センサモジュールにパルス信号を出力する出力部と、前記パルス信号が入力された前記センサモジュールから出力された、前記パルス信号の波形に対応するパルス状のセンサ出力信号が入力されるハイパスフィルタと、前記ハイパスフィルタを通過した前記センサ出力信号であるハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における任意の時刻での前記ハイパス出力信号の電圧を、閾値と比較することで、前記センサモジュールの異常を検出する演算部とを具備するセンサ動作検出装置。請求項1に記載のセンサ動作検出装置であって、前記演算部は、前記ハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下がり時刻の間の中央の時刻での前記電圧を前記閾値と比較するセンサ動作検出装置。請求項1または2に記載のセンサ動作検出装置であって、前記センサ出力信号のレベルをシフトするレベルシフト部をさらに具備し、前記演算部は、レベルシフト部から出力された信号の電圧を前記閾値と比較するセンサ動作検出装置。請求項1から3のうちいずれか1項に記載のセンサ動作検出装置であって、前記演算部は、前記ハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における、前記立ち上がり時刻から所定時間経過後の前記ハイパス出力信号の第1の電圧と、前記立ち下がり時刻から前記所定時間経過後の前記ハイパス出力信号の第2の電圧との差分を算出し、前記パルス信号の前記センサモジュールへの入力により得られるべき前記ハイパス出力信号の電圧と、前記算出された差分とに基づく演算により、前記センサモジュールのゲインを調整するセンサ動作検出装置。センサモジュールと、前記センサモジュールに電気的に接続されたコントローラとを具備し、前記コントローラは、前記センサモジュールにパルス信号を出力する出力部と、前記パルス信号が入力された前記センサモジュールから出力された、前記パルス信号の波形に対応するパルス状のセンサ出力信号が入力されるハイパスフィルタと、前記ハイパスフィルタを通過した前記センサ出力信号であるハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における任意の時刻での前記ハイパス出力信号の電圧を、閾値と比較することで、前記センサモジュールの異常を検出する演算部とを有するセンサ動作検出システム。センサモジュールに電気的に接続されたコントローラによるセンサ動作検出方法であって、前記センサモジュールにパルス信号を出力し、前記パルス信号が入力された前記センサモジュールから出力された、前記パルス信号の波形に対応するパルス状のセンサ出力信号を、前記コントローラが有するハイパスフィルタに入力し、前記ハイパスフィルタを通過した前記センサ出力信号であるハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における任意の時刻での前記ハイパス出力信号の電圧を、閾値と比較することで、前記センサモジュールの異常を検出するセンサ動作検出方法。上記特許文献1に記載の回路では、センサ側がそのセンサ自身の異常を検出する自己診断機能を持っている、つまり、その自己診断を行うための回路を備えている。したがって、センサモジュール側の回路の実装面積が増加し、その分コストも高くなる。そこで、上位コントローラ側が、センサ側にテスト用の信号を出力し、そのテスト信号によるセンサから出力されるレスポンス信号を解析することで、センサデバイスに断線等の欠陥が発生しているか、つまり、異常が発生しているかを検出する、という手法が考えられる。しかしながら、上記特許文献2のように、コントローラ側がハイパスフィルタを入力回路として持っている場合には、以下のような問題が生じる。すなわち、そのセンサモジュールからのレスポンス信号として、振幅の時間変化が少なくその時間が長い信号つまりDCレベルの信号をコントローラが受けた場合、ハイパスフィルタによりそのレスポンス信号が吸収されてしまう。これでは、センサモジュールの動作判定を正確に行うことができない。以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、センサ側の回路の実装面積が増えることによる装置の大型化を回避し、また、コントローラがハイパスフィルタを入力回路として有している場合であっても、センサの欠陥異常を正確に判定することができるセンサ動作検出装置、センサ動作検出システム及びセンサ動作検出方法を提供することにある。上記目的を達成するため、本発明に係るセンサ動作検出装置は、センサモジュールにパルス信号を出力する出力部と、前記パルス信号が入力された前記センサモジュールから出力された、前記パルス信号の波形に対応するパルス状のセンサ出力信号が入力されるハイパスフィルタと、前記ハイパスフィルタを通過した前記センサ出力信号であるハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における任意の時刻での前記ハイパス出力信号の電圧を、閾値と比較することで、前記センサモジュールの異常を検出する演算部とを具備する。本発明では、出力部によりパルス信号が出力され、これがテスト信号としてセンサモジュールに入力される。このようにセンサモジュールに入力される信号をパルス信号とすることにより、センサモジュールがその応答信号として短いパルス状のセンサ出力信号を発生することができる。このセンサ出力信号がハイパスフィルタを通過した場合には、ハイパスフィルタはそれに対応して振幅の時間変化の比較的大きい信号を短時間で発生することができるので、センサ出力信号の振幅の時間変化が少なくかつその時間が長い場合に比べ、この信号電圧の閾値判定が容易となる。センサモジュールに、断線、天絡、地絡等の欠陥が発生している場合、ハイパス出力信号の電圧は正常時と比べ小さくなるため、閾値よりそれが小さい場合、センサモジュールの異常を検出することができる。以上のように、センサ側が自身の欠陥を検出する回路を持つ必要がないため、センサ側の回路の実装面積を増やすことがなく、装置の大型化を回避でき、またその分コストを抑えることができる。また、コントローラがハイパスフィルタを入力回路として有している場合であっても、センサの欠陥を正確に検出することができる。前記演算部は、前記ハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下がり時刻の間の中央の時刻での前記電圧を前記閾値と比較してもよい。演算部は、中央の時刻の電圧を監視することにより、確実に閾値判定を行うことができる。前記センサ動作検出装置は、前記センサ出力信号のレベルをシフトするレベルシフト部とをさらに具備し、前記演算部は、レベルシフト部から出力された信号の電圧を前記閾値と比較する。例えば、センサモジュールが、DCオフセットを持つ信号を出力するモジュールであっても、センサ出力信号の電圧を所望のレベルにシフトして閾値判定を行うことができる。前記演算部は、前記ハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における、前記立ち上がり時刻から所定時間経過後の前記ハイパス出力信号の第1の電圧と、前記立ち下がり時刻から前記所定時間経過後の前記ハイパス出力信号の第2の電圧との差分を算出し、前記パルス信号の前記センサモジュールへの入力により得られるべき前記ハイパス出力信号の電圧と、前記算出された差分とに基づく演算により、前記センサモジュールのゲインを調整する。センサモジュールのセンサ出力信号が経年により変化する場合であっても、演算部は、パルス信号のセンサモジュールへの入力により得られるべき本来のセンサ出力信号に対応するハイパス出力信号の電圧と、算出された差分との比等を算出してゲインを調整することにより、演算部は、正確な加速度を検出することができる。本発明に係るセンサ動作検出システムは、センサモジュールと、前記センサモジュールに電気的に接続されたコントローラとを具備し、前記コントローラは、前記センサモジュールにパルス信号を出力する出力部と、前記パルス信号が入力された前記センサモジュールから出力された、前記パルス信号の波形に対応するパルス状のセンサ出力信号が入力されるハイパスフィルタと、前記ハイパスフィルタを通過した前記センサ出力信号であるハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における任意の時刻での前記ハイパス出力信号の電圧を、閾値と比較することで、前記センサモジュールの異常を検出する演算部とを有する。本発明では、センサモジュールに入力される信号をパルス信号とすることにより、センサモジュールがその応答信号として短いパルス状のセンサ出力信号を発生することができる。このセンサ出力信号がハイパスフィルタを通過した場合には、ハイパスフィルタはそれに対応して振幅の時間変化の比較的大きい信号を短時間で発生することができるので、センサ出力信号の振幅の時間変化が少なくその時間が長い場合に比べ、この信号電圧の閾値判定が容易となる。センサモジュールに欠陥が発生している場合、ハイパス出力信号の電圧は正常時と比べ小さくなるため、閾値よりそれが小さい場合、センサモジュールの異常を検出することができる。すなわち、本発明に係るセンサ動作検出システムは、センサ側の回路の実装面積を増やすことなく、また、コントローラがハイパスフィルタを入力回路として有している場合であっても、センサの欠陥を正確に検出することができる。また、ハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下がり時刻の間の任意の時刻において、その出力信号の電圧が閾値判定の対象とされるので、閾値の設定が容易となる。本発明に係るセンサ動作検出方法は、センサモジュールに電気的に接続されたコントローラによるセンサ動作検出方法であって、前記センサモジュールにパルス信号を出力し、前記パルス信号が入力された前記センサモジュールから出力された、前記パルス信号の波形に対応するパルス状のセンサ出力信号を、前記コントローラが有するハイパスフィルタに入力し、前記ハイパスフィルタを通過した前記センサ出力信号であるハイパス出力信号の立ち上がり時刻から立ち下り時刻の間における任意の時刻での前記ハイパス出力信号の電圧を、閾値と比較することで、前記センサモジュールの異常を検出する。本発明では、センサモジュールに入力される信号をパルス信号にすることにより、センサモジュールがその応答信号として短いパルス状のセンサ出力信号を発生することができる。このセンサ出力信号がハイパスフィルタを通過した場合には、ハイパスフィルタはそれに対応して振幅の時間変化の比較的大きい信号を短時間で発生することができるので、センサ出力信号の振幅の時間変化が少なくかつその時間が長い場合に比べ、この信号電圧の閾値判定が容易となる。すなわち、本発明に係るセンサ動作検出方法は、センサ側の回路の実装面積を増やすことなく、また、コントローラがハイパスフィルタを入力回路として有している場合であっても、センサの欠陥を正確に検出することができる。以上、本発明によれば、センサ側の回路の実装面積が増えることによる装置の大型化を回避し、コントローラがハイパスフィルタを入力回路として有している場合であっても、センサの欠陥を正確に判定することができる。以下、図面を参照しながら、本技術の実施形態を説明する。第1の実施形態図1は、本発明の一実施形態に係るセンサ動作検出システムの構成を示すブロック図である。センサ動作検出システム100は、センサモジュールの典型例として加速度センサモジュール5と、この加速度センサモジュール5に電気的に接続されたコントローラ7とを備える。コントローラ7は、センサ動作検出装置として機能する。加速度センサモジュール5は、例えば静電容量型またはピエゾ抵抗型等の加速度センサデバイス51を有するモジュールである。加速度センサモジュール5は、信号の入力ポート56及び出力ポート57を有する。加速度センサモジュール5は、コントローラ7で生成されたアナログのパルス状のテスト信号パルス信号を、入力ポート56を介して受信し、また、検出した加速度の信号であるセンサ出力信号を出力ポート57から出力する。加速度センサデバイス51は、このテスト信号を受信すると、強制的にこのテスト信号に対応したパルス波形、ここでは、実質的にこのテスト信号に同期し、同じパルス幅を有するアナログのセンサ出力信号を出力するように構成されている。コントローラ7は、信号の入力ポート76及び出力ポート77を有する。コントローラ7は、入力ポート76に接続された、センサ出力信号の入力回路としてハイパスフィルタ72を備え、また、予め記憶されたプログラムを読み込んで各種の演算を実行する演算部としてCPU74を備えている。コントローラ7は、CPU74の他にも、RAM及びROM等の図示しない記憶デバイスも備えている。CPU74は、DSPDigitalSignalProcessor、PLDProgrammableLogicDevice等のデバイスであってもよい。ハイパスフィルタ72は、センサ出力信号のDC成分あるいは低周波成分、つまりDCレベル成分を除去する機能を有し、この信号をハイパス出力信号として出力する。ハイパスフィルタ72は、コンデンサ及び抵抗で構成される典型的なアナログのCR回路により構成される。CPU74は、例えばパルス状のテスト信号を生成可能である。コントローラ7はCPU74から出力されたデジタルのテスト信号を、出力ポート77から出力する。少なくとも出力ポート77は、テスト信号を出力する出力部として機能する。以上のように構成されたセンサ動作検出システム100の動作を説明する。図2は、主にCPU74の処理を示すフローチャートである。CPU74がパルス状のテスト信号を生成するステップ101。コントローラ7は、このテスト信号を出力し、加速度センサモジュール5にこのテスト信号が入力される。加速度センサデバイス51は、上述したようにテスト信号に応じた、パルス状の出力信号センサ出力信号を生成し、加速度センサモジュール5はこれをコントローラ7に出力する。コントローラ7にこのセンサ出力信号が入力され、ハイパスフィルタ72を通過したハイパス出力信号を、CPU74が受信するステップ102。図3Aは、欠陥を有しない正常な加速度センサモジュール5から出力されたセンサ出力信号がハイパスフィルタ72を通過することにより得られたハイパス出力信号の典型的な波形図である。図3Bは、断線、天絡、地絡等の欠陥を有する加速度センサモジュール5から出力されたセンサ出力信号が、ハイパスフィルタ72を通過して得られたハイパス出力信号の典型的な波形図である。CPU74は、このハイパス出力信号の立ち上がり時刻trから立ち下がり時刻tfの間における任意の時刻での、ハイパス出力信号電圧と、予め設定された閾値Vthと比較する。本実施形態では、ハイパス出力信号の立ち上がり時刻trから立ち下がり時刻tfの間の中央の時刻での電圧と、閾値Vthとが比較される。比較の結果、図3Aに示すように、ハイパス出力信号電圧が閾値Vth以上である場合VVaにはステップ103のYES、CPU74は、加速度センサモジュール5が正常であると判定するステップ104。一方、ハイパス出力信号電圧が閾値Vthより小さい場合VVb、CPU74は、加速度センサモジュール5が異常であると判定するステップ105。例えば加速度センサモジュール5内の配線が天絡または地絡状態にある場合、加速度センサモジュール5は、テスト信号の電圧変化を受けても、そのテスト信号に対応する、所期の大きさの電圧変化を出力することができない。例えば天絡または地絡により、信号がDCレベルに張り付いたり、それに近い状態となったりする。断線の場合も同様である。したがって、このような欠陥が発生している場合、ハイパス出力信号は、図3Bに示す波形、あるいはほとんど反応がない状態となる。以上のように、本実施形態では、加速度センサモジュール5に入力されるテスト信号をパルス信号とすることにより、加速度センサモジュール5がその応答信号として短いパルス状のセンサ出力信号を発生することができる。ハイパスフィルタ72はそれに対応して振幅の時間変化の比較的大きい信号を短時間で発生することができるので、例えばセンサ出力信号の振幅の時間変化が少なくかつその時間が長い場合に比べ、この信号電圧の閾値判定が容易となる。すなわち、このセンサ動作検出システム100では、コントローラ7がハイパスフィルタ72を入力回路として有している場合であっても、加速度センサモジュール5の欠陥を正確に判定することができる。また、上記特許文献1に記載のように、センサ側にそのセンサ自身の異常を検出する自己診断機能を実現するための回路を設ける必要がないことから、センサモジュール側の回路の実装面積が増えることもなく、センサモジュールの大型化を回避できる。ここで、DCレベルのセンサ出力信号を検出するためには、そのセンサ出力信号が入力される、ハイパスフィルタ以外の別途の入力回路を別途設ける必要がある。別途の入力回路を設けるためには、その回路基板上の回路の実装面積が増え、CPUのポートが増やす必要がある。これに対し、本実施形態では、ハイパスフィルタ以外の別途の入力回路を設ける必要がないことから、CPU74の別途のADポートを設ける必要がなくなる。また、これにより、コントローラ7の外部からのノイズに対する保護部品が不要であるため、この保護部品の節約が可能となる。また、コントローラ7が備える回路基板への実装面積の増加、つまり機器の大型化を抑えることができるなど、追加コストを抑えることができる。本実施形態では、CPU74は、ハイパス出力信号の立ち上がり時刻trから立ち下がり時刻tfの間のうち、中央の時刻の電圧を監視することにより、確実に閾値判定を行うことができる。第2の実施形態図4は、本発明の第2の実施形態に係るセンサ動作検出システムのブロック図である。これ以降の説明では、図1等に示した実施形態に係るセンサ動作検出システム100が含むデバイスや機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。本実施形態に係るセンサ動作検出システム200のコントローラ17は、レベルシフト回路レベルシフト部を備えている。レベルシフト回路は、特にDC電圧発生部175と、入力ポート76に接続されたコンデンサ173とを有している。DC電圧発生部175は、ハイパスフィルタ172が有する抵抗Rに直列に接続されている。コンデンサ173は、入力ポート76を介して入力されたセンサ出力信号のDC成分を一旦除去する。DC電圧発生部175は、ハイパスフィルタ172を通る信号電圧に、所望のレベル分のDC電圧を加えることにより、その信号電圧のレベルシフトを行う。レベルシフトが行われた信号はオペアンプ177により増幅され、CPU174に入力される。以上のように、加速度センサモジュール5が、DCオフセットを持つ信号を出力するモジュールであっても、このレベルシフト回路により、センサ出力信号の電圧が所望のレベルにシフトされる。したがって、CPU174はこの所望のレベルにシフトされたハイパス出力信号を閾値判定することができ、確実に加速度センサモジュール5の欠陥を検出することができる。第3の実施形態図5は、本発明の第3の実施形態に係るセンサ動作検出システムの動作、特にコントローラ7のCPU74の処理を示すフローチャートである。本実施形態に係るシステムとしては、第1の実施形態に係るセンサ動作検出システム100が用いられる。本実施形態では、第1の実施形態のように、コントローラ7がテスト信号を出力し、これが加速度センサモジュール5に入力され、それによる応答としてセンサ出力信号が発生し、これがハイパスフィルタ72を通過して得られたハイパス出力信号をCPU74が監視する。加速度センサモジュール5は、その経年変化によって、同じ入力加速度に対して、工場出荷時の新品の同じ加速度センサモジュール5で検出される加速度値とは異なる加速度値を出力する場合がある。あるいは、複数の加速度センサモジュール5間の個体差、あるいはコントローラ7側のインタフェースの個体差などによって、同じ入力加速度に対して、それらが異なる加速度値を出力する場合もある。本実施形態に係るセンサ動作検出システム100は、これらのような不具合を解消しようとするものである。図5に示すように、CPU74はテスト信号を生成しステップ201、加速度センサモジュール5がこれに応答してセンサ出力信号を出力し、図7に示すように、ハイパスフィルタ72を通過したハイパス出力信号を、CPU74が受信するステップ202。ここで、例えば理想的な加速度センサモジュール5があるとする。この加速度センサモジュール5は、今、上下方向の加速度を検出できる状態にある。また、この加速度センサモジュール5は、5Vの片電源で動作し、1GVの信号電圧を出力するモジュールであるとする。つまり、説明を簡単にするため、この加速度センサモジュール5に1Gの加速度の入力があった場合、この加速度センサモジュール5は、その入力加速度に対して1Vのセンサ出力信号の電圧を出力する。そして、入力加速度が0Gの場合、例えば加速度センサモジュール5はオフセット電圧25Vを出力するとする。今、加速度センサモジュール5が静的な状態にある場合、つまり慣性系において、地球の重力加速度1Gのみが加速度センサモジュール5に加わっている。この時、加速度センサモジュール5は、電圧15Vを、センサ出力信号として出力する。このような静的な状態にある加速度センサモジュール5に、図6に示すように、入力加速度175Gが加わったときと同じ状態になるように、コントローラ7は、075G分のテスト信号を加速度センサモジュール5に入力する。その結果、理想的な加速度センサモジュール5は、175Vの電圧変位を持つセンサ出力信号を出力する。加速度センサデバイス51の図示しない可動部は、一方向に175G分振れた後に、その方向とは逆に175G分振れ、その後、静的な状態重力加速度1Gのみ加えられた状態に戻る。このようにして生成されたセンサ出力信号がハイパスフィルタ72を通過する。図7に示すように、CPU74は、ハイパス出力信号の立ち上がり時刻trから立ち下り時刻の間における、立ち上がり時刻trから所定時間Δt経過後のハイパス出力信号の第1の電圧V1を読み取るステップ203。またその後、CPU74は、立ち下がり時刻tfから上記Δtと同じ時間経過Δt後のハイパス出力信号の第2の電圧V2を読み取るステップ204。そして、CPU74は、その差分V1V2を算出するステップ205。なお、Δtは、例えば2であるが、これに限られず、tbtaより小さい値であれば任意の値でよい。CPU74は、このように算出された差分電圧V1V2と、本来得られるべき175G分の電圧理想的な加速度センサモジュール5から得られる電圧175Vとに基づき、演算を行うことにより、加速度センサモジュール5のゲインを調整するステップ206。例えば、CPU74は、その差分電圧V1V2を175で割ることにより、センサ出力信号電圧と、実際に加えられた加速度との対応関係を正規化することができる。つまりこの場合、175に相当するセンサ出力信号電圧が1Gとして割り当てられる。このように、差分電圧V1V2を175で割るような演算方法に限られず、CPU74は、175Gに相当するLSBLeastSignificantBitを、1LSBに対応する1Gとして割り当ててもよい。以上のような方法によれば、加速度センサモジュール5の経年変化やそれらの個体差等があっても、CPU74は正確な175G分の加速度を検出することができ、それら経年変化または個体差等が原因で発生するセンサ出力信号の値の不具合を解消することができる。以上説明した第3の実施形態に係る技術は、上記第2の実施形態に係るセンサ動作検出システム200に適用されてもよい。センサ動作検出システムの応用例上記各実施形態に係るセンサ動作検出システム100、200を、例えば車両やエレベータの制振装置に応用することが可能である。例えば車両に搭載される制振装置は、車両に搭載されたエンジン等の振動発生源が発生した振動を、車両に搭載されたリニアアクチュエータ等の加振手段により発生させた相殺振動により相殺することができる。例えばこの場合、加速度センサモジュール5は、制振の対象となる位置に配置され、その位置における加速度を検出する。その他の実施形態本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。上記各実施形態では、センサデバイスとして加速度センサを例に挙げたが、角速度センサ回転センサ、磁気センサ等でもよい。要は、コントローラ7から出力されたパルス状の電圧変化を持つ信号を受信し、この電圧変化に作用してそれに対応するパルス状の電圧変化を持つ信号を生成して出力できるセンサモジュールであれば、何でもよい。上記第1~3の実施形態では、ハイパス出力信号の立ち上がり時刻trから立ち下がり時刻tfまでの中央の時刻の電圧が監視されたが、例えば、立ち上がり時最大時、あるいは立ち下がり時最小時、あるいはその他の時刻の電圧が監視されてもよい。上記第3の実施形態に関する他の実施形態として、次のようなものもある。例えば、センサ動作検出システム100の設計段階において、異なる検出ゲインをそれぞれ有する加速度センサモジュールが用意され、これらのうち1つの加速度センサモジュールがセンサ動作検出システム100に適用されるとする。CPU74は、上述の例において、入力される175G分のセンサ出力信号電圧がある閾値範囲外となったあるいは、ある閾値を下回った場合、ソフトウェアによるモード切り替えによって、ゲイン調整を行うようにしてもよい。これにより、プログラムを書き換えることなく、各種の加速度センサモジュールに対応することができる。コントローラは、加速度センサモジュール5からのセンサ出力信号を検出するために、入力ポート76からハイパスフィルタ72までを接続する入力線から分岐してCPU74に接続される別途の図示しない入力線を備えていてもよい。すなわち、コントローラは、その別途の入力回路を介して入力された、例えば振幅の時間変化の少ない、つまりDCレベルのセンサ出力信号を得るようにしてもよい。コントローラは、DCレベルのセンサ出力信号を得ることにより、加速度センサモジュールの異常を検出することができる。加速度センサモジュールに断線等が発生している場合、そのセンサ出力信号が0Vや5Vの直流電圧に張り付くので、このような状態は加速度センサモジュールの異常であると分かる。以上説明した各形態の特徴部分のうち、少なくとも2つの特徴部分を組み合わせることも可能である。