第1の方向に平行に延びる複数の格子溝を有する回折格子を製造する方法であって、第1の切刃と第2の切刃を有するバイトと被加工物を前記第1の方向に相対移動することによって前記バイトの前記第1の切刃によって被加工物に第1の面を切削加工する第1の切削加工ステップと、前記第1の切削加工ステップの後で、前記第1の方向に垂直な断面において、前記第1の切刃が前記第1の切削加工ステップで形成された前記第1の面に接触しないように前記バイトと前記被加工物を相対移動させる第1の移動ステップと、前記第1の移動ステップの後で前記バイトと前記被加工物を前記第1の方向に相対移動することによって前記バイトの前記第2の切刃によって前記被加工物に第2の面を切削加工する第2の切削加工ステップと、を有することを特徴とする方法。前記断面において前記第2の面は前記第1の面よりも短い辺を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記第2の切削加工ステップの後で、前記バイトと前記被加工物を相対移動することによって前記断面において前記バイトを前記第1の切削加工ステップにおける前記バイトの位置から前記格子溝の繰り返し幅だけ格子パターン方向に移動させる第2の移動ステップを更に有し、前記第1の切削加工ステップ、前記第1の移動ステップ、前記第2の切削加工ステップ、前記第2の移動ステップが所定回数繰り返されることを特徴とする請求項1に記載の方法。前記被加工物は前記回折格子の材料から構成されることを特徴とする請求項1に記載の方法。前記被加工物は金型の材料から構成され、前記方法は、前記金型に反射膜を被覆して前記回折格子を形成するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記回折格子が使用されるときに前記第2の面に光が入射し、前記第1の面と前記第2の面の間に形成される段差部に前記光が到達しないように、前記バイトを移動して前記第2の面を切削加工することを特徴とする請求項4または5に記載の方法。前記被加工物は金型の材料から構成され、前記方法は、前記金型を利用して前記回折格子を成形するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載の方法。複数の平行に延びる格子溝を有する回折格子であって、入射光を最も多く受光する面であるブレーズ面と、前記ブレーズ面の前記入射光が入射する側に隣接する段差部と、を有し、前記段差部の前記ブレーズ面に隣接する平面を前記入射光が入射する側に延長させた平面は格子を形成する全ての材質と交差しないことを特徴とする回折格子。前記回折格子はエシェル型回折格子であることを特徴とする請求項8に記載の回折格子。レーザ放射光に対して特定の高次伝播回折次数の光が各波長でブレーズされ、前記ブレーズされる次数は50より大きいことを特徴とする請求項8または9に記載の回折格子。前記レーザ放射光はアルゴン-フッ素エキシマレーザによって放射され、前記次数は90より大きいことを特徴とする請求項10に記載の回折格子。前記レーザ放射光はクリプトン-フッ素エキシマレーザによって放射され、前記次数は60より大きいことを特徴とする請求項10記載の回折格子。複数の平行に延びる格子溝を有する金型であって、入射光を最も多く受光する面であるブレーズ面と、前記ブレーズ面の前記入射光が入射する側に隣接する段差部と、を有し、前記段差部の前記ブレーズ面に隣接する平面を前記入射光が入射する側に延長させた平面は格子を形成する全ての材質と交差しないことを特徴とする金型。より高い面精度を有するブレーズ面を形成するために、各格子溝を2段階の切削加工で形成することを考える。この場合、第1の切削加工では、バイトを移動してバイトの2つの切刃で被加工物を切削加工する。次に、バイトのカウンタ面を形成する切刃をカウンタ面に沿って格子平面側に若干移動する。第2の切削加工では、その位置で、バイトを移動して切削加工を行う。しかしながら、この2段階切削加工では、ブレーズ面上にダレや面粗さが生じ易いという課題があった。そこで、本発明は、入射光を最も多く受光する面を精度良く切削加工する回折格子の製造方法を提供することを例示的な目的とする。本発明の回折格子の製造方法は、第1の方向に平行に延びる複数の格子溝を有する回折格子を製造する方法であって、第1の切刃と第2の切刃を有するバイトと被加工物を前記第1の方向に相対移動することによって前記バイトの前記第1の切刃によって被加工物に第1の面を切削加工する第1の切削加工ステップと、前記第1の切削加工ステップの後で前記第1の方向に垂直な断面において、前記第1の切刃が前記第1の切削加工ステップで形成された前記第1の面に接触しないように前記バイトと前記被加工物を相対移動させる第1の移動ステップと、前記第1の移動ステップの後で前記バイトと前記被加工物を前記第1の方向に相対移動することによって前記バイトの前記第2の切刃によって前記被加工物に第2の面を切削加工する第2の切削加工ステップと、を有することを特徴とする。本発明によれば、入射光を最も多く受光する面を精度良く切削加工する回折格子の製造方法を提供することができる。図1bは、従来のエシェル型回折格子ブレーズ型回折格子60の部分拡大断面図である。ブレーズ型回折格子は、図1bに示す紙面に垂直な方向に平行に延びる複数の格子溝67を有し、各格子が鋸歯ブレーズ型である回折格子であり、特定の次数と波長に対して高い回折効率を有する。図1bに示す紙面は不図示のブレーズ方向図1bに示す格子平面Mに平行な左右方向とこれに垂直な不図示の格子法線GratingNormal格子平面Mに垂直な方向を含む断面に平行な平面である。エシェル型回折格子60の各格子は、短辺と長辺で構成される非対称の三角形形状を有し、図1bの紙面に垂直な方向に短辺と長辺はそれぞれ延びている。短辺と長辺がなす角度θは頂角63と呼ばれ、エシェル型回折格子60は、入射光を最も多く受光するブレーズ面66と、これに隣接するカウンタ面65を有する。カウンタ面65とブレーズ面66は頂角63を挟んで交差し、交線は格子平面Mから最も離れた最外稜線である。エシェル型回折格子60は、図1bに矢印で示す方向から入射する入射光Lをできるだけ多く分割するために短辺側に光の入射方向Lが正対するような配置で使用され易く、回折効率はブレーズ面66の面精度表面粗さに依存する。そこで、ブレーズ面66を高精度に切削加工することが求められる。一方、図1aは、本実施形態の回折格子10の部分拡大断面図である。回折格子10は、カウンタ面65に対応するカウンタ面15とブレーズ面66に対応するブレーズ面16との間に段差部12を有する点でエシェル型回折格子60と相違する。また、後述する本実施形態の製造方法によってブレーズ面16の面精度はブレーズ面66の面精度よりも高い。本実施形態では段差部12は鋸形状であるが、これに限定されない。回折格子10もエシェル型回折格子60と同様の機能を有する。即ち、回折格子10は、図1aに示す紙面に垂直な方向第1の方向に平行に延びる複数の格子溝17を有する回折格子であり、特定の次数と波長に対して高い回折効率を有する。本実施形態の格子溝17の本数は、例えば、1μmあたり0.077本から0.143本である。回折格子10は、段差部12を除くと短辺と長辺で構成される非対称の三角形形状を有し、図1aの紙面に垂直な方向に短辺と長辺はそれぞれ延びている。短辺と長辺がなす角度θは頂角13と呼ばれ、本実施形態では75°~95°であるがこれに限定されるものでない。回折格子10は、XZ断面において長辺を有するカウンタ面第1の面15と短辺を有するブレーズ面第2の面16を有する。本実施形態の回折格子10は、反射型回折素子であるが、透過型回折素子として構成されてもよい。回折格子10はレーザ放射光に対して特定の高次伝播回折次数の光が各波長でブレーズされるが、このブレーズされる次数は50より大きい。レーザ放射光が、アルゴン‐フッ素エキシマレーザによって放射される場合には前記次数は90よりも大きくなり、クリプトン-フッ素エキシマレーザによって放射される場合には前記次数は60よりも大きくなる。図2は、本実施形態の加工機20の概略斜視図であり、直交する3軸方向にXYZを設定している。加工機20は、被加工物ワークWに複数の格子溝17を形成して回折格子10を製造する製造装置である。加工機20は、数十nmオーダーで切込みの数値制御NC制御が可能な超精密切削加工機であり、先端が鋭利で高精度な加工転写性が得られるダイヤモンドバイト22を工具として利用し、シェーパー方式によって格子溝17を形成する。被加工物Wの材質はダイヤモンドバイト22での切削性が良い銅系、アルミ系、無電解ニッケル系を加工層として有することが好ましい。なお、工具バイトの材質と被加工物Wの材質はこれらに限定されない。加工機20は、外部振動に強い高剛性の筺体21内に、X方向に移動可能なXステージ25とY方向に移動可能なYステージ26からなるXYステージに被加工物Wを搭載している。ダイヤモンドバイト22は、Z方向に移動可能なZステージ27に搭載されている。なお、本実施形態では、ダイヤモンドバイト22は回転しないが、ダイヤモンドバイト22が回転する加工機を使用してもよい。図3aは、切削加工時のダイヤモンドバイト22の概略断面図である。ダイヤモンドバイト22は、図3aに示すように、格子溝17として機能する多角形溝断面形状を転写する少なくとも2つの切刃23、24を有する。切刃23は第1の面であるカウンタ面15を形成するための第1の切刃、切刃24は第2の面であるブレーズ面16を形成するための第2の切刃として機能する。切刃23、24の先端がなす角度θ1は格子溝17の開き角θとほぼ等しく、本実施形態では85°である。切刃23、24の先端部の丸みは極力少なく、稜線の直線精度は先端部で非常に高いため、回折格子10の格子溝の壁面精度を高精度に維持することができる。各格子のカウンタ面15とブレーズ面16の交線は回折格子10の最外稜線を構成する。ダイヤモンドバイト22と被加工物Wが対向する位置でZ方向への切込み量が、例えば、5μmとなるようにダイヤモンドバイト22を被加工物側に下ろした状態でXまたはY方向に直線または曲線状的にXYステージを移動する。ダイヤモンドバイト22と被加工物Wとの相対移動により切削速度を得て切刃23、24で被加工物Wを切削加工する。もちろん、機械加工において移動対象はバイト側でも被加工物側でもよい。また、バイトへの過負荷を避けるためにZ方向への必要な切込み量を分割して分割された切り込み量だけを形成する工程を複数回繰り返してもよい。加工の際にはオイルミストをバイトすくい面の裏側から噴射させ加工熱を除去しながら切り屑を潤滑に流す。本実施例においては、図3に示すように、切削加工時にダイヤモンドバイト22が-X方向に移動して位置決めを行い、Y方向に直線的に移動することで被加工物Wの被加工面W1を切削加工する。この時、X軸に関して位置決めを行った後、同じX座標に関してY方向第1の方向に所定の長さ、例えば、30mmだけ切削すると1回の切削加工が終了する。以下、本実施形態の回折格子10の製造方法について説明する。実施例1では、被加工物Wは回折格子10の材料例えば、結晶材料から構成される。図4は、回折格子の製造方法を説明するためのフローチャートであり、Sはステップの略である。また、図5は、図4の各ステップにおける被加工物Wの概略断面図である。まず前提として、図3bに示す被加工物Wを用意する。被加工物Wは、結晶製造装置によって製造された結晶体を適当な形状例えば、図3bに示す直方体形状に切削して図3bに示す被加工面W1を研磨することによって作成される。必要があれば、被加工物Wを治具に取り付けてもよい。図5aは前回の切削加工によって格子溝17が形成された後で今回の格子溝17を形成する直前の被加工物Wを示す断面図であり、Mは格子平面である。まず、Xステージ25、Yステージ26、Zステージ27を介して、ダイヤモンドバイト22と被加工物Wを相対移動することによってXZ断面においてダイヤモンドバイト22を被加工物Wに対して第1の位置に移動する第2の移動ステップS110。図5bはダイヤモンドバイト22の第1の位置を示している。第1の位置は、XZ断面において前回の第1の切削加工ステップにおけるダイヤモンドバイト22の位置からダイヤモンドバイト22を-X方向格子パターン方向に格子溝17の繰り返し幅、例えば、10μmだけ移動させた位置である。その際に、切刃23が格子平面Mに対して所定の角度、例えば、10度傾斜するようにXZ平面上でのダイヤモンドバイト22の回転角が設定される。このバイト角度において切刃23が被加工物Wに所定の長さ、例えば、9μmの長さで接するようにZ方向の切り込み深さを決定する。次に、Yステージ26を介してダイヤモンドバイト22と被加工物Wを相対移動することによってダイヤモンドバイト22の切刃23によって被加工物Wにカウンタ面15第1の面を切削加工する第1の切削加工ステップS120。次に、S120第1の切削加工ステップの後でダイヤモンドバイト22と被加工物Wを相対移動することによってXZ断面においてダイヤモンドバイト22を被加工物Wに対して第2の位置の移動する第1の移動ステップS130。図5cにおいて、点線は第1の位置、実線は第2の位置を示している。図5cに示すように、第2の位置においては切刃23が第1の切削加工ステップで形成されたカウンタ面15に接触していない。例えば、S130はS120の第1の位置に対してダイヤモンドバイト22を-X方向に1.17μmだけ移動させた第2の位置に移動する。また、位置決めの際にXY平面上でのバイト回転角は前回の加工と同様に、切刃23が格子平面Mに対して所定の角度、例えば、10度傾斜するように行う。次に、ダイヤモンドバイト22と被加工物Wを相対移動することによってダイヤモンドバイト22の切刃24によって被加工物Wにブレーズ面16第2の面を切削加工する第2の切削加工ステップS140。本実施例において改良される前の2段階の切削加工においては、S110、S120を行った後でS130においてバイトを図5cの点線で示す第1の位置から切刃24をカウンタ面15に沿って格子平面M側に移動していた。この場合、切刃23、24の間の先端22aは段差部12のカウンタ面15とブレーズ面16を延長した線の交点13に一致し、この結果、段差部12が切削される。この位置においてS140を行うと、切刃23がカウンタ面15を擦り、図5cにおいては右側において隣接するブレーズ面図1bに示すブレーズ面66の上部にダレが発生する。また、切刃23がカウンタ面15の上を接触しながら移動するためにバイトがY方向に移動する際に振動し、それが切刃24にも伝達し、ブレーズ面66の面精度が低下する。これに対して、本実施例によれば、第1の移動ステップS130は、切刃23が第1の切削加工ステップS120で形成されたカウンタ面15に接触しないようにバイトと被加工物Wを相対移動する。このため、S140において切刃23がカウンタ面15を擦らないのでブレーズ面16の上部にダレは発生しない。また、XZ断面において切刃23が接触する被加工物Wの長さはカウンタ面15の辺の長さよりも小さく、切刃23が振動が抑えられるのでブレーズ面16の面精度がブレーズ面66の面精度よりも向上する。なお、移動量は実施形態の移動量に限定されず、X方向、Z方向、XZ平面における回転角は、この切削加工で切刃23以外の切刃が隣接する他のブレーズ面などの高効率実現する上で平坦さが必要となる面に接触しない限り任意に設定することができる。次に、第1の切削加工ステップS120と第2の切削加工ステップS140の組が所定回数、例えば、20000回繰り返されていなければS150のNo、S110に戻る。この結果、第2の切削加工ステップS140の後でダイヤモンドバイト22と被加工物Wを相対移動し、ダイヤモンドバイト22を格子平面Mに対してXZ断面において第1の位置に移動する。この時の第1の位置は、上述したように、XZ断面において前回の第1の切削加工ステップにおけるダイヤモンドバイト22の位置からダイヤモンドバイト22を-X方向格子パターン方向に格子溝17の繰り返し幅だけ移動させた位置である。一方、第1の切削加工ステップS120と第2の切削加工ステップS140の組が所定回数繰り返されていればS150のYes処理は終了する。これにより、図5dに示すような、回折格子10が作製される。また、図1aに示すように、回折格子10が使用される際にブレーズ面16に光が入射し、段差部12に入射光Lが到達しないように第1の移動ステップS130はダイヤモンドバイト22を移動する。これによって段差部12を形成したことによるブレーズ面16の回折効率の減少を抑えることができる。本実施例では、被加工物Wは金型の材料例えば、金属材料から構成され、回折格子の製造方法は、この金型を利用して回折格子を成形するステップを更に有する。より具体的には、成形ステップは、金型内に回折格子の材料例えば、樹脂を充填する射出成形によって金型とは格子パターンが反転した回折格子を形成する。即ち、この場合の回折格子は頂角13に相当する部分が段差部12に相当する部分だけ欠けた形状となり、カウンタ面とブレーズ面との間には段差部は形成されない。本実施例では、被加工物Wは金型の材料例えば、金属材料から構成され、回折格子の製造方法は、この金型に反射膜例えば、アルミニウムを被覆して回折格子反射型回折格子を形成するステップを更に有する。また、反射膜にさらに保護膜としての誘電体膜の単層膜あるいは多層膜を形成してもよい。誘電体膜としては、Al2O3膜、LaF3膜、MgF2膜、AlF3等を挙げることができる。本発明の製造方法は、図4、5に示すものに限定されない。例えば、第1の格子溝のために図5bに示す加工を行った後で第1の格子溝のために図5cに示す加工を行わずに隣の第2の格子溝のために図5bの加工を行う。次いで、第1の格子溝のために図5cに示す加工を行い、第3の格子溝のために図5bに示す加工を行い、第2の格子溝のために図5cに示す加工を行い、第4の格子溝のために図5bに示す加工を行う。次に、第3の格子溝のために図5cに示す加工を行う。この様子を図6に示す。図6の順番と矢印はこの動作を示している。以上、本実施形態について説明したが、本発明は本実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。