"物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、前記第1レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、前記回折光学素子は、前記第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、前記第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとし、前記第2レンズ群の焦点距離をf2とし、全系の焦点距離をfとしたとき、次式ΦDOE/Φmax<0.760.65<-f2/f<2.0の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分を有し、物体から前記第1レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をd0とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をLとしたとき、次式0.1<d0/L<0.6の条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の焦点距離をf11としたとき、次式1.2<f11/f<19.0の条件を満足することを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群の焦点距離をf1としたとき、次式0.5≦f1/f≦3.5の条件を満足することを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第2レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。主光線と光軸との交わる位置が、前記第2レンズ群の前記最も像側のレンズ面よりも物体側にあることを特徴とする請求項5に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群は、少なくとも1つ以上の接合正レンズを含むことを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群中の少なくとも1つ以上の接合正レンズは、当該接合正レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd1としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも1つが、次式Δνd1>40の条件を満足することを特徴とする請求項7に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第2レンズ群は、少なくとも1つ以上の接合負レンズを含むことを特徴とする請求項1~8のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第2レンズ群中の少なくとも1つ以上の接合負レンズは、当該接合負レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd2としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも1つが、次式Δνd2>30の条件を満足する請求項9に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群の最も物体側のレンズ面のマージナル光線高をHとし、前記第1レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の軸上レンズ厚をd11としたとき、次式2<H/d11<3.6の条件を満足することを特徴とする請求項1~10のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群の最も物体側のレンズ面は、物体側に凹面を向けて配置されていることを特徴とする請求項1~11のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。前記第1レンズ群の最も物体側に配置されたレンズの媒質のd線に対する屈折率をn1とし、当該レンズの前記最も物体側のレンズ面の曲率半径をrとして、当該レンズの前記最も物体側のレンズ面のパワーφを、次式φ=n1-1/rで定義し、前記最も物体側に配置されたレンズの前記最も物体側のレンズ面の有効半径をH1としたとき、次式0.05≦|φ×H1|≦0.35の条件を満足することを特徴とする請求項1~12のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、前記第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、前記回折光学素子は、前記第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、物体から前記第1レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をd0とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をLとし、前記第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式0.3<d0/L<0.6ΦDOE/Φmax<0.76の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、前記第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、前記回折光学素子は、前記第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、前記第1レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の焦点距離をf11とし、全系の焦点距離をfとし、前記第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式2<f11/f<10.0ΦDOE/Φmax<0.5の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、前記第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、前記回折光学素子は、前記第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、前記第1レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の焦点距離をf11とし、全系の焦点距離をfとし、前記第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式1.2<f11/f<6.0又は15.0<f11/f<19.0ΦDOE/Φmax<0.76の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、前記第1レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、前記回折光学素子は、前記第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、前記第1レンズ群の焦点距離をf1とし、全系の焦点距離をfとし、前記第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式0.5≦f1/f≦3.0ΦDOE/Φmax<0.76の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。しかしながら、このような回折光学素子を用いたレンズ系では、軸上と軸外の色収差のバランスを取る必要があり、回折光学素子の配置には工夫が必要となる。本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、軸上と軸外の色収差が十分に補正され、且つ、作動距離が長い顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。前記課題を解決するために、第1の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、第1レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、回折光学素子は、第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとし、第2レンズ群の焦点距離をf2とし、全系の焦点距離をfとしたとき、次式ΦDOE/Φmax<0.760.65<-f2/f<2.0の条件を満足することを特徴とする。このような顕微鏡対物レンズにおいて、第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分を有し、物体から第1レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をd0とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をLとしたとき、次式0.1<d0/L<0.6の条件を満足することが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズは、第1レンズ群の最も物体側のレンズ成分の焦点距離をf11としたとき、次式1.2<f11/f<19.0の条件を満足することが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズは、第1レンズ群の焦点距離をf1としたとき、次式0.5≦f1/f≦3.5の条件を満足することが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズは、第2レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されていることが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズは、主光線と光軸との交わる位置が、第2レンズ群の最も像側のレンズ面よりも物体側にあることが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第1レンズ群は、少なくとも1つ以上の接合正レンズを含むことが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第1レンズ群中の少なくとも1つ以上の接合正レンズは、当該接合正レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd1としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも1つが、次式Δνd1>40の条件を満足することが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第2レンズ群は、少なくとも1つ以上の接合負レンズを含むことが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第2レンズ群中の少なくとも1つ以上の接合負レンズは、当該接合負レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd2としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも1つが、次式Δνd2>30の条件を満足することが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズは、第1レンズ群の最も物体側のレンズ面のマージナル光線高をHとし、第1レンズ群の最も物体側のレンズ成分の軸上レンズ厚をd11としたとき、次式2<H/d11<3.6の条件を満足することが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第1レンズ群の最も物体側のレンズ面は、物体側に凹面を向けて配置されていることが好ましい。また、このような顕微鏡対物レンズは、第1レンズ群の最も物体側に配置されたレンズの媒質のd線に対する屈折率をn1とし、当該レンズの最も物体側のレンズ面の曲率半径をrとして、当該レンズの最も物体側のレンズ面のパワーφを、次式φ=n1-1/rで定義し、最も物体側に配置されたレンズの最も物体側のレンズ面の有効半径をH1としたとき、次式0.05≦|φ×H1|≦0.35の条件を満足することが好ましい。また、第2の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、回折光学素子は、第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、物体から第1レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をd0とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をLとし、第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式0.3<d0/L<0.6ΦDOE/Φmax<0.76の条件を満足することを特徴とする。また、第3の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、回折光学素子は、第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第1レンズ群の最も物体側のレンズ成分の焦点距離をf11とし、全系の焦点距離をfとし、第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式2<f11/f<10.0ΦDOE/Φmax<0.5の条件を満足することを特徴とする。また、第4の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、第1レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、回折光学素子は、第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第1レンズ群の最も物体側のレンズ成分の焦点距離をf11とし、全系の焦点距離をfとし、第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式1.2<f11/f<6.0又は15.0<f11/f<19.0ΦDOE/Φmax<0.76の条件を満足することを特徴とする。また、第5の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、第1レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、回折光学素子は、第1レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第1レンズ群の焦点距離をf1とし、全系の焦点距離をfとし、第1レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式0.5≦f1/f≦3.0ΦDOE/Φmax<0.76の条件を満足することを特徴とする。本発明に係る顕微鏡対物レンズを以上のように構成すると、軸上と軸外の色収差が十分に補正され、且つ、作動距離の長い顕微鏡対物レンズを提供することができる。以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1を用いて、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズの構成について説明する。この顕微鏡対物レンズOLは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有して構成される。このような顕微鏡対物レンズOLにおいて、第1レンズ群G1は、物体からの発散光束を集光して収斂光束にするためのレンズ群である。そのため、この顕微鏡対物レンズOLは、最も物体側に、正の屈折力を有するレンズ成分例えば、図1における正メニスカスレンズL1であって、以下第1レンズ成分L1と呼ぶを有して構成される。また、この顕微鏡対物レンズOLの第1レンズ群G1は、色収差を補正するために、回折光学素子GDを有している。ここで、回折光学素子GDは、第1レンズ群G1を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置されている。また、第1レンズ群G1は色収差を補正するために、少なくとも1枚の接合正レンズを有しており、この接合正レンズの少なくとも1つは、当該回折光学素子GDよりも物体側に配置されている。なお、第1レンズ成分L1は、単レンズで構成しても良いし、接合レンズで構成しても良い。回折光学素子GDは、1mmあたり数本から数百本の細かい溝状またはスリット状の格子構造が同心円状に形成された回折光学面Dを備え、この回折光学面Dに入射した光を格子ピッチ回折格子溝の間隔と入射光の波長とによって定まる方向へ回折する性質を有している。また、回折光学素子GD回折光学面Dは、負の分散値後述する実施例ではアッベ数=-3.453を有し、分散が大きく、また異常分散性後述する実施例では部分分散比ng-nF/nF-nC=0.2956が強いため、強力な色収差補正能力を有している。光学ガラスのアッベ数は、通常30~80程度であるが、上述のように回折光学素子のアッベ数は負の値を持っている。換言すると、回折光学素子GDの回折光学面Dは分散特性が通常のガラス屈折光学素子とは逆で光の波長が短くなるに伴い屈折率が小さくなり、長い波長の光ほど大きく曲がる性質を有している。そのため、通常の屈折光学素子と組み合わせることにより、大きな色消し効果が得られる。したがって回折光学素子GDを利用することで、通常の光学ガラスでは達し得ない良好な色収差の補正が可能になる。本実施の形態における回折光学素子GDは、異なる光学材料からなる2つの回折素子要素例えば、図1の場合、光学部材L7,L8を接合し、その接合面に回折格子溝を設けて回折光学面Dを構成している、いわゆる密着複層型回折光学素子である。そのため、この回折光学素子GDは、g線からC線を含む広波長域において回折効率を高くすることができる。したがって、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズOLは広波長域において利用することが可能となる。なお、回折効率は、透過型の回折光学素子において1次回折光を利用する場合、入射強度I0と一次回折光の強度I1との割合η=I1/I0×100[]を示す。また、密着複層型回折光学素子は、回折格子溝が形成された2つの回折素子要素をこの回折格子溝同士が対向するように近接配置してなるいわゆる分離複層型回折光学素子に比べて製造工程を簡素化することができるため、量産効率がよく、また光線の入射角に対する回折効率が良いという長所を備えている。したがって、密着複層型回折光学素子を利用した本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズOLでは、製造が容易となり、また回折効率も良くなる。ここで、第1レンズ群G1を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学素子GDの回折光学面D図1における第15面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、この顕微鏡対物レンズOLは、次の条件式1を満足することが望ましい。ΦDOE/Φmax<0.761条件式1は、回折光学素子GDの回折光学面Dを通過する光線の最大有効径の条件を示している。有効径の大きいところに回折光学素子GD回折光学面Dが配置されると、高次の球面収差やコマ収差が発生してしまうため、この条件式1を満足する必要がある。なお、条件式1の上限値を0.5にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。第2レンズ群G2は、第1レンズ群G1を出射した収斂光束を略平行光束にするレンズ群である。この第2レンズ群G2は、色収差を補正するために、少なくとも1枚の接合負レンズ例えば、図1における接合負レンズCL21を有して構成されている。また、この第2レンズ群G2の最も像側のレンズ面例えば、図1における第24面は、像側に凹面を向けて配置されている。第2レンズ群G2へ入射する光束は、第1レンズ群G1が正の屈折力を持っているため収斂光束となっている。第2レンズ群G2は、かかる収斂光束を受け、球面収差やコマ収差の発生を抑えつつ平行光束に変換することが大切である。そのため、この第2レンズ群G2の最も像側のレンズ面は、第2レンズ群G2の負の屈折力の多くの部分を担う面であり、この面を像側に凹の面で構成することにより、収斂光線の当該最終面に対する入射角を小さく構成でき、特に高次のコマ収差等の発生を的確に抑えることが可能となる。また、この顕微鏡対物レンズOLは、第2レンズ群G2の焦点距離をf2とし、この顕微鏡対物レンズOLの全系の焦点距離をfとしたとき、次の条件式2を満足することが望ましい。0.65<-f2/f<2.02条件式2は、第2レンズ群G2の焦点距離を規定するものである。この条件式2の下限値を下回るほど第2レンズ群G2の焦点距離f2が短くなると、この第2レンズ群G2の各レンズ面の曲率が強くなりすぎ、高次のコマ収差色のコマ収差が発生してしまい補正が困難となる。反対に、条件式2の上限値を上回るほど第2レンズ群G2の焦点距離f2が長くなると、第2レンズ群G2の屈折力が小さくなるため、像面湾曲やコマ収差の補正不足となってしまう。また、この顕微鏡対物レンズOLは、主光線と光軸との交わる位置が、第2レンズ群G2の最も像側のレンズ面例えば、図1の場合第24面よりも物体側にあると、この第2レンズ群G2により像面湾曲及びコマ収差を良好に補正することができる。但し、この図1の顕微鏡レンズOLにおいて、軸外物点から発する光束の主光線を、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数NAの光線と第1レンズ群G1内の適宜のレンズ面例えば、図1においては、レンズL1の像側の面第2面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第2レンズ群G2内の適宜のレンズ面例えば、図1においては、レンズL14の物体側の面第21面との交点で制限し、軸外光束を決め、当該軸外光束の中心光線として決めている。また、この顕微鏡対物レンズOLは、物体O顕微鏡対物レンズOLの物体側焦点面から第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ面例えば、図1における第1面までの光軸上の距離をd0とし、物体Oから全系の最も像側のレンズ面例えば、図1における第24面までの光軸上の距離をLとしたとき、次の条件式3を満足することが望ましい。0.1<d0/L<0.63条件式3は、本実施形態に係る顕微鏡対物レンズOLの作動距離を規定するものである。この条件式3の下限値を下回ると、顕微鏡対物レンズOLと物体Oとの距離が狭くなりすぎ、この顕微鏡対物レンズOLを備える顕微鏡装置の操作性が悪くなるの好ましくない。なお、条件式3の下限値を0.3にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。反対に、条件式3の上限値を上回ると、レンズ部分の取りうるスペースすなわち、この顕微鏡対物レンズOLの最も物体側の面から最も像側の面までのスペースが不十分となり、配置できるレンズの枚数や厚さが制限されてしまい球面収差や色収差を補正することが困難となる。また、この顕微鏡対物レンズOLは、第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ成分である第1レンズ成分L1の焦点距離をf11とし、この顕微鏡対物レンズOLの全系の焦点距離をfとしたとき、次の条件式4を満足することが望ましい。1.2<f11/f<19.04条件式4は、第1レンズ群G1を構成する第1レンズ成分L1の焦点距離を規定するものである。この条件式4の下限値を下回るほど第1レンズ成分L1の焦点距離f11が短くなると、高次の球面収差が生じ、作動距離の確保が困難となってしまう。なお、条件式4の下限値を2にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。反対に、この条件式4の上限値を上回るほど第1レンズ成分L1の焦点距離f11が長くなると、作動距離の確保は容易となるが、この第1レンズ成分L1を通過した光束の径が大きくなり、その後のレンズ成分で効果的に収斂光にすることができず、第2レンズ群G2の負担が大きくなるため、球面収差やコマ収差の良好な補正が困難となってしまう。なお、条件式4の上限値を10.0にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。また、この顕微鏡対物レンズOLは、上記条件式4に代えて次の条件式4′を満足することにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。1.2<f11/f<6.0又は15.0<f11/f<19.04′また、この顕微鏡対物レンズOLは、第1レンズ群G1の焦点距離をf1とし、この顕微鏡対物レンズOLの全系の焦点距離をfとしたとき、次の条件式5を満足することが望ましい。0.5≦f1/f≦3.55条件式5は、十分な作動距離を確保しながら収差を補正するための条件である。この条件式5の下限値を下回ると、全系の焦点距離fに比べて第1レンズ群G1の焦点距離f1が短くなり、高次の球面収差やコマ収差の補正が困難になる。反対に、条件式5の上限値を上回ると、全系の焦点距離fに比べて第1レンズ群G1の焦点距離f1が長くなり、光線の収束が十分でなくなることで全長が長くなり十分な作動距離を確保することが困難となる。また、像面平坦性の確保も困難になる。なお、条件式5の上限値を3.0にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。また、この顕微鏡対物レンズOLにおいて、第1レンズ群G1を構成する接合正レンズのうちの少なくとも1つは、その接合正レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd1としたとき、次の条件式6を満足することが望ましい。なお、3枚以上のレンズが接合されている接合正レンズの場合は、それらの差の絶対値うち、いずれか一つの差の絶対値が条件式6を満足していることが望ましい。Δνd1>406条件式6は、軸上の色収差及び倍率の色収差の補正に関わるものである。この条件式6の範囲を外れると、色消しレンズ成分として作用している接合正レンズを構成する正レンズと負レンズとのアッベ数の差の絶対値が小さくなり、同じ色消し効果を達成するためには、接合面の曲率半径を小さくする必要が生じる。すると、軸上の色収差は補正できても他の収差の高次の収差が発生し、補正困難となってしまう。また、この顕微鏡対物レンズOLにおいて、第2レンズ群G2を構成する接合負レンズのうち少なくとも1つは、その接合負レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd2としたとき、次の条件式7を満足することが望ましい。なお、3枚以上のレンズが接合されている接合負レンズの場合は、それらの差の絶対値うち、いずれか一つの差の絶対値が条件式7を満足していることが望ましい。Δνd2>307条件式7は、軸上の色収差や特に倍率の色収差の補正に関わるものである。この条件式7の範囲を外れると、接合レンズの接合面の曲率半径を小さくする必要が生じ、像面湾曲やコマ収差を補正することが難しくなる。また、この顕微鏡対物レンズOLは、第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ面第1面のマージナル光線高をHとし、この第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ成分である第1レンズ成分L1の軸上レンズ厚をd11としたとき、次の条件式8を満足することが望ましい。2<H/d11<3.68条件式8は、第1レンズ成分L1の肉厚軸上レンズ厚を規定する式である。作動距離を長くするためには、レンズを配置することができるスペースが限られてしまうため、第1レンズ群G1の第1レンズ成分L1の肉厚をあまり大きくすることができない。この条件式8の上限値を上回ると、第1レンズ成分L1に入射するマージナル光線の入射高が高くなるため、高次の球面収差色の球面収差が生じ、第1レンズ群G1の他のレンズ成分や第2レンズ群G2のレンズ成分でこれらの収差を補正することが困難となってしまう。反対に、条件式8の下限値を下回ると、第1レンズ成分L1の肉厚が厚くなりすぎ、この第1レンズ成分L1より像側のレンズ成分回折光学素子GDや第2レンズ群G2を含むを配置するためのスペースが制限されてしまうので、これらのレンズ成分の設計の自由度がなくなってしまい、収差補正を効果的に行うことができない。また、この顕微鏡対物レンズOLは、最も物体側に配置されたレンズ図1における正メニスカスレンズL1の媒質のd線に対する屈折率をn1とし、当該レンズの最も物体側のレンズ面第1面の曲率半径をrとして定義される、当該レンズの最も物体側のレンズ面のパワーをφとし、最も物体側に配置されたレンズの最も物体側のレンズ面の有効半径をH1としたとき、次の条件式9を満足することが好ましい。0.05≦|φ×H1|≦0.359但し、φ=n1-1/r但し、この図1の顕微鏡対物レンズOLにおいて、有効半径H1は、軸上物点から射出される最大開口数の光線及び、軸外物点から射出される光束のうち、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第1レンズ群G1内の適宜のレンズ面例えば、図1におけるレンズL1の像側の面第2面との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第2レンズ群G2内の適宜のレンズ面例えば、図1におけるレンズL14の物体側の面第21面との交点で制限したときに決まる当該光束の最も外側の光線で決定される。条件式9は、第1レンズ群G1の負の屈折力を有する面の屈折力を規定するものである。この条件式9の下限値を下回ると、ペッツバール和の補正が困難となり、高画角までの像面平坦性を確保することが困難になる。さらに十分に長い作動距離を確保できなくなる。反対に条件式9の上限値を上回ると、球面収差やコマ収差が発生してしまい、後続のレンズ群での補正が困難になる。以下に、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズOLの9つの実施例を示すが、各実施例において、回折光学素子GDに形成された回折光学面Dの位相差は、通常の屈折率と後述する非球面式aとを用いて行う超高屈折率法により計算した。超高屈折率法とは、非球面形状と回折光学面の格子ピッチとの間の一定の等価関係を利用するものであり、本実施例においては、回折光学面Dを超高屈折率法のデータとして、すなわち、後述する非球面式a及びその係数により示している。なお、本実施例では収差特性の算出対象として、d線、C線、F線及びg線を選んでいる。本実施例において用いられたこれらd線、C線、F線及びg線の波長と、各スペクトル線に対して設定した超高屈折率法の計算に用いるための屈折率の値を次の表1に示す。表1波長屈折率超高屈折率法によるd線587562nm100010000C線656273nm111704255F線486133nm82747311g線435835nm74186853各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをyとし、高さyにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離サグ量をSyとし、基準球面の曲率半径頂点曲率半径をrとし、円錐定数をκとし、n次の非球面係数をAnとしたとき、以下の式aで表される。なお、以降の実施例において、E-nは×10nを示す。Sy=y2/r/{11-κ×y2/r212}A2×y2A4×y4A6×y6A8×y8A10×y10aなお、各実施例において、回折光学面が形成されたレンズ面には、表中の面番号の右側に印を付しており、非球面式aは、この回折光学面の性能の諸元を示している。また、以下の各実施例における顕微鏡対物レンズOL1~OL9は、無限遠補正型のものであり、図19に示す構成であって、表2に示す諸元を有する結像レンズILとともに使用される。なお、この表2において、第1欄mは物体側からの各光学面の番号を、第2欄rは各光学面の曲率半径を、第3欄dは各光学面から次の光学面までの光軸上の距離面間隔を、第4欄ndはd線に対する屈折率を、そして、第5欄νdはアッベ数をそれぞれ示している。ここで、空気の屈折率100000は省略してある。この諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。表2mrdndνd17504351016228057027504320017495035231600580750450256510166755420584541180161266444636911なお、この結像レンズILは、物体側から順に、両凸レンズL21と両凹レンズL22とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズL23と両凹レンズL24とを接合した接合レンズから構成される。[第1実施例]上述の説明で用いた図1は、第1実施例に係る顕微鏡対物レンズOL1を示している。この顕微鏡対物レンズOL1は、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合正レンズCL11、両凸レンズL4、両凸レンズL5と両凹レンズL6と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL7とを接合した接合正レンズCL12、及び、平板形状の回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL12と両凹レンズL13とを接合した接合負レンズCL21、及び、両凹レンズL14と両凸レンズL15と両凹レンズL16とを接合した接合負レンズCL22で構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第24面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第1実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズL1の像側の面第2面と両凹レンズL14の物体側の面第21面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL8、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L9,L10、及び、平板状の光学ガラスL11がこの順で接合され、光学部材L9,L10の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。このように図1に示した第1実施例に係る顕微鏡対物レンズOL1の諸元を表3に示す。なお、この表3において、fは全系の焦点距離を示し、NAは開口数を示し、βは倍率を示し、Φmaxは第1レンズ群G1を通過する光束の最大径を示し、ΦDOEは回折光学素子GDの回折光学面Dを通過する光束の最大径を示し、d0は物体Oから第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ面第1レンズ成分L1の第1面の頂点までの光軸上の距離を示し、Lは物体Oからこの顕微鏡対物レンズOLの最も像側のレンズ面第24面の頂点までの光軸上の距離を示し、f1は第1レンズ群G1の焦点距離を示し、f11は第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ成分第1レンズ成分L1の焦点距離を示し、f2は第2レンズ群G2の焦点距離を示し、Hは第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ面のマージナル光線高を示し、d11は第1レンズ群G1の最も物体側の第1レンズ成分L1の軸上レンズ厚を示し、H1は第1レンズ群G1の最も物体側のレンズ面第1面の有効半径を示している。なお、第1欄mに示す各光学面の番号右のは回折光学面として形成されているレンズ面を示すは、図1に示した面番号1~24に対応している。また、第2欄rにおいて、曲率半径0000は平面を示している。また、回折光学面の場合は、第2欄rにベースとなる非球面の基準となる球面の曲率半径を示し、超高屈折率法に用いるデータは非球面データとして諸元表内に示している。さらに、この表3には、上記条件式1~9に対応する値、すなわち、条件対応値も示している。以上の諸元表の説明は、以降の実施例においても同様である。なお、以下の全ての諸元において掲載される曲率半径r、面間隔d、全系の焦点距離Fその他長さの単位は、特記の無い場合、一般にmmが使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位はmmに限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。表3f=4NA=04β=50xΦmax=2108ΦDOE=1052d0=2251L=6388f1=1324f11=355f2=51H=966d11=340H1=966mrdndνd11200283401696805552207430153379415351497828254214001001720463475399590156245583701603006557143315015816120435149782825947354100180440396109766320149782825113899912012000025015168064113000000615276034714000000010001000003515000000615569050216000030015168064117000002018735028014978282519420711001804403962071513902110484090172916547225488240174077278233461090162374470245396回折光学面データ第15面κ=10000A2=555556E08A4=909401E14A6=306886E12A8=172870E15A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=04992-f2/f=12753d0/L=03524f11/f=88755f1/f=3316Δνd1=4787Δνd2=4298H/d11=2849|φ×H1|=0056なお、表3に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL11を構成する両凸レンズL2と負メニスカスレンズL3とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する両凸レンズL12と両凹レンズL13とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は正メニスカスレンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第1実施例では上記条件式1~9は全て満たされていることが分かる。図2に、この第1実施例におけるd線、C線、F線及びg線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。これらの収差図のうち、球面収差図は開口数NAに対する収差量を示し、非点収差図及び倍率色収差は像高Yに対する収差量を示している。また、球面収差図、倍率色収差図及びコマ収差図において、実線はd線を示し、点線はC線を示し、一点鎖線はF線を示し、二点鎖線はg線を示している。さらに、非点収差図において、実線は各波長の光線に対するサジタル像面を示し、破線は各波長の光線に対するメリジオナル像面を示している。これらの諸収差図の説明は以降の実施例においても同様である。なお、本第1実施例から第5実施例のコマ収差図は、像高Yが12.5mmのとき、9.0mmのとき、6.0mmのとき、及び、0mmのときの収差量を示している。この図2に示す各収差図から明らかなように、第1実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第2実施例]次に、第2実施例として、図3に示す顕微鏡対物レンズOL2について説明する。この図3に示す顕微鏡対物レンズOL2も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合正レンズCL11、両凸レンズL4、両凸レンズL5と両凹レンズL6と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL7とを接合した接合正レンズCL12、両凸レンズL8と両凹レンズL9とを接合した接合正レンズCL13、及び、平板形状の回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹レンズL14と両凸レンズL15と両凹レンズL16とを接合した接合負レンズCL21で構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第24面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第2実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズL1の像側の面第2面と両凹レンズL14の物体側の面第21面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL10、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L11,L12、及び、平板状の光学ガラスL13がこの順で接合され、光学部材L11,L12の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。この図3に示した第2実施例に係る顕微鏡対物レンズOL2の諸元を表4に示す。なお、表4に示す面番号は図3に示した面番号1~24と一致している。表4f=4NA=045β=50xΦmax=2297ΦDOE=839d0=212L=6395f1=11419f11=358f2=61H=1043d11=300H1=1043mrdndνd110683330017550052322182101033260760014978282542300012017495135353702902063637032016030065571948010208197085001497828259303071151654123971093803801497828251148468020121144636016228057013326241001902653571412481130150000150151680641160000020152760347170000000100010000035180000020155690502190000200151680641200000520217695100167003473228600180175520275233600090161720540245471回折光学面データ第18面κ=10000A2=909091E08A4=117370E13A6=503090E12A8=470330E14A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=03652-f2/f=15253d0/L=03324f11/f=8955f1/f=28556Δνd1=4727Δνd2=2658H/d11=3484|φ×H1|=0074なお、表4に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL11を構成する両凸レンズL2と負メニスカスレンズL3とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する両凸レンズL15と両凹レンズL16とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は正メニスカスレンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第2実施例では上記条件式1~6,8,9は満たされていることが分かる。また、図4に、この第2実施例におけるd線、C線、F線及びg線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図4に示す各収差図から明らかなように、第2実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第3実施例]次に、第3実施例として、図5に示す顕微鏡対物レンズOL3について説明する。この図5に示す顕微鏡対物レンズOL3も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合レンズCL11、両凸レンズL4と両凹レンズL5と両凸レンズL6とを接合した接合レンズCL12、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL7と両凸レンズL8と両凹レンズL9とを接合した接合レンズCL13、及び、平板形状の回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL14と両凹レンズL15とを接合した接合負レンズCL21で構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第22面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第3実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズL1の像側の面第2面と正メニスカスレンズL14の物体側の面第20面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL10、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L11,L12、及び、平板状の光学ガラスL13がこの順で接合され、光学部材L11,L12の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。この図5に示した第3実施例に係る顕微鏡対物レンズOL3の諸元を表5に示す。なお、表5に示す面番号は図5に示した面番号1~22と一致している。表5f=4NA=040β=50xΦmax=1893ΦDOE=753d0=205L=643f1=11435f11=315f2=77H=87d11=29H1=87mrdndνd16556529017291654721732602032292250014978282542200012017495035353544002062236050014978282573074510017440044881343245016030065592569380201010728120176684468116480550149782825121565810017725049613181571001400002001516806411500000201556905021600000001000100000351700000201527603471800002001516806411900008002012850170180518254213896080160300655225227回折光学面データ第17面κ=10000A2=625000E08A4=343765E11A6=581951E19A8=338276E20A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=03982-f2/f=19253d0/L=03194f11/f=78755f1/f=28596Δνd1=4727Δνd2=4018H/d11=3009|φ×H1|=0097なお、表5に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL11を構成する両凸レンズL2と負メニスカスレンズL3とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する正メニスカスレンズL14と両凹レンズL15とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は正メニスカスレンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第3実施例では上記条件式1~9は全て満たされていることが分かる。また、図6に、この第3実施例におけるd線、C線、F線及びg線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図6に示す各収差図から明らかなように、第3実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第4実施例]次に、第4実施例として、図7に示す顕微鏡対物レンズOL4について説明する。この図7に示す顕微鏡対物レンズOL4も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、物体側に平面を向けた平凸レンズL2、両凸レンズL3と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL4とを接合した接合レンズCL11、両凸レンズL5と両凹レンズL6と両凸レンズL7とを接合した接合レンズCL12、両凸レンズL8と両凹レンズL9とを接合した接合レンズCL13、及び、平板形状の回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15と両凹レンズL16とを接合した接合負レンズCL21、及び、両凹レンズL17と両凸レンズL18と両凹レンズL19とを接合した接合負レンズCL22で構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第29面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第4実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズL1の像側の面第2面と両凹レンズL17の物体側の面第25面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL10、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L11,L12、及び、平板状の光学ガラスL13がこの順で接合され、光学部材L11,L12の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。この図7に示した第4実施例に係る顕微鏡対物レンズOL4の諸元を表6に示す。なお、表6に示す面番号は図7に示した面番号1~28と一致している。表6f=2NA=060β=100xΦmax=2098ΦDOE1132d0=1218L=639f1=11633f11=375f2=35H=78d11=32H1=78mrdndνd1178183201729165462116000103000040015690771342074301054525659014978282661917012016134044373980801082951046014978282693384712016134044310137354701497828261180931020121588339014978282613385481001723423801438548120150000250151680639160000006152760347170000000100010000035180000006155690502190000300151680639200000020218410130169350532224811350143425950232059410016727032224695042025000010026100801001788004742711276180184666238283092070169350532294719回折光学面データ第18面κ=00000A2=411668E08A4=852212E11A6=760013E14A8=305264E17A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=05402-f2/f=1753d0/L=01914f11/f=18755f1/f=58176Δνd1=4467Δνd2=6288H/d11=2449|φ×H1|=0319なお、表6に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL13を構成する両凸レンズL8と両凹レンズL9とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する両凸レンズL15と両凹レンズL16とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は正メニスカスレンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第4実施例では上記条件式1~9は全て満たされていることが分かる。また、図8に、この第4実施例におけるd線、C線、F線及びg線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図8に示す各収差図から明らかなように、第4実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第5実施例]次に、第5実施例として、図9に示す顕微鏡対物レンズOL5について説明する。この図9に示す顕微鏡対物レンズOL5も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL1、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL2、両凸レンズL3と両凹レンズL4と両凸レンズL5とを接合した接合レンズCL11、両凸レンズL6と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL7とを接合した接合レンズCL12、両凸レンズL8と両凹レンズL9とを接合した接合レンズCL13、及び、平板形状の回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と両凸レンズL15と両凹レンズL16とを接合した接合負レンズCL21、及び、両凹レンズL17と両凸レンズL18と両凹レンズL19とを接合した接合負レンズCL22で構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第29面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第5実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズL1の像側の面第2面と両凹レンズL17の物体側の面第25面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL10、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L11,L12、及び、平板状の光学ガラスL13がこの順で接合され、光学部材L11,L12の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。この図9に示した第5実施例に係る顕微鏡対物レンズOL5の諸元を表7に示す。なお、表7に示す面番号は図9に示した面番号1~28と一致している。表7f=2NA=060β=100xΦmax=2079ΦDOE=1188d0=1218L=637f1=1176f11=337f2=38H=786d11=32H1=786mrdndνd11900032017291654621147901035000003801592406834226320105308125001497828266465631201613404437266595001497828268350400109389485301603006541018566120172342379116181960201218233380149782826134508110017234238014354071201500002501516806391600000061527603471700000001000100000351800000061556905021900003001516806392000000202173711301693505322247213501434259502319133100164769337246922420250000100268906100180440396278297180184666238282816070169350532294255回折光学面データ第18面κ=00000A2=666667E08A4=855266E12A6=713250E14A8=832008E18A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=05712-f2/f=193d0/L=01914f11/f=16855f1/f=5886Δνd1=4467Δνd2=6138H/d11=2469|φ×H1|=0302なお、表7に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL13を構成する両凸レンズL8と両凹レンズL9とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する両凸レンズL15と両凹レンズL16とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は正メニスカスレンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第5実施例では上記条件式1~9は全て満たされていることが分かる。また、図10に、この第5実施例におけるd線、C線、F線及びg線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図10に示す各収差図から明らかなように、第5実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第6実施例]次に、第6実施例として、図11に示す顕微鏡対物レンズOL6について説明する。この顕微鏡対物レンズOL6も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、両凸レンズL1、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL2と両凸レンズL3とを接合した接合正レンズCL11、両凸レンズL4と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL5とを接合した接合正レンズCL12、及び、正の屈折力を有する回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸レンズL10と両凹レンズL11とを接合した接合負レンズCL21、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL12と両凹レンズL13とを接合した接合負レンズCL22から構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第20面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第6実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズL1の像側の面第2面と正メニスカスレンズL12の物体側の面第18面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL6、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L7,L8、及び、平板状の光学ガラスL9がこの順で接合され、光学部材L7,L8の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDは、密着複層型の回折光学素子である。このように図11に示した第6実施例に係る顕微鏡対物レンズOL6の諸元を表8に示す。表8f=10NA=030β=20xΦmax=1998ΦDOE=1356d0=3066L=6356f1=151f11=3115f2=81H=984d11=360H1=984mrdndνd18236136017135402298600203272561001785256416780490149882656629202061889549014988267261741001801349828994105090000280151763910000001015575021100000001000100035120000010152834713000028015176391400000801511035290154845516800271001804466178351330181276718018472381966011001564607209751回折光学面データ第12面κ=10000A2=550000E08A4=345643E10A6=604217E12A8=424525E14A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=06792-f2/f=08093d0/L=04814f11/f=3125f1/f=1516Δνd1=56937Δνd2=36918H/d11=2739|φ×H1|=0085なお、表8に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL11を構成する負メニスカスレンズL2と両凸レンズL3とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL22を構成する負メニスカスレンズL12と両凹レンズL13とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は両凸レンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第6実施例では上記条件式1~9は全て満たされていることが分かる。また、図12に、この第6実施例に係る顕微鏡対物レンズOL6のd線、C線、F線及びg線の光線に対する球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。なお、本第6実施例から第9実施例のコマ収差図は、像高Yが12.5mmのとき、10.0mmのとき、6.5mmのとき、4.0mmのとき、及び、0.0mmのときの収差量を示している。この図12に示す各収差図から明らかなように、第6実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第7実施例]次に、第7実施例として、図13に示す顕微鏡対物レンズOL7について説明する。この図13に示す顕微鏡対物レンズOL7も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、両凸レンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合正レンズCL11、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL4、及び、正の屈折力を有する回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL9と両凹レンズL10とを接合した接合負レンズCL21から構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第16面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第7実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズL1の像側の面第2面と両凹レンズL10の像側の面第16面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL5、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L6,L7、及び、平板状の光学ガラスL8がこの順で接合され、光学部材L6,L7の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDも、密着複層型の回折光学素子である。この図13に示した第7実施例に係る顕微鏡対物レンズOL7の諸元を表9に示す。なお、表9に示す面番号は図13に示した面番号1~16と一致している。表9f=20NA=02β=10xΦmax=1578ΦDOE=1186d0=3768L=6343f1=1654f11=2913f2=1411H=785d11=300H1=785mrdndνd14879830016975552338950203370013401603654426530110184723852128050206245003301517639711669707080000280151763990000010155750210000000010001000351100000101528347120000280151763913000030514232773501805255151168915016206031612655回折光学面データ第11面κ=10000A2=493877E08A4=300805E12A6=335037E19A8=166824E15A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=07522-f2/f=07063d0/L=05944f11/f=1465f1/f=08276Δνd1=4167Δνd2=3488H/d11=2629|φ×H1|=0112なお、表9に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL11を構成する両凸レンズL2と負メニスカスレンズL3とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する正メニスカスレンズL9と両凹レンズL10とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は両凸レンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第7実施例では上記条件式1~9は全て満たされていることが分かる。図14にこの第7実施例に係る顕微鏡対物レンズOL7の球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。この図14に示す各収差図から明らかなように、第7実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第8実施例]次に、第8実施例として、図15に示す顕微鏡対物レンズOL8について説明する。この図15に示す顕微鏡対物レンズOL8も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、両凸レンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合正レンズCL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL4と物体側に凸面を向け正メニスカスレンズL5とを接合した接合正レンズCL12、両凸レンズL6と両凹レンズL7とを接合した接合負レンズCL13、及び、正の屈折力を有する回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL12と両凹レンズL13とを接合した接合負レンズCL21から構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第20面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第8実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズL1の像側の面第2面と正メニスカスレンズL12の物体側の面第18面である。また、回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL8、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L9,L10、及び、平板状の光学ガラスL11がこの順で接合され、光学部材L9,L10の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDも、密着複層型の回折光学素子である。さらに、この図15に示した第8実施例に係る顕微鏡対物レンズOL8の諸元を表10に示す。なお、表10に示す面番号は図15に示した面番号1~20と一致している。表10f=10NA=03β=20xΦmax=199ΦDOE=882d0=306L=637f1=1449f11=3343f2=1027H=978d11=368H1=978mrdndνd19800036816206032259300153307315251498825422767100171729555301401561500610018043397104125001498825894868020912450355149882510621641001729547111075022012000020015176411300000061557502140000000100010003515000000615283471600003001517641170000180181500020018472381967391001640601209369回折光学面データ第15面κ=10000A2=570000E08A4=101149E09A6=405811E11A8=484818E13A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=04432-f2/f=10273d0/L=0484f11/f=33435f1/f=14496Δνd1=5307Δνd2=36318H/d11=2669|φ×H1|=0062なお、表10に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL11を構成する両凸レンズL2と負メニスカスレンズL3とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する正メニスカスレンズL12と両凹レンズL13とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は両凸レンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第8実施例では上記条件式1~9は全て満たされていることが分かる。図16にこの第8実施例に係る顕微鏡対物レンズOL8の球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。この図16に示す各収差図から明らかなように、第8実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。[第9実施例]最後に、第9実施例として、図17に示す顕微鏡対物レンズOL9について説明する。この図17に示す顕微鏡対物レンズOL9も、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、から構成される。第1レンズ群G1は、物体側から順に、両凸レンズL1、両凸レンズL2と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL3とを接合した接合正レンズCL11、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL4と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL5とを接合した接合正レンズCL12、両凸レンズL6と両凹レンズL7とを接合した接合負レンズCL13、及び、正の屈折力を有する回折光学素子GDから構成される。また、第2レンズ群G2は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL12と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13と両凹レンズL14とを接合した接合負レンズCL21から構成される。ここで、第2レンズ群G2の最も像側の面第21面は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第9実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズL1の像側の面第2面と負メニスカスレンズL12の物体側の面第18面である。回折光学素子GDは、平板状の光学ガラスL8、それぞれ異なる樹脂材料から形成された2個の光学部材L9,L10、及び、平板状の光学ガラスL11がこの順で接合され、光学部材L9,L10の接合面に回折格子溝回折光学面Dが形成されている。すなわち、この回折光学素子GDも、密着複層型の回折光学素子である。さらに、この図17に示した第9実施例に係る顕微鏡対物レンズOL9の諸元を表11に示す。なお、表11に示す面番号は図17に示した面番号1~21と一致している。表11f=10NA=03β=20xΦmax=2008ΦDOE=924d0=3135L=6345f1=146f11=3488f2=919H=988d11=280H1=988mrdndνd176733928017674682276730153177485801498825439401110179528751527710156185841001795287710258480149882587911002091441635014988251030192100169755511182891501200002001517641130000020155750214000000010001000351500000201528347160000200151764117000022018130920901670573193421218018472382065990801694532219839回折光学面データ第15面κ=10000A2=625000E08A4=355000E14A6=314000E16A8=213000E19A10=000000E00条件対応値1ΦDOE/Φmax=04602-f2/f=09193d0/L=04944f11/f=34885f1/f=1466Δνd1=53837Δνd2=33568H/d11=3539|φ×H1|=0010なお、表11に示した条件対応値のうち、条件式6のΔνd1は接合正レンズCL11を構成する両凸レンズL2と負メニスカスレンズL3とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式7のΔνd2は接合負レンズCL21を構成する負メニスカスレンズL12と正メニスカスレンズL13とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式8のd11は両凸レンズL1の軸上レンズ厚第1面の面間隔を示し、条件式9のφは第1面のパワーを示している。このように、第9実施例では上記条件式1~8は満たされていることが分かる。図18にこの第9実施例に係る顕微鏡対物レンズOL9の球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。この図18に示す各収差図から明らかなように、第9実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。"