"軸方向における先端側に、ツールを固定するツール固定部が設けられ、軸方向における先端側と反対の基端側には、軸方向に突出する取付軸と、この取付軸の根元の周囲に位置するホルダ側接合面とが形成され、前記取付軸の外周にはネジ部が形成され、前記取付軸は弾性変形可能な構成とされていることを特徴とするツールホルダ。前記弾性変形可能な構成は、前記取付軸の先端面から軸方向に伸びるスリットのある分割構造であることを特徴とする請求項1に記載のツールホルダ。請求項1又は2に記載のツールホルダと、このツールホルダが先端に取り付け可能な回転軸とを有し、前記回転軸の先端には、前記取付軸がネジ込み可能なネジ穴が形成され、前記取付軸が前記ネジ穴にネジ込まれることによって前記ツールホルダが前記回転軸に取り付けられる構成とされ、前記回転軸における前記ネジ穴の入口の周囲には、前記取付軸が前記ネジ穴にネジ込まれることによって前記ホルダ側接合面と接合する回転軸側接合面が形成されていることを特徴とするスピンドル装置。前記ホルダ側接合面及び前記回転軸側接合面として、前記ツールホルダの径方向の取付位置を適正に設定するように互いに接合する芯合わせ用接合面の機能を持つものがそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項3に記載のスピンドル装置。前記ホルダ側接合面及び前記回転軸側接合面として、超音波を伝達するための超音波伝達用接合面の機能を持つものが形成され、前記回転軸を超音波振動させる加振部を有することを特徴とする請求項3又は4に記載のスピンドル装置。少なくとも前記超音波伝達用接合面については、前記ホルダ側接合面を構成する材料と、前記回転軸側接合面を構成する材料とで、超音波の伝達速度が異なることを特徴とする請求項5に記載のスピンドル装置。ところで、上記従来のスピンドル装置においては、ツールホルダの取付構造について、次のような課題があった。まず、圧入や焼きばめによってツールホルダを回転軸に固定する構成であると、ツールホルダの着脱が容易ではなく、例えばツールの付け替えのためにツールホルダも付け替える必要が生じた場合などに、容易に対応ができないという問題がある。また、ネジ込みによってツールホルダを回転軸に固定する構成であると、ツールホルダの着脱は容易であるが、ツールホルダをネジ込むための回転軸のネジ穴の加工誤差角度のズレや半径方法の位置ズレによって、ツールホルダの取付角度のズレや芯ズレ、ひいてはツールの取付角度のズレや芯ズレが生じ易いという問題がある。そこで本発明は、ツールホルダの着脱容易性を確保し、かつ、回転軸に対する少なくとも取付角度のズレが生じ難いツールホルダ及びこれを利用したスピンドル装置を提供することを目的としている。本願のツールホルダは、請求項1に記載したように、軸方向における先端側に、ツールを固定するツール固定部が設けられ、軸方向における先端側と反対の基端側には、軸方向に突出する取付軸と、この取付軸の根元の周囲に位置するホルダ側接合面とが形成され、前記取付軸の外周にはネジ部が形成され、前記取付軸は弾性変形可能な構成とされていることを特徴とする。また、本願のツールホルダの好ましい態様は、請求項2に記載したように、前記弾性変形可能な構成が、前記取付軸の先端面から軸方向に伸びるスリットのある分割構造である態様である。また本願のスピンドル装置は、請求項3に記載したように、上記ツールホルダと、このツールホルダが先端に取り付け可能な回転軸とを有し、前記回転軸の先端には、前記取付軸がネジ込み可能なネジ穴が形成され、前記取付軸が前記ネジ穴にネジ込まれることによって前記ツールホルダが前記回転軸に取り付けられる構成とされ、前記回転軸における前記ネジ穴の入口の周囲には、前記取付軸が前記ネジ穴にネジ込まれることによって前記ホルダ側接合面と接合する回転軸側接合面が形成されていることを特徴とする。なお、本願における接合には、全面的に隙間なく接触している状態のみならず、許容される範囲で接合面の一部に隙間のある状態、或いは、許容される範囲の隙間をもって対向する状態例えば、設計的な意図をもっていわゆる隙間ばめによって嵌合された面同士の対向状態が含まれてもよい。また、本願におけるホルダ側接合面及び回転軸側接合面は、互いに接合する面であるために、当然にツールホルダの取付角度を所定角度又は所定角度範囲内に設定する機能を有する。この意味で、本願におけるホルダ側接合面及び回転軸側接合面は、少なくとも、ツールホルダの取付角度を適正に設定するように互いに接合する取付角度設定用接合面として機能させることができる。また、本願のスピンドル装置の好ましい態様は、請求項4に記載したように、前記ホルダ側接合面及び前記回転軸側接合面として、前記ツールホルダの径方向の取付位置を適正に設定するように互いに接合する芯合わせ用接合面の機能を持つものがそれぞれ形成されている態様である。なお、芯合わせ用接合面とは、例えば、前記回転軸の中心線、或いはこの回転軸の中心線と一致させるべきツールホルダのツール固定部の軸線、をそれぞれ中心とする円錐状の傾斜面又は円筒面であり、この傾斜面又は円筒面を互いに接合させることによって、前記回転軸の中心線と前記ツール固定部の軸線例えば、ツールの中心線とが一致又は略一致して芯ズレ半径方向の位置ズレが無くなる或いは所定範囲内に規制される作用を持つものである。また、本願のスピンドル装置の別の好ましい態様は、請求項5に記載したように、前記ホルダ側接合面及び前記回転軸側接合面として、超音波を伝達するための超音波伝達用接合面の機能を持つものが形成され、前記回転軸を超音波振動させる加振部を有する態様である。また、本願のスピンドル装置の別の好ましい態様は、請求項6に記載したように、少なくとも前記超音波伝達用接合面については、前記ホルダ側接合面を構成する材料と、前記回転軸側接合面を構成する材料とで、超音波の伝達速度が異なる態様である。本願の請求項1に記載のツールホルダは、全体を回転させて当該ツールホルダの取付軸をスピンドル装置の回転軸の先端に形成されたネジ穴にネジ込み締め付けることによって、容易に前記回転軸に取り付けて固定することができる。また、全体を逆回転させて、その取付軸を前記ネジ穴から外すことによって、容易に取り外すことができる。つまり、本願のツールホルダはネジ込みによって容易に着脱可能である。しかも、前記ネジ穴が前記回転軸の中心線に対して傾いていたとしても、この傾きは前記取付軸の弾性変形によって吸収できる。このため、前記ネジ穴が前記回転軸の中心線に対して傾いていたとしても、前記取付軸を前記ネジ穴に十分にネジ込むことによって、当該ツールホルダのホルダ側接合面を、前記回転軸に形成された回転軸側接合面に、適正に接合させた状態例えば、全面が密着した状態、或いは、少なくとも異常に大きな隙間の無い状態を実現できる。このため、前記接合面同士の接合によって、当該ツールホルダ先端側のツール固定部とこのツール固定部に固定されたツールの中心線の向きが、前記回転軸の中心線と合致するように、前記ホルダ側接合面の向きを前記回転軸側接合面の向きに対して設定しておけば、前記ネジ穴が前記回転軸の中心線に対して傾いていたとしても、前記回転軸に対するツールホルダやツールの傾き少なくとも過度な傾きが生じることはない。したがって、ツールホルダの着脱容易性が確保でき、かつ、前記回転軸に対するツールホルダやツールの少なくとも取付角度のズレが生じ難くなる。また請求項2に記載の態様によれば、例えば前記取付軸の先端面から軸方向に伸びるようにスリットを加工するという容易な作業によって、前記弾性変形可能な構成を容易かつ安価に実現できるという利点がある。また、本願の請求項3に記載のスピンドル装置によれば、弾性変形可能な構成とされた前記取付軸を備えた前記ツールホルダを備えているから、ツールホルダの着脱容易性が確保でき、前記回転軸に対するツールホルダやツールの少なくとも取付角度のズレが生じ難くなり、このズレによる加工精度の低下等の不具合を防止できる。また請求項4に記載の態様では、前記芯合わせ用接合面が、ツールホルダの取付時に、ツールホルダの径方向の取付位置を適正に設定するように互いに接合する。このため、前記ネジ穴が径方向に位置ズレしていたとしても、前記取付軸を前記ネジ穴にネジ込んで前記ツールホルダを前記回転軸に取り付けた状態では、前記取付軸の弾性変形と、前記芯合わせ用接合面の接合による芯合わせの作用によって、例えば前記回転軸の中心線と前記ツールホルダやツールの中心線とが一致した状態芯が合った状態になる。したがって、前記回転軸に対するツールホルダやツールの取付位置の半径方向のズレ芯ズレも生じ難くなる。また請求項5に記載の態様では、加振部によって前記回転軸が超音波振動し、この振動が前記回転軸側の超音波伝達用接合面と前記ツールホルダ側の超音波伝達用接合面との接合によって確実にツール側に伝達されるので、いわゆる超音波加工が可能な信頼性の高い超音波スピンドル装置が実現できる。そして、この超音波スピンドル装置において、ツールホルダの着脱容易性を確保し、かつ、回転軸に対するツールホルダやツールの取付角度のズレや芯ズレの防止又は低減を図って加工精度の向上等が実現できる。なお、超音波加工の利点は各種あるが、例えば一つには、通常のスピンドル加工では不可能であったガラスやセラミックなどの精密加工が可能となるという利点がある。また、請求項6に記載の態様では、前記回転軸側の超音波伝達用接合面と、これと接合するツールホルダ側の超音波伝達用接合面との間で、圧着接触したまま離れ難い状態が生じることを回避できる。なお、この圧着が生じれば、ネジ込み方式であってもツールホルダを取り外すことがやや困難になる不利が生じる。そこで、発明者らが研究したところ、超音波振動によって例えば同じ材料同士では圧着が生じ易くなるが、超音波の伝達速度が異なる材料同士であれば、圧着を生じることなく超音波振動を伝達できることが判明した。本願請求項6に記載の発明は、このような発明者の研究により得られた知見に基づくものである。以下、本発明の実施例1を図面に基づいて説明する。本例は超音波スピンドル装置に本発明を適用した例である。本例の超音波スピンドル装置1は、図1~図2に示すように、超音波スピンドル本体2と、モータ3とよりなる。超音波スピンドル本体2は、モータ3によって回転駆動される回転軸4スピンドルを有し、この回転軸4を回転可能かつ振動可能に保持する軸受機構や、この回転軸4に外部から入力される信号に応じた超音波振動を生じさせる加振部例えば、圧電素子よりなるものや、冷却機構などを備えている。なお、回転軸4に加えられる超音波振動は、超音波に相当する周波数の振動であって、一般的には軸方向の振動であり、その振幅は例えば数μm程度の僅かなものである。図1a等に示すように、回転軸4の先端部は、超音波スピンドル本体2の先端側に露出しており、その先端面から少し離れた位置の外周には、スパナ掛け部5が形成されている。スパナ掛け部5は、両側にスパナ掛け用の平面が形成された部分であり、後述するツールホルダ20図3に示すを着脱のために回転軸4に対して回転させる際に、回転軸4が回転しないように押さえておくために回転軸4にスパナ等の工具を係合させる部分である。また、超音波スピンドル本体2には、取付部6が設けられ、この取付部6に設けた複数本例では4カ所の取付穴7図2bに示すに取付ボルト8図2aに示すが挿入可能な構成となっている。超音波スピンドル装置1は、例えば、この取付部6の取付穴7に挿入される取付ボルト8によって、図示省略した工作機械例えば、数値制御マシンなどの可動部に締結固定されて使用される。そして、回転軸4の先端の外周側には、図3に示すように、回転軸4の中心線S1図6aに示すに直角な平面である先端面10が形成されている。この先端面10は、後述するネジ穴11や凹部12があるために、軸方向から見ると円環状の形状となっていて、ネジ穴11の入口の周囲詳細には、径方向において後述する凹部12の外側に位置する。また、この先端面10は、本発明の回転軸側接合面に相当し、取付角度設定用接合面として機能するとともに、超音波伝達用接合面としても機能する。また、回転軸4の軸方向において、この先端面10の位置と、超音波スピンドル本体2内の前述した加振部の圧電素子の位置との距離は、超音波を効果的に伝達できる所定距離超音波振動の波長に対して所定の関係を有する距離の位置に形成されている。また、回転軸4の先端の中心即ち、円環状の先端面10の中心に相当する位置には、軸方向に伸びるネジ穴11が形成され、さらに、このネジ穴11の入口部分の周囲円環状の先端面10よりも径方向において内側には、嵌合用の凹部12が形成されている。凹部12の内径は、ネジ穴11の内径以上の大きさとされ、この凹部12の内周面12aこの場合、円筒状の面は、後述するツールホルダ20の取付状態において、ツールホルダ20の後述する拡径部30の外周面30a図5aに示すと接触するか又は僅かな隙間を有して対向する構成となっている。ここで、この内周面12aは、本発明の回転軸側接合面に相当し、取付角度設定用接合面として機能するとともに、芯合わせ用接合面としても機能する。次に、超音波スピンドル装置1に取り付けられるツールホルダ20について、図3~図5により説明する。ツールホルダ20は、図3に示すように、超音波スピンドル装置1の回転軸4の先端に取り付けられてツール50を保持するものである。ツールホルダ20は、図4aに示すように、先端側軸方向における一端側に、ツールを固定するツール固定部21が設けられ、先端側と反対の基端側軸方向における他端側には、軸方向に直角で回転軸4の前記先端面10に接合可能な基端面22が形成され、さらに基端側には、前記基端面22の中心から軸方向に突出する取付軸23が形成されたものである。ここで、基端面22は、ツールホルダ20の中心線S2図6aに示すに直角な平面であり、回転軸4の前述した先端面10に対応した形状寸法となっている。この基端面22は、取付軸23の根元の周囲詳細には、径方向において後述の拡径部30の外側に位置する円環状のものであり、本発明のホルダ側接合面に相当し、取付角度設定用接合面として機能するとともに、超音波伝達用接合面としても機能する。即ち、本例のツールホルダ20は、この基端面22の全体又は略全体が回転軸4の先端面10に隙間なく接合して密着することによって、中心線S2の向きが、回転軸4の中心線S1の向きと一致又は略一致し、回転軸4に対して適正な取付角度になるように設定されている。また、この基端面22と前記先端面10即ち、軸方向に直角な平面同士が隙間なく密着していることによって、効率よく超音波を回転軸4からツール50へ向けて伝達できる。なお、この基端面22と前記先端面10との隙間の無い接合は、本例のツールホルダ20の軸方向における位置を設定する軸方向の位置決め作用も当然有する。ツール固定部21は、図4bに示すように、先端面の中心から軸方向に伸びるように、ツール50の基端部を挿入するためのツール挿入穴24が形成され、さらにこのツール挿入穴24を横断するようにスリット25切り込みが先端面から形成されたものである。このツール固定部21の先端部は、スリット25があることによって2分割され、ツール挿入穴24が縮小するように弾性変形可能となっている。ツール固定部21の先端部の両側は、図4bに示すように、ツール固定部21の先端部を弾性変形させて保持するボルト26が取付可能な構造となっている。そして、ボルト26を締め付ける向きに回転させることで、ツール挿入穴24が縮小する方向にツール固定部21の先端部を弾性変形させて、ツール挿入穴24に挿入されたツール50の基端部をツール挿入穴24の両側で挟み付けて保持した状態にできる構造となっている。また、ボルト26を緩める向きに回転させることで、ツール挿入穴24が拡大する方向にツール固定部21の先端部を復元させる弾性変形させた状態から自然状態に向けて復元させることによって、ツール50をツール挿入穴24から抜き出して外せる構造となっている。また、ツールホルダ20の軸方向図4aにおける左右方向において、ツール固定部21と基端面22との間の位置には、スパナ掛け部27が形成されている。スパナ掛け部27は、両側にスパナ掛け用の平面が形成された部分であり、ツールホルダ20を着脱のために回転軸4に対して回転させる際に、ツールホルダ20にスパナ等の工具を係合させる部分である。そして図5aに示すように、取付軸23の外周には、前記回転軸4に形成されたネジ穴11に螺合するネジ部28が形成され、取付軸23はネジ穴11にネジ込むことが可能となっている。また、取付軸23は、弾性変形可能な構成とされている。本例では、図5に示すように、取付軸23の先端面から軸方向に伸びるように形成された複数のスリット29切り込みのある分割構造となっており、これによって取付軸23は、弾性変形可能となっている。本例では、図5bに示すように、周方向に等角度の位置に4個のスリット29が、軸方向から見て放射状に形成されている。このスリット29は、取付軸23の径方向においては貫通した状態両側に開口した状態に形成されており、軸方向においては取付軸23の先端面にのみ開口した状態に形成されている。これらスリット29により、取付軸23は、図5bに示すように、軸方向から見て8分割された構造となっていて、分割された8個の部分がそれぞれ弾性変形することで、このようなスリットの無い単なるネジ軸に比べて全体として格段に弾性変形し易い構造となっている。そして、スリット29の軸方向における長さ切り込みの深さL2は、この場合図5aに示すように、ネジ部28の長さL1よりも大きく設定され、ネジ部28が十分に弾性変形可能となっている。また、ツールホルダ20における取付軸23の根元部分ネジ部28が形成されていない部分の周囲には、図5aに示すように、当該取付軸23が回転軸4の前記ネジ穴11にネジ込まれることによって、回転軸4の前述の凹部12に嵌り込む拡径部30が形成されている。拡径部30の外径は、ネジ部28の外形以上の大きさとされ、この拡径部30の外周面30aこの場合、円筒状の面は、ツールホルダ20の取付状態において、回転軸4の前述した内周面12aと接触するか又は僅かな隙間を有して対向する構成となっている。ここで、外周面30aは、本発明のホルダ側接合面に相当し、取付角度設定用接合面として機能するとともに、芯合わせ用接合面としても機能する。即ち、本例のツールホルダ20は、回転軸4への取り付けの際に、この外周面30aが前述の回転軸4の内周面12aに接合することによって、回転軸4に対する取付角度がある程度設定される但し本例の場合、前述したように、ツールホルダ20の取付角度は、最終的には前記基端面22と前記先端面10の隙間の無い接合密着によって高精度に設定される。また、本例のツールホルダ20は、この外周面30aが前述の回転軸4の内周面12aに接合することによって、中心線S2の径方向の位置が、回転軸4の中心線S1と一致或いは略一致し、これら中心線S2とS1の径方向の位置ズレが無くなる或いは所定の範囲内に規制される。なお、前述の基端面22と先端面10の接合は、軸方向に直角な平面での接合であるため、ツールホルダ20の取付角度を適正角度にすることはできるが、軸方向に直角な径方向の位置ズレを規制することはできない。これに対して、この外周面30aと内周面12aの接合は、軸方向に沿った円筒面での接合であるため、特にツールホルダ20の径方向の位置ズレ芯ズレを無くす或いは所定範囲に規制することができる。但し、前記ネジ穴11の加工誤差傾きや芯ズレがあった場合でも、前述の基端面22と先端面10を確実に密着させるためには、この外周面30aと内周面12aの嵌合状態嵌め合いは、接合面間に僅かな隙間が生じる隙間ばめか、それに近い緩い嵌め合いが望ましい。また、ツールホルダ20の材料としては各種の材質が採用できる。但し、回転軸4の回転軸側接合面少なくとも先端面10を含み、好ましくは内周面12aも含む部分を構成する材料と、ツールホルダ20のホルダ側接合面外周面30aを含む部分を構成する材料とは、超音波の伝達速度が異なるように、各材料の材質が設定されている。例えば、回転軸4の回転軸側接合面がステンレス鋼の場合には、ツールホルダ20のホルダ側接合面は例えばベリリウム銅によって構成されている。なおこの場合、ツールホルダ20の全体をベリリウム銅で構成する必要は必ずしもなく、例えば、ホルダ側接合面を含む基端側を除く部分例えばスパナ掛け部27やツール固定部21などは例えばステンレス鋼で構成することもできる。また、超音波の伝達速度が異なる具体的材料としては、ステンレス鋼に対してベリリウム銅という組み合わせに限らない。例えば、ベリリウム銅と同じ性質を持つ材料をベリリウム銅の代りに使用することもできる。以上説明した本実施例であると、次のような作用効果が得られる。即ち、本実施例のツールホルダ20は、全体を回転させて当該ツールホルダ20の取付軸23をスピンドル装置1の回転軸4の先端面に形成されたネジ穴11にネジ込み締め付けることによって、容易に前記回転軸4に取り付けて固定することができる。また、全体を逆回転させて、その取付軸23を前記ネジ穴11から外すことによって、容易に取り外すことができる。つまり、ツールホルダ20はネジ込みによって容易に着脱可能である。しかも、前記ネジ穴11が前記回転軸4の中心線S1に対して傾いていたとしても、図6aに示すように、この傾きは前記取付軸23の弾性変形によって吸収されるため、前記取付軸23を前記ネジ穴11に十分にネジ込むことによって、当該ツールホルダ20の基端面22と前記回転軸4の先端面10とが全面的に隙間なく接合即ち、密着した状態又は密着に近い状態を実現できる。ここで、図6aや後述の図7bでは、傾いたネジ穴11の中心線を符号S3で示している。なお、図7aは、上記取付軸23の弾性変形による作用効果を説明するための比較例を示している。この比較例では、取付軸23にスリット29が形成されておらず、取付軸23はネジ穴11にネジ込む際にほとんど弾性変形できない。ところで、ネジ穴11のようなネジ部を有する穴の加工は、精度を高めることが、ネジ部の無い単なる穴や内周面の加工に比較して困難であり、比較的大きな誤差角度のズレや半径方法の位置ズレが生じ易い。そして、このような誤差が、図7aの比較例の構成で発生すると、図7bに強調して示すように、ツール固定部21やツール50の中心線S2の向きが、ネジ穴11の中心線S3と一致し、前記回転軸4の中心線S1に対して大きく傾く不具合即ち、取付角度のズレや、中心線S2の半径方向の位置が中心線S1に対してずれる不具合芯ズレが生じる。この取付角度のズレや芯ズレが生じると、超音波加工を行うツール50の先端がその分だけ振れ回ることになり、高精度な加工が困難となる。特に取付角度のズレは、図7bに示すように、加工を行うツール50の先端においては大きな位置ズレとなって現れる。そればかりか、上記傾き取付角度のズレによって、図7bに示すように、ツールホルダ20の基端面22と前記回転軸4の先端面10との間に大きな隙間が発生し、この隙間によって超音波伝達が十分にできないという致命的な不具合が生じる恐れもある。しかし、本実施例のツールホルダ20は、その取付軸23が、ネジ穴11にネジ込む際に十分に弾性変形できる構造この場合、スリット29のある分割構造となっている。これにより既述したように、ネジ穴11が傾いていたとしても、取付軸23をネジ穴11に十分にネジ込むことによって、図6aのように前記基端面22と前記先端面10とが全面で隙間なく接合した密着状態又はこの密着状態に近い状態を実現できる。このため、前記基端面22と前記先端面10との上記適正な接合によって、当該ツールホルダ先端側のツール固定部21とこのツール固定部21に固定されたツール50の中心線S2の向きが、前記回転軸4の中心線S1と合致するように、前記基端面22と前記先端面10の向きを軸直角方向に所定の精度で設定しておけば、前記ネジ穴11中心線S3が前記回転軸4の中心線S1に対して傾いていたとしても、前記回転軸4に対するツールホルダ20やツール50の傾き少なくとも過度な傾きが生じることはない。したがって、ツールホルダ20の着脱容易性が確保でき、かつ、前記回転軸4に対するツールホルダ20やツール50の少なくとも取付角度のズレが生じ難くなる。さらに本実施例では、芯合わせ用接合面外周面30aと内周面12aも形成され、この芯合わせ用接合面が、ツールホルダ20の取付時に、ツールホルダ20の径方向の取付位置を適正に設定するように互いに接合する。このため、ネジ穴11が径方向に位置ズレしていたとしても、ツールホルダ20を回転軸4に取り付けた状態では、取付軸23の弾性変形と、前記芯合わせ用接合面の接合による芯合わせの作用によって、例えば回転軸4の中心線S1とツールホルダ20やツール50の中心線S2とが一致した状態芯が合った状態になる。したがって、回転軸4に対するツールホルダ20やツール50の取付位置の半径方向のズレ芯ズレも生じ難くなる。また本実施例では、超音波スピンドル本体2の加振部によって回転軸4が超音波振動し、この超音波振動が前記先端面10と前記基端面22との密着によって確実にツール50に伝達されるので、いわゆる超音波加工が可能な信頼性の高い超音波スピンドル装置が実現できる。また本実施例によれば、上記ツールホルダ20を備えているから、ツールホルダ20の着脱容易性が確保でき、回転軸4に対するツールホルダ20やツール50の取付角度のズレや芯ズレが生じ難くなり、このズレによる加工精度の低下等の不具合を防止できる。また本実施例によれば、前記取付軸23の先端面から軸方向に伸びるようにスリット29を加工するという容易な作業によって、取付軸23の弾性変形可能な構成を容易かつ安価に実現できるという利点がある。例えば、スリットのある構造以外の態様としては、取付軸23の根元部分をゴムなどの弾性材料で形成し、取付軸23のネジ部の部分をステンレス鋼などの金属材料で形成することで、弾性変形可能な構成とすることが原理的には考えられる。しかしその場合には、弾性材料と金属材料の接続構造が複雑になり、ツールホルダの制作が困難かつ高コストなものとなり、取付軸23やネジ穴11の部分が軸方向に大型化する可能性が高い。これに対して、本例の取付軸23の態様であれば、通常のネジ軸にスリットを加工するだけですみ、制作が容易かつ安価であるし、大型化することもない。また本実施例では、前述したようにツールホルダ20の基端部の材質を設定したので、回転軸4の先端面10とツールホルダ20の基端面22との間で或いはさらに、ツールホルダ20の外周面30aと回転軸4の内周面12aとの間で、圧着が生じることを回避できる。なお、本発明は上述した実施例に限られず、各種の変形や応用があり得る。例えば、実施例1におけるツールホルダ20の外周面30aを、中心線S2を中心とする先細りの円錐面円錐状の面とし、またこれに対応させて、回転軸4の内周面12aを、中心線S1を中心とする円錐面とすることによって、芯合わせ用接合面としても機能するテーパ面断面形状が中心線S1、S2に対して傾斜した面からなる接合面を形成してもよい。即ち、例えば図6bに示すように、回転軸4におけるネジ穴11の入口部分の周囲と、ツールホルダ20における取付軸23の根元部分の周囲とに、取付軸23がネジ穴11にネジ込まれる過程で接合面間距離が徐々に減少する方向のテーパ面41,42を形成した態様としてもよい。ここで、テーパ面41は、実施例1の回転軸4の内周面12aを円錐面としたものであり、テーパ面42は、実施例1のツールホルダ20の外周面30aを円錐面としたものである。このようなテーパ面を備える構成であると、これらテーパ面がやはり芯合わせ用接合面としても機能し、ネジ穴11が回転軸4の中心線S1に対して位置ズレしていたとしても、ツールホルダ20を回転軸4に取り付けた状態では、取付軸23の弾性変形と、テーパ面の接合による芯合わせの作用によって、例えば回転軸4の中心線S1とツールホルダ20やツール50の中心線S2とが略一致した状態芯が合った状態になる。したがって、やはり、回転軸4に対するツールホルダ20やツール50の取付位置の半径方向のズレ芯ズレも生じ難くなる。しかもこの場合、テーパ面軸方向に対して傾斜した面であるため、取付軸23をネジ穴にネジ込んでゆく過程で、最初は接合面間距離が大きく、その後接合面間距離が徐々に減少するから、接合が円滑にできるようになり、ひいてはツールホルダ20の取付作業取付軸23のネジ穴11へのネジ込み作業が円滑にできるようになる効果もある。なお、図6bに示したテーパ面41,42のような軸方向に対して傾斜した接合面を有する場合には、基端面22と先端面10のような軸方向に直角な接合面は必ずしも必要はない。例えばテーパ面41,42のみでも、これらテーパ面41,42を必ず密着させる構成とすることで、ツールホルダ20の取付角度、径方向位置、及び軸方向位置の全てを設定することが可能だからである。超音波振動の伝達もテーパ面のみで行う構成もあり得る。この構成の場合、このテーパ面が、取付角度設定用接合面、芯合わせ用接合面、及び超音波伝達用接合面として機能することになる。また、図6bに示したようなテーパ面によって超音波振動の伝達を行う態様においても、このテーパ面の回転軸側を構成する材料と、このテーパ面のホルダ側を構成する材料とは、超音波の伝達速度が異なるように、各材料の材質が設定されることが望ましい。このように材質が設定されていれば、このテーパ面においても圧着が起きることが防止できる。また、本発明少なくとも主発明は、回転軸を超音波振動させないスピンドル装置にも適用可能であることはいうまでもない。また、取付軸に形成するスリットの数や方向についても、実施例1の態様に限定されるものではない。"