基台部と、相手材に当接して力点として作用させる当接部をその自由端である変位端に備えて前記基台部側に伸縮制御を自在に配設される伸縮体と、該伸縮体の前記当接部からの押圧力を受けて変位出力端側に対しZ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、前記基台部を含む必要箇所に介在させた各支点部を介して連結される前記相手材としてのアーム体とで少なくとも構成され、電気計測プローブが取り付けられる前記変位出力端側へは、前記アーム体を介してZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした電気計測プローブ用変位拡大機構において、前記アーム体は、前記伸縮体からの押圧力を受ける変位入力側のアーム部と、前記変位出力端を備えて前記変位入力側のアーム部と支点部を介して連結される変位出力側のアーム部とで構成され、該変位出力側のアーム部は、その全体で平行リンクを形成して前記変位出力端側に付与されるZ軸方向での拡大された変位量に直進性を付与したことを特徴とする電気計測プローブ用変位拡大機構。前記基台部は、X-Y軸方向への移動を自在に配設した前記移動体に取り付けてなる請求項1に記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。前記アーム体は、上方に位置する前記変位入力側のアーム部と、該アーム部の下方に位置させてその全体で平行リンクを形成する前記変位出力側のアーム部とで構成され、前記変位入力側のアーム部は、長さ方向での一端部に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、その略中間位置が伸縮体の前記当接部と当接し、荷重点である他端部に介在させた支点部を介して前記変位出力側のアーム部側に連結され、該変位出力側のアーム部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、他端側に介在させた支点部を介して略直進するZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした前記変位出力端側への前記電気計測プローブ側の連結を自在に形成した請求項1または2に記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。変位出力側の前記アーム部は、前記平行リンクを形成する上側アーム片部と下側アーム片部と縦側アーム片部とで構成され、その一端寄りに介在させた支点部を介して変位入力側の前記アーム部側と連結される前記上側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して前記縦側アーム片部の上端部とそれぞれが連結され、前記下側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して縦側アーム片部の下端部とそれぞれが連結され、該縦側アーム片部の前記下端部をその荷重点である前記変位出力端として前記電気計測プローブ側と連結させる請求項3に記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。前記アーム体は、上方に位置する水平片部と、該水平片部の開放端側から前傾させた斜行片部とからなる前記変位入力側のアーム部と、該アーム部の下方に位置させてその全体で平行リンクを形成する前記変位出力側のアーム部とで構成され、前記変位入力側のアーム部は、前記水平片部の長さ方向での一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、前記一端寄りの位置が伸縮体の前記当接部と当接し、荷重点である前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部を介して前記変位出力側のアーム部の一端寄りと連結され、前記変位出力側のアーム部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、他端側に介在させた支点部を介して略直進するZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした前記変位出力端側への前記電気計測プローブの連結を自在に形成した請求項1または2に記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。前記変位出力側のアーム部は、前記平行リンクを形成する上側アーム片部と下側アーム片部と縦側アーム片部とで構成され、前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部を介して連結される前記上側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して前記縦側アーム片部の上端部とそれぞれが連結され、前記下側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して縦側アーム片部の下端部とそれぞれが連結され、該縦側アーム片部の前記下端部をその荷重点である前記変位出力端として前記電気計測プローブ側と連結させる請求項5に記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。前記水平片部の長さ方向での一端側に介在させた支点部と前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部とを、略同一の水平方向に位置させた請求項5または6に記載の電気計測用プローブのための変位拡大機構。前記変位出力側のアーム部は、前記変位入力側のアーム部とは逆向きに配置した請求項6または7に記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。装置本体に配設される前記移動体に対し、請求項1ないし8のいずれかに記載の電気計測プローブ用変位拡大機構を具備させたことを特徴とする基板検査装置。しかし、図8に示す変位拡大機構は、圧電体2の伸張量がアーム5の先端側荷重点の移動量に依存していることから、圧電体2の伸張量を小さくするとアーム5の先端側荷重点に必要とする移動量を付与することができない不都合があった。本発明は、従来技術の上記課題に鑑み、荷重点である変位出力端側に応答特性に優れた必要な移動量を付与して電気計測プローブをZ軸方向に迅速に移動させることができる電気計測プローブ用変位拡大機構及び基板検査装置を提供することに目的がある。本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、そのうちの第1の発明電気計測プローブ用変位拡大機構は、基台部と、相手材に当接して力点として作用させる当接部をその自由端である変位端に備えて前記基台部側に伸縮制御を自在に配設される伸縮体と、該伸縮体の前記当接部からの押圧力を受けて変位出力端側に対しZ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、前記基台部を含む必要箇所に介在させた各支点部を介して連結される前記相手材としてのアーム体とで少なくとも構成され、電気計測プローブが取り付けられる前記変位出力端側へは、前記アーム体を介してZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした電気計測プローブ用変位拡大機構において、前記アーム体は、前記伸縮体からの押圧力を受ける変位入力側のアーム部と、前記変位出力端を備えて前記変位入力側のアーム部と支点部を介して連結される変位出力側のアーム部とで構成され、該変位出力側のアーム部は、その全体で平行リンクを形成して前記変位出力端側に付与されるZ軸方向での拡大された変位量に直進性を付与したことを最も主要な特徴とする。この場合、基台部は、X-Y軸方向への移動を自在に配設された移動体に取り付けることができる。また、前記アーム体は、上方に位置する前記変位入力側のアーム部と、該アーム部の下方に位置させてその全体で平行リンクを形成する前記変位出力側のアーム部とで構成され、前記変位入力側のアーム部は、長さ方向での一端部に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、その略中間位置が伸縮体の前記当接部と当接し、荷重点である他端部に介在させた支点部を介して前記変位出力側のアーム部側に連結され、該変位出力側のアーム部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、他端側に介在させた支点部を介して略直進するZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした前記変位出力端側への前記電気計測プローブ側の連結を自在に形成ことができる。さらに、変位出力側の前記アーム部は、前記平行リンクを形成する上側アーム片部と下側アーム片部と縦側アーム片部とで構成され、その一端寄りに介在させた支点部を介して変位入力側の前記アーム部側と連結される前記上側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して前記縦側アーム片部の上端部とそれぞれが連結され、前記下側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して縦側アーム片部の下端部とそれぞれが連結され、該縦側アーム片部の前記下端部をその荷重点である前記変位出力端として前記電気計測プローブ側と連結させるものであってもよい。さらにまた、前記アーム体は、前記アーム体は、上方に位置する水平片部と、該水平片部の開放端側から前傾させた斜行片部とからなる前記変位入力側のアーム部と、該アーム部の下方に位置させてその全体で平行リンクを形成する前記変位出力側のアーム部とで構成され、前記変位入力側のアーム部は、前記水平片部の長さ方向での一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、前記一端寄りの位置が伸縮体の前記当接部と当接し、荷重点である前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部を介して前記変位出力側のアーム部の一端寄りと連結され、前記変位出力側のアーム部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、他端側に介在させた支点部を介して略直進するZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした前記変位出力端側への前記電気計測プローブの連結を自在に形成することもできる。この場合、前記変位出力側のアーム部は、前記平行リンクを形成する上側アーム片部と下側アーム片部と縦側アーム片部とで構成され、前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部を介して連結される前記上側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して前記縦側アーム片部の上端部とそれぞれが連結され、前記下側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して縦側アーム片部の下端部とそれぞれが連結され、該縦側アーム片部の前記下端部をその荷重点である前記変位出力端として前記電気計測プローブ側と連結させるようにしてもよい。また、この例においては、前記水平片部の長さ方向での一端側に介在させた支点部と前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部とを、略同一の水平方向に位置させるのが望ましい。また、変位出力側の前記アーム部は、変位入力側の前記アーム部とは逆向きに配置することもできる。一方、第2の発明基板検査装置は、移動を自在に装置本体に配設される前記移動体に対し、請求項1ないし13のいずれかに記載の電気計測プローブ用変位拡大機構を具備させことを最も主要な特徴とする。本発明のうち、第1の発明によれば、伸縮体の当接部からの押圧力を受けてアーム体の電気計測プローブが取り付けられる荷重点としての変位出力端側に対し、Z軸方向での拡大された変位量を付与することができるので、該変位出力端側に連結される電気計測プローブに対し、好ましい応答特性のもとでZ軸方向へと移動させることができる。また、第1の発明によれば、機構の全体をコンパクト化することができるので、コストの低減を図ることができるばかりでなく、その重量を軽量化して所定方向への移動を高速化することで測定速度をより速くすることができる。特に、アーム体を構成している変位出力側のアーム部は、平行リンクにより形成されているので、Z軸方向への直進性をより高めて電気計測プローブを移動させることができる。一方、第2の発明によれば、装置本体が備える前記移動体に対し、請求項1ないし13のいずれかに記載の電気計測プローブ用変位拡大機構を具備させてあるので、その質量が小さいこともあって所定方向での平面位置決めを正確で安定したものとすることができる。また、電磁ノイズをなくすることで測定作業の高速化と安定化とを実現することができるほか、Z軸方向を位置決めした後に電気計測プローブ用変位拡大機構の変位出力端側に予圧をかけておくことができるので、Z軸側の整定性を高めて応答特性を向上させることもできる。本発明は、被検査基板を電気的に検査するために用いられる電気計測プローブを備える変位出力端側に対し、力点側から付与された変位量を拡大してZ軸方向に向けて出力することができる電気計測プローブ用変位拡大機構第1の発明と、該電気計測プローブ用変位拡大機構を備える基板検査装置第2の発明とに適用して実施することができる。このうち、第1の発明の基本構成につき、図1および図5を参酌しながらその概要を説明すれば、電気計測プローブ用変位拡大機構以下、変位拡大機構と略称する。11は、例えば図5に示されている装置本体2にX-Y軸方向への移動を自在に配設される移動体105への取付けが自在な基台部12と、相手材に当接して力点として作用させる当接部25をその自由端である変位端24に備えて伸縮制御を自在に配設される例えば圧電素子などからなる伸縮体22と、該伸縮体22の当接部25からの押圧力を受けて変位出力端57側に対しZ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、基台部12を含む必要箇所に介在させた各支点部1515a~15fを介して連結される相手材としてのアーム体32とで少なくとも構成されている。この場合、複数のアーム部33からなるアーム体32は、伸縮体22からの押圧力を受ける変位入力側のアーム部34と、最終的にその変位出力端57側にZ軸方向への変位量が拡大して伝達される変位出力側のアーム部35とにより構成されている。そして、このような構成を具備させることにより、電気計測プローブPが取り付けられる荷重点としての変位出力端57側へは、アーム体32を介してZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とすることができるようになっている。図1は、第1の発明の一例を示す概念図であり、この例におけるアーム体32は、上方に位置する変位入力側のアーム部34と、該アーム部34の下方に位置させてその全体で平行リンクを形成する変位出力側のアーム部35とで構成されている。このうち、変位入力側のアーム部34は、長さ方向での一端部34aに介在させた支点部15aを介して基台部12側と連結され、その略中間位置が伸縮体22の当接部25と当接する力点となり、荷重点である他端部34bに介在させた支点部15bを介して変位出力側のアーム部35と連結されている。このため、変位入力側のアーム部34は、支点部15aを介してその長さ方向でのシーソ状の揺動が可能となっている。この場合、変位出力側のアーム部35は、平行リンクを形成する上側アーム片部36と下側アーム片部37と縦側アーム片部38とで構成されており、変位入力側のアーム部34と上側アーム片部36との間に支点部15bが形成されることになる。すなわち、その一端36a寄りに介在させた支点部15bを介して変位入力側のアーム部34側からの力点として連結される上側アーム片部36は、一端36a側に介在させた支点部15cを介して基台部12と、他端36b側に介在させた支点部15dを介して縦側アーム片部38の上端部38aとそれぞれが連結されている。また、上側アーム片部36と略平行に配置される下側アーム片部37は、一端37aに介在させた支点部15eを介して基台部12側と、他端37b側に介在させた支点部15fを介して縦側アーム片部38の下端部38bとそれぞれが連結されている。この例においては、変位出力端57である縦側アーム片部38の下端部38bに、縦側アーム片部38のZ軸方向への動きに従動させるべく電気計測プローブPが直付けされている。このため、該電気計測プローブPには、変位出力側のアーム部35が形成している平行リンクを介してZ軸方向への直進性が付与されることになる。図2は、第1の発明の他例を示す概念図であり、この例におけるアーム体32は、上方に位置する水平片部45と、該水平片部45の開放端45a側から前傾させた斜行片部46とからなる変位入力側のアーム部44と、該アーム部44の下方に位置させてその全体で平行リンクを形成する変位出力側のアーム部47とで構成されている。このうち、変位入力側のアーム部44は、支点部15のうち、水平片部45の基端45b側に介在させた支点部15aを介して基台部12側と連結され、基端45b寄りの位置が伸縮体22の当接部25と当接し、荷重点である斜行片部46の開放端46a側に介在させた支点部15bを介して変位出力側のアーム部47側と連結されている。このため、変位入力側のアーム部44は、支点部15aを介してその長さ方向でのシーソ状の揺動が可能となっている。この場合、変位出力側のアーム部47は、平行リンクを形成する上側アーム片部48と下側アーム片部49と縦側アーム片部50とで構成されており、変位入力側のアーム部44における荷重点である斜行片部46の開放端46aと上側アーム片部48の基端48a寄りの位置との間に支点部15bが形成されることになる。すなわち、基端48a寄りに介在させた支点部15bを介して変位入力側のアーム部44側からの力点として連結される上側アーム片部48は、基端48aに介在させた支点部15cを介して基台部12側と、先端48bに介在させた支点部15dを介して縦側アーム片部50の上端部50a側とそれぞれが連結されている。また、上側アーム片部48と略平行に配置される下側アーム片部49は、基端49aに介在させた支点部15eを介して基台部12側と、先端49bに介在させた支点部15fを介して縦側アーム片部50の下端部50b側とそれぞれが連結されている。この例においては、変位出力端57である縦側アーム片部50の下端部50bに、縦側アーム片部50のZ軸方向への動きに従動させるべく電気計測プローブPが直付けされている。このため、該電気計測プローブPには、変位出力側のアーム部47が形成している平行リンクを介してZ軸方向への直進性が付与されることになる。図3は、図2に示す他例の第1変形例を示す概念図であり、水平片部45の長さ方向での基端45b側に介在させた支点部15aと斜行片部46の開放端46a側に介在させた支点部15bとの位置を、図2に示す例とは異なり略同一の水平方向に位置させてあり、他の構成は図2に示す例と同様であり、その説明は省略する。図4は、図2に示す他例の第2変形例を示す概念図であり、この例におけるアーム体32は、変位出力側のアーム部47が変位入力側のアーム部44とは逆向きとなるように配置することで形成されている点で相違するのみで、他の基本構成は図2に示す例と同様であり、その説明は省略する。次に、第2の発明に係る基板検査装置につき、上記構成からなる第1の発明の作用効果とともに以下に説明すれば、図示しない基板検査装置は、例えば図5に示されているようにX-Y軸方向への移動を自在に装置本体102に配設される移動体105に対し、既述の変位拡大機構11を具備させることで、その全体が形成されている。すなわち、変位拡大機構11は、図5に示す装置本体102が備える移動体105に対し基台部12を介して取り付けた上で、移動体105を被検査基板109の検査ポイントの位置へとX-Y軸方向に移動させることで、所定の検査ポイントの位置に向けて位置決めさせることができる。この場合、変位拡大機構11は、その全体を軽量コンパクト化することでその質量も小さなものとなっていることもあって、X-Y軸方向での平面位置決めを行う際に、移動体105自体を正確で安定した状態のもとで高速に移動させることができる。また、変位拡大機構11を搭載した基板検査装置は、モータを使用することなくZ軸方向へ駆動させることができる。このため、モータを使用する場合に発生する電磁ノイズからの影響をなくする処理アナログ回路でのフィルタ処理やソフトでのフィルタ処理を不要とすることで、測定作業の高速化と安定化とを実現することができるほか、Z軸方向を位置決めした後に電気計測プローブ用変位拡大機構11の変位出力端側に予圧をかけておくことができるので、Z軸側の整定性を高めて応答特性を向上させることもできる。ここで、変位拡大機構11の作用効果をより詳しく説明すれば、変位拡大機構11は、その全体をコンパクト化してコストの低減を図ることができるばかりでなく、その重量を軽量化してX-Y軸方向への移動を高速化することで測定速度をより速くすることができる。また、アーム体32は、例えば圧電素子からなる伸縮体22に電圧を印加することで、その先端側に位置している変位端24を伸張させ、該変位端24が備える当接部25からの押圧力を受けて電気計測プローブPが取り付けられる荷重点としての変位出力端57側に対し、Z軸方向での拡大された変位量を付与することができる。このため、電気計測プローブPは、非線形要素が少なく、かつ、機械的な駆動源ではなく例えば電磁歪などの非機械的な動きをその駆動源としてZ軸方向に移動させることができることになる。つまり、電気計測プローブPの移動は、高い応答性のもとで例えば1mmの移動を1ms程度の時間で行うことができるので、図6および図7に示す従来機構に比較してその移動時間を1/4程度にまで短縮することができる。なお、電気計測プローブPの上昇は、伸縮体22の当接部25に付与される押圧力を逆に弱めてやるその変位端24の位置を初期位置方向へと復帰させることにより行うことができる。これを図1に示す第1の発明の一例に基づいてその作用効果をさらに詳しく説明すれば、変位入力側のアーム部34は、一端部34aが支点部15aを介して基台部12と連結され、その略中間位置が圧電素子などからなる伸縮体22の当接部25と当接する力点となり、荷重点である他端部34baの下面側が支点部15bを介して変位出力側のアーム部35に連結されている。このため、伸縮体22に電圧を印加するなどして変位端24を伸張方向に変位させ、その当接部25を介して変位入力側のアーム部34の略中間位置を押し下げることにより、その他端部33b側を拡大された変位量のもとで押し下げる方向への荷重点とすることで、変位出力側のアーム部35の力点として作用させることができる。変位出力側のアーム部35は、その全体で平行リンクを形成している上側アーム片部36と下側アーム片部37と縦側アーム片部38とで構成されており、変位入力側のアーム部34の他端部33bとは上側アーム片部36の一端部36a寄りに介在させた支点部15bを介して連結されて、その力点となっている。したがって、変位出力側のアーム部35の上側アーム片部36が押し下げられることにより、上側アーム片部36の他端部36bと下側アーム片部37の他端部37bとに連結されている縦側アーム片部38は、その平行リンク構造により降下する方向での線形の変位量が拡大された荷重点として機能することになる。このため、縦側アーム片部38の下端部38bに直付けされる電気計測プローブPに対しては、Z軸方向での拡大された線形の変位量を付与することができることになる。なお、図1に示す一例においては、平行リンクを形成している変位出力側のアーム部35が直動システムを構成しているので、縦側アーム片部38の下端部38bに電気計測用プローブPを直付けでき、実質的な等価質量を小さくして応答性の低下をより確実に防ぐすることができることになる。次に、図2に示す第1の発明の他例に基づいてその作用効果を説明すれば、変位入力側のアーム部44は、水平片部45の基端45b側に介在させた支点部15aを介して基台部12側と連結され、水平片部45の基端45b寄りの位置が圧電素子などからなる伸縮体22の当接部25と当接する力点となり、荷重点である斜行片部46の開放端46a側に介在させた支点部15bを介して変位出力側のアーム部47側に連結されている。このため、伸縮体22に電圧を印加するなどして変位端24を伸張方向に変位させ、その当接部25を介して変位入力側のアーム部44の側を押し下げることにより、斜行片部46の開放端46a側は、拡大された変位量のもとで押し下げる方向での荷重点とすることで、変位出力側のアーム部47の力点として作用させることができる。すなわち、変位出力側のアーム部47は、平行リンクを形成する上側アーム片部48と下側アーム片部49と縦側アーム片部50とで構成されており、変位入力側のアーム部44の斜行片部46の開放端46aとは上側アーム片部48の基端48a寄りに介在させた支点部15bを介して連結されて、その力点となっている。したがって、変位出力側のアーム部44側が伸縮体22により押し下げられることにより、上側アーム片部48の先端348bと下側アーム片部49の先端49bとに連結されている縦側アーム片部50は、その平行リンク構造により降下する方向での線形の変位量が拡大された荷重点として機能することになる。このため、縦側アーム片部50の下端部50bに直付けされる電気計測プローブPに対しては、Z軸方向での拡大された線形の変位量を付与することができることになる。なお、図2に示す例においては、平行リンクを形成している変位出力側のアーム部47が直動システムを構成しているので、縦側アーム片部50の下端部50bに電気計測プローブPを直付けでき、実質的な等価質量を小さくして応答性の低下をより確実に防ぐすることができることになる。しかも、図2に示す例においては、変位入力側のアーム部44の斜行片部46の開放端46a側を介して変位出力側のアーム部44側を押圧し続けることで、電気計測プローブP側に反力を生じさせることができる。電気計測プローブPは、この状態のもとで伸縮体22の当接部25をさらに伸張させて変位入力側のアーム部44の側が押し込まれることで、その接触圧が高められて剛性を強化させることにより、そのプロービング動作を安定させることができることになる。次に、図2の第1変形例である図3に基づいて、その作用効果を説明すれば、水平片部45の長さ方向での基端45b側に介在させた支点部15aと斜行片部46の開放端46a側に介在させた支点部15bとは、図2に示す例とは異なり略同一の水平方向に位置高さが略一致するように配置されている。このため、伸縮体22に電圧を印加するなどして変位端24を伸張方向に変位させ、その当接部25を介して変位入力側のアーム部44における水平片部45側を押し下げた際には、その荷重点である斜行片部46の開放端46a側の移動量図2では左右方向を少なくして、上下方向への移動量をそれだけ増大させることにより、変位出力端57に付与する変位量をそれだけ拡大させることができる。また、図2に示す例と同様に、電気計測プローブPのプロービング動作を安定させることもできる。次に、図2の第2変形例である図4に基づいて、その作用効果を説明すれば、この例におけるアーム体32は、変位出力側のアーム部47が第4の例とは異なり変位入力側のアーム部44とは逆向きとなるように配置されている。このため、変位入力側のアーム部44における水平片部45側を押し下げた際には、その荷重点である斜行片部46の開放端46a側の移動量と、変位出力側のアーム部44側が変位する際の移動量とを相殺して、変位出力端57に付与する変位量をより多く拡大させることができる。また、図2に示す例と同様に、電気計測プローブPのプロービング動作を安定させることもできる。以上は、本発明を図示例に基づいて説明したものであり、その具体的な内容はこれに限定されるものではない。例えば、基台部12は、位置固定タイプのものであってもよい。また、移動体105は、X-Y軸方向を含む所定方向への移動を自在に配設するものであればよい。本発明に用いられる伸縮体22としては、圧電素子を好適に用いることができるものの、例えば磁歪素子や電動機を利用して伸縮制御できる構造を備えているものであってもよい。