フレーム部、前記フレーム部の内側に配置された振動部、および前記振動部を挟んで配置され前記フレーム部に支持された一対のトーションばね部、および前記振動部に形成された平面コイルを有するMEMS構造体と、前記振動部および前記平面コイルを挟んで対向配置され対をなす2つの永久磁石と、前記MEMS構造体と前記各永久磁石とを所定の相対的な位置関係で支持する支持基板とを備え、対をなす前記永久磁石同士が、磁極方向を揃えて配置されてなることを特徴とする発電装置。前記フレーム部の内側に、前記振動部と一対の前記トーションばね部と前記平面コイルとからなるエネルギ変換素子が複数形成されてなることを特徴とする請求項1記載の発電装置。前記振動部に前記平面コイルが複数形成されてなり、前記各平面コイルごとに前記永久磁石の対が対向配置されてなることを特徴とする請求項1記載の発電装置。前記各永久磁石の各々に、磁極方向が逆の永久磁石が積層されてなることを特徴とする請求項1記載の発電装置。上述の発電装置100は、永久磁石120と平面コイル114aおよび114bとが支持体110の厚み方向において間隔を隔てて対向配置されているので、永久磁石120の厚み方向の振動に起因して上述の間隔が変動し、発電特性が不安定となる懸念がある。また、発電装置100は、上述のように間隔が変動する懸念があるため、間隔を狭くすると、永久磁石120が平面コイル114aおよび114bに接触してしまう懸念がある。また、上述の発電装置100は、上述の間隔がプリント基板113の反りに起因してばらつき、個々の発電装置100ごとの発電特性がばらついてしまう懸念がある。本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、発電特性の安定性の向上を図れ、且つ、発電効率の向上を図ることが可能な発電装置を提供することにある。本発明の発電装置は、フレーム部、前記フレーム部の内側に配置された振動部、および前記振動部を挟んで配置され前記フレーム部に支持された一対のトーションばね部、および前記振動部に形成された平面コイルを有するMEMS構造体と、前記振動部および前記平面コイルを挟んで対向配置され対をなす2つの永久磁石と、前記MEMS構造体と前記各永久磁石とを所定の相対的な位置関係で支持する支持基板とを備え、対をなす前記永久磁石同士が、磁極方向を揃えて配置されてなることを特徴とする。この発電装置において、前記フレーム部の内側に、前記振動部と一対の前記トーションばね部と前記平面コイルとからなるエネルギ変換素子が複数形成されてなることが好ましい。この発電装置において、前記振動部に前記平面コイルが複数形成されてなり、前記各平面コイルごとに前記永久磁石の対が対向配置されてなることが好ましい。この発電装置において、前記各永久磁石の各々に、磁極方向が逆の永久磁石が積層されてなることが好ましい。本発明の発電装置においては、発電特性の安定性の向上を図れ、且つ、発電効率の向上を図ることが可能となる。実施形態1以下では、本実施形態の発電装置について図1~図4に基づいて説明する。発電装置は、MEMSmicroelectromechanicalsystems構造体1を備えている。なお、MEMS構造体1は、MEMSの製造技術を利用して製造された構造体である。MEMS構造体1は、フレーム部11、フレーム部11の内側に配置された振動部12、および振動部12を挟んで配置されフレーム部11に支持された一対のトーションばね部トーションバー13、および振動部12に形成された平面コイル14を有している。また、発電装置は、振動部12および平面コイル14を挟んで対向配置され対をなす2つの永久磁石2と、MEMS構造体1と各永久磁石2とを所定の相対的な位置関係で支持する支持基板3とを備えている。ここで、発電装置は、対をなす永久磁石2同士が、磁極方向を揃えて配置されている。本実施形態の発電装置は、振動部12の運動エネルギを電気エネルギに変換するエネルギ変換装置の一種であり、電磁誘導型の振動発電装置である。次に、発電装置の各構成要素について詳細に説明する。MEMS構造体1は、フレーム部11と振動部12と各トーションばね部13とを、基板10から形成することができる。この基板10としては、磁力線図4中に一点鎖線で示すに対して低減衰で且つ電気絶縁性を有する絶縁性基板が好ましく、例えば、高抵抗率のシリコン基板を用いることができる。なお、基板10の材料に関して、磁力線に対して低減衰という点では、比透磁率が高い材料のほうが好ましい。高抵抗率のシリコン基板は、例えば、抵抗率が100Ωcm以上であることが好ましく、1000Ωcm以上であることがより好ましい。基板10は、高抵抗率のシリコン基板に限らず、例えば、高抵抗率のSOISilicononInsulator基板などを用いることができる。また、MEMS構造体1は、基板10の材料や抵抗率に応じて、適宜の絶縁膜を設けてもよい。MEMS構造体1は、フレーム部11の平面形状を矩形枠状としてある。したがって、フレーム部11は、外周形状が矩形状であり、内周形状が外周形状よりも小さな矩形状となっている。また、MEMS構造体1は、振動部12の平面形状を、フレーム部11の内周形状よりも小さな矩形状の形状としてある。振動部12の厚み寸法は、各トーションばね13の厚み寸法と同じに設定してあるが、これに限らず、振動部12の所望の質量などに基づいて各トーションばね部13の厚みよりも大きくしてもよい。振動部12の平面形状は、矩形状に限らず、例えば、円形状や正多角形状としてもよい。一対のトーションばね部13は、フレーム部11の内側で振動部12を挟んで配置され、捩れ変形可能となっている。ここで、MEMS構造体1は、フレーム部11と振動部12とが、この一対のトーションばね部13により連結されている。言い換えれば、フレーム部11の内側に配置される振動部12は、振動部12から相反する2方向へ連続一体に延長された2つのトーションばね部13を介してフレーム部11に揺動自在に支持されている。これにより、MEMS構造体1は、フレーム部11に対して、一対のトーションばね部13を結ぶ直線の回りで回動可能となっている。ここで、一対のトーションばね部13は、両者の並設方向に沿った中心線同士を結ぶ直線が平面視で振動部12の中心を通るように配置されている。平面コイル14の材料としては、例えば、銅、金、銀などを採用することができる。また、平面コイル14の材料としては、パーマロイ、コバルト基アモルファス合金、フェライトなどを採用してもよい。平面コイル14は、蒸着法、スパッタ法などの薄膜形成技術、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用して形成することができる。平面コイル14の形状は、スパイラル型としてある。平面コイル14の形状は、これに限らず、例えば、フープ型、メタンダー型、網目型などでもよい。平面コイル14は、振動部12の厚み方向の一面側に設けてあるが、他面側にも設けてもよい。この場合には、適宜、貫通孔配線などを設ければよい。なお、本実施形態の発電装置では、振動部12と一対のトーションばね部13と平面コイル14とでエネルギ変換素子15を構成している。MEMS構造体1は、フレーム部11に、平面コイル14の両端部の各々に配線16を介して電気的に接続された一対のパッド17が設けられている。各配線16は、トーションばね部13に沿って形成されている。要するに、各配線16は、振動部12とトーションばね部13とフレーム部11とに跨って形成されている。各配線16は、互いに異なるトーションばね部13に沿って形成されている。各配線16の材料としては、例えば、銅、金、銀などを採用することができる。各パッド17の材料としては、例えば、銅、金、銀などを採用することができる。各パッド17の材料は、これらに限らず、アルミニウム、モリブデン、白金、イリジウムなどを採用してもよい。各配線16および各パッド17は、蒸着法、スパッタ法などの薄膜形成技術、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用して形成することができる。また、MEMS構造体1は、平面視において平面コイル14と配線16との交差している領域に、平面コイル14と配線16とが短絡するのを防止する絶縁層18を設けてある。この絶縁層18の材料としては、例えば、SiO2や、Si3N4などを採用することができる。絶縁層18は、例えば、CVD法などの薄膜形成技術、フォトリソグラフィ術およびエッチング技術などを利用した形成することができる。MEMS構造体1は、平面コイル14、各配線16および各パッド17それぞれの材料を異ならせてもよいが、これらの材料を同じとしてもよい。ここで、MEMS構造体1は、平面コイル14、各配線16および各パッド17の材料および厚さを同じにすれば、製造時に、平面コイル14、各配線16および各パッド17を同時に形成することが可能となり、製造コストの低コスト化を図れる。なお、各配線16および各パッド17は、単層構造に限らず、2層以上の多層構造でもよい。支持基板3としては、磁力線に対して低減衰で且つ絶縁性を有する絶縁性基板が好ましく、例えば、高抵抗率のシリコン基板を用いることができる。高抵抗率のシリコン基板は、例えば、抵抗率が100Ωcm以上であることが好ましく、1000Ωcm以上であることがより好ましい。本実施形態の発電装置は、MEMS構造体1と支持基板3とが接合されることで固着されている。MESM構造体1と支持基板2との接合方法としては、例えば、表面活性化接合法や、共晶接合法や、樹脂接合法などを採用することができる。永久磁石2の材料としては、例えば、ネオジムNdFeB、サマリウムコバルトSmCo、アルニコAl-Ni-Co、フェライトなどを採用することができる。永久磁石2は、矩形板状に形成されており、厚み方向図2の左右方向の一面側がN極、他面側がS極となるように着磁されている。永久磁石2は、例えば、磁石材料を切削、研磨などで整形加工した後、パルス着磁法などによって着磁することにより、形成することができる。永久磁石2は、フレーム部11と振動部12との間で振動部12および各トーションばね部13に干渉しないに位置に配置されている。ここで、本実施形態の発電装置では、フレーム部11の4つの内側面のうちトーションばね部13が連結されていない2つの内側面の一つに、一方の永久磁石2のS極側を当接させ、他方の永久磁石2のN極側を当接させてある。したがって、発電装置は、振動部12において、一対のトーションばね部13を結ぶ方向一対のトーションばね部13の並設方向に直交する方向の両側それぞれに永久磁石2が配置されており、2つの永久磁石2の対向面同士が互いに異なる磁極となっている。発電装置の製造にあたっては、MEMS構造体1と支持基板3とを固着した後で、永久磁石2を支持基板3に固着することが好ましい。永久磁石2の配置にあたっては、まず、支持基板3とMEMS構造体1との積層体を用意する。その後は、MEMS構造体1側から、撮像装置例えば、CCDカメラなどによって撮像することにより得た画像を画像処理装置によって画像処理してフレーム部11を認識する。その後には、支持基板3におけるMEMS構造体1側の表面の永久磁石2の配置予定領域にディスペンサなどによって適量の接着剤を塗布し、続いて、真空ピンセットなどによって永久磁石2をフレーム部11の内側面に沿って配置すればよい。上述の画像処理装置は、例えば、コンピュータに適宜のプログラムを搭載することにより実現可能である。発電装置は、支持基板3におけるMEMS構造体1側の表面に、各永久磁石2の各々を位置決めするための凸部や凹部を設けてもよい。このような凸部や凹部は、例えば、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用して支持基板3を加工することによって、形成することができる。本実施形態の発電装置では、対をなす永久磁石2同士が、磁極方向を揃えて配置され、対をなす永久磁石2の並設方向と一対のトーションばね部13の並設方向とが直交している。これにより、発電装置は、振動部12が振動する際に、平面コイル14を貫く磁束を強め合うことが可能となる。発電装置は、振動部12の振動に伴って発生する電磁誘導によって、交流の誘導起電力が発生する。したがって、発電装置の開放電圧は、環境振動に起因した振動部12の振動に応じた正弦波状の交流電圧となる。ここで、発電装置は、この発電装置の共振周波数と一致する環境振動外部振動を利用して発電することを想定している。環境振動としては、例えば、稼動中のFA機器で発生する振動、車両の走行によって発生する振動、人の歩行によって発生する振動など、種々の環境振動がある。発電装置で発生する交流電圧の周波数は、環境振動の周波数が発電装置の共振周波数と一致する場合、発電装置の共振周波数と同じになる。以上説明した本実施形態の発電装置は、フレーム部11、フレーム部11の内側に配置された振動部12、および振動部12を挟んで配置されフレーム部11に支持された一対のトーションばね部13、および振動部12に形成された平面コイル14を有するMEMS構造体1を備えている。また、発電装置は、振動部12および平面コイル14を挟んで対向配置され対をなす2つの永久磁石2と、MEMS構造体1と各永久磁石2とを所定の相対的な位置関係で支持する支持基板3とを備え、対をなす永久磁石2同士が、磁極方向を揃えて配置されている。しかして、本実施形態の発電装置は、図13~図15に基づいて説明した発電装置100に比べて、薄型化を図れるだけでなく、相対的に移動する平面コイル114aおよび114bと永久磁石120との相対的な位置毎におけるギャップ長のばらつきに比べて、相対的に移動する平面コイル14と永久磁石2との相対的な位置毎におけるギャップ長のばらつきを小さくすることが可能となる。これにより、本実施形態の発電装置は、平面コイル14と永久磁石2との間のギャップ長を短くすることが可能となり、狭ギャップ化により、磁束の利用効率の向上を図ることが可能となって、発電効率エネルギ変換効率の向上を図ることが可能となる。しかして、本実施形態の発電装置は、発電特性の安定性の向上を図れ、且つ、発電効率の向上を図ることが可能となる。また、本実施形態の発電装置では、MEMS構造体1および支持基板3の各々をシリコン基板から形成するようにすれば、従来のように3枚のプリント基板111~113図13参照を用いて支持体110を形成したものに比べて、磁力線の減衰を抑制することが可能なり、発電効率の向上を図ることが可能となる。実施形態2以下では、本実施形態の発電装置について図5に基づいて説明する。本実施形態の発電装置は、フレーム部11の内側に、振動部12と一対のトーションばね部13と平面コイル14とからなるエネルギ変換素子15が複数図示例では、2つ形成されている点などが実施形態1の発電装置と相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同様の符号を付して説明を省略する。図5に例示した発電装置では、フレーム部11の内側の空間が、仕切部19により二分されており、フレーム部11の内側の2つの空間の各々に、1つのエネルギ変換素子15が配置されている。また、本実施形態の発電装置は、フレーム部11の内側の2つの空間の各々に、エネルギ変換素子15の振動部12を挟んで対向する2つの永久磁石2が配置されている。仕切部19は、フレーム部11、振動部12およびトーションばね部13と同様に、基板10から形成されている。そして、仕切部19の厚さ寸法は、フレーム部11と同じ厚さ寸法に設定してある。これにより、仕切部19は、フレーム部11と同様、支持基板3に固着することが可能となる。各エネルギ変換素子15は、一方のトーションばね部13が、フレーム部11に連結され、他方のトーションばね部13が仕切部19に連結されている。要するに、仕切部19は、フレーム部11および上記他方のトーションばね部13と連続一体に形成されている。本実施形態の発電装置は、複数の平面コイル14が、それぞれにおいて発生する誘導起電力が打ち消されないように接続されている。また、発電装置は、これら複数の平面コイル14の直列回路の一端が、配線16を介して一方のパッド17に電気的に接続され、他端が、別の配線16を介して他方のパッド17に電気的に接続されている。ここにおいて、発電装置は、各平面コイル14の巻き数を同じとすることが好ましい。また、発電装置は、隣り合う平面コイル14が、一方のパッド17から他方のパッド17にかけて見た場合に、巻回方向が互いに逆方向になるように形成されており、平面コイル14の並設方向において隣り合う永久磁石2の磁極方向を逆向きにしてある。本実施形態の発電装置では、複数のエネルギ変換素子15が並設され、これら複数のエネルギ変換素子15ごとに一対の永久磁石2を備えているので、発電効率の向上を図ることが可能となる。実施形態3以下では、本実施形態の発電装置について図6に基づいて説明する。本実施形態の発電装置は、振動部12に平面コイル14が複数図示例では、3つ形成されており、各平面コイル14ごとに永久磁石2の対が対向配置されている点などが実施形態1の発電装置と相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同様の符号を付して説明を省略する。本実施形態の発電装置は、振動部12に関して、一対のトーションばね部13の並設方向に沿った方向の寸法を大きく設定してあり、当該方向に沿って複数図示例では、3つの平面コイル14を並設してある。ここでは、振動部12の平面形状を細長の長方形状としてあり、振動部12の長手方向に複数の平面コイル14を並設し、各平面コイル14ごとに、振動部12の短手方向の両側に、対をなす永久磁石2を配置してある。また、発電装置は、これら複数の平面コイル14の直列回路の一端が、配線16を介して一方のパッド17に電気的に接続され、他端が、別の配線16を介して他方のパッド17に電気的に接続されている。ここにおいて、発電装置は、各平面コイル14の巻き数を同じとすることが好ましい。また、発電装置は、隣り合う平面コイル14が、一方のパッド17から他方のパッド17にかけて見た場合に、巻回方向が互いに逆方向になるように形成されており、平面コイル14の並設方向において隣り合う永久磁石2の磁極方向を逆向きにしてある。本実施形態の発電装置では、複数の平面コイル14が並設され、これら複数の平面コイル14ごとに一対の永久磁石2を備えているので、発電効率の向上を図ることが可能となる。実施形態4以下では、本実施形態の発電装置について図7に基づいて説明する。本実施形態の発電装置は、フレーム部11の内側に、振動部12と一対のトーションばね部13と平面コイル14とからなるエネルギ変換素子15が複数図示例では、2つ形成されている点などが実施形態1の発電装置と相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同様の符号を付して説明を省略する。発電装置は、フレーム部11の内側に2つのエネルギ変換素子15が配置されており、隣り合うエネルギ変換素子15の間に配置された1つの永久磁石2と、当該1つの永久磁石2と一方のエネルギ変換素子15を挟んで対向する永久磁石2とが対をなしている。また、発電装置は、当該1つの永久磁石と他方のエネルギ変換素子15を挟んで対向する永久磁石2とが対をなしている。本実施形態の発電装置は、複数の平面コイル14が、それぞれにおいて発生する誘導起電力が打ち消されないように適宜接続することができる。ここにおいて、発電装置は、各平面コイル14の巻き数を同じとすることが好ましい。本実施形態の発電装置では、複数の平面コイル14が並設され、これら複数の平面コイル14ごとに一対の永久磁石2を備えているので、発電効率の向上を図ることが可能となる。また、発電装置は、隣り合う平面コイル14間に配置する永久磁石2が両平面コイル14で共通利用されるので、装置全体の小型化を図ることが可能となる。実施形態5以下では、本実施形態の発電装置について図8に基づいて説明する。本実施形態の発電装置は、フレーム部11の内側に、振動部12と一対のトーションばね部13と平面コイル14とからなるエネルギ変換素子15が複数形成されている点などが実施形態1の発電装置と相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同様の符号を付して説明を省略する。図8に例示した発電装置では、4つのエネルギ変換素子15が2×2の2次元アレイ状に配置されている。ここにおいて、発電装置は、フレーム部11の内側の空間が、仕切部19により二分されており、フレーム部11の内側の2つの空間の各々に、2つのエネルギ変換素子15が配置されている。また、本実施形態の発電装置は、フレーム部11の内側の2つの空間の各々に、エネルギ変換素子15の振動部12を挟んで対向する永久磁石2が配置されている。仕切部19は、フレーム部11、振動部12およびトーションばね部13と同様に、基板10から形成されている。そして、仕切部19の厚さ寸法は、フレーム部11と同じ厚さ寸法に設定してある。これにより、仕切部19は、フレーム部11と同様、支持基板3に固着することが可能となる。各エネルギ変換素子15は、一方のトーションばね部13が、フレーム部11に連結され、他方のトーションばね部13が仕切部19に連結されている。要するに、仕切部19は、フレーム部11および上記他方のトーションばね部13と連続一体に形成されている。本実施形態の発電装置は、一対のトーションばね部13の並設方向に並んで配置された2つの平面コイル14が、それぞれにおいて発生する誘導起電力が打ち消されないように接続されている。また、発電装置は、これら2つの平面コイル14の直列回路の一端が、配線16を介して一方のパッド17に電気的に接続され、他端が、別の配線16を介して他方のパッド17に電気的に接続されている。ここにおいて、発電装置は、各平面コイル14の巻き数を同じとすることが好ましい。また、発電装置は、一対のトーションばね部13の並設方向において隣り合う平面コイル14が、一方のパッド17から他方のパッド17にかけて見た場合に、巻回方向が互いに逆方向になるように形成されており、平面コイル14の並設方向において隣り合う永久磁石2の磁極方向を逆向きにしてある。また、発電装置は、平面視で一対のトーションばね部13の並設方向とは直交する方向において、隣り合うエネルギ変換素子15の間に配置された1つの永久磁石2と、当該1つの永久磁石2と一方のエネルギ変換素子15を挟んで対向する永久磁石2とが対をなし、また、当該1つの永久磁石と他方のエネルギ変換素子15を挟んで対向する永久磁石2とが対をなしている。本実施形態の発電装置は、複数の平面コイル14が、それぞれにおいて発生する誘導起電力が打ち消されないように適宜接続することができる。本実施形態の発電装置では、複数のエネルギ変換素子15が並設され、これら複数のエネルギ変換素子15ごとに一対の永久磁石2を備えているので、発電効率の向上を図ることが可能となる。実施形態6以下では、本実施形態の発電装置について図9に基づいて説明する。本実施形態の発電装置は、フレーム部11の内側で2つの振動部12が並設され、各振動部12の各々が一対のトーションばね部13を介してフレーム部11に支持されている点などが実施形態1の発電装置と相違する、また、本実施形態の発電装置は、各振動部12の各々に平面コイル14が複数図示例では、3つ形成されており、各平面コイル14ごとに永久磁石2の対が対向配置されている点などが実施形態1の発電装置と相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同様の符号を付して説明を省略する。本実施形態の発電装置は、振動部12に関して、一対のトーションばね部13の並設方向に沿った方向の寸法を大きく設定してあり、当該方向に沿って複数図示例では、3つの平面コイル14を並設してある。ここでは、振動部12の平面形状を細長の長方形状としてあり、振動部12の長手方向に複数の平面コイル14を並設し、各平面コイル14ごとに、振動部12の短手方向の両側に、対をなす永久磁石2を配置してある。また、発電装置は、これら複数の平面コイル14の直列回路の一端が、配線16を介して一方のパッド17に電気的に接続され、他端が、別の配線16を介して他方のパッド17に電気的に接続されている。ここにおいて、発電装置は、各平面コイル14の巻き数を同じとすることが好ましい。また、発電装置は、隣り合う平面コイル14が、一方のパッド17から他方のパッド17にかけて見た場合に、巻回方向が互いに逆方向になるように形成されており、平面コイル14の並設方向において隣り合う永久磁石2の磁極方向を逆向きにしてある。本実施形態の発電装置では、複数の平面コイル14が並設され、これら複数の平面コイル14ごとに一対の永久磁石2を備えているので、発電効率の向上を図ることが可能となる。また、発電装置は、振動部12の並設方向において隣り合う平面コイル14間に配置する永久磁石2が両平面コイル14で共通利用されるので、装置全体の小型化を図ることが可能となる。実施形態7以下では、本実施形態の発電装置について図10~図12に基づいて説明する。本実施形態の発電装置は、各永久磁石2の各々に、磁極方向が逆の永久磁石2が積層されている点などが実施形態1の発電装置と相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については、同様の符号を付して説明を省略する。本実施形態の発電装置では、対をなす永久磁石が振動部12の厚み方向に沿った方向において積層されているので、発電効率の向上を図ることが可能となる。発電装置は、永久磁石2を図10のように2層に積層する例に限らず、例えば、図11のように3層に積層してもよい。ただし、3層の場合には、真ん中の層となる永久磁石2の中心と振動部12の中心とが同一平面上に位置するように設計することが好ましい。また、発電装置は、図12に示すように、対をなす永久磁石2の対向面同士を湾曲させ、振動部12の厚み方向に積層された2つの永久磁石2の振動部12側の磁極面により構成される面を凹面状とすれば、図10の場合に比べて磁力線の利用効率を向上させることが可能となり、発電効率を向上させることが可能となる。ところで、上述の実施形態1~7それぞれに関して、平面視において一対のトーションばね部13の並設方向に直交する方向をx軸方向とし、一対のトーションばね部13の並設方向をy軸方向とし、x軸方向とy軸方向とに直交する方向をz軸方向とする直交座標系を規定したとする。この場合には、実施形態1~7の説明から分かるように、永久磁石2の対と平面コイル14との少なくともどちらかが、少なくとも、x軸方向、y軸方向、z軸方向の少なくとも一方向に並設されていることにより、発電効率の向上を図ることが可能となる。