試料から放出される電子を検出して試料の形象を測定し、同時にX線分析のための走査電子顕微鏡イメージを生成するイメージ生成手段と、前記イメージ生成手段から生成したイメージの表示制御と特定位置の保存制御信号を発生する制御機と、前記制御機から発生した特定位置の保存制御信号によって前記イメージ生成手段から生成されたイメージの特定位置に対するエネルギーレベルを累積して物質成分情報を提供するX線測定回路と、を含むことを特徴とする走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置。前記イメージ生成手段は、試料から放出される電子を検出して試料形象測定用イメージを作る走査電子顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置。前記イメージ生成手段は、走査線を生成する走査線生成回路と、前記生成した走査線の回転及び歪みを補正する補正回路と、前記補正回路によって補正された走査線が試料に放出された後、前記試料から放出される電子を検出して試料形象測定用走査電子顕微鏡イメージとX線分析のためのイメージを同時に生成するイメージ生成回路と、を含むことを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置。前記制御機は、前記イメージ生成手段から生成されたイメージの次の累積信号または次の周期信号を特定位置の保存制御信号として前記X線測定回路に提供することを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置。前記X線測定回路は、別途のイメージ生成手段を具備せずに走査電子顕微鏡から提供するイメージを使うX線分析器であることを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置。したがって、本発明は、前記のような従来の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、走査電子顕微鏡とX線分析器を統合して一つの装置で単一化するための走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置の提供にある。本発明の他の目的は、走査電子顕微鏡とX線分析器の重複する機能を単一化することができる走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置の提供にある。本発明が解決しようとする課題を果たすために、本発明による走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置は、試料から放出される電子を検出して試料の形象を測定し、同時にX線分析のための走査電子顕微鏡イメージを生成するイメージ生成手段と、前記イメージ生成手段から生成したイメージの表示制御と特定位置の保存制御信号を発生する制御機と、前記制御機から発生した特定位置の保存制御信号によって前記イメージ生成手段から生成されたイメージの特定位置に対するエネルギーレベルを累積して物質成分情報を提供するX線測定回路と、を含むことを特徴とする。望ましくは、前記イメージ生成手段は、試料から放出される電子を検出して試料形象測定用イメージを作る走査電子顕微鏡である。望ましくは、前記イメージ生成手段は、走査線を生成する走査線生成回路と、前記生成した走査線の回転及び歪みを補正する補正回路と、前記補正回路によって補正された走査線が試料に放出された後、前記試料から放出される電子を検出して試料形象測定用走査電子顕微鏡イメージとX線分析のためのイメージを同時に生成するイメージ生成回路と、を含む。望ましくは、前記制御機は、前記イメージ生成手段から生成されたイメージの次の累積信号または次の周期信号を特定位置の保存制御信号として前記X線測定回路に提供する。望ましくは、前記X線測定回路は、別途のイメージ生成手段を具備せずに走査電子顕微鏡から提供するイメージを使うX線分析器である。本発明によれば、走査電子顕微鏡とX線分析器を統合して一つの装置で単一化することができる長所がある。本発明によれば、走査電子顕微鏡とX線分析器を一つの装置で単一化することができるため、既存の走査電子顕微鏡とX線分析器のボードを別個に製作する複雑さを解決することができるので、別個のボード製作に必要な費用を節約できる長所がある。本発明によれば、X線分析器のボード製作の際、走査電子顕微鏡と重複する走査線生成回路とイメージ生成回路をとり除いて、X線測定回路だけでX線分析器のボード製作が可能なので、X線分析器のボードを容易に製作することができる長所がある。本発明によれば、走査電子顕微鏡とX線分析器を統合して単一のボードで製作することができるので、設置空間を最小化できる上、装備の使用において、便利な長所がある。以下、本発明を添付した例示図面に基づいて詳細に説明する。図7は本発明による走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置の構成図であり、イメージ生成手段110、制御機120、X線測定回路130及び入力装置140で構成される。イメージ生成手段110は、試料から放出される電子を検出して試料形象測定用走査電子顕微鏡イメージとX線分析のためのイメージを同時に生成する役目をする。このように生成されるイメージは、走査電子顕微鏡で試料の形象を測定するための映像イメージで使われると同時にX線分析器で特定位置のエネルギーレベルを確認して物質成分を分析するためのイメージとして使われる。ここで、イメージ生成手段110のイメージ生成原理は、既存の走査電子顕微鏡でのイメージ生成原理と等しいので、イメージ生成手段110を走査電子顕微鏡SEMに見做すことができる。このようなイメージ生成手段110は、走査線を生成する走査線生成回路111と、前記生成した走査線の回転及び歪みを補正する補正回路112と、前記補正回路によって補正された走査線が試料に放出された後、前記試料から放出される電子を検出して試料形象測定用走査電子顕微鏡イメージとX線分析のためのイメージを同時に生成するイメージ生成回路113とを含む。制御機120は、前記イメージ生成手段110から生成したイメージの表示制御と特定位置の保存制御信号を発生する役目をする。即ち、制御機120は、入力装置140から入力された特定位置によって前記イメージ生成手段110から生成されたイメージの次の累積信号を特定位置の保存制御信号で発生し、前記入力装置140から入力された特定位置によって前記イメージ生成手段110から生成されたイメージの次の周期信号を特定位置の保存制御信号で発生する役目をする。また、前記制御機120は、イメージ生成手段110から生成されたイメージを表示装置に表示するように制御する役目もする。このような制御機120はマイコン、マイクロプロセッサー、コントローラー、中央処理装置のような制御装置で具現するのが望ましい。前記X線測定回路130は、前記制御機120から発生した特定位置の保存制御信号によって前記イメージ生成手段110から生成されたイメージの特定位置に対する映像信号のみを累積して物質成分情報を提供する役目をする。このようなX線測定回路30は、既存のX線分析器と同一であると見做なせる。前記入力装置140は、使用者管理者が操作して信号を入力する役目をするキーボードやマウスである。前記入力装置140は、特定位置を選択するか、倍率入力をするか、または、特定位置の物質成分を分析するために映像イメージで特定位置を指定する役目をする。このように構成された本発明による走査電子顕微鏡とX線分析器の統合装置を具体的に説明すれば、次のようである。先に、イメージ生成手段110では、既存の走査電子顕微鏡から観察用イメージを生成する方法と等しく、走査線生成回路111で試料に走査する走査線を生成し、補正回路112は、磁気レンズをパスして移動及び歪んだ走査線を補正する。ここで、補正方法を簡単に説明すれば、作業距離WD別に像の回転移動値の補正、前記作業距離別磁場影響によって発生する像の歪みの補正、模様の補正shearingdistortion、及び長さの補正を遂行する。このような走査線の補正は、従来技術で言及したように、該当の分野にもよく知られた公知の補正法をそのまま採択して使うので、詳しい説明は略する。このような補正された走査線は試料に放射され、以後試料から放出される電子を検出器で検出し、イメージ生成回路113により映像信号を作って観察しようとするイメージ及び物質成分分析用イメージを生成する。以後、制御機120の制御下に生成されたイメージは、表示装置に表示されて、使用者は試料の形象を映像で観察する。ここで、生成されるイメージは走査電子顕微鏡の形象測定用映像イメージであると同時にX線分析器で使うためのイメージであり、単一のイメージである。使用者は、周知のような動作で表示装置を通じて試料の形象を観察する途中に特定位置の物質成分構成を知ろうと思えば、入力装置140を通じて特定位置を指定する。前記入力装置140によって特定位置が指定されば、X線分析を要請する場合なので、前記制御機120は、X線測定回路130に特定位置の保存制御信号を発生する。前記で制御機120は、走査線生成回路が試料に走査した領域に対して使用者が指定した特定位置をイメージ生成回路が生成したイメージから取得する。ここで、発生する特定位置の保存制御信号は、累積のための特定位置を指定する特定位置累積信号と、特定位置の累積が完了し、再び最初の特定位置に戻るための特定位置に対する周期信号になる。例えば、前記制御機120から、X線測定回路130に特定位置累積信号を特定位置保存制御信号として発生すれば、X線測定回路130は、イメージ生成回路113から生成されたイメージから第1の特定位置に対する累積信号のみを特定レジスターに累積して保存する。そして前記第1の特定位置に対する累積信号が一定の値に達すれば、制御機120は次の特定位置第2の特定位置に対する累積信号を発生して、X線測定回路130に提供する。このような制御信号によってX線測定回路130は、次のレジスターに前記イメージ生成回路113から送信される第2の特定位置に対応する累積信号を保存する。このような過程を通じて使用者が入力装置140を通じて指定した特定位置に対する累積信号が一定の値に達すれば、前記制御機120はX線測定回路130に次の周期信号を送って、累積信号を最初の特定位置第1の特定位置に移動させる。このような次の周期信号によってX線測定回路130は、第1の特定位置にあたるレジスターへ移動してイメージ生成回路113から送信された信号を累積保存する。このような動作は、既存のX線分析器で、特定位置に対するエネルギーレベルを累積する動作と同一である。すなわち、X線測定回路130は既存のX線分析器で、特定位置のエネルギーレベルを累積するのと等しい動作をして、エネルギーレベルを累積する。このようなエネルギーレベルの累積が完了すれば、X線測定回路130は、既存の物質成分分析と同様に累積したエネルギーレベルを成分分析機未図示に伝達する。そして成分分析機により、成分分析された結果はさらに制御機120に伝達される。前記制御機120は、伝達された物質成分分析結果を表示装置に表示して、使用者は容易に指定した特定位置の物質成分を知ることができる。周知のような本発明は、一つのボードに走査電子顕微鏡の観察用映像イメージを作る部分を具現し、同時に前記ボードに物質構成成分を分析するX線分析装置モジュールを装着した後、単一の制御機を通じて2種機能走査電子顕微鏡機能及びX線分析機能を選択的に制御することによって、走査電子顕微鏡とX線分析機を統合する。したがって、従来は走査電子顕微鏡とX線分析器のボードが別個の製品としてそれぞれ製作されて使われたが、本発明によれば、一つの製品で走査電子顕微鏡とX線分析器の機能をすべて備えることができるので、製品を備えることが簡単になるだけでなく、製品の製作費用も節約することができる。走査電子顕微鏡とX線分析器の統合のための他の方法として、走査電子顕微鏡のボードを別に製作し、X線分析器のボードは走査電子顕微鏡と重畳する部分走査線生成回路及びイメージ生成回路をとり除いて、X線測定のみを遂行するX線測定回路だけで簡単に具現し、単一の制御機を通じて前記2個のボードを統合制御して、走査電子顕微鏡とX線分析器を一つで統合することもできる。したがって、従来は走査電子顕微鏡とX線分析器のボードが別個の製品で各々製作されて使われたが、本発明によれば、一つの製品で走査電子顕微鏡とX線分析器の機能をすべて具現することができるので、製品を備えることが簡単になるだけでなく、製品の製作費用も節約することができる。特に、X線分析器ボード製作の時には、走査電子顕微鏡と重畳する走査線生成回路及びイメージ生成回路を備えることなく、X線測定回路に対する部分だけ備えれば良いので、X線分析器ボードを容易に備えることはもちろん製品の製作費用も節約することができる。本発明は実施例に限定されず、本発明が属する技術分野における当業者によって技術範囲内で、本発明を修正または変更が可能である。