Fe基材料のMn及びFe元素の蛍光X線強度を測定する第1ステップと、Fe化合物が表面に形成されたFe基材料のMn及びFe元素の蛍光X線強度を測定する第2ステップと、第1ステップで測定したMn元素の蛍光X線強度と第2ステップで測定したMn元素の蛍光X線強度からFe化合物によるMn元素の減衰比を算出する第3ステップと、前記第3ステップで算出されたMn元素の減衰比からFe化合物によるFe元素の減衰比を算出する第4ステップと、前記第4ステップで算出されたFe元素の減衰比から前記Fe化合物から放出されたFe元素の蛍光X線強度を求める第5ステップと、前記第5ステップで求められたFe元素の蛍光X線強度から前記Fe化合物を定量する第6ステップを有することを特徴とするFe基材料表面のFe化合物の定量方法。前記第4ステップにおいて、Fe元素の質量吸収係数とMn元素の質量吸収係数の比を用いてFe化合物によるFe元素の減衰比を算出することを特徴とする請求項1記載のFe基材料表面のFe化合物の定量方法。前記Fe化合物はFeの酸化物、炭化物又は窒化物であることを特徴とする請求項1又は2記載のFe基材料表面のFe化合物の定量方法。前記第5ステップにおいて、計量線法によってFe化合物を定量することを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載のFe基材料表面のFe化合物の定量方法。前記計量線法における検量線を前記Fe基材料と同形状のFeを含まない物質上に既知量のFe化合物を堆積させた標準試料を用いて作成することを特徴とする請求項4記載のFe基材料表面のFe化合物の定量方法。上述した従来の破壊検査により定量方法は、試料を破壊して検査するため、継続して調査を行う場合や、他の破壊試験を行う場合など、試料を保存したい場合には適用できない。また、蛍光X線を用いた材料表面の酸化物の測定では、蛍光X線測定の結果として得られる強度は測定対象である酸化物から発生した蛍光X線強度と基材料自身から発生した蛍光X線強度の合計である。そのため酸化物から発生した蛍光X線強度を求めるためには、基材料から発生した蛍光X線強度を差し引く必要があるが、基材料から発生した蛍光X線は基材料上の酸化物を透過する際に減衰を起こすため、その際の減衰比を考慮する必要がある。減衰比は酸化物の密度、厚さの影響を受けるため、酸化物の厚さが未知である場合、減衰比を求めることはできないという課題があった。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、産業機器で最も多く使用されるFe基材料において、Fe基材料上に形成された酸化物等からなるFe化合物中の元素比率が不明な場合でも非破壊で材料上のFe化合物を高精度で定量することができるFe基材料表面のFe化合物の定量方法を提供する。上記課題を解決するために、本発明に係るFe基材料表面のFe化合物の定量方法は、Fe基材料のMn及びFe元素の蛍光X線強度を測定する第1ステップと、Fe化合物が表面に形成されたFe基材料のMn及びFe元素の蛍光X線強度を測定する第2ステップと、第1ステップで測定したMn元素の蛍光X線強度と第2ステップで測定したMn元素の蛍光X線強度からFe化合物によるMn元素の減衰比を算出する第3ステップと、前記第3ステップで算出されたMn元素の減衰比からFe化合物によるFe元素の減衰比を算出する第4ステップと、前記第4ステップで算出されたFe元素の減衰比から前記Fe化合物から放出されたFe元素の蛍光X線強度を求める第5ステップと、前記第5ステップで求められたFe元素の蛍光X線強度から前記Fe化合物を定量する第6ステップを有することを特徴とする。本発明によれば、酸化物等からなるFe化合物が表面に形成されたFe基材料において、Fe化合物中の元素比率が不明な場合でも非破壊でFe基材料上のFe化合物を高精度で定量することができる。以下、本発明に係るFe化合物の定量方法の実施形態について、図面を参照して説明する。図1a、bは本実施形態発明に係るFe化合物の定量方法の原理図である。図1aは、Fe化合物が形成されていないFe基材料1からなる被測定物の蛍光X線測定状態を示す図であり、X線発生源3からX線強度I0のX線がFe基材料1に照射される。強度I0のX線が照射されたFe基材料1は蛍光X線を放出し、検出器4で強度I1の蛍光X線が検出される。検出される蛍光X線は被測定物に含まれる各元素に対応したX線が同時に放出され、例えば、被測定物がFe基材料であればFe元素に対応する蛍光X線I1Fe、鉄鋼材料に不純物として含まれるMn元素に対応する蛍光X線I1Mnが同時に測定される。図1bはFe基材料1上に酸化物等のFe化合物2が形成された被測定物の蛍光X線測定状態を示す図であり、X線発生源3から強度I0のX線がFe基材料1及びFe化合物2に照射される。ここで示すFe化合物2は例えば、Fe基材料から生成した酸化皮膜や外部からの付着物等である。強度I0のX線が照射されたFe基材料1及びFe化合物2は蛍光X線を放出し、検出器4でFe基材料1に対応する蛍光X線強度I2及びFe化合物2に対応する蛍光X線強度I3の合計の蛍光X線強度I4が測定値として得られる。その際、Fe基材料1に対応する蛍光X線強度I2は、検出器4に到達する前にFe化合物2を透過する際にその一部が吸収されるため、Fe基材料1のみからなる被測定物の蛍光X線強度I1とは異なる値となっている。次に、本実施形態に係るFe化合物の定量方法の各ステップを以下に説明する。図1bに示すFe基材料1及びFe基材料1上のFe化合物2からなる被測定物の蛍光X線測定状態では、検出器4で検出される蛍光X線強度I4はFe基材料1に対応する蛍光X線強度I2及びFe化合物2に対応する蛍光X線強度I3の合計I2I3である。この検出された蛍光X線強度I4からFe基材料1に対応する蛍光X線強度I2を減ずることで、Fe化合物2に対応する蛍光X線強度I3を求め、対応する重量に換算することでFe基材料1上のFe化合物2を定量することができる。その際、減ずる蛍光X線強度I2は、図1aに示す測定で検出された蛍光X線強度I1とFe化合物2を透過して測定された蛍光X線強度I2の減衰比I2/I1に基づいて算出される。X線の減衰比I/I0は、Beerの式により以下の式1で示される。I/I0=exp1ここで、I;透過X線強度、I0;入射X線強度、μ;質量吸収係数、ρ;物質の密度、d;物質の厚さである。Fe元素に対する減衰比I2/I1Feの算出には、図1bに示すFe基材料1及びFe基材料1上のFe化合物2からなる被測定物の蛍光X線測定で求められるMnに対応する蛍光X線強度I4Mn及び、図1aに示すFe基材料1のみからなる被測定物の蛍光X線測定I1Mnの測定結果を基に算出する。すなわち、I4MnはFe基材料1に対応する蛍光X線強度I2Mn及びFe化合物2に対応する蛍光X線強度I3Mnの合計であるが、Fe化合物2内にはMn元素が僅かしか含有されていないため蛍光X線強度I3Mnは微小である。一方、Fe基材料におけるMn元素は、Fe基材料からMn元素を完全に除去することが難しいため、Fe基材料に多く含まれている。そのため、被測定物がFe基材料であれば多くの場合で蛍光X線強度I2Mnを測定することができる一方、Fe化合物からの蛍光X線強度I3Mnは無視できるほど小さい。したがって、図1bのFe基材料1及びFe化合物2からなる被測定物の蛍光X線測定で求められるMn元素に対応する蛍光X線強度I4Mnは、Fe基材料1に対応する蛍光X線強度I2Mnにほぼ等しい値であるI4Mn≒I2Mn。以上から、Mn元素のFe化合物2における減衰比は、図1bに示すFe基材料1及びFe基材料1上のFe化合物2からなる被測定物の蛍光X線測定で求められるMn元素に対応する蛍光X線強度I4Mnと図1aに示すFe基材料1からなる被測定物の蛍光X線測定強度I1Mnを用いてI4Mn/I1Mnで表すことができる。次に、上記のステップで求めたMn元素のFe化合物2における減衰比からFe化合物2におけるFe元素の減衰比を求める。上記Beerの式によれば、同じ密度、及び厚さの物質を透過する際の吸収比は質量吸収係数μに比例する。図2に各元素を透過する際のFeの質量吸収係数とMnの質量吸収係数の比を示す。図2からCrを除く元素ではFe元素の質量吸収係数とMn元素の質量吸収係数の比が約0.8倍の値を示すことが分かる。よって、Beerの式から、Mn元素のFe化合物2による蛍光X線強度の減衰比μMnI2/I1MnとFe元素のFe化合物による蛍光X線強度の減衰比μFeI2/I1Feの関係は次式2、3で表される。μFe=μMn×08=08×lnI1/I2Mn/ρd2I2/I1Fe=exp{-08×lnI1/I2Mnρd}3この式により、Fe基材料1上にFe化合物2が存在する場合においても、Fe基材料中のFeから発生する蛍光X線強度I2Feを高精度で求めることができる。次に、上記のステップで求めた減衰後のFe元素の蛍光X線強度I2Feを蛍光X線強度I4Feから減算することでFe化合物からの蛍光X線強度I3Feを求めることができる。次に、上記のステップで求めた蛍光X線強度I3Feから、公知の検量線法を用いてFe化合物を定量する。図3に有機物遮蔽体によるMn元素の実測の蛍光X線強度の減衰比、Fe元素の実測の蛍光X線強度の減衰比、及び上記の方法で求めたFe元素の蛍光X線強度の減衰比の具体例を示す。この結果から、実測値と計算値の誤差は約0.2とわずかであり、この方法で求めたFe元素のFe化合物2透過後の蛍光X線強度I3の値が妥当であることが分かる。なお、定量する際には検量線を引くことが必要であるが、検量線の作成に用いる試料は、既知量のFe化合物を有機物など鉄を含まない物質上に堆積させたものを標準試料とする。その際、形状は測定対象のFe基材料1と一致させる。この考え方を用いれば、鉄の酸化物だけでなく、浸炭処理した鉄の炭化物についても同様に定量できることは自明である。効果以上説明したように、本実施形態によれば、酸化物等からなるFe化合物が表面に形成されたFe基材料において、Fe化合物中の元素比率が不明な場合でも、測定可能なMn元素の減衰比を用いることにより、非破壊でFe基材料上のFe化合物を高精度で定量することができる。以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、組み合わせ、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。