"ガス放電チャンバ7に交流電力を供給してプラズマを点火するための点火回路20であって、該点火回路20は、交流電源2に接続するための2つの線路区間21,22と、前記ガス放電チャンバ7のハウジングアースに接続するための少なくとも1つの線路区間23とを有しており、非線形素子12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52.4およびエネルギ蓄積器11,11.1,11.2,11.3,51.1,51.2,51.3,51.4を有する少なくとも1つの直列接続部10,10.1,10.2,10.3が、交流電源2と接続するための前記線路区間21,22間に接続されており、前記ガス放電チャンバ7のハウジングアースに接続するための前記線路区間23が、エネルギ蓄積器11,11.1,11.2,11.3,51.1,51.2,51,3,51.4と、非線形素子12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52.4との間の少なくとも1つの接続ノード13,13.1,13.3,13.4に接続されている、ことを特徴とする点火回路。請求項1に記載の点火回路において、前記エネルギ蓄積器11,11.1,11.2,11.3,51.1,51.2,51.3,51.4はキャパシタの形態である、ことを特徴とする点火回路。請求項1または2に記載の点火回路において、前記非線形素子12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52,4は、パッシブまたは自己制御コンポーネントである、ことを特徴とする点火回路。請求項1から3までのいずれか1項に記載の点火回路において、前記非線形素子12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52.4はダイオードである、ことを特徴とする点火回路。請求項4に記載の点火回路において、ハウジングアースに接続するための前記線路区間23は、前記ダイオードのカソードに接続されている、ことを特徴とする点火回路。請求項1から5までのいずれか1項に記載の点火回路において、前記ガス放電チャンバ7の前記ハウジングアースに接続するための前記線路区間23は、殊にダイオードである少なくとも1つの非線形コンポーネント15を介して前記接続ノード13に接続されている、ことを特徴とする点火回路。請求項1から6までのいずれか1項に記載の点火回路において、前記ガス放電チャンバ7の前記ハウジングアースに接続するための前記線路区間23は、少なくとも1つの抵抗16を介して前記接続ノード13に接続されている、ことを特徴とする点火回路。請求項1から7までのいずれか1項に記載の点火回路において、複数の直列接続部10,10.1,10.2,10.3が設けられており、各直列接続部は、少なくとも1つの非線形素子12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52.4および少なくとも1つのエネルギ蓄積器11.1,11.2,11.3,51.1,51.2,51.3,51.4を有している、ことを特徴とする点火回路。請求項1から8までのいずれか1項に記載の点火回路において、前記点火回路20は電圧逓倍器を有する、ことを特徴とする点火回路。請求項1から9までのいずれか1項に記載の点火回路において、接続ノード13,13.1,13.3,13.4と、前記ガス放電チャンバ7の前記ハウジングアースに接続するための線路区間23との間の接続部にスイッチ17が設けられている、ことを特徴とする点火回路。プラズマシステムであって、該プラズマシステムは、請求項1から10までのいずれか1項に記載の点火回路20が接続される交流電源2を有しており、前記点火回路20が接続されておりかつ少なくとも1つの電極5,6を有するガス放電チャンバ7を有している、ことを特徴とするプラズマシステム。少なくとも2つの電極5,6を有するガス放電チャンバ7に交流電力を供給してプラズマを点火する方法において、該ガス放電チャンバ7では、少なくとも1つの電極5,6と、前記ガス放電チャンバ7のハウジングアース8との間で、交流電源2および前記ガス放電チャンバ7に接続された点火回路20により、前記ガス放電チャンバ7の前記電極5,6に接続された交流電源2のピーク電圧よりも大きな点火電圧を形成する、ことを特徴とする方法。請求項12に記載の方法において、前記点火電圧は、殊にダイオードである少なくとも1つの自己制御またはパッシブ非線形コンポーネント12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52.4を使用して形成される、ことを特徴とする方法。請求項12または13に記載の方法において、自己制御またはパッシッブ非線形コンポーネント12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52.4を介してエネルギ蓄積器11,11.1,11.2,11.3,51.1,51.2,51.3,51.4を充電し、前記コンポーネント12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52,3,52.4と、前記エネルギ蓄積器11,11.1,11.2,11.3,51.1,51.2,51.3,51.4との間の前記接続ノード13を前記ハウジングアース8に導電的に接続することによって前記点火電圧を形成する、ことを特徴とする方法。請求項12から14までのいずれか1項に記載の方法において、前記コンポーネント12,12.1,12.2,12.3,52.1,52.2,52.3,52.4と、前記エネルギ蓄積器11,11.1,11.2,11.3,51.1,51.2,51.3,51.4との間の前記接続ノード13を、殊にダイオードである別の自己制御またはパッシブ非線形コンポーネント15によって前記ハウジングアース8に接続することにより、前記点火電圧を形成する、ことを特徴とする方法。請求項12から15までのいずれか1項に記載の方法において、点火が行われた場合、前記導電接続が開かれる、ことを特徴とする方法。請求項12から16までのいずれか1項に記載の方法において、前記ガス放電チャンバ7の前記ハウジングアース8と少なくとも1つの電極5,6と間で前記点火電圧を形成する、ことを特徴とする方法。請求項12から17までのいずれか1項に記載の方法において、前記ガス放電チャンバ7の前記ハウジングアース8と、少なくとも1つの電極5,6との間の前記点火電圧は、前記交流電力の半波毎に前記プラズマが点火するまで増大する、ことを特徴とする方法。"