"幅100mm以上、長さ1000mm以上である矩形のターゲット板として、分割線が幅方向になるように3個以上のターゲットピースAに分割されており、この分割ターゲットピースAを、長さ方向にバッキングプレート上に張り合わせてスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bを構成し、さらにこの接合体Bを幅方向に3個以上整列させたスパッタリングターゲット組立体であって、各個の接合体Bをスパッタリングターゲット組立体として配列する際に、接合体Bに存在する3個のターゲットピース間の分割線が、隣接する分割ターゲットピース間の分割線と同位置にならないように設置することを特徴とするスパッタリングターゲット組立体。一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bにおいて、各分割ターゲットピースAの長さの相違が50mm以上であることを特徴とする請求項1記載のスパッタリングターゲット組立体。一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bにおいて、各分割ターゲットピースAの長さの相違が100mm以上であることを特徴とする請求項1記載のスパッタリングターゲット組立体。一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線と、隣接するスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線が平行であり、該隣接する分割線の平行間隔が50mm以上であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット組立体。一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線と、隣接するスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線が平行であり、隣接する分割線の平行間隔が100mm以上であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット組立体。一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bに使用される3個以上の矩形のターゲットピースAが、他のスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bの3個以上の矩形のターゲットピースAと同一寸法のターゲットピースAからなることを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット組立体。本発明は、ターゲットピース張り合わせ部に起因するパーティクル発生による不良を低減することができる大型化したスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体、特にFPD用スパッタリングターゲット組立体を提供することを課題とする。上記の課題を解決するために、本発明者らは鋭意研究を行った結果、スパッタリングターゲットを矩形の複数のピースから構成し、これをバッキングプレートに貼り付け、この複数のピースの形状と配列を工夫することにより、大型のスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体を作製し、ピース張り合わせ部に起因するパーティクル発生による不良を低減することができるスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体からなるスパッタリングターゲット組立体、特にFPD用スパッタリングターゲット組立体を提供することができるとの知見を得た。このような知見に基づき、本発明は、1幅100mm以上、長さ1000mm以上である矩形のターゲット板として、分割線が幅方向になるように3個以上のターゲットピースAに分割されており、この分割ターゲットピースAを、長さ方向にバッキングプレート上に張り合わせてスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bを構成し、さらにこの接合体Bを幅方向に3個以上整列させたスパッタリングターゲット組立体であって、各個の接合体Bをスパッタリングターゲット組立体として配列する際に、接合体Bに存在する3個のターゲットピース間の分割線が、隣接する分割ターゲットピース間の分割線と同位置にならないように設置することを特徴とするスパッタリングターゲット組立体、を提供する。2また、本発明は、一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bにおいて、各分割ターゲットピースAの長さの相違が50mm以上であることを特徴とする上記1記載のスパッタリングターゲット組立体、を提供する。3また、本発明は、一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bにおいて、各分割ターゲットピースAの長さの相違が100mm以上であることを特徴とする上記1記載のスパッタリングターゲット組立体、を提供する。4また、本発明は、一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線と、隣接するスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線が平行であり、該隣接する分割線の平行間隔が50mm以上であることを特徴とする上記1~3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット組立体、を提供する。5また、本発明は、一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線と、隣接するスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線が平行であり、隣接する分割線の平行間隔が100mm以上であることを特徴とする上記1~3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット組立体、を提供する。6さらに、本発明は、一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bに使用される3個以上の矩形のターゲットピースAが、他のスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bの3個以上の矩形のターゲットピースAと同一寸法のターゲットピースAからなることを特徴とする上記1~5のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット組立体、を提供する。このように調整した本発明のスパッタリングターゲットは、スパッタリングターゲットを矩形の複数のピースから構成し、これをバッキングプレートに貼り付け、この複数のピースの形状と配列を工夫することにより、大型のスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体を作製し、ピース張り合わせ部に起因するパーティクル発生による不良を低減することができるスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体からなるスパッタリングターゲット組立体、特にFPD用スパッタリングターゲット組立体を提供することができ、成膜の歩留まりを向上させ、製品の品質を高めることができるという大きな利点を有する。本発明のスパッタリングターゲット組立体は、一枚のターゲットが幅100mm以上、長さ1000mm以上である矩形のターゲットを、分割線が幅方向になるように3個以上のターゲットピースAに分割すると共に、この分割ターゲットピースAを、長さ方向にバッキングプレート上に張り合わせてスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bを構成し、さらにこの組立体Bを幅方向に3個以上整列させたスパッタリングターゲット組立体であり、各個の接合体Bをスパッタリングターゲット組立体として配列する際に、接合体Bに存在する3個のターゲットピース間の分割線が、隣接する分割ターゲットピース間の分割線と同位置にならないように整列しないように設置するスパッタリングターゲット組立体であり、ターゲットターゲットピースの配列構造に特徴を有するターゲットアッセンブリと言うこともできる。これはFPD用スパッタリングターゲットとして好適であり、パーティクルの発生が少なく、歩留まりを向上させることができる大型のスパッタリングターゲットアッセンブリの主たる要件を満たすものである。図3に、幅が同一であり、長さが相違する3個ターゲットピースA1,A2,A3を、バッキングプレート上に取り付けた代表例を示す。それぞれのターゲットピースA1,A2,A3の間には分割線が存在する。この分割線は、ターゲットピースが、それぞれ別個に作製されるためにできる隙間である。このように、本発明ではターゲットピースの長さを変え、ターゲットを並べた時のターゲットピース間の分割線がずれるように組み合わせたターゲット-バッキングプレート接合体で、ずれるように組み合わせることで、分割線の部分に起因するパーティクルを分散させ歩留まりを向上することが可能となる。また、本発明のスパッタリング装置は、一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bにおいて、各分割ターゲットピースAの長さの相違を50mm以上に、さらには100mm以上とすることができる。本発明のスパッタリングターゲット組立体は、これを達成することができる。これは、できるだけターゲットピースの接合位置がずれるように組み合わせるためである。また、本発明のスパッタリングターゲット組立体は、一つのスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線と、隣接するスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体Bのターゲットピース間の分割線が平行であり、該隣接する接合位置の平行間隔を50mm以上に、さらには100mm以上とすることが望ましい。これもできるだけターゲットピースの接合位置が整列せずに、ずれるように組み合わせるためである。さらに、本発明は、3枚以上の矩形のターゲットピースAに使用される分割ターゲットが、同一寸法の3種以上の分割ターゲットから構成することができる。ターゲットの生産性から見ると、同形状のターゲットピースAであることが望ましいと言える。異形状のターゲットピースの製造は、製造コストを増加させる原因となるからである。本願発明は、上記の通り3種類以上とすることを提案するが、これらは、いずれも矩形であり、上記特許文献に示すような、煩雑さと製造コストの増加を招くことがないという利点を有する。また、本発明の場合、同形状のターゲットピースAは3種類で済む利点を有する。後述する実施例に示すように、矩形のターゲットピースAを、異なる寸法の矩形のターゲットピースA1、A2、A3の3種類を作製し、これらをバッキングプレートに配列して接合した場合、その組み合わせの一として、ターゲットピースA1、A2、A3という配列、その組み合わせの二として、ターゲットピースA3、A1、A2という配列、その組み合わせの三として、ターゲットピースA2、A3、A1という配列が可能である。これらの組み合わせは、隣接するスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体との位置関係上、各ターゲットピース間の分割線が整列することがない。これは、本発明の場合、同形状のターゲットピースAは、最低で3種類で済むということを意味し、製造コストを低減できるものである。また、矩形のターゲットピースAを、異なる寸法の矩形のターゲットピースA1、A2、A3、A4の4種類を作製し、これらをバッキングプレートに配列して接合した場合、その組み合わせの一として、ターゲットピースA1、A2、A3、A4という配列、その組み合わせの二として、ターゲットピースA2、A3、A4、A1という配列、その組み合わせの三として、ターゲットピースA3、A4、A1、A2という配列、その組み合わせの四として、ターゲットピースA4、A1、A2、A3という配列が可能である。この場合、同形状のターゲットピースAは4種類であり、4種類のターゲット接合体の全ての組み合わせにおいて、それらの位置関係上、各ターゲットピース間の分割線が整列することがない。さらに、この4種類のターゲットピースを使用して、3種類までのターゲットにおいて各ターゲットピース間の分割線が整列することがないように配列する場合には、ターゲットの配列の組み合わせを飛躍的に増加させることができる。以下、実施例および比較例に基づいて説明する。なお、本実施例はあくまで一例であり、この例によって何ら制限されるものではない。すなわち、本発明は特許請求の範囲によってのみ制限されるものであり、本発明に含まれる実施例以外の種々の変形を包含するものである。実施例1200mm×1500mmのターゲット板を長さ300mm、500mm、700mmの長さのピースの張り合わせにより、図1に示すようにバッキングプレート上に接合して、3種のスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体を作製し、そしてスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体の組み合わせにより、図1の左側の図に示すように、これらを3セット並べた時、ターゲットピース間の分割線がずれるようにX、Y、Zにセットしてスパッタリングターゲット組立体とした。必要に応じて、このX、Y、Zセットを繰り返すことができる。このスパッタリングターゲット組立体を用いて、1300mm×1500mmのガラス基板に成膜を行い、パーティクル数を測定した。ガラス基板を均等な5つの領域に分けてパーティクル数を測定した。その結果、図1の右側に示すように、11~19ヶの範囲に収まり、製品として十分に使用可能であった。インラインスパッタ装置では、長尺のスパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体を数本並べて1セットとして成膜を行うが、通常各ターゲットを同じ寸法のピースを張り合わせることにより作製されるため、これらを数本並べた場合、同じ位置にターゲットピース間の分割線が並んで整列してしまい、成膜するとパーティクルがその位置付近に集中し、製品歩留まりが低下する。本発明は、この問題を解決することができ、前記の通りターゲットピースAの長さを変え、スパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体を並べた時の、ターゲットピース間の分割線が各ターゲットでずれるように組み合わせることで、ターゲットピース間の分割線に起因するパーティクルを分散させ、歩留まりを向上することができる。比較例1200mm×1500mmのスパッタリングターゲット板を、同一長さ500mmのピースA43個で、各バッキングプレート上に接合して作製し、これを3枚/セットとしてスパッタリングターゲット組立体とし、これをスパッタリング装置に装着した。そして、このターゲットを用いて1300mm×1500mmのガラス基板に成膜した。そして実施例と同様のパーティクル比較を行った。図2に、バッキングプレートに、同寸法のターゲットピースを配列したターゲット-バッキングプレート接合体とパーティクルの発生状況を示す。図2の右側に示すように、ターゲットピース間の分割線に相当する領域におけるパーティクル数が28ヶ、29ヶと高く、この領域は製品として使用できなかった。上記の実施例、比較例から明らかなように、矩形のスパッタリングターゲットを構成する各ピースの長さを変え、各バッキングプレート上にターゲットを並べた時のターゲットピース間の分割線を、各ターゲットでずれるように組み合わせることで、張り合わせ部分に起因するパーティクルを分散させることは、極めて重要であり、製品の歩留まりを向上させることができる大きなメリットを有する。"