"ケーシング内で回転する1つの遠心インペラが、流体を軸方向に導入する1つの流体入口と、昇圧した流体を異なる圧力で半径方向外向きに吐出する複数の流体出口とを備え、前記遠心インペラで昇圧した流体を異なる複数の圧力で半径方向外向きに吐出することを特徴とする複圧式遠心ターボ機械。前記流体出口は、前記流体入口から軸方向下流側へ向けて吐出圧力が順次低くなるように配置されるとともに、前記遠心インペラは、低圧側インペラが隣接する高圧側インペラの背板を貫通するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の複圧式遠心ターボ機械。前記流体出口は、前記遠心インペラのシュラウド面途中に吐出圧力の低い低圧側が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の複圧式遠心ターボ機械。前記遠心インペラは、翼長の少なくとも一部に設けたシュラウドを備えていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の複圧式遠心ターボ機械。前記遠心インペラは、昇圧した流体を高圧で前記流体出口から半径方向外向きに吐出する高圧インペラと、昇圧した流体を低圧で前記流体出口から半径方向外向きに吐出する低圧インペラとを備えていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の複圧式遠心ターボ機械。前記遠心インペラは、前記低圧インペラの背板を形成するようにして、前記高圧インペラの上流端を前記低圧インペラの出口半径より内側に突出させたことを特徴とする請求項5に記載の複圧式遠心ターボ機械。前記遠心インペラが、高圧インペラ部と、該高圧インペラ部の背板面近傍から分離可能な低圧インペラ部とを組み合わせて一体化する分割別体構造であることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の複圧式遠心ターボ機械。前記低圧インペラの背板面が、前記高圧インペラのシュラウド上流端を流路側に突出させるように、低圧インペラ背板面にて分割組立する構造を有することを特徴とする請求項2、4または6のいずれか1項に記載の複圧式遠心ターボ機械。上述したように、同一作動流体において複数の圧力レベルを必要とする従来の各種プラントでは、必要な圧力レベル毎に異なる遠心ポンプ等の遠心ターボ機械を設置して対応している。このため、遠心ターボ機械毎に電動機等の駆動源が必要となり、この結果、プラントの構成に多数の機器類を必要とし複雑化するという問題が指摘されている。本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、1台の遠心ターボ機械で複数の圧力レベルを供給できる複圧式遠心ターボ機械を提供することにある。本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。本発明の複圧式遠心ターボ機械は、ケーシング内で回転する1つの遠心インペラが、流体を軸方向に導入する1つの流体入口と、昇圧した流体を異なる圧力で半径方向外向きに吐出する複数の流体出口とを備え、前記遠心インペラで昇圧した流体を異なる複数の圧力で半径方向外向きに吐出することを特徴とするものである。このような本発明の複圧式遠心ターボ機械によれば、遠心インペラが、流体を軸方向に導入する1つの流体入口と、昇圧した流体を異なる圧力で半径方向外向きに吐出する複数の流体出口とを備え、遠心インペラで昇圧した流体を異なる複数の圧力で半径方向外向きに吐出するので、1台の遠心ターボ機械で複数の圧力レベルに昇圧した流体を供給することが可能になる。なお、本発明の複圧式遠心ターボ機械は、遠心圧縮機、遠心ブロワ及び遠心ポンプ等に適用可能である。上記の複圧式遠心ターボ機械において、前記流体出口は、前記流体入口から軸方向下流側へ向けて吐出圧力が順次低くなるように配置されるとともに、前記遠心インペラは、低圧側インペラが隣接する高圧側インペラの背板を貫通するように配置されているが好ましい。あるいは、上記の複圧式遠心ターボ機械において、前記流体出口は、前記遠心インペラのシュラウド面途中に吐出圧力の低い低圧側が配置されていることが好ましい。上記の複圧式遠心ターボ機械において、前記遠心インペラは、翼長の入口側及び出口側の少なくとも一部に設けたシュラウドを備えていることが好ましく、これにより、遠心ポンプで一般に設置される目的の強度の担保や、遠心インペラで発生しスラスト軸受で負担すべきスラスト力を低減することが可能になる。上記の複圧式遠心ターボ機械において、前記遠心インペラは、昇圧した流体を高圧で前記流体出口から半径方向外向きに吐出する高圧インペラと、昇圧した流体を低圧で前記流体出口から半径方向外向きに吐出する低圧インペラとを備えていることが好ましい。すなわち、複圧式遠心ターボ機械の遠心インペラは、流体を軸方向に導入する1つの流体入口と、昇圧した流体を高圧及び低圧の異なる2つの圧力で半径方向外向きに吐出する2つの流体出口とを備え、遠心インペラの高圧インペラが高圧の流体出口部を構成し、低圧インペラが低圧の流体出口部を構成するので、1台の遠心ターボ機械で高低2つの圧力レベルに昇圧した流体を供給することが可能になる。遠心インペラのシュラウド面途中に吐出圧力の低い低圧側が配置されている複圧式遠心ターボ機械において、前記遠心インペラは、前記低圧インペラの背板を形成するようにして、前記高圧インペラの上流端を前記低圧インペラの出口半径より内側に突出させたものが好ましい。上記の複圧式遠心ターボ機械において、前記遠心インペラは、高圧インペラ部と、該高圧インペラ部の背板面近傍から分離可能な低圧インペラ部とを組み合わせて一体化する分割別体構造としてもよい。遠心インペラのシュラウド面途中に吐出圧力の低い低圧側が配置されている複圧式遠心ターボ機械において、前記低圧インペラの背板面は、前記高圧インペラのシュラウド上流端を流路側に突出させるように、低圧インペラ背板面にて分割組立する構造を有することが望ましい。上述した本発明によれば、1台の遠心ターボ機械で複数の圧力レベルを供給できる複圧式遠心ターボ機械となり、従って、同一作動流体において複数の圧力レベルを必要とする各種プラントに適用すれば、プラントの構成に必要な機器類を低減して装置構成を簡略化できるという顕著な効果が得られる。以下、本発明に係る複圧式遠心ターボ機械の一実施形態を図面に基づいて説明する。<第1の実施形態>図1及び図2に示す実施形態の複圧式遠心ターボ機械は、複数2以上の圧力レベルに昇圧して1台で供給可能な昇圧装置であり、具体的には、非圧縮性流体を昇圧させる遠心ポンプ、圧縮性流体を昇圧させる遠心ブロア及び遠心圧縮機等がある。なお、以下の説明では、複圧式遠心ターボ機械の一例として、高圧及び低圧の2つの圧力レベルを1台で供給可能な遠心圧縮機について説明する。図1aは、本実施形態に係る複圧式の遠心圧縮機複圧式遠心ターボ機械について、要部の子午面形状を示す断面図、図2は、図1aに示した遠心圧縮機の要部断面を軸方向から見た正面図である。図示の遠心圧縮機Cは、ケーシング11と、ケーシング11に回転可能に支持された回転軸13と、回転軸13の外周に取り付けられてケーシング11内で回転する遠心インペラ15と、を備えている。なお、回転軸13の一端には、遠心インペラ15を回転させる電動機等の駆動源不図示が連結されている。遠心インペラ15は、回転軸13の外周に取り付けられたハブ17と、ハブ17の外周面に放射状に間隔を空けて設けられた複数の遠心インペラ翼以下、翼と呼ぶ19とにより構成される。この翼19は、ハブ17の外周面から外向きに突出して設けられている。遠心圧縮機Cのケーシング11及び遠心インペラ15は、図1aの紙面左側に設けられている流路入口21から軸方向に流体を導入し、遠心インペラ15と一体に回転する翼19によって昇圧した流体を半径方向外向きに流出させる。ケーシング11内で回転する遠心インペラ15は、ケーシング11側の出口半径がR1の高圧インペラ19Hと、ケーシング11側の出口半径がR2の低圧インペラ19Lとを備えている。図1aに示す構成例では、高圧インペラ19Hと低圧インペラ19Lとが一体に構成されており、この場合、遠心インペラ15は、インペラ入口半径Riに対して、高圧インペラ19Hの出口半径R1が大きくR1>Ri設定されており、回転軸13の軸方向において、流路入口21に近い上流側に高圧インペラ19Hを配設し、低圧インペラ19Lは、高圧インペラ19Hの背板31Hに開口した貫通流路33を介して、流路入口21の反対側に配設している。なお、図1aにおいて、図中の一点鎖線Piは等圧線である。高圧インペラ19Hで昇圧された流体は、高圧インペラ19Hの外周先端部側に開口する高圧出口流路23Hを通って半径方向外向きに流出する。この高圧出口流路23Hの下流には、高圧側のディフューザ25Hが設けられ、さらにその下流にはスクロール27Hを有している。このように構成された高圧出口流路23H、ディフューザ25H及びスクロール27Hは、高圧の圧力P1で流体を供給する高圧側圧縮機出口29Hとなる。なお、高圧インペラ19Hが回転するケーシング11内には、下流側に設けられた高圧インペラ19Hの背板31Hに対向し、かつ、低圧側壁面を構成する隔壁37を備えている。低圧インペラ19Lは、高圧インペラ19Hと同様に、ハブ17の外周面から外向きに突出し、かつ、高圧インペラ19Hの背板31Hの下部を軸方向下流側へ向けて貫通するように設けられている。背板31Hの背面側では、出口半径をR2とした低圧インペラ19Lが同軸の高圧インペラ19Hと一体に回転する。低圧インペラ19Lの出口半径R2は、高圧インペラ19Hの出口半径R1より小さな値R2<R1となる。低圧インペラ19Lで昇圧された流体は、低圧インペラ19Lの外周先端部側に開口する低圧出口流路23Lを通って半径方向外向きに流出する。この低圧出口流路23Lの下流には、低圧側のディフューザ25Lが設けられ、さらにその下流にはスクロール27Lを有している。このように構成された低圧出口流路23L、ディフューザ25L及びスクロール27Lは、低圧の圧力P2P1>P2で流体を供給する低圧側圧縮機出口29Lとなる。低圧インペラ19Lの出口半径R2は、図中にハッチングで表示した貫通流路33の上壁面半径Rpsより大きい値R2>Rpsに設定され、低圧側圧縮機出口29Lの低圧出口流路23Lが半径方向外向きのインペラ出口を備えている。この貫通流路33は、高圧インペラ19H側から分岐させた流体を低圧インペラ19L側へ導くための流路である。なお、低圧インペラ19Lが回転するケーシング11は、下流側に設けられた低圧インペラ19Lの背板31Lに対向して低圧側壁面39を構成している。図2に示す軸方向の正面図において、気体を圧縮する遠心インペラ15は、液体を圧縮する後述の遠心ポンプと比較して数倍以上の高周速で回転するので、遠心インペラ15の高圧インペラ19H及び低圧インペラ19Lは、そのインペラ翼が翼前縁にてほぼ半径方向要素をもつ翼により構成される。また、遠心圧縮機Cの場合、高圧インペラ出口23H及び低圧インペラ出口23Lにおいて、高圧インペラ19Hの翼が背板31Hに取り付けられる角度のバックワード角β1や、低圧インペラ19Lの翼が低圧インペラ19Lの背板31Lに取り付けられる角度のバックワード角β2は、たとえば10度~45度程度の範囲に設定される。上述した遠心圧縮機Cの遠心インペラ15は、図3に示す変形例の遠心インペラ15′のように、高圧インペラ19Hの翼及び低圧インペラ19Lの翼の中間に、それぞれ高圧スプリッタ翼35H及び低圧スプリッタ翼35Lが設置された構成としてもよい。なお、図3の遠心インペラ15′において、スプリッタ翼35H,35L以外の構成については、図2に示した遠心インペラ15と実質的に同じである。次に、図4及び図5に示す遠心ポンプCPの遠心ポンプインペラ55は、上述した遠心インペラ15の構成を適用したものである。遠心ポンプCPは、ケーシング51と、ケーシング51に回転可能に支持された回転軸53と、回転軸53の外周に取り付けられてケーシング51内で回転する遠心ポンプインペラ55と、を備えている。なお、回転軸53の一端には、遠心ポンプインペラ55を回転させる電動機等の駆動源不図示が連結されている。遠心ポンプインペラ55は、回転軸53の外周に取り付けられたハブ57と、ハブ57の外周面に放射状に間隔を空けて設けられた複数の遠心インペラ翼以下、翼と呼ぶ59とにより構成される。この翼59は、ハブ57の外周面から外向きに突出して設けられている。遠心ポンプCPのケーシング51及び遠心ポンプインペラ55は、流路入口61から軸方向に流体を導入し、遠心ポンプインペラ55と一体に回転する翼59によって昇圧した流体を半径方向外向きに流出させる。ケーシング51内で回転する遠心ポンプインペラ55は、ケーシング51側の出口半径がR1の高圧インペラ59Hと、ケーシング51側の出口半径がR2の低圧インペラ59Lとを備えている。この場合、遠心ポンプインペラ55は、インペラ入口半径Riに対して、高圧インペラ59Hの出口半径R1が大きくR1>Ri設定されており、回転軸53の軸方向において、流路入口61に近い上流側に高圧インペラ59Hを配設し、低圧インペラ59Lは、高圧インペラ59Hの背板71Hに開口した貫通流路73を介して、流路入口61の反対側に配設している。高圧インペラ59Hで昇圧された流体は、高圧インペラ59Hの外周先端部側に開口する高圧出口流路63Hを通って半径方向外向きに流出する。この高圧出口流路63Hの下流には、スクロール67Hが設けられている。このように構成された高圧出口流路63H及びスクロール67Hは、高圧の圧力P1で流体を供給する高圧側ポンプ出口69Hとなる。なお、高圧インペラ59Hが回転するケーシング11内には、下流側に設けられた高圧インペラ59Hの背板71Hに対向し、かつ、低圧側壁面を構成する隔壁77を備えている。低圧インペラ59Lは、高圧インペラ59Hと同様に、ハブ57の外周面から外向きに突出し、かつ、高圧インペラ59Hの背板71Hの下部を軸方向下流側へ向けて貫通するように設けられている。背板71Hの背面側では、出口半径がR2の低圧インペラ59Lが同軸の高圧インペラ59Hと一体に回転する。低圧インペラ59Lの出口半径R2は、高圧インペラ59Hの出口半径R1より小さな値R2<R1となる。低圧インペラ59Lで昇圧された流体は、低圧インペラ59Lの外周先端部側に開口する低圧出口流路63Lを通って半径方向外向きに流出する。この低圧出口流路63Lの下流には、スクロール67Lが設けられている。このように構成された低圧出口流路63L及びスクロール67Lは、低圧の圧力P2P1>P2で流体を供給する低圧側ポンプ出口69Lとなる。低圧インペラ59Lの出口半径R2は、図中にハッチングで表示した貫通流路73の上壁面半径Rpsより大きい値R2>Rpsに設定され、低圧側ポンプ出口69Lの低圧出口流路63Lが半径外向きのインペラ出口を備えている。この貫通流路73は、高圧インペラ59H側から分岐させた流体を低圧インペラ59L側へ導くための流路である。なお、低圧インペラ59Lが回転するケーシング51は、下流側に設けられた低圧インペラ59Lの背板71Lに対向して低圧側壁面79を構成している。遠心ポンプCPの場合、翼59のインペラ翼前縁は、子午面において半径方向から傾斜している形状が多く、上流に凸の曲線で構成される形状となるものも多い。また、バックワード角β1、β2は、いずれも45度~70度程度の範囲に設定される。さらに、遠心ポンプCPでは、翼59のバックワード角が大きいため、結果として隣接する翼と翼の間隔が小さくなり、かつ、翼の長さも長くなるため、遠心圧縮機Cと比較して翼枚数はおおよそ半分となり、また、スプリッタが設けられることもまれである。上述したように、遠心ポンプCPでは、高圧側ポンプ出口69H及び低圧側ポンプ出口69Lについては、一般にディフューザのない構成となるが、遠心圧縮機Cと同様に、ディフューザを備えた構成としてもよい。図示しない遠心ブロワについては、インペラ形状等が、上述した遠心圧縮機C及び遠心ポンプCPの中間、あるいはどちらか一方に似通ったものとなる。また、遠心圧縮機C、遠心ブロワ及び遠心ポンプCPのいずれにおいても、ケーシングの流体出口は、回転軸の外周側に形成された環状通路になっている構造でもよい。このように、本実施形態において、遠心圧縮機C、遠心ブロワ及び遠心ポンプCPのような遠心ターボ機械が有する特徴的な共通点は、高圧インペラ19H,59Hの背板31H,71H側で、かつ、ハブ13,57側に、昇圧する流体の一部を分流させて導くための貫通流路33,73が設けられており、ハブ13,57側から分岐した低圧インペラ19L、59Lの翼を有することである。そして、貫通流路33,73側に流れることなく高圧インペラ19H、59H側に導かれた流体は、高圧インペラ19H、59Hの翼によって高圧のP1に昇圧され、貫通流路33,73から低圧インペラ19L、59L側に導かれた流体は、低圧インペラ19L、59Lの翼によって低圧のP2に昇圧される。すなわち、上述した実施形態の遠心ターボ機械は、昇圧する流体の入口を1つ備え、ケーシング内で回転する遠心インペラや遠心ポンプインペラには1つの流体入口と2つの流体出口とが設けられ、かつ、昇圧した流体の出口を2つ備えているので、1インペラ2圧式の構成を有する複圧式遠心ターボ機械となる。すなわち、上述した複圧式遠心ターボ機械は、同一動力軸に設置された1つのインペラで流体を昇圧し、2つの異なる圧力及び流量で流体を供給することが可能となる。このような複圧式遠心ターボ機械は、複数の遠心ポンプCP、遠心ブロワ、遠心圧縮機Cを用いることなく、1台で2つの圧力レベルと流量を提供できるため、たとえば図6に示すように、各種のプラントや設備においてシステム構成の簡素化が可能となり、低コストで高機能のプラントを提供できる。図6aにおいて、図中の符号1は本実施形態で説明した複圧式遠心ターボ機械、3は複圧式遠心ターボ機械を駆動する電動機駆動源である。この場合、大気やプレナムの流体供給源5から導入した同一の流体を複圧式遠心ターボ機械1で昇圧し、高圧のP1に昇圧した流体をプラント7Aに供給するとともに、低圧のP2に昇圧した流体をプラント7Bに供給するプラント構成例となる。すなわち、1台の複圧式遠心ターボ機械1が、同一の流体を異なる圧力レベルP1,P2に昇圧してプラント7A,7Bに供給することができる。図6bに示すプラント構成例では、プラント7A,7Bから導入した同一の流体を複圧式遠心ターボ機械1で昇圧し、高圧のP1に昇圧した流体をプラント7Aに供給するとともに、低圧のP2に昇圧した流体をプラント7Bに供給している。また、図6cに示すプラント構成例では、プラント7Cの異なる系統から導入した同一の流体を複圧式遠心ターボ機械1で昇圧し、高圧のP1に昇圧した流体及び低圧のP2に昇圧してプラント7Cの異なる系統に供給している。ところで、上記の説明においては、高圧インペラ19H及び低圧インペラ19Lが一体に構成されている遠心インペラ翼19としたが、たとえば図1bに示すように、本実施形態の低圧インペラ部19Lは、高圧インペラ部19Hの背板面近傍から、すなわち、背板31Hが形成する面の近傍から分割された構成であってもよい。換言すれば、遠心インペラ15は、高圧インペラ部19Hpと、該高圧インペラ部19Hpの背板面近傍から分離可能な低圧インペラ部19Lpとを組み合わせて一体化する分割別体構造としてもよい。なお、図1bにおいて、図中の破線は、高圧インペラ部Hpと低圧インペラ部Lpとの分割面BLの一例を示しており、図中の一点鎖線Bは、組立ボルトBの軸中心を示している。<第2の実施形態>本発明に係る複圧式遠心ターボ機械について、第2の実施形態を図7~図10に基づいて説明する。なお、上述した実施形態と同様の部分には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。この実施形態では、上述した実施形態の高圧インペラ19H、59Hにシュラウドが追設されている。なお、本実施形態の遠心インペラ15についても、一体構造または分割別体構造のいずれであってもよい。以下の説明では、図1に示した遠心圧縮機Cの高圧インペラ19Hに対して、シュラウド41が翼全体に設けられている。また、図8に示す変形例では、高圧インペラ19Hに対して、シュラウド41が翼後半出口側に設けられている。このように構成された遠心圧縮機C等の複圧式遠心ターボ機械は、上述した実施形態と同様の作用効果を奏する。そして、高圧インペラ19Hにシュラウド41を追設したことにより、特に、高圧インペラ19Hの翼に作用する負荷が大きい場合には、シュラウド41が翼の強度を増すことになるので、信頼性や耐久性の向上に有効である。このようなシュラウド41は、流れの密度が大きい液体を昇圧する遠心ポンプCPは勿論のこと、上述した各種の複圧式遠心ターボ機械においても有効である。また、遠心圧縮機Cや遠心ブロワにおいては、小流量、低比速度の場合、インペラ出口近傍の翼高さ出口では出口幅が翼入口に比べ低くなり、シュラウドクリアランス翼先端とケーシングとの隙間が翼高さの割に大きくなる。このため、漏れ損失が増加して効率が低下するという問題を有しているが、この効率低下を防止するためには、シュラウド41を設ける構成が有効である。第1の実施形態で説明した複圧式遠心ターボ機械では、遠心ポンプCP、遠心ブロワ、遠心圧縮機Cのいずれにおいても、高圧インペラ19H,59Hの背板背面に、図9に示すような静圧分布が発生する。すなわち、図9に示すように、高圧インペラ背板31H,71Hの背面破線表示と遠心インペラ入口からシュラウド面実線表示のような静圧分布が生じ、この静圧分布は、出口半径R1のインペラ出口静圧が共通の値となり、半径が小さくなると背板背面の静圧がシュラウド面の静圧に比べて高くなる。このような板背面の静圧分布とシュラウド面の静圧分布との圧力差は、遠心インペラ15を軸方向に押しつけるスラスト力になる。この圧力差をハッチングで表示し、このハッチングの面積が大きいほどスラスト力が大きいことを示す。背板背面の圧力がシュラウド面の圧力に比べて高い理由は、背板背面では、背板背面隙間に流れる流体が、回転する背板と静止したケーシングとの間で、背板のほぼ半分の速度で回転し、その旋回の遠心力により圧力分布ができるためである。一方、インペラの翼間流路における流れの圧力は、インペラ入口では旋回速度がなく、インペラ出口ではインペラ旋回速度の6~8割の速度で回転し、翼から仕事を受けて静圧が上昇する。従って、このシュラウドに沿った静圧分布の半径方向の勾配が背板背面に比べて大きくなり、そして、上述したように出口半径R1のインペラ出口静圧が共通の値となる結果として、背板背面の静圧がシュラウド面の静圧に比べて高くなる。この結果、各半径において背板背面とシュラウド面との静圧差が生じ、この静圧差がインペラを軸方向に押す力、すなわちスラスト力になる。また、高圧インペラ背板31H、71Hの背板面には、低圧インペラ19L、59Lの出口がある。しかし、低圧インペラ19L、59Lの出口圧力は、貫通流路33、73と低圧インペラとにより昇圧されて決まり、隔壁37と低圧インペラとの隙間に設けられた漏れ防止機構不図示により分離されているので、高圧インペラ出口から独立した静圧になる。従って、低圧インペラ19L、59Lの出口圧力は、高圧インペラ19H、59Hの背板面における圧力分布とは独立して圧力が決まるため、図9に示すように、出口半径R2の半径にて静圧分布に不連続が生じる。液体を扱う遠心ポンプCPや高密度の気体フロン等を扱う遠心ブロワや遠心圧縮機Cでは、このスラスト力の絶対値が大きく、従って、このスラスト力に耐えるだけの大きなスラスト軸受スラストベアリング等を設けることが必要となる。この結果、軸受損失が大きくなること、スラスト軸受の負荷能力が小さい場合にはスラスト軸受の寿命が短くなること、スラスト軸受だけでは負荷能力をオーバーするため、別途反対方向のスラストを発生させる構造いわゆるバランスピストンの設置が不可欠となり、構造が複雑化するなど、性能、寿命、構造的な問題を生じる場合がある。上述したスラスト力は、インペラの半径が変化する部分で、しかも、インペラ出口の半径が大きく、面積も大きい半径の大きいインペラ出口近傍の領域の力が主体となる。このため、高圧インペラ19H,59Hにおいて半径変化をする領域の翼先端にシュラウド41を設置することにより、図10に示すように、シュラウド隙間の静圧分布実線表示を背板背面の静圧分布破線表示とほぼ等しくすることができるようになり、この結果としてスラスト力を低減できることから、上述した性能、寿命及び構造的な問題の改善が可能となる。<第3の実施形態>本発明に係る複圧式遠心ターボ機械について、第3の実施形態を図11及び図12に基づいて説明する。なお、上述した実施形態と同様の部分には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。本実施形態の遠心インペラは、高圧インペラのシュラウド面途中に低圧インペラ出口を設け、この吐出口から流出する流れを低圧側の出口に導くものである。以下では、本実施形態の特徴について、図11に示した遠心圧縮機Cの遠心インペラ15Aに適用した場合を例示して説明する。なお、本実施形態の遠心インペラ15Aについても、一体構造または図20に例示したような分割別体構造のいずれであってもよい。図示の遠心インペラ15Aは、翼19Aの高圧インペラ19Hの途中に、すなわち、高圧側圧縮機出口29Hに連通する高圧出口流路23Hよりも軸方向において流路入口21側となる位置に開口する低圧出口流路23Lを備えている。この低圧出口流路23Lは、低圧圧縮機出口29Lに連通するもので、その下流側には、ディフューザ25L及びスクロール27Lが設けられている。この結果、高圧出口流路23H及び低圧出口流路23Lの配置は、軸方向において上述した実施形態の遠心圧縮機と逆になり、軸方向において流路入口21側から低圧出口流路23L及び高圧出口流路23Hの順に配置されている。このような構成にすれば、翼19Aの高圧インペラ19Hにおいて、シュラウド面の途中には低圧出口流路23Lが設けられているので、遠心インペラ15Aで昇圧された流体は、その一部が昇圧途中に低圧出口流路23Lから流出した後、高圧インペラ19Hによりさらに昇圧される。こうして低圧出口流路23Lから流出する一部の流体は、ディフューザ25L及びスクロール27Lを経由して低圧側圧縮機出口29Lに導かれる。この場合、高圧インペラ19Hは、低圧出口流路23Lの下流から翼高さを低くし、その下流でさらの圧力を上昇させることが可能な翼形状とすることが望ましい。すなわち、図11においては、低圧出口流路23Lより上流側の翼高さHが、下流側の翼高さhよりも高くH>h設定されていることが望ましい。このような高圧インペラ19Hの高圧出口流路23Hから流出する流体の流れは、ディフューザ25H及びスクロール27Hを経由して高圧側圧縮機出口29Hに導かれる。上述したように構成された本実施形態の遠心圧縮機等の遠心ターボ機械は、昇圧する流体の入口を1つ備え、ケーシング内で回転する遠心インペラには1つの流体入口と2つの流体出口とが設けられ、かつ、昇圧した流体の出口を2つ備えているので、1インペラ2圧式の構成を有する複圧式遠心ターボ機械となる。すなわち、上述した複圧式遠心ターボ機械は、同一動力軸に設置された1つのインペラで流体を昇圧し、2つの異なる圧力及び流量で流体を供給することが可能となる。なお、遠心圧縮機、遠心ブロワ及び遠心ポンプの遠心インペラについて、一般的な特徴は上述した実施形態と同様である。また、本実施形態の遠心インペラについても、上述した第2の実施形態と同様に、高圧インペラ19Hの翼先端にシュラウド41を設けた構成としてもよい。この場合、図13に示す第1変形例のように、低圧出口流路23Lの位置を除いた高圧インペラ19H及び翼19Aの全長にわたってシュラウド41を設けてもよいし、あるいは、図14に示すように、低圧出口流路23Lから高圧出口流路23Hまでの高圧インペラ部にのみシュラウド41を設けてもよい。さらに、図18に示すように、低圧出口流路23Lより上流側となる翼19Aの翼先端にのみ、シュラウド41を設けた構成としてもよい。このようなシュラウド41は、上述した実施形態と同様に、特に、高圧インペラ19Hの翼に作用する負荷が大きい場合に翼の強度を増すことになるので、信頼性や耐久性の向上に有効である。このようなシュラウド41の設置は、流れの密度が大きい液体を昇圧する遠心ポンプCPに限らず、遠心圧縮機Cのような複圧式遠心ターボ機械全般においても有効である。また、図14に示す第2変形例の構成例については、上述した図7及び図8の関係と同様に、漏れ損失が大きい低圧出口流路23Lから高圧出口流路23Hまでの高圧インペラ部だけにシュラウド41を設置しているので、漏れ損失の低減にも有効である。また、図13及び図14に示す構成例は、図7及び図8に示した構成例と同様に、いずれの場合もスラスト力低減にも有効である。図15は、図11に示した遠心圧縮機Cについて、シュラウド面と背板面の静圧分布を示している。この場合、上述した実施形態で説明したように、背板背面の静圧が高くシュラウド面の静圧が低いため、スラスト力が大きくなっている。従って、シュラウド41を設置することにより、シュラウド面の圧力が背板背面の圧力とほぼ等しくなりこのスラスト力を低減できる。図15において、シュラウドと背板面の静圧分布は、シュラウド面ではシュラウドの中間部に低圧出口流路23Lが有り、その部分では一定になるが、さらに半径が大きくなると連続的に静圧が増加するという静圧分布を有する。一方、背板背面は、高圧出口流路23Hから回転軸近傍までほぼ2つの円板面に挟まれた空間であり、この間において静圧は連続的に低下する。図16は、図13に示した実施形態の遠心圧縮機Cについて静圧分布を示したものである。この場合、シュラウド41を設置し、シュラウド41の内径端に設置された漏れ防止機構不図示により分離されることにより、低圧出口流路23Lの出口半径R2に対応する部分において、圧力は図15と同じになる。しかし、その他の半径では、シュラウドクリアランス内部の半径平衡の圧力分布となるので、図15の場合と比較して、シュラウド面の圧力が、Ri~R2ではR2の静圧に対して半径平衡が成立するように上昇し、R2~R1では背板背面の静圧とほぼ等しくなるので、スラスト力を小さくすることが可能になる。また、図18に示す第3変形例のように、低圧出口流路23Lより上流側となる遠心インペラ15Aの翼先端にのみシュラウド41を設けた構成としても、有益な効果が得られる。図17に示すように、遠心インペラ15Aの入口部にシュラウド41が設けられていない場合には、翼先端からの漏れ流れ図中の矢印f参照により、翼先端部の流れに低流速域が堆積する。また、低圧出口流路23Lに低流速域が到達するような場合には、低圧インペラ19Lの出口圧が期待する圧力に達せず、しかも、低圧出口流路23Lを閉塞するため、低圧出口流路23Lから期待する流量を得られない場合がある。このような場合の改善手法として、低圧出口流路23Lの上流部にシュラウド41を設けることにより、遠心インペラ15Aの入口における漏れ損失を低減し、低流速域の堆積を防止して、低圧インペラ19Lから流出する流れの損失増加や流量の低減という問題を改善することができる。また、上述したシュラウド41は、以下に説明するように取り付けてもよい。たとえば図20に示す第4変形例の構成例では、図11に示す遠心圧縮機Cにおいて、低圧出口流路23Lから高圧出口流路23Hまでの間にシュラウド41を設置している。このシュラウド41は、その内径側が低圧インペラ19Lの背板を構成するように、低圧インペラ19Lの出口半径R2から、それより小さい出口半径R3まで流路内に突出させている。そして、低圧インペラ19Lの流れと高圧インペラ19Hの流れを鋭角状の分岐部においてそれぞれの方向に分岐させるため、シュラウド41には、内側延長部が設けられている。すなわち、本実施形態の遠心インペラ15Aは、低圧インペラ19Lとシュラウド41を設置した高圧インペラ19Hとが低圧インペラ背板面で、かつ、高圧インペラ19Hに設置したシュラウド41の上流端を構成する部分により分割され、これらの低圧インペラ19Lと高圧インペラ19Hとを組み合わせた構成のインペラとなっている。また、図20に示す構成例では、高圧インペラ19Hのシュラウド41の内径側を低圧インペラ19Lの背板を構成するように突出させたが、たとえば図21に示した第5変形例のように、翼先端に設置されるシュラウド部のインペラ出口部を除いて、低圧インペラ19Lの出口半径R2及びそれより大きい半径となる高圧インペラ19Hの部分シュラウド以下の半径部分に対して設置してもよい。図11に示した構成例においては、低圧出口流路23Lが、高圧インペラ19Hの高圧出口流路23Hを構成する軸方向上流を向き、円板または円錐状の面となる背板面を有していない。このため、流れを低圧出口流路23Lに導く作用を有する部分がないため、たとえば図19に矢印f1で示すように、低圧出口流路23Lを迂回して流れる領域が形成され、低圧インペラ19Lに流れを流出させる効果が高圧出口流路23Hに比べて小さく、低圧インペラ19Lから期待する流量を得られないという懸念がある。そこで、低圧インペラ19Lの低圧流路出口23Lに背板効果を有する背板面を流路内に突出させて設置することにより、低圧出口流路23Lに流れを導く効果が大きくなり、かつ、低圧出口流路23Lに流出する流れと、高圧インペラ19Hに流出する流れを、上述した背板面を設けた構造により分岐させることが可能となる。この結果、低圧インペラ19Lから流出する流量と高圧インペラ19Hから流出する流量を確実に得ることが可能になる。また、低圧インペラ19Lと高圧インペラ19Hとを、低圧インペラ19Lの背板面で分割し、これらを組み合わせた構造の遠心インペラ15Aとすることで、この構造の製作を容易にできる。上述した各実施形態によれば、1台の遠心ターボ機械が複数2以上の圧力レベルを供給できる複圧式遠心ターボ機械となる。この結果、同一作動流体において複数の圧力レベルを必要とする各種プラントに適用すれば、プラントの構成に必要な遠心ターボ機械や電動機等の各種機器類を低減し、装置構成を簡略化することが可能になる。本実施形態の複圧式遠心ターボ機械を適用可能なプラントとしては、たとえば下記のようなものがある。1各種産業用プラントから高温、高圧の流体で排出される排出エネルギーの動力回収用サイクルの昇圧ポンプ2船舶や車両用の動力源等の熱サイクルを経由して動力を得るシステムの排熱回収用サイクルの昇圧ポンプ3地熱OTEC等の中低温熱源を利用するバイナリーサイクル発電の動力回収用サイクルの昇圧ポンプ4工場やプラントの圧力源、流量供給装置として、複数の圧力、複数の流量を供給するポンプやブロワが使用されている場合のプラント、設備なお、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。"