"複数の空気孔を同心円状に複数列配置した空気孔部材と、複数の前記空気孔に燃料を噴出する複数の燃料ノズルとを備えたバーナであって、前記空気孔部材に同心円状に複数列配置された前記空気孔のうち、内周側から一列目の空気孔列を構成する空気孔が、バーナ中心軸に対して傾斜した空気孔中心軸を有し、先端が前記一列目の空気孔入口より下流側に配置された第一の燃料ノズルと、先端が前記一列目の空気孔入口より上流側に配置された第二の燃料ノズルとを備え、前記一列目の空気孔に燃料を噴出する前記燃料ノズルとして、前記第一の燃料ノズル及び前記第二の燃料ノズルが周方向に交互に配置されていることを特徴とするバーナ。複数の空気孔を同心円状に複数列配置した空気孔部材と、複数の前記空気孔に燃料を噴出する複数の燃料ノズルとを備えたバーナであって、前記空気孔部材に同心円状に複数列配置された前記空気孔のうち、内周側から一列目及び二列目の空気孔列を構成する空気孔が、バーナ中心軸に対して傾斜した空気孔中心軸を有し、先端が空気孔入口より下流側に配置された第一の燃料ノズルと、先端が空気孔入口より上流側に配置された第二の燃料ノズルとを備え、前記一列目及び前記二列目の空気孔に、前記第一の燃料ノズル及び前記第二の燃料ノズルを周方向に交互に配置することを特徴とするバーナ。複数の空気孔を同心円状に複数列配置した空気孔部材と、複数の前記空気孔に燃料を噴出する複数の燃料ノズルとを備えたバーナであって、前記空気孔部材に同心円状に複数列配置された前記空気孔のうち、内周側から一列目の空気孔列を構成する空気孔が、バーナ中心軸に対して傾斜した空気孔中心軸を有し、先端が前記一列目の空気孔入口より下流側に配置された第一の燃料ノズルと、先端が前記一列目の空気孔入口より上流側に配置された第二の燃料ノズルとを備え、前記一列目の空気孔のうち対角に配置された空気孔に燃料を噴出する前記燃料ノズルとして、前記第一の燃料ノズルが配置されていることを特徴とするバーナ。請求項1から3のいずれか一項に記載のバーナを中央バーナとして備え、前記空気孔部材に同心円状に複数列配置された複数の空気孔と該複数の空気孔に燃料を噴出する複数の燃料ノズルとを備えたバーナを、前記中央バーナの外周に複数備えたことを特徴とするバーナ。請求項1から3のいずれか一項に記載のバーナを複数備えたことを特徴とするバーナ。空気孔部材に複数の空気孔が同心円状に複数列配置され、前記空気孔から燃料と空気を噴出して火炎を形成するバーナの運転方法であって、前記空気孔部材に同心円状に複数列配置された前記空気孔のうち、内周側から一列目の空気孔列を構成する各空気孔から噴出する燃料と空気によって、予混合火炎と拡散火炎とを周方向に交互に形成することを特徴とするバーナの運転方法。ガスタービン燃焼器では、拡散燃焼型燃焼器から予混合型燃焼器に移行することによって、大幅にNOx排出レベルが低減した。しかし、ガスタービンは起動から定格負荷まで幅広い条件で運転を行う必要があるため、燃焼器中央部には燃焼安定性の高いパイロットバーナが配置されている。パイロットバーナには幅広い条件で安定に火炎を燃焼させるため、特許文献1では拡散バーナが用いられている。特許文献1に係るガスタービン燃焼器は、拡散燃焼型燃焼器に比べてガスタービン全体としてのNOx排出量は大きく削減されている。但し、パイロットバーナに拡散燃焼方式を採用しているため、NOx削減量には限界があった。さらなるNOx低減のためには、パイロットバーナを拡散バーナからNOx排出量の少ないバーナに換える必要があり、パイロットバーナには高い燃焼安定性と低NOx性能の両立が求められる。本発明の目的は、高い燃焼安定性を備え、かつNOx排出量を少なくすることである。本発明は、複数の空気孔を同心円状に複数列配置した空気孔部材と、複数の前記空気孔に燃料を噴出する複数の燃料ノズルとを備えたバーナであって、前記空気孔部材に同心円状に複数列配置された前記空気孔のうち、内周側から一列目の空気孔列を構成する空気孔が、バーナ中心軸に対して傾斜した空気孔中心軸を有し、先端が前記一列目の空気孔入口より下流側に配置された第一の燃料ノズルと、先端が前記一列目の空気孔入口より上流側に配置された第二の燃料ノズルとを備え、前記一列目における前記第一の燃料ノズル及び前記第二の燃料ノズルを周方向に交互に配置することを特徴とする。本発明により、高い燃焼安定性を備え、かつNOx排出量を少なくすることができる。以下、本発明の実施例を説明する。図1に、実施例1におけるバーナの側面図および正面図、Y-Y断面図を示す。図1bのバーナ正面図は、空気孔部材31を燃焼室1から見た場合の図である。図1aの側面図は、図1bのX-X断面における図である。また、図1cは図1bのY-Y断面における図である。本実施例において全ての空気孔にはバーナ中心軸に対して傾斜した中心軸を有している。具体的には、図1cに示すように、一つ一つの空気孔の流路中心軸が空気孔部材の円周方向に傾斜している。そのため、空気孔部材31をX-X断面で切断した場合、外見上、空気孔の傾斜が図1aのように表される。本実施例のバーナ100は、下流側の燃料ノズルに燃料を分配する燃料ヘッダ30と、燃料ヘッダ30に接続され、空気孔に燃料を噴出する複数本の燃料ノズル32,33と、複数個の空気孔34,35が設けられた空気孔部材31とを備える。空気孔部材31は燃焼室1の上流側壁面に配置されている。また、燃料ヘッダ30は円筒状の燃料ヘッダ収納部70に収納されている。そして、燃料ヘッダ収納部70には、燃料ヘッダ30より上流側に空気流入孔71が設けられている。本実施例では、燃料としてガス燃料を使用する。空気孔34,35にはバーナ100の中心軸に対して空気流路中心軸が傾斜するように設けられており、空気流入孔71から流入した空気45は空気孔34,35を通過して燃焼室1に噴出し、バーナ下流に旋回流41を形成する。旋回流41の中心には循環流50が生じ低流速領域ができるため、低流速領域を起点に火炎を保持することができる。バーナの正面図に示されるように、本実施例ではバーナ面中心から同心円状に2列の空気孔が配置されている。なお、図1bの場合、バーナ面中心は円形の空気孔部材31における中心点となる。燃料ヘッダ30に流入した燃料42は、複数の燃料ノズル32,33に分配される。燃料ノズル32は空気孔34と1対の組となり、燃料ノズル33は空気孔35と1対の組となっており、各燃料ノズルから噴出した燃料噴流は空気孔を通過して燃焼室1に流入する。また、個々の組合せにおいて燃料ノズルの中心軸は空気孔の上流側端面に位置する空気孔入口の中心軸付近を通過する位置関係にある。ここで、燃料流れ方向上流側における空気孔部材31の面即ち、図1の側面図における空気孔部材の左側面に、空気孔入口が設けられている。また、空気孔入口に形成された面の中心点を通り、空気孔部材31に対して垂直に形成された軸を空気孔入口の中心軸と定義する。バーナの正面図に示されるように、燃料ノズル33と組になっている空気孔35は、同心円状に2列ある空気孔列のうち1列目51のみに配置されると共に、燃料ノズル32と組になっている空気孔34と交互に配置されている。図2は、1列目51の空気孔および燃料ノズルの一部を周方向に展開した図を示す。燃料ノズル32と空気孔34の組合せについて説明する。燃料ノズル32の先端は空気孔34の入口付近に配置されている。具体的には、燃料ノズル32の先端は空気孔34の入口上流側端面に対し、さらに上流側に位置している。そのため、燃料ノズル32から噴出した燃料噴流43は、空気孔34に流入する。空気孔34の内部では、空気孔34に流入してきた空気45が燃料噴流43の周りを取り囲んだ状態で流れ、燃料噴流43と空気45が混合しながら燃焼室1に噴出される。空気孔34から燃焼室1に噴出する時点で燃料噴流43と空気45の混合が進んでいるため、空気孔34の下流領域46に形成される火炎は予混合火炎となり、NOxの排出量は少なくなる。次に、燃料ノズル33と空気孔35の組合せについて説明する。燃料ノズル33の先端は空気孔35の入口付近に配置されている。具体的には、燃料ノズル33の先端は空気孔35の入口上流側端面に対し下流側に位置し、空気孔35の内部に挿入されている。これにより空気孔35の上流側に設けられた空気孔入口部49の開口面積が燃料ノズル33によって狭められるため、空気孔34に流入する空気量に比べて空気孔35に流入する空気量が相対的に少なくなる。また、燃料ノズル33を、旋回角を施した空気孔内に挿入することによって、燃料ノズル33から噴出される燃料噴流44が空気孔35の内壁面に衝突し、空気孔35の内壁面に沿って下流側に流れる。そのため、燃料ノズル32と空気孔34の組合せに比べ、燃料噴流44と空気45が混合せずに燃焼室1へ噴出される。燃料ノズル33の先端部には先細りのテーパ形状が施されているため、燃料ノズル33の先端部に生じる空気45の乱れを抑制することができ、燃料噴流44と空気45の混合を抑制することができる。図2より、空気孔の傾斜角は少なくとも燃料ノズル33から噴出した燃料が空気孔内壁に衝突できる程度の角度が望ましい。バーナ中心軸に対する空気孔中心軸の傾斜角度が小さすぎると、燃料ノズル33から噴出した燃料は空気孔内壁に衝突せずに燃焼室1へ排出されるためである。また、空気孔部材の厚みは、空気孔傾斜角との関係で燃料ノズル33から噴出した燃料が空気孔内壁に衝突できる厚みを要する。空気孔部材の厚みが薄すぎても、燃料が空気孔内壁に衝突せずに燃焼室1へ排出されてしまう場合があるためである。図3は、燃料ノズル33の形状が、先端にテーパを施さない円筒形状とした場合における空気孔35との配置関係図および流れの模式図を示す。燃料ノズル33の形状が先端までまっすぐな円筒形状である場合、燃料ノズル先端で空気45の流れがステップ状に変化することにより渦75が発生し、強い乱れが生じる。この渦75により燃料噴流44と空気45が攪拌され、混合する。そのため、図3の構成では、空気孔に流入する空気流入量を減らすことはできるが、空気孔内で燃料と空気の混合が進むため、空気孔35の下流領域47に形成される火炎は予混合火炎となる。これに対し、燃料ノズル33の先端に先細りテーパを設けることで、燃料ノズル先端部における空気流の乱れを少なくし、空気孔35の下流領域47に燃焼安定性が高い拡散火炎を形成することができる。ここで比較例における空気孔部材を燃焼室から見た図を図21に示す。図22は、図21のように複数の空気孔103とこの空気孔の上流側に燃料ノズルを配置したバーナにおいて、燃料ノズルの違いによる燃焼特性の違いを示す。尚、図21に示すバーナ面中心から1列目51の空気孔6孔についてはバーナ中心軸に対して傾斜した空気孔中心軸を有する。図22の横軸は燃焼ガス温度、縦軸はNOx排出量である。また、図中の白抜き記号は失火点である。図2の燃料ノズル33のように燃料ノズルの先端形状をすべて先細りテーパとし、かつ空気孔内部に挿入したバーナの燃焼特性を図の曲線101に示す。同様に、図3の燃料ノズル33のように燃料ノズル先端の形状がすべて円筒形とし、かつ空気孔内部に先端を挿入したバーナの燃焼特性を図の曲線102に示す。これら二つを比較して分かるとおり、曲線101の方が燃焼ガス温度全体にわたってNOxの値は高いが、燃焼ガス温度が100°C以上低い領域まで伸びている。図22より、燃料ノズル先端をテーパ形状とした方が、NOxは若干高くなるが低い燃焼ガス温度まで火炎を保炎することができ、燃焼安定性が向上する。即ち、傾斜角を設けた空気孔に円筒形の燃料ノズルとを組合せるより、先端に先細りテーパを施した燃料ノズルと組合せる方が燃料と空気の混合を抑制することができる。そのため、燃料と空気の混合が不十分な状態で燃焼室に噴出するため、火炎の基部が形成されるバーナ中央1列目51の空気孔の孔出口において燃料の濃い領域が存在し、拡散燃焼領域を形成させることができる。以上のことから、空気孔35から噴出される燃料噴流44と空気45はほとんど混合せずに噴出され、さらに空気量も少なくなっているため、空気孔35の下流領域47には拡散火炎が形成され、非常に安定して燃焼させることができ、幅広い運転条件において火炎が安定に保炎される。図1のバーナ正面図および図2に示すように、燃料ノズル32と空気孔34の組と燃料ノズル33と空気孔35の組は円周上に交互に配置されている。そのため、図2に示すように、下流領域46,47にそれぞれ予混合火炎と拡散火炎が交互に連なって形成される。拡散燃焼領域は安定性が高いため、幅広い条件で安定に燃焼し続けることができる。また、予混合燃焼領域は拡散燃焼領域から熱化学活性種の供給を受けるため、燃焼温度の低い条件でも安定燃焼する。そして、一列目の空気孔はバーナ中心軸に対して傾斜角を有しているため、一列目の空気孔から噴出した燃料噴流と空気流は円錐状に広がりながら燃焼室に噴出する。そのため、2列目52の空気孔34から噴出される予混合気も、同様にバーナ中央部に形成される火炎から熱化学活性種の供給を受けながら予混合燃焼する。即ち、空気孔35の下流領域47に形成される拡散燃焼領域を基点に逆円錐型の非常に安定な火炎が形成され、かつ火炎全体としては予混合燃焼領域が大勢を占めるため、NOxの排出量を低く抑えることができる。なお、一列目の空気孔には燃料ノズル32のみを使用し、二列目の空気孔に燃料ノズル32及び燃料ノズル33を組合せて使用することも可能である。この場合でも、バーナが形成する逆円錐型の火炎において一部に拡散燃焼領域を形成するため、火炎全体としての燃焼安定性を有すると考えられる。図1および図2に示す燃料ノズル32の形状は、燃料ノズル33と異なり、先端にテーパを設けずに円筒形状となっている。しかし、燃料ノズル32の形状はこの形に限らない。なお、テーパ等を設けない方が製作加工数が少なくなるため製作コストを抑えることができる。その他の形状としては、図4に示すように燃料ノズル32の先端にもテーパを施すことがあげられる。この場合、燃料ノズル32の先端を空気孔34の入口に近づけても空気が流入してくる流れを大きく阻害せず、十分に開口部48の面積を広く維持できるため、燃料ノズル33と組となる空気孔35に流入する空気よりも十分に多い空気量を確保することができる。その結果、空気孔34と空気孔35でそれぞれに流入する空気量を相対的に大きく差をつけることができる。そのため、空気孔34の下流領域46には予混合火炎が形成されるのに対し、空気孔35の下流領域47には安定な拡散火炎を形成させることができる。従って、拡散火炎によって燃焼安定性を向上させることが出来る。また、予混合火炎も形成することにより、燃焼安定性と低NOxを両立することが出来る。尚、本実施例ではバーナ面中心から一列目の空気孔によって火炎の安定性が十分に得られるため、外側に火炎を大きく広げる必要があるときは外周側2列目の空気孔列52に傾斜角を設けても良い。本発明のバーナ構造を燃焼装置のパイロットバーナとして適用した実施例を示す。本実施例では、燃焼装置の一例として予混合型ガスタービン燃焼器について説明する。図5はガスタービン全体の概略を示す。図6にはバーナ正面図を示す。圧縮機5から送られる圧縮空気10は、ディフューザ7より燃焼器へ流入し、外筒2と燃焼器ライナ3の間を通過する。その圧縮空気11の一部は、燃焼器ライナ3の冷却空気12として燃焼室1に流入する。また、その圧縮空気11の残りは燃焼空気13,45としてそれぞれ予混合路22と空気孔部材31を通過して燃焼室1に流入する。燃焼室1の内部で燃料と空気が混合燃焼され、燃焼ガスを生成する。燃焼ガスは燃焼器ライナ3から排出され、タービン6に供給される。本実施例では、燃料供給系統15および燃料供給系統16は制御弁14aを備えた燃料供給系統14から分割されている。また、燃料供給系統15には制御弁15a,燃料供給系統16は制御弁16aを備えており、個別に制御を行うことができる。制御弁の下流には、それぞれに遮断弁15b,16bが備えられている。燃料供給系統15にはパイロットバーナに燃料を供給する燃料ヘッダ30が接続され、燃料供給系統16には予混合バーナの燃料ノズル20に接続されている。図5,図6に示すように、本実施例の燃焼器では、中央部パイロットバーナに本発明のバーナが配置され、その周囲に環状の予混合バーナが配置されている。燃焼室1から見たパイロットバーナと予混合バーナの直径は、約220mmである。中央部のバーナは実施例1と同様に、燃料ヘッダ30とそれに接続された複数個の燃料ノズル32,33および複数個の空気孔を開けた空気孔部材31を備える。空気孔部材31は燃焼室1の上流側壁面に位置する。空気孔は同心円状に2列で配置され、1列目51については空気孔34と空気孔35が交互に配置されている。図2と同様に、空気孔34は燃料ノズル32と組になっており、燃料ノズル32の先端は空気孔34の入口上流側端面よりも上流側に位置する。空気孔35は先端にテーパを施した燃料ノズル33と組になっており、この燃料ノズル33の先端は空気孔35の入口よりも下流側まで挿入されている。外周部に配置された予混合バーナは燃料ノズル20,予混合路22、そして出口には保炎器21が配置されている。この予混合バーナでは燃料ノズル20から噴出された燃料が予混合路22内で燃焼空気13と混合され、予混合気となって燃焼室1に噴出される。バーナ出口には予混合路22の流路を半径方向に2分する保炎器21が配置されているため、保炎器21のすぐ下流に循環流23が形成され、そこに火炎がホールドされる。ここで、比較例として図5と異なるパイロットバーナを使用した場合における予混合型ガスタービン燃焼器について、図7に示す。比較例の予混合型ガスタービン燃焼器では、燃焼器中央部にパイロットバーナとして拡散バーナ25が配置されており、燃焼室1に拡散火炎26を形成する。拡散火炎26によって発生した熱および化学活性種が外周部に伝わることにより、保炎器21の下流に形成される火炎の安定燃焼を補助することができる。しかし、パイロットバーナとしての機能を保つためには、パイロットバーナに形成する火炎は一定の大きさを必要とする。そのため、燃焼器全体の中で拡散燃焼が一定比率を占め、燃焼器全体のNOx排出量の低減には限界があった。そこで拡散バーナ25の代わりに、図23に示す多数の空気孔34と燃料ノズル32から構成されたバーナに置き換えることが考えられる。図23のバーナは、複数の空気孔34を備えた空気孔部材31と、空気孔部材31の上流側からそれぞれの空気孔34に燃料を噴出する燃料ノズル32とを備え、燃料ノズル32の中心軸上に空気孔34の入口中心を配置する。但し、図23のバーナでは、燃料ノズル32の先端に空気流の乱れを抑制可能な構造であるテーパ形状が設けられていない。また、全ての空気孔34にはバーナ中心軸に対して旋回角を有する。そして、空気孔34の入口より上流側に全ての燃料ノズル32の先端を配置する。そのため、燃料ノズル32から噴出した燃料は、空気孔34の内部で燃料流の外周側に環状の空気流を形成し、燃料と空気の予混合が進むと考えられる。従って、空気孔34の出口において局所的に燃料が濃くなるような領域が存在せず、火炎全体が予混合燃焼となる。そのため、パイロットバーナによるNOx排出量は低減することができる。但し、パイロットバーナとして必要な燃焼安定性が不十分であるため、幅広い運転条件を運用するには信頼性が大きく損なわれてしまう。これに対し図5では、本発明のバーナをパイロットバーナとして備えているため、バーナ下流に形成される火炎24は限定された拡散燃焼領域を基点にして保炎される予混合火炎となる。そのため、拡散バーナをパイロットバーナとした予混合型ガスタービン燃焼器に比べてNOxの排出量を削減することができる。また、図23のように全ての燃料ノズル32を空気孔入口より上流側に配置した場合と比べて、火炎基部が拡散燃焼領域によって安定に保持されているため、燃焼安定性を向上させることが可能である。また、空気孔部材31のバーナ面中心から一列目の空気孔にはバーナ中心軸に対して旋回角を有しているため、パイロットバーナから噴出した火炎は逆円錐型の安定した火炎となる。そのため、予混合バーナから噴出した循環流23に熱および化学活性種を供給することが可能であり、予混合バーナによる火炎を安定に保持することが可能である。以上のように、拡散バーナをパイロットバーナとして用いた予混合型ガスタービン燃焼器に比べて燃焼安定性を大きく損なうことなく、拡散バーナと同様に幅広い運転条件においてガスタービン燃焼器を運用することができる。また、拡散バーナをパイロットバーナとして用いた予混合燃焼器に比べてNOx排出量を低減することが可能である。近年、エネルギー資源の枯渇問題によりガスタービンには幅広い燃料に対する汎用性が求められている。水素を多く含む燃料では燃焼速度が早くなる一方、窒素分を多く含む燃料では火炎温度が下がり燃焼速度も遅くなる。このように、燃料組成によって燃焼特性が大きく変わるため、燃料組成に合わせて空気孔の配置や個数などをチューニングする必要がある。また、ガスタービンを使用する地域によって、求められるNOx排出量や運用範囲の広さ等が異なり、これらに対しても柔軟に対応する必要がある。そこで、実施例1において燃料ノズル32と空気孔34の組と燃料ノズル33と空気孔35の組における配列バリエーションを変えることにより、NOx排出量や燃焼安定性の調整を行うことが可能である。図8に、実施例3におけるバーナ正面図を示す。本実施例では、2列の同心円状に並んだ空気孔すべてに旋回角を施しており、1列目51に配置された6個の空気孔のうち、空気孔35を2つ対角に配置し、残りを空気孔34としている。空気孔と燃料ノズルとの配置関係は、前述の図2と同様である。即ち、空気孔34では、燃料ノズル32の先端が空気孔入口より上流側に配置されている。また、空気孔35では、燃料ノズル33の先端テーパ形状が空気孔入口より下流側に配置されている。本実施例では、実施例1に比べて空気孔35の数が1つ減少している。そのため、火炎全体に占める拡散燃焼領域が減少し、NOxの排出量を削減することができる。ただし、火炎基部において燃焼安定性に大きく寄与する拡散燃焼領域が減少し、それぞれの領域が離れている。2つの空気孔35によって形成されるそれぞれの拡散燃焼領域が離れすぎてしまうと、保炎の基点となるバーナ中心領域で十分な熱と化学活性種が供給されない領域が発生する可能性がある。そのため、燃焼安定性は実施例1に比べて劣ることが考えられるが、NOx排出量を更に削減できる。図9は、本実施例におけるバーナ正面図を示す。本実施例においてもすべての空気孔に旋回角が施されている。本実施例では内周1列目51の空気孔にはすべて燃料ノズル33と組となる空気孔35が配置されている。この燃料ノズル33の先端は、空気孔入口より下流側に挿入されている。そのため、バーナ下流には逆円錐状の火炎が形成され、保炎の基点となる領域はすべて拡散燃焼となって連なるため、実施例1に比べて燃焼安定性が強化される。これにより、ガスタービン負荷運転の運用範囲を広げることができる。また、窒素分の多い反応性の低い燃料に対しても安定に火炎を保持させることができる。ただし、図1と比べて拡散燃焼領域が増加するため、同一燃料であればNOx排出量は増加する。また本実施例の変形例として、2列目52の空気孔に旋回角を施さない場合も考えられる。この場合、2列目52の空気孔は空気孔部材31に対し垂直にドリルを立てて開孔することができるため、加工費を安くすることができる。なお、バーナ下流に形成される旋回流は小さくなるが、本バーナを単独で用いる場合であれば問題ない。また、本バーナをパイロットバーナとして用いる場合であっても周囲のバーナとの距離が隣接していれば、本バーナにより形成される火炎から周囲のバーナまで十分に熱および化学活性種が供給され、十分にパイロットバーナとしての役割を果たすことができる。なお、2列目の空気孔に旋回角を設けず、空気孔部材31に対して垂直な流路とする構成は他の実施例においても有効である。図10は、本実施例におけるバーナ正面図を示す。本実施例の空気孔はすべてバーナ中心軸に対して旋回角が施されており、1列目51の空気孔と2列目52の空気孔ともに空気孔34と空気孔35が交互に配置されている。即ち実施例1と同様に、空気孔34は燃料ノズル32と組となり、燃料ノズル32の先端は空気孔34の入口上流側端面よりも上流側に位置する。また、空気孔35は燃料ノズル33と組となり、燃料ノズル33の先端は空気孔35の入口より下流側に挿入されている。本実施例では、空気孔34と空気孔35が同数となり、予混合燃焼領域と拡散燃焼領域の広さがほぼ同じとなるため、拡散バーナに対するNOx削減効果は多少減少する一方で、上述の実施例に比べて燃焼安定性は向上する。そのため、窒素が多く含まれるような低カロリー燃料や燃焼速度の遅い燃料であっても火炎安定性を維持できるため、本実施例は有効である。これまでの実施例におけるバーナは、同心円状に2列の空気孔で構成されている。しかし、バーナを適用する対象により消費する燃料や供給する空気量が大きく異なる。例えば、ガスタービン燃焼器では、発電出力が大きくなるとともに供給される空気量燃料流量ともに増加する。そのため、燃焼器全体を大きくする必要があり、バーナもサイズアップする必要がある。しかし、空気孔の数を保ったまま空気孔径を拡大すると、燃料と空気を予混合させる空気孔容積が大きくなり、混合性能が悪化してNOx排出量が増加する恐れがある。そこで、実施例1に対し空気量燃料流量の増加に対応する場合、バーナを相似拡大するのではなく、燃料ノズル及び空気孔の列を増やすことが有効である。また、本発明のバーナをガスタービン燃焼器のパイロットバーナとして用いる場合、燃料種類によってはパイロットバーナに形成する火炎の大きさを大きくして、燃焼器全体における火炎の燃焼安定性を向上させる必要がある。そのため、燃料ノズル及び空気孔の列を増やすことは有効である。図11は本実施例におけるバーナ正面図を示す。本実施例は実施例1に対し、空気孔列が2列から3列に増えている。前述したように、本実施例は実施例1に比べてより多くの空気および燃料を燃焼室に供給する必要がある場合やより大きな火炎を形成する必要がある場合に有効である。供給する空気燃料流量および形成する火炎の大きさにより3列から4列,5列と増やしていくことも可能である。本実施例では、燃料ノズル33と空気孔35の組は全配列の中で1列目51の3個だけである。燃料ノズル33の先端は空気孔35の入口よりも下流側に挿入されており、空気孔35から噴出される燃料と空気はほとんど混合されずに燃焼室に噴出される。そのため、空気孔35から噴出した燃料は拡散燃焼によって消費される。しかし、火炎全体に対する拡散燃焼領域の割合は実施例1に比べて小さくなるため、燃焼器全体から排出されるNOx排出量は低く抑えられる。ここで、本実施例のバーナにより形成される火炎の模式図を図12に示す。図12は図11の中央線54を通る断面である。図11において、全ての空気孔に旋回角を施している。但し、中央線54の断面図である図12で見た場合、外見上の空気孔は空気孔部材に対して垂直に構成されている。実施例1で示したように、本実施例においても空気孔35の下流部では拡散燃焼領域55が形成される。周囲の予混合気はこの拡散燃焼領域55から熱および化学活性種の供給を受けながら下流後方の外周側に広がりながら予混合火炎56を形成する。図中の1列目51の空気孔34は燃料ノズル32と組となっており、燃料ノズル32の先端は空気孔入口より上流側に配置されている。そのため、空気孔34からは予混合気が噴出される。そして、空気孔34は周方向に拡散燃焼領域と隣り合っているため、予混合気に十分な熱を供給することができ、1列目空気孔の出口付近に安定して予混合火炎が保持される。また、1列目の空気孔にはバーナ中心軸に対して旋回角を有しているため、外周側に広がりながら下流へ予混合火炎56が形成される。逆円錐状の予混合火炎56を保炎する基点となる根元に拡散燃焼領域55が生じて火炎を安定に維持するため、同心円状の空気孔列が2列から3列に増える一方で拡散燃焼領域55を増やさなくても、燃焼安定性を損なわず火炎全体を安定燃焼させることができる。また、実施例1と同様に2列目空気孔列52,3列目空気孔列53については傾斜角を施せば、本実施例の効果により更なる燃焼安定性を得ることができる。実施例6で示したように、火炎基部の一部を拡散燃焼とすることで火炎全体を安定に燃焼させることができる。しかし、本発明をパイロットバーナとして用いる場合、幅広い運転条件で安定に燃焼できることが求められ、隣接する周囲の予混合バーナへ熱を供給して予混合バーナに着火させること、および燃焼安定性の補完の役割を担う。そのため、さらなる燃焼安定性が求められる場合がある。また、カロリーが低く燃焼速度の遅い燃料の場合、予混合火炎が途中で消えてしまい、燃料が完全に反応しきらずに未燃炭化水素や一酸化炭素が排出される恐れがある。そこで、より燃焼安定性を強化した実施例を以下に説明する。図13の実施例は、1列目51の空気孔すべてが燃料ノズル33と組となっており、1列目51の空気孔出口に周方向に拡散燃焼領域が形成される。逆円錐状に形成される火炎基部の全域が拡散燃焼となることによって、燃焼安定性を向上させることができる。ガスタービン燃焼器のパイロットバーナとして用いる場合、燃焼安定性が向上することでガスタービン負荷運転の運用範囲を拡大させることが可能となる。図14の実施例は、図11に対し2列目52の空気孔にも燃料ノズル33と組となる空気孔35を1つ置きに配置している。また、図15は、さらに3列目53の空気孔にも燃料ノズル33と組となる空気孔35を2つ置きに配置している。このような構成とすることにより、バーナに形成される火炎の外側にも拡散燃焼領域を形成させることができ、火炎外周側にも十分に熱および化学活性種を供給することができるため、カロリーの低い燃えにくい燃料に対しても未燃炭化水素や一酸化炭素の発生を抑制することができる。ただし、拡散燃焼領域が増えればNOxの排出量も増加するため、可能な限り燃料ノズル33と空気孔35の組は少ない方が良い。また、図14は2列目52に燃料ノズル33と空気孔35の組を1つ置きに配置し、図15については2列目52を1つ置きに、3列目53を2つ置きに燃料ノズル33と空気孔35の組を配置している。用いる燃料及び運転条件に合わせて燃料ノズル33と空気孔35の組数を調整することで、必要とされる燃焼安定性に対する性能を満たす中でNOxの排出量を最も少なくすることが可能である。供給する空気燃料流量の増加に対応するため、これまでの実施例で燃料ノズル及び空気孔列を増やしたバーナを示してきた。その他の方策として1列目51の空気孔の数を6個から8個,10個と増やすことがあげられる。それに対応して、2列目52および他の列も数を増やし、バーナの半径方向へのサイズを大きくすることができる。図16は、1列目51の空気孔を8個とした場合を示す。燃料ノズル33と組となる空気孔35は1列目51の空気孔列に1つ置きに配置されている。このように1列ごとの空気孔数を変えることは、空気孔の列数が2列のバーナにおいても有効である。図17は空気孔列が2列の場合で、1列目51の空気孔数が8個の場合である。空気孔列を1つ増やすとバーナ自体が大きくなりすぎてしまう場合、1列あたりの個数を増やして調整することができる。また、1列目51の空気孔数を増やすと1列目全体が外側に広がるため、バーナ中心部下流に形成される循環流領域も大きくなり、安定性が向上する効果も得られる。実施例8を図18,図19に示す。図18はガスタービン燃焼器の側断面図、図19はバーナの正面図である。本実施例は、空気孔部材を備えたバーナを燃焼室上流側に多数配置したガスタービン燃焼器に対し、中央バーナ57に本発明を適用している。外周側には、燃料ヘッダ60,燃料ノズル61,空気孔62から構成される外側バーナ58を6個配置し、それぞれのバーナに供給する燃料を個別に制御している。それぞれの燃料ヘッダ60に送られた燃料は、燃料ヘッダ60に接続された複数個の燃料ノズル61にそれぞれ分配され、燃料ノズル61から噴出された後、空気孔62を通過して燃焼室1に噴出される。外側バーナ58では、全ての燃料ノズルの先端が空気孔入口より上流側に配置されている。そのため、空気孔内で燃料流の外周側に空気流が形成され、燃料と空気の予混合が行われる。このとき、空気孔内の容量が燃焼室1に比べて小さいことから短い距離で十分に混合させることができ、外側バーナ58の下流には予混合火炎27が形成される。実施例2で説明したように、ガスタービンでは起動から定格負荷条件まで幅広い条件で運転を行う必要がある。特に、起動条件や燃料系統切替後の条件ではバーナ局所における燃空比が低くなるため、火炎の燃焼安定性が非常に重要である。そこで、中央に配置するバーナを本発明のバーナとすることで中央バーナの燃焼安定性が向上し、起動からガスタービン回転数の増加条件において高い信頼性を得ることができる。外側バーナ58の下流側に形成される予混合火炎27においても、中央バーナ57の下流側に形成される安定な火炎24から熱および化学活性種の供給を受けるため、燃焼安定性が向上する。ただし、中央バーナ57から排出されるNOxは増加するため、中央バーナ57に形成される拡散燃焼領域の範囲が小さくなるように、できるだけ燃料ノズル33と空気孔35の組の数を少なくした方が望ましい。実施例9を図20に示す。実施例9は実施例8に対し、外側バーナ58も本発明のバーナ57に置き換えている。本実施例では、個々のバーナに形成される火炎に拡散燃焼領域が存在することによりNOxの排出量は増加してしまうが、個々のバーナが形成する火炎の燃焼安定性が向上する。そのため、例えば低カロリー燃料のように、燃焼速度が遅く非常に燃えにくい燃料をガスタービンの燃料として用いる場合でも、複数あるバーナに形成されるそれぞれの火炎基部に拡散燃焼領域が形成され、火炎を安定に保持して信頼性高く運用することが可能となる。また、ガスタービン負荷運転の運用範囲の拡大も同時に実現することができる。"