"金属製平板から成り、該金属製平板が、その少なくとも一つの面に、互いに略平行な複数の溝を備え、該金属製平板が、上記の互いに略平行な複数の溝の長さ方向に沿って折り曲げ可能であり、かつ、上記の互いに略平行な複数の溝が、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込み可能に形成されている、電熱ヒーター用基板。一つの面に備えられる、互いに略平行な複数の溝の直径が略同一である、請求項1記載の電熱ヒーター用基板。上記の互いに略平行な複数の溝が、上記の金属製平板の相対する二つの面に備えられており、かつ、該金属製平板の一方の面に備えられている溝の直径と他方の面に備えられている溝の直径とが互いに異なる、請求項1又は2記載の電熱ヒーター用基板。上記の金属製平板の面に備えられている溝の直径が、0.8~5.0mmの範囲から選ばれる、請求項1~3のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板。上記の金属製平板の一方の面に備えられている溝の直径が、1.8~2.0mmであり、他方の面に備えられている溝の直径が2.6~2.8mmである、請求項3記載の電熱ヒーター用基板。上記の金属製平板が、上記の複数の溝の長さ方向に略平行な金属製平板端部で、該金属製平板同士を水平又は垂直方向に接続可能に形成されている、請求項1~5のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板。上記の金属製平板がアルミニウム又はアルミニウム合金製である、請求項1~6のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板。互いに略平行な複数の溝に絶縁されたヒーター線がはめ込まれている、請求項1~7のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の、ヒーター線がはめ込まれている側の面及び/又は該面と反対側の面に、金属製平板が備えられてなるプレートヒーター。上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板が電熱ヒーター用基板と接する面と、該金属製平板が備えられる電熱ヒーター用基板面とが略一致しており、かつ、上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板の厚さが、2.0~30.0mmである、請求項8記載のプレートヒーター。上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板が、アルミニウム又はアルミニウム合金製である、請求項8又は9記載のプレートヒーター。本発明は、予め電熱ヒーターとして組み立てる必要がなく、別個に、電熱ヒーターの要素、例えば、ヒーター線、断熱材、カバー部材等を準備して、現場で組み立て得ることから、複雑な配管、装置等の加熱及び保温に容易かつ適切に対応可能であり、現場での取付け施工を著しく簡便化し得るばかりではなく、自体簡単な形状であり、かつ、用途に応じて、他の電熱ヒーターの要素を適切に選択し得ることから、加熱及び保温に要する設計、施工及び製造コストを著しく低減し得る電熱ヒーター用基板を提供するものである。本発明者は、特許文献5記載の電熱ヒーターを改良すべく、更なる検討を試みた。特許文献5記載の電熱ヒーターは、加熱部が切り込み可能な切込部を備えていることにより、複雑な配管、装置等の加熱及び保温においても、該切込部を適宜切断することにより、効率よく対応することができる。その一方、該電熱ヒーターは一体型に形成されており、また、所定の位置に切込部を設ける必要があることから、従来品に比べれば製造コスト、設置コスト等を低減し得るとはいうものの、改善の余地がないわけではなかった。また、実際の配管等に設置した際、不要な切込部分が存在したりする等、改善を必要とする問題も存在していた。そこで、本発明者は、このような一体型の電熱ヒーターと言う既存の考えから脱却し、電熱ヒーター用基板、ヒーター線、保温材等の個々の要素を、夫々、別々に提供できれば、そして、これらの要素の全て、とりわけ、電熱ヒーター用基板を標準化できれば、これら要素を予め一体型に組み立てて電熱ヒーターとして提供する必要はなく、現場で、実際の配管、装置等に合わせて、適宜、これらの要素を選択して組立てることにより電熱ヒーターとすることができ、作業性、並びに、設計、施工及び製造コスト等を著しく低減し得るのではないかという観点に立って、本発明を完成したのである。即ち、本発明は、1金属製平板から成り、該金属製平板が、その少なくとも一つの面に、互いに略平行な複数の溝を備え、該金属製平板が、上記の互いに略平行な複数の溝の長さ方向に沿って折り曲げ可能であり、かつ、上記の互いに略平行な複数の溝が、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込み可能に形成されている、電熱ヒーター用基板である。好ましい態様として、2一つの面に備えられる、互いに略平行な複数の溝の直径が略同一である、上記1記載の電熱ヒーター用基板、3上記の互いに略平行な複数の溝が、上記の金属製平板の相対する二つの面に備えられている、上記1又は2記載の電熱ヒーター用基板、4上記の金属製平板の一方の面に備えられている溝の直径と他方の面に備えられている溝の直径とが互いに異なる、上記3記載の電熱ヒーター用基板、5上記の金属製平板の面に備えられている溝の直径が、0.8~5.0mmの範囲から選ばれる、上記1~4のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、6上記の金属製平板の面に備えられている溝の直径が、1.8~2.8mmの範囲から選ばれる、上記1~4のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、7上記の金属製平板の一方の面に備えられている溝の直径が、1.8~2.0mmであり、他方の面に備えられている溝の直径が2.6~2.8mmである、上記3又は4記載の電熱ヒーター用基板、8上記の金属製平板が長方形又は正方形である、上記1~7のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、9上記の金属製平板がアルミニウム又はアルミニウム合金製である、上記1~8のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、10上記の金属製平板が、上記の複数の溝の長さ方向に略平行な金属製平板端部で、該金属製平板同士を水平又は垂直方向に接続可能に形成されている、上記1~9のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、11上記の互いに略平行な複数の溝をその長さ方向に垂直な面で切断したときの溝の断面が、略U字形又は略半円形である、上記1~10のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、12上記の金属製平板の厚さが2.0~12.0mmである、上記1~11のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、13上記の金属製平板の厚さが3.0~8.0mmである、上記1~11のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、14上記の金属製平板の厚さが4.0~6.0mmである、上記1~11のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、15上記の金属製平板の、溝に垂直な方向の全長幅が50~300mmである、上記1~14のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、16上記の金属製平板の幅が70~200mmである、上記1~14のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、17上記の金属製平板の幅が90~100mmである、上記1~14のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、18上記の金属製平板の、溝に水平な方向の全長長さが、3,000mm以下である、上記1~17のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、19上記の金属製平板の長さが、1,500~2,500mmである、上記1~17のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板、20上記の金属製平板の長さが、1,900~2,100mmである、上記1~17のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板を挙げることができる。従来、プレートヒータースペースヒーターは、金属製の厚板、例えば、アルミニウム製又はアルミニウム合金製の厚板をドリル等で切削して穴を空け、この穴に棒状の電熱ヒーターを差し込むことにより製造していた。しかし、ドリルでの切削により穴を空ける方法では、その穴の長さに限界があるばかりではなく、該方法によれば、相当の製造コストが必要であり、結局、プレートヒーターの価格に該コストを転嫁せざるを得なかった。そこで、本発明者は、上記の電熱ヒーター用基板をプレートヒーターとして使用できないかを鋭意検討した。その結果、上記の電熱ヒーター用基板の互いに略平行な複数の溝に絶縁されたヒーター線をはめ込み、そして、その面上、また、必要に応じて反対の面上に、金属製平板を設置すれば、上記の互いに略平行な複数の溝を備える電熱ヒーター用基板は、押出成型で容易に作製し得ることから、従来品のようにドリルで切削して穴を空けることなく、簡便かつ著しく安価にプレートヒーターを製造し得ることを見出した。また、押出成型であることから、穴の長さも、ドリル切削で穴を空ける方法に存在するような限界もない。本発明は、また、21互いに略平行な複数の溝に絶縁されたヒーター線がはめ込まれている、上記1~20のいずれか一つに記載の電熱ヒーター用基板の、ヒーター線がはめ込まれている側の面及び/又は該面と反対側の面に、金属製平板が備えられてなるプレートヒーターである。好ましい態様として、22上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板が電熱ヒーター用基板と接する面と、該金属製平板が備えられる電熱ヒーター用基板面とが略一致している、上記21記載のプレートヒーター、23上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板の厚さが、2.0~30.0mmである、上記21又は22記載のプレートヒーター、24上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板の厚さが、5.0~20.0mmである、上記21又は22記載のプレートヒーター、25上記電熱ヒーター用基板上に備えられる金属製平板が、アルミニウム又はアルミニウム合金製である、上記21~24のいずれか一つに記載のプレートヒーターを挙げることができる。本発明の電熱ヒーター用基板は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができる互いに略平行な複数の溝を備えており、かつ、該基板は、該溝の長さ方向に沿って折り曲げ可能であることから、現場において、加熱又は保温すべき配管及び機器等に合わせて、配管及び機器等に該基板を巻き付け、そして、加熱又は保温に必要な熱量を与えるように、該基板上に備えられた複数の溝に、絶縁されたヒーター線を、適宜、はめ込むことができる。従って、配管及び機器等を適切に加熱又は保温することができ、現場での取付け施工を著しく簡便化し得る。また、実際の装置においては使用される配管径は限定される故、予めそれに適合する基板を準備する等、規格化が容易である。加えて、従来の電熱ヒーターのように一体型ではなく、電熱ヒーターを構成する要素ごとに保管及び提供して、その場で組み立て可能であることから、作業性、並びに、製造及び設置コスト等を著しく改善し得る。また、溝の直径を、市販の絶縁されたヒーター線がはめ込み可能に設計すれば、市販の絶縁されたヒーター線を効果的に使用することができ、更なる、コスト削減を達成することができる。好ましくは、本発明の電熱ヒーター用基板は、基板の相対する二つの面、即ち、表裏両面に、好ましくは、直径の異なる溝を備えることができる。これにより、配管及び機器等の加熱又は保温に必要な熱量に合わせて、いずれかの直径の溝を選ぶことができ、そして、その溝に適合する絶縁されたヒーター線をはめ込むことにより、より適切かつ簡便に、配管等の加熱又は保温を達成することができる。加えて、本発明の電熱ヒーター用基板は、金属製平板より成ることから、例えば、半導体製造において低減することを強く要求されているパーティクルの発生がない。また、本発明の電熱ヒーター用基板を使用すれば、簡便かつ著しく安価にプレートヒーターを製造することができる。本発明の電熱ヒーター用基板の一実施態様の平面図a及びそのA-A断面図bを図1に示した。図1に示す通り、本発明の電熱ヒーター用基板Aは金属製平板1から成り、かつ、該金属製平板1は、その少なくとも一つの面に、互いに略平行な複数の溝2を備えている。また、金属製平板1は、互いに略平行な複数の溝2の長さ方向に沿って折り曲げ可能、即ち、人力又は簡便な治具により容易に折り曲げることができるものである。例えば、金属製平板1を人力で配管に押し付けることにより、配管に沿って容易に折り曲げることができる。これにより、例えば、加熱又は保温をする配管及び機器等に、金属製平板1を自在に巻き付けることができる。該金属製平板1としては、上記のように複数の溝2の長さ方向に沿って、容易に折り曲げ可能であると共に、熱伝導が良好である材質が選ばれる。通常、加工の容易さ及び価格等の観点から、好ましくはアルミニウム又はアルミニウム合金例えば、JIAA6063T1等が使用される。該金属製平板1は、切削等の金属加工により製造することもできるが、特に好ましくは、押出成型により製造する。これにより、著しく製造コストを低減し得る。また、互いに略平行な複数の溝2は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができるように形成されている。図2は、図1に示した電熱ヒーター用基板AのA-A断面図bの部分拡大図である。互いに略平行な複数の溝2の断面、即ち、該溝2をその長さ方向に垂直な面で切断したときの溝の断面は、好ましくは、略U字形又は略半円形であり、より好ましくは、図1及び2に示すように略U字形である。該溝2の直径3、即ち、該溝2の断面の開口部の幅は、絶縁されたヒーター線をはめ込むことができればよく、通常、絶縁されたヒーター線の直径とほぼ等しいか又はやや小さい。やや小さめとすることにより、はめ込んだヒーター線の脱落を防止し得る。該溝の直径3は、好ましくは0.8~5.0mmの範囲から選ばれ、より好ましくは1.8~2.8mmの範囲から選ばれる。絶縁されたヒーター線としては、オリジナル製品を使用することもできるが、市販品を使用することが特に好ましい。市販品を使用することにより、とりわけ、絶縁されたヒーター線を特注する必要がなく、コスト低減を達成することができる。絶縁されたヒーター線の市販品としては、例えば、株式会社加島製マイクロヒーター等を使用することができる。また、一つの面に備えられる、互いに略平行な複数の溝2の直径3は、略同一であることが好ましい。これにより、基板1の製造を簡略化し得る。図3には、本発明の電熱ヒーター用基板を構成する金属製平板に備えられた互いに略平行な複数の溝2に絶縁されたヒーター線4をはめ込んだ状態の平面図a、及び、そのB-B断面図を示した。このように絶縁されたヒーター線4は、金属製平板に備えられた互いに略平行な複数の溝2中にはめ込まれる。図3においては、絶縁されたヒーター線4は全ての互いに略平行な複数の溝2中に嵌め込まれているが、もちろん、互いに略平行な複数の溝2の1本おき、又は、2本おき等、適宜、定めて嵌め込むことができる。図4には、本発明の電熱ヒーター用基板の他の一実施態様の平面図a、底面図b及びC-C断面図cを示した。図4に示す通り、本発明の電熱ヒーター用基板Aは金属製平板1から成り、かつ、該金属製平板1は、その相対する二つの面、即ち、表裏面に、互いに略平行な複数の溝2,2’を備えている。また、金属製平板1は、上記と同様に、表裏面に備えられた互いに略平行な複数の溝2,2’の長さ方向に沿って、表裏面のいずれの側にも折り曲げ可能である。これにより、例えば、加熱又は保温をする配管及び機器等に、金属製平板1を自在に巻き付けることができる。また、互いに略平行な複数の溝2,2’は、その中に絶縁されたヒーター線をはめ込むことができるように形成されている。該金属製平板1の材質は上記と同様である。また、上記と同様に押出成型により製造することが好ましい。図5は、図4に示した電熱ヒーター用基板AのC-C断面図cの部分拡大図である。互いに略平行な複数の溝2,2’の断面は、上記と同じく、好ましくは、略U字形、略半円形であり、より好ましくは、図4及び5に示すように略U字形である。該溝2,2’の直径3,3’、即ち、該溝2,2’の断面の開口部の幅は、絶縁されたヒーター線をはめ込むことができればよく、通常、絶縁されたヒーター線の直径とほぼ等しいか又はやや小さい。上記と同様にやや小さいほうが好ましい。該溝の直径3,3’は、好ましくは0.8~5.0mmの範囲から選ばれ、より好ましくは1.8~2.8mmの範囲から選ばれる。この実施態様においては、金属製平板1の一の面、即ち、表面に備えられている互いに略平行な複数の溝2の直径3と、他の面、即ち、裏面に備えられている互いに略平行な複数の溝2’の直径3’は、互いに異なる。好ましくは、金属製平板の一の面に備えられている溝の直径3が、2.6~2.8mmであり、他の面に備えられている溝の直径3’が1.8~2.0mmである。これにより、加熱又は保温すべき配管及び機器等に必要な熱量に合わせて、いずれかの面又は両面を使用して加熱又は保温をすることができる。本発明の電熱ヒーター用基板を構成する金属製平板の、複数の溝を備える面及びその反対側の面の形状は、好ましくは、四角形であり、より好ましくは、正方形、長方形であり、更に好ましくは長方形である。また、金属製平板1の厚さ5は、溝の高さ深さ6,6’、並びに、上記所定の材質で製造した際に、平板1が複数の溝の長さ方向に沿って折り曲げ可能であるか否か、その強度及び製造コスト等に依存して定められる。通常、図1に示したような一面のみに溝2を有する態様の電熱ヒーター用基板Aにあっては、金属製平板1の厚さ5は、溝の高さ6に加えて、好ましくは0.5~2.0mm程度であり、図4に示したような表裏両面に溝2,2’を有する態様の電熱ヒーター用基板Aにあっては、金属製平板1の厚さ5は、一の面に備えられた溝の高さ6と他の面に備えられた溝の高さ6’の合計に加えて、好ましくは0.5~2.0mm程度である。金属製平板1の厚さ5は、好ましくは2.0~12.0mm、より好ましくは3.0~8.0mm、更に好ましくは4.0~6.0mmである。例えば、金属製平板の一の面に備えられている溝の直径3が、2.6~2.8mmであり、他の面に備えられている溝の直径3’が1.8~2.0mmであるときには、金属製平板1の厚さ5は、好ましくは4.8~5.2mm程度である。金属製平板1の、溝2に垂直な方向の全長8、即ち、金属製平板1の幅8は、通常、加熱又は保温する配管及び機器の寸法、例えば、配管径に依存して定められる。半導体製造装置等の配管では、通常、使用している配管径が限定される故、それに応じて、金属製平板1の幅8を定めることができる。金属製平板1の幅8は、好ましくは50~300mm、より好ましくは70~200mm、更に好ましくは90~100mmである。金属製平板1に備えられる互いに略平行な複数の溝の数には特に制限はなく、金属製平板1の幅8に応じて適宜定めることができる。通常、溝と溝とを隔てる部分の間隔が0.5~3.0mm、好ましくは1.0~2.0mm程度になるように定められる。また、金属製平板1は、金属製平板1の、複数の溝の長さ方向に略平行な端部9、即ち、金属製平板1の幅8方向の端部9で、金属製平板1同士を水平又は垂直方向に接続可能に形成されている。図6には、金属製平板1の一方の端部9と他方の端部9’の一実施態様を示した。図7には、図6に示した、夫々異なる端部を有する金属製平板を二枚1,1’用意し、これらを水平方向に接続したときaと垂直方向に接続したときbの概略図を示す。これにより、複数の金属製平板1,1’を接続して幅方向の長さを任意の長さに調節することができると共に、例えば、機器類のかどの部分等を加熱又は保温する際に金属製平板1の方向を90度変更することができる。また、金属製平板1の溝に水平な方向の全長7、即ち、金属製平板1の長さ7に特に制限はなく、好ましくは3,000mm以下、より好ましくは1,500~2,500mm、更に好ましくは1,900~2,100mmである。金属製平板1の長さ7は、加熱又は保温する配管及び機器等の長さに応じて適宜切断することができる。本発明の金属製平板1は、好ましくは400°C以下の加熱及び保温に使用可能である。より好ましくは300°C以下、更に好ましくは220~280°Cの加熱及び保温に使用可能である。250°C以下の低温で使用する際には、絶縁されたヒーター線4の絶縁能力が多少低いものであってもよく、また、200°C以下の低温で使用する際には、金属製平板1の表面をアルマイト加工することにより金属製平板1自体に絶縁性を持たせることもできる。次に、本発明の電熱ヒーター用基板を配管に取り付け、絶縁されたヒーター線をはめ込んで電熱ヒーターを配管に敷設する手順を簡単に説明する。まず、加熱又は保温する配管径に合わせて、かつ、加熱又は保温に必要なおおよその熱量を考慮して、所定寸法及び所定の溝直径を有する電熱ヒーター用基板A及び絶縁されたヒーター線4を準備する。配管径が大きい場合、例えば、直径50mm以上の配管には、それに合わせて複数の電熱ヒーター用基板Aを用意して、上記の図7aに示したように接続して使用することもできる。水平に接続して使用するとき、作業中に該接続部分が外れることがないように、例えば、図8に示したように固定具15を使用して固定することもできる。もちろん、所定の熱量を与えることができれば、配管の全周を電熱ヒーター用基板1で覆う必要はない。電熱ヒーター用基板1の長さ7が長すぎる場合には、適切な寸法に切断する。次いで、図9に示すように、電熱ヒーター用基板1を溝の長さ方向に沿って折り曲げて、配管の周囲に巻き付ける。そして、このようにして巻き付けた電熱ヒーター用基板1の複数の溝2,2’に絶縁されたヒーター線4をはめ込む。この際、絶縁されたヒーター線4は、直接配管に接触する側の溝2’に嵌め込まれることが好ましい。また、絶縁されたヒーター線4は、配管に接触しない側の溝2に嵌め込まれていてもよく、あるいは、両側の溝2,2’に嵌め込まれてもよい。配管に接触しない側の溝2に嵌め込む際には、その上を、数ミリメートル、好ましくは1~2mmのアルミニウム又はアルミニウム合金の板で覆うこともできる。また、図10に示すように、電熱ヒーター用基板の溝と溝とを隔てる部分16を機械加工、例えば、フライスにより、適宜、取り除いて、絶縁されたヒーター線が電熱ヒーター用基板の外側へと突出することを回避することができる。これにより、ヒーター線の破損等を未然に防止することができる。また、電熱ヒーター用基板Aを折り曲げることなく使用したとき、電熱ヒーター用基板Aの複数の溝2,2’に絶縁されたヒーター線4をはめ込んだ後、図11に示したようなヒーター線保護カバー10を使用して、ヒーター線4が突出している端部13を保護することもできる。これによりヒーター線の破損等を防ぐことができる。また、図12には、電熱ヒーター用基板A,A’を直角方向に接続したときに使用するヒーター線保護カバー10’を示した。次いで、その上を所定の保温材で覆い、固定具、例えば、固定バンド等で固定することにより作業が完了する。半導体装置等では、保温材は極力パーティクルの発生しない素材、例えば、フッ素樹脂繊維、芳香族ナイロン繊維等のカバーで覆われたものを使用することが好ましい。図13は、本発明のプレートヒーターBの一実施態様の断面を示す概略図である。図13に示すプレートヒーターBは、例えば、図4に示した本発明の電熱ヒーター用基板Aの複数の溝2,2’に絶縁されたヒーター線4,4’をはめ込み、かつ、ヒーター線がはめ込まれている二つの面に密着するように、金属製平板14,14’を設置したものである。該金属製平板14,14’の材質は、好ましくは、アルミニウム又はアルミニウム合金製である。また、該金属製平板14,14’は、電熱ヒーター用基板Aの面とほぼ一致するように、電熱ヒーター用基板Aの面の幅及び長さとほぼ同一の寸法を有していることが好ましい。該金属製平板14,14’の厚さは、特に制限はなく、適宜定めることができるが、好ましくは2.0~30.0mm、より好ましくは5.0~20.0mmである。"