"横に並んで連結される第1真空チャンバユニットと第2真空チャンバユニットとを備えた真空装置において、前記両ユニットに及ぶ光路の両端にレーザ送光装置と受光部材とが配置され、前記両ユニットのうち何れか一方または双方に位置調整手段が付加されていることを特徴とする真空装置。前記受光部材が光感応部材であり、この光感応部材および前記位置調整手段に対し結合自在であって結合時には前記光感応部材の出力に応じて前記位置調整手段を駆動する自動制御装置が設けられていることを特徴とする請求項1記載の真空装置。しかしながら、このような水準器を利用した従来の手法では、位置合わせが可成り面倒であった。そこで、水準器に代わる他の治具を用いて簡便に連結対象の複数ユニットの位置を合わせられるようにすることが課題となる。この発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、レーザ光を利用して簡便に連結対象ユニットの位置合わせが行える真空装置を実現することを目的とする。このような課題を解決するために発明された第1乃至第2の解決手段について、その構成および作用効果を以下に説明する。[第1の解決手段]第1の解決手段の真空装置は、出願当初の請求項1に記載の如く、横に並んで連結される第1真空チャンバユニットと第2真空チャンバユニットとを備えた真空装置において、前記両ユニットに及ぶ光路の両端にレーザ送光装置と受光部材とが配置され、望ましくは前記光路上またはその鉛直上下方向の何処かであって前記両ユニットのうち何れか一方または双方に当該ユニットの高さや傾き等を調整しうる位置調整手段が付加されている、というものである。このような第1の解決手段の真空装置にあっては、レーザ送光装置を作動させると、レーザ光が発せられ、それが両チャンバユニットに及ぶことから、両ユニットの相対位置が受光部材の受光状態に反映されるので、その受光状態に基づき位置調整手段にてユニット位置を調整することで、両ユニットの位置を合わせ込むことが可能である。これにより、使いにくい水準器を用い無くても連結対象の複数ユニットの位置を合わせられることとなる。しかも、レーザ送光装置は小形で安価な市販品等が利用できるので固定的に配置しておけて便利なうえ、レーザ光は直線性が良いばかりか照射しながら照射対象等を動かしても良いので調整作業が簡単になり楽に行える。したがって、この発明によれば、レーザ光を利用して簡便に連結対象ユニットの位置合わせが行える真空装置を実現することができる。[第2の解決手段]第2の解決手段の真空装置は、出願当初の請求項2に記載の如く、上記の第1の解決手段の真空装置であって、前記受光部材および前記位置調整手段に対し結合自在な自動制御装置が設けられ、前記受光部材が光感応部材であり、前記自動制御装置が前記光感応部材および前記位置調整手段と結合しているとき当該光感応部材の出力に応じて当該位置調整手段を駆動するようになっている、というものである。このような第2の解決手段の真空装置にあっては、自動制御装置の働きによって位置調整が自動で行なわれる。また、そのような自動制御装置は、高価になりがちなうえ、位置合わせ完了後は邪魔になってしまうところ、位置合わせの必要なときだけ必要なところに結合させることで、複数多数の自動調整に共用されるので、無駄なく便利に使われることとなる。したがって、この発明によれば、レーザ光を利用して一層簡便に連結対象ユニットの位置合わせが行える真空装置を実現することができる。以上の説明から明らかなように、本発明の第1の解決手段の真空装置にあっては、連結対象の両チャンバユニットの相対位置がレーザ光の受光状態に反映されるとともに、少なくとも何れかのユニットは位置調整が可能なようにしたことにより、レーザ光を利用して簡便に連結対象ユニットの位置合わせが行える真空装置を実現することができたという有利な効果が有る。また、本発明の第2の解決手段の真空装置にあっては、位置調整が自動で行えるうえ、そのための装置が共用されるようにしたことにより、レーザ光を利用して一層簡便に連結対象ユニットの位置合わせが行える真空装置を実現することができたという有利な効果を奏する。このような解決手段で達成された本発明の真空装置について、これを実施するための具体的な形態を、以下の第1~第3実施例により説明する。図1,図2に示した第1実施例は、上述した第1の解決手段を具現化したものであり、図3に示した第2実施例は、その変形例である。また、図4に示した第3実施例は、上述した第2の解決手段も具現化したものである。なお、それらの図示に際しては、簡明化等のため、各種アプリケーション対応の内部構造や,フレーム,ボルト等の締結具,ヒンジ等の連結具などは図示を割愛し、発明の説明に必要なものや関連するものを中心に図示した。また、レーザ光の光路は、細い二点鎖線にて図示した。さらに、同一構成の要素が複数存在する場合にそれぞれを区別したいところには数字による符号の最後にaやb等の英小文字を付加するとともに、その際、異なる要素であっても互いに対をなす又は関連し合うものには同じ英小文字を付加して示した。例えば、30a及び30bは何れも30と同じもので、40a及び40bは何れも40と同じものであり、30aと40aとが一つの組になって作動し、30bと40bとが別の組になって作動する。本発明の真空装置の第1実施例について、その具体的な構成を、図面を引用して説明する。図1は、その基本構造を示し、aが平面図、bが側面図、cがレーザ送光装置の側面図およびそれと対をなす受光部の縦断側面図である。この真空装置は、チャンバユニット10第1真空チャンバユニットとチャンバユニット20第2真空チャンバユニットとを備えたものであり、その両ユニット10,20を個々に組み上げておき、最終的な設置時に横に並べて連結させるようになっている。その状態で、両チャンバ間でシリコンウエハ等の被処理物を引き渡す等の連係動作を可能とするためには、例えば両者の側面の開口を突き合わせた状態でボルト等にて固定するとともにOリング等のシール部材を併用して気密に隣接させる連結が求められ、そのために両ユニットの相対位置の調整が必要なものとなっている。チャンバユニット10は、真空チャンバ11とそれを支える脚部12等とを一纏まりのユニットに組み上げたものであり、真空チャンバ11には、例えば特開平10-329061号公報の図3及び図4等に記載されているウエハ移送チャンバいわゆるトランスファーチャンバが組み込まれ、脚部12には真空ポンプや回転駆動機構などが格納されている。チャンバユニット20は、やはり真空チャンバ21とそれを支える脚部22等とを一纏まりのユニットに組み上げたものであり、真空チャンバ21には、例えば特開平10-294307号公報の図5等に記載されているプラズマ処理装置用の真空チャンバいわゆるプロセスチャンバが組み込まれ、脚部22には真空ポンプや可変バルブに加えて壁体駆動機構なども格納されている。また、その脚部22の底面には、3箇所以上の互いに離れたところに、アジャスタ23位置調整手段が下向きに植設されている。アジャスタ23は、ロックナット付きのボルト等からなり、それを回転させると、回転量に応じて床に向けて前進後退することで、底面から床面までの距離すなわちチャンバユニット20の高さを変えられるようになっている。さらに、チャンバユニット20の脚部22において各アジャスタ23の鉛直上方に当たるところ何箇所かに、ターゲット40受光部材が装着される。図示の例では3カ所に設けられ、それぞれ40a,40b,40cの符号が付されている。また、それらのターゲット40からチャンバユニット10に向けて水平に移動したところには、レーザポインタ30レーザ送光装置が装着される。図示の例では脚部12の3カ所に設けられ、それぞれ30a,30b,30cの符号が付されている。それぞれ対応するレーザポインタ30とターゲット40とは、この例では対30a,40aと対30b,40bと対30c,40cとの3組が図示されているが、チャンバユニット10とチャンバユニット20との相対位置が適切な状態であればレーザポインタ30から発したレーザ光がターゲット40を的確に捉えるように配置され、それぞれチャンバユニット10やチャンバユニット20に固定されている。レーザポインタ30は、半導体レーザに加えて動作電力供給用の電池も内蔵されていて、外部から電力供給等を行わなくてもスイッチを操作するだけで送光するようなものが使いやすく便利であるが、可視光を細く絞って出力することが出来れば、そうでなくても良い。ターゲット40は、例えば、取付部材41に受光窓42を穿孔形成し、その奥に拡散部材43を填め込んだものであり、取付部材41をネジ止め等にて脚部22に固定すると、拡散部材43の端部が脚部22の外面から僅かに突き出すようになっている。この第1実施例の真空装置について、その使用態様及び動作を、図面を引用して説明する。図2は、組立完了後の真空装置の平面図である。チャンバユニット10,20は個々に組み立てられてからそれぞれ最終的な設置場所に運ばれ、先ずチャンバユニット10は床上等に設置され設置状態が確定するが、チャンバユニット20はその連結側面に隣接した状態で仮設される。その際、目測等で可能な範囲内で或る程度の位置合わせは行われるが、チャンバユニット20は未だチャンバユニット10に固定されず、アジャスタ23もロックされない。それから、各レーザポインタ30のスイッチを操作してレーザ送光を行わせる。そうすると、簡単な粗調は済んでいるので各レーザ光は概ね対応するターゲット40に当たるが、ほとんどの場合、受光窓42には未だピッタリと当たらず、拡散部材43には僅かな光量が届くにすぎない。もっとも、拡散部材43に多少なりともレーザ光が入射すると、それが拡散されて拡散部材43の露出端部がそれなりに明るくなるので、作業者はそれを見れば位置合わせの程度を目視で把握することができる。そして、それを見ながら、アジャスタ23を操作して進退させながら、拡散部材43が最も明るく見える状態にする。その状態で、チャンバユニット20はチャンバユニット10に対して設計通りの位置に来ているから、あるいは以前の組立調整時に確定した適切な相対位置に来ているから、送光を止め、アジャスタ23をロックし、チャンバユニット20とチャンバユニット10とを硬く連結する。こうして、レーザ光の送受光を行って簡単に且つ正確にチャンバユニット10とチャンバユニット20との連結作業が遂行されるが、その作業に際して作業者は拡散部材43の露出端部を見れば良いので、見やすいうえ、レーザ光を誤って直視するおそれも無いので、安心して楽に作業することができる。そして、チャンバユニット10に対して上述したチャンバユニット20の他にも幾つかのチャンバユニット20を連結する必要があれば図2参照同様の作業をその個数だけ繰り返して順にそれらの連結を行う。図3に基本構造を示した本発明の真空装置が上述した第1実施例のものと相違するのは、ターゲット40a,40bがそれぞれレーザポインタ30a,30bの近くに移った点と、ターゲット40a,40bの在ったところにそれぞれ平面反射鏡44a,44bが導入された点である。この場合、各レーザポインタ30から発した各レーザ光は対応する反射鏡44で反射してから対応するターゲット40に当たる。そして、ターゲット40の位置が変わったときはもとより、反射鏡44の傾きが変わったときにも、ターゲット40の受光状態が変化する。そのため、高さ基準より傾き基準の方が調整しやすいときには便利である。また、レーザポインタ30からターゲット40まで一直線では光路を確保し難いときにも便利である。図4に要部構造を示した本発明の真空装置が上述した第1実施例のものと相違するのは、自動制御装置50が導入された点と、それとの結合が自在に行えるようターゲット40及びアジャスタ23が改造されている点である。ターゲット40には、拡散部材43に代えて又はそれに追加して受光素子45が受光可能に設けられる。受光素子45は、光電変換を行うためのものであり、例えばフォトダイオードやフォトトランジスタ等が採用される。また、ターゲット40は、自動制御装置50のコネクタ51を挿抜可能な結合部材も設けられ、それを介して受光素子45から電気信号を自動制御装置50に送出しうるようになっている。アジャスタ23には、回転運動を伸縮運動に変換するリンク機構等が採用されていて、内歯ギヤ24を回転させると、その回転の向きと量に応じて、鉛直方向の長さが変わるものである。内歯ギヤ24は、電動モータ55の回転出力軸の外歯ギヤ56が挿抜可能であり、その挿入時には回転運動が伝達されるようになっている。自動制御装置50は、上述のコネクタ51及び可撓性のケーブル52を介して電子回路53に受光素子45の出力信号を入力するとともに、その電子回路53が可撓性のケーブル54を介してモータ55の回転を制御するようになっている。電子回路53は、マイクロプロセッサMPU等の演算手段を具えていて、コネクタ51がターゲット40に結合するとともにモータ55の外歯ギヤ56がアジャスタ23の内歯ギヤ24に結合しているとき、受光素子45の出力に応じて受光量が増す向きにモータ55を回転させることでアジャスタ23の駆動を適切に行うようになっている。この場合、調整対象に選んだアジャスタ23に外歯ギヤ56を結合させるとともに、その鉛直上方または鉛直下方に設けられているターゲット40に、あるいは調整対象アジャスタ23の鉛直上方もしくは鉛直下方またはその近傍を光路が通っているターゲット40にコネクタ51を結合させて、自動制御装置50を作動させる。そうすると、その後は自動で、そのアジャスタ23のところの位置合わせが行われる。それから、コネクタ51及び外歯ギヤ56を外し、他のターゲット40及びアジャスタ23に結合させて、次々に、必要な位置精度や水平度が得られるまで調整を繰り返す。こうして、自動制御装置50が一台しかなくても複数箇所の位置調整を楽に済ませることができる。なお、自動制御装置50の台数がチャンバユニット20におけるアジャスタ23の個数以上である場合には、それらの結合と作動とを並行して行うことで、位置合わせを迅速に済ませることができ、その場合でも、自動制御装置50は他のチャンバユニット20等の連結時位置調整に共用することができる。なお、上記の各実施例では、レーザポインタ30とターゲット40とがチャンバユニット10とチャンバユニット20とに分かれて設けられていたが、その配置は、そのような分散配置に限られる訳でなく、例えば上述した反射鏡44のような光路曲折手段が付設されていて、アジャスタ23の作動がターゲット40の受光状態に作用するようになっていれば、同一ユニットに設けられていても良い。また、上記の各実施例では、ターゲット40に拡散部材43や光電変換用受光素子45等の光感応部材が含まれていたが、受光部材には光感応部材が含まれていなくても良く、例えば、受光点を視認しやすい平板状の貼付部材などであって受光面に印を付けやすいようなものでも良い。その場合、受光部材を真空チャンバユニットに貼り付けてから目標位置に印を刻んだり書き込んでおき、位置合わせ時にはその視認を妨げる外側板等があればそれだけ一時的に取り外しておけば良い。さらに、上記の各実施例では、第1,第2の真空チャンバユニットが異なるものであったが、それに限らず、真空チャンバユニットは、ユニット同士が横に連結されるものであれば、同様のもの同士でも良く、3台以上がインライン状に連なっていても良く、その一部に真空チャンバユニット以外のユニットが介在していても良い。"