電極と、該電極の一方主面上に設けられた圧電膜と、該圧電膜を覆うように設けられた導体膜とを含み、該導体膜の主面には凹部または凸部があることを特徴とする圧力センサ素子。前記凹部または凸部が複数あることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ素子。前記導体膜の主面には凹部があることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ素子。前記導体膜の主面には複数の前記凹部が細長く連なるようにあることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ素子。前記導体膜の主面には平面視で細長い凹部があることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ素子。前記細長い凹部における少なくとも一方の端部が平面視で先細り形状になっていることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ素子。請求項1に記載の圧力センサ素子における前記導体膜上に第2の電極が設けられていることを特徴とする圧力センサ。請求項1に記載の圧力センサ素子が複数積層されたことを特徴とする圧力センサ。しかしながら、特許文献1に記載された圧力センサ素子は、自動車のエンジンルームのような温度変化や機械的振動が大きな環境で使用すると、導体膜が温度変化により膨張収縮したり、繰り返し大きな荷重が加わって歪んだりすることで、広範囲に膜剥がれを起こすおそれがある。これにより、発生した電荷を十分に集電することができなくなって、感度がばらついたり大きく低下したりして正しい圧力が検知できなくなるおそれがあるという問題があった。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、使用環境によらず、導体膜の剥がれを抑制して正しい圧力を検知する圧力センサ素子を提供することを目的とする。本発明の圧力センサ素子は、電極と、該電極の一方主面上に設けられた圧電膜と、該圧電膜を覆うように設けられた導体膜とを含み、該導体膜の主表面には凹部または凸部があることを特徴とするものである。本発明の圧力センサ素子によれば、導体膜の主面に凹部または凸部があることで、温度変化により膨張収縮したり、繰り返し大きな荷重が加わって歪んだりしても、応力が緩和されて弱まる。したがって、導体膜が剥れることなく安定的に外部圧力に比例した信号を発生させ、正しい圧力を検知することができる。以下、本発明の圧力センサ素子および圧力センサの実施の形態の例について、図面を参照して詳細に説明する。図1aは本発明の圧力センサ素子の実施の形態の一例を示す概略斜視図であり、図1bは図1aに示すA-A線で切断した部分断面図である。図1に示す圧力センサ素子10は、電極1と、電極1の一方主面上に設けられた圧電膜2と、圧電膜2を覆うように設けられた導体膜3とを含み、導体膜3の主面には凹部4または凸部5があることを特徴とする。電極1は、Fe-Ni-Co合金、ステンレス、炭素鋼、ニッケル、銅等で、その用途に応じて例えば円板状、矩形板状、円環状リング板状などに形成されたものであり、薄膜形成プロセスにおける結晶成長に適しているものが好ましい。なお、自動車エンジンの点火プラグ取付部に実装してエンジンのシリンダ内圧を測定するために使用する場合であって、電極1の形状が円板状の場合は、電極1は例えば直径2~50mm、厚み0.1~2mmに形成される。電極1の一方主面上に設けられた圧電膜2は、スパッタリング、CVD、イオンプレーティング、真空蒸着等の手法によって成膜してなる結晶配向性を有する膜であって、例えば窒化アルミニウム、酸化亜鉛、チタン酸ジルコン酸鉛PZT、ランガサイト等の圧電性を有する薄膜の形成が可能な圧電材料からなる。この圧電膜2は、対向する2つの主面間で圧力または荷重を受けるものであり、2つの主面間の距離厚みは、例えば0.1~20μmである。圧電膜2を覆うように設けられた導体膜3は、圧電膜2と同様にスパッタリング、CVD、イオンプレーティング、真空蒸着等の手法によって成膜してなるもので、金、銀、白金、パラジウム、銅、アルミニウム、ニッケル、モリブデン、ITO酸化インジウムスズ、導電性カーボンなどからなる。この導体膜3の厚みは、例えば15nm~10μmである。そして、導体膜3の主面には凹部4または凸部5がある。凹部4の深さおよび凸部5の高さは、導体膜3の厚みの例えば5~90であり、具体的な数値としては、例えば、凹部4の深さが0.5nm~5μm、断面で見た幅が0.05~100μm、凸部5の高さが0.5nm~5μm、断面で見た幅が0.05~100μmである。この構成によれば、温度変化により膨張収縮したり、繰り返し大きな荷重が加わって歪んだりしても、細かいクラックを発生させて応力、歪みの低減をもたらし、導体膜3の剥がれの発生を抑制して、感度低下を低減することができる。ここで、図2に示すように、導体膜3の主面には凹部4があるのが好ましい。導体膜3の主面には凹部4があることで、凸部5よりも凹部4のほうがコントロールされたより小さなクラックを発生させやすいことから、導体膜3の圧電膜2からの剥がれがさらに抑制され、使用中の感度低下をより低減することができる。なお、凹部4または凸部5は、導体膜3の主面のいずれか一方に設けられていてもよく、両方に設けられていてもよい。また、図3に示すように、導体膜3の主面に設けられた凹部4または凸部5は複数あるのが好ましい。例えば、複数の凹部4または凸部5のそれぞれの平面視による面積の合計の面積が、導体膜3の主面の面積に対して0.5~60であるのが好ましい。凹部4または凸部5が複数あることで、分散されたクラックが発生して応力、歪みが低減し、導電層3の圧電膜2からの剥がれがより発生しにくく、感度低下やバラツキが起こりにくくなる。特に、複数の凹部4または凸部5は適当な間隔で配置され分散していることで、クラックが間隔をもってほぼ規則的に配列され、クラックで囲まれた領域の応力を制御して低減できる。また、図4に示すように、導体膜3の主面には複数の凹部4が細長く連なるようにあるのが好ましい。例えば、深さ0.5nm~5μm、断面で見た幅0.1~10μmの凹部4が0.1~10μmの間隔で細長く連なるようにあるのが好ましい。この構成によれば、導体膜3の剥がれが凹部4の細長い連なりの長手方向から進行してきた場合に、細長く連なった凹部4の集合の内部で、導体膜3の剥がれに起因する曲げ応力が個々の凹部4に集中し、凹部4の細長い連なりの短手方向幅方向に向かうクラックが発生しやすいことから、クラックの方向を制御することができ、導体膜3の圧電膜2からの剥がれがさらに抑制され、使用中の感度低下をさらに低減することができる。また、図5に示すように、導体膜3の主面には平面視で細長い凹部4があるのが好ましい。この構成によれば、クラックが凹部4の長手方向に沿って発生しやすいことから、クラックの方向を制御することができ、クラックで囲まれる領域の大きさや範囲の設計を容易にして、導体膜3の圧電膜2からの剥がれや使用中の感度低下をより低減することができる。さらに、図5に示すように、細長い凹部4における少なくとも一方の端部が平面視で先細り形状になっているのが好ましい。なお、先細りの形状としては、先端が丸みを帯びていてもよく尖っていてもよい。この構成によれば、凹部4の端部に長手方向に沿ったクラックがより発生しやすくなり、クラックの発生形態を想定どおりにする事によって、導体膜3の剥がれや使用中の感度低下をさらに低減することができる。また本発明は、図6に示すように、上記の圧力センサ素子10における導体膜3上に第2の電極6が設けられていることを特徴とする圧力センサである。第2の電極6は、圧力センサ素子10を構成する電極1と同様に、Fe-Ni-Co合金、ステンレス、炭素鋼、ニッケル、銅等で、その用途に応じて例えば円板状、矩形板状、円環状リング板状などに形成されたものであり、特に限定はない。なお、自動車エンジンの点火プラグ取付部に実装してエンジンのシリンダ内圧を測定するために使用する場合であって、第2の電極6の形状が円板状の場合は、例えば直径2~50mm、厚み0.1~2mmに形成される。そして、図示しないが、信号線を電極1および第2の電極6に抵抗溶接や熱固化性あるいは反応固化性の導電ペーストで接続することで、圧電膜3に発生し電極1、第2の電極6に集められた電荷を、同軸ケーブルなどで圧力センサ素子10の外部に出力することが可能な圧力センサ20が得られる。具体的には、圧電膜2の対向する2つの主面が直接的または間接的に圧力または荷重を受けると、圧電膜2の圧電的性質により、対向する2つの主面のうちの一方に正電荷が、他方に負電荷が圧力または荷重に比例して発生する。そして、例えば電極1に正の電荷が集められ、第2の電極6に負の電荷が集められる。電極1または第2の電極6に集められた電荷は、信号線、GND線図示せず等を介して、外部に出力される。外部に出力された電荷は、アンプにより電圧信号に変換されるなどして、印加された圧力の測定に供する。なお、図6に示した圧力センサ20は、金属などで製作されたハウジングに圧力センサ素子10および第2の電極6を収納し、封止された様態としてもよい。このような構造とすることで、水分や腐食性ガスの進入や粉塵類の付着など、外部環境の影響を受けにくく、長期にわたって特性劣化のない圧力センサとなる。上記の構成によれば、高感度かつリニアリティの良好な圧力センサ20とすることができる。また本発明は、上述の圧力センサ素子10が複数積層された圧力センサ図示せずであってもよい。ここで、図1に示す構成の圧力センサ素子10が積層方向に隣りあうように複数積層されている場合は、互いに接触する導体膜3と電極1とが同符号の電荷を集めるように、圧電膜2の主面が配置されているのが好ましい。また、第2の電極6を介して圧力センサ素子10が複数積層されてもよく、ガラス、セラミックスなどの絶縁材を介して圧力センサ素子10が複数積層されてもよい。なお、絶縁材を介して積層された場合は、圧電膜2の主面はいかなる符号の電荷が発生する配置であってもよい。それぞれの電極1における正極同士または負極同士は、例えばワイヤボンディングで側面を直接互いに電気的に接続してから外部に接続されていてもよく、それぞれの電極1に各々信号線が直接外部から接続されていてもよい。圧力センサ素子10が複数積層されて構成された圧力センサは、単独の圧力センサ素子10とこれに接する第2の電極6とにより構成された圧力センサ20と比較して、印加される圧力または荷重に対して発生する電荷の総量が多い、すなわちセンサ感度を高くすることができる。次に、本発明の圧力センサ素子10および圧力センサ20の製造方法の例を説明する。まず、電極1の一方主面上に、圧電膜2をスパッタリング、CVD、イオンプレーティング、真空蒸着等の手法にて成膜する。続いて、圧電膜2を覆うように、導体膜3をスパッタリング、CVD、イオンプレーティング、真空蒸着等の手法にて成膜する。ここで、導体膜3の主面上面に凹部4または凸部5を設けるには、例えば、所望の凹部4または凸部5に対応して反転させた形状の凹凸を設けた金型を導体膜3の主面に押し当てた状態で、油圧プレス機などで加圧する方法が挙げられる。なお、金型面の凹凸を構成するには、例えばエッチングなどの製版技術を応用できるほか、多数の凹凸をランダムにつける場合は例えばブラスト法を用いればよい。また、凹部4を細長く配列させるなど、所望の範囲に限定して設けるには、エッチングのほか、マスキングをしてブラストすればよい。また、導体膜3の下側主面に凹部を形成するには、導体膜3の成膜後に熱的な負荷をかけてシワが寄るようにしたり、導体膜3の成膜条件で残留応力の発生度合いを調整したりする方法が挙げられる。その後、導体膜3の上に電極板を重ね、さらに電極1と電極板の間に直流電圧を印加して圧電膜2に分極処理を施すことで、圧力センサ素子10が得られる。さらに、導体膜3の上に第2の電極6を重ねて配置することで、圧力センサ20が得られる。以上のような形態、製造方法で製作された本発明の圧力センサ素子10および圧力センサ20は、例えば、内燃機関の気筒シリンダの燃焼室に挿入される、点火プラグ、燃料噴射装置等の装置の取り付け部分に配置される。これらの装置はネジの締め込みやバネなどの弾性材による押さえ込みにより内燃機関の気筒シリンダに固定されている。この固定力は、気筒シリンダ内における、ピストンの運動による燃焼室体積の変動、燃料の爆発による燃焼室内ガスの膨張、給排気などに伴う圧力変化により変動する。圧力センサ20はそれを挿入された装置の固定力変動に伴って電荷を生じるため、結果的に間接的に内燃機関の燃焼室内の圧力を計測することが可能となる。なお、内燃機関とは、前述の気筒シリンダ、点火プラグ、燃料噴射装置、ピストンのほか、グロープラグ、燃料供給や給排気のためのバルブなどを有するものである。具体的には、自動車等の乗物あるいは貨物運搬車両等に用いられるガソリンエンジン、アルコール混合ガソリンエンジン、ディーゼルエンジン、アルコールエンジンまたは水素ガスエンジン等である。本発明の圧力センサ素子10および圧力センサ20は、内燃機関の燃焼室の圧力を測定する燃焼圧センサとして機能し、静電気など外来の電荷が付着してもすみやかに排除されて残留せず、高い測定精度を有するものであるので、内燃機関の制御特性ひいては燃焼特性を高めることができるものである。φ30mm、厚さ0.5mmの平板状の電極を1枚、ステンレス材SUS304から切り出して作製した。さらに、電極の一方の面には鏡面加工処理を施し、面粗さRa0.02μmに仕上げた。次に、電極の鏡面処理面を基板として、高周波マグネトロンスパッタリング法にて、ターゲットにはφ50の高純度セラミックスPZT板を用い、基板温度750°C、到達真空度2×10-4Paで予熱を行った後、アルゴンガス導入し、成膜圧力3.0Pa、電流密度70W/m2で10hrかけて成膜し、膜厚1μmのチタン酸ジルコン酸鉛PZT薄膜を製作し、圧電膜とした。次に、ターゲットを高純度白金Ptを用い、DCスパッタリング法にて、電力密度20W/cm2、基板温度400°C、基板間距離60mmで10分間成膜し、膜厚0.05μmの導体膜を得た。さらに、成膜した導体膜にあらかじめ微細な凹凸を施した超硬金属板を載せ、油圧プレス装置で5000N印加して、金属板表面の凹凸を導体膜に転写し、複数の凹部および凸部を構成した。レーザー干渉計の測定により、凹部の深さは0.01~0.035μm、凸部の高さは0.01~0.02μmであった。圧電膜に成膜された導体膜の上に電極板を重ね、さらに電極と電極板の間に直流電圧60Vを印加し、圧電膜に分極処理を施し、本発明実施例の圧力センサ素子を作製した。圧電特性は、圧力センサ素子に油圧プレス装置で荷重1000Nを印加したときの発生電荷を測定して確認し、112pC/Nを得た。次に、同様に比較例の圧力センサ素子を、前述の手順のうち導体膜に凹凸を構成する工程を省略することで製作した。圧電特性は、109pC/Nであった。これらの圧力センサ素子について、長時間振動試験を行い、耐久性を評価した。評価条件は、圧力センサ素子の導電膜の上に第2の電極を重ね、電極と第2の電極を手動加圧ジグで1000N印加した状態で、5~5000Hz、10Gの振動数スイープ試験を200時間実施した。この間、電極、第2の電極をチャージアンプに接続し、試験中の出力変動を測定し、集電特性の変動をモニターした。この結果、比較例の圧力センサ素子では、試験時間90時間を経過したころから振動試験の振動に対応する出力変動に加えて微小な変動を伴うようになった。微小な変動の大きさは振動試験の振動に伴う出力変動値の最大10に達した。一方、本発明実施例の圧力センサ素子では、同様の微小な変動が試験時間130時間を経過したころから発生したが、その大きさは最大2程度であった。また、試験後に圧電特性を測定したところ、本発明比較例の圧力センサ素子は112pC/Nで試験前からの変動は認められなかったのに対し、比較例の圧力センサ素子は107pC/Nで約2の感度低下があった。これらの圧力センサ素子を分解し、導体膜を観察したところ、比較例の圧力センサ素子では、導体膜の部分的な剥離が複数個所で発生し、時間的に拡大した形跡が見られた。一方、本発明実施例の圧力センサ素子では、同様の剥離は認められたものの、近隣の凹部または凸部近傍で、剥離の拡大が停止していることが確認できた。これにより、試験中に見られた出力の微小変動が、導体膜の剥離に伴う、発生電荷の集電特性の不安定化に起因するものと推定され、本発明の圧力センサ素子においては上記不安定挙動の増加を抑制することができることができた。