検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置のカメラを介して取得された撮影イメージの明るさと画素数とを軸としたヒストグラムの幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階と、前記ヒストグラムが明るさ軸の方向においてグラフの中央に近いように調整する過程を通じて前記検査装置の照明強度を調整する段階と、を含むことを特徴とする検査装置の照明強度の設定方法。前記ヒストグラムの明るさ軸の方向における幅が狭くなるように調整する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の検査装置の照明強度設定方法。前記照明強度の平均を媒介変数とする有効インデックス情報を用いて前記検査装置の照明強度を調整する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の検査装置の照明強度設定方法。前記有効インデックス情報は、視認性visibility情報であることを特徴とする請求項3記載の検査装置の照明強度設定方法。前記照明強度の平均を媒介変数とする有効インデックス情報を用いて前記検査装置の照明強度を調整する段階は、前記検査装置の照明強度を変化しながら視認性情報を測定する段階と、測定された前記視認性情報に対して検査領域の面積に対する有効画素の比率が所定の有効値を超える照明強度を前記検査装置の照明強度に設定する段階と、を含むことを特徴とする請求項4記載の検査装置の照明強度設定方法。前記検査装置の照明強度を変化しながら視認性情報を測定する段階後に、前記測定された視認性情報を用いて有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つを前記検査装置のカメラを介して可視的にあらかじめ表示する段階をさらに含むことを特徴とする請求項5記載の検査装置の照明強度設定方法。前記検査装置の照明は、格子パターン照明であることを特徴とする請求項1記載の検査装置の照明強度設定方法。前記検査装置のカメラを介して取得した撮影イメージのヒストグラムの明るさ軸方向の幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階の前に、指定されたダーク値以下の際前記ダーク領域は第1カラーに表示され、指定されたブライト値以上の際前記ブライト領域は第2カラーに表示される段階をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の検査装置の照明強度設定方法。検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置の照明強度を変化しながら前記検査基板に光を照射する段階と、前記検査基板によって反射された光を前記検査装置のカメラを介して取得して前記検査基板のイメージデータを取得する段階と、前記取得された検査基板のイメージデータから前記照明強度設定のための測定データを取得する段階と、前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階と、を含むことを特徴とする検査装置の照明強度設定方法。前記照明強度設定のための測定データは、視認性及び階調値のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項9記載の検査装置の照明強度設定方法。前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記視認性及び階調値に基づいて前記検査装置の照明強度が設定されることを特徴とする請求項9記載の検査装置の照明強度設定方法。前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記検査基板のイメージデータから前記測定データが所定の範囲内に入る有効画素の数がしきい値以上となる照明強度が前記検査装置の照明強度に設定されることを特徴とする請求項9記載の検査装置の照明強度設定方法。前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記検査基板のイメージデータから前記視認性及び前記階調値が設定された範囲内に入る有効画素の数がしきい値以上となる照明強度が前記検査装置の照明強度に設定されることを特徴とする請求項9記載の検査装置の照明強度設定方法。検査装置内に設定ターゲットを装着する段階と、前記設定ターゲットを対象とするテストプログラムを使用して前記検査装置の照明のフォーカス状態、格子移送器具の移送状態、照明の均一性の状態及び照明の照度状態のうち少なくとも一つ以上を含む前記検査装置のハードウェア状態をチェックする段階と、チェックされた前記検査装置のハードウェア状態を使用者に表示する段階と、を含むことを特徴とする検査装置の診断方法。前記設定ターゲットは照明のフォーカス状態をチェックするための第1領域、格子移送器具の移送状態をチェックするための第2領域、照明の均一性をチェックするための第3領域及び照明の照度状態をチェックするための第4領域のうち少なくとも一つの領域を含むことを特徴とする請求項14記載の検査装置の診断方法。前記検査装置のハードウェア状態を表示する段階においては、前記チェックされたハードウェア状態を数値化した情報及び前記チェックされたハードウェア状態と出荷時のハードウェア状態とを比較して等級化した情報のうち少なくとも一つを表示することを特徴とする請求項14記載の検査装置の診断方法。従って、本発明の目的は、自動化されたテストプログラムを通じて検査プローブprobeのハードウェア状態をチェックして出荷時と比べて現在の動作状態が適切であるかを判断する検査装置の診断方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は検査基板の特性に応じて測定変数を自動に再設定して作業ファイルjobfileの設定時間を短縮し、検査精密度を向上させることのできる検査装置の測定変数設定方法を提供することにある。本発明の一実施形態に係る検査装置の照明強度設定方法は、検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置のカメラを介して取得された撮影イメージの明るさと画素数とを軸としたヒストグラムの幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階と、前記ヒストグラムが明るさ軸の方向においてグラフの中央に近いように調整する過程を通じて前記検査装置の照明強度を調整する段階と、を含む。前記検査装置の照明強度設定方法は、前記ヒストグラムの明るさ軸の方向における幅が狭くなるように調整する段階をさらに含んでいてもよい。前記検査装置の照明強度設定方法は、前記照明強度の平均を媒介変数とする有効インデックス情報を用いて前記検査装置の照明強度を調整する段階をさらに含んでもよい。前記有効インデックス情報は視認性情報であってもよい。前記照明強度の平均を媒介変数とする有効インデックス情報を用いて前記検査装置の照明強度を調整する段階は、前記検査装置の照明強度を変化しながら視認性情報を測定する段階と、測定された前記視認性情報において検査領域の面積に対する有効画素の比率が所定の有効値を超えるようにする照明強度を前記検査装置の照明強度に設定する段階と、を含んでいてもよい。前記検査装置の照明強度を変化しながら視認性情報を測定する段階後に、前記検査装置の照明強度設定方法は前記測定された視認性情報を用いて有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つを前記検査装置のカメラを介して可視的にあらかじめ表示する段階をさらに含んでもよい。前記検査装置の照明は、格子パターン照明であってもよい。前記検査装置の照明強度設定方法は、前記検査装置のカメラを介して取得した撮影イメージのヒストグラムの明るさ軸方向の幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階の前に、指定されたダーク値以下の際前記ダーク領域は第1カラーに表示され、指定されたブライト値以上の際前記ブライト領域は第2カラーに表示される段階をさらに含んでいてもよい。本発明の他の実施形態に係る検査装置の照明強度設定方法は、検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置の照明強度を変化しながら前記検査基板に光を照射する段階と、前記検査基板によって反射された光を前記検査装置のカメラを介して取得して前記検査基板のイメージデータを取得する段階と、前記取得された検査基板のイメージデータから前記照明強度設定のための測定データを取得する段階と、前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階と、を含む。前記照明強度設定のための測定データは、視認性及び階調値のうち少なくとも一つを含んでいてもよい。前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記視認性及び階調値に基づいて前記検査装置の照明強度が設定されてもよい。前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記検査基板のイメージデータから前記測定データが所定の範囲内に入る有効画素の数がしきい値以上となる照明強度が前記検査装置の照明強度に設定されてもよい。前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記検査基板のイメージデータから前記視認性及び前記階調値が設定された範囲内に入る有効画素の数がしきい値以上となる照明強度が前記検査装置の照明強度に設定されてもよい。本発明の一実施形態に係る検査装置の診断方法は、検査装置内に設定ターゲットを装着する段階と、前記設定ターゲットを対象とするテストプログラムを使用して前記検査装置の照明のフォーカス状態、格子移送器具の移送状態、照明の均一性の状態及び照明の照度状態のうち少なくとも一つ以上を含む前記検査装置のハードウェア状態をチェックする段階と、チェックされた前記検査装置のハードウェア状態を使用者に表示する段階と、を含む。前記設定ターゲットは照明のフォーカス状態をチェックするための第1領域、格子移送器具の移送状態をチェックするための第2領域、照明の均一性をチェックするための第3領域及び照明の照度状態をチェックするための第4領域のうち少なくとも一つの領域を含んでいてもよい。前記検査装置のハードウェア状態を表示する段階においては、前記チェックされたハードウェア状態を数値化した情報及び前記チェックされたハードウェア状態と出荷時のハードウェア状態とを比較して等級化した情報のうち少なくとも一つを表示してもよい。本発明による検査装置の診断及び測定変数設定方法によれば、自動化されたテストプログラムを使用して検査装置のハードウェアの現在状態をチェックすることで、出荷時と比べて現在の動作状態が適切であるかを判断することができる。また、多様な特性を有する検査基板に対応して最適の照明強度及び視認性基準値などの測定変数を自動に再設定することで、作業ファイルに格納される検査条件の設定時間を短縮して使用者の利便性を高め、間違った設定による測定誤謬を減少させ検査精密度を向上させることができる。本発明は多様な変更を加えることができ、多様な形態を有することできる。ここでは、特定の実施形態を図面に例示し本文に詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の開示形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むこととして理解されるべきである。第1、第2などの用語は多用な構成要素を説明するのに使用されることがあるが、前記構成要素は前記用語によって限定解釈されない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみとして使用される。例えば、本発明の権利範囲を外れることなく第1構成要素を第2構成要素ということができ、類似に第2構成要素も第1構成要素ということができる。本出願において使用した用語は単なる特定の実施形態を説明するために使用されたもので、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は文脈上明白に示さない限り、複数の表現を含む。本出願において、含むまたは有するなどの用語は明細書に記載された特徴、数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを意味し、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないこととして理解されるべきである。特別に定義しない限り、技術的、科学的用語を含んでここで使用される全ての用語は本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるのと同一の意味を有する。一般的に使用される辞書に定義されている用語と同じ用語は関連技術の文脈上有する意味と一致する意味を有すると解釈されるべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的またも過度に形式的な意味に解釈されない。以下、図面を参照して本発明の好適な一実施形態をより詳細に説明する。図1は本発明の一実施形態に係る検査装置を概略的に示す図面である。図1において、図面符号150は検査対象物、設定ターゲットまたは検査基板を示す。図1を参照すると、本発明の一実施形態に係る検査装置100は検査対象物150を支持及び移送するためのステージ140、検査対象物150にパターン照明を照射するための一つ以上の第1照明部110、検査対象物150に2次元情報の取得のための照明を照射するための第2照明部120及び検査対象物150から反射される光を受けパターンイメージ及び平面イメージを撮影する少なくとも一つのカメラ130を含む。第1照明部110は検査対象物150の高さ情報、視認性visibility情報などの3次元情報を取得するためにパターン照明を検査対象物150に照射する。例えば、第1照明部110は光を発生する光源112、光源112からの光をパターン照明に変換する格子素子114、格子素子114をピッチ移送するための格子移送器具116及び格子素子114によって変換したパターン照明を検査対象物150に投影するための投影レンズ118を含む。格子素子114は位相遷移されたパターン照明を発生するためにピエゾアクチュエータpiezoactuator:PZTなどの格子移送器具116を通じて2πn分ごとにn番移送してもよい。ここで、nは2以上の自然数である。このような構成を有する第1照明部110は検査精密度を高めるためにカメラ130を中心に円周方向に沿って一定の角度で離隔するように複数個設置してもよい。第2照明部120は円形のリング形状で形成されステージ140に隣接するように設置される。第2照明部120は検査対象物150の初期アラインまたは検査領域設定などのために2次元情報を取得するための照明を検査対象物150に照射する。例えば、第2照明部120は白色光を発生する蛍光ランプを含むか、または赤色、緑色及び青色光をそれぞれ発生する赤色発光ダイオード、緑色発光ダイオード及び青色発光ダイオードを含んでもよい。カメラ130は第1照明部110のパターン照明の照射を通じて検査対象物150のパターンイメージを撮影し、第2照明部120の2次元情報を取得するための照明の照射を通じて検査対象物150の平面イメージを撮影する。例えば、カメラ130は検査対象物150と垂直に上部方向に設置される。このような構成を有する検査装置100は第1照明部110及び第2照明部120を用いて検査対象物150に光を照射し、前記光によって検査対象物150から反射されるイメージをカメラ130を通じて撮影することで、検査対象物150の3次元イメージ及び2次元イメージを取得して検査対象物150を測定することができる。一方、図1に示された検査装置100は一例に過ぎなく、一つ以上の照明部とカメラを含む多様な構成に変更可能である。以下、前記した構成を有する検査装置100の診断方法及び測定変数設定方法に対して具体的に説明する。図2は本発明の一実施形態に係る検査装置の診断方法を示すフローチャートである。図1及び図2を参照すると、検査装置100にの現在状態を診断するために、検査装置100診断用に別途製作された設定ターゲット150を検査装置100内のステージ140に装着するS100。以後、設定ターゲット150を対象にして自動化されたテストプログラムを使用して検査装置100のハードウェア状態をチェックするS110。具体的に、検査装置100はステージ140に装着された設定ターゲット150に第1照明部110または第2照明部120を介して照明を照射した後カメラ130を通じてイメージを撮影し、撮影されたイメージを分析して検査装置100に具備された検査プローブのハードウェア状態をチェックする。例えば、検査装置100は第1照明部110または第2照明部120に対する照明のフォーカス状態、格子移送器具116の移送状態、照明の均一性の状態及び照明の照度の状態などについて自動的に現在状態をチェックする。ここで、前記照明のフォーカス状態は、第1照明部110または第2照明部120を通じて設定ターゲット150に投影されたパターンのMTFModulationTransferFunctionを計算した値に対応する。前記格子移送器具116の移送状態は、ピエゾアクチュエータPZTの移送がカメラ130から見たとき等間隔であるかを数値化した値に対応する。前記照明の均一性の状態は、カメラ130の視野範囲FieldofView:FOVにおいて照明の最大値と最小値との差異を数値化した値に対応する。前記照明の照度の状態は、現時点で最も明るい照度を、測定に必要な照度のうち、所定の最も暗い照度と比較してチェックするための測定変数に対応する。一方、設定ターゲット150は多様な種類のハードウェア状態のチェックのために複数の領域に区分することができる。例えば、設定ターゲット150は照明のフォーカス状態をチェックするための第1領域、格子移送器具116の移送状態をチェックするための第2領域、照明の均一性の状態をチェックするための第3領域及び照明の照度の状態をチェックするための第4領域を含んでもよい。それぞれの領域には該当ハードウェアのチェックのための適切なパターンが形成されてもよい。また、一つの領域で2つ以上のハードウェア状態のチェックを行えるようにしてもよい。検査装置100に対するハードウェア状態のチェックが完了されると、チェックされたハードウェアの現在状態を使用者に表示するS120。例えば、検査装置100のハードウェア状態をチェックした後、照明のフォーカス状態、格子移送器具116の移送状態、照明の均一性の状態及び照明の照度の状態などのチェックされた現在状態を数値化した情報、及びチェックされた現在の状態と出荷当時の状態とを比較して現在のハードウェア状態を等級別に区分した情報のうち少なくとも一つの情報を表示する。使用者は表示されたハードウェア状態の等級を確認して該当ハードウェアのメンテナンスが必要か否かを判断することができる。このように、自動化されたテストプログラムを使用して検査装置100のハードウェアの出荷当時の状態と現在の状態とを比較して表示することで、現在の動作状態の適切さを判断することができる。前記した検査装置100を通じて検査基板150を検査する場合に、検査基板150が製造メーカーによって色相及び反射度などの特性が異なる場合があるので、検査基板150の特性に合わせて測定変数を最適化してもよい。前記測定変数は、例えば、照明強度、視認性などを含んでいてもよい。図3は本発明の一実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示すフローチャートである。図1及び図3を参照すると、検査基板150の特性に対応される検査装置100の測定変数を設定するために、検査基板150を検査装置100内のステージ140上に装着するS200。以後、検査基板150の特性に対応される検査装置100の照明強度は自動に設定されるS210。具体的に、検査装置100はステージ140に装着された検査基板150に第1照明部110または第2照明部120を介して照明を照射した後カメラ130を通じて撮影イメージを取得する。前記撮影イメージを撮影することにより、好適には、第1及び第2照明部110、120及びカメラ130を含む検査プローブを、検査基板150上の空きスペースのうち、できるだけ小さい位置に移動した後に、撮影イメージを取得してもよい。以後、前記撮影イメージのヒストグラムの調整を通じて検査装置100の照明強度を設定する。図4a及び図4bはヒストグラムの調整過程を示す図面である。図4aは撮影イメージのヒストグラムを示し、図4bは調整後のヒストグラムを示す。図4a及び図4bのヒストグラムにおいて、x軸はイメージの明るさを表し、y軸はイメージの明るさに対応する画素数を表す。図4a及び図4bを参照すると、ヒストグラムの調整はヒストグラムの平均Aがグラフのx軸方向において中央に近いように位置する過程、ヒストグラムの幅Bがダーク領域C及びブライト領域Dを避けるように調整する過程、及びヒストグラムの幅Bが最大に狭くなるように調整する過程などを通じて行われる。このようなヒストグラムの調整を通じてできるだけ狭い範囲の照明強度を設定することで、該当検査基板150の特性に対応した最適化された照明強度の範囲を設定することができる。カメラで測定可能な階調値は0乃至255である。ヒストグラムが中央に位置する場合、測定された照明強度はカメラで測定可能な階調値の範囲内に入るようになる。従って、カメラで照明強度が測定可能な画素の数を増加するためにヒストグラムをx軸方向において図の中央に近いように調整することができる。一方、照明の強度を設定することにおいて、指定したブライト値以上である部分があれば赤い色で表示し、指定したダーク値以下である部分があれば青い色で可視的に表示する方式で望ましい照明強度の範囲を設定することができる。照明強度を設定した後、検査基板150の特性に対応した検査装置100の視認性基準値を設定するS220。前記視認性基準値は検査の有効性を判断するための測定変数であり、0~1の範囲内で使用者の設定に応じて決定される。図5a及び図5bは視認性基準値を設定する過程を示す図面である。図5a及び図5bは照明強度の変化によって視認性基準値を超える有効画素の比率を示す。図5a及び図5bを参照すると、視認性基準値を設定するために、照明強度の設定段階S210で設定された照明強度の範囲内で照明の強度を変化しながら視認性情報を測定する。視認性情報の測定結果、図5aに示すように、検査領域RegionofInterest:ROIの面積に対する有効画素面積の比率が使用者が所望する有効値以下であることがあり得る。この際、前記有効値は使用者によって事前に設定される値であり、例えば、約95に設定されてもよい。すなわち、検査基板150の色相、反射度などの特性によって、視認性基準値があまりに高く設定されている場合、有効画素面積の比率が前記有効値を超えなくなる。従って、このような場合には検査を有効に実行することができなくなるので、視認性基準値を該当検査基板150の特性に対応できるように再設定する必要がある。これにより、測定された視認性情報に対して検査領域の面積、例えば、検査領域の総面積に対する有効画素の比率が既設定された前記有効値を超えるように視認性基準値を設定する。例えば、視認性基準値を変化しながら有効画素面積の比率変化を測定していくと図5bに示すように、有効画素面積の比率が前記有効値を超える視認性値を検出することができ、このようにして検出した視認性値を視認性基準値に設定するようになる。一方、前記測定された視認性情報を用いて前記有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つを可視的に前記検査装置のカメラを介して示されるようにあらかじめ表示してもよい。以後、照明強度の設定段階S210及び視認性基準値の設定段階S220で設定された照明強度及び視認性基準値を設定値として格納するS230。このように、多様な特性を有する検査基板150に応じた最適の照明強度及び視認性基準値を自動に再設定することで、多様な検査基板150に対する有効な検査を実行し検査の信頼性を向上させることができる。一方、照明強度または視認性基準値を設定する過程中、検査領域内で実際にはんだが塗布されるパッド領域を除いたホール、シルクなどの特定領域の情報を取得して、以後実行される実際の検査工程にこのような情報を活用して検査の信頼性を向上させることができる。図6は本発明の他の実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示す流れ図である。図1及び図6を参照すると、検査基板150の特性に対応した検査装置100の測定変数を設定するために、検査基板150を検査装置100内のステージ140上に装着するS300。以後、検査基板150の特性に対応した検査装置100の照明強度の1次範囲を自動に設定するS310。照明強度の1次範囲の設定は検査装置100のカメラ130を介して取得した撮影イメージのヒストグラムの調整を通じて行われてもよい。ヒストグラムの調整は図4bに示すように、ヒストグラムの平均Aがグラフのx軸方向において中央に近いように位置するよう調整する過程、ヒストグラムの幅Bがダーク領域C及びブライト領域Dを避けるように調整する過程、ヒストグラムの幅Bが最も狭くなるように調整する過程などを通じて行われる。このとき、ヒストグラムの幅Bに該当する照明強度の範囲が照明強度の1次範囲R1となる。このようなヒストグラムの調整を通じて該当検査基板150の特性に対応してまず照明強度の1次範囲R1を設定することができる。また、照明強度の1次範囲R1の設定過程において、指定したブライト値以上である部分があれば赤い色で表示し、指定したダーク値以下である部分があれば青い色で可視的に表示する方式で照明強度の1次範囲R1を設定してもよい。以後、前記照明強度の1次範囲R1内においての有効インデックス情報を用いて検査装置100の照明強度の2次範囲R2を自動で設定するS320。前記有効インデックス情報としては、例えば、視認性情報が使用されてもよい。照明強度の2次範囲R2を設定するために、照明強度の1次範囲R1の設定段階S310で設定された照明強度の1次範囲R1内で照明の強度を変化しながら視認性情報を測定する。以後、図5bに示すように、視認性情報の測定結果、検査領域の面積、例えば、検査領域の総面積に対する有効画素面積の比率が所定の有効値を超える範囲を照明強度の2次範囲R2に設定する。一方、前記測定された視認性情報を用いて前記有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つを可視的に前記検査装置のカメラを介してあらかじめ表示してもよい。以後、設定された照明強度の2次範囲R2を設定値として格納するS330。このように、検査装置100の照明強度に対してヒストグラム分析を通じて1次範囲R1を設定した後、1次範囲R1内で視認性情報を用いて2次範囲R2を設定することで、検査基板150の特性に対応した照明強度の細かい設定調整が可能となる。このように設定された照明強度の2次範囲R2内で検査を実行することで、検査の精密度を高くすることができる。一方、照明強度を設定する過程中、検査領域内で実際にはんだが塗布されるパッド領域を除いたホール、シルクなどの特定領域の情報を取得して、以後に進行される実際の検査工程にこのような情報を活用して検査の信頼性を向上させることができる。図7は本発明のさらに他の実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示す。図1及び図7を参照すると、検査基板150の特性に対応する検査装置100の測定変数を設定するために、検査基板150を検査装置100内のステージ140上に装着するS400。以後、検査装置100の第1照明部110の照明強度を変化しながら検査基板150に光を照射した後S410、検査基板150によって反射された光を検査装置100のカメラ130を介して取得して照明強度に応じた検査基板150のイメージデータを取得するS420。以後、取得された検査基板150のイメージデータで画素別に視認性及び階調値を測定するS430。すなわち、照明強度ごとに撮影したイメージデータそれぞれにおいて画素別視認性及び階調値を測定する。以後、前記視認性及び階調値に基づいて第1照明部110の照明強度を設定するS440。例えば、検査基板150のイメージデータから前記階調値及び視認性が所定の有効範囲内の有効画素の数をカウントした後、有効画素の数が臨界値以上となるようにする照明強度を第1照明部110の照明強度に設定する。または、検査基板150のイメージデータから前記階調値及び視認性が所定の有効範囲内に入る有効画素に対する視認性の合計がしきい値以上となるような照明強度を第1照明部110の照明強度に設定してもよい。すなわち、照明強度別に取得されたイメージデータそれぞれに対して前記階調値及び視認性に基づいて有効画素を算出した後、前記有効画素数または有効画素に対する視認性の合計などが最大となるイメージデータに対応する照明強度を第1照明部110の照明強度に設定してもよい。一方、前記測定された視認性情報を用いて前記有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つが前記検査装置のカメラを介して視認可能であるように、あらかじめ表示しておくことができる。カメラで測定可能な階調値は0乃至255である。従って、位相遷移モアレ測定方式でパターン照明を使用して3次元形状を測定するために、光源の干渉効果による正弦波sinusoidalwave形態の照明強度の変化範囲が0から255の間のとき検査領域で0以下または255以上で正弦波形を離れるなどの歪曲のない正弦波形が測定可能である。従って、0と255との間に、例えば、10と230を設定して正弦波形の歪曲が起こらないように照明強度を設定することができる。即ち、階調値を照明強度を設定するための変数として使用することができる。視認性は測定データの正弦波形の品質を測定し信頼度の高い測定データであるかの可否を判別するために用いられる。信頼度の高い測定データを取得するためにしきい値以上の視認性が確保された正弦波形が得られるように照明強度を設定することができる。すなわち、視認性を照明強度を設定するための変数として使用することができる。カラー、反射度などのようなボード特性が使用者または照明強度設定方法によって入力されると、前記ボード特性に対する照明強度及び視認性を事前に設定された範囲内で自動に設定して最適のパラメータを導出する。これを通じて作業ファイルの設定時間を短縮し精密度を向上させることができる。すなわち、作業ファイル検査条件を測定対象物に合わせて自動に再調整して測定誤差を減少させることができる。上述したように、自動化されたテストプログラムを使用して検査装置100のハードウェアの現在状態をチェックすることで、出荷当時の状態と比較して現在動作状態の適切さを判断することができる。また、多様な特性を有する検査基板150に対応して最適の照明強度及び視認性基準値などの測定変数を自動に再設定することで、作業ファイルに格納される検査条件の設定時間を短縮して使用者の利便性を高め、間違った設定による測定誤差を減少させて検査の精密度を向上させることができる。以上、本発明を実施形態によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。