複数の処理ユニットを備えて太陽電池セルおよび電線を導電層に接続する太陽電池モジュール組立装置に好適な太陽電池セルの搬送装置であって、各処理ユニット内で昇降する、セルの1対の対向辺を保持する保持クランプと、各処理ユニット間を往復動作する、前記保持クランプの保持する辺と異なる1対の対向辺を保持する搬送クランプとを有することを特徴とする太陽電池セルの搬送装置。前記保持クランプは、当該処理ユニットの処理ヘッドに干渉しない位置を保持する構造で、処理後は前記搬送クランプにセルを引き渡したのち、昇降機構により退避することで、搬送クランプの往復動作の妨げとならない位置まで退避する機構を有することを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池セルの搬送装置。前記搬送クランプは、各処理ユニットが処理を終了して処理ヘッドを退避し、前記保持クランプが退避したのちに生じる搬送方向に貫通する隙間をセルを保持して送り動作で干渉しない形状で、かつ下流側のユニットの保持クランプにセルを引き渡し後、搬送方向に対し横方向に退避する機構を有することを特徴とする、請求項1又は2に記載の太陽電池セルの搬送装置。太陽電池セルおよび電線を導電層に接続するための太陽電池モジュール組立装置であって、前記太陽電池セルおよび前記電線を前記導電層に接続するための複数の処理ユニットと、前記複数の処理ユニットの間で前記太陽電池セルの搬送を行う太陽電池セルの搬送装置とを備えており、前記太陽電池セルの搬送装置は、各処理ユニット内で昇降する、セルの1対の対向辺を保持する保持クランプと、各処理ユニット間を往復動作する、前記保持クランプの保持する辺と異なる1対の対向辺を保持する搬送クランプを有することを特徴とする太陽電池モジュール組立装置。一般的な結晶系太陽電池セルはその両面に極性の異なる電極を有しており、当該セル同士の配線接続では、セルの表裏をそれぞれ連鎖的に繋ぎ、それらを直列接続することで、外部取り出し電圧を高くしている。そのため、導電性樹脂でセルを接続する場合には、導電性樹脂をセルの両面に貼り付ける必要がある。ここで、セルに対して片面ずつ処理を行った場合には、生産性が低下するうえ、更には、セルが薄いシリコン基板であるため、片面の熱処理の熱が反対面に伝わり、そのため、余分な熱履歴を導電性樹脂に与えることとなり、信頼性の低下を招く恐れがあった。また、はんだ付け式の配線接続装置の搬送機構として用いられる一般的なコンベア搬送などを利用して、導電性樹脂の接続処理をセルの両面を同時に行った場合には、搬送機構が粘着層をこすってしまい、導電性樹脂を汚損させることから、信頼性を低下させる恐れがあった。そこで、本発明は、上述した従来技術における課題を考慮してなされたものであり、その目的は、太陽電池セルの導電性樹脂もしくは導電性フィルムを用い、両面同時接続処理可能な太陽電池セルの搬送装置及びそれを備えた太陽電池モジュールの組立装置を提供することにある。上述した従来技術における課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明によれば、太陽電池セルの搬送装置、及び、それを備えた太陽電池モジュールの組立装置であって、当該太陽電池セルの搬送装置は、各処理ユニット内で昇降する、セルの1対の対向辺を保持する保持クランプと、各処理ユニット間を往復動作する、保持クランプの保持する辺と異なる1対の対向辺を保持する搬送クランプを有するものが提供される。そして、本発明では、前記の保持クランプは当該処理ユニットの処理ヘッドに干渉しない位置を保持する構造で、処理後は前記搬送クランプにセルを引き渡したのち、昇降機構により退避することで、搬送クランプの往復動作の妨げとならない位置まで退避する。更に、前記の搬送クランプは各処理ユニットが処理を終了して処理ヘッドを退避し、前記保持クランプが退避したのちに生じる搬送方向に貫通する隙間をセルを保持して送り動作で干渉しない形状で、かつ下流側のユニットの保持クランプにセルを引き渡し後、搬送方向に対し横方向に退避することで、セルを保持した保持クランプを回避しつつ、上流側の待機位置まで復帰する機構とした。また、各々の処理ユニットの処理ヘッドは、前記保持クランプに保持されたセルの両面から同期して処理可能で、処理終了後はセルから上下に離間する方向に退避することで、前記搬送クランプの移動を妨げない構造とした。また、搬送クランプは複数ユニットが同期して移動できるため、複数ユニット分を同一の駆動軸上に配置することで、駆動機構を簡略化した。即ち、本発明の太陽電池セルの搬送装置、及び、それを備えた太陽電池モジュールの組立装置では、セルの両面から同期して処理が可能とすることで、セルの片面ずつ処理を順次行う必要がないことから、生産性を高めることができ。さらに複数ユニットが同期して処理を終了し、複数ユニットの搬送機構が同期して搬送を行うため、搬送の損失時間を削減することでさらに生産性を高めることを可能とした。上述した構成の太陽電池セルの搬送装置、及び、これを用いた太陽電池モジュールの組立装置によれば、セルの両面を同期して処理し、同期して搬送を行うことで生産性を高めることが可能となると言う、実用的にも優れた効果を発揮することが出来る。以下、本発明の太陽電池モジュール組立装置の一実施形態について、添付の図1~図10を用いて説明する。なお、本発明の理解を助けるため、代表的な結晶系太陽電池セル以下、簡易的にセルというのセルストリング4の構造について、先ず、図11を用いて説明する。[セルストリング]図11に示すセル1は、各々、その表裏面に電極パターン1a図7参照を有している。即ち、このセル1の表裏面には、4本の電線2が貼り付けられている。また、各セル1の表裏面への4本の電線2の貼り付けは、各電線2について、それぞれ、数カ所一例としては6箇所に、図示しない導電性フィルムを貼り付けることにより行われる。そして、セルストリング4は、上述したように、例えば、10枚のセル1を電線2によって接続することにより構成される。即ち、太陽電池モジュールは、複数のセルストリング4と共に、当該複数のセルストリング4をその間に挟む透過ガラスとバックシートとを備えている。なお、上記図11に示すセルストリング4は、4本の電線を用いてセル1間を接続して構成されているが、しかしながら、セル1の枚数、電線2の本数、導電性フィルムの枚数や長さは、太陽電池モジュールの設計によって決定すべき事項である。即ち、本発明に係るセルストリングにおいて、電線2の本数を変更することや、セル表裏面での接続箇所を別に定めるなど、自在に変更できることは勿論である。[太陽電池モジュール組立装置]次に、太陽電池モジュール組立装置について、図1を参照して説明する。なお、図1は、本発明の一実施形態以下、本例というになる太陽電池モジュール組立装置の全体構成を示した平面図である。本例の太陽電池モジュール組立装置100では、図1の下段の左側から順に、電線供給ユニット101と、電線矯正ユニット102と、電線切断ユニット104が配置されている。また、図1の上段部には、導電性フィルムをセル1に一括して貼り付ける処理を行うユニットとして、セル供給ユニット105、導電性フィルム貼付ユニット103、セパレータ剥離ユニット106が配置されている。さらに、図1の下段の右側後方には、セル1に電線2を接合して予熱する予熱及び仮圧着ユニット107と、セル1と電線2を圧着する本圧着ユニット108と、本圧着されたセル1を冷却する冷却ユニット109が配置される。また、冷却ユニット109の隣には、連鎖状に接続されたセルストリング4図11参照を冷却ユニット109から引き出して次工程120に引き渡すための移載装置110が配置されている。上述のように構成された太陽電池モジュール組立装置100では、まず、電線供給ユニット101から不図示の電線が供給され、電線矯正ユニット102によって電線輸送時に生じた歪みが矯正される。すなわち、電線供給ユニット101から送られる扁平な電線は、例えば、不図示のリールに巻回されているため、湾曲するように変形する復元力を有している。そこで、電線矯正ユニット102は、この復元力によって扁平な電線に生じた巻き癖を強制的に取り除くための機構を有している。なお、上記の図1では、電線矯正ユニット102の具体的構成は示されていないが、その一例として、電線矯正ユニット102では、例えば、2個の送りローラの間に電線の湾曲に抗してダンサーローラを配置し、電線の復元力に抗して電線に適切なテンションを与えるようにする。つまり、電線矯正ユニット102では、このテンションを保ちながら、電線に生じた巻き癖を矯正する。この電線矯正ユニット102で巻き癖が矯正された電線は、電線切断ユニット104に送られる。電線切断ユニット104は、電線を、セルの長さの整数倍ここでは略2倍の長さに切断する。なお、この電線切断ユニット104では、ユニット内に引き込んだ電線の先端をチャックで受け取って、不図示の切断刃により、上下から電線を切断する。一方、セル1図2参照は、トレイに積層された状態でセル供給ユニット105から供給され、導電性フィルム貼付ユニット103に搬送される。導電性フィルム貼付ユニット103は、供給されたセル1の予め規定された箇所に、複数個に切り離された導電性フィルムの小片以下、この小片も含めて導電性フィルムというを一括して貼り付ける。導電性フィルムは、粘着性及び導電性を有する導電層と、この導電層の一方の面に重ねられたセパレータ剥離紙とを有しており、導電層とセパレータとが接着した状態で、セル1上に貼り付けられる。その後、導電性フィルムが貼り付けられたセル1は、セパレータ剥離ユニット106に送られる。セパレータ剥離ユニット106は、セル1に貼り付けられた導電性フィルムからセパレータのみを剥離する。導電性フィルムのセパレータが除去されたセル1は、その状態で、予熱及び仮圧着ユニット107に送られる。そして、予熱及び仮圧着ユニット107では、セパレータ剥離ユニット106から送られたセル1と電線切断ユニット104で切断された電線2とが接合され、予熱及び仮圧着される。本圧着ユニット108では、電線2とセル1が一体になった状態で熱圧着され、順次、冷却ユニット109に連鎖状のセルストリング4図11参照として引き出される。その後、セルストリング4は、移載装置110により、次工程120へ引き渡される。次に、セル供給ユニット105、導電性フィルム貼付ユニット103について、図2を参照して説明する。なお、図2は、導電性フィルムをセル1に貼り付ける工程を説明するための正面図である。図2に示すように、セル供給ユニット105は、セル1が複数枚積層されるセルトレイ151と、エレベータ152と、吸着ヘッド153と、更には、移載機構154とを備えている。セルトレイ151は、エレベータ152の働きにより、最上面のセル1の表面の高さが一定になるように保たれている。つまり、最上面のセル1は、吸着ヘッド153により吸着され、移載機構154により1枚ずつ導電性フィルム貼付ユニット103に運ばれる。このとき、最上面のセル1が移載機構154により運ばれると、エレベータ152が上昇する。これにより、セルトレイ151における最上面のセル1の表面の高さは、常に一定になるように制御される。導電性フィルム貼付ユニット103は、テープ状の導電性フィルム3を送り出す送りローラ131と、セル1に導電性フィルムを貼り付ける導電性フィルム貼付ヘッド133と、導電性フィルム貼付ヘッド133を上下動させるための駆動機構134を備えている。これらの具体的な動作については、以下に述べる。次に、導電性フィルム貼付ユニット103におけるセル1への導電性フィルム3の貼り付け工程について、図3~図5を用いて説明する。なお、図3a及びbは、導電性フィルム貼付ユニット103における導電性フィルム貼付ヘッド133及びその周辺の部材を示す斜視図である。図3aに示すように、導電性フィルム3は、送りローラ131で所定の長さ分だけ移送され、9個のカッター刃138bと俎板138aの間に挿入される。この段階で、不図示の駆動機構により俎板138aが下降し、導電性フィルム3は、カッター刃138bによりカットされる。ここで、カッター刃138bと俎板138aで導電性フィルム3を挟むことにより、導電層3bとセパレータ剥離紙3aが切断されるが、粘着性を有する導電層3bがカッター刃138bに対向しているため、導電層3bがカッター刃138bの側面に粘着することで、フルカットされた導電性フィルム3の8つの小片は、それぞれ離散することなくばらばらにならず、カッター刃138bに保持される。なお、本実施例では、カッター刃は、図3aに示したように、エッチング加工により一体形成された9列の突起部を有する形状で加工してある。その後、図3bに示すように、俎板138aが上方に退避し、カッター刃138bは、カット状態の導電性フィルム3を保持して導電性フィルム貼付ヘッド133の下部に移送する。そして、導電性フィルム貼付ヘッド133を不図示の駆動機構により下降させ、導電性フィルム貼付ヘッド133とカッター刃138bにより導電性フィルム3の8つの小片を吸着する。この吸着の動作については、以下に、図4に基づいて詳述する。図4は、導電性フィルム3をセル1に貼り付ける前に切断する工程を説明する説明図である。この図4では、セル1の表面と裏面に導電性フィルム3を貼り付ける例を示している。そのため、導電性フィルム3、カッター刃138b、導電性フィルム貼付ヘッド133、及び導電性フィルム貼付ヘッド133の駆動機構134以下、簡単に駆動機構134というが、それぞれ、2個示されている。なお、この図4に示す状態では、上方と下方に配置された導電性フィルム貼付ヘッド133間にカッター刃138bが配置されている。つまり、セル1図5参照は、まだ導電性フィルム貼付ヘッド133間に挿入されていない。導電性フィルム貼付ヘッド133は、細長い棒状に形成されている。この導電性フィルム貼付ヘッド133の先端部には、不図示の真空吸着穴が設けられており、この真空吸着穴から空気が吸引されることで、導電性フィルム3を吸着できるように構成されている。本例では、8個の導電性フィルム貼付ヘッド133を設けている。駆動機構134は、摺動部材134aと、ガイドレール134bと、駆動部材134cと、ガイド部材134dから構成されている。摺動部材134aは、8個の導電性フィルム貼付ヘッド133のそれぞれに連結されており、ガイドレール134bは、摺動部材134aを横軸方向に案内する。駆動部材134cは、摺動部材134aをガイドレール134bに沿って移動させ、ガイド部材134dは、駆動部材134cをガイドする。カッター刃138bは台座138dに固定されており、台座138dは昇降機構138cによって上下動する。台座138dが上下動することにより、9個のカッター刃138bは、8個設けられた導電性フィルム貼付ヘッド133に近接し、切断済みの導電性フィルム3を貼付ヘッド133に引き渡す。本例では、台座138dを介してカッター刃138bを昇降させる昇降機構138cとして、回転するカムを用いている。しかし、本発明に係るカッター刃を昇降させる機構は、カム以外にも、例えば、シリンダ機構など台座を上下動させることができる機構を適用することが可能である。以下では、昇降機構138cをカム機構138cとして説明する。この時、上側の導電性フィルム貼付ヘッド133が下降し、下側の導電性フィルム貼付ヘッド133が上昇して上述した真空吸着穴からの吸引で導電性フィルム3のセパレータ3a側を吸着することでカッター刃から切断済みの導電性フィルム3を受け取る。次に、切断された導電性フィルム3がセル1に貼り付けられるまでの動作を、図5に基づいて説明する。図5は、導電性フィルム3をセル1の表面と裏面の規定位置に貼り付ける工程を説明する説明図である。図5に示すように、各導電性フィルム貼付ヘッド133は、駆動機構134における駆動部材134cと摺動部材134aの協働動作により、セル1の幅全体に亘って略均一に広げられる。上述したように、各導電性フィルム貼付ヘッド133の先端部には、不図示の真空吸着穴が設けられている。そして、真空吸着穴からの吸引力により、導電性フィルム3のセパレータ3a側を吸引している。そして、セル1は、上下に対向する導電性フィルム貼付ヘッド133間に搬送される。次に、駆動機構134が昇降し、各導電性フィルム貼付ヘッド133は、導電性フィルム3の導電層3bをセル1の表面及び裏面に押圧する。これにより、導電性フィルム3は、セル1の表面及び裏面の規定された位置に貼り付けられる。なお、導電性フィルム3が貼り付けられるセル1上の規定位置は、予熱及び仮圧着ユニット107図1参照において、電線2が重ねられる位置である。続いて、各導電性フィルム貼付ヘッド133の真空吸着穴からの吸引を止め、駆動機構134を昇降させて、各導電性フィルム貼付ヘッド133をセル1から引き離す。これにより、セパレータ3aと導電層3bを有する導電性フィルム3のセル1への貼り付けが完了する。導電性フィルム3が貼り付けられたセル1は、セパレータ剥離ユニット106図1参照に送られる。導電性フィルム3のセル1への貼り付けが行われるとき、台座138dに取り付けられたカッター刃138bは、カム機構138cとともに、俎板138aの位置まで退避される。そして、俎板138aとカッター刃138bとの間には、次に切断を施す導電性フィルム3が挿入される。導電性フィルム貼付ユニット103において、セル1に貼り付けられた導電性フィルム3は、導電層3bにセパレータ3aが付着した状態になっている。そのため、セル1と電線2を接合仮圧着する前に、導電性フィルム3からセパレータ3aを除去する必要がある。[セパレータ剥離ユニット]次に、セパレータ剥離ユニット106の構成について、図6を参照して説明する。この図6は、セパレータ剥離ユニットの実施形態例を示すセパレータ剥離ユニット106の正面図である。図6に示すように、セパレータ剥離ユニット106は、供給されたセル1に対向する剥離ブロック161と、この剥離ブロック161を保持する保持部材162を備えている。さらに、保持部材162を上下方向に移動させるシリンダ163と、シリンダ163を支持する支持部材164を備えている。本例では、導電性フィルム3をセル1の表面と裏面に貼り付けるため、セル1の表面に貼り付けられた導電性フィルム3の導電層3bと、セル1の裏面に貼り付けられた導電性フィルム3の導電層3bからそれぞれセパレータ3aを剥離する必要がある。したがって、本例のセパレータ剥離ユニット106には、剥離ブロック161、保持部材162及びシリンダ163がそれぞれ2個設けられている。なお、支持部材164は、2つのシリンダ163を支持する構成とした。剥離ブロック161は、ベース部165と、剥離部166と、ローラ167と、吸引部168を備えている。ベース部165は、略直方体状に形成されており、セル1に対向するセル対向面165aと、セル対向面165aの反対側の面である背面165bを有する。ベース部165の背面165bには、後述する付勢部材169が固定される。剥離部166は、ベース部165にねじや溶接などの固定方法により固定されており、セル対向面165aから僅かに突出する接触爪166aを有している。この接触爪166aは、セル1に貼り付けられた導電性フィルム3のセパレータ3aに接触し、導電層3bからセパレータ3aを剥がす。また、ベース部165には、剥離部166の取付位置を変えて、セル対向面165aに対する接触爪166aの突出量を調整する調整部不図示が設けられている。剥離部166の数は、セル1に貼り付ける導電性フィルム3の小片の数に応じて、適宜決定する。例えば、一回の動作で導電性フィルム3の各小片におけるセパレータ3aを剥離する場合は、導電性フィルム3の各小片と同数の剥離部166を設けてもよい。また、本発明に係る剥離部は、2つ以上のセパレータ3aを同時に剥がす形状にしてもよい。ローラ167は、1つのベース部165に対して少なくとも2つ以上設けられており、ベース部165に回転可能に取り付けられる。このローラ167の少なくとも一部は、セル対向面165aから突出し、セル1の表面または裏面もしくは表面または裏面の電極パターン1aに接触する。また、ローラ167の回転軸は、セル対向面165aに平行であってセル1の搬送方向X1に直交する方向と平行である。吸引部168は、本発明に係る回収部の一具体例を示すものであり、導電層3bから剥離されたセパレータ3aを回収する。この吸引部168は、ノズル168aと、このノズル168aに接続される負圧発生部不図示を有する。ノズル168aの先端は、剥離部166の側方に配置されており、セル対向面165aから露出している。保持部材162は、剥離ブロック161におけるベース部165の側部を保持する保持部162aと、保持部162aに連続するシリンダ接続部162bを有している。更に、保持部162aは、剥離ブロック161を上下方向に移動可能に保持する。シリンダ接続部162bは、剥離ブロック161におけるベース部165の背面165bに対向する。セル1に対して上側に配置される剥離ブロック161と、この剥離ブロック161を保持する保持部材162との間には、剥離ブロック161をセル1側へ付勢する付勢部材169が設けられている。なお、本例では、付勢部材169として圧縮コイルばねを適用している。この付勢部材の一端は剥離ブロック161におけるベース部165の背面165bに接続されており、他端は保持部材162のシリンダ接続部162bに接続されている。更に、この付勢部材としては、当該圧縮コイルばねに限定されず、その他、板ばねや皿ばねなどのばね部材、ゴム部材などを適用することもできる。また、セル1に対して下側に配置される剥離ブロック161と、この剥離ブロック161を保持する保持部材162との間には、調整用ねじ170が設けられている。この調整用ねじ170は、例えば、セル1に対して下側に配置される剥離ブロック161の高さや、この剥離ブロック161におけるセル対向面165aの水平度を調整する場合に用いられる。なお、本発明のセパレータ剥離ユニットとしては、調整用ねじ170の替わりに、付勢部材を設ける構成であってもよい。つまり、セル1に対して下側に配置される剥離ブロック161と、この剥離ブロック161を保持する保持部材162との間に付勢部材を設けてもよい。シリンダ163は、本発明に係る昇降部の一具体例を示すものであり、保持部材162を介して剥離ブロック161を上下方向へ移動させる。この上下方向とは、2つの剥離ブロック161が対向する方向であり、セル1の表面及び裏面に直交する方向である。シリンダ163が保持部材162を介して剥離ブロック161をセル1側へ移動させると、各剥離ブロック161のローラ167がセル1の表面または裏面に接触する。そして上側の剥離ブロック161が付勢部材169の付勢力によってセル1側へ付勢されるため、各剥離ブロック161のローラ167が、セル1の表面または裏面に常に接触する。これにより、セル1の表面または裏面から剥離部166までの距離高さが規定される。つまり、ローラ167と付勢部材169は、本発明に係る距離規定機構を構成する。支持部材164は、上側のシリンダ163を支持する上支持部164aと、下側のシリンダ163を支持する下支持部164bと、上支持部164a及び下支持部164bを連結する連結部164cを有している。この支持部材164は、水平移動機構171図2参照によってセル1の搬送方向X1と平行な方向及びセル1の搬送方向X1と直交する方向へ移動可能に支持されている。支持部材164がセル1の搬送方向X1とは反対の処理方向X2へ移動することにより、剥離ブロック161の剥離部166は、セル1に貼り付けられた導電性フィルム3の側方からセパレータ3aに接触する。[セパレータ剥離ユニットの動作]次に、セパレータ剥離ユニット106の動作について、図7を参照して説明する。この図7は、セパレータ剥離ユニット106の動作を説明する説明図である。セパレータ剥離ユニット106における上側の剥離ブロック161と下側に剥離ブロック161図6参照とは、上下方向の動作のみが反対になり、その他の動作は同じである。そのため、図7では、セル1の下側の剥離ブロック161を省略し、上側の剥離ブロック161の動作を例に挙げて説明する。導電性フィルム3が貼り付けられたセル1は、剥離ブロック161間に搬送されて処理位置に配置される。セル1が処理位置に配置されると、シリンダ163図6参照が動作して、剥離ブロック161を上下方向セル1側へ移動させる。これにより、剥離ブロック161のローラ167がセル1の表面に接触する図7A参照。このとき、上側の剥離ブロック161は、付勢部材169によって常にセル1側に付勢されているため、セル1の表面から上側の剥離ブロック161における剥離部166までの高さが規定されて常に一定になる。また、不図示の下側の剥離ブロック161は、上側の剥離ブロック161との間にセル1を挟むため、セル1の裏面から下側の剥離ブロック161における剥離部166までの高さが規定されて常に一定になる。その結果、順次搬送されるセル1の厚みにばらつきがあっても、剥離部166の接触爪166aを導電性フィルム3におけるセパレータ3aの側部に確実に対向させることができる。これにより、剥離部166を導電性フィルム3のセパレータ3aに確実に接触させることができ、セパレータ3aの剥がし漏れを防止或いは抑制することができる。さらに、剥離部166の接触爪166aと導電性フィルム3の導電層3bとの接触を抑制することができ、接触爪166aで導電層3bを傷付けないようにすることができる。なお、剥離ブロック161には、セル対向面165aに対する接触爪166aの突出量を調整する調整部不図示が設けられている。したがって、種類が異なり導電層の厚さが違う導電性フィルムを使用する場合は、調整部不図示によりセル対向面165aに対する接触爪166aの突出量を変更する。これにより、種類の異なる導電性フィルムにおけるセパレータの側部に接触爪166aを対向させることができる。剥離ブロック161のローラ167がセル1の表面に接触すると、吸引部168の負圧発生部不図示が駆動し、吸引部168による真空吸引が開始される。この吸引部168による真空吸引は、例えば、剥離ブロック161をセル1側へ移動させる前に開始してもよい。次に、水平移動機構171が動作して、剥離ブロック161を処理方向X2へ移動させる図7B参照。これにより、剥離部166の接触爪166aが導電性フィルム3の側方からセパレータ3aに接触し、導電層3bからセパレータ3aの一部を剥がす。接触爪166aにより導電層3bからセパレータ3aの一部を剥がすと、シリンダ163図6参照が動作して、剥離ブロック161を上昇させる図7C参照。このとき、水平移動機構171図2参照の動作により剥離ブロック161を処理方向X2へも移動させる場合は、剥離ブロック161が斜め上方に移動することになる。剥離ブロック161を上昇させると、剥離部166の接触爪166aは、導電層3bから離なれる。そして、一部が導電層3bから剥がされたセパレータ3aは、吸引部168により吸引されることで、導電層3bから剥離される。つまり、本例のセパレータ剥離ユニット106では、剥離部166の接触爪166aによってセパレータ3aの一部を剥がした後に、セパレータ3aを吸引部168で吸引して導電層3bから離す。これにより、剥離ブロック161に振動が生じても、剥離部166の接触爪166aが導電層3bに干渉しないようにすることができ、導電層3bを傷付けないようにすることができる。[保持クランプの動作]次に、各ユニットに配置され、セルを保持する保持クランプ210の動作を説明する。図8aは保持クランプ210がセル1を保持した状態の正面図であり、図8bは保持クランプ210が退避した状態の正面図である。図中の一点鎖線で示された部分が処理中にセル1の保持される位置である。セル1は薄いので図中では厚みを表示していない。処理終了後、セルは図中の左側方向に隣接するユニットに搬出される。保持クランプ210はセル1を挟むチャックパット211、開閉動作することでチャックパッド211を開閉させるチャックアーム212、チャックアーム212を開閉駆動するチャック駆動部213、チャック駆動部の昇降をガイドする昇降ガイド214、チャック駆動部を昇降させるエアシリンダ215、保持クランプ210を支えるフレームであるスタンド216から構成される。図8aはセル1をクランプした状態の処理クランプ210を搬送経路の脇から見た立面図であり、セル1の処理は上流である図示しない右側のユニットから、図示した保持クランプの処理ユニットを経由して、下流である図示しない左側のユニットに搬送される。図ではセル1のバス配線は紙面奥行き方向に伸びており、電線2を紙面奥行き方向に貼り付ける向きにセル1を配置している。このため、セル1の紙面左右の辺は、導電性フィルム3の貼り付けなどの各処理を行わない為、セルのほぼ全長にわたって紙面奥行き方向に長く保持してかまわない。このため、チャックパッド211は立面図の方向に幅4mmで、奥行き方向に128mmの長方形のシリコンゴムの板から構成されている。チャックパッド211が付いているチャックアーム212は、図8bに示すようにチャック駆動部213で解放されると、セル1の幅の範囲から外側に後退する。このためチャックアーム212を開放し、エアシリンダ215で下降させると、図8bのようにセル1に干渉することなく保持クランプ210はセル1の搬送高さより沈み込むことができる。[搬送クランプの動作]次に、図9及び図10を用いて、搬送クランプ220の動作を説明する。なお、図9a及びbは搬送クランプを搬送方向の横から見た立面図であり、図10は、同じものを上から見た平面図である。図9aは、搬送クランプ220が上流側のセル1を保持した状態の立面図であり、図9bは、搬送クランプ220が下流側のセル1を保持した状態の立面図である。図中の一点鎖線で示された部分が処理中にセル1の保持される位置である。セル1は薄いので図中では厚みを表示していない。図では3か所の処理ユニット間でセル1を受け渡すことが可能な搬送クランプ220の例を示したが、本搬送機構は往復動作を複数のクランプを有して行うことで複数枚のセル1をピッチ送りするため、例えば、4個のユニット間を搬送する3組のチャックを有するユニットを用いることも可能である。搬送クランプ220は、セル1を挟むチャックパット221、開閉動作することでチャックパッド221を開閉させるチャックアーム222、チャックアーム222を前後進および開閉駆動するチャック駆動部223、チャック駆動部の往復動作をガイドする往復ガイド224、チャック駆動部223を往復させる搬送モータ225a、搬送クランプ220を支えるフレームであるスタンド226、および2組のチャック駆動部223を支える上部フレーム227を有する。往復ガイド224に支えられた上部フレーム227は奥行き方向に2個あり、図10に示したように、それぞれ、ラックを有する駆動機構225を有しており、各々のピニオン225cと噛合っている。2個のピニオン225cは、軸225dで一体に連結されており、そして、搬送モータ225aにより駆動される。チャックパッド221が付いているチャックアーム222は、図10に示すように、U字型の形状をしており、セル1を、その奥行き方向の手前方向の2辺の途中において、5mm角のチャックパッド221で挟んでいる。図9a及びb、そして、図10では、3本バス用のチャックアーム222形状を示しており、チャックパッド221は、セル1の中心軸から左右に25mmだけ離れた場所を保持する設計である。このようなチャック位置によれば、生産する太陽電池のセル1の設計に依存して処理の邪魔にならない位置に設定することができる。チャック駆動部223は、チャックアーム222の開閉のみならず、チャックアーム222の前後進動作も行う。図10の破線がチャックアーム222の前進位置でセル1を把持する位置、実線が後退位置でセル1を離した位置を示している。このようにすることにより、先述の保持クランプ210にセル1を渡した後、直ちに、搬送クランプ220は上流側の位置に復帰が可能であり、各処理ユニットが処理を行う間に、次のセル1の持ち替えを終了することが可能とある。なお、搬送クランプ220は搬送系全体を1ユニットの搬送とする必要はなく、例えば、導電性フィルム貼付ユニット103はユニットの片側から転写ヘッドが出入りするため、上部フレーム227と干渉するので、このユニットの前後において、搬送クランプ220を別々に切り離す構造の方が、その設計において、より容易であろう。