"液体を収容可能なタンクと、供給される液体をそのまま減圧して前記タンクにおいて前記液体から蒸気を発生させるための膨張弁と、前記タンクにおいて発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を供給するための圧縮装置とを有する蒸気発生装置。前記液体は連続的に供給され、前記タンクにおいて蒸気の発生によって温度が低下して少なくとも一部が蒸気発生装置から排出される請求項1記載の蒸気発生装置。供給される前記液体は温排水であり、前記圧縮装置から供給される蒸気は水蒸気である請求項1又は2に記載の蒸気発生装置。前記圧縮装置は、第1圧縮装置及び第2圧縮装置を有する多重圧縮に構成され、更に、前記第1圧縮装置によって圧縮された蒸気を、前記第2圧縮装置によって圧縮する前に冷却するための熱交換手段を有する請求項1~3の何れかに記載の蒸気発生装置。前記熱交換手段は、前記第1圧縮装置によって圧縮された蒸気を、前記タンクの温度が低下した液体の一部との熱交換によって冷却する請求項4に記載の蒸気発生装置。更に、前記タンクの液体の一部を加熱して前記タンクに還元するための加熱手段を有する請求項1~3の何れかに記載の蒸気発生装置。更に、少なくとも、前記タンクから排出される液体を収容可能な2段目のタンクと、前記2段目のタンクに供給される液体を減圧して前記2段目のタンクにおいて前記液体から更に蒸気を発生させるための2段目の膨張弁と、前記2段目のタンクにおいて発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を前記圧縮装置に供給するための2段目の圧縮装置とを有する請求項1~6の何れかに記載の蒸気発生装置。供給される液体をそのまま膨張弁を通じて減圧して前記液体から蒸気を発生させる気化工程と、前記気化工程において発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を供給する圧縮工程と、前記気化工程において蒸気の発生によって温度が低下した液体の少なくとも一部を廃棄する工程とを有する蒸気発生方法。前記液体は連続的に前記気化工程に供給される請求項8記載の蒸気発生方法。供給される前記液体は温排水であり、前記圧縮工程によって供給される蒸気は水蒸気である請求項8又は9に記載の蒸気発生方法。前記圧縮工程は、第1圧縮工程及び第2圧縮工程を有し、更に、前記第1圧縮工程で圧縮された蒸気を前記第2圧縮工程の前に冷却する熱交換工程を有する請求項8~10の何れかに記載の蒸気発生方法。前記熱交換工程において、前記第1圧縮工程によって圧縮された蒸気を、前記気化工程において温度が低下した液体の一部との熱交換によって冷却する請求項11に記載の蒸気発生方法。更に、前記気化工程において温度が低下した液体の一部を加熱して前記気化工程に還元する加熱工程を有する請求項8~10の何れかに記載の蒸気発生方法。更に、少なくとも、前記気化工程において温度が低下した液体を更に減圧して前記液体から蒸気を発生させる2段目の気化工程と、前記2段目の気化工程において発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を供給する2段目の圧縮行程とを有し、前記2段目の圧縮行程によって供給される蒸気は、前記気化工程において発生する蒸気と共に前記圧縮行程において圧縮される請求項8~13の何れかに記載の蒸気発生方法。しかし、熱交換による熱エネルギーの伝達は、流体間の温度差に依存し、蒸気発生側の流体の温度上昇を上回るようなヒートポンプ側の流体の温度変化が必要となるため、ヒートポンプにおける圧縮比の増大及び動力増加が必要になる。つまり、外部からのエネルギー供給における熱交換器の使用は、熱伝達における伝達ロスに相当する余分のエネルギーを必要とし、エネルギーを多く消費する。本発明の課題は、上述の問題を解決し、外部から供給するエネルギーを可能な限り低減し、温排水等の廃熱を利用して効率的に高温蒸気を供給可能な蒸気発生方法及び蒸気発生装置を提供することである。又、本発明の課題は、温排水等を利用して実用に供し易い単純な構成で効率的に高温蒸気を発生することによって、廃熱の回収によるエネルギーの再利用を可能とする蒸気発生方法及び蒸気発生装置を提供することである。上記課題を解決するために、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、温廃液を直接減圧して蒸気を発生させる構成に基づいてエネルギー効率の改善が可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。本発明の一態様によれば、蒸気発生装置は、液体を収容可能なタンクと、供給される液体をそのまま減圧して前記タンクにおいて前記液体から蒸気を発生させるための膨張弁と、前記タンクにおいて発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を供給するための圧縮装置とを有することを要旨とする。上記液体は連続的に供給され、上記タンクにおいて減圧により沸点温度が低下し、蒸気の発生によって温度が低下して少なくとも一部が蒸気発生装置から排出される。供給される液体が温排水であると、上記圧縮装置から供給される蒸気は水蒸気となる。上記圧縮装置は、第1圧縮装置及び第2圧縮装置を含む多重圧縮に構成することができ、更に、上記第1圧縮装置によって圧縮された蒸気を、上記第2圧縮装置によって圧縮する前に冷却するための熱交換手段を設けて、第1圧縮装置によって圧縮された蒸気を、タンクの温度が低下した液体の一部との熱交換によって冷却することができる。上記蒸気発生装置は、更に、上記タンクから排出される液体を収容可能な2段目のタンクと、上記2段目のタンクに供給される液体を減圧して上記2段目のタンクにおいて上記液体から蒸気を発生させるための2段目の膨張弁と、上記2段目のタンクにおいて発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を前記圧縮装置に供給するための2段目の圧縮装置とを設けると、上記タンクから排出される液体から更に蒸気が発生し、タンク、膨張弁及び圧縮装置を蒸気発生の1つのユニットとして、3段目以上を含む多段階の蒸気発生装置を構成することができる。又、本発明の一態様によれば、蒸気発生方法は、供給される液体をそのまま膨張弁を通じて減圧して前記液体から蒸気を発生させる気化工程と、前記気化工程において発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を供給する圧縮工程と、前記気化工程において蒸気の発生によって温度が低下した液体の少なくとも一部を廃棄する工程とを有することを要旨とする。上記蒸気発生方法は、更に、前記気化工程において温度が低下した液体を更に減圧して前記液体から蒸気を発生させる2段目の気化工程と、前記2段目の気化工程において発生する蒸気を圧縮して温度が上昇した蒸気を供給する2段目の圧縮行程とを付加し、前記2段目の圧縮行程によって供給される蒸気を、前記気化工程において発生する蒸気と共に前記圧縮行程において圧縮すると、蒸気の発生量の増加も可能であり、気化工程及び圧縮行程を1つの繰り返し単位として多段階の蒸気発生を行うことができる。本発明によれば、実用に供し易い簡易な構成を用いて、温廃液の廃熱を利用して高温蒸気を効率的に発生することが可能であるので、安価でエネルギー効率の良い蒸気発生装置が提供され、これを用いて蒸気発生方法を実施することにより、温廃液の熱回収によるエネルギーの再利用を効率的に行うことができる。省エネルギー技術は、無駄になるエネルギーを低減してエネルギーの利用効率を高め、消費エネルギーを削減するものであり、工場排水や環境排水に含まれる温排水には、その廃熱の再利用によって消費エネルギーの更なる削減に利用可能となるものが多く含まれている。温排水の廃熱は、これを利用して高温水蒸気を効率的に発生させれば、熱エネルギーとして、又、電気エネルギーや駆動力に変化することによって、様々な用途への有効利用が可能である。又、溶剤を使用する産業施設から排出される温廃液から溶剤蒸気を回収することによって、廃熱の回収だけでなく、廃溶剤の再利用も行い易くなる。本発明は、このような廃熱を効率よく回収して外部から新たに加えるエネルギーを可能な限り低減することにより、少ない消費エネルギーで有用な高温蒸気を得ることを可能とする。以下、本発明に係る蒸気発生方法及び蒸気発生装置について図面を参照して説明する。図1は、本発明に係る蒸気発生装置の基本構成を有する第1の実施形態を示す。図1に示すように、蒸気発生装置1は、供給される液体Lを減圧するための膨張弁2と、液体Lを収容可能なタンク3と、タンク3において液体から発生する蒸気V1を圧縮するための圧縮装置4とを有し、更に、タンク3内で蒸気を発生した後の液体L1を排出するためのポンプ5が付設される。膨張弁2は、タンク3の中央部に接続されるライン6に設けられ、液体Lは、そのまま膨張弁2を通過してタンク3に直接導入される。圧縮装置4は、タンク3の頂部に接続されるライン7に設けられ、ポンプ5は、タンク3の底部に接続されるライン8に設けられる。タンク3内の上部にはデミスター9が付設され、タンク3内の蒸気V1がデミスター9を介して圧縮装置4へ流出するように構成される。膨張弁2の種類は、流量の制御が可能であれば特に制限なく、必要に応じて適宜選択することができる。タンク3は、液体Lに対して耐性を有する耐圧性のものであれば特に制限されず、蒸気発生量等に応じて適宜容量が設定される。圧縮装置4としては、狭義の圧縮機圧縮比が2以上のものが使用できるが、これに限らず、所謂送風機に分類される気体圧縮装置を使用しても良く、上記圧縮装置4として適正な特性を備える圧縮装置を適宜選択して使用するとよい。圧縮機には、遠心圧縮機、軸流圧縮機等のターボ圧縮機;往復圧縮機、斜板式圧縮機、ダイアフラム式圧縮機、ツインスクリュー圧縮機、シングルスクリュー圧縮機、スクロース圧縮機、ロータリー圧縮機、ロータリーピストン型圧縮機、スライドベーン型圧縮機等の容積圧縮機があり、容量や圧縮比、圧力制御の自由度等の特性において相異があるので、構成する蒸気発生装置の容量や蒸気の供給要件等に応じて適宜選択すればよい。ポンプ5についても、流体搬送に通常使用可能なものから適宜選択すればよい。デミスター9は、液体Lに耐性を有する素材で作成され、10~100μm程度以上の粒子の通過を制止して圧縮装置の性能や耐久性の低下を抑制可能なものであれば特に制限はなく、例えば、耐蝕性金属やセラミックス等の素材で形成した、網の重層物や繊維集合体、多孔質体等を使用可能である。圧縮装置4及びポンプ5の駆動によってタンク3内は負圧となり、蒸気発生装置1に連続的に供給される液体Lをタンク3に導引する。液体Lは、膨張弁2を通過する際にそのまま膨張減圧されてタンク3に直接導入され、タンク3内において蒸気V1が発生すると共に液体の温度が沸点程度まで下がる。タンク3で発生する蒸気V1は、デミスター9を通過する際にミストが除去され、ライン7から圧縮装置4に供給されて圧縮される。蒸気V1は、圧縮装置4によって圧縮されると温度が上昇するので、圧縮装置出口圧力での沸点以上の高温の蒸気V’が圧縮装置4から供給可能である。蒸気V’の圧力は圧縮装置4のインバータ等で出力制御することによって調整可能であり、エネルギー効率及び実用上の観点からは常圧程度で供給すると好適である。蒸気V1の発生によって温度が低下したタンク3内の液体L1は、ポンプ5の駆動によってライン8を通じて排出され、タンク3内の液面レベルが一定に保持されるようにポンプ5の流速が調節される。液体Lは蒸気発生における熱源であり、加熱することなくそのまま蒸気発生装置に投入される。熱源からの熱回収におけるエネルギー効率の観点から、熱回収後の液体、つまり、タンク3内の低温の液体L1は、蒸気V1,V’の原料ではあり得ても、この構成では再使用せずに全て廃棄する。液体L1の再利用については、必要に応じて上記構成とは別途構成するとよい。尚、後述において、熱回収効率の更なる改善等を目的としてタンク3内の低温の液体L1の一部を循環する実施形態を記載するが、このような形態においても使用する液体L1は一部であって残部は廃棄される。又、複数回の蒸気発生を繰り返す多段型の実施形態でも、最終的に低温の液体が廃棄される。従って、本発明において、タンク3内の低温の液体L1は少なくとも一部が必然的に装置外へ排出される。上記操作において、タンク3への液体Lの流量単位時間当り供給量は、膨張弁2の開度によって調整でき、タンク3内の圧力は、圧縮装置4の出力による吸引力、ポンプ5による吸引力、及び、膨張弁2の開度によって決定される。タンク3内で蒸気が発生するためには、供給される液体Lの温度が、タンク3内の圧力における液体Lの沸点以上である必要があるので、供給される液体Lの温度に応じてタンク3の圧力が設定され、液体Lの温度が低いほど、タンク3内の圧力は低く設定される。タンク3内で発生する蒸気V1の温度は、タンク内圧力における液体の沸点とほぼ同等であるので、タンク上部から圧縮装置4までにおいて凝縮を避ける上で若干加熱を施すと好ましい。液体L1は気化による損失熱量分の温度低下を生じて沸点と同程度の温度となる。蒸気発生量単位時間当りは、タンク3の圧力及び液体Lの供給温度によって変化し、液体Lの供給速度に依存するので、膨張弁2の開度によって蒸気発生量を調節することができる。この蒸気発生装置に導入されるエネルギー源は、液体Lつまり温廃液の熱量と圧縮装置及びポンプの駆動力とであり、これらから水蒸気のエネルギーが得られる。気化によって液体L1が失う熱量は蒸気V1に移行して回収される。例えば、液体Lとして、80°C程度の温排水を蒸気発生装置1に供給する場合、タンク3内の圧力が0.2気圧程度水の沸点:60°C程度となるように圧縮装置4の出力及び膨張弁の開度を調節しながらタンク3内の水位が一定になるようにポンプ5の出力を調節すると、タンク3内において発生する水蒸気及び温排水の温度は60°C程度となり、温排水の温度低下分の熱量を気化熱として水蒸気が発生する。装置に供給される温排水の数質量比程度の割合で水蒸気を供給可能である。圧縮装置4による圧縮によって水蒸気の温度は100°C以上に上昇可能であり、圧縮装置4から高温の水蒸気が得られる。このようにして、60~100°C程度の温排水を利用して、このうちの0.2~10質量程度の水を、供給温排水温度より10~60°C程度高い沸点温度の水蒸気に変換することができ、この際に得られる水蒸気の熱量の、圧縮装置4及びポンプの駆動に要するエネルギーの合計に対する割合として熱輸送の効率係数ヒートポンプにおける成績係数COPに相当する値を求めると、2.5以上の高い値を得ることができる。上記構成において、膨張弁2の上流側、タンク3と圧縮装置4との間、タンク3とポンプ5との間の各々に逆止弁を配設すると、ライン6,7,8の逆流を防止できる。タンク3に圧力センサーや温度計、水準計などを付設すると、後述の操作における制御及び条件設定が容易であり、圧力センサー及び/又は温度センサーを膨張弁2及び/又は圧縮装置4に電気接続して膨張弁2の開度及び/又は圧縮装置4の動作を自動制御するように構成したり、水準計をポンプ5に電気接続してタンク3の液面レベルを自動調節するように構成することができる。蒸気発生装置に供給される温廃液の温度が低い場合、図1の実施形態では、タンク3で蒸気が発生し得る負圧に減圧するために圧縮装置4における出力及び圧縮比が高く設定されるが、その結果、圧縮装置から放出される蒸気の温度上昇に対して圧縮装置の耐熱性が不足する可能性がある。このような場合、第2の実施形態に係る複数の圧縮装置を用いた多重圧縮型の蒸気発生装置10が有用であり、図2に示すように、複数の圧縮装置4a,4bを直列に配列してその中間に冷却器11を介在させることで対応可能である。冷却器11は、1番目の圧縮装置4aによって圧縮された圧力において蒸気が凝集しない温度範囲内で蒸気を冷却する。この構成は、耐熱温度が200°C程度以下の耐熱性が比較的低い圧縮装置を用いて蒸気発生装置を構成する場合にも有用である。図2の蒸気発生装置10では、タンク3に発生させる負圧に対応する圧縮比を圧縮装置4a,4bに分担して割り当てるので、個々の圧縮装置における蒸気の圧縮比及び温度上昇は小さくなり、しかも、1番目の圧縮装置4aを経た後の水蒸気は、冷却器11によって一旦低下するので、2番目の圧縮装置4bにおける温度上昇も、圧縮装置の耐熱温度範囲に抑えられ、液体の沸点から圧縮装置の耐熱温度までの蒸気が供給できる。つまり、温度関係は、タンク3内の蒸気温度<冷却器11を経た蒸気温度<圧縮装置4aを経た蒸気温度及び圧縮装置4bを経た蒸気温度≦圧縮装置4a,4bの耐熱温度、となる。図2の蒸気発生装置において、冷却器11を熱交換器に変更し、この熱交換器においてライン6とライン7との間で熱交換するように構成すると、ライン7からライン6へ熱回収されて熱効率が改善される。この場合、蒸気発生装置の操作開始後にライン6からタンク3へ供給される温排水温度が熱交換器での回収熱によって上昇するので、これを予め勘案して操作条件を設定するとよい。図2の蒸気発生装置10は、上述の点以外については図1の蒸気発生装置1と同じ構成であるので、その説明は省略する。図3は、外部加熱手段を利用可能に構成した第3の実施形態を示す。この実施形態では、蒸気発生装置20は、外部熱源21及びこれに液体を供給させるためにライン8から分岐するライン22を有する点以外は、図1の蒸気発生装置1と同じ構成であり、タンク3から排出される低温の液体L1の一部は、ライン22によってライン8から分流され、外部熱源21によってタンク3内での沸点以上の温度に加熱した後に、タンク3へ還流されて蒸気を発生する。この実施形態は、外部加熱手段21に用いる熱媒体が、ガス状、液体L1とは沸点が異なる液体、或いは、腐食性があるために圧縮装置に導入できない液体である場合に有効である。又、液体L1の流量や温度が安定していない場合に、蒸気の発生量を安定させるために外部加熱手段21を補助的に利用し、圧縮装置の出力を一定にすることができる。図3の蒸気発生装置20は、上述の点以外については図1の蒸気発生装置1と同じ構成であるので、その説明は省略する。図4は、蒸気発生装置の第4の実施形態を示し、図3の蒸気発生装置における外部加熱手段の代わりに、装置内で回収される熱を利用してエネルギー効率を改善する一例である。つまり、図2の多重圧縮構成を基本として圧縮熱を回収し、熱源として利用する。具体的には、蒸気発生装置30は、供給される液体Lを減圧するための膨張弁2と、膨張弁2を通過する液体が導入されるタンク3と、タンク3において液体から発生する蒸気V1を圧縮する圧縮装置4a,4bと、圧縮装置4a,4bの間に配置される熱交換器31と、タンク3内の液体L1をライン8から排出するためのポンプ5とを有し、タンク3から排出される低温の液体L1の一部は、ライン32によってライン8から分流され、熱交換器31において熱交換した後にタンク3へ還流される。圧縮装置4aによって圧縮された蒸気は、熱交換器31によって冷却されるので、タンク3内の蒸気温度<熱交換器31を経た蒸気温度<圧縮装置4aを経た蒸気温度、となる。タンク3からライン8を通じて排出される液体L1の一部は分流され、ライン32を通じて熱交換器31で加熱された後にタンク3へ還流される。この実施形態では外部加熱を用いないので、ライン8からライン32へ分流する液体L1の割合をエネルギー効率の都合により制限する必要はなく、圧縮装置4bに導入される蒸気を適正温度に冷却可能な熱交換となるようにライン32へ分流する液体L1の流量を設定することができる。ライン32へ分流する液体L1の流量を制御する必要がある場合は、ライン32にポンプ又は流量調節弁或いはその両方を用いると良い。図4の蒸気発生装置30は、液体L1の分流加熱が回収熱によって常時行われ、図2の装置と同様に、比較的温度の低い温廃液を熱源とする場合や、比較的耐熱性の低い圧縮装置を用いて蒸気発生装置を構成する場合に有用であり、液体の沸点常圧から圧縮装置4a,4bの耐熱温度迄の温度範囲で蒸気を供給可能である。図4の蒸気発生装置30は、上述の点以外については図2の蒸気発生装置10と同じ構成であるので、その説明は省略する。図5に示す第5の実施形態は、図4の蒸気発生装置における圧縮装置4a,4b及び熱交換器31の代わりに、これらを一体化した熱交換器付き圧縮装置41を使用したものであり、装置の小型化に有利な構成である。タンク3から放出される蒸気V1は、熱交換器付き圧縮装置41によって圧縮されて温度が上昇するが、その温度範囲は熱交換器による冷却によって制限される。熱交換器において冷媒として作用するのは、ライン8から分流される液体L1であり、ライン8からライン32へ分流する液体L1の割合は、熱交換器付き圧縮装置41から供給される蒸気V’を所望の温度に冷却可能な熱交換となるように設定される。図5の蒸気発生装置40は、上述の点以外については図4の蒸気発生装置30と同じ構成であるので、その説明は省略する。図6に示す第6の実施形態は、複数組の膨張弁及び圧縮装置を用いて多段フラッシュ型の蒸気発生装置に構成した一例である。具体的には、図6の蒸気発生装置50は、図1の蒸気発生装置1におけるタンク3内の低温の液体L1を、ポンプ5によって外部に排出する前に更に膨張減圧して蒸気を発生させるための膨張弁51及びタンク52と、タンク52で発生する蒸気V2を圧縮するための圧縮装置53とを有し、膨張弁51は、タンク3の底部とタンク52の中央部とを接続するライン54に設けられ、タンク3の液体L1は、膨張弁51を通ってタンク52に直接導入される。圧縮装置53は、タンク52の頂部と圧縮装置535とを接続するライン55に設けられる。ポンプ5は、タンク52の底部に接続されるライン56に設けられ、タンク52内で蒸気V2を発生した後の液体L2をライン56を通じて排出する。タンク52内の上部にはデミスター57が付設され、デミスター57を介してミストが除去された蒸気V2が圧縮装置53へ流れるように構成される。膨張弁51、タンク52、圧縮装置53及びデミスター57は、図1の実施形態の膨張弁2、タンク3、圧縮装置4及びデミスター9と同様のものを使用できる。又、図1の実施形態と同様に、ライン6,7,54~56の逆流を防止する逆止弁を設けてもよく、タンク3,52に圧力センサーや温度計、水準計などを付設して、操作における制御及び条件設定の簡易化を図ってもよい。膨張弁の開度及び/又は圧縮装置の動作を自動制御するために圧力センサー及び/又は温度センサーと電気接続したり、水準計をポンプ5に電気接続してタンク3,52の液面レベルを自動調節するように構成することができる。圧縮装置4,53及びポンプ5の駆動により、タンク3,52内は負圧となり、蒸気発生装置50に供給される液体Lをタンク3に導引する。液体Lは、膨張弁2によって膨張減圧されてタンク3に直接導入され、タンク3内において蒸気V1が発生する。蒸気V1の発生によって温度が低下したタンク3内の液体L1は、ライン54及び膨張弁51を通じてタンク52に導入されて更に減圧され、蒸気V2が発生する。タンク52で発生する蒸気V2は、デミスター57を通過する際にミストが除去され、ライン55から圧縮装置53に供給されて圧縮され、タンク3から流出する蒸気V1と共に圧縮装置4に供給される。圧縮装置53から圧縮装置4へ供給される蒸気の圧力は、圧縮装置53の出力によって調整可能であり、蒸気V1の圧力と同等になるように調整することが好ましい。又、2段目のタンク52の蒸気V2は、1段目のタンク3の蒸気V1より温度が低いが、圧縮装置53によって圧縮されて温度が上昇し、その温度は、必要に応じて冷却器58等によって温度を調節することができる。圧縮装置53から圧縮装置4へ供給される蒸気の温度がタンク3から圧縮装置4へ供給される蒸気V1の温度と同程度になるように調整すると、ライン接続の耐久性等の点で好ましい。このようにして、沸点以上の高温の蒸気Vが圧縮装置4から供給され、液体L1より低い温度の液体L2が外部へ排出される。二段目のタンク52に供給される液体L1の温度は一段目のタンクに供給される液体Lより低い。図4又は図5の液体の還流による冷却の構成を用いる場合は、二段目のタンクの液体L2を還流するよりも、一段目のタンクの液体L1を分流して熱交換器58又は圧縮機53の冷却に利用すると、液体L1の一部が蒸気となり、その蒸気の圧縮は圧縮装置4の一段で済むため、効率が良い。図6の実施形態は、蒸気発生を二段階において行うように構成しているが、勿論、三段階以上行うように構成しても良く、例えば三段構成の場合、二段構成と同様に、三段目のタンク及び圧縮装置を二段目のタンクの下流に膨張弁を介して接続し、三段目の圧縮装置から二段目の圧縮装置へ蒸気を供給するように接続することができる。同様にして、四段目以降についても、図1の構成を単位ユニットとして順次接続することができる。このように多段階の蒸気発生を行う構成では、所望の減圧及び圧縮を多段階に分けて行うことができ、例えば、同じ程度の減圧及び圧縮を1段で行う場合と2段に分けて行う場合とを比較すると、2段階に分けて行う場合に圧縮装置へ投入する電力の合計は、1段階で行う場合の投入電力より少なくなる。従って、多段構成は、エネルギー効率を改善できる点で好ましい。図6の蒸気発生装置は、上述の点以外については図1の蒸気発生装置と同じ構成であるので、その説明は省略する。本発明における蒸気発生では、温廃液は、主として熱を回収する熱源として使用するので、蒸気発生後の廃液は、その大部分が装置外へ排出される。従って、温廃液に何等かの物質が溶解している場合であっても、その物質が昇華性でなく、溶解濃度が蒸気発生後の温度低下によって析出するような飽和に近い濃度でなければ、本発明において使用可能である。又、本発明の蒸気発生方法は、温廃液に含まれる微量物質を回収するための濃縮方法として利用してもよく、高温蒸気を発生することによって温廃液が濃縮されて微量物質が回収し易くなる。上述の実施形態は、必要に応じて適宜選択して組み合わせることもできる。以下、実施例を参照して、本発明について詳細に説明する。図1に示す構成の蒸気発生装置を用いて、以下の操作に従って温排水から蒸気を発生させた。圧縮装置4及びポンプ5を駆動させ、タンク3内の圧力が0.2気圧になるように膨張弁2の開度を調節して、80°Cの温水を1t/時の流量でライン6からタンク3へ導引した。タンク3内で温水から60°Cの水蒸気が発生し、ライン8から60°Cの温水が960kg/時の流速で排出された。タンク3内の水蒸気は、圧縮装置4によって圧縮されて、1気圧、287°Cの水蒸気が40kg/時の流速で放出された。この操作において圧縮装置4における消費エネルギーは6.7kWであり、ポンプ5の消費エネルギーは0.1kWであった。上述で得られる水蒸気を熱源として使用して、100°Cの熱水に冷却されるまでに、27.9kWのエネルギーが回収することができる。"