"表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させる移動手段と、前記部材を前記移動方向に移動させながら前記皮膜の外観画像を繰り返し撮像する撮像手段と、該外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の前記皮膜上における位置を特定する位置座標と、前記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納するデータ格納手段と、前記外観画像が前記移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成する部分集合形成手段と、前記部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて前記皮膜の膜厚むらの有無を検知する膜厚むら検知手段を備えたことを特徴とする膜厚むらの検査装置。複数の前記部分集合に対し、一の位置座標と、該一の位置座標を有する多次元データ毎に輝度の値を用いて演算された演算結果としての合成輝度とからなる合成多次元データを作成するデータ合成手段を備え、前記膜厚むら検知手段が、前記合成輝度の分布に基づいて膜厚むらの有無を検知する、請求項1に記載の膜厚むらの検査装置。前記データ合成手段が、一の位置座標と、該一の位置座標を有する多次元データ毎に輝度の値同士を加算しつつ所定値を減算して得られた演算結果としての合成輝度とからなる合成多次元データを作成する、請求項2に記載の膜厚むらの検査装置。前記部分集合に含まれる多次元データの位置座標と輝度とを用いて前記皮膜の疑似外観画像を描画する疑似画像描画手段を備えた、請求項1~3のいずれかに記載の膜厚むらの検査装置。表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させながら前記皮膜の外観画像を繰り返し撮像し、該外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の前記皮膜上における位置を特定する位置座標と、前記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納し、前記外観画像が前記移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成し、前記部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて前記皮膜の膜厚むらの有無を検知することを特徴とする膜厚むらの検査方法。複数の前記部分集合に対し、一の位置座標と、該一の位置座標を有する多次元データ毎に輝度の値を用いて演算された演算結果としての合成輝度とからなる合成多次元データを作成し、該合成輝度の分布に基づいて膜厚むらの有無を検知する、請求項5に記載の膜厚むらの検査方法。複数の前記部分集合に対し、一の位置座標と、該一の位置座標を有する多次元データ毎に輝度の値同士を加算しつつ所定値を減算して得られた演算結果としての合成輝度とからなる合成多次元データを作成する、請求項6に記載の膜厚むらの検査方法。前記部分集合に含まれる多次元データの位置座標と輝度とを用いて前記皮膜の疑似外観画像を描画する、請求項5~7のいずれかに記載の膜厚むらの検査方法。特許文献1に記載される方法は、膜厚むら自体を検査する方法ではないため、皮膜上に膜厚むらが存在していても、それに起因する色むらが発生しない限りは膜厚むらを検出することができない。また、特許文献2に記載される方法は膜厚自体を取得する方法であるが、基材表面上の薄膜における光の干渉原理を利用しているため、かかる方法には光源には波長の揃った単色光を用いなければならず、さらに、光の位相特性を適切に計算するため被膜と受光装置との間の空間的位置関係を高精度で観察し、認識しなければならないという制約が伴う。そこで本発明の課題は、部材表面に形成された皮膜の膜厚むらを、光の位相特性を認識することができない場合においても適切に検査することが可能な膜厚むらの検査装置および検査方法を提供することにある。上記課題を解決するために、本発明に係る膜厚むらの検査装置は、表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させる移動手段と、前記部材を前記移動方向に移動させながら前記皮膜の外観画像を繰り返し撮像する撮像手段と、該外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の前記皮膜上における位置を特定する位置座標と、前記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納するデータ格納手段と、前記外観画像が前記移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成する部分集合形成手段と、前記部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて前記皮膜の膜厚むらの有無を検知する膜厚むら検知手段を備えたことを特徴とするものからなる。このような本発明に係る膜厚むらの検査装置によれば、皮膜表面で反射する光と皮膜を透過して部材表面で反射する光との間の干渉による強度変化を含む輝度分布、あるいは部材表面で反射する光の輝度分布を利用して、撮像手段が撮影した画像の輝度分布に基づいて膜厚むらを検査することができる。このような本発明に係る膜厚むらの検査装置においては、複数の前記部分集合に対し、一の位置座標と、該一の位置座標を有する多次元データ毎に輝度の値を用いて演算された演算結果としての合成輝度とからなる合成多次元データを作成するデータ合成手段をさらに備え、前記膜厚むら検知手段が、前記合成輝度の分布に基づいて膜厚むらの有無を検知するように構成することが好ましい。このように、多次元データの部分集合を複数用いて所定の位置座標ごとに輝度の値を合成することにより、撮像される皮膜部分と撮像手段との間の空間的位置関係等の撮像条件の相違に起因して生じるノイズとしての輝度変動を低減あるいは消去することが可能となる。とくに、前記データ合成手段が、一の位置座標と、該一の位置座標を有する多次元データ毎に輝度の値同士を加算しつつ所定値を減算して得られた演算結果としての合成輝度とからなる合成多次元データを作成するように膜厚むらの検査装置を構成することが好ましい。このように、複数の部分集合に属する輝度の値をマイナス方向にシフトさせつつ合成することにより、輝度分布のS/N比を強調し、高いコントラストの輝度分布を得ることが可能となる。また、本発明に係る膜厚むらの検査装置は、前記部分集合に含まれる多次元データの位置座標と輝度とを用いて前記皮膜の疑似外観画像を描画する疑似画像描画手段をさらに備えていることが好ましい。このような被膜の疑似外観画像を描画し表示させることにより、皮膜上の膜厚むらが、およそどのあたりの領域にどの程度の割合で生じているかという多義的情報を視覚的に表現することが可能となるので、検査装置の検知結果の信頼性を高めることが可能となる。また、上記課題を解決するために、本発明に係る膜厚むらの検査方法は、表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させながら前記皮膜の外観画像を繰り返し撮像し、該外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の前記皮膜上における位置を特定する位置座標と、前記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納し、前記外観画像が前記移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成し、前記部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて前記皮膜の膜厚むらの有無を検知することを特徴とする方法からなる。このような本発明に係る膜厚むらの検査方法によれば、皮膜表面で反射する光と皮膜を透過して部材表面で反射する光との間の干渉による強度変化を含む輝度分布、あるいは部材表面で反射する光の輝度分布を利用して、撮像手段が撮影した画像の輝度分布に基づいて膜厚むらを検査することができる。本発明によれば、簡便な機構にて迅速に皮膜の膜厚むらを検知することが可能な膜厚むらの検査装置および検査方法が提供される。以下に、本発明の望ましい実施の形態を、図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施態様に係る膜厚むらの検査装置1を示す概略正面図である。検査装置1は、CCDカメラ等からなる撮像手段2と、蛍光灯等からなる光源3と、可動ステージやローラーコンベア等からなる移動手段4を備えている。移動手段4の上に載置されたガラス基板等の板状部材5の表面にはカラーフィルタ塗膜等からなる皮膜6が形成されており、皮膜6に向けて光源3から可視光が照射される。このような状態にて、板状部材5が移動手段4により移動方向7に向けて移動される。板状部材5の移動中には、板状部材5とともに移動する皮膜6の外観を示す複数の画像が、CCDカメラ等からなる撮像手段7を用いて繰り返し撮像される。図2は、本発明の他の実施態様に係る膜厚むらの検査装置を示す概略平面図である。本実施態様においては、広い面積を有する板状部材25の表面に形成された皮膜26を高解像度で撮像するために、複数の撮像手段2222a~22eが板状部材25の移動方向27と交差する方向に配列されている。図2において、撮像手段22aによる撮像範囲8が破線で示されている。撮像範囲8は、撮像手段22aの撮像方向と皮膜26のなす角度に対応した台形となるが、皮膜26が撮像されない部分や隣接する撮像手段22bがカバーする部分の画像データは検査に使用されず、長方形の画像使用部分9の画像データのみが検査のために供される。図3は、図2の膜厚むらの検査装置を用いた疑似外観画像を描画する手順の一例を説明する説明図であり、Aは歪み補正前の皮膜の外観画像10、Bは歪み補正後の皮膜の外観画像11、CはBの外観画像のデータから作成された皮膜の疑似外観画像12を示している。図2を用いて説明したように、撮像手段22の撮像範囲は上底側に向けて広がる台形となるが、図3Aに示すように撮像手段22の視野13自体は長方形をなすので、皮膜26の外観画像の視野により得られる皮膜の外観画像10は下底側に向けて広がる台形となる。皮膜の外観画像10は、図3Bに示すように歪み補正がなされる。この歪み補正は、台形の外観画像10を、本来の皮膜の形状である長方形へと補正するものである。撮像手段22の設置位置、撮像手段22の視野角および皮膜6の変位を把握できれば、外観画像10中の各画素を皮膜6上の位置に関連付けることができるので、例えば、各画素を特定するための画素番号の配列X,Yと、各画素にて撮像された皮膜6の一部分の皮膜6上における位置を特定する位置座標x,yとの間の関係式を予め求めておき、各画素における輝度の値を8bit,256階調のグレースケールとして位置座標x,y上に表示することによって、歪み補正後の皮膜の外観画像11を得ることができる。なお、本発明において画素とは、狭義では画像中で画像情報を有する最小単位をいうが、広義では、複数の画素をまとめて1つの画素グループとし、当該画素グループに画素情報の代表値を与えた場合の各画素グループをも含むものとする。従って、上記歪み補正に際し、長方形の外観画像11における狭義の画素密度が上辺側よりも下辺側で密となるが、データ処理効率の観点から画素グループを適宜形成し、あるいはデータを間引くなどして歪み補正後の外観画像11の画素密度を画像全体にわたって均一化してもよい。また、図3Bにおいては、歪み補正後の皮膜の外観画像11を表示させているが、これは画像データの処理手順を理解しやすくするためのものであって、膜厚むらの検査を実施するに際しては、必ずしも外観画像11を表示させる必要はなく、各パラメータを演算するにとどめてもよい。すなわち、輝度を変数Zで示した場合に,多次元データX,Y,Z,x,yの配列を記憶媒体等のデータ格納手段に格納しておけば、外観画像11をいつでも表示できるようになる。図3Cにおいては、図3Bの外観画像11が板状部材25の移動方向27に分割されてなる分割画像領域1414a~14d中の画素に対応する画素番号を有する多次元データX,Y,Z,x,yを各分割画像領域14に分けて各部分集合を形成し、各部分集合に含まれる多次元データX,Y,Z,x,yの位置座標x,yと輝度Zとを用いて、皮膜26の疑似外観画像1212a~12dが描画されている。疑似外観画像12においては、撮像される皮膜6の部分と撮像手段22との間の空間的位置関係特に、光源からの光が皮膜6で反射して撮像手段22で検知される際の反射角の等しい多次元データX,Y,Z,x,yが抽出されているので、各画素における輝度Zの値を8bit,256階調のグレースケールとして位置座標x,y上に表示することによって、皮膜6全体にわたって均一な撮像条件下で撮像された画像データ輝度からなる疑似外観画像12を得ることができる。撮像条件が皮膜6全体にわたって均一であることから輝度分布のバックグラウンドも均一であるため、疑似外観画像12中に輝度むらが存在する場合には高感度にて輝度むらを検出することが可能である。そして、この輝度むらの存在を根拠として、皮膜6上の対応箇所に膜厚むらが存在すると判定することができる。以上のような疑似外観画像12の描画操作を概念的に説明すれば、図3Bの分割画像領域14a~14dを複数の外観画像1111a,11b,11c,から切り取って、板状部材25の移動方向27に沿って並べたモンタージュ写真を描画するようなものであるといえる。図4は、図2の膜厚むらの検査装置を用いたデータ合成の手順の一例を説明する説明図であり、Aはデータ合成前の単一の輝度分布、BはAの輝度分布から所定値だけ輝度の値を減算した輝度分布、Cは5つの輝度分布を合成した後の合成輝度分布を示している。例えば、図3Cに示した疑似外観画像12a~12dの画像データ輝度を他の疑似外観画像12の画像データ輝度と合成するに際し、疑似外観画像12の輝度分布に図4Aに示すような輝度むら15が見られる場合には、疑似外観画像12a~12dの画像データの輝度分布にも、対応する位置座標近傍に輝度むらが検出される可能性が高い。そこで、図4Bに示すように輝度むら15を含む輝度分布から予め所定値を減算した輝度分布16を求めておき、図4Cに示すように輝度むらを含む輝度分布同士を輝度の加算により重ね合わせつつ16a~16d、輝度むら15における輝度とバックグラウンドにおける輝度との間の差を輝度むら15dにまで増幅し、疑似外観画像12のグレースケール表示における階調差を強調することにより、輝度むらを高感度で検出しやすくすることが可能である。また、膜厚むらの検査装置を用いて未知の皮膜の膜厚むらを検査するに先立って、既知の膜厚むらが存在する皮膜の膜厚むらを予備的に検査し、検査装置の特性を把握しておくことも有用である。この予備的な検査によって、膜厚むらの有無を検知しやすい有効画像領域を把握し、図3Cの疑似外観画像12を描画するために設定する分割画像領域14を上記有効画像領域に設定することで、膜厚むらの検査をより効率的に実施することが可能となる。上記説明では、表面に皮膜が形成された部材として、ガラス基板を例示したが、透光性のある樹脂基板にも適用できる。また、本発明は、赤色、青色、緑色又は他の色のカラー皮膜や、透明薄膜の膜厚むら検査にも適用できる。図5は、本発明の一実施態様に係る膜厚むらの検査方法を示す概略フロー図である。図5に記載されるように、基板が移動手段の上に載置されて移動している状態にて、基板上に形成された皮膜の外観画像が撮影される。撮影された画像のデータは、外観画像中の各画素を特定するための画素番号の配列X,Yと、各画素にて撮像された皮膜部分の皮膜上における位置を特定する位置座標x,yと、各画素における輝度の値とを含む多次元データX,Y,Z,x,yとして格納される。このような画像撮影撮像操作およびデータ格納操作は、十分な枚数の外観画像が撮影されて、基板上の皮膜全体にわたって十分な量の上記多次元データが格納されたと判定された後に完了する。撮像操作が完了およびデータ格納操作が終了すると、移動手段が停止することにより、基板の移動が停止される。格納された上記多次元データは、画像処理に供される。具体的には、外観画像を皮膜の移動方向に沿って複数の画像領域に分割し、分割された各画像領域内の画素に対応する画素番号を含む多次元データを抽出する。抽出された多次元データX,Y,Z,x,yの部分集合は所定の分割画像領域内に画素番号X,Yを有するものであるから、当該部分集合に含まれる多次元データは、撮像条件撮像角度が相互に近接したものとなる。このように撮像条件撮像角度が比較的近接した多次元データの輝度Zの値を位置座標x,y上に表示することによって、皮膜全体の疑似的外観を示す疑似外観画像を得ることができる。この疑似外観画像の輝度分布から輝度むらを検出することによって、膜厚むらが検知される。膜厚むらを検知した後は、移動手段上から基板を取り去り、例えば次の基板試料の検査に備える。なお、上記多次元データから上記疑似外観画像を得る操作に先立って、多次元データの合成を行ってもよい。図5に示されるように、抽出された多次元データX,Y,Z,x,yの輝度Zの値に対し、同じ位置座標x,yごとに平均化演算の処理を施すことによって、撮像手段としてのカメラ等の影響による電気的ノイズを緩和することが可能である。また、抽出された多次元データX,Y,Z,x,yの輝度Zの値に対しては、上記平均化演算に代えて、あるいはそれに加えて強調化演算の処理を施してもよい。例えば、多次元データX,Y,Z,x,yの輝度Z同士を加算して輝度Zの和を算出しつつ、所定値を減算することによって、輝度のS/N比を向上させて輝度むらを強調することが可能である。なお、上記説明では皮膜全体の疑似的外観を示す疑似外観画像を1つだけ描画する方法を示したが、図5における多次元データの抽出操作を複数の撮像角度範囲について繰り返すことにより、疑似外観画像を複数描画することができる。このようにして得られた複数の疑似外観画像における輝度分布を観察することで、より高精度かつ高感度の膜厚むら検知が可能となる。"