絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が2列以上に形成されるプローブシートと、前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材と、を含むことを特徴とする極微細ピッチ検査用プローブユニット。前記加圧部材には、前記接触部の各列を独立的に加圧するために、底面に横方向に溝部が形成されることを特徴とする、請求項1に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。前記加圧部材は前記接触部を弾性的に加圧することを特徴とする、請求項2に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。前記加圧部材は非金属材質で形成されることを特徴とする、請求項3に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。前記接触部は前記パターン配線から突出形成されることを特徴とする、請求項1に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。前記接触部の各列はジグザグ状に形成されることを特徴とする、請求項1に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。前記プローブシートには前記被検査体を駆動する駆動チップがさらに実装されることを特徴とする、請求項1に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。本発明は、上述した問題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、プローブシートの接触部が2列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できる極微細ピッチ検査用プローブユニットを提供することにある。前記のような技術的課題を解決するために、本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニットは、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が2列以上に形成されるプローブシートと、前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材と、を含む。また、前記加圧部材には、前記接触部の各列を独立的に加圧するために底面に横方向に溝部が形成されることが望ましい。また、前記加圧部材は、前記接触部を弾性的に加圧することが望ましい。また、前記加圧部材は、非金属材質で形成されることが望ましい。また、前記接触部は、前記パターン配線から突出形成されることが望ましい。また、前記接触部の各列はジグザグ状に形成されることが望ましい。また、前記プローブシートには、前記被検査体を駆動する駆動チップがさらに実装されることが望ましい。本発明によれば、プローブシートの接触部が2列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できるという効果がある。以下、添付の図面を参照して本発明による実施例を説明する。図7及び図8を参照すると、本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニット200は、ボディーブロック210、プローブシート230、FPC240及び加圧部材220を備えている。本実施例において、プローブシート230は、被検査体の完製品に付着されるTABICである。すなわち、絶縁フィルム221上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の端が被検査体のパッドに接触する接触部233a、233bになる。また、前記接触部233a、233bは、前記パターン配線から液晶パネル方向に突出形成されていることが分かる図7参照。すなわち、パッド電極18a、18b図6参照との接触を容易にするために、パターン配線上にバンプが形成される。また、本実施例において、プローブシート230の接触部233a、233bは、極微細ピッチに対応するためにジグザグ状の2列に形成される図8参照。特に、本実施例は、前記加圧部材220には、接触部の各列を独立的に加圧するために、その底面に横方向に溝部223が形成されていることが分かる。加圧部材220の底面には、前記溝部223を挟んで第1の加圧部221と第2の加圧部222が形成される。前記第1の加圧部221は第1の列接触部233aを加圧し、第2の加圧部222は第2の列接触部233bを加圧する。図中、未説明符号M1は、第1の加圧部221の加圧面積を示し、M2は、第2の加圧部222の加圧面積を示す。図9を参照すると、前記プローブシート230の第1の列接触部233aが第2の列パッド電極18aに接触し、第2の列接触部233bが第1の列パッド電極18bに接触した状態で加圧部材220を用いて加圧すると、第1の列接触部233aと第2の列接触部233bは、それぞれ第1の加圧部221と第2の加圧部222によって別々に加圧される。したがって、圧力が第1の列接触部233aと第2の列接触部233bに均一に伝達され、接触性能が向上する。本実施例では、プローブシート230がTABICである場合を説明したが、これと異なり、パターン配線が形成された絶縁フィルムに駆動チップを実装することによって、プローブシートをTABICとは別途に形成することもできる。いずれの場合においても、接触部とパッド電極のピッチは一致する。また、本実施例は、プローブシートに駆動チップが実装される場合を説明したが、これと異なり、駆動チップが実装されたTABICが別途に備えられることもある。すなわち、プローブシートには駆動チップが実装されず、接触部が形成されたパターン配線のみが形成され、前記プローブシートの後端には駆動チップが実装されたTABICが連結され、前記TABICの後端にFPCが連結される。