第1測定室に導入される被測定ガス中の酸素の汲み出し又は汲み入れを行い、前記第1測定室内の酸素濃度を調整する第1ポンピングセルと、前記第1測定室からNOx測定室に流入する酸素濃度が調整された被測定ガス中のNOx濃度に応じたポンプ電流が流れる第2ポンピングセルとを備えたNOxセンサ素子を有し、前記被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時、前記ポンプ電流に基づくNOx濃度換算値の変動が5秒以内に±5ppm内に収束すると共に、前記NOx濃度換算値の過渡ピーク値が20ppm以下であるNOxセンサ。前記被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時、前記ポンプ電流に基づくNOx濃度換算値の変動が3秒以内に±10ppm内に収束する請求項1記載のNOxセンサ。前記第2ポンピングセルは、前記NOx測定室に曝され固体電解質表面に形成された第1電極と、前記NOx測定室の外部に配置され前記固体電解質表面に形成された第2電極とを備え、リッチ雰囲気下で前記第1電極と前記第2電極との間に通電することにより前記第1電極がエージング処理されている請求項1又は2記載のNOxセンサ。第1測定室に導入される被測定ガス中の酸素の汲み出し又は汲み入れを行い、前記第1測定室内の酸素濃度を調整する第1ポンピングセルと、前記第1測定室からNOx測定室に流入する酸素濃度が調整された被測定ガス中のNOx濃度に応じたポンプ電流が流れる第2ポンピングセルとを備えたNOxセンサ素子を有するNOxセンサの製造方法であって、前記第2ポンピングセルは、前記NOx測定室に曝され固体電解質表面に形成された第1電極と、前記NOx測定室の外部に配置され前記固体電解質表面に形成された第2電極とを備え、前記NOxセンサ素子を予め設定した温度領域に加熱しつつ、水分を略一定状態にしたリッチ雰囲気下で、前記第1電極と前記第2電極との間に通電を行うエージング工程を有するNOxセンサの製造方法。前記エージング工程において、前記第1電極と前記第2電極との間の電圧を0Vを超え1.8V以下とし、前記第2ポンピングセルの温度を550~700°Cとし、前記リッチ雰囲気中の水分を0体積を超え5体積以下とする請求項4記載のNOxセンサの製造方法。前記NOxセンサ素子は、前記第1ポンピングセル及び前記第2ポンピングセルを加熱するためのヒータを備えており、前記エージング工程では、前記ヒータを発熱させることで前記NOxセンサ素子を予め設定した温度領域に加熱する請求項4又は5記載のNOxセンサの製造方法。ところで、上記NOxセンサにおいて被測定ガス中の水分が急変した時に、NOx濃度の出力値第2ポンプ電流が変動して過渡ピークが生じ、このピークをNOx濃度として誤って検知するという問題がある。特に、自動車エンジンがアイドリング時から走行状態へ変化する際、排気ガス中の水分が急激に増加するので、NOx濃度の検知精度が低下するおそれがある。従って本発明は、被測定ガス中の水分が急変した場合にも、NOx濃度の検出精度の低下を抑制することができるNOxセンサ及びその製造方法の提供を目的とする。上記課題を解決するため、本発明のNOxセンサは、第1測定室に導入される被測定ガス中の酸素の汲み出し又は汲み入れを行い、前記第1測定室の酸素濃度を調整する第1ポンピングセルと、前記第1測定室NOx測定室に流入する酸素濃度が調整された被測定ガス中のNOx濃度に応じたポンプ電流が流れる第2ポンピングセルとを備えたNOxセンサ素子を有し、前記被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時、前記ポンプ電流に基づくNOx濃度換算値の変動が5秒以内に±5ppm内に収束すると共に、前記NOx濃度換算値の過渡ピーク値が20ppm以下である。このような構成とすると、被測定ガス中の水分が変化した場合にも、NOx濃度に応じたポンプ電流が変動することに起因して生じる過渡ピーク値が低く、NOx濃度換算値の変動が素早く変動前の値に近付いて収束するため、NOx濃度の検出精度の低下を抑制することができる。なお、被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時とは、水分以外の各ガス成分の量を一定にした状態で、水分の量割合を2体積から8体積に瞬時的に変化急変させた時を指す。前記被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化急変させた時、前記ポンプ電流に基づくNOx濃度換算値の変動が3秒以内に±10ppm内に収束することが好ましい。このような構成とすると、被測定ガス中の水分が変化した場合に、NOx濃度換算値の変動がさらに急速に収束するため、NOx濃度の検出精度の低下をより一層抑制することができる。前記第2ポンピングセルは、前記NOx測定室に曝され固体電解質表面に形成された第1電極と、前記NOx測定室の外部に配置され前記固体電解質表面に形成された第2電極とを備え、リッチ雰囲気下で前記第1電極と前記第2電極との間に通電することにより前記第1電極がエージング処理されていることが好ましい。このような構成とすると、被測定ガス中の水分が変化した場合に、NOx濃度の検出精度の低下を抑制するNOxセンサを容易に得ることができる。本発明のNOxセンサの製造方法は、第1測定室に導入される被測定ガス中の酸素の汲み出し又は汲み入れを行い、前記第1測定室内の酸素濃度を調整する第1ポンピングセルと、前記第1測定室からNOx測定室に流入する酸素濃度が調整された被測定ガス中のNOx濃度に応じたポンプ電流が流れる第2ポンピングセルとを備えたNOxセンサ素子を有するNOxセンサの製造方法であって、前記第2ポンピングセルは、前記NOx測定室に曝され固体電解質表面に形成された第1電極と、前記NOx測定室の外部に配置され前記固体電解質表面に形成された第2電極とを備え、前記NOxセンサ素子を予め設定した温度領域に加熱しつつ、水分を略一定状態にしたリッチ雰囲気下で、前記第1電極と前記第2電極との間に通電を行うエージング工程を有する。本発明のNOxセンサの製造方法においては、前記エージング工程において前記第1電極と前記第2電極との間の電圧を0Vを超え1.8V以下とし、前記第2ポンピングセルの温度を550~700°Cとし、前記リッチ雰囲気中の水分を0体積を超え5体積以下とすることが好ましい。NOx濃度の検出精度の低下を抑制するNOxセンサを効率良く得ることができるからである。また、本発明のNOxセンサの製造方法においては、センサの通常使用時に第1ポンピングセル及び第2ポンピングセルを活性化温度以上に加熱するために使用されるヒータを用いて、前記エージング工程において、NOxセンサ素子を予め設定した温度領域に加熱することが好ましい。エージング工程にてNOxセンサ素子に備えられるヒータを用いて当該NOxセンサ素子を加熱するようにすることで、安定してNOxセンサ素子を加熱することができ、NOx濃度の検出精度の低下を抑制するNOxセンサをより効率良く得ることができる。この発明によれば、被測定ガス中の水分が変化急変した場合にも、NOx濃度の検出精度の低下を抑制することができるNOxセンサを提供することができ、またこのようなNOxセンサを効率よく得ることができる。以下、本発明の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係るNOxセンサ200の長手方向に沿う断面図を示す。NOxセンサ200は、排気管に固定されるためのねじ部139が外表面に形成された筒状の主体金具138と、軸線方向NOxセンサ200の長手方向:図中上下方向に延びる板状形状をなすNOxセンサ素子100と、NOxセンサ素子100の径方向周囲を取り囲むように配置される筒状のセラミックスリーブ106と、軸線方向に貫通するコンタクト挿通孔168の内壁面がNOxセンサ素子の後端部の周囲を取り囲む状態で配置される絶縁コンタクト部材166と、NOxセンサ素子100と絶縁コンタクト部166との間に配置される6個の接続端子110図1では、2個図示とを備えている。主体金具138は、軸線方向に貫通する貫通孔154を有し、貫通孔154の径方向内側に突出する棚部152を有する略筒状形状に構成されている。また、主体金具138は、NOxセンサ素子100を先端側が貫通孔154の先端側外部に配置し、電極端子部220、221を貫通孔154の後端側外部に配置する状態で貫通孔154に保持している。さらに、棚部152は、軸線方向に垂直な平面に対して傾きを有する内向きのテーパ面として形成されている。なお、主体金具138の貫通孔154の内部には、NOxセンサ素子100の径方向周囲を取り囲む状態で環状形状のセラミックホルダ151、粉末充填層153、156以下、滑石リング153、156ともいう、および上述のセラミックスリーブ106がこの順に先端側から後端側にかけて積層されている。また、セラミックスリーブ106と主体金具138の後端部140との間には、加締めパッキン157が配置されており、セラミックホルダ151と主体金具138の棚部152との間には、滑石リング153やセラミックホルダ151を保持し、気密性を維持するための金属ホルダ158が配置されている。なお、主体金具138の後端部140は、加締めパッキン157を介してセラミックスリーブ106を先端側に押し付けるように、加締められている。一方、図1に示すように、主体金具138の先端側図1における下方外周には、NOxセンサ素子100の突出部分を覆うと共に、複数の孔部を有する金属製例えば、ステンレスなど二重の外部プロテクタ142および内部プロテクタ143が、溶接等によって取り付けられている。そして、主体金具138の後端側外周には、外筒144が固定されている。また、外筒144の後端側図1における上方の開口部には、NOxセンサ素子100の電極端子部220、221とそれぞれ電気的に接続される6本のリード線146図1では3本のみが挿通されるリード線挿通孔161が形成されたグロメット150が配置されている。また、主体金具138の後端部140より突出されたNOxセンサ素子100の後端側図1における上方には、絶縁コンタクト部材166が配置される。なお、この絶縁コンタクト部材166は、NOxセンサ素子100の後端側の表面に形成される電極端子部220、221の周囲に配置される。この絶縁コンタクト部材166は、軸線方向に貫通するコンタクト挿通孔168を有する筒状形状に形成されると共に、外表面から径方向外側に突出する鍔部167が備えられている。絶縁コンタクト部材166は、鍔部167が保持部材169を介して外筒144に当接することで、外筒144の内部に配置される。次に、NOxセンサ素子100の構成について図2を用いて説明する。図2は、NOxセンサ素子100の先端部の部分断面図である。NOxセンサ素子100は、第1固体電解質層22、絶縁層26、第2固体電解質層23、絶縁層2728、第3固体電解質層24をこの順で積層した構造を有する。絶縁層26はNOxセンサ素子100の先端に向かってコの字状に切り欠かれ、この切り欠き部が第1測定室41を形成し、第1測定室41の先端入口に配置された第1拡散抵抗体51を介して外部から被測定ガスが導入される。第1ポンピングセルは、酸素イオン伝導性を有するジルコニアを主体とする第1固体電解質層22と、これを挟持するように配置された内側第1ポンプ電極32及び対極となる外側第1ポンプ電極31とを備え、内側第1ポンプ電極32は第1測定室41に面している。内側第1ポンプ電極32及び外側第1ポンプ電極31はいずれも白金を主体としている。第1測定室41のうち入口と反対端には第2拡散抵抗体52が配置され、第2拡散抵抗体52を介して第1測定室41の奥側には、第1測定室41と連通するNOx測定室第2測定室42が画成されている。NOx測定室42は、第2固体電解質層23を貫通して第1固体電解質層22と第3固体電解質層24との層間に形成されている。第2ポンピングセルは、ジルコニアを主体とする第3固体電解質層24と、第3固体電解質層24のうちNOx測定室42に面した表面に配置された内側第2ポンプ電極35本願発明の第1電極に相当、及び内側第2ポンプ電極35の対極となりNOx測定室42の外部に配置された第2ポンプ対電極36本願発明の第2電極に相当とを備えている。内側第2ポンプ電極35及び第2ポンプ対電極36はいずれも白金を主体としている。なお、第2ポンプ対電極36は、第3固体電解質層24上における絶縁層28の切り抜き部に配置され、後述する基準電極34に対向して基準酸素室53に面している。酸素濃度検出セルは、ジルコニアを主体とする第2固体電解質層23と、これを挟持するように配置された検知電極33及び基準電極34とを備え、検知電極33は内側第1ポンプ電極32より下流側で第1測定室41に面している。検知電極33及び基準電極34はいずれも白金を主体としている。なお、絶縁層28は、第2固体電解質層23に接する基準電極34が内部に配置されるように切り抜かれ、その切り抜き部には多孔質体が充填されて基準酸素室53を形成している。そして、酸素濃度検出セルに予め微弱な一定値の電流を流すことにより、酸素を第1測定室41から基準酸素室53内に送り込み、酸素基準とする。一方、絶縁層21の内部にはNOxセンサ素子の長手方向に沿って延びるヒータ29が埋設され、絶縁層21が貼り合せセメント25を介して第1固体電解質層22と間隔を開けて積層されている。ヒータ29はセンサを活性温度に昇温し、各固体電解質層の酸素イオンの伝導性を高めて動作を安定化させるために用いられる。上記各絶縁層はアルミナを主体とし、第1拡散抵抗体15a及び第2拡散抵抗体15bはアルミナ等の多孔質物質からなる。又、ヒータ29は白金等からなる。次に、NOxセンサ素子の動作の一例について説明する。まず、ヒータ29により、第1ポンピングセル、酸素濃度検出セル、第2ポンピングセルが活性化温度例えば、550°C以上まで加熱されると、第1ポンピングセルは、第1測定室41に流入した被測定ガス排ガス中の過剰な酸素を内側第1ポンプ電極32から外側第1ポンプ電極31へ向かって汲み出す。このとき、第1ポンピングセルには被測定ガス中の酸素濃度に応じた第1ポンプ電流Ip1が流れる。又、第1測定室41内の酸素濃度は、酸素濃度検出セルの電極間電圧に対応したものとなるため、この電極間電圧が一定電圧例えば425mVになるように第1ポンプ電流Ip1の通電量を制御し、第1測定室41内の酸素濃度をNOxが分解しない程度の所定濃度に調整する。酸素濃度が調整された被測定ガスはNOx測定室42に向かってさらに流れる。この時、第2ポンピングセルの端子間電圧電極間電圧として、被測定ガス中のNOxガスが酸素とN2ガスに分解する程度の一定電圧酸素濃度検出セルの制御電圧の値より高い電圧、例えば450mVを印加することにより、NOxが窒素と酸素に分解される。そして、NOxの分解により生じた酸素がNOx測定室42から基準酸素室53に配置される第2ポンプ対電極36に向かって汲み出されるように、第2ポンピングセルに第2ポンプ電流Ip2が流れる。第2ポンプ電流Ip2とNOx濃度の間には直線関係があるため、第2ポンプ電流Ip2を検出することにより被測定ガス中のNOx濃度を検出することができる。このように、NOxセンサは、第2ポンプ電流Ip2を検出しNOx濃度に換算する本実施形態では窒素酸化物の濃度に換算した値として説明するため、NOx濃度に換算するものとして説明するが、詳細にはNO濃度に換算するものであることで、NOx濃度を検出することができるが、前記被測定ガス中の水分が変化急変した場合、NOxが存在しない条件下でも第2ポンプ電流Ip2が流れる過渡ピークが生じるという問題がある。なお、本実施の形態において、第2ポンプ電流Ip2に基づくNOx濃度換算値の算出は、図示していないが、NOxセンサ素子4に接続されるマイクロコンピュータにて第2ポンプ電流Ip2を電圧変換して読み込み、所定の演算式等を用いてNOx濃度を演算することで算出することができる。なお、マイクロコンピュータによるNOx濃度換算値の算出については特開平10-142194号や特開平11-304758号等に記載されているため、これ以上の説明は省略する。この過渡ピークは、その絶対値最大ピーク値が大きいほどNOx濃度換算値に影響を与えるだけでなく、被測定ガス中の水分が急変してから過渡ピークが減衰してNOx濃度換算値の変動が収束する時間が長くなるほど、NOx濃度換算値に影響を与える時間も長くなる。図3は、従来の市販の固体電解質から構成されたNOxセンサディーゼル車用を用い、被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時の、第2ポンプ電流Ip2に基づくNOx濃度換算値Offset値ppmの実際の変動を示す。被測定ガス中の水分が急変すると、60ppmもの高い値の過渡ピークが生じると共に、このピークが基準値0ppmに戻るまで数10秒を要することがわかる。従って、車両走行中に被測定ガス中の水分が急変した場合、上記過渡ピークに起因して誤ったNOx濃度を換算し、NOx濃度の検出精度を低下させるおそれがある。そこで、本発明においては、以下のエージング処理を内側第2ポンプ電極35に施すことにより、被測定ガス中の水分が変化した場合にも、過渡ピークを小さくしてNOx濃度の検出精度の低下を防止又は抑制する。まず、図1のようにしてNOxセンサ素子100を組み付けたNOxセンサ200を、水分を略一定状態にしたリッチ雰囲気下で、NOxセンサ200より詳細には、第2ポンピングセルを予め設定した温度領域に加熱しつつ、内側第2ポンプ電極35と対極36との間に通電するエージング工程を行う。エージングにより上記した過渡ピークが小さくなる理由は明確ではないが、内側第2ポンプ電極35表面がよりポーラスに変化することが考えられる。ここで、リッチ雰囲気とは、理論空燃比λ=1に対して酸素の割合が少ない雰囲気、即ち、理想的な完全燃焼ができる空気と燃料の混合比である理論空燃比で燃焼されたガス雰囲気を基準にしたときに、そのガス雰囲気よりも酸素の割合が少ない酸素分圧が低いガス雰囲気を意味する。また、ここでいう水分が略一定状態とは、1時間あたりの絶対湿度の変化量が8以下である状態を意味する。このエージングにおけるリッチ雰囲気としては、例えばH2が数体積で残部N2のガスに対し、水分が0体積を超え5体積以下含むものが挙げられる。なお、リッチ雰囲気としては、COが1体積、CO2が10体積で残部がN2のガスに対し、水分が0体積を超え5体積以下含むものも例示できる。又、このエージング時の第2ポンピングセルの温度は例えば550~700°Cとすることができ、内側第2ポンプ電極35と対極36との間に通電する際の電圧を例えば0Vを超え1.8V以下とすることができる。このとき、エージングによる効果をより得るために、内側第2ポンプ電極35と対極36に対しては、高い電圧と低い電圧とを所定の周期で交番させる交番電圧を与えるのが好ましい。なお、低い電圧については0Vでも良く、本願発明では、内側第2ポンプ電極35と対極36に対してオン電圧が印加されているときの電圧値を0Vを超え1.8V以下とすれば良い。さらに、本実施例におけるより好ましいエージング条件は、リッチ雰囲気中の水分を0.1体積以上1体積以下とし、第2ポンピングセルの温度を600~700°Cとし、内側第2ポンプ電極35と対極36との間との間の電圧を1.0V以上1.8V以下としたオン電圧と0Vオフ電圧とが交互となる交番電圧を与える条件が挙げられる。通電時間は、例えば60秒程度とすることができる。図2に示すNOxセンサ素子100を用いて図1に示すNOxセンサ200を製造した。このNOxセンサ200の第2ポンピングセルを、ヒータ29を発熱させることにより630~700°Cの所定温度に加熱し、リッチ雰囲気H2=3体積、水分0.5体積、残部N2中で、内側第2ポンプ電極35と対極36との間に1.6Vと0Vとが交互となる交番電圧を印加してエージングを行った。次に、上記エージングを行ったNOxセンサ200を用い、被測定ガス中の水分を急変させた時のNOx濃度換算値Offset値の変動状態を測定した。測定は、図4に示す配管系統300を用いて行った。配管系統300は、モデルガス生成装置302、304と、モデルガス生成装置302、304の出側にそれぞれ設けられた配管312、314と、配管312、314にそれぞれ接続されるバルブ302a、304aと、バルブ302a、304aからそれぞれ出たガス流路が合流する統合配管316と、統合配管316の途中に設けられた分岐配管318とを備えている。分岐配管318にはNOxセンサ200が取り付けられ、統合配管316を流れるガスに曝されるようになっている。モデルガス生成装置302は、純N2但し、O2=CO2=0、NO=0ppmに水分を2体積混合したモデルガスAを生成し、モデルガス生成装置304は、純N2但し、O2=CO2=0、NO=0ppmに水分を8体積混合したモデルガスBを生成する。まず、モデルガス生成装置302で水分を2体積含むモデルガスAを生成し、バルブ302aを開いて統合配管316に4m/sの速度でガスAを流した。温度は室温とした。この時、ガスAに曝されたNOxセンサ200からの出力第2ポンプ電流Ip2は、図示しないセンサ制御部のマイクロコンピュータでNOx濃度換算値Offset値ppmに換算されるが、このOffset値をリアルタイムで計測した。次に、バルブ302aを閉じてバルブ304aを開き、モデルガス生成装置304で生成されたモデルガスB水分を8体積含むを統合配管316に4m/sの速度で流した。モデルガスAは、約1秒でモデルガスBに切り替わり、NOxセンサ200に曝された。図5は、モデルガス中の水分を2体積から8体積に変化させた切り替えた時の、Offset値の時間変化を示す。図5に示すように、エージング処理を700°Cで行った実施例1の場合、Offset値の過渡ピーク値最も高い値が20ppm以下であった。又、エージング処理を660°Cで行った実施例2の場合、Offset値の過渡ピーク値が10ppmを少し超える程度であり、エージング処理を630°Cで行った実施例2の場合、Offset値の過渡ピーク値が10ppm以下であり、他の実施例に比べて最も値が小さかった。又、実施例1~3はいずれもOffset値の変動が5秒以内に±5ppm内に収束した。なお、ガス中の水分が変動しない定常状態でのOffset値を0ppmとした。一方、上記エージング処理を行わなかった比較例の場合、Offset値の過渡ピーク値が20ppmを大幅に超えた。又、上記した図3は、上記エージング処理を行わない市販のNOxセンサディーゼル車用を用い、実施例1~3と同様にしてモデルガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時の、Offset値の時間変化を示す。市販品を用いた場合も、Offset値の過渡ピーク値が20ppmを大幅に超え、さらにOffset値の変動が20秒経過後も±5ppm内に収束しなかった。以上のことから、本発明の実施形態に係るNOxセンサは、被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時、第2ポンプ電流Ip2に基づくNOx濃度換算値の変動が5秒以内に±5ppm内に収束すると共に、NOx濃度換算値の過渡ピーク値が20ppm以下であることがわかる。又、本発明の実施形態に係るNOxセンサは、被測定ガス中の水分を2体積から8体積に変化させた時、第2ポンプ電流Ip2に基づくNOx濃度換算値の変動が3秒以内に±10ppm内に収束することがわかる。なお、本発明において、第2ポンプ電流Ip2に基づくNOx濃度換算値は、NOxセンサに接続されたセンサ制御部のマイクロコンピュータのCAN出力、または、センサ制御部と接続される車両側のエンジン制御装置ECUで読取る値を取得することで得られる。又、CAN出力やECUの読取り値がわからないときは、濃度既知のNOxをNOxセンサで検出した時の第2ポンプ電流Ip2を基準として求めることができる。本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。例えば、上記実施形態では、NOxセンサ素子を構成する固体電解質層を3層としたが、固体電解質層を2層としてもよい。固体電解質層が2層であるNOxセンサ素子構造は、例えば特開平9-288085号公報図2に記載されている。また、上記実施形態では、NOxセンサ素子の構成として各固体電解質層を加熱するヒータを第1固体電解質層22に貼り合わせセメント25を介して接合した構成としたが、絶縁層21に内蔵したヒータ29を第3固体電解質層24側第2ポンピングセル側に配置し、貼り合わせセメント25を用いずに、各固体電解質層と同時焼成により一体化させた構成にしても良い。さらに、上記実施形態においては、エージング処理をNOxセンサに対して行う例を示したが、センサに組み付ける前のNOxセンサ素子やセンサの中間組立体に対してエージング処理を行うこともできる。また、エージング処理における加熱を素子に内蔵されたヒータにより行う場合に限らず、外部ヒータを用いて行ってもよい。また、上記実施形態におけるリッチ雰囲気下でのエージング処理を行った後に、第2ポンプ電流Ip2の出力を安定化させるために、大気雰囲気下でNOxセンサ1を所定時間通常駆動させる安定化エージングを追加で実施するようにしても良い。本発明は、自動車や各種内燃機関の排ガス中や、ボイラ等の燃焼ガス中のNOxガス濃度検出用ガスセンサに適用することができる。