流体中で回転する羽根車と、該羽根車が設けられる回転シャフトと、該回転シャフトの軸に対するラジアル方向だけでなく該軸と平行なスラスト方向においても前記回転シャフトから荷重を受けるベアリングと、前記回転シャフトが内部に通されているハウジングと、該ハウジングの内周面と前記回転シャフトの外周面との間に位置し前記内周面との間にオイルフィルムを形成するオイルフィルムダンパと、を備えるターボ機械であって、前記オイルフィルムダンパは、前記ベアリングを介して前記回転シャフトからラジアル方向およびスラスト方向に荷重を受けて、該荷重を前記ハウジングに伝え、前記オイルフィルムダンパは、前記ハウジングの荷重受け面にスラスト方向に対向する荷重伝達面を有し、前記回転シャフトからの荷重を前記荷重伝達面から前記荷重受け面へスラスト方向に伝え、前記荷重受け面と荷重伝達面の少なくとも一方に、振動を減衰させる機能を有する振動減衰部が設けられている、ことを特徴とするターボ機械。前記振動減衰部は、前記荷重受け面と荷重伝達面の前記少なくとも一方に取り付けられ、振動減衰機能を有する材料で形成された部材である、ことを特徴とする請求項1に記載のターボ機械。前記材料は、振動減衰機能を有する樹脂材、ゴム材、ゲル材料または金属である、ことを特徴とする請求項2に記載のターボ機械。前記ハウジングまたはオイルフィルムダンパーには、前記振動減衰部を覆う保護カバーが設けられている、ことを特徴とする請求項1、2または3に記載のターボ機械。ターボ機械において、上述のベアリングが、回転シャフトから、ラジアル方向だけでなく、スラスト方向にも振動荷重を受ける場合には、ハウジングにはスラスト方向にも振動が発生する。このようなベアリングは、例えば、ボールベアリングである。なお、ラジアル方向とは、回転シャフトの軸に対する半径方向であり、スラスト方向は、回転シャフトの軸と平行な方向である。しかし、上述したようなオイルフィルムダンパを備える従来のターボ機械において、オイルフィルムによる振動減衰効果が、ラジアル方向には得られるが、スラスト方向には得られない。その結果、ターボ機械の運転時に騒音が生じることがある。そこで、本発明の目的は、ターボ機械において、ベアリングが、ラジアル方向だけでなく、スラスト方向にも振動荷重を受ける場合において、スラスト方向における振動を減衰させることにより、騒音の発生を防止することにある。上記目的を達成するため、本発明によるターボ機械は、流体中で回転する羽根車と、該羽根車が設けられる回転シャフトと、該回転シャフトの軸に対するラジアル方向だけでなく該軸と平行なスラスト方向においても前記回転シャフトから荷重を受けるベアリングと、前記回転シャフトが内部に通されているハウジングと、該ハウジングの内周面と前記回転シャフトの外周面との間に位置し前記内周面との間にオイルフィルムを形成するオイルフィルムダンパと、を備え、前記オイルフィルムダンパは、前記ベアリングを介して前記回転シャフトからラジアル方向およびスラスト方向に荷重を受けて、該荷重を前記ハウジングに伝え、前記オイルフィルムダンパは、前記ハウジングの荷重受け面にスラスト方向に対向する荷重伝達面を有し、前記回転シャフトからの荷重を前記荷重伝達面から前記荷重受け面へスラスト方向に伝え、前記荷重受け面と荷重伝達面の少なくとも一方に、振動を減衰させる機能を有する振動減衰部が設けられている、ことを特徴とする。本発明の好ましい実施形態によると、前記振動減衰部は、前記荷重受け面と荷重伝達面の前記少なくとも一方に取り付けられ、振動減衰機能を有する材料で形成された部材である。本発明の好ましい実施形態によると、前記材料は、振動減衰機能を有する樹脂材、ゴム材、ゲル材料または金属である。好ましくは、前記ハウジングまたはオイルフィルムダンパーには、前記振動減衰部を覆う保護カバーが設けられている。上述した本発明によると、前記オイルフィルムダンパは、前記ハウジングの荷重受け面にスラスト方向に対向する荷重伝達面を有し、前記回転シャフトからのスラスト方向荷重を前記荷重伝達面から前記荷重受け面に伝え、荷重受け面と荷重伝達面の少なくとも一方に、振動を減衰させる機能を有する振動減衰部が設けられているので、スラスト方向における振動を減衰させて騒音の発生を防止できる。本発明の好ましい実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図1は、本発明の実施形態によるターボ機械10を示す。ターボ機械10は、羽根車3、回転シャフト5、ベアリング7、ハウジング9、およびオイルフィルムダンパ11を備える。羽根車3は、流体から圧力を受けることによりエネルギーが与えられて流体中で回転し、または、回転駆動されることにより流体にエネルギーを与えるように流体中で回転する。回転シャフト5には、羽根車3が設けられている。回転シャフト5は、羽根車3と一体的に回転する。ベアリング7は、回転シャフト5の軸に対するラジアル方向半径方向に回転シャフト5から荷重を受けるだけでなく、該軸と平行なスラスト方向においても回転シャフト5から荷重を受ける。オイルフィルムダンパ11は、ハウジング9の内周面13と回転シャフト5の外周面との間に位置し内周面13との間にオイルフィルムを形成する。図1では、ターボ機械10は、ターボチャージャである。この場合、ターボ機械10の上記各構成要素は、次のようなものである。羽根車3は、その軸を回る周方向に間隔をおいて設けられた複数のタービン翼3aから構成される。タービン翼3aは、エンジンからの排ガスにより回転駆動される。回転シャフト5の一端部には、複数のタービン翼3aが設けられ、回転シャフト5の他端部には、その軸を回る周方向に間隔をおいて設けられた複数のコンプレッサ翼15が設けられている。コンプレッサ翼15は、タービン翼3aと一体的に回転することにより、吸入した空気を圧縮して前記エンジンへ送出する。ターボチャージャ10のハウジング9は、図1の例では、タービン翼3aを内部に収容するタービンハウジング9aと、ベアリング7およびオイルフィルムダンパ11を内部に収容するベアリングハウジング9bと、コンプレッサ翼15を内部に収容するコンプレッサハウジング9cとからなる。オイルフィルムダンパ11は、ベアリング7を介して回転シャフト5からラジアル方向およびスラスト方向に荷重を受けて、該荷重をハウジング9に伝える。図2は、図1の部分拡大図である。ベアリング7は、図2に示すように、オイルフィルムダンパ11の内周面に形成された段差部11aに装着されている。これにより、ラジアル方向とスラスト方向において、回転シャフト5の荷重が、ベアリング7を介してオイルフィルムダンパ11に伝わる。なお、ベアリング7は、図2の例では、外輪7a、内輪7bおよびボール7cを有するボールベアリングである。オイルフィルムダンパ11は、図2に示すように、ハウジング9の荷重受け面21にスラスト方向に対向する荷重伝達面23を有する。オイルフィルムダンパ11は、荷重伝達面23から荷重受け面21に回転シャフト5からの荷重をスラスト方向に伝える。オイルフィルムダンパ11の外周面12とハウジング9の内周面13との隙間には、ベアリングハウジング9bの上部に形成されたオイル供給路14から潤滑油が供給される。このように供給された潤滑油は、前記隙間においてオイルフィルムを形成するとともに、オイルフィルムダンパ11に形成されたオイル通路11bに導入される。オイル通路11bは、導入された潤滑油をベアリング7に供給する。ベアリング7と前記隙間に供給された潤滑油は、ベアリングハウジング9bの下部に形成されたオイル排出穴17を通してベアリングハウジング9bの外部へ排出される。なお、オイルフィルムダンパ11には連通穴19が形成されている。連通穴19は、ベアリング7に供給された潤滑油の一部を、オイルフィルムダンパ11の内部からオイル排出穴17へ流す。ハウジング9の荷重受け面21とオイルフィルムダンパ11の荷重伝達面23の少なくとも一方に、振動を減衰させる機能以下、単に振動減衰機能ともいうを有する振動減衰部25が設けられている。本実施形態によると、振動減衰部25は、荷重受け面21と荷重伝達面23の少なくとも一方に取り付けられ、振動減衰機能を有する材料で形成された部材である。この場合、振動減衰部25の材料は、振動減衰機能を有するものであればよく、例えば、樹脂材、ゴム材、ゲル材料または金属である。好ましくは、振動減衰部25の取り付けを容易にするために、図2のように、荷重受け面21と荷重伝達面23のうち荷重受け面21に振動減衰部25が取り付けられている。ハウジング9またはオイルフィルムダンパー11には、振動減衰部25を覆う保護カバー27が設けられてもよい。図3は、図2に相当する図であるが、ハウジング9に保護カバー27を設けた場合を示す。保護カバー27は、例えば、金属製のシート状部材である。この保護カバー27により、樹脂材やゴム材などで形成された振動減衰部25が、相手側部材図3では、オイルフィルムダンパ11に、直接、当たることが防止されるので、振動減衰部25の摩耗を防止することができる。図2の例では、ベアリングハウジング9bは押え部材29を有し、この押え部材29が荷重受け面21を有する。押え部材29は、ベアリングハウジング9bの本体31に取り付けられた部材であり、オイルフィルムダンパ11をスラスト方向に押えるために設けられる。押え部材29は、ベアリングハウジング本体31に固定されていてよい。図4Aは、図2の押え部材29と振動減衰部25のみを示した図である。図4Bは、図4AのB-B矢視図であり、スラスト方向から見た押え部材29を示す。図4Bにおいて、振動減衰部25を編目部分で示している。振動減衰部25は、周方向に延びており、図4Bの例では、半周だけ延びている。なお、押え部材29と振動減衰部25は、図5の形状を有していてもよい。この場合、振動減衰部25は、回転シャフト5の軸方向から見た場合に、環状である。すなわち、振動減衰部25が荷重伝達面23からスラスト方向荷重を受ける領域は、周方向に1周するように延びている。この場合も、上述の保護カバー27を設けてもよい。振動する荷重の伝達経路および減衰について説明する。ラジアル方向については、回転シャフト5の振動荷重は、ベアリング7を介してオイルフィルムダンパ11へ伝わる。オイルフィルムダンパ11に伝わった振動荷重は、オイルフィルムダンパ11の外周面12とハウジング9の内周面13との隙間に形成されたオイルフィルムを介してラジアル方向にハウジング9へ伝わる。当該振動は、オイルフィルムにより減衰する。スラスト方向については、回転シャフト5の振動荷重は、ベアリング7を介してオイルフィルムダンパ11へ伝わる。オイルフィルムダンパ11に伝わった振動荷重が、荷重伝達面23から荷重受け面21にスラスト方向に作用する。当該振動は、荷重伝達面23または荷重受け面21に設けた振動減衰部25により減衰する。上述の振動減衰部25を設けることにより高い効果が得られる場合の一例を説明する。図1の例では、タービンハウジング9aに弾性シール部材33を設けている。この場合には、弾性シール部材33の弾性により、ターボチャージャ10の運転時にスラスト方向の振動が大きくなる可能性がある。そこで、このような振動を上述の振動減衰部25により防止できる。弾性シール部材33は、タービンハウジング9a内で、図1の矢印Rが示す経路で排ガスが漏れることを防止するために設けられる。タービンハウジング9aには、エンジンから排ガスが導入されるスクロール流路35が形成されている。このスクロール流路35を周方向に流れた排ガスは、ノズルベーン37が配置された径方向流路38を、半径方向内側へ流れてタービン翼3aに導入される。径方向流路38は、タービンハウジング9aとベアリングハウジング9bとの間に設けられた2つの流路形成部材39、41の間に形成されている。流路形成部材39には、ノズルベーン37の支持軸37aが挿入される貫通孔が設けられている。この貫通孔と支持軸37aとの隙間を通して、矢印Rが示すように、スクロール流路35から径方向流路38に排ガスが漏れる場合がある。そこで、この漏れを防止するために、弾性シール部材33により、タービンハウジング9aと流路形成部材39との間をシールしている。弾性シール部材33は、回転シャフト5の軸方向から見た場合に、環状であり、該軸方向に弾性変位し、タービンハウジング9aと流路形成部材39、41により回転シャフト5の軸方向に挟まれて圧縮されている。このような弾性シール部材33は、例えば、軸方向から見た場合に環状である皿ばねであり、特開2009-47027号公報に記載されている。なお、弾性シール部材33を有しないターボチャージャ10に振動減衰部25を適用することにより、スラスト方向の振動を確実に防止して、ターボチャージャ10の運転の安定性を高めることができる。本発明は上述した実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、下記の変形例1、2の一方を単独で、または、変形例1、2を組み合わせて採用してもよい。この場合、他の点は上述と同じである。変形例1上述では、ハウジング9の荷重受け面21に振動減衰部25を設けたが、オイルフィルムダンパ11の荷重伝達面23に振動減衰部25を設けてもよい。この場合、ハウジング9の荷重受け面21とオイルフィルムダンパ11の荷重伝達面23の両方に、振動減衰部25を設けてもよい。なお、オイルフィルムダンパ11の荷重伝達面23に振動減衰部25を設ける場合には、上述と同様に、オイルフィルムダンパ11に、図6のように、振動減衰部25を覆う保護カバー27が取り付けられてもよいし、保護カバー27を省略して、振動減衰部25が、荷重受け面21に、直接、スラスト方向に当たるようにしてもよい。変形例2上述では、ターボチャージャ10のハウジング9において、オイルフィルムダンパ11がコンプレッサ側を向くスラスト方向に当たる部位に、振動減衰部25を設けている。回転シャフト5からハウジング9へスラスト方向に伝わる荷重は、主に、コンプレッサ側を向く方向の荷重であるからである。ただし、必要に応じて、ターボチャージャ10のハウジング9において、オイルフィルムダンパ11からタービン側を向くスラスト方向に荷重を受ける部位にも、振動減衰部25を設けてもよい。図7は、図1の部分拡大図に相当するが、この部位に相当する荷重受け面21にも、振動減衰部25およびその保護カバー27を設けた場合を示す。この保護カバー27は省略してもよい。また、図7において、タービン側におけるハウジング9の荷重受け面21に対しスラスト方向に対向するようにコンプレッサ側を向くオイルフィルムダンパ11の荷重伝達面23に、振動減衰部25およびその保護カバー27を設けてもよい。この場合においても、当該保護カバー27を省略してよい。