"稼働中の工具の振動による変位を非接触式変位センサで測定し、前記工具の摩耗、チッピング、欠損のうちの少なくとも何れか1つである損傷による異常有無の判別値として設定した閾値と比較して異常判定を行うことを特徴とする工具損傷検出方法。稼働中の工具の振動による変位を測定する非接触式変位センサと、該センサの測定値を、前記工具の摩耗、チッピング、欠損のうちの少なくとも何れか1つである損傷による異常有無の判別値として設定された閾値と比較して異常判定を行う演算手段とを備えたことを特徴とする工具損傷検出装置。前記1直接法において、イ工具形状による方法は、複数のチップを有した工具、先端に切屑が付着している場合の異常判定は困難である。又、切削中インプロセスでの検出の出来ない欠点がある。ロ工具重量による方法は、湿式切削時では切削水の影響を受けるので適用できない。又、インプロセス検出できない。ハ画像処理による方法は、大掛かりな設備となるので導入コストが大きい。又、インプロセス検出できない。ニ温度による方法は、工具先端部まで熱電対温度測定用線を挿入し測定するので、工具自体を加工する必要がある。よってコスト増加、工具剛性の低下が懸念される場合もある。インプロセスでの検出はできるが、突発的な工具損傷に対しての温度変化が検出したい工具状態までに捉える事できるか、又切削水の影響については十分に調査する必要がある。上述の様に、直接法では切削中に直接工具の状態を検出する事は難しく、前記方法の殆どが切削終了後ポストプロセスでの検出しかできない。前記2間接法のうち2A切削状態より検出する方法において、イ切削個数、時間による方法は、工具寿命前の工具を交換してしまう場合と、突発的な損傷に対応できないので工具の大きな損傷、不良品が発生してしまう場合があるのが欠点である。工具費、品質面でのデメリットが大きい。ロ切削力切削抵抗3分力、スラスト、切削トルクによる方法では、測定装置の取付の為にホルダの改造若しくは、ワーク台の改造が必要となる。又、工具損傷以外の要因、例えば工具の偏心、びびり振動による外乱の影響による誤検出の問題、損傷前後の変動差が少なく的確な閾値を設定するのが難しいといった問題がある。ハモータ負荷による方法は、大きな工具損傷の際には検出可能であるが、工具の重大損傷に至るまでのチップの欠け、チッピングの段階での検出は難しい。又、小径ドリルのような切削時のモータ出力がちいさいものに関しては、電力変化が微小であるので検出し難い。ニ振動による方法は、切削加工している機械からだけでなく、他設備からの振動が外乱となるので、工場内での使用には向いていない。ホ切削音による方法は、設置環境によっては外乱が大きいので、工場内での使用には向いていない。ヘAEによる方法は、切削音、切削水の音が外乱となり、誤検出を起こす事も少なくない。又、切削条件切削方法、工具、被削材、設置環境により、AEの発生状況は変化するので、閾値の設定が困難である。2B被削材の状態により検出する方法において、イ粗さ、光沢による方法は、切削面が工具で隠れてしまうような切削、切削水を使用する切削では測定不可能であるのでインプロセスでの検出は難しい。特許文献14では加工後の状態により判定している。ロ切屑による方法は、切削水の影響も大きく受け、何処へ飛んでいくかもわからない切屑を全て捕捉する事はできないため、切屑からの情報による工具損傷判定は困難である。以上のように、従来は、直接法ではインプロセスでの検出が難しく、一方、間接法では外乱が多くて閾値の設定が困難であるという課題があった。そこで、本発明は、外乱の少ないインプロセス検出手段を提供することを目的とする。前記課題を解決する為に成された本発明は以下の通りである。1稼働中の工具の振動による変位を非接触式変位センサで測定し、前記工具の摩耗、チッピング、欠損のうちの少なくとも何れか1つである損傷による異常有無の判別値として設定した閾値と比較して異常判定を行うことを特徴とする工具損傷検出方法。2稼働中の工具の振動による変位を測定する非接触式変位センサと、該センサの測定値を、前記工具の摩耗、チッピング、欠損のうちの少なくとも何れか1つである損傷による異常有無の判別値として設定された閾値と比較して異常判定を行う演算手段とを備えたことを特徴とする工具損傷検出装置。本発明によれば、工具損傷を該工具の稼働中詳しくは、該工具を装着した加工設備の稼働中に検出する事ができるので、稼働後に検出するよりも稼働率の向上、工具費の低減と加工品質の維持を図る事ができる。又簡単な距離検出手段である非接触式変位センサを用いるのみなので導入コスト、運用コストを抑える事ができる。本発明の実施形態について、例を挙げて説明する。この例では、工作機械例えば数値工作機械の工具損傷検出にあたり、ドリル等の回転工具による切削加工中、非接触式変位センサにより、回転工具までの距離を測定し、距離測定データを閾値と比較する。そして、或る一定時間の間、測定値が閾値と比較して或る条件を満たさなければ、異常切削状態であると判定する。作業者は前記異常判定の情報を得て、例えば、直ちに切削加工を中止する等の、対応措置をとる事ができる。図1は、前記実施形態の例に係る工具損傷検出装置を示す概略図であり、1は非接触式変位センサレーザー式、超音波式など、2は回転工具例:ドリル、3はクイル、4は被削材、5は工作機械、6は演算手段である。回転工具2はクイル3にて工作機械5に装着され、回転駆動されて稼働する。非接触式変位センサ1は回転工具2による切削加工例:ドリルによる穴開け加工において、被削材4に固定又は工作機械5側から足を取り固定され、回転工具2の稼働中に、該非接触式変位センサ1の測距直線の基点から測距対象である回転工具2のセンサ対向面と前記測距直線との交点までの距離を所定のサンプリング周期で測定する。前記測距直線は静止状態の回転工具の回転中心軸に直交するよう設定されている。非接触式変位センサ1による距離測定データは、演算手段パソコンなど6に送信され、閾値と比較される。該閾値は、回転工具2の摩耗、チッピング、欠損のうちの少なくとも何れか1つである損傷による異常有無の判別値として設定されている。図2は測定対象が溝無し回転工具である場合を示す断面図であり、この場合の距離サンプリングデータ距離dの線図を図3に示す。図示の様に距離dの値の経時変化の描線は、正常時には直線状、異常時振動発生時には波形状となる。この場合、閾値は正常時の値±εとされる。εは加工製品寸法公差などに基いて設定される。演算手段6は、距離dを閾値と比較し、設定時間内に一定回数以上若しくは一定時間以上、距離dが閾値の範囲を外れれば、異常である工具損傷が発生したと判定する。図4は測定対象が溝付き回転工具である場合を示す断面図であり、この場合の距離サンプリングデータ距離dの線図を図5に示す。工具2の溝の部分で距離dは大きくなるから、距離dの時間変化の描線は、正常時であっても波形状になるが、異常振動が発生したとき、前記波形状描線は、正常時と比べ波形の振幅が過大或いは過小となる。そこで、例えば正常時の波形の下端位置に関して下側位置に閾値A、上側位置に閾値Bを設定し、これら閾値A,Bと距離dとの比較により異常判定を行う。即ち、設定時間内に一定回数以上若しくは一定時間以上、距離dが閾値A未満となる事若しくは距離dが閾値B超となる事が起ったら、異常である工具損傷が発生したと判定する。又、非接触式変位センサ1は1つとは限らず2つ以上用いてもよい。例えば図6に示す様に、2つの非接触式変位センサ1を、測距直線が互いに直交するように配置すれば、図4の場合非接触式変位センサが1つのみの場合と比べ、距離d1方向のみならず距離d2方向の異常振動も検出でき、工具損傷検出精度を更に向上させることができる。"