アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、前記キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出する吐出ヘッドを有する吐出装置であって、前記吐出ヘッドは、前記キャビティおよび前記ノズル開口の間に設けられた検出部を含み、さらに、前記吐出ヘッドの前記検出部の前記液状体に含まれる粒状体の個数および/または形態を検出する検出装置と、前記検出装置の検出結果により前記アクチュエータを駆動して前記検出部の前記液状体に含まれる前記粒状体の状態を変化させる制御装置とを有する、吐出装置。請求項1において、前記検出部は、前記吐出ヘッドの前記キャビティから前記ノズル開口に至る流路の断面が第1の方向に延びた扁円状の扁平部であって、前記粒状体を前記第1の方向に分散させる扁平部を含む、吐出装置。請求項2において、前記ノズル開口は第1の方向に扁平に成形されている、吐出装置。請求項1ないし3のいずれかにおいて、前記検出部は透光性であり、前記検出装置は、光を介して粒状体を画像認識する撮像部を含む、吐出装置。請求項1ないし4のいずれかにおいて、前記制御装置は、前記検出結果により前記液状体を前記ノズル開口から吐出させずに前記検出部の前記液状体を攪拌する機能を含む、吐出装置。請求項1ないし5のいずれかにおいて、前記制御装置は、前記検出結果により前記液状体の吐出先を変える機能を含む、吐出装置。請求項6において、前記吐出先を変える機能は、前記液状体を捨て打ちする機能を含む、吐出装置。請求項1ないし7のいずれかにおいて、前記検出部は、前記ノズル開口に繋がる第1の領域と、前記第1の領域に続く第2の領域とを含み、前記検出装置は、前記検出部の前記第1の領域の個数および/または形態および前記第2の領域の個数および/または形態をそれぞれ取得し、前記制御装置は、前記第1の領域の検出結果が所定の条件の範囲外のとき、または前記第2の領域の検出結果が所定の条件の範囲外のときに前記検出部の前記液状体に含まれる前記粒状体の状態を変化させる、吐出装置。請求項1ないし8のいずれかにおいて、前記アクチュエータはピエゾ素子であり、前記制御装置は、前記液状体を吐出する際に前記ピエゾ素子に押し打ち方式の駆動パルスを供給する機構を含む、吐出装置。アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、前記キャビティに連通したノズル開口から液状体を吐出する吐出ヘッドであって、前記キャビティおよび前記ノズル開口の間で、前記ノズル開口から吐出される前記液状体に含まれる粒状体が分散する検出部を有する吐出ヘッド。請求項10において、前記検出部は、前記キャビティから前記ノズル開口に至る流路の断面が第1の方向に延びた扁円状の扁平部であって、前記粒状体が前記第1の方向に分散する扁平部を含む、吐出ヘッド。請求項11において、前記扁平部の内部の前記第1の方向に直交する第2の方向の最大高さhと、前記粒状体の平均粒径rとが以下の条件を満たす、吐出ヘッド。1.2≦h/r≦100.0請求項12において、前記最大高さhと、前記ノズル開口の内径dとが以下の条件を満たす、吐出ヘッド。0.5≦h/d≦20.0請求項10ないし13において、前記検出部は透光性で、対向して配置された平坦な第1の側壁および第2の側壁を含む、吐出ヘッド。請求項10ないし14において、前記液状体を保持し、一部が、外側に取り付けられるアクチュエータにより内圧が変動する前記キャビティとなるように成形された管状部材であって、一方の端に前記ノズル開口が設けられた管状部材を有し、前記管状部材の前記キャビティおよび前記ノズル開口の間に前記検出部が設けられている、吐出ヘッド。請求項15において、前記検出部は、前記管状部材の一部が、外側から押し潰されるように成形された部分である、吐出ヘッド。請求項15または16において、前記管状部材は、透光性を備えたガラス管、樹脂管およびセラミックス管のいずれかである、吐出ヘッド。吐出装置により粒状体を含む液状体をターゲットに吐出する方法であって、前記吐出装置は、アクチュエータによりキャビティの内圧を変動させ、前記キャビティに連通したノズル開口から前記液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記アクチュエータを制御する制御装置と、前記キャビティと前記ノズル開口との間に設けられた検出部の前記液状体に含まれる粒状体を検出する検出装置とを含み、当該方法は、前記制御装置が、前記検出装置により前記液状体に含まれる前記粒状体の個数および/または形態を含む検出結果を取得することと、前記検出結果により前記アクチュエータを駆動して前記検出部の前記液状体に含まれる前記粒状体の状態を変化させることとを含む、方法。請求項18において、前記状態を変化させることは、前記検出結果により前記液状体を前記ノズル開口から吐出させずに前記検出部の前記液状体を攪拌することを含む、方法。請求項18または19において、前記状態を変化させることは、前記検出結果により前記液状体の吐出先を変えることを含む、方法。請求項20において、前記吐出先を変えることは、前記液状体を捨て打ちすることを含む、方法。請求項18ないし21のいずれかにおいて、前記検出結果を取得することは、前記検出部に前記ノズル開口に繋がる第1の領域と前記第1の領域に続く第2の領域とを設定し、前記第1の領域の前記検出結果および前記第2の領域の前記検出結果をそれぞれ取得することを含み、前記状態を変化させることは、前記第1の領域の検出結果が所定の条件の範囲外のとき、または前記第2の領域の検出結果が所定の条件の範囲外のときに前記検出部の前記液状体に含まれる前記粒状体の状態を変化させることを含む、方法。請求項18ないし22のいずれかにおいて、前記アクチュエータはピエゾ素子であり、当該方法は、前記制御装置が前記液状体を吐出する際に前記ピエゾ素子に押し打ち方式の駆動パルスを供給することを含む、方法。請求項18ないし23のいずれかにおいて、前記制御装置は、1回あたり以下の条件を満たす体積qの前記液状体を前記ノズル開口から吐出することを含む、方法。0.0001≦D×q≦3.0ただし、Dは前記液状体の単位体積当たりに含まれる前記粒状体の個数を表す。請求項18ないし24のいずれかにおいて、前記吐出装置は、前記ノズル開口から吐出される液滴を撮像し画像解析する装置を含み、当該方法は、さらに、前記画像解析する装置が前記ノズル開口から吐出された液滴に前記粒状体が含まれるか否かを判断することを含む、方法。図1に、本発明の第1の実施形態にかかる吐出装置の概略構成を示している。吐出装置1は、管状部材であるガラス管20を備えた吐出ヘッドノズルヘッド、インクジェット方式により駆動されるノズルヘッド10と、吐出ヘッド10から吐出する液状体50、たとえば水などのキャリアを格納した容器5と、吐出ヘッド10から液滴71を吐出させる第1のアクチュエータ6と、第1のアクチュエータ6を駆動する駆動ユニット装置2と、吐出ヘッド10から吐出される液滴71の直前および直後の状態を検出する検出ユニット装置7と、吐出ヘッド10を移動する第2のアクチュエータ79と、吐出ヘッド10が液滴71を吐出する複数のターゲット81a、81bおよび81cを支持するテーブル83と、テーブル83を移動する第3のアクチュエータ89と、移動用のアクチュエータ79および89を制御する制御ユニット装置74とを含む。テーブル83には吐出ヘッド10から液滴71を捨て打ちするためのディスポーザ82が設けられている。この吐出装置1においては、テーブル83を第3のアクチュエータ89により移動するか、吐出ヘッド10を第2のアクチュエータ79により移動することにより、吐出ヘッド10から液滴71をいずれかのターゲット81a~81cに注入したり、ディスポーザ82に捨て打ちしたりすることができる。ターゲット81a~81cは、液滴71を受けるものであればよく、たとえば、シャーレ、分析プレート、試験管などである。吐出ヘッド10は、ほぼ直線的に延びたガラス管管状部材20を有する。このガラス管20においては、先端部分21が扁平状平たい形状のノズル開口11であり、先端部分21から後退し、先端部分21に繋がる連通した部分第1の扁平部22がノズル開口11を含めて扁平状の検出部12であり、さらに第1の扁平偏平部22から後退し、第1の扁平部22に繋がる連通した部分第2の扁平部24が扁平状のキャビティ圧力室14である。また、ガラス管20の末端後端29は供給管4を介して容器5に接続されている。これらの扁平な部分21、22および24を備えた管状部材20は、全体が透光性であり、一本のガラス管から適当な方法、たとえば、型を用いて成形される。したがって、吐出ヘッド10のガラス管20の内部には、キャビティ14から検出部12を経てノズル開口11に至るシームレスな流路が形成されている。この吐出ヘッド10は、ガラス管20のキャビティ14の平坦な壁24aの外側の面外面24bに取り付けられた平板状の圧電素子ピエゾ素子、アクチュエータ6を含む。制御ユニット74は駆動ユニット2により圧電素子6を駆動し、キャビティ14の内圧を変動させ、キャビティ14に連通したノズル開口11から液状体50を液滴71として吐出する。また、制御ユニット74は、圧電素子6を駆動することによりノズル開口11から液状体50を吐出させない程度の圧力を発生させ、検出部12を含めたガラス管20内の液状体50を攪拌することができる。吐出ヘッド10のガラス管20は、キャビティ14およびノズル開口11の間に、流路の断面がガラス管20の中心軸9zに対して直交する方向第1の方向9xに延びた扁平の検出部観察室、検出室12を含む。扁平な内断面を含む検出部12においては、ノズル開口11から吐出される液状体50に含まれる複数の粒状体粒子51が第1の方向9xに分散させられる。検出部12は断面が扁平であり、側壁22aおよび22cはほぼ平坦で検出部12の内部を撮像する際に光が屈折したり全反射したりしにくく、検出部12の内部を観察しやすい。また、検出部12の内部が見えにくくなる部分も発生しにくい。このため、検出部12の透明で平らな側壁22aおよび22cを介して液状体50に含まれる粒状体51を精度良く観察できる。検出部12には、ノズル開口11から吐出される直前の液状体50が保持され、吐出直前の液状体50に複数の粒状体51が含まれていれば、それらが流れに直交する方向9xに分散し、高い確率で複数の粒状体51を独立して検出観察できる。したがって、この吐出装置1においては、検出部12において、吐出直前の液状体50に粒状体51が含まれていれば、その個数数だけではなく、それらの粒状体51の特徴形態、状態、たとえば径大きさ、形状、模様、色などの情報を取得できる。このため、検出ユニット7は、検出部12の液状体50に含まれる粒状体51の種類タイプ、種を特定することも可能である。したがって、検出ユニット7は、検出部12の液状体50に含まれる粒状体51の個数および/または形態を含めた検出結果7aを出力できる。この吐出装置1は、検出部12の検出結果計測結果7aに基づいてピエゾ素子6を駆動させ、液状体50が吐出しない範囲で液状体50を撹拌する振動を与えたり、液状体50をターゲット81a~81cおよびディスポーザ82のいずれかに吐出させたりすることにより、検出部12の状態を変化させ、粒状体51を適切な配置にして、指定した個数および/または形態形態により判別される種類の粒状体の粒状体51のみを含む液状体50を所定のターゲット81a~81cに吐出させることが可能となる。この吐出装置1は、制御ユニット74からの指示信号を駆動ユニット駆動装置、ドライバ2が受けて、ドライバ2が駆動パルスによりアクチュエータ6を駆動する。制御ユニット74は、CPUおよびメモリなどの汎用のコンピュータとしてのハードウェア資源を備えた装置であってもよく、LSIあるいはASICなどを含む吐出装置1に専用のハードウェアを備えた制御ユニットであってもよい。制御ユニット74は、パーソナルコンピュータなどのホスト装置と通信する機能を含むことが望ましい。また、制御ユニット74はホスト装置を兼ねたパーソナルコンピュータに実装されていてもよく、制御ユニット74としての機能は適当なソフトウェアプログラム、プログラム製品により提供することが可能である。アクチュエータであるピエゾ素子6が駆動パルスにより伸縮および/または変形すると、ガラス管20に設けられたキャビティ14の平坦な壁24aが変位し、キャビティ14の内容積が変動する。このため、キャビティ14の内圧が変化し、容器5から供給された液状体50が、キャビティ14を通って検出部12に供給される。さらに、検出部12に保持されていた液状体50はガラス管20の先端部分21に設けられたノズル開口11から押し出され、液滴71として吐出される。その際、検出部12に保持されていた液状体50に粒状体51が混ざっていれば、ノズル開口11から粒状体51を含む液状体50が吐出される。制御ユニット74は、ヘッドコントローラ74aを含み、ヘッドコントローラ74aは、検出ユニット7の検出結果7aを取得する機能取得ユニット75と、検出結果7aにより検出部12の液状体50に含まれる粒状体51の状態を変える機能状態変更ユニット76とを含む。状態変更ユニット76は、検出ユニット7の検出結果7aにより、吐出直前の液状体50に含まれている粒状体51の個数および/または形態などが所定の条件を満たせば、液状体50を所定のターゲット81a~81cのいずれかへ吐出するようにピエゾ素子6、およびアクチュエータ79および/または89を制御する吐出先変更機能吐出先変更ユニット78を含む。吐出先変更ユニット78は、液状体50をディスポーザ82へ捨て打ちして検出部12の状態を変化させるようにピエゾ素子6、およびアクチュエータ79および/または89を制御する捨て打ち機能捨て打ちユニット78aを含む。また、状態変更ユニット76は、検出ユニット7の検出結果7aにより、吐出直前の液状体50に含まれている粒状体51の個数などが所定の条件を満たさなければ、液状体50が吐出されない程度にピエゾ素子6を駆動して検出部12の液状体50中の粒状体51の状態を変える機能攪拌ユニット77を含む。このように、吐出装置1は、インクジェット方式の吐出ヘッド10により、種々の粒状体51を含む液状体50をターゲット81に吐出したり分注したりすることができ、その際、吐出ヘッド10の内部の吐出直前の液状体50に含まれる粒状体51の個数および/または形態外観、様子などを検出できる。この明細書において、粒状体51とは、液状体50の中で独立して存在し、ガラス管20を介して、その存在を様々な方法により検出識別、認識できるものであればよい。典型的な検出方法は、光可視光、赤外光などを用いた画像処理を含むものであり、適当なレンズシステムにより拡大された画像を取得することも有効である。検出方法は、磁場、電場を利用した方法であってもよい。粒状体51の典型的なものとしては、細胞や遺伝子DNA、RNAなどの生物材料を含む粒状体粒子、微粒子を挙げることができる。粒状体51には、球状粒状だけでなく線状、その他の形状のものも含まれる。これらの粒状体51は、キャビティ14からノズル開口11に至るまでの間に詰まったり、偏在したりすることが多い。吐出装置1の吐出ヘッド10は、キャビティ14からノズル開口11に至るまで、検出部12を含めて吐出ヘッド10の主要な部分が1本のガラス管20によりシームレスに形成されている。このため、この吐出ヘッド10は、気泡などによる滞り、詰まりあるいは偏在が発生しにくく、細胞などの閉塞しやすい粒状体51であっても、液状体50に比較的一様に存在した状態でノズル開口11まで導くことができる。図2に、吐出ヘッド10のガラス管20の構成形状を拡大して示している。図3および図4に、ガラス管20の概略構成を、長手方向中心軸9zに直交する第1の方向9x以降ではX方向と、中心軸9zおよび第1の方向9xに直交する第2の方向9y以降ではY方向とをそれぞれ含む断面により示している。このガラス管20の典型的なサイズは、外径0.5~5mm、厚み0.01~1mmである。ガラス管20は、先端のノズル開口11に向かってX方向に広くY方向に狭く扁平に成形された先端部分21と、その後方図2において上方でX方向に広くY方向に狭く扁平に成形された第1の扁平部22と、その後方でほぼ円筒状の第1の円筒部23と、その後方でX方向に広くY方向に狭く扁平に成形された第2の扁平部24と、その後方でほぼ円筒状の第2の円筒部25と、その後方で第2の円筒部25より狭くなるように絞られた絞部26と、その後方でガラス管20を供給管4に接続するためのほぼ円筒状の第3の円筒部27とを含む。先端部分21、第1の扁平部22および第2の扁平部24は異なる方向に扁平であってよい。たとえば第2の扁平部24はY方向に広くX方向に狭く扁平に成形されていてもよい。各部分をさらに詳しく説明すると、まず、ガラス管20の先端部分21は、図5に拡大して示すように、ガラス管20の先端をノズル開口11として適当なサイズまで外側から押し潰した形状に成形されており、図6にその断面を拡大して示している。ノズル開口11は、X方向に広くY方向に狭く断面がほぼ扁円形長円形またはそれに近い形に扁平に成形されているため、粒状体51をX方向に均等に分散させやすく、吐出される直前の粒状体51を視認あるいは検出しやすい。ノズル開口11の典型的なサイズは、内部のY方向の最大高さ最大内径dが15~200μmである。細胞などのμmオーダーの微小な粒状体51を吐出するためには、ノズル開口11から吐出される液状体50の1回の吐出量を、たとえば、plピコリットルオーダーからflフェムトリットルオーダーまで制御できることが望ましい。先端部分21の成形方法の1つは、ガラス管20を加熱した後、上下方向長手方向に直交する方向からプレスすることであるが、公知のガラス加工の様々な手法も用いることができ、加工方法を限定するものではない。なお、本明細書において扁円形長円形とは、長方形や正方形などの角張った角のある形状を除き、さらに、正円形円形を除く長尺状の円形であって、楕円形のほか、長方形または正方形の対辺の各々に対辺間の距離対辺同士の間隔を直径とする半円形が付加された形状など種々の形状を含む概念である。先端部分21の後方の第1の扁平部22は、ガラス管20が外側から押し潰されるように成形され、内部に、扁平した、または箱型の空間を形成し、検出部12を構成する部分である。図7にその断面を拡大して示している。第1の扁平部22の典型的なサイズは、内部のY方向の最大高さ最大内径hが0.05~1.0mm、内部のX方向の最大幅Wiが0.3~10mm程度で、内部の長手方向9zの長さが1~20mmである。内部の最大幅Wiは1~3mm程度がさらに好ましい。検出部12に存在する粒状体を観察するようにX方向に広がった第1の側壁22aおよび第2の側壁22cは、板状であり、その壁厚tは、50~500μm程度が望ましく、50~300μm程度がさらに好ましい。また、第1の扁平部22は、外部の最大幅Woが0.55~7mm程度になるように成形されている。本例においては、第1の扁平部22は、ガラス管20を外側から押し潰すように成形され、内部に、扁平したほぼ扁円形長円形またはそれに近い形状の開口を備えた検出部12が形成されている。検出部12の内部の断面積と長さとにより規定される容量は、検出部12の利用方法を考える上で重要である。すなわち、検出部12に何回分の吐出量を保持するかにより、以下で説明する粒状体51の検出アルゴリズムが変わるからである。また、検出部12のY方向の最大高さ最大内径hは、検出部12に流入する粒状体51のサイズにより適宜選択されることが望ましい。すなわち、粒状体51のサイズたとえば直径に対して検出部12の最大高さ最大内径hが大きすぎると、検出部12の内部で粒状体51が重なって存在する可能性が増し、複数の粒状体51を個別に識別できない可能性が高くなる。一方、粒状体51のサイズに対して検出部12の最大高さ最大内径hが小さすぎると、検出部12が粒状体51の通過に対して抵抗となり、ノズル開口11から粒状体51がスムーズに吐出されにくくなる可能性がある。したがって、検出部12のY方向の最大高さ最大内径hと、識別対象の粒状体51の平均粒径直径rとが以下の条件を満たすことが望ましい。1.2≦h/r≦100.01h/rは50.0以下であることがさらに好ましい。また、h/rは1.4以上であることが好ましく、1.5以上であることがさらに好ましい。また、検出部12のY方向の最大高さ最大内径hと、ノズル開口11のY方向の最大高さ最大内径dとは以下の条件を満たすことが望ましい。0.5≦h/d≦20.02h/dは15.0以下であることがさらに好ましい。h/dは0.8以上であることがさらに好ましい。また、ノズル開口11のY方向の最大高さ最大内径dと、ノズル開口11のX方向の最大幅bとは以下の条件を満たすことが望ましい。1.0≦b/d≦20.03b/dは10.0以下であることがさらに好ましい。この第1の扁平部22の成形方法の1つは、ガラス管20を加熱した後、上下方向長手方向に直交する方向からプレスすることである。ガラス管20を1次元方向前後方向、長手方向だけでなく、2次元方向上下方向、長手方向に直交する方向に押し広げた状態にプレス成形することにより、内部に扁平な空間を備えた検出部12が形成される。それとともに、ガラス管20の第1の扁平部22の第1の側壁22aの外側に平坦な面22bが形成され、第2の側壁22cの外側に平坦な面22dが形成される。この成形方法は1例であり、射出成形のように、金型型にガラス、樹脂などの管状部材を吹き出して所定の形状のガラス管20を成形することも可能であり、金属を圧延して所定の形状の管状部材を得てもよい。第1の側壁22aおよび第2の側壁22cは、平坦であっても、湾曲していてもよい。湾曲していればレンズ効果により検出部12の粒状体51が視認しやすい。一方、第1の側壁22aおよび第2の側壁22cが平坦で、内部の検出部12の最大高さ最大内径hが一様であれば、側壁22aおよび22bを透過して歪みの少ない像が得られ易く、粒状体51の形態により粒状体51の種類を判別しやすい。また、平坦な側面22aおよび22cにより箱型の検出部12が構成され、粒状体51が検出部12のX方向に均等に分散されやすい。したがって、検出部12に複数の粒状体51が存在する場合、それぞれを視認あるいは検出しやすい。第1の扁平部22の後方の第1の円筒部23は、検出部12とキャビティ14とを連通連絡するための第1の連絡路13を構成する部分である。図8にその断面を拡大して示しているように、第1の円筒部23は筒型で強度が高く、後述するキャビティ14が圧電素子6により変形しても、その形状変化の影響が第1の扁平部22に及びにくい。なお、キャビティ14の内圧の変化を検出部12に伝達し、検出部12の液状体50をノズル開口11から吐出させるためには、第1の円筒部23の内断面積は検出部12の内断面積とほぼ同じであることが望ましい。また、第1の円筒部23の代わりに、扁平な部分でキャビティ14と検出部12とを連通させてもよい。第1の円筒部23の後方の第2の扁平部24は、第1の扁平部22と同様に、内部に、扁平した箱型の空間を形成し、圧力室であるキャビティ14を構成する部分である。図9にその断面を拡大して示している。キャビティ14の平坦な壁24aの外側の面外面24bには、平板状の圧電素子ピエゾ素子、アクチュエータ6が取り付けられている。圧電素子6は、ITO、金属などの薄膜の電極6eとともにガラス管20に取り付けられ、電極6eを介して駆動パルス電圧駆動パルスを受けて伸縮し、キャビティ14の内容積を変動させる。なお、圧電素子6の典型的なものはピエゾ素子であり、ピエゾ素子6は、電極などを含めた公知の構成を備えている。第2の扁平部24の後方の第2の円筒部25は、キャビティ14と、その後方の開口面積を絞ったオリフィスとして機能する狭い流路16とを連通するための第2の連絡路15を構成する部分である。連絡路15は、キャビティ14に粒状体51を含む液状体50を供給するためのバッファとしても機能する。第2の円筒部25の後方の絞部26は、開口面積の狭い流路16を構成するための部分であり、図10にその断面を拡大して示している。流路16の内径は、たとえば、20~200μmであり、キャビティ14の圧力変動がノズル開口11の側へ効率よく伝達され、キャビティ14の圧力変動が供給管4および容器5に伝播しにくいようになっている。絞部26の成形方法の1つは、加熱したガラス管20を前後方向長手方向に引っ張ることである。絞部26の後方の第3の円筒部27は、供給管4に連通するための第3の連絡路17を構成する部分である。これら先端部分21、第1の扁平部22、第1の円筒部23および第2の扁平部24は、1つのガラス管20を加工成形することにより形成されたものである。したがって、キャビティからノズル開口に至るまで1つのガラス管20によりシームレスに形成できるので、気泡などによる滞りや詰まりが発生しにくく、細胞などの粒状体51が付着して液状体50の流れが滞ったり、粒状体51が詰まるのを未然に防止できる。このため、低粘度から高粘度に至る多種多様な粒状体51および液状体50を吐出するのに適した吐出ヘッド10を提供できる。なお、上記ではガラス管20を用いているが、ガラス管20の代わりに透光性を備えた樹脂管およびセラミックス管を用いて同様の形態に形成することもでき、シームレスで、かつ、粒状体51の個数などを計測するのに適した吐出ヘッド10を低コストで提供できる。このように、吐出ヘッド10は、ノズル開口11の後方に、ノズル開口11を含めて扁平状の検出部12を備えているので、検出装置7によりノズル開口11から次に吐出される、または吐出予定の液状体50に含まれている粒状体51の個数および形態を検出できる。検出装置7の一例を図4に示す。この検出装置7は、第1の扁平部22の第1の側壁22aに対峙するように配置された光源101と、光源101に対向し、第2の側壁22cに対峙するように配置された撮像部102と、撮像部102で取得された画像を処理する画像処理機構103とを備えている。光源101は、検出部12に存在する粒状体51と、ノズル開口11から吐出された液滴71の中に含まれる粒状体51とを照明する。光源101の一例は、周期的な発光が可能ないわゆるストロボであって、たとえば、キセノンなどのハロゲンランプやLEDランプまたはブラックライト紫外線ライトなどの光源を用いることができる。光源101は、撮像部102の性能に応じて輝度の調整が可能であることが望ましい。この撮像部102は、検出部12の透明な第2の側壁22cを介して光源101により照明された液状体50の様子と、ノズル開口11からターゲット81a~81cに向けて吐出された液状体50を含む画像を取得する。したがって、検出部12の液状体50に粒状体51が含まれていたり、吐出された液状体液滴50に粒状体51が含まれている場合は、得られた画像を解析することにより、検出部12に含まれている粒状体51の個数および形態、吐出されて液状体50に含まれている粒状体51の個数および形態を認識することが可能である。検出部12の液状体50に含まれる粒状体51の画像を取得する撮像部と、ノズル開口11から吐出された液状体を撮像する撮像部とを別に設けてもよい。撮像部102の一例は、撮像素子CCD、CMOSと、光学レンズとを備えたカメラである。光学レンズは、焦点距離を調整可能であるとともに、撮像倍率を変えることができ、液状体50に含まれる微小な粒状体51の複数個を同時に撮像できる範囲で撮像倍率を設定できることが望ましい。画像処理機構103は、撮像部102により取得された画像を解析し、検出部12における粒状体51の有無および個数や形態、吐出後の液滴71における粒状体51の有無、個数および形態を識別する。画像処理機構103の一例は、並列演算処理機構を備えたものであり、並列演算処理機構の一例はCMOSセンサの1画素に位置演算素子を対応させることにより高速画像処理を可能にしたものである。検出部12は、扁平で、第1の円筒部23よりもX方向に幅広く、Y方向に狭くなるように成形されている。したがって、検出部12では、液状体50に含まれている細胞などの粒状体51が複数存在すれば、それらがX方向に分散して広がり、第1の側壁22aおよび第2の側壁22cの間に重ならない状態で存在しやすい。このため、この吐出ヘッド10においては、検出部12に複数の粒状体51が存在したときに、それらを第1の側壁22aおよび第2の側壁22cの外側から分離して検出しやすく、複数の粒状体51が存在しているか否かを識別しやすい。したがって、この吐出ヘッド10を備えた吐出装置1によれば、ノズル開口11の直上直ぐ上流の検出部12で粒状体51の有無、個数および形態を観察することにより、ノズル開口11から液状体50を吐出分注する前に、次に吐出する液状体50液滴71に粒状体51が含まれるか否か、含まれる粒状体51の個数、および含まれる粒状体51の形態種類を検出装置7により識別でき、検出結果7aを得ることができる。このため、この吐出装置1においては、所望の個数および形態の粒状体51を含む液状体50のみをターゲット81a~81cのいずれかに吐出し、その他の場合は液状体50を撹拌して検出部12の状態を変化させたり、液状体50をディスポーザ82へ捨て打ちして検出部12の状態を変化させたりすることができる。したがって、この吐出装置1によれば、ターゲット81a~81cに対し検出結果7aが所定の条件を満足する液滴粒状体を含む71のみを選択して吐出できる。このため、複数のウェルを備えたマイクロプレートターゲットに対して粒状体51を含む液滴71を分注したときに、実験などの条件に合致せず無駄になるウェルの存在を大幅に低減できる。図11に、吐出ヘッド10の異なる例を示している。この吐出ヘッド10のガラス管20は円筒状のノズル開口11を備えている。ノズル開口11となるガラス管20の先端部分21は、ガラス管20の先端をノズル開口11として適当なサイズまで絞った形状に成形されている。ノズル開口11の典型的な内径は15~200μmである。この吐出ヘッド10を備えた吐出装置1においても、ノズル開口11に連通したノズル開口11の直上直ぐ上流の検出部12で粒状体51の有無および個数などを観察する。このため、ノズル開口11から液状体50を吐出分注する前に、次に吐出する液状体50液滴71に粒状体51が含まれるか否か、また、含まれる粒状体51の個数、形態などを含む検出結果7aを検出装置7により取得できる。このため、この吐出装置1においては、所望の条件、すなわち、所定の個数および/または形態種類の粒状体51を含む液状体50のみを所定のターゲット81a~81cのいずれかに吐出できる。検出結果7aが所望の条件に合致しない場合は液状体50を撹拌して検出部12の状態を変化させたり、液状体50をディスポーザ82へ捨て打ちして検出部12の状態を変化させたりすることができる。吐出ヘッド10の他の構成については上述した吐出ヘッドと共通するので説明を省略する。図12に、吐出ヘッド10のさらに異なる例を示している。この吐出ヘッド10のガラス管20は円筒状の検出部12を備えている。すなわち、ガラス管20は、先端部分21の後方であって第1の円筒部23の前方に、検出部12となる第4の円筒部28を含む。したがって、粒状体51のサイズが比較的大きく、たとえば粒状体51の粒径直径rが10μm以上の場合には、ガラス管20が外側から押し潰されるように成形された第1の扁平部22の代わりに、円筒状のままの第4の円筒部28を設けることにより、粒状体51を検出できる。吐出ヘッド10の他の構成については上述した吐出ヘッドと共通するので説明を省略する。一方、粒状体51の粒径直径rが10μm未満の場合には、検出部12の内部で粒状体51が重なって存在する可能性が増し、複数の粒状体51を個別に識別できない可能性が高くなるため、ガラス管20が外側から押し潰されるように成形された第1の扁平部22を設けることが望ましい。また、粒状体51の粒径直径rが5μm以下の場合には、第1の扁平部22を設けることがさらに望ましい。図13に、吐出ヘッド10を備えた吐出装置1により、所定の条件の粒状体51を含む液滴71をターゲット81a~81cのいずれかに吐出する方法吐出装置1の制御方法をフローチャートにより示している。ステップ110において吐出指示がホスト装置から出力されると、制御ユニット74は、ステップ111において、検出装置7から得られるノズル開口11のノズル面11aの画像を用いて、図5に示すノズル開口11のノズル面11aにおける粒状体51の有無を判断する。ノズル面11aに粒状体51あるいはその他の異物があれば、制御ユニット74は、ステップ112bにおいてクリーニングモードワイピングモードに移行する。ノズル面11aに粒状体51あるいはその他の異物があると、吐出ヘッド10から吐出される液滴71の飛翔方向が変わり、所望のターゲットに液滴71が到達しない可能性がある。したがって、ノズル面11aがクリーンであるかどうかを先ず確認し、異物がある場合はノズル面11aをクリーニングする。クリーニングモードにおいては、アクチュエータ79および/または89を用いて吐出ヘッド10をホームポジションに移動して、ホームポジションに用意されているワイピング機構などを用いてノズル面11aをクリーニングし、異物を除去する。クリーニングモードにおいて、吐出ヘッド10をディスポーザ82に移動し、液滴を捨て打ちクリーニングすることによりノズル面11aに存在する粒状体51または異物を除去するようにしてもよい。ステップ112bのクリーニングが終了するとステップ110に戻り、吐出指示が保持されていることを確認し、以下に述べる吐出プロセスを継続する。ステップ112bのクリーニングが終了した後、吐出指示を確認せずにステップ111に戻り、ノズル面11aの異物の有無の再確認を行い、以下に述べる吐出プロセスを続けるようにしてもよい。ノズル面11aで粒状体51が検出されなければ、ステップ112aにおいて、制御ユニット74の取得ユニット75は、検出装置7から、検出部12の液状体50に含まれる粒状体51の個数および/または形態、たとえば大きさ径、形状、模様および色などの情報を含む検出結果7aを取得する。ステップ113において、検出結果7aに含まれる粒状体51の個数、および/または形態などの条件が、いずれかの所定の条件の範囲に入る場合には、状態変更ユニット76の吐出先変更ユニット78は、ステップ114aにおいて、ターゲット81a~81cを選択し、ステップ114bにおいて、吐出ヘッド10を所定の条件に合致するターゲット81a~81cにアクチュエータ79および/または89を用いて移動し、駆動装置2を用いて、液状体50をターゲット81に吐出する。一方、取得した検出結果7aが所定の条件の範囲に入らない場合には、状態変更ユニット76は、ステップ115aにおいて、液状体50を捨て打ちするか否かを判断する。液状体50を捨て打ちする場合には、ステップ115bにおいて、吐出先変更ユニット78の捨て打ちユニット78aは、アクチュエータ79および/または89を用いて吐出ヘッドをディスポーザ82に移動し、駆動装置2を用いて捨て打ちする。その後、ステップ110に戻る。液状体50を捨て打ちしない場合には、ステップ116において、攪拌ユニット77は、駆動装置2から圧電素子ピエゾ素子6に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴を吐出しない程度にキャビティ14の内圧を変化させ、液状体50を撹拌して検出部12の状態を変化させ、ステップ110に戻る。ステップ116の攪拌を選択することにより、粒状体51を捨て打ちすることなく、検出部12の粒状体51の分布や位置を変えることができる。このため、無駄になる粒状体51の存在量を大幅に低減でき、さらに、捨て打ちのためにアクチュエータ79および/または89を用いて吐出ヘッド10またはテーブル83を移動させる必要もない。ステップ115bの捨て打ちを選択するか、ステップ116の攪拌を選択するかは、状態変更ユニット76に予め初期設定されていてもよく、攪拌を何度か繰り返しても所定の条件に合致する検出結果7aが得られないときに捨て打ちを選択するようにしてもよい。また、検出結果7aによりステップ116の攪拌を選択することにより検出部12の状態を所定の条件に合致させるように変化できるか否かを判断し、攪拌または捨て打ちを選択するようにしてもよい。制御ユニット74は、ステップ114bにおいてターゲット81a~81cに液滴71を吐出したり、ステップ115bにおいて液状体50を捨て打ちする際に、駆動装置2により圧電素子6を引き打ち方式の駆動パルスではなく、押し打ち方式の駆動パルスで駆動する。引き打ち方式とは、たとえば定常状態で圧電素子6に電圧を印加してキャビティ14の体積が減少する状態に保ち、吐出直前に一旦印加電圧を低下させてキャビティ14の体積が増加する状態にし、再度電圧を印加してキャビティ14の体積を減少させるようにして液滴71を吐出させる方式である。一方、押し打ち方式とは、定常状態では圧電素子6に電圧が印加されておらず、液滴71の吐出時に電圧を印加して圧電素子6を変形させ、キャビティ14を加圧して液滴71を吐出させる方式である。したがって、引き打ち方式であると、いったん、ノズル開口11のメニスカスを引き込むので、検出部12の内部までメニスカスが引き込まれる可能性があり、検出部12の内部状態が大きく変動する。このため、ステップ113において確認した検出部12の状態が変化し、吐出される液滴71に予期しない粒状体51が含まれる可能性が高くなる。一方、押し打ち方式であれば、ノズル開口11のメニスカスはほとんど引き込まれないので、検出部12の状態の変動は少なく、予定した粒状体51を含む液滴71を吐出できる確率が高くなる。駆動装置2は、ステップ114bにおいて押し打ち方式の駆動パルスを圧電素子6に供給した直後に、ステップ117において、メニスカスの動きをキャンセルするパルスを圧電素子6に供給する。メニスカスの振動を素早く減衰させ、メニスカスの動きを最小限に抑えることにより、検出部12の内部の状態を早期に安定させることができる。ステップ114bにおいて、指定した条件の粒状体51を指定したターゲット81a~81cに吐出すると、ステップ118aにおいて、制御ユニット74の取得ユニット75は、検出装置7により吐出直後の液滴の画像と、吐出後の検出部12の検出結果7aを取得する。ステップ118bにおいて、吐出後の検出結果7aに、吐出前の条件を満たす粒状体51があれば、制御ユニット74は、ターゲット81に対し、粒状体51を含む液滴71が吐出されなかったと判断する。所望のターゲット81a~81cのいずれかに対して液状体50の吐出を重ねてもよい場合は、ステップ120において、ターゲットを変えずにステップ110に戻り、ステップ111および113の条件を再確認してから、ステップ114bにおいて再吐出する。吐出後の検出結果7aに吐出前の条件を満たす粒状体51がなければ、制御ユニット74は、ステップ119において、吐出された液滴の画像を用いて、吐出された液滴に所定の条件の粒状体51が含まれているか否かを判断する。吐出された液滴71の中で粒状体51が検出されなければ、制御ユニット74は、ターゲット81a~81cに対し、粒状体51を含む液滴71が吐出されなかったと判断する。ターゲット81a~81cに対して液状体50の吐出を重ねてもよい場合は、ステップ122において、ターゲット81を変えずにステップ110に戻り、ステップ111、113の条件を再確認してから、ステップ114bにおいて再吐出する。ステップ118bと同時あるいは前後して、ステップ119において、吐出後の液滴71の中に粒状体51が含まれていることを確認することにより、粒状体51がノズル面11aなどに付着してターゲット81に対し吐出されない可能性を検出し、確実に粒状体51を吐出することが可能となる。ステップ121において、他にターゲットがあれば、ステップ123において、他のターゲットに変更してステップ110に戻る。ステップ121において他にターゲットがなければ、終了する。図14に、粒状体51を1つのみ含む液滴71をターゲット81に吐出する際に、吐出装置1の制御ユニット74が検出装置7、駆動装置2を用いてピエゾ素子6および移動用の第2のアクチュエータ79および/または第3のアクチュエータ89を制御するアルゴリズムの一例を示している。なお、上記のフローチャートと共通のステップについては説明を省略する。図15に検出部12の状態を示している。この例では、図15に示すように、検出部12は、3回の吐出量を保持する容量を備えており、検出部12の内部は、次にノズル開口11から吐出される部分第1の領域31と、その次すなわち2回目に吐出される部分第2の領域32と、さらにその次すなわち3回目に吐出される部分第3の領域33とに形式的に分割されている。これらの領域31~33は、図15に、吐出ヘッド10の検出部12を先端のノズル開口11から後端29に向かって、明確に分離されているように記載されているが、これらは画像解析のために設定された領域であって、仮想的なものであり、各領域31~33の境界の形状はこれに限定されない。ステップ110において吐出指示がホスト装置から出力されると、制御ユニット74は、ステップ111において、ノズル開口11のノズル面11aで粒状体51が検出されるか否かを判断する。ノズル面11aで粒状体51が検出されなければ、ステップ112aにおいて、制御ユニット74の取得ユニット75は、検出装置7から、検出部12の液状体50に含まれる粒状体51の個数の情報を含む検出結果7aを取得する。ステップ113aにおいて、検出部12のもっともノズル開口11の側の第1の領域31で粒状体51が検出されないか0個検出または2個以上検出されると、状態変更ユニット76は、ステップ115aにおいて、液状体50を捨て打ちするか否かを判断する。液状体50を捨て打ちする場合には、ステップ115bにおいて、吐出先変更ユニット78の捨て打ちユニット78aは、アクチュエータ79および/または89を用いてノズル開口11をディスポーザ82に向け、駆動装置2を用いて捨て打ちして、ステップ110に戻る。液状体50を捨て打ちしない場合には、攪拌ユニット77は、ステップ116において、吐出しない程度の圧力で液状体50を撹拌して検出部12の状態を変化させ、ステップ110に戻る。図15aに、第1の領域31に粒状体51が0個、すなわち、検出されない場合を示している。また、図15bに、第1の領域31に粒状体51が2個存在する様子を示している。第1の領域31は、次にノズル開口11から吐出される液状体50が保持されている領域であり、第1の領域31に粒状体51が0個または2個以上存在する場合に、ステップ115および116において、液状体50を捨て打ちまたは撹拌することにより、ターゲット81に粒状体51が入らない、または2個以上供給されることを防止できる。ステップ113aと同時に、あるいは前後して、ステップ113bにおいて、第1の領域31に続いて次に吐出される第2の領域32に粒状体51が1つ以上計測されると、状態変更ユニット76は、ステップ115aにおいて、液状体50を捨て打ちするか否かを判断する。液状体50を捨て打ちする場合には、ステップ115bにおいて、捨て打ちユニット78aは、アクチュエータ79および/または89を用いてノズル開口11をディスポーザ82に向け、駆動装置2を用いて捨て打ちして、ステップ110に戻る。液状体50を捨て打ちしない場合には、攪拌ユニット77は、ステップ116において、吐出しない程度の圧力で液状体50を撹拌して検出部12の状態を変化させ、ステップ110に戻る。図15cに、第1の領域31に粒状体51が1個存在し、第2の領域32にも粒状体51が1個存在する様子を示している。第1の領域31に隣接した第2の領域32に粒状体51が存在すると、次の吐出で第1の領域31の粒状体51とともに第2の領域32の粒状体51が吐出され、2つの粒状体51を含む液滴71がターゲット81に吐出される可能性がある。したがって、第2の領域32をバッファ緩衝領域として利用し、第2の領域32に粒状体51が含まれる場合は、液状体50を撹拌または捨て打ちし、検出部12の状態を変化させることにより、吐出精度をさらに向上させている。ステップ113aおよび113bにおいて、液状体50を撹拌または捨て打ちする条件が成立しない場合は、状態変更ユニット76の吐出先変更ユニット78は、ステップ114において、アクチュエータ79および/または89を用いてノズル開口11をターゲット81に向け、駆動装置2を用いて、第1の領域31の液状体50をターゲット81に吐出する。ステップ113aおよび113bの撹拌または捨て打ちする条件が成立しない場合とは、第1の領域31に粒状体51が1つだけ検出され、かつ、第2の領域32に粒状体51が全く検出されない場合である。図15dに、その状態の一例を示している。バッファ領域である第2の領域32を含めて粒状体51が1つだけ存在するので、ステップ114において、粒状体51が1つだけ含まれている液滴71をターゲット81に向けて吐出できる可能性が高い。粒状体51を吐出した後に、ステップ118aにおいて、制御ユニット74の取得ユニット75は、検出装置7により吐出直後の液滴の画像と、吐出後の検出部12の検出結果7aを取得する。ステップ118bにおいて、粒状体51が第1の領域31で検出されるか否かを判断する。第1の領域31で粒状体51が検出されなければ、制御ユニット74は、ステップ119において、吐出された液滴の画像を用いて、粒状体51が吐出された液滴71の中で検出されるか否かを判断する。一方、第1の領域31で粒状体51が検出されれば、制御ユニット74は、ターゲット81に対し、粒状体51を含む液滴71が吐出されなかったと判断する。ターゲット81に対して液状体50の吐出を重ねてもよい場合は、ステップ120において、ターゲット81を変えずにステップ110に戻り、ステップ113aおよび113bの検出部12の条件を再確認してから、ステップ114において再吐出する。ステップ119において、吐出された液滴71の中で粒状体51が検出されれば、制御ユニット74は、ターゲット81に対し、所定の条件、すなわち、1つの粒状体51を含む液滴71が吐出されたと判断して、ステップ121において、他に粒状体51を吐出するターゲット81があるか否かを判断する。一方、吐出された液滴71の中で粒状体51が検出されなければ、制御ユニット74は、ターゲット81に対し、粒状体51を含む液滴71が吐出されなかったと判断する。ターゲット81に対して液状体50の吐出を重ねてもよい場合は、ステップ122において、ターゲット81を変えずにステップ110に戻り、ステップ112の検出部12の条件を再確認してから、ステップ114において再吐出する。ステップ121において、他にターゲットがあれば、ステップ123において、他のターゲットに変更してステップ110に戻る。ステップ121において他にターゲットがなければ、終了する。液状体50の吐出を重ねてもよい場合、第1の領域31の容積Q1は、ノズル開口11から吐出される液滴71の体積qに対し、以下の条件Aを満たすことが望ましい。1≦Q1/q≦1000Aまた、第2の領域32の容積Q2は、以下の条件Bを満たすことが望ましい。0≦Q2/q≦1000B液状体50の中の粒状体51の濃度が低い場合や、第1の領域31の容積Q1が液滴71の体積qに対して大きい場合は、第2の領域32を設けなくてもよく、ステップ112bを省略できる。上記Aの条件の場合、第1の領域31に存在する粒状体51は、Q1/q回の吐出によりターゲット81に吐出され、あるいは捨て打ちされる。したがって、ステップ114および115において、一度吐出する毎にステップ110に戻って検出部12の状態を確認してもよく、最大Q1/q回の吐出を行った後、ステップ110に戻ってもよい。さらに、吐出される前の状態が条件に合致せず、ステップ115において、液状体50を捨て打ちする場合、1回の吐出あたりの液状体50の体積に対して粒状体51の濃度が高すぎると、捨て打ちされる粒状体51の個数が増し、高コストになりやすい。一方、1回の吐出あたりの液状体50の体積に対して粒状体51の濃度が低すぎると、粒状体51の個数を所定の条件に合致させるために捨て打ちする回数が増し、ターゲット81に向けて吐出するのに要する時間を短縮化しにくい。したがって、1回あたり以下の条件を満たす体積qの液滴71をノズル開口11から吐出することが望ましい。0.0001≦D×q≦3.05.0ただし、Dは液状体50の単位体積当たりに含まれる粒状体51の個数を表す。D×qは2.0以下であることが望ましく、1.0以下であることがさらに望ましい。また、D×qは0.001以上であることが望ましく、0.01以上であることがさらに好ましい。図16に、吐出ヘッド10のさらに異なる例を示している。この吐出ヘッド10のガラス管20は円筒状のキャビティ14を備えている。すなわち、ガラス管20は、第1の円筒部23の後方であって第2の円筒部25の前方に、キャビティ14となる第5の円筒部34を含む。キャビティ14の筒状の壁34aの外側の面外面34bには、電極6eを介して円筒状の圧電素子6が取り付けられている。したがって、ガラス管20と円筒状の圧電素子6とを組み合わせたいわゆるグールドタイプの吐出ヘッド10においても、キャビティ14とノズル開口11との間に、粒状体51を検出するための検出部12を設けることができる。吐出ヘッド10の他の構成については上述した吐出ヘッドと共通するので説明を省略する。このように、キャビティ14の構造にかかわらず、キャビティ14とノズル開口11との間に検出部12を設けることにより、粒状体51を所定の条件で含む液滴71を選択的にターゲット81に吐出できる。また、吐出ヘッド10のガラス管20には、圧電素子6の代わりにヒーターを取り付け、キャビティ14の内圧を気泡により変動させるサーマルタイプのインクジェット方式を採用することも可能である。また、上記では、粒状体51を1つ含む液滴71を吐出する例に基づき制御ユニット74の制御アルゴリズムの例を説明したが、粒状体51をn個nは任意の整数だけ含む液滴71を吐出するようなアルゴリズムであってもよい。図17に、吐出ヘッド10のさらに異なる例を断面図により示している。この吐出ヘッド10のキャビティ14は、両側の壁が狭められた状態に成形されており、ピエゾ素子6が取り付けられた平坦な外面24bの第1の壁24aに対向した反対側の位置に、反対側の平坦な外面24dを備えた第2の壁24cを備えている。この吐出ヘッド10においては、第2の壁24cの外側の面24dに第1の壁24aに取り付けられたピエゾ素子第1のピエゾ素子6とは独立して駆動される第2のピエゾ素子8が、第1のピエゾ素子6とY方向に対峙しないように位置をずらして取り付けられている。第1のピエゾ素子6と、第2のピエゾ素子8とには、駆動装置2からタイミング、パルス幅、パルス高さなどが異なる駆動パルス2p1および2p2をそれぞれ供給することが可能である。たとえば、タイミングの異なる駆動パルス2p1および2p2を供給したり、駆動パルス2p1および2p2によりピエゾ素子6および8が変形変位する時間を変更したりすることにより、吐出ヘッド10の内部に保持される液状体50を媒体媒質としてキャビティ14からノズル開口11に向かって伝播する進行波を作ることができる。したがって、この進行波により、図18に示すように、第2の領域32に存在する粒状体51を第1の領域31、さらにはノズル開口11に向けて移動させることができる。なお、第1のピエゾ素子6と第2のピエゾ素子8とは、第1の壁24aと第2の壁24cとに分けてY方向に対峙するように取り付けても良く、第1の壁24aまたは第2の壁24cのいずれか一方に長手方向9zの位置をずらして取り付けても良い。なお、図18に示すように、検出部12の内部の領域31~33は、ノズル開口11からキャビティ14に向けて放射状弓形に分離されていてもよい。これらの領域31~33は、ノズル開口11からキャビティ14に向けて凸状の境界となるように設定されているが、キャビティ14からノズル開口11に向けて凸状の境界となるように設定することも可能である。これらの境界31~33の形状は、押し打ち方式や引き打ち方式などの吐出方式や、検出部12およびノズル開口11の形状などの条件により適宜変更できる。なお、粒状体51および液状体50を吐出するターゲットとしては、たとえば、マイクロプレートウェルマイクロプレート、ガラス基板、試験管、シャーレなどの公知の実験検査器具や、多数のDNA断片をプラスチックやガラスなどの基板上に高密度に配置したDNAマイクロアレイDNAチップなどの分析器具も本発明の範囲に含まれる。上記では、アクチュエータとしてピエゾ素子を使用した例を説明しているが、キャビティの内圧を変動させるアクチュエータは、熱によりキャビティ内に気泡を発生させるヒーターでもよい。機械的な力によりキャビティ内の圧力を変えることができるピエゾ素子は液状体およびそれに含まれる粒状体に熱的な影響を与えにくいので、アクチュエータとして好適なものである。さらに、上記では、押し打ち方式の駆動パルスによりアクチュエータを駆動しているが、引き打ち方式であってもよい。押し打ち方式の方が、ノズル開口のメニスカスが検出部まで引き込まれることを抑制でき、検出部の状態を安定させやすい。このため、所定の条件に合致した粒状体を含む液状体を吐出する際に、予期しない個数の粒状体が含まれることなどにより吐出精度が低下することを抑制できる。