"排気マニホールドから排気流を導入してタービンホイールを回転させるタービンと、タービンホイールの回転力により吸気を圧縮するコンプレッサとを有するターボチャージャーを備えた内燃機関であって、排気マニホールドからタービンハウジングにかけて壁部内に冷却水流路が形成されていると共に、この冷却水流路が形成されている壁部の外面側に、ターボチャージャーを制御するアクチュエータを取り付けたことを特徴とするターボチャージャー付内燃機関。請求項1に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータの一部又は全部のハウジングは、前記冷却水流路が形成されている壁部の外面に一体成形されているものであることを特徴とするターボチャージャー付内燃機関。請求項1に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータの基台部が、前記冷却水流路が形成されている壁部の外面に一体成形されているものであることを特徴とするターボチャージャー付内燃機関。請求項1~3のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記排気マニホールドと前記タービンハウジングとが一体成形されていることを特徴とするターボチャージャー付内燃機関。請求項1~4のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータは、前記タービンホイールに対する排気流の迂回により過給圧を内燃機関運転状態に応じて調節するウエイストゲートバルブを駆動するアクチュエータであることを特徴とするターボチャージャー付内燃機関。請求項1~4のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータは、ノズルベーンの角度調節によりタービンホイールに吹き付けられる排気流の流速を変化さることで過給圧を内燃機関運転状態に応じて調節するアクチュエータであることを特徴とするターボチャージャー付内燃機関。請求項1~6のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータは、電動アクチュエータであることを特徴とするターボチャージャー付内燃機関。しかし特許文献1の構成では、アクチュエータが載置されたウエイストゲートバルブを冷却するための冷却水配管や冷却水還流配管などの配管が複雑に配置されており、内燃機関が大型化したり、生産効率が低下するおそれがある。特許文献2ではアクチュエータについては冷却されておらず熱害を防止できない。特許文献3,4ではアクチュエータはシリンダヘッドに配置されていることにより、シリンダヘッドの構成が大型化したり、複雑化して生産効率が低下するおそれがある。特許文献5では、アクチュエータを積極的に冷却していないので熱害防止が不十分となるおそれがある。本発明は、簡易な構成にてウエイストゲートバルブ用アクチュエータなどのターボチャージャーを制御するアクチュエータの熱害を十分に防止することができるターボチャージャー付内燃機関の提供を目的とするものである。以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について記載する。請求項1に記載のターボチャージャー付内燃機関は、排気マニホールドから排気流を導入してタービンホイールを回転させるタービンと、タービンホイールの回転力により吸気を圧縮するコンプレッサとを有するターボチャージャーを備えた内燃機関であって、排気マニホールドからタービンハウジングにかけて壁部内に冷却水流路が形成されていると共に、この冷却水流路が形成されている壁部の外面側に、ターボチャージャーを制御するアクチュエータを取り付けたことを特徴とする。このように排気マニホールドからタービンハウジングにかけて壁部内に冷却水流路が形成されることで、排気系の冷却がなされている構成に対して、アクチュエータは、冷却水流路が形成されている壁部の外面側に取り付けられている。このようにアクチュエータは冷却水により冷却されている壁部に取り付けられるため、排気からの伝熱により加熱されることがない。このことからアクチュエータに冷却水を配管にて供給する必要がない。しかも該当する壁部の外面側に取り付けるだけで良い。このようにして簡易な構成にてターボチャージャーを制御するアクチュエータの熱害を十分に防止することができる。請求項2に記載のターボチャージャー付内燃機関では、請求項1に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータの一部又は全部のハウジングは、前記冷却水流路が形成されている壁部の外面に一体成形されているものであることを特徴とする。このようにアクチュエータの一部又は全部のハウジングが、冷却水により冷却されている壁部の外面に一体成形されていることにより、締結部品などの部品点数が少なくなって更に簡易な構成となる。しかも伝熱性が向上して、アクチュエータの冷却効果が高まる。請求項3に記載のターボチャージャー付内燃機関では、請求項1に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータの基台部が、前記冷却水流路が形成されている壁部の外面に一体成形されているものであることを特徴とする。このようにアクチュエータの基台部が、冷却水により冷却されている壁部の外面に一体成形されていることにより、締結部品などの部品点数が少なくなって更に簡易な構成となる。しかも基台部を介することによりアクチュエータから冷却水流路側への放熱性が向上して、アクチュエータの冷却効果が高まる。請求項4に記載のターボチャージャー付内燃機関では、請求項1~3のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記排気マニホールドと前記タービンハウジングとが一体成形されていることを特徴とする。排気マニホールドとタービンハウジングとは一体成形されたものでも良い。このように構成すると、排気マニホールドとタービンハウジングとの接続部のシールが不要となり、排気漏れに対する信頼性も向上する。請求項5に記載のターボチャージャー付内燃機関では、請求項1~4のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータは、前記タービンホイールに対する排気流の迂回により過給圧を内燃機関運転状態に応じて調節するウエイストゲートバルブを駆動するアクチュエータであることを特徴とする。アクチュエータとしてはウエイストゲートバルブを駆動するものが挙げられる。このアクチュエータの熱害を防止することにより、高精度な過給圧制御を長期にわたって継続することができる。請求項6に記載のターボチャージャー付内燃機関では、請求項1~4のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータは、ノズルベーンの角度調節によりタービンホイールに吹き付けられる排気流の流速を変化さることで過給圧を内燃機関運転状態に応じて調節するアクチュエータであることを特徴とする。アクチュエータとしてはノズルベーンの角度調節するものが挙げられる。このアクチュエータの熱害を防止することにより、高精度な過給圧制御を長期にわたって継続することができる。請求項7に記載のターボチャージャー付内燃機関では、請求項1~6のいずれか一項に記載のターボチャージャー付内燃機関において、前記アクチュエータは、電動アクチュエータであることを特徴とする。特に電動アクチュエータでは、機械式のアクチュエータに比較して熱劣化が進行しやすいが、前述のごとく高温化が十分に抑制できることから、電動アクチュエータについても、簡易な構成にて熱害を十分に防止することができる。[実施の形態1]構成図1は、上述した発明が適用された内燃機関2の排気系を示している。内燃機関2は直列4気筒の内燃機関であり、そのシリンダヘッド4の排気ポート6側には排気マニホールド8が接続されている。この排気マニホールド8はターボチャージャー10のタービンハウジング12と共に一体成形されたものである。図2は、鋳造にて一体形成された排気マニホールド8とタービンハウジング12との一体物14を示している。尚、図1,2では、ターボチャージャー10はタービンハウジング12のみ示している。実際にはターボチャージャー10は、タービンハウジング12の内部にタービンホイールが配置された状態でコンプレッサと組み合わされている。ターボチャージャー10内に配置されたタービンホイールは、排気マニホールド8内の排気通路8aから流れ込む排気流により回転される。タービンホイールを回転させた排気流は、タービンフランジ12aに接続した排気管側へ排出される。このことにより排気流はターボチャージャー10から排出されて、排気浄化触媒側へ流れる。タービンフランジ12aと反対側にはコンプレッサハウジング接続部12bが形成されており、コンプレッサハウジング接続部12bにコンプレッサハウジングが接続される。コンプレッサハウジング内にはタービンホイールと一体回転するコンプレッサブレードが配置され、エアクリーナを介して吸い込まれた吸気を圧縮する。圧縮された吸気は、インタークーラやスロットルバルブを介して、吸気ポート16から各気筒の燃焼室18内へ供給されて燃焼に用いられる。ここで排気マニホールド8は水冷式であり、図3に示すごとく、排気通路8aの周囲に冷却水流路8bが設けられている。排気マニホールド8と共に一体成形されているタービンハウジング12にも排気冷却用の冷却水流路12cが設けられている。これら排気マニホールド8側の冷却水流路8bとタービンハウジング12側の冷却水流路12cとは連続して形成されている。シリンダブロックやシリンダヘッド4へ供給されてくる冷却水の一部を分流させた冷却水、あるいはシリンダブロックやシリンダヘッド4を冷却した後の冷却水が、排気マニホールド8側の導入口8cから供給される。この冷却水は排気マニホールド8側の冷却水流路8bを流れて、タービンハウジング12側の冷却水流路12c内へ流れ込む。そしてタービンハウジング12側に設けられた排出口12dから排出される。排出口12dから排出された冷却水は高温化しているので、ラジエータにて熱交換して冷却した後に、ウォータポンプにより再度、循環が行われる。排気マニホールド8とタービンハウジング12との一体物14には、外面側にアクチュエータ20が取り付けられている。このアクチュエータ20はウエイストゲートバルブ22を開閉駆動するために設けられている。内燃機関2にはアクチュエータ20を制御するための電子回路が設けられており、内燃機関2の運転状態に応じて、ターボチャージャー10のコンプレッサによる過給圧が過剰にならないようにウエイストゲートバルブ22の開閉状態を調節している。アクチュエータ20は、ここでは電動モータを主体とするものであり、ギヤ機構を介してコントロールシャフト20aを回転させる。コントロールシャフト20aは一体物14の壁部14aを介してタービンハウジング12内のウエイストゲートバルブ22に接続し、軸回りに回転することでウエイストゲートバルブ22を開閉駆動する。ウエイストゲートバルブ22が閉じられていると排気マニホールド8から供給される排気流はそのままタービンホイールを回転させるので、コンプレッサにて十分に過給圧を上昇できる。ウエイストゲートバルブ22が開けられると排気マニホールド8から供給される排気流はウエイストゲートバルブ22を通過して排気流はタービンホイールを迂回するので過給圧を抑制できる。図3に示したごとくアクチュエータ20が配置されている一体物14の外面は、ここでは排気マニホールド8において冷却水流路8bが形成されている部分の壁部14aの外面に相当する。作用アクチュエータ20と排気通路8aとの間には冷却水流路8bが存在するため、排気通路8aに高温の排気が流れても排気からアクチュエータ20への伝熱が阻止され、かつ、アクチュエータ20についても冷却水にて冷却されることから、アクチュエータ20は高温化することはない。効果1上述したごとく排気マニホールド8からタービンハウジング12にかけて壁部14a内に冷却水流路8b,12cが形成されている。電動モータを主体とするアクチュエータ20は、排気マニホールド8側の冷却水流路8bが形成されている壁部14aの外面側に取り付けられている。壁部14aは冷却水流路8b内の冷却水により冷却されているので、アクチュエータ20は排気通路8a内の排気流からの伝熱によって加熱されることはない。このことからアクチュエータ20に冷却水を配管にて供給する必要がない。しかも壁部14aの外面側に取り付けるだけで良い。このため取り付け構成も簡易である。このようにして簡易な構成にてウエイストゲートバルブ22を駆動するアクチュエータ20の熱害を十分に防止することができる。2特にアクチュエータ20は電動アクチュエータである。ここでは電動モータを主体としている。このような電動アクチュエータではダイヤフラムなどによる機械式のアクチュエータに比較して熱劣化が進行しやすいが、上述した構成とすることにより高温化が十分に抑制され、簡易な構成にても十分に熱害を防止することができる。このことにより高精度な過給圧制御を長期にわたって継続することができる。3排気マニホールド8とタービンハウジング12とは一体成形されて一体物14となっている。このように一体物14とすることにより、排気マニホールド8とタービンハウジング12との接続部のシールが不要となり、排気漏れに対する信頼性も向上する。[実施の形態2]構成本実施の形態の内燃機関102における排気系の構成を図4に示す。ここで排気マニホールド108とタービンハウジング112との一体物114の外面側に取り付けられているアクチュエータ120は、その基台部120aが一体物114の壁部114aの外面に鋳造により一体成形されている。アクチュエータ120は、基台部120aの上で、樹脂製カバー120bに覆われた状態で取り付けられている。他の構成は前記実施の形態1と同じである。作用アクチュエータ120の基台部120aが、このような壁部114aの外面側に一体成形されていることにより、締結部品などの部品点数が少なくなり構成が一層簡易となる。しかも基台部120aを介することで、アクチュエータ120から冷却水流路108b側への放熱性も向上する。効果1前記実施の形態1の効果が生じると共に、より構成が簡易となり、壁部114a内の冷却水流路108bによるアクチュエータ120の冷却効果が高まる。2冷却水流路108b内の冷却水により冷却されている基台部120aを覆うためには、高い耐熱性は不要であることから、金属製でない樹脂製カバー120bで内部のアクチュエータ120を覆っている。このため材料の軽量化や低コスト化に貢献できる。[実施の形態3]構成本実施の形態の内燃機関202における排気系の構成を図5に示す。ここで排気マニホールド208とタービンハウジング212との一体物214の外面側に取り付けられているアクチュエータ220は、排気マニホールド208側でなく、タービンハウジング212側において一体物214の外面側に取り付けられている。アクチュエータ220が取り付けられている部分の壁部214aには、冷却水流路212cが形成されている。他の構成は前記実施の形態1と同じである。作用このようにアクチュエータ220を、一体物214のタービンハウジング212側に配置した構成とした場合も、冷却水流路212cがアクチュエータ220と排気通路212aとの間に存在している構成となっている。このため冷却水流路212c内の冷却水の冷却作用により、排気通路212a内を高温の排気が流れても、アクチュエータ220は高温化することはない。効果1前記実施の形態1の効果が生じると共に、特にアクチュエータ220がウエイストゲートバルブ222の近くに配置できるので、コントロールシャフト220aが短くでき、内燃機関202が軽量化できる。更にコントロールシャフト220aを駆動するためのアクチュエータ220における消費電気エネルギーも少なくて済む。[実施の形態4]構成本実施の形態の内燃機関302における排気系の構成を図6に示す。ここでタービンハウジング312側では、ウエイストゲートバルブは設けられておらず、この代わりにタービンにノズルベーン角度調節機構322が設けられている。タービンハウジング312内に配置されているタービンには、ノズルベーンが回動可能に設けられており、ノズルベーン角度調節機構322は、このノズルベーンを回動してその向きを調整するものである。そして電動モータからなるアクチュエータ320はコントロールシャフト320aの軸回転あるいは軸方向移動により、ノズルベーン角度調節機構322を駆動してノズルベーンの角度を調節するものである。このノズルベーンの角度調節により、タービンを作動させる排気流を調整することができ、排気圧力の変化に伴ったターボチャージャー310から内燃機関302に供給される吸気量の低下を抑制することができる。アクチュエータ320は、前記実施の形態1と同様に、排気マニホールド308とタービンハウジング312との一体物314において、排気マニホールド308側の冷却水流路308bが形成されている壁部314aの外面側に取り付けられている。その他の構成についても前記実施の形態1と同じである。作用このようにターボチャージャー制御用のアクチュエータとして、ノズルベーン角度調節機構322を駆動するアクチュエータ320を用いた場合にも前記実施の形態1と同様の作用を生じる。効果1ノズルベーン角度調節機構322用のアクチュエータ320についても前記実施の形態1と同様な効果が生じる。[その他の実施の形態]前記実施の形態2のアクチュエータ120は基台部120aが、排気マニホールド108とタービンハウジング112との一体物114に一体成形されていたが、アクチュエータ120のハウジングについてもその一部あるいは全部が一体物114と一体成形されたものでも良い。他の実施の形態についても同様である。前記実施の形態3のアクチュエータ220についても前記実施の形態2のごとく基台部が一体物214に一体成形されていても良く、あるいはアクチュエータ220のハウジングの一部又は全部が一体物214と一体成形されていても良い。このことは前記実施の形態4におけるノズルベーン角度調節機構322を駆動するアクチュエータ320についても同じである。前記各実施の形態において、ウエイストゲートバルブやノズルベーン角度調節機構を駆動するアクチュエータは電動モータであったが、ソレノイドなどの電動アクチュエータでも良い。又、ダイヤフラムなどによる機械式アクチュエータであっても良い。このように機械式であっても熱害による作動不良を防止できる。前記各実施の形態では、排気マニホールドとタービンハウジングとは一体成形されたものであったが、排気マニホールドとタービンハウジングとは別体に成形して機械的に接続するものであっても良い。"