"測定対象物から放射された赤外線を検出する第1の感熱素子と前記測定対象物から放射された赤外線が遮光されてこの赤外線を検出しない第2の感熱素子とを有する赤外線センサ本体と、前記第1の感熱素子および前記第2の感熱素子からの電気信号を入力可能であると共に前記赤外線センサ本体の温度を制御可能なセンサ温度制御部とを備え、前記センサ温度制御部が、少なくとも前記第1の感熱素子からの電気信号に基づいて前記測定対象物の温度を求めると共に、前記第2の感熱素子からの電気信号に基づいて前記赤外線センサ本体の温度を制御することを特徴とする赤外線センサ装置。請求項1に記載の赤外線センサ装置において、前記センサ温度制御部が、前記第1の感熱素子および前記第2の感熱素子からの電気信号に基づいて求めた前記測定対象物の温度が前記第2の感熱素子からの電気信号に基づいて求めた前記赤外線センサ本体の温度以上の場合に、前記赤外線センサ本体を冷却して温度を低くし、前記測定対象物の温度が前記赤外線センサ本体の温度未満の場合に、前記赤外線センサ本体を加熱して温度を高くすることを特徴とする赤外線センサ装置。請求項1に記載の赤外線センサ装置において、前記センサ温度制御部が、前記第1の感熱素子からの電気信号と前記第2の感熱素子からの電気信号とを比較して互いの出力値が異なる場合に、前記赤外線センサ本体を加熱または冷却して互いの前記電気信号の出力値を同一にし、互いの前記電気信号の出力値が同一になった状態で前記第1の感熱素子からの電気信号に基づいて前記測定対象物の温度を求めることを特徴とする赤外線センサ装置。請求項1から3のいずれか一項に記載の赤外線センサ装置において、前記赤外線センサ本体が、絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の感熱素子に接続された導電性の第1の配線膜及び前記第2の感熱素子に接続された導電性の第2の配線膜と、前記第2の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備えていることを特徴とする赤外線センサ装置。請求項4のいずれか一項に記載の赤外線センサ装置において、前記第1の配線膜が、前記第1の感熱素子の周囲にまで配されて前記第2の配線膜よりも大きな面積で形成されていることを特徴とする赤外線センサ装置。請求項1から5のいずれか一項に記載の赤外線センサ装置において、前記センサ温度制御部が、前記赤外線センサ本体に取り付けられたペルチェ素子と、該ペルチェ素子および前記赤外線センサ本体に電気的に接続されて前記ペルチェ素子を制御する制御回路部とを備えていることを特徴とする赤外線センサ装置。上記従来の技術には、以下の課題が残されている。従来の赤外線センサは、輻射熱を検出して測定対象物の温度を推定するが、測定対象物からの輻射熱赤外線を受ける部分と受けない部分との温度差輻射熱の差分を検出して測定対象物からの輻射熱量を推定している。この輻射熱を受ける部分と受けない部分とに生じる温度差は、測定対象物の温度と赤外線センサ自体の温度との4乗の温度差に比例する。例えば、測定対象物の温度をTTとし、赤外線センサの温度をTSとし、輻射熱を受ける部分の温度をTAとし、輻射熱を受けない部分の温度をTRとした場合、以下の式で示す関係となる。なお、上記式の係数Fは、測定対象物表面の赤外線放射率及び形状曲面,面積、赤外線センサの輻射熱を受ける部分及び受けない部分の赤外線吸収率、赤外線センサのセンサ視野角、赤外線センサ周辺の空気対流などにより変わる係数である。したがって、同じ状態であれば、赤外線センサと測定対象物との温度差が小さいと赤外線センサ表面に生じる温度差輻射熱を受ける部分と受けない部分との温度差が小さくなり、検出精度が低下してしまう不都合がある。すなわち、測定対象物と赤外線センサとの温度差に対して赤外線センサの輻射熱を受ける部分と受けない部分との温度差は、図8に示すように、指数関数的に増加するが、温度差が小さいと測定対象物の温度を検出し難くなることがわかる。一方、測定対象物の温度を測定するためには、上記のように赤外線センサの輻射熱を受ける部分と受けない部分との2つの部分で検出した温度により算出する必要があり、演算処理が必要になることから、温度検出回路が複雑になる不都合もあった。本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、測定対象物の温度をより高精度に測定可能な赤外線センサ装置を提供することを目的とする。本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第1の発明の赤外線センサ装置は、測定対象物から放射された赤外線を検出する第1の感熱素子と前記測定対象物から放射された赤外線が遮光されてこの赤外線を検出しない第2の感熱素子とを有する赤外線センサ本体と、前記第1の感熱素子および前記第2の感熱素子からの電気信号を入力可能であると共に前記赤外線センサ本体の温度を制御可能なセンサ温度制御部とを備え、前記センサ温度制御部が、少なくとも前記第1の感熱素子からの電気信号に基づいて前記測定対象物の温度を求めると共に、前記第2の感熱素子からの電気信号に基づいて前記赤外線センサ本体の温度を制御することを特徴とする。この赤外線センサ装置では、センサ温度制御部が、少なくとも第1の感熱素子からの電気信号に基づいて測定対象物の温度を求めると共に、第2の感熱素子からの電気信号に基づいて赤外線センサ本体の温度を制御するので、センサ温度制御部が、第2の感熱素子から入力された電気信号により検出した赤外線センサ本体の温度と測定対象物の温度とを比較して赤外線センサ本体の温度を調整することができ、互いの温度差を制御して高精度な温度測定が可能になる。第2の発明の赤外線センサ装置は、第1の発明において、前記センサ温度制御部が、前記第1の感熱素子および前記第2の感熱素子からの電気信号に基づいて求めた前記測定対象物の温度が前記第2の感熱素子からの電気信号に基づいて求めた前記赤外線センサ本体の温度以上の場合に、前記赤外線センサ本体を冷却して温度を低くし、前記測定対象物の温度が前記赤外線センサ本体の温度未満の場合に、前記赤外線センサ本体を加熱して温度を高くすることを特徴とする。すなわち、この赤外線センサ装置では、センサ温度制御部が、測定対象物の温度が赤外線センサ本体の温度以上の場合に、赤外線センサ本体を冷却して温度を低くし、測定対象物の温度が赤外線センサ本体の温度未満の場合に、赤外線センサ本体を加熱して温度を高くするので、測定対象物の温度と赤外線センサ本体の温度との温度差が大きくなり、高精度に測定対象物の温度を検出することができる。第3の発明の赤外線センサ装置は、第1の発明において、前記センサ温度制御部が、前記第1の感熱素子からの電気信号と前記第2の感熱素子からの電気信号とを比較して互いの出力値が異なる場合に、前記赤外線センサ本体を加熱または冷却して互いの前記電気信号の出力値を同一にし、互いの前記電気信号の出力値が同一になった状態で前記第1の感熱素子からの電気信号に基づいて前記測定対象物の温度を求めることを特徴とする。すなわち、この赤外線センサ装置では、センサ温度制御部が、第1の感熱素子と第2の感熱素子との互いの電気信号の出力値が同一になった状態で第1の感熱素子または第2の感熱素子からの電気信号に基づいて測定対象物の温度を求めるので、測定対象物と赤外線センサ本体とが同一温度となり、第1の感熱素子の電気信号と第2の感熱素子の電気信号との差分を求める演算処理が不要になり、第1の感熱素子または第2の感熱素子3Bの電気信号のみから測定対象物の温度を高精度に得ることができる。第4の発明の赤外線センサ装置は、第1から第3のいずれかの発明において、前記赤外線センサ本体が、絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、前記絶縁性フィルムの一方の面に形成され前記第1の感熱素子に接続された導電性の第1の配線膜及び前記第2の感熱素子に接続された導電性の第2の配線膜と、前記第2の感熱素子に対向して前記絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備えていることを特徴とする。従来の特許文献1に記載の赤外線センサでは、上述したように輻射熱を受ける部分と受けない部分とで構造が大きく異なるため、両者で温度分布が生じ易い。また、センサとしてサーモパイルを採用した場合、検出素子が熱電対輻射熱を受ける部分であると共に温度補償素子がダイオード輻射熱を受けない部分であるため、輻射熱を受ける部分と受けない部分とで素子が異なり、やはり検出素子と補償素子との温度追従が異なり、制御による誤差が生じてしまう問題がある。これらに対して本発明の赤外線センサ装置では、赤外線センサ本体が、絶縁性フィルムの一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子及び第2の感熱素子と、第2の感熱素子に対向して絶縁性フィルムの他方の面に設けられた赤外線反射膜とを備えているので、互いに絶縁性フィルム上に並んだ検出用の第1の感熱素子と補償用の第2の感熱素子とに生じる温度分布が小さくなり、センサ温度制御部による赤外線センサ本体の温度制御時に検出素子第1の感熱素子と補償素子第2の感熱素子との温度追従が大幅に向上する。第5の発明の赤外線センサ装置は、第4の発明において、前記第1の配線膜が、前記第1の感熱素子の周囲にまで配されて前記第2の配線膜よりも大きな面積で形成されていることを特徴とする。すなわち、この赤外線センサ装置では、第1の配線膜が、第1の感熱素子の周囲にまで配されて第2の配線膜よりも大きな面積で形成されているので、大きな面積の第1の配線膜が、絶縁性フィルムを透過して筐体に照射される赤外線を遮断すると共に筐体から放射される輻射熱を遮断して絶縁性フィルムへの熱影響を抑制することができる。さらに、絶縁性フィルムの赤外線を吸収した部分からの熱収集を改善すると共に、絶縁性フィルムの赤外線反射膜が形成された部分と熱容量が近づくので、変動誤差を小さくすることができる。したがって、周囲の温度変動に敏感に反応することから、センサ温度制御部の制御による温度変化に対しても輻射熱を受ける部分と受けない部分との追従性が良く、検出精度がさらに改善される。なお、第1の配線膜の面積及び形状は、絶縁性フィルムの赤外線反射膜が形成された部分と熱容量がほぼ等しくなるように設定することが好ましい。第6の発明の赤外線センサ装置は、第1から第5のいずれかの発明において、前記センサ温度制御部が、前記赤外線センサ本体に取り付けられたペルチェ素子と、該ペルチェ素子および前記赤外線センサ本体に電気的に接続されて前記ペルチェ素子を制御する制御回路部とを備えていることを特徴とする。すなわち、この赤外線センサ装置では、センサ温度制御部が、赤外線センサ本体に取り付けられたペルチェ素子と、該ペルチェ素子および赤外線センサ本体に電気的に接続されてペルチェ素子を制御する制御回路部とを備えているので、制御回路部でペルチェ素子を制御することで赤外線センサ本体を直接加熱または冷却することができる。本発明によれば、以下の効果を奏する。すなわち、本発明に係る赤外線センサ装置によれば、センサ温度制御部が、少なくとも第1の感熱素子からの電気信号に基づいて測定対象物の温度を求めると共に、第2の感熱素子からの電気信号に基づいて赤外線センサ本体の温度を制御するので、センサ温度制御部が赤外線センサ本体と測定対象物との温度差を制御して高精度な温度測定が可能になる。以下、本発明に係る赤外線センサ装置の一実施形態を、図1から図7を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能又は認識容易な大きさとするために縮尺を適宜変更している。本実施形態の赤外線センサ装置1は、図1および図2に示すように、測定対象物Sから放射された赤外線を検出する第1の感熱素子3Aと測定対象物Sから放射された赤外線が遮光されてこの赤外線を検出しない第2の感熱素子3Bとを有する赤外線センサ本体10と、第1の感熱素子3Aおよび第2の感熱素子3Bからの電気信号を入力可能であると共に赤外線センサ本体10の温度を制御可能なセンサ温度制御部11とを備えている。上記赤外線センサ本体10は、図2から図5に示すように、絶縁性フィルム2と、該絶縁性フィルム2の一方の面下面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、絶縁性フィルム2の一方の面に形成され第1の感熱素子3Aに接続された導電性金属膜である一対の第1の配線膜4A及び第2の感熱素子3Bに接続された導電性金属膜である一対の第2の配線膜4Bと、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6と、絶縁性フィルム2の一方の面に固定されて該絶縁性フィルム2を支持すると共に第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bを内部の収納部7aに収納する筐体7とを備えている。上記第1の配線膜4Aは、図3に示すように、第1の感熱素子3Aの周囲にまで配されて第2の配線膜4Bよりも大きな面積で形成されている。これらの第1の配線膜4Aは、一対の中央に第1の感熱素子3Aを配し、一対で外形状が赤外線反射膜6と略同じ四角形状に設定されている。すなわち、第1の配線膜4Aの面積及び形状は、絶縁性フィルム2の赤外線反射膜6が形成された部分と熱容量がほぼ等しくなるように設定している。また、第1の配線膜4Aと赤外線反射膜6とは、平面視において収納部7aの上部を塞ぐ形状とされている。すなわち、図3のbに示すように、絶縁性フィルム2の上方側から視た際平面視に、一対で外形状が赤外線反射膜6と略同じ四角形状に設定されている第1の配線膜4Aと赤外線反射膜6とで、直方体形状の収納部7aの上部の略全体を塞いでいる。また、一対の第1の配線膜4Aには、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された第1の接着電極5Aが接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された第1の端子電極8Aが接続されている。また、一対の第2の配線膜4Bは、線状に形成されており、その一端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された第2の接着電極5Bが接続されていると共に、他端部にそれぞれ絶縁性フィルム2上に形成された第2の端子電極8Bが接続されている。なお、上記第1の接着電極5A及び第2の接着電極5Bには、それぞれ第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bの端子電極3aが半田等の導電性接着剤で接着される。上記絶縁性フィルム2は、ポリイミド樹脂シートで形成され、赤外線反射膜6、第1の配線膜4A及び第2の配線膜4Bが銅箔で形成されている。すなわち、これらは、絶縁性フィルム2とされるポリイミド基板の両面に、赤外線反射膜6、第1の配線膜4A及び第2の配線膜4Bとされる銅箔のフロート電極がパターン形成された両面フレキシブル基板によって作製されたものである。さらに、上記赤外線反射膜6は、図4に示すように、第2の感熱素子3Bの直上に四角形状で配されており、銅箔と、該銅箔上に積層された金メッキ膜とで構成されている。この赤外線反射膜6は、絶縁性フィルム2よりも高い赤外線放射率を有する材料で形成され、上述したように、銅箔上に金メッキ膜が施されて形成されている。なお、金メッキ膜の他に、例えば鏡面のアルミニウム蒸着膜やアルミニウム箔等で形成しても構わない。この赤外線反射膜6は、第2の感熱素子3Bよりも大きなサイズでこれを覆うように形成されている。上記第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bは、図6に示すように、両端部に端子電極3aが形成されたチップサーミスタである。このサーミスタとしては、NTC型、PTC型、CTR型等のサーミスタがあるが、本実施形態では、第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bとして、例えばNTC型サーミスタを採用している。このサーミスタは、Mn-Co-Cu系材料、Mn-Co-Fe系材料等のサーミスタ材料で形成されている。なお、これら第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bは、各端子電極3aを対応する第1の接着電極5A上又は第2の接着電極5B上に接合させて絶縁性フィルム2に実装されている。特に、本実施形態では、第1の感熱素子3Aおよび第2の感熱素子3Bとして、Mn,CoおよびFeの金属酸化物を含有するセラミックス焼結体、すなわちMn-Co-Fe系材料で形成されたサーミスタ素子を採用している。さらに、このセラミックス焼結体は、立方晶スピネル相を主相とする結晶構造を有していることが好ましい。特に、セラミックス焼結体としては、立方晶スピネル相からなる単相の結晶構造が最も望ましい。上記筐体7は、PPSポリフェニレンサルファイド樹脂等の樹脂で形成されており、第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bを収納すると共に絶縁性フィルム2よりも熱伝導率の低い空気で覆う空間である収納部7aが内部に設けられている。この筐体7内の絶縁性フィルム2に対向する底面には、赤外線を反射する底面反射膜9が形成されている。この底面反射膜9は、上記赤外線反射膜6と同様の膜が採用可能である。筐体7は、図5および図7に示すように、側面に設けられ第1の配線膜4Aまたは第2の配線膜4Bの第2の端子電極8Bに上端が接続されていると共に底部まで延在された複数の側面電極部10aと、側面下部において側面電極部10aの下端に接続されて設けられ外部の回路基板上に接続させる複数の実装用外部端子10bとを備えている。すなわち、本実施形態の赤外線センサ1は表面実装型とされている。なお、側面電極部10aと実装用外部端子10bとは、例えば錫めっきされた銅合金で形成されている。上記センサ温度制御部11は、赤外線センサ本体10に取り付けられたペルチェ素子12と、該ペルチェ素子12および赤外線センサ本体10に電気的に接続されてペルチェ素子12を制御する制御回路部Cとを備えている。このセンサ温度制御部11は、少なくとも第1の感熱素子3Aからの電気信号に基づいて測定対象物Sの温度を求めると共に、第2の感熱素子3Bからの電気信号に基づいて赤外線センサ本体10の温度を制御する機能を有している。この温度制御としては、以下の2つの制御方法が設定される。第1の制御として、センサ温度制御部11は、第1の感熱素子3Aおよび第2の感熱素子3Bからの電気信号に基づいて求めた測定対象物Sの温度が第2の感熱素子3Bからの電気信号に基づいて求めた赤外線センサ本体10の温度以上の場合に、赤外線センサ本体10を冷却して温度を低くし、測定対象物Sの温度が赤外線センサ本体10の温度未満の場合に、赤外線センサ本体10を加熱して温度を高くするように設定されている。なお、測定対象物Sと測定対象物Sとの温度差は、30°C程度に設定することが好ましい。この第1の制御では、制御回路部Cが、第1の感熱素子3Aと第2の感熱素子3Bとで検出された赤外線の差分出力の差分を演算処理し、第2の感熱素子3Bをリファレンスとして第1の感熱素子3Aで検出された温度を算出する機能を有している。また、第2の制御として、センサ温度制御部11は、第1の感熱素子3Aからの電気信号と第2の感熱素子3Bからの電気信号とを比較して互いの出力値が異なる場合に、赤外線センサ本体10を加熱または冷却して互いの電気信号の出力値を同一にし、互いの電気信号の出力値が同一になった状態で第1の感熱素子3Aまたは第2の感熱素子3Bからの電気信号に基づいて測定対象物Sの温度を求めるように設定されている。すなわち、センサ温度制御部11は、測定対象物Sの温度と赤外線センサ本体10の温度とが異なる場合に、第1の感熱素子3Aおよび第2の感熱素子3Bからの両電気信号の出力値を同一になるように赤外線センサ本体10を加熱または冷却し、赤外線センサ本体10の温度を測定対象物Sと同一温度にするように設定されている。この第2の制御では、第1の制御のような第1の感熱素子3Aと第2の感熱素子3Bとで検出された赤外線の差分出力値の差分を演算処理で算出することは行わず、制御回路部Cが、第1の感熱素子3Aで検出された一方の赤外線出力値のみから測定対象物Sの温度を直接求める機能を有している。なお、センサ温度制御部11は、上記2つの制御のいずれか一方のみが設定されているが、いずれかの制御を選択可能としても構わない。このように本実施形態の赤外線センサ装置1では、センサ温度制御部11が、少なくとも第1の感熱素子3Aからの電気信号に基づいて測定対象物Sの温度を求めると共に、第2の感熱素子3Bからの電気信号に基づいて赤外線センサ本体10の温度を制御するので、センサ温度制御部11が、第2の感熱素子3Bから入力された電気信号により検出した赤外線センサ本体10の温度と測定対象物Sの温度とを比較して赤外線センサ本体10の温度を調整することができ、互いの温度差を制御して高精度な温度測定が可能になる。上記第1の制御に設定された場合、センサ温度制御部11が、測定対象物Sの温度が赤外線センサ本体10の温度以上の場合に、赤外線センサ本体10を冷却して温度を低くし、測定対象物Sの温度が赤外線センサ本体10の温度未満の場合に、赤外線センサ本体10を加熱して温度を高くするので、測定対象物Sの温度と赤外線センサ本体10の温度との温度差が大きくなり、高精度に測定対象物Sの温度を検出することができる。また、上記第2の制御に設定された場合、センサ温度制御部11が、第1の感熱素子3Aと第2の感熱素子3Bとの互いの電気信号の出力値が同一になった状態で第1の感熱素子3Aまたは第2の感熱素子3Bからの電気信号に基づいて測定対象物Sの温度を求めるので、測定対象物Sと赤外線センサ本体10とが同一温度となり、第1の感熱素子3Aの電気信号と第2の感熱素子3Bの電気信号との差分を求める演算処理が不要になり、第1の感熱素子3Aまたは第2の感熱素子3Bの電気信号のみから測定対象物Sの温度を高精度に得ることができる。なお、赤外線センサ本体10の温度が測定対象物Sと同じ温度になると、赤外線センサ本体10から放射される輻射エネルギーと測定対象物Sから放射される輻射エネルギーとが同じになり、放射と入射との両輻射エネルギーが互いに相殺され、測定対象物Sから入射される輻射熱があたかも無い状態と同様になることから、赤外線センサ本体10の表面は測定対象物Sからの輻射熱で加熱も冷却もされず、輻射熱による影響がゼロになって輻射熱を受ける部分と受けない部分とが同一状態となる。したがって、第1の感熱素子3Aの電気信号と第2の感熱素子3Bの電気信号とを同じ強度電圧の場合は電位差ゼロにするように、センサ温度制御部11により赤外線センサ本体10の温度をコントロールすることで、赤外線センサ本体10の温度を測定対象物と同一温度にすることができる。また、本実施形態の赤外線センサ装置1では、赤外線センサ本体10が、絶縁性フィルム2の一方の面に互いに離間させて設けられた第1の感熱素子3A及び第2の感熱素子3Bと、第2の感熱素子3Bに対向して絶縁性フィルム2の他方の面に設けられた赤外線反射膜6とを備えているので、互いに絶縁性フィルム2上に並んだ検出用の第1の感熱素子3Aと補償用の第2の感熱素子3Bとに生じる温度分布が小さくなり、センサ温度制御部11による赤外線センサ本体10の温度制御時に検出素子第1の感熱素子3Aと補償素子第2の感熱素子3Bとの温度追従が大幅に向上する。さらに、第1の配線膜4Aが、第1の感熱素子3Aの周囲にまで配されて第2の配線膜4Bよりも大きな面積で形成されているので、大きな面積の第1の配線膜4Aが、絶縁性フィルム2を透過して筐体7に照射される赤外線を遮断すると共に筐体7から放射される輻射熱を遮断して絶縁性フィルム2への熱影響を抑制することができる。また、絶縁性フィルム2の赤外線を吸収した部分からの熱収集を改善すると共に、絶縁性フィルム2の赤外線反射膜6が形成された部分と熱容量が近づくので、変動誤差を小さくすることができる。したがって、周囲の温度変動に敏感に反応することから、センサ温度制御部11の制御による温度変化に対しても輻射熱を受ける部分と受けない部分との追従性が良く、検出精度がさらに改善される。なお、第2の配線膜4Bと赤外線反射膜6とが、平面視において収納部7aの上部を塞ぐ形状とされているので、第2の配線膜4Bと赤外線反射膜6とにより絶縁性フィルム2を透過して収納部7a内へ抜ける赤外線を収納部7aの上部全体で遮断することができ、筐体7が加熱されることをさらに抑制することができる。さらに、筐体7内の絶縁性フィルム2に対向する底面に、赤外線を反射する底面反射膜9が形成されているので、筐体7内の底面から放射される輻射熱を底面反射膜9で直接反射させて遮断することで対向する絶縁性フィルム2や感熱素子3A,3Bへの影響をさらに抑制することができる。また、センサ温度制御部11が、赤外線センサ本体10に取り付けられたペルチェ素子12と、該ペルチェ素子12および赤外線センサ本体10に電気的に接続されてペルチェ素子12を制御する制御回路部Cとを備えているので、制御回路部Cでペルチェ素子12を制御することで赤外線センサ本体10を直接加熱または冷却することができる。なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、第1の感熱素子が赤外線を直接吸収した絶縁性フィルムから伝導される熱を検出しているが、第1の感熱素子の直上であって絶縁性フィルム上に赤外線吸収膜を形成しても構わない。この場合、さらに第1の感熱素子における赤外線吸収効果が向上して、第1の感熱素子と第2の感熱素子とのより良好な温度差分を得ることができる。すなわち、この赤外線吸収膜によって測定対象物からの輻射による赤外線を吸収するようにし、赤外線を吸収し発熱した赤外線吸収膜から絶縁性フィルムを介した熱伝導によって、直下の第1の感熱素子の温度が変化するようにしてもよい。この赤外線吸収膜は、絶縁性フィルムよりも高い赤外線吸収率を有する材料で形成され、例えば、カーボンブラック等の赤外線吸収材料を含むフィルムや赤外線吸収性ガラス膜二酸化珪素を71含有するホウケイ酸ガラス膜などで形成されているもの等が採用可能である。特に、赤外線吸収膜は、アンチモンドープ酸化錫ATO膜であることが望ましい。このATO膜は、カーボンブラック等に比べて赤外線の吸収率が良いと共に耐光性に優れている。また、ATO膜は、紫外線で硬化させるので、接着強度が強く、カーボンブラック等に比べて剥がれ難い。なお、この赤外線吸収膜は、第1の感熱素子よりも大きなサイズでこれを覆うように形成することが好ましい。また、赤外線吸収膜を設ける場合は、赤外線反射膜側の熱容量と略等しくなるように各配線膜を含めて面積や形状を設定する必要がある。また、チップサーミスタの第1の感熱素子及び第2の感熱素子を採用しているが、薄膜サーミスタで形成された第1の感熱素子及び第2の感熱素子を採用しても構わない。なお、感熱素子としては、上述したように薄膜サーミスタやチップサーミスタが用いられるが、サーミスタ以外に焦電素子等も採用可能である。また、上記実施形態の筐体では、第1の感熱素子及び第2の感熱素子を収納する一つの収納部を内部に設けているが、筐体内部に仕切り壁を設け、第1の感熱素子及び第2の感熱素子をそれぞれ個別に収納する一対の収納部を設けても構わない。また、収納部内は、絶縁性フィルムよりも熱伝導率の低い空気による空間としているが、絶縁性フィルムよりも熱伝導率の低い発泡樹脂を充填しても構わない。さらに、上記実施形態では、第1の配線膜の面積を大きくし、第2の配線膜は線状に形成しているが、第2の配線膜の面積をある程度大きく設定しても構わない。この場合、赤外線反射膜側の熱容量が変わるため、周辺温度の変化に対して考慮する必要があり、反射側と吸収側とで、できるだけ熱容量が同じになるように各配線膜や赤外線反射膜の形状および面積を設定する必要がある。"