真空容器に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する放電手段と、レーザガスを送風する送風手段と、前記放電手段と前記送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するレーザガス経路と、前記送風手段内でレーザガスを流動させる送風部を回転させる駆動部と、前記送風部と前記駆動部とを分離する隔壁部と、前記レーザガス流路にレーザガスを供給するガス供給機構と、前記レーザガス流路からレーザガスを排出する主排出機構及び当該主排出機構の流路を開閉する主排出弁と、前記送風手段の駆動部からレーザガスを排出する副排出機構及び当該副排出機構と直列に設けられた絞りと、前記主排出機構および前記副排出機構が接続された下流に配置された通常排気弁及び当該通常排気弁と直列に設けられた絞りと、前記通常排気弁及び前記絞りの下流に配置された真空ポンプを備え、ガスレーザ発振装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、前記真空ポンプを駆動させ、前記主排出弁を閉じたまま前記通常排気弁を開き、副排出機構と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出する機能を備えたガスレーザ発振装置。真空容器に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する放電手段と、レーザガスを送風する送風手段と、前記放電手段と前記送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するレーザガス経路と、前記送風手段内でレーザガスを流動させる送風部を回転させる駆動部と、前記送風部と前記駆動部とを分離する隔壁部と、前記レーザガス流路にレーザガスを供給するガス供給機構と、前記レーザガス流路からレーザガスを排出する主排出機構及び当該主排出機構の流路を開閉する主排出弁と、前記送風手段の駆動部からレーザガスを排出する副排出機構及び当該副排出機構と直列に設けられた絞りと、前記主排出機構および前記副排出機構が接続された下流に配置された通常排気弁及び当該通常排気弁と直列に設けられた絞りと、前記通常排気弁及び前記絞りの下流に配置された真空ポンプを備え、ガスレーザ発振装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、前記真空ポンプを駆動させ、前記主排出弁を開け、前記通常排気弁を開くことで、前記通常排気弁と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出する機能を備えたガスレーザ発振装置。請求項1または2に記載のガスレーザ発振装置を備えたレーザ加工機。従来技術の一例で述べたように、副排出機構は、送風手段の駆動部からオイルミストの混入したガスを通過させるため、配管中に液化したオイルが付着および固化し、経時的に配管が詰まってくる。特に排出ガス量のバランスをとるために、副排気機構には副排気絞りを設けた場合、この絞り部分がどうしても詰まりやすい。配管が詰まると副排出機構の排出量が減少するため、駆動部からのガス排出が不充分となり、駆動部と送風部との圧力差が減少し、駆動部内のオイルミストが真空拡散により送風部に侵入してしまう。オイルミストがレーザガス循環部のレーザガス中に侵入するとレーザガスの純度が低下し、レーザ発振に大きな不具合をもたらすことになる。特許文献1に記載の発明では、かかる異常が発生した場合にアラームを発生できるように詰まりを検出するものの、詰まりそのものを防止する効果は無い。また、真空ポンプにつながる排気管部分も、開閉を制御する弁や流量を制限する絞りを設けることがあり、かかる絞りもオイルミストの混入したガスを通過させるため、経時的に詰まってくる傾向にある。この絞りが詰まると、レーザガス流路10全体からのガス排出が出来なくなるため、劣化したレーザガスの入れ替えが出来ず、レーザ発振効率の低下によるレーザ出力低下が発生することになる。上記問題点を解決するために、本発明のガスレーザ発振装置は、真空容器に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する放電手段と、レーザガスを送風する送風手段と、前記放電手段と前記送風手段との間のレーザガスの循環経路を形成するレーザガス経路と、前記送風手段内でレーザガスを流動させる送風部を回転させる駆動部と、前記送風部と前記駆動部とを分離する隔壁部と、前記レーザガス流路にレーザガスを供給するガス供給機構と、前記レーザガス流路からレーザガスを排出する主排出機構及び当該主排出機構の流路を開閉する主排出弁と、前記送風手段の駆動部からレーザガスを排出する副排出機構及び当該副排出機構と直列に設けられた絞りと、前記主排出機構および前記副排出機構が接続された下流に配置された通常排気弁及び当該通常排気弁と直列に設けられた絞りと、前記通常排気弁及び前記絞りの下流に配置された真空ポンプを備え、ガスレーザ発振装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、前記真空ポンプを駆動させ、前記主排出弁を閉じたまま前記通常排気弁を開き、副排出機構と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出する機能を備えたものである。さらに、ガスレーザ発振装置の運転停止前に、真空容器中に大気圧近傍までレーザガスの供給を行った後、前記真空ポンプを駆動させ、前記主排出弁を開け、前記通常排気弁を開くことで、前記通常排気弁と直列に設けられた絞りを介して、一定時間ガスを排出する機能を備えたものである。また、上述のガスレーザ発振装置を備えたレーザ加工機である。上記の構成により、オイルミストなどが原因となる配管中の絞りの詰まりを防止することが可能となり、長期に渡って高い信頼性を確保出来る。以下に本発明を実施するための形態について、其の一例を図面を参照しながら説明する。実施の形態1図1に本発明のガスレーザ発振装置のうち、レーザガスを送風する送風手段とレーザガスの供給排出圧力制御系の詳細な構成図を示す。なお、ガスレーザ発振装置全体の概略構成は図4で示す従来技術に係る一例と同様であり、また、ガスレーザ発振装置を備えたレーザ加工機の概略構成も図5で示す従来技術に係る一例と同様である。ガスレーザ発振装置の動作時において、レーザガスは、大気圧の半分以下の圧力に減圧された状態で真空容器に封入されている。図4で示されているように、レーザガスは放電管1の周辺に備えられた電極2、3による放電で励起される。かかる放電空間5や熱交換器11、12を通る循環経路レーザガス流路10内を送風手段13によってレーザガスは循環させられている。図1において、送風手段13にはレーザガスを流動させる送風部23を回転させる駆動部22があり、送風部23と駆動部22とを分離するために隔壁部24が設けられている。ガス供給機構29はレーザガス流路10にレーザガスを供給している。ガス供給機構29からのレーザガスの供給は供給弁31を制御することで行われる。また、このレーザガス流路10からレーザガスを排出する主排出機構25も設け、主排出機構25の流路を開閉する主排出弁32を設置する。送風手段13の駆動部22からはレーザガスを排出する副排出機構26を設け、副排出機構26と直列に副排気系絞り38を設置する。主排出機構25と副排出機構26は合流し、その下流に排気弁部36を配置し排気弁部36の更に下流には真空ポンプ27を設置し、真空ポンプ27を適時駆動してレーザガスを排気させることができる。なお排気弁部36には、通常排気弁35とそれに直列に絞り37を設置して所定流量のレーザガスの排気を制御する通常排気経路と、急速排気弁34を設置して通常排気経路に対し並列に排気抵抗が十分に小さい急速排気経路を設ける。レーザガスが循環する要所にはセンサを設けてガスの圧力を監視している。ガス圧センサ28はレーザガス流路10におけるガスの圧力を測定する。駆動部ガス圧センサ39は、送風手段13の駆動部22内のガスの圧力を測定する。制御装置40は、これらのセンサの測定値を監視するとともに、真空ポンプ27のオンオフ動作や複数設置されている弁の開閉動作を制御している。ガスレーザ発振装置の運転開始から運転停止ための動作までを、図1の構成図と図2のシーケンシャルチャートを参照しながら説明する。装置運転開始前の停止中の状態では、レーザガス流路10は大気圧近く、すなわち約100kPaまでレーザガスが充填された状態になっている。装置運転開始時には、まず真空ポンプ27が起動し、急速排気弁34および主排出弁32が開く。このことによりレーザガス流路10中のレーザガスが一旦大気中へ排出される。レーザガス流路10の圧力は、ガス圧センサ28によって監視され、圧力が2kPaまで減圧されると、急速排気弁34が閉じ、供給弁31が開き、ガス供給機構29を介して、新たなレーザガスが供給される。同時に送風手段13の運転が開始する。レーザガス流路10の圧力が約10kPaまで上がった時点で、供給弁31は一旦閉じられ、同時に通常排気弁35が開く。ここよりレーザガス流路10中のレーザガスが絞り37および副排気系絞り38を介して、一定量排出される状態になる。このときの排出量は、起動時に急速排気弁34を介して排出されるガス量に比べると、わずかな量であり、1時間あたり20~30リットル程度である。排出されたガス量に応じて、その分のガスの供給が供給弁31の開閉によって行われる。レーザガス流路10中の圧力は、ガス圧センサ28によって常時監視され、制御装置30によって、平均的な圧力が一定値に保たれるように供給弁31を間欠的に開閉している。図2に示すシーケンスチャートは運転停止ための動作までの一連の動作を示している。レーザ発振装置の運転中には、主排出弁32および通常排気弁35は開き、レーザガス流路10中は、大気圧の半分以下、例えば30kPa程度に減圧された状態を維持している。通常排気弁35は常時開であり、制御装置40によって供給弁31が開閉され、30kPa程度の一定圧力制御を行っている。レーザ発振装置を停止させる時、次回運転時に供え、レーザガス流路10中への外部よりの大気侵入を防ぐため、大気圧近傍までレーザガスを充填する。すなわち真空ポンプ27は停止させ、通常排気弁35は閉じられ、供給弁31は開いた状態が維持され、ガス供給機構29を介して、レーザガス流路10中へレーザガスが供給される。このとき主排出弁32は運転中と同様に開いたままである。ガス圧センサ28によってレーザガス流路10中の圧力が監視されているので、大気圧近傍になった時点で供給弁31を閉じ、主排出弁32も閉じれば、レーザ発振装置は完全に停止することができる。次に、上述の停止動作に加え本発明の特徴的動作について説明する。装置の構成は上述と同じ図1に示し、装置の運転中から停止まで動作を図3のシーケンスチャートで示す。レーザ発振装置の運転中には、主排出弁32および通常排気弁35は開き、レーザガス流路10中は、大気圧の半分以下、例えば30kPa程度に減圧された状態を維持している。レーザ発振装置を停止させる時、次回運転時に供え、レーザガス流路10中への外部よりの大気侵入を防ぐため、大気圧近傍までレーザガスを充填する。すなわち真空ポンプ27は停止させ、通常排気弁35は閉じられ、供給弁31は開いた状態が維持され、ガス供給機構29を介して、レーザガス流路10中へレーザガスが供給される。ガス圧センサ28によってレーザガス流路10中の圧力が監視され、大気圧近傍になった時点で供給弁31は閉じられ、主排出弁32も閉じられ、レーザ発振装置は停止する。ここまでは上述の動作と同じである。ここで再度、真空ポンプ27を起動し、主排出弁32を閉じたまま、通常排気弁35を開く。真空ポンプ27の排気性能は吸引するガスの圧力が高い程、能力が増す傾向にあり、大気圧近傍では、通常レーザ発振装置が動作している約30kPaに対して、数倍以上の排気能力を示す。この大量のガス排気が、まず副排気系絞り38を通過することになる。数秒から数十秒間、本動作を行った後、次に主排出弁32を開く。主排出弁32を開くまでは、排気対象は副排出機構26だけであるが、主排出弁32が開くと、主排出機構25も排気対象となり、大気圧近傍の圧力と相まって、さらに大量ガス排気が、絞り37を介して行われる。数秒から数十秒間、本動作を行った後に、主排出弁32および通常排気弁35が閉じられ、真空ポンプ27が停止し、レーザ発振装置が完全停止する。上記一連の動作の狙いは、絞り37および副排気系絞り38に対して、通常運転時には通過することのない量の、大量のガスを短時間で通過させることで、絞りの中に残留したオイル成分を完全に排出することにある。前述の通り、副排出機構26は、駆動部22からオイルミストの混入したガスを通過させるため、副排気系絞り38には、液化したオイル分が残量する。下流にある絞り37も同様である。中に液化したオイルが残量したまま、レーザ発振装置を停止させると、停止中に冷えたオイルが次第に固化し、壁面に堆積され、徐々に絞りのガス通過経路を塞いでいく。ここで上記一連の動作により、絞りの中に残留したオイル成分を、装置の停止前に排出してしまうことにより、絞りの経時的な詰まりを防止することが可能となる。なお、絞りを通るガスの大量排出動作は数秒から数十秒の限られた時間だけの動作であるので、レーザガス流路10内からの排気量は限られているので、上述のように、その後すぐに完全停止させてもよいし、レーザガス流路10中の圧力を上げる停止動作図3の停止動作2を再度行ってもよい。