抵抗率及び抵抗温度係数を有する導電性材料を備えた、同時焼成プレーナ型センサのヒータ回路であって、前記導電性材料は、第1の接触パッドと第2の接触パッドとの間に連続的な導電性経路を形成するように平面基板上に配設され、前記導電性経路に電流が流されたときに、抵抗性加熱が前記導電性材料を温度上昇させ、前記導電性材料は、前記導電性材料の前記温度上昇が前記基板を温度上昇させるように前記基板に熱的に結合され、前記基板上の点の前記温度上昇は、前記基板上の前記点の位置に依存し、これにより、温度プロファイルが形成され、電流が流れる方向に対して垂直な前記導電性経路の断面積は、前記導電性経路の電流が流れる方向の長さに沿って所定の様式で変化し、これにより、前記基板上の位置の関数として形成される前記温度プロファイルは、前記第1の接触パッドと前記第2の接触パッドとの間で測定される前記ヒータ回路の全体抵抗及び抵抗温度係数が前記ヒータ回路の所定の抵抗及び所定の抵抗温度係数に匹敵する効果を有するように、前記導電性経路沿いの各点の温度を上昇させる、ヒータ回路。前記導電性材料は、パラジウム-ロジウム合金である、請求項1のヒータ回路。前記所定の抵抗及び前記所定の抵抗温度係数は、タングステン合金を含むヒータの特性に基づく、請求項1のヒータ回路。前記プレーナ型センサは排気酸素センサであり、前記センサは酸化雰囲気中で同時焼成される、請求項1のヒータ回路。前記第1の接触パッド及び第2の接触パッドは、前記基板の第1の端部の方に設置され、前記導電性経路は、前記第1の接触パッド及び第2の接触パッドに近接する比較的広い幅から、前記第1の接触パッド及び第2の接触パッドから離れた比較的細い幅まで変化するテーパ状となるように構成されている、請求項1のヒータ回路。したがって、センサの分野では、円錐型排気酸素センサの特性を再現できる同時焼成プレーナ型排気酸素センサが必要とされている。本明細書では、円錐型排気センサの特性に整合する、同時焼成プレーナ型排気センサ用のヒータ回路が開示される。本ヒータ回路の合金及び幾何形状はどちらも、目標の有効基本抵抗及び有効TCRを実現するように調整されている。本ヒータ回路は、円錐型センサで用いられるタングステン合金ヒータの基本抵抗及びTCRに十分に整合しており、したがって、タングステン合金ヒータの特性に校正されたEMSは、本同時焼成プレーナ型排気センサを使って、再校正なしに動作することができる。前述の特徴及び他の特徴は、以下の図面及び詳細な説明によって例示される。ここで、図面について説明する。なお、同様の構成要素には同様の番号を付している。説明を始めるにあたり、特筆すべきは、本明細書では、第1、第2、及びそれに類する用語は、いかなる順序、数量、重要度も意味しておらず、あるエレメントと他のエレメントを区別するのに使用されていること、ならびに本明細書の1の及び1つのという用語は数量の限定を表すものではなく、引用した品目が少なくとも1つ存在することを表していることである。数量と一緒に使用される約という修飾語は、記載の数値を含むものであり、文脈によって決まる意味を有する例えば、特定の数量を測定することに関連した誤差の程度を含む。本明細書では、下端部及び上端部という用語は、別段に記述しない限り、単に便宜上の表現に過ぎず、いかなる1つの位置又は空間的配向にも限定されないことに留意されたい。更に、本明細書に開示の範囲は全て包含的であり、組み合わせることができる例えば、最大約25重量wt.、但し約5wt.~約20wt.が望ましく、約10wt.~約15wt.がより望ましいという範囲は、上記両端点及び上記範囲に属する全中間値、例えば約5wt.~約25wt.、約5wt.~約15wt.等を含んでいる。最後に、別段に規定しない限り、本明細書で使用している技術用語及び科学用語は、本発明が属する技術分野の当業者に通常理解されているものと同じ意味を有する。1又は複数という表記は、本明細書では、それが修飾している用語の単数及び複数の両方を含むものであり、それによって、1又は複数のその用語を含んでいる例えば、金属1又は複数は、1又は複数の金属を含む。図1に、プレーナ型酸素検知エレメントに使用される例示のヒータ10を示す。そのセンサはヒータ回路12内に、基板14上に配設された導電性材料を備えている。図1に示すヒータ回路12は、第1のリード線22の一端に接続された第1の接触パッド16を具備している。リード線22の他端は、蛇行パターン20の一端につながっている。蛇行パターン20の他端は、第2のリード線24の第1の端部につながっている。第2のリード線24の他端は、第2の接触パッド18につながっている。第1の接触パッド16、第1のリード線22、蛇行パターン20、第2のリード線24、及び第2の接触パッド18は、別個のエレメントである必要はなく、単一の連続エレメントの区分を指してもよいことは理解されるであろう。区分の第1の端部又は第2の端部についての言及は、電気的接続がなされている位置を指しているが、その位置は、区分上で、他方の位置の空間的に反対側にある位置に限定されないことも理解されるであろう。ヒータ回路12は、電力源を接触パッド16及び18に接続することによって動作させる。導電性材料は対応する電気抵抗を有しており、この抵抗は材料の抵抗率及びヒータ回路の幾何形状の関数であることは、理解されるであろう。ヒータ回路12に電流が流れると、P=I2Rの関係に従い、抵抗加熱によってヒータ回路で電力が消費される。式中、Pは電力、Iは電流、Rは抵抗である。この電力消費は熱エネルギーになり、ヒータの温度及びヒータと熱的に連通する他のあらゆるエレメントの温度を上昇させる。ヒータ回路12は、所望の温度分布が得られるように設計される。代表的実施形態では、電気化学電池に近接して、蛇行パターン20が設置される。本例のヒータ回路12は、蛇行パターン20近傍で最大加熱が達成されるように設計されている。このようにして、ヒータを使って、排気酸素センサの電気化学電池を、電気化学電池が有用な出力電圧を生成するのに必要とする温度まで加熱することができる。電流がヒータ回路12の各増加incremental区分を流れる結果として熱が生成されること、また各増加区分がもたらす熱的効果の総和により基板領域全域にわたる全体的温度プロファイルがもたらされることは理解されるであろう。図2は、ヒータ回路12の蛇行パターン20が設置されている基板14端部における例示の温度プロファイルを示すものであり、特定の雰囲気温度で図1に示すヒータ回路12に特定レベルの電流を流すことによって得られる、温度を表している。図2において、510で示される線沿いに位置する点は、温度が510°Cである基板14上の部位を表している。同様に、図2の線520は520°Cの温度を有する点を表し、図2の線530は530°Cの温度を有する点を表し、線540は540°Cの温度を有する点を表し、線550は550°Cの温度を有する点を表し、線570a及び570bは570°Cの温度を有する点を表し、線580a及び580bは580°Cの点を表し、線590a及び590bは590°Cの点を表している。ヒータ回路の実際の熱プロファイルは、多くの要因によって変わる。例として、雰囲気温度、ヒータ回路を形成するのに使用される材料、ヒータ回路に印加される電圧レベル、及びヒータ回路を画成する導体パターンの幾何形状が挙げられる。導電性材料は、対応する抵抗率を有していることに加え、対応する抵抗温度係数TCRも有している。材料のTCRは、通常アルファαと呼ばれており、温度Tにおける抵抗性エレメントの抵抗は、RT=R01αT-T0で表すことができる。式中、Tは抵抗RTが測定される温度であり、R0は基準温度T0におけるその抵抗性エレメントの抵抗である。金属は、典型的には、正のTCRを有している。これは、温度が上昇するのにともなって抵抗が増大することを意味する。前の世代の円錐型酸素センサに使用されるタングステン合金ヒータに置き換えて使用することができ、エンジン管理システムの再校正が不要なヒータ回路を提供するために、パラジウム-ロジウム合金であれば、互換性のあるTCRが得られることを見出した。より詳細には、例示の実施形態において目標とする特性を達成するためには、約95のパラジウムと、約5のロジウムを含む合金が適切であることを見出した。図3は、図1のヒータ回路の等価電気回路図を簡略化して示している。図3において、ヒータ回路12は、第1の接触パッド16と第2の接触パッド18との間に7個の抵抗性区分、RA、RB、RC、RD、RE、RF、及びRGが電気的に直列に接続されているものとしてモデル化されている。7個の区分を選択したのは単に便宜的なものであり、限定するものと解すべきではないことに留意されたい。接触パッド16及び18相互間に提示されている全体抵抗は、個々の抵抗の和である。図3に示す例では、R全体=RARBRCRDRERFRGである。全体抵抗を構成する各抵抗性区分は、対応するTCRを有しており、且つ、図2に示すように、それ独自の対応する温度で動作していることに留意されたい。TCRは、各抵抗性区分に対し同じ値αを有するものと仮定すると、各区分の抵抗は、次のように定めることができる。RA=RA01αTA-T0RB=RB01αTB-T0RC=RC01αTC-T0RD=RD01αTD-T0RE=RE01αTE-T0RF=RF01αTF-T0RG=RG01αTG-T0式中、RA0は温度T0におけるRAの抵抗であり、TAはRAの温度であり、RB0は温度T0におけるRBの抵抗であり、TBはRBの温度であり、RC0は温度T0におけるRCの抵抗であり、TCはRCの温度であり、RD0は温度T0におけるRDの抵抗であり、TDはRDの温度であり、RE0は温度T0におけるREの抵抗であり、TEはREの温度であり、RF0は温度T0におけるRFの抵抗であり、TFはRFの温度であり、RG0は温度T0におけるRGの抵抗であり、TGはRGの温度である。各抵抗性区分が属する位置の温度が分かれば例えば、図2で例示したような温度プロファイルを知ることによって、全体抵抗は、上掲の等式で提示した計算を行うことによって求めることができる。実際の分析では、図3の具体例に示す7個の区分よりも少ない抵抗性区分が関与する場合もあれば、多い抵抗性区分が関与する場合もあることは理解されるであろう。当業者であれば分かるように、抵抗性エレメントの電気抵抗は、関係式R=ρL/Aで与えられる。式中、体積抵抗率ρは抵抗性材料の材料特性であり、Lはその抵抗性エレメントの、電流が流れる方向の長さであり、Aはその抵抗性エレメントの、電流が流れる方向に垂直な断面積である。タングステン合金ヒータ回路への置き換えを可能にするヒータ回路特性を実現できるように、ヒータ回路を形成する各区分の抵抗は、各々が独自に別個の温度になっている各抵抗の合計が、接触パッド16と接触パッド18との間で測定したときに目標とする全体抵抗を生成するような形で、調整できることは理解されるであろう。抵抗区分の抵抗は、その長さを変えることによって、及び/又はその断面積を変えることによって変更することができる。断面積を変えることは、その抵抗性区分の厚さ及び/又は幅を変えることによって実現することができる。図1に示す本例の実施形態において、所望のヒータ回路特性を実現するために、リード線区分22及びリード線区分24の幅がそれぞれテーパ状になされており、蛇行区分20付近の細い幅から接触パッド16、18付近の広い幅に広がっているのが分かるであろう。熱に変換される電力がP=I2Rの関係で抵抗と関係しているため、所与の抵抗性区分の温度は、その区分の抵抗の影響を受けることになることも理解されるであろう。式中、Pは単位がワットの電力であり、Iは単位がアンペアの電流であり、Rは単位がオームの抵抗である。抵抗は温度によって変わりTCRの作用のため、温度は電力消費によって変わり電気エネルギーが熱エネルギーに変わるため、電力消費は抵抗によって変わる電力、電流、及び抵抗相互間の関係のためことに留意されたい。したがって、所与のレベルのヒータ駆動電圧又は電流において接触パッド16、18相互間で測定したときに所望の全体抵抗を有するヒータ回路を作製するには、作業を繰り返す必要があるであろう。エンジン管理システムは、ヒータ回路の適切な状態の診断を行うようにプログラムすることができる。診断は、ヒータ回路に所定の電圧を与えることと、ヒータ回路を流れる電流を測定してヒータ回路の抵抗を求めることとで構築することが可能である。ヒータ回路の抵抗は、一定値ではなく、ヒータ回路に含まれる抵抗性材料の温度によって変わることは理解されるであろう。エンジン管理システムは、特定のヒータ回路の特性に基づいて校正することができるが、その特性には、特定のヒータ回路材料及び特定のヒータ回路幾何形状が含まれている。エンジン管理システムは、ヒータ回路に所定の電圧を与えるとともに、その所定電圧の印加によって生じる電流が所定の限度に収まらない場合に、ヒータ回路障害を報知することができる。本発明は、プレーナ型センサのヒータ回路の組成例えばパラジウムロジウム合金及び幾何形状例えば、基板上の位置の関数としての断面積を調整することによって、特定のヒータ回路例えば円錐型酸素センサのタングステンロッドヒータの電気的特性に合わせこみ、それによって、取り換えるだけの代用品としてエンジン管理システムに使用でき、エンジン管理システムの診断特性を再校正する必要がないヒータ回路を提供するものである。代表的な諸実施形態に沿って本発明について説明してきたが、本発明の範囲から逸脱することなく種々の改造を行うことができ、且つこれら実施形態のエレメントの代わりに均等物を用いることができることは、当業者であれば分かるであろう。加えて、材料の特定の状況を本発明の教示に適合させるために、本発明の基本的範囲から逸脱することなく、多くの改変を行うことができる。したがって、本発明は、本発明を実施するために想到されたベストモードを含むものとして開示された特定の実施形態に限定されるのではなく、添付した特許請求の範囲に属する実施形態を全て含むものであることが意図されている。