真空中で樹脂材料を蒸発させて支持体に付着させる薄膜の製造方法において、樹脂材料を噴射により加熱板面に均一の厚みに吐出させながら蒸発させることを特徴とする蒸発装置の製造方法。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバルブを用いることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置の製造方法。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバルブの開閉駆動および制御に電動アクチュエータを用いることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置の製造方法。前記樹脂材料の供給方法において、支持体に樹脂材料を付着させる長さに応じてニードルバルブを用いた樹脂材料の供給点を加熱板の長さ方向に複数個所設けることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置の製造方法。前記樹脂材料の供給方法において、支持体に樹脂材料を付着させる幅に応じてニードルバルブを用いた樹脂材料の供給点を加熱板の幅方向に複数個所設けることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置の製造方法。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバルブを用いた樹脂材料の供給部と加熱板の組み合わせをひとつのユニットとして加熱板の長さ方向に複数ユニット設けることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置の製造方法。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバブルの先端部から加熱板までの距離を、5~200mmとすることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバルブの先端部と加熱板面との相対角度を、95~150度とすることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバルブの先端針先部がニードルバルブノズル部下面から飛出し出来ることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバルブノズル部下面からのニードルバルブ先端針先部までの飛出し距離を2mmとすることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。前記樹脂材料の供給方法において、ニードルバルブノズル部の角度を12.5度とすることを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置の製造方法。これらの樹脂薄膜を形成する際に、重要となるのが樹脂薄膜の厚みむらや欠陥である。厚みむらや欠陥があると薄膜化の効率が半減し、場合によっては性能不良に繋がる。薄膜の実用化には膜質と生産性の両立が求められるが、従来の方法では必ずしも十分ではなかった。膜質の確保に於いては、従来の樹脂材料塗布方法では塗布量および塗布した加熱板面の範囲に対して均一性の確保が困難であった。また、生産性の確保には従来の方法では樹脂材料の重力による自然流動のため塗布したい加熱板面の範囲に対してある程度の流動時間を要し、また、加熱板面上を流動する樹脂材料量が樹脂材料供給位置とそれから離れた位置により差が生じる場合があり、高速でかつ安定な成膜方法が望まれていた。本発明は、これらの課題を解決するために真空中で樹脂材料を蒸発させ、支持体に均一に付着させる製造方法において、樹脂材料の供給方法としてニードルバルブを用いて樹脂材料を加熱板面上の所定範囲に一定の厚みでかつむら無く塗布し、蒸発させることを特徴とする製造装置である。また、支持体に樹脂材料を付着させる幅に応じ、複数個所の樹脂供給点を設けることで効率良く均一な供給が可能となる。特に本発明はニードルバルブのノズル部の制御により、供給量および供給速度の制御が可能となる。また、ニードルバルブの先端がノズル穴から飛び出る構造とすることで、ニードルを開閉動作させ樹脂材料の目詰まりを防止回避できる。従って樹脂材料の供給部は、連続して安定した樹脂材料を供給できることになる。即ち、高速でかつ安定した薄膜の成膜の両立が実現可能となる。また、ニードルの制御に電動アクチュエータを用いることで、樹脂材料の供給量および供給速度の遠隔操作が可能となる。本発明によれば、高速でかつ安定した膜質の薄膜の製造が可能となる。以下、本発明の実施の形態を図1から図10に基づいて説明する。図1は本発明の薄膜の製造および製造装置の一実施例を示す図である。図1で樹脂材料は供給弁4を経て真空槽の中に導入される。支持体である長尺基板1は捲き出しロール15から捲き出され、ガイドロール17を経て円筒状キャン7に沿って走行し、ガイドロール17を経て捲き取りロール16に捲き取られる。長尺基板上に樹脂薄膜を形成するための樹脂蒸気は供給弁4から供給された樹脂材料を気化することによって得られる。液状で供給された樹脂材料は加熱板11に薄い液膜状に霧状に拡がる。即ち、樹脂材料は加熱板面に均一に供給、塗布されることにより加熱板面上で均一に加熱され蒸発量が安定する。樹脂材料を一か所に止まらせ加熱すると、樹脂材料の供給量が過大となり、均一に加熱されないために加熱体付近の樹脂材料が熱硬化してしまったり、突沸して粗大粒子を多数個発散させたり、順次供給される低温の樹脂材料により樹脂材料の温度上昇が妨げられたり、多量の安定した蒸発量を確保できなかったりする。図1のように樹脂材料の供給部にニードルバルブを用いることにより、加熱板面上に樹脂材料を必要量および必要面積に供給、塗布できる。また、加熱板の加熱温度を変えることで樹脂材料に合わせて最適昇温パターンに設定することが出来る。尚、加熱板に接触したばかりの樹脂材料は急激な昇温のため粗大粒子となって一部が飛散する場合がある。これは樹脂材料が滴下方式の場合、加熱板面に滴下した際、小径とはいえ樹脂材料の塊となるためと考えられる。樹脂材料供給部にニードルバルブを用いれば樹脂材料を微小粒径または霧状に加熱板面上に塗布できるため加熱板に接触した時の急激な昇温の影響を受け難く、従って粗大粒子が出来ず飛散が生じ難い。また、周囲壁も加熱構造にして、微量であるが周囲壁に付着する樹脂材料の再蒸発を行わせることで、樹脂材料の材料効率を向上できる。樹脂薄膜の硬化を行う硬化装置14として、紫外線照射装置を用いた。次に、本発明の第2の実施の形態について図面を用いて説明する。図2は本発明の薄膜の製造方法および製造装置に使用される樹脂材料供給の一例を示す概略図である。図2のように樹脂材料の供給方法としてニードルバルブを用いる。ニードルバルブの先端部から加熱板面までの距離を5~200mmに設定することにより、ニードルバルブの先端部から供給した樹脂材料は加熱板上に広い面積で拡がる。即ち、広い面積に樹脂材料を塗布しながら拡がることが可能となるため、樹脂材料は均一にかつ蒸発効率が向上する。即ち、高速で安定した薄膜の成膜が実現できる。次に、本発明の第3の実施の形態について図面を用いて説明する。図3は本発明の薄膜の製造方法および製造装置に使用される樹脂材料供給方法の更に別の一例を示す概略図である。図3のように樹脂材料の供給方法としてニードルバルブを用いる。ニードルバルブの先端部から加熱板面までの距離を5~200mmおよびニードルバルブの先端部と加熱板との相対角度を95~150度に設定することにより、ニードルバルブの先端部から供給した樹脂材料は加熱板上に広い面積で拡がる。即ち、高速でかつ広い面積に樹脂材料を塗布しながら拡がることが可能となるため、樹脂材料は均一に効率良く蒸発する。即ち、高速で安定した薄膜の成膜が実現できる。次に、本発明の第4の実施の形態について図面を用いて説明する。図4は本発明の薄膜の製造方法および製造装置に使用される樹脂材料供給方法の更に別の一例を示す概略図である。図4のように樹脂材料の供給方法としてニードルバルブを用いる。支持体に樹脂材料を付着させる幅に応じてニードルバルブを複数個設けることを特徴とする。加熱板面の幅方向にニードルを複数個設けることにより、樹脂材料を広い面積に高速で供給することで樹脂材料の蒸発効率が向上、即ち高速で安定した薄膜の成膜が実現できる。次に、本発明の第5の実施の形態について図面を用いて説明する。図5は本発明の薄膜の製造方法および製造装置に使用される樹材料供給方法の更に別の一例を示す概略図である。図5のように支持体に樹脂材料を付着させる幅に応じて加熱板に対して進行方向にニードルバルブを複数個設けることを特徴とする。加熱板面の進行方向にニードルバルブを複数個設けることにより、樹脂材料を広い面積に高速で供給することで樹脂材料の蒸発効率が向上、即ち、高速で安定した薄膜の成膜が実現出来る。次に、本発明の第6の実施の形態について図面を用いて説明する。図6は本発明の薄膜の製造方法および製造装置に使用される樹脂材料供給方法の更に別の一例を示す概略図である。図6のようにニードルと加熱板を複数個設け、装置を小型化しても蒸発面積を大きくできることを特徴とする。図6のように個々のニードルバルブはニードルバルブ先端部と加熱板面との距離を5~200mmの範囲に任意に設定できかつニードルバルブ先端部と加熱板面との相対角度を95~150度の範囲に任意に設定できることにより装置を小型化しても、装置を小型化しても蒸発面積を大きくすることが可能となる。即ち、高速で安定した薄膜の成膜が実現出来る。次に、本発明の第7の実施の形態について図面を用いて説明する。図7は本発明の薄膜の製造方法および製造装置に使用される樹脂材料方法の更に別の一例を示す概略図である。図7のように樹脂材料の供給方法としてニードルバルブを用いる。ニードルバルブの調整方法として電動アクチュエータを用いニードルバルブ先端部からの樹脂材料の供給量を任意にかつ自動的に制御が可能となる。また、ニードルバルブを複数用いる場合、個々のニードルバルブの調整が任意にかつ自動的に制御が出来る。また、ニードルバルブの調整方法として電動アクチュエータを用いることにより遠隔操作が可能となる。従って、支持体への付着厚み情報とニードルバルブからの樹脂材料の供給量情報をリンクさせることで、任意の厚みの薄膜が安定して得られることが可能となる。次に、本発明の第8の実施の形態について図面を用いて説明する。図8および図9は本発明の薄膜の製造方法および製造装置に使用される樹脂材料供給方法の更に別の一例を示す概略図である。図8はノズルバルブのニードルバブル弁が閉状態、図9は開状態を示す。図9のようにニードルバルブ弁開の状態で樹脂材料の熱硬化でノズル穴が目詰まりした場合、図8のように針先が穴から飛び出る構造にすることで目詰まり部を除去、正常な樹脂供給を回復出来る。この構造により、樹脂材料が万一熱硬化していてもニードルバルブ弁を開閉させることで目詰まりを回復出来、かつ作業前に動作することで目詰まりが防止可能となる。即ち、連続で安定した薄膜の成膜が実現出来る。図1のように、樹脂材料の供給方法としてニードルバルブを用いると樹脂材料を加熱板面上の所定範囲に一定の厚みでかつむら無く塗布出来る。これにより加熱板上からの安定した樹脂量の確保また、支持体に樹脂材料を付着させる幅に応じて、複数個所の樹脂供給点を設けることにより、より効率良く均一な供給が可能となる。樹脂材料の供給方法にニードルバルブを用いることで、安定した樹脂供給がなることを述べた。更にニードルバルブの先端がノズル穴から飛び出る構造とすることで設備稼働中にニードルバルブ弁を開閉させ、樹脂材料の目詰まりを防止回避できる。また、樹脂材料は加熱板上に均一に塗布されるため、自然重力だけによる樹脂材料の拡がりで無いため、加熱板上での樹脂材料の停滞が防止できる。尚、樹脂薄膜の硬化を行う硬化装置14として紫外線照射装置を用いた。実施の形態2~実施の形態8および比較例の構成で樹脂薄膜の作成を行い、作成条件と膜質の関係を調べた。アクリレート系の樹脂材料を用い、樹脂薄膜の堆積速度を変えて成膜を行った。作成した膜の5cm×5cmの範囲を光学顕微鏡で観察し、直径3μm以上の粒を欠陥とし、この個数で樹脂膜質を評価した。その結果を表1に示す。表1に示す実施例2~6では、それぞれ順に上記の形態2~8に示した装置を使用した。表1から、従来例の構成においても樹脂薄膜の堆積速度が小さい場合には作成した樹脂薄膜の欠陥数は少ない。しかしながら堆積速度が概ね1000mm/sec以上となると欠陥数が急激に増加することがわかる。これに対して、実施の形態2~実施の形態8の構成では堆積速度が1000mm/sec以上においても作成した樹脂薄膜の欠陥数が少ない。この理由は以下のように考えられる。即ち、堆積速度を高くするには樹脂材料の供給量を増やす必要があるが、従来例の構成では蒸発面積が不足となり、堆積速度を確保するためには加熱板上の温度条件を高める必要があることが示されている。次に実施の形態2~実施の形態8の構成で、ニードルバルブ先端部と加熱板面との距離およびニードルバルブ先端部と加熱板面との相対角度を変えてノズル詰まり状態の評価を行った。その結果を表2に示す。表2から、ニードルバルブのノズル詰まりが生じないのはニードル先端部と加熱板面との距離は5~200mmの範囲に設定かつニードルバルブ先端部と加熱板面との相対角度を95~150度の範囲に設定すればよいことがわかる。従って、ニードルバルブ先端部と加熱板面との距離を5~200mmの範囲に任意に設定できかつニードルバルブ先端部と加熱板面との相対角度を95~150度の範囲に任意に設定できることにより装置を小型化しても樹脂材料を広い面積に高速で供給することで可能となり、また、装置を小型化しても蒸発面積を大きくすることが可能となる。即ち、高速で安定した薄膜の成膜が実現出来ることが示されている。一方、樹脂材料の供給量が増えると加熱板上の表面積に対して樹脂材料の拡がり量が不均一となり易い傾向となり、加熱板上の温度条件を高め設定と相まって、樹脂の一部は熱硬化や突沸現象を起こすようになる。従来例の構成で高堆積速度の場合に見られた欠陥数はこうした突沸粒子の一部が支持体に付着するものと思われる。真空を利用した蒸発方法の場合、こうした突沸粒子は直進性が高く支持体に付着する確立が高い。これに対して実施の形態1~8の構成では樹脂材料の供給量が加熱板面に均一にかつ広くできることを目的とした構造となっており、これによって樹脂材料の供給量の多い場合、即ち、堆積速度が高い場合でも突沸や熱硬化が起こり難い。従って、欠陥数の少ない樹脂薄膜が得られるものと思われる。また、実施の形態3の構成では樹脂材料の供給個所を樹脂材料の進行方向に加熱板の幅に応じて複数設定することで均一に短時間に樹脂材料を供給できる構造となっており、これによって樹脂材料の供給量の多い場合、即ち、堆積速度が高い場合にも突沸や熱硬化が起こりにくい。従って、欠陥数の少ない樹脂薄膜が得られるものと思われる。また、実施の形態4~5の構成では樹脂材料の供給個所と加熱板の組み合わせを複数設定することで樹脂材料を均一かつ短時間に供給できかつ蒸発できる構造となっており、これによって樹脂材料の供給量の多い場合、即ち堆積速度が高い場合にも突沸や熱硬化が起こりにくい。従って、欠陥数の少ない樹脂薄膜が得られるものと思われる。また、比較例の構成では、すでに述べたように堆積速度が高い場合、樹脂の熱硬化が起こる割合が大きく樹脂材料の蒸発速度が成膜時間と共に変化し易いため、成膜条件の制御も実施の形態1~実施の形態8に比べて困難であった。また、実施の形態1~8のように樹脂材料の高堆積速度を望む場所においても突沸や熱硬化が起こりにくく、即ち、樹脂材料の飛散が起こりにくいため飛散防止壁が不要となり、蒸発装置の機構がシンプルになる。