"第1の固体スイッチ300,310と第2の固体スイッチ300,320とを有すると共に、第1の導体210,1210と第2の導体220,1220とからなる同軸導体200,1200を有する高周波発生器100,1100であって、各個体スイッチ300,310,320が、第1の出力端子305と第2の出力端子306とを有し、かつ第1の出力端子305と第2の出力端子306との間で高周波電流をスイッチングするように構成されている、高周波発生器100,1100において、第1の導体210,1210が、同軸導体200,1200の長手方向201において連続する第1の部分211,1211と第2の部分212,1212とを有し、両部分が第1の遮断部215,1215によって互いに分離されており、第1の固体スイッチ300,310の第1の出力端子305が第2の導体220,1220に導電接続され、第1の固体スイッチ300,310の第2の出力端子306が第1の部分211,1211に導電接続されており、第2の固体スイッチ300,320の第1の出力端子305が第1の部分211,1211に導電接続され、第2の固体スイッチ300,320の第2の出力端子306が第2の部分212,1212に導電接続されていることを特徴とする高周波発生器100,1100。第1の固体スイッチ300,310が第1のチャンバ410,1410内に配置され、第1のチャンバ410,1410が、同軸導体200,1200の半径方向202に延びた第1のチャンバ壁411,1411と、同軸導体200,1200の半径方向202に延びた第2のチャンバ壁412,1412とによって囲まれている、請求項1記載の高周波発生器100,1100。第2の固体スイッチ300,320が第2のチャンバ420,1420内に配置され、第2のチャンバ420,1420が、同軸導体200,1200の半径方向202に延びた第3のチャンバ壁421,1421と、同軸導体200,1200の半径方向202に延びた第4のチャンバ壁422,1422とによって囲まれている、請求項1又は2記載の高周波発生器100,1100。第2のチャンバ壁212,1412と第3のチャンバ壁421,1421とが一体形成されている、請求項2又は3記載の高周波発生器100,1100。第2のチャンバ420,1420が、同軸導体200,1200の半径方向202において、第1の導体210,1210と外被壁423,1423とによって囲まれている、請求項3又は4記載の高周波発生器100,1100。第2のチャンバ420,1420が誘電性又は強磁性の材料を充填されている、請求項3から5の1つに記載の高周波発生器100,1100。第2の固体スイッチ300,320が、第1の給電線303に接続されている第1の給電端子301と、第2の給電線304に接続されている第2の給電端子302とを有し、第1の給電線303が部分的に第3のチャンバ壁421,1421に対して平行に延び、第2の給電線422、1422が部分的に第4のチャンバ壁422,1422に対して平行に延びている、請求項3から6の1つに記載の高周波発生器100,1100。第1の導体210が同軸導体200の外側導体であり、第2の導体220が同軸導体200の内側導体である、請求項1から7の1つに記載の高周波発生器100。固体スイッチ300が同軸導体200の半径方向202において第1の導体210の外側に配置されている、請求項8記載の高周波発生器100。第1の導体1210が同軸導体1200の内側導体であり、第2の導体1220が同軸導体1200の外側導体である、請求項1から7の1つに記載の高周波発生器1100。固体スイッチ300が同軸導体1200の半径方向202において第1の導体1210の内側に配置されている、請求項10記載の高周波発生器1100。第3の固体スイッチ300,330が、第1の固体スイッチ300,310又は第2の固体スイッチ300,320に並列接続されている、請求項1から11の1つに記載の高周波発生器100,1100。第1の導体210,1210が、同軸導体200,1200の長手方向201において第2の部分212,1212に後続する第3の部分213,1213を有し、第3の部分213,1213が第2の遮断部216によって第2の部分212,1212から分離されており、第4の固体スイッチ300,340の第1の出力端子305が第2の部分212,1212に導電接続され、第4の固体スイッチ300,340の第2の出力端子306が第3の部分213,1213に導電接続されている、請求項1から12の1つに記載の高周波発生器100,1100。同軸導体200,1200の波動インピーダンスが第1の遮断部215において飛躍的に変化する、請求項1から9の1つに記載の高周波発生器100,1100。第1の導体210,1210の半径が第1の遮断部215において変化する、請求項14記載の高周波発生器100,1100。同軸導体200,1200の誘電体が第1の遮断部215において変化する、請求項14又は15記載の高周波発生器100,1100。第1の遮断部215における波動インピーダンスの変化が第2の固体スイッチ300,320の負荷インピーダンスに相当する、請求項14から16の1つに記載の高周波発生器100,1100。第1の遮断部215における波動インピーダンスの変化が約10オームである、請求項14から17の1つに記載の高周波発生器100,1100。本発明の課題は、2度に及ぶインピーダンス変換を必要としない高周波発生器を提供することにある。この課題は、請求項1の特徴事項を有する高周波発生器によって解決される。有利な実施形態は、従属請求項に示されている。本発明による高周波発生器は、第1の固体スイッチと第2の固体スイッチとを含み、各固体スイッチは、第1の出力端子と第2の出力端子とを有し、かつ第1の出力端子と第2の出力端子との間で高周波電流をスイッチングするように構成されている。更に、この高周波発生器は、第1の導体と第2の導体とを有する同軸導体を含む。第1の導体は、同軸導体の長手方向において連続する第1の部分と第2の部分を有し、両部分は、第1の遮断部によって互いに分離されている。第1の固体スイッチの第1の出力端子は、第2の導体に導電接続され、第1の固体スイッチの第2の出力端子は、第1の部分に導電接続されている。更に、第2の固体スイッチの第1の出力端子が、第1の部分に導電接続され、第2の固体スイッチの第2の出力端子が、第2の部分に導電接続されている。この高周波発生器の場合、有利なことに、固体スイッチが出力合成器内に組みこまれている。同軸導体のインピーダンスへの固体スイッチの最適な負荷インピーダンスのインピーダンス整合を、固体スイッチの直列接続によってもたらすことができる。それによって、インピーダンス変換の必要性が回避される。好ましくは、第1の固体スイッチが、第1のチャンバ内に配置され、第1のチャンバが、同軸導体の半径方向に延びた第1のチャンバ壁と、同軸導体の半径方向に延びた第2のチャンバ壁とによって囲まれているとよい。それによって有利なことに、第1の固体スイッチが、同軸導体によって出力される出力電圧の電位から分離される。格別に好ましくは、第2の固体スイッチが第2のチャンバ内に配置され、第2のチャンバが、同軸導体の半径方向に延びた第3のチャンバ壁と、同軸導体の半径方向に延びた第4のチャンバ壁とによって囲まれているとよい。その際に有利なことに、第2の固体スイッチも同軸導体の出力電圧の電位から分離される。第2のチャンバ壁と第3のチャンバ壁とが一体形成されていると有効である。その際に有利なことに、第1のチャンバと第2のチャンバとが1つの共通なチャンバ壁によって互いに分離される。これは、占有スペースを節約した高周波発生器の構成を可能にする。好ましくは、第2のチャンバが、同軸導体の半径方向において、第1の導体と外被壁とによって囲まれているとよい。その際に有利なことに、第2の固体スイッチが第2のチャンバの壁によって完全に包囲される。高周波発生器の発展形態では、第2のチャンバが誘電性又は強磁性の材料を充填されている。それによって有利なことに、チャンバ壁において流れる電流の振幅が同軸導体の出力電流に比べて無視できるほど小さくなることが達成される。格別に好ましくは、第2の固体スイッチが、第1の給電線に接続されている第1の給電端子と、第2の給電線に接続されている第2の給電端子とを有するとよい。更に、第1の給電線が部分的に第3のチャンバ壁に対して平行に配置され、第2の給電線が部分的に第4のチャンバ壁に対して平行に配置されているとよい。その際に有利なことに、第2の固体スイッチが、高周波発生器のその他の固体スイッチと同様に同一の直流供給電圧によって電力を供給される。高周波発生器の一実施形態では、第1の導体が同軸導体の外側導体であり、第2の導体が同軸導体の内側導体である。好ましくは、固体スイッチが同軸導体の半径方向において第1の導体の外側に配置されているとよい。高周波発生器の他の実施形態では、第1の導体が同軸導体の内側導体であり、第2の導体が同軸導体の外側導体である。その際に好ましくは、固体スイッチが同軸導体の半径方向において第1の導体の内側に配置されているとよい。高周波発生器の発展形態においては、第3の固体スイッチが、第1の固体スイッチ又は第2の固体スイッチに並列接続されている。その際に有利なことに、高周波発生器の高い出力電力を得ることができる。同様に有利なことに、第3の固体スイッチの負荷インピーダンスを同軸出力線路のインピーダンスに整合させることができる。高周波発生器の追加の発展形態では、第1の導体が、同軸導体の長手方向において第2の部分に後続する第3の部分を有し、第3の部分が第2の遮断部によって第2の部分から分離されており、第4の固体スイッチの第1の出力端子が第2の部分に導電接続され、第4の固体スイッチの第2の出力端子が第3の部分に導電接続されている。有利なことに、本発明による高周波発生器においては、カスケードの継続によって更に別の固体スイッチを直列接続することができる。それによって高周波発生器の出力電力を高めることができる。同軸導体の波動インピーダンスが第1の遮断部において飛躍的に変化すると有効である。本発明の一実施形態においては、第1の導体の半径が第1の遮断部において変化する。それによって有利なことに、同軸導体の波動インピーダンスの飛躍的な変化を達成することができる。高周波発生器の他の実施形態においては、同軸導体の誘電体が第1の遮断部において変化する。それによっても有利なことに、第1の遮断部における同軸導体の波動インピーダンスの変化を達成することができる。好ましくは、第1の遮断部における波動インピーダンスの変化が第2の固体スイッチの負荷インピーダンスにほぼ相当するとよい。その際に有利なことに、第2の固体スイッチをそれの最適な負荷インピーダンスで動作させることができる。第1の遮断部における波動インピーダンスの変化が約10オームであると有効である。その際に有利なことに、第2の固体スイッチを10オームの負荷インピーダンスで動作させることができる。代替として、第2の固体スイッチと、第2の固体スイッチに並列接続されている他の固体スイッチとを、それぞれ20オームのインピーダンスで動作させてもよい。以下において本発明を添付図面に基づいて更に詳細に説明する。図1は、第1の実施形態による高周波発生器100の概略断面図を示す。高周波発生器100は高周波出力の発生、つまり高周波電気信号の発生に用いられる。高周波発生器100は、高周波出力を発生するために複数の固体スイッチ300を有する。各固体スイッチ300は、高周波出力の発生に適した高周波モジュールである。以下の説明および特許請求の範囲において使用される用語固体スイッチの示す意味は、限定的に解されるべきではない。各固体スイッチ300は、第1の給電端子301と第2の給電端子302とを有する。各第1の給電端子301は、第1の給電線303に接続されている。各第2の給電端子302は、第2の給電線304に接続されている。固体スイッチ300には、給電線303,304を介して、固体スイッチ300を動作させる直流供給電圧が供給される。更に、各固体スイッチ300は、第1の出力端子305と第2の出力端子306とを有する。各固体スイッチ300は、第1の出力端子305と第2の出力端子306との間で、高周波電流をスイッチングするように構成されている。更に、高周波発生器100は同軸導体200を含み、この同軸導体は、固体スイッチ300によって発生させられた高周波出力を合成し、合成した高周波信号を転送するために用いられる。同軸導体200は、同軸導体の外側導体を成す第1の導体210と、同軸導体200の内部導体を成す第2の導体220とを含む。第1の導体210は、第2の導体220の半径方向の外側においてその周囲を囲むように配置されている。第1の導体210および第2の導体220は、それぞれ導電材料、好ましくは金属からなる。同軸導体200は、高周波発生器100によって発生させられて合成された高周波出力が出力される出力端230を有する。同軸導体200は、同軸導体200の延在方向に相当する長手方向201と、長手方向201に対して垂直に向く半径方向202とを確定する。同軸導体200の第1の導体210は、長手方向において、第1の部分211と、第2の部分212と、第3の部分213と、第4の部分214とに分割されている。4つの部分211,212,213,214よりも多い又は少ない部分が設けられていてもよい。第1の部分201は、第1の遮断部215により第2の部分212から分離されている。第2の部分212は、第2の遮断部216により第3の部分213から分離されている。第3の部分213は、第3の遮断部217により第4の部分214から分離されている。第4の部分214は、第4の遮断部218によって、第1の導体210の後続の第5の部分から分離されている。遮断部215,216,217,218は、例えば一周するリング状スリットとして形成することができる。各固体スイッチ300は、同軸導体200の半径方向202において、第1の導体210の外側に配置されている。第1の固体スイッチ310の第1の出力端子305は、同軸導体200の第2の導体220に導電接続されている。第1の固体スイッチ310の第2の出力端子306は、同軸導体200の第1の導体210の第1の部分211に導電接続されている。第2の固体スイッチ320の第1の出力端子305は、同軸導体200の第1の導体210の第1の部分211に導電接続されている。第2の固体スイッチ320の第2の出力端子306は、同軸導体200の第1の導体210の第2の部分212に導電接続されている。従って、第2の固体スイッチ320は第1の遮断部215を跨いで配置されている。第1の固体スイッチ310および第2の固体スイッチ320は直列接続されている。第3の固体スイッチ330の第1の出力端子305は、同軸導体200の第2の導体220に導電接続されている。第3の固体スイッチ330の第2の出力端子306は、同軸導体200の第1の導体210の第1の部分211に導電接続されている。従って、第3の固体スイッチ330は、第1の固体スイッチ310に並列接続されている。第1の固体スイッチ310および第3の固体スイッチ330に同様に並列接続されている更に別の固体スイッチ300が設けられてもよい。あるいは第3の固体スイッチ330は省略されてもよい。第4の固体スイッチ340の第1の出力端子305は、同軸導体200の第1の導体210の第2の部分212に導電接続されている。第4の固体スイッチ340の第2の出力端子206は、同軸導体200の第1の導体210の第3の部分213に導電接続されている。従って、第4の固体スイッチ340は、第2の遮断部216を跨いで配置されている。第4の固体スイッチ340は、第1の固体スイッチ310および第2の固体スイッチ320に直列接続されている。第4の固体スイッチ340は省略されてもよい。しかし、高周波発生器100は、なおも他の固体スイッチ300を含むこともでき、これらの他の固体スイッチ300は、同軸導体200の第1の導体210の第3の遮断部217、第4の遮断部218を跨いで、そして更に他の遮断部を跨いで配置され、第1の固体スイッチ310および第2の固体スイッチ320と直列接続されている。高周波発生器100は、第2の固体スイッチ320および/又は第4の固体スイッチ340に並列接続された更に別の固体スイッチ300を含むことができる。それゆえ、高周波発生器100は、少なくとも第1の固体スイッチ310と第2の固体スイッチ320とを含む。これらの固体スイッチ310,320に他の固体スイッチ300を並列接続してよい。更に、高周波発生器100は、第1の固体スイッチ310および第2の固体スイッチ320に直列接続されている他の固体スイッチを備えた他のカスケード要素を有することができる。各遮断部215,216,217,218において、同軸導体200の波動インピーダンスが急に変化する。図1に例示した実施形態では、これは、各遮断部215,216,217,218において、第1の導体210の半径が変化することによって達成される。しかし、半径変化が厳密に遮断部で行われることが強制的に必要というわけではない。第1の導体210の半径変化の位置と、第1の導体210の遮断部215,216,217,218の位置とは、同軸導体200の長手方向201において相互にずれていてもよい。代替として第1の導体210の半径が、同軸導体200の長手方向201において一定であってもよい。この場合には第1の導体210の部分211,212,213,214の間の波動インピーダンスの変化は、同軸導体200の誘電体の変化によって達成することができる。好ましくは、各遮断部215,216,217,218における同軸導体200の波動インピーダンス変化が、それぞれの遮断部215,216,217,218を跨いで配置された固体スイッチ300の負荷インピーダンスに相当するか、又は遮断部215,216,217,218を跨いで複数の固体スイッチ300が並列接続されている場合に固体スイッチ300の並列接続回路の負荷インピーダンスに相当するとよい。それによって、固体スイッチ300と同軸導体200との間におけるインピーダンス変換の必要性が回避される。例えば各固体スイッチ300が200Vの出力電圧と10Aの出力電流を有し、かつ各遮断部215,216,217,218において2つの固体スイッチ300が並列接続されている場合に、各遮断部215,216,217,218における同軸導体200の波動インピーダンスの変化は、約10オームであるべきである。第1の固体スイッチ310および第3の固体スイッチ330は、第1のチャンバ410内に配置されている。第1のチャンバ410は、同軸導体200の長手方向201において、同軸導体200の半径方向202に延びる第1のチャンバ壁411と、第1のチャンバ壁411に対して平行に延びる第2のチャンバ壁412とによって囲まれている。第1のチャンバ壁411は導電材料、好ましくは金属から成り、第2の導体220と導電接続されている。第2のチャンバ壁412は、同様に導電材料から成り、第1の導体210の第1の部分211に導電接続されている。第1のチャンバ410は、半径方向202の外側において、第1のチャンバ410の外被壁413によって囲まれている。外被壁413は円筒外被の形状に構成されており、導電材料から成る。外被壁413は、第1のチャンバ壁411および第2のチャンバ壁412と導電接続されている。第1のチャンバ410は、半径方向202の内側において、第1の導体210の第1の部分211の一部と、同軸導体200の導体220の一部とによって囲まれている。第1の固体スイッチ310の第1の給電線303は、第1のチャンバ410の第1のチャンバ壁411に対して平行に半径方向に外側に向かって延びている。第1の固体スイッチ310の第2の給電線304は、第1のチャンバ410の内部において、第2のチャンバ壁412に対して平行に半径方向に外側に向かって延びている。同様に第1のチャンバ410内に配置されている第3の固体スイッチ330の給電線303,304が対応して外側に向かって延びている。給電線303,304は、チャンバ壁411,412に対してできるだけ近接しているか、又は直接的に接していることが好ましい。それによって、固体スイッチ310,330が出力電圧の電位から分離されていることが達成される。第2の固体スイッチ320は、第2のチャンバ420内に配置されており、このチャンバは、長手方向201において、第2のチャンバ420の第1のチャンバ壁421および第2のチャンバ壁422によって囲まれている。この場合も先と同様に、第2のチャンバ420の第1のチャンバ壁421および第2のチャンバ壁422は、同軸導体200の半径方向202に延びている。第2のチャンバ420の第1のチャンバ壁421は同時に第1のチャンバ410の第2チャンバ壁412を成すとよい。この場合も前述と同様に、第2のチャンバ420は、半径方向202の外側に向かっては、第2のチャンバ420の外被壁423によって囲まれており、これに対して半径方向202の内側に向かっては、第1の導体210の第1の部分211の一部と、第2の導体210の第2の部分212の一部とによって囲まれている。第2の固体スイッチ320の第1の給電線303は、第2のチャンバ420の第1のチャンバ壁421に対して平行に延びている。第2の固体スイッチ320の第2の給電線304は、第2のチャンバ422の第2のチャンバ壁422に対して平行に延びている。第2の固体スイッチ320の給電線303,304は、第2のチャンバ420のチャンバ壁421,422に対して直接的に接していることが好ましい。第1の導体210の第2の遮断部216に配置されている第4の固体スイッチ340は、対応して第3のチャンバ内にある。直列接続されている他の全ての固体スイッチ300は、同様にそれぞれ対応するチャンバ内にある。チャンバ410,420内への固体スイッチ300の配置によって、固体スイッチ300が同軸導体200の出力電圧の電位から分離されていることが達成される。それによって、全ての固体スイッチ300は、それぞれの給電線303,304を介して、共通な直流供給電圧によって給電される。チャンバ410,420は、誘電性又は強磁性の充填材で満たされているとよい。図2は、第2の実施形態による高周波発生器1100を概略断面図で示す。第2の実施形態の高周波発生器1100は、第1の実施形態の高周波発生器100と同様に高周波出力を発生させるために用いられる。高周波発生器1100は、この場合も先と同様に、図1の高周波発生器100の固体スイッチ300に相当する複数の固体スイッチ300を有する。更に、高周波発生器1100は、固体スイッチ300によって発生させられた高周波出力を合成し、合成した高周波出力を出力端1230へ転送するのに用いられる。同軸導体1200は、同軸導体1200の内側導体を成す第1の導体1210を含む。更に、同軸導体1200は、同軸導体1200の外側導体を成す第2の導体1220を含む。更に、同軸導体1200は、長手方向201および半径方向202を確定する。長手方向201は同軸導体1200の長手延び方向に相当する。第2の導体1220は、半径方向において、第1の導体1210の周囲の外側に配置されている。第1の導体1210は、第1の部分1211、第2の部分1212、第3の部分1213および第4の部分1214を含む。第1の導体1210の第1の部分1211は、第1の遮断部1215によって第2の部分1212から分離されている。第1の導体1210の第2の部分1212は、第2の遮断部1216によって第3の部分1213から分離されている。第1の導体1210の第3の部分1213は、第3の遮断部1217によって第4の部分1214から分離されている。遮断部1215,1216,1217は、それぞれ一周するリングスリットとして構成されているとよい。それぞれ遮断部1215,1216,1217によって互いに分離されている4つの部分1211,1212,1213,1214よりも多い又は少ない部分が設けられていてもよい。高周波発生器1100の固体スイッチ300は、半径方向202において第1の導体1210の内側に配置されている。従って、第1の導体1210は、中空体として構成されている。高周波発生器1100の第1の固体スイッチ310の第1の出力端子305は、第2の導体1220に導電接続されている。第1の固体スイッチ310の第2の出力端子306は、同軸導体1200の第1の導体1210の第1の部分1211に導電接続されている。同軸導体1200の第2の固体スイッチ320の第1の出力端子305は、第1の導体1210の第1の部分1211に導電接続されている。第2の固体スイッチ320の第2の出力端子306は、第1の導体1210の第2の部分1212に導電接続されている。従って、第2の固体スイッチ320は、第1の遮断部1215を跨いで配置されている。第1の固体スイッチ310と第2の固体スイッチ320とは直列接続されている。高周波発生器1100の第3の固体スイッチ330の第1の出力端子305は、同軸導体1200の第2の導体1220に導電接続されている。第3の固体スイッチ330の第2の出力端子306は、同軸導体1200の第1の導体1210の第1の部分1211に導電接続されている。従って、第3の固体スイッチ330は、第1の固体スイッチ310に並列接続されている。第4の固体スイッチ340の第1の出力端子305は、第1の導体1210の第2の部分1212に導電接続されている。第4の固体スイッチ340の第2の出力端子306は、第1の導体1210の第3の部分1213に導電接続されている。従って、第4の固体スイッチ340は、第1の固体スイッチ310および第2の固体スイッチ320に直列接続されている。第4の固体スイッチ340は、同軸導体1200の第1の導体1210の第2の遮断部1216を跨いで配置されている。高周波発生器1100は、更に別の固体スイッチ300を含むことができる。この固体スイッチ300は、他の遮断部1217を跨いで配置され、第1の固体スイッチ310、第2の固体スイッチ320および第4の固体スイッチ340に直列接続されている。更に高周波発生器1100は、第1の固体スイッチ310、第2の固体スイッチ320および第4の固体スイッチ340に並列接続されている他の固体スイッチ300を含むことができる。しかし、第4の固体スイッチ340は省略してもよい。同軸導体1200の波動インピーダンスは遮断部1215,1216,1217において飛躍的に変化する。これは、図2に概略的に示すように、第1の導体1210の半径が各遮断部1215,1216,1217において飛躍的に変化することによって達成することができる。代替として、同軸導体1200の第1の導体1210の半径の変化の代わりに、各遮断部1215,1216,1217において同軸導体1200の誘電体が変化してもよい。図1に基づいて既に説明したように、同軸導体1200の波動インピーダンスの変化位置は、長手方向201において遮断部1215,1216,1217と一致する必要はなく、長手方向201において遮断部1215,1216,1217に対してずれていてもよい。必要なことは、第1の導体1210の2つの部分1211,1212,1213,1214の間において、同軸導体1200の波動インピーダンスが変化することだけである。同軸導体1200の波動インピーダンスの変化は次のように設計されていることが好ましい。即ち、同軸導体1200の波動インピーダンスの変化が、遮断部1215,1216,1217を跨いで並列接続されている固体スイッチ300の出力インピーダンスに相当するように設計されていることである。同軸導体1200の第1の導体1210は軸方向の空所1240を有し、この空所は第1の導体1210の長手方向に沿って延びており、外被面によって囲われている。固体スイッチ300は軸方向の空所1240の外被面と第1の導体1210の外側の外被面との間に配置されている。第1の固体スイッチ310および第3の固体スイッチ330は、第1のチャンバ1410内に配置されている。第1のチャンバ1410は、同軸導体1200の長手方向において、第1のチャンバ1410の第1のチャンバ壁1411と第2のチャンバ壁1412とによって囲まれている。第1のチャンバ壁1411および第2のチャンバ壁1412は、同軸導体1200の長手方向に対して垂直に延びている。第1のチャンバ壁1411は、第1の導体1210の軸方向の空所1240の外被壁に導電接続され、かつ同軸導体1200の第2の導体1220に導電接続されている。従って、第1の導体1210と第2の導体1220は互いに短絡されている。第1のチャンバ1410の第2のチャンバ壁1412は軸方向の空所1240の外被面に導電接続され、かつ第1の導体1210の第1の部分1211に導電接続されている。更に、第1のチャンバ1410は、半径方向において内側に向かっては、軸方向の空所1240の外被壁の部分1413によって囲まれており、半径方向において外側に向かっては、第1の導体1210の第1の部分1211の一部によって囲まれている。第1の固体スイッチ310の第1の給電線303は、第1のチャンバ1410内で第1のチャンバ壁1411に対して平行に軸方向の空所1240の方向に延び、更に軸方向の空所1240の外被壁の部分1413を通して軸方向の空所1240の中へ延びている。第1の固体スイッチ310の第2の給電線304は、第1のチャンバ1410の第2のチャンバ壁1412に対して平行に延び、軸方向の空所1240の外被壁の部分1413を通して軸方向の空所1240の中へ延びている。第1の固体スイッチ310の給電線301,304は、第1のチャンバ1410のチャンバ壁1411,1412にできるだけ近接して配置されている。第2の固体スイッチ320は、同じようなやり方で同様に第1のチャンバ1410内に配置されている。第2の固体スイッチ320は、軸方向の空所1240の外被面と第1の導体1210の外側の外被面との間に広がる第2のチャンバ1420内に配置されている。同軸導体1200の長手方向201において、第2のチャンバ1420が、長手方向201に対して垂直に延びる第1のチャンバ壁1421と第2のチャンバ壁1422とによって囲まれている。第2のチャンバ1420の第1のチャンバ壁1421は、第1のチャンバ1410の第2のチャンバ壁1412と同一であることが好ましい。第2のチャンバ1420の第1のチャンバ壁1421は、第1の導体1210の軸方向の空所1240の外被面と導電接続され、かつ第1の導体1210の第1の部分1211に導電接続されている。第2のチャンバ1420の第2チャンバ壁1422は、第1の導体1210の軸方向の空所1240の外被面に導電接続され、かつ第1の導体1210の第2の部分1212に導電接続されている。半径方向202において、第2のチャンバ1420は、外側に向かっては、第1の導体1210の第1の部分1211の一部と、第1の導体1210の第2の部分1212の一部とによって囲まれている。半径方向において、第2のチャンバ1420は、内側に向かっては、軸方向の空所1240の外被壁の部分1423によって囲まれている。第2の固体スイッチ320の給電線303,304は、この場合にも先と同様にチャンバ壁1421、1422に対して平行にできるだけチャンバ壁1421,1422に近接して延び、かつ軸方向の空所の中へ延びている。軸方向の空所1240を介して、固体スイッチ300は直流供給電圧を供給される。第1の固体スイッチ310および第2の固体スイッチ320に直列接続された他の固体スイッチ300が、相応のチャンバ1410,1420内に存在する。チャンバ1410,1420は、同軸導体1200によって出力端1230において出力される電圧の電位から固体スイッチ300が分離されることをもたらす。チャンバ1410,1420は誘電性又は強磁性の充填材で満たされているとよい。図1の高周波発生器100の場合には、同軸導体200の外側導体210が、遮断部215,216,217,218によって互いに分離されている部分211,212,213,214を有する。図2の高周波発生器1100の場合には、同軸導体1200の内側導体1210が、遮断部1215,1216,1217によって互いに分離されている部分1211,1212,1213を有する。本発明による高周波発生器の他の実施形態においては、同軸導体の内側導体も外側導体も、遮断部によって互いに分離されている部分を有する。"