コート層で被覆された粒子を透過式の電子顕微鏡で観察するための電子顕微鏡用薄片試料の作製方法において、コート層で被覆された複数個の粒子を試料載置台上に載置しかつ各粒子のコート層表面にカーボン蒸着膜を形成する第一工程と、カーボン蒸着膜が形成された試料載置台上の粒子群から特定の連結粒子群を選択しかつ集束イオンビーム装置FIBに装備されたデポジションシステムを用いて特定の上記連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間に金属保護膜を形成すると共に金属保護膜が形成された特定の上記連結粒子群を試料載置台から抽出する第二工程と、抽出された特定の上記連結粒子群を加工処理台に載置しかつ上記連結粒子群に対し集束イオンビーム装置FIBから弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して上記連結粒子群の特定粒子に薄片加工処理を施す第三工程、を具備することを特徴とする電子顕微鏡用薄片試料の作製方法。上記第一工程において、試料載置台上に載置された各粒子のコート層表面にカーボン蒸着機を用いて厚さ数十~数百nmのカーボン蒸着膜を形成することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用薄片試料の作製方法。上記第二工程において、集束イオンビーム装置FIBを用いて得られたチャネリングコントラスト像から3つ連結した特定の連結粒子群を選択しかつ集束イオンビーム装置FIBのデポジションシステムを用いて上記連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間に金属保護膜を形成して連結粒子群の連結性を高めた後、集束イオンビーム装置FIBに装備されたマイクロプローブを用いて連結性を高めた上記連結粒子群を試料載置台から抽出することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用薄片試料の作製方法。上記第三工程において、加工処理台に載置された特定の連結粒子群に対し集束イオンビーム装置FIBから2.8nA以下の弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して、上記連結粒子群の特定粒子に厚さ0.1μm以下までの薄片加工処理を施すことを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用薄片試料の作製方法。請求項1~4のいずれかに記載の方法で得られた電子顕微鏡用薄片試料の透過式の電子顕微鏡像が、粒子内部と表面の透過像、Zコントラスト像、二次電子像であることを特徴とする電子顕微鏡用薄片試料の観察方法。本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、粒子表面とコート層との密着性が弱い場合においても、粒子表面からコート層が剥がれ難く、しかも、粒子内部とコート層に損傷のない電子顕微鏡用薄片試料の作製方法とこの試料の観察方法を提供することにある。すなわち、請求項1に係る発明は、コート層で被覆された粒子を透過式の電子顕微鏡で観察するための電子顕微鏡用薄片試料の作製方法において、コート層で被覆された複数個の粒子を試料載置台上に載置しかつ各粒子のコート層表面にカーボン蒸着膜を形成する第一工程と、カーボン蒸着膜が形成された試料載置台上の粒子群から特定の連結粒子群を選択しかつ集束イオンビーム装置FIBに装備されたデポジションシステムを用いて特定の上記連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間に金属保護膜を形成すると共に金属保護膜が形成された特定の上記連結粒子群を試料載置台から抽出する第二工程と、抽出された特定の上記連結粒子群を加工処理台に載置しかつ上記連結粒子群に対し集束イオンビーム装置FIBから弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して上記連結粒子群の特定粒子に薄片加工処理を施す第三工程、を具備することを特徴とするものである。また、請求項2に係る発明は、請求項1に記載の発明に係る電子顕微鏡用薄片試料の作製方法において、上記第一工程において、試料載置台上に載置された各粒子のコート層表面にカーボン蒸着機を用いて厚さ数十~数百nmのカーボン蒸着膜を形成することを特徴とし、請求項3に係る発明は、請求項1に記載の発明に係る電子顕微鏡用薄片試料の作製方法において、上記第二工程において、集束イオンビーム装置FIBを用いて得られたチャネリングコントラスト像から3つ連結した特定の連結粒子群を選択しかつ集束イオンビーム装置FIBのデポジションシステムを用いて上記連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間に金属保護膜を形成して連結粒子群の連結性を高めた後、集束イオンビーム装置FIBに装備されたマイクロプローブを用いて連結性を高めた上記連結粒子群を試料載置台から抽出することを特徴とし、請求項4に係る発明は、請求項1に記載の発明に係る電子顕微鏡用薄片試料の作製方法において、上記第三工程において、加工処理台に載置された特定の連結粒子群に対し集束イオンビーム装置FIBから2.8nA以下の弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して、上記連結粒子群の特定粒子に厚さ0.1μm以下までの薄片加工処理を施すことを特徴とするものである。次に、請求項5に係る発明は、電子顕微鏡用薄片試料の観察方法において、請求項1~4のいずれかに記載の方法で得られた電子顕微鏡用薄片試料の透過電子顕微鏡像が、粒子内部と表面の透過像、Zコントラスト像、二次電子像であることを特徴とするものである。本発明に係る電子顕微鏡用薄片試料の作製方法は、コート層で被覆された複数個の粒子を試料載置台上に載置しかつ各粒子のコート層表面にカーボン蒸着膜を形成する第一工程と、カーボン蒸着膜が形成された試料載置台上の粒子群から特定の連結粒子群を選択しかつ集束イオンビーム装置FIBに装備されたデポジションシステムを用いて特定の上記連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間に金属保護膜を形成すると共に金属保護膜が形成された特定の上記連結粒子群を試料載置台から抽出する第二工程と、抽出された特定の上記連結粒子群を加工処理台に載置しかつ上記連結粒子群に対し集束イオンビーム装置FIBから弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して上記連結粒子群の特定粒子に薄片加工処理を施す第三工程、を具備することを特徴としている。そして、本発明に係る電子顕微鏡用薄片試料の作製方法によれば、特許文献1に記載された樹脂と粒子とを混練する方法、特許文献2に記載された樹脂を滴下させて薄片試料を作製する方法を採用していないため、粒子表面とコート層との密着性が弱い場合においても作製された薄片試料表面から上記コート層が剥離してしまうことがない。また、本発明に係る電子顕微鏡用薄片試料の作製方法によれば、連結粒子群の特定粒子に対し集束イオンビーム装置FIBによる薄片加工処理を施して電子顕微鏡用薄片試料を作製する際、上記連結粒子群の各粒子表面はカーボン蒸着膜で保護され、連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間も金属保護膜により保護され、集束イオンビーム装置FIBのビーム電流条件も弱く設定されているため、特定粒子内部とそのコート層に損傷を与えることも少ない。従って、粒子表面におけるコート層と粒子内部の状態を正しく観察可能な電子顕微鏡用薄片試料を容易に提供できる効果を有している。以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。すなわち、本発明に係る電子顕微鏡用薄片試料の作製方法は、コート層で被覆された複数個の粒子を試料載置台上に載置しかつ各粒子のコート層表面にカーボン蒸着膜を形成する第一工程と、カーボン蒸着膜が形成された試料載置台上の粒子群から特定の連結粒子群を選択しかつ集束イオンビーム装置FIBに装備されたデポジションシステムを用いて特定の上記連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間に金属保護膜を形成すると共に金属保護膜が形成された特定の上記連結粒子群を試料載置台から抽出する第二工程と、抽出された特定の上記連結粒子群を加工処理台に載置しかつ上記連結粒子群に対し集束イオンビーム装置FIBから弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して上記連結粒子群の特定粒子に薄片加工処理を施す第三工程を具備することを特徴とするものである。1第一工程コート層で被覆された粒子として電池材料や半導体材料等で使用されている粉体粒子が挙げられ、実施例に示したCoコート層で被覆された水酸化ニッケル粒子が例示される。また、複数個の粒子が載置される試料載置台は、蒸着法等にて各粒子のコート層表面にカーボン蒸着膜を形成する必要があることから耐熱性等を有する材料が好ましく、例えば、実施例で示したSiウェーハー等が挙げられる。また、試料載置台に複数個の粒子を載置する方法については任意であるが、エタノール等の適宜溶剤により先端が湿らされた爪楊枝やガラス棒等の支持体に上記粒子を付着させ、この支持体から試料載置台上に上記粒子を転写して載置する方法等が例示される。更に、複数個の粒子が載置された試料載置台を蒸着装置のチャンバー内に搬入させてカーボン蒸着を施す際、上記試料載置台をチャンバー内に設けられた試料台に固定する必要があり、例えば、実施例で示した両面粘着テープ等を介して固定する方法が挙げられる。尚、各粒子のコート層表面にカーボン蒸着膜を形成する目的は、特定粒子に薄片加工処理を施す第三工程の際、照射されるイオンビームによりコート層と粒子内部へのダメージを軽減させるためである。2第二工程第二工程においては、走査イオンSIM:ScanningIonMicroscopy像が得られ、かつ、デポジションシステムとマイクロプローブを具備する集束イオンビームFIB:FocusedIonBeam装置が使用される。すなわち、集束イオンビーム装置FIBを用いて得られたチャネリングコントラスト像から、例えば3つ連結した特定の連結粒子群を選択し、かつ、集束イオンビーム装置FIBのデポジションシステムを用いて上記連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間にタングステン等の金属保護膜を形成して連結粒子群の連結性を高めた後、集束イオンビーム装置FIBに装備されたマイクロプローブを用いて連結性が高められた上記連結粒子群を上記試料載置台から抽出選択的に取り出すする。尚、連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間にタングステン等の金属保護膜を形成して連結粒子群の連結性を高めている目的も、特定粒子に薄片加工処理を施す第三工程の際、照射されるイオンビームによりコート層と粒子内部へのダメージを軽減させるためである。3第三工程第二工程で抽出された特定の上記連結粒子群を加工処理台に載置し、かつ、上記連結粒子群に対し集束イオンビーム装置FIBから、好ましくは2.8nA以下の弱いビーム電流条件でイオンビームを照射して上記連結粒子群の特定粒子に薄片加工処理を施す。このとき、イオンビームが照射される上記連結粒子群の各粒子表面はカーボン蒸着膜で保護され、連結粒子群の周囲と粒子群間の隙間もタングステン等の金属保護膜により保護され、更にビーム電流条件も弱く設定されているため、特定粒子内部とそのコート層に損傷を与えることが少ない利点を有している。このため、粒子表面におけるコート層と粒子内部の状態を正しく観察可能な電子顕微鏡用薄片試料を容易に提供することができる。4電子顕微鏡用薄片試料の観察上述した方法により作製された薄片試料を観察するための電子顕微鏡は、透過式の電子顕微鏡透過電子顕微鏡:TEM:TransmissionElectronMicroscope、走査透過電子顕微鏡:STEM:ScanningTransmissionElectronMicroscopeであり、これ等電子顕微鏡を用いて、薄片加工した粒子の内部や表面状態を、透過像、Zコントラスト像または二次電子像で観察する。以下、本発明の実施例について具体的に説明する。[実施例1]観察試料には、Coコート層で被覆した水酸化ニッケル粒子を使用した。まず、エタノールにより先端が湿らされた爪楊枝に上記試料を付着させ、かつ、付着された上記試料を、約5mm×5mmに切削したSiウェーハー試料載置台上に転写させて載置した。この後、試料が転写、載置されたSiウェーハーをCoコート層表面に保護膜を付けるためカーボン蒸着機日本電子社製JEE-400内に搬入し、かつ、カーボン蒸着機内のAl製試料台に上記Siウェーハーを両面粘着テープを介して固定した。そして、カーボン蒸着機内を2×104Pa以下まで真空引きし、40Aの電流量で約1分カーボン蒸着を行った。更に、薄片加工によるダメージを抑えるため、上述した方法で2~3回カーボン蒸着を行い、保護膜を数十~百nm程度付けた。次に、特定粒子の抽出および薄片加工を行なうため、FIB装置日立ハイテクノロジーズ社製FB2100を使用した。特定粒子の抽出方法は、チャネリングコントラスト像SIM像で3つ連結した連結粒子群を探し出し、FIB装置に装備されているモータ駆動タングステンデポジションシステムを利用して、連結粒子群の連結性を高めるために連結粒子周囲および粒子と粒子の隙間にWCO6ガスを吹付けて、タングステン保護膜を形成した。その後、FIB装置に装備されているマイクロプローブを用いて連結した特定の連結粒子群のみをSiウェーハーから抽出した。抽出した連結粒子群のうち、両端の粒子をSTEM用切り欠きメッシュ加工処理台に固定し図1、真ん中の特定粒子のみを薄片加工した。薄片加工は、FIB装置を用い、目的粒子に対し加速電圧40kVのGaイオンを照射して行った。その際、粒子全体およびコート層にダメージを与えないようにするため、ビーム電流量が2.8nA以下になるように対物可動絞りを調整し、0.1μm以下の厚さまで特定粒子を薄く削った。最後に、薄片加工されたCoコート層水酸化ニッケル粒子の観察は、STEM装置日立ハイテクノロジーズ社製HD2300Aを用いて行なった。観察は、加速電圧200kVの電子線を薄片試料に照射し、試料を透過した透過像を用いて行った図2の透過電子顕微鏡写真図すなわちSTEM像参照。得られた水酸化ニッケル粒子の内部にダメージがなく、水酸化ニッケル粒子の表面が厚さ100nm程度のCoコート層で綺麗に被覆されていることが確認され、本発明により、水酸化ニッケル粒子全体およびコート層にダメージを与えることなくSTEM観察が行えることを確認できた。[比較例]薄片加工のビーム電流量が2.8nAを超える強いビーム電流条件で行なっている点を除き実施例1と同様に行い、図3に示す透過電子顕微鏡写真図STEM像を得た。実施例1のSTEM像図2参照と比較し、水酸化ニッケル粒子全体にダメージが入り、粒子内部が割れるだけでなく、密着性の弱いCoコート層が剥離し、粒子表面のコート層の状態を正しく観察できなかった。