弾性体である支持部材内に試料を埋め込み、試料の表面と支持部材の裏面とを平行に研磨し、支持部材の表面と裏面間に圧縮荷重を負荷して、支持部材単独の荷重-変位特性を示す支持部材変位特性を求め、次いで、試料の表面に圧子を押込んで、支持部材及び試料の荷重-変位特性を示す複合変位特性を求め、複合変位特性から支持部材変位特性を差し引いて、試料単独の荷重-変位特性を示す純変位特性を求め、純変位特性から試料の物性を求める、ことを特徴とするナノインデンテーション試験のデータ補正方法。ナノインデンテーション試験の対象である試料を固定するとともに試料の表面と平行になるように研磨された裏面を有する支持部材と、試料又は支持部材の表面に押し込まれる圧子と、圧子に作用する圧縮荷重と圧子の変位を検知する検知部と、圧子を試料又は支持部材に向けて駆動する駆動部と、検知部の出力を処理する処理部と、を備え、処理部は、試料がない状態で支持部材の表面に圧子を押込んで検知部から出力された圧縮荷重及び変位から、支持部材単独の荷重-変位特性を示す支持部材変位特性を求める支持部材変位特性算出部と、支持部材に固定された試料の表面に圧子を押込んで検知部から出力された圧縮荷重及び変位から、支持部材及び試料の荷重-変位特性を示す複合変位特性を求める複合変位特性算出部と、複合変位特性から支持部材変位特性を差し引いて、試料単独の荷重-変位特性を示す純変位特性を求める純変位特性算出部と、を有することを特徴とするナノインデンテーション試験装置。ここで、ナノインデンテーション試験を行う前において、試料の表面を鏡面程度に仕上げる必要があり、柔らかい樹脂台等以下、支持部材に埋め込んで研磨をせざるをえない場合が多い。また、ナノインデンテーション試験では、試料の表面と裏面との平行度をあるレベル以上に保つ必要がある。その為には、研磨した後で樹脂台から試料を外し、新たに平行度を出すための研磨等をするのではなく、樹脂台に埋め込まれた状態で所定の平行度を出す方が作業効率は良い。したがって、ナノインデンテーション試験を用いて硬度、ヤング率、および降伏応力等を評価するための試料は、ヤング率の比較的小さい埋め込み樹脂等による支持部材で支持される場合が多い。かかる場合、計測される荷重-変位線図に、支持部材や圧子固定マウント自体の変形も重なってしまい、評価対象としている試料そのものの荷重-変位線図の応答が得られないことがあった。この結果、例えば、圧子固定マウントの状況が変わった場合や、試料及び圧子固定マウント条件が複数ある場合には、それぞれの状況に対応した参照試料を作製して補正値を算出する必要があった。また、実験的に補正値を求める際に、算出の精度を上げるために押し込み荷重を大きくする必要がある。しかし、荷重が小さい側の補正値は、荷重が大きい側のデータからの外挿によって算出することとなり、十分な精度が得られないことがあるという問題点があった。そこで、本発明の目的は、ナノインデンテーション試験の結果に対する補正値を容易に求め、この補正値によって評価対象としている試料そのものの物性を高い精度で算出することができるナノインデンテーション試験装置とそのデータ補正方法を提供することにある。本発明によれば、弾性体である支持部材内に試料を埋め込み、試料の表面と支持部材の裏面とを平行に研磨し、支持部材の表面と裏面間に圧縮荷重を負荷して、支持部材単独の荷重-変位特性を示す支持部材変位特性を求め、次いで、試料の表面に圧子を押込んで、支持部材及び試料の荷重-変位特性を示す複合変位特性を求め、複合変位特性から支持部材変位特性を差し引いて、試料単独の荷重-変位特性を示す純変位特性を求め、純変位特性から試料の物性を求める、ことを特徴とするナノインデンテーション試験のデータ補正方法が提供される。また、本発明によれば、ナノインデンテーション試験の対象である試料を固定するとともに試料の表面と平行になるように研磨された裏面を有する支持部材と、試料又は支持部材の表面に押し込まれる圧子と、圧子に作用する圧縮荷重と圧子の変位を検知する検知部と、圧子を試料又は支持部材に向けて駆動する駆動部と、検知部の出力を処理する処理部と、を備え、処理部は、試料がない状態で支持部材の表面に圧子を押込んで検知部から出力された圧縮荷重及び変位により、支持部材単独の荷重-変位特性を示す支持部材変位特性を求める支持部材変位特性算出部と、支持部材に固定された試料の表面に圧子を押込んで検知部から出力された圧縮荷重及び変位により、支持部材及び試料の荷重-変位特性を示す複合変位特性を求める複合変位特性算出部と、複合変位特性から支持部材変位特性を差し引いて、試料単独の荷重-変位特性を示す純変位特性を求める純変位特性算出部と、を有することを特徴とするナノインデンテーション試験装置が提供される。上記本発明の方法及び装置によれば、支持部材単独の荷重-変位特性を示す支持部材変位特性を予め取得しておき、ナノインデンテーション試験で得られる支持部材及び試料の荷重-変位特性を示す複合変位特性から支持部材変位特性を差し引くことで、対象材料の本来の物性を算出することができる。本発明の好ましい実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図1は、本発明によるナノインデンテーション試験装置の構成図である。図1Aはナノインデンテーション試験装置全体の断面図であり、図1Bは試料及び支持部材の斜視図である。この図において、1は試料、2は支持部材、6はフレーム、7はステージである。ナノインデンテーション試験は、試料1の硬度、ヤング率、および降伏応力等を評価することを目的として行われる。試料1は、セラミックスや金属を主成分とする物質を対象としており、試験時には厚さが2mm~15mm、表面積が100mm2程度のものを使用する。ナノインデンテーション試験を行う際には、表面を鏡面程度に研磨する必要がある。この際に、試料1が非常に薄い場合等には試料自体の重量が軽いことから非常に不安定になることがあるため、試料1よりも剛性の低い支持部材2に試料1を埋め込む形で作業を行う必要がある。また、ナノインデンテーション試験では、試料1の表面と裏面の平行度をあるレベル以上に保つ必要があるが、支持部材2に埋め込んだままの状態で所定の平行度を出すほうが作業効率がよい。したがって、ナノインデンテーション試験で用いられる支持部材2は、ヤング率の比較的小さいフェノール樹脂、エポキシ樹脂等を主成分としていることが好ましい。また、この例においては、支持部材2は直径が30mm、厚さが30mm程度の円柱形のものを使用することを想定している。試料1は、支持部材2が柔らかい状態のうちに支持部材2に埋め込まれ、支持部材2が固形化した後に、支持部材2の上下が平行で、かつ、試料1が表面に出るように研磨を行うことで一体化させる。試験は、埋め込みが完了した支持部材2をステージ7の上に設置することで実施する。圧子3は、この例においては、三角錐の形状を取っており、対頂角が115°のものいわゆるBerkovich圧子形状を想定している。図1において本発明によるナノインデンテーション試験装置は、支持部材2、圧子3、検知部5、駆動部4、及び処理部8を備える。駆動部4は、圧子3に接続されており、フレーム6によって支えられる状態で圧子3を試料1又は支持部材2に向けて駆動する。また、駆動部4は、例えば試験者が実験についての指示を入力する操作部図示しないからの指示に従って、試料1に対して荷重の増減を行うことが可能である。検知部5は、駆動部4の荷重の増減に伴って、圧子3に作用する圧縮荷重と圧子3の変位を検知する。各変位を検知部5において検知した後は、処理部8に情報を伝達する。処理部8は、例えばコンピュータPCであり、支持部材変位特性算出部8a、複合変位特性算出部8b、及び純変位特性算出部8cを有する。支持部材変位特性算出部8aは、試料1がない状態で支持部材2に圧子3を押込んで検知部5から出力された圧縮荷重と変位から、支持部材2単独の荷重-変位特性を示す支持部材変位特性を求める。複合変位特性算出部8bは、支持部材2に固定された試料1の表面に圧子3を押込んで検知部5から出力された圧縮荷重と変位から、支持部材2及び試料1の荷重-変位特性を示す複合変位特性を求める。純変位特性算出部8cは、複合変位特性算出部8bで求めた複合変位特性から支持部材変位特性算出部8aで求めた支持部材変位特性を差し引いて、試料1単独の荷重-変位特性を示す純変位特性を求める。図2は、本発明による補正方法を用いた場合の荷重-変位線図の例である。図2Aは、補正前の荷重-変位線図であり、図2Bは、支持部材2の物性についての荷重-変位線図である。また、図2Cは、支持部材2の物性について補正後の荷重-変位線図である。図2Aは圧子3によって、試料1に次第に荷重を加えていき、10秒~30秒程度、最大荷重の状態を維持した後に、荷重を減少させていく過程についての荷重-変位線図である。図2Bに記載の支持部材2についての荷重-変位線図は、実際に試験で使用する支持部材2と同じ大きさのものを別個用意して試験を行う。しかし、支持部材2の物性について既にデータが存在するものについては、そのデータを元に線図を作成してもよい。なお、荷重を与えない場合には当然ながら変位は0であり、荷重を与えるに従って変位が増加する形の線図になる。よって、図2Cに実線として記載しているように補正後の荷重-変位線図は荷重が0のときは補正前の荷重-変位線図と同じ線図を描き、荷重が増加するに従って補正後の変位が補正前の変位と比較して小さくなる形状の線図を描くことになる。上記方法によって、予め所定の各荷重での支持部材2の変形特性を取得しておき、試験結果の荷重-変位線図から支持部材2の変形特性による変形量を差し引いた補正後の荷重-変位線図を求めることによって、試料1本来の物性を求めることが可能になる。ここで、試料1の硬さ及びヤング率を評価するための計算方法について記載する。図3は、試料1の硬さ及びヤング率の計算に必要な値を表記した荷重-変位線図の例である。この図において、Pmaxは荷重-変位線図における荷重の最大値、hmaxは荷重-変位線図における変位の最大値最大押込み深さ、Sは荷重-変位線図における接線の傾き、hcはSとX軸との交点である。かかる場合、硬さHは数1の式123により求められる。ここで、Aは、接触投影面積であり、圧子3と試料1が接触している領域を押込み方向に投影した面積である。なお、通常の硬さ試験では錐の面と試料の接触面積で硬さを定義するが、ナノインデンテーション計装化硬さ試験では接触部の投影面積で定義されている。また、ESは試料1のヤング率、νSは試料1のポアソン率、Eiは圧子のヤング率、νiは圧子にポアソン比とすると、複合ヤング率Eは数2の式45により求められる。図4は、本発明について試験を行った際の試験結果である。図4Aは、試験結果の荷重-変位線図であり、図4Bは、荷重が500~600mN付近の拡大図である。かかる各数値及び上記各式に従って、補正前及び補正後の数値を比較すると以下のようになる。[表1]が入力する各数値、[表2]が計算によって求められた各数値である。なお、本試験における支持部材2は高さが30mm、有効断面積が100mm2、ヤング率が8GPaのものを採用している。また、ヤング率誤差の計算において、試料1の一般的な値として2.0×106MPaと比較した数値を算出している。ここで、試料1について硬さHは、補正なしの場合と比較して補正ありの場合の方が高くなっている。これは、樹脂等からなる支持部材2の柔らかさの影響で低めに算出されていた硬さについての値が高い値になり、試料1単独での硬さの値に近づいたものと考えられる。さらに、ヤング率の誤差は、補正なしにおいて19.7、補正後において9.2となるため、ヤング率の誤差が減少していることが分かる。よって、本発明によると試料1についての硬さ及びヤング率を補正することが可能になる。本発明は上述した実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得ることは勿論である。