"処理チャンバーに連通させる弁箱の連通孔の周囲をシールするシール部材を備え、該弁箱内において該連通孔を開閉する弁板を、弁ロッドの先端側の弁板取付部に固定して、該弁ロッドの駆動機構により、上記連通孔を開放及び閉鎖する位置に上記弁板を転移可能にし、上記弁箱における上記弁ロッドが導入される側とは反対側の面を上記弁板を取り出し可能にする開口として、板状の蓋体を開閉自在に被設したゲートバルブにおいて、上記弁板に、それと連結する上記弁ロッドの先端側の弁板取付部が挿入される取付孔を備え、該弁板の取付孔内において上記シール部材を備えたシール面に背向する内面と、それに対面する上記弁ロッドの弁板取付部の外面とに、それらの連結時に相互に密接される接合平面を形成し、上記弁ロッドの弁板取付部の基端側で上記弁板の基端側端部との接合段部に、上記弁板の基端側端部を押し付けたときに、くさび効果により上記弁板と弁ロッドの接合平面を相互に圧接させる傾斜面を設け、上記弁ロッドの先端部と弁板の先端側端面とにねじ固定してそれらを連結すると共に、上記弁板の基端側端部を弁ロッドの上記接合段部に押し付ける連結板に、それを弁ロッドと弁板の両先端間に取り付けたときに、上記弁板と弁ロッドの先端側において上記両接合平面を相互に圧接させる圧接機構を備えている、ことを特徴とするゲートバルブ。上記弁ロッドの弁板取付部の基端側の接合段部において、くさび効果により弁板と弁ロッドの接合平面を相互に圧接させる傾斜面を、該弁ロッドの上記接合平面に対向して鋭角的に交差する傾斜平面としている、ことを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブ。上記連結板の圧接機構が、該連結板における弁ロッド側の端部と、連結板の該端部が当接する弁ロッドの先端部との間に、それらのねじ固定に伴う押し付けにより弁板と弁ロッドの両接合平面を相互に圧接する方向の分力が発生する斜面部を備えることにより構成され、上記連結板における弁ロッドの先端部に螺挿するねじの挿通孔に、該ねじの螺挿時における連結板と弁ロッドの先端部との相対的なずれ動きに対応する寸法的余裕を持たせている、ことを特徴とする請求項1または2に記載のゲートバルブ。上記連結板における弁板の上記シール面側の端部に、該弁板の先端側端面に設けた凹溝に係合する屈曲部を備えている、ことを特徴とする請求項3に記載のゲートバルブ。上記連結板の圧接機構が、弁板の先端側端面にねじ固定された上記連結板に、該弁板の先端側端面における上記シール面とは反対側から上記弁ロッドの先端部に向かって突出して、先端係合部が該弁ロッドの先端部に係合する舌片を備え、該舌片の中間部に、それを弁ロッドの先端部にねじ固定する際に伸長する屈曲部を設けることにより構成され、上記連結板の舌片における弁ロッドの先端部に螺挿するねじの挿通孔に、該ねじの螺挿時における上記舌片と弁ロッドの先端部との相対的なずれ動きに対応する寸法的余裕を持たせている、ことを特徴とする請求項1または2に記載のゲートバルブ。上記弁板は、本来、弁ロッドに対して適切な姿勢で強固に固定することが望まれるが、それは、高精度の加工で高強度の固定手段を採用することを望むのではなく、弁箱の上端の開口から容易に着脱操作できる範囲において、可及的に適切な姿勢で強固に固定する手段であって、発塵等の問題も避けられる構成ではあるが、簡単で安定的な姿勢に取り付ける着脱構造を採用することが要求される。本発明の技術的課題は、処理チャンバーに通じる弁箱の連通路を弁板で開閉するゲートバルブについての上述した要求を満たす構成を提供することにあり、更に具体的には、くさび効果等を利用した簡単な取付構造で、弁ロッドの弁板取付部における基端側及び先端側を強固に固定し、しかも、互いに対面する弁板と弁ロッドの接合平面を相互に強く密接させることにより弁板の姿勢を安定化させるようにしたゲートバルブを提供することにある。上記課題を解決するため、本発明によれば、処理チャンバーに連通させる弁箱の連通孔の周囲をシールするシール部材を備え、該弁箱内において該連通孔を開閉する弁板を、弁ロッドの先端側の弁板取付部に固定して、該弁ロッドの駆動機構により、上記連通孔を開放及び閉鎖する位置に上記弁板を転移可能にし、上記弁箱における上記弁ロッドが導入される側とは反対側の面を上記弁板を取り出し可能にする開口として、板状の蓋体を開閉自在に被設したゲートバルブにおいて、次の構成を備えたことを特徴とするゲートバルブとして構成される。即ち、上記ゲートバルブにおいて、上記弁板に、それと連結する上記弁ロッドの先端側の弁板取付部が挿入される取付孔を備え、該弁板の取付孔内において上記シール部材を備えたシール面に背向する内面と、それに対面する上記弁ロッドの弁板取付部の外面とに、それらの連結時に相互に密接される接合平面を形成し、上記弁ロッドの弁板取付部の基端側で上記弁板の基端側端部との接合段部に、上記弁板の基端側端部を押し付けたときに、くさび効果により上記弁板と弁ロッドの接合平面を相互に圧接させる傾斜面を設け、上記弁ロッドの先端部と弁板の先端側端面とにねじ固定してそれらを連結すると共に、上記弁板の基端側端部を弁ロッドの上記接合段部に押し付ける連結板に、それを弁ロッドと弁板の両先端間に取り付けたときに、上記弁板と弁ロッドの先端側において上記両接合平面を相互に圧接させる圧接機構を備えていることを特徴とするものである。本発明に係るゲートバルブの好ましい実施形態においては、上記弁ロッドの弁板取付部の基端側の接合段部において、くさび効果により弁板と弁ロッドの接合平面を相互に圧接させる傾斜面を、該弁ロッドの上記接合平面に対向して鋭角的に交差する傾斜平面として構成される。また、本発明に係るゲートバルブの他の好ましい実施形態においては、上記連結板の圧接機構が、該連結板における弁ロッド側の端部と、連結板の該端部が当接する弁ロッドの先端部との間に、それらのねじ固定に伴う押し付けにより弁板と弁ロッドの両接合平面を相互に圧接する方向の分力が発生する斜面部を備えることにより構成され、上記連結板における弁ロッドの先端部に螺挿するねじの挿通孔に、該ねじの螺挿時における連結板と弁ロッドの先端部との相対的なずれ動きに対応する寸法的余裕を持たせたものとして構成される。この場合に、上記連結板における弁板の上記シール面側の端部に、該弁板の先端側端面に設けた凹溝に係合する屈曲部を備えたものとすることもできる。上記構成を有するゲートバルブにおいて、シール部材の交換等を行うために弁箱の蓋体を取り外し、弁板を取り出すに当たっては、弁ロッドの先端部にねじ固定しているねじを取り外すだけでよく、それによって、弁板を該連結板と共に弁ロッドの先端側の弁板取付部から取り外し、弁箱の開口を通して取り出すことができる。また、上記弁板を弁ロッドの先端部に取り付けるに際しては、上記連結板を弁板の先端側端面にねじ固定した状態で、弁ロッドと弁板の両接合平面が対面するようにして、該弁板の取付孔内に弁ロッドの弁板取付部が挿入されるように該弁板を弁箱に収め、その際、上記弁ロッドと弁板の接合平面を合わせて、弁ロッドの弁板取付部の基端側接合段部における上記接合平面とそれに鋭角的に交差する傾斜平面との間に、上記弁板の基端側端部を押し込みながら、上記弁板にねじ固定していた連結板を弁ロッドの先端部にもねじ固定し、それらを連結すると共に弁板の基端側端部を弁ロッドの上記接合段部に押し付けて、弁ロッドの弁板取付部の基端側接合段部における弁板との圧接を強固なものとし、更に、該連結板の圧接機構により、以下に詳述するように、弁板と弁ロッドの先端側においても上記両接合平面を相互に強く圧接させればよい。即ち、上記連結板の圧接機構は、連結板における弁ロッド側の端部と、連結板の該端部が当接する弁ロッドの先端部との間に、それらのねじ固定に伴う押し付けにより弁板と弁ロッドの両接合平面を相互に圧接する方向の分力が発生する斜面部を備えたものであり、そのため、上記連結板を弁ロッドの先端部にねじ固定して上記斜面部を弁ロッドに押し付けると、くさび効果による上記分力により弁ロッドが弁板側に圧接され、弁板と弁ロッドの接合平面が相互に強く圧接される。従って、上記弁ロッドと弁板とは、くさび効果等を利用した簡単な取付構造で、弁ロッドの弁板取付部における基端側及び先端側において接合平面を強固に固定することができる。また、本発明に係るゲートバルブの好ましい実施形態においては、上記連結板の圧接機構を、弁板の先端側端面にねじ固定された上記連結板に、該弁板の先端側端面における上記シール面とは反対側から上記弁ロッドの先端部に向かって突出して、先端係合部が該弁ロッドの先端部に係合する舌片を備え、該舌片の中間部に、それを弁ロッドの先端部にねじ固定する際に伸長する屈曲部を設けることにより構成され、上記連結板の舌片における弁ロッドの先端部に螺挿するねじの挿通孔に、該ねじの螺挿時における上記舌片と弁ロッドの先端部との相対的なずれ動きに対応する寸法的余裕を持たせたものとすることもできる。この連結板の圧接機構の場合には、連結板の舌片の中間部を弁ロッドの先端部にねじ固定する際に、該舌片が屈曲部において伸長することになるので、その伸長力で弁ロッドの先端部を弁板内面に圧接することになり、その他の構成は前述した圧接機構の場合と同様であるため、同様な作用で、弁ロッドの弁板取付部における基端側及び先端側において接合平面を強固に圧接し、固定することができる。上述した本発明のゲートバルブによれば、くさび効果等を利用した簡単な取付構造で、弁ロッドの弁板取付部における基端側及び先端側を強固に固定し、しかも、互いに対面する弁板と弁ロッドの接合平面を相互に強く密接させることにより、弁板の姿勢を安定化させるようにしたゲートバルブを得ることができる。図1~図3は、本発明に係るゲートバルブの第1実施例を示している。このゲートバルブは、半導体製造装置等における処理チャンバー等に接続して使用されるもので、弁箱1の前壁1aに該処理チャンバー等に連通させる連通孔2を備え、該弁箱1内において該連通孔2を開閉する弁板6の前面に、該連通孔2の周囲の弁座部2aに対応させて該連通孔2をシールするシール部材Oリング7を設けている。上記弁板6は、弁ロッド9の先端側の弁板取付部10に着脱自在に固定して、該弁ロッド9の図示を省略した駆動機構により、該弁板6が上記連通孔2を開放及び閉鎖する位置に転移可能にしたものである。更に具体的に説明すると、上記駆動機構により駆動される弁ロッド9は、弁箱1の底壁を通して該弁箱1内に導入され、弁箱1の前壁1aに開設された上記連通孔2の周囲の弁座部2aを弁板6のシール部材7によりシールする閉鎖位置から、該弁板6のシール部材7を弁座部2aから離間させて図1に示す後退位置にまで傾動させた後、該弁板6が上記連通孔2に対面する位置から図1の下方の該連通孔2から完全に離れる開放位置にまで転移するように構成したものである。なお、この種の駆動機構は従来から極めて一般的に知られているものであるから、更に具体的な説明は省略する。また、上記弁箱1は、上記前壁1aと相対する後壁1bに、該前壁1aの連通孔2に対向する連通孔3を備え、該弁箱1内を該前壁1aの連通孔2から後壁1bの連通孔3を通して他のチャンバーや流体機器等に直線的に連通させる通路を形成している。更に、該弁箱1の上面、つまり該弁箱1における上記弁ロッド9が導入される側とは反対側の面を、上記弁板6を弁ロッド9から取り外して外部に取り出し可能にする開口4とし、該開口4に板状の蓋体5を開閉自在に被設している。上記弁板6を弁ロッド9の先端側の弁板取付部10に取り付けるため、該弁板6には、それと連結する弁ロッド9の弁板取付部10が挿入される取付孔8を備え、一方、円柱状をなす該弁ロッド9の先端部の弁板取付部10は、図1及び図3に示すように、弁箱1の前壁1aに平行する2面で切除して平面化し、弁板6における上記取付孔8の内側でシール部材7を備えたシール面6aに背向するところの接合平面8aに対して密接させるところの、該弁ロッド9の弁板取付部10の前記連通孔2側を向く平面を、接合平面10aとしている。そして、上記弁ロッド9の弁板取付部10の基端側で上記弁板6の基端側端部6bとの接合段部10bに、上記弁板6の基端側端部6bを押し付けたときに、くさび効果により上記弁板6と弁ロッド9の接合平面8a,10aを相互に圧接させるための傾斜面11を形成している。上記傾斜面11は、一般的には、上記弁ロッド9の接合平面10aに対向して鋭角的に交差する単一の傾斜平面として構成されるが、上記弁ロッド9の接合段部10bに弁板6の基端側端部6bを押し付けたときに、その押し付け力の分力が上記弁板6と弁ロッド9の接合平面8a,10aとを相互に圧接させるようなものであればよい。また、上記弁ロッド9の先端部9aと弁板6の先端側端面6cとに、それぞれねじ15,16で固定してそれらを連結する連結板14は、図2に示すように、弁板6の先端側端面6cへの取付部14aと弁ロッド9の先端部9aへの取付部14bとを有し、上記弁ロッド9と弁板6の先端間を連結すると共に、それに伴って該弁板6の基端側端部6bを弁ロッド9の基端側の上記接合段部10bに押し付けるものであり、そして、該連結板14には、それを弁ロッド9と弁板6の両先端間に取り付けたときに、該弁板6と弁ロッド9の先端側においても上記両接合平面8a,10aを相互に圧接させるための圧接機構を備えている。上記圧接機構として、上記第1実施例においては、弁ロッド9の接合平面10aに背向する平面10cの上端に、該上端部を斜めに切除することにより形成される傾斜部10dを形成し、一方、上記連結板14における弁ロッド9側の端部にも、上記弁ロッド9の先端部の傾斜部10dに対面する傾斜部14cを形成している。そのため、上記連結板14をねじ15,16の螺挿により弁ロッド9と弁板6とに押し付けると、上記傾斜部10dと傾斜部14cとの圧接により、該弁板6と弁ロッド9の両接合平面8a,10aを相互に圧接する方向の分力が発生することになり、上記弁板6と弁ロッド9がそれらの接合平面8a,10aの先端側においても相互に圧接される。この圧接機構としては、上記第1実施例の構成に限らず、例えば、図4に示すような変形例の構成を採用することもできる。同図の変形例は、上記第1実施例の連結板14における弁板6のシール面6a側の端部に、該弁板6の先端側端面6cに設けた凹溝6dに係合する屈曲部14dを備えたものである。上記第1実施例及びその変形例の連結板14においては、弁ロッド9の先端部に螺挿するねじ15の螺挿時に、連結板14と弁ロッド9の先端部9aとの間に相対的なずれ動きが生じるので、該ねじ15の挿通孔14eには上記連結板14と弁ロッド9の先端部9aとの相対的なずれ動きに対応する寸法的余裕を持たせている。なお、上記変形例のその他の構成及び作用は、上記第1実施例の場合と変わるところがないのでそれらの説明は省略する。上記構成を有するゲートバルブにおいて、シール部材7の交換等を行うために弁箱1の蓋体5を取り外し、弁板6を取り出すに当たっては、弁ロッド9の先端部9aに固定しているねじ15を取り外すだけでよく、それによって、弁板6を該連結板14と共に弁ロッド9の先端側の弁板取付部10から取り外し、弁箱1の開口4を通して取り出すことができる。また、上記弁板6を弁ロッド9の先端部9aに取り付けるに際しては、上記連結板14を弁板6の先端側端面6cにねじ16で固定した状態で、弁ロッド9と弁板6の両接合平面8a,10aが対面するようにして、該弁板6の取付孔8内に弁ロッド9の弁板取付部10が挿入されるように該弁板6を弁箱1に収め、その際、上記弁ロッド9と弁板6の接合平面8a,10aを合わせて、弁ロッド9の弁板取付部10の基端側接合段部10bにおける上記接合平面10aとそれに鋭角的に交差する傾斜面11との間に、上記弁板6の基端側端部6bを押し込みながら、上記弁板6にねじ固定していた連結板14を弁ロッド9の先端部にもねじ固定し、それらを連結すると共に弁板6の基端側端部6bを弁ロッド9の上記接合段部10bに押し付けて、弁ロッド9の接合段部10bにおける弁板6との圧接を強固なものとし、更に、該連結板14の圧接機構により、弁板6と弁ロッド9の先端側においても上記両接合平面8a,10aを相互に強く圧接させればよい。上述した連結板の圧接機構としては、上記第1実施例以外の構成を採用することもできる。図5及び図6は上記圧接機構の構成を異にする第2実施例の要部を示すもので、上記弁板6の先端側端面6cにねじ26で固定される図6に示すような連結板24を備えている。この連結板24は、弁板6への取付部24aを両端部分に有し、弁ロッド9への取付部は、弁板6の先端側端面6cにおけるシール面6aとは反対側から上記弁ロッド9の先端部9aに向かって突出する舌片24bにより形成され、該舌片24bの先端係合部24cを該弁ロッド9の先端部9aの凹溝6eに係合させ、該舌片24bの中間部に、それを弁ロッド9の先端部9aにねじ25固定する際に平面状に伸長する屈曲部24dを設けている。また、上記連結板24の舌片24bにおける弁ロッド9の先端部9aに螺挿するねじ25の挿通孔24eには、該ねじ25の螺挿時における上記舌片24bと弁ロッド9の先端部9aとの相対的なずれ動きに対応する寸法的余裕を持たせている。上記連結板14における接合平面8a,10aの圧接機構は、連結板24における舌片24bの屈曲部24dを弁ロッド9の先端部9aにねじ25で固定する際、該屈曲部24dが直線状に伸長し、その伸長力で先端係合部24cが弁板6と弁ロッド9の両接合平面8a,10aを相互に圧接する方向の力を作用させることになるので、上記連結板24の舌片24bの弁ロッド9の先端部9aに対するねじ固定で、弁板6と弁ロッド9の接合平面8a,10aが相互に強く圧接される。この第2実施例におけるその他の構成及び作用は、前記第1実施例と変わるところがなく、従って、上記弁ロッド9と弁板6とは簡単な取付構造で弁ロッド9の弁板取付部10における基端側及び先端側において接合平面8a,10aを強固に固定することができる。"