弁体を弁口開閉方向に駆動するためのダイアフラム装置を備えたダイアフラム式流体制御弁であって、前記ダイアフラム装置は、ダイアフラムと、該ダイアフラムの上面側に圧力室を画成する概略蓋状の上面側圧力室画成部を有するダイアフラム保持部材と、を有し、前記ダイアフラムは、その内周部と外周部との間に、断面で見て上に凸の山を少なくとも1個持つ平面視同心円環状を呈する山波状部が形成され、前記上面側圧力室画成部における半径方向中間部分に、前記ダイアフラムの上方への過度の変位を制限すべく、前記ダイアフラムの内周部が接当係止される上ストッパが設けられるとともに、前記上面側圧力室画成部における前記上ストッパより外周側に、前記ダイアフラムの内周部が前記上ストッパに接当係止されている状態において前記山波状部における最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための円環状溝ないし空所が設けられていることを特徴とするダイアフラム式流体制御弁。前記上面側圧力室画成部は、中央円錐台状部、該中央円錐台状部の下部に連なる環状板部、及び前記ダイアフラムの外周部を封止固定するための上側挟持部を有する概略蓋形状とされており、前記環状板部の内周部下面が前記上ストッパとされ、前記環状板部における前記上ストッパ部分より外周側に、前記最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための上側に凹む円環状溝が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のダイアフラム式流体制御弁。前記上面側圧力室画成部における半径方向中間部分に、前記上ストッパとしての下方突出部が設けられるとともに、該下方突出部より外周側が、前記最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための前記空所となっていることを特徴とする請求項1に記載のダイアフラム式流体制御弁。前記山波状部に、断面で見て上に凸の山が、Nを正の整数1、2、3、として、[N個025~075個]形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のダイアフラム式流体制御弁。ダイアフラムと、該ダイアフラムの上面側に圧力室を画成する概略蓋状の上面側圧力室画成部を有するダイアフラム保持部材と、を有し、前記ダイアフラムは、その内周部と外周部との間に、断面で見て上に凸の山を少なくとも1個持つ平面視同心円環状を呈する山波状部が形成され、前記上面側圧力室画成部における半径方向中間部分に、前記ダイアフラムの上方への過度の変位を制限すべく、前記ダイアフラムの内周部が接当係止される上ストッパが設けられるとともに、前記上面側圧力室画成部における前記上ストッパより外周側に、前記ダイアフラムの内周部が前記上ストッパに接当係止されている状態において前記山波状部における最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための円環状溝ないし空所が設けられていることを特徴とするダイアフラム装置。しかしながら、前記第1、第2、第3の山M1、M2、M3からなる2山半の山波状部35bが設けられているダイアフラム35においては、次のような問題が生じる。すなわち、図4Aに示される如くに、ダイアフラム35が上方に大きく変位せしめられるときには、ダイアフラム35の内周部35cが上ストッパ51である環状平板部32dの内周側下面に接当係止される前に、第1の山M1の頂部が環状平板部32dの下面に接当してしまい、その後、ダイアフラム35は、図4Bに示される如くに、その内周部35cが環状平板部32dの内周側下面に接当係止されるまで、すなわち、第1の山M1の高さHに相当する距離分さらに上方に変位せしめられる。そのため、第1の山M1の頂部が環状平板部32dの内周側下面に接当してから内周部35cが環状平板部32dの内周側下面に接当係止されるまでは、第1の山M1部分がフラットになるように大きく変形せしめられるので、第1の山M1部分に大きな応力が発生する。かかる事象は、当該制御弁が例えば膨張弁として使用されているシステムの稼働中は頻繁に起きるため、第1の山M1部分に繰り返し応力が発生し、該部分が不所望に変形したまま元に戻らなくなったり、金属疲労により破損しやすくなり、ダイアフラム装置、ひいては流体制御弁の耐久性、信頼性が低下してしまう。本発明は、かかる課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ダイアフラムを薄くしたりその径を大きくすること等を要せずに、ダイアフラムの上面側圧力と下面側圧力との差圧の変化に対してリフト量を大きく変化させることができ、かつ、ダイアフラムに不所望な変形や破損等を生じ難くできて、耐久性、信頼性等を向上させることのできるダイアフラム式流体制御弁を提供することにある。前記目的を達成すべく、本発明に係るダイアフラム式流体制御弁は、基本的には、弁体を弁口開閉方向に駆動するためのダイアフラム装置を備えたダイアフラム式流体制御弁であって、前記ダイアフラム装置は、ダイアフラムと、該ダイアフラムの上面側に圧力室を画成する概略蓋状の上面側圧力室画成部を有するダイアフラム保持部材と、を有し、前記ダイアフラムは、その内周部と外周部との間に、断面で見て上に凸の山を少なくとも1個持つ平面視同心円環状を呈する山波状部が形成され、前記上面側圧力室画成部における半径方向中間部分に、前記ダイアフラムの上方への過度の変位を制限すべく、前記ダイアフラムの内周部が接当係止される上ストッパが設けられるとともに、前記上面側圧力室画成部における前記上ストッパより外周側に、前記ダイアフラムの内周部が前記上ストッパに接当係止されている状態において前記山波状部における最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための円環状溝ないし空所が設けられていることを特徴としている。好ましい態様では、前記上面側圧力室画成部は、中央円錐台状部、該中央円錐台状部の下部に連なる環状板部、及び前記ダイアフラムの外周部を封止固定するための上側挟持部を有する概略蓋形状とされており、前記環状板部の内周部下面が前記上ストッパとされ、前記環状板部における前記上ストッパ部分より外周側に、前記最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための上側に凹む円環状溝が設けられる。他の好ましい態様では、前記上面側圧力室画成部における半径方向中間部分に、前記上ストッパとしての下方突出部が設けられるとともに、該下方突出部より外周側が、前記最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための前記空所とされる。より好ましい態様では、前記山波状部に、断面で見て上に凸の山が、Nを正の整数1、2、3、として、[N個025~075個]形成される。一方、本発明に係るダイアフラム装置は、ダイアフラムと、該ダイアフラムの上面側に圧力室を画成する概略蓋状の上面側圧力室画成部を有するダイアフラム保持部材と、を有し、前記ダイアフラムは、その内周部と外周部との間に、断面で見て上に凸の山を少なくとも1個持つ平面視同心円環状を呈する山波状部が形成され、前記上面側圧力室画成部における半径方向中間部分に、前記ダイアフラムの上方への過度の変位を制限すべく、前記ダイアフラムの内周部が接当係止される上ストッパが設けられるとともに、前記上面側圧力室画成部における前記上ストッパより外周側に、前記ダイアフラムの内周部が前記上ストッパに接当係止されている状態において前記山波状部における最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための円環状溝ないし空所が設けられていることを特徴としている。本発明に係るダイアフラム式流体制御弁では、上面側圧力室画成部における上ストッパより外周側に、ダイアフラムの内周部が上ストッパに接当係止されている状態において山波状部における最も内周側に位置する山部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための円環状溝ないし空所が設けられていることにより、ダイアフラムが上方に大きく変位せしめられて、ダイアフラムの内周部が上ストッパに接当係止された状態においても、最も内周側に位置する山部分が大きな変形を伴うことなく円環状溝ないし空所に受容されるため、最も内周側に位置する山部分に大きな応力が発生せず、そのため、該山部分が不所望に変形したまま元に戻らなくなったり破損したりすることが確実に回避され、その結果、ダイアフラム装置、ひいては流体制御弁の耐久性、信頼性が向上する。以下、本発明のダイアフラム式流体制御弁の実施形態を図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係るダイアフラム式流体制御弁の一実施例におけるダイアフラム装置を示す縦断面図である。図1において、図3及び図4に示される従来例のダイアフラム装置30Gの各部に対応する部分には同一の符号を付して重複説明を省略し、以下においては相違点を重点的に説明する。本実施例のダイアフラム装置30Aは、基本的には前述した図3及び図4に示される従来例のダイアフラム装置30Gと同じ構成であるが、上面側圧力室画成部32Aの環状平板部32dの内周部下面が上ストッパ51とされるとともに、環状平板部32dにおける前記上ストッパ51部分より外周側に、ダイアフラム35の内周部35cが上ストッパ51に接当係止されている状態において山波状部35bにおける最も内周側に位置する第1の山M1部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための、上側に凹む断面内形が第1の山M1と概略相似形状の円環状溝52が設けられている。円環状溝52の深さJは第1の山M1の高さHと同程度かそれより若干深く設定されている。このように環状平板部32dに、上側に凹む円環状溝52が設けられることにより、ダイアフラム35が上方に大きく変位せしめられて、ダイアフラム35の内周部35cが上ストッパ51である環状平板部32dの内周部下面に接当係止された状態においても、第1の山M1部分が大きな変形を伴うことなく上記円環状溝52に受容されるため、従来例のように第1の山M1部分に大きな応力が発生せず、そのため、第1の山M1部分が不所望に変形したまま元に戻らなくなったり破損したりすることが確実に回避され、その結果、ダイアフラム装置30A、ひいては流体制御弁1の耐久性、信頼性が向上する。なお、上に凸の山を25個[N個025~075個]持つことによる作用効果は図3、図4に示される従来例と同じであるので説明は省略する。図2は、本発明に係るダイアフラム式流体制御弁の他の実施例におけるダイアフラム装置30Bを示す縦断面図である。図2において、図3及び図4に示される従来例のダイアフラム装置30Gの各部に対応する部分には同一の符号を付して重複説明を省略し、以下においては相違点を重点的に説明する。この実施例のダイアフラム装置30Bでは、上面側圧力室画成部32Aにおける半径方向中間部分環状平板部32dの内周部下面が上記した図1に示される実施例よりも若干上方に位置せしめられ、その環状平板部32dの内周部下面に上ストッパとしての環状下方突出部53が設けられており、ダイアフラム35の上方変位制限位置は図1に示されるものと同じ位置とされ、前記環状下方突出部53より外周側が、ダイアフラム35の内周部35cが上ストッパ53に接当係止されている状態において山波状部35bにおける最も内周側に位置する第1の山M1部分を大きな変形を伴うことなく受け入れるための空所54となっている。環状下方突出部53の環状平板部32dの下面からの下方への突出高さKは、第1の山M1の高さHと同程度かそれより若干高く設定されている。かかる構成のダイアフラム装置30B及びそれを備えた流体制御弁2においても上記実施例と略同様な作用効果が得られる。