リニアセンサのセンサヘッドを備える固定部と、該固定部に固定した弾性体で支持される可動部とを備えており、前記可動部には、該可動部と一体に変位するセンサロッドが設けられており、該センサロッドの変位量を前記センサヘッドで検出する変位量検出装置であって、前記弾性体は、前記固定部で片持梁状に支持した前後一対の板バネで構成されており、前記一対の板バネの固定端および可動端は、それぞれブロック状のスペーサを間にして締結されており、前記一対の板バネの少なくとも一方の幅寸法が、前記板バネの固定端および可動端における締結領域の幅寸法より大きく設定されており、前記板バネの少なくとも一方に、前記固定端の締結領域、および前記可動端の締結領域からはみ出る自由変形部が設けてあることを特徴とする変位量検出装置。前記板バネの少なくとも幅方向の一端に、前記自由変形部が設けてある請求項1に記載の変位量検出装置。前記板バネの幅方向の両端に前記自由変形部が設けられており、前記自由変形部の幅寸法が同じに設定してある請求項2に記載の変位量検出装置。前記可動部に、測定対象となる糸が屈曲状態で接触する受動体が設けられており、前記受動体の変位に伴う前記センサロッドの変位量を前記センサヘッドで検出して、前記糸の張力を測定する請求項1から3のいずれかひとつに記載の変位量検出装置。リニアセンサの測定値可動部の変位量は、可動部への負荷が解除された瞬間に初期値ゼロ値になることが理想である。しかし、特許文献1および特許文献2に係る従来のテンションセンサにおいては、可動部への負荷が解除されると、測定値は初期値に近付くものの、完全な初期値に復帰するまでには、8~10時間を要することが判明した。本発明者等は、上記不具合の原因は、弾性体を構成する2枚の板バネに若干の撓みが残っているためであると考え、板バネの厚み寸法を大きくして、板バネの弾性力を大きくすることを試みた。このように、板バネの厚み寸法を従来よりも大きくすると、可動部への負荷が解除された瞬間の測定値をより初期値に近付けることができ、また、測定値が完全に初期値に復帰するまでの時間を若干短縮することができた。しかし、これら負荷が解除された瞬間の測定値、および測定値が完全に初期値に復帰するまでの時間が充分であるとは言えず、換言すれば、この方法では、リニアセンサの精度が充分に改善されたとは言えず、以前として改良の余地があることが判明した。本発明の目的は、可動部に対する負荷が失われた瞬間の測定値を、より初期値に近付けることが可能であり、しかも、負荷が失われてから短時間で、可動部を完全に初期位置まで復帰させることができる変位量検出装置を提供することにある。本発明の変位量検出装置は、リニアセンサ47のセンサヘッド48を備える固定部14と、固定部14に固定した弾性体15で支持される可動部16とを備える。可動部16には、可動部16と一体に変位するセンサロッド49を設け、センサロッド49の変位量をセンサヘッド48で検出する。弾性体15を、固定部14で片持梁状に支持した前後一対の板バネ2324で構成する。一対の板バネ2324の固定端および可動端を、それぞれブロック状のスペーサ2531を間にして締結する。一対の板バネ2324の少なくとも一方の幅寸法を、板バネ2324の固定端および可動端における締結領域5759の幅寸法より大きく設定する。板バネ2324の少なくとも一方に、固定端の締結領域57、および可動端の締結領域59からはみ出る自由変形部60を設けることを特徴とする。板バネ2324の少なくとも幅方向の一端に自由変形部60を設ける。板バネ2324の幅方向の両端に自由変形部60を設け、自由変形部60の幅寸法を同じに設定する。可動部16に、測定対象となる糸3が屈曲状態で接触する受動体32を設ける。受動体32の変位に伴うセンサロッド49の変位量をセンサヘッド48で検出して、糸3の張力を測定する。本発明においては、一対の板バネ2324の少なくとも一方の幅寸法を、板バネ2324の固定端および可動端の締結領域5759の幅寸法より大きく設定して、板バネ2324の少なくとも一方に、締結領域5759からはみ出る自由変形部60を設けた。これによれば、可動部16に対する負荷が失われた時点におけるリニアセンサ47の測定値を、自由変形部60を設けなかった場合に比べて大幅に初期値ゼロ値に近付けることができる。また、可動部16に対する負荷が失われてから、リニアセンサ47の測定値が初期値に復帰するまでの時間を、自由変形部60を設けなかった場合に比べて大幅に短縮することができる。つまり、本発明によれば、可動部16に対する負荷が失われた時点で、可動部16を初期位置の近傍まで戻すことができ、しかも、負荷が失われてから短時間で、可動部16を完全に初期位置まで戻すことができる。上記の作用効果は、以下のようなメカニズムに拠るものと思料する。弾性体15を2枚の板バネ2324で構成した変位量検出装置においては、可動部16に負荷を加えることにより可動部16が変位して、板バネ2324が初期状態から撓み変形する。このとき、板バネ2324の弾性変形可能な部分と、固定端および可動端の締結領域5759との境界部分に、撓み変形に由来する応力が集中し、この応力集中部分に、撓み変形時の歪が永久歪ではない形で残留して、可動部16に対する負荷が取り除かれた後も、板バネ2324が初期状態に復帰することを阻害する。換言すれば、所謂応力緩和に近い現象が生じる。これに対して本発明においては、板バネ2324の少なくとも一方に、応力集中が生じない自由変形部60を設けたので、この自由変形部60が、初期状態への高い復元力を発揮して、応力集中部分に歪が残留することを緩和する。従って、本発明によれば、可動部16に対する負荷が失われた時点で、可動部16が初期位置の近傍まで戻り可動部16に対する負荷が失われた瞬間の測定値をより初期値に近付けることができ、しかも、負荷が失われてから短時間で、可動部16を完全に初期位置まで戻すことができる。本発明において自由変形部60は、板バネ2324の幅方向端部と幅方向中央部のどちらに配置してもよい。しかし、自由変形部60を幅方向中央部に配置する場合は、締結領域5759が板バネ2324の幅方向両端部に配置される形になるので、板バネ2324が締結される固定部14および可動部16の部材点数の増加あるいは形状の複雑化を招いてしまう。これに対して、本発明のように、自由変形部60を板バネ2324の少なくとも幅方向の一端に配置すると、板バネ2324の固定端および可動端において、締結領域5759が幅方向の一箇所のみに配置された形になる。従って、固定部14および可動部16の部材点数が多くなるのを避けることができ、また、固定部14および可動部16の構造を単純化することができる。1つの自由変形部60を板バネ2324の幅方向一端に設ける形態よりも、当該自由変形部60の半分の幅寸法を有する2つの自由変形部60を板バネ2324の幅方向両端に配置する形態の方が、より大きな復元力を発揮させて、応力集中部分に歪が残留するのをより的確に緩和することができる。1つの自由変形部60を板バネ2324の幅方向一端に配置する場合には、自由変形部60における締結領域5759から幅方向に離れた部分の弾性力が、締結領域5759の周囲の応力集中部分に対してあまり作用しない。一方、2つの自由変形部60を板バネ2324の幅方向両端に配置する場合には、自由変形部60の全体が、先の場合に比べて締結領域5759の近くに位置する。従って、自由変形部60が全体として持つ復元力を、応力集中部分に対して効果的に作用させることができ、応力集中部分に歪が残留するのをより的確に緩和することができる。また、板バネ2324の幅方向両端の自由変形部60の幅寸法を同じに設定すると、自由変形部60が発揮する初期状態への復元力を、板バネ2324の幅方向両端側で同じ大きさにすることができる。従って、可動部16に対する負荷が取り除かれたときに、板バネ2324に捻れを生じさせることなく、板バネ2324をより確実に初期状態に復帰させることができる。可動部16に、測定対象となる糸3が屈曲状態で接触する受動体32を設けて、受動体32の変位に伴うセンサロッド49の変位量をセンサヘッド48で検出して、糸3の張力を測定する形態を採ることができる。つまり、本発明に係る変位量検出装置は、糸3の張力を測定するテンションセンサとして使用することができる。これによれば、糸3が切れて、受動体32に対する糸3からの押圧力が失われた時点で、リニアセンサ47の測定値が初期値の近傍値となり、しかも、短時間でリニアセンサ47の測定値が初期値に復帰するので、糸3が切れたことを確実に検知することができる。実施形態図1から図5に、本発明に係る変位量検出装置を繊維機械装置のテンションセンサに適用した実施形態を示す。図5に示すように、繊維機械装置は、給糸部1から所定形状のパッケージ2を形成するものであり、給糸部1からパッケージ2に至る糸3の経路上に、テンションセンサ変位量検出装置5、テンションコントロール装置6、巻上げ装置7などを備える。巻き取り時の糸3の張力が不均一であると、生産されるパッケージ2の歩留まりの低下を招き、また、過剰な張力が糸3に加わると糸品質の不良が発生する。そこで、巻き取り時の糸3の張力を均一に保つため、経路上の糸3の張力をテンションセンサ5により測定し、この測定結果に応じてテンションコントロール装置6により張力を大小に調整する。図5において符号9は、テンションセンサ5による測定結果に基づいてテンションコントロール装置6をコントロールするための制御部を示す。図2に示すように、テンションセンサ5は、繊維機械装置のシャーシ11にビス12で固定された固定部14と、固定部14に固定した弾性体15で支持される可動部16とを有する。固定部14は、アルミニウム等の金属を素材とする上方視で略L字状のブロック体であるベース体17と、後述する連結ブロックスペーサ25および挟持板26とを含む。ベース体17は、シャーシ11に固定される左右方向に伸びる締結座18と、締結座18の基端部右端部から前方へ伸びる支持腕19とを有する。締結座18の遊端部左端部には、後述するリニアセンサ47のセンサヘッド48が装着されている。なお、本発明における前後、左右、上下とは、各図に示す交差矢印と、各矢印の近傍に表記した前後、左右、上下の表示に従う。図1および図2に示すように、弾性体15は、固定部14で片持梁状に支持した前後一対の板バネ2324で構成されている。板バネ2324は、SUS301等のステンレス鋼を素材として矩形状に形成されて、前後方向に所定間隔を置いて平行に配置されている。板バネ2324の右端が固定部14に連結された固定端とされ、左端が可動部16に連結された可動端とされている。両板バネ2324の固定端の間には、四角ブロック状の連結ブロック25が装着されている。後側の板バネ23の固定端は、ベース体17の支持腕19と連結ブロック25とにより前後から挟持される。前側の板バネ24の固定端は、連結ブロック25と矩形状の挟持板26とにより前後から挟持される。両板バネ2324と連結ブロック25と挟持板26とを貫通して支持腕19の前面にねじ込まれた上下一対のビス2727によって、弾性体15は固定部14に固定されている。連結ブロック25および挟持板26はアルミニウム等の金属を素材として形成されている。可動部16は、両板バネ2324の可動端の間に装着された四角ブロック状の支持ブロックスペーサ31と、支持ブロック31の左面側に設けられて糸3に接触する受動体32と、2枚の矩形状の挟持板3334とを含む。後側の板バネ23の可動端は、支持ブロック31と挟持板33とにより前後から挟持され、前側の板バネ24の可動端は、支持ブロック31と挟持板34とにより前後から挟持される。前側の挟持板34と両板バネ2324と支持ブロック31とに挿通した上下一対のビス3535を後側の挟持板33にねじ込むことにより、両挟持板3334と両板バネ2324と支持ブロック31とが締結されている図4参照。支持ブロック31および挟持板3334はアルミニウム等の金属を素材として形成されている。受動体32は、糸3に接するローラ状の案内部41と、案内部41を支持する支持軸42とを有する。支持軸42は、支持ブロック31と一体に形成されており、基端側右側の大径部と先端側左側の小径部とを有する。案内部41は、支持軸42の小径部で回転自在に支持されている。符号43は、座金44を介して支持軸42にねじ込まれたビスであり、先の座金44によって案内部41が小径部から抜け止めされている。案内部41の外面には、上方向に走行移動する糸3を案内するV字状の案内溝が形成されている。案内部41はセラミックスを素材とし、支持軸42はアルミニウム等の金属を素材とし、ビス43はポリアミド系の合成樹脂を素材として形成されている。テンションセンサ5の測定要素となるリニアセンサ47は、ベース体17の締結座18に装着された筒状のセンサヘッド48と、センサヘッド48に対して相対的に前後方向に直線変位可能に構成されたセンサロッド49とで構成される。センサロッド49は、前端が支持ブロック31に連結されたロッド本体50と、ロッド本体50の後端に外嵌装着されたコア51とからなる。センサヘッド48の内周面には、一次コイルおよび複数の二次コイルからなるコイル群52が設けられている。コア51は、センサロッド49の変位方向すなわち前後方向に所定間隔で配列された複数の磁気応答部材を備え、コイル群52内に挿入されている。一次コイルに交流信号を印加すると、コイル群52に対するコア51の前後方向の変位量に応じた電気信号が二次コイルから出力される。図1に示すように、糸3は案内部41との接触部分において屈曲し、この接触部分において、案内部41は、糸3の上流方向に加わる張力と、糸3の下流方向に加わる張力とを合成した後ろ向きの押圧力を受ける。案内部41が後ろ向きの押圧力を受けると、図2に想像線で示すように、その押圧力の大きさに応じて、可動部16の全体が固定部14に対して後方に変位し、この変位に伴ってセンサロッド49のコア51が後方に変位する。このコア51の変位量をセンサヘッド48で検出することにより、糸3の張力を測定することができる。リニアセンサ47による糸3の張力の測定値は制御部9に送られる。制御部9は測定値に基づいて、糸3に付与する張力をテンションコントロール装置6により増減させて、張力を最適値に近付ける制御を行い、また測定値が許容範囲を超えている場合には、巻上げ装置7を緊急停止させるなどの制御を行う。さらに制御部9は、糸3の張力の測定値が初期値ゼロ値もしくはその近傍値になった場合に、糸3が切れたとみなして巻上げ装置7を停止させる。本実施形態に係るテンションセンサ5では、一対の板バネ2324の上下方向幅方向寸法を、板バネ2324の固定端および可動端における締結領域5759の上下寸法より大きく設定した。固定端の締結領域57とは、後側の板バネ23における、ベース体17の支持腕19と連結ブロック25とにより挟持される部分、および、前側の板バネ24における、連結ブロック25と挟持板26とにより挟持される部分のことである図2参照。また、可動端の締結領域59とは、後側の板バネ23における、支持ブロック31と挟持板33とにより挟持される部分、および、前側の板バネ24における、支持ブロック31と挟持板34とにより挟持される部分のことである。そして、本実施形態では、一対の板バネ2324に、締結領域5759の上下端からはみ出る自由変形部60を設けた。上下の自由変形部60の上下寸法は同一に設定されている。具体的には、固定部14を構成するベース体17、連結ブロック25および挟持板26の上下寸法を9mmに設定した。可動部16を構成する支持ブロック31および挟持板3334の上下寸法も、固定部14と同じ9mmに設定した。一方、弾性体15の板バネ2324の上下寸法は、固定部14および可動部16の2倍にあたる18mmに設定した。つまり、各締結領域5759の上下寸法は9mm、自由変形部60の上下寸法はそれぞれ4.5mmである。また、板バネ2324の厚み寸法は0.1mmに設定した。図6は、本実施形態に係るテンションセンサ5のリニアセンサ47の測定値可動部16の変位量を縦軸に、時間を横軸にしたグラフである。一方、図7は、板バネ2324の上下寸法を固定部14および可動部16と同じ9mmに設定し、板バネ2324に自由変形部60を設けなかった以外は、本実施形態と同じ条件で試験を行った結果を示すグラフである。図6および図7において時点Tは、糸3が切れて、受動体32に作用する糸3からの押圧力が失われた時点を示している。本実施形態図6の時点Tにおけるリニアセンサ47の測定値L1は、自由変形部60を設けていない比較対象図7における測定値L2よりも大幅に小さかったL1<<L2。具体的にはL1=0.003mm、L2=0.01mmであった。また、本実施形態図6における、糸3が切れてからリニアセンサ47の測定値が初期値に復帰するまでの時間T1は、比較対象図7における時間T2に比べて大幅に短かったT1<<T2。具体的にはT1=10~15秒、T2=8~10時間であった。上記のような結果が得られるのは、次の理由による。糸3からの押圧力を受けて可動部16が後方へ変位して、板バネ2324が初期状態から撓み変形すると、板バネ2324の弾性変形可能な部分と、固定端および可動端の締結領域5759との境界部分に、撓み変形に由来する応力が集中する。この応力集中部分に撓み変形時の歪が永久歪ではない形で残留して、糸3が切れた後も、板バネ2324が初期状態に復帰することを阻害する。比較対象図7において、リニアセンサの測定値が初期値に復帰するまでに8~10時間を要したことが、これを示している。一方、本実施形態においては、締結領域5759の上下に、応力集中が生じない自由変形部60を設けた。自由変形部60は、初期状態への高い復元力を発揮して、応力集中部分に歪が残留するのを緩和する。従って、本実施形態においては、糸3が切れて可動部16に作用する力が失われた時点で、可動部16を初期位置の近傍まで戻すことができ、しかも、糸3が切れてから短時間で、可動部16を完全に初期位置まで戻すことができた。締結領域5759の位置は、板バネ2324の固定端および可動端の上下方向中央部である必要は無い。場合によっては、固定端および可動端の上半部に締結領域5759を配置し、板バネ2324の下半部を自由変形部60としてもよい。また、板バネ2324の上下方向中央部に自由変形部60を配置し、固定端および可動端の上下端部に締結領域5759を配置してもよい。さらに、自由変形部60を設けるのは、一対の板バネ2324の一方のみであってもよい。固定部14と可動部16の上下寸法は同一である必要は無い。板バネ2324は矩形状である必要は無く、例えば台形状などの形状であってもよい。板バネ2324の固定端側の縁部どうしを繋いだ断面コ字状の1枚の金属板で弾性体15を構成することができる。