交流電源のゼロクロス点で電力開閉手段をオンオフさせて、電源電圧1サイクル毎に出力をオンまたはオフに制御し、オンとオフの比率を操作量に比例するように制御することによって負荷に加わる電圧を制御する電力調整器であって、負荷に流れる電流をリミット値以下に制限するためのリミット電流値を予め記憶するリミット電流値記憶手段と、今サイクルにおいて電力開閉手段をオンまたはオフする際に前サイクルがオンサイクルかオフサイクルかを判断するオンオフ判断手段と、前サイクルがオンサイクルであった場合に、前サイクルの出力電圧測定値を出力電流測定値で除して前サイクルのヒータ抵抗値を算出するヒータ抵抗値算出手段と、今サイクル終了時のヒータ抵抗の予想値を所定の演算式により算出する予想ヒータ抵抗値算出手段と、今サイクルがオンの場合に、算出された今サイクルの予想ヒータ抵抗値で電源電圧を除して今サイクルのヒータに流れる予想電流を算出する予想電流算出手段と、算出された今サイクルの予想電流とリミット電流値を比較し、今サイクルの予想電流がリミット電流値以下の場合には電源電圧を今サイクルの目標電圧とし、今サイクルの予想電流がリミット電流値を超えている場合にはリミット電流値と前記今サイクルの予想ヒータ抵抗値を乗じて今サイクルの目標電圧とする目標電圧算出手段と、算出された今サイクルの目標電圧から電力開閉手段をオンするトリガ位相角を算出するトリガ位相角算出手段と、算出されたトリガ位相角により電力開閉手段をオンするためのトリガ信号を出力するトリガ信号出力手段と、を有することを特徴とする電力調整器。前記負荷はランプヒータ、セラミックヒータあるいは純金属系ヒータなど非線形特性の強いヒータであることを特徴とする請求項1に記載の電力調整器。前記オンオフ判断手段によりオフサイクルと判断されたサイクルについて連続するオフサイクルをカウントするオフサイクルカウント手段と、今サイクルがオンサイクルのとき、前記オフサイクルカウント手段でカウントしたオフサイクルカウント値が予め設定された所定の値を超えていた場合には、前記トリガ位相角を出力可能な最小出力角に設定してトリガ信号を出力する最小出力位相角設定トリガ信号出力手段を有することを特徴とする請求項1あるいは2に記載の電力調整器。前記予想ヒータ抵抗値算出手段は、今サイクルがオンの場合には十分に長い時間ヒータの定格電力を印可し続けた時のヒータ抵抗値から前サイクルの予想ヒータ抵抗値を減じ、1から所定の係数を減じた値を乗じて、前サイクルの予想ヒータ抵抗値を加えた値を今サイクルの予想ヒータ抵抗値とし、一方、今サイクルがオフの場合には前サイクルの予想ヒータ抵抗値から十分に長い時間ヒータに電力を印可しなかった時の抵抗値を減じ、前記所定の係数を乗じて、前サイクルの予想ヒータ抵抗値を加えた値を今サイクルの予想ヒータ抵抗値とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電力調整器。前記予想ヒータ抵抗値算出手段は、今サイクルをオンとするかオフとするかの判断がされた後、前記ヒータ抵抗の予想値を算出する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電力調整器。前記予想ヒータ抵抗値算出手段は、以前のオンサイクルで算出したヒータ抵抗値を今サイクルの予想ヒータ抵抗値とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電力調整器。前記電力開閉手段はサイリスタ等の電力制御素子または、ソリッドステートリレー等の電力開閉器であることを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項に記載の電力調整器。本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、電流リミット機能を持たせることによりランプヒータに突入電流が流れるのを防止すると共に制御を乱すことなく力率の良い交流電力調整器を提供することにある。前記課題を解決するために本発明の交流電力調整器は、交流電源のゼロクロス点で電力開閉手段をオンオフさせて、電源電圧1サイクル毎に出力をオンまたはオフに制御し、オンとオフの比率を操作量に比例するように制御することによって負荷に加わる電圧を制御する電力調整器であって、負荷に流れる電流をリミット値以下に制限するためのリミット電流値を予め記憶するリミット電流値記憶手段と、今サイクルにおいて電力開閉手段をオンまたはオフする際に前サイクルがオンサイクルかオフサイクルかを判断するオンオフ判断手段と、前サイクルの出力電圧測定値を出力電流測定値で除して前サイクルのヒータ抵抗値を算出するヒータ抵抗値算出手段と、今サイクル終了時のヒータ抵抗の予想値を所定の演算式により算出する予想ヒータ抵抗値算出手段と、今サイクルがオンの場合に、算出された今サイクルの予想ヒータ抵抗値で電源電圧を除して今サイクルのヒータに流れる予想電流を算出する予想電流算出手段と、算出された今サイクルの予想電流とリミット電流値を比較し、今サイクルの予想電流がリミット電流値以下の場合には電源電圧を今サイクルの目標電圧とし、今サイクルの予想電流がリミット電流値を超えている場合にはリミット電流値と前記今サイクルの予想ヒータ抵抗値を乗じて今サイクルの目標電圧とする目標電圧算出手段と、算出された今サイクルの目標電圧から電力開閉手段をオンするトリガ位相角を算出するトリガ位相角算出手段と、算出されたトリガ位相角により電力開閉手段をオンするためのトリガ信号を出力するトリガ信号出力手段と、を有することを特徴とする。前記負荷はランプヒータ、セラミックヒータあるいは純金属系ヒータなど非線形特性の強いヒータであってもよい。前記オンオフ判断手段によりオフサイクルと判断されたサイクルについて連続するオフサイクルをカウントするオフサイクルカウント手段と、今サイクルがオンサイクルのとき、前記オフサイクルカウント手段でカウントしたオフサイクルカウント値が予め設定された所定の値を超えていた場合には、前記トリガ位相角を出力可能な最小出力角に設定してトリガ信号を出力する最小出力位相角設定トリガ信号出力手段を有しても良い。前記予想ヒータ抵抗値算出手段は、今サイクルがオンの場合には十分に長い時間ヒータの定格電力を印可し続けた時のヒータ抵抗値から前サイクルの予想ヒータ抵抗値を減じ、1から所定の係数を減じた値を乗じて、前サイクルの予想ヒータ抵抗値を加えた値を今サイクルの予想ヒータ抵抗値とし、一方、今サイクルがオフの場合には前サイクルの予想ヒータ抵抗値から十分に長い時間ヒータに電力を印可しなかった時の抵抗値を減じ、前記所定の係数を乗じて、前サイクルの予想ヒータ抵抗値を加えた値を今サイクルの予想ヒータ抵抗値としても良い。前記予想ヒータ抵抗値算出手段は、今サイクルをオンとするかオフとするかの判断がされた後、前記ヒータ抵抗の予想値を算出するようにしても良い。前記予想ヒータ抵抗値算出手段は、以前のオンサイクルで算出したヒータ抵抗値を今サイクルの予想ヒータ抵抗値としても良い。前記電力開閉手段はサイリスタ等の電力制御素子または、ソリッドステートリレー等の電力開閉器であっても良い。本発明によると、交流電源のゼロクロス点で電力開閉手段をオンオフさせて、電源電圧1サイクル毎に出力をオンまたはオフに制御し、オンとオフの比率を操作量に比例するように制御することによって負荷に加わる電圧を制御する電力調整器であって、負荷に流れる電流をリミット値以下に制限するためのリミット電流値を予め記憶するリミット電流値記憶手段と、今サイクルにおいて電力開閉手段をオンまたはオフする際に前サイクルがオンサイクルかオフサイクルかを判断するオンオフ判断手段と、前サイクルがオンサイクルであった場合に、前サイクルの出力電圧測定値を出力電流測定値で除して前サイクルのヒータ抵抗値を算出するヒータ抵抗値算出手段と、今サイクル終了時のヒータ抵抗の予想値を所定の演算式により算出する予想ヒータ抵抗値算出手段と、今サイクルがオンの場合に、算出された今サイクルの予想ヒータ抵抗値で電源電圧を除して今サイクルのヒータに流れる予想電流を算出する予想電流算出手段と、算出された今サイクルの予想電流とリミット電流値を比較し、今サイクルの予想電流がリミット電流値以下の場合には電源電圧を今サイクルの目標電圧とし、今サイクルの予想電流がリミット電流値を超えている場合にはリミット電流値と前記今サイクルの予想ヒータ抵抗値を乗じて今サイクルの目標電圧とする目標電圧算出手段と、算出された今サイクルの目標電圧から電力開閉手段をオンするトリガ位相角を算出するトリガ位相角算出手段と、算出されたトリガ位相角により電力開閉手段をオンするためのトリガ信号を出力するトリガ信号出力手段とを有するように構成した。これにより、ランプヒータ、セラミックヒータあるいは純金属系ヒータなどに突入電流が流れるのを防止できるとともに、目標平均電力と出力平均電力とを一致させることができる。以下、本発明を実施するための一実施形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。図1には、本発明に係る交流電力調整器の一実施形態を示すブロック図が示されている。図1に示すように、本発明の一実施形態の交流電力調整器1は、AC電源4交流電源のゼロクロス点でサイリスタ6電力開閉手段をオンオフさせて、一定周期の中で電源電圧1サイクルのオン周期とオフ周期の比率を制御することにより負荷に加わる電圧を制御する交流電力調整器1である。交流電力調整器1は、時分割制御出力演算部2、出力電流リミット処理部3、AC電源4、ゼロ点検出部5、サイリスタ6、電流検出器71、出力電流測定部72、出力電圧測定部73、出力電力演算部74、ヒータ8及び目標電力換算部9からなる。なお、ここに示した交流電力調整器1の構成は一例であり、例えば、AC電源4、ヒータ8及び電流検出器71などは本発明の交流電力調整器1の構成の外部に位置してもよい。また、場合によってはサイリスタ6も本発明の交流電力調整器1の外部に位置していてもよく、本発明の交流電力調整器の構成はここに掲げるものに限定されるものではない。時分割制御出力演算部2は、積算演算部21、比較部22及びオンオフ制御部23からなる。積算演算部21は、図1に記載されない温度調節計などから操作量として入力される入力信号を目標電力換算部9で今サイクルの出力電力目標値に変換した電力値以下目標電力というと、出力電力演算部74からの帰還信号である前サイクルの出力電力とに基づいて図2に示す処理S104を行い、比較部22に出力するように機能する。比較部22は、予め設定した閾値と積算演算部21からの積算値とを比較する処理、具体的には図2に示す処理S107を行い、その結果をオンオフ制御部23に出力するように機能する。オンオフ制御部23は、比較部22からの出力オンオフ信号とゼロ点検出部5からの検出信号と出力電流リミット処理部3のトリガ位相角演算部35からの出力信号とに基づいてサイリスタ6をオンオフする信号を出力する。出力電流リミット処理部3は、ヒータ抵抗演算部31、予想ヒータ抵抗演算部32、目標電圧演算部33、オフサイクルカウント部34及びトリガ位相角演算部35からなり、図2のS105、S106、S108、S109、S112及び図3に示す処理を行なうように構成されている。ヒータ8負荷に流れる電流を任意の上限値以下に制限するためのリミット電流値を予め記憶する図示しないリミット電流値記憶手段を備えている。ここで言う電流の上限値とは例えばサイリスタの定格電流値等のことをいう。ヒータ抵抗演算部31は、前サイクルがオンであった時に動作する処理で、前サイクルにおいてヒータに印加された電圧以下出力電圧というを出力電圧測定部73で測定した電圧値と、同じく前サイクルにおいてヒータに印可された電流以下出力電流というを出力電流測定部72で測定した電流値から、前サイクルのヒータ抵抗値を算出するヒータ抵抗値算出手段として機能する。予想ヒータ抵抗演算部32は、今サイクルにおいてサイリスタ6をオンまたはオフした結果、今サイクルが終了した時のヒータ抵抗の予想値を算出するヒータ抵抗値算出手段として機能する。本実施例ではヒータ抵抗値の時間的変化を一次遅れで近似する方法により、ヒータ抵抗の予想値を算出している。具体的には、サイリスタをオンしてヒータの定格電力を印可する場合はヒータ抵抗の予想式は下記の式1となる。[式]また、サイリスタをオフしてヒータに電力を印可しない場合はヒータ抵抗の予想式は下記の式2となる。[式]目標電力演算部33は、予想ヒータ抵抗演算部32により算出された今サイクル終了時のヒータ抵抗の予想値と電源電圧から今サイクルの予想電流値を算出する予想電流値算出手段と、算出された予想電流値とリミット電流値の比較手段により、予想電流値がリミット電流値以下の場合には出力電圧を電源電圧とし、予想電流値がリミット電流値を超えている場合にはリミット電流値と前記予想ヒータ抵抗演算部32で算出された予想ヒータ抵抗値からヒータ8に印加する目標電圧を算出する目標電圧算出手段として機能する。オフサイクルカウント部34は、オンオフ制御部23の電力開閉手段のオンオフ信号からオフ信号を受信したときオフサイクルカウンタをインクリメントし、オン信号を受信したときはオフサイクルカウンタをクリアする機能を持つ。トリガ位相角演算部35は、オフサイクルカウント部34のオフサイクルカウンタのカウント値が所定の値以下であれば、目標電力演算部33により算出された目標電圧からサイリスタ6をオンにするためのトリガ位相角を算出してトリガ信号を出力し、オフサイクルカウンタのカウント値が所定の値を超えていれば、ヒータ抵抗を測定するための出力可能な最小出力角を出力するトリガ信号出力手段として機能する。ゼロ点検出部5は、AC電源4の電源電圧のゼロクロス点を検出したとき、時分割制御出力演算部2へ検出信号を出力するように機能する。電流検出器71は、ヒータ8の電流を検出し出力電流測定部72に検出信号を出力するように機能する。出力電流測定部72は、電流検出器71の検出信号に基づいて測定された電流値を出力電力演算部74とヒータ抵抗演算部31に出力するように機能する。出力電圧測定部73は、ヒータ8の電圧を測定し、測定された電圧値を出力電力演算部74とヒータ抵抗演算部31に出力するように機能する。出力電力演算部74は、出力電流測定部72及び出力電圧測定部73の測定値に基づいて電力を算出し積算演算部21に帰還信号として出力するように機能する。ヒータ8は、ハロゲンランプからなるランプヒータである。なお、本発明に適用するヒータはこれに限定されるものではなく、例えば、セラミックヒータあるいは純金属系ヒータなど非線形特性の強いヒータであってもよいし、その他比較的直線性の良いヒータに適用しても良い。目標電力換算部9は、ヒータ8に配置した図示しない温度センサからの測定値と予め設定した温度の目標値とからPID演算して算出された値またはマニュアル設定した値を出力する図示しない温度調節計等の出力値を入力として、温度調節計の出力値を交流電力調整器1の目標電力値に換算し、積算演算部21に出力するように機能する。次いで、上記のように構成された交流電力調整器1の動作説明を図2~4を参照して行なう。図2は、本発明に係る交流電力調整器1の時分割制御処理を示すフローチャート、図2のS105、S106、S108、S109、S112及び図3は、本発明に係る交流電力調整器1の出力電流リミット処理を示すフローチャート、図4は、本発明に係る交流電力調整器1の動作を説明するための電圧波形の模式図である。まず、図2を参照して時分割制御処理を含む本発明のメインフロー処理について説明する。図2に示すメインフロー処理が起動すると、まず、前述した閾値、電流リミット値などの値を設定する初期設定処理S100がなされ、周期起動処理S101が開始される。周期起動処理とは、S102~S114のサブルーチンの実行を指示する処理である。次いで、出力電力演算部74において、前回サイクルにおける出力電力Qn1を前回サイクルの測定電圧En1及び測定電流In1に基づいて次式3にて算出するS102。[式]Qn1=En1×In13続いて、目標電力換算部9において、今回の目標電力Qnを、外部の温度調節計などで行ったPID演算などから得られた操作量nにヒータ定格電力を乗算することにより次式4にて算出するS103。Qn=入力値n×ヒータ定格電力4次に、前サイクルで算出された目標電力-出力電力の積算値から前記出力電力演算部74にて算出された前サイクルの出力電力を差し引いて今サイクルの目標電力を加算して次式5により、目標電力-出力電力の積算値以下単に積算値というを算出するS104。[式]Σn=Σn1-Qn1Qn5次に、出力電流を抑制する処理の一部として、前サイクルの出力がオンであったかを判断しS105、前サイクルの出力がオンであった場合は前サイクルの測定電圧n1と測定電流n1から前サイクルのヒータ抵抗値n1を算出するS106。前記積算処理S104により算出された積算値と予め設定された閾値との対比が比較部22により実行されS107、積算値が閾値よりも大きい場合S107のYには、出力電流を抑制する処理の一部として今サイクルオンにする場合の予想ヒータ抵抗値を次式6により算出する。[式]Rn=Rn1Rmax-Rn1×1-係数6次に、出力電流を抑制する処理として図3に示す出力電流リミット処理が開始されS109、その後、出力オフカウンタをクリアしS110、サイリスタ6をオンするための信号を出力する出力オン処理がなされるS111。一方、閾値よりも小さかった場合S107のNには、出力電流を抑制する処理の一部として今サイクルオフにする場合の予想ヒータ抵抗値を次式7により算出する。[式]Rn=Rn1-Rn1-Rmin×係数7次に、出力オフカウンタをインクリメントしS113、サイリスタ6をオフするための信号を出力する出力オフ処理がなされるS114。これら処理が終了すると、周期起動処理S101が再び開始され、これら一連の処理が繰り返される。次いで、図3を参照して、出力電流リミット処理S109について説明する。上述のようにして、出力電流リミット処理が起動すると、出力オフカウンタが所定の値以下か否かが判断されるS200。この処理は、前サイクルがオフであった場合に、その連続的にオフであったサイクル数が所定のサイクル数を超えているか否かを判断する処理である。この所定の値は、使用するヒータ8の特性や過去の経験則などから適宜使用者が設定すればよい。出力オフカウンタが所定の値以下であった場合にはS200のY、出力電圧nを電源電圧とした時にヒータ抵抗に流れる電流の予想値を次式8により算出するS201。[式]予想電流n=電源電圧n÷Rn8上記の式8で算出した予想電流nが電力調整器の許容できる電流値以下電流リミット値という以下か否かが判断されるS202。電流リミット値以下であれば目標電圧nを電源電圧とするS203。上記の式8で算出した予想電流nが電流リミット値を超える値である時は、ヒータ電流を電流リミット値にするための目標電圧nを電流リミット値に予想ヒータ抵抗nを乗じて次式9により算出する。[式]目標電圧n=電流リミット値×Rn9次に上記式9でされた目標電圧nからトリガ位相角nを算出してS204、出力電流リミット処理を終了する。一方、出力オフカウンタが所定の値より大きかった場合にはS200のN、トリガ位相角nを出力可能な最小出力角に設定しS206、出力電流リミット処理を終了する。本発明では、時分割制御を基本としているため、目標電力値が小さくなるとサイクルの出力が連続的にオフとなる状態が発生する。この様な場合には算出する予想ヒータ抵抗値の誤差が大きくなるため、連続する出力オフサイクルを出力オフカンウタでカウントし、出力オフカウンタが所定の値を超えていたら、出力オンに転じたときの目標電圧を出力可能な最小出力トリガ角に設定する。この最小出力により、次のサイクルでは、出力をオンする前に直前のオンサイクルの出力電圧測定値と出力電流測定値に基づき前サイクルのヒータ抵抗値を算出し、さらに今サイクルの予想ヒータ抵抗値を算出するため、算出する予想ヒータ抵抗値の誤差が小さくなり、電流リミット機能を精度良く動作させることが可能となる。このような電流リミット処理を行うことにより、ヒータ8の負荷率が低下し電力調整器が許容できない突入電流が流れるおそれがある状態を未然に回避することができる。このような状態を模式的に図示したものが図4である。負荷率と電圧波形の関係が模式的に図示されており、図4aは位相制御の電圧波形であり、b引用文献3の時分割制御と位相制御を切り替える方式の電圧波形であり、cは本発明により電流リミット処理を行った場合の電圧波形である。図4bは、負荷率が低下し25よりも小さくなると、位相制御に切り替わることを示している。図4cは、負荷率が低下し25よりも小さくなると、位相制御が加わることを示している。図4cからは判別できないが、負荷率が小さくなると、ヒータ抵抗値が小さくなり、ヒータ電流は増加する。1サイクル当たりのヒータ電流が時分割制御だけでは電流リミット値を超えるようになると、位相制御が加わり、1サイクル当たりのヒータ電流が電流リミット値を超えないように動作し、15以下では出力オフサイクルが連続して出力オフカウンタが所定の値を超えたときは、出力オンに転じたときのサイクルで最小出力する様子を示している。図4bの25から20の出力パターンの変化と比較して、図4cの25から20の出力パターンの変化は連続的であることが解る。これは時分割制御と位相制御を切り替える方式の制御の切り替え点で温度制御が乱れる可能性があるのに対し、本発明はそのような温度制御の乱れは発生しないことを示している。また、図4bの20と図4cの20を比較すると、図4b20の方が毎サイクルにおけるオン領域の割合が低く、図4c20の方がオンサイクルにおいてオン領域の割合が高いことが解る。すなわち、時分割制御と位相制御を切り替える方式では、例えば操作量負荷率が25以下になったと位相制御に切り替わるとすると、図4bの25の20の状態へと出力パターンが変化する。温度によって抵抗値が大きく変化するヒータが制御対象の場合、その出力パターンの違いから同じ操作量であってもヒータ温度の変化パターンが異なり、それによって出力電力量が異なる。従って、制御の切り替わり目で温度制御が乱れるという問題が生じる。一方、本発明では、例えば図4cの25の状態から徐々に20の状態に連続的に変化するので、時分割制御と位相制御を切り替える方式のような制御の乱れは発生しない。時分割制御と位相制御を切り替える方式と本発明において例えば図4bcの操作量負荷率が20の状態で比較すると、位相制御は毎サイクルにおいてオン領域の割合が低いが、本発明ではオンサイクルにおいてオン領域の割合が高くなるので力率が良い。これは時分割制御と位相制御を切換えるセル切換え方式よりも本発明は力率が良いことを示している。図4cの操作量負荷率が15の状態は、操作量が小さくなるとサイクルの出力が連続的オフとなる状態を示している。この様な場合には計算で求める予想ヒータ抵抗値の誤差が大きくなるため、適切な電流リミット処理ができなくなる可能性がある。そこで所定の回数以上に出力オフが続いたら、出力オンに転じたときのサイクルで最小出力とし、その最小出力のオンサイクルでヒータの出力電圧、出力電流を測定し、次のサイクルでその測定値に基づきヒータ抵抗値及び予想ヒータ抵抗値を算出して電流リミット処理に反映させることで、電流リミット機能を精度良く動作させることを可能にしている。このように本発明により、従来問題であった電力調整器が許容できない突入電流の発生の問題、制御方式の切換え点の制御の乱れの問題、および力率が悪くなるなどの問題を解消することができる。