汚泥を所定含水率に濃縮したのち、その濃縮汚泥を水熱反応器と気液分離器との間に所定時間循環させてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となる熱水温度に加熱しながら低分子化し、その低分子化汚泥をメタン発酵槽に所定時間滞留させてメタンガスを回収してなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法。請求項1の処理方法において、前記熱水温度を160~200°Cの温度範囲においてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が極大となる温度としてなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法。請求項1又は2の処理方法において、前記熱水温度を濃縮汚泥の所定循環時間に応じて調整してなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法。請求項1から3の何れかの処理方法において、前記低分子化汚泥をメタン発酵槽に3~5日滞留させてメタンガスを回収してなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法。請求項1から4の何れかの処理方法において、前記メタン発酵槽で回収したメタンガスを前記水熱反応器に供給して加熱エネルギーを賄ってなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法。汚泥を所定含水率に濃縮する濃縮装置、その濃縮汚泥を水熱反応器と気液分離器との間に所定時間循環させてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となる熱水温度に加熱しながら低分子化する循環型水熱反応装置、及びその低分子化汚泥を所定時間滞留させてメタンガスを回収するメタン発酵槽を備えてなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理システム。請求項6の処理システムにおいて、前記水熱反応装置の熱水温度を160~200°Cの温度範囲においてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が極大となる温度としてなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理システム。請求項6又は7の処理システムにおいて、前記水熱反応装置の熱水温度を濃縮汚泥の所定循環時間に応じて調整してなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法。請求項6から8の何れかの処理システムにおいて、前記メタン発酵槽に低分子化汚泥を3~5日滞留させてメタンガスを回収してなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理システム。請求項6から9の何れかの処理システムにおいて、前記メタン発酵槽で回収したメタンガスを入力して前記水熱反応器に加熱エネルギーを供給するエネルギー変換装置を設けてなる汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理システム。しかし、図4に示す連続式又はバッチ式の水熱反応装置10aは、比較的低濃度の汚泥スラリーを低分子化処理することは可能であるものの、固形分が高濃度に含まれる汚泥スラリーを低分子化処理するには適していない問題点がある。すなわち、図4のように1パススルー方式の水熱反応装置10aに高濃度の汚泥スラリーを供給すると、装置内部で固液分離が発生して液分が優先的に排出されると共に固形分が装置内部に滞留してしまうので、装置から排出される汚泥低分子化された汚泥に濃度のバラツキが生じやすい。また、装置内部に滞留した固形分が高温の内面に接触して固着又は焦げ付くおそれがある。従って、図4の水熱反応装置10aを用いた前処理は、汚泥を多量の水分が含まれる低濃度のまま加熱しなければならないので、低分子化処理に比較的大きな加熱エネルギーを必要とする課題が残る。これに対し図5のような循環型の水熱反応装置10は、固形分を含む高濃度汚泥スラリー例えば固形分率30~70重量の汚泥スラリーを低分子化処理することも可能である。すなわち、図5の水熱反応装置10では、水熱反応器11と気液分離器12とを結ぶ循環路の内容積をxy=汚泥スラリーの供給量xと分解水溶液の循環時間yとの積とすることによりスラリーを繰り返し系内循環させても循環路でのスラリー滞留時間を一定に維持することができ、しかも循環路にスラリー中の固形分の終末沈降速度より速い流れ例えば終末沈降速度の数倍程度の速さの流れを生じさせて上述した装置内部での固形分の沈降滞留を避けることができる。図5の循環型の水熱反応装置10を前処理として図4のメタン発酵槽20と組み合わせれば、汚泥を比較的小さな消費エネルギーで低分子化し、汚泥のメタン発酵処理効率を経済的に高めることが期待できる。しかし、水熱反応装置10とメタン発酵槽20とを組み合わせたシステム全体のエネルギー効率を見た場合、単に汚泥を低分子化する前処理の消費エネルギーが小さいだけでは充分でなく、メタン発酵処理において充分な量のメタンガスを回収することができ、回収したメタンガスのエネルギーにより前処理の消費エネルギーを補い又は賄えることが重要である。特許文献3は前処理における汚泥の分解特性の観点から水熱反応装置10の最適条件が設定できることを示唆しているが、メタン発酵槽20と組み合わせたシステム全体の観点からは、メタン発酵効率を高めてメタンガスの回収量が大きくなるように前処理の水熱反応装置10の条件を設定する必要がある。そこで本発明の目的は、水熱反応で前処理した汚泥からのメタンガス回収量を増やすことができるメタン発酵処理方法及びシステムを提供することにある。本発明者らは、前処理として水熱反応を組み合わせたメタン発酵処理の研究開発の結果、前処理の水熱反応により低分子化された汚泥以下、低分子化汚泥ということあるは、固形分の分解率が同程度であっても、水熱反応の反応温度以下、熱水温度ということがあるによってメタン発酵処理時に回収できる汚泥単位量当たりのメタンガス量が相違することを実験的に見出した後述する図3のグラフ参照。前処理における水熱反応の熱水温度をメタン発酵処理に適するように設定すれば、メタンガスの回収量を増やして前処理を含むシステム全体の効率を高めることが期待できる。本発明は、この知見に基づく更なる研究開発の結果、完成に至ったものである。図1の実施例を参照するに、本発明による汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法は、汚泥Sを所定含水率に濃縮したのち図1の濃縮装置4参照、その濃縮汚泥Sを水熱反応器11と気液分離器12との間に所定時間循環させてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となる熱水温度Tに加熱しながら低分子化し図1の水熱反応装置10参照、その低分子化汚泥Sをメタン発酵槽20に所定時間滞留させてメタンガスGを回収してなるものである。また、図1のブロック図を参照するに、本発明による汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理システムは、汚泥Sを所定含水率に濃縮する濃縮装置4、その濃縮汚泥Sを水熱反応器11と気液分離器12との間に所定時間循環させてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となる熱水温度Tに加熱しながら低分子化する循環型水熱反応装置10、及びその低分子化汚泥Sを所定時間滞留させてメタンガスGを回収するメタン発酵槽20を備えてなるものである。好ましくは、循環型水熱反応装置10の熱水温度Tを、160~200°Cの温度範囲においてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が極大となる温度Tとする。また、熱水温度Tは濃縮汚泥Sの所定循環時間水熱反応器11と気液分離器12との間に循環させる所定時間に応じて調整することが望ましく、低分子化汚泥Sはメタン発酵槽20に3~5日滞留させてメタンガスGを回収することが望ましい。更に好ましくは、図示例のように、メタン発酵槽20で回収したメタンガスGを入力して水熱反応器11に加熱エネルギーを供給するボイラーその他のエネルギー変換装置25を設ける。本発明による汚泥の水熱反応利用型メタン発酵処理方法は、汚泥Sを所定含水率に濃縮したうえで循環型水熱反応装置10に循環させてメタン発酵処理による汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となる熱水温度Tに加熱しながら低分子化し、その低分子化汚泥をメタン発酵槽20に所定時間滞留させてメタンガスGを回収するので、次の効果を奏する。イ汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となるように水熱反応装置10の熱水温度Tを調整するので、水熱反応装置10とメタン発酵槽20とを組み合わせたシステム全体のエネルギー効率を最適化することができる。ロまた、汚泥S中の固形分の種類や濃度が異なる場合でも、水熱反応装置10に循環させる所定時間を調節し、且つ、その循環時間に応じて熱水温度Tを汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となるように調整することにより、その汚泥Sからのメタンガス回収量を最大化することが期待できる。ハメタン発酵槽20からのメタンガス回収量を最大化することにより、水熱反応装置10の加熱エネルギーをメタンガスのエネルギーにより賄い、エネルギー自足的に汚泥Sを減容減量できるシステムとすることができる。図1は、例えば下水処理場1で発生する下水汚泥Sの減容減量化に本発明のメタン発酵処理システムを適用した実施例を示す。図示例のシステムは、汚泥Sを濃縮する濃縮装置4と循環型水熱反応装置10とメタン発酵槽20とを有する。下水処理場1で発生した生汚泥及び余剰汚泥例えば含水率約97を混合汚泥槽2に一旦蓄え、濃縮装置4により水熱反応装置10に適した含水率にまで濃縮したのち、濃縮された汚泥S以下、濃縮汚泥ということがあるを供給タンク6経由で反応装置10へ供給する。濃縮装置4において濃縮汚泥Sから分離された濾液は、水熱反応を介さず、原料タンク19経由でメタン発酵槽20へ直接導入する。好ましくは、図示例のように濃縮装置4に凝縮剤添加装置5を含めて汚泥S中の小粒径の固形分をもできるだけ凝縮して水熱反応装置10へ送り、固形分が濾液と共にメタン発酵槽20へ直接導入されることを防止する。濃縮装置4は、例えば真空脱水機、遠心分離機、フィルタープレス過圧脱水機等とすることができるが、天日乾燥による乾燥床等としてもよい。濃縮装置4による汚泥Sの濃縮の程度は、濃縮汚泥Sの含水率を低くするほど後述する水熱反応装置10における加熱エネルギーを小さく抑えることができ、システム全体のエネルギー効率の向上を図れるが、含水率を低くし過ぎると汚泥Sの粘性及び摩擦力が大きくなるので反応装置10の閉塞原因となりやすく、汚泥Sが高温の装置内面に固着焦げ付くおそれが生じる。水熱反応の熱水温度Tによっても相違するが、濃縮装置4により汚泥Sを含水率85~95の範囲内に濃縮して水熱反応装置10で処理することが可能であり、好ましくは濃縮汚泥Sの含水率を90~95として反応装置10での固着を防ぎ、更に固着を防ぐ必要がある場合は濃縮汚泥Sの含水率を93~95とする。図1に点線で示すように、水熱反応装置10に内部の汚泥Sの固着を検出する検出装置26を設け、その検出装置26で検出された固着状況に応じて濃縮装置4による汚泥Sの含水率を調整してもよい。図示例では、後述する反応装置10の循環ポンプ14の吐出側に流量計及び流量制御弁を設けて固着検出装置26とし、その流量計によって濃縮汚泥Sを固着しない所定流量で循環させつつ、流量制御弁の開度から反応装置10の循環配管の圧力損失を算出し、その圧力損失の増加量によって反応装置10の内部の汚泥固着状況を検出している。例えば、濃縮装置4により初期含水率90程度に濃縮した汚泥Sを反応装置10に供給し、検出装置26による装置内部の固着内部配管の圧力損失の増加の検出時に濃縮汚泥Sが含水率93~95となるように濃縮装置4を制御する。濃縮装置4からの濃縮汚泥Sは供給タンク6に一旦蓄えたのち、モーノポンプ等の供給装置7により後述する水熱反応装置10へ一定量ずつ供給する。必要に応じて供給装置7に粉砕装置8又は撹拌装置6a図5参照を設け、反応装置10へ供給する前に濃縮汚泥S中の固形分を適宜粉砕し又は撹拌してもよい。また、図5を参照して上述したように粉砕タンク8a及び粉砕ポンプ8bを含め、濃縮装置4からの濃縮汚泥Sを粉砕タンク8a及び粉砕ポンプ8bで粉砕したうえで供給タンク6に蓄えてもよい。濃縮汚泥Sを粉砕して固形分の粒子径Dpを小さくすることにより、以下に述べる固形分の終末沈降速度uを小さくし、反応装置10の内部での固形分の沈降固着を生じにくくすることができる。図示例の循環型水熱反応装置10は、図5の場合と同様に、濃縮汚泥Sを所定圧力で熱水温度に加熱する水熱反応器11と気液分離器12と循環ポンプ14とで構成されており、供給された濃縮汚泥Sを水熱反応器11と気液分離器12との間で所定時間循環させることにより低分子化する。例えば、水熱反応装置10の内部を圧力0.72~8.7MPa、温度160~300°C、循環時間15~120分の範囲に設定することで濃縮汚泥Sを効率よく低分子化することが可能であるが特許文献3参照、循環路内の温度圧力を高くすると消費エネルギーも大きくなる。本発明者らは、システム全体のエネルギー効率を向上するためには、循環路内の熱水温度を比較的低い160~200°Cの範囲内に抑え、圧力も比較的低い1MPa程度に抑えることが望ましいことを実験的に見出した。この程度の範囲内の温度圧力で濃縮汚泥Sをメタン発酵処理に適した低分子有機物とするためには、循環時間を30~90分程度とする必要がある。また循環型水熱反応装置10は、図5の場合と同様に、循環管路内部接液部の有効内容積Vを濃縮汚泥Sの供給量xと循環時間yとの積に一致させるV=xyと共に、濃縮汚泥S中の固形分が管路内部で沈降固着するのを避けるため、管路内部の濃縮汚泥Sを固形分の終末沈降速度uより大きい速度v>uで循環させる。一般に固形分の終末沈降速度uは、重力加速度g、熱水の密度ρf及び粘度μf、及びその中に懸濁浮遊している固形分の粒子径Dp及び密度ρpを用いて、ストークスの式に基づく1式により算出することができる。本発明者らは、反応装置10の内部での固形分の沈降固着を防ぐためには、反応装置10の循環速度vを固形分の終末沈降速度uの1.3倍以上とすることが有効であることを実験的に見出した。u=gDp2ρp-ρf/18μf....................................11式は、固形分の密度ρpが高く又は粒子径Dpが大きいほど終末沈降速度uが大きくなることを示している。通常の濃縮汚泥S中の固形分は密度ρp=3500~1000kg/m3、粒子径Dp=0.5~0.1mm程度であると想定できるので、180°Cの熱水の物性より密度ρf=886.9kg/m3、粘度μf=1.54×10-4kg/msecとして計算すると、終末沈降速度uは最低0.004~最高2.32m/secの範囲となる。従って、上述した本発明者らの実験的知見に基づき循環速度vを2.32×1.3≒3m/sec以上とすれば、装置内部での固形分の沈降固着を防ぐことができる。すなわち、循環型水熱反応装置10の循環速度vを最低でも3m/sec以上とすれば、通常の濃縮汚泥Sは固形分を沈降固着させることなく低分子化することができる。図示例の循環型水熱反応装置10の水熱反応器熱交換器11は、後述するメタン発酵槽20で回収されるメタンガスGを加熱媒体例えば蒸気、熱媒油等Hの加熱エネルギーに変換するエネルギー変換装置25例えばボイラー等と接続されており、その加熱媒体Hとの熱交換により濃縮汚泥Sを熱水温度に加熱している。また、反応装置10の気液分離器12には循環路内を所定圧力に維持する圧力弁17a付き圧力計17図5参照が設けられており、水熱反応器11と気液分離器12とからなる循環路内の循環時間yは供給装置7による濃縮汚泥Sの供給量xにより一定に維持されている。循環型水熱反応装置10において、濃縮汚泥Sを1MPaの圧力下で160~200°Cに加熱しながら3m/sec以上の流速で30~90分程度循環させれば、気液分離器12の液面コントロール弁15a図5参照から装置10の外部へ抜出される分解水溶液低分子化された汚泥Sをメタン発酵処理に適した分解性の高い低分子有機物とすることができる。水熱反応装置10から抜出された低分子化汚泥Sは、原料タンク19を介して濃縮装置4の濾液と共にメタン発酵槽20へ導入する。図示例のメタン発酵槽20は、メタン発酵微生物群を高濃度に保持する微生物固定床21が設けられており、導入された低分子化汚泥Sをメタン発酵微生物群と接触させることによりメタンガスGにまで分解する。例えば発酵槽20内にガラス繊維又は炭素繊維製の微生物担体を充填して固定床21とすることができる特許文献1、4参照。また、メタン発酵槽20には、低分子化汚泥Sをメタン発酵微生物群の活性温度に保持する保温装置図示せずを設けることができ、例えば保温装置により発酵槽20内の汚泥Sをメタン発酵微生物に適する発酵温度、例えば中温37°C程度又は高温55°C程度に維持する特許文献4参照。ただし本発明で用いるメタン発酵槽20は図示例に限定されるものではなく、固定床に代えて浮遊床方式とすることも可能である。上述したように低分子化前の汚泥Sをメタン発酵処理するためには15~30日以上発酵槽20内に滞留させることが必要であるが、水熱反応装置10により分解性を高めた低分子化汚泥Sは発酵槽20内の滞留時間処理時間を短くしても高い固形分分解率を示す。図2のグラフは、水熱反応装置10により圧力1MPa、温度160~200°Cの状態に約60分循環させた低分子化汚泥Sについて、固形分分解率とメタン発酵槽20内の滞留時間との関係を求めた実験結果を示しており、発酵槽20の滞留時間を3~5日にまで短くしても低分子化汚泥Sの固形分分解率を最大値50にほぼ近い45以上に維持できることを表している。好ましくは、発酵槽20内の滞留時間を固形分の最大分解率が得られる最小滞留時間である5日とし、低分子化汚泥S中の有機物の50以上を分解してメタンガスGを生成する。また本発明者らは、メタン発酵槽20の滞留時間が同じであっても、水熱反応装置10の熱水温度Tによって低分子化汚泥Sのメタン発酵時に発生するメタンガスGの回収量が相違することを実験的に見出した。図3のグラフは、水熱反応装置10の循環路内の熱水温度Tと、その温度Tに約60分循環させた低分子化汚泥Sのメタン発酵比活性未処理汚泥の固形分分解率を1としたときの処理汚泥の固形分分解率との関係を求めた実験結果を示す。同グラフは、熱水温度Tが180~190°Cの低分子化汚泥Sは、熱水温度Tが160~170°Cの低分子化汚泥Sよりもメタン発酵比活性が高く、また熱水温度Tが200°Cの低分子化汚泥Sよりもメタン発酵比活性が高いので、メタン発酵処理時に汚泥単位量当たりのメタンガス回収量が最大となる最適温度であることを示している。図3のグラフにおいて、熱水温度Tが180~190°Cのときに低分子化汚泥Sの単位量当たりのメタンガス回収量が最大となる原因の詳細は不明であるが、熱水温度Tが180°C未満では水熱反応による低分子化が不充分であり、逆に熱水温度Tが190°Cより高いときは水熱反応による低分子化が進みすぎて汚泥Sの一部分が無機物にまで分解されてしまったものと考えられる。すなわち、メタン発酵槽20の滞留時間を3~5日として低分子化汚泥Sをメタン発酵処理する場合にメタンガスGの回収量を最大とするためには、前処理の水熱反応装置10において180~190°Cの熱水温度Tで汚泥Sを低分子化しておくことが有効である。好ましくは、水熱反応装置10における熱水温度Tを180°Cとし、メタンガス回収量を最大としつつ水熱反応のための必要な加熱エネルギー消費エネルギーを小さく抑える。なお、図3のグラフは水熱反応装置10における汚泥Sの循環時間yを60分としたときの熱水温度Tとメタン発酵比活性との関係を示しており、本発明者らは更なる実験により、循環時間が60分より短いときはメタンガスGの回収量を最大化するための最適温度Tが180~190°Cより若干高くなり、逆に循環時間が60分より長いときは最適温度Tが180~190°Cより若干低くなることを見出した。すなわち、汚泥単位量当たりのメタンガス回収量を最大化とする熱水温度Tは、反応装置10における濃縮汚泥Sの循環時間水熱反応器11と気液分離器12との間に循環させる時間に応じて調整することが有効である。メタン発酵槽20で発生したメタンガスGをガスライン経由で取り出し、必要に応じて脱硫器で脱硫したのちガスタンク23に蓄える。上述したようにガスタンク23に蓄えたメタンガスGは、エネルギー変換装置25例えばボイラー等により加熱媒体例えば蒸気、熱媒油等Hの加熱エネルギーに変換して水熱反応装置10の加熱に利用することができる。また、メタンガスGの回収後にメタン発酵槽20に残る消化汚泥は、返送タンク27を介して脱水機28へ送り、濾液は返流水Wとして下水処理場1に戻し、残った脱水汚泥Dを従来の汚泥Sと同様の方法で処分する。例えば図1の実施例により下水処理場1から排出された下水汚泥Sを本発明のシステムでメタン発酵処理することにより、脱水機28により脱水後の脱水汚泥Dを下水汚泥Sの1/3~1/5に減容減量することができる。本発明によれば、汚泥単位量当たりの最大メタンガス回収量が得られるように水熱反応装置10の熱水温度Tを調整するので、水熱反応装置10とメタン発酵槽20とを組み合わせたシステム全体のエネルギー効率を最適化することができる。また、メタン発酵槽20からのメタンガス回収量を最大化することにより、水熱反応装置10の加熱エネルギーをメタンガスのエネルギーにより賄い、エネルギー自足的に汚泥Sを減容減量できるシステムとすることができる。こうして本発明の目的である水熱反応で前処理した汚泥からのメタンガス回収量を増やすことができるメタン発酵処理方法及びシステムの提供が達成できる。