"OH形アニオン交換樹脂をフッ酸含有液と接触させてF形アニオン交換樹脂に変換するアニオン交換樹脂のコンディショニング方法において、該フッ酸含有液は、フッ酸含有廃液、フッ酸含有廃液をイオン交換樹脂で精製した精製廃液、及びフッ酸含有廃液槽のリンス水の少なくとも1種又はその希釈液であることを特徴とするアニオン交換樹脂のコンディショニング方法。請求項1において、前記アニオン交換樹脂と接触させるフッ酸含有液のフッ酸の濃度が0.1~2wtであることを特徴とするアニオン交換樹脂のコンディショニング方法。本発明は、フッ酸薬液使用量の削減を可能にするアニオン交換樹脂のコンディショニング方法を提供することを目的とする。本発明のアニオン交換樹脂のコンディショニング方法は、OH形アニオン交換樹脂をフッ酸含有液と接触させてF形アニオン交換樹脂に変換するアニオン交換樹脂のコンディショニング方法において、該フッ酸含有液は、フッ酸含有廃液、フッ酸含有廃液をイオン交換樹脂で精製した精製廃液、及びフッ酸含有廃液槽のリンス水の少なくとも1種又はその希釈液であることを特徴とするものである。前記アニオン交換樹脂と接触させるフッ酸含有液のフッ酸の濃度は0.1~15wtであることが好ましい。本発明では、アニオン交換樹脂にフッ酸含有液を接触させてコンディショニングを行う方法において、このフッ酸含有液としてフッ酸含有廃液、フッ酸含有廃液をイオン交換樹脂で精製した精製廃液、及びフッ酸含有廃液槽のリンス水の少なくとも1種又はその希釈液を用いるので、アニオン交換樹脂のコンディショニングのための薬液使用量を減少させることができる。本発明方法では、アニオン交換樹脂のF形変換のために、工場内の製造プロセスから排出される低濃度のフッ酸廃液、またはフッ酸廃液を低濃度に調整したフッ酸廃液を使用でき、新たな高純度のフッ酸試薬を必要としない。また製造プロセスから排出されるフッ酸廃液の廃液処理の負荷を低減することができる。以下、本発明についてさらに詳細に説明する。本発明は、アニオン交換樹脂をフッ酸含有液と接触させてOH形アニオン交換樹脂のF形アニオン交換樹脂への変換を行う。また、このフッ酸含有液として、フッ酸含有廃液、フッ酸含有廃液をイオン交換樹脂で精製した精製廃液、及びフッ酸含有廃液槽のリンス水の少なくとも1種又はその希釈液を用いる。アニオン交換樹脂としては、一般に水処理で用いられているアニオン交換樹脂が使用できる。アニオン交換樹脂は、強塩基性アニオン交換樹脂でも弱塩基性アニオン交換樹脂でもよいが、フッ酸含有液が硝酸などの他の酸成分を含む酸性液である場合には、弱塩基性アニオン交換樹脂を用いるのが好ましい。好ましいアニオン交換樹脂としては、ジビニルベンゼンで架橋したポリスチレン系アニオン交換樹脂で、アルキルまたはアルカノールアミン型のアニオン交換基を有するものがあげられ、強塩基性アニオン交換樹脂の場合は第4級アンモニウム型のアニオン交換基を有するが、弱塩基性アニオン交換樹脂の場合は第1~第3級アミン型のアニオン交換基を有するものがあげられる。交換基としてはOH形水酸化物イオン又はF形フッ化物イオンを用いることができる。フッ酸含有廃液としては、半導体製造工程、ガラス表面処理工程などからの排水が例示されるが、これに限定されない。このフッ酸含有廃液中のフッ酸濃度は通常は0.1~50wt特に0.5~15wtである。このフッ酸含有廃液中には硝酸、塩酸、硫酸などの酸成分や、Fe、Cu、Zn、Na、K、Ca、Al、Mo、Ti、Bなどの金属イオン、あるいはホウフッ化物、リン酸イオンなどを含むことがある。このフッ酸含有廃液は、そのままアニオン交換樹脂のコンディショニング工程に供給されてもよく、カチオン交換樹脂などによる精製処理を行った後にコンディショニング工程に供給されてもよい。コンディショニング時にアニオン交換樹脂と接触させるフッ酸含有液のフッ酸濃度は2wt以下特に0.1~2.0wt程度が好ましい。従って、フッ酸含有廃液やその精製液、フッ酸含有廃液槽リンス水のフッ酸濃度がこの範囲よりも高いときには、希釈水によりこの範囲となるように希釈するのが好ましい。コンディショニング工程では、フッ酸含有液とOH形アニオン交換樹脂とを接触させてアニオン交換樹脂にフッ化物イオンを吸着させる。フッ酸含有液とアニオン交換樹脂との接触は単なる浸漬でもよいが、一般的にはアニオン交換樹脂をカラム塔に充填してアニオン交換樹脂層を形成し、これにフッ酸含有液を通液してフッ化物イオンを吸着させるものが好ましい。このカラムへのフッ酸含有液の通液速度はSV100h-1以下が好ましく、SV1~10h-1が特に好ましい。この状態でそのまま通液を続け、フッ酸がリークするまで吸着コンディショニングを行わせることが好ましい。このように通液を続けると、最終的にはアニオン交換樹脂全体にフッ化物イオンが吸着してF形アニオン交換樹脂に変換された状態になる。このF形アニオン交換樹脂は、例えばフッ酸とケイフッ化水素酸とを含む廃液からケイフッ化水素酸イオンを吸着除去してフッ酸を回収する用途などに好適に用いることができる。図1は、本発明方法を実施するのに好適な装置の一例を示すブロック図である。図1では、フッ酸含有工場廃液を貯留するタンク20、このフッ酸含有工場廃液を図示しない精製手段で精製処理した精製廃液貯留タンク21、該タンク20又は21をリンス洗浄したときのリンス水を貯留するタンク22が設置され、タンク20~22のいずれかから循環槽25を介してアニオン交換樹脂充填カラム26へフッ酸含有液が供給されるように配管及びバルブが設けられている。また、廃液を混合槽24に受け入れ、タンク23からの希釈水によって希釈してカラム26へ供給することも可能となっている。カラム26の前段に循環槽25が設置されている。バルブ13,24を開とし、ポンプ19を作動させることにより、循環槽25内のフッ酸含有液をカラム26に循環通水することができる。タンク20内の工場廃液を循環槽25に供給する場合には、バルブ1,6,12を開とし、タンク21内の精製廃液を循環槽25に供給する場合にはバルブ3,6,12を開とし、タンク22内のリンス水を循環槽25に供給する場合には、バルブ7,12を開とする。タンク20内の液を希釈してから循環槽25に供給するときには、バルブ1,6,9,10,11を開とし、タンク20内の液を混合槽24にてタンク23からの水と混合して希釈し、循環槽25に供給する。タンク21内の液を希釈してから循環槽25に供給するときには、バルブ3,6,9,10,11を開とし、タンク22内の液を希釈してから循環槽25に供給するときには、バルブ7,9,10,11を開とする。循環槽25内の液をカラム26に循環通水する場合には、バルブ13,14を開とし、バルブ15を閉とし、ポンプ19を作動させる。カラム26に通水するフッ酸含有液のフッ酸濃度は15wt以下例えば0.1~15wt特に0.2~2wt程度が好適である。カラム26への通水SVは10以下、特に3~7程度が好適であり、BVは1~1000特に3~900程度が好適である。[実施例1~4]カラムにOH形アニオン交換樹脂ランクセス社製MP6215mLを充填し、模擬工場廃液として、工業用フッ酸水溶液フッ酸濃度0.25wt実施例1、0.5wt実施例2、1.0wt実施例3、又は2.0wt実施例4をSV8でBV=200通水した。その後、アニオン交換樹脂を、HClO4溶液で再生処理し再生溶液中のフッ化物イオン濃度を分析することによりF形化率を測定した。結果を表1に示す。[比較例1~4]フッ酸水溶液として高純度フッ酸試薬の水溶液を用いた他は実施例1~4と同様に通水してアニオン交換樹脂をF形化し、F形化率を測定した。結果を表1に示す。表1の通り、コンディショニングによるF形化率は工業用フッ酸を用いた実施例1~4の場合と高純度試薬フッ酸を用いた比較例1~4の場合とで実質的に同一であった。[アニオン交換の性能確認]実施例2及び比較例2でコンディショニングしたF形アニオン交換樹脂をカラムに充填し、ケイフッ酸溶液を下記条件で通水し、カラム流出水中のケイフッ酸濃度の経時変化を測定した。結果を図2に示す。<通水条件>充填樹脂量;15mLSV5HF5ケイフッ酸負荷量;138mg/L図2の通り、実施例2及び比較例2でコンディショニングしたF形アニオン交換樹脂のケイフッ酸除去能は同等であった。[樹脂吸着性能の確認]実施例3と比較例3でコンディショニングしたアニオン交換樹脂について吸着平衡試験を行った。即ち、実施例3及び比較例3でコンディショニングしたF形アニオン交換樹脂15mLを吸着平衡試験用容器500mL容に採り、図3に示すケイフッ酸濃度でHF濃度5wtのフッ酸酸性ケイフッ酸水溶液300mLを該容器に注入し、密栓後、室温で15Hr振盪した。15Hr後に溶液のケイフッ酸濃度を測定し、ケイフッ酸の吸着量を測定した。結果を図3に示す。図3の通り、実施例3及び比較例3でコンディショニングしたF形アニオン交換樹脂のケイフッ酸の平衡吸着量は同等であった。以上の実験により、本発明によるとフッ酸廃液を用いてOH形アニオン交換樹脂をF形アニオン交換樹脂にコンディショニングしたF形アニオン交換樹脂は、高純度フッ酸試薬を用いてコンディショニングしたF形アニオン交換樹脂と同等のイオン交換能を有することが認められた。"