"ウエハ形状物品を処理するための装置であって、前記物品に対して実行される処理動作中に所定の配置に前記ウエハ形状物品を維持するよう適合されたチャックを備え、前記チャックは、チャック本体と、処理される前記ウエハ形状物品を支持するように適合されて前記チャック本体に対して配置された複数のピンアセンブリとを備え、前記ピンアセンブリの少なくとも1つは、化学的不活性材料から形成されるとともに一端に導電性のインレイを備え、前記インレイは、軸受要素と物理的および電気的に係合するよう適合される、装置。請求項1に記載の装置であって、前記チャックは、半導体ウエハの枚葉式ウェット処理のための処理チャンバによって囲まれたスピンチャックである、装置。請求項1に記載の装置であって、前記軸受要素は、導電性のニードル軸受である、装置。請求項1に記載の装置であって、前記チャックは、スピンドルと係合して、前記スピンドルによって支持されるよう適合されており、前記チャックは、さらに、前記少なくとも1つのピンアセンブリから前記軸受要素を通って前記スピンドルに至る導電路を備える、装置。請求項4に記載の装置であって、前記チャック本体は、下側部分に結合された上側部分を備え、それらの部分の間には内部ギャップが形成されており、前記導電路は、前記内部ギャップ内に提供される、装置。請求項5に記載の装置であって、前記導電路は、前記内部ギャップ内に配置された1または複数の導電性要素を備える、装置。請求項1に記載の装置であって、前記ピンアセンブリは、前記ウエハ形状物品が前記チャック上で配置される領域の周りに円形に沿って配置され、前記ピンアセンブリの各々は、化学的不活性材料から形成されるとともに一端に導電性のインレイを備え、前記インレイの各々は、軸受要素と物理的および電気的に係合するよう適合される、装置。請求項7に記載の装置であって、前記チャックは、スピンドルと係合して、前記スピンドルによって支持されるよう適合されており、前記チャックは、さらに、前記ピンアセンブリから前記軸受要素を通って前記スピンドルに至る導電路を備える、装置。請求項8に記載の装置であって、前記導電路は、前記軸受要素に電気的に接続された導電性のシートと、前記シートに電気的に接続された半径方向の導電体と、前記半径方向の導電体に電気的に接続され、前記チャックが前記スピンドルと係合した時に前記スピンドルに電気的に接続されるよう適合された導電部材と、を備える、装置。ウエハ形状物品を処理するための装置で用いる構造であって、ピンアセンブリを備え、前記ピンアセンブリは、化学的不活性材料から形成されるとともに一端に導電性のインレイを備える、構造。請求項10に記載の構造であって、前記インレイは、軸受要素と物理的および電気的に係合するよう適合される、構造。請求項11に記載の構造であって、前記軸受要素は、導電性のニードル軸受である、構造。請求項10に記載の構造であって、前記ピンアセンブリは、シャフトの一端に偏心配置されたグリップピンを備える、構造。請求項13に記載の構造であって、前記ピンアセンブリは、さらに、前記グリップピンの反対側の端に配置された歯車リングを備える、構造。ウエハ形状物品を処理するための装置で用いるピンアセンブリであって、化学的不活性な導電性ポリマから形成されるとともに一端に導電性のインレイを備える、ピンアセンブリ。図1において、特に処理流体による処理中にウエハ形状物品を保持するためのチャック1が、スピンドル10上に取り付けられる。スピンドル10は、チャック1がスピンドル10によって回転されうるように、回転可能であることが好ましい。かかる回転可能なチャックスピンチャックは、半導体ウエハの枚葉式ウェット処理のために処理チャンバによって囲まれてよい。この実施形態において、チャック1は、略カップ形状のベース本体4、円形のカバー2、および、ネイブ6ボスを含むチャック本体を備える。ベース本体4は、ネイブ6が据え付けられる中央開口部を備える。ネイブ6も中央開口部も備えており、その形状は、スピンドル10と動作可能に係合するよう選択される。図1に示した実施形態において、ネイブ6の円錐台形状の中央開口部は、相補的な円錐台形状のスピンドル10に対応する。カバー2は、ベース本体4の上面とカバー2の下面との間に内部ギャップが提供されるように、その外周の環状リブを介してベース本体4の外縁上に据え付けられる。カバー2は、略C字形の断面を有しており、基本的に連続的な上側部分と環状の下側部分とを備える。カバー2の上側部分および下側部分は、内部ガス分配チャンバ45を形成するために、互いに離れている。カバー2の環状の下側部分は、回転ディスク5を介してネイブ6の一端の周囲領域に機械的に係合する。したがって、チャック1がスピンドル10上に据え付けられると、スピンドル10の遠位端は、ネイブ6の中央開口部を通ってガス分配チャンバ45内へ伸びる。スピンドル10は、中空であり、遠位端に複数の半径方向の貫通孔42を備えることが好ましい。したがって、中空のスピンドル10を通して供給される加圧ガスは、これらの貫通孔42を介してガス分配チャンバ45内に方向付けられうる。カバー2は、さらに、ガス分配チャンバからカバー2の上面まで伸びる環状に配置された複数の孔48を備える。したがって、ウエハが存在する時に、その処理中にウエハがガスクッション上に浮遊されうるように、中空のスピンドル10、貫通孔42、ガス分配チャンバ45、および、孔48を通して、ガスが供給されてよい。かかるガスは、ベルヌーイの法則に基づいてチャック1にウエハを固定するのに役立つよう用いられてもよい。歯車リム22が、ベース本体4の上面およびカバー2の下面の間に形成されたギャップ内に収容されている。この歯車リム22は、ネイブ6と結合されており、その半径方向外向きに伸びる周囲の歯を介して複数のピンアセンブリ18の各々の歯車20とかみ合う。図2に例として示すように、各ピンアセンブリ18は、さらに、歯車20から伸びるシャフトを備えており、シャフトは、カバー2の穴に回転可能に受け入れられ、シャフトの回転軸に対して偏心して配置されたグリップピン19を有する。各ピンアセンブリ18は、ニードル軸受16および関連するらせんバネ15によってカバーに向かって上向きに付勢されており、らせんバネは各々、ベース本体4の外側上方に伸びる周辺エッジ内に形成された凹部内に配置されている。歯車リム22を用いてピンアセンブリ18のシャフトを回転させることにより、チャック1の回転軸からグリップピン19までの半径方向の距離が変化しうる。歯車リムおよびチャック本体を相対的に移動させて、偏心配置されたピンを回転させるメカニズムは、米国特許第4,903,717号および第5,513,668号に例として記載されているとおり、周知のものである。グリップピン19は、チャック1上に保持されたウエハ形状物品例えば、半導体ウエハ、図示せずの側方保持のための留め具として機能する。ウエハ処理で時々用いられる腐食性の高い化学物質に対して比較的不活性な材料からチャックの構成要素ウエハ支持ピンなどを形成することは周知である。かかる材料は、特に、ポリビニリデンフルオライドPVDF、ポリエーテルエーテルケトンPEEK、および、ポリテトラフルオロエチレンPTFEを含む。上述のように、これらの非導電材料は、静電荷の望ましくない蓄積を引き起こし、汚染物質の蓄積のリスクまたは静電放電によるウエハ上の集積回路の電子素子への損傷のリスクにつながりうる。本発明によると、ピンアセンブリ18の内の1または複数は、静電気散逸材料すなわち導電材料導電性プラスチックなどから形成される。結果として、静電荷は、導電性のピンアセンブリ18を通して散逸される。十分な導電性を有する任意の比較的導電性のプラスチック材料を利用できることは明らかである。例えば、適切な導電性プラスチック材料は、DINIEC60093試験法の下でそれぞれ≦106Ωcmの体積抵抗率および≦106Ωの表面抵抗率を示すと報告され商標名SIMONAPVDF-ELで販売されているものなど、導電性カーボンを包含するポリビニリデンフルオライドを含む。他の比較的導電性のプラスチックは、例えば、商標名FluonLM-ETFEAH-3000で販売されているようなカーボン充填エチレンテトラフルオロエチレン、ならびに、例えば、カーボン繊維シートおよびポリマ層の複合材料を含み、層の方向でそれぞれ約101Ωcmの体積抵抗率および101Ωの表面抵抗率、層に垂直な方向でそれぞれ100Ωcmの体積抵抗率および101Ωの表面抵抗率を示し、商標名VESPELCR-6110でDupont社が販売しているようなカーボン繊維充填パーフルオロアルコキシを含む。図2に最も良く示されているように、ピンアセンブリ18からチャック1を通ってスピンドル10に至る導電路が提供されている。図2を参照すると、導電性のバネシート14が、らせんバネ15の下に電気接触して配置されている。らせんバネ15およびニードル軸受も、導電材料から形成される。導電リング13が、バネシート14に例えば、金属のネジによって電気的に接続されている。また、1または複数の半径方向に伸びる導電体12が、ベース本体4の上面に結合されており、導電リング13に例えば、金属のネジによって電気的に接続されている。図2からわかるように、バネシート14、導電リング13、および、半径方向に伸びる導電体12はすべて、ベース本体4の上面とカバー2の下面との間に形成された内部ギャップ内に配置される。導電部材11金属で形成されることが好ましいが、半径方向に伸びる導電体12からベース本体4およびネイブ6を通って伸びている。導電部材11は、チャック1がスピンドル10上に据え付けられた時に上述のチャック1の導電路がスピンドルこれも導電性であるに電気的に接続されるように、金属バネを備えることが好ましい。このように、チャック1は、ピンアセンブリ18、ニードル軸受16、らせんバネ15、バネシート14、導電リング13、半径方向の導電体12、および、導電部材11を通る導電路を提供する。スピンドル10上に据え付けられると、上述の導電路は、導電部材11を介してスピンドル10につながり、スピンドル10は、例えば、関連するツール支持構造またはその他の適切な導電性シンクに電気的に接続するによって電気的に接地されてよい。ピンアセンブリ18は、さらに、図3に示すように、ピンアセンブリ18の中央穴の中に配置されてその下端まで伸びることで、ニードル軸受と物理的および電気的に接触する導電性のインレイ17金属で形成されることが好ましいを備える。インレイ17埋め込み部材は、さらに、ニードル軸受16を受けることによってピンアセンブリ18およびニードル軸受16の間の電気的接触をさらに強化するためのニードル軸受シート17sを備える。別の実施形態において、ピンアセンブリ218は、図4および図5に示すように提供されてもよい。ピンアセンブリ218は、歯車220および導電性インレイ217を備えており、グリップピン219が、湾曲して直径の小さくなったくびれ部分を備えることを除けば、基本的に図3に示したものと同様である。明らかに、グリップピン219は、横方向および垂直方向の支持をウエハに提供することが可能であり、ベルヌーイの法則に基づくガスクッションを提供しないチャックと併用すれば有益である。従来は、安定した電気的接触を確立するために、動く部品歯車などを過度に締め付けることが求められ、摩擦および摩耗を著しく増大させる結果となっていたが、本発明の上述の特徴は、そのような過度の締め付けの必要なしに静電荷を散逸させる電気経路を確立するという未知の驚くべき利点を提供する。本発明は様々な実施形態に関連して説明されているが、それらの実施形態は、添付の特許請求の範囲の真の範囲および精神によって与えられる保護範囲を限定するための根拠として用いるべきではないことを理解されたい。"