"炭素源である粉末から黒鉛を得る黒鉛化炉であって、前記粉末を収容するべく構成された凹所を備えた導電性の坩堝と、柱状の軸と、前記軸の端に設けられ、球、半球、縁が丸められた円柱、円錐、および頂点が丸められた円錐よりなる群より選択された一の形状を有する頭部と、を備えた電極と、前記坩堝および前記電極を経由して前記粉末に電流を流すべく構成された電源と、を備えた黒鉛化炉。請求項1の黒鉛化炉であって、前記電極の前記頭部は、少なくとも部分的に前記軸より径方向に外方に突出している。請求項1の黒鉛化炉であって、さらに、少なくとも前記粉末の上面を加熱するべく配置された高周波誘導コイルを備える。請求項1の黒鉛化炉であって、前記坩堝の厚さは、前記凹所の下端に向かって薄くされている。請求項1の黒鉛化炉であって、さらに、前記坩堝を囲むべく寸法づけられ、前記粉末を制御された雰囲気下に置くべく構成されたチャンバであって、それぞれ閉塞可能な開口を備えた第1の端および第2の端を備えたチャンバと、前記坩堝を前記第1の端から前記第2の端に向けて搬送する搬送手段と、前記粉末を予熱する第1のヒータと、を備える。請求項1の黒鉛化炉であって、さらに、前記電極を予熱する第2のヒータを備える。炭素源である粉末から黒鉛を製造する方法であって、導電性の坩堝の凹所に前記粉末を収容し、柱状の軸と、前記軸の端に設けられ、球、半球、縁が丸められた円柱、円錐、および頂点が丸められた円錐よりなる群より選択された一の形状を有する頭部と、を備えた電極を前記粉末に接触させ、電源から前記坩堝および前記電極を経由して前記粉末に電流を流す、ことを含む方法。請求項7の方法であって、さらに、前記粉末の密度分布を調整するべく前記電極の前記頭部を制御された量だけ前記粉末中へ沈めることを含む。請求項7の方法であって、さらに、前記粉末を制御された雰囲気下に置くべく、それぞれ閉塞可能な開口を備えた第1の端および第2の端を備えたチャンバにより前記坩堝を囲み、前記粉末を予熱し、前記坩堝を前記第1の端から前記第2の端に向けて搬送することを含む。請求項7の方法であって、さらに、前記電極を予熱することを含む。添付の図面を参照して以下に本発明の幾つかの例示的な実施形態を説明する。本発明の実施形態によれば、炭素源である粉末が通電によるジュール熱により加熱されて黒鉛化される。炭素源としては、もちろん炭素よりなる粉末が利用し得るが、炭素繊維や粒状ないし塊状炭素も利用でき、あるいは炭素に代えてカーボランダムcarborundum等のセラミックスが利用し得る。あるいは他の導電性物質に本実施形態を適用してもよい。説明の便宜のため、明細書および請求項を通じて、原料を単に粉末と呼称する。主に図1を参照するに、本実施形態による黒鉛化炉100は、粉末1を収容するための坩堝10と、粉末1に電流を流すための装置20と、坩堝10を囲むチャンバ40とを備える。坩堝10はチャンバ40の一端から搬入され、予熱を受けながら順次チャンバ40内を通過し、装置20による加熱を受けて、冷却された後にチャンバ40の他端から搬出される。主に図2,3を参照するに、坩堝10は、粉末1を収容するべく構成された凹所12を備え、凹所12は坩堝10の上面において上方に開口している。坩堝10は、粉末1に通電する都合から導電性物質よりなる必要があり、またかかる導電性物質は2500°C以上の高温に耐える耐熱性を有する必要がある。そのような物質としては、黒鉛が例示できるが、可能ならば他の物質でもよい。坩堝10は、加工の便宜のために円筒形の外形を有するが、必ずしも外形はこれに限られない。凹所12は、円筒形である上部12aと、半球状である下部12bと、よりなるが、後述のごとく種々の変形が可能である。図1に戻るに、坩堝10は、それ単独でチャンバ40内に挿入されてもよいが、ハンドリングの便宜のためにトレイ32に載せられる。トレイ32は、2500°C以上の高温に耐えるべく黒鉛等の適宜の耐熱材料よりなり、坩堝10の揺動を防ぐべく坩堝を捕捉し得る適宜の形状を有する。チャンバ40は、その一方の端に前室42と、中間に主室44と、他方の端に後室46と、を備える。外部と前室42との間、前室42と主室44との間、主室44と後室46との間、および後室46と外部との間には、それぞれ相互を連通する開口があり、またこれらをそれぞれ閉塞する扉43a,43b,47a,47bが設けられている。扉43a,43b,47a,47bは、それぞれ開口を気密に閉塞するべく構成されている。また扉43a,43b,47a,47bは鉛直に昇降することにより、開口を開くことができる。鉛直な昇降に代えて、水平または他の方向に移動する形態であってもよい。移動のために油圧シリンダや空圧シリンダが利用できるが、これに限られない。また扉の閉塞状態あるいは開状態を維持するために、適宜の係止装置を設けてもよい。扉43a,43b,47a,47bが開口を閉塞したとき、チャンバ40はその内部が雰囲気制御し得るように構成されている。また前室42、主室44および後室46は、それぞれ個別に雰囲気制御し得るように構成されている。すなわち、前室42および後室46が介在することによって、坩堝10を搬入および搬出する際においても、外気が主室44内に侵入せず、内部の雰囲気が維持される。チャンバ40は、さらに、坩堝10をその一方の端から他方の端へ搬送するために、主室44のほぼ全長に亘る軌道48を備える。軌道48は、支柱49bに支持されたレール49b上に線状に並べられたローラ48aを備えてもよいし、あるいは坩堝の滑動が保証されればレールのみを備えてもよい。軌道48は、可能ならば坩堝10を搬送するための機構を備えてもよいが、通常、坩堝10は後続の坩堝による押圧、あるいは先行する坩堝による牽引によって移動する。押圧あるいは牽引を確実にするため、各トレイ32又は各坩堝10は、互いを連結するフックまたはその均等物を備えてもよい。黒鉛化炉100は、さらに、坩堝10の搬入および搬出の便宜のために、チャンバ40外においてプッシャー装置41およびプラー装置45を備える。プッシャー装置41およびプラー装置45は、例えば坩堝10またはトレイ32に解除可能に係合するアームを備えて水平に移動するアクチュエータである。その駆動のために油圧シリンダや空圧シリンダ、あるいはボールねじ等の他の手段を利用し得る。プッシャー装置41およびプラー装置45は、搬入および搬出される坩堝10のみならず、チャンバ100内の一連の坩堝10を一体的に駆動するべく、十分な駆動力を有するべきである。主室44は、主に領域A、領域Bおよび領域Cに区分できる。領域Aにおいては複数のヒータ34が、軌道48に沿って坩堝10に近接し得るように配置されており、以って坩堝10が予熱される。ヒータ34としては、例えば抵抗加熱ヒータ、ガスヒータ、バーナなどが利用できるが、これらに限られない。また抵抗加熱ヒータとしては、カーボンヒータ等が利用できる。坩堝10が領域Bに達したときに、粉末1が黒鉛化温度例えば2500~3000°Cに十分近い温度例えば2000~2300°Cになるよう、ヒータ34の能力を適切に設定する必要がある。領域AおよびBにおいて、外部への熱輻射を抑制するため、またエネルギ効率を高める目的で、断熱壁36を設けてもよい。断熱壁36には、炭素繊維よりなる成形断熱材を適用することができるが、フェルトやチョップドファイバの形態のものを適用することもできる。また断熱壁は領域Cにも設けることができる。領域Bには、一組または複数組の、電流を流すための装置20が設けられる。図2,3を参照するに、各装置20は、電源28と、ケーブル25を介して電源28にそれぞれ電気的に接続された電極22および反対電極24と、を備える。あるいは、電極22は、黒鉛化炉100に搬入する以前に粉末1中に沈めておき、坩堝10が領域Bに達したときに電源28と電気的に接続されるように構成してもよい。電極22は、柱状の軸22aと、その下部に連続する頭部22bと、を備える。頭部22bは例えば半球状だが、後述のごとく種々の変形が可能である。電極22は、貫通孔36aを通って断熱壁36の内部に挿入されている。電極22の上端は断熱壁36の外側に引き出されており、端子板27aを介してケーブル25に電気的に接続される。端子板27aは、水冷ジャケット等の冷却手段により適宜に冷却される。電極22と断熱壁36との電気的絶縁のため、その間には隙間が保持されるが、可能ならば適宜の絶縁部材が介在してもよい。反対電極24も、電極22と同様に、貫通孔36bを通って断熱壁36の内部に挿入されており、その下端は冷却された端子板27bを介してケーブル25に電気的に接続されている。反対電極24と断熱壁36との間も電気的に絶縁されている。電極22および反対電極24は、何れも上述の黒鉛化温度に耐えられる適宜の導電性材料よりなる。そのような材料としては、例えば黒鉛が例示できるが、可能ならば他の材料でもよい。各装置20は、電極22を昇降するべく、昇降装置26を備える。昇降装置26は、油圧により駆動されるシリンダ26aを備えるが、あるいは空圧シリンダやボールねじ等の他の駆動手段がこれに適用されてもよい。昇降装置26は、適宜の絶縁体29を介して主室44の上部に固定されている。図3のごとく、少なくとも、電極22の頭部22bが粉末1および坩堝10より上方に位置する第1の位置から、図2のごとく電極22の頭部22bが粉末1中へ沈む第2の位置まで、電極22を駆動し得るよう、シリンダ26aには十分な可動範囲を与えるべきである。第1の位置においては、坩堝10が電極22の下を通過でき、第2の位置においては電極22から粉末1に電流を流すことができる。反対電極24は、坩堝10がその真上に来ると、これに電気的に接触するように構成されている。あるいは、反対電極24を能動的に坩堝10に接触せしめるべく、上昇装置26bを設けてもよい。上昇装置26bは、適宜の絶縁体29を介して主室44の下部に固定されている。シリンダ26aと上昇装置26bは、共に制御装置30により制御されて駆動される。制御装置30は、また、電源28も制御しており、電極の駆動と同期してこれに電流を供給する。領域Bにおいても複数のヒータ38が設けられていてもよい。ヒータ38としては、例えばカーボンヒータのごとき抵抗加熱ヒータ、ガスヒータ、バーナなどが利用できるが、これらに限られない。ヒータ38は、粉末1を加熱するのみならず、電極22を予熱するべく配置される。かかる予熱は、電極22が粉末1に接触することによる部分的な温度低下を緩和する点で有利である。領域Cは、粉末1の冷却を促すべく構成されている。坩堝10が後室46に達したときに搬出に適した温度にまで冷却されるべく、領域Cは適当な長さを確保するべきである。既に述べた通り、電極22の頭部22bと坩堝10の凹所12とは、それぞれ種々の変形が可能である。頭部22bは、例えば図4Aのごとく、半球状に代えて、縁が丸められた円柱の形状であってもよい。あるいは図4Bのごとく、頭部22bを球状にしてもよい。さらにあるいは図4Cのごとく、頭部22bを円錐形状あるいは頂点が丸められた円錐形状にしてもよい。球、半球、縁が丸められた円柱、円錐、または頂点が丸められた円錐の形状の頭部は、粉末中に容易に深く沈み、その周囲に均一性の高い電場を生じる。これは電流密度の均一性を高め、従って加熱の均一化の点で有利である。粉末中への沈み易さの観点からは、特に円錐形状あるいは頂点が丸められた円錐形状は有利である。凹所12は、半球状の下部を有する円筒形に代えて、頭部22bに対応した形状に変形し得る。例えば、図4A乃至図4Cの例では、坩堝10の内面は、どの部位においても頭部22bに対して等距離にされている。これらも電流密度の均一性の向上に有利である。もちろん、頭部22bと凹所12の内面との距離は、等距離でなくてもよい。粉末1の温度は、発熱と抜熱とが均衡することにより決まるが、電流密度の均一化によって発熱を均一化することはできても、抜熱は均一でない。例えば粉末1の上面近傍において、他の箇所に比べ、抜熱が比較的に大きい。頭部22bの形状は、これを補償するべく考慮して設計することができる。図5A~Cは、そのような例である。図5Aの例では、頭部22bは、円錐形状であるが、その上部は軸22aよりも径方向に外方に突出している。突出した部分において凹所12の内面との距離が近いことにより、電流密度が大きくなり、従って発熱が他の部位よりも大きくなる。また粉末1の上面を被覆することにより抜熱は比較的に小さくなる。このことにより、粉末1の温度が均一化される。もちろん、頭部22bは図5Bの例のように頂点が丸められた円錐形でもよく、あるいは図5Cの例のように縁が丸められた円柱形でもよく、あるいは他の形状でもよい。あるいは、坩堝の形状を変形してもよい。図6の例では、坩堝11の上部ではその厚みが比較的に厚く、下部に行くほど薄くなっている。かかる構造では、粉末1の下部において抜熱が大きくなり、上面における抜熱と同等にすることができるので、結果的に粉末1の温度が均一化される。あるいは、補助的な加熱手段を設けてもよい。図7の例では、誘導加熱コイルICが設けられており、粉末1の上面付近を加熱するべく配置されている。かかる構造によれば、粉末1の上面からの抜熱を補償するに足る発熱を付加することができるので、結果的に粉末1の温度が均一化される。さらにあるいは、可能ならば、粉末1の上面を覆う断熱材を追加してもよい。なお、頭部22bを粉末1中に沈めることにより、粉末1の下部においては上部と比較して密度がより大きくなり、従って比抵抗が小さくなる。そのため、下部においては電流密度が大きくなり、発熱も大きくなる傾向がある。電極の頭部の形状や坩堝の形状、あるいは補助的な加熱手段や断熱材の追加は、かかる要素も考慮して最適に設計することが望ましい。上述の黒鉛化炉によれば、黒鉛は以下のようにして製造される。図1乃至図7と組み合わせて図8を参照するに、まず導電性の坩堝10の凹所12に粉末1を収容するS1。好ましくは、坩堝10に振動を与えたり、粉末1の上面を押圧するなどにより、粉末1の嵩密度を高める。かかる動作は通電による加熱の効率を向上する。並行して、チャンバ100内は不活性雰囲気に制御される。不活性雰囲気を実現する手段としては、窒素や、アルゴン等の希ガス、又はハロゲン等によるパージや、内部を真空にすることが挙げられるが、可能ならば他の手段でもよい。粉末1と共に坩堝10はトレイ32に載せられ、プッシャー装置41がこれに係合される。扉43aが開けられ、粉末1と共に坩堝10がプッシャー装置41により前室42内に搬入される。扉43aは閉じられ、前室42内が主室44内と同じ雰囲気に制御される。次いで扉43bが開けられ、粉末1と共に坩堝10がプッシャー装置41により主室44のヒータ加熱領域Aに搬入されるS2。このとき、先行する他の坩堝10が主室44内にある場合は、プッシャー装置41はこれらを共に押す。すなわち、一連の坩堝10は、図1において右方に一斉に移動する。その後、扉43bは閉じられる。主室44内のヒータ加熱領域Aにおいて、坩堝10と共に粉末1はヒータ34により予熱されるS3。通電加熱領域Bに達するまでに、粉末1が黒鉛化温度に十分近い温度例えば2000~2300°Cにまで上昇するよう、ヒータ34の出力は適切に調整されるべきである。後続の坩堝10により順次押されることにより、坩堝10は通電加熱領域Bに搬入されるS4。このとき、ヒータ38により電極22および反対電極24は予熱されている。坩堝10の直下にある反対電極24は、上昇装置26bにより上昇せしめられ、坩堝10に電気的に接触するS5。このとき、坩堝10はトレイ32から電気的に絶縁される。次いで、電極22は、シリンダ26aにより下降せしめられるS6。このとき、電極22の頭部22bが粉末1に電気的に接触する。このとき頭部22bが粉末1中に沈み、粉末1は部分的に圧縮を受ける。シリンダ26aが適宜に制御され、粉末1の密度分布を調整するべく、頭部22bを制御された量だけ粉末1中へ沈める。電源28から坩堝10および電極22を経由して、粉末1に電流が流されるS7。電流量は、粉末が黒鉛化温度例えば2500~3000°Cに達するように適宜に制御される。このとき、粉末1の上面を加熱するべく高周波誘導コイルを配置し、これに高周波を印加してもよい。あるいは、上面を断熱材により少なくとも部分的に被覆してもよい。図1の例のように、複数組の電流を流すための装置20が設けられている場合は、上述の通電工程も複数回繰り返される。電極22の位置は、それぞれの通電機会で変更してもよい。また電極22は粉末1に繰り返し挿抜されるが、電極22を抜き出さずに通電を繰り返してもよい。通電により粉末は加熱され、黒鉛化される。電極22が黒鉛から抜き出されS8、後続の坩堝10により順次押されることにより、坩堝10は冷却領域Cに搬入されるS9。領域Cにおいて黒鉛は徐々に冷却されS10、搬出が可能な温度にまで冷される。坩堝10が扉47aの直前にまで達したら、扉47aが開かれ、後続の坩堝10により押されることにより、坩堝10は後室46に搬入される。扉47aが閉じられ、後室46内に外気が導入される。次いで扉47bが開かれ、プラー装置45により黒鉛と共に坩堝10が搬出されるS11。粉末が履歴する温度プロファイルは、例えば図9のようである。ここで、横軸tpは粉末が黒鉛化炉に搬入されてからの時間であり、縦軸Tは温度である。T2は領域Aにおける加熱温度であって、例えば2000~2300°Cであり、T1は黒鉛化温度であって、例えば2500~3000°Cである。上述より理解されるように、粉末は坩堝中において均一に加熱されるので、得られる黒鉛は品質に優れ、また高い収量が得られる。また予熱、加熱、冷却よりなる一連のプロセスが、流れ作業的に実行されるので、高い生産性が実現される。さらに、先行するプロセスにおける余熱を後続のプロセスが利用できるので、優れたエネルギ効率が実現される。好適な実施形態により本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記開示内容に基づき、当該技術分野の通常の技術を有する者が、実施形態の修正ないし変形により本発明を実施することが可能である。"