"中央部に溝および貫通孔の少なくとも一方が形成された枠体と、前記枠体の一方の主面に接合された平板状の第1の振動子と、前記枠体の他方の主面に接合された平板状の第2の振動子とを備え、前記第1の振動子と前記第2の振動子とが互いに逆位相で振動する座屈音叉振動モードにより超音波を放出する超音波発生素子と、前記超音波発生素子の両主面のうちの少なくとも一方側に形成され、前記超音波発生素子から放出された超音波を圧縮し、前記超音波発生素子の主面に沿った方向に超音波が伝搬する第1の音響経路と、を備えた超音波発生装置。前記第1の音響経路が、前記第1または第2の振動子の振動の腹の近傍に配置される、請求項1に記載された超音波発生装置。前記第1の音響経路が、前記第1または第2の振動子と、当該振動子に対向して配置された音響経路部材とにより構成される隙間により形成される、請求項1または2に記載された超音波発生装置。前記第1の音響経路が、前記超音波発生素子の両主面にそれぞれ形成された、請求項1ないし3のいずれか1項に記載された超音波発生装置。前記超音波発生素子の一方の主面から放出された超音波と、前記超音波発生素子の他方の主面から放出された超音波とが合成される、請求項1ないし4のいずれか1項に記載された超音波発生装置。前記超音波発生素子が搭載される基板と、前記超音波発生素子が収容され、かつ周縁が前記基板に接合される開口を有する蓋部材と、前記基板および前記蓋部材の少なくとも一方に形成された1個または複数個の音響放出口とを備えた筺体と、前記超音波発生素子の外周面と、前記筺体の内周面とにより構成される隙間により形成される第2の音響経路とをさらに備え、前記第2の音響経路の一部が前記第1の音響経路を構成する、請求項1ないし5のいずれか1項に記載された超音波発生装置。前記第1の音響経路および前記第2の音響経路の少なくとも一方により構成される、前記超音波発生素子の一方の主面から前記音響放出口までの音響経路の距離と、前記第1の音響経路および前記第2の音響経路の少なくとも一方により構成される、前記超音波発生素子の他方の主面から前記音響放出口までの音響経路の距離との差が、前記超音波発生素子の一方の主面から放出された超音波と、前記超音波発生素子の他方の主面から放出された超音波とを、音圧を高めて合成する長さに設定されている、請求項5または6に記載された超音波発生装置。中央部に溝および貫通孔の少なくとも一方が形成された枠体と、励振電極が形成された平板状の圧電体からなり前記枠体の一方の主面に接合された第1のバイモルフ型圧電振動子と、励振電極が形成された平板状の圧電体からなり前記枠体の他方の主面に接合された第2のバイモルフ型圧電振動子とを備え、前記第1のバイモルフ型圧電振動子と前記第2のバイモルフ型圧電振動子とが互いに逆位相で振動する座屈音叉振動モードにより超音波を放出する超音波発生素子と、前記超音波発生素子が導電性部材を介して搭載される基板と、前記超音波発生素子が収容され、かつ周縁が前記基板に接合される開口を有する蓋部材と、前記基板および前記蓋部材の少なくとも一方に形成された1個または複数個の音響放出口とを備えた筺体と、前記第1のバイモルフ型圧電振動子と前記基板とにより構成される隙間、および前記第2のバイモルフ型圧電振動子と前記蓋部材とにより構成される隙間により、それぞれ形成され、前記第1または第2のバイモルフ型圧電振動子の振動の腹の近傍において、前記第1または第2のバイモルフ型圧電振動子から放出された超音波を圧縮し、前記超音波発生素子の主面に沿った方向に超音波が伝搬する第1の音響経路と、を備えた超音波発生装置。中央部に溝および貫通孔の少なくとも一方が形成された枠体と、前記枠体の一方の主面に接合された平板状の第1の振動子と、前記枠体の他方の主面に接合された平板状の第2の振動子とを備え、前記第1の振動子と前記第2の振動子とが互いに逆位相で振動する座屈音叉振動モードにより超音波を放出する超音波発生素子を備え、前記第1の振動子と前記第2の振動子とがマルチモルフ型圧電振動子である、超音波発生装置。上述した距離測定方法において、測定結果をより正確にしたり、測定可能距離をより長くしたりするためには、超音波発生装置の出力音圧を高くすることが有用である。しかしながら、たとえば、上述した従来の超音波発生装置500において、出力音圧を高くするのには限界があった。すなわち、出力音圧を高くするためには、圧電振動子の分極を大きくしたり、圧電振動子に投入する電力を大きくしたりしなければならないが、圧電振動子の分極には限界があり、また投入する電力を大きくし過ぎると圧電振動子が破壊限界を超えてしまうため、出力音圧を高くするのには限界があった。また、近時、電子機器装置の小型化の要望が強いが、超音波発生装置を小型化するために圧電振動子の小型化をはかると、出力音圧が低下してしまうという問題があった。したがって、超音波発生装置の小型化が難しいという問題もあった。本発明は、上述した従来の超音波発生装置の有する課題を解決するためになされたものである。その手段として、本発明の超音波発生装置は、中央部に溝および貫通孔の少なくとも一方が形成された枠体と、枠体の一方の主面に接合された平板状の第1の振動子と、枠体の他方の主面に接合された平板状の第2の振動子とを備え、第1の振動子と第2の振動子とが互いに逆位相で振動する座屈音叉振動モードにより超音波を放出する超音波発生素子と、超音波発生素子の両主面のうちの少なくとも一方側に形成され、超音波発生素子から放出された超音波を圧縮し、超音波発生素子の主面に沿った方向に超音波が伝搬する第1の音響経路とを備えた構成とした。上述した構成からなる本発明の超音波発生装置は、位相のそろった音圧の高い超音波を取り出すことができ、出力音圧を高くすることができる。したがって、本発明の超音波発生装置を距離測定に用いた場合には、測定結果をより正確にし、また測定可能距離をより長くすることができる。また、振動子の小型化、ひいては超音波発生装置の小型化をはかっても、高い出力音圧を維持することができるため、本発明によれば、超音波発生装置の小型化をはかることができる。なお、第1の音響経路は、超音波発生素子の片側に設けても良いし、超音波発生素子の両側に設けても良い。両側に設けた場合には、超音波発生素子の一方の主面から放出された超音波と、超音波発生素子の他方の主面から放出された超音波とを合成して出力することが可能であり、その場合には、出力音圧をより高くすることができる。以下、本発明を実施するための形態について、図面を用いて説明する。[第1実施形態]図1、図2に、本発明の第1実施形態にかかる超音波発生装置100を示す。ただし、図1は斜視図、図2は図1の鎖線X-X部分を示す断面図である。また、図3に、超音波発生装置100に使用した超音波発生素子1を示す。ただし、図3は分解斜視図である。超音波発生装置100は、超音波発生素子1を備える。超音波発生素子1は、枠体2と、第1のバイモルフ型圧電振動子3と、第2のバイモルフ型圧電振動子4とを備える。枠体2は、中央部に貫通孔2aが形成されている。そして、枠体2の下側の主面には、第1のバイモルフ型圧電振動子3が接着剤5aにより接合され、枠体2の上側の主面には、第2のバイモルフ型圧電振動子4が接着剤5bにより接合されている。すなわち、枠体2の貫通孔2aは、第1のバイモルフ型圧電振動子3と、第2のバイモルフ型圧電振動子4とで塞がれた構造となっている。超音波発生素子1は、たとえば、320μm程度の厚みからなる。枠体2は、たとえば、セラミックスからなり、厚みは200μm程度である。貫通孔2aの直径は、たとえば、2.4mm程度である。なお、貫通孔2aに代えて、枠体2の中央部分に溝を形成するようにしても良い。すなわち、枠体2は、閉じた環状の構造体には限られず、一部において開いた環状の構造体であっても良い。第1のバイモルフ型圧電振動子3は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛PZTなどからなる矩形で平板状の圧電セラミックス3aを備える。そして、圧電セラミックス3aの内部には、内部電極3bが形成され、圧電セラミックス3aの両主面には、それぞれ、外部電極3c,3dが形成されている。内部電極3b、外部電極3c,3dは、たとえば、Ag、Pdからなる励振電極である。内部電極3bは、圧電セラミックス3aの隣合う2つの角部に引出されている。一方、外部電極3c,3dは、内部電極3bが引出されていない、圧電セラミックス3aの隣合う2つの角部にそれぞれ引出されている。第1のバイモルフ型圧電振動子3の厚みは、たとえば、60μm程度である。第2のバイモルフ型圧電振動子4も、第1のバイモルフ型圧電振動子3と同様に、たとえば、PZTなどからなる矩形で平板状の圧電セラミックス4aを備え、圧電セラミックス4aの内部には、内部電極4bが形成され、圧電セラミックス4aの両主面には、それぞれ、外部電極4c,4dが形成されている。内部電極4b、外部電極4c,4dも、たとえば、Ag、Pdからなる励振電極である。そして、内部電極4bは、圧電セラミックス4aの隣合う2つの角部に引出されている。外部電極4c,4dは、内部電極4bが引出されていない、圧電セラミックス4aの隣合う2つの角部にそれぞれ引出されている。第2のバイモルフ型圧電振動子4の厚みも、たとえば、60μm程度である。第1のバイモルフ型圧電振動子3の圧電セラミックス3a、および、第2のバイモルフ型圧電振動子4の圧電セラミックス4aは、それぞれ、内部において分極されている。なお、圧電セラミックス3aにおいて、外部電極3cと内部電極3bとの間と、内部電極3bと外部電極3dとの間とは、分極方向が同じである。同様に、圧電セラミックス4aにおいて、外部電極4cと内部電極4bとの間と、内部電極4bと外部電極4dとの間とは、分極方向が同じである。一方、圧電セラミックス3aの外部電極3cと内部電極3bとの間、および内部電極3bと外部電極3dとの間と、圧電セラミックス4aの外部電極4cと内部電極4bとの間、および内部電極4bと外部電極4dとの間とは、分極方向が逆である。そして、超音波発生素子1の4つの角部には、それぞれ、引出電極6a,6b,6c,6dが形成されている。隣合う2つの引出電極6a,6bは、いずれも、それぞれ、圧電セラミックス3aの内部電極3b、および、圧電セラミックス4aの内部電極4bと電気的に接続されている。一方、残りの隣合う2つの引出電極6c,6dは、いずれも、それぞれ、圧電セラミックス3aの外部電極3c,3d、および、圧電セラミックス4aの外部電極4c,4dと電気的に接続されている。引出電極6a,6dは図2に示されているが、引出電極6b,6cは図示を省略しており、いずれの図にも示されていない。引出電極6a,6b,6c,6dは、たとえば、Agからなる。超音波発生装置100は、さらに、基板7と蓋部材8とからなる筺体を備える。基板7は、たとえば、ガラスエポキシからなり、矩形で、平板状である。基板7の上側の主面には、複数のランド電極図示せずが形成されている。そして、それらのランド電極に、超音波発生素子1の引出電極6a,6b,6c,6dを導電性接着剤9によりそれぞれ接合することにより、基板7に超音波発生素子1が搭載されている。基板7と超音波発生素子1第1のバイモルフ型圧電振動子3とにより構成される隙間は、第1の音響経路S1を形成し、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波を圧縮し、超音波発生素子1の下側の主面に沿った方向に超音波が伝搬するのに寄与する。すなわち、基板7は、音響経路部材である。基板7と超音波発生素子1とにより構成される隙間第1の音響経路S1の長さは、30μm以上に設定され、特に、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波の音波位相をそろえ、音圧を高めるためには、100~200μmに設定される。なお、超音波発生素子1は、4つの角部で、導電性接着剤9により基板7に接合されるため、超音波発生素子1から放出された超音波の伝搬を阻害しない。蓋部材8は、たとえば、洋白からなり、超音波発生素子1を収容するための開口8aが形成され、さらに天板部分に、矩形の音響放出口8bが形成されている。音響放出口8bの個数は任意であるが、本実施形態においては、4個の音響放出口8bが形成されている。蓋部材8は、開口8aに超音波発生素子1を収容したうえで、開口8aの周縁が、たとえば接着剤図示せずにより、基板7の上側の主面に接合されている。蓋部材8と超音波発生素子1第2のバイモルフ型圧電振動子4とにより構成される隙間は、第1の音響経路S1を形成し、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波を圧縮し、超音波発生素子1の上側の主面に沿った方向に超音波が伝搬するのに寄与する。すなわち、蓋部材8は、音響経路部材である。蓋部材8と超音波発生素子1とにより構成される隙間第1の音響経路S1の長さは、30μm以上に設定され、特に、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波の音波位相をそろえ、音圧を高めるためには、100~200μmに設定される。超音波発生装置100は、超音波発生素子1の外周面と、基板7と蓋部材8とからなる筺体の内周面とにより構成される隙間により、第2の音響経路S2が形成されている。なお、第2の音響経路S2の一部が、第1のバイモルフ型圧電振動子3の振動の腹の近傍、および、第2のバイモルフ型圧電振動子4の振動の腹の近傍において、上述の第1の音響経路S1を構成する。第1の音響経路S1は、上述のとおり、第1のバイモルフ型圧電振動子3、または、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波を圧縮し、超音波発生素子1の主面に沿った方向に超音波が伝搬するのに寄与する。かかる構造からなる超音波発生装置100は、たとえば、次の方法で製造される。まず、第1のバイモルフ型圧電振動子3、および、第2のバイモルフ型圧電振動子4を作製する。具体的には、所定の形状からなる複数枚の圧電セラミックグリーンシートを準備し、それらの表面に、内部電極3b,4b、外部電極3c,3d,4c,4dを形成するための、導電性ペーストを所定の形状に印刷する。次に、所定の圧電セラミックグリーンシートどうしを積層し、加圧したうえ、所定のプロファイルで焼成して、内部電極3b、外部電極3c,3dの形成された第1のバイモルフ型圧電振動子3、および、内部電極4b、外部電極4c,4dの形成された第2のバイモルフ型圧電振動子4を得る。なお、外部電極3c,3d,4c,4dは、積層した圧電セラミックグリーンシートを焼成した後に、印刷またはスパッタなどによって形成されてもよい。次に、予め所定の形状に作製された枠体2を準備し、枠体2の両主面に、第1のバイモルフ型圧電振動子3と第2のバイモルフ型圧電振動子4とを、接着剤5a,5bを用いてそれぞれ接合し、超音波発生素子1を得る。次に、超音波発生素子1の4つの角部に、たとえば、スパッタリングなどの技術を用いて、引出電極6a,6b,6c,6dを形成する。次に、予め所定の形状に作製された基板7と蓋部材8とを準備し、導電性接着剤9を用いて、基板7に超音波発生素子1を搭載したうえ、接着剤図示せずを用いて、基板7の上側の主面に蓋部材8を接合し、超音波発生装置100を完成させる。次に、超音波発生装置100の駆動状態について説明する。図4A、図4Bは、超音波発生装置100の超音波発生素子1に、所定の周波数の交流電流を印加した状態を示す。超音波発生素子1を構成する第1のバイモルフ型圧電振動子3および第2のバイモルフ型圧電振動子4は、上述したとおり内部電極3b,4bと外部電極3c,3d,4c,4dとが形成され、上述したとおり分極されているため、交流電圧が印加されることにより、同じ周波数で相互に逆位相で振動し、図4Aおよび図4Bに示す状態を繰り返す。すなわち、超音波発生素子1は、座屈音叉振動モードにより振動し、第1のバイモルフ型圧電振動子3、および、第2のバイモルフ型圧電振動子4から、それぞれ、超音波を放出する。そして、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波は、第1のバイモルフ型圧電振動子3と基板音響経路部材7とにより構成される隙間により形成される第1の音響経路S1の、第1のバイモルフ型圧電振動子3の振動の腹最も大きく振動している部分の近傍において、圧縮され、破線矢印で示すように、超音波発生素子1の下側の主面に沿った方向に伝搬される。第1の音響経路S1において圧縮された超音波は、位相がそろい、高い音圧となる。一方、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波は、第2のバイモルフ型圧電振動子4と蓋部材音響経路部材8とにより構成される隙間により形成される第1の音響経路S1の、第2のバイモルフ型圧電振動子4の振動の腹最も大きく振動している部分の近傍において、圧縮され、破線矢印で示すように、超音波発生素子1の上側の主面に沿った方向に伝搬される。第1の音響経路S1において圧縮された超音波は、位相がそろい、高い音圧となる。そして、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波、および、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波は、それぞれ、図2に破線矢印で示すように、超音波発生素子1の外周面と、基板7と蓋部材8とからなる筺体の内周面とにより構成される隙間により形成される第2の音響経路S2を経由して、音響放出口8bに伝搬され、音響放出口8bから外部に放出される。第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波と第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波は、音響放出口8bに伝搬され、音響放出口8bから外部に放出される前に、音圧を高めるように合成されるため、出力音圧がさらに高くなる。なお、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波が音響放出口8bに到達するまでの距離と、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波が音響放出口8bに到達するまでの距離とは異なるが、その差は、わずかに、超音波発生素子1の厚みである320μm程度に過ぎず、音圧を高める効果において影響はない。すなわち、超音波発生素子1により放出される超音波は、たとえば60kHzであり、波長にして5.7mmであるのに対し、距離の差は320μm程度であり、0.06λ以下であり、音圧を高める効果において影響はない。以上、本発明の第1実施形態にかかる超音波発生装置100の構造、製造方法の一例、駆動状態について説明した。しかしながら、本発明の超音波発生装置が上記の内容に限定されることはなく、発明の主旨に沿って、種々の変更をなすことができる。たとえば、第1の音響経路S1は、超音波発生素子1の両主面のうちの少なくとも一方側に形成されていれば良く、一方側のみに形成された場合においても、放出された超音波の位相はそろえられ、音圧は高くなる。また、超音波発生素子1を構成する第1および第2の振動子は、バイモルフ型圧電振動子3,4に代えて、たとえば、ユニモルフ型圧電振動子やマルチモルフ型圧電振動子など、他の種類の振動子であっても良い。なお、超音波発生素子1を構成する第1および第2の振動子がバイモルフ型圧電振動子やマルチモルフ型圧電振動子である場合、振動子の端面に形成した電極によって外部と接続することができるため、ボンディングワイヤを用いる必要がない。このため、ボンディングワイヤを接続するための空間が不要になり、小型化を実現することができるとともに、振動子と音響経路部材とにより構成される隙間が小さくなり、振動子から放出された超音波がより圧縮されて、音圧をより高めることができる。また、バイモルフ型圧電振動子やマルチモルフ型圧電振動子は、圧電セラミックスに印加される電界が強いため、ユニモルフ型圧電振動子と比べて駆動力が大きい。このため、超音波発生素子1を構成する第1および第2の振動子がバイモルフ型圧電振動子やマルチモルフ型圧電振動子である場合、音圧をより高めることができる。[第2実施形態]図5に、本発明の第2実施形態にかかる超音波発生装置200を示す。ただし、図5は断面図である。超音波発生装置200においては、上述した、第1実施形態にかかる超音波発生装置100に用いた蓋部材8に代えて、蓋部材18を用いた。他の構成については、第1実施形態と同様にした。蓋部材18は、超音波発生素子1を収容するための開口18aが形成され、さらに天板部分に、1個の音響放出口18bが形成されている。超音波発生装置200においては、音響放出口18bが1個であるため、集中して音圧の高い超音波を放出することができる。[第3実施形態]図6に、本発明の第3実施形態にかかる超音波発生装置300を示す。ただし、図6は断面図である。超音波発生装置300においては、上述した、第1実施形態にかかる超音波発生装置100に用いた蓋部材8に代えて、蓋部材28を用いた。他の構成については、第1実施形態と同様にした。蓋部材28は、超音波発生素子1を収容するための開口28aが形成され、さらに側板部分に、1個の音響放出口28bが形成されている。超音波発生装置300においては、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波が音響放出口28bに到達するまでの距離と、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波が音響放出口28bに到達するまでの距離とが同じになるため、効率よく2つの超音波を合成することができ、音圧を高めることができる。なお、音響放出口28bは、蓋部材28の側板部分に複数形成されても良い。好ましくは、互いに対向する側面に形成されれば良い。さらに好ましくは、全ての側面に形成されれば良い。[第4実施形態]図7に、本発明の第4実施形態にかかる超音波発生装置400を示す。ただし、図7は分解斜視図である。超音波発生装置400においては、上述した、第1実施形態にかかる超音波発生装置100に、いくつかの変更を加えた。超音波発生装置400においては、上述した、第1実施形態にかかる超音波発生装置100に用いた超音波発生素子1、蓋部材8、導電性接着剤9に代えて、超音波発生素子11、蓋部材38、導電性接着剤19を用いた。まず、超音波発生素子11においては、枠体12に形成される貫通孔12aを、矩形にした。また、超音波発生素子11の対向する2辺に対応するように、基板7の上側の主面に線状に塗布された1対の導電性接着剤19を用いて、超音波発生素子11を基板7の上側の主面に接合した。さらに、蓋部材38の天面に、1対の線状の音響放出口38bを形成した。なお、線状の音響放出口38bは、超音波発生素子11を基板7に接合するのに用いた導電性接着剤19に対し、垂直方向に配置されている。かかる構造からなる超音波発生装置400は、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波と、第2のバイモルフ型圧電振動子4から放出された超音波とを、効率的に音響放出口38bに伝搬させたうえ、両者を合成し、音響放出口38bから、高い音圧で外部に放出することができる。線状に塗布された導電性接着剤19が、第1のバイモルフ型圧電振動子3から放出された超音波の伝搬を妨げることはない。"