ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する正弦波変換器と、前記正弦波変換器により変換された正弦波の振幅ディジタル信号を高周波アナログ信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、前記高周波加速空洞に発生する高周波電圧と、前記高周波電圧によって加速される荷電粒子の電流との位相差を検出する位相差検出器と、前記位相差検出器の出力信号をディジタル信号に変換するADコンバータと、前記ADコンバータの出力信号を入力し位相差を一定に制御するコントローラと、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記コントローラからの出力信号と、前記ディジタルダイレクトシンセサイザから出力されるディジタル位相信号を加算し、この加算したディジタル位相信号を、前記正弦波変換器に入力するディジタル加算器と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置。ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する正弦波変換器と、前記正弦波変換器により変換された正弦波の振幅ディジタル信号を高周波アナログ信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、高周波電圧に対する荷電粒子の位相差のパターン信号を記憶した記憶装置と、前記記憶装置で記憶した位相差のパターン信号と、前記ディジタルダイレクトシンセサイザからのディジタル位相信号とを加算し、この加算したディジタル位相信号を前記正弦波変換器に入力するディジタル加算器と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置。ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する正弦波変換器と、前記正弦波変換器により変換された正弦波の振幅ディジタル信号を高周波アナログ信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、前記高周波増幅器の出力電力を検出する電力検出器と、前記電力検出器の検出信号をディジタル信号に変換するADコンバータと、前記ADコンバータの出力信号を高周波増幅器の出力電力に対する位相変化量に変換する電力位相変換器と、前記電力位相変換器からの電力位相の出力を反転させ位相変化量を打ち消す値とする符合反転器と、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記ディジタルダイレクトシンセサイザからのディジタル位相信号と、前記符合反転器の出力とを加算し、この加算したディジタル位相信号を前記正弦波変換器に入力するディジタル加算器と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置。周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号を入力し、任意のディジタル振幅信号に変換する位相振幅変換器と、前記ディジタル振幅信号をアナログ高周波信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置。周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号をディジタル振幅信号に変換するものであって、前記ディジタル位相信号に対するディジタル振幅信号を1対1で記憶した記憶装置と、前記記憶装置で記憶したディジタル振幅信号をアナログ高周波信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する加速空洞と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置。ところで、上記のような高周波制御装置においては、高周波信号の位相を制御する際、DAコンバータによって変換された高周波アナログ信号を例えば、移相器といったアナログ素子を用いて制御していた。このため、アナログ素子の温度特性や、周波数特性により、高精度、高安定に制御することが困難であった。本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号にディジタル加算器を用いて位相制御量を加算することにより位相を制御できるため、例えば移相器といったアナログ素子を用いることなく高周波信号の位相制御が高精度、高安定に制御することが可能である。また、従来の技術では任意の高周波信号を発生させる際、DAコンバータによって変換された高周波アナログ信号を、アナログ加算器等を用いて加算することにより希望する波形を得ていた。しかしながら上記方法では、加算する高周波アナログ信号の周波数を増やさないと希望する波形を得られないことが多く、ディジタルダイレクトシンセサイザ、位相振幅変換器、DAコンバータの個数が増加する問題があった。加えて、アナログ加算器の温度特性、周波数特性により高精度、高安定に希望する高周波信号を得ることが困難であった。本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号をディジタル振幅信号に変換する位相振幅変換器に、ディジタル位相信号に対して任意の波形を発生する位相振幅変換器を具備することにより容易に任意の波形を発生させることが可能となる高周波制御装置を提供することを目的とする。上記課題を達成するために、請求項1に対応する発明は、ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する正弦波変換器と、前記正弦波変換器により変換された正弦波の振幅ディジタル信号を高周波アナログ信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、前記高周波加速空洞に発生する高周波電圧と、前記高周波電圧によって加速される荷電粒子の電流との位相差を検出する位相差検出器と、前記位相差検出器の出力信号をディジタル信号に変換するADコンバータと、前記ADコンバータの出力信号を入力し位相差を一定に制御するコントローラと、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記コントローラからの出力信号と、前記ディジタルダイレクトシンセサイザから出力されるディジタル位相信号を加算し、この加算したディジタル位相信号を、前記正弦波変換器に入力するディジタル加算器と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置である。上記課題を達成するために、請求項2に対応する発明は、ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する正弦波変換器と、前記正弦波変換器により変換された正弦波の振幅ディジタル信号を高周波アナログ信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、高周波電圧に対する荷電粒子の位相差のパターン信号を記憶した記憶装置と、前記記憶装置で記憶した位相差のパターン信号と、前記ディジタルダイレクトシンセサイザからのディジタル位相信号とを加算し、この加算したディジタル位相信号を前記正弦波変換器に入力するディジタル加算器と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置である。上記課題を達成するために、請求項3に対応する発明は、ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する正弦波変換器と、前記正弦波変換器により変換された正弦波の振幅ディジタル信号を高周波アナログ信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、前記高周波増幅器の出力電力を検出する電力検出器と、前記電力検出器の検出信号をディジタル信号に変換するADコンバータと、前記ADコンバータの出力信号を高周波増幅器の出力電力に対する位相変化量に変換する電力位相変換器と、前記電力位相変換器からの電力位相の出力を反転させ位相変化量を打ち消す値とする符合反転器と、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記ディジタルダイレクトシンセサイザからのディジタル位相信号と、前記符合反転器の出力とを加算し、この加算したディジタル位相信号を前記正弦波変換器に入力するディジタル加算器と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置である。上記課題を達成するために、請求項4に対応する発明は、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号を入力し、任意のディジタル振幅信号に変換する位相振幅変換器と、前記ディジタル振幅信号をアナログ高周波信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する高周波加速空洞と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置である。上記課題を達成するために、請求項5に対応する発明は、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するディジタルダイレクトシンセサイザと、前記ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号をディジタル振幅信号に変換するものであって、前記ディジタル位相信号に対するディジタル振幅信号を1対1で記憶した記憶装置と、前記記憶装置で記憶したディジタル振幅信号をアナログ高周波信号に変換するDAコンバータと、前記DAコンバータの出力である高周波アナログ信号を増幅する高周波増幅器と、前記高周波増幅器からの出力を入力して高周波電圧に変換し、荷電粒子を加速する加速空洞と、を具備したことを特徴とする高周波制御装置である。である。請求項1に記載の発明によれば、前記高周波加速空洞に発生する高周波電圧と、高周波電圧によって加速される荷電粒子の位相差を位相差検出器にて検出し、ADコンバータによってディジタル信号に変換し、ADコンバータの出力ディジタル信号をコントローラに入力し、コントローラによって高周波加速空洞に発生する高周波電圧と、高周波加速空洞によって加速される荷電粒子の位相差を一定とする値を出力し、その出力を高周波加速空洞に発生する高周波電圧の位相を制御する位相制御量とすることで、高精度、高安定に高周波加速空洞に発生する電圧と荷電粒子の位相差を一定に制御することが可能となる。請求項2に記載の発明によれば、高周波加速空洞に発生する高周波電圧と、高周波加速空洞によって加速される荷電粒子の位相差のパターン信号を記憶する記憶装置を具備し、位相制御量を前記位相パターン信号とすることで、高周波加速空洞に発生する高周波電圧と荷電粒子の位相差を、パターン信号に従って高精度、高安定に制御することが可能となる。請求項3に記載の発明によれば、高周波増幅器の出力電力を検出する電力検出器と、電力検出器の検出信号をディジタル信号に変換するADコンバータと、ADコンバータの出力信号を高周波増幅器の出力電力に対する位相変化量に変換する位相振幅変換器を具備し、電力位相変換器の出力を反転させ位相変化量を打ち消す値を高周波加速空洞に発生する高周波電圧の位相を制御する位相制御量とすることにより、高周波増幅器出力電力に対する位相変化の補正を高精度、高安定に行うことが可能となる。請求項4、5に記載の発明によれば、ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号をディジタル振幅信号に変換する位相振幅変換器は、前記ディジタル位相信号に対して任意の波形を発生する位相振幅変換器とすることで、ディジタルダイレクトシンセサイザ、位相振幅変換器、DAコンバータの段数を増やすことなく任意の波形を得ることが可能となるばかりでなく、アナログ加算器を用いないため、高精度、高安定に任意の高周波波形を得ることが可能となる。本発明によれば、ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号にディジタル加算器を用いて位相制御量を加算することにより、位相シフタといったアナログ素子を用いることなく高周波電圧の位相を高精度、高安定に制御することができる。更に、本発明によれば、ディジタルダイレクトシンセサイザより出力されるディジタル位相信号を入力として、任意波形を出力する位相振幅変換器を用いることで、ディジタルダイレクトシンセサイザ、正弦波変換器、DAコンバータを多段に接続することなく、任意の高周波出力を高精度、高安定に得ることができる。以下、本発明の実施形態について図面を参照し説明する。図1は、本発明の第1の実施形態を示す図であり、図中、従来装置を示す図9と同一の要素には、同一の符号を付してその説明を省略する。図1の特徴は、ディジタルダイレクトシンセサイザ1より出力されるディジタル位相信号θDと高周波加速空洞5に発生する高周波電圧Vcの位相を制御する位相制御量θCを、ディジタル加算器11を用いて加算することにより高周波電圧Vcの位相を制御する。図2は、本発明の第2の実施形態を示す図で、高周波加速空洞5に発生する高周波電圧Vcと、高周波電圧Vcによって加速される荷電粒子の電流をCT6を用いて検出した電流IBとの位相差を、検出器31を用いて検出し、検出された位相差信号ΔφをADコンバータ32によってディジタル信号に変換し、コントローラ33によって前記位相差が一定値となるようにθCを制御することで高周波加速空洞5に発生する高周波電圧Vcと、荷電粒子との位相差を一定に制御することができる。図3は、本発明の第3の実施形態を示す図である。高周波加速空洞に発生する高周波電圧Vcと、高周波電圧Vcによって加速される荷電粒子との位相差のパターン信号を、記憶装置34に記憶しておき、この位相パターン信号を位相制御量θCとすることで、高周波加速空洞に発生する高周波電圧Vcと荷電粒子の位相差パターンどおりに制御することが可能となる。図4に位相差のパターンの一例を示す図を表す。図5は、本発明の第4の実施形態を示す図である。図6に示すように高周波増幅器の出力電力Poutに対して位相ずれを生ずる。このずれを補正するため、高周波増幅器の出力電力Poutを電力検出器51により検出し、ADコンバータ52を用いてディジタル信号に変換し、電力位相変換器53により測定された電力に対する位相ずれの値に変換し、符号反転器54により電力位相変換器53の出力信号の符号を反転させた信号を位相制御量θCとすることで、高周波増幅器の出力電力に対する、位相ずれを零とすることが可能となる。図7は、本発明の第5、第6、第7の実施形態を説明するための図である。第5の実施形態位相振幅変換器12はディジタルダイレクトシンセサイザ1より出力されるディジタル位相信号θDを入力として任意の波形Vabを出力する。第6の実施形態請求項6記載の発明の実施形態では位相振幅変換器12として記憶装置を用いている。図8に前記記憶装置の内部およびディジタル位相信号に対する、ディジタル振幅信号Vabの波形を示す。図に示すように記憶装置はディジタル位相信号θDに対して、ディジタル振幅信号を1対1で記憶しており、任意の出力波形Vabを出力することが可能である。第7の実施形態では位相振幅変換器12としてディジタル演算器を用いている。ディジタル演算器は、入力をディジタル位相信号θDとし、出力がθDの関数fθDで表される演算装置を具備することにより任意の出力波形Vabを出力することができる。