燃料電池用電極であって、触媒層と、前記触媒層に隣接していて撥水性と導電性とを有する撥水層と、を備え、前記撥水層は、貯蔵弾性率が5000Pa以上10000Pa以下であり、前記触媒層が積層される積層面に略垂直な面直方向に沿って前記触媒層に一部が浸入している、燃料電池用電極。請求項1に記載の燃料電池用電極であって、前記触媒層と前記撥水層とは、0.5MPa以上3MPa以下の圧力、摂氏50度以上150度以下の温度、30秒以上10分以下の時間の条件で圧着されている、燃料電池用電極。請求項1または請求項2に記載の燃料電池用電極であって、前記撥水層の前記触媒層への浸入量は、前記面直方向に沿った前記触媒層の厚さの5パーセント以上20パーセント以下である、燃料電池用電極。燃料電池であって、電解質膜と前記電解質膜の両面に配置された請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の燃料電池用電極とを含む発電体と、前記発電体の両面に配置され、炭素繊維で形成されたガス拡散層と、を備え、前記ガス拡散層から突出した炭素繊維は、前記撥水層まで侵入し、かつ、前記電解質膜には侵入していない、燃料電池。燃料電池用電極の製造方法であって、触媒層と、貯蔵弾性率が5000Pa以上10000Pa以下であると共に撥水性と導電性とを有する撥水層と、を準備する工程と、前記触媒層と前記撥水層とを、前記触媒層が積層される積層面に略垂直な面直方向に沿って前記触媒層に前記撥水層の一部が浸入するように圧着する工程と、を備える、燃料電池用電極の製造方法。上記燃料電池では、ガス拡散層から突出した炭素繊維が触媒層のみならず、触媒層を通過して電解質膜に侵入して電解質膜を損傷する場合があり、損傷された部分を起点とした電解質膜の劣化の促進や短絡による燃料電池の性能が低下するおそれがあった。本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、燃料電池の性能の低下を抑制できる技術を提供することを目的とする。上記課題の少なくとも一部を解決するために、本発明は、以下の形態または適用例として実現することが可能である。[適用例1]燃料電池用電極であって、触媒層と、前記触媒層に隣接していて撥水性と導電性とを有する撥水層と、を備え、前記撥水層は、貯蔵弾性率が5000Pa以上10000Pa以下であり、前記触媒層が積層される積層面に略垂直な面直方向に沿って前記触媒層に一部が浸入している、燃料電池用電極。この燃料電池用電極では、触媒層と、撥水性と導電性とを有する撥水層と、を備え、撥水層の貯蔵弾性率が5000Pa以上10000Pa以下であり、触媒層が積層される積層面に略垂直な面直方向に沿って触媒層に撥水層の一部が浸入している。そのため、この燃料電池用電極では、触媒層と撥水層との接合性は良好であるので、触媒層と撥水層との境界に隙間ができずに耐久性が良く、燃料電池の性能の低下を抑制した燃料電池を提供することができる。[適用例2]適用例1に記載の燃料電池用電極であって、前記触媒層と前記撥水層とは、0.5MPa以上3MPa以下の圧力、摂氏50度以上150度以下の温度、30秒以上10分以下の時間の条件で圧着されている、燃料電池用電極。この燃料電池用電極では、触媒層と撥水層とを0.5MPa以上3MPa以下の圧力、摂氏50度以上150度以下の温度、30秒以上10分以下の時間の条件で圧着している。そのため、この燃料電池用電極では、圧着の前後で面直方向に沿ったガス拡散層および撥水層の厚さの減少量は比較的小さいので、ガス拡散層に含まれている炭素繊維が電解質膜には侵入せずに損傷しないため、電解質膜の劣化や短絡による燃料電池の性能の低下を抑制することができる。[適用例3]適用例1または適用例2に記載の燃料電池用電極であって、前記撥水層の前記触媒層への浸入量は、前記面直方向に沿った前記触媒層の厚さの5パーセント以上20パーセント以下である、燃料電池用電極。この燃料電池用電極では、撥水層の触媒層に浸入量は、面直方向に沿った触媒層の厚さの5パーセント以上20パーセント以下であるので、触媒層への撥水層の染み込み過ぎではなく、触媒層に含まれる触媒金属が効率よく分散するので、燃料電池の性能の低下を抑制できる。また、この燃料電池用電極では、撥水層が触媒層に適度に浸入するので、触媒層と撥水層との境界の隙間によるラジカルだまりの発生や膜電極接合体の変形がなく、燃料電池の性能の低下を抑制することができる。[適用例4]燃料電池であって、電解質膜と前記電解質膜の両面に配置された適用例1ないし適用例3のいずれかに記載の燃料電池用電極とを含む発電体と、前記発電体の両面に配置され、炭素繊維で形成されたガス拡散層と、を備え、前記ガス拡散層から突出した炭素繊維は、前記撥水層まで侵入し、かつ、前記電解質膜には侵入していない、燃料電池。この燃料電池では、電解質膜と電極とを含む発電体の両面に配置されると共に炭素繊維で形成されたガス拡散層から突出した炭素繊維は、撥水層まで侵入して、かつ、電解質膜には侵入していないので、電解質膜を損傷しないで炭素繊維と撥水層との接合性が良好で、燃料電池を作製する際のハンドリングを向上させることができる。なお、本発明は、種々の態様で実現することが可能であり、例えば、燃料電池、燃料電池の検査方法および製造方法、燃料電池スタック、燃料電池スタックの検査方法および製造方法、燃料電池を備えた移動体、燃料電池を備えた移動体の検査方法および製造方法等の態様で実現することができる。次に、本発明の実施の形態を実施例に基づいて以下の順序で説明する。A.実施例:A-1.燃料電池の構成:A-2.電極の製造方法:B.変形例:A.実施例:A-1.燃料電池の構成:図1は、本発明の実施例における燃料電池100の構成を概略的に示す説明図である。本実施例の燃料電池100は、比較的小型で発電効率に優れる固体高分子型燃料電池である。燃料電池100は、セパレータ140とカソード側ガス流路層132とカソード側ガス拡散層122とカソード側撥水層152と膜電極接合体以下MEAMembraneElectrodeAssemblyとも呼ぶ110とアノード側撥水層154とアノード側ガス拡散層124とアノード側ガス流路層134とから構成されたセルが複数積層されて締結されたスタック構造を有している。なお、撥水層は、MPLMicroPorousLayerとも呼ばれている。図1に示すように、MEA110は、電解質膜112と、電解質膜112の一方の側に配置されたアノード触媒層116と、電解質膜112の他方の側に配置されたカソード触媒層114と、から構成されている。アノード触媒層116は電解質膜112と反対側でアノード側撥水層154と接していて、アノード側撥水層154はアノード触媒層116の反対側でアノード側ガス拡散層124と接している。アノード側ガス拡散層124とセパレータ140との間には、アノード側ガス流路層134が配置される。また、カソード触媒層114は電解質膜112と反対側でカソード側撥水層152と接していて、カソード側撥水層152はカソード触媒層114と反対側でカソード側ガス拡散層122と接している。カソード側ガス拡散層122とセパレータ140との間にはカソード側ガス流路層132が配置される。アノード側電極164はアノード触媒層116とアノード側撥水層154とアノード側ガス拡散層124とで構成されており、カソード側電極162はカソード触媒層114とカソード側撥水層152とカソード側ガス拡散層122とで構成されている。なお、本明細書では、カソード側撥水層152およびアノード側撥水層154をまとめて撥水層とも呼び、カソード側電極162およびアノード側電極164をまとめて電極とも呼ぶ。また、アノード側ガス拡散層124およびカソード側ガス拡散層122をまとめてガス拡散層とも呼び、アノード触媒層116およびカソード触媒層114をまとめて触媒層とも呼ぶ。図1には、燃料電池100の構成をわかりやすく示すために、1つのMEA110に対応する1つのセルのみを示し、他のセルの図示を省略している。電解質膜112は、フッ素系樹脂材料あるいは炭化水素系樹脂材料により形成されたイオン交換膜であり、湿潤状態において良好なプロトン伝導性を有する。触媒層114、116は、電極反応を促進する触媒を提供する層であり、触媒金属担持担体と電解質としてのアイオノマーとを含む材料により形成されている。触媒金属担持担体としては、担体カーボンブラック、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー等に、触媒金属白金、パラジウム等が担持されたものを用いることができる。アイオノマーとしては、パーフルオロスルホン酸樹脂材料ナフィオン登録商標等を用いることができる。ガス拡散層122、124は、電極反応に用いられる反応ガス酸化ガスおよび燃料ガスを面方向燃料電池100の積層方向図1参照に略直交する方向に拡散させる層であり、例えばカーボンクロスやカーボンペーパーのような複数の炭素繊維Cfを樹脂で固めた拡散層基材により形成されている。撥水層152、154は、撥水性を得るために、拡散層用基材を撥水ペーストでコーティング撥水処理されたもので形成されている。撥水ペーストとしては、例えば、カーボン粉末と撥水性樹脂ポリテトラフルオロエチレンPTFE等との混合溶液を使用している。セパレータ140は、ガスを透過しない緻密質であると共に導電性を有する材料、例えば圧縮成型された緻密質カーボン、金属、導電性樹脂により形成されている。アノード側ガス流路層134およびカソード側ガス流路層132は、反応ガスを燃料電池100の面方向に沿って流通させる反応ガス流路として機能する層であり、例えば、金属多孔体やカーボン多孔体などの導電性を有する多孔質材料により形成されている。図1では図示を省略しているが、燃料電池100は、いずれも燃料電池100を積層方向に貫通する燃料ガス供給マニホールドと、燃料ガス排出マニホールドと、酸化ガス供給マニホールドと、酸化ガス排出マニホールドと、を有している。燃料電池100に対して供給された燃料ガスは、燃料ガス供給マニホールドを介して各セルのアノード側ガス流路層134に分配され、アノード側ガス拡散層124で拡散され、さらにMEA110のアノード側に供給されてMEA110における電気化学反応に利用される。反応に利用されなかった燃料ガスは、燃料ガス排出マニホールドを介して外部に排出される。また、燃料電池100に対して供給された酸化ガスは、酸化ガス供給マニホールドを介して各セルのカソード側ガス流路層132に分配され、カソード側ガス拡散層122で拡散され、さらにMEA110のカソード側に供給されてMEA110おける電気化学反応に利用される。反応に利用されなかった酸化ガスは、酸化ガス排出マニホールドを介して外部に排出される。燃料ガスとしては、例えば水素ガスが用いられ、酸化ガスとしては、例えば空気が用いられる。図2は、本発明の実施例における燃料電池100の断面構成をより詳細に示す説明図である。図2には、図1におけるX1部を拡大して示している。図2に示すように、アノード触媒層116は多数の触媒金属担持担体およびアイオノマーの触媒層用粉体P1が堆積して構成され、アノード側撥水層154は撥水性部材を含む複合粉体P2で構成されている。なお、電解質膜112については、図1と同様にハッチングで表し、構成の図示を省略している。図2に示すように、アノード側撥水層154は一部がアノード触媒層116に浸入している。アノード側撥水層154がアノード触媒層116の積層方向に沿って浸入している浸入層LPには、アノード触媒層116を構成している触媒層用粉体P1とアノード側撥水層154を構成している複合粉体P2とが混在している。アノード触媒層116とアノード側撥水層154のように、境界面は、ミクロ的に見れば曲面であって、フラットではない。そのため、本実施例では、境界面として、面方向に沿った境界面の各位置における積層方向に沿った位置を平均して算出したフラットな面を境界面とみなしている。この場合、図2に示すように、アノード触媒層116は、電解質膜112と隣接する面からアノード触媒層境界面Bp1までであり、積層方向に沿った厚さがTaである。また、アノード側撥水層154は、アノード側撥水層境界面Bp2までアノード触媒層116に浸入している。そのため、図2に示すように、アノード触媒層116の厚さTaに対するアノード側撥水層154のアノード触媒層116への浸入量Irの比率以下、浸入比率Rtと呼ぶは、Ir/Taで表される。本実施例では、浸入比率Rtは10である。なお、本実施例では、浸入比率Rtが5以上のときに、アノード側撥水層154がアノード触媒層116に浸入しているとみなす。本実施例では、アノード側と同様にカソード側でも、カソード側撥水層152は一部がカソード触媒層114に浸入している。A-2.電極の製造方法:図3は、本発明の実施例における電極162、164の製造方法の流れを示すフローチャートである。最初に、MEA110を作製するステップS200。MEA110は、電解質膜112の一方の片面にアノード触媒層116の白金系の触媒ペーストを塗布し、電解質膜112のもう一方の片面にカソード触媒層114の白金系の触媒ペーストを塗布することで作製される。次に、ガス拡散層122、124を形成する拡散層基材のカーボンペーパーの片面に、カーボン粉末とPTFEとの混合溶液を塗布して撥水層152、154を形成するステップS210。このときに塗布する混合溶液の粘性等の性質によって、撥水層152、154の貯蔵弾性率は変化する。例えば、カーボン粉末を少なくしてPTFEを多くした混合溶液を用いた場合では、撥水層152、154の貯蔵弾性率の数値は低下する。撥水層152、154の貯蔵弾性率が異なると、撥水層152、154の触媒層114、116への浸入量Irは異なる。具体的には、貯蔵弾性率が小さいときには浸入量Irは大きく、貯蔵弾性率が大きいときには浸入量Irは小さくなる。図4は、撥水層152、154の貯蔵弾性率と触媒層114、116への浸入量との関係を示す説明図である。図4では、横軸に貯蔵弾性率を対数で表し、縦軸に触媒層114、116に浸入した撥水層152、154の浸入量Ir図2を表している。なお、本実施例では、触媒層114、116の積層方向に沿った厚さTaは、50μmである。浸入量Irは、走査型電子顕微鏡以下、SEMscanningelectronmicroscopeと呼ぶによって、断面観察により計測している。また、撥水層152、154の貯蔵弾性率の測定には、E型粘度計を使用している。図4に示すように、撥水層152、154の貯蔵弾性率が5000Paから10000Paの範囲の場合に、浸入量Irは5μmであり、浸入比率Rtは10である。浸入比率Rtが10のときに、触媒層114、116と撥水層152、154とは、接合性が良好であることを実験により確認した。なお、浸入比率Rtが5以上20以下の範囲で、触媒層114、116と撥水層152、154との接合性が良好であることを確認した。また、接合性を良好にするために、浸入比率Rtは7以上15以下が好ましく、浸入比率Rtが9以上12以下であるとさらに好ましい。図4に示すように、撥水層152、154の貯蔵弾性率が2000Paの場合には、浸入量Irは50μmであり、すなわち、触媒層114、116の全体に撥水層152、154の複合粉体P2が浸入している。カーボンの複合粉体P2図2は撥水性物質を含んでいるため、触媒層114、116の全体に撥水層152、154の複合粉体P2が浸入すると、触媒層114、116中のプロトンパスを切断してしまうため、燃料電池100の性能の低下といった不具合を生じる場合がある。また、図4に示すように、撥水層152、154の貯蔵弾性率が100000Pa以上の場合には、浸入量Irは0であり、すなわち、触媒層114、116に撥水層152、154の複合粉体P2が全く浸入していない。このとき、触媒層114、116と撥水層152、154との境界に隙間ができて、境界でのラジカルだまりの発生やMEA110の変形による燃料電池100の耐久性の低下といった不具合を生じる場合がある。次に、撥水層152、154およびガス拡散層122、124とMEA110とをホットプレス接合してステップS220、燃料電池100のセルを作製する。本実施例では、1MPa、100°C、3分間の条件でホットプレス接合を行った。図5は、本発明の実施例における燃料電池100の断面構成をより詳細に示す説明図である。図5には、図2におけるX2部を拡大して示している。本実施例では、ガス拡散層122、124を形成するカーボンペーパーの片面に撥水層152、154を作製している。カーボンペーパーには複数の炭素繊維Cfが含まれており、図5に示すように、本実施例の燃料電池100では、アノード側ガス拡散層124に含まれる炭素繊維Cfがアノード側撥水層154に浸入して、さらにアノード側撥水層154から突出してアノード触媒層116まで侵入している場合がある。なお、本実施例では、炭素繊維Cfは電解質膜112には侵入していない。図6は、比較例における燃料電池100の断面構成をより詳細に示す説明図である。比較例の燃料電池100aでは、5MPa、100°C、3分間の条件でホットプレス接合を行っている。比較例の燃料電池100aでは、本実施例よりも高い圧力でホットプレス接合を行っているため、本実施例の燃料電池100と比較して、アノード側ガス拡散層124およびアノード側撥水層154が積層方向に沿って厚さが小さくなる場合がある。このとき、アノード側ガス拡散層124に含まれる炭素繊維Cfは電解質膜112まで侵入して、電解質膜112を損傷する場合がある。本実施例では、アノード側ガス拡散層124に含まれる炭素繊維Cfが電解質膜112に浸入しないようにするために、ホットプレス接合の条件は、0.5MPa以上3MPa以下、50°C以上150°C以下、30秒以上10分以下であることが好ましいことを実験により確認した。以上説明したように、本実施例の燃料電池100の電極162、164では、触媒層114、116と撥水性と導電性とを得た撥水層152、154とを備え、撥水層152、154の貯蔵弾性率は5000Pa以上10000Pa以下であり、積層方向に沿って触媒層114、116に撥水層152、154が浸入層LPの分だけ浸入している。そのため、本実施例の燃料電池100の電極162、164では、触媒層114、116とは撥水層152、154との接合性は良好であるので、触媒層114、116と撥水層152、154との境界に隙間ができずに耐久性が良く、性能の低下を抑制した燃料電池100を提供することができる。また、本実施例の燃料電池100では、MEA110と撥水層152、154とを1MPa、100°C、3分間の条件でホットプレス接合を行った。このとき、ホットプレス接合の前後でガス拡散層122、124および撥水層152、154の厚さの減少量は比較的小さいので、ガス拡散層122、124に含まれている炭素繊維Cfは、撥水層152、154や触媒層114、116に侵入するが、電解質膜112には侵入しない。よって、本実施例の燃料電池100の電極162、164では、ガス拡散層122、124から突出した炭素繊維Cfが電解質膜112を損傷しないので、電解質膜112の損傷された部分を起点とした電解質膜112の劣化や短絡による燃料電池100の性能の低下を抑制することができる。また、本実施例の燃料電池100では、ガス拡散層122、124から突出した炭素繊維Cfが触媒層114、116に侵入してめり込んでいるため、触媒層114、116と撥水層152、154との接合性が良好になり、作製する際のハンドリングを向上させることができる。また、本実施例の燃料電池100の電極162、164では、撥水層152、154の触媒層114、116への積層方向に沿った浸入比率Rtは10であり、浸入比率Rtは5以上20以下である。そのため、本実施例の燃料電池100では、触媒層114、116への撥水層152、154の染み込み過ぎではなく、触媒層114、116に含まれる触媒金属が効率よく分散するので、燃料電池100の性能の低下を抑制できる。また、本実施例の燃料電池100の電極162、164では、撥水層152、154が触媒層114、116に適度に浸入するので、触媒層114、116と撥水層152、154との接合性が良好で、境界の隙間によるラジカルだまりの発生やMEA110の変形がなく、燃料電池100の性能の低下を抑制することができる。B.変形例:なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。B.変形例1:上記実施例の燃料電池100の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施例の燃料電池100の電極162、164では、撥水層152、154が触媒層114、116に浸入している部分の浸入比率Rtは、5以上20以下であるが、そうでなくてもよい。例えば、浸入比率Rtが25であっても、触媒層114、116への撥水層152、154の染み込みによって、燃料電池100の性能の低下を抑制することができる。上記実施例の燃料電池100の電極162、164では、触媒層114、116の積層方向に沿った厚さTaは50μmとしたが、そうでなくてもよい。50μmよりも薄くてもよいし、厚くてもよく、例えば、10μmであってもよいし、100μmであってもよい。また、カソード触媒層114とアノード触媒層116との積層方向に沿った浸入量Irが互いに異なる数値であってもよい。また、上記実施例の燃料電池100では、カソード側撥水層152およびアノード側撥水層154を備えているが、これらの一方の撥水層152、154がない燃料電池100の構成であってもよい。上記実施例の燃料電池100の電極162、164では、ガス拡散層122、124から突出した炭素繊維Cfが撥水層152、154や触媒層114、116に侵入したが、そうでなくてもよい。例えば、上記実施例の燃料電池100の製造工程において、ホットプレス接合の前に、撥水層152、154を設けたガス拡散層122、124が触媒層114、116に対向する面に対して突出した炭素繊維Cfの破断処理の工程を設け、炭素繊維Cfが触媒層114、116まで侵入しないようにしてもよい。この場合においても、撥水層152、154が浸入層LPの分だけ触媒層114、116に浸入するので、触媒層114、116と撥水層152、154との接合性を良好にすることができる。上記実施例の燃料電池100の電極162、164では、触媒層114、116および撥水層152、154の境界面として、面方向に沿った境界面の各位置における積層方向に沿った位置を平均して算出したフラットな面を境界面とみなすとしたが、境界面の設定の仕方は種々変形可能である。例えば、境界面の設定において、SEMによって得られた図2に示すような画像における触媒層用粉体P1および複合粉体P2が最も浸入している位置をフラットな境界面とみなす、すなわち、浸入層LPの積層方向に沿った厚さを浸入量Irとみなしてもよい。また、境界面のうち、得られた画像の所定の一点を通り、積層方向に直交する直線をフラットな境界面とみなしてもよい。また、境界面の複数の位置からランダムで取得した任意の位置の5点の平均値、または、中央値と任意の点例えば、画像の境界面の端店とを結んだ直線をフラットな境界面とみなしてもよい。また、触媒層114、116や撥水層152、154の材質例えば、撥水層152、154の貯蔵弾性率によって、境界面の設定の仕方を適時変更してもよい。上記実施例の燃料電池100の電極162、164では、浸入比率Rtが5以上のときに撥水層152、154が触媒層114、116に浸入しているとみなしたが、そうでなくてもよい。触媒層114、116および撥水層152、154の境界面によって、侵入の有無の定義と浸入比率Rtとの関係は適時変更してもよく、例えば、触媒層114、116や撥水層152、154の材質によって変更してもよい。B2.変形例2:上記実施例の燃料電池100の製造方法では、撥水層152、154を設けたガス拡散層122、124とMEA110とをホットプレス接合して、燃料電池100のセルを作製しているが、そうでなくてもよい。例えば、本実施例では、ガス拡散層122、124にカーボン粉末とPTFEとの混合溶液を塗布したが、ガス拡散層122、124とは別に用意した拡散層用基材に混合溶液を塗布して撥水層152、154を作製した後、これをガス拡散層122、124と接合し、その後に、MEA110とホットプレス接合を行ってもよい。また、MEA110にカーボン粉末とPTFEとの混合溶液を塗布して撥水層152、154を形成した後に、ガス拡散層122、124をホットプレス接合して燃料電池100の単位セルを作製してもよい。上記実施例の燃料電池100の製造方法では、ホットプレス接合の条件が0.5MPa以上3MPa以下、50°C以上150°C以下、30秒以上10分以下であることしたが、そうでなくてもよい。例えば、ホットプレス接合の条件が、4MPa、160°C、11分であってもよいし、0.4MPa、45°C、25秒であってもよい。この場合でも、撥水層152、154の貯蔵弾性率が5000Pa以上10000Pa以下であり、撥水層152、154が触媒層114、116に浸入していれば、燃料電池100の性能の低下を抑制することができる。B3.変形例3:上記実施例の燃料電池100の電極162、164の浸入量Irの測定方法として、SEMを用いたが、それ以外の方法、例えば、光学顕微鏡によって断面観察を行って測定してもよい。また、撥水層152、154の貯蔵弾性率をE型粘度計によって測定したが、それ以外の方法、例えば、B型粘度計によって測定してもよい。上述した実施形態、実施例および変形例における構成要素のうち、独立請求項に記載された要素以外の要素は、付加的な要素であり、適宜省略、または、組み合わせが可能である。