帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。前記切断手段は、短冊状切込を形成する短冊刃部を備えた切断刃を有することを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。前記短冊刃部は、切断刃の複数箇所に設けられ、各短冊刃部は、前記短冊状切込を形成できる位置に選択的に配置可能に設けられていることを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記短冊刃部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項2又は3記載のシート貼付装置。前記短冊部に張力を付与して前記接着シートと不要シートとの切り離しを補助する付勢手段を有することを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載のシート貼付装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記不要シートに接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成することを特徴とするシート貼付方法。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成することを特徴とするシート製造方法。ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図4Aに示されるように、接着シートASは、その繰出方向先端部における当該接着シートASの繰出方向に沿った一定の間隔以下、先端縦間隔Sxというに対し、先端縦間隔Sx進んだ位置での接着シートASの繰出方向に直交する方向に沿った間隔以下、先端横間隔Syというの割合以下先端縦横比Sxyというが大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Sxyが大きくなると、巻取手段で接着シートASの繰出方向先端部の不要シートを接着シートASから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。このような場合、切断手段で形成した切込が不十分で、例えば、接着シートASと不要シートとが完全に分断されていなかったり、接着シートASと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまったりしていた場合、接着シートASと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートASと剥離シートとの剥離に要する力を上回ってしまう場合があり、当該接着シートASが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートASの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。[発明の目的]本発明の目的は、繰出方向先端部や後端部に円弧部や直線部を有する接着シートでも、不要シートの剥離、ひいては、接着シートの貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成可能に設けられる、という構成を採っている。本発明において、前記切断手段は、短冊状切込を形成する短冊刃部を備えた切断刃を有する、という構成を採ることが好ましい。また、前記短冊刃部は、切断刃の複数箇所に設けられ、各短冊刃部は、前記短冊状切込を形成できる位置に選択的に配置可能に設けられる、という構成も好ましくは採用される。更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記短冊刃部での切断を複数回行うとよい。また、前記短冊部に張力を付与して前記接着シートと不要シートとの切り離しを補助する付勢手段を有する、という構成を採ることができる。更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記不要シートに接着シートの繰出方向先端部に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成する、という方法を採っている。また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、前記切断手段は、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成可能に設けられる、という構成を採っている。また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記不要シートに前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込に連なる短冊状切込を形成して短冊部を形成する、という方法を採っている。本発明によれば、短冊状切込を形成して短冊部を形成するので、不要シートだけを剥離シートから剥離するときに、短冊部から接着シートと不要シートとを切り離すことができる。従って、接着シートの円弧部分が大径であったり、直線であったりしても、短冊部毎、つまり、小領域毎に段階的に切り離し可能となり、先端縦横比が大きな接着シートであっても切り離しが一挙に広範囲で行われることはない。これにより、切断手段で形成した切込が不十分だった場合や、接着シートと不要シートとの接着剤同士が再接着してしまった場合でも、接着シートと不要シートとの切り離しに要する力が接着シートと剥離シートとの剥離に要する力を上回るようなことを極力抑えることができ、接着シートが不要シートとの切り離しの確実性を高め、それらが共に巻き取られることを回避でき、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、不要シートと共に接着シートが巻き取られてしまい、部分的に接着シートが仮着されていない原反が生産されてしまうことを防止することができる上、冊状切込が形成された原反を準備しておき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。また、切断手段の切断刃が短冊刃部を有する場合、切込を形成するときに短冊状切込を簡単に形成することが可能となる。更に、複数の短冊刃部が初期剥離領域の切込に連なって短冊状切込を形成し得るように選択的に配置可能となるので、1の短冊刃部が摩耗等によって劣化しても、各短冊刃部の位置を変えて他の短冊刃部を利用できる。また、短冊刃部での切断を複数回行うことで、短冊状切込の深さを安定して所定の深さとすることが可能となる。更に、付勢手段を有する場合、短冊部に張力が加わるので、当該短冊部を確実に短冊毎に接着シートから段階的に切り離すことができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、本明細書において、特に明示しない限り、左、右、上、下は、図1を基準として用いる。図1~図4において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWF及びリングフレームRFを吸着支持するテーブル11と、このテーブル11を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ12と、帯状の剥離シートRLと、その一方の面に仮着された帯状シートWSとにより構成された原反RSを繰り出し可能な繰出手段14と、この繰出手段14により繰り出された原反RSの帯状シートWSに切込CUを形成し、当該切込CUの内側に接着シートASを形成するとともに、当該切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、不要シートUSを巻き取り可能な巻取手段16と、付勢手段17と、剥離シートRLを折り返して接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離手段としての剥離板18と、この剥離板18で剥離された接着シートASをリングフレームRF及びウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ19とを備えて構成されている。帯状シートWSは、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面に積層された接着剤層ADとを備え、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLに仮着されている。なお、ウエハWFの下面には保護シートPSが貼付されている。前記繰出手段14は、原反RSを支持する支持軸25と、この支持軸25から繰り出されて切断手段15を通過する前の原反RSを挟み込む第1駆動ローラ27及び第1ピンチローラ28と、剥離板18を経た後の剥離シートRLを挟み込む第2駆動ローラ31及び第2ピンチローラ32と、これらを通過した後の剥離シートRLを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸34とを備えている。各駆動ローラ27、31は、駆動機器としての回動モータDM1、DM2を介して回転可能に設けられている。前記切断手段15は、繰り出される原反RSの帯状シートWS側で回転可能に設けられたダイカットローラ36と、原反RSの剥離シートRL側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ36と連動して回転可能に設けられたプラテンローラ37と、ダイカットローラ36を回転させる駆動機器としての回動モータDM3と、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。前記ダイカットローラ36は、帯状シートWSを切断して切込CUを形成する切断刃40と、この切断刃40が表面に突設される刃基板41と、この刃基板41を外周に巻き付け可能な円柱状のマグネットシリンダ43とを備えている。前記切断刃40は、切込CUを形成するときに、帯状シートWSの厚み方向に高さを有するように刃基板41から突設されている。切断刃40は、図3に示されるように、刃基板41を平面に展開したときに、略円形の形状に設けられ、当該形状と同形となる切込CU図2参照を形成可能な円形刃部46と、この円形刃部46の周方向90°間隔毎に4箇所形成され、短冊状切込Stを形成して短冊部TSを形成可能な短冊刃部47とを備えている。円形刃部46の径寸法は、リングフレームRFの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さく、直径400mmに設定されている。短冊刃部47は、図3に示されるように、所定間隔毎、具体的には4mm間隔に設けられた複数の直線状の刃からなり、これら刃の基部が円形刃部46に連なっている。本実施形態の場合、刃基板41をエッチング加工して切断刃40が形成されている。なお、短冊刃部47の各刃の長さは、同図上及び右側に示されるように、中央に向かうに従って長くなるように形成したり、同図下側に示されるように、それぞれ同じ長さに形成したり、同図左側に示されるように、自由端側を同一直線上に並ぶ長さに形成したり、中央に向かうに従って短くなるように形成したりしてもよい。前記刃基板41は、マグネットシリンダ43に磁力を介して着脱可能に設けられている。刃基板41は、平面に展開したときに、略正方形状に形成され、その4辺に沿うように各短冊刃部47設けられている。また、刃基板41は、一辺の長さがマグネットシリンダ43の外周長さ以下に設けられ、展開した状態から相対する2辺が対向する状態でマグネットシリンダ43に巻き付け可能となっている。従って、刃基板41をマグネットシリンダ43に装着したときに、切断刃40における短冊刃部47は、マグネットシリンダ43の軸方向両側及び周方向両側に位置し、短冊刃部47の各刃は当該軸方向或いは周方向に平行に延びることとなる。ここで、切断刃40によって形成された接着シートASは、帯状シートWSの繰出方向原反RSが支持軸25から巻取軸34に向かう方向先端領域が剥離板18によって剥離シートRLから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Sa図2参照となる。初期剥離領域Saは、その繰出方向先端部に円弧部SCを有している。なお、刃基板41は、マグネットシリンダ43に巻き付けるときに、対向する2辺を他の2辺に変更したり、マグネットシリンダ43の軸方向に対する向きを反対にしたりしてもよい。これにより、4つの短冊刃部47の何れでも初期剥離領域Saにおける切込CUを形成可能となり、短冊刃部47の劣化状態等に応じて何れかの短冊刃部47を選択的に利用することが可能となる。ここで、切断手段15には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反RSにエネルギーを付与しながら切込CUを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ36、37から離れた位置から切込CUの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。前記巻取手段16は、切断手段15により切込CUを形成した後の不要シートUSに掛け回されて当該不要シートUSを剥離シートRLから剥離する剥離ローラ50と、剥離ローラ50を経た後の不要シートUSを巻き取る巻取軸51とを備えて構成されている。巻取軸51は、駆動機器としての回動モータDM4を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートUSを巻き取り可能となっている。前記付勢手段17は、剥離ローラ50と巻取軸51との間に設けられ、コンプレッサやタービン等の図示しない加圧手段に接続された排気管60を備えている。次に、本実施形態における接着シートASの貼付方法について説明する。まず、支持軸25に支持された原反RSを第1駆動ローラ27と第1ピンチローラ28との間、及び、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との間を通過させる。そして、剥離シートRLから帯状シートWSを剥離し、当該帯状シートWSを剥離ローラ50に掛け回した後、そのリード端を巻取軸51に固定する。また、剥離シートRLは、剥離板18の先端で折り返して第2駆動ローラ31と第2ピンチローラ32との間を通過させ、そのリード端を巻取軸34に固定する。本実施形態では、図1に示されるように、ダイカットローラ36の回転方向における切断刃40が形成されていない領域の中央をダイカットローラ36のスタート位置Strtとし、当該スタート位置Strtがプラテンローラ37に再接近した状態で、ダイカットローラ36の回転を停止させておく。そして、回動モータDM1~DM4を連動させて原反RSを繰り出すと、切断刃40により基材シートBS側から剥離シートRL側に向かって切込CUが形成され、帯状シートWSは、切込CUの内側の接着シートASと、切込CUの外側の不要シートUSとに区分される。この切込CUの形成と共に、短冊刃部47によって不要シートUSに接着シートASの初期剥離領域Saに対応する切込CUに連なる短冊状切込Stが形成され、短冊部TSが形成される。短冊状切込Stは、不要シートUSにおいて、接着シートASの初期剥離領域Sa隣接位置を含む切込CUの周方向4箇所位置に形成されている。切込CUの形成後、繰り出された原反RSは、剥離ローラ50で剥離シートRLから不要シートUSが剥離され、不要シートUSが巻取軸51に巻き取られる。この不要シートUSの剥離において、接着シートASの初期剥離領域Saと不要シートUSとの切り離しは、図4に示されるように行われる。同図において、剥離ローラ50によって不要シートUSが剥離力を受け始める位置を、同図中一点鎖線で示すスタート位置SPとする。不要シートUSの巻き取りを進行すると、初期剥離領域Saに隣接する短冊状切込Stが剥離ローラ50方向に繰り出される。そして、短冊部TSの同図中右端を形成する切込CUがスタート位置SPを通過したときに、その短冊部TSでの不要シートUSと接着シートASとが切り離される。この切り離しは、同図Aに示されるように、先ず、接着シートASの繰り出し方向最前部、つまり、原反RSの幅方向中央部における短冊部TSで最初に行われる。次いで、同図Bに示されるように、同図Aで切り離された短冊部TSの上下両隣りの短冊部TS右端の切込CUでスタート位置SPを通過して切り離しが行われる。これにより、剥離ローラ50のスタート位置SPを通過した順に、短冊部TS毎に段階的に切り離しを行えるようになる。このとき、排気管60から気体を噴出し、短冊部TSに張力を付与するようにしてもよい。この気体の噴出は、複数の短冊部TSに同時に付勢が行えるように構成してもよいし、排気管60に複数の噴出口を設け、それぞれの噴出口を個別に開閉し、各短冊部TS毎に付勢が行えるように構成してもよい。不要シートUSが巻き取られた原反RSの接着シートASが剥離板18の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートASの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ36は、図1に示されるように、スタート位置Strtがプラテンローラ37に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートASの間隔を任意に調整することができる上、接着シートASの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームRFとウエハWFとがテーブル11上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ12を介してテーブル11が剥離板18の下方を右側から左側に搬送される。テーブル11が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル11の搬送に同期して第1及び第2駆動ローラ27、31が回転して原反RSが繰り出され、剥離板18の先端で接着シートASが剥離される。そして、剥離された接着シートASが押圧ローラ19による押圧力を受け、リングクレームRF及びウエハWFの各上面に貼付され、接着シートASを介してウエハWFとリングクレームRFとが一体化される。ここで、先端縦間隔Sxが1mmの位置での接着シートASと不要シートUSとの切り離し状態を微視的に観た場合、当該先端縦間隔Sxが1mmの位置では、先端横間隔Syが約40mmとなるので、先端縦横比Sxyが40となり、接着シートASは、その剛性のよっては不要シートUSと共に巻取軸51方向へ共上がりする場合がある。しかしながら、本実施形態の場合、図4Aに示されるように、短冊刃部47の間隔が4mmに設定されているため、幅4mmとされた短冊部TSによって先端縦間隔Sxが1mmの位置では、不要シートUSが9段階に分けて切り離が行われることになる。つまり、接着シートASの剛性が低くても、先端縦横比を非常に小さくすることができるので、接着シートASが不要シートUSと共に巻取軸51方向へ共上がりすることを極力抑制することができる。従って、このような実施形態によれば、不要シートUSに短冊状切込Stを形成したので、短冊部TS毎に接着シートASと不要シートUSとの切り離しが行われ、それらの切り離しが段階的に行われるようになる。これにより、接着シートASと不要シートUSとの切り離しが一挙に広範囲で行われることを防止することができ、接着シートAS外縁の曲率に拘わらず、切り離しの確実性を高めて接着シートASが不要シートUSと共に巻取軸51方向へ共上がりすること防止することができる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。例えば、前記巻取手段16を省略し、剥離シートRLから不要シートUSを剥離せずに、剥離板18で接着シートASを剥離し、剥離シートRLと不要シートUSとを巻取軸34で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、図5に示されるように、剥離板18で剥離シートRLと不要シートUSとが折り曲げられたときに、短冊部TS毎に接着シートASと不要シートUSとの切り離しが行われ、それらの切り離しが段階的に行われるようになる。これにより、剥離板18で初期剥離領域Saが剥離できず、接着シートASが不要シートUSと共に第2駆動ローラ31方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。このとき、付勢手段17は、剥離板18の下方に吸引ポンプや真空エジェクタ等で短冊部TSを吸引したり、剥離板18で折り返された剥離シートRLの上から、ピン等で短冊部TSを下方に押し下げたりする構成を採用することができる。また、切込CUの形成にあっては、各回動モータDM1~DM4を連動させて原反RSを繰り出し方向に往復動させ、1枚の接着シートAS形成に対し、初期剥離領域Saに隣接する不要シートUSにおける短冊状切込Stの切断を複数回行ってもよい。更に、前記シート貼付装置10の剥離板18及び押圧ローラ19を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段15によって接着シートASを形成した後、当該接着シートASが剥離シートRLに仮着された原反RSが巻取軸34に巻き取られる。巻取軸34に巻き取られた原反RSは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸34に巻き取られた原反RSは、繰出手段14の繰出方向後端部が別途利用されるシート貼付装置等の初期剥離領域Saとなるので、少なくとも接着シートASにおける繰出手段14の繰出方向後端部に対応する切込CUに連なるように短冊状切込Stを形成するように切断手段15を構成すればよい。また、接着シートAS及び切断刃40の平面形状は、前記実施形態に限定されるものでなく、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等に変更が可能である。更に、短冊刃部47及び短冊状切込Stの平面形状は、例えば、短冊刃部47を増減したり、1本としたりしてもよい。当該短冊刃部47の本数を1本とした場合、短冊部TSは、短冊状切込Stを挟んで原反RSの幅方向に2枚形成されることとなる。また、短冊刃部47の間隔は、4mmよりも大きくしたり小さくしたりしてもよい。更に、図6Aに示されるように、短冊状切込Stが接着シートASの繰出方向に直交する方向に延出するようにしたり、同図Bに示されるように、短冊状切込Stが接着シートASの繰出方向に交差する方向に延出するようにしたり、同図Cに示されるように、それぞれ平行でない短冊状切込Stとしたりしてもよい。なお、短冊状切込Stは、直線形状でなくてもよく、曲線形状、折線形状、それらの組み合わさった形状でもよい。更に、前記実施形態において、初期剥離領域Saに隣接する短冊刃部47以外の少なくとも一つの短冊刃部47を省略してもよい。また、刃基板41を円形や多角形に形成することで、選択的に利用できる短冊刃部47の数を増やすことができる。また、切断手段15は、前記切込CU及び短冊状切込Stを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。更に、切断刃40は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。また、付勢手段17は、熱気や冷気を噴き付けるようにしてもよいし、帯状シートWSが加熱や冷却によって収縮するものの場合、切断手段15に設けられた図示しないエネルギー付与手段や、冷風送風機等を新たに採用して付勢手段17とすることもできるし、駆動機器を介して短冊状切込Stを個別または全体的に押して付勢したり、弾性部材で押して付勢したりする構成としてもよい。更に、繰出手段14や剥離板18、押圧ローラ19は、種々の設計変更が可能である。また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃40とプラテンローラ37との相対間隔は、原反RSの厚みや性質、特に剥離シートRSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。更に、原反RSを構成する部材の厚みは、何ら限定されることはない。また、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよいし、更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。また、被着体は、ウエハWFやリングフレームRFに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームRFに代えて、C字状やU字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームRFなしで単独の被着体を接着シートASの貼付対象としてもよい。