"複数のカーボンナノチューブが集合して形成されたカーボンナノチューブ集合体と、前記複数のカーボンナノチューブ集合体に含まれる複数の酵素と、を含むカーボンナノチューブフィルム。前記酵素とは異種のタンパク質を含む請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルム。前記複数のカーボンナノチューブ間に界面活性剤を含む請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルム。前記複数のカーボンナノチューブ間に複数のメディエータ分子を含む請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルム。前記酵素は、オキシダーゼ又はデヒドロゲナーゼである請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルム。前記カーボンナノチューブ集合体は、比表面積600m2/g以上2600m2/g以下、重量密度0.002g/cm3以上0.2g/cm3以下、細孔径の分布極大が5nm以上100nm以下を有する請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルム。前記カーボンナノチューブ集合体の4本の前記カーボンナノチューブで囲まれた空隙に、前記酵素が前記カーボンナノチューブの長手方向と平行に1列で密に配列した部分を含む請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルム。請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルムを有する一対の電極と、燃料と、を含む燃料電池。請求項1に記載のカーボンナノチューブフィルムを有する電極を含むセンサ。基板上に成長した複数のカーボンナノチューブを有するカーボンナノチューブフィルムを前記基板から剥離し、前記カーボンナノチューブフィルムを酵素を含む溶液に浸漬する、カーボンナノチューブフィルムの製造方法。前記カーボンナノチューブフィルムを前記基板から剥離した後、界面活性剤を含む第1の緩衝液に前記カーボンナノチューブフィルムを浸漬し、その後、前記カーボンナノチューブフィルムを前記酵素を含む前記溶液に浸漬する、請求項10に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。前記カーボンナノチューブフィルムを前記溶液に浸漬した後、前記カーボンナノチューブフィルムを乾燥させる、請求項10に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。前記溶液は、前記酵素とは異種のタンパク質を含む請求項10に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。前記溶液に複数のメディエータ分子を含む請求項10に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。前記酵素は、オキシダーゼ又はデヒドロゲナーゼである請求項10に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。前記酵素を含む前記溶液は、前記カーボンナノチューブ集合体の4本の前記カーボンナノチューブで囲まれた空隙に、前記酵素が前記カーボンナノチューブの長手方向と平行に1列で密に配列する部分を含む濃度である請求項10に記載のカーボンナノチューブフィルムの製造方法。電極に安全小型フレキシブルという性能を与えることができれば、発電デバイスの設計の自由度が大きく改善され、電池性能も大きく進歩することとなる。また、これらの電極の性能はバイオセンサにも共通した要求であり、バイオセンサの開発にも大きく貢献することとなる。本発明は、発電デバイス、バイオセンサの開発の要請に応えるべく、安全小型フレキシブルな自立型のタンパク質を包含したカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスを提供することを課題とする。1本発明の一実施形態によると、複数のカーボンナノチューブが集合して形成されたカーボンナノチューブ集合体と、前記複数のカーボンナノチューブ間の複数の酵素と、を含むカーボンナノチューブフィルムが提供される。2前記カーボンナノチューブフィルムは、前記酵素とは異種のタンパク質を含んでもよい。3前記カーボンナノチューブフィルムは、前記複数のカーボンナノチューブ間に界面活性剤を含んでもよい。4前記カーボンナノチューブフィルムは、前記複数のカーボンナノチューブ間に複数のメディエータ分子を含んでもよい。5前記酵素は、オキシダーゼ又はデヒドロゲナーゼであってもよい。6前記カーボンナノチューブ集合体は、比表面積600m2/g以上2600m2/g以下、重量密度0.002g/cm3以上0.2g/cm3以下、細孔径の分布極大が5nm以上100nm以下を有してもよい。7前記カーボンナノチューブ集合体の4本の前記カーボンナノチューブで囲まれた空隙に、前記酵素が前記カーボンナノチューブの長手方向と平行に1列で密に配列した部分を含んでもよい。8また、本発明の一実施形態によると、1乃至7の何れか一に記載のカーボンナノチューブフィルムを有する一対の電極と、燃料と、を含む燃料電池が提供される。9また、本発明の一実施形態によると、1乃至7の何れか一に記載のカーボンナノチューブフィルムを有する電極を含むセンサが提供される。10また、本発明の一実施形態によると、基板上に成長した複数のカーボンナノチューブを有するカーボンナノチューブフィルムを前記基板から剥離し、前記カーボンナノチューブフィルムを酵素を含む溶液に浸漬する、カーボンナノチューブフィルムの製造方法が提供される。11前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法において、前記カーボンナノチューブフィルムを前記基板から剥離した後、界面活性剤を含む第1の緩衝液に前記カーボンナノチューブフィルムを浸漬し、その後、前記カーボンナノチューブフィルムを前記酵素を含む前記溶液に浸漬してもよい。12前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法において、前記カーボンナノチューブフィルムを前記溶液に浸漬した後、前記カーボンナノチューブフィルムを乾燥させてもよい。13前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法において、前記溶液は、前記酵素とは異種のタンパク質を含んでもよい。14前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法において、前記溶液に複数のメディエータ分子を含んでもよい。15前記カーボンナノチューブフィルムの製造方法において、前記酵素は、オキシダーゼ又はデヒドロゲナーゼであってもよい。16前記酵素を含む前記溶液は、前記カーボンナノチューブ集合体の4本の前記カーボンナノチューブで囲まれた空隙に、前記酵素が前記カーボンナノチューブの長手方向と平行に1列で密に配列する部分を含む濃度であってもよい。本発明の方法によると、安全小型フレキシブルな自立型のタンパク質を包含したカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスが提供される。以下、図面を参照して本発明に係るタンパク質を包含したカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスとその製造方法について説明する。本発明に係るタンパク質を包含したカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスは、カーボンナノチューブの集合体を有する電極を含む。本発明のタンパク質を包含したカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスとその製造方法は、以下に示す実施の形態及び実施例の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、本実施の形態及び後述する実施例で参照する図面において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。本発明者らは、安全小型フレキシブルな自立型のタンパク質を包含したカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスを実現すべく鋭意検討を行った。その結果、優れた導電性材料であるカーボンナノチューブ集合体を利用し、脆弱な酵素をマイルドな固定化法によってカーボンナノチューブ集合体に固定化することで、柔軟且つ電池性能を改善したカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスを提供することを想到した。本発明者らは、これまでに、化学気相成長法以下、CVDというを用いた配向性の高いCNT構造体について研究し、例えば、単層CNT構造体及びその製造方法については、Science30613621364や、国際公開WO2006/011655号において報告した。また、二層CNT以下、二層CNTという構造体及びその製造方法については、NatureNanotechnology1131136や、特開2007-145634号公報において報告した。本発明者らは、上述のようなCVD以下、スーパーグロース法というを用いて導体基板上に形成した配向単層CNTの集合体に、酸化還元タンパク質を固定化した電極材料が、CNTと酸化還元タンパク質との間の高効率の電子授受を可能とし、高効率の水素発生デバイスを実現することを特許文献2で報告した。しかし、特許文献2では導体基板を用いるため、小型で、柔軟性のある自立型のカーボンナノチューブフィルムを実現するには、更なる改良を要する。実施形態1カーボンナノチューブフィルム図1に本発明の実施形態に係るカーボンナノチューブフィルム100の模式図を示す。カーボンナノチューブフィルム100は、CNT111が集合したカーボンナノチューブ集合体110が、タンパク質120を包含した構造を有する。言い換えると、CNT111が集合したカーボンナノチューブ集合体110を構成するCNT111の間にタンパク質120が存在する。タンパク質120には酸化還元活性を有するタンパク質酵素を用いるが、不活性又は酸化還元活性を有するタンパク質の反応を阻害しないタンパク質も含んでいてもよい。本実施形態に係るカーボンナノチューブ集合体110を形成するCNT111としては、配向した単層CNTが好ましい。CNT111は、上述したスーパーグロース法を用いて合成することができる。合成されたCNT111の集合体を合成基板から剥離することで、カーボンナノチューブ集合体110を得ることができる。カーボンナノチューブフィルム100に用いるカーボンナノチューブ集合体110の比表面積は、未開口のCNTが主であれば、600m2/g以上1300m2/g以下が好ましい。開口のCNTが主であれば1300m2/g以上2600m2/g以下が好ましい。カーボンナノチューブ集合体の比表面積は、液体窒素の77Kでの吸脱着等温線の計測によって求めることができる。カーボンナノチューブ集合体110のシート抵抗は1.74垂直方向、2.61並行方向Ω/cm2以上である。また、カーボンナノチューブ集合体110の重量密度は、0.002g/cm3以上0.2g/cm3以下である。本実施形態において、カーボンナノチューブフィルム100に用いるカーボンナノチューブ集合体110は、例えば、典型値として、単層CNT含有率が98カーボンナノチューブ集合体の透過型電子顕微鏡像から求めた二層CNT及び多層CNTに対する単層CNTの本数割合以上、細孔径ポアサイズの分布極大が5nm以上100nm以下、金属不純物が0.01mass以下、炭素純度が99.9mass以上、G/D比が50以下、平均外径が1.5nm以上4nm以下、半値幅1nm以上、ヘルマンの配向係数0.1以上1以下である。本実施形態に係るカーボンナノチューブフィルム100に用いる酵素120としては、アノード電極へ包含させる酵素として、デヒドロゲナーゼ等の酸化酵素や、例えば、ジアフォラーゼとグルコースデヒドロゲナーゼの併用や、グルコースオキシダーゼ、フルクトースオキシダーゼ、フルクトースデヒドロゲナーゼ、アルコールオキシダーゼ、アルコールデヒドロゲナーゼ、乳酸オキシダーゼ、乳酸デヒドロゲナーゼ等の酵素から選択されることが好ましい。アノード電極へ使用可能な酵素はこれらに限定されず、糖やアルコールなどのバイオマス燃料の分解に有用なものであれば何れの酵素も用いることができる。また、カソード電極へ包含させる酵素としては、オキシダーゼ等の酸素を基質とする酵素、例えば、ビルリビンオキシダーゼやラッカーゼなどのマルチ銅オキシダーゼ等の酵素を用いることが好ましい。しかしながら、カソード電極へ使用可能な酵素はこれらに限定されず、酸素還元に有用なものであれば何れの酵素も用いることができる。カーボンナノチューブフィルムの製造方法上述したカーボンナノチューブフィルムの製造方法について、以下に説明する。カーボンナノチューブフィルムは、カーボンナノチューブ集合体110に酵素120を包含させることで製造する。カーボンナノチューブ集合体110は非常に高い疎水性を有しているので、カーボンナノチューブ集合体110に酵素120を包含させることは容易ではない。本発明者らは、試行錯誤を繰り返し、カーボンナノチューブ集合体110に酵素を包含させる方法を見出した。具体的には、生体分子は脆弱な構造であるがゆえに、包含および収縮工程には、プロセスのマイルドさを考慮する必要がある。このことは、本出願において提案する自立フィルムの収縮工程で使用した材料や条件が伴わければ、実現不可能であることを意味する。包含方法としては、静止した酵素溶液にカーボンナノチューブ集合体を浸漬する方法、及び攪拌した酵素溶液にカーボンナノチューブ集合体を浸漬する方法の2つがある。また、カーボンナノチューブ集合体110に酵素120を包含させた後、乾燥させることでカーボンナノチューブ集合体を収縮させ、カーボンナノチューブフィルム100を小型化することができる。以下、収縮する前をカーボンナノチューブフィルムasgrown、収縮後をカーボンナノチューブフィルムsolidと呼ぶ。剥離工程図3は、本実施形態に係るカーボンナノチューブフィルム100の製造方法を示す図である。本実施形態に係るカーボンナノチューブ集合体は、例えば、本願発明者らが報告したスーパーグロース法国際公開WO2006/011655号等を用いて製造することができる。カーボンナノチューブフィルム100の製造工程は、カーボンナノチューブ集合体剥離工程、前処理工程及び酵素包含工程を含み、さらに乾燥工程を含むことができる。カーボンナノチューブ集合体剥離工程は、合成基板上に合成した、高配向性のCNT集合体からシート状のカーボンナノチューブ集合体110を剥離する工程である。カーボンナノチューブ集合体110を剥離しても、カーボンナノチューブ集合体110を合成するために合成基板上に形成した触媒粒子は、合成基板上からはほとんど剥離することはない。このため、カーボンナノチューブ集合体剥離工程においては、触媒粒子はカーボンナノチューブ集合体110にはほとんど含まれず、高純度のカーボンナノチューブ集合体110を得ることができる。前処理工程前処理工程は、剥離したカーボンナノチューブ集合体110を減圧条件下で、緩衝液中に所定の時間浸漬する工程である。減圧することで、カーボンナノチューブ集合体110内に溜まったガスを脱気する。次の酵素包含工程において、カーボンナノチューブ集合体110に酵素120を含む溶液が浸透しやすくするため、十分に脱気する。この脱気工程を経ることによって、カーボンナノチューブ集合体への十分な酵素の包含が実現できることを見出した。緩衝液に界面活性剤を添加してもよい。また、界面活性剤の代わりにイオン性液体を用いてもよい。CNTは疎水性であるため、界面活性剤を添加することにより、水への親和性を高めることができる。また、CNT111の間に水分が浸透することにより、カーボンナノチューブ集合体110は自立型のカーボンナノチューブフィルムが形成される。本実施形態に係るカーボンナノチューブ集合体110の前処理工程に用いる界面活性剤としては、TritonX100、Tween20等、酵素120の活性に影響のない界面活性剤であれば何れのものでも用いることができる。また、緩衝液としては、リン酸緩衝生理食塩水PhosphatebufferedsalinePBS、Mcllvaine緩衝液等、酵素120の活性に影響のない緩衝溶液であれば何れのものでも用いることができる。酵素包含工程次に、酵素包含工程により、カーボンナノチューブ集合体110に酵素120を包含させる。酵素包含工程において、カーボンナノチューブ集合体110を酵素溶液に所定の時間浸漬する。その後、酵素120を包含させたカーボンナノチューブ集合体110を緩衝液で洗浄し、カーボンナノチューブフィルム100asgrownを得る。ここで、酵素包含工程は、静置包含法または撹拌包含法により行うことが出来る。静置包含法は、酵素溶液中にカーボンナノチューブ集合体110を所定の時間静置して、酵素120を包含させる方法である。また、撹拌包含法は、カーボンナノチューブ集合体110を撹拌させた酵素溶液に、所定の時間浸漬することで、酵素120を包含させる方法である。酵素包含工程には、静置包含法または撹拌包含法の何れの方法でも用いることもできるが、後述する実施例に示すように、撹拌包含法は、静置包含法に比して効率良くカーボンナノチューブ集合体110に酵素120を包含させることができる。また、酵素包含工程において、酵素溶液の濃度を変化させることで、カーボンナノチューブ集合体への酵素包含量を調節することが可能となる。乾燥工程酵素120を包含させたカーボンナノチューブフィルム100は、さらに、乾燥工程により乾燥させてもよい。カーボンナノチューブフィルム100をカーボンペーパーCarbonPaper、以下CPと略す上で、大気圧、室温下で乾燥させると、カーボンナノチューブフィルム100は収縮する。カーボンナノチューブフィルム100は、乾燥させることで、小型の自立型のフィルムにすることができる。また、図2に示したように、カーボンナノチューブフィルム100は、乾燥により収縮することでCNT111の間隔が酵素120を包含する程度に狭くなる。これにより、図2に示すように、CNT111と酵素120とが効率良く接触し、反応密度が高いカーボンナノチューブフィルム200solidを提供することができる。また、カーボンナノチューブフィルム200は、乾燥により収縮することでCNT111の間隔が酵素120を包含する程度になるが、酵素120と分子の大きさが異なる異種のタンパク質を同時に包含させることも出来る。例えば、酵素120よりも大きく、且つ、不活性または酵素120の酵素反応を阻害しないタンパク質を包含した場合、カーボンナノチューブフィルム200の内部に酵素120の反応効率を向上させるような反応の場を提供することもできる。本実施形態において、カーボンナノチューブフィルムにメディエータをさらに包含させてもよい。メディエータには公知のものを用いることができる。フレキシブル基板への貼付上述のように製造したカーボンナノチューブフィルム100、200は柔軟性を有すため、フレキシブルな基板に貼付して使用することも可能である。図4は、カーボンナノチューブフィルムをフレキシブル基板150に貼付した例を示す。本実施形態に係るフレキシブル基板150としては、例えば、PolyethyleneTerephthalatePETやコラーゲンゲル等を用いることができる。カーボンナノチューブフィルム100の貼り付けは、上述の酵素包含方法により酵素120を包含させた後に、カーボンナノチューブフィルム100をフレキシブル基板150上に載せ、大気圧、室温下で乾燥させて行う。また、カーボンナノチューブフィルム200をフレキシブル基板150に貼付する場合は、上述した緩衝液を用いてカーボンナノチューブフィルムを湿らせて、フレキシブル基板150に貼付する。カーボンナノチューブフィルムは、基板150等の基材に添付すると、その後、溶液につけてもCNT111の間隔が拡がらず、酵素120を包含した状態を維持する。図4に示したように、フレキシブル基板150を湾曲させた状態でも、カーボンナノチューブフィルム100は、フレキシブル基板150とともに湾曲し、剥離しない。とりわけ、フレキシブル基板150としてコラーゲンゲルシートを用いると、発電デバイスを形成した際の燃料溶液を吸収する性質を有するため、燃料一体型の小型バイオ電池を作製することができる。以上説明したように、本実施形態に係る本発明のカーボンナノチューブフィルムは、高配向、且つ導電性に優れたカーボンナノチューブ集合体に酵素を包含させることで、酸化還元タンパク質との間の高効率の電子授受を可能とし、柔軟性のある自立型のフィルムを提供する優れた効果を奏する。また、本実施形態に係るカーボンナノチューブフィルムは、乾燥させることでCNTの間隔が包含するタンパク質の大きさに調整され、小型で反応密度が高く、酵素の物理的保持活性の保持電子伝達効率に優れた電極として機能する。さらに、本実施形態に係るカーボンナノチューブフィルムは機械的強度と柔軟性を併せ持つため、基材に張り付けたり巻き付けたりする事が可能で、安全クリーンな有機材料のみで構成されたフレキシブルなバイオセンサもしくは発電デバイスの作製を可能とする。実施形態2発電デバイス本実施形態においては、実施形態1で説明したカーボンナノチューブフィルムを用いた発電デバイス400について説明する。図5は、本発明の実施形態に係る発電デバイス400の模式図である。発電デバイス400は、容器430の内側にアノード電極411と、カソード電極413が所定の間隔で配置され、燃料470を満たした構成である。アノード電極411及びカソード電極413には配線450が接続され、発電デバイス400から電気エネルギーを取り出す。容器430及び配線450は、それぞれ公知の材料を用いて形成することができる。また、本実施形態に係る発電デバイス400の燃料470としては、ブドウ糖グルコース、果糖フルクトース、メタノールやエタノールなどのアルコール、乳酸、ショ糖スクロースなどから選択されることが好ましい。使用可能な燃料はこれらに限定されず、実施形態1で説明したアノード電極用酵素およびカソード電極用酵素の基質となるものであれば何れのものでも良い。アノード電極411及びカソード電極413は、例えば、カーボンナノチューブフィルム100を配線450に巻き付けて形成することができる。図6は、本実施形態に係る図5に示した発電デバイス400の電極を示す図である。図6aに示すように、発電デバイス400の電極において、カーボンナノチューブフィルムに燃料470が浸漬し、包含された酵素120が燃料470を基質として電気エネルギーを生成する。図6bに示すように、カーボンナノチューブフィルムは柔軟性を有するため、配線450に巻き付けることができ、発電デバイス400において電極として機能する。アノード電極411及びカソード電極413は、カーボンナノチューブフィルム100を配線450に巻き付け、大気圧、室温下で乾燥させることにより形成することができる。本実施形態の発電デバイス400の電極に用いるカーボンナノチューブフィルムとしては、実施形態1で説明したカーボンナノチューブフィルム100、カーボンナノチューブフィルム200を用いることができる。カーボンナノチューブフィルム100を用いる場合は、配線450に巻き付ければよい。一方、カーボンナノチューブフィルム200を用いる場合は、上述した緩衝液を用いてカーボンナノチューブフィルムを湿らせて、配線450に巻き付ける。カーボンナノチューブフィルムは、配線450等の基材に添付すると、その後、溶液につけてもCNT111の間隔が拡がらず、酵素120を包含した状態を維持する。以上説明したように、本実施形態に係る本発明の発電デバイスは、高配向、且つ導電性に優れたカーボンナノチューブ集合体に酵素を包含させた柔軟性のある自立型のカーボンナノチューブフィルムを電極に用いて形成することができる。本実施形態に係るカーボンナノチューブフィルムは機械的強度と柔軟性を併せ持つため、基材や配線に張り付けたり巻き付けたりすることが可能で、安全クリーンな有機材料のみで構成されたフレキシブルな発電デバイスを提供することができる。実施形態3バイオセンサ実施形態1で説明した本発明のカーボンナノチューブフィルムは、実施形態2で説明したように、燃料の酸化還元反応により電気エネルギーに得ることができる。また同様に、本発明のカーボンナノチューブフィルムは、酸化還元電流を検出することで被験物を検出するバイオセンサへの応用を可能とする。具体的には、健康モニタリングや食品分析等で分析対象とされるブドウ糖グルコース、果糖フルクトース、エタノール、乳酸、ショ糖スクロースなどを検出可能である。測定対象はこれらに限定されず、包含させる酵素の基質となるものであれば何れのものでも良い。本実施形態に係るバイオセンサには、実施形態1で説明したフレキシブル基板に貼付したカーボンナノチューブフィルムや、実施形態2で説明した電極を用いることができる。また、本実施形態に係るバイオセンサには、カーボンナノチューブフィルム100、カーボンナノチューブフィルム200の何れをも用いることができる。以上説明したように、実施形態に係る本発明のバイオセンサは、高配向、且つ導電性に優れたカーボンナノチューブ集合体に酵素を包含させた柔軟性のある自立型のカーボンナノチューブフィルムをセンサに用いることができる。本実施形態に係るカーボンナノチューブフィルムは機械的強度と柔軟性を併せ持つため、基材や配線に張り付けたり巻き付けたりすることが可能で、安全クリーンな有機材料のみで構成されたフレキシブルなバイオセンサを提供することができる。上述した実施形態の本発明に係るカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスの例について、以下に詳細に説明する。なお、以下の実施例は、一例であって本発明のカーボンナノチューブフィルム、それを電極とするセンサ及び発電デバイスはこれらに限定されるものではない。カーボンナノチューブフィルムの製造以下に、カーボンナノチューブフィルム100の製造方法の例を示す。本実施例に係るカーボンナノチューブ集合体110を形成するCNT111は、上述したスーパーグロース法を用いて合成した。ピンセットを用いて、合成したCNT111の集合体をシリコン基板から剥離し、カーボンナノチューブ集合体110を得た。カーボンナノチューブフィルム100には、未開口のCNTを主とするカーボンナノチューブ集合体110を用い、CNT111の長さが1mm、CNT111の間隔が16nm、シート抵抗が1.74垂直方向、2.61並行方向Ω/cm2以上で、その他の特性は、上述の実施例1に示した範囲内であった。静止包含法による酵素包含シリコン基板から剥離したカーボンナノチューブ集合体110を逆型ピンセットで挟む。界面活性剤TritonX100を0.1含んだ緩衝溶液中にカーボンナノチューブ集合体を浸漬し、真空チャンバー~1MPaで30分間脱気した。この脱気工程を経ることによって、カーボンナノチューブ集合体への十分な酵素の包含が実現できる。次に、酵素溶液アノード:DfructoseDehydrogenese10mg/ml、カソード:Laccase4.3μM、緩衝溶液はMcIlvaineBufferpH50を使用中へ12時間浸漬した。その後、ピペットで吸い取り、10mlのMcIlvaineBuffer中へ吐き出すことでカーボンナノチューブ集合体を洗浄した。これにより、カーボンナノチューブフィルム100asgrownを得た。攪拌包含法による酵素包含シリコン基板から剥離したカーボンナノチューブ集合体110を逆型ピンセットで挟む。界面活性剤TritonX100を0.1含んだ緩衝溶液中にカーボンナノチューブ集合体を浸漬し、真空チャンバー~1MPaで30分間脱気した。この脱気工程を経ることによって、カーボンナノチューブ集合体への十分な酵素の包含が実現できる。次に、続いて1mlの酵素溶液アノード:DfructoseDehydrogenese0.5mg/ml、カソード:Laccase:4.3μM、緩衝溶液はMcIlvaineBufferpH50を使用と撹拌子の入ったバイアル瓶に、ピンセットで挟んだカーボンナノチューブ集合体を撹拌子と干渉しないよう浸漬した。その後、4°Cにて溶液を撹拌しながら12時間浸漬した。カーボンナノチューブ集合体をピンセットから液中で開放したのち、溶液中に舞うカーボンナノチューブ集合体をピペットで吸い取った。その後、10mlの緩衝溶液McIlvaineBufferpH50中へ吐き出すことで、カーボンナノチューブ集合体を洗浄した。カーボンナノチューブ集合体の乾燥カーボンナノチューブ集合体の洗浄後、カーボンペーパーCarbonPaper、以下CPと略す上に吐出し、大気圧、室温下で乾燥させることで収縮させた。乾燥工程により収縮させたカーボンナノチューブフィルムを光学顕微鏡にて、観察した。本実施例においては、CNT111の間隔が16nmのカーボンナノチューブ集合体101を用い、酵素120を含まない緩衝液のみのカーボンナノチューブフィルム201、酵素120としてLaccaseLACを包含させたカーボンナノチューブフィルム210及びDfructoseDehydrogeneseFDHを包含させたカーボンナノチューブフィルム230を乾燥工程により、それぞれ収縮させ、カーボンナノチューブフィルム200solidを得た。図7に示すように、包含した酵素の大きさに依存して、カーボンナノチューブフィルムの収縮率が変化していることがわかる。カーボンナノチューブフィルムの電極性能の評価以下に、カーボンナノチューブフィルムの電極性能の評価結果を示す。カーボンナノチューブフィルムの電極性能評価は、燃料を酸化するアノードと酸素を還元するカソードの二つについて行った。酵素を包含できる許容量を見積もるため、カーボンナノチューブ集合体のキャパシタンス容量を評価した。実施例1として、収縮させていないカーボンナノチューブフィルム101asgrownを用い、実施例2として、収縮させたカーボンナノチューブフィルム201solidを用いた。また、比較例として、無配向のCNTを電極として用い、比較例1には1mmの長さの無配向のCNT910を用い、比較例2には2~5μmの長さの無配向のCNT920を用いた。実施例1、実施例2及び比較例1、比較例2は、それぞれ、以下のように作製した。カーボンナノチューブフィルムのキャパシタンス容量評価カーボンナノチューブフィルム101及び201のキャパシタンスを測定するための電極を作製した。シリコン基板から垂直方向に伸長しているカーボンナノチューブ集合体をピンセットによって剥がし、DMFNNdimethylformide、Sigma社に浸漬した。ピペットでカーボンナノチューブ集合体を吸い取り、ガラス基板上に作製した金電極電極面積、0.01cm2上に乗せ、大気圧、室温下で乾燥させることで、カーボンナノチューブ集合体asgrownを作製した。カーボンナノチューブ集合体solidは、DMF中に浸漬後、カーボンペーパー上に吐出し、大気圧、室温下で乾燥させることで収縮させ、ピンセットを用いて金電極電極面積、0.01cm2上に乗せた。DMFを滴下し、大気圧、室温下で乾燥させた。無配向CNTは、カーボンナノチューブ集合体を超音波ホモジナイザーで分散させたもの長さ:1mmと、市販のCNTを同様に分散させたもの長さ:2~5μmを使用した。電極の作製には、DMFを用いて、90ng/μlCNT溶液を作製した。超音波ホモジナイザーSonifier250DBRANSONを用いて、CNT溶液を10Wで15分間超音波し、CNTを分散させた。金電極上に分散溶液を2.6μl滴下し、80°Cの真空オーブン中で1.5時間乾燥させた。これらの電極を電子顕微鏡にて観察した図8a。キャパシタンス容量は、交流インピーダンス法にてインピーダンスZおよび周波数fを実測し、1式に代入し算出した。C11測定器は、電気化学測定システムElectrochemicalAnalyzerModel600S、BAS社を使用し、緩衝溶液McIlvaineBufferpH50中で、±5mVの交流電場、周波数1Hz~1×105Hzを測定条件とした。図8bに交流インピーダンス法によるキャパシタンス容量を示す。実施例1及び実施例2のカーボンナノチューブ集合体のフィルムの容量は、比較例1及び比較例2の無配向CNTと比べ2倍以上に大きいことが分かる。また、収縮前後で、カーボンナノチューブ集合体のキャパシタンス容量に大きな差がないことが分かる。アノード電極の性能評価次に、アノード電極を作製し、その性能を評価した。実施例3として静置包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブ集合体のフィルム510を、実施例4として撹拌包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム520を、実施例5として撹拌包含法を用い収縮させたカーボンナノチューブフィルム530をそれぞれ作製した。また、比較例3として1mmの長さの無配向のCNT910を、比較例4として2~5μmの長さの無配向のCNT920を用いた。カーボンナノチューブフィルムを用いたアノード電極作製は、上述したカーボンナノチューブフィルムを作製後、金電極電極面積、0.01cm2上に乗せ、緩衝液を滴下させた。乾燥後、フィルムは電極上に貼り付き、カーボンナノチューブフィルム電極ができる。比較例の無配向のCNT電極は、キャパシタンス容量評価で説明した方法で作製した電極上に、酵素溶液DfructoseDehydrogenese10mg/mlを滴下することで酵素を取り込ませた。図9に、フルクトース酸化の電流電位曲線を示す。電流電位曲線は、電気化学測定システムElectrochemicalAnalyzerModel600SBAS社を用いた3極法ワーキング:酵素電極、リファレンス:AgAgClsatKCl、カウンタ:白金にて取得した。測定条件は、200mMフルクトース溶液中、掃引速度10mV/s、室温とした。比較例3及び比較例4の無配向のCNTは、同程度の電流密度であったが、実施例3の静置包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム510は、比較例に対して有意に大きな電流密度を示した。また、実施例4の撹拌包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム520では、比較例に対して約20倍の電流密度を示し、実施例5の撹拌包含法を用い収縮させたカーボンナノチューブフィルム530では、約40倍の優れた電流密度を示した。実施例4と実施例5とは、最大電流は同程度の値を示したが、電流密度は収縮した分、実施例5の方が大きくなる。このことは、カーボンナノチューブフィルムの収縮による酵素活性の低下は見られないことを示唆する。カソード電極の性能評価同様に、カソード電極を作製し、その性能を評価した。実施例7として静置包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム510を、実施例8として撹拌包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム520を、実施例9として撹拌包含法を用い収縮させたカーボンナノチューブフィルム530をそれぞれ作製した。また、比較例5として1mmの長さの無配向のCNT910を、比較例6として2~5μmの長さの無配向のCNT920を用いた。各電極の作製方法は、上述したアノード電極の作製方法と同様の方法を用いて作製した。図10に、酸素還元の電流電位曲線を示す。電流電位曲線は、アノード電極の性能評価に用いた装置を用いて、同様の条件、酸素飽和条件下で取得した。電流電位曲線は、アノード電極の性能評価で得られた結果と同様で、比較例5及び比較例6の無配向のCNTは、同程度の電流密度であったが、実施例7の静置包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム510は、比較例に対して有意に大きな電流密度を示した。また、実施例8の撹拌包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム520では、比較例に対して約20倍の電流密度を示し、実施例9の撹拌包含法を用い収縮させたカーボンナノチューブフィルム530では、約60倍の優れた電流密度を示した。実施例8と実施例9とは、最大電流は同程度の値を示したが、電流密度は収縮した分、実施例9の方が大きくなる。このことは、カーボンナノチューブフィルムの収縮による酵素活性の低下は見られないことを示唆する。センサおよび発電デバイスの作製及びその特性評価バイオ発電デバイスの出力評価上述の実施例5及び実施例9の撹拌包含法を用い収縮させたカーボンナノチューブフィルム530を用いて、バイオ発電デバイスを作製し、電極間に異なる外部抵抗10kΩ~2MΩを接続させ、その際の電圧を電気化学測定システムElectrochemicalAnalyzerModel600SBAS社によって計測し、電流と出力を算出した。測定条件は、酸素飽和させた200mMフルクトース溶液中とした。その結果を図11に示す。本実施例に係るバイオ発電デバイスにより、0.61Vで最大出力密度19μW/cm2を得ることができた。ワイヤ電極への巻き付けおよびLED点灯試験さらに、上述のカーボンナノチューブフィルムをワイヤ電極へ巻き付け、LEDの点灯試験を行った。本実施例においては、チャージポンプICS882Z20、SeikoInstruments社にコンデンサー1μFおよび赤色LEDをハンダでボンディングした。組み立てたデバイスは、PolydimethylsiloxanePDMSで封止した。図12に本実施例に係るLEDデバイスを示す。デバイスから延びた金ワイヤ450直径0.2mmに、カーボンナノチューブフィルム200を巻き付けた。カーボンナノチューブフィルムの巻き付けは、上述した実施例同様に作製したカーボンナノチューブフィルムを緩衝液にて湿らせ、ワイヤ450上にピンセットで巻き付けた。大気圧、室温下で乾燥させた後、容器430に燃料470として200mMフルクトース溶液を満たし、燃料470の中に金ワイヤ450を浸漬することで、LEDの点灯を確認した。バイオセンサの評価実施形態3で説明した本発明のバイオセンサの実施例を示す。図9及び図10を参照する。図9及び図10は、各実施例のカーボンナノチューブフィルム及び比較例の無配向のCNTを用いたバイオセンサとして評価することができる。つまり、各実施例及び比較例は、図9においてはフルクトースを、図10においては酸素をそれぞれ検出するバイオセンサである。ここで、図9の実施例6は、フルクトースが存在しない緩衝液を実施例4の撹拌包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム520で検出した例であり、図10の実施例10は、窒素N2を飽和させた緩衝液を実施例8の撹拌包含法を用い収縮させていないカーボンナノチューブフィルム520で検出した例である。この結果から、本実施例の本発明に係るカーボンナノチューブフィルムは、高感度なバイオセンサとして機能することがわかる。酵素包含量の理論予測本発明に係るカーボンナノチューブフィルムにおいて、カーボンナノチューブ集合体1101mm×12μm×1mmへのフルクトースデヒドロゲナーゼFDH,分子量:ca.140kDaの包含量を理論的に評価した。図13a及び図13bに示すように、乾燥前のカーボンナノチューブフィルムにおいて、カーボンナノチューブ集合体110は、直径2.8nmのCNT111が16nm間隔で配列した集合体であり、その内部には多数の空隙が存在する。この空隙に対し、直径7nmのFDH酵素120を包含できる個数Nenzは、式1で表される。ここで、H=1.0mmCNTの長さ、r=7.0×10-6mmFDHの直径、S=12×10-3mm2カーボンナノチューブ集合体110の底面積、U=2.6×10-10mm216nm間隔で囲まれた空隙の底面積である。この結果から、乾燥前のカーボンナノチューブ集合体1101mm×12μm×1mmに包含されるFDHの最大包含量は、FDHの分子量とアボガドロ数の関係から6.2μgと求められた。酵素包含量の実測本発明に係るカーボンナノチューブフィルムにおいて、カーボンナノチューブ集合体1101mm×12μm×1mmへのフルクトースデヒドロゲナーゼFDH,分子量:ca.140kDaの包含量を実験的に評価した。FDH包含量は、ProteinQuantitationKitC6667MolecularProbes社を用いて測定した。カーボンナノチューブ集合体110への酵素包含は、先に示した攪拌包含法を用いた。酵素を包含させたカーボンナノチューブ集合体CNTFをリン酸ナトリウム水溶液0.1Mホウ酸ナトリウム,1コール酸ナトリウムを含む、pH9.3中に浸漬し、超音波ホモジナイザーを用いて分散させた。その後、5mM3quinoline2carboxaldehydeATTOTAGCBQCA、以下、CBQCAというと20mMKCNを用いて、FDHにCBQCAをラベルした。1時間半のインキュベーション後、蛍光強度を測定し、予め求めておいたキャリブレーションカーブからFDH量を求めた。測定結果を、図14aに示す。図14aから明らかなように、浸漬させた酵素濃度の増加と共にカーボンナノチューブフィルム100が包含した酵素量は増加した。また、図14bに示した光学顕微鏡写真から、酵素の包含量の増加と共にカーボンナノチューブフィルム200の収縮が抑制されることが明らかとなった。つまり、浸漬させる酵素濃度によって、カーボンナノチューブフィルムへの酵素の包含量の制御が可能である。酵素濃度と電極性能の評価次に、浸漬させる酵素濃度とカーボンナノチューブフィルムの電極性能との関係について検討した。電流密度の測定には、実施例11として酵素包含量の実測に用いたFDHを包含した収縮させていないカーボンナノチューブフィルム610を、実施例12としてFDHを包含した収縮させたカーボンナノチューブフィルム630を用いた。図15は、浸漬させる酵素濃度と電流密度との関係を示す図である。図15の結果から、実施例11、実施例12ともに、3mg/mlの酵素濃度でカーボンナノチューブ集合体110へFDHを包含させた条件で、カーボンナノチューブフィルムの電流密度が最大となった。図14aに示したように、このFDHの濃度は、カーボンナノチューブ集合体の4本のCNT111で囲まれた空隙に、FDHがCNT111の長手方向と平行に1列で密に配列したモデルから求めた理論値と一致した。一方、3mg/mlを超える過剰な酵素濃度でカーボンナノチューブ集合体110にFDHを包含させると、カーボンナノチューブフィルムの電流密度が低下した。この結果から、3mg/mlを超える過剰な酵素濃度でFDHを包含させると、乾燥工程でのカーボンナノチューブフィルムの収縮が抑制され、カーボンナノチューブフィルムの微細化が阻害されることで、単位面積あたりの電極性能が低下したものと推察される。また、過剰な酵素濃度でのFDHの包含は、カーボンナノチューブフィルムに包含した酵素の配向の変化や酵素の失活による電極性能の低下を引き起こすものと推察される。したがって、本発明に係るカーボンナノチューブフィルムは、カーボンナノチューブ集合体の4本のCNT111で囲まれた空隙に、酵素120がCNT111の長手方向と平行に1列で密に配列した構造を有することで、単位面積あたりの電極性能が最適となる。本発明に係るカーボンナノチューブフィルムは、浸漬させる酵素濃度を調整することで、電極性能の最適化を図ることができる。酵素電極の耐久性評価酵素電極としての耐久性は、実施例13として3mg/mlの溶液でFDHを包含させたカーボンナノチューブフィルムと、実施例14として、これを収縮させたカーボンナノチューブフィルムを用いて評価した。耐久性の評価は、200mMフルクトースを含んだMcllvainebufferpH50中で酸化電流0.2V、リファレンス:AgAgClを測定し、初期電流に対する経時的な減少率を求めることで行った。図16から明らかなように、測定開始から28時間後では、実施例13では出力電流が41減少したが、実施例14では25の減少に留まった。この結果から、乾燥工程により収縮したカーボンナノチューブフィルムのナノレベルの空間が、酵素の保持や活性維持に寄与するものと推察される。フルクトース濃度と電流密度の相関異なる濃度のフルクトース溶液中で電流密度を測定し、本発明に係るカーボンナノチューブフィルムのバイオセンサ用電極としての性能を評価した。電流密度の測定結果を図17に示す。実測値は、LineweaverBurkeの式3にてフィッティングし、ミカエリシスメンテン係数Kmappを算出した。ここで、Issはフルクトース濃度Cにおける電流密度、Imaxは最大電流密度である。測定結果からKmappは10±1mMを示し、これは酵素が溶液中を拡散しているバルクの状態で計測された値と一致する。つまり、本発明に係るカーボンナノチューブフィルムは、収縮させても酵素活性が維持されていることがわかる。また、フルクトースの検出限界は10μMであり、50mM程度までのフルクトース濃度では、電流密度と線形の相関を示すことから、本発明に係るカーボンナノチューブフィルムはバイオセンサとしても優れた性能を有することが明らかとなった。カーボンナノチューブフィルムの積層と電極性能の評価上述したカーボンナノチューブフィルムを積層させることで電極性能が向上するかを評価した。アノードの評価には、3mg/mlの溶液に浸漬してFDHを包含させ、実施例15として収縮させたカーボンナノチューブフィルムを2枚積層したものと、実施例16として収縮させたカーボンナノチューブフィルムを1枚用いたものと、実施例17として収縮させないカーボンナノチューブフィルムを1枚用いたものとに、200mMフルクトースを含んだMcllvainebufferpH50を用い、比較例7として、収縮させないカーボンナノチューブフィルムにフルクトースを添加しないものを用いた。測定結果を図18aに示す。収縮させたカーボンナノチューブフィルムを2枚積層した実施例15は、収縮させたカーボンナノチューブフィルム1枚だけの実施例16に比して電極性能が向上することが明らかとなった。また、同様に、カソードの評価には、0.25mg/mlの溶液に浸漬してLaccaseを包含させ、実施例18として収縮させたカーボンナノチューブフィルムを2枚積層したものと、実施例19として収縮させたカーボンナノチューブフィルムを1枚用いたものと、実施例20として収縮させないカーボンナノチューブフィルムを1枚用いたものを準備し、測定溶液には酸素を飽和させたMcllvainebufferpH50を用いた。比較例8である収縮させないカーボンナノチューブフィルムの測定には、窒素を飽和させたMcllvainebufferpH50を用いた。測定結果を図18bに示す。収縮させたカーボンナノチューブフィルムを2枚積層した実施例18は、収縮させたカーボンナノチューブフィルム1枚だけの実施例19に比して電極性能が向上することが明らかとなった。電池出力の評価上述した実施例15及び実施例18の収縮させたカーボンナノチューブフィルムを2枚積層したものを用いて、電池出力の評価を行った。出力測定は、200mMフルクトースを含んだMcllvainebufferpH50中で行った。電池の電圧に対する出力と電流密度の測定結果を図19aに示す。本実施例においては、0.45Vの時に、1.16mW/cm2の出力が得られた。開回路電圧及び最大電流密度は、それぞれ0.77V、3.2mA/cm2であった。電池の耐久性評価さらに、上述の電池について、耐久性を評価した。耐久性の評価は、200mMフルクトースを含んだMcllvainebufferpH50中で酸化電流0.2V、リファレンス:AgAgClを測定し、初期電力に対する経時的な減少率を求めることで行った。図19bに示すように、本実施例の電池は測定開始から37時間経過後でも80の電力を維持することができた。カーボンナノチューブフィルムの構造と電極性能の評価カーボンナノチューブの構造が、電極性能に及ぼす影響を評価した。電極は、3種類前処理による収縮をさせていないカーボンナノチューブ集合体実施例21、前処理を行い収縮させたカーボンナノチューブ集合体実施例22、1mmの長さの無配向のCNT比較例9を用い、撹拌させた混合溶液200mMフルクトース緩衝液、3mg/mlFDH中に浸漬した。図20は、電気化学システムElectricalAnalyzerModel600S、BAS社を用いた3極法ワーキング:カーボンナノチューブ電極、リファレンス:AgAgClsatKCl、カウンタ:白金にて取得したフルクトースの酸化電流であり、定電圧0.5Vで測定した。実施例22の前処理を行い収縮させたカーボンナノチューブ集合体は、図8bに示したように前処理による収縮をさせていないカーボンナノチューブ集合体実施例2と同程度のキャパシタンス容量を持つが、ナノサイズの酵素を一度収縮させた空間に取り込ませることが困難であるため、フルクトースの酸化電流は一桁ほど小さかった。また、比較例9の無配向のCNTでは、さらに1桁小さな電流値であった。カーボンナノチューブフィルムの質と電極性能の評価カーボンナノチューブフィルムの質が電極性能に及ぼす影響を評価した。電極には、2種類G/D比が1のカーボンナノチューブ集合体比較例10およびG/D比が4のカーボンナノチューブ集合体実施例23を用い、撹拌させた混合溶液200mMフルクトース緩衝液、3mg/mlFDH中に浸漬した。図21は、電気化学システムElectricalAnalyzerModel600S、BAS社を用いた3極法ワーキング:カーボンナノチューブ電極、リファレンス:AgAgClsatKCl、カウンタ:白金にて取得したフルクトースの酸化電流であり、定電圧0.5Vで測定した。G/D比は、ラマンスペクトルのGバンドとDバンドの比を示しており、値が大きいほど高い結晶性欠陥が少ないを示す。図21が示すように、電極性能は、G/D比が高いカーボンナノチューブ集合体の方が良い。ビリルビンオキシダーゼを電極触媒とするカソードの性能評価マルチ銅オキシダーゼで知られるビリルビンオキシダーゼBODを触媒に利用するカーボンナノチューブフィルムの作製と性能評価を行った。まず、浸漬させるBOD溶液の濃度とカーボンナノチューブフィルムの電極性能との関係について検討した。電流密度評価には、前処理による収縮をさせていないカーボンナノチューブ集合体101を用いた。図22aは、浸漬させるBOD溶液の濃度と電流密度との関係を示す図である。BOD溶液の濃度の増加に応じて電流値が上昇しており、約0.05mg/mlのBOD溶液の濃度以上で飽和する結果を得た。これらBODを包含させたカーボンナノチューブフィルム250が、収縮する様子を光学顕微鏡にて観測した図22b。観測結果から明らかなように、収縮度はカーボンナノチューブフィルムを浸漬させるBOD溶液の濃度に依存している。フィルムの収縮は、0.05mg/ml以上で飽和しており、初期面積の半分となる。これは、BODサイズを約2nmで仮定し、CNT表面をBODで飽和させたモデルと一致する。次に、BODを包含したカーボンナノチューブフィルム250の性能に与える界面活性剤の影響に関して調べた。図23に、酸素還元の電流電位曲線を示す。酵素の活性には、界面活性剤によるナノチューブの表面修飾が重要であることがわかる。これは、もともと疎水性であるCNT表面に界面活性剤が修飾されることで、収縮過程による水分の乾燥を抑えたものと考えられる。結果として、最大電流密度2.0mA/cm2at0VvsAgAgClが得られた。以上説明したように、本発明によると、安全小型フレキシブルな自立型のタンパク質を包含したカーボンナノチューブフィルムが提供され、このカーボンナノチューブフィルムを用いることで、優れた機能を有するセンサ及び発電デバイスが提供される。"