"被検査空間と基準空間とを互いに連通させた状態で前記被検査空間及び前記基準空間に加圧気体を導入した後、前記被検査空間と前記基準空間とを遮断して各々閉鎖系とし、前記被検査空間と前記基準空間との間の差圧によって前記被検査空間からの圧力洩れを測定する圧力洩れ測定方法において、洩れが無い被検査空間と前記基準空間との間の差圧の経時変化を、各々の時間帯内は一次関数になると擬制したときの、前記各一次関数の勾配をマスタデータとして作成する作成工程と、前記被検査空間と前記基準空間との間の実測差圧の経時変化の前記時間帯ごとの勾配を実測データとして求める実測工程と、前記実測データから同じ時間帯の前記マスタデータを差し引く演算工程と、を備えたことを特徴とする圧力洩れ測定方法。前記演算工程において、前記時間帯毎の前記実測データと前記マスタデータとの差の平均値を算出することを特徴とする請求項1に記載の圧力洩れ測定方法。前記各時間帯の長さが互いに等しいことを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力洩れ測定方法。上掲特許文献1,2に記載の方法によれば、断熱圧縮による温度変化に起因する圧力変動が収束するのを待たなくても洩れ判定できる。しかし、特許文献1では、差圧値をマスタデータとしているから、リーク差圧の変化量を求めるために記憶させるべきデータ数が多くなり、リーク差圧の変化量を求める際の演算量も多くなる。特許文献2では、差圧方程式を設定し、フィッティングするための演算ソフトウエアが煩雑になる。本発明は、上記事情に鑑み、マスタデータの所要記憶量を減らし、更には実際の被検査物の洩れレートを算出する際の演算量を減らして処理速度を高めることを目的とする。前述の通り、被検査空間に加圧気体を導入すると、被検査空間の温度が、断熱圧縮によって上昇し、その後、放熱によって次第に下降する。この温度変化に起因して被検査空間の圧力が変動する。したがって、上記加圧気体の導入後に被検査空間と基準空間とを遮断すると、これら空間どうし間の差圧が変化する。図2において細い実曲線に示すように、上記の温度変化に起因する差圧成分の経時変化PMは、一次遅れ要素のインディシャル応答式で近似的に表されることが知られている。以下、説明を簡略化するため、式が成り立つものとして説明する。PMb1expここで、bcは、上記温度変化に起因する差圧変化に係る定数である。具体的には、bは、温度変化が収まったときの差圧の収束点を示す。cは、温度変化が収まる早さを示す。tは時間である。また、図2において二点鎖線に示すように、洩れに起因する差圧成分PLの経時変化は、時間に比例する一次関数となる式。PLatここで、aは、洩れに起因する差圧変化に係る定数であり、被検査空間からの単位時間当たりの漏れ量洩れレートに相当する。図2において細い破曲線に示すように、実際の差圧の経時変化PTは、上記温度変化に起因する差圧成分PMと洩れに起因する差圧成分PLの和になる式。PTPMPLatb1exp上記温度変化に起因する差圧変化式PM式の導関数PM’は、次式になる。PM’bcexp図3において細い実曲線に示すように、導関数PM’は時間tの経過と共に漸次減少する。実際の差圧変化式PT式の導関数PT’は次式になる。PT’abcexp図3において細い破曲線に示すように、導関数PT’は時間tの経過と共に漸次減少する。実際の差圧変化の導関数PT’式と、温度変化に起因する差圧変化の導関数PM’式との差は、次式の通り、洩れレートaと等しい。PT’PM’aそこで、温度変化に起因する差圧変化の導関数PM’式をマスタデータとして記憶しておき、実測差圧から実際の差圧変化の導関数PT’式を算出し、その差を算出することで式、洩れ量を求める方法が考えられる。しかし、非線形の連続関数式,を立ててその導関数式,を求めるには、数多くの計算が必要になる。そこで、本発明は、被検査空間と基準空間とを互いに連通させた状態で前記被検査空間及び前記基準空間に加圧気体を導入した後、前記被検査空間と前記基準空間とを遮断して各々閉鎖系とし、前記被検査空間と前記基準空間との間の差圧によって前記被検査空間からの圧力洩れを測定する圧力洩れ測定方法において、洩れが無い被検査空間と前記基準空間との間の差圧の経時変化を、各々の時間帯内は一次関数になると擬制したときの、前記各一次関数の勾配をマスタデータとして作成する作成工程と、前記被検査空間と前記基準空間との間の実測差圧の経時変化の前記時間帯ごとの勾配を実測データとして求める実測工程と、前記実測データから同じ時間帯の前記マスタデータを差し引く演算工程と、を備えたことを特徴とする。すなわち、図2において折れ線状の実太線にて示すように、本発明は、差圧の経時変化を、時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...ごとに区切り、1つの時間帯τn内では差圧が直線的に変化するものと擬制したものである。ここで、時間帯τnは、時刻tn1から時刻tnまでの時間領域を言う。したがって、洩れがない被検査空間と基準空間との差圧の経時変化は、時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...ごとの線分sM1,sM2,sM3...,sMn...を連ねた折れ線状の不連続関数PMnで近似される。線分sMnは、時刻tn1における差圧値PMn1と時刻tnにおける差圧値PMnとを結ぶ直線線分である。不連続関数PMnは、次式で表される。上記不連続関数PMnの導関数PMn’は、不連続点を除いて次式となる。式から明らかな通り、時刻tn1から時刻tnまでの間の1つの時間帯τn内の導関数PMn’の値は、tによらず一定値になる。また、より後の時間帯τほどnが大きくなるほど、導関数PMn’の値が小さくなる。すなわち、PM1’PM2’PM3’...となる。この様子を図3の階段状の実太線にて示す。本発明では、この導関数の値PM1’PM2’PM3’...をマスタデータとする。したがって、本発明によれば、従来の、各時間t0t1t2t3...の差圧値PM0PM1PM2PM3...をマスタデータとする方法特許文献1よりもマスタデータの所要記憶数を減らすことができる。同様に、図2において折れ線状の破太線にて示すように、実際の被検査空間と基準空間との差圧の経時変化についても、時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...ごとの線分sT1,sT2,sT3...,sTn...を連ねた折れ線状の不連続関数PTnで近似する。線分sTnは、時刻tn1における実際の差圧値PTn1と時刻tnにおける実際の差圧値PTnとを結ぶ直線線分である。不連続関数PTnは、次式で表される。上記不連続関数PTnの導関数PTn’は、不連続点を除いて次式となる。式から明らかな通り、時刻tn1から時刻tnまでの間の1つの時間帯τn内の導関数PTn’の値は、tによらず一定値になる。また、より後の時間帯τほどnが大きくなるほど、導関数PTn’の値が小さくなる。すなわち、PT1’PT2’PT3’...となる。この様子を図3の階段状の破太線にて示す。本発明では、この導関数の値PT1’,PT2’,PT3’...を実測データとして求める。そして、互いに同じ時間帯τの実測データとマスタデータの差を求める。ここで、実測の導関数PTn’式からマスタの導関数PMn’式を差し引くと、下式の通り、洩れレートを示す定数aになる。PTn’PMn’aこの結果は、連続関数について求めた洩れレート式と同じである。すなわち、同じ時間帯τnにおける不連続関数PMn,PTnの導関数PMn’,PTn’どうしの差式は、連続関数PM,PTの導関数PM’,PT’どうしの差式と同じになる。要するに、本発明によれば、図3に示すように、互いに同じ時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...の実測データPT1’,PT2’,PT3’...,PTn’...からマスタデータPM1’,PM2’,PM3’...,PMn’...を差し引くことで、洩れレートa1,a2,a3...,an...を直接的に求めることができる式。したがって、従来の、差圧からなるマスタデータと実測差圧との差を取って更に一回微分するやり方特許文献1よりも、実際の被検査物に対する洩れ検査時の演算量を減らすことができる。よって、判定処理の速度を高めることができる。上記式の演算結果a1,a2,a3...,an...は互いに同程度の大きさになる。a1≒a2≒a3...≒an...これらの値a1,a2,a3...,an...を平均することで、測定のばらつきを修正でき、洩れレートaを精度良く求めることができる。図2に示すように、本発明のマスタデータすなわち導関数PMn’の値は、温度変化に起因する差圧変化式PMを表す折れ線図2の実太線の各線分sM1,sM2,sM3...,sMn...の勾配aM1,aM2,aM3...,aMn...に相当する。勾配aM1,aM2,aM3...,aMn...は、下式のようにして算出できる。また、本発明の実測データすなわち導関数PTn’の値は、実測差圧変化式PTを表す折れ線図2の破太線の各線分sT1,sT2,sT3...,sTn...の勾配aT1,aT2,aT3...,aTn...に相当する。勾配aT1,aT2,aT3...,aTn...は、下式のようにして算出できる。したがって、上記作成工程では、勾配aM1,aM2,aM3...,aMn...をマスタデータとして求め、上記実測工程では勾配aT1,aT2,aT3...,aTn...を実測データとして求め、上記演算工程では、式に示すように、互いに同じ時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...の実測勾配aT1,aT2,aT3...,aTn...からマスタ勾配aM1,aM2,aM3...,aMn...を差し引くことで、洩れレートa1,a2,a3...,an...を算出することが好ましい。時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...の長さは、互いに等しいことが好ましい。すなわち、下式が成り立つことが好ましい。......そうすることで、すべての式及び式の右辺の分母を1に置き換えることができ式及び式、マスタデータの作成及び実測データの算出を簡単化できる。本発明によれば、マスタデータの所要記憶量を減らすことができる、更には、洩れレートを演算する際の演算量を減らすことができ、処理速度を高めることができる。以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。図1は、被検査物9からの圧力洩れを測定する圧力洩れ測定装置1を示したものである。被検査物9は、特に限定がなく、例えばエンジンのシリンダブロック、燃料タンク等である。被検査物9は内部空間を有している。この内部空間が被検査空間9aになっている。検査物9の内周面によって被被検査空間9aが画成されている。詳細な図示は省略するが、被検査空間9aの開口部は冶具等によって閉塞されている。これによって、被検査空間9aが密封されている。被検査物9がカプセル内に収容されていてもよく、このカプセルの内周と被検査物9の外周との間の空間が被検査空間9aを構成していてもよい。圧力洩れ測定装置1は、測定部2と、コントローラ3制御手段を備えている。測定部2は、供給路10と、検査路11と、基準路12を有している。これら通路10~12は、ブロック内に形成されていてもよく、配管によって構成されていてもよい。供給路10の上流端の接続端子10aに、図示しないエア圧力源が接続される。供給路10には、上流側接続端子10aの側から順に、レギュレータ13減圧弁と、圧力計14と、二位置三方型の電磁方向制御弁15とが設けられている。供給路10の下流端から検査路11と基準路12が分岐されている。検査路11の下流端が被検査物9の被検査空間9aに連なっている。基準路12の下流端が、冶具図示省略を介して基準容器8の内部空間8a基準空間に連なっている。基準空間8aは、密閉されている。被検査空間9aと基準空間8aの形状及び容積は、ほぼ同一であってもよく異なっていてもよい。検査路11には電磁開閉弁16が設けられ、基準路12には電磁開閉弁17が設けられている。開閉弁16,17より下流の通路11,12どうしの間に差圧検出器20が設けられている。差圧検出器20の内部がダイヤフラム21によって被検室23と基準室24に仕切られている。被検室23のポートが検査圧導入路25を介して検査路11に連なっている。基準室24のポートが基準圧導入路26を介して基準路12に連なっている。被検査空間9aと基準空間8aとの間に差圧が生じると、被検室23と基準室24との間に差圧が生じ、その差圧の大きさに応じてダイヤフラム21が変形する。差圧検出器20は、この変形を電圧に変換してコントローラ3へ出力する。これによって、被検査空間9aと基準空間8aとの間の差圧を検出できる。測定部2の動作はコントローラ3にて制御される。コントローラ3には、上記弁15~17の駆動回路図示省略や、マイクロコンピュータ31が設けられている。マイクロコンピュータ31には、CPUからなる演算処理部32、RAMやROMからなる記憶部33等が設けられている。記憶部33には、制御動作のためのプログラムやマスタデータが格納されている。図2に示すように、マスタデータは、洩れがない被検査空間9aと基準空間8aとの差圧の経時変化PMを、各々の時間帯τ1t0~t1,τ2t1~t2,τ3t2~t3...τntn1~tn...内は一次関数になると擬制したときの、上記各一次関数すなわち各直線線分sM1,sM2,sM3...sMn...の勾配aM1,aM2,aM3...aMn...である。マスタデータの作成方法については追って詳述する。演算処理部32は、差圧検出器20の実測差圧データと上記マスタデータとによって所定の演算処理を行なうことで被検査空間9aからの洩れ検査を行なう。洩れ検査の際は、方向制御弁15をオンして供給路10を連通させ、かつ開閉弁16,17を開くことで、加圧気体源の気体圧力を供給路10から検査路11及び基準路12に導入し、更には被検査空間9a及び基準空間8aに導入する。この圧力導入時の断熱圧縮によって空間9a,8aの温度が上昇し、その後、放熱によって上記温度が低下する。被検査物9と基準容器8とでは、種々の条件の違いから断熱圧縮に伴なう温度変化の程度が異なる。しばらくの時間が経過した後、開閉弁16,17を閉じて検査路11と基準路12を遮断し、ひいては被検査空間9aと基準空間8aを遮断して各々閉鎖系とする。これによって、上記断熱圧縮に伴なう温度変化の違いが、被検査空間9aと基準空間8aとの間の圧力差として現れる。この差圧が差圧検出器20によって検出される。図2の実細線PMは、上記の断熱圧縮による温度変化に起因する差圧変化の様子を示したものである。この差圧変化は、ほぼ一次遅れ要素のインディシャル応答になる。さらに、被検査空間9aに洩れがあれば、この洩れに起因する被検査空間9aの圧力低下分が上記空間9a,8aどうし間の差圧に加わる。図2の二点鎖線PLに示すように、上記洩れに起因する差圧変化は直線状になる。図2の破細線PTに示すように、実際の差圧変化は、断熱圧縮による温度変化に起因する差圧変化と洩れに起因する差圧変化を加算したものになる。図2において、時刻t0は、開閉弁16,17によって被検査空間9aと基準空間8aを遮断した時点、又はそれ以後の当該遮断操作に伴なう圧力の乱れが収まった時点遮断時点から1~数秒後である。この時点t0の差圧検出器20の読みを0にリセットすることが好ましい。装置1による圧力洩れ測定方法を、更に詳述する。圧力洩れ検査は、上記マスタデータの作成工程、実際の被検査物9を対象とする実測工程、圧力洩れの判定のための演算工程の順に実施する。[マスタデータの作成工程]マスタデータ作成工程では、まず、測定部2を上述した手順で操作し、洩れがない被検査空間9aと基準空間8aとの間の差圧の時刻t0以降の経時変化を差圧検出器20にて測定する。具体的には、図2の実細線PM上の差圧変化データPM0,PM1,PM2,PM3...PMn...を一定の時間間隔τnτ1τ2τ3...をおいて時刻t1,t2,t3...,tn...ごとに取得する。ここでの被検査物9は、実際に洩れが無いことが判明しているものを用いてもよく、洩れの有無が不明なものを用いてもよい。前者の場合、被検査空間9aと基準空間8aとの間の測定差圧は、そのまま上記断熱圧縮による温度変化に起因する差圧データとして使用できる。後者の場合、差圧がリニアに変化する線形領域まで差圧測定を長時間行ない、リニアになる前の非線形領域の測定差圧から線形領域の差圧変化分を差し引くことで、洩れが無い差圧データすなわち断熱圧縮による温度変化に起因する差圧変化データを得ることができる。上記線形領域では、温度変化が充分に収束しているから、その差圧変化は、洩れに起因する変化分に相当する。そして、差圧の非線形な経時変化PMを、各々の時間帯τ1=t0~t1,τ2=t1~t2,τ3=t2~t3...τn=tn1~tn...内は一次関数になると擬制したときの上記各一次関数の勾配aM1,aM2,aM3...aMn...を求める。要するに、図2の連続曲線状の実細線PMを、同図の実太線PMnに示すように、時間t1,t2,t3...,tn...ごとに不連続的に折曲した折れ線で擬制し、該折れ線の各直線線分sM1,sM2,sM3...sMn...の勾配aM1,aM2,aM3...aMn...を求める。具体的には、式の演算を行う。各時間帯τ1=t0~t1,τ2=t1~t2,τ3=t2~t3...τn=tn1~tn...の長さを互いに等しくすることで、上記勾配aM1,aM2,aM3...,aMn...の演算式を下式のように簡略化できる。このようにして求めた勾配aM1,aM2,aM3...,aMn...の値をマスタデータとして記憶部33に記憶しておく。本発明方法によれば、上記差圧変化データPM0,PM1,PM2,PM3...PMn...そのものをマスタデータとする従来方法特許文献1よりもマスタデータの所要記憶数を減らすことができる。例えば、t0からt3までのマスタデータ数を比較すると、上記従来方法では4つのデータPM0,PM1,PM2,PM3が必要であるが、本発明方法では3つのデータaM1,aM2,aM3で済む。[実測工程]マスタデータを取得後、実際の被検査物9に対し実測工程を行う。実測工程では、上記実際の被検査物9を検査路11に接続したうえで、測定部2を上述した手順で操作し、被検査空間9aと基準空間8aとの間の差圧の時刻t0以降の経時変化を差圧検出器20にて測定する。図2の破細線PTにて示すように、被検査空間9aからの圧力洩れがある場合、測定差圧は、断熱圧縮による温度変化に起因する差圧変化PMと、洩れに起因する差圧変化PLとを加算した挙動を示す。この破細線PT上の差圧変化データPT0,PT1,PT2,PT3...PTn...を一定の時間間隔τnτ1τ2τ3...をおいて時刻t1,t2,t3...,tn...ごとに取得する。次に、連続曲線状の差圧変化PTを、図2の破太線PTnに示すように、時間t1,t2,t3...,tn...ごとに不連続的に折曲した折れ線で擬制したときの各時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...の直線線分sT1,sT2,sT3...,sTn...の勾配aT1,aT2,aT3...,aTn...を求める。具体的には、式の演算を行う。各時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...の長さを互いに等しくすることで、上記勾配aT1,aT2,aT3...,aTn...の演算式を下式のように簡略化できる。このようにして求めた勾配aT1,aT2,aT3...,aTn...の値を実測データとする。[演算工程]続いて、マスタデータと実測データを比較する。具体的には、同じ時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...ごとに実測データaT1,aT2,aT3...,aTn...からマスタデータaM1,aM2,aM3...,aMn...を差し引く式。これによって、各時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...における洩れレートa1,a2,a3...,an...が得られる。すなわち、本発明方法によれば、式の差し引き演算を行なうことで、洩れレートa1,a2,a3...,an...を直接的に求めることができる。また、演算に際して記憶部33から読み出すマスタデータの数は少なくて済み、差し引きの演算数も少なくて済む。したがって、従来の、差圧からなるマスタデータと実測差圧との差を取って更に一回微分するやり方特許文献1よりも、演算工程における演算量を減らすことができる。よって、演算処理の速度を高めることができる。図3に示すように、上記式の演算結果すなわち洩れレートa1,a2,a3...,an...は、時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...に依らず互いに同程度の大きさになる。a1≒a2≒a3...≒an...これら洩れレートa1,a2,a3...,an...の平均値aavを算出することで、測定のばらつきを修正できる。[判定工程]この平均洩れレートaavに基づいて圧力洩れ判定を行なう。すなわち、洩れレートaavが閾値以下であれば、被検査物9を良品と判定する。洩れレートaavが閾値を上回っていれば、被検査物9を不良と判定する。本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の要旨を変更しない限りにおいて種々の改変をなすことができる。たとえば、上記の説明では、マスタデータ及び実測データは互いに連続する時間帯τ1,τ2,τ3,τ4,τ5...ごとに取得するとしていたが、例えばτ1,τ3,τ5,τ7,τ9...やτ1,τ4,τ7,τ10,τ13...などのように飛び飛びの時間帯ごとに取得してもよい。むしろ、飛び飛びにしたほうが、少ない演算数で広い時間領域の差圧変化を圧力洩れ判定に反映させることができ、かつプログラミングを容易化でき実用的である。時間帯τ1,τ2,τ3...,τn...のうち2つの時間帯の長さが互いに異なっていてもよい。判定工程では、平均値aavを算出せずに、1つの洩れレートanに基づいて洩れ判定を行なってもよい。"