"第1面と前記第1面の裏側の第2面とを有するとともに、内側に中空領域が形成されることで内縁を有する枠部と、前記枠部の前記中空領域内に設けられ、前記枠部の前記内縁に接続された可撓部と、前記枠部に接着部にて接着され、前記枠部の前記第1面または前記第2面に対向して設けられた支持体と、前記可撓部に設けられた検出部と、を備え、前記枠部の前記接着部と前記可撓部との間には貫通孔が設けられた、慣性力検出素子。前記可撓部は、錘部と、前記枠部と前記錘部との間に接続された梁部と、を有する、請求項1記載の慣性力検出素子。前記梁部は、前記枠部及び前記錘部よりも薄く、前記第1面において前記梁部、前記枠部及び前記錘部は同一面上にあり、前記梁部は前記第2面に表出していない、請求項2記載の慣性力検出素子。前記可撓部は前記枠部と第1接続部にて接続され、前記貫通孔は、前記接着部と前記第1接続部とを結ぶ線上に設けられた、請求項1記載の慣性力検出素子。前記枠部は、前記内縁と前記貫通孔との間に薄肉部を有する、請求項1記載の慣性力検出素子。前記薄肉部は前記枠部の前記中空領域の各辺の両端に設けられた、請求項5記載の慣性力検出素子。前記枠部は4辺を有する方形状であり、前記可撓部は前記枠部の4辺の前記内縁にそれぞれ接続され、前記接着部は前記枠部の対向する2辺にそれぞれ設けられ、前記貫通孔は前記接着部が設けられた前記2辺において、前記接着部と前記可撓部との間に設けられた、請求項1記載の慣性力検出素子。前記貫通孔は、前記接着部が設けられていない2辺にも設けられた、請求項7記載の慣性力検出素子。前記枠部は4辺を有する方形状であり、前記可撓部は前記枠部の4辺の内縁にそれぞれ接続され、前記接着部は前記枠部の4辺にそれぞれ設けられた、請求項1記載の慣性力検出素子。前記枠部は、固定部と、前記固定部に接続された外側梁部と、を有する外枠部と、上面視で方形状の内側梁部と、で構成され、前記貫通孔は、前記内側梁部を囲む第1スリットであり、前記内側梁部と前記可撓部とは、前記外枠部に第1スリットを介して囲まれたセンシング部を構成し、前記外枠部と前記センシング部とは第2接続部で連結され、前記第1スリットは、前記第2接続部を除いて前記センシング部を囲むように形成された、請求項1記載の慣性力検出素子。前記可撓部は、前記内側梁部の対向する辺を繋ぐとともに、前記外側梁部に平行な中央梁部と、前記内側梁部の内側に配置され、前記中央梁部に連結された第1アームと、前記中央梁部に対し前記第1アームと同じ側であって、かつ前記内側梁部の内側に配置され、前記中央梁部に連結されるとともに、前記第1アームと線対称に形成された第2アームと、前記中央梁部に対し前記第1アームと反対側であって、かつ前記内側梁部の内側に配置され、前記中央梁部に連結されるとともに、前記第1アームと線対称に形成された第3アームと、前記中央梁部に対し前記第3アームと同じ側であって、かつ前記内側梁部の内側に配置され、前記中央梁部に連結されるとともに、前記第3アームと線対称に形成された第4アームと、を有し、前記検出部は前記第1アームと、前記第2アームと、前記第3アームと、前記第4アームの上にそれぞれ設けられ、前記第1アームと、前記第2アームと、前記第3アームと、前記第4アームの上にそれぞれ駆動部が設けられた、請求項10記載の慣性力検出素子。前記固定部は前記外側梁部を挟んで対向するように一対で形成され、前記外側梁部は前記固定部を挟んで対向するように一対で形成され、前記第2接続部は、前記外側梁部と前記内側梁部とが平行な2箇所に、形成された、請求項10記載の慣性力検出素子。互いに直交するX軸、Y軸、Z軸において、前記慣性力検出素子はX軸とY軸とからなるXY平面に延伸するように形成され、前記検出部は、Z軸周りの角速度検出部であり、前記内側梁部の、前記固定部に平行な辺上に形成されたX軸周りの角速度検出部をさらに備えた、請求項12記載の慣性力検出素子。前記X軸周りの角速度検出部に隣接して、前記内側梁部に第2スリットが形成された、請求項13記載の慣性力検出素子。前記第2スリットは、前記X軸周りの角速度検出部よりも前記内側梁部の頂点側に形成された、請求項14記載の慣性力検出素子。前記第2スリットは上面視で、上底と前記上底より長い下底と前記上底と前記下底とを繋ぐ斜辺とを有する直角台形形状であり、前記下底が前記内側梁部の幅方向において外側になるよう形成され、前記斜辺が前記内側梁部の頂点側に形成された、請求項15記載の慣性力検出素子。互いに直交するX軸、Y軸、Z軸において、前記慣性力検出素子はX軸とY軸とからなるXY平面に延伸するように形成され、前記検出部は、Z軸周りの角速度検出部であり、前記内側梁部の、前記外側梁部に平行な辺上に形成されたY軸周りの角速度検出部をさらに備えた、請求項12記載の慣性力検出素子。前記Y軸周りの角速度検出部に隣接して、前記内側梁部に第2スリットが形成された、請求項17記載の慣性力検出素子。前記第2スリットは、前記Y軸周りの角速度検出部よりも前記内側梁部の頂点側に形成された、請求項18記載の慣性力検出素子。前記第2スリットは上面視で、上底と前記上底より長い下底と前記上底と前記下底とを繋ぐ斜辺とを有する直角台形形状であり、前記下底が前記内側梁部の幅方向において外側になるよう形成され、前記斜辺が前記内側梁部の頂点側に形成された、請求項19記載の慣性力検出素子。請求項1記載の慣性力検出素子と、前記慣性力検出素子の前記検出部より出力された信号を受けて処理する検出回路と、を備えた、慣性力センサ。実施の形態1図1は、本発明の実施の形態1における慣性力検出素子105の上面図である。図2は、図1における2-2線における断面図である。慣性力検出素子105は、枠部106と、可撓部107と、上蓋である上支持体110Aと、下支持体110Bとを有する。枠部106は上面第1面と上面の裏側の下面第2面とを有するとともに、内側に中空領域106Aが形成されることで内縁106Bを有する。可撓部107は中空領域106Aの内側に設けられ、内縁106Bに接続されている。上支持体110Aは接着部108にて枠部106に接着され、枠部106の上面に対向している。また、枠部106は下面に設けられた第2の接着部108Uにより下支持体110Bに接着されている。枠部106の接着部108と可撓部107との間には貫通孔109が設けられている。より具体的には貫通孔109は上面視でL字型のスリットであり枠部106の上面から下面まで貫通している。接着部108の厚みにより、図2に示すように枠部106と上支持体110Aとは離間し、第2の接着部108Uの厚みにより枠部106と下支持体110Bとは離間している。この構成により、枠部106と上支持体110Aとを接着する際の応力を緩和することができ、可撓部107に蓄積される残留応力を軽減することができる。その結果、慣性力検出素子105の感度の経時変化を抑制することができる。以下、各構成要素について説明する。枠部106は4辺を有する方形状であり、中心部に中空領域106Aが設けられている。なお、枠部106は方形状以外の形状であってもよい。可撓部107は、4つの梁部107Aと、錘部107Bと、4つの補助錘部107Cとを有する。4つの梁部107Aはそれぞれ、錘部107Bと枠部106との間に接続されている。すなわち、4つの梁部107Aはそれぞれ、一端が内縁106Bの四辺の中央部に接続され、他端が錘部107Bに接続されている。また、4つの補助錘部107Cはそれぞれ、錘部107Bから中空領域106A内に延出するように形成されている。枠部106、梁部107A、錘部107B及び補助錘部107Cは、種々の材料を用いて形成することができる。好ましくは、シリコンを用いて枠部106、梁部107A、錘部107B及び補助錘部107Cを形成することにより、微細加工技術を用いて小型の慣性力検出素子を作製することができる。また、図2に示すように、梁部107Aは、枠部106、錘部107B及び補助錘部107CよりもZ軸方向の厚みが薄く形成されていることが好ましい。この場合、上面において梁部107A、枠部106、錘部107B及び補助錘部107Cは同一面上にあり、梁部107Aは下面に表出していない。このように梁部107Aを薄く形成することにより、梁部107Aが撓みやすくなり、外部から与えられた慣性力によって錘部107B及び補助錘部107Cが変位し易くなる。また、枠部106、錘部107B及び補助錘部107Cは同じ厚さとすることにより、加工工程を簡略化することができる。また、錘部107B及び補助錘部107Cの質量を大きくすることができ、慣性力検出素子105の感度を向上させることができる。上支持体110Aは、静電容量方式により慣性力検出素子105の駆動或いは慣性力の検出を行う際の対向基板として用いることができる。この場合、可撓部107の上面に下部電極を設け、対向基板としての上支持体110Aの下面に上部電極を設ければよい。これらの上部電極及び下部電極を駆動電極として用いる場合、上部電極と下部電極の間に電圧を印加することにより、可撓部107をZ軸方向に変位させることができる。また、上部電極及び下部電極を検出電極として用いる場合は、上部電極と下部電極との電位差を検出することにより、慣性力による可撓部107の変位量を検出し、この変位量に基づいて慣性力検出素子105に外部から与えられた慣性力を検出することができる。なお過大な衝撃が印加された場合には、可撓部107がZ軸方向に過大な変位を生じて不可逆的な変形をしそうになる。このような場合、上支持体110Aがこの不可逆的な変形を防止する。すなわち、上支持体110Aは、ストッパーとしても機能する。接着部108には、エポキシ系樹脂やシリコーン系樹脂等の接着剤が用いられる。接着部108を加熱して接着剤を硬化させる際に、接着剤自身の硬化や枠部106と上支持体110Aとの線膨張係数の差に起因する応力が発生する。そのため、この応力が梁部107Aに残留応力として蓄積され、慣性力検出素子105の感度の経時変化の原因となる。また、この残留応力のばらつきに起因して、慣性力検出素子105の感度の経時変化のばらつきの原因となる。なお、接着部108にシリコーン系樹脂を用いることにより、接着剤自身の硬化による応力を小さくすることができる。なお、上支持体110Aとして枠部106と異なる材料を用いた場合には、接着部108を加熱した際にパッケージと枠部106との線膨張係数の差に起因する応力が発生する。そのため、可撓部107に蓄積される残留応力はさらに大きくなる。貫通孔109は、接着部108と可撓部107との間に設けられている。そのため、貫通孔109は、接着部108を加熱して硬化させる際に発生する応力が可撓部107に伝わることを抑制することができる。図1に示す慣性力検出素子105においては、4つの梁部107Aの一端はそれぞれ、枠部106の四辺の内縁106Bの中央部に接続されている。また、接着部108が枠部106の4つの角部に設けられている。この構成では、枠部106と上支持体110Aとを接着する際の応力は、1つの接着部108に近接する2つの梁部107Aに伝わる。したがって、この1つの接着部108の付近に角部を有し、近接する2つの梁部107Aに向かって伸びるように貫通孔109を形成することが好ましい。このような位置および形状により、接着部108から梁部107Aに伝わる応力を効果的に軽減することができる。図3は、図1の点線で囲った部分3の部分拡大図である。貫通孔109の幅をW11、枠部106と補助錘部107Cとの間隙部111の幅をW12とすると、W11=W12とすることが好ましい。これにより、同じエッチングレートで貫通孔109及び枠部106と補助錘部107Cとの間隙部111を形成することができる。そのため、幅W11及び幅W12のばらつきを小さくすることができ、慣性力検出素子105の感度ばらつきを小さくすることができる。図4は、慣性力検出素子105の一例として、加速度を検出する加速度検出素子112の構成例を示す上面図であり、図5A~図5Cは加速度を検出する回路例を示している。図4において、加速度検出素子112は、錘部107Bから見てX軸の負側に設けられた梁部1107Aにおいて、枠部106側の端に歪抵抗RX1、RZ4を有し、錘部107B側の端に歪抵抗RX2、RZ3を有している。また、錘部107Bから見てX軸の正側に設けられた梁部207Aにおいて、枠部106側の端に歪抵抗RX4、RZ2を有し、錘部107B側の端に歪抵抗RX3、RZ1を有している。また、錘部107Bから見てY軸の正側に設けられた梁部307Aにおいて、枠部106側の端には歪抵抗RY1が設けられ、錘部107B側の端には歪抵抗RY2が設けられている。また、錘部107Bから見てY軸の負側に設けられた梁部407Aにおいて、枠部106側の端には歪抵抗RY4が設けられ、錘部107B側の端には歪抵抗RY3が設けられている。なお、歪抵抗RX1~RX4、RY1~RY4及びRZ1~RZ4として、イオン注入型の半導体ピエゾ抵抗素子を用いてもよいし、金属酸化物の歪抵抗薄膜素子を用いてもよい。歪抵抗RX1~RX4、RY1~RY4及びRZ1~RZ4は可撓部107に設けられた検出部である。図5AはX軸方向の加速度を検出する場合の回路例である。RX1~RX4をブリッジ接続し、対向する一対の接続点間に電圧Eを印加する。そして残りの一対の接続点間に設けた電圧検出部113の検出電圧により、X軸方向の加速度を検出することができる。図5BはY軸方向の加速度を検出する場合の回路例である。RY1~RY4をブリッジ接続し、対向する一対の接続点間に電圧Eを印加する。そして残りの一対の接続点間に設けた電圧検出部114の検出電圧により、Y軸方向の加速度を検出することができる。図5CはZ軸方向の加速度を検出する場合の回路例である。RZ1~RZ4をブリッジ接続し、対向する一対の接続点間に電圧Eを印加する。そして残りの一対の接続点間に設けた電圧検出部115の検出電圧により、Z軸方向の加速度を検出することができる。以上のように、加速度検出素子112では、外部から与えられた加速度によって錘部107B及び補助錘部107Cが変位し、これにより梁部1107A、207A、307A、407Aに歪が生じる。この歪を検出することにより、加速度検出素子112に印加された加速度を検出することができる。なお、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向の加速度を検出できる原理については例えば、特開2008-224294号公報に開示されている。電圧検出部113、114、115は、慣性力検出素子である加速度検出素子112の検出部より出力された信号を受けて処理する検出回路の一部を構成している。加速度検出素子112の接着部108と可撓部107との間には貫通孔109が設けられている。そのため、枠部106と上支持体110Aとを接着する際の応力が梁部1107A~407Aに蓄積されにくく、加速度検出素子112の感度の経時変化を抑制することが可能となる。図6A、図6Bは加速度検出素子112の感度の経時変化を示したグラフである。図6Aにおいて横軸は時間、縦軸はX軸の感度変化[]を示している。特性116は加速度検出素子112に貫通孔109を設けない場合のX軸の感度変化であり、特性117は加速度検出素子112に貫通孔109を設けた場合のX軸の感度変化である。貫通孔109を設けない場合の特性116では、数100時間程度経過するとX軸の感度が2程度の経時変化をするのに対し、貫通孔109を設けた場合の特性117では、X軸の感度はほとんど変化しない。このように、貫通孔109を設けたことにより、X軸の感度の経時変化を抑制できたことが分かる。同様に、図6BはZ軸の感度の経時変化を示している。特性118は加速度検出素子112に貫通孔109を設けない場合のZ軸の感度変化であり、特性119は加速度検出素子112に貫通孔109を設けた場合のZ軸の感度変化である。貫通孔109を設けない場合の特性118では、Z軸の感度が数100時間程度経過すると7程度の経時変化をするのに対し、貫通孔109を設けた場合の特性119では、Z軸の感度はほとんど変化していない。このように、貫通孔109を設けたことにより、Z軸の感度の経時変化を抑制できたことが分かる。なお、Y軸の感度の時間変化については図示していないが、同様に、貫通孔109により感度の経時変化を抑制することができる。なお、図4及び図5A~図5Cを用いて加速度を検出する例を説明したが、本発明は加速度検出素子に限定されない。角速度や角加速度など、可撓部107の撓みを利用して外部から与えられた慣性力を検出するセンサであれば、接着部108と可撓部107との間に貫通孔109を設けることにより、慣性力を検出する感度の経時変化を抑制する効果を奏することが可能である。次に、接続部、貫通孔の好ましい配置や形状について、図7~図9を参照しながら説明する。図7~図9はそれぞれ、本実施の形態における他の慣性力検出素子の上面図である。以下、特徴部分について、図1に示す慣性力検出素子105との相違点を中心に説明する。図7に示す慣性力検出素子120において、上支持体110Aは、点線で示すように、枠部106よりも幅が狭い形状を有する。この構成により、枠部106において、上支持体110Aの短辺方向の端部106C、106Dは、上支持体110Aに覆われてない。したがって、端部106C、106DにPAD電極図示せずを設け、パッケージ図示せずやIC図示せずとの接続を行うことができる。この構成の場合、接着部108は枠部106において、上支持体110Aの長辺に沿った方向の両端に位置する辺106E、106Fに設けられる。すなわち、図7の構成では、枠部106は4辺を有する方形状であり、可撓部107は枠部106の4辺の内縁106Bにそれぞれ接続されている。接着部108A~108Dは枠部106の対向する2辺にそれぞれ設けられ、貫通孔109は接着部108A~108Dが設けられた2辺において、接着部108A~108Dのそれぞれと可撓部107との間に設けられている。ここで、接着部108A、108Bは辺106Eに設けられ、接着部108C、108Dは辺106Fに設けられているものとする。また、可撓部107が辺106Eと接続する位置を接続部107Eとし、可撓部107が辺106Fと接続する位置を接続部107Fとする。貫通孔109は、接着部108A、108Bと接続部107Eとを結ぶ線A、B上に設けることが望ましい。この構成により、接着部108A、108Bから接続部107Eを介して可撓部107に伝わる応力を効果的に軽減することができる。さらに、線A、Bを共に仕切るように直線状に貫通孔109を設けることにより、簡易な構成で貫通孔109を形成することができる。同様に、貫通孔109は、接着部108C、108Dと接続部107Fとを結ぶ線C、D上に設けることが望ましい。この構成により、接着部108C、108Dから接続部107Fを介して可撓部107に伝わる応力を効果的に軽減することができる。さらに、線C、Dを共に仕切るように直線状に貫通孔109を設けることにより、簡易な構成で貫通孔109を形成することができる。次に図8に示す慣性力検出素子121について説明する。慣性力検出素子121では、図7に示す慣性力検出素子120に加え、枠部106において、上支持体110Aの短辺に沿った方向の端部106C、106Dにも、貫通孔109が設けられている。すなわち、貫通孔109は、接着部108A~108Dが設けられていない2辺にも設けられている。このように、貫通孔109をX軸及びY軸に対して対称に設けることにより、可撓部107のX軸方向の撓みとY軸方向の撓みを同等にすることができ、X軸方向の感度とY軸方向の感度の差を小さくすることができる。次に図9に示す慣性力検出素子122について説明する。慣性力検出素子122では、図8に示す慣性力検出素子121に加え、接着部108が枠部106の四辺の中央部に設けられている。すなわち、枠部106は4辺を有する方形状であり、可撓部107は枠部106の4辺の内縁106Bにそれぞれ接続され、接着部108は枠部106の4辺にそれぞれ設けられている。この構成の場合、貫通孔109は、枠部106の四辺において、接着部108と可撓部107との間に設けることにより、接着部108から可撓部107に伝わる応力を軽減することができる。なお図7~図9の構成において、上支持体110Aの大きさに係らず、接着部や貫通孔の位置、形状による効果は発揮される。すなわち、上面視における上支持体110Aの外形は枠部106の外形と同等であってもよい。次に、接続部、貫通孔の好ましい別の配置や形状について、図10~図12を参照しながら説明する。図10は、慣性力検出素子123の、下支持体110Bを除いた状態の下面図である。以下、特徴部分について、慣性力検出素子105、120~122との相違点を中心に説明する。慣性力検出素子123においては、図8に示す慣性力検出素子121と比べて、枠部106の内縁106Bと貫通孔109との間の内枠部106Gに薄肉部106Hが設けられている。すなわち、内枠部106Gのうち、薄肉部106Hの厚みZ軸方向の長さは枠部106の他の部分の厚みよりも薄く、枠部106の薄肉部106H以外の部分の厚みは同じになっている。このように内枠部106Gに薄肉部106Hを設けることにより、接着部108から可撓部107に伝わる応力を更に軽減することができる。なお、図10においては、薄肉部106Hは内枠部106Gの中央に設けているが、中央に限らず、どの位置に設けても応力を軽減する効果が得られる。また、薄肉部106Hの厚みを梁部107Aの厚みと同じとすることが望ましい。この構成により、慣性力検出素子123の製造時において、薄肉部106Hと梁部107Aとを同一のエッチングで形成することができる。なお、内枠部106Gの中央部に薄肉部106Hを設けることにより、接着部108から可撓部107に伝わる応力を更に軽減することができるものの、Z軸方向の加速度の感度が低下する。そこで、薄肉部の最適配置について検討した結果を説明する。図11A~図11Dは本発明の実施の形態1におけるさらに他の慣性力検出素子の、下支持体を除いた状態の下面図である。図12は図11A~図11Dに示す慣性力検出素子のZ軸方向の感度比を相対値で示すグラフである。図11Aは、図8に示す慣性力検出素子121の、下支持体を除いた状態の下面図であり、薄肉部106Hが設けられていない。図11Bは、図10に示す慣性力検出素子123を示しており、内枠部106Gの中央部に薄肉部106Hが設けられている。図11Cは、内縁106Bと貫通孔109との間の部分を全て薄肉部106Hとした構成の慣性力検出素子123Cを示している。図11Dは内枠部106Gの両端に薄肉部106Hを設けた構成の慣性力検出素子123Dを示している。図12に示すように、図11Aに示す慣性力検出素子121のZ軸方向の感度が一番良好であるが、薄肉部106Hを設けていないため、接着部108から可撓部107に伝わる応力の低減効果が小さい。慣性力検出素子123、123C、123Dを比較すると、図12に示すように、慣性力検出素子123DのZ軸方向の感度が一番大きい。これは、内枠部106Gにおいて、梁部107Aが接続される部分が厚いほど、梁部107Aの撓み量が大きくなるためであると考えられる。以上より、図11Dに示すように、内枠部106Gの両端に薄肉部106Hを設けた構成とすることにより、接着部108から可撓部107に伝わる応力を低減して感度の経時変化を抑制するとともに、Z軸方向の感度を大きくすることができる。なおこのように配置された薄肉部を図1、図7、図9に示す慣性力検出素子に適用してもよい。すなわち、枠部106は、内縁106Bと貫通孔109との間に薄肉部106Hを有することが好ましく、薄肉部106Hは枠部106の中空領域106Aの各辺の両端に設けられていることがさらに好ましい。なお、以上の説明では、枠部106の上面に対向配置された上支持体110Aが、接着部108にて枠部106に接着された例について説明した。これ以外に、枠部106の下面第2面に対向配置された下支持体110Bが、接着部108にて枠部106に接着されていてもよい。このような構成について図13を参照しながら簡単に説明する。図13は本発明の実施の形態1における他の慣性力検出素子105Aの断面図である。図1に示す慣性力検出素子105との違いは、上支持体110Aの代わりに枠部106の下面第2面に対向配置された下支持体110Bが、接着部108にて枠部106に接着されている点である。このように構成しても、慣性力検出素子105と同様の効果を奏する。また、図4に示す加速度検出素子、図7~図10、図11Dに示す慣性力検出素子の構造を適用することもでき、同様の効果を奏する。なお、この場合、図13に示すように、上支持体110Aを設けなくてもよい。この場合、慣性力検出素子105Aの上側は、直接に慣性力検出素子105Aに接触しない、例えば金属製のキャップで覆ってもよい。実施の形態2図14Aは、本発明の実施の形態2による慣性力検出素子である角速度検出素子16の上面図である。図14Bは角速度検出素子16の14B-14B線における断面図である。角速度検出素子16は、固定部17A、17Bと、固定部17A、17Bに接続された外側梁部18A、18Bで構成された外枠部を有する。さらに角速度検出素子16は、この外枠部に第1スリット80A、80Bを介して囲まれたセンシング部と、外枠部とセンシング部とを連結した接続部19A、19Bとを有する。第1スリット80A、80Bは、接続部19A、19Bを除いてセンシング部を囲むように形成されている。センシング部は、内側梁部20Aと、中央梁部20Bと、第1アーム21、第2アーム22、第3アーム23、第4アーム24以下、アーム21~24と、駆動部29~36と、検出部41~48とを有する。センシング部はさらに、第1アーム21、第2アーム22、第3アーム23、第4アーム24のそれぞれの端部に設けられた錘25~28を有する。内側梁部20Aは上面視で方形状である。中央梁部20Bは内側梁部20Aの対向する辺を繋ぐとともに、外側梁部18Aに平行に形成されている。アーム21~24は内側梁部20Aの内側に配置され、中央梁部20Bに連結されている。すなわち、固定部17A、17Bと、外側梁部18A、18Bと、内側梁部20Aとは、上面第1面と下面第2面とを有するとともに、内側に中空領域12が形成されることで内縁14を有する枠部を構成している。図14Bに示すように、この枠部の下面に対向するように、下支持体110Bが設けられている。下支持体110Bは固定部17A、17Bに接着部108にて接着されている。中央梁部20B、アーム21~24、錘25~28は、枠部の中空領域12内に設けられ、枠部の内縁14に接続された可撓部を構成している。内側梁部20Aを囲む第1スリット80A、80Bは、枠部の接着部108と可撓部との間に設けられた貫通孔である。なお図14Aにおいて、接着部108は外枠部の四隅に設けられているが、固定部17A、17Bに沿って外側梁部18Aから外側梁部18Bにかけて長く形成されていてもよい。さらに、外側梁部18A、18Bに沿って接着部108を形成してもよい。アーム22は中央梁部20Bに対しアーム21と同じ側にあって、かつアーム21と線対称に形成されている。すなわち、中央梁部20Bに直交するC軸を中心に、アーム22はアーム21と線対称に形成されている。C軸はY軸に平行である。アーム23は中央梁部20Bに対しアーム21と反対側にあって、かつアーム21と線対称に形成されている。すなわち、中央梁部20Bの中心を通るD軸を中心に、アーム23はアーム21と線対称に形成されている。D軸はX軸に平行である。アーム24は中央梁部20Bに対しアーム23と同じ側にあって、かつアーム23と線対称に形成されている。すなわち、C軸を中心に、アーム24はアーム23と線対称に形成されている。このように、アーム21、22はY軸の正方向に延出し、アーム23、24はY軸の負方向に延出している。駆動部29、30と検出部41、42は、アーム21の上に設けられている。駆動部31、32と検出部43、44は、アーム22の上に設けられている。駆動部33、34と検出部45、46は、アーム23の上に設けられている。駆動部35、36と検出部47、48は、アーム24の上に設けられている。駆動部29~36はアーム21~24をX軸方向に駆動させるために設けられている。検出部41~48はアーム21~24に設けられた錘25~28のY軸方向への変位又はZ軸方向への変位を検出する。またアーム21~24のそれぞれの中央梁部20Bとの連結位置近傍にはアーム21~24のX軸方向への変位を検出するモニタ部37~40が設けられている。モニタ部37~40はアーム21~24のX軸方向への変位を検出する。次に、各構成要素について説明する。固定部17A、17Bは、外側梁部18A、18Bを支持している。すなわち、固定部17A、17Bは、Y軸と平行に形成され、両端が外側梁部18A、18Bに接続されることにより外側枠体を形成している。固定部17A、17Bは角速度検出素子16を格納するパッケージ図示せずに別の支持部材や接着剤等を用いて固定される。なお、固定部17A、17Bの外縁部には複数の電極パッド図示せずが設けられている。これらの電極パッドは、駆動部29~36、モニタ部37~40及び検出部41~48と配線図示せずにより電気的に接続されている。内側梁部20Aは、Y軸に平行な二辺とX軸に平行な二辺で構成され、内側枠体を形成している。これにより、内側梁部20AのY軸に平行な二辺は、Z軸方向に撓むことができる。また、内側梁部20AのY軸に平行な二辺は、Y軸に平行な軸Cに関して、略対称となるように形成されている。これにより、角速度検出素子16に与えられた角速度に対して、内側梁部20AのY軸に平行な二辺は、略同一の振幅で撓む。内側梁部20AのX軸に平行な二辺はそれぞれ、接続部19A、19Bで外側梁部18A、18Bに、略中央で接続されている。中央梁部20Bは、X軸と平行に形成され、内側梁部20AのY軸に平行な二辺の略中点に接続されている。これにより、中央梁部20Bは、Z軸方向に撓むことができる。アーム21は中央梁部20Bに接続された一端からY軸の正方向に延出し、第1関節からX軸の正方向に伸び、第2関節からY軸方向の負方向に伸びた略J字形状を有する。さらに、他端には錘25が形成されている。アーム22は中央梁部20Bに接続された一端からY軸の正方向に延出し、第1関節からX軸の負方向に伸び、第2関節からY軸方向の負方向に伸びた略J字形状を有する。さらに、他端には錘26が形成されている。アーム23は中央梁部20Bに接続された一端からY軸の負方向に延出し、第1関節からX軸の正方向に伸び、第2関節からY軸方向の正方向に伸びた略J字形状を有する。さらに、他端には錘27が形成されている。アーム24は中央梁部20Bに接続された一端からY軸の負方向に延出し、第1関節からX軸の負方向に伸び、第2関節からY軸方向の正方向に伸びた略J字形状を有する。さらに、他端には錘28が形成されている。アーム21~24はそれぞれ、略方形の錘25~28の一辺の中央から内部に突出して錘25~28に連結されている。アーム21~24は、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に撓むことができる。また、アーム21とアーム22とは、Y軸と平行な軸Cに関して対称に形成されている。アーム23とアーム24とは、Y軸と平行な軸Cに関して対称に形成されている。アーム21とアーム23とは、X軸と平行な軸Dに関して対称に形成されている。アーム22とアーム24とは、X軸と平行な軸Dに関して対称に形成されている。このように軸C及び軸Dに関して対称に形成することにより、角速度検出素子16に与えられた角速度に対して、アーム21~24は、略同一の振幅で撓む。固定部17A、17B、外側梁部18A、18B、内側梁部20A、中央梁部20B及びアーム21~24は、水晶、LiTaO3又はLiNBO3等の圧電材料を用いて形成されている。あるいはシリコン、ダイヤモンド、溶融石英、アルミナ又はGaAs等の非圧電材料を用いて形成してもよい。特に、シリコンを用いることにより、微細加工技術を用いてこれらを非常に小型に形成することが可能となるとともに、回路等のICと一体に形成することも可能となる。固定部17A、17B、外側梁部18A、18B、内側梁部20A、中央梁部20B及びアーム21~24は、それぞれ異なる材料又は同一の材料から形成した後に組み立てて形成しても良いし、同一の材料を用いて一体に形成しても良い。同一の材料を用いて一体に形成する場合は、ドライエッチング又はウエットエッチングを用いることにより、固定部17A、17B、外側梁部18A、18B、内側梁部20A、中央梁部20B及びアーム21~24を同一プロセスで形成することができる。そのため、これらを効率的に製造することができる。図15は、駆動部29、30の概略構成を示す断面図であり、図14Aにおける線15における断面を示している。駆動部29はピエゾ素子29Bを下部電極29Aと上部電極29Cとで挟んで形成され、駆動部30はピエゾ素子30Bを下部電極30Aと上部電極30Cとで挟んで形成されている。駆動部29、30は互いに平行に、アーム21の上面に設けられている。下部電極29A、30A及び上部電極29C、30Cは、白金Pt、金Au、アルミAl又はこれらを主成分とした合金又は酸化物で形成されている。なお、下部電極29A、30AとしてPtを用いることが望ましい。これにより、ピエゾ素子29B、30Bを構成するチタン酸ジルコン酸鉛PZTを一方向に配向させることができる。また、上部電極29C、30Cとして、Auを用いることが望ましい。これにより、抵抗値の経時劣化が少ないため、角速度検出素子16の信頼性が向上する。下部電極29A、30Aはともに基準電位となっており、上部電極29C、30Cに交流の駆動電圧を印加することにより、アーム21をX軸方向に振動させることができる。なお、下部電極29A、30A及び上部電極29C、30Cにともに交流の駆動電圧を印加してもよい。これにより、駆動効率を改善することができる。駆動部31~36も駆動部29、30と同様の構造によりアーム22~24の上面にそれぞれ設けられている。なお図14Aに示すように、駆動部29~36を略J字形状のアーム21~24における錘25~28の側に設けることが好ましい。この配置により、アーム21~24における中央梁部20Bの側の面積を検出部41~48のために確保することができる。一方、駆動部29~36をアーム21~24における中央梁部20Bの側に設けた場合は、駆動部29~36の駆動効率を改善することができるとともに、大きな面積とすることができる。そのため、アーム21~24の振幅を大きくすることができ、角速度検出素子16の感度を改善することができる。図16は、駆動部29~36に与えられる駆動信号の位相と、アーム21~24の振動の位相との関係を示している。駆動部29、31、33、35には同位相の駆動信号が与えられ、駆動部30、32、34、36にはこれと逆位相-の駆動信号が与えられる。これにより、アーム21とアーム23とは同位相でX軸方向に振動し、アーム22とアーム24とはこれと逆位相-でX軸方向に振動する。モニタ部37~40は、アーム21~24のX軸方向への変位を検出する。本実施の形態においては、モニタ部37~40は図15に示す駆動部29、30と同様にピエゾ素子を用いた圧電方式で構成されているが、電極間の静電容量を利用した静電方式を用いることもできる。モニタ部37~40は、アーム21~24の上面に設けられている。また、図16に示すアーム21~24の振動の位相に対して、モニタ部37~40は、同位相のモニタ信号が得られる位置に設けられている。なお、モニタ部37~40は、図14Aに示すように、略J字形状のアーム21~24における中央梁部20Bの側に設けることにより、小さな面積で効率よく歪を検出することが可能となる。なお、検出部41~48のための面積を確保するため、モニタ部37~40の面積は検出部41~48よりも小さくすることが望ましい。検出部41~48は、アーム21~24のY軸方向への変位又はZ軸方向への変位を検出する。検出部41~48は図15に示す駆動部29、30と同様にピエゾ素子を用いた圧電方式で構成されているが、電極間の静電容量を利用した静電方式を用いることもできる。検出部41~48は、アーム21~24の上面に設けられている。なお、検出部41~48は、図14Aに示すように、略J字形状のアーム21~24における中央梁部20Bの側に設けることにより、検出部41~48の検出効率を改善することができるとともに、大きな面積とすることができる。そのため、角速度検出素子16の感度を改善することができる。一方、検出部41~48をアーム21~24における錘25~28の側に設けた場合は、アーム21~24における中央梁部20Bの側の面積を駆動部29~36のために確保することができる。検出部41、42と検出部43、44とは、Y軸と平行な軸Cに関して対称に設けられ、検出部45、46と検出部47、48とは、軸Cに関して対称に設けられている。そして、検出部41、42と検出部45、46とは、X軸と平行な軸Dに関して対称に設けられ、検出部43、44と検出部47、48とは、軸Dに関して対称に設けられている。このように検出部41~48をC軸及びD軸に対称に設けることにより、加速度や衝撃等の外乱に起因する不要信号を相殺することができ、角速度の検出精度を改善することができる。また、第1スリット80A、80Bが、接続部19A、19Bを除いてセンシング部を囲むように形成されている。すなわち、センシング部は接続部19A、19Bで吊られている。そのため、固定部17A、17Bや外側梁部18A、18Bに応力が印加され、角速度検出素子16がX軸方向に引っ張られたり、あるいは固定部17A、17Bや外側梁部18A、18Bが曲げられたりしても、その応力はセンシング部に伝わりにくい。そのため、センシング部に対する外部応力の影響を緩和することができる。したがって角速度検出素子16の外部から応力が印加されても検出部41~48からの出力の変動が小さくなる。具体的には、角速度検出素子16の大きさが2.5×2.5mm程度で基材が150μm厚のシリコンSiで構成されている場合、センシング部における応力の影響は1/3程度になる。この効果は、検出部41~48の配置に依る効果とは独立して発揮される。以下、角速度検出素子16と接続される駆動回路及び検出回路について説明し、検出部41~48をC軸及びD軸に対称に設けることによる、角速度の検出精度の改善効果について説明する。図17は、角速度検出素子16と駆動回路50との接続関係を示した図である。固定部17A、17Bに設けられた電極パッドの一部である電極パッド49A~49Hは、それぞれ駆動部29~36と電気的に接続されている。また電極パッド49J~49Mは、それぞれモニタ部37~40と電気的に接続されている。電極パッド49J~49Mから出力されたモニタ信号は結線され、IV変換アンプ51で電圧に変換された後、AGCAutoGainControl52で一定振幅の電圧に調整される。さらに、フィルタ53で不要周波数成分を除去した後、ドライブアンプ54で反転増幅されて電極パッド49B、49D、49F、49Hに供給されている。また、ドライブアンプ54から出力された駆動信号は、ドライブアンプ55で反転増幅されて電極パッド49A、49C、49E、49Gに供給されている。この構成により、駆動回路50は、図16に示す位相の駆動信号を駆動部29~36に与え、アーム21~24を図16に示す位相で振動させることができる。図18、図19は、角速度検出素子16に角速度が加わった場合の挙動を示す上面図である。図18は、Z軸周りの角速度を検出する場合を示している。角速度検出素子16には、駆動回路50から駆動部29~36に対して駆動信号が与えられることにより、X軸方向の固有の駆動振動周波数で駆動振動56が発生する。角速度検出素子16にZ軸周りの角速度57が与えられると、錘25~28にY軸方向のコリオリの力が発生し、検出振動58が発生する。錘25~28にY軸方向の検出振動58が発生する結果、アーム21~24はX軸方向に振動する。なお、アーム21、23とアーム22、24とは、逆位相で駆動振動しているため、アーム21、23の検出振動とアーム22、24の検出振動とは逆位相となる。検出振動58により検出部41~48から出力される検出信号は、駆動振動56と同じ周波数で、かつ、角速度57に依存した振幅を有する。したがって、この検出信号の大きさを測定することにより、角速度57の大きさωzを検出することができる。図19は、Y軸周りの角速度を検出する場合を示している。Y軸周りの角速度59が入力されると、コリオリの力により錘25~28にZ軸方向の検出振動60が発生する。なお、アーム21、23とアーム22、24とは、逆位相で駆動振動しているため、アーム21、23の検出振動とアーム22、24の検出振動とは逆位相となる。検出振動60により検出部41~48から出力される検出信号は、駆動振動56と同じ周波数で、かつ、角速度59に依存した振幅を有する。したがって、この検出信号の大きさを測定することにより、角速度59の大きさωyを検出することができる。図20は、角速度検出素子16の検出部41~48から出力される信号の位相を示す図である。ここでは検出部41~48から出力される信号をそれぞれS1~S8として示している。そして駆動回路50から与えられる駆動信号の位相に対して、各検出部に生じる駆動信号の位相と、X軸、Y軸及びZ軸周りの角速度が加わった場合の位相、及びX軸、Y軸及びZ軸方向の加速度が加わった場合の位相を示している。図20より、Z軸周りの角速度57の大きさωzは、数式1により算出される。ωz={S2S5S3S8}-{S1S6S4S7}1また、Y軸周りの角速度59の大きさωyは、数式2により算出される。ωy={S2S5S1S6}-{S3S8S4S7}2上記の数式1及び数式2の演算は、図21に示す検出回路61で行うことができる。図21は角速度検出素子16と検出回路との接続関係を示す図である。検出回路61は角速度検出素子16の検出部41~48より出力された信号S1~S8を受けて処理する。数式1に対して、駆動信号の位相を代入すると、結果は0となる。すなわち、検出部41~48には駆動信号が不要信号として混入されるが、この駆動信号は数式1の演算により互いに相殺される。同様に、数式1にX軸周りの角速度、Y軸周りの角速度、X軸方向の加速度、Y軸方向の加速度、Z軸方向の加速度が加わった場合の位相を代入すると、結果はそれぞれ0となる。すなわち、不要信号である他軸周りの角速度、加速度による不要信号が混入しても、数式1の演算により互いに相殺される。数式2に対して、駆動信号、X軸周りの角速度、Z軸周りの角速度、X軸方向の加速度、Y軸方向の加速度、Z軸方向の加速度が加わった場合の位相を代入すると、結果はそれぞれ0となる。すなわち、不要信号である駆動信号、他軸周りの角速度及び加速度による不要信号が混入しても、数式2の演算により互いに相殺される。このように、検出部41~48をY軸に平行な軸C及びX軸に平行な軸Dに関して対称に設けることにより、不要信号である駆動信号、他軸周りの角速度及び加速度の成分を互いに相殺させることが可能となる。図21は、角速度検出素子16と検出回路61との接続関係を示した図である。固定部17A、17Bに設けられた電極パッドの一部である電極パッド491~498は、それぞれ検出部41~48と電気的に接続されている。電極パッド492からの出力配線と電極パッド495からの出力配線とは結線されてIV変換アンプ62Aに接続されている。すなわち、信号S2と信号S5とは重畳されてIV変換アンプ62Aに入力する。また電極パッド493からの出力配線と電極パッド498からの出力配線とは結線されてIV変換アンプ62Bに接続されている。すなわち、信号S3と信号S8とは重畳されてIV変換アンプ62Bに入力する。また電極パッド491からの出力配線と電極パッド496からの出力配線とは結線されてIV変換アンプ62Cに接続されている。すなわち、信号S1と信号S6とは重畳されてIV変換アンプ62Cに入力する。また電極パッド494からの出力配線と電極パッド497からの出力配線とは結線されてIV変換アンプ62Dに接続されている。すなわち、信号S4と信号S7とは重畳されてIV変換アンプ62Dに入力する。Z軸周りの角速度は以下の構成により算出される。IV変換アンプ62Aからの出力配線とIV変換アンプ62Bからの出力配線とが結線され、IV変換アンプ62Cからの出力配線とIV変換アンプ62Dからの出力配線とが結線されている。これらの結線で合成された信号がそれぞれ差動アンプ63Zに入力される。さらに差動アンプ63Zから出力された信号は、駆動回路50から出力された信号を用いて検波回路64Zで検波される。そしてローパスフィルタ65Zで信号を抽出する。このようにしてZ軸周りの角速度57の大きさωzは出力端子66Zから出力される。Y軸周りの角速度は以下の構成により算出される。IV変換アンプ62Aからの出力配線とIV変換アンプ62Cからの出力配線とが結線され、IV変換アンプ62Bからの出力配線とIV変換アンプ62Dからの出力とが結線配線されている。これらの結線で合成された信号がそれぞれ差動アンプ63Yに入力される。さらに差動アンプ63Yから出力された信号は、駆動回路50から出力された信号を用いて検波回路64Yで検波される。そしてローパスフィルタ65Yで信号を抽出する。このようにしてY軸周りの角速度59の大きさωyは出力端子66Yから出力される。図20、図21から分かるように、駆動信号は、IV変換アンプ62A~IV変換アンプ62Dへ入力される前に、電極パッド491~電極パッド498の結線により、相殺されている。したがって、IV変換アンプ62A~IV変換アンプ62Dで増幅する前に、駆動信号を相殺することができる。また、Y軸周りの角速度は、Z軸周りの角速度を検出するための差動アンプ63Zへ入力される前に、IV変換アンプ62A~IV変換アンプ62Dの結線により相殺されている。したがって、差動アンプ63Zで増幅する前に、Y軸周りの角速度を相殺することができる。また、Z軸周りの角速度成分は、Y軸周りの角速度を検出するための差動アンプ63Yへ入力される前に、IV変換アンプ62A~IV変換アンプ62Dの結線により相殺されている。また、X軸方向の加速度は、IV変換アンプ62A~IV変換アンプ62Dへ入力される前に相殺することができ、Y軸方向の加速度は、差動アンプ63Zで増幅する前に相殺することができる。以上のように、検出部41~48をY軸に平行な軸C及びX軸に平行な軸Dに関して対称に設けたことにより、不要信号である駆動信号、他軸周りの角速度及び加速度の成分を互いに相殺させることができる。なお、図22に示すように、アーム21~24に駆動部67~74をさらに設けてもよい。図22は本実施の形態による他の角速度検出素子16Aの上面図である。これにより、アーム21~24をY軸方向にも振動させることができ、X軸周りの角速度をも検出することが可能となる。この場合、X軸周りの角速度の大きさωxは、数式3により算出することができる。ωx=S1S2S3S4-S5S6S7S83このように、駆動部67~74を設けることにより、3軸の角速度を同時に検出することができる。また、各軸の角速度の検出過程において、不要信号である駆動信号、他軸周りの角速度及び加速度を互いに相殺させることが可能となる。なお、本実施の形態における角速度検出素子16、16Aでは、錘25~28を設けられたアーム21~24を中央梁部20Bが支持し、中央梁部20Bを内側梁部20Aが支持している。さらに接続部19A、19Bを介して、内側梁部20Aを外側梁部18A、18Bが支持している。この構造により、角速度検出素子16、16Aは3軸の角速度を同時に検出することができる。しかしながら、加速度や衝撃等の影響を受けやすくなるというデメリットが生じる。したがって、角速度検出素子16の素子構造において特に、他軸周りの角速度及び加速度を互いに相殺させる効果が顕著となる。また第1スリット80A、80Bでセンシング部を外枠部内に懸架することにより、外部応力の影響を軽減することができる。なお図14A、図22に示すように、外側梁部18A、18Bを挟んで対向するように一対で固定部17A、17Bが形成され、外側梁部18A、18Bは固定部17A、17Bを挟んで対向するように一対で形成されている。この構造において、接続部19A、19Bは、外側梁部18A、18Bと内側梁部20Aとが平行な2箇所に形成されていることが好ましい。これにより、角速度検出素子16の設置方向に関係なくセンシング部を外枠部内に懸架することができる。なお外側梁部18A、18Bに平行な方向に応力が印加されない条件では、接続部19A、19Bは固定部17A、17Bと内側梁部20Aとが平行な2箇所に形成してもよい。次に本実施の形態における他の角速度検出素子について説明する。図23は、本発明の実施の形態2によるさらに他の角速度検出素子16Bの上面図である。以下、特徴部分について、図14A、図22に示す角速度検出素子16、16Aとの相違点を中心に説明する。角速度検出素子16Bでは、内側梁部20Aの固定部17Aと第1スリット80Bを介して対向する辺におけるアーム21側に検出部76が設けられ、アーム23側に検出部78が設けられている。また、内側梁部20Aの固定部17Bと第1スリット80Aを介して対向する辺におけるアーム22側に検出部77が設けられ、アーム24側に検出部79が設けられている。検出部76、78と検出部77、79とは軸Cに関して対象に設けられ、検出部76、77と検出部78、79とは軸Dに関して対称に設けられている。これ以外の構成は図22に示す角速度検出素子16Aと同様である。検出部76~79を用いて、角速度検出素子16Bに加わるX軸周りの角速度を検出することができる。図24では、検出部76~79から出力される信号をそれぞれS9~S12として示している。図24は駆動回路50から与えられる駆動信号の位相に対して、各検出部に生じる駆動信号の位相と、X軸、Y軸及びZ軸周りの角速度が加わった場合の位相と、X軸、Y軸及びZ軸方向の加速度が加わった場合の位相を示している。図24より、X軸周りの角速度の大きさωx2は、数式4により算出することができる。ωx2=S9S11-S10S124数式4に対して、駆動信号、Y軸及びZ軸周りの角速度、X軸、Y軸及びZ軸方向の加速度が加わった場合の位相を代入すると、結果はそれぞれ0となる。すなわち、不要信号であるである他軸周りの角速度、加速度が混入しても、数式4の演算により互いに相殺される。なお、図24から分かるように、検出部76~79を軸C及び軸Dに関して対称となるように内側梁部20Aに設けることにより、検出部76~79に駆動信号が現れなくなる。これにより、複数の検出部から出力される信号を加算せずとも、不要信号で駆動信号の影響をなくすことができる。図14A、図22の構成では、例えば、外枠部に対して検出部41~48の位置がずれた場合には、数式1や数式2、数式3の演算を行っても駆動信号を相殺することができない。一方、角速度検出素子16Bでは、外枠部に対して検出部76~79の位置がずれた場合であっても、駆動信号成分の影響をなくすことが可能となる。同様に、不要信号であるY軸周りの角速度、Z軸周りの角速度及びY方向の加速度についても、検出部41~48に現れないため、同様の効果を奏する。以上のように、検出部76~79を軸C及び軸Dに関して対称に設けることにより、不要信号である駆動信号、他軸周りの角速度及び加速度の成分をなくす、あるいは互いに相殺させることが可能となる。このように、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸において、角速度検出素子16BはX軸とY軸とからなるXY平面に延伸するように形成されている。このとき、アーム21~24に設けられた検出部41~48をZ軸周りの角速度検出部とし、内側梁部20Aの、固定部17A、17Bに平行な辺上にX軸周りの角速度を検出する検出部76~79を設けることが好ましい。次に本実施の形態におけるさらに他の角速度検出素子について説明する。図25は、本発明の実施の形態2による角速度検出素子16Cの上面図である。以下、特徴部分について、図14A、図22に示す角速度検出素子16、16Aとの相違点を中心に説明する。角速度検出素子16Cでは、中央梁部20Bにおけるアーム21側に検出部81が設けられ、アーム22側に検出部82が設けられ、アーム23側に検出部83が設けられ、アーム24側に検出部84が設けられている。それ以外の構成は図22に示す角速度検出素子16Aと同様である。ここで、検出部81、83と検出部82、84とは軸Cに関して対象に設けられている。また、検出部81、82と検出部83、84とは軸Dに関して対称に設けられている。検出部81~84を用いて、角速度検出素子16Cに加わるY軸周りの角速度を検出することができる。図26では、検出部81~84から出力される信号をそれぞれS13~S16として示している。図26は、駆動回路50から与えられる駆動信号の位相に対して、各検出部に生じる駆動信号の位相と、X軸、Y軸及びZ軸周りの角速度が加わった場合の位相と、X軸、Y軸及びZ軸方向の加速度が加わった場合の位相とを示している。図26より、Y軸周りの角速度の大きさωy2は、数式5により算出することができる。ωy2=S13S15-S14S165数式5に対して、駆動信号、X軸及びZ軸周りの角速度、X軸、Y軸及びZ軸方向の加速度が加わった場合の位相を代入すると、結果はそれぞれ0となる。すなわち、不要信号である他軸周りの角速度、加速度が混入しても、数式5の演算により互いに相殺される。なお、図26から分かるように、検出部81~84を軸C及び軸Dに関して対称となるように中央梁部20Bに設けることにより、検出部81~84に駆動信号が現れなくなる。これにより、複数の検出電極から出力される信号を加算せずとも、不要信号で駆動信号の影響をなくすことができる。図14A、図22の構成では、例えば、外枠部に対して検出部41~48の位置がずれた場合には、数式1や数式2、数式3の演算を行っても駆動信号を相殺することができない。これに対し、角速度検出素子16Cは、外枠部に対して検出部81~84の位置がずれても、駆動信号成分の影響をなくすことが可能となる。同様に、不要信号であるX軸周りの角速度、Z軸周りの角速度及びX方向の加速度についても、検出部81~84に現れないため、同様の効果を奏する。以上のように、検出部81~84を軸C及び軸Dに関して対称に設けることにより、不要信号である駆動信号、他軸周りの角速度及び加速度の成分をなくす、或いは互いに相殺させることが可能となる。次に本実施の形態におけるさらに他の角速度検出素子について説明する。図27は本発明の実施の形態2による角速度検出素子16Gの部分上面図である。以下、特徴部分について、図14A、図22に示す角速度検出素子16、16Aとの相違点を中心に説明する。角速度検出素子16Gは、図14Aに示す角速度検出素子16とはアームの形状が異なる。また駆動部、検出部の配置が異なる。図27は一例として第1アーム以下、アーム211の形状を示している。図示していないが、図14Aにおけるアーム22、23、24に相当する第2アーム、第3アーム、第4アームもアーム211と同様の形状を有する。各アームの対称関係は角速度検出素子16と同様である。アーム211は、中央梁部20Bに連結された第1端211Aと、第1角部211Bと第2角部211Cを有する。すなわちアーム211は、第1アーム部211Eと、第2アーム部211Fと、第3アーム部211Gとで構成されたJ字状の形状を有する。第1アーム部211Eは第1端211Aと第1角部211Bとの間の部分、第2アーム部211Fは第1角部211Bと第2角部211Cとの間の部分、第3アーム部211Gは第2角部211Cと第2端211Dとの間の部分である。第2端211Dには錘25が接続されている。錘25は、第3アーム部211Gの外側の延長が略方形の錘25の一辺と一致するようにアーム211に連結されている。アーム211および錘25はXY平面内で駆動振動させることができ、また、Z軸方向にも撓ませることができる。アーム211及び錘25を構成する材料については図14Aに示す構成と同様である。駆動部29、30は第1アーム部211E上に設けられている。検出部41、42は第2アーム部211F上に設けられている。検出部41、42や駆動部29、30の構成は図14Aに示す構成と同様である。駆動部29、30にそれぞれ逆位相の電圧を印加することによって、アーム211をXY平面内に駆動振動させることができる。次に、この角速度検出素子の原理を説明する。外部の駆動回路図示せずから、駆動部29、30に駆動振動共振周波数の交流電圧を印加されると、アーム211と錘25とが駆動振動方向D1に沿ってXY平面内で駆動振動する。このとき、Z軸周りに角速度が加わると、駆動振動方向D1と直交した方向にコリオリ力が発生する。このコリオリ力によって、検出振動方向D2に駆動振動と同調した検出振動が励起される。この検出振動により発生したアーム211の歪みを検出部41、42がアーム211の変位として検出することによって角速度を検出することができる。ところで、通常は検出振動方向D2の検出振動共振周波数は、駆動振動方向D1の駆動振動共振周波数の近傍に設定される。これは、角速度が加わった際に発生する検出振動は駆動振動と同調するため、検出振動共振周波数が駆動振動共振周波数に近ければ、それだけ検出振動が大きく励起されやすいためである。なお駆動振動方向D1と検出振動方向D2の向きが異なるため、駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけるのは困難である。例えば、図14Aに示す角速度検出素子16で駆動振動共振周波数を40kHz程度に設計すると、検出振動共振周波数は65kHz付近になり、互いの共振周波数が25kHzも離れてしまう。このため、Z軸周りの角速度感度が低くなってしまう。それに対して図27に示す構成では、アーム211のX軸方向の長さW1は、錘25のX軸方向の長さW2よりも大きく設定されている。これによって、Z軸周り角速度印加時の検出共振振動時に応力が集中しやすい第2角部211C付近の剛性が下がり、Z軸周り角速度印加時の検出共振振動の共振周波数を下げることが可能になる。このような構成で角速度検出素子を設計すると、駆動振動共振周波数40kHzに対して、検出振動共振周波数は45kHz程度の設計が可能になり、互いの共振周波数差を5kHz以内に収めることができる。これによって、Z軸周りの角速度感度に比べて約5倍の感度を得ることができる。なお、図27に示すように、第2アーム部211Fの幅211Kを、第1アーム部211Eの幅211Hよりも小さくしてもよい。この構成により、第2角部211C付近の剛性を下げることができるため、駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけることができる。また、第3アーム部211Gの幅211Jを、第2アーム部211Fの幅211Kよりも小さくしてもよい。あるいは、第1角部211Bの曲率半径を第2角部211Cの曲率半径よりも大きくしてもよい。これらの構成によっても、それぞれ同様の理由で駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけることができる。これらの構成はそれぞれ単独でも効果が得られるが、組み合わせることによってさらに駆動振動共振周波数と検出振動共振周波数とを近づけることができる。その結果、Z軸周りの角速度感度をさらに高めることができる。なお、駆動振動方向D1にアーム211と錘25とを駆動振動させた場合、第1アーム部211Eに歪みが集中しやすい。したがって、第1アーム部211Eに駆動部29、30を設けることにより、駆動効率を改善することができる。同様に、検出振動方向D2にアーム211と錘25とを検出振動させた場合、第2アーム部211Fに歪みが集中しやすい。したがって、第2アーム部211Fに検出部41、42を設けることにより、検出効率を改善することができる。ただし、アーム211は駆動振動方向D1に沿って駆動振動し、検出振動方向D2に沿って検出振動させるため、第3アーム部211Gに検出部41、42を設けても検出振動を検出することができる。以上のように、角速度検出素子の駆動振動の共振周波数とZ軸周りの角速度検出振動の共振周波数を近づけることができるため、角速度センサのZ軸周りの角速度の検出感度を向上させることができる。次に本実施の形態におけるさらに他の角速度検出素子について説明する。図28は本発明の実施の形態2による角速度検出素子16Dの上面図である。以下、特徴部分について、図27に示す角速度検出素子16Gとの相違点を中心に説明する。角速度検出素子16Dでは、Y軸回りの角速度を検出する検出部91~94が内側梁部20Aの、外側梁部18A、18Bに平行な辺上に形成されている。これ以外の構成は角速度検出素子16Gと同様である。このように検出部91~94を内側梁部20Aの、外側梁部18A、18Bに平行な辺上に形成することで、中央梁部20Bを細くすることができる。これにより、XY面内の不要な共振の周波数を下げることができる。その結果、不要な共振周波数と駆動振動の共振周波数との差を大きくすることができ、駆動振動に基づく検出振動を精度よく検出することができる。なおこの構成は図14A、図22、図23、図25に示す角速度検出素子16、16A,16B、16Cに適用してもよい。すなわち、図25における検出部81~84に代えて、検出部91~94を設けてもよい。このように、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸において、角速度検出素子16DはX軸とY軸とからなるXY平面に延伸するように形成されている。このとき、アーム211~214に設けられた検出部41~48をZ軸周りの角速度検出部とし、内側梁部20Aの、外側梁部18A、18Bに平行な辺上にX軸周りの角速度を検出する検出部91~94を設けることが好ましい。なお、X軸回りの角速度を検出する検出部76~79は内側梁部20Aの、固定部17A、17Bに平行な辺上に形成されている。この構成による効果は、図23に示す構成と同様である。次に本実施の形態におけるさらに他の角速度検出素子について説明する。図29A、図29Bは本発明の実施の形態2による角速度検出素子16E、16Fの上面図である。以下、特徴部分について、図28に示す角速度検出素子16Dとの相違点を中心に説明する。図29Aに示す角速度検出素子16Eでは内側梁部20Aの、外側梁部18A、18Bに平行な辺上に形成された検出部91~94に隣接して、内側梁部20Aに第2スリット96A~96Dが形成されている。検出部91~94の感度を向上させるには、検出部91~94の面積を大きくする必要がある。しかしながら検出部91~94の面積を大きくするために内側梁部20Aの幅を大きくすると、内側梁部20Aの剛性が大きくなる。そのため、アーム211~214の不要な共振の周波数が高まり、駆動周波数に近づく。その結果、不安定な振動状態が誘発され、測定精度が低下する。これに対し、図29Aに示す構成では第2スリット96A~96Dを設けている。これにより、内側梁部20Aの上面面積に対し相対的に検出部91~94の面積を大きくしつつ、内側梁部20Aの剛性を低下させることができる。これにより検出部91~94の感度を向上しつつ、アーム211~214の駆動周波数と不要な共振の周波数との差を大きくすることができる。なお内側梁部20Aの頂点側は辺中央に比べて剛性が大きい。そのためアーム211~214の駆動周波数と不要な共振の周波数との差を大きくするには、第2スリット96A~96Dを内側梁部20Aの頂点側に形成することが好ましい。また第2スリット96A~96Dは上面視で、上底とこの上底より長い下底と上底と下底とを繋ぐ斜辺とを有する直角台形形状であり、下底が内側梁部20Aの幅方向において外側になるよう形成され、斜辺が内側梁部20Aの頂点側に形成されていることがさらに好ましい。このような形状に第2スリット96A~96Dを形成することで、内側梁部20Aの剛性と検出部91~94の感度を調整しやすい。図29Bに示す角速度検出素子16Fでは内側梁部20Aの、固定部17A、17Bに平行な辺上に形成された検出部76~79に隣接して、内側梁部20Aに第2スリット98A~98Dが形成されている。図29Aの場合と同様に、検出部76~79の感度を向上させるには、検出部76~79の面積を大きくする必要がある。しかしながら検出部76~79の面積を大きくするために内側梁部20Aの幅を大きくすると、内側梁部20Aの剛性が大きくなる。そのため、アーム211~214の不要な共振の周波数が高まり、駆動周波数に近づく。その結果、不安定な振動状態が誘発され、測定精度が低下する。具体的には、アーム211~214の駆動周波数と不要な共振の周波数との差は500Hz以上、できれば1000Hz以上であることが好ましい。搭載する装置の小型化に伴い、角速度検出素子16Fも小さくする必要がある。しかしながら角速度検出素子16Fが小さいほど、その質量も小さくなり、その結果、不要共振周波数が大きくなって駆動周波数に近くなる。これに対し、図29Bに示す構成では第2スリット98A~98Dを設けている。これにより、内側梁部20Aの上面面積に対し相対的に検出部76~79の面積を大きくしつつ、内側梁部20Aの剛性を低下させることができる。これにより検出部76~79の感度を向上しつつ、アーム211~214の駆動周波数と不要な共振の周波数との差を大きくすることができる。具体的には、角速度検出素子16Fの大きさが2.5×2.5mm程度で基材が150μm厚のSiで構成されていて、駆動周波数が40kHz付近であるとき、上記周波数差は1000Hz程度になる。なおこの効果は、第1スリット80A、80Bを設ける効果とは独立して発揮される。なお内側梁部20Aの頂点側は辺中央に比べて剛性が大きい。そのためアーム211~214の駆動周波数と不要な共振の周波数との差を大きくするには、第2スリット98A~98Dを内側梁部20Aの頂点側に形成することが好ましい。また図29Bに示す構造では、固定部17A、17Bと内側梁部20Aとの間に接続部はないため、内側梁部20Aの中央梁部20B寄りの箇所での感度が大きくなる。したがって検出部76~79を内側梁部20Aの、中央梁部20Bとの接続位置付近に設けることにより検出部76~79によるX軸周りの角速度検出の感度も向上する。そして感度への寄与の少ない内側梁部20Aの頂点側に第2スリット98A~98Dを形成すればよい。また第2スリット98A~98Dは上面視で、上底とこの上底より長い下底と上底と下底とを繋ぐ斜辺とを有する直角台形形状であり、下底が内側梁部20Aの幅方向において外側になるよう形成され、斜辺が内側梁部20Aの頂点側に形成されていることがさらに好ましい。このような形状に第2スリット98A~98Dを形成することで、内側梁部20Aの剛性と検出部76~79の感度を調整しやすい。なお必要に応じ、図29Aに示した第2スリット96A~96Dと図29Bに示した第2スリット98A~98Dとの両方を形成してもよい。なお図29A、図29Bの構成は図14A、図22、図23、図25に示す角速度検出素子16、16A,16B、16C適用してもよい。すなわち、図25における検出部81~84に代えて、検出部91~94を設け、さらに第2スリット96A~96Dを形成してもよい。あるいは、図23の構成において、検出部76~79を中央梁部20B寄りに形成し、さらに第2スリット98A~98Dを形成してもよい。なお、以上の説明では角速度検出素子16~16Fと駆動回路50と検出回路61とで角速度センサを構成した例を説明したが、駆動回路50や検出回路61は必ずしも角速度センサに組み込まなくてもよい。すなわち角速度センサを取り付ける装置に駆動回路50や検出回路61の少なくとも一方を構成してもよい。"