軸を取り付ける対象である軸受部材と軸との間に設けられ、軸の回転の際に気体膜を形成すべく前記軸との間にクサビ状空間を含む気体膜を形成するアッパフォイルと、このアッパフォイルと前記軸受部材との間に配してなり前記アッパフォイルを前記軸側に弾性付勢する凸部を有するバンプフォイルと、前記バンプフォイルと前記軸受部材との間、又は前記バンプフォイルと前記アッパフォイルとの間に設けられ板状をなすプレーンフォイルとを具備することを特徴とする動圧気体軸受。前記アッパフォイルと前記バンプフォイル又はプレーンフォイルとの間に、アンダフォイルを備えている請求項1記載の動圧気体軸受。前記プレーンフォイルの軸方向少なくとも一端部に突起を有するとともに、前記軸受部材の少なくとも一端部に前記突起と係合可能な切り欠きを有するプレートを取り付けてなる請求項1又は2記載の動圧気体軸受。前記プレーンフォイルの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成しているとともに、前記軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設けている請求項1又は2記載の動圧気体軸受。前記アッパフォイル、前記アンダフォイル及び前記バンプフォイルのうち少なくともいずれかの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成し、前記軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設けている請求項1、2、3又は4記載の動圧気体軸受。前記アッパフォイル、前記アンダフォイル及び前記バンプフォイルのそれぞれの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成し、これらのフィンの位置を軸の回転方向に対して互い違いに設定している請求項5記載の動圧気体軸受。前記アッパフォイル及び前記バンプフォイルのそれぞれの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成し、前記軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設けている請求項1、2、3又は4記載の動圧気体軸受。前記アッパフォイル及び前記バンプフォイルのフィンの位置を、軸の回転方向に対して同じ側に設定している請求項7記載の動圧気体軸受。本発明は以上の点に着目したものであり、軸受部材の加工精度や温度変化等による寸法変化に対する許容度が高く、その上で軸受として高い負荷容量を実現可能な動圧気体軸受を提供することを所期の目的とする。すなわち本発明に係る動圧気体軸受は、軸を取り付ける対象である軸受部材と軸との間に設けられ、軸の回転の際に気体膜を形成すべく前記軸との間にクサビ状空間を含む気体膜を形成するアッパフォイルと、このアッパフォイルと前記軸受部材との間に配してなり前記アッパフォイルを前記軸側に弾性付勢する凸部を有するバンプフォイルと、前記バンプフォイルと前記軸受部材との間、又は前記バンプフォイルと前記アッパフォイルとの間に設けられ板状をなすプレーンフォイルとを具備することを特徴とする。このようなものであれば、低負荷時にはプレーンフォイルが優先して撓むことにより軸受部材側の加工の際の誤差を吸収するとともに、高負荷時にはバンプフォイルの凸部が弾性変形することにより軸受全体としての剛性を確保することができる。すなわち、軸受部材側に高い加工精度を要求することなく軸受全体としての剛性を確保することができる。軸受全体としての耐荷重性をさらに確保するための態様として、前記アッパフォイルと前記バンプフォイル又はプレーンフォイルとの間に、アンダフォイルを備えているものが挙げられる。前記プレーンフォイルの位置決めを行うための構成の一例として、前記プレーンフォイルの軸方向少なくとも一端部に突起を有するとともに、前記軸受部材に前記突起と係合可能な切り欠きを有するプレートを取り付けてなるものが挙げられる。前記プレーンフォイルの位置決めを行うための構成の他の一例として、前記プレーンフォイルの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成しているとともに、前記軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設けているものが挙げられる。また、前記アッパフォイル、前記アンダフォイル及び前記バンプフォイルの位置決めを行うための構成の一例として、前記アッパフォイル、前記アンダフォイル及び前記バンプフォイルのうち少なくともいずれかの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成し、前記軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設けているものが挙げられる。特に、前記アッパフォイル、前記アンダフォイル及び前記バンプフォイルのそれぞれの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成し、これらのフィンの位置を軸の回転方向に対して互い違いに設定しているものであれば、気体膜の圧力を受けた際に、前記アッパフォイルと該アッパフォイルの軸受部材側に隣接するフォイルとが反対側に移動しつつ摺動し、さらに前記アッパフォイル以外の2つのフォイルが互いに反対側に移動しつつ摺動する。従って、この摺動の際に振動エネルギーを熱エネルギー等に変換して振動を抑制する効果であるダンピング効果を好適に得ることができる。また、前記アッパフォイル前記バンプフォイルの位置決めを行うための構成の一例として、前記アッパフォイル及び前記バンプフォイルのそれぞれの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成し、前記軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設けているものが挙げられる。前記アッパフォイル及び前記バンプフォイルのフィンの位置の設定の一態様として、これらのフィンを軸の回転方向に対して同じ側に設定しているものが挙げられる。本発明によれば、軸受部材の加工精度や温度変化等による寸法変化に対する許容度が高く、その上で軸受として高い負荷容量を実現可能な動圧気体軸受を提供することができる。本発明の一実施形態を、図面を参照しつつ以下に述べる。本実施形態に係る動圧気体軸受は、図1及び図2に示すように、本実施形態に係る軸受は、軸2を取り付ける対象である軸受部材たる軸受ハウジング1と軸2との間に設けられるフォイル型のジャーナル軸受である。すなわち、前記軸受ハウジング1の内壁1aに設けられ、軸2の回転の際に気体膜Sを形成すべく前記軸2との間にクサビ状空間を含む気体膜Sを形成するアッパフォイル3と、このアッパフォイル3と前記軸受ハウジング1との間に配してなり前記アッパフォイル3を前記軸2側に弾性付勢する凸部5bを有するバンプフォイル5と、前記バンプフォイル5と前記軸受ハウジング1との間に設けられ板状をなすプレーンフォイル6と、前記アッパフォイル3と前記バンプフォイル5との間に配してなるアンダフォイル4とを具備する。前記アッパフォイル3は、全体が1枚の板状をなす円筒状の部材であり、軸2に対向するとともに軸2との間に気体膜Sを形成する。また、その一端縁、具体的には下流側端縁に、外方に屈曲したフィン3aを有する。このフィン3aは、軸受ハウジング1に設けた凹部1xに係合することにより、このアッパフォイル3の周方向の位置決めを行う機能を有する。前記アンダフォイル4は、全体が1枚の板状をなす円筒状の部材であり、前記アッパフォイル3の軸受ハウジング1側の面に対向する。また、その一端縁、具体的には上流側端縁に、外方に屈曲したフィン4aを有する。このフィン4aは、軸受ハウジング1に設けた前記凹部1xに係合することにより、このアンダフォイル4の周方向の位置決めを行う機能を有する。前記バンプフォイル5は、全体が1枚の板状をなす円筒状の部材であり、前記アンダフォイル4の軸受ハウジング1側の面に対向する。このバンプフォイル5は、その全体に軸2に向かう方向に突出した凸部5bを有する。この凸部5bは、前記アッパフォイル3が気体膜Sから圧力を受けた際に突出幅が小さくなるよう弾性変形することにより、前記アッパフォイル3及び前記アンダフォイル4を軸2側に向けて弾性付勢し、気体膜Sの形状を保持する機能を有する。そして、このバンプフォイル5の一端縁、具体的には下流側端縁に、外方に屈曲したフィン5aを有する。このフィン5aは、軸受ハウジング1に設けた前記凹部1xに係合することにより、このバンプフォイル5の周方向の位置決めを行う機能を有する。前記プレーンフォイル6は、本実施形態ではそれぞれが軸受ハウジング1の内周面のうち約5分の1ずつを被覆する5枚の板状の部材である。これらプレーンフォイル6の軸方向両端部には、前記軸受ハウジング1の軸方向両側にそれぞれ設けた位置決め用プレート11の凹部1yにそれぞれ係合し該プレーンフォイル6の位置決めを行うための突起6aを設けている。そして、このプレーンフォイル6を軸受ハウジング1に取り付けた状態で、軸2が回転していない状態ではこのプレーンフォイル6と軸受ハウジング1の内面との間に隙間が形成されている。ここで、軸2が回転すると、軸2とアッパフォイル3との隙間の空気等の気体が気体の粘性により引張られ、この隙間に形成してなる気体膜Sの圧力が上昇する。この圧力上昇によって、まず、アッパフォイル3が軸受ハウジング1側に向かう作用を受ける。この際、前記アッパフォイル3はアンダフォイル4に圧接し、アンダフォイル4はバンプフォイル5に圧接し、バンプフォイル5はプレーンフォイル6に圧接する。すなわち、アンダフォイル4、バンプフォイル5、及びプレーンフォイル6も軸受ハウジング1側に向かう作用を受ける。これを受けて、プレーンフォイル6は軸受ハウジング1との隙間を小さくすべく、弾性変形する。また、前記気体膜Sの圧力が大きくなりプレーンフォイル6の全体が軸受ハウジング1に接した状態となった際には、バンプフォイル5はプレーンフォイル6に圧接した状態を保ちつつ凸部5bが弾性変形し、アンダフォイル4及びアッパフォイル3を軸2側に向けて弾性付勢する。そして、気体膜Sの形状が、例えば、入口部分から下流側に進むにつれ幅が小さくなるクサビ状に維持され、前記アッパフォイル3の下流側端縁近傍すなわち自由端近傍で気体の圧力上昇が生じる。この圧力上昇により軸受は軸2を非接触で支えることになる。以上に述べたように、本実施形態に係る動圧気体軸受の構成によれば、低負荷時にはプレーンフォイル6が優先して撓むことにより軸受ハウジング1側の加工の際の誤差を吸収するとともに、高負荷時にはバンプフォイル5の凸部が弾性変形することにより軸受全体としての剛性を確保することができる。すなわち、軸受ハウジング1側に高い加工精度を要求することなく軸受全体としての剛性を確保することができる。また、前記アッパフォイル3と前記バンプフォイル5との間に、アンダフォイル4を備えているので、軸受全体としての耐荷重性をさらに確保することができる。その上、前記プレーンフォイル6の軸方向両端部に突起6aを有するとともに、前記軸受ハウジング1に前記突起6aと係合可能な切り欠き1yを有するプレート11を取り付けているので、このプレーンフォイル6の位置決めを容易に行うことができる。さらに、前記アッパフォイル3、前記アンダフォイル4及び前記バンプフォイル5の周方向一端部を外方に屈曲させてフィン3a、4a、5aをそれぞれ形成し、前記軸受ハウジング1に前記フィン3a、4a、5aと係合可能な溝1xを設けているので、前記アッパフォイル3、前記アンダフォイル4及び前記バンプフォイル5の位置決めを容易に行うことができる。その上で、前記アッパフォイル3、前記アンダフォイル4及び前記バンプフォイル5のフィン3a、4a、5aの位置を軸2の回転方向に対して互い違いに設定しているので、気体膜Sの圧力を受けた際に、前記アッパフォイル3と前記アンダフォイル4とが反対側に移動しつつ摺動し、さらに前記アンダフォイル4と前記バンプフォイル5が互いに反対側に移動しつつ摺動する。従って、この摺動の際に振動エネルギーを熱エネルギー等に変換して振動を抑制する効果であるダンピング効果を好適に得ることができる。なお、本発明は以上に述べた実施形態に限らず、種々に変形してよい。例えば、上述した実施形態では、アッパフォイルとバンプフォイルとの間にアンダフォイルを配しているが、アンダフォイルは省略してもよい。この場合、例えばアッパフォイルの下流側端縁及びバンプフォイルの上流側端縁を外方に屈曲させてフィンを設け、これらのフィンを軸受ハウジング軸受部材に設けた凹部に係合させることにより位置決めを行うようにすれば、気体膜Sの圧力を受けた際に、これらアッパフォイルとバンプフォイルとが互いに反対側に移動しつつ摺動するので、この摺動の際に振動エネルギーを熱エネルギー等に変換して振動を抑制する効果であるダンピング効果を得ることができる。また、上述した実施形態では、アッパフォイル、アンダファイル及びバンプフォイルの周方向の位置決めを行うための態様として、周方向一端縁部を外方に屈曲させてフィンを形成し、軸受ハウジング軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設ける構成を採用しているが、それ以外に、これら各フォイルの少なくともいずれかの軸方向一端縁又は両端縁に突起を設け、この突起を軸受ハウジングの軸方向端部に配したプレートの溝に係り合わせる構成を採用してもよい。一方、上述した実施形態では、プレーンフォイルの位置決めを行うべく、プレーンフォイルの軸方向両端縁に突起を設け、この突起を軸受ハウジングの軸方向端部に配したプレートの溝に係り合わせる構成を採用しているが、それ以外に、前記突起を軸方向一端縁のみに設ける構成や、プレーンフォイルの一端部を外方に屈曲させてフィンを形成し、軸受ハウジング軸受部材に前記フィンと係合可能な溝を設ける構成を採用してもよい。加えて、上述した実施形態では、前記バンプフォイルと前記軸受部材との間にプレーンフォイルを設けているが、このプレーンフォイルは、前記バンプフォイルと前記アッパフォイルとの間に設けてもよい。その他、本発明の趣旨を損ねない範囲で種々に変形してよい。