"被加工物としてのワークを凍結固定して加工を行う加工装置において、所定の方向に移動可能なベッドと、前記ベッドに固定され、前記ワークを載置するベースと、前記ベースを冷却する温度制御手段と、前記ベッドに対する位置を変動可能に制御され、前記ワークを加工する工具と、を備え、前記温度制御手段は、前記ベースを冷却することにより、前記ワークを該ワークの材質、および/または該ワークの加工条件に応じた所定の温度に制御することを特徴とする加工装置。前記温度制御手段は、前記ワークを液体で凍結固定させる温度が少なくともガラス転移点あるいはガラス転移領域以下であって、凍結後の前記ワークの加工により生ずる前記ワークの温度上昇が、前記ガラス転移点あるいはガラス転移領域を超えない温度となるように、前記液体の凍結温度を制御することを特徴とする請求項1に記載の加工装置前記ベッドと前記ベースとの間に更に断熱材を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の加工装置。前記温度制御手段は、不凍冷媒を循環させて前記ベースを冷却させることを特徴とする請求項1から3までのいずれかに記載の加工装置。前記温度制御手段は、ペルチェ素子を用いて前記ベースを冷却させることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。前記工具、および、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つが、位置取得手段に接続されており、前記位置取得手段は、前記工具が、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つに近接して、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つと接触した時の、前記工具と、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つとの間に生じる電流または電圧を検出し、検出電流または検出電圧に基づいて、前記工具と、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つとの相対的な位置情報を取得することを特徴とする請求項1から5までのいずれかに記載の加工装置。前記ベースを前記ワークの除去加工を行う温度、またはその近傍の温度にした状態で、変形が生じた前記ベースの表面を、前記工具により平面度を高める加工を行うベース加工手段を備えたことを特徴とする請求項1から6までのいずれかに記載の加工装置。上述のような、凍結固定加工冷凍チャックでは、磁性チャックの使えない非磁性金属材料、金属材料、樹脂、空孔のあるスポンジ状の樹脂、シート状のフィルムなどをチャックとして固定することができ、また、ワークを冷却し、所望の温度にすることで材料の特性を変化させ、所望の加工特性を得ることができる。しかしながら、従来の凍結固定加工を行う加工装置では、ワーク特に、樹脂材料を凍結固定させた後、ワークの材質、加工条件等によらず、ある一定温度まで冷却し、これ維持するすなわち、凍結温度が一定ので、十分な加工精度を得ることができず、サイクルタイムが低下するという問題があった。そこで本発明は、ワークの材質、加工条件等に応じて最適な凍結温度制御を行うことにより加工精度を向上させることができる加工装置を提供することを目的とする。かかる目的を達成するため、本発明に係る加工装置は、被加工物としてのワークを凍結固定して加工を行う加工装置において、所定の方向に移動可能なベッドと、ベッドに固定され、ワークを載置するベースと、ベースを冷却する温度制御手段と、ベッドに対する位置を変動可能に制御され、ワークを加工する工具と、を備え、温度制御手段は、ベースを冷却することにより、ワークを該ワークの材質、および/または該ワークの加工条件に応じた所定の温度に制御するものである。本発明によれば、加工精度を向上することができる。以下、本発明に係る構成を図1から図6に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。第1の実施形態本発明に係る加工装置の一実施形態を示す概略断面図を図1に示す。加工装置10としては、フライス盤、旋盤、研削盤などが挙げられるが、本実施形態では、フライス盤を例に説明する。加工装置10には、高精度に移動可能なベッドが複数設けられており第1ベッド1a,第2ベッド1b、具体的には、Y軸、Z軸方向に移動可能なテーブルである第1ベッド1aの上にX軸方向に移動可能なテーブルである第2ベッド1bが設置されている。第1ベッド1a、第2ベッド1bは、高剛性で高精度な移動が可能な構成であり、また、通常は金属材料で作成される。また、サイズも大きく構成され、熱容量も大きい。また、第2ベッド1b上には、温度制御手段冷却手段20を有するベース2が固定される。ベース2の表面には液体水を用いることが多いを介在させて、ベース2にワーク3図1では図示せずを積載し、温度制御手段20で、液体の凍結点以下に冷やすことで、ベース2にワーク3を固定し、ワーク3の温度制御がなされる。温度制御手段20としては、公知または新規の温度制御手段を用いればよく、特に限られるものではないが、例えば、いわゆるチラーなどの熱交換装置を用いて、かつ、エチレングリコールなどの0度以下でも凍結しにくい液体いわゆる不凍液を冷媒として用い、ベース2もしくはベース2の近傍に設置した配管内を循環させて、ベース2を冷却させることができる。また、冷却効果を高めるため、熱交換装置を複数台設置することも好ましい。また、熱交換装置に用いる不凍液を更に他の熱交換装置で冷却することでベース2を循環する不凍液の温度を速やかに下げることも好ましい。なお、不凍液などの冷媒を循環させることによれば、配管レイアウトの自由度が得られるため、ワーク3の形状や、サイズによって広い面積のベースを凍結させることができ、また大型のワーク3でも保持することが可能となるという利点がある。また、熱交換装置には、ペルチェ素子などの電子的な冷却手段を用いることも好ましい。ペルチェ素子を用いることによりベース2の温度変化を高速に行うことができ、冷却時間を短縮させ、サイクルタイムを向上させることができる。また、この場合、加工装置全体を小型化することが可能であるという利点がある。また、液体を用いる必要がないため定期的な液交換等の必要がなく、液漏れなどのトラブルが生じにくいため、メンテナンスの手間を軽減することができる。加工装置10には、回転部4を介して、エンドミルや砥石などの工具5が接続されている。なお、回転部4として、Z軸方向に移動可能なものを用いても良い。ここで、ワーク3の材料、特に、樹脂材料は凍結させて、その温度を低くすればするほど、エンドミルや砥石などの工具5で良好な加工が可能となる。図2Aに温度ガラス転移点と硬さとの関係の一例を示すグラフ、Bに温度ガラス転移点と加工性との関係の一例を示すグラフを示す。図2Aに示すように、いわゆるガラス転移点Tgあるいはガラス転移領域以下の温度では、一般に、樹脂などの材料は硬くなり加工しやすくなることが知られている。また、ガラス転移点Tgあるいはガラス転移領域と融点の間の温度範囲ではゴムのように変形しやすい状態である。このため、温度を冷やす、具体的には、ワーク3を液体で凍結固定させる温度が少なくともガラス転移点あるいはガラス転移領域以下であって、凍結後のワーク3の加工で生ずるワーク3の温度上昇が、ガラス転移点あるいはガラス転移領域を超えない温度となるように、温度制御手段20は、液体の凍結温度に制御することが好ましい。これにより、ワーク3を硬くさせて、精度良く加工を行うことが可能となる。一方、凍結温度を下げすぎると時間がかかるため、タクトが低下するという問題がある。また、ガラス転移点Tgおよびガラス転移領域は材質によって異なるため、所望の加工特性を得るためのワーク3の冷却温度は、材質、形状、工具の熱容量、工具の温度によって変化するものであるが、最適な加工温度を維持することにより、良好な切断面や所望の面粗さに仕上げつつサイクルタイムを短くすることができる。なお、繰り返しの加工時には、ワーク3をベース2から外す際に室温まで温度を上昇させる必要はなく、凍結点付近まで温度を上昇させることでサイクルタイムを短縮することが可能であることは勿論である。凍結後の最適な温度についても、ワーク3の材料や厚さ、形状によって変化するが、工具3が接触することでワーク表面から熱を奪うため、ワーク3の温度が想定した以上に下がる場合が生じる。例えば、フライスの場合、φ4mmのエンドミルとφ10mmのエンドミルでは熱を奪う能力、熱容量が異なるため、例えば、φ10mmのエンドミルを使う場合には、加工中に熱を奪われ、良好な加工状態維持できなくなったり、部分的に凍結状態を維持できなくなったりするおそれがあるため、ワーク3の温度をより下げる必要がある。また、エンドミルの送り速度や、回転速度など、摩擦に起因する加工熱の発生によってもワーク3の温度は低下する。これに対し、例えば、加工前あるいは加工中にエンドミルあるいはエンドミルなどの工具5あるいは工具5を保持する部分を冷却するようにして、ワーク3からの吸熱を抑制することも好ましい。以上説明したように、ワーク3の材質や形状、使用する工具工具の熱容量、送り速度などの加工条件に応じ、最適な冷却温度が変化する。そのため、ワーク3に応じて加工時の温度を冷却温度例えば、-5°C~-70°Cの範囲で調整する必要があり、温度制御手段20によりベース2の温度を下げることによって、ワーク3を固定し、チャックとしての機能をはたすことに加えて、ワーク3の任意の温度まで下げることによって材料特性に起因する条件から、良好な加工性を確保することができる。したがって、ワーク3を凍結後、所望の温度で加工することが可能となり、ワーク3の材質や形状、工具の熱容量に応じた最適な加工条件を得つつ、サイクルタイムを短縮することが可能となる。なお、加工装置10のベッド、ベースの構成については、図1に示す構成に限られるものではない。以下に他の好ましい構成例について説明する。図3Aに示す基本構成例では、ベッド11の上にベース12を設置し、凍結用の液体を介して、ワーク13を固定している。しかしながら、図3Aの構成によると、熱容量の大きなベッド11にベース12の熱が奪われるため、冷却効果が低下しやすいこの熱特性を改善した構成を図3Bに示す。図3Bでは、ベッド11の上に断熱材14を設置し、その上にベース12を設置し、凍結用の液体を介して、ワーク13を固定している。図3Bの構成によれば、ベース12からベッド11への熱損失を最小限に防ぐことができる。併せて、または、これに替えて、ベース12の側面に断熱材14を設けることも好ましい。断熱材14を設けることにより、熱容量の大きなベッド11や大気との接触面積を低減することができるので、熱損失を最小限に抑え、サイクルタイムを短縮するとともに、効率よく温度制御を行うことが可能となる。また、図3Cのように、ベッド11の一部をベース12として構成することも可能である。図3Cの構成ではベッド11とベース12の高さを同水準にでき、位置決めが容易になるため、加工も容易に行うことが可能となる。また、この場合に、ベッド11とベース12との間に断熱材を設けることも好ましい。また、図3Dのように、ベッド11の内部にベース12を組み込んだ構成としてもよい。これにより、剛性の低いベース12であっても、ベッド11の内部に配することでベッド11により剛性の向上を図ることができる。この構成によれば、樹脂以外のワーク、例えば、アルミなどの非磁性材料も十分な加工精度を維持することができる。また、この場合に、ベッド11とベース12との間に断熱材を設けることも好ましい。なお、図3Dの構成では、ワーク13はベース12上に直接設置されるものではないが、この場合も載置と呼ぶものとする。第2の実施形態また、加工装置においては、ベッド、ベース、またはワークと、工具との相対的な位置関係を正確に把握することが重要となる。本実施形態では、このための位置取得手段30を備えた加工装置について説明する。図4は、位置取得手段30を備えた加工装置の要部構成図である。図4に示す加工装置では、ベッド21上に断熱材24を介して温度制御手段20図示せずを有したベース22が固定されている。ベース22にはワーク23図4では図示せずが必要に応じて積載される。また、ベース22には配線22aが接続され、また、エンドミルなどの工具25にも、直接、または不図示の軸受けやスリップリングを介して配線25aが接続されている。各配線22a、25aは、位置取得手段30と接続されている。また、工具25は、導電性を有する材料で形成されている。図4に示す、加工装置において、室温から冷却を進めると、例えば、0°C近くで大気中の水分が結露し、0°C以下で凍結する。すなわち、図4Aに示すように、そのまま大気中の水分が霜26として析出するため、時間の経過とともにベース22ワーク23のある場合はワーク23上もに霜26の層が厚く形成される。上述したように、加工装置においては、ベース22またはワーク23と、工具25との相対的な位置関係を正確に把握することが、加工精度の向上に不可欠であるため、例えば、工具25を交換した場合においても、基準位置との関係位置変化を把握することが重要である。しかしながら、上述のように、凍結後のベース22、またはワーク23の表面は霜26で覆われているため、ダイヤルゲージなどの接触式や、レーザなどの光学的な検出手段では、ベース22の表面、ワーク23の表面位置を正しく検出できない場合がある。そこで、本実施形態では、図4Bから図4Cに示すように、工具25をベース21またはワーク23に徐々に接近させ、工具25とベース22またはワーク23が接触したときに図4B、位置取得手段30は、工具25とベース22またはワーク23との間の電圧、または電流を検出する。位置取得手段30は、検出した電圧、または電流に基づいて基準位置を算出するものである。なお、位置取得手段30は、工具25とベース22またはワーク23との間の電圧、または電流を検出可能な構成で有れば良く、特に限られるものではない。なお、工具25とワーク23の接触時を検出する場合、ワーク23が導電性を有する材質であることが必要であるが、非導電性の樹脂等の場合は、例えば、表層に導電性コートをするか材質に導電材料を添加して導電性を確保するようにすれば良い。また、ベース22をベッド21上に設けていない場合上記図3Dのような構成では、位置取得手段30は、工具25とベッド21との接触時の電圧、電流の変化を検出して、基準位置を算出するものであればよい。以上説明したように、工具25と、ベッド21、ベース22、ワーク23のいずれかとの間に流れる電流または電圧を検出する位置検出手段30を備えた加工装置とすることで、ワーク23の変更、工具25の交換、ベッド21やベース22の熱変形、霜26により表面が隠れた場合等、Z軸方向の距離が不明になった場合においても、ベース22ベッド21、ワーク23の表面位置を検知して、工具25との間の相対的な基準位置を割り出すことができる。第3の実施形態また、加工装置のベッド上に配置されたベースを冷却したとしても、ベッドは熱容量が大きいのでなかなか冷えない。そのため、ベッドとベースとの間で温度差が生じ、熱変形が発生し、ベッドに比べて剛性の低いベースが変形する場合がある工具との相対距離が変化する。また、ベース上に固定された樹脂などの柔らかい材料からなるワークの場合、ベースの変形とともにワークも変形する場合があり、加工精度の向上の妨げとなる。この熱変形について、図5を参照しつつ説明する。ベッド31に断熱材34を介して、温度制御手段20図示せずを備えたベース32が固定されている。また、ベース32にはワーク33図5では図示せずが必要に応じて積載される。なお、固定の際には、接着剤も使用できるがメンテナンスの困難性の観点から、ネジ等の使用が好ましい。ここでは、ネジを用いる場合について説明する。図5Aは、ベース32を-30°Cとした状態で断熱材34を介して、ベース32に固定させた状態初期状態とするを示している。この状態ではベース面は特に変形していない。また、図5Bは、ベース32を冷やした状態、例えば、-20°Cにした場合である。ベースを-30°Cの状態でネジ固定しているため、材質の線膨張係数に違いによる熱変形量の差でベース32が変形する。また、図5Cは、ベース32を少し冷やした状態、例えば、-10°Cにした場合である。図5Bの場合に比べて、さらに、熱変形量の差によるベース32の変形量が大きくなることを示している。上述したように、高い加工精度を得るためには、単にワーク33を固定するだけでなく、ワーク33の材質等に応じて、最適な冷却温度で加工しつつ、サイクルタイムを向上させるため冷却温度を変化させることが必要となる。一方で、冷却温度を変化させると、図5A~Cに示したように、ベース32の温度が大きく変化するのに対して、熱容量が大きく、かつ、断熱材34を介して接続されているベッド31は温度変化が少ないため、熱膨張差が生じ、ベッド31に比べて剛性の低いベース32が変形する場合がある。このように、ベース32が変形すると、工具とベース32との相対的な位置関係が変化するため、μmオーダの精密な加工に影響を与えたり、固定しているワーク33の形状が変化したりするために加工精度が悪化するという問題が生じる。これに対し、例えば、図5Dに示すように、ネジでの締め付け位置を変えることで、全体として変異を均すことも考えられるが、変形量を0にすることはできない。また、所望の温度にてベース32をベッド31に組み付けることができれば変形量を少なくできるが、実際には、大気中の霜が短時間に析出するため、作業環境の湿度を低い状態にコントロールして短時間に組み付けを行う必要があり困難である。そこで、本実施形態の加工装置は、ベッド31にネジ等で固定されたベース32をワーク33の除去加工を行う温度もしくはその近傍の温度に下げた状態で、予めベース32の表面を工具35で加工し、ベース表面の平面基準を確保するベース加工手段40を備えるものである。すなわち、図6Aに示すように、ある温度で変形したベース32表面を工具35で加工して面だしを行い、図6Bに示すように、ベース32表面の平面度を向上させるものである。なお、ベース加工手段40は、加工装置の図示しない制御手段により工具35を制御することで構成される。これにより、凍結温度の変化により、ベース32が熱変形した場合であっても、予めその温度下で表面を加工することで、任意の温度で平面を得ることができ、良好な平面度を得ることができ、加工精度を向上させることができる。尚、上述の実施形態は本発明の好適な実施の例ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。"