"バルブ筐体と、前記バルブ筐体とともにバルブ室を構成し、前記バルブ室の流体の圧力によって変位するダイヤフラムと、を備え、前記バルブ筐体には、前記バルブ室へ流体が流入する流入孔と、ポンプが接続されて前記ポンプによる流体の吸引圧力によって前記バルブ室から流体が流出する流出孔と、が形成された、順止バルブであって、前記流入孔に配置され、前記ダイヤフラムの変位によって前記流入孔から前記バルブ室への流体の流入を遮断または開放させる弁体と、を備え、前記バルブ筐体には、前記弁体が前記流入孔から前記バルブ室への流体の流入を開放させたときに、前記ダイヤフラムが当接する第1の突出部と、当該流体を前記第1の突出部の内側から外側へ通過させる第1の流路とが、前記ダイヤフラムと対向する前記バルブ室の底面上における前記流入孔の周囲に形成された、順止バルブ。前記ダイヤフラムには、大気圧と前記バルブ室の内圧との差圧を受ける受圧板が接合され、前記第1の突出部は、前記バルブ室の内径をDvとし、前記受圧板の直径をDbとし、前記流入孔の両端に位置する前記第1の突出部の外径をDcとしたとき、Dc≦DvDb/4の関係を満たす形状に形成された、請求項1に記載の順止バルブ。前記第1の突出部は、その先端が凸の曲面状に形成された、請求項1又は2に記載の順止バルブ。前記第1の突出部は、複数の突起の集合体である、請求項1から3のいずれかに記載の順止バルブ。前記バルブ筐体には、前記第1の突出部より高さの低い第2の突出部と、流体を前記第2の突出部の内側から外側へ通過させる第2の流路とが、前記バルブ室の底面上における前記第1の突出部の内側かつ前記流入孔の周囲に形成された、請求項1から4のいずれかに記載の順止バルブ。前記バルブ筐体には、第3の突出部が前記バルブ室の底面上における前記流入孔の周縁に形成され、前記第1の突出部は、前記ダイヤフラムと対向する前記第3の突出部の上面に形成された、請求項1から5のいずれかに記載の順止バルブ。前記流体はメタノールである、請求項1から6のいずれかに記載の順止バルブ。前記ダイヤフラムの材質はゴムであり、前記バルブ筐体の前記流体と接する部分の材質は樹脂である、請求項1から7のいずれかに記載の順止バルブ。請求項1から8のいずれかに記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記流入孔に接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記流出孔に接続されるポンプと、を備える燃料電池システム。例えば、ダイレクトメタノール型燃料電池においては、燃料メタノールの輸送を行うポンプを備えている。一般に、弁方式のポンプには弁による逆止機能はあるが、順止機能順方向の流れを止める機能は無い。順止機能の無いポンプを用いると、上流側の圧力順方向の圧力が燃料に印加される場合に、ポンプの非作動時にも燃料が流れてしまう。また、燃料電池システム内に組み込まれる燃料カートリッジが、外環境によっては高温になることがあり、高圧の流体が吐出されることがある。これにより、過剰な流体が燃料セルに供給されたり、場合によってはポンプを破壊してしまうおそれがある。そこで、高圧な流体が万が一加わった時に、順方向の流れを止めるバルブ以下、順止バルブというが求められている。図1A,図1Bに示した特許文献1の減圧弁では、ポンプによる流体の吸引圧力によってダイヤフラム1を可動させ、連動するピストン2により弁体部4を押し下げることで、弁を開く。これにより、流体の流路が開く。しかしながら、ダイヤフラム1と対向するバルブ室8の底面9とダイヤフラム1との距離を狭くし、特許文献1の減圧弁を低背化すると、ダイヤフラム1が、弁の開放時にバルブ室8の底面9に接触するおそれがある。そして、当該減圧弁のダイヤフラム1をゴムで形成し、メタノールのような活性の高い流体を当該減圧弁に使用した場合、ダイヤフラム1とバルブ室8の底面9とが接触した時に、当該流体により膨潤したダイヤフラム1とバルブ室8の底面9とが固着するおそれがある。そのため、特許文献1の減圧弁を低背化した構造では、ダイヤフラム1とバルブ室8の底面9との固着によりダイヤフラム1が元の位置に戻らなくなってしまい、弁が閉じなくなってしまうことがある。従って、上記特許文献1の減圧弁を低背化した構造を備える従来の順止バルブでは、ダイヤフラムをゴムで形成し、その順止バルブに活性の高い流体を使用する場合、流体制御の十分な信頼性が得られないという問題があった。そこで本発明は、低背な構造でも、ダイヤフラムとバルブ室の底面とが固着するのを防ぐことができる順止バルブ、及びこの順止バルブを備える燃料電池システムの提供を目的とする。本発明の順止バルブは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。1バルブ筐体と、前記バルブ筐体とともにバルブ室を構成し、前記バルブ室の流体の圧力によって変位するダイヤフラムと、を備え、前記バルブ筐体には、前記バルブ室へ流体が流入する流入孔と、ポンプが接続されて前記ポンプによる流体の吸引圧力によって前記バルブ室から流体が流出する流出孔と、が形成された、順止バルブであって、前記流入孔に配置され、前記ダイヤフラムの変位によって前記流入孔から前記バルブ室への流体の流入を遮断または開放させる弁体と、を備え、前記バルブ筐体には、前記弁体が前記流入孔から前記バルブ室への流体の流入を開放させたときに、前記ダイヤフラムが当接する第1の突出部と、当該流体を前記第1の突出部の内側から外側へ通過させる第1の流路とが、前記ダイヤフラムと対向する前記バルブ室の底面上における前記流入孔の周囲に形成された。この構成では、ダイヤフラムが、弁開放時にバルブ室の底面でなく第1の突出部に接触する。さらに、ダイヤフラムが第1の突出部に接触した時、流体は第1の突出部の内側から第1の流路を介して第1の突出部の外側へ通過する。よって、この構成の順止バルブに活性の高い流体を使用した場合でも、ダイヤフラムがバルブ室の底面と接触しないため、当該流体により膨潤したダイヤフラムとバルブ室の底面とが固着することを防止できる。従って、この構成によれば、低背な構造でも、ダイヤフラムとバルブ室の底面とが固着することを防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。2前記ダイヤフラムには、大気圧と前記バルブ室の内圧との差圧を受ける受圧板が接合され、前記第1の突出部は、前記バルブ室の内径をDvとし、前記受圧板の直径をDbとし、前記流入孔の両端に位置する前記第1の突出部の外径をDcとしたとき、Dc≦DvDb/4の関係を満たす形状に形成されることが好ましい。この構成では、受圧板がバルブ室の底面に対して反対側へ凸に撓み、ダイヤフラムが第1の突出部と斜めに接触する。即ち、ダイヤフラムと第1の突出部とが線接触となるため、ダイヤフラムと第1の突出部とが固着し難い。また、仮にダイヤフラムと第1の突出部が固着しても、受圧板が撓んでいる状態から元の平らな状態に戻ろうとしたとき、第1の突出部の外側から固着を剥離する力が働くため、ダイヤフラムが第1の突出部から剥がれ易い。従って、この構成によれば、ダイヤフラムと第1の突出部とが固着することも防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を一層向上できる。3前記第1の突出部は、その先端が凸の曲面状に形成されることが好ましい。この構成の第1の突出部は、弁開放時のダイヤフラムとの接触面積が、先端が平面状の第1の突出部より狭い。そのため、ダイヤフラムと第1の突出部とが固着し難い。また、仮にダイヤフラムと第1の突出部が固着しても、ダイヤフラムが第1の突出部から剥がれ易い。従って、この構成によれば、ダイヤフラムと第1の突出部とが固着することも防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を一層向上できる。4前記第1の突出部は、複数の突起の集合体であることが好ましい。この構成の第1の突出部は、弁開放時のダイヤフラムとの接触面積が一体ものの第1の突出部より狭い。そのため、ダイヤフラムと第1の突出部とが固着し難い。また、仮にダイヤフラムと第1の突出部が固着しても、ダイヤフラムが第1の突出部から剥がれ易い。従って、この構成によれば、ダイヤフラムと第1の突出部とが固着することも防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を一層向上できる。5前記バルブ筐体には、前記第1の突出部より高さの低い第2の突出部と、流体を前記第2の突出部の内側から外側へ通過させる第2の流路とが、前記バルブ室の底面上における前記第1の突出部の内側かつ前記流入孔の周囲に形成されることが好ましい。この構成では、弁開放時にダイヤフラムが第1の突出部と接触して局所的に圧縮変形し、第1の突出部の一部がダイヤフラムに喰い込んだとしても、第2の突出部によって第2の流路を確保しているため、流体の流路を十分に確保することができる。よって、この構成の順止バルブによれば、第1の突出部を設けているため、ダイヤフラムとバルブ室の底面との固着を防止することができる。さらに、第2の突出部を設けているため、弁開放時にダイヤフラムが第1の突出部と接触して第1の突出部がダイヤフラムに喰い込んでも、十分な流路を確保することができる。6前記バルブ筐体には、第3の突出部が前記バルブ室の底面上における前記流入孔の周縁に形成され、前記第1の突出部は、前記ダイヤフラムと対向する前記第3の突出部の上面に形成されることが好ましい。この構成では、第3の突出部を設けることにより、バルブ筐体における流入孔の周縁部位の厚みを厚くしている。これにより、バルブ筐体における流入孔の周縁部位の剛性を高めることができる。従って、この構成によれば、バルブ筐体における流入孔の周縁部位の剛性を高めることができる。7前記流体はメタノールであることが好ましい。メタノールは他の流体に比べて活性が高い流体である。そのため、上記1の構成は、メタノールを流体として使用するこの構成において好適である。8前記ダイヤフラムの材質はゴムであり、前記バルブ筐体の前記流体と接する部分の材質は樹脂であることが好ましい。この構成では、流体がバルブ室を通過しても、金属イオンが流体中に溶出することがない。そのため、この構成によれば、金属イオンの溶出によるDMFCの特性の劣化が起こらない。また、本発明の燃料電池システムは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。9上記1~8のいずれかに記載の順止バルブと、前記順止バルブの前記流入孔に接続される燃料貯蔵部と、前記順止バルブの前記流出孔に接続されるポンプと、を備える。この構成により、上記1~8のうちいずれかに記載の順止バルブを用いることで、当該順止バルブを備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。この発明によれば、低背な構造でも、ダイヤフラムとバルブ室の底面とが固着することを防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。《順止バルブの動作原理》まず、小型の燃料電池に用いられるパッシブ駆動の順止バルブの動作原理について説明する。図2Aは、弁が閉じた状態における順止バルブ90の模式断面図であり、図2Bは、弁が開いた状態における順止バルブ90の模式断面図である。順止バルブ90は、可動部となるダイヤフラム20、ダイヤフラム20とともにバルブ室40を構成するバルブ筐体30、バルブ筐体30に接合されたキャップ部10、および、弁体部51を有する弁部50からなる。バルブ筐体30には、バルブ室40へ流体が流入する流入孔43と、ポンプが接続されてポンプによる流体の吸引圧力によってバルブ室40から流体が流出する流出孔49とが形成されている。ダイヤフラム20は、伝達機構であるプッシャ23を有し、バルブ室40の流体の圧力によって変位する。ダイヤフラム20が弁部50に近づく方向へ変位した時、プッシャ23が弁体部51を押下する。弁部50は、弁体部51の流入孔43側にリング状の弁突起55が形成されており、弁突起55が流入孔43の周縁に位置する弁座48に当接するよう配置される。そして、弁体部51は、ダイヤフラム20の変位によって弁座48に対して当接または離間し、流入孔43からバルブ室40への流体の流入を遮断または開放させる。キャップ部10には、外気と通じる孔部15が上面に形成されている。この結果、ダイヤフラム20の上部に大気圧が加わる。順止バルブ90は、流体の圧力が設定圧力になると、圧力差を利用して弁部50が自動的に開閉するように構成されている。詳述すると、ダイヤフラム20上部の大気の圧力をP0、バルブ上流の1次圧力をP1、バルブ下流の圧力をP2とし、弁体部51の面積ここでは、弁体部51にリング状の弁突起55が形成されているため弁突起55で囲まれた領域の径で決まる面積をS1、ダイヤフラム20の面積をS2、弁体部51が上向きに付勢する力をFsとする。このとき、圧力の釣り合いから、図2Bのように弁部50が開く条件は、P1-P2S1Fs<P0-P2S2となる。P2がこの条件の圧力より高いと弁部50は閉じ、低いと弁部50は開く。これによって、P2を一定に保つことができる。《第1の実施形態》以下、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101について説明する。図3は、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101を備える燃料電池システム100のシステム構成図である。燃料電池システム100は、燃料であるメタノールを貯蔵する燃料カートリッジ102と、順止バルブ101と、メタノールを輸送するポンプ103と、ポンプ103からメタノールの供給を受けて発電する発電セル104と、を備える。ダイレクトメタノール型燃料電池DMFCにおいては、燃料であるメタノールの輸送を行うポンプ103を備えている。一般に、弁方式のポンプ103には弁による逆止機能はあるが、順止機能は無い。順止機能の無いポンプ103を用いると、上流側の圧力順方向の圧力がメタノールに印加される場合に、ポンプ103の非作動時にもメタノールが流れてしまう。そのため、ポンプ103と組み合わせて使用し、ポンプ圧力を利用して弁の開閉を行う順止バルブ101を設ける方が好ましい。順止バルブ101は、詳細を後述するが、ダイヤフラム120とともにバルブ室140を構成するバルブ筐体130を備える。バルブ筐体130には、燃料カートリッジ102が流入路163を介して接続される流入孔143と、ポンプ103が流出路165を介して接続される流出孔149とが形成されている。順止バルブ101は、流入路163と流出路165とが形成されたポリフェニレンサルファイドPPS樹脂製のシステム筐体160に、流漏れを防ぐOリング161、162を介して表面実装される。燃料電池システム100では、メタノールが燃料カートリッジ102から流入路163と流入孔143を介してバルブ室140へ流入する。そして、ポンプ103によるメタノールの吸引圧力によってバルブ室140から流出路165と流出孔149を介してポンプ103へメタノールが流出する。そして、メタノールはポンプ103によって発電セル104へ供給される。図4は、第1の実施形態に係る順止バルブ101の分解斜視図である。図5Aは、図4の順止バルブ101に備えられるキャップ部110の上面図である。図5Bは、図4の順止バルブ101に備えられるバルブ筐体130の下面図である。図6は、図5AのS-S線における断面図である。図7は、本発明の第1の実施形態に係る順止バルブ101の弁開放時の模式断面図である。順止バルブ101は、図4に分解斜視するように、キャップ部110と、可動部となるダイヤフラム120と、バルブ筐体130と、弁部150と、を備える。バルブ筐体130は、略正方形板状である。バルブ筐体130には、バルブ室140へ流体が流入する流入孔143と、ポンプ103が接続されてポンプ103による流体の吸引圧力によってバルブ室140から流体が流出する流出孔149と、が形成されている。また、バルブ筐体130には、キャップ部110とバルブ筐体130をシステム筐体160に固定するためのネジ止め用の穴131と、ダイヤフラム120の周縁部121が載置される載置部134と、が形成されている。また、バルブ筐体130には、図4、図6及び図7に示すように、弁部150が流入孔143からバルブ室140へのメタノールの流入を開放させたときに、ダイヤフラム120が当接する第1の突出部144と、メタノールを第1の突出部144の内側から外側へ通過させる第1の流路145とが、ダイヤフラム120と対向するバルブ室140の底面141上における流入孔143の周囲に形成されている。ここで、第1の突出部144は、バルブ室140の内径をDvとし、詳細を後述する受圧板125の直径をDbとし、流入孔143の両端に位置する第1の突出部144の外径をDcとしたとき、Dc≦DvDb/4の関係を満たす形状に形成されている。また、バルブ筐体130には、図5B及び図6に示すように、弁部150をバルブ筐体130の実装面側から嵌めこむことにより弁部150を収納する開口部147と、流入孔143の周縁に位置する弁座148と、が形成されている。なお、バルブ筐体130の材質については、バルブ筐体130のメタノールと接する部分134、141、144、145、148の材質は耐メタノール性の高い樹脂、例えばPPSPolyphenylenesulfide樹脂等からなり、バルブ筐体130のメタノールと接しない縁132の材質は金属からなる。バルブ筐体130は、金属部分の縁132をモールド金型にインサートして射出成形するインサートモールドにより形成される。ダイヤフラム120は、図4及び図6に示すように、伝達機構であるプッシャ123を中心に有し、周縁部121の厚みが中央部122より厚い円板状に形成されている。ダイヤフラム120の材質は、耐メタノール性の高いゴム、例えばエチレンプロピレンゴムまたはシリコーンゴムである。ダイヤフラム120は、周縁部121がバルブ筐体130に載置されてバルブ筐体130とともにバルブ室140を構成する。ダイヤフラム120は、バルブ室140の流体の圧力によって周縁部121の内側の中央部122が変位する。ダイヤフラム120の中央部122が弁部150に近づく方向へ変位した時、プッシャ123が弁体部151を押下する。なお、液体を流体として順止バルブ101に使用した場合、液体の表面張力が大きいため、気体を流体として順止バルブ101に使用した場合より大きな流体の流路が必要となる。しかし、この実施形態の順止バルブ101ではダイヤフラム120の材質がゴムであるため、ダイヤフラム120をシリコンや金属で形成した場合に比べてダイヤフラム120の可動範囲が大きくなる。そのため、この実施形態の順止バルブ101では、十分なメタノールの流路を確保できる。弁部150は、図4及び図6に示すように、略円形状であり、耐メタノール性の高いゴム、例えばシリコーンゴムからなる。弁部150は、ダイヤフラム120の変位によって弁座148に対して当接または離間し、流入孔143からバルブ室140への流体メタノールの流入を遮断または開放させる弁体部151と、弁体部151が弁座148に対して接近および離間する方向へ可動自在に弁体部151を支持する支持部152と、メタノールを通過させる孔部153と、弁部150が開口部147に収納されたときにバルブ筐体130の開口部147の内周面に当接し、支持部152を固定する固定部154と、を有する。なお、弁体部151には、弁座148とのシール性を高めるため、流入孔43側にリング状の弁突起155が形成されているが、弁突起155は必ずしも形成される必要はない。弁体部151は、弁部150が開口部147に収納されたときに弁体部151の弁突起155が弁座148に当接し、弁体部151が流入孔143からバルブ室140への流体の流入を遮断する方向へ弁座148を弁閉時に与圧する。そして、弁体部151は、ダイヤフラム120が下降してダイヤフラム120に押し下げられることによって弁座148から離間し、流入孔143と孔部153が連通して、バルブ室140へのメタノールの流入を開放させる。キャップ部110は、図4、図5A及び図6に示すように、略正方形板状であり、例えば、ステンレススチールの板を用いて金型成形により形成される。キャップ部110には、キャップ部110とバルブ筐体130をシステム筐体160に固定するためのネジ止め用の穴111が形成されている。ここで、金属製のキャップ部110の縁116は、ダイヤフラム120が載置部134に載置された状態で、バルブ筐体130の金属製の縁132と溶接により接合される。キャップ部110の周縁部位114は、接合されると、ダイヤフラム120の周縁部121を押圧して載置部134とともに周縁部121を挟持する。また、キャップ部110の中央部位113には、外気と通じる孔部115が形成されている。この結果、ダイヤフラム120の上部に大気圧が加わる。ダイヤフラム120には、この大気圧とバルブ室140の内圧との差圧を受ける円形の金属からなる受圧板125が接合されている。順止バルブ101は、上述した順止バルブ90図2参照と同じように、流体の圧力が設定圧力になると、圧力差を利用して弁部150が自動的に開閉するように構成されている。以上の構成では、バルブ室140の底面141とダイヤフラム120との距離を狭くし、順止バルブ101を低背化している。しかし、この実施形態のバルブ筐体130には、図4、図6及び図7に示すように、弁部150を開放させたときに、ダイヤフラム120が当接する環状の第1の突出部144と、メタノールを突出部144の内側から外側へ通過させる第1の流路145とが、バルブ室140の底面141上における流入孔143の周囲に形成されている。そして、この第1の突出部144は、バルブ室140の内径をDvとし、受圧板125の直径をDbとし、流入孔143の両端に位置する第1の突出部144の外径をDcとしたとき、Dc≦DvDb/4の関係を満たす形状に形成されている。そのため、この実施形態における順止バルブ101では、ゴム製のダイヤフラム120が、弁部150の開放時にバルブ室140の底面141でなく第1の突出部144に接触する図7参照。さらに、ダイヤフラム120が第1の突出部144に接触した時、メタノールは第1の突出部144の内側から第1の流路145を介して第1の突出部144の外側へ通過する。ここで、上述のDc≦DvDb/4の関係を満たす第1の突出部144の形状について図7を用いて詳述する。図7に示すように、ダイヤフラム120には下向きに圧力が働き、第1の突出部144に当接した状態となっている。この第1の突出部144の外径Dcこの実施形態では4mmは受圧有効径Dpこの実施形態では10mmの半分以下になっている。ここで受圧有効径とは、ダイヤフラム120全面に作用する圧力の内、外周部分にかかる圧力を除いた圧力、即ち弁部150の開閉に利用できる圧力が作用する部分の直径に相当する。図7の場合、受圧板125の直径Dbとバルブ室140の内径Dvの平均値にほぼ等しくなる。このとき受圧板125に加わる力については、第1の突出部144の外側に加わる力の方が第1の突出部144の内側に加わる力より大きいため、受圧板125は図7の示すように孔部115側へ凸に撓む。しかし、ダイヤフラム120は第1の突出部144と接触し、またダイヤフラム120はゴムで形成されているため、ダイヤフラム120が第1の突出部144と固着してしまう可能性がある。特に、流体の温度が高い場合やダイヤフラム120と第1の突出部144との接触が長時間続いた場合にはその可能性が高くなる。しかし、この実施形態では上述のように受圧板125が孔部115側へ凸に撓むため、ダイヤフラム120が第1の突出部144と斜めに接触する。即ち、ダイヤフラム120と第1の突出部144とが実質的に線接触となるため、ダイヤフラム120と第1の突出部144とが固着し難い。また、仮にダイヤフラム120と第1の突出部144が固着しても、受圧板125が撓んでいる状態から元の平らな状態に戻ろうとしたとき、第1の突出部144の外側から固着を剥離する力が働くため、ダイヤフラム120が第1の突出部144から剥がれ易い。以上より、メタノールのような活性の高い流体を当該順止バルブ101に使用した場合でも、ダイヤフラム120がバルブ室140の底面141と接触しないため、当該流体により膨潤したダイヤフラム120とバルブ室140の底面141とが固着することを防止できる。従って、この実施形態における順止バルブ101によれば、低背な構造でも、ダイヤフラム120とバルブ室140の底面141とが固着するのを防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を向上できる。また、以上の構成において、バルブ筐体130のメタノールと接する部分134、141、144、145、148の材質は全て樹脂であり、ダイヤフラム120と弁部150の材質もゴムであるため、金属イオンがメタノール中に溶出することがない。そのため、この実施形態の順止バルブ101では、金属イオンの溶出によるDMFCの特性の劣化も起こらない。従って、この実施形態の順止バルブ101を用いることで、当該順止バルブ101を備える燃料電池システム100においても同様の効果を奏する。《第2の実施形態》図8は、本発明の第2の実施形態に係る順止バルブ201に備えられるバルブ筐体230の斜視図である。この実施形態における順止バルブ201が上記順止バルブ101と相違する点は、第1の突出部244であり、その他の構成については上記順止バルブ101と同じである。第1の突出部244は、その先端が凸の曲面状に形成されている点で、図4に示す第1の突出部144と異なる。この実施形態の第1の突出部244は、その先端が凸の曲面状に形成されているため、弁部150の開放時のダイヤフラム120との接触面積が、先端が平面状のものより狭い。そのため、ダイヤフラム120と第1の突出部244とが固着し難い。また、仮にダイヤフラム120と第1の突出部244が固着しても、ダイヤフラム120が第1の突出部244から剥がれ易い。さらに、ダイヤフラム120が第1の突出部244に接触した時、メタノールは第1の突出部244の内側から第1の流路245を介して第1の突出部244の外側へ通過する。従って、この実施形態における順止バルブ201によれば、ダイヤフラム120と第1の突出部244とが固着することも防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を一層向上できる。また、この実施形態の順止バルブ201を用いることで、当該順止バルブ201を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。《第3の実施形態》図9は、本発明の第3の実施形態に係る順止バルブ301に備えられるバルブ筐体330の斜視図である。この実施形態における順止バルブ301が上記順止バルブ201と相違する点は、第1の突出部344であり、その他の構成については上記順止バルブ201と同じである。第1の突出部344は、複数の突起の集合体である点で、図8に示す第1の突出部244と異なる。第1の突出部344は、その先端が凸の曲面状に形成されている複数の半球状の突起の集合体であるため、弁部150が開放した時のダイヤフラム120との接触面積が一体ものの第1の突出部244より狭い。そのため、ダイヤフラム120と第1の突出部344とが固着し難い。また、仮にダイヤフラム120と第1の突出部344が固着しても、ダイヤフラム120が第1の突出部344から剥がれ易い。さらに、ダイヤフラム120が第1の突出部344に接触した時、メタノールは第1の突出部344の内側から第1の流路345を介して第1の突出部344の外側へ通過する。従って、この実施形態における順止バルブ301によれば、ダイヤフラム120と第1の突出部344とが固着することも防ぐことができる。従って、流体制御の信頼性を一層向上できる。また、この実施形態の順止バルブ301を用いることで、当該順止バルブ301を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。なお、この実施形態では、第1の突出部244を構成する突起が半球状に形成されているが、実施の際は、当該突起が円筒状でも構わない。《第4の実施形態》図10は、本発明の第4の実施形態に係る順止バルブ401に備えられるバルブ筐体430の斜視図である。この実施形態における順止バルブ401が上記順止バルブ101と相違する点は、第1の突出部444であり、その他の構成については上記順止バルブ101と同じである。第1の突出部444は、円形状であり、その先端の面積が図4に示す第1の突出部144より広い形状となっている。この実施形態の順止バルブ401においても、ダイヤフラム120が、弁部150の開放時にバルブ室140の底面141でなく第1の突出部444に接触する。さらに、ダイヤフラム120が第1の突出部444に接触した時、メタノールは第1の突出部444の内側にある流入孔143から第1の流路445を介して第1の突出部444の外側へ通過する。従って、この実施形態における順止バルブ401によれば、上記順止バルブ101と同様の効果を奏する。また、この実施形態の順止バルブ401を用いることで、当該順止バルブ401を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。《第5の実施形態》図11は、本発明の第5の実施形態に係る順止バルブ501に備えられるバルブ筐体530の斜視図である。図12は、図11のS-S線における要部断面図である。この実施形態における順止バルブ501が図9に示す上記順止バルブ301と相違する点は、第2の突出部564を備える点であり、その他の構成については上記順止バルブ301と同じである。詳述すると、この実施形態におけるバルブ筐体530には、第1の突出部344より高さの低い第2の突出部564と、流体を第2の突出部564の内側にある孔部143から外側へ通過させる第2の流路565とが、バルブ室140の底面141上における第1の突出部344の内側かつ流入孔143の周囲に形成されている。この実施形態において、ダイヤフラム120とバルブ室140の底面141との固着に関しては、上記順止バルブ301と同様に第1の突出部344によって防止する。一方、第1の突出部344には、弁部150の開放時におけるダイヤフラム120の下死点を決める働きもある。しかし、図9に示すように第1の突出部344が曲面形状である場合、弁部150の開放時、作用する圧力が非常に高い場合、場合によってはダイヤフラム120が第1の突出部344と接触して局所的に圧縮変形し、第1の突出部344の一部がダイヤフラム120に喰い込むこともある。この場合、第1の流路345が変形したダイヤフラム120によって狭くなり、ダイヤフラム120がメタノールの流れを妨げることもある。そこで、この実施形態の順止バルブ501では、先端が平面形状の第2の突出部564を第1の突出部344の内側に第1の突出部344より低く形成している。これにより、弁部150の開放時にダイヤフラム120が第1の突出部344と接触して第1の突出部344の一部がダイヤフラム120に喰い込んでも、第2の突出部564によって第2の流路565を確保しているため、メタノールの流路を十分に確保することができる。即ち、この実施形態の順止バルブ501は、固着防止用の第1の突出部344と流路確保用の第2の突出部564を有する構造となっている。以上より、この実施形態の順止バルブ501によれば、第1の突出部344を設けているため、ダイヤフラム120とバルブ室140の底面141との固着を防止することができる。さらに、弁部150の開放時にダイヤフラム120が第1の突出部344と接触して第1の突出部344がダイヤフラム120に喰い込んだ場合であっても、第2の突出部564によって十分な第2の流路565を確保することができる。このため、メタノールの流れを妨げることを防止できる。また、この実施形態の順止バルブ501を用いることで、当該順止バルブ501を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。《第6の実施形態》図13は、本発明の第6の実施形態に係る順止バルブ601に備えられるバルブ筐体630の要部断面図である。この実施形態における順止バルブ601が図9に示す上記順止バルブ301と相違する点は、第3の突出部674を備える点であり、その他の構成については上記順止バルブ301と同じである。詳述すると、バルブ筐体630には、第3の突出部674がバルブ室140の底面141上における流入孔143の周縁に形成されており、第1の突出部344が、ダイヤフラム120と対向する第3の突出部674の上面に形成されている。ここで、上述したように弁座148は、流入孔143からバルブ室140への流体の流入を遮断する方向へ弁体部151によって弁閉時に与圧されている。そのため、バルブ筐体630における流入孔143の周縁部位は、高い剛性が必要であり、厚みをできるだけ厚くすることが望ましい。一方、順止バルブ601の低背化のためにバルブ筐体630の厚みをできるだけ薄くすることが望ましい。そこで、この実施形態では、第3の突出部674を設けることで、バルブ筐体630における流入孔143の周縁部位の厚みを厚くしている。これにより、バルブ筐体630における流入孔143の周縁部位の剛性を高めることができる。また、バルブ筐体630における流入孔143の周縁部位の厚みを厚くすることにより射出成形時の樹脂の流れもよくなるため、成形不良等の発生を減らすことができる。即ち、歩留まりが向上するため、製造コストを低減できる。従って、この実施形態における順止バルブ601によれば、バルブ筐体630における流入孔143の周縁部位の剛性を高めることができ、製造コストも低減できる。また、この実施形態の順止バルブ601を用いることで、当該順止バルブ601を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。なお、この実施形態の順止バルブ601においても、ダイヤフラム120が、弁部150の開放時にバルブ室140の底面141でなく第1の突出部344に接触する。さらに、ダイヤフラム120が第1の突出部344に接触した時、メタノールは第1の突出部344の内側から第1の流路345を介して第1の突出部344の外側へ通過する。従って、この実施形態における順止バルブ601によれば、上記順止バルブ301と同様の効果を奏する。《第7の実施形態》図14は、本発明の第7の実施形態に係る順止バルブ701に備えられるバルブ筐体730の斜視図である。図15は、図14のT-T線における要部断面図である。この実施形態における順止バルブ701が図9に示す上記順止バルブ501と相違する主な点は、第3の突出部774を備える点であり、その他の構成については上記順止バルブ501と同様である。詳述すると、バルブ筐体730には、第3の突出部774と第3の流路775がバルブ室140の底面141上における流入孔143の周縁に形成されており、第1の突出部744と第2の突出部764が、ダイヤフラム120と対向する第3の突出部774の上面に形成されている。ここで、第1の突出部744は図11に示す第1の突出部344と同様に固着防止用の突出部であり、第1の突出部744を構成する突起は第1の突出部344を構成する突起と同じものである。そして、第1の流路745は第1の流路345と同様にメタノールを第1の突出部744の内側から外側へ通過させるものである。また、第2の突出部764は図11に示す第2の突出部564と同様に流路確保用の突出部であり、第2の流路775は第2の流路565と同様にメタノールを第2の突出部564の内側にある孔部143から外側へ通過させるものである。また、第3の突出部774は図13に示す第3の突出部674と同様に剛性向上用の突出部である。即ちこの実施形態の順止バルブ701は、固着防止用の第1の突出部744と流路確保用の第2の突出部764と剛性向上用の第3の突出部774を有する構造となっている。従って、この実施形態における順止バルブ701によれば、上記順止バルブ501及び上記順止バルブ601と同様の効果を奏する。さらに、この実施形態の順止バルブ701では、第2の流路765と流出孔149との間に第3の流路775を設けているため、流入孔143から流入したメタノールが第2の流路765から第3の流路775を介して流出孔149へ真直ぐに流れる。そのため、この実施形態における順止バルブ701によれば、弁部150開放時におけるメタノールの流路を上記順止バルブ601より確保できる。また、この実施形態の順止バルブ701を用いることで、当該順止バルブ701を備える燃料電池システムにおいても同様の効果を奏する。《その他の実施形態》以上の実施形態では活性の高い流体としてメタノールを用いているが、当該流体が、気体や、液体、気液混合流、固液混合流、固気混合流などのいずれであっても適用できる。なお、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。"