酸素が粒子の内側よりも外側に多く存在し、酸素含有量が8atm以下であることを特徴とする窒化ガリウム粉末。比表面積が6m2/g以下であることを特徴とする請求項1記載の窒化ガリウム粉末。粒子の外側の酸化物層の厚さが500nm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の窒化ガリウム粉末。酸化ガリウム粉末を1000~1200°Cでアンモニア/酸化ガリウムのモル比が6倍以上の雰囲気で反応させることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の窒化ガリウム粉末の製造方法。本発明の目的は、酸素含有量の少ない窒化ガリウムのスパッタリングターゲットが作製可能な酸素含有量の少ない窒化ガリウム粉末を提供することである。本発明は1酸素が粒子の内側よりも外側に多く存在し、酸素含有量が8atm以下であることを特徴とする窒化ガリウム粉末。2比表面積が6m2/g以下であることを特徴とする1に記載の窒化ガリウム粉末。3粒子の外側の酸化物層の厚さが500nm以下であることを特徴とする1または2に記載の窒化ガリウム粉末。4酸化ガリウム粉末を1000~1200°Cでアンモニア/酸化ガリウムのモル比が6倍以上の雰囲気で反応させることを特徴とする1~3のいずれかに記載の窒化ガリウム粉末の作製方法。に関する。以下、本発明を詳細に説明する。一般に、酸化ガリウムをアンモニア雰囲気で加熱処理して窒化ガリウムを作製する場合、下式のように最初に酸化ガリウムGa2O3が還元されてGa2Oとなって気化し、その後気化したGa2OがNH3と反応して窒化ガリウムGaNとなる。2NH3→3H2N21Ga2O32H2→Ga2Og2H2O2Ga2Og2NH3→2GaNH2O2H23その際、生成した窒化ガリウムの粒子が酸化ガリウム粉末の表面に付着することによって窒化反応が進行するため、粒子の内部には未反応の酸化ガリウムが残り、粒子の外側に窒化ガリウムが存在する。結果として酸素が粒子の内側に多く存在することとなる。酸化ガリウムとアンモニアの窒化ガリウムの反応式は3式に示すようにアンモニア/酸化ガリウムのモル比が2倍で反応が進むと考えられている。しかし、内部の酸化ガリウムとアンモニアを接触させるためには化学量論量以上のアンモニアが必要であり、本発明ではアンモニア/酸化ガリウムのモル比が6倍より少ないと、内部の酸化ガリウムまで窒化させることができず、結果として酸素含有量が増えてしまうことを見出した。アンモニア/酸化ガリウムのモル比が6倍以上の場合は内部の酸化ガリウムがほぼ窒化され、12倍以上であれば内部に酸化ガリウムはほとんど残らない。そのため、本発明の窒化ガリウム粉末は、大気と接触した際にできる表面の酸化物層に覆われた窒化ガリウム粉末となり、酸素が粒子の内側よりも外側に多く存在することとなる。粒子の内側と外側での酸素含有量の違いについては、粉末の断面をエネルギー分散型X線分析EDSにより観察するなどして判断することが可能である。また、本発明の窒化ガリウム粉末は酸素含有量が8atm以下であることが必要であり、さらに望ましくは、酸素含有量が6atm以下である。酸素含有量が8atmより多くなると、粒子の粒成長が不十分であり、粒子内部にまで酸素が分布している傾向があるためである。なお、酸素含有量はEPMAやEDSなどによっても測定することができるが、窒化ガリウム粉末を熱分解させ、酸素量、窒素量を熱伝導度法により測定を行い例えばLeco社製、酸素、窒素分析装置、さらにガリウムをICP発光分光測定などの元素分析で測定する方が精度がより高くなるため、好ましい。また、窒化ガリウムの比表面積BETは6m2/g以下が好ましく、4m2/g以下であることがより好ましい。比表面積が6m2/gより大きい場合、酸素との接触面積が大きいために大気中で容易に酸化が進行し、窒化ガリウム粒子全体に酸素が分布し、酸素含有量が8atmより高くなる傾向にある。また本発明の窒化ガリウム粉末中の酸化物層の厚さは500nm以下、望ましくは300nm以下である。ここでいう酸化物層の厚さは、例えばEDSやEPMAなどによって測定した酸素量分布を、窒化ガリウム粒子の短径方向において最も酸素濃度が高い領域の長さを測定することによって求めることができる。酸化物層の厚さが500nmより大きくなると、粒子の粒成長が不十分であり、粒子全体が酸化されている傾向にある。次に、本発明の窒化ガリウム粉末の製造方法について説明する。本発明の窒化ガリウム粉末は、酸化ガリウム粉末を1000~1200°Cでアンモニア/酸化ガリウムのモル比が6倍以上の雰囲気で反応させることで製造することができる。酸化ガリウム粉末はアンモニア/酸化ガリウムのモル比が6倍以上の雰囲気で反応させることが必要であり、12倍以上であることが好ましい。アンモニア/酸化ガリウムのモル比が6倍より少ないと、内部の酸化ガリウムまで窒化させることができず、酸素含有量が増えてしまうからである。酸化ガリウムのアンモニア雰囲気での反応は1000~1200°Cとすることが必要である。1000°C未満では窒化ガリウムの粒子の粒成長が不十分で、酸素含有量が多くなる。温度が1000°C以上において窒化ガリウムの粒子が成長し、大気に接触しても酸化されにくくすることができる。また、1150°Cを超えると窒化ガリウムの一部が分解し、1200°Cを超えると収率が50以下まで低下するため、1050~1150°Cで反応させることが望ましい。なお、本発明の窒化ガリウム粉末の原料とする酸化ガリウムは、不純物を極力含まないものを用いることが望ましい。本発明の粉末を用いることで、酸素量の少ない窒化ガリウムターゲットを作製でき、結晶性の良い窒化ガリウム薄膜を形成することができる。以下、本発明の実施例をもって説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。実施例1酸化ガリウム粉末4N38gをはかりとり、アルミナ製容器に投入し、雰囲気制御炉へ投入した。炉内は真空置換後、アンモニアを充填し、アンモニアを400mL/minで流して、温度は600°C/hにて昇温し、最終的に1050°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=12。粉末の断面をEDSにより観察したSEM画像、EDSによる酸素濃度を図1に示す。図1より粒子の一部が粒成長をしており、酸素は粒子の外側に多く存在していることを確認した。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。実施例2実施例1と同様の方法で、1100°Cまで温度を増加させ、5時間保持した。粉末の断面をEDSにより観察したSEM画像、EDSによる酸素濃度を図2に示す。図2より粒子の多くが粒成長をしており、酸素は粒子の外側に多く存在していることを確認した。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。実施例3実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N40gをはかりとり、アンモニアを200mL/minで流して、1050°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=6。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。実施例4実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N22gをはかりとり、アンモニアを150mL/minで流して、1050°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=8。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。実施例5実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N22gをはかりとり、アンモニアを200mL/minで流して、1050°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=10。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。実施例6実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N38gをはかりとり、アンモニアを400mL/minで流して、1150°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=12。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。比較例1実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N55gをはかりとり、アンモニアを200mL/minで流して、1050°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=4。粉末の断面をEDSにより観察したSEM画像、EDSによる酸素濃度を図3に示す。図3より粒子は一部で粒成長しているが、酸素は粒子の内部にも存在していることを確認した。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。比較例2実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N38gをはかりとり、アンモニアを400mL/minで流して、900°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=12。粉末の断面をEDSにより観察したSEM画像、EDSによる酸素濃度を図4に示す。図4より粒子は粒成長せず、酸素は粒子全体に均一に存在していることを確認した。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。比較例3実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N55gをはかりとり、アンモニアを100mL/minで流して、1050°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=2。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。参考例1実施例1と同様の方法で、酸化ガリウム粉末4N38gをはかりとり、アンモニアを400mL/minで流して、1200°Cまで温度を増加させ、5時間保持したアンモニア/酸化ガリウムのモル比=12。得られた窒化ガリウムの物性値と収率を表1に示す。