"物体の光学像を形成する撮像光学系と、第1の撮像素子と、当該第1の撮像素子よりも集積度が小さい第2の撮像素子と、前記第1の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させた状態で前記第1の撮像素子により前記物体を撮像する第1の撮像モードと前記第2の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させた状態で前記第2の撮像素子により前記物体を撮像する第2の撮像モードとを実行可能な制御部と、を有することを特徴とする撮像装置。物体の光学像を形成する撮像光学系と、前記物体を単色で撮像する第1の撮像素子と、前記物体をカラーで撮像する第2の撮像素子と、前記第1の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させた状態で前記第1の撮像素子により前記物体を撮像する第1の撮像モードと前記第2の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させた状態で前記第2の撮像素子により前記物体を撮像する第2の撮像モードとを実行可能な制御部と、を有することを特徴とする撮像装置。前記第1の撮像モードが選択された際に前記第1の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させ、前記第2の撮像モードが選択された際に前記第2の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させる撮像ステージを更に有することを特徴とする請求項1または2に記載の撮像装置。前記第2の撮像モードでは、前記撮像光学系の開口数を前記第1の撮像モードにおける前記撮像光学系の開口数よりも小さくして前記物体を撮像することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の撮像装置。前記物体を照明する照明光学系を更に有し、前記撮像光学系および前記照明光学系はそれぞれ遮光部を有し、前記第1の撮像モードでは、前記照明光学系における遮光部の開口数を前記撮像光学系における遮光部の開口数と同じかそれよりも大きくすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置。前記物体を照明する照明光学系を更に有し、前記撮像光学系および前記照明光学系はそれぞれ遮光部を有し、前記第2の撮像モードでは、前記照明光学系における遮光部の開口数を前記撮像光学系における遮光部の開口数と同じにすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置。前記物体を照明する照明光学系を更に有し、前記撮像光学系および前記照明光学系はそれぞれ遮光部を有し、前記第1の撮像モードでは、前記撮像光学系における遮光部の開口数は前記照明光学系における透過部の開口数と同じかそれよりも小さく暗視野を形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置。前記撮像光学系は可変絞りを有し、前記可変絞りによって前記撮像光学系における遮光部の開口数が変更されることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか1項に記載の撮像装置。前記照明光学系は、それぞれ異なる透過部と遮光部の分布を有する複数の絞りと、前記複数の絞りの一つが光路に配置されるように前記複数の絞りを切り替えて前記照明光学系における遮光部の開口数を変更する手段と、を有することを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の撮像装置。前記物体を照明する照明光学系を更に有し、前記照明光学系は、前記物体を透過した光を前記第1の撮像素子または前記第2の撮像素子に選択的に到達させる絞りを有することを特徴とする請求項1または2に記載の撮像装置。前記物体を照明する照明光学系を更に有し、前記照明光学系は、前記物体を透過した光を前記第1の撮像素子または前記第2の撮像素子に選択的に到達させるカラーフィルタを有することを特徴とする請求項1または2に記載の撮像装置。前記物体を光軸に垂直な平面内で移動させる移動ステージを有し、前記制御部は、前記第1の撮像素子または前記第2の撮像素子に対して移動させながら前記物体を複数回撮像し、前記複数回の撮像で得られた画像を繋ぎ合せて1枚の画像を得ることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の撮像装置。しかし、特許文献1の方法では、様々な解像度への要求に応えるためには、多くの対物レンズを準備しなければならない。特許文献2の方法では、広画角高解像専用の光学系で比較的低解像度で標本全体の高解像画像を形成すると、撮像素子の集積度が大きすぎる場合がある。撮像素子の集積度が大きすぎると記憶容量が大きくなり、画像処理や画像転送に時間がかかったり、高コスト化を招いたりする。また、カラー画像を得るために、例えば、ベイヤ配列のカラーの撮像素子を使用する場合、光源からの光を三種類の波長の光にわけて三種類の画素で受光するため、同一波長を受光する素子数は1/2または1/4となる。このため、カラーの撮像素子の画素数を単色の撮像素子の画素数の2倍または4倍と多くしないと同じ解像度が得られないことになる。一方、撮像素子の画素数が増加すると、素子が微細化するため撮像素子の製造が困難になり、またノイズが増加するという問題が生じる。そこで、本発明は、撮像光学系を交換せずに解像度の異なる撮像を短時間でかつ適切な画像データ量で行うことが可能な撮像装置を提供することを例示的な目的とする。本発明の撮像装置は、物体の光学像を形成する撮像光学系と、第1の撮像素子と当該第1の撮像素子よりも集積度が小さい第2の撮像素子と、前記第1の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させた状態で前記第1の撮像素子により前記物体を撮像する第1の撮像モードと前記第2の撮像素子を前記撮像光学系の像面に位置させた状態で前記第2の撮像素子により前記物体を撮像する第2の撮像モードとを実行可能な制御部と、を有することを特徴とする本発明によれば、撮像光学系を交換せずに解像度の異なる撮像を短時間でかつ適切な画像データ量で行うことが可能な撮像装置を提供することができる。図1は、本実施形態の透過型顕微鏡を用いた撮像装置のブロック図である。撮像装置は、照明光学系100と、標本部200と、撮像光学系300と、撮像素子部撮像部400と、画像処理部500と、制御部600と、を有する。照明光学系100は、光源ユニット110と、光学系120と、瞳位置近傍に配置された絞り130と、観察面210近傍または観察面210と共役な位置に配置されたフィルタ150と、を有する。照明光学系100は、光源ユニット110からの光を観察面210に導く。光源ユニット110は、標本を照明する一つ以上のハロゲンランプやキセノンランプ、LED等で構成されている。絞り130は、絞り130を切り替えまたは交換する絞り駆動装置140の上に配置されている。絞り130は、後述するように、物体を透過した光が撮像素子部400の一つの撮像素子に選択的に到達させるように機能することができる。フィルタ150は、フィルタ駆動装置160でフィルタ位置を駆動されるか、切り替えまたは交換できるように構成されている。標本部200は、標本を搭載し、不図示の標本ステージ移動ステージと標本保持部を有する。標本ステージは、標本保持部を、撮像光学系300の光軸の方向や光軸と垂直な方向に光軸に垂直な平面内で、もしくは光軸に対して傾くように駆動することができる。物体である標本サンプルを観察面210に一致させるように標本ステージを駆動して、照明光学系100と撮像光学系300と撮像部400を用いて撮像を行う。撮像光学系300は、観察面210で照明された標本の光学像を撮像面340に結像形成し、光学系310と、瞳位置近傍に配置された絞り320と、可変開口絞り330と、を有する。可変開口絞り330は、瞳位置近傍あるいは光路中の挿入しやすい場所に設置される。撮像光学系300は透過型光学系でも反射型光学系でもよい。撮像部400は、撮像光学系300の像面に撮像素子を配置させる不図示の撮像ステージと、基板410と、撮像素子420と、を有する。撮像ステージは、例えば、細胞診モードが選択された際に撮像素子1を撮像光学系の像面に位置させ、組織診モードが選択された際に撮像素子2を撮像光学系の像面に位置させる。撮像素子420は、図2A、図3A、図4A、図5Aまたは図6Aに示すように、基板410上に隙間を空けて配置された2種類以上の撮像素子を有する。第1の撮像素子撮像素子1、第2の撮像素子撮像素子2などは、撮像ステージ410で撮像光学系300の結像面に一致するように配置されている。撮像素子420の詳細は後で詳しく述べる。撮像面340では、光学系310の視野に撮像素子420が入るように撮像ステージを駆動する。撮像素子420が受光した光は電気信号に光電変換される。画像処理部画像処理手段500は、撮像部400の撮像素子420からの電気信号を不図示の記憶装置に一旦記憶し、画像合成などの画像処理を施す。画像処理では、制御部600によって撮像素子1または撮像素子2を移動させながら物体を複数回撮像し、複数回の撮像で得られた画像を繋ぎ合せて1枚の画像を得る。制御部600では、撮像装置の動作などの制御、特に絞り駆動装置140やフィルタ駆動装置160、絞りやフィルタ150の交換または切り替え、可変絞り330、標本ステージや撮像ステージなどの駆動を制御している。これらの構成要素は、2つの撮像モードの間で、撮像光学系を経た光を受光する撮像素子を撮像素子1と2の間で切り替える。撮像装置は複数の撮像モードを実行可能であり、設定した撮像モードに応じて撮像光学系を交換しないで撮像光学系の構成を維持した状態で撮像条件に対応した異なる解像度で撮像できる。例えば、解像力を重視する細胞診モード第1の撮像モードや、解像力をそれほど必要としないが広域な画像を得る組織診モード第2の撮像モード、あるいは解像力を殆ど必要としない予備計測モード第3の撮像モードなどである。制御部600は、各撮像モードを実行可能である。予備計測モードでは標本全体の大体の大きさや標本の光軸方向の位置を計測する。以下、予備計測モードを単に計測モードと呼ぶ。撮像素子420は、図2Aなどで示すように、2種類以上の異なる撮像素子で構成されている。各撮像素子は、例えば、画素ピッチの異なる、即ち、集積度の異なるものや、カラーフィルタのついた画素からなりいわゆるベイヤ配列の撮像素子とモノクロの画素からなる撮像素子であるような機能などが異なるものである。細胞診モードは、集積度の高い撮像素子1を撮像光学系の像面に位置させた状態で撮像素子1により物体を撮像する。組織診モードは集積度の低い撮像素子2を撮像光学系の像面に位置させた状態で撮像素子2により物体を撮像する。あるいは、細胞診モードは物体を単色で撮像する、モノクロの画素からなる撮像素子1を用い、組織診モードでは物体をカラーで撮像する、同じ集積度のカラーフィルタのついた画素からなる撮像素子2を用いる。計測モードでは撮像素子1より集積度の低いモノクロの素子あるいは、撮像素子1と同等以下の集積度のカラーフィルタのついた素子からなる撮像素子3を用いる。モノクロ画素でカラー画像を得る場合、白色光源とした光源110の後ろから撮像素子420までの間の任意の位置にカラーフィルタを挿入して波長別に受光し単色画像を得る。例えば、短波長中心波長約450nmのみが通過するフィルタを挿入して短波長中心波長約450nmの光のみを撮像素子420が受光するようにする。同様にして、中間波長中心波長約550nm、長波長中心波長約650nmの2波長を別々に受光する。受光した信号を伝送して単色画像として波長別に画像処理部のメモリに取り込む。これらの単色画像を画像処理で合成してカラー画像にすればよい。あるいは、波長の異なる単色光源により標本を照明し、標本からの反射光または透過光を別々に受光し、これらの単色画像を同様に画像処理で合成してカラー画像にすればよい。撮像素子420の集積度を決める画素ピッチは、撮像素子420のMTFの遮断周波数MTFが0になる最小の周波数が光学系の遮断周波数より大きくなるように決めるとよい。そうすると撮像光学系300の解像性能を最大に発揮させることができる。解像力を重視する場合には、カラー画像を得る必要があっても、モノクロの撮像素子を用いれば単色の画素ピッチが最小にできるため、モノクロの撮像素子を用いる。サンプリング定理から、撮像素子の画素ピッチをpとすると画素ピッチpは次式で決定できる。rcはカットオフ周波数である。想定している解像力をRとすると、撮像素子の画素ピッチはRより小さくしなければならない。細胞診モードでは、光学系310の解像度を損なわないような細かい画素ピッチで撮像する。カットオフ周波数は撮像光学系300の解像力の限界と等しくする。撮像光学系300の解像力の限界は、撮像光学系300の結像倍率M、照明光の波長λ、撮像光学系の対物レンズの開口数NA、照明光学系100のコヒーレンスファクタσによって決まる。撮像光学系300の解像力の限界をRとして数式1より撮像ピッチを求めて、この撮像ピッチを持つ撮像素子1を用いる。細胞診モードは比較的、狭い領域の画像を観察する。領域をせまくすることでメモリ容量を小さくする。組織診モードでは、細胞診モードより開口数を小さくしして物体を撮像するため、それに応じて撮像光学系300の解像力の限界が変わる。撮像光学系300の開口数NAによって決まる限界解像力Rから決まる画素ピッチの大きさをもつ撮像素子2を用いる。計測モードでは、さらにNAを小さくし、必要な解像度によって決まるピッチの撮像素子3を用いる。組織診または計測モードにおいて標本全体像を把握したい場合、撮像素子が1回で撮像できる領域を撮像した後、隣接した領域に撮像素子をずらし、順次撮像し画像を取り込んでいくことで撮像領域を大きく拡げることができる。撮像素子が1回で撮像できる領域は対物レンズの視野で決まるものである。例えば、図9に示すように、撮像素子が1回で撮像できる領域を四角で示すが、1の位置に撮像した後、標本の位置または撮像素子の位置を相対的にずらして動かし、2,3,...9の位置を撮像し、画像を繋ぎ合わせることで広域な画像を得ることができる。画像が広域になると画素数が増加し、画素数が大きくなると画像データの記憶容量が大きくなり、データ伝送時間が長くなる。しかし、集積度の低い撮像素子2を用いることにより、広域画像の画素数を必要十分にすることができる。図1に示す撮像装置において、照明光学系100からの光束は開口数NAiで照射され、撮像光学系対物レンズ300にある開口数NAで入射し、NA比はコヒーレンスファクタσ=NAi/NAである。対物レンズの開口数NA=0.75、中心波長が550nmの白色光源を用い、σ=0.7、倍率M=10の撮像装置を用いる。細胞診モードでは撮像素子1を用いる。撮像光学系の限界解像力はR=2.16μmであるため、撮像素子1の画素ピッチPは数式1よりP≦2.2μmとなる。撮像素子1は画素ピッチ2.2μmのモノクロの画素からなる。組織診モードでは、対物レンズの開口数をNA=0.45に絞り、撮像素子2を用いる。照明光学系100の最大の開口数NAiを0.525とするとσ=NAi/NA≧1であるが、σ=1にする。対物レンズと照明光学系100のNA絞りの方法は実施例4で詳しく説明する。撮像光学系300の限界解像力はR=3.05μmである。撮像素子2の画素ピッチPは数式1よりP≦3.1μmとなる。撮像素子2は画素ピッチP=3.1μm以下のモノクロの画素からなる。計測モードでは、対物レンズの開口数をNA=0.4に絞り、撮像素子3を用いる。計測モードに必要な解像力を10μmとして、撮像素子3の画素ピッチPは数式1よりP=10μmとする。撮像素子3は画素ピッチP=10μm以下のモノクロの画素からなる。あるいは第2の撮像素子で兼用してもよい。カラー画像が必要な場合でも、細胞診モードではモノクロの撮像素子を用いる。カラーフィルタのついた撮像素子ではこれより画素ピッチを小さくしなければならず、ノイズなどが増えて撮像素子の性能が低下する場合があるためである。モノクロの撮像素子でカラー画像を撮像する場合、透過する波長領域を長波長側R赤色の光が透過、中間波長G緑色の光が透過、短波長側B青色の光が透過のフィルタ150に交換して順次撮像する。あるいは透過する波長領域を大きくしてフィルタなしに、光源110を波長の異なるRGB光源に変えて順次撮像してもよい。この場合、透過波長領域はカラー画像を得るには十分広域だが、撮像光学系300の収差が劣化する短波長側や長波長側の波長を遮光するような波長特性をもっているフィルタ150を用いてもよい。3色の画像を撮像し別々に取得してから、これらを合成統合するとカラー画像が得られる。撮像素子420は、図2Aに示すように、基板410の上に撮像素子1と撮像素子2が配置されている。あるいは、基板410の上に撮像素子1または撮像素子2の一方のみを設置し、これらを交換して使用してもよい。撮像素子1と撮像素子2は形状または大きさが異なってもよい。照明光学系100のフィルタ150は、図2Bに示すように、光の透過部分151と遮光部分152によって構成されている。透過部分151はある波長領域のみの光が透過できるようなカラーフィルタでもよく、撮像素子の形状に応じて標本を透過した光が一方の撮像素子のみに選択的に到達できるように構成されている。撮像素子1と撮像素子2の撮像領域が重ならないほど十分離れているときや、撮像素子1と撮像素子2を交換して使用するようなときは、透過領域151のみのフィルタ150であってもよい。また、単色の像を撮影するような場合には、フィルタ150は不要である。図2Aに示す撮像素子を、撮像モードに応じて撮像光学系300の撮像領域Aが撮像素子1または2の撮像面と重なるように撮像ステージを移動する。細胞診モードでは、撮像素子1のみで撮像して撮像素子2では撮像しないために、照明光学系100からの光が撮像素子1に選択的に到達するようにフィルタ150を移動または選択する。他のモードでもそれぞれの撮像素子に選択的に到達する照明光のみが照明されるようにフィルタを移動または選択する。上記の説明では撮像素子3の説明を省いたが、撮像素子2と同様である。必要とする解像度に応じて撮像素子を更に設けてもよい。図1に示す撮像装置において、対物レンズの開口数NA=0.75、中心波長が550nmの白色光源を用い、σ=0.7、倍率M=10の撮像装置を用いる。細胞診モードでは撮像素子1を用いる。撮像光学系300の限界解像力はR=2.16μmであるため、撮像素子1の画素ピッチPは数式1よりP≦2.2μmとなる。撮像素子1は画素ピッチ2.2μmのモノクロの画素からなる。組織診モードでは、対物レンズの開口数をNA=0.45に絞り、撮像素子2を用いる。照明光学系100の最大の開口数NAiを0.525とするとσ=NAi/NA≧1であるが、σ=1にする。対物レンズと照明光学系100のNA絞りの方法は実施例4で詳しく説明する。撮像光学系300の限界解像力はR=3.05μmである。撮像素子1と同じ画素ピッチP=2.2μmのカラーフィルタのついたベイヤ配列の撮像素子を撮像素子2として用いる。中間波長G緑色の光が透過のカラーフィルタのついた画素では画素ピッチが2.2×√2=3.11なので、数式1の関係を満たす。計測モードでは、画素ピッチP=7μmのカラーフィルタのついたベイヤ配列の撮像素子を撮像素子3として用いる。あるいは第2の撮像素子で兼用してもよい。組織診モードや計測モードでは、解像度をそれほど必要としないため画素ピッチを比較的大きくでき、ベイヤ配列の撮像素子を用いても画素ピッチを小さくしなくてすむ。カラーフィルタのついた撮像素子を用いると、カラー画像が一度の撮像で得られるので撮像時間が1/3になる。撮像素子420は、図2Aに示すように、基板410の上に撮像素子1と撮像素子2が配置されている。あるいは、基板410の上に撮像素子1または撮像素子2の一方のみを設置し、これらを交換して使用してもよい。撮像素子1と撮像素子2は形状または大きさが異なってもよい。照明光学系100のフィルタ150は、図2Bに示すように、光の透過部分151と遮光部分152によって構成されている。透過部分151はある波長領域のみの光が透過できるようなカラーフィルタでもよく、撮像素子の形状に応じて標本を透過した光が一方の撮像素子のみに選択的に到達できるように構成されている。撮像素子1と撮像素子2の撮像領域が重ならないほど十分離れているときや、撮像素子1と撮像素子2を交換して使用するようなときは、透過領域151のみのフィルタであってもよい。また、単色の像を撮影するような場合には、フィルタは不要である。図2Aに示す撮像素子420を、撮像モードに応じて撮像光学系300の撮像領域Aが撮像素子1または2と重なるように撮像ステージを移動する。細胞診モードでは、撮像素子1のみで撮像して撮像素子2では撮像しないために、照明光学系からの光が撮像素子1に選択的に到達するようにフィルタを移動または選択する。他のモードでもそれぞれの撮像素子に到達する照明光のみが照明されるようにフィルタを移動または選択する。上記の説明では撮像素子3の説明を省いたが、撮像素子2と同様である。必要とする解像度に応じて撮像素子を更に設けてもよい。図1に示す撮像装置において、撮像光学系300は高倍率または/かつ広画角で光学系310の撮像領域Aは撮像素子1つに比べて非常に大きい。撮像素子1、2、3は、図3Aに示すように、それぞれが複数個で構成されている。照射領域Bを限定するフィルタ150は、図3Bに示すように、光の透過部分151と遮光部分152によって構成されている。透過部分151はある波長領域のみの光が透過できるようなカラーフィルタでもよい。図4Aに示すように、複数の撮像素子1および撮像素子2によって構成された撮像部は互いに隣り合って配置されていてもよい。あるいは、図3Aに示す2つの撮像素子を図7に示すように光透過物質で構成された基板410にそれぞれ搭載して立体的に重ねて、図4Aに示す位置関係で配置してもよい。この場合、それぞれの撮像素子の面に合焦位置を一致させるようにして、フォーカス位置を変えて撮像する。図4A、図5A、図6Aのような撮像素子の構成にする場合、撮像素子2と撮像素子3は同じものでもよい。撮像素子1と撮像素子2は形状または大きさが異なってもよい図6A。平面上に配置できれば平面上に配置してもよい。実施例1と同様に、撮像モードに応じて光学系の撮像領域が撮像素子1または2または3と重なるようにフィルタまたは撮像ステージを移動する図3Aと図3Bまたは図4Aと図4B。実施例1と同様に、撮像素子1のみで撮像して他の撮像素子で撮像しない場合、標本を透過した光が撮像素子1のみに選択的に到達するようにフィルタ150を選択する図3Bまたは図4Bか、フィルタを移動する図4C。図3Aに示す撮像素子を使用する場合、フィルタ150は固定したままでいい場合もある。透過部分151の位置関係が同じカラーフィルタに交換する場合もある。または、撮像モードに応じて光学系310の撮像領域Aが撮像素子1または2または3の多数と重なるように撮像ステージを移動する図5A。この場合、フィルタ150は固定したまでいい場合もある。透過部分の位置関係が同じカラーフィルタに交換する場合もある図5B。フィルタ150は光源から撮像部までの光路のどの部分にいれてもよい。まず、計測モードで計測してから細胞診モード、組織診モードで撮像する。計測モードでは、対物レンズの開口数をNA=0.4に絞り、撮像素子3を用いる。撮像素子3の画素ピッチPは7μmであり、撮像素子3はカラーフィルタのついたベイヤ配列を有する。光源110は白色光源を用いる。計測モードではサンプルの存在するおおまかな3次元的な位置を計測する。図3Aまたは図4Aで示す撮像素子3で撮像領域に関してまばらな位置で撮像しても、大まかな2次元的な大きさがわかる。深さz方向のフォーカス位置を変えて数回撮像することによって代表的な2次元x、y位置での光軸方向の座標を計測し焦点位置を推測する。ここで、計測とは、標本を撮像し画像を取得してから、画像を所定の手続きによりサンプルの存在するおおまかな3次元的な位置情報を得るものである。。例えば、画像の濃淡の情報や色分布の情報などを用いて標本の境界や標本内部のコントラストなどを算出する。撮像された画像の各部分がコントラストのよいz方向の位置がフォーカス位置である。一般的には、標本をはさんでいるスライドガラスまたはプレパラートサンプルにはうねりがあり、標本の厚さがばらついているのでx、y位置での最良なフォーカス位置は一様ではない。深さz方向のフォーカス位置を変えて数回撮像し、x、y位置でコントラストのよいz位置をフォーカス位置とする。フォーカス位置をより精度良くするために、低NAからより焦点深度の浅い高NAに変えてフォーカス位置を測定してもよい。また、標本位置を撮像素子に対してずらしながら複数回の撮像を行い、取得した複数の画像を合成し、撮像領域全体をむらなくフォーカス位置を計測してもよい。更に、図9に示すように、撮像素子と標本を相対的にずらして何回か計測し、より広域のフォーカス位置を計測してもよい。サンプルの存在する3次元的な位置情報をほかの手段によって取得済みであれば、計測モードを省略してもよい。次に、組織診モードで撮像する。組織診モードでは、対物レンズの開口数をNA=0.45に絞り、撮像素子2を用いる。照明光学系100の最大の開口数NAiを0.525とするとσ=NAi/NA≧1であるが、σ=1にする。あるいは撮像素子2と撮像素子3は同じものでもよい。組織診モードでは、得られた最良のフォーカス位置に撮像光学系300と標本を配置して撮像する。最良のフォーカス位置とは、各素子でのフォーカス位置での標本全体での平均位置としてもよいし、各素子部分でのフォーカス位置にあわせて数回撮像してベストフォーカス位置にある画像部分をつなぎ合わせてもよい。あるいは撮像部400または撮像光学系300の観察面210の位置を複数の撮像素子がベストフォーカス位置になるようにする。そして、標本位置を撮像素子に対して光学系の撮像領域が重なるようにずらしながら複数回の撮像を行い撮像素子の隙間を埋めるようにし、取得した複数の画像を合成し、光学系310の撮像領域全体の画像とする。図8はこの様子を示している。図8Aのように、たとえば、図3Aのような撮像素子を用い、1回目の撮像の後、画像データを取得する。図中、1は1回目撮像の中心位置、灰色の部分は1回目撮像で取得できる画像領域を示している。次に、図8Bに示すように、撮像中心位置を光学系の視野内でずらし、1回目の撮像素子の隙間を埋めるように2回目の撮像をする。図中、2は2回目撮像の中心位置、2と示した四角は2回目撮像で取得できる画像領域を示している。同様に、図8C、Dに示すように3回目、4回目と撮像し、画像データを取得していくと1,2,3,4の数字が記入された四角で示した領域が全て撮像される。これらを画像処理によって繋ぎ合わせ連続した画像を形成する。予め取得した標本の2次元的な大きさの情報が光学系の視野より大きかった場合、光学系の視野の位置を変えてより広域の画像にすることもできる。すなわち、図9に示すように、光学系の視野の位置を変えることによって撮像素子と標本を相対的にずらして前に撮像された撮像領域の隣接する位置に移動する。その後、次の撮像領域全体の画像を図8で示した手順によって撮像し、これらをつなぎあわせてより広域の画像にする。組織診モードではNAを絞る事によって焦点深度が大きくできる効果もあるため、広域化しても焦点のあった画像を得る事が容易になる。また、撮像素子の画素数が不必要に多すぎることもないので、広域化してもメモリの増大は必要な量に抑えられる。次に、細胞診モードで撮像する。細胞診モードの開口数は最大にし、画素ピッチ2.2μmのモノクロの画素からなる撮像素子1を用いる。細胞診モードでも組織診モードと同様に、最良のフォーカス位置に撮像光学系と標本を配置して単色画像を撮像する。カラー画像が必要な場合、前述の方法でRGB単色画像を3回撮像し、これらを画像処理部で合成してカラー画像を得る。そして、組織診モードと同様に、標本位置を撮像素子に対して光学系310の撮像中心位置をずらしながら複数回の撮像を行い、撮像素子の隙間を埋めるように画像を取得し、光学系の視野内の画像を取得する。そして、取得した複数の画像を画像処理によって合成し、光学系310の視野内の連続した画像を取得する図8参照。細胞診モードでは、計測モードまたは組織診モードで撮像した画像をもとに細部を観察したい部分x、y位置のみを撮像してもよい。組織診モードのみが必要な場合は細胞診モードを省略できる。この場合、撮像素子2と撮像素子3を備えた撮像装置であればよい。細胞診モードのみが必要な場合は組織診モードを省略できる。この場合、撮像素子1と撮像素子3を備えた撮像装置であればよい。組織診モードのNAは、他のNAにする事も可能であるし、撮像素子2を単色の撮像素子にしてRGB単色画像を3回撮像し、カラー画像を得るようにしてもよい。図10は、標本を照射する照明光の光束と標本から透過した光束を拡大して示す図である。図1に示す撮像装置において、照明光学系100からの光束は開口数NAiで照射され、撮像光学系対物レンズ300に開口数NAで入射する。これらのNA比をσという。対物レンズに、広域で高NAの反射屈折光学系を使用する場合は中抜けobscurationと呼ばれる光軸付近の光が入射しない構造となっていることがある。このような光学系310は光路中に望ましくない散乱光を吸収するため撮像光学系300の絞り320に中心遮光絞りを設けている。この遮光部分の開口数をNAoとする。解像力やコントラスト、深度などの光学性能は、撮像光学系の開口数とコヒーレンスファクタ、すなわち照明光学系100の開口数との関係で決まる。従って、撮像光学系300と照明光学系100の絞り130は複数のモードにとって重要である。図11は、照明光学系100に設けられる複数の絞り130と、撮像光学系に設けられる複数の絞り320を示す平面図である。これらの複数の絞りは透過部と遮光部の分布が異なっている。撮像装置は、複数の絞りの一つが光路に配置されるように複数の絞りを切り替える不図示の手段を有している。ある撮像モードに対して撮像光学系300の絞り320または330と照明光学系の絞り130の好ましい組み合わせを説明する。撮像光学系300の代表的な絞り形状を図13に示し、照明光学系100の代表的な絞り形状を図12に示す。撮像光学系300の中心遮光絞りは図13Aに示すような透過率分布となっている。また、照明光学系100は絞りがないときには図12Aに示すような遮光部分のない透過率分布となっている。細胞診モードにおいては、撮像光学系300の開口数NAを大きくし、照明光学系100の開口数NAiを大きくする。更に、照明光学系100を、撮像光学系300の中抜け部分の開口数NAoよりも大きく遮光する。即ち、照明光学系100においても開口数NAio≧NAoの中抜けのある輪帯照明が好ましい図11A、B。この場合、照明光学系100の絞り130を図12Bまたは図12Cに示すような絞りに切り替える。組織診モードにおいては、照明光学系100の開口数NAiを最大にしたまま撮像光学系300の開口数NAを小さくするが、σが1を超えないようにする。更に、照明光学系100を撮像光学系300の中抜け部分の開口数NAoと等しく遮光する。即ち、照明光学系100においても開口数NAio=NAoの中抜けのある輪帯照明とする図11C。この場合、撮像光学系300の可変絞り210を絞ることによって撮像光学系300の開口数を小さくすることができる。あるいは撮像光学系300の絞り320に図13Bに示すような透過率分布の開口絞りを設けてもよい。照明光学系100の絞り130は図12Bに示すような絞りにする。σ=NAi/NA≧1となる場合、図12Dに示すようなNAiの開口も同時に絞り、σ=1にする。計測モードにおいては、照明光学系100の開口数NAiを最大にしたまま、撮像光学系300の開口数NAをさらに小さくするが、σが1を超えないようにする。更に、照明光学系100を、撮像光学系300の中抜け部分の開口数NAoと等しく遮光する。即ち、照明光学系100においても開口数NAio=NAoの中抜けのある輪帯照明とする図11D。この場合、撮像光学系300の可変絞り210を更に絞ることによって撮像光学系300の開口数を小さくする。あるいは撮像光学系300の絞り320に図13Cに示すような透過率分布の絞りを設けてもよい。照明光学系100の絞り130は図12Bに示すような絞りにする。σ=NAi/NA≧1となる場合、図12Dに示すようなNAiの開口も同時に絞り、σ=1にする。撮像装置は細胞診モードのオプションとして暗視野観察暗視野モードを備えている。暗視野モードにおいては、照明光学系100の開口数を、撮像光学系300の中抜け部分の開口数NAo以下にする。即ち、照明光学系においても開口数NAi≦NAoの円形照明とする図11E。この場合、照明光学系の絞り130を、図12Eに示すような絞りに切り替える。更に、撮像光学系300の中抜け部分の開口数をもともと光学系の中抜け部分の開口数NAoよりも大きくしてもよい図11F。この場合、撮像光学系300の絞り320の、図13Dに示すような中抜けの開口数を大きくし、遮光部分を大きくする。こうすると、照明光学系100の円形照明をより大きくできるので、照明光学系100の絞り130を、図11Fに示すように、より透過部の大きな絞りにすることもできる。即ち、照明光学系100からの光量を大きくすることができる。撮像装置に撮像光学系300の絞り320と可変絞り330を設け、絞り320のみか可変絞り330と併せて絞り形状を可変にできる駆動装置を設けている。撮像光学系300は、絞り320として図13Aを固定して可変絞り330によって開口を可変にする構成が望ましい。撮像光学系300は絞り320に図13AからDの複数のフィルタを用意して交換または切り替えのできるように構成してもよい。照明光学系は、図12BからFの複数のフィルタを用意して交換または切り替えのできるように構成してもよい。以上、本実施形態について説明したが、本発明は本実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。"