胴部と当該胴部の両端のフランジ部とを備えたAl合金基材と、当該Al合金基材の表面に形成された陽極酸化皮膜と、少なくとも前記胴部表面及び前記フランジ部の両内側面の前記陽極酸化皮膜の表面に形成された、前記陽極酸化皮膜の複数の細孔を充填しかつ前記陽極酸化皮膜の前記表面を覆う硬質潤滑材層と、を含み、当該硬質潤滑材層の表面は、前記陽極酸化皮膜の複数の前記細孔部において凹部を形成していることを特徴とする、磁気テープを走行させる走行装置に備えられたテープガイド。前記陽極酸化皮膜の複数の前記細孔は直径φ10~50nmであることを特徴とする請求項1に記載のテープガイド。前記硬質潤滑材層はナノカーボンからなることを特徴とする請求項1又は2に記載のテープガイド。前記硬質潤滑材層はフラーレンからなることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のテープガイド。前記硬質潤滑材層はフラーレンC60からなることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載のテープガイド。前記硬質潤滑材層の表面にさらに潤滑剤を埋め込んだことを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載のテープガイド磁気記録密度を上げるために、磁気テープはヘッド上を安定して走行しなければならない。テープガイドのガイド部の耐摩耗性が不十分であると、走行する磁気テープによってガイド部が摩耗して粉塵が発生し、ガイド部には溝が形成される。発生した粉塵は、磁気ヘッドに付着してノイズや故障の原因となるおそれがある。また、ガイド部に形成された溝によって、磁気テープは巾方向に振れるようになり、記録エラーの原因となるおそれがある。特許文献1に開示されているように、陽極酸化皮膜の空隙部に非磁性金属を含浸した構成とすると、非磁性金属の硬さが低いために耐摩耗性が十分に高くならないという問題があった。特許文献2では陽極酸化被膜の表面を耐摩耗性のアクリル樹脂組成物が覆うとしているが、この場合もやはりアクリル樹脂組成物では耐摩耗性が不十分であるという問題があった。さらに、特許文献3に記載の方法では、アルマイト層の通電孔に埋め込まれたカーボンは、パラフィン系の溶剤から加熱生成したものであるので、潤滑性はしめすものの、耐摩耗性は十分でないという問題があった。Al合金基材に陽極酸化皮膜を形成させずに、最表面にZrN膜をコーティングした場合、その表面エネルギー表面張力から磁気テープとの吸着が懸念され、結果として起動トルクが上昇する。また、数μmもの大きな粒子ドロップレットが発生するため、表面を研磨すると、その砥粒や研磨痕の凹凸から、一定使用後たとえば耐久性試験後には樹脂製である磁気テープの劣化や起動トルク上昇を招くという問題があった。本発明は、上記の問題に鑑みなされたもので、磁気テープの走行面胴部及びガイド面フランジ内側面に表面処理を行い、耐摩耗性に優れ、安定したテープ走行性と起動トルクの低減を実現し得るテープガイドを提供することを目的とする。上記課題を解決するために、本発明のテープガイドの特徴は、磁気テープを走行させる走行装置に備えられ、胴部とその胴部の両端のフランジとを備えたAl合金基材と、そのAl合金基材の表面に形成された陽極酸化皮膜と、少なくとも胴部表面及びフランジの両内側面の陽極酸化皮膜の表面に形成された、その陽極酸化皮膜の複数の細孔を充填しかつ陽極酸化皮膜の表面を覆う硬質潤滑材層と、を含み、その硬質潤滑材層の表面は、陽極酸化皮膜の複数の細孔部において凹部を形成していることを要旨とする。陽極酸化皮膜の複数の細孔は直径φ10~20nmとなるように形成するのが好ましい。Al合金の陽極酸化皮膜に形成される細孔のサイズ、分布は陽極酸化条件によって定まる。硬質潤滑材層はナノカーボンから形成するのが好ましく、フラーレンから形成するのがより好ましく、コスト面からフラーレンC60から形成するのがもっとも好ましい。硬質潤滑材層の表面にさらに潤滑剤を埋め込むと磁気テープとの潤滑性はさらに良好になる。本発明によれば、磁気テープの走行面胴部及びガイド面フランジ内側面に表面処理を行い、耐摩耗性に優れ、安定したテープ走行性と起動トルクの低減を実現し得るテープガイドを提供することができる。以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態以下、実施形態という。について詳細に説明する。図1aは、本発明の実施形態に係るテープガイドの正面図である。テープガイド1は、Al合金基材から構成され、胴部3の両端にフランジ2を備える。胴部3の表面は磁気テープが走行する摺動面となるため、胴部3は回転できるように円形断面が好ましい。フランジ内側面21は磁気テープのガイド面となる。ガイド1のAl合金基材には、Al-Mg系合金、Al-Si系合金等を用いることができるが、特に限定するものでない。フランジ内側面21の耐摩耗性が不十分であると、走行する磁気テープによってフランジ内側面21が摩耗して粉塵が発生し、フランジ内側面21には溝が形成される。発生した粉塵は、磁気ヘッドに付着してノイズや故障の原因となるおそれがある。また、フランジ内側面21に溝が形成されると、磁気テープは巾方向に振れるようになり、記録エラーの原因となるおそれがある。胴部3の表面は磁気テープが走行する摺動面となるため、胴部3の表面には耐摩耗性と、潤滑性が要求される。Al合金は大気中で表面に耐食性に優れた薄い酸化皮膜を形成するが、この酸化皮膜は耐摩耗性を有しない。このため、テープガイドのような摺動部材をAl合金基材から構成する場合、Al合金基材をそのまま使用すると、上記のような問題が発生する。本発明者らは、種々検討した結果、Al合金基材の表面に陽極酸化皮膜を形成し、少なくとも胴部3の表面及びフランジの両内側面21の陽極酸化皮膜の表面に、その陽極酸化皮膜の複数の細孔を充填しかつ陽極酸化皮膜の表面を覆う硬質潤滑材層を形成し、その硬質潤滑材層の表面は、陽極酸化皮膜の複数の細孔部において凹部を形成しているようにすることで、胴部3の表面及びフランジの両内側面21において耐摩耗性及び潤滑性を備えたテープガイド1が得られることを究明した。図1bは、硬質潤滑材層4を胴部3の表面及びフランジの両内側面21に形成したテープガイド1の断面図を示したものである。図2は、本発明の実施形態に係る、Al合金基材の表面に形成された陽極酸化層の断面構造を示す模式的斜視図である。Al合金基材51への陽極酸化層5の形成は、蓚酸又は硫酸等の水溶液を電解液に用いて公知の方法で行うことができる。陽極酸化層が酸及び電場の作用により選択的に溶解される結果、細孔54を有するセル53の集合体が形成される。陽極酸化皮膜52のセル53のサイズ、細孔54の直径は陽極酸化電圧に依存し、陽極酸化電圧を調整することにより、細孔54の分布と直径を制御することができる。陽極酸化皮膜52の底部にはバリアー層55を設けて細孔54がAl合金基材51に達しないようにすることができる。細孔54の直径はφ10~50nmに制御するのが好ましい。細孔54の直径がφ10nm未満であると、直径のばらつきが大きくなり、φ50nmを超えると、後述する硬質潤滑材の充填に問題が生じる。図3は、硬質潤滑材層を形成した陽極酸化層の模式的断面図である。硬質潤滑材が、細孔54を充填して硬質潤滑材層56bを、陽極酸化皮膜52の表面を覆って硬質潤滑材層56aを形成している。陽極酸化皮膜52の表面を覆う硬質潤滑材層56aは、細孔54の位置に凹部57を有する。この凹部57に磁気テープの表面に塗布された潤滑剤が入り込み、潤滑効果は向上する。凹部57にはあらかじめ潤滑剤を埋め込んでおいてもよい。このような潤滑剤としては液体潤滑剤と固体潤滑剤が用いられるが、クリーンネスを考えると液体潤滑剤が好ましい。液体潤滑剤には、炭化水素系、エステル系、フッ素系の他、ポリグリコール系、フェニルエーテル系、シリコーン系、シリコーン系、鉱油系等がある。固体潤滑剤には、MoS2系、グラファイト系、PTFE系の他、ふっ化黒鉛CFn、窒化ほう素BN、二硫化タングステンWS2、メラミンシアヌレートMCA等がある。潤滑剤が無い状態でテープを走行させると、陽極酸化皮膜52の表面の凹凸により陽極酸化皮膜52とテープの接触面積が小さくなる。これに対し、凹部57にテープの潤滑剤あるいは上記のような他の潤滑材が入りこむと、テープの滑り性が良くなる結果、作用効果として起動トルクが低減する。硬質潤滑材としては、ダイヤモンドライクカーボンDLC、ナノカーボン等を用いることができるが、本発明のテープガイドにはナノカーボンが好ましい。カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、フラーレン、フラーレン重合物、フラーレン誘導体等のナノカーボンのうち、フラーレンがより好ましく、C36、C60、C70、C76、C78、C80、C82、C84等のフラーレンのうち、コスト的にフラーレンC60がもっとも好ましい。カーボンナノチューブCNTは、アーク放電法、レーザー蒸発法、熱CVD法、プラズマCVD法などの方法により製造することができ、グラフェンシートが一層のみの単層CNT、複数のグラフェンシートからなる多層CNT等の単層あるいは多層の同軸管状材料である。CNTはまた、特開2005-23408号公報に記載されているような公知の方法で、溶液法により析出させることもできる。CNTは、図2の陽極酸化層5の細孔54を埋めるには不向きな形状であるが、テープガイドの表面改質に効果はある。カーボンナノファイバーはロッド状又は中空状をしており、直径がφ1~500nmである。フラーレン重合体とは前記フラーレンの2両体以上のものをいう。フラーレン誘導体とはフラーレンが官能基化修飾されたものであり、官能基としては-OH、-OSO3H、-COOH、-SO3H、-OPOOH3等があげられる。フラーレンC60は炭素原子60個で構成される直径約φ1nmのサッカーボール状の構造を有し、アーク放電法や燃焼法により、大量に合成することができる。フラーレンC60を有機溶媒トルエンなどに溶かし、その溶液と陽極酸化皮膜を接触させ加熱するか、またはフラーレンC60を昇華させた状態で、イオンプレーティング法や真空蒸着法を用い、減圧加熱などにより図2の陽極酸化層5の細孔54内の水分やガスを除いた該薄膜と接触させることでフラーレンを細孔54に析出させることが出来る。本発明の実施形態ではテープガイドのAl合金基材に陽極酸化処理を施すことで、表面に空孔が多数発生する酸化層を作製する。そこに、ウエット溶液処理もしくはドライCVD等処理によるナノカーボン系の硬質潤滑剤をコーティングすることで、硬質潤滑剤が上記酸化層の空孔に入り込み、それら潤滑膜の密着性が向上する。ナノカーボンの代表であるフラーレンC60は直径約1nm10Åであることから、陽極酸化処理後の図2の細孔54へ丁度入り込み、図3の硬質潤滑材層56bはあたかもアンカー効果のように作用して陽極酸化皮膜52との密着性を高くする。また、入り込んだ硬質潤滑材層56bは完全には細孔54を埋め尽くすことは無いため、上部の凹部57に、磁気テープ表面に塗布された潤滑剤の効果を向上させる。また、表面接触面積も小さくなることから、磁気テープとの吸着特性が向上し、結果起動トルクの低減が達成される。また、上記、フラーレンC60は陽極酸化皮膜52との密着性が良好なため、本発明のテープガイドは、潤滑効果が有効に作用し、磁気テープとの耐久性に優れ、Al合金基材のままの場合の10倍以上の耐久性を有する。ある一定時間使用後の起動トルクについても、本発明のテープガイドは、テープ潤滑剤となじみ、かつフラーレンC60の良好な潤滑特性から、現行硬質膜コーティングよりも、良好なトルク特性を示す。実施例1では、テープガイド形状に加工したAl合金基材に陽極酸化処理を施し、その上にイオンプレーティング法によってフラーレンC60の硬質潤滑材層を形成させた。比較例1ではテープガイド形状に加工したAl合金基材の上に従来法として、Niメッキ、クロメート処理の後窒化ジルコニウムZrNをコーティングした。実施例1のAl合金基材、陽極酸化処理材、硬質潤滑材層形成材と比較例1のZrNコーティング材の磁気テープ走行の起動トルクと耐久性磁気テープとの摺動特性を測定し、結果を表1、図4、5に示した。実施例1以下の工程で、図1bに示したように、フラーレンC60の硬質潤滑材層4をテープガイド1の胴部3の表面及びフランジの両内側面21に形成した。AAl合金基材のテープガイド形状への加工B陽極酸化処理C直径約φ1nmのフラーレンC60粉末を用いて、イオンプレーティングにより硬質潤滑材層形成工程Aで得られたAl合金基材、工程Bで得られた陽極酸化処理材、工程Cで得られたフラーレンC60硬質潤滑材層形成材のそれぞれについて、磁気テープ走行起動トルクを初期及び耐久試験後に測定して図4に、また耐久性磁気テープとの摺動特性を測定して図5に示した。これらの測定数値は、硬さHv測定値とともに表1にまとめて示した。比較例1以下の工程で、図1bに示したように、窒化ジルコニウムZrNの硬質潤滑材層4をテープガイド1の胴部3の表面及びフランジの両内側面21に形成した。これは、テープガイドに適用されている現行のセラミック膜コーティングである。イAl合金基材のテープガイド形状への加工ロNiメッキハクロメート処理ニ洗浄ホPVD法によるZrNコーティング工程ホで得られたZrNコーティング材について、磁気テープ走行起動トルクを初期及び耐久試験後に測定して図4に、また耐久性磁気テープとの摺動特性を測定して図5に示した。これらの測定数値は、硬さHv測定値とともに表1にまとめて示した。表1、図4、5に示した結果から、以下のことが明らかとなった。い陽極酸化フラーレンC60材の耐久試験後の起動トルクは、Al合金基材、陽極酸化材に比べて大幅に低下する。ろ陽極酸化フラーレンC60材の耐久性は、Al合金基材、陽極酸化材に比べて大幅に向上する。は陽極酸化フラーレンC60材と現行セラミック膜の耐久性は同等であるが、陽極酸化フラーレンC60材の起動トルクは、初期、耐久試験後とも明瞭に低下する。にZrN現行セラミック膜の硬さHvは、陽極酸化材、陽極酸化フラーレンC60材の硬さHvに比較して、約4.4倍である。ZrN現行セラミック膜をコーティングしたテープガイドに比較し、本発明に係るテープガイドは、磁気テープとの吸着性が低く、良好な潤滑性を有し、かつ磁気テープ走行の低起動トルクを可能にする。さらに、ZrN現行セラミック膜のコーティング工程における六価クロムを用いたクロメート処理の排除、及びニッケルめっきの排除による腐食ガスの低減が可能となり、環境対策上極めて好ましい。以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。また、そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。