溶接により生ずるヒュームを吸引して前記ヒュームを捕集するデミスタ構造を有する第一のフィルタと、前記第一のフィルタを通過した前記ヒュームを捕集する、繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有した第二のフィルタと、前記第一のフィルタと前記第二のフィルタとの間に配設される斜流羽根車を有する送風ファンと、を備えていることを特徴とする空気清浄装置。前記第二のフィルタを通過した前記ヒュームを捕集する、繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有し、前記第二のフィルタより通過粒子径が小さく形成された第三のフィルタを備えていることを特徴とする請求項1記載の空気清浄装置。前記第二のフィルタの排気側には、箱状のフィルタチャンバが配設され、前記第三のフィルタは、前記フィルタチャンバに形成された複数の排気口に配設されていることを特徴とする請求項2記載の空気清浄装置。請求項1、2、又は3のいずれか一項に記載の空気清浄装置と、前記空気清浄装置と連結する排気口を有した箱状の移動式作業ボックスと、を備えていることを特徴とする空気清浄システム。しかし、上記特許文献1の溶接ヒューム回収装置では、ブロアをプレフィルタ及びメインフィルタの後ろ側に配置するとともに、フィルタに付着するヒュームを払い落すため、パージガス供給口側でシールドガスボンベを接続させなければならず、装置が大型化するという問題があった。また、特許文献2の溶接ヒューム回収装置では、伸縮フレキシブル排気ダクトが、工場内の天井等に懸架されるとともに、溶接装置は軌道上を移動するのみであるので、工場内のレイアウト変更が困難であった。本発明は、上記事情に鑑み、装置を小型化して工場内のレイアウトを自由に変更することができる空気清浄装置及び空気清浄システムを提供するものである。請求項1記載の発明では、溶接により生ずるヒュームを吸引してヒュームを捕集するデミスタ構造を有する第一のフィルタと、第一のフィルタを通過したヒュームを捕集する、繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有した第二のフィルタと、第一のフィルタと第二のフィルタとの間に配設される斜流羽根車を有する送風ファンと、を備えている。これにより、デッドスペースとなっていた第一のフィルタと第二のフィルタとの間に送風ファンを配設することで、効率よく機材を配置し無駄なスペースを省けるので、空気清浄装置全体を小型化して工場内のレイアウトを自由に変更することができる。また、細い金属線をメリヤス状に編みこんだデミスタ構造を有する第一のフィルタにより、火災の原因となるスパッタや粗大な粉じんを捕集したのち、補修しきれなかったヒュームは、斜流羽根車を有する送風ファンでファンの軸方向に対して斜めの方向に送られる。そして、送られたヒュームは繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有した第二のフィルタの厚さ方向に対して斜めに通過することになり、ヒュームが第二のフィルタを通過する距離が長くなり、ヒュームの捕集効率を高めることができる。請求項2記載の発明のように、第二のフィルタを通過したヒュームを捕集する、繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有し、第二のフィルタより通過粒子径を小さく形成した第三のフィルタを備えるようにすれば、さらに、ヒュームの捕集効果を高くすることができる。請求項3記載の発明のように、第二のフィルタの排気側に、箱状のフィルタチャンバを配設して、第三のフィルタを、フィルタチャンバに形成された複数の排気口に配設すれば、フィルタチャンバ内においてヒュームの重力沈降による捕集効果が期待できるとともに、排気面積が増えて第三のフィルタにかかる圧力を軽減することができ、第三のフィルタの交換寿命をのばすことができる。請求項4記載の発明では、請求項1、2、又は3のいずれか一項に記載の空気清浄装置と、空気清浄装置と連結する排気口を有した箱状の移動式作業ボックスと、を備える空気清浄システムとすることで、排気ダクトの改修工事が不要になり工場内のレイアウトを自由に変更することができる。本発明では、空気清浄装置及び空気清浄システムを小型化して工場内のレイアウトを自由に変更することができる。本願発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。空気清浄システムAWは、図1、2に示すように、空気清浄装置1と、空気清浄装置1と連結する排気口101aを有した箱状の移動式作業ボックス100と、後述する送風ファン4を作動制御する制御手段14図2においては、省略してある。と、を備えている。空気清浄装置1は、移動式作業ボックス100の上面に支持台13を介して配設され、溶接により生ずるヒュームを吸引してヒュームを捕集するデミスタ構造を有する第一のフィルタ2と、第一のフィルタ2を通過したヒュームを捕集する第一のフィルタ2より平均捕集効率が高く繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有した第二のフィルタ3と、第一のフィルタ2と第二のフィルタ3との間に配設される斜流羽根車41を有する送風ファン4と、第二のフィルタ3を通過したヒュームを捕集する第二のフィルタ3より平均捕集効率が高く繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有した第三のフィルタ5と、第二のフィルタ3の排気側において第三のフィルタ5が配設される箱状のフィルタチャンバ6と、を備えている。ここで、平均捕集効率とは、JIS9908形式3の質量法に基づいて各風速における平均粒子捕集率をいう。粒子捕集率の測定はJISB9908では、試験用ダスト15種を用い、粉じん濃度は70±30mg/m3で供給され、測定対象のフィルタユニットに捕集されずに通過した試験用ダストを通過粉じん捕集フィルタで捕集してその質量を計測して行なう。粒子捕集率は一般に次式によって求められる。η=1-Wp/Wf×100η:フィルタユニットの粒子捕集率Wf:供給した粉じんの質量gWp:通過粉じん捕集フィルタに捕集された粉じんの質量g移動式作業ボックス100は、上面壁101と、前面壁102と、後面壁103と、左面壁104と、右面壁105と、底部枠106と、を有している。なお、図1においては、上面壁101、前面壁102、後面壁103、左面壁104、右面壁105を作図の関係上省略して対応する部分を破線の引き出し線で示すことにする。上面壁101には、溶接により生ずるヒュームが排出される排気口101aが設けられている。排気口101aを底部枠106側から覆うように金属製の防火板15図1では省略してあるが、配設されている。前面壁102には、作業時にワークを搬入搬出する図示しない開口部と、開口部を開閉自在な図示しない遮光シャッタが設けられている。底部枠106は、格子枠状に形成され、底部枠106の下面には、キャスタ106aが四隅部分に配設されている。底部枠106の上面の中央部には、溶接ユニットベース107が配設され、溶接ユニットベース107上に、溶接ロボット7が設置され、溶接ロボット7の前面壁102側に溶接用治具8が設置されている。底部枠106の右面壁105及び後面壁103との近傍部分には、溶接電源9が設置され、その隣にロボット制御盤10が設置されている。なお、図2においては、溶接ロボット7、溶接用治具8、溶接電源9、ロボット制御盤10は省略してある。後面壁103の外側には、インバータ11が配設されている。空気清浄装置1は、上面壁101の排気口101aから延設された排気ダクト12によって、移動式作業ボックス100と連結されている。第一のフィルタ2は、アルミニウムで形成され風速2.5m/secにおいて初期圧力損失33Pa、平均捕集効率が32のデミスタフィルタが用いられている。なお、細い金属線をメリヤス状に編みこんだものをデミスタという。第二のフィルタ3は、モダアクリル及びポリアミドで形成され繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有し、風速2.5m/secにおいて初期圧力損失35Pa、平均捕集効率が74のフィレドン登録商標フィルタが用いられている。送風ファン4は、斜流羽根車41を有して略円筒状に形成され第一のフィルタ2側に吸気口42を、第二のフィルタ3側に排気口43を有している。なお、送風ファン4は、通過風速が風速2.0m/secとなるように作動する。第三のフィルタ5は、モダアクリル、ポリエチレン及びポリアミドで形成され繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有し、風速2.5m/secにおいて初期圧力損失78Pa、平均捕集効率が85のフィレドンフィルタが用いられている。第三のフィルタ5の通過粒子径は2μm以下に形成されている。箱状のフィルタチャンバ6は、第二のフィルタ3の排気側に配設されている。フィルタチャンバ6は、矩形箱状に形成され第二のフィルタ3と対向する側にヒュームを取り入れる吸気口61が配設され、吸気口61と対向する面と、平面視において吸気口61に直交する面とに、排気口62がそれぞれ配設されている。第三のフィルタ5は、フィルタチャンバ6に形成された複数の排気口62にそれぞれ配設されている。制御手段14は、溶接ロボット7に放電電力を供給する溶接電源9と、送風ファン4の作動制御を行なうインバータ11と、溶接ロボット7、溶接電源9及びインバータ11の作動制御を行なうロボット制御盤10と、を有している。ロボット制御盤10は、溶接ロボット7及び溶接電源9に接続されるとともに、インバータ11にも接続されている。インバータ11は、送風ファン4に接続されている。空気清浄システムAWの機能作用について説明する。空気清浄システムAWでは、ロボット制御盤10から溶接ロボット7に溶接作業にかかる信号を送った時に時間差を設けてインバータ11にも送風ファン4を作動停止させるシーケンス制御を行う。溶接ロボット7が溶接作業開始時から30秒経過後に送風ファン4を作動させる。上面壁101の排気口101aから吸引されたヒュームは、排気ダクト12内を通り第一のフィルタ2において、5~10μm以上の粒子は、障害物であるデミスタフィルタに慣性力で気流の流線から外れて衝突捕集されるこれを慣性衝突という。また、1~5μmの粒子は、デミスタフィルタのすぐ近くの気流の流線に乗り接触捕集されるこれを遮断という。第一のフィルタ2は、90以上の空間率を有しているので初期圧力損失が少なく送風ファン4の作動に負担をかけない。第一のフィルタ2の段階でヒュームは、総質量の32程度捕集されることになる。第一のフィルタ2を通過したヒュームは、第二のフィルタ3において、第一のフィルタ2の慣性衝突及び遮断効果に加えて0.1~0.5μmの粒子は気体分子と衝突し気流の流線とは関係なく不規則な運動をして捕集されるこれをブラウン拡散という。また、送風ファン4の斜流羽根車41により回転軸方向に対して斜め方向に風が送られるため、第二のフィルタ3をヒュームは斜めに通過することになり通過距離が長くなるので第二のフィルタ3の捕集効果が高くなる。よって、第二のフィルタ3を通過した段階で、第一のフィルタ2を通過したヒュームの74程度が捕集されることになる。第二のフィルタ3を通過したヒュームは、フィルタチャンバ6の内部空間において、一部は重力で沈降、堆積する。第三のフィルタ5による圧力損失によりフィルタチャンバ6の内部空間での通過風速が遅くなるので25μm以下の粒子は、空間を通過する過程で静電気を帯び、電気的に第三のフィルタ5に付着する。また、通過粒子径が2μm以下に制限され繊維間隔よりも大きい粒子が捕集される。よって、第三のフィルタ5を通過した段階で、第二のフィルタ3を通過したヒュームの85程度が捕集されることになる。溶接作業終了後30秒後に送風ファン4を停止させる。上記の各構成の複合的な機能作用により、空気を清浄し作業環境を良好に保つことができる。空気清浄システムAWでは、空気清浄装置1を、溶接により生ずるヒュームを吸引してヒュームを捕集するデミスタ構造を有する第一のフィルタ2と、第一のフィルタ2を通過したヒュームを捕集する第一のフィルタ2より平均捕集効率が高いフィレドン構造を有した第二のフィルタ3と、第一のフィルタ2と第二のフィルタ3との間に配設される斜流羽根車41を有する送風ファン4と、を備える構成にしている。これにより、デッドスペースとなっていた第一のフィルタ2と第二のフィルタ3との間に送風ファン4を配設することで、効率よく機材を配置し無駄なスペースを省けるので、空気清浄装置1全体を小型化して工場内のレイアウトを自由に変更することができる。また、細い金属線をメリヤス状に編みこんだデミスタ構造を有する第一のフィルタ2により、火災の原因となるスパッタや粗大な粉じんを捕集したのち、補修しきれなかったヒュームは、送風ファン4の斜流羽根車41でファンの軸方向に対して斜めの方向に送られる。そして、送られたヒュームは第一のフィルタ2より平均捕集効率が高く繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有した第二のフィルタ3の厚さ方向に対して斜めに通過することになり、ヒュームが第二のフィルタ3を通過する距離が長くなり、ヒュームの捕集効率を高めることができる。また、第二のフィルタ3を通過したヒュームを捕集する、第二のフィルタ3より平均捕集効率が高く通過粒子径が2μm以下に形成され、繊維間が完全接着された無方向性の繊維集合構造を有した第三のフィルタ5を備えているので、粒子径が2μm以上のヒュームは通過することができなくなる。よって、ヒュームの捕集効果を高くすることができる。また、第二のフィルタ3の排気側に、箱状のフィルタチャンバ6を配設して、第三のフィルタ5を、フィルタチャンバ6に形成された複数の排気口62に配設しているので、フィルタチャンバ6内においてヒュームの重力沈降による捕集効果が期待できるとともに、排気面積が増えて第三のフィルタ5にかかる圧力を軽減することができ、第三のフィルタ5の交換寿命をのばすことができる。また、空気清浄装置1と、空気清浄装置1と連結する排気口101aを有した箱状の移動式作業ボックス100と、を備える空気清浄システムAWとすることで、従来行っていた排気ダクトの改修工事が不要になり工場内のレイアウトを自由に変更することができる。また、溶接ロボット7の溶接作業開始時から30秒経過後に送風ファン4を作動させ、溶接作業終了後30秒後に送風ファン4を停止させるようしているので、ヒュームが大量に発生する時に送風ファン4を作動させることになり、第一のフィルタ2、第二のフィルタ3及び第三のフィルタ5の交換時期をのばすことができる。なお、送風ファン4の性能を確保するため、上面壁101の排気口101aから延設された排気ダクト12の第一のフィルタ2側の端部には直線部分を形成しておくのが望ましい。また、フィルタチャンバ6の排気口62の数は、上記のものにこだわらない。費用対効果を考慮して、フィルタチャンバ6の吸気口61を有する面以外のすべての面に設けてもよいし、二か所だけにしてもよい。図3では、従来から実施されている方法で空気の清浄を行なった状態での管理区分の結果を表し、E工程乃至M工程の各工程に溶接装置が配置され、各溶接装置に対して排気ダクトが配設され、各排気ダクトがメインダクトに連結され、メインダクトから工場外に配管されている。図4では、本願発明の空気清浄システムで空気の清浄を行なった状態での管理区分の結果を表し、A工程乃至D工程の各工程に溶接装置が配置されるとともに、空気清浄システムAWが設置されている。上記管理区分の結果は、労働安全衛生法65条に規定する作業環境測定に基づき、遊離ケイ酸含有率を計測して行われ、遊離ケイ酸含有率は、堆積粉じんを再発じん法による試料調整を行い、X線回折法により求められる。以下に図3、4の表の語句について説明する。単位作業場所は、作業場の区域内の労働者の作業中の行動範囲、有害因子の分布の状況に基づき定められる、作業環境測定のために必要な区域のことで、作業環境測定の結果が及ぶ範囲をいう。A測定は、単位作業場所における気中有害物質等の有害物質等の分布、そのばらつき等を把握するために行なう測定をいう。B測定は、A測定の結果を評価するだけでは、労働者への有害因子の大きなばく露の危険性を見逃すおそれがあると考えられる作業が存在する場合に、A測定を補完するために行なう測定で、有害因子の発散が最も大きいと考えられる時間、場所で行う測定をいう。B測定での測定値はCBで表わされる。幾何平均値Mは、単位作業場所で実際に測定したデータをもとに統計処理により求めた平均値で、気中有害物質の濃度を表す数値をいう。幾何標準偏差σは、単位作業場所で実際に測定したデータをもとに統計処理により求めた気中有害物質のばらつきを表す数値をいう。第1評価値EA1は、単位作業場所において考えうるすべての測定点の作業時間における気中有害物質の濃度の実現値のうち、高濃度側から5に相当する濃度の推定値をいう。第2評価値EA2は、単位作業場所における気中有害物質の算術平均濃度の推定値をいう。管理濃度Eは、作業環境測定の結果から作業環境の状態を評価するときの基準となる濃度をいう。管理濃度E=3.0mg/m2は次式によって求められる。E=3.0/1.19Q1Q=当該粉じんの遊離ケイ酸含有率図3、4の表においては、粉じんの遊離ケイ酸含有率が0として設定されていることになる。管理区分は、気中有害物質の測定結果から作業環境管理の状態を評価するときの区分で3つの区分に分けられる。第1管理区分を1、第2管理区分を2、第3管理区分を3で表わす。第1管理区分は、第1評価値EA1及びB測定での測定値CBが、管理濃度Eに満たない場合で、作業環境管理が適切であると判断される状態をいう。第2管理区分は、第1管理区分又は、第3管理区分のいずれにも該当しない場合で、作業環境管理になお改善の余地があると判断される状態をいう。第3管理区分は、第2評価値EA2が、管理濃度Eを超えるか、B測定での測定値CBが管理濃度Eの1.5倍を超える場合で、作業環境管理が不適切であると判断される状態をいう。図4に示すように、本願発明においては、A工程での第1評価値EAが2.37及びB測定での測定値CBが1.13、B工程での第1評価値EAが1.67及びB測定での測定値CBが0.54、C工程での第1評価値EAが0.92及びB測定での測定値CBが0.84、D工程での第1評価値EAが0.74及びB測定での測定値CBが0.52であり、第1評価値EA1及びB測定での測定値CBが、いずれも管理濃度E3.00に満たないので、第1管理区分と判断され、作業環境管理が適切であるといえる。また、図3に示された、従来の工場にダクトを設置して空気を清浄している場合のE工程乃至M工程の各工程では、いずれも第1管理区分であるが、E工程乃至M工程の各工程に溶接装置が配置され、溶接装置に対して排気ダクトが配設され、各排気ダクトがメインダクトに連結され、メインダクトから工場外に配管されているので、工場内のレイアウト変更は、容易ではない。それに対して本願発明の空気清浄システムAWでは、小型で移動可能であるので、同じ第1管理区分であっても工場内のレイアウトは自由に行なうことができ、工場内のレイアウト変更による操業停止時間を短縮できる。また、スパッタによりヒュームが発火する火災が発生しても、A工程乃至D工程の各工程に設置された空気清浄システムAWごとに対応すればよくなりトラブルに対するリスクを減らすことができ、多大なメリットがあるといえる。