"液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル基板と、複数の流路隔壁により仕切られ、前記ノズル孔のそれぞれに連通する加圧液室を有する液室基板と、前記加圧液室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、前記振動板上に設けた下電極と、前記下電極に積層した圧電層と、前記圧電層に積層した上電極と、を備えた液滴吐出装置であって、前記振動板上の前記流路隔壁に対応する位置に補強層を設け、前記補強層の振動板側の下面の幅は補強層上部の幅より広く形成されていることを特徴とする液滴吐出装置。前記補強層に対応した位置に柱を形成した支持基板を有し、前記補強層は前記柱と接合され、前記ノズル基板は前記流路隔壁に接合されていることを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置。前記加圧液室と前記ノズル孔を連通する連通管と、共通液室を構成する空間を有する共通液室構成部材を、前記ノズル基板と前記液室基板の間に積層したことを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置。前記補強層の傾斜面の傾斜角は振動板面に対して45°以上90°未満あることを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置。加圧液室幅が前記補強層の傾斜面の前記下面間の幅よりも広く形成されていることを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置。前記支持基板の前記柱は、前記流路隔壁幅の内側において前記補強層を支持していることを特徴とする請求項2に記載された液滴吐出装置。請求項1ないし6のいずれかに記載された液滴吐出装置を備えたインクジェット記録装置。振動板の振動によりノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置の製造方法であって、基板に振動板材料及び圧電素子材料を成膜してアクチュエータを作成する工程と、前記基板のアクチュエータ側と反対側をエッチングして複数の流路隔壁で区画された複数の加圧液室を形成する工程と、前記振動板上の前記流路隔壁に対応する位置に補強層を形成する工程と、を有し、前記補強層を形成する工程において、前記補強層の振動板側の下面の幅を補強層上部の幅より広く形成することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。加圧液室幅が前記補強層の振動板側の下面の幅よりも広く形成されることを特徴とする請求項8に記載された液滴吐出装置の製造方法。この問題を解決するため、振動板に対してアクチュエータ側に積層膜補強層を設けることで、インク接液や気泡排出性に問題なく、高精度に振動板幅を規定し、ヘッドの吐出特性を安定化させる液滴吐出装置が提案されている。図10は、その要部の構造を示す断面図である。その基本構造は、後述する本発明の実施形態と同じであり、振動板は、SOI基板5、6のSi層表面にパイロ酸化法を適用し、シリコン酸化SiO2膜7を形成し、その上に下電極8、圧電材PZT層9、上電極10の多層構成からなるアクチュエータが、シリコンをエッチングすることで形成した加圧液室14に対向する領域に形成されている。上下電極8、10と配線材料との層間に配置する層間絶縁膜11、及び配線材料を保護する為の補強層12がアクチュエータ8~10の上面及び側面を覆う様に配置され、また流路隔壁4に対向する領域にも流路隔壁4の幅より広い幅で前記層間絶縁膜11、及び補強層12が配置されている。ところが、実際に補強層12を構成したヘッドを製作して吐出特性のバラツキを評価したところ、構造計算によるシミュレーション結果から予測したバラツキよりも評価結果のバラツキが大きいことが分かった。評価方法としては、加圧液室14の幅を故意にばらつかせて吐出特性特に、固有周期Tcの差を見てその原因を解析したところ、図示のように、補強層12の端部がオーバーエッチングされ振動板5~7の幅が設計通り規定されていないことが分かった。また、補強層12の端部がオーバーハングした形状オーバーハング量をd0で示すになっていると、通常の顕微鏡検査ではオーバーハングしているか否かの判定が難しいことも分かった。補強層12の端部がオーバーハングしたテーパ状となっている場合、振動板5~7を拘束する補強層12の厚みが薄くなるので、補強層12の効果が小さくなる吐出特性がばらつくことが懸念されたが、図11の液滴吐出ヘッドにおけるテーパ角θと固有周期バラツキ幅ΔTcとの関係を示すグラフから明らかなように、テーパ角θが45°までは、液室幅のバラツキによる固有周期Tcのバラツキ幅ΔTcがほぼ同じであることが分かった。また、テーパ角θを持たせた場合、補強層12の振動板5~7との界面が確認できる形状にすることで、補強層12の幅の管理が容易にできることも分かった。したがって、本発明の目的は、前記知見に基づき液滴吐出装置における構造を最適化することで、その吐出性能のバラツキを抑えて高画質化することである。請求項1の発明は、液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル基板と、複数の流路隔壁により仕切られ、前記ノズル孔のそれぞれに連通する加圧液室を有する液室基板と、前記加圧液室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、前記振動板上に設けた下電極と、前記下電極に積層した圧電層と、前記圧電層に積層した上電極と、を備えた液滴吐出装置であって、前記振動板上の前記流路隔壁に対応する位置に補強層を設け、前記補強層の振動板側の下面の幅は補強層上部の幅より広く形成されていることを特徴とする液滴吐出装置である。請求項2の発明は、前記補強層に対応した位置に柱を形成した支持基板を有し、前記補強層は前記柱と接合され、前記ノズル基板は前記流路隔壁に接合されていることを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置である。請求項3の発明は、前記加圧液室と前記ノズル孔を連通する連通管と、共通液室を構成する空間を有する共通液室構成部材を、前記ノズル基板と前記液室基板の間に積層したことを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置である。請求項4の発明は、前記補強層の傾斜面の傾斜角は振動板面に対して45°以上90°未満あることを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置である。請求項5の発明は、加圧液室幅が前記補強層の傾斜面の前記下面間の幅よりも広く形成されていることを特徴とする請求項1に記載された液滴吐出装置である。請求項6の発明は、前記支持基板の前記柱は、前記流路隔壁幅の内側において前記補強層を支持していることを特徴とする請求項2に記載された液滴吐出装置である。請求項7の発明は、請求項1ないし6のいずれかに記載された液滴吐出装置を備えたインクジェット記録装置である。請求項8の発明は、振動板の振動によりノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置の製造方法であって、基板に振動板材料及び圧電素子材料を成膜してアクチュエータを作成する工程と、前記基板のアクチュエータ側と反対側をエッチングして複数の流路隔壁で区画された複数の加圧液室を形成する工程と、前記振動板上の前記流路隔壁に対応する位置に補強層を形成する工程と、を有し、前記補強層を形成する工程において、前記補強層の振動板側の下面の幅を補強層上部の幅より広く形成することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法である。請求項9の発明は、加圧液室幅が前記補強層の振動板側の下面の幅よりも広く形成されることを特徴とする請求項8に記載された液滴吐出装置の製造方法である。インクジェット記録装置において、吐出性能のバラツキを抑えて、高画質化することができる。以下、本発明の実施形態を、添付図面を参照して説明する。図1Aは、本発明の第1の実施形態における液滴吐出ヘッドの断面図である。本実施形態は、一例として、アクチュエータを用いてインク液滴を基板の面部に設けたノズル孔から吐出させるサイドシューター方式の液滴吐出ヘッドを示すものである。第1の実施形態の液滴吐出ヘッドは、図1に示すように、インクを吐出するノズル孔20を有するノズル基板2と、加圧液室14、振動板5~7、圧電素子9aを形成した液室基板1と、圧電素子9aの保護空間22を配した支持基板サブフレーム3の3枚の基板を重ねた積層構造となっており、それぞれを複数備えた構造である。図1Bは図1Aの円内を示した要部拡大断面図である。液室基板1は、シリコン基板上にシリコン酸化SiO2膜5を介してシリコンSi6が張り合わされたSOI基板を用いている。本実施形態における振動板は、SOI基板5、6のSi層表面にパイロ酸化法を適用し、シリコン酸化SiO2膜7を形成し、その上に下電極となる白金膜8、圧電材PZT層9、上電極となる白金膜10の多層構成からなるアクチュエータが、シリコンをエッチングすることで形成した加圧液室14に対向する領域に形成されている。さらに、上下電極8、10と配線材料との層間に配置する層間絶縁膜11、及び配線材料を保護する為にパッシベーション膜を兼ねる補強層12がアクチュエータ8~10の上面及び側面を覆う様に配置され、また流路隔壁4に対向する領域にも流路隔壁4の幅より広い幅で前記層間絶縁膜11、及び補強層12が配置されている。ノズル基板2は、厚さ30~50ミクロンのSUS基板にプレス加工と研磨加工によりノズル孔20を形成している。ノズル孔20は流路隔壁4間の溝図1の加圧液室14として示されている空間に対応する位置に形成されると共に、加圧液室14はノズル基板2を流路隔壁4面上で接合することで構成されている。つまり、ノズル基板2が加圧液室14の一面を形成し、ノズル孔20は加圧液室14に直接連通している。支持基板サブフレーム3は、上下電極8、10と圧電材層9で構成された圧電素子9aの保護及び変位を妨げないための保護空間22及び流路隔壁4の剛性を高め、加圧液室14全体を支えるための柱23が形成されている。次に、上記のように構成された液滴吐出ヘッドの動作を説明する。動作時には、インクがインク供給孔図示せずから共通液室を経由して各加圧液室14内に供給される。加圧液室14がインクで満たされた状態で圧電素子9aの上電極10及び下電極8間に電圧を印加し、これにより横振動モードで変形する圧電素子9aが縮み、圧電素子9aと密着している振動板5~7全体が加圧液室14側に凸形状に変形する。これにより加圧液室14の体積が減少し、したがって加圧液室14内の圧力が急激に上昇するため、ノズル孔20よりインク液滴を記録紙図示せずに向けて吐出する。ここで、加圧液室14内の圧力変動周期に合せたパルス電圧の連続的な印加を繰り返すことにより、インクを連続的に吐出することが出来る。次に、本実施形態のインクジェットヘッドの作製方法の手順について図2を参照して説明する。本実施形態では、まず、図2Aに示すように、シリコン基板1aに振動板材料及び圧電素子材料を成膜していくことでアクチュエータを作製していく。即ち、ここでは、厚み400umの<100>シリコン基板1aの表面にシリコン酸化膜5を0.2um及びシリコン6を2.0umを張り合わせたSOI基板を用いる。SOI基板表面にパイロWet酸化法によりシリコン酸化膜7を0.3um形成し図2A参照これを振動板5~7とする。その後、圧電素子9aの下電極8となる白金Pt層をスパッタ法により0.2um成膜し、更にスパッタ法により圧電材層9を2μm成膜し、さらに、上電極10となる白金Pt層を0.1um成膜する図2B参照。その後、リソエッチ法により前記上電極10及び圧電材層9をパターニングする図2C参照。その後、プラズマCVD法により層間絶縁膜11を0.3um成膜し、更に図示していないがリソエッチ法により配線コンタクトを取るためのビアホール例えば、図4Bに示すものと同じを形成する。更に図示していないが、アルミ材料による配線パターンを形成後、アルミ配線保護の為のパッシベーション膜としてプラズマCVD法によるシリコン窒化膜12を2um成膜し、パッド開口と同時に、アクチュエータ部と流路隔壁4となる部分の間に成膜された部分のシリコン窒化膜12をリソエッチ法により除去する図2D参照。その後、別途ガラス基板にブラスト加工で柱23を形成した支持基板サブフレーム3を、液室基板1に接合し図2E参照、支持基板サブフレーム3の接合面とは反対面を、所望の厚さまで研磨する図2F参照。支持基板3は、シリコン基板にリソエッチ法で凹部を加工したものでもよいし、<110>シリコン基板をTMAH、KOHなどのアルカリエッチング液を用いたウェットエッチングにより加工したものでもよい。また樹脂モールドやメタルインジェクションモールドなどの成型部品でもよい。その後シリコン基板1aの反対面にICPドライエッチングにより加圧液室14、流体抵抗部図4の15参照となる凹部を形成する図2G参照。なお、先にパターニングした補強層シリコン窒化膜12の振動板5~7を挟んで流路隔壁4と対向する部分は流路隔壁4の幅よりも幅が広く形成されている図2D参照。その理由は、加圧液室14は、シリコン基板1aを50~100umの深さにエッチングして形成するため、寸法のバラツキが非常に大きく加圧液室14の幅で振動板5~7の幅が規定される構造では、振動板剛性のバラツキが大きい構造になってしまうため、本実施形態では、振動板5~7の端部に寸法制御性の高い薄膜のリソエッチによるシリコン窒化膜補強層12を加圧液室14の幅よりもせり出した形でつまり、補強層12間の間隔が加圧液室14の幅よりも狭くなるように形成することで、加圧液室14の幅がばらついても振動板剛性が変化し難い構造になっている。加えて、本実施形態では、上述のように、補強層シリコン窒化膜12端部形状がテーパを持ち、補強層12の振動板5~7界面の幅が補強層12上部の幅よりも広くなるようにしたことで、補強層幅を管理し易く、また、ヘッド吐出特性のバラツキを抑えることができるという利点もある。具体的には、本実施形態では補強層シリコン窒化膜12のテーパ角θは、45°以上90°未満、好ましくは60°~70°の間になるようにしている。最後に、別途厚さ30~50ミクロンのSUS基板にプレス加工と研磨加工により複数のノズル孔20を形成したノズル基板2を、液室基板1の複数の流路隔壁形成面に接着し、さらに図示していないが、圧電素子9aの上電極10及び下電極8と接続されたアルミ配線部を駆動回路に接続することで、本実施形態の液滴吐出ヘッドが完成する図2H参照。本実施形態では、補強層12を設けて剛性を高くしているため、製造工程でのハンドリンク性を向上させ、吐出時の振動抑制にも効果がある。ところで、加圧液室14を形成する工程では、シリコン基板1aのエッチングを50~100μm程度の深さで行なう必要があるため、パターン幅のバラツキが非常に大きい。しかし、本実施形態では、エッチング深さの浅い前記シリコン窒化膜のパターニングで振動板5~7の低剛性部分の幅を決定することができるため図2D参照、従来の加圧液室14の幅で振動板幅を規定していた構成と比べて、振動板剛性が加圧液室14の幅のバラツキの影響を受け難く、吐出特性の安定化を図ることができる。図3は補強層シリコン窒化膜12の異なる構成を示す図1Bと同様の図である。図3Aに示すように、補強層シリコン窒化膜12のテーパ角θが小さくなると、支持基板サブフレーム3の柱23が補強層12の接合面よりも大きくなり、接着剤のはみ出し量管理が難しくなる。また、図3Bに示すように、補強層12の幅に合せて、支持基板サブフレーム3の柱23を細くすると、接合自体が難しくなると共に、支持基板サブフレーム3による液室基板1を支持する効果が弱くなり、ヘッド全体の振動が問題になる。ヘッド全体の振動も吐出特性に影響を与えるので、テーパ角θが小さいことは、好ましくない。本実施形態では、補強層12をプラズマCVD法によりシリコン窒化膜を2um成膜で成膜しているが、補強層12としては振動板5~7材料よりも剛性の高い膜を成膜すればよくこれに限ったものではない。本発明の別の実施形態を、図4を参照して説明する。図4A、Bは、本発明の第2実施形態における液滴吐出ヘッドの断面図である。図4Aは図4BのA-A’断面であるなお、図中、第1の実施形態と同様の部分には同じ符号を付して説明を省略する。本実施形態の液滴吐出ヘッドは、ノズル孔20を有するノズル基板2と、ノズル孔20に連通する連通孔17aと、共通液室18を構成する空間と、共通液室18の一面に構成されたダンパ16と、流体抵抗部15を有する共通液室構成部材17と、第1実施形態同様のアクチュエータを形成した液室基板アクチュエータ基板1と、液室基板1の補強層12部分に結合して液室基板1を支持する柱23を有する支持基板サブフレーム3から構成される。つまり、実施形態1のノズル基板2と液室基板1の間に共通液室構成部材17を配置している。インク供給不足による過負圧を発生させないために、共通液室18は断面積を広く取る必要があるため、共通液室構成部材17は、プレス加工したSUS板を積層して作製している。また、共通液室18の圧力を平坦化するために、ポリイミドとSUSの積層板を加工して、ダンパ16を形成している。中空部分のポリイミド層が変形することで共通液室18の圧力を緩和することができる。本実施形態では、共通液室18を加圧液室14とノズル孔20の間に配置する構造としたため、積層数は増えるが、アクチュエータへの電気配線経路引出配線11bと、インク供給経路を分離し易いため、インク漏れなどの問題が発生し難い利点がある。また、本実施形態では、図4Bに示すように、層間絶縁膜11のビアホール11aを介して上電極10と接続した引出配線11bを連通孔17a側ノズル孔20側から引き出しているが、インク供給経路が電気配線経路と分離しているため流体抵抗部15側から引き出すことも可能である。つまり、電気配線の引き出し方向にインク流路の制約がなくなるので、加圧液室の列を並列化することノズル列を並列化することが容易である。本実施形態のヘッド構成においても補強層12の構造は有効である。即ち、連通管15aなどインク流路の違いはあるが、各ノズル孔20からのインク吐出特性は、各加圧液室14のコンプライアンスが大きく影響し、加圧液室14のコンプライアンスでは振動板幅のバラツキの影響が大きい。本実施形態により、補強層12により高精度に振動板幅を規定することで、各ノズル孔20からのインク吐出特性を揃えることができる。これにより、液滴速度および液滴体積が均一化できるので、インク滴の着弾位置のバラツキ、濃度バラツキを抑えて、高画質化が可能である。別の実施形態を、液滴吐出ヘッドの要部拡大断面図である図5を用いて説明する。本実施形態においては、加圧液室14の幅を、補強層12の傾斜面間の幅よりも広くしている流路隔壁4が、補強層12の上面幅d1内に入るようにしている。流路隔壁4が補強層12の傾斜面12aからはみ出すと、流路隔壁4と傾斜面12aの位置関係で吐出特性に差が発生するので、これにより吐出特性のバラツキをより抑えることができる。加圧液室形成における位置ズレも吸収できるマージン差を付けて、補強層12の傾斜面12aを形成することが好ましい。また別の実施形態を、液滴吐出ヘッドの要部拡大断面図である図6を用いて説明する。本実施形態においては、支持基板サブフレーム3の柱23を、流路隔壁4幅の内部に接合している。これにより、流路隔壁4の端部で補強層12を支持するので、支持基板サブフレーム3の柱23の接合位置により、補強層12を支持する支持点が変わることを防ぎ、吐出特性のバラツキを抑える。流路隔壁4が補強層12の傾斜面12aに掛からない状態で、更に、支持基板サブフレーム3の柱23が流路隔壁4の幅の内部に位置する関係が好ましい。この関係にすると、傾斜面12aから支持基板サブフレーム3の柱23までに所定の距離を確保できるので、補強層12と柱23を接着する接着剤のはみ出し管理が容易になり、接着剤流れ出しによるヘッド吐出特性の低下を防ぐことが出来る。実施形態5次に、本発明に係るインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図7及び図8を参照して説明する。なお、図7は同記録装置の斜視図、図8は同記録装置の機構部の側面説明図である。このインクジェット記録装置は、図7で示すように、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部82等を収納し、図8で示すように、記録装置本体81の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい。84を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができ、給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。印字機構部82は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ93にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド94を複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ93にはヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。インクカートリッジ95は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド94を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。ここで、キャリッジ93は後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、図7に示すように、主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を張装し、このタイミングベルト100をキャリッジ93に固定しており、主走査モータ97の正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。一方、図8に示すように、給紙カセット84にセットした用紙83をヘッド94の下方側に搬送するために、給紙カセット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、この搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は副走査モータ107図7によってギヤ列を介して回転駆動される。キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用紙83をヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109を設けている。この印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112を設け、さらに用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114と、排紙経路を形成するガイド部材115,116とを配設している。記録時には、キャリッジ93を移動させながら画像信号に応じてヘッド94を駆動することにより、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙83を排紙する。また、図7に示すように、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117を配置している。回復装置117はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ93は印字待機中にはこの回復装置117側に移動されてキャッピング手段でヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド94の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜不図示に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。また上記実施形態中に記載した膜厚等の数値や材料はこれに限ったものではない。"