"非線形光学結晶によりレーザ光の波長を変換するレーザ光の波長変換装置であって、励起されてレーザ光を誘導放出するレーザ媒質と、このレーザ媒質に入射させる励起レーザ光を透過すると共に、レーザ媒質から誘導放出されたレーザ光を高反射率で反射するエンドミラーと、前記レーザ媒質から誘導放出されたレーザ光を透過する出力ミラーとで構成されたレーザ共振器の、前記レーザ媒質から前記出力ミラーへのレーザ光の経路途中に、対をなす2個の楔形非線形光学結晶を、レーザ光の入射面と波長変換後のレーザ光の出射面が可及的に平行で、かつ、2個の楔形非線形光学結晶間の隙間が可及的に一定の状態で配置すると共に、これら対をなす2個の楔形非線形光学結晶の、少なくともどちらか一方を、前記状態を維持したままで移動させて結晶長さを調整する手段を備えたことを特徴とするレーザ光の波長変換装置。非線形光学結晶によりレーザ光の波長を変換するレーザ光の波長変換装置であって、励起されてレーザ光を誘導放出するレーザ媒質と、このレーザ媒質に入射させる励起レーザ光を透過すると共に、レーザ媒質から誘導放出されたレーザ光を高反射率で反射するエンドミラーと、前記レーザ媒質から誘導放出されたレーザ光を透過する出力ミラーとで構成されたレーザ共振器から出力されたレーザ光の経路中に、対をなす2個の楔形非線形光学結晶を、レーザ光の入射面と波長変換後のレーザ光の出射面が可及的に平行で、かつ、2個の楔形非線形光学結晶間の隙間が可及的に一定の状態で配置し、かつ、前記対をなす2個の楔形非線形光学結晶の出力側の波長変換後のレーザ光の経路中に基本波を除去するミラー設けると共に、前記対をなす2個の楔形非線形光学結晶の、少なくともどちらか一方を、前記状態を維持したままで移動させて結晶長さを調整する手段を備えたことを特徴とするレーザ光の波長変換装置。前記波長変換されたレーザ光を観察するモニターと、このモニターで観察された前記レーザ光の出力をフィードバックされて波長変換出力の変化に応じて最適な結晶長さに調整する制御部を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ光の波長変換装置。本発明が解決しようとする問題点は、レーザ光の波長変換において、非線形光学結晶の出射面を傾斜し、この出射面の傾きを制御することで、常に最大の波長効率が得られるようにする技術では、波長変換後のレーザ光に強度むらが発生するという点である。本発明のレーザ光の波長変換装置は、波長効率を常に最大にしつつ、波長変換後のレーザ光に発生する強度むらを抑制するために、非線形光学結晶によりレーザ光の波長を変換するレーザ光の波長変換装置であって、励起されてレーザ光を誘導放出するレーザ媒質と、このレーザ媒質に入射させる励起レーザ光を透過すると共に、レーザ媒質から誘導放出されたレーザ光を高反射率で反射するエンドミラーと、前記レーザ媒質から誘導放出されたレーザ光を透過する出力ミラーとで構成されたレーザ共振器の、前記レーザ媒質から前記出力ミラーへのレーザ光の経路途中に、対をなす2個の楔形非線形光学結晶を、レーザ光の入射面と波長変換後のレーザ光の出射面が可及的に平行で、かつ、2個の楔形非線形光学結晶間の隙間が可及的に一定の状態で配置すると共に、これら対をなす2個の楔形非線形光学結晶の、少なくともどちらか一方を、前記状態を維持したままで移動させて結晶長さを調整する手段を備えたことを主要な特徴としている。上記構成の本発明では、対をなす2個の楔形非線形光学結晶の、レーザ光の入射面と波長変換後のレーザ光の出射面を可及的に平行に配置しつつ、結晶長さを可変とすることで、レーザ光の光軸方向における温度勾配により、屈折率が変わることによる波長変換効率の低下を抑制し、波長変換効率を常に最大にすることが可能になる。また、レーザ光の入射面と波長変換後のレーザ光の出射面が可及的に平行で、かつ、2個の楔形非線形光学結晶間の隙間が可及的に一定の状態とすることで、波長変換後のレーザ光の強度むらを抑制できる。上記本発明を構成する前記対をなす2個の楔形非線形光学結晶は、前記レーザ共振器から出力されたレーザ光の経路中に配置しても良い。この場合、対をなす2個の楔形非線形光学結晶の出力側の波長変換後のレーザ光の経路中に基本波を除去するミラー設ける必要がある。本発明では、対をなす2個の楔形非線形光学結晶の、レーザ光の入射面と波長変換後のレーザ光の出射面が可及的に平行になるように配置しつつ、実効的な結晶長さを可変とすることにより、波長変換効率を常に最大にしつつ、強度むらを抑制することができる。本発明では、波長効率を常に最大にしつつ、波長変換後のレーザ光に発生する強度むらを抑制するという目的を、対をなす2個の楔形非線形光学結晶の、レーザ光の入射面と波長変換後のレーザ光の出射面を可及的に平行に配置しつつ、結晶厚みを可変とすることで実現した。以下、図1及び図2を用いて本発明のレーザ光の波長変換装置を詳細に説明する。図1及び図2は第1の本発明のレーザ光の波長変換装置について説明する図である。図1において、11は入射した励起レーザ光12に励起されてレーザ光13を誘導放出するレーザ共振器であり、励起レーザ光12の入射側から、エンドミラー14、レーザ媒質15、出力ミラー16の順に配置されている。このうち、レーザ媒質15は、エンドミラー14を透過してきた励起レーザ光12に励起されてレーザ光13を誘導放出するもので、レーザ発振器の場合はレーザ結晶が、また、OPO装置の場合は非線形光学結晶が採用される。前記エンドミラー14は、前記レーザ媒質15に入射させる励起レーザ光12を透過するだけでなく、レーザ媒質15から誘導放出されたレーザ光13を高反射率で反射する作用をも有している。また、出力ミラー16は、前記レーザ媒質15から誘導放出されたレーザ光13を所定の透過率で透過させる。本発明の波長変換装置は、前記レーザ媒質15から前記出力ミラー16へのレーザ光13の経路の途中に配置するもので、対をなす2個の楔形非線形光学結晶17a,17bから構成されている。これら楔形非線形光学結晶17a,17bとしては、BBOβ-BaB2O4、LBOLiB3O5、KTPKTiOPO4、DKDPKD2PO4等を採用する。これら楔形非線形光学結晶17a,17bは、レーザ媒質15側以下、一方という。の楔形非線形光学結晶17aの入射面17aaと、出力ミラー16側以下、他方という。の楔形非線形光学結晶17bの出射面17bbが平行となるように設置されている。さらに、一方の楔形非線形光学結晶17aの出射面17abと他方の楔形非線形光学結晶17bの入射面17baの隙間が一定となるように設置されている。前記隙間の平行度の許容範囲は、使用する楔形非線形光学結晶17a,17bの角度許容幅に依存し、角度許容幅の1/4以下最大出力の10に抑えることが望ましい。また、隙間の許容範囲は、ビーム拡がり角が、ビーム径の0.5以下となるような範囲に調整することが望ましい。例えば、ビーム径がφ5mm、ビーム拡がり角が1mradであれば、最大25mmとなる。加えて、本発明では、前記状態を維持しつつ、例えば両楔形非線形光学結晶17a,17bを、図2aに示す常態から、波長変換出力に応じて、図2bに示すように結晶長さを短くしたり、図2cに示すように結晶長さを長くできるように構成している。この結晶長さを調整する手段としては、例えば図1に示すように、一方の楔形非線形光学結晶17aを1軸ステージ18aに設置して、他方の楔形非線形光学結晶17b方向への移動を可能にするような構成とすれば良い。一方の楔形非線形光学結晶17aを移動した後の波長変換されたレーザ光19は、例えばモニター18bで観察し、その出力を制御部18cにフィードバックして波長変換出力の変化に応じて最適な結晶長さに調整する。最適な結晶長さの調整は、例えば結晶長さを変化させ、出力の最大点を探すことにより行う。出力と結晶長さの関係は、図5等から知ることができる。ところで、一方の楔形非線形光学結晶17aの出射面17abと他方の楔形非線形光学結晶17bの入射面17baの隙間は、大きすぎるとレーザ光の拡がり角によりビーム径が変化して光強度が低下し、波長の変換効率が変わってしまう。また、隙間があることで、表面反射により一方の楔形非線形光学結晶17aに入射するレーザ光13や他方の楔形非線形光学結晶17bから出射する波長変換後のレーザ光19のエネルギーをロスしてしまう。従って、前記隙間は可能な限り狭くすることが望ましい。前記エネルギーのロスをなくすためには、一方の楔形非線形光学結晶17aの出射面17abと他方の楔形非線形光学結晶17bの入射面17baに前記レーザ光13と前記レーザ光19の2つの波長の反射防止膜ARコーティングを施すことが望ましい。また、図3に示すように、楔形非線形光学結晶17a,17bとほぼ同じ屈折率をもつ液状またはグリース状の屈折率整合剤等で満たされたケース20内に楔形非線形光学結晶17a,17bを配置しても良い。この場合、楔形非線形光学結晶17a,17bの表面で起こる前記レーザ光13と前記レーザ光19の反射を全て低減させて変換効率を上げることができる。なお、図3中の20aは、ケース20におけるレーザ光13の入射部とレーザ光19の出射部に設けたウィンドウである。上記構成の本発明では、対をなす一方の楔形非線形光学結晶17aの入射面17aaと、他方の楔形非線形光学結晶17bの出射面17bbを平行に配置しつつ、例えば楔形非線形光学結晶17a,17bを図2aの常態からbcに示すように移動させることで、結晶長さを変更することができる。この結晶長さの調整は、前述のように、レーザ共振器11の後段に設けたモニター18bで、波長変換後のレーザ光19の出力を観察して結晶長さをフィードバック制御することによって行う。従って、結晶長さを維持しつつ、レーザ光13の光軸方向における温度勾配により、屈折率が変わることによる波長変換効率の低下を抑制し、常に、波長変換効率を最大にすることが可能になる。また、前記楔形非線形光学結晶17a,17bの相対位置関係により、波長変換後のレーザ光19の強度を均一に維持することが可能になる。前記対をなす一方の楔形非線形光学結晶17aの入射面17aaと、他方の楔形非線形光学結晶17bの出射面17bbが平行でない場合は、以下の許容範囲を超えると変換効率が極端に減少して波長変換後の強度ムラを発生するので、可及的に平行となるように配置することが望ましい。非線形光学結晶には角度許容幅があり、例えばBBOの場合、532nmの波長が変換後に266nmとなるとき角度は0.37mradcm0.021度である。これは変換後の出力が半分になる範囲半値全幅であり、結晶長さが5mmの場合、0.01度となる。従って、一方の楔形非線形光学結晶17aの入射面17aaと、他方の楔形非線形光学結晶17bの出射面17bbが平行でない場合の角度は、前記角度許容幅の1/4以下最大出力の10を許容範囲とすることが望ましい。BBOは特に角度許容幅が狭い結晶であり、CLBOの場合の角度許容幅532nm→266nmは1.08mradcmであり、許容範囲はBBOの3倍程度となる。本発明は、上記の例に限るものではなく、各請求項に記載の技術的思想の範疇において、適宜実施の形態を変更しても良いことは言うまでもない。例えば、上記の例では、対をなす2個の楔形非線形光学結晶17a,17bは、レーザ共振器11の内部に設置したものを示したが、図4に示すように、レーザ共振器11の外部に設置しても良い。但し、図4に示すように、レーザ共振器11から出力された励起レーザ光12の経路中に対をなす2個の楔形非線形光学結晶17a,17bを配置する場合は、楔形非線形光学結晶17bの出力側の波長変換後のレーザ光20の経路中に基本波を除去するミラー21を設ける必要がある。また、上記の例では、結晶長さの制御を、波長変換後のレーザ光19の出力をモニター18bによって観察することで行うものを示したが、これに換えて楔形非線形光学結晶17a,17bに温度センサーを設けて楔形非線形光学結晶17a,17bの温度を計測し、この計測温度の平均値に基づいて制御しても良い。また、上記の例では、一方の楔形非線形光学結晶17aのみを移動させるものについて説明したが、他方の楔形非線形光学結晶17bを移動させるもの、両方の楔形非線形光学結晶17a,17bを移動させるものでも良い。"