"基板を厚さ方向に貫通し両端部が基板の表面から突出している複数の導電性の可動ピンを備え、上記可動ピンは長さ方向に微動可能である可動ピン植設基板を使用し、電気絶縁シート内に導電部が埋め込まれることにより上記電気絶縁シートの厚さ方向に導通するPCRを上記可動ピン植設基板の片面に重ね、上記可動ピン植設基板と上記PCRを介して検査対象の測定ノードと検査装置とを電気的に接続することを特徴とするPCRを用いた検査方法。可動ピン植設基板として、基板に重ねられた弾性シートを有し、この弾性シートおよび上記基板を可動ピンが貫通してなる可動ピン植設基板を用いる請求項1記載のPCRを用いた検査方法。可動ピン植設基板として、弾性シートと、この弾性シートを挟んでその表裏に張り合わせられた2枚の基板と、を有し、上記弾性シートおよび上記2枚の基板を可動ピンが貫通し、上記可動ピンはこの可動ピンと上記弾性シートとの摩擦力で脱落が防止されるとともに長さ方向に微動可能である可動ピン植設基板を用いる請求項1または2記載のPCRを用いた検査方法。可動ピン植設基板が備える可動ピンの一端は被検査回路基板の測定ノードに接触させ、上記可動ピンの他端はPCRとワイヤー固着基板を介して検査装置に電気的に導通するように上記可動ピン植設基板とPCRを重ねる請求項1,2または3記載のPCRを用いた検査方法。可動ピン植設基板が備える可動ピンの一端はPCRを介して被検査回路基板の測定ノードに接触させ、上記可動ピンの他端はワイヤー固着基板を介して検査装置に電気的に導通するように上記可動ピン植設基板を上記PCRに重ねる請求項1,2または3記載のPCRを用いた検査方法。本発明は、以上説明したような従来の回路基板検査方法の問題点を解消すること、すなわち、簡易な方法でありながら、併用するPCRとの接触さらには測定ノード部との接触が確実になり、PCRを使用する検査方法が抱えていたコスト高の問題およびコンタミネイションの問題を解決することができるPCRを用いた検査方法を提供することを目的とする。本発明に係るPCRを用いた検査方法は、基板を厚さ方向に貫通し両端部が基板の表面から突出している複数の導電性の可動ピンを備え、上記可動ピンは長さ方向に微動可能である可動ピン植設基板を使用し、電気絶縁シート内に導電部が埋め込まれることにより上記電気絶縁シートの厚さ方向に導通するPCRを上記可動ピン植設基板の片面に重ね、上記可動ピン植設基板と上記PCRを介して検査対象の測定ノードと検査装置とを電気的に接続することを最も主要な特徴とする。上記可動ピン植設基板は、基板に重ねられた弾性シートを有し、この弾性シートおよび上記基板を可動ピンが貫通している構成のものであってもよい。上記可動ピン植設基板はまた、弾性シートと、この弾性シートを挟んでその表裏に張り合わせられた2枚の基板と、を有し、上記弾性シートおよび上記2枚の基板を可動ピンが貫通し、上記可動ピンはこの可動ピンと上記弾性シートとの摩擦力で脱落が防止されるとともに長さ方向に微動可能な構成のものであってもよい。本発明に係るPCRを用いた検査方法によれば、可動ピン植設基板をPCRと重ねて使用することにより、電気的導通を取るための押圧力は低い圧力で足り、均一的な強圧力を付加しなければならない従来の検査方法における問題を解消することができる。プレス荷重は可動ピン一本当たり数グラム程度で充分である。可動ピンの総本数が多くなるほどプレス荷重が分散してかかることになるが、本発明に係るPCRを用いた検査方法によれば、個々の可動ピンの接触面積は微小であるため、荷重が微小な面積に集中してかかり、トータルの荷重は小さくて済むことになる。また、可動ピン植設基板のコストに関しても、従来の検査冶具に必要なバンプ突起凸部付きスルーホール基板のコストと対比すると、かなり安価であるという利点がある。本発明に係るPCRを用いた検査方法の別の形態によれば、PCRは可動ピン植設基板の裏面側に隠れた形で存在させることができため、PCRは表面に露呈させることなく使用することができる。その結果、コンタミの問題も解消することができる。以下、本発明に係る回路基板検査治具の実施例を、図面を参照しながら説明する。図1はBBC検査治具に本発明に係る検査方法を適用した例を示す。図1において、符合17を付した部材が本発明の特徴的な構成部材である可動ピン植設基板である。この実施例における可動ピン植設基板17は、極薄の弾性シート、例えばエラストマーシート19の両面図において上下面に基板15を重ね、エラストマーシート19と基板15を互いに張り合わせた形になっている。上下の基板15には、被検査回路基板4の各測定ノード5と同位置にかつ測定ノード5と同数の孔が基板15の厚さ方向に形成されるとともに、上記各孔には直線形状の金属製の可動ピン18がエラストマーシート19を貫通して挿入されている。各可動ピン18は直線状に伸びていて、その長さは両端部が上下の基板15の表面から僅かに突出する程度の長さとする。各可動ピン18は、エラストマーシート19を貫通することにより、エラストマーシート19との間に摩擦力が生じ、自然な状態では抜け落ちることはない。しかし、可動ピン18の長手方向に極僅かな外力が加わることで可動ピン植設基板17の上下方向厚さ方向微動可能な構造になっている。可動ピン18の太さと可動ピン18が貫通する基板15の孔の大きさの関係は、可動ピン18の周囲に僅かなクリアランスが生じる関係になっている。2枚の基板15でエラストマーシート19を張り合わせる際の上記エラストマーシート19は、孔開けがされていない無垢のシートであり、可動ピン18が挿入されるときエラストマーシート19が突き破られるようにするとよい。上記可動ピン植設基板17はPCR異方性導電ゴム10と重ねて用いられ、この点が本発明のもう一つの特徴となっている。図1に示す実施例では、PCR10が可動ピン植設基板17の下面側に配置され、可動ピン植設基板17とワイヤー固着基板12の間にサンドイッチ状態で介在している。可動ピン植設基板17の上面側に被検査回路基板4が重ねられ、PCR10は被検査回路基板4には直接接触することはない。この構造では、外観的には一見してPCR10が存在しているかどうかは、構造を理解していないと判断ができない。被検査回路基板4の測定ノード5の表面にPCR10を存在させない構造であるため、前述のような静電気によるコンタミネイションの問題を軽減できるメリットがある。ワイヤー固着基板12は、被検査回路基板4の各測定ノード5を、可動ピン植設基板17とPCR10およびワイヤー13を介して図示されない検査装置に電気的に接続するためのものである。ワイヤー固着基板12には上記各ワイヤー13の一端部が埋め込まれて固着されるとともに、各ワイヤー13の一端面がワイヤー固着基板12の上面に露出し、この各ワイヤー13の一端面にPCR10の導電部が接触するようになっている。可動ピン植設基板17の接触子としての可動ピン18は、その外周面とエラストマーシート19との間に接触抵抗が生じているので、可動ピン植設基板17が組み立てられた後でも、通常の取り扱いでは可動ピン18が簡単に脱落することはない。また、可動ピン18の抜き差しも可能であるため、必要に応じて容易に可動ピン18を交換することも可能である。ピンの長さに関してはある程度の寸法精度が要求される。図1に示す可動ピン植設基板17の厚さ寸法Tより僅かに長めにする。その理由は、寸法Tより長い寸法部分がPCR10を圧縮してPCR10に撓みを生じさせ、PCR10の表面を沈み込ませるとともに、PCR10が破損することなく撓んで可動ピン18の上記寸法Tより長い分を吸収できる範囲内のものでなければならないからである。経験的に、PCR10の厚みの1/2以上の撓みを発生させないように可動ピン18の長さを設定することが望ましいといえる。図1に示す実施例では、可動ピン植設基板17の可動ピン18は直線状のいわゆるストレートピンが用いられているが、可動ピン18の形状は任意で、例えば、図4aに示す例のように、鍔181付きの可動ピン18を採用してもよい。この例では、可動ピン植設基板17を構成する基板15は1枚のみであり、1枚の基板15に形成された複数の孔に、一端に鍔181を有する可動ピン18が鍔181を下側にして挿入されている。基板15の下面側にはPCR10が重ねられ、ねじ止めなど適宜の手段で基板15とPCR10が一体化され可動ピン植設基板17が構成されている。被検査回路基板4の測定ノード5に対する可動ピン18の接触高さ位置のばらつきは、PCR10の弾力によって吸収する。可動ピン18の脱落を鍔181とPCR10が防止するため、弾性シートとしての前記エラストマーシート19は不要になる。また、基板15も2枚を張り合わせる必要はなく、1枚の基板15だけを用いれば足りる。ただし、可動ピンの製造コストが嵩むとともに、可動ピンを交換しようとする場合、上面側から行うことはできず、可動ピン植設基板を分解しなければならないというデメリットがある。また、可動ピン植設基板17の可動ピン18は、図4bに示すように、緩やかに湾曲させた円弧状のピンであってもよい。このようなピンを用いた可動ピン植設基板17によれば、弾性シートとしての前記エラストマーシート19がなくても可動ピンが脱落することはない。可動ピン18が埋め込まれている基板15の孔の内周面と可動ピン18との間に接触抵抗が生じているからである。この可動ピン植設基板17によれば、可動ピン18を保持する基板15は1枚でもよく、2枚重ねにする必要はない。図4cは、本発明に用いることができる可動ピン植設基板17のさらに別の例を示している。この例では、基板15は1枚のみ用いられ、この1枚の基板15の片面にのみ弾性シートとしてのエラストマーシート19が重ねられている。基板15にその厚さ方向に形成された複数の孔にそれぞれ可動ピン18が挿入されかつ可動ピン18がエラストマーシート19を突き抜けている。可動ピン18の一端は基板15の表面から突出し、可動ピン18の他端はエラストマーシート19の表面から突出している。各可動ピン18はエラストマーシート19との摩擦力によって脱落することなく保持されている。基板10とエラストマーシート19を一体化するために、スプレー接着剤等を用いて接着するとよい。可動ピン植設基板17が備えている可動ピン18の測定ノード部側の形状は平坦な切断面であってもよいし、例えば、円錐形状にして先端が尖った形にしてもよい。可動ピン18の先端を尖った形にすると、可動ピン18が接触する相手に対する食い付きが良くなり、電気的導通の信頼性が高まる。PCRに対向する側の可動ピン18の先端形状は平面形状であることが望ましい。回路基板検査治具において、本発明のように可動ピン植設基板17を使用するメリットについて述べる。特にBBCの治具においてPCRを使用するときに問題となることであるが、PCBの表裏両面にはソルダーレジストが印刷されていて、測定ノード部が上記ソルダーレジストの厚み分だけ表面から引っ込んだ位置に存在している。そのため、平坦な板状のPCRをそのまま押し付けても、電気的な接触が不確実となる。そのため、PCRを測定ノードにダイレクトに接触させる方式では、例えばバンプ付き基板を採用するというような、何らかの手段を付加して電気的接触の問題を解決しようとしている。しかし、上記のような手段を付加しても、満足な効果を得ることはできない。上記バンプの高さについては、ある程度精度を持たせることは可能であるが、厳密にいうと多少のばらつきが生じる。また、ソルダーレジストの厚さに関しても、多少のバラツキが生じる。これらの悪条件を全てクリアーして良好な接触を確保するためには、強圧力でプレスする必要がある。バンプが存在しない箇所の平坦な平面部に関しても強圧力をかけなければ、確実な電気的接触を確保することができない。現実的には平坦部を押し潰すことはできないが、それに匹敵するほどの強圧力をかけ、しかも、全面にわたり均一に加圧しているのが現状である。変換基板を用いる方式では、せっかく設けたバンプは独立した形で夫々が動くことはできない。そのため変換基板の裏面側においてもバンプが必要となる。バンプが独立して動くことできれば、上記のような電気的接触の問題を改善できることに思い至ったことが、本発明の発想の原点となっている。この発想は、先にも述べた可動バンプシートの発想に通じるものもあるかもしれないが、本発明はPCRを1枚のみ用いれば足り、さらに、変換基板も不要にし、シンプルな構造で、確実な電気的接触を実現した。以上説明してきた実施例は、BBCの治具を想定して可動ピン植設基板とPCRを使用した例であるが、本発明において最も特徴的な可動ピン植設基板は、これをICソケットに適用しても、充分その効果を発揮することができる。図2はその使用方法の実施例を示す。図2において、符号20はターゲット基板を示しており、ターゲット基板20の上にはソケットハウジング22が載せられている。ソケットハウジング22内には、PCR10、可動ピン植設基板17、BGA-ICあるいはLGA-IC40などがこの順に重ねられ、さらに、押さえ板24が重ねられて、ソケットハウジング22内の上記各部材が互いに圧接させられている。可動ピン植設基板17は、図1に示す実施例における可動ピン植設基板17と同様に、エラストマーシート19からなる弾性シートと、この弾性シートを両面から挟み込む2枚の基板15と、2枚の基板15およびエラストマーシート19を貫通する複数の可動ピン18を有してなる。比較的グリッドピッチが粗いICは高性能の分解能のPCRを採用する必要がないので、分散型PCRを適用するとよい。ピッチが細密なICFBGA-ICの場合は偏在型のPCRを適用するとよい。金属フィラーを縦列に充填したタイプのPCRを活用したソケット、あるいは金属線埋設タイプのPCRを用いたソケットが存在する。双方のソケットに共通して言えることであるが、BGA-ICのグリッド部に存在するハンダボールを直接PCRに作用させる方式では、接触信頼性で問題が生じる場合がある。BGA-ICのハンダボール部に酸化膜が存在し、充分な接触信頼性が取れない場合があるからである。その点、本発明方式ではピンの先端部をニードル等の形状にさせることにより、酸化膜を突き破る働きを持たせることができる。この点も大きなメリットであるし、ピン植設基板に静電気対策を採った基板とすることでICの弱点である静電気破壊を回避できる。最近のICのパッケージにはLGALandGridArrayタイプのものもある。このタイプはBGA-ICと異なりICの裏面電極部にハンダボールがない。すなわちバンプに相当する部分が存在していない。このLGA用のソケットに関しては、平面形式の金属フィラー充填タイプのPCRを使用する場合も、金属線埋設タイプのPCRこれも平面形状と考えてよいを使用する場合も、電気的接触の信頼性という点で難点がある。その理由は、平面同士の接触になり、軽プレス圧力では必ずしも全接点ノードを完全に接触させることができないからである。そのため、金属線埋設タイプのPCRはLGA-ICの検査冶具への適用は推奨されていない。また、金属フィラータイプのPCRをLGA-ICの検査冶具に適用する場合は凹凸タイプのPCRにする必要がある。その点本発明に係る上記実施例によれば、適用するPCRの方式に関して何らの制限条件がなく、上記の問題もクリアーできる。図3は、可動ピン植設基板をBGA-ICのソケットの検査治具に適用した別の実施例を示す。この実施例は、図2に示す実施例と対比して、PCR10の位置が、可動ピン植設基板17を挟んで上下反転している。すなわち、可動ピン植設基板17の上にPCR10が重ねて配置され、検査対象であるIC40の測定ノードがPCR10に接触している。その他の構成は図2に示す実施例の構成と同じであるから説明は省略する。以上説明した本発明に係るPCRを用いた検査方法の各実施例によれば、ここまで説明した作用効果のほか、以下のような効果を得ることができる。被測定物全面にプレス圧力を付与するにあたり、装置の精度がさほど高くなくても、均一に加圧することができる。被検体がBGA-IC用ソケットの場合、ICの半田ボール部に生成される酸化膜による接触信頼性の低下をなくすことができる。可動ピン植設基板が有している可動ピンが上記酸化膜を突き破って上記半田ボールに接触するからである。可動ピン植設基板が有している可動ピンは、弾性シートとの摩擦力で保持されているだけであるから、可動ピンの交換が容易であり、メンテナンス性を改善することができる。"