冷媒ガスを圧縮する圧縮機と、前記圧縮機から供給された高圧冷媒ガスを膨張させて冷熱を発生させる膨張機とを備えた冷凍機において、内筒部材と、前記内筒部材を囲むように設けられた外筒部材と、前記内筒部材と前記外筒部材との間に螺旋状に配置された伝熱管とを含み、前記伝熱管の内部に、前記圧縮機から前記膨張機に供給される高圧冷媒ガスが流れる高圧ガス流路が形成されるとともに、前記伝熱管の周囲に、前記膨張機から前記圧縮機に戻る低圧冷媒ガスが流れる低圧ガス流路が形成されてなり、前記高圧ガス流路内の高圧冷媒ガスと前記低圧ガス流路内の低圧冷媒ガスとの間で熱交換させる熱交換器を有し、前記伝熱管は、前記内筒部材の外周又は前記外筒部材の内周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている、冷凍機。前記伝熱管は、外周から突出してフィンが設けられており、前記螺旋溝は、前記フィンの先端が溝面に接するように形成されている、請求項1に記載の冷凍機。前記伝熱管は、前記内筒部材の外周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている、請求項1又は請求項2に記載の冷凍機。前記熱交換器は、前記内筒部材の軸方向に沿って隣り合う2つの前記伝熱管と前記外筒部材との隙間を塞ぐように、前記伝熱管に沿って螺旋状に配置された管部材を含む、請求項3に記載の冷凍機。冷媒ガスを圧縮する圧縮機と、前記圧縮機から供給された高圧冷媒ガスを膨張させて冷熱を発生させる膨張機とを有する冷凍機に備えられる熱交換器において、内筒部材と、前記内筒部材を囲むように設けられた外筒部材と、前記内筒部材と前記外筒部材との間に螺旋状に配置された伝熱管とを含み、前記伝熱管の内部に、前記圧縮機から前記膨張機に供給される高圧冷媒ガスが流れる高圧ガス流路が形成されるとともに、前記伝熱管の周囲に、前記膨張機から前記圧縮機に戻る低圧冷媒ガスが流れる低圧ガス流路が形成されてなり、前記高圧ガス流路内の高圧冷媒ガスと前記低圧ガス流路内の低圧冷媒ガスとの間で熱交換させるものであって、前記伝熱管は、前記内筒部材の外周又は前記外筒部材の内周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている、熱交換器。ガス供給機から貯留槽にガスを供給する過程で冷凍機で冷却して当該ガスを液化する液化機において、内筒部材と、前記内筒部材を囲むように設けられた外筒部材と、前記内筒部材と前記外筒部材との間に螺旋状に配置された伝熱管とを含み、前記伝熱管の内部に、前記ガス供給機から前記貯留槽に供給されるガスが流れる供給流路が形成されるとともに、前記伝熱管の周囲に、前記貯留槽から前記ガス供給機に戻る回収ガスが流れる回収流路が形成されてなり、前記供給流路内のガスと前記回収流路内の前記回収ガスとの間で熱交換させる熱交換器を有し、前記伝熱管は、前記内筒部材の外周又は前記外筒部材の内周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている、液化機。ところが、上記した冷凍機には、次のような問題がある。従来の冷凍機に備えられる熱交換器では、隙間用チューブの巻き方によっては、隙間用チューブのマンドレルに対する密着性が低下し、隙間用チューブとマンドレルの外周面との間に隙間が形成されることがある。このようなとき、伝熱管の周囲の空間である低圧ガス流路を流れる冷媒ガスは、フィンの十分近傍を通ることなく、隙間用チューブとマンドレルの外周面との隙間を通り抜ける。その結果、低圧ガス流路を流れる低温低圧冷媒ガスと、伝熱管の内部の空間である高圧ガス流路を流れる高温高圧冷媒ガスとの間の熱交換の効率が低下するとともに、冷凍機の冷凍能力も低下するおそれがある。また、上記した課題は、マンドレルと隙間用チューブとの間に隙間が形成される場合に限られず、外側シェルと隙間用チューブとの間に隙間が形成される場合にも共通する課題である。本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、マンドレル又は外側シェルと隙間用チューブとの間を冷媒ガスが通り抜けることを防止でき、低圧ガス流路を流れる冷媒ガスと、高圧ガス流路を流れる冷媒ガスとの熱交換の効率が低下することを防止できる冷凍機を提供する。上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる手段を講じたことを特徴とするものである。本発明は、冷媒ガスを圧縮する圧縮機と、前記圧縮機から供給された高圧冷媒ガスを膨張させて冷熱を発生させる膨張機とを備えた冷凍機において、内筒部材と、前記内筒部材を囲むように設けられた外筒部材と、前記内筒部材と前記外筒部材との間に螺旋状に配置された伝熱管とを含み、前記伝熱管の内部に、前記圧縮機から前記膨張機に供給される高圧冷媒ガスが流れる高圧ガス流路が形成されるとともに、前記伝熱管の周囲に、前記膨張機から前記圧縮機に戻る低圧冷媒ガスが流れる低圧ガス流路が形成されてなり、前記高圧ガス流路内の高圧冷媒ガスと前記低圧ガス流路内の低圧冷媒ガスとの間で熱交換させる熱交換器を有し、前記伝熱管は、前記内筒部材の外周又は前記外筒部材の内周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている、冷凍機である。また、本発明は、上述の冷凍機において、前記伝熱管は、外周から突出してフィンが設けられており、前記螺旋溝は、前記フィンの先端が溝面に接するように形成されている。また、本発明は、上述の冷凍機において、前記伝熱管は、前記内筒部材の外周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている。また、本発明は、上述の冷凍機において、前記熱交換器は、前記内筒部材の軸方向に沿って隣り合う2つの前記伝熱管と前記外筒部材との隙間を塞ぐように、前記伝熱管に沿って螺旋状に配置された管部材を含む。また、本発明は、冷媒ガスを圧縮する圧縮機と、前記圧縮機から供給された高圧冷媒ガスを膨張させて冷熱を発生させる膨張機とを有する冷凍機に備えられる熱交換器において、内筒部材と、前記内筒部材を囲むように設けられた外筒部材と、前記内筒部材と前記外筒部材との間に螺旋状に配置された伝熱管とを含み、前記伝熱管の内部に、前記圧縮機から前記膨張機に供給される高圧冷媒ガスが流れる高圧ガス流路が形成されるとともに、前記伝熱管の周囲に、前記膨張機から前記圧縮機に戻る低圧冷媒ガスが流れる低圧ガス流路が形成されてなり、前記高圧ガス流路内の高圧冷媒ガスと前記低圧ガス流路内の低圧冷媒ガスとの間で熱交換させるものであって、前記伝熱管は、前記内筒部材の外周又は前記外筒部材の内周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている、熱交換器である。また、本発明は、ガス供給機から貯留槽にガスを供給する過程で冷凍機で冷却して当該ガスを液化する液化機において、内筒部材と、内筒部材を囲むように設けられた外筒部材と、内筒部材と外筒部材との間に螺旋状に配置された伝熱管とを含み、伝熱管の内部に、ガス供給機から貯留槽に供給されるガスが流れる供給流路が形成されるとともに、伝熱管の周囲に、貯留槽からガス供給機に戻る回収ガスが流れる回収流路が形成されてなり、供給流路内のガスと回収流路内の回収ガスとの間で熱交換させる熱交換器を有し、伝熱管は、内筒部材の外周又は外筒部材の内周に形成された螺旋溝に嵌め込まれている、液化機である。本発明によれば、マンドレル又は外側シェルと隙間用チューブとの間を冷媒ガスが通り抜けることを防止でき、低圧ガス流路を流れる冷媒ガスと、高圧ガス流路を流れる冷媒ガスとの熱交換の効率が低下することを防止できる。次に、本発明を実施するための形態について図面と共に説明する。第1の実施形態図1を参照し、第1の実施形態に係る冷凍機について説明する。図1は、本実施形態に係る冷凍機50の全体構成を示す冷媒回路図である。冷凍機50は、予冷用冷凍機1とジュールトムソンJ-T冷凍機10とを組み合わせた2元回路の冷凍機で構成されている。予冷用冷凍機1は、ギフォードマクマホンGMサイクルの冷凍機で構成されていて、J-T冷凍機10におけるヘリウムガス冷媒ガスを予冷するためにヘリウムガスを圧縮及び膨張させる。予冷用冷凍機1は、予冷用圧縮機2と、真空断熱されたクライオスタットCに取り付けられた膨張機3とを閉回路に接続してなる。膨張機3は、クライオスタットCの外部に配置される密閉円筒状のケース4と、ケース4の下部に連設された大小2段構造の第1シリンダ5a、第2シリンダ5bよりなるシリンダ5とを有する。ケース4には、予冷用圧縮機2の吐出側に接続される高圧ガス入口6と、予冷用圧縮機2の吸込側に接続される低圧ガス出口7とが開口されている。一方、シリンダ5は、クライオスタットCの上壁を貫通してクライオスタットCの内部に延びている。大径部を有する第1シリンダ5aの下端部は、所定温度に冷却保持される第1ヒートステーション8に接続されている。小径部を有する第2シリンダ5bの下端部は、第1ヒートステーション8よりも低い温度に冷却保持される第2ヒートステーション9に接続されている。シリンダ5内には、各ヒートステーション8、9に対応する位置にそれぞれ膨張空間を区画形成する図示しないディスプレーサが往復動可能に嵌挿されている。一方、ケース4内には、回転する毎に開閉するロータリバルブと、ロータリバルブを駆動するバルブモータとが収容されている。ロータリバルブは、予冷用圧縮機2の吐出側から高圧ガス入口6を通って流入したヘリウムガスを、シリンダ5内の各膨張空間に供給し、又は各膨張空間内で膨張したヘリウムガスを、低圧ガス出口7を通って予冷用圧縮機2の吸込側へ排出するように切り換わる。そして、ロータリバルブの開閉により高圧ヘリウムガスをシリンダ5内の各膨張空間でサイモン膨張させて、その膨張に伴う温度降下により極低温レベルの冷熱を発生させ、発生した冷熱を第1及び第2ヒートステーション8、9にて保持する。予冷用冷凍機1では、予冷用圧縮機2から吐出された高圧のヘリウムガスを膨張機3に供給し、膨張機3での断熱膨張によりヒートステーション8、9の温度を低下させて、J-T冷凍機10における後述の予冷器16、17を予冷する。そして、膨張した低圧ヘリウムガスを予冷用圧縮機2に戻して再圧縮する。第1ヒートステーション8には、クライオスタットC内に配置した略密閉円筒状の輻射シールドSが伝熱可能に支持されている。そして、第2シリンダ5b、予冷器17、第2ヒートステーション9は、輻射シールドS内に支持されている。なお、ヘリウムガスは、本発明における冷媒ガスに相当する。一方、J-T冷凍機10は、約4Kレベルの冷熱を発生させるためにヘリウムガスを圧縮して膨張させる冷凍機である。J-T冷凍機10は、ヘリウムガスを圧縮するJ-T圧縮機11と、圧縮されたヘリウムガスをジュールトムソン膨張させる膨張機12とを備えている。膨張機12は、クライオスタットC内に位置する第1J-T熱交換器13、第2J-T熱交換器14及び第3J-T熱交換器15を備えている。このうち、第2J-T熱交換器14及び第3J-T熱交換器15は、クライオスタットCにおける輻射シールドS内に支持されている。各J-T熱交換器13~15は、1次側の流路後述の伝熱管24内の高圧ガス流路25及び2次側の流路後述の低圧ガス流路26をそれぞれ通過するヘリウムガス間で互いに熱交換させるものである。なお、J-T冷凍機は、クロード冷凍機、予冷用冷凍機として冷却された液体を用いるカスケード式のJ-T冷凍機などを含むものとする。また、J-T冷凍機で得られた液体ヘリウムにより被冷却物を冷却する冷凍機も含むものとする。また、ブレイトンサイクル冷凍機など向流型熱交換器を用いる冷凍機を含むものとする。第1J-T熱交換器13の1次側の流路は、J-T圧縮機11の吐出側に接続されている。また、第1J-T熱交換器13及び第2J-T熱交換器14の各1次側の流路同士は、予冷用冷凍機1における膨張機3の第1ヒートステーション8外周に配置した第1予冷器16を介して接続されている。同様に、第2J-T熱交換器14及び第3J-T熱交換器15の各1次側の流路同士は、膨張機3の第2ヒートステーション9外周に配置した第2予冷器17を介して接続されている。更に、第3J-T熱交換器15の1次側の流路は、高圧のヘリウムガスをジュールトムソン膨張させるJ-T弁18を介して、例えば液体ヘリウムタンク又は伝熱管等よりなる、冷却対象である冷却器19に接続されている。J-T弁18は、クライオスタットC外から操作ロッド18aによって開度が調整される。冷却器19は、第3J-T熱交換器15及び第2J-T熱交換器14の各2次側の流路を経て第1J-T熱交換器13の2次側の流路に接続されており、第1J-T熱交換器13の2次側の流路は、J-T圧縮機11の吸込側に接続されている。以上のように構成されたJ-T冷凍機10は、J-T圧縮機11によりヘリウムガスを高圧に圧縮して膨張機12に供給する。そして、供給した高温高圧ヘリウムガスを、膨張機12の第1J-T熱交換器13~第3のJ-T熱交換器15において、J-T圧縮機11側に戻る低温低圧ヘリウムガスと熱交換させる。また、J-T冷凍機10は、供給した高温高圧ヘリウムガスを熱交換させるとともに、第1予冷器16及び第2予冷器17において、それぞれ膨張機3の第1ヒートステーション8及び第2ヒートステーション9により冷却する。冷却されたヘリウムガスは、その後、J-T弁18でジュールトムソン膨張させることによって、冷却器19において1気圧、約4Kの気液混合状態のヘリウムとなり、気液混合状態のヘリウムの蒸発潜熱により冷却器19を極低温レベル約4Kに冷却する。その後、ジュールトムソン膨張によって低圧となったヘリウムガスを、第3J-T熱交換器15~第1J-T熱交換器13の各2次側の流路を通してJ-T圧縮機11に吸入させ、再圧縮する。図2は、本実施形態におけるJ-T熱交換器の構成を示すための一部断面を含む正面図である。また、図3は、本実施形態におけるJ-T熱交換器を拡大して示す、一部断面を含む正面図である。図2及び図3では、第1J-T熱交換器13~第3J-T熱交換器15を代表し、第1J-T熱交換器13の構成を示している。しかし、第2J-T熱交換器14及び第3J-T熱交換器15のいずれも、第1J-T熱交換器13と同様の構成とすることができる。第1J-T熱交換器13は、同心状に接合した円筒状のマンドレル21、外側シェル22を有する。外側シェル22は、マンドレル21を囲むように設けられている。マンドレル21と外側シェル22との間の空間には、多数のフィン23を外周に取り付けた伝熱管24が収容されている。伝熱管24は、マンドレル21の周りに螺旋状に巻かれた状態で配置されている。なお、マンドレル21は、本発明における内筒部材に相当し、外側シェル22は、本発明における外筒部材に相当する。図2に示すように、マンドレル21の上端高温端及び下端低温端は、蓋部材28、29により封止されており、外側シェル22の上端高温端及び下端低温端は、蓋部材30、31により封止されている。伝熱管24の内部には、J-T圧縮機11から膨張機12のJ-T弁18及び冷却器19に供給される高圧ヘリウムガスが流れる高圧ガス流路1次側の流路25が形成されている。第1J-T熱交換器13内の高圧ガス流路25は、外側シェル22の上端高温端において、蓋部材30を貫通する貫通孔30aを介して、J-T圧縮機11側の高圧ガス流路25と連通する。また、第1J-T熱交換器13内の高圧ガス流路25は、外側シェル22の下端低温端において、蓋部材31を貫通する貫通孔31aを介して、J-T弁18側の高圧ガス流路25と連通している。一方、マンドレル21の外部かつ外側シェル22の内部であって、伝熱管24の周囲には、膨張機12のJ-T弁18及び冷却器19からJ-T圧縮機11に戻る低圧ガスが流れる低圧ガス流路2次側の流路26が形成されている。第1J-T熱交換器13内の低圧ガス流路26は、外側シェル22の下端低温端において、蓋部材31を貫通する貫通孔31bを介して、冷却器19側の低圧ガス流路26と連通する。また、第1J-T熱交換器13内の低圧ガス流路26は、外側シェル22の上端高温端において、蓋部材30を貫通する貫通孔30bを介して、J-T圧縮機11側の低圧ガス流路26と連通している。このように構成された第1J-T熱交換器13~第3J-T熱交換器15では、J-T圧縮機11からJ-T弁18に向かって流れる高圧ガス流路25内の高温ガスを、冷却器19からJ-T圧縮機11に戻る低圧ガス流路26内の低温ガスとの間で熱交換させて冷却する。具体的には、第1J-T熱交換器13では、高圧ヘリウムガスを例えば室温から50Kまで冷却する。また、第2J-T熱交換器14では、ヘリウムガスを50Kから15Kまで冷却する。更に、第3J-T熱交換器15では、ヘリウムガスを15Kから約5Kまで冷却する。マンドレル21は、相対的に熱伝導率が低い材質、例えばフェノール樹脂よりなることが好ましい。また、マンドレル21の内部には、相対的に熱伝導率が低い材質、例えばグラスウールよりなる断熱材27が収容されていることが好ましい。これにより、マンドレル21の軸心方向に沿った熱侵入を抑制することができる。また、外側シェル22は、高い剛性を有する材質、例えばSUS316、440等のステンレス鋼よりなることが好ましい。これにより、外側シェル22に高い耐圧性を付与することができる。フィン23及び伝熱管24は、相対的に熱伝導率が高い材質、例えば銅、アルミニウム等の金属よりなることが好ましい。これにより、伝熱管24及びフィン23を介して、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスと、伝熱管24の内部である高圧ガス流路25を流れるヘリウムガスとの熱交換の効率を高めることができる。本実施形態では、マンドレル21の外周面に螺旋溝32が形成されており、伝熱管24は、螺旋溝32に嵌め込まれている。そして、中心軸が伝熱管24の中心軸よりも外側シェル22側になるように、伝熱管24に沿って螺旋状に配置された隙間用チューブ35を有する。隙間用チューブ35は、マンドレル21の軸方向に沿って隣り合う2つの伝熱管24-1、24-2と、外側シェル22との隙間を塞ぐように、設けられている。これにより、伝熱管24の周囲の空間である低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスは、外側シェル22の軸方向に沿ってフィン23から離れた部分を通り抜けることなく、伝熱管24及びフィン23の十分近傍を通ることができる。その結果、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスと、伝熱管24の内部の空間である高圧ガス流路25を流れるヘリウムガスとの熱交換の効率が低下することを防止できる。なお、隙間用チューブ35は、本発明における管部材に相当する。図3に示すように、フィン23は、伝熱管24の外周面から突出して外周側に延びるように設けられている。フィン23は、伝熱管24の外周面から垂直に、すなわち径方向に延びるように、放射状に設けられていることがより好ましい。螺旋溝32は、フィン23の先端が螺旋溝32の溝面33に接するような断面形状を有することが好ましい。そして、伝熱管24の長手方向に垂直な断面視における、各フィン23の先端を結ぶ仮想円23a、すなわち、フィン23を含めた伝熱管24の最外周に相当する仮想円23aの半径をR1とする。このとき、螺旋溝32の長手方向に垂直な断面視における溝面33の形状は、半径R1の円の円周の一部であることが好ましい。これにより、伝熱管24が螺旋溝32に嵌め込まれる際に、フィン23が押し潰されて変形することを防止できるため、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスとフィン23との熱交換の効率が低下することを防止できる。また、図3に示すように、螺旋溝32の長手方向に垂直な断面視における溝面33の形状は、半径R1の半円の円周であることが好ましい。これにより、伝熱管24を螺旋溝32に容易に嵌め込むことができるとともに、伝熱管24の螺旋溝32に嵌め込まれる部分の割合を最大、すなわち半分とすることができる。次に、本実施形態に係る冷凍機50が冷熱を発生する作用について説明する。冷凍機50が定常運転状態になると、予冷用冷凍機1では、予冷用圧縮機2から供給された高圧のヘリウムガスが膨張機3の各膨張空間で膨張させられる。このヘリウムガスの膨張に伴う温度降下により、第1シリンダ5aの第1ヒートステーション8が所定温度に冷却され、また第2ヒートステーション9が第1ヒートステーション8よりも低い温度にそれぞれ冷却される。第1ヒートステーション8の冷却に伴い、第1ヒートステーション8に伝熱可能に接触している輻射シールドSの温度が第1ヒートステーション8と同程度の温度まで降下する。これにより、外部からクライオスタットC内の中心部への輻射熱が吸収される。一方、これと同時に、J-T冷凍機10では、J-T圧縮機11から吐出された高圧ヘリウムガスが第1J-T熱交換器13の1次側の流路25に入り、そこでJ-T圧縮機11側へ戻る2次側の流路26の低圧ヘリウムガスと熱交換されて常温300Kから約50Kまで冷却される。約50Kまで冷却された高圧ヘリウムガスは、膨張機3の第1ヒートステーション8外周の第1予冷器16に入って更に冷却される。第1予冷器16で冷却された高圧ヘリウムガスは、第2J-T熱交換器14の1次側の流路25に入り、同様に2次側の流路26の低圧ヘリウムガスとの熱交換により約15Kまで冷却される。約15Kまで冷却された高圧ヘリウムガスは、膨張機3の第2ヒートステーション9外周の第2予冷器17に入って更に冷却される。第2予冷器17で冷却された高圧ガスは、第3J-T熱交換器15の1次側の流路25に入り、同様に2次側の流路26の低圧ヘリウムガスとの熱交換により約5Kまで冷却される。約5Kまで冷却された高圧ヘリウムガスは、J-T弁18に入り、J-T弁18でジュールトムソン膨張し、1気圧、約4Kの気液混合状態のヘリウムとなって冷却器19へ供給される。そして、冷却器19において、気液混合状態のヘリウムにおける液部分の蒸発潜熱により4Kの極低温レベルが得られ、冷却器19に接続されている冷却対象が冷却される。次に、マンドレル21と隙間用チューブ35との間を冷媒ガスが通り抜けることによって、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスと、高圧ガス流路25を流れるヘリウムガスとの熱交換の効率が低下することを防止できる作用効果について、比較例を参照しながら説明する。図4は、比較例におけるJ-T熱交換器113を拡大して示す、一部断面を含む正面図である。図5は、図4の一部を更に拡大した図であり、比較例におけるJ-T熱交換器113の低圧ガス流路26をヘリウムガスが流れるときの様子を模式的に示す断面図である。図6は、図3の一部を更に拡大した図であり、本実施形態におけるJ-T熱交換器13の低圧ガス流路26をヘリウムガスが流れるときの様子を模式的に示す断面図である。図4に示すように、比較例におけるJ-T熱交換器113では、マンドレル121の外周面133に螺旋溝は形成されておらず、伝熱管24は、マンドレル121の平坦な外周面133に巻き付けられている。また、第1の実施形態と同様に設けられた隙間用チューブ35の他に、中心軸が伝熱管24の中心軸よりもマンドレル121側になるように、伝熱管24に沿って螺旋状に配置された隙間用チューブ136を有する。隙間用チューブ136は、マンドレル121の軸方向に沿って隣り合う2つの伝熱管24-1、24-2と、マンドレル121との隙間を塞ぐように、設けられている。それ以外の部分、例えば外側シェル22、フィン23については、第1の実施形態と同様である。比較例では、図5の領域Iに示すように、隙間用チューブ136がマンドレル121の外周面133に接触している領域もある。領域Iでは、伝熱管24の周囲の空間である低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスは、隙間用チューブ136とマンドレル121の外周面133との間を通り抜けることなく、伝熱管24及びフィン23の十分近傍を通ることができる。このようなときは、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスとフィン23との熱交換の効率が低下しない。しかし、比較例では、隙間用チューブ136の巻き方によっては、隙間用チューブ136のマンドレル121に対する密着性が低下し、図5の領域II、IIIに示すように、隙間用チューブ136とマンドレル121の外周面133との間に隙間が形成されることがある。領域II、IIIでは、伝熱管24の周囲の空間である低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスは、伝熱管24及びフィン23の十分近傍を通ることなく、隙間用チューブ136とマンドレル121の外周面133との隙間を通り抜ける。このようなときは、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスとフィン23との熱交換の効率が低下する。その結果、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスと、伝熱管24の内部の空間である高圧ガス流路25を流れるヘリウムガスとの熱交換の効率が低下するとともに、冷凍機の冷凍能力も低下する。一方、本実施形態におけるJ-T熱交換器13では、マンドレル21の外周面に螺旋溝32が形成されており、伝熱管24は、螺旋溝32に嵌め込まれている。また、マンドレル21の軸方向に沿って隣り合う2つの螺旋溝32-1、32-2の間で外側シェル22側に突出した突出部34が、マンドレル21の軸方向に沿って隣り合う2つの伝熱管24-1、24-2とマンドレル21との隙間を塞ぐように、設けられている。これにより、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスは、外側シェル22の軸方向に沿ってフィン23から離れた部分を通り抜けることなく、伝熱管24及びフィン23の十分近傍を通ることができる。その結果、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスと、高圧ガス流路25を流れるヘリウムガスとの熱交換の効率が低下することを防止できる。更に、本実施形態では、マンドレル21の軸方向における螺旋溝32のピッチを、同一の熱交換器の上端から下端にかけての全ての部分において、及び、複数の熱交換器の間で、一定に制御することができる。そして、マンドレル21の外周面に伝熱管24を巻き付ける際に、ピッチが一定に制御された螺旋溝32をガイドとして巻き付けることができる。従って、同一の熱交換器の上端から下端にかけての全ての部分において、及び、複数の熱交換器の間で、マンドレル21の軸方向における伝熱管24のピッチがばらつくことを防止できる。第1の実施形態の変形例次に、図7及び図8を参照し、第1の実施形態の変形例に係る冷凍機について説明する。本変形例に係る冷凍機は、J-T熱交換器13a~15aが、中心軸が伝熱管24の中心軸よりもマンドレル21a側になるように、伝熱管24に沿って螺旋状に配置された隙間用チューブ36を有する点で、第1の実施形態に係る冷凍機と相違する。本変形例に係る冷凍機は、第1J-T熱交換器13~第3J-T熱交換器15に代え、第1J-T熱交換器13a~第3J-T熱交換器15aを有する点を除き、第1の実施形態で説明した冷凍機と同一とすることができる。従って、J-T熱交換器以外の部分、例えば冷凍機についての説明は省略する。図7は、本変形例におけるJ-T熱交換器13aを拡大して示す、一部断面を含む正面図である。図8は、図7の一部を更に拡大した図であり、本変形例におけるJ-T熱交換器13aの低圧ガス流路26をヘリウムガスが流れるときの様子を模式的に示す断面図である。また、図7及び図8でも、第1J-T熱交換器13a~第3J-T熱交換器15aを代表し、第1J-T熱交換器13aの構成を示している。しかし、第2J-T熱交換器14a及び第3J-T熱交換器15aのいずれも、第1J-T熱交換器13aと同様の構成とすることができる。本変形例でも、図7に示すように、第1J-T熱交換器13aは、同心状に接合した円筒状のマンドレル21a、外側シェル22を有する。外側シェル22は、マンドレル21aを囲むように設けられている。マンドレル21aと外側シェル22との間の空間には、多数のフィン23を外周に取り付けた伝熱管24が収容されている。マンドレル21a、外側シェル22、フィン23、伝熱管24、断熱材27、蓋部材28~31、高圧ガス流路25及び低圧ガス流路26の上端高温端及び下端低温端の構造並びに材質は、第1の実施形態における第1J-T熱交換器13と同様である。また、本変形例でも、第1の実施形態と同様に、マンドレル21aの外周面に螺旋溝32aが形成されており、伝熱管24は、螺旋溝32aに嵌め込まれている。そして、中心軸が伝熱管24の中心軸よりも外側シェル22側になるように、伝熱管24に沿って螺旋状に配置された隙間用チューブ35を有する。また、伝熱管24の外周面には、伝熱管24の外周面から突出して外周側に延びるように、フィン23が設けられている。そして、フィン23を含めた伝熱管24の最外周に相当する仮想円23aの半径をR1とするとき、螺旋溝32aの長手方向に垂直な断面視における溝面33aの形状は、半径R1の円の円周の一部であることが好ましい。一方、本変形例では、図7に示すように、中心軸が伝熱管24の中心軸よりもマンドレル21a側になるように、伝熱管24に沿って螺旋状に配置された隙間用チューブ36を有する。隙間用チューブ36は、マンドレル21aの軸方向に沿って隣り合う2つの伝熱管24-1、24-2と、マンドレル21aとの隙間を塞ぐように、設けられている。その結果、螺旋溝32aの長手方向に垂直な断面視における溝面33aの形状は、半径R1の円の円周の一部であって、半径R1の半円よりも中心角が小さくなるように設けられている。隙間用チューブ36の巻き方によっては、隙間用チューブ36のマンドレル21aに対する密着性が低下することがある。そして、図8の領域IVに示すように、マンドレル21aの軸方向に沿って隣り合う2つの螺旋溝32a-1、32a-2の間で外側シェル22側に突出した突出部34aと、突出部34aに巻きつけた隙間用チューブ36との間に隙間が形成されることがある。しかし、本変形例では、突出部34aと隙間用チューブ36の間を通り抜けるヘリウムガスも、伝熱管24及びフィン23の十分近傍を通ることができる。その結果、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスと、伝熱管24の内部の空間である高圧ガス流路25を流れるヘリウムガスとの熱交換の効率が低下することを防止できる。以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形変更が可能である。なお、第1の実施形態及びその変形例では、マンドレル21、21aの外周面に螺旋溝32、32aが形成されている例について説明した。しかし、マンドレル21、21aの外周面に代え、外側シェル22の内周面に螺旋溝が形成されていてもよい。これにより、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスが、隙間用チューブ35と外側シェル22との隙間を通り抜けることなく、伝熱管24及びフィン23の十分近傍を通ることができる。その結果、低圧ガス流路26を流れるヘリウムガスと、高圧ガス流路25を流れるヘリウムガスとの熱交換の効率が低下することを防止できる。また、マンドレル21の外周面に突出部34を接着等により取り付けることによって、マンドレル21の外周に螺旋溝32を設けてよい。また、外側シェル22の内周面に突出部を接着等により取り付けることによって、外側シェル22の内周に螺旋溝を設けてもよい。また、第1の実施形態では、冷媒ガスとしてヘリウムガスを用いる例について説明したが、例えば、ネオン、アルゴン、水素、酸素、空気、メタン、エタンなどを用いることができる。第2の実施形態図9を参照し、第2の実施形態に係る液化機について説明する。図9は、本実施形態に係る液化機の全体構成を示す回路図である。本実施形態にかかる液化機50aは、液化用冷凍機1aと、液化回路とを組み合わせて構成されている。液化用冷凍機1aについては、第1の実施形態における予冷用冷凍機1と同一とすることができるため、液化用冷凍機1aの説明については省略する。一方、液化回路は、ヘリウムガスを供給するポンプ11aと、液化したヘリウムガスを貯留する貯留槽19aとを備えている。ポンプ11aと貯留槽19aとを繋ぐ流路には、クライオスタットC内に位置する第1熱交換器13a及び第2熱交換器14aを備えている。このうち、第2熱交換器14aは、クライオスタットCにおける輻射シールドS内に支持されている。第1熱交換器13a及び第2熱交換器14aは、1次側の流路伝熱管24内の高圧ガス流路25及び2次側の流路低圧ガス流路26をそれぞれ通過するヘリウムガス間で互いに熱交換させるものである。なお、各熱交換器13a、14aの構成は、第1の実施形態における第1J-T熱交換器13及び第2J-T熱交換器14の各々と同一とすることができるため、熱交換器の説明については省略する。また、ポンプ11aは、本発明におけるガス供給機に相当し、高圧ガス流路25は本発明における供給流路に相当し、低圧ガス流路26は本発明における回収流路に相当する。以上のように構成された液化機50aは、ポンプ11aによりヘリウムガスを貯留槽19aに供給する過程で、供給したヘリウムガスを、第1熱交換器13a及び第2熱交換器14aで、ポンプ11aに戻る回収ヘリウムガスと熱交換させる。また、供給ヘリウムガスと回収ヘリウムガスを熱交換させるとともに、膨張機3の第1ヒートステーション8及び第2ヒートステーション9により冷却する。第2ヒートステーション9は約4Kに冷却されており、第2ヒートステーション9で冷却されたヘリウムガスの一部は液化し、貯留槽19aに蓄えられる。すなわち、ヘリウムガスは、ポンプ11aから貯留槽19aにガスを供給する過程で、液化用冷凍機1aで冷却されて液化される。その後、液化しなかったヘリウムガスは、ガス回収流路である低圧ガス流路26を通ってポンプに戻る過程で、第2熱交換器14a、第1熱交換器13aの各2次側の流路で供給ヘリウムガスと熱交換される。ガス回収流路である低圧ガス流路26は、ポンプ11a付近でバッファタンクやヘリウムガスボンベなどのガス補充部11bと接続されており、液化により減少したヘリウムガスが補充される。本実施形態では、第1熱交換器、第2熱交換器での熱交換効率が低下することを防止できるので、効率よくヘリウムガスを液化することができる。なお、本実施形態に係る液化用冷凍機、熱交換器においても、第1の実施形態、第1の実施形態の変形例と同様な変形変更が可能である。また、本実施形態では、ヘリウムを液化する液化機として説明したが、貯留槽で蓄えた液体ヘリウムを用いて被冷却物を冷却する冷凍機として用いることもできる。また、本実施形態では、ガス供給機としてポンプを用いる例について説明したが、これに限られず、例えばファンなど、貯留槽にむけてガスを送り出すものであれば何れのものも適用できる。