"A過酸化水素、Bフッ素原子を含有しない無機酸、C有機酸、D炭素数2~10であり、かつアミノ基と水酸基とをその合計基数が二以上となるように有するアミン化合物、Eアゾール類、及びF過酸化水素安定剤を含み、pHが2.5~5である銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜用エッチング液。B無機酸が、硫酸及び/又は硝酸である請求項1に記載のエッチング液。C有機酸が、コハク酸、グリコール酸、乳酸、マロン酸及びリンゴ酸から選ばれる少なくとも一種である請求項1又は2に記載のエッチング液。Dアミン化合物が、エタノールアミン、1-アミノ-2-プロパノール、N,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミンから選ばれる少なくとも一種である請求項1~3のいずれかに記載のエッチング液。Eアゾール類が、5-アミノ-1H-テトラゾールである請求項1~4のいずれかに記載のエッチング液。F過酸化水素安定剤が、フェニル尿素である請求項1~5のいずれかに記載のエッチング液。A過酸化水素を4.5~7.5質量、B無機酸を0.01~3質量、C有機酸を5~13質量、Dアミン化合物を2~7質量、Eアゾール類を0.001~0.3質量、及びF過酸化水素安定剤を0.01~0.5質量を含む請求項1~6のいずれかに記載のエッチング液。さらに銅イオンが、予め100~2000ppm含まれる請求項1~7のいずれかに記載のエッチング液。多層薄膜が、モリブデン層上に銅層が積層したものである上記1~8のいずれかに記載のエッチング液。エッチング対象物を請求項1~8のいずれかに記載のエッチング液に接触させることを特徴とする銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のエッチング方法。多層薄膜が、モリブデン層上に銅層が積層したものである請求項10に記載のエッチング方法。本発明は、このような状況下になされたもので、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜用エッチング液及びこれを用いた銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のエッチング方法を提供することを目的とするものである。本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、エッチング液において、A過酸化水素、Bフッ素原子を含有しない無機酸、C有機酸、Dアミン化合物、Eアゾール類、及びF過酸化水素安定剤という特定の組合せで配合し、かつpH2.5~5の範囲内とすることにより、その目的を達成し得ることを見出した。本発明は、かかる知見に基づいて完成したものである。すなわち、本発明の要旨は下記のとおりである。[1]A過酸化水素、Bフッ素原子を含有しない無機酸、C有機酸、D炭素数2~10であり、かつアミノ基と水酸基とをその合計基数が二以上となるように有するアミン化合物、Eアゾール類、及びF過酸化水素安定剤を含み、pHが2.5~5である銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜用エッチング液。[2]B無機酸が、硫酸及び/又は硝酸である上記1に記載のエッチング液。[3]C有機酸が、コハク酸、グリコール酸、乳酸、マロン酸及びリンゴ酸から選ばれる少なくとも一種である上記1又は2に記載のエッチング液。[4]Dアミン化合物が、エタノールアミン、1-アミノ-2-プロパノール、N,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミンから選ばれる少なくとも一種である上記1~3のいずれかに記載のエッチング液。[5]Eアゾール類が、5-アミノ-1H-テトラゾールである上記1~4のいずれかに記載のエッチング液。[6]F過酸化水素安定剤が、フェニル尿素である上記1~5のいずれかに記載のエッチング液。[7]A過酸化水素を4.5~7.5質量、B無機酸を0.01~3質量、C有機酸を5~13質量、Dアミン化合物を2~7質量、Eアゾール類を0.001~0.5質量、及びF過酸化水素安定剤を0.01~0.5質量を含む上記1~6のいずれかに記載のエッチング液。[8]さらに銅イオンが、200ppm以上含まれる上記1~7のいずれかに記載のエッチング液。[9]多層薄膜が、モリブデン層上に銅層が積層したものである上記1~8のいずれかに記載のエッチング液。[10]エッチング対象物を上記1~8のいずれかに記載のエッチング液に接触させることを特徴とする銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のエッチング方法。[11]多層薄膜が、モリブデン層上に銅層が積層したものである上記10に記載のエッチング方法。本発明によれば、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のエッチング工程において、加工精度が高く、エッチング残渣やむらが少なく、バスライフを延長させ、かつエッチング後の良好な配線断面形状を得ることでディスプレイの大型化及び高解像度化に対応しうるエッチング液、及びこれを用いた銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のエッチング方法を提供することができる。また、当該エッチング方法により、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜を有する配線を、一括でエッチングを行うことができるので、高い生産性で得ることができ、かつエッチング後の配線断面形状を良好とすることができる。[銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜用エッチング液]本発明のエッチング液は、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のエッチングに用いられ、A過酸化水素、Bフッ素原子を含有しない無機酸、C有機酸、D炭素数2~10であり、かつアミノ基と水酸基とをその合計基数が二以上となるように有するアミン化合物、Eアゾール類、及びF過酸化水素安定剤を含み、pHが2.5~5であることを特徴とするものである。《A過酸化水素》本発明のエッチング液で用いられる過酸化水素は酸化剤として銅配線を酸化する機能を有し、かつモリブデンに対しては酸化溶解する機能を有し、該エッチング液中の含有量は、3~10質量が好ましく、4.5~7.5質量がより好ましい。過酸化水素の含有量が上記の範囲内であれば、過酸化水素の管理が容易となり、かつ適度なエッチング速度が確保できるので、エッチング量の制御が容易となるので好ましい。《Bフッ素原子を含まない無機酸》本発明のエッチング液で用いられるフッ素原子を含まない無機酸は、A過酸化水素により酸化した銅の溶解に寄与するものであり、本発明においては、環境対策の観点からフッ素原子を含まない酸が採用される。フッ素原子を含まない無機酸としては、硫酸、硝酸、塩酸、リン酸、次亜リン酸、炭酸、スルファミン酸、硼酸などが好ましく挙げられ、これらを単独で、あるいは複数を混合して用いることができる。なかでも硫酸、硝酸が好ましい。エッチング液中のB無機酸の含有量は、0.01~5質量が好ましく、0.01~3質量がより好ましい。無機酸の含有量が上記の範囲内であれば、適度なエッチング速度が得られ、かつエッチング後の良好な配線断面形状を得ることができる。《C有機酸》本発明のエッチング液で用いられる有機酸は、銅及びモリブデンのエッチング、及びモリブデン由来の残渣の除去に寄与するものであり、該エッチング液中の含有量は、1~15質量が好ましく、5~13質量がより好ましい。有機酸の含有量が上記範囲内であれば、銅及びモリブデンのエッチング、及びモリブデン由来の残渣の除去が十分に行われ、かつエッチング後の良好な配線断面形状を得ることができる。また、エッチング後に含有される銅イオンのマスキング剤としても機能しており、銅による過水の分解を抑制することが出来る。有機酸としては、炭素数1~18の脂肪族カルボン酸、炭素数6~10の芳香族カルボン酸のほか、炭素数1~10のアミノ酸などが好ましく挙げられる。炭素数1~18の脂肪族カルボン酸としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸、グリコール酸、ジグリコール酸、ピルビン酸、マロン酸、酪酸、ヒドロキシ酪酸、酒石酸、コハク酸、リンゴ酸、マレイン酸、フマル酸、吉草酸、グルタル酸、イタコン酸、アジピン酸、カプロン酸、アジピン酸、クエン酸、プロパントリカルボン酸、trans-アコニット酸、エナント酸、カプリル酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸などが好ましく挙げられる。炭素数6~10の芳香族カルボン酸としては、安息香酸、サリチル酸、マンデル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などが好ましく挙げられる。また、炭素数1~10のアミノ酸としては、カルバミン酸、アラニン、グリシン、アスパラギン、アスパラギン酸、サルコシン、セリン、グルタミン、グルタミン酸、4-アミノ酪酸、イミノジ酪酸、アルギニン、ロイシン、イソロイシン、ニトリロ三酢酸などが好ましく挙げられる。有機酸としては、上記した有機酸のなかから、酢酸、コハク酸、アラニン、クエン酸、リンゴ酸、乳酸、グリコール酸、酒石酸、マロン酸、グリシン、グルタル酸、マレイン酸、trans-アコニット酸が好ましく、なかでもコハク酸、リンゴ酸、乳酸、グリコール酸、及びマロン酸が特に好ましく、これらを単独で又は複数を組み合わせて用いることができる。《Dアミン化合物》本発明のエッチング液で用いられるアミン化合物は、エッチング後の良好な配線断面形状に寄与し、炭素数2~10であり、かつアミノ基と水酸基とをその合計基数が二以上となるように有する化合物である。このようなアミン化合物としては、エチレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、1,2-プロパンジアミン、1,3-プロパンジアミン、N,N-ジメチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミン、1,3-ジアミノブタン、2,3-ジアミノブタン、ペンタメチレンジアミン、2,4-ジアミノペンタン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、N-メチルエチレンジアミン、N,N-ジメチルエチレンジアミン、トリメチルエチレンジアミン、N-エチルエチレンジアミン、N,N-ジエチルエチレンジアミン、トリエチルエチレンジアミン、1,2,3-トリアミノプロパン、ヒドラジン、トリス2-アミノエチルアミン、テトラアミノメチルメタン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチルペンタミン、ヘプタエチレンオクタミン、ノナエチレンデカミン、ジアザビシクロウンデセンなどのポリアミン;エタノールアミン、N-メチルエタノールアミン、N-メチルジエタノールアミン、N-エチルエタノールアミン、N-アミノエチルエタノールアミン、N-プロピルエタノールアミン、N-ブチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、1-アミノ-2-プロパノール、N-メチルイソプロパノールアミン、N-エチルイソプロパノールアミン、N-プロピルイソプロパノールアミン、2-アミノプロパン-1-オール、N-メチル-2-アミノ-プロパン-1-オール、N-エチル-2-アミノ-プロパン-1-オール、1-アミノプロパン-3-オール、N-メチル-1-アミノプロパン-3-オール、N-エチル-1-アミノプロパン-3-オール、1-アミノブタン-2-オール、N-メチル-1-アミノブタン-2-オール、N-エチル-1-アミノブタン-2オール、2-アミノブタン-1-オール、N-メチル-2-アミノブタン-1-オール、N-エチル-2-アミノブタン-1-オール、3-アミノブタン-1-オール、N-メチル-3-アミノブタン-1-オール、N-エチル-3-アミノブタン-1-オール、1-アミノブタン-4-オール、N-メチル1-アミノブタン-4-オール、N-エチル-1-アミノブタン-4-オール、1-アミノ-2-メチルプロパン-2-オール、2-アミノ-2-メチルプロパン-1-オール、1-アミノペンタン-4-オール、2-アミノ-4-メチルペンタン-1-オール、2-アミノヘキサン-1-オール、3-アミノヘプタン-4-オール、1-アミノオクタン-2-オール、5-アミノオクタン-4-オール、1-アミノプパン-2,3-ジオール、2-アミノプロパン-1,3-ジオール、トリスオキシメチルアミノメタン、1,2-ジアミノプロパン-3-オール、1,3-ジアミノプロパン-2-オール、2-2-アミノエトキシエタノール、2-2-アミノエチルアミノエタノール、ジグリコールアミンなどのアルカノールアミンが好ましく挙げられ、これらを単独で又は複数を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、エタノールアミン、1-アミノ-2-プロパノール、N,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミンが特に好ましい。本発明のエッチング液中のアミン化合物の含有量は、1~10質量が好ましく、2~7質量がより好ましい。アミン化合物の含有量が上記範囲内であれば、エッチング後の良好な配線断面形状を得ることができる。《Eアゾール類》本発明のエッチング液で用いられるアゾール類としては、1H-ベンゾトリアゾール、5-メチル-1H-ベンゾトリアゾール、3-アミノ-1H-トリアゾールなどのトリアゾール類;1H-テトラゾール、5-メチル-1H-テトラゾール、5-フェニル-1H-テトラゾール、5-アミノ-1H-テトラゾールなどのテトラゾール類;1H-イミダゾール、1H-ベンゾイミダゾールなどのイミダゾール類;1,3-チアゾール、4-メチルチアゾールなどのチアゾール類などが好ましく挙げられる。これらのうち、テトラゾール類が好ましく、なかでも5-アミノ-1H-テトラゾールが好ましい。エッチング液中のアゾール類の含有量は、0.001~1質量が好ましく、0.001~0.5質量がより好ましい。アゾール類の含有量が上記範囲内であれば、エッチング後のCDロスの増大を抑えつつ、エッチング後の良好な配線断面形状を得ることができる。《F過酸化水素安定剤》本発明のエッチング液は、過酸化水素安定剤を含有する。過酸化水素安定剤としては、通常過酸化水素安定剤として用いられるものであれば制限なく使用することが可能であるが、フェニル尿素、アリル尿素、1,3-ジメチル尿素、チオ尿素などの尿素系過酸化水素安定剤のほか、フェニル酢酸アミド、フェニルエチレングリコールなどが好ましく挙げられ、なかでもフェニル尿素が好ましい。本発明のエッチング液中のF過酸化水素安定剤の含有量は、その添加効果を十分に得る観点から、0.01~0.5質量が好ましく、0.01~0.3質量がより好ましい。《pH》本発明のエッチング液は、pH2.5~5であることを要する。pH2.5未満であるとモリブデンがエッチング溶解される際に生成するモリブデン酸化物が溶解しにくくなり、結果、エッチング後にモリブデン酸化物由来の残渣が発生し、リークの原因となり電気特性が低下してしまうことがある。また、pH5よりも大きいと、A過酸化水素の安定性が低下し、銅配線のエッチング速度が減少し、バスライフも減少してしまう。このような観点から、本発明のエッチング液のpHは、2.5~5が好ましい。《銅イオン》本発明のエッチング液は、使用初期からエッチング性能を向上させる目的で、予め銅イオンを含有させることが好ましい。銅イオンは、エッチング液に銅粉末や、硫酸銅、硝酸銅などの銅塩を加えることで、エッチング液中に含有させることができる。エッチング液中の銅イオンの濃度は、100ppm以上が好ましく、200ppm以上がより好ましい。また、濃度の上限は、エッチング性能が低下しない限り制限はないが、バスライフなどを考慮すると、2000ppm以下が好ましく、1000ppm以下がより好ましい。《その他の成分》本発明のエッチング液は、上記したA~F成分のほか、水、その他エッチング液に通常用いられる各種添加剤をエッチング液の効果を害しない範囲で含んでもよい。水としては、蒸留、イオン交換処理、フィルター処理、各種吸着処理などによって、金属イオンや有機不純物、パーティクル粒子などが除去されたものが好ましく、特に純水、超純水が好ましい。[銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のエッチング方法]本発明のエッチング方法は、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜をエッチングする方法であり、本発明のエッチング液、すなわちA過酸化水素、Bフッ素原子を含有しない無機酸、C有機酸、D炭素数2~10であり、かつアミノ基と水酸基とをその合計基数が二以上となるように有するアミン化合物、Eアゾール類、及びF過酸化水素安定剤を含み、pHが2.5~5である銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜用エッチング液を用いることを特徴とし、エッチング対象物と本発明のエッチング液とを接触させる工程を有するものである。また、本発明のエッチング方法により、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜を一括でエッチングを行うことができ、かつエッチング後の良好な配線断面形状を得ることができる。本発明のエッチング方法において、エッチング液は、例えば、図1に示されるような、ガラスなどの基板上に、モリブデン系材料からなるバリア膜モリブデン層と銅又は銅を主成分とする材料からなる銅配線銅層とを順に積層してなる銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜上に、さらにレジストを塗布し、所望のパターンマスクを露光転写し、現像して所望のレジストパターンを形成したものをエッチング対象物とする。ここで、本発明においては、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜は、図1のようにモリブデン層の上に銅層が存在する態様をはじめとし、さらに該銅層上にモリブデン層が存在する態様も含まれる。また、このような銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜は、フラットパネルディスプレイなどの表示デバイスなどの配線に好ましく用いられるものである。よって、モリブデン層の上に銅層が存在するエッチング対象物は、利用分野の観点からも、好ましい態様である。銅配線は、銅又は銅を主成分とする材料により形成されていれば特に制限はなく、当該バリア膜を形成するモリブデン系材料としては、モリブデンMo金属あるいはMo系合金などが挙げられる。エッチング対象物にエッチング液を接触させる方法には特に制限はなく、例えばエッチング液を滴下枚葉スピン処理やスプレーなどの形式により対象物に接触させる方法や、対象物をエッチング液に浸漬させる方法などの湿式ウェットエッチング方法を採用することができる。本発明においては、エッチング液を対象物に滴下枚葉スピン処理して接触させる方法、対象物をエッチング液に浸漬して接触させる方法が好ましく採用される。エッチング液の使用温度としては、20~60°Cの温度が好ましく、特に30~50°Cが好ましい。エッチング液の温度が20°C以上であれば、エッチング速度が低くなりすぎないので、生産効率が著しく低下することがない。一方、沸点未満の温度であれば、液組成変化を抑制し、エッチング条件を一定に保つことができる。エッチング液の温度を高くすることで、エッチング速度は上昇するが、エッチング液の組成変化を小さく抑えることなども考慮した上で、適宜最適な処理温度を決定すればよい。本発明のエッチング方法において、エッチング液に含まれる過酸化水素は、上記のように銅やモリブデンの酸化溶解などに消費され、また、それら溶解した銅やモリブデンが過酸化水素の分解を促進するため、過酸化水素濃度の低下に起因したエッチング液の性能の低下が生じる場合がある。このような場合には、適宜A過酸化水素及びB金属をマスキングする有機酸を同時に、あるいは別々に添加することにより、バスライフを延長させることができる。次に、本発明を実施例により、さらに詳しく説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。エッチング後の銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜の断面の観察実施例及び比較例で得られた、エッチングを行った後の銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜試料を切断し、走査型電子顕微鏡S5000形型番;日立製を用いて観察倍率30000倍加速電圧2kV、加速電流10μAで観察した。得られたSEM画像をもとに、図1で示されるテーパー角、CDロスμmを得た。テーパー角、CDロスμmは、表1に記載の基準範囲内であれば合格として、エッチング液の性能を判断した。エッチング残渣の評価実施例及び比較例で得られた、エッチングを行った後の銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜試料の表面を、走査型電子顕微鏡S5000形型番;日立製を用いて観察倍率50000倍加速電圧2kV、加速電流10μAで観察し、当該試料の残渣を下記の基準で評価した。○:残渣は全く確認できなかった△:残渣が若干確認されたが、配線性能への影響はなく実用上問題ない×:著しい残渣が確認された作製例銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜の作製ガラスを基板とし、モリブデンMoをスパッタしモリブデンからなるバリア膜モリブデン層を形成し、次いで銅を主成分とする材料をスパッタして銅を主成分とする配線銅層を形成し、次いでレジストを塗布し、パターンマスクを露光転写後、現像して、パターンを形成したモリブデン層の上に銅層が積層した、銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜を作製した。実施例1~5作製例で得られた銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜を、表2に示されるエッチング液に、シャワー噴霧により、35°Cでエッチングする作業を繰り返し行い、得られたエッチング後の銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜試料について、上記の方法により、該エッチング液中の銅イオン濃度Cu濃度と表記することがある。が低濃度域200-1000ppm,Cu低濃度域と表記することがある。及び高濃度域3000-4000ppm,Cu高濃度域と表記することがある。におけるテーパー角、CDロスμmをSEM観察により得た。また、レジストがパターニングされていないエリアのエッチング対象物が、目視にてエッチングされたと判断した時間をジャストエッチング時間とし、該ジャストエッチングタイムの110~300の範囲内の任意の割合でエッチング処理オーバーエッチングした時間をエッチング時間として設定した例えば、ジャストエッチングタイム100秒のとき、50のオーバーエッチングならば、そのエッチング時間は150秒となる。これらの評価を表2に示す。1,三菱瓦斯化学株式会社製2,和光純薬工業株式会社製3,5-アミノ-1H-テトラゾール,和光純薬工業株式会社製4,フェニル尿素,和光純薬工業株式会社製実施例6及び7実施例4において、使用するエッチング液4に予め銅粉末を、銅イオン濃度が200ppm、6000ppmとなるように加える以外は、実施例4と同様にして、エッチングを行い、各々を実施例6及び7とした。一回目のエッチングで得られた銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のテーパー角、CDロスμm、残渣の評価を表3に示す。また、表3には実施例4の一回目のエッチングで得られた銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のテーパー角、CDロスμm、残渣の評価を示す。比較例1~5実施例1において、エッチング液を表4に示す配合のものを用いる以外は、実施例1と同様にして、エッチングを行った。得られた銅層及びモリブデン層を含む多層薄膜のテーパー角、CDロスμm、残渣の評価を表4に示す。5,Cu高濃度域で、配線断面形状において、下層のモリブデンが上層の銅よりも選択的にエッチングされる、アンダーカットが発生した。6,エッチングされなかった。7,レジストがピーリングした。本発明のエッチング液を用いた実施例は、エッチング後の配線断面形状が良好であり、かつ残渣の評価の点でも優れた結果を示した。一方、B成分を含まないエッチング液を用いた比較例1では、配線断面形状において、下層のモリブデンが上層の銅よりも選択的にエッチングされる、所謂アンダーカットが生じてしまった。B~F成分を含まないエッチング液を用いた比較例2及び3では、エッチングが進行しない、あるいはレジストが剥離してしまい、これらのエッチング液は実用できないことが確認された。また、pHが本願発明の規定範囲外であるエッチング液を用いた比較例4ではCDロスが1より大きく、D成分を含まないエッチング液を用いた比較例5では、下層のモリブデンが選択的にエッチングされ、エッチング端面が順テーパーにならず、一部テーパー角が90度を超える逆テーパーとなってしまい、配線断面形状の点で問題を生じることが確認された。予め銅イオンを200ppm、あるいは6000ppmを含有させたエッチング液を用いた実施例6及び7の一回目のエッチング後の配線断面形状は、実施例4の一回目のエッチング後の配線断面形状よりも良好であり、残渣の評価の点でも良好であることが確認された。すなわち、本発明のエッチング液に予め銅イオンを加えると、エッチング液の使用初期から、良好な性能を発現することが確認された。"