測定対象であるシリコンに電極を押し付け、その電極とシリコンのいずれか一方又は双方を回転させて、当該電極とシリコンとのオーミックコンタクト得ることを特徴とするシリコンと電極のオーミックコンタクト形成方法。測定対象であるシリコンに電極を押し付け、その電極とシリコンとのいずれか一方又は双方を回転させて、当該シリコンと電極の接触部に合金層とシリサイド層のいずれか一方又は双方を形成して、当該接触部にオーミックコンタクトを得ることを特徴とするシリコンと電極のオーミックコンタクト形成方法。測定対象であるシリコン内の少数キャリアの再結合ライフタイムの測定方法において、シリコンに押し付けながら回転させてシリコンとオーミックコンタクトさせた電極に直流電圧を印加してシリコンに直流電流を流し、電極間のシリコンにパルス光を照射し、当該パルス光の照射によりシリコン内に発生した過剰キャリアによって変化するシリコンの電気伝導度の時間的な変化量を測定することにより、シリコンの少数キャリアの再結合ライフタイムを測定することを特徴とするシリコンのライフタイム測定方法。請求項3記載のシリコンのライフタイム測定方法において、シリコンの少数キャリアの再結合ライフタイム測定後に、シリコンへの電極の押し付け箇所を変えることにより、その電極とシリコンとに新たなオーミックコンタクトを得、その電極に直流電圧を印加してシリコンの新たな箇所の少数キャリアの再結合ライフタイムを測定することを特徴とするシリコンのライフタイム測定方法。シリコンのライフタイム測定に使用される測定ヘッドにおいて、電極を挟着保持可能な電極チャックと、電極チャックを回転させる回転駆動体と、シリコン側への前記電極チャック及び回転駆動体の往復移動をガイドするリニアガイドと、電極チャックに挟着保持されている電極及び回転駆動体を前記ガイドにガイドさせて往復移動させることができ、前記電極を前進時にシリコンに押し付け、後退時にシリコンから引き離す押し付け具と、電極チャックと導通するコンタクトプローブと、前記シリコンにパルス光を照射する光照射部を備え、前記押し付け具により電極をシリコンに押し付け、当該押し付け状態で回転駆動体により電極を回転させることによって電極とシリコンのオーミックコンタクトを得ることができ、その電極に直流電圧を印加するとシリコンに直流電流を流すことができ、光照射部から電極間のシリコンにパルス光を照射してシリコン内に過剰キャリアを発生させることができ、過剰キャリアの発生により生ずるシリコンの電気伝導度の時間的な変化量を測定することにより、シリコンの少数キャリアの再結合ライフタイムを測定可能としたことを特徴とするシリコンのライフタイム測定ヘッド。請求項5記載のシリコンのライフタイム測定ヘッドにおいて、電極チャックと、押し付け具と、回転駆動体を二セット備え、二セットの電極チャックは互いに間隔をあけて配置されて別々に往復移動、回転可能であることを特徴とするシリコンのライフタイム測定ヘッド。本発明は、ガリウム、インジウムなどを使用することなく電極とシリコンのオーミックコンタクトを得る方法と、直流光導電減衰法によるシリコンのライフタイム測定方法と、その測定に使用できる測定ヘッドを提供することにある。シリコンと電極のオーミックコンタクト形成方法本発明の一つは、シリコンと電極のオーミックコンタクト形成方法であり、測定対象であるシリコンに電極を押し付け、その電極とシリコンのいずれか一方又は双方を回転させて、回転による摩擦でシリコンの表面を荒すと共に電極とシリコンとの間の界面状態を物理的に変化させて合金層とシリサイド層のいずれか一方又は双方を形成することにより、当該電極とシリコンとのオーミックコンタクトを得る方法である。シリコンのライフタイム測定方法本発明のシリコンのライフタイム測定方法は、シリコンに押し付けながら回転させてシリコンとオーミックコンタクトさせた二つの電極に直流電圧を印加してシリコンに直流電流を流し、二つの電極間のシリコンにパルス光を照射し、当該パルス光の照射によりシリコン内に発生した過剰キャリアにより変化するシリコンの電気伝導度の時間的な変化量を測定することにより、シリコンの少数キャリアの再結合ライフタイムを測定方法である。本発明では、前記シリコンの少数キャリアの再結合ライフタイム測定後に、ライフタイム測定に使用した電極をシリコンの別の箇所に押し付け、その電極を回転させることにより、その電極とシリコンの新たなに箇所にオーミックコンタクトを得、その電極に直流電圧を印加して、シリコンの新たな箇所の少数キャリアの再結合ライフタイムを測定することができる。シリコンのライフタイム測定ヘッド本発明のシリコンのライフタイム測定ヘッドは、電極を挟着保持可能な電極チャックと、電極チャックを回転させる回転駆動体と、シリコン側への前記電極チャック及び回転駆動体の往復移動をガイドするリニアガイドと、電極チャックに挟着保持されている電極及び回転駆動体が前記ガイドに案内されて往復移動し、前記電極を前進時にシリコンに押し付け、後退時にシリコンから引き離す押し付け具と、電極チャックと導通するコンタクトプローブと、前記シリコンにパルス光を照射する光照射部を備え、前記押し付け具により電極をシリコンに押し付け、当該押し付け状態で回転駆動体により電極を回転させることによって電極とシリコンとのオーミックコンタクトを得ることができ、その電極に直流電圧を印加するとシリコンに直流電流を流すことができ、光照射部から電極間のシリコンにパルス光を照射してシリコン内に過剰キャリアを発生させることができ、過剰キャリアの発生により生ずるシリコンの電気伝導度の時間的な変化量を測定することにより、シリコンの少数キャリアの再結合ライフタイムを測定可能としたものである。前記ライフタイム測定ヘッドは、電極チャックと押し付け具と、回転駆動体が二セット設けられ、二セットの電極チャックは互いに間隔をあけて配置されて、別々に往復移動、回転可能としてある。本発明のシリコンと電極のオーミックコンタクト形成方法は、ガリウム、インジウムなどを使用する必要がないため、オーミックコンタクトの迅速な形成が可能であり、シリコンのライフタイム測定に要する時間を大幅に短縮することができる。本発明のシリコンのライフタイム測定方法によれば、一つのシリコンの切断面の多点に電極を押し付け直して新たなオーミックコンタクトを得て、一つのシリコンの多点を測定することができる。本発明のシリコンのライフタイム測定ヘッドを使用すれば、シリコンとオーミックコンタクトした二つの電極を使用して電極の回転、シリコンへの電極の押し付けを容易且つ確実に行うことができ、シリコンのライフタイム測定を手軽に且つ迅速に行うことができる。[シリコンと電極のオーミックコンタクト形成方法の実施形態]本発明のシリコンと電極のオーミックコンタクト形成方法の実施形態の一例を図面に基づいて説明する。図1、図2は試料1がシリコン単結晶のシリコンインゴットの場合である。図1に示すオーミックコンタクト形成方法は、棒状又はパイプ状の二本の電極2A、2Bを、測定対象であるシリコンインゴット1の端面に押し付けながら回転させ、電極2A、2Bとシリコンインゴット1との接触部分に合金層又はシリサイド層を形成して、シリコンインゴット1と電極2A、2Bをオーミックコンタクトする方法である。電極2A、2Bはパイプ状のものでも中実棒状のものでもよく、その材質も各種金属とすることができる。一例として図1に示す電極2A、2Bは直径6mm程度のアルミパイプであり、両電極2A、2Bの間隔を40mm程度としてある。電極2A、2Bの太さはこれより太くても細くてもよく、両電極2A、2Bの間隔はこれより広くすることも狭くすることもできる。電極2A、2Bの回転は例えばモータにより行うことができ、押し付けは例えば押し具により行うことができる。電極2A、2Bの回転速度や押し付け力は任意に選択可能であるが、回転速度30/秒程度、押し付け力20N程度とすると、回転時間数秒程度でオーミックコンタクトが得られる。本発明ではシリコンインゴット1と電極2A、2Bの回転及び押し付けは相対的に行えばよく、シリコンインゴット1を電極2A、2Bに押し付けながら回転させることも、シリコンインゴット1と電極2A、2Bを互いに押し付けながら両者を回転させることもできる。この場合、双方の回転方向は逆方向への回転でも同方向への回転でも良い。[シリコンのライフタイム測定方法の実施形態]本発明のシリコンのライフタイム測定方法の実施形態の一例として、シリコンインゴット1のライフタイムを測定する場合について図2の測定原理図を参照して説明する。シリコンインゴット1は単結晶が均一な組成を持ち、抵抗率が1Ωcm以上のものが好ましい。このライフタイム測定方法は、前記オーミックコンタクト形成方法によりシリコンインゴット1と電極2A、2Bのオーミックコンタクトを得てから、既存の直流光導電減衰法により行うことができる。本発明のシリコンのライフタイム測定方法の一例を図1~図3に基づいて以下に説明する。1前記したオーミックコンタクト形成方法により、シリコンインゴット1と電極2A、2Bとのオーミックコンタクトを得たら、電極2A、2Bの回転を停止させ、押し付けは継続する。2前記電極2A、2Bに直流電源3から直列抵抗Rを通して直流電圧例えば20Vを印加して、シリコンインゴット1に直流電流を流す。流す直流電流の極性を切り替えて電極2A、2B間の電圧を測定し、電極2A、2Bの接触に整流性がないことを確認する。3両電極2A、2B間のシリコンインゴット1に励起エネルギーパルス光を照射する。パルス光には例えばパルス発振器4から発振されるパルス信号に基づいてレーザー光源例えば、YAGレーザー5から発生されるパルス光を使用することができる。パルス光としては、例えば、波長1064nm、パルス幅約30μS、パルス出力最大5mj程度が適する。パルス光は減衰器NDフィルタ-7を通すことにより強度を制御してシリコンインゴット1に照射することができる。図2に示す減衰器7はYAGレーザー5で発生したパルス光を数個のNDフィルター7により、測定するシリコンインゴットに合わせた強度に調整できるようにしてある。4パルス光の照射によりシリコンインゴット1に過剰キャリア正孔又は電子が発生すると、シリコンインゴット1の電気伝導度が過剰キャリアの濃度に応じて変化する。電気伝導度は時間経過に伴って指数関数的に減衰する図3a。本発明では、過剰キャリアの発生による電気伝導度の変化量を測定し、その減衰曲線の時定数により少数キャリアの再結合ライフタイムを測定する。5パルス光の照射による二つの電極2A、2B間の変化電圧を増幅器8で増幅し、デジタルオシロスコープ以下単にオシロスコープという。9で観測し、その観測データを電子計算機例えば、パーソナルコンピュータ:PC10で処理して少数キャリアの再結合ライフタイムを得ることができる。前記増幅器8には既存のオペアンプなどを用いることができる。図3aに示すEXPOTENTIALDECAYPART指数関数的減衰部分の信号電圧ΔVが1/e=0.367に減衰する時間減衰時間τFを読み取ってPRIMARYMODELIFETIME一次モードライフタイムの近似値とする。次に、指数関数的減衰曲線をSEMILOGARITHMICSCALEInΔV=Ut片対数目盛に変換した減衰曲線:図3bに変換すると、LINEARPLOT直線状のプロットが得られる。この直線の傾斜からτFを算出する。1/eの減衰時間τFを求めたTIMEAREA時間領域がSEMILOGARITHMIC片対数のSTRAIGHTLINEPART直線部分のTIMEAREA時間領域に含まれている場合は、τFとτFは一致する。[シリコンのライフタイム測定ヘッド]本発明のシリコンのライフタイム測定に使用するライフタイム測定ヘッド以下測定ヘッドという。の一例を図4~図6に基づいて説明する。この測定ヘッドは二本の電極2A、2Bを別々に挟着可能な二つの電極チャック20A、20Bと、夫々の電極チャック20A、20Bを別々に回転させる二つの回転駆動体21A、21Bと、夫々の電極チャック20A、20Bをシリコンインゴット1図2に別々に押し付ける押し具22A、22B図5a、bと、二つの電極2A、2B間のシリコンインゴット1に励起エネルギー光を照射する光照射部パルス光照射部23図4を備えている。夫々の電極チャック20A、20Bは、対向配置された二つの挟着片24A、24Bがエア式或いは油圧式の開閉機構により横方向に開閉され、開いた二つの挟着片24A、24B間に電極2A、2Bを差し込んでから二つの挟着片24A、24Bを閉じると両挟着片24A、24B間に電極2A、2Bが挟着保持され、二つの挟着片24A、24Bを開くと電極2A、2Bの挟着が解放されるようにしてある。夫々の電極チャック20A、20Bの回転軸25A、25B図5bは背面側に突出しており、夫々の回転軸25A、25Bに回転輪26A、26B図5bが取付けられている。前記した二つの電極チャック20A、20Bはブロック状のチャック取付け体27A、27B図5bに取付けられている。前記回転駆動体21A、21Bにはモータが使用されている。モータ21A、21Bは板状のモータ取付け体28A、28B図4、図5aに取付けられて夫々の電極チャック20A、20Bの外側に配置され、モータ21A、21Bの回転軸29A、29B図5b及びその回転軸29A、29Bに取付けられたプ―リ30A、30B図5a、bが電極チャック20A、20Bの背面側に向けて配置されている。このプーリ30A、30Bと電極チャック20A、20Bの回転輪26A、26Bとにベルト31A、31B図5a、bが掛けられ、モータ21A、21Bの回転によりプーリ30A、30Bが回転するとベルト31A、31Bが回転して、電極チャック20A、20Bの回転輪26A、26Bが回転し、電極チャック20A、20Bが回転するようにしてある。モータ21A、21Bは正逆回転の切り替えが可能であり、回転を切り替えることによって電極チャック20A、20Bに挟着保持された電極2A、2Bの回転方向を切り替えることができる。ベルト31A、31Bにはタイミングベルトを使用すると回転制御が容易になる。この場合、モータのプーリ30A、30Bと電極チャック20A、20Bの回転輪26A、26Bもタイミングベルトが噛み合う凹凸を備えたものとする。前記した押し具22A、22Bにはエアシリンダ図5a、bが使用されている。押し具22A、22Bは縦向きの肉厚板状の支持材32に取付けられており、この押し具22A、22Bには外部のエア駆動部エア回路が連結されて、エア回路からのエアの給排により板状の支持材32の前方に突出しているエアシリンダ22A、22Bのピストンが前進、後退するようにしてある。押し具22A、22Bには油圧シリンダを使用することもできる。その場合はエア回路を油圧回路とする。前記二つのチャック取付け体27A、27B図5bとモータ取付け体28A、28B図4は図6aに示す別体の移動体33A、33Bに取付けられている。この移動体33A、33Bは、縦向き板状の支持材32から前方に突設されている横向きのブロック状の基体34の底面に取付けられている二本の角棒状のリニアガイド35A、35Bに嵌合されて、前記押し具22A、22Bのピストンが前方に押されるとリニアガイド35A、35Bにガイドされて前進移動し、そのピストンにより後方に引き戻されると後退してリニアガイド35A、35Bにガイドされて後退移動するようにしてある。この前進移動により移動体33A、33Bに取付けてある電極チャック20A、20B及びモータ21A、21Bが前進して電極チャック20A、20Bに挟着保持されている電極2A、2Bがシリコンインゴット1に押し付けられ、後退移動により電極2A、2Bがシリコンインゴット1から引き離される。前記電極2A、2Bの背面側には二本のコンタクトプローブ36A、36B図5aが突設されている。コンタクトプローブ36A、36Bは電極2A、2Bに直流電圧を印加するための直流電源3図2を接続するためのものである。前記二つの電極チャック20A、20Bの間には光照射部23図4が設けられている。光照射部23はオーミックコンタクトされた二つの電極2A、2B間のシリコンインゴット1に励起エネルギー光を照射するためのものであり、パルス光出口23a図4が電極チャック20A、20Bの間に設けられ、光ファイバ接続部23b図5aが縦向きの板状の支持材32の背面に突設されている。光ファイバ接続部23bには外部のYAGレーザー5図2を接続して、YAGレーザー5から出射されるパルス光が入射され、そのパルス光が前記パルス光出口23a図4から出射して、シリコンインゴット1に照射されるようにしてある。図示したモータ21A、21B、押し具22A、22Bは二つの電極2A、2B用に別々に備えられ、夫々の電極2A、2Bを別々にシリコンインゴット1に押し付けたり、回転させたりすることができるようにしてあるが、可能であれば一つを二つの電極2A、2Bに共用とすることもできる。[直流電源]前記直流電源3図2はシリコンインゴット1に電流を供給するための直流安定化電源である。電圧は0~30Vの範囲で任意に設定できるようにしてあるが、20V程度に設定して使用するのが好ましい。[ライフタイム測定ヘッドを使用したライフタイム測定]前記したライフタイム測定ヘッドを使用して、直流光導電減衰法によりシリコンインゴット1のライフタイムを測定する場合は次のようにして行うことができる。1前記測定ヘッドの二つの電極チャック20A、20Bの夫々の二つの挟着片24A、24B間に電極2A、2Bを挟んで保持させる。2前記電極チャック20A、20Bを押し具22A、22Bにより前進移動させてワークターンテーブル図示しないにセットされているシリコンインゴット1側に押し付ける。3前記電極チャック20A、20Bをモータ21A、21Bにより回転させて、電極2A、2Bとシリコンインゴット1のオーミックコンタクトを得る。オーミックコンタクトを得たら、電極チャック20A、20Bの回転を停止させ、シリコンインゴット1への電極2A、2Bの前記押し付けを保持する。4前記状態で、前記した本発明のライフタイム測定方法により、測定ヘッドのコンタクトプローブ36A、36B図5aに直流電圧を印加し、電極2A、2Bからシリコンインゴット1に直流電流を流し、電極2A、2Bの間のシリコンインゴット1にパルス光を照射してシリコンインゴット1のライフタイムを測定する。測定ヘッドのコンタクトプローブ36A、36B図5aに直流電圧を印加する場合は、図7に示すように、DC電源3からプローブエレクトロニクス40を介して直流電圧を印加することができる。プローブエレクトロニクス40はシリコンインゴット1に直流電圧を印加してライフタイム波形を検出するための直列抵抗R図2及びOFFSETVOLTAGEオフセット電圧とライフタイムを分離するOFFSETCENCELLERオフセット除去器を備えている。この場合、インストールメントユニット41図7によりプローブエレクトロニクス40の直列抵抗、増幅器8図2の利得の切り替えをパソコン10の制御信号に従って行うと共に、両電極2A、2B間の電圧及び動作状態をランプ表示することができる。5電極2A、2Bがオーミックコンタクトされたシリコンインゴット1に光照射部23図5からパルス光を照射する場合、オプティカルコントローラ42図7でYAGレーザー5、減衰器7及びバックライトBLの制御を行うと共にそれらの動作状態を表示することもできる。図7の電源装置43はYAGレーザー5の電源装置である。図7のバックライトBLは、ライフタイム測定信号の減衰曲線が長く尾を引いてBASELINE基線に戻らない場合に、シリコンインゴット1をハロゲンランプで照光してTRAPEFFECTトラップ効果を消して測定できるようにするものである。6前記オーミックコンタクトの位置でのライフタイム測定が終了したら、押し具22A、22Bを引き戻して、電極2A、2Bをシリコンインゴット1から引き離す。7引き離した状態で、シリコンインゴット1がセットされているワークターンテーブルをX軸、Y軸、Z軸のいずれか一又は二以上の方向に移動させて、シリコンインゴット1の位置を変える。8前記位置変更後、押し具22A、22Bにより電極チャック20A、20Bを前進させて、電極チャック20A、20Bに挟着保持されている電極2A、2Bをシリコンインゴット1の別の箇所に押し付け、電極チャック20A、20Bをモータ21A、21Bにより回転させてその押し付け箇所で電極2A、2Bとシリコンインゴット1のオーミックコンタクトを得る。オーミックコンタクトを得たら電極チャック20A、20Bの回転を停止させ、シリコンインゴット1への電極2A、2Bの前記押し付けを保持する。9前記状態で、前記測定時と同様にコンタクトプローブ36A、36Bに直流電圧を印加し、シリコンインゴット1にパルス光を照射してシリコンインゴット1のライフタイムを測定する。前記押し付け箇所での測定終了後、ワークターンテーブルをX軸、Y軸、Z軸のいずれか一又は二以上の方向に移動させて、ワークターンテーブルにセットされているシリコンインゴット1の位置を変え、電極2A、2Bとシリコンインゴット1のオーミックコンタクトの位置を変えて次の測定を行うことができる。