電子源と、前記電子源から放出された電子ビームの試料上での位置を規定する偏向器とを有し、前記偏向器により位置を規定された前記電子ビームが照射されることにより前記試料から発生する2次電子信号や反射信号電子あるいは吸収電子の信号に基づいて前記試料の画像を得る電子ビーム装置において、前記試料に対して前記偏向器よりも前記電子線源側に配置された電磁偏向器と、前記電磁偏向器と分離され、前記電磁偏向器より内径が小さく前記試料からの高さ位置が前記電磁偏向器と重なるように内側に配置され、オフセット電圧の印加が可能な静電偏向器とを含む偏向色収差補正素子を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。請求項1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器が焦点補正器を兼ねることを特徴とする電子ビーム装置。請求項1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器の上下に配置され、電圧の印加が可能な上下電極を更に有し、前記上下電極は焦点補正器として用いられるものであることを特徴とする電子ビーム装置。電子源と、前記電子源から放出された電子ビームの試料上での位置を規定する偏向器とを有し、前記偏向器により位置を規定された前記電子ビームが照射されることにより前記試料から発生する2次電子信号や反射信号電子あるいは吸収電子の信号に基づいて前記試料の画像を得る電子ビーム装置において、前記試料に対して前記偏向器よりも前記電子線源側に配置された静電偏向器と、前記静電偏向器より内径が大きく前記試料からの高さ位置が前記静電偏向器と重なるように内側に配置された電磁偏向器とを含む偏向色収差補正素子を更に有し、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器、若しくは、前記電磁偏向器のいずれか一方が2段で構成されていることを特徴とする電子ビーム装置。請求項4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子は、前記静電偏向器若しくは前記電磁偏向器のうち、2段で構成される偏向器を連動させた時の偏向支点と他の偏向器の偏向支点が一致するように前記2段で構成される偏向器の強度比と偏向方向とが調整されるものであることを特徴とする電子ビーム装置。請求項1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器が4極子収差補正器や6極子収差補正器を兼ねることを特徴とする電子ビーム装置。請求項4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器が4極子収差補正器や6極子収差補正器を兼ねることを特徴とする電子ビーム装置。請求項1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器の上下に電圧の印加が可能で、前記静電偏向器の内径より長い上下電極を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。請求項4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器の上下に電圧の印加が可能で、前記静電偏向器の内径より長い上下電極を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。請求項1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器と前記電磁偏向器の間に、接地された導体もしくは電圧印加が可能な電極を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。請求項4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器と前記電磁偏向器の間に、接地された導体もしくは電圧印加が可能な電極を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。請求項1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記電磁偏向器の合計の長さより前記静電偏向器と前記上下電極の長さの合計が長いことを特徴とする電子ビーム装置。請求項4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記電磁偏向器の合計の長さより前記静電偏向器と前記上下電極の長さの合計が長いことを特徴とする電子ビーム装置。請求項1記載の電子ビーム装置において、前記試料上での前記電子ビーム位置を規定する前記偏向器と前記偏向色収差補正素子との間にレンズが更に配置されていることを特徴とする電子ビーム装置。請求項4記載の電子ビーム装置において、前記試料上での前記電子ビーム位置を規定する前記偏向器前記偏向色収差補正素子との間にレンズが更に配置されていることを特徴とする電子ビーム装置。電子源と、前記電子源から放出された電子ビームの試料上での位置を規定する偏向器と、前記偏向器により位置を規定された前記電子ビームが照射されることにより前記試料から発生する2次電子信号や反射信号電子あるいは吸収電子の信号に基づいて前記試料の画像を得る電子ビーム装置において、前記試料に対して前記偏向器よりも前記電子線源側に配置された電磁偏向器と、前記電磁偏向器と分離され、前記電磁偏向器より内径が小さく前記試料からの高さ位置が前記電磁偏向器と重なるように内側に配置され、オフセット電圧の印加が可能な静電偏向器とを含む偏向色収差補正素子と、前記電子源の電圧または前記偏向色収差補正素子の前記電磁偏向器と前記静電偏向器の各々の強度を同時に微小変化させたときの前記電子ビームの位置の変化、あるいは前記偏向器の偏向量と偏向方向の変化、若しくはその両方を自動計測する手段とを更に有することを特徴とする電子ビーム装置。しかし、これら従来技術でE×B素子を偏向色収差補正に用いる際の以下の種々の課題については考慮されていない。すなわち、1偏向色収差の補正では電磁偏向と静電偏向の各々で大きく偏向するため、高電圧の電圧源や大電流の電流源が必要となり、偏向依存する動的な補正には応答遅れが課題となる。2偏向場が大きくなることで派生して生じる幾何収差以下寄生収差と呼ぶが大きくなる。3機械的な製造組み立て誤差により、電磁偏向器と静電偏向器の偏向支点が一致せず、2と同様に寄生収差が発生する。4高い補正精度の要求を満たすE×B素子の調整手段が確立していない。本発明の第1の目的は、偏向色収差の補正を行っても、応答遅れや偏向起因の寄生収差を抑制でき、広い視野での偏向を高分解能で実現することのできる電子ビーム装置を提供することにある。本発明の第2の目的は、製造起因の寄生収差を抑制でき、広い視野での偏向を高分解能で実現することのできる電子ビーム装置を提供することにある。本発明の第3の目的は、E×B素子の調整が容易な電子ビーム装置を提供することにある。本発明の第4の目的は、偏向起因の寄生収差及び製造起因の寄生収差を抑制することのできる電子ビーム装置を提供することにある。上記第1の目的を達成するために、1試料上での電子ビーム位置を規定する偏向器の上方に電磁偏向器と、電磁偏向器と重なるように電磁偏向器より内径の小さなオフセット電圧の印加が可能な静電偏向器を設けること、上記第2の目的を達成するために、2電磁偏向器若しくは静電偏向器のどちらかを2段とすること、上記第3の目的を達成するために、3電子ビーム位置を規定する対物偏向器の上方のレンズより上方に電磁偏向器と静電偏向器を配置すること、上記第4の目的を達成するために、4各々の偏向器の強度を同時に微小変化させるか、電子源の電圧を微小変化させた際の、ビームの位置の変化や位置を規定する偏向器の偏向量走査倍率と偏向方向走査領域の回転の変化を自動計測する手段を有すること、或いは5静電偏向器が非点補正器や焦点補正器を兼ねることがそれぞれ有効である。本発明により偏向色収差の高感度の補正、と寄生収差の低減や補正が可能となり、高分解能を維持したままの広視野偏向が可能となる。以下、実施例により説明する。第1の実施例について、図8、図10~図13を用いて説明する。図10は、本実施例に係る電子ビーム装置走査電子顕微鏡の全体概略図である。電子銃101から放出された電子ビーム102は第1コンデンサレンズ103と第2コンデンサレンズ130と対物レンズ108により試料上に結像される。試料から放出される2次電子や反射電子104は中間にある検出器105により検出される。試料上の電子ビームは対物偏向器106により2次元に走査され、結果として2次元画像を得ることが出来る。2次元画像は表示装置119に表示される。本実施例に係る走査電子顕微鏡において偏向色収差を抑制するための電磁偏向器1023と静電偏向器122は試料上の位置を規定する対物偏向器106及び第2コンデンサレンズ130より上方に、同心円状で試料からの高さ位置が重なるように配置されている。なお、符号109は試料、符号110はホルダーステージ、符号111は電子銃制御部、符号112は第1コンデンサレンズ制御部、符号114は走査偏向器制御部、符号115は電磁レンズ制御部、符号116は試料電圧制御部、符号117は記憶装置、符号118は装置全体の制御演算部、符号120は電磁偏向器制御部、符号121はオフセット付き静電偏向器制御部、符号131は第2コンデンサレンズ制御部を示す。また、図11は走査電子顕微鏡内の電子光学構成の1部を詳しく図示したものである。図11に示すように偏向色収差補正素子207は電磁偏向器1116と静電偏向器206を有している。電磁偏向器1116の磁場と静電偏向器206の磁場を直交させることにより、電子ビームの位置をおおむね維持しながら偏向色収差を発生させることが出来る。一方、対物偏向器210は試料上の電子ビームの位置を規定するものであり、偏向にともない偏向色収差を発生させる。従って、対物偏向器210の動作と連動して偏向色収差素子207の各偏向器を動作させることで偏向色収差を相殺することが可能である。試料上での電子ビームの偏向は2次元に行うので、偏向色収差補正素子207の各偏向器も2次元偏向が可能な偏向器である。しかし、偏向色収差を発生させるためには各偏向器の偏向量を大きくする必要がある。そのためには電磁偏向器1116の駆動電流や静電偏向器206の駆動電圧を大きくしなければならない。更に、対物偏向器210と連動させるためにこれらの駆動は高速高精度で行う必要がある。従って、駆動電圧や駆動電流を小さくする、すなわち偏向感度を向上させる、ことが必須となる。また、それぞれの偏向器に必要な偏向量を小さくすることは偏向による幾何収差寄生収差を低減することにもなり、2重に利点を得ることが出来る。なお、符号201は電子源、符号202はアース電極、符号208は電磁偏向のみの電子軌道、符号209は静電偏向のみの電子軌道、符号211は2次電子や反射電子、符号212は検出器、符号213は対物レンズ、符号214はコンデンサレンズ、符号215は試料を示す。図12に偏向器周辺の上面図を示す。本実施例に係る走査電子顕微鏡の電子光学系の構造では、電磁偏向器1116の内側に静電偏向器206を配置し、静電偏向器206に電圧のオフセットを加えることによって電子ビームを減速している。なお、静電偏向器206は電磁偏向器1116と同心円状に配置することが望ましい。本方式の優れた点は、電磁偏向器1116と静電偏向器206が分離されていることにある。これにより、電磁偏向器1116を真空外に配置することが可能であり、電磁偏向器1116に用いられる電磁コイル1201からの脱ガスによる真空度の劣化や非導電性のフェライト1202によるチャージアップを回避することが出来る。また、電磁偏向器1116はアースレベルの電位での駆動が可能となる。一方、両者の偏向器の相対的な偏向方向が機械的な誤差を受けやすくなるが、機械的誤差に伴う幾何収差寄生収差は静電偏向器206を8極化することで補正することが可能となる。静電偏向器206は円周上に電極が配置された8極偏向器であり、円周上に電極を配置することで、静電偏向器206のオフセット電圧と電子ビームの電位を出来るだけ一致させている。また、静電偏向器206と電磁偏向器1116の間にアース電極202が挿入されている。このアース電極202は静電偏向器上下での電位の安定化を果たすとともに、電子ビーム通路の真空を維持するための真空隔壁の役割も担っている。なお、電磁偏向器1116は多極子場の低減のためにコサイン巻きとしている。多極子場の低減のためにコサイン巻きとすること自体は慣用技術である。コサイン巻き電磁偏向器1116は、8極静電偏向器206と幾何学的な構造の対称性が異なる。本実施例の電磁偏向器1116では2極子成分のみ生成するコサイン巻きを採用し、静電偏向器206は多極子成分生成が可能な幾何収差寄生収差の補正が可能な8極偏向器を採用した。このことは偏向色収差の相殺に伴い生じる幾何収差の低減に重要である。更に、図11に示すように、静電偏向器206の上下に電圧印加が可能な円筒状の電極上部制御電極203、下部制御電極204が配置されており、静電偏向器206のオフセット電圧と同等の電圧を印加している。なお、言うまでもないが、静電偏向器には偏向電圧とオフセット電圧とが印加される。この電極の効果は電子ビームの減速領域を拡大することにある。静電偏向器206の偏向電場は偏向器の上下に染み出している。従って、上下の領域での電子ビームをオフセット電圧相当に減速するためには、更に上下に制御電極を配置する必要がある。偏向電場の染み出しの長さは静電偏向器の内径に依存し、電極の長さを内径より長くすることで減速効果を確実なものとすることが出来る。このことは電磁偏向器による電子ビームの軌道変化と静電偏向器による電子ビームの軌道変化を相殺する精度を向上させるためにも重要となる。従って、上下に制御電極に印加する電圧は静電偏向器206に印加するオフセット電圧とおおそよ同じになることが望ましい。また、電子ビームの減速や加速は静電レンズ効果を引き起こす。従って、静電レンズ領域と静電偏向領域を分離し、幾何収差寄生収差を低減するためにも長い制御電極を上下に設置することが重要である。同様に電磁偏向器1116の磁場の染み出しも考慮する必要があり、電磁偏向器1116の合計の長さより静電偏向器206と上部制御電極203、下部制御電極204の長さの合計が長いことが必要である。図8は本実施例に係る電子顕微鏡における電子ビームの広がりを図示したものである。偏向色収差補正の感度は偏向色収差補正素子静電偏向器122、電磁偏向器1023とクロスオーバー位置との距離に大きく依存する。第2クロスオーバー802の位置は対物レンズ108の特性を最適化するために、例えば試料109の観察に用いる電子ビーム102のエネルギーにより、変化する。したがって、偏向色収差補正素子の特性が大きく変化しないように更に上部の第1クロスオーバー801の上方に偏向色収差補正素子静電偏向器122、電磁偏向器1023を配置した。言葉を変えれば、電子ビーム位置を規定する対物偏向器106の上方のレンズ第2コンデンサレンズ130より上方に電磁偏向器1023と静電偏向器122を配置することになる。偏向色収差補正の感度を高めることにより、高電圧の電圧源や大電流の電流源が不要となり、偏向依存する動的な補正時の応答遅れが改善される。次に、図13にしたがって本実施例に係る走査電子顕微鏡における電子光学構成の調整手段を説明する。試料215上での電子ビーム位置を計測するために基準マークとしてビーム位置計測マーク410を設けてある。電磁偏向器電源1301、オフセット付き静電偏向器電源402に各々の偏向器に所定の強度を与え、電子源電源407で電子源101の電圧を微小量変化させたときの電子ビームの位置の変化を測定する。これにより偏向色収差補正素子静電偏向器206、電磁偏向器1116における補正能力を評価することが出来る。同様に電磁偏向器電源1301、静電偏向器電源402の強度を微小比率変化させたときの電子ビームの位置の変化を測定することでも評価が可能である。同様の評価は対物偏向器210での偏向色収差特性にも活用が可能であり、位置を規定する偏向器の偏向量走査倍率と偏向方向走査領域の回転の変化を測定することで評価できる。これらのデータから対物偏向器210による偏向と偏向色収差素子の動作を連動させることが可能となる。なお、符号213は対物レンズ、符号404は対物偏向器電源、符号405は対物レンズ電源、符号406はデジタル制御系を示す。本実施例では電子源電圧-3kVに対してオフセット電圧として-2kVを印加した。対物偏向器に連動して偏向収差補正素子静電偏向器206、電磁偏向器1116を作動させることにより、対物偏向器を用いて試料上で80μm角の大きさにスキャンしても、得られた画像の分解能の劣化は低減することが出来た。結果として、ステージ移動無しで大面積の撮像が可能となり、多点寸法計測でのスループットが80以上向上した。以上説明したように、試料上での電子ビーム位置を規定する偏向器の上方に電磁偏向器と、電磁偏向器と重なるように電磁偏向器より内径の小さなオフセット電圧の印加が可能な静電偏向器を設けることにより、偏向色収差の補正を行っても、応答遅れや偏向起因の寄生収差を抑制でき、広い視野での偏向を高分解能で実現することのできる電子ビーム装置を提供することができる。また、電子ビーム位置を規定する対物偏向器の上方のレンズより上方に電磁偏向器と静電偏向器を配置することにより、偏向色収差補正素子E×B素子の調整が容易な電子ビーム装置を提供することができる。また、各々の偏向器電磁偏向器、静電偏向器の強度を同時に微小変化させるか、電子源の電圧を微小変化させた際の、ビームの位置の変化や位置を規定する偏向器の偏向量走査倍率と偏向方向走査領域の回転の変化を自動計測する手段を有することにより、偏向起因の寄生収差及び製造起因の寄生収差を抑制することのできる電子ビーム装置を提供することができる。第2の実施例について、図1~図4を用いて説明する。なお、実施例1に記載され本実施例に未記載の事項は、特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。図1は本実施例に係る電子ビーム装置走査電子顕微鏡の概略全体構成図である。実施例1とは、偏向色収差補正素子を構成する電磁偏向器123が2段となっている点で相違している。なお、図10と同一の符号は同一の構成を示す。図2は本実施例に係る走査電子顕微鏡内の電子光学構成を説明するための要部断面図である。図2に示すように偏向色収差補正素子207は2つの電磁偏向器216、217と静電偏向器206を有している。なお、図11と同一の符号は同一の構成を示す。電磁偏向器上段電磁偏向器216、下段電磁偏向器217が2段である効果は偏向支点が調整可能であることにある。電磁偏向器と静電偏向器の偏向支点が一致しないと偏向色収差補正素子の内部で電子軌道が離軸し、幾何収差寄生収差が増大する。設計上電磁偏向器と静電偏向器の位置を一致させても加工や組み立ての誤差が生じるために実際の偏向支点は一致しない。従って、電磁偏向器と静電偏向器のどちらかを2段とすることが望ましい。両方2段でも可能であるが、構造が複雑になることやコストが増大することを考慮すると好ましくない。2段とした偏向器もそれぞれ2次元偏向が可能であり、偏向支点を一致させるために、強度比と偏向角度を最適化することとなる。加工や組み立ての誤差の影響を相殺するために最適化するので、上下段の電磁偏向器の強度と偏向の向きはおおむね一致している。図3に偏向色収差補正素子の上面図を示す。本実施例でも静電偏向には8極偏向器を用いている。次に、図4にしたがって本実施例に係る走査電子顕微鏡における電子光学構成の調整手段を説明する。試料上での電子ビーム位置を計測するために基準マークとしてビーム位置計測マーク410を設けてある。上段電磁偏向器電源401、下段電磁偏向器電源403、オフセット付き静電偏向器電源402に各々の偏向器に所定の強度を与え、電子源電源407で電子源の電圧を微小量変化させたときの電子ビームの位置の変化を測定する。これにより偏向色収差補正素子における補正能力を評価することが出来る。同様に上段電磁偏向器電源401、下段電磁偏向器電源403、静電偏向器電源402の強度を微小比率変化させたときの電子ビームの位置の変化を測定することでも評価が可能である。同様の評価は対物偏向器210での偏向色収差特性にも活用が可能であり、位置を規定する偏向器の偏向量走査倍率と偏向方向走査領域の回転の変化を測定することで評価できる。これらのデータから対物偏向器による偏向と偏向色収差素子の動作を連動させることが可能となる。また、電磁偏向と静電偏向での偏向支点を一致させるために、試料上での各偏向の移動量を相殺した状態で、対物レンズの中心を通過するように電磁偏向の上下段強度と偏向の向きを調整している。本実施例では電子源電圧-3kVに対してオフセット電圧として-2kVを印加した。対物偏向器に連動して偏向収差補正素子を作動させることにより、対物偏向器を用いて試料上で80μm角の大きさにスキャンしても、得られた画像の分解能の劣化は低減することが出来た。結果として、ステージホルダー移動無しで大面積の撮像が可能となり、多点計測でのスループットが100以上向上した。以上説明したように、本実施例においても実施例1と同様の効果が得られる。また、電磁偏向器を2段とすることにより、製造起因の寄生収差を抑制でき、広い視野での偏向を高分解能で実現することのできる電子ビーム装置を提供することができる。第3の実施例について、図5を用いて説明する。なお、実施例1又は実施例2に記載され本実施例に未記載の事項は、特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。図5は、本実施例に係る電子ビーム装置走査電子顕微鏡の電子光学構成を説明するための概略要部断面図である。なお、図2と同一の符号は同一の構成を示す。また、走査電子顕微鏡全体の構成は実施例1あるいは2とほぼ同様である。これらとの相違は、本実施例では、静電偏向器を上段静電偏向器502と下段静電偏向器503との2段とし、電磁偏向器501を1段としている点にある。効果は実施例2と同様に偏向支点を一致させることが可能となる。本実施例では電子源電圧-3kVに対してオフセット電圧として-2kVを印加した。対物偏向器に連動して偏向収差補正素子を作動させることにより、対物偏向器を用いて試料上で80μm角の大きさにスキャンしても、得られた画像の分解能の劣化は低減することが出来た。結果として、ステージホルダー移動無しで大面積の撮像が可能となり、多点計測でのスループットが100以上向上した。以上説明したように、本実施例においても実施例1と同様の効果が得られる。また、静電偏向器を2段とすることにより、製造起因の寄生収差を抑制でき、広い視野での偏向を高分解能で実現することのできる電子ビーム装置を提供することができる。第4の実施例について、図6を用いて説明する。なお、実施例1乃至実施例3のいずれかに記載され本実施例に未記載の事項は、特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。図6は、本実施例に係る電子ビーム装置走査電子顕微鏡の電子光学構成を説明するための概略要部断面図である。なお、図2と同一の符号は同一の構成を示す。また、走査電子顕微鏡全体の構成は実施例1あるいは2とほぼ同様である。本実施例の特徴相違点は、アース電極の代わりに電圧印加電極602を設けたことにある。その目的は偏向色収差補正素子207以外の領域での電子ビームを加速することにある。このことは電子ビーム軌道を外乱から強くする効果がある。静電偏向器206に加えるオフセット電圧は電圧印加電極に加える電圧を考慮して決める必要があり、補正感度と静電レンズ効果の双方を考慮して決定した。本実施例では電子源電圧-2kV、電圧印加電極に2kV印加し、静電偏向器に-1kV印加している。実施例1と比較して静電レンズ効果が大きくなっているが、偏向色収差補正素子以外の領域での電子ビーム軌道の安定性は増大している。結果として本実施例でも対物偏向器を用いて試料上で80μm角の大きさにスキャンしても、偏向色収差の補正が可能となり、ステージ移動無しで大面積の撮像が可能となった。これにより多点計測でのスループットが80以上向上した上に測長再現性が01nm向上した。以上説明したように、本実施例においても実施例2と同様の効果が得られる。また、電磁偏向器と静電偏向器との間に電圧印加電極を備えることにより、偏向色収差補正素子以外の領域での電子ビームを加速することができ、電子ビーム軌道を外乱から強くすることができる。第5の実施例について、図7を用いて説明する。なお、実施例1乃至実施例4のいずれかに記載され本実施例に未記載の事項は、特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。図7は、本実施例に係る電子ビーム装置走査電子顕微鏡の電子光学構成を説明するための概略要部断面図である。ここで、図2と同一の符号は同一の構成を示す。本実施例の特徴は、静電偏向器701が焦点補正器と非点補正器を兼ねていることにある。偏向色収差補正素子207により生じる幾何収差寄生収差の中でコマ収差の補正は出来ないが、像面湾曲焦点ずれと非点収差は適切な光学素子を用いることで補正可能である。しかし、この補正をたとえば対物レンズ213内で行ってしまうと対物偏向器210の強度や偏向方向にもフィードバックをする必要が生じてしまい、制御が複雑になってしまう。したがって、偏向色収差補正素子207内で補正してしまうことが望ましい。前述したように減速電場は静電レンズ効果を生じる。したがってこの静電レンズ効果を制御することで焦点補正が可能となる。例えば、-3kVのオフセット電圧を-301kVとすることで試料上の焦点を10μm変化させることが可能である。これはオフセット電圧が存在することで焦点感度が向上したためで、オフセット電圧がない場合は桁違いの電圧が同じ焦点補正に必要となる。すなわち電子ビームを減速することは、偏向色収差補正と焦点補正に同時に有効な手段であることが分かる。この際は電位変化の大きなところで補正を行うことが有効なので、上下段の制御電極703、704のオフセット電圧を変えること、すなわち制御電極兼焦点補正器として活用すること、が有効である。また、図12のように静電偏向器が8極の電極から形成されている。これらの電極に4極子の対称性を持つ電場が発生するように電圧を重畳することが可能であり、4極子場に起因する非点収差補正を行うことが出来る。更に、これらの電極に6極子の対称性を持つ電場が発生するように電圧を重畳すれば、6極子場に起因するコマ収差補正を行うことが出来る。例えば8つの電極へ印加する電圧の例としては以下の通りになる。偏向の場合時計回りにおおよそ、104041104041、非点収差補正の場合、10101010、コマ収差補正の場合、110404110404となる。コマ収差補正の場合は電極の電圧分布に高い周波数の角度依存性が必要となるため、補正に必要な最大電圧や最小電圧を印加した電極に隣接した電極の電圧は正負が反転している。6極子場を8極偏向器で作成できることは、偏向器構造の簡易化の観点から重要な結果である。以上のように本実施例での光学素子を用いることで、偏向色収差のみならず像面湾曲や非点収差などの幾何収差寄生収差の補正が可能である。幾何収差の補正機能は偏向色収差補正素子みずから発生する幾何収差のみならず、後段にある試料上のビーム位置を規定する偏向により発生する像面湾曲や非点収差の補正も可能となる。このことは本発明の目的である広い視野での偏向を高分解能で実現するために極めて有効である。本実施例のもう1つの特徴を図9により説明する。本実施例における装置全体の構成は実施例1あるいは2とほぼ同様であるが、第3コンデンサレンズ901が1段多い。図9は本実施例に係る走査電子顕微鏡における電子ビームの広がりを説明するための電子軌道図である。ここで、図8と同一の符号は同一の構成を示す。前述したように偏向色収差補正素子静電偏向器122、電磁偏向器123の感度は第1クロスオーバー801との距離に大きく依存する。したがって、本実施例ではコンデンサレンズを3段にすることで第1クロスオーバー801との距離を固定化した。すなわち、試料への照射する電子ビーム電圧や開き角に依存したクロスオーバー位置の変更は第2クロスオーバー802位置及び第3クロスオーバー902位置の変更のみで対応できるようにしている。本実施例では電子源電圧-3kVに対してオフセット電圧として-2kVを印加した。偏向色収差補正素子で発生した像面湾曲、非点収差、コマ収差の他に、試料上での偏向により生じる偏向色収差、像面湾曲、非点収差の3つの収差を補正した。結果として対物偏向器を用いて試料上で150μm角の大きさにスキャンしても、得られた画像において高分解能の維持が可能となり、ステージ移動無しで大面積の撮像が可能となった。これにより多点計測でのスループットが120以上向上した。以上説明したように、本実施例においても実施例2と同様の効果が得られる。また、静電偏向器が焦点補正器と非点補正器とを兼ねることにより、焦点補正と非点補正とを偏向色収差補正素子内で行うことができる。また、偏向色収差補正素子とクロスオーバー位置との距離を固定化することにより、偏向色収差補正素子の感度を一定にすることができる。なお本発明は電子ビーム装置の基本的な特性に関するものであり、走査電子顕微鏡に限定されるものではなく、電子ビームによるパターンサイズの計測、欠陥の検出や欠陥の種類の同定、パターン形成、広視野での観察など広く電子ビーム装置に適用可能である。本実施例を図14及び図15により説明する。図14は図10に電子ビームの広がりを追記したもので、図15は本実施例における電子光学系を示している。図10では電子銃から出た電子ビーム102は第1コンデンサレンズ103と偏向色収差補正素子により結像される。偏向色収差補正素子の感度を向上させるためには電子ビーム102の電圧の半分以上の電子をオフセットとして印加することが必要であり、偏向色収差補正素子は静電レンズとして作用する。従って、図10では第1コンデンサレンズ103と偏向色収差補正素子の2つのレンズにより結像されることになる。このことは偏向色収差補正素子による中間結像1の位置の変化を第1コンデンサレンズ103により調整できる利点があるが、装置構成は複雑になる。偏向色収差補正素子を第2コンデンサレンズ130の下方においても同様である。一方、図15では偏向色収差補正素子のみで結像させている。オフセット電圧を調整することで、偏向色収差補正感度向上と第2中間像面1402の形成を実現することが可能となり、電子光学系の簡素化が出来る。また、第1コンデンサレンズ103との併用この場合は第1コンデンサレンズと偏向色収差補正素子の間にも第1中間像面1401が形成させる。することで偏向色収差補正感度と中間像面位置を独立して調整することが出来る。以上のように偏向色収差補正素子が中間像を形成するための静電レンズを兼ねることで電子光学系の簡素化が可能となる。また、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることも可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加削除置換をすることが可能である。以上、本願発明を詳細に説明したが、以下に主な発明の形態を列挙する。1電子源と、前記電子源から放出された電子ビームの試料上での位置を規定する偏向器とを有し、前記偏向器により位置を規定された前記電子ビームが照射されることにより前記試料から発生する2次電子信号や反射信号電子あるいは吸収電子の信号に基づいて前記試料の画像を得る電子ビーム装置において、前記試料に対して前記偏向器よりも前記電子線源側に配置された電磁偏向器と、前記電磁偏向器と分離され、前記電磁偏向器より内径が小さく前記試料からの高さ位置が前記電磁偏向器と重なるように内側に配置され、オフセット電圧の印加が可能な静電偏向器とを含む偏向色収差補正素子を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。2上記1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器が焦点補正器を兼ねることを特徴とする電子ビーム装置。3上記1記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器の上下に配置され、電圧の印加が可能な上下電極を更に有し、前記上下電極は焦点補正器として用いられるものであることを特徴とする電子ビーム装置。4電子源と、前記電子源から放出された電子ビームの試料上での位置を規定する偏向器とを有し、前記偏向器により位置を規定された前記電子ビームが照射されることにより前記試料から発生する2次電子信号や反射信号電子あるいは吸収電子の信号に基づいて前記試料の画像を得る電子ビーム装置において、前記試料に対して前記偏向器よりも前記電子線源側に配置された静電偏向器と、前記静電偏向器より内径が大きく前記試料からの高さ位置が前記静電偏向器と重なるように内側に配置された電磁偏向器とを含む偏向色収差補正素子を更に有し、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器、若しくは、前記電磁偏向器のいずれか一方が2段で構成されていることを特徴とする電子ビーム装置。5上記4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子は、前記静電偏向器若しくは前記電磁偏向器のうち、2段で構成される偏向器を連動させた時の偏向支点と他の偏向器の偏向支点が一致するように前記2段で構成される偏向器の強度比と偏向方向が調整されるものであることを特徴とする電子ビーム装置。6上記1又は4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器が4極子収差補正器や6極子収差補正器を兼ねることを特徴とする電子ビーム装置。7上記1又は4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器の上下に電圧の印加が可能で、前記静電偏向器の内径より長い上下電極を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。8上記1又は4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記静電偏向器と前記電磁偏向器の間に、接地された導体もしくは電圧印加が可能な電極を更に有することを特徴とする電子ビーム装置。9上記1又は4記載の電子ビーム装置において、前記偏向色収差補正素子の前記電磁偏向器の合計の長さより前記静電偏向器と前記上下電極の長さの合計が長いことを特徴とする電子ビーム装置。10上記1又は4記載の電子ビーム装置において、前記試料上での前記電子ビーム位置を規定する前記偏向器と前記偏向色収差補正素子との間にレンズが更に配置されていることを特徴とする電子ビーム装置。11電子源と、前記電子源から放出された電子ビームの試料上での位置を規定する偏向器と、前記偏向器により位置を規定された前記電子ビームが照射されることにより前記試料から発生する2次電子信号や反射信号電子あるいは吸収電子の信号に基づいて前記試料の画像を得る電子ビーム装置において、前記試料に対して前記偏向器よりも前記電子線源側に配置された電磁偏向器と、前記電磁偏向器と分離され、前記電磁偏向器より内径が小さく前記試料からの高さ位置が前記電磁偏向器と重なるように内側に配置され、オフセット電圧の印加が可能な静電偏向器とを含む偏向色収差補正素子と、前記電子源の電圧または前記偏向色収差補正素子の前記電磁偏向器と前記静電偏向器の各々の強度を同時に微小変化させたときの前記電子ビームの位置の変化、あるいは前記偏向器の偏向量と偏向方向の変化、若しくはその両方を自動計測する手段とを更に有することを特徴とする電子ビーム装置。