パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光のコヒーレンスを低下させる低コヒーレンス化光学システムと、前記パルスレーザ光のスペックルが変化するように前記低コヒーレンス化光学システムを制御するコントローラと、を備えるレーザシステム。前記コントローラは、パルスレーザ光ごとにスペックルが変化するように前記低コヒーレンス化光学システムを制御する、請求項1記載のレーザシステム。前記低コヒーレンス化光学システムは、ランダム位相板を含む、請求項1記載のレーザシステム。前記低コヒーレンス化光学システムは、前記ランダム位相板を回転させる回転機構をさらに含む、請求項3記載のレーザシステム。前記低コヒーレンス化光学システムは、前記パルスレーザ光の入射面に対して出射面が傾斜した透明なウェッジ基板と、前記ウェッジ基板を回転させる回転機構と、をさらに含む、請求項3記載のレーザシステム。前記低コヒーレンス化光学システムは、前記パルスレーザ光を反射するミラーと、前記ミラーの前記パルスレーザ光の入射軸に対する傾きを変化させる傾斜ステージと、をさらに含む、請求項3記載のレーザシステム。前記低コヒーレンス化光学システムは、前記パルスレーザ光の入射面と出射面とが平行であって透明な平行平面基板と、前記平行平面基板の前記パルスレーザ光の入射軸に対する傾きを変化させる傾斜ステージと、をさらに含む、請求項3記載のレーザシステム。前記低コヒーレンス化光学システムは、前記パルスレーザ光を反射するミラーと、前記ミラーと前記ランダム位相板との間の距離を変化させる移動機構と、をさらに含む、請求項3記載のレーザシステム。前記低コヒーレンス化光学システムを通過したパルスレーザ光を増幅する増幅装置をさらに備える、請求項1記載のレーザシステム。パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光のコヒーレンスを低下させる低コヒーレンス化光学システムと、を備える装置のレーザ生成方法であって、前記パルスレーザ光のスペックルが変化するように前記低コヒーレンス化光学システムを制御する、レーザ生成方法。パルスレーザ光ごとにスペックルが変化するように前記低コヒーレンス化光学システムを制御する、請求項10記載の方法。パルスレーザ光ごとに所定量ずつ前記スペックルが変化するように前記低コヒーレンス化光学システムを制御する、請求項11記載の方法。パルスレーザ光ごとにランダムに前記スペックルが変化するように前記低コヒーレンス化光学システムを制御する、請求項11記載の方法。