"パンチ11が装着され駆動装置13によって昇降する上部テーブル2と、この上部テーブル2の加圧力を受け、前記パンチ11とによって板材9を曲げ加工するダイ12が装着される下部テーブル3と、前記下部テーブル3又は上部テーブル2の少なくとも一方のテーブルの所定位置に設けられ、前記加圧力によって発生するテーブルのたわみ量を補正するクラウニングシリンダ4と、光を出射する発光器51a、52a、61a、61b及び発光器51a、52a、61a、61bからの光を受光する受光器51b、52b、61b、62bからなり、前記上部テーブル2及び下部テーブル3のそれぞれに取り付けられ、前記加圧力によって発生するたわみ量を検出するたわみ検出装置5,6と、前記上部テーブル2側のたわみ検出装置5が検出したたわみ量と前記下部テーブル3側のたわみ検出装置6が検出したたわみ量とが同じとなるように前記クラウニングシリンダ4を駆動制御する制御装置7とを備えていることを特徴とする曲げ加工機1。請求項1記載の曲げ加工機1であって、前記たわみ検出装置5,6は前記上部テーブル2及び下部テーブル3の長さ方向の左右位置に一対がそれぞれ設けられていることを特徴とする曲げ加工機1。請求項1又は2記載の曲げ加工機1であって、前記発光器51a、52a、61a、61b又は受光器51b、52b、61b、62bのいずれか一方が上部テーブル2及び下部テーブル3の長さ方向の中央部分に設けられ、他方が長さ方向の両端部分に設けられていることを特徴とする曲げ加工機1。請求項1~3のいずれか1項記載の曲げ加工機1であって、前記受光器51b、52b、61b、62bは前記発光器51a、52a、61a、61bからの光が入射する位置を測定することを特徴とする曲げ加工機1。曲げ加工機においては、板材の曲げ加工時における上下のテーブルのたわみ量が不明であるため、試し曲げを行う必要がある。試し曲げを行うことから、従来では、製品加工に手間がかかる問題がある。そこで、本発明は、板材の実際の曲げ加工の際にテーブルのたわみをインラインで補正を行うことにより試し曲げを不要とした曲げ加工機を提供することを目的とする。請求項1記載の発明の曲げ加工機は、パンチが装着され駆動装置によって昇降する上部テーブルと、この上部テーブルの加圧力を受けて前記パンチとによって板材を曲げ加工するダイが装着された下部テーブルと、前記下部テーブル又は上部テーブルの少なくとも一方のテーブルの所定位置に設けられ、前記加圧力によって発生するテーブルのたわみ量を補正するクラウニングシリンダと、光を出射する発光器及び発光器からの光を受光する受光器からなり、前記上部テーブル及び下部テーブルのそれぞれに取り付けられ、前記加圧力によって発生するたわみ量を検出するたわみ検出装置と、前記上部テーブル側のたわみ検出装置が検出したたわみ量と前記下部テーブル側のたわみ検出装置が検出したたわみ量とが同じとなるように前記クラウニングシリンダを駆動制御する制御装置とを備えていることを特徴とする。請求項2記載の発明は、請求項1記載の曲げ加工機であって、前記たわみ検出装置は前記上部テーブル及び下部テーブルの長さ方向の左右位置に一対がそれぞれ設けられていることを特徴とする。請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の曲げ加工機であって、前記発光器又は受光器のいずれか一方が上部テーブル及び下部テーブルの長さ方向の中央部分に設けられ、他方が長さ方向の両端部分に設けられていることを特徴とする。請求項4記載の発明は、請求項1~3のいずれか1項記載の曲げ加工機であって、前記受光器は前記発光器からの光が入射する位置を測定することを特徴とする。請求項1記載の発明によれば、上部テーブル及び下部テーブルに取り付けられたたわみ検出装置が板材の曲げ加工で発生するテーブルのたわみ量を検出し、制御装置が上下のテーブルのたわみ量が同じとなるようにクラウニングシリンダを駆動するため、上下のテーブルのたわみを板材の実際の曲げ加工時に補正することができる。このため、インラインでのたわみ補正が可能となり、試し曲げが不要となって手間のかからない製品加工が可能となる。請求項2記載の発明によれば、たわみ検出装置が上下のテーブルの長さ方向の左右位置に一対となって設けられており、テーブルの左右でたわみを検出する。このため上下のテーブルのたわみを正確に検出することができ、高精度なたわみ補正が可能となる。請求項3記載の発明によれば、発光器又は受光器のいずれか一方が上部テーブル及び下部テーブルの長さ方向の中央部分に設けられ、他方が長さ方向の両端部分に設けられることにより、たわみ検出装置が上下テーブルの長さ方向に沿って設けられた構造となり、上下のテーブルに発生するたわみをテーブルの長さ方向で検出することができる。これによりたわみを正確に検出することができ、高精度なたわみ補正が可能となる。請求項4記載の発明によれば、受光器が発光器からの光が入射する位置を測定するため、受光器が上下のテーブルのたわみ量を検出することができる。このため、上下のテーブルのたわみ量を簡単に検出することができる。以下、図1~図3を参照して本発明の一実施形態の曲げ加工機を説明する。図1は、曲げ加工機1の全体の正面図、図2は受光器による光の検出を示す正面図、図3はたわみ検出装置によるたわみとテーブルのたわみとの関係を示す正面図である。図1に示すように曲げ加工機1は、上部テーブル2と下部テーブル3とクラウニングシリンダ4と上部たわみ検出装置5と下部たわみ検知装置6と制御装置7とを備えている。上部テーブル2及び下部テーブル3は相互に対向するようにフレーム8に設けられており、たとえば、下部テーブル3に対して上部テーブル2が昇降する下部テーブル3がフレーム8に一体的に設けられており、上部テーブル2がフレーム8に対して昇降する。上部テーブル2を昇降させるため、上部テーブル2の上部は駆動装置としての加圧シリンダ13に連結されている。加圧シリンダ13のピストンロッドが伸長作動することにより上部テーブル2が下降して下部テーブル3との間で板材9を加圧する。板材9の曲げ加工は、パンチ11及びダイ12によって板材9を挟み込み板材9に加圧力を作用させることにより行われる。パンチ11は、たとえば上部テーブル2の下面に装着され、ダイ12はパンチ11に対向するように、たとえば下部テーブル3の上面に装着されている。板材9を曲げ加工するための加圧力は、上部テーブル2が下降してパンチ11及びダイ12によって板材9を挟み込んで押圧することにより行われる。この曲げ加工の際には、図3に示すように上部テーブル2及び下部テーブル3にたわみが発生する。クラウニングシリンダ4は下部テーブル3の内部内方に設けられている。クラウニングシリンダ4は、板材9への曲げ加工の際に、たとえば上部テーブル2に発生したたわみに合わせて下部テーブル3をたわませるものである。たわみは図3に示すように、上下テーブル2、3において、これらの長さ方向の中央部分が大きく湾曲する凹状に湾曲するように発生する。このため、クラウニングシリンダ4は下部テーブル3の長さ方向の中央部分中間部分を湾曲させる凸状に湾曲させるように下部テーブル3の長さ方向の中央部分に対応して設けられている。上部たわみ検出装置5は、上部テーブル2に発生したたわみ量を検出する。この実施形態において、上部たわみ検出装置5は上部テーブル2の長さ方向の左右位置に一対となって設けられており、左側検出部51及び右側検出部52を備えている。左側検出部51及び右側検出部52は、それぞれ一組の発光器51a、52a及び受光器51b、52bによって形成されている。下部たわみ検出装置6は下部テーブル3に発生したたわみ量を検出する。下部たわみ検出装置6は上部たわみ検出装置5と同様に下部テーブル3の長さ方向の左右位置に一対となって設けられることにより、上部たわみ検出装置5と同様に左側検出部61及び右側検出部62を備えている。左側検出部61及び右側検出部62は、上部たわみ検出装置5と同様に、それぞれ一組の発光器61a、62a及び受光器61b、62bによって形成されている。上下のたわみ検出装置5,6における発光器51a、52a及び61a、62aは、例えばレーザ光を発振するレーザ発振器が用いられ、受光器51b、52b及び61b、62bは、対応した発光器51a、52a及び61a、61bからの光を受光する受光センサが用いられる。受光器51b、52b及び61b、62bは、対応した発光器51a、52a及び61a、62aからの光が入射する位置を測定可能な受光センサが用いられるものであり、受光センサとしては、例えばCCDラインセンサやPSD光位置センサが用いられる。図2は上部たわみ検出装置5における左側検出部51の光検出状態を示す。図2aは上部テーブル2がたわみを発生しない状態での受光器51bの検出状態であり、たわみを発生しない状態では、受光器51bは発光器51aからの光を位置L0で受光する。図2bは板材9への曲げ加工によって上部テーブル2がたわみを発生した状態での受光器51bの検出状態であり、所定量のたわみを発生した状態では、受光器51bは発光器51aからの光を位置L1で受光する。このようにたわみの発生前後において、受光器51bへの光の入射位置が変化することにより、上部テーブル2のたわみ量をL1-L0として検出することができる。このため、上部テーブル2のたわみ量を簡単に検出することができる。以上の左側検出部51による検出構造は、右側検出部52及び下部たわみ検出装置6における左側検出部61及び右側検出部62も同様となっているものである。この実施形態において発光器51a、52a及び61a、62aは、加圧シリンダ13よりも外側で、上部テーブル2及び下部テーブル3の長さ方向の両端部分に配置されており、受光器51b、52b及び61b、62bは、上部テーブル2及び下部テーブル3の長さ方向の中央部分に配置されている。このように受光器51b、52b及び61b、62bが上部テーブル2及び下部テーブル3の長さ方向の中央部分に設けられることにより、図2に示す光の検出テーブル2,3のたわみ量の検出が、たわみが最も大きくなる部分で検出することができる。これにより、上下のテーブル2,3に発生するたわみを正確に検出することができ、後述するクラウニングシリンダ4によるたわみ補正を高精度に行うことができる。制御装置7は、上部たわみ検出装置5及び下部たわみ検出装置6における受光器51b、52b及び61b、62bが検出した検出結果が入力され、この検出結果に基づいてクラウニングシリンダ4の駆動を制御する。制御装置7は演算部71及び制御部72を有している。演算部71は上下のテーブル2,3にたわみが発生する前及び発生した後における受光器51b、52b及び61b、62bの検出結果が入力され、入力された検出結果に基づいて上下のテーブル2,3に発生したたわみ量を算出する。制御部72は下部テーブル3のたわみ量が上部テーブル2に発生したたわみ量と同じとなるようにクラウニングシリンダ4を駆動制御する。これにより、上下のテーブル2,3のたわみ量を補正することができる。次にたわみ補正の具体例を図3により説明する。図3は上部テーブル2が下降することにより、パンチ11及びダイ12によって板材9を曲げ加工するときのたわみを示している。板材9を加圧していないたわみの発生前において、上部たわみ検出装置5の左側検出部51の受光器51bは位置L0で光を検出し、右側検出部52の受光器52bは位置R0で光を検出する。又、下部たわみ検出装置6の左側検出部61においては受光器61bが位置M0で光を検出し、右側検出部62においては受光器62bが位置N0で光を検出する。板材9を加圧して曲げ加工することにより上下のテーブル2,3にたわみが発生する。上部テーブル2においては、Z1のたわみ量が発生し、下部テーブル3においてもたわみが発生する。このたわみの発生した後において、上部たわみ検出装置5の左側検出部51の受光器51bは位置L1で光を検出し、右側検出部52の受光器52bは位置R1で光を検出する。下部たわみ検出装置6の左側検出部61においては、受光器61bが所定の位置で光を検出し、右側検出部62においては受光器62bが位置で光を検出する。制御装置7の演算部71は、上部テーブル2のたわみ量Z1をL1-L0又はR1-R0により算出する。又、制御装置7の制御部72は、演算部71が算出した上部テーブル2のたわみ量Z1と下部テーブル3のたわみ量Z2と等しくなるようにクラウニングシリンダ4を駆動する。すなわち、制御装置7の制御部72は、受光器61bが位置M1で光を検出し、受光器62bが位置N1で光を検出するように、クラウニングシリンダ4を駆動する。これにより、上部テーブル2のたわみ量凹状のたわみ量と下部テーブル3のたわみ量凸状のたわみ量とが同じとなり、たわみ量が補正された状態で板材9を曲げ加工することができる。このような実施形態では、上部テーブル2及び下部テーブル3に取り付けられたたわみ検出装置5,6が板材9の曲げ加工で発生する上部テーブル2のたわみ量Z1を検出し、制御装置7が上下のテーブル2,3のたわみ量が同じとなるように下部テーブル3のクラウニングシリンダ4を駆動するため、上下のテーブル2,3のたわみを板材9の実際の曲げ加工時に補正することができる。このため、インラインでのたわみ補正が可能となり、試し曲げが不要となり、手間がかからない製品加工が可能となる。又、たわみ検出装置5,6が上下のテーブル2,3の長さ方向の左右位置に一対となって設けられており、各テーブル2,34の左右でたわみを検出するため、上下のテーブル2,3のたわみを正確に検出することができ、高精度なたわみ補正ができる。又、受光器51b、52b及び61b、62bが上下のテーブル2,3の長さ方向の中央部分に設けられており、たわみが最も大きな部分で検出するため、たわみ量を正確に検出することができ、高精度なたわみ補正が可能となる。以上の実施形態では、上部テーブル2及び下部テーブル3のそれぞれに対して一対の検出部51、52及び61、62を長さ方向の左右位置に設けているが、上部テーブル2及び下部テーブル3に対しては、検出部を長さ方向の左側又は右側のいずれかに設けても良い。又、たわみ検出装置5、6においては、受光器51b、52b及び61b、62bを上下のテーブル2,3の長さ方向の中央部分に設け、発光器51a、52a及び61a、62aを上下のテーブル2,3の長さ方向の両端部分に設けているが、この逆としても良い。すなわち、受光器51b、52b及び61b、62bを上下のテーブル2,3の長さ方向の両端部分に設け、発光器51a、52a及び61a、62aを上下のテーブル2,3の長さ方向の中央部分に設けても良い。又、クラウニングシリンダ4を下部テーブル3に設けているが、上部テーブル2に設けても良く、上部テーブル2及び下部テーブル3の両方に設けても良い。"