露光装置の照明形状を含む露光条件を決定するプログラムであって、照明瞳を複数の領域に分割する第一ステップと、前記複数の領域の各々について、第1照明形状からの輝度変化と、輝度を変化させた場合の転写パターンの像性能評価量の変化との関係を示す像性能応答を算出する第二ステップと、前記像性能応答を用いて、前記像性能評価量が所定の範囲内となるような各領域の輝度変化量を求める第三ステップと、前記輝度変化量を前記第1照明形状に加えて第2照明形状を求める第四ステップと、前記第一ステップから第四ステップまでを、計算条件パラメータを変更して複数回実行し、各計算条件パラメータに対応する複数の第2照明形状を求め、前記第1照明形状との差分に基づいて、前記複数の第2照明形状のうちのいずれか1つを、前記露光装置に設定する照明形状として選択するステップと、をコンピュータに実行させ、前記像性能評価量として、露光量余裕度、焦点深度、パターン種類ごとの目標寸法、前記露光装置の投影レンズ収差に対する転写パターンの寸法変化の敏感度、補助パターン転写特性、マスク寸法誤差拡大因子、適正露光量の少なくともいずれか1つを用いることを特徴とする露光条件決定プログラム。露光装置の照明形状を含む露光条件を決定するプログラムであって、照明瞳を複数の領域に分割する第一ステップと、前記複数の領域の各々について、第1照明形状からの輝度変化と、輝度を変化させた場合の転写パターンの像性能評価量の変化との関係を示す像性能応答を算出する第二ステップと、前記像性能応答を用いて、前記像性能評価量が所定の範囲内となるような各領域の輝度変化量を求める第三ステップと、前記輝度変化量を前記第1照明形状に加えて第2照明形状を求める第四ステップと、前記第一ステップから第四ステップまでを、計算条件パラメータを変更して複数回実行し、各計算条件パラメータに対応する複数の第2照明形状を求め、前記複数の第2照明形状のうち、前記第1照明形状との差分が最も小さい第2照明形状を前記露光装置に設定する照明形状として選択するステップと、をコンピュータに実行させることを特徴とする露光条件決定プログラム。前記第1照明形状との差分に基づいて、前記複数の第2照明形状から、前記露光装置に設定する照明形状を選択することを特徴とする請求項2に記載の露光条件決定プログラム。所定の像性能との差に基づいて、前記複数の第2照明形状から、前記露光装置に設定する照明形状を選択することを特徴とする請求項2又は3に記載の露光条件決定プログラム。前記計算条件パラメータは、前記第1照明形状の変更、前記照明瞳の分割方式、前記像性能応答の計算方法の少なくともいずれか1つであることを特徴とする、請求項2乃至4のいずれかに記載の露光条件決定プログラム。前記照明瞳を複数の領域に分割するステップでは、前記照明瞳を直交格子状に分割し、前記計算条件パラメータの変更は、前記照明瞳の分割ピッチ及び/又は分割位置の変更であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の露光条件決定プログラム。露光装置の照明形状を含む露光条件を決定するプログラムであって、照明瞳を複数の領域に分割するステップと、前記複数の領域の各々について、第1照明形状からの輝度変化と、輝度を変化させた場合の転写パターンの像性能評価量の変化との関係を示す像性能応答を算出するステップと、前記像性能応答を用いて、前記像性能評価量が所定の範囲内となるような各領域の輝度変化量を求めるステップと、前記輝度変化量を前記第1照明形状に加えて、前記露光装置に設定する第2照明形状を求めるステップと、をコンピュータに実行させ、前記像性能評価量は、前記第1照明形状との差分を示す照明変化指標を含むことを特徴とする露光条件決定プログラム。前記像性能評価量として、露光量余裕度、焦点深度、パターン種類ごとの目標寸法、前記露光装置の投影レンズ収差に対する転写パターンの寸法変化の敏感度、補助パターン転写特性、マスク寸法誤差拡大因子、適正露光量の少なくともいずれか1つを用いることを特徴とする請求項2乃至7のいずれかに記載の露光条件決定プログラム。本発明は、短時間で適切な照明設計を行うことができる露光条件決定プログラムを提供することを目的とする。本実施形態によれば、露光条件決定プログラムは、照明瞳を複数の領域に分割する第一ステップと、前記複数の領域の各々について、第1照明形状からの輝度変化と、輝度を変化させた場合の転写パターンの像性能評価量の変化との関係を示す像性能応答を算出する第二ステップと、前記像性能応答を用いて、前記像性能評価量が所定の範囲内となるような各領域の輝度変化量を求める第三ステップと、前記輝度変化量を前記第1照明形状に加えて第2照明形状を求める第四ステップと、前記第一~第四ステップを、計算条件パラメータを変更して複数回実行して複数の第2照明形状を求め、前記複数の第2照明形状のいずれか1つを前記露光装置に設定する照明形状として選択するステップと、をコンピュータに実行させる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。第1の実施形態図1に本発明の第1の実施形態に係る露光条件決定装置のハードウェア構成を示す。露光条件決定装置100は、CPU中央演算処理装置110、ディスク装置120、メインメモリ130、及び入出力部140を備える。露光条件決定装置100の各部はバス150を介して接続されている。露光条件決定装置100は、図2に示す露光装置200の照明形状が可変な光源210について、露光処理時に使用するマスク220のパターンに適した照明形状を決定する。図1に示すディスク装置120は、CPU110により実行される露光条件決定プログラムを格納する。さらに、ディスク装置120は、マスクパターンマスク220のパターン、マスクパターンに対応した光源210の初期照明形状、及び基板230上のレジスト240に転写される転写パターンについての情報を格納している。ディスク装置120は例えばハードディスクである。なお、露光条件決定プログラムは、ディスク装置120でなく、ROMや磁気テープ共に図示せずに格納されていてもよい。CPU110は、ディスク装置120内の露光条件決定プログラムをメインメモリ130にロードして、露光条件決定プログラムを実行する。このとき、ディスク装置120内の初期照明形状、マスクパターン、及び転写パターンをメインメモリ130にロードするようにしてもよい。図3に、CPU110が露光条件決定プログラムを実行することで実現される機能ブロック図を示す。露光条件決定プログラムの実行により、分割部111、ベクトル計算部112、像性能判定部113、及び選択部114が実現される。分割部111、ベクトル計算部112、像性能判定部113、及び選択部114において実行される処理を、図4に示すフローチャートと共に説明する。ステップS101分割部111が光源210の照明瞳を複数の微小領域に分割する。例えば、分割部111は、図5aに示すように、照明瞳を直交格子状に分割する。ステップS102ベクトル計算部112が、考慮する転写パターンの像性能を評価する指標となる像性能評価量をM種類Mは1以上の整数選択する。像性能評価量は、例えば、露光量余裕度EL、焦点深度DOF、パターン種類ごとの目標寸法CD、投影レンズ収差に対する寸法変化の敏感度Zernikesensitivity:ZS、補助パターン転写特性SrafPrintabilityFactor:SPF、マスク寸法誤差拡大因子MEEF、適正露光量Eopである。ここで、CD、ZS、SPF、MEEFは、考慮する転写パターンのそれぞれに対して定義される量である。EL及びDOFは、考慮する転写パターンのそれぞれに対して定義してもよいし、複数ないし全部の転写パターンに共通する量共通EL、共通DOFとして定義してもよい。またEopは、転写パターンの種類数に関係なく、1つの値が定められる。そして、ベクトル計算部112は、露光シミュレーションにより、ステップS101で分割されたN個Nは2以上の整数の微小領域の各々について、像性能応答smnを計算する。像性能応答smnは、第n番目nは1≦n≦Nを満たす整数の微小領域の初期照明からの輝度変化ΔInと、第m番目mは1≦m≦Mを満たす整数の像性能評価量ΔIPmの変化との関係を示し、以下の数式1から求めることができる。ここでIPmは第m番目の像性能評価量、Inは照明瞳の第n番目の微小領域の輝度を示す。は近似を表し、ここでは厳密な意味での微分値の代わりに、差分値を使うとしている。ベクトル計算部112は、第1番目から第N番目までの照明微小領域の各々について、第1番目から第M番目までの像性能評価量による像性能応答smnを計算する。この計算により求められる像性能応答smnは、以下の数式2のような行列Sで表すことができ、これを感度行列Sと呼ぶ。ステップS103照明微小領域の輝度の変化と、像性能評価量の変化との関係は以下の数式3で表すことができる。ここで、εmは、像性能評価量の変化量ΔIPmを輝度変化ΔInと像性能応答smnとの線型結合で近似したときの、変化量ΔIPmの真の値と近似値との差フィッティング残差である。数式3は、以下の数式4のように書き換えることができる。数式4におけるベクトルyを像性能変化ベクトル、ベクトルxを照明輝度変化ベクトル、ベクトルεを残差ベクトルと呼ぶことにする。また、初期状態におけるコスト関数Rを、以下の数式5のように定義する。現状の像性能評価量が目標値と一致していればベクトルyの要素はすべて0となり、コスト関数Rも0となる。現状の像性能評価量と目標値との差が大きい程、Rは大きな値をとる。ベクトル計算部112は、像性能評価量とその目標値との差ΔIP1~ΔIPMを所望の範囲内の値にするための輝度変化量ΔI1~ΔINの組み合わせを、最小二乗法を用いて求める。すなわち、数式4の像性能変化ベクトルyに、ΔIP1~ΔIPMの所望値からなるベクトルYを代入したときに、残差ベクトルεの大きさを最小化する照明輝度変化ベクトルXを求める。このような照明輝度変化ベクトルXは以下の数式6で与えられる。ここでStは行列Sの転置行列を表す。数式6の数値計算を実行する手法として、例えば、特異値分解法がある。得られたベクトルXは、M次元の空間内でコスト関数Rの大きさを最も速く最小化する方向を表すことから、最急降下ベクトルと呼ぶ。ステップS104ベクトル計算部112が、初期照明形状に対して、ステップS103で求めた最急降下ベクトルXの定数倍を加え、コスト関数Rの変化を調べていく。すなわち、以下の数式7において、係数αを変えて照明形状Iを生成し、係数αを変えた複数の照明形状Iに対するコスト関数Rを計算する。ここでI0は初期照明形状である。ベクトル計算部112は、例えば0≦α≦1の範囲において所定値刻みでαを変化させて照明形状Iを求め、コスト関数Rを計算する。αの探索範囲は、0≦α≦1が適当であるが、その外側まで広げても良い。この探索手法はM次元空間内で定義される直線上を探索するためラインサーチと呼ばれる。ベクトル計算部112は、コスト関数Rが最小になる係数αを求め、そのときの照明形状Iを改善照明とする。ステップS105像性能判定部113が、ステップS104で求められた改善照明のもとで、像性能が所望のものとなるか否かを判定する。例えば、像性能判定部113は、コスト関数Rが所定の閾値未満であるか否かを判定したり、個々の像性能評価量を計算し、すべての像性能評価量が所定の基準を満たしているか否かを判定したりする。改善照明のもとで、像性能が所望のものとなる場合は、改善照明を最適化照明候補としてメインメモリ130に格納し、ステップS106へ進む。一方、像性能が所望のものに到達しない場合はステップS102に戻り、ステップS104で求めた改善照明を初期照明に置き換えた上で、ステップS102~S104の処理を再度実施する。ステップS103における最急降下ベクトルの算出と、ステップS104におけるラインサーチとを繰り返し実施する手法は、非線型の最適化問題を解く最適勾配法OGMとして知られている。像性能変化ΔIPmと輝度変化ΔInとの関係が線型ではなく、2次以上の高次依存成分や、他の微小領域の輝度ΔIPm1等の影響を受ける交互作用等の影響により、最急降下ベクトルXの変化では像性能が所望のものにならない場合がある。このような場合においても、本実施形態のように、ステップS102~S104の処理を繰り返して、線型近似に基づく最適化の繰り返し計算を行うことで、最適化を行うことが出来る。ステップS106メインメモリ130に格納されている最適化照明候補がk個kは2以上の整数未満の場合はステップS107へ進み、k個であればステップS108へ進む。ステップS107ステップS101~S106における、1つないし複数の計算条件パラメータを変更し、ステップS101~S106の処理を再度実施する。例えば、計算条件パラメータの変更として、分割部111における分割方式を変更してもよい。分割部111が、図5bに示すような、図5aとは分割ピッチの異なる分割を行うようにする。分割方式の変更は、分割ピッチの変更だけでなく、分割位置の変更や、分割形状の変更でもよい。計算条件パラメータの別の例として、初期照明の形状を変更して第二の初期照明を作成し、ステップS102以降の計算で使用してもよい。所期照明の形状の変更は、手動で任意の形状に変更してもよいし、あるいはすでにステップS106で求めた最適化照明候補を選択してもよい。計算条件パラメータの別の例として、ステップS102における輝度変化ΔInの大きさを変えてもよい。ステップS101では、異なる分割方式で照明瞳が微小領域に分割される。分割方式の変更により、ステップS105で得られる最適化照明候補も変化する。このようにして、ステップS101における分割方式が互いに異なるk個の最適化照明候補が得られる。ステップS108選択部114が、メインメモリ130に格納されているk個の最適化照明候補の中から、初期照明との差異が最も小さいものを最適化照明として選択する。初期照明との差異を小さくすることで、露光シミュレーションにおいて考慮されていない転写パターンの像性能の劣化を抑えることができるためである。例えば、選択部114は、初期照明と最適化照明候補との差分をとり、そのRMS二乗平均平方根を照明変化指標として算出する。そして、選択部114は、照明変化指標が最小となる最適化照明候補を最適化照明として選択する。ここで、照明変化指標は、初期照明と最適化照明候補との差分のRMSに限定されず、例えば、初期照明と最適化照明候補との間の輝度の相関係数Cの線型変換量1-Cなどを用いてもよい。選択部114により選択された最適化照明が露光装置200の光源210に設定されて、露光処理が行われる。このような露光処理により、転写パターンの寸法精度及び形状の忠実度を向上させることができる。このように、本実施形態によれば、露光シミュレーションにおいて考慮する転写パターンの数を増やすことがないため、比較的少ない計算回数で、短時間に、基板上に転写されるパターンの像性能を所望のものとするための照明形状の調節量を得ることが出来る。従って、開発段階において、良好な寸法精度が得られる照明形状を短時間で設計でき、また、量産段階において、転写パターンの寸法精度及び形状の忠実度を短時間で向上できるため、量産のリードタイムを短縮できる。また、量産段階において、露光装置間の転写性能差を抑制するための露光装置調整量を短時間で決定でき、かつ、像性能の経時変化を補正するための露光装置調整量を短時間で決定できるため、露光装置の停止時間を最小限にして、半導体デバイスの生産性を向上させることができる。上記実施形態では、異なる種類の像性能評価量が同列に評価されることになるので、標準化したIPmを使用することが望ましい。標準化IPmはIPm変化量/許容誤差で表すことができ、例えば、IPmがある転写パターンの露光量余裕度であって、IPm変化量が1、許容誤差が±0.2である場合、標準化IPmは1/0.2=5となる。第2の実施形態上記第1の実施形態では、ステップS101における分割方式を変えて、複数の最適化照明候補を求め、その中から照明変化指標が最小のものを選択して最適化照明を求めていたが、照明変化指標を像性能評価量IPmとして予め考慮しておいてもよい。照明変化指標が大きくなると、コスト関数Rも増加する。この場合、ステップS101における分割方式を変える必要はなく、1つの分割方式から求めた最適化照明候補をそのまま最適化照明とする。本実施形態では、ステップS105で求められる改善照明最適化照明候補は、照明変化指標が小さく抑えられたものとなるためである。本実施形態に係る露光条件決定方法のフローチャートは、図4に示すフローチャートのステップS106~S108を省略したものに相当する。なお、ステップS108において、初期照明との差異が同程度に小さい照明候補が複数得られる場合がある。その場合は、例えば、像性能が所望値に近い照明候補所望状態との差が小さいものを選択することができる。第1及び第2の実施形態の第1変形例上記第1及び第2の実施形態では、初期値の周りで最急降下ベクトルを探索し、その方向に沿って適切な解をさがす、いわゆる勾配法を用いた最適化の例を説明したが、これとは異なる最適化の方法を用いて、コスト関数Rが低減する状態を探索することが可能である。例えば遺伝的アルゴリズム、またはシミュレーテッドアニーリング法に代表される、発見的最適化法を適用することができる。遺伝的アルゴリズムとは、設計パラメータセットを遺伝子に見立て、初期状態から出発して、組み換え突然変異などの操作を行って新たな遺伝子を生成するステップと、得られた遺伝子の中からコスト関数が小さい遺伝子を選択するステップと、を繰り返すことによって最適解を得る手法である。シミュレーテッドアニーリング法とは初期状態に対して乱数を用いて変化を発生させコスト関数を計算するステップと、新たな状態と元の状態の間でコスト関数の値を比較し、コスト関数の差に依存して定まる遷移確率に従って新たな状態を選択するステップと、を繰り返して最適解を得る手法である。第1及び第2の実施形態の第2変形例図4に示すフローチャートのステップS104とステップS105との間に、マスクパターンの変形を行う工程を加えても良い。ピッチや形状の異なる複数種類の転写パターンの寸法を同時に所望の値にするためにマスク寸法を調節する手法としてOPCOpticalProximityCorrection:光近接効果補正技術が知られており、このOPCを用いる。ステップS104において照明形状の変形によりピッチや形状の異なる複数種類の転写パターンの寸法も所望に修正されることが望ましいが、他の像性能の改善との両立の制約により、必ずしも十分な寸法補正ができない場合がある。このような場合に、OPCを行うことによって、転写パターンの寸法精度をさらに高めることが出来る。上述した露光条件決定プログラムは、フレキシブルディスクやCD-ROM等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。また、露光条件決定プログラムを、インターネット等の通信回線無線通信も含むを介して頒布してもよい。さらに、同プログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、あるいは記録媒体に収納して頒布してもよい。なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。