"一個の固体電子撮像素子と,表面に接着剤が塗布されている一個のスペーサが,表面に接着されている一個のカバーガラスと,のうちの一方が配置される台座,上記台座上方において上下に移動自在な保持部材,上記保持部材の下方に設けられ,かつ伸縮自在な伸縮部材によって吊り下げられるヘッド部材,上記固体電子撮像素子または上記カバーガラスのうち他方を上記ヘッド部材の下面に吸引する吸引装置,上記保持部材を上下動させる保持部材駆動装置,上記伸縮部材の伸縮量を測定する変位センサ,および上記変位センサによって,上記伸縮部材の伸縮量が第1の所定の伸縮量となったことに応じて上記保持部材の下降を停止するように上記保持部材駆動装置を制御し,かつ吸引を停止するように上記吸引装置を制御する制御装置,を備えた固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記吸引装置は,上記固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置と着脱自在な吸引カートリッジである,請求項1に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記制御装置は,上記伸縮部材の伸縮量が第2の所定の伸縮量となったことに応じて上記保持部材の下降速度を遅くするように上記保持部材駆動装置を制御するものである,請求項1または2に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記制御装置は,上記保持部材の下降の停止から一定時間経過したことにより上記保持部材を上昇するように上記保持部材駆動装置を制御するものである,請求項1から3のうち,いずれか一項に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。請求項1から4のうち,いずれか一項に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置によって製造された固体電子撮像装置。搬送されながら製造される仮着フィルムであって,製造時の搬送方向の熱収縮率が05以下,幅方向の熱収縮率が01以下の熱可塑性樹脂が基材として用いられており,表面に粘着材が塗布されている上記仮着フィルムの表面と上記スペーサの裏面とが接するように,上記仮着フィルムの表面に上記スペーサが配置され,上記スペーサの表面に接着剤が塗布され,上記スペーサの表面に上記カバーガラスが接着され,上記仮着フィルムを上記スペーサから剥離することにより生成される上記カバーガラスが用いられる,請求項1から5のうち,いずれか一項に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記熱可塑性樹脂は,UV光を透過するものである,請求項6に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記粘着材は,UV光が照射されることにより粘着力が低下するものである,請求項6または7に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記熱可塑性樹脂は,ポリエステル樹脂である,請求項6から8のうち,いずれか一項に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記スペーサは,金属の枠である,請求項1から9のうち,いずれか一項に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記スペーサは,厚さが100μm以下である,請求項1から10のうち,いずれか一項に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。上記スペーサは,ステンレスである,請求項1から11のうち,いずれか一項に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置。台座に,一個の固体電子撮像素子と,表面に接着剤が塗布されている一個のスペーサが,表面に接着されている一個のカバーガラスと,のうちの一方を配置し,保持部材が,上記台座上方において上下に移動自在であり,ヘッド部材が,上記保持部材の下方に設けられ,かつ伸縮自在な伸縮部材によって吊り下げられ,吸引装置が,上記固体電子撮像素子または上記カバーガラスのうち他方を上記ヘッド部材の下面に吸引し,保持部材駆動装置が,上記保持部材を上下動させ,変位センサが,上記伸縮部材の伸縮量を測定し,制御装置が,上記変位センサによって,上記伸縮部材の伸縮量が第1の所定の伸縮量となったことに応じて上記保持部材の下降を停止するように上記保持部材駆動装置を制御し,かつ吸引を停止するように上記吸引装置を制御する,固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け方法。配置手段が,搬送されながら製造される仮着フィルムであって,製造時の搬送方向の熱収縮率が05以下,幅方向の熱収縮率が01以下の熱可塑性樹脂が基材として用いられており,表面に粘着材が塗布されている上記仮着フィルムの表面と上記スペーサの裏面とが接するように,上記仮着フィルムの表面に上記スペーサを配置し,塗布手段が,上記スペーサの表面に接着剤を塗布し,接着手段が,上記スペーサの表面に上記カバーガラスを接着し,剥離手段が,上記仮着フィルムを上記スペーサから剥離することにより生成される上記カバーガラスが用いられる,請求項13に記載の固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け方法。特許文献1に記載のものでは,内視鏡に用いられる固体電子撮像装置など,多数の固体電子撮像装置が不要な場合には却って製造コストが高くなってしまう。また,特許文献2から7に記載のものにおいても,どのようにして一個の固体電子撮像素子に一個のカバーガラスを取り付けるようにするかは全く考えられていない。この発明は,一個の固体電子撮像素子に一個のスペーサを介して一個のカバーガラスを取り付けることができるようにすることを目的とする。この発明による固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置は,一個の固体電子撮像素子と,表面に接着剤が塗布されている一個のスペーサが,表面に接着されている一個のカバーガラスと,のうちの一方が配置される台座,上記台座上方において上下に移動自在な保持部材,上記保持部材の下方に設けられ,かつ伸縮自在な伸縮部材によって吊り下げられるヘッド部材,上記固体電子撮像素子または上記カバーガラスのうち他方を上記ヘッド部材の下面に吸引する吸引装置,上記保持部材を上下動させる保持部材駆動装置,上記伸縮部材の伸縮量変位置を測定する変位センサ,および上記変位センサによって,上記伸縮部材の伸縮量が第1の所定の伸縮量となったことに応じて上記保持部材の下降を停止するように上記保持部材駆動装置を制御し,かつ吸引を停止するように上記吸引装置を制御する制御装置を備えていることを特徴とする。この発明は,上記固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置に適した方法も提供している。すなわち,この方法は,台座に,一個の固体電子撮像素子と,表面に接着剤が塗布されている一個のスペーサが,表面に接着されている一個のカバーガラスと,のうちの一方を配置し,保持部材が,上記台座上方において上下に移動自在であり,ヘッド部材が,上記保持部材の下方に設けられ,かつ伸縮自在な伸縮部材によって吊り下げられ,吸引装置が,上記固体電子撮像素子または上記カバーガラスのうち他方を上記ヘッド部材の下面に吸引し,保持部材駆動装置が,上記保持部材を上下動させ,変位センサが,上記伸縮部材の伸縮量を測定し,制御装置が,上記変位センサによって,上記伸縮部材の伸縮量が第1の所定の伸縮量となったことに応じて上記保持部材の下降を停止するように上記保持部材駆動装置を制御し,かつ吸引を停止するように上記吸引装置を制御するものである。この発明によると,台座には,一個の固体電子撮像素子と,表面に接着剤が塗布されている一個のスペーサが表面に接着されている一個のカバーガラスと,のいずれか一方が配置される。台座上方には上下に移動自在な保持部材が設けられている。保持部材の下方には新着自在な伸縮部材によって保持部材に吊り下げられるヘッド部材が設けられている。固体電子撮像素子またはカバーガラスのうち,台座に配置されていない,いずれか他方が,吸引装置によってヘッド部材の下面に吸引される。保持部材が保持部材駆動装置によって下降させられると,変位センサによって伸縮部材の伸縮量が測定される。伸縮量が第1の所定量となると,ヘッド部材の工面に取り付けられている固体電子撮像素子またはカバーガラスのうちのいずれか他方の下面が,台座に配置されている固体電子撮像素子またはカバーガラスのうちのいずれか一方の上面と接して圧力が加えられたことにより,固体電子撮像素子とカバーガラスとが接着されたものと考えられる。すると,保持部材の下降が停止するので,固体電子撮像素子とカバーガラスとの間への加圧が停止される。固体電子撮像素子とカバーガラスとの間に適切な圧力が加わり,接着することができる。また,伸縮量が第1の所定量となると,固体電子撮像素子またはカバーガラスのいずれか他方に対するヘッド部材への吸引が停止させられるので,ヘッド部材に吸引されていた固体電子撮像素子またはカバーガラスがヘッド部材から離れる。接着された固体電子撮像素子とカバーガラスとが吸引により離れてしまうことを未然に防止できる。上記吸引装置は,たとえば,上記固体電子撮像素子へのカバーガラス取り付け装置と着脱自在な吸引カートリッジである。上記制御装置は,たとえば,上記伸縮部材の伸縮量が第2の所定の伸縮量となったことに応じて上記保持部材の下降速度を遅くするように上記保持部材駆動装置を制御するものでもよい。上記制御装置は,たとえば,上記保持部材の下降の停止から一定時間経過したことにより上記保持部材を上昇するように上記保持部材駆動装置を制御するものもよい。上記のようにして製造された固体電子撮像装置を提供するようにしてもよい。搬送されながら製造される仮着フィルムであって,製造時の搬送方向の熱収縮率が05以下,幅方向の熱収縮率が01以下の熱可塑性樹脂が基材として用いられており,表面に粘着材が塗布されている上記仮着フィルムの表面と上記スペーサの裏面とが接するように,上記仮着フィルムの表面に上記スペーサが配置され,上記スペーサの表面に接着剤が塗布され,上記スペーサの表面に上記カバーガラスが接着され,上記仮着フィルムを上記スペーサから剥離することにより生成される上記カバーガラスが用いられることが好ましい。上記熱可塑性樹脂は,UV光を透過するものでもよい。上記粘着材は,たとえば,UV光が照射されることにより粘着力が低下するものである。上記熱可塑性樹脂は,たとえば,ポリエステル樹脂である。上記スペーサは,たとえば,金属の枠である。また,その厚さは,たとえば,100μm以下である。上記スペーサはステンレス製でもよい。図1は,この発明の実施例によるイメージセンサ7へのカバーガラス2の取り付け方法を示している。この実施例では,一個のイメージセンサ7に一個のカバーガラス2が一個のスペーサ4を介して接着される。イメージセンサ7には,接着剤5によってスペーサ4が接着される。そのスペーサ4にカバーガラス2が接着剤3によって接着される。図2Aから図2Eは,イメージセンサ7へのカバーガラス2の取り付け方法の詳細を示すもので端面図である。カバーガラス2等のハッチングは省略されている。図2Aを参照して,カバーガラス2の表面図2Aでは下面に仮着フィルム1が貼り付けられる。表面に仮着フィルム1が貼り付けられたカバーガラス2の裏面図2Bでは上面に,下面に接着剤3が塗布されているスペーサ4が置かれることにより,カバーガラス2とスペーサ4とが接着される。図2Bを参照して,スペーサ4が接着され,かつ仮着フィルム1が下面に貼り付けられているカバーガラス2が台座11上に置かれる。台座11は,台座11上に置かれた物体を吸引することにより陰圧がかかっている,その物体が容易には動かないようにするものである。図2Cを参照して,カバーガラス2が台座11上に位置決めされた状態で,下面に接着剤5が塗布されたフィルム6が,スペーサ4の上面に置かれる。スペーサ4の上にフィルム6が置かれると,フィルム6上から加圧される。図2Eを参照して,フィルム6がはがされると,スペーサ4上に接着剤5が塗布されることとなる。図3Aから図3Cは,接着剤5が塗布されたスペーサ4にイメージセンサ7を取り付ける取り付け方を示している。図3Aを参照して,台座11上にカバーガラス2が置かれている。接着剤5が塗布されたスペーサ4の上からイメージセンサ7が降ろされる。図3Bに示すように,スペーサ4を介してイメージセンサ7にカバーガラス2が取り付けられる。図3Cを参照して,台座11によるカバーガラス2の吸引が解除されると,カバーガラス2が取り付けられたイメージセンサ7が得られるようになる。図4Aおよび図4Bは,接着剤が塗布されたスペーサ4にイメージセンサ7を取り付ける他の取り付け方を示している。図4Aを参照して,スペーサ4の表面に接着剤が塗布されたカバーガラス2が台座11から外される。台座11にはイメージセンサ11が吸引された状態で位置決めされる。図4Bを参照して,スペーサ4の表面下面に接着剤5が塗布されたカバーガラス2が,接着剤5が下となるようにされてイメージセンサ7に置かれる。台座11の吸引が解除され,台座11からイメージセンサ7が外されると,図3Cに示すようにカバーガラス2が取り付けられたイメージセンサ7が得られる。図5から図12は,上述したようにイメージセンサ7にカバーガラス2を取り付ける低荷重接合装置10を示している。これらの図においては上述した接着剤3は図示が省略されている。低荷重接合装置10には,基台12が設けられている。基台12の右端に単軸ロボット13が立設している。単軸ロボット13の上部には保持部材14が左側に水平に伸びている。保持部材14の先端には変位センサ15が設けられている。保持部材の先端部であって,変位センサ15の手前にはバネ伸縮部材16が設けられている。このバネ16によってヘッド部17が吊り下げられている。変位センサ15によってバネ16の伸縮量変位量が測定される。保持部材14は保持部材駆動装置18によって上下にゆっくりと移動自在である。保持部材14が上下に移動することにより,ヘッド部17も上下にゆっくりと移動する。ヘッド部17の周りには垂直なガイド図示略が設けられており,このガイドに沿ってヘッド部17が上下に移動するのはいうまでもない。保持部材駆動装置18は,制御装置9によって制御される。ヘッド部17の下方には,台座11が設けられている。この台座11の上部には複数の穴が開けられており,中は空洞となっている。この空洞の部分にホース図示略が接続され,そのホースによって吸引装置ポンプ19から台座11内の空気が抜かれることにより,台座11上に置かれる物体が台座11に吸引される。吸引装置19からの吸引が無くなることにより,台座11上に置かれる物体は移動自在となる。低荷重接合装置10を用いてイメージセンサ7にカバーガラス2を取り付ける場合,ガラスチップ吸着カートリッジ30が用いられる。ガラスチップ吸着カートリッジ30も台座11と同様の構成で,吸引装置19とホース図示略によってつながれており,そのホース内の空気が吸引されることにより,置かれた物体を吸引して容易に動かないようにするものである。低荷重接合装置10には,さらに上下2視野光学系ユニット20が含まれている。この光学系ユニット20は,カバーガラス2の中心軸とイメージセンサ7の光軸中心軸とを一致させるために利用される。光学系ユニット20には,水平方向右方向に伸びたアーム21がある。アーム21は,上下に移動自在である。アーム21の先端部の上部には上方向を撮像する撮像装置22Aが設けられ,アーム21の先端部の下部には下方向を撮像する撮像装置22Bが設けられている。光学系ユニット20はベース23を介してスライドガイド24に乗せられている。スライドガイド24上にはガイド溝図示略が形成されており,このガイド溝にベース23の下端に形成されている凸条が嵌め込められている。これにより,光学系ユニット20は,左右に移動自在である。また,光学系ユニット20は,鉛直方向の軸を中心として回転自在となるように,ベース23に取り付けられている。図6を参照して,ガラスチップ吸着カートリッジ30上に置かれた物体が吸引される状態で,ガラスチップ吸着カートリッジ30上に,上面に接着剤が塗布されているスペーサ4が接着されたカバーガラス2が置かれる。また,台座11上に置かれた物体が吸引される状態で,台座11上にイメージセンサ7が置かれる。図7を参照して,ガラスチップ吸着カートリッジ30の上下が反対にされて,ヘッド部17の下面に,ガラスチップ吸着カートリッジ30が取り付けられる。ヘッド部17の下面には凸部図示略が形成されており,ガラスチップ吸着カートリッジ30のカバーガラス2が載せられていない面には凹部図示略が形成されている。それらの凸部と凹部とが嵌め込められてロック部材図示略によりロックされることにより,ヘッド部17の下面にガラスチップ吸着カートリッジ30が固定される。図8を参照して,ヘッド部17の下方から退避されていた光学系ユニット20の撮像装置22Aがヘッド部17の下方となるように,光学系ユニット20がスライドガイド24を右方向にスライドさせられる。光学系ユニット20の撮像装置22Aによって撮像装置22Aの上方にあるカバーガラス2が撮像され,かつ光学系ユニット20の撮像装置22Bによって撮像装置22Bの下方にあるイメージセンサ7が撮像される。撮像により得られたカバーガラス2の画像とイメージセンサ7の画像とが表示装置図示略の表示画面に表示され,カバーガラス2の中心軸とイメージセンサ7の中心軸とが一致するようにオペレータによって台座11が動かされる。図9を参照して,カバーガラス2の中心軸とイメージセンサ7の中心軸とが一致すると,光学系ユニット20の撮像装置22Aがヘッド部17の下方から退避させられる。図10を参照して,保持部材駆動装置18によって保持部材14が下方向に移動させられる。すると,カバーガラス2に接着されているスペーサ4が台座11に置かれているイメージセンサ7の上面に接することとなる。さらに,保持部材駆動装置18によって保持部材14が下方向に移動させられると,スペーサ4がイメージセンサ7に押し付けられる。バネ16が変位し,その変位量が変位センサ15によって検出される。バネ16の変位量が所定の変位量となると,イメージセンサ7とカバーガラス2との間に所定の荷重が加えられたと考えられる。図11を参照して,吸引装置19によるガラスチップ吸着カートリッジ30の吸引が停止させられる。すると,スペーサ4の表面に塗布されている接着剤5によって,スペーサ4を介してイメージセンサ7にカバーガラス2が取り付けられることとなる。図12を参照して,吸引装置19による台座11の吸引が停止させられる。すると,台座11からイメージセンサ7が取り外される。カバーガラス2が取り付けられたイメージセンサ7固体電子撮像装置が得られるようになる。上述の処理において,イメージセンサ7に加えられる荷重は,式1によって表される。F=g-k-Pi式1但し,Fが荷重,gは重力加速度,kはばね定数,Piはばねの初張力,x0は引張ばね初期長,xは押し付け動作時引張ばね長さ,m1はヘッド部重さm2はガラスチップ吸着カートリッジの重さ,m3はカバーガラスの重さである。また,荷重Fと変位量Δxとは式2の関係があり,かつ上述した押し付け動作で生じたバネ16の変位量Δxは式3で得られる。F=k×Δx式2Δx=x-x0式3イメージセンサ7に加える荷重Fが決定され,かつバネ16のばね定数kが決定されれば,その荷重Fがイメージセンサ7に加えられるときの変位量Δxが分る。そのような変位量Δxが変位センサ15で検出されたときに,保持部材14の下降を停止させればよいこととなる。図13および図14は,上述した低荷重接合装置10の処理手順を示すフローチャートである。ステップ21から27まではイメージセンサ7などのセット処理である。まず,撮像装置22A22Bが台座11の上方に存在すると,光学系ユニット22がオペレータによって手で左側に退避させられるステップ21。低荷重接合装置10の電源がオンさせられステップ22,保持部材14が初期位置に移動させられるステップ23。ガラス吸着カートリッジ30および台座11における吸引が開始させられるステップ24。ガラス吸着カートリッジ30上にスペーサ4が接着されているカバーガラス2が載せられステップ25,台座11上にイメージセンサ7が載せられるステップ26。ステップ27から30まではピント調整についての処理である。まず,上述のように,吸着カートリッジ30がヘッド部17に装着されるステップ27。すると,オペレータによって撮像装置22A22Bが台座11の上方となるように光学系ユニット22が進入させられるステップ28。光学系ユニット22のアーム21の高さが調整され,アーム21の先端部の下方に設けられている撮像装置22Bで撮像した場合に,台座11上に置かれたイメージセンサ7のピントが合うようにされるステップ29。つづいて,保持部材14の高さが調整されZ軸高さ調整,アーム21の先端部の上方に設けられている撮像装置22Aで撮像した場合に,ヘッダ17の下方に装着されているカバーガラス2のピントが合うようにされるステップ30。つづいて,ステップ31から34までの処理でイメージセンサ7の位置調整が行われる。台座11がオペレータによって鉛直軸を中心に回転させられて,鉛直軸を中心とした回転角度θの粗位置決めが行われるステップ31。つづいて,オペレータによって,台座11の基台12上におけるXY位置調整が行われるステップ32。さらに,台座11の回転角度θの位置調整が行われるステップ33。位置調整が終わると,撮像装置22A22Bが退避させられ,台座11の上方から左側に寄せられるステップ34。つづいて,ステップ35以降の処理で押し付け処理が行われる。まず,保持部材14が移動開始させられステップ35,変位センサ15も起動させられるステップ36。保持部材14の下降が開始しステップ37,変位センサ15によって変位量検出される。検出された変位量が上述した第1の所定の変位量となるとステップ38でYES,保持部材14の下降が停止させられるステップ39。その後,ガラスチップ吸着カートリッジ30の吸引が停止させられて保持部材14が上昇させられるステップ40,41。台座11の吸引が停止させられてステップ42,台座11からカバーガラス2が取り付けられたイメージセンサ7が取り外されることとなるステップ43。その後,吸着カートリッジ30がヘッド部17から取り外されるステップ44。図15から図17は上述した押し付け動作制御の関係を示すグラフである。図15は,保持部材14の移動速度と時間との関係を示している。図16は,バネ16の長さと時間との関係を示している。図17は,荷重と時間との関係を示している。図15に示すように,時間t1となると,保持部材14の下降が加速されて開始する。加速度の影響でバネは図16に示すように若干縮む。時間t2となると,保持部材14は一定速度で下降させられる。接着剤5とイメージセンサ7が接触するまでt3まで,荷重はかからない図17。図16に示すように,時間t3となると,カバーガラス2とイメージセンサ7とが接する。図17に示すように,イメージセンサ7に荷重が加えられることとなる。さらに,保持部材14が一定速度で下降し,時間t4となると,第2の所定の変位置伸縮量となり,加えたい荷重であるときのバネ16の変位量第1の変位置となる前に保持部材14は減速させられる。第2の所定の変位置伸縮量となり,減速時の速度変化が大きすぎると,加速度の変化により余計な荷重が加わってしまうために,滑らかに減速するものである。時間t5となり,バネ16の変位量が上述した所定の変位量となると,所定の荷重がイメージセンサ7とカバーガラス2との間に加えられたものとなる。保持部材14の下降が所定時間の間,停止させられるZ軸ロック。時間t6となると,吸着カートリッジ30の吸引が停止させられて保持部材14が上昇させられる原点復帰。時間t7となるとイメージセンサ7への荷重が解除される。このように,イメージセンサ7には所定の低い荷重が加えられてカバーガラス2がイメージセンサ7に取り付けられる。上述の実施例において,吸着カートリッジ30の材質を変えることにより荷重が変わるようにできる。また,台座11にカバーガラス2を置き,吸着カートリッジ30にイメージセンサ7を吸引させるようにしてもよい。図18Aおよび図18Bから図22Aおよび図22Bは,スペーサ4が接着剤3によって接着されているカバーガラス2の製造方法を示すものである。図18Aおよび図18Bは仮着フィルム50に金属53が貼りあわされている様子を示すもので,図18Aは側面図,図18Bは上面図である。仮着フィルム50は,基材52上に粘着材51が塗布されている。この基材52は,製造時において搬送方向の熱収縮率が05以下,幅方向の熱収縮率が01以下の熱可塑性樹脂である。基材52は,紫外線を透過するもので,たとえば,ポリエステル樹脂である。粘着材51は,紫外線が照射されることにより,粘着力が弱くなるもので,公知のものを利用できるいわゆるUVテープに塗布されている接着剤など。仮着フィルム50の厚さは200μm以下程度であり,粘着材51の厚さは5μm程度以下である。金属53の厚さは50μm以下程度であり,少なくとも100μm以下であることが好ましい。仮着フィルム50に接着されている金属53に,上述したスペーサ4の形状となるようなフォトリソグラフィが行われてエッチング処理される。たとえば,レジストベーク温度は70度,金属エッチングの温度が50度,レジスト剥離の温度が90度から100度程度で行われる。図19Aおよび図19Bは,エッチング処理された状態を示すもので,図19Aは,図19BのA-A線に沿う端面図,図19Bは,上面図である。上述のように,エッチング処理されることにより,仮着フィルム50上に金属好ましくはステンレスのスペーサ4が形成される。スペーサ4は矩形の枠状であり,一辺のサイズLが5mm程度,幅tが200μm程度である。このスペーサ4の表面に,接着剤塗布装置によって,上述した接着剤3が塗布される。図20Aおよび図20Bは,スペーサ4上に接着剤3が塗布されている様子を示すものである。図20Aは,図20BのA-A線の沿う断面図,図20Bは上面図である。スペーサ4の上面に接着剤3が塗布されると,接着装置上述した装置を利用できようによってカバーガラス2が保持されて,スペーサ4の上面に上述したカバーガラス2が接着される。図21Aおよび図21Bは,スペーサ4にカバーガラス2が取り付けられた様子を示している。図21Aは,図21BのA-A線に沿う断面図であり,図21Bは,上面図である。カバーガラス2の代わりにイメージセンサ7を取り付けてもよい。仮着フィルム50の下方から紫外線が照射されると,仮着フィルム50の表面に塗布されている粘着材の粘着力が弱まる。すると,仮着フィルム50からスペーサ4が剥離されやすくなる。剥離装置上述した装置が利用されようによって,仮着フィルム50から,スペーサ4が接着されたカバーガラス2が取り外される。図20Aおよび図20Bは,スペーサ4が接着されたカバーガラス2が仮着フィルム50から取り外された様子を示している。図20Aは,図20Bの断面図,図20Bは,上面図である。このようにして,スペーサ4が接着されているカバーガラス2が得られる。得られたカバーガラス2がイメージセンサ7に取り付けられるのは上述の通りである。仮着フィルム50の基材52は,製造時において搬送方向の熱収縮率が05以下,幅方向の熱収縮率が01以下の熱可塑性樹脂のものが使用されているから,フォトリソグラフィ,エッチングの処理などにおいて,熱が加えられても変形しない。仮着フィルム50が変形すると,スペーサ4は薄いので,スペーサ4が変形してしまうが,仮着フィルム50が変形しないので,スペーサ4の変形が防止される。上述した基材52の製造方法として,低熱収縮ポリエステルフィルムの製造方法について述べる。低熱収縮ポリエステル支持体を形成するポリエステルは,ジカルボン酸とジオールから構成されるが,好ましいジカルボン酸として,テレフタル酸,ナフタレンジカルボン酸,イソフタル酸,オルトフタル酸,パラフェニレンジカルボン酸およびそのエステル形成体を挙げることができる。ジオールは,エチレングリコール,ブチレングリコール,シクロヘキサンジメタノール,ネオペンチルグリコール,ビスフェノールA,ビフェノールが好ましい。ジオールとジカルボン酸以外にヒドロキシカルボン酸を用いてもポリエステルを形成でき,パラヒドロキシ安息香酸,6-ヒドロキシ-2-ナフタレンカルボン酸を用いてもよい。このようなポリエステルを達成する上で好ましいのが,全ジカルボン酸ユニット中に含まれるテレフタル酸,あるいはナフタレンジカルボン酸の含率が50mol以上100mol以下のものが好ましく,これは共重合体であってもよく,ポリマーブレンドであってもよい。これらの中で特に好ましいのがポリエチレンテレフタレートPETとポリエチレンナフタレートPENである。このようなポリエステルは原料のジカルボン酸とジアルコールを1~2kg/mm2の加圧下あるいは大気圧下で180~280°Cで0.5~8時間反応させエステル交換させた後,50~1mmHgの真空にした240~290°Cで1~3時間加熱することで重合させてえることができる。このとき原材料の添加をスラリーで行うことで好ましい。即ちジカルボン酸あるいはそのジエステルとテレフタル酸を微粒子にし,エチレングリコール中に分散させスラリーとして供給する。これらの重合時,必要に応じて,エステル交換反応触媒あるいは重合反応触媒を用いたり,耐熱安定化剤例えば亜リン酸,リン酸,トリメチルフォスフェート,トリエチルフォスフェート,テトラエチルアンモニウムを添加してもよい。これらのポリエステル合成法については,例えば,高分子実験学第5巻重縮合と重付加共立出版,1980年第103頁~第136頁,合成高分子V朝倉書店,1971年第187頁~第286頁の記載や特開平5-163337号,同3-179052号,同2-3420号,同1-275628号,特開昭62-290722号,同61-241316号等を参考に行うことができる。これらのポリエステルは,耐熱性の観点からガラス転移温度Tgが50°C以上のものが好ましく,より好ましくは60°C以上,さらに好ましくは65°C以上である。このようにして重合したポリマーは,オルソクロロフェノール溶媒中にて,35°Cで測定した極限粘度が0.40以上,0.9以下のものが好ましく,0.45~0.70のものがさらに好ましい。ポリエステルフィルムは易滑性を付与することも可能であり,不活性無機化合物の練り込みが一般的手法として用いられる。このような不活性無機粒子としてはSiO2,TiO2,BaSO4,CaCO3,タルク,カオリン等が例示される。これらはポリエステル合成反応系に不活性な粒子を添加する外部粒子系による易滑性付与法,ポリエステルの重合反応時に添加する触媒等を析出させる内部粒子系による易滑性付与法いずれも採用可能である。好ましい添加量は5ppm以上1000ppm以下,より好ましくは10ppm以上500ppm以下である。また添加する粒子の大きさは0.01μm以上10μm以下が好ましく,0.05μm以上5μm以下がより好ましい。次にポリエステルフィルムの製膜方法について述べる。図23は,基材52の製造装置を示している。上述のような方法で重合したポリマーをペレット化し,これを80°C~200°Cで1時間以上乾燥する。このペレットは,製膜工程部60の押出機62により,そのポリマーの融点温度Tm以上330°C以下で溶融する。この後,フィルター図示略を用いて溶融ポリマーをあらかじめ濾過しておくほうが好ましい。フィルターとしては,金網,焼結金網,焼結金属,サンド,グラスファイバーなどが挙げられる。溶融樹脂は,ダイ64に連続的に供給される。供給された溶融樹脂はダイ64の先端下端からシート状に吐出され,吐出された溶融樹脂は,キャスティングドラム68上にキャストされ,ドラム68の表面で冷却固化された後,ドラム68の表面から剥離され,ポリエステルフィルム132が製膜される。ダイ64から押しだした溶融ポリマーは,Tg-80°C~TgTg:ポリエステルのガラス転移温度,より好ましくはTg-60°C~Tg-10°Cにしたキャスティングドラム68上に押し出す。この時,静電印加法あるいは液膜形成法水等の流体をキャスティングドラム上に塗布しメルトとドラムの密着をよくするでドラムとの密着を良くし平面性の改良を行うことも好ましい。製膜工程部60で製膜されたポリエステルフィルム132は,縦延伸工程部70,横延伸工程部80に順に送られる。ポリエステルフィルム132は,まず,縦延伸工程部70で搬送方向に縦延伸される。縦延伸工程部70では,ポリエステルフィルム132が予熱された後,ポリエステルフィルム132が加熱された状態で,二つのニップロール72,74に巻き掛けられる。出口側のニップロール74は,入口側のニップロール72よりも早い搬送速度でポリエステルフィルム132を搬送しており,これによって,ポリエステルフィルム132が縦方向に延伸される。縦延伸されたポリエステルフィルム132は,横延伸工程部80に送られ,幅方向に横延伸される。横延伸工程部80では例えばテンターを好適に用いることができ,このテンターによってポリエステルフィルム132の幅方向の両端部をクリップで把持し,横方向幅方向に延伸する。横方向にTg20°C~55°Cの温度で3.0~4.0倍に延伸することが好ましい。この後Tg60°C~100°Cで横方向に緩和する。このとき横方向に3~20,好ましくは7~10に緩和することによって,横延伸の歪を緩和し,TD方向幅方向の寸法変化を低くする効果がある。このようにして得られた延伸ポリエステルフィルム132Aは,易接着塗布工程部90で下塗り層易接着層が設けられる。ここで,第1層としてフィルム132Aによく接着する層以下,下塗り第1層と略すを設け,その上に第2層として下塗り第1層と別工程で塗布する樹脂とよく接着する層以下,下塗り第2層と略すを塗布するいわゆる重層法と,一層のみ塗布する単層法とがある。単層法の場合には,易接着塗布工程部90Aおよび乾燥工程部60Aは不要である。重層法における下塗り第1層では,例えば,塩化ビニル,塩化ビニリデン,ブタジエン,酢酸ビニル,スチレン,アクリロニトリル,メタクリル酸エステル,メタクリル酸,アクリル酸,イタコン酸,無水マレイン酸等の中から選ばれた単量体を出発原料とする共重合体,エポキシ樹脂,ゼラチン,ニトロセルロース,ポリ酢酸ビニルなどが用いられる。また必要に応じて,トリアジン系,エポキシ系,メラミン系,ブロックイソシアネートを含むイソシアネート系,アジリジン系,オキサザリン系等の架橋剤,コロイダルシリカ等の無機粒子,界面活性剤,増粘剤,染料,防腐剤などを添加してもよい。また下塗り第2層でも第1層に用いられる樹脂等も同様に用いられる。単層法においては,多くは支持体を膨潤させ,下塗りポリマーと界面混合させる事によって良好な接着性を得る方法が多く用いられる。この下塗りポリマーとしては,ゼラチン,ゼラチン誘導体,ガゼイン,寒天,アルギン酸ソーダ,でんぷん,ポリビニルアルコール,ポリアクリル酸共重合体,無水マレイン酸共重合体などの水溶性ポリマー,カルボキシメチルセルロース,ヒドロキシエチルセルロース等のセルロースエステル,塩化ビニル含有共重合体,塩化ビニリデン含有共重合体,アクリル酸エステル含有共重合体,酢酸ビニル含有共重合体,酢酸ビニル含有共重合体等のラテックスポリマー,などが用いられる。第1層の厚みは10から500nm,より好ましくは30から150nmの範囲であることが好ましい。膜厚が10nm未満であると延伸ポリエステルフィルム12’との接着性が不充分になり,500nmを超えると面状が悪化する場合がある。第1層を塗設する方法には特に制限はなく,バーコーター塗布,スライドコーター塗布などの公知の方法を用いることができる。塗布溶媒も水,トルエン,メチルアルコール,イソプロピルアルコール,メチルエチルケトンなど,及びこれらの混合系などの水系,有機溶剤系の塗布溶剤を用いることができる。これらのうちで水を塗布溶媒として用いる方法はコスト,製造の簡便さを考えると好ましい。第2層の厚みも特に制限はないが,10から5000nm,より好ましくは20から1500nmの範囲であることが好ましい。膜厚が10nm未満であると上層との接着性が不充分になり,5000nmを超えると面状が悪化する場合がある。第2層を塗設する方法についても特に制限はなく,バーコーター塗布,スライドコーター塗布などの公知の方法を用いることができる。また,第2層は第1層と同じ方法で塗布してもよいし,異なる方法で塗布してもよい。さらに第2層は,第1層と同時に塗布して乾燥してもよいし,図1に示したように第1層を塗布乾燥した後に塗布してもよい。第2層を塗布するための塗布溶媒も水,トルエン,メチルアルコール,イソプロピルアルコール,メチルエチルケトンなど,及びこれらの混合系などの水系,有機溶剤系の塗布溶剤を用いることができる。塗布溶媒についても第1層と同じものであっても,異なるものであってもよい。第2層の塗布溶媒も,水を用いる方法がコスト,製造の簡便さの点から好ましい。このように下塗層が塗布された延伸ポリエステルフィルムは,熱処理A工程部100および100Aで下塗液の溶媒を乾燥すると共に,加熱雰囲気中を搬送することによる熱処理Aを行う。熱処理A工程部100としては,パラレル非接触乾燥方式の乾燥機を好適に使用することができる。パラレル非接触乾燥方式の乾燥機は,乾燥工程部100内に,乾燥風を吹き出すエアヘッダ図示略を下塗層が塗布された延伸ポリエステルフィルム132Aを挟んだ上方と下方の両方にフィルム132Aの搬送ラインに沿って互い違いに配置され,エアヘッダからフィルム132Aに向けて乾燥風が吹き出される。これにより,フィルム132は乾燥工程部100内を,サインカーブを描くように非接触走行して塗布膜が乾燥される。このように加熱雰囲気中にて熱風で浮上させながら搬送する熱処理A工程部100で熱処理すると搬送方向MD方向の熱収縮を下げることが可能になる。その際,熱処理温度は130°C~190°C,好ましくは150°C~180°C,張力は30~150N/m,好ましくは50~100N/mである。このような熱処理は,単一の熱処理ゾーンで実施しても,複数の熱処理ゾーンで実施しても同様な効果が得られる。平面性を改善する為には熱処理ゾーンの入り口に余熱ゾーン,出口に徐冷ゾーンを設ける事が望ましい。これにより急激な温度変動で光学用フィルム132Bが大きく伸張,収縮する際に発生するトタン板状のベース変形を抑制することができる。熱処理B装置110は,温度を調節するための炉図示略の内部に,延伸ポリエステルフィルム132Aを搬送するためのローラ図示略が備えられている。ローラは炉の内部と同じ温度に加熱されている。延伸ポリエステルフィルム132を低い張力を維持しながら搬送を行なうため,炉への搬送および炉からの引き抜きにはニップロール図示略を用いることが好ましい。このようにすることで,テンション測定ロールによって張力を測定したうえで,ニップロール74のローラの回転速度を変えることで,低い張力を維持することができる。また,熱処理B装置110は,ヒートローラのような高温の熱媒体に接触させて伝熱で延伸ポリエステルフィルム132Aを昇温してもよい。いずれの方法でもよいが,幅方向の温度分布を小さくすることが熱収縮の幅方向分布を小さくするために好ましい。このように,延伸ポリエステルフィルム132を加熱雰囲気内にある複数ローラに接触搬送またはヒートローラに接触搬送することにより,更に熱収縮率を下げ,高い平面性を得ることができる。その際,ローラ温度は145~160°C,張力は80~450N/mの範囲であることが好ましい。そして,ローラ上でのアイロン効果により,局所的な延伸ポリエステルフィルム132Aのベコ,波打ち等の欠陥を減少させ,平面性を向上することができる。以上のようにして,搬送方向MD方向の熱収縮率が0.5以下であり,幅方向TD方向の熱収縮率が0.1以下である光学用フィルム基材52を製膜することができる。なお,搬送MD方向の加熱収縮率,幅TD方向の加熱収縮率は,JISC-2318により,次の通り,求めることができる。加熱収縮率=100×L1-L2/L2L1:加熱前の標点間距離mm,L2:加熱後の標点間距離mm"