金属イオンを溶解した金属塩溶液にヒドラジン溶液を混合して得たヒドラジン錯体を、アルカリ溶液によって還元することにより金属ナノ粒子を製造する金属ナノ粒子の製造方法であって、前記金属イオンを溶解した金属塩溶液に前記ヒドラジン溶液を混合して前記ヒドラジン錯体を生成する第1混合工程と、該第1混合工程で得られた前記ヒドラジン錯体を含む溶液の噴流とアルカリ溶液の噴流とを相互に衝突させることにより、該ヒドラジン錯体を含む溶液と該アルカリ溶液とを混合して前記金属ナノ粒子を生成する第2混合工程とを、含むことを特徴とする金属ナノ粒子の製造方法。前記第2混合工程は、中心衝突型マイクロリアクターを用いて前記第1混合工程で得られた前記ヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液とを混合することを特徴とする請求項1の金属ナノ粒子の製造方法。前記金属塩溶液は、ニッケル、鉄、コバルト、銅のいずれかの金属イオンが溶解した溶液であることを特徴とする請求項1または2の金属ナノ粒子の製造方法。前記金属ナノ粒子は、5nm以下の平均粒径を有するものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1の金属ナノ粒子の製造方法。前記第1混合工程は、中心衝突型マイクロリアクターを用いて前記金属塩溶液とヒドラジン溶液とを混合することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1の金属ナノ粒子の製造方法。しかしながら、上記特許文献3に記載のニッケルナノ粒子の製造方法では、100nm以下、好ましくは10乃至50nmの狭い粒度分布を有するニッケルナノ粒子が得られるとされているが、それは未だ大きな粒径に過ぎず、シングルナノサイズすなわち1桁のナノサイズで単分散性を有する金属ナノ粒子が得られないという、欠点があった。すなわち、攪拌機を備えた反応容器内に金属イオンを溶解した溶液にヒドラジン溶液を添加した後、アルカリを添加して還元反応させる、ヒドラジンを還元剤とした液相法で製造する金属ナノ粒子の製造方法では、いずれの攪拌方法を用いてもアルカリの添加によって還元が開始して核形成と粒成長とが同時に発生することから、20nm~1μmサイズの金属粒子が生成され、シングルナノサイズで単分散性を有する金属ナノ粒子を得ることが困難であった。本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的とするところは、シングルナノサイズで単分散性を有する金属ナノ粒子を連続的に製造可能な金属ナノ粒子の製造方法を提供することにある。すなわち、本発明者等は、以上の事情を背景として種々研究を重ねた結果、金属イオンを溶解した金属塩溶液にヒドラジン溶液を混合後、直ちにその混合液とアルカリの溶液とを瞬時に均一混合させることが、還元反応時間を可及的に短縮することにつながり、シングルナノサイズで単分散性を有する金属ナノ粒子を得るために有効であるという考え方に到達した。そして、それを実現するために中心衝突型マイクロリアクターを用いて、中央に位置する反応室に向かってその反応室に連通する複数のマイクロチャネルを通して上記混合液とアルカリの溶液とを噴射し、相互に衝突させて瞬時に混合させると、従来では製造困難であったシングルナノサイズで単分散性を有する金属ナノ粒子が得られるという事実を見いだした。本発明はその知見に基づいて為されたものである。すなわち、本発明の要旨とするところは、金属イオンを溶解した金属塩溶液にヒドラジン溶液を混合して得たヒドラジン錯体を、アルカリ溶液によって還元することにより金属ナノ粒子を製造する金属ナノ粒子の製造方法であって、前記金属イオンを溶解した金属塩溶液に前記ヒドラジン溶液を混合して前記ヒドラジン錯体を生成する第1混合工程と、第1混合工程で得られた前記ヒドラジン錯体を含む溶液の噴流とアルカリ溶液の噴流とを相互に衝突させることにより、該前記ヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液とを混合して前記金属ナノ粒子を生成する第2混合工程とを、含むことにある。本発明の金属ナノ粒子の製造方法によれば、第1混合工程で得られた前記ヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液とが、第2混合工程において、それらの噴射流を相互に衝突させることで瞬時に混合されることから、アルカリ下において開始される粒成長の時間が大幅に短縮されるので、シングルナノサイズで単分散性を有する優れた金属ナノ粒子が得られる。また、ヒドラジン溶液を還元剤とする金属ナノ粒子の生成機構は、ヒドラジン錯体とアルカリとの間の配位子交換反応から放出されたヒドラジンによる水酸化物の還元であることから、金属塩溶液から直接に金属ナノ粒子を製造する方法と比較して、溶液中での還元剤濃度を低くすることができるので、得られた金属ナノ粒子はより少ない凝集性とより良い分散性を得ることができる。ここで、好適には、前記第2混合工程は、中心衝突型マイクロリアクターを用いて前記第1混合工程で得られた前記ヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液とを混合する。このようにすれば、第2混合工程で、前記ヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液とが、中心衝突型マイクロリアクターにおいて、それらの噴射流を相互に衝突させることで瞬時に混合されることから、アルカリ下において開始される粒成長の時間が大幅に短縮されるので、シングルナノサイズで単分散性を有する優れた金属ナノ粒子が得られる。また、好適には、前記金属塩溶液は、ニッケル、鉄、コバルト、銅のいずれかの金属イオンが溶解した溶液である。このような、酸化容易性を有するなどの比較的不安定な金属であっても、シングルナノサイズで単分散性を有する優れた金属ナノ粒子が得られる。また、好適には、前記金属ナノ粒子は、5nm以下の平均粒径を有するものであるので、シングルナノサイズで単分散性を有する優れた金属ナノ粒子が得られる。また、好適には、前記第1混合工程は、中心衝突型マイクロリアクターを用いて前記金属塩溶液と前記ヒドラジン溶液とを混合する。このようにすれば、第1混合工程で、前記金属塩溶液とヒドラジン溶液とが、中心衝突型マイクロリアクターにおいて、それらの噴射流を相互に衝突させることで瞬時に混合されることから、ヒドラジン錯体が生成されるときに核生成が短時間で均一に行なわれるので、その混合溶液を直ちにアルカリ下で還元反応させることによりシングルナノサイズでたとえば変動係数が0.21以下の単分散性を有する優れた金属ナノ粒子が得られる。また、前記金属塩溶液としては、硝酸塩、硫酸塩、アンモニウム塩、炭酸塩、ハロゲン塩などの無機塩類の他、カルボン酸塩、水酸化物などが用いられる。この金属塩の濃度は、25mM程度が望ましく、2種類以上の金属塩を組み合わせることで、合金やコアシェル型のナノ粒子を製造することができる。コアシェル型のナノ粒子を製造する場合は、第2混合工程の後に、外皮を構成する金属イオンを溶解した金属塩溶液をさらに混合させる。また、前記ヒドラジン濃度は、金属塩溶液中の金属イオン濃度に対して20倍程度に高いことが望ましい。ヒドラジン濃度が金属イオン濃度よりも低いと核生成する金属が少なく、金属塩溶液中に残存する金属イオンが多くなって核生成とその後につづく粒成長とを分離できなくなり、結果として単分散な金属ナノ粒子を得ることができなくなる。反対に、ヒドラジン濃度が高すぎると核生成した金属が重合し過ぎて大きな粒径の金属粒子が含まれるようになる。また、前記アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液が好適に用いられるが、リチウム、カリウム、ルビシウム、セシウムなどのアルカリ金属の水酸化物を水に溶解させたものであればよい。また、前記金属イオンを溶解した金属塩溶液とヒドラジン溶液とを混合して生成されたヒドラジン錯体をアルカリ溶液中で還元するまでの時間は、金属塩溶液とヒドラジン溶液とを均一に混合させてヒドラジン錯体を十分に生成させるまでの時間は必要であるが、可及的に短い時間であることが望ましい。前記第1混合工程において中心衝突型マイクロリアクターを用いて金属塩溶液とヒドラジン溶液とが混合される場合は、0.05秒乃至1.5秒の範囲内が望ましい。前記第1混合工程においてY字型コネクタを用いて金属塩溶液とヒドラジン溶液とが混合される場合は、1.0秒乃至1.5秒の範囲内が望ましい。また、前記金属塩溶液には、金属ナノ粒子を表面に吸着させる安定化剤を含有させることが望ましい。安定化剤により粒子表面を表面修飾した状態で溶媒中に分散することができ、安定な金属ナノ粒子含有分散液すなわちコロイド溶液が得られる。この場合の安定化剤の添加量は、コロイドの分散性を十分に高める程度でよく、特に制限はない。安定化剤としては、例えばヘキサデシルトリメチルアンモニウムブロマイドのようなアンモニウム塩、例えばドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムのようなスルホン酸塩、例えばペンタエチレングリコールドデシルエーテルのようなエーテル類、ポリビニルビロリドンなどが、好適に用いられる。また、第1混合工程および第2混合工程、特に第2混合工程における混合操作は、分子拡散、乱流混合或いは層流混合に分類される。分子拡散は、Fickの法則に支配され、混合時間をt、拡散距離をd、拡散定数をDとすると、t=d2/Dにより表わされるので、拡散距離dを短くすることで効果的に拡散時間tを短縮できる。この拡散距離dを短くしたマイクロ流路での混合では、分子拡散か層流拡散にならざるを得ないが、層流の厚みを小さくすることに限界がある。このため、第1混合工程および第2混合工程、特に第2混合工程では、噴射型混合器の一種である中心衝突型マイクロリアクターすなわち中心衝突型マイクロミキサーが好適に用いられる。この中心衝突型マイクロリアクターでは、200~600μmφの混合室と、100~200μmの幅寸法を有してその混合室の周囲からその混合室に連通する径方向の少なくとも1対のマイクロ流路とが放射状に設けられ、そのマイクロ流路を通してヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液とを噴射することで、両液が混合室内で衝突して乱流が発生させられ、瞬時に均一混合されるようになっている。以下、本発明の一適用例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において装置を説明する図は適宜簡略化された模式図であって、各部の寸法比および形状等は必ずしも正確に描かれていない。図1は、本発明方法が適用される一例の、金属ナノ粒子製造用の反応装置すなわち混合装置10の構成を説明する図である。図1において、混合装置10は、一定濃度の金属塩溶液たとえば塩化ニッケル溶液と安定化剤溶液である。図3において、流路長Lが1cm、3cm、20cmである場合においては、図4、図5、図6に示す粒度分布に示されるように、平均粒径Davが4nm以下のシングルナノサイズであって、変動係数CVが0.21以下の単分散性に優れたニッケルナノ粒子が得られた。また、流路長Lが3cmであるときに得られたニッケルナノ粒子を示す図7の透過型電子顕微鏡写真TEMで代表されるように、大きなニッケルナノ粒子の混在のない均一なものであった。これに対して、流路長Lが40cmである場合においては、図8に示す粒度分布に示されるように、ニッケルナノ粒子は、平均粒径Davが4nmを超えるシングルナノサイズであって、変動係数CVが基準とする0.22を超える0.32であった。この場合の分布は、平均粒径Davの倍以上の10nmの粒子を含むブロードなものであって、均一なシングルナノサイズとは言い難いものであった。流路長Lが40cmである場合は、第3接続管22内でのヒドラジン錯体の滞留時間が2秒に対応していて、生成された核が滞留中に重合によって大きくなったものが含まれたためであると考えられる。従って、滞留時間は1.5秒すなわち第3接続管22の流路長Lは30cm以下が望ましい。図9は、本発明方法が適用される他の形式の金属ナノ粒子製造用の反応装置すなわち混合装置60の構成を示している。この混合装置60は、前述の混合装置10と比較して、第1混合器25が中心衝突型マイクロリアクターから構成されておらず、Y字管から構成されている点で相違し、他は同様に構成されているので、同一の符号を付して説明を省略する。第1混合器25は、第1定量ポンプ12に第1接続管18を介して接続されるとともに第2定量ポンプ14に第2接続管20を介して接続され、第1定量ポンプ12から吐出された塩化ニッケル溶液と第2定量ポンプ14から吐出されたヒドラジン溶液とを混合した混合溶液を第3接続管22を通して第2混合器32へ出力する。第1混合器25は、Y字管から構成されていることから、中心衝突型マイクロリアクターから構成された第1混合器24に比較して、第1定量ポンプ12から吐出された塩化ニッケル溶液と第2定量ポンプ14から吐出されたヒドラジン溶液との混合に時間を要し、核生成させるための時間が必要とされる。このため、第1混合器25から第2混合器32への第3接続管22は、1秒第3接続管22の流路長Lが3cmである図1の混合装置10において、それぞれ、150mMの塩化ニッケル溶液5ml/minと150mMの臭化ヘキサデシルトリメチルアンモニウム溶液5ml/minとの混合液を第1定量ポンプ12から一定流速10ml/minで吐出させ、375mMのヒドラジン溶液を第2定量ポンプ14から一定流速10ml/minで吐出させ、60mMのナトリウム溶液を第3定量ポンプ16から一定流速10ml/minで吐出させる実験を、常温において行なった。すなわち、前述の図1の混合装置10における実験と比較して、第2定量ポンプ14から吐出されるヒドラジン溶液の濃度を1500mMから375mMへ減少させた他は同一の条件で実験を行なった。図10は、この実験の結果を示している。図11から明らかなように、平均粒径Davは4nmより大きい4.4nmであって、変動係数DVは、0.22より大きい0.24である分布のニッケルナノ粒子が得られた。ヒドラジン溶液の濃度が十分でないため、核生成およびそれに続く還元が不十分であるためと考えられる。図11は、比較例2において用いられた金属ナノ粒子製造用の混合装置70の構成を示している。この混合装置70は、前述の混合装置10と比較して、第2混合器33が中心衝突型マイクロリアクターから構成されておらず、Y字管から構成されている点で相違し、他は同様に構成されているので、同一の符号を付して説明を省略する。第2混合器33は、第1混合器24に第3接続管22を介して接続されるとともに第3定量ポンプ16に第4接続管26を介して接続され、第1混合器24から吐出されたヒドラジン錯体を含む溶液と第3定量ポンプ16から吐出されたアルカリ溶液とを混合して混合溶液を第5接続管28を通して出力槽30へ出力する。第2混合器33は、Y字管から構成されていることから、中心衝突型マイクロリアクターから構成された第2混合器32に比較して、ヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液との混合に時間を要する。上記混合装置70において、150mMの塩化ニッケル溶液5ml/minと150mMの臭化ヘキサデシルトリメチルアンモニウム溶液5ml/minとの混合液を第1定量ポンプ12から一定流速10ml/minで吐出させ、1500mMのヒドラジン溶液10mlを第2定量ポンプ14から一定流速10ml/minで吐出させ、60mMのナトリウム溶液を第3定量ポンプ16から一定流速10ml/minで吐出させる実験を、常温において行なった。図12は、この実験結果を示している。図12から明らかなように、平均粒径Davは4nmより小さい3.8nmであるが、変動係数DVは、0.22より大きい0.25である分布のニッケルナノ粒子が得られた。ヒドラジン錯体を含む溶液とアルカリ溶液との混合に時間を要するため、ニッケルナノ粒子の成長のばらつきが発生したものと考えられる。図13は、本比較例3で用いた混合装置80を示している。この混合装置80は、150mMの塩化ニッケル溶液NiCl25ml/minと150mMのポリビニルアルコールPVA溶液5ml/minとの混合液を一定流速10ml/minで吐出する第1定量ポンプ82と、水素化ホウ素ナトリウム溶液NaBH4を一定流速10ml/minで吐出する第2定量ポンプ84と、それら塩化ニッケル溶液およびポリビニルアルコール溶液の混合液と水素化ホウ素ナトリウム溶液とを瞬時に混合する、中心衝突型マイクロリアクターから構成された混合器86とを、備えている。上記ポリビニルアルコールPVAは、保護剤として用いられ、水素化ホウ素ナトリウム溶液NaBH4は、還元剤として用いられており、シェル形成時に先立って加水分解によって容易に除去できる特徴がある。上記混合装置80を用いて得られたニッケルナノ粒子は、粒子形状が球形でないものが多く歪んでおり、50nm以上の粒径の巨大粒子が含まれていて、粒度分布がブロードであった。水酸化ホウ素ナトリウム溶液NaBH4を還元剤として用いる比較例3において、保護材として用いるポリビニルアルコールPVA溶液5ml/minに替えて、臭化ヘキサデシルトリメチルアンモニウムCTAB溶液5ml/minを用いて、他は比較例3と同様の条件で混合装置80において混合した。この比較例4では、単分散なニッケルナノ粒子を得られなかった。このため、水酸化ホウ素ナトリウム溶液NaBH4を還元剤として用いる場合は、単分散なニッケルナノ粒子を得ることが困難であると推定される。以上、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、これはあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実施することができる。