一様空気流を形成するための整流機構を空気吹出面に内設してもつ一対のプッシュフードを、互いの該空気吹出面どうしを平行に且つ該空気吹出面の中心どうしが正対しない位置関係で該プッシュフードから吹き出される一様空気流どうしを対向させて衝突するように配置すると共に、該一様空気流を該空気吹出面に対して斜め方向に角度をもって吹き出すように構成してなる局所クリーンゾーン形成装置。該整流機構が、少なくとも1つのハニカム形並列多孔体と少なくとも1つの空気抵抗体からなり、該ハニカム形並列多孔体の多孔部が該空気吹出面に対して斜め方向に角度をもって配列されている請求項1に記載の局所クリーンゾーン形成装置。該整流機構のハニカム形並列多孔体の多孔部が該空気吹出面に対して水平斜め方向に角度をもって配列されている請求項2に記載の局所クリーンゾーン形成装置。該プッシュフードを上面方向より見たとき、該プッシュフードの外観形状を形成するハウジングの該空気吹出面を有するハウジング面と境界を接する2つの側面のうち少なくともいずれか一方の側面が、該空気吹出面に対して水平斜め方向に吹き出す一様空気流の角度と平行であることを特徴とする請求項3に記載の局所クリーンゾーン形成装置。該プッシュフードを上面方向より見たとき、該プッシュフードの外観形状を形成するハウジングの該空気吹出面を有する面と境界を接する側面の成す角度が鈍角であって且つその側面が該空気吹出面に対して水平斜め方向に吹き出す一様空気流の角度と平行であるプッシュフードにおいて、該鈍角の側面を形成するプッシュフード内の空気吹出面から該空気吹出面と対向するもう一方の側の背面側ハウジングに亘り且つ該空気吹出面の上端から下端に亘って縦方向に遮蔽板を内設したことを特徴とする請求項4に記載の局所クリーンゾーン形成装置。該一対のプッシュフードの空気吹出面どうしの間に形成されるクリーンゾーンの気流方向と平行するクリーンゾーンの境界面すべてが開放状態となる請求項1~5のいずれか1項に記載の局所クリーンゾーン形成装置。[発明の効果]本発明の局所クリーンゾーン形成装置は空気吹出面に対して斜め方向に角度をもって吹き出す一対のプッシュフードを互いに空気吹出面から吹き出される一様空気流どうしを対向させて衝突させることで、該一対のプッシュフードの空気吹出面間にクリーンゾーンを形成できるため、クリーンベンチのように囲いがなくとも高い清浄度をもつクリーンゾーンを形成することが可能であり、作業の邪魔になる囲いがないことからクリーンゾーンにおける作業者の作業性に優れ、それらの作業の対象を制限することがない。また、本発明の局所クリーンゾーン形成装置は囲いがなく空気吹出面に対して斜め方向に角度をもって吹き出すことが可能であるため、製造部品等の搬送を伴う製造ラインにおいても、当該製造ラインの対象作業エリアのみを一対のプッシュフードで斜めに挟み一様空気流どうしを衝突させることでクリーンゾーンの形成が可能であり、製造ライン全体を囲ったり、或いは作業部屋全体をクリーン化するような大掛かりな設備を必要とせず、容易に局所的にクリーンゾーンの形成が可能である。また装置の設置スペースが省スペースで済み、装置自身や施工費用等が安価であり、必要な局所空間のみをクリーン化するため、無駄な交換フィルタや電気代などの維持費の削減も可能である。さらにクリーンゾーンを形成する気流の中に作業者の身体が入り込んで気流に大きな乱れが生じてクリーンゾーンの形成を阻害するようなことがなく、腕から先しかクリーンゾーンの気流の中に入り込まずに作業をすることが可能であるためクリーンゾーンを維持することが可能である。また、本発明の局所クリーンゾーン形成装置は、装置の設置エリアに柱や製造設備等の移動が困難な障害物が存在する場合であっても、障害物を避けて一対のプッシュフードから吹き出される一様空気流どうしを互いに斜めに吹き出させて対向するようにすることで、障害物や作業部屋の構造に合わせてクリーンゾーンを形成することが可能となる。またこれまで設置不可能であった狭隘な作業部屋にもクリーンゾーンを形成することが可能であり、設置スペースを実質的に省スペースに抑えて作業エリアを効率的に利用することが可能である。また、従来からあるプッシュフードは空気吹出面に対して垂直方向に気流を吹き出すものしかなかったが、本発明においてはプッシュフードの空気吹出面に対して斜めに角度をもって吹き出す機能をもつものである。本発明の装置の使用者或いは装置設置者はどのような角度で空気を吹き出すものであるかを判別することが困難であるため、空気吹出面を有するハウジング面と境界を接する2つの側面のうち少なくとも一方の側面を、空気吹出面に対して斜めに角度をもって吹き出す一様空気流の角度と平行に形成することで、プッシュフードの外観を見るだけでその装置がどの角度で気流を吹き出す装置であるかの判別をすることが可能となる。また、本発明の局所クリーンゾーン形成装置は、一対のプッシュフードの空気吹出面を床面から天井等任意の高さ或いは範囲において自由に配置することが可能であり、作業や用途に合わせてクリーンゾーンの範囲を自由に与えることが可能である。また、本発明の局所クリーンゾーン形成装置は、プッシュフードの装置本体を相対的に小型に形成することができるため、必要に応じて装置にキャスター等の移動手段を設けることで容易に装置の移動が可能となり、作業レイアウトの変更への対応や作業部屋間での移動など装置運用のバリエーションが広がる。図1は本発明の一対のプッシュフードを用いた局所クリーンゾーン形成装置の設置例を示す斜視図である。図2-aは一台のプッシュフードから形成される一様空気流空間を示す図である。図2-bは一対のプッシュフードを気流が対向するように設置したときに形成される一様空気流空間を示す図である。図3-aは本発明で用いる整流機構の代表例を示す上面透過図である。図3-bは本発明で用いる整流機構の代表例を示す上面透過図である。図3-cは本発明で用いる整流機構の代表例を示す上面透過図である。図3-dは本発明で用いる整流機構の代表例を示す上面透過図である。図4-aは本発明で用いるプッシュフードの代表例を示す四面図である。図4-bは本発明で用いるプッシュフードの代表例を示す四面図である。図4-cは本発明で用いるプッシュフードの代表例を示す四面図である。図4-dは本発明で用いるプッシュフードの代表例を示す四面図である。図5-aは本発明で用いるプッシュフードのハウジング形状の代表例を示す上面図である。図5-bは本発明で用いるプッシュフードのハウジング形状の代表例を示す上面図である。図5-cは本発明で用いるプッシュフードのハウジング形状の代表例を示す上面図である。図5-dは本発明で用いるプッシュフードのハウジング形状の代表例を示す上面図である。図6-aは本発明で用いるプッシュフードにおける一部の気流の流れを示す上面透過図である。図6-bは本発明で用いるプッシュフードにおける一部の気流の流れを示す上面透過図である。図7-aは従来の一対のプッシュフードを用いた局所クリーンゾーン形成装置である特許文献4の装置の設置例を示す上面図である。図7-bは本発明の一対のプッシュフードを用いた局所クリーンゾーン形成装置の設置例を示す上面図である。図8-aは本発明の一対のプッシュフードを用いた局所クリーンゾーン形成装置の設置例を示す上面図である。図8-bは従来の一対のプッシュフードを用いた局所クリーンゾーン形成装置である特許文献4の装置の設置例を示す上面図である。図9-aは実験例1の測定位置及び測定結果の説明図である。図9-bは実験例2の測定位置及び測定結果の説明図である。本発明の局所クリーンゾーン形成装置は、一対のプッシュフードから空気吹出面に対して斜めに吹き出される一様空気流どうしを対向させることを特徴とするものであるが、本発明で用いる一様空気流を吹き出すプッシュフードとしては従来からプッシュプル型換気装置に用いられているプッシュフードの構造を基本として採用することができ、これに斜めに吹き出す構成を加えて本発明で用いるプッシュフードとすることができる。本発明における一対のプッシュフードからなる局所クリーンゾーン形成装置の使用代表例を図1に示す。この一様空気流は一様捕捉気流や層流とも称し、空気吹出面から吹き出される気流に対し垂直な断面で見たとき、流れの速度の大きさがその断面のいたるところで実質的に一定である状態の空気流をいい、障害物がない状態での速度分布のバラツキが平均値に対して±50以内粉じん障害防止規則粉じん則第11条第2項第4号の規定に基づく厚生労働大臣が定める要件平成10年労働省告示第30号により、特に±20以内であるものが好ましい。また、一様空気流に適した風速としては、空気吹出面において吹き出される初速が0.3~1.5m/秒程度の低風速が好ましく、その気流は空気吹出面から吹き出されると、気流の断面全体の空気を空気吹出面から吹き出された方向に向かってゆっくりと運ぶように流れる。プッシュフードにおいて、プッシュフードの外観を形成するハウジングやそれに内設される整流機構は、製作効率上、切断、曲げ或いは接合等の加工が直線的に可能な直線部を多く持つ形状からなるものが望ましく、またこの形状は空気吹出面の面積効率から見ても同様に望ましい。このためこの一様空気流を形成するための空気吹出面としては正方形或いは長方形にすることが望ましく、特に長辺と短辺の割合いが5:1の長方形状から正方形に至るまでの範囲の四角形状にすることが好ましい。しかし、これらの製作上或いは構造上のロスを考慮する必要がなくデザイン性を重視する場合などは円やその他自由な形状を適宜選択することも可能である。一様空気流に限らず気流は一般的に吹き出されると10°程度の角度で前方に向って拡散し、一様空気流を維持する範囲は空気吹出面から吹き出した距離に応じて先細りする。図2-aは一台のプッシュフードから形成される短辺方向から見た一様空気流空間を示す図であるが、図の一台のプッシュフード1から吹き出される一様空気流の一様性を維持できる範囲は、空気吹出面2の正方形を含む長方形の短辺Lの距離に依存し、その距離は空気吹出面2の短辺Lのおおよそ3倍程度までであり、その一様空気流空間は短辺方向からみた場合に空気吹出面2の短辺Lを底辺とし、その3倍の距離をとった空気吹出面2の中心を結ぶ二等辺三角形状の面積3となり、長辺方向から見た場合には、底辺長辺、上辺長辺-L、高さ3Lの台形形状図示せずとなる空間になる。図2-bは一対のプッシュフードを気流が対向するように設置したときに形成される一様空気流空間を示す図であり、本発明に用いる気流を示したものである。図2-bに示すように一様空気流を吹き出す一対のプッシュフード1の気流3を空気吹出面2の短辺Lの3倍の距離で対向させるように設置した場合、一様空気流を形成できる範囲は、空気吹出面2の短辺Lを底辺とし、その3倍の距離をとった空気吹出面2の中心を結ぶ二等辺三角形状を、向かい合わせたプッシュフード1のそれぞれの空気吹出面2に二等辺三角形の底辺が位置するように互いの一様空気流3の重なり合う部分を含めた面積となるが、実際にはこの二つの一様空気流3が重なり合うことはなく、一対のプッシュフード1の中間付近で二つの一様空気流3は衝突し、その後気流はそれまでの流れ方向に対して垂直方向に向きを変え、一対のプッシュフード1間によって形成された一様空気流空間3から押し出される。これはプッシュフード1から一様空気流3が連続的に吹き出されているためである。図2-aのように1台のプッシュフード1から吹き出される気流だけでは一様空気流空間3は空気吹出面2から吹き出す距離に応じて先細りするが、図2-bのように一対のプッシュフード1から吹き出される一様空気流どうしを衝突させることによってほとんど先細りせずに衝突し、1台のプッシュフードでは一様空気流を形成できなかった3aの場所においても一様空気流を形成し、衝突した周囲の気流も含めて垂直方向に気流の向きが変わり、図1に示すように一対のプッシュフード1の空気吹出面2の4辺どうしを直線的に結ぶような境界面すべてが開放状態の気流空間が形成される。つまり空気吹出面2の短辺Lと短辺Lの3倍の積からなる面積と空気吹出面2の長辺の積において一様空気流空間を形成することができるのである。なお本発明においてプッシュフード内に高性能フィルタが内蔵されていることが望ましく、この形成された空間はフィルタの性能に応じたクリーンゾーンとなる。尚、一様空気流と混同されがちな気流としてエアカーテンがあるが、エアカーテン気流は扁平な長方形状のスリット状の空気吹出部から吹き出す強力な噴流によって風のカーテンを作り出し、それによって空間を仕切るもので、防塵、防臭、防虫、断熱などを目的としてエアドアなどに多様されている。このエアカーテン気流の空気吹出部の風速は初速で5~10m/s程度であり、一様空気流の風速と比べ非常に早い風速をもつものである。これは風速が早くないとエアカーテンを遠くまで形成することが不可能となるためで、スリット状空気吹出部が扁平長方形であるため短辺が短くならざるをえず、その結果、一様性はほとんど持ち備えていない気流である。このエアカーテン気流を本発明に採用しようとした場合、気流が一様性を持ち備えていないとともに、気流内で作業者が作業を行おうとした場合、気流の風速が早すぎて、作業者や製造部品等に衝突した気流がはね返って乱流が生じる。そのはね返って生じた乱流も依然早い風速を維持しているため、さらに作業空間の至るところで乱流が発生してしまい一様空気流空間を形成することができず、結果的にクリーンゾーンの形成も事実上不可能となる。ここで本発明で用いるに適したプッシュフードについて説明する。プッシュフードは装置全体を覆うハウジングとして、厚さ0.3~5.0mmの鋼板を折り曲げ加工やプレス加工等により、内設する整流機構をはじめとする部材や或いはデザイン性などを考慮して適宜の形状としたものを用いることができる。また装置全体の骨組みを金属製等のL字フレームなどを組み合わせて形成したのち、装置表面を鋼板或いは合成樹脂板等により覆うようなハウジング構成も可能である。プッシュフードのハウジングとしては、これらの構造や材質に限定されるものではなく、内設する整流機構等の重量など考慮した上で適宜の構造を用いうる。本発明の好ましいハウジング構造としては、生産性を考慮した場合、加工性と強度のバランスから厚みt1.0~1.6mmのステンレス鋼板を直線的に曲げ、切断、溶接等加工してハウジングを形成するものが特に好ましい。ハウジングの一面には空気吹出面があり、その空気吹出面には、装置内部に隣設された整流機構の通気表面を保護するための桟が設けられていることが好ましい。この桟材質に制約はなく、鋼或いは樹脂など適宜選択可能であり、断面φ0.5~φ10.0mmの線材、断面□0.5~□10.0mmの角材或いは断面0.5~10.0mm×1.0~100.0mmの角材を縦、横及び斜め等にそれぞれ組み合わせ自在に空気吹出面全体に桟を形成することができる。この桟は整流機構から通気されてくる気流の風速や風向等の気流に影響を与えない程度にまばらな間隔に構成されていることが好ましい。またこの桟に金網或いは樹脂製の網を用いることも可能である。この桟はハウジングの内側から空気吹出面の周囲に溶接或いはハウジングにフレームなどを設けて固定するなど、その固定方法に制約はない。空気吹出面の桟12の内側には、空気吹出面2から一様空気流を吹き出すように構成した整流機構6が空気吹出面2の桟12と隙間を設けて空気吹出面2の通気面が重なるように配置されている。整流機構6は、空気吹出面2の面積と同等或いはそれより若干大きい程度の面積を持つ複数の部材を重ね合わせて構成されている。整流機構6の下流側、即ち最も空気吹出面2に隣接した位置には少なくとも一つ以上のハニカム形並列多孔体10が配置されており、且つその上流側に少なくとも一つの空気抵抗体11が配置されていることが好ましい。整流機構6は、まず整流機構6の上流側から送風されてくる空気吹出面2全体に対して通気量に偏りがある気流を空気抵抗体11において補正し、空気吹出面2全体で偏りのない均一化された気流にする。次にハニカム形並列多孔体10において空気抵抗体11で均一化された気流に方向性を与え一様空気流の方向性を安定させて空気吹出面2から吹き出させることで一様空気流空間を安定して形成できるようにしている。本発明において、ハニカム形並列多孔体10とは、多数の多孔体を並列して有すると共に、単位多孔体の横断面の直径に比し縦断面の直径即ち深さが大きい状態の多孔体を意味する。従って、並列する多孔体は、狭義のハニカム構造に限定されず、横断面形状が三角以上の多角形状や円形状をもつものも包含され、その単位多孔体の横断面の直径は1~10mmが好ましく、同直径に対する深さの比は、1:1.2~1:5が好ましい。またこれらのハニカム形並列多孔体10の材質にはステンレス、アルミニウム、チタンなどの金属或いは塩化ビニル樹脂などの合成樹脂が代表的であるが、本発明において材質には特に制約はない。本発明において用いる空気抵抗体11は、整流機構6の上流側から送風されてくる空気吹出面2全体に対して通気量に偏りがある気流を空気吹出面2全体で偏りのない均一化された気流に補正するための送風空気の抵抗体となるものであればよく、パンチング板、網部材、不織布或いはプレフィルタや中性能フィルタなどのフィルタなど材質を問わず適宜用いることができる。これらの内、空気抵抗体にパンチング板を用いる場合の好ましい形態としては、パンチング板の孔の形状には三角以上の多角形状や円形状の他さまざまな形状のものがあるが、その孔形状やそれらの並び或いは間隔などはパンチング板自身の単位面積あたりの開口率のバラツキが小さいものほど好ましい。また空気抵抗体に網部材を用いる場合、平織、綾織、平畳織、綾畳織などの金属網、焼結金網或いは合成樹脂性網などをはじめとする種々の網部材の中から空気の抵抗体として作用するメッシュのものであれば適宜用いることができる。また空気抵抗体に不織布を用いる場合にも空気の抵抗体として作用する目付けのものを、空気抵抗体にフィルタを用いる場合にもその通気抵抗を踏まえて適宜用いることができる。図3-a、図3-b、図3-c、図3-dは本発明のプッシュフードにおいて、整流機構6によって斜め方向角度α17aに吹き出すとした場合の整流機構6を例示する上面断面図である。図3-aは空気吹出面2寄りに多孔体の角度17aがα°のハニカム形並列多孔体10a、その上流側にハニカム形並列多孔体10aと間隔をあけてパンチング板からなる空気抵抗体11aが配置されている。気流が整流機構6の空気抵抗体11aによって、空気吹出面2全体に対して通気量に偏りがある気流を均一化し、通過した気流はハニカム形並列多孔体10aで角度α17aに流れを変えて整流するもので、本発明で用いる整流機構6の基本的な構造である。この基本構造により速度分布のバラツキを平均値に対して±50以内にすることができる。この角度α17aは、空気吹出面2に対して10°より大きく90°より小さい範囲で装置の使用方法等に応じ適宜選択できる。通常は空気吹出面2に対して30°~85°の範囲で選択することが実質的な効果をもたらすため好ましい。またこの角度α17aは水平方向のみに限らず空気吹出面2から任意の角度で吹き出させることも可能である。図3-bは空気吹出面2寄りに多孔部の角度17aがα°のハニカム形並列多孔体10a、その上流側に2枚の同じ開口率のパンチング板からなる空気抵抗体11a、11bがハニカム形並列多孔体10a及びそれぞれの空気抵抗体11a、11bがと間隔をあけて配置され、さらにその上流側に多孔体の角度が垂直のハニカム形並列多孔体11bが配置されている。この整流機構6も図3-aの整流機構6と同様に最後のハニカム形並列多孔体10aで気流が角度α17aに流れを変えて整流するものである。ただし図3-aの整流機構6と比べ空気抵抗体11b及び多孔体の角度が垂直のハニカム形並列多孔体10bが追加されていて、これによりまず整流機構6の入り口に追加したハニカム形並列多孔体10bで気流の方向性を整え、ついで一枚目の空気抵抗体11bにおいて通気量の偏りを補正し、以降は図3-aの整流機構6と同様となる。これにより気流が本発明の基本構造である図3-aの整流機構に通気する前の段階で気流の方向性と均一性がある程度と整った状態となるため、速度分布のバラツキを平均値に対して±30以内にすることができる。図3-cは図3-bのハニカム形並列多孔体10bをハニカム形並列多孔体10aの多孔部の角度αと同じにしたハニカム形並列多孔体10cに変え、整流機構6全体をハニカム形並列多孔体10aの多孔部の角度αと平行となるような平行四辺形状にしたものであり、整流機構2の入り口のハニカム形並列多孔体10cからハニカム形並列多孔体10aに亘って角度α17aで斜めに吹き出すようになっている。整流機構としては、整流機構6の入り口のハニカム形並列多孔体の多孔体の角度は空気吹出面2側のハニカム形並列多孔体10aと同じ角度α17aで配列されていても、垂直に配列されていてもどちらでも選択可能であり、図3-cも図3-bと同様に速度分布のバラツキを平均値に対して±30以内にすることができるが、図3-cに関しては2つのハニカム形並列多孔体10a、10cの多孔部の角度が同じであるため部材の共通化が図れる。図3-dは、図3-cにさらに空気抵抗体11a、11bと同じ開口率のパンチング板からなる空気抵抗体11cを1枚追加し空気抵抗体の合計枚数を3枚使用したものであるが、下流側の多孔板11aから上流側に向かって隙間10mm、20mmの間隔をもたせている。これにより空気吹出面2全体に対して通気量に偏りのある気流をさらに精度よく補正し均一化することが可能となる。図3-dに例示した整流機構6は一様空気流の一様性を向上させ、さらにその一様空気流形成空間を広げる効果をもたらすものとして特に好ましい形態である。また一様空気流を吹き出す整流機構6の構成として空気抵抗体11、ハニカム形並列多孔体10とも用いる枚数や順番或いはそれらの間隔等も適宜変更可能である。また、対抗させる一様空気流の風速はクリーンゾーンのバランスをとるために同等とすることが好ましい。プッシュフード1のハウジング13内には整流機構6の外形よりやや大きい形状をもつ筒部を設け、その筒部の内側に整流機構6の構成部品であるハニカム形並列多孔体10と空気抵抗体11を適宜間隔を空けて直列状に各整流機構部材にパッキン等を用いて気密状態で収納することが好ましい。本発明のプッシュフードへの整流機構の固定方法としてはこの構造に限らず適宜の構造をもちいうる。本発明では、クリーンゾーンを形成するためにプッシュフード1にHEPAフィルタやULPAフィルタ等清浄化レベルに応じた高性能フィルタ7を内蔵させることが好ましく、特に本発明では整流機構6の上流側に直列状に通気面が重なるように配置させることがプッシュフード1のレイアウト上スペースのロスが少なく好ましい。また、本発明の局所クリーンゾーン形成装置ではブロワー或いはファン等の送風装置を用いて気流を発生させるものであるため、それら送風装置8の上流側にプレフィルタ或いは中性能フィルタ9などを設け、プッシュフード1の最も上流側においてあらかじめある程度空気をろ過し、その下流側に配置する送風装置8を保護したり、またさらに下流側配置する高性能フィルタ7の目詰まりを抑制することが好ましい。プッシュフード1の送風機構6としてはプッシュフード1本体に内蔵したものと、プッシュフード1本体と別に設けたものとがあり、送風機構8をプッシュフード1本体に内蔵する場合、高性能フィルタ7の上流側に通気されるようにプッシュフード1本体内にファンを内蔵していて、これらのファンには遠心ファン8aや軸流ファン8bなどが用いられる。図4-a、図4-b、図4-c、図4-dは本発明の実施形態を例示したものである。図4-aはプッシュフード1の上部に空気吹出面2をもち、その上部側に整流機構6、高性能フィルタ7、下部側に遠心ファン8aが内蔵されていて、プッシュフード1の空気吹出面2と反対側の背面側下部に空気吸込口5が設けられている。その空気吸込面5には空気吹出面2にも用いた溶接網等の網状のものや、整流機構6の空気抵抗体11に用いたパンチング板や種々の網部材など適宜用いることが可能で、遠心ファン8aの吸引力に影響を与えない程度の通気性をもったものが好ましい。プッシュフード1に内蔵された遠心ファン8aによって空気吸込口5からプッシュフードの装置外の空気が吸引され、その空気は遠心ファン8aの上流側に設けられたプレフィルタ9で装置外から吸引した空気に含まれる比較的荒めの塵埃等が取り除かれる。プレフィルタ9でろ過された空気は遠心ファン8aを通過してプッシュルード1内において装置の上部側の空気吹出面2の反対側である背面側に流れる。次にHEPAフィルタ等の高性能フィルタ7においてさらに細かな塵埃等がろ過され、整流機構6において整流され且つ空気吹出面2に対して45°の角度で一様空気流となって空気吹出面2の溶接網製の桟12から吹き出される。このように整流機構6や高性能フィルタ7と送風装置である遠心ファン8aを直列状に配置させないことでプッシュフード1本体の厚みを薄くすることができる。プッシュフード1の装置背面の空気吸込口5の網状部材はプレフィルタ9が目詰まった場合にプレフィルタ9をプッシュフード1から取り外して交換できるよう着脱容易に化粧ネジ等で固定されている。また高性能フィルタ7についても同様に高性能フィルタ7が目詰まった場合にプッシュフード1から取り外して交換できるよう高性能フィルタ7のプッシュフード1の装置背面側にフィルタ交換窓16が設けられている。図4-bはプッシュフード1上部に空気吹出面2をもち、その上部側に整流機構6、高性能フィルタ7、軸流ファン8b、プレフィルタ9、空気吸込口5が直列状態で配置され、プッシュフード1の装置下部側にはプッシュフードを地面から一定の高さにするための支柱20がプッシュフード1の四隅に設けられ、その支柱20の先端にキャスター19がそれぞれ取り付けられている。この場合、プッシュフード1の装置本体の厚みは図4-aと比べ厚くなっているが、プッシュフード1全体がコンパクトに抑えられる。本発明に用いられる送風装置用のファンとしては遠心ファン8aや軸流ファン8bなど適宜用いることができる。また図4-bの支柱20をなくして、作業机などに載せて使用することもできる。図4-cは図4-aに例示の装置の空気吹出面2を下部側にした場合を例示したものであり、図4-aに例示の装置の構成が逆になっている。図4-dは遠心ファン8aを用い縦に長い整流機構6の上下にそれぞれ高性能フィルタ7、遠心ファン8a、プレフィルタ9、空気吸込口5が直列状態に2列配置されている。図4-dの整流機構6は一つであるが2つ以上に分割して構成することも可能である。この装置は騒音等に配慮し大型の送風機構8を用いなくとも、広範囲にクリーンゾーンを形成することができるようにしたものである。特に騒音等に配慮する必要のない場所では送風機構8を大型のファン1台により制御してもよい。またこの図4-dの装置の構成を横方向に変化させてクリーンゾーンを横方向に広げることも可能であるし、適宜用途に応じて構成することが可能である。本発明において送風機構8をプッシュフード1本体と別に設けたものは、ブロワーなどの送風装置8からダクトを通じてプッシュフード1の高性能フィルタ7の上流側に通気されるようになっていて、ダクトがプッシュフード1の背面等に接続されている。この送風機構8とプッシュフード1本体が別体であるものについても複数の送風機構8とダクトを用い、一台のプッシュフードに複数のダクトを接続して広範囲をクリーンゾーンにすることも可能であり、適宜用途に応じて構成することが可能である。また送風機構8をプッシュフード1本体と別に設けたもの、送風機構8をプッシュフード1本体に内蔵したもののいずれも、複数のプッシュフード1本体を横方向に並列状に複数台並べて広範囲のクリーンゾーンを形成することも可能である。この場合、複数のプッシュフードから噴出す空気流の風速は、複数のプッシュフード全体の速度分布のばらつきの±50以内にすることが好ましい。プッシュフード1に内蔵されたファン或いはプッシュフード1の装置本体とは別にダクトを通じて設置したブロワーなどの送風装置8に位相制御やインバーター制御或いは印加電圧制御などにより発生させる風速を可変できる機能を備えていることが望ましい。それにより、たとえばプッシュフード1の設置場所を移動させてプッシュフード間の距離が変化した場合に、容易に適正風速を確保することができる。またプッシュフード1内の高性能フィルタ7の目詰まり等によって風速のバランスが崩れた場合など風速を調節して容易にクリーンゾーンのバランスを戻すことができる。また、プッシュフード1の装置本体を小型にし、プッシュフード1の底面にキャスター19等の移動手段を設けることも可能である。これにより容易に装置の移動が可能となり、作業レイアウトの変更への対応や作業部屋間での移動など装置の運用のバリエーションが広がる。図5-a、図5-b、図5-c、図5-dは本発明のプッシュフード1を上面より見たときの状態を示す図である。この装置の外観は図5-aに示すように立方体であっても直方体であっても実施することは可能であるが、プッシュフード1の空気吹出面2に対して斜めに気流を吹き出す装置であることから、直方体或いは立方体では、プッシュフード1設置時や設置後作業者自身がどの角度に吹き出す装置であるかの判別が不可能である。そのため図5-b、図5-c、図5-dに示すように空気吹出面2を有するハウジング面と境界を接する2つの側面のうち少なくとも一方の側面が空気吹出面2に対して斜め方向に吹き出す一様空気流の角度と平行に形成することで、プッシュフード1の外観を見るだけでその装置がどの角度で気流を吹き出す装置であるかの判別をすることができるようプッシュフード1の外観形状を形成することも可能である。図5-bはプッシュフード1のハウジング13を上面方向より見たとき平行四辺形、図5-c、図5-dは台形であり適宜の形をとりうることでそのプッシュフードから発生される気流の方向を認識することが可能である。図6-a、図6-bは空気吹出面2に対して水平斜めに吹き出される一様空気流と平行に形成されたハウジング13側面をもつプッシュフード1の一例を示す上面図である。この図6-aの13bは空気吹出面2に対してハウジング13が鈍角に形成され、13aは逆に鋭角に形成されており、13b側の27に示す箇所に吹き溜まりが発生しこれによって一様空気流に若干の乱れが生じている。図6-bに示すように空気吹出面2に対してハウジング13が鈍角に形成された側13bの空気吹出面2からその対向する背面側のハウジング13に亘り且つ空気吹出面の上端から下端に亘って縦方向に遮蔽板14を内設することで13b側への通気を制限し、この吹き溜まり27を発生させないようにすることができる。一般的にクリーンゾーンを必要とする製造現場には。製造部品等が存在すると共に、それらまたは製造作業者を含めたそれらの搬送を伴う場合が多い。これまでこのような製造現場に作業の制限をせずにクリーンゾーン4を形成することは困難であった。ベルトコンベア等の製造部品等搬送手段21を従来の空気吹出面2に対して垂直方向に気流を吹き出す一対のプッシュフード1で挟んでクリーンゾーンを形成したとしても、そのクリーンゾーン4を形成するプッシュフード1の空気吹出面2に作業者自身26が入り込まなくてはならず、それによって実質空気吹出面2を作業者自身26の胴体が塞いでしまったり、塞がないまでも作業者自身26の胴体に気流がぶつかってしまい気流が大きく乱れクリーンゾーン4の清浄度が低下してしまう場合があった。図7-aはプッシュフードの吹出開口面2を垂直に正対させたときの上面図の一例を示す図である。図7-bは本発明の局所クリーンゾーン形成装置をベルトコンベア等の製造部品等搬送手段21を挟んで配置したときの上面図の一例を示す図である。本発明の装置は一様空気流を空気吹出面2に対して斜め方向に角度17aをもって吹き出すよう構成してなる一対のプッシュフード1を、搬送手段21に対して、搬送手段21による搬送方向21aと垂直方向から互いの空気吹出面2どうしを平行に且つ空気吹出面2の中心どうしが正対しない位置関係でプッシュフード1から吹き出される一様空気流どうしを対向させて衝突させるようにして該搬送手段21を挟むように配置することによって、そこに一対のプッシュフード1の空気吹出面2間に底辺が平行四辺形状の気流の流れ方向に囲いを持たない立体的なクリーンゾーン4を形成するものである。本発明の装置を用いることにより、斜め方向に角度17aにクリーンゾーン4を形成することが可能なため作業者自身26の胴体が気流の中に入り込まずに済み、作業者26の腕から先しかクリーンゾーンの気流の中に入り込まずに作業をすることが可能であるため形成されたクリーンゾーン4の気流に大きな乱れを生じることなく作業者26が作業を行うことが可能になるのである。また、従来の一対の空気吹出面2に対して垂直方向に気流吹き出すプッシュフード1では狭隘な装置の設置エリアに柱や製造設備等の移動が困難な障害物23が存在する場合、気流を対向させて設置することが困難であった。たとえ設置が可能であったとしても一対のプッシュフードの空気吹出面2を正対させる必要があるため設置エリア22に不必要なスペースがとられてしまっていた。本発明は斜め方向に角度17aにクリーンゾーン4を形成することが可能なため、障害物23を避け作業エリア22の構造に合わせて装置を設置することが可能である。図8-aは本発明の局所クリーンゾーン形成装置を狭隘な場所に設置した状態を示す上面図である。図8-bに示す正対方式に比し、設置スペースを実質的に省スペースに抑えて作業エリア22を効率的に利用することが可能でありこれまで設置不可能であった狭隘な作業エリア22にもクリーンゾーン4を形成することが可能となる。本発明で用いるプッシュフードは作業の内容その他の条件に応じ空気流吹出面の大きさや吹き出し風速などの機能条件やプッシュフード間の距離などを適宜選択しうる。一例として、空気流吹出面が一辺300~3000mmの正又は長方形、吹き出し風速が0.1~2.0m/秒、プッシュフード間の距離が1~9mの条件を挙げることができる。以下に、具体例に基づいて本発明を説明する。実施例1空気吹出面2にφ1.0mmのステンレス棒材を30mmの四角格子が形成されるように縦横に均等に網状に複数重ね合わせてそれぞれの棒材が重なった箇所を溶接して固定された溶接網を桟12に用い、その桟12をプッシュフード1の上段に配した900mm×700mmの長方形状の空気吹出面2に配し、その空気吹出面2の上流側に空気吹出面2とほぼ同様のサイズの面積をもつ整流機構6を、そのさらに上流側にHEPAフィルタ7を整流機構6と間隔を空けて且つ整流機構6とHEPAフィルタ7の間に流れる空気に漏れのないようにパッキンを用いてハウジング内に設けた固定用フレームに固定して配置し、そのさらに上流側のプッシュフード1の下段に遠心ファン8aを内設する一様流を吹き出すプッシュフード1を作った。整流機構6は、空気吹出面2側である気流の下流側より第1のハニカム形並列多孔体10a、3枚のパンチングからなる空気抵抗体11a、11b、11c、第2のハニカム形並列多孔体10cの構成からなる。空気抵抗体である3枚のパンチング板11a、11b、11cはそれぞれ下流側のパンチング板11より10mm、20mmの間隔をもって配置されていて、3枚のパンチング板11a、11b、11cはいずれも同じ開口率をもつものを使用し、厚みt1.0mmのアルミニウム製で、孔径φ1.0mmの丸孔、ピッチ2.0mm、60°千鳥、開孔率23のものを使用した。また用いたハニカム形並列多孔体10は第1、第2のハニカム形並列多孔体10a、10cともに板厚0.001mmのアルミニウム製で多孔部は正六角形の1/8inch大のものを、多孔体を水平斜め方向に角度α45°に傾斜させた状態でハニカム形並列多孔体11全体の厚さが8mmのものを使用した。このプッシュフードの構成は図4-aに示すプッシュフードに図3-d示す整流機構を内設したプッシュフードである。上記のプッシュフード1を用いて全54箇所の測定ポイント24において空気吹出面2の風速の測定を行った。空気吹出面2の風速測定位置及び結果を図9-aに示す。空気吹出面風速が約0.5m/s時の平均風速に対する風速分布のバラツキは最大で15.0であった。以上の結果から本発明で必要とされる一様空気流の条件である50をはるかに下回る非常に速度分布のバラツキが小さいものであることがわかった。なお整流機構の空気吹出面側にハニカム形並列多孔体10a、その上流側に空気抵抗体11aとしてパンチング板を1枚配置しただけのものであっても50以下となる結果が得られた。実施例2次に実施例1の局所クリーンゾーン形成装置を用いた場合の空気の清浄度の測定例について述べる。ここで用いる清浄なクリーンルームなどで使われている清浄度クラスとは異なり、次のように定義して用いる。Coをファン吸い込み口付近室内空気の個数粉塵濃度0.1μm/0.01cf、Cpをプッシュ気流の個数粉塵濃度0.1μm/0.01cfとした場合、清浄度は次式で求められる。本発明に従って、実施例1と同じプッシュフードを2台用い、2個の気流が対向するように図1に示すように設置し、同じ吹き出し風速0.5m/秒で清浄度の測定をした。プッシュフード1の空気吹出面2の鉛直方向距離1500mm、2台のプッシュフードプッシュ間距離は2100mmに設置して行った。清浄度の測定ポイント25はそれぞれのプッシュフード1の空気吹出面2から鉛直方向250mmの位置及びプッシュフード間の中心位置の合計9箇所において測定した。実験結果よりすべての測定ポイントにおいて高い清浄度を示し、プッシュフード間のほとんどの領域が清浄域になることが判明した。実施例2における清浄度の測定位置及び測定結果を図9-bに示す。本発明の局所クリーンゾーン形成装置は、従来クリーンベンチやクリーンブース或いはクリーンルーム等が用いられていたクリーンゾーンを必要とする分野等において有効に利用することができる。1プッシュフード2空気吹出面3一様空気流空間3a拡大された一様空気流空間4クリーンゾーン5空気吸込面6整流機構6a整流機構空気吹出面側7高性能フィルタHEPAフィルタ、ULPAフィルタ8送風機構8a遠心ファン8b軸流ファン9中性能フィルタプレフィルタ10ハニカム形並列多孔体10a第一のハニカム形並列多孔体斜め10b第二のハニカム形並列多孔体垂直10c第二のハニカム形並列多孔体斜め11空気抵抗体11a第一の空気抵抗体11b第二の空気抵抗体11c第三の空気抵抗体12桟13ハウジング13aハウジング鋭角部13bハウジング鈍角部14遮蔽板16フィルタ交換窓17空気吹出角度17a空気吹出角度斜め17b空気吹出角度垂直18送風制御部19キャスター20支柱21製造部品等搬送手段ベルトコンベア21a部品搬送方向22設置エリア23障害物柱、設備24風速測定ポイント25清浄度測定ポイント26作業者27吹き溜まり28非通気部本発明の局所クリーンゾーン形成装置は、一対のプッシュフードから空気吹出面に対して斜めに吹き出される一様空気流どうしを対向させることを特徴とするものであるが、本発明で用いる一様空気流を吹き出すプッシュフードとしては従来からプッシュプル型換気装置に用いられているプッシュフードの構造を基本として採用することができ、これに斜めに吹き出す構成を加えて本発明で用いるプッシュフードとすることができる。本発明における一対のプッシュフードからなる局所クリーンゾーン形成装置の使用代表例を図1に示す。この一様空気流は一様捕捉気流や層流とも称し、空気吹出面から吹き出される気流に対し垂直な断面で見たとき、流れの速度の大きさがその断面のいたるところで実質的に一定である状態の空気流をいい、障害物がない状態での速度分布のバラツキが平均値に対して±50以内粉じん障害防止規則粉じん則第11条第2項第4号の規定に基づく厚生労働大臣が定める要件平成10年労働省告示第30号により、特に±20以内であるものが好ましい。また、一様空気流に適した風速としては、空気吹出面において吹き出される初速が0.3~1.5m/秒程度の低風速が好ましく、その気流は空気吹出面から吹き出されると、気流の断面全体の空気を空気吹出面から吹き出された方向に向かってゆっくりと運ぶように流れる。プッシュフードにおいて、プッシュフードの外観を形成するハウジングやそれに内設される整流機構は、製作効率上、切断、曲げ或いは接合等の加工が直線的に可能な直線部を多く持つ形状からなるものが望ましく、またこの形状は空気吹出面の面積効率から見ても同様に望ましい。このためこの一様空気流を形成するための空気吹出面としては正方形或いは長方形にすることが望ましく、特に長辺と短辺の割合いが5:1の長方形状から正方形に至るまでの範囲の四角形状にすることが好ましい。しかし、これらの製作上或いは構造上のロスを考慮する必要がなくデザイン性を重視する場合などは円やその他自由な形状を適宜選択することも可能である。一様空気流に限らず気流は一般的に吹き出されると10°程度の角度で前方に向って拡散し、一様空気流を維持する範囲は空気吹出面から吹き出した距離に応じて先細りする。図2-aは一台のプッシュフードから形成される短辺方向から見た一様空気流空間を示す図であるが、図の一台のプッシュフード1から吹き出される一様空気流の一様性を維持できる範囲は、空気吹出面2の正方形を含む長方形の短辺Lの距離に依存し、その距離は空気吹出面2の短辺Lのおおよそ3倍程度までであり、その一様空気流空間は短辺方向からみた場合に空気吹出面2の短辺Lを底辺とし、その3倍の距離をとった空気吹出面2の中心を結ぶ二等辺三角形状の面積3となり、長辺方向から見た場合には、底辺長辺、上辺長辺-L、高さ3Lの台形形状図示せずとなる空間になる。図2-bは一対のプッシュフードを気流が対向するように設置したときに形成される一様空気流空間を示す図であり、本発明に用いる気流を示したものである。図2-bに示すように一様空気流を吹き出す一対のプッシュフード1の気流3を空気吹出面2の短辺Lの3倍の距離で対向させるように設置した場合、一様空気流を形成できる範囲は、空気吹出面2の短辺Lを底辺とし、その3倍の距離をとった空気吹出面2の中心を結ぶ二等辺三角形状を、向かい合わせたプッシュフード1のそれぞれの空気吹出面2に二等辺三角形の底辺が位置するように互いの一様空気流3の重なり合う部分を含めた面積となるが、実際にはこの二つの一様空気流3が重なり合うことはなく、一対のプッシュフード1の中間付近で二つの一様空気流3は衝突し、その後気流はそれまでの流れ方向に対して垂直方向に向きを変え、一対のプッシュフード1間によって形成された一様空気流空間3から押し出される。これはプッシュフード1から一様空気流3が連続的に吹き出されているためである。図2-aのように1台のプッシュフード1から吹き出される気流だけでは一様空気流空間3は空気吹出面2から吹き出す距離に応じて先細りするが、図2-bのように一対のプッシュフード1から吹き出される一様空気流どうしを衝突させることによってほとんど先細りせずに衝突し、1台のプッシュフードでは一様空気流を形成できなかった3aの場所においても一様空気流を形成し、衝突した周囲の気流も含めて垂直方向に気流の向きが変わり、図1に示すように一対のプッシュフード1の空気吹出面2の4辺どうしを直線的に結ぶような境界面すべてが開放状態の気流空間が形成される。つまり空気吹出面2の短辺Lと短辺Lの3倍の積からなる面積と空気吹出面2の長辺の積において一様空気流空間を形成することができるのである。なお本発明においてプッシュフード内に高性能フィルタが内蔵されていることが望ましく、この形成された空間はフィルタの性能に応じたクリーンゾーンとなる。尚、一様空気流と混同されがちな気流としてエアカーテンがあるが、エアカーテン気流は扁平な長方形状のスリット状の空気吹出部から吹き出す強力な噴流によって風のカーテンを作り出し、それによって空間を仕切るもので、防塵、防臭、防虫、断熱などを目的としてエアドアなどに多様されている。このエアカーテン気流の空気吹出部の風速は初速で5~10m/s程度であり、一様空気流の風速と比べ非常に早い風速をもつものである。これは風速が早くないとエアカーテンを遠くまで形成することが不可能となるためで、スリット状空気吹出部が扁平長方形であるため短辺が短くならざるをえず、その結果、一様性はほとんど持ち備えていない気流である。このエアカーテン気流を本発明に採用しようとした場合、気流が一様性を持ち備えていないとともに、気流内で作業者が作業を行おうとした場合、気流の風速が早すぎて、作業者や製造部品等に衝突した気流がはね返って乱流が生じる。そのはね返って生じた乱流も依然早い風速を維持しているため、さらに作業空間の至るところで乱流が発生してしまい一様空気流空間を形成することができず、結果的にクリーンゾーンの形成も事実上不可能となる。ここで本発明で用いるに適したプッシュフードについて説明する。プッシュフードは装置全体を覆うハウジングとして、厚さ0.3~5.0mmの鋼板を折り曲げ加工やプレス加工等により、内設する整流機構をはじめとする部材や或いはデザイン性などを考慮して適宜の形状としたものを用いることができる。また装置全体の骨組みを金属製等のL字フレームなどを組み合わせて形成したのち、装置表面を鋼板或いは合成樹脂板等により覆うようなハウジング構成も可能である。プッシュフードのハウジングとしては、これらの構造や材質に限定されるものではなく、内設する整流機構等の重量など考慮した上で適宜の構造を用いうる。本発明の好ましいハウジング構造としては、生産性を考慮した場合、加工性と強度のバランスから厚みt1.0~1.6mmのステンレス鋼板を直線的に曲げ、切断、溶接等加工してハウジングを形成するものが特に好ましい。ハウジングの一面には空気吹出面があり、その空気吹出面には、装置内部に隣設された整流機構の通気表面を保護するための桟が設けられていることが好ましい。この桟材質に制約はなく、鋼或いは樹脂など適宜選択可能であり、断面φ0.5~φ10.0mmの線材、断面□0.5~□10.0mmの角材或いは断面0.5~10.0mm×1.0~100.0mmの角材を縦、横及び斜め等にそれぞれ組み合わせ自在に空気吹出面全体に桟を形成することができる。この桟は整流機構から通気されてくる気流の風速や風向等の気流に影響を与えない程度にまばらな間隔に構成されていることが好ましい。またこの桟に金網或いは樹脂製の網を用いることも可能である。この桟はハウジングの内側から空気吹出面の周囲に溶接或いはハウジングにフレームなどを設けて固定するなど、その固定方法に制約はない。空気吹出面の桟12の内側には、空気吹出面2から一様空気流を吹き出すように構成した整流機構6が空気吹出面2の桟12と隙間を設けて空気吹出面2の通気面が重なるように配置されている。整流機構6は、空気吹出面2の面積と同等或いはそれより若干大きい程度の面積を持つ複数の部材を重ね合わせて構成されている。整流機構6の下流側、即ち最も空気吹出面2に隣接した位置には少なくとも一つ以上のハニカム形並列多孔体10が配置されており、且つその上流側に少なくとも一つの空気抵抗体11が配置されていることが好ましい。整流機構6は、まず整流機構6の上流側から送風されてくる空気吹出面2全体に対して通気量に偏りがある気流を空気抵抗体11において補正し、空気吹出面2全体で偏りのない均一化された気流にする。次にハニカム形並列多孔体10において空気抵抗体11で均一化された気流に方向性を与え一様空気流の方向性を安定させて空気吹出面2から吹き出させることで一様空気流空間を安定して形成できるようにしている。本発明において、ハニカム形並列多孔体10とは、多数の多孔体を並列して有すると共に、単位多孔体の横断面の直径に比し縦断面の直径即ち深さが大きい状態の多孔体を意味する。従って、並列する多孔体は、狭義のハニカム構造に限定されず、横断面形状が三角以上の多角形状や円形状をもつものも包含され、その単位多孔体の横断面の直径は1~10mmが好ましく、同直径に対する深さの比は、1:1.2~1:5が好ましい。またこれらのハニカム形並列多孔体10の材質にはステンレス、アルミニウム、チタンなどの金属或いは塩化ビニル樹脂などの合成樹脂が代表的であるが、本発明において材質には特に制約はない。本発明において用いる空気抵抗体11は、整流機構6の上流側から送風されてくる空気吹出面2全体に対して通気量に偏りがある気流を空気吹出面2全体で偏りのない均一化された気流に補正するための送風空気の抵抗体となるものであればよく、パンチング板、網部材、不織布或いはプレフィルタや中性能フィルタなどのフィルタなど材質を問わず適宜用いることができる。これらの内、空気抵抗体にパンチング板を用いる場合の好ましい形態としては、パンチング板の孔の形状には三角以上の多角形状や円形状の他さまざまな形状のものがあるが、その孔形状やそれらの並び或いは間隔などはパンチング板自身の単位面積あたりの開口率のバラツキが小さいものほど好ましい。また空気抵抗体に網部材を用いる場合、平織、綾織、平畳織、綾畳織などの金属網、焼結金網或いは合成樹脂性網などをはじめとする種々の網部材の中から空気の抵抗体として作用するメッシュのものであれば適宜用いることができる。また空気抵抗体に不織布を用いる場合にも空気の抵抗体として作用する目付けのものを、空気抵抗体にフィルタを用いる場合にもその通気抵抗を踏まえて適宜用いることができる。図3-a、図3-b、図3-c、図3-dは本発明のプッシュフードにおいて、整流機構6によって斜め方向角度α17aに吹き出すとした場合の整流機構6を例示する上面断面図である。図3-aは空気吹出面2寄りに多孔体の角度17aがα°のハニカム形並列多孔体10a、その上流側にハニカム形並列多孔体10aと間隔をあけてパンチング板からなる空気抵抗体11aが配置されている。気流が整流機構6の空気抵抗体11aによって、空気吹出面2全体に対して通気量に偏りがある気流を均一化し、通過した気流はハニカム形並列多孔体10aで角度α17aに流れを変えて整流するもので、本発明で用いる整流機構6の基本的な構造である。この基本構造により速度分布のバラツキを平均値に対して±50以内にすることができる。この角度α17aは、空気吹出面2に対して10°より大きく90°より小さい範囲で装置の使用方法等に応じ適宜選択できる。通常は空気吹出面2に対して30°~85°の範囲で選択することが実質的な効果をもたらすため好ましい。またこの角度α17aは水平方向のみに限らず空気吹出面2から任意の角度で吹き出させることも可能である。図3-bは空気吹出面2寄りに多孔部の角度17aがα°のハニカム形並列多孔体10a、その上流側に2枚の同じ開口率のパンチング板からなる空気抵抗体11a、11bがハニカム形並列多孔体10a及びそれぞれの空気抵抗体11a、11bがと間隔をあけて配置され、さらにその上流側に多孔体の角度が垂直のハニカム形並列多孔体11bが配置されている。この整流機構6も図3-aの整流機構6と同様に最後のハニカム形並列多孔体10aで気流が角度α17aに流れを変えて整流するものである。ただし図3-aの整流機構6と比べ空気抵抗体11b及び多孔体の角度が垂直のハニカム形並列多孔体10bが追加されていて、これによりまず整流機構6の入り口に追加したハニカム形並列多孔体10bで気流の方向性を整え、ついで一枚目の空気抵抗体11bにおいて通気量の偏りを補正し、以降は図3-aの整流機構6と同様となる。これにより気流が本発明の基本構造である図3-aの整流機構に通気する前の段階で気流の方向性と均一性がある程度と整った状態となるため、速度分布のバラツキを平均値に対して±30以内にすることができる。図3-cは図3-bのハニカム形並列多孔体10bをハニカム形並列多孔体10aの多孔部の角度αと同じにしたハニカム形並列多孔体10cに変え、整流機構6全体をハニカム形並列多孔体10aの多孔部の角度αと平行となるような平行四辺形状にしたものであり、整流機構2の入り口のハニカム形並列多孔体10cからハニカム形並列多孔体10aに亘って角度α17aで斜めに吹き出すようになっている。整流機構としては、整流機構6の入り口のハニカム形並列多孔体の多孔体の角度は空気吹出面2側のハニカム形並列多孔体10aと同じ角度α17aで配列されていても、垂直に配列されていてもどちらでも選択可能であり、図3-cも図3-bと同様に速度分布のバラツキを平均値に対して±30以内にすることができるが、図3-cに関しては2つのハニカム形並列多孔体10a、10cの多孔部の角度が同じであるため部材の共通化が図れる。図3-dは、図3-cにさらに空気抵抗体11a、11bと同じ開口率のパンチング板からなる空気抵抗体11cを1枚追加し空気抵抗体の合計枚数を3枚使用したものであるが、下流側の多孔板11aから上流側に向かって隙間10mm、20mmの間隔をもたせている。これにより空気吹出面2全体に対して通気量に偏りのある気流をさらに精度よく補正し均一化することが可能となる。図3-dに例示した整流機構6は一様空気流の一様性を向上させ、さらにその一様空気流形成空間を広げる効果をもたらすものとして特に好ましい形態である。また一様空気流を吹き出す整流機構6の構成として空気抵抗体11、ハニカム形並列多孔体10とも用いる枚数や順番或いはそれらの間隔等も適宜変更可能である。また、対抗させる一様空気流の風速はクリーンゾーンのバランスをとるために同等とすることが好ましい。プッシュフード1のハウジング13内には整流機構6の外形よりやや大きい形状をもつ筒部を設け、その筒部の内側に整流機構6の構成部品であるハニカム形並列多孔体10と空気抵抗体11を適宜間隔を空けて直列状に各整流機構部材にパッキン等を用いて気密状態で収納することが好ましい。本発明のプッシュフードへの整流機構の固定方法としてはこの構造に限らず適宜の構造をもちいうる。本発明では、クリーンゾーンを形成するためにプッシュフード1にHEPAフィルタやULPAフィルタ等清浄化レベルに応じた高性能フィルタ7を内蔵させることが好ましく、特に本発明では整流機構6の上流側に直列状に通気面が重なるように配置させることがプッシュフード1のレイアウト上スペースのロスが少なく好ましい。また、本発明の局所クリーンゾーン形成装置ではブロワー或いはファン等の送風装置を用いて気流を発生させるものであるため、それら送風装置8の上流側にプレフィルタ或いは中性能フィルタ9などを設け、プッシュフード1の最も上流側においてあらかじめある程度空気をろ過し、その下流側に配置する送風装置8を保護したり、またさらに下流側配置する高性能フィルタ7の目詰まりを抑制することが好ましい。プッシュフード1の送風機構6としてはプッシュフード1本体に内蔵したものと、プッシュフード1本体と別に設けたものとがあり、送風機構8をプッシュフード1本体に内蔵する場合、高性能フィルタ7の上流側に通気されるようにプッシュフード1本体内にファンを内蔵していて、これらのファンには遠心ファン8aや軸流ファン8bなどが用いられる。図4-a、図4-b、図4-c、図4-dは本発明の実施形態を例示したものである。図4-aはプッシュフード1の上部に空気吹出面2をもち、その上部側に整流機構6、高性能フィルタ7、下部側に遠心ファン8aが内蔵されていて、プッシュフード1の空気吹出面2と反対側の背面側下部に空気吸込口5が設けられている。その空気吸込面5には空気吹出面2にも用いた溶接網等の網状のものや、整流機構6の空気抵抗体11に用いたパンチング板や種々の網部材など適宜用いることが可能で、遠心ファン8aの吸引力に影響を与えない程度の通気性をもったものが好ましい。プッシュフード1に内蔵された遠心ファン8aによって空気吸込口5からプッシュフードの装置外の空気が吸引され、その空気は遠心ファン8aの上流側に設けられたプレフィルタ9で装置外から吸引した空気に含まれる比較的荒めの塵埃等が取り除かれる。プレフィルタ9でろ過された空気は遠心ファン8aを通過してプッシュルード1内において装置の上部側の空気吹出面2の反対側である背面側に流れる。次にHEPAフィルタ等の高性能フィルタ7においてさらに細かな塵埃等がろ過され、整流機構6において整流され且つ空気吹出面2に対して45°の角度で一様空気流となって空気吹出面2の溶接網製の桟12から吹き出される。このように整流機構6や高性能フィルタ7と送風装置である遠心ファン8aを直列状に配置させないことでプッシュフード1本体の厚みを薄くすることができる。プッシュフード1の装置背面の空気吸込口5の網状部材はプレフィルタ9が目詰まった場合にプレフィルタ9をプッシュフード1から取り外して交換できるよう着脱容易に化粧ネジ等で固定されている。また高性能フィルタ7についても同様に高性能フィルタ7が目詰まった場合にプッシュフード1から取り外して交換できるよう高性能フィルタ7のプッシュフード1の装置背面側にフィルタ交換窓16が設けられている。図4-bはプッシュフード1上部に空気吹出面2をもち、その上部側に整流機構6、高性能フィルタ7、軸流ファン8b、プレフィルタ9、空気吸込口5が直列状態で配置され、プッシュフード1の装置下部側にはプッシュフードを地面から一定の高さにするための支柱20がプッシュフード1の四隅に設けられ、その支柱20の先端にキャスター19がそれぞれ取り付けられている。この場合、プッシュフード1の装置本体の厚みは図4-aと比べ厚くなっているが、プッシュフード1全体がコンパクトに抑えられる。本発明に用いられる送風装置用のファンとしては遠心ファン8aや軸流ファン8bなど適宜用いることができる。また図4-bの支柱20をなくして、作業机などに載せて使用することもできる。図4-cは図4-aに例示の装置の空気吹出面2を下部側にした場合を例示したものであり、図4-aに例示の装置の構成が逆になっている。図4-dは遠心ファン8aを用い縦に長い整流機構6の上下にそれぞれ高性能フィルタ7、遠心ファン8a、プレフィルタ9、空気吸込口5が直列状態に2列配置されている。図4-dの整流機構6は一つであるが2つ以上に分割して構成することも可能である。この装置は騒音等に配慮し大型の送風機構8を用いなくとも、広範囲にクリーンゾーンを形成することができるようにしたものである。特に騒音等に配慮する必要のない場所では送風機構8を大型のファン1台により制御してもよい。またこの図4-dの装置の構成を横方向に変化させてクリーンゾーンを横方向に広げることも可能であるし、適宜用途に応じて構成することが可能である。本発明において送風機構8をプッシュフード1本体と別に設けたものは、ブロワーなどの送風装置8からダクトを通じてプッシュフード1の高性能フィルタ7の上流側に通気されるようになっていて、ダクトがプッシュフード1の背面等に接続されている。この送風機構8とプッシュフード1本体が別体であるものについても複数の送風機構8とダクトを用い、一台のプッシュフードに複数のダクトを接続して広範囲をクリーンゾーンにすることも可能であり、適宜用途に応じて構成することが可能である。また送風機構8をプッシュフード1本体と別に設けたもの、送風機構8をプッシュフード1本体に内蔵したもののいずれも、複数のプッシュフード1本体を横方向に並列状に複数台並べて広範囲のクリーンゾーンを形成することも可能である。この場合、複数のプッシュフードから噴出す空気流の風速は、複数のプッシュフード全体の速度分布のばらつきの±50以内にすることが好ましい。プッシュフード1に内蔵されたファン或いはプッシュフード1の装置本体とは別にダクトを通じて設置したブロワーなどの送風装置8に位相制御やインバーター制御或いは印加電圧制御などにより発生させる風速を可変できる機能を備えていることが望ましい。それにより、たとえばプッシュフード1の設置場所を移動させてプッシュフード間の距離が変化した場合に、容易に適正風速を確保することができる。またプッシュフード1内の高性能フィルタ7の目詰まり等によって風速のバランスが崩れた場合など風速を調節して容易にクリーンゾーンのバランスを戻すことができる。また、プッシュフード1の装置本体を小型にし、プッシュフード1の底面にキャスター19等の移動手段を設けることも可能である。これにより容易に装置の移動が可能となり、作業レイアウトの変更への対応や作業部屋間での移動など装置の運用のバリエーションが広がる。図5-a、図5-b、図5-c、図5-dは本発明のプッシュフード1を上面より見たときの状態を示す図である。この装置の外観は図5-aに示すように立方体であっても直方体であっても実施することは可能であるが、プッシュフード1の空気吹出面2に対して斜めに気流を吹き出す装置であることから、直方体或いは立方体では、プッシュフード1設置時や設置後作業者自身がどの角度に吹き出す装置であるかの判別が不可能である。そのため図5-b、図5-c、図5-dに示すように空気吹出面2を有するハウジング面と境界を接する2つの側面のうち少なくとも一方の側面が空気吹出面2に対して斜め方向に吹き出す一様空気流の角度と平行に形成することで、プッシュフード1の外観を見るだけでその装置がどの角度で気流を吹き出す装置であるかの判別をすることができるようプッシュフード1の外観形状を形成することも可能である。図5-bはプッシュフード1のハウジング13を上面方向より見たとき平行四辺形、図5-c、図5-dは台形であり適宜の形をとりうることでそのプッシュフードから発生される気流の方向を認識することが可能である。図6-a、図6-bは空気吹出面2に対して水平斜めに吹き出される一様空気流と平行に形成されたハウジング13側面をもつプッシュフード1の一例を示す上面図である。この図6-aの13bは空気吹出面2に対してハウジング13が鈍角に形成され、13aは逆に鋭角に形成されており、13b側の27に示す箇所に吹き溜まりが発生しこれによって一様空気流に若干の乱れが生じている。図6-bに示すように空気吹出面2に対してハウジング13が鈍角に形成された側13bの空気吹出面2からその対向する背面側のハウジング13に亘り且つ空気吹出面の上端から下端に亘って縦方向に遮蔽板14を内設することで13b側への通気を制限し、この吹き溜まり27を発生させないようにすることができる。一般的にクリーンゾーンを必要とする製造現場には。製造部品等が存在すると共に、それらまたは製造作業者を含めたそれらの搬送を伴う場合が多い。これまでこのような製造現場に作業の制限をせずにクリーンゾーン4を形成することは困難であった。ベルトコンベア等の製造部品等搬送手段21を従来の空気吹出面2に対して垂直方向に気流を吹き出す一対のプッシュフード1で挟んでクリーンゾーンを形成したとしても、そのクリーンゾーン4を形成するプッシュフード1の空気吹出面2に作業者自身26が入り込まなくてはならず、それによって実質空気吹出面2を作業者自身26の胴体が塞いでしまったり、塞がないまでも作業者自身26の胴体に気流がぶつかってしまい気流が大きく乱れクリーンゾーン4の清浄度が低下してしまう場合があった。図7-aはプッシュフードの吹出開口面2を垂直に正対させたときの上面図の一例を示す図である。図7-bは本発明の局所クリーンゾーン形成装置をベルトコンベア等の製造部品等搬送手段21を挟んで配置したときの上面図の一例を示す図である。本発明の装置は一様空気流を空気吹出面2に対して斜め方向に角度17aをもって吹き出すよう構成してなる一対のプッシュフード1を、搬送手段21に対して、搬送手段21による搬送方向21aと垂直方向から互いの空気吹出面2どうしを平行に且つ空気吹出面2の中心どうしが正対しない位置関係でプッシュフード1から吹き出される一様空気流どうしを対向させて衝突させるようにして該搬送手段21を挟むように配置することによって、そこに一対のプッシュフード1の空気吹出面2間に底辺が平行四辺形状の気流の流れ方向に囲いを持たない立体的なクリーンゾーン4を形成するものである。本発明の装置を用いることにより、斜め方向に角度17aにクリーンゾーン4を形成することが可能なため作業者自身26の胴体が気流の中に入り込まずに済み、作業者26の腕から先しかクリーンゾーンの気流の中に入り込まずに作業をすることが可能であるため形成されたクリーンゾーン4の気流に大きな乱れを生じることなく作業者26が作業を行うことが可能になるのである。また、従来の一対の空気吹出面2に対して垂直方向に気流吹き出すプッシュフード1では狭隘な装置の設置エリアに柱や製造設備等の移動が困難な障害物23が存在する場合、気流を対向させて設置することが困難であった。たとえ設置が可能であったとしても一対のプッシュフードの空気吹出面2を正対させる必要があるため設置エリア22に不必要なスペースがとられてしまっていた。本発明は斜め方向に角度17aにクリーンゾーン4を形成することが可能なため、障害物23を避け作業エリア22の構造に合わせて装置を設置することが可能である。図8-aは本発明の局所クリーンゾーン形成装置を狭隘な場所に設置した状態を示す上面図である。図8-bに示す正対方式に比し、設置スペースを実質的に省スペースに抑えて作業エリア22を効率的に利用することが可能でありこれまで設置不可能であった狭隘な作業エリア22にもクリーンゾーン4を形成することが可能となる。本発明で用いるプッシュフードは作業の内容その他の条件に応じ空気流吹出面の大きさや吹き出し風速などの機能条件やプッシュフード間の距離などを適宜選択しうる。一例として、空気流吹出面が一辺300~3000mmの正又は長方形、吹き出し風速が0.1~2.0m/秒、プッシュフード間の距離が1~9mの条件を挙げることができる。以下に、具体例に基づいて本発明を説明する。実施例1空気吹出面2にφ1.0mmのステンレス棒材を30mmの四角格子が形成されるように縦横に均等に網状に複数重ね合わせてそれぞれの棒材が重なった箇所を溶接して固定された溶接網を桟12に用い、その桟12をプッシュフード1の上段に配した900mm×700mmの長方形状の空気吹出面2に配し、その空気吹出面2の上流側に空気吹出面2とほぼ同様のサイズの面積をもつ整流機構6を、そのさらに上流側にHEPAフィルタ7を整流機構6と間隔を空けて且つ整流機構6とHEPAフィルタ7の間に流れる空気に漏れのないようにパッキンを用いてハウジング内に設けた固定用フレームに固定して配置し、そのさらに上流側のプッシュフード1の下段に遠心ファン8aを内設する一様流を吹き出すプッシュフード1を作った。整流機構6は、空気吹出面2側である気流の下流側より第1のハニカム形並列多孔体10a、3枚のパンチングからなる空気抵抗体11a、11b、11c、第2のハニカム形並列多孔体10cの構成からなる。空気抵抗体である3枚のパンチング板11a、11b、11cはそれぞれ下流側のパンチング板11より10mm、20mmの間隔をもって配置されていて、3枚のパンチング板11a、11b、11cはいずれも同じ開口率をもつものを使用し、厚みt1.0mmのアルミニウム製で、孔径φ1.0mmの丸孔、ピッチ2.0mm、60°千鳥、開孔率23のものを使用した。また用いたハニカム形並列多孔体10は第1、第2のハニカム形並列多孔体10a、10cともに板厚0.001mmのアルミニウム製で多孔部は正六角形の1/8inch大のものを、多孔体を水平斜め方向に角度α45°に傾斜させた状態でハニカム形並列多孔体11全体の厚さが8mmのものを使用した。このプッシュフードの構成は図4-aに示すプッシュフードに図3-d示す整流機構を内設したプッシュフードである。上記のプッシュフード1を用いて全54箇所の測定ポイント24において空気吹出面2の風速の測定を行った。空気吹出面2の風速測定位置及び結果を図9-aに示す。空気吹出面風速が約0.5m/s時の平均風速に対する風速分布のバラツキは最大で15.0であった。以上の結果から本発明で必要とされる一様空気流の条件である50をはるかに下回る非常に速度分布のバラツキが小さいものであることがわかった。なお整流機構の空気吹出面側にハニカム形並列多孔体10a、その上流側に空気抵抗体11aとしてパンチング板を1枚配置しただけのものであっても50以下となる結果が得られた。実施例2次に実施例1の局所クリーンゾーン形成装置を用いた場合の空気の清浄度の測定例について述べる。ここで用いる清浄なクリーンルームなどで使われている清浄度クラスとは異なり、次のように定義して用いる。Coをファン吸い込み口付近室内空気の個数粉塵濃度0.1μm/0.01cf、Cpをプッシュ気流の個数粉塵濃度0.1μm/0.01cfとした場合、清浄度は次式で求められる。本発明に従って、実施例1と同じプッシュフードを2台用い、2個の気流が対向するように図1に示すように設置し、同じ吹き出し風速0.5m/秒で清浄度の測定をした。プッシュフード1の空気吹出面2の鉛直方向距離1500mm、2台のプッシュフードプッシュ間距離は2100mmに設置して行った。清浄度の測定ポイント25はそれぞれのプッシュフード1の空気吹出面2から鉛直方向250mmの位置及びプッシュフード間の中心位置の合計9箇所において測定した。実験結果よりすべての測定ポイントにおいて高い清浄度を示し、プッシュフード間のほとんどの領域が清浄域になることが判明した。実施例2における清浄度の測定位置及び測定結果を図9-bに示す。