被検出流体に曝される流量検出部10aを表面に備えたセンサチップ10と、前記センサチップ10と電気的に接続される外部接続端子20を備えた固定部30と、前記固定部30から所定方向に突出して備えられ、前記固定部30と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、前記流量検出部10aを露出させた状態で前記センサチップ10を収容する収容凹部50が形成されたセンサ搭載部40と、を備え、前記センサ搭載部40は、前記突出方向と垂直となる断面の断面積が、前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記収容凹部50より前記先端部側に位置する部分の方が小さくされていることを特徴とする流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記センサチップ10における前記表面の法線方向から視たとき、前記センサチップ10の前記表面と平行な方向であって、かつ、前記突出方向と垂直な方向の長さが、前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記収容凹部50より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が短くされていることを特徴とする請求項1に記載の流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記センサチップ10における前記表面の法線方向から視たとき、台形形状とされていることを特徴とする請求項2に記載の流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記センサチップ10の平面方向と平行な方向であって、かつ前記突出方向と垂直な方向から視たとき、前記センサチップ10の前記表面と垂直な方向の長さが、前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記収容凹部50より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が短くされていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記突出方向と垂直となる断面が半楕円である部分を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の流量センサ。前記収容凹部50は、前記センサ搭載部40のうち前記半楕円の弦を構成する一面61、71に形成されていることを特徴とする請求項5に記載の流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記突出方向と垂直となる断面が楕円である部分を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記突出方向と垂直となる断面が真円である部分を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記収容凹部50が形成される側と反対側に平坦な一面72を有することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の流量センサ。前記センサ搭載部40は、前記固定部30と繋がっている中間部60と、前記中間部60を挟んで前記固定部30と反対側に位置する整流部70とを有して構成され、前記収容凹部50は、前記中間部60および前記整流部70に跨って形成されており、前記突出方向と垂直となる部分の断面積が、前記中間部60のうち前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記整流部70のうち前記収容凹部50より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の流量センサ。前記センサチップ10は、前記流量検出部10aが前記収容凹部50のうち前記整流部70側に位置する状態で収容されていることを特徴とする請求項10に記載の流量センサ。前記整流部70は、前記収容凹部50が形成される側と反対側の部分に平坦な一面72を備えていることを特徴とする請求項11に記載の流量センサ。前記整流部70は、前記収容凹部50と対向する部分が前記平坦な一面72とされていることを特徴とする請求項12に記載の流量センサ。被検出流体に曝される流量検出部10aを表面に備えたセンサチップ10と、前記センサチップ10と電気的に接続される外部接続端子20を備えた固定部30と、前記固定部30から所定方向に突出して備えられ、前記固定部30と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、前記流量検出部10aを露出させた状態で前記センサチップ10を収容する収容凹部50が形成されたセンサ搭載部40と、を備えた流量センサの製造方法であって、前記センサ搭載部40として、前記突出方向と垂直となる断面の断面積が、前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記収容凹部50より前記先端部側に位置する部分の方が小さくされていると共に、前記収容凹部50が形成されている側と反対側の部分に平坦な一面72を備え、前記固定部30と一体化されたものを用意する工程と、前記センサ搭載部40のうち前記平坦な一面72に治具80の先端面81を当接させて前記センサ搭載部70を支持しつつ、前記センサチップ10を前記収容凹部50に収容する工程と、を行うことを特徴とする流量センサの製造方法。前記センサ搭載部40を用意する工程では、前記固定部30と繋がっている中間部60および前記中間部60を挟んで前記固定部30と反対側に位置する整流部70を有し、前記中間部60および前記整流部70に跨って前記収容凹部50が形成され、前記突出方向と垂直となる部分の断面積が、前記中間部60のうち前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記整流部70のうち前記収容凹部50より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされ、前記整流部70のうち前記収容凹部50が形成されている側と反対側の部分に前記平坦な一面72を備えたものを用意し、前記センサチップ10を収容する工程では、前記整流部70における前記平坦な一面72に前記治具80の先端面81を当接させて前記整流部70を支持しつつ、前記流量検出部10aが前記整流部70側に配置されるように、前記センサチップ10を前記収容凹部50に収容することを特徴とする請求項14に記載の流量センサの製造方法。前記センサ搭載部40を用意する工程では、前記整流部70のうち前記収容凹部50と対向する部分が前記平坦な一面72とされたものを用意することを特徴とする請求項15に記載の流量センサの製造方法。被検出流体に曝される流量検出部10aを表面に備えたセンサチップ10と、前記センサチップ10と電気的に接続される外部接続端子20を備えた固定部30と、前記固定部30から所定方向に突出して備えられ、前記固定部30と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、前記流量検出部10aを露出させた状態で前記センサチップ10を収容する収容凹部50が形成されたセンサ搭載部40と、を備えた流量センサの製造方法であって、前記センサ搭載部40として、前記突出方向と垂直となる断面の断面積が、前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記収容凹部50より前記先端部側に位置する部分の方が小さくされていると共に、前記収容凹部50が形成されている側と反対側の部分が曲面とされており、前記固定部30と一体化されたものを用意する工程と、前記センサ搭載部40のうち前記曲面の複数箇所に治具80を当接させて前記センサ搭載部70を支持しつつ、前記センサチップ10を前記収容凹部50に収容する工程と、を行うことを特徴とする流量センサの製造方法。前記センサ搭載部40を用意する工程では、前記固定部30と繋がっている中間部60および前記中間部60を挟んで前記固定部30と反対側に位置する整流部70を有し、前記中間部60および前記整流部70に跨って前記収容凹部50が形成され、前記突出方向と垂直となる部分の断面積が、前記中間部60のうち前記収容凹部50より前記固定部30側に位置する部分より、前記整流部70のうち前記収容凹部50より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされ、前記整流部70のうち前記収容凹部50が形成されている側と反対側の部分が前記曲面とされているものを用意し、前記センサチップ10を収容する工程では、前記整流部70における前記曲面の複数箇所に前記治具80を当接させて前記整流部70を支持しつつ、前記流量検出部10aが前記整流部70側に配置されるように、前記センサチップ10を前記収容凹部50に収容することを特徴とする請求項17に記載の流量センサの製造方法。しかしながら、上記流量センサは、内燃機関の吸気管内に固定されて使用されたとき、吸気管の振動に伴って同時に振動してしまうことがある。そして、センサ搭載部が振動すると、検出精度が低下したり、場合によってはセンサ搭載部が破壊されてしまうことがあるという問題がある。本発明は上記点に鑑みて、センサ搭載部を振動し難くし、検出精度が低下したり、センサ搭載部が破壊されたりすることを抑制することができる流量センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明者らは、センサ搭載部の形状に着目して検討を行い、センサ搭載部の共振点を高くすることにより、センサ搭載部を外部からの振動に影響され難くすることができると考えた。このため、請求項1に記載の発明では、被検出流体に曝される流量検出部10aを表面に備えたセンサチップ10と、センサチップ10と電気的に接続される外部接続端子20を備えた固定部30と、固定部30から所定方向に突出して備えられ、固定部30と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、流量検出部10aを露出させた状態でセンサチップ10を収容する収容凹部50が形成されたセンサ搭載部40と、を備え、センサ搭載部40は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より先端部側に位置する部分の方が小さくされていることを特徴としている。このような流量センサでは、センサ搭載部40は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされている。このため、突出方向と垂直となる断面積が収容凹部50より固定部30側に位置する部分と収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分とで等しい矩形板状のセンサ搭載部を有する従来の流量センサと比較すると、固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部までの長さが等しい場合、共振点を高くすることができる。したがって、吸気管等の被取付部材が振動したときに、センサ搭載部40が振動することを抑制することができ、検出精度が低下したり、センサ搭載部40が破壊されたりすることを抑制することができる。例えば、請求項2に記載の発明のように、センサ搭載部40をセンサチップ10における表面の法線方向から視たとき、センサチップ10の表面と平行な方向であって、かつ、突出方向と垂直な方向の長さを、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方を短くすることができる。この場合、請求項3に記載の発明のように、センサ搭載部40は、センサチップ10における表面の法線方向から視たとき、台形形状であるものとすることができる。このような流量センサでは、センサ搭載部40をセンサチップ10における表面の法線方向から視たときに三角形形状である場合と比較して、固定部30から先端部までの長さを短くすることができ、共振点を高くすることができる。また、請求項4に記載の発明のように、センサ搭載部40を、センサチップ10の平面方向と平行な方向であって、かつ突出方向と垂直な方向から視たとき、センサチップ10の表面と垂直な方向の長さを、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方を短くすることができる。さらに、請求項5に記載の発明のように、センサ搭載部40を、突出方向と垂直となる断面が半楕円である部分を有した構成とすることができる。この場合、請求項6に記載の発明のように、収容凹部50を、センサ搭載部40のうち半楕円の弦を構成する一面61、71に形成することができる。このような流量センサは、通常、被検出流体の流れ方向と、センサ搭載部40の突出方向とが垂直となり、かつ被検出流体の流れ方向とセンサ搭載部40の一面61、71とが平行となる状態で吸気管に固定されて被検出流体の流量を測定するのに利用される。このため、被検出流体は、センサ搭載部40に衝突した後、センサ搭載部40の一面61、71上に流れると共に、半楕円形状を構成する壁面に沿って一面61、71と反対側に流れる。すなわち、センサ搭載部が矩形板状とされている流量センサと比較すると、センサ搭載部40のうち被検出流体が衝突する部分に異物が堆積することを抑制することができる。したがって、一面61、71上に異物によって乱流が発生することを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することができる。また、請求項7に記載の発明のように、センサ搭載部40を、突出方向と垂直となる断面が楕円である部分を有した構成とすることができる。そして、請求項8に記載の発明のように、センサ搭載部40を、突出方向と垂直となる断面が真円である部分を有した構成とすることができる。そして、請求項9に記載の発明のように、センサ搭載部40は、収容凹部50が形成される側と反対側の部分に平坦な一面72を有するものとすることができる。これによれば、平坦な一面72に治具80を当接させてセンサ搭載部40を支持しつつ、センサ搭載部40の収容凹部50にセンサチップ10を収容することができるため、センサチップ10が傾いて収容されることを抑制することができる。また、請求項10に記載の発明のように、センサ搭載部40を、固定部30と繋がっている中間部60と、中間部60を挟んで固定部30と反対側に位置する整流部70とを有して構成し、収容凹部50を中間部60および整流部70に跨って形成し、突出方向と垂直となる部分の断面積を、中間部60のうち収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、整流部70のうち収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方を小さくすることができる。この場合、請求項11に記載の発明のように、センサチップ10は流量検出部10aが収容凹部50のうち整流部70側に位置する状態で収容されていることが好ましい。そして、請求項12に記載の発明のように、整流部70は、収容凹部50が形成される側と反対側の部分に平坦な一面72を備えるものとすることができる。このように、整流部70に平坦な一面72を備えることにより、当該平坦な一面72に治具80を当接させて整流部70を支持しつつ、センサチップ10を収容凹部50に収容することができ、センサチップ10のうち特に流量検出部10aが所望の収容予定領域に対してズレることを抑制することができる。また、請求項13に記載の発明のように、整流部70のうち収容凹部50と対向する部分を平坦な一面72とすることができる。そして、請求項14に記載の発明では、センサ搭載部40として、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より先端部側に位置する部分の方が小さくされていると共に、収容凹部50が形成されている側と反対側の部分に平坦な一面72を備え、固定部30と一体化されたものを用意する工程と、センサ搭載部40のうち平坦な一面72に治具80の先端面81を当接させてセンサ搭載部70を支持しつつ、センサチップ10を収容凹部50に収容する工程と、を行うことを特徴としている。このように、センサ搭載部40の平坦な一面72に治具80の先端面81を当接させ、センサ搭載部40と治具80とを面接触させてセンサ搭載部70を支持しつつ、センサチップ10を収容凹部50に収容することにより、センサチップ10が傾くことを抑制することができる。この場合、請求項15に記載の発明のように、センサ搭載部40を用意する工程では、固定部30と繋がっている中間部60および中間部60を挟んで固定部30と反対側に位置する整流部70を有し、中間部60および整流部70に跨って収容凹部50が形成され、突出方向と垂直となる部分の断面積が、中間部60のうち収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、整流部70のうち収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされ、整流部70のうち収容凹部50が形成されている側と反対側の部分に平坦な一面72を備えたものを用意することができる。そして、センサチップ10を収容する工程では、整流部70における平坦な一面72に治具80の先端面81を当接させて整流部70を支持しつつ、流量検出部10aが整流部70側に配置されるように、センサチップ10を収容凹部50に収容することができる。そして、請求項16に記載の発明のように、センサ搭載部40を用意する工程では、整流部70のうち収容凹部50と対向する部分が平坦な一面72とされたものを用意することができる。また、請求項17に記載の発明では、センサ搭載部40として、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より先端部側に位置する部分の方が小さくされていると共に、収容凹部50が形成されている側と反対側の部分が曲面とされており、固定部30と一体化されたものを用意する工程と、センサ搭載部40のうち曲面の複数箇所に治具80を当接させてセンサ搭載部70を支持しつつ、センサチップ10を収容凹部50に収容する工程と、を行うことを特徴としている。このように、センサ搭載部40のうち収容凹部50が形成される側と反対側の部分が曲面である場合には、センサ搭載部40と治具80とは点または辺接触となるが、治具80を複数箇所に当接させてセンサ搭載部70を支持しつつ、センサチップ10を収容凹部50に収容することにより、センサチップ10が傾くことを抑制することができる。この場合、請求項18に記載の発明のように、センサ搭載部40を用意する工程では、固定部30と繋がっている中間部60および中間部60を挟んで固定部30と反対側に位置する整流部70を有し、中間部60および整流部70に跨って収容凹部50が形成され、突出方向と垂直となる部分の断面積が、中間部60のうち収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、整流部70のうち収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされ、整流部70のうち収容凹部50が形成されている側と反対側の部分が曲面とされているものを用意することができる。そして、センサチップ10を収容する工程では、整流部70における曲面の複数箇所に治具80を当接させて整流部70を支持しつつ、流量検出部10aが整流部70側に配置されるように、センサチップ10を収容凹部50に収容することができる。なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。第1実施形態本発明の第1実施形態について説明する。図1aは本実施形態における流量センサの概略平面図、図1bは図1aに示す流量センサの概略側面図、図1cは図1aに示す流量センサの概略正面図である。なお、図1cの概略正面図とは、図1aに示すA方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、本実施形態における流量センサは、例えば、内燃機関の吸気管内に配置され、内燃機関に流入する吸入空気流量を測定するのに利用されると好適である。図1に示されるように、流量センサは、内燃機関に流入する吸入空気等の被検出流体に曝される流量検出部10aを備えたセンサチップ10と、センサチップ10とボンディングワイヤ11を介して電気的に接続されるターミナル20を備えた固定部30と、流量検出部10aを露出させた状態でセンサチップ10を搭載する固定部30に備えられたセンサ搭載部40と、を備えた構成とされている。なお、ターミナル20が本発明の外部接続端子に相当している。センサチップ10は、特に限定されるものではないが、例えば、シリコン等の矩形板状の半導体基板からなり、半導体基板の表面のうち長手方向の一端部側に発熱素子と感温素子とを有する流量検出部10aを備えた一般的なものである。具体的には、半導体基板には、裏面から異方性エッチング等によって形成された薄肉部が形成されており、表面の薄肉部上に一対の発熱素子が形成されている。そして、これら発熱素子は、それぞれ電流の供給量に応じて発熱する機能と、それ自身の抵抗値の変化に基づいて、自身の温度を感知する機能とを有している。したがって、各発熱素子で生じる熱のうち、被検出流体によって奪われた熱に基づいて、被検出流体の流量が測定される。また、感温素子は、半導体基板の表面における薄肉部を除く領域に形成されており、それ自身の抵抗値の変化に基づいて、自身の温度を感知する機能を有している。したがって、発熱素子との温度差に基づいて、各発熱素子に供給される電流量が制御される。さらに、センサチップ10には、半導体基板の表面のうち長手方向の他端部側に、複数のパッド10bが形成されている。そして、各パッド10bは、図示しない配線を介して流量検出部10aと電気的に接続されている。固定部30は、一面31を有する直方体形状に成形されており、センサチップ10と電気的に接続される棒状の、例えば、銅、銅、合金や鉄ニッケル合金等で構成されるターミナル20を複数備えている。このターミナル20は、一端部がセンサ搭載部40側から突出すると共に他端部がセンサ搭載部40と反対側から突出するように、インサート成型されている。なお、特に限定されるものではいないが、これら固定部30は、PPSポリフェニレンサルファイド、PBTポリブチレンテレフタレートやエポキシ樹脂等の樹脂材料を型成形して構成される。センサ搭載部40は、固定部30から所定方向に突出するように、本実施形態では固定部30から紙面左方向に突出するように、固定部30と共に一体成形されている。そして、固定部30と繋がっている部分と突出方向の先端部との間に、収容凹部50が形成されており、当該収容凹部50内に流量検出部10aを露出させた状態でセンサチップ10が収容されている。また、このセンサ搭載部40は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされている。言い換えると、突出方向と垂直となる断面の外縁全体の長さが、固定部30と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が短くされている。なお、断面の外縁全体の長さとは、断面の外形を形作る辺の総和の長さである。以下に、本実施形態のセンサ搭載部40について具体的に説明する。本実施形態では、センサ搭載部40は、固定部30と繋がっている中間部60と、中間部60を挟んで固定部30と反対側に位置する整流部70とを備えており、収容凹部50が中間部60および整流部70を跨いで形成されている。そして、この収容凹部50には、具体的には、後述するが、表面が固定部30の一面31と平行となるように、センサチップ10が収容されている。中間部60は、固定部30の一面31と平行な一面61を有する直方体形状とされている。そして、図1aに示されるように、センサチップ10における表面の法線方向から視たとき、センサチップ10の表面と平行な方向であって、かつ、突出方向と垂直な方向の長さ図1a中紙面上下方向の長さ、つまり、幅が固定部30よりも短くされている。また、図1bに示されるように、センサチップ10の平面方向と平行な方向であって、かつ突出方向と垂直な方向から視たとき、センサチップ10の表面と垂直な方向の長さ図1b中紙面上下方向の長さ、つまり、厚さが固定部30よりも薄くされている。整流部70は、中間部60と繋がっており、中間部60の一面61と平行となる一面71を有している。そして、図1aに示されるように、整流部70の一面71は、センサチップ10における表面の法線方向から視たとき、センサチップ10の表面と平行な方向であって、かつ、突出方向と垂直な方向の長さ以下、単に幅というが、中間部60と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より長くされている。具体的には、本実施形態では、整流部70の一面71は、中間部60と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が短くなる台形形状とされている。さらに、整流部70のうち中間部60と繋がっている部分の幅は、中間部60の幅よりも短くされている。また、整流部70は、図1bに示されるように、センサチップ10の平面方向と平行な方向であって、かつ突出方向と垂直な方向から視たとき、センサチップ10の表面と垂直な方向の長さ以下、単に厚さというが、中間部60と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より厚くされている。本実施形態では、収容凹部50より先端部側の部分が突出方向の先端に向かって厚さが次第に薄くなる形状とされている。また、整流部70のうち中間部60と繋がっている部分の厚さは、中間部60の厚さよりも薄くされている。さらに、整流部70は、図1cに示されるように、突出方向の先端部側から視たとき、半楕円形状とされている。つまり、本実施形態の整流部70は、突出方向に向かって径が小さくなると共に一面71を有する半楕円錐形状とされている。言い換えると、収容凹部50が形成されていない部分の断面が半楕円形状とされている。なお、図1cでは、ターミナル20を省略して示してある。また、中間部60および整流部70に形成される収容凹部50は、センサチップ10の外形より僅かに大きく、底面が矩形状とされていると共に一面31、61、71と平行とされている。そして、この収容凹部50に接着シート等を介して、流量検出部10aが被検出流体に曝されるようにセンサチップ10が収容されている。具体的には、上記のようにセンサチップ10は、長手方向の一端部側に流量検出部10aが形成され、長手方向の他端部側にパッド10bが形成されている。このため、センサチップ10は、収容凹部50のうち、整流部70側に流量検出部10aが位置すると共に中間部60側にパッド10bが位置し、整流部70の一面71とセンサチップ10の表面とが一致するように収容凹部50に収容されている。これにより、整流部70の一面71に沿って被検出流体が整流され、流量検出部10aにて整流された被検出流体が測定されることになる。なお、本明細書において、流量検出部10aが被検出流体に曝されるとは、整流部70の一面71とセンサチップ10の表面とが一致するようにセンサチップ10が収容凹部50に収容されている場合に加えて、センサチップ10の表面が整流部70の一面71から突出するように収容されている場合や、センサチップ10の表面が収容凹部50内に位置するように収容されている場合も含むものである。すなわち、本実施形態では、センサチップ10は、整流部70の一面71とセンサチップ10の表面とが一致するように収容凹部50に収容されているが、例えば、センサチップ10の表面が収容凹部50内に位置するように収容されていてもよい。また、固定部30に備えられたターミナル20の一端部はセンサ搭載部40側から突出しているが、具体的には、当該一端部は中間部60の一面61から露出するように、固定部30にインサート成型されている。そして、ターミナル20は、中間部60から露出している一端部側において、アルミニウム等のボンディングワイヤ11を介してセンサチップ10に備えられたパッド10bと電気的に接続されている。なお、中間部60と反対側から突出している他端部は、外部機器と電気的に接続されるようになっている。また、図示していないが、ボンディングワイヤを含むパッド10bとターミナル20との接続部分は、樹脂等にて被覆されている。以上説明したように、本実施形態の流量センサは、センサ搭載部40が、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされている。具体的には、整流部70は、幅が、中間部60と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より長くされており、さらに中間部60より中間部60と繋がっている部分の方が短くされている。また、厚さが、中間部60と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より厚くされており、さらに中間部60より中間部60と繋がっている部分の方が薄くされている。このため、突出方向と垂直となる断面積が収容凹部50より固定部30側に位置する部分と収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分とで等しい矩形板状のセンサ搭載部を有する従来の流量センサと比較すると、固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部までの長さが等しい場合、共振点を高くすることができ、吸気管等の被取付部材が振動したときに、センサ搭載部40が振動することを抑制することができる。このため、検出精度が低下したり、センサ搭載部40が破壊されたりすることを抑制することができる。また、このような流量センサは、通常、図1aに示されるように、被検出流体の流れ方向と、整流部70の突出方向とが垂直となり、かつ被検出流体の流れ方向とセンサチップ10の表面とが平行となる状態で吸気管に固定されて被検出流体の流量を測定するのに利用される。そして、本実施形態では、整流部70は半楕円錐形状とされているため、被検出流体は、整流部70に衝突した後、整流部70の一面71上に流れると共に、一面71のうち流れ方向の上流側に位置すると共に流れ方向と非垂直である端辺に沿って突出方向の先端部側に流れたり、半楕円形状を構成する壁面に沿って一面71と反対側に流れたりする。すなわち、センサ搭載部が矩形板状とされている流量センサと比較すると、整流部70のうち被検出流体が衝突する部分に異物が堆積することを抑制することができる。このため、一面71上に異物によって乱流が発生することを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することができる。第2実施形態本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図2aは本実施形態における流量センサの概略平面図、図2bは図2aに示す流量センサの概略側面図、図2cは図2aに示す流量センサの概略正面図である。なお、図2cの概略正面図とは、図2aに示すB方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図2cでは、ターミナル20を省略して示してある。図2に示されるように、本実施形態では、整流部70は、固定部30から突出方向に向かって延びる楕円錐形状とされている。すなわち、本実施形態の整流部70は、上記第1実施形態と比較して一面71を有しておらず、収容凹部50が形成されていない部分の断面が楕円形状とされている。このような流量センサとしても、センサ搭載部40は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。第3実施形態本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図3aは本実施形態における流量センサの概略平面図、図3bは図3aに示す流量センサの概略側面図、図3cは図3aに示す流量センサの概略正面図である。なお、図3cの概略正面図とは、図3aに示すC方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図3cでは、ターミナル20を省略して示してある。図3に示されるように、本実施形態では、整流部70は、固定部30から突出方向に向かって延びる円錐形状とされている。すなわち、本実施形態の整流部70は、収容凹部50が形成されていない部分の断面が真円形状とされている。また、整流部70は、固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とされている。このような流量センサとしても、センサ搭載部40は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。第4実施形態本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図4aは本実施形態における流量センサの概略側面図、図4bは図4aに示す流量センサの概略正面図である。なお、本実施形態における流量センサの概略平面図は図1aと同様であり、図4bの概略正面図とは、図1aに示すA方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図4bでは、ターミナル20を省略して示してある。図4に示されるように、本実施形態では、整流部70は一面71と反対側の部分に平坦な一面72を有している。具体的には、整流部70は収容凹部50と対向する部分が平坦な一面72とされており、この一面72は中間部60と繋がっている部分から先端部まで延設されている。また、この一面72は、一面71と平行とされている。このような流量センサによれば、収容凹部50にセンサチップ10を収容する際に、センサチップ10の組み付け性を向上させることができる。すなわち、流量センサは、ターミナル20が治具にて挟持されると共に整流部70のうち収容凹部50が形成される側と反対側の部分に別の治具を当接させた状態で、センサチップ10が収容凹部50に収容されて製造される。整流部70に治具を当接させるのは、センサチップ10のうちの流量検出部10aが所望の収容予定領域に対してズレることを抑制するためである。しかしながら、上記第1実施形態では、次の問題が発生する可能性がある。図5は、図1aに示すセンサ搭載部40の収容凹部50にセンサチップ10を収容する工程を示す図である。なお、図5は、センサ搭載部40の概略正面図であり、中間部60を省略して示してある。図1cおよび図5に示されるように、整流部70は突出方向の先端部側から視たとき、半楕円形状とされており、収容凹部50が形成される側と反対側の部分、つまり一面71と反対側の部分が曲面となっている。このため、整流部70の一面71側と反対側の部分に治具80を当接させた際、治具80の先端面81は平坦とされているため、整流部70と治具80とが辺接触となり、ターミナル20を挟持しているものの、図5中の矢印の方向に整流部70がぐらついてしまうことがある。そして、この状態で収容凹部50にセンサチップ10を収容すると、整流部70の一面71に対してセンサチップ10が傾いてしまい、流量検出部10aが所望の収容予定領域に対してズレてしまって検出精度が低下してしまう。これに対し、本実施形態では、整流部70は収容凹部50が形成される側と反対側に平坦な一面72を有しているため、収容凹部50にセンサチップ10を収容する際に、整流部70がぐらつくことを抑制することができる。図6は、本実施形態におけるセンサ搭載部40の収容凹部50にセンサチップ10を収容する工程を示す図である。なお、図6は、センサ搭載部40の概略正面図であり、中間部60を省略して示してある。図4cおよび図6に示されるように、収容凹部50にセンサチップ10を収容する際、治具80の先端面81を整流部70の平坦な一面72に当接させて整流部70を支持する。この場合、整流部70と治具80とが面接触となり、整流部70がぐらつくことを抑制することができる。このため、収容凹部50にセンサチップ10を収容する際に、センサチップ10が整流部70の一面71に対して傾くことを抑制することができ、流量検出部10aが所望の収容予定領域に対してズレることを抑制することができる。したがって、検出精度が低下することを抑制することができる。さらに、平坦な一面72は、上記第1実施形態における整流部70のうち、収容凹部50が形成される側と反対側の部分を無くすことによって形成される。すなわち、本実施形態の整流部70は、上記第1実施形態の整流部70と比較して重量が小さくなるため、さらに共振点を高くすることができる。第5実施形態本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図7aは本実施形態における流量センサの概略側面図、図7bは図7aに示す流量センサの概略正面図である。なお、本実施形態における流量センサの概略平面図は図1aと同様であり、図7bの概略正面図とは、図1aに示すA方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図7bでは、ターミナル20を省略して示してある。図7に示されるように、本実施形態では、整流部70は、一面71と反対側の部分のうち、収容凹部50と対向する部分と異なる部分に平坦な一面72を二箇所備えている。具体的には、これら平坦な一面72は、整流部70のうち突出方向と平行な方向であって一面71と垂直となり、一面71を二等分する基準平面に対して対称に備えられており、それぞれ中間部60と繋がっている部分から先端部まで延設されている。また、これら一面72はそれぞれ一面71と平行とされている。このような流量センサとしても、上記第4実施形態のように、センサチップ10を収容凹部50に収容する際に、組み付け性を向上させることができる。図8は、本実施形態におけるセンサ搭載部40にセンサチップ10を収容する工程を示す図である。なお、図8は、センサ搭載部40の概略正面図であり、中間部60を省略して示してある。図8に示されるように、本実施形態では、二つの突出部82を有し、突出部82の先端面81がそれぞれ平坦とされている断面が略コ状の治具80を用意する。なお、この治具80では、突出部82は紙面奥行き方向にそれぞれ延設されている。そして、各突出部82の先端面81をそれぞれ整流部70の平坦な一面72に当接させて整流部70を支持する。これによって、整流部70と治具80とが面接触となり、整流部70がぐらつくことを抑制することができる。したがって、センサチップ10が整流部70の一面71に対して傾くことを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することができる。第6実施形態本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図9aは本実施形態における流量センサの概略平面図、図9bは図9aに示す流量センサの概略側面図、図9cは図9aに示す流量センサの概略正面図である。なお、図9cの概略正面図とは、図9aに示すD方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図9cでは、ターミナル20を省略して示してある。図9に示されるように、本実施形態では、センサ搭載部40は、整流部70のみを用いて構成されている。具体的には、上記第1実施形態と比較して、整流部70は固定部30と繋がっており、整流部70と固定部30との間に中間部60が配置されていない構成とされている。そして、整流部70は、図9aに示されるように、幅が突出方向に向かって一定とされており、図9bに示されるように、厚さが中間部60と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が薄くされている。具体的には、上記第1実施形態と同様に、収容凹部50より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とされている。また、整流部70は、図9cに示されるように、突出方向の先端部側から視たとき、長方形状とされている。言い換えると、収容凹部50が形成されていない部分において、突出方向と垂直となる断面が長方形状とされている。つまり、整流部70は、収容凹部50が形成される側と反対側の部分において、収容凹部50より突出方向の先端部側の部分を除く部分が平坦な一面とされており、この一面は一面71と平行とされている。このような流量センサとしても、センサ搭載部40は、厚さが中間部60と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が薄くされており、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。また、このような流量センサでは、整流部70は、収容凹部50が形成される側と反対側の部分において、収容凹部50より突出方向の先端部側の部分を除く部分が平坦な一面とされている。このため、上記第4実施形態と同様に、当該平坦な一面に治具80を当接させて整流部70を支持しつつセンサチップ10を収容することにより、センサチップ10の組み付け性を向上させることができる。第7実施形態本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図10aは本実施形態における流量センサの概略平面図であり、図10bは図10aに示す流量センサの概略側面図、図10cは図10aに示す流量センサの概略正面図である。なお、図10cの概略正面図とは、図10aに示すE方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図10cでは、ターミナル20を省略して示してある。図10に示されるように、本実施形態では、センサ搭載部40は、整流部70のみを用いて構成されている。具体的には、上記第1実施形態と比較して、整流部70は固定部30と繋がっており、整流部70と固定部30との間に中間部60が配置されていない構成とされている。そして、整流部70は、図10aに示されるように、幅が固定部30と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が短くされている。具体的には、整流部70の幅は、固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって、収容凹部50が形成される途中部分まで一定とされており、当該途中部分から突出方向の先端部に向かって幅が短くなっていく形状とされている。なお、この途中部分とは、上記第1実施形態における中間部60と整流部70とが繋がっている部分とほぼ同じ部分である。また、整流部70は、厚さが固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって一定とされている。そして、図10cに示されるように、突出方向の先端部側から視たとき、長方形状とされている。言い換えると、収容凹部50が形成されていない部分において、突出方向と垂直となる断面が長方形状とされている。つまり、整流部70は、収容凹部50が形成される側と反対側の部分が平坦な一面72とされており、この一面は一面71と平行とされている。このような流量センサとしても、センサ搭載部40は、幅が固定部30と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が短くされており、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。また、このような流量センサでは、整流部70は、収容凹部50が形成される側と反対側の部分が平坦な一面とされている。このため、上記第4実施形態と同様に、当該平坦な一面に治具80を当接させて整流部70を支持しつつセンサチップ10を収容することにより、センサチップ10の組み付け性を向上させることができる。第8実施形態本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態は、整流部70の支持の仕方を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図11は、本実施形態におけるセンサ搭載部40にセンサチップ10を収容する工程を示す図である。なお、図11は、センサ搭載部40の概略正面図であり、中間部60を省略して示してある。図11に示されるように、整流部70は、上記第1実施形態と同様に、突出方向の先端部側から視たとき、半楕円形状とされている。すなわち、整流部70は、収容凹部50が形成される側と反対側が曲面とされている。そして、本実施形態では、このような整流部70に対して、上記第5実施形態と同様に、二つの突出部82を有し、突出部82の先端面81がそれぞれ平坦とされていると共に断面が略コ状となる治具80を用意し、この治具80の突出部82をそれぞれ整流部70の曲面に当接させて整流部70を支持している。具体的には、整流部70における治具80との接触箇所が、突出方向と平行な方向であって一面71と垂直となり、一面71を二等分する基準平面に対して対称となるように、治具80の突出部82を整流部70に当接させている。このように、整流部70のうち収容凹部50が形成される側と反対側の部分が曲面である場合には、整流部70と治具80とは辺接触となるが、整流部70の複数箇所に治具80を当接させることにより、整流部70がぐらつくことを抑制することができ、センサチップ10の組み付け性を向上させることができる。特に、上記のように、整流部70における治具80との接触箇所が、基準平面に対して対称となるように、治具80を整流部70に当接させることにより、整流部70がぐらつくことを抑制することができる。なお、上記では、治具80を整流部70の二箇所に当接させる例について説明したが、例えば、治具80を整流部70の三箇所に当接させてもよいし、四箇所に当接させてもよい。また、治具80の当接の仕方は、基準平面に対して対称でなくてもよく、整流部70がぐらつくことを抑制できるものであれば特に限定されるものではない。さらに、上記では治具80と整流部70とが辺接触となるものを説明したが、治具80と整流部70とは点接触であってもよい。他の実施形態上記第1~第3実施形態では、整流部70のうち中間部60と繋がっている部分は、中間部60より幅が短くされていると共に厚さが薄くされている例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部70のうち中間部60と繋がっている部分は、中間部60と等しい幅とされていると共に等しい厚さとされていてもよい。また、上記第1~第3実施形態では、中間部60が直方体形状である例について説明したが、例えば、中間部60を、幅が固定部30側から整流部70側に向かって次第に短くなる形状とすることができるし、厚さが固定部30側から整流部70側に向かって次第に薄くなる形状とすることができる。さらに、上記第1、2、6実施形態では、整流部70を収容凹部50より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とした例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部70を固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とすることもできる。また、整流部70を固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが段階的に薄くなる階段形状とすることもできる。また、上記第1、第7実施形態では、整流部70の一面71を、中間部60と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が短くなる台形形状とした例について説明したが、例えば、整流部70の一面71を中間部60と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が短くなる三角形形状とすることもできる。さらに、整流部70の一面71を、中間部60と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が段階的に短くなる階段形状とすることもできる。また、上記第2、第3、第6実施形態において、整流部70をセンサチップ10における表面の法線方向から視たとき、台形形状とすることもできる。そして、上記第3実施形態では、整流部70を固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とした例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部70のうち収容凹部50より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とすることもできる。また、整流部70のうち収容凹部50より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって、厚さが段階的に薄くなる階段形状とすることもできるさらに、上記第4実施形態では、上記第1実施形態の整流部70において平坦な一面71を有する流量センサについて説明したが、上記第2、第3実施形態の整流部70についても同様である。図12aは他の実施形態における流量センサの概略側面図、図12bは図12aに示す流量センサの概略正面図である。なお、図12aに示す流量センサの概略平面図は図2aと同様であり、図12bの概略正面図とは、図2aに示すB方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図12bでは、ターミナル20を省略して示してある。図12に示されるように、上記第2実施形態の整流部70において、収容凹部50が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部50と対向する部分に平坦な一面72を有するものとすることができる。同様に、図13aは他の実施形態における流量センサの概略側面図、図13bは図13aに示す流量センサの概略正面図である。なお、図13aに示す流量センサの概略平面図は図3aと同様であり、図13bの概略正面図とは、図3aに示すC方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図13bでは、ターミナル20を省略して示してある。図13に示されるように、上記第3実施形態の整流部70において、収容凹部50が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部50と対向する部分に平坦な一面72を有するものとすることができる。これら図12および図13に示されるように、整流部70における収容凹部50が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部50と対向する部分に平坦な一面72を備えることにより、整流部70の平坦な一面72に治具80を当接させて整流部70を支持しつつ収容凹部50にセンサチップ10を収容することができる。このため、センサチップ10の組み付け性を向上させることができる。また、上記第2、第3実施形態において、上記第5実施形態のように、整流部70は、収容凹部50が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部50と対向する部分と異なる部分に平坦な一面72を有するものとすることもできる。さらに、上記第2、第3実施形態に上記第8実施形態を組み合わせて、治具80をそれぞれ整流部70の曲面に当接させて整流部70を支持しつつ収容凹部50にセンサチップ10を収容するようにしてもよい。また、上記第7実施形態では、整流部70を固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって、収容凹部50が形成される途中部分まで一定とし、当該途中部分から突出方向の先端部に向かって幅が短くなっていく形状とした例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部70を固定部30と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって幅が短くなる形状とすることもできる。