被検体を計測する超音波計測装置であって、超音波ビームを発信し、反射超音波ビームを受信する探触子と、前記探触子から発信された前記超音波ビームを前記被検体へ向けて偏向し、且つ前記被検体からの反射超音波ビームを前記探触子へ向けて偏向する偏向装置と、前記探触子および前記偏向装置を一体に走査する駆動装置と、を有し、前記偏向装置は、前記超音波ビームを偏向する偏向角度が可変であることを特徴とする超音波計測装置。前記超音波計測装置は、前記反射超音波ビームを受信した前記探触子からの受信信号、前記偏向装置の前記偏向角度、および前記探触子または前記偏向装置の走査位置情報に基づいて、前記被検体の表面及び内部の画像情報を生成する解析装置を有することを特徴とする請求項1に記載の超音波計測装置。前記偏向装置は、回転または揺動する反射板、回転軸線に対する反射表面の傾斜角度が回転方向に連続的に変化する反射部材、または、回転軸線に対する複数の反射表面の傾斜角度がそれぞれ異なる多角形状の反射部材を有することを特徴とする請求項1または2に記載の超音波計測装置。被検体を計測する超音波計測方法であって、探触子から超音波ビームを発信する工程と、前記探触子から発信された前記超音波ビームを偏向装置により偏向して前記被検体へ向け、前記被検体からの反射超音波ビームを前記偏向装置により偏向して前記探触子へ向ける工程と、前記偏向装置の偏向角度を変更する工程と、前記探触子および前記偏向装置を一体に走査する工程と、を有することを特徴とする超音波計測方法。前記反射超音波ビームを受信した前記探触子からの受信信号、前記偏向装置の前記偏向角度、および前記探触子または前記偏向装置の走査位置情報に基づいて、前記被検体の表面及び内部の画像情報を生成する工程を有することを特徴とする請求項4に記載の超音波計測方法。前記偏向装置は、回転または揺動する反射板、回転軸線に対する反射表面の傾斜角度が回転方向に連続的に変化する反射部材、または、回転軸線に対する複数の反射表面の傾斜角度がそれぞれ異なる多角形状の反射部材を使用して、前記超音波ビームを偏向することを特徴とする請求項4または5に記載の超音波計測方法。そこで、本発明は、被検体の表面が湾曲や多数の凹凸を有する場合であっても、被検体の表面に対して垂直に超音波ビームを入射させることができる超音波計測装置および超音波計測方法を提供することを目的とする。前述した課題を解決する為に本発明では次のような超音波計測装置とした。すなわち、被検体を計測する超音波計測装置は、超音波ビームを発信し、反射超音波ビームを受信する探触子と、前記探触子から発信された前記超音波ビームを前記被検体へ向けて偏向し、且つ前記被検体からの反射超音波ビームを前記探触子へ向けて偏向する偏向装置と、前記探触子および前記偏向装置を一体に走査する駆動装置とを有し、前記偏向装置は、前記超音波ビームを偏向する偏向角度が可変であることを特徴とする。また、前述した課題を解決する為に本発明では次のような超音波計測方法とした。すなわち、被検体を計測する超音波計測方法は、探触子から超音波ビームを発信する工程と、前記探触子から発信された前記超音波ビームを偏向装置により偏向して前記被検体へ向け、前記被検体からの反射超音波ビームを前記偏向装置により偏向して前記探触子へ向ける工程と、前記偏向装置の偏向角度を変更する工程と、前記探触子および前記偏向装置を一体に走査する工程とを有することを特徴とする。本発明によれば、偏向装置により超音波ビームを偏向することができるので、被検体の表面に対して垂直に超音波ビームを入射させることができる。以下、本発明を、好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。ただし、以下の実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。実施例1図1は、本発明の実施例1による超音波計測装置100を示す図である。超音波計測装置100は、超音波ビーム10を送信および受信する探触子超音波センサ1と、探触子1を走査する走査装置20と、探触子1から送信された超音波ビーム10を偏向し走査する偏向装置30とを有する。また、超音波計測装置100は、槽16と、槽16の中で被検体3を支持する支持体18とを有する。被検体3は、湾曲や凹凸の多い複雑な形状の表面を有するものであってもよい。槽16は、探触子1から送信された超音波ビーム10を伝える水などの媒質9を収容している。探触子1は、媒質9に浸漬されている。本実施例において、探触子1は、略水平方向へ超音波ビーム10を送信するように配置されている。探触子1は、回転軸4を介してZ軸部材6により支持されている。Z軸部材6は、上下方向Z方向に延在している。回転軸4は、Z方向に垂直なY方向紙面に垂直な方向に延在している。探触子1は、回転軸4を中心にして上下方向に回転することができる。なお、Z方向の軸線を中心に探触子1を回転できるように構成してもよい。探触子1は、探触子回転駆動装置不図示により回転軸4を中心にしてZ軸部材6に対して回転させられる。探触子回転駆動装置不図示は、制御装置13に電気的に接続され、制御装置13により制御される。制御装置13は、被検体3の表面形状に従って探触子1の初期角度調整を行う。初期角度調整において、制御装置13は、探触子1を探触子回転駆動装置不図示により回転軸4を中心に回転させ、被検体3の表面形状に従った角度初期角度で探触子1を固定する。探触子回転駆動装置不図示は、探触子1の角度位置を表す探触子角度情報を制御装置13へ出力する。偏向装置30は、探触子1からの超音波ビーム10を偏向して被検体3へ向け、また、被検体3からの反射超音波ビームを偏向して探触子1へ向ける。偏向装置30は、超音波ビーム10を偏向する偏向角度が可変である。偏向装置30は、超音波ビーム10を反射する板状の反射部材以下、反射板という。2を有する。反射板2は、回転軸5を介して固定部材8により支持されている。固定部材8は、Z軸部材6に固定されている。回転軸5は、Z方向に垂直なY方向紙面に垂直な方向に延在している。反射板2は、回転軸5を中心にして図1の矢印で示す方向に回転することができる。反射板2は、反射板回転駆動装置不図示により回転軸5を中心にして固定部材8に対して回転させられる。反射板回転駆動装置不図示は、制御装置13に電気的に接続され、制御装置13により制御される。制御装置13は、反射板2を反射板回転駆動装置不図示により回転軸5を中心に回転させ、探触子1からの超音波ビーム10を偏向する。回転する反射板2により反射された超音波ビーム10は、照射範囲11内で偏向走査される。反射板回転駆動装置不図示は、反射板2の角度位置を表す反射板角度情報を制御装置13へ出力する。Z軸部材6は、Z方向駆動装置不図示により探触子1および反射板2をZ方向へ移動可能に構成されている。Z方向駆動装置不図示は、制御装置13に電気的に接続され、制御装置13により制御される。Z方向駆動装置不図示は、Z方向における探触子1の位置を表すZ位置情報を制御装置13へ出力する。Z軸部材6は、X軸部材7により支持されている。X軸部材7は、Z方向およびY方向に垂直な水平方向X方向に延在している。X方向駆動装置不図示は、Z軸部材6をX軸部材7に沿ってX方向へ移動させる。Z軸部材6のX方向への移動により、探触子1および反射板2は、X方向へ移動させられる。X方向駆動装置不図示は、制御装置13に電気的に接続され、制御装置13により制御される。X方向駆動装置不図示は、X方向における探触子1の位置を表すX位置情報を制御装置13へ出力する。X軸部材7は、Y方向駆動装置不図示によりY方向へ移動可能に構成されている。X軸部材7のY方向への移動により、探触子1および反射板2は、Y方向へ移動させられる。Y方向駆動装置不図示は、制御装置13に電気的に接続され、制御装置13により制御される。Y方向駆動装置不図示は、Y方向における探触子1の位置を表すY位置情報を制御装置13へ出力する。探触子1は、パルサーレシーバ12に電気的に接続されている。パルサーレシーバ12は、制御装置13に電気的に接続されている。制御装置13は、パルサーレシーバ12を介して探触子1の超音波ビーム10の送信および受信を制御する。パルサーレシーバ12のパルサー部は、探触子1から超音波ビーム10を発信するための駆動信号を探触子1へ送信する。パルサーレシーバ12のレシーバ部は、被検体3で反射した反射超音波ビームを受信した探触子1からの超音波受信信号を探触子1から受信する。解析装置14は、制御装置13に電気的に接続されている。解析装置14は、超音波受信信号の処理および画像化をおこなう。解析装置14は、制御装置13から得られる超音波受信信号、角度情報偏向角度情報、および走査位置情報から、被検体の表面の画像情報および被検体の内部の欠陥や異物の画像情報を生成する。角度情報は、探触子角度情報および反射板角度情報偏向角度情報を含む。走査位置情報は、探触子1のX位置情報、Y位置情報、およびZ位置情報を含む。なお、走査位置情報は、探触子1の位置ではなく、反射板2の位置を表す位置情報であってもよい。表示部15は、解析装置14に電気的に接続されている。表示部15は、解析装置14の画像情報から、被検体の表面の画像および被検体の内部の欠陥や異物の画像を表示する。以下に、超音波計測方法について説明する。通例の水浸式超音波計測装置において、被検体の表面形状に従って被検体を計測するために多関節ロボットを用いることは困難である。そこで、探触子1のX方向主走査方向のラインスキャンを一回おこなうごとに探触子1をY方向副操作方向へ移動させて、複数回の主走査方向のラインスキャンをおこない、複数回の主走査方向のラインスキャンの走査結果を合成処理して、二次元の面状の計測結果を得ている。図2は、従来の超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。超音波ビーム10は、音響インピーダンスの異なる境界で反射および透過をする。従って、一般に、被検体の表面が、平坦であり且つ超音波ビームの入射方向に対して垂直であることが、被検体を高精度に計測するための必要条件となる。図2aは、超音波ビーム10の入射方向に対して垂直な平坦な表面33aを有する被検体33に対する超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。被検体33の表面33aは、平坦であり且つ超音波ビーム10の入射方向に対して垂直であるので、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、最大になる。被検体の表面に垂直な方向に対して超音波ビームの入射方向が傾いていると、探触子が受信する反射超音波ビームの強度が低下する。さらに、被検体の内部で超音波ビームの屈折が発生するために、反射超音波ビームを受信することが困難となる場合がある。図2bは、超音波ビーム10の入射方向に垂直な方向に対して傾斜した平坦な表面43aを有する被検体43に対する超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。被検体43の表面43aは、平坦であるが傾斜しているので、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、低下する。探触子1のラインスキャンの範囲内で、被検体が湾曲を有する場合、被検体が凹凸を有する揚合、または被検体の凹凸が角度をもった形状の場合は、超音波ビーム10を被検体の表面に垂直に入射できない。そのため、被検体の表面および内部の状態を正確に計測することが困難となる。図2cは、湾曲を有する表面53aを有する被検体53に対する超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。湾曲を有する表面53aの部分53a1は、超音波ビーム10の入射方向に対して垂直であるので、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、最大になる。しかし、湾曲を有する表面53aの部分53a2は、超音波ビーム10の入射方向に垂直な方向に対して傾斜しているので、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、低下する。図2dは、凹凸を有する表面63aを有する被検体63に対する超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。凹凸を有する表面63aの部分63a1は、超音波ビーム10の入射方向に対して垂直な平坦な表面であるので、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、最大になる。しかし、凹凸を有する表面63aの部分63a2は、超音波ビーム10の入射方向に垂直な方向に対して傾斜しているので、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、低下する。そこで、本実施例による超音波計測装置100は、探触子1から送信された超音波ビーム10を偏向し走査する偏向装置30を有する。偏向装置30は、回転する反射板2を有する。反射板2は、探触子1から送信された超音波ビーム10を反射する。反射板2を回転させることにより、広範囲に多方向から超音波ビーム10を被検体3へ送信できる。図3は、実施例1による反射板2の斜視図である。図4は、本実施例による反射板2を使用した超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。図4aは、平坦な表面33aを有する被検体33に対する超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。図4bは、湾曲を有する表面53aを有する被検体53に対する超音波ビーム10の送信および受信の状態を示す図である。図4に示すように、探触子1から送信された超音波ビーム10は、回転軸5を中心に回転する反射板2により反射される。図4aのi、図4bのiおよびiiに示すように、反射板2により反射された超音波ビーム10が被検体33および53の表面に垂直に入射するときに、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、最大になる。しかし、図4aのiiおよび図4bのiiiに示すように、反射板2により反射された超音波ビーム10が被検体33および53の表面に垂直な方向に対して傾斜する方向から入射すると、探触子1が受信する反射超音波ビームの強度は、低下する。反射板2は、回転軸4を中心に探触子1を回転させる回転速度より速い回転速度で回転軸5を中心に回転させることができる。従って、回転する反射板2は、探触子1を回転させるよりも高速で広角範囲に超音波ビーム10を照射することができる。このように広角範囲で被検体に入射された超音波ビーム10は、被検体の表面に入射する角度に応じて、反射角および屈折角が変化する。従って、探触子1が受信する反射超音波ビームの情報処理は、非常に困難となる。そこで、被検体の表面を計測する場合と被検体の内部を計測する場合とで、反射超音波ビームの情報処理の方法を変更する。図5は、反射超音波ビームの強度を説明するための図である。図5aは、被検体33の平坦な表面33aに垂直に入射する超音波ビーム10を示す図である。被検体33は、内部に欠陥40を有する。図5bは、超音波ビーム10が被検体33の平坦な表面33aに垂直に入射したときの反射超音波ビームの強度を示す図である。時間t1のピークP1は、被検体33の表面33aにより反射した反射超音波ビームの強度を表している。時間t2のピークP2は、被検体33の内部の欠陥40により反射した反射超音波ビームの強度を表している。被検体33の表面33aから反射した超音波ビームは、探触子1が受信した受信信号の第一番目のピークP1かつピーク発生時間t1が最も早い。内部欠陥40からの反射超音波ビームのピークP2は、表面33aから反射した超音波ビームのピークP1の後の時間t2に発生する。図5cは、被検体33の平坦な表面33aに垂直な方向に対して斜めに入射する超音波ビーム10を示す図である。図5dは、超音波ビーム10が被検体33の平坦な表面33aに斜めに入射したときの反射超音波ビームの強度を示す図である。図5dにおいて、反射超音波ビームの強度は大きく低下し、ほとんど検出できない。以下に、被検体73の表面を計測する場合の反射超音波ビームの情報処理の方法を説明する。図6は、内部に欠陥41を有する被検体73の表面の計測を示す図である。被検体73は、水を収納した槽16内の支持体18により支持されている。被検体73は、傾斜表面73aおよび73b、および凹部73cを有する。凹部73cは、傾斜表面73c1および73c2を有する。凹部73cの傾斜表面73c1および73c2は、被検体73の傾斜表面73aおよび73bと異なる角度で傾斜している。また、被検体73は、内部に欠陥41を有する。欠陥41は、凹部73cの直下にある。図6aは、位置Aにおける被検体73の表面の計測を示す図である。位置Aにおいて、偏向装置30は、反射板2を回転揺動させることにより、探触子1から送信された超音波ビーム10を、照射範囲11図1内で偏向し走査する。図6bは、位置Aにおいて探触子1が受信した反射超音波ビームの強度を示す図である。媒質伝播時間tAにおいて、反射超音波ビーム強度の最大ピークPAが得られる。偏向装置30の回転揺動する反射板2により偏向された超音波ビーム10が被検体73の傾斜表面73aに垂直に入射したときに、反射超音波ビームの強度が最大になり、最大ピークPAが現れる。したがって、媒質伝播時間tAは、探触子1から超音波ビーム10が送信されたときから、被検体73の傾斜表面73aにより反射された反射超音波ビームを探触子1が受信するときまでの時間を表している。パルサーレシーバ12は、最大ピークPAを有する反射超音波ビームに関する情報を抽出する。すなわち、パルサーレシーバ12は、探触子1により受信された反射超音波ビームのうち最大強度感度の反射超音波ビーム受信言号の第一番目のピークかつピーク発生時間が最も早いのみを分離し抽出する。最大ピークPAにおける反射板2の反射板角度情報偏向角度情報、探触子1の走査位置情報X位置情報、Y位置情報、Z位置情報、媒質伝播時間tAから被検体73の傾斜表面73aの位置を得ることができる。よって、被検体73の表面の形状を正確に計測することができる。媒質内で、探触子1と偏向装置30とを一体にX方向主走査方向へ所定距離だけ移動させる。所定距離は、例えば、0.1ミリメートルである。上記と同様にして被検体73の表面の計測をおこなう。このようにして、X方向への所定距離の移動と計測とを繰り返す。図6cは、位置Bにおける被検体73の表面の計測を示す図である。位置Bにおいて、偏向装置30は、反射板2を回転揺動させることにより、探触子1から送信された超音波ビーム10を、照射範囲11図1内で偏向し走査する。図6dは、位置Bにおいて探触子1が受信した反射超音波ビームの強度を示す図である。媒質伝播時間tBにおいて、反射超音波ビーム強度の最大ピークPBが得られる。偏向装置30の回転揺動する反射板2により偏向された超音波ビーム10が被検体73の凹部73cの傾斜表面73c1に垂直に入射したときに、反射超音波ビームの強度が最大になり、最大ピークPBが現れる。したがって、媒質伝播時間tBは、探触子1から超音波ビーム10が送信されたときから、被検体73の傾斜表面73c1により反射された反射超音波ビームを探触子1が受信するときまでの時間を表している。パルサーレシーバ12は、最大ピークPBを有する反射超音波ビームに関する情報を抽出する。最大ピークPBにおける反射板2の反射板角度情報偏向角度情報、探触子1の走査位置情報X位置情報、Y位置情報、Z位置情報、媒質伝播時間tBから被検体73の傾斜表面73c1の位置を得ることができる。よって、被検体73の表面の形状を正確に計測することができる。さらに、探触子1と偏向装置30とを一体にX方向主走査方向へ所定距離だけ移動させ、上記と同様に計測をおこなう。X方向主走査方向の一ラインスキャンが終了した後に、探触子1と偏向装置30とを一体にY方向副操作方向へ所定距離だけ移動させる。所定距離は、例えば、0.1ミリメートルである。このように、ラインスキャンが終了するたびに、探触子1と偏向装置30とを一体に副走査方向へ所定距離だけ移動させ、複数回の主走査方向のラインスキャンをおこなう。解析装置14は、主走査方向の複数回のラインスキャンの走査結果を合成処理して、被検体73の表面の計測結果を得る。図6eは、被検体73の表面の画像化結果を示す図である。このように、探触子1と反射板2とをユニットとして、X方向およびY方向に走査することにより、被検体73の全体の表面形状を計測することができる。解析装置14は、被検体73の表面形状のデータを記憶する。解析装置14は、反射板2の反射板角度情報偏向角度情報、探触子1の走査位置情報X位置情報、Y位置情報、Z位置情報、および媒質伝播時間から、被検体73の表面の形状を画像化する。被検体73の表面の画像は、表示部15により表示される。なお、被検体73の表面の角度によっては、反射板2の角度を変化させても探触子1が反射超音波ビームを受信できない場合がある。そのような場合には、被検体73を水平方向に180度だけ回転させて被検体73の計測をする。あるいは、探触子回転駆動装置不図示により回転軸4を中心に探触子1を回転させて被検体73の計測をする。図7は、探触子1と反射板2とをユニットとしてX方向およびY方向に走査するためのフローチャートである。水を収納した槽16内の支持体18に、被検体73を固定するステップS1。制御装置13は、Z方向駆動装置不図示によりZ軸部材6をZ方向へ移動して探触子1のZ方向位置を設定するステップS2。制御装置13は、X方向およびY方向の走査範囲、探触子1の受信感度、被検体73の計測対象範囲などの条件を設定するステップS3。制御装置13は、X方向駆動装置不図示により媒質内で探触子1と反射板2を一体的にX方向へ所定距離移動させるステップS4。制御装置13は、反射板2を回転させながら探触子1により超音波ビーム10の送信及び受信をおこなうステップS5。解析装置41は、探触子1が受信した反射超音波ビームのうち、最大強度かつピーク発生時間が最も早い反射超音波ビームを分離し抽出するステップS6。解析装置は、抽出したビームから被検体73の表面位置の情報を算出する。制御装置13は、X方向のラインスキャンが終了したか否かを判断するステップS7。X方向のラインスキャンが終了していないときはステップS7のNO、ステップS4へ戻り、探触子1と反射板2を次の走査位置までX方向へ所定距離だけ移動させる。次の走査位置において、最大強度かつピーク発生時間が最も早い反射超音波ビームを分離し抽出する。X方向のラインスキャンが終了したときはステップS7のYES、制御装置13は、Y方向駆動装置不図示により探触子1と反射板2をY方向へ所定距離移動させるステップS8。制御装置13は、Y方向の走査が終了したか否かを判断するステップS9。Y方向の走査が終了していないときはステップS9のNO、ステップS4へ戻り、次のX方向のラインスキャンをおこなう。Y方向の走査が終了したときはステップS9のYES、全ての走査位置で、最大強度かつピーク発生時間が最も早い反射超音波ビームを抽出できたか否かを判断するステップS10全ての走査位置で最大強度かつピーク発生時間が最も早い反射超音波ビームを抽出できなかったときはステップS10のNO、被検体73をすでに水平方向に180度回転させたか否かを判断するステップS11。まだ、被検体73を水平方向に180度回転させていないときはステップS11のNO、被検体73を水平方向へ180度回転させるステップS12。ステップS2へ戻って、反転した被検体73を走査する。ステップS10において、全ての走査位置で最大強度かつピーク発生時間が最も早い反射超音波ビームを抽出できたときはステップS10のYES、走査を終了するステップS13。また、ステップS11において、被検体73をすでに水平方向に180度回転させたときもステップS11のYES、走査を終了するステップS13。解析装置14は、被検体73を水平方向に180度回転させて走査したか否かを判断するステップS14。被検体73を水平方向に180度回転させて走査したときはステップS14のYES、解析装置14は、被検体73を回転させる前の被検体の表面位置の情報と、被検体73を回転させた後の被検体の表面位置の情報とを合成するステップS15。解析装置14は、合成した情報に従って被検体73の表面の画像を表示装置15に表示するステップS16。ステップS14において、被検体73を水平方向に180度回転させて走査していないと判断したときはステップS14のNO、被検体の表面位置の情報に従って被検体73の表面の画像を表示装置15に表示するステップS16。次に、被検体3の内部を計測する場合の反射超音波ビームの情報処理の方法を説明する。図8は、内部に欠陥41を有する被検体73の内部の計測を示す図である。図8aは、位置Cにおける被検体73の内部の計測を示す図である。図8bは、位置Dにおける被検体73の内部の計測を示す図である。位置Cおよび位置Dにおいて、偏向装置30は、反射板2を回転揺動させることにより、探触子1から送信された超音波ビーム10を、照射範囲11図1内で偏向し走査する。内部に欠陥41または異物が存在する被検体73を計測する場合、広角な照射範囲11で入射される超音波ビーム10は、被検体73の内部を伝播し欠陥41で反射する。この反射超音波ビームの強度は、欠陥41の状態に依存するため、被検体73の表面の計測の場合のように必ずしも傾斜面73c1または傾斜面73c2に対して垂直に入射した超音波ビーム10により内部の状態を計測できるわけではない。欠陥41からの反射超音波ビームは、表面の計測と同様に探触子1により受信される反射超音波ビーム受信信号の第一ピークにもなりえる。被検体73の内部へ伝播し被検体73の内部で反射した反射超音波ビームに基づいて、超音波ビーム10の入射方向と被検体73の表面との角度を決めることができない。被検体73の表面に垂直な方向に対して斜めに入射する超音波ビーム10に関して、被検体73の表面で反射する反射超音波ビームの強度よりも、被検体73の内部で屈折した反射超音波ビームの強度が大きくなることが考えられる。そのため、被検体73の表面で反射した反射超音波ビームのピークを探触子1が受信できないことが多い。従って、超音波ビーム10がいつ媒質から被検体73の内部へ透過したかを判断できない。そこで、先に計測しておいた被検体73の表面形状、および反射超音波ビームのピーク発生時における反射板2の角度情報偏向角度情報および探触子1の走査位置情報に基づいて、内部屈折角および内部伝播時間を演算処理し、欠陥41を画像化する。解析装置14は、探触子1により受信される反射超音波ビームが、内部の欠陥41から反射した反射超音波ビームであるか否かを判断する。解析装置14は、探触子1により受信される反射超音波ビームが、探触子1の位置に対して先に計測した表面からの反射超音波ビームであるか否かを判断する。探触子1により受信される反射超音波ビームが表面からの反射超音波ビームではない場合は、探触子1により受信される反射超音波ビームが内部の欠陥41から反射した反射超音波ビームであると判断する。画像化処理については、反射板2の反射板角度情報偏向角度情報、探触子1の走査位置情報X位置情報、Y位置情報、Z位置情報から、屈折角による内部伝播時間の変化を考慮し、媒質伝播時間を演算、補正し画像化する。図8cは、被検体73の内部の画像化結果を示す図である。以上のように、本実施例によれば、複雑な形状の表面を有する被検体の内部を計測することができる。実施例2次に、図9および図10を参照して、本発明による実施例2の超音波計測装置200を説明する。実施例2の超音波計測装置200は、反射部材202を除いて実施例1の超音波計測装置100と同様である。実施例2において、実施例1と同様の構成には、同様の参照符号を付して説明を省略する。図9は、実施例2による反射部材202を示す図である。図9aは、反射部材202の斜視図である。図9bは、図9aの線IXB-IXBに沿って取った断面図である。図9cは、図9aの線IXC-IXCに沿って取った断面図である。反射部材202の反射表面202aは、反射部材202の回転軸線202bに対して連続的に傾斜角度θが変化する。すなわち、反射部材202の反射表面202aをつくる直線は、回転軸線202bの回りに回転方向に連続的に変化している。反射表面202aには、角部縁がないとよい。図9bにおいて、左側の反射表面202aの傾斜角度θ1は、右側の反射表面202aの傾斜角度θ2と異なっている。図9cにおいて、左側の反射表面202aの傾斜角度θ3は、右側の反射表面202aの傾斜角度θ4と異なっている。なお、反射部材202は、回転軸線202bを含む平面に対して面対称であってもよい。また、反射表面202aに一つまたは複数の縁部があってもよい。反射部材202は、回転軸線202bに沿って軸穴202cが設けられている。軸穴202cに回転軸205図10が嵌め込まれて固定されている。図10は、本発明の実施例2による超音波計測装置200を示す図である。反射部材202は、反射板回転駆動装置不図示により回転軸205を中心にして固定部材8に対して回転させられる。超音波計測装置200は、探触子1および反射部材202を一体的にX方向およびY方向へ移動させる。偏向装置30の反射部材202を回転させて、探触子1からの超音波ビーム10を偏向し走査して、被検体73の表面および内部を計測する。解析装置14は、探触子1の受信信号、反射部材202の回転角度情報偏向角度情報、および探触子1の走査位置情報X位置情報、Y位置情報、Z位置情報に基づいて、被検体73の表面および内部を画像化して、表示部15に画像を表示させる。実施例3次に、図11および図12を参照して、本発明による実施例3の超音波計測装置300を説明する。実施例3の超音波計測装置300は、反射部材302を除いて実施例1の超音波計測装置100と同様である。実施例3において、実施例1と同様の構成には、同様の参照符号を付して説明を省略する。図11は、実施例3による反射部材302を示す図である。図11aは、反射部材302の斜視図である。図11bは、図11aの線XIB-XIBに沿って取った断面図である。図11cは、図11aの線XIC-XICに沿って取った断面図である。反射部材302は、複数の反射表面302a302a1~302a10を有する多角形状をしている。複数の反射表面302aは、反射部材302の回転軸線302bに対してそれぞれ異なる傾斜角度βを有する。実施例3において、反射表面302aの数は、10枚である。しかし、本発明は、これに限定されることはなく、反射表面302aの数は、被検体に従って10枚よりも多くしても良いし10枚よりも少なくしても良い。図11bにおいて、反射表面302a1の傾斜角度β1は、反射表面302a6の傾斜角度β2と異なっている。図11cにおいて、反射表面302a10の傾斜角度β3は、反射表面302a5の傾斜角度β4と異なっている。なお、反射部材302は、回転軸線302bを含む平面に対して面対称であってもよい。反射部材302は、回転軸線302bに沿って軸穴302cが設けられている。軸穴302cに回転軸305図12が嵌め込まれて固定されている。図12は、本発明の実施例3による超音波計測装置300を示す図である。反射部材302は、反射板回転駆動装置不図示により回転軸305を中心にして固定部材8に対して回転させられる。超音波計測装置300は、探触子1および反射部材302を一体的にX方向およびY方向へ移動させる。偏向装置30の反射部材302を回転させて、探触子1からの超音波ビーム10を偏向し走査して、被検体73の表面および内部を計測する。解析装置14は、探触子1の受信信号、反射部材302の回転角度情報偏向角度情報、および探触子1の走査位置情報X位置情報、Y位置情報、Z位置情報に基づいて、被検体73の表面および内部を画像化して、表示部15に画像を表示させる。上記した本実施例によれば、探触子超音波ビーム発信源から発信された超音波ビームを偏向装置により偏向させることができるので、被検体が複雑な形状曲面や凹凸が多い形状を有していても、被検体の表面に対して垂直に超音波ビームを入射させることができる。よって、超音波計測の精度を向上させることができる。また、偏向装置を高速で回転させることにより所定の照射範囲内を高速で走査すること画できる。よって、迅速に超音波計測をおこなうことができる。また、偏向装置により超音波ビームを偏向し走査することにより、反射超音波ビームの強度が最も強い信号を分離抽出し画像化することで、複雑な形状の被検体の表面形状を精度良く計測することができる。このようにして得られた表面形状に基づいて、被検体の内部を精度良く計測することができる。本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、その特徴事項から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施することができる。そのため、前述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、すべて本発明の範囲内のものである。