"複数の開口部を有する補助金属配線と、少なくとも前記開口部に充填された透明樹脂とを備えた補助電極層と、該補助電極層上に形成された導電性樹脂層とを備え、前記透明樹脂が、前記補助金属配線の少なくとも表面と親和性の低いモノマー組成物が重合されてなるものであることを特徴とする透明導電フィルム。前記補助金属配線の表面の前記組成物に対する接触角が70°以上であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電フィルム。前記補助金属配線の表面の水接触角と前記透明樹脂の水接触角との差が60°以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の透明導電フィルム。前記補助金属配線の表面が親水性であり前記透明樹脂が疎水性であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の透明導電フィルム。前記補助金属配線の表面が疎水性であり前記透明樹脂が親水性であることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の透明導電フィルム。前記補助金属配線の表面に、前記表面の水接触角を変化させる表面処理剤を備えたことを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の透明導電フィルム。前記透明樹脂が、多官能メタアクリルモノマーを含む組成物を重合してなるものであることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の透明導電フィルム。支持体と、請求項1~7のいずれかに記載の透明導電フィルムと、有機材料を含む光電変換層と、上部電極とをこの順に積層してなる光電変換素子を備えたことを特徴とする有機薄膜太陽電池。支持体上に、複数の開口部を有する補助金属配線を形成する工程と、該補助金属配線の少なくとも表面に対して親和性の低いモノマー組成物を、前記開口部及び前記補助金属配線の上面より塗布することにより前記開口部に前記モノマー組成物を充填する工程と、前記モノマー組成物を重合する工程とを順次実施して補助電極層を形成し、該補助電極層上に導電性樹脂層を形成することを特徴とする透明導電フィルムの製造方法。前記表面の前記モノマー組成物に対する接触角が70°以上であることを特徴とする請求項9に記載の透明導電フィルムの製造方法。特許文献3に記載の紫外線硬化樹脂を成膜して、支持体裏面側から紫外線露光して洗浄することにより、金属配線開口部のみに透明樹脂を形成して表面段差を解消する方法は、比較的容易な方法でコストの抑制も可能と考えられる。しかしながら、金属配線断面は理想的な矩形ではなく、現実は台形端部断面が直角ではなくて鋭角であるため、この方法によると、金属配線端部の斜面に成膜された紫外線硬化樹脂に紫外線が照射されず洗浄工程で除去されてしまう。つまり、金属配線端部に透明樹脂が形成されない溝ができてしまうおそれがある。このような補助電極を用いた場合、その溝による表面段差で、下部電極と上部電極の接触ひいては短絡が発生する恐れがあると考えられる。本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、容易なプロセスにて製造可能であり、導電性、光透過性、および平滑性のいずれもが良好である透明導電フィルムを提供することを目的とするものである。また、本発明は短絡故障の発生が抑制された有機薄膜太陽電池をも提供することを目的とするものである。本発明の透明導電フィルムは、複数の開口部を有する補助金属配線と、前記開口部に充填された透明樹脂とを備えた補助電極層と、該補助電極層上に形成された導電性樹脂層とを備え、前記透明樹脂が、前記補助金属配線の少なくとも表面と親和性の低いモノマー組成物が重合されてなるものであることを特徴とするものである。ここで、親和性が低いとは、表面にモノマー組成物を接触させた際に表面が濡れずにモノマー組成物が表面からはじかれることを意味し、補助金属配線の表面のモノマー組成物に対する接触角が70°以上である場合が好ましい。本発明の透明導電フィルムにおいて、前記補助金属配線の表面の水接触角と前記透明樹脂の水接触角との差が60°以上であることが好ましい。本発明において、接触角とは、補助金属配線表面又は透明樹脂の構成材料を平坦な基板上に成膜し、成膜された膜に対するモノマー組成物又は水の接触角と定義する。前記補助金属配線の表面に、前記表面の水接触角を変化させる表面処理剤を備えたものであってもよい。本発明透明導電フィルムにおいて、前記透明樹脂が、多官能メタアクリルモノマーを含む組成物を重合してなるものであることが好ましい。本明細書において、多官能メタアクリルモノマーとは、2つ以上のメタアクリル基を有するモノマーを意味する。メタアクリルとは、アクリルもしくはメタクリルを意味する。本発明の透明導電フィルムの製造方法は、支持体上に、複数の開口部を有する補助金属配線を形成する工程と、該補助金属配線の少なくとも表面に対して親和性の低いモノマー組成物を、前記開口部及び前記補助金属配線の上面より塗布することにより前記開口部に前記モノマー組成物を充填する工程と、前記モノマー組成物を重合する工程とを順次実施して補助電極層を形成し、該補助電極層上に導電性樹脂層を形成することを特徴とするものである。本発明の有機薄膜太陽電池は、支持体と、上記本発明の透明導電フィルムと、有機材料を含む光電変換層と、上部電極とをこの順に積層してなる光電変換素子を備えたことを特徴とするものである。本発明の透明導電フィルムは、複数の開口部を有する補助金属配線と、開口部に充填された、補助金属配線の少なくとも表面と親和性の低いモノマー組成物を重合してなる透明樹脂とを備えた補助電極を備えている。かかるモノマー組成物は、支持体上に、補助金属配線を形成した後に、開口部と補助金属配線の上から塗布されるだけで、良好に補助金属配線を露出させて開口部に充填される。従って、本発明によれば、非常に容易なプロセスにて、補助金属配線の開口部に透明な平坦化層を形成することができ、すなわち、導電性、光透過性、および平滑性のいずれもが良好である透明導電フィルムを容易なプロセスにて提供することができる。また、透明樹脂として多官能メタアクリルモノマーを含む組成物を重合してなる透明樹脂を用いる態様は、かかる樹脂の良好な耐熱性及び耐溶剤性により、後工程のアニール処理等の加熱処理や、透明樹脂上に成膜される物質による平滑性への悪影響をも抑制することができる。上記のように、本発明の透明導電フィルムは、導電性、光透過性、および平滑性のいずれもが良好であることから、かかる透明導電フィルムを正極として備えた本発明の光電変換素子は、短絡故障の発生が抑制されたものとなる。<透明導電フィルム>図面を参照して、本発明の透明導電フィルムの構成について説明する。図1は、本発明の透明導電フィルムの一実施の形態を示す概略断面図、図2は図1に示す透明導電フィルムの概略上面図、図3は透明導電フィルム1の製造工程を示す概略図である。なお、視認しやすくするため、図中、各構成要素の縮尺等は実際のものとは適宜異ならせてある以下の図面についても同様。図2では補助金属配線の構成を視認しやすくするために、透明樹脂と導電性樹脂層は省略して示している。図1及び図2に示されるように、透明導電フィルム1は、補助金属配線金属メッシュ,導電メッシュ21と透明樹脂31とを備えた補助電極11と、導電性樹脂層12とを備えてなり、透明樹脂31は補助金属配線21の開口部20開口部20は補助金属配線21に囲まれた領域に位置し、補助金属配線21を平坦化するように設けられる。すなわち、透明樹脂31は、補助金属配線21の開口部20を埋めて補助金属配線21の段差を減少させる平坦化層であり、好ましくは透明樹脂31と補助金属配線21の上部には段差がなく面一となっている。透明導電フィルム1は、表面抵抗値が、20Ω/sq以下であることが好ましく、10Ω/sq以下であることがより好ましく、1Ω/sq以下であることが更に好ましいJIS7194に従って測定。また、400nm~800nmの光波長範囲の平均透過率は50以上であり、60以上であることが好ましく、70以上がより好ましい。光透過率は、支持体と同様、積分球式光透過率測定装置を用いて全光透過率として測定することができる。また、正極の一部として酸化モリブデンを用いてもよい。図3に示されるように、透明導電フィルム1は、支持体10上に複数の開口部20を有する補助金属配線21を形成し図3a、開口部20及び補助金属配線21の上面よりモノマー組成物30を塗布して開口部20にモノマー組成物30を充填し図3b、モノマー組成物30を重合して図3c透明樹脂31平坦化層として補助金属配線21と透明樹脂31を備えた補助電極層11を形成し図3d、更に補助電極層11上に導電性樹脂層12を形成して製造することができる。透明導電フィルム1において、透明樹脂31は、補助金属配線21の少なくとも表面と親和性の低いモノマー組成物30が重合されてなるものである。かかる構成によれば、図3bに示すモノマー組成物30の塗布の際に、補助金属配線21上に塗られたモノマー組成物30は、補助金属配線21の表面と親和性が低いために、該表面を濡らさずはじかれやすいため、塗液のほとんどは開口部20に塗布される。従って、その後の重合工程後に得られる補助電極層11は、補助金属配線21上に形成された透明樹脂31の除去工程を要することなく、良好に補助金属配線21の表面が露出された平坦性の良好なものとなる。上記のように、モノマー組成物30と補助金属配線21の表面との親和性の低さにより、重合前に補助金属配線21の表面に残っているモノマー組成物30の量は少ないが、残っているモノマー組成物30も重合過程における体積収縮時に親和性の低い補助金属配線21の表面から除去されていく。また、補助金属配線上に残ったとしても配線全体が被覆されるわけではなく、結果として、上部の導電ポリマー層と電気的接触が可能となる。補助金属配線21の表面と親和性の低いモノマー組成物30の重合体である透明樹脂31も、補助金属配線21の表面との親和性が低くなる。モノマー組成物30は、体積収縮を考慮して少し過剰に塗布することが好ましい。以下に、透明導電フィルム1の各構成について説明する。<支持体>支持体10は、補助金属配線21や透明樹脂31を保持できる表面平滑な基板あるいはフィルムであれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、通常、透明導電フィルム1を形成した支持体10をそのまま有機薄膜太陽電池等に用いることから、透明性使用する光の透過性を有するものであることが好ましい。例としては、プラスチックフィルムやガラスの薄層板などが挙げられる。なお、仮支持体10を用いて透明導電フィルム1を形成し、この仮支持体を剥離して任意の透明支持体上に太陽電池を配置する場合には、仮支持体10は特に透明性を必要とせず、プラスチックフィルム、金属箔、紙にプラスチックや金属をラミネートした積層体などを任意に選択して用いることができる。以下、透明支持体の代表的な例としてプラスチックフィルム基板について説明する。プラスチックフィルム基板プラスチックフィルム基板は、材質、厚み等に特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。基板に用いうるプラスチックフィルムの素材としては、具体的には、例えば、ポリエステル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸-マレイン酸共重合体、ポリスチレン樹脂、透明フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、セルロースアシレート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリカーボネート樹脂、脂環式ポリオレフィン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリスルホン樹脂、シクロオレフィルンコポリマー、フルオレン環変性ポリカーボネート樹脂、脂環変性ポリカーボネート樹脂、フルオレン環変性ポリエステル樹脂、アクリロイル化合物などの熱可塑性樹脂が挙げられる。プラスチックフィルム基板としてはTgの高い耐熱性樹脂も好ましく用いられる。耐熱性樹脂の例としては、例えば、ポリエチレンナフタレートPEN:120°C、ポリカーボネートPC:140°C、脂環式ポリオレフィン例えば日本ゼオン株製ゼオノア1600:160°C、ポリアリレートPAr:210°C、ポリエーテルスルホンPES:220°C、ポリスルホンPSF:190°C、シクロオレフィンコポリマーCOC:特開2001-150584号公報の化合物:162°C、フルオレン環変性ポリカーボネートBCF-PC:特開2000-227603号公報の化合物:225°C、脂環変性ポリカーボネートIP-PC:特開2000-227603号公報の化合物:205°C、アクリロイル化合物特開2002-80616号公報の化合物:300°C以上、ポリイミド等が挙げられ括弧内はTgを示す、これらは本発明における基材として好適である。本発明においてプラスチックフィルムは、光に対して透明であることが求められる。より具体的には、400nm~800nmの波長範囲の光に対する光透過率は、通常80以上であることが好ましく、より好ましくは85以上、さらに90以上であることが好ましい。光透過率は、積分球式光透過率測定装置を用いて全光透過率として測定することができる。プラスチックフィルムの厚みに関して特に制限はないが、典型的には1μm~800μmであり、好ましくは10μm~300μmである。易接着層/下塗り層プラスチックフィルム基板は、易接着層もしくは下塗り層を有していてもよい。易接着層もしくは下塗り層の構成としては、単層であっても、多層構造であってもよい。易接着層はバインダーポリマーを含有することが必須であるが、適宜マット剤、界面活性剤、帯電防止剤、屈折率制御のための微粒子などを含有してもよい。易接着層に用いうるバインダーポリマーには特に制限はなく、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、及び、ゴム系樹脂などから適宜選択して用いることができる。易接着層もしくは下塗り層の乾燥後の塗布膜厚は、50nm~2μmの範囲であることが好ましい。なお、支持体を仮支持体として用いる場合には、支持体表面に易剥離性処理を施すことも可能である。アクリル樹脂とはアクリル酸、メタクリル酸及びこれらの誘導体を成分とするポリマーである。具体的には、例えばアクリル酸、メタクリル酸、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ヒドロキシルアクリレートなどを主成分とし、これらと共重合可能なモノマー例えば、スチレン、ジビニルベンゼンなどを共重合したポリマーであることが好ましい。ポリウレタン樹脂とは主鎖にウレタン結合を有するポリマーの総称であり、通常ポリイソシアネートとポリオールの反応によって得られる。ポリイソシアネートとしては、TDITolyleneDiisocyanate、MDIMethylDiphenylIsocyanate、HDIHexylenediisocyanate、IPDIIsophorondiisocyanateなどがあり、ポリオールとしてはエチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、ヘキサントリオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールなどを好ましく挙げることができる。さらに、本発明のイソシアネートとしてはポリイソシアネートとポリオールの反応によって得られたポリウレタンポリマーに鎖延長処理をして分子量を増大させたポリマーも使用できる。ポリエステル樹脂とは主鎖にエステル結合を有するポリマーの総称であり、通常ポリカルボン酸とポリオールの反応で得られる。ポリカルボン酸としては、例えば、フマル酸、イタコン酸、アジピン酸、セバシン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、ナフタレンジカルボン酸などがあり、ポリオールとしては例えば前述のものがある。ゴム系樹脂とは合成ゴムのうちジエン系合成ゴムをいう。具体例としてはポリブタジエン、スチレン-ブタジエン共重合体、スチレン-ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、スチレン-ブタジエン-ジビニルベンゼン共重合体、ブタジエン-アクリロニトリル共重合体、ポリクロロプレンなどがある。<補助電極層><<補助金属配線>>補助金属配線21を構成する金属材料の例としては、金、白金、鉄、銅、銀、アルミニウム、クロム、コバルト、ステンレス鋼等が挙げられる。金属材料の好ましい例としては、銅、銀、アルミニウム、金等の低抵抗金属が挙げられ、なかでも、製造コストと材料コストが低く、酸化されにくい銀もしくは銅が好ましく用いられる。透明導電フィルム1において、補助金属配線21とモノマー組成物30又は透明樹脂31との親和性が低い必要がある。従って、補助金属配線21の材料は、用いるモノマー組成物30又は透明樹脂31との親和性を考慮して適宜選択すればよい。親和性の判断基準については、後記する。また、補助金属配線21は、親和性の制御のために表面処理を施されたものとしてもよい。表面処理方法としては特に制限されないが、フッ化チオール等の界面の濡れ性を良好に制御可能な液体に浸漬させる方法や酸素プラズマ処理やUVオゾン処理等が挙げられる。なお、表面処理を施した場合は、後工程の導電性樹脂層の成膜前に、表面処理剤を除去することが好ましい。例えば、上記フッ化チオール系の表面処理剤であれば、硫酸と過酸化水素水の混合溶液に浸漬させることにより除去することができる。補助金属配線21のパターン形状は特に限定されないが、光透過性及び導電性の観点から、メッシュ状のものメッシュパターン電極が好ましい。メッシュパターンには特に制限がなく、正方形、長方形、菱形等の格子状、縞状ストライプ状、ハニカム、あるいは曲線の組合せを用いてもよい。これらのメッシュデザインは開口率光透過率と表面抵抗電気伝導率が所望の値となるように調整される。このようなメッシュパターンの補助金属配線21とする場合、メッシュの開口率は通常は70以上であり、80以上が好ましく、85以上がより好ましい。補助金属配線21の表面抵抗は10Ω/□以下であることが好ましく、3Ω/□以下であることがさらに好ましく、1Ω/□以下であることがより好ましい。光透過率と電気伝導率はトレードオフの関係にあるため、開口率は大きいほど好ましいが、現実的には95以下となる。補助金属配線21の厚みは特に制限は無いが、通常は0.02μm~20μm程度である。補助金属配線21のメッシュパターンにおける線幅は、光透過性と導電性の観点から、平面視による線幅が1μm~500μmの範囲であり、1μm~100μmが好ましく、3μm~20μmがより好ましい。補助金属配線21のメッシュパターンにおけるピッチは小さいメッシュが細かい方が太陽電池の特性上有利である。しかしながらピッチが小さいと光の透過率が低下するので、妥協点が選ばれる。ピッチは金属細線の線幅に応じて変化するが、平面視によるピッチが50μm~2000μmであることが好ましく、100μm~1000μmがより好ましく、150μm~500μmがさらに好ましい。開口部の観点から言えば補助金属配線21の繰り返し単位となる開口部20の面積が1×10-9m2~1×10-4m2であることが好ましく、3×10-9m2~1×10-5m2であることがより好ましく、1×10-8m2~1×10-6m2であることがさらに好ましい。補助金属配線21の形成方法としては特に制限はなく、公知の形成方法を適宜使用しうる。例えば、予め作製したメッシュパターン金属を支持体表面に貼り合せる方法、導電材料をメッシュパターンに塗布する方法、蒸着もしくはスパッタ等のPVD法を用いて導電膜を全面に形成した後にエッチングしてメッシュパターンの導電膜を形成する方法、スクリーン印刷、インクジェット印刷などの各種印刷法によりメッシュパターンの導電材料を塗布する方法、蒸着もしくはスパッタによりシャドウマスクを用いてメッシュパターンの金属補助配線を基材表面に直接形成する方法、特開2006-352073号公報、特開2009-231194号公報等に記載のハロゲン化銀感光材料を用いる方法以下、銀塩法と呼ぶことがある等が挙げられる。補助金属配線21をメッシュ電極として形成する場合は、そのピッチが小さいため、銀塩法で形成することが好ましい。銀塩法で補助金属配線21を形成する場合、補助金属配線を形成するための塗液を支持体上に設け、補助金属配線21を形成するための塗膜に対してパターン露光を行う工程と、パターン露光された塗膜を現像する工程と、現像された塗膜を定着する工程とにより、支持体上に所望のパターンを有する補助金属配線21を形成することができる。銀塩法で作製される補助金属配線21は、銀と親水性ポリマーの層である。親水性ポリマーの例としては、ゼラチン、ゼラチン誘導体、カゼイン、寒天、アルギン酸ソーダ、でんぷん、ポリビニルアルコールなどの水溶性ポリマー、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロースなどのセルロースエステル等が例示される。層内には銀や親水性ポリマーのほかにも塗布、現像、定着工程に由来する物質が含まれる。銀塩法で補助配線を形成した後に銅めっきを施して、さらに抵抗の低い補助配線を得る方法も好ましく用いられる。<<アライメントマーク>>補助金属配線21を形成する工程において、後工程で積層する各機能膜やフィルム基板の重ね合せ精度を向上させて集積化密度を高めるため、位置検出用のアライメントマーク28を該金属配線と同時に形成することが好ましい。アライメントマークは、各機能膜の製造装置や印刷装置の画像認識仕様が指定するパターンを適宜形成するが、縞、十字、矩形、円やそれらを組み合わせた幾何学的模様や、記号、文字などが好ましく使用される。<<透明樹脂平坦化層>>透明樹脂31は、補助金属配線21の少なくとも表面と親和性の低いモノマー組成物30が重合されてなるものである。課題を解決するための手段の項において述べたように、補助金属配線21と透明樹脂31との親和性は、補助金属配線21の表面にモノマー組成物30を接触塗布させた際に、表面が濡れずにモノマー組成物30が表面からはじかれる程度低ければ特に制限されない。既に述べたように、モノマー組成物30が、かかる性質を有していれば、その重合体である透明樹脂31は補助金属配線21の良好な平坦化層となりうるが、補助金属配線21の表面のモノマー組成物30に対する接触角が70°以上であることが好ましい。モノマー組成物30の材料選択において、上記のように補助金属配線21との親和性や接触角にて好ましいものを選択する他に、補助金属配線21の表面の水接触角と透明樹脂31の水接触角との差が大きいものを選択してもよい。この場合、水接触角の差は60°以上であることが好ましい。例えば、銀の水接触角は約20°である。従って、補助金属配線21として銀メッシュを用いた場合は、透明樹脂31としては水接触角が80°以上であるものを選択することが好ましい。また、透明樹脂31の表面には、後工程において、導電性樹脂層12が形成される。導電性樹脂層12の形成時に、その下地となる補助電極11透明樹脂31の表面は、その形成方法及び導電性樹脂層12の材料によってはその平滑性が損なわれる可能性がある。例えば、導電性樹脂層12を塗布法により形成する場合は、塗布液に対する透明樹脂31の耐性が低いと成膜時にその表面平滑性が低下する。また、導電性樹脂層12の形成時やその後のアニール処理等により加熱工程を必要とする場合も、透明樹脂31の耐熱性が低いと平滑性を損なう原因となる。従って、透明樹脂31は、耐熱性及び耐溶剤性に優れるものであることが好ましい。また、透明樹脂31の原料となるモノマー組成物30の重合方法は特に制限されないが、光もしくは電子線を用いた光重合が好ましい。従って、透明樹脂31は、光重合性が良好で、透明性が高く、耐熱性及び耐溶剤性に優れるものであることが好ましい。かかる透明樹脂31としては、多官能メタアクリルモノマーを含む組成物を重合してなるものが挙げられる。本明細書において、多官能メタアクリルモノマーとは、2つ以上のメタアクリル基を有するモノマーを意味する。メタアクリルとは、アクリルもしくはメタクリルを意味する。モノマー組成物30中には、モノマーの種類に応じて好適な光重合開始剤を含んでいることが好ましい。光及び電子線の波長は、モノマー及び重合開始剤の種類応じて適宜選択すればよい。また、モノマー組成物30中には、製造工程における照射光波長との関係で増感剤を添加してもよく、補助金属配線21表面との親和性を低下させるための添加剤を適宜含んでいてもよい。多官能メタアクリルモノマーは、重合により架橋構造を形成することができるため、単官能メタアクリルモノマーを用いた場合に比して、耐熱性及び耐溶剤性に優れる透明絶縁層30を形成することができる。ここで、耐溶剤性とは、有機溶剤及びモノマーに対する耐性を意味する。多官能メタアクリルモノマーとしては、特に制限されないが、耐溶剤性、耐熱性の観点からは、メタアクリル基を3つ以上有する以下、3官能以上とするモノマーであることが好ましい。3官能のメタアクリルモノマーとしては、下記トリメチロールプロパントリアクリレートTMPTA及びペンタエリスリトールトリアクリレートPETIAが挙げられる。しかしながらこれらの樹脂の水接触角θcは、TMPTAが約45°、PETIAが約40°と比較的小さく、例えば補助金属配線21として銀メッシュを用いた場合には、親和性が高いため透明樹脂31のモノマーとしては適さない。従って、かかる透明樹脂31は、水接触角θcが充分に大きい表面を有した補助金属配線21を用いる場合に非常に良好な平坦化層となる。例えば、銀メッシュをフッ化チオール等の表面処理液へ浸漬させると、その表面の水接触角は約120°となる。このように表面処理を施した銀メッシュを補助金属配線21として用いれば、TMPTAやPETIAは良好な平坦化層をとなりうる後記実施例3を参照。一方、上記したように、補助金属配線21として、銀メッシュは好ましい材料である。銀メッシュを表面処理することなく用いることができる多官能メタアクリルモノマーとしては、下記1,6ヘキサンジオールジアクリレートθc≒95°が挙げられる2官能。また、ポリエチレングリコールジアクリレートA-6002官能も、θc≒80°であり、銀メッシュを表面処理することなく用いることができる多官能メタアクリルモノマーである。しかしながら、A-600のように、メタアクリル基同士を連結する部分連結鎖に酸素原子を含む構造の多官能メタアクリルモノマーを重合して得られる樹脂は、酸素原子を含まない構造のものに比して形状保持性が低くなる。従って、多官能メタアクリルモノマーとしては、メタアクリル基同士を連結する部分連結鎖に酸素原子を含まない構造を有するものである方が好ましい。上記した以外にも、2官能メタアクリルモノマーとしては、例えば下記の化合物が例示される。また、多官能メタアクリルモノマーを含む組成物30は、その他のビニルモノマーを含んでもよい。多官能メタアクリレートモノマーを含む組成物における多官能メタアクリレートモノマーの組成比は50質量~100質量であることが好ましく、60質量~100質量であることがより好ましく、さらには70質量~100質量であることがより好ましい。ビニルモノマーの例としては、メタアクリレート、メタアクリルアミド、スチレン等が挙げられ、単官能メタアクリルモノマーが好ましい。以下に、単官能メタアクリルモノマーの好ましい具体例を示す。モノマー組成物30は、補助金属配線21の表面との親和性を考慮して適宜選択して調製し、用いればよい。上記のように、透明樹脂31として多官能メタアクリルモノマーを含む組成物30を重合してなる透明樹脂を用いる態様は、かかる樹脂の良好な耐熱性及び耐溶剤性により、後工程のアニール処理等の加熱処理や、透明樹脂上に成膜される物質による平滑性への悪影響をも抑制することができる。後工程の導電性樹脂層12の形成前及び形成時形成中に、補助電極11において透明樹脂31が補助金属配線21から盛り上がっている状態となっていたり、透明樹脂31によって補助金属配線21の開口部が埋められていない場合、平坦化されていない部分に段差が生じる。この段差があるとその部分の導電性樹脂層12は厚みが薄くなるために、有機薄膜太陽電池等に用いる場合、段差の角部で上部電極との短絡が生じやすくなり、変換効率にも悪影響を及ぼす。上記のように、透明導電フィルム1では、補助電極11の平坦性を良好にすることができるため、導電性樹脂層12の膜厚の均一性を良好にし、太陽電池等の素子における短絡を生じにくくすることができる。透明樹脂31と補助金属配線21の上部は段差がなく面一となっていることが好ましいが、上に形成する導電性樹脂層12の平坦性が確保できる程度の段差は許容される。透明樹脂31と補助金属配線21の上部との段差は10μm以下であることが好ましく、より好ましくは1μm以下であることが好ましく、さらには0.2μm以下であることが好ましい。<<導電性樹脂層12>>導電性樹脂層12は、光透過性を有する各種導電材料から選ばれる。光透過性を有する導電材料としては、透明導電性ポリマーやITO酸化インジウムスズ等が挙げられるが、可撓性に優れることから導電性ポリマーを主成分とする層であることが好ましい。下部電極に好適な導電性ポリマー層は、特願2010-181078号本出願時において未公開に詳細が開示されている。導電性樹脂層12の形成方法は特に制限されないが、例えば、水系塗布法等を採用することができる。以上のように、透明導電フィルム1は構成されている。透明導電フィルム1は、複数の開口部20を有する補助金属配線21と、開口部20に充填された、補助金属配線21の少なくとも表面と親和性の低いモノマー組成物30を重合してなる透明樹脂31とを備えた補助電極11を備えている。かかるモノマー組成物30は、支持体10上に、補助金属配線21を形成した後に、開口部20と補助金属配線21の上から塗布されるだけで、良好に補助金属配線21を露出させて開口部20に充填される。従って、本実施形態によれば、非常に容易なプロセスにて、補助金属配線21の開口部20に透明な平坦化層31を形成することができ、すなわち、導電性、光透過性、および平滑性のいずれもが良好である透明導電フィルム1を容易なプロセスにて提供することができる。また、透明樹脂31として多官能メタアクリルモノマーを含む組成物30を重合してなる透明樹脂31を用いる態様は、かかる樹脂の良好な耐熱性及び耐溶剤性により、後工程のアニール処理等の加熱処理や、透明樹脂31上に成膜される物質による平滑性への悪影響をも抑制することができる。<有機薄膜太陽電池>透明導電フィルム1は、有機薄膜太陽電池等の透明電極として好適に用いることができる。その一実施形態としては、図4に示される、支持体10と、透明導電フィルム1正極と、有機材料を含む光電変換層22と、上部電極24負極とをこの順に積層してなる光電変換素子を備えた態様が挙げられる。なお、図4において図1中の構成要素と同等の構成要素には同番号を付し、それらについての説明は特に必要のない限り省略している。以下、正極として透明導電フィルム1を備えた有機薄膜太陽電池2の好適な態様について、透明導電フィルム1以外の構成について述べる。<支持体>支持体については、上記したとおりであり、透明フィルム基板であることが好ましい。<光電変換層>光電変換層22は、太陽光を受けて励起子電子-正孔対を生成した後に、その励起子が電子と正孔に解離して、電子が負極側へ、正孔が正極側へ、輸送されるという光電変換過程が高効率で発現する材料から選択して構成される。有機薄膜太陽電池とする場合は、有機材料からなる電子供与領域ドナーを含む光電変換層22を形成し、変換効率の観点から、バルクへテロ接合型の光電変換層適宜、バルクへテロ層という。が好ましく適用される。バルクヘテロ層は電子供与材料ドナーと電子受容材料アクセプターが混合された有機の光電変換層である。電子供与材料と電子受容材料の混合比は変換効率が最も高くなるように調整されるが、通常は、質量比で、10:90~90:10の範囲から選ばれる。このような混合層の形成方法は、例えば、共蒸着法が用いられる。あるいは、両方の有機材料に共通する溶媒を用いて溶剤塗布することによって作製することも可能である。バルクヘテロ層の膜厚は10~500nmが好ましく、20~300nmが特に好ましい。電子供与材料ドナー又は正孔輸送材料ともいう。は、その最高被占軌道HOMO準位が4.5~6.0eVのπ電子共役系化合物であり、具体的には、各種のアレーン例えば、チオフェン、カルバゾール、フルオレン、シラフルオレン、チエノピラジン、チエノベンゾチオフェン、ジチエノシロール、キノキサリン、ベンゾチアジアゾール、チエノチオフェンなどをカップリングさせた共役系ポリマー、フェニレンビニレン系ポリマー、ポルフィリン類、フタロシアニン類等が例示される。このほか、ケミカルレビュー第107巻、953~1010頁2007年にHole-TransportingMaterialsとして記載されている化合物群やジャーナルオブジアメリカンケミカルソサエティー第131巻、16048頁2009年に記載のポルフィリン誘導体も適用可能である。これらの中では、チオフェン、カルバゾール、フルオレン、シラフルオレン、チエノピラジン、チエノベンゾチオフェン、ジチエノシロール、キノキサリン、ベンゾチアジアゾール、チエノチオフェンからなる群より選ばれた構成単位をカップリングさせた共役系ポリマーが特に好ましい。具体例としてはポリ-3-ヘキシルチオフェンP3HT、ポリ-3-オクチルチオフェンP3OT、ジャーナルオブジアメリカンケミカルソサエティー第130巻、3020頁2008年に記載の各種ポリチオフェン誘導体、アドバンストマテリアルズ第19巻、2295頁2007年に記載のPCTBT、ジャーナルオブジアメリカンケミカルソサエティー第130巻、732頁2008年に記載のPCDTQx、PCDTPP、PCDTPT、PCDTBX、PCDTPX、ネイチャーフォトニクス第3巻、649頁2009年に記載のPBDTTT-E、PBDTTT-C、PBDTTT-CF、アドバンストマテリアルズ第22巻、E135~E138頁2010年に記載のPTB7等が挙げられる。電子受容材料アクセプター又は電子輸送材料ともいう。は、その最低空軌道LUMO準位が3.5~4.5eVであるようなπ電子共役系化合物であり、具体的にはフラーレンおよびその誘導体、フェニレンビニレン系ポリマー、ナフタレンテトラカルボン酸イミド誘導体、ペリレンテトラカルボン酸イミド誘導体等が挙げられる。これらの中では、フラーレン誘導体が好ましい。フラーレン誘導体の具体例としてはC60、フェニル-C61-酪酸メチルエステル文献等でPCBM、60PCBM、あるいはPC61BMと称されるフラーレン誘導体、C70、フェニル-C71-酪酸メチルエステル多くの文献等でPCBM、70PCBM、あるいはPC71BMと称されるフラーレン誘導体、およびアドバンストファンクショナルマテリアルズ第19巻、779~788頁2009年に記載のフラーレン誘導体、ジャーナルオブジアメリカケミカルソサエティー第131巻、16048頁2009年に記載のフラーレン誘導体SIMEF等が挙げられる。<電子輸送層>必要に応じて、光電変換層バルクヘテロ層22と負極の間に電子輸送材料からなる電子輸送層を設置しても良い。電子輸送層に用いることのできる電子輸送材料としては、前記の光電変換層で挙げた電子受容材料および、ケミカルレビュー第107巻、953~1010頁2007年にElectron-TransportingandHole-BlockingMaterialsとして記載されているものが挙げられる。各種金属酸化物も安定性が高い電子輸送層の材料として好ましく利用され、例えば、酸化リチウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ストロンチウム、酸化ニオブ、酸化ルテニウム、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化バリウムが挙げられる。これらのうち比較的に安定な酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化亜鉛がより好ましい。電子輸送層の膜厚は0.1~500nmであり、好ましくは0.5~300nmである。電子輸送層は、塗布などによる湿式製膜法、蒸着やスパッタ等のPVD法による乾式製膜法、転写法、印刷法など、いずれによっても好適に形成することができる。<上部電極負極>上部電極24を構成する材料としては、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。上部電極24が負極として機能する場合は、マグネシウム、アルミニウム、カルシウム、チタン、クロム、マンガン、鉄、銅、亜鉛、ストロンチウム、銀、インジウム、錫、バリウム、ビスマスなどの金属やこれらの合金が好ましく用いられる。上部電極が正極として機能する場合は、コバルト、ニッケル、銅、モリブデン、パラジウム、銀、タンタル、タングステン、白金、金などの金属やこれらの合金、TCO,導電性ポリマーが好ましく用いられる。これらは、1種のみで使用しても、2種以上を混合または積層してもよい。上部電極24の形成方法については、特に制限はなく、公知の方法に従って行うことできる。例えば、塗布や印刷による湿式製膜法、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法等のPVD法や各種化学的気相製膜法CVD法による乾式製膜法などの中から、前記した構成材料との適性を考慮して適宜選択した方法に従って形成することができる。上部電極24をパターニングする場合は、フォトリソグラフィなどによる化学的エッチングによって行ってもよいし、レーザなどによる物理的エッチングによって行ってもよく、シャドウマスクを重ねて真空蒸着やスパッタ等を行ってもよいし、リフトオフ法や印刷法によって行ってもよい。また、上部電極24と半導体層との間に、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の弗化物、酸化物等による誘電体層を0.1~5nmの厚みで挿入してもよい。この誘電体層は、一種の電子注入層と見ることもできる。誘電体層は、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法等のPVD法により形成することができる。上部電極24の厚みは、その構成材料により適宜選択することができ、一概に規定することはできないが、導電性の観点から、通常、0.01μm~10μm程度であり、0.05μm~1μmが好ましい。<その他の半導体層>必要に応じて、正孔注入層、正孔輸送層、電子阻止層、電子注入層、正孔阻止層、励起子拡散防止層等の補助層を有していてもよい。なお、本明細書において、透明導電フィルム1と上部電極24の間に形成された、バルクヘテロ層、正孔注入層、正孔輸送層、電子阻止層、電子注入層、電子輸送層、正孔阻止層、励起子拡散防止層など、電子や正孔を輸送する層の総称として半導体層の言葉を用いる。有機薄膜太陽電池2は、上記半導体層の結晶化やバルクヘテロ層の相分離促進を目的として、種々の方法でアニールしてもよい。アニールの方法としては、蒸着中の基板温度を50°C~150°Cに加熱する方法や、塗布後の乾燥温度を50°C~150°Cとする方法などがある。また、第二電極の形成が終了したのちに50°C~150°Cに加熱してアニールしてもよい。<保護層>有機薄膜太陽電池2は、保護層によって保護されていてもよい。保護層の材料としては、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化珪素SiOx、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム等の金属酸化物、窒化珪素SiNx等の金属窒化物、窒化酸化珪素SiOxNy等の金属窒化酸化物金属酸化窒化物、弗化リチウム、弗化マグネシウム、弗化アルミニウム、弗化カルシウム等の金属弗化物、ダイヤモンド状炭素DLC、などの無機材料が挙げられる。また、有機材料としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ弗化ビニリデン、ポリパラキシリレン、ポリビニルアルコール等のポリマーが挙げられる。これらのうち、金属の酸化物、窒化物、窒化酸化物やDLCが好ましく、珪素、アルミニウムの酸化物、窒化物、窒化酸化物が特に好ましい。保護層は単層でも多層構成であっても良い。保護層の形成方法については、特に限定はなく、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、MBE分子線エピタキシ法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法などのPVD法や、原子層堆積法ALD法またはALE法を含む各種CVD法、塗布法、印刷法、転写法を適用できる。<ガスバリア層>水分子や酸素分子など活性因子の浸透を阻止する目的の保護層を特にガスバリア層ともいい、有機薄膜太陽電池はガスバリア層を有することが好ましい。ガスバリア層は、水分子や酸素分子等の活性因子を遮断する層であれば、特に制限はないが、保護層として先に例示した材料が通常利用される。これらは純物質でもよいし、複数組成からなる混合物や傾斜組成でもよい。これらのうち、珪素、アルミニウムの酸化物、窒化物、窒化酸化物が好ましい。ガスバリア層は単層でも、複数層でも良い。有機材料層と無機材料層の積層でも良く、複数の無機材料層と複数の有機材料層の交互積層でも良い。有機材料層は平滑性があれば特に制限はないが、メタアクリレートの重合物からなる層などが好ましく例示される。無機材料層は、上述の保護層材料が好ましく、珪素、アルミニウムの酸化物、窒化物、窒化酸化物が特に好ましい。無機材料層の厚みに関しては特に限定されないが、1層に付き、通常は5~500nmであり、好ましくは10~200nmである。無機材料層は複数のサブレイヤーから成る積層構造であってもよい。この場合、各サブレイヤーが同じ組成であっても異なる組成であってもよい。また、米国特許出願公開2004/0046497号明細書に開示してあるようにポリマーからなる有機材料層との界面が明確で無く、組成が膜厚方向で連続的に変化する層であってもよい。<封止フィルム>ガスバリア層をプラスチックフィルム基板上にあらかじめ形成したものを本発明では封止フィルムと表現している。有機光電変換素子からなる太陽電池を形成した後に、封止フィルムを公知の接着剤やシーラントで貼り合せる製造方法が、該太陽電池の製造工程数を削減できるので好ましく使用されている。特に、太陽電池の支持体10がプラスチックフィルムからなる場合は、支持体の裏面下部電極を形成しない面側からも水分子や酸素分子などの活性分子が浸透するので、該太陽電池の両面に封止フィルムを貼り合せるラミネートすることが好ましい。<機能性層>支持体10の裏面側下部電極を形成しない面側には機能性層を設けてもよい。例えば、ガスバリア層、マット剤層、反射防止層、ハードコート層、防曇層、防汚層、易接着層等が挙げられる。このほか、機能性層に関しては特開2006-289627号公報の段落番号0036~0038に詳しく記載されており、ここに記載の機能性層を目的に応じて設けてもよい。有機薄膜太陽電池2の厚さは特に限定されないが、光透過性を有する有機薄膜太陽電池とする場合は、50μm~1mmであることが好ましく、100μm~500μmであることがより好ましい。上記のように、透明導電フィルム1は、導電性、光透過性、および平滑性のいずれもが良好である。従って透明導電フィルム1を正極として備えた本発明の光電変換素子は、上部電極24負極との短絡故障の発生が抑制され、変換効率の優れたものとなる。なお、上記では、最も単純な構造の有機薄膜太陽電池2について説明したが、透明導電フィルム1は、複数の光電変換層を積層した、いわゆるタンデム型構成の有機薄膜太陽電池等、種々の態様の有機薄膜太陽電池にも適用可能である。タンデム型素子の場合は直列接続型であっても、並列接続型であってもよい。本発明に係る実施例及び比較例について説明する。実施例1<補助金属配線の形成>支持体としてポリエチレンナフタレートPENフィルム100μm厚、50mm角を用意し、一表面に、補助金属配線として、0.01mm幅、0.2mmピッチ、2μm厚の正方格子状の補助銀配線を形成した。補助銀配線の形成方法は、以下の通りとした。[ハロゲン化銀乳剤の調製]反応容器内で下記溶液Aを34°Cに保ち、特開昭62-160128号公報記載の混合撹拌装置を用いて高速に撹拌しながら、硝酸濃度6を用いて水素イオン濃度pHを2.95に調整した。引き続き、ダブルジェット法を用いて下記溶液Bと下記溶液Cを一定の流量で8分6秒間かけて添加した。添加終了後に、炭酸ナトリウム濃度5を用いてpHを5.90に調整し、続いて下記溶液Dと溶液Eを添加した。溶液Aアルカリ処理不活性ゼラチン平均分子量10万18.7g塩化ナトリウム0.31g溶液I下記1.59cm3純水1,246cm3溶液B硝酸銀169.9g硝酸濃度65.89cm3純水にて全量を317.1cm3とした。溶液Cアルカリ処理不活性ゼラチン平均分子量10万5.66g塩化ナトリウム58.8g臭化カリウム13.3g溶液I下記0.85cm3溶液II下記2.72cm3純水にて全量を317.1cm3とした。溶液D2-メチル-4ヒドロキシ-1,3,3a,7-テトラアザインデン0.56g純水112.1cm3溶液Eアルカリ処理不活性ゼラチン平均分子量10万3.96g溶液I下記0.40cm3純水128.5cm3溶液Iポリイソプロピレンポリエチレンオキシジ琥珀酸エステルナトリウム塩の10質量メタノール溶液溶液II六塩化ロジウム錯体の10質量水溶液上記操作終了後に、常法に従い40°Cにてフロキュレーション法を用いて脱塩及び水洗処理を施し、溶液Fと防黴剤を加えて60°Cでよく分散し、40°CにてpHを5.90に調整して、最終的に臭化銀を10mol含む平均粒子径0.09μm、変動係数10の塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。溶液Fアルカリ処理不活性ゼラチン平均分子量10万16.5g純水139.8cm3上記塩臭化銀立方体粒子乳剤に対し、チオ硫酸ナトリウムをハロゲン化銀1mol当たり20mg用い、40°Cにて80分間化学増感を行い、化学増感終了後に4-ヒドロキシ-6-メチル-1,3,3a,7-テトラザインデンTAIをハロゲン化銀1mol当たり500mg、1-フェニル-5-メルカプトテトラゾールをハロゲン化銀1mol当たり150mg添加して、ハロゲン化銀乳剤を得た。このハロゲン化銀乳剤のハロゲン化銀粒子とゼラチンの体積比ハロゲン化銀粒子/ゼラチンは0.625であった。[塗布]さらに硬膜剤としてテトラキスビニルスルホニルメチルメタンをゼラチン1g当たり200mgの比率となるようにして添加し、また塗布助剤界面活性剤として、スルホ琥珀酸ジ2-エチルヘキシルナトリウムを添加し、表面張力を調整した。こうして得られた塗布液を、銀換算の目付け量が0.625gm-2となるように、下塗り層を施したPENフィルム基板支持体上に塗布した後、50°C24時間のキュア処理を実施して感光材料を得た。[露光]得られた感光材料を、メッシュパターンのフォトマスク線幅0.01mm、ピッチ0.2mmを介して紫外線露光した。[化学現像]露光した感光材料を、下記現像液DEV-1を用いて25°Cで60秒間の現像処理を行った後、下記定着液FIX-1を用いて25°Cで120秒間の定着処理を行った。DEV-1純水500cm3メトール2g無水亜硫酸ナトリウム80gハイドロキノン4gホウ砂4gチオ硫酸ナトリウム10g臭化カリウム0.5g水を加えて全量を1000cm3とした。FIX-1純水750cm3チオ硫酸ナトリウム250g無水亜硫酸ナトリウム15g氷酢酸15cm3カリミョウバン15g水を加えて全量を1000cm3とした。[物理現像]次に、下記物理現像液PDEV-1を用いて30°Cで10分間物理現像を行った後、水道水で10分間洗い流して水洗処理を行った。PDEV-1純水900cm3クエン酸10gクエン酸三ナトリウム1gアンモニア水281.5gハイドロキノン2.3g硝酸銀0.23g水を加えて全量を1000cm3とした。[電解めっき]物理現像処理の後に、下記電解めっき液を用いて25°Cで電解銅めっき処理を施した後、水洗、乾燥処理を行った。なお電解銅めっきにおける電流制御は3Aで1分間、次いで1Aで12分間、計13分間かけて実施した。めっき処理終了後に、水道水で10分間洗い流して水洗処理を行い、乾燥風50°Cを用いてドライ状態になるまで乾燥した。電解めっき液硫酸銅五水和物200g硫酸50g塩化ナトリウム0.1g水を加えて全量を1000cm3とした。<透明樹脂の形成>以上のようにして補助銀配線を形成した後、光重合開始剤Lamberti製、EsacureKTO46を添加した1,6ヘキサンジオールジアクリレート新中村化学製の2‐アセトキシ‐1‐メトキシプロパンPGMEA溶液モノマー組成物を回転塗布して補助銀配線の開口部を充填した。このとき、補助銀配線の上部表面には若干の塗液が付着している状態であった。次に、塗布膜全面に対して紫外線波長365nm照射して塗布膜を重合させて透明樹脂平坦化層を形成して、補助銀配線と透明樹脂を備えた補助電極を形成した。得られた補助電極は、補助銀配線の上部表面が良好に露出され、且つ、平坦性が良好なものであった。その後、この補助電極上に、ジメチルスルホキシドDMSOを添加したポリエチレンジオキシチオフェン‐ポリスチレンスルホン酸水溶液PEDOT-PSS:H.C.StarckClevios製、CleviosPH500以下ではPEDOT-PSS水溶液Iと略記する。を回転塗布し、100°Cで20分間加熱処理して導電性樹脂層膜厚0.2μmを形成した。これにより、PEN支持体上形成された透明導電フィルムを得た。得られた透明導電フィルムの表面導電性を確認したところ、良好な導電性が確認された。次に、別組成のPEDOT-PSS水溶液H.C.StarckClevios製、CleviosPVP.AI4083以下ではPEDOT-PSS水溶液IIと略記する。を透明導電フィルム上に回転塗布し、100°Cで20分間加熱処理した。これにより正孔輸送層膜厚0.04μmを形成した。電子供与材料としてP3HTMerck製、lisiconSP001、及び、電子受容材料としてPC61BMフロンティアカーボン製、nanomspectraE100Hをクロロベンゼンに溶解させた組成物を、乾燥窒素雰囲気で正孔輸送層上に回転塗布し、110°Cで20分間加熱処理した。これによりバルクヘテロ接合型の光電変換層膜厚0.2μmを形成した。光電変換層上に、弗化リチウム膜厚1nmとアルミニウム膜厚0.4μmを連続して真空蒸着して上部電極負極を形成して有機薄膜太陽電池を得た。上部電極形成時、素子面積が1.1cm2となるようにシャドウマスクを用いた。上記のようにして得られた有機薄膜太陽電池について、PENフィルム支持体の裏面透明導電フィルムを形成しない面側から擬似太陽光を80mWcm-2照射して変換効率を測定した。具体的には、有機薄膜太陽電池へキセノンランプNewport製96000にエアマスフィルタNewport製84094を組合せた光源を照射しながら、ソースメータKeithleyInstruments製Model2400により電圧を印加して電流値を測定した。得られた電流-電圧特性からPeccellI-VCurveAnalyzerペクセルテクノロジーズ製ver.2.1を用いて変換効率を算出した。得られた変換効率は2.5であった。実施例2モノマーとして、ポリエチレングリコールジアクリレートA-600:新中村化学工業製を用いた以外は実施例1と同様にして透明導電フィルム及び有機薄膜太陽電池を作製した。得られた透明導電フィルムの表面導電性は良好であり、太陽電池の変換効率は1.6であった。実施例3実施例1と同様の補助銀配線に表面処理を施して表面濡れ性を変化させたものを補助金属配線とし、モノマーとして、トリメチロールプロパントリアクリレートTMPTA:共栄社化学製を用い、透明導電層の成膜以降の条件は実施例1と同様にして透明導電フィルム及び有機薄膜太陽電池を作製した。表面処理は、支持体ごと0.1mMフッ化チオール溶液HS11O5CF3アルテック株式会社製FO001シリーズに1時間浸漬した後、エタノールで洗浄し、室温で乾燥させることにより行った。かかるフッ化チオール溶液は、自己組織化単分子膜を形成しやすいことから、表面処理剤として好適である。また、補助電極形成後、支持体ごと、12wt硫酸と5wt過酸化水素水に30秒浸漬させて表面処理剤を除去した後に透明導電層の成膜を行った。その結果、得られた透明導電フィルムの表面導電性は良好であり、太陽電池の変換効率は2.7であった。比較例1モノマーとして、TMPTAを用いた以外は実施例1と同様にして透明導電フィルムを作製した。この例では、まず、TMPTAを含むモノマー組成物を補助銀配線上に塗布した段階で、補助銀配線の上面のほぼ全体がモノマー組成物により濡れていることが確認された。また、得られた透明導電フィルムにおいても表面導電性は確認されなかった。透明導電フィルムの断面観察をSEM走査型電子顕微鏡により行ったところ、TMPTAが、補助銀配線の上面の表面全体を被覆してしまっていることが確認された。比較例2モノマーとして、ペンタエリスリトールトリアクリレートPETIA:ダイセルサイテック製を用いた以外は実施例1と同様にして透明導電フィルムを作製した。この例においても、比較例1と同様、PETIAを含むモノマー組成物を補助銀配線上に塗布した段階で、補助銀配線の上面のほぼ全体がモノマー組成物により濡れていることが確認された。また、得られた透明導電フィルムにおいても表面導電性は確認されなかった。比較例1と同様にしての断面観察を行ったところ、PETIAが、補助銀配線の上面の表面全体を被覆してしまっていることが確認された。評価上記実施例1~3及び比較例1~2の各例における材料の組み合わせと接触角値、及び評価結果を表1に示す。表中の接触角は、補助金属配線の表面又は透明樹脂の構成材料を平坦な基板上に成膜し、成膜された膜に対する水の接触角である。表1に示されるように、本発明の有効性が確認された。"