"圧力が内壁面に加えられる部材に装着され、前記部材の内壁面に加えられる過剰圧力を外部に開放する、ゴム弾性板から構成される過剰圧力開放弁であって、前記ゴム弾性板には、その裏面側に加えられる過剰圧力を表面側の外界に開放するように破裂する脆弱部が前記表面側又は前記裏面側に形成され、且つ前記ゴム弾性板が前記部材の内壁面又は外壁面に熱圧着可能な熱可塑性樹脂を含むゴム材料によって形成されていることを特徴とする過剰圧力開放弁。前記部材が、可撓性材料によって形成された容器であって、前記容器の内壁面と外壁面との少なくとも一面側の壁面が熱可塑の樹脂から成る樹脂皮膜によって形成されており、前記ゴム弾性板が、前記樹脂皮膜に熱圧着可能となるように、前記熱可塑性樹脂を含むゴム材料によって成形されていることを特徴とする請求項1に記載の過剰圧力開放弁。前記部材が、ポリプロピレン皮膜によってラミネートされた可撓性材料によって形成された容器であって、前記ゴム弾性板が、前記ポリプロピレン皮膜に熱圧着可能となるように、ポリプロピレンとエチレンプロピレン共重合体EPDMとが配合されたゴム材料によって成形されていることを特徴とする請求項1に記載の過剰圧力開放弁。前記脆弱部が、前記ゴム弾性板の中央部に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の過剰圧力開放弁。前記ゴム弾性板の脆弱部には、溝状部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の過剰圧力開放弁。前記ゴム弾性板が、その一面側に開口した凹部が形成されたゴム弾性板であって、前記凹部の底面側部に脆弱部が形成され、且つ前記凹部の開口縁を含む平面が前記部材の壁面に熱圧着される接着面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の過剰圧力開放弁。前記ゴム弾性板の脆弱部が形成された面側又はその反対面側に、前記脆弱部が破壊されたことが目視できるように、前記ゴム弾性板と異なる色彩でマーキングが施されていることを特徴とする請求項1に記載の過剰圧力開放弁。ゴム弾性板の裏面側に加えられる過剰圧力を表面側の外界に開放するように破裂する脆弱部が前記表面側又は前記裏面側に形成された過剰圧力開放弁を、内壁面に圧力が加えられる部材に装着した過剰圧力開放ユニットであって、前記ゴム弾性板が、前記部材の内壁面又は外壁面に熱圧着されて装着されるように熱可塑性樹脂を含むゴム材料によって成形されていることを特徴とする過剰圧力開放ユニット。前記部材が、可撓性材料によって形成された容器であって、前記容器の内壁面と外壁面との少なくとも一面側の壁面が熱可塑性樹脂から成る樹脂皮膜によって形成されており、前記熱可塑性樹脂を含むゴム材料によって成形された前記ゴム弾性板が前記樹脂皮膜に熱圧着されていることを特徴とする請求項8に記載の過剰圧力開放ユニット。前記部材が、ポリプロピレン皮膜によってラミネートされた可撓性材料によって形成された部材であって、ポリプロピレンとエチレンプロピレン共重合体EPDMとが配合されたゴム材料によって成形された前記ゴム弾性板が前記ポリプロピレン皮膜に熱圧着されていることを特徴とする請求項8に記載の過剰圧力開放ユニット。前述した特許文献1~3に記載されている、いわゆるリリーフ弁構造の安全弁によれば、容器内圧が正常圧に戻ったときには、その放出路が閉じられるため、継続使用が可能である。しかし、リリーフ弁構造の安全弁は、その構造が複雑であるため、大型化し易く、放出路の開閉するタイミングによっては容器内圧のバラツキが発生し易い。更に、とりわけ特許文献2~3に記載の安全弁は、容器内圧が負圧となったとき、外気を容器内に吸い込んだり、湿気に由来する水分が容器内に浸入したりするおそれがある。また、特許文献4,5に記載された防爆弁や破裂弁によれば、容器内圧が過剰となったとき、防爆弁や破裂弁の一部が破壊されるため、容器内圧が正常圧に戻っての再使用はできない。但し、その構造は簡単であり、且つ容器内圧が負圧となっても、外気を吸い込むおそれはない。しかしながら、特許文献4に記載された防爆弁は、防爆弁を変形して容器の透孔に外側から挿入し、一対のフランジ部間に透孔の周縁部を挟み込んで嵌着するものである。このため、防爆弁を容器の透孔から内方に挿入し、一対のフランジ間に透孔の周縁部を挟み込むという煩雑な装着操作が必要である。特に、小型化された防爆弁の容器への装着操作は極めて煩雑である。また、引用文献5に記載された破裂弁は、金属製の板体を容器に溶接することが必要である。この様に、防爆弁及び破裂弁も、容器等への装着操作は煩雑であり、薄い可撓性材料によって形成された容器に装着することは至難のことである。本発明は前記の課題を解決するためになされたもので、構造が簡単で小型化が可能であって、且つ薄い可撓性材料によって形成された容器等の部材に簡単に装着でき、作動圧よりも強い接着力を有しており、作動圧のばらつきが小さな過剰圧力開放弁及び過剰圧力開放ユニットを提供することを目的とする。前記の目的を達成するためになされた、請求の範囲の請求項1に記載された過剰圧力開放弁は、圧力が内壁面に加えられる部材に装着され、前記部材の内壁面に加えられる過剰圧力を外部に開放する、ゴム弾性板から構成される過剰圧力開放弁であって、前記ゴム弾性板には、その裏面側に加えられる過剰圧力を表面側の外界に開放するように破裂する脆弱部が前記表面側又は前記裏面側に形成され、且つ前記ゴム弾性板が前記部材の内壁面又は外壁面に熱圧着可能な熱可塑性樹脂を含むゴム材料によって成形されていることを特徴とする。請求項2に記載された過剰圧力開放弁は、請求項1に記載されており、前記部材が、可撓性材料によって形成された容器であって、前記容器の内壁面と外壁面との少なくとも一面側の壁面が熱可塑の樹脂から成る樹脂皮膜によって形成されており、前記ゴム弾性板が、前記樹脂皮膜に熱圧着可能となるように、前記熱可塑性樹脂を含むゴム材料によって成形されていることを特徴とする。請求項3に記載された過剰圧力開放弁は、請求項1に記載されており、前記部材が、ポリプロピレン皮膜によってラミネートされた可撓性材料によって形成された容器であって、前記ゴム弾性板が、前記ポリプロピレン皮膜に熱圧着可能となるように、ポリプロピレンとエチレンプロピレン共重合体EPDMとが配合されたゴム材料によって成形されていることを特徴とする。請求項4に記載された過剰圧力開放弁は、請求項1に記載されており、前記脆弱部が、前記ゴム弾性板の中央部に形成されていることを特徴とする。請求項5に記載された過剰圧力開放弁は、請求項1に記載されており、前記ゴム弾性板の脆弱部には、溝状部が形成されていることを特徴とする。請求項6に記載された過剰圧力開放弁は、請求項1に記載されており、前記ゴム弾性板が、その一面側に開口した凹部が形成されたゴム弾性板であって、前記凹部の底面側部に脆弱部が形成され、且つ前記凹部の開口縁を含む平面が前記部材の壁面に熱圧着される接着面に形成されていることを特徴とする。請求項7に記載された過剰圧力開放弁は、請求項1に記載されており、前記ゴム弾性板の脆弱部が形成された面側又はその反対面側に、前記脆弱部が破壊されたことが目視できるように、前記ゴム弾性板と異なる色彩でマーキングが施されていることを特徴とする。請求項8に記載された過剰圧力開放ユニットは、ゴム弾性板の裏面側に加えられる過剰圧力を表面側の外界に開放するように破裂する脆弱部が前記表面側又は前記裏面側に形成された過剰圧力開放弁を、内壁面に圧力が加えられる部材に装着した過剰圧力開放ユニットであって、前記ゴム弾性板が前記部材の内壁面又は外壁面に熱圧着されて装着されていることを特徴とする。請求項9に記載された過剰圧力開放ユニットは、請求項8に記載されており、前記部材が、可撓性材料によって形成された容器であって、前記容器の内壁面と外壁面との少なくとも一面側の壁面が熱可塑性樹脂から成る樹脂皮膜によって形成されており、前記熱可塑性樹脂を含むゴム材料によって成形された前記ゴム弾性板が前記樹脂皮膜に熱圧着されていることを特徴とする。請求項10に記載された過剰圧力開放ユニットは、請求項8に記載されており、前記部材が、ポリプロピレン皮膜によってラミネートされた可撓性材料によって形成された容器であって、ポリプロピレンとエチレンプロピレン共重合体EPDMとが配合されたゴム材料によって成形された前記ゴム弾性板が前記ポリプロピレン皮膜に熱圧着されていることを特徴とする。本発明に係る過剰圧力開放弁は、簡単な構造で小型に形成され、且つ内壁面に圧力が加えられる部材に、その形状を変形することなく熱圧着によって簡単に装着できる。このため、薄い可撓性材料によって形成された小型容器等の部材にも簡単に装着できる。更に、本発明に係る過剰圧力開放弁は、簡単な構造であるため、均一なものを大量に低コストで製造でき、生産性が高いものである。しかも、本発明に係る過剰圧力開放弁は、ゴム弾性板を用いているため、ゴム弾性板の硬さ、厚さ及び脆弱部の厚さ等を任意に変更でき、装着する部材に併せて最適な圧力で圧力開放ができるように自在に調整できる。また、本発明に係る過剰圧力開放ユニットは、過剰圧力を開放すべき閉鎖系の容器、配管、それに連結される外部コネクタ等の部材に過剰圧力開放弁を構成するゴム弾性板を熱圧着した簡単な構成であり、小型であっても圧力を安全かつ確実に外界へ開放できる。また、この過剰圧力開放弁は部材に熱圧着されて簡単に装着できるため、過剰圧力開放弁が作動して過剰圧力を開放したとき、過剰圧力開放ユニットを交換して再使用できる。本発明に係る過剰圧力開放ユニットの一例を図1に示す。図1に示す過剰圧力開放ユニットは、内壁面に圧力が加えられる部材としての容器12に過剰圧力開放弁14が装着された電気二重層キャパシタ10である。この過剰圧力開放弁14は、図2に示す様に、円盤状のゴム弾性板16から成る。ゴム弾性板16には、その一面側に凹部18が開口されており、この凹部18の底面に対応するゴム弾性板16の他面側に、十字状に交差する溝部20,20が形成されている。かかる溝部20,20の交点に脆弱部22が形成されている。このゴム弾性板16は、ポリプロピレンとエチレンプロピレン共重合体EPDMとが配合されたゴム材料によって成形されている。このゴム材料には、耐熱性向上剤としての酸化亜鉛、補強剤としてのカーボンブラックや炭酸カルシウム、硬さ調整剤としての軟化剤、加工助剤、老化防止剤等が配合されていてもよい。また、配合されるポリプロピレンは、EPDMの100質量部に対して5~40質量部、特に10~30質量部とすることが好ましい。この上限を超えるとロール加工性が満足できなくなり、一方、下限を超えると接着性が満足できなくなってしまう。かかるゴム弾性板16は、ポリプロピレンとEPDMとが配合されたゴム材料によって成形されているため、ゴム弾性板16の凹部18を囲むフランジ部24の平面をポリプレン皮膜に、その形状を変形させることなく熱圧着によって接合できる。この様に、ゴム弾性板16のフランジ部24の平面がポリプレン皮膜に熱圧着された状態を図3aに示す。図3aは、図1に示す容器12に装着された過剰圧力開放弁14を構成するゴム弾性板16の断面図である。図1に示す容器12には、アルミ箔12aの両面が樹脂被膜12b,12cによってラミネートされた複合シート材料が用いられている。かかる容器12では、電解液と接触する内壁面を形成する樹脂被膜12bとして、ポリプロピレン皮膜以下、PP被膜12bと称することがあるを採用している。この容器12には、容器12の上部に穿設された透孔13を閉塞するように、ゴム弾性板16のフランジ部24が容器12の内壁面を形成するPP皮膜12bに熱圧着されている。この様に、容器12のPP皮膜12bにフランジ部24が熱圧着されたゴム弾性板16の他面裏面は、容器12の内方を向いており、図3bに示す様に、十字状に交差する溝部20,20が形成されている。かかる溝部20,20は、レーザーを照射して形成したものであって、その交点に窪み22が形成されている。溝部20は、金型成形の際に、その金型の凸形状によって、成形することも可能である。形成された窪み22は、図3aに示す様に、V字状である。レーザーによって溝部20,20を形成する際に、レーザーが二回照射された部分であって、溝部20,20よりも深く穿設されている。かかる窪み22が形成された箇所は、ゴム弾性板16の底面側部21内で最も薄くなる最薄部であり、脆弱部26を形成する。この脆弱部26の厚さT3は、ゴム弾性板16を形成するゴム材料の硬さや容器12内の内圧で異なるが、0.05~0.3mm、特に0.05~0.2mmに調整することが好ましい。また、図3に示すゴム弾性板16のサイズは、その外径D1が5~20mm、凹部18の内径D2が2~10mmに調整されていることが好ましい。また、ゴム弾性板16のフランジ部24の厚さT1は0.5~3mm、特に0.5~2.0mm、溝部20,20が形成された凹部18の底面側部21の厚さT2は0.2~2mm、特に0.2~1.0mmとすることが好ましい。図1~図3に示す過剰圧力開放弁14を構成するゴム弾性板16は、容器12内の内圧が昇圧されると、図4aに示す様に、底面側部21が凹部18の内方に膨らむ。特に、脆弱部26が形成された部分の膨らみが他の部分よりも大きい。更に、容器12の内圧が所定圧よりも昇圧されて過剰内圧に到達したとき、図4bに示す様に、脆弱部26が破裂して破裂孔28が形成され、破裂孔28から内圧を外界に開放でき、容器12の破裂等を防止できる。ところで、図4bの様に、過剰圧力開放弁14が作動し、破裂孔28から容器12の過剰圧を開放した後、ゴム弾性板16を交換することが必要である。しかし、ゴム弾性板16は小さく、破裂孔28を肉眼で視認し難い場合がある。この場合、図5に示す様に、ゴム弾性板16の底面側部21の表面側にゴム弾性板16と異なる色彩でマーキング30を施すことによって、過剰圧力開放弁14が作動したことを簡単に視認できる。すなわち、過剰圧力開放弁14が作動する前では、図6aに示す様に、ゴム弾性板16の底面側部21の表面側にジェルインクを塗布したマーキング30が目視できる。一方、過剰圧力開放弁14が作動した際には、破裂孔28からの内圧の噴出等によってマーキング30が除去される。このため、図6bに示す様に、ゴム弾性板16の底面側部21の表面側にマーキング30を目視できない。かかるマーキング30は、底面側部21の溝部20が形成されている裏面側に形成してもよい。過剰圧力開放弁14が作動したとき、底面側部21の裏面に形成したマーキング30の一部は破裂孔28から表面側に移動し、底面側部21の表面側からマーキングの一部が目視できる。図1~図6に示す過剰圧力開放弁14では、ゴム弾性板16に形成した溝部20及び窪み22は、レーザーを照射して形成していたが、ゴム弾性板16を金型等の成形型で成形し、その際に、溝部20及び窪み22を形成してもよい。成形型で成形した窪み22は、図7aに示す様に、コ字状でもよく、図7bに示す様に、U字状であってもよい。この様に成形型で成形したゴム弾性板16では、レーザーを照射して形成したゴム弾性板16の作動圧よりもバラツキを小さくできる。特に、コ字状の溝部20を有するゴム弾性板16を金型成形した場合、コ字状の形状や深さのばらつきが少なく、大量に歩留り良く製造できるので、生産性が高い。また、レーザーを照射して溝部20及び窪み22を形成する場合も、溝部20を形成するレーザーの走行速度を速くすることによって、作動圧のバラツキを小さくできる。また、図8に示す様に、溝部20,20が交差していなくてもよい。このように交差していないと、レーザーの十文字状の照射によって形成される交差部位での深さや形状のばらつきを少なくすることができるので、好ましい。更に、図9に示す様に、窪み22としては、種々の形状のものを採用できる。例えば、窪み22は、図9aに示す様に、ゴム弾性板16の底面側部21の裏面側から平面中央の方向に深くなるように形成されたフラットな底部を持つ溝部20,20が略十文字に交差する中央最深部に形成される。この窪み22の尖端に対応する部分の厚さが底面側部21の他部よりも薄くなって、脆弱部26を形成している。また、窪み22は、図9bに示す様に、ゴム弾性板16の底面側部21の表面側に十文字状の開口部23を形成すると共に、縦断面が五角形状の溝部20,20を形成し、その交点に近い程、溝部20が深く形成することによって、その交点に形成できる。この窪み22の尖端に対応する部分の厚さが底面側部21の他部よりも薄くなって、脆弱部26を形成する。その十文字状の開口部23が表面側に開口している溝部20,20は縦断面の五角形状の2辺によってV字状となって溝幅の内側ほど深くなる傾斜面を形成すると、窪み22の尖端を鋭く形成できるため、作動圧が微調整された脆弱部26を形成できる。かかる窪み22は、図9cに示す様に、ゴム弾性板16の底面側部21の裏面側から表面側に向けて次第に深くなるように傾斜面が形成された一文字状の溝部20に形成してもよい。この溝部20は、底面側部21の表裏面に直交し、その溝部20の長手方向にも直交する縦断面をU字状、V字状、コ字状、又はホームベース状の五角形状とする溝部であってもよい。特に、コ字状であることが好ましい。更に、図9dに示す様に、円錐状の窪み22のみを形成してもよい。円錐状の窪み22の尖端に対応する部分が脆弱部26となる。この円錐状の窪み22を角錐状に形成してもよい。また、図9eに示す様に、窪み22として、ゴム弾性板16の底面側部21の裏面側から十文字状に切れ込まれたスリットを形成してもよい。形成されたスリットの尖端の部分に対応する部分が脆弱部26となる。かかるスリットとしては、一文字状、U字状、V字状、S字状、星印状又は5方向以上へ延びるアスタリスク字状のような放射状であってもよい。図1~図9に示す過剰圧力開放弁14を構成するゴム弾性板16は、凹部18が形成されており、容器12の内圧が上昇したとき、溝部20及び窪み22が形成された底面側部21は、図4aに示す様に、凹部18内で膨張できる。かかる膨張が、容器12に穿設した透孔13[図3a]から突出することが許容できる場合は、図10に示す様に、両面が平坦面に形成されたゴム弾性板16を用いることができる。図10に示すゴム弾性板16では、図10aに示す様に、容器12に装着したとき、容器12の内方となる裏面に、溝部20及び窪み22を形成してもよく、図10bに示す様に、外気に触れる表面側に溝部20及び窪み22を形成してもよい。以上の説明では、ゴム弾性板16をPP被膜12b[図3a]に熱圧着するため、ゴム弾性板16をポリプロピレンとEPDMとを配合したゴム材料で成形しているが、ポリエチレン被膜にゴム弾性板16を熱圧着する場合には、ポリエチレンとEPDMとが配合されたゴム材料を用いてゴム弾性板16を形成してもよい。また、ゴム弾性板16を容器12に熱圧着できるならば、ゴム材料に公知の合成ゴムオレフィンエラストマー等の熱可塑性エラストマーも含む成分や天然ゴム成分を配合してもよい。更に、図1~図10では、容器12の内壁面にゴム弾性板16を熱圧着しているが、容器12の外壁面にゴム弾性板16を熱圧着してもよい。以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例11ゴム弾性板16の準備ゴム弾性板16の形成用のゴム材料として下記表1の水準1~5に示す組成のゴム材料を調整した。このゴム材料を、32Tプレスを用いて、成形金型で所定形状に成形しつつ、加硫温度170°C、加硫圧力20MPa、加硫時間10分の条件で成形した。得られた成形物形状は、図2に示す一面側に凹部18が開口された円形状のゴム弾性板16である。このゴム弾性板16の寸法は、外径D110mm、凹部18の内径D25mm、フランジ部24の厚さT11mm、底面側部21の厚さT20.22~0.23mmであった。得られたゴム弾性板16の硬さを、JISK6253によるデュロメータA硬さ、密度等の物性を下記表2に示す。金型にて溝20の形成有りのものと、溝20の形成無しのものとを、成形した。2作動圧の測定水準1~水準5のゴム材料を用いて得られたゴム弾性板16の底面側部21の溝部20等の一部が破壊され、ゴム弾性板16の他面側裏面側のガス圧が放出される作動圧について測定した。作動圧は、底面側部21に十字状の溝部20を形成したゴム弾性板16と、底面側部21に十字状の溝部20を形成しなかったゴム弾性板とについて測定した。また、作動圧の測定条件は、リーク試験機を使用して、ガスとして用いた窒素ガスの昇圧速度を2kPa/sとして測定した。結果を図11に示す。図11に示すグラフでは、横軸にゴム弾性板16の硬さを示し、縦軸に作動圧力を示す。図11から明らかな様に、底面側部21に十字状の溝部20を形成したゴム弾性板16の作動圧が、底面側部21に十字状の溝部20を形成しなかったゴム弾性板の作動圧よりも低圧にできること、及びゴム弾性板16の硬さが低くなるほど、ゴム弾性板16の作動圧を低圧化できる。実施例2アルミニウム箔の一面側がポリプロピレン皮膜PP皮膜でラミネートされ、且つ他面側がポリエチレンテレフタレート皮膜PET皮膜でラミネートされたラミネートフィルムのPP皮膜に対する、表1に示すゴム材料を用いて得られた成形物の熱圧着強度を測定した。成形物としては、表1に示すゴム材料を厚さ1mmの短冊状に成形したものを用い、短冊状の成形物をラミネートフィルムのPP皮膜に熱圧着した。熱圧着の条件は、熱圧着圧力0.3MPa、熱圧着温度195°C、熱圧着時間120秒であった。熱圧着した短冊状の成形物の剥離強度は、引張試験機東洋精機製作所製ストログラフを用いて、引張速度50mm/sで180°の剥離試験を行って測定した。結果を図12に示す。図12では、横軸にゴム材料中のPP添加量を示し、縦軸に剥離強さを示す。図11から明らかなように、PP添加量と短冊状の成形物との剥離強さとは比例関係にある。この関係は、Y=1.0794×X-6.0905との回帰式で表すことができるY:剥離強さ、X:PP添加量。比較例1PP製のホルダー外径8mm、内径3mm、厚さ0.75mmに、厚さ30μmのPP膜を熱圧着した。このPP膜の破壊圧を、リーク試験機を使用して、ガスとして用いた窒素ガスの昇圧速度を20kPa/sとして測定した。その結果、破壊圧は0.500MPa中央値であった。また、その破壊圧は、0.446~0.634MPaとばらついた。この様に、PP膜のみでは、ホルダーとの熱圧着は容易になるものの、破壊圧が大きく且つばらつくため、過剰圧力開放弁としては使用困難である。実施例3表1の水準1のゴム材料を用いて、実施例1と同様にして、図2に示す一面側に凹部18が開口された円形状のゴム弾性板16を成形した。このゴム弾性板16の寸法は、外径D110mm、凹部18の内径D25mm、フランジ部24の厚さT10.5mm、底面側部21の厚さT20.234~0.254mmであった。得られたゴム弾性板16の底面側部21の裏面側に、レーザーで長さ10mmの溝部20を十字状に形成した。この溝部20は、株キーエンス製のCO2レーザーマーカーML-G9310にて強度を80に調整したレーザーを速度300mmsの速度で移動して形成した。この溝部20,20の交点は、レーザーが二度通過しており、図3aに示す様に、窪み22が形成されていた。この窪み22が形成された部分に対応する脆弱部26の脆弱部厚さT3は0.03~0.079mmであった。これらの厚さの測定は、実施例1と同様に、キーエンス製のマイクロスコープを用いて測定した。得られたゴム弾性板16の作動圧について、実施例1と同様にして測定した。その結果を図13abに示す。図13aは、横軸に底面側部21の厚さを示し、縦軸に作動圧を示した。また、図13bは、横軸に脆弱部厚さを示し、縦軸に作動圧を示した。図13abから明らかなように、底面側部21の厚さT2及び脆弱部26の脆弱部厚さT3と作動圧とは、正の相関が認められる。従って、実施例1の結果と併せて、ゴム弾性板16の作動圧を所望圧力に調整するには、ゴム弾性板16の底面側部21の厚さT2、脆弱部26の脆弱部厚さT3及び硬さを調整することによって行うことができる。実施例4表1の水準2のゴム材料を用いて、実施例1と同様にしてゴム弾性板16を成形した。得られたゴム弾性板16は、外径D110mm、凹部18の内径D25mm、フランジ部24の厚さT10.5mm、底面側部21の厚さT20.22~0.23mmであった。得られたゴム弾性板16の底面側部21の裏面側に、金型にて溝部20を十字状に形成した。この溝部20の厚さT3は0.08~0.09mmであった。このゴム弾性板16の作動圧のばらつきを、リーク試験機を使用して、ガスとして用いた窒素ガスの昇圧速度を2~200kPa/sに振って調査した。その結果を図14に示す。図14には、横軸に昇圧速度を示し、縦軸に作動圧を示す。また、図14の黒丸は、作動圧の平均値であり、最大値及び最低値を横線で示す。図14から明らかな様に、昇圧速度が2kPa/sから200kPa/sとなっても、ゴム弾性板16の作動圧のバラツキは略一定値であった。実施例5表1の水準2のゴム材料を用いて、ゴム弾性板16を成形する際に、成形金型として溝部20を形成するゴム弾性板と実施例3と同様にレーザーにより溝部20を形成したゴム弾性板16を成形した。得られたゴム弾性板16は、外径D110mm、凹部18の内径D25mm、フランジ部24の厚さT10.5mm、底面側部21の厚さT20.22~0.23mmであった。得られたゴム弾性板16の底面側部21の裏面側に形成された溝部20の厚さT3は0.08~0.09mmであった。得られたゴム弾性板16について、実施例1と同様にして作動圧を20回測定し、その結果を図15に示す。また、実施例3と同様にして、レーザーで十字状に交差する溝部20を形成した。この際に、溝部20は、強度を80に調整したレーザーを速度300mmsの速度で移動して形成した。かかる溝部20,20の交点には、窪み22が形成されており、脆弱部厚さT3は0.01~0.03mmであった。このゴム弾性板16についても、実施例1と同様にして作動圧を20回測定し、その結果を図15に併せて示す。図15において、黒丸は作動圧の平均値であり、最大値及び最低値を横線で示す。図15から明らかな様に、成形金型を用いて溝部20,20及び窪み22を形成したゴム弾性板16では、レーザーで溝部20,20及び窪み22を形成したゴム弾性板16に比較して、その作動圧のばらつきを少なくできる。尚、レーザーで溝部20,20及び窪み22を形成したゴム弾性板16の作動圧のバラツキであっても、過剰圧力開放弁として使用可能である。レーザーで溝部20,20及び窪み22を形成したゴム弾性板16の作動圧のばらつきが、成形金型を用いて溝部20,20及び窪み22を形成したゴム弾性板16の作動圧のばらつきより大きくなる原因は、レーザーで溝部20,20を形成する加工ばらつきが、その交点で重なるためであると推察される。かかる作動圧のばらつきは、低圧作動用のゴム弾性板16で大きくなる傾向にある。低圧作動用のゴム弾性板16では、窪み22を深くして、脆弱部26の厚さT3を薄くすることを要し、厚さT3のバラツキが大きくなるためと考えられる。この点、成形金型を用いて溝部20,20及び窪み22を形成したゴム弾性板16では、窪み22を一回で形成できるため、脆弱部26の厚さT3のばらつきを可及的に少なくできる。"