"少なくともポリエステル樹脂とポリアミド樹脂からなる共押出し延伸フィルム基材の片面に、リアクティブイオンエッチングRIE法によるプラズマ処理を施し、該プラズマ処理面上に無機化合物の蒸着膜層を設けたことを特徴とする蒸着フィルム。前記無機化合物の蒸着膜層の主成分が酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素であることを特徴とする請求項1記載の蒸着フィルム。前記蒸着膜層の上面にオーバーコート層を有することを特徴とする請求項1または2記載の蒸着フィルム。前記共押出し延伸フィルム基材が、ポリエステル樹脂、易接着性樹脂、ポリアミド樹脂を順次積層してなることを特徴とする請求項1~3記載の蒸着フィルム。請求項1~4のいずれかに記載の蒸着フィルムにより構成されることを特徴とする加熱処理用包装材料。本発明は、ボイル殺菌、レトルト殺菌、加熱調理等による加熱処理がなされても当初のガスバリア性及びラミネート強度が劣化しにくく、落下による破袋がしにくく、突き刺し性に優れるようにした、加熱処理耐性を有する蒸着フィルムの提供を目的とする。上記の課題を解決するための手段として、請求項1の発明は、少なくともポリエステル樹脂とポリアミド樹脂からなる共押出し延伸フィルム基材の片面に、リアクティブイオンエッチングRIE法によるプラズマ処理を施し、該プラズマ処理面上に無機化合物の蒸着膜層を設けたことを特徴とする蒸着フィルムである。また、請求項2の発明は、前記無機化合物の蒸着膜層の主成分が酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素であることを特徴とする請求項1記載の蒸着フィルムである。また、請求項3の発明は、前記蒸着膜層の上面にオーバーコート層を有することを特徴とする請求項1または2記載の蒸着フィルムである。また、請求項4の発明は、前記共押出し延伸フィルム基材が、ポリエステル樹脂、易接着性樹脂、ポリアミド樹脂を順次積層してなることを特徴とする請求項1~3記載の蒸着フィルムである。また、請求項5の発明は、請求項1~4のいずれかに記載の蒸着フィルムにより構成されていることを特徴とする加熱処理用包装材料である。本発明によると、ボイル殺菌、レトルト殺菌、加熱調理等による加熱処理がなされても当初のガスバリア性及びラミネート強度が劣化しにくく、落下による破袋がしにくく、突き刺し性に優れるようにした、加熱処理耐性を有する蒸着フィルムを供することができる。以下、本発明の詳細を説明する。本発明の蒸着フィルムは、ポリエステル樹脂とポリアミド樹脂を共押出しにより製造した共押出し延伸フィルム基材1において、少なくとも片面にリアクティブイオンエッチング法によるを利用したプラズマ処理層2を施した面上に、無機化合物の蒸着膜層3を設けたことを特徴とする蒸着フィルムである。図1は、本発明の蒸着フィルムの断面の構成を示す説明図である。本発明で使用されるポリエステル樹脂は、芳香族ジカルボン酸、脂環族ジカルボン酸または脂肪族ジカルボン酸などの酸成分やジオール成分を構成単位重合単位とするポリマーポリエステルで構成されたものである。芳香族ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、1,4-ナフタレンジカルボン酸、1,5-ナフタレンジカルボン酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、6,6’-アルキレンジオキシジ-2-ナフトエ酸、4,4’-ジフェニルジカルボン酸、4,4’-ジフェニルエーテルジカルボン酸および4,4’-ジフェニルスルホンジカルボン酸等を用いることができ、なかでも好ましくは、テレフタル酸、フタル酸および2,6-ナフタレンジカルボン酸を用いることができる。脂環族ジカルボン酸成分としては、例えば、シクロヘキサンジカルボン酸等を用いることができる。脂肪族ジカルボン酸成分としては、例えば、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸およびドデカンジオン酸等を用いることができる。これらの酸成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。また、ジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、1,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、1,2-シクロヘキサンジメタノール、1,3-シクロヘキサンジメタノール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコールおよび2,2’-ビス4’-β-ヒドロキシエトキシフェニルプロパン等を用いることができ、なかでも、エチレングリコール、1,4-ブタンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノールおよびジエチレングリコール等を好ましく用いることができ、特に好ましくは、エチレングリコール等を用いることができる。これらのジオール成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。ポリアミド樹脂は例えば結晶性ポリアミドでは、ポリε-カプラミドナイロン6、ポリテトラメチレンアジパミドナイロン46、ポリヘキサメチレンアジパミドナイロン66、ポリヘキサメチレンセバカミドナイロン610、ポリヘキサメチレンドデカミドナイロン612、ポリウンデカメチレンアジパミドナイロン116、ポリウンデカナミドナイロン11、ポリドデカナミドナイロン12、ポリヘキサメチレンイソフタルアミドナイロン6I、ポリヘキサメチレンテレフタルアミドナイロン6T、ポリノナメチレンテレフタルアミドナイロン9T、ポリメタキシリレンアジパミドナイロンMXD6などが挙げられる。これらは、1種のみで使用しても良いし、2種類以上の異なった結晶性ポリアミド成分を含むポリアミド共重合体、あるいは、これらの混合物などを使用しても良い。非晶性ポリアミドとしては例えば、イソフタル酸/テレフタル酸/ヘキサメチレンジアミン/ビス3-メチル-4-アミノシクロヘキシルメタンの重縮合体、テレフタル酸/2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジアミン/2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジアミンの重縮合体、イソフタル酸/ビス3-メチル-4-アミノシクロヘキシルメタン/ω-ラウロラクタムの重縮合体、イソフタル酸/テレフタル酸/ヘキサメチレンジアミンの重縮合体、イソフタル酸/2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジアミン/2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジアミンの重縮合体、イソフタル酸/テレフタル酸/2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジアミン/2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジアミンの重縮合体、イソフタル酸/ビス3-メチル-4-アミノシクロヘキシルメタン/ω-ラウロラクタムの重縮合体等が挙げられる。共押出し延伸フィルム基材1の表面に、帯電防止剤、紫外線防止剤、可塑剤、滑材などが使用されていても良い。上記共押出し延伸フィルム基材1の厚みは特に制限を受けるものではないが、包装材料としての適性、他の層を積層する可能性があることを考えると、ポリエステル樹脂層とポリアミ樹脂層とで、合計6~30μmの厚みが好ましい。図1に示す蒸着フィルムは、この共押出し延伸フィルム基材1と蒸着膜層3との密着を強固にするため、基材の表面にプラズマを利用したリアクティブイオンエッチング法による前処理が施され、プラズマ処理層2が形成してある。このRIEによる処理を行うことで、発生したラジカルやイオンを利用してプラスチックからなる共押出し延伸フィルム基材1の表面に官能基を持たせるようにする化学的効果と、表面をイオンエッチングして不純物等を飛ばして平滑化するといった物理的効果の2つの効果を同時に得ることが可能となる。このようなプラズマ処理層2を形成しておくことで、その上に蒸着膜層3を緻密に形成することが可能となる。その結果、共押出し延伸フィルム基材1と蒸着膜層3との密着性を強化させることができ、ガスバリア性が向上し、クラックの発生が防止できるだけでなく、レトルト殺菌などの加熱殺菌処理を行った場合においても、これらの間でデラミネーションが起こることがなくなる。酸化アルミニウムまたは酸化ケイ素を主成分とする無機化合物からなる蒸着膜層3の厚さは、一般的には5~300nmの範囲内が望ましく、その値は要求される機能により適宜選択される。ただし膜厚が5nm未満であると均一な膜が得られないことや膜厚が十分ではないことがあり、ガスバリア材としての機能を十分に果たすことができない場合がある。また膜厚が300nmを越える場合は薄膜にフレキシビリティを保持させることができず、成膜後に折り曲げられたり引っ張られたりすることにより、薄膜に亀裂を生じる恐れがあるので問題がある。より好ましくは、10~150nmの範囲内にあることである。蒸着膜層3を共押出し延伸フィルム基材1上に形成する方法としては種々在るが、真空蒸着法やスパッタリング法やイオンプレーティング法等の薄膜形成手段を用いることが可能である。但し生産性を考慮すれば、現時点では真空蒸着法が最も優れている。真空蒸着法の加熱手段としては電子線加熱方式や抵抗加熱方式、誘導加熱方式のいずれかの方式を用いることが好ましいが、蒸発材料の選択性の幅広さを考慮すると電子線加熱方式を用いることがより好ましい。また蒸着膜層と共押出し延伸フィルム基材の密着性及び蒸着膜層の緻密性を向上させるために、プラズマアシスト法やイオンビームアシスト法を用いて蒸着することも可能である。また、共押出し延伸フィルム基材1のポリエステル樹脂層とポリアミド樹脂層との間に、易接着性樹脂層を設けてもよい。易接着性樹脂層を設けることによって、異なる樹脂間の密着を上げることが可能である。本発明の方法で用いる接着性樹脂は、公知一般の接着性樹脂が挙げられる。具体的には、アクリル酸エステル系樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン系樹脂、カルボン酸変性水添スチレン-エチレンブチレン-スチレンブロック共重合体樹脂、カルボン酸変性エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、カルボン酸変性ポリエステル系熱可塑性エラストマー等が挙げられ、非晶質ポリエステル樹脂BとEVOH系樹脂に適用する場合には、カルボン酸変性水添スチレン-エチレンブチレン-スチレンブロック共重合体樹脂やカルボン酸変性エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂やカルボン酸変性ポリエステル系熱可塑性エラストマーが好ましく用いられる。カルボン酸変性樹脂とは、各々の樹脂に、不飽和カルボン酸またはその無水物を、付加反応やグラフト反応等により化学的に結合させて得られる樹脂である。変性に用いる不飽和カルボン酸またはその無水物としては、特に限定しないが、例えばアクリル酸、メタクリル酸などのモノ不飽和カルボン酸類およびその無水物、あるいはフマル酸、マレイン酸等のジカルボン酸類およびその無水物が挙げられる。カルボン酸変性樹脂に含有される不飽和カルボン酸又はその無水物の量は、通常0.001~3重量であり、好ましくは0.01~1重量、特に好ましくは0.03~0.5重量である。該変性物中の変性量が少ないと、接着性が不充分となることがあり、逆に多いと架橋反応を起こし、成形性が悪くなる傾向がある。なお、易接着性樹脂層としては、上記要件を充足する1種類の樹脂だけで構成してもよいし、2種類以上の樹脂を混合してもよい。さらに、EVOH系樹脂、ポリイソブチレン、αオレフィン-プロピレンゴム等のゴムエラストマー成分、さらには他の熱可塑性樹脂等をブレンドすることも可能である。以上、本発明の蒸着フィルムについて説明したが、本発明はこのような構成のものに限定されるものではなく、図2に示すように、蒸着膜層3の上にさらにオーバーコート層4が設けられていてもよい。次に、このオーバーコート層4を詳細に説明する。オーバーコート層4はガスバリア性を持った被膜層であり、例えば、水溶性高分子と1種以上の金属アルコキシドまたはその加水分解物を含む水溶液或いは水/アルコール混合溶液を主剤とするコーティング剤を用いて形成される層である。コーティング剤としては、例えば水溶性高分子を水系水或いは水/アルコール混合溶媒で溶解させたものに金属アルコキシドを直接、或いは予め加水分解させるなど処理を行ったものを混合した溶液を使用する。オーバーコート層4はこのような溶液を蒸着膜層3上にコーティング後、加熱乾燥して形成される。コーティング剤に含まれる各成分についてさらに詳細に説明する。コーティング剤に用いられる水溶性高分子としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、デンプン、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸ナトリウム等が挙げられる。特にポリビニルアルコール以下、PVAと略すをコーティング剤の水溶性高分子として用いた場合にはガスバリア性が最も優れるので好ましい。ここでいうPVAは、一般にポリ酢酸ビニルをけん化して得られるものである。PVAとしては例えば、酢酸基が数十残存している、いわゆる部分けん化PVAから酢酸基が数しか残存していない完全PVA等を用いることができるが、これ以外のものを用いても一向に構わない。また、前記金属アルコキシドとしては、一般式、MORnM:Si、Ti、Al、Zr等の金属、R:CH3、C2H5等のアルキル基で表せる化合物である。具体的にはテトラエトキシシランSiOC2H54、トリイソプロポキシアルミニウムAlO-2’-C3H73等が挙げられ、中でもテトラエトキシシラン、トリイソプロポキシアルミニウムが加水分解後、水系の溶媒中において比較的安定であるので好ましい。この溶液中にガスバリア性を損なわない範囲で、イソシアネート化合物、シランカップリング剤、或いは分散剤、安定化剤、粘度調整剤、着色剤等の公知の添加剤を必要に応じて加えコーティング剤とする。コーティング剤の塗布方法としては、通常用いられるディッピング法、ロールコーティング法、スクリーン印刷法、スプレー法、グラビア印刷法等の従来公知の方法を用いることが可能である。オーバーコート層4の厚さは、コーティング剤の種類や加工機や加工条件によって最適条件が異なり特に限定しない。但し乾燥後の厚さが、0.01μm以下の場合は、均一が塗膜が得られなく十分なガスバリア性を得られない場合があるので好ましくない。また厚さが50μmを超える場合は膜にクラックが生じ易くなるため問題となる場合がある。好ましくは0.01~50μmの範囲にあることが好ましく、より好ましくは0.1~10μmの範囲にあることである。また、オーバーコート層4の上には印刷層、介在フィルム、シーラント層等を積層させ、包装材料とすることが出来る。介在フィルムは、例えば本発明に係る蒸着フィルムを用いて加熱処理用包装材料を作製する場合、その破袋強度や突き刺し強度を更に高めるため、あるいは印刷基材とするために積層して用いるもので、一般的に機械強度及び熱安定性の面から二軸延伸ナイロンフィルム、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸延伸ポリプロピレンフィルムの内から選ばれるフィルムが採用される。厚さは、材質や要求品質に応じて決められるが、一般的には10~30μmの範囲である。さらにシーラント層は、例えば本発明に係る蒸着フィルムを用いて加熱処理用包装材料を作製する際の接着層となるように設けられるものである。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン-酢酸ビニル共重合体、エチレン-メタクリル酸共重合体、エチレン-メタクリル酸エステル共重合体、エチレン-アクリル酸共重合体、エチレン-アクリル酸エステル共重合体及びそれらの金属架橋物等の樹脂により形成される。また、その厚さは目的に応じて決められるが、一般的には15~200μmの範囲である。また、基材の蒸着膜層が設けられない面にも、必要に応じてこれらの印刷層、介在フィルム、シーラント層等を積層させることも可能である。以下に本発明の蒸着フィルムおよびこれを用いた加熱処理用包装材料の実施例を具体的に説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。<実施例1>ポリエステル樹脂とポリアミド樹脂の共押出し二軸延伸フィルムグンゼ社製、商品名ヘプタックスのポリアミド樹脂面に、下記条件でリアクティブイオンエッチング法によりプラズマ処理を施した。プラズマ処理条件印加電力:120W処理時間:0.1sec処理ガス:アルゴンガス処理ユニット圧力:2.0Pa高周波電源:13.56MHz次に、上記プラズマ処理面に、アルミニウムを蒸着源、反応ガスを酸素とし、圧力を2×10-1Paに設定して電子線加熱方式を用いた反応蒸着により、厚さ15nmの酸化アルミニウム蒸着膜層を有する蒸着フィルムを作製した。<実施例2>印加電力を250Wにした以外は、実施例1と同様にしてリアクティブイオンエッチング法によりプラズマ処理を施した。次に、上記プラズマ処理面に、アルミニウムを蒸着源、反応ガスを酸素とし、圧力を2×10-1Paに設定して電子線加熱方式を用いた反応蒸着により、厚さ12nmの酸化アルミニウム蒸着膜層を有する蒸着フィルムを作製した。<実施例3>印加電力を250Wにした以外は、実施例1と同様にしてリアクティブイオンエッチング法によりプラズマ処理を施した。次に、上記プラズマ処理面に、電子線加熱方式を用いて厚さ23nmの酸化ケイ素蒸着膜層を有する蒸着フィルムを作製した。<比較例1>ポリエステル樹脂とポリアミド樹脂の共押出し二軸延伸フィルムグンゼ社製、商品名ヘプタックスのポリアミド樹脂面に、反応ガスを酸素とし、圧力を2×10-1Paに設定して電子線加熱方式を用いた反応蒸着により、厚さ17nmの酸化アルミニウム蒸着膜層を有する蒸着フィルムを作製した。<比較例2>ポリエステル樹脂とポリアミド樹脂の共押出し二軸延伸フィルムグンゼ社製、商品名ヘプタックスのポリアミド樹脂面に、電子線加熱方式を用いた蒸着により、厚さ23nmの酸化ケイ素蒸着膜層を有する蒸着フィルムを作製した。<比較例3>厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートPETフィルムの未処理面に、下記条件でリアクティブイオンエッチング法によりプラズマ処理を施した。プラズマ処理条件印加電力:120W処理時間:0.1sec処理ガス:アルゴンガス処理ユニット圧力:2.0Pa高周波電源:13.56MHz次に、上記プラズマ処理面に、反応ガスを酸素とし、圧力を2×10-1Paに設定して電子線加熱方式を用いた反応蒸着により、厚さ15nmの酸化アルミニウム蒸着膜層を有する蒸着フィルムを作製した。実施例1~3および比較例1~3で得られた蒸着フィルムの蒸着膜層上に、下記に示すA液とB液を配合比wtで6/4の割合で混合した溶液をグラビアコート法により塗布乾燥し、厚さ0.4μmのオーバーコート層を形成した。[A液とB液の組成]A液:テトラエトキシシラン10.4gに塩酸0.1N89.6gを加え、30分間撹拌し加水分解させた固形分3wtSiO2換算の加水分解溶液。B液:ポリビニルアルコールの3wt水/イソプロピルアルコール溶液水:イソプロピルアルコール重量比で90:10。さらに、上記それぞれのオーバーコート層上に、二液硬化型ポリウレタン系接着剤を用いて、ドライラミネートにより、厚さが15μmの延伸ナイロンフィルムと厚さが70μmの未延伸ポリプロピレンフィルムを順次積層して、加熱処理用包装材料の一例であるレトルト用包装材料を作製した。<評価項目と評価方法>上記レトルト用包装材料をもちいて、4辺をシール部とするパウチを作製し、内容物として水を充填した後、121°C-30分間のレトルト殺菌を行ない、レトルト殺菌後の酸素透過度、ラミネート強度、落下試験、突刺強度を以下の方法により評価した。その結果を表1に示す。酸素透過度単位:cc/m2/day~30°C-70RHの条件下で、酸素透過度測定装置Mocon社製、PERMATRAN3/30にて測定。ラミネート強度単位:N/15mm~蒸着フィルム/ポリプロピレンフィルム間の接着強度を測定。落下試験~高さ1mからパウチをコンクリート床面にシール部が当たるように、垂直方向に50回落下させ、破袋の有無を確認。突刺強度~包装材料の外側表面から、直径1mmφの針を50mm/minの速度で突刺して、針が包装材料を貫通するのに要した突刺強度単位:Nを測定。"