"レーザ光を照射してターゲットの位置を追尾しながら、距離と角度で表されるターゲットの空間座標を求めるレーザトラッカーにおいて、レーザ光を出射するレーザ光源と、このレーザ光源から出射され前記ターゲットで反射して戻ってきたレーザ光であるレーザ戻り光を用いてターゲットまでの距離を測定する測長器と、前記レーザ戻り光の光軸に垂直な面上における位置を検出する光位置検出器と、前記レーザ光源から出射されて前記ターゲットに到達するまでのレーザ光であるレーザ出射光を前記ターゲットに向けて反射させると共に、前記レーザ戻り光を前記測長器および前記光位置検出器に到達するように反射させる可動反射ミラーと、前記レーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と平行な第1の回転軸心回りに前記可動反射ミラーの角度を変更させる第1のモータと、前記第1の回転軸心と直交する第2の回転軸心回りに前記可動反射ミラーの角度を変更させる第2のモータとを備え、前記第1のモータは、前記第1の回転軸心に沿う方向に貫通する貫通孔を有する中空形状であり、前記レーザ出射光および前記レーザ戻り光が前記貫通孔を透過するようにしたことを特徴とするレーザトラッカー。請求項1において、前記第2のモータに電気、制御信号等を送る電気ケーブル類を、前記貫通孔を通して設けたレーザトラッカー。請求項1または請求項2において、前記第2のモータのモータ軸に中空部を設け、この中空部内に前記可動反射ミラーを配置し、前記モータ軸の前記中空部と外部とを隔てる隔壁に、前記可動反射ミラーに対するレーザ光の入射光および出射光が透過する開口部を設けたレーザトラッカー。請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、前記レーザ戻り光を前記測長器へ向かう光と前記光位置検出器へ向かう光とに分離する光学素子を設け、この光学素子を前記レーザ出射光が通らない位置に配置したレーザトラッカー。請求項1ないし請求項4のいずれか1項において、前記レーザ戻り光を前記測長器へ向かう光と前記光位置検出器へ向かう光とに分離する光学素子を設け、前記レーザ光源、測長器、光位置検出器、および光学素子を共通のケーシングに収容し、このケーシングと前記第1のモータを一体構造として、このケーシングと第1のモータの一体構造体を、床面に設置される土台に対して支柱を介して支持させたレーザトラッカー。請求項5において、前記土台と支柱との間に、床面からの振動を減衰させて前記支柱に伝える振動減衰装置を配置したレーザトラッカー。請求項6において、前記振動減衰装置は、ばね材を使用したものであるレーザトラッカー。請求項6において、前記振動減衰装置は、ゴム材を使用したものであるレーザトラッカー。請求項6において、前記振動減衰装置は、積層板の摩擦を利用したものであるレーザトラッカー。請求項6において、前記振動減衰装置は、エア除振機構を利用したものであるレーザトラッカー。請求項6において、前記振動減衰装置は、アクティブ除振機構を利用したものであるレーザトラッカー。レーザトラッカー1は上記構成であり、先に説明した簡単な操作でターゲットTgの3次元位置情報を容易に取得することができる非常に便利な測定器であるが、例えば図11に示される従来の装置は、構成部品が多く複雑であるため、装置が大きくなりがちであった。この発明の目的は、測定対象物の3次元位置情報を容易に取得でき、サイズがコンパクトなレーザトラッカーを提供することである。この発明のレーザトラッカーは、レーザ光を照射してターゲットの位置を追尾しながら、距離と角度で表されるターゲットの空間座標を求める。このレーザトラッカーにおいて、レーザ光を出射するレーザ光源と、このレーザ光源から出射され前記ターゲットで反射して戻ってきたレーザ光であるレーザ戻り光を用いてターゲットまでの距離を測定する測長器と、前記レーザ戻り光の光軸に垂直な面上における位置を検出する光位置検出器と、前記レーザ光源から出射されて前記ターゲットに到達するまでのレーザ光であるレーザ出射光を前記ターゲットに向けて反射させると共に、前記レーザ戻り光を前記測長器および前記光位置検出器に到達するように反射させる可動反射ミラーと、前記レーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と平行な第1の回転軸心回りに前記可動反射ミラーの角度を変更させる第1のモータと、前記第1の回転軸心と直交する第2の回転軸心回りに前記可動反射ミラーの角度を変更させる第2のモータとを備え、前記第1のモータは、前記第1の回転軸心に沿う方向に貫通する貫通孔を有する中空形状であり、前記レーザ出射光および前記レーザ戻り光が前記貫通孔を透過するようにしたことを特徴とする。レーザ光源から発せられたレーザ出射光は、可動反射ミラーで反射して、ターゲットに到達する。ターゲットで反射したレーザ戻り光は、同じ経路を通り照射元のレーザトラッカーに戻り、二つに分離されてそれぞれが測長器および光位置検出器に入る。そして、測長器によりターゲットまでの距離を測定する。また、光位置検出器によりレーザ戻り光の位置を検出する。レーザ出射光がターゲットに到達し、かつレーザ戻り光が測長器および光位置検出器に到達するように、第1および第2のモータにより、互いに直交する第1および第2の回転軸心回りに可動反射ミラーの角度を変更する。第1のモータを第1の回転軸心に沿う方向に貫通する貫通孔を有する中空形状とし、レーザ出射光およびレーザ戻り光が前記貫通孔を透過するようにしたことにより、レーザ光源、測長器、および光位置検出器と可動反射ミラーとの間の光経路上に設置される反射ミラーを無くすか、または最小限の数にすることができる。また、レーザ光源、測長器、および光位置検出器を、可動反射ミラー、第1のモータ、第2のモータ等の近くに配置することができる。これらのことから、装置の構造を単純化し、装置の小型化を実現できる。この発明において、前記第2のモータに電気、制御信号等を送る電気ケーブル類を、前記貫通孔を通して設けるのが良い。貫通孔を通して電気ケーブル類を設けると、第1のモータが回転しても、電気ケーブル類が大きく回されることがなく、電気ケーブル類の取り回しが容易となる。この発明において、前記第2のモータのモータ軸に中空部を設け、この中空部内に前記可動反射ミラーを配置し、前記モータ軸の前記中空部と外部とを隔てる隔壁に、前記可動反射ミラーに対するレーザ光の入射光および出射光が透過する開口部を設けても良い。この構成とすると、第2のモータを第1の回転軸心の近傍に設置することができ、装置のコンパクト化を図れる。また、第2のモータが第1の回転軸心の近傍に設置されていると、第2のモータの第1の回転軸心回りの慣性モーメントが小さくなり、第1のモータの負荷を軽減することができる。さらに、可動反射ミラーを第2のモータのモータ軸の中空部に設けることにより、レーザ出射光およびレーザ戻り光の光路を妨げることなく、可動反射ミラーを保護することができる。この発明において、前記レーザ戻り光を前記測長器へ向かう光と前記光位置検出器へ向かう光とに分離する光学素子を設け、この光学素子を前記レーザ出射光が通らない位置に配置しても良い。レーザ出射光が通る位置に光学素子が配置されていると、レーザ出射光が光学素子により一定の比率例えば1:1で二つに分離され、その片方だけがターゲットに到達し、もう片方はターゲットに到達せず無駄に捨てられる。また、ターゲットで反射したレーザ戻り光も光学素子により二つに分離され、その片方が測長器に届いて距離の測定に利用され、もう片方が光位置検出器に届いてレーザ戻り光の位置の検出に利用される。したがって、光学素子がレーザ光を二つに分離する比率が1:1である場合、レーザ光源から出射されるレーザ光の出力を100とすると、距離の測定に利用される出力およびレーザ戻り光の位置の検出に利用される出力はいずれも25である。これに対して、レーザ出射光が通らない位置に光学素子を配置すると、レーザ出射光のすべてがターゲットに到達するため、距離の測定に利用される出力およびレーザ戻り光の位置の検出に利用される出力がいずれも50になる。つまり、レーザ出射光が通る位置に光学素子が配置されている場合と比べて、レーザ光源の出力が同じであっても、測長や追尾に多くのレーザ出力を利用することができる。そのため、レーザ光源として、出力の小さいものを使用することが可能となり、コンパクト化と低コスト化を実現できる。この発明において、前記レーザ戻り光を前記測長器へ向かう光と前記光位置検出器へ向かう光とに分離する光学素子を設け、前記レーザ光源、測長器、光位置検出器、および光学素子を共通のケーシングに収容し、このケーシングと前記第1のモータを一体構造として、このケーシングと第1のモータの一体構造体を、床面に設置される土台に対して支柱を介して支持させても良い。この構造とすると、装置がコンパクトになり、装置の組立てが容易になる。上記構造とする場合、前記土台と支柱との間に、床面からの振動を減衰させて前記支柱に伝える振動減衰装置を配置するのが良い。振動減衰装置としては、ばね材を使用したもの、ゴム材を使用したもの、積層板の摩擦を利用したもの、エア除振機構を利用したもの、アクティブ除振機構を利用したもの等を使用できる。振動減衰装置を設けると、床面からの振動がケーシングと第1のモータの一体構造体に伝わり難くなり、精度の良い測定を行える。この発明のレーザトラッカーは、レーザ光を照射してターゲットの位置を追尾しながら、距離と角度で表されるターゲットの空間座標を求めるものにおいて、レーザ光を出射するレーザ光源と、このレーザ光源から出射され前記ターゲットで反射して戻ってきたレーザ光であるレーザ戻り光を用いてターゲットまでの距離を測定する測長器と、前記レーザ戻り光の光軸に垂直な面上における位置を検出する光位置検出器と、前記レーザ光源から出射されて前記ターゲットに到達するまでのレーザ光であるレーザ出射光を前記ターゲットに向けて反射させると共に、前記レーザ戻り光を前記測長器および前記光位置検出器に到達するように反射させる可動反射ミラーと、前記レーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と平行な第1の回転軸心回りに前記可動反射ミラーの角度を変更させる第1のモータと、前記第1の回転軸心と直交する第2の回転軸心回りに前記可動反射ミラーの角度を変更させる第2のモータとを備え、前記第1のモータは、前記第1の回転軸心に沿う方向に貫通する貫通孔を有する中空形状であり、前記レーザ出射光および前記レーザ戻り光が前記貫通孔を透過するようにしたため、測定対象物の3次元位置情報を容易に取得でき、サイズをコンパクトにできる。図1はこの発明の一実施形態の使用状態を示す斜視図、図2はその一部分の破断平面図である。このレーザトラッカー1Aは、円筒状のケーシング20内に、レーザ光源2aと測長器2bとでなるレーザ測長器2、光位置検出器3、およびビームスプレッタ8が設けられ、ケーシング20の外部に制御手段5および演算手段6が設けられている。制御手段5および演算手段6は、ケーシング20の内部に設けられていても良い。これらの機器2a,2b,3,8および手段5,6の機能は、背景技術の欄で説明したので、ここでは説明を省略する。上記円筒状のケーシング20の上部には、第1のモータであるθ軸モータ12が設けられている。θ軸モータ12は、レーザ光源2aから出射されるレーザ光の光軸と平行な第1の回転軸心θ軸O1回りに回転するモータであり、前記回転軸心O1に沿う方向に貫通する貫通孔12aを有する中空形状である。θ軸モータ12の回転変位量は、θ軸エンコーダ13で検出される。θ軸モータ12の回転部に上向きに突出する取付部材18が設置され、この取付部材18に、第2のモータであるψ軸モータ14が取付けられている。ψ軸モータ14は、前記第1の回転軸心O1と直交する第2の回転軸心O2ψ軸回りに回転するモータである。そして、ψ軸モータ14のモータ軸14aに、可動反射ミラー11が取付けられている。可動反射ミラー11は前記回転軸心O1上に位置し、レーザ光源2aと可動反射ミラー11とを結ぶ直線はθ軸モータ12の前記貫通孔12a内を通っている。ψ軸モータ14の回転変位量は、ψ軸エンコーダ15で検出される。このレーザトラッカー1Aでは、例えば図2のように、θ軸モータ12の貫通孔12a内に、第2のモータであるψ軸モータ14に電流を送信するケーブル、ψ軸モータ14に制御信号を送信するケーブル、ψ軸エンコーダ15の検出信号を受信するケーブル等の電気テーブル類21が通して設けられる。レーザ光源2aから発せられたレーザ出射光L1は、ビームスプレッタ8を透過し、θ軸モータ12の貫通孔12aを通り抜けてケーシング20外へ出て、可動反射ミラー11で反射されて、前記ターゲットTgに到達する。このターゲットTgで反射したレーザ戻り光L2は、同じ経路を通り照射元のレーザトラッカー1Aに戻り、前記貫通孔12aを通り抜けてケーシング20内に入り、ビームスプレッタ8で反射光と透過光に分けられる。反射光は光位置検出器3に到達し、この光位置検出器3がレーザ戻り光L2の位置を検出する。透過光は測長器2bに入り、この測長器2bがターゲットTgまでの距離を測定する。そして、背景技術の欄で説明したように、制御手段5によりθ軸モータ12およびψ軸モータ14を制御し、ならびに演算手段6によりターゲットTgの空間座標3次元位置情報を求める。このレーザトラッカー1Aも、従来のレーザトラッカー1図11と同様に、ターゲットTgの3次元位置情報を容易に取得することができる。また、ターゲットTgの3次元位置情報から、ターゲットTgが設置された測定対象物Wの3次元位置情報を求めることができるこのレーザトラッカー1Aは、第1のモータであるθ軸モータ12が、第1の回転軸心O1に沿う方向に貫通する貫通孔12aを有する中空形状であり、レーザ出射光L1およびレーザ戻り光L2が前記貫通孔12aを透過する。それにより、従来装置図11において、ビームスプレッタ8と可動反射ミラー11との間の光経路上に設置されていた反射ミラー9,10を無くすことが可能となった。また、レーザ光源2a、測長器2b、および光位置検出器3を、可動反射ミラー11、θ軸モータ12、ψ軸モータ14等の近くに配置することができるようになった。これらのことから、装置の構造を単純化し、装置の小型化を実現できる。また、図2のように、θ軸モータ12の貫通孔12aを通して電気ケーブル類21を設けると、θ軸モータ12が回転しても、電気ケーブル類21が大きく回されることがなく、電気ケーブル類21の取り回しが容易となる。図3および図4は異なる実施形態を示す。このレーザトラッカー1Bは、ψ軸モータ14のモータ軸14aに中空部22を設け、この中空部22内に可動反射ミラー11を配置してある。モータ軸14aの中空部22と外部とを隔てる隔壁23には、可動反射ミラー11に対するレーザ光の入射光LINおよび出射光LOUTがそれぞれ透過する開口部24,25が設けられている。ここで言うレーザ光は、レーザ出射光L1およびレーザ戻り光L2の両方を含む。図4は、レーザ出射光L1が可動反射ミラー11で反射する状態を示している。上記開口部24,25のうち、レーザ光源2aを向く開口部24は比較的狭く形成され、ターゲットTgを向く開口部25は比較的広く形成されている。これは、レーザ光源2aから可動反射ミラー11へ向かうレーザ出射光L1の光軸は常に一定であるが、可動反射ミラー11で反射されてターゲットTgへ向かうレーザ出射光L1の光軸はターゲットTgの追尾によって変化するためである。この構成とすると、ψ軸モータ14を第1の回転軸心O1の近傍に設置することができ、装置のコンパクト化を図れる。また、ψ軸モータ14が第1の回転軸心O1の近傍に設置されていると、ψ軸モータ14の第1の回転軸心O1回りの慣性モーメントが小さくなり、θ軸モータ12の負荷を軽減することができる。さらに、可動反射ミラー11をψ軸モータ14のモータ軸14aの中空部22に設けることにより、レーザ出射光L1およびレーザ戻り光L2の光路を妨げることなく、可動反射ミラー11を保護することができる。図5はさらに異なる実施形態を示す。このレーザトラッカー1Cは、レーザ戻り光L2を測長器2bへ向かう光と光位置検出器3へ向かう光とに分離する光学素子であるビームスプレッタ8を、レーザ戻り光L2の光軸に対して垂直方向にずらして配置し、レーザ出射光L1がビームスプレッタ8を通らないようにしたものである。図6Aのように、レーザ出射光L1が通る位置にビームスプレッタ8が配置されていると、レーザ出射光L1がビームスプレッタ8により一定の比率例えば1:1で二つに分離され、その片方だけがターゲットTgに到達し、もう片方はターゲットTgに到達せず無駄に捨てられる。例えば、レーザ光源2aから出射されるレーザ光の出力を100とすると、ターゲットTgに到達する光の出力は50で、無駄に捨てられる光の出力も50である。また、ターゲットTgで反射したレーザ戻り光L2もビームスプレッタ8により二つに分離され、その片方が測長器2bに届いて距離の測定に利用され、もう片方が光位置検出器3に届いてレーザ戻り光L2の位置の検出に利用される。したがって、距離の測定に利用される出力、およびレーザ戻り光L2の位置の検出に利用される出力は、いずれも25である。図6Bのように、レーザ出射光L1が通らない位置にビームスプレッタ8が配置されていると、レーザ出射光L1のすべてがターゲットTgに到達するため、距離の測定に利用される出力、およびレーザ戻り光L2の位置の検出に利用される出力が、いずれも50になる。つまり、レーザ出射光L1が通る位置にビームスプレッタ8が配置されている場合と比べて、レーザ光源2aの出力が同じであっても、測長や追尾に多くの、例えば倍のレーザ出力を利用することができる。そのため、レーザ光源2aとして、出力の小さいものを使用することが可能となり、コンパクト化と低コスト化を実現できる。なお、従来は、レーザ光の出力不足の問題を解決するために、例えば図9の構成が検討されていた。すなわち、レーザ光源2aは測長専用として利用し、追尾制御用にレーザ光源2aとは別のレーザ光源26を設ける。また、前記ビームスプレッタ8が設けられていた場所に、測長用のレーザ光源2aの波長の光は完全に透過し、追尾制御用のレーザ光源26の波長の光は完全に反射するようにコーティングされたビームスプレッタ27を設ける。さらに、このビームスプレッタ27と光位置検出器3との間に、追尾制御用のレーザ光源26の波長の光を半分は透過させ、半分は反射する別のビームスプレッタ28を設ける。この構成によると、各レーザ光源2a,26のレーザ出射光L1,L1aの出力をそれぞれ100,100aとした場合の各場所でのレーザ出力は、図10のようになる。すなわち、レーザ光源2aに関しては、レーザ出射光L1の100がレーザ戻り光L2として測長器2bに戻ってきて測長に利用される。追尾制御用のレーザ光源26に関しては、レーザ出射光L1aの25だけがレーザ戻り光L2aの位置の検出に利用されることになるが、追尾制御用のレーザ光源26は、測長用のレーザ光源2aほど高価なレーザを使用する必要がないため、出力が大きくて安価なレーザを用意することで、出力不足についての問題は解決できる。しかし、追尾制御用のレーザ光源26、およびビームスプレッタ27,28を新たに追加する必要があるため、装置が高価となり、かつコンパクト化が困難である。これに対して、図5の構成とすると、レーザ光源26、ビームスプレッタ27,28等を新たに加えることなく、しかも比較的出力の小さいレーザ光源2aを使用しても、測長用レーザ光の出力不足を解決することができる。図7はさらに異なる実施形態を示す。このレーザトラッカー1Dは、前記各実施形態1A,1B,1Cにおける円筒状のケーシング20の代わりに、レーザ光源2a、測長器2b、光位置検出器3、およびビームスプレッタ8をコンパクトなケーシング30に収容した。このケーシング30は、θ軸モータ12の固定部である下面に一体化されている。このケーシング30とθ軸モータ12の一体構造体31は、床面に設置される土台32に対して複数本の支柱33を介して支持されている。この構造とすると、円筒状のケーシング20に比べてケーシング30がコンパクトであるため、装置全体もコンパクトにできる。また、レーザ光源2a、測長器2b、光位置検出器3、およびビームスプレッタ8を収容したケーシング30とθ軸モータ12を一体構造体31として扱えるので、装置の組立てが容易になる。図8はさらに異なる実施形態を示す。このレーザトラッカー1Eは、ケーシング30とθ軸モータ12を一体構造体31とした構成において、土台32と支柱33との間に、床面からの振動を減衰させて前記支柱に伝える振動減衰装置34を配置したものである。振動減衰装置34としては、ばね材を使用したもの、ゴム材を使用したもの、積層板の摩擦を利用したもの、エア除振機構を利用したもの、アクティブ除振機構を利用したもの等を使用できる。このように振動減衰装置34を設けると、床面からの振動がケーシング30とθ軸モータ12の一体構造体31に伝わり難くなり、精度の良い測定を行える。"