"光学デバイスと、流体試料を前記光学デバイスに吸引する吸引部と、前記光学デバイスに光を照射する光源と、前記光デバイスから出射される光を検出する光検出部と、前記吸引部を駆動制御する制御部と、を有し、前記光学デバイスは、吸着される前記流体試料を反映する光を出射し、前記制御部は、前記光検出部にて検出する期間を含む第1モードでは、前記光学デバイス上での前記流体試料の吸引流速をV1とし、第2モードでは、前記光学デバイス上での前記流体試料の吸引流速をV2V2>V1とし、前記光検出部からの信号に基づいて前記第1,第2モードを切換えることを特徴とする検出装置。請求項1において、前記光学デバイスは、前記流体試料のラマン散乱光を発生させ、前記光検出部は、前記流体試料中に存在し得る検査対象の物質のラマン散乱光を検出することを特徴とする検出装置。請求項2において、前記光学デバイスは、1~1000nmの凸部を有する金属ナノ構造を備えることを特徴とする検出装置。請求項2または3において、前記吸引部は負圧発生部を含み、前記制御部は前記負圧発生部の駆動条件を調整制御することを特徴とする検出装置。請求項2または3において、前記制御部は、前記第1モードでは前記負圧発生部の駆動を停止することを特徴とする検出装置。請求項1乃至5のいずれかにおいて、前記制御部は、前記光検出部からの信号レベルが第1閾値以上となった時に、前記第1モードから前記第2モードに切換えることを特徴とする検出装置。請求項6において、前記制御部は、前記光検出部からの信号レベルが前記第1閾値よりも低い第2閾値以下となった時に、前記第2モードから前記第1モードに切換えることを特徴とする検出装置。請求項1乃至7のいずれかにおいて、前記第1モードで標準試料を前記光学デバイスに供給する供給部をさらに有し、前記光検出部は、前記流体試料中に存在し得る検査対象の物質とは異なる波長にて、前記標準試料を反映する信号を検出し、前記制御部は、前記物質を反映した信号が前記第1閾値未満であっても、前記標準試料を反映した信号レベルが第3閾値以上となった時に、前記第1モードから前記第2モードに切換えることを特徴とする検出装置。請求項8において、前記制御部は、前記物質を反映した信号レベルが前記第2閾よりも高くても、前記標準試料を反映した信号レベルが前記第3閾値より低い第4閾値以下となった時に、前記第2モードから前記第1モードに切換えることを特徴とする検出装置。請求項8または9において、前記供給部は、前記第1モード中に前記標準試料を一定量だけ供給することを特徴とする検出装置。請求項8乃至10のいずれかにおいて、前記標準試料は、ヘテロ環、ベンゼン環、COOH基、OH基、CHO基、S原子、N原子の少なくとも一つを有する分子であることを特徴とする検出装置。請求項1乃至11のいずれかにおいて、前記制御部は、少なくとも前記第2モード、前記第1モード及び前記第2モードをその順で切換えることを特徴とする検出装置。この種の表面プラズモン共鳴センサーは、基板上に金や銀等の金属微粒子を基板上に固定したものである。このセンサーを備えた検出装置は、表面プラズモン共鳴センサーの金属ナノ粒子に吸着された試料分子に光を照射し、増強されたラマン散乱光を検出する。ここで、表面プラズモン共鳴センサーの用途の一つとして、例えば環境汚染物質のモニタリングが挙げられている。汚染物質をモニタリングするには、リアルタイムで汚染物質を検出しなければならない。しかし、上述した検出装置では、表面プラズモン共鳴センサーの金属ナノ粒子に吸着された試料分子が汚染物質であるか否かは検出できるが、一回の検出に止まる。よって、例えば空間中の試料分子の有無をリアルタイムで何度も検出したとき、試料分子がある濃度以上で確実に存在するか、あるいはある濃度以下で確実に存在しないかを信頼性を高めて検出することができなかった。本発明の幾つかの態様では、検査の信頼性を高めてリアルタイム計測が可能な検出装置等を提供することができる。1本発明の一態様は、光学デバイスと、流体試料を前記光学デバイスに吸引する吸引部と、前記光学デバイスに光を照射する光源と、前記光デバイスから出射される光を検出する光検出部と、前記吸引部を駆動制御する制御部と、を有し、前記光学デバイスは、吸着される前記流体試料を反映する光を出射し、前記制御部は、前記光検出部にて検出する期間を含む第1モードでは、前記光学デバイス上での前記流体試料の吸引流速をV1とし、第2モードでは、前記光学デバイス上での前記流体試料の吸引流速をV2V2>V1とし、前記光検出部からの信号に基づいて前記第1,第2モードを切換える検出装置に関する。本発明の一態様によれば、第1モードでは、流速V1で吸引される流体試料を光学デバイスに吸着することができ、第1モードを吸着モードとも称することができる。この第1モードで、光学デバイスに光源からの光を照射すると、光学デバイスに吸着された流体試料が反映された光が生ずる。光検出部は光学デバイスからの光を検出することができる。その意味で、第1モードは検査が実施される検査モードとも称することができる。一方、第2モードでは、第1モード吸着モードまたは検査モードでの流速V1よりも大きい流速V2に設定される。よって、第2モードでは光学デバイスに吸着された流体試料を脱離させることができ、第2モードを脱離モードと称することができる。このように、第1モードと第2モードとを交互に実施すると、一旦光学デバイスに吸着された流体試料を脱離させることができる。こうして、検査後に光学デバイスをクリーンアップすることができ、前回検査時の影響を残すことなく次回の検査を繰り返し実施することが可能となる。よって、第1,第2モードを交互に繰り返し実施することにより、リアルタイム検査が可能となる。しかも、検査後に光学デバイスをクリーンアップできるので、流体試料中の検査対象の物質が所定の濃度以上で存在するかしないかの判定を信頼性高く行うことができる。2本発明の一態様では、前記光学デバイスは、前記流体試料のラマン散乱光を発生させ、前記光検出部は、前記流体試料中に存在し得る物質のラマン散乱光を検出することができる。ラマン散乱光は検査対象の物質を反映した信号の一例であり、流体試料中にて検査対象の物質の有無を判定できる。3本発明の一態様では、前記光学デバイスは、1~1000nmの凸部を有する金属ナノ構造を備えることができる。こうすると、金属ナノ構造の凸部の周囲に増強電場が形成され、増強電場で増強されるラマン散乱光の信号強度が強くなる。4本発明の一態様では、前記吸引部は負圧発生部を含み、前記制御部は前記負圧発生部の駆動条件を調整制御することができる。負圧発生部の駆動条件例えば単位時間あたりの流体輸送量を調整制御することで、光学デバイス上での流体試料の流速を制御することができる。5本発明の一態様では、前記制御部は、前記第1モードでは前記負圧発生部の駆動を停止することができる。検査対象の物質の中には光学デバイスから脱離しやすいものがあり、例えばファン等の負圧発生部による単位時間あたりの流体輸送量が0より大きいだけで、光学デバイスより物質が脱離されることがある。このような場合、第1モードでは負圧発生部の駆動を停止する。第1モード前に第2モードが実施されていると、第2モードでの風量や慣性を利用して、光学デバイス上での流体試料の流速を確保できる。それにより、負圧発生部の駆動を停止させても、流体試料中の物質を光学デバイスに吸着することができる。6本発明の一態様では、前記制御部は、前記光検出部からの信号レベルが第1閾値以上となった時に、前記第1モードから前記第2モードに切換えることができる。第1モードにて吸引される流体試料中の物質が光学デバイスに吸着され、それに伴い光検出部からの信号強度が大きくなる。この信号レベルが第1閾値に達する前に検査対象の物質の有無の検査を実施できる。よって、光検出部の信号レベルが第1閾値以上となれば、第1モードから第2モードに切換えても良い。第2モードでは吸着された物質を脱離することで、光学デバイスを次回の検査までにクリーンアップさせることができる。7本発明の一態様では、前記制御部は、前記光検出部からの信号レベルが前記第1閾値よりも低い第2閾値以下となった時に、前記第2モードから前記第1モードに切換えることができる。第2モードを実施する目的は光学デバイスから流体試料を脱離させることである。光検出部からの信号レベルが第2閾値以下であれば充分に脱離が行われたと判断し、第2モードを終了し、第1モードに移行しても良い。8本発明の一態様では、前記第1モードで標準試料を前記光学デバイスに供給する供給部をさらに有し、前記光検出部は、前記流体試料中に存在し得る検査対象の物質とは異なる波長にて、前記標準試料を反映する信号を検出し、前記制御部は、前記物質を反映した信号レベルが前記第1閾値未満であっても、前記標準試料を反映した信号レベルが第3閾値以上となった時に、前記第1モードから前記第2モードに切換えることができる。検査対象の物質が例えばトリニトロトルエンTNT分子のように通常時は存在しないか極微量である場合でも、標準試料を反映した信号と第3閾値対比に基づく制御を併行して実施することにより、第1モードから第2モードに移行できるようにしたものである。9本発明の一態様では、前記制御部は、前記物質を反映した信号レベルが前記第2閾値より高くても、前記標準試料を反映した信号レベルが前記第3閾値より低い第4閾値以下となった時に、前記第2モードから前記第1モードに切換えることができる。上記と同様に、検査対象の物質が例えばTNT分子のように通常時は存在しないか極微量である場合でも、標準試料を反映した信号と第4閾値対比に基づく制御を併行して実施することにより、第2モードから第1モードに移行できるようにしたものである。10本発明の一態様では、前記供給部は、前記第1モード中に前記標準試料を一定量だけ供給することができる。供給部から供給される標準試料の総量は例えば蒸気圧×時間であり、その総量を一定量とすることで、検査対象の物質が検出できない低濃度の場合でも、第1モードの時間をほぼ一定にして第2モードに切換えできる。11本発明の一態様では、前記標準試料は、ヘテロ環、ベンゼン環、COOH基、OH基、CHO基、S原子、N原子の少なくとも一つを有する分子とすることができる。これらの官能基および原子は比較的金属と吸着結合しやすく、確実に検出できる分子である。そのため標準試料として機能される。12本発明の一態様では、前記制御部は、少なくとも前記第2モード、前記第1モード及び前記第2モードをその順で切換えることができる。このように、第1モードの前に実施される第2モードにより、光学デバイスは検出前にクリーンアップされて検出精度が高められ、第1モードの後に実施される第2モードにより、次回の検出前に光学デバイスをクリーンアップすることができる。よって、リアルタイム検出に有利となる。以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。1.検出装置の基本構成図1は、本実施形態の検出装置の構成例を示す。図1において、検出装置10は、光学デバイス20と、吸引部40と、光源50と、光検出部60と、制御部71とを有する。光学デバイス20と、光源50及び/又は光検出部60との間に、光学系30を設けることができる。光学デバイス20は、光源50からの光が照射されることで、吸着している流体試料を反映した光を出射するものである。本実施形態では、流体試料は例えば大気であり、検査対象の物質は大気中の特定気体分子試料分子とすることができるが、これに限定されない。吸引部40は、流体試料を光学デバイス20に吸引する。光源50は、例えば光学系30を構成する例えばハーフミラー320と対物レンズ330を介して、光学デバイス20に光を照射する。光検出部60は、光学デバイス20に吸着された流体試料が反映された光を、ハーフミラー320及び対物レンズ330を介して検出する。制御部71は、光検出部60からの信号に基づいて、図2に示す第1,第2モードを切換え制御する。ここで、第1モードとは、光検出部60にて検出する期間を含む。制御部71は、第1モードでは光学デバイス20上での流体試料の吸引流速VをV1とし、第2モードでは吸引流速をV2V2>V1とするように、吸引部40に設けられた負圧発生部例えばファン450を駆動制御する。負圧発生部は、ファンに限らず、チューブポンプ、ダイアフラム式ポンプ等のポンプなど、吸引部40にて負圧を発生させて流体試料を吸引できるものであれば良い。ファン450は、図2に示すように、第1モードでは流体輸送量流速がL1ml/分であり、第2モードでは流体輸送量流速がL2ml/分であり、L2>L1を満たす。吸引速度の制御は、上述の通りファン450を対象としても良いし、バルブやシャッターの開口面積を変化させても良い。制御の結果として、光学デバイス20上の流体試料の吸引速度を可変できれば良い。本実施形態では、第1モードでは、流速V1で吸引される流体試料を光学デバイス20に吸着することができ、第1モードを吸着モードとも称することができる。この第1モードで、光学デバイス20に光源30からの光を照射すると、光学デバイス20に吸着された流体試料が反映された光が生ずる。光検出部60は光学デバイス20からの光を検出することができる。その意味で、第1モードは検査が実施される検査モードとも称することができる。一方、第2モードでは、第1モード吸着モードまたは検査モードでの流速V1よりも大きい流速V2に設定される。よって、第2モードでは光学デバイス20に吸着された流体試料を脱離させることができ、第2モードを脱離モードと称することができる。このように、第1モードと第2モードとを交互に実施すると、一旦光学デバイス20に吸着された流体試料を脱離させることができる。こうして、検査後に光学デバイス20をクリーンアップすることができ、前回検査時の影響を残すことなく次回の検査を繰り返し実施することが可能となる。例えば図2に示すように第1モードに先駆けて第2モードを実施すると、常にフレッシュな光学デバイス20に流体試料を吸着させて検査することができる。第1,第2モードを交互に繰り返し実施することにより、リアルタイム検査が可能となる。ここで、第1,第2モードの流速V1,V2は光学デバイス20上での流体試料の流速であり、この流速V1,V2が得られるようにファン450が駆動される。その際、第1,第2モードを交互に繰り返し実施する場合には、第1モードでのファン450の駆動を停止してもよいL1=0。この場合、第2モードでの風量や慣性を利用して、光学デバイス20上での流体試料の流速V1V1≠0を確保できる。第1,第2モードの切換えは、光検出部60の出力に基づいて行うことができる。第1,第2モード間では、流体試料の吸着または脱離によって光検出信号が変化するからである。図3は、時刻T1~T2の第1モード吸着モードまたは検査モードにおいて、光検出部60の出力として、例えば流体試料中の検査対象の試料分子のSERS強度の変化を示している。時刻T1から開始される第1モードでは、光学デバイス20に吸着される試料分子が多くなる。従って、第1モードではSERS強度が増加する。よって、図3に示す第1閾値I1をSERS強度が上回る時刻T2にて、第1モードを終了することができる。図4は、第2モード脱離モードでの光検出部60の出力として、同様に流体試料中の検査対象の試料分子のSERS強度の変化を示している。時刻T2から開始される第2モードでは、光学デバイス20から脱離される試料分子が多くなる。よって、第2モードではSERS強度が低下する。よって、図4に示す第2閾値I2をSERS強度が下回った時刻T3にて、第2モードを終了することができる。なお、SERS強度は図1に示す光検出部60の受光素子にて受光されるフォトンの数に基づく値である。上述の第1閾値I1はフォトン数で例えば200であり、第2閾値I2はフォトン数で例えば10に設定することができる。2.光検出の原理と構造の一例図5A~図5Cを用いて、流体試料を反映した光検出原理の一例としてラマン散乱光の検出原理の説明図を示す。図5Aに示すように、光学デバイス20に吸着される検査対象の試料分子1に入射光振動数νが照射される。一般に、入射光の多くは、レイリー散乱光として散乱され、レイリー散乱光の振動数ν又は波長は入射光に対して変化しない。入射光の一部は、ラマン散乱光として散乱され、ラマン散乱光の振動数ν-ν’及びνν’又は波長は、試料分子1の振動数ν’分子振動が反映される。つまり、ラマン散乱光は、検査対象の試料分子1を反映した光である。入射光の一部は、試料分子1を振動させてエネルギーを失うが、試料分子1の振動エネルギーがラマン散乱光の振動エネルギー又は光エネルギーに付加されることもある。このような振動数のシフトν’をラマンシフトと呼ぶ。図5Bは、図1及び図5Aの光学デバイス20の拡大図である。図5Aに示すように入射光が基板200の平坦面から入射される場合、基板200は入射光に対して透明な材料が用いられる。光学デバイス20は、基板200上の第1構造として、誘電体から成る複数の凸部210を有する。本実施形態では、入射光に対して透明な誘電体としての石英、水晶、硼珪酸ガラスなどのガラスまたはシリコン等で形成された基板200上に、レジストを形成し、そのレジストを例えば遠紫外線DUVフォトリソグラフィー法を用いてパターン化している。パターン化されたレジストにより基板200をエッチングすることで、例えば図5Cに示すように複数の凸部210が二次元的に配置される。なお、基板200と凸部210とを異なる材料で形成しても良い。複数の凸部210上の第2構造として、複数の凸部210には、例えばAuまたはAg等の金属ナノ粒子金属微粒子220が例えば蒸着、スパッタ等により形成される。結果として、光学デバイス20は、1~1000nmの凸部を有する金属ナノ構造を有することができる。1~1000nmの凸部を有する金属ナノ構造とは、基板200の上面を当該サイズの凸部構造基板材でを持つように加工する他に、基板上に当該サイズの金属微粒子を蒸着スパッタ等で固着させる、または、基板上にアイランド構造を有する金属膜を形成する等の方法でも形成できる。図5B及び図5Cに示すように、二次元パターン状の金属ナノ粒子220に入射光が入射された領域240では、隣り合う金属ナノ粒子220間のギャップGに、増強電場230が形成される。特に、入射光の波長よりも小さな金属ナノ粒子220に対して入射光を照射する場合、入射光の電場は、金属ナノ粒子220の表面に存在する自由電子に作用し、共鳴を引き起こす。これにより、自由電子による電気双極子が金属ナノ粒子220内に励起され、入射光の電場よりも強い増強電場230が形成される。これは、局在表面プラズモン共鳴LSPR:LocalizedSurfacePlasmonResonanceとも呼ばれる。この現象は、入射光の波長よりも小さな1~1000nmの凸部を有する金属ナノ粒子220等の電気伝導体に特有の現象である。図5A~図5Cでは、光学デバイス20に入射光を照射した時に表面増強ラマン散乱が生ずる。つまり、増強電場230に試料分子1が入り込むと、その試料分子1によるラマン散乱光は増強電場230で増強されて、ラマン散乱光の信号強度は、強くなる。このような表面増強ラマン散乱では、試料分子1が微量であっても、検出感度を高めることができる。以下にて説明する試料分子1の吸着という現象は、試料分子1が金属ナノ粒子220に衝突する衝突分子の数分圧が支配的である現象であり、物理吸着及び化学吸着の一方又は双方を含む。脱離は外力により吸着を解除することを意味する。吸着エネルギーは試料分子1の運動エネルギーに依存し、ある値を乗り越えると衝突して吸着現象を呈し、吸着には外力は不要である。一方、脱離には外力が必要である。また、光学デバイス20に流体試料を吸引することとは、換言すると、その内部に光学デバイス20を配置した流路に吸引流を生じさせることで、流体試料を光デバイス20に接触させることである。3.検出装置の具体的な構成図6は、本実施形態の検出装置の具体的な構成例を示す。図6に示される検出装置10も、図1に示す光学デバイス20と、光学系30と、吸引部40と、光源50と、光検出部60と、制御部71を含む処理部70を有している。図6において、光源50は例えばレーザーであり、小型化の観点から好ましくは垂直共振型面発光レーザーを用いることができるが、これに限定ざれない。光源50からの光は、光学系30を構成するコリメーターレンズ310により平行光にされる。コリメーターレンズ310の下流に偏光制御素子を設け、直線偏光に変換しても良い。ただし、光源50として例えば面発光レーザーを採用し、直線偏光を有する光を発光可能であれば、偏光制御素子を省略することができる。コリメーターレンズ310により平行光された光は、ハーフミラーダイクロイックミラー320により光学デバイス20の方向に導かれ、対物レンズ330で集光され、光学デバイス20に入射する。光学デバイス20には、図5A~図5Cに示す金属ナノ粒子220が形成される。光学デバイス20から例えば表面増強ラマン散乱によるレイリー散乱光及びラマン散乱光が放射される。光学デバイス20からのレイリー散乱光及びラマン散乱光は、対物レンズ330を通過し、ハーフミラー320によって光検出部60の方向に導かれる。光学デバイス20からのレイリー散乱光及びラマン散乱光は、集光レンズ340で集光されて、光検出部60に入力される。光検出部60では先ず、光フィルター610に到達する。光フィルター610例えばノッチフィルターによりラマン散乱光が取り出される。このラマン散乱光は、さらに分光器620を介して受光素子630にて受光される。分光器620は、例えばファブリペロー共振を利用したエタロン等で形成されて通過波長帯域を可変とすることができる。分光器620を通過する光の波長は、制御部71により制御選択することができる。受光素子630によって、試料分子1に特有のラマンスペクトルが得られ、得られたラマンスペクトルと予め保持するデータと照合することで、試料分子1を特定することができる。吸引部40は、吸引口400と排出口410との間に誘導部420を有する。試料分子1を含む流体試料は、吸引口400搬入口から誘導部420の内部に導入され、排出口410から誘導部420の外部に排出される。吸引口400側に除塵フィルター401を設けることができる。図6では、検出装置10は、ファン450を排出口410付近に有し、ファン450を作動させると、誘導部420の吸引流路421、光学デバイス20付近の流路422及び排出流路423内の圧力気圧が低下する。これにより、試料分子1と共に流体試料が誘導部420に吸引される。流体試料は、吸引流路421を通り、光学デバイス20付近の流路422を経由して排出流路423から排出される。このとき、試料分子1の一部が光学デバイス20の表面電気伝導体に吸着する。検査対象物質である試料分子1は、例えば麻薬やアルコールや残留農薬等の希薄な分子や、ウイルス等の病原体等を想定することができ、特に本実施形態はこれらの試料分子1をリアルタイムで検出するのに適している。検出装置10は、筐体100を有し、筐体100内に例えば光学系30、光源50、光検出部60及び処理部70を有する。さらに、検出装置10は、筐体100に電力供給部80、通信接続部90及び電源接続部92を含むことができる。電力供給部80は、電源接続部92からの電力を、光源50、光検出部60、処理部70及びファン450等に供給する。電力供給部80は、例えば2次電池で構成することができ、1次電池、ACアダプター等で構成してもよい。通信接続部90は処理部70と接続され、処理部70に対してデータや制御信号等を媒介する。検出装置10は、カバー110を有し、カバー110は、光学デバイス20等を格納することができる。図6の例では、処理部70は、図6に示される光源50以外の光検出部60、ファン450等への命令を送ることができる。さらに、処理部70は、ラマンスペクトルによる分光分析を実行することができ、処理部70は、標的物である試料分子1を特定することができる。なお、処理部70は、ラマン散乱光による検出結果、ラマンスペクトルによる分光分析結果等を例えば通信接続部90に接続される外部機器図示せずに送信することができる。図7は、図6の検出装置10の制御系ブロック図である。図7に示されるように、検出装置10は、例えばインターフェース120、表示部130及び操作部140等をさらに含むことができる。また、図6に示される処理部70は、図7に示すように制御部としての例えばCPUCentralProcessingUnit71、RAMRandomAccessMemory72、ROMReadOnlyMemory73等を有することができる。さらに、検出装置10は、例えば、光源ドライバー52、分光ドライバー622、受光回路632及びファンドライバー452を含むことができる。4.第1モードと第2モードとの切換え4.1.実験例1図8に示す第1モード吸着モードと第2モード脱離モードとのタイムチャートに従って、検査対象物質である試料分子1を乳酸気体分子とした実際の測定結果を図9に示す。図6に示す光源50は、励起波長は632.8nm、強度0.2mWのHe-Neレーザーを用いた。図6の光検出部60での計測露光時間は5秒とし、図6の光学デバイス20の材質はAgである。第1モード吸着モードでのファン450の流体輸送量L1は20ml/minとし、第2モード脱離モードでのファン450の流体輸送量L2は200ml/minとした。図8に示すように、30秒間の脱離モードから開始した。30秒後にL1:20ml/minの吸着モードに切換えた。切換えた直後に測定したSERSスペクトルを図9に示す。ここで、図9の横軸はラマンシフトcm1であり、縦軸はスペクトル強度である。図9において、855cm1付近の乳酸のピークは、吸着モード開始10秒後ではまだ不明確である。吸着モード開始60秒後を測定モードとしてSERS測定を行うと、図9に示すように855cm1付近の乳酸のピークがはっきりと明確となることが確認できる。このことは、吸着が進んだ証拠である。その後L2:200ml/minの脱離モードに切り替わり、脱離が促される。脱離モード開始30秒後に測定したスペクトルでは、既に明確な乳酸のピークは大幅に減衰している。なお、ここに記した時間はあくまで例であり、光学デバイス20の材質や試料分子1に合わせて随時変更する必要がある。図8の実験例では、当初の脱離モードが30秒間、その後の吸着モードが90秒間、脱離モードは120秒に設定されているが、実際には図2~図4に示すように、SERS強度を第1閾値I1及び第2閾値I2と比較してモード切換えが実施される。4.2.実験例2実験例1と同じ装置にて、検査対象物質である試料分子1をイソプロピルアルコールIPA分子とし、計測露光時間を10秒として計測した。この実験例2では、図10に示すように第1モード吸着モードでのファン450の流体輸送量L1は0ml/minとし、第2モード脱離モードでのファン450の流体輸送量L2は20ml/minとした。実験例2の流体輸送量L1,L2の各々は、実験例1の流体輸送量L1,L2の各々よりも低く設定される。その理由は、IPA分子は光学デバイス20への吸着力が乳酸分子よりも弱いからである。IPA分子のように吸着力が弱い分子は、L1>0の流量でも脱離が促され検出できないことが多く、吸着モードはL1=0に設定することが望ましいからである。上述した通り、吸着モードの前に実施される脱離モードでの風量や慣性を利用して、光学デバイス20上での試料の流速V1V1≠0を確保でき、試料分子1を吸着することができるからである。事実、820cm1付近にピークが見られるIPA分子の場合、図11に示すようにファン450の流体輸送量が20ml/minでも脱離がみられる。よって、実験例2では、第2モード脱離モードでのファン450の流体輸送量L2は20ml/minとし、第1モード吸着モードでのファン450の流体輸送量L1は0ml/minとした。実験例2での測定結果を図12に示す。図12に示すように、ファン450の流体輸送量L2は0ml/minとした吸着モード開始10秒後に、820cm1付近にピークが見られるIPA分子のSERS強度は高く、吸着モード開始50秒後に開始された測定モードでもIPA分子ピーク強度を検出可能である。一方、図12の脱離モードはファン450の流体輸送量L2は20ml/minで実施され、脱離モード開始後50秒のIPA分子のSERS強度は、図11と同様に低いレベルであった。5.標準分子を併用する変形例5.1.全体構造例えば港湾などにおいて、爆薬の成分分子であるTNT分子を検査対象物質として検出することを想定する。TNT分子は通常時には空気中に存在しない。よって、上述した実施形態に従ってTNT分子を試料分子として検出すると、何時までたっても吸着モードが終了しない。吸着モードになっても、通常時はTNT分子のSERS強度は第1閾値I1を超えない可能性が高いからである。こうなると、脱離モートが開始されない。そうすると、他の分子により光学デバイス20の表面が汚染され、吸着サイトが飽和して検査対象物質であるTNT分子を吸着できなくなる。つまり、試料分子1が確実に存在しないか極微量であるとの判定への信頼性が低下する。本実施形態は、TNT分子のように通常時は存在しないか極微量である場合でも、繰り返し脱離モードに移行できるようにしたものである。図13は、流体試料中に試料分子の他に標準分子を含み、試料分子及び標準分子の検出信号に基づいて第1,第2モードを切換える本実施形態のブロック図である。図13では、図6の構成に追加して、吸引部40の光学デバイス20よりも上流側に、標準分子格納庫150を設けている。標準分子格納庫150は誘導部420に標準分子を吐出する吐出口151を有する。標準分子格納庫150には吐出駆動部160が設けられる。吐出駆動部160は、所定のタイミングで所定時間に亘って所定量の標準分子を、吐出口151を介して誘導部420に吐出する。標準分子格納庫150、吐出口151及び吐駆動部160は、標準分子の供給部の一例である。ここで、標準分子とは、検査対象物質である試料分子とは異なる波長にてラマン散乱光を検出できることが条件となる。図13に示す分光器620は、例えばエタロンのように取り出される帯域波長が可変か、または回折格子のように複数波長を同時に取り出せるものであり、試料分子と標準分子の双方のラマン散乱光を取り出す。図13に示す受光素子630は、試料分子と標準分子のSERS強度を検出できる。図14は、標準分子格納庫150から標準分子を供給中の光検出部60の出力として、標準分子のSERS強度の変化を示している。標準分子の供給開始からの時間経過と共に光学デバイス20に吸着される標準分子が多くなる。従って、標準分子の供給を第1モード吸着モードで実施すれば、標準分子のSERS強度が増加する。よって、図14に示す第3閾値I3を標準分子のSERS強度が上回る時刻T2にて、第1モードを終了することができる。標準試料の供給の停止は、第1モード中に標準分子を一定量だけ供給し終わる時か、あるいは第1モードの終了時とすることができる。図15は、第2モード脱離モードでの光検出部60の出力として、同様に標準分子のSERS強度の変化を示している。時刻T2から開始される第2モードでは、標準分子は供給されていない上に流速が速いので、光学デバイス20から脱離される標準分子が多くなる。よって、第2モードではSERS強度が低下する。よって、図15に示す第4閾値I4を標準分子のSERS強度が下回った時刻T3にて、第2モードを終了することができる。ここで、標準試料は、ヘテロ環、ベンゼン環、COOH基、OH基、CHO基、S原子、N原子の少なくとも一つを有する分子で構成できる。例えばヘテロ環の一例としてピリジンを挙げることができる。800cm1付近にピークを有するTNTが試料分子であるとき、標準試料としてのピリジンは1010cm1と1035cm1に鋭いピークを持つため、ラマン散乱光のピークが重ならない。5.2.実験例3図16に示す第1モード吸着モードと第2モード脱離モードとのタイムチャートに従って、標準分子をピリジン分子とした実際の測定結果を図17に示す。なお、実験例3では試料分子は策定していない。図6に示す光源50は、励起波長は632.8nm、強度2mWのHe-Neレーザーを用いた。図6の光検出部60での計測露光時間は10秒とし、図6の光学デバイス20の材質はAgである。第1モード吸着モードでのファン450の流体輸送量L1は2000ml/minとし、第2モード脱離モードでのファン450の流体輸送量L2は20ml/minとした。図16に示すように、30秒間の脱離モードから開始した。30秒後にL1:20ml/minの吸着モードに切換えた。切換えた直後に標準分子であるピリジンの供給が開始され、供給時間を10秒とした。測定したピリジン分子のSERSスペクトルを図17に示す。図17において、1010cm1付近のピリジン分子のピークは、吸着モード開始15秒後でも30秒後でも明確に認められる。その後L2:200ml/minの脱離モードに切り替わり、脱離が促される。脱離モード開始30秒後に測定したスペクトルには減衰が観測され、脱離モード開始60秒後では大幅に減衰している。なお、ここに記した時間はあくまで例であり、光学デバイスの材質や試料分子、標準分子に合わせて随時変更する必要がある。図16の実験例では、当初の脱離モードが30秒間、その後の吸着モードが60秒間、脱離モードは90秒に設定されているが、実際には図15に示すように、標準分子のSERS強度を第3閾値I3及び第4閾値I4と比較してモード切換えが実施される。6.その他の変形例なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できる。本発明は、SERS強度を検出するものに限らない。例えば、表面増強赤外分光法SEIRAS:SurfaceEnhancedInfraredAbsorptionSpectroscopyを用いることができる。この場合、図1、図6または図13に示す光学デバイス20を図18に示す光学デバイス170に置き換える。この光学デバイス170は、例えば直角プリズム171の底面に金属薄膜172を形成したものである。直角プリズム171は、例えばCaF2等の赤外線を通過させる材料で形成される。金属薄膜172の材料はAg,Cu等の金属薄膜であれば良い。図19に示す特性を有するP偏光の赤外線IR1を、例えば第1反射ミラー180にて反射させて、光学デバイス170に対して金属薄膜172の法線Lに対して角度θで入射させる。入射赤外線IR1を金属薄膜172で全反射させて得られる反射赤外線IR2には、その界面から試料側に少しもぐり込んだ位置で反射されるエバネッセント波が存在し、それにより試料分子や標準分子のスペクトルを計測できる。この反射赤外線IR2の特性を図20に示す。反射赤外線IR2は、第2反射ミラー181で反射されて、図6等に示す光検出部60に入射される。"