スパッタリングターゲットの第1の構成要素の結合面をスパッタリングターゲットの第2の構成要素の結合面に接合する方法であって、以下のステップ、すなわち、第1の構成要素および第2の構成要素を用意し、第1の構成要素および第2の構成要素の少なくとも硬質な方は、同じ結合面の少なくとも1つの他の部分に対して突出し、アンダーカット部を有する少なくとも1つの部分をその結合面に有するステップと、前記第1の構成要素の前記結合面および前記第2の構成要素の前記結合面を互いに対接させて配置するステップと、前記第1の構成要素および前記第2の構成要素を互いに向かって加圧することで、前記第1の構成要素の前記結合面の領域および前記第2の構成要素の前記結合面の領域の少なくとも一方の材料を塑性変形させて、前記第2の構成要素および前記第1の構成要素の相互結合が得られる程度まで、少なくとも1つのアンダーカット部を少なくとも部分的に埋めるステップと、を含み、上記において、接合される表面領域の大部分で相互結合する以外に接合を形成するいかなるステップもない、方法。前記第1の構成要素は支持体であり、前記第2の構成要素はターゲットセグメントである、請求項1に記載の方法。前記第1の構成要素の前記結合面および前記第2の構成要素の前記結合面の1つは加圧する直前において平坦である、請求項1に記載の方法。すべての、またはほぼすべてのアンダーカット部は、前記加圧ステップ時に、完全に、またはほぼ完全に埋められる、請求項1に記載の方法。少なくとも前記接合される表面領域の大部分ははんだがない、請求項1に記載の方法。拡散接合が任意の実用的な程度まで発生し得ない条件で実施される、請求項1に記載の方法。前述のステップは、前記第1の構成要素の前記結合面と前記第2の構成要素の前記結合面との間の接合を形成する唯一のステップである、請求項1に記載の方法。前記相互結合は唯一の結合メカニズムである、請求項1に記載の方法。前記ステップは、保護雰囲気下または真空下で実施されない、請求項1に記載の方法。圧力は、前記第1の構成要素の前記結合面および前記第2の構成要素の前記結合面に対して主に垂直方向にかけられる、請求項1に記載の方法。前記加圧ステップは、湾曲があるパンチを有する型で実施されて、加圧時に、前記型内にある、結合される前記第1の構成要素および第2の構成要素に同じ湾曲を付与する、請求項1に記載の方法。前記第1の構成要素は支持プレートである、請求項1に記載の方法。前記少なくとも1つの突出部分は、1つまたは複数の隆起の形態で設けられる、請求項1に記載の方法。前記隆起は、複数の同心円として設けられる、請求項13に記載の方法。前記隆起の断面は略T字形状とされる、請求項13に記載の方法。突出部分は規則的なパターンで設けられる、請求項1に記載の方法。前記少なくとも1つの突出部分は、前記第1の構成要素に設けられる、請求項1に記載の方法。前記第1の構成要素は、銅または銅合金で作製される、請求項1に記載の方法。前記第2の構成要素は、アルミニウム、リチウム、マグネシウム、銀、金、インジウム、スズ、タリウム、鉛、ビスマス、アンチモン、カドミウム、ナトリウム、カリウム、ベリリウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、テルリウム、またはこれらの元素の化合物からなる群からの材料の1つ、あるいは材料の組み合わせ、混合物、または合金で作製される、請求項1に記載の方法。前記第2の構成要素は、アルミニウムまたはアルミニウム合金で作製される、請求項19に記載の方法。前記加圧は、室温と300°Cとの間の温度で実施される、請求項1に記載の方法。前記加圧は、200°C~300°Cの温度で実施される、請求項21に記載の方法。前記第1の構成要素の前記結合面および前記第2の構成要素の前記結合面に対して垂直な方向に加えられる圧力成分は、前記第1の構成要素の前記結合面および前記第2の構成要素の前記結合面の接合される部分の領域全体で測定して、20MPa~120MPaである、請求項1に記載の方法。前記接合は無効化可能である、請求項1に記載の方法。加工条件および/または前記少なくとも1つの突出部分の幾何学的特徴は、前記接合が、前記第1の構成要素および前記第2の構成要素の機械的分離によって無効化可能なように選択される、請求項24に記載の方法。第1の結合面を有するスパッタリングターゲットの第1の構成要素と、第2の結合面を有するスパッタリングターゲットの第2の構成要素とを含み、前記第1および第2の結合面が互いに接合されるアセンブリであって、前記第1および第2の結合面がそれぞれ、アンダーカット部を有する少なくとも1つの突出部分を含み、前記第2の構成要素を前記第1の構成要素と相互結合することで、少なくとも、接合強度の大部分が得られ、はんだ接合および/または拡散接合は、わずかに存在する接合メカニズムであるか、またははんだ接合および/または拡散接合は全く存在しない、アセンブリ。前記相互結合は唯一の接合メカニズムである、請求項26に記載のアセンブリ。請求項26または27に記載のアセンブリのスパッタリングプロセスでの使用。両技術では、支持体およびターゲットセグメントには、隆起および対応する溝が設けられる。これには、これらの溝および隆起を形成する加工ステップの追加を必要とすると同時に、高い純度および/または厳密な組成のためにきわめて高価なことが多いターゲット材料が機械的に除去され、無駄になることから、さらなるコストを課すという欠点がある。使用済みのターゲットを廃棄するときにさらなる問題が生じる。上記の2つの技術の場合、複数の材料で構成され、場合によってははんだで汚染された部片が使用後に残り、使用済みのスパッタリングターゲットのリサイクルを困難かつ高価にしている。したがって、本発明の目的は、上記のまたは他の欠点の1つ以上の問題解決手段を提供することである。このために、本発明は、スパッタリングターゲットの第1の構成要素の結合面をスパッタリングターゲットの第2の構成要素の結合面に接合する方法を提供し、その方法は、以下のステップ、すなわち、第1の構成要素および第2の構成要素を用意し、それらのうちの硬質な方は、同じ結合面の少なくとも1つの他の部分に対して突出し、アンダーカット部を有する少なくとも1つの部分をその結合面に有するステップと、第1の構成要素の結合面および第2の構成要素の結合面を互いに対接させて配置するステップと、第1の構成要素および第2の構成要素を互いに向かって加圧することで、第1の構成要素の結合面の領域および第2の構成要素の結合面の領域の少なくとも一方の材料を塑性変形させて、第2の構成要素および第1の構成要素の相互結合が得られる程度まで、少なくとも1つのアンダーカット部を少なくとも部分的に埋めるステップとを含み、方法は、接合される表面領域の大部分で相互結合する以外に、接合を形成するステップを有さない。これには、スパッタリングターゲットの2つの構成要素を接合するための、単純かつ安価で耐熱性のある方法を提供するという利点があり、この方法は、それに加えて、保護雰囲気を必要とすることなく、またははんだを必要とすることなく実施することができる。本発明による方法の実施形態では、第1の構成要素は支持体であり、第2の構成要素はターゲットセグメントである。これには、同様に、単純な構造を有するスパッタリングターゲットを安価かつ容易に接合できるという利点がある。別の実施形態では、本発明による方法は、説明した3つのステップで構成される。さらなる実施形態では、第1の構成要素の結合面および第2の構成要素の結合面の1つは平坦である。これには、突起または溝をこの結合面に設ける必要をなくして、他方の結合面だけに設けて、加工コスト、および本来なら無駄になる材料を節約することで、より多くのお金が節約されるという利点がある。さらに別の実施形態では、相互結合は唯一の結合メカニズムである。これは、はんだを供給する必要が全くないので有益である。さらに、拡散接合を使用した場合に起こる、界面での材料の相互間汚染が全く発生せず、リサイクルを容易にする。特定の実施形態では、接合される表面領域の大部分ははんだがなく、拡散接合は、任意の実用的な程度まで発生することがない。別の特定の実施形態では、説明したステップは、保護雰囲気下または真空下で実施されない。1つの利点は、保護雰囲気または真空を、関連する閉じたチャンバと共に用意する必要がないので、この実施形態がより安価かつ容易であることである。本発明の別の態様では、加圧ステップは、湾曲があるパンチを有する型で実施されて、加圧時に、型内にある、接合される第2の構成要素および第1の構成要素に同じ湾曲を付与する。これには、接合される第2の構成要素および第1の構成要素の所望の湾曲、例えば、構成要素の1つの平坦な面を得ることができる、または第2の構成要素および第1の構成要素を含むスパッタリングターゲットの使用時の特性を最適化する特定の湾曲を得ることができるという利点がある。このために、パンチの湾曲は、その中でも、使用される材料の熱膨張係数を考慮して、結合される第2の構成要素および第1の構成要素の所望の湾曲に合わせる必要がある。特定の実施形態では、突出部分は隆起であり、隆起の断面は略T字形状とされる。これには、製造が比較的容易であり、特定の事例で使用される材料の特定の特性をできる限り考慮して、加圧時の材料の挙動、接合強度、および接合弾性の良好な制御および最適化を可能にするという利点がある。別の特定の実施形態では、様々なステップの温度、時間、および圧力、ならびに前処理または後処理の有無などの加工条件と、少なくとも1つの突出部分の大きさ、形状、および間隔などの幾何学的特徴とは、接合が機械的手段によって無効化可能であり、第1の構成要素が、その幾何学的形状を変える作業なしに接合を無効化した後、再利用することができるように選択される。これには、新たな第2の構成要素との接合のために、新たな第1の構成要素を作製する必要がなくて、第1の構成要素を数回使用することができるという利点がある。この実施形態は、接合される表面領域の大部分ははんだがなく、拡散接合が、任意の実用的な程度まで発生することがない前述の実施形態と組み合わせることができる。この組み合わせにより、有利にも、使用後に残った第2の構成要素の化学汚染が最小限になるので、浄化プロセスで第2の構成要素をリサイクルするのがより容易に、かつより安価になる。本発明はまた、第1の結合面を有するスパッタリングターゲットの第1の構成要素と、第2の結合面を有するスパッタリングターゲットの第2の構成要素とを含み、第1および第2の結合面が互いに接合されるアセンブリであって、第1および第2の結合面がそれぞれ、アンダーカット部を有する少なくとも1つの突出部分を含み、第2の構成要素を第1の構成要素と相互結合することで、少なくとも、接合強度の大部分が得られることを特徴とするアセンブリに関する。本発明の特徴をより良好に示すことを意図して、以下に限定的な性格の全くない例として、ターゲットセグメントを支持プレートに接合する方法が、以下の図を用いて説明され、示される。図1に示すように、93HBWの硬度を有する銅製ディスクが支持プレート1として提示され、14HBWの硬度を有する、純度99.9995の若干小さい方のアルミニウムディスクがスパッタリングターゲットセグメント2として提示されている。相互接合を意図して、支持プレート1は第1の結合面3を有し、ターゲットセグメント2は第2の結合面4を有する。支持プレート1は第1の後面5を有し、ターゲットセグメント2は第2の後面6を有する。支持プレート1には、第1の結合面3に複数の隆起7が設けられ、隆起7は、この面3に同心パターンで配置されている。図2に示すように、ターゲットセグメント2は、隆起7または他の突起を有さず、平坦な結合面4を有する。隆起7は略T字形状とされ、一方の端部が第1の結合面3に連結された軸8と、中央部よりも端部で若干細くなっており、中央部で軸8の他方の端部に連結されたクロスバー9とで構成されると考えることができる。隆起7は、対応する溝10から機械加工で材料を除去することで形成される、または形成することができるが、異なる態様で同様に形成されてもよい。隆起7は、溝10の一部であるアンダーカット部11を有する。ターゲットセグメント2の直径は約30cmである。提示した隆起7は5.2mm離間し、第1の結合面3から2mm突出している。軸8は長さおよび幅が1mmであり、隆起7の上部の幅は2.4mmである。クロスバー9は、両端で厚さが約0.6mmである。支持プレート1およびターゲットセグメント2は、明瞭にするためにパンチ12、13のみが図3に示されている型内の所望に位置に配置される。加圧時に第1の後面5、および第2の後面6に力を作用させる、型の2つのパンチ12、13は若干湾曲しており、パンチの一方が凹形、他方が凸形であり、2つのパンチは、互いに合致するのが好ましい。この特定の事例では、加圧時に支持プレート1と接触するパンチ13が凸形である。支持プレート1、ターゲットセグメント2、および型要素、その中でもパンチ12、13は、加熱炉内で250°Cまで加熱される。これは、型を組み立てて、支持プレート1およびターゲットセグメント2を型に配置する前または後に行うことができる。プレス機を用意する。加熱した型が支持プレート1およびターゲットセグメント2と共にプレス機に置かれ、ターゲットセグメント2と支持プレート1との間の接触領域全体で測定して約56MPaの圧力で、図の矢印Pで示す方向に、6分にわたって加圧される。すべての作業は大気雰囲気条件で、つまり空気中で、保護雰囲気を全く必要とすることなく行われる。この加圧ステップ時に、図4に示すように、第2の結合面4の領域の材料は塑性変形されて、アンダーカット部11を含む溝10を埋め、それにより、支持プレート1とターゲットセグメント2との間を相互結合する。この事例では、溝10とアンダーカット部11によって形成された空所とを完全に埋めているが、これが常に必要なわけではなく、本発明の方法の必要な条件でもない。溝10およびアンダーカット部11がより高い程度まで埋められた場合、接合作用はより強力になり、支持プレート1とターゲットセグメント2との間の熱的接続が改善され、接合された支持プレート1およびターゲットセグメント2を使用している間に空気の介在により起こり得る問題を減らすことができる。一般に、好ましいのは、アンダーカット部11が少なくとも50まで埋められた場合であり、それに対して、アンダーカット部11が90以上埋められた場合に、より良好な結果が得られる。支持プレートとターゲットセグメントとの間にはんだを供給する必要は全くないが、接合とは別の理由で、本発明の範囲から逸脱することなく、ある程度のはんだが局所的に供給されてもよい。また、加圧ステップ時に、支持プレート1およびターゲットセグメント2が、パンチ12、13の湾曲により半径方向に若干湾曲する。この特定の事例では、第1の結合面3は若干凸形になる。加圧ステップ後、接合された支持プレート1およびターゲットセグメント2は冷却することができ、冷却時に、材料の熱膨張係数の差と、加圧時に支持プレート1およびターゲットセグメント2に付与された湾曲とのために、支持プレート1およびターゲットセグメント2はほぼ平坦になる。当然ながら、パンチ12、13の湾曲は、必要に応じて、残存湾曲として凹形または凸形のいずれかが残るように構成することができる。接合強度は約20MPaであると確認された。加圧は必ずしも高温で実施される必要はなくて、室温でも行うことができるが、圧力を高くしなければならず、したがって、より強力で、より高価なプレス機が必要になることがある。使用可能な条件は、慣例の実験を通じて求めることができる。接合された支持プレート1およびターゲットセグメント2のアセンブリは、次に、スパッタリングターゲットを形成するために、当業界で公知の作業によりさらに加工することができる。支持プレート1とターゲットセグメント2との間を接合するさらなるステップを行う必要はない。より具体的には、拡散接合ステップは全く必要なく、したがって、保護雰囲気または真空中での高温加工ステップは全く必要ない。真空気密性を保証するために、接合された表面領域の外側境界を当業界で公知の方法によって封止することができる。上記の例では、ターゲットセグメント2および支持プレート1というただ2つの構成要素を接合して、スパッタリングターゲットを形成する。しかし、スパッタリングターゲットの2つを超える構成要素も同様に接合できることは、本発明の範囲内である。例えば、より軟性の材料からなる中間層である第3の構成要素をターゲットセグメント2と支持体1との間に設けて、ターゲットセグメント2および支持体1を接合することができる。あるいは、両面に隆起を有する層である硬質の第3の構成要素を使用して、より軟質のターゲットセグメント2をより軟質の支持体1に接合することができる。1つ以上の中間構成要素を用いた接合は、構成要素のすべてが同時に接合される1つの加圧ステップで行われてよいし、または構成要素が1つずつ互いに接合され、場合によっては、中間加工が、独立した加圧プロセスの合間に行われる複数の加圧ステップで行われてもよい。この場合に、作業は、表面に薄い酸化物層を生じさせる大気雰囲気中において低温で実施されるため、金属間の分子接触と高温であることとを必要とする拡散接合が起こるとは考えられない。使用後、支持プレート1およびターゲットセグメント2の残部は、十分な力を加えることで再度分離することができる。ターゲットセグメント2の残部は、このステップで機械的な損傷を受けるが、拡散接合またははんだ付けがないために化学汚染を全く含まないか、またはほんのわずかに含むだけなので、化学および/または冶金プロセスによって容易かつ安価にリサイクルすることができる。支持プレート2は、機械的な損傷を実質的に受けないままであり、再使用することができる。隆起10の寸法、間隔、および分布は、所望の加圧条件で接合される材料の機械特性に合わされて、加圧時に加えられる圧力による、弱い方の材料の良好な塑性変形と、十分な接合強度と、使用後の接合された支持プレート1およびターゲットセグメント2の比較的容易な分離とを同時に保証することができる。例えば、硬度、降伏応力、および破壊応力などの材料の機械特性の基本的な知識により、当業者は、どの幾何学的形状が特定の状況で使用可能であるかを判断することができる。例えば、硬度によって表されるような、支持体1とターゲットセグメント2との間の機械特性が大きく異なることは、方法を容易に適用するのに有益である。硬度が相違しなければならない範囲は、隆起または他の突起の幾何学的形状、および使用される軟質の方の材料の耐力強度によっても決まる。一般に、硬度差が少なくとも20HBWある場合に良好な結果が得られ、硬度差が少なくとも40HBWある場合に、より良好な結果が得られ、硬度差が60HBW以上の場合にさらに良好な結果が得られる。加圧後に、必要に応じて、焼き戻しステップを追加して、ターゲットセグメント2の変形した材料を再結晶させるために使用することができる。上記の加圧条件で、上記の材料を用いた場合、加圧中に再結晶化がすでに起こっており、したがって、そのようなステップはなくてもよい。説明した方法は、説明した材料に限定されるのではなくて、スパッタリングで使用される他の材料でできた支持体1およびターゲットセグメント2と共に使用することができる。これらの材料は、例えば、銅、アルミニウム、リチウム、マグネシウム、銀、金、シリコン、インジウム、スズ、タリウム、鉛、ビスマス、アンチモン、カドミウム、ナトリウム、カリウム、ベリリウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、テルリウム、またはこれらの元素の化合物のうちの1つ、あるいはそれらの組み合わせ、混合物、または合金とすることができる。合金という単語の通常の冶金学的使用と同様に、特定の金属の合金には、かなりの、特に、主要な部分をなすこの特定の金属と他の組成物とを、これらの他の組成物が上記の金属の一部をなしてもなさなくても含有する合金も含まれると考えられる。適切なアルミニウム合金の例として、AlSi1、AlSi1Cu0.5、およびAlCu0.5があり、数字は合金元素の重量百分率を示す。銀などの一部の限られた材料は、この例で使用したような条件においても拡散接合を示すことがある。リサイクルを行うために拡散接合を回避しなければならない場合、拡散接合を回避するために、非常に薄いコーティングを支持体および/またはターゲットセグメントに施すことができる。特定の事例では、本発明の範囲から逸脱することなく、1つ以上の異なる材料の層、例えば、第1の結合面3の近くで良好な接合をもたらす変形可能な材料の層と、十分な剛性を付与する、この面3からより遠く離れた、より強度の高い材料の層とで構成される、支持体1を使用することができる。同様に、異なる材料の複数の層で構成されるターゲットセグメント2を使用することができる。これらの異なる層間の接合は、従来の技術で、または本発明に従って行うことができる。この例では、1つの移動パンチを含む一方向プレス機が加熱なしで使用された。型および/または加圧される材料を加熱するシステムと、複数の移動パンチまたはロールとを設けたものを含む他のプレス機を使用できるのは明らかである。支持体1およびターゲットセグメント2の軟質の方の結合面を平坦に保つことは、その場合、第2の結合面4に加工を行う必要が全くないために、一般に、より安価である。しかし、本発明による方法は、支持体1およびターゲットセグメント2のうちの軟質の方の平坦でない第1の結合面3または第2の結合面4を用いて、すなわち、他方の結合面4、3の溝10と部分的にまたは完全に合致する突起を含むように作製された上記の軟質の方の第1の結合面3および第2の結合面4を用いて同様に実施することができる。本発明は、本明細書で上記に説明した様々な方法に決して限定されるものではなくて、そのような改良された方法は、本発明の範囲から外れることなく、様々な形態で具現化することができる。