"内部に流体の通路を有するハウジングと、前記通路を開閉する弁体を有し、駆動部の駆動力を受けて動作する弁軸と、前記弁軸を摺動可能に支持する弁軸摺動支持部材と、前記駆動部と前記弁軸摺動支持部材の間で、前記弁軸に付帯した皿状部材と、一端が前記ハウジングの前記弁軸摺動支持部材側に保持され、他端が前記皿状部材に保持され、前記弁体が前記通路を閉じる方向へ前記弁軸を付勢する付勢部材と、一端が前記皿状部材に固定され、他端が前記ハウジングと前記駆動部に挟持されて前記駆動部を遮蔽する、前記弁軸の動作に伴って伸縮可能な蛇腹形状の遮蔽部材とを備える排気ガス再循環バルブ。遮蔽部材の挟持部分に、当該遮蔽部材の内部と前記ハウジングの外部とを連通する呼吸穴が形成されていることを特徴とする請求項1記載の排気ガス再循環バルブ。呼吸穴は、遮蔽部材の内部に通じる内側開口部と、前記内側開口部から離れた位置でハウジングの外部に通じる外側開口部と、前記内側開口部と前記外側開口部を連通する通路とから成り、前記遮蔽部材の前記通路より外周側に、前記ハウジングと駆動部の間をシールする環状のリブが形成されていることを特徴とする請求項2記載の排気ガス再循環バルブ。呼吸穴は、ハウジングの端面に形成された凹部に収納した遮蔽部材の端部外周側と当該凹部壁面との間の環状の溝と、前記環状の溝と前記遮蔽部材の内部とを連通する内側開口部と、前記内側開口部から離れた位置で前記環状の溝と前記ハウジングの外部とを連通する外側開口部とから成り、前記環状の溝より外周側に、前記ハウジングと駆動部の間をシールするシール部材が設置されていることを特徴とする請求項2記載の排気ガス再循環バルブ。内側開口部と外側開口部は、弁軸を中心にした点対称の位置に設けられていることを特徴とする請求項3または請求項4記載の排気ガス再循環バルブ。呼吸穴をハウジングの外部から被覆するカバーを備えることを特徴とする請求項2から請求項5のうちのいずれか1項記載の排気ガス再循環バルブ。従来のEGRバルブは以上のように構成されているので、構造の変更に伴い軸方向へ大型化するという課題があった。車載用品は小型化が要求されるため、装置の大型化は好ましくない。また、大型化すると駆動部の負荷が増加し、耐久性が低下するという課題があった。この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、装置の大型化およびそれに伴う駆動部の耐久性低下を招くことなく、弁軸摺動支持部材から駆動部への排気ガスの侵入を防止することを目的とする。この発明に係る排気ガス再循環バルブは、内部に流体の通路を有するハウジングと、通路を開閉する弁体を有し、駆動部の駆動力を受けて動作する弁軸と、弁軸を摺動可能に支持する弁軸摺動支持部材と、駆動部と弁軸摺動支持部材の間で、弁軸に付帯した皿状部材と、一端がハウジングの弁軸摺動支持部材側に保持され、他端が皿状部材に保持され、弁体が通路を閉じる方向へ弁軸を付勢する付勢部材と、一端が皿状部材に固定され、他端がハウジングと駆動部に挟持されて駆動部を遮蔽する、弁軸の動作に伴って伸縮可能な蛇腹形状の遮蔽部材とを備えるものである。この発明によれば、従来はデッドスペースとなっていた付勢部材の設置空間に、弁軸摺動支持部材から駆動部を遮蔽するための遮蔽部材を設置したので、装置の大型化およびそれに伴う駆動部の耐久性低下を招くことなく、弁軸摺動支持部材から駆動部への排気ガスの侵入を防止することができる。実施の形態1.図1に示すEGRバルブ1において、アルミニウム合金、鋳鉄等で形成されるハウジング2の中央部に貫通穴2aが形成され、この貫通穴2aの途中にフィルタ3、弁軸摺動支持部材4、シール部材5、およびシール保持部材6が設置されている。弁軸摺動支持部材4は、内部を貫通した弁軸7を軸方向に摺動可能に支持する。シール部材5はシール保持部材6に保持されており、弁軸摺動部材4と弁軸7の間のクリアランスをシールする。また、ハウジング2の内部には弁座8が設けられており、弁座8を境にして上下に第1の流体通路9と第2の流体通路10がそれぞれ形成されている。この弁座8に接離して流体通路9,10間を開閉する弁体11が、弁軸7の一端部に設けられている。図1は閉弁した状態を示す。弁体11が弁座8から離れる方向開弁方向へ弁軸7を動作させる駆動部12が、ハウジング2にネジ等により取り付けられている。この駆動部12の駆動軸12aが軸方向に動作して弁軸7を開弁方向に押動する。一方、弁体11が弁座8に接触する方向閉弁方向へ弁軸7を動作させるスプリング付勢部材13が、駆動部12と弁軸摺動支持部材4の間の空間に設置されている。さらにこの空間に、弁軸7に付帯する皿状部材14が配置され、スプリング13の付勢力が皿状部材14を介して弁軸7に伝達される。この皿状部材14はスプリング13のホルダとしての機能と、遮蔽部材15のホルダとしての機能を有する。即ち、皿状部材14の一方の面でスプリング13の一端を保持し、スプリング13の他端をハウジング2に固定する。また、皿状部材14の外周縁に、蛇腹形状の伸縮可能な遮蔽部材15の一端を取り付け、遮蔽部材15の他端をハウジング2と駆動部12で挟持する。ハウジング2と駆動部12の間には、遮蔽部材15と共にカバー16も挟持されている。遮蔽部材15は、スプリング13を設置した空間を、弁軸摺動部材4側の第1の空間17と、駆動部12側の第2の空間18とに分離する。これにより、流体通路9,10を流れる排気ガスが、貫通穴2aと弁軸摺動支持部材4等の間のクリアランス、および弁軸摺動支持部材4と弁軸7の間のクリアランスを漏れ出て、スプリング13が設置されている第1の空間17に侵入したとしても、遮蔽部材15の内部の第2の空間18および駆動部12への侵入は防止できる。よって、駆動部12を保護でき、耐久性の向上が可能となる。なお、先立って説明した特許文献1ではデッドスペースとなっていたスプリング13の設置空間に、この遮蔽部材15を設置するので、遮蔽部材15を設置してもハウジング2が大型化することはない。また、遮蔽部材15を設置するためにハウジング2の形状を変更したり、各部材のレイアウトを変更したりする必要もない。図2aは遮蔽部材15を駆動部12側から見た平面図、図2bはA-A矢視断面図である。図3は、ハウジング2を駆動部12側から見た平面図である。ハウジング2の、第1の空間17を構成する壁面には、大気への開放穴2bか形成されており、この第1の空間17は大気環境下にある。また、遮蔽部材15の端面に密着するハウジング2の端面には、遮蔽部材15の内部の第2の空間18へ連通するための溝状の外側開口部2cが設けられている。そして、カバー16に密着する遮蔽部材15の端面には、ハウジング2の外側開口部2cを経由してハウジング2の外部へ通じる切欠形状の外側開口部15aと、この外側開口部15aから離れた位置で遮蔽部材15の内部第2の空間18へ通じる溝形状の内側開口部15b図2の格子状の領域と、外側開口部15aと内側開口部15bを連通する溝形状の環状通路15c図2の格子状の領域とが設けられている。これら外側開口部2c,15a、内側開口部15b、および環状通路15cが、遮蔽部材15の呼吸穴となる。従って、第2の空間18は、内側開口部15b、通路15c、外側開口部15a、ハウジング2の外側開口部2cを介してハウジング2の外部へ連通しており、この第2の空間18は大気環境下にある。駆動部12の駆動により弁軸7が動作する際、第1の空間17の容積と第2の空間18の容積が変化することとなるが、第1の空間17および第2の空間18はいずれも大気環境下であるため、遮蔽部材15の無理な変形は起きず、よって、弁軸7が軸方向に往復動作しても遮蔽部材15の耐性が劣化することはない。同様に、第1の空間17と第2の空間18がいずれも大気環境下であるため、駆動部12に加わる負荷が遮蔽部材15の設置によって増加することはない。なお、図示例では、外側開口部2c,15aと内側開口部15bとを、弁軸7を中心にして点対称の位置、即ち180°相反する方向に設けている。これにより、大気の経路が、外側開口部2c,15aから入り環状通路15cを半周して内側開口部15bを抜け第2の空間18へ導入されるラビリンス構造になるので、第2の空間18への水、粉塵等の異物の侵入を抑制することができる。なお、外側開口部2c,15aと内側開口部15bの位置は、図示例に限定されるものではなく、180°以下に近づけた位置に形成してもよい。さらに、異物侵入の恐れが低い環境で使用するなら、外側開口部2c,15aと内側開口部15bとを同じ位置に形成しても構わない。また、図1に示すように、カバー16で外側開口部2cを被覆することによって、外側開口部2cから第2の空間18への異物侵入をさらに抑制することができる。図4は、遮蔽部材15とハウジング2の密着部分を拡大した断面図である。仮に、ハウジング2とカバー16の間のクリアランス19から水等の異物が侵入すると、上述した呼吸穴および第2の空間18を通って駆動部12の内部へ侵入し、駆動部12の機能に影響を及ぼすこととなる。そのため、図4に拡大して示すように、遮蔽部材15の端面であって環状通路15cより外周側に、カバー16に密着するための環状のリブ15dを突設している。このリブ15dは弾性を有しているので、クリアランス19をシールでき、異物の侵入を防止できる。以上より、実施の形態1によれば、EGRバルブ1は、内部に流体通路9,10を有するハウジング2と、流体通路9,10を開閉する弁体11を有し、駆動部12の駆動力を受けて動作する弁軸7と、弁軸7を摺動可能に支持する弁軸摺動支持部材4と、駆動部12と弁軸摺動支持部材4の間で弁軸7に付帯した皿状部材14と、一端がハウジング2の弁軸摺動支持部材4側に保持され、他端が皿状部材14に保持されて閉弁方向へ弁軸7を付勢するスプリング13と、一端が皿状部材14に固定され、他端がハウジング2と駆動部12に挟持されて駆動部12を遮蔽する、弁軸7の動作に伴って伸縮可能な蛇腹形状の遮蔽部材15とを備えるように構成した。このため、従来はデッドスペースとなっていたスプリング13の設置空間に遮蔽部材15を設置することで、装置の大型化およびそれに伴う駆動部12の耐久性低下を招くことなく、弁軸摺動支持部材4から駆動部12への排気ガスの侵入を防止することができる。また、実施の形態1によれば、遮蔽部材15の挟持部分に、遮蔽部材15の内部第2の空間18とハウジング2の外部とを連通する呼吸穴を形成する構成にしたので、弁軸7の動作に伴って遮蔽部材15が伸縮しても無理に変形することがなく、劣化を防止することができる。また、実施の形態1によれば、呼吸穴は、遮蔽部材15の内部第2の空間18に通じる内側開口部15bと、内側開口部15bから離れた位置でハウジング2の外部に通じる外側開口部2c,15aと、内側開口部15bと外側開口部2c,15aとを連通する環状通路15cとから成り、遮蔽部材15の環状通路15cより外周側に、ハウジング2とカバー16カバー16を用いない場合は駆動部12の間のクリアランス19をシールする環状のリブ15dを形成する構成にした。このため、ハウジング2とカバー16のクリアランス19を通じて第2の空間18へ、ひいては駆動部12の内部への異物侵入を抑制することができる。よって、異物侵入による駆動部12の動作性低下および耐久性低下を抑制できる。また、実施の形態1によれば、内側開口部15bと外側開口部2c,15aは、弁軸7を中心にした点対称の位置に設ける構成にしたので、内側開口部15b、環状通路15c、外側開口部2c,15aから成る呼吸穴がラビリンス構造になり、ハウジング2の外部から第2の空間18への直接的な異物侵入を抑制することができる。また、実施の形態1によれば、EGRバルブ1は、呼吸穴をハウジング2の外部から被覆するカバー16を備える構成にしたので、呼吸穴から第2の空間18への直接的な異物侵入の抑制効果をさらに高めることができる。実施の形態2.上記実施の形態1では遮蔽部材15に環状通路15cを一体に形成したが、組み立て性および部品コスト等を勘案して、環状通路15cを遮蔽部材15とは別の部品で構成してもよい。その一例を図5に示す。図5は、本実施の形態2に係るEGRバルブ1のうち、遮蔽部材15とハウジング2の密着部分を拡大した断面図である。これ以外の部分については、図1と同様の構成であるため、図1を援用して説明する。図5の例では、ハウジング2に形成した円形の凹部に遮蔽部材15の端部を収納し、この凹部壁面と遮蔽部材15の端部外周側との間の隙間を環状溝20にする。そして、この環状溝20と外側開口部2c,15a不図示を連通させると共に、環状溝20と内側開口部15bを連通させて呼吸穴にする。これにより、外側開口部2c,15a、環状溝20、外側開口部15aを介して、ハウジング2の外部と第2の空間18とが連通し、第2の空間18が大気環境になる。この構成の場合にも、上記実施の形態1と同様に、ハウジング2とカバー16の間のクリアランス19をシールする必要がある。そこで、環状溝20より外周側でハウジング2とカバー16とが当接する部分にシール部材21を設ける。このシール部材21は、Oリング等のリング状部材であり、外側開口部2c不図示に相当する部分を切り欠いて用いる。以上より、実施の形態2によれば、EGRバルブ1の呼吸穴は、ハウジング2の端面に形成された凹部に収納した遮蔽部材15の端部外周側と当該凹部壁面との間の環状溝20と、環状溝20と遮蔽部材15の内部第2の空間18とを連通する内側開口部15bと、内側開口部15bから離れた位置で環状溝20とハウジング2の外部とを連通する外側開口部2c,15aとから成り、環状溝20より外周側でハウジング2とカバー16カバー16を用いない場合は駆動部12の間のクリアランス19をシールするシール部材21を設置する構成にした。この構成の場合も、上記実施の形態1と同様に、ハウジング2とカバー16のクリアランス19を通じて第2の空間18へ、ひいては駆動部12の内部への異物侵入を抑制することができる。よって、異物侵入による駆動部12の動作性低下および耐久性低下を抑制できる。なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。以上のように、この発明に係る排気ガス再循環バルブは、装置を大型化することなく駆動部への排気ガスおよび異物侵入を抑制するようにしたので、小型化が要求される車載用の排気ガス再循環バルブなどに用いるのに適している。もちろん、排気ガス再循環バルブ以外の用途にも使用可能である。"