基部に対して取り付けられるガイド部材と、前記ガイド部材の軸方向に沿って摺動可能に設けられるスライダとを備え、前記ガイド部材は、前記軸方向と略直交する所定の締結方向から締結部材によって前記基部へ締結され、さらに、前記軸方向および前記締結方向の双方と略直交する直交方向から押圧部材によって押圧されることを特徴とする直動機構。前記スライダは、前記締結方向から前記締結部材によって相互に締結される複数の部材からなり、さらに、前記直交方向から前記押圧部材によって押圧されることを特徴とする請求項1に記載の直動機構。前記ガイド部材は、前記締結方向から前記締結部材によって相互に締結される複数の部材からなり、さらに、前記直交方向から前記押圧部材によって押圧されることを特徴とする請求項1または2に記載の直動機構。前記押圧部材は、前記締結部材を介して相互に締結される部材のうち一方の部材を、他方の部材に設けられた押し当て面へ向けて押圧することを特徴とする請求項1、2または3に記載の直動機構。前記ガイド部材は、鉛直方向に沿って設けられることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載の直動機構。前記ガイド部材は、水平方向に沿って設けられることを特徴とする請求項1~4のいずれか一つに記載の直動機構。前記基部は、壁面であることを特徴とする請求項1~6のいずれか一つに記載の直動機構。請求項1~7のいずれか一つに記載の直動機構を備えることを特徴とするロボット。略筒状に形成された筐体を備え、前記ガイド部材は、前記筐体の内周面を前記基部として、前記内周面に少なくとも1対が対向配置されることを特徴とする請求項8に記載のロボット。前記ガイド部材は、前記内周面に2対が対向配置されることを特徴とする請求項9に記載のロボット。しかしながら、従来のロボットには、近年、液晶パネルディスプレイの大型化が進んで基板の重量が増したことにより、ロボットにおいて使用されているレールを含む直動機構にかかる荷重が増大し、レールがずれるなどして所望の動作精度が得られない場合があるという問題が出てきた。実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、精度よく動作することができる直動機構および直動機構を備えたロボットを提供することを目的とする。実施形態の一態様に係る直動機構は、ガイド部材と、スライダとを備える。前記ガイド部材は、基部に対して取り付けられる。前記スライダは、前記ガイド部材の軸方向に沿って摺動可能に設けられる。また、前記ガイド部材は、前記軸方向と略直交する所定の締結方向から締結部材によって前記基部へ締結され、さらに、前記軸方向および前記締結方向の双方と略直交する直交方向から押圧部材によって押圧される。実施形態の一態様によれば、精度よく動作することができる。以下、添付図面を参照して、本願の開示する直動機構および直動機構を備えたロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、以下では、ガラス基板などの薄板状の基板をワークと記載することとし、かかるワークを、真空チャンバ内において搬送するロボットを主に例に挙げて説明を行う。第1の実施形態まず、第1の実施形態に係るロボットの構成について図1を用いて説明する。図1は、第1の実施形態に係るロボット1の模式斜視図である。なお、説明を分かりやすくするために、図1には、鉛直上向きを正方向とし、鉛直下向きすなわち、鉛直方向を負方向とするZ軸を含む3次元の直交座標系を図示している。したがって、XY平面に沿った方向は、水平方向を指す。かかる直交座標系は、以下の説明に用いる他の図面においても示す場合がある。また、以下では、複数個で構成される構成要素については、複数個のうちの1個にのみ符号を付し、その他については符号の付与を省略する場合がある。かかる場合、符号を付した1個とその他とは同様の構成であるものとする。図1に示すように、ロボット1は、水平方向に伸縮する2つの伸縮アームを備える多軸ロボットである。具体的には、ロボット1は、胴体部10と、アームユニット20とを備える。胴体部10は、アームユニット20の下部に設けられるユニットである。胴体部10は、筒状の筐体11内に直動機構を備えており、かかる直動機構を用いてアームユニット20を鉛直方向に沿って昇降させる。具体的には、直動機構は、胴体部10が備える昇降フランジ部15を鉛直方向に沿って直動させることによって、かかる昇降フランジ部15上に固定されるアームユニット20を昇降させる。なお、かかる直動機構の詳細については、図3A以降を用いて後述する。筐体11の上部には、フランジ部12が形成される。ロボット1は、フランジ部12が真空チャンバに固定されることによって、真空チャンバに設置された状態となる。かかる点については、図2を用いて説明する。アームユニット20は、昇降フランジ部15を介して胴体部10と連結するユニットである。具体的には、アームユニット20は、アームベース21と、第1アーム部22と、第2アーム部23と、ハンドベース24と、補助アーム部25とを備える。アームベース21は、昇降フランジ部15に対して回転可能に支持される。アームベース21は、モータや減速機等からなる旋回機構を備えており、かかる旋回機構を用いて回転する。具体的には、旋回機構は、出力軸が胴体部10に固定された減速機に対してモータの回転を伝達ベルト経由で入力する。これにより、アームベース21は、減速機の出力軸を旋回軸として水平方向に自転する。なお、アームベース21は、大気圧に保たれた箱状の収納部を内部に備え、かかる収納部内に、モータや減速機、伝達ベルト等を備える。これにより、後述するように、ロボット1を真空チャンバ内で使用する場合であっても、グリス等の潤滑油の乾燥を防止することもできる他、発塵によって真空チャンバ内が汚染されることを防止することができる。アームベース21の上部には、第1アーム部22の基端部が、図示しない第1減速機を介して回転可能に連結される。また、第1アーム部22の先端部の上部には、第2アーム部23の基端部が、図示しない第2減速機を介して回転可能に連結される。そして、第2アーム部23の先端部には、ハンドベース24が回転可能に連結される。ハンドベース24は、ワークを保持するためのエンドエフェクタ24aいわゆる、ハンドを上部に備え、第1アーム部22および第2アーム部23の回転動作に伴って直線的に移動する。かかるエンドエフェクタ24aの直線的な移動は、ロボット1が、第1アーム部22および第2アーム部23を同期的に動作させることによって行われる。具体的に説明する。ロボット1は、第1減速機および第2減速機の双方を1つのモータを用いて回転させることで、第2アーム部23を第1アーム部22と同期して動作させる。このとき、ロボット1は、第1アーム部22に対する第2アーム部23の回転量がアームベース21に対する第1アーム部22の回転量の2倍となるように、第1アーム部22および第2アーム部23を回転させる。たとえば、ロボット1は、第1アーム部22がアームベース21に対してα度回転するならば、第2アーム部23が第1アーム部22に対して2α度回転するように第1アーム部22および第2アーム部23を回転させる。これにより、ロボット1は、エンドエフェクタ24aを直線的に移動させることができる。第1減速機、第2減速機、モータ、伝達ベルトといった駆動機構は、真空チャンバ内の汚染防止等の観点から、大気圧に保たれた第1アーム部22の内部に収納される。補助アーム部25は、移動中のエンドエフェクタ24aが常に一定の方向を向くように、第1アーム部22および第2アーム部23の回転動作と連動してハンドベース24の回転を規制するリンク機構である。具体的には、補助アーム部25は、第1リンク部25aと、中間リンク部25bと、第2リンク部25cとを備える。第1リンク部25aは、基端部がアームベース21に対して回転可能に連結され、先端部において中間リンク部25bの先端部と回転可能に連結される。また、中間リンク部25bは、基端部が第1アーム部22と第2アーム部23との連結軸と同軸上に軸支され、先端部が第1リンク部25aの先端部と回転可能に連結される。第2リンク部25cは、基端部において中間リンク部25bと回転可能に連結され、先端部においてハンドベース24の基端部と回転可能に連結される。また、ハンドベース24は、先端部において第2アーム部23の先端部と回転可能に連結され、基端部において第2リンク部25cと回転可能に連結される。第1リンク部25aは、アームベース21、第1アーム部22および中間リンク部25bと共に第1平行リンク機構を形成する。すなわち、第1アーム部22が基端部を中心として回転すると、第1リンク部25aおよび中間リンク部25bが、それぞれ第1アーム部22およびアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。また、第2リンク部25cは、第2アーム部23、ハンドベース24および中間リンク部25bと共に第2平行リンク機構を形成する。すなわち、第2アーム部23が基端部を中心として回転すると、第2リンク部25cおよびハンドベース24が、それぞれ第2アーム部23および中間リンク部25bと平行な状態を保ちながら回転する。中間リンク部25bは、第1平行リンク機構によってアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。このため、第2平行リンク機構のハンドベース24もアームベース21と平行な状態を保ちながら回転する。この結果、ハンドベース24の上部に取り付けられるエンドエフェクタ24aは、アームベース21と平行な状態を保ちながら直線的に移動することとなる。このように、ロボット1は、第1平行リンク機構および第2平行リンク機構の2つの平行リンク機構を用いて、エンドエフェクタ24aの向きを一定に保つ。これにより、たとえば第2アーム部内にプーリや伝達ベルトを設け、これらプーリや伝達ベルトを用いてエンドエフェクタの向きを一定方向に維持する場合と比較して、プーリや伝達ベルトに起因する発塵を抑えることができる。また、補助アーム部25によってアーム全体の剛性を高めることができるため、エンドエフェクタ24aの動作時の振動を低減することができる。したがって、エンドエフェクタ24aの動作時の振動に起因する発塵の抑制に資することができる。また、図1に示すように、ロボット1は、第1アーム部22、第2アーム部23、ハンドベース24および補助アーム部25から構成される伸縮アーム部を2組有する、いわゆる双腕ロボットとして構成することができる。これにより、ロボット1は、たとえば、一方の伸縮アーム部を用いて所定の搬送位置からワークを取り出しつつ、他方の伸縮アーム部を用いてかかる搬送位置へ新たなワークを搬入するといった並行作業を行うことができる。次に、ロボット1を真空チャンバへ設置した状態について図2を用いて説明する。図2は、第1の実施形態に係るロボット1を真空チャンバへ設置した状態を示す模式側面図である。図2に示すように、ロボット1は、胴体部10に形成されたフランジ部12が、真空チャンバ30の底部に形成された開口部31の縁部に対してシール部材を介して固定される。これにより、真空チャンバ30は密閉された状態となり、真空ポンプ等の減圧装置によって内部が減圧状態に保たれる。なお、胴体部10の筐体11は、真空チャンバ30の下部から突出しており、真空チャンバ30を支持する支持部35によって形成される空間内に配置される。ロボット1は、真空チャンバ30内においてワークの搬送作業を行う。たとえば、ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23を用いてエンドエフェクタ24aを直線的に移動させることで、図示しないゲートバルブを介して真空チャンバ30と接続される他の真空チャンバからワークを取り出す。つづいて、ロボット1は、エンドエフェクタ24aを引き戻したのち、旋回軸Oを中心にアームベース21を水平方向に回転させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバに対してアームユニット20を正対させる。そして、ロボット1は、第1アーム部22および第2アーム部23を用いてエンドエフェクタ24aを直線的に移動させることで、ワークの搬送先となる他の真空チャンバへワークを搬入する。真空チャンバ30は、ロボット1の形状に合わせて形成される。たとえば、図2に示すように、真空チャンバ30には、底面に凹部が形成されており、かかる凹部に対して、アームベース21や昇降フランジ部15といった下方へ突出するロボット1の部位が納められる。このように、真空チャンバ30をロボット1の形状に合わせて形成することで、チャンバ内の容積を小さくすることができる。したがって、真空チャンバ30の減圧状態を容易に維持することが可能となる。なお、真空チャンバ30内の空間は、最小旋回姿勢を取ったアームユニット20が回転可能なスペースおよびアームユニット20が昇降装置によって昇降するのに必要なスペースが確保される。ここで、最小旋回姿勢とは、旋回軸Oを中心とするアームユニット20の回転半径が最小となるロボット1の姿勢のことである。以下、第1の実施形態に係る直動機構の詳細について、図3A以降を用いて説明してゆく。図3Aは、胴体部10の模式平面図であり、図3Bは、図3Aに示すA-A線断面図である。図1および図2を用いた説明と一部重複するが、図3Aに示すように、胴体部10は、その上部に、フランジ部12と、昇降フランジ部15とを備える。また、胴体部10は、その内部に、昇降フランジ部15を鉛直方向に沿って昇降させる直動機構50を備える。直動機構50は、レールベース51を1対備える。レールベース51は、筐体11図3B参照の内周面に対向して配置され、かつ、固定される。すなわち、筐体11の内周面は、直動機構50の基部にあたる。また、図3Bに示すように、直動機構50は、鉛直方向に略平行な軸S1および軸S2に沿って設けられるレール51aガイド部材を備える。レール51aは、ねじなどの締結部材を用いてレールベース51図3A参照に固定される。また、図3Bに示すように、直動機構50は、レール51aに対して摺動可能に設けられるスライダブロック52スライダを備える。いわゆるリニアガイドは、かかるレール51aおよびスライダブロック52を含んで構成される。なお、以下では、レール51aおよびスライダブロック52が摺動可能に接する部位を摺接しゅうせつ部と記載する。スライダブロック52は、昇降フランジ部15の基台にあたる昇降フランジベース15aと連結され、昇降フランジ部15と一体化される。また、直動機構50は、同じく昇降フランジベース15aに連結されたボールナットを含むボールねじ部53を備える。ボールねじ部53は他に、ボールねじ、モータ等を含んで構成され、モータの回転運動を鉛直方向に略平行な軸S3に沿った直線運動へ変換する。かかる直動機構50の構成により、昇降フランジ部15は、鉛直方向に沿って昇降することが可能となる。なお、図3Bに示すように、昇降フランジ部15は中空構造であり、かかる中空部分に配管15bを設けることによってケーブル類の配線を容易にすることが可能である。次に、図4A~図4Dを用いて、第1の実施形態に係る直動機構50を構成する各部材の取り付け構造について説明する。図4Aは、図3Bに示したB-B線略断面図である。なお、図4Aの外枠線は、筐体11の内周面を簡略的に示している。また、図4Bは、従来の摺接部G1’の拡大図であり、図4Cは、図4Bに示すG2部の拡大図である。また、図4Dは、第1の実施形態に係る摺接部G1の拡大図である。図4Aに示すように、直動機構50は、摺接部G1を備える。なお、以下では、説明上、従来の摺接部を示す場合には、便宜的にG1’の符号を付すこととする。また、図4Aに示す、ボールねじ部53に隣接する開口部15cは、前述の配管15bを挿通する開口部である。ここで、従来の摺接部G1’について説明しておく。図4Bに示すように、従来の摺接部G1’では、直動機構50を構成する各部材は、ねじなどの締結部材を用いて、所定の締結方向からのみ締結されていた。なお、以下では、締結部材がねじであるものとして説明するが、図示上、おねじやめねじなどのねじ溝は省略する。また、後述する押圧部材である押しねじと対比する観点から、締結部材であるねじを締結ねじと記載する。たとえば、図4Bに示すように、レール51aはレールベース51に対し、X軸の正方向から締結ねじC1を用いて締結されていた。また、スライダブロック52の構成部材である第1ブロック52a、第2ブロック52bおよび第3ブロック52cはそれぞれ、締結ねじC2あるいは締結ねじC3を用いてX軸の正負方向から締結されていた。かかるX軸に沿った所定の締結方向は、そもそも反りの入りやすいレール51aを確実に抑え込みつつ、スライダブロック52を滑らかに摺動させるためである。なお、部材同士の締結においては、各部材の寸法誤差やばらつきなどにより、締結された部材間に隙間が生じる場合がある。たとえば、図4Bに示すように、レール51aとレールベース51との間や、第1ブロック52aと第2ブロック52bとの間、第2ブロック52bと第3ブロック52cとの間などに隙間iが生じうる。また、図4Cに示すように、レール51aと締結ねじC1との間などにも隙間iが生じうる。ここで、図1の説明で述べた伸縮アーム部が、伸びる動作を行ったものとする。このとき、たとえば、図4Cに示すG2部には、フランジ部12中央部の昇降フランジ部15図3A参照を介して、両矢印101で示す向きのモーメント荷重などの荷重が加わる。かかる荷重は、伸縮アーム部が伸びた状態となるほど増大する。このとき、たとえば、図4Cに示すような隙間iが生じていた場合、かかる両矢印101向きに加わる荷重によってレール51aが隙間iの範囲内を滑り、レール51aがずれてしまうおそれがある図中の破線のレール51a’参照。すなわち、レール51aとレールベース51とが相対的に変位することによってガタつきが生じてしまい、直動機構50の動作精度を落としてしまうおそれがある。そこで、図4Dに示すように、第1の実施形態に係る直動機構50では、ガイド部材の軸方向に略直交する所定の締結方向から締結部材を用いて締結された摺接部G1の構成部材を、さらに、軸方向および締結方向の双方に略直交する直交方向から押圧部材を用いて押圧することとした。具体的には、図4Dに示すように、摺接部G1の構成部材について、レール51aの軸方向Z軸方向と、かかる軸方向に略直交する所定の締結方向X軸方向との双方に略直交する直交方向Y軸方向から押しねじなどの押圧部材を用いて押圧する。たとえば、レール51aは、押しねじP1を用いてY軸の負方向から正方向へ押圧される図中の矢印201参照。このとき、レールベース51の凹部の側壁51bには、押しねじP1によってレール51aの端面が押し当てられる。すなわち、側壁51bは、レール51aの位置決めのための基準面押し当て面となる。また、第1ブロック52aは、押しねじP2を用いてY軸の負方向から正方向へ押圧される図中の矢印202参照。このとき、第2ブロック52bの凹部の側壁52baには、押しねじP2によって第1ブロック52aの端面が押し当てられる。すなわち、側壁52baは、第1ブロック52aの位置決めのための基準面となる。また、第2ブロック52bは、押しねじP3を用いてY軸の負方向から正方向へ押圧される図中の矢印203参照。このとき、第3ブロック52cの凹部の側壁52caには、押しねじP3によって第2ブロック52bの端面が押し当てられる。すなわち、側壁52caは、第2ブロック52bの位置決めのための基準面となる。これにより、摺接部G1の構成部材を締結する締結部材が、図4Dの両矢印101に示すモーメント荷重などの荷重によってすべりを起こすのを防止することができる。また、摺接部G1の構成部材の位置決めを精度よく行うことができる。すなわち、直動機構50および直動機構50を備えるロボット1を精度よく動作させることができる。なお、図4Dの押しねじP1~P3は、ねじ頭を有した形状で示したが、その形状を限定するものではない。たとえば、ねじ頭を有さない、いわゆるいもねじのような全ねじであってもよい。上述してきたように、第1の実施形態に係る直動機構および直動機構を備えるロボットは、基部に対して取り付けられるガイド部材と、かかるガイド部材の軸方向に沿って摺動可能に設けられるスライダとを備える。また、ガイド部材は、上記の軸方向と略直交する所定の締結方向から締結部材によって上記の基部へ締結され、さらに、上記の軸方向および上記の締結方向の双方と略直交する直交方向から押圧部材によって押圧される。したがって、第1の実施形態に係る直動機構および直動機構を備えるロボットによれば、精度よく動作することができる。ところで、上述した第1の実施形態では、対向配置されるガイド部材が1対である場合について説明したが、2対以上であってもよい。そこで、以下に示す第2の実施形態では、ガイド部材が2対である場合について、図5を用いて説明する。第2の実施形態図5は、第2の実施形態に係る直動機構50aの要部の模式図である。なお、図5は、図4Aに対応しており、ガイド部材が2対である点以外は図4Aと略同様であるので、以下では、両者に共通する説明を省略する。また、図5では、締結ねじの図示を省略しているが、所定の締結方向はこれまで通りX軸に沿っているものとする。また、図5では、図4Bおよび図4Dに示した隙間iの図示を省略している。また、第2の実施形態に係る直動機構50aは、第1の実施形態に係るロボット1と同一構成のロボットに備えられるものとする。図5に示すように、第2の実施形態に係る直動機構50aは、X軸方向に沿って対向配置されたガイド部材すなわち、それを含む摺接部G1を2対備える。ここで、X軸に略平行な軸AX1に沿って対向配置された1対の摺接部G1については、矢印201、矢印202および矢印203に示す部位が、押しねじによってY軸の負方向から正方向へ押圧される。また、X軸に略平行な軸AX2に沿って対向配置された1対の摺接部G1については、矢印204および矢印205に示す部位が、押しねじによってY軸の正方向から負方向へ押圧される。このように、押しねじによる押圧方向は、ガイド部材の軸方向Z軸方向および所定の締結方向X軸方向の双方と略直交する直交方向Y軸方向であればその向きは問わない。なお、図5では、2対の摺接部G1をX軸に沿って並列に配置した例を示しているが、これに限られるものではない。たとえば、1対の摺接部G1は、図5に示す通りX軸に沿って対向配置させ、もう1対の摺接部G1は、Y軸に沿って対向配置させてもよい。かかる場合、Y軸に沿って対向配置された1対の摺接部G1については、押しねじによる押圧がX軸方向に沿って行われることとなる。上述してきたように、第2の実施形態に係る直動機構および直動機構を備えるロボットは、基部に対して対向配置される2対以上のガイド部材と、かかるガイド部材の軸方向に沿って摺動可能に設けられるスライダとを備える。また、ガイド部材は、上記の軸方向と略直交する所定の締結方向から締結部材によって上記の基部へ締結され、さらに、上記の軸方向および上記の締結方向の双方と略直交する直交方向から押圧部材によって押圧される。したがって、第2の実施形態に係る直動機構および直動機構を備えるロボットによれば、安定的、かつ、高精度に動作することができる。ところで、上述した各実施形態では、ガイド部材を少なくとも1対で1組として対向配置させる場合を例に挙げたが、対ついの組み合わせでなくともよい。たとえば、胴体部の筐体の横断面が略真円である場合に、3個のガイド部材を1組として、筐体の内周面に120度間隔で配置してもよい。また、上述した各実施形態では、直動機構のガイド部材が鉛直方向に沿っている場合について説明したが、これに限られるものではなく、たとえば、水平方向であってもよい。そこで、以下に示す第3の実施形態では、直動機構のガイド部材が水平方向である場合について、図6と既出の図4Dとを用いて説明する。第3の実施形態図6は、第3の実施形態に係る直動機構50bの説明図である。なお、図6には、説明の便宜上、直動機構50bを備えるロボット1aを3軸ロボットとして構成した例を示しているが、直動機構50bを備えていれば、軸数や関節の回転方向を限定するものではない。また、図6では、ロボット1aをごく簡略化して示してある。図6に示すように、第3の実施形態に係るロボット1aは、直動機構50bと、第1関節部1aaと、第2関節部1abと、エンドエフェクタ1acとを備える。なお、図6で、これらを相互に結ぶ実線はアームを示している。直動機構50bは、壁面501を基部として水平方向に配設された水平ガイドS4と、上述した各実施形態と同一構成の摺接部G1とを備え、かかる水平ガイドS4に沿った両矢印401方向にアーム全体を直動させる。第1関節部1aaは、両矢印402方向に回転する関節部である。第2関節部1abは、両矢印403方向に旋回する関節部である。そして、直動機構50bには、たとえば、第1関節部1aaが回転してアーム全体が伸びた場合や、摺接部G1が水平ガイドS4の端部に達した場合などに、両矢印101に示すモーメント荷重などの荷重がかかる。また、直動機構50bを含むロボット1a全体にはさらに、矢印301に示す重力も作用している。ここで、図4Dを、説明の便宜上、図6におけるY軸の正方向からみた場合の摺接部G1の拡大図とみなす。したがって、図4Dに示したXYZの直交座標軸は以下参照せず、図4Dの紙面下方を鉛直下向きとみなすこととする。図4Dに示すように、第3の実施形態に係る直動機構50bの摺接部G1についても、レール51aの軸方向および摺接部G1の所定の締結方向の双方と略直交する直交方向から押圧部材を用いた押圧を行うことができる。このとき、摺接部G1には、図6に示した重力が作用しているため、かかる重力による付勢力を併用して、押しねじP1~P3による押圧は鉛直上向きから鉛直下向き図4Dの紙面上方から紙面下方に行うことで足りる。なお、かかる点は逆の、鉛直下向きから鉛直上向きの押圧を行うことを妨げるものではない。また、図6に示した水平ガイドS4が、壁面501ではなく、床面502を基部として配設される場合にも無論、これまで説明してきた取り付け手法を用いることができるのは言うまでもない。上述してきたように、第3の実施形態に係る直動機構および直動機構を備えるロボットは、基部に対して水平方向に設けられるガイド部材と、かかるガイド部材の軸方向に沿って摺動可能に設けられるスライダとを備える。また、ガイド部材は、上記の軸方向と略直交する所定の締結方向から締結部材によって上記の基部へ締結され、さらに、上記の軸方向および上記の締結方向の双方と略直交する直交方向から押圧部材によって押圧される。したがって、第3の実施形態に係る直動機構および直動機構を備えるロボットによれば、ガイド部材が壁面などに設けられる場合であっても、精度よく動作することができる。なお、上述した各実施形態では、締結部材および押圧部材がねじである場合を例示したが、これに限られるものではない。たとえば、リベットなどであってもよいし、ねじやリベットなどを組み合わせることとしてもよい。また、上述した各実施形態では、押圧部材によってガイド部材およびスライダの端面を押圧する場合について説明したが、これに限られるものではなく、たとえば、締結部材を締結方向と略直交する方向から直に押圧することとしてもよい。また、ガイド部材に対するスライダの摺接構造は特に限定されない。たとえば、ベアリングなどの転動体を利用したものでもよいし、油圧などを利用したものでもよい。また、上述した各実施形態では、ロボットが、主に基板の搬送ロボットである場合について説明したが、直動案内するガイド部材に沿って動作するロボットであればよく、ロボットの用途などを問わない。さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。