"クレゾール類を主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合してなるアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂A、フェノールを主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合してなるアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂B、キノンジアジドスルホン酸エステルC、および有機溶剤Dを含有してなり、前記アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aと前記アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの比率A:Bが重量比で95:5~85:15であり、前記アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bの重量平均分子量が1300以下で、かつ、分子量分布が1.05以上1.70以下であり、前記有機溶剤Dは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートD1および常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2を含む複合溶剤である感光性樹脂組成物。前記溶剤D2が、ジエチレングリコールジアルキルエーテルである請求項1に記載の感光性樹脂組成物。しかし、近年、基板として用いられるマザーガラスがさらに大型化し、第8世代基板2160×2460mm、第9世代基板2400×2800mm、第10世代基板2880×3130mmなどの大型の基板の処理が求められている。このような大型の表示素子基板の製造において基板をスピンさせ感光性樹脂組成物の塗布を行うと、装置が大型化し、また、大型のモータが必要となるため製造コストが上昇することとなる。そこで、基板上に感光性樹脂組成物を滴下しスリットコータを用いて大型基板の塗布面全面に塗布する方法スリット塗布が提案されているが、この方法においては塗布ムラが生じる虞があった。また、大型の基板においては、プロセスマージンを広くすることが求められる。即ち、大型の基板を用いる場合にはプリベイクなどの加熱を行う場合に基板面内で温度のばらつきが生じたり、また、現像を行う際に基板面内において現像液に接触する時間にばらつきが生じたりするため、温度や現像時間の影響を抑制することが求められる。さらに、露光工程を短縮するために感光性を上げることが求められている。本発明の目的は、塗布ムラを小さくすることができると共に、プロセスマージンを広くすることができる高感度の感光性樹脂組成物を提供することである。本発明者は、前記目的を達成するために、鋭意検討を行った結果、それぞれ特定のアルカリ可溶性ノボラック樹脂2種を特定の比率で組み合わせ、かつ、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと沸点が特定の範囲である溶剤とを組み合わせて用いることが、前記課題の解決に有効であることを見出した。本発明は、かかる知見に基づいて完成するに至ったものである。かくして、本発明によれば、クレゾール類を主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合してなるアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂A、フェノールを主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合してなるアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂B、キノンジアジドスルホン酸エステルC、および有機溶剤Dを含有してなり、前記アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aと前記アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの比率A:Bが重量比で95:5~85:15であり、前記アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bの重量平均分子量が1300以下で、かつ、分子量分布が1.05以上1.70以下であり、前記有機溶剤Dは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートD1および常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2を含む複合溶剤である感光性樹脂組成物が提供される。前記の感光性樹脂組成物では、前記溶剤D2が、ジエチレングリコールジアルキルエーテルであることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物によれば、塗布ムラを小さくすることができると共に、プロセスマージンを広くすることができる高感度の感光性樹脂組成物を提供することができる。本発明の感光性樹脂組成物は、クレゾール類を主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合してなるアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂A、フェノールを主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合してなるアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂B、キノンジアジドスルホン酸エステルC、および有機溶剤Dを含有してなるものである。そして、本発明の感光性樹脂組成物では、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの比率A:Bが重量比で95:5~85:15であり、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bの重量平均分子量が1300以下で、かつ、分子量分布が1.05以上1.70以下であり、有機溶剤Dは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートD1および常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2を含むものである。本発明に用いられるアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aは、クレゾール類を主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合することにより得ることができる、アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶性のノボラック樹脂である。アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るために用いられるフェノール類は、主成分としてクレゾール類を含むものである。ここで、クレゾール類とは、フェノールC6H5OHの芳香環上の5個の水素原子のうち、少なくとも1個がメチル基で置換され、残りの水素原子は置換されていない化合物の群を意味する。本発明で用いるアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るために用いられるクレゾール類の具体例としては、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、2,5-キシレノール、3,5-キシレノール、2,3,5-トリメチルフェノールを挙げることができ、これらのなかでも、o-クレゾール、m-クレゾール、またはp-クレゾール、もしくはこれらの組み合わせを好適に用いることができる。クレゾール類は、1種を単独で用いることができ、2種以上を組み合わせて用いることもできる。本発明の感光性樹脂組成物において、特に好ましく用いられるアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとしては、クレゾール類として、m-クレゾールおよびp-クレゾールを組み合わせで用いたクレゾールノボラック樹脂を挙げることができる。このクレゾールノボラック樹脂におけるm-クレゾールとp-クレゾールとの比率は、特に限定されるものではないが、m-クレゾール/p-クレゾールの重量比として、4/6~6/4の範囲が好ましく、4.5/5.5~5.5/4.5の範囲がより好ましい。アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aは、フェノール類としてクレゾール類のみを用いて得られるものであってよいが、クレゾール類が主成分となるかぎりにおいて、クレゾール類にクレゾール類以外のフェノール類を組み合わせて用いて得られるものであってもよい。用いられうるクレゾール類以外のフェノール類は、一価のフェノール化合物であっても、二価以上の多価フェノール化合物であってもよい。一価のフェノール化合物の具体例としては、フェノール;2-エチルフェノール、3-エチルフェノール、4-エチルフェノール、2-プロピルフェノール、3-プロピルフェノール、4-プロピルフェノール、2-t-ブチルフェノール、3-t-ブチルフェノール、4-t-ブチルフェノール、2,5-ジエチルフェノール、3,5-ジエチルフェノール、2-t-ブチル-4-メチルフェノール、2-t-ブチル-5-メチルフェノール、2-t-ブチル-3-メチルフェノール、2,3,5-トリメチルフェノール、2,3,5-トリエチルフェノールなどのアルキルフェノール;2-メトキシフェノール、3-メトキシフェノール、4-メトキシフェノール、2-エトキシフェノール、3-エトキシフェノール、4-エトキシフェノール、2,3-ジメトキシフェノール、2,5-ジメトキシフェノールなどのアルコキシフェノール;2-フェニルフェノール、3-フェニルフェノール、4-フェニルフェノールなどのアリールフェノール;2-イソプロペニルフェノール、4-イソプロペニルフェノール、2-メチル-4-イソプロペニルフェノール、2-エチル-4-イソプロペニルフェノールなどのアルケニルフェノール;などを挙げることができる。多価フェノール化合物としては、例えば、レゾルシノール、2-メチルレゾルシノール、4-メチルレゾルシノール、5-メチルレゾルシノール、2-メトキシレゾルシノール、4-メトキシレゾルシノール;ヒドロキノン;カテコール、4-t-ブチルカテコール、3-メトキシカテコール;4,4’-ジヒドロキシビフェニル、2,2-ビス4-ヒドロキシフェニルプロパン;ピロガロール;フロログリシノール;などを挙げることができる。アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るために用いられるフェノール類のうちクレゾール類以外のフェノール類が占める割合は、50重量未満であれば特に限定されないが、5重量以下が好ましく、3重量以下がより好ましく、実質的に0であることが特に好ましい。アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るためにクレゾール類を主成分として含むフェノール類と縮合させるアルデヒド類としては、脂肪族アルデヒド、脂環式アルデヒドおよび芳香族アルデヒドのいずれをも用いることができる。脂肪族アルデヒドの具体例としては、ホルムアルデヒド、トリオキサン、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、n-ブチルアルデヒド、イソブチルアルデヒド、トリメチルアセトアルデヒド、n-ヘキシルアルデヒド、アクロレイン、クロトンアルデヒドなどを挙げることができる。脂環式アルデヒドの具体例としては、シクロペンタンアルデヒド、シクロヘキサンアルデヒド、フルフラール、フリルアクロレインなどを挙げることができる。芳香族アルデヒドの具体例としては、ベンズアルデヒド、o-トルアルデヒド、m-トルアルデヒド、p-トルアルデヒド、p-エチルベンズアルデヒド、2,4-ジメチルベンズアルデヒド、2,5-ジメチルベンズアルデヒド、3,4-ジメチルベンズアルデヒド、3,5-ジメチルベンズアルデヒド、o-クロロベンズアルデヒド、m-クロロベンズアルデヒド、p-クロロベンズアルデヒド、o-ヒドロキシベンズアルデヒド、m-ヒドロキシベンズアルデヒド、p-ヒドロキシベンズアルデヒド、o-アニスアルデヒド、m-アニスアルデヒド、p-アニスアルデヒド、テレフタルアルデヒド、フェニルアセトアルデヒド、α-フェニルプロピオンアルデヒド、β-フェニルプロピオンアルデヒド、桂皮アルデヒドなどを挙げることができる。これらのアルデヒド類は、1種を単独で用いることができ、2種以上を組み合わせて用いることもできる。また、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るために好ましく用いられるアルデヒド類は、脂肪族アルデヒドであり、そのなかでもホルムアルデヒドが特に好ましく用いられる。アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを製造する際のフェノール類とアルデヒド類との縮合反応は、酸性触媒の存在下において行うことができる。酸性触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸、p-トルエンスルホン酸などを挙げることができる。アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとしては、クレゾール類を主成分として含むフェノール類とアルデヒド類との縮合反応生成物をそのまま用いることができるが、必要に応じて、その縮合反応生成物から低分子量成分を分別除去して用いることもできる。低分子量成分を除去する方法としては、例えば、異なる溶解性を有する2種の溶媒中で樹脂を分別する液-液分別法、低分子量成分を遠心分離により除去する方法、薄膜蒸留法などを挙げることができる。フェノール類とアルデヒド類とを縮合させてノボラック樹脂を得る場合、得られた縮合反応生成物を良溶媒、例えば、メタノール、エタノールなどのアルコール溶媒;アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン溶媒;エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのアルキレングリコール溶媒;テトラヒドロフランなどのエーテル溶媒;などに溶解し、次いで水中に注いで沈殿させることにより、低分子量成分が除去されたノボラック樹脂を得ることができる。本発明において使用するアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aの分子量は特に限定されないが、その重量平均分子量が2,000~20,000であることが好ましく、2,500~12,000であることがより好ましく、3,000~8,000であることがさらに好ましい。重量平均分子量は、単分散のポリスチレンを標準試料とし、テトラヒドロフランTHFを溶離液としてゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPC法により測定することができる。本発明に用いられるフェノールを主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合してなるアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bは、フェノール類としてフェノールC6H5OHを主成分として含むものを用い、これをアルデヒド類と縮合することにより得ることができる、アルカリ性水溶液からなる現像液に可溶性のノボラック樹脂である。アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bは、フェノール類としてフェノールのみを用いて得られるものであってよいが、フェノールが主成分となるかぎりにおいて、フェノール類にフェノール以外のフェノール類を組み合わせて用いて得られるものであってもよい。このフェノールと組み合わせて用いられうるフェノール以外のフェノール類は、一価のフェノール化合物であっても、二価以上の多価フェノール化合物であってもよく、その具体例としては、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るために用いられるクレゾール類の具体例として挙げたものや、そのクレゾール類と組み合わせて用いられうるフェノール類の具体例として挙げたもの但し、フェノールを除くを挙げることができる。アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bを得るために用いられるフェノール類のうちフェノール以外のフェノール類が占める割合は、50重量未満であれば特に限定されないが、5重量以下が好ましく、3重量以下がより好ましく、実質的に0であることが特に好ましい。アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bを得るために、フェノールと縮合するアルデヒド類としては、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るために用いられるものとして述べたアルデヒド類と同様のものが使用でき、好ましく用いられるアルデヒド類もアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aを得るために用いられるものと同様である。また、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bを製造する際のフェノールとアルデヒド類との縮合反応についても、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aと同様の酸性触媒の存在下において行うことができる。本発明に用いられるアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bは、その重量平均分子量Mwが1300以下である必要があり、1200以下であることが好ましく、1000以下であることがより好ましく、かつ、その分子量分布Mw/Mn;Mnは数平均分子量を示すが1.05以上1.70以下である必要があり、1.05以上1.35以下であることが好ましい。この範囲を満たさない場合には、塗布ムラが大きくなったり、プロセスマージンが小さくなったり、感度が低くなるという問題が生じる。なお、重量平均分子量や分子量分布は、単分散のポリスチレンを標準試料とし、テトラヒドロフランTHFを溶離液としてゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPC法により測定することができる。本発明に用いられるアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bを製造する方法は、目的の重量平均分子量と分子量分布とを有するフェノールノボラック樹脂が得られる方法である限りにおいて特に限定されないが、特開2004-339256号公報に記載されるようなリン酸類と他の酸カルボン酸や有機ホスホン酸からなる酸触媒の存在下で、フェノールを主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを不均一系反応させる方法や、常法に従ってフェノールを主成分として含むフェノール類とアルデヒド類とを縮合反応させてフェノールノボラック樹脂を得た後、特開2004-204037号公報に記載されるように、孔径が制御された無機ろ過膜セラミックフィルターを用いてフェノールノボラック樹脂の分画を行い、目的の重量平均分子量と分子量分布とを有するフェノールノボラック樹脂を取り出す方法を挙げることができる。なお、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとして、市販品を用いることも可能である。本発明で使用することができるアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bの市販品としては、旭有機材工業社製のPAPS-PN2やPAPS-PN4を挙げることができる。本発明の感光性樹脂組成物では、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの比率A:Bが、重量比で95:5~85:15の範囲である必要がある。この範囲を満たさない場合には、塗布ムラが大きくなったり、プロセスマージンが小さくなったり、感度が低くなるという問題が生じる。本発明の感光性樹脂組成物は、樹脂組成物に感光性を付与するために、キノンジアジドスルホン酸エステルCを必須成分とするものである。本発明で用いられるキノンジアジドスルホン酸エステルCは、特に限定されるものではないが、その具体例としては、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステル別名:6-ジアゾ-5,6-ジヒドロ-5-オキソ-ナフタレン-1-スルホン酸エステル、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル、1,2-ナフトキノンジアジド-6-スルホン酸エステルなどを挙げることができる。キノンジアジドスルホン酸エステルCは、常法に従ってキノンジアジドスルホン酸化合物をキノンジアジドスルホン酸ハライドとした後、アセトン、ジオキサン、ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン、テトラヒドロフランなどの有機溶媒中において炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどの無機塩基の存在下、または、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、トリブチルアミン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピリジン、ジシクロヘキシルアミンなどの有機塩基の存在下、キノンジアジドスルホン酸ハライドとヒドロキシ基を有する化合物とを縮合反応させることにより、得ることができる。キノンジアジドスルホン酸エステルCを得るために用いられうるキノンジアジドスルホン酸ハライドの具体例としては、例えば、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホニルクロリド別名:6-ジアゾ-5,6-ジヒドロ-5-オキソ-ナフタレン-1-スルホン酸クロリド、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニルクロリド、1,2-ナフトキノンジアジド-6-スルホンニルクロリドなどを挙げることができる。キノンジアジドスルホン酸エステルCを得るために用いられうるヒドロキシル基を有する化合物の具体例としては、2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノン、2,4,4’-トリヒドロキシベンゾフェノン、2,3,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノン、2,2’,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノン、2,2’,3,4,4’-ペンタヒドロキシベンゾフェノンなどのポリヒドロキシベンゾフェノン;没食子酸メチル、没食子酸エチル、没食子酸プロピルなどの没食子酸エステル;2,2-ビス4-ヒドロキシフェニルプロパン、2,2-ビス2,4-ジヒドロキシフェニルプロパンなどのポリヒドロキシビスフェニルアルカン;トリス4-ヒドロキシフェニルメタン、1,1,1-トリス4-ヒドロキシ-3-メチルフェニルエタン、1,1,1-トリス4-ヒドロキシフェニルエタン、1,1-ビス4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル-1-4-ヒドロキシフェニルエタン、ビス4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル-2-ヒドロキシ-4-メトキシフェニルメタン、4,4’-[1-[4-[1-4-ヒドロキシフェニル-1-メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールなどのポリヒドロキシトリスフェニルアルカン;1,1,2,2-テトラキス4-ヒドロキシフェニルエタン、1,1,2,2-テトラキス3-メチル-4-ヒドロキシフェニルエタン、1,1,3,3-テトラキス4-ヒドロキシフェニルプロパンなどのポリヒドロキシテトラキスフェニルアルカン;α,α,α’,α’-テトラキス4-ヒドロキシフェニル-m-キシレン、α,α,α’,α’-テトラキス4-ヒドロキシフェニル-p-キシレン、α,α,α’,α’-テトラキス3-メチル-4-ヒドロキシフェニル-m-キシレンなどのポリヒドロキシテトラキスフェニルキシレン;2,6-ビス2,4-ジヒドロキシベンジル-p-クレゾール、2,6-ビス2,4-ジヒドロキシ-3-メチルベンジル-p-クレゾール、4,6-ビス4-ヒドロキシベンジルレゾルシン、4,6-ビス4-ヒドロキシ-3-メチルベンジルレゾルシン、4,6-ビス4-ヒドロキシベンジル-2-メチルレゾルシン、4,6-ビス4-ヒドロキシ-3-メチルベンジル-2-メチルレゾルシンなどのフェノール化合物とホルムアルデヒドとのトリマー;前記フェノール化合物とホルムアルデヒドとのテトラマー;ノボラック樹脂;などを挙げることができる。キノンジアジドスルホン酸エステルCに用いられるキノンジアジドスルホン酸ハライドやヒドロキシル基を有する化合物は、それぞれ、1種を単独で用いることができ、2種以上を組み合わせて用いることもできる。なお、キノンジアジドスルホン酸エステルのエステル化率は、50モル以上であることが好ましく、60モル以上であることがより好ましい。エステル化率は、酸ハライドとヒドロキシル基を有する化合物との配合比により決定される。本発明の感光性樹脂組成物では、その感光性を特に良好なものとする観点から、キノンジアジドスルホン酸エステルCが、酸ハライドとして、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニルクロリドを用い、ヒドロキシル基を有する化合物として、2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノン、2,3,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノンおよび4,4’-[1-[4-[1-4-ヒドロキシフェニル-1-メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールのうちの少なくとも1種を用い、これらを縮合反応させてなるキノンジアジドスルホン酸エステルを含むものであることが好ましい。さらにそのなかでも、感光性樹脂組成物のプロセスマージンを特に広いものとする観点から、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニルクロリドと4,4’-[1-[4-[1-4-ヒドロキシフェニル-1-メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールとのエステル化物を含むものであることが特に好適である。本発明の感光性樹脂組成物において、キノンジアジドスルホン酸エステルCの配合量は、特に限定されないが、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの合計100重量部に対して、5~40重量部であることが好ましく、10~30重量部であることがより好ましい。キノンジアジドスルホン酸エステルCの配合量が、この範囲内であると、レジストパターンのハーフトーンパターン部の形成性が良好で、しかも実効感度と残膜率、解像性などのレジスト特性のバランスに特に優れた感光性樹脂組成物となる。本発明の感光性樹脂組成物は、有機溶剤Dを必須の成分とするものであり、その有機溶剤Dは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートD1および常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2を含む複合溶剤である必要がある。常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2は、特に限定されるものではないが、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂A、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bおよびキノンジアジドスルホン酸エステルCを溶解するものであることが好ましく、その具体例としては、常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の、アルキレングリコール系溶剤、エーテル系溶剤、エステル系溶剤、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、アミド系溶剤などを挙げることができる。以下、カッコ内に沸点°Cを示して溶剤D2の例示を行う。なお、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートD1の沸点は146°Cである。アルキレングリコール系溶剤の具体例としては、ジエチレングリコールモノメチルエーテル195、エチレングリコールモノエチルエーテル202などのエチレングリコールモノアルキルエーテル;ジエチレングリコールジメチルエーテル162、ジエチレングリコールジエチルエーテル189、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル176、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル212などのジエチレングリコールジアルキルエーテル;ジプロピレングリコールジメチルエーテル171、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル188などのプロピレングリコールアルキルエーテル;エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート158、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート188などのエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート158などのプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;などを挙げることができる。エステル系溶剤の具体例としては、3-エトキシプロピオン酸エチル170、乳酸ブチル187、安息香酸メチル200などを挙げることができる。炭化水素系溶剤の具体例としては、n-ノナン150、デカン174、デカリン194、α-ピネン156、β-ピネン163、δ-ピネン161、1-クロロオクタン182、2-メチルシクロヘキサンラセミ体:165、3-メチルシクロヘキサノンラセミ体:170、4-メチルシクロヘキサノン171、4-エチルシクロヘキサン194、o-クロロトルエン159、m-クロロトルエン162、p-クロロトルエン162、プロピルベンゼン159、ブチルベンゼン183、イソブチルベンゼン173、クメン152などの芳香族炭化水素などを挙げることができる。ケトン系溶剤の具体例としては、シクロヘキサノン156などを挙げることができる。アミド系溶剤の具体例としては、N,N-ジメチルホルムアミド153、N,N-ジメチルアセトアミド194、N-メチルピロリドン202などを挙げることができる。これらの常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲である溶剤は、1種を単独で用いることができ、あるいは、2種以上を組み合わせて用いることもできる。本発明の感光性樹脂組成物において、有機溶剤Dを構成する、常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2として、特に好ましく用いられる溶剤としては、ジエチレングリコールジアルキルエーテルを挙げることができる。ジエチレングリコールジアルキルエーテルを用いることにより、感光性樹脂組成物の塗布ムラを特に小さなものとすることが可能となる上に、感度やプロセスマージンも特に良好なものとすることができる。有機溶剤Dにおいて、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートD1と常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2との比率は重量比で6:4~9.5:0.5とすることが好ましい。この範囲を満たさない場合には感光性樹脂組成物の塗布ムラが大きくなったり、プロセスマージンが小さくなったり、感度が低くなるという問題が生じる。また、感光性樹脂組成物の塗布ムラを特に良好に抑制させる観点からは、溶剤D2の常圧の沸点は、150°C~200°Cの範囲であることが特に好ましい。本発明の感光性樹脂組成物で用いる有機溶剤Dは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートD1および常圧の沸点が150°C~240°Cの範囲の溶剤D2のみからなるものであってよいが、さらに他の溶剤を含有するものであってもよい。その具体例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル120などの常圧の沸点が150°C未満である、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート以外の溶剤を挙げることができる。本発明の感光性樹脂組成物における有機溶剤Dの量は、感光性樹脂組成物の使用態様に応じて適宜設定すればよく、特に限定されるものではないが、感光性樹脂組成物を構成するアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの合計量100重量部に対して、240~1500重量部の範囲で選択することが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、密着促進剤をさらに含有するものであってもよい。用いられうる密着促進剤の具体例としては、メラミン系密着促進剤、シラン系密着促進剤などを挙げることができる。メラミン系密着促進剤の具体例としては、日本サイテックインダストリーズ社製サイメル300、303、三和ケミカル社製MW-30MH、MW-30、MS-11、MS-001、MX-750、MX-706などを挙げることができる。メラミン系密着促進剤を用いる場合の配合量は、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの合計100重量部に対して、0.1~20重量部であることが好ましく、0.5~18重量部であることがより好ましく、1~15重量部であることがさらに好ましい。シラン系密着促進剤の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス2-メトキシエトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-3,4-エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシランなどを挙げることができる。シラン系密着促進剤を用いる場合の配合量は、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの合計100重量部に対して、0.0001~2重量部であることが好ましく、0001~1重量部であることがより好ましく、0.005~0.8重量部であることがさらに好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、界面活性剤をさらに含有するものであってもよい。界面活性剤の配合量は、感光性樹脂組成物に対して、100~5,000重量ppmであることが好ましく、200~2,000重量ppmであることがより好ましい。感光性樹脂組成物に界面活性剤を配合することにより、塗膜における塗布ムラの発生をさらに防止することができる。界面活性剤としては、例えば、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、ポリオキシアルキレン系界面活性剤などを挙げることができる。本発明の感光性樹脂組成物で用いられうる市販のシリコーン系界面活性剤の具体例としては、東レダウコーニング社製のSH28PA、SH29PA、SH30PA、ポリエーテル変性シリコーンオイルSF8410、SF8427、SH8400、ST80PA、ST83PA、ST86PA、信越シリコーン社製のKP321、KP323、KP324、KP340、KP341、モメンティブパフォーマンスマテリアルズジャパン社製のTSF400、TSF401、TSF410、TSF4440、TSF4445、TSF4446、ビックケミージャパン社製のBYK300、BYK301、BYK302、BYK306、BYK307、BYK310、BYK315、BYK320、BYK323、BYK331、BYK333、BYK370、BYK375、BYK377、BYK378などを挙げることができる。本発明の感光性樹脂組成物で用いられうる市販のフッ素系界面活性剤の具体例としては、住友スリーエム社製フロリナートFC-430、FC-431、AGCセイミケミカル社製サーフロンS-141、S-145、S-381、S-393、三菱マテリアル電子化成社製エフトップEF301、EF303、EF351、EF352、DIC社製メガファックF171、F172、F173、R-30などを挙げることができる。また、フルオロカーボン鎖を有するシリコーン系界面活性剤の具体例として、DIC社製メガファックR08、F470、F471、F472SF、F475などを挙げることができる。本発明の感光性樹脂組成物で用いられうるポリオキシアルキレン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレートなどを挙げることができる。本発明の感光性樹脂組成物を得るにあたり、各成分を混合する方法は特に限定されず、例えば、振盪機、アジテーター、ディゾルバー、ホモジナイザー、3本ロールミルなどの装置を用いて、常法に従って各成分を混合することにより、本発明の感光性樹脂組成物を調製することができる。また、各成分を混合した後、必要に応じて、メッシュメンブランフィルターなどを用いて濾過してもよい。また、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、上記したもの以外の添加剤を加えてもよい。本発明の感光性樹脂組成物を用いて基板上にレジストパターンを形成するにあたり、本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布する方法に特に制限はなく、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、スリットアンドスピン法、スピンレススリット法など適用することができる。本発明の感光性樹脂組成物は、これらの方法の中でも、スピンレススリット法を用いる場合に、特に好適に用いることができる。スピンレススリット法によれば、感光性樹脂組成物を供給するスリットを移動させることにより、基板にスリットを接触させることなく感光性樹脂組成物を塗布することができる。スピンレススリット法による塗布には、東京応化工業社製スピンレスコーター、中外炉工業社製テーブルコータ、大日本スクリーン製造社製リニアコータ、平田機工社製ヘッドコーター、東レエンジニアリング社製スリットダイコーター、東レ社製東レスリットコーターなどを用いることができる。基板上の感光性樹脂組成物の塗膜の乾燥は、公知の方法に従って、該塗膜の流動性を実質的に消失させる目的で行われる該塗膜の加熱プリベイクにより併せて行えばよい。プリベイクは、ホットプレートやオーブンなどを用いて、通常、60~120°Cで、10~600秒間加熱することにより行うことができる。また、プリベイクする前に、公知の方法に従って塗膜を減圧乾燥しておくのも好適である。これらの工程により基板上にレジスト膜が形成されるが、レジスト膜の厚さとしては、通常、0.5~5μm、好ましくは0.8~4μmである。次に、レジスト膜をマスクを通して露光する。露光においては、レジスト膜にマスクパターンを介して活性光線を照射し、レジスト膜中に所定形状の潜像パターンを形成する。露光の際に用いる活性光線に特に制限はなく、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、X線などを挙げることができる。これらの中で、可視光線と紫外線を好適に用いることができる。照射する光線量に特に制限はなく、レジスト膜の使用目的、膜の厚さなどに応じて適宜選択することができる。続いて、露光後のレジスト膜に現像液を接触させて潜像パターンを現像することによりレジストパターンを形成する。潜像パターンの現像に用いる現像液アルカリ現像液に特に制限はなく、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの水溶液を挙げることができる。これらの現像液の濃度は、0.1~5重量であることが好ましい。潜像パターンを現像したのち、基板上のレジストパターンを、例えば、純水で洗浄し、圧縮空気や圧縮窒素により風乾することが好ましい。また、所望により、現像されたパターンをホットプレートやオーブンなどの加熱装置を用いて、100~250°Cで、ホットプレート上では2~60分間、オーブン中では2~90分間程度加熱ポストベークしてもよい。次に、本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。なお、各例における重量平均分子量や分子量分布は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーGPCシステムHLC-8020東ソー社製で、カラムとして、TSKgelSuperH2000、TSKgelSuperH4000、およびTSKgelSuperH5000いずれも東ソー社製の3本を連結したものを用い、テトラヒドロフランを溶媒として25°Cで測定し、ポリスチレン換算値として求めたものである。実施例1m-クレゾールとp-クレゾールとを重量比55/45で仕込み、シュウ酸を触媒としてホルムアルデヒドと脱水縮合して、重量平均分子量3600および9500の2種のアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂を合成した。以上のようにして得られたアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂90重量部、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂として、旭有機材工業社製PAPS-PN2重量平均分子量Mw620、分子量分布Mw/Mn1.2110重量部、キノンジアジドスルホン酸エステルとして、6-ジアゾ-5,6-ジヒドロ-5-オキソ-ナフタレン-1-スルホン酸と2,3,4-トリヒドロキシベンゾフェノンとのエステル化物15重量部および6-ジアゾ-5,6-ジヒドロ-5-オキソーナフタレン-1-スルホン酸と2,3,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノンとのエステル化物10重量部を、ガラス容器中の溶剤708重量部に加え、ガラス容器を振盪することにより溶剤に溶解させた。そして、得られた溶液を0.20μm径のフィルターを通してろ過し、そのろ液を感光性樹脂組成物として得た。ここで、実施例1においては、溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMEA90重量およびジエチレングリコールエチルメチルエーテルEDM10重量からなる有機溶剤を用いた。また、活性剤として、ビックケミージャパン社製BYK302ポリエーテル変成したジメチルポリシロキサンを用いて、この濃度が400重量ppmとなるように調製した。また、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂は、感度評価時に算出される残膜率塗布後の膜厚である1.5μmに対する現像後の膜厚の割合が95となるように、重量平均分子量3600の樹脂以下の記載において、Fと称すると重量平均分子量9500以下の記載において、Sと称するの樹脂を混合させたものを用いた。具体的なFとSの比率F:S,重量比は60:40である。実施例2アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を53:47に、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂の量を85重量部に、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂の量を15重量部にそれぞれ変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。実施例3アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を66:34に、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂の量を95重量部に、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂の量を5重量部にそれぞれ変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。実施例4アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を58:42に変更し、さらに有機溶剤を、PGMEA90重量およびジエチレングリコールブチルメチルエーテルBDM10重量からなる溶剤に変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。実施例5アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を58:42に変更し、さらに有機溶剤を、PGMEA70重量、プロピレングリコールモノメチルエーテルPGME20重量およびBDM10重量からなる溶剤に変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。実施例6アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂として、PAPS-PN2に代えて、旭有機材工業社製PAPS-PN4重量平均分子量Mw1110、分子量分布Mw/Mn1.54を10重量部用いたこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。実施例7用いるキノンジアジドスルホン酸エステルを、6-ジアゾ-5,6-ジヒドロ-5-オキソ-ナフタレン-1-スルホン酸と2,3,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノンとのエステル化物10重量部および1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニルクロリドと4,4’-[1-[4-[1-4-ヒドロキシフェニル-1-メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールとのエステル化物10重量部に変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。比較例1アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を72:28に変更し、用いる樹脂をアルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂100重量部のみとして、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂を用いなかったこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。比較例2アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を48:52に、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂の量を80重量部に、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂の量を20重量部にそれぞれ変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。比較例3アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を63:37に変更し、さらに、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂として、重量平均分子量Mwが1600、分子量分布Mw/Mnが1.72であるものを用いたこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った比較例4アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を62:38に変更し、さらに、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂として、重量平均分子量Mwが620、分子量分布Mw/Mnが3.22であるものを用いたこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った比較例5有機溶剤を、PGMEA100重量からなる溶剤に変更したこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。比較例6アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を58:42に変更し、さらに、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂に代えて、4,4’-[1-[4-[1-4-ヒドロキシフェニル-1-メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール分子量424、実質的に純粋であり分子量分布の広がりを有さないを用いたこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。比較例7アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂におけるFとSの比率F:S,重量比を65:35に変更し、さらに、アルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂に代えて、クレゾールノボラック樹脂重量平均分子量Mw597、分子量分布Mw/Mn3.74を用いたこと以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物の調製を行った。評価方法実施例1~7および比較例1~7において調製した感光性樹脂組成物の評価を以下の方法により行った。感度シリコンウェハー基板上に、調製した感光性樹脂組成物を滴下してスピンさせた後に、スローバキュームタイムを20秒、メイン圧力を35Paとして真空乾燥させ、その後110°C/180sにて加熱乾燥することで膜厚1.5μmの膜を形成させた。その後、3μmのラインアンドスペースのマスクを介して超高圧水銀ランプで露光した。ついで2.5に調製した水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に70秒間浸漬させる現像工程を実施し、膜をパターン化させた。形成されたパターンのライン幅を観測し、マスク設計と同様の3μmの長さになっている露光量を感度とした。値が小さいほど、露光工程に要する時間が短縮されることを示す。ベーク温度マージン加熱乾燥を、90°C/180秒間、100°C/180秒間、110°C/180秒間、120°C/180秒間の4条件それぞれで行ったこと以外は感度評価と同様の方法で感光性樹脂組成物を製膜した。現像工程後の膜厚を観測し、現像工程後の膜厚の残存割合を残膜率として観測した現像後膜厚/現像前膜厚。各加熱条件における残膜率の最大値と最小値の差を、ベーク温度マージンとした。値が小さいほど、条件が変化しても膜厚が変わらないことを示す。したがって、値が小さいほど、大型基板において面内で均一なパターンを形成できて良い。現像時間マージン感光性樹脂組成物を感度評価と同様の方法で製膜後、70秒間、90秒間、110秒間の3条件のそれぞれで現像を実施した。各種条件での残膜率を観測し、残膜率の最大値と最小値の差を、現像時間マージンとした。値が小さいほど、条件が変化しても膜厚が変わらないことを示す。したがって、値が小さいほど、大型基板において面内で均一なパターンを形成できて良い。塗布ムラ縦3mm、横3mm、高さ5μmの台座を基板下に設置し、730mm×920mm厚さ0.7mmのガラス基板上にスリットコータを用いて感光性樹脂組成物を塗布した。その後、台座部分の膜厚変化を観測し、膜厚値が最大となるところと膜厚値が最小となるところの差を算出した。値が小さいほど、塗布ムラが生じづらいことを示す。したがって、値が小さいほど、特に大型基板で塗布する際のレジストとして好適である。実施例1~7および比較例1~7の感光性樹脂組成物の組成と評価結果をまとめて表1に示す。表1に見られるように、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aと分子量および分子量分布が特定の範囲に制御されたアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bを組み合わせて使用し、かつ、アルカリ可溶性クレゾールノボラック樹脂Aとアルカリ可溶性フェノールノボラック樹脂Bとの比率を特定の範囲にすると共に、有機溶剤DとしてPGMEAD1および沸点が特定の範囲である溶剤D2を組み合わせて用いて得られる感光性樹脂組成物を用いた場合には、高感度で、かつプロセスマージンベーク温度マージンおよび現像時間マージンが大きく、また塗布ムラを抑制できることが分かった実施例1~7。一方、比較例1~7に見られるように、これらの条件を満たさない感光性樹脂組成物を用いた場合には、塗布ムラが大きくなると共に、プロセスマージンが小さくなり、また、感度が低くなることが分かった。"