以下の式を有する分子であって:TiR1-N-CR3-N-R2uOR4xNR5R6yO2CR7z式IまたはTiR1-N-CR32m-N-R2vOR4xNR5R6yO2CR7z式IIここで:R1、R2、R5、R6、およびR7はHおよびC1-C6アルキル基からなる群より独立して選択され;R3=H、C1-C6アルキル基、またはNMe2であり;R4はC1-C6アルキル基であり;m=2-4であり;u=0-2であり;v=0-1であり;x=1-3であり;y=0-2であり;z=0-1であり;式Iにおいて、uxyz=4であり;式IIにおいて、2vxyz=4であり;およびu、v、またはz≧1である分子。前記分子はu=1、x=3、y=0、およびz=0である式Iを有する請求項1に記載の分子。前記分子は、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OiPr3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OMe3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OEt3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OnPr3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OsBu3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OiBu3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OtBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OEt3、TiEt-N-CMe-N-Et1OMe3、TiEt-N-CMe-N-Et1OnPr3、TiEt-N-CMe-N-Et1OsBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OiBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OtBu3、およびTiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr3からなる群より選択される請求項2に記載の分子。前記分子はv=1、x=2、y=0、およびz=0である式IIを有する請求項1に記載の分子。前記分子は、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OiPr2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OMe2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OEt2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OnPr2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OsBu2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OiBu2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OtBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OiPr2、TiEt-N-CH22-N-Et1OMe2、TiEt-N-CH22-N-Et1OEt2、TiEt-N-CH22-N-Et1OnPr2、TiEt-N-CH22-N-Et1OsBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OiBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OtBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OiPr2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OMe2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OEt2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OnPr2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OsBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OiBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OtBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OiPr2、TiEt-N-CH23-N-Et1OMe2、TiEt-N-CH23-N-Et1OEt2、TiEt-N-CH23-N-Et1OnPr2、TiEt-N-CH23-N-Et1OsBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OiBu2、およびTiEt-N-CH23-N-Et1OtBu2からなる群より選択される請求項4に記載の分子。前記分子はu=2、x=2、y=0、およびz=0である式Iを有する請求項1に記載の分子。前記分子は、TiiPr-N-CH-N-iPr2OiPr2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OMe2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OEt2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OnPr2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OsBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OiBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OtBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OiPr2、TiEt-N-CH-N-Et2OMe2、TiEt-N-CH-N-Et2OEt2、TiEt-N-CH-N-Et2OnPr2、TiEt-N-CH-N-Et2OsBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OiBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OtBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OiPr2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OMe2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OEt2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OnPr2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OsBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OiBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OtBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OiPr2、TiEt-N-CMe-N-Et2OMe2、TiEt-N-CMe-N-Et2OEt2、TiEt-N-CMe-N-Et2OnPr2、TiEt-N-CMe-N-Et2OsBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OiBu2、およびTiEt-N-CMe-N-Et2OtBu2からなる群より選択される請求項6に記載の分子。前記分子はu=1、x=2、y=1、およびz=0である式Iを有する請求項1に記載の分子。前記分子は、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NMe2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NEt2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NEtMe、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NMe2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NEt2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NEtMe、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NMe2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NEt2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NEtMe、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NMeiPr、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NiPr2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NMetBu、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2Nneoペンチル2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NMeiPr、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NiPr2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2Nneoペンチル2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NMeiPr、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NiPr2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2Nneoペンチル2、およびTiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NMeiPrからなる群より選択される請求項8に記載の分子。前記分子はu=1、x=2、y=0、およびz=1である式Iを有する請求項1に記載の分子。前記分子は、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2O2CMeおよびTiEt-N-CMe-N-EtOiPr2O2CMeからなる群より選択される請求項10に記載の分子。前記分子はv=1、x=1、y=0、およびz=1である式IIを有する請求項1に記載の分子。前記分子は、TiiPr-N-CH22-N-iPrOiPrO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOMeO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOEtO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOnPrO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOsBuO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOiBuO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOtBuO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOiPrO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOMeO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOEtO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOnPrO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOsBuO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOiBuO2CMe、およびTiEt-N-CH22-N-EtOtBuO2CMeからなる群より選択される請求項12に記載の分子。前記分子はu、v、y=0、x=2、およびz=2である式Iまたは式IIを有する請求項1に記載の分子。前記分子はTiOiPr2O2CMe2である請求項14に記載の分子。前記分子はu、v、y=0、x=3、およびz=1である式Iまたは式IIを有する請求項1に記載の分子。前記分子はTiOiPr3O2CMeである請求項16に記載の分子。Ti含有膜を基板上に形成する方法であって、前記方法は:少なくとも1枚の基板を中に配置した反応チャンバを用意し;以下の式を有する少なくとも1種の蒸気を前記反応チャンバに導入し、TiR1-N-CR3-N-R2uOR4xNR5R6yO2CR7z式IまたはTiR1-N-CR32m-N-R2vOR4xNR5R6yO2CR7z式IIここで:R1、R2、R5、R6、およびR7はHおよびC1-C6アルキル基からなる群より独立して選択され;R3=H、C1-C6アルキル基、またはNMe2であり;R4はC1-C6アルキル基であり;m=2-4であり;u=0-2であり;v=0-1であり;x=1-3であり;y=0-2であり;z=0-1であり;式Iにおいて、uxyz=4であり;式IIにおいて、2vxyz=4であり;およびu、v、またはz≧1である;気相堆積プロセスを使用して、前記蒸気を前記基板に接触させてTi含有層を前記基板の少なくとも1つの表面上に形成することを含む方法。前記少なくとも1種の前駆体は、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OiPr3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OMe3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OEt3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OnPr3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OsBu3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OiBu3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OtBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OEt3、TiEt-N-CMe-N-Et1OMe3、TiEt-N-CMe-N-Et1OnPr3、TiEt-N-CMe-N-Et1OsBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OiBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OtBu3、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr3、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OiPr2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OMe2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OEt2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OnPr2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OsBu2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OiBu2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OtBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OiPr2、TiEt-N-CH22-N-Et1OMe2、TiEt-N-CH22-N-Et1OEt2、TiEt-N-CH22-N-Et1OnPr2、TiEt-N-CH22-N-Et1OsBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OiBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OtBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OiPr2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OMe2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OEt2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OnPr2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OsBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OiBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OtBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OiPr2、TiEt-N-CH23-N-Et1OMe2、TiEt-N-CH23-N-Et1OEt2、TiEt-N-CH23-N-Et1OnPr2、TiEt-N-CH23-N-Et1OsBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OiBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OtBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OiPr2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OMe2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OEt2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OnPr2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OsBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OiBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OtBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OiPr2、TiEt-N-CH-N-Et2OMe2、TiEt-N-CH-N-Et2OEt2、TiEt-N-CH-N-Et2OnPr2、TiEt-N-CH-N-Et2OsBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OiBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OtBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OiPr2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OMe2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OEt2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OnPr2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OsBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OiBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OtBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OiPr2、TiEt-N-CMe-N-Et2OMe2、TiEt-N-CMe-N-Et2OEt2、TiEt-N-CMe-N-Et2OnPr2、TiEt-N-CMe-N-Et2OsBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OiBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OtBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NMe2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NEt2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NEtMe、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NMe2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NEt2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NEtMe、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NMe2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NEt2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NEtMe、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2O2CMe、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2O2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOiPrO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOMeO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOEtO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOnPrO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOsBuO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOiBuO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOtBuO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOiPrO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOMeO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOEtO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOnPrO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOsBuO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOiBuO2CMe、およびTiEt-N-CH22-N-EtOtBuO2CMe、TiOiPr2O2CMe2、およびTiOiPr3O2CMeからなる群より選択される請求項18に記載の方法。ML2およびML2Aからなる群より選択される少なくとも1種の金属含有前駆体を含む第2の蒸気を前記反応チャンバに導入し、ここで:-MはSrまたはBaであり;-Lは置換シクロペンタジエニル配位子構造R1R2R3R4R5Cpまたはベータ-ジケトナート配位子構造-O-CR6-CH-CR7-O-であり;-R1~R5の各々はHまたはC1-C6の線状もしくは分枝アルキル鎖から独立して選択され;-R6およびR7の各々はC1-C6の線状または分枝アルキル鎖から独立して選択され;-Aはテトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジグリム、トリグリム、およびテトラグリムからなる群より選択される中性の酸素含有分子であり;気相堆積プロセスを使用して、前記第2の蒸気を前記基板に接触させて金属含有層を前記基板上の少なくとも1つの表面上に形成することをさらに含む請求項19に記載の方法。前記金属含有前駆体は、SriPr3Cp2、SriPr3Cp2thf、SriPr3Cp2dme、SrtBu3Cp2、SrtBu3Cp2thf、SrtBu3Cp2dme、Srthmd2、Srthmd2トリグリム、Srthmd2テトラグリム、SrMe5Cp2、SrMe4Cp2、SrMe4EtCp2、SrMe4nBuCp2、BaiPr3Cp2、BaiPr3Cp2thf、BaiPr3Cp2dme、BatBu3Cp2、BatBu3Cp2thf、BatBu3Cp2dme、Bathmd2、Bathmd2トリグリム、Bathmd2テトラグリム、BaMe5Cp2、BaMe4Cp2、BaMe4EtCp2、およびBaMe4nBuCp2からなる群より選択される請求項20に記載の方法。STOまたはBST膜を堆積させる方法であって、前記方法は:少なくとも1枚の基板を中に配置した反応チャンバを用意し;以下の式を有する前駆体を含む蒸気を前記反応チャンバにパルスで送り、TiR1-N-CR3-N-R2uOR4xNR5R6yO2CR7z式IまたはTiR1-N-CR32m-N-R2vOR4xNR5R6yO2CR7z式IIここで:R1、R2、R5、R6、およびR7はHおよびC1-C6アルキル基からなる群より独立して選択され;R3=H、C1-C6アルキル基、またはNMe2であり;R4はC1-C6アルキル基であり;m=2-4であり;u=0-2であり;v=0-1であり;x=1-3であり;y=0-2であり;z=0-1であり;式Iにおいて、uxyz=4であり;式IIにおいて、2vxyz=4であり;およびu、v、またはz≧1であり;酸素供給源を前記反応チャンバにパルスで送り;ML2およびML2Aからなる群より選択される金属含有前駆体を前記反応チャンバにパルスで送り、ここで:-MはSrまたはBaであり;-Lは置換シクロペンタジエニル配位子構造R1R2R3R4R5Cpまたはベータ-ジケトナート配位子構造-O-CR6-CH-CR7-O-であり;-R1~R5の各々はHまたはC1-C6の線状もしくは分枝アルキル鎖から独立して選択され;-R6およびR7の各々はC1-C6の線状または分枝アルキル鎖から独立して選択され;-Aはテトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジグリム、トリグリム、およびテトラグリムからなる群より選択される中性の酸素含有分子であり;第2の酸素供給源を前記反応チャンバにパルスで送り;前記STOまたはBST膜におけるM:Tiの化学量論比を、前記前駆体および前記金属含有前駆体のパルス工程の数を変更することによって制御することを含む方法。前記前駆体は、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OiPr3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OMe3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OEt3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OnPr3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OsBu3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OiBu3、TiiPr-N-CMe-N-iPr1OtBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OEt3、TiEt-N-CMe-N-Et1OMe3、TiEt-N-CMe-N-Et1OnPr3、TiEt-N-CMe-N-Et1OsBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OiBu3、TiEt-N-CMe-N-Et1OtBu3、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr3、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OiPr2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OMe2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OEt2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OnPr2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OsBu2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OiBu2、TiiPr-N-CH22-N-iPr1OtBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OiPr2、TiEt-N-CH22-N-Et1OMe2、TiEt-N-CH22-N-Et1OEt2、TiEt-N-CH22-N-Et1OnPr2、TiEt-N-CH22-N-Et1OsBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OiBu2、TiEt-N-CH22-N-Et1OtBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OiPr2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OMe2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OEt2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OnPr2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OsBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OiBu2、TiiPr-N-CH23-N-iPr1OtBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OiPr2、TiEt-N-CH23-N-Et1OMe2、TiEt-N-CH23-N-Et1OEt2、TiEt-N-CH23-N-Et1OnPr2、TiEt-N-CH23-N-Et1OsBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OiBu2、TiEt-N-CH23-N-Et1OtBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OiPr2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OMe2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OEt2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OnPr2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OsBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OiBu2、TiiPr-N-CH-N-iPr2OtBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OiPr2、TiEt-N-CH-N-Et2OMe2、TiEt-N-CH-N-Et2OEt2、TiEt-N-CH-N-Et2OnPr2、TiEt-N-CH-N-Et2OsBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OiBu2、TiEt-N-CH-N-Et2OtBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OiPr2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OMe2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OEt2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OnPr2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OsBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OiBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPr2OtBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OiPr2、TiEt-N-CMe-N-Et2OMe2、TiEt-N-CMe-N-Et2OEt2、TiEt-N-CMe-N-Et2OnPr2、TiEt-N-CMe-N-Et2OsBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OiBu2、TiEt-N-CMe-N-Et2OtBu2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NMe2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NEt2、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2NEtMe、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NMe2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NEt2、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2NEtMe、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NMe2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NEt2、TiiPr-N-CNMe2-N-iPrOiPr2NEtMe、TiiPr-N-CMe-N-iPrOiPr2O2CMe、TiEt-N-CMe-N-EtOiPr2O2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOiPrO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOMeO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOEtO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOnPrO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOsBuO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOiBuO2CMe、TiiPr-N-CH22-N-iPrOtBuO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOiPrO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOMeO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOEtO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOnPrO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOsBuO2CMe、TiEt-N-CH22-N-EtOiBuO2CMe、およびTiEt-N-CH22-N-EtOtBuO2CMe、TiOiPr2O2CMe2、およびTiOiPr3O2CMeからなる群より選択される請求項22に記載の方法。前記金属含有前駆体は、SriPr3Cp2、SriPr3Cp2thf、SriPr3Cp2dme、SrtBu3Cp2、SrtBu3Cp2thf、SrtBu3Cp2dme、Srthmd2、Srthmd2トリグリム、Srthmd2テトラグリム、SrMe5Cp2、SrMe4Cp2、SrMe4EtCp2、SrMe4nBuCp2、BaiPr3Cp2、BaiPr3Cp2thf、BaiPr3Cp2dme、BatBu3Cp2、BatBu3Cp2thf、BatBu3Cp2dme、Bathmd2、Bathmd2トリグリム、Bathmd2テトラグリム、BaMe5Cp2、BaMe4Cp2、BaMe4EtCp2、およびBaMe4nBuCp2からなる群より選択される請求項22に記載の方法。前記酸素供給源および前記第2の酸素供給源は水である請求項22に記載の方法。