"蛍光体塗布装置を用いて、隔壁が形成された基板に蛍光体インクを付着させる画像表示装置の製造方法であって、前記蛍光体塗布装置は、複数個のノズルを形成したノズルプレートと、このノズルプレートに蛍光体インクを供給する供給ユニットと、前記蛍光体インクをノズルより吐出させる圧電素子とを備え、前記ノズルプレートは、前記ノズルに連通しかつノズルに対して直交する空間を有し、前記供給ユニットは、内部に蛍光体インクを循環させるための往路と復路の流路が形成され、蛍光体インクを往路の流路からノズルプレート上の空間を通り、復路の流路を通って循環させるとともに、前記流路内の蛍光体インクに前記圧電素子により蛍光体インクに加えられる圧力とは異なる圧力を加えるように構成し、前記ノズルプレート上の空間を循環する蛍光体インクをノズルより吐出させることを特徴とする画像表示装置の製造方法。前記ノズルプレートのノズルより吐出される蛍光体インクの吐出初期の速度が10m/sec以上であることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置の製造方法。本発明は、上記の課題を解決して、高精細度化や大画面化に対応して、画面上に色ムラや輝度ムラの少ない蛍光体層を形成することを目的とするものである。上記の目的を達成するために、本発明の製造方法は、蛍光体塗布装置を用いて、隔壁が形成された基板に蛍光体インクを付着させる画像表示装置の製造方法であって、前記蛍光体塗布装置は、複数個のノズルを形成したノズルプレートと、このノズルプレートに蛍光体インクを供給する供給ユニットと、前記蛍光体インクをノズルより吐出させる圧電素子とを備え、前記ノズルプレートは、前記ノズルに連通しかつノズルに対して直交する空間を有し、前記供給ユニットは、内部に蛍光体インクを循環させるための往路と復路の流路が形成され、蛍光体インクを往路の流路からノズルプレート上の空間を通り、復路の流路を通って循環させるとともに、前記流路内の蛍光体インクに前記圧電素子により蛍光体インクに加えられる圧力とは異なる圧力を加えるように構成し、前記ノズルプレート上の空間を循環する蛍光体インクをノズルより吐出させることを特徴とする。このような方法によれば、安定してノズルから蛍光体を塗布することが蛍光可能となり、蛍光体層膜厚のばらつきを排除することができる。その結果、高精細度、大画面でも、形状が均一で、なおかつ高輝度を実現する蛍光体層の形状を実現することができる。以上のように、本発明の製造方法によれば、高精細度、大画面でも、形状が均一で、なおかつ高輝度を実現する蛍光体層の形状を実現し、画面上に色ムラや輝度ムラの発生のない画像表示装置を実現することができる。以下に、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1は、実施の形態におけるPDPの製造方法を用いて製造されるPDPの構造を示す分解斜視図、図2は背面板の構成を示す断面図である。図1に示すように、PDP10は、前面基板11と背面基板17とから構成されている。ガラス製の前面基板11上には、走査電極12と維持電極13とで対をなす表示電極対14が互いに平行に複数対形成されている。この走査電極12および維持電極13は、走査電極12-維持電極13-維持電極13-走査電極12の配列を繰り返すパターンで形成されている。走査電極12は、酸化インジウムスズITO、酸化スズSnO2、酸化亜鉛ZnOなどの導電性金属酸化物からなる幅の広い透明電極12aの上に、導電性を高めるために銀Agなどの金属を含む幅の狭いバス電極12bを積層して形成されている。維持電極13も同様に、幅の広い透明電極13aの上に幅の狭いバス電極13bを積層して形成されている。さらに、表示電極対14を覆うように誘電体層15および酸化マグネシウムMgOからなる保護層16が形成されている。誘電体層15は、膜厚が約40μmの酸化ビスマスBi2O3系低融点ガラスまたは酸化亜鉛ZnO系低融点ガラスで形成されている。保護層16は、膜厚が約0.8μmの酸化マグネシウムMgOを主体とするアルカリ土類金属酸化物からなる薄膜層であり、誘電体層15をイオンスパッタから保護するとともに放電開始電圧などの放電特性を安定させるために設けられている。一方、ガラス製の背面基板17上には、銀Agなどを主成分とする導電性の高い材料からなる互いに平行な複数のデータ電極18が形成され、データ電極18を覆うように下地誘電体層19が形成されている。下地誘電体層19は、誘電体層15と同様の酸化ビスマスBi2O3系低融点ガラスなどであってもよいが、可視光反射層としての働きも兼ねるように酸化チタンTiO2粒子などを混合した材料であってもよい。下地誘電体層19上には縦隔壁22aと横隔壁22bとにより井桁状に構成された隔壁22が形成され、下地誘電体層19の表面と隔壁22の側面とには、赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層23が形成されている。隔壁22は、例えば低融点ガラス材料を用いて約0.12mmの高さに形成されている。蛍光体層23は、青色蛍光体としてBaMgAl10O17:Euを、緑色蛍光体としてZn2SiO4:Mnを、赤色蛍光体としてY、GdBO3:Euなどの蛍光体粒子を積層させて約15μmの膜厚に形成されている。前面基板11と背面基板17は、表示電極対14とデータ電極18とが交差するように、対向配置され、その外周部をフリットなどの封着材図示せずによって封着され内部に放電空間が形成されている。放電空間にはキセノンXeなどを含む放電ガスが約6×104Paの圧力で封入されている。放電空間は隔壁22によって複数の区画に仕切られており、表示電極対14とデータ電極18とが交差する部分に放電セル24が形成されている。そしてこれらの放電セル24が放電、発光することにより画像が表示される。なお、PDP10の構造は上述したものに限られるわけではなく、隔壁22の形状がストライプ状であってもよい。なお、実施の形態では、画面サイズが42インチクラスのフルハイビジョンテレビに合わせて、隔壁22の高さは0.1mm~0.15mm、また隣接する隔壁22のピッチは0.15mmとしている。次に、PDPの製造方法について説明する。まず、前面基板11上に、走査電極12および維持電極13と遮光層図示せずとを形成する。これらの走査電極12および維持電極13は透明電極と金属バス電極とで構成され、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。次に、走査電極12、維持電極13および遮光層を覆うように前面基板11上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層誘電体材料層を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することによって塗布された誘電体ペースト表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、誘電体層15が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダーおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層15上に酸化マグネシウムMgOからなる保護層16を真空蒸着法により形成する。一方、背面基板17上に、銀Ag材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによりデータ電極18用の構成物となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成することによりデータ電極18を形成する。次に、データ電極18が形成された背面基板17上にダイコート法などによりデータ電極18を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層19を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダーおよび溶剤を含んだ塗料である。次に、下地誘電体層19上に隔壁材料としてのガラス粉末や骨材を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成した後、焼成することにより隔壁22を形成する。ここで、下地誘電体層19上に塗布した隔壁用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。隔壁22はデータ電極18と平行な縦隔壁22aと、縦隔壁22aに直交する横隔壁22bとにより構成されるようにパターニングされる。次に、隣接する隔壁22間の下地誘電体層19上および隔壁22の側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成することにより蛍光体層23が形成される。蛍光体層23を構成する蛍光体材料としては、赤色蛍光体層にY2xO3:EuxまたはY,Gd1xBO3:Eux、緑色蛍光体層にZn1xMnx2SiO4、青色蛍光体層にBa1xMgAl10O17:EuxまたはBa1xySryMgAl10O17:Euxの材料を用いている。ここで、蛍光体層23の形成方法は、図3a、bに示すようなインクジェット法による蛍光体インク塗布装置を用い、蛍光体インクを噴射させて塗布するというものである。なお、図3aは蛍光体インク塗布装置のノズル部分の概略側面図、図3bはノズル部分の内部構造を示す断面図である。また、図4はノズルプレートを示す図であり、図4aはノズルプレートの平面図、図4bは図4aのA-A線で切断した断面図である。図3に示すように、蛍光体塗布装置は、蛍光体インクを供給する供給ユニット30、供給ユニット固定部31、スペーサー32、供給ユニット30の絶縁部33、振動板34、圧電素子35、複数個のノズル36aを有するノズルプレート36を備えている。なお、37はノズルから吐出された吐出液、38はノズルプレート36において、ノズルの周囲に配置したOリングによるシール部材で、このシール部材38によりノズルプレート36上には、蛍光体インクが流れる空間39が形成されている。この空間39は、ノズル36aに連通し、かつノズル36aに対して直交するように形成されている。供給ユニット30の内部には、蛍光体インクを循環させるための往路の流路30a、復路の流路30bが形成され、インクサーバーから供給される蛍光体インクは、流路30aからノズルプレート36に供給され、そしてノズルプレート36上の空間39を通り、流路30bを通ってインクサーバーに戻るように、外部に取り付けられた循環機構により循環している。この往路の流路30a、復路の流路30bは、ノズル36aと平行に形成されている。蛍光体塗布装置内部へ流路30aを通過して供給されるインクは、ノズルプレート36上の空間39を通過する際に、振動板34上に取り付けられた圧電素子35を駆動させることにより流路内部は加圧され、蛍光インクは、ノズルから連続的に吐出されるようになっている。このノズルの口径は、ノズルの目詰まり防止のため25μm以上、かつ塗布の際の隔壁からのはみ出し防止のため100μm以下にすることが望ましく、通常25μm~85μmに設定される。ここで、本発明においては、前記供給ユニット30は、内部に蛍光体インクを循環させるための往路と復路の流路30a,30bが形成され、蛍光体インクを往路の流路30aからノズルプレート36上の空間39を通り、復路の流路30bを通って循環させるとともに、前記流路30a,30b内の蛍光体インクに前記圧電素子35により蛍光体インクに加えられる圧力とは異なる圧力Pを加えるように構成している。すなわち、流路30a側にはPの圧力が加えられ、流路30b側には-Pの圧力が常時加えられている。蛍光体塗布装置は、図示しないヘッダ走査機構によって直線的に駆動されるように構成されており、背面ガラス基板、もしくは、蛍光体塗布装置を走査させるとともにノズルから蛍光体インクを連続的に吐出することにより、背面ガラス基板上の隔壁間の溝に蛍光体インクが均一に塗布される。ここで、使用される蛍光体インクの粘度は25°Cにおいて、5~100CPSの範囲に保たれている。蛍光体は、赤色R、緑色G、青色Bの各蛍光体粒子と有機バインダーからなるペースト状の蛍光体インクを、隔壁間に塗布し、これを400°C~590°Cの温度で焼成して有機バインダーを焼失させることによって、蛍光体粒子が結着した構造として形成する。ここで、蛍光体インクは、各色蛍光体粒子、バインダー、溶媒とが混合され、5~100センチポアズCPSとなるように調合されたものであり、必要に応じて、可塑剤、分散剤0.1~5wt等を添加してもよい。蛍光体インクに調合されるバインダーとしては、平均分子量3万から20万で、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルエーテル、エチルセルロース、アクリル樹脂等を用いインクの0.1~10wtを混合、溶媒としては、α-ターピネオール、ブチルカービトール等の水に対して難溶性の溶剤や、多価アルコール誘導体としては、エチレングリコール、エチレングリコールモノアセタート、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセタート、3-メトキシ-3-メチルブタノール、アリルアルコール、イソプロピルアルコール、エタノール、グリシドール、テトラヒドロフルフィリルアルコール、t-ブタノール、フリフリルアルコール、プロパルギルアルコール、1-プロパノール、メタノール、3-メチル-1-ブチン-3-オール、15-クラウン-5、18-クラウン-6、酸化プロピレン、1,4-ジオキサン、ジプロピルエーテル、ジメチルエーテル、テトラヒドラフラン、アセトアルデヒド、ジアセトンアルコール、乳酸メチル、γ-ブチロラクトン、グリセリン、グリセリン1,2-ジメチルエーテル、グリセリン1,3-ジメチルエーテル、グリセリン1-アセタート、2-クロロ-1,3-プロパンジオール、3-クロロ-1,2-プロパンジオール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールクロロヒドリン、ジエチレングリコールジアセタート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコール等のような水に対して自由混合できる溶剤を用いることができる。なお、バインダーとして、PMAやPVAなどの高分子を、溶媒として、ジエチレングリコール、メチルエーテルなどの有機溶媒の水をそれぞれ用いることもできる。また、必要に応じて、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、フタル酸ジ-n-オクチル、フタル酸ジ-2-エチルヘキシル、フタル酸オクチルデシル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ブチルベンジル、オレイン酸ブチル、ジエチレングリコールジベンゾエート、ブチルフタリルブチルグリコレート、アセチルクエン酸トリブチル、アビエチン酸メチル、セバシン酸ジブチル、セバシン酸-2-エチルヘキシン、2-ニトロビフェニル、ジノニルナフタリン、アゼライン酸ジ-2-エチルヘキシルのいずれか1つ以上の可塑剤を添加してもよい。次に、上記蛍光体塗布装置を用い、実際に蛍光体インクを安定した吐出ができるかどうかを確認するため、10分間の連続的な吐出を行い、その安定性を確認した。この際に、蛍光体の種類赤、青、緑、蛍光体の含有濃度の条件も変え、吐出周波数についても低周波の100Hzと高周波の1kHzとで確認を実施した。蛍光体インクの粘度は、各色蛍光体粒子、バインダー樹脂、溶剤などを調合し、25°Cで5~30cpsとなるように調整した。また、蛍光体粒子としては、青色蛍光体としてBaMgAl10O17:Euを、緑色蛍光体としてZn2SiO4:Mnを、赤色蛍光体としてY、GdBO3:Euを用いた。バインダー樹脂としてはエチルセルロースを、溶剤としてはブチルアルコール、テルピネオール、ベンジルアルコールなどの有機溶媒混合物を用いた。その結果を表1に示す。表1の結果より、上述の蛍光体塗布装置によれば、蛍光体種類、濃度、及び、周波数に依存せずに、どの条件においても安定して目詰まり無く蛍光体インクを吐出することができた。すなわち安定した塗布が可能となり、高精細なパネルにおいても、安定した塗布が可能となるため、蛍光体層を均一に形成することが可能となる。従って、面内のムラを抑制することが可能となる。なお、上記例では、ノズルプレート36上に形成された空間39に供給する流路30aと、ノズルプレート36上に形成された空間39から出て行く流路30bが、各々1つ配置されているが、図5に示すように、ノズルプレート36上に形成された空間39に供給する流路30aを3本とし、ノズルプレート36上に形成された空間39から出て行く流路30bを2本としてもよい。すなわち、流路30a,30bは同数にしなくてもよく、また複数本であってもよい。このように構成することにより、流路30a,30bと空間39内において、蛍光体インク中の蛍光体の堆積を抑制することが可能となり、インクを安定して循環させることができる。従って、塗布するインクの濃度変化を抑制することが可能となり、歩留まりを落とすことなく生産できる。以上説明したように、本発明によれば、高精細度、大画面でも、形状が均一で、なおかつ高輝度を実現する蛍光体層の形状を実現することができる。"