タービン動翼の回転軸方向の変位を計測して変位計測信号を出力する非接触型変位計と、前記非接触型変位計から出力された前記変位計測信号を与えられ、前記非接触型変位計と前記タービン動翼の先端位置との間の距離に基づいて前記先端位置を同定する翼先端位置同定信号を出力する翼先端位置同定装置と、前記翼先端位置同定装置から出力された前記翼先端位置同定信号を与えられ、前記非接触型変位計から前記タービン動翼の先端位置までの距離の時間的変化に基づき、前記タービン動翼の振動振幅と振動周波数とを算出する翼振動算出装置と、を備えることを特徴とする翼振動計測装置。前記非接触型変位計が前記タービン動翼の周方向に沿って複数配置され、前記翼先端位置同定装置及び前記翼振動算出装置が前記非接触型変位計のそれぞれに対応して複数設けられており、前記翼振動算出装置のそれぞれから算出された前記タービン動翼の振動振幅と振動周波数とに基づいて、前記タービン動翼の振動モード次数を同定する振動モード同定装置をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の翼振動計測装置。前記非接触型変位計が1個配置され、前記非接触型変位計を前記タービン動翼の周方向に沿って同一半径内で回転移動させる回転治具と、前記回転治具により回転移動された前記非接触型変位計のそれぞれの位置毎に、前記翼振動算出装置から算出された前記タービン動翼の振動振幅と振動周波数とに基づいて、前記タービン動翼の振動モード次数を同定する振動モード同定装置とをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の翼振動計測装置。前記非接触型変位計が前記タービン動翼の周方向に沿って複数配置され、前記非接触型変位計のそれぞれを前記タービン動翼の周方向に沿って同一半径内で回転移動させる回転治具と、前記回転治具により回転移動された複数の前記非接触型変位計のそれぞれの位置毎に、前記翼振動算出装置から算出された前記タービン動翼の振動振幅と振動周波数とに基づいて、前記タービン動翼の振動モード次数を同定する振動モード同定装置とをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の翼振動計測装置。複数の前記非接触型変位計のうち少なくとも2個が前記タービン動翼の周方向に沿って隣接するように配置されており、この少なくとも2個の前記非接触型変位計から出力される前記変位計測信号に基づいて、前記タービン動翼の回転軸方向の変位曲線が特定が可能であることを特徴とする請求項4に記載の翼先端位置同定装置。前記タービン動翼の回転数を変化させるための回転数調整装置と、前記回転数調整装置により前記タービン動翼の回転数が変化され、前記翼振動算出装置により算出された前記タービン動翼の振動振幅が極大となる共振状態における共振周波数を求める共振周波数検出装置とをさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載の翼振動計測装置。前記回転数調整装置により前記タービン動翼を所定回転数で回転させた時に前記翼振動算出装置により算出された振動振幅を前記共振周波数検出装置において基準振動振幅として記憶し、前記回転数調整装置により前記タービン動翼を前記所定回転数と異なる回転数で回転させた時に前記翼振動算出装置により算出された振動振幅と前記基準振動振幅との振幅差分値に基づいて前記共振周波数検出装置により共振周波数を求めることを特徴とする請求項6に記載の翼振動計測装置。前記タービン動翼の回転数を変化させるための回転数調整装置をさらに備え、前記回転数調整装置により前記タービン動翼の回転数が変化され、前記翼振動算出装置により算出された前記タービン動翼の振動振幅が極大となる共振状態において、前記翼振動算出装置のそれぞれから算出された前記タービン動翼の振動振幅と、前記非接触型変位計のそれぞれから検出された前記タービン動翼の回転軸方向の変位とに基づいて、前記振動モード同定装置が、前記タービン動翼の前記共振状態における振動モード次数を同定することを特徴とする請求項2に記載の翼振動計測装置。前記タービン動翼に対する前記非接触型変位計の相対的な角度を調整するための角度調整装置をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の翼振動計測装置。前記タービン動翼に対する前記非接触型変位計の相対的な距離を調整するための距離調整装置をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の翼振動計測装置。しかし、上述した従来の翼振動計測装置では、翼の通過タイミングを数百MHz以上の高いサンプリング周波数で計測する必要があると共に、測定した位相差時間差を変位に変換しなければならなかった。このため、測定の準備や測定データの解析に多くの時間やコストを要するという課題があった。本発明は上記事情に鑑み、翼の通過タイミングを計測する替わりに翼の回転軸方向の変位を直接計測することにより、計測に要する時間及びコストを低減することが可能な翼振動計測装置を提供することを目的とする。本発明の一態様による翼振動計測装置は、タービン動翼の回転軸方向の変位を計測して変位計測信号を出力する非接触型変位計と、前記非接触型変位計から出力された前記変位計測信号を与えられ、前記非接触型変位計と前記タービン動翼の先端位置との間の距離に基づいて前記先端位置を同定する翼先端位置同定信号を出力する翼先端位置同定装置と、前記翼先端位置同定装置から出力された前記翼先端位置同定信号を与えられ、前記非接触型変位計から前記タービン動翼の先端位置までの距離の時間的変化に基づき、前記タービン動翼の振動振幅と振動周波数とを算出する翼振動算出装置と、を備えることを特徴とする。本発明の翼振動計測装置によれば、タービン動翼の回転軸方向の変位を直接計測することにより、計測に要する時間及びコストを低減することが可能である。以下、本発明の実施の形態による翼振動計測装置について、図面を参照して説明する。第1の実施の形態図1に、本発明の第1の実施の形態による翼振動計測装置の構成を示す。この装置は、非接触型変位計3と、翼先端位置同定装置4と、翼振動算出装置5とを備えている。非接触型変位計3は、タービン動翼2に近接するように回転軸1に平行な向きに1個取り付けられており、図中紙面に垂直な方向に回転するタービン動翼2の回転軸方向の変位を直接計測して変位計測信号を出力する。翼先端位置同定装置4は、非接触型変位計3から出力された変位計測信号を与えられ、翼先端位置の同定を行って同定した結果を示す翼先端位置同定信号を出力する。翼振動算出装置5は、翼先端位置同定信号を与えられてタービン動翼2の振動振幅と振動周波数を算出する。図2を用いて、渦電流変位計11を非接触型変位計3として用いた場合にタービン動翼2の先端位置を同定する手順を説明する。図2aに示されたように、タービン動翼2の翼列が回転し矢印で示された方向に移動し、渦電流変位計11の前を通過することで、渦電流変位計11からは図2bに示されたような出力電圧波形が得られる。ここで、図2aにおいて四角で示された渦電流変位計11によるタービン動翼2の検出位置が、図2bにおいて出力電圧波形上で四角で示された位置に対応する。また、図2aにおいてドット2a1、2a2、2a3で示されたタービン動翼2の先端位置が、図2bにおいてドット101、102、103で示された出力電圧波形の最下端のピーク値に対応する。翼先端位置同定装置4は、渦電流変位計11から与えられた出力電圧波形におけるピーク値から、翼先端位置の同定を行い翼先端位置同定信号を出力し、翼振動算出装置5に与える。図3を用いて、翼振動算出装置5による翼振動算出の手法を説明する。図3aに示されたように、タービン動翼2に振動が発生すると、ドット2a1、2a2、2a3、2a4、2a5、2a6、2a7で示されたタービン動翼2の先端位置と渦電流変位計11までの距離Xが変動する。この変動が、図2bを用いて説明したドット101、102、103、104、105、106、107で示された出力電圧波形の最下端のピーク値の変動となる。そこで、翼先端位置同定装置4から出力された翼先端位置に対応した電圧を、翼振動算出装置5において図3bに示されたように、翼先端位置と渦電流変位計11との間の相対的な距離に換算し、得られた相対的な距離を時系列に記録する。このように記録された時系列データから、タービン動翼2の振動振幅と振動周波数を算出することができる。第1の実施の形態によれば、タービン動翼の回転軸方向の変位を渦電流変位計により直接計測することにより、計測に要する時間及びコストを低減することが可能である。尚、第1の実施の形態では、非接触型変位計3の一例として渦電流変位計11を用いているが、これに限定されず非接触でタービン動翼2までの変位を計測し得るものであればよい。例えば、光ファイバ等を用いてもよい。光ファイバを用いた場合には、渦電流変位計とは逆にタービン動翼までの距離が近づくほど出力が高くなる関係にある。第2の実施の形態図4に、本発明の第2の実施の形態による翼振動計測装置の構成を示す。尚、上記第1の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。上記第1の実施の形態では1個の非接触型変位計3が使用されていたが、第2の実施の形態では、複数の非接触型変位計3がタービン動翼2の周方向に沿って配置された点で相違する。ここでは図4に示されたように、4個の非接触型変位計3a、3b、3c、3dがタービン動翼2の周方向に沿って配置されている。4個の非接触型変位計3a、3b、3c、3dが配置されたことに対応し、それぞれ独立して4個の翼先端位置同定装置4a、4b、4c、4d、及び翼振動算出装置5a、5b、5c、5dが配置されており、さらに翼振動算出装置5a、5b、5c、5dから出力されたタービン動翼の振動振幅と振動周波数を示す翼振動信号を与えられ振動モード次数を同定する振動モード同定装置6が配置されている。非接触型変位計3a、3b、3c、3dが回転するタービン動翼2との距離をそれぞれ計測し、得られた変位計測信号が対応する翼先端位置同定装置4a、4b、4c、4dにそれぞれ入力される。翼先端位置同定装置4a、4b、4c、4dにより、それぞれ変位計測信号の電圧波形に基づいて同定された翼先端位置を示す翼先端位置同定信号がそれぞれ対応する翼振動算出装置5a、5b、5c、5dに出力される。翼振動算出装置5a、5b、5c、5dにおいて、与えられたそれぞれの翼先端位置を示す翼先端位置同定信号に基づいてタービン動翼2の振動振幅及び振動周波数が算出され、得られた結果が振動モード同定装置6に出力される。振動モード同定装置6において、タービン動翼2における非接触型変位計3a、3b、3c、3dが配置された周方向の位置において検出された振動振幅及び振動周波数に基づいて、タービン動翼2の振動モード次数が同定される。第2の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することにより、計測に要する時間及びコストを低減することが可能であることに加えて、複数の非接触型変位計を用いたことで振動モード次数を同定することができる。ここで、観測が必要な振動モード次数の2倍の非接触型変位計が必要であり、例えば2次モードを観測するためには4個の非接触型変位計が必要である。しかし、非接触型変位計の数に伴いそれぞれ翼先端位置同定装置及び翼振動算出装置を同数設ける必要があり、コスト上昇を招く。このため、観測が必要な振動モード次数を設定する際にはこのようなコストを考慮する必要がある。第3の実施の形態本発明の第3の実施の形態について、その構成を示した正面図及びブロック図としての図5a及び側面図としての図5bを用いて説明する。上記第1の実施の形態、第2の実施の形態では、非接触型変位計3がタービン動翼2の回転軸1と平行に取り付けられている。これに対し第3の実施の形態では、非接触型変位計3が回転軸1に対し垂直かつ回転軸と同心に回転駆動可能な回転治具7に1個設置された点に特徴がある。尚、上記第1、第2の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。回転治具7が回転駆動され非接触型変位計3が移動することで、タービン動翼2における同一半径内の異なる位置で、タービン動翼2の振動を非接触型変位計3で計測することができる。具体的には、タービン動翼2が回転している最中に、所望の位置まで回転治具7を用いて非接触型変位計3を移動させて測定を行う。これにより、1個の非接触型変位計3を用いて、複数の非接触型変位計3を用いてタービン動翼2の複数箇所における振動を計測した場合と同様の作用、効果が得られる。非接触型変位計3から出力された変位計測信号が、上記第1の実施の形態と同様に翼先端位置同定装置4に与えられてタービン動翼2の先端位置が同定され、その結果が翼先端位置同定信号として翼振動算出装置5に与えられてタービン動翼2の振動振幅及び振動周波数が算出される。さらに、上記第2の実施の形態と同様に、タービン動翼2の同一半径内の異なる位置に移動された非接触型変位計3から出力された変位計測信号により翼先端位置同定装置4がタービン動翼2の先端位置を同定し、翼振動算出装置5により振動振幅及び振動周波数を算出し、これに基づいて振動モード同定装置6によりタービン動翼2の振動モード次数が同定される。第3の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、1個の非接触型変位計により複数の非接触型変位計を用いた場合と同様に振動モード次数を同定することができるので、コスト低減に寄与する。第4の実施の形態本発明の第4の実施の形態について、その構成を示した図6を用いて説明する。上記第3の実施の形態では、非接触型変位計3が回転軸1に対し垂直かつ回転軸と同心に回転駆動可能な回転治具7に1個設置されている。これに対し第4の実施の形態では、複数の非接触型変位計3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3hが、回転軸1に垂直かつ回転軸と同心に設置された回転駆動可能な回転冶具7に設置された点に特徴がある。これに伴い、8個の非接触型変位計3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3hのそれぞれに対応して8個の翼先端位置同定装置4a、4b、4c、4d、4e、4f、4g、4h、及び8個の翼振動算出装置5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5hが設けられ、さらに振動モード同定装置6が設けられている。尚、上記第1~第3の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。8個の非接触型変位計3a~3hからそれぞれの位置における変位計測信号が出力され、対応する翼先端位置同定装置4a~4hにより翼先端位置が同定され、その結果が翼振動算出装置5a~5hに与えられてタービン動翼2の振動周波数及び振動振幅が算出され、振動モード同定装置6により振動モード次数が同定される。第4の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、さらに回転冶具7を回転駆動させて、同一半径内における異なる位置においてタービン動翼2の振動を非接触型変位計3a~3hにより計測することにより、非接触型変位計3の個数を増加させた場合と同様の効果が得られると共に、非接触型変位計3の個数を減らしてコストを低減することが可能である。この第4の実施の形態では8個の非接触型変位計3a~3hが設けられており、さらに回転治具7によりそれぞれの位置を移動させることができるため、4次モード以上の振動モード次数を検出することができる。第5の実施の形態本発明の第5の実施の形態について、その構成を示した図7を用いて説明する。第5の実施の形態は、上記第4の実施の形態の構成において、少なくとも2個の非接触型変位計3が、タービン動翼2の周方向に沿って隣接するように設けられた構成を備えている。他の構成は上記第4の実施の形態と同様であり、重複する説明を省略する。少なくとも2個の非接触型変位計3が隣接することで、隣接した2箇所の測定点における変位を計測した信号が後段の対応する翼先端位置同定装置にそれぞれ出力される。この変位計測信号が示す回転軸方向の変位を表した変位曲線において、図7に示されたようにドット111、112で示された隣接する2箇所の位置が特定される。これにより、タービン動翼2の振動モード次数に対応する変位曲線を同定することができる。即ち、測定したい振動モード次数に対応した変位曲線の半周期分に対応したタービン動翼2上の距離に少なくとも2個の非接触型変位計3を設置することにより、タービン動翼2の振動モード次数に対応する変位曲線を同定することが可能となる。第5の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、少なくとも2個の非接触型変位計を隣接配置したことにより振動モード次数に対応する変位曲線を同定することが可能である。第6の実施の形態本発明の第6の実施の形態について、その構成を示した図8を用いて説明する。第6の実施の形態では、上記第1の実施の形態における構成に加えて、さらに回転軸1に回転数調整装置8が設けられ、翼振動算出装置5から出力された振動振幅及び振動周波数に基づいて共振周波数を検出する共振周波数検出装置12が設けられた点に特徴がある。他の構成は上記第1の実施の形態と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。回転数調整装置8により回転軸1の回転数を少しずつ変化させていき、その都度計測され翼振動算出装置5により算出されたタービン動翼2の振動振幅が極大となるときの振動振幅を共振周波数検出装置12が検出することで、タービン動翼2に共振現象が発生するときの共振周波数を求めることが可能である。第6の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、回転軸に回転数調整装置を設けたことにより共振周波数を求めることが可能である。第7の実施の形態本発明の第7の実施の形態について、図9を用いて説明する。第7の実施の形態は、図8に示された上記第6の実施の形態と同様の構成を備えており、重複する説明は省略する。図8に示された構成において、先ずタービン動翼2を所定回転数で回転させてその時に計測され算出された振動振幅を共振周波数検出装置12において基準振動振幅として記憶する。次に、回転数調整装置8により回転軸1の回転数を変化させ、この時に計測され算出された振動振幅と基準振動振幅との振幅差分値を共振周波数検出装置12が算出する。このような手順で、回転数を変化させる毎に、その時の振動振幅と基準振動振幅との振幅差分値を算出していく。図9に、このようにして得られた回転数に対する振幅差分値をドット121、122、123、...で示されたようにプロットしたグラフを示す。このグラフにおけるドット124で示された極大値あるいは図示されていない極小値に基づいて、共振周波数検出装置12によりタービン動翼2の共振周波数を算出することができる。尚、上述した振幅差分値を求める処理をタービン翼2の1枚ごとに行うことによって、タービン翼2毎の取り付け誤差や形状誤差がもたらす計測誤差が相殺される。また、上述の振幅差分値を求める処理は、回転軸1の回転数を変えるごとに逐次行っていく。このため、回転数が変化する際に生じるタービン動翼2の熱膨張や、遠心力による伸び、回転によるタービン動翼2の倒れ込み等の影響がもたらす計測誤差についても相殺される。第7の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、回転軸1の回転数を変えて振幅差分値を求めていくことで、共振周波数を共振周波数を求めることが可能である。第8の実施の形態本発明の第8の実施の形態について、その構成を示した図10を用いて説明する。第8の実施の形態は、図4に示された第2の実施の形態における構成に加えて、さらに回転軸1に回転数調整装置8が設けられている。回転数調整装置8により回転軸1の回転数を変化させていき、タービン動翼2に共振現象が発生した状態を図11に示す。ここでは、4個の非接触型変位計3a~3dを用いて一点鎖線131で示された3次の共振モードにおけるタービン動翼2の回転軸方向の変位を捉えた状態が模式的に示されている。非接触型変位計3a及び3cが配置された位置では、振幅が殆ど零であり節に相当する。非接触型変位計3bが配置された位置では、振幅が極大値をとり腹に相当する。非接触型変位計3dが配置された位置では、振幅が極小値をとる。第7の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、複数の非接触型変位計を適当な間隔をおいてタービン動翼2の周方向に配置し、さらに回転数調整装置8により共振現象を発生させこの時の振動振幅を求めることにより、共振モードを同定することが可能である。第9の実施の形態本発明の第8の実施の形態について、図12、図13を参照して説明する。第8の実施の形態は、図12に示されたように、図1に示された上記第1の実施の形態の構成に加えて、非接触型変位計3の角度を調整する角度調整装置9をさらに備えている。上記第1の実施の形態と同一の構成要素には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。一般に、非接触型変位計は、平行平板との距離を計測するために用いられ、対象物の平面に対する相対的な角度が垂直であるときに出力電圧が最大となる。図13aに示されたように、非接触型変位計3がタービン動翼2の平面に対して90度と異なる角度θ1を有する場合に得られる出力電圧を、図13cの直線131に示す。さらに、図13bに示されたように、非接触型変位計3がタービン動翼2の平面に対して90度である場合に得られる出力電圧を、図13cの直線132に示す。直線132のように最大となる出力電圧を得るためには、非接触型変位計3がタービン動翼2の平面に対して90度となるように設定する必要がある。例えば、非接触型変位計3が回転軸1に対して平行に設けられている場合、回転軸1に対してタービン動翼2の平面が約10度傾斜していると、非接触型変位計3はタービン動翼2の平面に対して90度に設置されていない状態になる。そこで、測定開始前に予め角度調整装置9を用いて非接触型変位計3の角度を調整し、タービン動翼2との相対的な角度が90度となるように設定する。第8の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、非接触型変位計の出力を最大化することが可能である。尚、第9の実施の形態は、上記第1の実施の形態の構成に対して角度調整装置9を加えるのみならず、上記第2の実施の形態~第8の実施の形態の構成に加えることも可能である。第10の実施の形態本発明の第10の実施の形態について、その構成を示した図14を参照して説明する。第10の実施の形態は、上記第1の実施の形態が備える構成に加えて、非接触型変位計3に距離調整装置10が取り付けられた点に特徴がある。尚、上記第1の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。一般に、非接触型変位計は対象物との距離に出力の大きさが比例すると共に、測定可能な距離が予め決まっている。そこで測定開始前に、図14において矢印で示されたように、非接触型変位計3をタービン動翼2の回転軸方向に対して移動させて距離Xを調整することにより、所望の大きさの出力を得ることができる。第10の実施の形態によれば、上記第1の実施の形態と同様に、タービン動翼の回転軸方向の変位を非接触型変位計により直接計測することで計測に要する時間及びコストを低減することが可能であると共に、非接触型変位計3から所望の大きさの出力が得られるようにタービン動翼2と非接触型変位計3との距離を調整することが可能である。尚、第10の実施の形態は、上記第1の実施の形態の構成に対して距離調整装置10を加えるのみならず、上記第2の実施の形態~第9の実施の形態の構成に加えることも可能である。本発明の幾つかの実施の形態について説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の技術的範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の技術的範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。