フッ素ガスの使用場所3を有するフッ素供給システム2に接続されたフッ素発生装置1と、前記フッ素供給システムに接続可能なフッ素ガス貯蔵装置4と、を具備し、少なくとも1つの地震計を具備することを特徴とするフッ素ガスプラント。前記地震計が加速度計であることを特徴とする請求項1に記載のプラント。運転停止システムを具備することを特徴とする請求項1または2に記載のプラント。前記フッ素ガス貯蔵装置が複数の中空体5を備えることを特徴とする請求項1、2または3に記載のプラント。前記フッ素ガス貯蔵装置が5個~8個の中空体を備えることを特徴とする請求項4に記載のプラント。前記地震計が、制御盤に接続されており、前記制御盤に信号を送信することを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載のプラント。少なくとも1つの中空体5のF2含有量を軽減することができる非常用スクラバをさらに具備する、請求項1~6のいずれか一項に記載のプラント。運転停止システムが、前記F2発生装置用の電源と接続されていることを特徴とする請求項3~7のいずれか一項に記載のプラント。運転停止システムが、前記フッ素ガス貯蔵装置4を運転停止することができる弁と接続されていることを特徴とする請求項3~8のいずれか一項に記載のプラント。フッ素ガスの使用場所3を有するフッ素供給システム2に接続されたフッ素発生装置1と、前記供給システムに接続可能なフッ素ガス貯蔵装置4とを備え、少なくとも1つの地震計を備えるフッ素ガスプラントにおいて、F2ガスを生成する方法であって、電流が、溶融KF/HF組成物を流れ、それにより前記溶融KF/HF組成物が電解されてF2およびH2を形成し、生じる未処理F2が、精製され、前記使用場所にかつ/またはフッ素ガス貯蔵装置に配給され、前記地震計が、地震から発生する振動を検出する場合、信号が生成され、前記フッ素ガスプラントにおいて実行される1つまたは複数のプロセスの停止をもたらすことを特徴とする方法。電解プロセスが停止されることを特徴とする請求項10に記載の方法。前記使用場所への前記フッ素ガス配給が停止されることを特徴とする請求項10または11に記載の方法。前記信号が、前記フッ素ガス貯蔵装置4を遮断するように弁を閉鎖することを特徴とする請求項10~12のいずれか一項に記載の方法。前記生成された信号が制御盤に送信され、前記制御盤が1つまたは複数のプロセスの運転停止を始動することを特徴とする請求項10~13のいずれか一項に記載の方法。フッ素ガスプラントの安全な運転に関して依然として改善が必要とされている。本発明は、改善されたフッ素ガスプラントと純F2をより安全に製造する改善されたプロセスとを提供する。本発明によるフッ素ガスプラントは、フッ素ガスの使用場所3を有するフッ素ガス供給システム2に接続されたF2発生装置1と、前記供給システムに接続可能なフッ素ガス貯蔵装置4とを備え、前記フッ素ガスプラントは、少なくとも1つの地震計15を備えている。参照符号は、図1の添付図面を参照する。必要に応じて、プラントの部品をスキッドの形態に組み立てることができる。地震計は、腐食性媒体aggressivemediaに対して耐性があるべきであり、好ましくは個々のハウジングを備えている。地震計を、たとえば、フッ素ガスプラントの部品にまたは地面にボルト留めすることができる。好ましくは、冗長性のために少なくとも2つの地震計があることが予測される。プラントは、好ましくは、運転停止システムを備えている。運転停止システムは、所定のプロセスを停止する。地震計は、地震を検出した時に信号を発生する。信号は、受信機、たとえば制御盤に組み込まれた受信機に送信される、光信号、音響信号および電気信号からなる群から選択された少なくとも1つの信号である。好ましくは、地震計は、プラントの個々の装置に対して運転停止するように送信されるか、またはフッ素ガスプラントで実行しているプロセスのうちの少なくとも1つを停止する自動運転停止スイッチを作動させる制御盤に送信される電気信号を発生する。制御盤を、単一の運転停止スイッチに種々のプロセスが割り当てられるように、または別個の運転停止スイッチに各プロセスを割り当てることができるように構成することができる。好ましくは、地震計の信号は制御盤に送信され、制御盤は、それにより、1つまたは複数の運転停止スイッチを自動的に作動させる。ここで、本発明を、1つの運転停止スイッチがいくつかの実行中プロセスを停止する代替形態に関して説明する。運転停止スイッチは、プラントで行われている所定プロセス、たとえば電解プロセス、使用場所へのフッ素の配給、またはさらにはスクラビング、精製および分析を含むF2生成において行われるすべてのプロセスを停止する。地震計と自動運転停止スイッチとの間の接続は、デジタル電気信号またはアナログ電気信号を送信することができるケーブルの形態であり得る。別法として、地震計および運転停止スイッチを、地震計から送信機によって送信され受信機によって受信される電磁波を介して接続することができる。地震計は、運転停止システムを含む制御盤に接続されることが好ましい。地震計は、地震活動、特に地震を検出する。地震が検出されると、地震計は、好ましくは制御盤に含まれる自動運転停止スイッチに電子信号を送信する。運転停止スイッチは、フッ素ガスプラントの所定の実行中プロセスを自動的に停止する。好ましくは、スイッチは、整流器を介して電解槽まで流れる電流を遮断し、それにより、F2発生プロセスを停止する。地震計信号、たとえば音響信号、たとえば所定の音声あるいはアナウンス、または警告灯のような光信号によって、警告信号が始動されることが好ましい。地震計はまた、F2配給が中断されることを示す信号を、生成されるフッ素ガスを使用する施設に送信することも可能である。フッ素ガスは、特に、フッ素分子F2およびその特に不活性ガスとの混合物を示すように理解される。不活性ガスを、たとえばN2O、酸素、アルゴンおよび窒素から選択することができる。好ましいフッ素ガスは、F2からなるかまたは本質的にF2からなる。地震計はまた、他の動作をトリガすることもできる。たとえば、HF、フッ素ガスまたはF2を収容する貯蔵タンクの弁を閉鎖して、ラインおよびパイプを通してガスがそれ以上分配されないようにすることができ、または、電解槽の電解質塩の温度を約80°C~100°Cの範囲の温度で維持する水または冷却液を加熱するために加えられる電気加熱の電源を、切ることができる。空気または湿気の侵入を防止するためにラインまたはパイプを隔離するように、弁を閉鎖することができる。スクラバを通してプラントの空気を換気するファンの容量を増大させることができる。フッ素ガスプラントの所定部分に、不活性ガスを吹き込むことができる。パイプまたはラインのガスまたは液体をスクラバまたは非常用スクラバに、たとえばそれらにN2を通すことにより、強制的に通すことができる。この方法はまた、空気または湿気がラインまたはパイプに侵入するのを防止するのにも役立ち、それにより、プラントの後の再始動が改善される。電力源を保護するために、予防的に、ディーゼル発電機を始動させることができる。好ましくは、地震計は加速度計である。地震計、特に加速度計を使用する利点は、それが、発生している地震の検出において人間よりはるかに感度が高いということである。地震が早期に検出されるため、プラントを、安全にまたは少なくともそれほど迅速でないやり方で運転停止することができ、プラントにいる作業員により、自身を保護する予防策を含むさらなる安全予防策を行うことができる。F2ガスプラントにおける用途に好適な地震計は、一般に知られている。加速度計は、地震活動を非常によく測定することができるため、地震計として特に好適である。作動原理が非常に異なる加速度計が知られている。たとえば、抵抗電位差または伸びextensiometric、誘導性、電磁気学、静電学、ピエゾ抵抗、圧電気piezoelectricicityまたはドップラ原理による光電子工学の原理に基づく加速度計が好適であり、知られている。これらの加速度計は、10-2ms-2からさらに10-9msec-2からのものもある102msec-2までさらに最大106msec-2のものもあるの範囲の加速度と、0Hz超から102Hzさらに最大104Hzのものもあるの振動数とを検出する。特許文献2に記載されているように、本発明のF2ガスプラントに適用することができる所定の装置。この装置では、基部に取り付けられた板ばねの端部に塊体が吊り下げられており、基部は、地面と接触している構造体の要素または構造体内の物体に締結されている。塊体の動きは、基部の動きから切り離されている。基部に、大地震の最初の衝撃波の特徴である上向きの加速度および変位がもたらされた場合、塊体の慣性が、電気接点を閉鎖するばねに対して相対的な下方の力を加え、電流がバッテリから光まで流れるようにする。アセンブリのスペクトル応答を、アセンブリの慣性質量、ばねおよび減衰力と接点間の距離とを調節することにより、任意の所望の加速度および変位の閾値に容易に調整することができる。ここで、F2を含むフッ素ガスが複数の中空体に貯蔵される好ましい実施形態に関して、本発明について説明する。好ましい実施形態では、フッ素ガスプラントは、フッ素発生器に対してバックアップを提供するようにF2を貯蔵している。F2の存在に関する安全性の危険を最小限にしながら、必要な量のフッ素ガスを使用場所に安定かつ経済的に提供することは、フッ素ガスプラントが、フッ素ガスの使用場所3を有するフッ素ガス供給システム2に接続されたF2発生装置1と、前記供給システムに接続可能な常設フッ素ガス貯蔵装置4とを備え、前記フッ素ガス貯蔵装置が複数の中空体5を備えている場合に、特に可能である。常設フッ素ガス貯蔵装置は、特に、フッ素プラントに組み込まれているフッ素ガス貯蔵装置を示すように理解される。好ましくは、常設フッ素ガス貯蔵装置は、プラントに貯蔵されるフッ素ガスの総重量に対して90重量を超える、より好ましくは95重量を超える、もっとも好ましくは約100重量のフッ素ガスを収容するように設計されている。好ましくは、F2はガスの形態で貯蔵される。フッ素ガス供給システムは、特に、フッ素ガスを収容することができ、かつF2発生装置から使用場所までフッ素ガスを搬送することができる要素を示すように理解される。フッ素ガス供給システムのあり得る構成要素としては、限定されないが、供給ライン、圧縮機、混合装置およびバッファタンクが挙げられる。接続可能とは、特に、常設フッ素ガス貯蔵装置がフッ素ガス供給システムの構成要素に接続されることが可能であるように備え付けられていることを示すように理解される。フッ素ガス供給システムの構成要素に接続されたフッ素貯蔵装置を接続する好適な機器は、ラインを介してフッ素貯蔵装置の各中空体5に接続され、かつ好ましくは各ラインに各中空体を個別に隔離することができる遮断弁7を有している、マニホルド6を含み、前記マニホルドは、フッ素ガス供給システムの構成要素にさらに接続されている。フッ素ガス貯蔵装置は、好ましくは、4個~25個の中空体、より好ましくは5個~8個の中空体を備えている。中空体は、好ましくは、実質的に同一の形状および寸法である。円柱形状中空体が好ましい。各中空体は、好ましくは、最大約6kg~10kg、好ましくは約8kgのF2を収容する。本発明によるフッ素ガスプラントの好ましい実施形態では、フッ素ガス貯蔵装置は、密閉空間8に含まれている。密閉空間は、概して、密閉空間のフッ素分解システム9への接続をトリガすることができるフッ素センサを備えている。好適には、密閉空間は、ポンプ11に接続された吸引ライン10を介してフッ素分解システムに接続されており、ポンプ11は、密閉空間からフッ素分解システムにガスを圧送するように動作可能である。さらなる実施形態では、本発明によるフッ素ガスプラントは、混合装置12、好ましくは静的混合装置をさらに備えており、前記混合装置は、好ましくは、フッ素発生装置1からフッ素を受け取ることができ、かつ不活性ガス供給ライン13から好ましくはアルゴンおよび/または窒素等の不活性ガスを受け取ることができる。本発明はまた、使用場所にフッ素ガスを供給するために本発明によるフッ素ガスプラントを使用することを含む、フッ素ガスの供給方法に関する。図1は、本発明の例示的な好ましいフッ素プラントを示す。F2発生装置1は、フッ素ガス供給システム2に接続されており、フッ素ガス供給システム2は、使用場所3に接続されたフッ素ガス供給ラインを備え、使用場所3は、半導体製造プラントに接続されている。点線として示す任意選択的な実施形態では、フッ素ガス供給ラインは、不活性ガス供給ライン13にさらに接続されている混合装置12に接続されており、さらなるフッ素ガス供給ラインが、混合装置12を、弁14を介して使用場所3に接続している。フッ素ガス供給システム2は、マニホルド6を介してフッ素ガス貯蔵装置4にさらに接続されており、マニホルド6は、ラインを介してフッ素ガス貯蔵装置の各中空体5に接続され、かつ好ましくは遮断弁7を有している。フッ素ガス貯蔵装置は、密閉空間8に収容されており、密閉空間8は、密閉空間のフッ素分解システム9への接続をトリガすることができるフッ素センサを備えている。密閉空間は、ポンプ11に接続された吸引ライン10を介してフッ素分解システムに接続されており、ポンプ11は、密閉空間からフッ素分解システムにガスを圧送するように動作可能である。地震計加速度計15が、貯蔵装置8のハウジングに位置している。それを、プラントの内のいずれの場所にも、またはさらには近接して配置することもできる。地震計は、地震振動を検出し、それぞれの信号を制御盤に提供し、制御盤は、特に、使用場所にフッ素ガスを提供するラインおよびパイプと流体接触しているいずれの中空体5も、自動的に遮断する。好ましくは、非常用スクラバもまたスタンバイ状態となり、それにより、有害なガスHFまたはF2が検出された場合に、有害なガスを含む周囲環境を、有害なガスを軽減するために非常用スクラバを通して換気することができる。概して、非常用スクラバは、1つまたは2つの中空体に収容されているフッ素ガス、特にF2を破壊することができ、好ましくは、約1つの中空体に収容されているフッ素ガス、特にF2を破壊することができる。したがって、中空体の形態でF2バックアップを提供し、中空体の各々が、地震計たとえば加速度計に結合されたプラントの総F2バックアップの一部のみを含む、好ましい実施形態により、フッ素ガスプラントの安全性が向上する。地震計により、発生している地震に対する迅速な反応と、バックアップフッ素ガスの総量を収容する1つのタンクと比較した場合、フッ素ガスの一部のみを収容する複数の中空体の提供とが可能になる。これは、特に、中空体のうちの1つまたは複数から漏出するF2を軽減する機能を有する非常用スクラバが存在する場合である。本発明はまた、フッ素ガスの使用場所3を有するフッ素供給システム2に接続されたフッ素発生装置1と、前記供給システムに接続可能なフッ素ガス貯蔵装置4とを備えたフッ素ガスプラントであって、少なくとも1つの地震計を備えているフッ素ガスプラントにおいてフッ素ガスを生成する方法も提供し、この方法では、電流が溶融KF/HF組成物を通して流れ、それによって溶融KF/HF組成物が電解されてF2およびH2を形成し、生じる未処理F2が、精製され、任意選択的に不活性ガスと混合された後、使用場所にかつ/またはフッ素ガス貯蔵装置に配給され、地震計が、地震から発生している振動を検出する場合、信号が、生成され、フッ素ガスプラントで実行されている1つまたは複数のプロセスの運転停止をもたらす。好ましくは、電解プロセスが停止される。好ましくは、フッ素ガスの使用場所への配給もまた停止される。好ましくは、信号により、弁がフッ素ガス貯蔵装置4を遮断する。生成された信号が制御盤に送信され、制御盤が、1つまたは複数のプロセスの停止を始動することが好ましい。本発明によるフッ素ガスプラントおよび本発明による方法により、地震が発生する地域においてさえも、安定した、経済的な、特に安全なフッ素ガス供給が可能になる。特に、地震計、フッ素ガス貯蔵システムおよび任意選択的なフッ素分解システムは、非常に効率的であり、プラントの高い安全性を可能にする。参照により本明細書に組み込まれるいずれかの特許、特許出願および刊行物の開示が、用語を不明瞭にし得る程度まで本出願の記述と矛盾する場合、本記述が優先される。図1の基本方式によるフッ素プラント混合装置および不活性ガス供給源なしは、地震計を備えている。このプラントにおいて、F2発生装置1において溶融KF2HF電解質におけるHF電解を介して約415kg/日のF2が生成される。F2は、フッ素ガス供給システム2を介して使用場所3に搬送され、そこで、F2は、チャンバクリーニングのためにF2を使用するフラットパネルディスプレイ製造プラントに供給される。F2は、使用場所に要求時に供給される。フッ素供給システム2およびF2貯蔵装置4におけるフッ素圧力は、F2発生装置におけるF2生成を適応させることにより、3.5barg約55psigで維持される。F2貯蔵装置4は、各々内部容積が1.3m3である6つの同一の円柱形状容器を備えている。使用場所3におけるフッ素圧力は、圧力制御ループ14によって1.5barg約24psigまでさらに低減される。通常運転では、遮断弁7は開放しており、F2貯蔵装置4と使用場所3との間の圧力差により、使用場所3における可変消費パターンに対してさえも、またはF2発生装置の生成の中断中、配給されるフッ素ガス流の平滑な制御を可能にするバッファが提供される。地震計15は、地震に関して特徴的な加速度またはプラントの近くの激しい爆発を検出する場合、プラントの制御盤に、アナログであってもデジタルであってもよい信号を送信する。制御盤は、特に、電解槽への電流と、フッ素供給装置から供給システム2へのフッ素供給とを中断する。制御盤はまた、F2貯蔵装置4に貯蔵されているF2のいずれの供給も中断する。さらに、HF供給タンク、HF蒸発、電解槽へのHF供給弁、NaF吸収塔用のヒータ、および顧客にF2またはF2/不活性ガス混合物を配給する弁の加圧が遮断される。密閉空間からのいずれのフッ素含有ガスも、吸引ライン10を介して、KOH/カリウム水溶液またはチオ硫酸ナトリウム混合物を収容しているスクラバであるフッ素分解システム9に圧送される。スクラバは、15kgのF2を処理することができる。