側面に水位上限を定める開口部が設けられた冷却水タンク本体と、前記開口部により前記タンク本体内部と連結したサブタンクと、前記水位上限を超えた冷却水を、前記サブタンクを経由して外部に排出する排出用配管とを備え、前記サブタンクは、前記開口部より高い位置において外気開放され、底面が前記開口部より低い位置にあることを特徴とする水冷式半導体試験装置の冷却水タンク。側面に開口部が設けられた冷却水タンク本体と、前記開口部に接続され、前記開口部よりも高い基準位置を経由し、前記基準位置を超えた冷却水を外部に排出する排出用配管とを備え、前記排出用配管は、前記基準位置よりも高い位置において外気開放されていることを特徴とする水冷式半導体試験装置の冷却水タンク。側面に水位上限を定める開口部が設けられた冷却水タンク本体と、前記開口部に接続され、前記水位上限を超えた冷却水を外部に排出する排出用配管とを備え、前記排出用配管は、前記開口部より低い位置となる滞留部を形成するとともに、前記開口部よりも高い位置において外気開放されていることを特徴とする水冷式半導体試験装置の冷却水タンク。従来のタンク500においては、タンク500の内部温度と、オーバーフロー配管530の周囲温度との温度差により、オーバーフロー配管530への配管路内において結露が発生することがある。この結露がオーバーフロー配管530側に流出することで、タンク500内の循環冷却水が水位上限を超えていないにもかかわらず、漏水センサ280が水位上限オーバーフローを誤検出して、不要なアラームを通知する場合があった。そこで、本発明は、水冷式半導体試験装置の冷却水を貯蔵する冷却水タンクにおいて、配管内の結露を起因とする水位上限オーバーフロー誤検出を防止することを目的とする。上記課題を解決するため、本発明の第1の態様である水冷式半導体試験装置の冷却水タンクは、側面に水位上限を定める開口部が設けられた冷却水タンク本体と、前記開口部により前記タンク本体内部と連結したサブタンクと、前記水位上限を超えた冷却水を、前記サブタンクを経由して外部に排出する排出用配管とを備え、前記サブタンクは、前記開口部より高い位置において外気開放され、底面が前記開口部より低い位置にあることを特徴とする。上記課題を解決するため、本発明の第2の態様である水冷式半導体試験装置の冷却水タンクは、側面に開口部が設けられた冷却水タンク本体と、前記開口部に接続され、前記開口部よりも高い基準位置を経由し、前記基準位置を超えた冷却水を外部に排出する排出用配管とを備え、前記排出用配管は、前記基準位置よりも高い位置において外気開放されていることを特徴とする。上記課題を解決するため、本発明の第3の態様である水冷式半導体試験装置の冷却水タンクは、側面に水位上限を定める開口部が設けられた冷却水タンク本体と、前記開口部に接続され、前記水位上限を超えた冷却水を外部に排出する排出用配管とを備え、前記排出用配管は、前記開口部より低い位置となる滞留部を形成するとともに、前記開口部よりも高い位置において外気開放されていることを特徴とする。本発明によれば、水冷式半導体試験装置の冷却水を貯蔵する冷却水タンクにおいて、配管内の結露を起因とする水位上限オーバーフロー誤検出を防止することができる。本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態に係るタンクおよびオーバーフロー配管付近の構造を説明する図である。本図に示すように、タンク300は、本体の一方の側面に給水口310が備えられ、他方の側面に開口部を介してサブタンク340が備えられている。サブタンク340には、オーバーフロー配管330が接続されたエルボ継手320が備えられている。ここで、エルボ継手320とオーバーフロー配管330は、排出用配管として機能する。サブタンク340につながるタンク300の開口部とエルボ継手320とは、ほぼ同じ高さに位置し、この位置がタンク300の水位上限となっている。タンク300内の循環冷却水が水位上限を超えた場合は、サブタンク340、エルボ継手320、オーバーフロー配管330を通って外部に排出され、漏水センサ280によって水位上限オーバーフローが検出される。本実施形態において、サブタンク340の底面は、この水位上限よりも低い位置となっており、この部分が滞留部341を形成している。滞留部341は、サブタンク340付近で発生した結露を滞留させる機能を有している。また、サブタンク340の上面には、外気開放のための開口部342が形成されており、サブタンク340、エルボ継手320、オーバーフロー配管330内の温度と外部温度との差が小さくなる。これにより、配管内で結露が生じにくくなっている。サブタンク340付近で結露が生じた場合であっても、サブタンク340の滞留部341に滞留し、滞留した水分は、開口部342から蒸発するため、オーバーフロー配管330から外部に流出することを防ぐことができる。図2は、タンクおよびオーバーフロー配管付近の構造の別例を説明する図である。本図に示すように、タンク300aは、本体の一方の側面に給水口310が備えられ、他方の側面に開口部を介して、開放端が上向きとなる方向でつながれたエルボ継手350が備えられている。エルボ継手350の開放端には、チーズ継手351が接続されている。チーズ継手351の上方向には、上面が外気開放された蒸発用配管352が接続され、チーズ継手351の水平方向には、オーバーフロー配管330が接続されたエルボ継手320が接続されている。ここで、エルボ継手350とチーズ継手351と蒸発用配管352とエルボ継手320とオーバーフロー配管330は、排出用配管として機能する。本図の例では、チーズ継手351の水平方向に接続されたエルボ継手320の位置が、タンク300aの水位上限となっている。タンク300a内の循環冷却水が水位上限を超えた場合は、エルボ継手350、チーズ継手351、エルボ継手320、オーバーフロー配管330を通って外部に排出され、漏水センサ280によって水位上限オーバーフローが検出される。蒸発用配管352によりチーズ継手351の上面が外気開放されているため、エルボ継手350、チーズ継手351、エルボ継手320、オーバーフロー配管330内の温度と外部温度との差が小さくなる。これにより、配管内で結露が生じにくくなっている。チーズ継手351付近で結露が生じた場合であっても、エルボ継手350からタンク300aの内部に戻り、また、チーズ継手351の上面から蒸発するため、オーバーフロー配管330から外部に流出することを防ぐことができる。このように、エルボ継手350は、滞留部としても機能する。図3は、オーバーフロー配管付近の構造の第2の別例を説明する図である。本図に示すように、タンク300b本体の一方の側面には、開口部を介してエルボ継手360が備えられており、エルボ継手360には、他端にチーズ継手351が接続されたJ字配管361がつながれている。チーズ継手351の上方向には、上面が外気開放された蒸発用配管352が接続され、チーズ継手351の水平方向には、オーバーフロー配管330が接続されたエルボ継手320が備えられている。ここで、エルボ継手360とJ字配管361とエルボ継手350とチーズ継手351と蒸発用配管352とエルボ継手320とオーバーフロー配管330は、排出用配管として機能する。エルボ継手360につながるタンク300bの開口部とエルボ継手320とは、ほぼ同じ高さに位置し、この位置がタンク300bの水位上限となっている。タンク300内の循環冷却水が水位上限を超えた場合は、エルボ継手320、J字配管361、チーズ継手351、エルボ継手320、オーバーフロー配管330を通って外部に排出され、漏水センサ280によって水位上限オーバーフローが検出される。蒸発用配管352によりチーズ継手351の上面が外気開放されているため、エルボ継手360、J字配管361、エルボ継手350、チーズ継手351、エルボ継手320、オーバーフロー配管330内の温度と外部温度との差が小さくなる。これにより、配管内で結露が生じにくくなっている。エルボ継手360、J字配管361、チーズ継手351付近で結露が生じた場合であっても、滞留部として機能するJ字配管361に滞留し、チーズ継手351の上面から蒸発するため、オーバーフロー配管330から外部に流出することを防ぐことができる。以上説明したように、本実施形態によれば、タンクからオーバーフロー配管までの経路に外気開放部と滞留部とを設けているため、結露が発生しにくく、また、結露が発生した場合であっても、外部に流出せずに滞留し、外気開放部から蒸発する。したがって、水冷式半導体試験装置の冷却水を貯蔵する冷却水タンクにおいて、配管内の結露を起因とする水位上限オーバーフロー誤検出を防止することができる。