以下試験基板21と呼ぶ電子的な半導体構成要素を検査および試験するためのプローバであって、少なくとも一つの第1検査ユニット9と第2検査ユニット10を具備し、前記各検査ユニット9、10が、チャック18の収容面19上に前記試験基板21を収容および保持するためのチャック18と、前記試験基板21を電気的に接触させるための多数の探触子26を有する探触子構造体26を備えた探触子ホルダ25と、前記チャック18と前記探触子構造体26を互いに位置決めするための動力式駆動装置24を有する位置決めユニット23とを備え、少なくとも一つの前記検査ユニット9、10が前記試験基板21を前記チャック18に手動で積み込みするための積み込み装置16を備え、前記第1検査ユニット9の前記動力式駆動装置24を制御するための少なくとも一つの第1機械制御装置5と、前記第2検査ユニット10の前記動力式駆動装置24を制御するための少なくとも一つの第2機械制御装置6とを具備し、前記第1検査ユニット9の検査プロセスを制御するための少なくとも一つの第1プロセス制御装置3と、前記第2検査ユニット10の検査プロセスを制御するための少なくとも一つの第2プロセス制御装置4とを具備し、少なくとも一つの前記プロセス制御装置3、4が前記試験基板21の情報と検査過程を記憶するために記憶ユニット32を備え、試験基板貯蔵庫17と一方の検査ユニットおよび他方の検査ユニット9、10との間で試験基板1を自動で受け取りおよび受け渡すために取扱操作システム15を備えた装入ユニット11を具備し、前記第1と第2のプロセス制御装置3、4および/または前記第1と第2の機械制御装置5、6および/または前記装入ユニット11を制御するためのモジュール制御装置2を具備し、表示装置33と入力装置34を備えたユーザインタフェース7、8を具備し、そして前記ユーザインタフェース7、8から第1および/または第2の前記プロセス制御装置3、4および/または前記モジュール制御装置2までの電子的な接続部を選択的に形成するための切り換え装置1とを具備しているプローバ。前記検査ユニット9、10のチャック18の少なくとも一つが載置板20を備え、この載置板の表面が前記収容面19を形成し、前記載置板20を備えた前記検査ユニット9、10の前記積み込み装置16および/または前記装入ユニット11が、前記検査ユニット9、10から前記載置板20を取り出すための手段を備えている、請求項1に記載のプローバ。前記ユーザインタフェース7、8が前記第1および/または第2の検査ユニット9、10の動力式駆動装置24を操作するための操作装置35を備えている、請求項1または2に記載のプローバ。少なくとも一つの検査ユニット9、10が、低電流測定および低電圧測定を行うためにEMI電磁干渉シールドを備えている、請求項1~3のいずれか一項に記載のプローバ。他のユーザインタフェース7、8が配置され、一方のユーザインタフェースが第1ユーザインタフェース7として前記第1検査ユニット9に付設され、他方のユーザインタフェースが第2ユーザインタフェース8として前記第2検査ユニット10に付設されている、請求項1~4のいずれか一項に記載のプローバ。前記モジュール制御装置2が表示装置33と入力装置34を有するモジュールインタフェースを備えている、請求項1~5のいずれか一項に記載のプローバ。前記切り換え装置を用いて、その都度前記モジュール制御装置2に接続された前記検査ユニット9、10を全自動運転するために、前記モジュール制御装置2が一方の検査ユニットまたは両検査ユニット9、10に接続されているかあるいは、その都度前記ユーザインタフェース7、8に接続された前記検査ユニット9、10を半自動運転するために、前記プローバの一つのユーザインタフェース7、8が一方の検査ユニットまたは両検査ユニット9、10に接続され、全自動運転時に、前記モジュール制御装置2に連結された前記検査ユニット9、10の前記チャック18への前記試験基板21の積み込みと、前記試験基板21と前記探触子26の相対的な位置決めと、前記接触および測定が自動化されて行われ、半自動運転時に、前記ユーザインタフェース7、8に接続された前記検査ユニット9、10の前記チャック18への前記試験基板21の積み込みが手動で行われる、請求項1~6のいずれか一項に記載のプローバを運転するための方法。全自動運転時に、検査過程が前記モジュール制御装置2の記憶ユニット32に記憶されていることにより、あるいは前記モジュール制御装置2に接続された前記検査ユニット9、10の前記プロセス制御装置3、4を作動させることにより、前記モジュール制御装置2が前記検査ユニット9、10を直接制御し、この場合検査過程が前記プロセス制御装置3、4の記憶ユニット32に記憶されている、請求項7に記載のプローバを運転するための方法。半自動運転時に、前記チャック18に載っている前記試験基板21と前記探触子26の相対的な位置決めの少なくとも一部が、前記動力式駆動装置24を操作するための前記ユーザインタフェース7、8への入力によって行われる、請求項7または8に記載のプローバを運転するための方法。半自動運転時に、前記チャック18に載っている前記試験基板21と前記探触子26を相対的に位置決めするための少なくとも1つの単一ステップが自動化されて行われる、請求項7~9のいずれか一項に記載のプローバを運転するための方法。本発明の根底をなす課題は、種類と形状が他のものと異なる個々の試験基板も検査することができ、および/または個々の試験基板に合わせた特別な検査も行うことができる、試験基板を自動検査するためのプローバを提供することである。プローバは、その切り換え装置によっていろいろな態様で互いに組み合わせ可能であるいろいろなモジュールを備えているので、全自動運転も半自動運転も切り換えによって選択的に可能である。そのために、モジュールの役目を手動でまたは自動化して実施でき、少なくとも一部が手動の検査または自動検査のために役立つモジュールで補充されるように、モジュール自体が構成されている。これにより、上記プローバは個別検査のためにも全自動検査のために使用可能である。個別検査は、特別な試験基板、例えばウェハ破片に基づいてあるいは試験条件または試験プロセスが特殊である検査に基づいて、繰り返し検査が不可能であるかまたは必要でないときに行われる。特に二つの別個の検査装置がモジュールとして配置されている。この各検査装置はそれ自体固有の機械制御装置および固有のプロセス制御装置に接続され、この構造体は従来のように固有のプローバとして機能する。そのために、各検査ユニットは、チャックの収容面上に試験基板を収容および保持するための固有のチャックと、試験基板を電気的に接触させるための多数の探触子を有する構造体を備えた固有の探触子ホルダと、チャックと探触子構造体を互いに位置決めするための動力式駆動装置を有する固有の位置決めユニットとを備えている。出力制御装置としてそれぞれの検査ユニットの動力式駆動装置を制御する働きをする、各検査ユニットに付設された機械制御装置と、それぞれの検査ユニットの検査プロセスを制御するための、各検査ユニットに付設されたプロセス制御装置と協働して、従来技術において周知であるように、試験基板のいろいろな検査を各検査ユニットによって独立して行うことができる。これは、両機械制御装置の一方に付設された記憶ユニットに位置決め過程が記憶され、両プロセス制御装置の一方に付設された記憶ユニットに試験基板と検査過程の情報が記憶されていることも含んでいる。試験基板に関する記憶された情報は検査方法の個々のステップを自動化して実施することを可能にし、この情報は例えば、探触子に同時に接触させられる試験基板の要素の接触面の位置と大きさおよび繰り返される構造の格子間隔並びに位置決め過程や検査過程に関するいわゆるウェハマップである。これは、上記の記憶情報の場合例えば、最初の位置決めおよび検査の後の、格子状に配置された試験基板の同じような構造によるウェハの次の繰り返し構造のアクセスに関する。検査前、検査後または検査中の、供給すべきおよび受信すべき信号、受信した信号の最初の加工または試験基板の特別な処理に関する検査過程も、自動的に行うことができる。次に説明するように、プローバのモジュールのいろいろな組み合わせに基づいて、情報の記憶は一つのみの機械制御装置またはプロセス制御装置で十分である。この場合、任意選択的に、両機械制御装置またはプロセス制御装置が上記の情報を記憶していてもよい。さらに、プローバは、検査ユニットに試験基板を積み込むための装置を備えており、しかも検査ユニットのチャックの手動積み込み、すなわち操作人によって行われる積み込みを可能にする積み込み装置と、試験基板貯蔵庫、例えばマガジンと、一方の検査ユニットおよび他方の検査ユニットとの間で試験基板を自動で受け取りおよび受け渡すために取扱操作システムを備えた装入ユニットを備えている。このような装備を有する二つまたはそれ以上の検査ユニットを配置すると、全自動検査または半自動検査のほかに、1台のブローバで両方法の組み合わせを可能にする。本明細書において、全自動運転とは、検査ユニットへの試験基板の積み込み、検査ユニットに属する位置決めユニットによる、探触子構造体と相対的な試験基板の位置決め、試験基板と探触子との間の接触部の形成および検査のために必要なすべての測定の実施が、記憶された位置決め方式および測定方式に従って、完全に自動化しておよび操作人が介入せずに実施されるような、プローバの検査ユニットの少なくとも一つの運転であると理解される。全自動運転のために、少なくとも一方の検査ユニットがプローバのモジュール制御装置に接続される。また、他方の検査ユニットがプローバの装入ユニットに接続される。モジュール制御装置の形成に相応して、検査プロセスの制御は接続された検査ユニット内でモジュール制御装置だけによって行うことができる。この場合、通常は慣用のプローバのプロセス制御装置に記憶されている必要なすべての検査過程は、モジュール制御装置の記憶ユニットに格納され、モジュール制御装置が検査ユニットおよび機械制御装置と直接連絡する。その代わりに、モジュール制御装置はプロセス制御装置とそこに格納された検査過程にもアクセスし、機械制御装置を含めてこのプロセス制御装置を調和させることができる。検査ユニットのこの代替的な制御に相応して、モジュール制御装置が固有のユーザインタフェースを備えていない場合には、モジュール制御装置とプローバのユーザインタフェースの接続を切り換え装置によって行うことができる。いろいろな実施形において、二つ以上の検査ユニット、場合によってすべての検査ユニットを全自動で運転することができる。これに対して、半自動運転とは、少なくともユーザインタフェースに接続された検査ユニットのチャックの積み込みが、手動で、ひいては個々の試験基板のために行われるような、プローバの少なくとも一つの検査ユニットの運転であると理解される。手動の積み込みは位置の精度に対する高度な要求に基づいて、動力式操作装置を備えていてもよい補助手段の使用を含むことができる。さらに、チャックに載る試験基板を探触子位置と相対的に位置決めするための個々のステップを自動化して行うことができる。すなわち、記憶された位置決めステップに相応して行うことができる。この位置決めステップは、例えば機械制御装置に記憶されたウェハマップに基づく、第1位置または基準位置の正確なアプローチに従って、後続位置としてセットすることができる。ユーザインタフェースを備えた当該の検査ユニットの接続に関連して手動の積み込みを行うことができるため、検査ユニットを従来のプローバのように別々に使用することができる。プローバの運転の実施形に相応して、手動運転の検査ユニットでは、検査方法の他のステップを手動で、すなわち操作人によって実際に影響力を行使して行うことができる。チャックに載る試験基板と探触子の相互の位置決めは少なくとも一部を、動力式駆動装置の操作を可能にするユーザインタフェースの入力を介して行うことが可能である。そのために、ユーザインタフェースは、検査を監視するためおよび検査に影響を及ぼすための表示装置と入力装置のほかに、操作装置を備えることができる。この操作装置により、所定の位置および/または監視装置によって監視すべき位置の手動のアプローチが、制御される駆動装置によって可能である。このような操作装置は最も簡単な場合にはジョイスティックである。しかし、マウスまたは入力装置によって操作可能な視覚的なジョイスティックまたは他の装置でも可能である。次に、実施の形態に基づいて本発明を詳しく説明する。図1に略示したプローバProberは、第1検査ユニット9と第2検査ユニット10を備えている。この両検査ユニットは装入ユニット11と一列に配置されている。それによって、装入ユニット11は両検査ユニット9、10の間にあり、両検査ユニット9、10に試験基板21を供給することができる。中央の装入ユニット11は、図1に略示した取扱操作システム15を備えている。このような取扱操作システムは周知である。電子的な半導体構成要素を検査するために慣用される取扱操作システム15は例えば特許文献1に記載されている。この取扱操作システムは通常、ロボット駆動装置に枢着された1本または複数のロボットアームを備えている。最も外側のロボットアームの自由前端には、ディスク収容部が配置されている。このディスク収容部によって、試験基板21、本実施例ではウェハの下面が支持され、真空によって吸引および保持可能である。さらに、試験基板貯蔵庫としてのウェハマガジン17が装入ユニット11に取付けられている。取扱操作システム15はこのウェハマガジンから試験基板21を取り出し、第1検査ユニット9に受け渡し、そして検査の後で第1検査ユニットから再び受け取り、ウェハマガジン17に格納する。ウェハマガジン17と取扱操作システム15との間には、方向づけステーション22が配置されている。ウェハマガジン17から取り出されたウェハ21は第1検査ユニット9に受け渡す前にこの方向づけステーションに降ろされる。この方向づけステーション22では、ウェハ21の位置の調節が行われ、それによってウェハは受け渡しのために既に位置が正しく方向づけされ、そして第1検査ユニット9では検査の前にさらに微調節しなければならない。上述のように、両検査ユニット9、10は全自動検査にとっても半自動検査にとってもきわめて柔軟に使用可能である。従って、装入ユニット11が取扱操作システム15と場合によっては方向づけステーション22を含めて構成され、中央に配置されているので、装入ユニットは各検査ユニット9、10に試験基板21を供給し、一つまたは複数の試験基板貯蔵庫にアクセスすることができる。装入ユニット11は通常のごとく、検査ユニット9、10用試験基板21を自動交換するために役立ち、それによって先ず第1に全自動検査のために役立つ。しかも、個々の試験基板21がその幾何学的な形状から取扱操作システムによって取扱操作可能であれば、装入ユニット11を経て検査ユニット9または10に個々の試験基板21を受け渡すことができる。これは個々のウェハ21にも、例えば不規則に形成された試験基板21または適当な支持基板によって保持される既にばらばらにされた電子的な構成要素にも該当する。第1検査ユニット9は第2検査ユニット10と同様に、平面図で、ハウジング29によって閉鎖された状態で示してあるので、検査ユニット9、10の構成要素は図1からはわからない。第1検査ユニット9の重要な構造が図2に略示してあり、それ自体は半導体の電子的な構成要素の検査のための分離された検査ステーションの普通の構造に一致している。図2からわかるように、第1検査ユニット9は試験基板21を収容するための収容面19を有するチャック18を備えている。この収容面19は図示した実施の形態では、チャック18から取り外し可能な載置板20の上面である。第1検査ユニット9はさらに、収容面19と向き合うように配置された探触子ホルダ25を備えている。この探触子ホルダ25は多数の探触子26を保持している。この探触子は、試験基板21の同時に接触すべき接触面図示せずの配置に一致するように互いに配置されている。互いに所定の位置にある探触子26は一般的に探触子構造体26と呼ばれる。図示した実施の形態では、探触子構造体26はいわゆるプローブカード27に動かぬように取付けられている。プローブカード27は通常はプリント回路基板である。このプリント回路基板上に針状の探触子26が精密に方向づけされて固定され、このプリント回路基板上で個々の探触子26に通じるリード線が条導体として形成されている。その代わりに、別個の探触子26を探触子ホルダ25に取付けることができる。別個の探触子26は往々にして適当な操作装置図示せずを用いて探触子ホルダ25上で直接互いに方向づけ可能である。このような別個の探触子26はほとんどが、プローブカード27の製作に手間がかかる単一測定のために使用される。試験基板21と探触子構造体26を相対的に位置決めするために、第1検査ユニット9はさらに位置決めユニット23を備えている。この位置決めユニットは、動かされる構成要素に依存して、非常に異なるように構成可能である。位置決めユニット23は一般的にチャック18用の駆動装置24を備えているので、このチャックはX方向、Y方向および大部分がZ方向に移動可能である。チャック18は角度を合わせるために、通常角度θだけ回転可能である。X方向、Y方向およびZ方向と角度θの位置は図2のピクトグラムから明らかであり、普通の方向づけに一致する。チャック18の駆動装置24は手動運転または動力で運転可能である。自動化した運動過程のために、動力運転される駆動装置24が設けられている。この駆動装置は機械制御装置、図2では第1機械制御装置5によって制御される。試験基板21上で探触子構造体26を電気的に接触させるためには、ほとんどの場合チャック18の収容面19が存在する平面として定義されるX-Y平面内での試験基板21の移動可能性のほかに、探触子構造体26と試験基板21との間のZ方向の相対運動が必要である。必要なZ方向運動はプローブカード27を有する本実施の形態ではチャック18だけによって行われる。その代わりに、最終的な探触子送りのためのZ方向の探触子構造体26の運動とチャック運動を組み合わせることができる。この場合探触子は手動式または動力運転方式の操作装置図示せずを備えている。位置決めするためおよび接触させるために試験基板21と探触子26を相対的に動かすすべての上記構成要素は、位置決めユニット23に付設されている。位置決めと接触を監視するために、第1検査ユニット9は監視ユニット30を備えている。この監視ユニットは、全体の接触領域を必要な解像度で可視化するために、固有の制御装置31によってX方向、Y方向およびZ方向に移動可能である。監視は探触子ホルダ25内と、プローブカード27内と、上記構成要素を取り囲むハウジング29内の互いに一致する中央の穴28を経て行われる。第1検査ユニット9によって実施される検査過程を制御するために、この第1検査ユニットはさらに、第1プロセス制御装置3を備えている。この第1プロセス制御装置は探触子構造体26、信号伝達並びにチャック18の運動に関するすべての過程を制御する。チャックの運動は制御信号を出力信号に変換する第1機械制御装置5を介して行われる。従って、プロセス制御装置は探触子構造体26にも第1機械制御装置5にも接続されている。その代わりに、機械制御装置5はプロセス制御装置3の一部であってもよい。第1プロセス制御装置3の記憶ユニット32内には、検査過程のために必要なすべての情報が呼出し可能に記憶されている。この情報は特に、試験基板の情報、検査信号の信号制御のための情報および位置決めおよび接触のための情報である。図1のプローバは図2に関連して説明した検査ユニット9、10を二つ備えている。この検査ユニットの基本構造は同じである。第2検査ユニット10は積み込み装置16を補足的に備えている。この積み込み装置は操作人によって試験基板21をチャック18に手動で積み込むために役立つ。積み込み装置16は、第2検査ユニットのハウジング29の正面の閉鎖可能な穴図示せずを通って、ハウジングの外側の積み込み位置とハウジングの内側のチャック近くの位置との間で移動可能であり、チャックの載置板20に収容および受け渡しするための手段図示せずを備えているので、この積み込み装置によって試験基板21を交換することができる。このような積み込み装置は従来技術、例えば特許文献1から十分に知られている。積み込み装置16によって試験基板21は装入ユニット11とは関係なくプローバ内に運び入れることができる。図示した実施の形態では、第2検査ユニット10だけが積み込み装置16を備えている。プローバのフレキシビリティを高めるために、第1検査ユニット9も積み込み装置を装備することができる。検査のために、探触子構造体26は同時に試験基板21の接触面に載せられ、試験基板21に信号を供給するかまたは試験基板21から信号を読み取る。そして接触が解除され、次の試験基板21または同じ試験基板21のX方向またはY方向において次の接触面構造体にアプローチし、検査のためにこの試験基板または接触面構造体に接触する。その際、検査は特別な検査条件下で行われる。この検査条件は、例えば特別な環境条件および温度条件下の検査、低電流測定、低電圧測定および他の検査のように、ハウジング内で調節される。用途および検査ユニット9、10の装備に応じて、両検査ユニットにおいて試験基板21の同じ検査または互いに異なる検査を行うことができる。プローバの前述の構成要素の相互作用が図3のブロック図に示してある。第1と第2の検査ユニット9、10は第1または第2の機械制御装置5、6に直接接続され、この機械制御装置を介して第1または第2のプロセス制御装置3、4に接続されている。両プロセス制御装置3、4は固有の記憶ユニット32を備えている。見やすくするために、プロセス制御装置3、4と機械制御装置5、6は図3で所属の検査ユニット9、10から分離して示してある。しかしながら、制御装置は一般的に各検査ユニットに統合されている。プロセス制御装置3、4はモジュール制御装置2に接続され、そしてそれに対して平行に装入ユニット11に接続されている。検査ユニットと装入ユニットは見やすくするためにピクトグラムによって特別な作用を示してある。プロセス制御装置3、4とモジュール制御装置2とさらに第1ユーザインタフェース7と第2ユーザインタフェース8はそれぞれ、中央の切り換え装置1に接続されている。両ユーザインタフェース7、8は表示装置33ディスプレイと入力装置34キーボードを備えている。実施の形態に係るユーザインタフェース7、8はさらに、操作装置35として一つずつのジョイスティックを備えている。このジョイスティックによって、動力式駆動装置24が場合によっては監視ユニット30を用いて操作可能である。周知のごとく操作装置35の機能をしばしばキーボードによって実施することができるので、操作装置を省略することができる。ユーザインタフェース7、8の構成要素に対応して、本実施の形態では切り換え装置としていわゆるKVMスイッチキーボード-ビデオ-マウス-スイッチが使用される。このスイッチは、このようなユーザインタフェースを一つだけ用いて複数の制御装置を制御することを可能にする。その代わりに、切り換え装置1がそれに接続された端末装置、ここではプロセス制御装置とモジュール制御装置2、3、4をユーザインタフェース7、8に接続することができる場合には、他の切り換え装置1を使用することができる。切り換え装置1のこの中央機能と、個々の検査ユニット9、10と装入ユニット11の上記機能の結果として、ユーザインタフェース7、8の少なくとも1つをいろいろな制御装置2、3、4に接続することによって、いろいろな運転状態を作ることができる。この運転状態では、所属する検査ユニット9、10を異なるように組み合わせて半自動運転または全自動運転することができる。次の表は第2と第3の縦の欄に、運転状態A~E第1縦の欄に分けられた、検査ユニット9、10と装入ユニット11の運転方式を示す。第4と第5の縦の欄は、第1ユーザインタフェース7または第2ユーザインタフェース8に接続された制御装置を示す。その際、第1プロセス制御装置3はPSIとして、第2プロセス制御装置4はPSIIとして、そしてモジュール制御装置2はMSとして示してある。この表1に従って、運転状態Aでは切り換え装置1が第1ユーザインタフェース7をモジュール制御装置2と、さらに装入ユニット11および両プロセス制御装置3、4に接続する。第2ユーザインタフェース8は必要とされず、停止している。この運転状態では両検査ユニットは全自動で作動し、そして装入ユニット11によって試験基板貯蔵庫17から試験基板21が全自動で装入される。その際、モジュール制御装置2はプロセス制御装置3、4と装入ユニット11のコーディネータとしてのみ機能し、検査過程と駆動装置24の固有の制御は各プロセス制御装置3、4を介して行われる。上述のように、代替的に、モジュール制御装置2が検査過程の制御を完全に受け持つことができる。これは例えば、両検査過程が互いに一致するときに行うことができる。この場合、モジュール制御装置2も固有の記憶ユニット32を備えており図示せず、プロセス制御装置3、4の代わりに機械制御装置5、6に対してモジュール制御装置2を接続することができる。さらに、その代わりに、検査が全自動で行われおよび/またはモジュール制御装置が最小のユーザインタフェースを備えているときには、第1ユーザインタフェース7に対するモジュール制御装置2の接続を省略することができる。この最小のユーザインタフェースを介して、検査のスタートと終了のみを入力することができるかまたは検査を監視することができる。このいろいろな代替方法間の切り換えは、追加の切り換え装置図示せずによってフレキシブルに実現することができる。運転状態Bは運転状態Aに似ている。この運転状態Bの場合には、切り換え装置1の適切な切り換え状態によって、第2ユーザインタフェース8が第1ユーザインタフェース7の位置を占める。他のすべての接続およびそれに伴う作動方法は、運転状態Aに一致する。運転状態CとDでは一方の検査ユニット9、10が全自動運転され、他方の検査ユニットが半自動運転される。そのために、切り換え装置1を用いて、第2検査ユニット10が装入ユニットと共におよびモジュール制御装置2と共にモジュールを形成するように互いに接続される。この第2検査ユニット10は全自動で作動し、そして装入ユニット11を介して全自動で装入される。この全自動モジュールは第2ユーザインタフェース8によって操作される。この場合、上述のように相応する装備がなされているときには代替的に、モジュール制御装置2が第2ユーザインタフェース8の機能を受け持つことができる。この運転状態Cでは、第1検査ユニット9は第1ユーザインタフェース7と共に半自動運転のために留保されたままであり、この両構成要素は切り換え装置1によって互いに接続され、全自動モジュールから分離されている。両構成要素は半自動モジュールを形成する。運転状態Dは、半自動と全自動運転のための第1と第2の検査ユニット9、10の使用と第1と第2のユーザインタフェース7、8の使用に関して、すなわち全自動と半自動モジュールでのこの両検査ユニットとユーザインタフェースの使用に関して、鏡像対称的な一致を示している。運転状態Eでは、両検査ユニット9、10は半自動運転される。各検査ユニット9、10は切り換え装置によってユーザインタフェース7、8に接続されている。この場合、モジュール制御装置2と装入ユニット11は停止している。上述のように半自動運転と全自動運転のためのいろいろな運転状態で、一方のユーザインタフェースの機能が他方のユーザインタフェースの機能と置き換えることが可能であるので、プローバに一つのユーザインタフェース7または8を装備するかまたはユーザインタフェースの装備度を異なるように形成し、操作に対してより高い要求がなされるときには、より多く装備されたユーザインタフェース7または8を使用することができる。例えば、高価値の操作装置35は一つだけのユーザインタフェース7または8に統合することで十分である。結果として、上記プローバはいろいろな用途に関してきわめて高いフレキシビリティを有する。全自動および半自動モジュールを異なるように組み立てることができるので、異なるように装備された構成要素、例えばユーザインタフェース7、8、プロセスおよび機械制御装置3、4、5、6および/またはモジュールの検査ユニット9、10の場合には、異なる検査仕事をプローバで実施することができ、かつ互いに組み合わせ可能である。もちろん、モジュールを個別運転することもできる。