"薄い平板状のワークを吸引して非接触状態で保持する吸引チャックであって、圧縮気体の流路が内部に形成された平板状の本体と、前記ワークと対向する側に前記本体が備える面であって、前記圧縮気体を噴出することで負圧を生じさせる吸引要素としての凹部が複数形成される対向面と、を備え、前記対向面と垂直な方向で見たときに、当該対向面は前記ワークの形状を完全に包含し得るように、前記ワークと相似形状又は前記ワークの形状を外側にオフセットした形状に構成され、前記対向面と垂直な方向で見たときに、全ての前記凹部は前記ワークの形状に包含され得るように配置されることを特徴とする吸引チャック。請求項1に記載の吸引チャックであって、前記対向面と垂直な方向で見たときに、当該対向面の形状及び前記ワークの形状が直角4辺形であることを特徴とする吸引チャック。請求項1又は2に記載の吸引チャックであって、前記凹部の周囲において、当該凹部から噴出された圧縮気体を排気するための抜き孔が前記対向面に開口されており、前記対向面と垂直な方向で見たときに、全ての前記抜き孔は前記ワークの形状に包含され得るように配置されることを特徴とする吸引チャック。請求項1から3までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、前記対向面と垂直な方向で見たときに、複数個の前記凹部は、前記対向面の形状が有する辺に平行となるように整列して並べられることを特徴とする吸引チャック。請求項1から4までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、前記凹部は円筒状に形成され、前記本体は、当該凹部の内壁に沿う向きに圧縮気体を噴出させる噴出流路を備えることを特徴とする吸引チャック。請求項5に記載の吸引チャックであって、前記噴出流路は、前記対向面に平行な向きに形成されていることを特徴とする吸引チャック。請求項5又は6に記載の吸引チャックであって、前記噴出流路は、1つの前記凹部に対して複数本形成されていることを特徴とする吸引チャック。請求項5から7までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、前記本体は、前記対向面が形成された第1プレートと、前記圧縮気体の供給源である圧縮気体源に接続される第2プレートと、を含む複数のプレートを厚み方向に接合して構成され、前記第1プレートには、前記凹部の少なくとも一部をなす開口孔が前記対向面に開口され、前記噴出流路は、前記対向面と前記第2プレートとの間の位置に配置され、前記第2プレートには、前記圧縮気体源に対する接続口が前記第1プレートと反対側に配置されるとともに、前記接続口に導入された圧縮気体を前記噴出流路へ導くための供給流路を構成する供給溝が前記第1プレート側を向く面に形成されることを特徴とする吸引チャック。請求項8に記載の吸引チャックであって、前記第1プレートと前記第2プレートとの間に中間プレートが配置され、前記中間プレートには、前記噴出流路を構成するスリットが厚み方向に貫通するように形成されていることを特徴とする吸引チャック。請求項8又は9に記載の吸引チャックであって、前記第1プレートと前記第2プレートの間に第3プレートが配置され、前記第3プレートには、前記噴出流路と前記供給溝とを接続するための接続孔が形成され、前記第3プレートの厚み方向一側の面は、前記噴出流路の内壁の一部を構成し、前記第3プレートの厚み方向他側の面が前記供給溝の開放側を閉鎖することで、前記供給流路が構成されることを特徴とする吸引チャック。請求項8から10までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、複数の前記噴出流路と接続される前記供給流路を少なくとも1つ有することを特徴とする吸引チャック。請求項8から11までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、複数の前記供給流路を備え、それぞれの前記供給流路によって接続される前記接続口と前記噴出流路との組合せが互いに独立していることを特徴とする吸引チャック。請求項8から12までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、前記複数のプレートは何れも金属製であり、当該複数のプレートを全て重ねた状態で拡散接合することにより前記本体が構成されることを特徴とする吸引チャック。請求項13に記載の吸引チャックであって、前記複数のプレートは、ステンレス、アルミニウム合金、又はチタン合金から選択された材料で形成されていることを特徴とする吸引チャック。請求項13又は14に記載の吸引チャックであって、前記複数のプレートは、全て同一の金属材料で形成されていることを特徴とする吸引チャック。請求項13から15までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、前記凹部及び前記噴出流路のうち少なくとも何れかはエッチングにより形成されることを特徴とする吸引チャック。請求項13から15までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、前記凹部及び前記噴出流路のうち少なくとも何れかは機械加工により形成されることを特徴とする吸引チャック。請求項13から17までの何れか一項に記載の吸引チャックであって、前記接続口及び前記供給溝のうち少なくとも何れかは機械加工により形成されることを特徴とする吸引チャック。請求項1から18までの何れか一項に記載の吸引チャックと、前記吸引チャックに対する前記圧縮気体の供給源である圧縮気体源と、を備えるワークの移載装置であって、前記対向面の中央部に位置する凹部からの前記圧縮気体の噴出し量は、前記対向面の端部に位置する凹部からの前記圧縮気体の噴出し量よりも大きいことを特徴とするワークの移載装置。請求項1から18までの何れか一項に記載の吸引チャックと、前記吸引チャックに対する前記圧縮気体の供給源である圧縮気体源と、を備え、前記ワークが複数枚積み重ねられたワーク束から最上層の1枚を分離して前記吸引チャックに保持するワークの移載装置であって、前記吸引チャックに配置される複数の前記凹部のうち、前記対向面の端部に位置する凹部に前記圧縮気体を供給し、その後に、前記対向面の中央部に位置する凹部に前記圧縮気体を供給することにより、前記ワーク束の最上層に位置する前記ワークを保持することを特徴とするワークの移載装置。請求項20に記載のワークの移載装置であって、前記ワーク束の側面に向けて圧縮気体を吹き付ける吹付け装置を備えることを特徴とするワークの移載装置。請求項19から21までの何れか一項に記載のワークの移載装置であって、前記吸引チャックにより保持したワークを移動させるためのパラレルメカニズムを備えることを特徴とするワークの移載装置。請求項19から21までの何れか一項に記載のワークの移載装置であって、前記吸引チャックにより保持したワークを移動させるためのスカラアームを備えることを特徴とするワークの移載装置。本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主な目的は、軽量であるとともに、吸付け時と解放時において薄板ワークがチャックのエッジに接触しない吸引チャックを提供することにある。次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る移載装置としての移載ロボット1を示す斜視図である。図2は、移載ロボット1が備えるワーク供給装置5を示す斜視図である。本実施形態の移載ロボット移載装置1は、図1に示すように、吸引チャックベルヌーイチャック10を装着したパラレルメカニズム2を備える。このパラレルメカニズム2は、ベース部材101と、支持部材103と、電動モータ104と、アーム支持部材105と、アーム本体106と、エンドプレート114と、を主要な構成として備えている。また、移載ロボット1は、図2に示すように、移載の対象となる平板状のワーク90をパラレルメカニズム2に対して供給することが可能なワーク供給装置5を備える。なお、図2においては、部材の位置関係を分かり易く示すために、パラレルメカニズム2から取り外された状態の吸引チャック10が図示されている。本実施形態の移載ロボット1が取り扱うワーク90としては、薄い平板状に形成されたものを想定している。ワーク90の例としては、太陽電池ウエハ、燃料電池のセル、二次電池の電極、セパレータ、シリコンウエハ等を挙げることができるが、これらに限られない。図1に示す前記パラレルメカニズム2は、ベース部材101を基準とする所定の作業領域内で、当該ベース部材101の下方に配置された出力部材としてのエンドプレート114を移動させることができる。前記吸引チャック10は、圧縮空気圧縮気体を供給することでワーク90を吸い付けて非接触で保持することが可能な装置であり、前記エンドプレート114に対して回転可能に取り付けられている。ベース部材101は、パラレルメカニズム2を支持するための部材であり、平面視においてエンドプレート114の移動範囲のほぼ中央に配置されている。また、このベース部材101には水平な取付面102が形成されている。移載ロボット1が備える図示しないフレームには、水平な被取付面P1が形成されている。この構成で、ベース部材101を被取付面P1に対して上記取付面102を介して固定することで、パラレルメカニズム2を吊下げ状に設置できるようになっている。支持部材103は、ベース部材101の下面側に3つ固定されている。これらの支持部材103は、ベース部材101の平面視での中央部を中心として、周方向で等間隔となるように3つ並べて取り付けられている。この支持部材103には、減速機付きの電動モータ104がそれぞれ支持されている。これらの電動モータ104は、出力軸即ち、減速機の出力軸の軸線C1が水平となるように配置される。また、パラレルメカニズム2が有する3つの電動モータ104の前記軸線C1は、平面視においてベース部材101の中央部を中心とする正3角形をなすように配置される。それぞれの電動モータ104の出力軸には、アーム支持部材105が固定されている。このアーム支持部材105は、電動モータ104の出力軸と軸線を一致させるように配置されており、電動モータ104が駆動されることにより軸線C1を中心として回転する。アーム支持部材105には、屈曲可能なアーム本体106がそれぞれ固定される。このアーム本体106は、第1アーム107及び第2アーム108を備えている。第1アーム107は、細長い部材として構成されており、その長手方向一端がアーム支持部材105に固定されている。第1アーム107は、その長手方向がアーム支持部材105の軸線電動モータ104の軸線C1と互いに直交するように、かつ、前記アーム支持部材105との接続部分から平面視で外側に延びるように配置される。第2アーム108は、互いに平行に配置された1対の細長いロッド109を備える。第2アーム108の一端即ち、それぞれの前記ロッド109の一端は、第1アーム107の端部に支持されている。第2アーム108を構成する1対のロッド109のそれぞれは、第1アーム107とボールジョイント110を介して連結されているので、任意の方向に回転することができる。1対のボールジョイント110同士を結ぶ線アーム本体106の曲げ伸ばしの基準となる軸線C2は、電動モータ104の軸線C1に対して平行となるように配置されている。なお、第1アーム107及び第2アーム108としては、例えば炭素繊維強化プラスチックにより中空の円筒状に構成されたものを使用することができる。第2アーム108の一端において、1対のロッド109同士が連結部材111によって互いに連結されており、他端においても同様に、1対のロッド109同士が連結部材112によって互いに連結されている。これらの連結部材111,112は、図示しないが例えばバネ等の付勢部材を備えており、1対のロッド109同士を互いに引き合うように付勢する。これらの連結部材111,112は、それぞれのロッド109が、当該ロッド109が中心軸を中心に回転することを防止している。エンドプレート114は平面視で略正3角形状となるような平板状の部材であり、吸引チャック10を回転可能に取り付けることができる。このエンドプレート114は、3つのアーム本体106の先端に取り付けられており、当該エンドプレート114の下面が水平となるような姿勢で保持される。3角形状のエンドプレート114は、その3つの辺の部分が、3本の第2アーム1083対のロッド109のそれぞれの端部に対してボールジョイント116を介して連結されている。第2アーム108を構成する1対のロッド109は長さが等しいので、1対のボールジョイント116を結ぶ軸線C3は、常に、対応するアーム本体106における前記軸線C2と平行である。従って、アーム本体106の先端側の軸線C3は、電動モータ104の軸線C1に対しても平行となっている。これは、3角形状のエンドプレート114が有する3辺が、対応する電動モータ104の軸線C1に対して常に平行であることを意味する。従って、3つの第1アーム107のそれぞれが軸線C1を中心にどのように回動したとしても、エンドプレート114は、その下面吸引チャック10を取り付ける面が水平である姿勢を常に維持することができる。平面視における前記ベース部材101の中央部には、減速機付きの電動モータ121が固定されている。電動モータ121の出力軸即ち、減速機の出力軸は鉛直下方に向けられており、この出力軸の下端には、上下方向に配置された旋回軸ロッド120の上端がユニバーサルジョイント122を介して連結されている。エンドプレート114の中心部には、旋回出力軸117が回転可能に支持されている。この旋回出力軸117の回転軸線は、エンドプレート114に対して垂直に配置される。また、旋回軸ロッド120の下端は、前記旋回出力軸117に対してユニバーサルジョイント123を介して連結されている。この旋回軸ロッド120は図示しないスプライン機構を備えており、エンドプレート114の移動に応じて伸縮が可能である一方で、電動モータ121の回転を旋回出力軸117に伝達することができる。従って、電動モータ121の駆動により、エンドプレート114に対して吸引チャック10を回転させることができる。次に、吸引チャック10の詳細な構成を説明する。図3は、吸引チャック10を上側から見た斜視図である。図4は、吸引チャック10を構成する4枚のプレート25~28を示す、下側から見た分解斜視図である。図5は、吸引チャック10の本体11内部に形成される圧縮空気の流路を示す模式断面図である。図6は、吸引チャック10の本体11内部に形成される圧縮空気の流路を示す拡大斜視図である。図7aは吸引チャックの底面図、図7bは吸引チャックの側面図である。図8は、吸引チャック10の凹部41から噴出する旋回流の向きを示す拡大底面図である。図2及び図3に示すように、吸引チャック10は平板状の本体11を備えており、この本体11は、複数のプレートが積み重ねられた状態で接合されたプレート積層体12から構成されている。このプレート積層体12は、ワーク90に近い側下側から順に、表面プレート第1プレート25と、ノズルプレート中間プレート26と、接続プレート第3プレート27と、分配プレート第2プレート28と、を備えている。前記本体11プレート積層体12の上面には、取付軸13が固定されている。この取付軸13を前記旋回出力軸117に連結することで、吸引チャック10をパラレルメカニズム2に装着することができる。図4に示すように、表面プレート25の下面には、ワーク90に直接対向することが可能な対向面31が形成されている。この対向面31は、本体11の厚み方向に垂直な矩形状直角4辺形状の平坦な面として構成されている。また、表面プレート25には、旋回流を噴出するための円形孔開口孔32が、厚み方向に貫通するように形成されている。ノズルプレート26には、図4から図6までに示すように、表面プレート25の円形孔32と位置及び大きさが一致する円形孔33と、この円形孔33の接線方向に形成される細長い直線状のスリット34と、スリット34に圧縮空気を供給するための円形の流入孔35と、が何れも厚み方向に貫通するように形成されている。図6等に示すように、スリット34及び流入孔35は、1つの円形孔33に対して2つ設けられている。スリット34の長手方向一端は円形孔33に接続される一方で、他端は流入孔35に接続されている。接続プレート27には、円形の小さい接続孔36が、厚み方向に貫通するように形成されている。この接続孔36は、前記ノズルプレート26に形成された流入孔35と対応する位置に配置されている。分配プレート28には、図3に示すように、前記表面プレート25と反対側を向く面対向面31と反対側を向く面において、円形の接続口37が複数開口されている。この接続口37には、継手部材71、配管72、及び図示しない電磁バルブを介して、適宜の圧縮空気源例えば、コンプレッサが接続されている。また、分配プレート28には、図4に示すように、前記表面プレート25側の面対向面31側の面において、分配溝供給溝38が複数形成されている。なお、圧縮空気源は、搬送されるワーク90の種類等に応じて他の圧縮気体源に適宜変更することができ、例えば液化窒素タンク等で代替することができる。また、表面プレート25、ノズルプレート26、接続プレート27、及び分配プレート28には、それぞれ排出孔39が貫通状に形成されている。これらの排出孔39は、互いに位置を対応させるように配置されている。以上の構成で、4枚のプレート25~28を積層することにより、表面プレート25の円形孔32とノズルプレート26の円形孔33とが合わさるとともに、ノズルプレート26の円形孔33の一側が接続プレート27によって閉鎖される結果、前記対向面31に開口する円形の凹部41が形成される図6を参照。また、分配溝38の開放部分が接続プレート27によって閉鎖されるので、当該分配溝38の部分に、接続口37と接続孔36とを接続する分配流路供給流路43が形成される。更に、ノズルプレート26に形成されたスリット34の厚み方向一側は表面プレート25によって閉鎖され、厚み方向他側は接続プレート27によって閉鎖されるので、当該スリット34の部分には、圧縮空気を凹部41内に噴射するためのノズル流路噴出流路44が形成されることになる。このノズル流路44は、表面プレート25と分配プレート28の間対向面31と分配プレート28の間の位置に配置されるとともに、本体11が有する対向面31に平行となるように配置される。以上により、凹部41は、分配プレート28に形成された接続口37に対し、分配流路43分配溝38、接続孔36、流入孔35、及びノズル流路44スリット34を介して接続される。また、4枚のプレート25~28の排出孔39が合わさることにより、図5に示すように、プレート積層体12の全体を厚み方向に貫通する抜き孔42が形成される。この抜き孔42は、前記凹部41から下方へ噴出した空気を上方へ逃がすために用いられる。これら4枚のプレート25~28の材料としては、コスト等の観点から、金属を用いることが好ましい。プレート25~28の材料の具体例としては、ステンレス、アルミニウム合金、又はチタン合金から選択されたものを挙げることができる。そして、4枚のプレート25~28を全て重ねた状態で拡散接合することにより、プレート積層体12本体11が構成され、この内部に圧縮空気の流路が構成される。歪みが小さく寸法精度が良好な吸引チャック10を提供するためには、4枚のプレート25~28の材料としては、全て同一のものを用いることが好ましい。これは、仮に異種金属を拡散接合する場合、接合後の残留歪みにより、たわみ等の変形が発生するおそれがあるためである。本実施形態では、4枚のプレート25~28の材料として、何れもステンレスを用いている。なお、4枚のプレート25~28に形成される円形孔32、円形孔33、スリット34、流入孔35、接続孔36、接続口37、分配溝38、排出孔39については、例えばエッチングにより形成しても良いし、打抜き及びドリル等の機械加工で形成しても良い。このように、流路の加工方法としては、品質やコスト等を考慮して、所望の形状を製作するのに適したものを適宜選択することができる。上記の構成の本体11において、ワーク束91の最上層のワーク90に対して対向面31を近づけた状態で接続口37に圧縮空気を供給すると、円筒状の凹部41の内壁に沿う向きにノズル流路44スリット34から空気が噴射される。噴射された空気は、円形の凹部41の内壁面に沿って旋回しながら進み、凹部41の開口端から排出される。対向面31とワーク90との間の空間に噴出された空気流は、図5に示すように、抜き孔42を通じて上方に排出される。これにより、凹部41の内壁面に沿って進む空気流が前記対向面31へ排出される際に流速が増大するので、凹部41の内部圧力が低下する。このとき形成される負圧で発生するワーク90に対する吸引力と、凹部41より排出される空気層の存在と、により、ワーク90が吸引チャック10に対して非接触で保持される。このように、凹部41は、吸引チャック10における吸引要素として作用する。図7aに示すように、吸引チャック10の本体11が備える対向面31は、矩形直角4辺形、もっと言えば正方形の輪郭を有している。この対向面31の形状は、移載の対象であるワーク90図7の鎖線と相似となっている。また、対向面31と垂直な方向で見たときに、当該対向面31はワーク90より若干大きく形成してあり、この結果、対向面31はワーク90の形状を完全に包含することができるようになっている。言い換えれば、対向面31は、ワーク90から外側へ所定距離だけオフセットした形状となっている。これにより、ワーク90の損傷を効果的に防止することができる。即ち、ワーク90を吸引チャック10に非接触状態で保持してエンドプレート114とともに移動させる場合、例えばワーク90に慣性が作用する等の事情によって、当該ワーク90が吸引チャック10の対向面31に接触してしまう可能性も考えられる。しかしながら、本実施形態ではワーク90よりも対向面31が大きく構成されているので、ワーク90が対向面31の平坦な部分に接触することはあっても、対向面31の外縁の部分尖ったエッジの部分に接触して傷付くことを防止できるのである。本実施形態では、前記凹部41は、縦方向及び横方向即ち、対向面31の輪郭である直角4辺形の各辺に平行な向きに等間隔で規則的に並べて対向面31に配置されている。そして、対向面31に配置されている全ての凹部41は、ワーク90の形状に包含され得る領域に即ち、図7aの鎖線で示されるワーク90の形状の内側に配置されている。これにより、凹部41による吸引力と反発力とをワーク90に対して効率的に働かせ、当該ワーク90を強い力で安定して非接触で保持することができる。また、対向面31に形成された凹部41によって吸引作用を行うため、吸引チャック10の軽量化及びコンパクト化が容易である。更に、万一、ワーク90が対向面31と接触した場合でも、ワーク90の周縁部と凹部41の開口部周縁とが接触することを防止できる。前記抜き孔42は、凹部41に対して図7aの縦方向で隣り合うように、凹部41と凹部41の間に配置されている。このように抜き孔42が凹部41の周囲に配置されることにより、吸引チャック10とワーク90との間に前記凹部41から噴出された空気を抜き孔42経由でスムーズに抜くことができ、安定した吸引力を実現することができる。更に、全ての抜き孔42は、ワーク90の形状に包含され得る領域に配置されている。従って、凹部41と同様に、ワーク90の周縁部が抜き孔42の開口部周縁と接触することを防止できる。図8は、吸引チャック10を底面側から見た様子を一部拡大して示したものである。前述したように、それぞれの凹部41は円形の内壁を有しており、この内壁に接線方向で接続するように、ノズル流路44前述のスリット34が形成される。ノズル流路44は1つの凹部41につき2本形成されており、それぞれのノズル流路44の端部は、互いに位相を180°異ならせるようにして凹部41の内壁に開口する。このように、複数のノズル流路44から1つの凹部41に対して同時に空気を噴出することで、安定した旋回流を凹部41内に形成することができる。そして、本実施形態では、対向面31において互いに隣り合って開口される2つの凹部41を比較したときに、ノズル流路44が凹部41に接続する向きが互いに逆となるように構成されている。具体的に説明すると、図8の左上隅に配置される凹部41においては、ノズル流路44は、凹部41内で時計回りの旋回流を形成できるように当該凹部41に接続している。一方、その右又は下で隣り合う凹部41においては、ノズル流路44は、凹部41内で反時計回りの旋回流を形成できるように当該凹部41に接続している。このように、本実施形態の吸引チャック10では、形成する旋回流の向きが逆になる凹部41を交互に並べて配置しているので、互いの流れを妨げにくい構成が実現されるとともに、吸引力のムラを低減することができる。また、各旋回流は、ワーク90を水平面内で回転させようとする力を発生させるが、時計回りと反時計回りの旋回流となる凹部41を同数配置することで、この力を互いに打ち消し合うように作用させることができる。これにより、ワーク90の不要な回転を防止できる。ところで、前記分配溝38図4により構成される分配流路43は、対向面31を2×4に分割した領域のそれぞれに対応するように、計8つ形成されている。それぞれの分配流路43は、1つの接続口37と、当該領域に開口する8個の凹部41への接続孔36計16個と、を接続している。そして、本実施形態では、ワーク90を保持する際には、全ての接続口37に同時に圧縮空気を供給するのではなく、対向面31の一端側にある接続口37に先ず圧縮空気を供給し、それから中央側の接続口37に圧縮空気を供給するように構成されている。このような吸引の時間差は、前記電磁バルブを用いて、それぞれの接続口37に圧縮空気を供給するタイミングを適宜制御することにより実現することができる。以下、この効果について説明する。図9は、全ての接続口37に同時に圧縮空気を供給した場合を示す側面図である。この図9に示すように、一度にワーク90の全面を吸引して引き上げようとすると、積層されているワーク90とワーク90の間が負圧になり易いため、下側のワーク90もつられて持ち上がり、吸着に対する抵抗が生じたり、ワーク90の位置が乱れたりする原因になる。この点、本実施形態では、接続口37にそれぞれ接続された電磁バルブの開閉を適宜制御することにより、図10に示すように一端側の接続口37に圧縮空気を先ず供給し、次に隣の接続口37に圧縮空気を供給し、というように、時間差を設けながら圧縮空気の供給を行っている。このように吸引に時間差を設けることにより、ワーク90を端部からめくり上げるようにして保持することができるので、下側のワーク90がつられて持ち上がることを防止でき、スムーズな移載作業を実現できる。図11は、ワーク90を吸引する吸付け動作の際に凹部41に圧縮空気を供給する順番を概略的に示す底面図である。図11aは本実施形態図10に相当しており、一側の凹部41、中央側の凹部41、他側の凹部41、というように圧縮空気を順次供給していくものである。一方、図11bに示すように、対向面31の4隅の1つから残りの4隅にかけて圧縮空気を順次供給するようにしても良い。また、対向面31の一端ではなく両端に位置する凹部41に圧縮空気を同時に供給し、それから中央側の凹部41に圧縮空気を供給するようにしても良い。次に、保持されたワーク90の移動を規制するための構成について説明する。図3等に示すように、本体11の縁部には、当該本体11を取り囲むように互いに間隔をあけて配置された複数のガイド部材17が固定されている。ガイド部材17は、矩形に形成された本体11の各辺に2つずつ配置されるとともに、本体11を挟んで対向するように配置されている。また、ガイド部材17は、平板状に形成された本体11の厚み方向に垂直となるように配置され、その下端が本体11の下面対向面31より下方に突出している。これらのガイド部材17は、吸引チャック10に保持されたワーク90が搬送される際に、本体11の下面対向面31に平行な向きにワーク90が相対移動しようとするのを規制する。次に、図2等を参照して、ワーク供給装置5を説明する。このワーク供給装置5は、支持台81と、昇降ステージ82と、リニアアクチュエータ83と、エアノズル吹付け装置84と、を主要な構成として備える。支持台81の上部には、上にカセット92を載せることが可能な昇降ステージ82が支持されている。この昇降ステージ82には、支持台81に取り付けられたリニアアクチュエータ83が連結されている。また、昇降ステージ82には複数のリニアガイド85が取り付けられており、このリニアガイド85の案内によって昇降ステージ82が上下方向にスライド移動可能になっている。この構成で、リニアアクチュエータ83を駆動することにより、昇降ステージ82を昇降させることができる。昇降ステージ82には、積層された状態の複数枚のワーク90を収容するカセット92が、適宜の位置決め機構により位置決めされた状態で載せられている。なお、以下の説明では、このように厚み方向で複数枚積層された状態のワーク90を、特にワーク束91と称することがある。支持台81の側部にはノズル支持部材86が垂直に取り付けられており、このノズル支持部材86の上端部にエアノズル84が取り付けられている。エアノズル84は中空円筒状の筒体87を有しており、この筒体87には複数の吹出し孔88が貫通状に形成されている。この吹出し孔88は、筒体87の軸線方向に沿って、互いに等しい間隔をあけて1列に並べて配置されている。エアノズル84の筒体87は、カセット92とほぼ同じ高さに配置され、かつ、その軸線が水平となるように向けられながら、ノズル支持部材86に支持される。また、筒体87の長手方向端部は、配管89及び図示しない電磁バルブを介して圧縮空気源圧縮気体源に接続されている。この構成で、電磁バルブを開いて筒体87の内部に圧縮空気を供給することにより、吹出し孔88から空気を噴出させて、カセット92内に置かれたワーク束91の側面に空気を吹き付けることができる。なお、エアノズル84の筒体87は、その軸線を中心として回転可能となるように、ノズル支持部材86に支持されている。従って、筒体87を回転させることで、ワーク束91の側面に空気流が良好に作用するように吹出し孔88の向きを調整することができる。この吹出し孔88による空気の吹出しは、吸引チャック10における時間差を持たせた吸引と併用することで、特に優れた効果を発揮する。即ち、図12に示すように、ワーク束91の端部に吹出し孔88から空気流を当てるのと前後して、当該空気流が当てられる側の端部に近い側の凹部41だけに圧縮空気を先ず供給し、その後、吸引領域を反対側の端部に広げるように圧縮空気を凹部41に順次供給するのである。これにより、ワーク90の端部を容易にめくり上げて、当該ワーク90を吸引チャック10に対して円滑に保持することができる。次に、本実施形態の吸引チャック10を用いた実験について説明する。この実験は、様々な構成の吸引チャックについて、供給した圧縮空気の流量と吸引力の関係を調べたものである。本実験では、吸引チャックとして、図7に示す本実施形態の吸引チャック10と、抜き孔42が形成されない吸引チャックと、参考例の吸引チャックと、の3種類を用意した。参考例の吸引チャックは、正方形の対向面を有する本体に、前述の特許文献1で開示されるような円筒状の大きなベルヌーイ要素を2×2の4つ並べて配置したものである。参考例の吸引チャックは、本実施形態の吸引チャックとほぼ同じ大きさである。図13には、上記の実験結果が示されている。このグラフに示すように、本実施形態の吸引チャック10は、参考例の吸引チャックを下回るものの、十分に大きな吸引力を発揮し得ることが確かめられた。また、抜き孔42を形成しない吸引チャックよりも、抜き孔42を形成した吸引チャック10の方が、より強い吸引力を得られることが分かった。次の実験では、本実施形態の吸引チャック10抜き孔42を形成したものと、参考例の吸引チャックとで、ワーク90を保持した場合の当該ワーク90の変形量及び振動加速度を調べた。具体的には、XYステージの上方に吸引チャックを配置し、当該吸引チャックに実際にワーク90を保持させた上で、XYステージに取り付けたレーザ距離計でワーク90を下側から測定した。この測定は、吸引チャックが有する対向面の対角線方向にレーザ距離計をXYステージで移動させながら、数箇所で行った。また、本実施形態の吸引チャック10と参考例の吸引チャックとで吸引力がほぼ同じとなるように、各吸引チャックに供給する圧縮空気の流量を調整した。図14には、ワーク90の変形量の測定結果が、吸引チャック対向面の中心部を基準とした相対変位で示されている。このように、参考例の吸引チャックよりも本実施形態の吸引チャック10の方が、ワーク90の変形を抑えて保持できていることが分かる。ただし、図14に示すように、本実施形態の吸引チャック10では、保持されたワーク90の中央部が若干下に凸となるように変形する傾向を示している。これを是正するためには、対向面31における中央部分の凹部41に対し、端部の凹部41よりも若干多い流量の圧縮空気を供給して、中央側の吸引力を強めれば良い。これにより、ワーク90の中央部が下に凸となる現象は軽減され、より水平かつ平坦な形状でワーク90を保持できるものと考えられる。また、図15には振動加速度の測定結果が示されており、本実施形態の吸引チャック10は、参考例のチャックよりもワーク90の振動ビビリを極めて良好に抑制できていることが分かる。このようにワーク90の変形と振動を抑制することにより、ワーク90と対向面31とが接触する可能性が極めて低くなり、非接触性が格段に向上している。以上に説明したように、本実施形態において薄い平板状のワーク90を吸引して非接触状態で保持する吸引チャック10は、平板状の本体11と、対向面31と、を備える。本体11の内部には、圧縮空気の流路が形成される。対向面31は、ワーク90と対向する側に本体11が備える面であって、圧縮空気を噴出することで負圧を生じさせる吸引要素としての凹部41が複数形成される。対向面31と垂直な方向で見たときに、当該対向面31は、ワーク90の形状を完全に包含し得るように、ワーク90と相似形状若しくは、ワーク90の形状を外側にオフセットした形状に構成される。対向面31と垂直な方向で見たときに、全ての凹部41はワーク90の形状に包含され得るように配置される。これにより、ワーク90が対向面31の縁に当たって破損することを良好に防止できる。また、凹部41による吸引作用を効率的に働かせ、ワーク90を安定的に保持することができる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、対向面31と垂直な方向で見たときに、当該対向面31の形状及びワーク90の形状が直角4辺形となっている。これにより、広く用いられる形状である直角4辺形のワーク90を、破損させずにスムーズに保持することができる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、凹部41の周囲において、当該凹部41から噴出された圧縮空気を排気するための抜き孔42が対向面31に開口されている。対向面31と垂直な方向で見たときに、全ての抜き孔42はワーク90の形状に包含され得るように配置される。これにより、凹部41による吸引作用を効率よく発揮させることができる。また、より少ない流量で同等の吸引力を実現できるので、流量を抑えなければならないクリーンルーム環境での運用にも好適である。更に、ワーク90が抜き孔42の開口の縁に当たって破損することを良好に防止できる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、対向面31と垂直な方向で見たときに、複数個の凹部41は、対向面31の形状が有する辺に平行となるように整列して並べられている。これにより、ワーク90に対して凹部41の吸引作用をムラなく働かせることができるので、ワーク90の安定した保持を実現できる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、凹部41は円筒状に形成される。また、本体11は、凹部41の内壁に沿う向きに圧縮空気を噴出させるノズル流路44を備える。これにより、簡単な構成で、凹部41の内部に良好な旋回流を形成することができる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、ノズル流路44は、対向面31に平行な向きに形成されている。これにより、流路構造の簡素化及びコンパクト化を実現できる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、ノズル流路44は、1つの凹部41に対して2本形成されている。これにより、凹部41において、強力で安定した旋回流を形成することができる。また、本実施形態の吸引チャック10の本体11は、対向面31が形成された表面プレート25と、圧縮空気の供給源である圧縮空気源に接続される分配プレート28と、を含む4枚のプレート25~28を厚み方向に接合して構成される。表面プレート25には、凹部41の一部をなす円形孔32が対向面31に開口される。ノズル流路44は、対向面31と分配プレート28との間の位置に配置される。分配プレート28には、圧縮空気源に対する接続口37が表面プレート25と反対側に配置されるとともに、接続口37に導入された圧縮空気をノズル流路44へ導くための分配流路を構成する分配溝38が表面プレート25側を向く面に形成される。これにより、簡素な構成の流路構造を実現することができる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、表面プレート25と分配プレート28との間にノズルプレート26が配置される。ノズルプレート26には、ノズル流路44を構成するスリット34が厚み方向に貫通するように形成されている。これにより、簡素な構成でノズル流路44を形成することができる。また、本実施形態の吸引チャック10においては、表面プレート25と分配プレート28の間に接続プレート27が配置される。接続プレート27には、ノズル流路44と分配溝38とを接続するための接続孔36が形成される。接続プレート27の厚み方向一側の面は、ノズル流路44の内壁の一部を構成する。接続プレート27の厚み方向他側の面が、分配溝38の開放側を閉鎖することで、分配流路43が構成される。これにより、簡素な構成で圧縮空気の流路を形成することができる。また、本実施形態の吸引チャック10は、複数のノズル流路44と接続される分配流路43を8つ有する。これにより、分配流路43から複数のノズル流路44に圧縮空気を供給できるので、圧縮空気源から接続口37までの流路の単純化を図ることができる。また、本実施形態の吸引チャック10は、複数の分配流路43を備える。それぞれの分配流路43によって接続される接続口37とノズル流路44との組合せが互いに独立している。これにより、圧縮空気を供給する接続口37を変更することで、どこの凹部41に吸引作用を生じさせるかを簡単に制御することができる。また、本実施形態の吸引チャック10において、複数のプレート25~28は何れも金属製であり、当該複数のプレート25~28を全て重ねた状態で拡散接合することにより本体11が構成されている。これにより、簡単な工程で、内部に圧縮空気の流路を形成した本体11を形成することができる。また、本実施形態の吸引チャック10において、複数のプレート25~28は、ステンレス、アルミニウム合金、又はチタン合金から選択された材料で形成されている。これにより、低コストの吸引チャック10を提供できる。また、本実施形態の吸引チャック10において、複数のプレート25~28は、全て同一の金属材料で形成されている。これにより、歪みが小さく、寸法精度の良好な吸引チャックを提供することができる。また、本実施形態の吸引チャック10において、凹部41及びノズル流路44はエッチングにより形成される。これにより、流路構造を容易に作製することができる。ただし、本実施形態の吸引チャック10において、凹部41及びノズル流路44は機械加工により形成することもできる。これにより、加工形状の自由度が高くなるので、複雑な流路構造であっても容易に作製することができる。また、本実施形態の吸引チャック10において、接続口37及び分配溝38は機械加工により形成される。これにより、加工形状の自由度が高くなるので、複雑な流路構造であっても容易に作製することができる。また、本実施形態に開示される移載ロボット1は、吸引チャック10と、圧縮空気源と、を備える。圧縮空気源は、吸引チャック10に対する圧縮空気の供給源である。対向面31の中央部に位置する凹部41からの圧縮空気の噴出し量は、対向面31の端部に位置する凹部41からの圧縮空気の噴出し量よりも大きい。これにより、ワーク90をより平坦に近い形状で保持することができる。また、本実施形態の移載ロボット1は、ワーク90が複数枚積み重ねられたワーク束91から最上層の1枚を分離して吸引チャック10に保持するように構成されている。吸引チャック10に配置される複数の凹部41のうち、対向面31の端部に位置する凹部41に圧縮空気を供給し、その後に、対向面31の中央部に位置する凹部41に圧縮空気を供給することにより、ワーク束91の最上層に位置するワーク90を保持する。これにより、ワーク90を端部からめくり上げるようにして吸引して保持できるので、スムーズな移載作業を実現できる。また、本実施形態の移載ロボット1は、ワーク束91の側面に向けて圧縮空気を吹き付けるエアノズル84を備える。これにより、ワーク束91からのワーク90の分離が容易になり、スムーズな移載作業を実現できる。また、本実施形態の移載ロボット1は、吸引チャック10により保持したワーク90を移動させるためのパラレルメカニズム2を備える。これにより、上記の吸引チャック10の構成による効果をパラレルメカニズム式の移載ロボットに適用することができる。なお、吸引チャック10は、上記のようなパラレルメカニズム2に搭載することもできるが、図16に示すようなスカラアーム式の移載ロボット1xに適用することもできる。図16は、スカラアーム62を有する移載ロボット1xに吸引チャック10を取り付けた変形例を示す平面図である。移載ロボット1xは、ロボット本体61と、スカラアーム62と、を主要な構成として備えている。ロボット本体61には屈曲可能なスカラアーム62の基部が取り付けられており、図示しないモータを駆動することで、スカラアーム62の先端部を、水平を維持したまま、上下左右の任意の位置に移動させることができる。スカラアーム62の先端部の下面には吸引チャック10が装着されており、ワーク90を非接触で保持することができる。そして、吸引チャック10でワーク90を保持した状態でスカラアーム62を駆動することで、ワーク90を適宜の位置に移動することができる。この移載ロボット1xは、吸引チャック10本体を薄型に構成することが可能なため、例えば、ワーク90を複数枚上下方向に離間させて積層状態で収納するようなカセットにおいても、吸引チャック10が取り付けられたスカラアーム62の先端をカセット内に突っ込んで、任意の位置のワーク90を取り出し、収納するようなランダムアクセスが可能となる。以上に示すように、図16に示す移載ロボット1xは、吸引チャック10により保持したワーク90を移動させるためのスカラアーム62を備える。これにより、上記の吸引チャック10の構成による効果をスカラアーム式の移載ロボットに適用することができる。以上に本発明の好適な実施の形態及び変形例を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。上記の実施形態では、ワーク90及び対向面31の形状は正方形であるが、隣り合う辺の長さが異なる直角4辺形であるように構成しても良い。対向面31に形成される凹部41及び抜き孔42の数及び配置についても、ワーク90の重量及び大きさ等に応じて適宜変更することができる。上記の実施形態では2本のノズル流路44スリット34が凹部41に接続する構成であるが、ノズル流路の数は1本でも良いし、3本以上であっても良い。"