"第一凹部と、前記第一凹部から離間して形成される第二凹部と、前記第一凹部と前記第二凹部の間に設置され、一方の端部が前記第一凹部に開口し他方の端部が前記第二凹部に開口するチャンネルが複数配列するチャンネル列と、前記第二凹部又は前記第一凹部よりも外周側の表面に設置され、前記チャンネル列に駆動信号を伝達するための複数の電極端子からなる電極端子列とを備えるアクチュエータ部と、前記第一凹部に連通する第一液室と前記第二凹部に連通する第二液室とを備え、前記電極端子列を露出させ、前記チャンネル列を覆って前記アクチュエータ部に接合されるカバープレートと、前記チャンネルに連通するノズルの列からなるノズル列を備え、前記カバープレートとは反対側の前記アクチュエータ部に接合されるノズルプレートと、を備える液体噴射ヘッド。前記第二凹部は、前記第一凹部を挟むように設置される左右の第二凹部を含み、前記チャンネル列は、左右の前記第二凹部と前記第一凹部との間にそれぞれ設置される左右のチャンネル列を含み、前記電極端子列は、左右の前記第二凹部よりも外周側の表面に設置され、左右の前記チャンネル列にそれぞれ駆動信号を供給するための左右の電極端子列を含み、前記ノズル列は、左右の前記チャンネル列のチャンネルにそれぞれ連通する左右のノズル列を含む、請求項1に記載の液体噴射ヘッド。左側の前記ノズル列と右側の前記ノズル列とは列方向にチャンネルピッチの1/2ずれている請求項2に記載の液体噴射ヘッド。前記チャンネルは前記第一凹部から前記第二凹部まで延在する2つの壁により挟まれる溝からなり、前記チャンネル列は複数の前記壁により区画される複数の前記溝の配列からなり、前記壁の側面には駆動電極が設置される請求項1~3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記電極端子と前記駆動電極とは前記第二凹部又は前記第一凹部の底部に形成される配線電極を介して電気的に接続される請求項4に記載の液体噴射ヘッド。前記第二凹部又は前記第一凹部の底面は、前記壁に連続し、前記壁の上部が除去されて残る突条を備え、前記配線電極は前記突条の側面と隣接する前記突条の間の底面とに形成される請求項5に記載の液体噴射ヘッド。複数の前記溝は前記第二凹部又は前記第一凹部よりも前記アクチュエータ部の外周端側まで延設される請求項4~6のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記アクチュエータ部の端部側の表面に接合され、前記電極端子列に電気的に接続するフレキシブル基板を備える請求項1~7のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記アクチュエータ部は、前記表面に対して上方向に分極した圧電材料と下方向に分極した圧電材料とが積層される積層構造を含む請求項1~8のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記アクチュエータ部は、前記第一凹部と前記第二凹部の間が圧電材料から成り、前記第二凹部又は前記第一凹部よりも外周側が前記圧電材料よりも誘電率の小さい絶縁材料からなる請求項1~9のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記チャンネルは貫通孔を介して前記ノズルに連通する請求項1~10のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。前記アクチュエータ部はベースプレートを備え、前記貫通孔は前記ベースプレートに形成される請求項11に記載の液体噴射ヘッド。請求項1に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。ベースプレートに貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、圧電材料を含むアクチュエータ部を形成するアクチュエータ部形成工程と、前記アクチュエータ部を前記ベースプレートに接合する接合工程と、前記アクチュエータ部の前記ベースプレートとは反対側に並列する複数の溝と前記溝を区画する壁を形成し、並列する複数の前記溝からなるチャンネル列を構成する溝形成工程と、前記アクチュエータ部に導電材料を堆積し、複数の前記壁の上面と側面と前記溝の底面に導電膜を形成する導電膜形成工程と、前記溝の長手方向と交差する方向に複数の前記壁を研削し、前記チャンネル列を介して互いに離間し、複数の前記溝に連通する第一凹部と第二凹部を形成する凹部形成工程と、前記導電膜をパターニングして前記壁の側面に駆動電極を形成し、前記アクチュエータ部の表面に電極端子を形成する電極形成工程と、第一液室と第二液室を有するカバープレートを、前記第一液室を前記第一凹部に前記第二液室を前記第二凹部にそれぞれ連通させ、前記電極端子を露出させ、複数の前記溝の上部開口を閉塞して前記アクチュエータ部に接合するカバープレート接合工程と、前記ベースプレートの前記アクチュエータ部とは反対側を研削する研削工程と、前記ベースプレートにノズルプレートを接合するノズルプレート接合工程と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法。前記溝形成工程は、互いに離間する左右の前記チャンネル列を形成し、前記凹部形成工程は、左右の前記チャンネル列の間に前記第一凹部を形成し、左右の前記チャンネル列の前記第一凹部に対して外側に左右の前記第二凹部を形成する請求項14に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記溝形成工程は、左側の前記チャンネル列を右側の前記チャンネル列に対して列方向にチャンネルピッチの1/2ずらして前記溝を形成する請求項15に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記凹部形成工程は、前記第一凹部を形成する際に前記溝の底面まで研削し、左右の前記第二凹部を形成する際に前記溝の底面を残し前記壁の上部を研削する工程である請求項15又は16に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記アクチュエータ部形成工程は、基板面に対して上方に分極した圧電材料と下方に分極した圧電材料を積層して接合する工程である請求項14~17のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記アクチュエータ部形成工程は、前記圧電材料よりも誘電率の小さい絶縁材料からなる絶縁体基板の前記チャンネル列となる領域に前記圧電材料からなる圧電体基板を嵌め込んで前記アクチュエータ部を形成する工程である請求項14~18のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記溝形成工程の前に、前記アクチュエータ部の前記ベースプレートとは反対側の表面に感光性樹脂膜を設置する感光性樹脂膜設置工程を更に含み、前記電極形成工程は、前記感光性樹脂膜を除去するリフトオフ法により前記導電膜のパターニングする請求項14~19のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記溝形成工程は、前記ベースプレートに達する深さに形成する工程である請求項14~20のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記溝形成工程は、前記第一凹部又は前記第二凹部よりも前記アクチュエータ部の外周端側まで延長して形成する工程である請求項14~21のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。前記アクチュエータ部の表面にフレキシブル基板を接合し、前記フレキシブル基板に形成した配線電極と前記電極端子とを電気的に接続するフレキシブル基板接合工程を更に含む請求項14~22のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。特許文献1に記載されるインクジェットヘッド60では、基板62の表面に接着した圧電部材65を台形状に傾斜加工する必要がある。更に、この台形状の傾斜面と両側面と基板62の表面とに導電膜を形成し、両側面の導電膜を電気的に分離して電極76を形成するとともに、基板62上の導電膜をパターニングして多数の電気配線77を形成する必要がある。しかし基板62の表面には圧電部材65が接着されて多数の突起物が存在する。また、加工すべき導電膜が傾斜している。そのために、フォトリソグラフィー及びエッチング法による微細加工が困難である。そこで、特許文献1ではレーザーパターニングにより電気配線77を一本ずつ形成し、圧電部材65の傾斜面ごとに傾斜面上の導電膜を電気的に分離している。このように電極の加工が線加工なので、位置合わせ等が複雑でかつ多大な時間を要する。また、基板62の上に電気配線77を形成した後に枠部材63を設置するので、枠部材63の位置合わせ、接着加工、また、枠部材63の表面94aと台形状の圧電部材65の表面の平坦化等、製造工程が極めて複雑となる。また、特許文献1のインクジェットヘッド60では、基板62に対してインクの吐出側の表面92aの側に電気配線77が形成され、IC66が搭載される。カバー部材64と被記録媒体との間は近接するので、IC66の高さが制限される。また、IC66と図示されない制御回路とをフレキシブル基板等により電気的に接続しなければならないが、その場合も高さが制限される。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、電極パターンの加工が容易であり、かつ、制御回路等との間の電気的接続部の高さ制限が緩和された液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。本発明の液体噴射ヘッドは、第一凹部と、前記第一凹部から離間して形成される第二凹部と、前記第一凹部と前記第二凹部の間に設置され、一方の端部が前記第一凹部に開口し他方の端部が前記第二凹部に開口するチャンネルが複数配列するチャンネル列と、前記第二凹部又は前記第一凹部よりも外周側の表面に設置され、前記チャンネル列に駆動信号を伝達するための複数の電極端子からなる電極端子列とを備えるアクチュエータ部と、前記第一凹部に連通する第一液室と前記第二凹部に連通する第二液室とを備え、前記電極端子列を露出させ、前記チャンネル列を覆って前記アクチュエータ部に接合されるカバープレートと、前記チャンネルに連通するノズルの列からなるノズル列を備え、前記カバープレートとは反対側の前記アクチュエータ部に接合されるノズルプレートと、を備えることとした。また、前記第二凹部は、前記第一凹部を挟むように設置される左右の第二凹部を含み、前記チャンネル列は、左右の前記第二凹部と前記第一凹部との間にそれぞれ設置される左右のチャンネル列を含み、前記電極端子列は、左右の前記第二凹部よりも外周側の表面に設置され、左右の前記チャンネル列にそれぞれ駆動信号を供給するための左右の電極端子列を含み、前記ノズル列は、左右の前記チャンネル列のチャンネルにそれぞれ連通する左右のノズル列を含むこととした。また、左側の前記ノズル列と右側の前記ノズル列とは列方向にチャンネルピッチの1/2ずれていることとした。また、前記チャンネルは前記第一凹部から前記第二凹部まで延在する2つの壁により挟まれる溝からなり、前記チャンネル列は、複数の前記壁により区画される複数の前記溝の配列からなり、前記壁の側面には駆動電極が設置されることとした。また、前記電極端子と前記駆動電極とは前記第二凹部又は前記第一凹部の底部に形成される配線電極を介して電気的に接続されることとした。また、前記第二凹部又は前記第一凹部の底面は、前記壁に連続し、前記壁の上部が除去されて残る突条を備え、前記配線電極は前記突条の側面と隣接する前記突条の間の底面とに形成されることとした。また、複数の前記溝は前記第二凹部又は前記第一凹部よりも前記アクチュエータ部の外周端側まで延設されることとした。また、前記アクチュエータ部の端部側の表面に接合され、前記電極端子列に電気的に接続するフレキシブル基板を備えることとした。また、前記アクチュエータ部は、前記表面に対して上方向に分極した圧電材料と下方向に分極した圧電材料とが積層される積層構造を含むこととした。また、前記アクチュエータ部は、前記第一凹部と前記第二凹部の間が圧電材料から成り、前記第二凹部又は前記第一凹部よりも外周側が前記圧電材料よりも誘電率の小さい絶縁材料からなることとした。また、前記チャンネルは貫通孔を介して前記ノズルに連通することとした。また、前記アクチュエータ部はベースプレートを備え、前記貫通孔は前記ベースプレートに形成されることとした。本発明の液体噴射ヘッドは、上記いずれかに記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを往復移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、ベースプレートに貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、圧電材料を含むアクチュエータ部を形成するアクチュエータ部形成工程と、前記アクチュエータ部を前記ベースプレートに接合する接合工程と、前記アクチュエータ部の前記ベースプレートとは反対側に並列する複数の溝と前記溝を区画する壁を形成し、並列する複数の前記溝からなるチャンネル列を構成する溝形成工程と、前記アクチュエータ部に導電材料を堆積し、複数の前記壁の上面と側面と前記溝の底面に導電膜を形成する導電膜形成工程と、前記溝の長手方向と交差する方向に複数の前記壁を研削し、前記チャンネル列を介して互いに離間し、複数の前記溝に連通する第一凹部と第二凹部を形成する凹部形成工程と、前記導電膜をパターニングして前記壁の側面に駆動電極を形成し、前記アクチュエータ部の表面に電極端子を形成する電極形成工程と、第一液室と第二液室を有するカバープレートを、前記第一液室を前記第一凹部に前記第二液室を前記第二凹部にそれぞれ連通させ、前記電極端子を露出させ、複数の前記溝の上部開口を閉塞して前記アクチュエータ部に接合するカバープレート接合工程と、前記ベースプレートの前記アクチュエータ部とは反対側を研削する研削工程と、前記ベースプレートにノズルプレートを接合するノズルプレート接合工程と、を備えることとした。また、前記溝形成工程は、互いに離間する左右の前記チャンネル列を形成し、前記凹部形成工程は、左右の前記チャンネル列の間に前記第一凹部を形成し、左右の前記チャンネル列の前記第一凹部に対して外側に左右の前記第二凹部を形成することとした。また、前記溝形成工程は、左側の前記チャンネル列を右側の前記チャンネル列に対して列方向にチャンネルピッチの1/2ずらして前記溝を形成することとした。また、前記凹部形成工程は、前記第一凹部を形成する際に前記溝の底面まで研削し、左右の前記第二凹部を形成する際に前記溝の底面を残し前記壁の上部を研削する工程であることとした。また、前記アクチュエータ部形成工程は、基板面に対して上方に分極した圧電材料と下方に分極した圧電材料を積層して接合する工程であることとした。また、前記アクチュエータ部形成工程は、前記圧電材料よりも誘電率の小さい絶縁材料からなる絶縁体基板の前記チャンネル列となる領域に前記圧電材料からなる圧電体基板を嵌め込んで前記アクチュエータ部を形成する工程であることとしたまた、前記溝形成工程の前に、前記アクチュエータ部の前記ベースプレートとは反対側の表面に感光性樹脂膜を設置する感光性樹脂膜設置工程を更に含み、前記電極形成工程は、前記感光性樹脂膜を除去するリフトオフ法により前記導電膜のパターニングすることとした。また、前記溝形成工程は、前記ベースプレートに達する深さに形成する工程であることとした。また、前記溝形成工程は、前記第一凹部又は前記第二凹部よりも前記アクチュエータ部の外周端側まで延長して形成する工程であることとした。また、前記アクチュエータ部の表面にフレキシブル基板を接合し、前記フレキシブル基板に形成した配線電極と前記電極端子とを電気的に接続するフレキシブル基板接合工程を更に含むこととした。本発明の液体噴射ヘッドは、第一凹部と、第一凹部から離間して形成される第二凹部と、第一凹部と第二凹部の間に設置され、一方の端部が第一凹部に開口し他方の端部が第二凹部に開口するチャンネルが複数配列するチャンネル列と、第二凹部又は第一凹部よりも外周側の表面に設置され、チャンネル列に駆動信号を伝達するための複数の電極端子からなる電極端子列とを備えるアクチュエータ部と、第一凹部に連通する第一液室と第二凹部に連通する第二液室とを備え、電極端子列を露出させ、チャンネル列を覆ってアクチュエータ部に接合されるカバープレートと、チャンネルに連通するノズルの列からなるノズル列を備え、カバープレートとは反対側のアクチュエータ部に接合されるノズルプレートと、を備える。これにより、液体吐出面とは反対側に電極端子が設置されるので、外部回路との間の接続に高さの制限を設ける必要がない。また、配線電極を形成する際に一括してパターニングすることができるので、製造方法が容易となる。<液体噴射ヘッド>第一実施形態図1は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド1のチャンネル8の長手方向に沿った縦断面模式図である。図1に示すように、液体噴射ヘッド1は、液滴吐出用のチャンネル8が構成されるアクチュエータ部2と、チャンネル8の一方の側の開口を塞ぐカバープレート3と、アクチュエータ部2に接合されチャンネル8の他方の側を塞ぐ液滴吐出用のノズルプレート5とを備える。アクチュエータ部2は、第一凹部6と、この第一凹部6から離間して形成される第二凹部7と、第一凹部6と第二凹部7の間に設置され、一方の端部が第一凹部6に開口し他方の端部が第二凹部7に開口するチャンネル8が複数紙面奥側に配列する図示しないチャンネル列と、第一凹部6よりも外周側の表面Hに設置され、チャンネル列に駆動信号を伝達するための複数の電極端子10からなる紙面奥側に配列する図示しない電極端子列とを備える。アクチュエータ部2は、分極処理が施された圧電材料を使用することができる。圧電材料として、例えばチタン酸ジルコン酸鉛PZTセラミックする使用する。アクチュエータ部2は、表面Hに対して上方向表面Hの法線方向に分極した圧電材料と下方向法線方向とは反対方向に分極した圧電材料とが積層される積層構造とすることができる。チャンネル8は、第一凹部6から第二凹部7まで延在する2つの壁19により挟まれる溝18からなり、チャンネル列は、複数の壁19により区画される複数の溝18の配列からなる。チャンネル8を構成する各壁19の側面には駆動電極16が設置される。第一凹部6及び第二凹部7は、複数の壁19の一部である突条22を残して除去した領域からなる。そのため、突条22の側面と壁19の側面とは連続する。また、各チャンネル8は第一凹部6及び第二凹部7に開口する。カバープレート3は、第一凹部6に連通する第一液室12と第二凹部7に連通する第二液室13とを備え、電極端子10が紙面奥側に配列する電極端子列を露出させ、チャンネル8が紙面奥側に配列するチャンネル列を覆ってアクチュエータ部2の表面Hに接合される。カバープレート3として、熱膨張係数がアクチュエータ部2と同程度とすることが好ましい。例えば、カバープレート3として、アクチュエータ部2と同じ材料の圧電材料を使用することができる。ノズルプレート5は、チャンネル8に連通するノズル14の列から成り紙面奥側に配列する図示しないノズル列を備え、アクチュエータ部2に接合される。ノズルプレート5は溝18の底部を構成し、この底部のチャンネル8側の表面には配線電極17が延設される。ノズルプレート5として、ポリイミドフィルムを使用することができる。また、ポリイミドフィルムよりも剛性の高いセラミックス材料やガラス材料、その他の無機材料を使用することができる。アクチュエータ部2の外周端側の表面Hにフレキシブル基板21が設置される。フレキシブル基板21に形成される配線電極23と電極端子10が図示しない異方性導電材を介して電気的に接続される。電極端子10と駆動電極16とは第一凹部6の底面Gに形成した配線電極17を介して電気的に接続される。即ち、第一凹部6の底面Gは、壁19に連続し壁19の上部が除去されて残る突条22を備え、配線電極17は突条22の側面と隣接する突条22との間の底面Gに形成される。従って、電極端子10に与えられる駆動信号は、配線電極17を介して駆動電極16に伝達される。この液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。図示しない液体タンクからカバープレート3の第一液室12に液体を供給する。すると、液体は第一凹部6に流入し、第一凹部6から各チャンネル8に充填される。更に液体は、第二凹部7から第二液室13に流出し、図示しない液体タンクに戻される。次に、図示しない制御回路から電極端子10に駆動信号が与えられると、配線電極17を介して対応するチャンネル8を構成する壁19の側面の駆動電極16に駆動信号が伝達される。駆動信号に基づいて壁19に電界が印加されると壁19はせん断モードで変形し、壁19が屈曲変形してチャンネル8の容積を変化させ、内部に充填される液体がノズル14を介して液滴として吐出される。この液体噴射ヘッド1は、例えば3つのチャンネルを一組として各チャンネルを順次選択する3サイクル駆動により吐出動作を行う。このように、液滴が吐出される側とは反対側のアクチュエータ部2の表面Hに電極端子列11を設けたので外部回路との間の接続に高さ制限を設ける必要がなく、電極端子列11に設置するフレキシブル基板21やその他の素子に対する厚さの制約が大幅に緩和される。また、アクチュエータ部2の表面Hに形成する電極端子10を一括してパターニングすることができる。また、液体が循環する循環型の液体噴射ヘッド1なので、アクチュエータ部2を駆動することにより発熱する熱が液体に伝達されて、効率よく放熱することができる。また、液体に混入する気泡や塵埃を外部に迅速に排出でき、無駄に液体を使用せず、記録不良による被記録媒体の無駄な消費を抑制することができる。また、溝18の底部に高誘電率の圧電材料が存在しないので、隣接するチャンネル8間において駆動信号が漏れ出すクロストークが低減する。また、第一及び第二凹部6、7は壁19の大部分が除去されるので、この領域に壁19が存在しその両側面に駆動電極が形成される場合と比較して、消費電力が大幅に低減する。なお、上記実施形態において、アクチュエータ部2として分極処理が施された圧電材料を使用したが、これに代えて、チャンネル8を構成する壁19のみを圧電材料とし、第一凹部6や第二凹部7、及び第一凹部6や第二凹部7よりも外周側の材料を圧電材料よりも誘電率の小さい絶縁材料とすることができる。このように構成すれば、高価な圧電材料の使用量を減少させて製造コストを削減することができる。また、圧電材料上に配線電極や電極端子列が形成されないので、電極間の容量が低下し、消費電力が大幅に低減する。なお、絶縁材料として、マシナブルセラミックスやアルミナセラミックス、二酸化ケイ素等の低誘電率材料を使用することができる。第二実施形態図2は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド1のチャンネル8の長手方向に沿った縦断面模式図である。第一実施形態と異なる部分は、チャンネル8を構成する溝18の底面にアクチュエータ部2が残されており、チャンネル8は残されたアクチュエータ部2に形成される貫通孔20を介してノズル14に連通する点である。その他の構成は第一実施形態と同様である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。溝18の底部にアクチュエータ部2が残るようにアクチュエータ部2を研削する。そして、残したアクチュエータ部2を裏面側から研削して薄くし、チャンネル8に連通する貫通孔20をサンドブラスト等により形成する。このように、溝18の底部にアクチュエータ部2を残すことにより、第一及び第二液体室12、13を形成する際に壁19が安定し、製造が容易となる。その他は第一実施形態と同様なので説明を省略する。第三実施形態図3~図5は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド1を説明するための図であり、図3は液体噴射ヘッド1のチャンネル8の長手方向に沿った縦断面模式図であり、図4は液体噴射ヘッド1の模式的な部分分解斜視図であり、図5は第一凹部6の構造の一例を表す模式的な部分斜視図である。図3及び図4に示すように、液体噴射ヘッド1は、液滴吐出用のチャンネル8が構成されるアクチュエータ部2と、チャンネル8の一方の側の開口を塞ぐカバープレート3と、カバープレート3とは反対側のアクチュエータ部2に接合される液滴吐出用のノズルプレート5とを備える。アクチュエータ部2は、ノズルプレート5の側にベースプレート4を備える。以下の説明においては、ベースプレート4を除いた部分をアクチュエータ部2とし、アクチュエータ部2とベースプレート4とは別体として説明する。アクチュエータ部2は、第一凹部6と、この第一凹部6から離間して形成される第二凹部7と、第一凹部6と第二凹部7の間に設置され、一方の端部が第一凹部6に開口し他方の端部が第二凹部7に開口するチャンネル8が複数配列するチャンネル列9と、第一凹部6よりも外周側の表面Hに設置され、チャンネル列9に駆動信号を伝達するための複数の電極端子10からなる電極端子列11とを備える。アクチュエータ部2は、分極処理が施された圧電材料を使用することができる。圧電材料として、例えばチタン酸ジルコン酸鉛PZTセラミックする使用する。アクチュエータ部2は、表面Hに対して上方向z方向に分極した圧電材料と下方向-z方向に分極した圧電材料とが積層される積層構造とすることができる。チャンネル8は、第一凹部6から第二凹部7まで延在する2つの壁19により挟まれる溝18からなり、チャンネル列9は、複数の壁19により区画される複数の溝18の配列からなる。チャンネル8を構成する各壁19の側面には駆動電極16が設置される。第一凹部6及び第二凹部7は、複数の壁19の一部である突条22を残して除去した領域からなる。そのため、突条22の側面と壁19の側面とは連続する。また、各チャンネル8は第一凹部6及び第二凹部7に開口する。なお、溝18は、アクチュエータ部2が底面に残る深さに形成してもよいし、ベースプレート4に達する深さまで形成してもよい。ベースプレート4を圧電材料よりも誘電率の小さい低誘電率材料を使用する場合は、溝18をベースプレート4に達する深さに形成するのが好ましい。溝18を構成する2つの壁19の間から高誘電率の圧電材料を除去することにより、隣接するチャンネルに駆動信号が漏れ出すクロストークを低減させることができる。カバープレート3は、第一凹部6に連通する第一液室12と第二凹部7に連通する第二液室13とを備え、上記電極端子列11を露出させ、チャンネル列9を覆ってアクチュエータ部2の表面Hに接合される。カバープレート3として、熱膨張係数がアクチュエータ部2と同程度とすることが好ましい。例えば、カバープレート3として、アクチュエータ部2と同じ材料の圧電材料を使用することができる。ベースプレート4は、各チャンネル8にそれぞれ連通する複数の貫通孔20を有し、カバープレート3とは反対側のアクチュエータ部2に接合される。ベースプレート4として、マシナブルセラミックス、PZTセラミックス、酸化シリコン、酸化アルミニウムアルミナ、窒化アルミニウム等のセラミックス材を使用することができる。マシナブルセラミックスとしては、例えばマセライト、マコール、ホトベール、シェイパル以上いずれも登録商標等を使用することができる。特に、マシナブルセラミックスは、研削加工が容易であり、熱膨張係数をアクチュエータ部2と同等とすることができる。そのため、温度変化に対してアクチュエータ部2が反る、或いは割れることがなく、信頼性の高い液体噴射ヘッド1を構成することができる。加えて、マシナブルセラミックスを使用すれば圧電材料よりも誘電率が小さいので、隣接するチャンネル間で発生するクロストークを低減させることができる。ノズルプレート5は、貫通孔20を介しチャンネル8に連通するノズル14の列から成るノズル列15を備え、ベースプレート4に接合される。ノズルプレート5として、ポリイミドフィルムを使用することができる。アクチュエータ部2の外周端側の表面Hにフレキシブル基板21が設置される。フレキシブル基板21に形成される配線電極23と電極端子10が図示しない異方性導電材を介して電気的に接続される。電極端子10と駆動電極16とは第一凹部6の底面Gに形成した配線電極17を介して電気的に接続される。即ち、第一凹部6の底面Gは、壁19に連続し壁19の上部が除去されて残る突条22を備え、配線電極17は突条22の側面と隣接する突条22との間の底面Gに形成される。従って、電極端子10に与えられる駆動信号は、配線電極17を介して駆動電極16に伝達される。図5を用いて具体的に説明する。第一凹部6の底面Gは、溝18に連続する円弧状底面GCと、この円弧状底面GCから突出し上面が階段状の階段状底面GSを含む。配線電極17は円弧状底面GCの上に形成される導電膜と突条22の側面に形成される導電膜とからなる。後に詳細に説明するが、この円弧状底面GCは、溝18を形成する際に円盤状のダイシングブレードダイシングソー、ダイヤモンドホイールとも言う。を用いたことによる。また、上端部が階段状の突条22は、溝18に直交する方向の各階段の幅に相当するダイシングブレードにより壁19を研削して形成したことによる。この際、円弧状底面GCに形成した配線電極17を切断しないようにする。ダイシングブレードの外周が円弧状底面GCに達しないように研削するので、壁19に連続する突条22が残る。なお、第二凹部7の底面にも突条22が形成され、第二凹部7の底面に配線電極17が形成されているが、第二凹部7の底面の突条22や配線電極17は研削して除去してもよい。また、第二凹部7の底面Gを必ずしも円弧状とする必要はなく、第二凹部7を形成する際に円弧状の底面Gを除去してもよい。この液体噴射ヘッド1は次のように駆動する。図示しない液体タンクからカバープレート3の第一液室12に液体を供給する。すると、液体は第一凹部6に流入し、第一凹部6から各チャンネル8に充填される。更に液体は、第二凹部7から第二液室13に流出し、図示しない液体タンクに戻される。次に、図示しない制御回路から電極端子10に駆動信号が与えられると、配線電極17を介して対応するチャンネル8を構成する壁19の側面の駆動電極16に駆動信号が伝達される。駆動信号に基づいて壁19に電界が印加されると壁19はせん断モードで変形し、壁19が屈曲変形してチャンネル8の容積を変化させ、内部に充填される液体が貫通孔20及びノズル14を介して液滴として吐出される。この液体噴射ヘッド1は、3つのチャンネルを一組として各チャンネルを順次選択する3サイクル駆動により吐出動作を行う。このように、液滴が吐出される側とは反対側のアクチュエータ部2の表面Hに電極端子列11を設けたので外部回路との間の接続に高さ制限を設ける必要がなく、電極端子列11に設置するフレキシブル基板21やその他の素子に対する厚さの制約が大幅に緩和される。また、後に詳細に説明するが、アクチュエータ部2の表面Hに形成する電極端子10を一括してパターニングすることができる。また、液体が循環する循環型の液体噴射ヘッド1なので、アクチュエータ部2を駆動することにより発熱する熱が液体に伝達されて、効率よく放熱することができる。また、液体に混入する気泡や塵埃を外部に迅速に排出でき、無駄に液体を使用せず、記録不良による被記録媒体の無駄な消費を抑制することができる。なお、上記実施形態において、アクチュエータ部2として分極処理が施された圧電材料を使用したが、これに代えて、チャンネル8を構成する壁19のみを圧電材料とし、第一凹部6や第二凹部7、及び第一凹部6や第二凹部7よりも外周側の材料を圧電材料よりも誘電率の小さい絶縁材料とすることができる。このように構成すれば、高価な圧電材料の使用量を減少させて製造コストを削減することができる。また、圧電材料上に配線電極や電極端子列が形成されないので、電極間の容量が低下し、消費電力が大幅に低減する。なお、絶縁材料として、マシナブルセラミックスやアルミナセラミックス、二酸化ケイ素等の低誘電率材料を使用することができる。第四実施形態図6は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド1のチャンネル8の長手方向に沿った縦断面模式図である。第三実施形態と異なる部分は、チャンネル8を構成する溝18が、第一凹部6及び第二凹部7を超えてアクチュエータ部2の外周端までストレートに形成されている点であり、その他の構成は第三実施形態と同様である。従って、以下、第三実施形態と異なる部分について説明する。アクチュエータ部2のチャンネル8を構成する溝18は、第一凹部6及び第二凹部7を超えてアクチュエータ部2の外周端まで延設される。第一凹部6及び第二凹部7は、壁19を突条22が残る程度の深さまで研削して形成される。第一凹部6及び第二凹部7の底部は、チャンネル8を構成する溝18の底面と同じ深さの平坦面と、壁19に連続する突条22とからなる。配線電極17は、溝18の底面に形成される導電膜と、これに連続する第一凹部6の底面及び突条22の側面に形成される導電膜と、突条22の側面に連続し、第一凹部6よりも外周側の壁19’の側面に形成される導電膜とから構成される。第一凹部6と第二凹部7のアクチュエータ部2の外周側に封止材24を設置して、チャンネル8に充填される液体が外部に漏洩しないようにする。なお、封止材24は図6に示す位置に限定されず、カバープレート3の端部側に設置してもよい。本実施形態においても、第一凹部6及び第二凹部7の底部に壁19に連続する突条22が残されている。その理由は、第三実施形態の場合と同様に、第一凹部6及び第二凹部7を形成する際に、ダイシングブレードの外周が底面Gに達しないように壁19を研削し、底面Gに堆積した導電膜の切断を防ぐためである。なお、図6では第二凹部7の底面Gに突条22が形成され、突条22と突条22の間の底面Gに配線電極17が形成されているが、第二凹部7の突条22及び底面Gの導電膜は研削して除去してもよい。チャンネル8を構成するための溝18を第一凹部6及び第二凹部7を超えてアクチュエータ部2の外周端までストレートに形成するので、ダイシングブレードの外形形状の影響を受けることなく液体噴射ヘッド1を小型化することができる。例えば、直径が2インチのダイシングブレードを用いて深さ約0.35mmの溝18を形成する場合、底面Gが円弧形状となる溝18方向の長さがおよそ8mmであり、直径が4インチの場合はおよそ12mm必要となる。これに対して、本実施形態のように溝18をストレートに形成するので、この長さを数分の一以下に縮小することができる。また、液体噴射ヘッド1の大きさと同じにするのであれば、チャンネル8を長く形成することができる。その他については第三実施形態と同様なので説明を省略する。第五実施形態図7及び図8は本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド1を説明するための図であり、図7が液体噴射ヘッド1のチャンネル8の長手方向に沿った縦断面模式図であり、図8が液体噴射ヘッド1の模式的な部分分解斜視図である。第四実施形態と異なる点は、左右対称に2列のチャンネル列を構成し、これに対応する2列のノズル列を備え、記録密度を2倍に向上させることができる点である。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。図7及び図8に示すように、液体噴射ヘッド1は、液滴吐出用の左及び右チャンネル8L、8Rが構成されるアクチュエータ部2と、左及び右チャンネル8L、8Rの一方の側の開口を塞ぐカバープレート3と、カバープレート3とは反対側のアクチュエータ部2に接合されるベースプレート4と、ベースプレート4に接合される液滴吐出用のノズルプレート5とを備える。アクチュエータ部2は、第一凹部6と、この第一凹部6から離間し、第一凹部6を挟むように設置される左及び右第二凹部7L、7Rと、第一凹部6と左第二凹部7Lの間に設置され、一方の端部が第一凹部6に開口し、他方の端部が左第二凹部7Lに開口する左チャンネル8Lが複数配列する左チャンネル列9Lと、第一凹部6と右第二凹部7Rの間に設置され、一方の端部が第一凹部6に開口し、他方の端部が右第二凹部7Rに開口する右チャンネル8Rが複数配列する右チャンネル列9Rとを備える。アクチュエータ部2は、更に、左第二凹部7Lよりも外周側の表面Hに設置され、左チャンネル列9Lに駆動信号を伝達するための複数の左電極端子10Lからなる左電極端子列11Lと、右第二凹部7Rよりも外周側の表面Hに設置され、右チャンネル列9Rに駆動信号を伝達するための複数の右電極端子10Rからなる右電極端子列11Rとを備える。アクチュエータ部2は、分極処理が施された圧電材料を使用することができる。圧電材料や分極方向は第三実施形態と同様である。左チャンネル8Lは、第一凹部6から左第二凹部7Lまで延在する2つの壁19により挟まれる溝18からなり、左チャンネル列9Lは複数の壁19により区画される複数の溝18の配列からなる。右チャンネル8Rは、第一凹部6から右第二凹部7Rまで延在する2つの壁19により挟まれる溝18からなり、右チャンネル列9Rは複数の壁19により区画される複数の溝18の配列からなる。更に、左右のチャンネル8L、8Rを構成する各溝18は、左右の第二凹部7L、7Rよりもアクチュエータ部2の外周端側まで延設される。左右のチャンネル8L、8Rを構成する各壁19の側面には駆動電極16が設置される。左右の第二凹部7L、7Rは、複数の壁19の一部である突条22を残して除去した領域からなる。そのため、突条22の側面と壁19の側面、及び、アクチュエータ部2の外周端側の壁19’の側面とが連続する。第一凹部6は、複数の壁19の全部を除去し、その底面に突条22が残されない。左チャンネル列9Lの各左チャンネル8Lは、第一凹部6と左第二凹部7Lに開口する。同様に、右チャンネル列9Rの各右チャンネル8Rは、第一凹部6と右第二凹部7Rに開口する。カバープレート3は、第一凹部6に連通する第一液室12と、左第二凹部7Lに連通する左第二液室13Lと、右第二凹部7Rに連通する右第二液室13Rとを備え、左電極端子列11Lと右電極端子列11Rを露出させ、左チャンネル列9Lと右チャンネル列9Rを覆ってアクチュエータ部2の表面Hに接合される。カバープレート3の材質等は第三実施形態と同様なので、説明を省略する。ベースプレート4は、左チャンネル列9Lの各左チャンネル8Lにそれぞれ連通する複数の貫通孔20Lと、右チャンネル列9Rの各右チャンネル8Rにそれぞれ連通する複数の貫通孔20Rとを備え、カバープレート3とは反対側のアクチュエータ部2に接合される。ベースプレート4の材質等は第三実施形態と同様なので説明を省略する。ノズルプレート5は、貫通孔20Lを介して左チャンネル列9Lの各左チャンネル8Lにそれぞれ連通する複数の左ノズル14Lからなる左ノズル列15Lと、貫通孔20Rを介して右チャンネル列9Rの各右チャンネル8Rにそれぞれ連通する複数の右ノズル14Rからなる右ノズル列15Rとを備え、ベースプレート4に接合される。ノズルプレート5の材質等は第三実施形態と同様なので、説明を省略する。アクチュエータ部2の左外周端側の表面Hに左フレキシブル基板21Lが設置され、左フレキシブル基板21Lに形成される各配線電極23Lと各左電極端子10Lが図示しない異方性導電材を介して電気的に接続される。同様に、アクチュエータ部2の右外周端側の表面Hに右フレキシブル基板21Rが設置され、右フレキシブル基板21Rに形成される各配線電極23Rと各右電極端子10Rが図示しない異方性導電材を介して電気的に接続される。左及び右第二凹部7L、7Rの底面Gに壁19及び壁19’に連続する突条22が残されている。これは、第四実施形態と同様に、左及び右第二凹部7L、7Rを形成する際に、ダイシングブレードの外周が底面Gに達しないようにして壁19を研削し、底面Gに堆積した導電膜の切断を防ぐためである。壁19’の上端面に形成される左電極端子10Lと左チャンネル8Lの壁19の側面に形成される駆動電極16とは、左チャンネル8Lの溝18の底面Gに形成される配線電極17と、溝18の底面Gに連続する左第二凹部7Lの底面Gと突条22の側面に形成される配線電極17と、外周部の壁19’が構成する溝の底面と壁19’の側面に形成される配線電極17を介して電気的に接続される。更に、第四実施形態と同様に、左及び右第二凹部7L、7Rのアクチュエータ部2の外周側に封止材24が設置され、左及び右チャンネル8L,8Rや左及び右第二凹部7L、7Rに充填される液体が外部に漏洩するのを防止する。なお、封止材は図7に示される位置に限定されず、カバープレート3の端部側に設置してもよい。この液体噴射ヘッド1は次のように動作する。図示しない液体タンクからカバープレート3の第一液室12に液体を供給する。液体は第一凹部6に流入し、第一凹部6から左及び右チャンネル列9L、9Rの各チャンネル8に充填される。更に、液体は左第二凹部7L及び右第二凹部7Rから左第二液室13L及び右第二液室13Rのそれぞれに流出し、図示しない液体タンクに戻される。次に、図示しない制御回路から左及び右電極端子列11L、11Rのそれぞれの電極端子10L、10Rに駆動信号が与えられると、配線電極17を介して対応するチャンネル8の駆動電極16に駆動信号が伝達される。その駆動信号に応じて、壁19に電界が印加され、壁19が変形して、対応するそれぞれのノズル14L、14Rから液滴が吐出される。このように、チャンネルの構造や液体の流れが左右対称になるように構成したので、左ノズル列15Lから吐出される液滴の吐出条件と右ノズル列15Rから吐出される液滴の吐出条件を一致させることができる。また、チャンネルを構成するための溝18を、アクチュエータ部2の一方端から他方端までストレートに形成したので、ダイシングブレードの外形形状の影響を受けることなく液体噴射ヘッド1を小型化することができる。また、液滴が吐出される側とは反対側のアクチュエータ部2の表面Hに左及び右電極端子列11L、11Rを設けたので、外部回路との間の接続に高さ制限を設ける必要がなく、左及び右電極端子列11L、11Rに設置するフレキシブル基板21やその他の素子に対する厚さの制限が大幅に緩和される。第六実施形態図9は、本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッド1のチャンネル8の長手方向に沿った縦断面模式図である。第五実施形態と異なる部分は、左及び右第二凹部7L、7Rの底面が円弧形状を有する点であり、その他の部分は第五実施形態と同様である。従って、以下、異なる部分について説明する。図9に示すように、左第二凹部7Lの底部は、左チャンネル8Lの溝18の底面Gに連続する円弧状底面と、この円弧状底面よりも上部に突出する突条22を備えている。この円弧形状は、左チャンネル8Lをダイシングブレードにより形成する際に、ダイシングブレードの外形形状が転写されるためである。右チャンネル8Rの底部も同様に円弧形状を備える。実際の形状は図5に示されるように、円弧形状の底面とこの底面から突出する突条22を備え、この突条22の上端は階段状に形成される。その理由は第三実施形態において説明した通りである。左及び右第二凹部7L、7Rの底部が液体の流れに沿って漸次浅くなる傾斜を有し、底部が矩形形状の場合と比較して液体が滞留せず、流れがスムーズとなる。そのため、液体噴射ヘッドの内部のクリーニングや液体の交換が容易となる。また、液体に混入する気泡がチャンネルの近傍に滞留し難くなるので、吐出特性が安定する。第七実施形態図10は、本発明の第七実施形態に係る液体噴射ヘッド1のアクチュエータ部2の上面模式図である。第一凹部6を左第二凹部7Lと右第二凹部7Rが挟むように配置され、第一凹部6と左第二凹部7Lとの間に複数の左チャンネル8Lが配列する左チャンネル列9Lが構成され、第一凹部6と右第二凹部7Rとの間に複数の右チャンネル8Rが配列する右チャンネル列9Rが構成される。ここで、左チャンネル列9Lと右チャンネル列9Rとは列方向x方向にチャンネルピッチPの半ピッチP/2分ずれた位置とする。その結果、左ノズル列15Lと右ノズル列15Rとは列方向にノズルピッチPの半ピッチP/2分ずれることになり、列方向に直交するy方向からみたときに、左ノズル14Lの中間に右ノズル14Rが位置する。列方向に直交するy方向を液体噴射ヘッド1の走査方向とすれば、記録密度を2倍とすることができる。本実施形態では、各チャンネル8が配列する列方向をx方向とし、これに直交する方向をy方向として、左及び右チャンネル8L、8Rの長手方向をy方向に対して傾斜角θ傾斜させ、左チャンネル8Lと右チャンネル8Rが一直線となるように配置する。そして、このy方向を液体噴射ヘッド1の走査方向とすればよい。なお、本実施形態では左ノズル列15Lに対して右ノズル列15Rを列方向に半ピッチ分ずらしているが、本発明はこれに限定されず、一般的に左ノズル列15Lと右ノズル列15Rとは列方向に2n-1P/2nは正の整数、Pはノズルピッチずれるように配置すればよい。なお、左チャンネル8Lと右チャンネル8Rのy方向の距離をDとして、次式を満たすように傾斜角θを決めることができる。tanθ=2n-1P/2D第八実施形態図11は本発明の第八実施形態に係る液体噴射ヘッド1の模式的な斜視図である。図11aは液体噴射ヘッド1の全体斜視図であり、図11bは液体噴射ヘッド1の内部斜視図である。図11a及びbに示すように、液体噴射ヘッド1はノズルプレート5とベースプレート4と複数の壁19を含むアクチュエータ部2とカバープレート3と流路部材25の積層構造を備える。ノズルプレート5とベースプレート4とアクチュエータ部2とカバープレート3の積層構造は第四実施形態と同じである。ノズルプレート5とベースプレート4とアクチュエータ部2はy方向の幅がカバープレート3と流路部材25のy方向の幅よりも長く、カバープレート3は壁19’が露出するようにアクチュエータ部2の上面に接合される。複数の壁19’は、x方向に並列に配列し、その上面には図示しない電極端子10が形成される。カバープレート3は第一凹部に連通する第一液室12と第二凹部に連通する第二液室13を備える。流路部材25は、カバープレート3側の表面に開口する凹部からなる図示しない液体供給室と液体排出室を備え、カバープレート3とは反対側の表面に液体供給室に連通する供給継手27aと液体排出室に連通する排出継手27bとを備える。フレキシブル基板21は壁19’の上面に接合されている。フレキシブル基板21には図示しない多数の配線電極が形成され、壁19’の上面に形成される図示しない電極端子10と電気的に接続される。フレキシブル基板21はその表面に駆動回路としてのドライバIC28や接続コネクタ29を備える。ドライバIC28は、接続コネクタ29から入力した信号に基づいて図示しないチャンネル8を駆動するための駆動信号を生成し、図示しない電極端子10を介して図示しない駆動電極16に供給する。ベース30はノズルプレート5、ベースプレート4、アクチュエータ部2、カバープレート3及び流路部材25の積層体を収納する。ベース30の下面にノズルプレート5の液体噴射面が露出する。フレキシブル基板21はベース30の側面から外部に引き出され、ベース30の外側面に固定される。ベース30はその上面に2つの貫通孔を備え、液体供給用の供給チューブ31aが一方の貫通孔を貫通して供給継手27aに接続し、液体排出用の排出チューブ31bが他方の貫通孔を貫通して排出継手27bに接続する。流路部材25を設け、上方から液体を供給し上方へ液体を排出するように構成するとともに、フレキシブル基板21にドライバIC28を実装し、フレキシブル基板21をz方向に折り曲げて立設した。フレキシブル基板21は液体の吐出面とは反対側の、壁19’の上面に接合するので、配線周りの空間を十分確保することができる。また、ドライバIC28やアクチュエータ部2は駆動時に発熱するが、熱はベース30や流路部材25を介して内部を流れる液体に伝導される。即ち、被記録媒体の記録用液体を冷却媒体として利用して、内部で発生した熱を効率よく外部に放熱することができる。そのため、ドライバIC28やアクチュエータ部2の過熱による駆動能力の低下を防止することができる。また、溝内を液体が循環するので、気泡が混入した場合でもその気泡を外部に迅速に排出でき、無駄に液体を使用せず、記録不良による被記録媒体の無駄な消費を抑制することができる。これにより、信頼性の高い液体噴射ヘッド1を提供することが可能となる。なお、上記第三実施形態~第八実施形態において、アクチュエータ部2がそのノズルプレート5側にベースプレート4を備える実施形態について説明したが、これに代えて、第一及び第二実施形態のようにベースプレート4を除去した構成とすることができる。<液体噴射装置>第九実施形態図12は本発明の第九実施形態に係る液体噴射装置50の模式的な斜視図である。液体噴射装置50は、液体噴射ヘッド1、1’を往復移動させる移動機構40と、液体噴射ヘッド1、1’に液体を供給し、液体噴射ヘッド1、1’から液体を回収する流路部35、35’と、流路部35、35’及び液体噴射ヘッド1、1’に液体を循環させる液体ポンプ33、33’及び液体タンク34、34’を備えている。各液体噴射ヘッド1、1’は複数の吐出溝を備え、各吐出溝に連通するノズルから液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’は既に説明した第一~第八実施形態のいずれかを使用する。液体噴射装置50は、紙等の被記録媒体44を主走査方向に搬送する一対の搬送手段41、42と、被記録媒体44に液体を吐出する液体噴射ヘッド1、1’と、液体噴射ヘッド1、1’を載置するキャリッジユニット43と、液体タンク34、34’に貯留した液体を流路部35、35’に押圧して循環させる液体ポンプ33、33’と、液体噴射ヘッド1、1’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構40を備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド1、1’、移動機構40、搬送手段41、42を制御して駆動する。一対の搬送手段41、42は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体44を主走査方向に搬送する。移動機構40は、副走査方向に延びた一対のガイドレール36、37と、一対のガイドレール36、37に沿って摺動可能なキャリッジユニット43と、キャリッジユニット43を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト38と、この無端ベルト38を図示しないプーリを介して周回させるモータ39を備えている。キャリッジユニット43は、複数の液体噴射ヘッド1、1’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの4種類の液滴を吐出する。液体タンク34、34’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ33、33’、流路部35、35’を介して液体噴射ヘッド1、1’に循環させる。各液体噴射ヘッド1、1’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド1、1’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット43を駆動するモータ39の回転及び被記録媒体44の搬送速度を制御することにより、被記録媒体44上に任意のパターンを記録することできる。<液体噴射ヘッドの製造方法>第十実施形態次に、本発明の第十実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法について説明する。図13は、本発明の液体噴射ヘッド1の基本的な製造方法を表す工程図である。図14~図17は、各工程を説明するための説明図である。まず、貫通孔形成工程S1において、ベースプレート4に貫通孔20を形成する。ベースプレート4の一方の表面に座繰り部51を形成し、他方の表面から座繰り部51の底面に貫通する貫通孔20を形成する。図14S1はベースプレート4の貫通孔20が形成される領域の断面模式図である。座繰り部51は、貫通孔20の穿孔を容易にするために設けている。ベースプレート4としてセラミックス板を使用する場合に、このセラミックス板に直径が数10μm~100μmで深さが200μm以上の細孔を高精度に位置決めして多数形成することは極めて難しい。そこで、例えば0.2mm~1mm程度の厚さのセラミックス板を用意し、貫通孔20に対応する位置にサンドブラストにより底厚を0.1mm~0.2mm残して座繰り部51を形成しておく。ベースプレート4として、マシナブルセラミックス、PZTセラミックス、酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム等を使用することができる。マシナブルセラミックスとしては、例えばマセライト、マコール、ホトベール、シェイパル以上いずれも登録商標等を使用することができる。貫通孔20はノズルが設置される位置にノズルの数と同数形成する。次に、アクチュエータ部形成工程S2において、図14S2に示すように、アクチュエータ部2は、板面に対して上方向と下方向の互いに反対方向に分極Pの処理が施された2枚の圧電材料を貼り合わせて形成する。圧電材料としてPZTセラミックスを使用することができる。次に、接合工程S3において、図14S3に示すように、アクチュエータ部2をベースプレート4に接着剤を用いて接合する。アクチュエータ部2とベースプレート4を貼り合わせたときに余分な接着剤が貫通孔20から押し出されるので、貫通孔20は接着剤の厚さの均一化に寄与する。次に、感光性樹脂膜設置工程S11において図13では省略している。、図14S11に示すように、アクチュエータ部2のベースプレート4側とは反対側の表面に感光性樹脂膜53を設置する。感光性樹脂膜53としてレジストフィルムを貼り付け、次にフォトリソグラフィー工程により露光現像を行ってレジストフィルムのパターンを形成する。レジストフィルムのパターンは、主に電極端子列を形成するためのパターンであり、電極端子列が形成される領域からレジストフィルムを除去する。レーザー光によりパターンを線描画する場合と比較して、短時間で高精度のパターンを形成することができる。なお、レジストフィルムを貼り付けることに代えて、レジスト液を塗布し乾燥してレジストフィルムとしてもよい。また、感光性樹脂膜設置工程S11は、接合工程S3の後であり導電膜形成工程S5の前であればよい。次に、溝形成工程S4において、図14S4に示すように、アクチュエータ部2のベースプレート4とは反対側の表面に並列する複数の溝18とこの溝18を区画する壁19を形成し、溝18からなるチャンネル8が複数並列するチャンネル列9を構成する。図14S4の上図がチャンネル列9方向の縦断面模式図であり、下図がチャンネル8の長手方向の縦断面模式図である。ダイシングブレード54は円盤形状を有する。そのため、チャンネル8溝18の両端部はダイシングブレード54の外形形状が転写される。溝18の底部にアクチュエータ部2の材料を残すように研削してもよいが、溝18の底部をベースプレート4に達する深さまで研削することが好ましい。ベースプレート4として圧電材料よりも低誘電率の材料を使用する場合は、溝18の底部に高誘電率の圧電材料を残さないように研削することにより、隣接するチャンネル間のクロストークを低減させることができる。なお、第四実施形態及び第五実施形態のように溝18をアクチュエータ部2の一方端から他方端までストレートに形成する場合は、ダイシングブレード54の外形形状が転写されない。外形形状が転写されない分、アクチュエータ部2のチャンネル方向の長さを小さくコンパクトに構成することができる。次に、導電膜形成工程S5において、図14S5に示すように、アクチュエータ部2に導電材料を堆積し、複数の壁19の上部と側面と溝18の底面に導電膜55を形成する。導電膜55はアルミニウム、ニッケル、クロム、銅、金、銀等の金属をスパッタリング法、蒸着法、めっき法等により堆積する。図15aは、導電膜形成工程S5の後のアクチュエータ部2とベースプレート4からなる積層体の模式的な部分斜視図であり、図15bは、チャンネル8の長手方向の縦断面模式図である。アクチュエータ部2にはチャンネル8が配列するチャンネル列9が形成される。アクチュエータ部2の上面と壁19の側面と溝18の底面の全面とに導電膜55が堆積される。アクチュエータ部2の一方の端部の表面Hは電極端子を形成する領域の感光性樹脂膜53が除去される。この領域の導電膜55は、溝18の円弧形状の底面及び溝18の平坦な底面の導電膜55と連続的に堆積される。なお、ベースプレート4のアクチュエータ部2とは反対側の貫通孔20が形成される領域には座繰り部51が形成される。次に、凹部形成工程S6において、溝18の長手方向と直交する方向に複数の壁19を研削し、チャンネル列9を介して互いに離間し、複数の溝18に連通する第一凹部6と第二凹部7を形成する。図16S6の上図は、第一凹部6及び第二凹部7を形成した後のアクチュエータ部2とベースプレート4からなる積層体の模式的な部分斜視図であり、下図がチャンネル8の長手方向の縦断面模式図である。図16S6に示すように、ダイシングブレードを用いてチャンネル8の長手方向に直交する方向に走査して研削する。研削の際には、円弧形状の底面に堆積する導電膜55を切断しないように、ダイシングブレードの外周が円弧形状の底面に達しないようにして壁19を研削する。そのために、第一凹部6又は第二凹部7の底面に円弧形状の底面から突出する突条22が形成される。壁19の研削は、第一凹部6や第二凹部7のチャンネル方向の幅よりも薄い厚さのダイシングブレードを使用するので、突条22の上面は階段状となる。なお、第一凹部6又は第二凹部7のチャンネル方向の幅よりも薄い厚さのダイシングブレードを使用することに代えて、外径が溝18の円弧形状を有する円筒状の研削盤を使用すれば、突条22の上面を円弧形状とすることができる。また、第二凹部7の底面は必ずしも円弧形状とする必要はなく、第四実施形態の場合と同様に矩形形状とし、底面から導電膜55を除去してもよい。次に、電極形成工程S7において、図16S7に示すように、導電膜55をパターニングして壁19の側面に駆動電極16を形成し、アクチュエータ部2の表面Hに電極端子10を形成する。感光性樹脂膜53を除去することにより導電膜55をパターニングするリフトオフ法という。つまり、感光性樹脂膜53を除去することにより、感光性樹脂膜53の上に堆積した導電膜55が除去されて、壁19の両側面の導電膜55や表面Hの導電膜55がパターニングされる。その結果、アクチュエータ部2の表面Hに電気的に分離する複数の電極端子10と、壁19の両側面に電気的に分離する駆動電極16が形成され、駆動電極16と電極端子10との間を第一凹部6の円弧状底面と突条22の側面と溝18の底面に形成される配線電極17を介して電気的に接続される。次に、カバープレート接合工程S8において、図16S8に示すように、第一液室12と第二液室13を有するカバープレート3を、第一液室12を第一凹部6に第二液室13を第二凹部7にそれぞれ連通させ、電極端子10を露出させ、複数の溝18の上部開口を閉塞してアクチュエータ部2に接着剤を用いて接合する。カバープレート3は、アクチュエータ部2と同程度の熱膨張係数を有する材料を使用することが好ましい。例えば、アクチュエータ部2としてPZTセラミックスを使用する場合はカバープレート3も同じPZTセラミックスを使用することができる。カバープレート3は、各溝18の上端開口を閉塞してチャンネル8を構成する機能と、第一凹部6に均等に液体を供給し、第二凹部7から均等に液体を排出する機能とを備える。次に、研削工程S9において、ベースプレート4のアクチュエータ部2とは反対側を研削し、図17S9に示すように表面を平坦化する。次に、ノズルプレート接合工程S10において、図17S10に示すように、ベースプレート4にノズルプレート5を、接着剤を介して接合する。ノズルプレート5には貫通孔20に連通するノズル14を形成する。ノズル14は、予めノズルプレート5をベースプレート4に接合する前に形成してもよいし、接合した後に貫通孔20の位置にノズル14を形成してもよい。ノズルプレート5はポリイミドフィルムを使用することができる。ノズル14はレーザー光を使用して穿孔することができる。次に、フレキシブル基板接合工程S12において図13では省略している。、図17S12に示すように、アクチュエータ部2の表面Hにフレキシブル基板21を接合しフレキシブル基板21に形成した配線電極とアクチュエータ部2に形成した電極端子10とを図示しない異方性導電材を介して電気的に接続する。以上説明してきたように、本発明の液体噴射ヘッド1の製造方法によれば、電極端子10をフォトリソグラフィー法により一括してパターニングすることができるので、従来法のようにレーザー光を用いて線描画によりパターニングする方法に比べて簡便であり短時間で製造することができる。また、従来法のように台形形状の圧電材料の傾斜部とこの圧電材料が接着される平坦部との間で電気的接続を取る必要がなく、信頼性の高い配線パターンを形成することができる。また、従来法では、電極パターンを形成後に枠部材を設置するので、高精度の位置合わせを必要としたが、本発明においては枠部材の位置合わせの必要がない。また、従来法では、枠部材を設置した後に表面の平坦化工程を必要としたが、本発明においてはこのような平坦化工程を必要とせず、簡便に製造することができる利点を有する。なお、本実施形態においては第三実施形態の液体噴射ヘッド1の製造方法について説明したが、第四~第六実施形態の液体噴射ヘッド1の製造に適用できることができることは明らかである。つまり、第四実施形態の液体噴射ヘッド1では、溝形成工程S4において、アクチュエータ部2の一方の端部から他方の端部までストレートに研削し、チャンネルに充填される液体が外部に漏洩しないように、第一凹部6及び第二凹部7の外周側に封止材24を設置すればよい。また、第五実施形態の液体噴射ヘッド1では、貫通孔形成工程S1において、左及び右チャンネル列9L、9Rに対応する位置に貫通孔20L、20Rを形成し、凹部形成工程S6においては、第一凹部6を形成する際に溝18の底面まで研削し、左及び右第二凹部7L、7Rを研削する際に溝18の底面を残して壁19の上部を研削する。具体的に、左及び右チャンネル列9L、9Rの中間の位置に第一凹部6を形成し、第一凹部6に対して離間して第一凹部6の左右に左及び右第二凹部7L、7Rを形成する。導電膜形成工程S5においては、アクチュエータ部2の両端部の表面Hに左及び右電極端子列11L、11Rを形成する。更に、カバープレート接合工程S8において、第一凹部6に対応する位置に第一液室12を形成し、左及び右第二凹部7L、7Rのそれぞれに対応する位置に左及び右第二液室13L、13Rを形成したカバープレート3をアクチュエータ部2に接合し、ノズルプレート接合工程S10において、左及び右貫通孔20L、20Rに対応する位置に左及び右ノズル列15L、15Rを形成したノズルプレート5をベースプレート4に接合する。更に、フレキシブル基板接合工程S12において、左及び右フレキシブル基板21L、21Rを左及び右電極端子列11L、11Rが形成されるアクチュエータ部2の表面Hに接合する。第十一実施形態図18は、本発明の第十一実施形態に係る液体噴射ヘッド1の製造方法を説明するためのアクチュエータ部2の模式的な部分斜視図である。アクチュエータ部形成工程S2において、圧電材料よりも誘電率の小さい絶縁材料からなる絶縁体基板57のチャンネル列となる領域に圧電体基板56を嵌め込み、平坦化してアクチュエータ部2を形成する。ここで、圧電体基板56は、基板面に対して上方に分極した圧電体基板と下方に分極した圧電体基板が積層される積層構造を有する。更に、凹部形成工程S6において、破線で示す第一凹部6及び第二凹部7を研削して形成する際には圧電体基板56と絶縁体基板57の境界面58を除去する。これにより、高価な圧電材料の使用量を減少させて製造コストを削減することができる。また、圧電体基板上に配線電極や電極端子列が形成されないので、電極間の容量が低下し、消費電力が大幅に低減する。なお、絶縁体基板57として、マシナブルセラミックスやアルミナセラミックス、二酸化ケイ素等の低誘電率材料を使用することができる。"