"水素化分解脱水素再結合法による希土類合金粉末の製造方法であって、a希土類元素を含有する原料合金を水素化分解させて分解生成物を得る工程と、b前記分解生成物から水素を放出させて前記分解生成物の水素濃度を低減する工程と、c工程bにおける水素の放出速度よりも低い放出速度で前記分解生成物から水素を更に放出させて希土類合金粉末を得る工程と、を備え、前記分解生成物の断面において、希土類水素化物相がR2Fe14B相Rは希土類元素を示す。により覆われており、R2Fe14B相の面積割合が、前記断面の面積全体を基準として、25~55となる時点で、工程bから工程cに移行する、希土類合金粉末の製造方法。前記断面のモルフォロジーを観察することにより、工程bから工程cに移行するタイミングを決定する工程を更に備える、請求項1に記載の方法。請求項1又は2に記載の方法によって製造された異方性を有する希土類合金粉末と、樹脂とを含む異方性ボンド磁石。請求項1又は2に記載の方法によって製造された異方性を有する希土類合金粉末を磁場中成形した成形体を焼結して得られる焼結磁石。しかしながら、上記特許文献1のように雰囲気を制御しても、十分に高い保磁力を得ることは困難である。このため、HDDR法を用いて優れた磁気特性を有する希土類合金粉末を製造する方法を確立することが求められている。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、HDDR法を改良した方法であって、優れた磁気特性を有する希土類合金粉末を製造可能な方法を提供することを目的とする。また、上記方法によって製造された希土類合金粉末を含む異方性ボンド磁石及び焼結磁石を提供することを目的とする。本発明に係る希土類合金粉末の製造方法は、水素化分解脱水素再結合法による希土類合金粉末の製造方法であって、a希土類元素を含有する原料合金を水素化分解させて分解生成物を得る工程と、b分解生成物から水素を放出させて分解生成物の水素濃度を低減する工程と、c工程bにおける水素の放出速度よりも低い放出速度で分解生成物から水素を更に放出させて希土類合金粉末を得る工程と、を備え、分解生成物の断面において、R2Fe14B相Rは希土類元素を示す。が希土類水素化物相を覆っており、R2Fe14B相の面積割合が上記断面の面積全体を基準として、25~55となる時点で、工程bから工程cに移行することを特徴とする。上記方法は、水素化分解脱水素再結合法を改良した方法であり、優れた磁気特性を有する希土類合金粉末を製造することができる。このような希土類合金粉末が得られる主な要因としては、工程cにおける水素の放出速度を、工程bにおける水素の放出速度よりも小さくしていること、及び工程bから工程cに移行するタイミングを、R2Fe14B相の粒成長の程度により規定していることが考えられる。つまり、工程aで得られた分解生成物に対する脱水素再結合処理を工程b及び工程cで実施することで、分解生成物中に生成したR2Fe14B相の核が粗大粒へと成長することを抑制でき、微細化したR2Fe14B相を有する希土類合金粉末が得られるものと考えられる。本発明の製造方法は、上記断面のモルフォロジーを観察することにより、工程bから工程cに移行するタイミングを決定する工程を更に備えたものであってもよい。当該工程を実施することで、例えば、新たな組成の希土類合金粉末を製造する場合や製造条件を変更した場合であっても、微細化したR2Fe14B相を有する希土類合金粉末を安定的に作製できる。また、本発明は、上記の製造方法によって製造された異方性を有する希土類合金粉末と、樹脂とを含む異方性ボンド磁石を提供する。本発明の異方性ボンド磁石は、優れた磁気特性を有する異方性の希土類合金粉末を含んでいるため、優れた磁気特性を有する。更に、本発明は、上記の製造方法によって製造された異方性を有する希土類合金粉末の成形体を焼結して得られる焼結磁石を提供する。本発明の焼結磁石は、優れた磁気特性を有する異方性の希土類合金粉末を含んでいため、優れた磁気特性を有する。本発明によれば、優れた磁気特性を有する希土類合金粉末を製造することができ、また、優れた磁気特性を有する異方性ボンド磁石及び焼結磁石を提供できる。<希土類合金粉末の製造方法>本実施形態の希土類合金粉末の製造方法は、いわゆる水素化分解脱水素再結合法HDDR法による希土類合金粉末の製造方法である。この製造方法は、希土類元素の含有量がρ質量である原料合金を準備し、当該合金を、水素雰囲気中、温度T0で所定時間保持する水素吸蔵工程と、温度T0よりも高い温度T1で水素化分解させて水素濃度η1質量の分解生成物を得る水素化分解工程工程aと、温度T1から温度T1よりも高い温度T2に昇温する昇温工程と、温度T2で、分解生成物から水素を所定の速度で放出させて、分解生成物の水素濃度をη1質量からη2質量まで低減する第1の脱水素再結合工程工程bと、第1の脱水素再結合工程よりも分解生成物からの水素の放出速度を低くして、分解生成物の水素濃度ηをさらに低減し、水素を実質的に含まない希土類合金粉末を得る第2の脱水素再結合工程工程cと、希土類合金粉末を室温にまで冷却する冷却工程とを有する。図1は、本実施形態に係る希土類合金粉末の製造方法のタイムチャートである。図1のaは、温度のタイムチャートであり、図1のbは、原料合金、分解生成物及び希土類合金粉末の水素濃度のタイムチャートである。以下、図1を適宜参照しながら本実施形態の製造方法を説明する。水素吸蔵工程図1中のIは、希土類元素の含有量がρ質量である原料合金を、水素雰囲気中、温度T0で所定時間保持して、原料合金に水素を吸蔵させる工程である。原料合金としては、R2Fe14Bで表されるR-Fe-B系合金を用いることができる。一層優れた磁気特性を有する希土類合金粉末を得る観点から、R-Fe-B系合金の組成は、R:25~35質量、B:1~1.6質量、Fe:63.4~74質量であることが好ましい。Rとしては、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Td、Dy、Ho、Er、Tm、Luから選ばれる1種または2種以上とすることができる。このうち、製造コスト及び磁気特性の観点から、RはNdを含むことが好ましい。希土類金属における質量基準のRの含有量ρ質量は、用いられる希土類金属の種類にもよるが、好ましくは25~35質量、より好ましくは27~33質量である。上述の原料合金は、通常の鋳造方法、例えばストリップキャスト法、ブックモールド法、又は遠心鋳造法によって調製することができる。原料合金には、均質化熱処理を施してもよい。また、原料合金は、不純物を含んでいてもよい。均質化熱処理は、原料合金を、真空又はアルゴンや窒素などの不活性ガス雰囲気中、温度1000~1200°Cで5~48時間保持することによって行う。このような均質化熱処理を行うことによって、原料合金を融解させて、原料合金を均質化させることができる。均質化させた原料合金は、スタンプミル又はジョークラッシャーなどの粉砕手段を用いて粉砕した後、篩分けすることが好ましい。これによって、粒径が10mm以下の粉末状の原料合金を調製することができる。水素吸蔵工程では、上述の粉末状の原料合金を、水素分圧が100~300kPaである水素雰囲気中、温度T0で時間t1まで保持する。これによって、原料合金の結晶格子中に水素が吸蔵されて、水素濃度η0質量の水素吸蔵合金を得ることができる。水素濃度η0は、例えば、0.3~0.5質量の範囲とする。なお、この段階では、原料合金は分解していない。水素吸蔵工程における温度T0は、100~200°Cであることが好ましい。また、水素吸蔵工程の所要時間t1は、0.5~2時間であることが好ましい。水素化分解工程図1中のIIでは、水素吸蔵合金を、水素雰囲気中、温度T0よりも高い温度T1で保持することによって、水素化分解させて、水素濃度η1質量の分解生成物を得る。水素化分解工程における雰囲気の水素分圧は10~100kPa、温度T1は700~850°Cであることが好ましい。この条件で水素吸蔵合金の水素化分解を行うことによって、磁気的な異方性を有する希土類合金粉末を得ることができる。水素分圧が10kPa未満であると、水素化分解が十分に進行しない傾向があり、100kPaを超えると異方性の希土類合金粉末が得難くなる傾向がある。温度T1が700°C未満であると、原料合金の水素化分解が十分に進行しない傾向がある。一方、温度T1が850°Cを超えると、所望の分解生成物水素化物が得られ難くなる傾向がある。水素化分解工程の所要時間図1中のt2-t1は、0.5~60時間であることが好ましい。この時間が0.5時間未満であると、原料合金の水素化分解が十分に進行しない傾向があり、60時間を超えると磁気的な異方性を有する希土類合金粉末が得られ難くなる傾向がある。水素化分解工程で得られる分解生成物は、RHXなどの水素化物、α-Fe及びFe2Bなどの鉄化合物を含んでいる。この段階における分解生成物は、100nmオーダーの微細なマトリックスを形成している。上述の分解生成物の水素濃度η1質量の上限は、通常、含まれる希土類元素が全て水素化物RHX,x=2~3となる濃度である。水素濃度η1質量は、希土類元素の種類にもよるが、例えば0.35~0.6質量の範囲となる。昇温工程図1中のIIIでは、分解生成物の温度を温度T1から温度T1よりも高い温度T2に昇温する。温度T2は、温度T1よりも高く、720~950°Cであることが好ましく、750~950°Cであることがより好ましい。なお、昇温速度に特に制限はない。昇温工程の所要時間図1中のt3-t2は、例えば1~10分間である。第1の脱水素再結合工程図1中のIVでは、温度T1よりも高い温度T2で、分解生成物から水素を所定の放出速度で放出させて、分解生成物の水素濃度を、η1質量からη2質量まで低減させる。この工程によって、水素化分解工程で得られた分解生成物のマトリックス中に希土類合金の核が生成すると考えられる。水素濃度η1質量である分解生成物からの水素の放出速度は、水素を放出させる前の分解生成物全体の質量を基準として、0.75~30質量/時であることが好ましい。これによって、希土類合金の核をより均一に生成させることができる。また、分解生成物の水素濃度ηが、0.1~0.35質量の範囲、好ましくは0.2~0.3質量の範囲となるまで水素を放出させる。これによって、希土類合金の核をより均一に生成させることができる。なお、分解生成物の水素濃度η2質量は、分解生成物の質量を計測することによって知ることができる。分解生成物からの水素の放出速度は、雰囲気中の水素分圧の降下速度を制御することによって調整することができる。つまり、水素分圧の降下速度を大きくすれば、分解生成物からの水素の放出速度を大きくすることができる。水素分圧の降下速度は、例えばアルゴンガスを導入したり、減圧したりすることによって、調整することができる。第1の脱水素再結合工程における水素分圧の降下速度は、10~40kPa/分とすることが好ましく、12~20kPa/分とすることがより好ましい。第1の脱水素再結合工程における分解生成物の温度T2は、温度T1よりも高く、750~950°Cであることが好ましい。分解生成物の温度T2を、温度T1よりも高くすることによって、分解生成物から水素が抜けやすくなり、希土類合金の核をより均一に生成させることができる。温度T2と温度T1との温度差は、20°C以上であってもよく、100°C以上であってもよい。該温度差を100°C以上にすることによって、粒子のサイズの均一性を維持しつつ偏析物の個数を一層低減することができる。温度T2が750°C未満であると、分解生成物からの水素の放出速度を十分に大きくすることができず、希土類合金の核生成が不均一になる傾向がある。一方、温度T2が950°Cを超えると、分解生成物からの水素の放出速度が大きくなりすぎるために、分解生成物の水素濃度ηを制御することが難しくなる傾向がある。第1の脱水素再結合工程の時間図1中のt4-t3は、例えば0.1~0.5時間である。なお、この時間は、分解生成物からの水素の放出速度に依存する。第2の脱水素再結合工程図1中のVでは、第1の脱水素再結合工程よりも分解生成物からの水素の放出速度を小さくして、分解生成物の水素濃度をさらに低減し、雰囲気中の水素分圧を1Pa未満にまで下げて希土類合金粉末を得る。第2の脱水素再結合工程の温度は、第1の脱水素再結合工程における温度T2と同じにすることが好ましい。これによって、分解生成物からの水素の放出を円滑に進行させることができる。水素濃度η2質量である分解生成物からの水素の放出速度、すなわち分解生成物の水素濃度ηの降下速度は、水素を放出させる前第1の脱水素再結合工程の開始前の分解生成物全体の質量を基準として、0.01~0.4質量/時とすることが好ましい。これによって、分解生成物中に析出した希土類合金の核の成長が徐々に進行することとなり、希土類合金の粒内に偏析物が残留することを抑制することができる。水素濃度ηの降下速度が0.4質量を超えると、分解生成物に含まれるα-Feや鉄リッチ相が再結合できずに希土類合金の粒内に取り残されやすくなる傾向がある。一方、水素濃度ηの降下速度が0.01質量未満であると、工程に所要する時間が長くなり過ぎて再結合した希土類合金の異常粒成長が起こりやすくなる傾向がある。偏析物としては、α-Feや、鉄リッチな化合物、及び原料合金に含まれるNbなどの不純物に由来する化合物等が挙げられる。このような偏析物が希土類合金粉末の一次粒子の粒内に存在すると、逆磁区が発生して高い保磁力が得られ難くなる。第2の脱水素再結合工程の時間図1中のt5-t4は、例えば0.3~5時間とすることができる。この時間は、分解生成物からの水素の放出速度に依存する。なお、第2の脱水素再結合工程における水素分圧の降下速度は、0.01~0.2kPa/分とすることが好ましい。最後に、冷却工程により、第2の脱水素再結合工程で得られた希土類合金粉末を室温にまで冷却する図1中のVI。以上の工程によって、一次粒子の粒内の偏析物が十分に低減された異方性の希土類合金粉末を得ることができる。この希土類合金粉末は、通常原料合金と同じ組成を有する。本実施形態の希土類合金粉末の製造方法は、脱水素再結合処理がなされている分解生成物の断面を拡大して観察することにより、第1の脱水素再結合工程から第2の脱水素再結合工程に移行するタイミングを決定する工程をさらに有していてもよい。当該工程により、第1及び第2の脱水素再結合工程における水素の放出速度を決定してもよい。当該工程を実施することで、例えば、新たな組成の希土類合金粉末を製造する場合や製造条件を変更した場合であっても、微細化したR2Fe14B相を有する希土類合金粉末を安定的に作製できる。この工程では、第1の脱水素再結合工程における分解生成物の断面を、例えば、SEMで表面分析して、モルフォロジーを観察する。図2は、本実施形態に係る希土類合金粉末の製造方法における、第1の脱水素再結合工程終了時点での分解生成物の微細構造を拡大して示す模式断面図である。このような微細構造は、分解生成物の断面を走査型電子顕微鏡で観察することによって確認することができる。第1の脱水素再結合工程終了時点では、希土類合金粉末分解生成物は、主としてR水素化物相希土類水素化物相10、α-Fe及びFe2Bなどの鉄化合物相20、及びR2Fe14B相30から構成されており、R水素化物相10がR2Fe14B相30により覆われている。このとき、R2Fe14B相の面積割合は、断面の面積全体を基準として、25~55であるが、好ましくは28~43であり、より好ましくは30~40である。すなわち、脱水素再結合工程において、R2Fe14B相30の核生成開始から終了までの時間をなるべく短くしてR2Fe14B相30の粒成長が緩やかに進行する時間を増やし、かつR2Fe14B相の面積割合を上記の数値範囲とすることで、最終的にR2Fe14B相30が粗大粒となることを抑制できる。これにより、R2Fe14B相30の微細な粒子が形成されることになるため、優れた保磁力を有する希土類合金粉末を得ることが可能となる。分解生成物の断面における、断面の面積全体を基準としたR2Fe14B相30の面積割合は、以下の方法によって算出することができる。分解生成物を樹脂に埋め込み、サンドペーパーおよびバフによる研磨で鏡面サンプルを作製し、走査型電子顕微鏡SEM、倍率:20,000でそのサンプルの反射電子像を観察する。約4.5μm×6.0μmの領域を2視野ずつ観察して、R水素化物相10、α-Fe及びFe2Bなどの鉄化合物相20、及びR2Fe14B相30それぞれの面積を、コントラストの違いを基にして画像解析処理により算出し、断面の面積全体を基準としたR2Fe14B相の面積割合を求めることができる。本実施形態の希土類合金粉末の製造方法では、第1の脱水素再結合工程終了時点で、分解生成物の断面において、R水素化物相がR2Fe14B相により覆われており、R2Fe14B相の面積割合が、断面の面積全体を基準として、25~55となっている。そして、第1の脱水素再結合工程における水素分圧の降下速度を第2の脱水素再結合工程の水素分圧の降下速度よりも大きくすることにより、第1の脱水素再結合工程における分解生成物からの水素放出速度を第2の脱水素再結合工程よりも大きくしている。また、第1の脱水素再結合工程の温度T2を、水素化分解工程の温度T1よりも高くしているため、第1の脱水素再結合工程において分解生成物からの水素放出速度を大きくすることができる。これによって、希土類合金における核生成が従来よりも微細で均一となり、また、核成長時において偏析物が粒内に析出するのを抑制することができると考えられる。本実施形態の希土類合金粉末の製造方法によって得られる希土類合金粉末は、微細化したR2Fe14B相を有しているため、希土類磁石用の合金粉末として好適に用いることができる。すなわち、上記製造方法によって得られる希土類合金粉末を用いて磁石を作製すれば、磁気特性特に保磁力に優れる磁石を得ることができる。一層優れた磁気特性を有する希土類合金粉末とする観点から、希土類合金粉末の主成分であるR-Fe-B系合金の組成は、R:25~35質量、B:1~1.6質量、Fe:63.4~74質量であることが好ましい。Rとしては、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Td、Dy、Ho、Er、Tm、Luから選ばれる1種または2種以上とすることができる。このうち、製造コスト及び磁気特性の観点から、RはNdを含むことが好ましい。この希土類合金粉末は、磁気的な異方性を有する磁石粉末であることが好ましい。これによって、磁気特性に優れる異方性ボンド磁石や焼結磁石の原料として好適に用いることができる。<異方性ボンド磁石>図3は、本実施形態に係る異方性ボンド磁石を示す斜視図である。図3に示す異方性ボンド磁石50は、樹脂と該樹脂によって結合された異方性磁石粉末とを含む。異方性磁石粉末としては、上述の希土類合金粉末を用いることができる。樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等の熱硬化性樹脂や、スチレン系、オレフィン系、ウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系のエラストマー、アイオノマー、エチレンプロピレン共重合体EPM、エチレン-エチルアクリレート共重合体等の熱可塑性樹脂が挙げられる。なかでも、熱硬化性樹脂が好ましく、エポキシ樹脂又はフェノール樹脂がより好ましい。本実施形態の異方性ボンド磁石50は、異方性の磁石粉末が特定方向に配向しているため、優れた磁気特性を有する。異方性ボンド磁石50における磁石粉末と樹脂との含有比率は、磁石粉末100質量部に対して、樹脂を例えば0.5~20質量部含むことが好ましい。磁石粉末100質量部に対して、樹脂の含有量が0.5質量部未満であると、保形性が損なわれる傾向があり、樹脂が20質量部と超えると、十分に優れた磁気特性が得られ難くなる傾向がある。このような異方性ボンド磁石は通常の方法で製造することができる。製造方法の一例について以下に説明する。まず、上述の樹脂を含む樹脂バインダーと磁石粉末とを加圧混練機加圧ニーダーで混練して樹脂バインダーと磁石粉末とを含む異方性ボンド磁石用コンパウンド組成物を調製する。異方性ボンド磁石用コンパウンドには、必要に応じて、カップリング剤やその他の添加材を加えてもよい。上述の異方性ボンド磁石用コンパウンドを調製した後、このコンパウンドを圧縮して磁場中で成形する成形工程を行うことにより、異方性ボンド磁石を得ることができる。圧縮成形は、機械プレスや油圧プレス等の圧縮成形機を用いて行うことができる。このようにして、配向した異方性の磁石粉末と樹脂とを含む異方性ボンド磁石を得ることができる。この異方性ボンド磁石は、R2Fe14B相30の粒子が微細な異方性の磁石粉末を含有するとともに、当該磁石粉末が特定の方向に配向しているため、優れた磁気特性を有する。なお、異方性ボンド磁石の製造方法は、上述の圧縮成形による方法に限定されるものではなく、例えば射出成形によって成形してもよい。この場合は、異方性ボンド磁石用コンパウンドを、必要に応じてバインダー熱可塑性樹脂の溶融温度まで加熱し、流動状態とした後、このコンパウンドを所定の形状を有し磁場が印加された金型内に射出して磁場中成形を行う。その後、冷却し、金型から所定形状を有する成形品異方性ボンド磁石を取り出す。このようにして異方性ボンド磁石を製造することができる。<焼結磁石>図4は、本実施形態に係る焼結磁石60を模式的に示す斜視図である。図4に示す焼結磁石60は、異方性磁石粉末を含む焼結体からなる。異方性磁石粉末としては、上述の希土類合金粉末を用いることができる。本実施形態の焼結磁石60は、異方性の磁石粉末が特定方向に配向しているため、優れた磁気特性を有する。このような焼結磁石60は通常の方法で製造することができる。製造方法の一例について以下に説明する。まず、上述の異方性の磁石粉末を圧縮して磁場中で成形することにより成形体を作製する。圧縮成形は、機械プレスや油圧プレス等の圧縮成形機を用いて行うことができる。この場合、印加する磁場強度は800kA/m以上であると好ましく、成形圧力は100~500MPa程度であると好ましい。また、成形体の作製に際し、異方性の磁石粉末に、バインダ例えば、PVAを適量加えてもよい。次に、調製した成形体を、1000~1200°Cで0.5~5時間程度焼結し、急冷して焼結体を作製する。焼結雰囲気は、アルゴンガス等の不活性ガス雰囲気であると好ましい。なお、必要に応じ、さらに不活性ガス雰囲気中で、400~900°C、好ましくは450~700°Cで1~5時間、焼結体を加熱する時効処理を行ってもよい。このようにして、焼結磁石を得ることができる。この焼結磁石は、R2Fe14B相30の粒子が微細な異方性の磁石粉末を含有するとともに、当該磁石粉末が特定の方向に配向しているため、優れた磁気特性を有する。ただし、焼結磁石の製造方法は、上述の方法に限定されるものではない。以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、異方性ボンド磁石は、上述の形状に限定されるものではなく、金型を変えることによって所望の形状例えば、柱状、平板状又はC型形状を有する異方性ボンド磁石とすることができる。本発明の内容を実施例及び比較例を用いて以下に詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。実施例1ストリップキャスト法によって、以下の組成を有するNd2Fe14B原料合金を調製した。Nd:28.00質量Fe:70.01質量B:1.08質量Ga:0.36質量Nb:0.30質量この原料合金は、上述の元素の他に、微量の不可避不純物原料合金全体の0.2~0.3質量を含んでいた。この原料合金を、真空中、1000~1200°Cの温度範囲で24時間保持した均質化熱処理工程。均質化熱処理後のNd2Fe14B原料合金を、スタンプミルを用いて粉砕し、篩分けを行って、粉末状粒径1~2mmの原料合金を得た。この原料合金を、モリブテン製の容器に充填し、赤外線加熱方式を有する管状熱処理炉に装填し、以下の条件で水素化分解脱水素再結合法による処理HDDR処理を施した。なお、当該処理のタイムチャートは図1に示すとおりであった。まず、管状熱処理炉内に水素ガスを導入し、水素ガス雰囲気下、水素分圧100kPa、温度T0100°Cの条件で原料合金粉末を2時間保持する水素吸蔵工程図1中のIを行った。これによって、原料合金に水素を吸蔵させて、水素吸蔵合金を得た。続いて、炉内の水素分圧を下げるとともに炉内温度を10°C/秒で昇温し、水素吸蔵合金を、水素分圧40kPa、温度T1=800°Cの条件で1.5時間保持する水素化分解工程を行った図1中のII。これによって、水素吸蔵合金を水素化分解させて分解生成物を得た。その後、炉内温度を10°C/秒で温度T2=850°Cまで昇温した昇温工程、図1中のIII。炉内温度をT2まで昇温した後、真空ポンプを用いて水素ガスを排気し、炉内の圧力水素分圧を16kPa/分の速度で下げることによって、分解生成物に含まれる水素の放出を開始した第1の脱水素再結合工程、図1中のIV。第1の脱水素再結合工程では、分解生成物から、水素を放出させる前の分解生成物全体の質量を基準として、3.5質量/時の水素放出速度aで水素を放出させて、分解生成物中の水素濃度を、水素濃度η20.230質量にまで低減した。このときの排気速度切り替え圧力は、水素分圧6kPaであった。分解生成物中の水素濃度が水素濃度η2にまで下がったら、炉内からの水素ガスの排気速度を変更して、炉内圧力水素分圧の降下速度を0.1kPa/分とした。これによって、分解生成物からの水素放出速度bを、水素を放出させる前の分解生成物全体の質量を基準として0.35質量/時に調整した。その後、炉内の圧力=水素分圧が1Pa未満になるまで、水素の放出を継続して行うことにより、分解生成物から水素をほぼ完全に除去した第2の脱水素再結合工程、図1中のV。なお、第1の脱水素再結合工程に所要した時間は約2分間であり、第2の脱水素再結合工程に所要した時間は40~50分間であった。炉内の圧力水素分圧が1Pa未満となった時点で、水素の放出を停止した。その後、炉内を室温約20°Cまで冷却し、HDDR処理された異方性のNd2Fe14B粉末を得た。[磁気特性の評価]得られたNd2Fe14B粉末を、不活性雰囲気中で乳鉢を用いて粉砕し、篩い分けを行って、粒径が53~212μmのNd2Fe14B粉末とした。この粉末とパラフィンとをケースに詰めて、パラフィンを融解させた状態で1テスラの磁場を印加して磁石粉末を配向させた。磁石粉末の配向方向と平行な方向に6テスラのパルス磁場を印加し、振動試料型磁力計VSMを用いて磁化-磁場曲線を測定して磁気特性を求めた。残留磁束密度Br及び保磁力Hcjの測定結果を表1に示す。[微細構造の評価]上記工程において、分解生成物中の水素濃度を、水素濃度η2水素分圧6kPaにまで低減し図1中のIV、その後、アルゴンガスを流して急冷させることにより反応を止め、観察用サンプルを作製した。この観察用サンプルを用い、第1の脱水素再結合工程終了時点でのNd2Fe14B粉末の一次粒子の断面をSEMの反射電子像を用いて観察した結果を図5に示す。図5は、実施例1に係る希土類合金粉末の製造工程における、第1の脱水素再結合工程終了時点での分解生成物の断面SEM写真である。観察は2視野において行ったが、いずれの視野においても、図5に示すとおりNd水素化物相図中の白色部はNd2Fe14B相図中の薄い灰色部により覆われていた。また、断面の面積全体を基準としたときの、Nd2Fe14B相の面積割合は33.7表1参照であった。一方、実施例1の比較として、Nd2Fe14B相の粒成長が進んでしまっている場合の分解生成物の断面図を示す。図6は、第1の脱水素再結合工程において炉内の圧力水素分圧を4kPa/分の速度で下げたこと以外は、実施例1の条件にて観察サンプルを作製したときの、第1の脱水素再結合工程終了時点での分解生成物の断面図である。図6に示すとおり、Nd水素化物相がNd2Fe14B相により覆われているとは認められるものの、断面の面積全体を基準としたときの、Nd2Fe14B相の面積割合は78.6であった。この場合、第2の脱水素再結合工程以降Nd2Fe14B相が粗大粒へと成長してしまうため、微細化したNd2Fe14B相を有する希土類合金粉末を得ることは難しい。実施例2~5第1の脱水素再結合工程から第2の脱水素再結合工程に切り替える水素放出速度aから水素放出速度bに変更する際の排気速度切り替え圧力水素分圧を表1に示す値に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、異方性のNd2Fe14B粉末を得た。そして、実施例1と同様にして、磁気特性及び微細構造の評価を行った。いずれの実施例においても、Nd水素化物相はNd2Fe14B相により覆われていた。実施例2~5のHDDR処理条件及び評価結果を表1に纏めて示す。表1の結果から、実施例1~5のNd2Fe14B粉末中に、R2Fe14B相の微細な粒子が形成されており、優れた磁気特性特に保磁力を有することが確認された。"