レーザー発振器からレーザー光を発振し、前記発振されたレーザー光を、第1のマルチシリンドリカルレンズに入射させ、前記第1のマルチシリンドリカルレンズを通過したレーザー光を、第2のマルチシリンドリカルレンズに入射させ、前記第2のマルチシリンドリカルレンズを通過したレーザー光を、収束レンズに入射させ、前記収束レンズを通過したレーザー光を、被照射物に照射し、前記第1のマルチシリンドリカルレンズと前記第2のマルチシリンドリカルレンズは、それぞれ凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズとが交互に配置され、前記凸シリンドリカルレンズと前記凹シリンドリカルレンズとの境界は、滑らかに連続し、前記第1のマルチシリンドリカルレンズと前記第2のマルチシリンドリカルレンズは、互いに直交し、前記凸シリンドリカルレンズおよび前記凹シリンドリカルレンズは、いずれも曲率が等しく、前記凸シリンドリカルレンズの幅と前記凹シリンドリカルレンズの幅が等しいことを特徴とするレーザー照射方法。請求項1において、前記第1のマルチシリンドリカルレンズは、前記レーザー発振器から発振されたレーザー光を、第1の方向に収束または発散し、前記第2のマルチシリンドリカルレンズは、前記第1のマルチシリンドリカルレンズを通過したレーザー光を、前記第1の方向と直角の方向に収束または発散することを特徴とするレーザー照射方法。レーザー発振器からレーザー光を発振し、前記発振されたレーザー光を、ビームエキスパンダーに入射させ、前記ビームエキスパンダーを通過したレーザー光を、第1のマルチシリンドリカルレンズに入射させ、前記第1のマルチシリンドリカルレンズを通過したレーザー光を、第2のマルチシリンドリカルレンズに入射させ、前記第2のマルチシリンドリカルレンズを通過したレーザー光を、収束レンズに入射させ、前記収束レンズを通過したレーザー光を、被照射物に照射し、前記第1のマルチシリンドリカルレンズと前記第2のマルチシリンドリカルレンズは、それぞれ凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズとが交互に配置され、前記凸シリンドリカルレンズと前記凹シリンドリカルレンズとの境界は、滑らかに連続し、前記第1のマルチシリンドリカルレンズと前記第2のマルチシリンドリカルレンズは、互いに直交し、前記凸シリンドリカルレンズおよび前記凹シリンドリカルレンズは、いずれも曲率が等しく、前記凸シリンドリカルレンズの幅と前記凹シリンドリカルレンズの幅が等しいことを特徴とするレーザー照射方法。請求項3において、前記第1のマルチシリンドリカルレンズは、前記ビームエキスパンダーを通過したレーザー光を、第1の方向に収束または発散し、前記第2のマルチシリンドリカルレンズは、前記第1のマルチシリンドリカルレンズを通過したレーザー光を、前記第1の方向と直角の方向に収束または発散することを特徴とするレーザー照射方法。請求項1乃至請求項4のいずれか一において、前記第1のマルチシリンドリカルレンズ及び前記第2のマルチシリンドリカルレンズは、石英製のマルチシリンドリカルレンズであることを特徴とするレーザー照射方法。請求項1乃至請求項5のいずれか一において、前記被照射物に照射されるレーザー光は、線状または方形状のビーム形状を有することを特徴とするレーザー照射方法。請求項1乃至請求項6のいずれか一において、前記レーザー発振器は、エキシマレーザー発振器であることを特徴とするレーザー照射方法。請求項1乃至請求項7のいずれか一において、前記第1のマルチシリンドリカルレンズ及び第2のマルチシリンドリカルレンズは、前記凸シリンドリカルレンズのみから構成されるマルチシリンドリカルレンズよりも透過する光の損失を低減することを特徴とするレーザー照射方法。次に、従来のホモジナイザーマルチシリンドリカルレンズの原理と、問題点について述べる。この問題点こそ、本発明の解決すべき課題である。以下では、煩雑さを避けるため、1つの面における光学的な考察をおこなう。マルチシリンドリカルレンズを透過したレーザー光は、図2Aのようになる。ここでは、マルチシリンドリカルレンズLは5つの凸シリンドリカルレンズlを有し、それぞれのシリンドリカルレンズに入射した光は、各シリンドリカルレンズで屈折する。焦点で収束した後、ビームは拡散する。その際、各シリンドリカルレンズを透過した光が、全て混合する部分混合領域が得られる。ところで、ビームに光強度の分布に偏りがあり、各シリンドリカルレンズに入射する光の強度がそれぞれ異なっていたとする。しかし、混合領域では、各シリンドリカルレンズを透過した光が混合されるので、その偏りは分散してしまう。すなわち、光強度の均一化が図られる。このようにして光強度の分布の少ないビームを得ることができる。図2Aところで、マルチシリンドリカルレンズを透過した光路に着目すると、これは、等間隔距離aに配列した点光源Fすなわち、焦点から放射される光である。図2B同様な効果は、ガラス基板の両面に間隔aだけ離して、一方の面に凸シリンドリカルレンズl1、他方の面に凸シリンドリカルレンズl2を配置した場合にも得られる。図3Aでは、シリンドリカルレンズl1を通過した光路を実線で、シリンドリカルレンズl2を通過した光路を破線で示す。この場合も、図2の場合と同様に、混合領域が得られる。図3Aさらに、マルチシリンドリカルレンズを透過した光路に着目すると、図3Bに示すように、2種類の点光源F1、F2すなわち、焦点から放射される光である。図3B上記に示した従来のマルチシリンドリカルレンズにおいては、各シリンドリカルレンズの端部他のシリンドリカルレンズとの境界が屈折しているので、該部分において、光が散乱し、光の損失が発生した。このことは、レーザー光を有効に利用できないことを意味し、ビーム強度の低下を招く。本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものである。本発明においては、マルチシリンドリカルレンズにおいて、凸シリンドリカルレンズだけでなく、凹シリンドリカルレンズをも使用し、凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズとを交互に配置し、かつ、各シリンドリカルレンズ間を滑らかに連続せしめることを特徴とする。本発明の第1は、線状もしくは方形状のビーム形状を有するレーザー光を形成する装置において、レーザー発振装置と被照射物の間に挿入して用いられるホモジナイザーにおいて、上記の構成のマルチシリンドリカルレンズを用いるものである。また、本発明の第2は、レーザー発振装置と、レーザー発振装置より発せられたレーザー光が入力されるホモジナイザーとを有するレーザー光学装置において、ホモジナイザーにおいて用いられるマルチシリンドリカルレンズを上記の構成のものとするものである。上記のマルチシリンドリカルレンズにおいては、凸シリンドリカルレンズの曲面状態と凹シリンドリカルレンズの曲面状態とが同じとしてもよい。また、ホモジナイザーにおいてマルチシリンドリカルレンズは少なくとも2つ配置し、前記2つのマルチシリンドリカルレンズの方向を直交して配置してもよい。本発明のマルチシリンドリカルレンズの形態は、図1Cに示されるようになる。これは、従来のマルチシリンドリカルレンズが、いずれも凸シリンドリカルレンズ1~5から構成されていた図1Bのに対し、凸シリンドリカルレンズ1と3、3と5の間に凹シリンドリカルレンズ2と4を有することであり、かつ、これらのシリンドリカルレンズの境界が滑らかに連続していることである。図1C各シリンドリカルレンズを相互に滑らかに接続させるには、隣接する凹シリンドリカルレンズの曲率と凸シリンドルカルレンズの曲率曲面形状を同じとすればよい。シリンドリカルレンズが放物面レンズの場合には、向きの異なる放物面を組み合わせた構造となる。このようなマルチシリンドリカルレンズにおけるレーザー光の光路を、図2および図3に示したのと同様に示すと、図4のようになる。ここでは、マルチシリンドリカルレンズLは、図1Cに示されるように、3つの凸シリンドリカルレンズl1と2つの凹シリンドリカルレンズl2を有する。凸シリンドリカルレンズに入射した光は、焦点で収束した後、拡散する。一方、凹シリンドリカルレンズに入射した光は、ある点から拡散するように、一方的に拡散する。この結果、各シリンドリカルレンズを透過した光が、全て混合する部分混合領域が得られる。上記の効果は、凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズの曲率焦点距離を決定する要素、またはレンズの曲面形状が異なる場合でも同様に得られる。しかも、このような構成のマルチシリンドリカルレンズにおいては、光が散乱するような構造突起等の滑らかでない部分がないので、光の損失は低減できる。図4Aマルチシリンドリカルレンズを透過した光路に着目すると、これは図3Bに示されたものと同様に、2種類の点光源F1、F2すなわち、焦点から放射される光と見なせる。図4Bところで、凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズの曲率が同じ場合には、凹シリンドリカルレンズを透過する光の光路の境界は、隣接する凸シンドリカルレンズの焦点F1を透過する。以下、そのことを説明する。凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズの曲率が同じということは、平行光線が入射した場合の、前者における収束角度焦点通過後の拡がり角度と後者における拡がり角度が同じということである。すなわち、図5Aに示すように、凸シリンドリカルレンズl1の焦点距離をxとすると、凹シリンドリカルレンズl2と透過する平行光線は、図5Bに示すように、入射側に距離xだけ離れた点F2から放射された光と見なせる。ここで、凸シリンドリカルレンズl1の下端を通過する光の光路F1Aと、凹シリンドリカルレンズl2の上端を通過する光の光路F2Aとに着目すると、両レンズを透過する光の拡がり角度収束角度は同じであるので、直線F2Aは直線F1Aと重なる。すなわち、凹シリンドリカルレンズを透過する光の光路の境界は、隣接する凸シンドリカルレンズの焦点F1を透過する。図5本明細書で開示する発明を利用することにより、半導体装置の作製等に利用されるレーザープロセスにおいて必要な、大面積均一レーザー光を得ることができる。本実施例の光学系について説明する。本実施例のレーザー照射装置の基本構成は図1Aと同様である。ホモジナイザー入射前のレーザー光の形状は、6cm×5cmである。本実施例では、ホモジナイザーには、1枚のマルチシリンドリカルレンズを用いた。以下では、マルチシリンドリカルレンズについてのみ説明する。本実施例に示す構成においては、マルチシリンドリカルレンズは6個の凹シリンドリカルレンズ幅5mmと、5個の凸シリンドリカルレンズ幅5mmを交互に配置して構成し、入射するレーザー光をおよそ10分割するものとしている。シリンドリカルレンズの長尺方向の長さは7cmとした。マルチシリンドリカルレンズは石英製である。本実施例においては、最終的に照射される線状のレーザー光の長尺方向の長さは12cm、幅0.5mmである。このため、ホモジナイザーを通過した後に、レーザー光を長尺方向に2倍拡大し、それに垂直な方向に1/100に縮小した。凸シリンドリカルレンズと凹シリンドリカルレンズは、いずれも球面レンズとし、その曲率は同じとした。そして、凸シリンドリカルレンズの焦点距離は5cmとした。図1A参照