ベースと、前記ベースから突出して設けられた金属合金からなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体とを備え、前記トーションバーは、引張り加工が施されたものであることを特徴とする振動素子。前記引張り加工は、板状材料をテンションアニールしていることを特徴とする請求項1に記載の振動素子。前記トーションバーは、前記引張り加工に加えてしごき加工が施されたものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動素子。前記トーションバーは、線状に引張りながらしごくことで形成されたものであることを特徴とする請求項3に記載の振動素子。前記トーションバーの外周面には、前記引張り加工による加工痕が形成されていることを特徴とする請求項1~4の何れか1項に記載の振動素子。前記トーションバーは、真直度が略等しいものを背中合わせにして接合してなることを特徴とする振動素子。前記トーションバーは、両持ち梁状に、または、片持ち梁状に支持されていることを特徴とする請求項1~6の何れか1項に記載の振動素子。ベースから突出して設けられた金属合金からなると共に引張り加工が施されたものからなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体と、前記揺動体を揺動させる素子駆動部と、前記揺動体に設けられる光反射面と、前記揺動体の光反射面に光を照射させる光源とを備え、前記揺動体による前記光反射面の揺動に基づいて光走査させることを特徴とする光走査装置。ベースから突出して設けられた金属合金からなると共に引張り加工が施されたものからなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体と、前記揺動体を揺動させる素子駆動部と、前記揺動体に設けられる光反射面と、前記揺動体の光反射面に光を照射させる光源とを備え、前記揺動体による前記光反射面の揺動に基づいて光走査させて画像を形成することを特徴とする画像形成装置。ベースから突出して設けられた金属合金からなると共に引張り加工が施されたものからなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体と、前記揺動体を揺動させる素子駆動部と、前記揺動体に設けられる光反射面と、前記揺動体の光反射面に光を照射させる光源とを備え、前記揺動体による前記光反射面の揺動に基づいて光走査させて画像を投影することを特徴とする画像投影装置。上記特許文献1に記載された光走査装置においては、トーションバーが材料自体の反りや加工工程により湾曲してしまうため、真直度が悪くなり、素子の振れ角範囲を阻害するという問題がある。具体的には、例えば、真直度が悪く湾曲したり折れ曲がったりしているトーションバーを用いて、捩り角を一定に維持しながら可動ミラーを往復振動以下、揺動ともいう。させ、共振周波数を変化させた場合、可動ミラーや磁石がトーションバーの回転重心から外れる恐れがある。このため、本来、走査線は1本の直線を描くはずであるのに対して、曲線や八の字あるいは円といった異常な走査線を描く状態になる。このとき、トーションバーの往復動作モードは、複数のモードが混在する状態となるので、素子の振れ角範囲は小さくなってしまう。従来の光走査装置等に搭載される振動素子においては、現状では、所望のトーションバーの真直度を確保しつつ、振れ角範囲を広くする有効な手段は提案されていない。本発明は、上述した事情に鑑み、所望のトーションバーの真直度を確保しつつ、振れ角範囲を広くすることができる振動素子、光走査装置及びこれを用いた画像形成装置並びに画像投影装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するため、本発明に係る振動素子は、ベースと、前記ベースから突出して設けられた金属合金からなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体とを備え、前記トーションバーは、引張り加工が施されたものであることを特徴とする。また、本発明に係る振動素子において、前記引張り加工は、板状材料をテンションアニールしていることを特徴とする。さらに、本発明に係る振動素子において、前記トーションバーは、前記引張り加工に加えてしごき加工が施されたものであることを特徴とする。前記トーションバーは、線状に引張りながらしごくことで形成されたものであることが好ましい。また、本発明に係る振動素子において、前記トーションバーの外周面には、前記引張り加工による加工痕が形成されていることを特徴とする。さらに、本発明に係る振動素子は、真直度が略等しいものを背中合わせにして接合してなることを特徴とする。本発明の振動素子において、前記トーションバーは、両持ち梁状に、または、片持ち梁状に支持されていてもよい。本発明に係る光走査装置は、ベースから突出して設けられた金属合金からなると共に引張り加工が施されたものからなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体と、前記揺動体を揺動させる素子駆動部と、前記揺動体に設けられる光反射面と、前記揺動体の光反射面に光を照射させる光源とを備え、前記揺動体による前記光反射面の揺動に基づいて光走査させることを特徴とする。さらに、本発明に係る画像形成装置は、ベースから突出して設けられた金属合金からなると共に引張り加工が施されたものからなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体と、前記揺動体を揺動させる素子駆動部と、前記揺動体に設けられる光反射面と、前記揺動体の光反射面に光を照射させる光源とを備え、前記揺動体による前記光反射面の揺動に基づいて光走査させて画像を形成することを特徴とする。また、本発明に係る画像投影装置はベースから突出して設けられた金属合金からなると共に引張り加工が施されたものからなるトーションバーと、前記トーションバーの前記ベース側とは反対の側に設けられる揺動体と、前記揺動体を揺動させる素子駆動部と、前記揺動体に設けられる光反射面と、前記揺動体の光反射面に光を照射させる光源とを備え、前記揺動体による前記光反射面の揺動に基づいて光走査させて画像を投影することを特徴とする。本発明は、上述のように構成することで、所望のトーションバーの真直度を確保するとともに、振れ角の設計範囲を広くするのに有利な振動素子、光走査装置及びこれを用いた画像形成装置並びに画像投影装置を実現することができる。本発明に係る画像形成装置をレーザービームプリンター以下、LBPという。に適用した一実施形態について図1~12を参照しながら以下に詳細に説明する。しかしながら、本発明はこのような実施形態のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載される発明の範囲内において当業者が採用し得る種々の変更が可能であることに留意されたい。図1に示されるように、本実施形態におけるLBP200は、本発明における画像形成媒体としての感光ドラム204及びこの感光ドラム204に画像情報に対応した静電潜像を形成するための露光部210を備えている。また、本実施形態に係るLBP200は、これら感光ドラム204及び露光部210以外に、周知の給紙部、帯電部、トナー供給部、転写部、定着部。紙搬送部いずれも図示せずなどを備えている。本実施形態の露光部210は、画像情報に対応したパルス状のレーザー光Lを発振するためのレーザー光源201を含む光走査装置220及び周知のコリメータ光学系202及びfθレンズ203を備えている。駆動回転する感光ドラム204の外周面には後述する光走査装置220のレーザー光源201からのレーザー光Lが後述する振動素子30の揺動体32の光反射面331を介して照射され、感光ドラム204の回転軸線と平行な方向にレーザー光Lが走査移動する。光走査装置220は、図1において、レーザー光源201、レーザー光源からのレーザー光Lを走査させる振動素子30、該振動素子30を駆動する駆動手段としての素子駆動部207及び該素子駆動部207の作動を制御する制御装置206を備えている。制御装置206は、走査されたレーザー光Lを検出する一対のBDセンサ205を備えるとともに、検出信号に基づいて制御信号を出力し、振動素子30を駆動する素子駆動部207の出力を制御する。振動素子30は、図2及び3に示されるように、ベース20、揺動体32、丸棒状の細長いトーションバー31及びカバー部材40を備えている。揺動体32には、レーザー光源201からのレーザー光Lが入射する光反射面331が形成されている。ベース20は、基板22上に設けられ、基板22の周縁部を取り囲みベース20の外周縁部を構成する枠体21、素子駆動部207の一部を構成するシートコイル70が設けられる基板22、基板22を保持する保持部材23を備えている。また、ベース20の枠体21の上には、光学的に透明なカバー部材40が重ね合わされる。カバー部材40、枠体21、基板22及び保持部材23は一体的に接合されるとともに、それにより、減圧状態で気密に保持される内部空間Sが形成される。形成された内部空間Sには、丸棒状の細長いトーションバー31、これに支持される揺動体32及び基板22を含む素子駆動部207の一部が収容される。このように、内部空間Sを減圧状態で気密に保持することにより、常圧下と比べて、揺動体32を主体とする振動系の特性をさらに高めることができる。特に、空気抵抗の影響が低減される結果、振動特性をさらに高めることが可能である。本実施形態に係るトーションバー31は、図1に示されるように、感光ドラム204の回転軸線に対して直交する軸線以下、これを理想揺動軸線ARという。に沿って延在する。理想揺動軸線ARは、図1では、紙面に対して垂直な方向に延在する軸線であり、より具体的には図6に示されている。トーションバー31は、該トーションバー31が片持ち梁状に支持されるように、その基端側がベース20の枠体21とカバー部材40との間に固定され、トーションバー31の末端が内部空間S内に配置されるシートコイル70の中央部分にまで延在している。すなわち、トーションバー31は、ベース20から突出しするように設けられている。トーションバー31は、その末端側ベース側とは反対の側において揺動体32を固定、支持している。したがって、トーションバー31の末端側に支持される揺動体32は、トーションバー31の長手方向軸線図3において、O-O線で表されている。を中心として、トーションバー31の弾性捩れを伴いつつ揺動可能である。このことから、後述するように、トーションバー31の長手方向軸線O-Oが、理想揺動軸線ARと一致させるようにトーションバー31を形成することが望ましい。本実施形態に係る揺動体32は、トーションバー31を挟んで相互に接合される同一寸法形状を有する2枚の矩形状板部材としての第1の板部材33及び第2の板部材34を含んでいる。第1及び第2の板部材33、34は、それぞれの接合面332、342を介して密着接合されるとともに、各接合面332、342は、トーションバー31の長手方向軸線O-Oと平行となるように設定される。また、第1及び第2の板部材33、34は、それぞれの接合面332、342が基板22に形成されたシートコイル70の平面と略平行となるように、トーションバー31に対して接合される。図3及び4に示されるように、第1の板部材33の接合面332と表裏の関係に位置し、カバー部材40に対向する面は、上述したように、レーザー光Lが入射する光反射面331として構成される。この光反射面331は、アルミニウムや金などを第1の板部材33の表面に蒸着することによって形成されてもよいし、予めシリコンウエハのような鏡面加工された板状部材を第1の板部材33の表面に貼り付けることで形成されてもよい。光反射面331は、ベース20に対するトーションバー31の基端側の取り付け中心を通るトーションバー31の長手方向軸線O-Oとトーションバー31に固定された揺動体32の重心位置を含む仮想平面に対して直交するように配置される。第1の板部材33は、このように光反射面331を形成されることから光学ミラーを構成しているともいえる。本実施形態における揺動体32には、また、素子駆動部207を構成する丸棒状の磁石35が埋設されている。本実施形態においては、トーションバー31の末端部に丸棒状をなす磁石35が挿通される貫通孔311が形成される。貫通孔311は、トーションバー31の長手方向軸線O-Oに対して直交するとともに、間隔を隔てて磁石35と対向するように基板22に形成されているシートコイル70の平面と略平行となるように形成される。磁石35は、貫通孔311内に差し込まれ、したがって、磁石35の磁極がトーションバー31の長手方向軸線O-Oに対して直交する方向に配置されるように、磁石35の向きが設定される。なお、磁石35は、例えば、図13に示されるように、トーションバー31の下側、すなわち、トーションバー31と第2の板部材34との間に配置されてもよい。但し、トーションバー31の上側、すなわちトーションバー31と第1の板部材33との間に配置することは望ましくない。なぜならば、磁石35を接着した応力により第1の板部材33に設けられている光反射面331の平面度が悪化し、光走査に影響を及ぼすからである。揺動体32を構成する第1及び第2の板部材33、34それぞれの接合面332、342には、トーションバー31が収容されるトーションバー保持用切欠333、343及び磁石35が収容される磁石保持用切欠335、345が形成されている。トーションバー保持用切欠333、343及び磁石保持用切欠335、345は、いずれも断面が半円形の溝形状をなしており、それぞれの接合面332、342の中央部において互いに直交するように交差している。したがって、トーションバー31及び磁石35は、それぞれ、トーションバー保持用切欠333、343及び磁石保持用切欠335、345を基準として位置決めされ、揺動体32内に配置される。それにより、トーションバー31と共に構成される振動系の異常振動を未然に防止することができる。本実施形態の振動素子によると、揺動体が同一形状を持つ2枚の板部材を有し、これら2枚の板部材によってトーションバーを挟んで相互に接合されるので、揺動体に異常振動が生じるのを有効に防ぐことができる。また、揺動体がトーションバーを収容するトーションバー保持用切欠を接合面に形成した2枚の板部材を含み、これらがトーションバーの長手方向軸線を対称軸とする対称形状を有する場合には、トーションバーに対して揺動体を正確に固定できる。また、2枚の板部材の接合面に形成されるトーションバー保持用切欠の加工によって低下する光反射面の平面度を向上させることができる。さらに、揺動体を異常振動させずに効率よくこれを揺動させることができる。揺動体の光反射面を2枚の板部材の少なくとも一方の板部材の接合面と反対側の面に形成した場合、平面度の良好な方を光反射面として利用することができる。本実施形態における素子駆動部207は、揺動体32またはトーションバー31に固定される磁石35、ベース20に設けられているシートコイル70及び該シートコイル70に交流電流を与える電源不図示を備えている。素子駆動部207は、トーションバー31、揺動体32、磁石35で構成される振動系の共振周波数に対応した交流電流をシートコイル70に流すことにより、揺動体32の光反射面331を揺動軸線回りに揺動、すなわち、振れ回りさせることができる。したがって、この振動系の振幅、すなわち、揺動体32の光反射面331の振れ角α図1、4参照の大きさは、シートコイル70に与えられる電流量によって調整可能である。交流電流の波形は、正弦波以外に三角波やパルス出力などであってもよい。本実施形態では、揺動体32の駆動にシートコイル70を用いているがこれに限られるものではない。例えば、ヨークとなる軟磁性体を内包するコイルを用いてもよいし、揺動体32の光反射面331に対して干渉しない範囲で、揺動体32を挟むように配置される一対の磁界印加手段を設けてもよい。本実施形態における制御装置206は、上述したように、感光ドラム204の長手方向両端に近接して配置される一対のBDセンサ205を備え、一対のBDセンサ205からの検出信号を受信して素子駆動部207の出力を制御する。制御装置206は、振動素子30の揺動体32の揺動による光反射面331の振れ角αが感光ドラム204の表面の所定範囲内に収まるように、一対のBDセンサ205からの検出信号に基づいて素子駆動部207の出力をフィードバック制御する。したがって、画像信号に応じてレーザー光源201から出射するパルス状のレーザー光Lは、コリメータ光学系202を通って振動素子30の揺動体32の光反射面331に入射する。この光反射面331にて反射したレーザー光は、fθレンズ203を介して感光ドラム204の表面に照射される。この場合、振動素子30の揺動体32の光反射面331が揺動軸線回りに揺動することにより、レーザー光Lが感光ドラム204の回転軸線と平行な方向に走査される。さらに、感光ドラム204も回転することで、画像情報、すなわち、静電潜像が感光ドラム204の表面に形成されることになる。ところで、本発明は、振動素子30を構成する、揺動体32を支持するトーションバー31の真直度を向上させることにより、揺動体32の振動によりトーションバー31において繰り返される捩れ変形を安定させる点に特徴がある。振動素子30を構成するトーションバー31を板材から加工する場合、トーションバー31は、例えば、プレス加工、レーザー加工、ダイス加工、ワイヤーカット、エッチングまたは超塑性加工などで所定の形状に加工することができる。このようにして形作られるトーションバー31は、加工硬化処理の後、振動特性を高めるために、時効硬化処理として、例えば、熱処理を施すことで得られる。しかしながら、得られるトーションバー31に反りが少なからず発生しているすなわち、真直度が低くなっている。トーションバー31にこのような反りがあると、トーションバー31に支持される揺動体32の円滑な揺動運動を損ない、結果として、投入エネルギーに対して光反射面331の振れ角αが小さくなるように作用する。言い換えれば、揺動体32が反りのあるトーションバー31に固定されていると、トーションバー31の長手方向軸線O-Oが理想揺動軸線O1-O1図6参照に一致せず、揺動体32は、異常振動が発生し易くなる。この結果、揺動体32の光反射面331を所望の振れ角αで揺動させるため、より多くの電気エネルギーをシートコイル70に投入しなければならない。ここで、トーションバー31における反りの影響が、該トーションバー31の支持される揺動体32の光反射面331の振れ角振幅αに与える影響を考察する。再度図6を参照すると、トーションバー31の反りの程度が誇張して示されている。トーションバー31の基端をガラス定盤50の表面に押し付け、この部分を中心としてトーションバー31をガラス定盤50の上で転がす。この時のトーションバー31の末端より正確には、揺動体32の重心Gのガラス定盤50からの高さが最大となる位置において、反り量Hすなわち、真直度として測定される。この反り量Hが、0μm、50μm及び100μmであるトーションバー31をサンプルとして、その末端に取り付けられている揺動体32を共振周波数2kHzで揺動させる。揺動体32の揺動の振れ角の測定の方法は、シートコイル70を流れる電流値を変化させることで、揺動体32の光反射面331したがって、反射するレーザー光Lの振れ角αが段階的に大きくなるように変化させる。光反射面331を反射したレーザー光Lは、感光ドラム204上を走査する1本の直線としての走査線を描くはずであるが、振れ角が大きくなると、曲線や八の字や円といった異常な走査線を描く状態となる。振れ角αを段階的に大きくしていく途中で、このような状態が発生したとき、異常振動が発生したと判定する。この場合、異常振動が発生した段階の振れ角と1つ前の段階の振れ角との間でさらに小さく区切って振れ角を変化させ、異常振動が発生しない最も大きい振れ角を最大振れ角として規定する。このようにして測定した結果が図8に示されている。図8に示されるように、トーションバー31の反り量が0μmであるとき、最大振れ角は、±45~±50度となり、50μmであるとき、±25~±39度となり、100μmであるとき、±17~±25度となった。このことから、トーションバー31の反りが全くない0μmの場合に比べて、反りが50μmの場合及び100μmの場合の最大振れ角は、それぞれ、3割及び6割程度低下することが分かる。すなわち、トーションバー31の反り、言い換えれば真直度が振動素子30の揺動体32の振れ角に大きな影響を及ぼすことが確認された。そこで、本発明では、トーションバー31の真直度を向上させるために、以下のような方法を提案する。トーションバー31を板状材料から加工形成する場合、プレス加工、レーザー加工、ワイヤーカット、エッチングまたは超塑性加工などで所定の形状に加工される。この場合、得られるトーションバー31の反り量のばらつきは大きく、100μm~200μmの範囲となる。特に、ロール状材料からの加工である場合、圧延方向であるRD方向は、圧延方向と直交する方向であるTD方向に比べ、初期の反りが大きいのが一般的である。よって、トーションバー31として利用する場合、TD方向をトーションバー31の長手方向とすることが、トーションバー31の反り対策として有効である。すなわち、引張り加工によってトーションバー31を作ることで、トーションバー31の外周面には引張り加工による加工痕が形成される。その識別としては、図14aに模式的に示されるように、材料表面のひき目加工痕318の方向で判断することができる。すなわち、ひき目318の長手方向ひき目が延在する方向が圧延方向となる。また、材料の振動特性を高めるために時効硬化処理として、例えば、熱処理を施すが、トーションバー31をSUS304などで加工形成する場合、熱処理時にテンション引張りをかけることにより、その反りをほとんど無くすことが可能である。なお、熱処理に加えて、炉中で必要な規定張力を材料にかけて加工処理することを、テンションアニールを実施するともいう。さらに、時効硬化処理を施しても、トーションバー31に若干の反りが生じている場合、反り量、言い換えれば、真直度が略等しいトーションバーを2枚用意する。図14aに模式的に示されるように、この2枚のトーションバー31a及び31bを互いに対して反るように、背中合わせにして接着剤などで接合し、1つのトーションバー31として組み立てて形成される。このようにして形成されたトーションバー31の反り量は、10μm以下となり、図8に示されるように、最大振れ角が±45度となり、広角に光走査可能な振動素子30aを安定的に供給することができる。次に、トーションバー31を丸棒や角棒などの線状材料から、又は原料から線状に加工形成する場合、ダイス加工で所定に形状に加工される。この場合も板状材料から形成する場合と同様、得られるトーションバー31の反り量は大きい。トーションバー31の反り量を低減させる、すなわち、真直度を向上させるため、ダイス加工時に、線状材料にしごき加工を施す、すなわち、テンション引張りをかけながらしごくことが有効である。この場合の識別としては、材料表面にできるひき目318aの方向で判断することができる。すなわち、図14bに模式的に示されるように、トーションバー31の長手方向に対して螺旋状のひき目318aが存在する。なお、ダイス加工においては、当該加工の前後のトーションバー31の断面積の比率によって決まる加工率が最も重要なファクターとなり、その最適値は、70~80である。このようにして形成されたトーションバー31の反り量も、10μm以下となり、広角に光走査可能な振動素子30を安定的に供給することができる。以上に述べたような加工を板状材料や線状材料に対し施すことにより、トーションバー31の長手方向軸線O-Oと理想揺動軸線ARが一致するように真直度が向上し、広角に光を走査可させ得る振動素子30を実現することが可能となる。このようにして本実施形態ではトーションバー31の真直度の向上を達成させているが、図3~6に示されるように、揺動体32に重心位置補正部材37を加えることでさらにその真直度を向上させてもよい。具体的には、揺動体32の第2の板部材34の表面341に重さの異なる重心位置補正部材37を接合することで、図6に示されるように揺動体32の重心位置を下げる。それにより、トーションバー31の反りを小さくし、結果として、トーションバー31の長手方向軸線O-Oと理想揺動軸線ARを一致させるように構成することができる。トーションバー31の反りの具合が図6に誇張して示されている。トーションバー31の基端をガラス定盤50の表面に押し付け、この部分を中心としてトーションバー31をガラス定盤50の上で転がし、ガラス定盤50の表面から揺動体32の重心Gまでの高さ反り量Hが最大となる位置を探し出す。なお、この高さHに代えてガラス定盤50の表面からトーションバー31の末端までの高さを求めることでも可能である。この状態において、光反射面331を備える第1の板部材33の表面が真上を向き、第2の板部材34の表面がガラス定盤50の表面と正対するように、トーションバー31に対して揺動体32が取り付けられる。なお、この状態において、磁石35の磁極の向きもガラス定盤50の表面と平行かつトーションバー31の長手方向軸線O-Oに対して直交して取り付けられるように、トーションバー31に形成される穴311の向きも規定される。図6に示されるように、トーションバー31の理想揺動軸線ARに対する振動系の重心が一致するように、重心位置補正部材37が揺動体32及び/またはトーションバー31に取り付けられる。すなわち、重心位置補正部材37の重心が先の仮想平面内にあって揺動体32の重心Gよりも理想揺動軸線AR側に位置するように、本実施形態では基板22側を向く第2の板部材34の表面に重心位置補正部材37が接合される。つまり、重心位置補正部材37は、トーションバー31が凸側に反った面、つまり本実施形態では第2の板部材30の表面に取り付けられている。この重心位置補正部材37は、揺動体32、磁石35、重心位置補正部材37を含めた振動系の共通重心が最終的に理想揺動軸線ARと合致するような質量を有していることが望ましい。これにより、揺動体32の光反射面331は、投入エネルギーに対して効率よく理想揺動軸線ARを中心として揺動することとなる。なお、重心位置補正部材37を理想揺動軸線ARに近い方に配される第1の板部材33とトーションバー31との間に配することも可能である。重心位置補正部材37の質量と揺動体32の光反射面331の振れ角αとの関係を図7に示す。これは、長さが32mmで035×015mmの矩形断面を持ち、図6において50μmの反りを持つトーションバー31に対し、一定の交番電流をシートコイル70に流した場合の揺動体32の光反射面331の振れ角αの変化を示している。ここで用いた第1及び第2の板部材33、34は、それぞれ01mmの厚みを有し、28×14mmの矩形表面を持ち、3mmの長さの磁石35を組み込んだものであり、第2の板部材34の表面に重さの異なる重心位置補正部材37を接合したものである。図7から明らかなように、この場合においては約3mgの重さの重心位置補正部材37を接合した時、振れ角αが最大となることが確認できる。従って、揺動体32の重心Gの位置が不明であっても、トーションバー31の反りの方向さえ認識できれば、揺動体32の振れ角αが最大となるような最適な重心位置補正部材37を選択することが可能である。つまり、トーションバー31の反りの凸側の面に質量の異なる重心位置補正部材37を装着して揺動体32の振れ角αを測定すればよい。なお、トーションバー31の長手方向軸線O-Oに対して直交する断面形状は、円形に限らず、矩形断面など、任意の断面形状を採用することができる。次に、振動素子30を構成するトーションバー31、揺動体32、磁石35などの材料について以下に述べる。トーションバー31を構成する材料としては、例えば、加工硬化処理及び時効硬化処理が施された加工硬化及び時効硬化型のコバルトCo-ニッケルNi基合金が好適である。ここでいうCo-Ni基合金とは、Co及びNiを含有する金属合金である。Co-Ni基合金は、好ましくは、積層欠陥エネルギーを低下させるクロムCrと、マトリクスの固溶強化や、偏析により転位を固着して時効及び加工硬化能の向上に寄与する溶質元素としてモリブデンMo、鉄Feなどを含む。本実施形態では、Co-Ni基合金として、Co-Ni-Cr-Mo合金やCo-Ni-Fe-Cr合金などを例示することができる。また、これらの合金は、溶質元素として同様の働きをするニオブNb、面心立方格子相を安定化させて積層欠陥エネルギーを低下させるマンガンMn、マトリクスの強化と積層欠陥エネルギーの低下に寄与するタングステンWなどを含むことができる。さらに、これらの合金は、鋳塊組織の微細化や強度向上に寄与するチタンTi、熱間加工性を改善するボロンB及びマグネシウムMg、マトリクスに固溶してCr、Mo、Nbなどと炭化物を形成し、粒界を強化する炭素Cなどを含むことができる。Co-Ni-Cr-Mo合金を用いた場合、その主要組成の重量比は、Co:20.0~50.0、Ni:20.0~45.0、Cr/Mo:20.0~40.0Cr:18~26、Mo:3~11であることが好ましい。特に、Co:31.0~37.3、Ni:31.4~33.4、Cr:19.5~20.5、Mo:9.5~10.5とするのがさらに好ましい。このCo-Ni基合金をトーションバー31の製品形状に加工するとともに、当該加工に伴って硬化処理を施して内部残留歪みを与えた後、時効硬化処理を施すことによって所望のトーションバー31を得ることができる。より具体的には、溶製後に熱間鍛造や均質化熱処理などの工程を経て得られた少なくともCo及びNiを含むマトリクスに置換型の溶質元素を含有する出発原料から、冷間圧延による加工硬化処理を経てCo-Ni-Cr-Mo合金材料を得る。この合金材料は、圧延方向にの集合組織が形成され、圧延方向と直交する方向にの集合組織が形成される。したがって、本実施形態のトーションバー31として採用する場合、プレス加工、レーザー加工、ダイス加工、ワイヤーカット、超塑性加工などによって圧延方向と直交する方向がトーションバー31の長手方向となるように切り出して製品形状に加工する。また、これらの加工に伴って、硬化処理を施して内部残留歪みを与えた後、真空中または還元雰囲気にて時効硬化処理を施すことによって所望のトーションバー31を得ることができる。この時効硬化処理は、400°C~700°Cの温度で数十分から数時間程度例えば、550°Cで2時間行うのが最適であるが、処理時間を短縮するために、例えば、強磁場中での熱処理を用いることも有効である。これにより、高強度かつ振動減衰能が低く、しかも弾性限界の高い良好な振動特性を有するトーションバー31を得ることができる。このような非磁性で加工硬化及び時効硬化型のCo-Ni-Cr-Mo合金としては、例えば、Co:35、Ni:32、Cr:20、Mo:10の組成を有するセイコーインスツル株式会社のSPRON510商品名:SPRONは、登録商標である。を挙げることができる。このようにして、共振周波数が尖鋭且つ振動が共振周波数に対して線対称となるような特性、すなわちQ値が高く例えば、1000以上且つバネ特性の非線形性が非常に小さなトーションバー31を得ることができる。このようなトーションバー31は、振動変形による最大歪みが3×103mm程度まで大きくなっても不安定性を生じることがなく、消費電力が少ない振動素子30を実現することができる。したがって、本実施形態におけるLBP200は、所望の疲労特性及び振動特性を確保しつつ小型化することが可能であり、ジッターなどの不安定性を低減させて安定したレーザー光走査が可能であり、走査角の高精度な制御が可能となる。なお、本実施形態では、非磁性を示すCo-Ni基合金にてトーションバー31を形成しているが、これは、揺動体32をトーションバー31とともに揺動させる手段として、磁石と交番磁界を用いた場合、安定した駆動を実現することができるからである。したがって、素子駆動部207として、交番磁界以外の手段、例えば、圧電素子などを利用することも可能である。トーションバー31の材料としては、バネ材料として一般的に用いられるSUS301、302、304、316、631、632などのステンレス鋼、バネ鋼SUP、ピアノ線SWP、バネ用炭素鋼のオイルテンパー線SWOなどを採用し得る。さらには、バネ用シリコンクロム鋼のオイルテンパー線SWOSC、バネ用ベリリウム銅合金C1700、C1720、バネ用チタン銅合金C1990、バネ用リン青銅C5210、バネ用洋白C7701なども採用することができる。揺動体32を構成する材料としては、アルミナ、ジルコニア、ベリリウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、サファイア、炭化ケイ素、二酸化ケイ素、ガラス、樹脂などの非磁性体を利用することができる。さらに、これらの表面を鏡面化することによって該表面を光反射面331として利用することも可能である。また、揺動体32とともにトーションバー31に取り付けられる磁石35は、できるだけ小型軽量であって高い保持力を有することが好ましく、Nd-Fe-B系やSm-Co系の希土類磁石などが好適である。しかしながら、磁石35は、アルニコ磁石、Fe-Co-V合金磁石、Cu-Ni-Fe合金磁石、Cu-Ni-Co合金磁石、Fe-Cr-Co磁石、Pt-Co磁石などであってもよい。さらには、磁石35は、ハードフェライトBaフェライトやSrフェライトなどの焼結磁石やボンド磁石の他にスパッター法などで形成した薄膜磁石であってもよく、材質や製造方法または形状などで特に制限されるものはない。なお、重心位置補正部材37を構成する材料は、揺動体32を構成する材料と同じであってもよいし、異なる材料が用いられることも可能である。図2~5に示される光走査装置の主要部を必要に応じて図9~13に示されるように変更することも可能である。図9には、本発明に係る光走査装置を構成する振動素子の別の実施形態の主要部の平面図であって、その一部が破断された平面図が示されており、図10には、図9のX-X線に沿う断面図が、図11には、図9のXI-XI線に沿う拡大断面図が示されている。図9~11に示される実施形態に係る振動素子30Aは、トーションバー31Aの先端に抜け防止と位置決めとを兼ねる円錐台形状のストッパー部315Aが形成されている。磁石35Aは、このストッパー部315Aに隣接するように揺動体32Aと一体的に形成され、ストッパー部315Aに臨む一端面は、揺動体32Aから露出するように配置されている。本実施形態においても、揺動体32Aは、上記実施形態と同様に、2枚の矩形状板部材33A及び34Aがトーションバー31Aを上下に挟んで接合されることで構成されている。本実施形態における磁石35Aは、トーションバー31Aを上下に挟むように2つわり構造となっているが、トーションバー31Aが貫通する孔を予め形成した磁石35Aとすることも可能である。本実施形態においても、反りを調整するために重心位置補正部材37Aが採用されているが、トーションバー31Aの真直度が十分満足のいくものであればなくてもよい。なお、本実施形態における重心位置補正部材37Aは、図10に示されるように、トーションバー31Aの長手方向軸線O-Oに沿って、その基端側に向って肉厚が減少するように楔状に形成されている。図12には、本発明に係るさらに別の実施形態の主要部の平面図であって、その一部が破断された平面図が示されており、図13には、図11のXIII-XIII線に沿う拡大断面図が示されている。図12及び13に示される実施形態に係る振動素子30Bは、上記図9~11に示される別の実施形態に対応するストッパー部315Bが揺動体32B内に埋設された実施形態であるといえる。したがって、本実施形態では、ストッパー部315Bが揺動体32B内に埋め込まれることで、トーションバー31Bに対する揺動体32Bの相対的位置が確実に規定されることになる。本実施形態においても、揺動体32Bは、上記2つの実施形態と同様に、2枚の矩形状板部材としての第1の板部材33B及び第2の板部材34Bがストッパー部315Bを含むトーションバー31Bを上下に挟んで接合されることで構成されている。また、本実施形態では、磁石35は、揺動体32B内に埋め込まれるとともに、重心位置補正部材としての機能も兼用している。より具体的には、磁石35Bは、トーションバー31Bの下側に設けられた切欠316Bと板部材34Bに設けられた切欠345Bで形成される空間内に配置される。磁石35Bは、ストッパー部315Bを含むトーションバー31Bと一緒に第1及び第2の板部材33B及び34Bで挟み込まれた状態で揺動体32B内に嵌め込まれる。この構造は、揺動体32Bが樹脂で射出形成される場合この場合、第1および第2の板部材の区別はなくなる。に特に好適であり、これら磁石35B及びトーションバー31Bの先端部を一体に形成することが可能となる。上述した実施形態では、いずれも片持ち梁状の構造のトーションバー31、31A及び31Bについて説明されてきたが、該トーションバーの長手方向両端部をベース20に固定し、その中央部に揺動体を固定した両持ち梁状の構造のものであってもよい。また、トーションバー31、31A及び31Bは、円形断面に以外に、矩形断面の線材であってもよい。以下、本発明に係るさらに別の実施形態について図15~21を用いて説明する。図15は、振動素子の組み立て方法に係る実施形態を示し、図16は、磁石の配置位置に係る実施形態を示す。また、図17~21は、トーションバーを挟んで相互に接合される同一形状を持つ2枚の板部材で揺動体を構成する実施形態を示す。図15a~dには、図16aに模式的に示される本発明に係る振動素子の組み立て方法が概略的に示されている。なお、図15aは、振動素子を構成する部品としてのトーションバー、揺動体第1及び第2の板部材及び磁石が分解図として示されており、方向を表すために、三次元の座標軸x、y、zが示されている。図15a~図13dの順に、振動素子の主要部が組み立てられる。図16a~cには、振動素子を構成する揺動体の内部に配置される磁石の配置位置例が模式的に示されている。図15a~dに示される実施形態においては、振動素子30aを構成するトーションバー31aの材料として、後述するような加工硬化及び時効硬化型のCo-Ni基合金からなる線状材料から形成されている。より具体的には、トーションバー31aの材料として、Co:35、Ni:32、Cr:20、Mo:10の組成を有するSPRON510商品名:SPRONは、登録商標である。であって、直径300μmの線状材料が採用されている。なお、トーションバー31aは、線状材料に限定されるものではく、板状材料から形成されてもよい。磁石35aは、直径200μmで長さ2mmの円柱形状を有したものを採用している。しかしながら、磁石35aは、円柱に限られるものではなく、角柱であってもよい。振動素子30aを構成する揺動体32aは、上述した実施態様と同様に、同一寸法形状を有する第1及び第2の板部材33a、34aから構成される。第1及び第2の板部材33a、34aは、それぞれ、厚さ300μmのシリコンSiウエハを用いる。第1及び第2の板部材33a、34aそれぞれの縦図15aにおいて、座標軸x方向×横揺動体32aの長手方向であって、図15aにおいて、座標軸y方向のサイズは、1×3mmとする。揺動体32aを構成する第1及び第2の板部材33a及び34aの各接合面332a、342aには、それぞれ、トーションバー保持用切欠333a及び343aと磁石保持用切欠図15aでは345aのみが示されている。が形成される。トーションバー保持用切欠333a及び343aは、第1の板部材33aの接合面332aの略中央部分を縦方向図15aにおいて、座標軸x方向に延在するように形成される。磁石保持用切欠345aは、第2の板部材34aの接合面342aの前方部分図15aにおいて、座標軸x方向左側において、横方向図15aにおいて、座標軸y方向に延在するように形成される。また、磁石保持用切欠345aの長さ図15aにおいて、座標軸y方向の距離は、磁石35aの長さと同じである。トーションバー保持用切欠333a及び343aの幅は、トーションバー31aの直径と同じであり、それらの深さは、トーションバー31aの直径の1/2である。同様に、磁石保持用切欠345aの幅は、磁石35aの直径と同じであり、それらの深さは、磁石35aの直径の1/2である。また、本実施態様では、磁石保持用切欠345aの長さ図15aにおいて、座標軸y方向の距離は、磁石35aの長さと同じである。本実施形態では、磁石保持用切欠345aの両端が閉じているが、これに限られるものではなく、上記図2~5の実施形態に示されるように、両端が開放していてもよい。さらに、トーションバー保持用切欠333a及び343aそれぞれの断面形状は、図15aに示されるような矩形形状であってもよいし、半円形状であってもよい。同様に、磁石保持用切欠345aの断面形状は、図15aに示されるような半円形状であってもよいし、矩形形状であってもよい。以上の構造から理解されるように、トーションバー保持用切欠333a及び343aと磁石保持用切欠345aは、本実施形態においては、それぞれの接合面332a及び342a上において互いに直交するように交差している。なお、第1の板部材33aの接合面332aにも、第2の板部材34aに形成された磁石保持用切欠345aに対応して同じ大きさ及び形状を有する磁石保持用切欠が形成されていることはいうまでもない。次に、振動素子30aの組み立て方法について説明する。トーションバー31a、揺動体32aを構成する第1及び第2の板部材33a及び34a及び磁石35aを用意する。このとき、第1及び第2の板部材33a及び34aの各接合面332a及び342aそれぞれには、縦横に直交するトーションバー保持用切欠333a及び343aと磁石保持用切欠図15aでは、345aのみが示されている。が形成されている。続いて、磁石35aを、揺動体32aを構成する第2の板部材34aの磁石保持用切欠345a内に組み込むことで、磁石35aは、揺動体32aに対して所定位置に位置決めされる。続いて、この位置決めされた磁石35aを基準として、トーションバー31aの先端を磁石35aの側面に突き当て、トーションバー31aを第2の板部材34aのトーションバー保持用切欠343a内に組み込む。それにより、トーションバー31aの先端部は、揺動体32aに対して所定の位置に位置決めされる。結果として、トーションバー31aは、該トーションバー31aの長手方向軸線O-Oが揺動体32の長手方向に対して直交するように配置される。最後に、第1の板部材33aの接合面332aを第2の板部材34aの接合面342aに対向させて、それらがトーションバー31aと磁石35aとを挟み込むようにして、第1の板部材33aを第2の板部材34aに接合させる。このとき、トーションバー31aの露出している上半分は、第1の板部材33aに形成されているトーションバー保持用切欠333a内に組み込まれ、磁石35aの露出している上半分は、磁石保持用切欠内に組み込まれる。このようにして、トーションバー31a、揺動体32a及び磁石35aは、相対的な所定位置に正確に位置決めされるとともに、磁石35aは、揺動体32aの内部に埋め込まれた状態となる。なお、磁石35aの位置は、図16a~cに示されるように、揺動体32aの前方部分、中央部分図15aにおいて、座標軸x方向中央、後方部分図15aにおいて、座標軸x方向右側に配置されてもよい。磁石35aが揺動体32aの中央部分に配置される場合、例えば、上述した図2~5に示される実施形態のように、トーションバー31a、揺動体32a及び磁石35aを形成及び配置することで可能となる。また、磁石35aが揺動体32aの後方部分に配置される場合、例えば、図12及び13に示される実施形態のように、トーションバー31a、揺動体32a及び磁石35aを形成及び配置することで可能となる。図16a~cに示されるいずれの場合においても、トーションバー31aは、磁石35aと直交した状態で、したがって、揺動体32aの長手方向と直交した状態で配置されることが理解される。図17~図19に示した実施形態は、トーションバー31Cの先端に抜け外れ防止と位置決めとを兼ねた円錐台形状のストッパー部315Cを形成したものである。矩形の棒状をなす磁石35Cは、このストッパー部315Cに臨むように揺動体32Cと一体に形成され、ストッパー部315Cに臨むその一端面が揺動体32Cから外部に露出した状態となっている。本実施形態における磁石35Cは、トーションバー31Cを挾むように二つ割り構造となっているが、トーションバー31Cが貫通する穴351Cをあらかじめ形成した単一の磁石35Cとすることも可能である。図20、図21に示した実施形態は、上の実施形態におけるストッパー部315Cを揺動体32C内に埋設したものであり、トーションバー31Dに対する揺動体32Dの相対位置をより確実に規定することができる。本実施形態では、磁石35Dがトーションバー31Dのストッパー部315Dを横切ることができるように形成されている。具体的には、第1及び第2の2枚の板部材33D、34Dそれぞれに形成された磁石保持用切欠335D、345Dに連通するように、磁石挿通溝316Dをストッパー部315Dに形成している。したがって、磁石35D及びトーションバー31Dの先端部と揺動体32Dとをより強固に接合することが可能となる。上述した実施形態では、何れも片持ち構造のトーションバー31C、31Dについて説明している。しかしながら、トーションバー31C、31Dそれぞれの長手方向両端部を枠体21とカバー部材40との間に固定し、その中央部にそれぞれの揺動体32C又は32Dを固定したものであってもよい。以上、本発明に係る振動素子をLBP200に適用した実施形態について説明してきたが、最後に、本発明に係る振動素子をオーバーヘッドプロジェクターなどの画像投影装置300に適用した実施形態について図14を用いて説明する。本実施形態においては、LBP200に適用した実施形態と同一の機能を有する構成要素については同一符号を記すに止め、重複する説明を省略する。本実施形態における画像投影装置300は、LBP200と基本的に同じ光走査装置220、光源301からの光を所定方向に変更させる光偏向装置302及びこの光偏向装置302により偏向した光が照射されるスクリーン304を備えている。光偏向装置302は、光走査装置220の振動素子30の揺動体不図示の光反射面不図示にて反射した光を理想揺動軸線不図示と平行な方向に沿って偏向させるものである。この光偏向装置302による光の偏向速度は、振動素子30の図示しない揺動体の振動周期よりも相対的に遅くすることができるので、本実施形態では周知のガルバノミラーを用いている。RGB三原色を含む光源301から出射する光は、振動素子30及び光偏向装置302により2次元走査され、スクリーン304に映像として投射される。振動素子30の主要部を構成する揺動体の光反射面の振れ角αは、制御装置206から出力される制御信号に基づいて素子駆動部207により調整される。また、光偏向装置302も同様に、制御装置206からの出力に基づき、揺動体の理想揺動軸線に対して直行する軸線回りのガルバノミラーの振れ角が制御される。制御装置206には、スクリーン304に投影される画像情報が入力部303から伝達され、光源301からスクリーン304に至る光路の距離に関する情報が測距部305から入力される。制御装置206は、これら入力部303及び測距部305からの情報に応じた投影画角や拡大率などの設定及びが像の大きさやその縦横比に基づき、振動素子30及び光偏向装置302の走査角をそれぞれ変更する。なお、画像の拡大率は、走査角を変更せずとも光源301に対する通電のオン/オフ制御によっても可能である。しかしながら、走査角を変更することによって光源301のオフ時間を減らすことで、高輝度の画像をスクリーン304に投影することができる。本実施形態の画像投影装置300も、加工硬化及び時効硬化型のCo-Ni基合金からなるトーションバー不図示に揺動体を固定しているため、小型化に加えてジッターなどの不安定性を低減でき、走査角を変更した場合でも安定した動作が可能である。また、振動減衰率の歪み振幅依存性が小さいため、走査角を大きくした場合の急激な消費電力の増加も起こらない。さらに、光の有効利用によって光源301の駆動電力を低減することができる。これらのことから、小型化と併せて、素子駆動部207や電源の容量を低減させることが可能となり、小型で投影画角の大きな高性能の画像投影装置300を実現することができる。