"試料上で電子ビームを走査する走査手段と、該走査によって発生する信号を検出する検出手段と、該検出した検出信号に基づいて前記試料の像を生成する生成手段と、前記生成した画像を記憶する記憶手段と、前記電子ビームの走査と焦点距離を制御する制御手段と、前記画像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法であって、前記制御手段は、前記電子ビームの焦点距離が異なる条件毎に前記検出信号から電子ビームの収束状態を求める第1のステップと、前記焦点距離毎の該収束状態をもとに焦点の合う焦点距離と該焦点の合う焦点距離である位置が存在する数を特定し、該特定された焦点の合う焦点距離における画像を前記記憶手段に記憶する第2のステップと、前記焦点の合う焦点距離において、前記画像に基づいて焦点の合う領域を特定する第3のステップと、前記焦点の合う領域を示す図形を前記表示手段に表示する指令をする第4のステップとを含んで実行することを特徴とする走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。前記第3のステップにおいて、前記画像内の単位領域毎の濃淡値とその分布を算出し、前記濃淡値が所定の閾値以上であれば、前記焦点の合う領域とすることを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。前記図形が選択された場合、前記選択された図形の領域における焦点の合う焦点距離を求める第5のステップを実行することを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。前記第5のステップにおいて、該図形の領域における焦点の合う焦点距離を求める際に、前記第2のステップで得られた焦点の合う焦点距離を中心に探索することを特徴とする請求項3に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。前記第2のステップと、前記第3のステップとを並列処理することを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。前記第1のステップにおいて、前記検出信号から電子ビームの収束状態を表す指標として、走査時に得られる信号とその直前の信号との差分である微分値を求め、所定の走査を終えるまで微分値を順次積算した総和である微分積算値を求め、該微分積算値を評価値として、焦点距離を変えながら取得した該評価値のうち、極大値となる焦点距離を求めることを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。前記焦点距離毎の前記評価値をもとに、前記焦点の合う焦点距離である位置が存在する数の特定をする際に、前記評価値の微分を行った第2の評価値を求め、該第2の評価値が零となる数を求めることで、前記焦点の合う焦点距離である位置の数を特定することを特徴とする請求項6に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。前記第4のステップにおいて、前記表示手段に表示する図形は、多角形または閉じた曲線とすることを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。試料上で電子ビームを走査する走査手段と、該走査によって発生する信号を検出する検出手段と、該検出した検出信号に基づいて前記試料の像を生成する生成手段と、前記生成した画像を記憶する記憶手段と、前記電子ビームの走査と焦点距離を制御する制御手段と、前記画像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡であって、前記制御手段は、前記電子ビームの焦点距離が異なる条件毎に前記検出信号から電子ビームの収束状態を求め、前記焦点距離毎の該収束状態をもとに焦点の合う焦点距離と該焦点の合う焦点距離である位置が存在する数を特定し、該特定された焦点の合う焦点距離における画像を前記記憶手段に記憶し、前記焦点の合う焦点距離において、前記画像に基づいて焦点の合う領域を特定し、前記焦点の合う領域を示す図形を前記表示手段に表示する指令をし、前記図形が選択された場合、前記選択された図形の領域における焦点の合う焦点距離を求めることを特徴とする走査電子顕微鏡。前記の従来技術では該評価値の1つの条件にあわせる手段のため、オートフォーカスにより得られた焦点距離が、観察したい部位の最適な焦点距離と異なる場合は手動で焦点の補正をしたり、もしくは観察視野に、焦点深度を越えるような凹凸を含む部位が入らないように観察範囲や試料台の移動をさせたり、倍率を上げて観察範囲を狭めたりする必要が生じていた。また、特許文献1では半導体の設計情報を用いてオートフォーカスを行う場所を指定するものであり、設計情報を持たず、焦点深度を超える凹凸を含む試料における場合についての記載が無い。本発明は、前記の課題を解決するための発明であって、凹凸を多く含む試料の観察において所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができる走査電子顕微鏡およびその自動焦点合わせ方法を提供することを目的とする。前記目的を達成するため、本発明の走査電子顕微鏡は、焦点の合う位置が複数存在することを示す機能を具備する。例えば、複数の焦点の合う箇所が存在する場合、観察視野内に焦点の合う候補を囲むような枠や、印を表示する。使用者が該枠や印を選択するとその部位について、焦点が合うようにオートフォーカスを行う。このために、焦点合わせの際に取りうる焦点距離の範囲内で焦点の合う可能性のある評価値のピークが複数存在する場合は、該焦点距離と像を記憶しておく。指標の算出が所定の焦点合わせの範囲について一通り終了した段階でピークとなる焦点距離での像において焦点が合っている箇所を求める。ここでは焦点の合っている箇所ではコントラストが大きく、そうでない箇所は小さいことを利用して、像に対して部分毎のコントラストを数値化してその分布を求める。この後、求めたコントラストの分布と記憶していた像から焦点の合う箇所を特定し、特定した箇所を明示する。これにより使用者は明示された箇所を選択することで選択範囲に対応した、焦点距離の範囲で再度焦点合わせを行うことで、最適な焦点距離に設定することが可能となる。本発明によれば、凹凸を多く含む試料の観察において所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができる。以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図2は、本発明に係る走査電子顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。同図に示す、電子銃1から放出された電子ビーム2はコンデンサレンズ3により収束され、対物レンズ5により試料6に焦点を結ぶ。試料6は試料台7により電子ビーム2の方向上下方向及びそれに対して直角な方向水平方向に移動され得る。制御装置11制御手段よりレンズ駆動回路8を介して偏向コイル4走査手段に走査信号が与えられ、これによって試料6は電子ビーム2で二次元走査される。これによって試料6から二次電子が放出され、二次電子検出器9検出手段により検出される。試料6を特徴づける検出された情報信号である二次電子信号は、アナログ/ディジタル変換器を含む信号処理回路10によりディジタル信号に変換され、該ディジタル信号は信号処理回路10に接続された制御装置11に入力される。コンピュータ12生成手段は検出した信号から像を表示する場合や使用者が任意の制御を行うために制御装置11に接続される。画像メモリ12m記憶手段を有するコンピュータ12には、表示装置13表示手段が接続され、観察画像や制御内容の表示を行う。画像メモリ12mでは、試料画像を保存し、保存された画像は、画像演算や画像表示に利用される。図1は、本発明に係る制御装置の処理を示すフロー図である。図2に示す構成における制御装置11によるオートフォーカス動作を図1に基づいて説明する。まず、制御装置11は、観察倍率以下の倍率に設定するステップS1。このときの倍率は観察試料6が観察視野内で十分に認識できる倍率にする。次に、制御装置11は、焦点探索1として焦点深度と同程度の焦点距離に対応した変更量に相当する分だけレンズ駆動回路8から対物レンズ5に対物レンズ励磁電流を流し、これをステップ状に変化させる。その都度、試料6上に照射して得られる2次電子信号の検出と焦点距離の関係の評価を行うための信号処理を行うステップS2。ここでは、収束状態を表す指標として検出信号の微分積算値以下、微分積算値を評価値と呼ぶ。を求める場合を想定する。とり得る焦点距離の範囲内における相対的な評価値の大きさが焦点の合い具合を示し、大きいほど電子ビーム2の焦点距離と試料面との距離が小さいズレが小さいことになる。なお、微分積算値とは、電子ビームの1ラインスキャン走査時に得られる画像信号のうち、あるタイミングにおける信号とその直前の信号との差分微分値を信号処理回路10にて求め、1ラインスキャンを終えるまで微分値を順次積算した総和を意味する。スキャンを線や点と見なす場合は、前述の1ラインスキャン終了時の微分積算値が当てはまり、面としてとらえる場合には、1ラインスキャン走査毎に積算値を求めておき、求める領域内の複数のラインスキャンから得られた積算値の総和をいう。図4は、対物レンズ励磁を変化させながら最適な焦点距離を求めるための焦点調整方法の一例を示す図である。図4を参照して焦点距離と評価値の関係を説明する。はじめに図4aに焦点距離を変化させるために必要な対物レンズの励磁電流の制御波形を示した。これは先に述べたようにステップ状に変化させる。図4b,cが励磁電流すなわち焦点距離と評価値の関係である。図4bは試料面の凹凸が焦点深度内に収まる場合であり、このときピークは一つしか現れない。図4cは焦点深度を超える凹凸がある場合を示し、それぞれのピーク位置に相当する焦点距離にそれぞれの試料面が存在することを意味する。図4cとなる場合の具体的事例を図5に示す。図5は、本発明が有効な試料台と試料の一例を示す図である。図5bには、段差形状を有する試料台7を示す。図5bの例では試料に1つの段差面があることがわかる。他に、複数の焦点距離で焦点が合う部位を有する試料台や試料の場合は、ピークの数は増加する。本実施形態では、試料台7が段差形状であるとした場合を説明するが、試料の形状が焦点の合う範囲を超える凹凸を有している場合に置き換えても同じである。なお、段差形状を有する試料台7は、試料台7を可動する手段を持たない場合で、複数の高さにおける試料の観察時に、段差の高さ毎に試料を設置して観察するときに使われる。図5aについては、後述する。図1の説明に戻る。制御装置11は、焦点距離を変えながら取得した評価値のうち、ピークとなる焦点距離を求めるステップS3。ここでのピーク検出は、図4b,cの結果に対して微分2階微分を行った結果を用いる方法が挙げられる。これはピークとなる位置では2階微分後の評価値が零を横切る位置に対応することを利用する。次に、制御装置11は、ピークの検出数を求め、ピークが複数存在するか否かを判定するステップS4。ここで、ピークが1つの場合ステップS4,No、該ピークに相当する焦点距離として、ピーク位置に相当する励磁条件に設定しステップS40、処理を終える。複数のピークがある場合ステップS4,Yes、焦点が合ったと見なせる焦点距離が複数存在することを示すので、各ピークを得た焦点距離とその時の像を記憶するステップS5。具体例を、図6を参照して説明する。図6は、実施形態に係る焦点距離毎の画像を示す図である。図6aは、図5aにおける試料7の段差の下側の焦点距離X16aに対応する像であり、図6bは、図5aにおける試料7の段差の上側の焦点距離X26bの像である。ここで、図1に戻り、ステップS5が終了した段階で像を表示装置13図2参照上に表示させておく。このときの電子ビーム2の焦点距離は任意であるが、先にステップS5で求めたピーク位置のいずれかの条件が望ましい。ステップS5で得られた複数の像は、それぞれ電子ビーム2の焦点距離の異なる像であるから、各々の焦点が合っている箇所は異なる。そこで各像における焦点の合う箇所を特定するために、制御装置11は、各像内における単位領域毎の濃淡値を算出し分布を求めるステップS6。ここで、SEMScanningElectronMicroscope像では焦点の合っている焦点距離ではコントラストが大きく、焦点の合う距離から焦点深度を越えるような範囲ではコントラストは小さいことを利用する。ステップS6では、はじめに該評価値のピークを得た焦点距離における像をある一定の数の画素単位に分割して、分割された単位毎での画像のコントラスト値を算出し、ステップS5で記憶したピークを得る焦点距離における像毎にコントラスト値の分布を求める。図6の像に対してステップS6を行った結果の一例を図7に示す。図7は、実施形態に係る画像処理の一例を示す図である。図7では像を一定の格子状に分割して単位毎に値を求めた結果を示している。像内における各枠内に含まれている数字は単位領域毎のコントラストを数値化したものであり、各像内で最も数値が高い箇所で焦点が合っていると見なせる。図7aは、図6aの像に対して処理を行った結果を示し、像の左側でコントラスト値の大きい領域を持つ分布が得られる。同様に、図7bは、図6bの像に対して処理を行い、像の右側でコントラスト値の大きい領域を持つ分布が得られていることが分かる。ステップS6で、各像内のコントラスト値の分布を求めたものは一定の数の画素単位に分割した結果であり、試料6の形状によっては適切な分割単位にならない場合がある。例えば、図6bの丸い試料に対して格子状に分割した単位毎にコントラスト値を求めると、丸い試料の範囲内に十分に含まれている単位領域でのみ適切なコントラスト値を算出することになり、境界部分では適切なコントラスト値の算出ができず、図7bの例では長方形として認識されてしまう。そのため、制御装置11は、次に焦点の合う領域の特定と図示を行うステップS7。ステップS7では、はじめにステップS5で記憶したピークを得る焦点距離における像に対してエッジ強調処理を行う。処理方法としては像に対してソーベルフィルタや微分フィルタを適用した後、像の画素に対して2値化や一定の閾値に振り分けることで境界を抽出する。次に、先に求めたコントラスト値の分布結果から、それぞれの境界内に含まれるコントラスト値の合計値が像の中で最大となる領域が焦点の合っている領域と見なすことができ、これにより焦点の合う領域と合わない領域の境界が求まる。図6b及び図7bの結果からステップS7を行った結果の例を図8に示す。図8は、実施形態に係る画像の境界を求める画像処理の一例を示す図である。制御装置11は、焦点の合う領域の特定後、コンピュータ12を介して表示装置13で表示している像の上に重なる形で焦点の合う領域を示す表示を行い、焦点の合う位置が複数存在することを示す。これにはステップS6で求めた境界上に破線や鎖線で囲み、四角形等のn角形を描写するnは自然数。他に領域の広さに応じて境界内部の領域にハッチングを施すといったことで、表示領域が明確になるように表示する。次に走査電子顕微鏡の操作者が、表示装置13に表示された像と、ステップS7により表示された境界や領域を見て、焦点合わせを行う箇所を指定するステップS8。一方、制御装置11は、指定位置を含む領域に対応する焦点距離が判明した場合はその焦点距離を中心として焦点探索2を行うステップS9。このときの焦点探索範囲は、ステップS2で求めた焦点の合う焦点距離を中心に、焦点距離範囲を限定して、ステップS2と同様の焦点探索を行う。このときに、複数の該ピークが存在する場合は、ステップS2で求めた焦点の合う焦点距離に、最も近い焦点距離に相当する該ピークをとる対物レンズ励磁電流とする。その後、制御装置11は、焦点探索2の結果を元に最適な対物レンズ励磁電流に設定することで、所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができるステップS10。ステップS8~S10の処理における操作上の具体例を図9に示して説明する。図9は、実施形態に係る表示画面を示す図である。図9aは、表示装置13上に表示されたSEM像観察画面14を示し、この中にある内枠が観察視野16を示す。走査電子顕微鏡の操作者は、カーソル15を移動させて画面上の一部位を選択することができる。図9では観察対象として図5bに示すような試料台7に異なる形状の試料6a及び6bが固定された状態で上側面に対して電子ビーム2を照射した場合を想定する。図9aは、図1におけるステップS7の動作が終了した段階を示しており、観察視野16に観察対象は表示されているが焦点の合っていない状態を細線で示している。このとき、ステップS7により求めた焦点の合う領域を囲むような線をSEM像の上に重なる形で表示する。ここでは太破線及び、太2点鎖線が該当する。次に、操作者は、焦点を合わせたい領域をステップS7の動作により表示された枠や印、または枠の内側に含まれる領域をカーソル15で選択する。図9bは、図9aにおいて太破線で示された領域を選択され、観察対象のうち試料6aが固定されている部位に焦点が合うように調整された結果を、図9cは、太2点鎖線で示された領域が選択され焦点の調整が行われた結果を示す。以上まとめると、本実施形態の走査電子顕微鏡は、試料上で電子ビームを走査する走査手段例えば、偏向コイル4と、該走査によって発生する信号を検出する検出手段例えば、2次電子検出器9と、該検出した検出信号に基づいて試料の像を生成する生成手段例えば、コンピュータ12と、生成した画像を記憶する記憶手段例えば、画像メモリ12mと、電子ビームの走査と焦点距離を制御する制御手段例えば、制御装置11と、画像を表示する表示手段例えば、表示装置13とを備えている。制御手段は、電子ビームの焦点距離が異なる条件毎に検出信号から電子ビームの収束状態を求める第1のステップ例えば、図1のステップS1,S2と、焦点距離毎の該収束状態をもとに焦点の合う焦点距離と該焦点の合う焦点距離である位置が存在する数を特定し、該特定された焦点の合う焦点距離における画像を記憶手段に記憶する第2のステップ例えば、図1のステップS3~S5と、焦点の合う焦点距離において、画像に基づいて焦点の合う領域を特定する第3のステップ例えば、ステップS6,S7と、焦点の合う領域を示す図形を表示手段に表示する指令をする第4のステップ例えば、ステップS7における図示とを含んで実行する。制御手段は、図形が選択された場合、選択された図形の領域における焦点の合う焦点距離を求める第5のステップ例えば、ステップS8,S9を実行する。本実施形態は、焦点を合わせる場所を抽出し表示する手段を具備していることに特徴がある。ディジタルカメラの顔認識などのように、特徴の有無に関係なく、観察視野内で焦点の合う場所が複数存在することを示すことにより、使用者が観察したい部位を選択するだけで選択した箇所での焦点合わせを行うことができるため、走査電子顕微鏡の操作性が向上することができる。また、一度低倍率で取得した画像を見ながら、再度焦点を合わせる箇所を指定することもできるため、従来の試料位置の移動、倍率の変更、焦点合わせの一連の動作を自動化でき、試料への不必要な電子ビームの照射を抑えることができる。本実施形態の走査電子顕微鏡は、観察倍率以下の倍率で焦点合わせを行い、視野範囲の中で部分的に焦点の合う焦点距離を求め、その前後の焦点距離における像を記憶する。これをとり得る全ての焦点距離に対して行った後で、記憶した画像をもとに、観察範囲の中で焦点距離ごとに焦点の合う領域を求める。この後、焦点の合う位置が複数存在することを表示装置上に観察視野内に焦点の合う候補を囲むような枠や、印を表示させることで示す。使用者が該枠や印を選択するようにすることで、その部位における焦点の合う焦点距離を中心にして再度、焦点合わせを行い、最適な焦点距離を与えるレンズの励磁条件を求め、設定することができる。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、前上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図1に示した動作のうち、ステップS6,S7の動作については全てのピークに対して動作を終えてから次ステップに移る必要は必ずしもないため、該ピークが検出される毎にステップS6,S7の動作を行うように動作の並列化を図ることができ、処理に要する時間を短縮することが可能である。"