基板の光入出射面のうち少なくとも一方の面に複数の単位ユニットが2次元的に配置された焦点板において前記単位ユニットは前記基板より段差高が等しい複数の段差部が連続して積み重ねられ、前記単位ユニットの中央部が最も高い階段形状よりなり、前記段差部の段差高をhとするとき、75nm<h<175nmなる条件を満足することを特徴とする焦点板。前記基板に配置された前記複数の単位ユニットの配置ピッチをPとするとき、5μm<P<30μmなる条件を満足することを特徴とする請求項1の焦点板。前記階段形状は隣接する領域の段差部の段差高が等しく、6段以上の段差部より構成されていることを特徴とする請求項1又は2の焦点板。請求項1乃至3のいずれか1項の焦点板を有することを特徴とするファインダー系。請求項4のファインダー系を有することを特徴とする撮像装置。特許文献1に開示された光拡散シートは光拡散層が光透過性樹脂中に光拡散性微粒子を分散して構成されており、表面が微細構造を有する拡散面からなっていない。このような光拡散層は、焦点位置をある面に特定することができない。このため、撮像装置のファインダー系に用いる焦点板として用いることが難しい。特許文献2に開示された焦点板は平滑なマイクロレンズ表面への反射低減効果を有するコーティングやサブ波長格子を付加する際、成型後の2次加工か、成型型への付加的な加工が必要となってくる。微細凹凸構造体をレンズ面に形成すると、比較的広い波長範囲で入射角度特性の良い反射防止特性が得られる。しかしながらマイクロレンズアレイのような拡散性のある表面に微細凹凸構造体を適用し、良好なる反射防止効果を得るには、マイクロレンズアレイの表面に適用する微細凹凸構造体の構成を適切に設定することが重要になってくる。特にマイクロレンズアレイは表面が凹凸形状の光が拡散する粗面であるため、微細凹凸構造体を適切に設定しないと表面全体にわたり均一でしかも良好なる反射防止効果を得ることが難しくなってくる。本発明は高い拡散性を有し、ピント合わせが容易でしかも良好なる反射防止効果を有し、明るいファインダー像の観察が容易な焦点板及びそれを有するファインダー系の提供を目的とする。本発明の焦点板は、基板の光入出射面のうち少なくとも一方の面に複数の単位ユニットが2次元的に配置された焦点板において前記単位ユニットは前記基板より段差高が等しい複数の段差部が連続して積み重ねられ前記単位ユニットの中央部が最も高い階段形状よりなり、前記段差部の段差高をhとするとき、75nm<h<175nmなる条件を満足することを特徴としている。本発明によれば、高い拡散性を有し、ピント合わせが容易でしかも良好なる反射防止効果を有し、明るいファインダー像の観察が容易な焦点板が得られる。以下、添付図面を参照して、本発明の焦点板及びそれを有するファインダー系、更にファインダー系を用いた撮像装置について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。本発明の焦点板は、透明な基板の光入出射面のうち少なくとも一方の面に複数の単位ユニットが2次元的に配置されている。単位ユニットは基板より段差高が等しい複数の段差部が連続して積み重ねられ、単位ユニットの中央部が最も高い階段形状よりなっている。階段形状より成る単位ユニットは全体として凸形状より成っている。単位ユニット間は全体として凹形状となっている。[実施例1]図1は、本発明の焦点板を有するファインダー系を撮像装置1に適用したときの構成を示す概略断面図である。本実施例の撮像装置1は、被写体からの光を、撮像レンズ10を介して撮像素子70に結像し、被写体を撮像する。本実施例の撮像装置は、デジタル一眼レフカメラに適用しているが、ファインダー系を有する撮像装置であればどのようなものでも良い。撮像装置1は、撮像レンズ10と、カメラ本体20を有する。撮像レンズ10は、交換型の撮像レンズであり、焦点調節レンズ合焦レンズを含む自動焦点検出用の光学系を備えている。カメラ本体20は、一部がハーフミラーよりなる回転ミラークイックリターンミラー30と、サブミラー40と、光学ローパスフィルター60と、撮像素子70と、自動焦点調整ユニット50を有する。更にファインダー系を構成する焦点板80と、ペンタプリズム90と、接眼レンズ100等を有する。そしてこれらの各部材を収納し、マウント部22を介して撮像レンズ10を着脱可能に保持している。回転ミラー30は、一部にハーフミラー面を有し、撮像レンズ10を透過した光光像の一部を反射し、焦点板80に導光する。残りの光束をサブミラー40に導光する。回転ミラー30は、撮像光路上への挿脱が可能なように構成され、ファインダー像観察時には撮像光路上の所定の位置に配置され、撮影時には撮像光路外に退避する。サブミラー40は、回転ミラー30と撮像素子70との間に設けられ、撮像レンズ10と回転ミラー30のハーフミラー面を透過した光を反射し、自動焦点調整ユニット50に導光する。自動焦点調整ユニット50は、撮影レンズ10の焦点を検出する機能を有する。例えば、撮像レンズ10の異なる瞳領域を透過した光束によって形成される2つの被写体像の位相差から撮像レンズ10の焦点状態を検出する、位相差検出方式を用いている。また、自動焦点調整ユニット50は、焦点検出結果に基づいて、被写体像が撮像素子70に結像するように図示しないフォーカスレンズの光軸方向の位置を駆動制御する。光学ローパスフィルター60は、撮像レンズ10から撮像素子70に至る撮像光路中に配置され、撮像レンズ10のカットオフ周波数を制限する。光学ローパスフィルター60は、撮像素子70上に被写体像の周波数のうち必要以上に高い周波数成分が入射しないようにしている。撮像素子70は、撮像レンズ10により結像される被写体からの光を受光し、画像信号に変換する光電変換機能を有する。撮像素子70は、例えば、受光した光を画素毎に電気信号に変換し、その光量に応じた電荷をそれぞれ蓄積して、その電荷を読み出すタイプのエリアセンサーなどで構成される。なお、撮像素子70からの出力信号は、図示しない画像処理回路にて所定の処理が施されて画像データとなり、かかる画像データは図示しないメモリー等外部の記憶媒体に記憶される。焦点板80には撮影レンズ10によって結像される被写体像が形成される。焦点板80は、そこに形成される被写体像に基づく光を拡散してペンタプリズム90側に射出する。図2は図1の焦点板80の要部断面図である。焦点板80は、上面ペンタプリズム90側に光を拡散する拡散面82を有する。図3は図2の焦点板80の光出射面の一部分の拡大説明図である。焦点板80の拡散面82は、表面が複数の階段形状を持つマイクロレンズ単位ユニットを2次元的に複数配列して形成される。図4は図3の2つのマイクロレンズM1、M2を線分B1B2で切った断面の拡大図である。図3から分かるように単位ユニットのマイクロレンズはピッチ間隔Pの等間隔で2次元的に配置されている。本実施例において、基板に配置された前記複数の単位ユニットの配置ピッチをPとするとき、5μm<P<30μma1である。等間隔のマイクロレンズを一眼レフカメラの焦点板に用いる場合その間隔を条件式a1の如く設定してファインダー像の観察を良好に行っている。5μmを超えてピッチPを短くすると回折による拡散の角度が大きくなり大きなFナンバーの撮影レンズを装着したときに暗くなってしまう。一方30μmを越えてピッチPを長くするとマイクロレンズその物が接眼レンズ100を介して見えてしまい、荒いファインダー像となる。図5は図3の1つのマイクロレンズM1の構成の説明図である。図2の拡散面80は図5に示すマイクロレンズM1が複数規則的に並び構成されている。図6は図5中のA1A2断面図である。マイクロレンズM1の表面は段差高hが等しい複数の段差部h1~h8が連続して積み重ねられた階段形状Haよりなっている。そしてマイクロレンズM1の中央部が最も高くなっている。本実施例において、階段形状Haを有するマイクロレンズM1の表面は一段あたりhの高さを持つ段差部h0~h8で構成され全体でHの高さよりなっている。一眼レフカメラのファインダー系に用いる拡散板としては装着される撮影レンズのFナンバーとマイクロレンズM1のFナンバーを一致させることで合焦判定がし易くなる事が知られている。したがって、この高さHとピッチPを適時選択することで一眼レフカメラに好適な拡散特性を得ることが出来る。高さHを大きくするとマイクロレンズの焦点距離fが短くなり、ピッチPを大きくするとマイクロレンズの径Dが拡大する。マイクロレンズのFナンバーはf/Dで得られるため使用する撮影レンズにあわせてピッチPと高さHを適時選択すればよい。本実施例では高さhを使用する中心波長λのおよそ1/4とすることで反射低減効果を得ている。本実施例の焦点板において段差部の段差高をhとするとき、75nm<h<175nma2なる条件を満足している。これによって、ファインダー像の観察を良好に行っている。本実施例において、階段形状は隣接する領域の段差部の段差高が等しく、6段以上の段差部より構成されているのが良い。反射低減効果を得ることが出来る基本的な考え方は光の干渉作用が基となる。図6において段差部h8と段差部h7の反射光は互いに干渉し弱めあう結果反射率が低減する。同様に段差部h2と段差部h1、段差部h1と段差部h0の反射光が互いに干渉し弱めあうことで反射率が低減する。干渉により反射光が弱めあうのは互いの位相差が1/2λのときである。そのために段差部は1/4λとなっているのが良い。マイクロレンズMの高さをHとすると段数nは以下の式で得ることが出来る。n≒4H/λ式1H=nh式2ただし、段数は整数である必要があるため、ひとつ、もしくは複数の一段あたりの高さhを調整する必要がある。一眼レフカメラの焦点板を構成するのに好適なパラメータは、例えば以下のとおりである。マイクロレンズピッチP=5~30μm全体高さH1~3μm段差部の高さh=50~200nm本実施例における単位ユニットにおける段差形状の解析はSWSサブ波長格子などの解析に用いる等価屈折率薄膜計算ではなく、RCWAにより回折の影響を考慮した解析が必要となる。本発明者によるRCWA法厳密結合波解析による計算では400nm~700nmにおいて球面形状のマイクロレンズを階段形状で近似した場合1/4λよりも若干少ない段差でボトムの反射率となる結果を得た。したがって、球面形状のマイクロレンズに近い形状を階段形状で近似するのであれば、式1で少数点以下を切り捨てとしてnを得ればよりよい結果を得ることが出来る。[実施例2]図7は本発明の焦点板の実施例2の説明図である。実施例2の焦点板では図5で示す単体のマイクロレンズM1の頂点位置をランダムに2次元的に配置した形状となっている。図7の線で囲まれた境界は同一のたかさを示す等高線となっている。ここでも実施例1と同様に段差hをおよそ14λで構成することで反射を低減する効果を得ている。反射低減作用は各段を構成する段差部の形状に拠らずとなりある段差が14λであれば良く、このように規則的な並びだけでなくあらゆる配置に対して段差をおよそ14λで構成することができれば反射低減作用を持った拡散面の作製が可能となる。本実施例の焦点板は成形後もしくは型への2次的な加工無しに反射低減効果が容易に得られる。以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。