の、平面視で複数の圧力室34のマニホールド37と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔36に連なる複数の連通孔39も形成されている。ノズルプレート33の、平面視で複数の連通孔39にそれぞれ重なる位置には、下方に開口する複数のノズル40が形成されている。図2に示すように、複数のノズル40は、4列に配列された複数の圧力室34の、マニホールド37と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置されて、4色のインクをそれぞれ吐出する4列のノズル列を構成している。そして、図4に示すように、マニホールド37は連通孔35を介して圧力室34に連通し、さらに、圧力室34は、連通孔36,39を介してノズル40に連通している。このように、流路ユニット20内には、マニホールド37から圧力室34を経てノズル40に至る個別インク流路27が複数形成されている。次に、圧電アクチュエータ21について説明する。図2~図5に示すように、圧電アクチュエータ21は、流路ユニット20キャビティプレート30の上面に接合された封止板50と、この封止板50の上面に複数の圧力室34と対向するように形成された圧電層51と、この圧電層51の上面に配置された複数の個別電極52とを備えている。封止板50は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この封止板50は、流路ユニット20の上面に、上述した凹形状の複数の圧力室34を覆うように接合されており、複数の圧力室34を区画する壁部の一部を構成している。即ち、封止板50が圧力室34を区画する、本願発明の区画部材に相当する。また、導電性を有する封止板50の上面は、複数の個別電極52との間で圧電層51を挟み、この圧電層51に厚み方向の電界を生じさせる共通電極を兼ねており、後述するように、常時グランド電位に保持されている。封止板50の上面圧力室34と反対側の面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTを主成分とする、圧電材料からなる圧電層51が形成されている。この圧電層51は、複数の圧力室34に跨って平面的に形成されている。圧電層51の上面には、圧力室34よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有する複数の個別電極52表面電極が形成されている。これら個別電極52は、対応する圧力室34の中央部と対向する位置にそれぞれ配置されている。また、個別電極52は金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。さらに、圧電層51の上面には、4列に配列された複数の個別電極52の連通孔35側図2の左右方向外側の端部から、圧力室34と対向しない領域までそれぞれ引き出された複数の接続端子55が設けられている。また、図3~図5に示すように、複数の接続端子55には、導電性材料からなる凸状のバンプ59がそれぞれ設けられている。尚、圧電層51の、複数の個別電極52と共通電極としての封止板50とに挟まれた部分は、予め、その厚み方向に分極されており、個別電極52と封止板50の間に所定の電圧が印加されたときに、圧電層51に変形圧電歪を生じさせる活性部分となる。また、本実施形態では、複数の圧力室34に跨って平面的に形成された圧電層51の、1つの圧力室34と対向した部分が、封止板50の圧力室34に対向する部分を変形させる1つの圧電素子56となる。そして、特に本実施形態では、複数の圧力室34にそれぞれ対応する複数の圧電素子56が互いに繋がった形態となっている。また、圧電層51の上方には、圧電アクチュエータ21の複数の個別電極52複数の圧電素子56を覆うように、フレキシブルプリント配線板60FlexiblePrintedCircuitFPCが配置され、図4に示すように、このFPC60には、圧電アクチュエータ21を駆動するドライバIC61が実装されている。また、複数の接続端子55は、凸状のバンプ59を介してFPC60の配線と導通している。つまり、圧電層51の上面に設けられた複数の個別電極52は、接続端子55、バンプ59、及び、FPC60上の配線を介して、ドライバIC61と電気的に接続されている。そして、圧電アクチュエータ21を駆動する際には、ドライバIC61は、インクを噴射させる所望のノズル40に対応する個別電極52に対して所定の駆動電位の駆動パルス信号を印加する。また、共通電極としての封止板50は、FPC60の配線を介してドライバIC61のグランド配線に接続されており、常にグランド電位に保持されている。次に、ノズル40からインクを吐出させる際の圧電アクチュエータ21の作用について説明する。複数の個別電極52に対してドライバIC61から選択的に駆動パルス信号が印加されると、圧電層51上側の個別電極52とグランド電位に保持されている圧電層51下側の共通電極としての封止板50の間に電位差が生じ、個別電極52と封止板50の間に挟まれた部分に厚み方向の電界が生じる。そして、圧電層51の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層51はその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮し、この圧電層51圧電素子56の収縮変形に伴って、封止板50の圧力室34と対向する部分が圧力室34側に凸となるように撓むユニモルフ変形。このとき、圧力室34の容積が減少することからその内部のインクに圧力が付与され、圧力室34に連通するノズル40からインクの液滴が吐出される。ところで、複数のノズル40の間で吐出特性にばらつきがあり、ドライバIC61から同一の駆動パルス信号が個別電極52に印加された場合であっても液滴速度や液滴量が均一でないと、記録用紙100上における液滴の着弾位置ずれドットの位置ずれや、ドットの大きさの不均一が生じ、印字品質の低下につながる。そこで、本実施形態では、複数の圧力室34について封止板50圧電素子56の変形量をそれぞれ調整することによって、意図的に封止板50の変形を異ならせ、それによって、複数のノズル40間での吐出特性のばらつきを抑える構成となっている。上記の封止板50の変形量を調整する構成について、以下具体的に説明する。図3、図5に示すように、圧電素子56における封止版50と反対側の面、即ち、複数の個別電極52のそれぞれの接続端子55の表面には、個別電極52とFPC60の配線を接続する、導電性材料からなる導電性のバンプ59が付着している。尚、本実施形態では、バンプ59が設けられる接続端子55は個別電極52から圧力室34の外側まで引き出されていることから、バンプ59のサイズ導電性材料の付着面積が小さい場合には、バンプ59が圧電素子56の変形に及ぼす影響は小さい。しかしながら、バンプ59のサイズが大きく、導電性材料が圧力室34と対向する領域圧電素子56の表面まで広がっていると、その領域において圧電素子56の変形が阻害され、その結果、封止板50の、圧力室34と対向する部分の変形が抑制される。そこで、本実施形態においては、複数のバンプ59の全てについてサイズが同じではなく、事前の吐出検査によって得られたノズル40の吐出特性に応じて複数のバンプ59のサイズが定められており、一部の個別電極52のバンプ59のサイズが、他の個別電極52のバンプ59とは異なっている。例えば、図3において図中上下に並ぶ3つのノズル40について、上側のノズル40、中央のノズル40、下側のノズル40の順番で、吐出特性が高い液滴速度及び液滴量が大きいとする。この場合に、吐出特性が最も高い上側のノズル40に対応するバンプ59のサイズが最も大きく、圧力室34と対向する領域にまで広がって形成されており、圧電素子56の変形が強く抑制され、バンプ59がない場合よりもその変形量は小さくなる。逆に、吐出特性の低い下側のノズル40に対応するバンプ59についてはサイズが最も小さく、圧力室34よりも外側の領域にのみ形成されており、圧電素子56の変形はほとんど抑制されない。即ち、3つの圧力室34の間で、圧電素子56封止板50の変形抑制の強さ変形調整量が異なっている。そして、バンプ59によって圧電素子56の変形が抑制される圧力室34においては、封止板50の変形も抑制されて圧力室34の容積変化が小さくなるため、インクに付与される圧力も小さくなって吐出特性が低下する。このように、複数のノズル40の吐出特性に応じて、それら複数のノズル40にそれぞれ対応するバンプ59のサイズが決定されることで、複数のノズル40間での吐出特性のばらつきが小さくなる。また、本実施形態においては、複数の圧力室34間で圧電素子56の変形抑制の強さを異ならせる、本願発明の変形調整部材としてのバンプ59が、圧電素子56接続端子55に付着していることから、このバンプ59の大きさ付着面積を変えることで、圧電素子56の変形を効率的に調整抑制できる。また、バンプ59は個別電極52とFPC60とを接続するものであり、このようなバンプ59を変形調整部材として兼用することで、専用の変形調整部材を設ける必要がない。次に、上述したインクジェットヘッド4の製造方法について説明する。図6は、インクジェットヘッド4の製造工程を示す図である。まず、流路ユニット20を構成するプレートのうちの、キャビティプレート30、ベースプレート31、及び、マニホールドプレート32に、圧力室34やマニホールド37等のインク流路を構成する孔を形成する。これらのプレート30~32は金属材料からなるため、エッチングによりインク流路を構成する孔を容易に形成することができる。そして、図6aに示すように、これら3枚のプレート30~32に金属製の封止板50を加えた、合計4枚のプレートを接着剤で接合する。あるいは、4枚の金属製のプレートを金属拡散接合で接合してもよい。一方で、未焼成のグリーンシートに複数の個別電極52をスクリーン印刷法や蒸着法などの公知の方法によって形成した後、このグリーンシートを焼成することで、複数の個別電極52が設けられた状態の圧電層51を作製する。そして、図6bに示すように、この圧電層51を、封止板50の上面に接着剤によって接合する。また、合成樹脂製のノズルプレート33に複数のノズル40をレーザー加工等で形成した後に、このノズルプレート33をマニホールドプレート32の下面に接着剤で接合する。尚、図6では、圧電アクチュエータ21を流路ユニット20に接合する接合工程が、キャビティプレート30に封止板50を接合する工程図6aと、封止板50に圧電層51を接合する工程図6bの2段階に分かれているが、先に封止板50と圧電層51を一体化させて圧電アクチュエータ21としてから、この圧電アクチュエータ21を流路ユニット20に接合してもよい。ところで、図6bの工程で得られた積層構造体は、流路ユニット20と圧電アクチュエータ21という、複数のノズル40からそれぞれ液滴を吐出させるための必要最低限の構成を備えている。そこで、この段階で、複数のノズル40のそれぞれについての吐出特性の検査を行う検査工程。但し、この状態では、複数の個別電極52には、駆動パルス信号を供給するドライバIC61図4参照が実装されたFPC60が接続されていないことから、図6cに示すように、複数の個別電極52に検査用ドライバIC65を一時的に接続してノズル40から液滴を吐出させる。尚、ノズル40の吐出特性の検査は、例えば、ノズル40から吐出された液滴をハイスピードカメラで撮像することにより、ノズル40毎に液滴速度及び液適量を検査できる。次に、図6dに示すように、複数の個別電極52複数の接続端子55に、これら複数の個別電極52とFPC60とを接続するための複数のバンプ59をそれぞれ形成する。これら複数のバンプ59は、導電性材料を含む液状の硬化性材料例えば、熱硬化性樹脂を、複数の接続端子55の表面にそれぞれ付着させ、その後、硬化させることによって形成することができる。また、適宜の構成を有する液滴吐出装置によって前記液状の硬化性材料を吐出させ、複数の接続端子55の所定の位置に前記液状の硬化性材料の液滴を着弾させることによって、バンプ59を形成することもできるいわゆる、インクジェット方式。その他、スクリーン印刷法によって複数のバンプ59を形成することもできる。その際、上述した検査工程で得られた複数のノズル40の吐出特性液滴速度や液適量に応じて、対応するバンプ59のサイズを決定する。即ち、吐出特性の高いノズル40については、吐出特性の低いノズル40と比べて、対応するバンプ59のサイズを大きくして、圧電素子56の変形を強く抑制する変形調整工程。尚、バンプ59を、液状の硬化性材料で形成する場合には、所望の位置に所望のサイズのバンプ59を容易に形成することができる。特に、上述のインクジェット方式によって複数のバンプ59を形成する場合には、個別電極52接続端子55の所望の位置に所望のサイズのバンプ59を精度よく形成することができる。このように、圧電アクチュエータ21が流路ユニット20に接合された後の、ノズル40からの液滴吐出が可能な状態でノズル40の吐出検査を行い、その吐出検査の結果に応じて、複数のバンプ59のサイズを決定するため、吐出特性の最終的な調整ができる。特に、流路ユニット20や圧電アクチュエータ21が、それぞれ、単体としては、複数のノズル40間の吐出特性のばらつきを生じさせるような、不具合のないものであったとしても、流路ユニット20に圧電アクチュエータ21を接合したときに、接着剤層の厚みが均一でない、あるいは、圧電層51の残留応力が均一でない場合など、その接合状態によっては、複数の圧電素子56の特性が異なってしまうことがある。しかし、圧電アクチュエータ21を流路ユニット20に接合した後、検査工程を経て、ノズル40の吐出特性に応じたサイズのバンプ59を形成することで、そのバンプ59のサイズの違いによって、圧電素子56の変形量の差が減少するように調整することができる。これによって、上記接合工程に起因する、複数のノズル40間の吐出特性のばらつきを抑えることが可能となる。また、アクチュエータ21とは別体としてのバンプ59のサイズを増減させることによって圧電素子56の変形量を調節できるので、変形量の調節が容易である。以上のように、複数の個別電極52に複数のバンプ59をそれぞれ形成した後、図6eに示すように、複数のバンプ59とFPC60の端子とを、ハンダや導電性の接着剤等によって接合することで、FPC60に実装されたドライバIC61図4参照と複数の個別電極52とを電気的に接続する。次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。1]圧力室34を区画する封止板50の変形を調整する変形調整部材は、前記実施形態の構成のものには限られず、以下に例示するように適宜変更可能である。変更形態1前記実施形態では、変形調整部材としてのバンプ59が、個別電極52から圧力室34の外側まで引き出された接続端子55に設けられていたが、図7に示すように、バンプ59が、圧力室34と対向する個別電極52の表面に設けられてもよい。このように、圧電素子56の変形量が大きい、圧力室34の中央領域にバンプ59が設けられることにより、封止板50の変形を効果的に調整できる。変更形態2図8に示すように、複数のバンプ59の、圧電素子56個別電極52及び接続端子55の表面における位置付着位置を異ならせることにより、複数の圧力室34間での封止板50の変形調整量を変えることができる。即ち、図8に示される3つの圧力室34のうち、上側の圧力室34に対応するバンプ59は、最も圧力室34の内側中央寄りの位置にあり、封止板50の変形が強く抑制される。変更形態3図示は省略するが、バンプ59の材質を異ならせることにより、複数の圧力室34間での封止板50の変形調整量を異ならせることもできる。即ち、あるバンプ59が、他のバンプ59と比べて硬度や弾性率の高い材質で形成されている場合には、そのバンプ59に対応する圧力室34において封止板50圧電素子56の変形が強く抑制される。また、同一の材質でバンプ59を形成した後、後処理によってバンプ59の材質硬度等を変化させることも可能である。例えば、複数の個別電極52に紫外線硬化性インクを付着させて複数のバンプ59をそれぞれ形成した後、硬化のために照射する紫外線の強度や照射時間を異ならせることにより、複数のバンプ59の硬度を異ならせることができる。変更形態4図9に示すように、複数の個別電極52とFPC60とを接続する複数のバンプ59が、FPC60側に設けられてもよい。この場合、FPC60の製造工程において、複数のバンプ59を形成する際に、これら複数のバンプ59の大きさや位置圧電素子56と接触する位置、あるいは、材質等を変えればよい。変更形態5圧電素子56の変形を調整する変形調整部材が、個別電極52とFPC60とを接続するバンプ59である必要はなく、図10に示すように、バンプ59とは別の変形調整部材66が、圧電素子56の表面に付着した構成であってもよい。尚、この場合には、変形調整部材66が導電性材料で形成される必要はなく、樹脂等の絶縁性材料で形成されてもよい。また、変形調整部材66が個別電極52の表面に付着する必要もなく、圧電層51圧電素子56の個別電極52が設けられていない領域に、直接付着していてもよい。さらに、FPC60との接続のために全ての圧電素子56に対して設けられるバンプ59と違い、この変更形態5の変形調整部材66は変形量の調整が必要な圧電素子56にのみ形成されてもよい。即ち、ノズル40の吐出特性が他と比べて高くなる圧電素子56についてのみ、その変形を抑制するように変形調整部材66が設けられ、他の圧電素子56についての変形調整は行わない構成であってもよい。一例を挙げると、基準となる吐出特性を備えたノズル40に対応する圧電素子56には変形調整部材66を配置せずに、その基準ノズルの吐出特性に合わせて一部の圧電素子56に変形調整部材66を配置する。このようにすれば、基準となる吐出特性に合わせた圧電素子56の変形量の調整が容易である。尚、基準となる吐出特性は、適宜決定することができ、例えば、最も吐出特性の低いノズルであってもよいし、最も吐出特性が高いノズルであってもよいことは言うまでもない。変更形態6圧電アクチュエータ21と、その圧電層51複数の圧電素子56を覆うように配置されるFPC60とが、複数のバンプ59において電気的に接続されるだけでなく、FPC60の剥離防止等の観点から接着剤によって物理的に接合されてもよい。この場合に、図11に示すように、圧電アクチュエータ21とFPC60とを接合する接着剤70を、圧電素子56の表面にも付着させて変形調整部材として機能させ、さらに、複数の圧電素子56の間で接着剤70の付着量や付着位置を異ならせることで、変形調整量を異ならせてもよい。尚、上記のように接着剤70によって変形量を調整する工程を、FPC60の接合前に行う場合は、圧電アクチュエータ21の表面において、図11のように一部の圧力室34と対向する領域まで付着するように接着剤70をパターニングすればよい。また、圧電アクチュエータ21へのFPC60の接合工程配線部材接合工程の後であっても、接着剤70の付着面積や付着位置を変えることは可能である。例えば、FPC60として、レーザー光を透過可能な樹脂材料で形成されたものを用いれば、FPC60の圧電アクチュエータ21と反対側の面図11の紙面手前側の面からレーザー光を照射することにより、FPC60を透過したレーザー光によって圧電層51とFPC60との間の接着剤70を溶融させ、図中矢印で示すように、一部の圧電素子56の表面まで広げて付着させることができる。従って、複数の圧電素子56について、レーザー光の照射位置や照射時間、照射強度等を異ならせることにより、接合工程後であっても、複数の圧電素子56間での接着剤70の付着面積や付着位置を異ならせて、変形調整量を異ならせることができる。尚、上記のように、FPC60の接合後に、接着剤70の付着面積や付着位置を異ならせて変形量の調整を行うのであれば、FPC60を先に圧電アクチュエータ21に接合し、その状態で、FPC60のドライバIC61によって圧電アクチュエータ21を駆動することで、ノズル40の吐出特性の検査を行うことができる。従って、前記実施形態のように、吐出特性の検査のためだけに、圧電アクチュエータ21に、検査用のドライバIC65図6c参照を接続するという手間を省くことができる。変更形態7変形調整部材は、圧電素子56の表面に付着して変形量を調整するものには限られず、圧電素子56に外力を作用させることによって変形量を調整するものであってもよい。例えば、図12では、FPC60の圧電アクチュエータ21との接合面と反対側の面に平板状の押さえ部材72が当接し、この押さえ部材72によってFPC60が圧電アクチュエータ21に押しつけられて接合されている。この構成において、FPC60の、押さえ部材72と当接する面の、複数の圧力室34とそれぞれ対向する位置に複数の突起71が設けられていると、押さえ部材72によってFPC60が圧電アクチュエータ21に押しつけられたときに、複数の突起71によって複数の圧電素子56に局所的に外力が作用するため、圧電素子56の変形が抑制される。また、突起71の大きさや位置、あるいは、材質等によって外力の大きさや外力が作用する位置を異ならせることができ、複数の圧電素子56の変形調整量を異ならせることが可能となる。即ち、複数の突起71が本願発明の変形調整部材に相当する。変更形態8上述の実施形態では、変形調整部材バンプ59等が、ある圧力室34に対応する封止板50や圧電素子56の変形を抑制することにより、変形量が小さくなる方向に調整するものであったが、封止板50や圧電素子56の変形を促進し、変形量が大きくなる方向に調整するものであってもよい。例えば、図13に示すように、圧力室34と対向する圧電素子56の、個別電極52の幅方向両側の位置に導電性樹脂73を塗布して個別電極56と導通させることで、個別電極52の面積を実質的に大きくする。これにより、圧電素子56の電圧が印加される活性部分が大きくなることから、圧電素子56の変形量を大きくすることができる。即ち、導電性樹脂73が変形調整部材に相当する。尚、個別電極52の面積が実質的に大きくなることで、圧電素子56の剛性が少し高くなり、この剛性増加によって圧電素子56の変形が多少抑制される。しかし、導電性樹脂を薄く塗り広げて上記剛性増加を小さく抑えることで、活性部分の面積増大によって、上記剛性増加による変形量の減少を上回る、変形量の向上を実現することが可能である。尚、導電性樹脂73の塗布領域を一定以上に大きくして活性部分の面積を広げると、圧電素子56の活性部分から圧力室34の縁までの間の領域、即ち、活性部分の変形自発的な変形に応じて従動的に変形する領域が小さくなって、その結果、活性部分が圧力室34の縁から受ける変形拘束力が強くなり圧電素子56の変形量が小さくなる例えば、圧力室34の全幅にわたって個別電極52を形成してしまうと、活性部分が、圧力室34の縁から面方向の大きな拘束力を受けるために面方向に収縮できなくなり、封止板50はほとんど変形しなくなる。また、個別電極52の面積がかなり大きくなるため、剛性増加による変形抑制も強くなる。言い換えれば、導電性樹脂73の塗布領域を一定以上に大きくすることによって、封止板50の変形量を減少させることもできる。2]複数の圧力室34内のインクに圧力を付与するアクチュエータの構成は、前記実施形態のものに限られず、適宜変更可能である。変更形態9前記実施形態の図4のように、圧電層51が平面的に形成されているのではなく、図14に示すように、封止板50の圧力室34と反対側の面において、複数の圧力室34にそれぞれ対応する複数の圧電素子56が互いに分離して設けられてもよい。図14では、孤立した個々の圧電素子56の表面の個別電極52に設けられたバンプ59が、変形調整部材として機能する例が示されている。尚、複数の圧電素子56が互いに分離していると、図14のように封止板50の一部が露出することから、変形調整部材は、封止板50の露出部分圧電素子56が設けられていない部分に直接設けられて、封止板50の変形そのものを抑制するように構成されてもよい。変更形態10図15に示すように、封止板50に複数枚の圧電層51が積層され、これら複数枚の圧電層51の間に個別電極52と共通電極54とが交互に配置された、いわゆる、積層型の圧電アクチュエータであってもよい。この場合でも、圧電層51の表面の個別電極52に設けられたバンプ59の大きさ等を異ならせることによって、複数枚の圧電層51からなる圧電素子56、及び、封止板50の変形調整量を異ならせることができる。尚、前記実施形態や、変更形態8及び9の圧電アクチュエータにおいて、封止板50が、金属材料で形成されていることは特に必要ではなく、封止板50は圧電素子56と同じく圧電材料で形成された板であってもよい。変更形態11圧力室34内のインクに圧力を付与するアクチュエータは、前記実施形態のような、封止板50を変形させる圧電アクチュエータ21には限られない。例えば、圧電素子56以外の駆動素子で封止板50を変形させてもよい。また、圧力室34の上壁部封止板50を変形させるのではなく、側壁部を変形させるものであってもよい。3]前記実施形態では、1つのインクジェットヘッド4内での複数のノズル40の吐出特性のばらつきを小さくするように、一部の圧力室34に対する封止板50の変形調整量が他の圧力室34に対する封止板50の変形調整量と異なるように構成されていた。これに対して、本発明を、2以上の複数のインクジェットヘッド4間での、ノズル40の吐出特性ばらつきの解消に適用することも可能である変更形態12。例えば、別ロットで焼成された圧電層51の間では、圧電特性が若干異なることも多い。このように、1つのインクジェットヘッド4内の複数のノズル40間ではそれほど吐出特性のばらつきが大きくなくとも、別のロットで製造されたインクジェットヘッド4との間では、吐出特性が異なる場合がある。この場合に、それぞれのインクジェットヘッド4について吐出特性を検査した上で、吐出特性の高い方のインクジェットヘッド4については、全てのノズル40に対して、封止板50の変形を抑制する変形調整部材を設け、全てのノズル40の吐出特性をほぼ均一に低下させることによって、別のインクジェットヘッド4との間での吐出特性差を小さくするようにしてもよい。4]前記実施形態では、複数のノズル40の吐出特性を検査し、得られた吐出特性に応じて、封止板50や圧電素子56の変形量を調整していたが、一部のノズル40について、他のノズル40とは吐出特性が異なることが、構造等の点から予測可能である場合は、複数のノズル40の吐出特性の検査を行うことは必ずしも必要ではない。変更形態13例えば、図16に示すように、前記実施形態の構成と同様に、封止板50の上面において、圧電層51が複数の圧力室34に跨って平面的に広がって形成されている場合に、複数の圧力室34のうち、圧電層51の縁51aに近い端位置の圧力室34a圧電層51の縁51aとの間に他の圧力室34が存在しない圧力室34aは、それ以外の圧力室34b,34cと比較して、隣接する圧力室34の数が少ない分、圧電層51の拘束条件が異なり、両者の間で圧電層51封止板50の変形量に差が出やすい。より具体的な例を挙げると、図2における中央2列の圧力室列において、圧電層31の縁に近い、圧力室列の端に位置する圧力室34と、圧電層31の縁から遠い、圧力室列の中央部に位置する圧力室34との間で、圧電層51の変形量が異なる傾向にある。そこで、端位置の圧力室34aとそれ以外の圧力室34b,34cとで、変形調整部材図16ではバンプ59による圧電層51圧電素子56の変形調整量を異ならせる。尚、端位置の圧力室34aとそれ以外の圧力室34b,34cとで、何れの吐出特性が高くなるかについては一概には言い切れず、実際の構造に応じて決定することになる。例えば、端位置の圧力室34aと圧電層51の縁51aとの間の距離即ち、接着領域が大きいと、この端位置の圧力室34aに対向する圧電素子56に対する拘束が強く、封止板50が変形しにくい。そこで、このような場合には、他の圧力室34b,34cに対して、対応するバンプ59を大きくするなどして、端位置の圧力室34aよりも封止板50の変形抑制を強くする。一方で、グリーンシートを焼成したときの圧電層51の反りによって、端位置の圧力室34aにおいては、それ以外の圧力室34b,34cと比べて、圧電素子56に大きな引張残留応力が生じることがある。この引張残留応力は圧電素子56の圧電特性を向上させる方向に働き、圧電素子56の変形量が大きくなることから、端位置の圧力室34aに連通するノズル40の吐出特性が高くなる。このような場合には、図15のように、端位置の圧力室34aに対応するバンプ59を大きくするなどして、封止板50の変形抑制を強くする。5]前記実施形態は、記録用紙にインクの液滴を吐出して画像を記録するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、画像記録以外の用途で使用される液滴吐出装置においても、複数のノズルの吐出特性のばらつきに起因する着弾位置ずれや液滴量の違いは大きな問題となり得ることから、インクジェットヘッド以外の液滴吐出装置においても、本発明を適用して吐出特性のばらつきを抑えることは有効である。また、本発明の適用は、液滴吐出装置のアクチュエータに限定されるものでもない。例えば、圧電素子の変形によって反射面を変化させて光路を変える、光反射素子など、様々な分野で用いられる圧電アクチュエータにも適用可能である。"