開口を有するケーシングと、前記ケーシング内を揺動して前記開口を開閉するバルブプレートと、前記バルブプレートが前記開口に対し全閉位置にあるときに前記バルブプレートを前記ケーシングに密着させる位置調整手段を備えた真空用ゲートバルブにおいて、前記位置調整手段は、駆動源と、前記駆動源により回転する回転体と、前記回転体の回転により前記回転体に対して相対的に昇降し前記バルブプレートに接して前記バルブプレートの位置を調整する昇降体とから成り、前記昇降体は、前記回転体に連結される第1のリング状本体と、前記第1のリング状本体に連結される第2のリング状本体と、前記第2のリング状本体を前記第1のリング状本体に着脱自在に連結する着脱手段とを備え、前記着脱手段は、前記第1又は第2のリング状本体のいずれか一方に形成された係合部及び非係合部と、他方の前記第1又は第2のリング状本体に形成され前記係合部に係合する突起又は溝から成り、前記第2のリング状本体は、前記係合部にて前記第1のリング状本体に連結される一方、変位により前記突起又は溝を前記非係合部に位置合わせすることにより前記第1のリング状本体への連結が解除されて前記ケーシングから取り出すことができ、かつ、前記第2のリング状本体は、前記駆動源の駆動により、周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときにのみ変位が許容されて前記突起又は溝を前記非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項1に記載された真空用ゲートバルブであって、前記駆動源の駆動を制御する駆動制御手段を更に備え、前記駆動制御手段は、前記駆動源が必要な場合以外には前記第2のリング状本体を前記周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させないように前記駆動源の駆動を規制することを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項1又は請求項2のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記第2のリング状本体の前記周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置への移動を許容するボタン又はスイッチから成る移動解除手段を有し、前記移動解除手段は、前記ケーシングのうち、前記真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部を開けた場合に操作できる位置に設けられていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項1乃至請求項3のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記回転体及び前記昇降体は、前記ケーシングの前記開口周縁に形成された収納溝内に収納され、前記昇降体の前記第1及び第2のリング状本体は両側面に前記収納溝の内周面に圧接するOリングを有し、前記第2のリング状本体は、前記第2のリング状本体に設けられたOリングが前記収納溝から脱する高さ位置にまで移動して前記収納溝との間の摩擦抵抗から解放された場合に、変位により前記突起又は溝を前記非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項1乃至請求項4のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体の前記第2のリング状本体は、前記真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部から前記第2のリング状本体を変位させることができるレバーを更に備えていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項1乃至請求項5のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記非係合部には、前記非係合部及び前記係合部を有しない他方のリング状本体に向けて付勢されたスイッチが設けられ、前記第2のリング状本体は前記スイッチの付勢力に抗して前記スイッチを押し込みながら前記第1のリング状本体に装着されることを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項1乃至請求項6のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記位置調整手段は、前記バルブプレートの前記ケーシングへの密着時においては弾性部材を介さず機構的に前記バルブプレートの変位を許容しない一方、前記バルブプレートの前記ケーシングへの密着時を除いては前記バルブプレートの揺動を許容することを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項1乃至請求項7のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体は前記バルブプレートに接して前記バルブプレートの位置を調整し、前記回転体は、環状レールと前記環状レールから突出するピンを有し、前記昇降体は、前記回転体の環状レールに係合して前記環状レールに沿って回転する前記第1のリング状本体と前記第1のリング状本体に形成され前記回転体のピンが挿入される長孔を有し、前記長孔は少なくとも一部が前記回転体に対して傾斜して形成され、前記昇降体は、前記回転体のピンが前記回転体の回転により前記昇降体の前記第1のリング状本体に形成された傾斜した長孔内を移動することにより前記回転体に対して昇降することを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項8に記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体の前記第1のリング状本体に形成された前記長孔は、始端と終端において水平に形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項8又は請求項9のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体に形成された前記長孔は、前記始端と前記終端に連続する部分が、他の部分よりも緩やかに傾斜して形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。請求項8乃至請求項10のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体は、前記長孔に連続して形成され、前記第2のリング状本体が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動することができるように前記回転体のピンの更なる移動を許容する延長孔を有していることを特徴とする真空用ゲートバルブ。本発明が解決しようとする課題は、上記の問題点に鑑み、誤動作等を防止して安全を充分に確保すると共に処理チャンバへの影響を回避しつつ、清掃やOリングその他の部品の交換等のメンテナンスを容易に行うことができる真空用ゲートバルブを提供することにある。本発明は、上記の課題を解決するための第1の手段として、開口を有するケーシングと、このケーシング内を揺動して開口を開閉するバルブプレートと、このバルブプレートが開口に対し全閉位置にあるときにバルブプレートをケーシングに密着させる位置調整手段を備えた真空用ゲートバルブにおいて、位置調整手段は、駆動源と、この駆動源により回転する回転体と、この回転体の回転により回転体に対して相対的に昇降しバルブプレートに接してバルブプレートの位置を調整する昇降体とから成り、昇降体は、回転体に連結される第1のリング状本体と、この第1のリング状本体に連結される第2のリング状本体と、この第2のリング状本体を第1のリング状本体に着脱自在に連結する着脱手段とを備え、着脱手段は、第1又は第2のリング状本体のいずれか一方に形成された係合部及び非係合部と、他方の第1又は第2のリング状本体に形成され係合部に係合する突起又は溝から成り、第2のリング状本体は、係合部にて第1のリング状本体に連結される一方、変位により突起又は溝を非係合部に位置合わせすることにより第1のリング状本体への連結が解除されてケーシングから取り出すことができ、かつ、第2のリング状本体は、駆動源の駆動により、周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときにのみ変位が許容されて突起又は溝を非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第2の手段として、上記第1の解決手段において、駆動源の駆動を制御する駆動制御手段を更に備え、この駆動制御手段は、駆動源が必要な場合以外には第2のリング状本体を周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させないように駆動源の駆動を規制することを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第3の手段として、上記第1又は第2のいずれかの解決手段において、第2のリング状本体の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置への移動を許容するボタン又はスイッチから成る移動解除手段を有し、この移動解除手段は、ケーシングのうち、真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部を開けた場合に操作できる位置に設けられていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第4の手段として、上記第1乃至第3のいずれかの解決手段において、回転体及び昇降体は、ケーシングの開口周縁に形成された収納溝内に収納され、昇降体の第1及び第2のリング状本体は両側面に収納溝の内周面に圧接するOリングを有し、第2のリング状本体は、第2のリング状本体に設けられたOリングが収納溝から脱する高さ位置にまで移動して収納溝との間の摩擦抵抗から解放された場合に、変位により突起又は溝を非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第5の手段として、上記第1乃至第4のいずれかの解決手段において、昇降体の第2のリング状本体は、真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部から第2のリング状本体を変位させることができるレバーを更に備えていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第6の手段として、上記第1乃至第5のいずれかの解決手段において、非係合部には、非係合部及び係合部を有しない他方のリング状本体に向けて付勢されたスイッチが設けられ、第2のリング状本体はスイッチの付勢力に抗してスイッチを押し込みながら第1のリング状本体に装着されることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第7の手段として、上記第1乃至第6のいずれかの解決手段において、位置調整手段は、バルブプレートのケーシングへの密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレートの変位を許容しない一方、バルブプレートのケーシングへの密着時を除いてはバルブプレートの揺動を許容することを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第8の手段として、上記第1乃至第7のいずれかの解決手段において、昇降体はバルブプレートに接してバルブプレートの位置を調整し、回転体は、環状レールと環状レールから突出するピンを有し、昇降体は、回転体の環状レールに係合して環状レールに沿って回転する第1のリング状本体と第1のリング状本体に形成され回転体のピンが挿入される長孔を有し、長孔は少なくとも一部が回転体に対して傾斜して形成され、昇降体は、回転体のピンが回転体の回転により昇降体の第1のリング状本体に形成された傾斜した長孔内を移動することにより回転体に対して昇降することを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第9の手段として、上記第8の解決手段において、昇降体の第1のリング状本体に形成された長孔は、始端と終端において水平に形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第10の手段として、上記第8又は第9のいずれかの解決手段において、昇降体に形成された長孔は、始端と終端に連続する部分が、他の部分よりも緩やかに傾斜して形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明は、上記の課題を解決するための第11の手段として、上記第8乃至第10のいずれかの解決手段において、昇降体は、長孔に連続して形成され、第2のリング状本体が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動することができるように回転体のピンの更なる移動を許容する延長孔を有していることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。本発明によれば、上記のように、第2のリング状本体は、係合部にて第1のリング状本体に連結されて、通常の作動時においては、第1のリング状本体と共に昇降体としてバルブプレートの位置を調整するために確実に機能することができ、一方で、変位により突起又は溝を非係合部に位置合わせすることにより第1のリング状本体への連結が解除されてケーシングから取り出すことができるため、メンテナンス時においては、真空用ゲートバルブ自体を処理チャンバから取り外すことなく、第2のリング状本体のみをケーシングから取り出してOリングの交換作業や清掃作業等を簡易に行うことができ、しかも、この非係合部への位置合わせは、駆動源の駆動により第2のリング状本体が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させられたときにのみ変位が許容されて可能となるため、第2のリング状本体が、例えば作動中等の予期しない不必要な時に誤って第1のリング状本体から外れることがなく、誤作動を防止して安全性を確保することができる実益がある。本発明によれば、上記のように、例えば、プログラミングによって、モーター等の駆動源の駆動を制御する駆動制御手段により、駆動源が必要な場合以外には第2のリング状本体を周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させないように規制しているため、作動中等の予期しない不必要な時に誤って第1のリング状本体から外れることがなく、誤作動を防止して安全性をより確実に確保することができる実益がある。本発明によれば、上記のように、第2のリング状本体の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置への移動を許容するボタン又はスイッチから成る移動解除手段を有するため、作業者が、認識しながら、ボタン又はスイッチを操作してメンテナンスモードに切り替えない限り、第2のリング状本体が変位可能な位置にまで移動することがなく誤作動を確実に防止することができると共に、この移動解除手段は、ケーシングのうち、真空用ゲートバルブが設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部を開けた場合に操作できる位置に設けられているため、処理チャンバ等の内部にアクセスしたり、真空用ゲートバルブを処理チャンバ等から取り外すことなく、メンテナンス作業を開始することができる実益がある。本発明によれば、上記のように、回転体及び昇降体は、ケーシングの開口周縁に形成された収納溝内に収納されているため、ケーシングの大きさや形状に大きな変更を加えることなく、省スペース化を図りつつ密閉状態を保持することができると共に、昇降体の第1及び第2のリング状本体は、両側面に収納溝の内周面に圧接するOリングを有するため、収納溝内に圧入され、第2のリング状本体は駆動源により強制的に移動させられない限りは容易に周方向に回転することがないので、Oリングが収納溝から脱する高さ位置にまで移動させられない限り、突起又は溝を非係合部に位置合わせすることができず、第2のリング状本体が第1のリング状本体から簡単に外れてしまうことがないと共に、第1のリング状本体の両側面に取り付けられたOリングが収納溝内部を気密に保持しているため、回転体の摺動等により生じたパーティクル等が真空側へ流入して半導体装置の製造等に悪影響を与えることを抑制することができる実益がある。本発明によれば、上記のように、昇降体の第2のリング状本体は、真空用ゲートバルブが設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部から第2のリング状本体を変位させることができるレバーを更に備えているため、処理チャンバ等の内部にアクセスすることなく、外部から第2のリング状本体を回転させて突起又は溝部を非係合部に位置合わせすることができ、第2のリング状本体を容易に取り外して、メンテナンス作業を簡易に行うことができる実益がある。本発明によれば、上記のように、非係合部には、非係合部及び係合部を有しない他方のリング状本体に向けて付勢されたスイッチが設けられ、第2のリング状本体はスイッチの付勢力に抗してスイッチを押し込みながら第1のリング状本体に装着されるため、第2のリング状本体が確実に着脱されたかを装着感により確認することができ、着脱作業を誤らせることを抑制することができる実益がある。本発明を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明すると、図1乃至図3は本発明の真空用ゲートバルブ10を示し、この真空用ゲートバルブ10は、例えば、図示しない半導体装置の製造工程で使用される処理チャンバと、この処理チャンバ内を真空とするための図示しない吸引ポンプとの間に設置され、処理チャンバ内を密閉して真空に保持するために使用される。この本発明の真空用ゲートバルブ10は、図1乃至図3に示すように、開口12aを有するケーシング12と、このケーシング12内を揺動して開口12aを開閉するバルブプレート14と、このバルブプレート14を駆動するモーター16と、バルブプレート14が開口12aに対し全閉位置にあるときにバルブプレート14をケーシング12に密着させて処理チャンバ内を真空に保持する位置調整手段18とを備えている。1.バルブプレートバルブプレート14は、図9に示すように、位置調整手段18によりケーシング12との密着状態から解放されているときは、ケーシング12との間にギャップが生じるように設定されている。これにより、バルブプレート14が、揺動時にケーシング12等に接触したり、また、その結果、破損等することを防止して、円滑な揺動を確保することができる。即ち、位置調整手段18は、このバルブプレート14の自由状態での位置設定に抗して、バルブプレート14をケーシング12に密着させるものである。2.位置調整手段本発明においては、この位置調整手段18は、図1及び図2、図5乃至図12に示すように、バルブプレート14のケーシング12への密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレート14の変位を許容しない構造となっている。従って、バルブプレート14が、大気圧と真空との臨界において圧力による負荷を受けても、ケーシング12から離反したり、一方向に反る等してケーシング12との間にギャップが生じることがないため、密閉状態を確実に保持することができる。具体的には、この位置調整手段18は、特に図2乃至図12に示すように、駆動源20と、この駆動源20により回転する回転体22と、この回転体22の回転により回転体22に対して相対的に昇降する昇降体24とから成っている。これらの回転体22及び昇降体24は、図2及び図5乃至図12に特に示すように、ケーシング12の開口12a周縁に形成された収納溝13内に収納されている。従って、図2に示すように、ケーシング12の大きさや形状に従来の設計から大きな変更を加えることなく、省スペース化を図りつつ密閉状態を保持することができる。一方、駆動源20は、図2に示すように、ケーシング12の外側においてケーシング12に取り付けられ、後述する動力伝達手段としての駆動ギア30及び回転ギア28により、ケーシング12内部の回転体22に動力を伝達する。このため、駆動源20の修理、点検等のメンテナンスや交換を容易に行うことができる。また、このケーシング12は、特に図1に示すように、ケーシング本体12Aと、このケーシング本体12Aに、ボルト等により、着脱自在に取り付けられるカバー12Bとから成っている。従って、ケーシング12は、カバー12Bの着脱により、開閉自在に形成されている。回転体22及び昇降体24は、図1に示すように、この開閉自在なケーシング12によりケーシング12内に着脱自在に収納されている。このため、回転体22及び昇降体24の全体をケーシング12から取り出すこともでき、大掛かりな点検や保守、修理等のメンテナンス、また、交換を容易に行うことができる。このケーシング12は、また、図1乃至図3に示すように、開閉自在なボンネット部12Cが、真空用ゲートバルブ10が設置されるべき図示しない処理チャンバ等の設置対象の外部に位置するように位置決めして、設置対象に取り付けられる。従って、ボンネット部12Cを開閉することにより、真空用ゲートバルブ10を処理チャンバの設置対象から取り外すことなく、真空用ゲートバルブ10の内部にアクセスすることができる。3.駆動源駆動源20としては、図2乃至図6に示すように、バルブプレート14の揺動のために設置されたモーター16とは別に、密閉用モーター26を使用することが望ましい。バネ等の使用状況に左右される駆動源ではなく、駆動の要否を直接的に制御することができる駆動源とすることで、バルブプレート14の位置を適切に調整するためである。この場合、この駆動源20である密閉用モーター26は、後述する回転体22及び昇降体24の動作により、昇降体24がバルブプレート14をケーシング12に密着させる位置にあるときは、その位置から昇降体24が変位しないように制止して、昇降体24の昇降を規制している。即ち、昇降体24は、密閉用モーター26が作動しない限り変位することはなく、密閉用モーター26が逆回転しない限り、密閉位置から開放位置へ移動せずに、密閉状態を確実に保持することができる。また、この駆動源20である密閉用モーター26は、図11及び図12に示すように、昇降体24より具体的には後述する第2のリング状本体24A2がバルブプレート14をケーシング12に密着させることができる位置図9及び図10参照よりも更にケーシング12側へ移動するまで駆動することができるように設定されている。即ち、通常は、昇降体24やバルブプレート14、ケーシング12の破損等を防止するため、昇降体24がバルブプレート14をケーシング12に密着させることができる位置で止まるよう設定されるところ、本発明では、図11及び図12に示すように、特に、バルブプレート14よりもケーシング12側へ強制的に移動させることができるように設定されている。4.回転体回転体22は、図2及び図5乃至図12に示すように、環状レール22Aと、この環状レール22Aから突出する複数のピン22Bを有している。この回転体22の環状レール22Aの側面には、図2及び図5乃至図7に示すように、ギア溝22aが形成されている。回転体22は、このギア溝22aに噛み合う回転ギア28と、この回転ギア28に噛み合い密閉用モーター26の回転軸に取り付けられる駆動ギア30により、密閉用モーター26の駆動力が伝達されて回転する。なお、このギア溝22aは、図3に示すように、回転体22を回転させることが必要な範囲昇降体24の昇降幅において形成すれば足りるが、本発明においては、上述したように、昇降体24がバルブプレート14をケーシング12に密着させることができる位置よりも更にケーシング12側の位置図11及び図12参照まで移動することができるように、設定する必要がある。環状レール22Aは、図5乃至図12に示すように、内部に溝を有する断面逆凹字状の形状を有し、その内壁面から内側へ向かって突出するように複数のピン22Bが設置されている。従って、このピン22Bは環状レール22Aと共に一体的に回転する。なお、このピン22Bは、強度を確保するため、断面逆凹字状の環状レール22の両壁面にわたって設置することが望ましいが、その場合でも、昇降体24の組付けのために、環状レール24Aに着脱自在に取り付けることが望ましい。また、この環状レール22Aの上面には、図5乃至図7に示すように、位置調整手段18である回転体22及び昇降体24をケーシング12内に保持するためのスクリュー32が貫通すると共にこのスクリュー32に沿って回転体22が回転することを許容する湾曲長孔22bが形成されている。このため、複数のスクリュー32は、環状の回転体22の輪郭に沿って所定の間隔を開けて配置される。5.昇降体一方、昇降体24は、図5乃至図12に示すように、回転体22の環状レール22Aに係合してこの環状レール22Aに沿って回転するリング状本体24Aと、このリング状本体24Aに形成され回転体22のピン22Bが挿入される長孔24aを有している。このリング状本体24Aは、断面が略凸状の形状を有し、上方に延びる壁面部が回転体22の環状レール22A内部の溝に挿入されて回転体22と機構的に係合する。本発明においては、このリング状本体24Aは、図9乃至図16に示すように、回転体22に連結される第1のリング状本体24A1と、この第1のリング状本体24A1に連結される第2のリング状本体24A2とから成っている。長孔24aは、図示の実施の形態では、図16に示すように、第1のリング状本体24A1に形成されている。なお、長孔24aは、回転体22のピン22Bに応じた個数に設定する。また、この長孔24aは、図6乃至図8及び図15に特に示すように、少なくとも一部が回転体22に対して傾斜して形成されている。このため、昇降体24は、回転体22のピン22Bが回転体22の回転によりこの昇降体24の傾斜した長孔24a内を移動することにより、回転体22に対して相対的に昇降することができる。より具体的には、図6及び図9に示すように、バルブプレート14をケーシング12に密着させない開放時においては、回転体22のピン22Bが長孔24aの最下位にある始端に位置し、回転体22と昇降体24とが最も近接した状態にある。この位置においては、図9に示すように、昇降体24はバルブプレート14から離反し、バルブプレート14の揺動を許容することができる。一方、この図6及び図9に示す開位置の状態から、回転体22が、長孔24aの傾斜の上昇方向図6の左方向へ回転すると、昇降体24は、図7及び図10に示すように、長孔24a内を移動するピン22Bにより押し下げられ、この長孔24aの傾斜に沿って次第に下降し、最終的に長孔24aの最上位にある終端に達することにより、バルブプレート14に接してバルブプレート14をケーシング12に押し付け、密閉状態とすることができる。この場合、この長孔24aは、その始端と終端において、図6及び図7に示すように、水平に形成され、昇降体24に働く上下方向の力を受け止めることができるため、全開又は密閉状態にある全閉状態において、昇降体24が密着するバルブプレート14に圧力差による負荷が加わっても、回転体22のピン22Bが昇降体24の長孔24a内で変位することがない。このため、回転体22のピン22Bを所定の位置に確実に保持することができ、駆動源20である密閉用モーター26の駆動停止と相俟って、密閉状態において、バルブプレート14がケーシング12から離反等することがなく、弾性部材を介することなく機構的にバルブプレート14を所定の位置に保持して、密閉状態を確保することができる。このように、昇降体24は、回転体22に係合して回転体22の回転により昇降するため、図2乃至図7に示すように、幅方向に不必要なスペースを要することなく、上下方向からバルブプレート14をケーシング12に密着又は開放することができ、バネを用いた場合と同様の省スペース化を図りつつ密閉状態を保持することができる。また、昇降体24のリング状本体24Aは、環状であるため、円板状のバルブプレート14の輪郭に沿って、バルブプレート14の全周にわたってバルブプレート14に接して、バルブプレート14をケーシング12に密着させることができ、圧力差による負荷を受けても、バルブプレート14が、例えば、先端方向等の一方向にのみ反って、バルブプレート14とケーシング12との間に間隙が生ずることがなく、密閉状態を確実に保持することもできる。また、この昇降体24に形成された長孔24aは、図6及び図7に示すように、水平に形成された始端と終端に連続する部分が、他の部分よりも緩やかに傾斜して形成することが望ましい。これにより、バルブプレート14が圧力による負荷を受けても、特に、初動や終動の速度を規制して急激にバルブプレート14が変位することを防止することができ、バルブプレート14とケーシング12との激しい衝突を回避して、バルブプレート14やケーシング12の損傷を抑制することができる。一方、駆動源20である密閉用モーター26は、水平に形成された始端と終端を除いた位置における回転体22のピン22Bの位置を制御することもできる。具体的には、駆動源20である密閉用モーター26は、回転体22のピン22Bを昇降体24の傾斜した長孔24a内の所定の位置に制止させる等して制御することができ、これにより、バルブプレート14とケーシング12との間のギャップを調整し、開口12aに連通する処理室内の圧力を制御することもできる。これにより、バルブプレート14は、単なる開閉のためのゲート弁としてのみならず、同時に圧力調整弁としての機能をも発揮することができる。また、本発明における昇降体24は、特に、図6乃至図8に示すように、この長孔24aに連続して形成され、第2のリング状本体24A2が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動することができるように、回転体22のピン22Bの更なる移動を許容する延長孔25を有している。この延長孔25は、図6乃至図8に示すように、長孔24aの最上位にある終端から更に連続して延びるようにして形成され、また、長孔24aよりも急な傾斜に形成されている。従って、図7及び図10に示す閉位置の状態から、動源20である密閉用モーター26の駆動により、回転体22が、更に傾斜の上昇方向図7及び図8の左方向へ回転すると、ピン22Bが延長孔25内へ移行して、昇降体24が、図8及び図11に示すように、ピン22Bにより更に押し下げられ、この延長孔25の傾斜に沿って更に下降し、図11に示すように、第2のリング状本体24A2のOリング42A、42Bが収納溝13から解放される位置にまで移動することができる。6.着脱手段また、昇降体24は、本発明においては、更に、この第2のリング状本体24A2を第1のリング状本体24A1に着脱自在に連結する着脱手段34をも備えている。この着脱手段34は、図示の実施の形態では、図9乃至図16に示すように、第2のリング状本体24A2に形成された係合部36及び非係合部38と、第1のリング状本体24A1に形成され、第2のリング状本体24A2の係合部36に係合する突起40から成っている。これらの係合部36及び非係合部38は、特に、図13及び図14、図15に示すように、第2のリング状本体24A2の上面に溝状に形成され、係合部36については、特に図9乃至図11及び図14Aに示すように、上部開口の幅が底面の幅よりも狭い断面略台形状の溝として形成され、一方、非係合部38については、特に図12及び図14Bに示すように、上部開口の幅が底面と等しいか又は底面の幅よりも大きい幅を有する断面略四角形状の溝として形成され、かつ、これらの係合部36及び非係合部38が、第2のリング状本体24A2のリング状の輪郭に沿って、ほぼ同様の長さで連続して交互に形成されている。一方、第1のリング状本体24A1に形成された突起40は、図9乃至図12に示すように、係合部36に対応する形状に形成されて、かつ、少なくとも非係合部38に突起40の全体が入る長さ第1のリング状本体24A1のリング状の輪郭に沿った円弧の長さに形成される。従って、第2のリング状本体24A2は、第1のリング状本体24A1の突起24を非係合部38内に挿入した上で、第2のリング状本体24A2を回転させて、図9乃至図11に示すように、突起40に係合部36を係合させることにより、この係合部36にて第1のリング状本体24A1に連結される。一方、第2のリング状本体24A2は、第2のリング状本体24A2を回転させて、図12に示すように、突起40を非係合部38に位置合わせすることにより、第1のリング状本体24A1への連結が解除されて第1のリング状本体24A1から分離することができる。但し、この、第2のリング状本体24A2は、図12に示すように、駆動源20である密閉用モーター26の駆動により、周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときにのみ、第1のリング状部材24A1に対して相対的に回転して変位することが許容されて、突起40を非係合部38に位置合わせすることができる。具体的には、以下の通りである。即ち、まず、昇降体24の第1及び第2のリング状本体24A1、24A2は、図9乃至図12に示すように、各々、両側面に収納溝13の内周面に圧接するOリング41A、41B、42A、42Bを有しており、これらのOリング41A、41B、42A、42Bを介して収納溝13内に圧入されている。従って、これらのOリング41A、41B、42A、42Bが、図9及び図10に示すように、収納溝13内に圧着している状態においては、昇降体24は、リング状本体24の輪郭に沿った周方向には回転することができず、第2のリング状本体24A2の変位回転により突起40を非係合部38に位置合わせすることができず、又は、何らかの予期せぬ強制力により無理矢理突起40が非係合部38に位置合わせされたとしても圧入されているがために、第2のリング状本体24A2が第1のリング状本体24A1から簡単に外れてしまうることがない。一方、第2のリング状本体24A2は、図11に示すように、第2のリング状本体24A2に設けられたOリング42A、42Bが、収納溝13から脱する高さ位置にまで移動して、収納溝13との間の摩擦抵抗から解放された場合に、図12に示すように、回転して変位により突起40を非係合部38に位置合わせして、ケーシング12から取り出すことができる。即ち、第2のリング状本体24A2は、駆動源20である密閉用モーター26により、強制的に所定の高さ位置にまで移動させられない限りは、第1のリング状本体24A1から取り外すことができない。また、この場合、第1のリング状本体24A1は、図9乃至図12に示すように、その両側面に取り付けられたOリング41A、41Bが収納溝13から脱する高さ位置までには移動しない。このため、少なくとも第1のリング状本体24A1よりも回転体22側図9乃至図12の上方側の収納溝13の内部は、昇降体24の高さ位置を問わず、この第1のリング状本体24A1のOリングOリング41A、41Bにより、常に気密に保持されているため、回転体22の摺動等により生じたパーティクル等が真空側へ流入して半導体装置の製造等に悪影響を与えることを抑制することもできる。なお、これらのOリング41A、41B、42A、42Bは、図9乃至図12に示すように、リング状本体24の両側面に形成された溝内に圧入して設置されている。なお、この昇降体24の昇降距離は、長孔24aの最上位と最高位との標高差により決定され、バルブプレート14のケーシング12への密着動作については、一般的には、その差を約2.5mm程度に設定すれば、バルブプレート14を確実にケーシング12に密着させることができる。但し、本発明においては、上述したように、第2のリング状本体24A2に設けられたOリング42A、42Bが、収納溝13から脱する高さ位置に移動するまで、第2のリング状本体24A2を移動下降させる必要があるため、この移動分、即ち、延長孔25による昇降幅として、更に、1.5mmの幅を加え、全体としての昇降距離を4.0mm程度に設定することが望ましい。また、昇降体24の第2のリング状本体24A2は、図3、図4及び図13、図15に示すように、真空用ゲートバルブ10が設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部から、第2のリング状本体24A2を変位させることができるレバー44を更に備えている。このレバー44は、特に図3に示すように、ケーシング12のうち、処理チャンバ等の外部側に位置するボンネット部12C内にまで延びるように第2のリング状本体24A2と一体に形成されている。従って、このボンネット部12Cを開けるだけでレバー44を操作することができ、第2のリング状本体24A2が、図11に示す第2のリング本体24A2のOリング42A、42Bが収納溝13から脱する高さ位置にある場合において、処理チャンバの外部からボンネット部12Cを開けて、レバー44を操作することにより、第2のリング状本体24A2を回転させて突起40を非係合部38に位置合わせすることができると共に、レバー44を押し下げることにより、図12に示すように、第2のリング状本体24A2を第1のリング状本体24A1から分離して、ケーシング12から取り出すことができる。このため、真空用ゲートバルブ10を処理チャンバ等から着脱したり、処理チャンバ等の内部にアクセスすることなく、第2のリング状本体24A2を容易に取り外して、メンテナンス作業を簡易に行うことができる。なお、第2のリング状本体24A2の非係合部38には、図14B及び図15に示すように、第1のリング状本体24A1に向けて付勢されたスイッチ46が設けられる。具体的には、このスイッチ46は、図14Bに示すように、非係合部38の底面に設けられた溝内に配置され、非係合部38の底面に臨むように配置されるボールベアリング46Aと、このボールベアリング46Aを付勢するスプリング46Bと、このスプリング46Bによる付勢を抑制してボールベアリング46Aの一部のみが非係合部38内に表出するように規制するストッパ46Cとから成っている。第2のリング状本体24A2は、非係合部38において、このスイッチ46のスプリング46Bによる付勢力に抗してスイッチ46を押し込みながら、第1のリング状部材24A1の突起40を挿入することにより、第1のリング状本体24A1に装着される一方、非係合部38において第1のリング状本体24A1との連結を解除するため係合部36から非係合部38に位置合わせされた場合には、突起40を非係合部38から押し出すように作用して、連結の解除を補助する。この場合、作業者には、突起40の非係合部38への挿入時にはスプリング46Bに抗する押し込み感が、逆に、連結の解除時には、ボールベアリング46Aがストッパ46Cに受け止められる際の金属音及び押し出し感が伝わり、第2のリング状本体24A2が確実に着脱されたかを装着感により確認することができ、着脱作業を誤らせることを抑制することができる。7.駆動制御手段更に、本発明の真空用ゲートバルブ10は、上述したように、第2のリング状本体24A2を第2のリング本体24A2のOリング42A、42Bが収納溝13から脱する高さ位置まで移動させる駆動源20である密閉用モーター26の駆動を制御する図示しない駆動制御手段をも備えている。この駆動制御手段は、駆動源20である密閉用モーター26が、必要な場合以外には第2のリング状本体24A2を周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置第2のリング本体24A2のOリング42A、42Bが収納溝13から脱する高さ位置にまで移動させないように駆動源20の駆動を規制するものである。具体的には、この駆動制御手段は、各部の動作を制御する図示しない中央処理装置において、上記の規制をプログラミングすることにより実現することができる。これにより、作動中等の予期しない不必要な時に誤って第1のリング状本体24A1から外れることがなく、誤作動を防止して安全性をより確実に確保することができる。8.移動解除手段加えて、本発明の真空用ゲートバルブ10は、第2のリング状本体24A2の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置第2のリング本体24A2のOリング42A、42Bが収納溝13から脱する高さ位置への移動を許容するボタン又はスイッチから成る図示しない移動解除手段を有する。この移動解除手段は、真空用ゲートバルブ10の制御回路を、いわばメンテナンスモードに切り替えるためのもので、この移動解除手段であるボタン又はスイッチを押さない限り、駆動源20である密閉用モーター26の駆動も、また、メンテナンスのためのバルブプレート14の開口部からの退避も作動しないように、設定されている。このため、作業者が、メンテナンス作業を開始することを認識しながら、ボタン又はスイッチを操作してメンテナンスモードに切り替えない限り、第2のリング状本体24A2が変位可能な位置にまで移動することがなく誤作動を確実に防止することができる。また、この移動解除手段は、ケーシング12のうち、真空用ゲートバルブ10が設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部12Cを開けた場合に操作できる位置に設けられる。従って、処理チャンバ等の内部にアクセスしたり、真空用ゲートバルブ10を処理チャンバ等から取り外すことなく、メンテナンス作業を開始することができる。9.使用状態次に、本発明の真空用ゲートバルブ10の使用状態について説明すると、通常の半導体装置の製造時においてバルブプレート14を開閉する場合においては、バルブプレート14を開状態とする場合には、図9に示すように、昇降体24をバルブプレート14から退避させてバルブプレート14の揺動を許容し、バルブプレート14を閉状態とする場合には、図10に示すように、昇降体24をバルブプレート14に押し付け、バルブプレート14をケーシング12に密着させて処理チャンバ内を真空に保持する。一方、Oリング42A、42Bの交換等のメンテナンス作業を行う場合には、処理チャンバの外部において、ケーシング12のボンネット部12Cを開けて、移動解除手段であるボタン又はスイッチを押して、真空用ゲートバルブ10全体をメンテナンスモードに切り替える。その上で、まずは、図11に示すように、バルブプレート14を開口部から退避させ、次いで、駆動制御手段による規制を解除して、駆動源20である密閉用モーター26により、昇降体24を、第2のリング状本体24A2の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置第2のリング本体24A2のOリング42A、42Bが収納溝13から脱する高さ位置まで移動させる。この状態において、レバー44を操作して、第2のリング状本体24A2を回転変位させて、非係合部38を、第1のリング状本体24A1の突起40に位置合わせする。なお、この場合、上述したように、第1のリング状本体24A1は、Oリング41A、41Bにより、収納溝13内に圧入されているため、第2のリング状本体24A2と供回りすることはない。その後、突起40と非係合部38との位置合わせ後、レバー44を下方に押し下げることにより、図12に示すように、第2のリング状本体24A2を第1のリング状本体24A1と分離して、図4に示すように、ボンネット12C側へ引き抜くことにより、第2のリング状本体24A2のみを、ケーシング12から取り外すことができる。なお、この状態においても、図12に示すように、第1のリング状本体24A1のOリング41A、41Bにより、収納溝13内は機密に保持されており、メンテナンス時にパーティクルが飛散等することがない。一方、第2のリング状本体24A2の清掃や、また、Oリング42A、42B等の交換作業等が終了した後は、上記と逆の手順で、バルブプレート14が開口12aから退避した状態で、第2のリング状本体24A2を、ケーシング12内に挿入し、非係合部38を突起40に位置合わせした上で、レバー44により押し上げて、非係合部38内に突起40を挿入する。その上で、レバー44を回転させて、突起40を係合部36に係合させて第1とリング状本体24A1と第2のリング状本体24A2とを連結させた後、駆動源20である密閉用モーター26の駆動力により、第2のリング状本体24A2を収納溝13内に収納して、開口12aの開閉作業を行うように駆動する。なお、この場合、第2のリング状本体24A2の着脱に際し、位置合わせが容易となるように、第2のリング状本体24A2やケーシング12に目印を付しておくことが望ましい。以上により、第2のリング状本体24A2は、係合部36にて第1のリング状本体24A1に連結されて、通常の作動時においては、第1のリング状本体24A1と共に昇降体24としてバルブプレート14の位置を調整するために確実に機能することができる一方、変位により突起40を非係合部38に位置合わせすることにより第1のリング状本体24A1への連結が解除されてケーシング12から取り出すことができるため、メンテナンス時においては、真空用ゲートバルブ10自体を処理チャンバから取り外すことなく、第2のリング状本体24A2のみをケーシング12から取り出してOリング42A、42Bの交換作業や清掃作業等を簡易に行うことができ、しかも、この非係合部38への位置合わせは、駆動源20の駆動により第2のリング状本体24A2が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させられたときにのみ変位が許容されて可能となるため、第2のリング状本体24A2が、例えば作動中等の予期しない不必要な時に誤って第1のリング状本体24A1から外れることがなく、誤作動を防止して安全性を確保することができる。10.他の実施の形態なお、図示の実施の形態では、着脱手段34について、第2のリング状本体24A2に係合部36及び非係合部38を設け、他方の第1のリング状本体24A1に突起40を形成したが、特に限定はなく、これとは逆に、図16に示すように、第1のリング状本体24A1に係合部36及び非係合部38を設け、他方の第2のリング状本体24A2に突起40を形成することもできる。また、図示の実施の形態では、係合部36及び非係合部38を溝状に形成したが、特に限定はなく、突条等をもって係合部36及び非係合部38とすることもでき、この場合には、他方のリング状本体24には、突条に係合する図示しない溝を形成することもできる。更には、図示の実施の形態では、係合部36及び突起40を断面略台形状に形成し、非係合部38を断面略四角形状としたが、第1及び第2のリング状本体24の連結及びその解除を適切に行うことができれば、その形状には特に限定はなく、例えば、他に、図示しない断面L字形状や凸形状等の係合部36や突起40又は溝とすることもできる。また、図示の実施の形態では、回転体22のピン22B及び昇降体24の長孔24aが、8つ形成されているのが示されているが、その設置個数には特に限定はない。但し、円滑で、均等な回転、昇降を確保するためには、少なくとも、相対向する方向に2組以上の、複数に設定することが望ましい。