測量物に対してスキャンを行う撮影装置であって、照射光ビームを射出する光源と、前記照射光ビームを反射する第1分光器と、前記測量物の上方に設けられ、反射基準面を有し、前記照射光ビームを、前記測量物の表面に投射され反射されて第1反射光ビームとなる測量光ビームと、前記反射基準面に投射され反射されて第2反射光ビームとなる基準光ビームとに変換し、前記第1反射光ビームと前記第2反射光ビームとを、前記第1分光器を透過する工作光ビームに合成する顕微接物レンズ組と、前記第1分光器の上方に設けられ、前記工作光ビームを第1子光ビームと第2子光ビームとに分ける第2分光器と、前記第1子光ビームの行進経路に設けられて前記第1子光ビームを受け取って、前記第1子光ビームの第1干渉区域において、単色干渉映像を撮る単色映像センシングデバイスと、前記第2子光ビームの行進経路に設けられて前記第2子光ビームを受け取って、前記第2子光ビームの第2干渉区域外に無干渉映像を撮る映像センシングデバイスとを含む撮影装置。前記顕微接物レンズ組に結合されるアクチュエータを更に含むことを特徴とする、請求項1に記載の撮影装置。前記第2分光器から分光される第2子光ビームを前記映像センシングデバイスに反射する反射器を更に含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の撮影装置。前記映像センシングデバイスは延長リングを有し、前記延長リングにより前記映像センシングデバイスの撮影絞りを調整できることを特徴とする、請求項1から3の何れか1項に記載の撮影装置。前記映像センシングデバイスは単色映像センシングデバイスであることを特徴とする、請求項1から4の何れか1項に記載の撮影装置。前記映像センシングデバイスはカラー映像センシングデバイスであることを特徴とする、請求項1から4の何れか1項に記載の撮影装置。請求項1から6の何れか1項に記載の撮影装置により測量物に対してスキャンを行う撮影方法であって、複数のスキャン位置に前記顕微接物レンズ組を順次に移動するステップと、前記単色映像センシングデバイスにより前記第1子光ビームを受け取って、前記第1子光ビームを受け取ったスキャン位置に応じて前記測量物の一系列の単色干渉映像を得るステップと、前記映像センシングデバイスにより前記第2子光ビームを受け取って、前記第2子光ビームを受け取ったスキャン位置に応じて前記測量物の一系列の無干渉映像を得るステップと、前記一系列の単色干渉映像に対して表面輪郭の還元計算を行って、前記測量物の単色立体的輪郭映像を得るステップと、前記一系列の無干渉映像に対して映像比べ計算を行って、前記一系列の無干渉映像における複数の明瞭部分を取出して、少なくとも一つの平面的明瞭映像を合成するステップとを含むことを特徴とする撮影方法。前記映像センシングデバイスがカラー映像センシングデバイスである場合には、前記撮影方法は、更に、前記平面的明瞭映像から顔色及び位置の少なくとも一方の情報を取出して、前記顔色及び位置の少なくとも一方の情報により前記単色立体的輪郭映像に対して顔色模倣の計算を行って、カラー立体的輪郭映像を得るステップを含むことを特徴とする、請求項7に記載の撮影方法。本発明の主な目的は、一台の単色映像センシングデバイスと一台の単色またはカラー映像センシングデバイスとを有し、撮影の過程中に、単色干渉映像と明瞭な無干渉映像とを撮り、これにより、複数のスキャン位置に撮影した後、欠陥測定を行い、或いはカラー平面的明瞭映像およびカラー立体的輪郭映像を得ることができる撮影装置とその撮影方法を提供することにある。本発明の撮影装置によると、測量物に対してスキャンを行い、光源と、第1分光器と、顕微接物レンズ組と、第2分光器と、単色映像センシングデバイスと、映像センシングデバイスと、を含む撮影装置において、前記光源は、照射光ビームを射出するためのものであり、前記第1分光器は、前記照射光ビームを反射するためのものであり、前記顕微接物レンズ組は、前記測量物の上方に設けられ、反射基準面を含み、前記照射光ビームを測量光ビームと基準光ビームとに変換するためのものであり、前記測量光ビームは、前記測量物の表面に投射して、前記顕微接物レンズ組に反射される第1反射光ビームを発生し、前記基準光ビームは、前記反射基準面に投射して、前記顕微接物レンズ組に反射される第2反射光ビームを発生し、前記第1反射光ビームと前記第2反射光ビームとは、前記第1分光器を透過する工作光ビームに合成され、前記第2分光器は、前記第1分光器の上方に設けられ、前記工作光ビームを第1子光ビームと第2子光ビームとに分けるためのものであり、前記単色映像センシングデバイスは、前記第1子光ビームの行進経路に設けられて前記第1子光ビームを受け取って、前記第1子光ビームの第1干渉区域において、単色干渉映像を撮り、前記映像センシングデバイスは、前記第2子光ビームの行進経路に設けられて前記第2子光ビームを受け取って、前記第2子光ビームの第2干渉区域外に無干渉映像を撮ることを特徴とする。本発明の撮影装置によると、更に、アクチュエータを含み、前記アクチュエータは前記顕微接物レンズ組に結合されることを特徴とする。本発明の撮影装置によると、更に、反射器を含み、前記反射器は、前記第2分光器から分光される第2子光ビームを前記映像センシングデバイスに反射するためのものであることを特徴とする。本発明の撮影装置によると、前記映像センシングデバイスは延長リングを有し、前記延長リングにより前記映像センシングデバイスの撮影絞りを調整できることを特徴とする。本発明の撮影装置によると、前記映像センシングデバイスは、単色映像センシングデバイス、又はカラー映像センシングデバイスであることを特徴とする。本発明の撮影方法によると、請求項1の撮影装置により測量物に対してスキャンを行い、複数のスキャン位置に前記顕微接物レンズ組を順次に移動するステップと、前記単色映像センシングデバイスにより前記第1子光ビームを受け取って、これらの前記スキャン位置に応じて前記測量物の一系列の単色干渉映像を得るステップと、前記映像センシングデバイスにより前記第2子光ビームを受け取って、これらの前記スキャン位置に応じて前記測量物の一系列の無干渉映像を得るステップと、前記一系列の単色干渉映像に対して表面輪郭の還元計算を行って、前記測量物の単色立体的輪郭映像を得るステップと、前記一系列の無干渉映像に対して映像比べ計算を行って、前記一系列の無干渉映像における複数の明瞭部分を取出して、少なくとも一つの平面的明瞭映像を合成するステップと、を含むことを特徴とする。本発明の撮影方法によると、前記映像センシングデバイスがカラー映像センシングデバイスである場合には、前記撮影方法は、更に、前記平面的明瞭映像から顔色位置の情報を取出して、前記顔色位置の情報により前記単色立体的輪郭映像に対して顔色模倣の計算を行って、カラー立体的輪郭映像を得るステップを含むことを特徴とする。本発明の撮影装置とその撮影方法によれば、一台の単色映像センシングデバイスと一台の単色またはカラー映像センシングデバイスとを有し、撮影の過程中に、単色干渉映像と明瞭な無干渉映像とを撮り、これにより、複数のスキャン位置に撮影した後、欠陥測定を行い、或いはカラー平面的明瞭映像およびカラー立体的輪郭映像を得ることができ、換言すると、撮影の動作を増加しない前提で、カラー情報を有する立体的輪郭映像を得ることができ、そしてカラー情報を有し奥行きがより深い平面的明瞭映像を得ることができるという効果を有する。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。まず、図2及び図3を参照する。図2は本発明の撮影装置の模式図であり、図3は本発明の撮影装置の機構を示す斜視図である。本発明の撮影装置400は、測量物200に対してスキャンを行い、光源41と、第1分光器42と、顕微接物レンズ組43と、第2分光器44と、単色映像センシングデバイス45と、映像センシングデバイス46と、を含む。光源41は、照射光ビーム51を射出するためのものである。第1分光器42は、照射光ビーム51を反射するためのものである。顕微接物レンズ組43は、測量物200の上方に設けられ、反射基準面431を含み、照射光ビーム51を測量光ビーム52と基準光ビーム53とに変換するためのものである。測量光ビーム52は、測量物200の表面に投射して、顕微接物レンズ組43に反射される第1反射光ビーム54を発生する。基準光ビーム53は、反射基準面431に投射して、顕微接物レンズ組43に反射される第2反射光ビーム55を発生する。第1反射光ビーム54と第2反射光ビーム55とは、第1分光器42を透過する工作光ビーム56に合成される。撮影装置400は、更に、アクチュエータ47を含み、アクチュエータ47は顕微接物レンズ組43に結合される。これにより、顕微接物レンズ組43のスキャン位置を変更できる。一方、顕微接物レンズ組43は、干渉顕微接物レンズと、一般の顕微接物レンズと、から構成されてもよい。このような構造は、一般の撮影装置に慣用される構造であるため、説明を省略した。もちろん、本発明は、このような構造に限定されない。第2分光器44は、第1分光器42の上方に設けられ、工作光ビーム56を第1子光ビーム57と第2子光ビーム58とに分けるためのものである。単色映像センシングデバイス45は、第1子光ビーム57の行進経路に設けられて第1子光ビーム57を受け取って、第1子光ビーム57の第1干渉区域において、単色干渉映像を撮る。前記第1干渉区域というのは、第1反射光ビーム54と第2反射光ビーム55とが干渉を発生できる撮影区域である。映像センシングデバイス46は、第2子光ビーム58の行進経路に設けられて第2子光ビーム58を受け取って、第2子光ビーム58の第2干渉区域外に無干渉映像を撮る。前記第2干渉区域というのは、第1反射光ビーム54と第2反射光ビーム55とが干渉を発生できる撮影区域である。本発明の実施例では、撮影装置400は、更に、反射器48を含む。反射器48は、第2分光器44から分光される第2子光ビーム58を映像センシングデバイス46に反射するためのものである。その他、映像センシングデバイス46は、更に、延長リング図示せずを有し、前記延長リングにより映像センシングデバイス46の撮影絞りを調整できる。また、本発明の実施例では、映像センシングデバイス46は、単色映像センシングデバイスでもいいし、カラー映像センシングデバイスでもよく、これにより、単色又はカラーの無干渉映像を撮ることができる。図4を参照する。図4は本発明の撮影方法のステップを示すフローチャートである。本発明の撮影方法は、撮影装置400により測量物200に対してスキャンを行い、複数のスキャン位置に顕微接物レンズ組43を順次に移動して、単色映像センシングデバイス45により第1子光ビーム57を受け取って、前記スキャン位置に応じて測量物200の一系列の単色干渉映像を得ると同時に、映像センシングデバイス46により第2子光ビーム58を受け取って、前記スキャン位置に応じて測量物200の一系列の無干渉映像を得るステップS101と、前記一系列の単色干渉映像に対して表面輪郭の還元計算を行って、測量物200の単色立体的輪郭映像を得るステップS103このステップで得られる単色立体的輪郭映像は、従来の撮影方法によって得られる単色立体的輪郭映像である。と、前記一系列の無干渉映像に対して映像比べ計算を行って、前記一系列の無干渉映像における複数の明瞭部分を取出して、測量物200の平面的明瞭映像を合成するステップS105映像センシングデバイス46は、第2子光ビーム58の第2干渉区域外に無干渉映像を撮るため、各無干渉映像には干渉模様がない。映像比べ計算というのは、各無干渉映像を処理して、各無干渉映像の奥行き内の明瞭部分を取出して、奥行きがより深い平面的明瞭映像を合成する。と、映像センシングデバイス46がカラー映像センシングデバイスである場合には、本発明の撮影方法は、更に、前記平面的明瞭映像から顔色位置の情報を取出して、前記顔色位置の情報により前記単色立体的輪郭映像に対して顔色模倣の計算を行って、カラー立体的輪郭映像を得るステップS107と、を含む。図5から図7を参照する。図5は本発明の実際の単一の顔色の干渉映像の撮影結果を示す図であり、図6は本発明の実際の干渉映像無しの撮影結果を示す図であり、図7は本発明の測量物を還元した立体結果を示す図である。上記の説明から明らかなように、本発明の撮影装置400とその撮影方法によれば、単色映像センシングデバイス45と映像センシングデバイス46とを設けて、第2分光器44により、単色映像センシングデバイス45が単色干渉映像を撮ると同時に、映像センシングデバイス46が無干渉映像を撮るため、複数のスキャン位置に撮影した後、平面的明瞭映像および単色立体的輪郭映像を得ることができ、且つ映像センシングデバイス46がカラー映像センシングデバイスである場合には、カラー平面的明瞭映像およびカラー立体的輪郭映像を得ることができる。換言すると、本発明の撮影装置400とその撮影方法によれば、撮影の動作を増加しない前提で、カラー情報を有する立体的輪郭映像を得ることができ、そしてカラー情報を有し奥行きがより深い平面的明瞭映像を得ることができ、すなわち、従来の撮影装置100とその撮影方法によりも、もっと多くの測量物200に関する参考情報を得ることができる。このように、本発明が、特定の例を参照して説明したが、それらの例は、説明のためだけのものであり、本発明を限定するものではなく、この分野に通常の知識を有する者には、本発明の要旨および特許請求の範囲を逸脱することなく、ここで開示された実施例に変更、追加、または、削除を施してもよいことがわかる。