"希土類酸化物粉末と、遷移金属粉末および/またはその酸化物粉末と、粒状または粉末状の、アルカリ金属、アルカリ土類金属およびこれらの水素化物から選ばれる少なくとも1種の還元剤とを混合し、不活性雰囲気中で該混合物を850~1200°Cの温度で1~10時間保持して希土類-遷移金属系合金を含む反応生成混合物を得る第1の工程、この反応生成混合物を300°C以下に冷却した後、水素ガスを導入し、水素ガス分圧20~40kPaの雰囲気中において700~900°Cの温度で1~20時間保持する第2の工程、第2の工程で得られた反応生成混合物を真空もしくは水素ガス分圧10kPa未満の雰囲気下500~900°Cで10分~20時間熱処理する第3の工程、得られた熱処理物を水で洗浄し、還元剤を含む副生物を除去して希土類-遷移金属系合金を回収する第4の工程、洗浄後の希土類-遷移金属系合金を150~400°Cの非酸化性雰囲気下で乾燥する第5の工程とを含むことを特徴とする希土類-遷移金属系合金粉末の製造方法。第1の工程で用いる遷移金属粉末および/またはその酸化物粉末の平均粒径が、50μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の希土類-遷移金属系合金粉末の製造方法。請求項1又は2に記載の方法で得られた希土類-遷移金属系合金粉末であって、その組成は、25~35重量の希土類元素と、3重量以下のGa及びNbと、5重量以下のBと、残部が実質的にFeであるか又はFeの20重量以下をCoで置換したFeおよびCoからなり、かつ不純物である水素が0.20重量以下であることを特徴とする希土類-遷移金属系合金粉末。角形性が300kA/m以上であることを特徴とする請求項3に記載の希土類-遷移金属系合金粉末。本発明の目的は、前述した背景技術に鑑み、還元拡散法により得られる希土類-遷移金属系合金粉末の減磁曲線の角形性を改善し、永久磁石性能を高めることができる希土類-遷移金属系合金粉末とその製造方法を提供することにある。本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、還元拡散法の熱処理後に得られる希土類-遷移金属系合金を含む反応生成物に対して、湿式処理する前に水素ガスを供給し特定条件で熱処理HDDRを施した後、さらに真空もしくは希薄水素ガス雰囲気下の特定条件で熱処理を施し、その後、水で湿式処理してから特定条件で乾燥することにより、希土類-遷移金属系合金粉末の減磁曲線の角形性を改善できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の第1の発明によれば、希土類酸化物粉末と、遷移金属粉末および/またはその酸化物粉末と、粒状または粉末状の、アルカリ金属、アルカリ土類金属およびこれらの水素化物から選ばれる少なくとも1種の還元剤とを混合し、不活性雰囲気中で該混合物を850~1200°Cの温度で1~10時間保持して希土類-遷移金属系合金を含む反応生成混合物を得る第1の工程、この反応生成混合物を300°C以下に冷却した後、水素ガスを導入し、水素ガス分圧20~40kPaの雰囲気中において700~900°Cの温度で1~20時間保持する第2の工程、第2の工程で得られた反応生成混合物を真空もしくは水素ガス分圧10kPa未満の雰囲気下500~900°Cで10分~20時間熱処理する第3の工程、得られた熱処理物を水で洗浄し、還元剤を含む副生物を除去して希土類-遷移金属系合金を回収する第4の工程、洗浄後の希土類-遷移金属系合金を150~400°Cの非酸化性雰囲気下で乾燥する第5の工程とを含むことを特徴とする希土類-遷移金属系合金粉末の製造方法が提供される。また、本発明の第2の発明によれば、第1の発明において、第1の工程で用いる遷移金属粉末および/またはその酸化物粉末の平均粒径が、50μm以下であることを特徴とする希土類-遷移金属系合金粉末の製造方法が提供される。また、本発明の第3の発明によれば、第1又は2の発明の方法で得られた希土類-遷移金属系合金粉末であって、その組成は、25~35重量の希土類元素と、3重量以下のGa及びNbと、5重量以下のBと、残部が実質的にFeであるか又はFeの20重量以下をCoで置換したFeおよびCoからなり、かつ不純物である水素が0.20重量以下であることを特徴とする希土類-遷移金属系合金粉末が提供される。一方、本発明の第4の発明によれば、第3の発明において、角形性が300kA/m以上であることを特徴とする希土類-遷移金属系合金粉末が提供される。本発明の希土類-遷移金属系合金粉末は、還元拡散法を採用しているので原料コストを低減でき、かつ反応生成物の水素処理と湿式処理後の乾燥処理を特定の条件で行うので、従来技術で課題だった角形性を改善することができる。また、この方法によれば、水素や湿式処理での水の使用量を削減できるから省エネルギーの特徴を活かすこともでき、その工業的価値は極めて大きい。以下、本発明の希土類-遷移金属系合金粉末とその製造方法について詳細に説明する。1.希土類-遷移金属系合金粉末の製造方法本発明の希土類-遷移金属系合金粉末の製造方法は、1希土類酸化物粉末と、遷移金属粉末および/またはその酸化物粉末と、粒状または粉末状の、アルカリ金属、アルカリ土類金属およびこれらの水素化物から選ばれる少なくとも1種の還元剤とを混合し、不活性雰囲気中で該混合物を850~1200°Cで1~10時間保持して希土類-遷移金属系合金を含む反応生成混合物を得る第1の工程、2この反応生成混合物を300°C以下に冷却した後、水素ガスを導入し、水素ガス分圧20~40kPaの雰囲気中において700~900°Cの温度で1~20時間保持する第2の工程、3得られた反応生成混合物を真空もしくは水素ガス分圧10kPa未満の雰囲気下500~900°Cで10分~20時間熱処理する第3の工程、4得られた熱処理物を水で洗浄し、還元剤を含む副生物を除去して希土類-遷移金属系合金を回収する第4の工程、及び5洗浄後の希土類-遷移金属系合金を150~400°Cの非酸化性雰囲気下で乾燥する第5の工程を含んでいる。1第1の工程反応生成混合物の製造本発明では、希土類酸化物粉末、遷移金属粉末、及び該希土類酸化物を還元するための還元剤を混合した後、該混合物を不活性雰囲気中で加熱焼成して、希土類-遷移金属系合金を含む反応生成混合物を得る還元拡散法を採用する。希土類酸化物希土類酸化物は、希土類元素、すなわち、例えば、Y、La、Ce、Pr、Nd、およびSmの群から選ばれる少なくとも1種以上の元素の酸化物である。希土類元素の中では、Nd、およびSm、特に、Ndが好ましく、Ndが希土類元素の50原子以上含むと高い保磁力を持つ材料が得られる。希土類酸化物粉末は、目標組成より5~30質量程度多く入れることが好ましい。これは希土類元素の投入量が少ないと還元剤を除去する湿式処理時に希土類元素成分がより多く溶け出てしまうため、希土類元素量が目標組成以下となって希土類が不足し軟磁性相が出現してしまい保磁力を下げてしまうからである。一方、希土類成分が上記範囲より多すぎると非磁性相が多くなり磁化が下がってしまうため好ましくない。遷移金属粉末遷移金属粉末は、鉄の金属粉末を必須として、鉄酸化物粉末、コバルト粉末、ニッケル粉末などの鉄含有粉末を混合することができる。鉄粉末としては、例えば還元鉄粉、ガスアトマイズ粉、水アトマイズ粉、電解鉄粉などが使用でき、必要に応じて最適な粒度になるように分級する。ここで遷移金属粉末の30質量までを鉄酸化物粉末として投入し、還元拡散反応の発熱量を調整することもできる。この他、最終的に得られる希土類-遷移金属系合金粉末の磁気特性、温度特性、耐蝕性などの物性を改善するために、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Ag、In、Sn、Hf、Ta、W、Re、Pt、Au、B、C、Al、Si、P、Sなど公知の添加元素を含有させることができる。この場合、それら添加元素は、その単体粉末、酸化物粉末、他の構成元素との合金粉末や複合酸化物粉末などの形態で、希土類酸化物粉末と遷移金属粉末とからなる原料粉末に混合される。還元剤還元剤には、希土類酸化物を還元する機能を有するアルカリ金属又はアルカリ土類金属及びこれらの水素化物が用いられる。例えば、Li及び/又はCa、あるいはこれらの元素とNa、K、Mg、Sr又はBaから選ばれる少なくとも1種が使用できる。取扱いやすいのは粒状の金属カルシウムである。その粒度としては、1~5mm程度のものが望ましい。これら還元剤は、その投入量と粉体性状、希土類酸化物の粉体性状、各種原料粉末の混合状態、還元拡散反応の温度と時間を注意深く制御して使用することが望ましい。なお、上記還元剤の中では、取り扱いの安全性とコストの点から、金属Li又はCaが好ましく、特にCaが好ましい。還元剤の投入量は、該希土類酸化物を還元するに足るように、反応当量よりも若干過剰とすることが好ましい。還元剤を当量より過剰にしないと容器内の残存酸素や水分により還元剤が酸化し、希土類酸化物を十分還元できなくなり磁石粉末特性を低下させてしまう。混合方法としては、乾式、湿式いずれの方法でもよいが、湿式ボールミルなどの利用が均一性の点で望ましい。なお湿式混合においては、その後の乾燥等の取扱いで比重差による分離が起こらないような注意が必要である。なお湿式混合の場合には、還元剤となるアルカリ金属、アルカリ土類金属及びこれらの水素化物は最後に乾式で混合する。上記混合物を、還元拡散を行うための反応容器に移す際には、希土類酸化物などは平均粒径が数μmと細かく粉が飛散しやすく、飛散を防止するためにカバー等を取り付けることが好ましい。この操作により合金粉に組成ずれを起こすことが抑制できる。その後、上記混合物を投入した反応容器を還元拡散炉に入れ、酸素が実質的に存在しない非酸化性雰囲気とすることが好ましい。第1の工程では、希土類酸化物粉末と遷移金属粉末あるいはその酸化物粉末を含む混合原料を、金属Caを還元剤として混合し熱処理する。混合物は、アルゴンガスなどの不活性雰囲気中で加熱される。このとき炉内を一旦減圧してから置換するのが望ましい。加熱温度は850~1200°Cとし、原料の粒度を考慮し、還元されて生成した希土類金属が遷移金属原料粉末内部まで十分拡散する時間保持する。加熱温度が850°C未満では還元反応と拡散反応が不均一で生成した希土類-遷移金属系合金粒子に希土類元素未拡散部ができやすい。また1200°Cを超えると、反応生成物中の希土類-遷移金属系合金粒子同士が焼結し、第4の工程で湿式処理しても崩壊性が悪く粉末化しにくい。加熱時間は、1~10時間とし、4~8時間が好ましい。還元拡散法の熱処理によって形成される希土類-遷移金属系合金粒子の粒径は、熱処理条件にも左右されるが、原料である遷移金属粉末の粒径に大きく影響される。本発明では遷移金属粉末原料の平均粒度は100μm以下であり、50μm以下であることが望ましく、30μm以下であることがさらに望ましい。平均粒度が100μmを超えると、Caで還元された希土類金属が遷移金属粒子の中心部まで拡散するのに時間がかかり、未拡散部が生成し合金粉末の磁気特性を低下させる。平均粒度が50μm以下、さらには30μm以下になると、最終的に得られた合金粉末の角形性がより向上する。これは、第2の工程の水素を含む熱処理において、希土類-遷移金属系合金粒子が小さいほど、合金粒子が水素を吸収し化合物の格子定数が大きくなる際にクラックが入りにくいことが効いているものと推測される。それ以外の原料粉末については、混合後の原料の均一性を高めるために平均粒度を10μm以下にすることが望ましく、特に微量添加元素となる原料粉末については5μm以下、さらに望ましくは1μm以下にして混合するのが望ましい。2第2の工程HDDR処理第1工程の熱処理が終了したら炉内で反応生成物を300°C以下に冷却し、水素を含む雰囲気ガスを導入する。第1の工程で得られた反応生成物中の希土類-遷移金属系合金粒子は、その表面が極めて活性であり、その活性を維持するために可能な限り反応生成物は大気に触れさせないことが望ましい。なお冷却温度は200°C以下が望ましく、100°C以下がさらに望ましい。300°Cを超えると、水素を含む雰囲気ガスの導入によって、反応生成物中の希土類-遷移金属系合金粒子が発熱しながら水素と急激に反応し、最終的に得られる合金粉末の角形性が低下する。100°C以下で水素を含む雰囲気ガスを導入すると合金粒子が徐々に水素を吸収し、金属間化合物の格子定数が増大する。この格子定数の増大に伴い、希土類-遷移金属系合金粒子にはクラックが入るが、第1の工程で遷移金属粉末原料の平均粒径が50μm以下、さらには30μm以下の小さなものを選択した場合には、格子定数増大による歪みが緩和され、クラックが入りにくい。水素吸収が安定した後、第2の工程として、700~900°Cに昇温し保持する。これにより希土類-遷移金属系合金が、希土類水素化物相、遷移金属リッチ相に分解する。Nd2Fe14B系合金の場合には、水素化ネオジム相、α鉄相、フェロボロン相に分解する。温度が700°C未満では分解が進まず、900°Cを超えると分解した組織の大きさにばらつきが生じる。いずれも最終的な合金粉末の角形性を低下させる。昇温及び保持時の雰囲気ガスは、アルゴンやヘリウムガスなどの不活性ガスとの混合ガスとするのが望ましく、この混合ガスを炉内に流通させ、水素分圧を20~40kPaとする。水素分圧は30~40kPaとするのが好ましい。20kPa未満では分解が進行せず、40kPaを超えると分解した組織の大きさがばらつく。保持時間は、組織の分解進行状況により適宜選択されるが、1時間から20時間の間で選択する。保持時間は、1~15時間が好ましく、1~10時間がより好ましい。ところで、前記特許文献6には、還元拡散法の焼成物を水素処理した後、水中に投入して洗浄し、乾燥することによりSm-Co系またはNd-Fe-B系合金粉末を製造する技術が開示されている。しかしながら、この特許文献6における水素処理の目的は、洗浄による収率向上であり、水素処理の温度範囲も100~600°Cとされている。600°Cを超えると目的の合金化合物が分解したり副生成物が生じると記載されていて、本発明の700~900°Cの温度は不適当であることが示唆されていることから、全く別の技術思想によるものである。3第3の製造工程熱処理第2の工程で得られた分解した金属組織を有する希土類-遷移金属系合金粒子は、真空もしくは水素ガス分圧10kPa未満の雰囲気下500~900°Cで熱処理する。これにより、分解した組織が再結合し元の金属間化合物相が形成され、その結晶粒径は500nm未満となる。ここで水素ガス分圧が10kPa以上あるいは温度が500°C未満では、再結合した金属組織の形成が不十分で合金粉末の角形性が改善しない。また900°Cを超えると、再結合組織の結晶粒径が粗大化し、保磁力及び角形性が改善しない。したがって、水素ガス分圧が100Pa以下、かつ600~900°Cで熱処理することが好ましく、水素ガス分圧が80Pa以下、かつ700~900°Cで熱処理することがより好ましい。熱処理の保持時間は、再結合組織の形成状況により適宜選択されるが、10分から20時間の間で選択される。保持時間は、30分~10時間が好ましく、30分~5時間がより好ましい。その後、その雰囲気を保ったまま室温まで冷却し、第4の工程に投入する。4第4の製造工程湿式処理第4の工程では、冷却後の反応生成物を水中に投入し、デカンテーションを繰り返しながら還元剤として用いたCa成分を除去し、希土類-遷移金属系合金粒子を回収する。第3の工程で冷却後の反応生成物は、数mmから数10mm程度に崩壊しており、これを水中に投入すると速やかにスラリ化する。攪拌と静置、上澄み除去を繰り返し、Ca成分を除去する。さらにCa成分を除去するために、塩酸や酢酸などの希薄水溶液を投入してもよい。洗浄後の合金粉末を濾過して回収し、アルコールで水分を置換して、次の第5の工程で乾燥する。5第5の製造工程乾燥処理第5の工程では、回収された合金粉末を150~400°Cの非酸化性雰囲気下で乾燥する。この工程では、水分と第4の工程で合金粉末表面層に拡散した水素を除去し、0.20重量以下にすることが必要である。ここで乾燥温度が150°C未満では水素の除去が不完全となり0.20重量以下にすることができず、また400°Cを超えると非酸化性雰囲気でも合金粉末が酸化して、角形性が低下する。また、乾燥時間は、粉末の処理量、静置乾燥か、攪拌乾燥かなどにより、水分と水素除去に必要な時間として、合金粉末の不純物水素量が0.20重量以下になるように設定される。第2の工程によって合金粉末表面にクラックが形成された場合には、クラック内部に浸入した水分や水素が十分除去され、合金粉末の不純物水素量が0.20重量以下になるように、乾燥温度や時間を調整する必要がある。合金粉末に残留する不純物水素量が0.20重量を超えると、角形性が低下する。乾燥温度は、200~300°Cが好ましく、非酸化性雰囲気下で乾燥する前に50~100°Cの真空下で事前乾燥することがより好ましい。2.希土類-遷移金属系合金粉末本発明の希土類-遷移金属系合金粉末は、上記の製造方法で得られるものであり、希土類元素と遷移金属元素とを含む金属間化合物合金を主相とするものであれば、特に制限されない。例えば、正方晶のNd2Fe14B系の合金、Th2Zn17型構造を有するSm2Co17系の合金やSm2Fe17N3系の合金、CaCu5型構造を有するSmCo5系の合金などの各種合金に適用できる。これらの合金には、その磁気特性、温度特性、耐蝕性などの物性を改善するために、Ga及びNbなど公知の添加元素を含有させることができる。添加元素は、その単体粉末、酸化物粉末、他の構成元素との合金粉末や複合酸化物粉末などの形態で、希土類酸化物粉末と遷移金属粉末とからなる原料粉末に混合される。その組成は、25~35重量の希土類元素と、3重量以下のGa及びNbと、5重量以下のBと、残部が実質的にFeであるか又はFeの20重量以下をCoで置換したFeおよびCoからなり、かつ不純物である水素が0.20重量以下であることが好ましい。本発明の希土類-遷移金属系合金粉末は、上記の組成を有し、平均粒径が5~50μmであり、減磁曲線の角形性が向上している。これは、第2の工程の水素を含む熱処理において、希土類-遷移金属系合金粒子が小さいほど、合金粒子が水素を吸収し化合物の格子定数が大きくなる際にクラックが入りにくいことが効いているものと推測される。また、第5の工程で、合金粉末が150~400°Cの非酸化性雰囲気下で十分に乾燥され、水分と第4の工程で合金粉末表面層に拡散した水素が除去されるためと推測される。以下、実施例及び比較例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明は、これら実施例によって何ら限定されるものではない。得られた合金粉末は次の方法で測定した。<平均粒径の測定>合金粉末の平均粒径は、レーザー回折式粒度分布計Sympatec社製を用いて測定を行った。<磁気特性評価>合金粉末の磁気特性は、最大印可磁界1200kA/mの振動試料型磁力計東英工業株式会社製、VSM-3で測定した。この測定では、日本ボンド磁石工業協会ボンド磁石試験法ガイドブックBMG-2005に準じて1600kA/mの配向磁界をかけて試料を作製し、4000kA/mの磁界で着磁してから評価した。[実施例1]第1の工程として、平均粒度8μmの酸化ネオジム粉末Nd2O3純度99.5400g、平均粒度5μmの酸化ニオブ粉末Nb2O5純度99.94.7g、平均粒度22μmの酸化ガリウム粉末Ga2O3純度99.95.0gを、水を溶媒として回転ボールミルにより18時間かけて粉砕混合した。回収された混合物を水分量が1重量以下になるまで乾燥し、これに粒度325メッシュ以下の電解鉄粉720g、粒度200メッシュ以下のフェロボロンB含量19.862g、金属Ca粒Ca純度99175gを加えて、Vブレンダで混合した。この混合物を鋼製反応容器に挿入して電気炉に入れ、炉内を5kPaまで減圧した後にアルゴンガスで置換し、その後アルゴンガスを1L/minで流通させながら1050°Cまで昇温し、1050°Cで4時間保持した。その後、28°Cまで冷却し容器内部を10kPaまで減圧した後、水素ガスを101kPaまで導入し、その圧力を保ちながら3時間保持した。次に第2の工程として、容器内に水素ガスとアルゴンガスの混合ガスを、水素分圧が36kPaとなるように流通させながら800°Cまで昇温し、3時間保持した。その後、第3の工程として、800°Cを維持したまま容器内をアルゴンガスで置換した後、50Paまで減圧して30分保持し、その後室温まで冷却した。冷却後に反応容器から回収された反応生成混合物は、第1の工程でできた焼結塊が数10mm以下に崩壊した状態となっていた。次に第4の工程として、これを10Lの水中に投入したところ、1時間以内にほぼ完全に崩壊した。デカンテーションを繰り返しながら、生じたスラリから水酸化カルシウム懸濁物を分離し、さらに注水するとスラリpHは10まで低下した。さらに希酢酸を滴下してpH6.5に調整しながら10分間保持し、濾過してエタノールを掛けて脱水置換し、合金粉末を回収した。さらに第5の工程として、回収された合金粉末をミキサ乾燥機に入れ、10Paの真空中80°C1時間保持した後、温度を250°Cに上げて2時間保持し、その後冷却した。回収された合金粉末の平均粒径は28μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.21wt、Ca0.01wt、H0.06wt、残部がFeだった。また、この合金粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.27T、保磁力Hc1030kA/m、角形性Hk430kA/mだった。[比較例1]実施例1において、第1の工程の後、28°Cまで冷却された反応生成混合物を容器から回収し、10Lの水中に投入した。実施例1と同様に、デカンテーションを繰り返して水酸化カルシウム懸濁物を分離し、pH10となったスラリに希酢酸を滴下してpH6.0を維持しながら10分保持し、濾過、エタノールによる脱水置換した後、ミキサ乾燥機に入れて、10Paの真空中80°Cで1時間保持した。得られた合金粉末の平均粒径は34μmであり、組成は、Nd29.7wt、B1.08wt、Ga0.33wt、Nb0.28wt、O0.20wt、Ca0.03wt、残部がFeだった。この合金粉末を、再び反応容器に入れて容器内部を10kPaまで減圧した後、水素ガスを101kPaまで導入し、その圧力を保ちながら3時間保持した。次に、容器内に水素ガスとアルゴンガスの混合ガスを、水素分圧が36kPaとなるように流通させながら800°Cまで昇温し、3時間保持した。次に800°Cを維持したまま容器内をアルゴンガスで置換した後、5kPaまで減圧して30分保持し、さらに10Paまで減圧してから室温まで冷却した。冷却後に回収された粉末の磁気特性は、Br1.23T、Hc920kA/m、Hk250kA/mであり、不純物水素量は0.02wtだった。[実施例2]第1の工程での熱処理温度を900°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は24μmであり、組成は、Nd29.3wt、B1.05wt、Ga0.31wt、Nb0.30wt、O0.18wt、Ca0.01wt、H0.05wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.25T、保磁力Hc1080kA/m、角形性Hk400kA/mだった。[実施例3]第1の工程での熱処理温度を1150°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は33μmであり、組成は、Nd29.7wt、B1.07wt、Ga0.28wt、Nb0.30wt、O0.22wt、Ca0.02wt、H0.04wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.30T、保磁力Hc980kA/m、角形性Hk440kA/mだった。[比較例2]第1の工程での熱処理温度を800°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造したが、希土類酸化物の還元が進まず未拡散の鉄も多い粉末であった。[比較例3]第1の工程での熱処理温度を1250°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。反応生成混合物中の粒子の焼結が進み、第4の工程での崩壊性も悪く、回収された合金粉末の平均粒径は80μmであり、組成は、Nd29.3wt、B1.05wt、Ga0.31wt、Nb0.30wt、O2.2wt、Ca3.0wt、H0.23wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.02T、保磁力Hc520kA/m、角形性Hk40kA/mだった。[実施例4]第2の工程での熱処理温度を750°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は30μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.06wt、Ga0.30wt、Nb0.28wt、O0.21wt、Ca0.01wt、H0.09wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.25T、保磁力Hc990kA/m、角形性Hk390kA/mだった。[実施例5]第2の工程での熱処理温度を850°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は25μmであり、組成は、Nd29.1wt、B1.06wt、Ga0.28wt、Nb0.28wt、O0.20wt、Ca0.01wt、H0.11wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.27T、保磁力Hc1010kA/m、角形性Hk420kA/mだった。[比較例4]第2の工程での熱処理温度を650°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は35μmであり、組成は、Nd29.8wt、B1.06wt、Ga0.30wt、Nb0.29wt、O0.18wt、Ca0.01wt、H0.65wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.21T、保磁力Hc690kA/m、角形性Hk130kA/mだった。[比較例5]第2の工程での熱処理温度を950°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は29μmであり、組成は、Nd29.8wt、B1.06wt、Ga0.30wt、Nb0.29wt、O0.18wt、Ca0.01wt、H0.05重量、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.18T、保磁力Hc730kA/m、角形性Hk160kA/mだった。[実施例6]第2の工程終了後、第3の工程での熱処理温度を550°Cまで下げてから容器内をアルゴンガスで置換し、その後5kPaまで減圧して30分保持し、室温まで冷却した。それ以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は27μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.21wt、Ca0.01wt、H0.18wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.24T、保磁力Hc920kA/m、角形性Hk380kA/mだった。[実施例7]第2の工程終了後、第3の工程での熱処理温度を850°Cまで上げてから容器内をアルゴンガスで置換し、その後5kPaまで減圧して30分保持し、室温まで冷却した。それ以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は28μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.31wt、Nb0.28wt、O0.20wt、Ca0.01wt、H0.04wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.28T、保磁力Hc1000kA/m、角形性Hk400kA/mだった。[比較例6]第2の工程終了後、第3の工程での熱処理温度を450°Cまで下げてから容器内をアルゴンガスで置換し、その後5kPaまで減圧して30分保持し、室温まで冷却した。それ以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は25μmであり、組成は、Nd28.2wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.63wt、Ca0.06wt、H0.23wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br0.81T、保磁力Hc90kA/m、角形性Hk10kA/mだった。[比較例7]第2の工程終了後、第3の工程での熱処理温度を950°Cまで上げてから容器内をアルゴンガスで置換し、その後5kPaまで減圧して30分保持し、室温まで冷却した。それ以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は29μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.07wt、Ga0.33wt、Nb0.28wt、O0.22wt、Ca0.01wt、H0.03wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.14T、保磁力Hc620kA/m、角形性Hk210kA/mだった。[実施例8]第3の工程での熱処理雰囲気を、アルゴンガスを流通させたまま減圧しなかった以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は29μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.24wt、Ca0.01wt、H0.11wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.26T、保磁力Hc1040kA/m、角形性Hk400kA/mだった。[比較例8]第3の工程での熱処理雰囲気を、アルゴンガスと水素ガスを、水素ガス分圧が20kPaとなるよう流通させた以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は29μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.24wt、Ca0.01wt、H0.25wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.06T、保磁力Hc760kA/m、角形性Hk180kA/mだった。[実施例9]第5の工程での乾燥温度を170°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は28μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.23wt、Ca0.01wt、H0.13wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.30T、保磁力Hc1010kA/m、角形性Hk410kA/mだった。[実施例10]第5の工程での乾燥温度を350°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は28μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.24wt、Ca0.01wt、H0.05wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.29T、保磁力Hc1020kA/m、角形性Hk420kA/mだった。[比較例9]第5の工程での乾燥温度を100°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は28μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.20wt、Ca0.01wt、H0.30wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.30T、保磁力Hc710kA/m、角形性Hk210kA/mだった。[比較例10]第5の工程での乾燥温度を450°Cとした以外は、実施例1と同様にして希土類-遷移金属系合金粉末を製造した。回収された合金粉末の平均粒径は28μmであり、組成は、Nd29.5wt、B1.08wt、Ga0.32wt、Nb0.28wt、O0.29wt、Ca0.01wt、H0.03wt、残部がFeだった。また粉末の磁気特性は、残留磁束密度Br1.11T、保磁力Hc920kA/m、角形性Hk250kA/mだった。評価実施例1と比較例1を比べることにより、還元拡散法の熱処理と湿式処理の間に第2および第3の工程を入れることで、角形性Hkが著しく向上していることが分かる。比較例2および3と実施例1~3を比較することによって、第1の工程での熱処理温度が850°C未満では目的とする希土類-遷移金属系合金粒子が得られず、1200°Cを超えると角形性Hkが低下することが分かる。比較例4および5と、実施例1、4,5とを比較することにより、第2の工程での熱処理温度が700°C未満あるいは900°Cを超えると角形性Hkが低下することが分かる。比較例6および7と、実施例1、6、7とを比較すると、第3の工程での熱処理温度が500°C未満あるいは900°Cを超えると角形性Hkが低下することが分かる。比較例8と実施例1、8とを比較すると、第3の工程での熱処理雰囲気の水素ガス分圧が10kPaを超えると、合金粉末のHkが低下することが分かる。さらに、比較例9および10と、実施例1、9、10とを比較すると、第5の工程で乾燥温度を150°C未満とすると水素量が0.20重量を超えていることにより、また400°Cを超えると酸素量が0.29wtと実施例より増加していることから酸化により、それぞれ角形性Hkが低下していることが分かる。"