薄膜状の基板を支持基板に貼り合わせた貼り合わせ基板を収納する容器本体と、該容器本体の開口部に、該開口部を開閉可能に配置され、前記容器本体を密閉する蓋体と、前記容器本体の内壁面に複数、平行に配置された基板支持片と、前記蓋体の内側面及び該内側面に対向する前記容器本体の内壁面にそれぞれ設けられ、前記容器本体に搬入され前記基板支持片上に載置される複数の前記貼り合わせ基板の外周端面に当接して該貼り合わせ基板を支持する基板支持部材とを有し、該基板支持部材は、前記複数の貼り合わせ基板の主表面と交叉する弾性部材からなることを特徴とする基板収納容器。前記薄膜状の基板は、その厚さが150μm以下であることを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。前記薄膜状の基板は、その厚さが20μm~100μmであることを特徴とする請求項2記載の基板収納容器。前記薄膜状の基板はシリコン基板であり、前記支持基板は前記薄膜状の基板よりも厚いシリコン基板及びガラス基板のいずれか1つであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板収納容器。前記蓋体の内側面には前記基板支持部材が少なくとも1つ設けられており、前記蓋体の内側面に対向する前記容器本体の内壁面には前記基板支持部材が、所定の間隔を隔てて少なくとも2つ設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板収納容器。前記所定の間隔は、前記2つの基板支持部材と前記容器本体に搬入され前記基板支持片に載置される前記貼り合わせ基板の主表面の中心とをそれぞれ結ぶ2つの直線のなす角度が30°~120°となる間隔であることを特徴とする請求項5記載の基板収納容器。前記弾性部材は、シリコンゴム及びウレタンゴムのいずれかからなる円柱状の部材であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板収納容器。しかしながら、従来の基板収納容器60は、ばね部材として機能するプラスチック製の支持部材67に設けられた基板支持部65で貼り合わせ基板70の外周端面を支持するものであるために、基板支持部65の断面V字状の開口面と貼り合わせ基板70の薄膜ウエハのベベル部とが接触又は衝突して該ベベル部に割れ、欠け等の損傷が発生するという問題がある。図10は、図7の基板収納容器60における基板70と基板支持部65との当接又は衝突状態を示す断面図である。図10において、支持基板71と薄膜ウエハ72とを貼り合わせた貼り合わせ基板70における薄膜ウエハ72のベベル部と基板支持部65のV字状開口面とが接触しており、薄膜ウエハ72は基板支持部65との接触に起因して容易に損傷する。本発明の課題は、貼り合わせ基板における薄膜ウエハの損傷を防止し、且つパーティクル汚染を回避することができる基板収納容器を提供することにある。上記課題を解決するために、請求項1記載の基板収納容器は、薄膜状の基板を支持基板に貼り合わせた貼り合わせ基板を収納する容器本体と、該容器本体の開口部に、該開口部を開閉可能に配置され、前記容器本体を密閉する蓋体と、前記容器本体の内壁面に複数、平行に配置された基板支持片と、前記蓋体の内側面及び該内側面に対向する前記容器本体の内壁面にそれぞれ設けられ、前記容器本体に搬入され前記基板支持片上に載置される複数の前記貼り合わせ基板の外周端面に当接して該貼り合わせ基板を支持する基板支持部材とを有し、該基板支持部材は、前記複数の貼り合わせ基板の主表面と交叉する弾性部材からなることを特徴とする。請求項2記載の基板収納容器は、請求項1記載の基板収納容器において、前記薄膜状の基板は、その厚さが150μm以下であることを特徴とする。請求項3記載の基板収納容器は、請求項2記載の基板収納容器において、前記薄膜状の基板は、その厚さが20μm~100μmであることを特徴とする。請求項4記載の基板収納容器は、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板収納容器において、前記薄膜状の基板はシリコン基板であり、前記支持基板は前記薄膜状の基板よりも厚いシリコン基板及びガラス基板のいずれか1つであることを特徴とする。請求項5記載の基板収納容器は、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板収納容器において、前記蓋体の内側面には前記基板支持部材が少なくとも1つ設けられており、前記蓋体の内側面に対向する前記容器本体の内壁面には前記基板支持部材が、所定の間隔を隔てて少なくとも2つ設けられていることを特徴とする。請求項6記載の基板収納容器は、請求項5記載の基板収納容器において、前記所定の間隔は、前記2つの基板支持部材と前記容器本体に搬入され前記基板支持片に載置される前記貼り合わせ基板の主表面の中心とをそれぞれ結ぶ2つの直線のなす角度が30°~120°となる間隔であることを特徴とする。請求項7記載の基板収納容器は、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板収納容器において、前記弾性部材は、シリコンゴム及びウレタンゴムのいずれかからなる円柱状の部材であることを特徴とする。本発明によれば、貼り合わせ基板の外周端面を弾性部材からなる基板支持部材で支持、固定するので、貼り合わせ基板における薄膜状の基板に無用な応力が作用するのを回避して該薄膜状の基板の損傷を防止することができる。また、基板支持部材からのパーティクルの発生がないので、薄膜状の基板のパーティクル汚染を回避することができる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る基板収納容器の斜視図である。図1において、基板収納容器10は、内部に基板を収納する矩形の空間を有する矩形の容器であって、後述する貼り合わせ基板図2参照を収納する容器本体11と、該容器本体11の開口部12に、該開口部12を開閉自在に設けられた蓋体13とから主として構成されている。容器本体11及び蓋体13は、例えば、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタラート、ポリエーテルエーテルケトン等からなる合成樹脂によって構成されている。蓋体13は、例えば、該蓋体13の内側面の外周部に沿って設けられ、容器本体11の開口部12と嵌合する枠体図示省略を有し、該枠体を容器本体11の開口部12に嵌合して容器本体11を密閉する。これによって、容器本体11への外部からのパーティクル等の汚染物質の侵入が防止される。また、蓋体13は、容器本体11の開口部を閉じた状態で、容器本体11と蓋体13とを係止する係合部材、例えば係合金具等図示省略によって容器本体11に係合、固定可能に構成されている。容器本体11の対向する2つの内壁面14には複数、例えば25枚の基板支持片15がそれぞれ対称に、且つ平行に配設されており、各基板支持片15は、容器本体11に収納される貼り合わせ基板15をその上面に載置した状態で1枚ずつ支持する。基板支持片15は、貼り合わせ基板を固定するものではなく、単にその上面に載置された状態で支持するものである。従って、隣接する基板支持片15相互間の間隔は、貼り合わせ基板の厚さに該貼り合わせ基板を搬入及び搬出する際に必要な空間寸法を加えたものとなる。基板支持片15は、容器本体11及び蓋体13と同様の、例えば、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタラート、ポリエーテルエーテルケトン等の合成樹脂によって構成されている。蓋体13の内側面には、1つ以上、例えば2つの基板支持部材16が間隔を隔てて配置されている。また、蓋体13の内側面に対向する容器本体11の内壁面にも同様に、例えば2つの基板支持部材16が間隔を隔てて配置されている後述する図3参照。基板支持部材16はシリコンゴム、ウレタンゴム、パーフロロエラストマーフッ素樹脂系ゴム等の弾性体からなる棒状の部材であり、好適には円柱状の部材であるが、多角形柱状又はその他の棒状部材であってもよい。基板支持部材16は容器本体11及び蓋体13の所定位置に接着剤によって接着又はねじ等を用いて固定されている。基板支持部材16は、容器本体11に搬入され、基板支持片15上に載置された複数の貼り合わせ基板の外周端面に当接し、且つ各貼り合わせ基板の主表面、例えば薄膜状ウエハの上部平面と交叉する。基板支持部材16と貼り合わせ基板の主表面との交叉角度は、例えば直角である。但し、この交叉角度は、直角に限定されるものではなく、棒状の基板支持部材16を容器本体11又は蓋体13内で傾斜させ、貼り合わせ基板5の主表面と鋭角又は鈍角で交叉するようにしてもよい。蓋体13の内側面に設けられた2つの基板支持部材16及び蓋体13の内側面に対向する容器本体11の内壁面に設けられた2つの基板支持部材16の間隔は、それぞれ2つの基板支持部材16と容器本体11に搬入され基板支持片15上に載置される各貼り合わせ基板の主表面の中心とをそれぞれ結ぶ2つの直線のなす角度が30°~120°となる間隔であることが好ましい。これによって、貼り合わせ基板をその外周端面に当接する4つの基板支持部材で均等に押圧、支持して安定に固定することができる。蓋体13の内側面に設けられ基板支持部材16は2つに限定されるものではなく、少なくとも1つあればよい。また、蓋体13の内側面に対向する容器本体11の内壁面に設けられた基板支持部材16は2つに限定されるものではなく、少なくとも2つであれば、3つ又はそれ以上であってもよい。図2は、図1の基板収納容器10に収納される貼り合わせ基板の断面図である。図2において、貼り合わせ基板5は支持基板3と、該支持基板3の上部平面に接着剤層2を用いて貼着された薄膜状の基板としての薄膜ウエハ1とで主として構成されている。薄膜ウエハ1の厚さは、150μm以下、例えば20μm~100μmである。このような薄膜ウエハは、例えばビアホール等の貫通孔ThroughSiliconViaが多数形成された後、三次元実装方法によって多数枚積層されて半導体デバイスを構成する。薄膜ウエハ1は、プラズマ処理装置をはじめとする各種処理装置によって所定の処理を施す際又は搬送時等のハンドリング時に損傷し易いので、薄膜ウエハ1よりも厚い支持基板3に貼り合わせて貼り合わせ基板5として取り扱われ、積層時に支持基板3から剥がして使用される。支持基板3は、シリコン基板、ガラス基板、化合物半導体等のいずれかであり、その厚さは、例えば500~800μmである。接着剤としては、例えば、エポキシ系接着剤、酢酸ビニル、エチレン酢酸ビニル、アクリルなどのエマルジョン系接着剤等が好適に用いられる。接着剤層の厚さは、例えば20~30μm程度である。薄膜ウエハ1は、例えば直径299mmの円板状を呈しており、支持基板3は、例えば直径300mmの円板状である。従って、薄膜ウエハ1の外周端面と支持基板3の外周端面との間隔は400~500μm程度である。なお、薄膜ウエハ1の外周端面と支持基板3の外周端面との間隔を大きくとることによって、薄膜ウエハ1の損傷が回避される可能性は増大するが、薄膜ウエハ1の生産性の観点から、現状では上記間隔を大きくすることは採用されていない。貼り合わせ基板5は、各種処理装置相互間を搬送する際又は保管時に、図1の基板収納容器10に収納される。すなわち、基板収納容器10の開口部12が水平方向に開口する状態で、例えば、搬送アームによって、処理前又は処理後の貼り合わせ基板5を容器本体11内に搬入し、蓋体13を閉じることによって、該蓋体13の内側面に設けられた2つの基板支持部材16及び蓋体13の内側面に対向する容器本体11の内壁面に設けられた2つの基板支持部材16を、貼り合わせ基板5の外周端面に当接させ、これによって貼り合わせ基板5を容器本体11内の所定位置に固定する。図3は、図1の基板収納容器10に貼り合わせ基板5を収納した状態を示す模式図である。図3において、貼り合わせ基板5は矢印A方向から基板収納容器10の容器本体11内に搬入され、蓋体13の内側面に設けられた2つの基板支持部材16と、蓋体13の内側面に対向する容器本体11の内壁面に設けられた2つの基板支持部材16とによって均等に支持、固定されている。また、図4は、図1の基板収納容器10における基板支持状態を示す図である。図4において、容器本体11内に搬入された貼り合わせ基板5は、その下面が基板支持片15の上面と接触する状態で、基板支持片15上に載置され、外周端面に当接する4つの基板支持部材16によって支持、固定されている。図5は、図4における基板と基板支持部材16との当接状態を示す図である。図5において、シリコンゴム等の弾性体からなる断面円形の円柱状の基板支持部材16を貼り合わせ基板5の外周端面に当接させると、基板支持部材16の外周面が滑らかなラウンド状態で凹状に変形する。従って、基板支持部材16の外表面が薄膜ウエハ1に接触しないか又は接触しても薄膜ウエハ1のベベル部を変形させるほどの応力を発生しないので、薄膜ウエハ1における割れ、傷等の損傷を防止することができる。基板収納容器10に収納された貼り合わせ基板5は、基板収納容器10毎他の基板処理装置に向けて搬送されるか又はそのままの状態で所定期間保管される。本実施の形態によれば、貼り合わせ基板5の外周端面を弾性部材からなる基板支持部材16で支持、固定するので、貼り合わせ基板5における薄膜ウエハ1に無用な応力が作用するのを回避して該薄膜ウエハ1の損傷を防止することができる。また、本実施の形態によれば、容器本体11を密閉可能としたので、外部からの汚染物質の侵入を防止できるとともに、基板支持部材16としてパーティクルの発生等の虞がないシリコンゴム、ウレタンゴム等を適用したので、貼り合わせ基板5の特に薄膜ウエハ1へのパーティクル付着を防止することができる。本実施の形態において、基板収納容器10の容器本体11の内部壁面に複数平行に配置された基板支持片15における貼り合わせ基板5の薄膜ウエハ1が対向する面に、基板支持部材16と同様の材質からなる後述の弾性膜17を設けることが好ましい。これによって貼り合わせ基板5の容器本体11への搬入時及び搬出時における薄膜ウエハ1の擦り傷の発生等を防止することができる。また、本実施の形態において、容器本体11内に搬入された貼り合わせ基板5の外周端面に対向する容器本体11の内壁面、すなわち、隣接する基板支持片15相互間における容器本体11の内壁面にも基板支持部材16と同様の材質からなる後述の弾性部材18を配置するこが好ましい。これによって容器本体11内に搬入され、所定位置に固定された貼り合わせ基板5の外周端面、特に、薄膜ウエハ1のベベル部の損傷を防止することができる。図6は、本実施の形態の変形例の要部を示す図であって、図4のB―B線に沿う断面図である。図6において、基板支持片15における貼り合わせ基板5の薄膜ウエハ1に対向する面及び容器本体11の内壁面であって隣接する基板支持片15相互に挟まれた部分に、それぞれ基板支持部材16と同様の材質からなる弾性膜17及び弾性部材18が配置されている。これによって、貼り合わせ基板5の薄膜ウエハ1の損傷をより確実に防止することができる。次に、本発明の具体的実施例について説明する。容器本体11の内壁面に25段の基板支持片15が配置された図1の基板収納容器10の蓋体13を開き、図2の貼り合わせ基板5を25枚搬入してそれぞれ基板支持片15上に載置した後、蓋体13を閉じて各貼り合わせ基板5の外周端面にシリコンゴムからなる基板支持部材16を当接して固定した。次いで、25枚の貼り合わせ基板5を収納した基板収納容器10を10日間放置して、基板支持部材16としてシリコンゴムを適用したことによる貼り合わせ基板5の薄膜ウエハ1上のパーティクル数の変動を観察したところ、10日間で、数個の増加に留まり、基板支持部材16としてシリコンゴムを適用したことによる薄膜ウエハ1のパーティクル汚染は実用上問題がない範囲内であった。実施例1で用いた25枚の貼り合わせ基板5を収納した基板収納容器10について、通常の台車に乗せてコンクリート床面を200m搬送し、次いで、容器本体11の鉛直方向の中心線が70°~110°で左右両側に振れるように100往復ほど揺動させ、その後、容器本体11の上部外側面に対して作業員による軽い殴打を100回ほど繰り返して衝撃を与えたところ、容器本体11に収納された貼り合わせ基板5の薄膜ウエハ1に割れ、欠け等の損傷は認められなかった。以上、本発明を実施の形態を用いて詳細に説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。