"空気源に連結されて空気を供給する空気供給管と、燃料供給源に連結されて燃料を供給し、内部に着火触媒が配置された燃料供給管と、発生した改質ガスを排出する排出管とが形成された上部プレート;原料供給源に連結されて原料ガスを供給する原料供給管と、発生した排気ガスを排出する排出管とが形成された下部プレート;前記上部プレートの下部に設けられ、前記空気供給管から供給された空気を改質ガスの残熱によって予熱し、着火した燃料に混合燃消させる加熱プレートと改質プレートが交互に積層された空気予熱部;前記空気予熱部の下側に設けられ、燃焼した排気ガス及び改質ガスのみを通過させる上側流路隔離プレート;前記上側流路隔離プレートの下部に設けられ、前記排気ガスの燃焼熱を伝導する加熱プレートと、前記加熱プレートの下側に設けられ、上部改質ガス流通プレートと下部改質ガス流通プレートの間に配置され、改質触媒が上下側に露出するように設置されることにより原料ガスが前記改質触媒の垂直方向に移動して接触する改質プレートとを有する改質反応部;前記改質反応部の下側に設けられ、改質反応部を通過した排気ガスと予熱された原料ガスのみを通過させる上側流路隔離プレート;及び前記上側流路隔離プレートの下部及び前記下部プレートの上部の間に設けられ、前記原料ガスを前記改質反応部を通過した排気ガスで予熱する廃熱回収プレートと改質予熱プレートが交互に配置された改質予熱部;を含み、前記加熱プレートの上面と、前記改質プレートの上面と、前記上部改質ガス流通プレートの下面と、前記下部改質ガス流通プレートの上面とにはそれぞれ微細流路が形成されたことを特徴とする、微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。上部プレートにおいて、空気供給管と燃料供給管が互いに対向するように配置され、改質ガス排出管は前記空気供給管及び前記燃料供給管に対して距離を置いて配置され、下部プレートは前記上部プレートと同一の断面形状及び断面積を有し、原料供給管は前記上部プレートの燃料供給管と同一位置に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。加熱プレートには四つの貫通孔が互いに距離を置いて形成され、このうち二つの貫通孔が微細流路によって連通するように形成され、前記微細流路が残り二つの貫通孔の間を横切るように配置され、改質プレート及び下部改質ガス流通プレートは、前記加熱プレートを水平面上で180度回転させたもののように四つの貫通孔及び微細流路が配置され、上部改質ガス流通プレートは、前記下部改質ガス流通プレートと微細流路が対向するように前記加熱プレートを覆したものと同一であることを特徴とする、請求項1に記載の微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。空気源に連結されて空気を供給する空気供給管と、燃料供給源に連結されて燃料を供給し、内部に着火触媒が配置された燃料供給管と、発生した改質ガスを排出する排出管とが形成された上部プレート;前記上部プレートの下部に設けられ、それぞれの上面に微細流路が形成され、交互に一対以上が積層されて前記空気供給管に連結される空気流入管と、前記燃料供給管に連結される燃焼管と、前記改質ガス排出管に連結される改質ガス流出管と、前記空気流出管と前記燃焼管と前記改質ガス流出管に対して距離を置いて配置される改質ガス流通管とが形成された空気予熱プレート及び改質ガス冷却プレートを有し、前記空気予熱プレートは前記微細流路によって前記空気供給管と前記燃焼管が連結され、前記改質ガス冷却プレートは前記微細流路によって前記改質ガス排出管と前記改質ガス流通管が連結された空気予熱部;前記空気予熱部の下側に配置され、前記改質ガス流出管と前記空気流入管の下側を閉鎖する上側流路隔離プレート;前記上側流路隔離プレートの下部に設置され、前記燃焼管と前記改質ガス流通管と連通し、上面に排気ガス流通管と前記燃焼管と連結する微細流路が形成された1枚以上の燃焼熱交換プレートと、前記燃焼熱交換プレートの下部に設置され、前記排気ガス流通管と連通し前記排気ガス流通管から隔離され、前記改質ガス流通管に連通する微細流路が形成された上部改質ガス流通プレートと、前記上部改質ガス流通プレートの下側に配置され、中心に改質触媒が設けられ、前記排気ガス流通管に連通する触媒ホルダープレートと、前記触媒ホルダープレートの下側に設けられ、前記排気ガス流通管と連通し、前記排気ガス流通管から隔離され、原料ガス流通管に連通する微細流路が形成された下部改質ガス流通プレートとを有する改質反応部;前記改質反応部の下側に配置され、原料ガス流入管と排気ガス流出管の上側を閉鎖する下側流路隔離プレート;前記下側流路隔離プレートの下部に設けられ、それぞれの上面に微細流路が形成され、交互に一対以上が積層され、前記排気ガス流通管と前記排気ガス流出管と前記原料ガス流入管と前記原料ガス流通管とが形成された廃熱回収プレート及び改質予熱プレートを有し、前記廃熱回収プレートは、前記微細流路によって前記排気ガス流通管と前記排気ガス流出管が連結され、前記改質予熱プレートは、前記微細流路によって前記原料ガス流入管と前記原料ガス流通管が連結された改質予熱部;及び前記改質予熱部の下側に配置され、原料供給源に連結されて原料を供給し、前記原料ガス流通管に連通する原料供給管と、前記排気ガス流出管に連通する排気ガス排出管とが形成された下部プレートを含むことを特徴とする、微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。上部プレートには改質ガス流通管に連通する改質ガス温度測定管が設けられ、下部プレートには原料ガス流通管に連通する原料ガス温度測定管が設けられ、前記改質ガス温度測定管と前記原料ガス温度測定管には熱電対が配置されることを特徴とする、請求項4に記載の微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。改質触媒の底面は触媒ホルダープレートの底面と同一面をなすように設置され、前記改質触媒の厚さは前記触媒ホルダープレートの厚さより薄く、前記改質触媒の上側に上部3次元ミキシング流路が設置されて前記触媒ホルダープレートの上面と同一高さを有し、前記触媒ホルダープレートの底面には中心部に下部3次元ミキシング流路が補助プレートによって設けられることを特徴とする、請求項1または4に記載の微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。上部3次元ミキシング流路は接合の前には触媒ホルダープレートより突出し、接合の際に圧縮力によって圧縮されて前記触媒ホルダープレートの上面と同一高さを有することを特徴とする、請求項6に記載の微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。下部3次元ミキシング流路の断面積は改質触媒の断面積より小さいことを特徴とする、請求項6に記載の微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置。したがって、本発明は前記問題を解決するためになされたもので、その目的は、微細流路を持つ金属薄板を多層に積層して、改質触媒プレートに燃焼熱を効果的に伝達することができる高効率の炭化水素改質装置を提供することにある。本発明の他の目的は、微細流路反応器に改質触媒を適用する方法を提供することにある。本発明は、反応式5のような水素酸化反応が貴金属触媒表面で常温から開始することができることに着目して完成した。[反応式5]H21/2O2→H2O生成熱:56kJ/molすなわち、反応器の起動初期に水素を使って一定温度まで加熱し、メタンを供給して主熱源を生産するように運用することができる。または、反応器の起動初期から水素とその他の炭化水素の混合ガスを使って常温から着火するようにすることができる。このように着火性の良い水素を単独で使用するかあるいは炭化水素と混用すると、反応器加熱システムを簡素化することができるので、微細流路反応器のようにコンパクト型反応器の競争力を高めることができる。また、本発明においては、ニッケル系触媒を用いて炭化水素から合成ガスを製造する。ニッケル系触媒の炭化水素改質特性は公知の事実である。特に、本発明においては、ニッケル系プレート型触媒を微細流路型反応器に連係した炭化水素改質器を提供する。そして、加熱システムにおいて、着火のために空気及び燃料の最初混合地点領域に酸化触媒被覆物質を位置させる。起動の際、水素または水素を含む炭化水素と空気の混合ガスが着火触媒に接触して着火することを特徴とする。前記の改質用触媒は金属パウダープレートであることを特徴とする。また、触媒プレートの上下部分に3次元ミキシングプレートが位置することにより、炭化水素及び水分は垂直方向に触媒層を通過することを特徴とする。この際、3次元ミキシングプレートの使用によって触媒プレートに連結された触媒ホルダープレートの結合力を付与し、反応物の流動空間の付与及び加熱プレートから触媒プレートへの熱エネルギー伝達体の役目をするように構成されることを特徴とする。したがって、前記の目的を達成するために、本発明は、空気源に連結されて空気を供給する空気供給管と、燃料供給源に連結されて燃料を供給し、内部に着火触媒が配置された燃料供給管と、発生した改質ガスを排出する排出管とが形成された上部プレート;原料供給源に連結されて原料ガスを供給する原料供給管と、発生した排気ガスを排出する排出管とが形成された下部プレート;前記上部プレートの下部に設けられ、前記空気供給管から供給された空気を改質ガスの残熱によって予熱させ、着火した燃料に混合燃消させる加熱プレートと改質プレートが交互に積層された空気予熱部;前記空気予熱部の下側に設けられ、燃焼した排気ガス及び改質ガスのみを通過させる上側流路隔離プレート;前記上側流路隔離プレートの下部に設けられ、前記排気ガスの燃焼熱を伝導する加熱プレートと、前記加熱プレートの下側に設けられ、上部改質ガス流通プレートと下部改質ガス流通プレートの間に配置され、改質触媒が上下側に露出するように設置されることにより原料ガスが前記改質触媒の垂直方向に移動して接触する改質プレートとを持つ改質反応部;前記改質反応部の下側に設けられ、改質反応部を通過した排気ガスと予熱された原料ガスのみを通過させる上側流路隔離プレート;及び前記上側流路隔離プレートの下部及び前記下部プレートの上部の間に設けられ、前記原料ガスを前記改質反応部を通過した排気ガスで予熱させる廃熱回収プレートと改質予熱プレートが交互に配置された改質予熱部;を含み、前記加熱プレートの上面と、前記改質プレートの上面と、前記上部改質ガス流通プレートの下面と、前記下部改質ガス流通プレートの上面とにはそれぞれ微細流路が形成された、微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置を提供する。前記上部プレートにおいて、前記空気供給管と前記燃料供給管が互いに対向するように配置され、前記改質ガス排出管は前記空気供給管及び前記燃料供給管に対して距離を置いて配置され、前記下部プレートは前記上部プレートと同一の断面形状及び断面積を有し、前記原料供給管は前記上部プレートの燃料供給管と同一位置に配置されることが好ましい。前記加熱プレートには四つの貫通孔が互いに距離を置いて形成され、このうち二つの貫通孔が前記微細流路によって連通するように形成され、前記微細流路が残り二つの貫通孔の間を横切るように配置され、前記改質プレート及び前記下部改質ガス流通プレートは、前記加熱プレートを水平面上で180度回転させたもののように四つの貫通孔及び微細流路が配置され、前記上部改質ガス流通プレートは、前記下部改質ガス流通プレートと微細流路が対向するように前記加熱プレートを覆したものと同一であることを特徴とする。また、前記目的を達成するために、本発明は、空気源に連結されて空気を供給する空気供給管と、燃料供給源に連結されて燃料を供給し、内部に着火触媒が配置された燃料供給管と、発生した改質ガスを排出する排出管とが形成された上部プレート;前記上部プレートの下部に設けられ、それぞれの上面に微細流路が形成され、交互に一対以上が積層されて前記空気供給管に連結される空気流入管と、前記燃料供給管に連結される燃焼管と、前記改質ガス排出管に連結される改質ガス流出管と、前記空気流出管と前記燃焼管と前記改質ガス流出管に対して距離を置いて配置される改質ガス流通管とが形成された空気予熱プレート及び改質ガス冷却プレートを持ち、前記空気予熱プレートは前記微細流路によって前記空気供給管と前記燃焼管が連結され、前記改質ガス冷却プレートは前記微細流路によって前記改質ガス排出管と前記改質ガス流通管が連結された空気予熱部;前記空気予熱部の下側に配置され、前記改質ガス流出管と前記空気流入管の下側を閉鎖する上側流路隔離プレート;前記上側流路隔離プレートの下部に設置され、前記燃焼管と前記改質ガス流通管と連通し、上面に排気ガス流通管と前記燃焼管と連結する微細流路が形成された1枚以上の燃焼熱交換プレートと、前記燃焼熱交換プレートの下部に設置され、前記排気ガス流通管と連通し前記排気ガス流通管から隔離され、前記改質ガス流通管に連通する微細流路が形成された上部改質ガス流通プレートと、前記上部改質ガス流通プレートの下側に配置され、中心に改質触媒が設けられ、前記排気ガス流通管に連通する触媒ホルダープレートと、前記触媒ホルダープレートの下側に設けられ、前記排気ガス流通管と連通し、前記排気ガス流通管から隔離され、原料ガス流通管に連通する微細流路が形成された下部改質ガス流通プレートとを持つ改質反応部;前記改質反応部の下側に配置され、原料ガス流入管と排気ガス流出管の上側を閉鎖する下側流路隔離プレート;前記下側流路隔離プレートの下部に設けられ、それぞれの上面に微細流路が形成され、交互に一対以上が積層され、前記排気ガス流通管と前記排気ガス流出管と前記原料ガス流入管と前記原料ガス流通管とが形成された廃熱回収プレート及び改質予熱プレートを持ち、前記廃熱回収プレートは、前記微細流路によって前記排気ガス流通管と前記排気ガス流出管が連結され、前記改質予熱プレートは、前記微細流路によって前記原料ガス流入管と前記原料ガス流通管が連結された改質予熱部;及び前記改質予熱部の下側に配置され、原料供給源に連結されて原料を供給し、前記原料ガス流通管に連通する原料供給管と、前記排気ガス流出管に連通する排気ガス排出管とが形成された下部プレートを含む、微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置を提供する。前記上部プレートには前記改質ガス流通管に連通する改質ガス温度測定管が設けられ、前記下部プレートには前記原料ガス流通管に連通する原料ガス温度測定管が設けられ、前記改質ガス温度測定管と前記原料ガス温度測定管には熱電対が配置されることができる。前記改質触媒の底面は前記触媒ホルダープレートの底面と同一面をなすように設置され、前記改質触媒の厚さは前記触媒ホルダープレートの厚さより薄く、前記改質触媒の上側に上部3次元ミキシング流路が設置されて前記触媒ホルダープレートの上面と同一高さを有し、前記触媒ホルダープレートの底面には中心部に下部3次元ミキシング流路が補助プレートによって設けられることができる。前記上部3次元ミキシング流路は接合の前には前記触媒ホルダープレートより突出し、接合の際に圧縮力によって圧縮されて前記触媒ホルダープレートの上面と同一高さを有することができる。これにより、前記触媒ホルダープレートの接触効率を高めることができるので好ましい。前記下部3次元ミキシング流路の断面積は前記改質触媒の断面積より小さいことができる。こうすると、前記改質触媒を支持するのに有利である。本発明による微細流路炭化水素改質器の提供によって中小型のコンパクトな水素製造装置の活用性が期待される。特に、水素精製工程を分離膜と連係した水素製造装置として活用するとき、水素が含まれた分離膜未透過ガスを燃料として活用することができるので、高効率の水素製造システムとして活用することができる。また、本発明のシステムは、オフガスoffgas中に水素が含まれた廃ガスが存在する各種の燃料電池に連係する場合に高い効果を得ることができる。以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて説明する。下記の各図の構成要素に符号を付けるにあたり、同じ構成要素であるなら、たとえ他の図面上に示されていてもできるだけ同一符号を付けることにし、本発明の要旨を不要にあいまいにすることができると判断される公知の機能及び構成についての詳細な説明は省略する。本発明の実施例による微細流路加熱器を用いた炭化水素改質装置2000は、図2に示すように、多数のプレートを積層して構成し、これらを拡散接合、電気熔接またはアーク熔接などの方法で接合させることで、図4に示すようなコンパクトな形態になる。前記炭化水素改質装置2000は、上部プレート100と下部プレート260が最上側と最下側に配置される。そして、上部プレート100と下部プレート260の間に、空気または燃料を加熱するための空気予熱プレート110、130と改質ガスの排出温度を降下させる改質ガス冷却プレート120、140が交互に積層されてなる空気予熱部と、前記予熱された燃料及び空気を燃消させる燃焼熱交換プレート160、170と改質ガス流通プレート180、200と前記改質ガス流通プレート180、200の間に原料ガスを改質させて改質ガスを発生させる触媒ホルダープレート190を持つ改質反応部と、原料ガスを予熱するための改質予熱プレート230、250と燃焼排気ガスの残熱を回収する廃熱回収プレート220、240が交互に積層される改質予熱部とが順に配置されることを主な特徴とする。そして、空気、燃料、改質ガス、及び原料ガスの流れ制御のために、前記空気予熱部と前記改質反応部の間に上側流路隔離プレート150が配置され、前記改質反応部と前記改質予熱部の間に下側流路隔離プレート210が配置される。前記炭化水素改質装置2000は断面形状を基本的に長方形に形成して流路を対角線方向に形成することが製作の容易性及び単位面積当たり効率の面から容易である。前記上部プレート100の外側には、空気供給管101、改質ガス排出管102、燃料供給管103、及び改質ガス温度測定管104が配置される。前記空気供給管101と前記燃料供給管103は対角線方向に対向し、前記改質ガス排出管102と前記改質ガス温度測定管104は対角線方向に対向する。そして、前記燃料供給管103の内壁面には、流入する燃料ガスを着火させるための着火触媒105が被覆される。前記着火触媒105については後述する。前記着火触媒105は、FeCrAlloy纎維織造ウールの表面にZrO2をゾルゲル法でアンダーコートし、900°Cで10時間焼成して触媒成分の支持体を形成し、その上部に白金0.1重量を担持、乾燥、焼成空気雰囲気、800°C、10時間することで製造した。このような着火触媒105を燃料供給管103の内壁面に位置させることにより、燃料中に水素が微量含まれたガスを使用するとき、下記の燃焼熱交換プレート160、170の第6及び第7微細流路165、175の表面に酸化触媒を被覆する過程を省略することができる。特に、本発明による着火触媒を燃料供給管103に配置させる効果、つまり着火地点の位置設定による効果は、着火触媒を排気ガス排出口263に位置させる構成とは全く違う結果を見せる。すなわち、排気ガス排出口263内に着火触媒が位置する場合、着火地点が燃料と空気の最初混合地点に移動するためには、着火フレームの冷却を防止するためにプレート160、170、220、240の表面に単一微細流路のサイズが消炎距離quenchingdistance以上にならなければならないため、伝熱面積の減少は避けることができない。よって、伝熱効率の極大化のために、着火地点を本発明のように燃料供給管103に位置させ、微細流路の溝径をより小さく維持することが好ましい。前記着火触媒の支持体は、粒子状、チューブ状、または棒状のセラミックを使って製造してもかまわない。着火触媒の耐久性を向上させるために、外部で着火させて花火を最初混合地点に移動させる構成が好ましい。この際、着火は高電圧によるスパークの誘導あるいは貴金属が被覆された触媒を使用することができる。このような構成のために、水素と空気の混合ガスを反応器の外部に排出するように、ガス流れの方向転換が必要である。すなわち、着火のために、混合ガスを外部に排出させ、着火後に燃焼ガスが加熱プレート160、170側に供給されるように転換する。前記着火は、触媒だけでなく、高電圧放電による開始も本発明の目的に合う。前記上部プレート100の下側には、空気予熱部に相当する、空気予熱プレート110、130と改質ガス冷却プレート120、140が交互に配置される。前記空気予熱プレート110、130は流入する空気を燃焼し易くなるように予熱させ、予熱に必要な熱量は排出される改質ガスから吸収する。また、前記改質ガス冷却プレート120、140は改質ガスに含まれた熱を回収してエネルギー効率を高めることができる。本発明の実施例では前記空気予熱プレート110、130と前記改質ガス冷却プレート120、140がそれぞれ2枚ずつ使われたが、その枚数を増やすことも可能である。ただし、全厚さの増加及び製造コストなどを考慮しなければならない。前記空気予熱プレート110、130と前記改質ガス冷却プレート120、140には、それぞれ前記空気供給管101に連通する第1~第4空気供給孔111、121、131、141と、前記改質ガス排出管102に連通する第1~第4改質ガス排出孔112、122、132、142と、前記燃料供給管103に連通する第1~第4燃焼孔113、123、133、143と、前記改質ガス温度測定管104に連通する第1~第4改質ガス流通孔114、124、134、144とが形成される。そして、前記空気予熱プレート110、130と前記改質ガス冷却プレート120、140の上部にはそれぞれ第1~第4微細流路115、125、135、145が凹状に形成される。前記第1微細流路115は前記第1空気供給孔111と前記第1燃焼孔113を互いに連通させ、前記第1改質ガス排出孔112と前記第1改質ガス流通孔114を互いに隔離させる。前記第2微細流路125は前記第2改質ガス排出孔122と前記第2改質ガス流通孔124を互いに連通させ、前記第1空気供給孔121と前記第2燃焼孔123を互いに隔離させる。前記第3微細流路135は前記第3空気供給孔131と前記第1燃焼孔133を互いに連通させ、前記第3改質ガス排出孔132と前記第3改質ガス流通孔134を互いに隔離させる。前記第4微細流路145は前記第4改質ガス排出孔142と前記第4改質ガス流通孔144を互いに連通させ、前記第1空気供給孔141と前記第2燃焼孔143を互いに隔離させる。前記空気予熱部の下側には、前記空気供給管101と前記改質ガス排出管102の連通を遮断するために、上側流路隔離プレート150が配置される。前記上側流路隔離プレート150には、前記改質ガス温度測定管104と前記燃料供給管103にそれぞれ連通するように第5改質ガス流通孔154と第5燃焼孔153が形成される。前記上側流路隔離プレート150の下側には改質反応部が配置され、前記改質反応部には、燃焼熱交換プレート160、170と、触媒ホルダープレート190と、一対の改質ガス流通プレート180、200とが含まれる。前記触媒ホルダープレート190は前記上部改質ガス流通プレート180と下部改質ガス流通プレート200の間に介在される。前記上側流路隔離プレート150の下側に接して前記燃焼熱交換プレート160、170が配置される。前記燃焼熱交換プレート160、170の枚数は必要によって増減できる。前記燃焼熱交換プレート160、170の形状は概して予熱プレート110、130に似ている。すなわち、前記燃焼熱交換プレート160、170は、前記第1~第4空気供給孔111、121、131、141に対応する位置の第6及び第7排気ガス流通孔161、171と、前記第1~第4改質ガス排出孔112、122、132、142に対応する位置の第6及び第7アイドル孔162、172と、前記第1~第5燃焼孔113、123、133、143、153に連通する第6及び第7燃焼孔163、173と、前記第1~第5改質ガス流通孔114、124、124、134、144に連通する第6及び第7改質ガス流通孔164、174とが形成される。そして、前記燃焼熱交換プレート160、170の上部にはそれぞれ第6及び第7微細流路165、175が凹状に形成される。前記第6及び第7微細流路165、175は前記第6及び第7排気ガス流通孔161、171と前記第6及び第7燃焼孔163、173を互いに連通させ、前記第6及び第7アイドル孔162、172と前記第6及び第7改質ガス流通孔164、174を互いに隔離させる。前記第6及び第7アイドル孔162、172は前記燃焼熱交換プレート160、170に形成されなくても良い。ただ、製作の便利性のために空気予熱プレート110、130と同様に形成される。また、前記第6及び第7微細流路165、175には、燃焼を補助するために、白金などの燃焼触媒を塗布することも可能である。前記燃焼熱交換プレート160、170の下側には前記上部改質ガス流通プレート180が配置される。図3に示すように、前記上部改質ガス流通プレート180は他のプレートとは異なり第8微細流路185が底面に形成される。前記上部改質ガス流通プレート180には第8改質ガス流通孔184が形成され、前記第8改質ガス流通孔184は前記第1及び第7改質ガス流通孔114、124、134、144、154、164、174を介して改質ガス温度測定管104に連通する。また、第8排気ガス流通孔181が前記第6及び第7排気ガス流通孔161、171に連通する。また、前記改質ガス流通プレート180には第8アイドル孔182、183が形成される。前記第8アイドル孔182、183は前記上部改質ガス流通プレート180に形成されなくても良い。ただ、製作の便利性のために、空気予熱プレート110、130と同様に形成される。前記第8微細流路185は前記第8アイドル孔182と前記第8改質ガス流通孔184を連通するように形成され、前記第8微細流路185によって前記第8排気ガス流通孔181と前記第8アイドル孔183は隔離される。前記上部改質ガス流通プレート180の下側には前記触媒ホルダープレート190が配置され、前記触媒ホルダープレート190の下側には、前記上部改質ガス流通プレート180の第8微細流路185と対向する第10微細流路205が形成された下部改質ガス流通プレート200が配置される。したがって、前記下部改質ガス流通プレート200は、前記第10微細流路205が前記下部改質ガス流通プレート200の上面に形成されたことを除き、前記上部改質ガス流通プレート180と同様な構造を持つ。前記下部改質ガス流通プレート200の形状は概して前記改質ガス冷却プレート120、140に似ている。すなわち、前記下部改質ガス流通プレート200は、前記第1~第4空気供給孔111、121、131、141に対応する位置の第10排気ガス流通孔201と、前記第1~第4改質ガス排出孔112、122、132、142に対応する位置の第10原料ガス流通孔202と、前記第1~第5燃焼孔113、123、133、143、153に対応する位置の第10アイドル孔203と、前記第1~第5改質ガス流通孔114、124、124、134、144に対応する位置の第10改質ガス流通孔204とが形成される。そして、前記下部改質ガス流通プレート200の上部には第10微細流路205が凹状に形成される。前記第10微細流路205は前記第10原料ガス流通孔202と前記第10改質ガス流通孔184を互いに連通させ、前記第10排気ガス流通孔201と前記第10アイドル孔203は互いに隔離させる。前記第10アイドル孔203は前記下部改質ガス流通プレート200に形成されなくても良い。ただ、製作の便利性のために、前記改質ガス冷却プレート120、140と同様に形成される。また、前記第8微細流路185及び前記第10微細流路205には改質反応を補助するために、ニッケルなどの改質触媒を塗布することも可能である。前記上部改質ガス流通プレート180と前記下部改質ガス流通プレート200の間に介在される前記触媒ホルダープレート190は図4aのように構成される。すなわち、前記触媒ホルダープレート190には貫通孔が形成され、前記貫通孔に前記触媒ホルダープレート190の厚さより小さな厚さの改質触媒195が設けられる。この際、前記改質触媒195の底面は前記触媒ホルダープレート190の底面と同一面をなすように設置される。そして、前記貫通孔にはさらに上部3次元ミキシング流路197が設けられ、前記上部3次元ミキシング流路197は最初状態、つまり圧縮接合の前には、図4aに示すように、前記触媒ホルダープレート190の上面より突出している。そして、コンパクトな反応器に接合すれば、図4bに示すように、前記上部3次元ミキシング流路197及び前記改質触媒195を押す力によって前記触媒ホルダープレート190と前記補助プレート196の接触効率を極大化することができる。前記改質触媒195はニッケルパウダー平均粒径1.0μmを618kgf/cm2の圧力で加圧して厚さ1.2mmに成形した。成形体は水素ガス雰囲気で700°Cで2時間焼結して円形のディスクを製作し、これを矩形に切断して製作する。前記改質触媒195は改質原料によって違うことができる。メタン、軽油、ガソリンの場合、ニッケルパウダーを使って製造することができ、エタノールまたはメタノールを原料として使用して合成ガスの製造を目標とする場合、銅を主成分とする微細金属パウダーを使って製造することができる。また、前記触媒ホルダープレート190の底面には、下部3次元ミキシング流路198を付着させるための補助プレート196が設けられる。前記補助プレート196は前記下部改質ガス流通プレート200から垂直に供給されるガスの漏出を防止する役目をする。前記補助プレート196の中心に形成された貫通孔に前記下部3次元ミキシング流路198が挿入固定され、前記下部3次元ミキシング流路198の厚さは前記補助プレート196の厚さと同一である。また、前記下部3次元ミキシング流路198は前記改質触媒195の断面積より小さくして、前記補助プレート196の上面が前記改質触媒195を支持するようにする。したがって、前記上部改質ガス流通プレート180の第8微細流路185と前記上部3次元ミキシング流路197が対向して当触し、前記下部改質ガス流通プレート200の第10微細流路205と前記下部3次元ミキシング流路198が対向して当触するようになる。また、前記改質触媒195の上面は前記上部3次元ミキシング流路197と接触し、前記改質触媒195の下面は前記下部3次元ミキシング流路198と接触するようになる。したがって、前記改質触媒195は、前記上部改質ガス流通プレート180の下部において前記上部3次元ミキシング流路197の下面と前記下部3次元ミキシング流路プレート198の上面の間に支持されるので、高圧にも耐えることができる。前記上部3次元ミキシング流路197及び前記下部3次元ミキシング流路プレート198は金属メッシュ部材または多孔性金属板から成ることができる。また、図2に示すように、本発明者が出願した大韓民国特許出願10-2009-0124091のように改質ガスと平行な方向に接触する方法より多い改質ガスとの接触面積が大きいので、改質性能においてより高い活性を示す。また、前記改質触媒195の面積は第10微細流路205をカバーするように前記第10微細流路205より大きいことが改質反応に効果的である。このような構成によって、前記改質触媒195と第10微細流路205の間の空間で原料ガスが前記改質触媒195の平面に垂直な方向に移動可能である。そして、前記触媒ホルダープレート190及び前記補助プレート196には、前記第1~第4空気供給孔111、121、131、141に対応する位置に、第9排気ガス排出孔191が形成される。また、前記触媒ホルダープレート190及び前記補助プレート196において、前記第1~第4改質ガス排出孔112、122、132、142と対応する位置と、前記第1~第5燃焼孔113、123、133、143、153と対応する位置と、前記第1~第4改質ガス流通孔114、124、134、144と対応する位置は閉鎖して気体が流通できなくなる。前記改質反応部の下側には、前記下部改質ガス流通プレート200の第10アイドル孔203、204との連通を遮断するために、下側流路隔離プレート210が配置される。前記下側流路隔離プレート210には、第10排気ガス流通孔201と第10原料ガス流通孔202がそれぞれ連通するように、第11排気ガス流通孔211と第11原料ガス流通孔212が形成される。前記下側流路隔離プレート210の下側には改質予熱部が配置される。前記改質予熱部は、廃熱回収プレート220、240と改質予熱プレート230、250が交互に配置される。前記改質予熱プレート230、250は流入する原料ガスを容易に改質反応するように予熱させ、予熱に必要な熱量は排出される排気ガスから吸収する。また、前記廃熱回収プレート220、240は、排気ガスに含まれた熱を回収してエネルギー効率を高めることができる。本発明の実施例においては前記廃熱回収プレート220、240と前記改質予熱プレート230、250がそれぞれ2枚ずつ使われたが、その枚数を増やすことも可能である。ただし、全厚さの増加及び製造コストなどを考慮しなければならない。前記廃熱回収プレート220、240と前記改質予熱プレート230、250には、それぞれ前記第11排気ガス流通孔211に連通する第12~第15排気ガス流通孔221、231、241、251と、前記第11原料ガス流通孔212に連通する第12~第15原料ガス流通孔222、232、242、252と、前記第1~第7燃焼孔113、123、133、143、153、163、173に対応する位置の第12~第15排気ガス排出孔223、233、243、253と、前記第1~第4改質ガス流通孔114、124、134、144に対応する位置の第12~第15原料ガス供給孔224、234、244、254とが形成される。そして、前記廃熱回収プレート220、240と前記改質予熱プレート230、250の上部にはそれぞれ第12~第15微細流路225、235、245、255が凹状に形成される。前記第12微細流路225は前記第12排気ガス流通孔221と前記第12排気ガス排出孔223を互いに連通させ、前記第12原料ガス流通孔222と前記第12原料ガス供給孔224を互いに隔離させる。前記第13微細流路235は前記第13原料ガス流通孔232と前記第13原料ガス供給孔234を互いに連通させ、前記第13排気ガス流通孔231と前記第13排気ガス排出孔233を互いに隔離させる。前記第14微細流路245は前記第14排気ガス流通孔241と前記第14排気ガス排出孔243を互いに連通させ、前記第14原料ガス流通孔242と前記第14原料ガス供給孔244を互いに隔離させる。前記第15微細流路255は前記第15原料ガス流通孔252と前記第15原料ガス供給孔254を互いに連通させ、前記第15排気ガス流通孔251と前記第15排気ガス排出孔253を互いに隔離させる。前記改質予熱部の下側には前記下部プレート260が配置される。前記下部プレートには、前記第11~第15原料ガス流通孔222、232、242、252に連通する原料ガス温度測定管262と、前記第12~第15排気ガス排出孔223、233、243、253に連通する排気ガス排出管263と、前記第12~第15原料ガス供給孔224、234、244、254に連通する原料ガス供給管264とが一体的に形成される。そして、前記上部プレート100の改質ガス温度測定管104と前記下部プレートの原料ガス温度測定管262にはそれぞれ熱電対図示せずが設置されることで、排出される改質ガスと供給される原料ガスの温度を測定することができる。また、前記微細流路115、125、135、145、165、175、185、205、225、235、245、255は真上に存在するプレートの底面との間に密閉した流路を形成するようになる。また、前記微細流路115、125、135、145、165、175、185、205、225、235、245、255は周りの孔に比べて断面積が大きいので、空気、原料ガス、排気ガス、及び改質ガスの流動速度を低下させて伝熱効率を高める役目をする。そして、前記上部3次元ミキシング流路197と前記下部3次元ミキシング流路198は断面積が大きいので、伝熱効率の向上によって反応物との接触効率を極大化することができる。そして、前記空気予熱プレート110、130と燃焼熱交換プレート160、170と前記廃熱回収プレート220、240は同一加熱プレートに相当する。そして、前記改質ガス冷却プレート120、140、前記改質反応プレート200及び前記改質予熱プレート230、250は同一改質プレートに相当する。そして、前記加熱プレートを180度の位相だけ変化させれば180度回転させれば前記改質プレートと同一である。よって、本発明は同一部品を使うことができるので、製造コストを大幅に節減することができる。本発明の実施例による前記炭化水素改質装置2000は基本的に前述したように構成される。以下、前記炭化水素改質装置2000の作動について説明する。前記炭化水素改質装置2000の燃料供給管103、原料供給管264、及び空気供給管101に燃料ガス供給源と、原料ガス供給源、空気源をそれぞれ連結し、前記改質ガス温度測定管104及び前記原料ガス温度測定管262に熱電対図示せずを設置して反応器加熱及び改質反応を進めた。まず、空気の移動経路は次のようである。前記空気供給管101に流入した空気は前記第1~第4空気供給孔111、121、131、141がなす空気流入管内に供給される。そして、前記空気流入管内の空気は前記空気予熱プレート110、130の第1及び第3微細流路115、135を通り、第1~第7燃焼孔113、123、133、143、153、163、173がなす燃焼管に供給されて燃料と混合される。この際、前記空気流入管の下部は前記上側流路隔離プレート150によって閉鎖される。特に、空気は前記第1及び第3微細流路115、135を通る間、前記空気予熱プレート110、130と交互に積層された前記改質ガス冷却プレート120、140から伝達される熱によって予熱される。ついで、燃料の移動経路は次のようである。前記燃料供給管103に供給された気体状態の燃料は前記燃料供給管103内に被覆された着火触媒105によって着火した状態で前記燃焼管を通りながら燃焼されて、結果物である排気ガスのままで前記燃焼熱交換プレート160、170に到逹する。燃焼によって燃焼熱を含んでいる高温の排気ガスは前記燃焼熱交換プレート160、170の第6及び第7微細流路165、175を通り、前記第6~第15排気ガス流通孔161、171、181、191、201、211、221、231、241、251がなす排気ガス供給管を通過し、前記廃熱回収プレート220、240の第12及び第14微細流路225、245を通り、前記第12~第15排気ガス排出孔223、233、243、253がなす排気ガス流通管を通り、前記下部プレート260の排気ガス排出管263に排出される。前記排気ガス供給管は前記上部流路隔離プレート150によって上部が閉鎖され、前記下部プレート260の上面によって下部が閉鎖される。そして、原料ガス及び改質ガスの移動経路は次のようである。まず、前記原料供給管264を通して原料ガスが供給され、前記原料ガスは前記第12~第15原料ガス供給孔224、234、244、254がなす原料ガス流入管を通り、前記改質予熱プレート230、250の第13及び第15微細流路235、255を通りながら予熱される。この際、原料ガスの予熱は、前記廃熱回収プレート220、240の第12及び第14微細流路225、245を通る排気ガスの残熱を熱伝導によって受けることでなされる。前記第10~第15原料ガス流通孔202、212、222、232、242、252がなす原料ガス流通管を通して前記第10微細流路205に供給される。前記原料ガス流入管は前記下側流路隔離プレート210によって上側が閉鎖され、前記原料ガス流通管は前記触媒ホルダープレート190及び前記補助プレート196によって上側が閉鎖される。前記第10微細流路205は前記改質触媒195と接しているため、前記第10微細流路205と前記改質触媒195がなす空間で改質反応によって改質ガスが形成される。発生した改質ガスは前記第1~第8改質ガス流通孔114、124、134、144、154、164、174、184がなす改質ガス流通管を通り、前記改質ガス冷却プレート120、140の第2及び第4微細流路125、145を通る。前記第2及び第4微細流路125、145を通りながら冷却された改質ガスは前記第1~第4改質ガス排出孔112、122、132、142がなす改質ガス流出孔を通して前記上部プレート100の改質ガス排出管102に排出される。前記改質ガス流通管の下側は前記下側流路隔離プレート210によって閉鎖され、前記改質ガス流出管の下側は前記上側流路隔離プレート150によって閉鎖される。そして、前記改質ガス温度測定管104は前記改質ガス流通管に連通するので、内部に熱電対図示せずによって冷却前の改質ガスの温度を測定することができる。前記改質ガス温度測定管104は閉鎖されているので、前記改質ガス温度測定管104を通じての改質ガスの漏出はない。また、前記原料ガス温度測定管262は前記原料ガス流通管に連通するので、内部の熱電対図示せずによって予熱された後の原料ガスの温度を測定することができる。前記原料ガス温度測定管262は閉鎖されているので、前記原料ガス温度測定管262を通じての改質ガスの漏出はない。<反応器の製作及び実験例>前記実施例による反応器を図6のように製作した。構成プレートは食刻で流路を形成し、これを前述したような手順に積層し、800°Cで拡散接合することで完成した。前記反応器の性能を測定した結果は図7及び図8に示す通りである。空間速度10,000/hrでメタン水蒸気改質S/C=3の結果、580~620°Cの範囲でメタン転換率90~95を得ることができた。これは当該温度で平衡転換率30~50を超える結果で、生成物である水素が触媒プレートを速かに透過することにより得られる結果である。また、反応温度650°Cで空間速度別メタン転換率を測定した結果、5,000~50,000/hrの範囲で95以上の転換率を得ることができた。このような結果は、改質反応に必要な反応熱の供給速度が非常に速いことにより得られる結果である。すなわち、既存のセラミック材が主成分である触媒の使用の際、伝熱速度の限界によって空間速度10,000/hrの運転が難しい反面、本発明による反応器構成及びガス透過形態によって得られる驚くべき効果である。したがって、本発明による、多孔性金属触媒を透過する形態のMCR反応器の構成は、既存の限界を克服する新概念の改質反応器を提供することができる。前記のように、本発明を好適な実施例に基づいて説明したが、当該技術分野の当業者であるなら、下記の特許請求範囲に記載した本発明の思想及び領域から逸脱しない範疇内で本発明を多様に修正及び変更することができることが分かるであろう。"