"粘着剤中に、カーボンナノ材料およびエポキシ基含有化合物が含有されてなる粘着剤組成物。エポキシ基含有化合物の23°Cのおける粘度が7000~18000mPasである請求項1に記載の粘着剤組成物。カーボンナノ材料の平均外周径が1~1000nm、平均長さが0.01~100μmである請求項1または2に記載の粘着剤組成物。粘着剤が、エネルギー線重合性基を有する化合物を含む請求項1~3のいずれかに記載の粘着剤組成物。さらに、光重合開始剤を含む請求項4に記載の粘着剤組成物。カーボンナノ材料を粘着剤組成物の固形分中0.01~20質量含有している請求項1~5のいずれかに記載の粘着剤組成物。基材シートの片面又は両面に、請求項1~6のいずれかに記載の粘着剤組成物からなる粘着剤層が設けられている粘着シート。粘着シートが半導体ウエハ加工に用いられるものである請求項7に記載の粘着シート。半導体ウエハ加工が、半導体ウエハをダイシングして半導体チップを得る工程および得られた半導体チップをピックアップする工程を含む請求項8に記載の粘着シート。本発明は、上記従来技術の状況に鑑みてなされたものであり、優れた帯電防止性または導電性ならびに再剥離性を有する粘着剤組成物、及び粘着シートを提供することを目的とする。さらに、エネルギー線を照射して硬化する場合に、その硬化後も優れた帯電防止性または導電性ならびに再剥離性を有する粘着剤組成物、及び粘着シートを提供することを目的とする。本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討したところ、エポキシ基含有化合物をカーボンナノ材料の分散剤として使用することを着想するに至った。エポキシ基含有化合物は、一般に粘着剤として使用されるアクリル重合体との相溶性に優れ、またダイシングシートの粘着剤層に配合した場合には、被着体との過度の密着を防止するという作用も期待される。したがって、エポキシ基含有化合物がカーボンナノ材料の分散剤として使用できる場合には、上述の諸問題を一挙に解消できる可能性がある。本発明は、このような着想に基づいて完成されるに至った。上記のような着想に基づいて完成された本発明は、下記の事項を要旨として含む。1粘着剤中に、カーボンナノ材料およびエポキシ基含有化合物が含有されてなる粘着剤組成物。2エポキシ基含有化合物の23°Cのおける粘度が7000~18000mPasである1に記載の粘着剤組成物。3カーボンナノ材料の平均外周径が1~1000nm、平均長さが0.01~100μmである1または2に記載の粘着剤組成物。4粘着剤が、エネルギー線重合性基を有する化合物を含む1~3のいずれかに記載の粘着剤組成物。5さらに、光重合開始剤を含む4に記載の粘着剤組成物。6カーボンナノ材料を粘着剤組成物の固形分中0.01~20質量含有している1~5のいずれかに記載の粘着剤組成物。7基材シートの片面又は両面に、1~6のいずれかに記載の粘着剤組成物からなる粘着剤層が設けられている粘着シート。8粘着シートが半導体ウエハ加工に用いられるものである7に記載の粘着シート。9半導体ウエハ加工が、半導体ウエハをダイシングして半導体チップを得る工程および得られた半導体チップをピックアップする工程を含む8に記載の粘着シート。本発明の粘着剤組成物は、導電材であるカーボンナノ材料の分散性が高く、優れた帯電防止性または導電性を有し、また、エネルギー線を照射して硬化する場合にも、その硬化後も優れた帯電防止性または導電性を有する。さらに、本発明の粘着剤組成物にはエポキシ基含有化合物が含まれるため、半導体ウエハ等の被着体に貼付された場合であっても、エポキシ基含有化合物の作用により、被着体と粘着剤層との過度の密着が防止され、優れた再剥離性を示す。すなわち、加工対象であるウエハの裏面と粘着剤層との相互作用が小さくなり、ウエハ裏面と粘着剤層とが過度に接着せず、ダイシング工程後のチップのピックアップ工程におけるピックアップ不良を低減することができ、半導体チップの製造を効率よく行うことができる。本発明の粘着剤組成物には、粘着剤と、カーボンナノ材料と、エポキシ基含有化合物が含有されており、粘着剤中に、カーボンナノ材料が均一に分散されている。ここで、均一に分散とは、粘着剤組成物及びそれを用いて形成された粘着剤層において、目視でカーボンナノ材料が凝集することなく、分散している状態をいう。カーボンナノ材料が均一に分散していると、良好な帯電防止性又は導電性を発揮する。ここで、帯電防止性を有するとは、表面抵抗率が1013Ω/□未満であることをいい、導電性を有するとは、表面抵抗率が108Ω/□未満であることをいう。なお、粘着剤組成物がエネルギー線重合性基を有する化合物を含む場合、粘着剤組成物の硬化前及び/又は硬化後の表面抵抗率が前記の範囲であれば帯電防止性又は導電性を有するものとする。粘着剤は、特に限定はされないが、カーボンナノ材料の分散性向上の観点から、有機溶剤可溶性粘着剤であることが好ましい。このような粘着剤としては、例えば、天然ゴム系粘着剤、合成ゴム系粘着剤、アクリル樹脂系粘着剤、ポリビニルエーテル樹脂系粘着剤、ウレタン樹脂系粘着剤、シリコーン樹脂系粘着剤などが挙げられる。アクリル樹脂系粘着剤の具体例は、メタアクリル酸エステル共重合体を主剤とする。メタアクリル酸エステル共重合体としては、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸-2-エチルヘキシル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチルなどのメタアクリル酸アルキルエステルの1種以上の単量体と、必要に応じて、アクリル酸-2-ヒドロキシエチル、アクリル酸-2-ヒドロキシプロピル、アクリル酸-3-ヒドロキシプロピル、アクリル酸-3-ヒドロキシブチル、アクリル酸-4-ヒドロキシブチル、メタクリル酸-2-ヒドロキシエチル、メタクリル酸-2-ヒドロキシプロピル、メタクリル酸-3-ヒドロキシプロピル、メタクリル酸-3-ヒドロキシブチル、メタクリル酸-4-ヒドロキシブチルなどの水酸基含有メタアクリル酸アルキルエステル;アクリル酸、メタクリル酸などのメタアクリル酸;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル;アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有化合物;アクリルアミドなどのアミド基含有化合物;スチレン、ビニルピリジンなどの芳香族化合物などの共重合性単量体の1種以上の単量体の共重合体などが挙げられる。メタアクリル酸エステル共重合体におけるメタアクリル酸エステルに由来する単位の含有割合は、50~98質量が好ましく、60~95質量がより好ましく、70~93質量がさらに好ましい。メタアクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量は、30万~250万が好ましく、40万~150万がより好ましく、45万~100万が特に好ましい。なお、本明細書において、重量平均分子量とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定した標準ポリスチレン換算の値である。これらの粘着剤は、1種単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの粘着剤のうち、アクリル樹脂系粘着剤が好ましく用いられる。特に、アクリル系共重合体を、ポリイソシアナート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、キレート系架橋剤などの架橋剤の1種以上で架橋させて得られるアクリル樹脂系粘着剤が好ましい。ポリイソシアナート系架橋剤としては、トリレンジイソシアナートTDI、ヘキサメチレンジイソシアナートHMDI、イソホロンジイソシアナートIPDI、キシリレンジイソシアナートXDI、水素化トリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナート及びその水添体、ポリメチレンポリフェニルポリイソシアナート、ナフチレン-1,5-ジイソシアナート、ポリイソシアナートプレポリマー、ポリメチロールプロパン変性TDIなどが挙げられる。架橋剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。架橋剤の使用量は、アクリル系共重合体100質量部に対して、0.01~20質量部が好ましい。カーボンナノ材料は、種々の形状のものが用いられる。具体例としては、例えば、カーボンナノコイル、単層又は多層のカーボンナノチューブなどが挙げられる。カーボンナノコイルの形状は、円筒状の中空の繊維状のものであってもよいし、中空でない繊維状のものであってもよい。その末端形状は必ずしも円筒状である必要はなく、例えば円錐状など変形していても差し支えない。さらに、その末端は、閉じた構造であってもよいし、開いた構造であってもよい。また、カーボンナノチューブの形状は、一般に円筒状の中空の繊維状のものであるが、その末端形状は必ずしも円筒状である必要はなく、例えば円錐状など変形していても差し支えない。さらに、カーボンナノチューブの末端は、閉じた構造であってもよいし、開いた構造であってもよい。カーボンナノチューブの市販品としては、イルジンナノテクノロジー社製の商品名CVD-MWNTCM-95、昭和電工社製の商品名VGCF、VGCF-X、VGCF-H、Nanocyl社製、商品名NanocylNC-7000などが好ましく挙げられる。カーボンナノ材料の含有量は、粘着剤組成物の固形分中0.01~20質量が好ましく、0.05~10質量がより好ましい。カーボンナノ材料は、好ましくは平均外周径が1~1000nm、平均長さが0.01~100μmであり、より好ましくは平均外周径が2~500nm、平均長さが0.1~50μmであり、さらに好ましくは平均外周径が5~200nm、平均長さが0.5~30μmである。ここで、平均外周径と平均長さは、電子顕微鏡を用いてカーボンナノ材料の任意の100点につき各々測定した値の平均値とする。なお、平均外周径の測定は、カーボンナノ材料の長さ方向中央部について行う。また、カーボンナノ材料の形状が同心円の断面形状を有する円筒形状である場合は、外周径は、外側の円周の直径を意味する。また、カーボンナノ材料は、平均外周径に対する平均長さの比平均長さ/平均外周径が、10~6000であることが好ましく、20~500であることがより好ましい。さらに、粘着剤層にはエポキシ基含有化合物が配合されてなる。本発明で使用されるエポキシ基含有化合物としては、分子内に少なくとも1個のエポキシ基を有し、たとえばビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型、ビフェニル型、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型のエポキシ樹脂などが挙げられる。エポキシ基含有化合物の23°Cのおける粘度は、好ましくは7000~18000mPas、さらに好ましくは8000~16000mPas、特に好ましくは9000~15000mPasである。エポキシ基含有化合物の23°Cのおける粘度が上記範囲にあることで、カーボンナノ材料が粘着剤組成物中に、凝集せず均一に分散する。また、カーボンナノ材料を分散した後の粘着剤組成物において、カーボンナノ材料が沈降しづらく保管安定性に優れる。さらに、3本ロールミルでの混練が容易となる利点もある。また、エポキシ基含有化合物の分子量は、比較的低いことが好ましく、100~2000、好ましくは200~1000、特に好ましくは300~500である。分子量がこの範囲であれば、貼付後のチップと粘着剤の界面にエポキシ基含有化合物が存在しやすくなり、チップのピックアップ力を低減させる効果をもつ。エポキシ基含有化合物の配合割合は、エポキシ基含有化合物の種類により一概には決定できないが、一般的には粘着剤層を構成する全成分の合計100質量部中固形分中に、0.1~50質量部、好ましくは0.2~25質量部、特に好ましくは0.5~10質量部程度用いられる。上記エポキシ基含有化合物は、粘着剤層中に遊離の状態で含まれていることが好ましい。すなわち、粘着剤層は、好ましくは遊離のエポキシ基含有化合物を含んでいる。ここで、遊離の状態とは、エポキシ基含有化合物がメタアクリル酸エステル共重合体等の他の成分と実質的に未反応の状態にあることをいう。具体的には、粘着剤層のゾル成分のエポキシ基の滴定によって、未反応のエポキシ基含有化合物の有無が判断できる。したがって、本発明における粘着剤層には、上記エポキシ基含有化合物と反応する物質エポキシ硬化剤および反応を促進する物質反応触媒は実質的に含まれないことが好ましい。粘着剤層中にエポキシ硬化剤および反応触媒が含まれると、半導体ウエハの貼付後、エポキシ基含有化合物が反応して硬化し、遊離のエポキシ基含有化合物が減少するため本発明の効果が得られないことがある。また、半導体ウエハと粘着剤層とが接着することがあり、ピックアップ不良の原因となる。実質的に含まれることのないエポキシ硬化剤および反応触媒としては、アミン類、有機酸、酸無水物、フェノール樹脂、尿素樹脂、ポリアミドがあげられる。上記のように本発明における粘着剤層は、実質的に粘着剤、カーボンナノ材料およびエポキシ基含有化合物からなる。また、本発明における粘着剤層は、エネルギー線硬化性の粘着剤であってもよい。本発明の粘着剤組成物を、エネルギー線を照射することにより硬化させる場合は、粘着剤組成物中にエネルギー線重合性基を有する化合物を含有するエネルギー線硬化型粘着剤を用いる。エネルギー線重合性基を有する化合物としては、例えば、エネルギー線重合性基を有する粘着剤の主剤、エネルギー線重合性基を有するモノマーやオリゴマーなどが挙げられる。エネルギー線重合性基を有する粘着剤の主剤の例としては、メタアクリル酸エステル共重合体中の水酸基やカルボキシル基アクリル酸等と反応する官能基及びエネルギー線重合性基を有する化合物を、メタアクリル酸エステル共重合体に付加させたものなどが挙げられる。このような付加する化合物の例としては、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアナートやメタクリル酸グリシジルなどが挙げられる。エネルギー線硬化型粘着剤に含有させるエネルギー線重合性基を有するモノマー及び/又はオリゴマーとしては、例えば、多官能アクリレート、ウレタンアクリレートやポリエステルアクリレート等の2官能基以上を有する多官能のエネルギー線硬化型のアクリル系化合物が挙げられ、ウレタンアクリレート系オリゴマーやポリエステルアクリレート系オリゴマーが好ましく、ウレタンアクリレート系オリゴマーが特に好ましい。エネルギー線重合性基を有するオリゴマーの分子量重量平均分子量は、1000~10万が好ましい。特に、ウレタンアクリレート系オリゴマーの分子量は、1000~50000が好ましく、2000~30000がより好ましい。エネルギー線重合性基を有するモノマー及び/又はオリゴマーは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を組合せて用いてもよい。エネルギー線重合性基を有するモノマー及び/又はオリゴマーの含有量は、特に制限ないが、粘着剤組成物の固形分中5~80質量が好ましく、15~60質量がより好ましい。ここで、固形分とは、粘着剤層を形成する際に、乾燥により除去される成分、具体的には、後述する溶剤や分散媒を除いた成分をいう。エネルギー線としては、紫外線、電子線、α線、β線、γ線などが挙げられる。紫外線を使用する場合は、硬化性組成物には、光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、2-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、メトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノンなどのアセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、3,3’-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合物、ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物、2-ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物、1-フェノン-1,1-プロパンジオン-2-o-エトキシカルボニルオキシムなどの光活性オキシム系化合物などの公知の光重合開始剤を用いることができ、また、オリゴマー型光重合開始剤を用いることもできる。光重合開始剤は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を組合せて用いてもよい。光重合開始剤の配合量は、エネルギー線重合性基を有する化合物100質量部に対して0.1~15質量部が好ましく、0.2~10質量部がより好ましく、0.5~5質量部がさらに好ましい。粘着剤中に、カーボンナノ材料をエポキシ基含有化合物により均一に分散させるには、分散媒中に粘着剤、カーボンナノ材料、エポキシ基含有化合物を混合して粘着剤分散液を得て、その粘着剤分散液をよく撹拌することが好ましい。さらに、カーボンナノ材料の分散性を向上するためには、カーボンナノ材料とエポキシ基含有化合物とを混合した後に、粘着剤を混合することが好ましい。撹拌は、公知の撹拌方法で行うことが出来るが、特に好ましくは超音波振動を与えて撹拌することが好ましい。撹拌時間は、特に制限ないが、通常0.5~5時間が好ましい。粘着剤中に、カーボンナノ材料をエポキシ樹脂により、一層均一に分散させるには、予めカーボンナノ材料とエポキシ樹脂を、3本ロールミルなどを用いて、混練してカーボンナノ材料分散液を得て、次いで、そのカーボンナノ材料分散液を粘着剤に混合することが好ましい。粘着剤は、分散媒あるいはエネルギー線重合性基を有するモノマー及び/又はオリゴマーに分散または溶解された粘着剤分散液または粘着剤溶液の状態で使用することが好ましい。分散媒としては、有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、イソブタノール、イソプロパノールなどのアルコール類、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカンなどの脂肪族炭化水素、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、ジイソプロピルケトン等のケトン、エチルセロソルブなどのセロソルブ系溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのグリコールエーテル系溶剤等が挙げられる。これらの内、芳香族溶剤が好ましい。この場合、カーボンナノ材料分散液中のカーボンナノ材料の含有量は、0.01~20質量が好ましく、0.1~10質量がより好ましく、1~5質量が特に好ましい。カーボンナノ材料分散液は、撹拌してカーボンナノ材料を均一に分散させることが好ましい。撹拌は、公知の撹拌方法で行うことが出来るが、特に好ましくは超音波振動を与えて撹拌することが好ましい。撹拌時間は、特に制限ないが、通常0.5~5時間が好ましい。本発明の粘着シートは、基材シートの片面又は両面に、上記粘着剤組成物からなる粘着剤層が設けられている。基材シートとしては、種々のプラスチックシート、フィルムが使用できる。基材シートの具体例としては、例えばポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂などのポリオレフィン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂などのポリエステル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素系樹脂などの各種合成樹脂のシート、フィルムが挙げられ、特に、高強度であり安価であることから、ポリエチレンテレフタレート樹脂などのポリエステル樹脂より成るシート、フィルムが好ましい。基材シートは、単層であってもよいし、同種又は異種の2層以上の多層であってもよい。さらに、これらフィルムを着色したもの、あるいは印刷を施したものであってもよく、硬化性樹脂を薄膜化、硬化してシート化したものが使われてもよい。なお、粘着剤としてエネルギー線硬化型粘着剤を用いる場合には、エネルギー線を透過する基材シートが好ましい。基材シートの厚みは、特に制限ないが、通常10~350μmが好ましく、25~300μmがより好ましく、50~250μmが特に好ましい。基材シートの表面は、易接着処理を施してもよい。易接着処理としては、特に制限ないが、例えば、コロナ放電処理等が挙げられる。本発明の粘着シートにおいては、基材シートの片面又は両面に、上記粘着剤組成物からなる粘着剤層が形成されている。粘着剤層の厚みは、特に制限されないが、通常乾燥後の膜厚が3~150μmが好ましく、5~100μmがより好ましく、10~60μmがさらに好ましい。基材シートの片面又は両面に、上記粘着剤組成物からなる粘着剤層を形成するには、基材シートの片面又は両面に、上記粘着剤組成物を塗布して、必要に応じて乾燥することにより、形成できる。上記粘着剤組成物の基材シートへの塗布方法は、例えば、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法、カーテンコート法など従来公知の方法が挙げられる。乾燥は、通常20~150°Cで行うことが好ましい。本発明の粘着シートは、被着体に貼付して使用され、帯電防止性又は導電性が要求される分野であれば、その用途は限定されない。本発明の粘着シートは、粘着シートを被着体に貼付した後、エネルギー線を照射しない用途に使用することもできるし、粘着シートを被着体に貼付し、処理工程を経た後、エネルギー線を照射して、粘着力を低減して、被着体から剥離し、除去して使用することもできる。後者の用途としては、例えば、半導体ウエハを接着固定し、形成素子を小片に切断、分割し、その素子小片をピックアップ方式で自動回収するダイシング工程において、半導体ウエハの裏面に貼付してウエハを保持するために用いられるウエハダイシングシートや、半導体ウエハの裏面研削工程において、半導体ウエハ表面を保護するために用いられる表面保護シート裏面研削シートなどが挙げられる。照射されるエネルギー線としては、種々のエネルギー線発生装置から発生するエネルギー線が用いられる。例えば、紫外線としては、通常は紫外線ランプから輻射される紫外線が用いられる。この紫外線ランプとしては、通常波長300~400nmの領域にスペクトル分布を有する紫外線を発光する、高圧水銀ランプ、ヒュ-ジョンHランプ、キセノンランプ等の紫外線ランプが用いられ、照射量は通常50~3000mJ/cm2が好ましい。次に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明する。なお、本発明は、これらの例によって何ら制限されるものではない。実施例11カーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂の調製カーボンナノチューブ昭和電工社製、商品名VGCF、円筒状の中空の繊維状形状、平均外周径外側の円周の平均直径150nm、平均長さ8μm、平均外周径に対する平均長さの比532.8gを、ビスフェノールA型エポキシ樹脂三菱化学社製、商品名エピコート82897.2gに添加し、3本ロールミルで混練し、カーボンナノチューブがエポキシ樹脂中に分散された、カーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を得た。なお、多層カーボンナノチューブの平均外周径外側の円周の平均直径及び平均長さの値は、走査型電子顕微鏡日立ハイテクノロジーズ社製、商品名S-4700を用いて、各々5万倍、15000倍の倍率で観察したものである。2粘着剤組成物の調製粘着剤樹脂の主剤としてアクリル酸エステル共重合体樹脂アクリル酸n-ブチル/メタクリル酸メチル/アクリル酸/2-ヒドロキシエチルアクリレート=84/10/1/5質量比、重量平均分子量70万、溶剤トルエン、固形分濃度40質量100質量部に、イソシアナート系架橋剤東洋インキ製造社製、商品名オリバインBHS8515、固形分濃度37.5質量8質量部に、上記1で調製されたカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂1.54質量部を配合して混合し、粘着剤組成物を調製した。粘着剤組成物の固形分中のカーボンナノチューブ含有量は0.1質量であった。3粘着シートの作成上記2で調製した粘着剤組成物を、剥離コートフィルムに乾燥膜厚が40μmになるように塗布し、乾燥させ、剥離コートフィルム上に、粘着剤組成物の単層シートいわゆるノンキャリアフィルムを作成した。実施例21カーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂の調製実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を調製した。2粘着剤組成物の調製粘着剤樹脂の主剤としてアクリル酸エステル共重合体樹脂アクリル酸n-ブチル/アクリル酸=90/10質量比、重量平均分子量70万、溶剤トルエン、固形分濃度33質量100質量部に、イソシアナート系架橋剤東洋インキ製造社製、商品名オリバインBHS8515、固形分濃度37.5質量10質量部、エネルギー線重合性基含有オリゴマーとしてウレタンアクリレート系オリゴマー大日精化工業社製、商品名セイカビームEXL-810TL、重量平均分子量10000、固形分濃度61質量70質量部、光重合開始剤として1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトンチバスペシャリティーケミカルズ社製、商品名イルガキュア1841.26質量部を混合し、次に、上記1で調製されたカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂溶液3.0質量部を配合して混合し、エネルギー線硬化型の粘着剤組成物を調製した。粘着剤組成物の固形分中のカーボンナノチューブ含有量は0.1質量であった。3粘着シートの作成上記2で調製した粘着剤組成物を、剥離フィルムの片面に乾燥膜厚が10μmになるように塗布し、乾燥させ、粘着剤層を形成した。粘着剤層を導電コート付ポリオレフィン基材と貼り合わせ、転写することで粘着シートを作成した。実施例3実施例21において、カーボンナノチューブ昭和電工社製、商品名VGCFの使用量を3.0gとして、エポキシ樹脂をビスフェノールA型エポキシ樹脂三菱化学社製、商品名エピコート82797.0gに変更した以外は、実施例2と同様にしてカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を調製した。得られたカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を用いて、実施例2と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。実施例4実施例21において、カーボンナノチューブとして、昭和電工社製、商品名VGCF-X円筒状の中空の繊維状形状、平均外周径150nm、平均長さ6μm、平均外周径に対する平均長さの比403.0gを用い、ビスフェノールA型エポキシ樹脂三菱化学社製、商品名エピコート82897.0gを用いた以外は、実施例2と同様にしてカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を調製した。得られたカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を用いて、実施例2と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。実施例5実施例21において、カーボンナノチューブとして、昭和電工社製、商品名VGCF-H円筒状の中空の繊維状形状、平均外周径15nm、平均長さ3μm、平均外周径に対する平均長さの比203.0gを用い、ビスフェノールA型エポキシ樹脂三菱化学社製、商品名エピコート82897.0gを用いた以外は、実施例2と同様にしてカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を調製した。得られたカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を用いて、実施例2と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。実施例6実施例5において、粘着剤組成物中に配合するカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂の使用量を1.5質量部とした以外は、実施例5と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。実施例7実施例5において、粘着剤組成物中に配合するカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂の使用量を0.3質量部とした以外は、実施例5と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。実施例8実施例21において、カーボンナノチューブとして、Nanocyl社製、商品名NanocylNC-7000円筒状の中空の繊維状形状、平均外周径9.5nm、平均長さ1.5μm、平均外周径に対する平均長さの比1583.0gを用い、ビスフェノールA型エポキシ樹脂三菱化学社製、商品名エピコート82897.0gを用いた以外は、実施例2と同様にしてカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を調製した。得られたカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を用いて、実施例2と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。実施例9実施例21において、カーボンナノチューブ昭和電工社製、商品名VGCFの使用量を3.0gとして、エポキシ樹脂をビスフェノールA型エポキシ樹脂新日鐵化学社製、商品名YD-825GSH97.0gに変更した以外は、実施例2と同様にしてカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を調製した。得られたカーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を用いて、実施例2と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。比較例1実施例1において、カーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を配合しない以外は実施例1と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。比較例2実施例2において、カーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を配合しない以外は実施例2と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。比較例3実施例2において、カーボンナノチューブ分散エポキシ樹脂を配合せずに、カーボンナノチューブ0.1質量を粘着剤に直接配合した以外は実施例2と同様にして粘着剤組成物を調製し、粘着シートを作成した。粘着力測定23°C、50RHの環境下、実施例および比較例の粘着シートを25mm幅にカットし、直径6インチ、厚さ600μmのシリコンウエハの裏面ミラー面に貼付し、180度剥離粘着力紫外線照射前を測定した。同様にして、シリコンウエハの粘着シートを貼付後、リンテック社製紫外線照射装置RAD-2000を用いて120mW/cm2、70mJ/cm2で基材面から紫外線照射し、30分間放置した後、180度剥離粘着力紫外線照射後を測定した。なお、実施例1および比較例1の粘着シートは、粘着剤組成物だけからなるノンキャリアフィルムなので、粘着力の測定を行わなかった。比較例3の粘着シートは、カーボンナノチューブの凝集物が多く、正常な表面状態の粘着剤層が得られなかったため、粘着力の測定は行わなかった。ダイシング試験実施例の粘着シートを、直径8インチ、厚さ350μmのシリコンウエハの裏面に貼付し、以下の条件でウエハのダイシングを行った後、エネルギー線硬化型の粘着剤においては、さらにリンテック社製紫外線照射装置RAD-2000を用いて120mW/cm2、70mJ/cm2で基材面から紫外線照射した。いずれの粘着シートにおいても、ダイシング工程においてチップ飛びは起こらず、ウエハおよびチップを保持、固定することができた。ダイシング条件装置:東京精密社製、商品名AWD-4008Bダイシングブレード:ディスコ社製、商品名NBC-ZH20502HECCブレード回転数:30000rpmダイシングスピード:100mm/秒ダイシングサイズチップサイズ:10mm×10mmカットモード:ダウンカットピックアップ力測定上記ダイシング試験を行った後、リンテック社製紫外線照射装置RAD-2000を用いて120mW/cm2、70mJ/cm2で基材面から紫外線照射し、4ピン突き上げ法によりピックアップ力を測定した。実施例の粘着シートにおいては、いずれもピックアップ不良は生じず、ピックアップ可能であった。ダイシング中の回路面への研削水の浸入の有無および、ピックアップ力およびピックアップに要した時間を表に記載した。なお、実施例1および比較例1は、粘着剤組成物だけからなるノンキャリアフィルムなので、ダイシング試験およびピックアップ力測定を行わなかった。比較例3の粘着シートは、カーボンナノチューブの凝集物が多く、正常な表面状態の粘着剤層が得られなかったため、ダイシング試験およびピックアップ力測定を行わなかった。表面抵抗率の測定23°C、50RHの環境下、100mm×100mmサイズの粘着シートを、表面抵抗計株ADVANTEST製、商品名R8252ELECTROMETERに設置し、粘着シートの粘着剤面の表面抵抗率を測定し、紫外線UV照射前の表面抵抗値とした。また、同様な粘着シートを、リンテック社製紫外線照射装置RAD-2000を用いて120mW/cm2、70mJ/cm2で基材面から紫外線照射し、その紫外線照射後の粘着シートの粘着剤面の表面抵抗率を上記と同様な方法で測定した。なお、比較例3の粘着シートは、カーボンナノチューブの凝集物が多く、正常な表面状態の粘着剤層が得られなかったため、表面抵抗率の測定を行わなかった。帯電圧の測定23°C、50RHの環境下、40mm×40mmサイズの粘着シートを、電荷減衰測定装置株宍戸商会製、商品名STATICHONESTMERの上に粘着剤層面を上向きに設置し、1300rpmで回転させ、粘着剤面に10kVの電圧を印加させて、印加60秒後の粘着剤面の帯電圧を測定し、紫外線UV照射前の帯電圧とした。また、同様な粘着シートを、リンテック社製紫外線照射装置RAD-2000を用いて120mW/cm2、70mJ/cm2で基材面から紫外線照射し、その紫外線照射後の粘着シートの帯電圧を上記と同様な方法で測定した。帯電圧の半減期測定23°C、50RHの環境下、40mm×40mmサイズの粘着シートを、電荷減衰測定装置株宍戸商会製、商品名STATICHONESTMERの上に粘着剤面を上向きに設置し、1300rpmで回転させ、粘着剤面に10kVの電圧を印加させて粘着剤面の帯電圧を測定した。印加開始から60秒後に電圧の印加を停止し、その時点から帯電圧の値が半分になるまでの時間を測定した。この時間を紫外線UV照射前の半減期とした。また、同様な粘着シートを、リンテック社製紫外線照射装置RAD-2000を用いて120mW/cm2、70mJ/cm2で基材面から紫外線照射し、その紫外線照射後の粘着シートの帯電圧の半減期を上記と同様な方法で測定した。"