二台の腕部で基板を搬送する搬送装置であって、一台の腕部は、水平な中心軸線を通る位置に離間して鉛直に配置された主能動回転軸線と、主従動回転軸線と、一端の所定位置に前記主能動回転軸線が通り、前記主能動回転軸線を中心に回転する主能動腕と、一端の所定位置に前記主従動回転軸線が通り、前記主従動回転軸線を中心に回転する主従動腕と、鉛直に配置され、前記主能動腕の他端の所定位置と、前記主従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、副能動回転軸線と副従動回転軸線と、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とを中心として回動可能に構成された規制部材と、一端の所定位置に前記副能動回転軸線が通り、前記副能動回転軸線を中心に回転する副能動腕と、一端の所定位置に前記副従動回転軸線が通り、前記副従動回転軸線を中心に回転する副従動腕と、鉛直に配置され、前記副能動腕の他端の所定位置と、前記副従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、ハンド能動回転軸線とハンド従動回転軸線と、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とを中心として回動可能に構成され、基板を載置する載置部が設けられたハンドと、を有し、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線は、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とよりも前記中心軸線に近い位置に配置され、前記主能動回転軸線と前記副能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記主従動回転軸線と前記副従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第一の長さにされ、前記副能動回転軸線と前記ハンド能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記副従動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第二の長さにされ、前記主能動腕の回転に対して、前記副能動腕が逆方向に同角度回転するように構成され、二台の前記腕部の前記載置部は互いに同じ高さに配置され、二台の前記腕部の主能動回転軸線は同一であり、二台の前記腕部の前記載置部は、それぞれ前記載置部が設けられた前記腕部の前記中心軸線から離間して配置された前記搬送装置であって、前記第二の長さは、前記第一の長さよりも短くされた搬送装置。二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、互いに異なる位置に配置された請求項1記載の搬送装置。二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、前記主能動回転軸線を中心に回転できるように構成された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の搬送装置。本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、単純な形状のハンドを備えた二台の腕部を有し、二枚の基板を同じ高さに同時に搬送できる搬送装置を提供することにある。上記課題を解決するために本発明は、二台の腕部で基板を搬送する搬送装置であって、一台の腕部は、水平な中心軸線を通る位置に離間して鉛直に配置された主能動回転軸線と、主従動回転軸線と、一端の所定位置に前記主能動回転軸線が通り、前記主能動回転軸線を中心に回転する主能動腕と、一端の所定位置に前記主従動回転軸線が通り、前記主従動回転軸線を中心に回転する主従動腕と、鉛直に配置され、前記主能動腕の他端の所定位置と、前記主従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、副能動回転軸線と副従動回転軸線と、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とを中心として回動可能に構成された規制部材と、一端の所定位置に前記副能動回転軸線が通り、前記副能動回転軸線を中心に回転する副能動腕と、一端の所定位置に前記副従動回転軸線が通り、前記副従動回転軸線を中心に回転する副従動腕と、鉛直に配置され、前記副能動腕の他端の所定位置と、前記副従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、ハンド能動回転軸線とハンド従動回転軸線と、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とを中心として回動可能に構成され、基板を載置する載置部が設けられたハンドと、を有し、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線は、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とよりも前記中心軸線に近い位置に配置され、前記主能動回転軸線と前記副能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記主従動回転軸線と前記副従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第一の長さにされ、前記副能動回転軸線と前記ハンド能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記副従動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第二の長さにされ、前記主能動腕の回転に対して、前記副能動腕が逆方向に同角度回転するように構成され、二台の前記腕部の前記載置部は互いに同じ高さに配置され、二台の前記腕部の主能動回転軸線は同一であり、二台の前記腕部の前記載置部は、それぞれ前記載置部が設けられた前記腕部の前記中心軸線から離間して配置された前記搬送装置であって、前記第二の長さは、前記第一の長さよりも短くされた搬送装置である。本発明は搬送装置であって、二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、互いに異なる位置に配置された搬送装置である。本発明は搬送装置であって、二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、前記主能動回転軸線を中心に回転できるように構成された搬送装置である。ハンドの形状を単純化できるので、製作コストを低減できる。またハンドの形状を単純化できることから、ハンドの重量が軽くなり、腕部のたわみ量が軽減される。腕部のたわみ量が軽減されることにより、ティーチング作業を簡易化できる。図1は、本発明の第一例の搬送装置10の平面図であり、図2は同側面図である。なお、図2では、後述する第一の左主従動腕22L1、第一の右主従動腕22R1と第一の左副従動腕24L1、第一の右副従動腕24R1の図示を省略している。この搬送装置10は、二台の腕部、すなわち第一の左腕部20L1と第一の右腕部20R1とを有している。図2を参照し、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1は第一の左駆動軸12L1、第一の右駆動軸12R1をそれぞれ有している。第一の左駆動軸12L1、第一の右駆動軸12R1は、鉛直かつ同心状に配置されており、各駆動軸12L1、12R1の中心軸線である同一の主能動回転軸線Oを中心にそれぞれ独立に回転できるように構成されている。また、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1は、左回転部材16L、右回転部材16Rをそれぞれ有している。左回転部材16Lと右回転部材16Rはそれぞれ主能動回転軸線Oを中心に独立に回転できるように構成されている。図1を参照し、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1は、第一の左主リンク31L1、第一の右主リンク31R1と、第一の左副リンク32L1、第一の右副リンク32R1とをそれぞれ有している。第一の左主リンク31L1、第一の右主リンク31R1は、第一の左主能動腕21L1、第一の右主能動腕21R1と、第一の左主従動腕22L1、第一の右主従動腕22R1とをそれぞれ有している。第一の左主能動腕21L1、第一の右主能動腕21R1の一端は第一の左駆動軸12L1、第一の右駆動軸12R1にそれぞれ固定されている。ここでは図2を参照し、第一の右駆動軸12R1は第一の左駆動軸12L1より高い位置に配置され、第一の右主能動腕21R1の一端は第一の左主能動腕21L1の一端より高い位置に固定されており、第一の右主能動腕21R1の一端と他端との間の部分がL字状に下方に曲げられて、第一の右主能動腕21R1の他端と第一の左主能動腕21L1の他端とは同一の高さに配置されている。なお、第一の右主能動腕21R1の他端と第一の左主能動腕21L1の他端とが同一の高さに配置されているならば、第一の右主能動腕21R1の一端と他端との間の部分が曲線状に下方に曲げられてもいてもよいし、第一の左主能動腕21L1の一端と他端との間の部分がL字状又は曲線状に上方に曲げられていてもよい。また、第一の左駆動軸12L1が第一の左駆動軸12R1より高い位置に配置され、第一の左主能動腕21L1の一端が第一の右主能動腕21R1の一端より高い位置に固定されており、第一の左主能動腕21L1の一端と他端との間の部分がL字状又は曲線状に下方に曲げられ、または第一の右主能動腕21R1の一端と他端との間の部分がL字状又は曲線状に上方に曲げられて、第一の右主能動腕21R1の他端と第一の左主能動腕21L1の他端とが同一の高さに配置された構成も本発明に含まれる。図1を参照し、第一の左駆動軸12L1が回転すると、第一の左主能動腕21L1は第一の左駆動軸12L1と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。また第一の右駆動軸12R1が回転すると、第一の右主能動腕21R1は第一の右駆動軸12R1と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。左回転部材16Lの主回転軸線Oから離間した位置には、左主従動回転軸線RLが鉛直に設けられ、右回転部材16Rの主回転軸線Oから離間した位置には、右主従動回転軸線RRが鉛直に設けられている。すなわち、左主従動回転軸線RLと右主従動回転軸線RRは、互いに異なる位置に配置されている。ここでは第一の左主従動腕22L1の一端に設けられた凹部が、左回転部材16Lの左主従動回転軸線RLを中心に鉛直に立設された凸部に嵌合されて、第一の左主従動腕22L1は左主従動回転軸線RLを中心に水平面内で回転可能に配置されている。また第一の右主従動腕22R1の一端に設けられた凹部が、右回転部材16Rの右主従動回転軸線RRを中心に鉛直に立設された凸部に嵌合されて、第一の右主従動腕22R1は右主従動回転軸線RRを中心に水平面内で回転可能に配置されている。本発明は、第一の左主従動腕22L1、第一の右主従動腕22R1がそれぞれ左主従動回転軸線RL、右主従動回転軸線RRを中心に水平面内で回転可能に配置されているならば、第一の左主従動腕22L1と左回転部材16Lとの連結構造及び第一の右主従動腕22R1と右回転部材16Rとの連結構造は上記構成に限定されず、第一の左主従動腕22L1の一端に鉛直に立設された凸部が、左回転部材16Lの左主従動回転軸線RLを中心に設けられた凹部に嵌合され、第一の右主従動腕22R1の一端に鉛直に立設された凸部が、右回転部材16Rの右主従動回転軸線RRを中心に設けられた凹部に嵌合されていてもよい。第一の左主能動腕21L1の先端と第一の左主従動腕22L1の先端には第一の左規制部材25L1が配置され、第一の右主能動腕21R1の先端と第一の右主従動腕22R1の先端には第一の右規制部材25R1が配置されている。第一の左主能動腕21L1と第一の左主従動腕22L1は、第一の左規制部材25L1に設けられた鉛直な左副能動回転軸線SLと左副従動回転軸線TLを中心にそれぞれ回動可能に構成され、第一の右主能動腕21R1と第一の右主従動腕22R1は、第一の右規制部材25R1に設けられた鉛直な右副能動回転軸線SRと右従動回転軸線TRを中心にそれぞれ回動可能に構成されている。第一の左副リンク32L1、第一の右副リンク32R1は、第一の左副能動腕23L1、第一の右副能動腕23R1と、第一の左副従動腕24L1、第一の右副従動腕24R1とをそれぞれ有している。第一の左副能動腕23L1は左副能動回転軸線SLを中心に回動可能に配置され、第一の左副従動腕24L1は左副従動回転軸線TLを中心に回動可能に配置されている。また第一の右副能動腕23R1は右副能動回転軸線SRを中心に回動可能に配置され、第一の右副従動腕24R1は右副従動回転軸線TRを中心に回動可能に配置されている。第一の左規制部材25L1と第一の右規制部材25R1の構造は同じであり、第一の左規制部材25L1で代表して説明する。図4は第一例の第一の左規制部材25L1の内部構成図を示している。第一の左規制部材25L1は、ここでは同一歯数で互いに噛合する第一の歯車41、第二の歯車42を有している。第一の歯車41、第二の歯車42は、それぞれ鉛直な左副能動回転軸線SL、左副従動回転軸線TLを中心に回転可能に配置されており、第一の歯車41は第一の左主能動腕21L1の先端に固定され、第二の歯車42は第一の左副従動腕24L1の先端に固定されている。第一の左駆動軸12L1と左回転部材16Lとがどちらも静止した状態では、第一の左主能動腕21L1と第一の左副従動腕24L1はどちらも静止している。左回転部材16Lが静止した状態で第一の左駆動軸12L1が回転して第一の左主能動腕21L1が回動されると、第一の歯車41が第一の左主能動腕21L1と一体に同一角度同方向に回転し、これに噛合している第二の歯車42は同一角度逆方向に回転する。従ってこの第二の歯車42に固定された第一の左副従動腕24L1は左副従動回転軸線TLを中心に第一の左主能動腕21L1と同一角度逆方向に回動する。ここでは第一の歯車41の鉛直な回転軸が第一の左規制部材25L1の上方を向いた面から凸設され、第一の左副能動腕23L1の先端に設けられた凹部に嵌合されて、第一の左副能動腕23L1は左副能動回転軸線SLを中心に回動可能に構成されている。また、第二の歯車42の鉛直な回転軸が第一の左規制部材25L1の下方を向いた面から凸設され、第一の左主従動腕22L1の先端に設けられた凹部に嵌合されて、第一の左主従動腕22L1は左副従動回転軸線TLを中心に回動可能に構成されている。上記実施例では第一の左主リンク31L1と第一の左副リンク32L1の連結に第一の歯車41、第二の歯車42を用いた例を示したが、本発明はこれに限定されず、二本のベルトを歯車に代えて用いてもよい。図5は第二例の第一の左規制部材25L1の内部構成図、図6は同A-A線切断断面図を示している。第一の左規制部材25L1には、直径が同じ大きさの第一プーリ45と第二プーリ46がそれぞれ鉛直な左副能動回転軸線SLと左副従動回転軸線TLを中心に回転可能に配置されており、第一プーリ45は第一の左主能動腕21L1の先端に固定され、第二プーリ46は第一の左副従動腕24L1の先端に固定されている。両プーリ45、46には二本のベルト47、48がたすき掛けされ、それぞれの端部が各プーリ45、46に固定されている。なお二本のベルト47、48の代わりに一本のベルトが8の字状に巻き掛けられて構成されていてもよい。左回転部材16Lが静止した状態で第一の左駆動軸12L1が回転して第一の左主能動腕21L1が回動されると、第一プーリ45が第一の左主能動腕21L1と一体に同一角度同方向に回転し、これにベルト47、48を介して連結された第二プーリ46は同一角度逆方向に回転する。従ってこの第二プーリ46に固定された第一の左副従動腕24L1は左副従動回転軸線TLを中心に第一の左主能動腕21L1と同一角度逆方向に回動する。図1を参照し、第一の左副能動腕23L1の先端と第一の左副従動腕24L1の先端には、第一の左ハンド26L1が配置されている。また第一の右副能動腕23R1の先端と第一の右副従動腕24R1の先端には、第一の右ハンド26R1が配置されている。ここでは第一の左副能動腕23L1、第一の左副従動腕24L1の一端にそれぞれ設けられた凹部が、第一の左ハンド26L1の左ハンド能動回転軸線PL、左ハンド従動回転軸線QLを中心に鉛直に立設された凸部にそれぞれ嵌合され、第一の左副能動腕23L1と第一の左副従動腕24L1は、第一の左ハンド26L1の鉛直な左ハンド能動回転軸線PLと左ハンド従動回転軸線QLを中心にそれぞれ水平面内で回動可能に構成されている。また、ここでは第一の右副能動腕23R1、第一の右副従動腕24R1の一端にそれぞれ設けられた凹部が、第一の右ハンド26R1の右ハンド能動回転軸線PR、右ハンド従動回転軸線QRを中心に鉛直に立設された凸部にそれぞれ嵌合され、第一の右副能動腕23R1と第一の右副従動腕24R1は、第一の右ハンド26R1の鉛直な右ハンド能動回転軸線PRと右ハンド従動回転軸線QRを中心にそれぞれ水平面内で回動可能に構成されている。本発明は、第一の左副能動腕23L1、第一の左副従動腕24L1が左ハンド能動回転軸線PL、左ハンド従動回転軸線QLを中心に回転可能に構成されているならば、第一の左副能動腕23L1、第一の左副従動腕24L1の一端にそれぞれ鉛直に立設された凸部が、第一の左ハンド26L1の左ハンド能動回転軸線PL、左ハンド従動回転軸線QLを中心に設けられた凹部にそれぞれ嵌合されていてもよい。また、第一の右副能動腕23R1、第一の右副従動腕24R1が右ハンド能動回転軸線PR、右ハンド従動回転軸線QRを中心に回転可能に構成されているならば、第一の右副能動腕23R1、第一の右副従動腕24R1の一端にそれぞれ鉛直に立設された凸部が、第一の右ハンド26R1の右ハンド能動回転軸線PR、右ハンド従動回転軸線QRを中心に設けられた凹部にそれぞれ嵌合されていてもよい。以下では、主能動回転軸線Oと左主従動回転軸線RLとを通る水平な直線を左中心軸線と呼び、主能動回転軸線Oと右主従動回転軸線RRとを通る水平な直線を右中心軸線と呼ぶ。左ハンド能動回転軸線PL、左ハンド従動回転軸線QLは、左副能動回転軸線SL、左副従動回転軸線TLよりも、左中心軸線に近い位置に配置され、右ハンド能動回転軸線PR、右ハンド従動回転軸線QRは、右副能動回転軸線SR、右副従動回転軸線TRよりも、右中心軸線に近い位置に配置されている。また主能動回転軸線Oと左副能動回転軸線SLとの間を水平に結ぶ線分OSLと、左主従動回転軸線RLと左副従動回転軸線TLとの間を水平に結ぶ線分RLTLは平行で同じ左の第一の長さMLにされている。さらに左副能動回転軸線SLと左ハンド能動回転軸線PLとの間を水平に結ぶ線分SLPLと、左副従動回転軸線TLと左ハンド従動回転軸線QLとの間を水平に結ぶ線分TLQLは平行で同じ左の第二の長さNLにされている。すなわち、第一の左腕部20L1に関し、主能動回転軸線Oと、左主従動回転軸線RLと、左副能動回転軸線SLと、左副従動回転軸線TLとを水平に結んで形成される四角形ORLTLSLは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。また、左副能動回転軸線SL、左副従動回転軸線TL、左ハンド能動回転軸線PL、左ハンド従動回転軸線QLの回転軸線を水平に結んで形成される四角形SLTLQLPLは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。左回転部材16Lが静止した状態で第一の左駆動軸12L1が回転すると、各四角形ORLTLSL、SLTLQLPLはそれぞれ平行四辺形であることを維持しながら変形する。以下では、主能動回転軸線Oと左主従動回転軸線RLとを水平に結ぶ線分ORLと、主能動回転軸線Oと左副能動回転軸線SLとを水平に結ぶ線分OSLとがなす角度をαL、左副能動回転軸線SLと左副能動回転軸線TLとを水平に結ぶ線分SLTLと、左副能動回転軸線SLと左ハンド能動回転軸線PLとを水平に結ぶ線分SLPLとがなす角度をβLと呼ぶ。左回転部材16Lが静止した状態で第一の左駆動軸12L1が回転して、第一の左主能動腕21L1が角度αLを小さくする方向に回転すると、第一の左副能動腕23L1は角度βLを小さくする方向に回転し、ここでは第一の左腕部20L1は伸びるようになっている。また、左回転部材16Lが静止した状態で第一の左駆動軸12L1が回転して、第一の左主能動腕21L1が角度αLを大きくする方向に回転すると、第一の左副能動腕23L1は角度βLを大きくする方向に回転し、ここでは第一の左腕部20L1は縮むようになっている。一方、主能動回転軸線Oと右副能動回転軸線SRとの間を水平に結ぶ線分OSRと、右主従動回転軸線RRと右副従動回転軸線TRとの間を水平に結ぶ線分RRTRは平行で同じ右の第一の長さMRにされている。さらに右副能動回転軸線SRと右ハンド能動回転軸線PRとの間を水平に結ぶ線分SRPRと、右副従動回転軸線TRと右ハンド従動回転軸線QRとの間を水平に結ぶ線分TRQRは平行で同じ右の第二の長さNRにされている。すなわち、第一の右腕部20R1に関し、主能動回転軸線Oと、右主従動回転軸線RRと、右副能動回転軸線SRと、右副従動回転軸線TRとを水平に結んで形成される四角形ORRTRSRは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。また、右副能動回転軸線SR、右副従動回転軸線TR、右ハンド能動回転軸線PR、右ハンド従動回転軸線QRを水平に結んで形成される四角形SRTRQRPRは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。右回転部材16Rが静止した状態で第一の右駆動軸12R1が回転すると、各四角形ORRTRSR、SRTRQRPRはそれぞれ平行四辺形であることを維持しながら変形する。以下では、主能動回転軸線Oと右主従動回転軸線RRとを水平に結ぶ線分ORRと、主能動回転軸線Oと右副能動回転軸線SRとを水平に結ぶ線分OSRとがなす角度をαR、右副能動回転軸線SRと右副能動回転軸線TRとを水平に結ぶ線分SRTRと、右副能動回転軸線SRと右ハンド能動回転軸線PRとを水平に結ぶ線分SRPRとがなす角度をβRと呼ぶ。右回転部材16Rが静止した状態で第一の右駆動軸12R1が回転して、第一の右主能動腕21R1が角度αRを小さくする方向に回転すると、第一の右副能動腕23R1は角度βRを小さくする方向に回転し、ここでは第一の右腕部20R1は縮むようになっている。また、右回転部材16Rが静止した状態で第一の右駆動軸12R1が回転して、第一の右主能動腕21R1が角度αRを大きくする方向に回転すると、第一の右副能動腕23R1は角度βRを大きくする方向に回転し、ここでは第一の右腕部20R1は伸びるようになっている。第一の左ハンド26L1、第一の右ハンド26R1には、基板を載置可能に構成された第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1がそれぞれ固定されている。符号30L1、30R1は第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1に載置された基板をそれぞれ示している。左回転部材16Lを静止させた状態で第一の左駆動軸12L1を回転させて、第一の左腕部20L1を水平面内で伸縮させると、第一の左載置部27L1は、角度αLが90°に近づくに従って左中心軸線から離れ、角度αLが90°から離れるに従って左中心軸線に近づく水平な円弧曲線に沿って移動する。また右回転部材16Rを静止させた状態で第一の右駆動軸12R1を回転させて、第一の右腕部20R1を水平面内で伸縮させると、第一の右載置部27R1は、角度αRが90°に近づくに従って右中心軸線から離れ、角度αRが90°から離れるに従って右中心軸線に近づく水平な円弧曲線に沿って移動する。第一の左駆動軸12L1と左回転部材16Lとを一緒に主能動回転軸線Oを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の左腕部20L1は角度αL、βLの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Oの周りを回転移動し、第一の右駆動軸12L1と右回転部材16Rとを一緒に主能動回転軸線Oを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の右腕部20R1は角度αR、βRの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Oの周りを回転移動する。図2を参照し、本発明の搬送装置10では、第一の左載置部27L1と第一の右載置部27R1は互いに同じ高さに配置されている。さらに、図1を参照し、上述の左の第二の長さNLは、左の第一の長さMLよりも短くされ、右の第二の長さNRは、右の第一の長さMRよりも短くされている。従って、角度αLが0°より大きく180°より小さい場合には、左ハンド能動回転軸線PLと左ハンド従動回転軸線QLとを水平に結ぶ線分PLQLは上述の左中心軸線から離間して配置され、角度αRが0°より大きく180°より小さい場合には、右ハンド能動回転軸線PRと右ハンド従動回転軸線QRとを水平に結ぶ線分PRQRは右中心軸線から離間して配置されている。第一の左ハンド26L1の左中心軸線に近い側の縁と線分PLQLとの間の距離WLと、左の第二の長さNLとの和WLNLは、左の第一の長さMLより短くされている。また、第一の右ハンド26R1の右中心軸線に近い側の縁と線分PRQRとの間の距離WRと、右の第二の長さNRとの和WRNRは、右の第一の長さMRより短くされている。そのため、角度αL、αRが90°のときでも、第一の左ハンド26L1と第一の右ハンド26R1は互いに衝突しないようになっている。第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1にそれぞれ載置された基板30L1、30R1が互いに衝突するときの角度αR、αLは、各基板30L1、30R1の直径と、左の第一の長さML、第二の長さNLと、右の第一の長さMR、第二の長さNRと、第一の左載置部27L1に載置された基板30L1の中心と線分PLQLの延長線との間の間隔と、第一の右載置部27R1に載置された基板30R1の中心と線分PRQRの延長線との間の間隔とから予め計算で求めることができる。左回転部材16L、右回転部材16Rが静止した状態で、第一の左駆動軸12L1、第一の右駆動軸12R1が予め求められた角度の範囲内で回転して、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1がそれぞれ伸縮すると、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1はそれぞれ左中心軸線、右中心軸線から離間して配置され、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1に載置された基板30L1、30R1は互いに衝突しないように移動することができる。そのため、第一の左ハンド26L1、第一の右ハンド26R1を従来より単純な形状に形成することができ、従来より各ハンド26L1、26R1の製作コストを低減できる。さらに、第一の左ハンド26L1、第一の右ハンド26R1が従来よりも単純な形状に形成できるので、各ハンド26L1、26R1は従来よりも軽量になり、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1のたわみ量が従来よりも軽減される。ここでは左の第一の長さMLと右の第一の長さMRは互いに同じ長さにされ、左の第二の長さNLと右の第二の長さNRも互いに同じ長さにされている。従って、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1を伸縮させたときの第一の載置部27L1、第二の載置部27R1のそれぞれの位置を簡単に計算できるようになっている。図3a、bの符号50は本発明の搬送装置10を用いた真空処理装置の模式的な平面図である。この真空処理装置50は、搬送室51と、搬送室51にそれぞれ接続された1又は複数の処理室52~59とを有している。搬送装置10は、搬送室51の内部に配置されている。図3aを参照し、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1をそれぞれ縮めた状態で、第一の左駆動軸12L1、第一の右駆動軸12R1と左回転部材16L、右回転部材16Rとを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1は主能動回転軸線Oを中心に一緒に回転し、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1を各処理室52~59に向けることができる。第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1をここでは符号56、57の処理室にそれぞれ向けた後、左回転部材16L、右回転部材16Rとを静止させた状態で第一の左駆動軸12L1、第一の右駆動軸12R1を回転させて第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1をそれぞれ伸ばすと、図3bを参照し、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1にそれぞれ載置された基板30L1、30R1を互いに衝突させずに、各処理室56、57内の同じ高さの位置に同時に搬入することができる。また第一の左ハンド26L1、第一の右ハンド26R1は従来よりも軽く、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1のたわみ量は従来より小さいので、各処理室56、57に基板30L1、30R1を搬入する際に、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1に保持された基板30L1、30R1が各処理室56、57の開口に衝突する可能性が従来より低減されている。第一の右駆動軸12R1と右回転部材16Rを静止させた状態で、第一の左駆動軸12L1と左回転部材16Lを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の左載置部27L1は第一の右載置部27R1と独立に回転移動され、第一の左載置部27L1に載置された基板30L1を処理室56内で位置合わせができるようになっている。また、第一の左駆動軸12L1と左回転部材16Lを静止させた状態で、第一の右駆動軸12R1と右回転部材16Rを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の右載置部27R1は第一の左載置部27L1と独立に回転移動され、第一の右載置部27R1に載置された基板30R1を処理室57内で位置合わせができるようになっている。左回転部材16L、右回転部材16Rとを静止させた状態で第一の左駆動軸12L1、第一の右駆動軸12R1をそれぞれ回転させて第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1を縮めると、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1を互いに衝突させずに、各処理室56、57内から搬送室51に引き出すことができる図3a参照。以上の各工程を組み合わせることにより、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1にそれぞれ載置された基板30L1、30R1を搬送室51から各処理室52~59へ搬入し、逆に各処理室52~59から搬送室51に搬出できる。図7は本発明の第二例の搬送装置の平面図を示し、図8は同側面図を示している。第二例の搬送装置10’は上記実施例の搬送装置10に加えて、第二の左腕部20L2、第二の右腕部20R2を有している。第二の左腕部20L2、第二の右腕部20R2の構造は第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1の構造と同じであり、第二の左腕部20L2、第二の右腕部20R2は第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1の上方にそれぞれ配置されている。ただし、ここでは第二の左腕部20L2は第一の右腕部20R1と右回転部材16Rを共有し、第二の右腕部20R2は第一の左腕部20L1と左回転部材16Lを共有している。すなわち、第二の左腕部20L2の第二の左主従動腕22L2は右主従動回転軸線RRを中心に回転可能に配置され、第二の右腕部20R2の第二の右主従動腕22R2は左主従動回転軸線RLを中心に回転可能に配置されている。従って、第一の左駆動軸12L1と第二の右駆動軸12R2と左回転部材16Lとが一緒に主回転軸線Oの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の左腕部20L1と第二の右腕部20R2はそれぞれの形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Oの周りに回転するように構成されている。また、第一の右駆動軸12R1と第二の左駆動軸12L2と右回転部材16Rとが一緒に主回転軸線Oの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の右腕部20R1と第二の左腕部20L2はそれぞれの形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Oの周りに回転するように構成されている。本発明は、第二の左腕部20L2は第一の左腕部20L1と左回転部材16Lを共有し、第二の右腕部20R2は第一の右腕部20R1と右回転部材16Rを共有する構造も含まれる。この場合、第二の左主従動腕22L2は右主従動回転軸線RRを中心に回転可能に配置され、第二の右主従動腕22R2は左主従動回転軸線RLを中心に回転可能に配置されていたが、第二の左主従動腕22L2は左主従動回転軸線RLを中心に回転可能に配置され、第二の右主従動腕22R2は右主従動回転軸線RRを中心に回転可能に配置される。従って、第一の左駆動軸12L1、第二の左駆動軸12L2と左回転部材16Lとが一緒に主能動回転軸線Oの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の左腕部20L1と第二の左腕部20L2はそれぞれ形状を維持ながら一緒に主能動回転軸線Oの周りに回転し、第一の右駆動軸12R1、第二の右駆動軸12R2と右回転部材16Rが一緒に主能動回転軸線Oの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の右腕部20R1と第二の右腕部20L2はそれぞれ形状を維持ながら一緒に主能動回転軸線Oの周りに回転するように構成されている。ここでは、図8を参照し、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1の第一の左副リンク32L1、第一の右副リンク32R1は、第一の左主リンク31L1、第一の右主リンク31R1の上方にそれぞれ配置され、第二の左腕部20L2、第二の右腕部20R2の第二の左副リンク32L2、第二の右副リンク32R2は、第二の左主リンク31L2、第二の右主リンク31R2の下方にそれぞれ配置されている。そのため、第二の左載置部27L2、第二の右載置部27R2の高さと、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1の高さの差は、第一の左副リンク32L1、第一の右副リンク32R1が、第一の左主リンク31L1、第一の右主リンク31R1の下方にそれぞれ配置された場合や、第二の左腕部20L2、第二の右腕部20R2の第二の左副リンク32L2、第二の右副リンク32R2が、第二の左主リンク31L2、第二の右主リンク31R2の上方にそれぞれ配置された場合よりも小さく、第二の左載置部27L2、第二の右載置部27R2に載置された基板は、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1に載置された基板とほぼ同じ高さで搬送されるようになっている。図9a、bの符号50’は本発明の第二例の搬送装置10’を用いた真空処理装置の模式的な平面図である。この真空処理装置50’は、符号50の真空処理装置と同様に、搬送室51’と、搬送室51’にそれぞれ接続された1又は複数の処理室52’~59’とを有している。搬送装置10’は、搬送室51’の内部に配置されている。図9aを参照し、ここでは符号56’、57’の処理室内でそれぞれ基板が真空処理されているとする。各腕部20L1、20L2、20R1、20R2を縮めた状態で、第一の左駆動軸12L1、第二の左駆動軸12L2と、第一の右駆動軸12R1、第二の右駆動軸12R2と、左回転部材16L、右回転部材16Rとを一緒に同一角度同方向に回転させ、各腕部20L1、20L2、20R1、20R2を回転させて、第一の左載置部27L1、第二の左載置部27L2を一方の処理室56’に向け、第一の右載置部27R1、第二の右載置部27R2を他方の処理室57’に向ける。図9bを参照し、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1には一枚ずつ未処理の基板が載置され、第二の左載置部27L2、第二の右載置部27R2には基板は載置されていない場合には、第二の左腕部20L2、第二の右腕部20R2を処理室56’、57’内にそれぞれ伸ばして、処理済みの基板を第二の左載置部27L2、第二の右載置部27R2に載せ、第二の左腕部20L2、第二の右腕部20Rを縮めて、基板を搬送室51’に搬出する。次いで第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1をそれぞれ伸ばして、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1に載置された未処理の基板を同処理室56’、57’内に搬入し、第一の左腕部20L1、第一の右腕部20R1を縮めて、第一の左載置部27L1、第一の右載置部27R1を搬送室51’に引き出す。次いで、同処理室56’、57’内に搬入された基板を真空処理させる。第二例の搬送装置10’では、処理済みの基板を処理室56’、57’から搬出した後すぐに、未処理の別の基板を同処理室56’、57’内に搬入できるので、第一例の搬送装置10よりも基板処理のスループットを向上できる。