基部と該基部から突出する1本以上の振動脚とを備える圧電振動片の表面の少なくとも2面の一部に励振電極が形成された圧電振動子であって、前記圧電振動片の表面の前記励振電極が形成されていない表面露出部の一部が、周波数調整工程にてエッチングにより除去されていることを特徴とする圧電振動子。請求項1記載の圧電振動子は、屈曲振動モード、または捩り振動モードのいずれかで振動することを特徴とする。請求項1または2に記載の圧電振動子において、前記表面露出部は前記振動脚の角部であることを特徴とする圧電振動子。請求項1から3のいずれか1つに記載の圧電振動子において、前記振動脚が2本以上の場合、前記露出部はそれぞれの前記振動脚に対して対象形状であることを特徴とする圧電振動子。請求項1から4のいずれか1つに記載の圧電振動子において、前記圧電振動片が、圧電単結晶材料、または圧電セラミックス材料のいずれかよりなることを特徴とする圧電振動子。圧電振動片の表面に励振電極を備え所定の共振周波数で振動する圧電振動子の製造方法において、基部と該基部から突出する1本以上の振動脚とを備える圧電振動片を形成する工程と、前記圧電振動片の表面の少なくとも2面の一部に励振電極を形成する工程と、前記励振電極を形成した表面の表面露出部の一部をエッチングする工程とを、有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。請求項6記載の圧電振動子の製造方法において、前記表面露出部の一部をエッチングする工程は、ウェットエッチング法を用いて、前記表面露出部の一部を除去し、前記圧電振動子の前記共振周波数を調整することを特徴とする圧電振動子の製造方法。従来の圧電振動子の製造方法で周波数調整量を大きくするには圧電振動片に周波数調整用膜を広領域に形成するか厚く形成する必要がある。同一の圧電振動片上に励振電極を形成する必要があり、周波数調整用膜を形成すると、その分、励振電極の面積が減少する。励振電極の面積が減ると電界効率の低下によりクリスタルインピーダンスの増加が起こり、特性が劣化する。励振電極の面積を減らさないで周波数調整用膜を設けようとすれば、広領域が必要になり小型化に適さない。従来の周波数調整工程は、圧電振動子の主面上のみに周波数調整膜を形成するため周波数調整膜が厚くなると振動バランスが悪くなりクリスタルインピーダンスが増加し特性が劣化する。周波数調整膜の厚くなればなるほど特性への影響は顕著である。また捩り振動モードの共振周波数の温度特性は、周波数調整膜の厚さによって特性が変化する。よって周波数を調整する際に温度特性まで考慮しなければならず調整が困難である。従来の周波調整工程は、共振周波数が大きく外れてしまった場合は励振電極を剥離し、ウェットエッチングで圧電振動片の外形形状を再度調整し、再度励振電極を形成する必要がある。よって励振電極膜の剥離工程、形成工程などの労力と材料費などの多大な費用がかかる。本発明の目的は、ウェアラブル機器や移動体通信機器などに用いられる発振器、フィルタ、センサの小型化、高性能化に適した圧電振動子を提供することと、このような圧電振動子を効率よく製造する方法を提供することである。前記の課題を解決するために、本発明の圧電振動子の製造方法は圧電振動片の表面に励振電極を一部形成した状態で圧電振動片の表面露出部をウェットエッチングし、共振周波数を調整する工程を有する。また、圧電振動片は、基部と、この基部から突出する1本以上の振動脚部とを備え、励振電極は、圧電振動片の基部及び振動脚部の少なくとも2面の一部に形成され、励振電極が形成されていない表面露出部をエッチングにより振動脚部の一部分を除去された圧電振動子とする。脚振動バランスを考慮すると除去される部分は対照形状に形成する。共振周波数調整量を大きくするには、振動脚部の角部に表面露出部を形成する。さらに、圧電振動子の振動モードは屈曲振動モード、捩り振動モードのいずれかである。本発明によれば、周波数調整膜を広領域かつ厚く形成することなく周波数調整することができる。周波数調整膜を広領域に形成する必要がないため圧電振動子を小型化にすることができる。周波数調整膜を厚く形成する必要がないため圧電振動子のクリスタルインピーダンス特性の劣化や共振周波数の温度特性の変化を防ぐことができる。また、周波数調整前の共振周波数が狙いから大きく外れている場合でも励振電極を剥離せずに周波数を調整することができる。そのため励振電極膜の剥離工程、形成工程などの労力と材料費などの多大な費用を削減することができる。よってウェアラブル機器や移動体通信機器などに用いられる発振器、フィルタ、センサの小型化、高性能化に適した圧電振動子を提供することと、このような圧電振動子を効率よく製造する方法を提供できる。以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。図1は本発明の圧電振動子の一例を示す斜視図である。圧電振動子1は、圧電振動片2を構成する直方体状の基部3を含む。2本の振動脚部4a、4bが基部3から互いに間隔を隔てて伸び、音叉型の形状をなしている。このように基部3と振動脚部4a、4bを備えた圧電振動片2は、圧電単結晶である水晶から製作される。振動脚部4a、4bの主面上及び側面上に、それぞれ励振電極5a、5bを配置する。励振電極5a、5bがつながる基部3上のバッド6a、6bは、導電接着剤や、Au金やAlアルミニウムなどのワイヤで、セラミックパッケージの電極に接続され、このセラミックパッケージの電極を介して発振回路など外部に接続される。励振電極5a、5bは電気的に分離されており、互いに異なる電圧を与えることによって、水晶片の内部に電界を生じる。水晶はSiO2からなる三方晶系に属する圧電単結晶材料で、結晶異方性を有し弾性定数は方向によって異なる。よって結晶方位と電界の方向によって伸縮状態が変化し様々な振動モードを励振することができる。屈曲振動モードの場合は、上下面が水晶の結晶軸のZ軸に対してほぼ垂直、すなわち上下面がZ軸に対して85度から95度の角度をなす基板であり、一般的にZ板と呼ばれる水晶基板を使用する。捩り振動モードの場合は、基部3の幅方向を水晶の結晶軸のX軸として、振動脚部4a、4bの長手方向を水晶の結晶軸のY軸として、水晶の厚み方向をZ軸として一致させた状態から結晶軸のX軸を回転軸として25度から45度の角度をなす水晶基板を使用する。なお、ここでいう結晶学上の軸は、図1に示す圧電振動子の形状に関連して定めた座標系の軸とは別物である。水晶基板の結晶軸の角度と内部に生じる電界の方向に応じて振動脚部4a、4bが伸縮する。屈曲振動モードの場合は、振動脚部4a、4bがX軸方向に開閉するよう変位する。捩り振動モードの場合は、振動脚部4a、4bがY軸を回転軸として変位する。図2は、図1に示す圧電振動子1のA-A断面図である。振動脚部4a、4bの主面及び側面上のそれぞれに励振電極5a、5bが形成されている。振動脚部4a、4bの主面及び側面上の励振電極5a、5bが形成されていない部分が、表面露出部12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12hであり、エッチングで除去することにより、圧電振動子1の共振周波数が調整される。図3は、上記の圧電振動子1の製造方法を示す図で、図2と同様の断面である。以下、圧電振動子1の製造方法を説明する。図3aは、電極膜8と感光性材料からなるレジスト層9を両面に積層した水晶基板7を示す断面図である。電極膜8は、水晶のエッチングに対して耐食性を有する。本実施形態では電極膜8として、水晶基板7上に0.05μmの厚みで密着層として成膜したクロムCr膜と、そのCr膜上に0.15μmの厚みで成膜した金Au膜からなる積層膜を使用した。電極膜8はスパッタリング法を用いて形成したが、それ以外にも真空蒸着法やCVD法、鍍金法などにより成膜することができる。電極膜8は、チタンTi膜、ニッケルNiを密着層とし、その上に銀Ag、プラチナPt、ルテニウムRuなどを成膜しても構成可能である。水晶基板7との密着性とエッチング液に対する耐食性を考慮した材料であれば、CrとAu以外の積層膜、合金膜、単層膜を使用してもかまわない。図3は、レジスト層9にレジストパターンを形成する方法を示す。電極膜8とレジスト層9を積層した水晶基板7の上下両面に、レジスト層パターンを形成するためのマスク11を用いて、レジスト層9を所定の波長の紫外線UVで露光する。図3cは、電極膜8に圧電振動片2図1参照の輪郭を形成する方法を示す。まず、露光されたレジスト層9を現像し、マスク11と同じ形状のレジスト層パターンを得る。レジスト層9が現像され露出した電極膜8をエッチングする。電極膜8のエッチング方法として、例えば、王水によってAu膜をエッチングし、硝酸系のエッチング液によってCr膜をエッチングすればよい。図3dは、電極膜8上に残ったレジスト層9を除去した状態である。レジスト層9はアセトンなどの有機溶媒によって容易に除去できる。図3eは、水晶基板7をエッチングして圧電振動片2図1参照の外形を形成した状態であり、振動脚部の断面を示す。この時、水晶基板7のエッチングされない部分はマスク11とほぼ同じ形状になる。このエッチングされなかった部分が本発明の圧電振動片2の外形形状である。外形形状の形成により、基部3、振動脚部4a、4bも形成される。本実施形態では、フッ酸とフッ化アンモニウムの混合物からなるバッファードフッ酸をエッチング液として用い、ウェットエッチングを行った。50から70°Cのエッチング液によって、4から8時間のエッチング処理を行い、圧電振動片2の外形形状を形成した。これらのパターニング方法は一般に半導体製造で使用されている方法で、高い精度でのパターニングが可能である。図3fは、振動脚部4a、4bに励振電極5a、5bを形成した状態を示す。形成方法は、図3aから図3eに示すのと同様な手順で、励振電極5a、5bを所望の形状にパターニングする。なお、励振電極5a、5bの一部は、Au膜とCr膜とで構成される電極膜8を再度パターニングして形成することも可能であるが、本実施形態では、水晶基板7のエッチングの耐蝕膜として用いた電極膜8をエッチング法によって除去した後、水晶基板7上に0.15μm厚のAu膜上層と0.03μm厚のCr膜下層をもう一度スパッタ法により成膜して、その膜にフォトリソグラフィー法を施して励振電極5a、5bを形成し、圧電振動片2を製作する。振動脚部4a、4bに励振電極5a、5bの形成されていない表面露出部12a、12b、12c、12dが形成される。圧電振動片2の材料は水晶に限定されるものでなく、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ランガサイト、ランガテイトなどの圧電単結晶や圧電セラミックス材料を用いることができる。またウェットエッチングだけではなくドライエッチングにより形成することができる。図3gは、振動脚部4a、4bの表面露出部12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12hをエッチングし一部除去した状態を示す。表面露出部12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12hをエッチングする前に圧電振動片2を水晶基板の状態で振動させ、共振周波数を測定する。エッチング時間と共振周波数の関係から目的の共振周波数になるように適切な時間で50から70°Cのバッファードフッ酸をエッチング液として用い、エッチングを行う。エッチングを行うことにより表面露出部12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12hが一部除去され、振動脚部4a、4bの質量とモーメントが変化して目的の共振周波数に調整することができる。捩り振動モードの場合は、振動脚部4a、4bの回転軸をY軸としたとき基部3から振動脚部4a、4bの先端へ向かうY方向ほど共振周波数の調整量は大きくなり、また振動脚部4a、4bの表面と回転軸が垂直になる表面中心から距離が大きくなるほど共振周波数の調整量が大きくなる。たとえば振動脚幅200μmでX軸方向に中心部領域、中間部領域、角部領域の3領域に分類し共振周波数の調整量の影響度を調査した結果、中間部領域は中心部領域に対して2倍程度の調整量、角部領域は中心部領域に対して5倍程度の調整量になる。よって共振周波数を大きく調整したい場合は角部に表面露出部12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12hを形成することが望ましい。捩り振動モードの場合は、周波数調整膜の有無や調整位置などが共振周波数の温度特性に顕著に影響する。共振周波数の温度特性の影響度は、振動脚部4a、4bの表面と回転軸が垂直になる表面中心から距離が大きくなるほど小さくなる。よって共振周波数の温度特性の影響度を小さくするには角部に表面露出部12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12hを形成することが望ましい。屈曲振動モードの場合は、左右の振動脚部4a、4bが互いにX軸方向に逆相で変位しているので左右の振動脚部4a、4bの質量バランスがくずれるとクリスタルインピーダンスが劣化する。捩り振動モードの場合は、Y軸を回転軸としてよって変位しているので屈曲振動モードと同様に左右の振動脚部4a、4bの質量バランスがくずれるそれぞれの振動脚部4a、4b内のバランスがくずれるとクリスタルインピーダンスが劣化する。よって表面露出部12a、12b、12c、12dと表面露出部12e、12f、12g、12hはそれぞれの振動脚部4a、4bごとに対照形状であることが望ましい。従来の圧電振動子の製造方法で周波数調整量を大きくするには圧電振動片に周波数調整用膜を広領域に形成するか厚く形成する必要があるが、本発明では振動脚部4a、4bの表面露出部12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12hをエッチングすることで共振周波数調整量を大きくすることができる点で異なる。従来の周波調整工程は、共振周波数が大きく外れてしまった場合は励振電極を剥離し、エッチングなどで形状を再度調整したが、本発明では励振電極を剥離しないで共振周波数が調整できる点で異なる。本発明の構成により、周波数調整膜を広領域かつ厚く形成することなく周波数調整することができる。周波数調整膜を広領域に形成する必要がないため圧電振動子の小型化に適している。周波数調整膜を厚く形成する必要がないため圧電振動子のクリスタルインピーダンス特性の劣化や共振周波数の温度特性の変化を防ぐことができる。また、周波数調整前の共振周波数が狙いから大きく外れている場合でも励振電極を剥離せずに周波数を調整することができる。そのため励振電極膜の剥離工程、形成工程などの労力と材料費などの多大な費用を削減することができる。よってウェアラブル機器や移動体通信機器などに用いられる発振器、フィルタ、センサの小型化、高性能化に適した圧電振動子を提供することと、このような圧電振動子を効率よく製造する方法を提供できる。本発明は上記の構成に限定されず、請求の範囲を逸脱しない範囲で様々な変更を行うことができる。例えば、シリコンで構成された振動子においても有効である。また、振動脚部が2本以上の、例えば三叉型の圧電振動子にも本発明を適用できることはいうまでもないし、逆に音叉状でなく直線状の、いわゆるフリーフリーバーにも適用可能である。