"タンクの開口部に設けられ、前記タンク内に充填された燃料ガスを調圧して出力するガス用調圧弁において、一次ポートと二次ポートとに繋がる弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を調整する弁体と、前記弁体を閉位置の方に付勢する復帰用ばねと、前記タンクの開口部内に配置され、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢に抗するように前記弁体に与えて前記弁体を前記開位置の方に移動させる弁体駆動手段と、前記ハウジング内に形成され、前記二次ポートに繋がる圧力帰還室と、前記弁体と前記ハウジングとの間隙に介在し、前記弁体を摺動支持する軸受部材と、前記軸受部材の両側に夫々設けられ、前記間隙の両側を夫々封止する第1及び第2シール部材と、前記弁体の基端から該弁体内に相対移動可能に挿入されて、前記弁体との間に前記一次ポートに繋がる背圧力室を形成するシールロッドと、を備え、前記第1シール部材は、前記圧力帰還室の圧力を前記駆動力に抗する方向に受圧し、受圧する前記圧力に応じて前記弁体を前記閉位置の方に移動させるようになっており、前記シールロッドと前記弁体との間には、前記背圧力室より前記弁体の基端側に前記二次ポートに繋がる連絡通路が形成され、前記連絡通路と前記背圧力室との間には、その間を封止するように第3シール部材が設けられている、ガス用調圧弁。前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積と同一である、請求項1に記載のガス用調圧弁。前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積より小さい、請求項1に記載のガス用調圧弁。前記第1シール部材は、ダイアフラムシールであり、前記第2シール部材は、摩擦抵抗が小さい低圧シールである、請求項1乃至3の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記第3シール部材は、摩擦抵抗が小さく、さらに始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールである、請求項1乃至4の何れか1つに記載のガス用調圧弁。前記弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流がゼロのときは、前記復帰用ばねにより前記弁体を前記閉位置にするノーマルクローズ形になっている、請求項1乃至5の何れか1つに記載のガス用調圧弁。特許文献1に記載の燃料電池システムでは、燃料ガスの圧力を多段階で減圧すべく複数のレギュレータを備えている。しかし、複数のレギュレータを設けると、構成要素が多くなり、またそれらのレギュレータを設けるためのスペースが必要である。そうすると、システム全体が大型化してコストが高くなり、またシステム全体の重量が大きくなる。特に、構成要素のスペースが限られ、軽量化が望まれている自動車では、前述するシステムを搭載することは好ましくない。また、複数のレギュレータを設けることで、システム系の圧力損失が大きくなるので、燃料電池又はガスエンジンの最低作動圧力に対して高圧タンクの使用限界圧力を高めに設定しなければならない。そうすると、レギュレータが単一である場合に比べて高圧タンク内において使用できる燃料ガスの量が少なくなり、自動車の走行航続距離が縮まる。このように、複数のレギュレータを追加すると、様々な不都合が生じる。また、前述のように、従来のインジェクタ及び電磁式調圧弁単体では、それらの上流側圧力が高い時において、低負荷状態で燃料ガスの圧力制御することは困難である。更に、電磁式調圧弁等のシール方式としてダイアフラム方式を用いることがあるが、ダイアフラムシールは一般的に耐圧強度が低いため、高圧の燃料ガスを取り扱う際、ダイアフラムの破損により燃料ガスが大気中に漏れるおそれがある。これに対して、Oリング方式の場合、高圧時における予期しない外的要因により燃料ガスが大気中に漏れるおそれがある。そこで本発明は、高圧の燃料ガス環境下であっても、その二次圧をより正確に目標圧力に調圧可能で、且つ大気中への燃料ガス漏れを防止できるガス用調圧弁を提供することを目的としている。本発明のガス用調圧弁は、タンクの開口部に設けられ、前記タンク内に充填された燃料ガスを調圧して出力し、一次ポートと二次ポートとに繋がる弁通路を有するハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、前記弁通路を閉じる閉位置と前記弁通路を開く開位置との間で移動して前記弁通路の開度を調整する弁体と、前記弁体を閉位置の方に付勢する復帰用ばねと、前記タンクの開口部内に配置され、印加される印加電圧又は印加電流に応じた駆動力を前記復帰用ばねの付勢力に抗するように前記弁体に与えて該弁体を前記開位置の方に移動させる弁体駆動手段と、前記ハウジング内に形成され、前記二次ポートに繋がる圧力帰還室と、前記弁体と前記ハウジングとの間隙に介在し、前記弁体を摺動支持する軸受部材と、前記軸受部材の両側に夫々設けられ、前記間隙の両側を夫々封止する第1及び第2シール部材と、前記弁体の基端から該弁体内に相対移動可能に挿入されて、前記弁体との間に前記一次ポートに繋がる背圧力室を形成するシールロッドと、を備え、前記第1シール部材は、前記圧力帰還室の圧力を前記駆動力に抗する方向に受圧し、受圧する前記圧力に応じて前記弁体を前記閉位置の方に移動させるようになっており、前記シールロッドと前記弁体との間には、前記背圧力室より前記弁体の基端側に前記二次ポートに繋がる連絡通路が形成され、前記連絡通路と前記背圧力室との間には、その間を封止するように前記第3シール部材が設けられているものである。本発明に従えば、弁体駆動手段の駆動力を変えることで弁通路の開度を変えて二次圧を調圧することができる。この二次圧は、圧力帰還室に導かれており、第1シール部材は、圧力帰還室の二次圧を受圧して弁体を閉位置の方に移動させるようになっている。二次圧、駆動力、及び復帰用ばねによる付勢力等、弁体に作用する力が釣り合った状態から二次圧が低下すると、第1シール部材は、弁体を開位置の方に移動させて弁通路の開度を広げて二次圧を昇圧させる。これにより、弁体に作用する力が釣り合う状態に戻る。そうすることで、二次圧は、弁体駆動手段の駆動力に応じた一定圧力に戻され、一次圧の変動に関わらず前記一定圧力で保持される。従って、ガス用調圧弁は、圧力制御性が高く、高圧の燃料ガスをより正確に目標圧力に可変調圧することができる。また、本発明では、一次ポートに繋がる背圧力室が形成されているので、弁体に作用する一次圧を背圧力室の圧力によって打ち消すことができ、一次圧の変動に起因する二次圧の変動を抑えることができる。これにより、燃料ガスの圧力制御性を向上させることができ、二次圧を従来のガス用調圧弁より正確に制御することができる。また、本発明では、シールロッドと弁体との間に二次ポートに繋がる連絡通路が形成され、この連絡通路と背圧力室との間が第3シール部材によって封止されている。それ故、背圧力室の燃料ガスが背圧力室から連絡通路に漏れても、漏れた燃料ガスが圧力帰還室等の二次側に導かれる。つまり、ガス用調圧弁は、背圧力室から漏れた燃料ガスを二次側に導く安全構造となっており、燃料ガスが外部に放出されることを防ぐことができる。また、本発明は、インタンク型のガス用調圧弁であり、単一の弁で高圧の燃料ガスを低圧の目標圧力に調圧することができる。これにより、本発明を備える燃料ガス供給システムの構成を大幅に簡素化することができ、燃料ガス供給システムの設置スペースの縮小、構成装置の減少に伴うコストダウン、及び燃料ガス供給システムにおける圧力損失の低減を大幅に図ることができる。更に、本発明は、軸受部材を設けることで弁体を円滑に移動させることができるようになり、目標圧力に対する追従性を向上させることができる。また、軸受部材の両側に第1及び第2シール部材が設けられ、これら2つのシール部材より軸受部材が介在する間隙の両側が封止されている。これにより、間隙内への燃料ガスの流入を防ぐことができ、軸受部材が燃料ガスに曝されることがない。これにより、燃料ガスに対する腐食耐性がない材料を軸受部材に使用することが可能になり、選択できる材料が増える。また、間隙を封止することで、例えば軸受部材をグリス潤滑してもグリスが間隙から流出することがない。これにより、弁体の円滑な移動を実現するとともに、燃料ガスへのグリスの混入を防ぐことができる。上記発明において、前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積と同一であることが好ましい。上記構成に従えば、弁体が受ける一次圧を背圧力室の圧力により相殺することができる。これにより、一次圧の変動に起因する二次圧の変動を無くすことができ、二次圧の圧力制御性を更に向上させることができる。また、弁体駆動手段の駆動力を小さくすることができる。それ故、ガス用調圧弁を小形化することができる。本発明の別の実施形態として、前記弁体は、前記一次ポートにおける一次圧を前記開位置の方に受圧する第1受圧面と前記背圧力室の圧力を前記閉位置の方に受圧する第2受圧面とを有し、前記第1受圧面の受圧面積は、前記第2受圧面の受圧面積より小さいことが好ましい。上記構成に従えば、一次圧から弁体が受ける作用力よりも背圧力室の圧力から弁体が受ける作用力の方が大きくなる。それ故、一次圧に応じた力が閉方向の方に弁体に作用するので、一次圧が急激に変動して高くなっても、弁体が開位置の方へと移動して弁通路が開くようなことがない。従って、弁体駆動手段が作動しないときにおいて、一次側から二次側に燃料ガスが漏れでないようにしっかりと弁通路を閉じることができる。上記発明において、前記第1シール部材は、ダイアフラムシールであり、前記第2シール部材は、摩擦抵抗が小さい低圧シールであることが好ましい。上記構成に従えば、第1シール部材にダイアフラムシールを採用することで、第1シール部材による摺動摩擦を無くすことができる。また、第2シール部材に摩擦抵抗の小さい低圧シールを採用することで、摺動摩擦を抑えることができる。このように弁体に作用する摺動摩擦を抑えることで弁体を滑らかに動かすことができる。これにより、一次圧が変動したときや駆動力を変更した時等、駆動力に応じた一定圧に二次圧を素早く調圧することができるようになり、二次圧の応答性が向上する。上記発明において、前記第3シール部材は、摩擦抵抗が小さく、さらに始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールであることが好ましい。上記構成に従えば、弁体を滑らかに動かすことができると共に、弁体の応答性を向上させることができる。また、第3シール部材に高圧シールが採用されているので、一次圧に対する耐圧性能が向上し、一次ポートから供給される一次圧の限界圧力を向上させることができる。上記発明において、前記弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流がゼロのときは、前記復帰用ばねにより前記弁体を前記閉位置にするノーマルクローズ形になっていることが好ましい。上記構成に従えば、弁体駆動手段に印加される印加電圧又は印加電流を遮断することで、弁通路を緊急遮断することができる。本発明によれば、高圧の燃料ガス環境下であっても、その二次圧をより正確に目標圧力に調圧可能で、且つ大気中への燃料ガス漏れを防止できるガス用調圧弁を提供することができる。以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の第1~第6実施形態に係る調圧弁1,1A~1E、及びそれを備える燃料ガス供給システム2を説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、調圧弁1,1A~1E及び燃料ガス供給システム2に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明する調圧弁1,1A~1E及び燃料ガス供給システム2は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。[燃料ガス供給システム]燃料ガス供給システム2は、水素ガスや圧縮天然ガス等の燃料ガスが高圧で貯蔵される高圧タンク3に繋がっている。燃料ガス供給システム2は、燃料電池やガスエンジン等の燃料ガス消費器に繋がっており、高圧の燃料ガスを所望の低圧に調圧して燃料ガス消費器に供給するようになっている。このように構成される燃料ガス供給システム2は、電磁式調圧弁1、圧力センサ4、及び演算制御器5を備えている。電磁式調圧弁1は、インタンク型の容器元弁であり、高圧タンク3の開口部に設けられている。電磁式調圧弁1は、高圧の燃料ガスを調圧する機能を有している。電磁式調圧弁1は、供給路2aを介して燃料ガス消費器に繋がっており、供給路2aの電磁式調圧弁1より下流側には、圧力センサ4が設けられている。圧力センサ4は、供給路2aに流れる燃料ガスの圧力を検出するようになっている。圧力センサ4は、信号線7を介して演算制御器5に繋がっており、検出された圧力に応じた検出圧力信号が演算制御器5に入力されるようになっている。演算制御器5には、目標圧力に応じた目標圧力指令信号が図示しない入力手段や制御装置等から入力されるようになっている。演算制御器5は、目標圧力指令信号と検出圧力信号との差分を演算し、この差分に応じた大きさの電流を電磁式調圧弁1に流すようになっている。電磁式調圧弁1は、流された電流に応じた一定圧力に高圧の燃料ガスを調圧するようになっている。なお、電磁式調圧弁1によって構成される容器元弁に図示しない電磁式遮断弁が追加されてもよい。電磁式遮断弁は、いわゆる電磁式開閉弁であり、供給路2aにおいて電磁式調圧弁1より上流側に設けられる。電磁式遮断弁は、そこに送信される信号に応じて供給路2aを開閉する機能を有しており、高圧タンク3と燃料ガス消費器との間を緊急遮断する際に用いられる。このように構成される燃料ガス供給システム2の電磁式調圧弁1は、様々な実施形態があり、以下では、電磁式調圧弁1の構成について詳述する。なお、第1実施形態の電磁式調圧弁1は、燃料ガス供給システム2に設けられる電磁式調圧弁の一例に過ぎず、第1実施形態の電磁式調圧弁1の説明の後に幾つかの代表的な実施形態についても詳述する。[第1実施形態]<電磁式調圧弁の構成>図2に示す第1実施形態の電磁式調圧弁1は、ハウジング12を備えている。ハウジング12は、大略円筒状になっている。ハウジング12の下端側は、高圧タンク3の開口部3aに挿入され、該開口部3aにシールされて取付けられている。また、ハウジング12は、弁体孔12a及び二次ポート12bを有している。弁体孔12aは、上下方向に延びる軸線L1に沿って延在し、その断面が円形状になっている。弁体孔12aは、ハウジング12を上下方向に貫通し、その上下両側に開口を有している。二次ポート12bは、ハウジング12の側面の上端側に形成され、高圧タンク3外に表出している。また、ハウジング12は、軸線L1に直交する二次側通路12cを有しており、二次ポート12bは、二次側通路12cを介して弁体孔12aに繋がっている。また、二次ポート12bは、供給路2a図1参照を介して、燃料ガス消費器図1参照に繋がっている。ハウジング12は、弁体孔12aの上開口部に弁側キャップ部材14を有している。弁側キャップ部材14は、大略有底円筒状に形成され、その開口を下に向けて弁体孔12aの上開口部にシールされた状態で嵌挿されている。他方、弁体孔12aの下開口部には、後述する電磁比例ソレノイド31が螺合されており、ハウジング12は、電磁比例ソレノイド31の上側にシート取付部15及びシート部材16を有している。シート取付部15は、ハウジング12の内面に周方向全周にわたって延在し、半径方向内方に向かって突出している。シート部材16は、弁体孔12aにおいて、シート取付部15の下側に配置され、それに当接している。シート部材16は、大略円筒状になっており、その軸線軸線L1に略一致に沿って形成される弁孔16aを有している。シート部材16は、シールされた状態で弁体孔12aに嵌挿されており、シート取付部15と電磁比例ソレノイド31とによって挟持されている。このように弁体孔12aに配置されたシート部材16には、弁体17の先端部17aが着座している。弁体17は、大略的に有底円筒状に形成され、下側にある先端部17aの外周がテーパ状になっている。弁体17は、軸線L1に沿うように弁体孔12aに挿入されており、図2に示すような閉位置に位置しているとき、先端部17aの一部を弁孔16aに突っ込んでシート部材16に着座し、弁孔16aを塞いでいる。また、弁体17は、その基端側上側の外周にフランジ17bを有している。フランジ17bは、弁体17の外周に周方向全周にわたって形成され、半径方向外方に突出している。フランジ17bは、弁体孔12aの上開口部側に位置している。また、ハウジング12は、その内面のフランジ17bより下側であってフランジ17bに対向する位置にシール取付部18を有している。シール取付部18は、ハウジング12の内面に周方向全周にわたって形成されており、半径方向内方に突出している。シール取付部18とフランジ17bとは、互いに上下方向に離れており、それらの間には、大略円環状の軸受部材収容空間19が形成されている。この軸受部材収容空間19には、軸受部材20が収容されている。軸受部材20は、大略的に円筒状に形成されており、弁体17に外装されて弁体17とハウジング12との間に介在している。軸受部材20は、例えばボールガイド、ボール軸受、又はすべり軸受によって構成されており、弁体17がハウジング12に対して軸線L1に沿って上下方向に移動できるように弁体17を支持している。なお、軸受部材20は、弁体17の動きを滑らかにし、且つ耐久性を向上させるべくグリス潤滑されている。また、軸受部材20の上下両側には、ダイアフラムシール21と低圧シール部材22とが設けられている。第1シール部材であるダイアフラムシール21は、いわゆるダイアフラムであり、大略的に円環状になっている。ダイアフラムシール21の外縁部は、ハウジング12に取付けられ、内縁部が弁体17のフランジ17bに取付けられている。詳述すると、ハウジング12は、その内面の弁体孔12aの上開口部側に段部12dを有している。段部12dは、前記内面に周方向全周にわたって形成され、半径方向外方に向かって拡がるように段状に構成されている。弁側キャップ部材14の開口端部は、この段部12dに当接するようになっており、弁側キャップ部材14と段部12dとによってダイアフラムシール21の外縁部を挟むことでダイアフラムシール21がハウジング12に取付けられている。また、弁体17には、その基端部の外周であってフランジ17bより上側に大略円筒状の取付部材23が螺合されている。取付部材23の下端は、フランジ17bの上面に当接するようになっており、フランジ17bと取付部材23とによってダイアフラムシール21の内縁部を挟むことでダイアフラムシール21が弁体17に取付けられている。このように取付けられたダイアフラムシール21は、ハウジング12と弁体17とに渡され、弁側キャップ部材14内と軸受部材収容空間19との間を塞いで弁側キャップ部材14内に圧力帰還室25を形成している。なお、弁側キャップ部材14には、その内外を繋ぐように半径方向に貫通する貫通路14aが形成されており、圧力帰還室25と二次側通路12cとは、この貫通路14aによって繋がっている。第2シール部材である低圧シール部材22は、大略円環状のOリングであり、摩擦抵抗を小さくすべく樹脂等により表面処理がされている。低圧シール部材22は、シール取付部18に取付けられ、ハウジング12と弁体17との間を封止している。弁体孔12aには、シール取付部18より下側にシール取付部18とシート部材16によって挟まれた弁空間12eが形成されており、低圧シール部材22によって弁空間12eと軸受部材収容空間19との間が封止されている。このようにダイアフラムシール21及び低圧シール部材22は、軸受部材収容空間19の上側及び下側を塞ぎ、軸受部材収容空間19をハウジング12内に形成されている他の空間と隔てられている。ハウジング12には、この軸受部材収容空間19に繋がる大気連通路24が形成されており、軸受部材収容空間19は、大気連通路24を介して大気に開放されている。これにより、軸受部材収容空間19内に燃料ガスが流入することがなく、軸受部材20が燃料ガスに曝されることがない。これにより、燃料ガスに対する腐食耐性がない材料を軸受部材20に使用することが可能になり、選択できる材料が増える。また、軸受部材20のグリスが燃料ガスに曝されることがなく、グリスがハウジング12内の他の空間、例えば二次側通路12cや弁空間12eに漏れることがない。それ故、軸受部材収容空間19内のグリスが枯渇するようなことを防ぐことができ、軸受部材20が潤滑されている状態を維持することができる。これにより、軸受部材20の耐久性を向上させ得ると共に、弁体17を円滑に移動させることができる。また、グリスが漏れ出て燃料ガスに混入することも防ぐことができる。このようにハウジング12内に設けられる弁体17には、その基端部つまり、上端部からシールロッド26が挿入されている。シールロッド26は、大略的に円柱状に形成されており、弁体17内に弁体17の底面とシールロッド26の先端とによって挟まれた背圧力室27を形成している。また、弁体17の先端部17aには、弁側連通路17eが形成されており、背圧力室27は、この弁側連通路17eを介して弁孔16aに繋がっている。また、シールロッド26は、基端部を弁側キャップ部材14の天井面に当接させて支持させており、その基端部にばね受け部26aを有している。ばね受け部26aは、基端部の外周において周方向全周にわたって延在し、半径方向外方に突出している。ばね受け部26aは、弁体17の取付部材23に対向しており、それらの間に復帰用ばね28が圧縮された状態で取付けられている。復帰用ばね28は、圧縮コイルばねであり、シールロッド26の基端側に外装されている。この復帰用ばね28は、弁体17を閉位置の方つまり、閉位置方向へと付勢している。シールロッド26の中間部分は、その先端側及び基端側に比べて小径になっており、シールロッド26の外周面と弁体17の内面との間には、円環状の連絡通路30が形成されている。他方、シールロッド26の先端側及び基端側は、弁体17の内径と略同径になっている。連絡通路30は、背圧力室27の上側に位置し、その上下両側がシールロッド26の先端側及び基端側によって塞がっている。また、弁体17は、その先端側に先端側通路17c、基端側に基端側通路17dを夫々有しており、連絡通路30は、先端側通路17cによって弁空間12eに繋がり、基端側通路17dによって圧力帰還室25に繋がっている。更に、シールロッド26の先端側の外周には、その周方向全周にわたって延びるシール用溝26bが形成されており、このシール用溝26bには、円環状の高圧シール部材29が嵌め込まれている。第3シール部材である高圧シール部材29は、摩擦抵抗が少なく、始動抵抗と摺動抵抗との差が小さい高圧シールであり、例えば、フッ素樹脂等により表面処理されたOリングである。高圧シール部材29は、弁体17とシールロッド26との間を封止している。弁体17は、復帰用ばね28の付勢力に抗する方向、即ち開位置の方開位置方向に押圧されると、シート部材16から離れて弁孔16aを開くようになっている。弁体17を開位置方向に押圧すべく、ハウジング12には、電磁比例ソレノイド31が設けられている。弁体駆動手段である電磁比例ソレノイド31は、ハウジング12の下端側の開口端部12fに螺合され、高圧タンク3内に配置されている。電磁比例ソレノイド31は、連結部材32を備えており、この連結部材32は、大略筒状になっている。連結部材32の上端部は、ハウジング12の下端側の開口端部12fに螺合され、シート取付部15と共にシート部材16を挟持している。また、連結部材32は、軸線L1に沿って下方に延在しており、その中がシート部材16の弁孔16aと繋がるように配置されている。また、連結部材32の下端部には、ソレノイドコイル33が外装されている。ソレノイドコイル33は、大略的に円筒状に形成され、軸線L1に沿って下方に延在している。ソレノイドコイル33は、大略円筒状のケース33aを有し、その中にボビン33bとコイル線33cとが設けられている。ボビン33bもまた大略円筒状に形成され、このボビン33bの外周にコイル線33cに巻きつけられている。このように構成されるソレノイドコイル33は、ハウジング12の下端側の開口端部12fから下方に離れて位置しており、ソレノイドコイル33とハウジング12の下端側の開口端部12fとの間には、スペーサ34が介在している。スペーサ34は、大略円筒状に形成されており、連結部材32に外装されている。スペーサ34及びハウジング12内部には、それらを挿通するように導電線体35が設けられている。導電線体35は、演算制御器5図1参照及びコイル線33cに繋がっており、演算制御器5からコイル線33cに電流を流せるようになっている。そして、コイル線33cに電流を流すことでソレノイドコイル33が励磁するようになっている。このように構成されるソレノイドコイル33の下側の開口端部は、そこに嵌挿されているソレノイド側キャップ部材36によって塞がれている。ソレノイド側キャップ部材36は、大略的に有底筒状になっている。ソレノイド側キャップ部材36は、開口を上側つまり、連結部材32側に向けてソレノイドコイル33内に配置されている。ソレノイド側キャップ部材36の中には、可動鉄心37が摺動可能に挿入されている。可動鉄心37は、大略的に円柱状に形成され、その上端が連結部材32の下端に対抗するように配置されている。これにより、コイル線33cに電流を流す、つまりソレノイドコイル33に電流を流すと、可動鉄心37に励磁力駆動力が作用し、連結部材32の方に吸着される。また、可動鉄心37には、押圧ロッド38が設けられている。押圧ロッド38は、大略円柱状に形成されており、基端部下端部が可動鉄心37の上端部に螺合されている。押圧ロッド38は、軸線L1に沿って上方に延在し、連結部材32内を挿通している。押圧ロッド38の先端部は、部分球面状に形成されている。この押圧ロッド38の先端部は、シート部材16の弁孔16aまで達しており、弁体17の先端部17aに当接している。それ故、可動鉄心37が連結部材32の方に吸着されると、弁体17は、押圧ロッド38によって復帰用ばね28の付勢力に抗して弁体17を開位置方向に押され、弁孔16aを開くようになっている。なお、開位置とは、可動鉄心37が連結部材32の方へ引き付けられた状態のときの弁体17の位置である。更に、可動鉄心37は、その下端側にばね受け座37aを有している。ばね受け座37aは、可動鉄心37の軸線軸線L1に略一致に沿って形成される凹所であり、そこには圧縮コイルばね39が挿入されている。圧縮コイルばね39は、可動鉄心37とソレノイド側キャップ部材36との間に圧縮された状態で取付けられている。圧縮コイルばね39は、可動鉄心37を弁体17の方へと付勢し、押圧ロッド38の先端部を弁体17の先端部17aに押付けている。このように構成される電磁比例ソレノイド31において、ソレノイド側キャップ部材36の下面には、一次ポート41が形成されている。一次ポート41は、軸線L1に周りに形成されており、高圧タンク3内に開口している。また、ソレノイド側キャップ部材36には、軸線L1に沿って延在する一次側通路42が形成されており、一次ポート41は、この一次側通路42を介してソレノイド側キャップ部材36内と繋がっている。ソレノイド側キャップ部材36内には、ソレノイド側キャップ部材36の底面と可動鉄心37の下面とによって挟まれている一次側空間36aが形成されており、一次側空間36aは、一次側通路42を介して一次ポート41に繋がっている。可動鉄心37には、ソレノイド側連通路43が形成されている。ソレノイド側連通路43は、連通部43a、貫通部43b、及び外周通路43c,43dを有している。連通部43aは、可動鉄心37のばね受け座37aに臨む開口を有し、そこから軸線L1に沿って上方に延在している。貫通部43bは、連通部43aの上側に繋がっており、そこから半径方向両側に延在している。この貫通部43bは、可動鉄心37を一直線上に貫通しており、その両方の開口が外周通路43c,43dに繋がっている。外周通路43c,43dは、可動鉄心37の外周に形成され、貫通部43bの開口から上方に延在する溝である。外周通路43c,43dは、可動鉄心37の上端まで達している。また、連結部材32の下端側の内面には、内向きフランジ32aが形成されている。内向きフランジ32aは、その内面に周方向全周にわたって形成されており、半径方向内方に突出している。内向きフランジ32aの内径は、押圧ロッド38の外径より若干大きくなっており、内向きフランジ32aの中を押圧ロッド38が挿通している。これにより、連結部材32内が内向きフランジ32aにより上側と下側に分けられ、内向きフランジ32aより上側に連通室44が形成され、内向きフランジ32aより下側に内向きフランジ32aと可動鉄心37の上端とで挟まれた連絡室45が形成されている。これら連通室44及び連絡室45は、弁孔16a及び外周通路43c,43dに夫々繋がっており、連通室44及び連絡室45同士は、内向きフランジ32aに形成される複数の貫通路32bによって繋がっている。貫通路32bは、前記内向きフランジ32aを貫通するように軸線L1に平行に延在しており、軸線L1を中心に等間隔をあけて配置されている。このように構成される一次側通路42、ソレノイド側連通路43、連絡室45、貫通路32b及び連通室44によって、一次ポート41は弁孔16aに繋がっている。また、弁孔16aは、弁空間12e、先端側通路17c、連絡通路30、基端側通路17d、圧力帰還室25、貫通路14a及び二次側通路12cによって二次ポート12bに繋がっている。これら一次側通路42、ソレノイド側連通路43、連通室44、貫通路32b、連絡室45、弁孔16a、弁空間12e、先端側通路17c、連絡通路30、基端側通路17d、圧力帰還室25、貫通路14a及び二次側通路12cによって弁通路46が構成され、この弁通路46によって一次ポート41と二次ポート12bとが繋がっている。このように繋がる一次ポート41及び二次ポート12bは、一次ポート41に対して二次ポート12bが直角になるように配置されており、電磁式調圧弁1は、アングル型の調圧弁となっている。なお、電磁式調圧弁1は、直線型即ち、インライン型の調圧弁であってもよく、その場合二次ポート12bを軸線L1に沿って形成される。このように構成される電磁式調圧弁1では、高圧タンク3内の燃料ガスが一次ポート41に供給され、その燃料ガスが一次側通路42、ソレノイド側連通路43、連絡室45、貫通路32b及び連通室44を通って弁孔16aに導かれる。そして、弁体17をシート部材16から離して弁孔16aを開く、つまり弁通路46を開くことで燃料ガスが弁孔16aから弁空間12eに流れ、先端側通路17c、連絡通路30、基端側通路17d、圧力帰還室25、貫通路14a及び二次側通路12cを通って二次ポート12bから排出される。弁通路46を開く際、弁体17とシート部材16との間には、円環状のオリフィスが形成されている。オリフィスより一次ポート41側である一次側の燃料ガスは、オリフィスによって減圧され、弁孔16aより二次ポート12b側である二次側に流される。つまり、一次圧p1の燃料ガスがオリフィスによって二次圧p2に減圧される。二次圧p2に減圧された燃料ガスは、前述の通り連絡通路30等を通って圧力帰還室25に導かれ、ダイアフラムシール21は、この圧力帰還室25に導かれた二次圧p2を受圧し、受圧した二次圧p2に応じた力で弁体17を閉方向に移動させるようになっている。また、一次圧p1は、弁側連通路17eを介して背圧力室27に導かれる。背圧力室27に導かれた一次圧p1の燃料ガスは、高圧シール部材29によって背圧力室27から連絡通路30に漏れないようになっている。しかし、一次圧p1と二次圧p2との差圧が大きいと、背圧力室27から連絡通路30に漏れることがある。しかし、連絡通路30が圧力帰還室25及び二次ポート12b等の二次側に繋がっているので、背圧力室27から連絡通路30に燃料ガスが漏れても、その漏れた燃料ガスはそのまま二次ポート12bに流れされるようになっている。従って、電磁式調圧弁1は、一次側から漏れた燃料ガスを外側へ漏れさせることなく二次側へと戻すことができる安全構造の弁となっている。それ故、燃料ガスが電磁式調圧弁1の外部に放出されることがない。つまり、大気中に燃料ガスが漏れ出ることがない。このように構成される電磁式調圧弁1において、弁体17は、その先端部17aの受圧面P1で弁孔16aの一次圧p1を上方つまり、開位置方向に受圧し、弁体17内部の受圧面P2で背圧力室27に導かれた一次圧p1を下方つまり、閉位置方向に受圧するようになっている。それ故、受圧面P1で受ける作用力及び受圧面P2で受ける作用力は、互いに打ち消し合うようになっている。受圧面P1の受圧面積A1は、シート部材16の内径r1、つまりシート径r1に応じて決まり、また受圧面P2の受圧面積A2は、弁体17の内径r2、つまり背圧力室27の孔径r2に応じて決まる。本実施形態では、シート径r1と孔径r2とが等しくなるようにシート部材16及び弁体17が形成されている。それ故、本実施形態の電磁式調圧弁1では、受圧面P1で受ける作用力及び受圧面P2で受ける作用力が略同じになり相殺されるようになっている。また、可動鉄心37の上側及び下側には、連絡室45及び一次側空間36aが夫々形成されており、各部屋45,36aには、一次圧p1が導かれ、可動鉄心37は、上端受圧面P3及び下端受圧面P4でそれら一次圧p1を上下方向に夫々受圧している。可動鉄心37は、略円柱状に形成され、受圧面P3,P4の受圧面積が略同一になっており、受圧面P3,P4で夫々受ける作用力が相殺されるようになっている。更に、弁体17は、先端側に比べて基端側の方が大径になっている。更に、ダイアフラムシール21の受圧面積A5は、受圧面積A1,A2より大きくなっている。つまり、弁体17の基端側にあって二次圧p2を閉位置方向に受圧する受圧面P5の受圧面積の方が、弁体17の先端側にあって二次圧p2を開位置方向に受圧する受圧面P6の受圧面積よりも大きくなっている。それ故、弁体17は、二次圧p2及び復帰用ばね28により閉位置方向に押付けられ、ソレノイドコイル33に電流が流れていない状態では、弁体17が閉位置に位置するようになっている。つまり、電磁式調圧弁1は、ノーマルクローズ形の弁として構成されている。それ故、ソレノイドコイル33流す電流を遮断することで弁通路46を緊急遮断することができる。<電磁式調圧弁の動作>以下では、図2を参照しながら電磁式調圧弁1の動作について説明する。電磁比例ソレノイド31のソレノイドコイル33に電流を流すと、可動鉄心37に励磁力が作用し、可動鉄心37が連結部材32の方へ引き付けられる。これにより、弁体17がシート部材16から離れて開位置方向に移動し、弁通路46が開く。弁通路46が開くことで、弁体17とシート部材16との間にオリフィス図示せずが形成され、燃料ガスがこのオリフィスにより二次圧p2に減圧されて弁空間12eに流れる。弁空間12eの燃料ガスは、先端側通路17c、連絡通路30、及び基端側通路17dを通って圧力帰還室25に導かれ、更に貫通路14a及び二次側通路12cを通って二次ポート12bから排出される。弁体17及びダイアフラムシール21は、圧力帰還室25に導かれた燃料ガスの二次圧p2を受圧し、弁体17は、可動鉄心37が受ける励磁力と受圧面P5で受ける二次圧p2による作用力、及び復帰用ばね28のばね力とが釣り合う位置まで閉位置方向又は開位置方向に移動する。つまり、弁体17は、前記力が釣り合うように弁通路46の開度つまり、オリフィスの開度を調整して、弁空間12eに流れる燃料ガスの二次圧p2を調整する。これにより、二次圧p2がソレノイドコイル33に流す電流に応じた圧力つまり、目標圧力になる。例えば、二次圧p2が目標圧力より低い場合、励磁力が二次圧p2による作用力より大きくなり、弁体17がシート部材16から離れる方向つまり、開位置方向に移動する。そうすると、弁通路46の開度が広がって二次圧p2が上昇する。これにより、弁体17は、励磁力と二次圧p2による作用力、及び復帰用ばね28のばね力が釣り合う位置まで移動して二次圧p2を目標圧力に調圧する。それ故、電磁式調圧弁1は、一次圧p1が変動してもそれに合わせて弁通路46の開度を制御し、二次圧p2を目標圧力に調圧することができる。そのため、一次圧p1を予め一定圧に減圧しなくても電磁式調圧弁1単体で、高圧の燃料ガスを所定の低圧、つまり目標圧力まで減圧して調圧することができる。従って、電磁式調圧弁1は、圧力制御性が高い。また、電磁式調圧弁1では、背圧力室27に一次圧p1を導くことで受圧面P1及び受圧面P2で一次圧p1から受ける作用力を相殺させている。これにより、一次圧p1の変動に起因する二次圧p2の変動を抑えることができる。それ故、高圧の燃料ガスに対する圧力制御性を向上させることができ、二次圧p2を従来の電磁式調圧弁より正確に制御することができる。また、一次圧p1から受ける作用力を相殺することで、電磁比例ソレノイド31の励磁力を小さくすることができ、電磁式調圧弁1を小形化することができる。また、ダイアフラムシール21を採用することで、弁体17移動時の摺動摩擦を無くすことができる。また、摩擦抵抗の少ない低圧シール部材22を採用することで、極力、摺動摩擦を抑えることができる。このように弁体17に作用する摺動摩擦を抑えることで弁体17を滑らかに動かすことができる。これにより、目標圧力に二次圧p2を素早く調圧することができるようになり、二次圧p2の応答性が向上する。更に、高圧シール部材29を採用することで、電磁式調圧弁1の一次圧p1に対する耐圧性能が向上し、一次ポート41から供給される一次圧p1の限界圧力を向上させることができる。また、電磁式調圧弁1は、電磁比例ソレノイド31が高圧タンク3内に配置されているインタンク型の調圧弁であり、単一の弁で高圧の燃料ガスを低圧の目標圧力に調圧することができる。これにより、燃料ガス供給システム2の構成を大幅に簡素化することができ、燃料ガス供給システム2の設置スペースの縮小、構成装置の減少に伴うコストダウン、及び高圧タンク3と燃料ガス消費器との間の圧力損失の低減を大幅に図ることができる。更に、電磁式調圧弁1は、インタンク型の容器元弁であり、電磁式遮断と電磁式調圧の2つの機能を有している。それ故、電磁式調圧弁1の上流側に電磁式遮断弁が不要であり、容器元弁としての構成が簡素化されることにより、大幅な圧力損失低減及びコストダウンに繋がる。また、電磁比例ソレノイド31等の通電部分が高圧タンク3の開口部3a内に配置されている、つまり燃料ガス中に設けられるので、電磁式調圧弁1は、防爆構造を有する容器元弁となる。[第2実施形態]本発明の第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と構成が類似している。そこで、第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aの構成に関して第1実施形態の電磁式調圧弁1と異なる構成についてだけ説明し、同一の構成については、同一の符合を付して説明を省略する。本発明の第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aでは、図3に示すようにスペーサ34Aに一次ポート41A及び一次側通路42Aが形成されている。また、連結部材32Aは、そのスペーサ34Aが外装される外周部分に外周溝32cが形成されている。外周溝32cは、連結部材32Aの外周部分に周方向全周にわたって形成されている。一次側通路42Aは、この外周溝32cと一次ポート41Aを繋ぐように形成されている。また、連結部材32Aには、半径方向に延在する複数のスペーサ連通路32dが形成されており、外周溝32cは、この複数のスペーサ連通路32dにより連通室44と連通している。このように構成される電磁式調圧弁1Aでは、弁通路46Aの一次側が一次ポート41A、一次側通路42A、外周溝32c、スペーサ連通路32d、連絡室45によって構成されている。なお、弁通路46Aの二次側は、第1実施形態の弁通路46の二次側と同じ構成である。第2実施形態の電磁式調圧弁1Aは、第1実施形態に係る電磁式調圧弁1と同様の作用効果を奏する。[第3及び第4実施形態]本発明の第3及び第4実施形態に係る電磁式調圧弁1B,1Cは、図4及び図5に示すように、受圧面積A1及び受圧面積A2が異なる点を除いて、第1及び第2実施形態に係る電磁式調圧弁1,1Aと同様である。以下では、その点についてだけ説明する。電磁式調圧弁1B,1Cでは、シート径r1が背圧力室27の孔径r2より小径になるよう弁体17及びハウジング12が形成されており、受圧面積A1は、受圧面積A2より小さくなっている。それ故、弁体17には、受圧面積A1と受圧面積A2との面積差に応じた一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用する。それ故、ソレノイドコイル33に流す電流を遮断した時の弁体17の閉位置に向かう速度が速くなり、遮断性能が向上する。また、一次圧p1による作用力が閉位置に向かって作用しているので、弁体17とシート部材16の着座部分のシール面圧が高くなる。それ故、電磁式調圧弁1C,1Dは、一次側から二次側へと燃料ガスが漏れ出ないようにしっかりと弁通路46,46Aを閉じることができる。その他、第3及び第4実施形態の電磁式調圧弁1B,1Cは、第1及び第2実施形態に係る電磁式調圧弁1,1Aと同様の作用効果を夫々奏する。[第5実施形態]第5実施形態に係る調圧弁1Dは、第2実施形態の電磁式調圧弁1Aに類似しており、図6に示すように電磁比例ソレノイド31に代えて圧電アクチュエータ31Dを備えている。弁体駆動手段である圧電アクチュエータ31Dは、圧電素子例えば、ピエゾ素子から成り、印加される印加電圧に応じた駆動力を発生し、押圧ロッド38を介して弁体17を開位置方向に動かして弁通路46Aを開くようになっている。この際、弁通路46Aは、発生する駆動力に応じた開度で開き、調圧弁1Dもまた、圧電アクチュエータ31Dに印加される印加電圧に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第実施形態に係る調圧弁1Dは、第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aと同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[第6実施形態]第6実施形態に係る調圧弁1Eは、第2実施形態の電磁式調圧弁1Aと類似しており、図7に示すように電磁比例ソレノイド31に代えてフォースモータ31Eを備えている。弁体駆動手段であるフォースモータ31Eは、円筒状の永久磁石61の中に可動コイル62が挿入されており、可動コイル62に電流を流すと電流に応じた励磁力が発生し、この励磁力により可動コイル62がヨーク63内を動くようになっている。可動コイル62が動くことでそれに一体的に設けられている押圧ロッド38によって弁体17が開位置方向に押されて弁通路46Aが開く。この際、弁通路46Aは、発生する励磁力に応じた開度で開き、調圧弁1Eもまたフォースモータ31Eに流される電流に応じた圧力に二次圧p2を調圧できるようになっている。その他、第6実施形態に係る調圧弁1Eは、第2実施形態に係る電磁式調圧弁1Aと同様の構成を有しており、同様の作用効果を奏する。[その他の実施形態]本実施形態では、圧力帰還室25の二次圧p2をダイアフラムシール21で受圧しているが、必ずしもダイアフラムシールでなくてもよく、Oリングなどの低圧シール部材であってもよい。"