Brをアルコールで希釈した溶液に、前記アルコールよりも比重が小さく、かつ前記アルコールに難溶解性の液体である封止液を加えたエッチング液に、ウエハを浸漬させて前記ウエハをエッチングするエッチング工程を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。前記封止液は、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカンのいずれか1つで形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。前記エッチング工程の前に、前記ウエハにメタノール、エタノール、イソプロピルアルコールのいずれか1つを付着させることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。前記エッチング工程の前に、前記ウエハにアセトンを付着させることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。前記エッチング工程は遮光環境下で実施することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。Br-アルコール液を用いると、時間の経過とともにアルコールが揮発する。アルコールが揮発すると、Br-アルコール液におけるBr濃度が上昇してエッチングレートが経時変化することがあった。本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、Br-アルコール液を有するエッチング液のエッチングレートを安定させることができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。本願の発明に係る半導体装置の製造方法は、Brをアルコールで希釈した溶液に、該アルコールよりも比重が小さく、かつ該アルコールに難溶解性の液体である封止液を加えたエッチング液に、ウエハを浸漬させて該ウエハをエッチングするエッチング工程を備えたことを特徴とする。本発明によれば、封止液によりアルコールの揮発を防止するため、エッチング液のエッチングレートを安定させることができる。実施の形態.図1は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。容器10には、Br-アルコール液12が入れられている。Br-アルコール液12とは、Brをアルコールで希釈した溶液である。Br-アルコール液12としては、Brをメタノールで希釈したBr-メタノール液や、Brをエタノールで希釈したBr-エタノール液を採用できる。しかしながら、メタノールやエタノール以外のアルコールを用いてもよい。容器10の中には、Br-アルコール液12に加えて、封止液14も入れられている。封止液14は、アルコールよりも比重が小さく、かつアルコールに難溶解性の液体である。Br-アルコール液12と封止液14をまとめてエッチング液15と称する。封止液14はアルコールよりも比重が小さいので、エッチング液15中においてBr-アルコール液12よりも上層を占める。Br-アルコール液12は、封止液14により封止されて、外部への露出がなくなる。封止液14としては、アルカンの有機溶剤を採用することが好ましい。アルカンは、単結合のみを持つ炭化水素であって、直鎖アルカンで言えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン等がある。さらに、構造異性体を含めると数多くのアルカンが存在する。表1にアルカンの特性を比較したものを示す。ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカンはメタノールに比べて比重が小さく、ヘプタン、オクタン、デカンはメタノールよりも蒸気圧が低い傾向にある。また、アルカンは炭素数が増えるにつれてメタノールに溶解しにくくなる。これらを考慮して、封止液14としては、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカンのいずれか1つを選択することが好ましい。上述のエッチング液15にウエハ16を浸漬してエッチング工程を実施する。ウエハ16はBrでエッチング可能なGaAs、AlGaAs、InGaAs、InGaPなどの化合物半導体で形成されている。また、ウエハ16は、Brでエッチングされるものであれば特に限定されないので、Si、SiC、GaN基板上にエピタキシャル層を形成したものでもよい。本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法によれば、封止液14によりBr-アルコール液12のアルコールの揮発を抑制できる。よって、エッチング液15の成分が経時変化することを防止し、安定したエッチングレートでウエハをエッチングできる。特に、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法は、半導体レーザにおけるInP系の結晶とGaAs系の結晶を同時にエッチングしてメサ構造を形成するのに有効である。本発明の実施の形態に係るBr-アルコール液12により安定したエッチングレートでメサ構造を形成できる。その他、例えば、MOCVD装置を用いてウエハ上にエピタキシャル層を成長させた際にウエハ裏面に回りこんだ不要な結晶の除去にもエッチング液15を用いることができる。ところで、ウエハをエッチング液15に浸漬するときにウエハ16表面に封止液14が吸着し、エッチングレートをばらつかせることがある。そこで、ウエハに封止液14が吸着しないように、エッチング工程の前に、ウエハに有機溶剤を付着させるとよい。ウエハに封止液が吸着するのを防止するためにウエハに付着させる有機溶剤を保護用有機溶剤と称する。保護用有機溶剤としては、封止液14と混じりにくいものを選択する。封止液14として非極性溶媒であるアルカンの有機溶剤を採用した場合は、保護用有機溶剤としては極性溶媒を採用すると保護用有機溶剤と封止液14の混合を防止できる。保護用有機溶剤として、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールのいずれか1つを用いることができる。保護用有機溶剤をウエハに付着させるために、ウエハを、保護用有機溶剤に浸漬する。これによりウエハ16の表面に封止液14が吸着することを防止し、エッチング工程におけるエッチングレートを安定させることができる。保護用有機溶剤は、封止液との混合を防止するものに限定されず、封止液にもアルコールにも溶解する溶剤を選択してもよい。この場合、保護用有機溶剤として、例えば、アセトンを用いることができる。アルカンは、σ結合のみでできているため非常に反応性の低い化合物であるが、ClやBr等とハロゲン化反応を起こす事が知られている。この反応は、高温又は光の存在下でのみ起こる。そのため、エッチング液15は低温、遮光の環境下で保管することが好ましい。エッチング液15の遮光は、例えば、容器10に蓋をすればよい。以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は実施例に限定されない。実施例体積比で95のメタノールと5のBrの混合液300ml、メタノール1800ml、及びn-デカン300mlを150×170×190mm3のパイレックス登録商標ガラス製容器に入れて攪拌して、エッチング液Aを作製した。図2は、容器に入れられたエッチング液Aの写真である。エッチング液Aは、封止液であるn-デカンとBr-メタノール液とが分離した状態を呈した。n-デカンは、メタノールよりも比重が小さいので、Br-メタノール液の上層に位置した。これによりBr-メタノール液は封止液であるn-デカンにより封止されて、外部への露出がなくなった。エッチング液Aは、イエロークリーンルーム内のプッシュプル型換気装置いわゆるドラフトの中で、常温保管した。また、エッチング液Aを入れた容器には蓋をせずに、開放状態で保管した。エッチング液Aを用いてエッチングするウエハとして、2インチの化合物半導体ウエハであるInP基板を用いた。エッチング工程では、このInP基板を常温のメタノール液保護用有機溶剤に10秒間浸漬させた後、エッチング液Aに30分間浸漬させた。その後、純水洗浄を10分間行い、最後に窒素ブローによりInP基板を乾燥させた。TESA製の両面ダイヤルゲージを用いてエッチング工程前後のウエハの厚みを測定し、エッチング液Aのエッチングレートを算出した。比較例体積比で95のメタノールと5のBrの混合液300ml、及びメタノール1800mlを150×170×190mm3のパイレックス登録商標ガラス製容器に入れて攪拌して、エッチング液Bを作製した。エッチング液Bの保管やエッチング工程は上記の実施例で示した内容と同じとした。また、実施例の場合と同様にエッチング液Bのエッチングレートを算出した。評価エッチング液A、Bについて、InP基板のエッチングレートの経時変化を評価した。図3は、実施例のエッチング液Aを用いた場合のエッチングレートの経時変化と比較例のエッチング液Bを用いた場合のエッチングレートの経時変化を示すグラフである。比較例のエッチング液Bは、エッチング液を作製してから24時間を経過すると急激にエッチングレートが上昇した。そして、50時間経過後にはメタノールが完全に揮発したため、エッチングレートを評価する事ができなかった。比較例のエッチング液Bを用いたときにエッチングレートが上昇したのは、メタノールの揮発によってエッチング液Bの中のBr濃度が高まったためと考えている。一方、エッチング液Aについては、エッチング液を作製してから120時間経過後もエッチングレートが変化しなかった。これは、封止液として用いたn-デカンが、メタノールの揮発を抑制しエッチング液A中のBr濃度を長時間に渡って安定させているためと考えている。エッチング液Bに比べてエッチング液Aの方が、エッチング液作製直後のエッチングレートが低くなった。これはエッチング液中のBr濃度の違いによるものと考えている。すなわち、エッチング液Aでは、ほとんどのn-デカンはメタノールと分離しているが、少量のn-デカンはメタノール液中に溶解する。それによってエッチング液AのBr濃度が低下すると考えている。なお、封止液として、ヘキサン、n-オクタン、224-トリメチルペンタンを用いた実験を行い、Br-メタノール液の封止液として利用する事が出来る事を確認した。図4は、ヘキサンがBr-メタノール液の封止液として機能することを示す写真である。図5は、n-オクタンがBr-メタノール液の封止液として機能することを示す写真である。図6は、224-トリメチルペンタンがBr-メタノール液の封止液として機能することを示す写真である。以上のように本発明によればBr-アルコール液のエッチングレートを安定させることができる。