水晶発振器の製造管理システムであって、水晶発振器の製造工程で処理を制御する制御端末と、水晶発振器の製造履歴情報を記憶すると共に前記制御端末に表示出力するサーバと、水晶発振器に搭載されたICタグから発信される識別情報を受信して前記制御端末に送信するリーダライタとを備え、前記制御端末が、前記リーダライタから識別情報を受信すると、前記識別情報を付して前記サーバに製造履歴情報を要求して、前記サーバから受信した製造履歴情報を表示し、前記サーバが、水晶発振器に搭載されたICタグの識別情報毎に製造履歴情報を記憶しており、前記制御端末から識別情報が付された製造履歴情報の要求を受信すると、前記識別情報に対応する製造履歴情報を読み出して、前記要求元の制御端末に送信することを特徴とする製造管理システム。制御端末は、工程番号を付して製造履歴情報を要求し、サーバは、識別情報に対応する製造履歴情報の内、前記工程番号に対応して表示項目として予め設定されている関連する工程の製造履歴情報を前記制御端末に送信することを特徴とする請求項1記載の製造管理システム。ICタグは、リーダライタを介して受信した情報を内部に設定可能であり、サーバは、予め設定された特定の工程番号の特性範囲に応じて、水晶発振器の制御パラメータを記憶しており、制御端末から識別情報が付された制御パラメータの要求を受信すると、前記識別情報に対応する製造履歴情報から前記特定の工程番号の工程結果を読み取り、前記読み取った工程結果が含まれる特性範囲に応じて記憶されている制御パラメータを読み出して、前記要求元の制御端末に送信し、前記制御端末は、識別情報を付して制御パラメータの要求を前記サーバに送信し、前記サーバから制御パラメータを受信すると、前記リーダライタを介して水晶発振器のICタグに前記制御パラメータを設定することを特徴とする請求項1又は2記載の製造管理システム。識別情報を記憶し、リーダライタの通信圏内に入ると、前記識別情報を前記リーダライタに送信するICタグと、制御パラメータに基づいて水晶発振器の制御を行う制御用ICとを備え、前記ICタグが、当該水晶発振器の特定の工程番号の工程結果に応じた制御パラメータを受信すると、内部に記憶すると共に前記制御用ICに当該受信を報知し、前記制御用ICが、前記ICタグからの前記報知を受信すると、前記ICタグに記憶された制御パラメータを読み取って内部に設定することを特徴とする水晶発振器。識別情報を記憶し、リーダライタの通信圏内に入ると、前記識別情報を前記リーダライタに送信するICタグを、水晶振動子が搭載される基板に備えたことを特徴とする水晶発振器。しかしながら、水晶発振器にレーザやダイレクトマーキングで識別番号を印字する方法では、印字面が酸化して製品特性が変化してしまう可能性があり、ラベルの貼り付けを行う場合には、貼り付け/剥離の作業が煩雑であると共に、工数増加により製造コストが増大するという問題点があった。更に、製品の小型化に伴い、印字や内容の判読、又はラベルの貼り付けが困難になるという問題点があった。また、製造工程において、それまでの製造履歴や検査履歴に応じて検査や加工の条件を変更したり、製品の特性を調整する制御パラメータを設定することは行われていなかった。本発明は、上記実状に鑑みて為されたもので、水晶発振器の個体識別を容易にでき、製造履歴検査履歴を含むに応じた製造プロセス制御や制御パラメータの設定を実現することができる製造管理システム及び水晶発振器を提供することを目的とする。上記従来例の問題点を解決するための本発明は、水晶発振器の製造管理システムであって、水晶発振器の製造工程で処理を制御する制御端末と、水晶発振器の製造履歴情報を記憶すると共に制御端末に表示出力するサーバと、水晶発振器に搭載されたICタグから発信される識別情報を受信して制御端末に送信するリーダライタとを備え、制御端末が、リーダライタから識別情報を受信すると、識別情報を付してサーバに製造履歴情報を要求して、サーバから受信した製造履歴情報を表示し、サーバが、水晶発振器に搭載されたICタグの識別情報毎に製造履歴情報を記憶しており、制御端末から識別情報が付された製造履歴情報の要求を受信すると、識別情報に対応する製造履歴情報を読み出して、要求元の制御端末に送信することを特徴としている。また、本発明は、上記製造管理システムにおいて、制御端末は、工程番号を付して製造履歴情報を要求し、サーバは、識別情報に対応する製造履歴情報の内、工程番号に対応して表示項目として予め設定されている関連する工程の製造履歴情報を制御端末に送信することを特徴としている。また、本発明は、上記製造管理システムにおいて、ICタグは、リーダライタを介して受信した情報を内部に設定可能であり、サーバは、予め設定された特定の工程番号の特性範囲に応じて、水晶発振器の制御パラメータを記憶しており、制御端末から識別情報が付された制御パラメータの要求を受信すると、識別情報に対応する製造履歴情報から特定の工程番号の工程結果を読み取り、読み取った工程結果が含まれる特性範囲に応じて記憶されている制御パラメータを読み出して、要求元の制御端末に送信し、制御端末は、識別情報を付して制御パラメータの要求を前記サーバに送信し、サーバから制御パラメータを受信すると、リーダライタを介して水晶発振器のICタグに制御パラメータを設定することを特徴としている。また、本発明は、水晶発振器において、識別情報を記憶し、リーダライタの通信圏内に入ると、識別情報をリーダライタに送信するICタグと、制御パラメータに基づいて水晶発振器の制御を行う制御用ICとを備え、ICタグが、当該水晶発振器の特定の工程番号の工程結果に応じた制御パラメータを受信すると、内部に記憶すると共に制御用ICに当該受信を報知し、制御用ICが、ICタグからの報知を受信すると、ICタグに記憶された制御パラメータを読み取って内部に設定することを特徴としている。また、本発明は、水晶発振器において、識別情報を記憶し、リーダライタの通信圏内に入ると、識別情報をリーダライタに送信するICタグを、水晶振動子が搭載される基板に備えたことを特徴としている。本発明によれば、水晶発振器の製造工程で処理を制御する制御端末と、水晶発振器の製造履歴情報を記憶すると共に制御端末に表示出力するサーバと、水晶発振器に搭載されたICタグから発信される識別情報を受信して制御端末に送信するリーダライタとを備え、制御端末が、リーダライタから識別情報を受信すると、識別情報を付してサーバに製造履歴情報を要求して、サーバから受信した製造履歴情報を表示し、サーバが、水晶発振器に搭載されたICタグの識別情報毎に製造履歴情報を記憶しており、制御端末から識別情報が付された製造履歴情報の要求を受信すると、識別情報に対応する製造履歴情報を読み出して、要求元の制御端末に送信する製造管理システムとしているので、水晶発振器の個体識別を容易に行うことができると共に、製造工程において、それまでの特性検査結果等の製造履歴を参照して適切な工程制御を行うことができる効果がある。また、本発明によれば、制御端末は、工程番号を付して製造履歴情報を要求し、サーバは、識別情報に対応する製造履歴情報の内、工程番号に対応して表示項目として予め設定されている関連する工程の製造履歴情報を制御端末に送信する上記製造管理システムとしているので、要求元の工程に関連する製造履歴情報のみを抽出して表示させることができ、製造履歴情報を見易く表示して利便性を向上させることができる効果がある。また、本発明によれば、ICタグは、リーダライタを介して受信した情報を内部に設定可能であり、サーバは、予め設定された特定の工程番号の特性範囲に応じて、水晶発振器の制御パラメータを記憶しており、制御端末から識別情報が付された制御パラメータの要求を受信すると、識別情報に対応する製造履歴情報から特定の工程番号の工程結果を読み取り、読み取った工程結果が含まれる特性範囲に応じて記憶されている制御パラメータを読み出して、要求元の制御端末に送信し、制御端末は、識別情報を付して制御パラメータの要求を前記サーバに送信し、サーバから制御パラメータを受信すると、リーダライタを介して水晶発振器のICタグに制御パラメータを設定する上記製造管理システムとしているので、個々の水晶発振器の特性に応じて適切な制御パラメータを設定することができ、水晶発振器の特性がばらついても規格に応じた動作となるよう制御することができる効果がある。また、本発明によれば、識別情報を記憶し、リーダライタの通信圏内に入ると、識別情報をリーダライタに送信するICタグと、制御パラメータに基づいて水晶発振器の制御を行う制御用ICとを備え、ICタグが、当該水晶発振器の特定の工程番号の工程結果に応じた制御パラメータを受信すると、内部に記憶すると共に制御用ICに当該受信を報知し、制御用ICが、ICタグからの報知を受信すると、ICタグに記憶された制御パラメータを読み取って内部に設定する水晶発振器としているので、各水晶発振器の制御用ICに、例えば、特定の工程で測定された特性値等に基づいて適切な制御パラメータを設定でき、水晶発振器の特性がばらついても規格に合う動作を行うよう制御することができる効果がある。また、本発明によれば、識別情報を記憶し、リーダライタの通信圏内に入ると、識別情報をリーダライタに送信するICタグを、水晶振動子が搭載される基板に備えた水晶発振器としているので、水晶発振器の個体識別を容易に行うことができる効果がある。本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。[実施の形態の概要]本発明の実施の形態に係る水晶発振器は、識別番号等の識別情報を記憶したICタグを備えており、ICタグの識別情報をリーダライタによって読み取ることにより、水晶発振器の個体識別や製造履歴のトレースを容易に行うことができ、利便性を向上させることができるものである。本発明の実施の形態に係る水晶発振器の製造管理システムは、水晶発振器に識別番号等の識別情報を記憶したICタグを搭載し、製造装置の近傍に設けられたICタグのリーダライタがICタグから識別情報を読み取って製造装置の制御端末に出力し、制御端末が工程番号と工程の結果と当該識別情報とをサーバに送信し、サーバが識別情報に対応付けて工程番号および工程結果とを製造履歴として記憶しておき、制御端末から識別情報を含む履歴要求を受信すると、当該識別情報に対応する製造履歴を読み出して制御端末に送信し、制御端末が、受信した製造履歴を表示するものであり、水晶発振器の個体番号を容易に管理することができ、製造装置のオペレータは、それまでの製造履歴に応じて製造工程における条件や設定を調整することができ、適切な工程管理を行うことができるものである。また、本発明の水晶発振器は、識別情報を記憶したICタグと、水晶発振器の動作を制御する制御用ICを備え、ICタグが、当該水晶発振器の製造履歴に応じた制御パラメータをリーダライタから受信すると、制御用ICに受信を報知し、制御用ICがICタグに記憶された制御パラメータを内部に設定するものであり、製造履歴に基づいて適切なパラメータを設定して、運用時には当該制御パラメータに基づいて適切な動作を行うことができるものである。[実施の形態に係る製造管理システムの構成:図1]本発明の実施の形態に係る製造管理システムの構成について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る製造管理システムの概略構成ブロック図である。図1に示すように、本実施の形態に係る製造管理システム本システムは、水晶発振器の製造工程における管理を行うものであって、リーダライタ2と、プロセス装置3と、制御端末4と、サーバ5と、データベースDB6とを備えている。サーバ5と制御端末4及びデータベース6とはLANLocalAreaNetworkによって接続されている。更に、本システムの特徴として、水晶発振器1にはICタグICチップ11と、制御用IC12が設けられている。各構成部分について説明する。[水晶発振器1]水晶発振器1は、水晶振動子と発振回路とを備え、特定の周波数を発振して出力するものであり、本システムにおいて管理する対象となるものである。また、水晶発振器1は、例えば基板に、ICタグ11と制御用IC12が取り付けられている。外部からの電力供給は、ピン若しくはパターンを使用する。[ICタグ11]ICタグ11は、メモリとアンテナとを備えたタグであり、メモリには予め特定の識別情報IDが記憶され、リーダライタ2の圏内に入ると電磁誘導で発生した電力によって、記憶された識別情報を送信する。ICタグ11に記憶されているIDが水晶発振器1の識別情報となる。以下、ICタグ11のIDを水晶発振器1のIDとして説明する。また、本システムの特徴として、ICタグ11は、リーダライタ2から送信される水晶発振器1の制御パラメータを受信してメモリに記憶すると共に、制御用IC12に受信を報知する。ICタグ11の通信周波数帯は、960MHz以下であり、メモリ容量は8bit以上、ISO/IEC規格に準拠している。また、ICタグ11の読み取り可能距離は1mm~20000mmであり、外形寸法は、幅100mm以下、奥行き100mm以下、高さ10mm以下である。[制御用IC12]制御用IC12は、水晶発振器1の動作を制御するICであり、内部にメモリを備え、メモリに記憶された制御パラメータに基づいて水晶発振器1の動作を制御する。本システムの制御用IC12は、ICタグ11から受信を報知されると、ICタグ11に記憶されている制御パラメータを読み出して自己のメモリに記憶する。尚、制御用IC12を、ICタグ11と同様のタグを備えたICとして構成してもよい。この場合、制御用IC12がリーダライタ2から制御パラメータを直接受信して、IC内のメモリに記憶する。[リーダライタ2]リーダライタ2は、常時微弱電波を出力しており、圏内に入ったICタグ11から送信されるIDを受信して制御端末4に出力すると共に、制御端末4から入力されたパラメータをIDタグ11に送信する。本システムでは、リーダライタ3は、プロセス装置3の近傍に設けられており、当該プロセス工程の対象となる水晶発振器1を個体識別するものである。[プロセス装置3]プロセス装置3は、水晶発振器1の製造工程において製造、加工又は検査に用いられる装置である。本システムでは、プロセス装置3は、制御端末4からプロセスパラメータや条件等が設定されると、当該プロセスパラメータや条件に基づいて工程の処理を実施し、プロセス結果を制御端末4に出力する。プロセスパラメータは、プロセス装置3の動作を制御するパラメータである。[制御端末4]制御端末4は、当該工程を管理する端末であり、リーダライタ2及びプロセス装置3を制御し、本システムの特徴部分となっている。ここでは、制御端末4は各プロセス装置3に対応して設けられているものとしており、制御端末4は、自己が管理するプロセス装置3で行われる工程に対応した工程番号を記憶し、リーダライタ2からのIDを受信すると、当該IDに工程番号を付してサーバ5に当該IDに対応する製造履歴を要求し、受信した製造履歴を表示する。また、制御端末4は、表示した製造履歴に基づいて、オペレータの操作によりプロセスパラメータや条件が選択又は入力されると、当該パラメータや条件をプロセス装置3に設定する。そして、保持しておいたIDとプロセス装置3からのプロセス結果と工程番号とを対応付けて、新しい履歴情報としてサーバ5に送信する。更に、水晶発振器1に対して制御パラメータを書き込む工程を管理する制御端末4は、リーダライタ2からのIDを付して水晶発振器1の制御パラメータをサーバ5に要求し、サーバ5から制御パラメータを受信すると、リーダライタ2に制御パラメータを出力し、リーダライタ2からICタグ11に当該制御パラメータを送信させる。制御パラメータは、水晶振動子1の動作を決定するパラメータであり、本システムでは、水晶発振器1の製造工程において測定された特性の測定値に応じた制御用パラメータを、出荷前に水晶発振器1に設定可能としており、当該工程を管理する制御端末4によって制御パラメータが要求されるようになっている。制御端末4の構成及び動作については後述する。[サーバ5]サーバ5は、少なくとも制御部と記憶部とLANに接続するインタフェース部とを備えたコンピュータで構成され、各水晶発振器1の製造履歴を管理するものであり、データベース6に対するデータの書き込み及び読み出しを行う。サーバ5は、制御端末4からIDと工程番号を含む履歴要求を受信すると、データベース6から当該IDに対応する製造履歴を読み出して制御端末4に送信する。その際、本システムの特徴として、当該水晶発振器1に関するそれまでの履歴情報を全て出力するのではなく、工程番号に対応して予め設定されている表示すべき項目に該当する履歴情報を抽出して制御端末4に送信する。これにより、当該工程に関連する工程の履歴情報のみが制御端末4に送信され、オペレータによって容易に確認可能となるものである。また、サーバ5は、制御端末4から水晶発振器1のIDを含む制御パラメータの要求を受信すると、データベース6を検索して、当該IDに対応する製造履歴から予め設定されている特定の工程番号の履歴工程結果を読み取り、更に、当該工程結果の値に対応して記憶されている制御パラメータ情報を取得して、要求元の制御端末4に送信する。これにより、特定の工程における検査結果や測定値に応じて、水晶発振器1に適切な制御パラメータを設定することができ、製造時に測定された水晶発振器1の特性に応じて運用時の動作を調整することができるものである。[データベース6]データベース6は、水晶発振器1の製造履歴を記憶する製造履歴情報テーブルと、制御端末4からの履歴要求があった場合に表示すべき項目を指定する履歴表示項目テーブルと、水晶発振器1に設定される制御パラメータの情報を記憶する制御パラメータテーブルを記憶している。データベース6に記憶されている各テーブルについては後で詳細に説明する。[制御端末4の構成:図2]次に、制御端末4の構成について図2を用いて説明する。図2は、制御端末4の構成ブロック図である。図2に示すように、制御端末4は、基本的に、制御部41と、記憶部42と、インタフェース部43と、操作部44と、表示部45とを備えている。制御部41は、CPU等で構成され、記憶部42に記憶された処理プログラムを起動して、制御端末4全体の制御を行うと共に、リーダライタ2とのデータ通信やプロセス装置3への条件設定及び検査結果の取得、サーバ5との通信制御等を行う。記憶部42は、制御部41における処理プログラムを記憶しており、また、接続するプロセス装置3で行われる工程の工程番号を記憶している。インタフェース部43は、操作部44、表示部45、リーダライタ2、プロセス装置3等の各種外部機器に接続する接続部である。また、LANを介してサーバ5に接続し、制御端末4とサーバ5とのデータのやり取りを実現する。操作部44は、プロセス装置3のオペレーションを行うオペレータが操作する入力部であり、プロセス装置3を制御するプロセスパラメータや検査の条件等を入力する。表示部45は、プロセス装置3の状態や、処理中の水晶発振器1についての製造履歴情報、加工や検査等の処理の結果を表示するものである。制御端末4の動作について簡単に説明する。尚、以下の説明では、プロセス装置3として検査装置を用いた場合を例として説明する。制御部41は、リーダライタ2から水晶発振器1のIDが入力されると、当該IDを内部に保持し、記憶部42から工程番号を読み出して、IDと工程番号とを付してサーバ5宛に履歴要求を送信する。そして、サーバ5から製造履歴を受信すると、制御部41は、表示部45に表示出力する。これにより、オペレータは、当該水晶発振器1のこれまでの製造工程において測定された各種特性や検査結果を確認することができ、当該検査装置での検査条件やパラメータを適切に設定できるものである。製造履歴を確認したオペレータによって操作部44から検査条件等が入力されると、制御部41は、プロセス装置3に当該検査条件を設定して検査を実行させ、検査結果を取得して、IDと工程番号と検査結果とをサーバ5に送信する。また、水晶発振器1に制御パラメータを書き込む工程を制御する制御端末4では、リーダライタ2からIDが入力されると、当該IDを付してサーバ5に制御パラメータの要求を送信する。そして、サーバ5から制御パラメータを受信すると、リーダライタ2に当該制御パラメータを出力して、リーダライタ2から水晶発振器1に制御パラメータを送信させる。このようにして制御端末4の動作が行われる。[データベース6の各テーブル]次に、データベース6に記憶されている情報について説明する。[製造履歴情報テーブル:図3]まず、製造履歴情報テーブルについて図3を用いて説明する。図3は、製造履歴情報テーブルを示す模式説明図である。図3に示すように、製造履歴情報テーブルは、各水晶発振器1の製造履歴を記憶しているものであり、水晶発振器1のID毎に、工程番号と、工程の名称と、結果工程結果とを対応付けて記憶している。工程番号は、各プロセス装置3で行われる工程を識別する情報であり、名称は当該工程の名称であり、工程結果は当該工程で行われた検査結果や測定値等である。製造履歴情報テーブルは、サーバ5が制御端末4からIDと工程番号と工程結果とを受信した場合に更新され、IDに対応する製造履歴情報テーブルに、工程番号に対応する工程結果が新たに追加されて記憶される。具体的には、工程番号と工程の名称は製品の型番等に応じて予め記憶しておき、サーバ5が、制御端末4からIDと工程番号と工程結果とを受信すると、IDに対応する製造履歴情報テーブルの当該工程番号に対応する工程結果として受信した工程結果を書き込むようにしている。本システムでは、製造履歴情報テーブルを参照することにより、各水晶発振器1の製造履歴をトレース可能としている。[履歴表示項目テーブル:図4]次に、履歴表示項目テーブルについて図4を用いて説明する。図4は、履歴表示項目テーブルの模式説明図である。履歴表示項目テーブルは、制御端末4から履歴要求があった場合にデータベース6から読み出して制御端末4に表示させる履歴情報を特定するものであり、図4に示すように、履歴情報の要求元の工程番号と表示項目とを対応付けて記憶している。要求元の工程番号は、制御端末4によって履歴要求に付された工程番号である。表示項目は、要求元の工程に関連する他の工程の工程番号である。つまり、本システムでは、制御端末4から履歴要求があった場合に、当該工程に関連する工程の工程結果のみを表示するようにしている。そして、サーバ5がIDと工程番号とが付された履歴要求を受信した場合には、履歴表示項目テーブルを参照して、受信した工程番号要求元の工程番号に対応する表示項目として記憶されている工程番号表示工程番号を読み取り、受信したIDに対応する製造履歴情報テーブルにアクセスして、当該表示工程番号の工程結果を抽出して、当該工程番号と名称と工程結果とを制御端末4に送信する。制御端末4では、サーバ5から受信した工程番号と名称及び工程結果とを表示する。[制御パラメータテーブル:図5]次に、制御パラメータテーブルについて図5を用いて説明する。図5は、制御パラメータテーブルの模式説明図である。本システムでは、水晶発振器1の動作を左右する特性の測定結果に基づいて、適切な制御パラメータを水晶発振器1の制御用IC12に設定する。つまり、当該特性の測定工程で測定された測定値に応じて適切な制御パラメータを選択するようにしている。また、サーバ5には、予め、制御パラメータ要求を受信した場合に参照すべき工程番号が記憶されている。制御パラメータテーブルは、特性を測定する工程の工程番号毎に、特性の範囲特性範囲、測定値の範囲と、それに対応する標準の制御パラメータとを記憶しているものである。図5の例では、特定の工程A工程番号xxについて、測定結果が閾値C1未満であれば制御パラメータa1を対応付け、閾値C1以上であれば制御パラメータa2を対応付けている。ここで、設定される制御パラメータとしては、数値や数式が考えられ、1つでも複数でもよい。例えば、工程Aの結果に応じて、制御パラメータaのみを設定するようにしてもよいし、工程Aの結果に応じて、制御パラメータaと制御パラメータbとを設定してもよい。そして、サーバ5は、IDを含む制御パラメータ要求を受信すると、当該要求に対して予め定められている工程番号を基に、IDに対応する製造履歴情報テーブルを参照して、その工程番号に対応する工程結果を読み出し、当該工程番号の制御パラメータテーブルを参照して、当該工程結果が含まれる特性範囲に対応する制御パラメータを読み出して制御端末4に送信する。図5のように、サーバ5に、制御パラメータ要求を受信した場合に工程A工程番号xxの結果を参照することが予め定められている場合、サーバ5は、制御パラメータ要求を受信すると、受信したIDに対応する製造履歴情報テーブルの中から、工程A工程番号xxの工程結果x1を読み出し、工程A工程番号xxに対応する制御パラメータテーブル図5を参照して、x1がどの特性範囲に含まれるのかを判断して対応する制御パラメータを制御端末4に送信する。図5の例では、x1<C1であれば制御パラメータa1を送信し、x1≧C1であれば制御パラメータa2を送信する。尚、水晶発振器1に複数の制御パラメータを設定可能で、制御パラメータ毎に参照すべき工程が異なる場合には、制御パラメータに対応する工程番号毎に制御パラメータテーブルを備えておくものとする。また、図5の例では特性範囲を2つとしているが、特性範囲をより細かく分けてもよいし、逆に、特性範囲を当該特性の適正範囲に対応する1つのみとしておき、それに対応する制御パラメータを記憶するようにしてもよい。特性範囲を1つとした場合には、製造履歴情報テーブルから読み取った測定結果が特性範囲外であれば、サーバ5は、エラーである旨を制御端末4に送信する。これにより、本システムでは、水晶発振器の特性にばらつきが生じたとしても、特性に応じて適切な制御パラメータを設定することにより、規格に合った動作とすることができるものである。[製造履歴情報の表示蓄積の動作:図6]次に、本システムにおける製造履歴情報の表示蓄積の動作について図6を用いて説明する。図6は、本システムにおける製造履歴情報の表示蓄積の動作を示す説明図である。[製造履歴情報の要求]図6に示すように、まず、プロセス装置ここでは検査装置とする3の近傍に設置されたリーダライタ2の圏内に、当該工程で処理される水晶発振器1が搬入されると、水晶発振器1に搭載されたICタグ11がIDを送信し、リーダライタ2がこれを受信するS1。リーダライタ2は制御端末4にIDを送信しS2、制御端末4はIDを受信すると、内部に記憶するS3。そして、制御端末4は、当該IDに自己が記憶している工程番号を付して、サーバ5に履歴要求を送信するS4。[製造履歴情報の検索]サーバ5は、履歴表示項目テーブルを参照して、要求元の工程番号に対応する表示項目表示工程番号を読み出し、受信したIDをキーとしてデータベース6の製造履歴情報テーブルを検索して、当該IDに対応する製造履歴情報テーブルを特定し、特定された製造履歴情報テーブルを検索しS5、表示項目の工程番号に対応する名称と工程結果とを読み出すS6。そして、表示項目の工程番号と、名称と、工程結果の組を製造履歴としてIDと共に制御端末4に送信するS7。表示される製造履歴は1つでも複数でも構わない。[製造履歴情報の表示]制御端末4では、受信した製造履歴に基づいて、工程番号と、名称と、工程結果とを表示部45に一覧表示するS8。これにより、当該プロセス装置3における検査に関連するそれまでの特性測定等の履歴が表示される。尚、制御端末4では、履歴表示の際に、サーバ5から受信したIDを処理S3で記憶したIDと比較して、一致した場合に製造履歴を表示するようにしてもよい。これにより、処理される水晶発振器とは別の水晶発振器の製造履歴が表示されるのを防ぐことができるものである。[検査実行]そして、プロセス装置3のオペレータが、製造履歴の一覧表示を確認して、特性測定等の結果に基づいて、プロセス装置3での検査における適切な条件や設定値を決定して入力するとS9、制御端末4は、当該条件や設定値をプロセス装置3に設定するS10。プロセス装置3は、設定された条件や設定値に基づいて水晶発振器1の測定を行いS11、測定結果を制御端末4に送信するS12。[製造履歴情報の蓄積]制御端末4は、プロセス装置3から受信した測定結果に、処理S3で記憶した水晶発振器1のIDと記憶部42に記憶されている工程番号とを付して、サーバ5に送信するS13。サーバ5は、データベース6の製造履歴情報テーブルの内、受信したIDに対応する製造履歴情報テーブルに、工程番号と測定結果とを対応付けて書き込むS14。データベース6は、更新された製造履歴情報テーブルを更新するS15。このようにして、本システムにおける製造履歴情報の表示蓄積の動作が行われるものである。[制御パラメータ設定の動作:図7]次に、本システムにおける制御パラメータ設定の動作について図7を用いて説明する。図7は、本システムにおける制御パラメータ設定の動作を示す説明図である。[制御パラメータの要求]図7に示すように、まず、制御パラメータの書き込み工程を制御する制御端末4の近傍に設置されたリーダライタ2の圏内に水晶発振器1が入ると、ICタグ11からIDが送信されS21、リーダライタ2は、当該IDを受信して制御端末4に送信するS22。制御端末4は、受信したIDを記憶しておくS23。そして、制御端末4は、当該IDを付して制御パラメータ要求をサーバに送信するS24。制御パラメータを設定する工程が複数ある場合には、制御端末4は自己の工程番号を付して制御パラメータ要求を送信する。[制御パラメータの取得]サーバ5には、制御パラメータ要求を受信した場合に参照する特定の工程番号が予め設定されている。制御パラメータを設定する工程が複数ある場合には、サーバ5には予め、要求元の工程番号毎に、制御パラメータテーブルを参照すべき工程番号が記憶されている。そして、サーバ5は、受信したIDに対応する製造履歴情報テーブルを特定し、当該製造履歴情報テーブルから、制御パラメータ要求時に参照する工程として予め設定されている工程番号の工程結果を読み取りS25、S26、更に当該工程番号に対応する制御パラメータテーブルを参照して、当該工程結果が含まれる特性範囲に対応する制御パラメータを読み取るS27、S28。サーバ5は、読み取った制御パラメータをIDと共に制御端末4に送信しS29、制御端末4は、受信した制御パラメータをリーダライタ2に送信しS30、リーダライタ2は、受信した制御パラメータをICタグ11に送信するS31。その際、制御端末4は、サーバ5から受信したIDを処理S23で記憶したIDと比較して、一致した場合にリーダライタ2に制御パラメータを送信するようにしてもよい。これにより、別の水晶発振器の製造履歴に基づいて誤った制御パラメータが設定されてしまうのを防ぐことができるものである。[制御パラメータの記憶]ICタグ11は、リーダライタ2から制御パラメータを受信すると、内部のメモリに記憶すると共に、受信を報知する信号を制御用IC12に出力しS31、制御用IC12が報知信号を受信すると、ICタグ11のメモリから制御パラメータを読み出してS33、自己のメモリに記憶するS34。このようにして、水晶発振器1への制御パラメータの設定が行われる。[実施の形態の効果]本発明の実施の形態に係る製造管理システムによれば、水晶発振器1にIDを記憶したICタグ11を搭載し、検査や加工を行うプロセス装置3の近傍に設けられたリーダライタ2が、ICタグ11と通信を行ってIDを受信してプロセス装置3の制御端末4に出力し、制御端末4が、プロセス装置3における処理の結果である工程結果と、当該工程の工程番号と、受信したIDとを対応付けてサーバ5に送信し、サーバ5が、データベース6の、各IDに対応して設けられた製造履歴情報テーブルに、工程番号と名称と工程結果とを対応付けて記憶すると共に、制御端末4が、リーダライタ2からIDを受信すると、当該IDを付してサーバ5に製造履歴要求を送信し、サーバ5が、受信したIDに対応する製造履歴情報テーブルを参照して、当該テーブルに記憶されている工程番号及び名称と工程結果とを読み出して制御端末4に送信し、制御端末4が、受信した工程番号と名称と工程結果とを表示する製造管理システムとしているので、オペレータが、各工程で処理を行う前にそれまでの製造履歴を閲覧して適切な条件やパラメータをプロセス装置3に設定することができ、製造履歴に応じた処理を行うことができる効果がある。また、本発明の実施の形態に係る水晶発振器によれば、ICタグ11と、制御パラメータに基づいて水晶発振器1の制御を行う制御用IC12とを備え、ICタグ12が、サーバ5から送信された当該水晶発振器1の特定の工程の工程結果に応じた制御パラメータを制御端末4及びリーダライタ3を介して受信すると、内部に記憶すると共に、制御用IC12に受信した旨報知し、制御用IC12が、報知を受信すると、ICタグ11に記憶されている制御パラメータを読み取って、内部のメモリに設定する水晶発振器賭しているので、各水晶発振器1の測定結果や検査結果に応じた適切な制御パラメータを設定することができ、水晶発振器1を、特性に応じて適切に動作させるよう制御することができる効果がある。