各種ミストを捕捉する為のフィルターユニットにおいて、前記フィルターユニットはミストフィルター及び基台を有し、前記ミストフィルターは前記基台に形成された空間部を有する仕切り部に配置されると共に、不織布からなるペレット状のフィルターチップが、通気性を有する袋体に収納されてあることを特徴とするフィルターユニット。請求項1記載の構成よりなるフィルターユニットにおいて、前記フィルターユニットは複数個のミストフィルターを有することを特徴とするフィルターユニット。請求項1又は2に記載の構成よりなるフィルターユニットにおいて、基台は複数の仕切り部を有することを特徴とするフィルターユニット。請求項1から3のいずれか1項に記載の構成よりなるフィルターユニットにおいて、複数の仕切り部に配置された複数個のミストフィルターは、ミストの流入側から流出側に向かって、フィルターチップの集合体の密度が小から大に変化することを特徴とするフィルターユニット。請求項1から4のいずれか1項に記載の構成よりなるフィルターユニットにおいて、フィルターチップは拡動することを特徴とするフィルターユニット。請求項1から5のいずれか1項に記載の構成よりなるフィルターユニットにおいて、袋体は穴部を有することを特徴とするフィルターユニット。請求項1から6のいずれか1項に記載されたフィルターユニットが開口を有する箱体の内部に収納されたことを特徴とするミスト捕集体。請求項1から6のいずれか1項に記載されたフィルターユニット、あるいは請求項7記載のミスト捕集体を有し、制御盤を少なくとも搭載した真空ポンプユニット。特許文献1のオイルミスト除去フィルターは、マクロ細孔とナノ細孔という異なる大きさの細孔を有することから、効果的にオイルミストを捕捉することができる。しかしながら、細孔からなる構成であることから、目詰まりを発生しやすく、オイルミストの捕捉面積も小さく、目詰まりによりオイルミストの捕捉持続性が短いという問題があった。特許文献2のオイルミストトラップは、オイルミストトラップ本体に設置されたフィルターは筒状に形成されていることから、平板状のフィルターに比べてオイルミストの捕捉面積は広く、オイルミストを捕捉する効率性はよい。しかしながら、フィルターは本体に固定されている為、フィルターの目詰まりによる圧力損失の発生が早いという課題があった。特許文献3のミスト捕集装置は、ミスト捕集装置に設置された回転式フィルターは多数の襞がジグザグ状に連続して形成された不織布からなることから、平板状や筒状の形態に比べてオイルミストの捕捉面積が広く、捕捉性能は良好である。しかしながら、捕捉面積が広いことから、オイルミストの捕捉持続性も長いが、襞の表面をフィルターとして使用する為、目詰まりが発生し、満足のいく耐用期間ではなかった。特許文献4の浴水の浄化装置は、浄化装置に設置された浄化用フィルターが複数個のチップ状のスポンジフィルターからなる。チップ状であることから、捕捉面積は広く、しかも複数個あるので、浴水中の有機物の捕捉性能は良好である。また、押圧板により浄化用フィルターに圧力をかけ、スポンジの表面や内部に捕捉された有機物を外部に排出するので、浄化用フィルターの目詰まりを回避することができる。しかしながら、スポンジ材は外部から繰り返し圧力を付加されると、多孔質な気泡が破壊され、耐用期間が短いという課題を有していた。本発明は、上記従来の課題を解決するもので、ミストの捕捉性能が高く、耐用性に優れたフィルターユニット、及びそのフィルターユニットを収納したミスト捕集体、及びそのフィルターユニット、あるいはミスト捕集体を搭載した真空ポンプユニットを提供することを目的としている。前記従来の課題を解決する為に、請求項1の発明のフィルターユニットは、各種ミストを捕捉する為のフィルターユニットにおいて、前記フィルターユニットはミストフィルター及び基台を有し、前記ミストフィルターは前記基台に形成された空間部を有する仕切り部に配置されると共に、不織布からなるペレット状のフィルターチップが、通気性を有する袋体に収納されてあるもので、ミストフィルターは複数のペレット状のフィルターチップが袋体に収納されている。その為、ミストフィルターは、平板状、筒状、襞状等の形態に比べて、ミストの捕捉面積を広く確保できることから、フィルターユニットは高いミスト捕捉性能を発揮することができる。また、フィルターチップは不織布からなるので、スポンジ等に比べて、耐摩耗性が良好で、優れた耐久性を有する。また、ミストフィルターは基台に形成された空間部を有する仕切り部に配置されてある為、ミストフィルターでオイル等が捕捉された後のエアーの流れを妨げることなく、効率的にミストを捕捉できる。請求項2の発明のフィルターユニットは、特に、請求項1のフィルターユニットにおいて、前記フィルターユニットは複数個のミストフィルターを有するもので、例えば、1箇所の仕切り部に複数個のミストフィルターを重ね合わせて配置することにより、迅速にミストを捕捉したり、複数箇所の仕切り部に1個ずつミストフィルターを配置することにより、ミストフィルター間にエアーの通路を作ることができ、効率的にミストを捕捉することができる。また、ミストフィルターを形成するフィルターチップの数量を増減させることによりミストフィルターの密度を変えたり、フィルターチップの大きさ、材質を変えたりすることにより、ミストの種類や粘度等に応じて、迅速、且つ確実にミストを捕捉できる。請求項3の発明のフィルターユニットは、特に、請求項1から2のフィルターユニットにおいて、基台は複数の仕切り部を有するもので、複数の仕切り部にミストフィルターを配置でき、複数のミストフィルター間に空間部を形成できる為、エアーの通路を形成でき、一段と効率的にミストを捕捉することができる。また、ミストフィルターを形成するフィルターチップの数量を増減させることによりミストフィルターの密度を変えたり、フィルターチップの大きさ、材質を変えたりすることにより、ミストの種類や粘度、流速等に応じて、効率よく確実にミストを捕捉できる。請求項4の発明のフィルターユニットは、特に、請求項1から3のフィルターユニットにおいて、複数の仕切り部に配置された複数個のミストフィルターは、ミストの流入側から流出側に向かって、フィルターチップの集合体の密度が小から大に変化するもので、ミストは流入側から流出側に向かって、フィルターユニットを通過する。その際、ミストは複数のミストフィルターに順に当たり、抵抗が加えられるので、ミストの流速は流出側に向かうに従って遅くなる。そして、フィルターチップの集合体の密度は流出側ほど大きくなる。すなわち、フィルターユニットの密度は、ミストの流入側から流出側に向かって小から大に変化させている為、ミストは流出側に向かうに従って流速が遅くなると共に、ミストを捕捉するフィルターチップの集合体の密度は大きくなるので、フィルターユニットのミストの捕捉性能は大幅に向上する。請求項5の発明のフィルターユニットは、特に、請求項1から4のフィルターユニットにおいて、フィルターチップは拡動するもので、フィルターチップはミストの流速に伴い、袋体の中で四方に拡散する。本発明では、フィルターチップが袋体の中で四散することを拡動と定義する。ミストはフィルターチップに当たりながら、捕捉される。また、捕捉されなかったミストは徐々に流速が遅くなり、基台の底部に衝突し、次に逆流してフィルターユニットを通過する。その際、ミストは袋体の中を四方に拡散したフィルターチップに当たり、捕捉される。従って、ミストはフィルターチップがフィルターユニットの中で流動的に略往復運動することにより捕捉されるので、フィルターユニットのミストの捕捉性能は飛躍的に向上する。請求項6の発明のフィルターユニットは、特に、請求項1から5のフィルターユニットにおいて、袋体は穴部を有するもので、袋体に形成された穴部には、ミストの排気口となる管、パイプ等の端部を挿入することができる。その為、排気口から確実にミストをフィルターユニットの中に導入することができ、排気口からミストが周囲に拡散することを防ぐことができる。請求項7の発明のミスト捕集体は、請求項1から6のいずれか1項に記載されたフィルターユニットが開口を有する箱体の内部に収納されたもので、ミストが周囲に四散することが防止され、周辺の環境の汚染を確実に防ぐことができる。請求項8の発明の真空ポンプユニットは、請求項1から6のいずれか1項に記載されたフィルターユニット、あるいは請求項7記載のミスト捕集体を有し、制御盤を少なくとも搭載したもので、ミストの捕捉性能が高く、耐用性に優れたフィルターユニット、あるいはミスト捕集体が搭載されていることから、長期間に亘り、周辺の作業環境の汚染が防止できる真空ポンプユニットを提供できる。請求項1の発明のミストフィルターは、高いミストの捕捉性能、及び優れた耐久性を発揮することができる。請求項2の発明のミストフィルターは、1箇所の仕切り部に複数個のミストフィルターを配置したり、複数箇所の仕切り部に1個ずつのミストフィルターを配置できるので、効率的にミストを捕捉することができる。請求項3の発明のミストフィルターは、複数の仕切り部にミストフィルターを配置できるので、複数のミストフィルター間に空間部を形成できる為、一段と効率的にミストを捕捉することができる。請求項4の発明のミストフィルターは、流速等に応じて適切なミストの捕捉できる為、ミストの捕捉性能が大幅に向上する。請求項5の発明のミストフィルターは、ミストフィルター内でフィルターチップが略往復運動する為、ミストの捕捉性能が飛躍的に向上する。請求項6の発明のミストフィルターは、排気口から確実にミストをフィルターユニットの中に導入できる為、周辺の環境汚染を防ぐことができる。請求項7の発明のミスト捕集体は、フィルターユニットが箱体に収納されている為、周辺の環境汚染を確実に防ぐことができる。請求項8の発明の真空ポンプユニットは、ミストの排気口にフィルターユニット、あるいはミスト捕集体が搭載されている為、長期間に亘り、周辺の作業環境の汚染を防止することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。図1から図5を用いて、実施例1のフィルターユニット、及びミスト捕集体について説明する。図1において、ミスト捕集体20は開口を有する箱体7の内部に、フィルターユニット1が収納されている。箱体7は、鉄、SUS、アルミニウム等の金属材料、あるいはポリプロピレン、MCナイロン等の樹脂材料からなる。フィルターユニット1は、基台3に設けられた図4に記載の3段の仕切り部5に形成された仕切り棒19の上に、3個のミストフィルター2が配置されている。図2、図3a、及び図3cにおいて、ミストフィルター2は通気性を有するメッシュ状の袋体11の中に、複数個のペレット状の不織布13からなるフィルターチップ10が収納され、ジッパーからなる接合部12により袋とじされ、形成されている。ミストフィルター2は、基台3に設けられた3段の仕切り部5に、それぞれ配置されているが、フィルターチップ10の集合体の密度は、上段の仕切り部5に配置されたミストフィルター2が最も小さく、次に中段の仕切り部5に配置されたミストフィルター2が上段のミストフィルター2より大きく、下段の仕切り部5に配置されたミストフィルター5が最も大きい。すなわち、図1、及び図4に示すように、排気口9からミストが矢印の如くミスト捕集体20の中を流れると、排気口9からのミストの流入側となる上段の仕切り部5に形成された仕切り棒19の上に位置するミストフィルター2が最も密度が小さく、次に中段の仕切り部5に位置するミストフィルター2の密度が上段のミストフィルター2より大きく、ミストの流出側となる下段の仕切り部5に位置するミストフィルター2が最も密度が大きいという構成となる。前記の構成とすることにより、ミストの流速に応じて、流速が小になる程、ミストを捕捉するフィルターチップ10の集合体の密度を大にすることで、適切なミストの捕捉ができる。図4において、基台3は3段の仕切り部5の両側に側板6、6が設置されている。仕切り部5は、4本の仕切り棒19が側板6に平行に配置されることにより、空間部4が形成される。基台3は、鉄、SUS、アルミニウム等の金属材料、ポリプロピレン、MCナイロン等の樹脂材料、木材等からなる。なお、基台3に空間部4を形成する方法としては、桟、フック、引っ掛け式金具等を使用する等、目的に応じて、適宜、選択できる。次に、フィルターチップ10を構成する不織布13について説明する。図3a、及び図3bの如く、不織布13は複数本の繊維束14を有する。繊維束14は複数本の極細繊維15からなると共に、隣り合う極細繊維15の間には空隙部16が形成されている。さらに、繊維束14を結合する為に、複数の気泡18を有するポリウレタンからなる基部17が結合剤として用いられ、不織布13は基部17と、空隙部16を有する複数本の繊維束14からなる二重構造体として形成されている。極細繊維15はポリエステル、ナイロン等の合成繊維で、繊度は1デニールd未満である。1dとは9000mで1gとなる繊維のことで、一般的に1d未満の繊維が極細繊維15と呼ばれる。不織布13は、次のように製造される。最初に、複数本の繊維束14を、平板状に集積させて布状体を形成し、前記布状体を複数枚、重ね合わせた後、特殊な針を突き刺して、3次元に絡合させる。前記の製造方法は、一般的には、ニードルパンチングと呼ばれている。また、布状体はウエッブと呼ばれている。得られた布状体を、ポリウレタン溶液中に含浸し、布状体にポリウレタンを充填させる。次いで、ポリウレタンを充填させた布状体を、水中に浸漬させると共に、水中に二酸化炭素を注入し、炭酸発泡させることにより、極微細な気泡18を有する多孔質化されたポリウレタンの基部17、及び空隙部16を有する複数本の繊維束14よりなる平板状のポーラスな二重構造体からなる不織布13が形成される。上記に示した不織布13の製造方法は代表的な例であり、上記以外にも、例えば、熱溶融した合成樹脂を連続的に紡糸して繊維を形成し、繊維を延伸しながら捕集ネット上に集積して熱ロールで加圧することにより繊維を結合して不織布13を形成するスパンボンド法、熱溶融した合成樹脂を紡糸口から吐出する際、高温エアーで紡出し、捕集ネット上で加熱された繊維を結合させて不織布13を形成するメルトブロー法、塩化メチレン、フロン等の低沸点溶剤中に合成樹脂を溶解し、紡糸口から加熱、加圧状態で繊維を紡糸すると同時に、前記低沸点溶剤を揮発させ、繊維を捕集ネット上に集積し、熱ロールで加圧して繊維を結合して不織布13を形成するフラッシュ紡糸法、融点の異なる複数の合成樹脂を溶融して融点の高い方の合成樹脂を紡糸して繊維を形成し、溶融された融点の低い方の合成樹脂をバインダーとして繊維を接着させて不織布13を形成するファイバーボンド法やサーマルボンド法、繊維に高圧水流を噴射することにより繊維を絡合して不織布13を形成する水流絡合法等により製造された不織布13を用いても構わない。平板状の不織布13は鋏、カッター、トムソン型等を用いて、ペレット状のフィルターチップ10に加工される。複数のフィルターチップ10は袋体11の中に所望の密度となるよう収納され、接合部12を閉じることによりミストフィルター2が製作される。ミストフィルター2は、基台3に設けられた仕切り部5に形成された仕切り棒19の上に配置され、フィルターユニット1が形成される。さらに、フィルターユニット1を、開口を有する箱体7の内部に収納し、ミスト捕集体20が構成される。本実施例では、フィルターチップ10の材質として同一の不織布13が用いられているが、3個のミストフィルター2に異なる材質の不織布13が用いられていてもよい。また、1つのミストフィルター2に異なる材質の不織布13が混合されていても構わない。フィルターチップ10の大きさ、ミストフィルター2におけるフィルターチップ10の集合体の密度等は、特に限定されるものではなく、ミストの量やミストに含まれる液体の粘度、濃度、コスト等を勘案し、適宜、決定されるものである。また、箱体7の形状については、上記以外にも、例えば、円筒形、多面角筒形等、適宜、採用される。次に、図1、図4及び図5を用いて、排気口9から排出されたミストを、フィルターユニット1、及びミスト捕集体20が捕捉する仕組みについて説明する。図1の如く、排気口9から排出されたミストは矢印のようにミストフィルター2、空間部4を通過しながら、ミストフィルター2を構成するフィルターチップ10により、捕捉される。箱体7の底部8まで達したミストは、底部8で跳ね返り、フィルターユニット1の端部近傍に沿って、上昇していく。ミストに含まれる水分、油分等の液体は、ミストがミストフィルター2に当たりながら捕捉されるので、流速は徐々に減速すると共に、液体量も徐々に減少し、最後は略気体のみとなり、空気中に排出される。底部8に溜まる液体もある。また、特に図示しないが、箱体7の底部8近傍の外周にドレン等のコックを取り付け、外部に液体を排出する構成も採用される。基台3を構成する上段の仕切り部5に形成された仕切り棒19の上に配置されたミストフィルター2は、フィルターチップ10の集合体の密度が最も小さい為、図5の如く、ミストの流速により、フィルターチップ10がミストの有する液体を捕捉すると共に、袋体11の端部近傍に四散する。その為、底部8で跳ね返ったミストは、フィルターユニット1の端部近傍を通過することから、上段に位置するミストフィルター2の四方に集まったフィルターチップ10により確実に液体が捕捉され、最後は略気体のみとすることができるのである。フィルターチップ10は、ポーラスな二重構造体からなる不織布13にて形成されている。その為、複数本の極細繊維15からなる繊維束14が有する空隙部16による毛細管現象、及び基部17の有する気泡18にてミストに含まれる液体を、効率よく吸液して捕捉する。上記の如く構成された実施例1のフィルターユニット1、及びミスト捕集体20の動作、作用は下記の通りである。フィルターユニット1はミストフィルター2、及び基台3を有し、ミストフィルター2は基台3に形成された空間部4を有する仕切り部5に形成された仕切り棒19の上に配置されると共に、不織布13からなるペレット状のフィルターチップ10が、通気性を有する袋体11に収納されている。その為、ミストフィルター2は、平板状、筒状、襞状等の形態に比べて、ミストの捕捉面積を広く確保できることから、フィルターユニット2は高いミスト捕捉性能を発揮することができる。フィルターチップ10は、不織布13からなるので、スポンジ等に比べて、耐摩耗性が良好で、優れた耐久性を有する。また、フィルターチップ10は、ポーラスな二重構造体からなる不織布13にて形成されているので、繊維束14が有する空隙部16、及び基部17の有する気泡18にてミストに含まれる液体を、効率よく吸液して捕捉する。フィルターユニット1は、基台3に複数の仕切り部5が形成されていると共に、複数のミストフィルター2が配置されているので、効率的にミストを捕捉することができる。なお、特に図示しないが、1箇所の仕切り部5に、複数のミストフィルター2を配置しても構わない。複数の仕切り部5に配置された複数のミストフィルター2は、ミストの流入側から流出側に向かって、フィルターチップ10の集合体の密度が小から大に変化する。排気口9から排出されたミストは、流入側から流出側に向かって、フィルターユニット1を通過する。その際、ミストは複数のミストフィルター2に順に当たり、抵抗が加えられるので、ミストの流速は流出側に向かうに従って遅くなる。そして、フィルターチップ10の集合体の密度は流出側ほど大きくなる。その為、ミストは流出側に向かうに従って流速が遅くなると共に、ミストを捕捉するフィルターチップ10の集合体の密度は大きくなるので、フィルターユニット1のミストの捕捉性能は大幅に向上する。排気口9から排出されたミストの流速に伴い、フィルターチップ10は拡動し、袋体11の中で四方に拡散する。ミストはフィルターチップ10に当たりながら、捕捉されると共に、捕捉されなかったミストは徐々に流速が遅くなり、箱体7の底部8に衝突し、次に逆流してフィルターユニット1の端部近傍を通過する。その際、ミストは袋体11の中を四方に拡散したフィルターチップ10に当たり、捕捉される。従って、ミストはフィルターユニット1の中で往復運動すると共に、四方に拡動したフィルターチップ10により確実に捕捉されるので、フィルターユニット1のミストの捕捉性能は飛躍的に向上する。フィルターユニット1は、開口を有する箱体7の内部に収納され、ミスト捕集体20として構成されているので、ミストが周囲に四散することが防止され、周辺の環境の汚染を確実に防ぐことができる。図6、及び図7を用いて、実施例2のフィルターユニット、及びミスト捕集体について説明する。なお、実施例1のフィルターユニット、及びミスト捕集体と同一の部材については詳しい説明を省略する。また、基台の構造は、実施例1の基台3と同一の構造である。図6において、ミスト捕集体50は開口を有する箱体27の内部に、フィルターユニット21が収納されている。フィルターユニット21は、基台23に設けられた3段の仕切り部図示せずに形成された仕切り部39の上に、3個のミストフィルター22a、22bが配置されている。基台23は3段の仕切り部図示せずの両側に側板26、26が設置されている。仕切り部図示せずは、4本の仕切り棒39が側板26に平行に配置されることにより、空間部24が形成される。図6、及び図7において、ミストフィルター22aは通気性を有するメッシュ状の袋体31の中に、複数個のペレット状の不織布からなるフィルターチップ30が収納され、ジッパーからなる接合部32により袋とじされ、形成されている。また、略中央部に穴部33が形成されている。穴部33の径は、排気口29の外径と略同一である。また、ミストフィルター22bは、実施例1のミストフィルター2と同一である。ミストフィルター22a、22bは、基台23に設けられた3段の仕切り部図示せずに形成された仕切り棒39の上に、それぞれ配置されているが、上段の仕切り部図示せずに形成された仕切り棒39の上に配置されたミストフィルター22aは、略中央部に形成された穴部33に、排気口29の端部が挿入されている。中段と下段の仕切り部25にはミストフィルター22bが配置される。上記の如く構成された実施例2のフィルターユニット21、及びミスト捕集体50の動作、作用は下記の通りである。ミストフィルター22aを構成する袋体31は穴部33を有するので、袋体31に形成された穴部33には、ミストの排気口29となる管、パイプ等の端部を挿入することができる。その為、排気口29から確実にミストをフィルターユニット21、及びミスト捕集体50の中に導入することができ、排気口29からミストが周囲に拡散することを防ぐことができる。排気口29からフィルターユニット21に排出されたミストは、ミストフィルター22a、22b、空間部24を通過しながら箱体27の底部28に衝突し、フィルターユニット21の端部近傍を通過する往復運動により、フィルターユニット22a、22bを構成する複数のフィルターチップ30に捕捉される。なお、特に図示しないが、穴部33を有するミストフィルター22aを、3段すべての仕切り部図示せずに形成された仕切り棒39の上に配置した形態のフィルターユニット21を採用しても何ら支障はない。図8を用いて、実施例3の真空ポンプユニットについて説明する。なお、構成の説明を容易にする為に、各部品の電気配線や、支持部品の図示、説明は省略することとする。また、吸引ロールは、鋼板に付着した油分除去用として用いられるものとする。図8において、上下一対の吸引ロール46、46は図示しない洗浄装置に設置され、上下の吸引ロール46の間を、油分の付着した鋼板が通過する。吸引ロール46は、金属材料からなる軸体と、軸体の外周に形成された不織布層を有する。鋼板が通過する部分の吸引ロール46には不織布層が形成されてあり、鋼板が不織布層と当接することにより、鋼板に付着している油分は、不織布を構成する繊維の毛細管現象により不織布層の内部に吸い上げられる。軸体は中空構造であると共に、外周に複数の吸引孔が形成されている。吸引ロール46の一方の端部を、ロータリージョイント47、及び配管48を介して真空ポンプユニット40と接続する。真空ポンプユニット40を作動させ、吸引ロール46を真空状態にすると、不織布層に吸い上げられた油分は、流体となり、軸体に形成された吸引孔、中空部、配管を通過して吸引ロール46の内部から外部、すなわち真空ポンプユニット40に向け、排出される。真空ポンプユニット40は、床51の上に真空ポンプ本体43、真空ポンプ本体43を作動させる制御盤42、及び吸引ロール46から排出された油分を含む流体を液体と気体に分離するセパレータータンク44を有する。流体は真空ポンプユニット40に向け排出されると、セパレータータンク44に設けられた仕切り板45に当たり、液体である油分はセパレータータンク45の底部に溜まり、ベーンポンプ等により図示しない配管を介して、洗浄油タンクに戻される。一方、気体は真空ポンプ本体43に向け、流出する。しかしながら、仕切り板45に当たった流体は完全に気体と液体には分離されず、気体には多少の油分が混入し、ミストとなる。ミストは真空ポンプ本体43に設けられた排気口49から真空ポンプ本体43の外部に排出される。排気口49の外部には開口を有する箱体57の内部にフィルターユニット41が収納されたミスト捕集体60が配置されている。ミストは、ミスト捕集体60において油分がミストフィルターにより捕捉され、略気体が真空ポンプユニット40の外部に排出される。なお、フィルターユニット41は、実施例1、実施例2に示したフィルターユニット1、21のいずれかと同一である。ちなみに、ミスト捕集体60が真空ポンプユニット40に配設されていない場合、ミストが直接、床50の上に散出され、ミストから気体が揮発すると、床50には油分が残り、作業環境が油分により汚染されることになる。上記の如く構成された真空ポンプユニット40の動作、作用は下記の通りである。真空ポンプユニット40は、フィルターユニット41、ミスト捕集体60を有し、制御盤42を搭載しており、ミストの捕捉性能が高く、耐用性に優れたフィルターユニット41、ミスト捕集体60が搭載されていることから、長期間に亘り、油分による周辺の作業環境の汚染を防止することができる。