"大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータにおいて、ハウジングと、前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側とを隔絶する隔壁と、前記隔壁に対して大気外側に配置された外側ロータと、前記隔壁に対して大気側に配置されたステータ及び内側ロータと、前記内側ロータの回転速度を検出する検出器とを有し、前記ステータは、前記外側ロータと前記内側ロータとを同時に駆動することを特徴とするダイレクトドライブモータ。前記外側ロータと、前記内側ロータとは磁極数が同一であることを特徴とする請求項1に記載のダイレクトドライブモータ。前記ステータの半径方向内側に、内側ロータが配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイレクトドライブモータ。大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータにおいて、ハウジングと、前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側とを隔絶する隔壁と、前記隔壁に対して大気外側に配置された外側ロータ及び前記外側ロータと一体で回転する磁気カップリング用ロータと、前記隔壁に対して大気側に配置され、前記外側ロータを駆動するステータと、前記隔壁に対して大気側に配置された内側ロータと、前記内側ロータの回転速度を検出する検出器とを有し、前記磁気カップリング用ロータと前記内側ロータとは、磁気カップリング作用により同期して回転することを特徴とするダイレクトドライブモータ。前記隔壁により、磁気カップリング系における共振周波数のゲインのピーク値を抑えたことを特徴とする請求項4に記載のダイレクトドライブモータ。ところで、特許文献1には具体的な開示がないが、ダイレクトドライブモータを駆動制御するには、モータの回転角度を検出する必要がある。ところが、例えばロータの回転角度を検出するレゾルバを、真空封止体の外側に配置すると、吸蔵不純分子の排出の問題が生じる。又、一般的なレゾルバはキロへルツオーダの交流励磁を使用しているため、これを真空封止体として非磁性金属をレゾルバロータとステータの間に配置すると、隔壁にうず電流を発生させてしまい、ステータの励磁に対して損失が生じ、真空中内のロータ検出のS/N比が低下してしまうという問題もある。さらに、レゾルバステータと同軸上にモータのステータコイルを配置すると、同軸であるためにモータのスイッチングノイズも拾ってしまうという欠点もありS/N比を低下させてしまっており、高精度のロータ位置検出は困難であった。この非磁性金属の真空封止体の厚みを薄くすると上記のS/N比は向上できるが、薄い真空封止体は真空と大気の圧力に耐えられずに、真空封止体が変形するなどの不都合が生じることがある。本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、雰囲気汚染を回避しながらも、高精度にロータの回転角度を検出できるダイレクトドライブモータを提供することを目的とする。第1の本発明のダイレクトドライブモータは、大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータにおいて、ハウジングと、前記ハウジングから延在し、内側に密封された空間を形成する隔壁と、前記隔壁に対して外側に配置された外側ロータと、前記隔壁に対して内側に配置されたステータ及び内側ロータと、前記内側ロータの回転速度を検出する検出器とを有し、前記ステータは、前記外側ロータと前記内側ロータとを同時に駆動することを特徴とする。第2の本発明のダイレクトドライブモータは、大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータにおいて、ハウジングと、前記ハウジングから延在し、内側に密封された空間を形成する隔壁と、前記隔壁に対して外側に配置された外側ロータ及び前記外側ロータと一体で回転する磁気カップリング用ロータと、前記隔壁に対して内側に配置され、前記外側ロータを駆動するステータと、前記隔壁に対して内側に配置された内側ロータと、前記内側ロータの回転速度を検出する検出器とを有し、前記磁気カップリング用ロータと前記内側ロータとは、磁気カップリング作用により同期して回転することを特徴とする。第1の本発明によれば、大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータにおいて、ハウジングと、前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側とを隔絶する隔壁と、前記隔壁に対して大気外側に配置された外側ロータと、前記隔壁に対して大気側に配置されたステータ及び内側ロータと、前記内側ロータの回転速度を検出する検出器とを有し、前記ステータは、前記外側ロータと前記内側ロータとを同時に駆動するので、前記検出器を前記隔壁より大気側に置くことで、その配線被覆の吸蔵不純分子が前記隔壁より大気外側の雰囲気を汚染することが防止され、且つ前記ステータが、前記外側ロータと前記内側ロータとを同時に駆動することにより、前記検出器により前記内側ロータの回転角を検出することで、前記外側ロータの回転角を精度良く求めることができる。前記外側ロータと、前記内側ロータとは磁極数が同一であると、前記外側ロータと前記内側ロータの回転角が等しくなるので、前記内側ロータの回転角を検出することで、前記外側ロータの回転角を直ちに求めることができる。但し、本発明はこれに限られることはなく、例えば前記外側ロータに磁極数と、前記内側ロータの磁極数を、倍数或いは整数分の一としてもよい。前記ステータの半径方向内側に、内側ロータが配置されると、前記ステータの駆動を確実に行えるが、軸線方向にずれて配置しても良い。第2の本発明によれば、大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータにおいて、ハウジングと、前記ハウジングから延在し、大気側と大気外側とを隔絶する隔壁と、前記隔壁に対して大気外側に配置された外側ロータ及び前記外側ロータと一体で回転する磁気カップリング用ロータと、前記隔壁に対して大気側に配置され、前記外側ロータを駆動するステータと、前記隔壁に対して大気側に配置された内側ロータと、前記内側ロータの回転速度を検出する検出器とを有し、前記磁気カップリング用ロータと前記内側ロータとは、磁気カップリング作用により同期して回転するので、前記検出器を前記隔壁より大気側に置くことで、その配線被覆の吸蔵不純分子が前記隔壁より大気外側の雰囲気を汚染することが防止され、且つ磁気カップリング作用により前記磁気カップリング用ロータと同期して回転する前記内側ロータの回転角を前記検出器により検出することで、前記外側ロータの回転角を精度良く求めることができる。尚、本発明において、外側ロータと磁気カップリング用ロータとを形式上異なる部材としているが、例えば単一のロータに駆動用の磁石と磁気カップリング用の磁石とを設けた場合、駆動用の磁石を設けたロータの部分が外側ロータであり、磁気カップリング用の磁石を設けたロータの部分が磁気カップリング用ロータであるといえるので、それも本発明に含まれる。更に、大気側ロータと大気外側ロータ間の前記隔壁により、磁気カップリング系における共振周波数のゲインのピーク値を抑える効果により、振動少なく位置決めが可能となる。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態にかかるダイレクトドライブモータを用いたフロッグレッグアーム式搬送装置の斜視図である。図1において、2つのダイレクトドライブモータD1、D2を直列に連結している。下方のダイレクトドライブモータD1のロータには、第1アームA1が連結され、第1アームA1の先端には第1リンクL1が枢動可能に連結されている。一方、上方のダイレクトドライブモータD2のロータには、第2アームA2が連結され、第2アームA2の先端には第2リンクL2が枢動可能に連結されている。リンクL1,L2は、ウエハWを載置するテーブルTに、それぞれ枢動可能に連結されている。図1より明らかであるが、ダイレクトドライブモータD1、D2のロータがそれぞれ同方向に回転すれば、テーブルTも同方向に回転し、かかるロータが逆方向に回転すれば、テーブルTは、ダイレクトドライブモータD1、D2に接近もしくは離隔するようになっている。従って、ダイレクトドライブモータD1、D2を任意の角度で回転させれば、テーブルTが届く範囲内で、任意の2次元位置にウエハWを搬送させることができる。このように例えば半導体製造装置における真空槽内に配置されるウエハ搬送アーム、例えばスカラ型や図に示すフロッグレッグ型のように複数のアームを備えた装置では、特に複数の回転モータが必要となる。真空環境では外界との接触表面積を極力小さくすると同時に、スぺースを有効に活用するためにモータ等の取付穴はなるべく少なくする必要がある。また、ウエハWを水平にまっすぐに、振動を極力少なくして搬送するためには、アームの先端に作用するモーメントをロータ支持部で強固に保持する必要がある。そこで、ダイレクトドライブモータD1、D2を複数、ハウジング部分で同軸に連結し、連結部分はシールで密に接合溶接、Oリング、金属ガスケット、等による密な接合して、モータロータの配設された空間とハウジング外部空間とを離隔することも必要となる。また、ウエハWを水平にまっすぐ、振動を少なく搬送するためにはアームA1、A2の先端に作用するモーメントを、ロータ支持部で強固に保持する必要がある。更に、又、真空環境での複数軸のアーム駆動の際には、電源投入時に現在のアームの回転位置を認識しないと真空槽の壁や、真空槽のシャッタにアームA1,A2等をぶつけてしまう可能性がある。このような要求に応じることができるダイレクトドライブモータについて説明する。図2は、図1の構成をIIII線で切断して矢印方向に見た図である。図3は、図2の構成をIIIIII線で切断して矢印方向に見た図である。図2、3を参照して、ダイレクトドライブモータの内部構造について詳細に説明する。尚、ダイレクトドライブモータD1,D2は基本的な構成が同一であるため、ダイレクトドライブモータD1のみ説明し、ダイレクトドライブモータD2の構成については同じ符号を付すことで説明を省略する。定盤Gにフランジ10aを据え付けた中空円筒状の本体10は、その上端に小円板11をボルトにより連結している。小円板11の上面には、大円板12が不図示のボルトにより固定されている。本体10の中央は、ステータへの配線などを通すために用いることができる。本体10,小円板11,大円板12によりハウジングを構成する。大円板12の上面には、本体10の開口を覆う蓋部材50が密封的にボルト止めされている。本体10のフランジ10a上に、非磁性体であるステンレス製SUS304等の円筒状の隔壁13が本体10に対して同軸に取り付けられている。隔壁13の上部は薄くなっており、更に上端は半径方向内方に折れ曲がっていて、円板12により小円板11に挟持される形で取り付けられている。尚、ダイレクトドライブモータD1の各部材間には、図示のようにO-リングORが配置され、従って本体10のフランジ10aと、隔壁13と、小円板11とで囲われる内部空間は、その外部から気密されている。尚、隔壁13は必ずしも非磁性体である必要はない。又、O-リングORを用いて気密する代わりに、電子ビーム溶接やレーザビーム溶接などで部材間を気密してもも良い。隔壁13の下部外周に、真空中で用いられる4点接触式玉軸受14の内輪が嵌合し、隔壁13にボルトで固定される内輪ホルダ15により、隔壁13に対して取り付けられている。一方、軸受14の外輪は、外側ロータ16の内周に嵌合し、外側ロータ16にボルトで固定される外側ホルダ17により、外側ロータ16に対して取り付けられている。すなわち、外側ロータ16は、隔壁13に対して回転自在に支持されている。軸受14は、内輪と外輪に金や銀などの軟質金属をプレーティングして、真空中でもアウトガス放出のない金属潤滑としたものを用いており、また4点接触式玉軸受であるので、アームA1からの外側ロータ16がチルトする方向のモーメントを受けることができるが、4点接触式に限らず、クロスローラ、クロスボール、クロステーパ軸受も用いることができ、予圧状態で用いても良いし、潤滑性向上のためフッ素系被膜処理DFOを行っても良い。外側ロータ16の内周面には、外側ロータ磁石18が取り付けられている。外側ロータ磁石18は、24極の構成でN極、S極の磁石が各12個交互に磁性金属からなり、バックヨーク19に組みつけられている。バックヨーク19は、磁性ステンレスでも、鉄にニッケルメッキした物でも良い。本実施の形態においては、外側ロータ磁石18は、ネオジウム鉄ボロンの磁石にニッケルメッキした物を用いている。また、この外側ロータ磁石18は外側ロータ16に対して、非磁性金属のクサビをねじで締め付けている。そのため接着剤などの樹脂は配置されておらず、ダイレクトドライブモータD1を真空中に配置した場合でも、吸蔵不純分子の放出ガスを極めて少なくできる。尚、外側ロータ磁石18の上部を覆うようにして磁気シールド板30が外側ロータ16に取り付けられている。隔壁13の半径方向内側において、外側ロータ16の内周面に対向するようにして、ステータ29が配置されている。ステータ29は、ステータホルダ20により、本体10のフランジ10aに取り付けられており、図3に示すように、円筒状にU相、V相、W相の順序で各相12個のコイルが並べられ、従って合計36個のコイルを含んでいる。このコイルは、モールド材で成型して一体化している。このようにステータ29を隔壁13の内側に配置しているので、コイル発熱などに対して水冷や空冷などの強制冷却を行うことができる。ステータ29の半径方向内側に、内側ロータ21が配置されている。内側ロータ21は、本体10の外周面にボルト固定されたレゾルバホルダ22に対して、玉軸受23により回転自在に支持されている。内側ロータ21の外周面には、バックヨーク25を介して内側ロータ磁石24が取り付けられている。内側ロータ磁石24は、外側ロータ磁石18と同様に24極の構成でN極、S極の磁石が各12個交互に磁性金属からなり、バックヨーク25に組みつけられている。従って、内側ロータ21は、ステータ29によって外側ロータ16に同期して回転駆動されるようになっている。内側ロータ21の内周には、回転角度を計測する検出器用の検出ロータ26を組みつけており、それに対向する形で、レゾルバホルダ22の外周に、レゾルバ27,28を取り付けているが、本実施の形態では、高分解能のインクリメンタルレゾルバ27と、1回転のいずれの位置にロータがあるかを検出できるアブソリュートレゾルバ28とを2層に配置している。このため電源投入時にも、検出ロータ26の回転角度がわかり、原点復帰が不要であり、また、コイルに対する磁石の電気的位相角度がわかるため、ダイレクトドライブモータD1の駆動電流制御に使用する回転角度検出が、極検出センサを用いることなく可能となっている。本実施の形態に用いている高分解能の可変リラクタンス形レゾルバにおいて、検出ロータ26は、一定のピッチを有する複数のスロツト歯列を有し、レゾルバ27,28のステータの磁極の外周面には、回転軸と平行に各磁極で検出ロータ26に対して位相をずらした歯が設けられており、コイルが各磁極に巻回されている。内側ロータ21と一体で検出ロータ26が回転すると、レゾルバ27,28のステータの磁極との間のリラクタンスが変化し、検出ロータ26の1回転でリラクタンス変化の基本波成分がn周期となるようにして、そのリラクタンス変化を検出して、図4に例を示すレゾルバ制御回路によりデジタル化し、位置信号として利用することで検出ロータ26即ち内側ロータ21の回転角度又は回転速度を検出するようになっている。検出ロータ26と、レゾルバ27,28とで検出器を構成する。本実施の形態においては、内側ロータ21は、ステータ29によって外側ロータ16に同期して回転駆動されるようになっているので、内側ロータ21の回転角度を検出できれば、それから直ちに外側ロータ16の回転角度を求めることができ、それにより外側ロータ16の駆動制御を高精度に行うことができる。図5は、ダイレクトドライブモータD1の駆動回路を示すブロック図である。外部のコンピュータからモータ回転指令が入力されたとき、モータ制御回路DMCは、そのCPUから3相アンプAMPに駆動信号を出力し、3相アンプAMPからダイレクトドライブモータD1に駆動電流が供給される。それによりダイレクトドライブモータD1の外側ロータ16が回転し、アームA1を移動させるようになっている。外側ロータ16が回転すると、上述のようにして回転角度を検出したレゾルバ27,28からレゾルバ信号が出力されるので、それをレゾルバデジタル変換器RDCでデジタル変換した後に入力したCPUは、外側ロータ16が指令位置に到達したか否かを判断し、指令位置に到達すれば、3相アンプAMPへの駆動信号を停止することで外側ロータ16の回転を停止させる。これにより外側ロータ16のサーボ制御が可能となる。本実施の形態においては、アブソリュートレゾルバ28を使用しているので、検出ロータ26の電気角とトルク指令に応じて3相のステータコイルに流す電流を制御できる。ダイレクトドライブモータD1の3相コイルU相、V相、W相に電流を流すとコアレスモータの構造であるので、フレミングの左手の法則に従って、外側ロータ16、内側ロータ21に、各々それぞれ、ほぼ同じトルクを発生させられる。本来、内側ロータ21と外側ロータ16が同期しなければ、各々回転自在の軸受で支持されているためTO:外側ロータ16への発生トルクIO:外側ロータ16側の負荷も含めたイナーシャαO:外側ロータ16の加速度TI:内側ロータ21ヘの発生トルクII:内側ロータ21のイナーシャαI:内側ロータ21の加速度とすると、外側ロータ16にアームA1を取り付けているため、Io:外側ロータ16側の負荷も含めたイナーシャは大きくなっていることから、TO=IO×αOTI=II×αIのように別々の加速度で回転しようとする。しかしながら、外側ロータ16と内側ロータ21とは同期して回転するので、回転角度の変位により所定のトルクを発生する。そのため、積載負荷のない内側ロータ21が外側ロータ16に対して、トルクの発生方向に微小角度位相が進むことにより内側ロータ21から外側ロータ16にトルクが伝達され、結果内側ロータ21と外側ロータ16との加速度が同一となるようにトルクが伝達されることになり、コイルが発生するトルクはイナーシャに応じたトルクが発生される。以上述べた本実施の形態では、ダイレクトドライブモータD1が、モーメント力を多点接触軸受14で支持しているので、剛性が高く、アームA1を伸ばした状態でもウエハWを水平にまっすぐ搬送できる。また軸受14の内輪は隔壁13の肉厚の部材に組みつけているので、作用する力は隔壁13に殆ど作用せず、本体10に直接かかるため、隔壁13が破れてしまう危険性を極めて小さくすることができる。又、真空環境での複数軸のアーム駆動の際には、電源投入時に現在のアームA1の回転位置を認識しないと真空槽の壁や、真空槽のシャッタにアームA1等をぶつけてしまう可能性があるが、本実施の形態では、回転軸の1回転の絶対位置を検出するアブソリュートレゾルバ28と、より分解能の細かい回転位置を検出するインクリメンタルレゾルバ27からなる可変リラクタンス型レゾルバを採用しているので、外側ロータ16即ちアームA1の回転位置制御を高精度に行える。尚、ここでは内側ロータ21の回転検出にレゾルバを採用したが、検出器を隔壁13の内部の大気側に配置できるため、一般に高精度位置決めに使用するサーボモータにおいては高精度で滑らかに駆動するための位置検出手段として採用されている光学式エンコーダや、磁気抵抗素子を使用した磁気式エンコーダ等も使用できる。図6は、本実施の形態の変形例を示す図である。図6に示す変形例においては、ダイレクトドライブモータD1,D2を2組合計4個直列に配置してなるが、個々のダイレクトドライブモータに関しては、図2に示す構成と同様であるので、主要な部品に同じ符号を付して説明を省略する。本実施の形態のダイレクトドライブモータは、ステータの半径方向内側に内側ロータを配置しているので、軸線方向寸法を小さく薄くできるため、図6に示すように4個直列として搬送装置を構成しても、高さ方向にコンパクトな構成を提供できる。また薄い構成であるので剛性が高まり共振などの恐れを回避でき、多軸化に有利であり各外側ロータの制御定数の差異を小さくできる。更に、同形状のダイレクトドライブモータを積層して用いることで、故障時にはそのダイレクトドライブモータのみを交換すれば良く、メンテナンス性に優れると共に、交換部品の在庫を最小限にできる。図7は、図1に示す搬送装置に用いることができる第2の実施の形態にかかるダイレクトドライブモータの図2と同様な断面図である。尚、ダイレクトドライブモータD1,D2は基本的な構成が同一であるため、ダイレクトドライブモータD1のみ説明し、ダイレクトドライブモータD2の構成については同じ符号を付すことで説明を省略する。図7において、定盤Gにフランジ110aを据え付けた中空円筒状の本体110は、その上端に小円板111をボルトにより連結している。小円板111の上面外周側には、大円板112が不図示のボルトにより固定されている。本体110の中央は、ステータへの配線などを通すために用いることができる。本体110,小円板111,大円板112によりハウジングを構成する。本体110のフランジ110a上に形成された円筒取り付け部110bに下端を圧入嵌合させて、非磁性体であるステンレス製SUS316L等の円筒状の隔壁113が本体110に対して同軸に取り付けられている。隔壁113の上部は薄くなっており、更に上端は半径方向内方に折れ曲がっていて、円板112により小円板111に共締めされる形で取り付けられている。尚、ダイレクトドライブモータD1の各部材間には、図示のようにO-リングORが配置され、従って本体110のフランジ110aと、隔壁113と、小円板111とで囲われる内部空間は、その外部から気密されている。尚、隔壁113は必ずしも非磁性体である必要はない。又、O-リングORを用いて気密する代わりに、電子ビーム溶接やレーザビーム溶接などで部材間を気密しても良い。隔壁113の下部外周に、真空中で用いられる4点接触式玉軸受114の内輪が嵌合し、隔壁113にボルトで固定される内輪ホルダ115により、隔壁113に対して取り付けられている。一方、軸受114の外輪は、外側ロータ116の内周に嵌合し、外側ロータ116にボルトで固定される外側ホルダ117により、外側ロータ116に対して取り付けられている。すなわち、外側ロータ116は、隔壁113に対して回転自在に支持されている。軸受114は、内輪と外輪に金や銀などの軟質金属をプレーティングして、真空中でもアウトガス放出のない金属潤滑としたものを用いており、また4点接触式玉軸受であるので、アームA1からの外側ロータ116がチルトする方向のモーメントを受けることができるが、4点接触式に限らず、クロスローラ、クロスボール、クロステーパ軸受も用いることができ、予圧状態で用いても良いし、潤滑性向上のためフッ素系被膜処理DFOを行っても良い。外側ロータ116の内周面中央には、磁気カップリング用外側ロータ磁石108が取り付けられている。磁気カップリング用外側ロータ磁石108は、32極の構成でN極、S極の磁石が各16個交互に配置された磁性金属からなり、バックヨーク109に組みつけられている。外側ロータ116に嵌合固定される磁気カップリング用ロータであるバックヨーク109は、磁性ステンレスでも、鉄にニッケルメッキした物でも良い。本実施の形態においては、磁気カップリング用外側ロータ磁石108は、ネオジウム鉄ボロンの磁石にニッケルメッキした物を用いている。また、この磁気カップリング用外側ロータ磁石108は外側ロータ116に対して、非磁性金属のクサビをねじで締め付けている。そのため接着剤などの樹脂は配置されておらず、ダイレクトドライブモータD1を真空中に配置した場合でも、吸蔵不純分子の放出ガスを極めて少なくできる。磁気カップリング用外側ロータ磁石108の上部を覆うようにして、磁気シールド板103が外側ロータ116に取り付けられている。更に、外側ロータ116の内周面上部には、外側ロータ磁石118が取り付けられている。外側ロータ磁石118は、32極の構成でN極、S極の磁石が各16個交互に配置された磁性金属からなり、バックヨーク119に組みつけられている。バックヨーク119は、磁性ステンレスでも、鉄にニッケルメッキした物でも良い。本実施の形態においては、外側ロータ磁石118は、ネオジウム鉄ボロンの磁石にニッケルメッキした物を用いている。また、この外側ロータ磁石118は外側ロータ116に対して、非磁性金属のクサビをねじで締め付けている。そのため接着剤などの樹脂は配置されておらず、ダイレクトドライブモータD1を真空中に配置した場合でも、吸蔵不純分子の放出ガスを極めて少なくできる。外側ロータ磁石118の上部を覆うようにして、磁気シールド板130が円板112の下面に取り付けられている。隔壁113の半径方向内側において、外側ロータ磁石118に対向するようにして、ステータ129が配置されている。ステータ129は、本体110に取り付けられており、図示しないが、円筒状にU相が3スロット、V相が3スロット、W相が3スロットで合計9スロットの巻線を4組すなわち合計36スロットが並べられてなる。ステータ129の上部を覆うようにして、磁気シールド板102が外側ロータ116に取り付けられている。この32極36スロットのモータは、8極9スロットというコギング力が少ない公知の技術のモータの4倍のスロット構成であるので、同様に少ないコギング力を実現できる。また、8極9スロットモータの偶数倍の構成であるので、外側ロータ116の対角線に同相、同極が配置されている。8極9スロットモータでは、磁石の吸引力のアンバランスが、支持する軸受にラジアル力を発生させ、軸受114の剛性等により振動が発生することがあるが、偶数倍の構成であるので、このアンバランス力が対角線上の同相同極で相殺されるため、外側ロータ116を支持する軸受114には、アンバランス力は作用せずに、振動発生を抑えた特徴がある。更に、隔壁113の半径方向内側において、磁気カップリング用外側ロータ磁石108に対向するようにして、磁気カップリング用内側ロータ磁石101が配置されている。磁気カップリング用内側ロータ磁石101は、本体110のフランジ110aの円筒取り付け部110bに対して、軸受123を介して回転自在に支持された内側ロータ121に、バックヨーク125を介して取り付けられている。磁気カップリング用内側ロータ磁石101は、カップリング用外側ロータ磁石108と同様に32極の構成でN極、S極の磁石が各16個交互に配置されている。従って、磁気カップリング用内側ロータ磁石101と磁気カップリング用外側ロータ磁石108とは、隔壁113を介在させつつ異極を対向させた状態で互いに引き合う磁力により相対回転が固定され、すなわち両磁石間に非接触で作用する磁気カップリング力に基づいて、内側ロータ121は、バックヨーク119即ち外側ロータ116と同期して回転するようになっている。内側ロータ121の内周には、回転角度を計測する検出器用の検出ロータ126を組みつけており、それに対向する形で、本体110の外周に、レゾルバ127,128を取り付けているが、本実施の形態では、高分解能のインクリメンタルレゾルバ127と、1回転のいずれの位置にロータがあるかを検出できるアブソリュートレゾルバ128とを2層に配置している。このため電源投入時にも、検出ロータ126の回転角度がわかり、原点復帰が不要であり、また、コイルに対する磁石の電気的位相角度がわかるため、ダイレクトドライブモータD1の駆動電流制御に使用する回転角度検出が、極検出センサを用いることなく可能となっている。本実施の形態で用いている高分解能の可変リラクタンス形レゾルバにおいて、検出ロータ126は、一定のピッチを有する複数のスロツト歯列を有し、レゾルバ127,128のステータの磁極の外周面には、回転軸と平行に各磁極で検出ロータ126に対して位相をずらした歯が設けられており、コイルが各磁極に巻回されている。内側ロータ121と一体で検出ロータ126が回転すると、レゾルバ127,128のステータの磁極との間のリラクタンスが変化し、検出ロータ126の1回転でリラクタンス変化の基本波成分がn周期となるようにして、そのリラクタンス変化を検出して、図4に例を示すレゾルバ制御回路によりデジタル化し、位置信号として利用することで検出ロータ126即ち内側ロータ121の回転角度又は回転速度を検出するようになっている。検出ロータ126と、レゾルバ127,128とで検出器を構成する。本実施の形態においては、内側ロータ121は、磁気カップリングを介して外側ロータ116に同期して回転駆動されるようになっているので、内側ロータ121の回転角度を検出できれば、それから直ちに外側ロータ116の回転角度を求めることができる。又、本実施の形態のダイレクトドライブモータD1は、図5に示すような駆動回路によってサーボ制御される。本実施の形態においては、磁気シールド板102,103は、ステータ129と外側ロータ磁石118との間に発生する磁界が、磁気カップリング用内側ロータ磁石101と磁気カップリング用外側ロータ磁石108間の吸引力を乱し磁気カップリング作用に影響を与えないようにするために設けられている。但し、ステータ129及び外側ロータ磁石118の磁極が32極で、磁気カップリング用内側ロータ磁石101と磁気カップリング用外側ロータ磁石108の磁極も32極であるため、各々同磁極数であるから、磁気シールド板102,103を省略しても、磁気カップリング用内側ロータ磁石101と磁気カップリング用外側ロータ磁石108間の吸引力が特に乱れることはない。従って、磁気シールド板102,103は、ステータ129及び外側ロータ磁石118の磁極と、磁気カップリング用内側ロータ磁石101と磁気カップリング用外側ロータ磁石108の磁極とが異なる場合に特に有効である。ところで、磁気カップリングの作用により、外側ロータ116が振動すると、内側ロータ121も連られて振動し、それに基づきレゾルバ127,128が角度位置を検出してダイレクトドライブモータD1の駆動制御を行うと、外側ロータ116の回転動作が異常となる恐れがある。これを磁気カップリング系の共振という。本実施の形態では、隔壁113を用いて、かかる動作異常を回避している。以下に、隔壁113の渦電流損を利用した磁気カップリング系の共振周波数のゲインピーク値を小さくする原理を示す。図8は、隔壁113に渦電流損が発生する状態を示す模式図である。図8において、外側ロータ116には磁気カップリング用外側ロータ磁石108のN極が取り付けられ、内側ロータ121には磁気カップリング用内側ロータ磁石101のS極が取り付けられ、それらは隔壁113を挟んで対向配置されて磁気カップリングを形成しているものとする。ここで、図8では不図示のステータに所定の電力を供給すると、外側ロータ116が図で矢印方向へと回転するが、隔壁113を貫通する磁力に基づく磁気カップリング作用によって、内側ロータ121も同方向に連れ回り回転する。この時、隔壁113のa側磁束密度が増大する側には、磁束を弱める方向に渦電流Aが発生する。また、隔壁113のb側磁束密度が減少する側には、磁束を強める方向に、逆回りの渦電流Bが発生する。これが、磁束の変化を妨げるように電流が発生する渦電流の原理である。図9は、3つの磁石を並び方向に示した図8と同様な模式図であり、渦電流を用いて回転に対するブレーキ力が発生する状態を示している。外側ロータ116が、図9に矢印で示す方向に相対回転すると、図8に示す原理により隔壁113には渦電流が発生し磁束を発生する。渦電流により発生した磁束は、外側ロータ116に備え付けられた磁石108の進行方向に対し反発力を発生する。この渦電流は、磁束の変化率が高いほど大きくなるので、隔壁113の透磁率磁気抵抗と磁石108の磁束密度、周波数が高いほど大きくなる。隔壁113は、その材質と形状から固有の磁気抵抗値と電気抵抗値を持つており、電気抵抗値と渦電流の2乗の積が隔壁113の渦電流損となる。よって、周波数に依存する隔壁113の渦電流損により、磁気カップリング作用時には、外側ロータ116のダンピング抵抗が生じ、例えば外側ロータ116が振動している場合、これを減衰させる効果を有する。図10は、隔壁がない場合におけるモータの制御系ブロック図であり、図11は、隔壁がある場合におけるモータの制御系ブロック図である。隔壁113が無い時は、図10に示すように、磁気カップリングのばね剛性Kfのみにより、外側ロータ116は反力を受け、隔壁113が有る時は、図11に示すように、磁気カップリングのばね剛性Kfと、隔壁のダンピング抵抗Cfに基づく反力を受けることがわかる。ここで、図11に示す制御系において、モータトルクTeに対するモータ速度ωrmの伝達関数は式1のようになり、その共振周波数、減衰率は式2、3、4、5のようになる。ただし、Jmはモータイナーシャ、Jrはレゾルバイナーシャ、Kfは磁気カップリングのばね係数、Cfは磁気カップリングのダンピング抵抗、ωaは共振周波数、ωzは反共振周波数、ζa、ζzは減衰率である。この伝達関数Gの周波数特性を図12、図13に示す。ゲインは共振点ωaにて大きなピーク値を持つが、これは減衰率ζaまたはCf:渦電流損によるダンピング抵抗が小さくなれば、小さくなるほど大きくなる。つまり、周波数に対する渦電流損が小さければ、小さいほど共振のゲインピーク値は大きくなることがわかる。この共振が大きいと、レゾルバの角度検出信号の位相と外側ロータの位相が逆位相になり、それによりダイレクトドライブモータは発振してしまう恐れがある。これを回避するためには、減衰率ζaを大きくすればよく、この場合、隔壁の渦電流損からなるダンピング抵抗を大きくすることでピーク値を小さくすることができる。従来では、モータ制御部などでこの共振周波数にノッチフィルタを用いた角度信号を用いることで発振を防いできたが、ノッチフィルタの特性が強すぎると、その共振周波数近傍の角度信号を制御できなくなってしまう恐れがある。これに対し、隔壁の渦電流損を用いることで共振周波数のピーク値を小さくすることで、共振周波数近傍も制御できるようになる。なお、磁気カップリングのばね剛性は、図14のように表される。この発明による2軸同軸ダイレクトドライブモータは、隔壁の渦電流損を利用することで、磁気カップリングの共振周波数のゲインのピークを小さくすることができる。ただし、渦電流損は、隔壁の発熱につながるので、発熱を考慮して、隔壁の材質、形状を決めるのが望ましい。また、弱めのノッチフィルタの効果と共にダンピング抵抗を決めることで、発熱が少なく、制御を可能にすることもできる。以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更改良が可能であることはもちろんである。例えば、本実施の形態のダイレクトドライブモータは、真空雰囲気に限らず、大気外の雰囲気で使用することができる。例えば、半導体製造工程の場合、真空排気後に真空槽内部にエッチング用の反応性ガスが導入されることがあるが、本実施の形態のダイレクトドライブモータでは、隔壁により内部と外部とが遮蔽されているため、モータコイルや絶縁材等がエッチングされてしまうおそれもない。"