アノード側電極とカソード側電極との間に、そのc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の単結晶、又は各結晶粒のc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の多結晶体からなる固体電解質が介装された電解質電極接合体であって、前記アノード側電極と前記固体電解質との間、又は前記固体電解質と前記カソード側電極との間の少なくともいずれか一方に、酸化物イオン伝導が等方性を示す中間層が介装され、前記中間層は、X線回折測定を行ったときに111面に由来するピークが出現するものであることを特徴とする電解質電極接合体。請求項1記載の接合体において、前記中間層が酸化セリウム、又はドープされた酸化セリウムであることを特徴とする電解質電極接合体。請求項2記載の接合体において、前記中間層がドープされた酸化セリウムであるとき、ドーパントはサマリウム、イットリウム、ガドリニウム、ランタンのいずれかであることを特徴とする電解質電極接合体。請求項1~3のいずれか1項に記載の接合体において、前記固体電解質が、LaxSi6O1.5X12ただし、8≦X≦10からなることを特徴とする電解質電極接合体。アノード側電極とカソード側電極との間に、単結晶で存在するとき、そのc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の単結晶、又は各結晶粒のc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の多結晶体からなる固体電解質が介装された電解質電極接合体を得る電解質電極接合体の製造方法であって、そのc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の単結晶、又は各結晶粒のc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の多結晶体からなる固体電解質を得る工程と、前記固体電解質の厚み方向に直交する方向に延在する2つの端面の少なくとも一方に、酸化物イオン伝導が等方性を示す中間層を形成する工程と、前記中間層上に、前記アノード側電極又は前記カソード側電極のいずれか一方となる第1電極を形成する工程と、前記固体電解質の厚み方向に直交する方向に延在する2つの端面の残余の一方に、直接又は間接的に、前記カソード側電極又は前記アノード側電極の残余の一方となる第2電極を形成する工程と、を有し、前記中間層を、前記固体電解質、又は前記固体電解質を含む積層物の温度を300~500°Cとするスパッタリング法によって形成することにより、X線回折測定を行ったときに111面に由来するピークが出現するものとして得ることを特徴とする電解質電極接合体の製造方法。アノード側電極とカソード側電極との間に、単結晶又はc軸方向に配向した多結晶体で存在するとき、その結晶内に酸化物イオンが移動する面又は方向を有することによって酸化物イオン伝導が異方性を示すアパタイト型複合酸化物からなる固体電解質が介装された電解質電極接合体を得る電解質電極接合体の製造方法であって、前記アノード側電極又は前記カソード側電極のいずれか一方となる第1電極を形成する工程と、前記第1電極上に直接又は間接的に、アパタイト型複合酸化物からなる固体電解質を形成する工程と、前記固体電解質上に直接又は間接的に、前記カソード側電極又は前記アノード側電極の残余の一方となる第2電極を形成する工程と、前記第1電極上に前記固体電解質を形成する前、又は前記固体電解質上に前記第2電極を形成する前の少なくともいずれかで、酸化物イオン伝導が等方性を示す中間層を形成する工程と、を有し、前記中間層を、前記第1電極、又は前記第1電極と前記固体電解質を含む積層物の温度を300~500°Cとするスパッタリング法によって形成することにより、X線回折測定を行ったときに111面に由来するピークが出現するものとして得ることを特徴とする電解質電極接合体の製造方法。請求項5又は6記載の製造方法において、前記中間層を、酸化セリウム、又はドープされた酸化セリウムからなるものとして形成することを特徴とする電解質電極接合体の製造方法。請求項7記載の製造方法において、前記中間層をドープされた酸化セリウムで形成するとき、ドーパントをサマリウム、イットリウム、ガドリニウム、ランタンのいずれかとすることを特徴とする電解質電極接合体の製造方法。請求項5~8のいずれか1項に記載の製造方法において、前記固体電解質を、LaxSi6O1.5X12ただし、8≦X≦10からなるものとして形成することを特徴とする電解質電極接合体の製造方法。特許文献3、4に記載されるように、酸化物イオンの伝導経路を増加することによって固体酸化物形燃料電池の発電性能を向上させることが可能となる。本発明は上記した技術に関連してなされたもので、カソード側電極から固体電解質への、又は固体電解質からアノード側電極への酸化物イオンの伝導経路が一層多く、このために固体酸化物形燃料電池としたときにその発電性能を向上し得る電解質電極接合体及びその製造方法を提供することを目的とする。前記の目的を達成するために、本発明は、アノード側電極とカソード側電極との間に、そのc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の単結晶、又は各結晶粒のc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の多結晶体からなる固体電解質が介装された電解質電極接合体であって、前記アノード側電極と前記固体電解質との間、又は前記固体電解質と前記カソード側電極との間の少なくともいずれか一方に、酸化物イオン伝導が等方性を示す中間層が介装され、前記中間層は、X線回折測定を行ったときに111面に由来するピークが出現するものであることを特徴とする。このような中間層を構成する粒子は、概ね四面体形状をなす。このため、該中間層を含んで構成される電解質電極接合体では、該中間層とアノード側電極との接触面積、又は該中間層とカソード側電極との接触面積が大きくなる。従って、アノード側電極又はカソード側電極と中間層との界面に、多数の酸化物イオンが電極反応に関係するための反応サイトが多数形成されるので、拡散することができる酸化物イオンが増加して酸化物イオン伝導性が向上する。これにより、電解質電極接合体、ひいては固体酸化物形燃料電池の発電性能を向上させることができる。中間層の材質の好適な例としては、酸化セリウム、又はドープされた酸化セリウムを挙げることができる。この場合、アノード側電極又はカソード側電極での電極反応が促進されるという利点もある。なお、ドープされた酸化セリウムにおけるドーパントの好適な例としては、サマリウム、イットリウム、ガドリニウム、ランタンのいずれかを挙げることができ、一方、固体電解質をなすアパタイト型複合酸化物の好適な例としては、LaxSi6O1.5X12ただし、8≦X≦10を挙げることができる。また、本発明は、アノード側電極とカソード側電極との間に、単結晶で存在するとき、そのc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の単結晶、又は各結晶粒のc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の多結晶体からなる固体電解質が介装された電解質電極接合体を得る電解質電極接合体の製造方法であって、そのc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の単結晶、又は各結晶粒のc軸方向が厚み方向に配向したアパタイト型複合酸化物の多結晶体からなる固体電解質を得る工程と、前記固体電解質の厚み方向に直交する方向に延在する2つの端面の少なくとも一方に、酸化物イオン伝導が等方性を示す中間層を形成する工程と、前記中間層上に、前記アノード側電極又は前記カソード側電極のいずれか一方となる第1電極を形成する工程と、前記固体電解質の厚み方向に直交する方向に延在する2つの端面の残余の一方に、直接又は間接的に、前記カソード側電極又は前記アノード側電極の残余の一方となる第2電極を形成する工程と、を有し、前記中間層を、前記固体電解質、又は前記固体電解質を含む積層物の温度を300~500°Cとするスパッタリング法によって形成することにより、X線回折測定を行ったときに111面に由来するピークが出現するものとして得ることを特徴とする。このような過程を経ることで、アノード側電極と固体電解質との間、又は固体電解質とカソード側電極との間の少なくともいずれかに、中間層が介装された電解質電極接合体を容易に得ることができる。上記したように、この中間層を構成する粒子は概ね四面体形状をなす。このため、該中間層とアノード側電極との接触面積、又は該中間層とカソード側電極との接触面積が大きくなり、アノード側電極又はカソード側電極と中間層との界面で、電極反応を促進するための反応サイトが多数形成される。このために拡散できる酸化物イオンが増加することによって、該電解質電極接合体に優れた酸化物イオン伝導性が発現するので、該電解質電極接合体、ひいては固体酸化物形燃料電池の発電性能が向上する。ここで、電極を成膜基板とするようにしてもよい。すなわち、本発明は、アノード側電極とカソード側電極との間に、単結晶又はc軸方向に配向した多結晶体で存在するとき、その結晶内に酸化物イオンが移動する面又は方向を有することによって酸化物イオン伝導が異方性を示すアパタイト型複合酸化物からなる固体電解質が介装された電解質電極接合体を得る電解質電極接合体の製造方法であって、前記アノード側電極又は前記カソード側電極のいずれか一方となる第1電極を形成する工程と、前記第1電極上に直接又は間接的に、アパタイト型複合酸化物からなる固体電解質を形成する工程と、前記固体電解質上に直接又は間接的に、前記カソード側電極又は前記アノード側電極の残余の一方となる第2電極を形成する工程と、前記第1電極上に前記固体電解質を形成する前、又は前記固体電解質上に前記第2電極を形成する前の少なくともいずれかで、酸化物イオン伝導が等方性を示す中間層を形成する工程と、を有し、前記中間層を、前記第1電極、又は前記第1電極と前記固体電解質を含む積層物の温度を300~500°Cとするスパッタリング法によって形成することにより、X線回折測定を行ったときに111面に由来するピークが出現するものとして得ることを特徴とする。このような過程を経た場合においても、アノード側電極と固体電解質との間、又は固体電解質とカソード側電極との間の少なくともいずれかに、中間層が介装された電解質電極接合体を作製することができる。いずれにおいても、中間層は、酸化セリウム、又はドープされた酸化セリウムから形成することができる。ここで、ドープされた酸化セリウムで中間層を形成するときには、ドーパントとして、サマリウム、イットリウム、ガドリニウム、ランタンのいずれかを選定すればよい。また、固体電解質は、例えば、LaxSi6O1.5X12ただし、8≦X≦10から形成することができる。本発明によれば、アノード側電極と固体電解質との間、又は固体電解質とカソード側電極との間の少なくともいずれか一方に、酸化物イオン伝導が等方性を示すとともに、X線回折測定を行ったときに111面に由来するピークが出現する中間層を介装するようにしているので、該中間層とアノード側電極との接触面積、又は該中間層とカソード側電極との接触面積が大きくなる。これにより、アノード側電極又はカソード側電極と中間層との界面で、電極反応を促進するための反応サイトが多数形成されるので、該電解質電極接合体に優れた酸化物イオン伝導性が発現する。このため、該電解質電極接合体を具備する固体酸化物形燃料電池の発電性能を向上させることができる。以下、本発明に係る電解質電極接合体及びその製造方法につき好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。図1は、本実施の形態に係る電解質電極接合体10を具備する固体酸化物形燃料電池の単位セル12の概略縦断面図である。この単位セル12においては、アノード側電極14とカソード側電極16との間に、等方性伝導層18中間層、固体電解質20、等方性伝導層22中間層がこの順序で介装されることによって電解質電極接合体10が構成されている。アノード側電極14は、固体酸化物形燃料電池において一般的に採用される材料で形成すればよい。具体的には、ニッケルとイットリア安定化ジルコニアのサーメットNi-YSZサーメット、ニッケルとスカンジア安定化ジルコニアのサーメットNi-SSZサーメット、ニッケルとイットリアドープセリアのサーメットNi-YDCサーメット、ニッケルとスカンジアドープセリアのサーメットNi-SDCサーメット、ニッケルとガドリニアドープセリアのサーメットNi-GDCサーメット等が例示される。等方性伝導層18は、酸化セリウムCeO2;セリアを基材とする。すなわち、セリアそれ自体であってもよいが、ドーパントがドープされたセリアであってもよい。好適なドーパントとしては、サマリウムSm2O3、イットリアY2O3、ガドリニアGd2O3、ランタニアLa2O3等を挙げることができる。なお、Sm2O3ドープCeO2、Y2O3ドープCeO2、Gd2O3ドープCeO2、La2O3ドープCeO2の各々は、一般的にはSDC、YDC、GDC、LDCと呼称されている。また、好適なドープ量は、5~20モル程度である。以下においては、セリア、及び上記したようなドープされたセリアを総称してセリア系酸化物と表記することもある。この等方性伝導層18につきX線回折測定を行うと、111面に由来するピークが出現する。このことから、等方性伝導層18が、四面体形状をなす粒子同士が焼結したものであることが認められる。実際、走査型電子顕微鏡SEMによって等方性伝導層18を観察すると、大きさが50nm程度で略一様である粒子が多数集合していることが確認される。このような粒子は、球状をなす粒子に比して表面積が大きい。従って、アノード側電極14に対する接触面積が大きくなり、その結果として、アノード側電極14と等方性伝導層18との間で、多くの酸化物イオンが水素と反応して水を生成するアノード側電極反応を促進するための反応サイトが多数形成される。この場合、固体電解質20はアパタイト型複合酸化物からなる。好適なアパタイト型複合酸化物としては、3価元素であるLaと、4価元素であるSiと、Oとを含有し、その組成がLaXSi6O1.5X128≦X≦10、以下同じで表されるランタンとシリコンとの複合酸化物が例示される。LaXSi6O1.5X12の単位格子の構造を、視点をc軸方向として図2に示す。この単位格子30は、6個のSiO4四面体32と、2aサイトを占有するO2-34と、4fサイト又は6hサイトをそれぞれ占有するLa336a、36bとを含むアパタイト型構造である。なお、SiO4四面体32におけるSi4及びO2-は図示していない。この単位格子30は、六方晶系に属する。すなわち、図2において、単位格子30のa軸方向の辺ABとc軸方向の辺BFとが互いに交わる角度α、b軸方向の辺BCと辺BFとが互いに交わる角度β、辺ABと辺BCとが交わる角度γは、それぞれ、90°、90°、120 ゚である。そして、辺ABと辺BCとは互いに長さが等しく、且つこれら辺AB、BCの長さは辺BFと異なる。このようなアパタイト型構造であるLaXSi6O1.5X12が酸化物イオン伝導体となる理由は、2aサイトを占有するO2-34がSiO4四面体32又はLa336aとの結合に関与していないためであると考えられる。O2-34に作用する力は強力ではなく、従って、O2-34は2aサイトに束縛されることなくc軸方向に沿って比較的自由に移動することができるからである。すなわち、この単位格子30においては、酸化物イオンは、c軸方向、換言すれば、[001]方向に沿って移動する。このため、酸化物イオン伝導度は、c軸に沿う方向で大きくなり、a軸やb軸に沿う方向では小さくなる。換言すれば、酸化物イオン伝導に異方性が生じる。そして、図1に矢印Cとして示すように、本実施の形態においては、c軸方向が固体電解質20の厚み方向とされている。すなわち、アノード側電極14及びカソード側電極16は、固体電解質20において酸化物イオン伝導度が最も高くなる方向に対して垂直に配設されており、従って、酸化物イオンは、カソード側電極16からアノード側電極14へ速やかに移動することができる。最も好ましい組成は、La9.33Si6O26である。この場合、c軸に沿う酸化物イオン伝導が最大値を示すからである。アパタイト型複合酸化物は、単結晶であってもよいし、各結晶粒のc軸方向が矢印C方向に向くように配向された多結晶体であってもよい。以上のように構成される固体電解質20の厚みは、50nm~8μmであることが好ましく、50nm~5μmであることがより好ましい。等方性伝導層22は、等方性伝導層18と同様に構成されている。すなわち、該等方性伝導層22は、好適にはセリア系酸化物からなり、且つX線回折測定を行うと、111面に由来するピークが出現する。また、SEMによって等方性伝導層22を観察すると、大きさが50nm程度で略一様である粒子が多数集合していることが確認される。要するに、等方性伝導層22もまた、四面体形状をなす粒子同士が焼結したものである。従って、カソード側電極16と等方性伝導層22との間で、酸素分子が電子と反応して酸化物イオンが生成するカソード側電極反応を促進するための反応サイトが多数形成される。なお、SDC、YDCをはじめとするセリア系酸化物の酸化物イオン伝導度は、固体電解質20をなすアパタイト型複合酸化物LaXSi6O1.5X12における酸化物イオン伝導度に比して小さい。すなわち、等方性伝導層18、22における酸化物イオン伝導度は、固体電解質20の厚み方向に比して小さい。例えば、YSZからなる電解質と電極との間にSDC等のセリア系酸化物からなる中間層を介在させることは従来から行われているが、この従来技術は、単結晶であっても酸化物イオン伝導が等方性である物質であるYSZと、電極の構成材料とが互いに反応することを防止するものである。そして、電池の発電性能を低下させないために、中間層の材質として、YSZに比して伝導性が優れるセリア系酸化物を採用するものである。これに対し、本実施の形態に係る電解質電極接合体10では、アノード側電極14と固体電解質20との間に介装される等方性伝導層18、固体電解質20とカソード側電極16との間に介装される等方性伝導層22の酸化物イオン伝導度が、固体電解質20に比して小さい。また、固体電解質20を構成するアパタイト型複合酸化物は、単結晶として存在する場合には酸化物イオン伝導に異方性を示す物質である。以上の2点の相違点に基づき、本実施の形態によれば、酸化物イオン伝導度が固体電解質20に比して小さい物質であっても等方性伝導層18、22の材質として採用することができる。このため、等方性伝導層18、22の構成材料の選択肢が増加するという利点が得られる。等方性伝導層18、22の厚みは、例えば、200nm程度に設定すればよいが、固体電解質20の厚みに応じて適宜設定するようにしてもよい。すなわち、固体電解質20の厚みが極めて小さい場合には、等方性伝導層18、22の厚みを固体電解質20の厚みと同程度としてもよいし、固体電解質20の厚みを大きくする場合には、等方性伝導層18、22の厚みを固体電解質20の厚みの1/1000程度としてもよい。なお、等方性伝導層18、22の気孔率は小さくすることが好ましい。気孔率が過度に大きい場合、等方性イオン伝導による効果が消失したり、又は酸化物イオン伝導性が低下したりするからである。具体的には、20体積以下であることが好ましく、10体積以下であることがより好ましい。カソード側電極16図1参照は、固体酸化物形燃料電池において一般的に採用される材料で形成すればよい。具体的には、La-Sr-Co-OLSC系ペロブスカイト型酸化物、La-Sr-Co-Fe-OLSCF系ペロブスカイト型酸化物、La-Sr-Mn-OLSM系ペロブスカイト型酸化物、Ba-Sr-Co-Fe-OBSCF系ペロブスカイト型酸化物の群から選択されるいずれか1種や、これらのペロブスカイト型酸化物に対してSDC、YDC、GDC、LDC等のセリア系酸化物をはじめとする酸化物イオン伝導体を混合した混合物等が挙げられる。このように構成された電解質電極接合体10は、図1に示すように、1対のセパレータ40a、40bの間に介装される。また、該セパレータ40a、40bの外側には集電用電極42a、42bがそれぞれ配置され、さらに該集電用電極42a、42bの外側にはエンドプレート44a、44bがそれぞれ配置される図1参照。これらエンドプレート44a、44b同士が図示しないタイロッド等で互いに緊締されて電解質電極接合体10、セパレータ40a、40b及び集電用電極42a、42bがエンドプレート44a、44bで挟持され、これにより単位セル12が構成されている。なお、セパレータ40a、40bには、燃料ガス又は酸素含有ガスをアノード側電極14又はカソード側電極16に供給するためのガス流路46a、46bがそれぞれ形成されている。通常、固体酸化物形燃料電池は、上記した単位セル12が複数個積層されることにより、スタックとして構成される。本実施の形態に係る電解質電極接合体10を含む固体酸化物形燃料電池単位セル12は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその作用効果について説明する。上記したように構成された単位セル12を運転するに際しては、該単位セル12を200~500°C程度まで昇温する。その後、セパレータ40bに設けられたガス流路46bに酸素を含有する酸素含有ガスを流通させ、その一方で、セパレータ40aに設けられたガス流路46aに水素を含有する燃料ガスを流通させる。酸素含有ガス中の酸素は、カソード側電極16において電子と結合し、酸化物イオンO2-を生成する。生成した酸化物イオンは、カソード側電極16から固体電解質20側へ移動する。そして、アノード側電極14に移動した酸化物イオンと、該アノード側電極14に供給された燃料ガス中の水素とが結合し、その結果、水及び電子が放出される。放出された電子は、集電用電極42a、42bに電気的に接続された外部回路に取り出され、該外部回路を付勢するための直流の電気エネルギとして利用された後、カソード側電極16へと至り、該カソード側電極16に供給された酸素と結合する。ここで、電解質電極接合体10を模式的に図3に示すとともに、等方性伝導層18、22が存在しないことを除いて電解質電極接合体10と同様に構成された電解質電極接合体を模式的に図4に示す。固体電解質20が酸化物イオン伝導に異方性を示す物質からなるため、該固体電解質20中には、図3及び図4に示すように、酸化物イオンが特定の方向に伝導する伝導経路が形成される。等方性伝導層18、22が存在しない場合、この伝導経路の両端に、アノード側電極14、カソード側電極16の各々を構成する物質の粒子が接するときには、図4に太矢印で示すように酸化物イオンの伝導が起こる。一方、伝導経路の端部に前記粒子が存在しないときには、図4に細矢印で示すように、カソード側電極16から固体電解質20を介するアノード側電極14へのイオン伝導ができなくなる。すなわち、伝導経路が限られてしまうため、イオン伝導性が小さくなる。これに対し、本実施の形態では、カソード側電極16と固体電解質20との間に、酸化物イオン伝導が等方性を示す等方性伝導層22が設けられている図3参照。このため、酸化物イオンは、先ず、カソード側電極16から等方性伝導層22に移動し、該等方性伝導層22の内部をランダムに移動して、固体電解質20が該等方性伝導層22と接触する部位に向かう。等方性伝導層22の酸化物イオン伝導は等方性であり、従って、等方性伝導層22においては、厚み方向図1及び図3におけるC方向、及び厚み方向に直交する面内方向図1及び図3におけるY方向の双方で酸化物イオン伝導度が略同等である。勿論、等方性伝導層18においても同様である。従って、等方性伝導層22中を直進移動した酸化物イオンのみならず、斜行移動した酸化物イオンが固体電解質20に入り込む。すなわち、固体電解質20に入り込む酸化物イオンの個数が著しく増加する。しかも、本実施の形態では、上記したように、等方性伝導層22を構成する粒子が四面体形状をなし、このために該粒子の表面積、換言すれば、カソード側電極16と等方性伝導層22との接触面積が著しく大きい。従って、カソード側電極16と等方性伝導層22との界面に、酸化物イオンを生成するカソード側電極反応を促進するために必要な反応サイトが多数形成される。以上のことが相俟って、カソード側電極16から固体電解質20へ移動できる酸化物イオンの個数が著しく多くなる。その結果、酸化物イオン伝導性が向上する。以上については、固体電解質20、等方性伝導層18及びアノード側電極14側においても、電極反応を促進する点で同様である。すなわち、本実施の形態によれば、カソード側電極16からアノード側電極14へ移動する酸化物イオンの個数が多くなる。等方性伝導層18を構成する粒子が四面体をなし、このために等方性伝導層18及びアノード側電極14の接触面積が著しく大きくなっているからである。すなわち、アノード側電極14と等方性伝導層18との界面に、酸化物イオンと水素とが反応して水を生成するアノード側電極反応を促進するために必要な反応サイトが多数形成されている。以上のことが相俟って、アノード側電極14へ移動してきた酸化物イオンの中、アノード側電極反応に寄与する個数が著しく多くなる。その結果、発電性能が向上する。しかも、この場合、固体電解質20と両電極14、16との間の界面抵抗が小さくなるので、過電圧が小さくなる。加えて、等方性伝導層18、22がセリア系酸化物からなる場合、セリア系酸化物は、酸化物イオン伝導と電子伝導の双方が生じる混同伝導体である。このような混合伝導体からなる等方性伝導層22は、カソード側電極16における酸素の電離反応を促進し、一方、等方性伝導層18は、アノード側電極14における酸化物イオンと水素との結合に伴う水と電子との生成反応を促進する。すなわち、両電極14、16で電極反応が促進される。以上のような理由から、優れた発電性能を示す電解質電極接合体10、ひいては単位セル12固体酸化物形燃料電池を得ることができる。上記した電解質電極接合体10は、以下のようにして作製することができる。はじめに、固体電解質20となるLaXSi6O1.5X12等のアパタイト型酸化物の単結晶を、結晶成長方向をc軸方向に配向させて成長させることによって得る。このように配向させるには、例えば、チョクラルスキー法や、特開平11-130595号公報に記載されたような公知の手法を採用すればよい。次に、得られた単結晶のc軸方向に対して垂直に交わる両端面に、鏡面研磨処理、微細研磨処理、砥石研磨処理等の各種研磨処理を施し、該端面の算術平均高さRaを所定の値とする。次に、研磨処理を施した各端面上に等方性伝導層18ないし等方性伝導層22を成膜するべく、スパッタリングを行う。スパッタリングは、既存のスパッタ装置を用いて実施することができる。また、等方性伝導層18、22としてセリア系酸化物を形成する場合には、SDCターゲット、YDCターゲット、GDCターゲット又はLDCターゲット等を用いるようにすればよい。従来技術では、このスパッタリングは室温にて実施される。これに対し、本実施の形態においては、成膜基板である固体電解質20を加熱して300~500°Cの範囲内に予め昇温し、該温度を保持しながらスパッタリングを開始する。なお、スパッタリングを行うチャンバ内の真空度は、0.5~2Pa程度とすればよい。ここで、固体電解質20を加熱することなく室温でスパッタリングを行って成膜したSDCCe0.8Sm0.2Oxと、固体電解質20を400°Cに保持しながらスパッタリングを行って成膜したSDCの各々のX線回折測定結果を図5に併せて示す。下方が室温でのX線回折プロファイルであり、上方が400°CでのX線回折プロファイルである。この図5から諒解されるように、成膜基板である固体電解質20が室温であるときには、成膜されたSDCのX線回折プロファイルに、200面及び400面に由来するピークが出現する。また、このSDCにつきSEM観察を行うと、粒径が25~30nm程度の微細な球状粒子が集合していることが認められる。これに対し、固体電解質20を400°Cに保持しながら成膜したSDCのX線回折プロファイルには、200面及び400面に由来するピークは認められず、111面に由来するピークのみが出現する。また、このSDCにつきSEM観察を行うと、粒径が50nm程度の四面体形状の粒子が集合していることが確認される。すなわち、本実施の形態によって得られる等方性伝導層18ないし等方性伝導層22は、四面体形状をなす粒子の集合体である。次に、等方性伝導層18に対してNiO粒子及びSDC粒子を含むペーストをスクリーン印刷法等によって塗布する。このペーストを焼き付ければ、アノード側電極14が形成される。その他のアノード側電極14の材料として、白金Pt、Pt-YDCサーメット、Pt-SDCサーメット、Pt-GDCサーメットや、パラジウムPd、Pd-YDCサーメット、Pd-SDCサーメット、Pd-GDCサーメットを選定することもできる。次に、等方性伝導層22に対してペースト状のペロブスカイト型化合物例えば、La-Sr-Co-O、La-Sr-Co-Fe-O、La-Sr-Mn-O、Ba-Sr-Co-Fe-O等等をスクリーン印刷法等によって塗布する。このペーストを焼き付ければ、カソード側電極16が形成される。その他のカソード側電極16の材料として、白金Ptや銀Ag、又はPt-LSCサーメット、Pt-LSCFサーメット、Pt-LSMサーメット、Pt-BSCFサーメット、Ag-LSCサーメット、Ag-LSCFサーメット、Ag-LSMサーメット、Ag-BSCFサーメットを選定することもできる。以上のようにして、電解質電極接合体10が得られるに至る。この電解質電極接合体10から単位セル12を構成するには、さらに、アノード側電極14及びカソード側電極16の各一端面にセパレータ40a、40b、集電用電極42a、42b及びエンドプレート44a、44bを配置すればよい。なお、固体電解質20は、単結晶からなるものに特に限定されるものではなく、各粉末の結晶をc軸方向に配向させた焼結体からなるものであってもよい。このような焼結体は、例えば、アパタイト型複合酸化物の粉末を溶媒に添加してスラリーとした後、10Tテスラ程度の強磁場の存在下で該スラリーを固化させた成形体とし、さらに、該成形体を焼結することによって得ることができる。以降は、上記と同様にして、この焼結体の両端面に等方性伝導層18、22を形成した後、アノード側電極14、カソード側電極16をさらに積層すればよい。このようにして得られた単位セル12の電流-電圧特性曲線及び電流-出力特性曲線を図6に示す。なお、スパッタリング時の成膜基板の保持温度は400°Cである。ここで、図6には、成膜基板であるアパタイト型複合酸化物を室温として、2つの等方性伝導層の双方をスパッタリングで形成し、アノード側電極としてPt-SDCを、カソード側電極としてPtを用いた電解質電極接合体を具備する単位セルの電流-電圧特性曲線及び電流-出力特性曲線を併せて示した。図6中、400°Cと表記した曲線が、成膜基板の保持温度を400°Cとして形成した等方性伝導層18、22を含む単位セル12での結果であり、室温と表記した曲線が、室温で形成した2つの等方性伝導層を含む単位セルでの結果である。図6から明らかなように、電流密度が同一である場合、前者は後者に比して電圧が高く、且つ出力が大きい。すなわち、発電性能に優れている。さらに、上記の2つの電解質電極接合体につきコール-コールプロットを作成した。結果を、図7に併せて示す。図7中の400°C及び室温の表記は、上記と同様の意味である。この図7から、前者の方が後者に比して電極界面抵抗が小さく、電極界面に発生する過電圧が小さい接合体であること、換言すれば、発電性能に著しく優れる接合体であることが明らかである。このように、等方性伝導層18、22を設けることにより、優れた発電性能を示す電解質電極接合体10、ひいては固体酸化物形燃料電池が得られる。図示はしないが、等方性伝導層18、22の成膜時スパッタリング時の成膜基板の保持温度を300°C又は500°Cとしたときも上記と同様の結果が得られた。さらに、等方性伝導層22のみを形成した場合であっても、電流密度が同一である場合、室温で形成した2つの等方性伝導層を含む電解質電極接合体を具備する単位セルに比して電圧が高く、且つ出力が大きくなった。以上のように、等方性伝導層18、22を形成する際の成膜基板の温度を300~500°Cとすることにより、優れた発電性能を示す固体酸化物形燃料電池を得ることができる。なお、アノード側電極14又はカソード側電極16を成膜基板とすることもできる。さらに、金属を成膜基板とすることもできる。アノード側電極14を成膜基板とする場合を例示して説明すると、はじめに、アノード側電極14を得るためのスラリーを調製する。例えば、NiO粒子とYSZ粒子とが体積比で1:1の割合で混合された混合粒子を溶媒に分散し、さらに、該溶媒に対し、ポリビニルブチラール系やアクリル系等のバインダを添加する。必要に応じ、造孔材を添加するようにしてもよい。そして、このスラリーを用い、ドクターブレード法によってシート状成形体を形成する。なお、ドクターブレード法に代え、押出し成形法やロール塗工法等を行うようにしてもよい。造孔材を添加したときには、シート状成形体に対して脱脂処理を行う。この脱脂処理によって造孔材が消失し、その消失跡に、造孔材の平均粒径に応じた気孔が形成される。次に、このシート状成形体アノード側電極14を成膜基板とし、等方性伝導層18を形成するためのスパッタリングを行う。上記と同様に、この際には、成膜基板であるアノード側電極14を加熱して300~500°Cに予め昇温し、その後、この温度を保持しながらスパッタリングを開始する。チャンバ内の真空度は、上記同様に0.5~2Pa程度とすればよい。以上のようにしてアノード側電極14の一端面に微粒子を付着させた後、該微粒子に対してアノード側電極14ごと熱処理を施せば、微粒子同士が結合して等方性伝導層18が形成される。アパタイト型複合酸化物の単結晶を固体電解質20とする場合、上記したような公知の手法によって単結晶を別途作製する。次に、この単結晶を、そのc軸方向が厚み方向に合致するようにして等方性伝導層18の上端面側に接合する。この接合に際しては、例えば、接合面をプラズマ照射する常温接合や加熱による拡散接合、又は電圧を印加する陽極接合等を行えばよい。次に、前記単結晶を所定の厚みとなるまで研磨を行う。これにより、アパタイト型酸化物の単結晶からなり、しかも、c軸方向と積層方向厚み方向とが合致した固体電解質20が得られる。アパタイト型酸化物の多結晶体を固体電解質20とする場合には、例えば、アトミックレイヤデポジションALDやイオンプレーティング、パルスレーザデポジションPLDを行う。これにより、各結晶粒のc軸方向が厚み方向に配向した固体電解質20を形成することができる。次に、この固体電解質20の上端面上に、等方性伝導層22を形成する。この際には、成膜基板、すなわち、アノード側電極14、等方性伝導層18及び固体電解質20の積層物を加熱して300~500°Cに予め昇温し、その後、この温度を保持しながらスパッタリングを開始する。チャンバ内の真空度は、上記同様に0.5~2Pa程度とすればよい。以上のようにして固体電解質20の一端面に微粒子を付着させた後、該微粒子に対して前記積層物ごと熱処理を施せば、微粒子同士が結合して等方性伝導層22が形成される。さらに、等方性伝導層22の上端面上に、カソード側電極16を形成する。この場合、上記に準拠し、等方性伝導層22に対してペースト状のペロブスカイト型化合物等をスクリーン印刷法等によって塗布する。このペーストを焼き付ければ、カソード側電極16が形成される。以上により、電解質電極接合体10が得られるに至る。金属を成膜基板とする場合は、例えばNiOを原料として用い、アノード側電極14を成膜基板とする場合と同様に、成形後に還元雰囲気中で還元することによってNiからなる金属基板とする。その後の工程も、アノード側電極14の場合と同様に実施すれば、電解質電極接合体10を得ることができる。なお、上記した実施の形態では、アノード側電極14と固体電解質20の間、固体電解質20とカソード側電極16の間の双方に等方性伝導層18、22を介装するようにしているが、等方性伝導層18、22は、アノード側電極14と固体電解質20の間、固体電解質20とカソード側電極16の間の少なくともいずれか一方を形成すればよい。また、カソード側電極16を先に作製し、その後にアノード側電極14を形成するようにしてもよい。この場合、カソード側電極16をテープ状成形体として得る一方で、アノード側電極14をスクリーン印刷によって形成するようにしてもよい。さらに、アノード側電極14及びカソード側電極16の双方をテープ状成形体として形成するようにしてもよい。