"第1の工程の処理を行う第1の処理装置から第2の工程の処理を行う第2の処理装置へ処理の対象物を搬送する搬送ロボットと、前記対象物が収容されるトレイを保持するトレイ保持部と、前記搬送ロボットの動作を制御する制御部とを備え、前記第1の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第1処理数とし、前記第2の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第2処理数とし、前記第1処理数が前記第2処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記第1の処理装置から前記トレイへ搬送させることを特徴とする搬送装置。前記第2処理数が前記第1処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記トレイから前記第2の処理装置へ搬送させる請求項1に記載の搬送装置。前記対象物が収容されているトレイを貯める第1ストッカーと、前記対象物が収容されていないトレイを貯める第2ストッカーと、前記第1ストッカー及び前記第2ストッカーの動作を制御するストッカー制御部とを備え、前記第1処理数が前記第2処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、前記ストッカー制御部が、前記第1ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第2ストッカーに該第2ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる請求項1又は2に記載の搬送装置。前記ストッカー制御部は、前記制御部に含まれる請求項3に記載の搬送装置。前記第2処理数が前記第1処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、前記ストッカー制御部が、前記第2ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第1ストッカーに該第1ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる請求項3又は4に記載の搬送装置。対象物に対して第1の工程の処理を行う第1の処理装置と、前記対象物に対して第2の工程の処理を行う第2の処理装置と、前記第1の処理装置から前記第2の処理装置へ前記対象物を搬送する搬送装置とを備え、前記搬送装置が、請求項1~5のいずれか一項に記載の搬送装置であることを特徴とする搬送システム。第1の工程の処理を行う第1の処理装置から第2の工程の処理を行う第2の処理装置へ処理の対象物を搬送ロボットにより搬送させる搬送方法であって、前記第1の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第1処理数とし、前記第2の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第2処理数とし、前記第1処理数が前記第2処理数よりも大きい場合に、前記搬送ロボットが前記対象物を前記第1の処理装置からトレイへ搬送することを特徴とする搬送方法。ところで、上述のような処理装置101,104と搬送装置107とからなる搬送システムでは、例えば、第1搬出部103から搬出される単位時間あたりのパネルSの数量が、第2搬入部105に搬入可能な単位時間あたりのパネルの数量を上回ると、たとえ第1の処理装置101が稼働可能な状態であっても、第1搬出部103からのパネルSの搬出を抑えるために、第1の処理装置101の待機が余儀なくされる。他方、第1搬出部103から搬出される単位時間あたりのパネルSの数量が、第2搬入部105に搬入可能な単位時間あたりのパネルSの数量を下回ると、たとえ第2の処理装置104が稼働可能な状態であっても、第1搬出部103からパネルSが搬出されるまで、第2の処理装置104の待機が余儀なくされる。このように、第1の処理装置101における処理速度と、第2の処理装置104における処理速度とが同じでない限り、第1の処理装置101と第2の処理装置104とのいずれか一方が待機することになる。なお、こうした問題は、上述の搬送ロボットが水平多関節ロボットである場合に限らず、垂直多関節ロボット等、他の搬送ロボットであっても共通するものである。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、第1の処理装置から搬出される対象物を第2の処理装置へ搬送する搬送装置にて処理装置の稼働効率を高めることの可能な搬送装置、搬送装置を備える搬送システム、及び、搬送方法を提供することを目的とする。以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。本発明における搬送装置の一態様は、第1の工程の処理を行う第1の処理装置から第2の工程の処理を行う第2の処理装置へ処理の対象物を搬送する搬送ロボットと、前記対象物が収容されるトレイを保持するトレイ保持部と、前記搬送ロボットの動作を制御する制御部とを備え、前記第1の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第1処理数とし、前記第2の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第2処理数とし、前記第1処理数が前記第2処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記第1の処理装置から前記トレイへ搬送させる。本発明における搬送装置の一態様によれば、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を上回る場合に、第1の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第1の処理装置から搬出される対象物を第2の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。本発明における搬送装置の他の態様では、前記第2処理数が前記第1処理数よりも大きい場合に、前記制御部が、前記搬送ロボットに前記対象物を前記トレイから前記第2の処理装置へ搬送させる。本発明における搬送装置の他の態様によれば、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を下回る場合に、トレイから第2の処理装置への対象物の搬送が行われる。そのため、第2の処理装置の処理速度が第1の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第1の処理装置から搬出される対象物を第2の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。本発明における搬送装置の他の態様は、前記対象物が収容されているトレイを貯める第1ストッカーと、前記対象物が収容されていないトレイを貯める第2ストッカーと、前記第1ストッカー及び前記第2ストッカーの動作を制御するストッカー制御部とを備え、前記第1ストッカー及び前記第2ストッカーの駆動の態様を制御し、前記第1処理数が前記第2処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、前記ストッカー制御部が、前記第1ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第2ストッカーに該第2ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる。本発明における搬送装置の他の態様によれば、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を上回り、且つトレイ保持部のトレイに対象物が収容された場合に、トレイ保持部のトレイが第1ストッカーに収容され、第2ストッカーの空トレイがトレイ保持部に搬出される。そのため、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を上回る場合において、トレイ保持部のトレイが対象物で満たされて第1の処理装置から対象物が収容され難くなることを抑えることが可能にもなる。本発明における搬送装置の他の態様では、前記ストッカー制御部が、前記制御部に含まれる。本発明における搬送装置の他の態様によれば、搬送ロボットの動作を制御するための制御部と、ストッカーの動作を制御するためのストッカー制御部とが各別に搭載される場合と比べて、制御部の搭載される空間を小さくすることができる。本発明における搬送装置の他の態様では、前記第2処理数が前記第1処理数よりも大きく、且つ前記トレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、前記ストッカー制御部が、前記第2ストッカーに前記トレイ保持部のトレイを収容させ、前記第1ストッカーに該第1ストッカーのトレイを前記トレイ保持部に搬出させる。本発明における搬送装置の他の態様によれば、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を下回り、且つトレイ保持部のトレイに対象物が収容されていない場合に、トレイ保持部のトレイが第2ストッカーに収容され、第1ストッカーのトレイがトレイ保持部に搬出される。そのため、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を下回る場合において、トレイ保持部のトレイから対象物を第2の処理装置へ搬送できなくなることを抑えることが可能にもなる。本発明における搬送システムの一態様は、対象物に対して第1の工程の処理を行う第1の処理装置と、前記対象物に対して第2の工程の処理を行う第2の処理装置と、前記第1の処理装置から前記第2の処理装置へ前記対象物を搬送する搬送装置とを備え、前記搬送装置が、上述した態様の搬送装置である。本発明における搬送システムの一態様によれば、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を上回る場合に、第1の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第1の処理装置から搬出される対象物を第2の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。本発明における搬送方法の一態様は、第1の工程の処理を行う第1の処理装置から第2の工程の処理を行う第2の処理装置へ処理の対象物を搬送ロボットにより搬送させる搬送方法であって、前記第1の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第1処理数とし、前記第2の処理装置にて単位時間あたりに処理される対象物の数量を第2処理数とし、前記第1処理数が前記第2処理数よりも大きい場合に、前記搬送ロボットが前記対象物を前記第1の処理装置からトレイへ搬送する。本発明における搬送方法の一態様によれば、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理速度を上回る場合に、第1の処理装置からトレイへの対象物の搬送が行われる。そのため、第1の処理装置の処理速度が第2の処理装置の処理によって律速されることを抑えることが可能になる。その結果、第1の処理装置から搬出される対象物を第2の処理装置へ搬送する搬送装置によって処理装置の稼働効率を高めることが可能となる。本発明の搬送装置、搬送システム、及び搬送方法を具体化した一実施形態について、図1~図7を参照して説明する。まず、搬送システムの全体構成及び動作について図1を参照して説明する。[搬送システムの全体構成及び動作]図1に示されるように、搬送システムは、第1の処理装置10と、第2の処理装置20と、搬送装置30とを有している。第1の処理装置10を構成する第1処理部11は、第1搬入部12から搬入された対象物としてのパネルSに対して半導体チップを搭載する処理である第1の工程の処理としてのCOG処理ChipOnGlassを行い、COG処理の施されたパネルSを第1搬出部13から搬出させる。第1の処理装置10を構成する第1制御装置14は、第1処理部11を構成する各部に対し駆動の態様を制御するための制御信号を出力する。第2の処理装置20を構成する第2処理部21は、第2搬入部22から搬入されるパネルSにフレキシブル基板を貼り付ける処理である第2の工程の処理としてのFOG処理FilmOnGlassを行い、FOG処理の施されたパネルSを第2搬出部23から搬出させる。第2の処理装置20を構成する第2制御装置24は、第2処理部21を構成する各部に対し駆動の態様を制御するための制御信号を出力する。搬送装置30を構成する搬送部31は、第1処理部11と第2処理部21との間に配置され、また、搬送部31を構成する搬送ステージ31Sには、第1搬出部13から搬出されるパネルSを第2搬入部22や搬送ステージ31S上の各部へ搬送する搬送ロボット32が搭載されている。搬送ステージ31Sにおいて搬送ロボット32よりも第1搬出部13側には、搬送ロボット32によって搬送されているパネルSを撮像する撮像装置33が搭載されている。また、搬送ステージ31Sにおいて搬送ロボット32に対する撮像装置33側とは反対側には、第1トレイ保持部34、第2トレイ保持部35、第1ストッカー36、及び第2ストッカー37が搭載され、さらに第1搬送機構TR1、第2搬送機構TR2、及び第3搬送機構TR3が搭載されている。搬送装置30を構成する制御部及びストッカー制御部としての搬送制御装置41は、搬送部31を構成するこれらの各部に対し駆動の態様、言い換えれば動作を制御するための制御信号を出力する。第1トレイ保持部34は、1枚のトレイ30Tを搬送ステージ31S上で保持する部分であって、第1トレイ保持部34に保持されたトレイ30Tには、搬送ロボット32による作業が行われる。例えば、第1トレイ保持部34に保持されたトレイ30Tには、第1搬出部13から搬出されたパネルSが搬送ロボット32によって搬送され、これによりパネルSがトレイ30Tに回収される。また、第1トレイ保持部34に保持されたトレイ30Tに対しては、トレイ30Tに収容されたパネルSが搬送ロボット32によって搬送され、これにより、第2搬入部22にパネルSが供給される。なお、トレイ30Tには、1つのパネルSを収容するパネル収容部が複数形成されている。第2トレイ保持部35は、これもまた1枚のトレイ30Tを搬送ステージ31S上で保持する部分であって、第2トレイ保持部35に保持されたトレイ30Tに対する搬送ロボット32による作業が行われない。そして、第1トレイ保持部34に保持されたトレイ30Tとは異なり、第2トレイ保持部35に保持されるトレイ30Tには、パネルSが収容されない。第1ストッカー36は、搬送ステージ31S上において複数のトレイ30Tを貯める部分であって、貯められた複数のトレイ30Tを1枚ずつ搬出することで、第1トレイ保持部34へトレイ30Tを供給する。また、第1ストッカー36は、第1トレイ保持部34に保持されたトレイ30Tを1枚ずつ収容し、これにより、第1トレイ保持部34のトレイ30Tを回収する。第2ストッカー37は、搬送ステージ31S上において複数のトレイ30Tを貯める部分であって、貯められた複数のトレイ30Tを1枚ずつ搬出することで第2トレイ保持部35にトレイ30Tを供給する。また、第2ストッカー37は、第2トレイ保持部35に保持されたトレイ30Tを1枚ずつ収容し、これにより第2トレイ保持部35のトレイ30Tを回収する。第1搬送機構TR1は、トレイ30Tを搬送する搬送機構であって、第1トレイ保持部34に保持されたトレイ30Tを第2トレイ保持部35に搬入し、また第2トレイ保持部35に保持されたトレイ30Tを第1トレイ保持部34に搬入する。第2搬送機構TR2は、トレイ30Tを搬送する搬送機構であって、第1ストッカー36に貯められたトレイ30Tを第1トレイ保持部34に搬送することで、第1トレイ保持部34に対するトレイ30Tの供給を行う。また、第2搬送機構TR2は、第1トレイ保持部34に保持されたトレイ30Tを第1ストッカー36に搬送することで、第1ストッカー36へのトレイ30Tの回収を行う。第3搬送機構TR3は、トレイ30Tを搬送する搬送機構であって、第2ストッカー37に貯められたトレイ30Tを第2トレイ保持部35に搬送することで、第2トレイ保持部35に対するトレイ30Tの供給を行う。また、第2搬送機構TR2は、第2トレイ保持部35に保持されたトレイ30Tを第2ストッカー37に搬送することで、第2ストッカー37へのトレイ30Tの回収を行う。[搬送システムの電気的構成]以下、上述した搬送システムの電気的構成について、図2を参照して説明する。搬送システムに備えられた第1制御装置14、第2制御装置24、及び搬送制御装置41の各々は、中央演算処理装置CPU、不揮発性メモリROM、及び揮発性メモリRAMを有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。このうち搬送制御装置41は、主制御部42、副制御部43、記憶部44、モーター駆動用入出力部45、及び通信用入出力部46を有している。主制御部42は、記憶部44に記憶された搬送プログラムを解釈し、搬送プログラムに基づく搬送ロボット32の軌道を生成する。また、主制御部42は、各モーターに対する位置指令を生成し、この位置指令を副制御部43に出力する。副制御部43は、主制御部42から入力された位置指令と、各モーターに接続された回転検出器からのフィードバック信号とに基づいて電流指令を生成し、この電流指令に基づくPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部45に出力する。記憶部44には、搬送装置30を駆動するための搬送プログラムが記憶され、搬送プログラムには、例えば、搬送ロボット32のエンドエフェクターを駆動するためのピックプログラム、及び搬送ロボット32のアームを駆動するためのアーチプログラム等が含まれる。また、搬送プログラムには、例えば、第1搬送機構TR1を駆動するためのモーター、第2搬送機構TR2を駆動するためのモーター、第3搬送機構TR3を駆動するためのモーターの各々を所定の順序で駆動するためのトレイ搬送プログラムが含まれている。さらに、搬送プログラムには、搬送装置30にて行われる動作のモードを選択するためのモード選択プログラムが含まれている。また、記憶部44は、パネル数量データ記憶部44A及びトレイ数量データ記憶部44Bを有している。パネル数量データ記憶部44Aには、トレイ30Tに収容されているパネルSの数量に関するデータがトレイ30Tごとに記憶され、他方、トレイ数量データ記憶部44Bには、空きトレイ30Tの数量に関するデータが記憶されている。モーター駆動用入出力部45には、各モーターを回転駆動させるモーター駆動部51~54が接続されている。モーター駆動部51~54の各々には、搬送ロボット32を駆動するロボットモーター32M、第1搬送機構TR1を駆動するモーター、第2搬送機構TR2を駆動するモーター、及び第3搬送機構TR3を駆動するモーターが、一対一で順に接続されている。モーター駆動用入出力部45は、副制御部43から入力されたPWM信号を各モーター駆動部51~54に出力し、各モーター駆動部51~54は、入力されたPWM信号に基づいて各モーターの駆動電流を生成して各モーターに供給する。また、モーター駆動用入出力部45には、各モーターの回転検出器が接続され、この回転検出器からのフィードバック信号が入力される。通信用入出力部46には、上述の第1の処理装置10に搭載された第1制御装置14と、同じく上述の第2の処理装置20に搭載された第2制御装置24とが接続されている。このうち、第1制御装置14は、第1搬出部13に回収されるべきパネルSがあるときに、回収開始信号を生成して通信用入出力部46に出力する。また、第1制御装置14は、第1処理部11におけるCOG処理が停止したときに、COG処理停止信号を生成して通信用入出力部46に出力する。他方、第2制御装置24は、第2の処理装置20の第2搬入部22に部品を供給する必要があるときに、供給開始信号を生成して通信用入出力部46に出力する。また、第2制御装置24は、第2処理部21におけるFOG処理が停止したときに、FOG処理停止信号を生成して通信用入出力部46に出力する。通信用入出力部46は、第1制御装置14及び第2制御装置24から入力された各種の信号に処理を行って処理結果を出力し、主制御部42がその処理結果を取得する。[動作モード選択処理]次に、上述した搬送装置30にて行われる動作のモードを選択するときに、主制御部42にて行われる動作モード選択処理の手順について、図3を参照して説明する。なお、動作モード選択処理とは、第1の処理装置10からのCOG処理停止信号、及び第2の処理装置20からのFOG処理停止信号のいずれかが、通信用入出力部46を介して主制御部42に入力されたときに行われる割り込み処理である。そして、動作モード選択処理では、搬送制御装置41によって搬送装置30の動作モードとして、パネル供給モード及びパネル回収モードのいずれかが選択される。また、第1の処理装置10及び第2の処理装置20の両方が稼働しているときには、搬送制御装置41は、通常搬送モードでの動作を継続して選択している。通信用入出力部46から上述の停止信号のいずれかが入力されると、主制御部42は搬送装置データの読み出しを行うステップS11。このステップS11では、主制御部42が、搬送ステージ31S上のトレイ30Tに収容されているパネルSの数量をパネル数量データ記憶部44Aから読み出し、また、搬送ステージ31S上の空きトレイ30Tの数量をトレイ数量データ記憶部44Bから読み出す。なお、搬送装置データとは、こうしたパネルSの数量に関するデータ及びトレイ30Tの数量に関するデータであり、パネル供給モード及びパネル回収モードのいずれかによって処理が行われるごとに更新されるデータである。そして、主制御部42は、第2の処理装置20と第1の処理装置10とのいずれが停止しているのかを通信用入出力部46に入力された停止信号から判断するステップS12、ステップS13。そして、主制御部42が、第2の処理装置20と第1の処理装置10との両方が停止していると判断するとステップS12:YES、ステップS13:YES、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。なお、第1の処理装置10と第2の処理装置20とが稼働することで通常搬送モードが選択される場合には、第1の処理装置10にて単位時間あたりに処理されるパネルSの数量を第1処理数とし、第2の処理装置20にて単位時間あたりに処理されるパネルSの数量を第2処理数とするとき、第1処理数と第2処理数とが略同一である。つまり、第1の処理装置10の処理速度と第2の処理装置20の処理速度とが略同一である。また、主制御部42は、第1の処理装置10が停止し、且つ、第2の処理装置20が稼働していると判断するとステップS12:YES、ステップS13:NO、主制御部42は、先に読み出した搬送装置データから搬送ステージ31S上のトレイ30Tに回収されたパネルSがあるか否かを判断するステップS14。ここで、回収されたパネルSがない場合にはステップS14:NO、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、回収されたパネルSがある場合にはステップS14:YES、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードからパネル供給モードに変更するステップS15。このように、パネル供給モードが選択されるときには、第2の処理装置20での第2処理数が、第1の処理装置10での第1処理数よりも大きい。つまり、第2の処理装置20の処理速度が第1の処理装置10の処理速度よりも大きい。そして、主制御部42は、第1の処理装置10が稼働していると判断するとステップS12:NO、主制御部42は、先に読み出した搬送装置データから搬送ステージ31S上に空きトレイ30Tがあるか否かを判断するステップS16。ここで、空きトレイ30Tがない場合にはステップS16:NO、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、空きトレイ30Tがある場合にはステップS16:YES、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードからパネル回収モードに変更するステップS17。なお、空きトレイ30Tとは、トレイ30Tに形成されたパネル収容部にパネルSが収容されていないトレイ30Tのことである。このように、パネル回収モードが選択されるときには、第1の処理装置10での第1処理数が、第2の処理装置20での第2処理数よりも大きい。つまり、第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度よりも大きい。[搬送システムの作用]次に、搬送システムにて行われるパネルS及びトレイ30Tの搬送態様について図4~図6を参照して説明する。なお、以下では、搬送装置30の動作モードが上述した通常搬送モードである場合、パネル回収モードである場合、及び、パネル供給モードである場合の搬送態様について順に説明する。[通常搬送モード]搬送装置30での動作モードが通常搬送モードに選択されている場合、第1の処理装置10にてCOG処理の行われたパネルSが、第1搬出部13における搬送ロボット32の動作範囲に進入すると、第1制御装置14が、回収開始信号を生成して通信用入出力部46に出力する。そして、通信用入出力部46が、回収開始信号に基づき生成した回収すべきパネルSがあることを示す信号を主制御部42に出力する。これにより、主制御部42がロボットモーター32Mに対する位置指令を生成して副制御部43に出力し、副制御部43が位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からPWM信号を生成してモーター駆動用入出力部45に出力する。次いで、モーター駆動用入出力部45がモーター駆動部51にPWM信号を出力し、モーター駆動部51がこのPWM信号に基づいて駆動電流を生成してロボットモーター32Mに出力する。これにより、ロボットモーター32Mが駆動され、図4aに示されるように、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、第1搬出部13のパネルS上に移動し、パネルSを保持する。また、第2搬入部22に対するパネルSの搬入が必要になると、第2制御装置24が、供給開始信号を生成して通信用入出力部46に出力する。そして、通信用入出力部46が、供給開始信号に基づき生成したパネルSの供給を開始すべきことを示す信号を主制御部42に出力し、これにより、主制御部42がロボットモーター32Mに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部51がこの位置指令に基づいてロボットモーター32Mを駆動する。その結果、図4bに示されるように、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、パネルSを保持した状態で第2搬入部22上に移動し、パネルSの保持を解除して第2搬入部22上にパネルSを載置する。こうした通常搬送モードでは、搬送ロボット32による第1搬出部13から第2搬入部22へのパネルSの搬送が繰り返し行われる。なお、通常搬送モードにて第1搬出部13から第2搬入部22へのパネルSの搬送にかかる時間は、第1の処理装置10及び第2の処理装置20にてパネルSの処理にかかる時間と比べて、無視できる程度に小さい。そのため、搬送システムにおいて、第1の処理装置10での処理、第1の処理装置10と第2の処理装置20との間での搬送、及び第2の処理装置20での処理にかかる時間は、各処理装置10,20にて処理にかかる時間の和と見なすことができる。[パネル回収モード]搬送装置30での動作モードがパネル回収モードに選択されている場合、第2の処理装置20にて処理エラーが発生し、第2の処理装置20が停止している。そのため、第2制御装置24が、FOG処理停止信号を生成して通信用入出力部46に出力し、第2の処理装置20が停止していることを示す信号が通信用入出力部46から主制御部42に入力されている。ここで、第1の処理装置10にてCOG処理の行われたパネルSが、第1搬出部13における搬送ロボット32の動作範囲に進入すると、第1制御装置14が、回収開始信号を生成して通信用入出力部46に出力する。そして、回収するべきパネルSがあることを示す信号が通信用入出力部46から主制御部42に入力され、主制御部42がロボットモーター32Mに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部51がこの位置指令に基づいてロボットモーター32Mを駆動する。これにより、図5aに示されるように、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、第1搬出部13のパネルS上に移動し、パネルSを保持する。そして、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、パネルSを保持した状態で第1トレイ保持部34のトレイ30T上に移動し、パネルSの保持を解除してトレイ30TにパネルSを載置する。こうした第1搬出部13からトレイ30TへのパネルSの搬送が、トレイ30Tに形成されたパネル収容部の全てにパネルSが収容されるまで繰り返し行われる。そして、トレイ30Tのパネル収容部の全てにパネルSが収容されると、主制御部42は第2搬送機構TR2のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部53がこの位置指令に基づいて第2搬送機構TR2のモーターを駆動する。これにより、図5bに示されるように、第1トレイ保持部34のトレイ30Tが、第1ストッカー36に回収される。このとき、新たに第1ストッカー36に貯められるトレイ30Tは、第1ストッカー36に収容された複数のトレイ30Tにおける搬送ステージ31S側から数えて1段目となるように回収される。こうしてトレイ30Tの回収が行われると、主制御部42は第1搬送機構TR1のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部52がこの位置指令に基づいて第1搬送機構TR1のモーターを駆動する。これにより、図5cに示されるように、第2トレイ保持部35のトレイ30Tが、第1トレイ保持部34に搬送される。そして、主制御部42は第3搬送機構TR3のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部54がこの位置指令に基づいて第3搬送機構TR3のモーターを駆動する。これにより、図5cに示されるように、第2ストッカー37のトレイ30Tが、第2トレイ保持部35に供給される。このとき、第2トレイ保持部35に供給されるトレイ30Tは、第2ストッカー37に収容された複数のトレイ30Tにおける搬送ステージ31S側から数えて1段目のトレイ30Tである。パネル回収モードでは、こうした一連の処理が、第2の処理装置20での処理が再開されるまで、あるいは、第1搬送部13からのパネルSの搬出が終了するまで、またあるいは、全てのトレイ30TにパネルSが収容されるまで繰り返される。そして、第2の処理装置20での処理が再開されると、パネルSの収容されたトレイ30Tが第1ストッカー36に貯められた状態で通常搬送モードでのパネルSの搬送が行われる。[パネル供給モード]搬送装置30での動作モードがパネル供給モードに選択されている場合、第2の処理装置20での処理が再開され、第1の処理装置10がパネルSの供給待ちの状態になっている、あるいは、第1の処理装置10での処理が停止している。そのため、第1制御装置14は供給待ち信号若しくはCOG処理停止信号を生成して通信用入出力部46に出力し、供給待ちの状態になっている若しくはCOG処理が停止していることを示す信号が通信用入出力部46から主制御部42に入力されている。これにより、主制御部42はロボットモーター32Mに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部51がこの位置指令に基づいてロボットモーター32Mを駆動する。その結果、図6aに示されるように、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、第1トレイ保持部34のトレイ30T上に移動し、トレイ30T上のパネルSを保持する。そして、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、パネルSを保持した状態で第2搬入部22上に移動し、パネルSの保持を解除して第2搬入部22上にパネルSを載置する。そして、主制御部42は第3搬送機構TR3のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部54がこの位置指令に基づいて第3搬送機構TR3のモーターを駆動する。これにより、図6aに示されるように、第2トレイ保持部35に保持されている空きトレイ30Tが第2ストッカー37に回収される。このとき、新たに第1ストッカー36に貯められるトレイ30Tは、第1ストッカー36に収容された複数のトレイ30Tにおける搬送ステージ31S側から数えて1段目となるように回収される。続いて、主制御部42は第1搬送機構TR1のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部52がこの位置指令に基づいて第1搬送機構TR1のモーターを駆動する。これにより、図6bに示されるように、第1トレイ保持部34に保持されている空きトレイ30Tが第2トレイ保持部35に搬入される。そして、主制御部42は第2搬送機構TR2のモーターに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部53がこの位置指令に基づいて第2搬送機構TR2のモーターを駆動する。これにより、図6bに示されるように、パネルSが収容された状態で第1ストッカー36に貯められたトレイ30Tが、第1トレイ保持部34に搬入される。このとき、第1トレイ保持部34に搬入されるトレイ30Tは、第1ストッカー36に収容された複数のトレイ30Tにおける搬送ステージ31S側から数えて1段目のトレイ30Tである。そして、主制御部42はロボットモーター32Mに対する位置指令を生成して出力し、モーター駆動部51がこの位置指令に基づいてロボットモーター32Mを駆動する。これにより、図6cに示されるように、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、第1トレイ保持部34のトレイ30Tに収容されたパネルS上に移動し、パネルSを保持する。そして、搬送ロボット32のエンドエフェクターが、パネルSを保持した状態で第2搬入部22上に移動し、パネルSの保持を解除して第2搬入部22上にパネルSを載置する。そして、上述したパネル回収モードによって第1トレイ保持部34のトレイ30T及び第1ストッカー36のトレイ30Tに収容された全てのパネルSが第2搬入部22に搬入されると、搬送装置30は、第1搬出部13から新たなパネルSが搬出されるまで待機する。なお、第1搬出部13からパネルSが搬出されたときには、搬送装置30は、上述した通常搬送モードにてパネルSの搬送を行う。以上説明した実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。1第2の処理装置20の停止によって第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度を上回る場合に、主制御部42がパネル回収モードを選択し、これにより、搬送ロボット32が第1の処理装置10からトレイ30TへのパネルSの搬送を行うことで、トレイ30TへのパネルSの回収が行われる。そのため、第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理によって律速されることが抑えられる。その結果、第1の処理装置10から搬出されるパネルSを第2の処理装置20へ搬送する搬送装置30によって処理装置10,20の稼働効率を高めることが可能となる。2第1の処理装置10の停止によって第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度を下回る場合に、主制御部42がパネル供給モードを選択し、搬送ロボット32が、トレイ30Tから第2の処理装置20へのパネルSの搬送を行うことによって、第2の処理装置20へのパネルSの供給が行われる。そのため、第2の処理装置20の処理速度が第1の処理装置10の処理によって律速されることが抑えられる。その結果、第1の処理装置10から搬出されるパネルSを第2の処理装置20へ搬送する搬送装置30によって処理装置10,20の稼働効率を高めることが可能となる。3第2の処理装置20の停止によって第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度を上回り、且つ第1トレイ保持部34のトレイ30TにパネルSが収容された場合に、第1トレイ保持部34のトレイ30Tが第1ストッカー36に収容されることで、トレイ30Tが第1ストッカー36に回収される。加えて、第2ストッカー37の空きトレイ30Tが、第2トレイ保持部35を介して第1トレイ保持部34に搬出されることで、第1トレイ保持部34にトレイ30Tが供給される。そのため、第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度を上回る場合において、第1トレイ保持部34のトレイ30TがパネルSで満たされることで第1の処理装置10からパネルSが回収され難くなることを抑えられる。4第1の処理装置10の停止によって第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度を下回り、且つ第2トレイ保持部35のトレイ30TにパネルSが収容されていない場合に、第2トレイ保持部35のトレイ30Tが第2ストッカー37に収容されることで、トレイ30Tが第2ストッカー37に回収される。加えて、第1ストッカー36のトレイ30Tが第1トレイ保持部34に搬出されることで、第1トレイ保持部34にトレイ30Tが供給される。そのため、第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度を下回る場合において、第1トレイ保持部34のトレイ30Tから第2の処理装置20へパネルSを供給できなくなることを抑えられる。5搬送ロボット32の動作の制御と、第1ストッカー36及び第2ストッカー37の動作の制御との両方が単一の搬送制御装置41によって制御される。そのため、搬送ロボット32の動作を制御するための制御装置と、ストッカー36,37の動作を制御するための制御装置とが各別に搭載される場合と比べて、制御装置の搭載される空間を小さくすることができる。なお、上述した実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。上述の実施形態は、第1の処理装置10及び第2の処理装置20のいずれかが停止することによって、稼働中の処理装置における処理速度が相対的に大きくなる場合に、動作モードが変更される構成であって、動作モード選択処理は、いずれかの処理装置10,20の停止時に行われる割り込み処理としている。こうした構成に限らず、稼働中の処理装置10,20における単位時間あたりの処理速度に基づいて動作モードが変更される構成であってもよく、この場合、動作モード選択処理は、所定の周期で行うようにすればよい。以下、こうした動作モード選択処理の手順について図7を参照して説明する。図7に示されるように、主制御部42は、まず、搬送装置データの読み出しを行うステップS21。このステップS21では、主制御部42が、上述したパネルSの数量に関するデータとトレイ30Tの数量に関するデータとに加えて、第1の処理装置10において単位時間あたりに処理されるパネルSの数量である処理数N1と、第2の処理装置20において単位時間あたりに処理されるパネルSの数量である処理数N2とを記憶部44から読み出す。なお、処理数N1,N2は、第1の処理装置10及び第2の処理装置20の各々において単位時間あたりに処理されるパネルSの数量が計測されたものであってもよいし、各処理装置10,20での処理条件から推定されたものであってもよい。また、第1制御装置14及び第2制御装置24は、処理数N1,N2を所定の周期で算出して搬送制御装置41の通信用入出力部46に算出結果を出力し、主制御部42は、通信用入出力部46から取得した処理数N1,N2を記憶部44に出力する。そして、主制御部42は、処理数N1から処理数N2を引いた差と所定の閾値Na,Nbとの関係を判断するステップS22、ステップS23。上述した差が閾値Na以下でありステップS22:NO、且つ、閾値Nb以上であるときにはステップS23:NO、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。なお、第1搬出部13から第2搬入部22までの1つのパネルSの搬送にかかる時間は、一般に、第1の処理装置10で1つのパネルSの処理に要する時間や第2の処理装置20で1つのパネルSの処理に要する時間と比べて十分に短いため、閾値Na及び閾値Nbはそれぞれ0に設定される。他方、主制御部42は、上述の差が閾値Na以下、且つ閾値Nbより小さい、つまり、第2の処理装置20の処理速度が第1の処理装置10の処理速度を上回っていると判断するとステップS22:NO、ステップS23:YES、主制御部42は、搬送装置データから搬送ステージ31S上のトレイ30Tに回収されたパネルSがあるか否かを判断するステップS24。ここで、回収されたパネルSがない場合にはステップS24:NO、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、回収されたパネルSがある場合にはステップS24:YES、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードからパネル供給モードに変更しステップS25、動作モード選択処理を終了する。そして、主制御部42は、上述の差が閾値Naよりも大きい、つまり、第1の処理装置10の処理速度が第2の処理装置20の処理速度を上回っていると判断するとステップS22:YES、主制御部42は、搬送装置データから搬送ステージ31S上に空きトレイ30Tがあるか否かを判断するステップS26。ここで、空きトレイ30Tがない場合にはステップS26:NO、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードから変更することなく動作モード選択処理を終了する。一方、空きトレイ30Tがある場合にはステップS26:YES、主制御部42は、動作モードを通常搬送モードからパネル回収モードに変更しステップS27、動作モード選択処理を終了する。上述の搬送システムでは、搬送ロボット32によって、第1搬出部13からパネルSが搬出されないと第1の処理装置10が待機状態となり、他方、第2搬入部22にパネルSが搬入されないと第2の処理装置20が待機状態となる。ここで、第1の処理装置10と第2の処理装置20との間での単位時間あたりに処理されるパネルSの数量を処理数Ntとする。また、第1の処理装置10と第2の処理装置20との間で1つのパネルSの搬送にかかる時間が、各処理装置10,20で1つのパネルSの処理にかかる時間と比べて無視できない程度の長さであるとする。この場合、第1速度V1が、搬送速度Vtと第2速度V2との和よりも大きくなると、第1の処理装置10での処理の終了時に第1搬出部13からパネルSが搬出されなくなり、第1の処理装置10に待機時間が発生することになる。他方、第2速度V2が、第1速度V1と搬送速度Vtとの和よりも大きくなると、第2の処理装置20での処理が開始できるときに第2搬入部22にパネルSが搬入されなくなり、第2の処理装置20に待機時間が発生することになる。そこで、上述した通常搬送モードにてパネルSの搬送が行われるためには、第1速度V1、第2速度V2、及び搬送速度Vtの間に以下の関係が成り立つことが必要とされる。V2-Vt≦V1≦V2Vtしたがって、搬送時間が無視できない程度に長い場合には、図7に示される閾値NaをVtとし、第1速度V1から第2速度V2を引いた差が、搬送速度Vtよりも大きいときには、動作モードをパネル回収モードに変更するか否かの判断を行うようにすればよい。また、閾値Nbを-Vtとし、第1速度V1から第2速度V2を引いた差が、-Vtよりも小さいときには、動作モードをパネル供給モードに変更するか否かの判断を行うようにすればよい。主制御部42は、通信用入出力部46を介して上述の処理数N1及び処理数N2を所定の周期で取得し、上述の差が閾値Naよりも大きいときに、図7に示されるステップ24及びステップS25の処理、つまり、パネル回収モードを選択するか否かを判断する割り込み処理を行ってもよい。主制御部42は、通信用入出力部46を介して上述の処理数N1及び処理数N2を所定の周期で取得し、上述の差が閾値Nbよりも小さいときに、図7に示されるステップ26及びステップS27の処理、つまり、パネル供給モードを選択するか否かを判断する割り込み処理を行ってもよい。第2の処理装置20での処理速度が、第1の処理装置10での処理速度を上回り、且つ、トレイ30TにパネルSが収容されていても、トレイ30Tから第2搬入部22へのパネルSの搬入を行わなくともよい。こうした構成であっても、上記1、3、及び4に準じた効果を得ることができる。第1ストッカー36、及び第2ストッカー37を割愛してもよい。こうした構成であっても、上記1、2、及び4に準じた効果を得ることができる。パネル回収モードでは、トレイ30Tに対するパネルSの収容、パネルSが収容されたトレイ30Tの回収、及び空トレイ30Tの供給が行われるようにしたが、トレイ30Tに対するパネルSの収容のみを行い、トレイ30Tの回収と空トレイ30Tの供給とはパネル回収モードの終了後に行うようにしてもよい。こうした構成であっても、上記1、2、及び4に準じた効果が得られるとともに、1回のパネル回収モードでの搬送によって1枚のトレイ30Tに対してパネルSが収容できる分だけ、処理装置10,20の稼働効率を高めることは可能である。パネル供給モードでは、トレイ30TからのパネルSの供給、空トレイ30Tの回収、及びパネルSを保持したトレイ30Tの供給が行われるようにしたが、トレイ30Tからのパネルの供給のみを行い、空トレイ30Tの回収、及びトレイ30Tの供給とはパネル供給モードの終了後に行うようにしてもよい。こうした構成であっても、上記1、~3に準じた効果が得られるとともに、1回のパネル供給モードでの搬送によって1枚のトレイ30Tに収容されたパネルSを供給できる分だけ、処理装置10,20の稼働効率を高めることは可能である。搬送ロボット32の動作を制御する制御部と、第1ストッカー36及び第2ストッカー37の動作を制御するストッカー制御部とを単一の搬送制御装置41として具体化したが、制御部とストッカー制御部とを互いに異なる2つの制御装置として具体化してもよい。第1の処理装置10にて行われる処理と、第2の処理装置20にて行われる処理とは、COG処理とFOG処理とに限らない。要は、対象物であるパネルSに対して所定の処理を行う装置であって、第1の処理装置10にて前工程の処理が行われ、且つ、第2の処理装置にて後工程の処理が行われれば、各処理装置10にて行われる処理の種類は任意に変更可能である。第1の処理装置10及び第2の処理装置20は、パネルSに対して同一の処理を行う処理装置であってもよい。第1トレイ保持部34及び第2トレイ保持部35のいずれかが割愛された構成であってもよい。第1ストッカー36及び第2ストッカー37の少なくとも1つが割愛された構成であってもよい。搬送システムでの搬送対象は、上述したパネルSに限らず、第1の処理装置10と第2の処理装置20との間に配置された搬送装置30によって搬送される対象物であればよい。"