第1の物体と第2のパネル形物体とを、相互に対向する結合面で結合し、第2の物体を少なくとも1方向の縁部を越えて突出させる、結合方法において、少なくとも1つの前記結合面上に、複数のスペーサを形成し、前記スペーサの間にある中間領域、および、外側のスペーサから第1の物体の縁部に形成される接着剤の外面まで、接着剤を塗布し、さらに、前記結合面を前記スペーサに接触させた状態で前記物体を結合し、前記接着剤の外面と、最外側のスペーサとの間の所定の距離を設定することにより、塗布した前記接着剤の収縮後にパネル形物体を所望の変形状態にし、とりわけパネル形物体の撓みを最小化させる、方法。請求項1記載の方法において、前記接着剤の外面と最外側のスペーサとの間の所定の距離を20μm~250μm、好ましくは30μm~200μm、特に好ましくは40μm~150μmとする、方法。請求項1又は2記載の方法において、前記スペーサを相互に距離で配置し、該距離Lは03mmより大きく、好ましくは1mmより大きく、特に好ましくは5mmより大きいものとする、方法。請求項1~3の何れか一項に記載の方法において、前記パネル形物体の厚さを5mm以下、好ましくは2mm以下、特に好ましくは1mm以下とする、方法。請求項1~4の何れか一項に記載の方法において、前記パネル形物体の弾性係数と前記接着剤の弾性係数との比率を5~300とし、好ましくは10~200とする、方法。請求項1~5の何れか一項に記載の方法において、前記接着剤の収縮率を01~5、好ましくは2~4、特に好ましくは25~35とする、方法。請求項1~6の何れか一項に記載の方法において、前記接着剤は、2液型接着剤で具体的にはエポキシ接着剤と、1液型接着剤で具体的にはUV硬化型接着剤とを含む一群の中から選択されるものとする、方法。請求項1~7の何れか一項に記載の方法において、前記接着剤の動粘性係数を5000mPas未満、好ましくは3000mPas未満、特に好ましくは2500mPas未満とする、方法。請求項1~8の何れか一項に記載の方法において、前記スペーサを微細位置決めによって充填材として形成して前記結合面上に配置し、または突起として、前記結合面の微細構造化によって形成する、方法。請求項1~9の何れか一項に記載の方法において、前記充填材または前記突起の最大幅bを、250μm未満、より好ましくは100μm未満とする、方法。請求項1~10の何れか一項に記載の方法において、結合される物体が、位置決めテーブル、特にはマイクロリソグラフィ用のウエハステージまたはレチクルステージの一部として形成されるものとする、方法。複合体1であって、第1の物体2と、少なくとも1方向Xに、第1の物体2の縁部を越えて突出する第2のパネル形物体3とを備えた複合体1において、前記第1の物体2および前記第2の物体3は、相互に対向する結合面2a3aで接着剤5によって互いに結合し、少なくとも前記結合面2a3aの一方が複数のスペーサを有し、スペーサの間にある中間領域、および外側のスペーサから第1の物体2の縁部に形成される接着剤の外面5aまで前記接着剤を塗布し、前記接着剤の外面5aと前記外側のスペーサとの間の距離dを、20μm~250μm、好ましくは30μm~200μm、特に好ましくは40μm~100μmとし、塗布した接着剤の収縮後におけるパネル形物体3の変形を所望の状態に設定し、前記所望の状態を、特に前記パネル形物体3の撓みを最小化した状態とした、複合体。請求項12記載の複合体において、前記スペーサは互いに距離Lで配置され、該距離Lは03mmより大きく、好ましくは1mmより大きく、特に好ましくは5mmより大きいものとした、複合体。請求項12又は13記載の複合体において、前記パネル形物体3の厚さPを5mm以下、好ましくは2mm以下、特に好ましくは1mm以下とした、複合体。請求項12~14の何れか一項に記載の複合体において、前記パネル形物体の弾性係数と前記接着剤の弾性係数との比率を5~300とし、好ましくは10~200とした、複合体。請求項12~15の何れか一項に記載の複合体において、前記スペーサは充填材によって形成され、前記結合面2a上に配置されるものとした、複合体。請求項12~16の何れか一項に記載の複合体において、前記スペーサは、微細構造化された結合面2aにおいて、突起として形成されるものとした、複合体。請求項16および17の何れか一項に記載の複合体において、前記充填材または前記突起の最大幅bを、250μm未満、より好ましくは100μm未満とした、複合体。請求項12~18の何れか一項に記載の複合体において、1つの前記物体3の結合面3aを平坦面とした、複合体。請求項12~19の何れか一項に記載の複合体において、前記接着剤5の収縮率を01~5、好ましくは2~4、特に好ましくは25~35とした、複合体。請求項12~20の何れか一項に記載の複合体において、前記接着剤5の動粘性係数を5000mPas未満、好ましくは3000mPas未満、特に好ましくは2500mPas未満とした、複合体。請求項12~21の何れか一項に記載の複合体において、前記接着剤5は、2液型接着剤で具体的にはエポキシ接着剤と、1液型接着剤で具体的にはUV硬化型接着剤とを含む一群の中から選択されるものとした、複合体。請求項12~22の何れか一項に記載の複合体において、位置決めテーブル、特に好ましくはマイクロリソグラフィ用のウエハステージまたはレチクルステージの一部として形成されるものとした、複合体。本発明の目的は、物体を結合する方法及び、先に言及した種類の複合体を開発することであり、特に接着剤の収縮に起因する変形を減少させ、または最小化することによって、用いた接着剤の収縮後におけるパネル形物体の所望の変形状態を実現させるものである。この目的は、本発明の一態様によれば、第1の物体と、少なくとも1つのパネル形の第2の物体とを、相互に対向する結合面で結合する方法により達成され、この場合において第2の物体は第1の物体の縁部を越えて少なくとも1方向に突出する。その方法は、少なくとも1つの結合面上に、複数のスペーサを備え、前記スペーサの間にある中間領域、および、外側のスペーサから第1の物体の縁部に形成される接着剤の外面まで、接着剤を塗布し、さらに、前記結合面を前記スペーサに接触させた状態で前記物体を結合し、前記接着剤の外面と外側のスペーサとの間の所定の距離0以外を設定することにより、塗布した前記接着剤の収縮後に、パネル形物体を所望の変形状態にし、とりわけパネル形物体の撓みを最小化させることを含む方法である。発明者らは、物体間の接着剤部分に、スペーサを意図的に配置することにより、接着結合に係る薄いパネル形物体の変形、特に撓みを減少させ、または最小化することができることを発見した。特に薄い物体の正方向又は負方向の撓みに関係するのは、接着剤の外面から接着剤の外面に隣接する最外側のスペーサが配置される位置までの距離である。最外側のスペーサが、接着剤の外面から大きく離れた位置に配置されると、第1方向正方向の撓みが得られるのに対して、最外側のスペーサが接着剤の外面に充分に近い位置に配置されると反対の方向負方向に撓む。接着剤の外面から最外側のスペーサまでの距離を適切に選択することによって、従って、正方向の撓みと負方向の撓みをどちらもなくすことができ、変形または撓みを最小化することができる。接着剤の外面は、一般的に、通常固体の第1の物体上に形成される縁部と同一平面となるように終端する。ここで固体物は、充分な厚さを有するために、接着剤の収縮によってほとんど、または極めてわずかしか撓まない物体とすることができる。言うまでもなく、接着剤の収縮後に、パネル形物体が変形する、または撓むことが好ましい場合もありうる。すなわち、パネル形物体の所望の状態が、撓みが最小の状態とは異なることもある。本発明の一例において、接着剤の外面からの最外側のスペーサの距離は20μm~250μm、好ましくは30μm~200μm、特に好ましくは40μm~150μmである。この距離の値が上記の範囲内にあることによって、最も標準的な接着剤の場合にパネル形物体の変形が最小となる、または少なくとも大きく減少することを、シミュレーションを用いて示すことができる。本発明のさらなる一例において、配置されるスペーサ相互間の距離は、03mmより大きく、好ましくは1mmより大きく、特に好ましくは5mmより大きい。ここで、隣接するスペーサ間の距離および最外側のスペーサと接着剤の外面との距離は通常、スペーサの中央に定められる支持位置を基準として測定され、対向する結合面上の各スペーサを支持する役割をする。スペーサ間の距離は、一定で比較的大きいことが好ましい。言うまでもなく、最外側のスペーサと接着剤の外面との間の距離には、これは適用せず、上記の説明は、接着剤の収縮率に従って適用される。本発明のさらなる一例において、パネル形物体の厚さは5mm以下、好ましくは2mm以下、特に好ましくは1mm以下で選択される。パネル形物体がより大きな厚みを有する場合には、概して撓みが非常に小さくなることが予想されるため、この場合、最外側のスペーサと接着剤の外面との距離の設定は、重要でないといえる。本発明のさらなる一例において、パネル形物体の弾性係数と接着剤の弾性係数との比率を5~300とし、好ましくは10~200とする。比率がこのような桁数となるのは、特にウエハホルダまたはウエハステージの用途において、パネル形物体として金属材料が使用される場合が代表的である。用いられる材料の種類に従い、スペーサの剛性は、約500Nmm~約1000万Nmmの広い範囲の中で変化しうる。スペーサが直径約01mmのガラスビーズの形であるとき、剛性は概して約5000Nmm~約10000Nmmの間である。本発明の一例において、接着剤の収縮率は、01~5、好ましくは2~4、特に好ましくは25~35である。通例の接着剤の、硬化および/または乾燥による収縮率容量においての値はこの範囲内にある。例えば、エポキシ樹脂を主成分とした接着剤の収縮率は、概して約3である。本発明のさらなる一例において、接着剤は、2液型接着剤で具体的にはエポキシ接着剤と、1液型接着剤で具体的にはUV硬化型接着剤とを含む一群の中から選択される。2液型接着剤は一般的に、樹脂例えばエポキシ樹脂および硬化剤からなる。いわゆるエポキシ基をもつポリマーモジュールが、エポキシ樹脂として使用される。言うまでもなく、さらに他の化学的に硬化する接着剤を使用してもよい。あるいは、例えば紫外線によってラジカル重合することで硬化して、固体ポリマーを形成する、例えばアクリル樹脂を主成分とする1液型接着剤もまた、使用することができる。接着剤は当然、接着結合する材料の種類に従って選択する。第1の物体が機器例えばモータホルダ、または同様のものである場合、外側のケースはステージ材料上に接着剤で取付けられた通常は金属からなり、例えばコーディエライトまたはZerodur登録商標である。本発明のさらなる一例において、接着剤の動粘性係数が5000mPas未満、好ましくは3000mPas未満、特に好ましくは2500mPas未満である。これは、接着剤がスペーサの上ではなくスペーサの間で付着することを意図しており、スペーサの上部領域で2つの物体が一方が他方に対して直接、接するうえで有効である。当然ながらこのことは、特に大量の接着剤がスペーサの上側に付着する場合や、あるいは結合面の微細構造化によって形成されたスペーサの場合において、要求されることがある。本発明のさらなる一例においてスペーサは、微細位置決めによって結合面に配置される充填材として形成され、またはスペーサは、結合面の微細構造化によって形成される突起として形成される。第1の場合において、スペーサは例えばガラスの物体として形成され、ロボットを用いて自動的に微細位置決め配置される。第2の場合において、結合面は、スペーサ間の中間領域の材料を除去することで、適切に前処理されることができる。材料の除去は、例えば、エッチングマスクを使用する結合面の領域内で物体の表面をエッチングすることによって、または機械的な方法によって行われることができる。スペーサの最大幅は、概して250μm未満、より好ましくは100μm未満である。スペーサは特に角錐または円錐の形状とすることができ、この場合スペーサの最大幅は、底部に沿って測定される。スペーサはさらに充填材として、ビーズの形で例えばガラスビーズの形で形成されることができる。この場合、ビーズの直径がスペーサの最大幅を定める。本発明のさらなる一例において、結合される物体は位置決めテーブル特にマイクロリソグラフィ用のウエハステージまたはレチクルマスクステージの一部として形成される。上述したように、固体の機器が、位置決めテーブルのパネルの形の壁に取付けられることができ、またはパネルのような付加部分が例えばスケールの形で位置決めテーブルの固体の部分に取付けられることができる。本発明はさらに、第1の物体と、少なくとも1方向に、第1の物体の縁部を越えて突出する第2のパネル形物体とを備えた複合体において、第1の物体および第2の物体は、相互に対向する結合面で接着剤によって互いに結合し、少なくとも前記結合面の一方が複数のスペーサを有し、前記接着剤は、スペーサの間の中間領域、および外側のスペーサから第1の物体の縁部に形成される接着剤の外面まで塗布され、接着剤の外面と前記外側のスペーサとの間の距離を、20μm~250μm、好ましくは30μm~200μm、特に好ましくは40μm~150μmとし、塗布した接着剤の収縮後におけるパネル形物体の変形を所望の状態に設定し、前記所望の状態を、特に前記パネル形物体の撓みを最小化した状態とする複合体を含む。上述したように、接着剤の外面から接着剤の外面に隣接するスペーサまでの距離を、所定の値の範囲内に定めることで、標準の接着剤の場合、パネル状の物体の変形または撓みは少なくとも大きく減少し、さらに用いる接着剤にしたがい距離の値をこの範囲内で適切に選択することで、最小化することができる。すなわち、ほぼ完全に抑制することができる。本発明の一実施形態において、スペーサは互いに、03mmより大きく、好ましくは1mmより大きく、特に好ましくは5mmより大きい距離をおいて配置される。隣接するスペーサ間の距離は、通常一定の値であるが、特定の範囲内で異なるものとしてもよい。本発明の更なる実施形態において、パネル形物体の厚さは5mm以下、好ましくは2mm以下、特に好ましくは1mm以下である。通常、パネル形物体がより薄いほど、接着剤の収縮によってより大きな撓みが生じる。本発明の一実施形態において、パネル形物体の弾性係数と接着剤の弾性係数との比率は5~300であり、好ましくは10~200である。通常使用される接着剤および通常のパネル形物体に使われる材料において、2つの弾性係数の比率は上記の範囲内にある。本発明の一実施形態において、スペーサは充填材によって形成され、結合面上に備えられる。充填材としては例えばガラスの物体が使用されうる。あるいは、スペーサはまた突起として微細構造化された結合面上に形成されることができ、微細構造化された結合面は材料の除去によって、例えば研磨ロボットまたはエッチングによって形成されうる。本発明において、スペーサのとりわけ充填材または突起の最大幅は、250μm未満であり、好ましくは100μm未満である。接着剤は、スペーサの接触面と対向する結合面との間ではなく、専らスペーサの間に使用されるために、スペーサは基本的にこの最大幅を越えるべきではない。言うまでもなく、スペーサは例えば角錐状または円錐状の凸の物体として形成され、対向する結合面に、できる限り小さく、特に点状の接触領域を得ることが好ましい。さらに言うまでもなく、粘性の高い接着剤が使用される場合は、しかしながら、接着剤はこの場合、わずかに拡がる接触領域上に付着しないため、ほとんど円錐台形または角錐台形のスペーサを使用することが可能となる。本発明の一実施形態において、接着剤の収縮率は01~5、好ましくは2~4、特に好ましくは25~35である。接着剤の収縮は硬化の際に起こり、あるいはまた例えば複合体が真空環境におかれた場合に乾燥の際に起こる。いうまでもなく、接着剤の乾燥、およびそれに伴う収縮は、温度の上昇によっても起こることがある。さらなる実施形態において、接着剤の動粘性係数は5000mPas未満、好ましくは3000mPas未満、特に好ましくは2500mPas未満である。これにより、接着剤はスペーサの上でなく、もっぱらスペーサの間に留まることを実現し、したがって結合面は、基本的に同じ高さのスペーサの支持位置上に直接、接触することができる。本発明の一実施形態において、接着剤は、2液型接着剤で具体的にはエポキシ接着剤と、1液型接着剤で具体的にはUV硬化型接着剤とを含む一群の中から選択される。上述のように、適切な接着剤は、接着結合する材料の種類に従って選択する。本発明の一実施形態において、1つの物体の結合面は平坦である。これは、2つの物体が相互に平行となるために、他の物体の同じ高さのスペーサの支持位置において接触させることにつながる。言うまでもなく、スペーサは通常同じ高さであるが、これは必須要件ではない。すなわち、物体が相互に特定の角度で並ぶ場合に、スペーサの高さの増加または減少もまた可能である。本発明のさらなる実施形態において、複合体は位置決めテーブルとして、特にはマイクロリソグラフィ用のウエハステージまたはレチクルステージとして形成される。言うまでもなく、この種の位置決めテーブルは概して2つ以上の物体を含み、少なくともその内の2つが上述の方法で相互に結合する。接着結合による、位置決めテーブルの薄いパネル形物体壁、スケール部品等の変形は、上述の方法によって防ぐことができ、または少なくとも大幅に減少させることができる。本発明のさらなる特徴および効果は、本発明にとって必須の、細部を示す図面を基にした本発明の例示的な実施形態の記載、および請求の範囲によって示される。個々の特徴は、それぞれ単独の形態で、または本発明の様々な形態を、あらゆる方法で互いに組合せることによって示される。本発明の例示的な実施形態を略図で示し、以下の記載により説明する。図1aで概略的に示すのは、第1の固体物2と、第2の薄いパネル形または棒形の物体3とを備える複合体1の詳細である。パネル形物体3は、第1方向Xにおいて、固体物2の縁部2’を越えて突出し、また通常5mm以下の厚みを有する。固体物2の結合面2a上にはスペーサ4a~4eを備え、それは充填材として例えばガラス物体として形成されることができ、例えばロボットを用いて結合面2a上に配置される。表示を簡潔にするために図1aにおいてスペーサは線で表現されるが、それらはさらに第1方向に拡がりを持つこともできる。2つの物体23を結合するために、最初に接着剤5は、スペーサ4a~4eの間の中間領域6a~6dおよび領域6eの中に塗布され、外側のスペーサ4eから接着剤の外面5aまで及ぶ。ここで接着剤の外面5aは、第1の物体2の縁部2’に形成される。その後、パネル状の物体3の平坦な結合面3aは、スペーサ4a~4e上に設置され、したがって等しい高さの支持位置として役立つスペーサ4a~4e上に載置されることとなり、それによって2つの物体23はそれらの結合面2a3aに沿って互いに平行に配置され、相互に関連する相対的な位置で固定される。しかしながら、図1aに示す複合体1の実施形態の場合、接着剤5の体積が減少するすなわち、接着剤5が収縮するという問題がある。この収縮は、例えば接着剤5の硬化により、または複合体1の接着剤5が乾燥する環境例えば、窒素又は真空環境へ投入されることによって生じる。接着剤5が収縮する際、領域6eの中においてもその接着剤5は収縮し、そこで接着剤の外面5aが形成され、収縮の後、上記の外面は図1aの下側に示されるような凹状に湾曲した外面を形成する。接着剤5の収縮によりパネル形物体に応力または力が働き、結果として上記のパネルがY方向の負方向に撓む。図1bは、図1aと類似の複合体1を表現したものであり、最外側のスペーサ4eは、第1の物体2の縁部2’と同一平面上で終端する。すなわち、接着剤5は、専らスペーサ4a~4eの間の中間領域6a~6dに塗布され、最外側のスペーサ4eは周囲に対して、接着の範囲を区切る。図1bの下側に示すように、接着剤5の収縮はこの場合、結果として、最外側のスペーサ4eに縁部2’から遠ざける向きの力を働かせ、パネル形物体3はY方向の正方向に撓む。接着剤の外面5aと最外側のスペーサ4eとの間の距離d図1a参照に従い、パネル形物体3の撓みは、Y方向の正方向および負方向のいずれにも生じることがあり、それゆえ、Y方向の撓みが最小限になるもしくは理想的にはゼロになる、接着剤の外面5aから最外側のスペーサ4eまでの距離dが存在することは明らかである。これはさらに図2に示され、接着剤の外面2からの距離Xを増大させた場合の、接着剤の外面2からのX座標mm単位に応じたパネル状の物体3の突出部分のY方向の変形を示している。第1変形曲線Aの場合は、図1bに示すように、最外側のスペーサ4eが直接、接着剤の外面5aにd0mm配置されると、それによって正方向の撓みが生じる。さらに3つの変形曲線BCDは、接着剤の外面5aからスペーサ4eまでの距離dが05mm、15mmおよび20mmとなるように示される。さらに曲線BからDは、接着剤の外面5aからの距離が大きい場合におけるパネル状の物体3の負方向の撓みを示す。ここで図2に示す結果は、接着剤5の3の収縮に基づいて、有限要素方法によって得られたものである。図2はしたがって、同様に、パネル状の物体2の全体に亘って平均化された変形が最小限になる距離dが存在することを示す。図2によれば、この距離dが0mm~05mmの範囲にあることが好ましい。図3は、図1abと同様に複合体1の断面を表現したものであり、最外側のスペーサ4eと接着剤の外面5aとの間の距離dは、接着剤5の収縮によってパネル形物体3が著しく変形しないように選択される。図3に示す複合体の場合には、図1abと比較すると、スペーサが結合面2a上で突起4a’~4e’の形で形成されている。突起4a’~4e’は、結合面2a上に、機械的な操作またはエッチングで予め平坦な結合面2aの材料を除去することによって、形成することができる。その上、図3においてスペーサ4a’~4e’は、三角形断面に形成され、相互に一定の距離Lで配置され、距離Lは概して03mmよりも大きく、通常1mm以上である。スペーサ4a’~4e’の幅bは、通常20μm~250μmで、スペーサ4a’~4e’の高さhに対して実質的に対応することができる。スペーサ4a’~4e’はそれぞれ、先端に向けて細くなり、いずれの場合にも、結合面3aに直接接触するために、支持位置7a~7eを形成する。断面が三角形のスペーサ4a’~4e’はさらに、角錐または円錐の形状でもよく、また、スペーサ4a’~4e’は他の形状とすることも可能であることは言うまでもない。図3に示す一例の場合、距離dは50μm~100μmの範囲内にあり、また通常は60μm~80μmである。シミュレーション計算によって、収縮率が1~5、通常2~4、特に25~35の間である通例の接着剤5の使用時に、微小な変形を生じさせる距離dの値の範囲を確認することが可能である。接着剤5の選択は、結合面2a3aにおける物体23の材料の種類に従う。適切な接着剤5は、例えば2液型接着剤具体的にはエポキシ接着剤および1液型接着剤具体的にはUV硬化型接着剤である。特に、スペーサとして突起4a’~4e’を有する微細構造化された結合面2aを使用するとき、使用する接着剤5の動粘性係数が5000mPas未満、好ましくは3000mPas未満、特に好ましくは2500mPas未満であることが好ましい。それによって接着剤5は、スペーサ4a’~4e’の上ではなく、特に支持位置7a~7eの領域内ではない、実質的に、スペーサ4a’~4e’の間に確実に配置される。このように、支持位置7a~7e上に物体23が直接接触することで、結合面2a3aにおける物体23の平行な配置が可能になる。図3のパネル形物体3の変形または撓みに関して、図6~9に基づいて以下に説明し、有限要素方法を用いて得られたシミュレーション計算の結果を示す。パネル形物体3の外側縁部のμm単位で、Y方向の負方向への変形は図示例においては接着剤の外面5aから20mmの距離突出長さであり、それぞれ、接着剤の外面5aと最外側のスペーサ4eとの距離d、ならびに、スペーサ4a’~4e’と図示しない更なるスペーサの間の一定の距離Lに従う。スペーサ4a’~4e’の高さhまたは接着剤の隙間は、図6~9に示す全ての例の場合、01mmである。図示例の場合、パネル形物体3の弾性係数と接着剤5の弾性係数との比率は約215であり、基本的に接着剤5の3の収縮が考慮される。図6は、厚さPが1mmで、スペーサ4a’~4e’に約10000Nmmの剛性が与えられたパネル形物体のシミュレーションの結果を示す。図7に示す結果の選択パラメータが、図6におけるそれらと異なるのは、パネル形物体3の厚さPを、より小さい値の05mmとしたためである。図8において、厚さPは同様に05mmを選択し、しかしスペーサの剛性は約30000Nmmを選択した。図9においては、スペーサの剛性を再度、約10000Nmmとした。しかしながら、パネル形物体3の厚さPはこの場合02mmである。図6~9に示される特性を比較すると、厚さPの減少またはスペーサ4a’~4e’の剛性の増大によって負の変形量すなわち、Y方向に正方向の変形が増大することが顕著である。棒形の物体3の変形または撓みが完全になくなるためには、スペーサ4a’~4e’の距離Lが比較的大きい必要があり、概して約1mm以上である。つまり、図6~9に示す変形の形状は、接着剤の外面5aと最外側のスペーサ4eとの距離dの適切な選択によって、複数のパラメータに従う変形を最小化することができることを示し、適切な値は約20μm~約250μmの間にある。すでに図1abに関して上述したように、距離dの減少によって、Y方向の負方向の変形量は縮小する。図3の実質的に棒形の物体3は、1方向X方向のみに固体物2を越えて突出する。パネル形物体3が、1方向だけでなく2方向に固体物2を越えて突出する場合に上記の結果がどのように変化するかを確認することは当然、重要といえる。この種の場合において、複合体1またはパネル形物体3の変形が最小になるときの距離dを正確に測定するために、図4に示すように複合体1のモデルを用いて実験が行われた。先ず、複合体1を構成する固体物2は立方形であり、約3の収縮を生じるエポキシ樹脂接着剤を使用して、接着結合により円形のパネル3に結合する。接着剤の収縮後の複合体1またはパネル3の粗さ山―谷値としては、シミュレーションにより計算された。結果は図5に示され、立方形の物体2の接着剤の外面2’からパネル3の全体の半径を越えた距離dに従うPV値を示す。距離dはここで、立方形の物体2の縁部2’から内側にすなわち、パネル3の中心に向けて延びる。PV値は、定義上、正の値である。しかしながら、図5に示されるX軸線は、山-谷値の山と谷の間で転換が起こるPV値を定める。すなわち、山と谷はちょうどこのPV値において切替わる。PV値は、X軸線によって定められたこの転換位置において、パネル形物体3の変形が最小となることを示し、したがって、縁部2からのK点の距離d約007mmが、最外側のスペーサ4eと接着剤の外面5aとの間の最適距離を特定する。言うまでもなく、接着剤の収縮率が3である場合の最適距離dが明確になるとともに、その距離は使用する接着剤の収縮率およびさらなるパラメータに従って変化する。図4における円形のパネル形物体3の、撓みまたは変形のシミュレーション計算の結果を図10に示す。そこでは、円形の物体3の外側の自由端におけるY方向に負方向の変形量が、それぞれの接着剤の外面2から最外側のスペーサ図4に示さないまでの距離dおよびスペーサ相互の距離Lに従って示される。スペーサは、パネルの平面XZ平面内で2次元の格子を形成することが好ましく、すなわち、図4に対応して、図3は、X方向の断面およびZ方向の断面を示している。シミュレーションにおいて、パネル形物体3の厚さPは05mm、接着剤の隙間の大きさは01mm、スペーサの剛性は約10000Nmmとした。パネル形物体3の弾性係数と接着剤の弾性係数との比率は、約215とした。パネル形物体3の直径を20mm、立方形の物体2の縁部の長さを5mmとした。この場合も、パネル形物体3の変形それに従い撓みもは、縁部2’または接着剤の外面と、最外側のスペーサとの距離dに従うことを、明らかに確認することができる。上述の例において、複合体1は、位置決めテーブル、特にはマイクロリソグラフィ用のウエハステージまたはレチクルステージとして形成されることが詳細に示された。この種の位置決めテーブルは、しばしばマイクロリソグラフィ図示しないのためのプロジェクション露光装置に使用され、不活性ガス雰囲気または、真空状態において接着剤の硬化および接着剤の乾燥を生じる。言うまでもなく、ここで説明した接着剤の収縮率の値は、硬化および乾燥によって生じる接着剤の完全に可能な限りの最大の収縮したときの値を意味する。位置決めテーブルとして形成される複合体1の場合、パネル形物体3は、例えば、位置決めテーブルの壁部分とすることができ、固体の機器2が接着結合によって取付けられる。その機器2は、例えば、センサ、モータホルダ等とすることができ、壁部分に固定される。あるいは、固体物2は当然、位置決めテーブルの部分的な領域とすることも可能であり、例えば位置決めスケールの形で取付けられる。当然、位置決めテーブルは概して2つよりも多い物体から構成され、少なくともその内の2つは上述の方法で互いに固定される。