"不燃フィルム層と水蒸気バリアフィルム層とを積層してなり、前記不燃フィルム層は、非膨潤性粘土鉱物を含有し、該非膨潤性粘土鉱物の含有量が不燃フィルム層の全重量に対して30重量以上90重量以下であり、かつ、前記水蒸気バリアフィルム層は、膨潤性粘土鉱物を含有することを特徴とする不燃水蒸気バリアフィルム。UL94規格VTM試験において、燃焼性分類がVTM-0であることを特徴とする請求項1に記載の不燃水蒸気バリアフィルム。燃焼性分類がVTM-0となるときの厚みが100μm以下であることを特徴とする請求項2記載の不燃水蒸気バリアフィルム。40°C、90RHの環境下での水蒸気透過率が0.5g/m2day以下であることを特徴とする請求項1、2又は3記載の不燃水蒸気バリアフィルム。非膨潤性粘土鉱物は、シリカ化合物、シリカアルミナ化合物、アルミニウム化合物、カルシウム化合物、及び、窒化物からなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の不燃水蒸気バリアフィルム。非膨潤性粘土鉱物として層状ケイ酸塩鉱物を含有することを特徴とする請求項1、2、34又は5記載の不燃水蒸気バリアフィルム。非膨潤性粘土鉱物は、タルク、カオリン、及び、パイロフィライトからなる群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の不燃水蒸気バリアフィルム。合成樹脂は、ポリイミド樹脂及び/又はポリアミドイミド樹脂であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の不燃水蒸気バリアフィルム。合成樹脂は、芳香族ポリイミド樹脂及び/又は芳香族ポリアミドイミド樹脂であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載の不燃水蒸気バリアフィルム。膨潤性粘土鉱物は、モンモリロナイト、サポナイト、ヘクトライト、及び、スチーブンサイトから選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8又は9記載の不燃水蒸気バリアフィルム。厚みが10μm以上であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9又は10記載の不燃水蒸気バリアフィルム。JIS-K5600-5-11999に準拠した円筒形マンドレル法による耐屈曲性試験において、フィルムの割れの起こるマンドレル直径が10mm以下であることを特徴とする、請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10又は11記載の不燃水蒸気バリアフィルム。国土交通省令第151号鉄道に関する技術上の基準を定める法令に基づく鉄道車両用材料燃焼試験の不燃性に該当することを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11又は12記載の不燃水蒸気バリアフィルム。ISO5660-1に準拠したコーンカロリーメーターによる発熱性試験において、加熱開始後20分間の総発熱量がサンプル面積に対して8MJ/m2以下であり、加熱開始後20分間の最大発熱速度が、サンプル面積に対して300kW/m2以下であり、かつ、試験開始から着火するまでの時間が60秒以上であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12又は13記載の不燃水蒸気バリアフィルム。請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13又は14記載の不燃水蒸気バリアフィルムを製造する方法であって、分散媒と、膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する水蒸気バリアフィルム層用分散液を調製する工程1と、調製した水蒸気バリアフィルム層用分散液を基板上に展開して静置する工程2と、該基板上に展開した水蒸気バリアフィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、水蒸気バリアフィルム層を作製する工程3と、分散媒と、非膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する不燃フィルム層用分散液を調製する工程4と、工程3にてフィルム状に成形した水蒸気バリアフィルム層上に、調製した不燃フィルム層用分散液を展開する工程5と、水蒸気バリアフィルム層上に展開した不燃フィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、水蒸気バリアフィルム層上に不燃フィルム層を作製する工程6とを有することを特徴とする不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法。請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13又は14記載の不燃水蒸気バリアフィルムを製造する方法であって、分散媒と、非膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する不燃フィルム層用分散液を調製する工程1と、調製した不燃フィルム層用分散液を基板上に展開して静置する工程2と、該基板上に展開した不燃フィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、不燃フィルム層を作製する工程3と、分散媒と、膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する水蒸気バリアフィルム層用分散液を調製する工程4と、工程3にてフィルム状に成形した不燃フィルム層上に、調製した水蒸気バリアフィルム層用分散液を展開する工程5と、不燃フィルム層上に展開した水蒸気バリアフィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、不燃フィルム層上に水蒸気バリアフィルム層を作製する工程6とを有することを特徴とする不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法。工程3及び工程6における分散媒を除去する際の温度が150°C以下であることを特徴とする請求項15又は16記載の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法。基板は、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリエチレン、又は、ポリプロピレンからなることを特徴とする請求項15、16又は17記載の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法。請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13又は14記載の不燃水蒸気バリアフィルムを用いてなる太陽電池バックシート。請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13若しくは14記載の不燃水蒸気バリアフィルム、又は、請求項19記載の太陽電池バックシートを用いてなる太陽電池。本発明は、柔軟性及び耐湿性に優れ、高い機械的強度を有する不燃水蒸気バリアフィルムを提供することを目的とする。また、本発明は、該不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法、該不燃水蒸気バリアフィルムを用いてなる太陽電池バックシート、該不燃水蒸気バリアフィルム又は該太陽電池バックシートを用いてなる太陽電池を提供することを目的とする。本発明は、不燃フィルム層と水蒸気バリアフィルム層とを積層してなり、上記不燃フィルム層は、非膨潤性粘土鉱物を含有し、該非膨潤性粘土鉱物の含有量が不燃フィルム層の全重量に対して30重量以上90重量以下であり、かつ、上記水蒸気バリアフィルム層は、膨潤性粘土鉱物を含有する不燃水蒸気バリアフィルムである。以下に、本発明を詳述する。これまでの不燃水蒸気バリアフィルムは、水蒸気バリア性を発揮させるために膨潤性粘土鉱物を用いていた。膨潤性粘土鉱物は層間イオンを有するために分散媒中で膨潤と剥離をし、分散媒除去中に徐々に積層し、水蒸気等のガスバリア性を発揮することが知られている。しかしながら、膨潤性粘土鉱物を用いたフィルム、例えば、膨潤性粘土鉱物と非膨潤性粘土鉱物と合成樹脂とのコンポジットフィルムは、均一な分散液の調製が難しく、均一なフィルムの形成が困難であった。また、通常、膨潤性粘土鉱物を用いたフィルムは厚くすることが困難であり、製膜過程で亀裂や割れが生じるため40μm以上の厚みのものを作製することが困難であった。また、非膨潤性粘土鉱物は通常、積層されにくいため、非膨潤性粘土鉱物を用いて不燃性と高い水蒸気バリア性とを有するフィルムを作製することは困難であった。そこで本発明者らは、非膨潤性粘土鉱物を特定量含有する不燃フィルム層と、膨潤性粘土鉱物を含有する水蒸気バリアフィルム層とは、亀裂等を生じさせることなく均一に積層させることができ、得られた積層体は、不燃性を有し、柔軟性及び水蒸気バリア性に優れるものとなることを見出し、本発明を完成させるに至った。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、不燃フィルム層と水蒸気バリアフィルム層とを積層してなる。上記不燃フィルム層は、非膨潤性粘土鉱物を含有する。具体的には、上記不燃フィルム層としては、非膨潤性粘土鉱物と合成樹脂とを含有するもの等が挙げられる。なお、本明細書において、上記非膨潤性とは、水や有機溶媒に加えた際にほとんど膨潤しないことをいう。具体的には、膨潤力が5mL/2g未満であるものをいう。上記膨潤力は水又は有機溶媒100mLの入った100mL容メスシリンダーに粘土鉱物の粉末2.0gを少量ずつ入れて自然沈降させ、膨潤した粘土鉱物の見かけ容積を読むことで測定することができる。上記非膨潤性粘土鉱物としては、例えば、シリカ化合物、シリカアルミナ化合物、アルミニウム化合物、カルシウム化合物、及び、窒化物からなる群から選択される少なくとも一種であることが好ましい。なかでも、シリカ化合物、シリカアルミナ化合物がより好ましく、層状ケイ酸塩鉱物が更に好ましい。上記非膨潤性粘土鉱物としては、例えば、天然物又は合成物の雲母、タルク、カオリン、パイロフィライト等が挙げられる。なかでも、得られるフィルムの機械的強度や水蒸気バリア性の観点から、層電荷が0である粘土鉱物が好ましく、タルク、カオリン、パイロフィライトからなる群から選択される少なくとも一種がより好ましい。上記非膨潤性粘土鉱物は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。上記非膨潤性粘土鉱物の平均粒子径によっても、得られる不燃フィルム層及び不燃水蒸気バリアフィルムの性質が変わるため、上記非膨潤性粘土鉱物は、粒子径を選択した上で使用することが好ましい。上記非膨潤性粘土鉱物の平均粒子径の好ましい下限は0.1μm、好ましい上限は50μmである。上記非膨潤性粘土鉱物の平均粒子径が0.1μm未満であると、得られるフィルムが機械的強度に劣るものとなることがある。上記非膨潤性粘土鉱物の平均粒子径が50μmを超えると、得られるフィルムが表面の平坦性に劣るものとなることがある。上記非膨潤性粘土鉱物の平均粒子径のより好ましい下限は0.2μm、より好ましい上限は20μm、更に好ましい下限は0.5μm、更に好ましい上限は15μmである。なお、上記非膨潤性粘土鉱物の平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布計等を用いて粒度分布を測定することにより求めることができる。また、上記非膨潤性粘土鉱物として、例えば、タルク等の比誘電率の低いものを選択すると、低誘電率の不燃水蒸気バリアフィルムを作製することも可能となる。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの比誘電率は、用途にもよるが、例えば、フレキシブルプリント基板に用いる場合は4以下が好ましく、3以下がより好ましく、2.5以下が更に好ましい。上記非膨潤性粘土鉱物の含有量は、不燃フィルム層の全重量に対して、下限が30重量、上限が90重量である。上記非膨潤性粘土鉱物の含有量が30重量未満であると、得られるフィルムの水蒸気透過率や線膨張係数が高くなるだけでなく、フィルムの燃焼性も高くなる。上記非膨潤性粘土鉱物の含有量が90重量を超えると、得られるフィルムが機械的強度に劣るものとなる。上記非膨潤性粘土鉱物の含有量の好ましい下限は35重量、好ましい上限は85重量、より好ましい下限は40重量、より好ましい上限は80重量、更に好ましい下限は50重量、更に好ましい上限は70重量、特に好ましい下限は60重量である。上記不燃フィルム層における上記合成樹脂は特に限定されず、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アルキド樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリビニル樹脂、メラミン樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等が挙げられる。なかでも、製膜性、耐熱性、及び、機械的強度に優れることから、ポリイミド樹脂及び/又はポリアミドイミド樹脂が好適に使用される。なお、耐熱性の観点から、上記合成樹脂は、シクロヘキサン環等の飽和環式炭化水素を含まない構造であることが好ましい。得られる不燃水蒸気バリアフィルムが特に耐熱性に優れるものとなることから、上記合成樹脂は、芳香環を含む構造であることがより好ましく、芳香族ポリイミド樹脂及び/又は芳香族ポリアミドイミド樹脂であることが更に好ましい。上記ポリイミド樹脂は、下記式1の繰り返し構造を有する化合物であり、ポリアミドイミド樹脂は、下記式2の繰り返し構造を有する化合物である。式1中、R1は4価であり、ベンゼン環を一つ又は二つ有する有機基である。なかでも、R1は下記式3に示す構造であることが好ましく、上記ポリイミド樹脂は、R1として下記式3に示す構造を単独で有するものであってもよいし、2種類以上有する共重合体であってもよい。式2中、R2は3価であり、ベンゼン環を一つ又は二つ有する有機基である。なかでも、R2は下記式4に示す構造であることが好ましく、上記ポリアミドイミド樹脂は、R2として下記式4に示す構造を単独で有するものであってもよいし、2種類以上有する共重合体であってもよい。式1及び式2中、R3は2価でありベンゼン環を一つ又は二つ有する有機基である。なかでも、R3は下記式5に示す構造であることが好ましく、上記ポリイミド樹脂及び上記ポリアミドイミド樹脂は、R3として下記式5に示す構造を単独で有するものであってもよいし、2種類以上有する共重合体であってもよい。なかでも、得られる不燃フィルム支持層が安価で機械的強度に優れるものとなることから、R1、R2、及び、R3は、下記式6に示す構造であることが好ましい。上記ポリイミド樹脂は、R1、R3として下記式6に示す構造を単独で有するものであってもよいし、2種類以上有する共重合体であってもよい。また、上記ポリアミドイミド樹脂は、R2、R3として下記式6に示す構造を単独で有するものであってもよいし、2種類以上有する共重合体であってもよい。上記不燃フィルム層は、機械的強度を上げるため、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤等のカップリング剤を含有していてもよい。上記シラン系カップリング剤としては、例えば、アミノ系シランカップリング剤、ウレイド系シランカップリング剤、ビニル系シランカップリング剤、メタクリル系シランカップリング剤、エポキシ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤及びイソシアネート系シランカップリング剤等が挙げられる。上記チタネート系カップリング剤としては、例えば、少なくとも炭素数1~60のアルキレート基を有するチタネート系カップリング剤、アルキルホスファイト基を有するチタネート系カップリング剤、アルキルホスフェート基を有するチタネート系カップリング剤もしくはアルキルパイロホスフェート基を有するチタネート系カップリング剤等が挙げられる。上記カップリング剤は、事前に非膨潤性粘土鉱物と混合させて作用させておいてもよいし、後述する不燃フィルム層用分散液に混合してもよい。上記カップリング剤の使用量は、非膨潤性粘土鉱物の全重量に対して好ましい下限は0.1重量、好ましい上限は3.0重量である。上記カップリング剤の使用量が0.1重量未満であると、カップリング剤を使用する効果が充分に発揮されないことがある。上記カップリング剤を、3.0重量を超えて使用しても、使用量に見合った効果が得られないことがある。上記カップリング剤の使用量のより好ましい下限は0.5重量、より好ましい上限は2.0重量である。上記不燃フィルム層の合計の厚みの好ましい下限は20μm、好ましい上限は200μmである。上記不燃フィルム層の合計の厚みが20μm未満であると、機械的強度が弱く、取り扱いが困難になることがある。上記不燃フィルム層の合計の厚みが200μmより大きいと、硬くなり曲げ強度が低下することがある。上記不燃フィルム層の合計の厚みのより好ましい下限は40μm、より好ましい上限は150μmである。上記水蒸気バリアフィルム層は、膨潤性粘土鉱物を含有する。具体的には、上記水蒸気バリアフィルム層としては、膨潤性粘土鉱物と合成樹脂とを含有するもの等が挙げられる。なお、本明細書において、上記膨潤性とは、水や有機溶媒に加えた際に膨潤することをいう。こうした膨潤性粘土鉱物の層間にはナトリウムイオン等のイオンが存在し、それらのイオンと溶媒の親和力により膨潤性粘土鉱物は膨潤する。具体的には、上述した膨潤力が5mL/2g以上であるものをいう。上記膨潤性粘土鉱物としては、例えば、バーミキュライト、モンモリロナイト、バイデライト、サポナイト、ヘクトライト、スチーブンサイト、マガディアイト、アイラライト、カネマイト、イライト、セリサイト等が挙げられる。また、市販品としては、例えば、ソマシフコープケミカル社製、クニピアクニミネ工業社製等が挙げられ、クニピアが好ましく用いられる。なかでも、得られるフィルムの平滑性や水蒸気バリア性の観点から、層電荷が1/2単位胞あたり0.2~0.6である粘土鉱物が好ましく、モンモリロナイト、サポナイト、ヘクトライト、及び、スチーブンサイトからなる群から選択される少なくとも一種がより好ましい。上記膨潤性粘土鉱物は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。上記膨潤性粘土鉱物は、分散液中での分散性を向上させることを目的として、シリル化剤と反応させて変性したものであることが好ましい。上記シリル化剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、プロピルトリメトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクチルトリメトキシシラン、ドデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン等が挙げられる。上記膨潤性粘土鉱物は、膨潤性や耐水性を向上させることを目的として、層間陽イオンを交換したものであることが好ましい。上記層間陽イオンとしては、例えば、ナトリウムイオン、リチウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン等の金属イオン、アンモニウムイオン化合物、ホスホニウムイオン化合物等のオニウムイオン、水素イオン等に交換することが好ましく、層間イオンが1価である、ナトリウムイオン、リチウムイオン、カリウムイオン、アンモニウムイオン化合物、ホスホニウムイオン化合物、水素イオン等がより好ましい。耐水性の効果を高める観点から、リチウムイオンに交換することが更に好ましい。上記膨潤性粘土鉱物の含有量は、水蒸気バリアフィルム層の全重量に対して、好ましい下限が5重量、好ましい上限が95重量である。上記膨潤性粘土鉱物の含有量が5重量未満であると、水蒸気透過度が高くなることがある。上記膨潤性粘土鉱物の含有量が95重量を超えると、フィルムの強度が弱くなることがある。上記膨潤性粘土鉱物の含有量のより好ましい下限は10重量、より好ましい上限は90重量、更に好ましい下限は20重量、更に好ましい上限は85重量である。上記水蒸気バリアフィルム層における合成樹脂としては、上述した不燃フィルム層と同様のものが挙げられる。上記水蒸気バリアフィルム層の合計の厚みの好ましい下限は10μm、好ましい上限は100μmである。上記水蒸気バリアフィルム層の合計の厚みが10μm未満であると、機械的強度が弱く、取り扱いが困難になることがある。上記水蒸気バリアフィルム層の合計の厚みが100μmより大きいと、硬くなり曲げ強度が低下することがある。上記水蒸気バリアフィルム層の合計の厚みのより好ましい下限は20μm、より好ましい上限は80μmである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムにおいて、上記不燃フィルム層と上記水蒸気バリアフィルム層とはそれぞれ1層のみであってもよいし、複数層であってもよい。また、本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、例えば、水蒸気バリアフィルム層の両面に不燃フィルム層を有するもの等、両最表面層が不燃フィルム層であるものが好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの厚みの好ましい下限は10μm、好ましい上限は250μmである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの厚みが10μm未満であると、機械的強度が弱く、取り扱いが困難になることがある。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの厚みが250μmより大きいと、硬くなり曲げ強度が低下することがある。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの厚みのより好ましい下限は20μm、より好ましい上限は200μmである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、UL94規格薄手材料垂直燃焼試験VTM試験において、燃焼性分類がVTM-0であることが好ましい。なお、上記VTM試験は、フィルム試験片を円筒状に巻き、クランプに垂直に取付け、20mmの大きさの炎による3秒間接炎を2回行い、その燃焼挙動により表1に示した燃焼性分類の判定を行うものである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムにおいて、UL94規格VTM試験を行う際のフィルム厚みは200μm以下であることが好ましく、150μm以下であることがより好ましい。また、本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、UL94規格垂直燃焼試験V試験において、燃焼性分類がV-0であることが好ましい。なお、上記V試験は、試験片クランプに垂直に取付け、20mmの大きさの炎による10秒間接炎を2回行い、その燃焼挙動により表2に示した燃焼性分類の判定を行うものである。更に、不燃水蒸気バリアフィルムは、UL94規格125mm垂直燃焼試験5V試験において、燃焼性分類が5V-A又は5V-Bであることが好ましい。なお、上記5V試験は、短冊試験片をクランプに垂直に取付け、125mmの大きさの炎による5秒間接炎を5回行い、その燃焼挙動により燃焼性分類の判定を行い、更に、平板試験片を水平に保持し、下方から125mmの大きさの炎の5秒間接炎を5回行い、その燃焼挙動により表3に示した燃焼性分類の判定を行うものである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、国土交通省令第151号鉄道に関する技術上の基準を定める法令に基づく鉄道車両用材料燃焼試験の不燃性に該当するものであることが好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、ISO5660-1に準拠したコーンカロリーメーターによる発熱性試験において、加熱開始後20分間の総発熱量がサンプル面積に対して8MJ/m2以下であり、加熱開始後20分間の最大発熱速度が、サンプル面積に対して300kW/m2以下であり、かつ、試験開始から着火するまでの時間が60秒以上であることが好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの引裂強度は、25N/mm以上であることが好ましい。上記引裂強度が25N/mm未満であると、フィルムが破れやすくなり、取扱いが困難となる。上記引裂強度は、30N/mm以上であることがより好ましく、40N/mm以上であることが更に好ましい。なお、本明細書において上記引裂強度は、JISK7128-1に準拠した測定法によって求められる値である。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの引張強度は、25N/mm2以上であることが好ましい。上記引張強度が25N/mm2未満であると、フィルムが破れやすくなり、取扱いが困難となる。上記引張強度は、30N/mm2以上であることがより好ましく、40N/mm2以上であることが更に好ましい。なお、本明細書において上記引張強度は、JISK7127-1に準拠した測定法によって求められる値であり、引張強度試験機を用い、つかみ間隔80mm、引っ張り速度20mm/分の条件で測定される。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、JIS-K5600-5-11999に準拠した円筒形マンドレル法による耐屈曲性試験において、フィルムの割れの起こるマンドレル直径が10mm以下であることが好ましい。上記フィルムの割れの起こるマンドレル直径が10mmを超えると、柔軟性に劣るものとなることがある。上記フィルムの割れの起こるマンドレル直径は、8mm以下であることがより好ましく、5mm以下であることが更に好ましく、4mm以下であることが特に好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、絶縁破壊電圧が20kV/mm以上であることが好ましい。上記絶縁破壊電圧が20kV/mm未満であると、電気材料等の用途に用いることが困難となる。上記絶縁破壊電圧は、25kV/mm以上であることがより好ましく、30kV/mm以上であることが更に好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、IEC61730-2:200411.1項に準じた部分放電試験を行った際の部分放電電圧が少なくとも700V以上であることが好ましい。上記部分放電電圧が700V未満であると、電解集中が起こりフィルムの局所的な劣化が起こるため、電気材料に用いることが困難となる。上記部分放電電圧は1000V以上が好ましく、1500V以上であることがより好ましく、2000V以上であることが更に好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、40°C、90RHの環境下での水蒸気透過率が0.5g/m2day以下であることが好ましい。上記40°C、90RHでの水蒸気透過率が0.5g/m2dayを超えると、電気材料等の用途に用いることが困難となる。上記40°C、90RHでの水蒸気透過率は、0.2g/m2day以下であることがより好ましく、0.1g/m2day以下であることが更に好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムにおける、40°Cの水に24時間浸漬した後の吸水率は、2.0重量以下であることが好ましい。上記吸水率が2.0重量を超えると、電気材料等の用途に用いることが困難となる。上記吸水率は、1.0重量以下であることがより好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムにおける、40°C、RH90の環境下に24時間放置した後の吸湿率は、2.0重量以下であることが好ましい。上記吸湿率が2.0重量を超えると、電気材料等の用途に用いることが困難となる。上記吸湿率は、1.0重量以下であることがより好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、85°C、85RHの環境下に保管する耐候性試験で、少なくとも500時間保管しても表面や断面に変色や剥離の変化が無いことが好ましい。上記耐候性試験において、500時間以下で変化が現れるものは、太陽電池等、屋外用途での使用が困難となる。上記耐候性試験で表面や断面に変色や剥離の変化が現れる時間は、1000時間以上であることがより好ましく、2000時間以上であることが更に好ましく、3000時間以上であることが特に好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、分散媒と、膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する水蒸気バリアフィルム層用分散液を調製する工程1と、調製した水蒸気バリアフィルム層用分散液を基板上に展開して静置する工程2と、該基板上に展開した水蒸気バリアフィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、水蒸気バリアフィルム層を作製する工程3と、分散媒と、非膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する不燃フィルム層用分散液を調製する工程4と、工程3にてフィルム状に成形した水蒸気バリアフィルム層上に、調製した不燃フィルム層用分散液を展開する工程5と、水蒸気バリアフィルム層上に展開した不燃フィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、水蒸気バリアフィルム層上に不燃フィルム層を作製する工程6とを有する方法により、製造することができる。このような不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法もまた、本発明の1つである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法において、水蒸気バリアフィルム層と不燃フィルム層とは、作製順を逆にしてもよい。即ち、不燃フィルム層用分散液を調製する工程1と、調製した不燃フィルム層用分散液を基板上に展開して静置する工程2と、該基板上に展開した不燃フィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、不燃フィルム層を作製する工程3と、水蒸気バリアフィルム層用分散液を調製する工程4と、工程3にてフィルム状に成形した不燃フィルム層上に、調製した水蒸気バリアフィルム層用分散液を展開する工程5と、不燃フィルム層上に展開した水蒸気バリアフィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、不燃フィルム層上に水蒸気バリアフィルム層を作製する工程6とを有する方法であってもよい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法は、分散媒と、膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する水蒸気バリアフィルム層用分散液を調製する工程1を有する。上記工程1の水蒸気バリアフィルム層用分散液の調製において、膨潤性粘土鉱物と分散媒とを混合する前に、上記膨潤性粘土鉱物をシリル化剤と反応させて変性し、更に、層間陽イオンを交換することが好ましい。上記膨潤性粘土鉱物をシリル化剤と反応させる方法としては、例えば、膨潤性粘土鉱物とシリル化剤とをボールミル処理する方法、自転公転ミキサーで混合する方法等が挙げられる。上記膨潤性粘土鉱物の層間陽イオンを交換する方法としては、例えば、膨潤性粘土鉱物と交換する陽イオンを含有する水溶液とを振とうにより混合分散させる方法、攪拌機で撹拌する方法、自転公転ミキサーで混合分散させる方法等が挙げられる。上記工程1の水蒸気バリアフィルム層用分散液の調製では、膨潤性粘土鉱物と分散媒を加え混合し、ゲル化した後、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体を加えて混合し、分散液とすることが好ましい。膨潤性粘土鉱物をゲル化させてから、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体を加えることにより、水蒸気バリアフィルム層用分散液の均一性を向上させることができる。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液における膨潤性粘土鉱物については、上記水蒸気バリアフィルム層と同様のものであるため、その説明を省略する。上記工程1において調製される水蒸気バリアフィルム層用分散液における不揮発成分の含有量は、水蒸気バリアフィルム層用分散液の全重量に対して、好ましい下限が0.3重量、好ましい上限が15重量である。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液における不揮発成分の含有量が0.3重量未満であると、分散媒が多くなり、分散媒の除去に時間を要することがある。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液における不揮発成分の含有量が15重量を超えると、水蒸気バリアフィルム層用分散液の粘性が高くなり、製膜できなくなることがある。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液における不揮発成分の含有量のより好ましい下限は0.5重量、より好ましい上限は10重量である。なお、本明細書において上記不揮発成分とは、300°C、常圧で不揮発である成分を指し、不揮発成分の割合は、熱重量測定TGや示差熱-熱重量同時測定TG-DTAやエバポレーター等を用いて真空蒸発により分散媒を除去し、残存した固形物の重量から求めることができる。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液における分散媒としては、例えば、n-ペンタン、n-ヘキサン、n-オクタン、n-デカン等の炭化水素系溶媒や、メタノール、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、1-ブタノール、2-ブタノール、イソブタノール、tert-ブタノール、1-ペンタノール、2-ペンタノール、1-ヘキサノール、2-ヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール系溶媒や、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、メチル-イソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒や、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルプロピオンアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド系溶媒や、ジエチルエーテル、メチル-tertブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、シクロペンチルメチルエーテル等のエーテル系溶媒や、ベンゼン、クロロベンゼン、o-ジクロロベンゼン、m-ジクロロベンゼン、p-ジクロロベンゼン、トルエン、o-キシレン、p-キシレン、エチルベンゼン、フェノール、p-クロロフェノール、o-クロロフェノール、o-クレゾール等のベンゼン系溶媒や、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、スルホラン等の含硫黄系溶媒、水等を使用することができる。なかでも、合成樹脂の溶解性が高くなることから、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフラン、スルホラン、及び、水からなる群のうち少なくとも一種であることが好ましい。これらの分散媒は単独で使用してもよいし、2種類以上を併用してもよい。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液におけるにおける合成樹脂としては、上述した本発明の不燃水蒸気バリアフィルムと同様のものが挙げられる。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液における合成樹脂の前駆体としては、例えば、ポリアミド酸が挙げられ、該ポリアミド酸をイミド化することにより、ポリイミド樹脂又はポリアミドイミド樹脂が得られる。上記ポリアミド酸をイミド化する方法としては、例えば、ポリアミド酸を加熱閉環してイミド化する方法、ポリアミド酸を化学閉環してイミド化する方法が挙げられる。ポリアミド酸を加熱閉環してイミド化する方法としては、例えば、ポリアミド酸を分散媒中に分散させて、120~140°Cで0.5~24時間加熱する方法等が挙げられる。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液に合成樹脂の前駆体を配合する場合、上記合成樹脂の前駆体の含有量の好ましい下限は2重量、好ましい上限は45重量である。上記合成樹脂の前駆体の含有量が2重量未満であると、得られる不燃水蒸気バリアフィルムの機械的強度が弱くなることがある。上記合成樹脂の前駆体の含有量が45重量を超えると、得られる不燃水蒸気バリアフィルムの耐熱性が低くなることがある。上記合成樹脂の前駆体の含有量のより好ましい下限は5重量、より好ましい上限は30重量である。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法は、調製した水蒸気バリアフィルム層用分散液を基板上に展開して静置する工程2を有する。上記工程2において、分散液を基板上に展開する方法としては、ドクターブレードやバーコーター等を用いて膜状に塗布する方法等が挙げられる。上記工程2において、基板上に展開する水蒸気バリアフィルム層用分散液の厚みは200μm以上であることが好ましい。上記分散液の厚みが200μm未満であると、得られる水蒸気バリアフィルム層が薄くなり、水蒸気バリア性が低くなることがある。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液の厚みのより好ましい下限は250μm、更に好ましい下限は300μmである。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液を展開する基板としては、水蒸気バリアフィルム層用分散液と基板との相溶性や濡れ性、乾燥後の剥離性の観点から、ガラス製、ポリエチレンテレフタレート製、ポリイミド製、ポリエチレン製、又は、ポリプロピレン製のものが好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法は、基板上に展開した水蒸気バリアフィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、水蒸気バリアフィルム層を作製する工程3を有する。上記工程3において、基板上に展開した水蒸気バリアフィルム層用分散液から分散媒を除去する方法としては、種々の固液分離方法、例えば、遠心分離、ろ過、真空乾燥、凍結真空乾燥、加熱蒸発法や、これらの方法の組み合わせが可能である。これらの方法のうち、例えば、分散液を容器に流し込む加熱蒸発法を用いる場合、基板上に塗布された分散液を、水平を保った状態で、強制送風式オーブンで20~150°Cの温度条件下、好ましくは、30~120°Cの温度条件下で0.5~24時間程度、好ましくは2~12時間乾燥することにより、フィルムが得られる。なお、作製するフィルムの欠陥を無くす観点から、上記工程3において、分散媒を除去する際の温度は150°C以下であることが好ましい。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法は、分散媒と、非膨潤性粘土鉱物と、合成樹脂及び/又は合成樹脂の前駆体とを含有する不燃フィルム層用分散液を調製する工程4を有する。上記不燃フィルム層用分散液における非膨潤性粘土鉱物については、上記不燃水蒸気バリアフィルムと同様のものであるため、その説明を省略する。上記不燃フィルム層用分散液における上記非膨潤性粘土鉱物の含有量は、不揮発成分の全重量に対して、好ましい下限が30重量、好ましい上限が90重量である。上記非膨潤性粘土鉱物の含有量が30重量未満であると、得られる不燃水蒸気バリアフィルムの水蒸気透過度や線膨張係数が高くなるだけでなく、不燃水蒸気バリアフィルムの燃焼性も高くなることがある。上記非膨潤性粘土鉱物の含有量が90重量を超えると、得られる不燃水蒸気バリアフィルムが機械的強度に劣るものとなることがある。上記非膨潤性粘土鉱物の含有量のより好ましい下限は35重量、より好ましい上限は85重量、更に好ましい下限は40重量、更に好ましい上限は80重量、より更に好ましい下限は50重量、より更に好ましい上限は70重量、特に好ましい下限は60重量である。上記不燃フィルム層用分散液における不揮発成分の含有量は、上記不燃フィルム層用分散液の全重量に対して、好ましい下限が18重量、好ましい上限が65重量である。上記不燃フィルム層用分散液における不揮発成分の含有量が18重量未満であると、不燃フィルム層用分散液が不均一となり、均一なフィルムが得られなくなることがある。上記不燃フィルム層用分散液における不揮発成分の含有量が65重量を超えると、不燃フィルム層用分散液の粘度が高くなりすぎ、製膜が困難となることがある。上記不燃フィルム層用分散液における不揮発成分の含有量のより好ましい下限は20重量、より好ましい上限は55重量、更に好ましい下限は25重量、更に好ましい上限は45重量である。上記不燃フィルム層用分散液における分散媒、合成樹脂、及び、合成樹脂の前駆体については、上記水蒸気バリアフィルム用分散液と同様のものであるため、その説明を省略する。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法は、工程3にてフィルム状に成形した水蒸気バリアフィルム層上に、調製した不燃フィルム層用分散液を展開する工程5を有する。上記工程5において、不燃フィルム層用分散液を水蒸気バリアフィルム層上に展開する方法としては、ドクターブレードやバーコーター等を用いて膜状に塗布する方法等が挙げられる。上記工程2において、水蒸気バリアフィルム層上に展開する不燃フィルム層用分散液の厚みは50μm以上であることが好ましい。上記分散液の厚みが50μm未満であると、得られる水蒸気バリアフィルム層が薄くなり、水蒸気バリア性が低くなることがある。上記水蒸気バリアフィルム層用分散液の厚みのより好ましい下限は100μm、更に好ましい下限は150μmである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法は、水蒸気バリアフィルム層上に展開した不燃フィルム層用分散液から分散媒を除去してフィルム状に成形し、水蒸気バリアフィルム層上に不燃フィルム層を作製する工程6を有する。上記工程3において、水蒸気バリアフィルム層上に展開した不燃フィルム層用分散液から分散媒を除去する方法としては、種々の固液分離方法、例えば、遠心分離、ろ過、真空乾燥、凍結真空乾燥、加熱蒸発法や、これらの方法の組み合わせが可能である。これらの方法のうち、例えば、分散液を容器に流し込む加熱蒸発法を用いる場合、基板上に塗布された分散液を、水平を保った状態で、強制送風式オーブンで20~150°Cの温度条件下、好ましくは、30~120°Cの温度条件下で0.5~24時間程度、好ましくは2~12時間乾燥することにより、フィルムが得られる。なお、作製するフィルムの欠陥を無くす観点から、上記工程6において、分散媒を除去する際の温度は150°C以下であることが好ましい。両最表面層が不燃フィルム層である場合、例えば、水蒸気バリアフィルム層の両面に不燃フィルム層有する不燃水蒸気バリアフィルムは、工程6で得られた積層体を基板から剥離し、水蒸気バリアフィルム面に再度工程5、工程6を繰り返すことで作製することができる。上記、水蒸気バリアフィルム層用分散液、不燃フィルム層用分散液に合成樹脂の前駆体を配合した場合は、得られたフィルムを更に電気炉等を使用し加熱することにより、不燃水蒸気バリアフィルムを得ることができる。具体的には例えば、合成樹脂の前駆体としてポリアミド酸を配合した場合、上記で得られたフィルムを120~400°Cで0.5~24時間熱処理することにより、不燃水蒸気バリアフィルムを得ることができる。本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは、柔軟性、耐湿性、及び、高い機械的強度を有することから、太陽電池バックシートに使用することができる。このような太陽電池バックシートもまた、本発明の1つである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルム又は本発明の太陽電池バックシートを用いてなる太陽電池もまた、本発明の1つである。本発明の不燃水蒸気バリアフィルム及び本発明の太陽電池バックシートは柔軟性、耐湿性、及び、高い機械的強度を有するため、これを用いた本発明の太陽電池は、耐久性、耐候性に優れるものとなる。また、通常、太陽電池バックシートは、複数の樹脂層からなる多層構造を有するため、長期に亙って使用すると樹脂層間を接着する接着剤層等が劣化するという問題があった。しかしながら、本発明の不燃水蒸気バリアフィルムは単層または2層以上積層させ一体化した積層体で太陽電池バックシートに用いることができるため、このような太陽電池の経年劣化を抑制することができる。本発明の太陽電池の一例を表す断面模式図を図1に示す。図1に示すように、本発明の太陽電池1は、光起電力により光エネルギーを電気エネルギーに変換する太陽電池素子2を有しており、該太陽電池素子2は封止剤3によって封止されている。また、本発明の太陽電池1は、太陽光を受ける側の表面に光透過性基板4を有し、光透過性基板4と反対側の面に、本発明の太陽電池バックシート5を有する。また、本発明の太陽電池の別の一例を表す断面模式図を図2に示す。図2では、本発明の太陽電池1は、太陽電池素子2が封止剤3によって封止されている。また、本発明の太陽電池1は、太陽光を受ける側の表面に光透過性基板4を有し、光透過性基板4と反対側の面に、本発明の不燃水蒸気バリアフィルム6を有する。上記太陽電池素子2としては、光起電力により光エネルギーを電気エネルギーに変換できるものであれば特に限定されず、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、化合物半導体3-5族、2-6族、その他等を用いることができ、なかでも、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、CIGS銅、インジウム、ガリウム、セレンが好ましい。上記封止剤3としては、例えば、エチレン-酢酸ビニル共重合体、エチレン-脂肪族不飽和カルボン酸共重合体、エチレン-脂肪族カルボン酸エステル共重合体、あるいはこれらのけん化物等を含む封止剤が挙げられる。上記光透過性基板4は太陽電池1の太陽光を受ける側の最表層に位置するため、透明性に加え、耐候性、撥水性、耐汚染性、機械強度等に優れることが好ましい。上記光透過性基板4の材料としては、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、エチレン-酢酸ビニル共重合体等からなる樹脂製の基板や、ガラス基板等が挙げられ、なかでも、耐候性及び耐衝撃性に優れ、安価に作製することができることからガラス基板が好ましい。また、特に耐侯性が優れることから、フッ素樹脂も好適に用いられる。本発明の太陽電池1を製造する方法は特に限定されないが、例えば、光透過性基板4、太陽電池素子2が封止された封止剤3、本発明の太陽電池バックシート5の順に重ねて真空ラミネートする方法や、光透過性基板4、封止剤3、本発明の不燃水蒸気バリアフィルム6上に形成された太陽電池素子2の順に重ねて真空ラミネートする方法等が挙げられる。本発明によれば、柔軟性及び耐湿性に優れ、高い機械的強度を有する不燃水蒸気バリアフィルムを提供することができる。また、本発明によれば、該不燃水蒸気バリアフィルムの製造方法、該不燃水蒸気バリアフィルムを用いてなる太陽電池バックシート、該不燃水蒸気バリアフィルム又は該太陽電池バックシートを用いてなる太陽電池を提供することができる。以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。実施例1リチウム交換変性粘土の作製天然の精製ベントナイトであり、モンモリロナイトを主成分とするクニピアFクニミネ工業社製を、オーブンで110°C以上の温度で、充分に乾燥させた。当該ベントナイト300gを、アルミナボールとともに、ボールミル用ポットに入れた。次に、ポット内にシリル化剤チッソ社製、サイラエースS3306gを加え、ポット内を窒素ガスに置換し、1時間ボールミル処理を行うことにより、変性粘土を得た。得られた変性粘土24gを、0.5規定の硝酸リチウム水溶液400mLに加え、振とうにより、混合分散させた。2時間、振とう分散して、粘土の層間イオンをリチウムイオンに交換し、分散物を得た。次に、得られた分散物について、遠心分離により固液分離し、得られた固体を280gの蒸留水と120gのエタノールの混合溶液で洗浄し、過剰の塩分を除いた。この洗浄操作を、二回以上繰り返した。得られた生成物を、オーブンで、充分に乾燥させた後、解砕して、リチウム交換変性粘土を得た。リチウム交換変性粘土の膨潤性評価水100mLの入った100mL容メスシリンダーに、作製したリチウム交換変性粘土の粉末2.0gを少量ずつ入れて自然沈降させ、全量を添加した後1時間静置し、膨潤した粘土鉱物の見かけ容積を読んだところ、85ml/2gであった。膨潤性粘土鉱物ゲルの調製得られたリチウム交換変性粘土10gを秤量し、容器に入れ、純水20mLを加え、10分程度放置し、該リチウム交換変性粘土に純水をなじませた。その後、ステンレス製スパチュラで軽く混練した。次いで、自転公転ミキサーシンキー社製、ARE-310を用い、混合モード2000rpmにて10分間混合処理を行った。これに、再度、純水20mLを加え、全体に純水が行き渡る様に、混練し、全体が一つにまとまる程度まで練り込んだ。次に、自転公転ミキサーを用い、混合モード2000rpmにて10分間混合処理を行った。1回目の混合処理に比べ、全体がまとまった粘土プレゲルになった。そこへ、純水50mLを加え、ステンレス製スパチュラでよく混練した。大きなダマゲルの塊があれば極力つぶし、再度、自転公転ミキサーを用い、混合モード2000rpmにて10分間混合処理を行い、膨潤性粘土鉱物ゲルを得た。水蒸気バリアフィルム層用分散液の調製容器にN-メチル-2-ピロリドン350gを入れ、ホモジナイザーIKA社製、ULUTRATURRAXT50で撹拌しながら、膨潤性粘土鉱物ゲル10gを加えた。約7000rpmで約30分間撹拌を続け、得られた分散液120gを別の容器に分取し、18.6重量ポリアミド酸のN-メチル-2-ピロリドン溶液宇部興産社製、U-ワニスAを、4.0g加えた。次いで、自転公転ミキサーシンキー社製、ARE-310で混合モード2000rpmを10分間、脱泡モード2200rpmを10分間行って撹拌し、均一な水蒸気バリアフィルム層用分散液を得た。なお、U-ワニスAに含まれるポリアミド酸は、下記式7の構造を有する芳香族系ポリアミド酸である。不燃フィルム層用分散液の調製タルク日本タルク社製、タルクMS-K2.7g、及び、18.6重量ポリアミド酸のN-メチル-2-ピロリドン溶液宇部興産社製、U-ワニスA20.0gをプラスチック製密閉容器にとり、自転公転ミキサーシンキー社製、ARE-310で混合モード2000rpmを10分間行って撹拌し、全不揮発成分に対するタルクの割合が42.1重量、分散液の全体量に対する不揮発成分の割合が28.3重量である均一な不燃フィルム層用分散液を得た。タルクの膨潤性評価水100mLの入った100mL容メスシリンダーに不燃フィルム層用分散液の調製に用いたタルク日本タルク社製、タルクMS-Kの粉末2.0gを少量ずつ入れて自然沈降させ、全量を添加した後1時間静置し、膨潤した粘土鉱物の見かけ容積を読んだところ、2ml/2gであった。不燃水蒸気バリアフィルムの作製ポリプロピレン製シート上に得られた水蒸気バリアフィルム層用分散液を、ドクターブレードを用いて厚みが300μmとなるように塗布した。ポリプロピレン製シートを水平に保った状態で強制送風式オーブン中50°Cの温度条件で3時間乾燥して、ポリプロピレン製シート上に水蒸気バリアフィルム層を形成した。次に乾燥した水蒸気バリアフィルム層をポリプロピレン製シートより剥がし、裏返して再度ポリプロピレン製シートの上に置いた。裏返した水蒸気バリアフィルム層に、作製した不燃フィルム層用分散液を、ドクターブレードを用いて厚みが300μmとなるように塗布した。ポリプロピレン製シートを水平に保った状態で強制送風式オーブン中50°Cの温度条件で10時間乾燥して、水蒸気バリアフィルム層上に不燃フィルム層を成形し、積層体を得た。得られた積層体をポリプロピレン製シートから剥がし、順に、120°Cで1時間、150°Cで1時間、200°Cで1時間、350°Cで6時間熱処理して、厚さ110μmの不燃水蒸気バリアフィルムを得た。実施例2水蒸気バリアフィルム層用分散液の調製において、18.6重量ポリアミド酸のN-メチル-2-ピロリドン溶液宇部興産社製、U-ワニスAの使用量を10.5gに変更し、不燃水蒸気バリアフィルムの作製における水蒸気バリアフィルム層用分散液の塗布厚みを1000μmとしたこと以外は、実施例1と同じ方法で、厚さ95μmの不燃水蒸気バリアフィルムを得た。実施例3水蒸気バリアフィルム層用分散液の調製において、18.6重量ポリアミド酸のN-メチル-2-ピロリドン溶液宇部興産社製、U-ワニスAの使用量を24.0gに変更し、不燃水蒸気バリアフィルムの作製における水蒸気バリアフィルム層用分散液の塗布厚みを1000μmとした以外は、実施例1と同じ方法で、厚さ105μmの不燃水蒸気バリアフィルムを得た。比較例1実施例1と同様にして得られた不燃フィルム層用分散液を、底面が平坦であり、底面の形状が長方形であるポリプロピレン製シートに、ドクターブレードを用いて厚みが400μmとなるように塗布した。ポリプロピレン製シートを水平に保った状態で強制送風式オーブン中50°Cの温度条件で10時間乾燥して、ポリプロピレン製シート上に不燃水蒸気バリアフィルムを形成した。このフィルムをポリプロピレン製シートから剥離し、順に、120°Cで30分、150°Cで5分、200°Cで5分、350°Cで30分熱処理して、タルクとポリイミド樹脂とからなり、全重量に対するタルクの割合が61.7重量である厚さ80μmの不燃水蒸気バリアフィルムを得た。比較例2実施例1と同様にして得られた水蒸気バリアフィルム層用分散液を、ドクターブレードを用いて厚みが2000μmとなるように塗布し、乾燥させた。しかし、乾燥後のフィルムには多数の割れが生じ、均一なフィルムを得ることができなかった。乾燥後のフィルム厚みは40μmであり、焼成後も厚みは変わらなかった。<評価>実施例1~3、及び、比較例1で得られた不燃水蒸気バリアフィルムについて以下の評価を行った。結果を表4に示した。VTM試験による燃焼性分類得られた不燃水蒸気バリアフィルムについて、UL94規格による薄手材料垂直燃焼試験VTM試験を行った。表1に示した各判定基準において、各試験片長さ約200mm、幅50mmを5枚使用した。炎の大きさは20mmとした。なお、接炎時間は3秒間とし、接炎後の残炎時間をそれぞれ測定した。また、火が消えると同時に2回目の接炎を3秒間行って、1回目と同様にして、接炎後の残炎時間をそれぞれ測定した。更に、落下する火種により試験片の下に置いた綿が発火するか否かについても同時に評価した。また、標線は試験片の下端から125mmの位置にあり、標識用綿は試験片の下端から300mm下方に配置した。VTM試験において、燃焼性分類としては、VTM-0が最高のものであり、VTM-1、VTM-2となるに従って難燃性が低下することを示す。ただし、VTM-0~VTM-2のランクのいずれにも該当しないものは不合格とした。不燃性の評価国土交通省令第151号鉄道に関する技術上の基準を定める法令に基づく鉄道車両用材料燃焼試験に準拠して、得られた不燃水蒸気バリアフィルムから作製した試験片長さ257mm、幅182mmの短辺が上下にくるようにして45°傾斜に保持し、燃料容器鉄製、厚さ0.8mm、直径17.5mm、高さ7.1mmの底の中心が、試験片の下面の中心の垂直下方25.4mmの位置となるように、台に載せ、純エチルアルコール0.5mLを入れて着火し、燃料が燃えつきるまで放置し、燃焼性をアルコールの燃焼中と燃焼後とに分け、燃焼中はサンプルへの着火、着炎、煙及び火勢を観察し、燃焼後は残炎、残じん、炭化及び変形状態を調べた。試験片に着火がなく、発煙が少なく、又、エチルアルコールの燃焼後、変色が試験片の縁に達していない場合は極難燃性とし、変色の大きさが100mm以内の場合は不燃性として判定した。コーンカロリーメーター試験総発熱量、最大発熱速度、及び、着火開始時間の評価得られた不燃水蒸気バリアフィルムについて、ISO5660-1に準拠したコーンカロリーメーター試験機東洋精機製作所社製、コーンカロリーメーターIIIを用いて、加熱開始後20分間の総発熱量MJ/m2、加熱開始後20分間の最大発熱速度kW/m2、加熱開始後から着火するまでの時間秒を測定した。線膨張係数得られた不燃水蒸気バリアフィルムから、幅5mm、長さ10mmの試験片を作製し、TMA装置島津製作所社製、TMA-60を用い、引張りモ-ド、荷重1.0g、10°C/分の条件で、50~250°Cにおける線膨張係数を測定した。耐屈曲性得られた不燃水蒸気バリアフィルムについて、JIS-K5600-5-1に準拠した方法で耐屈曲性円筒形マンドレル法試験を実施した。試験方法は、1~5mm径マンドレルを使用し、一つの試験片に対して大きい直径のマンドレルから小さいマンドレルへと順に試験し、フィルム割れやひび割れの初めて起こるマンドレル直径を示した。1mmのマンドレルでも割れの生じなかったフィルムについては1mm以下とした。絶縁破壊電圧JISC2110に準拠した方法で絶縁破壊電圧を測定した。陽極として厚み100μm、10cm角のアルミ箔電極、陰極として真鍮性25mmφの電極を用い、この間に不燃水蒸気バリアフィルムをはさみ、直流高圧安定化電源春日電気社製を用いて、100V/秒の速度で昇圧しながら電圧を印加し、電流が10mA以上流れた場合を絶縁破壊したものとした。その時の電圧を測定点のフィルム厚みで割った値を絶縁破壊強度とし、5点測定した時の中央値で示した。水蒸気透過度JISK7126A法差圧法に準じた差圧式のガスクロ法により、ガスや蒸気等の透過率や透湿度の測定が可能なガス蒸気透過率測定装置GTRテック社製を用いて、40°C、90RHの条件で不燃水蒸気バリアフィルムの水蒸気透過度の測定を行った。"