マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液と、を混合した混合溶液を調整する調整工程と、前記混合溶液をマイクロ波によって加熱するマイクロ波加熱工程と、を有することを特徴とする金属酸化物粒子の製造方法。前記第1の金属が銅であり、前記第2の金属がニッケルであることを特徴とする請求項1に記載の金属酸化物粒子の製造方法。金属酸化物の前駆体である金属硝酸塩の溶液の加熱を、特許文献1に示されているマイクロ波による加熱のみで行う場合には、その図6に示されているように、所定の昇温速度を得るための加熱エネルギーでみると、エネルギー効率があまり良くないために、マイクロ波加熱によって得られる金属酸化物のコストが割高になってしまう、という問題があった。上記のような問題点を解決するために、請求項1に係る発明は、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液と、を混合した混合溶液を調整する調整工程と、前記混合溶液をマイクロ波によって加熱するマイクロ波加熱工程と、を有することを特徴とする金属酸化物粒子の製造方法である。また、請求項2に係る発明は、請求項1に記載の金属酸化物粒子の製造方法において、前記第1の金属が銅であり、前記第2の金属がニッケルであることを特徴とする。本発明の金属酸化物粒子の製造方法によれば、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液と、を混合し、これをマイクロ波によって加熱することで、脱硝時における昇温速度を上昇させることができ、金属酸化物粒子製造時のエネルギー効率を高めることができるので、安価な金属酸化物粒子の製造が可能となる。また、上記のような効果に加えて、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の金属酸化物粒子を得ることができる、という副次的な効果を得ることも可能となる。以下、本発明の金属酸化物粒子の製造方法について適宜図面を参照しつつ説明する。図1は本発明の実施形態に係る金属酸化物粒子の製造方法のフローを示す図である。図1において、まずステップS100では、金属酸化物前駆体として、金属硝酸塩の溶液を調整する。このステップは、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液と、を混合した混合溶液を調整する調整工程である。なお、脱硝容易とは、脱硝の際に生成する中間生成物金属の硝酸水和物がマイクロ波を吸収することにより、脱硝が継続することを意味し、脱硝困難とは、マイクロ波加熱によって、脱硝可能な所定の温度までの加熱ができず、脱硝の際に生成する中間生成物金属の硝酸水和物がマイクロ波を吸収せず、それ以上脱硝が進行しないことを意味するものである。本実施形態においては、第1の金属硝酸塩としてはCuNO32を、また、第2の金属硝酸塩としてはNiNO32をそれぞれ用いている。金属硝酸塩は、硝酸溶液に金属を溶かすことで製造されるが、元素を問わず、容易に作製が可能である、というメリットがあり、本発明では、金属酸化物を得る前段の前駆体として金属硝酸塩の溶液を用いるようにしている。金属酸化物を構成する酸素は電気陰性度が強いため、金属酸化物は極性を有する。このような極性の大きさは、金属酸化物を構成する金属の種類やその金属酸化物の結晶構造によっても異なるが、一般的に金属酸化物全般はマイクロ波を比較的よく吸収するものである。ただし金属酸化物の種類によってその程度は異なり、金属酸化物の粉体の粒子径や充填率によっても異なる。銅硝酸塩の溶液については、これをマイクロ波加熱することにより酸化銅を得ることができるが、ニッケル硝酸塩の溶液についてはマイクロ波加熱を行っても酸化ニッケルを得ることができない。これは、ニッケル硝酸塩水和物の脱硝反応プロセスにおいて生成する中間生成物のマイクロ波の吸収が悪く、このため中間生成物の溶液が昇温しなくなることが原因であると考えられる。本発明の金属酸化物粒子の製造方法は、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液に対して、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液を、あえて混合して溶液を調整し、これにマイクロ波を加えることで、マイクロ波加熱時における昇温速度を上昇させ、脱硝温度まで加熱することができる、という知見を得た上でなされたものである。続く、ステップS200では、前記の調整工程によって得られた第1の金属硝酸塩第2の金属硝酸塩の混合溶液を、マイクロ波で加熱して溶液を昇温し、脱硝反応プロセスを進行させて、最終的に第1の金属と第2の金属の金属酸化物を得るようにする。次に、本発明の金属酸化物粒子の製造方法の加熱工程ステップS200で用いる装置の一例について説明する。図2は本発明の実施形態に係る金属酸化物粒子の製造方法の加熱工程で用いられる装置の概略を説明する図である。図2において、10は加熱室、11は制御部、13は温度検出部、15は反応容器、20はマグネトロン、21はマイクロ波導入口をそれぞれ示している。本実施形態における加熱工程では、マイクロ波による加熱が採用されている。このため本実施形態における加熱装置には、マイクロ波が周囲に漏洩することを防止する目的として加熱室10が設けられている。この加熱室10内には、第1の金属硝酸塩第2の金属硝酸塩の混合溶液を収容する反応容器15が設けられている。また、マグネトロン20によって発生されたマイクロ波は不図示の導波管からマイクロ波導入口21に導かれ、このマイクロ波導入口21から加熱室10に導入される。反応容器15内の溶液には、熱電対などの温度検出部13がセットされ、第1の金属硝酸塩第2の金属硝酸塩の混合溶液の温度を計測するようになっている。この計測値は制御部11に入力され、制御部11は溶液の温度に対応してマグネトロン20の出力を制御することができるようになっている。反応容器15の両端にはIn及びOutのガス配管に接続されており、In側からは、不図示の圧縮空気供給システムによって、100mL/secの圧縮空気を流入させて、Out側からは脱硝反応で生じたH2OやNOxガスが排出される。なお、本発明では、脱硝温度として、後述のように加熱の最高到達温度を600°Cと設定しているが、本発明者らの研究、特許文献1によると、図2の加熱装置においては、硝酸塩溶液のマイクロ波加熱の場合、マイクロ波出力の偏り、さらには硝酸塩溶液を収容する反応容器の形状等によって、硝酸塩溶液が均等に加熱されず、硝酸塩溶液全体を、脱硝を効率よく行う350°C程度に維持するためには、最高到達温度を600°Cとすることが必要であるとの検討結果から、設定したものである。以上のような本発明の金属酸化物粒子の製造方法によれば、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液と、を混合し、これをマイクロ波によって加熱することで、脱硝時における昇温速度を上昇させることができ、金属酸化物粒子製造時のエネルギー効率を高めることができるので、安価な金属酸化物粒子の製造が可能となる。また、上記のような効果に加えて、マイクロ波による加熱で脱硝困難な金属硝酸塩をマイクロ波で脱硝し、酸化物を生成できる、という副次的な効果を得ることも可能となる。実施例CuNO323H2O、NiNO326H2O混合試薬20.0gをイオン交換水15.0mLに完全に溶解させたものを混合溶液として用いた。なお、混合割合は下式1のように混合溶液中のCuNO323H2Oのモル数と定義した。すなわち、混合割合100とはCuNO323H2Oのみからなる溶液であり、混合割合0とはNiNO326H2Oのみからなる溶液である、ことを意味している。各混合割合で調整した混合溶液をマイクロ波加熱した場合の温度の経時変化を図3に示す。図3は、混合溶液中のCuNO323H2Oの割合をパラメータとしてプロットしたものである。混合割合100、すなわちCuNO323H2Oのみの溶液でマイクロ波加熱脱硝した場合、脱硝に必要な最終到達温度である600°Cまで昇温できていることがわかる。これに対し、混合割合0、すなわちNiNO326H2Oのみの溶液でマイクロ波加熱脱硝した場合、300°C以上には温度が上昇せず、脱硝が完了しないことがわかる。このようにマイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液が、第1の金属硝酸塩の溶液に対して混入されている場合については、その混入割合の如何に関わらず、前記最終到達温度である600°Cまで昇温可能となる。さらに、混合割合が87.2である場合、78.3である場合、69.1である場合、54.6である場合、39.3である場合はいずれも、CuNO323H2Oのみの溶液でマイクロ波加熱脱硝した場合に比べて、昇温速度が向上していることがわかる。また、混合溶液をマイクロ波による加熱で脱硝した場合、100~280°Cの昇温速度に大きな差は見られないが、280~600°Cの昇温速度が大きく変化していることがわかる。混合溶液を脱硝した場合、その温度の経時変化はCuNO323H2Oを単独で脱硝した場合とNiNO326H2Oを単独で脱硝した場合の間に位置すると予想された。しかし、実際にその予想に当てはまるのは混合割合28.6のときのみであり、上記のように、混合割合87.2の場合、78.3の場合、69.1の場合、54.6の場合、39.3の場合は、CuNO323H2Oを単独で脱硝した場合よりも高い昇温速度が得られている。このように、本発明の金属酸化物粒子の製造方法によれば、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液と、を混合し、これをマイクロ波によって加熱することで、脱硝時における昇温速度を上昇させることができ、金属酸化物粒子製造時のエネルギー効率を高めることができるので、安価な金属酸化物粒子の製造が可能であることがわかる。また、上記のような効果に加えて、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の金属酸化物粒子NiOを得ることができる、という副次的な効果を得ることも可能となる。比較例本比較例は、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、同様にマイクロ波による加熱で脱硝容易な第3の金属硝酸塩の溶液脱硝困難な第2の金属硝酸塩の代替と、を混合した混合溶液を調整し、これをマイクロ波加熱により脱硝を行った例である。比較例においては、第1の金属硝酸塩としてはCuNO32を、また、第3の金属硝酸塩としてはCoNO32をそれぞれ用いている。比較例においては、CuNO323H2O、CoNO326H2O混合試薬20.0gをイオン交換水15.0mLに完全に溶解させたものを混合溶液として用いた。なお、混合割合は前式1のものを準用している。すなわち、混合割合100とはCuNO323H2Oのみからなる溶液であり、混合割合0とはCoNO326H2Oのみからなる溶液である、ことを意味している。図4は比較例に係る金属酸化物粒子の製造方法における昇温プロフィールを示す図である。比較例においては、混合割合100であるCuNO323H2Oのみからなる溶液、及び、混合割合0であるCoNO326H2Oのみからなる溶液が、ほぼ同時に脱硝に必要な最終到達温度である600°Cまで昇温する。一方、混合割合が87.2である場合については、最終到達温度である600°Cに達するものの、混合割合が78.3である場合、69.1である場合、54.6である場合、39.3である場合、28.6である場合はいずれも、脱硝に必要な最終到達温度である600°Cにまで達することができないか、または達するのに長い時間がかかることがわかる。このように、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第3の金属硝酸塩の溶液と、を混合した混合溶液を調整し、これをマイクロ波加熱により脱硝を行ったとしても、効率的に脱硝を行うことができないことがわかる。参考例次に、本発明製造過程で得られる酸化銅、酸化ニッケル混合物の昇温速度と、市販されている酸化銅、酸化ニッケルの混合物の昇温速度との比較を参考例として説明する。これまで説明したように、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液との混合溶液の脱硝で得られた生成物はマイクロ波吸収性が高いことが示唆された。そこで、マイクロ波加熱による脱硝によって得られる生成物本発明製造過程で得られる酸化銅、酸化ニッケルと、一般に市販されている酸化銅と酸化ニッケルを混合したものをマイクロ波で加熱し、その昇温速度の比較を行った。その結果を図5に示す。図5において、横軸には、酸化銅と酸化ニッケルの混合割合として、酸化銅の割合を0~100で表示した混合割合を示し、また縦軸は昇温速度を示している。なお、酸化物をマイクロ波で加熱するため、混合溶液を脱硝した場合に酸化物が生成すると考えられる280~600°Cの温度範囲における昇温速度の比較を行った。まず、本発明製造過程で得られる生成物をマイクロ波加熱した場合、混合溶液をマイクロ波で脱硝した場合と同様に、酸化銅が100のものから酸化ニッケルの混合割合が減少するに従い、昇温速度は増大し、いったん極大値をとった後に、続いて減少していることがわかる。酸化ニッケルが100のものからみると、酸化銅の混合割合が増加するに伴い、昇温速度は増大し、極大値をとった後に減少する。しかし、市販の酸化銅と酸化ニッケルを混合してマイクロ波加熱を行うと、酸化銅が100のものから酸化ニッケルの混合割合が減少するに従い、昇温速度も減少し、極小値をとった後に増大していることがわかる。酸化ニッケルが100のものからみると、酸化銅の混合割合が増加するに伴い、昇温速度が減少し、さらに極小値をとった後に増大していることがわかる。このように、本発明製造過程で得られる生成物をマイクロ波加熱した場合と市販の酸化銅と酸化ニッケルを混合してマイクロ波加熱した場合では、混合割合を変化させた際の昇温速度の変化の傾向が異なっており、混合割合によってはマイクロ波加熱によって得られた生成物の方が、市販の酸化銅と酸化ニッケルを混合したものよりマイクロ波吸収性が高いことが確認できた。このことより、本発明製造過程で得られる生成物は、単なる酸化銅粒子と酸化ニッケル粒子の混合物ではなく、一つの粒子内に酸化銅と酸化ニッケルが混在していることが示唆された。以上、本発明の金属酸化物粒子の製造方法によれば、マイクロ波による加熱で脱硝容易な第1の金属硝酸塩の溶液と、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の溶液と、を混合し、これをマイクロ波によって加熱することで、脱硝時における昇温速度を上昇させることができ、金属酸化物粒子製造時のエネルギー効率を高めることができるので、安価な金属酸化物粒子の製造が可能となる。また、上記のような効果に加えて、マイクロ波による加熱で脱硝困難な第2の金属硝酸塩の金属酸化物粒子を得ることができる、という副次的な効果を得ることも可能となる。