振動発生部および振動受部のうちのいずれか一方に連結される筒状の第一取付部材、及び他方に連結される第二取付部材と、前記第一取付部材及び前記第二取付部材を弾性的に連結する弾性体と、前記第一取付部材の内側に配置され、前記第一取付部材の内側に形成された液室を、前記弾性体を壁面の一部とする軸方向一方側の主液室と軸方向他方側の副液室とに区画する仕切り部材と、を備えた防振装置において、前記仕切り部材に、前記主液室と前記副液室との間に位置すると共に前記主液室に連通する中間室が形成されていると共に、前記副液室を、前記中間室に連通する軸方向一方側の第一副液室と軸方向他方側の第二副液室とに区画する弾性変形可能な弾性隔壁が取り付けられており、前記中間室の内側に、前記主液室の液圧を受けて前記中間室内において変位可能な可動板が収容されており、前記弾性体に、前記第一取付部材と前記第二取付部材との間に配設されていると共に前記第一取付部材の軸線周りに並設された複数の側液室が形成されており、前記主液室と前記第二副液室とを連通させて前記液室内の封入液が流通することで液柱共振を生じさせる主副間制限通路と、前記側液室と前記第二副液室とを連通させて前記封入液が流通することで液柱共振を生じさせる側副間制限通路と、が設けられていることを特徴とする防振装置。しかしながら、上記した従来のダブルメンブラン構造の防振装置では、高周波領域の振動に対する減衰性能が低く、減衰性能が発揮される周波数領域が狭いという問題が存在する。また、上記した従来の二方向減衰構造の防振装置では、メンブランとして弾性隔壁固定メンブランが採用されているため、低振幅振動時に動的バネ定数が大きくなるという問題がある。また、上記したメンブランとして可動板可動メンブランを採用することで、高振幅振動に対して高い減衰性能を得て、低振幅振動時に低動バネ化することが可能であるが、低振幅振動に対する減衰性能が低下するという問題が生じる。本発明は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、軸方向の加振時において減衰性能が発揮される周波数領域や振幅の範囲を拡げることができ、且つ、低振幅振動時に低動バネ化することができる防振装置を提供することを目的としている。本発明に係る防振装置は、振動発生部および振動受部のうちのいずれか一方に連結される筒状の第一取付部材、及び他方に連結される第二取付部材と、前記第一取付部材及び前記第二取付部材を弾性的に連結する弾性体と、前記第一取付部材の内側に配置され、前記第一取付部材の内側に形成された液室を、前記弾性体を壁面の一部とする軸方向一方側の主液室と軸方向他方側の副液室とに区画する仕切り部材と、を備える防振装置において、前記仕切り部材に、前記主液室と前記副液室との間に位置すると共に前記主液室に連通する中間室が形成されていると共に、前記副液室を、前記中間室に連通する軸方向一方側の第一副液室と軸方向他方側の第二副液室とに区画する弾性変形可能な弾性隔壁が取り付けられており、前記中間室の内側に、前記主液室の液圧を受けて前記中間室内において変位可能な可動板が収容されており、前記弾性体に、前記第一取付部材と前記第二取付部材との間に配設されていると共に前記第一取付部材の軸線周りに並設された複数の側液室が形成されており、前記主液室と前記第二副液室とを連通させて前記液室内の封入液が流通することで液柱共振を生じさせる主副間制限通路と、前記側液室と前記第二副液室とを連通させて前記封入液が流通することで液柱共振を生じさせる側副間制限通路と、が設けられていることを特徴としている。上記した構成の防振装置では、軸方向の高振幅振動に対して高い減衰性能が発揮される。また、低振幅振動時には、減衰性能を残しつつ動的バネ定数の上昇が抑えられる。さらに、低周波領域の振動に対する減衰性能を残しつつ高周波領域の振動に対する減衰性能が向上する。本発明に係る防振装置によれば、軸方向の加振時において減衰性能が発揮される周波数領域や振幅の範囲を拡げることができ、且つ、低振幅振動時に低動バネ化することができる。以下、本発明に係る防振装置の実施の形態について、図面に基いて説明する。図1に示す防振装置1は、自動車における振動発生部である図示せぬエンジンを、振動受部である図示せぬ車体へ支持するエンジンマウントであり、その概略構成としては、図示せぬ車体側ブラケットを介して車体に連結される筒状の第一取付部材2と、図示せぬエンジン側ブラケットを介してエンジンに連結される第二取付部材3と、これらの第一取付部材2と第二取付部材3とを弾性的に連結する弾性体4と、第一取付部材2の内側に嵌合された仕切り部材5と、を備えている。なお、上記した中心軸線Oに沿った方向を軸方向とし、中心軸線Oに直交する方向を径方向とし、中心軸線O回りの方向を周方向とする。また、本実施の形態における防振装置1は、振動受部に取り付けられた状態で振動発生部を下方から支持し、初期荷重が入力されることで弾性体4に圧縮力が作用する圧縮式の防振装置であり、図1における下側がバウンド側、つまり防振装置1を設置した際に静荷重初期荷重が入力される方向であり、図1における上側がリバウンド側、つまり前記静荷重の入力方向の反対側である。以下の説明においてバウンド側を下側とし、リバウンド側を上側とする。第一取付部材2は、軸方向両端部がそれぞれ開口した円筒形状の筒体からなる。この第一取付部材2の下端部には、径方向内側に向けて突出した係止部20が全周に亘って形成されている。そして、この環状の係止部20の内側には、膜状のダイヤフラム6が張設されており、このダイヤフラム6によって第一取付部材2の下端開口部が閉塞されている。ダイヤフラム6は、変形可能なゴム膜であり、第一取付部材2の内周面を被覆する被覆ゴム21と一体に形成されている。すなわち、このダイヤフラム6及び被覆ゴム21は、第一取付部材2と共に加硫成形することで第一取付部材2の内面に接着されている。第二取付部材3は、略円柱形状の柱状体であり、第一取付部材2の上端側に配設されていると共に、中心軸線Oを共通軸にして第一取付部材2と同軸上に延設されている。第二取付部材3の下端部30は、下方に向かって漸次縮径された縦断面視略台形状に形成されており、第一取付部材2の上端部の内側に配設されている。弾性体4は、第一取付部材2の上部内周面と第二取付部材3の下部外周面との間に全周に亘って介在されて第一取付部材2の上端開口部を閉塞する環状のゴム弾性体である。この弾性体4の外周部の上端部には、径方向外側に向かって突出した環状のフランジリング40が設けられており、このフランジリング40が第一取付部材2の上端面に載せられて接合されている。また、弾性体4の外周部の下端部には、第一取付部材2の内側に嵌合されたインナーリング41が埋設されている。弾性体4は、上記した第二取付部材3、フランジリング40及びインナーリング41と共に加硫成形することで第二取付部材3、フランジリング40及びインナーリング41にそれぞれ接着されている。なお、弾性体4としては、ゴム以外にも合成樹脂等の弾性体を用いることも可能である。また、上記した弾性体4には、一対の側液室第一側液室42、第二側液室43が形成されている。これら一対の側液室42、43は、第二取付部材3の下端部30の外周面と第一取付部材2の上部の内周面との間に配設されていると共に中心軸線O周りに並設されている。詳しく説明すると、第一側液室42及び第二側液室43は、互いに中心軸線O周りに180度回転させた位置に配設されており、縦断面視において中心軸線Oに対して線対称に形成されている。上記した第一取付部材2の内側には、エチレングリコールや水等の封入液が封入された液室10が形成されている。この液室10は、上記した弾性体4及びダイヤフラム6によって密閉封止されている。この液室10は、第一取付部材2の内側に配設された仕切り部材5によって、上側の主液室11と下側の副液室12とに区画されている。仕切り部材5は、2つの円盤状の部材上盤部材50、下盤部材51を重ね合わせて形成された部材であり、第一取付部材2の内側に嵌合されていると共に外周部が上記したインナーリング41と第一取付部材2の係止部20との間に挟持されていることで固定されている。この仕切り部材5には、主液室11と副液室12との間に位置する中間室13が形成されていると共に、前記した副液室12を上側の第一副液室14と下側の第二副液室15とに区画する弾性変形可能な弾性隔壁7が取り付けられている。詳しく説明すると、上盤部材50及び下盤部材51は、それぞれ平面視円環状の外周部50a、51aの内側に隔壁部50b、51bが配設された構成からなり、上盤部材50及び下盤部材51の外周部50a、51a同士が重ね合わせられ、隔壁部50b、51b同士が間隔をあけて対向配置されている。そして、上記した中間室13は、上盤部材50の外周部50aの内周面と上盤部材50の隔壁部50bの下面と下盤部材51の上面とによって形成されている。この中間室13の上壁部隔壁部50bには複数の連通孔50cが形成されており、この連通孔50cを介して主液室11と中間室13とが連通されている。また、中間室13の下壁部隔壁部51bにも複数の連通孔51cが形成されており、この連通孔51cを介して第一副液室14と中間室13とが連通されている。上記した中間室13の内側には、中心軸線Oに対して略垂直に配置された円盤状の可動板8が収容されている。この可動板8は、平面形状が中間室13よりも小径であって厚さが中間室13の高さ寸法よりも薄くなっており、主液室11の液圧を受けて中間室13内において軸方向に変位可能になっている。また、可動板8は、例えばゴムや合成樹脂などの弾性材料からなる。上記した弾性隔壁7は、中心軸線Oに対して略垂直に配設された円盤状の部材である。この弾性隔壁7は、中間室13の下壁部隔壁部51bの下方に間隔をあけて対向配置されていると共に下盤部材51の外周部51aの内側に張設されている。具体的に説明すると、下盤部材51の外周部51aの下面には、その外周部51aの内縁に沿って延在する環状の押さえプレート52が取り付けられており、この押さえプレート52と下盤部材51の外周部51aとの間に弾性隔壁7の外周部が挟持されることで弾性隔壁7が保持されている。また、弾性隔壁7は、例えばゴムや合成樹脂などの弾性変形可能な弾性材料からなり、第一副液室14側若しくは第二副液室15側に膨出変形可能となっている。なお、この弾性隔壁7は、上記した可動板8よりも軸方向の剛性が高くなるように材質や厚さ、形状が設定される。さらに、弾性隔壁7は、上記したダイヤフラム6よりも軸方向の剛性が高くなるように材質や厚さ、形状が設定される。なお、上記した主液室11は、弾性体4を壁面の一部とする液室であり、弾性体4の変形により内容積が変化する。また、副液室12のうちの第一副液室14は、下盤部材51の外周部51aの内側に形成された液室であり、第二副液室15は、ダイヤフラム6を隔壁の一部とする液室であり、ダイヤフラム6の変形により内容積が変化する。また、防振装置1には、主液室11と第二副液室15とを連通させて封入液が流通することで液柱共振を生じさせる主副間制限通路16と、第一側液室42と第二副液室15とを連通させて封入液が流通することで液柱共振を生じさせる第一側副間制限通路17と、第二側液室43と第二副液室15とを連通させて封入液が流通することで液柱共振を生じさせる第二側副間制限通路18と、がそれぞれ形成されている。主副間制限通路16は、仕切り部材5の外周部50a、51aに形成された周方向に延在する通路であり、上記した中間室13や弾性隔壁7の外周側に周設されている。この主副間制限通路16は、流路長方向の一端部に図示せぬ主液室側開口部が形成されて主液室11に連通されていると共に、他端部に図示せぬ副液室側開口部が形成されて第二副液室15に連通されている。また、主副間制限通路16は、上盤部材50の外周部50aの下面に形成された凹溝50dと、下盤部材51の外周部51aの上面に形成された凹溝51dと、が向かい合わせに組み合わせられることで形成されている。また、主副間制限通路16は、車体の軸方向のシェイク振動に対応するシェイクオリフィスであり、主副間制限通路16の流路長及び断面積すなわち流路抵抗は、軸方向のシェイク振動の周波数において液柱共振が生じるように設定チューニングされている。第一、第二側副間制限通路17、18は、仕切り部材5の上側の外縁部と弾性体4の下側の外縁部との間に形成された周方向に延在する通路であり、上記した主副間制限通路16よりも外周側に周設されている。第一側副間制限通路17及び第二側副間制限通路18は、互いに中心軸線O周りに180度回転させた位置180度回転対称に配設されており、縦断面視において中心軸線Oに対して線対称に形成されている。第一側副間制限通路17は、流路長方向の一端部に図示せぬ側液室側開口部が形成されて第一側液室42に連通されていると共に、他端部に図示せぬ副液室側開口部が形成されて第二副液室15に連通されている。また、第二側副間制限通路18は、流路長方向の一端部に図示せぬ側液室側開口部が形成されて第二側液室43に連通されていると共に、他端部に図示せぬ副液室側開口部が形成されて第二副液室15に連通されている。また、第一、第二側副間制限通路17、18は、弾性体4の下端部の外縁部に形成された段差部4aと、仕切り部材5の上側の外縁部に形成された段差部5aと、が向かい合わせに組み合わせられ、さらに、これらの段差部4a、5aの外周側が第一取付部材2の内周面被覆ゴム21で閉塞されることで形成されている。また、第一、第二側副間制限通路17、18は、車体の径方向のシェイク振動に対応するシェイクオリフィスであり、第一、第二側副間制限通路17、18の流路長及び断面積すなわち流路抵抗は、径方向のシェイク振動の周波数において液柱共振が生じるように設定チューニングされている。次に、上記した構成からなる防振装置1の作用について説明する。述した構成からなる防振装置1は、第一取付部材2が図示せぬ車体側ブラケットを介して図示せぬ車体に連結されるとともに、第二取付部材3が図示せぬエンジン側ブラケットを介して図示せぬエンジンに連結されることにより、エンジンと車体との間に介装される。これにより、防振装置1には下向きの静荷重エンジン荷重が作用し、第二取付部材が下方に移動して弾性体4が下方に向けて弾性変形し、この弾性体4の弾性変形に伴い主液室17の内容積が縮小する。その結果、主液室17内の封入液が第一制限通路16を通って第二副液室15に流入すると共に変形可能なダイヤフラム6が下方に膨出変形して第二副液室15の内容積が増大する。そして、上記したエンジンがアイドル回転すると、その振動がエンジン側ブラケットを介して防振装置1の第二取付部材3に伝達され、防振装置1には、小振幅かつ高周波数域のアイドル振動が入力される。このとき、軸方向の振動入力に伴う主液室11の液圧変動により可動板8が中間室13内において軸方向に振動変位し、この可動板8の変位によって主液室11の液圧上昇が抑えられる。これにより、防振装置1の動的バネ定数の上昇が抑えられる。また、上述したように可動板8が振動している際、可動板8と中間室13の内壁面との隙間及び連通孔50c、51cを通って主液室11と第一副液室14とが連通されるので、上記した主液室11の液圧変動に伴い第一副液室14の液圧が変動する。これにより、弾性隔壁7が軸方向に弾性変形することで振動が減衰され、車体側に伝達される振動が低減される。また、上記したエンジンが稼動すると、エンジンの主振動がエンジン側ブラケットを介して防振装置1の第二取付部材3に伝達され、防振装置1には、比較的に周波数が低い振動、つまり、前述したアイドル振動よりも大振幅で小さい周波数の軸方向のシェイク振動が入力される。この場合、軸方向の振動入力に伴い主液室11の液圧が変動し、主液室11と第二副液室15との間に液圧差が生じる。この場合、可動板8が中間室13の上壁部又は下壁部隔壁部50b、51bに密接した状態となり、連通孔50c、51cが閉塞される。これにより、主液室11内の封入液は、主副間制限通路16を通って主液室11と第二副液室15との間で往来する。このとき、主副間制限通路16は、その流路長及び断面積がシェイク振動に対応するようにチューニングされているので、主副間制限通路16を流通する封入液に共振現象液柱共振が生じてシェイク振動が減衰され、車体側に伝達される振動が低減される。さらに、このとき、第一、第二側液室42、43と第二副液室15との間に液圧差が生じ、第一側液室42内の封入液が、第一側副間制限通路17を通って第一側液室42と第二副液室15との間で往来し、第一、第二側副間制限通路17、18を流通する封入液に共振現象液柱共振が生じる。これにより、軸方向のシェイク振動がさらに減衰され、車体側に伝達される振動がより一層低減される。また、エンジンが稼動すると、エンジンの副振動がエンジン側ブラケットを介して防振装置1の第二取付部材3に伝達され、防振装置1には径方向のシェイク振動が入力される。この場合、径方向の振動入力に伴い第一、第二側液室42、43の液圧が変動し、第一、第二側液室42、43と第二副液室15との間に液圧差が生じる。これにより、第一側液室42内の封入液が、第一側副間制限通路17を通って第一側液室42と第二副液室15との間で往来すると共に、第二側液室43内の封入液が、第二側副間制限通路18を通って第二側液室43と第二副液室15との間で往来する。このとき、第一、第二側副間制限通路17、18は、その流路長及び断面積が径方向のシェイク振動に対応するようにチューニングされているので、第一、第二側副間制限通路17、18を流通する封入液に共振現象液柱共振が生じて径方向のシェイク振動が減衰され、車体側に伝達される振動が低減される。上記した防振装置1では、軸方向の高振幅振動に対して高い減衰性能が発揮される。また、低振幅振動時には、減衰性能を残しつつ動的バネ定数の上昇が抑えられる。さらに、低周波領域の振動に対する減衰性能を残しつつ高周波領域の振動に対する減衰性能が向上する。したがって、軸方向の加振時において減衰性能が発揮される周波数領域や振幅の範囲を拡げることができ、且つ、低振幅振動時に低動バネ化することができる。また、上記した防振装置1では、弾性隔壁7の軸方向の剛性が可動板8の軸方向の剛性よりも高く設定されているため、軸方向の低振幅振動に対して高周波領域で高い減衰性能を確実に発揮することができる。例えば、弾性体4のゴム硬度を48°に設定し、可動板8のゴム硬度を46°に設定した防振装置1において、弾性隔壁7のゴム硬度を変えて減衰性能を測定する試験を行ったところ、図2に示すような結果となった。まず、弾性隔壁7のゴム硬度を可動板8と同じ46°に設定するとタイプ3、軸方向の低振幅振動に対して高周波領域で減衰性能が向上しなかった。これに対し、弾性隔壁7のゴム硬度を可動板8よりも高い58°、62°に設定するとタイプ1、2、軸方向の低振幅振動に対して高周波領域で減衰性能が向上した。以上、本発明に係る防振装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記した実施の形態では、2つの側液室17、18が弾性体4に形成されているが、本発明は、側液室の数は適宜変更可能であり、例えば4つの側液室が周方向に並設された構成であってもよい。また、上記した実施の形態では、主液室11が仕切り部材5の上側に位置しかつ副液室12が仕切り部材5の下側に位置するように設置され、支持荷重が作用することで主液室11に正圧が作用する圧縮式の防振装置について説明したが、主液室が仕切り部材の下側に位置しかつ副液室が仕切り部材の上側に位置するように設置され、支持荷重が作用することで主液室に負圧が作用する吊り下げ式の防振装置にも適用可能である。また、上記した実施の形態では、第一取付部材2が車体振動受部に連結され、第二取付部材3がエンジン振動発生部に連結されているが、本発明は、第一取付部材2がエンジン振動発生部に連結され、第二取付部材3が車体振動受部に連結されてもよい。また、本発明に係る防振装置は、車両のエンジンマウントに限定されるものではなく、エンジンマウント以外に防振装置に適用することも可能である。例えば、建設機械に搭載された発電機のマウントにも適用することも可能であり、或いは、工場等に設置される機械のマウントにも適用することも可能である。また、上記した実施の形態では、仕切り部材5に主副間制限通路16が形成され、仕切り部材5と弾性体5との間に側副間制限通路17、18が形成されているが、本発明は、仕切り部材5以外に主副間制限通路が形成されていてもよく、例えば、第一取付部材の一部に溝加工して制限通路を形成してもよい。また、本発明は、仕切り部材5と弾性体5との間の部分以外に側副間制限通路が形成されていてもよく、例えば、仕切り部材5に側副間制限通路を形成してもよい。その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。