"プレス機構によって一方向に駆動される第1の電極部材と、前記第1の電極部材の駆動方向に対向して配置された第2の電極部材と、前記第1の電極部材から付与される圧力で被加工物を加圧する加圧部材、及び、該加圧部材の圧力を前記被加工物を介して受ける受け部材と、前記第1の電極部材と前記加圧部材との間に配置され、前記第1の電極部材によって前記被加工物に作用する加圧力を緩衝する緩衝材と、を備えたことを特徴とする放電プラズマ焼結装置。前記緩衝材は黒鉛からなる1枚又は複数枚のシートであること、を特徴とする請求項1に記載の放電プラズマ焼結装置。前記第1の電極部材と前記加圧部材との間にスペーサが配置され、前記緩衝部材は、少なくとも前記第1の電極部材、前記スペーサ、前記加圧部材のいずれかに配置されていること、を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の放電プラズマ焼結装置。前記緩衝材は前記第1の電極部材と前記スペーサとの間に配置されていること、を特徴とする請求項3に記載の放電プラズマ焼結装置。前記緩衝材は前記スペーサと前記加圧部材との間に配置されていること、を特徴とする請求項3に記載の放電プラズマ焼結装置。前記スペーサは複数の板状部材からなり、前記緩衝材は複数の板状部材からなるスペーサの間に配置されていること、を特徴とする請求項3に記載の放電プラズマ焼結装置。前記緩衝材は前記第1の電極部材、前記スペーサ、前記加圧部材のいずれかに形成した凹部に配置されていること、を特徴とする請求項3ないし請求項6のいずれかに記載の放電プラズマ焼結装置。前記緩衝材は前記加圧部材の断面積の50~100の面積であること、を特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の放電プラズマ焼結装置。前記プレス機構はサーボ制御手段を備えたものであること、を特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の放電プラズマ焼結装置。潤滑性、絶縁性を有し、前記第1の電極部材を摺動自在に保持する軸受部材をさらに備えたこと、を特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の放電プラズマ焼結装置。前記軸受部材にヒータを備えたこと、を特徴とする請求項10に記載の放電プラズマ焼結装置。被加工物を収容するホルダをさらに備え、前記加圧部材と前記受け部材とは前記ホルダに互いに対向する方向から突入していること、を特徴とする請求項1ないし請求項11のいずれかに記載の放電プラズマ焼結装置。そこで、本発明の目的は、衝撃荷重を極力低減でき、被加工物に変形、粉砕、破砕、割れなどが生じることのない放電プラズマ焼結装置を提供することにある。本発明の一形態である放電プラズマ焼結装置は、プレス機構によって一方向に駆動される第1の電極部材と、前記第1の電極部材の駆動方向に対向して配置された第2の電極部材と、前記第1の電極部材から付与される圧力で被加工物を加圧する加圧部材、及び、該加圧部材の圧力を前記被加工物を介して受ける受け部材と、前記第1の電極部材と前記加圧部材との間に配置され、前記第1の電極部材によって前記被加工物に作用する加圧力を緩衝する緩衝材と、を備えたことを特徴とする。前記放電プラズマ焼結装置においては、第1の電極部材と加圧部材との間に、被加工物に作用する加圧力を干渉する緩衝材を介在させているため、加圧部材による被加工物に対する衝撃荷重が極力低減される。緩衝材は黒鉛からなる1枚又は複数枚のシートを好適に用いることができる。黒鉛シートは十分な耐熱性を有し、衝撃を緩和する弾性を備えている。緩衝材は加圧部材の断面積の50~100の面積であることが好ましい。第1の電極部材と加圧部材との間にスペーサが配置されていてもよい。この場合、緩衝材は少なくとも第1の電極部材、スペーサ、加圧部材のいずれかに配置されていればよい。スペーサが複数配置される場合は、スペーサの間に緩衝材を配置してもよい。緩衝材は平坦な面の上に配置されてもよいが、第1の電極部材、スペーサ、加圧部材のいずれかに形成した凹部に配置すれば、緩衝材セット時の位置決めが容易になる。放電プラズマ焼結装置において、プレス機構はサーボ制御手段を備えたものであることが好ましい。また、第1の電極部材を摺動自在に保持する軸受部材をさらに備えていてもよく、さらに、被加工物を収容するホルダを備えていてもよい。本発明によれば、放電プラズマ焼結装置において、衝撃荷重を極力低減でき、被加工物に変形、粉砕、破砕、割れなどが生じることを解消できる。以下、本発明に係る放電プラズマ焼結装置の実施例について添付図面を参照して説明する。一実施例である放電プラズマ焼結装置は、図1に示すように、概略、サーボモータによるプレス機構図示せずによって一方向図1中下方に駆動される第1の電極部材11と、第1の電極部材11を摺動自在に保持する軸受部材12と、第1の電極部材11によって押圧されるスペーサ13,14,15と、スペーサ15によって押圧される加圧部材以下、第1のパンチ部材16と称すると、第1のパンチ部材16と対向する受け部材加圧部材。以下、第2のパンチ部材26と称すると、第2の電極部材21と、第2の電極部材21と第2のパンチ部材26との間に配置されたスペーサ23,24,25と、被加工物Wを収容するホルダ40とで構成され、第1の電極部材11とスペーサ13との間には緩衝材31が配置されている。軸受部材12は、ポリテトラフルオロエチレン、ポリオキシシメチレンなどの潤滑性、絶縁性を有する素材を高精度に加工したものであり、第1の電極部材11の外周面との間にはOリング35が介在されている。電極部材11の外周部には、スペーサ14を保持する吊り部材17が取り付けられている。第1及び第2の電極部材11,21は、例えば等方性黒鉛からなり、図示しない高圧電源に接続されており、凹部11aには電極部材11の加工時の冷却のためにチラー水が供給されるように構成されている。なお、ポリテトラフルオロエチレンからなる軸受部材12は常温以下では潤滑性が低下するため、装置を稼働する時点では少なくとも30°C程度の温度に保持されていることが好ましい。そのため、軸受部材12にはヒータ18シーズヒータやニクロム線などを埋め込んだり、取り付けたりしてもよく、また、面ヒータなどを貼付けたりしてもよく、任意である。を設けることが好ましい。装置が稼働した後は、電極部材11への通電で軸受部材12は高温に上昇するため、ヒータ18による加熱は不要である。なお、ヒータ18に代えて、チラー水の温度で軸受部材12を加熱させてもよく、また、こちらを併用させてもよい。このように、軸受部材12が潤滑性を保持することで、微小加圧駆動が可能となる。ホルダ40は、例えば剛性の高い等方性黒鉛から形成されている。パンチ部材16,26は、等方性黒鉛からなり、ホルダ40に上下方向から突入し、被加工物Wを上下方向から加圧するとともに、被加工物Wに対してプラズマ放電を行う。スペーサ13~15,23~25は、上下でそれぞれ3個に分割して配置されており、電源から遠ざかるほど小径とされている。その理由は、電流経路の直径が大きく変化すると変化部分で異常な発熱が生じるおそれがあり、これを防止するためである。従って、3個のスペーサ13~15,23~25をそれぞれ一つのスペーサで構成するような場合は、断面を円錐形に加工したものを使用することが好ましい。緩衝材31は、例えば黒鉛からなる1枚又は複数枚の板状部材又はシート状部材であり、スペーサ13の上面に形成された凹部13aに配置され、第1の電極部材11に加えられる加圧力がスペーサ13,14,15、パンチ部材16を介して被加工物Wに作用するのを緩衝する機能を有している。緩衝材31の詳細については後に説明する。なお、緩衝材31は平坦な面に配置してもよいが、凹部13aに配置するようにすれば、セット時の位置決めが容易である。また、緩衝材31を配置する箇所は任意であり、第1の電極部材11からパンチ部材16の間のいずれの位置であってもよい。スペーサ13,14,15の間であってもよい。2箇所に分割して配置してもよい。緩衝材31は黒鉛を素材とすることが十分な耐熱性を有し、衝撃を緩和する弾性を備えている点で好ましい。以上の構成からなる放電プラズマ焼結装置においては、装置の周囲を真空に保ちつつ、第1の電極部材11にサーボ制御手段による図示しないプレス機構から下方への加圧力を作用させるとともに、電極部材11,21間に電圧を印加してプラズマ放電を行うことで、ホルダ40に収容された被加工物Wを加熱、圧縮し、所定の形状、硬度に焼結したり、成形加工処理したりすることができる。この放電プラズマ焼結において、軸受部材12が潤滑性を有するため、第1の電極部材11を滑らかに摺動させることができ、しかも、被加工物Wに作用する加圧力を緩衝する緩衝材31を介在させているため、パンチ部材16による被加工物Wに対する衝撃荷重が極力低減される。緩衝材31は室温から2000°Cまで使用可能である。緩衝材31は、パンチ部材16の下死点を精密に検出してもなお生じるオーバーランによる衝撃荷重を抑制する。さらに、緩衝材31は、被加工物Wに生じる膨張/収縮を吸収し、電極部材11,21、スペーサ13,14,15,23,24,25、パンチ部材16,26のそれぞれの平面の密着性を促進させ、異常放電を防止する。詳しくは、緩衝材31は、耐熱性、圧縮復元性、導電性が必要とされ、黒鉛シートであれば2000°Cまで耐え得る。黒鉛シートを適正な厚み、面積で用いることで、好ましい放電プラズマ焼結を達成できた。図2は、厚さ1mmの黒鉛シートを用いた緩衝材を1枚ずつ増加させた場合であって、緩衝材に対して無負荷時の厚み1mm当たり1kgfの加圧力を作用させた場合の緩衝材自体の厚みの変化を示す。直線Aは無加圧時であり、当然に厚みは変化しない。直線Bは導通に必要な加圧時における厚みの変化を示し、直線Dは圧縮限界を示している。圧縮限界は無負荷時厚みの47程度であり、異常放電しない導通に必要な変形量は20以上である。なお、単一層の緩衝材の厚みを変化させた場合であっても同様の結果が得られることを確認している。従って、緩衝材の好ましい狙いとする変形量は直線Cに示すとおりである。例えば、厚み6mm6枚重ねの緩衝材を用いた場合、6kgの衝撃荷重が加わったとしても、下死点位置を3.8mmに設定しておけば、実際上の下死点が±1mmずれたとしても必要な導通を確保しながら圧縮限界内に収まることになる。現状のサーボプレス機構の停止精度を考慮すると十分に許容できる範囲である。また、黒鉛からなる緩衝材31を電極やスペーサの全面に相当する面積で介在させると、異常発熱などの問題は発生しないが、コストアップとなり現実的でない。そこで、熱計算と検証によって最適な面積を追求した。図3は、装置の各部位横軸に示すにおける温度変化縦軸に示すを示している。第1の電極部材11とスペーサ13との間に配置した緩衝材31をパンチ部材16と同じ面積とした場合、曲線aに示すように大きな異常発熱は生じない。緩衝材31の面積が小さくなると電流経路が絞られるので経路の変化点で異常発熱が発生する。緩衝材31の面積がパンチ部材16の断面積の約56直径比で0.75の場合は、曲線bに示すように緩衝材31の温度は被加工物Wの加熱温度とほぼ同じレベルになった。さらに面積を小さくしていくと、電流経路の変化点での抵抗が急増して電圧降下が生じるので、被加工物Wを必要な温度に加熱するのに電圧を増加させる必要があり、装置全体の温度が必要以上に上昇する。例えば、緩衝材31の面積がパンチ部材16の断面積の約10直線比で0.33の場合は、曲線cに示すように、緩衝材31の温度が1800°Cに達し、電極部材11の耐熱温度を超えてしまい、実用に適さない。以上の結果から、緩衝材31の面積はパンチ部材16の断面積の50~100の面積とすることが好ましい。以下に、放電プラズマ焼結装置のより具体的な態様を説明する。パンチ部材16の軸径:20mmプレス下降速度:3mm/sec軸受部材12:ポリテトラフルオロエチレンチラー水温度設定:30°C緩衝材31:厚さ1mmの黒鉛シート5枚重ね下死点検出方法:加圧力検出設定0.03kN昇温速度:100°C/min、900°C保持0分昇温時加圧力:600°C到達まで0.1kN/min、600~900°C間は0.33kN/min被加工物W:厚さ0.2mm、直径20mmのケイ酸塩ガラス板以上の態様からなる放電プラズマ焼結装置において、図4に示す態様で電流を供給するとともに図5に示す態様で被加工物Wケイ酸塩ガラスを加熱加圧によって変形加工した。加工後の冷却は自然冷却である。図4に示す曲線dは電流値であり、正常に流れている。図4に示す曲線eは被加工物Wの温度であり、設定どおりに昇温している。図5に示す曲線fは加圧力であり、600°Cまでは0.1kNで安定しており、低圧力下でも問題なく機能している。被加工物Wには破砕などの機械的応力による損傷は発生しなかった。なお、本発明に係る放電プラズマ焼結装置は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。例えば、緩衝材の細部の構成、形状などは任意であり、軸受部材、電極部材、パンチ部材、スペーサ、ホルダの細部の構成、形状なども任意である。また、プレス機構も任意の構成のものを使用することができる。本発明において、スペーサは必ずしも必要なものではない。また、本発明に係る放電プラズマ焼結装置は、焼結処理や、シートやガラス成形品の加工処理をはじめ、単結晶や多結晶の成形品の塑性加工処理にも適している。"