光源と、ディスク状の記録媒体の回転に応じて前記記録媒体に対して浮上して相対移動するスライダと、前記スライダに設けられ、厚み方向y方向と直交する幅方向x方向に所定の幅を有し、前記幅方向及び前記厚み方向の双方に直交する伝播方向z方向の一端に位置する導波路入射面で前記光源からの光を受け、前記伝播方向の他端側に位置する前記記録媒体に向かって前記光を伝播させる導波路と、を有する光アシスト磁気ヘッドであって、前記光源からの光は、集光または拡散の作用を受けずに前記導波路入射面に導かれ、前記光源の発光点において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0xと、前記導波路入射面において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w1xとしたとき、前記幅方向の相対強度がexp-2となる前記導波路のモードフィールド直径MFDxが、以下に示す第1の条件を満たすように、前記光源と前記導波路とが光学的結合構造を構成することを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。[数1]但し、αは、以下の式により定義される。[数2]前記導波路入射面に対する前記光の位置ズレ量が1.5μm以下の範囲において、結合効率が15以上であることを特徴とする請求項1に記載の光アシスト磁気ヘッド。前記導波路は、基板上に前記厚み方向に積層された第1のクラッド層と、コア層と、第2のクラッド層とを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光アシスト磁気ヘッド。前記モードフィールド直径MFDxが、前記第1の条件に代えて、以下に示す第2の条件を満たすことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光アシスト磁気ヘッド。[数3]前記光源が前記光を出射する出射面から前記導波路入射面までの空気換算距離zが、前記光の波長λと、前記光のスポットの前記導波路入射面における前記厚み方向の位置ズレ量Δyと、前記光源の発光点において前記光の前記厚み方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0yと、前記導波路において前記厚み方向の相対強度がexp-2となるモードフィールド半径w2yと、前記導波路入射面上において前記スポットの位置ズレが生じていない場合の結合効率を1として、前記スポットの前記厚み方向の位置ズレに伴う相対的な結合効率を示す相対結合効率Δηyと、を用いて次の条件を満たすことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の光アシスト磁気ヘッド。[数4]但し、前記相対結合効率Δηyは、第3の条件としてΔηy≧0.4を満たす。前記相対結合効率Δηyが、前記第3の条件に代えて、第4の条件としてΔηy≧0.5を満たすことを特徴とする請求項5に記載の光アシスト磁気ヘッド。前記光源と前記導波路との間に位置し、前記光源からの光が前記導波路入射面に入射するように前記光を偏向させる偏向部を設けたことを特徴とする請求項6に記載の光アシスト磁気ヘッド。前記偏向部は、前記光源からの光を反射させて前記導波路入射面に導く平面ミラーであることを特徴とする請求項7に記載の光アシスト磁気ヘッド。前記平面ミラーは、表面反射型のミラー、または内面反射型のプリズムであることを特徴とする請求項8に記載の光アシスト磁気ヘッド。光源と、厚み方向y方向と直交する幅方向x方向に所定の幅を有し、前記幅方向及び前記厚み方向の双方に直交する伝播方向z方向の一端に位置する導波路入射面で前記光源からの光を受け、前記伝播方向の他端に前記光を伝播させる導波路と、の光学的結合構造であって、前記光源からの光は、集光または拡散の作用を受けずに前記導波路入射面に導かれ、前記光源の発光点において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0xと、前記導波路入射面において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w1xとしたとき、前記幅方向の相対強度がexp-2となる前記導波路のモードフィールド直径MFDxが、以下に示す第1の条件を満たすことを特徴とする光学的結合構造。[数1]但し、αは、以下の式により定義される。[数2]前記導波路入射面に対する前記光の位置ズレ量が1.5μm以下の範囲において、結合効率が15以上であることを特徴とする請求項10に記載の光学的結合構造。前記導波路は、基板上に前記厚み方向に積層された第1のクラッド層と、コア層と、第2のクラッド層とを有することを特徴とする請求項10または請求項11に記載の光学的結合構造。前記モードフィールド直径MFDxが、前記第1の条件に代えて、以下に示す第2の条件を満たすことを特徴とする請求項10乃至請求項12のいずれかに記載の光学的結合構造。[数3]前記光源の発光点から前記導波路入射面までの空気換算距離zが、前記光の波長λと、前記光のスポットの前記導波路入射面における前記厚み方向の位置ズレ量Δyと、前記光源の発光点において前記光の前記厚み方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0yと、前記導波路において前記厚み方向の相対強度がexp-2となるモードフィールド半径w2yと、前記導波路入射面上において前記スポットの位置ズレが生じていない場合の結合効率を1として、前記スポットの前記厚み方向の位置ズレに伴う相対的な結合効率を示す相対結合効率Δηyと、を用いて次の条件を満たすことを特徴とする請求項10乃至請求項13のいずれかに記載の光学的結合構造。[数4]但し、前記相対結合効率Δηyは、第3の条件としてΔηy≧0.4を満たす。前記相対結合効率Δηyが、前記第3の条件に代えて、第4の条件としてΔηy≧0.5を満たすことを特徴とする請求項14に記載の光学的結合構造。光アシスト磁気ヘッドに形成されている導波路は、その厚みが数μm~10μm、幅が数μm~数百μmとミクロンオーダーである。そのため、このような厚みと幅を持つ導波路に高い結合効率にて光を結合させるためには、照射スポット以降では、単にスポットと呼ぶと導波路の相対位置を正確にきめる必要がある。現在の組立調整装置の中には、位置決め精度±1μmと高い精度を実現できるものがある。しかし、スポットのサイズや収差と導波路モードフィールドとのマッチングが取れていない場合には、位置ズレ無く調整できたとしても結合効率そのものを確保することが難しくなる問題がある。さらに、±1μmの精度で調整されたとしても、相対位置がずれて組み立てられた場合には結合効率の劣化が大きくなり、製品間の性能のばらつきが大きくなってしまうという問題もある。即ち、ヘッド組立時にスポットと導波路の相対位置ズレが生じた場合においても必用な結合効率を確保し、結合効率の変動を抑えることが課題である。特許文献1では、導波路入射面に照射するスポットの、コア厚み方向のスポット径をコア厚よりも大きくすることにより、コア厚み方向のスポットと導波路の相対位置ズレによる入射効率の変動を抑制する技術が開示されている。しかし、この入射効率はコア厚みの範囲内にある照射光量の割合を示しており、実際の導波路への結合効率ではないため、厳密に検討されているとは言い難い。導波路結合効率は導波路入射面における光の複素振幅分布関数と導波路の伝播モードフィールドの振幅分布関数の重ね合わせ積分を用いて算出される特許文献3の式6参照。さらに、導波路結合効率の計算には、コア厚み方向とコア幅方向の両方向における重ね合わせ積分が必要であるが、特許文献1にはコア幅方向については何ら記載が無い。一方、特許文献2では、導波路照射光の光フィールドと導波路の伝播モードの光フィールドを使って、厳密に結合効率を計算している。しかしながら、LD素子とスライダ内導波路の形状のマッチング特許文献2の段落0048参照の具体的な方法や、導波路モードフィールドの具体的なサイズについては触れられていない。即ち、本発明の目的は、ヘッド組立時にスポットと導波路の相対位置ズレが生じても所望の結合効率を確保するためにスポットサイズと導波路モードフィールド径のマッチング方法を提供することにある。さらに、位置ズレ時の結合効率の劣化を所定の範囲に抑え、製造上の結合効率のばらつきを抑制する方法を提供する。請求項1に記載の発明は、光源と、ディスク状の記録媒体の回転に応じて前記記録媒体に対して浮上して相対移動するスライダと、前記スライダに設けられ、厚み方向y方向と直交する幅方向x方向に所定の幅を有し、前記幅方向及び前記厚み方向の双方に直交する伝播方向z方向の一端に位置する導波路入射面で前記光源からの光を受け、前記伝播方向の他端側に位置する前記記録媒体に向かって前記光を伝播させる導波路と、を有する光アシスト磁気ヘッドであって、前記光源からの光は、集光または拡散の作用を受けずに前記導波路入射面に導かれ、前記光源の発光点において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0xと、前記導波路入射面において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w1xとしたとき、前記幅方向の相対強度がexp-2となる前記導波路のモードフィールド直径MFDxが、以下に示す第1の条件を満たすように、前記光源と前記導波路とが光学的結合構造を構成することを特徴とする光アシスト磁気ヘッド。[数1]但し、αは、以下の式により定義される。[数2]なお、集光または拡散の作用を受けずにという表現は、レンズ等の光学部品により、積極的に光を集光または拡散させないことを示している。また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記導波路入射面に対する前記光の位置ズレ量が1.5μm以下の範囲において、結合効率が15以上であることを特徴とする。また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記導波路は、基板上に前記厚み方向に積層された第1のクラッド層と、コア層と、第2のクラッド層とを有することを特徴とする。また、請求項4に記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記モードフィールド直径MFDxが、前記第1の条件に代えて、以下に示す第2の条件を満たすことを特徴とする。[数3]また、請求項5に記載の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記光源が前記光を出射する出射面から前記導波路入射面までの空気換算距離zが、前記光の波長λと、前記光のスポットの前記導波路入射面における前記厚み方向の位置ズレ量Δyと、前記光源の発光点において前記光の前記厚み方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0yと、前記導波路において前記厚み方向の相対強度がexp-2となるモードフィールド半径w2yと、前記導波路入射面上において前記スポットの位置ズレが生じていない場合の結合効率を1として、前記スポットの前記厚み方向の位置ズレに伴う相対的な結合効率を示す相対結合効率Δηyと、を用いて次の条件を満たすことを特徴とする。[数4]但し、前記相対結合効率Δηyは、第3の条件としてΔηy≧0.4を満たす。また、請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記相対結合効率Δηyが、前記第3の条件に代えて、第4の条件としてΔηy≧0.5を満たすことを特徴とする。また、請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記光源と前記導波路との間に位置し、前記光源からの光が前記導波路入射面に入射するように前記光を偏向させる偏向部を設けたことを特徴とする。また、請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記偏向部は、前記光源からの光を反射させて前記導波路入射面に導く平面ミラーであることを特徴とする。また、請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の光アシスト磁気ヘッドであって、前記平面ミラーは、表面反射型のミラー、または内面反射型のプリズムであることを特徴とする。また、請求項10に記載の発明は、光源と、厚み方向y方向と直交する幅方向x方向に所定の幅を有し、前記幅方向及び前記厚み方向の双方に直交する伝播方向z方向の一端に位置する導波路入射面で前記光源からの光を受け、前記伝播方向の他端に前記光を伝播させる導波路と、の光学的結合構造であって、前記光源からの光は、集光または拡散の作用を受けずに前記導波路入射面に導かれ、前記光源の発光点において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0xと、前記導波路入射面において前記光の前記幅方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w1xとしたとき、前記幅方向の相対強度がexp-2となる前記導波路のモードフィールド直径MFDxが、以下に示す第1の条件を満たすことを特徴とする光学的結合構造である。[数1]但し、αは、以下の式により定義される。[数2]また、請求項11に記載の発明は、請求項10に記載の光学的結合構造であって、前記導波路入射面に対する前記光の位置ズレ量が1.5μm以下の範囲において、結合効率が15以上であることを特徴とする。また、請求項12に記載の発明は、請求項10または請求項11に記載の光学的結合構造であって、前記導波路は、基板上に前記厚み方向に積層された第1のクラッド層と、コア層と、第2のクラッド層とを有することを特徴とする。また、請求項13に記載の発明は、請求項10乃至請求項12のいずれかに記載の光学的結合構造であって、前記モードフィールド直径MFDxが、前記第1の条件に代えて、以下に示す第2の条件を満たすことを特徴とする。[数3]また、請求項14に記載の発明は、請求項10乃至請求項13のいずれかに記載の光学的結合構造であって、前記光源の発光点から前記導波路入射面までの空気換算距離zが、前記光の波長λと、前記光のスポットの前記導波路入射面における前記厚み方向の位置ズレ量Δyと、前記光源の発光点において前記光の前記厚み方向の相対強度がexp-2となるスポット半径w0yと、前記導波路において前記厚み方向の相対強度がexp-2となるモードフィールド半径w2yと、前記導波路入射面上において前記スポットの位置ズレが生じていない場合の結合効率を1として、前記スポットの前記厚み方向の位置ズレに伴う相対的な結合効率を示す相対結合効率Δηyと、を用いて次の条件を満たすことを特徴とする。[数4]但し、前記相対結合効率Δηyは、第3の条件としてΔηy≧0.4を満たす。また、請求項15に記載の発明は、請求項14に記載の光学的結合構造であって、前記相対結合効率Δηyが、前記第3の条件に代えて、第4の条件としてΔηy≧0.5を満たすことを特徴とする。この発明に係る光学的結合構造によると、導波路入射面上においてスポットが幅方向や厚み方向に1μm前後ずれた場合においても、導波路結合効率を15以上確保することが可能となる。そのため、この光学的結合構造を光アシスト磁気ヘッドに適用することで、媒体への情報記録を確実に行うことが可能となる。情報記録装置の概略構成図1に、光アシスト磁気ヘッドを搭載した光アシスト式磁気記録装置例えばハードディスク装置、以下情報記録装置ともいうの概略構成を示す。情報記録装置1は、例えば記録用の複数枚の回転可能なディスク磁気記録媒体3と、ヘッド支持部5と、トラッキング用アクチュエータ7と、光アシスト磁気ヘッド4と、図示しない駆動装置と、を筐体2内に備えている。なお、ディスク3は1枚であってもよい。ヘッド支持部5は、支軸6を支点として矢印Aの方向トラッキング方向に回動可能に設けられている。トラッキング用アクチュエータ7は、ヘッド支持部5に取り付けられている。光アシスト磁気ヘッド4は、ヘッド支持部5の先端に取り付けられている。図示しない駆動装置は、ディスク3を矢印Bの方向に回転させる。情報記録装置1は、光アシスト磁気ヘッド4がディスク3の上で浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている。光アシスト磁気ヘッド4図2Aに、光アシスト磁気ヘッド4の概略構成例を断面図で示す。光アシスト磁気ヘッド4は、ディスク3に対する情報記録に光を利用する微小光記録ヘッドである。光アシスト磁気ヘッド4は、光源部50と、スライダ60と、平面ミラー40とを有する。情報記録装置1は、ディスク3を矢印C方向に移動させ、光アシスト磁気ヘッド4がディスク3上で浮上しながらディスク3に対して相対的に移動しうるように構成されている。光源部50はLDを有する。光源部50を構成しているLDから出射される光の波長は、可視光から近赤外の波長波長帯としては、0.6μm~2μm程度であり、具体的な波長としては、650nm、780nm、830nm、1310nm、1550nmなどが挙げられるなどがある。光源部50は、スライダ60の上面60aに配置されている。光源部50は、出射面50aを有し、出射面50aから平面ミラー40の偏向面40aに向けて光を出射する。光源部50から出射された光は、集光または拡散の作用を受けずに、所定の放射角で広がりながら伝播し平面ミラー40の偏向面40aに到達する。なお、集光または拡散の作用を受けずにという表現は、レンズ等の光学部品により、積極的に光を集光または拡散させないことを示している。平面ミラー40は偏向面40aを有し、光源部50から出射された光以降では出射光と呼ぶ場合があるを、スライダ60の磁気ヘッド部63に設けられた導波路64に導く。図2の例では、偏向面40aは、光源部50からの出射光を、導波路64の導波路入射面64aに向けて反射させている。これにより、出射光は、90°偏向されて導波路64の導波路入射面64aに導かれる。なお、平面ミラー40は、光学的パワーを持たない、即ち、集光機能が無い。そのため、光源部50から出射した光はそのまま所定の放射角で広がりながら伝播し、偏向面40aで反射され導波路入射面64aに達する。なお、平面ミラー40には、図2Aに示すような表面反射型のミラーを用いてもよいし、表面反射型のミラーに替えて内面反射型のプリズムを用いてもよい。ここで、内面反射型のプリズムとは、プリズム内に入射した光を内部に設けられた反射面で内面反射させることで、入射した光を偏向するプリズムを示している。また、平面ミラー40を用いずに、例えば、光源部50の出射面50aがスライダ上面60aに平行に対向するように光源部50を配置して、光源部50からの出射光を、光学部品を介さずに即ち、偏向させずに導波路64に直接照射してもよい。スライダ60は、先端に磁気ヘッド部63を有する。磁気ヘッド部63は、導波路64と、図示しない磁気記録部と、図示しない磁気情報再生部とを有する。導波路64は、平面ミラー40によって導かれた光を導光してディスク3に向けて射出する。導波路64は、図示しないが、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層を、光が伝播する方向とは直交する厚み方向に沿って、この順番に積層させたものである。コア層は、各クラッド層例えば、SiO2で形成よりも屈折率の高い素材例えば、Ta2O5で形成されている。これにより、導波路64に導かれた光は、コア層と、各クラッド層との間で全反射する。なお、下部クラッド層が第1のクラッド層に相当し、上部クラッド層が第2のクラッド層に相当する。ここで、図2Bを参照する。図2Bは、図2Aにおいて平面ミラー40の周辺を拡大した拡大断面図である。図2Bに示すように、導波路64は、スライダ60の上面60aに導波路入射面64aを有し、上面60aとは反対側の面ディスク3に対向する面に導波路出射面64bを有する。導波路64の導波路出射面64bには、近接場光発生素子としてのプラズモンプローブ65が設けられている。平面ミラー40によって偏向させられた光は、導波路入射面64aから導波路64に入射し、導波路出射面64bに向かって導波路64内を進む。導波路出射面64bに設けられているプラズモンプローブ65は、平面ミラー40によって導かれた光を近接場光に変換してディスク3に向けて射出する。また、図示しない磁気記録部は、ディスク3の被記録部分に対して磁気情報の書き込みを行う。図示しない磁気情報再生部は、ディスク3に記録されている磁気情報の読み取りを行う。以降では、第1の実施形態及び第2の実施形態として、光源部50からの出射光を導波路入射面64aを介して導波路64に結合させるための光学的結合構造について説明する。なお、以降では、光源部50の出射面50aから出射された光即ち、出射光が導波路64の導波路入射面64aに入射するまでの光路に着目し、導波路入射面64aにおいて光が伝播する方向をz方向、導波路64の幅方向以降では導波路幅方向と呼ぶ場合があるをx方向、厚み方向以降では導波路厚み方向と呼ぶ場合があるをy方向として説明する。図2の例では、出射面50aから導波路入射面64aまでの光路が途中で偏向面40aで90°偏向されており、この光路において、出射面50aから偏向面40aまでの距離をL1、偏向面40aから導波路入射面64aまでの距離をL2で示している。即ち、出射面50aから導波路入射面64aまでの距離zはL1L2で表される。なお、このとき出射光は空気中を伝播しているため、距離z=L1L2は空気換算距離に等しい。第1の実施形態第1の実施形態に係る光学的結合構造について、図2A及び図3を参照しながら説明する。図3は、磁気ヘッド部63を図2Aの矢印III即ち、z方向から見た図即ち、磁気ヘッド部63の上面図である。図3では、出射光の導波路入射面64aにおけるスポットPの中心が、導波路64のxy平面上の中心から、x方向にΔx、y方向にΔyだけずれている状態を示している。光源部50に用いられるLDは、端面発光型の半導体レーザであり、光源部50から出射される光は活性層の厚み方向即ち、図2Aにおけるz方向の放射角が大きい。したがって、光源部50の出射面50aから導波路入射面64aまでの距離z=L1L2が5μm程度以上の場合にはビームウェスト部から離れるため、導波路入射面64aを照射するスポットは、放射角に比例してy方向に長い楕円形状となっている。また、集光されていないため、収差としてデフォーカス成分を持って導波路入射面64aを照射する。光源部50に用いられるLDのパワーと、出射光の導波路64に対する結合効率は、導波路出射面64bからディスク3に向けて出射される近接場光の強度を決める要素である。導結合効率は、導波路64に使用された材料の屈折率や、導波路64の径即ち、x方向の幅やy方向の厚みにより決まる。近年では、100mW以上のハイパワーLDが数多く量産されているため、15程度の結合効率があれば、記録に必要な近接場光を得ることが可能である。本実施形態に係る光学的結合構造は、導波路64のモードフィールド径、特に導波路入射面64aにおけるx方向即ち、導波路幅方向のモードフィールド直径MDFxと、結合効率との関係に着目している。ここで、モードフィールド径とは、導波路64を伝播できる光の強度分布の径を示している。具体的には、導波路64は、半導体プロセスにより導波路厚み方向即ち、y方向に積層されて形成される。そのため、y方向に沿った形成は、半導体プロセスの時間の制約を受けるため自由度が低い。一方で、導波路幅方向の形状やサイズは、使用するマスクの形状やサイズにより決まるため、厚み方向即ち、積層方向より設計の自由度が高い。そこで、本実施形態に係る光学的結合構造では、大きくすることが困難な導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDyを変更することなく、設計の自由度が高いx方向のモードフィールド直径MDFxを調整することにより結合効率の向上を図っている。本実施形態に係る光学的結合構造は、所定の条件に基づきあらかじめ算出されたモードフィールド直径MFDxを基準として、導波路64の構成、または光源部50と導波路64との位置関係を調整することで、スポットの位置ズレが1.5μm以下の範囲で生じたとしても、15以上の結合効率を確保することができる。本実施形態に係る光学的結合構造について以降で具体的に説明する。なお、図2では、平面ミラー40により出射光を90°偏向させているが、以降では、出射光を偏向させず、光源部50からz軸方向に沿って導波路64の導波路入射面64aに出射光を照射するものとして説明する。スポットサイズと結合効率の関係まず出射光のスポットサイズについて説明する。光源部50から出射された光の強度はガウシアン分布に近似しており、ガウシアン分布と仮定しても問題ない。ここで、図4A及び図4Bを参照する。図4Aは、出射面50aからの伝播方向の空気換算距離zと、空気換算距離zにおける出射光の導波路幅方向x方向のスポット半径w1xとの関係を示している。また、図4Bは、出射面50aからの伝播方向の空気換算距離zと、空気換算距離zにおける出射光の導波路幅方向x方向のスポット半径w1xとの関係を示している。図4Aにおけるw0xは、出射面50aにおいて出射光の相対強度がexp-2となるx方向のスポット半径を示している。また、図4Bにおけるw0yは、出射面50aにおいて出射光の相対強度がexp-2となるy方向のスポット半径を示している。出射面50aにおける、出射光のx方向のスポット半径w0xは以下の式で算出される。[数5A]但し、θxについては以下の式で表される。[数5B]ここで、θhは、光源部50の導波路幅方向x方向の放射角半値全角を示しており、λは、出射光の波長を示している。また、θx、は、出射光の相対強度がexp-2となるx方向の半角を示している。また、出射面50aにおけるy方向のスポット半径w0yは以下の式で算出される。[数6A]但し、θyについては以下の式で表される。[数6B]ここで、θvは、光源部50の導波路厚み方向y方向の放射角半値全角を示している。また、θyは、出射光の相対強度がexp-2となるy方向の半角を示している。また、出射面50aから伝播方向に沿って空気換算距離zの位置におけるスポット半径w1x及びw1yは、ガウス伝播理論に基づき、以下の式で与えられる。[数7][数8]次に、空気換算距離zの位置に導波路64の導波路入射面64aが位置するものとして、出射光の導波路64に対する結合効率について説明する。導波路64のモードフィールドもガウシアン分布に近似しているため、ガウシアン分布と仮定する。導波路64の結合効率ηは、以下の式で与えられる。[数9]ここで、κxは、導波路入射面64a上において、スポットの位置ズレが無い場合のx方向の結合効率を示しており、同様に、κyは、y方向の結合効率を示している。また、Δηxは、位置ズレが無い場合の値を1としたときの、位置ズレがある場合におけるx方向の相対結合効率を示しており、同様に、Δηyは、y方向の相対結合効率を示している。なお、結合効率κxは、以下の式で与えられる。[数10]ここで、w2xは、導波路64のモードフィールドにおいて相対強度がexp-2となるx方向のモードフィールド半径を示している。即ち、x方向のモードフィールド直径MFDx=2w2xとなる。同様に、結合効率κyは、以下の式で与えられる。[数11]ここで、w2yは、導波路64のモードフィールドにおいて相対強度がexp-2となるy方向のモードフィールド半径を示している。即ち、y方向のモードフィールド直径MFDyとしたとき、MFDy=2w2yとなる。また、相対結合効率Δηxは、以下の式で与えられる。[数12]ここで、Δxは、図3に示すように、導波路入射面64a上における出射光のスポットPの、x方向のズレ量を示している。同様に、相対結合効率Δηyは、以下の式で与えられる。[数13]ここで、Δyは、図3に示すように、導波路入射面64a上における出射光のスポットPの、y方向のズレ量を示している。導波路幅方向のモードフィールド径と結合効率の関係次に、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxと結合効率との関係について、図5及び図6を参照しながら説明する。図5は、スポットPのx方向の位置ズレΔxに対する導波路64との結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は結合効率、横軸は位置ズレΔxを示している。また、図6は、スポットPのy方向の位置ズレΔyに対する導波路64との結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は結合効率、横軸は位置ズレΔyを示している。図5及び図6のグラフは、実施例1として、出射光の波長λ=0.66μm、放射角θh=9°、θv=16.5°のLDから出射された光が、空気換算距離z=15μm例えば、図2AにおいてL1=L2=7.5μmの位置にある導波路入射面64aに照射された場合について示している。また、相対強度がexp-2となる導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDyは3μmとしている。このとき、w2y=0.5MFDy=1.5μmとなる。なお、上記における半値全角θv=16.5°は、相対強度exp-2の全角で28°となる値である。また、LDのアスペクト比は1.8~2程度が主流であるため、θh=9°としている。また、y方向のモードフィールド直径MFDy3μmに対して、z=5MFDy=15μmとしている。図5及び図6に示すグラフでは、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxを1~10μmの範囲で変えた場合の各々の特性について示している。図5に示したグラフから明らかなように、モードフィールド直径MFDxの値によって、x方向の位置ズレΔxに対する結合効率特性が大きく異なる。一方で、図4Aに示した、y方向の位置ズレΔyに対する結合効率特性は、結合効率の値そのものはモードフィールド直径MFDxによって変化するが、基本特性は、数13に示したモードフィールド直径MFDxを含まないΔηyの式により決定されることがわかる。以上から、モードフィールド直径MFDxの値により結合効率が大きく変わるため、モードフィールド直径MFDxの最適化が必要となる。モードフィールド径の最適化次にモードフィールド直径MFDxの最適化について、図7を参照しながら説明する。図7は、モードフィールド直径MFDxに対する結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は結合効率、横軸はモードフィールド直径MFDxを示している。図7のグラフでは、スポットPの位置ズレが無い場合Δx=0、Δy=0と、位置ズレ量が1.5μmの場合Δx=1.5μm、Δy=1.5μmとについて示している。なお、位置ズレ量1.5μmは、位置調整装置の精度1μmに加え、ハンダの熱収縮による光源部50の位置ズレや、接着剤の硬化収縮による平面ミラー40の位置ズレを見込んだズレ量である。図7に示すように、位置ズレが無い場合Δx=0、Δy=0のグラフに最大値が存在する。この位置ズレが無い場合に結合効率が最大となるモードフィールド直径MFDxをαとした場合、αは次式で与えられる。[数14]即ち、αは、以下のようになる。[数2]ここで、2w0xは、光源部50の出射面50aにおけるx方向のスポット直径である。また、2w1xは、導波路入射面64aにおけるx方向のスポット直径である。この式は、αが出射面50aにおけるスポット直径と、導波路入射面64aにおけるスポット直径との相乗平均となることを示している。なお、実施例1として示した条件の場合、α=4.0μmとなる。100mW以上のハイパワーLDを光源部50に適用した場合、15以上の結合効率があれば、記録に必要な近接場光の強度を得ることができる。図5に示すように、実施例1の条件では、モードフィールド直径MFDxを以下に示す条件式の範囲内に設定すれば、位置ズレ量1.5μm以下の範囲でスポットPの位置ズレが生じたとしても15以上の結合効率を確保することが可能となる。[数1]x方向のモードフィールド直径MFDxは、導波路64に用いられる材料の屈折率や、導波路64のx方向の幅に基づき決定される。言い換えると、数1で示した条件式に基づき算出されたモードフィールド直径MFDxと、導波路64に用いられる材料の屈折率とに基づき、導波路64のx方向の幅を決定することで、上述した結合効率を確保することが可能となる。また、モードフィールド直径MFDxを以下に示す条件式の範囲内に設定すれば、結合効率をほぼ20以上確保することが可能となる。[数3]望ましくは、0.55α≦MFDx≦1.9αであり、この場合には、確実に結合効率を20以上確保することが可能となる。結合効率が20以上あれば、前述したハイパワーLDを光源部50に用いた場合においても、LDの出力を小さくすることができるため、装置としての消費電力を抑制することが可能となる。また、導波路64は、半導体プロセスにより導波路厚み方向即ち、y方向に積層されて形成される。そのため、y方向に沿った形成は、半導体プロセスの時間の制約を受けるため自由度が低い。これに対し、本実施形態に係る光学的結合構造では、導波路64の導波路幅方向即ち、x方向のモードフィールド直径MFDxに着目して、結合効率の向上を図っている。導波路64の導波路幅方向の形状やサイズは、使用するマスクの形状やサイズにより決まるため、厚み方向即ち、積層方向より設計の自由度が高い。そのため、本実施形態に係る光学的結合構造に依れば、導波路64の製造時における半導体プロセスの時間の制約を受けることなく、結合効率を向上させることが可能となる。なお、実施例1の条件の場合には、導波路入射面64aにおける出射光のスポット直径は、x方向に2w1x=5.10μm、y方向に2w1y=7.67μmとなる。この場合には、モードフィールド直径MFDxが5.10μm<MFDx≦2.75α=9.8μmの範囲では、x方向のスポット直径2w1x<x方向のモードフィールド直径MFDxとなる。このことから、導波路幅方向x方向に関しては、必ずしもスポット径>モードフィールド径である必要は無い。また、第1の実施形態で示した数14の式は、最初の等号式の関係を用いて、zの式に換算することが可能である。即ち、空気換算距離zの調整により、結合効率の向上を図る発明の場合においても数14で示したαの式が成り立ち、かつ、モードフィールド直径MFDxが0.35α≦MFDx≦2.75αの条件を満たす場合には、その発明は、この発明と実質的に同一である。実施例2次に、実施例2として、実施例1の条件から、出射光の波長λと、y方向の放射角θvの条件を変更した場合の例について説明する。本実施例では、出射光の波長λ=0.83μm、放射角θh=9°、θv=22°、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=3μm、空気換算距離z=15μmとしている。この条件に基づきαを計算した場合、α=4.7μmとなる。ここで図8を参照する。図8は、本実施例における導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxに対する結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は結合効率、横軸はモードフィールド直径MFDxを示している。図8に示すように、本実施例においても、モードフィールド直径MFDxを0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲内に設定することで、位置ズレ量1.5μm以下の範囲でスポットPの位置ズレが生じたとしても15以上の結合効率を確保することが可能となる。また、モードフィールド直径MFDxを0.5α≦MFDx≦2αの範囲内に設定すれば、結合効率をほぼ20以上確保することが可能となる。本実施例においても、望ましくは、0.55α≦MFDx≦1.9αであり、この場合には、確実に結合効率を20以上確保することが可能となる。実施例3次に、実施例3として、実施例1の条件から、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDyの条件を変更した場合の例について説明する。本実施例は、出射光の波長λ=0.66μm、放射角θh=9°、θv=16.5°、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=2μm、空気換算距離z=10μmとしている。なお、空気換算距離zは、実施例1と同様に、z=5MFDyの条件に基づき算出している。また、本実施例におけるスポット位置Pの位置ズレ量Δx及びΔyを、モードフィールド直径MFDyの1/2、即ち、Δx=1μm、Δy=1μmとしている。この条件に基づきαを計算した場合、α=3.6μmとなる。ここで図9を参照する。図9は、本実施例における導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxに対する結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は結合効率、横軸はモードフィールド直径MFDxを示している。図9に示すように、本実施例においても、モードフィールド直径MFDxを0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲内に設定することで、位置ズレ量1.0μm以下の範囲でスポットPの位置ズレが生じたとしても15以上の結合効率を確保することが可能となる。なお、ハンダの熱収縮による光源部50の位置ズレや、接着剤の効果収縮による平面ミラー40の位置ズレが場合においても、これらの位置ズレを見込んで目標調整位置をずらして調整することにより、位置精度1μm以下としても対応可能である。また、モードフィールド直径MFDxを0.5α≦MFDx≦2αの範囲内に設定すれば、結合効率を20以上確保することが可能となる。次に、実施例4及び実施例5として、実施例3において、空気換算距離zの条件を変更した例について説明する。実施例4まず、実施例4について説明する。本実施例は、出射光の波長λ=0.66μm、放射角θh=9°、θv=16.5°、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=2μm、空気換算距離z=4μmとしている。また、本実施例におけるスポット位置Pの位置ズレ量Δx及びΔyを、Δx=1μm、Δy=1μmとしている。この条件に基づきαを計算した場合、α=3.2μmとなる。ここで図10を参照する。図10は、本実施例における導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxに対する結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は結合効率、横軸はモードフィールド直径MFDxを示している。図10に示すように、本実施例においても、モードフィールド直径MFDxを0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲内に設定することで、位置ズレ量1.0μm以下の範囲でスポットPの位置ズレが生じたとしても15以上の結合効率を確保することが可能となる。また、モードフィールド直径MFDxを0.5α≦MFDx≦2αの範囲内に設定すれば、結合効率を20以上確保することが可能となる。実施例5次に、実施例5について説明する。本実施例は、出射光の波長λ=0.66μm、放射角θh=9°、θv=16.5°導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=2μm、空気換算距離z=16μmとしている。また、本実施例におけるスポット位置Pの位置ズレ量Δx及びΔyを、Δx=1μm、Δy=1μmとしている。この条件に基づきαを計算した場合、α=4.1μmとなる。ここで図11を参照する。図11は、本実施例における導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxに対する結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は結合効率、横軸はモードフィールド直径MFDxを示している。図11に示すように、本実施例においても、モードフィールド直径MFDxを0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲内に設定することで、位置ズレ量1.0μm以下の範囲でスポットPの位置ズレが生じたとしても15以上の結合効率を確保することが可能となる。また、モードフィールド直径MFDxを0.5α≦MFDx≦2αの範囲内に設定すれば、結合効率を20以上確保することが可能となる。なお、実施例4では、z/MFDy=2となり、実施例5においては、z/MFDy=8となる。即ち、本実施形態に係る光学的結合構造によれば、空気換算距離zが2MFDy≦z≦8MFDyの範囲において、1μmの位置ズレが生じた場合においても15以上の結合効率を確保することが可能である。以上のように、本実施形態に係る光学的結合構造では、数14で示した式に基づきαを算出し、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxが0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲内に設定されるように、導波路64の構成、及び光源部50との位置関係を調整している。これにより、スポットの位置ズレが1.5μm以下の範囲で発生した場合においても、15以上の結合効率を確保することが可能となる。第2の実施形態次に、第2の実施形態に係る光学的結合構造について説明する。前述した光アシスト磁気ヘッド4の組立時には、調整装置の位置決め精度においてスポットPの位置ズレが発生したとしても結合効率の変動を抑える必要がある。これは言い換えると、位置ズレがない場合を基準として、位置ズレが生じた場合の相対結合効率を所定の値以上確保する必要がある。ここで、相対結合効率とは、導波路入射面64a上においてスポットPの位置ズレが無い場合の結合効率を1として、スポットPの位置ズレに伴う相対的な結合効率を示している。一般的には、スポットPの位置ズレ即ち、ΔxやΔyが発生した場合に、相対結合効率が40-4dB以上であれば、結合効率のばらつきをLDの出射パワーの調整等により吸収することができる。相対結合効率が50-3dB以上であれば、尚好ましい。一方で、導波路64の作成は磁気ヘッド部63と同様に半導体プロセスにて行われる。この場合には、導波路64のコア部は、導波路厚み方向y方向にTa2O5などの高屈折率材料を積層して厚みを形成する。そのため、導波路64の厚みが厚いほど、即ち導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDyが大きいほど積層時間がかかってしまう。そのため、モードフィールド直径MFDyが1~5μm程度となるように導波路64は作成される。一般的に、モードフィールド直径が小さいほど、スポットの位置ズレに対する結合効率の劣化が大きい。即ち、相対結合効率が低い。そこで、本実施形態に係る光学的結合構造は、導波路厚み方向における相対結合効率Δηyと空気換算距離zとの関係に着目している。本実施形態に係る光学的結合構造は、大きくすることが困難な導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDyを変更することなく、空気換算距離zを調整することで、40以上の相対結合効率を確保可能としている。本実施形態に係る光学的結合構造について以降で具体的に説明する。[数11]で示した導波路厚み方向の結合効率κyを用いて、[数13]で示した導波路厚み方向の相対結合効率Δηyの式を空気換算距離zについて整理すると以下の式となる。[数15]ここで、Δyは、導波路入射面64a上でy方向導波路厚み方向におけるスポットPの位置ズレ量を示している。また、w0yは、出射面50aにおける、出射光のy方向のスポット半径を示している。また、w2yは、導波路64のモードフィールドにおいて相対強度がexp-2となるy方向のモードフィールド半径を示している。即ち、[数4]で示した式は、与えられたスポット半径w0y及びモードフィールド半径w2yに対して、想定される位置ズレ量Δyを特定し、Δηy≧40となるように、空気換算距離zを調整することで、相対結合効率Δηyを40以上確保できることを示している。なお、相対結合効率Δηy=40の場合、2/lnΔηyは-2.18となる。したがって、以下の条件式が満たされるように空気換算距離zを設定することで、相対結合効率を40以上確保することが可能となる。[数16]また、相対結合効率Δηy=50の場合、2/lnΔηyは-2.89となる。したがって、以下の条件式が満たされるように空気換算距離zを設定することで、相対結合効率を50以上確保することが可能となる。[数17]以上のように、以下の式に基づき、空気換算距離zを設定することで、Δηyとして設定した値以上の相対結合効率を確保することが可能となる。[数4]実施例6次に、第2の実施形態の実施例について説明する。まず、実施例6として、出射光の波長λ=0.66μm、放射角θh=9°、θv=16.5°、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=3μmとした場合について説明する。なお、本実施例におけるスポット位置Pの位置ズレ量Δx及びΔyは、Δx=1.5μm、Δy=1.5μmとしている。この条件に基づきβ1及びβ2を計算した場合、β1=11.4μm、β2=15.4μmとなる。ここで、図12を参照する。図12は、本実施例において空気換算距離zを変更した場合の相対結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は相対結合効率、横軸は空気換算距離zを示している。なお、図12には、MFDy=3μmにおいてy方向にスポットPの位置ズレΔy=1.5μmが生じた場合だけでなく、x方向にスポットPの位置ズレΔx=1.5μmが生じた場合の相対結合効率特性も示している。x方向のスポットPの位置ズレが生じた場合に対しては、第1の実施形態において数1で示した条件式0.35α≦MFDx≦2.75αに基づき、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxを、0.35α、α、及び2.75α但し、αは各zに対して数14を用いて算出した値とした場合のそれぞれについて相対結合効率を示している。図12に示すように、z≧β1に設定することで、Δy=1.5μmの場合において40以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、この場合には、Δx=1.5μmの場合においても、0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲のどのモードフィールド直径MFDxに対しても40以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、z≧β2に設定することで、Δy=1.5μmの場合において50以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、この場合には、Δx=1.5μmの場合においても、0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲のどのモードフィールド直径MFDxに対しても50以上の相対結合効率を確保することが可能である。実施例7次に、実施例7として、実施例2に示した条件を適用した場合の例について説明する。即ち、本実施例では、出射光の波長λ=0.83μm、放射角θh=9°、θv=22°、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=3μmとしている。また、本実施例におけるスポット位置Pの位置ズレ量Δx及びΔyを、Δx=1.5μm、Δy=1.5μmとしている。この条件に基づきβ1及びβ2を計算した場合、β1=9.2μm、β2=12.2μmとなる。ここで、図13を参照する。図13は、本実施例において空気換算距離zを変更した場合の相対結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は相対結合効率、横軸は空気換算距離zを示している。なお、図13には、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxを、0.35α、α、及び2.75α但し、αは各zに対して数14を用いて算出した値とした場合のそれぞれについても相対結合効率を示している。図13に示すように、z≧β1に設定することで、Δy=1.5μmの場合において40以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、この場合には、Δx=1.5μmの場合においても、0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲のどのモードフィールド直径MFDxに対しても40以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、z≧β2に設定することで、Δy=1.5μmの場合において50以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、この場合には、Δx=1.5μmの場合においても、0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲のどのモードフィールド直径MFDxに対しても50以上の相対結合効率を確保することが可能である。実施例8次に、実施例8として、実施例3に示した条件を適用した場合の例について説明する。即ち、本実施例では、出射光の波長λ=0.66μm、放射角θh=9°、θv=16.5°、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=2μmとしている。また、本実施例におけるスポット位置Pの位置ズレ量Δx及びΔyを、Δx=1μm、Δy=1μmとしている。この条件に基づきβ1及びβ2を計算した場合、β1=4.3μm、β2=6.8μmとなる。ここで、図14を参照する。図14は、本実施例において空気換算距離zを変更した場合の相対結合効率特性を示したグラフであり、縦軸は相対結合効率、横軸は空気換算距離zを示している。なお、図14には、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxを、0.35α、α、及び2.75α但し、αは各zに対して[数14]を用いて算出した値とした場合のそれぞれについても相対結合効率を示している。図14に示すように、z≧β1に設定することで、Δy=1μmの場合において40以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、この場合には、Δx=1μmの場合においても、0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲のどのモードフィールド直径MFDxに対しても40以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、z≧β2に設定することで、Δy=1μmの場合において50以上の相対結合効率を確保することが可能である。また、この場合には、Δx=1μmの場合においても、0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲のどのモードフィールド直径MFDxに対しても50以上の相対結合効率を確保することが可能である。以上のように、本実施形態に係る光学的結合構造では、数15で示した式に基づき空気換算距離zを設定している。これにより、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxを数1で示した0.35α≦MFDx≦2.75αの範囲に設定すれば、導波路厚み方向のズレに対する相対結合効率に加え、導波路幅方向の相対結合効率もあわせて確保することが可能となる。実施例9最後に、実施例9として導波路64のコア厚を導波路厚み方向に厚くすることで、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDyを大きくした場合の結合効率及び相対結合効率について以下にまとめる。本実施例では、出射光の波長λ=0.66μm、放射角θh=9°、θv=16.5°、導波路厚み方向のモードフィールド直径MFDy=4μmとしている。また、本実施例におけるスポット位置Pの位置ズレ量Δx及びΔyを、Δx=1.5μm、Δy=1.5μmとしている。この場合、β1=4.6μm、β2=13.8μmとなる。また、空気換算距離zを、z=6μm>β1とし、導波路幅方向のモードフィールド直径MFDxを、z=6μmとした場合のα、即ち、MFDx=α=3.3μmとする。図15に、本実施例における、位置ズレなしの場合の結合効率と、Δx=1.5μm、及びΔy=1.5μmのそれぞれにおける結合効率及び相対結合効率の値を示す。図15に示すように、導波路幅方向にΔx=1.5μmの位置ズレが生じたとしても、結合効率が29.6、相対結合効率が44.2となる。また、導波路厚み方向にΔy=1.5μmの位置ズレが生じたとしても、結合効率が27.5、相対結合効率が41.0となる。このように、スポットの位置ズレが1.5μm以下の範囲で生じたとしても、結合効率15以上、かつ相対結合効率40以上を確保できることがわかる。また、本実施例における導波路入射面64a上におけるスポット直径は、導波路幅方向:2w1x=3.52μm、導波路厚み方向:2w1y=3.44μmとなる。この場合、MFDy>2w1yとなる。このことから、本発明に係る光学的結合構造によれば、必ずしもMFDy<2w1yである必要が無いことがわかる。なお、前述したとおり、平面ミラー40には内面反射型のプリズムを用いることが可能である。この場合には、プリズムの屈折率を考慮して空気換算距離zを算出すればよい。例えば、プリズム内への入射面からプリズム内の反射面までの距離をL1’、この反射面からプリズム外への出射面までの距離をL2’、このプリズムの材料の屈折率をnとする。この場合、プリズム内の物理的距離z’は、z’=L1’L2’となる。この距離z’の空気換算距離zは、z=z’/n=L1’L2’/nにより算出すればよい。以上、本発明に係る光学的結合構造によれば、導波路入射面64a上においてスポットPが導波路幅方向や導波路厚み方向に1μm前後ずれた場合においても、結合効率を15以上確保することが可能となる。そのため、この光学的結合構造を光アシスト磁気ヘッド4に適用することで、媒体への情報記録を確実に行うことが可能となる。