"回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子が全周に形成された1以上のリング状のトラックと、光学的な回転格子が形成され前記回転軸からオフセットした部分的な領域である1以上の原点検出領域と、を有する円板状のディスクと、前記ディスクと対向して固定配置され、前記トラックの回転格子及び前記原点検出領域の回転格子それぞれと回折干渉光学系を構成可能な2以上の光学的な固定格子が形成されたマスクと、前記原点検出領域の回転格子を含む回折干渉光学系から前記ディスクの1回転において部分的に得られる周期信号と、前記トラックの回転格子を含む回折干渉光学系から前記1回転の全周に亘って得られる周期信号とに基づいて、前記ディスクの原点位置を表す原点信号を生成する原点信号生成部と、を備え、前記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、該複数のスリットにおけるピッチが前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、前記回転軸を中心とした放射状線から周方向に傾いて形成された傾斜スリットであるか、又は、前記回転軸を中心とした放射状線から周方向に向けて湾曲された湾曲スリットである、ロータリエンコーダ。前記湾曲スリットとして形成される前記原点検出領域の複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチが前記トラックにおけるスリットのピッチと等しくなるように、複数の前記放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成された、請求項1に記載のロータリエンコーダ。前記ディスクは、2以上の原点検出領域を有し、一の前記原点検出領域の複数のスリットにおける放射状線に対する湾曲度合いは、該複数のスリットにおけるピッチが他の前記原点検出領域の複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、該他の原点検出領域の複数のスリットにおける放射状線に対する湾曲度合いと異なる値に設定される、請求項2に記載のロータリエンコーダ。前記一の原点検出領域のスリットにおける湾曲方向は、前記他の原点検出領域のスリットにおける湾曲方向と逆の湾曲方向であることを特徴とする、請求項3に記載のロータリエンコーダ。前記一の原点検出領域と、前記他の原点検出領域とは、周方向に並べて設定される、請求項3に記載のロータリエンコーダ。前記湾曲線に沿って前記スリットが形成された前記原点検出領域に対応した前記固定格子は、前記湾曲線の接線と平行に形成されたことを特徴とする、請求項2に記載のロータリエンコーダ。前記原点検出領域の回転格子と該回転格子に対応する前記固定格子との間のギャップは、前記トラックの回転格子と該回転格子に対応する前記固定格子との間のギャップと等しい、請求項1に記載のロータリエンコーダ。前記トラックの回転格子及び前記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、反射スリットであり、前記当該回転格子に対応する2の前記固定格子は、前記ディスクの同一面側に配置されることを特徴とする、請求項1に記載のロータリエンコーダ。回転シャフトを回転させるモータ部と、前記回転シャフトに連結されて前記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、を備え、前記ロータリエンコーダは、前記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子が全周に形成された1以上のリング状のトラックと、光学的な回転格子が形成され前記回転軸からオフセットした部分的な領域である1以上の原点検出領域と、を有する円板状のディスクと、前記ディスクと対向して固定配置され、前記トラックの回転格子及び前記原点検出領域の回転格子それぞれと回折干渉光学系を構成可能な2以上の光学的な固定格子が形成されたマスクと、前記原点検出領域の回転格子を含む回折干渉光学系から前記ディスクの1回転において部分的に得られる周期信号と、前記トラックの回転格子を含む回折干渉光学系から前記1回転の全周に亘って得られる周期信号とに基づいて、前記ディスクの原点位置を表す原点信号を生成する原点信号生成部と、を備え、前記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、該複数のスリットにおけるピッチが前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、前記回転軸を中心とした放射状線から周方向に傾いて形成された傾斜スリットであるか、又は、前記回転軸を中心とした放射状線から周方向に向けて湾曲された湾曲スリットである、ロータリモータ。回転シャフトを回転させるモータ部と、前記回転シャフトに連結されて前記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、前記ロータリエンコーダが検出した位置に基づいて、前記モータ部の回転を制御する制御部と、を備え、前記ロータリエンコーダは、前記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子が全周に形成された1以上のリング状のトラックと、光学的な回転格子が形成され前記回転軸からオフセットした部分的な領域である1以上の原点検出領域と、を有する円板状のディスクと、前記ディスクと対向して固定配置され、前記トラックの回転格子及び前記原点検出領域の回転格子それぞれと回折干渉光学系を構成可能な2以上の光学的な固定格子が形成されたマスクと、前記原点検出領域の回転格子を含む回折干渉光学系から前記ディスクの1回転において部分的に得られる周期信号と、前記トラックの回転格子を含む回折干渉光学系から前記1回転の全周に亘って得られる周期信号とに基づいて、前記ディスクの原点位置を表す原点信号を生成する原点信号生成部と、を備え、前記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、該複数のスリットにおけるピッチが前記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、前記回転軸を中心とした放射状線から周方向に傾いて形成された傾斜スリットであるか、又は、前記回転軸を中心とした放射状線から周方向に向けて湾曲された湾曲スリットである、ロータリモータシステム。以下、光学式エンコーダについて説明する。光学式エンコーダとして、複数のスリット反射型及び透過型を含む。で形成された格子を利用したものが開発されている。この光学格子を利用したエンコーダは、単に格子を透過又は反射した光を利用する幾何光学型と、複数の格子による回折干渉光を利用する回折干渉光学型とに大別される特許文献1,2参照。。幾何光学型エンコーダは、格子を形成するスリットにより反射又は透過した光を回折干渉させずに受光し、その受光回数等により位置変化等を特定する。この幾何光学型エンコーダでは、1の格子のスリット間隔以下ピッチpともいう。を一定にした場合、その格子と他の格子又は受光部等との間の距離以下ギャップgともいう。が長くなるほど、検出精度が低下しやすいという特性を有する。一方、回折干渉光学型エンコーダは、複数の格子による回折干渉光を利用し、その回折干渉光の受光回数等により位置変化等を特定する。よって、この回折干渉光学型エンコーダは、幾何光学型エンコーダよりもS/N比SignaltoNoiseRatioを高めることができる。そればかりか、回折干渉光学型エンコーダは、ギャップgを比較的長く設定したとしても、検出精度に影響しにくいという特性を有する。このことは、構成部品同士の機械的干渉が生じる可能性を低減して、衝撃などの耐環境性能を向上させることができることも意味する。このように回折干渉光学型エンコーダは、幾何光学型エンコーダに比べて有利な点が多い。しかし、回折干渉光学型エンコーダでは、回折干渉光学系を構成する必要があるため、複数の格子回折格子それぞれにおけるピッチpと、各格子の間隔であるギャップgとが適切な値に設定されることになる。このピッチpとギャップgとの関係は、エンコーダ自体の開発や製造における制約となる。つまり、ピッチp又はギャップgを適切な値から変更すれば、回折干渉光の質が低下して検出する周期信号のS/N比が低下してしまう。一方、ピッチp又はギャップgを適切な値に維持するためには、更にピッチp及びギャップgと共に周期信号の周期数やスリットの形成位置等をも考慮して回折干渉光学系を設計開発する必要がある。従って、自由度が低下して設計開発が容易でなく、また、複数の回折干渉光学系毎に調整が必要なため製造も容易でない。更に、このような設計開発の制約により、装置自体を小型化することが難しい。この設計開発製造への制約は、1の周期信号を得るために1セットの回折干渉光学系を使用する場合でも生じえる。しかし、特に、例えばインクレ型エンコーダのように原点信号を得るために複数セットの回折干渉光学系を使用する場合、各回折干渉光学系のセット毎に設計開発製造する必要があるため、これらへの制約度合いは一層大きくなる。例えば、回折干渉光学系で原点信号を得る光学式エンコーダが開示されている特許文献3。この光学式エンコーダは、回転ディスクに平行に配列された等ピッチの直線状のスリットパターンからなる原点相用回転スリットを有し、原点相用固定スケールに、平行に配列された等ピッチの直線状のスリットパターンからなる原点相用光源スリットと原点相用固定スリットを有する。光源からの照射光は原点相用光源スリットを通して原点相用回転スリットを照射する。原点相用回転スリットからの反射光を原点相用固定スリットを通して受光素子で検出し、この検出信号から原点信号を生成する。しかし、この検出方法では高精度な原点信号を得るためにより急峻な信号を得る必要があるが、より急峻な信号を得るためには原点相用回転スリットの領域や受光面を広くする必要がある。従って、小型化と高精度を両立することが難しい。そこで、本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、回折干渉光を利用して検出精度を向上させた位置の原点検出を可能とし、小型化及び製造等を容易にすることが可能な、ロータリエンコーダ、ロータリモータ及びロータリモータシステムを提供することにある。上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子が全周に形成された1以上のリング状のトラックと、光学的な回転格子が形成され上記回転軸からオフセットした部分的な領域である1以上の原点検出領域と、を有する円板状のディスクと、上記ディスクと対向して固定配置され、上記トラックの回転格子及び上記原点検出領域の回転格子それぞれと回折干渉光学系を構成可能な2以上の光学的な固定格子が形成されたマスクと、上記原点検出領域の回転格子を含む回折干渉光学系から上記ディスクの1回転において部分的に得られる周期信号と、上記トラックの回転格子を含む回折干渉光学系から上記1回転の全周に亘って得られる周期信号とに基づいて、上記ディスクの原点位置を表す原点信号を生成する原点信号生成部と、備え、上記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、該複数のスリットにおけるピッチが上記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、上記回転軸を中心とした放射状線から周方向に傾いて形成された傾斜スリットであるか、又は、上記回転軸を中心とした放射状線から周方向に向けて湾曲された湾曲スリットである、ロータリエンコーダが提供される。また、上記湾曲スリットとして形成される上記原点検出領域の複数のスリットそれぞれは、該スリットのピッチが上記トラックにおけるスリットのピッチと等しくなるように、複数の上記放射状線それぞれを所定の湾曲度合いで周方向に向けて湾曲させた湾曲線に沿って形成されてもよい。また、上記ディスクは、2以上の原点検出領域を有し、一の上記原点検出領域の複数のスリットにおける放射状線に対する湾曲度合いは、該複数のスリットにおけるピッチが他の上記原点検出領域の複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、該他の原点検出領域の複数のスリットにおける放射状線に対する湾曲度合いと異なる値に設定されてもよい。また、上記一の原点検出領域のスリットにおける湾曲方向は、上記他の原点検出領域のスリットにおける湾曲方向と逆の湾曲方向であってもよい。また、上記一の原点検出領域と、上記他の原点検出領域とは、周方向に並べて設定されてもよい。また、上記湾曲線に沿って上記スリットが形成された上記原点検出領域に対応した上記固定格子は、上記湾曲線の接線と平行に形成されてもよい。また、上記原点検出領域の回転格子と該回転格子に対応する上記固定格子との間のギャップは、上記トラックの回転格子と該回転格子に対応する上記固定格子との間のギャップと等しくてもよい。また、上記トラックの回転格子及び上記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、反射スリットであり、上記当該回転格子に対応する2の上記固定格子は、上記ディスクの同一面側に配置されてもよい。また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、回転シャフトを回転させるモータ部と、上記回転シャフトに連結されて上記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、を備え、上記ロータリエンコーダは、上記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子が全周に形成された1以上のリング状のトラックと、光学的な回転格子が形成され上記回転軸からオフセットした部分的な領域である1以上の原点検出領域と、を有する円板状のディスクと、上記ディスクと対向して固定配置され、上記トラックの回転格子及び上記原点検出領域の回転格子それぞれと回折干渉光学系を構成可能な2以上の光学的な固定格子が形成されたマスクと、上記原点検出領域の回転格子を含む回折干渉光学系から上記ディスクの1回転において部分的に得られる周期信号と、上記トラックの回転格子を含む回折干渉光学系から上記1回転の全周に亘って得られる周期信号とに基づいて、上記ディスクの原点位置を表す原点信号を生成する原点信号生成部と、備え、上記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、該複数のスリットにおけるピッチが上記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、上記回転軸を中心とした放射状線から周方向に傾いて形成された傾斜スリットであるか、又は、上記回転軸を中心とした放射状線から周方向に向けて湾曲された湾曲スリットである、ロータリモータが提供される。また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、回転シャフトを回転させるモータ部と、上記回転シャフトに連結されて上記回転シャフトの位置を測定するロータリエンコーダと、上記ロータリエンコーダが検出した位置に基づいて、上記モータ部の回転を制御する制御部と、を備え、上記ロータリエンコーダは、上記回転シャフトの回転にあわせて回転軸周りに回転可能に配置され、光学的な回転格子が全周に形成された1以上のリング状のトラックと、光学的な回転格子が形成され上記回転軸からオフセットした部分的な領域である1以上の原点検出領域と、を有する円板状のディスクと、上記ディスクと対向して固定配置され、上記トラックの回転格子及び上記原点検出領域の回転格子それぞれと回折干渉光学系を構成可能な2以上の光学的な固定格子が形成されたマスクと、上記原点検出領域の回転格子を含む回折干渉光学系から上記ディスクの1回転において部分的に得られる周期信号と、上記トラックの回転格子を含む回折干渉光学系から上記1回転の全周に亘って得られる周期信号とに基づいて、上記ディスクの原点位置を表す原点信号を生成する原点信号生成部と、を備え、上記原点検出領域の回転格子に含まれる複数のスリットは、該複数のスリットにおけるピッチが上記トラックの回転格子に含まれる複数のスリットにおけるピッチと等しくなるように、上記回転軸を中心とした放射状線から周方向に傾いて形成された傾斜スリットであるか、又は、上記回転軸を中心とした放射状線から周方向に向けて湾曲された湾曲スリットである、ロータリモータシステムが提供される。以上説明したように本発明によれば、回折干渉光を利用して検出精度を向上させた位置の原点検出を可能とし、小型化及び製造等を容易にすることが可能である。以下に添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能を有する構成要素は、原則として同一の符号で表し、これらの構成要素についての重複説明は、適宜省略するものとする。以下で説明する本発明の各実施形態では、インクレ型のロータリエンコーダを有するロータリモータシステムを例に挙げて説明する。つまり、各実施形態に係るロータリエンコーダは、ロータリモータに適用され、ロータリモータの回転角度θを位置xとし、原点位置を原点zとして検出する。しかしながら、ここで説明する各実施形態に係るロータリエンコーダは、例えば原動機やステアリング等のように一定の回転軸周りに回転する様々な回転体に対して適用可能であることは言うまでもない。なお、本発明の各実施形態について理解が容易になるように以下の順序で説明することとする。<1.第1実施形態>1-1.第1実施形態に係るロータリモータシステム1-2.第1実施形態に係るロータリエンコーダ1-2-1.ディスク110トラックTA~TCスリットSの形状1-2-2.検出部130A~130C光学検出機構1-2-3.湾曲スリットの構成一のトラックT内の湾曲スリット湾曲スリットと固定格子側のスリットの位置関係複数のトラック間の関係における湾曲スリット1-2-4.位置データ生成部1401-2-5.原点信号生成部1411-3.第1実施形態に係るロータリモータシステムの動作1-4.第1実施形態に係るロータリエンコーダの製造方法1-5.第1実施形態に係るロータリエンコーダシステムによる効果の例<2.第2実施形態><3.第3実施形態><4.第4実施形態><1.第1実施形態>1-1.第1実施形態に係るロータリモータシステムまず、図1を参照しつつ、本発明の第1実施形態に係るロータリモータシステムの構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るロータリモータシステムの構成について説明するための説明図である。図1に示すように、本実施形態に係るロータリモータシステム以下単にモータシステムともいう。1は、ロータリモータ以下単にモータともいう。10と、制御部20とを有する。また、モータ10は、ロータリエンコーダ以下単にエンコーダともいう。100と、ロータリモータ部以下単にモータ部ともいう。200とを有する。モータ部200は、エンコーダ100を含まない動力発生源の一例である。このモータ部200を単にモータという場合もある。モータ部200は、少なくとも一側に回転シャフト201を有し、この回転シャフト201を回転軸AX周りに回転させることにより、回転力を出力する。なお、モータ部200は、位置データに基づいて制御されるサーボモータであれば特に限定されるものではない。また、モータ部200は、動力源として電気を使用する電動式モータ部である場合に限られるものではなく、例えば、油圧式モータ部、エア式モータ部、蒸気式モータ部等の他の動力源を使用したモータ部であってもよい。ただし、説明の便宜上、以下ではモータ部200が電動式モータ部である場合について説明する。エンコーダ100は、モータ部200の回転シャフト201とは逆側に配置され、当該回転シャフト201に対応して回転する他の回転シャフト図2における回転シャフト202に連結される。そして、このエンコーダ100は、回転シャフト202の位置を検出することにより、回転力が出力される回転シャフト201の位置x回転角度θ、モータ部200の位置x等ともいう。を検出し、その位置xを表す位置データと原点zを表す原点信号を出力する。ただし、エンコーダ100は、モータ部200の位置xに加えてか又は代えて、回転シャフト201の速度v回転速度、角速度、モータ部200の速度v等ともいう。及び加速度a回転加速度、角加速度、モータ部200の加速度a等ともいう。の少なくとも一方を検出してもよい。この場合、モータ部200の速度v及び加速度aは、位置xを時間で1又は2回微分したり後述する周期信号を所定間隔でカウントするなどの処理により検出することが可能である。説明の便宜上、以下ではエンコーダ100が検出する物理量は位置xであるとして説明する。なお、エンコーダ100の配置位置は特に限定されるものではない。例えば、エンコーダ100は、回転シャフト201に直接連結されるように配置されてもよく、また、減速機や回転方向変換機などの他の機構を介して回転シャフト201等の回転体に連結されてもよい。制御部20は、エンコーダ100から出力される位置データを取得して、当該位置データに基づいて、モータ部200の回転を制御する。従って、モータ部200として電動式モータ部が使用される本実施形態では、制御部20は、位置データに基づいて、モータ部200に印加する電流又は電圧等を制御することにより、モータ部200の回転を制御する。更に、制御部20は、上位制御装置図示せずから上位制御信号を取得して、当該上位制御信号に表された位置又は速度等がモータ部200の回転シャフト201から出力されるように、モータ部200を制御することも可能である。なお、モータ部200が、油圧式、エア式、蒸気式などの他の動力源を使用する場合には、制御部20は、それらの動力源の供給を制御することにより、モータ部200の回転を制御することが可能である。1-2.第1実施形態に係るロータリエンコーダ次に、図2及び図3Aを参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ100の構成について説明する。図2は、本実施形態に係るロータリエンコーダの構成について説明するための説明図である。図3Aは、本実施形態に係るロータリエンコーダが有するディスクについて説明するための説明図である。図2に示すように、本実施形態に係るエンコーダ100は、回転シャフト101と、ディスク110と、検出部130A~130Cと、位置データ生成部140と、原点信号生成部141と、を有する。1-2-1.ディスク110ディスク110は、図3Aに示すように円板状に形成され、ディスク中心Oが回転軸AXとほぼ一致するように配置される。そして、ディスク110は、この回転軸AX周りに回転可能な回転シャフト101を介して、モータ部200の回転シャフト201に対応した回転シャフト202に連結される。従って、ディスク110は、モータ部200の回転に応じて回転軸AX周りに回転可能に配置されることとなる。図3Aに示すように、ディスク110は、トラックTA~TCを有する。本実施形態ではインクレ型のエンコーダ100を例に説明しているので、ディスク110は、モータ部200の回転における位置xを検出するトラックTCと、原点zを精度よく検出するための2本のトラックTA,TBを有する。なお、このトラックTの本数は、3本に限られるものではなく、原点zに要求される検出精度や信号処理に応じて適宜複数に設定される。トラックTA~TC図3Aに示す通り、トラックTCは、ディスク110のディスク中心Oを中心としてリング状に全周に亘って設定される。トラックTA,TBは、それぞれディスク110のディスク中心Oを中心として扇形状に所定の原点検出領域基準角Hを基準とした周方向長の原点検出領域hA,hBに形成される。図3Bに示す通り、本実施形態では、トラックTA~TCの原点検出領域hA~hCをまとめて原点検出領域hともいう。なお、本実施形態では、トラックTA~TCの原点検出領域hA~hCが、同一の原点検出領域基準角Hを基準とした周方向の長さの範囲に設定される場合を例示しているが、この原点検出領域基準角Hは、それぞれ異なっていても良い。各トラックTA~TCは所定の幅wA~wCで設定される。本実施形態では、各トラックTA~TCの幅wA~wCは同一の幅wに設定されるw=wA=wB=wC。なお、本実施形態では、各トラックTA~TCの幅wA~wCが同一である場合を例示しているが、このトラック幅wA~wCは、異なっていても良い。そして、各トラックTA~TCは、それぞれ幅wの中心における径方向の位置トラック半径rA~rCが異なるように配置される。つまり、トラックTA,TBは、ディスク中心Oを中心とした同心円上に形成され、ディスク中心Oから外周に向けてトラックTA,TB,TCの順で配置されるrA<rB<rC。この各トラック半径rA~rCを基準とした同心円状の測定円XA~XCをまとめて測定円Xともいう。図3Aに示すように、各トラックTA~TCのそれぞれには、光学的な回転格子LA~LC回転する光学回折格子が形成される。回転格子LA~LCのそれぞれは、光学的な複数のスリットSLA~SLCを有して、回転格子LA~LC毎にそれぞれ独立した個別の回折干渉光学系の一部を構成する。スリットSLA~SLCのそれぞれは、光を反射するか反射スリット又は光を透過する透過スリットように形成される。反射スリットとして形成される場合、スリットSLは、例えば反射率の高い材質を蒸着するなどの方法により形成されてもよい。一方、ディスク110におけるスリットSLA~SLC以外の部位は、例えば、蒸着等の方法により光を吸収する材質を配置したり、ディスク110自体に光を透過する材質を使用するなどの方法で形成されてもよい。また、ディスク110自体に光を反射する材質を使用して、スリットSLA~SLC以外の部位をエッチング等により加工することも可能である。更に、スリットSLA~SLCもSLA~SLC以外の部位も反射率の高い材料で形成した上で、スリットSLA~SLCとSLA~SLC以外の部位とにギャップ方向の段差を設けて位相回折格子としてスリット形成することも可能である。一方、透過スリットとして形成される場合、ディスク110自体を光が透過する材質で形成し、スリットSLA~SLC以外の部位に、吸収又は反射するなどにより光を遮蔽する物質を配置したり光を遮蔽する加工を施すなどの方法で形成されてもよい。ただし、スリットSLA~SLCの形成方法は特に限定されるものではない。要するに、反射型スリットの場合、スリットSLA~SLCは、光を反射し、それ以外の部位は、光を反射せず、透過型スリットの場合、スリットSLA~SLCは、光を透過し、それ以外の部位は、光を遮蔽することとなる。以下では、本実施形態では、説明の便宜上、ディスク110の各トラックTA~TCのスリットSLA~SLCが反射スリットである場合について説明する。このようにディスク110に反射スリットが使用される場合には、反射型の回折干渉光学系を形成することができるので、ディスク110に透過スリットが使用される場合に比べて、ディスク110と後述するマスク120との間のギャップgの変動によるノイズや検出精度への影響を低減することが可能である。各トラックTA~TCにおいて周方向に並べられるスリットSLA~SLCによる原点検出領域hA~hCの領域分割数nA~nCは、相互に異なる数に設定される。なお、領域分割数nA~nCは、スリットSLA~SLCの本数を原点検出領域h内において周方向測定円Xに沿ってカウントした場合のスリット本数に対応する。従って、領域分割数nA~nC、つまり原点検出領域h内で周方向に沿って並べられるスリット本数は、相互に異なる数に設定される。なお、各トラックTA~TCは、トラック半径rA~rCが大きいほど、原点検出領域hでの領域分割数nA~nCが多くなるように形成されることが望ましい。つまり、トラックTA~TCそれぞれの原点検出領域hでの領域分割数は、トラック半径がrA<rB<rCであるため、nA<nB<nCとなるように設定される。各トラックTA~TCからは、それぞれ領域分割数nA~nCに応じた3の周期信号が得られることになる。従って、トラックTCの原点検出領域hCにおける領域分割数nCは、要求される精度の位置xが検出可能なように、また、トラックTA,TBの原点検出領域hA,hBにおける領域分割数nA,nBは、要求される精度の原点zが検出可能なように、必要とされる分解能に応じた数に設定されることが望ましい。各トラックTA~TCそれぞれにおけるスリットSLA~SLCの間隔であるピッチpLA~pLCは、本実施形態では、トラックTA~TCで全てほぼ同じピッチpLに設定されるpL=pLA=pLB=pLC。ただし、2以上のトラックTA~TCのピッチpLA~pLCがほぼ同じであればよく、異なるピッチのトラックが含まれてもよい。このように複数のトラックTA~TCの各ピッチpLA~pLCをほぼ等しく設定することにより、その複数のトラックTA~TCそれぞれの回折干渉光学系を、同様に形成することが可能となり、設計開発製造製造等ともいう。を容易にすることが可能である。特に、本実施形態のように全てのトラックTA~TCのピッチpLA~pLCをほぼ同一にすることで、製造等を大幅に容易にすることが可能である。なお、本実施形態ではピッチpLA~pLCという場合、スリットSLA~SLCそれぞれにおいて、相隣接するスリットの配置間隔を意味するものとする。つまり、ピッチpLA~pLCは、各スリットの中心間距離を意味するものとする。スリットSの形状ここで、各トラックTA~TCそれぞれにおけるスリットSLA~SLCの形状について説明する。最外周に配置されるトラックTCでは、スリットSLCがディスク中心O回転軸AXを中心として等角度間隔で設定される放射状線図7の放射状線LINE1上に形成される。このような形状のスリットを放射スリットともいう。一方、本実施形態に係るエンコーダ100では、上述のように複数のトラックTA~TCのピッチpLA~pLCをピッチpLに揃えることを可能とし、かつ、更に小型化や製造等を大幅に容易にするために、トラックTA,TBのスリットSLA,SLBは、放射スリットとは異なる湾曲スリットで形成される。なお、トラックTCのスリットSLCも湾曲スリットで形成されてもよい。つまり、複数のトラックTA~TCの少なくともいずれか1以上が湾曲スリットで形成されてもよい。このように湾曲スリットが含まれる場合、上記のようなピッチpLA~pLCの調整小型化製造等の容易化を実現することが可能である。この湾曲スリットについては、詳しく後述する。なお、本実施形態における放射スリット及び湾曲スリットのピッチpLA~pLCは、トラックTの幅wA~wCの中心におけるスリットの間隔ピッチを意味するものとする。本実施形態では、トラックTA~TCの原点検出領域hでの領域分割数nA~nCは、上述の通り、nA<nB<nCに設定される。そして、各トラックTA~TCから得られる原点検出領域hでの信号の周期数は、それぞれ原点検出領域hでの領域分割数nA~nCに対応する。トラックTA,TBは、原点zを検出するための原点検出機構の一例の一部を構成する。トラックTCは、位置xを検出するための位置検出機構の一例の一部を構成する。各トラックTA~TCの中でも原点検出領域hで得られる信号周期数が最も少ないTAトラック検出機構をここでは原点Lロー検出機構ともいう。そして、トラックTBによる検出機構は、原点L検出機構よりも原点検出領域hでの信号周期数を多く検出することができる。このトラックTBによる検出機構をここでは原点Hハイ検出機構ともいう。更に、トラックTCによる検出機構は、原点H検出機構よりも原点検出領域hでの信号周期数を更に多く検出することができる。このトラックTCによる検出機構をここではインクレ検出機構ともいう。本実施形態に係るインクレ型のエンコーダ100は、インクレ検出機構による出力を処理することにより、位置xを検出する。また、原点L、原点H、インクレそれぞれの検出機構による出力を処理することにより、原点zを検出する。なお、原点L検出機構、原点H検出機構及びインクレ検出機構のそれぞれは、原点検出領域hでの領域分割数nA~nCやスリット形状などに差異はあるものの、機構毎に別個独立した回折干渉光学系を1つずつ有しており、検出原理として光学式の回折干渉光学系を使用する点などで共通する。そこで、以下では、原点L検出機構、原点H検出機構及びインクレ検出機構を総称して光学検出機構ともいう。1-2-2.検出部130A~130C次に、図2~図6を参照しつつ、検出部130A~130Cについて説明しつつ、これらの検出機構についてより具体的に説明する。図4~図6は、本実施形態に係るロータリエンコーダが有する光学検出機構について説明するための説明図である。光学検出機構検出部130Aは、トラックTAに対向して配置され、トラックTAと共に原点L検出機構を構成する。検出部130Bは、トラックTBに対向して配置され、トラックTBと共に原点H検出機構を構成する。検出部130Cは、トラックTCに対向して配置され、トラックTCと共にインクレ検出機構を構成する。また、上述の通り、トラックTB及びトラックTCは原点検出領域hのみにスリットを有する。そこで、検出部130A~検出部130Cは、ディスク110の一回転内で同時に、原点検出領域hに対向する位置にそれぞれ配置される。なお、図3Aの場合は、原点検出領域hA~hCが一直線上に配置されるため、それらに対応した検出部130A~130Cも対応した一直線上に配置されることになる。検出部130A~130Cによる各光学検出機構は、上述の通り、それぞれ独立した回折干渉光学系を有する点などで共通する。従って、ここでは、図4を参照しつつ、一の光学検出機構を例に説明し、各光学検出機構毎に異なる点については、個別に追記することとする。これに伴い、一の光学検出機構を例に説明する場合、以下では、図4に示すように、その光学検出機構に対応する検出部検出部130A~130C、トラックトラックTA~TC及び回転格子回転格子LA~LCを単に検出部130、トラックT及び回転格子Lともいい、その回転格子Lに含まれるスリットスリットSLA~SLCを単にスリットSLともいう。そして、そのスリットSLのピッチピッチpLA~pLCを単にピッチpLともいい、原点検出領域hでの測定円X上の領域分割数領域分割数nA~nCを単に領域分割数nともいう。図4に示すように、検出部130は、マスク120と、発光部131と、受光部132とを有する。マスク120は、ギャップgを間にあけてディスク110に対向して固定配置される。また、マスク120は、光を遮蔽する材料で形成される一方、光を透過する複数のスリットSG1,SG2をそれぞれ有する2の光学的な固定格子G1,G2固定する回折格子を有する。つまり、マスク120は、固定格子G1,G2のスリットSG1,SG2で光を透過することになり、この固定格子G1,G2は、回転格子Lと共に3格子の回折干渉光学系を構成する。本実施形態において固定格子G1と固定格子G2とは、同一のマスク120に形成される。なお、固定格子G1と固定格子G2とは、別体のマスク120に形成されてもよい。固定格子G1と固定格子G2とは、別体のマスク120に形成される場合、ディスク110の同一面側において、固定格子G1と回転格子Lとの間の距離ギャップgと回転格子Lと固定格子G2との間の距離ギャップgとが等しくなるように配置されることが望ましい。このような回転格子Lからの距離が等しい2の固定格子G1,G2を使用し、かつ、回転格子LのスリットSLに反射型スリットを使用すると、ディスク110と検出部130との位置関係が変動しても、両固定格子G1,G2それぞれのギャップgが常に一定になる。よって、ギャップgの変動が回折干渉光学系に与える影響を、低減することができる。ここで、各光学検出機構の検出部130A~130Cそれぞれのギャップgの関係について説明する。本実施形態では、各トラックTA~TCのスリットSLA~SLCのピッチpLA~pLCが相互にほぼ等しくピッチpLに設定されるので、検出部130A~130Cと、トラックTA~TCつまりディスク110との間のギャップgは、相互にほぼ等しく設定され得る。つまり、本実施形態では、回転格子LAとそれに対応する固定格子G1,G2との間のギャップgと、回転格子LBとそれに対応する固定格子G1,G2との間のギャップgと、回転格子LCとそれに対応する固定格子G1,G2との間のギャップgとは、図2に示すように、全てほぼ等しく設定され得る。このように設定される場合、検出部130A~130Cそれぞれに対してギャップgに応じた回折干渉光学系を共通で設計開発することができ、かつ、製造時のギャップgの調整を各検出部130A~130Cに対して同時におこなうことができる。よって、製造等を容易にすることが可能である。なお、このように検出部130A~130Cのギャップgが相等しく設定されるため、図4に示す検出部130A~130Cそれぞれのマスク120を一体に形成したり、検出部130A~130Cを一体に構成することにより、更に製造等を容易にすることも可能である。なお、このような作用効果は、いずれか2つの回転格子LA~LC1のトラック及び他のトラックの一例とそれに対応する固定格子G1,G2との間のギャップgを揃えるだけでも、同様に奏されることは言うまでもない。ただし、ギャップgが揃えられる光学検出機構は、トラックTのピッチpLが相等しく設定された光学検出機構であることが望ましい。次に、発光部131及び受光部132について説明しつつ、固定格子G1,G2それぞれについて説明する。発光部131は、光源を有して、マスク120の固定格子G1に向けて光を照射する。発光部131が照射する光の波長や強度は特に限定されるものではないが、回折干渉光学系の特性や必要な位置分解能等に応じて適宜決定されてもよい。また、この照射光は、本実施形態では、拡散光が使用される。拡散光を使用することで、後述する固定格子G1の各スリットSG1を略線光源とみなすことができ、回折干渉効果を高めることができる。なお、このようにスリットSG1を略線光源とみなすことができれば、照射光として、平行光やレーザ光、収束光などを使用することも可能である。発光部131は、平行光レーザ光集束光拡散光など、使用する光の特性等に応じて、拡散レンズなどの所定の光学素子を有してもよいことは言うまでもない。固定格子G1は、発光部131が照射する光が入射する位置に形成される。この固定格子G1は、透過型の複数のスリットSG1を有しており、その複数のスリットSG1により入射した光を回折させる。その結果、各スリットSG1は、それぞれディスク110に照射される光を、各スリットSG1を略線光源とする光に変換することができる。固定格子G1の複数のスリットSG1間のピッチpG1は、回転格子Lの複数のスリットSL間のピッチpLに対してpG1=i×pLi=1,2,3...の関係となるように形成される。ただし、特にi=1,2の場合に、得られる周期信号の強度を強められる場合が多く、更にいえば、i=2の場合に、周期信号の強度をi=1よりも強められる場合が多い。一方、原点検出領域hで得られる信号周期数mは、領域分割数nだけでなく、このiによっても変化する。具体的には、信号周期数mは、少なくともi=1,2の場合、m=2×n/iとなる。以下では、説明の便宜上、i=2つまりpG1=2pLでありm=nである場合について説明する。なお、固定格子G1を透過した光は、固定格子G1に入射する際の入射角に応じて、固定格子G1の幅方向に広がる。従って、回転格子LのスリットSLの幅は、この広がり角を考慮して、信号強度を向上させるために、固定格子G1のスリットSG1の幅よりも広く設定されることが望ましい。その際、回転格子LのスリットSLの幅を、更に、固定格子G1を透過した光が到達すると予想される幅よりも広く設定するか又は狭く設定することにより、固定格子G1と回転格子Lとの取り付け誤差に対する信号の安定性を、更に向上させることが可能である。これと同様に、回転格子Lで反射した光は、回転格子Lに入射する際の入射角に応じて、回転格子Lの幅方向に広がる。従って、後述する固定格子G2のスリットSG2の幅も、この広がり角を考慮して、信号強度を向上させるために、回転格子LのスリットSLの幅よりも広く設定されることが望ましい。その際、固定格子G2のスリットSLの幅を、更に、回転格子Lで反射した光が到達すると予想される幅よりも広く設定するか又は狭く設定することにより、固定格子G2と回転格子Lとの取り付け誤差に対する信号の安定性を、更に向上させることが可能であることも同様である。ただし、固定格子G1と固定格子G2と回転格子Lそれぞれのスリットの幅の関係は、十分な信号強度が確保でき、また、取り付け誤差に対する信号の安定性も十分に確保できる場合には、特に限定されるものではないことは言うまでもない。固定格子G1が有する複数のスリットSG1は、他の回転格子L及び固定格子G2と共に形成する回折干渉光学系の回折干渉効果を高めてノイズを低減するために、対向した位置におけるスリットSLと略平行になるように形成されることが望ましい。つまり、図3Aに示すように、回転格子LA,LBのスリットSLA,SLBが湾曲スリットであるため、検出部130A,130Bの固定格子G1の複数のスリットSG1,SG2は、対向した湾曲スリットと平行になるように、湾曲スリットで形成されることが望ましい。一方、回転格子LCのスリットSが放射スリットであるため、検出部130Cの固定格子G1の複数のスリットSG1,SG2は、対向した放射スリットと平行になるように、放射スリットで形成されることが望ましい。ただし、放射スリットについて米国特許第5,559,600号明細書にも記載されているように、放射スリットのピッチpLはトラックTの全周長に比べて十分に短いため、放射スリットを光学的には平行スリットとみなすことができる。従って、放射スリットに対応した検出部130Cの固定格子G1の複数のスリットSG1を、相互に平行な平行スリットにすることが可能である。一方、これと同様に、湾曲スリットに対応した検出部130A,130Bの固定格子G1の複数のスリットSG1を、図5に示すように、平行スリットとすることも可能である。この場合、放射スリットに対応する固定格子G1の平行スリットは、放射スリットを平行スリットとみなした場合のその平行スリットと平行になるように配置されることが望ましい。そして、湾曲スリットに対応する固定格子G1の平行スリットは、図5に示すように、各湾曲スリットの少なくとも1点での接線LINE3とほぼ平行になるように配置されることが望ましい。このように放射スリット及び湾曲スリットに対応する両固定格子G1を、平行スリットとすることで、両固定格子G1に対して同一の固定格子G1を使用することが可能となり、製造等を更に容易にすることが可能となるだけでなく、製造コストを低減することも可能である。図4に示すように、固定格子G1で回折された光は、固定格子G1に対応する回転格子Lに照射される。すると、回転格子Lに照射された光は、回転格子LのスリットSLで反射される。この際、反射される光は、回転格子Lで更に回折される。そして、この回転格子Lで回折された光は、固定格子G2に照射される。原点L検出機構と原点H検出機構で使用するマスク120の固定格子G2は、回転格子Lで回折された光が入射する位置に形成される。この固定格子G2のスリットSG2のピッチpG2は、固定格子G1のスリットSG1のピッチpG1と同じに設定される。つまり、本実施形態ではpG1=pG2=2×pLとなる。更に、このスリットSG2の形状や、固定格子G1のスリットSG1との位置関係等も、上記固定格子G1のスリットSG2と同様である。よって、これらの詳しい説明は省略する。一方、図4に示すように、回転格子Lで回折された光は、固定格子G2に照射される。この固定格子G2に照射される光は、回転格子Lの複数のスリットSLそれぞれで回折された光が干渉した干渉縞状となる。干渉縞の明部の位置は、ディスク110が回転して固定格子G1と回転格子Lとの間の位置関係の変化に応じて、移動することになる。その結果、スリットSG2を通過する光の強度は、正弦波状に増減する。受光部132は、固定格子G2のスリットSG2を透過した光を受光するように配置される。そして、受光部132は、例えばフォトダイオードのような受光素子を有しており、受光した光の強度を電気信号に変換する。そして、受光部132が生成する電気信号は、ディスク110がピッチpL等に応じた分だけ移動する度に繰り返される所定の周期の略正弦波状の電気信号周期信号ともいう。となる。原点L検出機構、原点H検出機構それぞれで得られる周期信号をまとめて、ここでは原点L信号、原点H信号ともいう。なお、インクレ検出機構で使用するマスク120マスク120Cは、図6に示すように、原点L検出機構と原点H検出機構で使用するマスク120マスク120A,120Bと構成が異なるのでここで説明しておく。マスク120Cの固定格子G2は、マスク120A,120Bの固定格子G1と異なり、2以上の領域例えば図6に示す領域G2A,G2Bに分かれている。そして、各領域のスリットSG2は、その領域内ではピッチpG2が均一に形成されるが、領域間ではpG2/4づつずらして形成される。その結果、pG2/4づつずらされた各領域G2A,G2BそれぞれのスリットSG2を通過する光の強度は、90°ずれて正弦波状に増減する。この際、受光部132は、各領域G2A,G2B毎に別々の電気信号を生成可能なように、例えば2の受光面を有する。そして、この各領域G2A,G2Bぞれぞれに対応した周期信号は、領域G2A,G2BそれぞれのスリットSG2を通過する光の強度と同様に、位相が90°ずれた2の周期信号となる。この2の周期信号を、それぞれA相周期信号,B相周期信号ともいう。そして、インクレ検出機構で得られる2の周期信号をまとめて、インクレ信号ともいう。すなわち、原点L信号と原点H信号はそれぞれ1の周期信号であり、インクレ信号は2の周期信号である。このように光学検出機構では、3格子の回折干渉光学系を構成する。よって、ギャップgの大小に関わらずピッチpL,pG1,pG2等との関係で干渉が生じれば、所望の周期信号を検出することができる。ところで、幾何光学型エンコーダでは、単にスリットSLを透過した光を受光するため、ギャップgを大きくすればするほど、回折成分や拡散成分の光の影響により、ノイズが増加するため、ギャップgを小さくする必要がある。これに対して、本実施形態に記載のような回折干渉光学系では、固定部材と回転部材との間のギャップgを大きくすることができ、結果として設計開発の自由度を高めることができると共に、衝撃等により固定部材と回転部材とが干渉する不具合を低減することができる。本実施形態では、上述の通り、3格子回転格子L及び固定格子G1,G2の回折干渉光学系を例に説明しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、固定格子G2の変わりにその固定格子G2のスリットSG2それぞれの位置に受光面を有する帯状の受光素子を使用することで、擬似的に3格子の回折干渉光学系を形成することも可能である。更にいえば、固定格子G1の変わりにその固定格子G1のスリットSG1それぞれの位置で発光する帯状又は線状の発光素子等を使用することで、擬似的に3格子の回折干渉光学系を形成することも可能である。その他、同様な回折干渉光学系を構成することができれば、格子の数は特に限定されないことは言うまでもない。1-2-3.湾曲スリットの構成以上、本発明の第1実施形態に係るロータリエンコーダ100の構成について説明した。次に、図5及び図7を参照しつつ、上記回転格子LA,LBに使用される湾曲スリットについて、詳しく説明する。図7は、本実施形態に係るロータリエンコーダが有する湾曲スリットについて説明するための説明図である。一のトラックT内の湾曲スリットまず、図7を参照しつつ、どちらか一方の湾曲スリット、つまり、トラックTAの回転格子LAのスリットSLA、又は、トラックTBの回転格子LBのスリットSLBを例に挙げて説明する。そして、スリットSLAとスリットSLBとで異なる点については、個別に説明することとする。本実施形態に係る回転格子LのスリットSLは、トラックTに配置されるが、上述しかつ図7にも示す通り、少なくとも1以上の回転格子LのスリットSLは、放射スリットと異なる湾曲スリットとして形成される。湾曲スリットとして形成されるスリットSLここでは単にスリットSLという。は、図7に示すように、ディスク中心O回転軸AXを中心とした放射状線LINE1それぞれを、所定の湾曲度合いCで、周方向に向けて湾曲させた湾曲線LINE2に沿って形成される。このような湾曲線LINE2に沿ったスリットSLについては様々な形成例が考えられるが、このスリットSLの一形成例について説明すると以下の通りである。各スリットSLに対応する放射状線LINE1は、そのトラックTの原点検出領域h中に設定されるべき領域分割数nに対応したスリット本数で、原点検出領域基準角Hを等角度分割した角度毎に、スリット本数分設定される。その後、各放射状線LINE1が同一の周方向に同一の湾曲度合いCで湾曲させられて原点検出領域hに位置されることにより、各スリットSLの湾曲線LINE2が設定される。そして、このように設定された各湾曲線LINE2に沿って、各スリットSLが所定の幅で形成されることになる。更に具体的に式を使用してスリットSLの一形成例について説明する。ディスク中心Oを原点とし、原点からの距離をlとし、原点を通る基準線からの角度をθとし、原点検出領域hが設定されたトラックTの内径及び外径をrIN,rOUTとし、その原点検出領域hの原点検出領域基準角度をH°とする。そして、原点検出領域hの回転格子Lが含む測定円Xに沿ったスリット本数、つまり領域分割数をnとし、各スリットをjj=0,1,2...,n-1で識別するものとする。すると、放射状線LINE1は、極座標で下記式1で表される。LINE1=l,j×H/n...式1ただしrIN≦l≦rOUTそして、湾曲度合いをCと、かつ、回転格子Lの複数のスリットSLのピッチが所望のpLとなる半径原点検出領域hの幅方向中心における半径をr0とした場合、湾曲線LINE2は、極座標で下記式2で表される。スリットSLは、この湾曲線LINE2に沿って原点検出領域hの所定の幅w=rOUT-rIN内で形成される。LINE2=r01-Cθ,θj×H/n...式2ただしrIN≦r01-Cθ≦rOUTここで、r0,は、回転格子Lの複数のスリットSLのピッチが所望のpLとなる半径である。この湾曲スリット形成例の場合、湾曲度合いCは、下記式3で表される。C=tan[sin-1{pL×n/2πr0}]...式3なお、トラックTつまり原点検出領域hは、回折格子G2を透過した後に受光素子で受光した回転格子Lからの反射光が、十分な光量となるだけの幅w=rOUT-rINで形成されることが望ましい。本実施形態に係る回折干渉光学系では、トラックTの幅wを例えば回転格子LのピッチpLの20倍~50倍程度に設定すれば、十分な光量が得られる。従って、湾曲スリットであるスリットSLは、式3から判るように、トラック内径rINの位置から角度θで180°以内の位置でトラック外径rOUTに到達する。湾曲したスリットSLの1本1本は、それぞれ角度θで180°以内となり、トラックTを1回転も周回しないように形成される。このように湾曲スリットを形成することにより、ディスク110の強度を高めたり、スリットSLの形成を容易にすることが可能である。一方、本実施形態に係る回転格子Lが構成する回折干渉光学系は、一般的に、回転格子Lに含まれる複数のスリットSLのピッチがスリットSLの長さ方向の位置によらずに均一であるほど、得られる正弦波の周期信号のノイズを低減し、位置検出精度を向上させることができる。換言すれば、トラックTの幅wの中心からスリットSLに沿ってトラック内径又は外径に向かって移動した場合における、その移動量に対するピッチのpLからのズレ量の増加率又は減少率が少ないほど、ノイズが低く抑えられ、検出精度が向上する。これに対して、本実施形態のような湾曲スリットによれば、スリットSLが湾曲して形成されることにより、スリットSLの形成方向湾曲線LINE2方向におけるスリットSLのピッチの変化量ここではピッチの変化率ともいう。を低減することができる。結果として、本実施形態によるエンコーダ100によれば、各光学検出機構から得られる周期信号の検出精度を向上させて、原点検出精度を向上させることが可能である。より具体的には、例えば、放射スリットであれば、放射状線LINE1上にスリットSLが形成されることになるが、スリットSLの形成方向放射状線LINE1における長さが、ほぼトラックTの幅wと等しくなるため、その形成方向におけるスリットSLのピッチの変化率は比較的大きい。この比較的大きなピッチの変化率は、周期信号の検出精度の低下を招く。そして、このような検出精度の低下は、領域分割数nが少ないほど大きい。これに対して、湾曲スリットであれば、スリットSLの形成方向湾曲線LINE2における長さを、放射スリットに比べて湾曲度合いCに対応した長さ分引き伸ばすことができる。その結果、スリットSLのピッチの変化率を比較的小さくすることができ、周期信号の検出精度を向上させることができる。従って、本実施形態に係るエンコーダ100は、このような湾曲スリットを使用することにより、得られる信号周期数mが異なる複数トラックTA~TCを、設計開発等の自由度を低下させず、かつ、周期信号の検出精度を低下させることなく、設定することが可能である。よって、本実施形態によれば、高精度かつ小型なエンコーダ100を容易に形成することが可能である。更に、一般に回折干渉光学系において、回転格子Lと固定格子G1,G2との間の最適ギャップgは、発光部131が発する光の波長λと、回転格子Lの複数のスリットSLのピッチpLに依存する。例えば、3格子光学系において、ギャップgは、kを正の整数とすると、pG1=pL=pG2の場合には、下記式4を満たすときに最適に、pG1=2×pL=pG2の場合には、下記式5を満たすときに最適になる。g=2×k-1×pL2/4λ...式4g=2×k×pL2/λ...式5これに対しては、本実施形態のような湾曲スリットによれば、複数のスリットSLのピッチpLは、スリット本数nと、トラック半径r=r0と、湾曲度合いCとの関数fで式6のように表される。pL=fn,r,C...式6=2πr/n×sintan-1C従って、領域分割数nつまり周期信号の周期に対応やトラック半径rを変更せずに、湾曲度合いCを適宜設定するだけで、回折干渉光学系を構成するような最適な値にピッチpLを設定することが可能となる。その結果、領域分割数nやトラック半径r等を自由に設定することが可能となり、小型化が容易で設計開発等も容易になる。ところで、本実施形態と異なりスリットSLがトラックT内を1回転以上周回して形成される場合、このようなスリットを多重螺旋スリットともいう。このような多重螺旋スリットでは、半径方向に積層されるスリットSLの数が多くなり、トラックTの幅wが大きくなって小型化が難しくなる。従って、設計開発の自由度が減り、ひいては製造自体が難しくなる。これに対して、本実施形態に係るスリットSLは、多重螺旋スリットではなく、湾曲スリットで形成される。その結果、上述の通り、設計開発の自由度を高めて、製造や小型化を容易にすることができる。なお、ここで説明した湾曲スリット形成例や湾曲線LINE2の式等は、あくまで一例であり、このような式が実際に立てられる必要はない。つまり、上記のように周方向に湾曲した湾曲線LINE2に沿ったスリットSLが形成されれば、その形成方法や設計方法等は、特に限定されるものでない。湾曲スリットと固定格子側のスリットの位置関係固定格子G1,G2として平行スリットを使用する場合、図5に示すように、固定格子G1,G2は、対応する回転格子LのスリットSLの湾曲線LINE2の接線LINE3と各スリットSG1,SG2が平行になるように、配置される。本実施形態のような湾曲スリットであれば、固定格子G1,G2の配置位置が多少ずれた場合でも、湾曲スリットのピッチpLの上記変化量が比較的小さいため、平行スリットである固定格子G1,G2と回転格子Lとが平行になる領域を大きく確保することができる。よって、周期信号の検出精度を更に向上させつつ、製造等を非常に容易にすることができる。複数のトラック間の関係における湾曲スリット以上、一のトラックT内の湾曲スリットについて説明した。ここで、複数のトラックTA~TB間の関係における湾曲スリットについて、図2及び図3Aを参照しつつ説明する。本実施形態では、図2に示すように、全てのトラックTA~TCの回転格子LA~LCとそれに対する検出部130A~130Cのマスク120とのギャップgは、ほぼ等しく設定される。一方、回折干渉光学系を形成するには、上記式4又は式5を満たすように、ギャップgに対応したスリットSLのピッチpLを実現することが重要である。そこで、本実施形態では、トラックTAのスリットSLAにおける湾曲度合いCは、図3Aに示すように、そのスリットSLAのピッチpLAが他のトラックTCのスリットSLCのピッチpLCと等しくなるように設定される。更に、トラックTBのスリットSLBにおける湾曲度合いCも、図3Aに示すように、そのスリットSLBのピッチpLBが他のトラックTCのスリットSLCのピッチpLCと等しくなるように設定される。一方、トラックTAの原点検出領域hAにおける領域分割数nAは、トラックTBの原点検出領域hBにおける領域分割数nBと異なる。従って、上記式3からも判るように、トラックTAにおける湾曲度合いCは、トラックTBにおける湾曲度合いCと異なるように設定される。よって、湾曲スリット同士であるトラックTAにおけるピッチpLAと、トラックTBにおけるピッチpLBとをほぼ等しくすることができる。これらの結果、全てのトラックTA~TCにおけるスリットSLA~SLBのピッチpLA~pLCをほぼ一定にすることが可能となる。よって、検出部130A~130Cは、回折干渉光学系をそれぞれ形成しつつ、ギャップgを一定にして配置され得る。このように複数の検出部130A~130Cを一定のギャップgで形成できる場合、検出部130A~130Cのギャップg方向での調整が容易になるばかりか、これら検出部130A~130Cを一体に形成することも可能となる。なお、検出部130A~130Cを一体に形成する場合、それぞれが有するマスク120も一体に1枚のマスクとして形成されてもよい。この場合、設計等の自由度を向上させ、かつ、製造を容易にすることが可能である。1-2-4.位置データ生成部140次に、図2を参照しつつ、エンコーダ100の構成である位置データ生成部140について説明する。位置データ生成部140は、上述の検出部130Cから、正弦波状のインクレ信号を取得する。そして、位置データ生成部140は、これらの信号からモータ部200の位置xを特定し、その位置xを表した位置データを出力する。以下、より具体的に位置データ生成部140による位置xの特定処理の一例について説明する。ここで位置データ生成部140が取得するインクレ信号は、上述の通り、本実施形態では、位相が90°ずれたA相周期信号とB相周期信号との2の周期信号を含む。すなわち、位置データ生成部140は、インクレ信号について、それぞれA相及びB相の2つの正弦波信号を取得する。そして、位置データ生成部140は、A相及びB相の2つの正弦波信号を、インクレ信号に、逓倍処理等を施すことにより、周期内で単調に増加する信号単調に減少する信号でもよい。以下単調増加信号ともいう。を生成する。このように位置データ生成部140は、インクレ信号に基づいて、モータ部200の位置xを特定する。なお、ここで説明した位置データ生成部140における処理は、制御部20で行われてもよいことは言うまでもない。この場合、位置データ生成部140は、位置データとして、正弦波状の各周期信号を制御部20に出力してもよい。1-2-5.原点信号生成部141次に、図2及び図8A~図8Dを参照しつつ、エンコーダ100の残りの構成である原点信号生成部141について説明する。図8A~図8Cは、本実施形態に係るロータリエンコーダが有する原点信号生成部について説明するための説明図である。原点信号生成部141は、上述の検出部130A~130Dから、正弦波状の原点L信号、原点H信号及びインクレ信号を取得する。そして、原点信号生成部141は、これらの信号からモータ部200の原点zを特定し、その原点zを表した原点信号を出力する。以下、より具体的に原点信号生成部141による原点zの特定処理の一例について説明する。ここで原点信号生成部141が取得するインクレ信号は、上述の通り、本実施形態では、位相が90°ずれたA相周期信号とB相周期信号との2の周期信号を含む。すなわち、インクレ信号について、それぞれA相及びB相の2つの正弦波信号を取得する。そして、原点信号生成部141は、A相及びB相の2つの正弦波信号のどちらか一方を使用し処理をおこなう。例えばA相を使用するとして、ここで以下ではインクレ信号のA相信号を単にインクレA信号ともいう。図8Aに、原点L信号の例を示し、図8Bに、原点H信号の例を示し、図8Cに、インクレA信号の例を示し、図8Dに、原点信号の例を示す。図8A~図8Dでは、横軸に機械角角度θを示し、縦軸に各信号Vを示す。なお、原点L信号、原点H信号及びインクレ信号それぞれの出力信号をここではVA,VB,VCともいう。図8Aでは、原点L信号として、回転ディスク110が原点検出領域基準角H以下の所定の角度だけ回転した場合、つまり、原点検出領域hを通過した場合の信号VAの例を示している。図8Bでは、原点H信号として、回転ディスク110が原点検出領域基準角度H以下の所定の角度だけ回転した場合、つまり、原点検出領域hを通過した場合の信号VBの例を示している。図8Cでは、インクレA信号として、回転ディスク110が原点検出領域基準角H以下の所定の角度だけ回転した場合の例、つまり、原点検出領域hを通過した場合の信号VCの例を示している。図8Dでは、原点信号として、回転ディスク110が原点検出領域基準角Hだけ回転した場合、つまり、原点検出領域hの一部を通過した場合の、上記出力信号VA,VB,VCを加算した例を示している。原点L信号、原点H信号、インクレ信号の領域分割数nはそれぞれ1、3、5と奇数倍に設定されており、それに対応した周期数の正弦波を出力する。各トラックTA~TCの測定円Xで繰り返される原点検出領域hでの領域分割数nA~nCは、本実施形態のようにピッチがpG1=2×pL=pG2に設定される場合、このような分解能を実現するために、それぞれ1,3,5分割に設定されることとなる。しかし、これは、あくまで一例であって、各トラックTA~TCの領域分割数nA~nCを限定するものではなく、各トラックTA~TCの領域分割数nA~nCは、それぞれから得られる周期信号に望まれる所望の信号周期数に応じて適宜設定され得る。原点信号生成部141は、このような原点L信号、原点H信号及びインクレA信号を生成し、これらの信号に基づいて、モータ部200の原点zを特定する。より具体的には、図8A~図8Cに示す例の場合、トラックTA~TCの各スリットSLA~SLCは、ディスク110の一回転内の一箇所のみで複数の周期信号の山が一致するように配置されており、原点信号生成部141は、原点L信号、原点H信号及びインクレA信号の3信号を加算する。この加算された信号は、図8Dに示すように、各周期信号の山が一致する位置でピークを形成する。従って、原点信号生成部141は、加算信号のピーク形成位置から、原点信号VZを生成する。そして、原点信号生成部141は、原点信号生成方法の一例として、例えばコンパレータ等の比較器を用いて、加算信号のピークのみを抽出可能な所定の閾値により、加算された信号をデジタル変換することで、原点位置を意味する矩形波、すなわち原点zを表す原点パルス信号を、原点信号Vzとして生成する。その結果、原点信号生成部141は、最外のインクレ検出機構の分解能と同様の分解能において、モータ部200の原点zを特定することが可能となる。そして、原点信号生成部141は、このように特定した原点zを表す原点信号を制御部20に出力する。なお、ここで説明した原点信号生成部141における処理は、制御部20で行われてもよいことは言うまでもない。この場合、原点信号生成部141は、原点信号として正弦波状の各周期信号を制御部20に出力してもよい。1-3.第1実施形態に係るロータリモータシステムの動作次に、本実施形態に係るモータシステム1の動作について説明する。なお、各構成における動作や作用等については、各構成の説明で詳しく説明したので適宜省略して説明する。制御部20は、上位制御装置等から上位制御信号を取得し、更にエンコーダ100から、モータ部200の位置xを表す位置データと、原点zを表す原点信号とを取得する。そして、制御部20は、上位制御信号と位置データと原点信号に基づいて制御信号を生成してモータ部200に出力する。その結果、モータ部200は、この制御信号に基づいて回転シャフト201を回転させる。すると、その回転シャフト201に対応する回転シャフト202に、回転シャフト101を介して連結されたエンコーダ100のディスク110が回転される。一方、各検出部130A~130Cは、このディスク110の回転に応じてそれぞれ信号を検出し、位置データ生成部140と原点信号生成部141に出力する。そして、位置データ生成部140と原点信号生成部141は、取得したこれらの信号に基づいて位置データと原点信号とをそれぞれ生成し、制御部20に出力する。なお、上述の通り、本実施形態に係るエンコーダ100は、モータ部200の高精度な位置xと原点zを検出して、位置データと原点信号として制御部20に供給することができる。従って、このモータシステム1は、その高精度な位置xと原点zに基づいて、モータ部200の位置xを高精度に制御することができる。1-4.第1実施形態に係るロータリエンコーダの製造方法以上、本発明の第1実施形態に係るロータリモータシステムについて説明した。次に、図9を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ100の製造方法について説明する。図9は、本実施形態に係るロータリエンコーダの製造方法について説明するための説明図である。なお、ここでは湾曲スリットの製造方法を中心に説明する。図9に示すように、エンコーダ100の製造方法では、まずステップS101が処理される。このステップS101スリット数決定ステップの一例では、湾曲スリットであるディスク110の1のトラックTの原点検出領域hで得るべき所望の信号周期数が決定される。そして、その周期に応じて、領域分割数n、つまりその原点検出領域hに形成される測定円Xに沿ったスリット本数が設定される。そして、ステップS103に進む。ステップS103放射状線設定ステップの一例では、図7に示すように、ステップS101で決定した数の放射状線LINE1が、原点検出領域hの原点検出領域基準角H内で等角度に、ディスク中心O回転軸AXを中心として設定される。そして、ステップS105に進む。ステップS105湾曲線設定ステップの一例では、スリットSLのピッチpLが所望の値となるように湾曲度合いCが設定される。そして、ステップS103で設定した複数の放射状線LINE1が、設定された湾曲度合いCで同一の周方向に向けて湾曲され、複数の湾曲線LINE2が設定される。この際、複数の湾曲線LINE2が原点検出領域hに含まれるように、ステップS103において放射状線LINE1の設定位置が決定される。なお、例えばトラックTCなどのような放射スリットを製造する場合には、このステップS105では、湾曲度合いCは0湾曲させないことを意味に設定されることになる。このステップS105では、これから形成しようとしているトラックT1のトラックの一例のスリットSLのピッチpLが、既に形成されたトラックT又は後続して形成されるトラックT他のトラックTの一例のスリットSLのピッチpLと等しくなるように、湾曲度合いCが設定されることになる。このステップS105の処理後は、ステップS107に進む。ステップS107スリット形成ステップの一例では、ステップS105で設定した複数の湾曲線LINE2に沿って、所定の幅wで複数のスリットSLが、原点検出領域h内で形成される。そして、ステップS109に進む。ステップS109では、所望の複数の原点検出領域h又はトラックTの全てにスリットSLが形成されたか否かが確認される。そして、スリットSLが未形成の原点検出領域h又はトラックTがあれば、ステップS101以降の処理が繰り返される。一方、全てのスリットSLが形成されていればステップS111に進む。ステップS111マスク配置ステップの一例では、少なくともピッチpLが等しい2以上のトラックT及び原点検出領域hに対して、回転格子Lと固定格子G1,G2との間のギャップgが等しくなるように、マスク120を含む検出部130が配置される。なお、これらの処理と同時にか前後して、回転シャフト101をディスク110に連結する処理、各検出部130と位置データ生成部140及び原点信号生成部141とを連結する処理、各構成をケースに収納して固定又は回転可能に支持する処理等が行われて、エンコーダ100が完成する。ただし、これらの処理についてのここでの詳しい説明は省略する。1-5.第1実施形態に係るロータリエンコーダシステムによる効果の例以上、本発明の第1実施形態に係るロータリエンコーダ、ロータリモータ、ロータリモータシステム、ディスク及びロータリエンコーダの製造方法について説明した。本実施形態に係るエンコーダ100等によれば、少なくとも1の原点検出領域hの複数のスリットSLが、湾曲線LINE2に沿った湾曲スリットとして形成される。この湾曲スリットは、湾曲線LINE2の湾曲度合いCを調整することにより、領域分割数nを所望の値に固定した状態で、ピッチpLを調整することが可能である。従って、設計開発等の自由度を高めることが可能である。また、このエンコーダ100等で使用される湾曲スリットは、その湾曲度合いCに応じた分スリットSL1つ1つの長さを延長することができる。その結果、スリットSLのピッチpLのスリット形成方向における変化量を、低減することができる。このことは、各スリットSLのピッチpLをスリット形成方向で均一化すること、つまり、湾曲スリットである各スリットSLを平行スリットに近づけることが可能であることを意味する。一方、本実施形態に係るエンコーダ100は、この湾曲スリットを利用した回折干渉光学系を利用する。回折干渉光学系では、複数のスリットSLが平行スリットに近いほど、検出信号のS/N比等を向上させることができ、検出精度を向上させることができる。従って、本実施形態に係るエンコーダ100は、湾曲スリットとすることで、複数のスリットSLを平行スリットに近づけることができるので、検出信号のS/N比等を向上させることができ、検出精度を向上させることが可能である。従って、本実施形態に係るエンコーダ100によれば、回折干渉光を使用して、検出精度を向上させつつ、回折干渉光学系を構成する際の設計開発時の制限等を低減して、製造が容易なように設計開発等をおこなうことが可能となる。一方、本実施形態のようにインクレ型エンコーダ100に本実施形態が適用される場合、少なくとも1以上の原点検出領域hを湾曲スリットとすることで、2以上の原点検出領域h及びトラックTにおけるピッチpLを相等しくすることができる。その結果、検出部130つまりマスク120と、原点検出領域h又はトラックTとの間のギャップgを相等しくすることができる。従って、これらの原点検出領域h及びトラックTについて、回折干渉光学系をほぼ同様に設計開発等することが可能であり、また、これらの原点検出領域h及びトラックTに対応する検出部130について同時にギャップgの調整をおこなうことが可能である。従って、設計開発製造等を大幅に容易にすることが可能である。<2.第2実施形態>次に、図10Aを参照しつつ、本発明の第2実施形態に係るロータリモータシステムについて説明する。図10Aは、本発明の第2実施形態に係るロータリエンコーダが有するディスクの構成について説明するための説明図である。上記本発明の第1実施形態では、図3Aに示すように、湾曲スリットとして形成されるトラックTA,TBのトラック半径rが異なった設定rA<rBの場合について説明した。しかし、本発明は、かかる例に限定されるものではなく、トラックTA,TBのトラック半径rを、同一にすることも可能である。そこで、ここでは、本発明の第2実施形態として、トラックTA,TBのトラック半径rが同一に形成された場合の例について説明する。なお、トラックTA,TBのトラック半径rが同一に形成されること以外、本実施形態に係るエンコーダ等は、上記第1実施形態と同様に構成可能であるため、ここでは、第1実施形態との違いについて中心に説明する。図10Aに示すように、本実施形態に係るエンコーダが有するディスク610は、第1実施形態と同様にトラックTAとトラックTBを有する。しかし、トラックTA,トラックTBの形成位置は、図3Aに示した位置とは異なり、トラックTAとトラックTBは周方向に隣接する同一のトラック半径rD位置に形成される。一方、図3Aのようにそれぞれのトラックが径方向に形成されると、トラック幅やトラック数に応じてディスクの径方向に対するトラックの領域が長くなり、ディスク外形の設計開発が制約を受ける場合がある。このような場合、本実施形態のようにトラックTA,TBのトラック半径rを同一に設定することで、ディスクの径方向に対するトラックの領域を短くすることが可能となり、小型なディスク外形の設計開発を容易におこなうことが可能である。なお、本実施形態においても、上記第1実施形態で奏される他の格別な作用効果等を奏することが可能であることは、言うまでもない。<3.第3実施形態>次に、図11Aを参照しつつ、本発明の第3実施形態に係るロータリモータシステムについて説明する。図11Aは、本発明の第3実施形態に係るロータリエンコーダが有するディスクの構成について説明するための説明図である。上記本発明の第1及び第2実施形態では、原点検出機構として、トラックTA,TBのスリットSLA,SLBとして湾曲スリットを使用する場合について説明した。しかしながら、原点検出機構としては、指定のスリットピッチで求められる精度の原点信号の検出が可能であればよいので、湾曲スリットに限定されるものではない。そこで、ここでは、本発明の第3実施形態として、湾曲スリットの代わりに傾斜スリットが使用される場合について説明する。また、スリットSLA,SLB以外の構成は、上記第1又は第2実施形態と同様に構成可能であるため、ここでは、第1及び第2実施形態との違いについて中心に説明する。図11Aに示すように、本実施形態に関わるエンコーダが有するディスク710は図3Aで示したトラックTA,TBの変わりに、トラックTD,TEを有する。本実施形態ではトラックTD,TEは図11に示すように帯状に形成する。各トラックTD,TEにおける原点検出領域hは、同一の周方向幅lDEで設定されるが、異なっていても良い。また、各トラックTD,TEは同一の幅wD,wEで設定される。各トラックTC,TD,TEの幅wC,wD,wEについて同一の幅wに設定されるw=wC=wD=wEが、異なっていても良い。そして、トラックTD,TE,TCは、それぞれ幅wの中心における径方向の位置トラック半径rDD,rEE,rCが異なるように配置される。つまり、ディスク中心Oから外周に向けてトラックTD,TE,TCの順で配置されるrDD<rEE<rC。トラックTD,TEは回転格子LD,LEを有し、それぞれ複数の傾斜スリットSLD,SLEを有する。傾斜スリットSLD,SLEはスリットピッチpLD,pLEで形成される。なお、ピッチpLD,pLEは、スリットSLCのピッチpLCと等しく設定されることが望ましいpL=pLC=pLD=pLE。各傾斜スリットSLD,SLEの本数は、上記第1実施形態等と同様に原点検出が可能な周期数の周期信号が得られるように、設定される。一方、傾斜スリットSLD,SLEの傾斜角度度合いは、各原点検出領域h内に上記の本数のスリットが形成され、かつ、ピッチpLCが上記の値になるように傾斜される。図11では、傾斜スリットPLEの本数は、傾斜スリットPLDの本数よりも多い。従って、両ピッチをピッチpLCで揃えるために、傾斜スリットPLEは、放射状線から傾斜スリットPLDよりも小さな傾斜角度で傾斜して形成される。このように構成されることにより、本実施形態に係る2の回折干渉光学系からも、第1実施形態に示す原点L信号と原点H信号の検出が可能である。そして、本実施形態においても、上記第1実施形態で奏される他の格別な作用効果等を奏することが可能であることは、言うまでもない。なお、本実施形態に係る傾斜スリットは、図9に示す湾曲スリットの製造方法とほぼ同様に形成される。ただし、ステップS105が異なるため、このステップS105について説明する。傾斜スリットを形成する場合、ステップS105では、スリットSLの本数に応じて、そのピッチpLが所望の値となるように傾斜角が設定される。これから形成しようとしている原点検出領域hのスリットSLのピッチpLが、既に形成されたか、若しくは、後続して形成される原点検出領域h若しくはトラックT他のトラックTの一例のスリットSLのピッチpLと等しくなるように、傾斜角が設定されることになる。本実施形態の場合、湾曲スリットを使用せず、単純な傾斜スリットによってトラックが形成されるため、第1及び第2実施形態によるエンコーダ等よりも、ディスクの設計開発が容易である。<4.第4実施形態>最後に、図12Aを参照しつつ、本発明の第4実施形態に係るロータリモータシステムについて説明する。図12Aは、本発明の第4実施形態に係るロータリエンコーダが有するディスクの構成について説明するための説明図である。上記本発明の第1実施形態では、図3Aに示すように、湾曲スリットとして形成されるトラックTA,TBのスリットSLA,SLBの湾曲される向きが、同一の周方向である場合について説明した。しかし、本発明は、かかる例に限定されるものではなく、相隣接するトラック同士つまり原点検出領域同士の湾曲方向を、周方向で逆にすることも可能である。そこで、ここでは、本発明の第4実施形態として、相隣接するトラック同士の湾曲方向が周方向で逆に設定された場合の例について説明する。なお、トラックの湾曲方向が周方向で逆に設定されること以外、本実施形態に係るエンコーダ等は、上記第1実施形態と同様に構成可能であるため、ここでは、第1実施形態との違いについて中心に説明する。図12Aに示すように、本実施形態に係るエンコーダが有するディスク810は、トラックTB少なくとも1のトラックの一例に、図3Aに示した回転格子LBの代わりに回転格子LFを有する。そして、この回転格子LFは、複数のスリットSLFを有する。スリットSLFの湾曲方向は、図3Aに示したスリットSLBと異なり、隣接するトラックTA他のトラックの一例のスリットSLAの湾曲方向と逆の周方向に設定されている。つまり、スリットSLAが、放射状線LINE1を時計回り方向に湾曲させた湾曲線LINE2に沿って形成されるのに対して、このスリットSLFは、これとは逆に、放射状線LINE1を反時計回り方向に湾曲させた湾曲線に沿って形成される。一方、各スリットSLから生じる回折干渉光は、各スリットSLの長手方向に対して略直角な方向に繰り返す干渉縞を形成する。これに対して、湾曲スリットのスリットSLの長手方向は、湾曲されることにより、ディスクの径方向から周方向に近づくこととなる。よって、干渉縞は、隣接するトラックの方向に繰り返すように形成される場合がある。その結果、干渉縞が隣接トラックの回折干渉光学系とクロストークしてしまう恐れがある。また、そのようなクロストークを防ぐために、エンコーダの設計開発が制約を受ける場合がある。このような場合、本実施形態のように相隣接するトラックTA,TBの各スリットSLA,SLFの湾曲方向を互いに逆向きに設定することで、干渉縞が形成される向きを変更することが可能となり、クロストークが生じないような設計開発を容易におこなうことが可能である。なお、本実施形態においても、上記第1実施形態等で奏される他の格別な作用効果等を奏することが可能であることは、言うまでもない。以上、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態について詳細に説明した。しかしながら、本発明の技術的思想の範囲は、ここで説明した実施の形態に限定されないことは言うまでもない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想の範囲内において、様々な変更や修正、組み合わせなどをおこなうことに想到できることは明らかである。従って、これらの変更や修正、組み合わせなどの後の技術も、当然に本発明の技術的思想の範囲に属するものである。"