負圧を供給する負圧ラインと、大気圧を供給する大気圧ラインと、該負圧ラインと該大気圧ラインとを切替可能なバルブと、該バルブに連通し、該負圧ラインから供給される負圧により、複数のダイが貼着されたダイシングフィルムのうち、取出対象となる該ダイが表面に貼着された領域の裏面を吸着する吸着孔と、表裏方向に進退可能であって該領域が吸着された状態で該領域の一部を表側に突出させ、吸着ノズルにより該ダイが取り出される位置まで、該ダイシングフィルムから剥がしながら該ダイを突出させるピンと、を有する吸着ステージと、該バルブの切替動作と、該ピンの進退動作と、を所定のタイミングで連動させる共用の駆動部と、を備えてなるダイ供給装置。前記バルブの切替動作を行うバルブ用カムと、前記ピンの進退動作を行うピン用カムと、を備え、前記駆動部は、該バルブ用カムと該ピン用カムとが環装される回転軸を有する請求項1に記載のダイ供給装置。前記駆動部は、前記吸着孔に負圧を供給するために、前記バルブを前記負圧ラインに切り替える負圧切替動作と、該負圧切替動作により該負圧が所定値まで到達した後に、前記吸着ノズルにより取り出される位置まで前記ダイを表側に突出させるために、前記ピンを表側に進行させる進行動作と、を前後して行う請求項1または請求項2に記載のダイ供給装置。前記駆動部は、前記吸着ノズルにより前記ダイが取り出された後に、前記吸着孔に大気圧を供給するために、前記バルブを前記大気圧ラインに切り替える大気圧切替動作と、前記ピンを裏側に退出させる退出動作と、を同期して行う請求項3に記載のダイ供給装置。前記ダイは、ウェハのチップである請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のダイ供給装置。このように、ダイシングフィルムからチップを取り出す場合、吸着孔には、負圧、大気圧が切り替えられて供給される。また、ピンは、ポットの上面から、上方に往復動する。このため、チップの取出作業を迅速に行うためには、吸着孔に負圧、大気圧を供給するバルブの切替動作と、ピンの進退動作と、を所定のタイミングで精確に連動させる必要がある。また、バルブで負圧ラインと大気圧ラインとを切り替えてから、実際に吸着孔に所定値の圧力負圧または大気圧が供給されるまでの間には、タイムラグが存在する。当該タイムラグを短くすることも、チップの取出作業を迅速に行うためには重要である。本発明のダイ供給装置は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、ダイの取出作業を迅速に行うことが可能なダイ供給装置を提供することを目的とする。1上記課題を解決するため、本発明のダイ供給装置は、負圧を供給する負圧ラインと、大気圧を供給する大気圧ラインと、該負圧ラインと該大気圧ラインとを切替可能なバルブと、該バルブに連通し、該負圧ラインから供給される負圧により、複数のダイが貼着されたダイシングフィルムのうち、取出対象となる該ダイが表面に貼着された領域の裏面を吸着する吸着孔と、表裏方向に進退可能であって該領域が吸着された状態で該領域の一部を表側に突出させ、吸着ノズルにより該ダイが取り出される位置まで、該ダイシングフィルムから剥がしながら該ダイを突出させるピンと、を有する吸着ステージと、該バルブの切替動作と、該ピンの進退動作と、を所定のタイミングで連動させる共用の駆動部と、を備えてなることを特徴とする。本発明のダイ供給装置には、バルブ用およびピン用として、共用の駆動部が配置されている。このため、バルブの切替動作と、ピンの進退動作と、を所定のタイミングで精確に連動させることができる。したがって、ダイの取出作業を迅速に行うことができる。また、バルブとピンとの駆動部が共用化されているため、吸着ステージに近接して、あるいは吸着ステージの内部に、バルブを配置することができる。このため、バルブから吸着孔の開口までの間の距離を、短くすることができる。したがって、バルブで圧力を切り替える際のタイムラグを短くすることができる。この点においても、本発明のダイ供給装置によると、ダイの取出作業を迅速に行うことができる。2好ましくは、上記1の構成において、前記バルブの切替動作を行うバルブ用カムと、前記ピンの進退動作を行うピン用カムと、を備え、前記駆動部は、該バルブ用カムと該ピン用カムとが環装される回転軸を有する構成とする方がよい。本構成によると、共用の回転軸を回転させることにより、バルブ用カムを介してバルブを、ピン用カムを介してピンを、駆動することができる。すなわち、バルブとピンとを機械的に連動させることができる。3好ましくは、上記1または2の構成において、前記駆動部は、前記吸着孔に負圧を供給するために、前記バルブを前記負圧ラインに切り替える負圧切替動作と、該負圧切替動作により該負圧が所定値まで到達した後に、前記吸着ノズルにより取り出される位置まで前記ダイを表側に突出させるために、前記ピンを表側に進行させる進行動作と、を前後して行う構成とする方がよい。本構成によると、ダイの取出作業の前半部分を迅速に行うことができる。4好ましくは、上記3の構成において、前記駆動部は、前記吸着ノズルにより前記ダイが取り出された後に、前記吸着孔に大気圧を供給するために、前記バルブを前記大気圧ラインに切り替える大気圧切替動作と、前記ピンを裏側に退出させる退出動作と、を同期して行う構成とする方がよい。本構成によると、ダイの取出作業の後半部分を迅速に行うことができる。5好ましくは、上記1ないし4のいずれかの構成において、前記ダイは、ウェハのチップである構成とする方がよい。本構成によると、ウェハからのチップの取出作業を迅速に行うことができる。本発明によると、ダイの取出作業を迅速に行うことが可能なダイ供給装置を提供することができる。次に、本実施形態のダイ供給装置の実施の形態について説明する。<第一実施形態>[ダイ供給装置の構成]まず、本実施形態のダイ供給装置の構成について説明する。図1に、本実施形態のダイ供給装置の透過斜視図を示す。図2に、同ダイ供給装置のX方向移動テーブルより上の部分の透過斜視図を示す。図3に、同部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。図4に、同部分の負圧供給状態の前後方向断面図を示す。図1~図4に示すように、本実施形態のダイ供給装置1は、負圧ライン2と、大気圧ライン3と、バルブ4と、吸着ステージ5と、駆動部6と、ピン用カム70と、バルブ用カム71と、カム収容ケース72と、ベース80と、Y方向移動テーブル81と、X方向移動テーブル82と、ウェハ固定ステージ83と、を備えている。ダイ供給装置1は、電子部品実装機図略に並置されている。ダイ供給装置1は、電子部品実装機の基板図略に、チップ93を供給している。ベース80図1に示すように、ベース80は、長方形板状を呈してる。ベース80の上面には、一対のY方向ガイドレール800が配置されている。一対のY方向ガイドレール800は、各々、前後方向に延在している。一対のY方向ガイドレール800は、左右方向に対向している。Y方向移動テーブル81図1に示すように、Y方向移動テーブル81は、長方形板状を呈してる。Y方向移動テーブル81は、ベース80の上面に配置されている。Y方向移動テーブル81は、一対のX方向ガイドレール810と、一対のY方向被ガイド凹部811と、を備えている。一対のX方向ガイドレール810は、Y方向移動テーブル81の上面に配置されている。一対のX方向ガイドレール810は、各々、左右方向に延在している。一対のX方向ガイドレール810は、前後方向に対向している。一対のY方向被ガイド凹部811は、Y方向移動テーブル81の下面に配置されている。一対のY方向被ガイド凹部811は、各々、前後方向に延在している。一対のY方向被ガイド凹部811は、左右方向に対向している。一対のY方向被ガイド凹部811には、一対のY方向ガイドレール800が挿入されている。Y方向駆動モータ図略により、一対のY方向被ガイド凹部811つまりY方向移動テーブル81は、一対のY方向ガイドレール800つまりベース80に対して、前後方向に移動可能である。X方向移動テーブル82図1に示すように、X方向移動テーブル82は、長方形板状を呈してる。X方向移動テーブル82は、Y方向移動テーブル81の上面に配置されている。X方向移動テーブル82の下面には、一対のX方向被ガイド凹部821が配置されている。一対のX方向被ガイド凹部821は、各々、左右方向に延在している。一対のX方向被ガイド凹部821は、前後方向に対向している。一対のX方向被ガイド凹部821には、一対のX方向ガイドレール810が挿入されている。X方向駆動モータ図略により、一対のX方向被ガイド凹部821つまりX方向移動テーブル82は、一対のX方向ガイドレール810つまりY方向移動テーブル81に対して、左右方向に移動可能である。なお、図示しないが、図3に示すX方向移動テーブル82よりも上の部分全体後述するカム機構に関する部分全体は、上下方向に移動可能である。図3に示す状態に対して当該部分全体が下降することにより、水平移動時におけるダイシングフィルム91との摺接を防止することができる。カム収容ケース72、駆動部6、ピン用カム70、バルブ用カム71図1~図4に示すように、カム収容ケース72は、下方に開口する箱状を呈している。カム収容ケース72は、X方向移動テーブル82の上面に伏設されている。図3、図4に示すように、カム収容ケース72の上壁には、シャフト挿通孔720と、バルブ挿通孔721と、が穿設されている。図2~図4に示すように、駆動部6は、回転軸60と、カム駆動モータ61と、を備えている。カム駆動モータ61は、X方向移動テーブル82の上面に配置されている。回転軸60は、前後方向水平方向に延在している。回転軸60の外端は、カム駆動モータ61に連結されている。回転軸60の内端は、カム収容ケース72に収容されている。回転軸60は、カム駆動モータ61により、自身の軸周りに回転可能である。ピン用カム70は、回転軸60の後寄り部分に環装されている。ピン用カム70は、回転軸60と一体的に回転可能である。ピン用カム70の外周面は、後述するピン54の動作に対応した、曲面状を呈している。バルブ用カム71は、回転軸60の前寄り部分に環装されている。バルブ用カム71は、回転軸60と一体的に回転可能である。バルブ用カム71の外周面は、後述するバルブ4の動作に対応した、曲面状を呈している。吸着ステージ5図2~図4に示すように、吸着ステージ5は、大径部50と、小径部51と、カムフォロア52と、四つの吸着孔53と、ピン54と、を備えている。大径部50は、円柱状を呈している。大径部50は、カム収容ケース72の上面に立設されている。大径部50には、シャフト収容室501と、バルブ収容室502と、負圧供給通路503と、大気圧供給通路504と、が区画されている。図3、図4に示すように、シャフト収容室501は、大径部50の径方向中心に配置されている。シャフト収容室501は、上下方向に大径部50を貫通している。シャフト収容室501は、シャフト挿通孔720と上下方向に連なっている。負圧供給通路503は、シャフト収容室501から前方径方向外側に延在している。負圧供給通路503の径方向外端には、負圧配管20が接続されている。大気圧供給通路504は、シャフト収容室501から前方に延在している。大気圧供給通路504は、負圧供給通路503の下方に並設されている。大気圧供給通路504の径方向外端には、大気圧配管30が接続されている。バルブ収容室502は、シャフト収容室501の前方に配置されている。バルブ収容室502は、上下方向に延在している。バルブ収容室502の上端は閉塞されている。バルブ収容室502の下端は開口している。バルブ収容室502は、負圧供給通路503の前後方向中間部、および大気圧供給通路504の前後方向中間部を、上下方向から分断している。バルブ収容室502は、バルブ挿通孔721と上下方向に連なっている。小径部51は、大径部50よりも小径の、下方に開口する有底円筒状を呈している。小径部51は、大径部50の上面の径方向中心に伏設されている。小径部51は、シャフト収容室501を上方から覆っている。小径部51には、ヘッド収容室510が区画されている。小径部51の上底壁の径方向中心には、ピン挿通孔511が穿設されている。四つの吸着孔53は、小径部51の上底壁に穿設されている。四つの吸着孔53は、ピン挿通孔511の周囲に配置されている。カムフォロア52は、シャフト520とヘッド521とを備えている。シャフト520は、上下方向に延在する、丸棒状を呈している。シャフト520は、シャフト収容室501に収容されている。シャフト520の下端は、シャフト挿通孔720を介して、カム収容ケース72の内部に進入している。シャフト520の下端は、ピン用カム70に摺接している。シャフト520の上端は、ヘッド収容室510の内部に進入している。ヘッド521は、上下方向に延在する、短軸円柱状を呈している。ヘッド521は、ヘッド収容室510に収容されている。ヘッド521は、シャフト520の上端に固定されている。ヘッド521は、四本の連通孔521aを備えている。四本の連通孔521aは、各々、上下方向にヘッド521を貫通している。四本の連通孔521aと、四つの吸着孔53と、は上下方向に対向している。ピン54は、上下方向に延在する、針状を呈している。ピン54は、ヘッド521の上面の径方向中心に配置されている。ピン54は、ピン挿通孔511に収容されている。ピン54は、ピン挿通孔511を介して、小径部51の上面から、上下方向に出退可能である。バルブ4図2~図4に示すように、バルブ4は、上下方向に延在する、丸棒状を呈している。バルブ4は、バルブ収容室502に収容されている。バルブ4の下端は、バルブ挿通孔721を介して、カム収容ケース72の内部に進入している。バルブ4の下端は、バルブ用カム71に摺接している。図3、図4に示すように、バルブ4は、負圧供給通路503および大気圧供給通路504を分断している。バルブ4は、切替連通孔40を備えている。切替連通孔40は、バルブ4を前後方向径方向に貫通している。切替連通孔40は、負圧供給通路503と大気圧供給通路504とを選択的に連通させることができる。負圧ライン2、大気圧ライン3図3、図4に示すように、負圧ライン2は、真空ポンプ21と、負圧配管20と、負圧供給通路503と、シャフト収容室501と、ヘッド収容室510と、を備えている。大気圧ライン3は、大気圧配管30と、大気圧供給通路504と、シャフト収容室501と、ヘッド収容室510と、を備えている。大気圧配管30の外端は、大気開放されている。ウェハ固定ステージ83図1、図3、図4に示すように、ウェハ固定ステージ83は、円環状であって、吸着ステージ5の上方に配置されている。ウェハ固定ステージ83の上面には、円環状のウェハリング90が配置されている。ウェハリング90には、ダイシングフィルム91が張設されている。ダイシングフィルム91は、ウェハリング90の開口を覆っている。ダイシングフィルム91の上面には、多数の個片状のチップ93が貼り付けられている。多数の個片状のチップ93は、全体として円形を呈している。多数の個片状のチップ93は、円板状のウェハ92が格子状に裁断されることにより、形成されている。[吸着ステージ5、ピン54、バルブ4の動き]次に、本実施形態のダイ供給装置1の吸着ステージ5、ピン54、バルブ4の動きについて説明する。まず、吸着ステージ5の動きについて説明する。図1に示すように、吸着ステージ5を前後方向に移動させる場合は、制御装置図略がY方向駆動モータを駆動する。そして、一対のY方向被ガイド凹部811を一対のY方向ガイドレール800で案内しながら、ベース80に対して、Y方向移動テーブル81つまり吸着ステージ5を、前後方向に移動させる。吸着ステージ5を左右方向に移動させる場合は、制御装置がX方向駆動モータを駆動する。そして、一対のX方向被ガイド凹部821を一対のX方向ガイドレール810で案内しながら、Y方向移動テーブル81に対して、X方向移動テーブル82つまり吸着ステージ5を、左右方向に移動させる。このように、吸着ステージ5を、前後左右方向に動かすことにより、取出対象であるチップ93の真下に、ピン54および吸着孔53を配置することができる。次に、ピン54の動きについて説明する。図2~図4に示すように、ピン54を上下方向に往復動させる場合は、制御装置がカム駆動モータ61を駆動する。カム駆動モータ61が駆動されると、回転軸60が自身の軸周りに回転する。回転軸60が回転すると、ピン用カム70も一体的に回転する。ここで、ピン用カム70の外周面の上部には、シャフト520の下端が摺接している。このため、ピン用カム70の外周面の形状に応じたタイミング、速度で、カムフォロア52が上下方向に往復動する。したがって、ヘッド521の上面に配置されているピン54も、上下方向に往復動する。当該往復動により、ピン54は、ピン挿通孔511を介して、小径部51の上面から出退する。次に、バルブ4の動きについて説明する。図2~図4に示すように、図2~図4に示すように、バルブ4を上下方向に往復動させる場合は、制御装置がカム駆動モータ61を駆動する。カム駆動モータ61が駆動されると、回転軸60が自身の軸周りに回転する。回転軸60が回転すると、バルブ用カム71も一体的に回転する。ここで、バルブ用カム71の外周面の上部には、バルブ4の下端が摺接している。このため、バルブ用カム71の外周面の形状に応じたタイミング、速度で、バルブ4が上下方向に往復動する。当該往復動により、バルブ4は、負圧供給通路503つまり負圧ライン2と、大気圧供給通路504つまり大気圧ライン3と、を選択的に連通させる。このように、ピン54とバルブ4とは、共にカム駆動モータ61および回転軸60に従動している。このため、ピン54とバルブ4とは、ピン用カム70、バルブ用カム71の形状に応じて、所定のタイミングで連動している。[ダイ供給装置1のチップ93供給時の動き]次に、本実施形態のダイ供給装置1のチップ93供給時の動きについて説明する。図5に、本実施形態のダイ供給装置のチップ供給時のタイミングチャートを示す。まず、図3に示す大気圧ライン3が連通している状態で、図1に示すように、吸着ステージ5を、取出対象であるチップ93の真下まで移動させる。図3に示すように、ダイシングフィルム91における、当該チップ93が貼着された領域C1の下面に、小径部51の上面は当接している。次に、図4、図5に示すように、電子部品実装機の吸着ノズル95を、当該チップ93の真上まで移動させる。そして、吸着ノズル95を、高度B1搬送高度から高度B2吸着高度まで下降させる。なお、吸着ノズル95は、XYロボット図略。図1に示すベース80、Y方向移動テーブル81、X方向移動テーブル82のように、水平方向に移動可能なロボットにより駆動される。また、吸着ノズル95は、ボールねじ図略により、XYロボットに対して、上下方向に移動可能である。続いて、回転軸60の回転を開始し、図3→図4に示すように、バルブ4およびピン54を上方に移動させる。なお、回転軸60は、後述するようにバルブ4およびピン54が下降するまで、回転を継続する。バルブ4とピン54のうち、最初にバルブ4を上昇させる負圧切替動作。そして、四つの吸着孔53の連通先を、大気圧ライン3から負圧ライン2に切り替える。なお、負圧ライン2には、予め、真空ポンプ21から負圧が供給されている。すなわち、制御装置は、常時、真空ポンプ21を駆動している。図5に示すように、負圧ライン2に切り替えられることにより、吸着孔53の圧力は、大気圧P1から徐々に減圧される。このため、ダイシングフィルム91の領域C1が吸着孔53に吸着される。吸着孔53の圧力が所定値P2まで減圧されたら、図3→図4に示すように、ピン54を上昇させる進行動作。そして、ピン挿通孔511を介して、ピン54を小径部51の上面から突出させる。図5に示すように、ピン54は、高度A2から高度A1まで上昇する。このため、図4に示すように、ダイシングフィルム91の領域C1のうち、取出対象であるチップ93の真下に配置され、かつチップ93よりも小さい領域C2が、ピン54により突き上げられる。突き上げられる際、チップ93は、徐々にダイシングフィルム91から剥離される。なお、ピン54が上昇する間に、図5に示すように、吸着孔53の圧力は最低圧P3まで到達する。チップ93に対するダイシングフィルム91の貼着力よりも、吸着ノズル95の吸引力の方が、上回るようになったら、吸着ノズル95でチップ93を吸着する。そして、図5に示すように、吸着ノズル95を、高度B2から高度B1まで上昇させる。なお、チップ93は、吸着ノズル95により、基板の所定の座標に装着される。吸着ノズル95が高度B1まで上昇したら、図4→図3に示すように、回転中の回転軸60の動きに従って、バルブ4およびピン54を下方に移動させる。バルブ4の下降大気圧切替動作と、ピン54の下降退出動作と、は同期して進行する。バルブ4を下降させることにより、四つの吸着孔53の連通先を、負圧ライン2から大気圧ライン3に切り替える。図5に示すように、バルブ4を下降させることにより、吸着孔53の圧力は、最低圧P3から大気圧P1まで増圧される。このため、ダイシングフィルム91の領域C1が吸着孔53から解放される。また、高度A1から高度A2までピン54を下降させることにより、ピン挿通孔511を介して、ピン54を小径部51の内部に進入させる。大気圧ライン3の連通とピン54の進入とが完了したら、図1に示すように、次の取出対象であるチップ93の真下まで、吸着ステージ5を移動させる。このように、ダイ供給装置1は、次々とチップ93を吸着ノズル95に受け渡す。[作用効果]次に、本実施形態のダイ供給装置1の作用効果について説明する。図3に示すように、本実施形態のダイ供給装置1には、バルブ4用およびピン54用として、共用の駆動部6が配置されている。このため、バルブ4の切替動作と、ピン54の進退動作と、を所定のタイミングで精確に連動させることができる。したがって、チップ93の取出作業を迅速に行うことができる。また、バルブ4とピン54との駆動部6が共用化されているため、吸着ステージ5の内部にバルブ4を配置することができる。このため、バルブ4から吸着孔53の開口までの間の距離を、短くすることができる。したがって、バルブ4で圧力を切り替える際のタイムラグを短くすることができる。この点においても、本実施形態のダイ供給装置1によると、チップ93の取出作業を迅速に行うことができる。また、図3に示すように、本実施形態のダイ供給装置1によると、共用の回転軸60を回転させることにより、バルブ用カム71を介してバルブ4を、ピン用カム70を介してピン54を、駆動することができる。すなわち、バルブ4とピン54とを機械的に連動させることができる。また、図5に示すように、本実施形態のダイ供給装置1によると、共用の回転軸60を回転させることにより、バルブ4を負圧ライン2に切り替える負圧切替動作と、負圧が所定値P2まで到達した後にピン54を上方に進行させる進行動作と、を前後して行うことができる。また、図5に示すように、本実施形態のダイ供給装置1によると、共用の回転軸60を回転させることにより、バルブ4を大気圧ライン3に切り替える大気圧切替動作と、ピン54を下方に退出させる退出動作と、を同期して行うことができる。<第二実施形態>本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、負圧ライン、大気圧ラインに加えて、正圧ラインが配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図6に、本実施形態のダイ供給装置のX方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。なお、図3と対応する部位については、同じ符号で示す。図6に示すように、吸着ステージ5には、正圧供給通路505が配置されている。正圧供給通路505は、負圧供給通路503と大気圧供給通路504との間に配置されている。正圧供給通路505は、負圧供給通路503および大気圧供給通路504と同様に、バルブ4により分断されている。正圧ライン85は、ポンプ851と、正圧配管850と、正圧供給通路505と、シャフト収容室501と、ヘッド収容室510と、を備えている。負圧切替動作を行う際、バルブ4は、一時的に正圧ライン85を経由して、四つの吸着孔53の連通先を、大気圧ライン3から負圧ライン2に切り替える。ただし、この際、ポンプ851は停止している。大気圧切替動作を行う際、バルブ4は、一時的に正圧ライン85を経由して、四つの吸着孔53の連通先を、負圧ライン2から大気圧ライン3に切り替える。この際、制御装置は、ポンプ851を駆動している。このため、ライン切替の際、瞬間的に吸着孔53に正圧が供給される。本実施形態のダイ供給装置1と第一実施形態のダイ供給装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。また、本実施形態のダイ供給装置1によると、図5を援用して示すように、最低圧P3から大気圧P1に増圧する際の増圧時間T1を短くすることができる。<第三実施形態>本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、バルブが回転軸のスプライン溝により駆動されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図7に、本実施形態のダイ供給装置のX方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。なお、図3と対応する部位については、同じ符号で示す。図7に示すように、カム収容ケース72の上壁には、前後方向に延在する、バルブ挿通孔721が穿設されている。バルブ4は、L字状に屈曲している。すなわち、バルブ4は、立壁部41と天壁部42とを備えている。切替連通孔40は、天壁部42に穿設されている。負圧供給通路503は、クランク状に屈曲ながら、負圧配管20とシャフト収容室501とを連通している。大気圧供給通路504は、クランク状に屈曲ながら、大気圧配管30とシャフト収容室501とを連通している。バルブ4の天壁部42は、負圧供給通路503および大気圧供給通路504の上下方向延在部を分断している。回転軸60の外周面には、スプライン溝600が形成されている。バルブ4の立壁部41の下端は、スプライン溝600に摺接している。スプライン溝600は、バルブ4の動作に対応した、曲線状を呈している。回転軸60が回転すると、立壁部41とスプライン溝600との摺接点が前後方向に移動する。このため、立壁部41つまりバルブ4が前後方向に移動する。当該移動により、バルブ4は、四つの吸着孔53の連通先を、大気圧ライン3から負圧ライン2に、あるいは負圧ライン2から大気圧ライン3に、切り替える。本実施形態のダイ供給装置1と第一実施形態のダイ供給装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態のダイ供給装置1のように、回転軸60にスプライン溝600を設けて、バルブ4を駆動してもよい。<第四実施形態>本実施形態のダイ供給装置と第一実施形態のダイ供給装置との相違点は、バルブが負圧供給通路および大気圧供給通路の下流端に配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図8に、本実施形態のダイ供給装置のX方向移動テーブルより上の部分の大気圧供給状態の前後方向断面図を示す。なお、図3と対応する部位については、同じ符号で示す。図8に示すように、シャフト収容室501とバルブ収容室502とは一体化されている。すなわち、バルブ4は、負圧供給通路503および大気圧供給通路504の下流端と、バルブ収容室502と、の間に介装されている。また、ピン用カム70とバルブ用カム71とは一体化されている。本実施形態のダイ供給装置1と第一実施形態のダイ供給装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態のダイ供給装置1によると、バルブ4下流側の負圧ライン2のライン長、大気圧ライン3のライン長を短くすることができる。また、ピン用カム70とバルブ用カム71とが一体化されている分、部品点数を少なくすることができる。<その他>以上、本発明のダイ供給装置1の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。Y方向ガイドレール800およびY方向被ガイド凹部811は、Y方向移動テーブル81を前後方向に案内するY方向ガイド部としての機能を有している。また、X方向ガイドレール810およびX方向被ガイド凹部821は、X方向移動テーブル82を左右方向に案内するX方向ガイド部としての機能を有している。これらのガイド部の凹凸関係は、逆であってもよい。Y方向移動テーブル81は、吸着ステージ5を前後方向に動かす、Y方向駆動部としての機能を有している。X方向移動テーブル82は、吸着ステージ5を左右方向に動かす、X方向駆動部としての機能を有している。これらの駆動部は、テーブル状に限定されない。また、これらの駆動部の上下関係は、逆であってもよい。Y方向駆動モータは、Y方向移動テーブル81を前後方向に動かす、Y方向駆動源としての機能を有している。X方向駆動モータは、X方向移動テーブル82を左右方向に動かす、X方向駆動源としての機能を有している。カム駆動モータ61は、ピン用カム70とバルブ用カム71とを回転させる、カム駆動源としての機能を有している。これらの駆動源は、モータに限定されない。シリンダ、ソレノイドなど、他のアクチュエータであってもよい。バルブ収容室502は、バルブ4の移動方向を規制する、バルブガイド部としての機能を有している。ヘッド収容室510は、ヘッド521の移動方向を規制する、ヘッドガイド部としての機能を有している。ピン挿通孔511は、ピン54の移動方向を規制する、ピンガイド部としての機能を有している。回転軸60は、ピン用カム70とバルブ用カム71とに駆動力を伝達する、伝達部としての機能を有している。ピン用カム70、バルブ用カム71に用いられる、カムの種類は限定されない。板カム、溝カムなどの平面カムであってもよい。また、円筒カム、斜板カム、端面カム、球面カムなどの立体カムであってもよい。また、回転動→直線動に運動方向を変換するカムではなく、直線動→直線動に運動方向を変換するカムであってもよい。例えば、バルブの動作に対応したバルブ用曲面と、ピンの動作に対応したピン用曲面と、を上面に有し、かつ水平方向に往復動する直進カムを配置し、バルブ4をバルブ用曲面に摺接させ、カムフォロア52をピン用曲面に摺接させることにより、バルブ4およびピン54を、各々、所定のタイミングで上下方向に往復動させてもよい。吸着孔53の配置数、位置、形状、大きさは特に限定されない。また、上記実施形態においては、静止状態のチップ93つまりウェハ固定ステージ83に対して、ピン54つまり吸着ステージ5を水平方向に移動させたが、静止状態の吸着ステージ5に対してウェハ固定ステージ83を水平方向に移動させてもよい。すなわち、チップ93とピン54との相対的な水平方向位置関係が、変更可能であればよい。また、上記実施形態においては、図5に示すように、吸着ノズル95を高度B1搬送高度から高度B2吸着高度まで下降させた後で、ピン54を高度A2から高度A1まで上昇させた。しかしながら、吸着ノズル95を高度B2まで下降させる前に、ピン54の上昇を開始してもよい。また、吸着ノズル95を高度B2まで下降させる前に、ピン54が高度A1に到達してもよい。また、上記実施形態においては、図5に示すように、吸着ノズル95を高度B1搬送高度から高度B2吸着高度まで下降させた後で、吸着孔53の圧力を大気圧P1から最低圧P3まで減圧した。しかしながら、吸着ノズル95を高度B2まで下降させる前に、減圧を開始してもよい。また、吸着ノズル95を高度B2まで下降させる前に、圧力が所定値P2、または最低圧P3に到達してもよい。また、バルブ4の種類も特に限定されない。例えば、スプールバルブ、ゲートバルブ、グローブバルブ、ボールバルブ、ニードルバルブ、ストップバルブ、バタフライバルブ、スライドバルブ、ポペットバルブ、ピストンバルブ、スリーブバルブ、ロータリーバルブなど、あらゆるバルブを用いることができる。また、本実施形態のダイ供給装置1は、セラミックガラス、シリコン、サファイアなどなどから形成される薄板を裁断して作製される、個片状のあらゆるダイに対して用いることができる。