"多孔質の少なくとも1層の金属基板と、前記少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された燃料極と、前記燃料極の一方面に配置された電解質と、前記電解質の一方面に配置された空気極と、を備え、前記金属基板には、厚み方向に貫通する貫通孔が複数形成されている固体酸化物形燃料電池。多孔質の少なくとも1層の金属基板と、前記少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された電解質と、前記電解質の一方面に配置された空気極と、を備え、前記金属基板は、燃料極の活性を有しており、当該金属基板には厚み方向に貫通する貫通孔が複数形成されている固体酸化物形燃料電池。前記金属基板は、基板用グリーンシートに厚み方向に貫通する貫通孔を複数形成し、当該貫通孔を有する基板用グリーンシートを焼結することにより形成されている請求項1又は2に記載の固体酸化物形燃料電池。積層された複数の前記金属基板を備え、前記複数の金属基板を構成する各金属基板における前記貫通孔が、積層方向に隣接する前記金属基板における前記貫通孔のいずれかと互いに連通しており、積層方向の上層側の前記金属基板における前記貫通孔の孔径がそれに隣接する下層側の前記金属基板における前記貫通孔の孔径より小さい請求項1から3のいずれかに記載の固体酸化物形燃料電池。多孔質の少なくとも1層の金属基板と、当該少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された燃料極と、当該燃料極の一方面に配置された電解質と、当該電解質の一方面に配置された空気極と、を備える固体酸化物形燃料電池の製造方法であって、前記金属基板を形成する基板形成ステップを備え、前記基板形成ステップは、基板用グリーンシートに厚み方向に貫通する貫通孔を複数形成する貫通ステップと、当該貫通孔を有する基板用グリーンシートを焼結する焼結ステップと、を備える固体酸化物形燃料電池の製造方法。多孔質の少なくとも1層の金属基板と、当該少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された電解質と、当該電解質の一方面に配置された空気極と、を備える固体酸化物形燃料電池の製造方法であって、前記金属基板を形成する基板形成ステップを備え、前記基板形成ステップは、基板用グリーンシートに厚み方向に貫通する貫通孔を複数形成する貫通ステップと、当該貫通孔を有する基板用グリーンシートを焼結する焼結ステップと、を備え、前記基板用グリーンシートは、燃料極の活性を有する物質を含む固体酸化物形燃料電池の製造方法。しかしながら、上記の燃料電池100では、金属基板101に対して化学的エッチングを施すため、金属基板101の材料および厚みに制限があるという問題や、コストが高いといった問題があった。さらには、ガス拡散性を向上させるために貫通孔105を多くすると金属基板101と燃料極102との接触面積、すなわち集電面積が小さくなるため性能が低下するという問題や、強度が低下するといった問題があった。本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、強度を向上させると共に、電池性能を向上することができる固体酸化物形燃料電池およびその製造方法の提供を目的とする。本発明の1つは、上記課題を解決するための固体酸化物形燃料電池であって、多孔質の少なくとも1層の金属基板と、前記少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された燃料極と、前記燃料極の一方面に配置された電解質と、前記電解質の一方面に配置された空気極と、を備え、前記金属基板には、厚み方向に貫通する貫通孔が複数形成されていることを特徴としている。あるいは、本発明は、上記に限定されず、多孔質の少なくとも1層の金属基板と、前記少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された電解質と、前記電解質の一方面に配置された空気極と、を備え、前記金属基板は、燃料極の活性を有しており、当該金属基板には厚み方向に貫通する貫通孔が複数形成されている固体酸化物形燃料電池であってもよい。上記の燃料極の活性とは、燃料極の表面で、水素等の燃料ガスの酸化反応を生じることをいう。また、上記固体酸化物形燃料電池において、前記金属基板は、基板用グリーンシートに厚み方向に貫通する貫通孔を複数形成し、当該貫通孔を有する基板用グリーンシートを焼結することにより多孔質に形成されることが好ましい。このような構成によれば、多孔質の金属基板を用いることで貫通孔とともに金属基板内をガスが拡散できる。そのため、ガス拡散性を向上させるために多くの貫通孔を設ける必要もないため、強度も維持することが可能である。また、ガスの拡散性を向上させつつ十分な集電面積を確保できるため電池性能を向上させることができる。また、金属基板に貫通孔を形成するときに、化学的エッチングを用いることがないので、金属基板の材料および厚さに制限がなく、低コストで貫通孔を形成することができる。したがって、本発明によれば、強度を向上させると共に、電池性能を向上することができる。また、本発明の固体酸化物形燃料電池は、積層された複数の前記金属基板を備え、前記複数の金属基板を構成する各金属基板における前記貫通孔が、積層方向に隣接する前記金属基板における前記貫通孔のいずれかと互いに連通しており、積層方向の上層側の前記金属基板における前記貫通孔の孔径がそれに隣接する下層側の前記金属基板における前記貫通孔の孔径より小さいことが好ましい。このような構成によれば、燃料極と接触する最上層の金属基板における貫通孔が最も縮径することになり、燃料極と金属基板との接触面積を大きくすることができる。したがって、貫通孔の孔径を徐々に縮径することにより、燃料極へのガスの拡散性到達時間を維持したまま、集電面積を大きくすることができる。また、本発明は、上記課題を解決するために次のような構成であってもよい。すなわち、多孔質の少なくとも1層の金属基板と、当該少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された燃料極と、当該燃料極の一方面に配置された電解質と、当該電解質の一方面に配置された空気極と、を備える固体酸化物形燃料電池の製造方法であって、前記金属基板を形成する基板形成ステップを備え、前記基板形成ステップは、基板用グリーンシートに厚み方向に貫通する貫通孔を複数形成する貫通ステップと、当該貫通孔を有する基板用グリーンシートを焼結する焼結ステップと、を備える固体酸化物形燃料電池の製造方法であってもよい。また、これに限定されるものではなく、多孔質の少なくとも1層の金属基板と、当該少なくとも1層の金属基板の一方面に配置された電解質と、当該電解質の一方面に配置された空気極と、を備える固体酸化物形燃料電池の製造方法であって、前記金属基板を形成する基板形成ステップを備え、前記基板形成ステップは、基板用グリーンシートに厚み方向に貫通する貫通孔を複数形成する貫通ステップと、当該貫通孔を有する基板用グリーンシートを焼結する焼結ステップと、を備え、前記基板用グリーンシートは、燃料極の活性を有する物質を含む固体酸化物形燃料電池の製造方法であってもよい。本発明の固体酸化物形燃料電池および固体酸化物形燃料電池の製造方法によれば、強度を向上させると共に発電性能を向上させることができる。以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る固体酸化物形燃料電池の断面図であり、図2は固体酸化物形燃料電池の下面図である。図1及び図2に示すように、この固体酸化物形燃料電池1以下、燃料電池1というは、平板状の金属基板2と、金属基板2の一方面表面に配置された薄膜状の燃料極3と、燃料極3の一方面表面に配置された薄膜状の電解質4と、電解質4の一方面表面に配置された薄膜状の空気極5とを備えている。金属基板2は、多孔質の金属から形成されている。ここで、多孔質とは、金属基板2の内部に多数の細孔を有している構成であり、当該多数の細孔を介してガスが通過可能な構成をいう。また、金属基板2には複数の貫通孔6,6が形成されており、これら貫通孔6,6は、金属基板2の他方面裏面から燃料極3に向かって延びており、燃料ガスを燃料極3に導入できるように構成されている。また、これら複数の貫通孔6,6は、上記の多孔質とは異なる概念である。また、金属基板2の厚みは、強度の観点から、5μm~1000μmが好ましく、100μm~500μmがより好ましい。また、貫通孔6の孔径は、0.1μm~250μmが好ましく、5μm~50μmがより好ましい。また、上記多孔質金属基板2の内部の細孔の体積は、金属基板2全体の体積の5~50が好ましく、多孔質金属基板2における貫通孔6の占有体積としては、多孔質金属基板2全体の体積の10~70が好ましい。燃料極3及び空気極5の厚さは、それぞれ、1~100μmとすることができ、好ましくは5~50μmとすることができる。また、電解質の厚みは、例えば0.1μm~100μmとすることができ、好ましくは1~50μmとすることができる。次に、上述した燃料電池1の各構成要素の材料について説明する。金属基板2の材料としては、例えばFe,Ti,Cr、Cu、Ni、Agを用いることができ、1種を単独で使用してもよく、また、2種以上の合金として用いてもよい。合金としては、例えばステンレス系耐熱材料などが使用でき、具体的には、オーステナイト系ステンレス鋼、フェライト系ステンレス鋼、インコネルやハステロイなどニッケル系合金などを用いることができる。燃料極3の材料としては、固体酸化物形燃料電池の燃料極の材料として公知のものを使用することができ、例えば、金属触媒と、酸化物イオン導電体からなるセラミックス粉末材料との混合物を用いることができる。このとき用いられる金属触媒としては、ニッケル、鉄、コバルトや、貴金属白金、ルテニウム、パラジウム等等の還元性雰囲気において安定で、水素酸化活性を有する材料を用いることができる。また、酸化物イオン導電体としては、蛍石型構造又はペロブスカイト型構造を有するものを好ましく用いることができる。蛍石型構造を有するものとしては、例えばサマリウムやガドリニウム等をドープしたセリア系酸化物、スカンジウムやイットリウムを含むジルコニア系酸化物などを挙げることができる。また、ペロブスカイト型構造を有するものとしてはストロンチウムやマグネシウムをドープしたランタンガレード系酸化物を挙げることができる。上記材料の中では、酸化物イオン導電体とニッケルとの混合物で、燃料極を形成することが好ましい。なお、酸化物イオン導電体からなるセラミックス材料とニッケルとの混合形態は、物理的な混合形態であってもよいし、ニッケルへの粉末修飾などの形態であってもよい。また、上述したセラミックス材料は、1種類を単独で、或いは2種類以上を混合して使用することができる。また、燃料極3は、金属触媒を単体で用いて構成することもできる。電解質4の材料としては、固体酸化物形燃料電池の電解質として公知のものを使用することができ、例えば、サマリウムやガドリニウム等をドープしたセリア系酸化物GDC、ストロンチウムやマグネシウムをドープしたランタンガレード系酸化物、スカンジウムやイットリウムを含むジルコニア系酸化物YSZなどの酸素イオン伝導性セラミックス材料を用いることができる。空気極5の材料としては、固体酸化物形燃料電池の空気極の材料として公知のものを使用することができ、例えば、ペロブスカイト型構造等を有するCo,Fe,Ni,Cr又はMn等からなる金属酸化物を用いることができる。具体的にはSm,SrCoO3,La,SrMnO3,La,SrCoO3,La,SrFe,CoO3,La,SrFe,Co,NiO3などの酸化物が挙げられ、好ましくは、La,SrFe,CoO3である。上述した材料は、1種を単独で、或いは2種以上を混合して使用することができる。次に、固体酸化物形燃料電池の製造方法について説明する。図3は、固体酸化物形燃料電池の製造方法を説明する図である。また、図4は、固体酸化物形燃料電池の製造方法のフローチャートである。図3及び図4に示すように、上記の燃料電池1は、基板用グリーンシート10、燃料極用グリーンシート13、電解質用グリーンシート14および空気極ペースト15を用いて製造することができる。これらの各グリーンシートは、固体酸化物形燃料電池を製造するための公知のグリーンシートであり、原料粉末、バインダー、分散剤、可塑剤および溶媒等を混合してスラリー作製し、このスラリーを薄膜状に延ばし、溶媒を除去した状態のシートのことである。ここで、上記各グリーンシートを製造する方法の一例について説明する。例えばドクターブレード法により製造する場合、基板用グリーンシート10および燃料極用グリーンシート13は、以下の方法で作製することができる。まず、上述した金属基板2または燃料極3の材料の粉末に、造孔剤を添加し、バインダー、分散剤および可塑剤を加え、エタノール、2-プロパノールといったアルコール系溶媒からなる分散媒体に分散されているスラリーを作製する。造孔剤の添加量は、5~20wが好ましい。添加されている造孔剤は、焼結の際に燃焼して気化するため、造孔剤が存在していた箇所には気孔が形成される。なお、造孔剤としては、カーボン系粉末や樹脂系粉末が挙げられるが、焼結の際に気化して気孔が形成可能な材料であれば、他の材料を用いるようにしてもよい。また、上記スラリー組成物あるいは混練組成物を作製する際に用いられるバインダーの種類にも制限はなく、公知の有機質もしくは無機質のバインダーを使用することができる。有機質バインダーとしては、エチレン系共重合体、スチレン系共重合体、アクリレート系及びメタクリレート系共重合体、酢酸ビニル系共重合体、マレイン酸系共重合体、ビニルアセタール系樹脂、ビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ビニルアルコール系樹脂、エチルセルロース等のセルロース類、ワックス類等が例示される。次に、作製したスラリーを公知のドクターブレード法により成形してポリエチレンテレフタレートなどのフィルム上にスラリーの層を形成し、このスラリーの層より分散媒体を除去することで乾燥させ、基板用グリーンシート10または燃料極用グリーンシート13が形成された状態とする。分散媒体としては、アルコール系溶媒に限らず、トルエン,キシレン,及びケトン系などの他の有機溶媒を用いてもよい。また、有機溶媒に限らず、上記混合粉末が、水に分散されたスラリーを用いるようにしてもよい。例えば、所定の分散剤を用いることで、上記混合粉末が水に分散された状態とすることができる。電解質用グリーンシート14は以下の方法で作製する。上述した電解質4の材料の粉末に、バインダー及び分散剤および可塑剤を加え、有機溶媒からなる分散媒体に分散されているスラリーを作製する。作製したスラリーは燃料極等と同様にドクターブレード法にてポリエチレンテレフタレートなどのフィルム上にスラリー層を形成する。このスラリーの層より分散媒体を除去することで乾燥させ、電解質用グリーンシート14が形成された状態とする。また、空気極ペースト15は、固体酸化物形燃料電池を製造するための公知のペーストであり、上述した空気極5の材料の原料粉末に、バインダー、有機溶媒などを混練することにより作製できる。続いて燃料電池1を製造する方法を説明する。燃料電池1を製造するときはまず、図3a、b及び図4に示すように、1枚の基板用グリーンシート10を準備し、この基板用グリーンシート10に対して厚み方向に貫通する貫通孔12,12を複数形成する貫通ステップS1。具体的には、公知の打ち抜き治具などにより、基板用グリーンシート10に貫通孔12を形成する。貫通孔12の数、孔径、形成位置などは特に限定されず適宜変更可能である。次に、図3cに示すように、貫通孔12が形成された基板用グリーンシート10の一方面表面に燃料極用グリーンシート13を積層する燃料極用積層ステップS2。次に、図3dに示すように、燃料極用グリーンシート13の一方面表面に電解質用グリーンシート14を積層する電解質用積層ステップS3。これにより、各グリーンシート10,13,14が積層された状態となる。次に、上記の基板用グリーンシート10、燃料極用グリーンシート13及び電解質用グリーンシート14が積層されたものを共焼結する第1焼結ステップS4。このときの焼結温度は、1100°C~1500°Cが好ましい。焼結により、図3eに示すように、基板用グリーンシート10、燃料極用グリーンシート13、電解質用グリーンシート14はそれぞれ、金属基板2、燃料極3、電解質4になる。また、このとき、金属基板2が例えばフェライト系ステンレス鋼やNiなどの金属材料から作製される場合は、酸化を防止するために、N2やArガスなどの不活性雰囲気下あるいは還元雰囲気下で焼結することが好ましい。一方、金属基板2が例えばNiOなどの金属酸化物材料から作製される場合は、酸化雰囲気下で焼結することもできる。続いて、図3fに示すように、焼結により形成された電解質4の一方面表面に空気極ペースト15を塗布する塗布ステップS5。空気極ペースト15の塗布は、例えば、公知のスクリーン印刷法、ドクターブレード法、スプレーコート法、スパッタリング法等により行うことができる。その後、空気極ペースト15を焼結することにより空気極5が形成され、これにより図1に示す燃料電池1が製造される第2焼結ステップS6。このときの焼結温度は、1100°C~1500°Cが好ましい。また、焼結はN2やArガスなどの不活性雰囲気下あるいは還元雰囲気下で行うことが好ましいが、金属基板2の酸化を防止できる温度であれば酸化雰囲気下で焼結をすることもできる。また、上記の第1焼結ステップS4において酸化雰囲気下で焼結を行った場合は、第2焼結ステップS6の前に金属基板2を還元処理後、上記方法で空気極を焼結することができるが、第2焼結ステップS6の後に、金属基板2を還元処理することもできる。上記実施形態に係る燃料電池1およびその製造方法によれば、金属基板2を形成する基板形成ステップにおいて、金属基板2を基板用グリーンシート10から形成するので、金属基板2の材料および厚みに制限がないため、金属基板2の強度を向上させることができる。また、金属基板2に貫通孔6を形成するときに、化学的エッチングを用いることがないので、低コストで貫通孔6を形成することができる。したがって、本発明によれば、強度を向上させると共に、コストを抑制することができる。また、上記燃料電池1によれば、燃料極3に燃料ガスを供給するときに、貫通孔6を介して燃料ガスを導入できると共に、多孔質の金属基板2により燃料ガスを拡散させることができる。したがって、燃料ガスの導入と拡散とを同時に行うことができるので、燃料ガスを効率的に燃料極3に供給できる。以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の具体的な態様は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、金属基板2の貫通孔6は、金属基板2の厚み方向に貫通するように形成されていればその構成は特に限定されず、図5に示すように、金属基板2の厚み方向に対して傾斜していてもよい。傾斜した貫通孔6を形成する場合は、上記の貫通ステップS2において、基板用グリーンシート10に傾斜した貫通孔12を形成する。このような構成でも燃料ガスを燃料極3に導入することができる。また、図6a~eは、更に他の実施形態に係る固体酸化物形燃料電池の断面図である。図6a~eに示すように、金属基板2の数は特に限定されるものではなく、厚み方向に複数の金属基板2、2を積層してもよい。また、図6a~eに示すように、複数の貫通孔6,6の形成位置や孔径は特に限定されるものではなく、適宜変更可能である。例えば、積層された金属基板2、2の貫通孔6,6は、積層方向において互いの孔の中心が一致していてもよく、また、孔の中心が互いにずれていてもよい。また、図6に点線Xで示すように、積層された金属基板2,2の各層の貫通孔6,6は、それぞれ積層方向において連通していることが好ましい。また、必ずしも積層方向に連通していなくてもよい。また、図6c、dに示すように、各層の金属基板2において、異なる孔径の貫通孔6を複数形成してもよい。また、図6eに示すように、複数の貫通孔6,6の孔径が金属基板2の積層方向において段階的に縮径する構成であってもよい。図6eに示す構成では、積層された複数の金属基板2を構成する各金属基板2における各貫通孔6が、積層方向に隣接する金属基板2における貫通孔6のいずれかと互いに連通している。このように複数の金属基板2の積層方向において貫通孔6がつながっているので、積層された金属基板2の最下層から最上層まで連通した貫通孔6を介してガスを通過させることができる。また、この実施形態では、隣り合って重なる金属基板2において、上層の金属基板2における貫通孔6の孔径が下層の金属基板2における貫通孔6の孔径より小さくなっている。つまり、積層方向の上層側の金属基板2における貫通孔6の孔径がそれに隣接する下層側の金属基板2における貫通孔6の孔径より小さくなっている。したがって、最下層の金属基板2から最上層の金属基板2に向かって貫通孔6の孔径が徐々に縮径している。このような構成によれば、燃料極3と接触する最上層の金属基板2における貫通孔6が最も縮径しているので、貫通孔の孔径を徐々に縮径することにより、燃料極へのガスの拡散性到達時間を維持したまま、集電面積を大きくすることができる。また、複数の金属基板2が積層された燃料電池1を製造する場合は、上述した貫通ステップS1において、複数の基板用グリーンシート10を準備し、これら複数の基板用グリーンシート10のそれぞれに複数の貫通孔12を形成する。そして、貫通孔12が形成された複数の基板用グリーンシート10を積層し、その後の各ステップS3~S6を行うと、積層された複数の金属基板2を有する燃料電池1が製造される。また、貫通孔6が金属基板2の積層方向に沿って段階的に縮径している燃料電池1を製造する場合は、複数の基板用グリーンシート10を積層するときに、貫通孔12が大きい基板用グリーンシート10を下層に積層し、その上層に貫通孔12が小さい基板用グリーンシート10を積層する。これにより、基板用グリーンシート10を焼結したときに、上層の金属基板2における貫通孔6の孔径が下層の金属基板2における貫通孔6の孔径より小さくなる。また、上記実施形態では、金属基板2の一方面表面に燃料極3が配置されていたが、この燃料極3を省略し、図7a、bに示すように、金属基板2の一方面表面に電解質4を配置する構成であってもよい。図7a、bにおいて、図1又は図6と同様の構成部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。このように金属基板2に電解質4を直接配置する場合、金属基板2の材料としては、燃料極の活性を有することが好ましく、例えば酸化ニッケルと酸化鉄との混合材料を用いることができる。上記燃料極の活性を有する材料としては、Cuや,Ni、Pt、Ru等を挙げることができ、これらを単独若しくはFe、Cr、Al、Mn、Mo、Nbなどと2種以上を組み合わせて使用することができる。このような構成によっても、燃料極の活性を有する金属基板2が燃料極として機能することにより発電することができる。また、金属基板2の一方面表面に電解質4が配置された燃料電池1を製造する場合は、上述した燃料極用積層ステップS2を行わずに、電解質用積層ステップS3を行う。そして、その後の各ステップ第1焼結ステップS4、塗布ステップS5、第2焼結ステップS6を行うと、金属基板2の一方面に電解質4が配置された燃料電池1が製造される。なお、燃料極の活性を有する材料を用いる場合は、還元雰囲気で共焼結を行っても構わないし、酸化雰囲気で焼結を実施し、その後、金属基板2のみを還元することによって、燃料電池1を形成することができる。また、上記実施形態では、基板形成ステップにおいて金属基板2を形成するときに1枚の基板用グリーンシート10から形成していたが、この構成に限定されるものではなく、少なくとも1層1枚の基板用グリーンシート10があれば金属基板2を形成することができる。したがって、複数の基板用グリーンシート10を用いて金属基板2を形成してもよい。この場合は、基板形成ステップにおいてまず、複数の基板用グリーンシート10を準備し、これら複数の基板用グリーンシート10を厚み方向に積層する基板用積層ステップ。続いて、積層された複数の基板用グリーンシート10に対して厚み方向に貫通する貫通孔12を複数形成する貫通ステップS1。そして、その後の各ステップS3~S6を行うと、複数の基板用グリーンシート10から形成された金属基板2を有する燃料電池1が製造される。また、積層された金属基板2を形成する場合は、積層された複数の基板用グリーンシート10を更に積層して焼結することにより形成できる。また、上記実施形態では、金属基板2上に燃料極3を配置しているが、燃料極活性を有さない金属基板2を用いる場合、空気極5を形成し、その上面に、電解質4、燃料極3を配置してもかまわない。また、上記実施形態では、空気極ペースト15を用いた方法により空気極5を形成していたが、空気極5の形成方法はこれに限定されるものではなく、上述の燃料極3及び電解質4と同様に、グリーンシートを用いた方法により形成することもできる。また、上記実施形態では、グリーンシートを用いた方法により燃料極3及び電解質4を形成していたが、燃料極3及び電解質4の形成方法はこれに限定されるものではなく、上述の空気極5と同様に、ペーストを用いた方法により形成することもできる。このように、燃料極3、電解質4および空気極5の形成方法は特に限定されるものではなく、スプレーコート法、スピンコ-ト法、電気泳動法、インクジェット法、CVD法化学蒸着法、EVD法電気化学蒸着法、PLD法パルスレーザーデポジッション法、エアロゾルデポジッション法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の一般的な印刷法を用いて作製することができる。また、上記実施形態では、造孔剤が含まれた基板用グリーンシート10を焼結することにより、多孔質の金属基板2を作製していたが、多孔質の金属基板2を作製する方法はこの構成に限定されるものではない。例えば、造孔剤を含まない基板用グリーンシート10を用いて、基板用グリーンシート10を焼結するときの焼結温度を調節することにより、多孔質の金属基板2を作製することができる。具体的には、酸化ニッケルと酸化鉄の混合材料であるNiO-Fe2O3質量比9:1、酸化ニッケル:平均粒子径1μm、酸化鉄:平均粒子径3μmを用いて、基板用グリーンシート10を1500°Cで焼結すると緻密な基板2となる場合に、この温度より低い1400°Cで焼結することにより、基板2の内部に多数の細孔を形成することができる。また、上記材料の場合、基板を還元処理するが、その際の体積収縮により多孔質化することも可能である。"