筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記連通開口部より上流の前記筒形回転部材の外周に多段に設けられている複数の回転翼のうち最下段の回転翼と前記連通開口部上流端との間の隙間が、その隙間に前記連通開口部を開設するための工具を挿入できる寸法以上であることを特徴とする排気ポンプ。前記最下段の回転翼より下流の前記筒形回転部材が、前記連通開口部が形成された位置で前記最下段の回転翼から遠ざかる方向に傾斜した下り勾配のテーパ形状であることにより、前記最下段の回転翼と前記連通開口部上流端との間の隙間が前記寸法以上になることを特徴とする請求項1に記載の排気ポンプ。筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記連通開口部より上流の前記筒形回転部材の外周に多段に設けられている複数の回転翼のうち最下段の回転翼と該回転翼に隣接する回転翼との間の開口領域が、その開口領域に前記連通開口部を開設するための工具を挿入できる寸法以上であることを特徴とする排気ポンプ。筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記複数の連通開口部の位置が排気ポンプのポンプ軸心に対して点対称に配置されていることを特徴とする排気ポンプ。筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、前記筒形回転部材に設けられ、前記連通開口部周辺を補強する補強手段と、を備えてなることを特徴とする排気ポンプ。前記補強手段は、前記連通開口部周辺の筒形回転部材外周に補強部材を取り付けることによって連通開口部周辺での筒形回転部材の変形を低減する第1の補強構造、及び、前記連通開口部周辺の筒形回転部材内周に張出し部を形成することによって連通開口部周辺での筒形回転部材の変形を低減する第2の補強構造のうち、いずれか一方の補強構造または双方の補強構造からなることを特徴とする請求項5に記載の排気ポンプ。前記第1の補強構造は、高強度材料からなるリングを補強部材として前記連通開口部周辺の筒形回転部材外周に装着してなることを特徴とする請求項6に記載の排気ポンプ。前記リングは、前記筒形回転部材の形成材料より線膨張係数が低く、かつ弾性係数が大きい材料で形成されることを特徴とする請求項7に記載の排気ポンプ。筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記連通開口部より上流の前記筒形回転部材の外周に多段に設けられている複数の回転翼のうち最下段の回転翼の開口領域と対向する位置に、前記連通開口部が設けられることを特徴とする排気ポンプ。本発明は、前記問題点ないし要請を解決するためになされたもので、その目的は、耐久性、ポンプ生産段階における連通開口部の加工性、及び、排気性能の向上を図るのに好適な排気ポンプを提供することである。前記目的を達成するために、第1の本発明は、筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記連通開口部より上流の前記筒形回転部材の外周に多段に設けられている複数の回転翼のうち最下段の回転翼と前記連通開口部上流端との間の隙間が、その隙間に前記連通開口部を開設するための工具を挿入できる寸法以上であることを特徴とする。前記第1の本発明においては、前記最下段の回転翼より下流の前記筒形回転部材が、前記連通開口部が形成された位置で前記最下段の回転翼から遠ざかる方向に傾斜した下り勾配のテーパ形状であることにより、前記最下段の回転翼と前記連通開口部上流端との間の隙間が前記寸法以上になるようにしてもよい。また、第1の本発明は、筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記連通開口部より上流の前記筒形回転部材の外周に多段に設けられている複数の回転翼のうち最下段の回転翼と該回転翼に隣接する回転翼との間の開口領域が、その開口領域に前記連通開口部を開設するための工具を挿入できる寸法以上であることを特徴とする。第2の本発明は、筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記複数の連通開口部の位置が排気ポンプのポンプ軸心に対して点対称に配置されていることを特徴とする。前記第2の本発明において、前記筒形回転部材には、直径が一律の筒体のような形状からなるものや、直径の異なる複数の筒体をその軸方向に連結したような形状からなるものが含まれるものとする。第3の本発明は、筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、前記筒形回転部材に設けられ、前記連通開口部周辺を補強する補強手段と、を備えてなることを特徴とする。前記第3の本発明において、前記筒形回転部材には、直径が一律の筒体のような形状からなるものや、直径の異なる複数の筒体をその軸方向に連結したような形状からなるものが含まれるものとする。第3の本発明において、前記補強手段は、前記連通開口部周辺の筒形回転部材外周に補強部材を取り付けることで当該連通開口部周辺での筒形回転部材の変形を低減する第1の補強構造、及び、前記連通開口部周辺のロータ6内周下端に張出し部を形成することで当該連通開口部周辺での筒形回転部材の変形を低減する第2の補強構造のうち、いずれか一方の補強構造または双方の補強構造からなるものであってもよい。前記第1の補強構造は、高強度材料からなるリングを補強部材として前記連通開口部周辺の筒形回転部材外周に装着してなる構成を採用することができる。前記リングは、前記筒形回転部材の形成材料より線膨張係数が低く、かつ弾性係数が大きい材料で形成されるようにしてもよい。第4の本発明は、筒形回転部材と、前記筒形回転部材をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段と、前記筒形回転部材を回転駆動する駆動手段と、前記筒形回転部材の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、前記筒形回転部材の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、前記筒形回転部材と前記外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材と前記内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、前記筒形回転部材に開設され、その筒形回転部材の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部と、を備えてなる排気ポンプにおいて、前記連通開口部より上流の前記筒形回転部材の外周に多段に設けられている複数の回転翼のうち最下段の回転翼の開口領域と対向する位置に、前記連通開口部が設けられることを特徴とする。第1の本発明にあっては、排気ポンプの具体的な構成として、前記の通り、最下段の回転翼と連通開口部上流端との間の隙間が、その隙間に連通開口部を開設するための工具を挿入できる寸法以上となる構成を採用した。このため、かかる隙間に工具を筒形回転部材の外周側から挿入して連通開口部を開設加工することが可能となり、その開設加工は丈の短い工具で足りるから、連通開口部の開設加工時に工具のブレが生じ難く、連通開口部の加工性向上を図れる。また、最下段の回転翼と該回転翼に隣接する回転翼との間の開口領域が、その開口領域に前記連通開口部を開設するための工具を挿入できる寸法以上である構成を採用した。この構成でも、上記と同様の効果を得ることが出来る。第2の本発明にあっては、排気ポンプの具体的な構成として、前記の通り、筒形回転部材に開設されている複数の連通開口部を、排気ポンプのポンプ軸心に対して点対称に配置する構成を採用した。このため、ロータの重心位置が半径方向に対してずれ難く、バランスの修正も容易になる。第3の本発明にあっては、排気ポンプの具体的な構成として、前記の通り、筒形回転部材に設けた補強手段により連通開口部周辺を補強する構成を採用したので、遠心力や熱膨張等による連通開口部周辺での筒形回転部材の変形が小さくなり、その変形によって連通開口部の縁部に生じる応力集中が緩和されることより、連通開口部付近から筒形回転部材が破損し難くなる等、排気ポンプの耐久性向上を図れる。第4の本発明にあっては、排気ポンプの具体的な構成として、前記の通り、連通開口部より上流の筒形回転部材の外周に多段に設けられている複数の回転翼のうち最下段の回転翼の開口領域と対向する位置に、連通開口部が設けられる構成を採用した。このため、連通開口部を抜けて内側ネジ溝排気通路へスムーズに、かつ効率よく、ガス分子が移行できるようになり、排気ポンプの排気性能向上を図れる。以下、本発明の実施形態について、願書に添付した図面を参照しながら説明する。《図1の排気ポンプの概要》図1は本発明を適用する前の排気ポンプの全体構成を示した断面図である。同図の排気ポンプPは、例えば半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、ソーラーパネル製造装置におけるプロセスチャンバやその他の密閉チャンバのガス排気手段等として利用される。この排気ポンプは、外装ケース1内に、回転翼13と固定翼14により気体を排気する翼排気部Ptと、ネジ溝19A、19Bを利用して気体を排気するネジ溝排気部Psと、これらの駆動系とを有している。外装ケース1は、筒状のポンプケース1Aと有底筒状のポンプベース1Bとをその筒軸方向にボルトで一体に連結した有底円筒形になっている。ポンプケース1Aの上端部側はガス吸気口2として開口しており、ポンプベース1Bの下端部側面にはガス排気口3を設けてある。ガス吸気口2は、ポンプケース1A上縁のフランジ1Cに設けた図示しないボルトにより、例えば半導体製造装置のプロセスチャンバ等、高真空となる図示しない密閉チャンバに接続される。ガス排気口3は、図示しない補助ポンプに連通するように接続される。ポンプケース1A内の中央部には各種電装品を内蔵する円筒状のステータコラム4が設けられており、ステータコラム4はその下端側がポンプベース1B上にネジ止め固定される形態で立設してある。ステータコラム4の内側にはロータ軸5が設けられており、ロータ軸5は、その上端部がガス吸気口2の方向を向き、その下端部がポンプベース1Bの方向を向くように配置してある。また、ロータ軸5の上端部はステータコラム4の円筒上端面から上方に突出するように設けてある。上記ロータ軸5は、ラジアル磁気軸受10とアキシャル磁気軸受11により径方向と軸方向が回転可能に支持され、この状態で駆動モータ12により回転駆動される。駆動モータ12は、固定子12Aと回転子12Bとからなる構造であって、ロータ軸5の略中央付近に設けられている。かかる駆動モータ12の固定子12Aはステータコラム4の内側に設置しており、同駆動モータ12の回転子12Bはロータ軸5の外周面側に一体に装着してある。ラジアル磁気軸受10は、駆動モータ12の上下に1組ずつ合計2組配置され、アキシャル磁気軸受11はロータ軸5の下端部側に1組配置されている。2組のラジアル磁気軸受10、10は、それぞれ、ロータ軸5の外周面に取り付けたラジアル電磁石ターゲット10A、これに対向するステータコラム4内側面に設置した複数のラジアル電磁石10B、およびラジアル方向変位センサ10Cを備えて構成される。ラジアル電磁石ターゲット10Aは高透磁率材料の鋼板を積層した積層鋼板からなり、ラジアル電磁石10Bはラジアル電磁石ターゲット10Aを通じてロータ軸5を径方向に磁力で吸引する。ラジアル方向変位センサ10Cはロータ軸5の径方向変位を検出する。そして、ラジアル方向変位センサ10Cでの検出値ロータ軸5の径方向変位に基づきラジアル電磁石10Bの励磁電流を制御することによって、ロータ軸5は径方向所定位置に磁力で浮上支持される。アキシャル磁気軸受11は、ロータ軸5の下端部外周に取り付けた円盤形状のアーマチュアディスク11Aと、アーマチュアディスク11Aを挟んで上下に対向するアキシャル電磁石11Bと、ロータ軸5の下端面から少し離れた位置に設置したアキシャル方向変位センサ11Cとを備えて構成される。アーマチュアディスク11Aは透磁率の高い材料からなり、上下のアキシャル電磁石11Bはアーマチュアディスク11Aをその上下方向から磁力で吸引するようになっている。アキシャル方向変位センサ11Cはロータ軸5の軸方向変位を検出する。そして、アキシャル方向変位センサ11Cでの検出値ロータ軸5の軸方向変位に基づき上下のアキシャル電磁石11Bの励磁電流を制御することによって、ロータ軸5は軸方向所定位置に磁力で浮上支持される。ステータコラム4の外側には筒形回転部材としてロータ6が設けられている。ロータ6筒形回転部材は、ステータコラム4の外周を囲むような円筒形状になっている。このロータ6は、上流側端部第1の連結環部60でロータ軸5に連結されている。また、前記ロータ6は、直径の異なる複数図1の例では2つの筒体をその軸方向に連結したような形状であり、ロータ6の略中間に位置する中間部材第2の連結環部61で当該筒体を連結した構成になっている。さらに、前記ロータ6は、前記のようにロータ軸5に一体化されることにより、ロータ軸5を介してラジアル磁気軸受10、10及びアキシャル磁気軸受11で、その軸心ロータ軸5周りに回転可能に支持されるように構成してある。従って、図1の排気ポンプPでは、ロータ軸5、ラジアル磁気軸受10、10及びアキシャル磁気軸受11が、ロータ6をその軸心周りに回転可能に支持する支持手段として機能する。また、ロータ6はロータ軸5と一体に回転するので、ロータ軸5を回転駆動する駆動モータ12が、ロータ6を回転駆動する駆動手段として機能する。ロータ6とロータ軸5の一体化構造の一例として、図1の排気ポンプPでは、ロータ軸5の上端部外周に段状の肩部9を形成し、その肩部9より上のロータ軸5上端部がロータ6のボス孔7に嵌め込まれ、ロータ6と肩部9がネジ止め固定されることによって、ロータ6とロータ軸5は一体化している。<翼排気部Ptの詳細構成>図1の排気ポンプPでは、ロータ6筒形回転部材の略中間より上流ロータ6の略中間からロータ6のガス吸気口2側端部までの範囲が翼排気部Ptとして機能するように構成してある。以下この翼排気部Ptを詳細に説明する。ロータ6の略中間より上流側のロータ6外周面には回転翼13が一体に複数設けられている。これらの回転翼13は、ロータ6の回転軸心ロータ軸5若しくは外装ケース1の軸心以下ポンプ軸心というを中心として放射状に並んでいる図9b参照。一方、ポンプケース1Aの内周面側には固定翼14が複数設けられており、これらの固定翼14は、ポンプ軸心を中心として放射状に並んで配置されている。そして、上記回転翼13と固定翼14とがポンプ軸心に沿って交互に多段に配置されることによって翼排気部Ptを形成している。いずれの回転翼13も、ロータ6の外径加工部と一体的に切削加工で切り出し形成したブレード状の切削加工品であって、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。いずれの固定翼14もまた、気体分子の排気に最適な角度で傾斜している。以上の構成からなる翼排気部Ptでは、駆動モータ12の起動により、ロータ軸5、ロータ6および複数の回転翼13が一体に高速回転し、最上段の回転翼13がガス吸気口2から入射した気体分子に下向き方向の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有する気体分子が固定翼14によって次段の回転翼13側へ送り込まれる。以上のような気体分子への運動量の付与と送り込み動作とが繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口2側の気体分子はロータ6の下流に向かって順次移行するように排気される。<ネジ溝排気部Psの詳細構成>図1の排気ポンプPでは、ロータ6筒形回転部材の略中間より下流ロータ6の略中間からロータ6のガス排気口3側端部までの範囲がネジ溝排気部Psとして機能するように構成してある。以下このネジ溝排気部Psを詳細に説明する。ロータ6の略中間より下流側のロータ6は、ネジ溝排気部Psの回転部材として回転する部分であって、ネジ溝排気部Psの内外2重円筒形のネジ溝排気部ステータ18A、18B間に所定のギャップを介して挿入収容される構成になっている。内外2重円筒形のネジ溝排気部ステータ18A、18Bのうち、外側ネジ溝排気部ステータ18Aは、外側筒形固定部材として、ロータ6の外周ロータ6の略中間より下流を囲むように配置されている。また、この外側ネジ溝排気部ステータ18Aの内周部には、深さが下方に向けて小径化したテーパコーン形状に変化するネジ溝19Aを形成してある。このネジ溝19Aは、ネジ溝排気部ステータ18Aの上端から下端にかけて螺旋状に刻設してあり、このようなネジ溝19Aにより、ロータ6と外側ネジ溝排気部ステータ18Aとの間には、螺旋状のネジ溝排気通路以下外側ネジ溝排気通路S1というが設けられる。尚、外側ネジ溝排気部ステータ18Aはその下端部がポンプベース1Bで支持されるようになっている。内側ネジ溝排気部ステータ18Bは、内側筒形固定部材として、ロータ6の内周によって囲まれるように配置されている。この内側ネジ溝排気部ステータ18Bの外周部にも同様にネジ溝19Bを形成してある。このようなネジ溝19Bにより、ロータ6と内側ネジ溝排気部ステータ18Bとの間にも、螺旋状のネジ溝排気通路以下内側ネジ溝排気通路S2というが設けられる。なお、内側ネジ溝排気部ステータ18Bもまたその下端部がポンプベース1Bで支持されるようになっている。図示は省略するが、先に説明したネジ溝19A、19Bをロータ6の外周面又は内周面に形成することで、前記のような外側ネジ溝排気通路S1や内側ネジ溝排気通路S2が設けられるように構成してもよい。ネジ溝排気部Psでは、ネジ溝19Aとロータ6の外周面でのドラッグ効果やネジ溝19Bとロータ6の内周面でのドラック効果により気体を圧縮しながら移送するため、ネジ溝19Aの深さは、外側ネジ溝排気通路S1の上流入口側ガス吸気口2に近い方の通路開口端で最も深く、その下流出口側ガス排気口3に近い方の通路開口端で最も浅くなるように設定してある。ネジ溝19Bも同様である。外側ネジ溝排気通路S1の上流入口は、多段に配置されている回転翼13のうち最下段の回転翼13Eの下流に形成される隙間G以下最終隙間Gというに連通しており、同通路S1の下流出口は、ガス排気口3側に連通するように構成してある。内側ネジ溝排気通路S2の上流入口は、ロータ6の略中間でロータ6の内周面に向って開口し、同通路S2の下流出口は、外側ネジ溝排気通路S1の下流出口と合流してガス排気口3に連通するように構成してある。ロータ6の略中間の中間部材には連通開口部Hが複数設けられており、これらの連通開口部Hはいずれも、ロータ6の表裏面間を貫通するように形成されることにより、ロータ6の外周側に存在する気体の一部を、該ロータ6の内周側に位置する内側ネジ溝排気通路S2へ導くように機能する。なお、最終隙間Gは、多段に配置されている回転翼13のうち最下段の回転翼13Eと連通開口部Hの上流端連通開口部Hの上流側端部との間の隙間である。前述した翼排気部Ptの排気動作により移送されることで外側ネジ溝排気通路S1の上流入口や最終隙間Gに到達した気体分子は、外側ネジ溝排気通路S1や、連通開口部Hから内側ネジ溝排気通路S2に入り、ロータ6の外周面とネジ溝19Aでのドラッグ効果やロータ6の内周面とネジ溝19Bでのドラッグ効果によって、遷移流から粘性流に圧縮されながらガス排気口3に向って移行し、最終的に図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。図2aは、図1の排気ポンプに第1の本発明を適用した場合における第一実施形態としての筒形回転部材の断面図、同図bは、第二実施形態としての筒形回転部材の断面図である。また、図3aは、図1の排気ポンプに第1の本発明を適用した場合における第三実施形態としての筒形回転部材の断面図、同図bは、第四実施形態としての筒形回転部材の断面図である。先に説明したように、図1の排気ポンプPでは、ロータ6の略中間より上流のロータ6外周に多段に回転翼13を設けている。そして、図2aとb及び図3aとbの例では、最終隙間Gが、その間に連通開口部Hを開設するための工具T1を挿入できる寸法以上となるように設けられることにより、ロータ6の外周面側からロータ6に工具を当てて連通開口部Hを開設できるように構成してある。図2aとbを参照すると、前記のような工具T1を挿入できる寸法以上の最終隙間Gを図2aのように比較的大きく設けた場合は、最終隙間Gへの工具T1の挿入角度θを大きく設定することにより、同図aのようにロータ6の軸心と略平行に連通開口部Hを開設できる。一方、前記最終隙間Gを図2bのように比較的小さく設けた場合は、最下段の回転翼13Eと工具T1との接触を避けるために図2aの例より工具T1の挿入角度θが小さくなるので、連通開口部Hは同図bのようにポンプ軸心に対して傾斜して開設される形態になる。図2a及びbの例では、最下段の回転翼13Eより下方に連通開口部Hを開設する部分を遠ざけることによって、最終隙間Gに工具T1を挿入できるように構成したが、図3a及びbの例では、連通開口部Hを開設する部分が最下段の回転翼13Eから遠ざかる方向に傾斜した下り勾配のテーパ形状となる構成の採用により、最終隙間Gが前記寸法以上連通開口部Hを開設するための工具T1を挿入できる寸法以上となるように構成してある。本実施形態では、最終隙間Gは、多段に配置されている回転翼13のうち最下段の回転翼13Eと連通開口部Hの上流端の中で最も下流側の位置との間の隙間である。図3aとbを参照すると、前記テーパ形状の傾斜角度αを同図aのように比較的大きく設けた場合は、最終隙間Gへの工具T1の挿入角度θを大きく設定することにより、同図aのようにポンプ軸心と略平行に連通開口部Hを開設できる。一方、前記テーパ形状の傾斜角度αを図3bのように比較的小さく設けた場合は、最下段の回転翼13Eと工具T1との接触を避けるために図3aの例より工具T1の挿入角度θが小さくなるので、連通開口部Hは同図bのようにポンプ軸心に対して傾斜して開設される形態になる。以上説明した図2aと、図3aとbの例においては、排気ポンプPの具体的な構成として、最下段の回転翼13Eの下流に形成される最終隙間Gが、その間に連通開口部Hを開設するための工具T1を挿入できる寸法以上となる構成を採用した。このため、かかる最終隙間Gに当該工具を挿入して連通開口部Hを開設加工することが可能となり、その開設加工は丈の短い工具で足りることから、連通開口部Hの開設加工時に工具のブレが生じ難く、連通開口部Hの加工性が良い。図4aは図1の排気ポンプに第1の本発明及び第2の本発明を適用した場合における第五実施形態としての筒形回転部材の断面図、同図bはaのA矢視図、図5aは図1の排気ポンプに第1の本発明及び第2の本発明を適用した場合における第六実施形態としての筒形回転部材の断面図、同図bはaのA矢視図、図6aは図1の排気ポンプに第1の本発明及び第2の本発明を適用した場合における第七実施形態としての筒形回転部材の断面図、同図bはaのA矢視図である。図示は省略するが、これらの実施形態の連通開口部Hは、ポンプ軸心に対して点対称に配置されている。図4aと図5aと図6aの例は、ロータ6の外周側から最終隙間Gに工具T5を挿入する点では図2a、同図b、図3a及び同図bの例と同じである。これらの例と異なる点は、ポンプ軸心方向とほぼ直角方向に工具T5を挿入し、工具T5をポンプ軸心方向に移動させることによって連通開口部Hを開設するので、その連通開口部Hが溝形状になっている点である図4b、図5b、図6b参照。図4aの例では、ポンプ軸心方向とほぼ直角方向への工具T5の挿入量以下工具挿入量というを少なくしてポンプ軸心方向への工具T5の移動量以下工具移動量というを多くしている。具体的には、工具挿入量についてはロータ6外周面からその内周面に到達する深さ連通開口部Hが形成される位置でのロータ6外周のほぼ肉厚相当分。とし、工具移動量についてはロータ6の肉厚以上としている。この場合、当該工具T5によって開設される連通開口部Hは、図4abのように形成される。また、この図4aの例では、同図bのように、連通開口部Hが複数設けられていて、これら複数の連通開口部Hの位置が排気ポンプPのポンプ軸心に対して点対称となるように配置したことにより、ロータ6の重心位置が半径方向に対してずれ難く、バランスの修正も容易になるように構成してある。図5aの例では、図4aの例に比べ、工具挿入量を多くして工具移動量を少なくしている。具体的には、工具挿入量についてはロータ6外周面からその内周面に到達する深さ以上とし、工具移動量はロータ6の肉厚相当分としている。この場合、当該工具T5によって開設される連通開口部Hは、図5abのように形成される。また、この図5aの例では、同図bのように、連通開口部Hが複数設けられていて、これら複数の連通開口部Hの位置が排気ポンプPのポンプ軸心に対して点対称となるように配置したことにより、ロータ6の重心位置が半径方向に対してずれ難く、バランスの修正も容易になるように構成してある。図6aの例では、図4の例に比べ、工具挿入量を多くして工具移動量も多くしているなお、図5aの例との比較では、工具挿入量を同じにして工具移動量を多くしている。具体的には、工具挿入量はロータ6外周面からその内周面に到達する深さ以上とし、工具移動量はロータ6の肉厚以上としている。この場合、当該工具T5によって開設される連通開口部Hは、図6abのように形成される。また、この図6aの例では、同図bのように、連通開口部Hが複数設けられていて、これら複数の連通開口部Hの位置が排気ポンプPのポンプ軸心に対して点対称となるように配置したことにより、ロータ6の重心位置が半径方向に対してずれ難く、バランスの修正も容易になるように構成してある。図7aと図8aは、それぞれ図2aのロータ6に連通開口部Hを開設するときに使用できる工具の他の例と、該工具を使用して連通開口部Hを開設するときの作業の説明図であり、図7bは同図aの工具で開設した連通開口部HのB矢視図、図8bは同図aの工具で開設した連通開口部HのB矢視図である。図2aでは、工具スピンドル30先端の球体31に図示しない刃部を形成してある工具T1を用意し、該工具T1をロータ6の面に斜めに押し当てて連通開口部Hを開設する例を示したが、この例に限定されることはない。例えば、図7aに示したように工具スピンドル30先端の円板体32外周に図示しない刃部を形成してある工具T2を用意し、該工具T2をロータ6の面に水平に押し当てて、ポンプ軸心に沿って当該工具T2を平行移動させることにより、連通開口部Hを開設してもよい。この場合、開設される連通開口部Hは、同図bのように断面が略四角形状の穴になる。但し、角部は応力集中を低減するためにR形状になる。また、図8aの工具T3は、図2aの工具T1よりも球体31の部分を大径にしたものであり、該工具T3をロータ6の面に略平行に押し当てて、ポンプ軸心に沿って当該工具T3を平行移動させることにより、連通開口部Hを開設してもよい。この場合、開設される連通開口部Hは、同図bのように断面が円形の穴になる。図9aは、図1の排気ポンプに第1の本発明及び第2の本発明を適用した場合における他の実施例としての筒形回転部材の断面図、同図bはaのA矢視図である。図示は省略するが、本実施形態の連通開口部Hは、ポンプ軸心に対して点対称に配置されている。図1の排気ポンプPにおける最下段の回転翼13Eは、図9bのようにポンプ軸心を中心として放射状に並んだ状態において、互いに隣り合う回転翼13E、13Eどうしの間の開口領域OAが後述する図14の例よりも広くなるように設けることができる。具体的には、図9bにおいて、開口領域OAの広さは、連通開口部Hを開設するための工具T1を当該開口領域OAに挿入できる寸法以上の広さとなるように構成してある。かかる構成の採用により、最下段の回転翼13Eの開口領域OAに工具を通すことができるので、最終隙間Gが工具を挿入できる寸法より小さくても連通開口部Hを加工することができる。また、この図9aの例では、同図bのように、連通開口部Hが複数設けられていて、これら複数の連通開口部Hの位置が排気ポンプPのポンプ軸心に対して点対称となるように配置したことにより、ロータ6の重心位置が半径方向に対してずれ難く、バランスの修正も容易になるように構成してある。図10aは第2の本発明の一実施形態である排気ポンプネジ溝排気部のみで排気する形式の断面図、同図bはaのA矢視図である。図10aの排気ポンプPは、先に説明した図1の排気ポンプPにおけるネジ溝排気部Psのみを備える形式の排気ポンプドラックポンプであるので、図1の排気ポンプPと共通する部材には共通の符号を付し、その詳細説明は省略する。図10aの排気ポンプPは、そのポンプ基本構成として、ロータ6筒形回転部材と、ロータ6をその軸心ロータ軸5周りに回転可能に支持する支持手段ラジアル磁気軸受10及びアキシャル磁気軸受11と、ロータ6を回転駆動する駆動モータ12駆動手段と、ロータ6の外周を囲むように配置された外側ネジ溝排気部ステータ18A外側筒形固定部材と、ロータ6の内周によって囲まれるように配置された内側ネジ溝排気部ステータ18B内側筒形固定部材と、ロータ6と外側ネジ溝排気部ステータ18Aの間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路S1と、ロータ6と内側ネジ溝排気部ステータ18Bの間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路S2と、ロータ6に開設され、そのロータ6の外周付近に存在する気体の一部を内側ネジ溝排気通路S2へ導く連通開口部Hと、を具備している。なお、図10aの排気ポンプPには図1の排気ポンプPのような翼排気部Ptがないので、この図10aの排気ポンプPにおける前記ロータ6は同図のように直径が一律の筒体形状になっている。また、この図10aの排気ポンプPでは、同図bのように、連通開口部Hが複数設けられていて、これら複数の連通開口部Hの位置が排気ポンプPのポンプ軸心に対して点対称となるように配置したことにより、ロータ6の重心位置が半径方向に対してずれ難く、バランスの修正も容易になるように構成してある。なお、図10aの複数の連通開口部Hは、例えば図11aのようにロータ6の外周面側面に開設することもでき、この場合も、複数の連通開口部Hの位置は、図11bのように排気ポンプPのポンプ軸心に対して点対称となるように配置することにより、ロータ6の重心位置が半径方向に対してずれ難く、バランスの修正も容易になるという作用効果が得られる。図12は、図1の排気ポンプに第3の本発明を適用した場合における筒形回転部材の断面図である。この図12の例では、ロータ6に形成した連通開口部Hの縁部に生じる応力集中を緩和するため、連通開口部H周辺を補強する手段として、ロータ6に補強手段を設けている。この補強手段は、連通開口部H周辺のロータ6外周に補強部材20を取り付けることにより、遠心力や熱膨張等による連通開口部H周辺でのロータ6の変形を低減する第1の補強構造と、ロータ6のポンプ軸心方向略中間の内周に張出し部21を形成することにより、遠心力や熱膨張等による連通開口部H周辺でのロータ6の変形を低減する第2の補強構造とを採用したものである。補強部材20は、AFPRアラミド繊維強化プラスチックやBFRPボロン繊維強化プラスチックやCFRPカーボン繊維強化プラスチックやDFRPポリエチレン繊維強化プラスチックやGFRPガラス繊維強化プラスチック等の高強度材料からなるリングを、図12のようにロータ6外周面に装着することで、連通開口部H周辺でのロータ6の変形を低減し、連通開口部Hの縁部に生じる応力集中を緩和することができる。このようなリング形態の補強部材20によるロータ6の変形低減効果をより一層高めるには、ロータ6の形成材料より線膨張係数が低く、かつ弾性係数が大きい材料で、補強部材20を形成することが望ましい。ロータ6はアルミニウム合金で作られることが多いため、そのような補強部材20の形成材料としては前述の高強度材料が好適である。張出し部21は、図12のように連通開口部Hより上流のロータ6の内壁部が当該ロータ6から下方に向けて張出すように形成することで、先に説明した補強部材20と同様の効果が得られるように構成してある。図13は、図1の排気ポンプとは構造の異なる別の排気ポンプネジ溝排気部のみで排気する形式に第3の本発明を適用した場合における排気ポンプの断面図である。この図13の排気ポンプの基本的な構成は先に説明した図10aや図11aの排気ポンプPと同様であるため、その詳細説明は省略する。図13の排気ポンプでも、連通開口部H周辺を補強する手段として、ロータ6に補強手段を設けている。この補強手段は、先に説明した第1の補強構造と同じく、連通開口部H周辺のロータ6外周に補強部材20を取り付けることにより、遠心力や熱膨張等による連通開口部H周辺でのロータ6の変形を低減するようにしたものである。以上説明した図12と図13の例では、排気ポンプPの具体的な構成として、ロータ6に設けた補強手段補強部材20又は張出し部21により連通開口部H周辺を補強する構成を採用したので、遠心力や熱膨張等による連通開口部H周辺でのロータ6の変形が小さくなり、その変形によって連通開口部Hの縁部に生じる応力集中が緩和され、連通開口部H付近からロータ6が破損し難くなる等、排気ポンプPの耐久性が向上する。図14は、図1の排気ポンプに第4の本発明を適用した場合における連通開口部と最下段の回転翼との位置関係を示した図である。図1の排気ポンプPでは、先に説明したようにロータ6の略中間より上流のロータ6外周に多段に回転翼13を設けている。最下段の回転翼13Eは、ポンプ軸心を中心として図14のように放射状に並んだ状態において、互いに隣り合う回転翼13E、13Eどうしの間が開口領域OAとなるように構成してある。図示は省略するが、最下段の回転翼13Eより上の各段の回転翼13も同様の開口領域を備えている。最下段の回転翼13Eとそれより一つ上段の回転翼との間に位置する軽い気体分子は、前記のような最下段の回転翼13Eの開口領域OAを透過することにより、連通開口部H方向へ移行する。以上のような軽い気体分子の移行形態進路を考慮し、図14の例では、ロータ6の連通開口部Hを最下段の回転翼13Eの開口領域OAと対向する位置に設ける構成を採用している。かかる構成の採用により、連通開口部Hを抜けて内側ネジ溝排気通路S2へスムーズに、かつ効率よく、ガス分子が移行できるようになり、排気ポンプPの排気性能が向上する。以上の説明では、説明の便宜上、第1から第4の発明の実施形態を個別に分けて説明したが、これらの実施形態を組み合わせて実施してもよい。