"バイオマス原料を糖化発酵させて生成されるエタノール発酵液が導入され、内部が大気圧よりも減圧された状態で前記エタノール発酵液を蒸留して水蒸気を含むエタノールベーパーを留出させると共に、前記バイオマス原料を糖化発酵させるために再利用される酵素含有濃縮廃液を缶出させる減圧蒸留塔と、前記減圧蒸留塔から留出された前記エタノールベーパーを精留するための精留塔と、を備えたことを特徴とするエタノール製造装置。請求項1記載のエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から留出した前記エタノールベーパーを断熱圧縮する第1の圧縮機を更に備え、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーが前記精留塔に導入されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項1記載のエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から留出した前記エタノールベーパーを断熱圧縮する第1の圧縮機を更に備え、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーが前記減圧蒸留塔の塔底循環液を加熱する加熱部の熱源として利用された後凝縮し、エタノール液として前記精留塔に導入されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項3記載のエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔の塔底温度は30°C以上60°C未満であることを特徴とするエタノール製造装置。請求項4記載のエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機の前段に、前記減圧蒸留塔から留出した前記エタノールベーパーを加熱する第1の過熱器を更に備え、前記第1の過熱器により加熱された前記エタノールベーパーが前記第1の圧縮機内で凝縮しないように、該第1の圧縮機に送られることを特徴とするエタノール製造装置。請求項4記載のエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーの一部が、該第1の圧縮機の入側へ循環することを特徴とするエタノール製造装置。請求項5記載のエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーが前記第1の過熱器の熱源として利用されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項1~7のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から缶出される前記酵素含有濃縮廃液の重量が、前記バイオマス原料の酵素反応性を高めるための前処理で生成されるパルプ重量の2~20倍となるように、前記減圧蒸留塔から留出される前記エタノールベーパーの流量を調節することを特徴とするエタノール製造装置。請求項4~8のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水を、前記バイオマス原料の酵素反応性を高めるための前処理を行う前処理工程に循環させることを特徴とするエタノール製造装置。請求項4~8のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水を、前記バイオマス原料に糖化酵素を添加して単糖を得るための糖化工程に循環させることを特徴とするエタノール製造装置。請求項4~8のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水を、前記減圧蒸留塔から缶出した酵素含有濃縮廃液から固形物を分離する固液分離工程で用いるリンス液として循環させることを特徴とするエタノール製造装置。請求項4~8のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水が、排水処理装置で処理されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項9~12のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記低COD排水が前記減圧蒸留塔の塔底循環液の熱源として利用されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項13記載のエタノール製造装置において、前記低COD排水が更に前記エタノール発酵液の予熱に利用されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項9~12のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記精留塔から留出したエタノールベーパーを圧縮する第2の圧縮機を更に備え、前記第2の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーの一部が前記精留塔の塔底循環液を加熱する加熱部の熱源として利用された後、前記精留塔の塔頂へ循環することを特徴とするエタノール製造装置。請求項15記載のエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する前記低COD排水が、前記エタノール発酵液を予熱及び前記減圧蒸留塔の塔底循環液を加熱するための熱源に利用され、前記第2の圧縮機によって圧縮された前記エタノールベーパーが、前記精留塔に導入される前記エタノール液を加熱するための熱源に利用されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項15又は16記載のエタノール製造装置において、前記第2の圧縮機の前段に、前記精留塔から留出した前記エタノールベーパーを加熱する第2の過熱器を更に備え、前記第2の過熱器により加熱された前記エタノールベーパーが前記第2の圧縮機に送られることを特徴とするエタノール製造装置。請求項17記載のエタノール製造装置において、前記第2の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーが前記第2の過熱器の熱源として利用されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項13記載のエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から缶出する酵素含有濃縮廃液、前記精留塔から缶出する前記低COD排水及び前記精留塔から留出する前記エタノールベーパーが前記エタノール発酵液の予熱に利用されることを特徴とするエタノール製造装置。請求項1~19のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機に代えて、ブロワ又は真空ポンプとしたことを特徴とするエタノール製造装置。請求項15~18のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記第2の圧縮機に代えて、ブロワ又は真空ポンプとしたことを特徴とするエタノール製造装置。請求項1~21のいずれか1項に記載のエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔に代えて、内部が大気圧よりも減圧された状態で前記エタノール発酵液を濃縮する減圧濃縮装置としたことを特徴とするエタノール製造装置。バイオマス原料を糖化発酵させて生成されるエタノール発酵液からエタノールを精製する方法であって、前記エタノール発酵液を減圧蒸留して、水蒸気を含むエタノールベーパーと、酵素含有濃縮廃液とを生成する工程と、前記エタノールベーパーを精留するための精留工程と、前記酵素含有濃縮廃液を、前記バイオマス原料を糖化発酵させる工程に循環させる工程と、を含むことを特徴とするエタノール製造方法。請求項23記載のエタノール製造方法において、前記エタノールベーパーを断熱圧縮する工程を更に含み、前記断熱圧縮する工程により昇温、昇圧された前記エタノールベーパーを前記精留工程へ導入することを特徴とするエタノール製造方法。請求項23記載のエタノール製造方法において、前記エタノールベーパーを断熱圧縮する工程と、前記断熱圧縮する工程により昇温、昇圧された前記エタノールベーパーを前記減圧蒸留塔の塔底循環液と熱交換して凝縮させる工程を更に含み、前記減圧蒸留塔からの前記エタノールベーパーを、エタノール液としてから前記精留工程へ導入することを特徴とするエタノール製造方法。ここで一般に、減圧蒸留塔又は減圧濃縮装置を用いて蒸留する場合、酵素を失活させることなく回収するためには、塔底温度を30°C以上60°C未満、望ましくは30°C以上51°C以下に維持する必要がある。しかし、蒸発エネルギーが過大になることを防ぐため、多重効用缶などの省エネルギー機器を導入した場合、その際の塔頂温度は35°Cを下回ることがある。そのため、従来適用されている冷却塔クーリングタワーでは減圧条件下にあるエタノール蒸気を凝縮させることができず、消費電力が冷却塔クーリングタワーよりも大きいチラー等の冷却器を設け、塔頂から留出するエタノールベーパーを冷却して凝縮させる必要があった。更に、酵素を循環利用する場合、前処理工程などで添加されるアルカリ液やリンス液によって循環系内の液量が増えていくので、減圧蒸留塔から缶出された酵素を含む廃液を糖化発酵装置に全量戻して再利用できない場合がある。本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、酵素を循環して利用するのに適したエタノール製造装置及びエタノール製造方法を提供することにある。特に、酵素を循環して利用するために必要な熱エネルギーと冷却エネルギーを従来よりも低減したエタノール製造装置及びエタノール製造方法を提供することを目的とする。また、本発明の他の目的は、装置全体のエネルギー効率を高めることによって、酵素を利用したエタノール製造技術の省エネルギー化を図ることにある。前記目的に沿う第1の発明に係るエタノール製造装置は、バイオマス原料を糖化発酵させて生成されるエタノール発酵液が導入され、内部が大気圧よりも減圧された状態で前記エタノール発酵液を蒸留して水蒸気を含むエタノールベーパーを留出させると共に、前記バイオマス原料を糖化発酵させるために再利用される酵素含有濃縮廃液を缶出させる減圧蒸留塔と、前記減圧蒸留塔から前記留出された前記エタノールベーパーを精留するための精留塔と、を備えたことを特徴とする。前記第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から留出した前記エタノールベーパーを断熱圧縮する第1の圧縮機を更に備え、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーを前記精留塔に導入することができる。また、前記第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から留出した前記エタノールベーパーを断熱圧縮する第1の圧縮機を更に備え、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーを前記減圧蒸留塔の塔底循環液を加熱する加熱部の熱源として利用した後、凝縮し、エタノール液として前記精留塔に導入することができる。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔の塔底温度は30°C以上60°C未満であることが好ましい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機の前段に、前記減圧蒸留塔から留出した前記エタノールベーパーを加熱する第1の過熱器を更に備え、前記第1の過熱器により加熱された前記エタノールベーパーが前記第1の圧縮機内で凝縮しないように、該第1の圧縮機に送られてもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーの一部が、該第1の圧縮機の入側に循環されてもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーを前記第1の過熱器の熱源として利用してもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から缶出される前記酵素含有濃縮廃液の重量が、前記バイオマス原料の酵素反応性を高めるための前処理で生成されるパルプ重量の2~20倍となるように、前記減圧蒸留塔から留出される前記エタノールベーパーの流量を調節することができる。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水を、前記バイオマス原料の酵素反応性を高めるための前処理を行う前処理工程に循環させることができる。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水を、前記バイオマス原料に糖化酵素を添加して単糖を得るための糖化工程に循環させることができる。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水を、前記減圧蒸留塔から缶出した酵素含有濃縮廃液から固形物を分離する固液分離工程で用いるリンス液として循環させることができる。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する低COD排水が、排水処理装置で処理されてもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記低COD排水が前記減圧蒸留塔の塔底循環液の熱源として利用されることが好ましい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記低COD排水が更に前記エタノール発酵液の予熱に利用されることが好ましい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記精留塔から留出したエタノールベーパーを圧縮する第2の圧縮機を更に備え、前記第2の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーの一部が前記精留塔の塔底循環液を加熱する加熱部の熱源として利用された後、前記精留塔の塔頂へ循環することが好ましい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記精留塔から缶出する前記低COD排水が、前記エタノール発酵液を予熱及び前記減圧蒸留塔の塔底循環液を加熱するための熱源に利用され、前記第2の圧縮機によって圧縮された前記エタノールベーパーが、前記精留塔に導入される前記エタノール液を加熱するための熱源に利用されることが好ましい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記第2の圧縮機の前段に、前記精留塔から留出した前記エタノールベーパーを加熱する第2の過熱器を更に備え、前記第2の過熱器により加熱された前記エタノールベーパーが前記第2の圧縮機に送られてもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記第2の圧縮機によって断熱圧縮された前記エタノールベーパーを前記第2の過熱器の熱源として利用してもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔から缶出する酵素含有濃縮廃液、前記精留塔から缶出する前記低COD排水及び前記精留塔から留出する前記エタノールベーパーが前記エタノール発酵液の予熱に利用されることが好ましい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記第1の圧縮機に代えて、ブロワ又は真空ポンプとしてもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記第2の圧縮機に代えて、ブロワ又は真空ポンプとしてもよい。第1の発明に係るエタノール製造装置において、前記減圧蒸留塔に代えて、内部が大気圧よりも減圧された状態で前記エタノール発酵液を濃縮する減圧濃縮装置としてもよい。前記目的に沿う第2の発明に係るエタノール製造方法は、バイオマス原料を糖化発酵させて生成されるエタノール発酵液からエタノールを精製する方法であって、前記エタノール発酵液を減圧蒸留して、水蒸気を含むエタノールベーパーと、酵素含有濃縮廃液とを生成する工程と、前記エタノールベーパーを精留するための精留工程と、前記酵素含有濃縮廃液を、前記バイオマス原料を糖化発酵させる工程に循環させる工程と、を含むことを特徴とする。第2の発明に係るエタノール製造方法において、前記エタノールベーパーを断熱圧縮する工程を更に含み、前記断熱圧縮する工程により昇温、昇圧された前記エタノールベーパーを前記精留工程へ導入することができる。第2の発明に係るエタノール製造方法において、前記エタノールベーパーを断熱圧縮する工程と、前記断熱圧縮する工程により昇温、昇圧された前記エタノールベーパーを前記減圧蒸留塔の塔底循環液と熱交換して凝縮させる工程を更に含み、前記減圧蒸留塔からの前記エタノールベーパーを、エタノール液としてから前記精留工程へ導入することができる。請求項1~22記載のエタノール製造装置においては、酵素が失活しない温度で減圧蒸留を行うことができ、酵素を再利用することができる。更に、減圧蒸留塔と精留塔の2塔方式としたことにより、従来よりもエタノールベーパーの留出量及び酵素含有濃縮廃液の缶出量の設定の自由度を大きくできたので、減圧蒸留塔から缶出する酵素含有濃縮廃液の量を、酵素循環系内の流量バランスに適した量に設定して操業することが可能となる。更に、精留塔を配置したことによって低CODの水が得られるので、この水をリンス液として有効活用することが可能となる。請求項2記載のエタノール製造装置においては、第1の圧縮機により断熱圧縮されたエタノールベーパーが精留塔に導入される。従って、エタノールベーパーが昇温、昇圧された状態で精留塔に導入されるので、精留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項3~19記載のエタノール製造装置においては、第1の圧縮機により断熱圧縮されたエタノールベーパーが減圧蒸留塔の塔底循環液を加熱する加熱部の熱源として利用された後、凝縮して精留塔に導入される。従って、エタノールベーパーを冷却器で凝縮させることがないため、減圧蒸留工程及び精留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。特に、請求項4記載のエタノール製造装置においては、減圧蒸留塔の塔頂部から留出するエタノールベーパーの温度に関係なく、減圧蒸留塔の塔底温度が30°C以上60°C未満となる。そのため酵素が失活することがないので、酵素を再利用することができる。請求項5記載のエタノール製造装置においては、エタノールベーパーを加熱するので、第1の圧縮機内でのエタノールベーパーの凝縮を防止することができる。請求項6記載のエタノール製造装置においては、第1の圧縮機によって断熱圧縮されたエタノールベーパーの一部が、第1の圧縮機の入側へ循環するので、第1の圧縮機内でのエタノールベーパーの凝縮を防止することができる。請求項7記載のエタノール製造装置においては、第1の圧縮機によって断熱圧縮されたエタノールベーパーが第1の過熱器の熱源として利用されることにより、減圧蒸留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項8記載のエタノール製造装置においては、減圧蒸留塔の後段に精留塔を配置したことにより、従来よりもエタノールベーパーの留出量及び酵素含有濃縮廃液の缶出量の設定の自由度を大きくできたので、例えばバイオマス原料の酵素反応性を高めるための前処理で生成されるパルプ重量の2~20倍、望ましくは5~10倍となるように缶出させるようにして、酵素循環系内の液バランスを好適に保つようにすることができる。請求項9記載のエタノール製造装置においては、バイオマス原料に含まれている水分やエタノールを製造する過程で添加された水を低COD排水として排出できるので、前処理工程で再利用することができる。請求項10記載のエタノール製造装置においては、バイオマス原料に含まれている水分やエタノールを製造する過程で添加された水を低COD排水として排出できるので、糖化工程で再利用することができる。請求項11記載のエタノール製造装置においては、バイオマス原料に含まれている水分やエタノールを製造する過程で添加された水を低COD排水として排出できるので、固液分離工程で用いるリンス液として再利用することができる。請求項12記載のエタノール製造装置においては、低COD排水の排水処理が容易なので、従来よりも廃液処理の負担を軽減することができる。請求項13記載のエタノール製造装置においては、低COD排水が減圧蒸留塔の塔底循環液の熱源として利用されることにより、減圧蒸留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項14記載のエタノール製造装置においては、低COD排水が更にエタノール発酵液の予熱に利用されることにより、減圧蒸留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項15記載のエタノール製造装置においては、第2の圧縮機によって断熱圧縮されたエタノールベーパーの一部が精留塔の塔底循環液を加熱する加熱部の熱源として利用された後、精留塔の塔頂へ循環することにより、減圧蒸留工程及び精留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項16~18記載のエタノール製造装置においては、第2の圧縮機でエタノールベーパーを断熱圧縮により昇温させて、潜熱利用可能な状態にして、顕熱とともに再利用することにより、減圧蒸留工程及び精留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項19記載のエタノール製造装置においては、減圧蒸留塔から缶出する酵素含有濃縮廃液、精留塔から缶出する低COD排水及び精留塔から留出するエタノールベーパーがエタノール発酵液の予熱に利用されることにより、減圧蒸留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項20記載のエタノール製造装置においては、第1の圧縮機に代えてブロワ又は真空ポンプを適用することができる。請求項21記載のエタノール製造装置においては、第2の圧縮機に代えてブロワ又は真空ポンプを適用することができる。請求項22記載のエタノール製造装置においては、減圧蒸留塔に代えてエタノール発酵液を濃縮する減圧濃縮装置を適用することができる。請求項23記載のエタノール製造方法においては、減圧蒸留と精留の2段方式としたことにより、減圧蒸留によって生成される酵素含有濃縮廃液の量を、酵素循環系内の流量バランスに適した量に設定して操業することが可能となる。請求項24記載のエタノール製造方法においては、断熱圧縮されたエタノールベーパーが昇温、昇圧された状態で精留されるので、精留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。請求項25記載のエタノール製造方法においては、断熱圧縮されたエタノールベーパーが減圧蒸留塔の塔底循環液と熱交換され、凝縮して精留される。従って、エタノールベーパーを冷却器で凝縮させることがないため、減圧蒸留工程及び精留工程で必要な消費エネルギーを従来よりも低減することができる。第1の実施の形態続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。但し、本発明の技術的範囲は、以下の実施の形態によって限定されることはない。本発明の第1の実施の形態に係るエタノール製造装置10図2参照は、セルロースを含んだ木質系、草本系、紙系のバイオマス原料からエタノールを生成するものである。図1に示すように、エタノール製造工程は、前処理工程P1、糖化工程P2、C6糖発酵工程P3、減圧蒸留工程P4、精留工程P5、無水化工程P6を含んでいる。この製造工程は、更に固液分離工程P7及びC5糖発酵工程P8を含んでいる。前処理工程P1では、バイオマス原料の酵素反応性を高めるためバイオマス原料に熱処理、化学処理、機械処理等の前処理を行う。糖化工程P2では、前処理されたバイオマス原料に、セルラーゼ、ヘミセルラーゼ等の糖化酵素を添加し、セルロース等を加水分解して単糖を得る。C6糖発酵工程P3では、糖化工程P2で得られた単糖を含む糖化液に酵母を添加し、発酵によりエタノール発酵液を得る。このエタノール発酵液は、1~10のエタノールを含んでいる。本工程は同時糖化発酵工程糖化工程P2と一緒に行う工程としても良い。減圧蒸留工程P4では、C6糖発酵工程P3で得られたエタノール発酵液を蒸留してエタノールを分離する。具体的には、エタノール発酵液を減圧蒸留塔11図2参照に導入し、塔頂からエタノールを留出させる。導入されるエタノール発酵液は、セルラーゼ、ヘミセルラーゼ等の糖化酵素及びC6糖発酵工程P3で発酵しなかったC5糖を含んでいる。セルラーゼ、ヘミセルラーゼは60°C以上で失活するので、減圧蒸留塔11の塔底温度は、その温度未満に調整される。酵素は60°C未満でも経時的に失活するので、減圧蒸留塔11の塔底温度はできる限り低いほうが好ましい。精留工程P5では、減圧蒸留塔11から留出した低濃度エタノール水を約90まで濃縮する。無水化工程P6では、精留工程P5で濃縮されたエタノールから膜分離や共沸等により水分を分離する。固液分離工程では、減圧蒸留工程P4の減圧蒸留塔11から缶出した酵素含有濃縮廃液から固形物を分離する。C5糖発酵工程P8では、固形物が分離された酵素含有濃縮廃液に含まれるC5糖を発酵させる。発酵液は糖化工程P2へと循環する。次に、図1の点線で示した減圧蒸留工程P4及び精留工程P5について詳述する。この工程では、図2に示すように、減圧蒸留塔11及び精留塔12によって、それぞれ蒸留及び精留が行われる。減圧蒸留塔11には、C6糖発酵工程P3にて生成されたエタノール発酵液が導入される。減圧蒸留塔11の塔底温度は、30°C以上60°C未満望ましくは30°C以上51°C以下になるよう、第1の圧縮機16によって内部圧力が減圧制御されている。減圧蒸留塔11の塔頂部の内部圧力は、例えば16kPaAに制御される。減圧蒸留塔11の塔底からは、酵素含有濃縮廃液が缶出する。この缶出した酵素含有濃縮廃液は、塔底循環ポンプ15によって送出され、固液分離工程P7を経てC5糖発酵工程P8の発酵槽で再利用される。減圧蒸留塔11の塔底部から缶出した酵素含有濃縮廃液の一部は、塔底循環液として熱交換器17によって昇温され、減圧蒸留塔11の塔底へと循環する。なお、熱交換器17では、図示しない蒸気ラインから供給される蒸気を熱源としている。減圧蒸留塔11の塔底温度は例えば45°Cとなる。また、熱交換器17は減圧蒸留塔11の外部に配置されているが、減圧蒸留塔11の塔底部と一体化させて、図示しない蒸気ラインから供給される蒸気と熱交換させてもよい。減圧蒸留塔11の塔頂からは、エタノールベーパーその温度は、例えば41°Cが留出する。なお、エタノール発酵液量と酵素含有濃縮廃液量は予め決定されており、その差分が留出するエタノール及び水分となる。この酵素含有濃縮廃液量は、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーの流量を調節することによって、前処理工程P1にて生成されたパルプ重量の2~20倍望ましくは5~10倍であり、例えば9倍に設定される。留出したエタノールベーパーは、精留塔12に送られる間に凝縮しないように、第1の過熱器18によって加熱される。ここで、一般に、塔頂から留出したエタノールベーパーが精留塔12に送られる間に凝縮すると、第1の圧縮機16内のインペラー羽根部等の回転部に過大な負荷が加わったり、凝縮液がシール部からリークしたりする等、機械的な問題が生じる場合がある。本実施の形態においては、減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーが第1の過熱器18によって加熱されるので、このような凝縮に起因する問題が発生することが防止される。加熱されたエタノールベーパーは、更に第1の圧縮機16によって、断熱圧縮され、昇温、昇圧される。その後、エタノールベーパーは精留塔12に導入される。従って、従来のようにエタノールベーパーをチラー等で冷却して凝縮することなく、ベーパーのまま精留塔12に導入するため、冷却に必要なエネルギーと精留塔12に必要な熱エネルギーが低減される。なお、第1の圧縮機16によって断熱圧縮されたエタノールベーパーを第1の圧縮機16の前段に設けた第1の過熱器18の熱源として利用した後、精留塔12に導入してもよい。これにより、エタノールベーパーが第1の圧縮機16内で凝縮することが防止される。また、第1の過熱器18を設けずに、第1の圧縮機16によって断熱圧縮され、昇温、昇圧されたエタノールベーパーの一部を第1の圧縮機16の入側に循環させて、エタノールベーパーが第1の圧縮機16内で凝縮することを防いでもよい。更に、前述の凝縮に起因する問題が発生するおそれがない場合、第1の圧縮機16の前段に第1の過熱器18を設けずに、留出したエタノールベーパーを第1の圧縮機16にて直接圧縮してもよい。精留塔12では、導入されたエタノールベーパーが、エタノール濃度が約90のエタノール液と低CODChemicalOxygenDemand排水に分離される。エタノール液は、塔頂からエタノールベーパーその温度は、例えば79°Cとして留出する。エタノールベーパーは、冷却器20で冷却されてエタノール液となり、無水化工程P6に送られる。なお、エタノール液の一部は、還流操作のために精留塔12の塔頂へ循環する。低COD排水は精留塔12の塔底から缶出し、塔底循環ポンプ22によって送出される。この低COD排水は減圧蒸留塔11の留出物であるので、高沸成分が存在せず、微量の有機酸や油分等が含まれているだけである。従って、低COD排水のCODは約1000mg/Lであるが、無色透明のきれいな水といえる。よって、低COD排水は、前処理工程P1、糖化工程P2、又は固液分離工程P7で循環利用することができる。特に、固液分離工程P7においては、低COD排水はリンス液として用いられる。また、この低COD排水を図示しない排水処理装置で処理することもできる。低COD排水の一部は、熱交換器21によって昇温され、精留塔12の塔底へと循環する。これにより、塔底温度は例えば100°Cとなる。第2の実施の形態続いて、本発明の第2の実施の形態に係るエタノール製造装置200について説明する。なお、エタノール製造工程は、第1の実施の形態で説明したものと同じである。エタノール製造装置200の減圧蒸留工程P4及び精留工程P5では、図3に示すように、減圧蒸留塔11及び精留塔12によって、それぞれ蒸留及び精留が行われる。減圧蒸留塔11では、C6糖発酵工程P3にて生成されたエタノール発酵液が導入される。減圧蒸留塔11の塔底温度は、糖化酵素が失活しないように、30°C以上60°C未満望ましくは30°C以上51°C以下になるよう、第1の圧縮機242によって減圧制御されている。減圧蒸留塔11の塔頂部の内部圧力は、例えば16kPaAに制御される。減圧蒸留塔11の塔底からは、酵素含有濃縮廃液が缶出する。この缶出した酵素含有濃縮廃液は、塔底循環ポンプ231によって送出され、固液分離工程P7を経てC5糖発酵工程P8の発酵槽で再利用される。また、酵素含有濃縮廃液は、予熱器232によって、エタノール発酵液を予熱する。減圧蒸留塔11の塔底部から缶出した酵素含有濃縮廃液の一部は、熱交換器加熱部234によって入熱、昇温され、塔底循環液として減圧蒸留塔11の塔底へと循環する。なお、熱交換器234では、減圧蒸留塔11の塔頂から留出するエタノールベーパーを第1の圧縮機242で断熱圧縮により昇温したものを熱源としている。減圧蒸留塔11の塔底温度は例えば45°Cとなる。また、熱交換器234は減圧蒸留塔11の外部に設置されているが、減圧蒸留塔11の塔底部と一体化させて、図示しない蒸気ラインから供給される蒸気と熱交換を行ってもよい。減圧蒸留塔11の塔頂からは、エタノールベーパーその温度は、例えば41°Cが留出する。なお、エタノール発酵液量と酵素含有濃縮廃液量は予め決定されているので、その差分が留出するエタノール及び水分となる。この酵素含有濃縮廃液量は、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーの流量を調節することによって、前処理工程P1にて生成されたパルプ重量の2~20倍望ましくは5~10倍であり、例えば9倍に設定される。この酵素含有濃縮廃液の循環量を制御するために、例えば次の方法が考えられる。第1の例として、C5糖発酵液のバッファタンクのレベルを一定に維持するように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機242の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。第2の例として、酵素含有濃縮廃液の屈折度糖度を屈折計Brix計を用いて計測し、この計測値が一定となるように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機242の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーは、第1の圧縮機242内で凝縮しないように、第1の過熱器241によって加熱される。ここで、一般に、塔頂から留出したエタノールベーパーが精留塔12に送られる間に凝縮すると、第1の圧縮機242内のインペラー羽根部等の回転部に過大な負荷が加わったり、凝縮液がシール部からリークしたりする等、機械的な問題が生じる場合がある。本実施の形態においては、減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーが第1の過熱器241によって加熱されるので、このような凝縮に起因する問題が発生することが防止される。加熱されたエタノールベーパーは、更に第1の圧縮機242によって、断熱圧縮され、昇温、昇圧される。その後、エタノールベーパーは熱交換器234で減圧蒸留塔11の塔底の酵素含有濃縮廃液塔底循環液と熱交換され、凝縮する。なお、第1の圧縮機242によって断熱圧縮されたエタノールベーパーを第1の圧縮機242の前段に設けた第1の過熱器241の熱源として利用した後、熱交換器234に導入してもよい。これにより、エタノールベーパーが第1の圧縮機242内で凝縮することが防止される。また、減圧蒸留工程P4で必要な消費エネルギーを更に低減することもできる。また、第1の過熱器241を設けずに、第1の圧縮機242によって断熱圧縮され、昇温、昇圧されたエタノールベーパーの一部を第1の圧縮機242の入側に循環させて、エタノールベーパーが第1の圧縮機242内で凝縮することを防いでもよい。更に、前述の凝縮に起因する問題が発生するおそれがない場合、第1の圧縮機242の前段に第1の過熱器241を設けずに、留出したエタノールベーパーを第1の圧縮機242にて直接圧縮してもよい。熱交換器234で凝縮した減圧蒸留塔11の留出エタノール液は、予熱器265、予熱器252及び予熱器264によって昇温され、精留塔12に導入される。予熱器265は、精留塔12の塔頂部から留出し、第2の圧縮機262で昇温、昇圧された後、留出ライン268を通って送出されたエタノールベーパーが、予熱器264で熱交換されて凝縮したエタノール液を熱源としている。予熱器252は、精留塔12の塔底部から缶出した低COD排水を熱源としている。予熱器264は、精留塔12の塔頂部から留出し、第2の圧縮機262で昇温、昇圧された後、留出ライン268を通って送出されたエタノールベーパーを熱源としている。従って、減圧蒸留塔11の塔頂部から留出し、第1の圧縮機242で昇温、昇圧されたエタノールベーパーを、減圧蒸留塔11の操作に必要な熱源とするため、従来のように蒸気などの外部熱エネルギーを使用することがなくなり、減圧蒸留塔11を操作するために必要なエネルギーが大幅に低減される。また、エタノール留出液や蒸留塔塔底からの缶出液の顕熱も予熱器等で利用するため、エネルギー使用量は低減される。更に、多重効用缶などの省エネルギー機器の導入により、塔頂温度が例えば35°C以下であった場合、消費電力が他の機器よりも大きいチラー等の冷却器が必要であるが、本プロセスではエタノールベーパーを凝縮させる必要がないのでこれが不要となる。精留塔12に導入される留出エタノール液は、エタノール濃度10程度のエタノール液10エタノール液である。この10エタノール液は、精留塔12にて、エタノール濃度が約90のエタノール液と低COD排水に分離される。90のエタノール液は、精留塔12の塔頂からエタノールベーパー90エタノールベーパーとして留出し、第2の過熱器261によって加熱され、第2の圧縮機262によって昇温、昇圧された後、留出ライン268に送出され、予熱器264及び予熱器265を通って無水化工程P6に送られる。なお、90エタノールベーパーは、前述のように、予熱器264によって減圧蒸留塔11から留出した10エタノール液を予熱する。また、90エタノールベーパーは予熱器264で凝縮した後、予熱器265によって10エタノール液を予熱する。第2の圧縮機262によって圧縮され昇温、昇圧したエタノールベーパーの一部は、還流ライン267に送出される。その後、還流ライン267に送出されたエタノールベーパーは、精留塔12の塔底部の加熱部である熱交換器254を通って塔底循環液と熱交換され、大部分が凝縮する。凝縮したエタノールは、エタノール還流液として、精留塔12の塔頂へと循環する。なお、第2の圧縮機262によって断熱圧縮されたエタノールベーパーを第2の圧縮機262の前段に設けた第2の過熱器261の熱源として利用した後、留出ライン268及び還流ライン267に送出してもよい。これにより、エタノールベーパーが第2の圧縮機262内で凝縮することが防止される。また、減圧蒸留工程P4で必要な消費エネルギーを更に低減することもできる。低COD排水は精留塔12の塔底から缶出する。この低COD排水は減圧蒸留塔11の留出物であるので、高沸成分が存在せず、微量の有機酸や油分等が含まれているだけである。従って、低COD排水のCODは約1000mg/Lであるが、無色透明のきれいな水といえる。よって、低COD排水は、前処理工程P1、糖化工程P2、又は固液分離工程P7で循環利用することができる。特に、固液分離工程P7においては、低COD排水はリンス液として用いられる。また、この低COD排水を図示しない排水処理装置で処理することもできる。低COD排水は、塔底循環ポンプ251によって送出され、前述の通り予熱器252を介して精留塔12に導入される10エタノール液を予熱する。低COD排水の一部は、熱交換器254によって昇温され、塔底循環液として精留塔12の塔底へと循環する。なお、熱交換器254の熱源は、前述の通り、第2の圧縮機262によって圧縮され、昇温、昇圧されたエタノールベーパーである。これにより、塔底温度は例えば100°Cとなる。なお、エタノール発酵液は予熱器232によって熱交換がされているが、この予熱器232は省略することもできる。また、精留塔12の塔頂から留出するエタノールベーパーの分岐ライン還流ライン267及び留出ライン268は、第2の圧縮機262の出口側に設けられているが、これに代えて、留出ライン268を第2の圧縮機262の入口側で分岐させても良い。また、熱交換器234と、予熱器252、265との間に、凝縮されたエタノールを一時的に貯留するバッファタンクを設けることもできる。第3の実施の形態続いて、本発明の第3の実施の形態に係るエタノール製造装置30について説明する。なお、エタノール製造工程は、第1の実施の形態で説明したものと同じである。エタノール製造装置30の減圧蒸留工程P4及び精留工程P5では、図4に示すように、減圧蒸留塔11及び精留塔12によって、それぞれ蒸留及び精留が行われる。減圧蒸留塔11では、C6糖発酵工程P3にて生成されたエタノール発酵液が導入される。減圧蒸留塔11の塔底温度は、糖化酵素が失活しないように、30°C以上60°C未満望ましくは30°C以上51°C以下になるよう、第1の圧縮機42によって減圧制御されている。減圧蒸留塔11の塔頂部の内部圧力は、例えば16kPaAに制御される。減圧蒸留塔11の塔底からは、酵素含有濃縮廃液が缶出する。この缶出した酵素含有濃縮廃液は、塔底循環ポンプ31によって送出され、固液分離工程P7を経てC5糖発酵工程P8の発酵槽で再利用される。また、酵素含有濃縮廃液は、予熱器32によって、エタノール発酵液を予熱する。減圧蒸留塔11の塔底部から缶出した酵素含有濃縮廃液の一部は、塔底循環液として熱交換器33、及び熱交換器34加熱部によって入熱、昇温され、減圧蒸留塔11の塔底へと循環する。なお、熱交換器33では、精留塔12の塔底から缶出する低COD排水を熱源としている。熱交換器34では、減圧蒸留塔11の塔頂から留出するエタノールベーパーを第1の圧縮機42で断熱圧縮により昇温したものを熱源としている。減圧蒸留塔11の塔底温度は例えば45°Cとなる。また、熱交換器33と熱交換器34は減圧蒸留塔11の外部に設置されているが、減圧蒸留塔11の塔底部と一体化させて、図示しない蒸気ラインから供給される蒸気と熱交換を行ってもよい。減圧蒸留塔11の塔頂からは、エタノールベーパーその温度は、例えば41°Cが留出する。なお、エタノール発酵液量と酵素含有濃縮廃液量は予め決定されており、その差分が留出するエタノール及び水分となる。この酵素含有濃縮廃液量は、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーの流量を調節することによって、前処理工程P1にて生成されたパルプ重量の2~20倍望ましくは5~10倍であり、例えば9倍に設定される。この酵素含有濃縮廃液の循環量を制御するために、例えば次の方法が考えられる。第1の例として、C5糖発酵液のバッファタンクのレベルを一定に維持するように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機42の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。第2の例として、酵素含有濃縮廃液の屈折度糖度を屈折計Brix計を用いて計測し、この計測値が一定となるように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機42の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーは、第1の圧縮機42内で凝縮しないように、第1の過熱器41によって加熱される。ここで、一般に、塔頂から留出したエタノールベーパーが精留塔12に送られる間に凝縮すると、第1の圧縮機42内のインペラー羽根部等の回転部に過大な負荷が加わったり、凝縮液がシール部からリークしたりする等、機械的な問題が生じる場合がある。本実施の形態においては、減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーが第1の過熱器41によって加熱されるので、このような凝縮に起因する問題が発生することが防止される。加熱されたエタノールベーパーは、更に第1の圧縮機42によって、断熱圧縮され、昇温、昇圧される。その後、エタノールベーパーは熱交換器34で減圧蒸留塔11の塔底の酵素含有濃縮廃液塔底循環液と熱交換され、凝縮される。なお、第1の圧縮機42によって断熱圧縮されたエタノールベーパーを第1の圧縮機42の前段に設けた第1の過熱器41の熱源として利用した後、熱交換器34に導入してもよい。これにより、エタノールベーパーが第1の圧縮機42内で凝縮することが防止される。また、減圧蒸留工程P4で必要な消費エネルギーを更に低減することもできる。また、第1の過熱器41を設けずに、第1の圧縮機42によって断熱圧縮され、昇温、昇圧されたエタノールベーパーの一部を第1の圧縮機42の入側に循環させて、エタノールベーパーが第1の圧縮機42内で凝縮することを防いでもよい。更に、前述の凝縮に起因する問題が発生するおそれがない場合、第1の圧縮機42の前段に第1の過熱器41を設けずに、留出したエタノールベーパーを第1の圧縮機42にて直接圧縮してもよい。熱交換器34で凝縮された減圧蒸留塔11の留出エタノール液は、予熱器63、予熱器65、予熱器52及び予熱器64で昇温されて、精留塔12に導入される。予熱器63は、精留塔12の塔頂部から留出し、第2の圧縮機62で昇温、昇圧された後、還流ライン67を通って送出され、精留塔12の塔底部の加熱部である熱交換器54で熱交換されて凝縮したエタノール液を熱源としている。この還流ライン67のエタノール液は一部ベーパーとして存在しているものもある。予熱器65は、精留塔12の塔頂部から留出し、第2の圧縮機62で昇温、昇圧された後、留出ライン68を通って送出されたエタノールベーパーが、予熱器64で熱交換されて凝縮したエタノール液を熱源としている。予熱器52は、精留塔12の塔底部から缶出した低COD排水を熱源としている。予熱器64は、精留塔12の塔頂部から留出し、第2の圧縮機62で昇温、昇圧された後、留出ライン68を通って送出されたエタノールベーパーを熱源としている。従って、減圧蒸留塔11の塔頂部から留出し、第1の圧縮機42で昇温、昇圧されたエタノールベーパーを、減圧蒸留塔11の操作に必要な熱源とするため、従来のように蒸気などの外部熱エネルギーを使用することがなくなり、減圧蒸留塔11を操作するために必要なエネルギーが大幅に低減される。また、エタノール留出液や蒸留塔塔底からの缶出液の顕熱も予熱器等で利用するため、エネルギー使用量は低減される。その他、多重効用缶などの省エネルギー機器の導入により、塔頂温度が例えば35°C以下であった場合、消費電力が他の機器よりも大きいチラー等の冷却器が必要であるが、本プロセスではエタノールベーパーを凝縮させる必要がないのでこれが不要となる。精留塔12に導入される留出エタノール液は、エタノール濃度10程度のエタノール液10エタノール液である。この10エタノール液は、精留塔12にて、エタノール濃度が約90のエタノール液と低COD排水に分離される。90のエタノール液は、精留塔12の塔頂からエタノールベーパー90エタノールベーパーとして留出し、第2の過熱器61によって加熱され、第2の圧縮機62によって昇温、昇圧された後、留出ライン68に送出される。留出ライン68に送出されたエタノールベーパーは、予熱器64、予熱器65、予熱器66を通って無水化工程P6に送られる。なお、90エタノールベーパーは、前述のように、予熱器64によって減圧蒸留塔11から留出した10エタノール液を予熱する。また、90エタノールベーパーは予熱器64で凝縮した後、予熱器65によって10エタノール液を予熱する。第2の圧縮機62によって圧縮され昇温、昇圧したエタノールベーパーの一部は、還流ライン67に送出される。その後、還流ライン67に送出されたエタノールベーパーは、熱交換器54を通って塔底循環液と熱交換され、大部分が凝縮する。凝縮したエタノールは、予熱器63を介して精留塔12に導入される10エタノールを予熱し、エタノール還流液として塔頂へと循環する。なお、第2の圧縮機62によって断熱圧縮されたエタノールベーパーを第2の圧縮機62の前段に設けた第2の過熱器61の熱源として利用した後、留出ライン68及び還流ライン67に送出してもよい。これにより、エタノールベーパーが第2の圧縮機62内で凝縮することが防止される。また、減圧蒸留工程P4で必要な消費エネルギーを更に低減することもできる。低COD排水は精留塔12の塔底から缶出する。この低COD排水は減圧蒸留塔11の留出物であるので、高沸成分が存在せず、微量の有機酸や油分等が含まれているだけである。従って、低COD排水のCODは約1000mg/Lであるが、無色透明のきれいな水といえる。よって、低COD排水は、前処理工程P1、糖化工程P2、又は固液分離工程P7で循環利用することができる。特に、固液分離工程P7においては、低COD排水はリンス液として用いられる。また、この低COD排水を図示しない排水処理装置で処理することもできる。低COD排水は、塔底循環ポンプ51によって送出され、前述の通り予熱器52を介して精留塔12に導入される10エタノール液を予熱し、熱交換器33によって、減圧蒸留塔11の塔底循環液と熱交換される。また、低COD排水は、予熱器53によって、エタノール発酵液を予熱する。低COD排水の一部は、熱交換器54によって昇温され、精留塔12の塔底へと循環する。なお、熱交換器54の熱源は、前述の通り、第2の圧縮機62によって圧縮され、昇温、昇圧されたエタノールベーパーである。これにより、塔底温度は例えば100°Cとなる。なお、エタノール発酵液は並列に設けられた予熱器32、予熱器53、及び予熱器66によって熱交換がされているが、エタノール発酵液の分岐に係るコストが過大になる場合等では、これら予熱器32、予熱器53、及び予熱器66は直列に設けるか省略してもよい。また、精留塔12の塔頂から留出するエタノールベーパーの分岐ライン還流ライン67及び留出ライン68は、第2の圧縮機62の出口側に設けられているが、これに代えて、留出ライン68を第2の圧縮機62の入口側で分岐させても良い。第4の実施の形態続いて、本発明の第4の実施の形態に係るエタノール製造装置70について説明する。なお、エタノール製造工程は、第1の実施の形態で説明したものと同じである。エタノール製造装置70の減圧蒸留工程P4及び精留工程P5では、図5に示すように、減圧蒸留塔11及び精留塔12によって、それぞれ蒸留及び精留が行われる。減圧蒸留塔11では、C6糖発酵工程P3にて生成されたエタノール発酵液が導入される。減圧蒸留塔11の塔底温度は、糖化酵素が失活しないように、30°C以上60°C未満望ましくは30°C以上51°C以下になるよう、第1の圧縮機86によって減圧制御されている。減圧蒸留塔11の内部圧力は、例えば16kPaAに制御される。減圧蒸留塔11の塔底からは、酵素含有濃縮廃液が缶出する。この缶出した酵素含有濃縮廃液は、塔底循環ポンプ75によって送出され、固液分離工程P7を経てC5糖発酵工程P8の発酵槽で再利用される。また、酵素含有濃縮廃液は、予熱器77によってエタノール発酵液を予熱する。減圧蒸留塔11の塔底部の酵素含有濃縮廃液は、塔底循環液として熱交換器78、熱交換器79、及び熱交換器80によって昇温され、減圧蒸留塔11の塔底へと循環する。なお、熱交換器78では、精留塔12の塔底から缶出する低COD排水その温度は、例えば100°Cを熱源としている。熱交換器79では、図示しない蒸気ラインから供給される外部蒸気と熱交換される。熱交換器80では、精留塔12の塔頂から留出するエタノールベーパーと熱交換される。減圧蒸留塔11の塔底温度は例えば45°Cとなる。また、熱交換器78と熱交換器79は減圧蒸留塔11の外部に設置されているが、減圧蒸留塔11の塔底部と一体化させて、図示しない蒸気ラインから供給される蒸気と熱交換を行ってもよい。減圧蒸留塔11の塔頂からは、エタノールベーパーその温度は、例えば41°Cが留出する。なお、エタノール発酵液量と酵素含有濃縮廃液量を予め決定されており、その差分が留出するエタノール及び水分となる。この酵素含有濃縮廃液量は、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーの流量を調節することによって、前処理工程P1にて生成されたパルプ重量の2~20倍望ましくは5~10倍であり、例えば9倍に設定される。この酵素含有濃縮廃液の循環量を制御するために、例えば次の方法が考えられる。第1の例として、C5糖発酵液のバッファタンクのレベルを一定に維持するように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機86の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。第2の例として、酵素含有濃縮廃液の屈折度糖度を屈折計Brix計を用いて計測し、この計測値が一定となるように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機86の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーは、精留塔12に送られる間に凝縮しないように、第1の過熱器85によって加熱される。ここで、一般に、塔頂から留出したエタノールベーパーが精留塔12に送られる間に凝縮すると、第1の圧縮機86内のインペラー羽根部等の回転部に過大な負荷が加わったり、凝縮液がシール部からリークしたりする等、機械的な問題が生じる場合がある。本実施の形態においては、減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーが第1の過熱器85によって加熱されるので、このような凝縮に起因する問題が発生することが防止される。加熱されたエタノールベーパーは、更に第1の圧縮機86によって断熱圧縮され、昇温、昇圧される。その後、エタノールベーパーは精留塔12に導入される。従って、従来のようにエタノールベーパーを冷却して凝縮することなく、ベーパーのまま精留塔12に導入するため、精留塔12を運転するために必要なエネルギーが大幅に低減される。その他、多重効用缶などの省エネルギー機器の導入により、塔頂温度が例えば35°C以下であった場合、消費電力が他の機器よりも大きいチラー等の冷却器が必要であるが、本プロセスではエタノールベーパーを凝縮させる必要がないのでこれが不要となる。なお、第1の圧縮機86によって断熱圧縮されたエタノールベーパーを第1の圧縮機86の前段に設けた第1の過熱器85の熱源として利用した後、精留塔12に導入してもよい。これにより、エタノールベーパーが第1の圧縮機86内で凝縮することが防止される。また、減圧蒸留工程P4で必要な消費エネルギーを更に低減することもできる。また、第1の過熱器85を設けずに、第1の圧縮機86によって断熱圧縮され、昇温、昇圧されたエタノールベーパーの一部を第1の圧縮機86の入側に循環させて、エタノールベーパーが第1の圧縮機86内で凝縮することを防いでもよい。更に、前述の凝縮に起因する問題が発生するおそれがない場合、第1の圧縮機86の前段に第1の過熱器85を設けずに、留出したエタノールベーパーを第1の圧縮機86にて直接圧縮してもよい。精留塔12に導入された10程度のエタノールベーパーは、エタノール濃度が約90のエタノール液90エタノール液と低COD排水に分離される。塔頂からは90エタノール液がエタノールベーパーその温度は、例えば79°Cとして留出する。なお、前述の通り、この塔頂から留出したエタノールベーパーは、熱交換器80によって減圧蒸留塔11の塔底循環液と熱交換され、塔底循環液を昇温する。更に、このエタノールベーパーは、予熱器90によって、エタノール発酵液を予熱する。その後、エタノールベーパーの一部は留出ライン94を通って無水化工程P6に送られる。エタノールベーパーの残りは、大部分が凝縮された状態で、エタノール還流液として、還流ライン95を通って精留塔12の塔頂へと循環する。低COD排水は精留塔12の塔底から缶出する。この低COD排水は減圧蒸留塔11の留出物であるので、高沸成分が存在せず、微量の有機酸や油分等が含まれているだけである。従って、低COD排水のCODは約1000mg/Lであるが、無色透明のきれいな水といえる。よって、低COD排水は、前処理工程P1、糖化工程P2、又は固液分離工程P7で循環利用することができる。特に、固液分離工程P7においては、低COD排水はリンス液として用いられる。また、この低COD排水を図示しない排水処理装置で処理することもできる。低COD排水は、塔底循環ポンプ93によって送出され、前述の通り熱交換器78によって減圧蒸留塔11の塔底循環液と熱交換される。また、低COD排水は、予熱器91を介して、エタノール発酵液を予熱する。低COD排水の一部は、熱交換器92によって図示しない蒸気ラインから供給される外部蒸気等により昇温され、精留塔12の塔底へと循環する。これにより、塔底温度は例えば100°Cとなる。なお、エタノール発酵液は並列に設けられた予熱器77、予熱器90、及び予熱器91によって熱交換がされているが、エタノール発酵液の分岐に係るコストが過大になる場合等では、これら予熱器77、予熱器90、及び予熱器91は直列に設けるか省略してもよい。第5の実施の形態続いて、本発明の第5の実施の形態に係るエタノール製造装置97について説明する。なお、エタノール製造工程は、第1の実施の形態で説明したものと同じである。以下では、第1の実施の形態と同じ部分については同じ符号を付して詳しい説明を省略する。エタノール製造装置97の減圧蒸留工程P4及び精留工程P5では、図6に示すように、減圧蒸留塔11及び精留塔12によって、それぞれ蒸留及び精留が行われる。減圧蒸留塔11では、C6糖発酵工程P3にて生成されたエタノール発酵液が導入される。減圧蒸留塔11の塔底温度は、酵素が失活しないように、30°C以上60°C未満望ましくは30°C以上51°C以下になるよう、第1の圧縮機99によって減圧制御されている。減圧蒸留塔11の内部圧力は、例えば16kPaAに制御される。減圧蒸留塔11の塔底からは、酵素含有濃縮廃液が缶出する。この缶出した酵素含有濃縮廃液は、塔底循環ポンプ98によって送出され、固液分離工程P7を経てC5糖発酵工程P8の発酵槽で再利用される。また、酵素含有濃縮廃液は、予熱器100によって、エタノール発酵液を予熱する。缶出した減圧蒸留塔11の塔底部の酵素含有濃縮廃液の一部は、塔底循環液として熱交換器101、熱交換器102及び熱交換器103によって昇温され、減圧蒸留塔11の塔底へと循環する。なお、熱交換器101では、精留塔12の塔底から缶出する低COD排水その温度は、例えば100°Cを熱源としている。熱交換器102では、図示しない蒸気ラインから供給される外部蒸気と熱交換される。熱交換器103では、精留塔12の塔頂から留出するエタノールベーパーと熱交換される。減圧蒸留塔11の塔底温度は例えば45°Cとなる。また、熱交換器101と熱交換器102は減圧蒸留塔11の外部に設置されているが、減圧蒸留塔11の塔底部と一体化させて、図示しない蒸気ラインから供給される蒸気と熱交換を行ってもよい。減圧蒸留塔11の塔頂からは、エタノールベーパーその温度は、例えば41°Cが留出する。このエタノールベーパー量はエタノール製造工程全体で循環可能な酵素含有濃縮廃液量で決定される。この酵素含有濃縮廃液の循環量を制御するために、例えば次の方法が考えられる。第1の例として、C5糖発酵液のバッファタンクのレベルを一定に維持するように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機99の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。第2の例として、酵素含有濃縮廃液の屈折度糖度を屈折計Brix計を用いて計測し、この計測値が一定となるように、減圧蒸留工程P4における供給蒸気量、第1の圧縮機99の回転数、又は減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパー量を変更して制御することができる。減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーは、精留塔12に送られる間に凝縮しないよう、図示しない蒸気ラインから供給される蒸気を熱源とする第1の過熱器105によって加熱される。ここで、一般に、塔頂から留出したエタノールベーパーが精留塔12に送られる間に凝縮すると、第1の圧縮機99内のインペラー羽根部等の回転部に過大な負荷が加わったり、凝縮液がシール部からリークしたりする等、機械的な問題が生じる場合がある。本実施の形態においては、減圧蒸留塔11の塔頂から留出したエタノールベーパーが第1の過熱器105によって加熱されるので、このような凝縮に起因する問題が発生することが防止される。加熱されたエタノールベーパーは、更に第1の圧縮機99によって断熱圧縮され、昇温、昇圧される。その後、エタノールベーパーは精留塔12に導入される。従って、従来のようにエタノールベーパーを冷却して凝縮することなく、ベーパーのまま精留塔12に導入するため、精留塔12を運転するために必要なエネルギーが低減される。その他、多重効用缶などの省エネルギー機器の導入により、塔頂温度が例えば35°C以下であった場合、消費電力が従来適用されている冷却塔クーリングタワーよりも大きいチラー等の冷却器が必要であるが、本プロセスではエタノールベーパーを凝縮させる必要がないのでこれが不要となる。なお、第1の圧縮機99によって断熱圧縮されたエタノールベーパーを第1の圧縮機99の前段に設けた第1の過熱器105の熱源として利用した後、精留塔12に導入してもよい。これにより、エタノールベーパーが第1の圧縮機99内で凝縮することが防止される。また、減圧蒸留工程P4で必要な消費エネルギーを更に低減することもできる。また、第1の過熱器105を設けずに、圧縮機によって断熱圧縮により昇温されたエタノールベーパーの一部を第1の圧縮機99の入側に循環させて、エタノールベーパーが圧縮機内で凝縮することを防いでもよい。更に、前述の凝縮に起因する問題が発生するおそれがない場合、第1の圧縮機99の前段に第1の過熱器105を設けずに、留出したエタノールベーパーを第1の圧縮機99にて直接圧縮してもよい。精留塔12に、導入された10程度のエタノールベーパーは、エタノール濃度が約90のエタノール液90エタノール液と低COD排水に分離される。塔頂からは90エタノール液がエタノールベーパーその温度は、例えば79°Cとして留出し、第2の圧縮機109により圧縮され、その一部が留出ライン120を通って無水化工程P6に送られる。なお、この塔頂から留出したエタノールベーパーの一部は、前述の通り熱交換器103によって、減圧蒸留塔11の塔底循環液と熱交換される。更に、このエタノールベーパーは、予熱器110及び予熱器111によって、エタノール発酵液を予熱する。なお、塔頂から留出したエタノールベーパーは、第2の圧縮機109により圧縮され、圧縮されたエタノールベーパーの一部が還流ライン121から熱交換器112を通って、大部分が凝縮された状態でエタノール還流液として、精留塔12の塔頂へ循環する。低COD排水は精留塔12の塔底から缶出する。この低COD排水は減圧蒸留塔11の留出物であるので、高沸成分が存在せず、微量の有機酸や油分等が含まれているだけである。従って、低COD排水のCODは約1000mg/Lであり、無色透明のきれいな水といえる。よって、低COD排水は、前処理工程P1、糖化工程P2、又は固液分離工程P7で循環利用することができる。特に、固液分離工程P7においては、低COD排水はリンス液として用いられる。また、この低COD排水を図示しない排水処理装置で処理することもできる。低COD排水は、塔底循環ポンプ115によって送出され、前述の通り熱交換器101によって減圧蒸留塔11の塔底循環液と熱交換される。また、低COD排水は、予熱器113を介して、エタノール発酵液を予熱する。また、低COD排水の一部は、熱交換器114及び熱交換器112によって昇温され、精留塔12の塔底へと循環する。熱交換器114では、図示しない蒸気ラインから供給される外部蒸気と熱交換される。なお、熱交換器112の熱源は、前述の通り、第2の圧縮機109によって圧縮され、昇温、昇圧されたエタノールベーパーである。これにより、塔底温度は例えば100°Cとなる。なお、エタノール発酵液は、並列に設けられた予熱器100、予熱器111、及び予熱器113によって熱交換がされているが、これら予熱器100、予熱器111、及び予熱器113は直列に設けてもよい。また、第2の圧縮機109によって圧縮されたエタノールベーパーは、第1の過熱器105の熱源とすることができる。発明者は、前述の第1~第5の実施の形態に係るエタノール製造装置のエネルギー低減効果について試算した。その結果を表1に示す。なお、原料は木質チップである。計算条件は以下の通りである。<計算条件>1.エタノール発酵液:10,484kg/hエタノール濃度32.酵素含有濃縮廃液:8,737kg/h3.減圧蒸留塔留出エタノール:1,747kg/hエタノール濃度14=エタノール発酵液10,484kg/h-酵素含有濃縮廃液8,737kg/h4.低COD排水:1,476kg/h=減圧蒸留塔留出エタノール1,747kg/h-90エタノール271kg/h5.90エタノール:271kg/h244kg/h/90wt6.精留に関する還流比:3試算にあたり、電力エネルギーは蒸気エネルギーの1/3として換算した。また、多重効用にかかる蒸気使用量は3重効用として通常の蒸留の1/3とした。また、チラーのCOPCoefficientOfPerformanceは1.8とした。また、圧縮機の断熱圧縮効率は50とした。なお、第1及び第4の実施の形態において、常圧蒸気外部蒸気は、補助的なエネルギーとして通常の10分の1程度の35にまで低減することができる。なぜなら、精留塔12に必要なエネルギーは、圧縮機1686で昇温、昇圧されて精留塔12に導入されるエタノールベーパーでほぼ賄われるためである。また、第4の実施の形態において、減圧蒸気は700まで低減することができる。塔底で導入する350のエネルギーのうち200分を利用する。なぜなら、減圧蒸留塔11に必要なエネルギーは、精留塔12の塔頂部のエタノールベーパーが保有する潜熱分のエネルギーを利用するためである。また、第5の実施の形態において、減圧蒸気は850まで低減することができる。減圧蒸留塔11に必要なエネルギーは、精留塔12の塔頂部のエタノールベーパーの一部が保有する潜熱と顕熱分のエネルギーを利用するためである。表1中、比較例1は、多重効用缶などを設けず単純に蒸気のみで蒸留を行った場合の試算結果である。この結果を基準の100としている。比較例2は、多重効用及びチラーを組み合わせて蒸留を行った場合の試算結果である。比較例2については、塔頂温度が35°C以下になるためチラーが必要となり、必要な外部エネルギーは蒸気換算で92となる。1第1の実施の形態について図2に示すように、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーを凝縮させずに第1の圧縮機16で昇温、昇圧して精留塔12に導入することにより、外部エネルギーは蒸気換算で89まで減らすことができる。2第2の実施の形態について図3に示すように、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーを凝縮させずに第1の圧縮機242で昇温、昇圧して、減圧蒸留塔11の熱源に利用し、更に精留塔12から留出するエタノールベーパーも凝縮させずに精留塔12の熱源に利用することにより、外部エネルギーは蒸気換算で27まで減らすことができる。3第3の実施の形態について図4に示すように、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーを凝縮させずに第1の圧縮機42で昇温、昇圧して、減圧蒸留塔11の熱源に利用し、更に精留塔12から留出するエタノールベーパーも凝縮させずに精留塔12の熱源に利用することにより、外部エネルギーは蒸気換算で26まで減らすことができる。4第4の実施の形態について図5に示すように、減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーを凝縮させずに精留塔12に導入し、精留塔12から留出するエタノールベーパーを減圧蒸留塔11の熱源に利用することにより、外部エネルギーは蒸気換算で73まで減らすことができる。5第5の実施の形態について図6に示すように減圧蒸留塔11から留出するエタノールベーパーを凝縮させずに精留塔12に導入し、精留塔12から留出するエタノールベーパーも凝縮させずに精留塔12の熱源に利用することにより、外部エネルギーは蒸気換算で94まで減らすことができる。以上より、いずれの実施の形態についても、最も多くのエネルギーを持つ第1の圧縮機の出側のエタノールベーパーのエネルギーをより効率良く活用できる。ただし、これら実施の形態の中で、エタノールベーパーのエネルギーを最も効率良く活用できるのは、第3の実施の形態であると考えられる。なお、本発明は、前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲での変更は可能である。例えば、前述のそれぞれ実施の形態や変形例の一部又は全部を組み合わせて本発明を構成する場合も本発明の技術的範囲に含まれる。前述の実施の形態における減圧蒸留塔11は、エタノール発酵液を濃縮する減圧濃縮装置としてもよい。また、前述の実施の形態における第1の圧縮機は、ブロワ又は真空ポンプとしてもよい。更に、前述の実施の形態における第2の圧縮機は、ブロワ又は真空ポンプとしてもよい。"