"受光部を含む光学センサと、上記光学センサの上記受光部側を保護するためのシール材と、少なくとも上記受光部と上記シール材の当該受光部との対向面である第1面間に形成された中間層と、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする制御膜と、を有し、上記制御膜は、上記シール材の上記受光部との対向面である上記第1面に形成された第1の制御膜と、上記シール材の上記第1面と反対側の第2面に形成された第2の制御膜と、を含む撮像装置。上記第1の制御膜は、赤外領域の光を遮断する赤外カットフィルタとしての機能を含む請求項1記載の撮像装置。上記制御膜は、屈折率が異なる複数の膜の多層膜により形成され、上記第1の制御膜および上記第2の制御膜は、反りの応力が均衡するように膜数が振り分けて形成されている請求項1記載の撮像装置。上記多層膜は、2種以上の膜材料を高屈折率、低屈折率の順に交互に配置されている請求項3記載の撮像装置。受光部を含む光学センサと、上記光学センサの上記受光部側を保護するためのシール材と、少なくとも上記受光部と上記シール材の当該受光部との対向面である第1面間に形成された中間層と、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする制御膜と、上記光学センサの上記受光部に被写体像を結像するレンズと、を有し、上記制御膜は、上記シール材の上記受光部との対向面である上記第1面に形成された第1の制御膜と、上記シール材の上記第1面と反対側の第2面に形成された第2の制御膜と、を含むカメラモジュール。上記第1の制御膜は、赤外領域の光を遮断する赤外カットフィルタとしての機能を含む請求項5記載のカメラモジュール。上記制御膜は、屈折率が異なる複数の膜の多層膜により形成され、上記第1の制御膜および上記第2の制御膜は、反りの応力が均衡するように膜数が振り分けて形成されている請求項5記載のカメラモジュール。上記多層膜は、2種以上の膜材料を高屈折率、低屈折率の順に交互に配置されている請求項7記載のカメラモジュール。しかしながら、上記したキャビティレスCSP構造では通常のセンサパッケージ構造では生じることのなかったフレア偽画像光が発生する。このフレア光の発生について、図4A,Bおよび図5AおよびBに関連付けて説明する。図4AおよびBは、CSP構造における空隙の有無に応じたシールガラス上面の全反射モードを説明するための図である。図4Aは空隙を持つCSP構造におけるシールガラス上面の全反射モードの状態を、図4Bは空隙を持たないキャビティレスCSP構造におけるシールガラス上面の全反射モードの状態を示している。図5Aは、空隙を持たないキャビティレスCSP構造で高輝度フレアが発生する要因を説明するための概念図であり、図5Bは、キャビティレスCSP構造で発生するフレア光を示す図である。光学センサとシールガラス間に空隙のあるキャビティCSP構造では、図4Aに示すように、シールガラス上面での全反射がセンサ面に戻ってくることは起こりえない。すなわち、図4AのキャビティCSP構造では光学センサの受光部で反射した光はシールガラス3下面で反射してしまう。この面で全反射しなくてもシールガラス3上面で全反射したものはシールガラス3下面でも全反射を起こすため光学センサには戻ってこない。これに対して、キャビティレスCSP構造でフレア光の発生の要因は、図4Bに示すように、シールガラス下の屈折率がシールガラス3とほぼ同じになるため光学センサを反射した回折光がシールガラス3上面において全反射することが可能になることに由来する。すなわち、図4BのキャビティレスCSP構造では透明樹脂4とシールガラス3の屈折率が1.5前後と近いため、シールガラス下面の界面の反射はほとんどなく、センサ面で反射された光はそのままガラス上面に向かう。界面の全反射モードの臨界角は、次のように表すことができる。[数1]sinθtir=1/ng1ここで、θtirは臨界角を、ngはガラスの屈折率をそれぞれ示している。ここで、ng=1.51を仮定すると臨界角θtir=41degとなる。光学センサ2で反射された光の中で臨界角以上の角度の光はシールガラス3上面で全反射となり、センサ面に光強度が強いまま戻ってくる。図5AはキャビティレスCSP構造の高輝度のフレアの概念図である。臨界角以下の角度の図中に矢印Xで示す光はシールガラス上面で4程度の反射で戻ってくるが、臨界角以上の図中に矢印Yで示す全反射モードの光はシールガラス3上面で100に近い反射で戻ってくる。このため、図5Bに示すように、光学センサ2の画像でフレアを見た場合は臨界角を超えて、中心の高輝度の光に対し位相が大きくずれた位置に輝度が高いフレアの発生が生じる。すなわち、中心光源からぼけたような光が放射状態に拡散する、いわゆる線香花火状のフレアが発生する。フレア発生を解決するために、シールガラス下面にIRCFを形成する塗布することで、その面で反射させる対策をとることが可能である。これにより、もともとの高輝度の光とフレアの位相が小さくなることでフレアが目立たなくなり対策ができる。CSP構造についてもIRCFをつける際には個片化したものを貼り合わせたり、効率良く貼り合わせるためにウェハー単位で貼り合わせを行う技術が検討されている特許文献1,2参照CSP構造の中で貼り合わせるガラスに多層膜の蒸着IRCFをつけることがこれまでの構成の中で類推でき、また検討もされている特許文献3,4参照しかしながら、実際の構造の中では多層膜の蒸着IRCFは可視光の分光特性を満足するために数十層の多層膜を積層して構成するため、シールガラスの片面に構成すると成膜ストレスから大きな反りが発生してしまう。このため、成膜したIRCF付ガラスとセンサのSiの貼り合わせができなかったり、できたとしても大きな反りが発生する。このために、TSVを形成するときにプロセスの装置の搬送、チャッキングに支障をきたし実現することが困難である。本技術は、反りを抑制でき、しかもフレア光の発生を抑制でき、明るい光源が視野内に入った場合であってもフレア光が目立つことのない良質の画像を得ることが可能な撮像装置およびカメラモジュールを提供することにある。本技術の第1の観点の撮像装置は、受光部を含む光学センサと、上記光学センサの上記受光部側を保護するためのシール材と、少なくとも上記受光部と上記シール材の当該受光部との対向面である第1面間に形成された中間層と、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする制御膜と、を有し、上記制御膜は、上記シール材の上記受光部との対向面である上記第1面に形成された第1の制御膜と、上記シール材の上記第1面と反対側の第2面に形成された第2の制御膜と、を含む。本技術の第2の観点のカメラモジュールは、受光部を含む光学センサと、上記光学センサの上記受光部側を保護するためのシール材と、少なくとも上記受光部と上記シール材の当該受光部との対向面である第1面間に形成された中間層と、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする制御膜と、上記光学センサの上記受光部に被写体像を結像するレンズと、を有し、上記制御膜は、上記シール材の上記受光部との対向面である上記第1面に形成された第1の制御膜と、上記シール材の上記第1面と反対側の第2面に形成された第2の制御膜と、を含む。本技術によれば、反りを抑制でき、しかもフレア光の発生を抑制でき、明るい光源が視野内に入った場合であってもフレア光が目立つことのない良質の画像を得ることができる。以下、本実施形態を図面に関連付けて説明する。なお、説明は以下の順序で行う。1.撮像装置の構成例2.制御膜多層膜の構成および機能3.カメラモジュールの構成例<1.撮像装置の構成例>図6は、本実施形態に係る撮像装置の構成例を示す図である。本実施形態においては、光学センサとしては一例としてCMOSイメージセンサCIS:CMOSImageSensorが適用される。本実施形態の撮像装置100は、基本的に、光学センサチップサイズでパッケージするCSP構造を有し、かつ光学センサの前面上面を保護するシール材の間に中間層本実施形態では樹脂が形成された空隙を持たないキャビティレスCSP構造を有する。本実施形態において、前面とは撮像装置の光学センサの受光部が形成された被写体の像光の入射側をいい、裏面とは光入射が行われず、バンプ等の接続電極等が配置される面側をいう。撮像装置100は、光学センサ110、シール材120、中間層として樹脂層130、および制御膜140を含んで構成されている。本実施形態において、制御膜140は中間層としての樹脂層130とシール材120との間の第1の制御膜およびシール材120の光入射面被写体側面に形成される第の2制御膜を含んで形成される。すなわち、本実施形態の撮像装置100は、樹脂層130とシール材120の対向する第1面121との間に配置された第1の制御膜141と、シール材の第1面と反対側の第2面122に配置された第2の制御膜142と、を含み、反りを抑制した構造を有する。後で詳述するように、制御膜140は膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする多層膜により形成されている。本実施形態の撮像装置100は、この制御膜140により、フレア光の発生を抑制でき、明るい光源が視野内に入った場合であってもフレア光が目立つことのない良質の画像を得ることが可能となっている。なお、中間層としての樹脂層130およびシール材120は、光を透過する光に対して透明な材料により形成され、これらの屈折率は空気の屈折率より高く、たとえば屈折率1.5程度の材料により形成される。また、図6の構成において、シール材120はガラスにより形成される例を示しており、シール材120をシールガラスあるいはカバーガラスという場合もある。光学センサ110は、センサ基板111の前面111a側に受光部112が形成され、裏面111b側にバンプ半田ボール等の接続用電極113が形成されている。光学センサ110において、センサチップの前面と裏面間を貫通するTSV貫通ビア114により電極115を形成することでワイヤーボンドによる配線を失くしクリーンルーム内においてウェハー状態でガラスを貼り合わせることができる。受光部112は、センサ基板111の前面111aに形成されており、複数の画素受光素子がマトリクス状に配置された受光面画素アレイ部1121を有する。受光部112は、画素アレイ部1121のさらに前面側にカラーフィルタ1122が形成されている。カラーフィルタ1122は、色の3原色であるR赤、G緑、B青のカラーフィルタが、たとえば図7に示すように、ベイヤーBayer配列をもってオンチップカラーフィルタOCCFとしてアレイ状に形成されている。ただし、カラーフィルタの配置パターンはベイヤーパターンに限る必要はない。なお、一般には、図7の例のように、カラーフィルタ1122に重なるように、赤外カットフィルタIRCF150が形成される。これに対して、本実施形態においては、制御膜140がIRCFの機能を併せ持つことから、制御膜140とは個別に配置しない構成が採用されている。受光部112は、カラーフィルタ1122のさらに前面側に各画素に入射光を集光するためのマイクロレンズアレイ1123が配置されている。受光部112は、このマイクロレンズアレイ1123のさらに前面側に、たとえば反射防止膜等が形成される。中間層としての樹脂層130は、上記構成を有する受光部112とシール材シールガラス120の受光部112との対向面である第1面121間に形成されている。樹脂層130の厚さは50μm程度に設定される。また、シールガラス120の厚さは300~800μm程度に設定される。そして、制御膜140は、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする機能を有し、上述したように、第1の制御膜141と第2の制御膜142を含んで構成されている。第1の制御膜141は、シール材120の受光部112との対向面である第1面121に形成成膜されている。第2の制御膜142は、シール材120の第1面121の反対側の第2面122に形成成膜されている。このように、本実施形態のキャビティレスCSP構造においてIRCFを一体となるようにシールガラスに反射型の多層膜を成膜する際、ウェハー単位で加工をできるように、シールガラス120の両面に成膜を行って反りを抑制した構造を有する。そして、本実施形態においては、センサ面である受光部112に近いシールガラス120の第1面121に分光特性の中でカットオフ半値650nm前後を反射させる膜が形成されている。以上、本実施形態の撮像装置100の基本的な構成について説明した。以下に、撮像装置100のさらに具体的な構成および機能を、本実施形態の特徴的な構成要素である制御膜140の構成および機能、並びに、シールガラス120の第1面および第2面に制御膜を形成した理由を中心に説明する。<2.制御膜多層膜の構成および機能>制御膜140は、反射型の多層膜であり、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする機能を有している。そして、フレア光の発生を抑制でき、明るい光源が視野内に入った場合であってもフレア光が目立つことのない良質の画像を得るには、少なくともシールガラス120の第1面121側に制御膜を形成する必要がある。まず、シールガラス120の第1面121側にのみ制御膜を形成した構成に関連付けて制御膜多層膜の構成および機能について説明する。図8A~Cは、シールガラスの受光部との対向面に制御膜を成膜した場合のフレア抑制の効果を説明するための図である。図8Aは概略構成を、図8Bは対策後の画像の概念図を、図8Cは制御膜多層膜による画像を示す図である。フレア光の抑制対策として、図8Aに示すように、シールガラス120の第1面下面121に反射型多層膜IRCFとして機能する反射型多層膜141Aを配置するとフレア光は図8Bに示すようになる。すなわち、光学センサ110で反射した光はほとんどの光がシールガラス下面で反射するので、図8Bに示すように、高輝度光にフレア光の位相が大きくずれて問題になっていたものが、位相が非常に小さくなり、高輝度光と一体になるため問題にならなくなる。図8Cは、対策後のフレア状態の画像で、図5Bのような全反射の特異なフレアの発生が見られない。図9AおよびBは、シールガラスの第1面に形成した本実施形態に係る多層膜の膜構造および特性例の一例を示す図である。図9Aが膜構造例を、図9Bが多層膜の特性例を示している。制御膜140は、屈折率が異なる複数の膜の多層膜141Aにより形成されている。多層膜141Aは、2種以上の膜材料を高屈折率、低屈折率の順に交互に配置されている。多層膜141Aは、この2種以上の膜材料のうち屈折率最大の材料と屈折率最小の材料の間の屈折率差Δが0.5より大きいように形成される。多層膜140Aは、1層あたりの膜厚が50nm~150nmの厚みを有する膜が6層以上配置される。本例では、多層膜141Aは、多層膜材料として高屈折率の第1膜1411としてTiO2,低屈折率の第2膜1412としてSiO2が使用され、第1膜1411と第2膜1412を順に交互に配置した17層の多層膜として形成されている。図9Aは、この17層の多層膜141Aを形成した際に実現できる光学特性を示しており、カットオフcutoff波長は650nmに設定されている。すなわち、制御膜140である多層膜141Aは、赤外領域の光を遮断する赤外カットフィルタIRCFとしての機能を含む。図9Aに示すように、シールガラス120の第1面下面121に反射型多層膜141AのIRCFを配置すると、その第1面121でほとんどの光が反射される原理は下記の通りである。IRCFの一般的な分光特性は可視光を通してそれ以外の光をカットする図9Bに示すような分光になっている。特に、長波長側のカットオフは650nmの波長前後で半値になるように設計される。前面側第2面122側からの光は分光特性の通り可視光だけを透過させる。この多層膜141Aは、上述したように、斜めに入射する光に対してはその角度に応じてカットオフ波長が短波にシフトする性質を持つ。この性質を利用することで光学センサからの反射回折光のうち、全反射に寄与する高次回折成分を多層膜部分で選択的に反射させ、フレア光の拡散を防ぐ。一般的にこのカットオフ周波数のシフトは入射角をθとした場合、次式で表される。[数1]λCF=λCF0cos2ここで、λCFは入射角θのカットオフ波長を、λCF0は入射角0度のカットオフ波長をそれぞれ示している。ここで、ng=1.51を仮定すると、上記1式より臨界角θtir=41degとなる。この臨界角41°を上記θに代入すると全反射によるフレアのカットオフ波長は、λCF≒488nmとなり、少なくとも488nm以上の可視域に対してこの多層膜がフレア対策として有効であることを見積もることができる。図9Bの分光特性の斜線部が反射できる光である。反射型多層膜のIRCFは、図9Bの分光特性を得るために30~60層の多層膜が必要となる。以上のように、少なくともシールガラス120の第1面121側に制御膜多層膜を形成することにより、フレア光の発生を抑制でき、明るい光源が視野内に入った場合であってもフレア光が目立つことのない良質の画像を得ることができる。ところで、シールガラス120の第1面下面121に30~60層の膜を成膜するとセンサ単品の大きさでは問題にならない応力が、図10に示すように、ウェハーWF単位で処理するウェハーレベルCSPの工程では影響を及ぼす。この応力による、8インチ、12インチのサイズに成膜するために大きな反りとなるため、センサSiと貼り合わせを行ってTSV加工を行う工程がこの大きな反りによって、加工ができない場合が生じるおそれがある。図11AおよびBは、シールガラスの第1面および第2面に形成した本実施形態に係る多層膜の膜構造および特性例の一例を示す図である。図11Aが膜構造例を、図11Bが多層膜の特性例を示している。本実施形態においては、反り対策として、図11Aに示すように、シールガラス120の第1面121および第2面122の両面に制御膜多層膜141,142を振り分け、反りの応力が均衡するように膜数を振り分けるように構成する対策を採用している。その際に、図11Bの符号Aで示す○部分のカットオフ半値650nmの付近の分光特性を決めている層の配置はシールガラスの第1面下面121になるように配置を行う。これにより、シールガラスの第1面下面でフレアを反射させる膜の配置はそのままでガラスの両面に反射型の多層膜を配置することで反りの応力を均衡させて反りを抑制することができる。その結果、ウェハーレベルの8インチ、12インチのサイズでも問題なくIRCF付きガラスでTSVの加工を行うことができる。以上説明したように、本実施形態の撮像装置によれば、以下の効果を得ることができる。多層膜である制御膜の蒸着型のIRCFを両面に成膜することで反りを抑制できるため、CSP構造のガラスにIRCFを直接成膜することが可能となり、別部品でIRCFの貼り合わせを行なう構造に対してCSPを薄く小型化でき、コストを下げることができる。キャビティレスCSPの課題である高輝度光の全反射のフレアの対策としてガラス下面に反射させることができるため、光学センサ面と非常に距離が近いガラス下面に配置される。このため、ガラス500μm、接着厚50μmとした場合、位相差は{50×2/50×2500×2=1/11}と約1/10となるため高輝度光と近い部分になるために対策される。このため、大きな光学センサへのキャビティレスCSPの展開が可能となり、カメラの小型、軽量化が実現できる。以上のように、本実施形態の撮像装置によれば、反りを抑制でき、しかもフレア光の発生を抑制でき、明るい光源が視野内に入った場合であってもフレア光が目立つことのない良質の画像を得ることが可能となる。より具体的には、本実施形態によれば、シールガラス両面に制御膜IRCFを成膜させるキャビティレス構造のウェハーレベルCSPに用いることで以下の効果が得られる。反りが小さいためウェハーレベルで製作するCSPで装置のバキューム吸着や静電チャックなどのワーク保持のための機能で不具合を起こすことがない。反りが小さいためにセンサの光学的精度が高い。反りが小さいため絶縁膜SiO2やCuなどの成膜の残留応力が小さくなる完成したCSPは貼り合わせたガラスにIRCF機能を持つため、別部品でIRCFを光学的に入れるよりも部品を削減でき、コストダウン、セットの薄型化が可能となる。また、シールガラス両面にIRCFの成膜の内、センサに近いシールガラス下面第1面に半値650nm付近の分光特性を配置することにより、次の効果がある。すなわち、高輝度の光入射のOCLの反射光に対し、ガラス上面で全反射していたフレアが大部分がガラス下面で反射するため、高輝度の光と位相が近くなりフレアが目立たない効果がある。以上説明した撮像装置100は、撮像レンズを有するカメラモジュールに適用することが可能である。<3.カメラモジュールの構成例>図12は、本実施形態に係るカメラモジュールの構成例を示す図である。このカメラモジュール200は、撮像装置100のレンズバレル210の前面側被写体側に光学センサ110の受光部112に被写体像を結像する撮像レンズ220が配置されている。カメラモジュール200は、撮像レンズ220に加えて、図示しない信号処理部等を有する。このような構成のカメラモジュール200においては、撮像レンズ220で取り込んだ被写体からの光を、撮像装置で電気信号に変換しやすいように受光部において光学的な処理を施す。その後、光学センサ110の光電変換部に導き、光電変換して得られる電気信号に対して、後段の信号処理部で所定の信号処理を施す。本実施形態のカメラモジュールにおいても、フレア光の発生を抑制でき、明るい光源が視野内に入った場合であってもフレア光が目立つことのない良質の画像を得ることが可能となる。図13は、一般的なカメラモジュールの構成例を示す図である。図13の一般的なカメラモジュール200Aは、レンズバレル210Aの光学センサ配置領域に、基板230、光学センサ240が配置されて、配線のワイヤーボンドWBにより基板230と光学センサ240が電気的に接続される。そして、光学センサ240の受光面241と対向するようにIRC250が配置されている。図13の一般的なカメラモジュール200Aと比較して、本実施形態に係るIRCF付きCSPを用いたカメラモジュール200は、別部品のIRCFや基板、配線WBが不要のため部品構成が少なく、小型、薄型化が可能となる。なお、本技術は以下のような構成をとることができる。1受光部を含む光学センサと、上記光学センサの上記受光部側を保護するためのシール材と、少なくとも上記受光部と上記シール材の当該受光部との対向面である第1面間に形成された中間層と、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする制御膜と、を有し、上記制御膜は、上記シール材の上記受光部との対向面である上記第1面に形成された第1の制御膜と、上記シール材の上記第1面と反対側の第2面に形成された第2の制御膜と、を含む撮像装置。2上記第1の制御膜は、赤外領域の光を遮断する赤外カットフィルタとしての機能を含む上記1記載の撮像装置。3上記制御膜は、屈折率が異なる複数の膜の多層膜により形成され、上記第1の制御膜および上記第2の制御膜は、反りの応力が均衡するように膜数が振り分けて形成されている上記1または2記載の撮像装置。4上記多層膜は、2種以上の膜材料を高屈折率、低屈折率の順に交互に配置されている上記3記載の撮像装置。5受光部を含む光学センサと、上記光学センサの上記受光部側を保護するためのシール材と、少なくとも上記受光部と上記シール材の当該受光部との対向面である第1面間に形成された中間層と、膜に斜めに入射する光の入射角度に応じてカットオフ波長が短波側にシフトする制御膜と、上記光学センサの上記受光部に被写体像を結像するレンズと、を有し、上記制御膜は、上記シール材の上記受光部との対向面である上記第1面に形成された第1の制御膜と、上記シール材の上記第1面と反対側の第2面に形成された第2の制御膜と、を含むカメラモジュール。6上記第1の制御膜は、赤外領域の光を遮断する赤外カットフィルタとしての機能を含む上記5記載のカメラモジュール。7上記制御膜は、屈折率が異なる複数の膜の多層膜により形成され、上記第1の制御膜および上記第2の制御膜は、反りの応力が均衡するように膜数が振り分けて形成されている上記5または6記載のカメラモジュール。8上記多層膜は、2種以上の膜材料を高屈折率、低屈折率の順に交互に配置されている上記7記載のカメラモジュール。"