光の光路を補正する光路補正装置であって、反射ミラーと、前記反射ミラーを支持する支持面を有し、回動中心を中心として回動可能な回動部材と、前記回動部材に対して前記反射ミラーとは反対側に設けられ、前記回動部材との間隔が変化する方向に伸縮可能な変位部材と、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面と前記回動部材とを連結する連結部材とを備え、前記連結部材は、前記伸縮方向から見たときに、前記変位部材の伸縮を前記回動部材に伝達する作用領域を有し、前記作用領域は、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面よりも狭く、かつ、前記端面における前記回動中心に近い部分的な領域と対応していることを特徴とする光路補正装置。前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面と対向する前記回動部材の領域を、前記回動部材の回動中心により近い第1の領域と、前記回動中心からより遠い第2の領域とに分割したとき、前記連結部材は、前記変位部材の伸長時に、前記作用領域によって前記回動部材の前記第1の領域を押圧することを特徴とする請求項1に記載の光路補正装置。前記作用領域は、前記連結部材の前記回動部材と接触する端面において、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面の中心を通る伸縮方向に沿った中心軸よりも、前記回動中心に近い位置にあることを特徴とする請求項1または2に記載の光路補正装置。前記回動部材は、前記支持面として円形の端面を有する第1円柱部を有しており、前記連結部材は、前記第1円柱部よりも小径で、前記回動中心を通る軸で前記第1円柱部と同軸に連結される第2円柱部と、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面における前記部分的な領域と、前記第2円柱部とを連結する接着剤とを有しており、前記第2円柱部は、前記第1円柱部と連結される端面に、前記作用領域を有していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光路補正装置。前記接着剤は、弾性を有していることを特徴とする請求項4に記載の光路補正装置。前記連結部材は、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面の少なくとも一部と固定される台座部と、前記台座部の中心よりも前記回動中心側に位置して、前記台座部と前記回動部材とを連結し、前記変位部材の伸長時に前記台座部からの押圧力が伝達される押圧部材とを有しており、前記押圧部材は、前記回動部材と連結される端面に、前記作用領域を有していることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光路補正装置。前記押圧部材は、弾性を有していることを特徴とする請求項6に記載の光路補正装置。前記変位部材は、複数設けられており、前記連結部材の前記作用領域は、前記複数の変位部材の個々の伸縮を前記回動部材に伝達することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の光路補正装置。前記複数の変位部材は、電圧印加によって伸縮する圧電素子でそれぞれ構成されており、少なくとも2つの圧電素子に対して互いに逆位相の電圧を印加する電圧印加部が設けられていることを特徴とする請求項8に記載の光路補正装置。前記電圧印加部によって互いに逆位相の電圧が印加される2つの圧電素子は、前記回動部材の回動中心を通る軸に対して対向配置されていることを特徴とする請求項9に記載の光路補正装置。光源からの光を分離して移動鏡および固定鏡に導き、前記移動鏡および前記固定鏡にて反射された各光を合成し、干渉光として検出器に導く干渉計であって、請求項1から10のいずれかに記載の光路補正装置を備え、前記光路補正装置の前記回動部材で支持される前記反射ミラーは、前記固定鏡であることを特徴とする干渉計。請求項11に記載の干渉計と、前記干渉計の前記検出器で得られるインターフェログラムをフーリエ変換する演算部とを備えていることを特徴とするフーリエ変換分光分析装置。ところで、干渉計には、測定中並進時の移動鏡の微妙な傾きのみならず、使用時の環境温度変化や経時的変化に起因する光学素子の位置ずれもあるため、これらを補正するためには固定鏡の回動角を増大し得る構成であることが必要である。加えて、近年の機器のポータブル化により、干渉計にも小型化が求められているため、小型の構成で固定鏡の回動角を増大し得る構成であることが必要である。ところが、特許文献1の構成では、圧電素子104は、中心脚102から離れた位置にあり、図16aに示すように、固定鏡101の回動中心Pと、圧電素子104の伸長時の見掛け上の力点の位置Qとが離れている。なお、見掛け上の力点の位置Qとは、圧電素子104の伸長時に、圧電素子104が固定鏡101を1点で押圧したのと等価と考えられるときの力点の位置のことであり、厳密には、圧電素子104の端面固定鏡101との接触面の中心とはずれているが、便宜的に上記端面の中心と考えても差し支えはない。回動中心Pと見掛け上の力点Qとの距離が離れるほど、圧電素子104の一定の伸長量に対して固定鏡101の回動角が低下するため、図16aの位置関係では、固定鏡101の回動角を大きく確保しているとは言えない。そこで、図16bに示すように、圧電素子104を中心脚102に近づけて配置すれば、固定鏡101の回動中心Pと圧電素子104の見掛け上の力点の位置Qとが近づくため、圧電素子104の一定の伸長量に対して固定鏡101を大きく回動させることができると考えられる。しかし、特許文献1のように、圧電素子104の端面全体が固定鏡101と接している構成では、見掛け上の力点の位置Qを固定鏡101の回動中心Pにこれ以上近づけることができないため、圧電素子104の一定の伸長量に対して固定鏡101をさらに大きく回動させて、広い角度範囲で反射光の光路を補正することができない。なお、圧電素子104を細くして圧電素子104の端面の面積自体を小さくすれば、圧電素子104の見掛け上の力点の位置Qを図16bの場合よりもさらに回動中心Pに近づけることができるとも考えられるが、圧電素子104を細くするとその強度を確保することが困難になる。したがって、圧電素子104を細くしなくても圧電素子104の強度を確保した状態で、固定鏡101の回動角を増大させて反射光の光路を補正することが必要となる。本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、小型の構成で、圧電素子などの変位部材の強度を確保しながら、反射ミラーの回動角を増大させて広い角度範囲で反射光の光路を補正することができる光路補正装置と、その光路補正装置を備えた干渉計と、その干渉計を備えたフーリエ変換分光分析装置とを提供することにある。本発明の光路補正装置は、光の光路を補正する光路補正装置であって、反射ミラーと、前記反射ミラーを支持する支持面を有し、回動中心を中心として回動可能な回動部材と、前記回動部材に対して前記反射ミラーとは反対側に設けられ、前記回動部材との間隔が変化する方向に伸縮可能な変位部材と、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面と前記回動部材とを連結する連結部材とを備え、前記連結部材は、前記伸縮方向から見たときに、前記変位部材の伸縮を前記回動部材に伝達する作用領域を有し、前記作用領域は、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面よりも狭く、かつ、前記端面における前記回動中心に近い部分的な領域と対応していることを特徴としている。本発明によれば、強度を確保できるように変位部材を太く構成したままで、変位部材自体を回動中心に近い位置に配置した場合でも、変位部材の伸長時に、連結部材が作用領域を介して回動部材を大きく回動させることができる。これにより、大型の変位部材を用いて伸長量を大きくすることなく、回動部材の回動角を増大させて、反射ミラーで反射される光の光路の補正範囲を大きく確保することができる。その結果、小型の構成でありながら、広い角度範囲で反射光の光路補正を行うことができる。しかも、変位部材を太く構成したままで上記の効果を得ることができるので、変位部材の強度を確保しながら、反射光の光路を補正することができる。本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通りである。フーリエ変換分光分析装置の構成図1は、フーリエ変換分光分析装置の概略の構成を模式的に示す説明図である。この装置は、干渉計1と、演算部2と、出力部3とを有して構成されている。干渉計1は、2光路分岐型のマイケルソン干渉計で構成されているが、その詳細については後述する。演算部2は、干渉計1から出力される信号のサンプリング、A/D変換およびフーリエ変換を行い、波数1/波長ごとの光の強度を示すスペクトルを生成する。出力部3は、演算部2にて生成されたスペクトルを出力例えば表示する。以下、干渉計1の詳細について説明する。干渉計1は、分光光学系11と、参照光学系21と、光路補正装置31とを有している。なお、光路補正装置31は、参照光学系21の後述する信号処理部26にて検出された2光路間での光の傾きに基づいて、反射ミラーで反射される光の光路を補正するものであるが、その詳細な構成については後述する。分光光学系11は、分光光源12と、コリメート光学系13と、BSビームスプリッタ14と、固定鏡15と、移動鏡16と、集光光学系17と、分光検出器18と、駆動機構19とを備えている。なお、BS14に対する固定鏡15と移動鏡16との位置関係は、逆であってもよい。分光光源12は、分光用の光源であり、例えば赤外光を出射する。コリメート光学系13は、分光光源12からの光を平行光に変換してBS14に導く。BS14は、入射光、すなわち、分光光源12から出射された光を2つの光に分離して、それぞれを固定鏡15および移動鏡16に導くとともに、固定鏡15および移動鏡16にて反射された各光を合成し、干渉光として出射するものであり、例えばハーフミラーで構成されている。集光光学系17は、BS14にて合成されて出射された光を集光して分光検出器18に導く。分光検出器18は、BS14から集光光学系17を介して入射する上記干渉光を受光してインターフェログラム干渉パターン、干渉縞を検出する。駆動機構19は、固定鏡15にて反射される光の光路と、移動鏡16にて反射される光の光路との差光路長の差が変化するように、移動鏡16を平行移動させる移動機構であり、例えば平行板ばね式の駆動機構で構成されている。ここで、図2aは、駆動機構19の概略の構成を示す断面図であり、図2bおよび図2cは、駆動機構19の駆動部45を拡大して示す断面図である。駆動機構19は、板ばね部4142を平行配置するとともに、2つの板ばね部4142の間で2つの剛体4344を互いに離間して配置し、一方の板ばね部41の剛体43側の表面に移動鏡16を形成し、剛体44側の表面に駆動部45を配置して構成されている。駆動部45は、例えば圧電素子で構成されている。この圧電素子は、圧電材料であるPZTチタン酸ジルコン酸鉛46を電極4748で挟持した構造となっている。例えば、電極4748への電圧印加によってPZT46が伸びたときには、板ばね部41が上に凸となるように変形する図2b参照。この場合、剛体43とともに移動鏡16が下方に変位する図2a参照。一方、電極4748への上記とは逆極性の電圧印加によってPZT46が縮んだときには、板ばね部41が下に凸となるように変形する図2c参照。この場合、剛体43とともに移動鏡16が上方に変位する図2a参照。このように、電極4748に正または負の電圧を印加し、PZT46を水平方向に伸縮させることにより、板ばね部41を曲げ変形させることができ、剛体43とともに移動鏡16を振動振幅Wで変位振動、共振させることができる。つまり、移動鏡16を平行移動並進させることができる。なお、駆動機構19は、上述した平行板ばね式の駆動機構のみならず、例えばVCMボイスコイルモータを用いた電磁式の駆動機構で構成されてもよい。上記の構成において、分光光源12から出射された光は、コリメート光学系13によって平行光に変換された後、BS14での透過および反射によって2光束に分離される。分離された一方の光束は移動鏡16で反射され、他方の光束は固定鏡15で反射され、それぞれ元の光路を逆戻りしてBS14で重ね合わせられ、干渉光として試料Sに照射される。このとき、駆動機構19によって移動鏡16を連続的に移動させながら試料Sに光が照射されるが、BS14から各ミラー移動鏡16、固定鏡15までの光路長の差が波長の整数倍のときは、重ね合わされた光の強度は最大となる。一方、移動鏡16の移動によって2つの光路長に差が生じている場合には、重ね合わされた光の強度に変化が生じる。試料Sを透過した光は、集光光学系17にて集光されて分光検出器18に入射し、そこでインターフェログラムとして検出される。演算部2では、分光検出器18からの検出信号をサンプリングして得られるインターフェログラムをA/D変換およびフーリエ変換することにより、波数ごとの光の強度を示すスペクトルが生成される。上記のスペクトルは、出力部3にて出力例えば表示され、このスペクトルに基づき、試料Sの特性材料、構造、成分量などを分析することが可能となる。次に、参照光学系21について説明する。参照光学系21は、上記した分光光学系11と構成を一部共有しており、上述したコリメート光学系13と、BS14と、固定鏡15と、移動鏡16と、集光光学系17に加えて、参照光源22と、光路合成ミラー23と、光路分離ミラー24と、参照検出器25と、信号処理部26とを有している。参照光源22は、移動鏡16の位置を検出したり、演算部2でのサンプリングのタイミング信号を生成するための光源であり、例えば赤色光を発光する半導体レーザで構成されている。光路合成ミラー23は、分光光源12からの光を透過させ、参照光源22からの光を反射させることにより、これらの光の光路を同一光路に合成する。一方、光路分離ミラー24は、分光光源11から出射されてBS14を介して入射する光を透過させ、参照光源22から出射されてBS14を介して入射する光を反射させることにより、これらの光の光路を分離する。参照検出器25は、参照光源22から出射されてBS14を介して光路分離ミラー24に入射し、そこで反射された光干渉光を検出するものであり、例えば4分割センサで構成されている。信号処理部26は、参照検出器25にて検出された干渉光の強度に基づいて、演算部2でのサンプリングのタイミングを示す信号を生成する。なお、この信号の生成は、公知の手法によって行うことができるため、ここではその説明を省略する。また、信号処理部26は、参照検出器25にて検出された干渉光の強度に基づいて、2光路間での光の傾き固定鏡15での反射光と移動鏡16での反射光との相対的な傾きを検出する。例えば、図3に示すように、参照検出器25の4つの受光領域を反時計回りにE1~E4とし、全体の受光領域の中心に干渉光の光スポットDが位置しているものとする。受光領域E1E2で検出された光の強度の和をA1とし、受光領域E3E4で検出された光の強度の和をA2としたときに、時間経過に対する強度A1A2の変化を示す位相信号として、図4に示す信号が得られたとすると、これらの信号に基づいて2光路間での光の傾き相対的な傾き方向および傾き量を検出することができる。この例では、受光領域E1E2と受光領域E3E4とが並ぶ方向図3では上下方向に位相差Δに対応する角度だけ、2光路間で光の傾きが生じていることになる。なお、図4の縦軸の強度は相対値で示している。上記の構成において、参照光源22から出射された光は、光路合成ミラー23にて反射され、コリメート光学系13を介してBS14に入射し、そこで2光束に分離される。BS14にて分離された一方の光束は移動鏡16で反射され、他方の光束は固定鏡15で反射され、それぞれ元の光路を逆戻りしてBS14で重ね合わせられ、干渉光として試料Sに照射される。試料Sを透過した光は、集光光学系17を介して光路分離ミラー24に入射し、そこで反射されて参照検出器25に入射する。信号処理部26は、参照検出器25にて検出された干渉光の強度に基づいて、2光路間での光の傾きを検出する。光路補正装置31は、信号処理部26での検出結果に基づいて、2光路間での光の傾きを無くすべく、固定鏡15の姿勢BS14に対する角度を調整して、固定鏡15での反射光の光路を補正することになる。光路補正装置の詳細について次に、光路補正装置31の詳細について説明する。ここでは、光路補正装置31として2つの実施例を挙げながら、比較例も参照して説明する。実施例1図5aは、実施例1の光路補正装置31の概略の構成を示す平面図であり、図5bは、光路補正装置31の側面図である。なお、図5aでは、便宜上、固定鏡15の図示を省略している。光路補正装置31は、反射ミラーとしての固定鏡15と、回動部材51と、圧電素子52と、連結部材56とを有して構成されている。回動部材51は、固定鏡15を支持する支持面51a1として円形の端面を有する第1円柱部51aで構成されており、回動中心Pを中心としてA-A’方向に回動可能に設けられている。第1円柱部51aは、例えば金属ステンレス等で構成されており、その直径は、固定鏡15の直径と概ね同じである。圧電素子52は、電圧印加によって、回動部材51が回動するA-A’方向と対応する方向であって、回動部材51との間隔が変化するB-B’方向に伸縮する変位部材であり、回動部材51に対して固定鏡15とは反対側に設けられている。この圧電素子52は、伸縮方向に垂直な端面52Sの一部の領域52S1でのみ、接着剤53図8参照を介して連結部材56の後述する第2円柱部57と連結されている。これにより、圧電素子52の端面52Sと対向する回動部材51の領域を、回動中心Pにより近い第1の領域51R1と、回動中心Pからより遠い第2の領域51R2とに分割したとき、圧電素子52は、電圧印加による伸長時に、端面52Sの一部の領域52S1で、連結部材56を介して回動部材51の第1の領域51R1を押圧して、回動部材51を回動させることが可能となる。ここで、図6は、回動部材51の圧電素子52側からの底面図である。第1の領域51R1および第2の領域51R2についてさらに詳しく説明する。回動部材51において、圧電素子52の端面52Sと対向する領域を51Rとすると、第1の領域51R1は、領域51Rのうちで、連結部材56第2円柱部57の端面と連結される領域図6の斜線部分であり、圧電素子52の端面52Sの中心を通る伸縮方向に沿った中心軸Cよりも回動部材51の回動中心P図5b参照に近い領域となっている。一方、第2の領域51R2は、領域51Rの残りの領域第1の領域51R1を差し引いた領域である。このようにして、領域51Rは、回動中心Pにより近い第1の領域51R1と、回動中心Pからより遠い第2の領域51R2とに分割されている。また、圧電素子52は、回動部材51の異なる領域を押圧するために、上述のように複数本実施例では4本設けられている。各圧電素子52a~52dの伸縮方向は、回動部材51の回動方向とそれぞれ対応しているが、図5bでは、一例として、圧電素子52a52cの伸縮方向B-B’方向と、回動部材51の回動方向A-A’方向とが対応していることを示している。圧電素子52aと圧電素子52c、圧電素子52bと圧電素子52dは、回動部材51の回動中心Pを通る軸に対して対向配置されている。各圧電素子52は、回動部材51とは反対側の端面全体で、エポキシ接着剤を介して、ステンレス等の金属からなる固定台54に固着されている。なお、上述した圧電素子52の伸縮による回動部材51の押圧の仕方は、全ての圧電素子52a~52dに共通して言える。したがって、上述した回動部材51の第1の領域51R1および第2の領域51R2は、各圧電素子52a~52dに対応して設けられ、各圧電素子52a~52dは、伸長時に、連結部材56を介して、対応する第1の領域51R1を押圧することによって回動部材51を回動させることになる。また、上記した圧電素子52は、電圧印加部55と接続されている。ここで、図7aは、圧電素子52と電圧印加部55との電気的な接続関係を示している。各圧電素子52a~52dは、電源供給用のリード線を介して各電圧印加部55a~55dとそれぞれ接続されている。したがって、各圧電素子52a~52dごとに電圧印加を制御することが可能であり、これによって、各圧電素子52a~52dを個別に伸縮させることが可能となっている。連結部材56は、圧電素子52の端面52Sここではその一部の領域52S1と回動部材51とを連結するものであり、第2円柱部57と、接着剤53とで構成されている。第2円柱部57は、例えば金属ステンレス等で構成されており、回動部材51としての第1円柱部51aよりも小径で、回動中心Pを通る軸で第1円柱部51aと同軸に連結されている。第2円柱部57における回動部材51とは反対側の端面には、微小な間隙を介して束ねられて配置される四角柱状の4本の圧電素子5252a~52dが固着されている。第2円柱部57の半径は、概ね圧電素子52の断面の1辺の長さの半分に設定されている。接着剤53は、圧電素子52の端面52Sの一部の領域52S1と、第2円柱部57とを連結するものである。接着剤53による接続部分連結部分は、光路補正装置31の特性を決める上で重要な部分であり、本実施例では、接着剤としては比較的ヤング率の大きいエポキシ接着剤や適度な弾性を有するエポキシ変成シリコーン接着剤等が仕様に沿った形で適宜選択されている。また、接着剤53の厚さも重要であるため、径の揃った球形のプラスチックビーズが接着剤53に混合されていることが望ましい。本実施例では、接着剤53として、直径30μmのプラスチックビーズを混合したエポキシ接着剤を用いた。次に、光路補正装置31の動作について説明する。固定鏡15の回動は、対向する圧電素子52に逆位相の電圧を印加することで行う。すなわち、固定鏡15を図7aのy軸回りに回動させる場合は、電圧印加部55aおよび電圧印加部55cにより、圧電素子52aおよび圧電素子52cに位相が180°ずれた電圧を印加する。図7bは、圧電素子52aに印加される電圧の波形52asと、圧電素子52cに印加される電圧の波形52csとをそれぞれ示している。例えば時刻T1においては、圧電素子52aにはvVの電圧が、圧電素子52cには-vVの電圧が印加されていることがわかる。図8は、光路補正装置31の側面図であって、時刻T0電圧無印加時と時刻T1での回動部材51の姿勢を示す側面図である。なお、図8では、便宜上、圧電素子52bの図示を省略している。圧電素子52aにはvVの電圧が印加されているので、圧電素子52aはdmmだけ伸びるdの変位。一方、圧電素子52cには-vVの電圧が印加されているので、圧電素子52cはdmmだけ縮むd-の変位。これにより、圧電素子52aは、連結部材56を介して回動部材51を押圧し、回動部材51全体が固定鏡15を支持したまま、回動中心Pを中心としてy軸回りに回動角θ°だけ回動する。なお、回動部材51が回動するときの回動中心Pは、構成部材の力学関係によって決まる。一方、固定鏡15をx軸回りに回動させる場合は、圧電素子52bと圧電素子52dとに位相が180°ずれた電圧を印加すればよい。これにより、y軸回りのときと同様の原理により、回動部材51が固定鏡15を支持したまま、回動中心Pを中心としてx軸回りに回動させることができる。以上では、固定鏡15および回動部材51をy軸回りおよびx軸回りに回動させる場合を示したが、これらy軸およびx軸回りの回動を組み合わせることで、任意の首振り運動を実現することが可能である。なお、ここでは、GNDを境にvVと-vVの電圧を各圧電素子に印加しているが、別の方法として、定常状態でオフセット電圧としてV0Vを印加しておき、その電圧V0を境に、電圧V0よりも大きい電圧例えば2Vと、電圧V0よりも小さい電圧例えば0Vとを各圧電素子に印加するようにしてもよい。比較例図9は、比較例の光路補正装置の概略の構成を示す平面図である。また、図10は、比較例の光路補正装置の側面図であって、図7bと同じ電圧を圧電素子52a52cにそれぞれ印加した場合における、時刻T0電圧無印加時と時刻T1での回動部材51の姿勢を示す側面図である。なお、図10では、便宜上、圧電素子52bの図示を省略している。比較例の光路補正装置では、連結部材56第2円柱部57の直径が、束ねられた4本の圧電素子52a~52dを内包する円筒部材の開口部の直径以上に設定されている。そして、圧電素子52が、伸縮方向に垂直な端面52Sの全体で、接着剤53を介して第2円柱部57と接着されている。これ以外については、実施例1の構成と同じである。実施例1と同様に、固定鏡をy軸回りに回動させる場合は、圧電素子52aと圧電素子52cとに位相が180°ずれた電圧を印加すればよい。図7bと同じ電圧を圧電素子52a52cにそれぞれ印加した場合、圧電素子52aはd’mmだけ伸びd’の変位、圧電素子52cはd’mmだけ縮むd’-の変位。ただし、d’<d、かつ、d’-<d-、となり、比較例での回動部材51の回動角θ’は、実施例1での回動部材51の回動角θよりも小さくなる。これは、以下の理由によるものと考えられる。比較例の構成では、圧電素子52が端面S1全体で連結部材56の第2円柱部57と接着されており、実施例1に比べて、接着面積が大きいため、伸長時に圧電素子52に掛かる負荷が大きくなり、その結果、圧電素子52の変位量が小さくなって、回動角が小さくなる。また、比較例の構成では、回動中心Pから、圧電素子52が回動部材51に力を与えるときの見掛け上の力点の位置Qまでの距離が、実施例1よりも大きくなるため、圧電素子52の変位を回動部材51の傾きに変換する割合効率が小さくなり、回動角が小さくなる。なお、見掛け上の力点の位置Qとは、圧電素子52の伸長時に、圧電素子52が接着剤53を介して第2円柱部57を1点で押圧したのと等価と考えられるときの力点の位置のことであり、厳密には、接着剤53における第2円柱部57との接触面の中心とはずれているが、便宜的に上記接触面の中心と考えても差し支えはない。比較例と実施例1とにおいて、圧電素子52と第2円柱部57との接着面積以外の条件を全く等しくしてシミュレーションを行った結果、実施例1では、比較例の2倍程度の回動角が得られた。なお、4本の圧電素子52の端面52S全体の面積の合計が、実施例1における圧電素子52と第2円柱部57との接着面積と同じ面積を有する、細い圧電素子を用いることにより、理論上は、実施例1に近い回動量を得ることができると考えられる。しかし、その場合は、素子面積の減少による強度不足や押圧力の発生力不足、あるいは圧電素子の作製上の課題加工ばらつきの相対的増加等が発生するため、好ましくない。以上のように、本実施例では、圧電素子52が端面52Sの全体ではなく、回動中心Pに近い一部の領域52S1で、接着剤53を介して第2円柱部57を押圧し、第2の円柱部57が回動部材51を押圧する。これにより、圧電素子52自体を回動中心Pに近い位置に配置した場合でも、見掛け上の力点の位置Qを、圧電素子52の端面52Sの中心よりもさらに回動中心P側に近づけることができる。つまり、見掛け上の力点の位置Qを、図16bの位置よりも回動中心P側にさらに近づけることができる。その結果、第2円柱部57が回動部材51の回動中心P側の第1の領域51R1を押圧して、回動部材51を大きく回動させることができる。また、図5b、図6および図8に示すように、第2円柱部57において、圧電素子52の伸縮方向から見たときに、圧電素子52の伸縮を回動部材51に伝達する領域を作用領域56aとする。このときの作用領域56aは、圧電素子52の端面52Sよりも狭く、かつ、端面52Sにおける回動中心Pに近い部分的な領域52S1と対応した位置関係にあり、第2円柱部57の回動部材51と接触する端面第1円柱部51aと連結される端面において、中心軸Cよりも回動中心Pに近い位置にある。したがって、圧電素子52の伸長時、つまり、圧電素子52が端面52S1で第2円柱部57を押圧したとき、第2円柱部57は、作用領域56aによって回動部材51の回動中心P側の領域である第1の領域51R1を押圧することができ、これによって、回動部材51を大きく回動させることができるとも言える。したがって、大型の圧電素子を用いて伸長量を大きくすることなく、回動部材51の回動角を増大させて、固定鏡15での反射光の光路の補正範囲反射角の調整範囲を大きく確保することができる。その結果、小型の構成でありながら、広い角度範囲で反射光の光路補正を行うことができる。また、圧電素子52を細くすることなく、見掛け上の力点の位置Qを回動中心P側に近づけることができるので、圧電素子52の強度を確保しながら、反射光の光路を補正することができる。よって、図1で示したフーリエ変換分光分析装置において、移動鏡16の移動量を増大させたときに移動鏡16の並進性が崩れても、光路補正装置31での光路補正により、分光検出器18で検出される干渉光の干渉縞のコントラストが低下するのを抑えることができる。したがって、演算部2でのフーリエ変換によって得られるスペクトルに基づく分光分析を精度よく行うことができ、移動鏡16の移動量を増大させて分解能を向上させることが可能となる。特に、回動部材51の第1の領域51R1は、圧電素子52の端面52Sの中心を通る中心軸Cよりも回動中心Pに近い領域であるので、圧電素子52が連結部材56を介して回動部材51の第1の領域51R1を押圧することによって、回動部材51の回動角を確実に増大させることができる。また、回動部材51と圧電素子52とを、弾性を有する接着剤53で連結しているので、圧電素子52の伸長時に、接着剤53の弾性を利用して回動部材51を押圧、回動させることができ、回動部材51を効率よく回動させることができる。また、圧電素子52は複数設けられており、連結部材56の上記した作用領域56aは、複数の圧電素子52の個々の伸縮を回動部材51に伝達する。これにより、任意の圧電素子52を伸縮させることによって、任意の首振り運動を実現することが可能となり、固定鏡15での反射光の光路を確実に変えることができる。また、対向配置された圧電素子5252例えば圧電素子52a52cに対して、電圧印加部55が逆位相の電圧を印加することにより、一方の圧電素子52aの伸長による回動部材51の回動が、他方の圧電素子52cの収縮による押圧の解除によって助長されるので、1つの圧電素子52の伸長のみによって回動部材51を回動させる構成に比べて、回動部材51の回動角を2倍にすることができる。なお、実施例1では、変位部材として圧電素子52を用いた例について説明したが、これに限定されるわけではなく、例えば、磁力の作用によって伸縮あるいは弾性変形する磁歪素子で変位部材を構成してもよい。また、実施例1では、変位部材として4つの圧電素子52を用いているが、圧電素子52を1つだけ用い、回動部材51を1方向にのみ回動させる構成としてもよい。例えば、図5aで示した構成においては、4つの圧電素子52の代わりに、1つの圧電素子52と、3つの支持体圧電素子のように伸縮しないものとを用いて回動部材51を回動させる構成としてもよい。実施例2図11は、実施例2の光路補正装置31の概略の構成を示す平面図である。図12aは、実施例2の光路補正装置31の側面図であって、圧電素子52a52cへの電圧印加前の回動部材51の姿勢を示す側面図である。図12bは、実施例2の光路補正装置31の側面図であって、圧電素子52a52cへの電圧印加後の回動部材51の姿勢を示す側面図である。なお、図12bでは、電圧印加によって圧電素子52aを伸長させる一方、圧電素子52cを収縮させた場合を示している。本実施例の光路補正装置31では、回動部材51は、固定鏡15を支持するミラー支持台で構成されている。なお、図12abでは、固定鏡15のサイズは回動部材51のサイズよりも大きくなっているが、回動部材51のサイズ以下であってもよい。圧電素子52は、伸長時に連結部材58を介して回動部材51を押圧することによって回動部材51を回動させる。より詳しくは、端面52Sと対向する回動部材51の領域を、回動中心Pにより近い第1の領域51R1と、回動中心Pからより遠い第2の領域51R2とに分割したとき、圧電素子52は、電圧印加による伸長時に、連結部材58を介して回動部材51の第1の領域51R1を押圧して、回動部材51を回動させる。なお、第1の領域51R1が、圧電素子52の端面52Sの中心を通る中心軸Cよりも回動中心Pに近い領域である点は、実施例1と同じである。また、上記のような回動部材51の押圧の仕方は、全ての圧電素子52に共通している。図13は、回動部材51の圧電素子52a側からの底面図である。圧電素子52aの端面52Sと対向する回動部材51の領域を51Rとしたとき、領域51Rにおける第1の領域51R1、第2の領域51R2、中心軸Cの位置関係は、図13に示す通りである。なお、本実施例では、圧電素子52が連結部材58を介して第1の領域51R1の一部を押圧しているが、第1の領域51R1の全体を押圧するようにしてもよい。ここで、上記の連結部材58は、台座部59と、押圧部材60とで構成されている。台座部59は、圧電素子52の端面52Sの少なくとも一部とエポキシ接着剤を介して固定される。つまり、台座部59は、圧電素子52の端面52Sの全体と固定されていてもよいし、端面52Sの一部と固定されていてもよい。本実施例では、台座部59は、回動部材51の形状を圧電素子52の端面52Sに投影したような扇形の板状部材となっている。押圧部材60は、台座部59と連結されて台座部59からの押圧力が伝達されるものであり、弾性を有している。押圧部材60は、台座部59の中心よりも回動部材51の回動中心Pに近い側に位置して回動部材51と連結されている。なお、本実施例でも、圧電素子52は複数例えば4つ設けられており、各圧電素子5252a~52dに対応して連結部材58が設けられているものとする。回動部材51と連結部材58とは、例えば樹脂の一体成型品として形成することが可能である。この一体成型品は、円盤状の回動部材51から4本の押圧部材60が脚のように延び、それら押圧部材60の先端のそれぞれに扇状の台座部59を備えた部材となる。押圧部材60の断面積が小さいことにより、変形に必要な弾性を与えることができる。上記の構成においては、電圧印加によって圧電素子52aを伸長させると、圧電素子52aは連結部材58を介して回動部材51を押圧し、回動させる。このとき、同時に、電圧印加によって、圧電素子52aと対向配置された圧電素子52cを収縮させることにより、圧電素子52cによる回動部材51の押圧が解除されるため、圧電素子52aの伸長による上記の回動が助長され、回動部材51は、より大きく回動することになる。本実施例のように、連結部材58を台座部59と押圧部材60とで構成した場合、押圧部材60が台座部59の中心よりも回動部材51の回動中心Pに近い側に位置して回動部材51と連結されているので、圧電素子52の伸長時に台座部59および押圧部材60を介して回動部材51に作用する見掛け上の力点の位置Qを回動中心P側に確実に近づけることができる。したがって、本実施例の構成であっても、回動部材51で支持された固定鏡15の回動角を増大させて、広い角度範囲で反射光の光路補正を行うことができる。また、図11および図12aに示すように、押圧部材60において、圧電素子52の伸縮方向から見たときに、圧電素子52の伸縮を回動部材51に伝達する領域を作用領域60aとする。本実施形態における押圧部材60は、円柱をその軸方向に沿って4等分した形状であるため、作用領域60aは扇形の断面となる。もし仮に押圧部材60の太さが途中で変化している場合には、作用領域60aはその最も細い部分の断面圧電素子52の伸縮方向から見たときに、最も面積が小さい断面と対応することになる。作用領域60aは、圧電素子52の端面52Sよりも狭く、かつ、端面52Sにおける回動中心Pに近い部分的な領域52S1と対応した位置関係にあり、回動部材51と接触する端面において、中心軸Cよりも回動中心Pに近い位置にある。したがって、圧電素子52の伸長時、押圧部材60は、作用領域60aによって回動部材51の回動中心P側の領域である第1の領域51R1を押圧することができ、これによって、回動部材51を大きく回動させることができる。したがって、このことからも、回動部材51で支持された固定鏡15の回動角を増大させて、広い角度範囲で反射光の光路補正を行うことができると言える。なお、実施例1では、圧電素子52の端面52Sの一部の領域52S1は、連結部材56接着剤53との接触領域と対応しているのに対して、実施例2では、一部の領域52S1は、連結部材58台座部59との接触領域とは対応していない。つまり、一部の領域52S1は、端面52Sよりも狭く、かつ、端面52Sにおける回動中心Pに近い部分的な領域であればよく、連結部材58との接触領域と対応するか否かとは無関係である。圧電素子の他の配置例図14aは、変位部材としての圧電素子52の他の配置例を示す平面図である。このように、用いる圧電素子52は3個であってもよい。この場合、3つの圧電素子52a52b52cを正三角形の頂点上に位置するように配置し、各圧電素子52を伸縮させることによって、x軸方向およびy方向のいずれにも回動部材および固定鏡を回動させることができる。つまり、図14bは、電圧印加部55によって3つの圧電素子52a52b52cに印加される電圧の波形52as、52bS、52csをそれぞれ示している。図14aの配置の場合、2つの圧電素子52a52bには同位相の電圧を印加し、残りの1つの圧電素子52cには上記とは逆位相の電圧を印加することにより、回動部材を図14aのx軸回りに回動させることができる。なお、図14bの例では、時刻T1においては、圧電素子52a52bにはvVの電圧が印加されており、圧電素子52cには-vVの電圧が印加されていることから、圧電素子52aと圧電素子52c、圧電素子52bと圧電素子52cとで、互いに逆位相の電圧が印加されていることがわかる。また、図示はしないが、圧電素子52a52bに互いに逆位相の電圧を印加する一方、圧電素子52cには電圧を印加しないようにすることで、回動部材を図14aのy軸回りに回動させることが可能となる。さらに、3つの圧電素子52a52b52cに印加される電圧の位相を調整し、x軸回りおよびy軸回りの回動を組み合わせることで、任意の首振り運動を実現することが可能となり、任意の方向に回動部材および固定鏡を回動させることが可能となる。したがって、互いに逆位相の電圧が印加される圧電素子52は、回動部材の回動中心Pを通る軸、すなわち、図14aのx軸およびy軸に垂直な軸に対して、互いに対向配置されていなくてもよいと言える。そして、図14bに示すように、少なくとも2つの圧電素子52例えば圧電素子52a52cに対して逆位相の電圧を印加すれば、一方の圧電素子52例えば圧電素子52cの収縮により、他方の圧電素子52例えば圧電素子52aの伸長による回動を妨げる方向の力を取り除いて、上記回動を助長することができる。その結果、1つの圧電素子52の伸長のみによって回動部材を回動させる構成に比べて、回動部材の回動範囲回動角を広げることができるとともに、回動可能な方向反射光が偏向される面を増やすことができる。部材の変形撓みについて圧電素子が力を発生すると、弾性を有する部材、すなわち、実施例1の接着剤53、実施例2の押圧部材60は全て変形するが、その変形量は、基本的にははりの曲げ、ねじりや柱の引張、圧縮の式に則って決まり、主に部材の形状とヤング率とによって決まる。例えば、変形する部材が柱であれば、以下の場合に変形量圧縮、引張が大きくなる。1加わる力の方向に沿った部材の長さが長い。2加わる力の方向と直交する部材断面の面積が小さい。3部材のヤング率が小さい。また、変形する部材がはりであれば、以下の場合に変形量曲げが大きくなる。4加わる力の方向に沿った部材断面の面積が小さい。5支点から力点までの距離が長い。6部材のヤング率が小さい。実施例1の場合は、2および3の効果により、他の部材に比べて相対的に接着剤53が大きく変形し、実施例2の場合は、1および2の効果により、他の部材に比べて相対的に押圧部材60が大きく変形する。圧電素子の伸長時には、これらの部材が変形することにより、圧電素子の伸長方向の力を回動部材の回動方向の力に効率よく変換して回動部材を回動させることができる。以上、本実施形態で説明した光路補正装置、干渉計およびフーリエ変換分光分析装置は、以下のように表現することができ、これによって以下の作用効果を奏する。本実施形態の光路補正装置は、光の光路を補正する光路補正装置であって、反射ミラーと、前記反射ミラーを支持する支持面を有し、回動中心を中心として回動可能な回動部材と、前記回動部材に対して前記反射ミラーとは反対側に設けられ、前記回動部材との間隔が変化する方向に伸縮可能な変位部材と、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面と前記回動部材とを連結する連結部材とを備え、前記連結部材は、前記伸縮方向から見たときに、前記変位部材の伸縮を前記回動部材に伝達する作用領域を有し、前記作用領域は、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面よりも狭く、かつ、前記端面における前記回動中心に近い部分的な領域と対応している構成である。上記の構成によれば、変位部材例えば圧電素子、磁歪素子の伸長時には、連結部材を介して回動部材が押圧されることにより、回動部材が回動する。これにより、回動部材で支持された反射ミラー例えば干渉計の固定鏡が回動し、反射ミラーで反射される光の光路が補正される。ここで、連結部材は、変位部材の伸縮を回動部材に伝達する作用領域を有している。この作用領域は、変位部材の伸縮方向に垂直な端面よりも狭く、かつ、上記の端面における回動中心に近い部分的な領域と対応している。これにより、強度を確保できるように変位部材を太く構成したままで、変位部材自体を回動中心に近い位置に配置した場合でも、変位部材の伸長時に、連結部材が作用領域を介して回動部材を押圧することによって、回動部材を大きく回動させることができる。したがって、大型の変位部材を用いて伸長量を大きくすることなく、回動部材の回動角を増大させて、反射ミラーで反射される光の光路の補正範囲反射角の調整範囲を大きく確保することができる。その結果、小型の構成でありながら、広い角度範囲で反射光の光路補正を行うことができる。また、変位部材を太く構成したままで、回動部材を大きく回動させることができるので、変位部材の強度を確保しながら、反射光の光路を補正することができる。本実施形態の光路補正装置において、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面と対向する前記回動部材の領域を、前記回動部材の回動中心により近い第1の領域と、前記回動中心からより遠い第2の領域とに分割したとき、前記連結部材は、前記変位部材の伸長時に、前記作用領域によって前記回動部材の前記第1の領域を押圧してもよい。連結部材が、変位部材の伸長時に、作用領域によって回動部材の回動中心に近い第1の領域を押圧することにより、回動部材を大きく回動させる効果を確実に得ることができる。本実施形態の光路補正装置において、前記作用領域は、前記連結部材の前記回動部材と接触する端面において、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面の中心を通る伸縮方向に沿った中心軸よりも、前記回動中心に近い位置にあってもよい。この構成では、変位部材の伸長時に、連結部材の作用領域が、回動部材の回動中心に近い領域例えば第1の領域を押圧することが可能となり、これによって、回動部材を大きく回動させることができる。本実施形態の光路補正装置において、前記回動部材は、前記支持面として円形の端面を有する第1円柱部を有しており、前記連結部材は、前記第1円柱部よりも小径で、前記回動中心を通る軸で前記第1円柱部と同軸に連結される第2円柱部と、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面における前記部分的な領域と、前記第2円柱部とを連結する接着剤とを有しており、前記第2円柱部は、前記第1円柱部と連結される端面に、前記作用領域を有していてもよい。回動部材の円柱部第1円柱部と連結部材の円柱部第2円柱部とを同軸で連結し、変位部材の上記した部分的な領域と第2円柱部とを接着剤で連結した構成では、第2円柱部は、第1円柱部と連結される端面の作用領域を介して、第1円柱部を押圧し、回動させることができる。本実施形態の光路補正装置において、前記接着剤は、弾性を有していてもよい。この構成では、変位部材の伸長時に、接着剤が弾性変形するため、変位部材の伸長方向の力を回動部材を回動させる方向の力に効率よく変換して、回動部材を回動させることができる。本実施形態の光路補正装置において、前記連結部材は、前記変位部材の伸縮方向に垂直な端面の少なくとも一部と固定される台座部と、前記台座部の中心よりも前記回動中心側に位置して、前記台座部と前記回動部材とを連結し、前記変位部材の伸長時に前記台座部からの押圧力が伝達される押圧部材とを有しており、前記押圧部材は、前記回動部材と連結される端面に、前記作用領域を有していてもよい。連結部材が台座部と押圧部材とを有する構成において、押圧部材が、回動部材と連結される端面に作用領域を有しているので、押圧部材が作用領域を介して回動部材を押圧することにより、台座部の大きさに関係なく、回動部材を大きく回動させることができる。本実施形態の光路補正装置において、前記押圧部材は、弾性を有していてもよい。この場合、変位部材の伸長時に、押圧部材が台座部を介して押圧されて弾性変形するため、変位部材の伸長方向の力を回動部材を回動させる方向の力に効率よく変換して、回動部材を回動させることができる。本実施形態の光路補正装置において、前記変位部材は、複数設けられており、前記連結部材の前記作用領域は、前記複数の変位部材の個々の伸縮を前記回動部材に伝達してもよい。連結部材の作用領域が、複数の変位部材の個々の伸縮を回動部材に伝達することにより、各変位部材の伸縮に応じた方向に回動部材を回動させることができる。つまり、各変位部材の伸縮に応じて、回動部材の回動方向を変えることができ、反射ミラーでの反射光の光路反射方向を確実に変えることができる。本実施形態の光路補正装置において、前記複数の変位部材は、電圧印加によって伸縮する圧電素子でそれぞれ構成されており、少なくとも2つの圧電素子に対して互いに逆位相の電圧を印加する電圧印加部が設けられていてもよい。2つの圧電素子に逆位相の電圧が印加されると、一方の圧電素子は、その伸長によって連結部材を介して回動部材を押圧するが、他方の圧電素子は、その収縮によって連結部材を介しての回動部材の押圧を解除する。これにより、一方の圧電素子の伸長による回動を妨げる方向の力を取り除いて、上記回動を助長することができる。その結果、1つの圧電素子の伸長のみによって回動部材を回動させる構成に比べて、回動部材の回動範囲回動角を広げることができるとともに、回動可能な方向反射光が偏向される面を増やすことができる。本実施形態の光路補正装置において、前記電圧印加部によって互いに逆位相の電圧が印加される2つの圧電素子は、前記回動部材の回動中心を通る軸に対して対向配置されていてもよい。この場合は、対向配置された一方の圧電素子の伸長によって回動部材が回動する方向と同じ方向に、他方の圧電素子の収縮による回動の助長が働くので、1つの圧電素子の伸長のみによって回動部材を回動させる構成に比べて、回動部材の回動範囲を2倍にできる。本実施形態の干渉計は、光源からの光を分離して移動鏡および固定鏡に導き、前記移動鏡および前記固定鏡にて反射された各光を合成し、干渉光として検出器に導く干渉計であって、上述した本実施形態の光路補正装置を備え、前記光路補正装置の前記回動部材で支持される前記反射ミラーは、前記固定鏡であってもよい。移動鏡の移動量を増大させたときに移動鏡の並進性が崩れ、2光路を進行して検出器に入射する各光に相対的な傾きが生じた場合でも、本発明の光路補正装置によって固定鏡が回動し、固定鏡で反射される光の光路が補正される。これにより、検出器で検出される干渉光の干渉縞のコントラストが低下するのを抑えることができる。本実施形態のフーリエ変換分光分析装置は、上記した本実施形態の干渉計と、前記干渉計の前記検出器で得られるインターフェログラムをフーリエ変換する演算部とを備えていてもよい。本実施形態の干渉計によれば、移動鏡の移動量を増大させたときに移動鏡の並進性が崩れても、光路補正装置での光路補正により、検出器で検出される干渉光の干渉縞のコントラストが低下するのを抑えることができる。したがって、演算部でのフーリエ変換によって得られるスペクトルに基づく分光分析を精度よく行うことができる。つまり、移動鏡の移動量を増大させて分解能を向上させることが可能となる。