先端に探針を持つカンチレバーを有し、該探針に対向配置したサンプル表面に対して前記探針を平行なX-Y平面に移動させるXY駆動機構および前記サンプル表面に垂直なZ方向に移動させるZ駆動機構と、カンチレバーの撓み方向の変位情報および捻れ方向の変位情報を検出する変位検出手段を備えた摩擦力顕微鏡において、前記捩れ方向の変位情報に基づく捩れ変位信号から摩擦力を算定するために必要なパラメータとして、カンチレバーの捻れの中心から前記探針の先端までの探針高さhおよびカンチレバーの捩れによる捩れバネ定数Ktが、前記カンチレバーの撓み方向の変位情報から求めた撓み感度および前記捩れ方向の変位情報から求めた捩れ感度によりそれぞれを算定し、該算定した探針高さhおよび捩れバネ定数Ktにより摩擦力を算定する摩擦力算定手段を備えることを特徴とする摩擦力顕微鏡。前記探針高さhが、次式により求めるものである請求項1に記載の摩擦力顕微鏡。Lは前記カンチレバーのレバー部長さ、dは前記カンチレバーの前記探針側端部から前記探針先端位置までの前記レバー部に平行な長さ、SDIFはZ方向の前記カンチレバーの撓み方向の変位信号と変位量の比率、GDIFはZ方向の前記カンチレバーの撓み方向の変位信号増幅率、SFFMはXY方向の前記カンチレバーの捩れ方向の変位信号と変位量の比率、GFFMはXY方向の前記カンチレバーの撓み方向の変位信号増幅率。前記捩れバネ定数Ktが、次式により求めるものである請求項1又は2に記載の摩擦力顕微鏡。Lは前記カンチレバーのレバー部長さ、dは前記カンチレバーの前記探針側端部から前記探針先端位置までの前記レバー部に平行な長さ、wは前記カンチレバーの幅、ftは前記カンチレバーの捩れモードの共振周波数、ρは前記カンチレバーの材質に基づく密度、Gは前記カンチレバーの材質に基づく横弾性係数。請求項1に記載の摩擦力顕微鏡が、前記カンチレバーをZ方向に振動させるカンチレバー加振手段を有し、該カンチレバーを、その撓み方向の共振周波数近辺の所定の周波数範囲にて掃引させた際の振動状態から得た撓み方向の周波数特性及びそれと併せて取得した捩れ方向の周波数特性とから、前記捩れ方向の共振周波数ftを求めるものである請求項1又は3に記載の摩擦力顕微鏡。前記カンチレバーのレバー部長さLと、前記カンチレバーの前記探針側端部から前記探針先端位置までの前記レバー部に平行な長さdと、前記カンチレバーの幅wと、が、光学像又電子像を基に側長を行なうものである請求項1~4のいずれかに記載の摩擦力顕微鏡。しかし、上記のカンチレバーの各パラメータを補正するための方法ではそれぞれ次のような問題がある。iカンチレバーの寸法として厚みを精度良く測定することは困難であり、且つ捻れ方向のバネ定数が厚みの3乗に比例することから、基の側長の誤差が拡大され精度の良い捻れバネ定数の値を算定することは困難である。iiカンチレバーに照射するレーザー光のスポット形状や強度の分布、カンチレバーの反射面の不均一さによって、撓み方向と捻れ方向の感度が同じあるいは一定の比率にはならない。iiiカンチレバーの探針先端は光学顕微鏡では観察できないほど小さく測定は困難である上に、走査型プローブ顕微鏡においてカンチレバーの捻れから摩擦力を測定する摩擦力顕微鏡において、摩擦力を算定するために必要な探針の高さは、単に探針が取り付けられているカンチレバーの表面から探針先端までの長さではなく、カンチレバーの捻れの回転中心から探針先端までの長さである。しかし、顕微鏡等により外部から観察しただけでは、カンチレバーの捻れの回転中心を特定することは出来ず、どの部分から探針先端までの長さを測定すれば良いか判断する手段が無い。以上の課題を解決するために、本発明では外観の観察から寸法を測定した場合に測定誤差が大きいカンチレバーの探針高さやカンチレバーの厚みを直接測定するのではなく、カンチレバーの変位信号やカンチレバーの共振周波数から算定することにより、カンチレバーの形状等の測定誤差を小さくし、より高精度に試料の摩擦力を求める方法の提供を目的とする。前記課題を解決するために、本発明の摩擦力顕微鏡は、先端に探針を持つカンチレバーを有し、該探針に対向配置したサンプル表面に対して探針を平行なX-Y平面に移動させるXY駆動機構およびサンプル表面に垂直なZ方向に移動させるZ駆動機構と、カンチレバーの撓み方向の変位情報および捻れ方向の変位情報を検出する変位検出手段を備えた摩擦力顕微鏡において、捩れ方向の変位情報に基づく捩れ変位信号から摩擦力を算定するために必要なパラメータとして、カンチレバーの捻れの中心から探針の先端までの探針高さhおよびカンチレバーの捩れによる捩れバネ定数Ktが、カンチレバーの撓み方向の変位情報から求めた撓み感度および捩れ方向の変位情報から求めた捩れ感度によりそれぞれを算定し、該算定した探針高さhおよび捩れバネ定数Ktにより摩擦力を算定する摩擦力算定手段を備えるようにした。また、摩擦力算定手段において、カンチレバーの捻れの中心から探針の先端までの探針高さhおよびカンチレバーの捩れによる捩れバネ定数Ktは、所定の算定式により算定するものとした。具体的には、カンチレバーのレバー部長さL、カンチレバーの探針側端部から探針先端位置までのレバー部に平行な長さd、Z方向のカンチレバーの撓み方向の変位信号と変位量の比率SDIF、Z方向のカンチレバーの撓み方向の変位信号増幅率GDIF、XY方向のカンチレバーの捩れ方向の変位信号と変位量の比率SFFM、XY方向の前記カンチレバーの撓み方向の変位信号増幅率GFFM、前記カンチレバーの幅w、前記カンチレバーの捩れモードの共振周波数ft、前記カンチレバーの材質に基づく密度ρ、前記カンチレバーの材質に基づく横弾性係数Gを用いて、数1および数2により算定した。本発明に係る摩擦力顕微鏡によれば、前述のようにカンチレバーの捻れバネ定数を正確に測定した後に、探針をサンプルに接触させて走査することにより、探針とサンプルの間に働く摩擦力によって生じるカンチレバーの捻れ変位から探針とサンプルの間の摩擦力を正確に測定することができる。本発明に係る摩擦力顕微鏡の実施形態について説明する。図2に本発明に係る摩擦力顕微鏡の一例の主な構成を示す。本発明に係る摩擦力顕微鏡では、カンチレバー1とサンプル3の相対位置を、サンプル表面に平行なX-Y平面に走査するためのXY駆動機構4と、X-Y平面に垂直なZ方向に変位させるためのZ駆動機構5を備え、カンチレバー1の先端付近に取り付けられた探針2を、それと対向配置したサンプル3に接触あるいは近づけたときおよびその状態でカンチレバー1とサンプル3の相対位置を変位させたときに、探針2の先端とサンプル3と間に働く原子間力によってカンチレバー1に生じる撓みおよび捻れ方向の変形の大きさをそれぞれの変位情報として検出するための変位情報検出手段14を備える。具体的には、カンチレバー1にレーザー光を照射するためのレーザーダイオード6と、カンチレバー1によって反射されたレーザー光の反射方向を検出するための4分割フォトダイオード8を備える。そして、4分割フォトダイオード8の上下の出力差、つまりカンチレバーの撓み方向の変位信号以下、DIF信号と称すをDIF信号増幅器10によって増幅してコントローラ12に入力することでカンチレバー1の撓み方向の変位情報を検出する。また、左右の出力差、つまりカンチレバーの捻れ方向の変位信号以下、FFM信号と称すをFFM信号増幅器11によって増幅してコントローラ12に入力することでカンチレバー2の捻れ方向の変位情報を検出する。この一連の構成が、摩擦力検出手段15となる。また、予め、図1に示すようにカンチレバーの根本から先端までの全長L、幅w及びカンチレバーの先端から探針までの長さdを光学顕微鏡9で測定する。この光学顕微鏡9は、摩擦力顕微鏡に直接備わればより好ましい。また、光学顕微鏡は、摩擦力顕微鏡の外部でもよく、その場合は電子顕微鏡等の他の測定手法により、カンチレバー1の全長Lや幅wおよび先端から探針までの長さdを測定しても良い。さらに、カンチレバー1の周波数特性を測定するために、圧電素子により構成されるカンチレバー加振部13を備え、これによりカンチレバー1の撓み方向成分を含む方向に振動させる。周波数特性を測定するときには、カンチレバー1を振動させる周波数はコントローラ12によって任意の周波数範囲で掃引される。周波数がカンチレバー1の共振周波数より十分低いとカンチレバー1に撓みが生じないためDIF信号に変化はないが、共振周波数近くまで周波数を上げるとカンチレバー1が撓み、DIF信号として出力される。このようにして得られた信号を周波数毎に記録することによりカンチレバー1の周波数特性が測定されることは従来行なわれている通りであるが、本発明では上記のようにカンチレバー1を振動させ、そのときのDIF信号のみでなくFFM信号から捻れ方向の周波数特性を測定することに有意性がある。理想的なカンチレバー形状では、撓み方向と捻れ方向の振動方向は独立しており、撓み方向に振動させても捻れ方向のFFM信号は出力されない。しかしながら、実際にはカンチレバー1の製造上の誤差や振動方向と撓み方向の角度のずれ等により捻れ方向へのクロストークが生じる。その点を利用することで、FFM信号から捻れ方向の周波数特性を測定することが可能となる。このようにして得た撓み方向と捻れ方向の周波数特性を比較すれば、捻れ方向に大きく振動しているピークを読み取ることにより、捻れ方向の共振周波数ftを測定することができる。以上のように構成された摩擦力顕微鏡において、XY駆動機構4とZ駆動機構5によりカンチレバー1とサンプル3の相対位置を調節して、探針2がサンプル3に接触した状態で、XY駆動機構4によりカンチレバー1とサンプル3の相対位置を、Z方向に探針2とサンプル3が離れないように微小距離だけ変位させ、そのときのDIF信号増幅器10から出力される信号の大きさを測定し、その信号の大きさとZ方向への相対位置の変位量の比率を撓み感度SDIFDIF感度:以下、撓み感度と称すとし、XY駆動機構4によりカンチレバー1とサンプル3の相対位置を、カンチレバー1の長手方向に直角なY方向に微小距離だけ変位させ、そのときにFFM信号増幅器11から出力される信号の大きさを測定し、その信号の大きさとY方向への相対位置の変位量の比率を捩れ感度SFFMFFM感度:以下、捩れ感度と称すとする。ここで、Y方向への変位量は探針2とサンプル3の間に働く静止摩擦力よりも、Y方向への変位量にカンチレバー1の捻れバネ定数を掛けて求まるY方向への力の方が小さくなるように設定する。その理由は、静止摩擦力よりも探針2をY方向に動かそうとする力が大きくなると、探針2とサンプル3の接触位置が変化してしまうためである。上記のX方向およびY方向への微小距離の変位は、一度だけでなく何度か往復して変位させ、そのときの信号の平均を測定することが精度を向上させるためには望ましい。このように測定したカンチレバー1の全長と、先端から探針までの長さdと、撓み感度SDIFと、DIF信号増幅器10の増幅率GDIFと、捩れ感度SFFMとFFM信号増幅器11の増幅率GFFMを、式1に代入してカンチレバー1の高さhを算定する。さらに、前述のようにカンチレバー1をカンチレバー加振部13により周波数を掃引しながら振動させ、そのときのFFM信号を測定することにより、カンチレバー1の捻れ方向の周波数特性を測定し、それから得られるカンチレバー1の捻れ方向の共振周波数ftと、光学顕微鏡等によって測定したカンチレバー1の全長Lと先端から探針までの長さwと幅wと、前述のように求めたカンチレバー1の高さhと、カンチレバー1の材質の横弾性係数G及び密度ρを数2に代入してカンチレバー1の捻れバネ定数Ktを算定する。その上で、探針2とサンプル3が接触した状態で、カンチレバー1とサンプル3の相対位置をY方向に変位させ、その際にY方向に移動中の各位置での探針2とサンプル3の間の摩擦力によってカンチレバー1が捻れて生じる捻れ方向のFFM信号と、前述のように求めたカンチレバー1の捻れバネ定数から探針2とサンプル3の間に生じる各位置での摩擦力を算定する。また、カンチレバー1の捻れバネ定数Ktを算定するために、数1により探針2の高さを算定することなく、数1を数2に代入して得た数3に、カンチレバー1の幅wと、共振周波数ftと、撓み感度SDIFと、DIF信号増幅器10の増幅率GDIFと、捩れ感度SFFMと、FFM信号増幅器11の増幅率GFFMと、カンチレバー1の材質の横弾性係数Gと密度ρを代入して求めても良い。このようにすることでカンチレバー1の全長Lと先端から探針までの長さdの測定を省略することが可能である。また、予めカンチレバー1の撓みバネ定数Kdが既知であれば、摩擦力を測定する際に、DIF信号と撓み感度SDIFと撓みバネ定数Kdから、探針2とサンプル3の間の接触圧力が算定され、走査エリア内の各位置における摩擦力を接触圧力で除することにより、走査エリア内の各位置における探針2とサンプル3の摩擦係数を定量的に測定することが可能である。