"ポンプ室と、前記ポンプ室に接続された圧出接続部及び吸入接続部と、液圧室とを備え、前記ポンプ室と前記液圧室とは膜によって互いに隔てられ、作動流体を充填することができる前記液圧室には脈動する作動流体圧を加えることができ、前記膜は、前記ポンプ室の容積が小さくなる第1の位置と前記ポンプ室の容積が大きくなる第2の位置との間で移動し、前記液圧室は、漏出補償弁を介して作動流体用リザーバに接続され、前記膜は、第1の所定の力を前記第2の位置の方向において前記膜にかけるように設計され、第1のばね定数を有するばね要素を備える、膜ポンプにおいて、前記ばね要素は、第2の所定の力を前記第2の位置の方向において前記膜にかけるように設計された他のばね要素と交換することができるか、あるいは、前記第2の位置の方向において前記ばね要素によって前記膜にかけられる力が調節可能であることを特徴とする膜ポンプ。前記ばね要素は前記膜から取り外すことができることを特徴とする請求項1に記載の膜ポンプ。液圧体及び膜体が設けられ、それらの間に前記膜が挟持され、前記液圧室が前記液圧体に配置され、前記ポンプ室が前記膜体に配置され、前記液圧体は、前記ばね要素の力の方向に配置された閉じることが可能な開口部を備え、該開口部を介して前記ばね要素を交換又は調節できることを特徴とする請求項1又は2に記載の膜ポンプ。前記脈動する作動流体は、流路を介して前記液圧室に供給され、前記流路は、少なくともその前記液圧室への開口部の領域において、前記ばね要素の力の方向と角度αを形成するように配向され、該角度αは、0°よりも大きく、好ましくは45°よりも大きく、特に好ましくは70°よりも大きく、最も好ましくは約90°であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の膜ポンプ。前記液圧室は、前記漏出補償弁を介して前記作動流体用リザーバに接続され、前記漏出補償弁が、弁ゲートが閉じられる閉位置と該弁ゲートが開かれる開位置との間で往復移動できる閉鎖体を備え、該閉鎖体は、圧力要素によって前記閉位置に保持され、前記圧力要素は、前記液圧室の圧力が設定圧力pLよりも低い場合に、前記閉鎖体が前記開位置の方向に動くように設計されることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の膜ポンプ。前記漏出補償弁の前記圧力要素及び前記膜の前記ばね要素は、前記液圧室の圧力pHと前記ばね要素によって前記作動流体に加えられる力pFVとの和がいつでも前記設定圧力pLよりも高くなるように構成配置されることを特徴とする請求項5に記載の膜ポンプ。前記閉鎖体16の質量は、前記液圧室8における圧力パルスの結果として最長で1ミリ秒の間続く0バールまでの圧力低下が起こる場合に、前記閉鎖体16が最大でも0.2mmだけ、好ましくは、最大でも0.1mmだけ前記開位置の方向に動くようになっていることを特徴とする請求項6に記載の膜ポンプ。ポンプ室と、前記ポンプ室に接続された圧出接続部及び吸入接続部と、液圧室とを備え、前記ポンプ室と前記液圧室とは膜によって互いに隔てられ、作動流体を充填することができる前記液圧室には脈動する作動流体圧を加えることができ、前記膜は、前記ポンプ室の容積が小さくなる第1の位置と前記ポンプ室の容積が大きくなる第2の位置との間で移動し、前記液圧室は、漏出補償弁を介して作動流体用リザーバに接続され、前記膜は、第1の所定の力を前記第2の位置の方向において前記膜にかけるように設計され、第1のばね定数を有するばね要素を備える、膜ポンプを調節する方法において、前記ばね定数は、pAを大気圧、pSOを吸入接続部における静圧とすると、前記膜を介して前記ばね要素によって前記作動流体に加えられる圧力pFVに対して、pFV>pA-pSOとなるように選択されることを特徴とする膜ポンプの調節方法。前記ばね要素は、pAが大気圧とすると、前記ばね要素によって前記作動流体にかかる圧力pFVが、pA>pFV>pA-pSOとなるように選択されることを特徴とする請求項8に記載の方法。前記吸入接続部が逆止弁を介して前記ポンプ室に接続される前記膜ポンプを使用し、前記逆止弁は、前記吸入接続部における圧力と、前記ポンプ室における圧力との圧力差ΔpSVがある場合に開くように設計され、前記ばね要素は、前記ばね要素によって作動流体にかけられる圧力pFVに対して、pA>pFV>pA-pSOΔpSVとなるように選択されることを特徴とする請求項9に記載の方法。上記先行技術から始めて、本発明の目的は、上記問題を軽減又は完全に克服できる膜ポンプ及びその調節方法を提供することである。膜ポンプに関して、この目的は、ポンプ室と、当該ポンプ室に接続された圧出接続部及び吸入接続部と、液圧室とを備え、ポンプ室と液圧室とは膜によって互いに隔てられ、液圧室には脈動する作動流体圧を加えることができると共に作動流体を充填することができ、膜は、ポンプ室の容積が小さくなる第1の位置とポンプ室の容積が大きくなる第2の位置との間で移動し、液圧室は、漏出補償弁を介して作動流体用リザーバに接続され、膜は、第1の所定の力を第2の位置の方向において膜にかけるように設計されたばね要素を備える、膜ポンプによって実現される。本発明によれば、ばね要素は、第2の所定の力を第2の位置の方向において膜にかけるように設計された他のばね要素と交換することができ、第2の位置の方向においてばね要素によって膜にかけられる力は、調節可能である。ばね要素が調節可能又は交換可能であるため、ばね力は、吸入接続部での静圧等一般的な条件に合わせることができる。例えば、所望の利用法のために吸入接続部での静圧自体が既に1バールであり、吸入接続部をポンプ室に接続する吸入弁が、圧力差が0.3バールよりも大きい場合に開くように設計されている場合、ポンプ室の圧力は、0.7バールよりも低下できない。その結果、ばね要素も、小さい力だけを膜に加えなくてはならないため、膜の動作寿命がさらに増加する。そのため、本発明によれば、ばね要素のばね力は、周囲の状況に合わせることができる。好適な実施形態によれば、ばね要素は、膜から取り外すことができる。そのため、ばね要素は、膜を交換することなく交換することができる。しかしながら、原則として、膜自体も適切な弾性特性を有することも可能である。さらに、液圧体及び膜体が設けられ、それらの間に膜が挟持され、液圧室が液圧体に配置され、ポンプ室が膜体に配置されると有利である。この液圧体は、ばね要素が交換されたりそのばね定数が調節できたりするばね要素の力の方向に配置された、閉じることができる開口部を備える。一般に、駆動ピストンは、力の方向においてばね要素の後ろに配置されるので、非常に手間のかかるポンプを解体する方法によってのみばね要素を交換又は調節することが可能となる。本発明の閉じることができる開口部は、ポンプが組み立てられ、静圧が吸入接続部に設定された後に、ばね定数を条件に対して容易に調節することができる。原則として、ばね要素をポンプ室に配置することも可能である。その場合、膜体にとって、ばね要素の力の方向に配置され、それを通してばね要素を交換又は調節でき、閉じることができる開口部を備えると有利である。さらに他の好適な実施形態において、脈動する作動流体は、流路を介して液圧室に供給され、該流路は、少なくとも液圧室へのその開口部の領域において、前記ばね要素の力の方向と角度αを形成するように配向され、該角度は、0°よりも大きく、好ましくは45°よりも大きく、特に好ましくは70°よりも大きく、最も好ましくは約90°である。これにより、脈動する作動流体が液圧室に向かって横方向に供給されるようになるので、ばね要素を後方から調節する又は交換する、すなわち、膜に背を向ける側面からばね要素へ接近することができる。膜ポンプを調節する方法に関しては、上記の目標は、pAを大気圧、pSOを吸入接続部における静圧とすると、前記膜を介して前記ばね要素によって前記作動流体に加えられる圧力pFVがpFV>pA-pSOとなるようにばね定数を選択調節するステップを設けることによって実現される。さらに好適な実施形態において、ばね要素によって作動流体にかかる圧力pFVは、pA>pFV>pA-pSOとなるように選択される。これにより、漏出補償弁を介して作動流体が液圧室に供給され過ぎないようにすることができる。しかしながら、本発明により、一般に低圧がポンプ室では存在できないように静圧を吸入接続部に加えることが始めて可能となるので、ばね要素によって作動流体に加えられる力は、従来技術において通常選ばれる力より実質的に小さくなるように選択することができる。実施形態によっては、吸入接続部が逆止弁を介してポンプ室に接続され、この逆止弁は、吸入接続部における圧力と、ポンプ室における圧力との圧力差ΔpSVがある場合にのみ開くように設計された適切なばね要素も有し、好ましい実施形態では、ばね要素によって作動流体にかけられる圧力pFVは、pA>pFV>pA-pSOΔpSVとなるように設定される。さらに他の好適な実施形態において、液圧室は、漏出補償弁を介して作動流体用リザーバに接続され、該漏出補償弁が、弁ゲートが閉じられる閉位置と弁ゲートが開かれる開位置との間で往復移動できる閉鎖体を備え、該閉鎖体は、圧力要素によって閉位置に保持され、圧力要素は、液圧室の圧力が設定圧力pLよりも低い場合に、閉鎖体が開位置の方向に動くように設計される。漏出補償弁の圧力要素及び膜のばね要素は、液圧室の圧力pHとばね要素によって作動流体に加えられる圧力pFVとの和がいつでも設定圧力pLよりも高くなるように構成配置されると有利である。さらに他の好適な実施形態において、閉鎖体の質量は、最長で1ミリ秒の間続く0バールまでの圧力低下が液圧室における圧力パルスの結果として起こる場合に、最大でも0.2mmだけ、好ましくは、最大でも0.1mmだけ開位置の方向に動くようになっている。他の利点、特徴、可能な応用については、以下の好適な実施形態の説明及び添付の図から明らかとなる。図1は、断面図において膜ポンプヘッド部の詳細を示す図である。膜ポンプは、液圧体23と膜体22との間に挟持された膜1を含む。膜によってドーム型キャビティがポンプ室9と液圧室8とに分けられる。膜1は、ばね要素10によって液圧体の中へと引っ張られるボルトを有するねじ接続部によって接続される。すなわち、ばね要素10は、膜1に対して液圧室8の方向に力を加える。ポンプ室9は、適切な弁を介して吸入接続部図示せず及び圧出接続部図示せずに接続される。流路24を介して周期的に変わる液圧を膜1に加えることができる。流路24において圧力が増加すると、膜1は、図1において左に動く。すなわち、ポンプ室9が収縮する。そこにある全てのポンプ媒体が弁を介して圧出接続部の外へと押し出される。そして、流路24における圧力が低下すると、ばね要素10によって膜が確実に液圧室へと引き戻される。そして、ポンプ媒体が吸入接続部からポンプ室へと送られる。膜の周期的な運動によって、ポンプ媒体は、吸入接続部から周期的に引き戻され、高圧において圧出接続部を介して排出される。膜は、挟持リム11,12の間に保持される。ばね要素10によって膜1が膨張することがある。動作中の特定の状況下では、脈動する作動流体圧によって引き起こされる漏出によって作動流体がピストンを介して逃げてしまう。正しい量の作動流体が確実に液圧室8に存在するようにするために漏出補償弁6を設けるが、それを介して液圧室8が作動流体用リザーバに接続される。この漏出補償弁6は、ばね17によって弁座へと促される小球16を備える。漏出補償弁6のばね17は、設定圧力pLを設定する。液圧室8の圧力がこの設定圧力pLよりも低下すると、漏出補償弁6の球体が弁座から持ち上がり、液圧室8の圧力が設定圧力pLまで上昇した後で漏出補償弁6のばねが球体を弁座まで押し戻して弁ゲートが閉まるまで、追加的な作動流体が通常大気圧1バールである作動流体用リザーバ15から液圧室8まで流れる。示した実施形態では、液圧要素23には、キャップ21によって閉じることができる開口部が設けられる。キャップ21が液圧体から取り外されると、ばね要素10にアクセス可能となる。このようにばね要素は、ばね要素10を介して加えられる力ができるだけ小さくなるようにするとともに漏出補償弁6が必要な時だけ開くことを確実とするために容易に交換又は再設定可能である。このアクセスの容易さは、ばね要素10の力の方向に対して本質的に90°に配置される流路24を介して脈動する作動流体が供給されるために可能となるものである。図2は、時間の関数としての吸入行程の間の液圧室における圧力を示すグラフである。吸入行程の開始時における液圧室の圧力は、ポンプがポンプ媒体を圧出接続部から排出する時の圧力と近似している。この圧力は、吸入ラインの静圧よりも実質的に高い。なお、液圧室における圧力は、戻しばね10によっても決定される。吸入行程は、ピストンを脈動する作動流体圧を発生させるために逆に移動させる時に始まる。最初は、液圧室の圧力がゆっくり減少してポンプ室の圧力が高くなるので、膜が右、すなわち、液圧室の方向に動くことを意味する。ここでポンプ室の圧力は、吸入接続部pSOにおける静圧に到達するまでゆっくり降下する。圧力低下が続く場合、ポンプ室を吸入接続部に接続するそれぞれの逆止弁が開き、ポンプ媒体が吸入接続部を介して流れる。ポンプ室の圧力が吸入接続部での静圧に達すると、流体速度の急激な変化が吸入ラインにおいて生じる。この速度ΔVにおける変化は、いわゆるジューコフスキーパルスJoukowskypulse、ΔpST=ρ×a×ΔV、を生じる。ここで、ρは、ポンプ媒体の密度であり、aは、流体で満たされた吸入パイプにおける波動伝搬の速度である。両方の室は膜を介して接続されているので、ポンプ室におけるこのジューコフスキーパルスにより液圧室における圧力パルスが生じる。高周波の急激に減退する圧力波は、以下の説明ではとりあえず無視することができる。ピストンの逆方向の動きによって液圧室の圧力が下がる。そのため、液圧室の圧力が漏出補償弁の設定圧力よりも低下しないように、ばね要素10によって液圧室の作動流体に十分な力をかけなければならない。そうでなければ、漏出補償弁が開き、液圧室に追加の作動流体を供給しなければならなくなる。そのため、既知の膜ポンプは、全ての場合において液圧室の圧力が設定圧力より確実に高くなる適切な戻しばね10を備えている。ポンプ室の圧力は、ゼロよりも低くなれず、作動流体用リザーバの圧力は、典型的には大気圧1バールよりも低いので、吸入行程の終わりに、すなわち、ばねが液圧室において膜をその引き返し点まで引っ張る時でさえ1バールよりも高くなるようにばねを選択する。これにより、最悪の場合でも、漏出補償弁が予想外に開くことがなくなる。しかしながら、本発明によれば、膜ポンプは、ゼロより大きい静圧pSOが吸入接続部においてかかる環境において通常採用されているので、膜にかかる力は、戻しばね10によって確実に調節可能である。膜がばね要素10によって液圧室に向かって不必要に強く引っ張られるのを防止するため、この場合にどの圧力を適用するかによって、ばね力を低減させることができる。設定された力が低ければ低いほど、膜の動作寿命は長くなる。また、ばね要素10の小さなばね力に対してだけ作用すればよいので、ポンプの駆動も減らすことができる。本発明の、ばね要素10によって膜に加えられた力の調節によって、膜ポンプの消費エネルギーをかなり削減することができる。後で膜ポンプを吸入ラインにおいて他の静圧に調節しなければならない場合、ばね要素10を、他のものに調節又は交換しなければならない。本発明の構成によって、多大な費用をかけずにそれが可能となる。上述したように、吸入行程sの開始から特定の時間が経った後で、液圧室の圧力pHは急に短い間隔ΔpSTの間低下する。少しすると、液圧室の圧力が再び急激に上昇して高周波の急激に減退する圧力の振動ジューコフスキーパルスが発生する。最大の圧力パルスがP=0まで低下することがすぐに分かる。しかしながら、液圧室の圧力は、実際にはゼロまで低下せず操作パラメータ及び膜ポンプの構造によって設定される最小圧力pminまで低下する。この圧力の短時間の低下のために、圧力は、設定圧力pLよりも低下し、そのため、漏出補償弁が開いてしまう。従来技術では、圧力パルスがpminまで低下した際の開放を防ぐため、pL<pminとなるように漏出補償弁の設定圧力を選択するのが通常である。しかしながら、これでは、液圧室に含まれる作動流体が不足している場合、吸入行程の終わりに圧力が実際に漏出補償弁の設定圧力よりも低下していることを確実にするための適切で建設的な対策を取らなければならない。そのため、膜ポンプのコストが増加してしまう。そのため、0.1mmよりも多くなるまで閉鎖体を移動させるために1ミリ秒までの間、圧力パルスが十分でないようにするように、漏出補償弁の閉鎖要素の質量を増加させることが提案されている。しかしながら、これらの本発明の対策は、液圧室における平均圧力pmよりも設定圧力PLが低い限りにおいて、設定圧力PLを実質的にpminよりも高くなるように選択することができることを意味している。本発明は、圧力パルスが、非常に短い時間間隔Δts<1ミリ秒の間だけ起こるという事実に基づく。本発明によれば、閉鎖体の質量は、そのような圧力パルスが0.2mm、好ましくは、0.1mmも持ち上げられないように十分に大きくなるように選択することができる。適切な漏出補償弁を図3に示す。この漏出補償弁は、閉位置にある弁体18におけるボアを閉じる閉鎖要素20を備える、弁体18に収容された閉鎖体16を備えるので、作動流体用リザーバ19へのラインは、液圧室8から分かれている。閉鎖体は、図3に示すように、ばね要素17によって閉位置へと付勢される。作動流体用リザーバ中の作動流体の圧力及び、ライン19における圧力は、実質的に一定のままである。液圧室8の圧力が、ばね17に本質的にもたらされる設定圧力pLよりも低下すると、図3に示した位置にある閉鎖体16が上方に動き、ライン19と液圧室8との間の接続が開放される。原則として、閉鎖体が0.2ミリメートルだけ動く場合、弁体18と閉鎖体20との間の間隙は、相当量の作動流体を、ライン19を介して液圧室へと排出させるためには不十分であるものとする。閉鎖体の行程Δsは、以下のように計算される。ここで、Δtは、圧力パルスの経過時間であり、bは、圧力パルスによる閉鎖体の加速度であり、以下のように計算される。ここで、Fは、閉鎖体にかかる力であり、mは、閉鎖体の質量である。よって、以下のようになる。圧力パルスは、1ミリ秒よりも長く続かない、すなわち、Δts=1ミリ秒と仮定すると、閉鎖体の動きは、最大でも0.1mm、すなわち、Δss=0.1mmとなり、圧力パルスが圧力を0バールまで低減させる、すなわち、圧力パルスが設定圧力pL、すなわち、0.7バールと同じ大きさであると仮定すると、閉鎖要素の8mmの直径、すなわち、対応する表面積は約0.5cm2となり、となる。よって、示した例では、閉鎖体の質量は、閉鎖体が0.1mmよりも動かないようにするためには、少なくとも17.5gでなければならない。閉鎖体の質量がこの大きさになるように選択されれば、かなりの量の作動流体が液圧室に解放される限り、0バールまでの圧力パルスでも閉鎖体を動かすことはない。説明した方法は、圧力パルスの低下が一般に0バールではなく最小圧力pminまでであることを考慮することによってさらに改善することができる。上記5の式において、設定圧力pLの代わりに、圧力パルスによる設定圧力pLと最小圧力pminと差pL-pminを用いることができる。ここでは、質量をさらに減らすことができる。あるいは、設定圧力pLは、増加させてもよく、ばねを弱くしてポンプの操作を簡単にしてもよい。"