半導体基板上に担持された赤外線源と、同じまたは第2の半導体基板のうちの1つの上に形成された集積化マイクロホン、および第3の基板上に担持された赤外波長選択帯域通過フィルタとを備える光音響ガスセンサ構成要素。請求項1に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記線源、前記マイクロホン、および前記赤外フィルタを収容するための集積化構成要素パッケージを含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項2に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記集積化構成要素パッケージ内の半導体基板上に形成された信号収集および信号処理回路をさらに含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項1に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記マイクロホンがMEMS型トランスデューサとして実装される、光音響ガスセンサ構成要素。請求項2に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記構成要素ハウジングのパッケージングが、金属缶トランジスタ外形パッケージまたは他の工業標準半導体デバイスパッケージングフォーマットの要件に適合する、光音響ガスセンサ構成要素。請求項3に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記構成要素ハウジングのパッケージングが、金属缶トランジスタ外形パッケージまたは他の工業標準半導体デバイスパッケージングフォーマットの要件に適合する、光音響ガスセンサ構成要素。請求項2に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源がほぼ平面である、光音響ガスセンサ構成要素。請求項3に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源がほぼ平面である、光音響ガスセンサ構成要素。請求項2に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源が薄膜導体を含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項3に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源が薄膜導体を含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項2に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源がフィラメント導体を含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項3に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源がフィラメント導体を含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項2に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源が赤外発光ダイオードを含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項3に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記赤外線源が赤外発光ダイオードを含む、光音響ガスセンサ構成要素。請求項2に記載の光音響ガスセンサ構成要素において、前記波長選択帯域通過フィルタが、少なくとも誘電体またはダイクロイック型IRフィルタを含むクラスから選択される、光音響ガスセンサ構成要素。0011本発明の実施形態は多くの異なる形をとることができるが、本開示は本発明の原理および本発明を実施する最良の形態の例示と見なされるべきであり、示される特定の実施形態に本発明を限定するものではないとの理解と共に、本発明の特定の実施形態を図面に示し、本明細書において詳細に説明する。0012本発明の実施形態は、主要な光音響センサの機能要素を単一の、大量生産に適した集積化MEMSデバイスに集積する。これらの実施形態は、MEMS技術によって得られるロバスト性および低コストをもたらす。本発明の一態様では、集積化IR源、固定波長IRフィルタ、およびMEMSマイクロホンは、単一の構成要素パッケージ内に集積することができ、ガス測定セル内に取り付けることができる。0013図2Aおよび2Bは本発明の一実施形態を示し、この実施形態では図1で述べたいくつかの機能要素は、MEMSおよびマイクロエレクトロニクスパッケージング技法を用いて製作することができる集積化構成要素内に統合される。図2Aは本発明の部分的な破断斜視図であり、図2Bは図2Aに示される切断面A-Aでの本発明の断面側面図である。0014本発明のこの実施形態では、射出成形されたプラスチック測定セル本体20は、トランジスタおよび他の電子回路構成要素をパッケージするのに一般に用いられるタイプの、気密封止された金属缶構成要素パッケージのフォーマットにパッケージされた、集積化IR源およびマイクロホン構成要素本体すなわちパッケージ21に接合される。このタイプの電子回路構成要素パッケージングは、一般にトランジスタ缶パッケージまたはTO缶と呼ばれ、通常はJEDECおよび米国電子工業会から発行される電子工業標準に示される寸法に適合する。0015これらのパッケージは、特定の用途の必要性に適したいくつかの標準のサイズおよび相互接続ピン構成にて入手可能である。JEDECTO39またはTO8缶などの標準パッケージサイズは、本発明に用いることができる例示的な好ましいパッケージサイズである。測定セル本体20の内面は、測定セル体積22内のガス内に向けられるIRエネルギーを最大化するように、IR反射材料たとえば非限定的に、金メッキでメッキされ、測定セル体積22は、測定セル本体20と集積化構成要素パッケージ21とを互いに結合することによって形成される。0016ガス透過性膜23は、接着剤または他の適当な手段を用いて、測定セル本体20の外面20aに接合される。測定セル本体内の複数の穴24は、ガス透過性膜23の下にあり、ガスが雰囲気から測定セル体積22内へおよび測定セル体積22から外へ拡散するための流路を形成する。集積化構成要素は、平面型赤外線源25、波長選択フィルタ26、およびMEMS型マイクロホン27を備える。IRフィルタは、構成要素パッケージ21内の開口部28を覆って、選択された波長のIRエネルギーがそれを通って測定セル体積22内に放射することができる窓を形成する。0017集積化構成要素パッケージ21内の内部バッフル構造29は、IR源からの放射が、共有するTO缶パッケージ21の内側でMEMSマイクロホンに直接結合するのを防止する。バッフルはまた、構成要素の組み立て時に真空下で封止すべきIR源を含んだ集積化構成要素の部分を形成する。0018ガス測定体積内で発生された光音響信号は、集積化構成要素パッケージの上面内の開口部30を通して、MEMSマイクロホンに通信可能に結合される。IR源およびMEMSマイクロホンは、マイクロエレクトロニクスおよび半導体パッケージで通常用いられるタイプの複数のワイヤボンド32を用いて、集積化構成要素の外部リード31に接続される。0019マイクロホン27からの信号を収集し処理するために、処理回路36も集積化構成要素パッケージ21内に集積化することができる。回路36は、パッケージ21内の半導体基板内に形成し得ることが理解されよう。この基板は、マイクロホン27を支持するものと同じ基板でもよく、異なっていてもよい。0020本発明の一態様では、IR源および検出要素の両方の製作は、単一の集積化構成要素内に実施し、光音響ガス検出器内に統合することができる。信号処理電子回路は、同じダイ上、または同じTO缶パッケージ内に実現してもよく、光音響ガス検出器のすべての能動構成要素のための単一チップまたは単一構成要素ソリューションとなる。このような集積化は、従来技術の実装と比べて、信頼性および性能の改善、ならびに製造およびコスト効率をもたらすと期待される。0021上記から、本発明の趣旨および範囲から逸脱せずに数多くの変形形態および変更形態が可能であることが理解されよう。本明細書に示された特定の装置に関しては、限定を意図するものではなく推論すべきでもないことを理解されたい。もちろん添付の特許請求の範囲によって、すべてのこのような変更形態は、特許請求の範囲に包含されるものである。