過給圧が設定圧を上回った場合に過給圧を低減させるべく開弁するウェイストゲートバルブが付帯した排気ターボ過給機と、過給圧及び吸入空気の温度をパラメータとして燃焼室に供給される吸入空気質量を算出し、吸入空気質量が目標空気質量となるように過給圧を制御する制御装置とを具備する内燃機関であって、前記制御装置が、吸入空気質量が目標空気質量を上回る場合には前記ウェイストゲートバルブを開弁し、前記ウェイストゲートバルブを全開としてもなお吸入空気質量が目標空気質量を上回る場合に、スロットルバルブを閉止方向に作動させる制御を行うことを特徴とする内燃機関。コンプレッサ下流とコンプレッサ上流とを連通するエアバイパス通路と、このエアバイパス通路中に設けられ、スロットルバルブ下流の圧力が直接伝達される第1の圧力室、スロットルバルブ下流の圧力が遅延されて伝達される第2の圧力室、及び前記第1の圧力室内の圧力が前記第2の圧力室内の圧力を下回った場合に開放位置をとり前記第1の圧力室内の圧力が前記第2の圧力室内の圧力と等しい場合に閉止位置をとる弁体を有するエアバイパスバルブとをさらに具備し、スロットルバルブを閉止方向に作動させる速度が、スロットルバルブ下流の圧力変化に伴い前記第1及び第2の圧力室の間に圧力差を発生させ該圧力差により前記エアバイパスバルブの弁体を閉止位置から開放位置に移動させるために必要な速度よりも低い請求項1記載の内燃機関。本発明は以上の点に着目し、排気ターボ過給機を備えた内燃機関において、極低温時においても過給圧を適正に制御できるようにすることを目的とする。すなわち本発明に係る内燃機関は、過給圧が設定圧を上回った場合に過給圧を低減させるべく開弁するウェイストゲートバルブが付帯した排気ターボ過給機と、過給圧及び吸入空気の温度をパラメータとして燃焼室に供給される吸入空気質量を算出し、吸入空気質量が目標空気質量となるように過給圧を制御する制御装置とを具備する内燃機関であって、前記制御装置が、吸入空気質量が目標空気質量を上回る場合には前記ウェイストゲートバルブを開弁し、前記ウェイストゲートバルブを全開としてもなお吸入空気質量が目標空気質量を上回る場合に、スロットルバルブを閉止方向に作動させる制御を行うことを特徴とする。このようなものであれば、吸入空気質量をパラメータとして過給圧を制御するので、大型のウェイストゲートバルブを使用することによる過給圧制御の精度の低下を伴うことなく、極低温時に吸入空気質量が大きくなることに伴い機関の信頼性の観点から好ましくない過大な出力が発生することなく、過給圧を適正に制御することができる。なお、本発明において、ウェイストゲートバルブが全開であるとは、ウェイストゲートバルブの開度をより大きくする操作が不可能である状態全般を示す概念である。特に、コンプレッサ下流とコンプレッサ上流とを連通するエアバイパス通路と、このエアバイパス通路中に設けられ、スロットルバルブ下流の圧力が直接伝達される第1の圧力室、スロットルバルブ下流の圧力が遅延されて伝達される第2の圧力室、及び前記第1の圧力室内の圧力が前記第2の圧力室内の圧力を下回った場合に開放位置をとり前記第1の圧力室内の圧力が前記第2の圧力室内の圧力と等しい場合に閉止位置をとる弁体を有するエアバイパスバルブとをさらに具備し、スロットルバルブを閉止方向に作動させる速度が、スロットルバルブ下流の圧力変化に伴い前記第1及び第2の圧力室の間に圧力差を発生させ該圧力差により前記エアバイパスバルブの弁体を閉止位置から開放位置に移動させるために必要な速度よりも低いものであれば、上述した吸入空気質量に伴いスロットルバルブを閉止方向に作動させた際であってもエアバイパスバルブが開弁することがなく、エアバイパスバルブの開弁に伴う吸入空気質量の急低下も生じないので、過給圧のハンチングの発生を防ぐことができる。本発明によれば、排気ターボ過給機を備えた内燃機関において、極低温時においても過給圧を適正に制御することが可能となる。以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。本実施形態の内燃機関は、車両に搭載されてなるもので、以下に述べるような排気ターボ過給機1を有する。この排気ターボ過給機1は、排気ガスのエネルギー即ち排気圧を受けて回転する排気タービン2と、排気タービン2によって駆動されるコンプレッサ3とを要素とする。エアクリーナ4を通して吸入した空気は、コンプレッサ3で圧縮され、吸気通路5を経て燃焼室20に供給される。並びに、排気タービン2を迂回するバイパス通路6を形成し、そのバイパス通路6にウェイストゲートバルブ7付帯させている。バイパス通路6の内径は、排気タービン2のホイール径の約0.6~1.0倍である。ウェイストゲートバルブ7は、ダイヤフラム式のアクチュエータ8で開閉駆動する。アクチュエータ8は、調圧スプリング8cにより弾性付勢されたダイヤフラム8a及びその制御室8bダイヤフラム室を設けてなり、制御室8b内の圧力が所定のセット圧を上回る場合に、調圧スプリング8cの付勢力に抗してダイヤフラム8aが変位し作動ロッド8dを前方へ進出させる仕組みとなっている。ウェイストゲートバルブ7は、この作動ロッド8dにより駆動される。すなわち、ウェイストゲートバルブ7は、制御室82内の圧力が所定のセット圧以上である場合に開く。ここで、本実施形態では、前記制御室8bにコンプレッサ3下流の過給圧を導くための過給圧導入経路9と、前記過給圧導入経路から分岐し前記コンプレッサ3上流と前記制御室8bとを連通する逃がし通路10と、この逃がし通路10に設けてなる過給圧制御弁11と、この過給圧制御弁11を個別に開閉操作することのできるコントローラ12とを付設している。過給圧導入経路9は、コンプレッサ3下流の吸気通路5と、制御室8bとを連通する。過給圧制御弁11は、逃がし通路10を遮断する閉止状態と、逃がし通路10を開通する開放状態との間で遷移可能である。この過給圧制御弁11は、例えば、弁体を電磁アクチュエータで作動させるもので、開放時間の長さを規定するデューティ比を有した制御電圧信号パルス電圧を電磁アクチュエータに印加することで、そのデューティ比に応じた開度に制御可能である。加えて、本実施形態では、排気ターボ過給機1のコンプレッサ3側においては、急減速時における過給圧の上昇を防止するための過給圧迂回機構21が設けてある。この過給圧迂回機構21は、コンプレッサ3の上流と下流とを連通可能にするエアバイパス通路22と、その吸気排出通路22を開閉するエアバイパスバルブ23とを備えている。このエアバイパスバルブ23は、本実施形態では、サージタンク13からの負圧を直接受ける第1の圧力室23aと、サージタンク13からの負圧を負圧遅延弁24を経由して遅延して受ける第2の圧力室23bと、これら第1及び第2の圧力室23a、23b間の圧力差が所定値以上である場合に作動するダイヤフラム23cと、このダイヤフラム23cにより駆動される弁体23dと、この弁体23dが着座する弁座23eと、前記吸気排出通路22のコンプレッサ3上流側に連通する上流側ポート23fと、前記吸気排出通路22のコンプレッサ3下流側に連通する下流側ポート23gとを備えている。すなわち、このエアバイパスバルブ23は、スロットルバルブ15を所定の速度以上で閉弁した場合等、第1及び第2の圧力室23a、23b間の圧力差が所定値以上となった場合に弁体23dが弁座23eから離間する開放位置をとることにより上流側ポート23eと下流側ポート23fとを連通する一方、その他の場合には弁体23dが弁座23eに着座する閉止位置をとることにより上流側ポート23eと下流側ポート23fとの間を遮断する。なお、このエアバイパスバルブ23の第1の圧力室23aとサージタンク13との間には、負圧導入路25を設けている。また、この負圧導入路25から分岐させて、前記エアバイパスバルブ23の第2の圧力室23bに連通するとともにその途中に前記負圧遅延弁24を設けてなる負圧遅延通路26を設けている。ここで、前記スロットルバルブ15は、電子スロットルバルブとして周知のものである。内燃機関の各所には、この内燃機関の種々の状況を検出するために、サージタンク13内の吸気圧過給圧を検出する吸気圧センサ14、スロットルバルブ15の開度を検出するスロットル開度センサ16、内燃機関の冷却水温度を検出する水温センサ17、エンジン回転数を検出する回転数センサ18、吸入空気温度を検出する吸気温センサ19等を取り付けている。ここで、前記スロットルバルブ15は、電子スロットルバルブとして周知のもので、前記コントローラ12からの制御信号を受けて開度を変更してなる。これら各センサからの信号を受信して処理し、内燃機関の運転状態を制御するコントローラ12ECUは、CPU、RAM、ROM、フラッシュメモリ、I/Oインタフェース等を包有するマイクロコンピュータシステムである。各種制御用のプログラムはROM又はフラッシュメモリに格納されており、そのプログラムがRAMに読み込まれCPUによって解読される。コントローラ12は、当該プログラムに従い、燃料噴射量の制御、点火時期の制御、その他各種の制御を実施する。このコントローラ12は、請求項中の制御装置として機能する。以下、本実施形態のコントローラ12が行う過給圧制御について図2を参照しつつ詳述する。まず、吸気圧センサ14の出力信号が示す吸気圧及び吸気温センサ19の出力信号が示す吸入空気温度をパラメータとして燃焼室20に供給される吸入空気質量を演算しS1、次いで、スロットル開度センサ16の出力信号が示すスロットルバルブ15の開度及び回転数センサ18の出力信号が示すエンジン回転数に基づき目標空気質量を決定するS2。なお、コントローラ12のROM又はフラッシュメモリの所定領域には、代表的な吸気圧及び吸入空気温度に対応する吸入空気質量を格納した吸入空気質量マップを形成しており、実際の吸入空気質量は、この吸入空気質量マップを参照した後補間計算により演算するようにしている。また、コントローラ12のROM又はフラッシュメモリの所定領域には、代表的なスロットルバルブ15の開度及びエンジン回転数に対応する目標空気質量を格納した目標空気質量マップも形成しており、実際の目標空気質量は、この目標空気質量マップを参照した後補間計算により演算するようにしている。それから、前記吸入空気質量が前記目標空気質量を上回っているか否かを判定するS3。前記吸入空気質量が前記目標空気質量を上回っている場合には、過給圧制御弁11の開度を小さくし前記ウェイストゲートバルブ7のアクチュエータ8cを開弁側に駆動するS4。それから、ウェイストゲートバルブ7が全開である場合、すなわち過給圧制御弁11が全閉状態である場合にはS5、スロットルバルブ15を閉止方向に作動させるS6。一方、前記吸入空気質量が前記目標空気質量を上回っている場合には、過給圧制御弁11の開度を大きくし前記ウェイストゲートバルブ7のアクチュエータ8cを閉弁側に駆動するS7。ここで、過給圧と吸入空気質量との関係を示すグラフである図3を利用して、目標空気質量が所定値A0である場合における具体的な制御の一例を説明する。図3の破線には、目標空気質量が所定値A0であり、かつウェイストゲートバルブ7を全開状態とした場合に燃焼室20に供給される空気質量が目標空気質量A0となる低温状態を示している。この低温状態は、例えば外気温が-30°Cである場合に対応する。同図の実線には、前記低温状態よりも吸入空気の温度が高い常温状態を示している。そして、同図の二点鎖線には、前記低温状態よりも吸入空気の温度が低い極低温状態を示している。ここで、常温状態及び低温状態、すなわち図3における領域A1では、ウェイストゲートバルブ7の開閉操作のみにより吸入空気質量を目標空気質量となるように制御することが可能であるので、ウェイストゲートバルブ7の開閉操作により過給圧を制御する。一方、極低温状態、すなわち図3における領域A2では、スロットルバルブ15を閉止方向に作動させない限りウェイストゲートバルブ7を全開状態としてもなお吸入空気質量が目標空気質量を上回るので、ウェイストゲートバルブ7を全開状態とした上でスロットルバルブ15を閉止方向に作動させる。上述した制御により、スロットルバルブ15を閉止方向に作動させた場合、サージタンク13内には負圧が発生し、この負圧が過給圧迂回機構21の吸気排出通路22を介してまずエアバイパスバルブ23の第1の圧力室23aに導入され、次いで前記負圧遅延弁24を介して前記負圧が遅延されて第2の圧力室23bに導入される。しかし、本実施形態ではスロットルバルブ15を閉止方向に作動させる際の速度が、これら第1及び第2の圧力室23a、23b間に発生する差圧がダイヤフラム23cを作動させるための前記所定値となる速度より低速に設定されているので、上述した過給圧制御に伴うスロットルバルブ15の閉止動作の際には、エアバイパスバルブ23は開弁状態とならない。以上に述べたように、本実施形態に係る内燃機関の構成によれば、吸入空気質量が目標空気質量を上回る場合にウェイストゲートバルブ7が開弁し、ウェイストゲートバルブ7が全開となった場合に初めてコントローラ12がスロットルバルブ15を閉止方向に作動させる制御を行うので、スロットルバルブ15による絞り損失を低減し燃費向上を図ることができる。その上で、吸入空気質量をパラメータとして過給圧を制御するので、大型のウェイストゲートバルブを使用することによる過給圧制御の精度の低下を伴うことなく、低温時に吸入空気質量が大きくなることに伴い機関の信頼性の観点から好ましくない過大な出力が発生することを防ぐことができる。特に、コンプレッサ3下流とコンプレッサ3上流とを連通する吸気排出通路22と、この吸気排出通路22中に設けられ、スロットルバルブ15下流の圧力が直接伝達される第1の圧力室23a、スロットルバルブ15下流の圧力が遅延されて伝達される第2の圧力室23b、及び前記第1の圧力室23a内の圧力が前記第2の圧力室23b内の圧力を下回った場合に開放位置をとり前記第1の圧力室23a内の圧力が前記第2の圧力室23b内の圧力と等しい場合に閉止位置をとる弁体23dを有するエアバイパスバルブ23とを具備するとともに、スロットルバルブ15を閉止方向に作動させる速度を、第1及び第2の圧力室23a、23b間に発生する差圧がダイヤフラム23cを作動させるための前記所定値となる速度より低速に設定しているので、上述した吸入空気質量の制御に伴いスロットルバルブ15を閉止方向に作動させた際であってもエアバイパスバルブ23が開弁することがなく、エアバイパスバルブ23の開弁に伴う吸入空気質量の急低下も生じないので、過給圧のハンチングの発生を防ぐことができる。なお、本発明は以上に述べた実施形態に限らない。例えば、上述した実施形態では、ウェイストゲートバルブを、過給圧を受けて駆動されるダイヤフラムを利用して形成しているが、過給圧制御弁を省略するとともにウェイストゲートバルブを制御装置からの信号を受けて作動するものとした上で、吸入空気質量が目標空気質量を上回った場合にウェイストゲートバルブの開閉操作を直接行うプログラムを制御装置に内蔵してもよい。また、エアバイパスバルブを有しない内燃機関に本発明を適用してもよい。その他、本発明の趣旨を損ねない範囲で種々に変形してよい。