真空に維持される加速空間で電子線を加速する加速器と、前記加速器で加速された電子線を偏向するスキャン電磁石と、前記スキャン電磁石の電流値を制御して電子線の偏向量を可変する制御部と、前記加速器の加速空間に接続される導入部、当該導入部を介して前記加速空間に真空を維持して連通する内部空間、および、前記導入部に対向配置され前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記スキャン電磁石によって偏向された電子線を被照射物に向けて導出する電子線取出部が設けられた本体を有するスキャンホーンと、を備えた電子線照射装置であって、前記スキャンホーンは、前記本体のうち、前記電子線取出部を通過する偏向量以上の偏向量の電子線が導かれる位置に設けられた測定窓と、前記測定窓に設けられ、前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、前記測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする電子線照射装置。真空に維持される加速空間で電子線を加速する加速器と、前記加速器で加速された電子線を偏向するスキャン電磁石および偏向電磁石と、前記スキャン電磁石または前記偏向電磁石の電流値を制御して電子線の偏向量を可変する制御部と、前記加速器の加速空間に接続される導入部、当該導入部を介して前記加速空間に真空を維持して連通する内部空間、および、前記導入部に対向配置され前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記スキャン電磁石によって偏向された電子線を被照射物に向けて導出する電子線取出部が設けられた本体を有するスキャンホーンと、を備えた電子線照射装置であって、前記スキャンホーンは、前記本体のうち、前記偏向電磁石によって偏向された電子線が導かれるとともに、前記電子線取出部と異なる位置に設けられた測定窓と、前記測定窓に設けられ、前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、前記測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする電子線照射装置。前記測定線導出部材を介して外部に導出された電子線またはX線を検出する検出部と、少なくとも前記検出部によって前記電子線またはX線が検出されたときに前記制御部によって制御されている電流値に基づいて、線量およびエネルギーのいずれか一方または双方を算出する演算部と、を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の電子線照射装置。前記測定窓は、前記本体のうち、前記電子線取出部よりも前記導入部側に設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の電子線照射装置。前記測定線導出部材は、電子線を外部に導出するチタン箔で構成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の電子線照射装置。前記測定線導出部材は、電子線からX線を発生させて外部に導出するタングステンまたは銅のターゲットで構成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の電子線照射装置。加速器の加速空間で加速され、制御部によるスキャン電磁石の電流値の制御により、偏向量が可変された電子線を被照射物に向けて導出する電子線照射装置のスキャンホーンであって、前記加速器に接続される本体は、前記加速器の加速空間に接続される導入部と、前記導入部を介して前記加速空間に真空を維持して連通する内部空間と、前記導入部に対向配置され前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記スキャン電磁石によって偏向された電子線を前記被照射物に向けて導出する電子線取出部と、前記電子線取出部を通過する偏向量以上の偏向量の電子線が導かれる位置に設けられた測定窓と、前記測定窓に設けられ、前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、前記測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする電子線照射装置のスキャンホーン。制御部によるスキャン電磁石または偏向電磁石の電流値の制御により、加速器の加速空間で加速された電子線の偏向量が可変されて導かれる電子線照射装置のスキャンホーンであって、前記加速器に接続される本体は、前記加速器の加速空間に接続される導入部と、前記導入部を介して前記加速空間に真空を維持して連通する内部空間と、前記導入部に対向配置され前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記スキャン電磁石によって偏向された電子線を前記被照射物に向けて導出する電子線取出部と、前記偏向電磁石によって偏向された電子線が導かれるとともに、前記電子線取出部と異なる位置に設けられた測定窓と、前記測定窓に設けられ、前記内部空間を外部から隔てるとともに、前記測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、前記測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする電子線照射装置のスキャンホーン。しかしながら、上記のように、線量測定器を用いて線量やエネルギーを測定する場合、線量計における分子変化の時間を考慮しなければならず、線量測定器に電子線を照射した後、測定結果が導出されるまでに長時間を要していた。そのため、測定結果に基づいて即座に制御を変更することができず、測定結果が導出されるまでの間、滅菌作用等の信頼性が低下するおそれがある。また、線量やエネルギーを測定する際には、ワークに代えて線量測定器を照射領域に搬送、設置しなければならず、測定作業が煩雑化するとともに、ワークへの照射を中断しなければならなかった。そこで本発明は、このような課題に鑑み、線量やエネルギーの測定時間を従来に比して短縮するとともに、特段の作業を要することなく、また、ワークへの照射を継続しながら測定することができる電子線照射装置および電子線照射装置のスキャンホーンを提供することを目的としている。上記課題を解決するために、本発明の電子線照射装置は、真空に維持される加速空間で電子線を加速する加速器と、加速器で加速された電子線を偏向するスキャン電磁石と、スキャン電磁石の電流値を制御して電子線の偏向量を可変する制御部と、加速器の加速空間に接続される導入部、当該導入部を介して加速空間に真空を維持して連通する内部空間、および、導入部に対向配置され内部空間を外部から隔てるとともに、スキャン電磁石によって偏向された電子線を被照射物に向けて導出する電子線取出部が設けられた本体を有するスキャンホーンと、を備えた電子線照射装置であって、スキャンホーンは、本体のうち、電子線取出部を通過する偏向量以上の偏向量の電子線が導かれる位置に設けられた測定窓と、測定窓に設けられ、内部空間を外部から隔てるとともに、測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする。また、本発明の電子線照射装置は、真空に維持される加速空間で電子線を加速する加速器と、加速器で加速された電子線を偏向するスキャン電磁石および偏向電磁石と、スキャン電磁石または偏向電磁石の電流値を制御して電子線の偏向量を可変する制御部と、加速器の加速空間に接続される導入部、当該導入部を介して加速空間に真空を維持して連通する内部空間、および、導入部に対向配置され内部空間を外部から隔てるとともに、スキャン電磁石によって偏向された電子線を被照射物に向けて導出する電子線取出部が設けられた本体を有するスキャンホーンと、を備えた電子線照射装置であって、スキャンホーンは、本体のうち、偏向電磁石によって偏向された電子線が導かれるとともに、電子線取出部と異なる位置に設けられた測定窓と、測定窓に設けられ、内部空間を外部から隔てるとともに、測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする。また、本発明の電子線照射装置は、測定線導出部材を介して外部に導出された電子線またはX線を検出する検出部と、少なくとも検出部によって電子線またはX線が検出されたときに制御部によって制御されている電流値に基づいて、線量およびエネルギーのいずれか一方または双方を算出する演算部と、を備えてもよい。また、本発明の電子線照射装置は、測定窓を、本体のうち、電子線取出部よりも導入部側に設けてもよい。また、本発明の電子線照射装置は、測定線導出部材を、電子線を外部に導出するチタン箔で構成してもよい。また、本発明の電子線照射装置は、測定線導出部材を、電子線からX線を発生させて外部に導出するタングステンまたは銅のターゲットで構成してもよい。また、本発明の電子線照射装置のスキャンホーンは、加速器の加速空間で加速され、制御部によるスキャン電磁石の電流値の制御により、偏向量が可変された電子線を被照射物に向けて導出する電子線照射装置のスキャンホーンであって、加速器に接続される本体は、加速器の加速空間に接続される導入部と、導入部を介して加速空間に真空を維持して連通する内部空間と、導入部に対向配置され内部空間を外部から隔てるとともに、スキャン電磁石によって偏向された電子線を被照射物に向けて導出する電子線取出部と、電子線取出部を通過する偏向量以上の偏向量の電子線が導かれる位置に設けられた測定窓と、測定窓に設けられ、内部空間を外部から隔てるとともに、測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする。また、本発明の電子線照射装置のスキャンホーンは、制御部によるスキャン電磁石または偏向電磁石の電流値の制御により、加速器の加速空間で加速された電子線の偏向量が可変されて導かれる電子線照射装置のスキャンホーンであって、加速器に接続される本体は、加速器の加速空間に接続される導入部と、導入部を介して加速空間に真空を維持して連通する内部空間と、導入部に対向配置され内部空間を外部から隔てるとともに、スキャン電磁石によって偏向された電子線を被照射物に向けて導出する電子線取出部と、偏向電磁石によって偏向された電子線が導かれるとともに、電子線取出部と異なる位置に設けられた測定窓と、測定窓に設けられ、内部空間を外部から隔てるとともに、測定窓に導かれた電子線を外部に導出するか、または、測定窓に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出する測定線導出部材と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、従来に比して短時間で、また、特段の作業を要することなく、しかも、ワークへの照射を継続しながら電子線の線量やエネルギーの測定を行うことができる。以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。電子線照射装置100図1は、電子線照射装置100の外観斜視図であり、図2は、図1におけるY方向から電子線照射装置100を見た図である。なお、図1では、理解を容易にするために電子線照射装置100を支持する支持機構を省略している。図1および図2に示すように、電子線照射装置100は、電子銃110と、高周波電源112と、導波管114と、プリバンチャ116と、加速器118と、スキャンホーン120と、スキャン電磁石130と、制御装置140図1、図2では不図示と、検出部150図1、図2では不図示と、を備えて構成されている。なお、電子銃110、プリバンチャ116、加速器118、スキャンホーン120は、内部空間真空室が連続しており、この内部空間は、イオンポンプ等の真空ポンプ102で高真空状態から超高真空状態例えば、10E-5Pa以下に維持される。電子線照射装置100において、電子銃110から放出された熱電子電子線は、プリバンチャ116、加速器118で加速され、スキャンホーン120を通過して、搬送体200によって搬送される被照射物Wに向かって、図1中Z方向に照射される。以下、電子線照射装置100の各機能部について詳述する。電子銃110電子銃110は、例えば、三極管電子銃で構成され、交流電源104から供給された電力により、カソード電極を加熱して熱電子電子を生成し、グリッドパルス電圧によって間欠的に電子を引き出すとともに、カソード電極とアノード電極との間に高電圧のパルス電圧を印加して、引き出した電子をプリバンチャ116方向に加速する。高周波電源112高周波電源112は、クライストロン等で構成される高周波増幅器112aと、高周波増幅器112aに電力を供給する電力供給部112bと、パルストランス112cとを含んで構成され、導波管114を通じてプリバンチャ116および加速器118に、例えばSバンドに相当する3GHzのパルス状の高周波電力を供給する。導波管114導波管114は、高周波電源112から供給される高周波の電圧を加速器118に供給する。導波管114には、六フッ化硫黄SF6等の絶縁ガスが充填されており、高周波電源112から出力された電圧によって導波管114が放電してしまう事態を回避する。なお導波管114の端部には、SF6と真空とを隔て、SF6を密閉するためのRF窓114a、114bが設けられている。プリバンチャ116プリバンチャ116は、電子銃110と加速器118との間に設けられ、導波管114を通じて高周波電源112に接続されている。プリバンチャ116は、電子銃110から入射された電子をバンチング密度圧縮速度変調して、加速器118に送出する。具体的に説明すると、プリバンチャ116内は、高周波電源112から供給された高周波の電力によって高周波電界が形成されており、プリバンチャ116を通過した電子は、その高周波電界にバンチングされる。プリバンチャ116で電子をバンチングすることにより、加速器118で加速された電子のエネルギーの分散を小さくすることができ、電子のエネルギーの均一性を向上させることが可能となる。ここで、プリバンチャ116によって圧縮された電子の加速器118への入射タイミングが加速器118における高周波の正位相と同期すると、電子は加速器118で効率よく加速される。したがって、プリバンチャ116から加速器118への電子の入射タイミングを調整するために、プリバンチャ116の高周波導入部116aには、不図示の位相調整手段が設けられている。なお、電子の圧縮率バンチングされた電子の長さ/バンチング前の電子の長さも加速器118による加速効率に影響し、電子の長さが短い程、加速効率が向上する。したがって、供給する高周波の強度を調整して電子の長さを調整するために、プリバンチャ116の高周波導入部116aには、不図示の減衰アッテネータ手段が設けられている。加速器118図3は、加速器118の構成を説明するための説明図である。本実施形態では、加速器118として、定在波型の線形リニアック加速器を採用しているが、電子を加速できればよく、進行波型の線形加速器や、シンクロトロン、サイクロトロン等の円形加速器を採用することもできる。図3に示すように、電子銃110は、図3中、黒い塗りつぶしで示すように、電子をZ方向に伸長した状態でプリバンチャ116の内部空間に放出する。そして、プリバンチャ116によるバンチング機能により、電子は、Z方向に圧縮されて加速器118に入射される。ここで、加速器118は、内部に複数の加速空間119図3中、119a~119cで示すを有している。図3では理解を容易にするために、加速空間119を3として簡略化して説明するが、本実施形態の加速器118は30程度の加速空間119を有する。なお、加速空間119の距離L加速空間119における電子の進行方向図3中Z方向の距離は、電子銃110から所定数までが、電子銃110から遠ざかるに従って徐々に長くなるように構成され、所定の加速空間119以降は、その距離Lが、所定の長さ一定に維持されるように構成される。高周波電源112から加速器118に高周波の電圧例えば、3GHzが供給されると、図3aに示すように、複数の加速空間119が空間共振器として機能し、空間共振器内において時間に伴って変化する電界が生じる。そして、このような時間に伴って変化する電界を通じて時限的に電子を加速する。具体的に説明すると、加速器118の加速空間119は、高周波電源112から導入される高周波の電圧によって、例えば、図3aおよび図3bに示すように、Z方向に隣接する加速空間119に交互に正位相進行方向に正の空間電荷と負位相進行方向に負-の空間電荷とが生じる。プリバンチャ116から放出された負の電荷を帯びている電子は、図3aに示すように、時刻t0に加速空間119aに位置し、正の空間電荷によってZ方向に加速される。そして、図3bに示すように、時刻t1において、隣接する加速空間119bに位置し、同様に正の空間電荷によってZ方向に加速される。このように電子の移動タイミングに、正の空間電荷と負-の空間電荷との切換タイミングを同期させることで、電子は加速器118内で徐々に加速され、最終的には、例えば10MeV程度まで加速される。スキャンホーン120スキャンホーン120は、内部空間が加速器118の加速空間119と連通しており、図1、図2に示すように、加速器118で加速された電子線を被照射物Wに向けて導出する。詳しくは後述するが、スキャンホーン120よりも電子線の進行方向上流側には、スキャン電磁石130が設けられており、このスキャン電磁石130によって、加速器118で加速されて鉛直方向Z方向に進行する電子線が、水平方向X方向に走査スキャンされる。スキャンホーン120から導出される電子線は、搬送体200のコンベア200a上をY方向に搬送される被照射物Wに照射されるが、このとき、上記のように、電子線がX方向に走査されるので、被照射物Wに満遍なく電子が照射されることとなる。以下に、スキャンホーン120の構成について、具体的に説明する。図4は、スキャンホーン120の構成を説明する説明図である。この図に示すように、スキャンホーン120は、断面X方向断面が台形状の本体120aを備えて構成される。本体120aは、X方向の幅が狭い基端部120bが加速器118に接続され、基端部120bよりもX方向の幅が広い先端部120cが、搬送体200のコンベア200aに対向して配置されている。本体120aの基端部120bには、加速器118の加速空間119に連通する開口からなる導入部121が設けられており、本体120a内に設けられた内部空間122が、導入部121を介して加速空間119と連通することとなる。また、本体120aの先端部120cには、開口からなる導出部123が設けられており、この導出部123に、内部空間122と外部とを隔てる電子線取出部材124が設けられている。この電子線取出部材124は、例えば、50μm程度の厚みのチタン箔で構成され、内部空間122と大気とを隔てつつ、加速された電子を、内部空間122から大気中に導出するものである。これにより、スキャンホーン120の内部空間122は、導入部121を介して加速器118の加速空間119と真空を維持して連通することとなる。なお、本実施形態における導出部123および電子線取出部材124により電子線取出部が構成されている。また、導入部121と導出部123電子線取出部材124との間であって、本体120aのX方向における一方の側壁には、本体120aに形成される開口からなる測定窓125が設けられている。この測定窓125は、電子線取出部材124を通過する偏向量以上の偏向量の電子線が導かれる位置に設けられている。すなわち、被照射物Wに対して電子線を照射する場合、電子線は、スキャン電磁石130によって、図4中破線で示す範囲内で偏向量が制御される。したがって、被照射物Wに照射される電子線は、通常、本体120aの内部空間122において、図4中破線で囲まれた網掛けの領域を通過することとなる。測定窓125は、この網掛けの領域よりもX方向外方に位置しており、これにより、電子線取出部材124を通過する電子線以上の偏向量となった電子線のみが、測定窓125に導かれることとなる。測定窓125には、上記電子線取出部材124と同様に、内部空間122と大気とを隔てつつ、線量やエネルギーを測定するための電子線等を外部に導出する測定線導出部材126が設けられている。本実施形態において、測定線導出部材126は、内部空間122から外部に電子線を導出する50μm程度の厚みのチタン箔で構成される。なお、測定線導出部材126は、例えば、電子線の衝突によってX線を発生させて外部に導出するタングステンまたは銅のターゲットで構成してもよい。いずれにしても、測定線導出部材126は、内部空間122を外部から隔てるとともに、測定窓125に導かれた電子線を外部に導出するか、もしくは、測定窓125に導かれた電子線からX線を発生させて外部に導出可能な構成を広く含むものである。スキャン電磁石130スキャン電磁石130は、電流値の制御によって電子線をX方向に走査スキャンして、電子線の偏向量を可変するものであるが、スキャン電磁石130の制御電流値は、制御装置140によって制御されている。制御装置140制御装置140は、スキャン電磁石130の電流値を制御して、電子線をX方向に走査するものであり、制御部140a、演算部140bを含んで構成される。制御部140aは、通常、電子線の偏向量が図4中破線の範囲内に収まるように、スキャン電磁石130の電流値を制御し、電子線の線量やエネルギーを計測する際には、電子線が図中一点鎖線で示す偏向量となるように電流値を制御する。検出部150上記スキャンホーン120における本体120aには、測定線導出部材126から外部に導出された電子線を検出する周知のファラデーカップからなる検出部150が設けられている。この検出部150には、電流計150aが接続されており、この電流計150aで計測された電流値が、上記の制御装置140に入力されるように構成されている。なお、上記したように、測定線導出部材126をタングステンまたは銅のターゲットで構成し、X線を外部に導出することとした場合には、当該X線を検出すべく、周知のX線検出装置によって検出部150を構成することとなる。そして、電流計150aから制御装置140に電流値信号が入力されると、制御装置140の演算部140bは、電流計150aから入力された電流値や、検出部150が電子線を検出したときに制御部140aが制御しているスキャン電磁石130の電流値等に基づいて、エネルギービームエネルギーと相対的な電子線の線量とを算出する。より具体的には、測定を行う際には、まず、制御装置140の制御部140aが、被照射物Wに電子線を照射する場合よりも、電子線の偏向量が大きくなるようにスキャン電磁石130の電流値を制御する。すると、電子線の偏向量は徐々に大きくなり、図中一点鎖線で示す角度になったところで、測定線導出部材126を介して外部に電子線が導出される。このようにして外部に導出された電子線は、検出部150によって検出され、検出信号電流値信号が制御装置140に入力される。演算部140bは、検出信号が入力されたときに、制御部140aによって制御されているスキャン電磁石130の電流値を特定し、当該電流値に基づいてエネルギーを算出することとなる。ここで、電子線の偏向量走査角度、スキャン電磁石130の電流値、および、ビームエネルギーの間には、一定の関係性が保持されている。本実施形態では、電子線の偏向量が所定量になったところ、すなわち、特定の偏向量となったところで、検出部150が電子線を検出することとなるため、検出部150によって電子線が検出されたときのスキャン電磁石130の制御電流値を特定することにより、ビームエネルギーを容易に算出することができる。また、演算部140bは、上記のようにして算出したエネルギーから、想定されるスキャン幅を導出するとともに、スキャン幅、制御電流値、被照射物Wの搬送速度、測定線導出部材126から検出部150チタン箔までの距離、検出部150ファラデーカップによって測定されるビーム量等に基づいて、相対的な電子線の線量を算出する。このように、演算部140bによって、エネルギーと電子線の相対的な線量とが算出されることとなる。なお、測定線導出部材126をタングステンまたは銅のターゲットで構成してX線を外部に導出することとした場合には、検出部150X線検出装置によって検出したX線を同一条件下で相対的に評価すればよい。このとき、検出部150と測定線導出部材126との間に、既知の厚み、密度の金属を設け、X線検出量と、その後に検出したX線の線量との差分からX線減衰量を算出して、相対的にエネルギーを同定、評価する。このようにすれば、X線から電子線の線量を導出することも可能である。以上のように、本実施形態の電子線照射装置100によれば、従来の線量測定器を用いることなく、エネルギーや、同一条件下における電子線の線量の相対値実測値、経験値に基づいた算出値を即座に導出することが可能となる。したがって、電子線の線量やエネルギーをリアルタイムに制御することも可能となり、滅菌作用等の信頼性を向上することができる。また、線量やエネルギーを測定する際には、スキャン電磁石130の電流値を一瞬制御するだけでよいので、測定作業がほとんど不要となる。しかも、例えば、被照射物Wが所定の間隔を維持して搬送される場合には、被照射物Wが照射領域を通過しない僅かな時間で測定を行うことも可能であり、電子線の測定のために被照射物Wへの電子線の照射を中断することもない。なお、本実施形態においては、スキャンホーン120の本体120aのうち、導入部121と導出部123電子線取出部材124との間の側壁に、測定窓125が設けられる場合について説明したが、スキャンホーン120の形状等はこれに限定されるものではない。スキャンホーンの他の構成について図5を用いて説明する。図5は、変形例のスキャンホーンの構成を説明するための説明図である。なお、図5においては、スキャンホーンの構成のみが上記実施形態と異なり、その他の構成は上記実施形態と同じである。したがって、ここでは、上記実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を省略し、上記実施形態と異なる構成についてのみ説明する。この変形例のスキャンホーン160は、断面X方向断面が台形状の本体160aを備えて構成される。本体160aは、X方向の幅が狭い基端部160bが加速器118に接続され、基端部160bよりもX方向の幅が広い先端部160cが、搬送体200のコンベア200aに対向して配置されている。本体160aの基端部160bには、加速器118の加速空間119に連通する開口からなる導入部161が設けられており、本体160a内に設けられた内部空間162が、導入部161を介して加速空間119と連通することとなる。また、本体160aの先端部160cには、開口からなる導出部163が設けられており、この導出部163に、内部空間162と外部とを隔てつつ、加速された電子を、内部空間122から大気中に導出するチタン箔からなる電子線取出部材164が設けられている。なお、導出部163および電子線取出部材164によって、電子線取出部が構成されている。また、このスキャンホーン160においては、本体160aの先端部160cに、測定用取付部材165が着脱自在に設けられている。この測定用取付部材165は、スキャンホーン160の本体160aと同様の材質で構成されており、本体160aの先端部160cに対してX方向に隣接配置されている。この測定用取付部材165には、鉛直方向Z方向に貫通する開口からなる測定窓165aが形成されており、この測定窓165aに、チタン箔もしくはタングステンまたは銅のターゲットからなる測定線導出部材166が設けられている。これにより、内部空間162は、電子線取出部材164および測定線導出部材166によって外部から完全に隔てられ、真空状態に維持されることとなる。また、測定用取付部材165には、鉛直下方Z方向に突出する固定具167が設けられており、この固定具167に、測定線導出部材166から導出される電子線やX線を検出する検出部150が固定されている。上記の変形例のスキャンホーン160によっても、測定窓165aおよび測定線導出部材166が、電子線取出部164を通過する偏向量以上の偏向量の電子線が導かれる位置に設けられており、上記実施形態と同様の作用効果が実現されることとなる。なお、上記の変形例においては、測定窓165aを、本体160aとは別体からなる測定用取付部材165に設けたので、測定用取付部材165を本体160aから取り外すことで、メンテナンスの容易性を向上することができる。以上のように、測定窓165aおよび測定線導出部材166は、電子線取出部材164を通過する偏向量以上の偏向量の電子線が導かれる位置に設けられれば、スキャンホーンの形状等は特に限定されるものではない。ただし、搬送体200までの距離や、被照射物Wの大きさ等によっては、検出部150が被照射物W等と干渉するおそれがある。したがって、被照射物W等と干渉するおそれがある場合には、上記実施形態のように、測定窓165aや測定線導出部材166を、電子線取出部よりも電子線の進行方向上流側加速器118側に設けることがより望ましい。また、上記の各例では、線量やエネルギーを測定すべく、電子線の偏向量を可変する機能を、スキャン電磁石130に兼用させる場合について説明した。換言すれば、被照射物Wに電子線を照射する場合と、線量やエネルギーを測定する場合との双方において、スキャン電磁石130が電子線の偏向量を制御することとした。しかしながら、例えば、図6に示す他の変形例のように、スキャン電磁石130とは別に、偏向電磁石170を設けることとしてもよい。この場合、線量やエネルギーの測定時には、制御装置140がスキャン電磁石130の電流値の制御を停止するとともに、偏向電磁石170の電流値を制御して、測定窓125に導かれた電子線を外部に導出し図6中一点鎖線で示す、被照射物Wに電子線を照射する場合には、制御装置140が偏向電磁石170の電流値の制御を停止するとともに、スキャン電磁石130の電流値を制御するようにしてもよい図6中破線で示す。このように、スキャン電磁石130とは別に、偏向電磁石170を設ければ、例えば、被照射物Wへの照射の際にはX方向に電子線を走査しつつ、測定の際にはY方向に電子線を偏向するといった具合に、被照射物Wに照射する場合と、測定を行う場合とで異なる方向に電子線を偏向することも可能である。ただし、上記実施形態のように、線量等を測定する場合の偏向量制御と、被照射物Wに照射する場合の偏向量制御との両機能を、スキャン電磁石130によって兼用するようにすれば、コストを低減することができる。以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。