"被測定対象物の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の6軸基準位置を設定するための原点出し用治具であって、治具本体の面に、煽りの基準位置である原点出しのための第1の加工部、高さの基準位置である原点出しのための第2の加工部並びに平面位置及び平面回転位置の基準位置である原点出しのための第3の加工部をそれぞれ設けてあり、上記治具本体には、この治具本体原点位置を位置決めするための位置決め部を設けてあり、上記第1の加工部は上記6軸測定系の基準面に対して平行度の校正がされている特徴形状を有し、上記第2の加工部は上記6軸測定系の基準面に対して高さの校正がされている特徴形状を有し、上記第3の加工部は上記6軸測定系の基準位置に対して距離の校正がされている特徴形状を有していることを特徴とする6軸測定系の原点出し用治具。煽りの原点出しのため第1の加工部は、鏡面加工されている面であることを特徴とする請求項1記載の6軸測定系の原点出し用治具。高さの原点出しのための第2の加工部の形状は、レーザ光が乱反射可能な凹状、凸状及び平面状の散乱面のいずれかから選択されることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の6軸測定系の原点出し用治具。平面位置及び平面回転位置の原点出しのための第3の加工部は、穴であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の6軸測定系の原点出し用治具。平面位置及び平面回転位置の原点出しのための第3の加工部は、パターン模様であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の6軸測定系の原点出し用治具。位置決め部は穴であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の6軸測定系の原点出し用治具。位置決め部は、治具本体の辺であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の6軸測定系の原点出し用治具。6軸測定系の基準位置に設置されている基準設定体の基準面及び位置保持手段に対して、上記6軸測定系の基準面に請求項1記載の原点出し用治具の面を押し当てると共に、上記位置保持手段で位置決め部を位置保持することにより、上記原点出し用治具を上記基準位置に固定状態にし、その後、6軸測定装置からレーザ光を第1及び第2の加工部に投射して、その反射光を測定し、上記6軸測定装置から照明光を上記原点出し用治具に照射して、第3の加工部の位置を画像認識により測定し、各測定値を煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の各原点として設定することを特徴とする原点出し方法。第1の加工部に対してオートコリメータにより、第2の加工部に対して三角測距により、第3の加工部に対して画像認識により、煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の各軸測定をすることを特徴とする請求項8記載の原点出し方法。第1の加工部は鏡面加工されているものであり、第2の加工部はレーザ光が乱反射可能な凹状、凸状及び平面状の散乱面のいずれかから選択されるものであり、第3の加工部は複数の穴からなり、位置決め部は穴からなり、位置保持手段は位置決め部に差し入れ可能である位置保持ピンからなることを特徴とする請求項8又は請求項9記載の原点出し方法。第1の加工部は鏡面加工されているものであり、第2の加工部はレーザ光が乱反射可能な凹状、凸状及び平面状の散乱面のいずれかから選択されるものであり、第3の加工部はパターン模様からなり、位置決め部は複数の辺からなり、上記位置保持手段は上記位置決め部に当接可能である位置保持面からなることを特徴とする請求項8又は請求項9記載の原点出し方法。請求項8記載の原点出し方法による原点出しを行った後、原点出し用治具の設置位置の原点出し用治具を取付け体と本体とからなる固体定撮像素子に置き換え、位置保持手段に対応する位置に位置保持部を設けてある上記取付け体に対して上記本体の取付け位置を調整する方法であり、置き換え後、上記固体撮像素子の取付け体を6軸測定系の基準面に押し当てると共に、位置保持手段で位置決め部を位置保持し、位置保持後、6軸測定装置によって上記本体の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置のそれぞれを測定し、各測定値と原点出し用治具によって取得した原点に基づいて上記本体の取付け基準位置を取得し、取得後に上記本体を取付け基準位置まで移動し、調整することを特徴とする固体撮像素子の相対位置調整方法。従来の各軸の原点出しは、各軸の測定手法によって原点出し用治具に要求される表面特性や形状が異なるため、別々の原点出し用治具を用いて個々に行ってきたが、設置再現性の問題や作業の煩雑性といった問題があった。また、基準平面や基準パターン等の特徴形状はその精度を確保するために、単純な形状とする必要があるが、実際に測定される被測定対象物の形状は複雑であり、被測定対象物の調整目標位置と、原点出し用治具の特徴形状の位置は必ずしも一致しないことが多い。別々の原点出し用治具を用いた原点出し作業による原点出し用治具の設置再現性の問題及び作業の煩雑性並びに原点出し用治具の特徴形状が調整目標位置からずれる問題により、6軸測定系の原点出しを行ったときの被測定対象物の調整目標位置が安定しないことで、調整作業上の誤認要因や生産性低下要因となっていた。本発明の目的は、原点出し用治具の設置再現性の問題を解決すると共に、原点出しを簡易にすることにある。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具の第1の特徴は、被測定対象物の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の6軸基準位置を設定するための原点出し用治具であって、治具本体の面に、煽りの基準位置である原点出しのための第1の加工部、高さの基準位置である原点出しのための第2の加工部並びに平面位置及び平面回転位置の基準位置である原点出しのための第3の加工部をそれぞれ設けてあり、上記治具本体にはこの治具本体原点位置を位置決めするための位置決め部を設けてあり、上記第1の加工部は上記6軸測定系の基準面に対して平行度の校正がされている特徴形状を有し、上記第2の加工部は上記6軸測定系の基準面に対して高さの校正がされている特徴形状を有し、上記第3の加工部は上記6軸測定系の基準位置に対して距離の校正がされている特徴形状を有していることにある。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具の第2の特徴は、上記第1の特徴を前提としており、煽りの原点出しのため第1の加工部が鏡面加工されている面であることにある。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具の第3の特徴は、上記第1又は第2の特徴を前提としており、高さの原点出しのための第2の加工部はレーザ光が乱反射可能な凹状、凸状及び平面状の散乱面のいずれかから選択されることにある。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具の第4の特徴は、上記第1乃至第3のいずれかの特徴を前提としており、平面位置及び平面回転位置の原点出しのための第3の加工部が穴であることにある。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具の第5の特徴は、上記第1乃至第3のいずれかの特徴を前提としており、平面位置及び平面回転位置の原点出しのための第3の加工部がパターン模様であることにある。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具の第6の特徴は、上記第1乃至第5のいずれかの特徴を前提としており、位置決め部が穴であることにある。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具の第7の特徴は、上記第1乃至第5のいずれかの特徴を前提としており、位置決め部が治具本体の辺であることにある。本発明に係る原点出し方法の第1の特徴は、6軸測定系の基準位置に設置されている基準設定体の基準面及び位置保持手段に対して、上記6軸測定系の基準面に請求項1記載の原点出し用治具の面を押し当てると共に、上記位置保持手段で位置決め部を位置保持することにより、上記原点出し用治具を上記基準位置に固定状態にし、その後、6軸測定装置からレーザ光を第1及び第2の加工部に投射して、その反射光を測定し、上記6軸測定装置から適当な照明光を上記原点出し用治具に照射して、第3の加工部の位置を画像認識により測定し、各測定値を煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の各原点として設定することにある。本発明に係る原点出し方法の第2の特徴は、第1の特徴を有する方法を前提としており、第1の加工部に対してオートコリメータにより、第2の加工部に対して三角測距により、第3の加工部に対して画像認識により、煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の各軸測定をすることにある。本発明に係る原点出し方法の第3の特徴は、第1又は第2の特徴を有する方法を前提としており、第1の加工部は鏡面加工されているものであり、第2の加工部は、レーザ光が乱反射可能な凹状、凸状及び平面状の散乱面のいずれかから選択されるものであり、第3の加工部は複数の穴からなり、位置決め部は穴からなり、位置保持手段は位置決め部に差し入れ可能である位置保持ピンからなることにある。本発明に係る原点出し方法の第4の特徴は、第1又は第2の特徴を有する方法を前提としており、第1の加工部は鏡面加工されているものであり、第2の加工部はレーザ光が乱反射可能な凹状、凸状及び平面状の散乱面のいずれかから選択されるものであり、第3の加工部はパターン模様からなり、位置決め部は複数の辺からなり、上記位置保持手段は上記位置決め部に当接可能である位置保持面からなることにある。本発明に係る固体撮像素子の相対位置調整方法の特徴は、上記原点出し方法の第1の特徴を前提としており、原点出し用治具による原点出しを行った後、原点出し用治具の設置位置にある原点出し用治具を取付け体と本体とからなる固体撮像素子に置き換え、上記位置保持手段に対応する位置に位置保持部を設けてある上記取付け体に対して上記本体の取付け位置を調整する方法であり、置き換え後、上記固体撮像素子の取付け体を6軸測定系の基準面に押し当てると共に、位置保持手段で位置決め部を位置保持し、位置保持後、6軸測定装置によって上記本体の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置のそれぞれを測定し、各測定値と原点出し用治具によって取得した原点とに基づいて上記本体の取付け基準位置を取得し、取得後に上記本体を取付け基準位置まで移動し、調整することにある。本発明によれば、表面にそれぞれ特徴形状を有する第1、第2及び第3の加工部並びに基準位置に設置可能となる位置決め部を備え、6軸測定系の各軸の原点出しを同時に行うことを可能にする構成であるので、別々の原点出し用治具を用いていた従来例の設置再現性の問題や、作業の煩雑性の解決を図ることができ、原点出しの工数を削減できることにより、原点出しが簡易となる。本発明によれば、原点出し用治具の原点位置を利用して固体撮像素子の構成部品の相対位置調整をする必要がある場合、その調整作業が容易となる。本発明に係る6軸測定系の原点出し用治具について、図1~図5に基づいて説明する。図1~図3に示す原点出し用治具1において、その治具本体1aには、煽りの基準位置である原点出しのための第1の加工部2、高さの基準位置である原点出しのための第2の加工部3並びに平面位置及び平面回転位置の基準位置である原点出しのための第3の加工部4,5をそれぞれ設けてある。第1、第2及び第3の加工部2,3,4,5は、いずれも6軸測定系を構成するそれぞれの測定手法で測定可能である特徴形状を持っている。また、原点出し用治具1には、この治具本体の原点位置を位置決めするための位置決め部6,7を設けてある。原点出し用治具1の第1の加工部2はその表面が鏡面加工を施した鏡面加工部分を有し、上記表面が図3に示すように6軸測定装置M側に対向している面である。原点出し用治具1は、第1の加工部2を通じて測定時原点出し時に使用する6軸測定装置M図3によって煽り測定を可能としている。鏡面加工された第1の加工部2は、6軸測定系の基準面S1図5に対して、平行度の校正がされている特徴形状であって、後述するように原点出し用治具1を上記基準面に押し当てた状態で、第1の加工部の煽り測定をすることによって、煽りの原点出しを行うことができる。図1~図4において、原点出し用治具1は、その表面が散乱特性を持った加工を施した第2の加工部3を有し、この加工部を通じて三角測距による高さ測定を可能としている。第2の加工部3はレーザ光が乱反射可能な凹状、凸状又は平面状の散乱面に形成されており、図2に示す例によれば凹状の散乱面に形成されている。散乱特性を持っている第2の加工部3は、6軸測定系の基準面S1図5に対して、高さの校正がされている特徴形状であって、後述するように原点出し用治具1を上記基準面に押し当てた状態で、第2の加工部3の高さ測定をすることによって、高さの原点出しを行うことができる。また、図1~図4において、原点出し用治具1の第3の加工部4,5は、その表面から下方に向けて開けた微小な穴によって構成されている。第3の加工部4,5は鏡面加工された第1の加工部2とのコントラストにより、画像認識による平面位置及び平面回転位置の測定を可能としている。第3の加工部4,5は、6軸測定系の基準位置に対し、距離の校正がされている特徴形状であって、原点出し用治具1を上記基準位置に設置して、各第3の加工部の平面位置の測定をすることにより、平面位置及び平面回転位置の原点出しを行うことができる。さらに、図1~図5において、原点出し用治具1の位置決め部6,7は、図1上下2箇所にそれぞれ開けてある穴によって構成されている。原点出し用治具1は、位置決め部6,7にそれぞれ差し込まれる6軸測定系の基準位置に設置されている位置保持手段である位置保持ピンP図5によってその位置が保持される。位置決め部6,7及び位置保持ピンPは、原点出し用治具1をその基準位置に位置決めしかつ保持する手段を構成している。図1~図3において、原点出し用治具1の治具本体1aの3個所には下面から上面側に向けて開けてある支持穴部H1をそれぞれ設けてある。6軸測定装置Mとしては、煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置を同時に測定検知可能なものを使用する。図3及び図5に示す6軸測定装置Mにおいて、オートコリメータから出射されるレーザ光を利用して被測定対象物である原点出し用治具1の第1の加工部2に照射させ、そこで鏡反射させて、このレーザ光の反射光を通じて煽りの測定をする。そして、レーザ光を原点出し用治具1の第2の加工部3に投射させ、そこからの乱反射光をスポット光として受光させ、スポット光の位置に基づいて高さ測定をする。6軸測定装置Mから発光ダイオードLEDの照明光を原点出し用治具1に照射して、第3の加工部4,5を観察して画像認識し、上記原点出し用治具の平面位置及び平面回転位置を測定する。図5Cに示す6軸測定装置Mは、原点出し用治具1と比較して、図面上、縮小して図示している。以下同様に、後述の図9、図10、図13及び図15における各6軸測定装置Mについても縮小して図示している。図5を参照して、原点出し用治具1の原点出しについて説明する。図5Aに示すように、予め6軸測定系の基準位置に基準設定体S及び位置保持ピンPを設置しておいてから、まず、原点出し用治具1の治具本体1aの上面表面を上記基準設定体の基準面S1に、また両位置決め部片側の位置決め部6のみ図示を位置保持ピンPにそれぞれ上下方向に対向するように配置する。原点出し用治具1の治具本体1aは、支持穴部H1にその下側から差し入れた支持ピンPHによって支持されている。その後、図5Bに示すように、治具本体1aの上面を基準設定体Sの基準面S1に押し当て、両位置決め部6,7図5では位置決め部6のみ図示。内に位置保持ピンPを差し入れる。治具本体1aの押し当てにより、原点出し用治具1の煽り及び高さの原点が固定される。また、治具本体1aの両位置決め部6,7に6軸測定系の基準位置に設置されている位置保持ピンPを差し入れると、これらの位置保持ピンP及び基準面S1によって原点出し用治具1の平面位置及び平面回転位置の原点が固定される。固定後、図5Cに示すように、原点出し用治具1における煽り及び高さ並びに平面位置及び平面回転位置を6軸測定装置Mによって測定する。測定された現在の測定値を原点として設定する。すなわち、煽りの原点測定に関して、6軸測定装置Mから出射されたコリメート光は、図5Cに示すように、原点出し用治具1の鏡面加工された第1の加工部2に照射され、そこで鏡反射して、反射光から煽りを測定し、その測定値を煽りの原点とする。高さの原点測定に関して、6軸測定装置Mから出射されたレーザ光はスポット光として、図5Cに示す原点出し用治具1の凹状の散乱面からなる第2の加工部3に投射され、そこで乱反射して得られるスポット光の位置から高さを測定し、その測定値を高さの原点とする。平面位置及び平面回転位置の原点測定に関して、6軸測定装置Mからの照明光は、図5Cに示す原点出し用治具1に照射され、第3の加工部4,5は例えばCCD等によって映像信号に変換され、パターン画像として認識され、これによって平面位置及び平面回転位置を測定し、それらの測定値を平面位置及び平面回転位置の各原点とする。このように、原点出し用治具1は6軸測定系の基準面S1に押し当てられ、かつ位置保持ピンPによって6軸測定系の基準位置に位置決め固定された状態で、6軸測定系の各軸の測定演算を同時に行う画像処理装置とそれに付随するソフトウェアを備えている6軸測定装置Mを用いて、原点出し用治具1の第1、第2及び第3の各加工部2,3,4,5を上述したそれぞれの測定手法によって煽り及び高さ並びに平面位置及び平面回転位置を測定することで各軸の原点出しを行うことができる。原点出し用治具1によって得られた原点基準に基づく固体撮像素子8の相対位置調整について図6~図10を参照して説明する。図6~図8に示す固体撮像素子8は、この固体撮像素子の本体8aと、この本体が取り付けられる支持体である金属部品9とによって組み立てられている。金属部品9は中央部分が繰り抜かれた取付け開口9aを有している。取付け開口9a内には固体撮像素子の本体8aが配置されている。金属部品9の図6上下2箇所には、取付け開口9aを挟んで位置決め部10,11を設けてある。各位置決め部10,11は図示の例では貫通穴によって形成されている。金属部品9の位置決め部10,11は前記原点出し用治具1の位置決め部6,7にそれぞれ対応しており、後述する調整時に前記6軸測定系の基準位置に設置されている位置保持ピンP図9によって位置保持された状態に設置される。金属部品9には3個所に支持穴部H2を開けてある。各支持穴部H2は、前記原点出し用治具1の支持穴部H1にそれぞれ対応しており、後述する調整時に支持ピンPH図9が差し込まれる。金属部品9に対して固体撮像素子8の本体8aを取付け基準位置に取り付ける場合、この取付け基準位置の調整が必要な場合、相対位置調整をする。そこで、相対位置調整方法について図9及び図10を参照して説明する。原点出し用治具1の各原点が設定された後、この原点出し用治具を基準設定体Sの設置位置から外す。そして、図9に示すように、本体8aを支持手段であるステージSTの支持台STaに支持し、金属部品9を各支持穴部H2に支持ピンPHを差し入れて支持する。その後、図10Aに示すように、固体撮像素子8の金属部品9の上面を上記基準設定体の基準面S1に、また両位置決め部10,11図9及び図10では片側の位置決め部10のみ図示。を位置保持ピンPにそれぞれ上下方向に対向するように配置する。その後、図10Bに示すように、固体撮像素子8の金属部品9の上面を基準設定体Sの基準面S1に押し当て、両位置決め部10,11内に基準位置に設置されている位置保持ピンPを差し入れる。この押し当て及び差込みにより、金属部品の煽り及び高さの位置姿勢が固定され、また、金属部品9の平面位置及び平面回転位置も固定される。固定後、図10Cに示すように、6軸のステージSTの支持台STaに支持された固体撮像素子8の本体8aを6軸測定装置Mによって煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置のそれぞれを測定する。各測定値と、原点出し用治具1によって設定されている原点に基づいて本体8aの取付け基準位置を演算し、基準位置を取得後、6軸のステージSTによって固体撮像素子8の本体8aを取付け基準位置まで移動し、調整を終える。調整後、固体撮像素子8の本体8aと金属部品9とを一体化して、固体撮像素子の組立を終える。本発明に係る原点出し用治具である原点出し用治具の他の実施形態について、図11~図13を参照して説明する。図11において、6軸測定系の原点出しに用いる原点出し用治具12は、原点出し用治具1に対して、第3の加工部15,16及び位置決め部17,18の各構成について相違しているが、その他の構成については共通している。相違点について説明すると、原点出し用治具12の第3の加工部15,16は穴ではなく、パターン模様である。図面上、各パターン模様15,16を×で表現している。平面四角状の原点出し用治具12の位置決め部17,18は穴ではなく、辺で構成されている。位置決め部17,18は、図12及び図13に示す6軸測定系の基準位置に設置してある基準設定体SAの下部に形成してある位置保持手段である垂直の位置保持面SA21,SA22と共に原点出し用治具12をその基準位置に位置決めしかつ固定する手段を構成している。原点出し用治具12の治具本体12aにおける第1の加工部13及び第2の加工部14は、原点出し用治具1の治具本体1aにおける鏡面加工を施した第1の加工部2及び凹状の第2の加工部3にそれぞれ対応している。支持穴部H3は、原点出し用治具1の治具本体1aの支持穴部H1に対応している。図12及び図13を参照して、原点出し用治具12の原点出しについて説明する。図示するように、原点出しに使用する基準設定体SAは、その下部に水平の基準面SA1及び垂直の位置保持面SA21,SA22を設けてある。位置保持面SA21と位置保持面SA22とはL字形を形成している図12。まず、図13Aに示すように、6軸測定系の基準位置に設置してある原点出し用治具12の治具本体12aを基準面SA1に、また両位置決め部17,18図13では一方の位置決め部17のみ図示。を位置保持面SA21,SA22にそれぞれ上下方向に対向するように配置する。その後、図12及び図13Bに示すように、治具本体12aの上面を基準設定体SAの基準面SA1に押し当て、両位置決め部17,18を位置保持面SA21,SA22に押し当てて位置決めする。基準設定体SAに対する治具本体12aの押し当て及び位置決めにより、煽り及び高さの原点が固定される。この時、原点出し用治具12は、両位置決め部17,18が基準設定体SAの位置保持面SA21,SA22に押し当てられていることで、位置決めされ設置され、平面位置及び平面回転位置の原点が固定される。固定後、図13Cに示すように、原点出し用治具12を6軸測定装置Mによって測定する。測定された現在の測定値を原点として設定する。原点出し用治具12の煽り及び高さの原点測定は、原点出し用治具1のそれらの方法と同じである。平面位置及び平面回転位置の原点出しは、原点出し用治具12が有するパターン模様15とパターン模様16を、パターンマッチング手法による画像認識で測定することが可能であり、この手法を用いて実行する。パターン模様15とパターン模様16は、6軸測定系の位置保持面SA21,SA22に対して、距離の校正がされている特徴形状であって、原点出し用治具12を6軸測定系の基準位置に設置してあるので、パターン模様15とパターン模様16の平面位置の測定を行うことで、平面位置及び平面回転位置の原点出しを行うことができる。なお、原点出し時において、原点出し用治具12の治具本体12aは、図13に示すように、各支持穴部H3と、これらの支持穴部に差し込まれる支持ピンPHとによって支持されている。このように、原点出し用治具12は6軸測定系の基準面SA1及び位置保持面SA21,SA22に押し当てられ、かつ6軸測定系の基準位置に位置決めされた状態で、6軸測定系の各軸の測定演算を同時に行う画像処理装置とそれに付随するソフトウェアを備えている6軸測定装置Mにより、原点出し用治具12を測定することにより各軸の原点出しを行うことができる。原点出し用治具12による原点を取得後に、必要に応じて行う固体撮像素子19の相対位置調整方法を図14及び図15を参照して説明する。図14に示す固体撮像素子19は、この固体撮像素子の本体19aと、この本体が取り付けられる支持体である金属部品20とによって組み立てられている。固体撮像素子19は本体19aと取付け開口20aを有する金属部品20とを組み合わせたものであるが、この基本構成は前記固体撮像素子8のそれと共通している。しかしながら、固体撮像素子19における位置決め部21,22が穴ではなく辺で構成されている点では固体撮像素子8の位置決め部10,11と相違している。金属部品20の位置決め部21,22は原点出し用治具12の位置決め部17,18にそれぞれ対応している。支持穴部H4は原点出し用治具12の支持穴部H3図11に対応している。固体撮像素子19における固体撮像素子の本体19aと金属部品20との相対位置調整を行う方法について図15を参照して説明する。原点出し用治具12の各原点が設定された後、基準設定体SAの設置位置の原点出し用治具を固体撮像素子19に置き換える。図15Aに示すように、固体撮像素子の金属部品20の上面を上記基準設定体の基準面SA1に、また両位置決め部21,22図15では位置決め部21のみ図示。を位置保持面SA21,SA22にそれぞれ上下方向において対向するように配置する。この時、固体撮像素子の本体19aは6軸のステージSTの支持台STaに支持され、金属部品20は各支持穴部H4に支持ピンPHを差し入れた状態で支持されている。その後、図15Bに示すように、金属部品20の上面を基準設定体SAの基準面SA1に押し当て、両位置決め部21,22を位置保持面SA21,SA22に押し当てる。これらの押し当てにより、金属部品20の煽り及び高さの位置姿勢が固定され、また、金属部品20の平面位置及び平面回転位置も固定される。固定後、6軸のステージSTの支持台STaに支持された固体撮像素子の本体19aを図15Cに示すように、6軸測定装置Mによって煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置のそれぞれを測定する。各測定値と原点出し用治具12によって設定されている原点とに基づいて、本体19aの取付け基準位置を取得し、取得後には6軸のステージSTによって固体撮像素子の本体19aを取付け基準位置まで移動し、調整を終える。調整後、固体撮像素子19の本体19aと金属部品20とを一体化して、固体撮像素子の組立を終える。なお、図15B及び図15Cにおいて、図面上、支持ピンPHを省略している。図1及び図11に示す原点出し用治具1,12において、治具本体1a,12aは第1の加工部2,13、第2の加工部3,14及び第3の加工部4,5,15,16を備え、これらの加工部がそれぞれの測定手法で測定可能とするために要求される表面特性や異なる形状を併せ持ち、6軸測定系の基準位置に設置された状態で各原点出しを可能としているので、従来のように別々の原点出し用治具を使用した場合に生じる設置の再現性の問題や作業の煩雑性の問題を解決することができ、原点出しの工数を減らすことができるから原点出しを簡易にすることができる。原点出し用治具1,12において、治具本体1a,12aが各測定手法で測定可能となる特徴形状の位置第1の加工部2,13、第2の加工部3,14及び第3の加工部4,5,15,16の位置を、6軸測定系の原点位置となるように設定することができるので、これらの原点出し用治具の原点位置を利用して相対位置調整の対象となる固体定撮像素子8,19の調整目標位置を設定する場合、上記原点位置と上記調整目標位置との間のオフセット量を算出できるように原点出し用治具を設計することにより、原点位置からオフセットすることで固体撮像素子の調整目標位置を設定することができるから、固体撮像素子の調整作業の煩雑性の解決を図ることができる。なお、オフセット操作により、原点出し用治具1,12の特徴形状と固体撮像素子8,19の調整目標位置が一致している必要はなく、原点出し用治具はその特徴形状を最大限に単純化する設計に注力することで、原点出し用治具の精度向上を図ることができる。固体撮像素子は図6及び図14に示すように取付け開口9a,20aを有するものに限定されない。例えば取付け開口を有しない固体撮像素子では金属部品の上面に本体を載せて相互を結合させる。原点出し時及び調整時に使用される支持ピンPHと、支持ピンが差し込まれる支持穴部H1,H2,H3,H4は、原点出し用治具1,12又は固体撮像素子8,19の金属部品9,20の支持手段を構成しているが、支持手段の構成はピンと穴部からなるものに限定されない。原点出し用治具1,12及び固体撮像素子8,19の設置方法は、上述した図5、図10、図13及び図15に示す各例において、各原点出し用治具及び固体撮像素子を6軸測定系の基準設定体S,SAに対して下方から押し当て設置固定し、6軸測定装置を上記基準設定体の上方に設置した状態で測定するものであったが、これら原点出し用治具及び固体撮像素子を上記基準設定体に対して上方から押し当て設置固定し、上記6軸測定装置を上記基準設定体の下方に設置した状態で測定するものであっても良い。"