"金属材料どうしを重ね合わせてスポット溶接して形成した溶接部を挟んで第1と第2のプローブを対向させて配置し、前記溶接部の溶接状態を検査するスポット溶接の検査装置において、前記第1プローブは、棒状とした第1芯材と、この第1芯材に巻き回した第1印加コイル及び第1検出コイルを具備し、前記第2プローブは、棒状とした第2芯材と、この第2芯材に巻き回した第2印加コイル及び第2検出コイルを具備し、前記第2印加コイルで生じさせた磁場を前記第1検出コイルで検出する第1モードと、前記第1印加コイルで生じさせた磁場を前記第2検出コイルで検出する第2モードと、前記第1印加コイルで生じさせた磁場を前記第1検出コイルで検出する第3モードと、前記第2印加コイルで生じさせた磁場を前記第2検出コイルで検出する第4モードとを実行することにより検査するスポット溶接の検査装置。前記第1モード及び/または前記第2モードで検出された磁場強度が所定の閾値よりも大きい場合に、前記第3モード及び前記第4モードを実行することなく終了する請求項1に記載のスポット溶接の検査装置。従来の磁気計測方法のうち、スポット溶接部の片側から磁場を印加して遮断した後の検出コイルの信号の減衰を測定する方法では、基本的に磁場を印加して発生した渦電流が磁場遮断後に減衰していく状態を測定している。この方法では、渦電流が表層部近くで発生しているため、深部の状態までを解析することはできなかった。表層部近くの情報でナゲット径を観察することはできるが、ナゲット径の変化は一般に1mm以下の分解能を必要とするため、ナゲットが形成されない不良の場合は検査が容易であるが、ナゲットが形成されているものでどのくらい接合強度が得られているかを測定するには精度が悪いものである。一方、溶接された2つの金属材料にまたがって磁束を導入してスポット溶接部から漏れてくる磁束を測定する方法では、磁場強度と接合強度との間で非常によい相関が得られているものの、印加磁場プローブが段差のある2つの鋼板両方に接触あるいは近づく必要がある。このため測定対象の形状により、印加磁場プローブが当てられない場合があるため、適用できる測定対象に制限があった。また、スポット溶接の対向する電極の片方ずつに印加コイルと検出コイルを設け、10kHz以上の高周波を印加して渦電流を発生させ、ナゲットの形成による、おもに透磁率の変化による渦電流発生の変化をみる方法でも、先に述べた表層部近くでの渦電流の変化を見ているため、深部の状態までを解析することはできなかった。そこで、本発明は、磁気的な検査方法において、スポット溶接による溶接部の表層から深部に至る構造の解析をして、溶接部の信頼性を診断可能とする検査装置を提供することを目的とする。本発明では、金属材料どうしを重ね合わせてスポット溶接して形成した溶接部を挟んで第1と第2のプローブを対向させて配置し、溶接部の溶接状態を検査するスポット溶接の検査装置において、第1プローブは、棒状とした第1芯材と、この第1芯材に巻き回した第1印加コイル及び第1検出コイルを具備し、第2プローブは、棒状とした第2芯材と、この第2芯材に巻き回した第2印加コイル及び第2検出コイルを具備しているものである。特に本発明では、第2印加コイルで生じさせた磁場を第1検出コイルで検出する第1モードと、第1印加コイルで生じさせた磁場を第2検出コイルで検出する第2モードと、第1印加コイルで生じさせた磁場を第1検出コイルで検出する第3モードと、第2印加コイルで生じさせた磁場を第2検出コイルで検出する第4モードとを実行することにより検査することとしている。また、本発明のスポット溶接の検査装置では、第1モード及び/または第2モードで検出された磁場強度が所定の閾値よりも大きい場合に、第3モード及び第4モードを実行することなく終了することにも特徴を有するものである。本発明によれば、それぞれ印加コイルと検出コイルを備えた第1と第2のプローブを用いて、第1~4モードでの磁場の検出により溶接部の溶接状態を検査することにより、溶接部の内部に形成されているナゲット部の内部情報を効率よく、かつ精度よく検出して、溶接部の溶接状態を適正に検査することができる。本発明のスポット溶接の検査装置は、金属材料どうしを重ね合わせてスポット溶接して形成した溶接部を挟んで第1と第2のプローブを対向させて配置し、これらのプローブを用いて溶接部の溶接状態を検査することとしている。特に、第1プローブは、棒状とした第1芯材と、この第1芯材に巻き回した第1印加コイル及び第1検出コイルを具備し、第2プローブは、棒状とした第2芯材と、この第2芯材に巻き回した第2印加コイル及び第2検出コイルを具備している。第1芯材及び第2芯材には、高透磁率の材料を用いることが望ましく、具体的には、比透磁率が100以上のフェライト等が望ましい。このように、高透磁率材からなる第1芯材及び第2芯材を用いることで、溶接部の表から磁場を裏に印加して裏から計測する動作と、裏から磁場を表に印加して表から計測する動作を行うことができ、溶接部の深部の状態を解析することができる。第1芯材には第1印加コイルと第1検出コイルを巻き回すとともに、第2芯材には第2印加コイルと第2検出コイルを巻き回しており、プローブの配置交換を行うことなく計測でき、また、片側だけの計測に比べてより精度の高い計測を可能とすることができる。一方、例えば、第1プローブの第1印加コイルによって磁場を検査対象に印加して、第1検出コイルによって計測することにより、検査対象を貫通する磁場ではなく、検査対象の表面層に発生した渦電流の情報を検出することができる。この結果、検査対象の表面からの深さ方向の情報を得ることができる。このとき、第1検出コイルの信号は、第1印加コイルと同じ周波数で検波するロックイン検波手段で検出している。磁気計測においては、商業電源からの磁気ノイズなど環境の磁気雑音があるため誤差が生じやすいが、このロックイン検波手段を用いることによって、第1印加コイルに同期した検出信号だけが取り出せるので、雑音を除去してより微弱な信号だけを取り出すことができる。第2プローブでも同様である。第1印加コイル及び第2印加コイルから印加する磁場はパルス状としており、様々な周波数を含んだ磁場として検査対象に印加することができる。ここで、第1検出コイル及び第2検出コイルによって検出した信号をフーリエ変換すると、各周波数の印加磁場に対する信号として分解することができる。印加磁場の周波数の違いは、磁場を印加して発生した渦電流の深さの違いとして表わすことができる。この渦電流が発生できる深さは次式の表皮深さδとして表される。δ=1/πμfσ12ここで、μは透磁率であり、σは導電率、fは周波数である。従って、印加磁場の周波数から、磁場が印加された検査対象の表面からの深さ方向に関する情報を取り出すことができる。ロックイン検波手段によってロックイン検波した信号では、印加磁場の周波数を走査することにより各周波数に対する結果を得ることができ、また、パルス状の磁場を印加して検出した信号では、フーリエ変換することによって各周波数に対する結果を得ることができる。第1検出コイル及び第2検出コイルの検出感度は、周波数によって異なるので、各周波数に対する感度補正をする必要がある。また、第1検出コイル及び第2検出コイルの検出感度は、印加した磁場強度も周波数によって異なることが一般であり、特にパルス状の磁場では含まれている各周波数の強度は異なっている。このため、検査対象がない時に計測した各周波数における検出信号強度によって、検査対象を計測した時の各周波数における検出信号強度を規格化している。この規格化により、周波数の違いによる印加磁場強度の違いに影響されない信号を得ることができる。また各位相情報も検査対象がない場合に取った時の位相を基に,検査対象を計測した時の位相変化量を計測するので、正確な各周波数に対する検査対象の位相情報を得ることができる。以下、本発明の実施形態を、添付する図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態である検査装置の概略図である。検査装置は、第1プローブ11と第2プローブ12を具備しており、第1プローブ11と第2プローブ12は、金属材料5どうしを重ね合わせてスポット溶接して形成した溶接部を挟んで配置することとしている。本実施形態では、金属材料5として、厚みが12mmの鋼板を用いている。図示していないが、第1プローブ11と第2プローブ12は、それぞれ支持部材に装着しており、溶接部を挟んで互いに正対させて第1プローブ11と第2プローブ12を配置している。本実施形態では、支持部材は側面視C字状の部材としており、スポット溶接されている金属材料5と接触しない形状としている。第1プローブ11は、棒状とした第1芯材21と、この第1芯材21に巻き回した第1印加コイル31と第1検出コイル41を具備している。同様に、第2プローブ12は、棒状とした第2芯材22と、この第2芯材22に巻き回した第2印加コイル32と第2検出コイル42を具備している。第1芯材21及び第2芯材21は、それぞれ比透磁率800のフェライト棒であって、本実施形態では、φ3mmの丸棒状としている。第1印加コイル31及び第2印加コイル32は、それぞれ銅線を第1芯材21及び第2芯材22に巻き回して形成しており、本実施形態では巻き数を30回としている。第1検出コイル41及び第2検出コイル42も、それぞれ銅線を第1芯材21及び第2芯材22に巻き回して形成しており、本実施形態では巻き数を15回としている。各芯材、各コイルの設計条件は、スポット溶接される金属材料5の材質やスポット溶接で形成される溶接部の大きさに合わせて適宜調整してよい。検査装置は、第1プローブ11と第2プローブ12の他に、第1印加コイル31と第2印加コイル32にそれぞれ所定の交流電流を印加する交流電源6と、第1検出コイル41から出力された信号を増幅して出力する第1アンプ71と、第2検出コイル42から出力された信号を増幅して出力する第2アンプ72とを備えている。さらに、検査装置は、検査装置で行われる検査の実行を制御するとともに第1プローブ11及び第2プローブ12を用いた検出結果の解析を行う制御部10を備えている。制御部10では、交流電源6から出力された交流電流を第1印加コイル31と第2印加コイル32のいずれに入力するかを切り替える入力切替器11を制御することとしている。なお、交流電源6は、発振器8から入力された所定周波数の信号に基づいて所定周波数とした交流電流を出力することとしており、発振器8は制御部10の制御に基づいて所定周波数の信号を生成して交流電源6に入力することとしている。また、制御部10では、第1アンプ71を介して第1検出コイル41から出力された信号と、第2アンプ72を介して第2検出コイル42から出力された信号のいずれの信号を制御部10に入力させるかを切り替える出力切替器12を制御することとしている。出力切替器12から出力される信号は、制御部10だけでなくロックイン検波手段であるロックイン検波器9にも入力している。そして、ロックイン検波器9では、発振器8から出力された所定周波数の信号を入力して、この信号の周波数と同じ周波数成分を抽出して、制御部10に入力させることとしている。また、入力切替器11には、交流電源6から出力された交流電流だけでなく、制御部10の制御に基づいて所定のパルス状とした電流信号を出力するパルス信号発生電源13から出力された電流信号も入力可能としてもよい。すなわち、第1印加コイル31及び第2印加コイル32には、交流電源6とパルス信号発生電源13のいずれか一方から入力された電流信号を入力可能としてもよい。図示していないが、検査装置には、検査対象であるスポット溶接された金属材料5を固定支持するとともに平面方向に水平移動させるステージを設けており、このステージを制御部10の制御に基づいて移動させながら溶接部を検査することとしている。なお、検査装置は、ステージではなく、第1プローブ11と第2プローブ12を支持した支持部材を移動させる構造としてもよい。このように構成した検査装置において、制御部10は、溶接部の検査を行うに当たり、次の4つのモードを実行することにより検査することとしている。第1モードでは、制御部10は、交流電流を第2印加コイル32に通電して生じさせた磁場を第1検出コイル41で検出している。第2モードでは、制御部10は、交流電流を第1印加コイル31に通電して生じさせた磁場を第2検出コイル42で検出している。第3モードでは、制御部10は、交流電流を第1印加コイル31に通電して生じさせた磁場を第1検出コイル41で検出している。第4モードでは、制御部10は、交流電流を第2印加コイル32に通電して生じさせた磁場を第2検出コイル42で検出している。なお、第1モードと第4モードは、第2印加コイル32で磁場を生成しているため、場合によっては第1検出コイル41と第2検出コイル42で同時に検出を行ってもよく、第2モードと第3モードは、第1印加コイル31で磁場を生成しているため、場合によっては第1検出コイル41と第2検出コイル42で同時に検出を行ってもよい。あるいは、第3モードと第4モードは、それぞれ片面側だけの検査であるので、同時に行ってもよい。第1モード及び第2モードでは、制御部10には、第1検出コイル41及び第2検出コイル42から出力された信号のうち、ロックイン検波器9において発振器8から入力された周波数の基準信号と同期した成分の信号だけを入力し、この信号から得られる磁場強度情報及び位相情報などの解析を行っている。以下において、スポット溶接によって形成された溶接部に対して測定を行った結果を説明する。ここで、検査対象には、厚み12mmの鋼板からなる金属材料5に対してスポット溶接を行ったものを用いている。スポット溶接を行う際に、スポット溶接の電極径はφ65mmとし、電極に交流電流を印加してスポット溶接を行っているが、溶接部の接合強度の異なるサンプルを作成するために、交流電流のサイクル数を5サイクル、75サイクル、125サイクル、15サイクル、175サイクルとした交流電流を電極に印加して溶接部をそれぞれ作成した。溶接部の測定を行う際には、第1プローブ11と第2プローブ12に対して金属材料5を移動させることにより測定位置を変えながら複数の位置で測定を順次行っており、特に、測定位置は、溶接部の中心を通過する直線上に設けた。図2は、第1モード、すなわち、交流電源6から出力された交流電流を第2印加コイル32に通電して生じさせた磁場を第1検出コイル41で検出した結果である。交流電流の周波数は20Hzとしている。溶接部の中心近傍である4mmの位置において最も磁場強度が小さくなり、かつ、スポット溶接のサイクル数が大きくなるほど磁場強度が小さくなっていることがわかる。ここで、本第1モードでは、周波数を100Hz以下の極低周波で測定することにより渦電流の影響を受けずに計測することができる。図3は、第2モード、すなわち、交流電源6から出力された交流電流を第1印加コイル31に通電して生じさせた磁場を第2検出コイル42で検出した結果である。交流電流の周波数は20Hzとしている。第2モードでも第1モードと同様に、溶接部の中心近傍である4mmの位置において最も磁場強度が小さくなり、かつ、スポット溶接のサイクル数が大きくなるほど磁場強度が小さくなっていることがわかる。図4は、磁場強度と引っ張り強度の相関を示すグラフであり、図2の4mm地点での磁場強度の値を代表値として、プロットしたものである。引っ張り強度は、スポット溶接されている金属材料5を引っ張り試験機で引っ張って破断するまでの最大値としている。図4において、相関係数は094である。同様に図3を用いて引っ張り強度の評価を行っても相関係数は094と一致しており、第1モードと第2モードにおいて差異はなく、どちらも溶接部の内部情報が正確に検出していることが分かる。また、この結果から、引っ張り強度が強いスポット溶接ほど磁場強度透磁率が低くなることが確認でき、両者の間には非常に高い相関が得られることが分かった。したがって、検査装置では、第1モード及び/または第2モードで溶接部の検査を行って、磁場強度が予め設定した所定の閾値よりも大きい場合には、溶接不良と直ちに判定して、第3モード及び第4モードを実行することなく検査を終了してもよい。このように、接合不良が生じていると思われる接合部での第3モード及び第4モードの検査を実行しないことにより、不必要な検査の実行を抑制して、検査効率の向上を図ることができる。図5は、第3モード、すなわち、交流電源6から出力された交流電流を第1印加コイル31に通電して生じさせた磁場を第1検出コイル41で検出した結果である。交流電流の周波数は、第1モード及び第2モードの場合よりも大きく、1kHzとして、溶接部の表面層を検査可能としている。上述したように、印加磁場の周波数の違いは、磁場を印加して発生した渦電流の深さの違いとして現れるため、第3モードでは、交流電源6から出力する交流電流の周波数を適宜変更しながら測定することが望ましい。図6は、第4モード、すなわち、交流電源6から出力された交流電流を第2印加コイル32に通電して生じさせた磁場を第2検出コイル42で検出した結果である。交流電流の周波数は1kHzとして、溶接部の表面層を検査可能としており、第3モードの場合と同様に、交流電源6から出力する交流電流の周波数を適宜変更しながら測定することが望ましい。図5と図6の比較から明らかなように、第3モードでは、スポット溶接時のサイクル数と磁場強度との間に相関性が見られるのに対して、第4モードでは、スポット溶接時のサイクル数と磁場強度との間に相関性が見られず、溶接部の表と裏とで内部の構造が異なっていることがわかる。これは、スポット溶接する場合に、一般に、電流を流す電極の一方は、先端部を先細あるいは丸みをもった形状とし、他方の電極は先端部を平らな形状としているため、スポット溶接の際に溶接部に流れる電流の分布が、溶接部の表と裏とで異なり、その結果、溶接部に形成されるナゲットの形状、及び表面からの深さ分布が異なっているためだと考えられる。特に、丸みをもった先端部を有する電極を当接させて溶接部を形成した場合には、インデテーション部と呼ばれるくぼみが生じやすく、また電流もここに集中するので、より浅い位置でナゲットが形成されることとなっている。第3モードと第4モードでは、それぞれ印加コイル側の検出コイルで検出を行っているため、第1印加コイル31と第2印加コイル32を同時に駆動して、第1検出コイル41と第2検出コイル42で測定することにより溶接部の表層部の構造を調べることもできる。すなわち、第3モードと第4モードを同時に行うこともできる。上述した第3モード及び第4モードでは、溶接部の深さ分布を検出するために、交流電源6から出力する交流電流の周波数を様々に異ならせる必要があり、制御部10の制御に基づいて発振器8から所定周波数とした信号を交流電源6に順次入力して測定を行うこととしているが、パルス信号発生電源13を用いることにより、より簡便に測定を行うことができる。すなわち、パルス信号発生電源13から出力されるパルス状の交流電流を第1印加コイル31や第2印加コイル32に入力するとともに、第1検出コイル41や第2検出コイル42から出力された信号をフーリエ変換によって各周波数に分解することにより、一度で複数種類の周波数の測定を行うことができる。したがって計測時間を短縮させることができる。なお、第3モード及び第4モードにおいても、周波数によって印加磁場強度が異なるとともに各検出コイルの感度も異なり、特にパルス波形とした交流電流を用いた場合には、各周波数の磁場強度が大きく異なっている。このため、あらかじめ検査対象の金属材料5がない時のバックグランド計測を行い、各周波数における各検出コイルの信号強度と位相を解析しておくことが望ましい。そして、検査対象の金属材料5の測定を行い、第1検出コイル41及び第2検出コイル42の信号強度の規格化を行うとともに、位相の変化量を算出することにより、スポット溶接部の表面からの内部構造を解析することができる。本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種々の変形例や設計変更などをその技術的範囲内に包含することは云うまでもない。"