"切削ブレードが装着される高速回転可能なスピンドルと、該スピンドルに着脱可能に装着されるブレードマウントと、該切削ブレードを該ブレードマウントに固定する固定ナットと、該スピンドルの回転を停止する回転停止機構と、を備えた切削装置のブレード着脱補助治具であって、該回転停止機構により該スピンドルの回転が停止された状態で、該固定ナットに形成された被係合部と係合して該固定ナットを回転させるナット回転部と、該ナット回転部の外周に配置され、該ナット回転部により該固定ナットを回転させる際に、該固定ナットの外周部を把持するナット把持部と、該ナット回転部に回転トルク規制部を介して連結された本体把持部とを具備し、該回転トルク規制部は、該本体把持部を回転させて該固定ナットを締結又は弛緩する際、該ナット回転部に掛かる回転トルクを所定のトルク以下に規制することを特徴とするブレード着脱補助治具。前記回転トルク規制部は、前記ナット回転部に掛かるトルクが前記所定のトルクに達すると、該ナット回転部と該本体把持部との連結を遮断するクラッチ機構を備えることを特徴とする請求項1記載のブレード着脱補助治具。しかし、特許文献2記載のブレード着脱補助装置では、ナット回転用の治具にトルクレンチを係合させてトルクレンチを回転させることで固定ナットを締結又は弛緩させることは従来と変わりなく、その場合、治具にトルクレンチを係合させる際は治具を押さえつつトルクレンチを挿入するために両手が必要になり、治具とトルクレンチの二つの工具の分はどうしても占有スペースを小さくすることはできず、近年小型化の一途をたどる切削装置の狭い内部空間において、非常にやりにくい作業であるという状態は続いている。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、トルクレンチを使用することなく、固定ナットを回転して規定のトルクで固定ナットを締結又は弛緩することのできるブレード着脱補助治具を提供することである。本発明によると、切削ブレードが装着される高速回転可能なスピンドルと、該スピンドルに着脱可能に装着されるブレードマウントと、該切削ブレードを該ブレードマウントに固定する固定ナットと、該スピンドルの回転を停止する回転停止機構と、を備えた切削装置のブレード着脱補助治具であって、該回転停止機構により該スピンドルの回転が停止された状態で、該固定ナットに形成された被係合部と係合して該固定ナットを回転させるナット回転部と、該ナット回転部の外周に配置され、該ナット回転部により該固定ナットを回転させる際に、該固定ナットの外周部を把持するナット把持部と、該ナット回転部に回転トルク規制部を介して連結された本体把持部とを具備し、該回転トルク規制部は、該本体把持部を回転させて該固定ナットを締結又は弛緩する際、該ナット回転部に掛かる回転トルクを所定のトルク以下に規制することを特徴とするブレード着脱補助治具が提供される。好ましくは、回転トルク規制部は、ナット回転部に掛かるトルクが所定のトルクに達すると、ナット回転部と本体把持部との連結を遮断するクラッチ機構を備えている。本発明のブレード着脱補助治具によると、トルクレンチの構造が治具内に内蔵されているため、別途トルクレンチを使用することなく、固定ナットを回転して規定のトルクで固定ナットを締結又は弛緩することができる。また、トルクレンチを使用しないので固定ナット着脱の際占有スペースを小さくすることも可能となる。更に、固定ナットを係合したナット回転用の治具をフランジの雄ねじに仮止めするために回転して螺合するという動作と、ナット回転用の治具をトルクを掛けて本締めするために回転して螺合するという二つの螺合動作を一つの動作に集約することができるので、迅速に固定ナットの締結又は弛緩を行うことができる。以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明のブレード着脱補助治具を使用することのできる切削装置2の斜視図が示されている。切削装置2は、ダイシングテープTを介して環状フレームFに支持されたウエーハWを吸引保持するチャックテーブル6と、チャックテーブル6に保持されたウエーハWを切削加工する切削ユニット4を備えている。図2を参照すると、切削ユニット4の斜視図が示されている。切削ユニット4は、スピンドルハウジング8中に回転可能に収容されたスピンドル10と、スピンドル10の先端に装着された切削ブレード12と、切削ブレード12の上半分をカバーするホイールカバー14と、切削水を切削ブレード12に供給する切削水供給ノズル16とを備えている。切削加工時には、切削ブレード12は矢印A方向に回転される。18は切削ブレード12の着脱時にスピンドル10の回転を停止するための回転停止機構ロック機構であり、係合部材がスピンドル10に形成された係合穴に係合することによりスピンドル10をロックする。図3を参照すると、切削ユニット4のスピンドル10と、スピンドル10に装着されるブレードマウント22との関係を示す分解斜視図が示されている。切削ユニット4のスピンドルハウジング8中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル10が回転可能に収容されている。スピンドル10はテーパ部10a及び先端小径部10bを有しており、先端小径部10bには雄ねじ20が形成されている。22はボス部24と、ボス部24と一体的に形成されたマウントフランジ26とから構成されるブレードマウントであり、ボス部24に雄ねじ28が形成されている。更に、ブレードマウント22は装着穴29を有している。ブレードマウント22は、装着穴29をスピンドル10の先端小径部10b及びテーパ部10aに挿入して、ナット30を雄ねじ10bに螺合して締め付けることにより、図4に示すようにスピンドル10の先端部に取り付けられる。本実施形態は、ブレードマウント22をスピンドル10の先端に固定するのにナット30を使用したナットタイプの装着構造であるが、図7B及び図8に示すように、ナットに代わりボルト31をスピンドル10の先端に螺合することにより、ブレードマウント22をスピンドル10の先端に取り付けるボルトタイプの装着構造であってもよい。図4はブレードマウント22が固定されたスピンドル10と、切削ブレード12との装着関係を示す分解斜視図である。切削ブレード12はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ34を有する円形基台32の外周にニッケル母材中にダイアモンド砥粒が分散された切刃12aが電着されて構成されている。切削ブレード12の装着穴36をブレードマウント22のボス部24に挿入し、固定ナット38をボス部24の雄ねじ28に螺合して締め付けることにより、切削ブレード12がスピンドル10に取り付けられる。固定ナット38は、円周方向に120度離間した3個の係合穴被係合部39を有している。図5を参照すると、切削ユニット4の縦断面図が示されている。スピンドルハウジング8の壁内には、軸方向に伸長する環状エア供給路50が形成されており、環状エア供給路50からは軸方向及び円周方向に所定の間隔を開けて複数の第1分岐路50aがそれぞれ中心方向に向けて放射状に形成され、スピンドル10の外周に形成したラジアルエアベアリング52に連通している。図示しないエア供給源からの高圧の圧縮エアがスピンドルハウジング8に形成されたエア供給口48を介して環状エア供給路50に供給される。スピンドル10は一体的に形成された環状スラストプレート46を有している。環状エア供給路50の前方部図5で左端部には、環状スラストプレート46の両面に対向させて円周方向に所定の間隔を開けて複数の第2分岐路50bがそれぞれ設けられ、環状スラストプレート46の両側面に形成されたスラストエアベアリング54に連通している。従って、エア供給源からの圧縮エアが環状エア供給路50、第1及び第2分岐路50a,50bを介してラジアルエアベアリング52及びスラストエアベアリング54に供給され、高速回転するスピンドル10を微小なぶれを発生させることなく安定して支持する。40はステータ42及びロータ44からなるサーボモータであり、スピンドル10を回転駆動する。18はロック機構回転停止機構であり、スピンドルハウジング8に配設されている。ロック機構18は、スピンドルハウジング8に固定されたシリンダ部56と、シリンダ部56内に移動可能に配設された係止部材58とを含んでいる。係止部材58は、比較的大径で短い頭部58aと、比較的小径で長い胴部58bとからなり、頭部58aの直径はシリンダ部50の内径と略同一となる様に調整されているので、頭部58aの外周面がシリンダ部56の内周面と密接する。このため、頭部58aはその一側と他側との間を気密状態に保ちながらシリンダ部56内をスピンドル10に近づく方向或いは遠ざかる方向に円滑に往復移動できる。このように、係止部材58はシリンダ部56内にピストンとして機能する。コイルばね60が係止部材58の胴部58bに外嵌されてシリンダ部56の内部空間に設置されている。シリンダ部56の内部空間に突出するように突起部56aが形成されており、この突起部56aは係止部材58の頭部58aと当接して、係止部材58がスピンドル10から離れる方向に過度に移動することを制限する。ロック機構18のシリンダ部56の一端にはエア供給用ノズル64が装着されている。エア供給用ノズル64には係止部材58を収容しているシリンダ部56の内部空間と連通する連通孔57が形成されている。エア供給用ノズル64及び連通孔57を介して加圧されたエアをシリンダ部56の係止部材58の頭部58a側の内部空間に供給すると、係止部材58がコイルばね60の付勢力に抗して移動して、係止部材58の先端がスピンドル10に形成された係合穴62に係合し、スピンドル10をロックすることができる。係合穴62は、例えばスピンドル10の外周方向に120度離間して3個形成されている。図6を参照すると、本発明実施形態に係るブレード着脱補助治具68の縦断面図が示されている。ブレード着脱補助治具68は、ロック機構18でスピンドル10の回転が停止された状態で、固定ナット38に形成された係合穴被係合部39と係合して固定ナット38を回転させるナット回転部70と、ナット回転部70の外周に配置されてナット回転部70により固定ナット38を回転させる際に、固定ナット38の外周部を把持する円筒状のナット把持部80と、ナット回転部70に回転トルク規制部88を介して連結された本体把持部90とから構成される。ナット回転部70は円筒状のナット回転部本体72を有しており、ナット回転部本体72にはトルクプレート74が複数のねじ本実施形態では3個76により固定されている。ナット回転部本体72は、例えばアルミニウム合金から形成されている。複数のねじ76と整列して3個の係合ピン78が円周方向に120度離間してナット回転部本体32の先端から突出するように配設されている。各係合ピン78はコイルばね79によりナット回転部本体72の先端から突出する方向に付勢されている。ナット回転部本体72の外周には円筒状のナット把持部80が配設されており、ナット把持部80は円周方向に離間した複数のピン82によりナット回転部本体72と摺動可能に連結されている。ナット把持部80は例えば合成樹脂から形成されている。ナット回転部本体72の先端側の外周には固定ナット38の外周に形成された環状の把持溝38aに係合して固定ナット38を把持する複数の爪部84が配設されている。各爪部84の脚部86がナット回転部本体72の外周に形成された嵌合穴87中に嵌合されて、図示を省略したコイルばねにより各爪部84はナット回転部本体72の外周方向に付勢されている。図6に示された状態では、円筒状のナット把持部80が爪部84を押さえて外周方向への変位を阻止している。回転トルク規制部88は、トルクプレート74と、ねじ94により本体把持部90に固定された保持プレート92と、トルクプレート74のボルト貫通穴114図9参照中に挿入されたボルト96と、ゴム等の弾性体から形成されたスペーサ102と、スペーサ102とボルト96の頭部96aとの間に介装された押さえプレート104及び座金106と、ボルト96の先端に固定された座金98とトルクプレート74との間に介装されたコイルばね100を含んでいる。回転トルク規制部88は更に、トルクプレート74の摺動面112に形成された互いに円周方向に60度離間した6個の凹部116図9参照と、トルクプレート74の摺動面112上を摺動する3個の鋼球108を含んでいる。保持プレート92は鋼球108をトルクプレート74の摺動面112と押さえプレート104との間を転動するように保持する。ナット把持部80と本体把持部90との間にはコイルばね110が介装されており、このコイルばね110によりナット把持部80と本体把持部90とは互いに離れる方向に付勢されている。本体把持部90は例えば合成樹脂から形成されている。以下、図7及び図8を参照して、ブレード着脱補助治具68を使用した固定ナット38の締結動作について説明する。まず、固定ナット38を締結する前に、図5に示すロック機構18を作動して、ロック機構18の係止部材58をスピンドル10に形成された係合穴62に係合して、スピンドル10をロックする。この状態で、ブレード着脱補助治具68を使用した固定ナット38の締結動作を実施する。図7Aを参照すると、固定ナット38装着前のブレード着脱補助治具68の縦断面図が示されている。片方の手でナット把持部80を保持し、他方の手で本体把持部90を把持してナット把持部80に介して押し上げる。その結果、コイルばね110が圧縮されナット把持部80に固定されたピン82がナット回転部本体72に形成された長穴83中をスライドして、ナット回転部本体72がナット把持部80に対して押し上げられる。これにより、爪部84はナット把持部80によりその下半分が押さえられているだけなので、爪部84の先端部分が図示しないコイルばねの付勢力により外周方向に開くことになる。よって、この状態で係合ピン78を固定ナット38の係合穴39中に係合し、爪部84の先端部を固定ナット38の環状把持溝38aに位置付けて本体把持部90を離すと、ナット把持部80はコイルばね110の付勢力により図7Bに示す位置まで上昇し、爪部84が固定ナット38の環状把持溝38aを把持する。この状態では、固定ナット38は爪部84によりその外周部が把持されているので、ブレード着脱補助治具68から抜け落ちることはない。図8に示すように、ブレード着脱補助治具68に把持された固定ナット38をブレードマウント22のボス部24に形成された雄ねじ28に螺合して本体把持部90を矢印R方向に回転させると、回転トルク規制部88を介してこの回転トルクがナット回転部70に伝達され、固定ナット38がブレードマウント22の雄ねじ28に締結される。図9及び図10を参照して、固定ナット38締結時の回転トルク規制部88による回転トルクの規制作用について説明する。図9に示すように、トルクプレート74の摺動面112には互いに60度離間して6個の凹部116が形成されている。この凹部116は、図10Aに示すように、比較的緩やかな傾斜面116aと比較的急な傾斜面116bを有している。図10Aに示すように、トルクプレート74の摺動面112上を摺動する鋼球108には、回転トルク規制部88のコイルばね100の付勢力によりトルクプレート74を矢印A方向に付勢し、押さえプレート104を矢印B方向に規制する押し付け力が作用している。図10Aに示すように、固定ナット38の締結時にはトルクプレート74を矢印R方向に回転する。本実施形態では、鋼球108と凹部116とにより所定以上の回転トルクの伝達を遮断するクラッチ機構118を構成する。図10Aに示す状態からトルクプレート74を矢印R方向に回転して図10Bに示す状態になると、鋼球108が凹部116中に落ち込む。この状態で本体把持部90を矢印R方向に回転して固定ナット38をブレードマウント22の雄ねじ28に締め付ける。トルクプレート74の回転トルクがコイルばね100の付勢力及び傾斜面116aの傾斜角で規制される所定トルク以上になると、鋼球108は傾斜面116aを滑って、図10Cに示すように、凹部116から抜け出すことになる。この状態では、鋼球108はトルクプレート74の摺動面112上を滑るため、本体把持部90のトルクがトルクプレート74に伝達されず、固定ナット38の締結が完了する。よって、固定ナット38は所定のトルクでブレードマウント22の雄ねじ28に締結されることになる。ブレードマウント22のボス部24に形成された雄ねじ28から固定ナット38を取り外すには、係合ピン72を固定ナット38の係合穴39中に係合し、爪部84で固定ナット38の外周部を把持した状態で、本体把持部90を図8に示した矢印R方向と反対方向に回転する。これにより、鋼球108がトルクプレート74の凹部116の比較的急な傾斜面116bに係合してトルクプレート74が回転されるため、固定ナット38の弛緩時には締結時に比べてより大きなトルクをトルクプレート74を介してナット回転部70に伝達することができ、固定ナット38を容易に確実に取り外すことができる。"