"アルカリ現像性を有する硬化性樹脂組成物であって、マレイミド系モノマーとアクリル酸とを含み、メタクリル酸およびそのエステルは含まない原料モノマー混合物から合成されるマレイミド系ポリマーに、ラジカル重合性二重結合を導入して得られる硬化性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。上記原料モノマー混合物が、さらにアクリル酸エステルを含む請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。上記光重合開始剤が、α-アミノケトン系光重合開始剤である請求項1または2に記載の硬化性樹脂組成物。上記マレイミド系モノマーがベンジルマレイミドである請求項1~3のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物。上記多官能モノマーが、多官能メタアクリレートである請求項1~4のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物。請求項1~5のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物を硬化させて得られたものであることを特徴とする硬化物。本発明では、上記従来技術の問題点を考慮して、基板密着性、パターン再現性、弾性回復率等に優れた硬化物を得ることのできるアルカリ現像性を有する硬化性樹脂組成物の提供を課題として掲げた。上記課題を解決することのできた本発明は、アルカリ現像性を有する硬化性樹脂組成物であって、マレイミド系モノマーとアクリル酸とを含み、メタクリル酸およびそのエステルは含まない原料モノマー混合物から合成されるマレイミド系ポリマーに、ラジカル重合性二重結合を導入して得られる硬化性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴とする。原料モノマー混合物がさらにアクリル酸エステルを含む態様、光重合開始剤がα-アミノケトン系光重合開始剤である態様、マレイミド系モノマーがベンジルマレイミドである態様、多官能モノマーが多官能メタアクリレートである態様は、いずれも本発明の好ましい実施態様である。本発明には、上記硬化性樹脂組成物を硬化させて得られたものである硬化物も含まれる。本発明の硬化性樹脂組成物の主成分たるポリマーは、マレイミド骨格を有し、アクリル酸由来のカルボキシル基を有しているため、基板密着性、パターン再現性、弾性回復率等に優れた硬化物を得ることが可能となった。本発明の硬化性樹脂組成物は、アルカリ現像性を有するものである。主成分となる硬化性ポリマーは、マレイミド系ポリマーに、ラジカル重合性二重結合を導入したポリマーである。なお、本発明のポリマーには、二元以上の共重合体が含まれる。以下、各成分ごとに説明する。[マレイミド系ポリマー]マレイミド系ポリマーは、マレイミド系モノマーとアクリル酸とを含む原料モノマー混合物から得られる。マレイミド系モノマーは、硬化物の耐熱性や基板密着性を向上させる効果がある。マレイミド系モノマーとしては、フェニルマレイミド、ベンジルマレイミド、ナフチルマレイミド、N-o-またはm-、またはp-ヒドロキシフェニルマレイミド、N-o-またはm-、またはp-クロロフェニルマレイミド、N-o-またはm-、またはp-メチルフェニルマレイミド、N-o-またはm-、またはp-メトキシフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド類;シクロヘキシルマレイミド等の脂環族置換マレイミド類;メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド類等が挙げられる。これらの中でも、シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、ベンジルマレイミドが好ましく、シクロヘキシルマレイミド、ベンジルマレイミドがより好ましく、ベンジルマレイミドが最も好ましい。これらのマレイミド系モノマーは、単独で使用しても、2種以上使用してもよい。マレイミド系モノマーの使用量は、原料モノマー混合物100質量中、2~50質量であることが好ましい。より好ましくは、3~40質量であり、さらに好ましくは5~30質量である。マレイミド系ポリマーは、側鎖に酸基を有している必要がある。アルカリ現像性を確保するためである。また酸基は、後述するとおり、ポリマーの側鎖にラジカル重合性二重結合を導入するための反応点にもなる。従って、マレイミド系ポリマーは、側鎖に酸基を導入し得るモノマーを用いて合成する必要があるが、このとき、メタクリル酸を用いると、弾性回復率が不良となる。このため、本発明では、酸基導入には、アクリル酸AAのみを用いる。AAは、原料モノマー混合物100質量中、20質量以上が好ましく、30質量以上がより好ましく、70質量以下が好ましく、60質量以下がさらに好ましい。AAが少ないと、充分なアルカリ現像性が発現しないおそれがあり、また、ラジカル重合性二重結合を充分量導入することができなくなる。一方、AAが多すぎると、マレイミド系モノマーが少なくなるため、硬化物の耐熱性や基板密着性が不充分となるおそれがある。マレイミド系ポリマーを得る際に用いられる原料モノマー混合物には、マレイミド系モノマーとAAの他に、硬化物の要求特性を満足させるため、必要に応じてマレイミド系モノマーとAAと共重合可能なその他のモノマーを含むことができる。このような共重合可能なその他のモノマーとしては、アクリル酸エステルが好ましい。その他のモノマーの場合も、メタクリル酸エステルを用いると弾性回復率が不充分となる。従って、本発明ではメタクリル酸エステルは用いない。アクリル酸エステルの具体例としては、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n-プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、n-ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、t-ブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート等のアクリル酸アルキルエステル類;シクロヘキシルアクリレート、イソボルニルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、トリシクロデシルアクリレート等の脂環構造含有アクリレート類;ベンジルアクリレート等の芳香環含有アクリレート類等が挙げられる。これらのアクリル酸エステルは、1種のみ用いても2種以上を併用してもよい。また、アクリル酸エステルに加えて、その他のモノマーとして、スチレン、ビニルトルエン、α-メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物を用いても構わない。これらのその他のモノマーは、マレイミド系モノマーとAAが上記好適量となるように用いることが好ましく、原料モノマー混合物100質量中、25質量以上が好ましく、30質量以上がより好ましく、70質量以下が好ましく、65質量以下がより好ましい。マレイミド系ポリマーは、上記原料モノマー混合物を重合することで得られる。重合方法としては、溶液重合法が好ましく、重合温度や重合濃度重合濃度=[原料モノマー混合物の全質量/原料モノマー混合物の全質量溶媒質量]×100とするは、使用する原料モノマー混合物の組成や比率、目標とするポリマーの分子量によって異なるが、好ましくは、重合温度40~150°C、重合濃度5~50質量とするのがよく、さらに好ましくは、重合温度60~130°C、重合濃度10~40質量とするのがよい。前記原料モノマー混合物の重合において溶媒を用いる場合には、通常のラジカル重合反応で使用される溶媒を用いればよい。具体的には、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n-ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシド;等が挙げられる。これら溶媒は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。前記原料モノマー混合物をラジカル重合する際には、通常用いられるラジカル重合開始剤を添加することが好ましい。重合開始剤としては特に限定されないが、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t-ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t-アミルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、1,1’-アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル、2,2’-アゾビス2,4-ジメチルバレロニトリル、ジメチル-2,2’-アゾビス2-メチルプロピオネート等のアゾ化合物;が挙げられる。これら重合開始剤は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。なお、開始剤の使用量は、用いる原料モノマー混合物の組成や、反応条件、目標とするポリマーの分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、ゲル化することなく重量平均分子量が数千~数万のポリマーを得ることができる点で、原料モノマー混合物100質量部に対して、0.1質量部~15質量部、より好ましくは0.5質量部~10質量部とするのがよい。また、公知の連鎖移動剤、例えば、n-ドデシルメルカプタン、メルカプトプロピオン酸等のメルカプタン類を用いることもできる。[硬化性ポリマー]マレイミド系ポリマーを重合によって得た後は、二重結合導入反応を行う。本発明では、この二重結合導入後のポリマーを硬化性ポリマーと呼んでいる。二重結合の導入によって、硬化性ポリマー同士のラジカル重合が可能となり、あるいは、硬化性ポリマーと多官能モノマーとがラジカル重合可能となるので、三次元的に架橋した硬化物を得ることができる。その結果、機械的強度に加えて、現像性やパターン再現性が向上する。二重結合を導入するには、マレイミド系ポリマーにはAA由来のカルボキシル基が存在しているので、このカルボキシル基と反応し得る官能基と二重結合とを有するモノマーをマレイミド系ポリマーに付加させればよい。二重結合導入用モノマーとしては、グリシジルメタアクリレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート、o-またはm-、またはp-ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマー;2-ビニロキシエトキシエチルメタアクリレート等のビニルエーテル基を有するモノマー等が挙げられる。これらの中では、グリシジルメタアクリレートが好ましく用いられる。二重結合導入用モノマーは、アクリレートでもメタクリレートでも構わない。グリシジルメタアクリレートは、マレイミド系ポリマー100質量部に対し、10質量部以上反応させることが好ましく、20質量部以上がより好ましく、30質量部以上がさらに好ましく、40質量部以上が特に好ましい。グリシジルメタアクリレートが10質量部よりも少ないと、硬化性ポリマーの側鎖の二重結合量が少なすぎて、露光感度が低下したり、緻密な硬化物が形成できないため、特性が低下するおそれがある。また、グリシジルメタアクリレートがカルボキシル基に付加することで生成する水酸基は、アルカリ現像液への溶解性を高める作用を有するが、この水酸基が少なくなることにより、アルカリ現像液への溶解度が不足し、現像性やパターン再現性が低下するおそれがある。グリシジルメタアクリレートの付加量の上限は、ポリマー100質量部に対し、170質量部が好ましく、140質量部がより好ましく、100質量部がさらに好ましい。グリシジルメタアクリレートの付加量が多過ぎると、樹脂組成物の保存安定性が低下したり、有機溶媒への溶解性が低下することがある。二重結合導入反応は公知の方法が採用でき、希釈剤の存在下または非存在下、メチルハイドロキノンや酸素等の重合禁止剤と、トリエチルアミン、ジメチルベンジルアミン等の3級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2-エチル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール類、トリフェニルホスフィン等のリン化合物、金属の有機酸塩および無機酸塩、キレート化合物等の反応触媒の共存下で、二重結合導入用モノマー例えばグリシジルメタクリレートとマレイミド系ポリマーとを80~130°C程度で反応させればよい。二重結合導入反応が終了すれば、本発明の硬化性樹脂組成物の主成分である硬化性ポリマーが得られる。[硬化性樹脂組成物]本発明の硬化性樹脂組成物には、多官能モノマーが含まれる。硬化性ポリマーと多官能モノマーとで硬化性樹脂を構成する。多官能モノマーの仕様により、光重合の際やポストベークの際に、多官能モノマー同士が、あるいは多官能モノマーと硬化性ポリマー中の二重結合とが反応して、三次元架橋された硬化物が得られる。多官能モノマーの具体例としては、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の多官能芳香族ビニル系モノマー;ジエチレングリコールジメタアクリレート、プロピレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールプロパンジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールジメタアクリレート、ジペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリスヒドロキシエチルイソシアヌレートのトリメタアクリレート等の多官能メタアクリレート類等が挙げられる。なお、弾性回復率の点からは、多官能メタクリレートよりも多官能アクリレートが好ましい。特に、官能基数の多いジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が好ましい。これらの多官能モノマーは、硬化性ポリマーとの合計質量を100質量としたときに、5質量以上が好ましく、10質量以上がより好ましく、15質量以上がさらに好ましく、90質量以下が好ましく、80質量以下がより好ましく、70質量以下がさらに好ましい。多官能モノマー量が上記範囲外の場合、充分な架橋効果が得られず、十分な弾性回復率も得られない可能性がある。本発明の硬化性樹脂組成物には、光重合開始剤が含まれる。上記硬化性ポリマーとの組み合わせにおいては、α-アミノケトン系光重合開始剤が好ましい。弾性回復率が良好になると共に、パターン再現性が改良される。α-アミノケトン系光重合開始剤としては、2-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルホリノ-プロパン-1-オンIRGACURE登録商標907;BASFジャパン社製IRGACUREシリーズは全てBASFジャパン社製;下記構造式1、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-ブタノン-1IRGACURE369;下記構造式2が挙げられる。他の光重合開始剤としては、オキシム系例えば、IRGACUREOXE02;エタノン,1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-0-アセチルオキシム;下記構造式3、α-ヒドロキシケトン系例えば、IRGACURE184;1,2-α-ヒドロキシアルキルフェノン;下記構造式4、IRGACURE2959;1-[4-2-ヒドロキシエトキシ-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン;下記構造式5、IRGACURE127;2-ヒドロキシ-1-{4-[4-2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン;下記構造式6、α-メトキシケトン系IRGACURE651;2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン;下記構造式7;ベンジルジメチルケタールとも言う、フォスフィンオキサイド系IRGACURE819;ビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-フェニル-フォスフィンオキサイド;下記構造式8、チオキサントン系SPEEDCUREDETX;2,4-ジエチルチオキサントン;Lamson社製;下記構造式9、チオエーテル系ESACURE登録商標1001M;1-4-4-ベンゾイルフェニルスルファニルフェニル-2-メチル-2-4-メチルフェニルスルフォニルプロパン-1-オン;Lamberti社製;下記構造式10等が挙げられる。上記の式3~10に代表される公知の光重合開始剤は、基板密着性や硬化性が不足し、パターン再現性にも劣るため、単独使用は不可である。よって、これらの光重合開始剤は、上記のα-メトキシケトン系の光重合開始剤と併用する場合のみ、用いてもよい。光重合開始剤は、硬化性ポリマー、多官能モノマー、および必要に応じて添加されるラジカル重合性オリゴマー後述するの合計100質量部に対して、好ましくは0.1質量部~50質量部、より好ましくは0.5質量部~30質量部である。なお、光重合開始剤に加えて、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンパーオキサイド、ジ-t-ブチルパーオキサイド、ラウリルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t-ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート、t-アミルパーオキシ-2-エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’-アゾビスイソブチロニトリル、1,1’-アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル、2,2’-アゾビス2,4-ジメチルバレロニトリル、ジメチル2,2’-アゾビス2-メチルプロピオネート等のアゾ化合物等の熱重合開始剤を加えても構わない。本発明の硬化性樹脂組成物には、不飽和ポリエステル、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート等のラジカル重合性オリゴマーを添加してもよく、また、エポキシ樹脂等の硬化性樹脂を、必要により硬化剤と共に添加してもよい。本発明の硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、希釈剤としての溶媒を含有するものであってもよい。溶媒としては、硬化性ポリマー、多官能モノマー、必要に応じて用いられるラジカル重合性オリゴマー、および光重合開始剤の各成分を均一に溶解し、かつ各成分と反応しないものであれば、特に制限はない。具体的には、重合溶媒として例示した化合物が挙げられる。溶媒の含有量は、樹脂組成物を使用する際の最適粘度に応じて適宜設定すればよい。本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、さらに、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、染料、顔料、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤、分散剤等の公知の添加剤を含有することができる。本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化性ポリマー、多官能モノマー、光重合開始剤、必要に応じて用いられるラジカル重合性オリゴマー、溶媒やその他の添加物を、均一に混合することによって調製することができる。[硬化物]本発明には、本発明の硬化性樹脂組成物を硬化させて得られる硬化物が含まれる。硬化物を得る方法は特に限定されるものではないが、例えば、柱状スペーサーを得る場合は、本発明の硬化性樹脂組成物を、ガラスや透明プラスチックフィルム等の基板に塗布、乾燥し、塗膜を形成し、次いで、フォトリソグラフィーにより形成することができる。現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができる。アルカリ成分としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が好ましい。アルカリの濃度としては、0.01~5質量が好ましく、0.02~3質量がさらに好ましく、0.03~1質量が最も好ましい。アルカリ濃度が上記範囲より低いと前記硬化性樹脂の溶解性が不足するおそれがあり、逆に高いと溶解力が高すぎて現像性が劣る場合がある。さらに、アルカリ水溶液には、界面活性剤を添加してもよい。フォトリソグラフィーでは、例えば、塗膜から200μm程度の距離にフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナTME-150RNS、TOPCON社製によって30mJ/cm2の強度365nm照度換算で紫外線を照射することにより、硬化性樹脂組成物の塗膜を光硬化させる。紫外線照射後、塗布膜に0.05質量の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で40秒間水洗して現像することにより、硬化物柱状スペーサーを得ることできる。その後、ポストベークを行ってもよい。フォトマスクまでの距離、UV強度、現像条件等は、適宜変更が可能である。硬化物の形状は特に限定されない。例えば、柱状スペーサーの場合は、円柱状、角柱状、円錐台形状テーパ形状、逆円錐台形状逆テーパ形状、角錐台形状等を挙げることができる。また、柱状スペーサーの断面積は、特に限定されるものではないが、例えば1μm2以上が好ましく、2μm2以上がより好ましく、1500μm2以下が好ましく、100μm2以下がより好ましい。また、柱状スペーサーの高さは、液晶セルのセルギャップに応じて適宜設定すればよいが、0.5μm~8μm程度が好ましい。また、本発明の硬化物が柱状スペーサーである場合は、弾性回復率が55以上であることが好ましい。弾性回復率が55以上である柱状スペーサーを用いれば、液晶セルの製造上の問題を解決することができる。以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、実施例および比較例の評価は次のようにして行った。また、以下では、部は質量部を、は質量を意味する。[評価方法]重量平均分子量:MwGPCShodexGPCSystem-21H、ショウデックス社製にてTHFを溶離液とし、カラムにTSKgelSuperHZM-NTOSOH社製を用いて測定し、標準ポリスチレン換算にて算出した。酸価ポリマー溶液を3g程度精秤し、アセトン70部と水30部の混合溶媒に溶解させ、チモールブルーを指示薬として、0.1NのKOH水溶液で滴定した。固形分濃度から、ポリマー1g当たりの酸価を求めたmgKOH/g。[製造例1]モノマー滴下槽に、ベンジルマレイミドBzMI39部、アクリル酸AA97部、ジシクロペンタニルアクリレートDCPA8部、メチルアクリレートMA39部、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエートパーブチル登録商標O、日油製;PBO5.2部、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートPGMEA110部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルPGME47部をよく攪拌混合したものを投入した。また、連鎖移動剤滴下槽に、n-ドデシルメルカプタンnDM3.9部、PGMEA48部およびPGME20部をよく攪拌混合したものを投入した。反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA270部とPGME115部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90°Cまで昇温した。反応槽の温度が90°Cに安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から、各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90°Cに保ちながら、それぞれ180分かけて行った。滴下が終了してから30分後に、PBOを1.3部追加した。さらに30分後に昇温を開始して反応槽内部を115°Cにした。1.5時間115°Cを維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95v/v混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、グリシジルメタクリレートGMA128部、重合禁止剤としてトパノール6-tert-ブチル-2,4-キシレノール;東京化成工業社製0.6部、触媒としてジメチルベンジルアミンDMBA1.2部を仕込み、110°Cで1時間、115°Cで7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-1を得た。ポリマーの重量平均分子量Mwは15200、酸価は80mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[製造例2]BzMIを78部、MAを0部とした以外は、製造例1と同様の方法で合成を行い、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-2を得た。ポリマーのMwは12800、酸価は77mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[製造例3]AAを111部、MAを25部とした以外は、製造例1と同様の方法で合成を行い、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-3を得た。ポリマーのMwは17800、酸価は105mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[製造例4]DCPAを124部、MAを0部とした以外は、製造例1と同様の方法で合成を行い、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-4を得た。ポリマーのMwは13600、酸価は81mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[製造例5]DCPAの代わりに、ベンジルアクリレートBzAを用いた以外は製造例1と同様の方法で合成を行い、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-5を得た。ポリマーのMwは15000、酸価は76mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[製造例6]モノマー滴下槽1に、BzMI39部、AA97部、PBO5.2部、PGMEA110部およびPGME47部をよく攪拌混合したものを投入した。また、モノマー滴下槽2にビニルトルエンVT124部を準備し、連鎖移動剤滴下槽に、nDM7.8部、PGMEA48部およびPGME20部をよく攪拌混合したものを投入した。反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA199部とPGME85部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90°Cまで昇温した。反応槽の温度が90°Cに安定した後、モノマー滴下槽1,2および連鎖移動剤滴下槽から各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90°Cに保ちながら、それぞれ240分かけて行った。滴下が終了してから30分後に、PBOを1.3部追加した。さらに30分後に昇温を開始して反応槽内部を115°Cにした。1.5時間115°Cを維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95v/v混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA128部、重合禁止剤として2,2’-メチレンビス4-メチル-6-t-ブチルフェノール商品名アンテージW400、川口化学工業社製0.6部、触媒としてトリエチルアミンTEA1.7部を仕込み、110°Cで1時間、115°Cで7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-6を得た。ポリマーのMwは13700、酸価は80mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[製造例7]VTを104部、AAの代わりにメタクリル酸MAA117部を用いた以外は製造例6と同様の方法で合成を行い、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-7を得た。ポリマーのMwは11900、酸価は79mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[製造例8]モノマー滴下槽に、BzMI39部、MAA117部、ベンジルメタクリレートBzMA85部、メチルメタクリレートMMA19部、PBO5.2部、PGMEA110部およびPGME47部をよく攪拌混合したものを準備し、連鎖移動剤滴下槽に、nDM3.9部、PGMEA48部およびPGME20部をよく攪拌混合したものを準備した。反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備し、この反応槽に、PGMEA270部とPGME115部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90°Cまで昇温した。反応槽の温度が90°Cに安定した後、モノマー滴下槽および連鎖移動剤滴下槽から各成分の滴下を開始した。滴下は、フラスコ内温を90°Cに保ちながら、それぞれ180分かけて行った。滴下が終了してから30分後に、PBOを1.3部追加した。さらに30分後に昇温を開始して反応槽内部を115°Cにした。1.5時間115°Cを維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=5/95v/v混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA128部、重合禁止剤として前記トパノール0.6部、触媒としてDMBA1.2部を仕込み、110°Cで1時間、115°Cで7時間反応させた。その後、室温まで冷却し、濃度が38の硬化性ポリマー溶液A-8を得た。ポリマーのMwは13400、酸価は77mgKOH/gであった。ポリマーの組成等を表1に示した。[実施例1~3および比較例1~8]製造例1で得られたポリマー溶液A-1、多官能モノマーとしてペンタエリスリトールテトラアクリレートPETA;共栄社化学社製、および各種光重合開始剤を表2の組成で混合し、固形分濃度が35になるようにPGMEAを加えて溶解した後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで濾過して、種々の樹脂組成物を調製した。ネガ型レジストの現像性評価各硬化性樹脂組成物を、10cm角のガラス基板上にスピンコータにより塗布し、オーブンで80°Cで3分間乾燥した。乾燥後、塗布膜厚さ約4μmから100μmの距離のところにフォトマスクパターンを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナTME-150RNS、TOPCON社製によって50mJ/cm2の強度365nm照度換算で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗布膜に0.05の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて40秒間散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像した。密着性:8μmφパターンフォトマスクを用いて、露光、アルカリ現像を行った後に、得られた硬化物柱状体に欠損があるかないかをレーザー顕微鏡VK-9700、キーエンス社製で観察した。欠損なしを○、一部欠損ありを△、全欠損硬化物が残存していないを×として、評価した。評価結果を表2に示した。パターン再現性硬化物の直径:8μmφパターンフォトマスクを用いて、露光、アルカリ現像を行った後、ホットプレートで230°Cで30分間加熱ポストベークし、得られた硬化物柱状体の直径および高さを、上記レーザー顕微鏡を用いて測定した。評価結果を表2に示した。なお、用いた光重合開始剤は、以下の通りである。構造およびメーカーは上述のとおりである。IRGACURE907:2-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルホリノ-プロパン-1-オンIRGACURE369:2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルホリノフェニル-ブタノン-1IRGACUREOXE02:エタノン,1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-0-アセチルオキシムIRGACURE127:2-ヒドロキシ-1-{4-[4-2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オンIRGACURE184:1,2-α-ヒドロキシアルキルフェノンIRGACURE2959:1-[4-2-ヒドロキシエトキシ-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オンIRGACURE651:2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オンIRGACURE819:ビス2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイドEsacure1001M:1-4-4-ベンゾイルフェニルスルファニルフェニル-2-メチル-2-4-メチルフェニルスルフォニルプロパン-1-オンSpeedcureDETX:2,4-ジエチルチオキサントン表2から、α-アミノケトン系以外の光重合開始剤では、硬化が不充分でアルカリに溶解してしまうか、あるいは径の大きな硬化物しか得られないことが分かる。[実施例4~9および比較例9~10]各製造例で得られたポリマー溶液A-1~A-8、PETA、および光重合開始剤としてIRGACURE907を表3の組成で混合し、固形分濃度が35になるようにPGMEAを加えて溶解した後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで濾過して、樹脂組成物を調製した。実施例1のときと同様にして、現像性密着性と硬化物の形状を評価し、表3に示した。また、圧縮率と弾性回復率は下記のようにして評価した。圧縮特性上記で得られたポストベーク後の硬化物について、微小圧縮試験機MOTW-500、島津製作所社製を用い、直径50μmの平面圧子により、負荷速度および除荷速度をともに0.26gf/秒として、8.16gfまでの荷重を負荷したのち除荷して、負荷時の荷重-変形量曲線および除荷時の荷重-変形量曲線を作成した。このとき、負荷時の荷重8.16gfでの変形量をL1、除荷時の荷重0.05gfでの変形量をL2として、下記式により、圧縮率弾性回復率を算出した。評価結果を表3に示した。圧縮率=L1×100/硬化物高さ3.6μm弾性回復率=L1-L2×100/L1表3より、本発明の硬化性樹脂組成物はいずれも、メタクリル酸やメタクリル酸エステルを用いた比較例に比べて、弾性回復率が大きくなっていることがわかった。"