集電体と、前記集電体上に形成された薄膜型の活物質層と、を有し、前記集電体のビッカース硬度が、前記活物質層のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを特徴とする全固体二次電池用電極体。前記集電体が、Al、Al合金、CuまたはCu合金であることを特徴とする請求項1に記載の全固体二次電池用電極体。前記活物質層が、エアロゾルデポジッション法により形成されたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の全固体二次電池用電極体。請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載の全固体二次電池用電極体を有することを特徴とする全固体二次電池。集電体上に、薄膜型の活物質層を形成する活物質層形成工程を有し、前記集電体のビッカース硬度が、前記活物質層のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを特徴とする全固体二次電池用電極体の製造方法。前記活物質層を、エアロゾルデポジション法により形成することを特徴とする請求項5に記載の全固体二次電池用電極体の製造方法。前記集電体が、Al、Al合金、CuまたはCu合金であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の全固体二次電池用電極体の製造方法。請求項5から請求項7までのいずれかの請求項に記載の全固体二次電池用電極体の製造方法により得られた全固体二次電池用電極体を用いることを特徴とする全固体二次電池の製造方法。薄膜型の活物質層は緻密であるため、バルク型の活物質層例えば粉末を圧粉してなる活物質層に比べて、活物質の膨張収縮の影響が表れやすい。なお、活物質の膨張収縮とは、具体的には金属イオンの挿入脱離による活物質の体積変化をいう。また、薄膜型の活物質層は集電体と強固に結着しているため、活物質の膨張収縮によって、活物質層および集電体の間に応力が生じやすく、両者の剥離や活物質層の破壊が生じやすいという問題がある。一方、電池の高出力化高容量化の観点から、イオン伝導性が高い全固体二次電池用電極体が求められている。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、活物質層および集電体の間に生じる応力を緩和でき、かつ、イオン伝導性の高い全固体二次電池用電極体を提供することを主目的とする。上記課題を解決するために、本発明者等が鋭意研究を重ねた結果、活物質層および集電体の硬さの関係に着目し、活物質層よりも軟らかい集電体を意図的に選択して用いることにより、活物質層および集電体の間に生じる応力を緩和できるとの知見を得た。さらに、本発明者等は、薄膜型の活物質層のイオン伝導性が、集電体の硬さの影響を大きく受けることを見出し、集電体の硬さを所定の範囲内にすることで、イオン伝導性の高い全固体二次電池用電極体が得られるとの知見を得た。本発明は、これらの知見に基づいてなされたものである。すなわち、本発明においては、集電体と、上記集電体上に形成された薄膜型の活物質層と、を有し、上記集電体のビッカース硬度が、上記活物質層のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを特徴とする全固体二次電池用電極体を提供する。本発明によれば、集電体のビッカース硬度が活物質層のビッカース硬度よりも低いため、活物質層および集電体の間に生じる応力を緩和した電極体とすることができる。すなわち、充放電によって活物質が膨張収縮した場合であっても、活物質層の体積変化に対して集電体が追従するように変形することで、両者の間の応力を緩和でき、活物質層および集電体の間の剥離、活物質層の破壊等を抑制できる。上記発明においては、上記集電体が、Al、Al合金、CuまたはCu合金であることが好ましい。上記発明においては、上記活物質層が、エアロゾルデポジッション法により形成されたものであることが好ましい。また、本発明においては、上述した全固体二次電池用電極体を有することを特徴とする全固体二次電池を提供する。本発明によれば、上述した全固体二次電池用電極体を用いることにより、活物質層および集電体の間の剥離、活物質層の破壊等を抑制した全固体二次電池とすることができる。また、本発明においては、集電体上に、薄膜型の活物質層を形成する活物質層形成工程を有し、上記集電体のビッカース硬度が、上記活物質層のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを特徴とする全固体二次電池用電極体の製造方法を提供する。本発明によれば、集電体のビッカース硬度が活物質層のビッカース硬度よりも低いため、活物質層および集電体の間に生じる応力を緩和した電極体を得ることができる。上記発明においては、上記活物質層を、エアロゾルデポジション法により形成することが好ましい。上記発明においては、上記集電体が、Al、Al合金、CuまたはCu合金であることが好ましい。また、本発明においては、上述した全固体二次電池用電極体の製造方法により得られた全固体二次電池用電極体を用いることを特徴とする全固体二次電池の製造方法を提供する。本発明によれば、上述した全固体二次電池用電極体を用いることにより、活物質層および集電体の間の剥離、活物質層の破壊等を抑制した全固体二次電池を得ることができる。本発明の全固体二次電池用電極体は、活物質層および集電体の間に生じる応力を緩和でき、かつ、イオン伝導性の高いという効果を奏する。以下、本発明の全固体二次電池用電極体、全固体二次電池、全固体二次電池用電極体の製造方法、全固体二次電池の製造方法について、詳細に説明する。A.全固体二次電池用電極体まず、本発明の全固体二次電池用電極体以下、単に電極体と称する場合がある。について説明する。本発明の全固体二次電池用電極体は、集電体と、上記集電体上に形成された薄膜型の活物質層と、を有し、上記集電体のビッカース硬度が、上記活物質層のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを特徴とするものである。図1は、本発明の全固体二次電池用電極体の一例を示す概略断面図である。図1に示される全固体二次電池用電極体10は、集電体1と、集電体1上に形成された薄膜型の活物質層2と、を有するものである。本発明においては、集電体1のビッカース硬度が、活物質層2のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを大きな特徴とする。本発明によれば、集電体のビッカース硬度が活物質層のビッカース硬度よりも低いため、活物質層および集電体の間に生じる応力を緩和した電極体とすることができる。すなわち、充放電によって活物質が膨張収縮した場合であっても、活物質層の体積変化に対して集電体が追従するように変形することで、両者の間の応力を緩和でき、活物質層および集電体の間の剥離、活物質層の破壊等を抑制できる。また、本発明によれば、集電体のビッカース硬度が特定の範囲内にあることから、イオン伝導性が高い電極体とすることができる。薄膜型の活物質層は緻密であるため、集電体の硬度の影響を大きく受ける。例えば、エアロゾルデポジッション法を用いて活物質層を成膜する場合、集電体の硬度が高すぎると、原料粒子衝突時の衝撃力は過剰に大きくなり、必要以上に結晶サイズの微細化が進む。その結果、結晶粒界密度が増加結晶性が低下し、イオン伝導が阻害されると考えられる。一方、集電体の硬度が低すぎると、膜に含まれる粒子の結晶サイズは過度に微細化しないが、膜自体の密度が低下する。その結果、膜のLiイオン伝導度は低くなると考えられる。本発明においては、集電体のビッカース硬度を所定の範囲内にすることで、イオン伝導性の高い活物質層とすることができる。なお、集電体の硬さと、活物質層のイオン伝導度との関係は、エアロゾルデポジション法において特に顕著であるが、後述する他の成膜法でも基本的には同様である。以下、本発明の全固体二次電池用電極体について、構成ごとに説明する。1.集電体まず、本発明における集電体について説明する。本発明における集電体は、後述する活物質層よりもビッカース硬度が低いものである。さらに、集電体のビッカース硬度は、通常、40~600の範囲内である。ここで、ビッカース硬度HVは、押込み硬さの一種であり、所定の形状を有する圧子を測定対象の表面に押込み、荷重を除いた後に残った凹部の対角線の長さから表面積Sを算出し、荷重Fを表面積Sで除することにより、得られるものである。本発明におけるビッカース硬度は、JISZ2244に準拠した方法により求めることができる。上記集電体のビッカース硬度は、通常、40以上であり、60以上であることが好ましい。集電体のビッカース硬度が低すぎると、活物質層が緻密にならず、十分なイオン伝導性を得ることができない可能性があるからである。一方、上記集電体のビッカース硬度は、通常、600以下であり、580以下であることが好ましい。集電体のビッカース硬度が高すぎると、活物質が過度に微細化されることで結晶粒界密度が増加し、十分なイオン伝導性を得ることができない可能性があるからである。また、本発明において、集電体のビッカース硬度は、後述する活物質層のビッカース硬度よりも低くなる。両者の差は、例えば1~600の範囲内であることが好ましく、50~500の範囲内であることがより好ましい。両者の差が小さすぎると、集電体が活物質層の体積変化に対して追従することが困難になる可能性があり、両者の差が大きすぎると、活物質層が過度に緻密になることで破壊が生じやすくなるからである。集電体の材料としては、電子伝導性を有するものであれば特に限定されるものではないが、例えば、金属材料およびカーボン材料を挙げることができる。上記金属材料としては、Cu、Ni、V、Au、Pt、Al、Mg、Fe、Ti、Co、Zn、Ge、In、Li、および、上記の各元素を主体として含有する合金等を挙げることができ、中でも、Al、Al合金、Cu、Cu合金、ステンレス鋼が好ましい。また、上記集電体は、基板に上記金属材料または上記カーボン材料を蒸着したものであっても良い。上記基板としては、ポリアミド、ポリイミド、PET、PPS、ポリプロピレン等の樹脂フィルム、ガラス板、シリコン板等を挙げることができる。また、集電体の厚さは、特に限定されるものではないが、例えば0.05μm~1mmの範囲内であることが好ましく、0.1μm~500μmの範囲内であることがより好ましい。2.活物質層次に、本発明における活物質層に説明する。本発明における活物質層は、集電体上に形成される薄膜型の活物質層であり、上述した集電体よりもビッカース硬度が高いものである。また、活物質層は、通常、活物質の粒子から構成されるものである。本発明における活物質は、金属イオンを吸蔵放出できるものであれば特に限定されるものではないが、例えば、酸化物活物質、硫化物活物質、カーボン活物質等を挙げることができる。上記酸化物活物質としては、コバルト酸リチウムLiCoO2、ニッケル酸リチウムLiNiO2、LiNi1/3Mn1/3Co1/3O2、マンガン酸リチウムLiMn2O4、Li1xMn2-x-yMyO4MはAl、Mg、Co、Fe、Ni、Znから選ばれる一種以上、0≦xy≦2で表わされる組成の異種元素置換Li-Mnスピネル、チタン酸リチウム、リン酸金属リチウム、酸化バナジウムV2O5、酸化モリブデンMoO3を挙げることができる。上記硫化物活物質としては、例えば硫化チタンTiS2を挙げることができる。上記カーボン活物質としては、グラファイト、ハードカーボン等を挙げることができる。また、本発明においては、活物質として、リチウムコバルト窒化物、リチウムシリコン酸化物、リチウム金属、リチウム合金LiM、MはSn、Si、Al、Ge、SbおよびPの少なくとも一種であるを挙げることができる。さらに、活物質として、リチウム貯蔵性金属間化合物であるMgMMはSn、Ge、Sbの少なくとも一種である、NSbNはIn、Cu、Mnの少なくとも一種であるを用いても良い。なお、正極活物質および負極活物質には明確な区別はなく、2種類の化合物の充放電電位を比較して貴な電位を示すものを正極に、卑な電位を示すものを負極に用いて任意の電圧の電池を構成することができる。また、本発明における活物質層は、多結晶の活物質粒子から構成されていることが好ましい。バルク抵抗の低い活物質層とすることができるからである。活物質粒子の結晶サイズは、特に限定されるものではないが、14nm以上であることが好ましく、14.2nm以上であることがより好ましい。イオン伝導性の高い活物質層とすることができるからである。なお、結晶サイズは、XRDのピークの半値全幅FWHMから求めることができる。また、活物質層の相対密度は、特に限定されるものではないが、例えば80~99の範囲内であることが好ましく、85~95の範囲内であることがより好ましい。活物質層の相対密度が高すぎると例えば100を超えると、活物質層は歪みが生じ、結晶性低下によるイオン伝導性の低下が生じる可能性があり、活物質層の相対密度が低すぎると、活物質層が緻密にならず、十分なイオン伝導性を得ることができない可能性があるからである。活物質層の相対密度は、活物質層の実際の密度を、活物質層の理論密度で除することにより求めることができる。なお、活物質層の実際の密度は、活物質層の面積および膜厚から活物質層の体積を求め、活物質層の重量をその体積で除することにより、求めることができる。本発明における活物質層は、常温でのイオン伝導度が高いことが好ましい。高出力な全固体二次電池を得ることができるからである。例えば、活物質層がLiCoO2から構成される場合、常温でのLiイオン伝導度は、例えば1×10-4S/cm以上であることが好ましく、2×10-4S/cm以上であることがより好ましく、4×10-4S/cm以上であることが好ましい。また、活物質層の膜厚は、特に限定されるものではないが、例えば0.1μm~1000μmの範囲内であることが好ましく、0.1μm~300μmの範囲内であることがより好ましい。また、本発明における活物質層は、後述する種々の成膜方法により形成することができるが、中でも、エアロゾルデポジッション法により形成されたものであることが好ましい。3.全固体二次電池用電極体本発明の全固体二次電池用電極体は、上述した集電体および活物質層を有することを特徴とするものである。また、図2に示すように、本発明の全固体二次電池用電極体は、活物質層2上に、薄膜型の固体電解質層3を有していても良い。薄膜型の固体電解質層を設けることにより、薄膜型電池の有用な部材となる。固体電解質層を構成する固体電解質材料としては、例えばイオン伝導性を有する無機材料を挙げることができ、具体的には、Li2O-B2O3-P2O5、Li2O-SiO2、Li2O-B2O3、Li2O-B2O3-ZnO等の酸化物非晶質固体電解質材料、Li2S-SiS2、LiI-Li2S-SiS2、LiI-Li2S-P2S5、LiI-Li2S-B2S3、Li3PO4-Li2S-Si2S、Li3PO4-Li2S-SiS2、Li3PO4-Li2S-SiS、LiI-Li2S-P2O5、LiI-Li3PO4-P2S5、Li2S-P2S5等の硫化物非晶質固体電解質材料、LiI、LiI-Al2O3、Li3N、Li3N-LiI-LiOH、Li1xAlxTi2-xPO430≦x≦2、Li1xyAxTi2-xSiyP3-yO12A=AlまたはGa、0≦x≦0.4、0<y≦0.6、[A12Li1/21-xBx]TiO3A=La、Pr、Nd、Sm、B=SrまたはBa、0≦x≦0.5、Li5La3Ta2O12、Li7La3Zr2O12、Li6BaLa2Ta2O12、Li3PO4-3/2xNxx<1、Li3.6Si0.6P0.4O4等の結晶質酸化物酸窒化物等を挙げることができる。固体電解質層の厚さは、例えば0.1μm~1000μmの範囲内であることが好ましく、0.1μm~300μmの範囲内であることがより好ましい。また、本発明の電極体は、全固体二次電池に用いられるものである。全固体二次電池の種類としては、例えば、全固体リチウム二次電池、全固体ナトリウム二次電池、全固体マグネシウム二次電池および全固体カルシウム二次電池等を挙げることができ、中でも、全固体リチウム二次電池が好ましい。B.全固体二次電池次に、本発明の全固体二次電池について説明する。本発明の全固体二次電池は、上述した全固体二次電池用電極体を有することを特徴とするものである。図3は、本発明の全固体二次電池の一例を示す概略断面図である。図3に示される全固体二次電池20は、正極活物質層11と、負極活物質層12と、正極活物質層11および負極活物質層12の間に形成された固体電解質層13と、正極活物質層11の集電を行う正極集電体14と、負極活物質層12の集電を行う負極集電体15とを有するものである。図3に示される固体二次電池用20は、正極集電体14および正極活物質層11を有する電極体10を用いた電池である。本発明によれば、上述した全固体二次電池用電極体を用いることにより、活物質層および集電体の間の剥離、活物質層の破壊等を抑制した全固体二次電池とすることができる。なお、本発明の全固体二次電池とは、正極活物質層、固体電解質層および負極活物質層の発電要素を少なくとも有し、かつ、上記A.全固体二次電池用電極体に記載した電極体を有する電池をいう。以下、本発明の全固体二次電池について、構成ごとに説明する。1.正極活物質層本発明における正極活物質層は、少なくとも正極活物質を含有する層である。また、本発明においては、正極活物質層が、上述した全固体二次電池用電極体であることが好ましい。なお、負極活物質層が上述した全固体二次電池用電極体である場合、正極活物質層は、薄膜型の活物質層であっても良く、粉末を圧粉してなるバルク型の活物質層であっても良い。2.負極活物質層本発明における負極活物質層は、少なくとも負極活物質を含有する層である。また、本発明においては、負極活物質層が、上述した全固体二次電池用電極体であることが好ましい。なお、正極活物質層が上述した全固体二次電池用電極体である場合、負極活物質層は、薄膜型の活物質層であっても良く、粉末を圧粉してなるバルク型の活物質層であっても良い。3.固体電解質層本発明における固体電解質層は、少なくとも固体電解質材料を含有する層である。また、本発明においては、固体電解質層は、薄膜型の固体電解質層であっても良く、粉末を圧粉してなるバルク型の固体電解質層であっても良い。4.全固体二次電池本発明の全固体二次電池は、正極活物質層、固体電解質層および負極活物質層が全て薄膜である薄膜型の電池であることが好ましい。電池の小型化を図ることができるからである。C.全固体二次電池用電極体の製造方法次に、本発明の全固体二次電池用電極体の製造方法について説明する。本発明の全固体二次電池用電極体の製造方法は、集電体上に、薄膜型の活物質層を形成する活物質層形成工程を有し、上記集電体のビッカース硬度が、上記活物質層のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを特徴とするものである。図4は、本発明の全固体二次電池用電極体の製造方法の一例を示す概略断面図である。図4においては、まず、集電体1を用意する図4a。次に、集電体1上に、薄膜型の活物質層2を形成することにより、全固体二次電池用電極体10を得る図4b。本発明においては、集電体1のビッカース硬度が、活物質層2のビッカース硬度よりも低く、かつ、40~600の範囲内であることを大きな特徴とする。本発明によれば、集電体のビッカース硬度が活物質層のビッカース硬度よりも低いため、活物質層および集電体の間に生じる応力を緩和した電極体を得ることができる。また、集電体が軟らかいため、活物質層の成膜時に活物質粒子が集電体に食い込みやすく、集電体との密着性に優れた活物質層を形成できる。なお、集電体および活物質層のビッカース硬度については、上記A.全固体二次電池用電極体に記載した内容と同様であるので、ここでの記載は省略する。本発明における活物質層形成工程は、集電体上に、薄膜型の活物質層を形成する工程である。活物質層の成膜方法は、特定のビッカース硬度を有する活物質層が得られる方法であれば特に限定されるものではなく、エアロゾルデポジション法、ガスデポジション法、溶射法、コールドスプレー法等を挙げることができる。また、スパッタリング法等のPVD法であっても良い。中でも、本発明においては、エアロゾルデポジション法AD法により活物質層を形成することが好ましい。AD法では、原料粒子が基板に衝突する際に、例えば3GPa以上の非常に高い圧力がかかる。そのため、常温プロセスで形成するにもかかわらず、非常に緻密で結晶性の高い膜を形成できる。また、基板のごく限られた領域にだけ高圧がかかるため、基板へのダメージが小さく、熱による相互拡散も生じないという利点がある。また、AD法では、常温衝撃固化現象原料粒子に機械的な衝撃力を与えるだけで、加熱することなく常温で高密度に固化する現象を用いて、緻密で密着性の高い膜を得ることができる。さらに、膜の材質にもよるが、成膜速度は従来の薄膜形成技術の数十倍以上であるという利点もある。図5は、エアロゾルデポジション法AD法を説明する模式図である。図5において、チャンバー21の内部には、台座22が設置され、その台座22上には基板23が配置されている。本発明においては、基板23として集電体を用いる。また、チャンバー21の内部の圧力は、ロータリーポンプ24により任意の減圧状態に制御可能である。一方、原料粒子26は、エアロゾル発生器27の内部で、ガスボンベ25から供給される搬入ガスによってエアロゾル化される。さらに、エアロゾル化した原料粒子は、チャンバー21の内部に配置されたノズル28から基板23に向かって噴射される。基板23の表面上では、粒子の破壊変形とともに堆積が生じ、薄膜が成膜される。AD法においては、活物質粒子を含む原料粒子を用いる。原料粒子の平均粒子径d50は特に限定されるものではないが、例えば0.1μm~5.0μmの範囲内であることが好ましく、0.5μm~2.0μmの範囲内であることがより好ましい。なお、原料粒子の平均粒径は、例えば粒度分布計により求めることができる。また、原料粒子の平均粒径を調整するために、メカニカルミリング例えばボールミルによる微細化や、所定の分級等を行うことが好ましい。AD法による成膜時の圧力Pは、所望の密度を得ることができる圧力であれば特に限定されるものではないが、例えば100Paより高いことが好ましく、120Pa以上であることがより好ましく、150Pa以上であることがさらに好ましい。成膜時の圧力が低すぎると、活物質層の密度が大きくなりすぎる可能性があるからである。一方、上記圧力Pは、例えば400Pa以下であることが好ましく、350Pa以下であることがより好ましい。成膜時の圧力が高すぎると、緻密な活物質層を得ることが困難になる可能性があるからである。AD法における搬送ガスの種類としては、特に限定されるものではないが、ヘリウムHe、アルゴンAr、窒素N2等の不活性ガス、および、ドライエア等を挙げることができる。また、搬送ガスのガス流量は、所望のエアロゾルを維持できる流量であれば特に限定されるものではないが、例えば3L/min.~8L/min.の範囲内であることが好ましい。また、本発明においては、上記活物質層上に、薄膜型の固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程を行っても良い。薄膜型の固体電解質層を形成することにより、薄膜型電池の有用な部材を得ることができる。固体電解質層の成膜方法は、特に限定されるものではなく、上述した活物質層の成膜方法と同様の方法を用いることができる。特に、本発明においては、AD法により固体電解質層を形成することが好ましい。D.全固体二次電池の製造方法次に、本発明の全固体二次電池の製造方法について説明する。本発明の全固体二次電池の製造方法は、上述した全固体二次電池用電極体の製造方法により得られた全固体二次電池用電極体を用いることを特徴とするものである。図6は、本発明の全固体二次電池の製造方法の一例を示す概略断面図である。図6においては、正極集電体14、正極活物質層11および固体電解質層13を有する電極体10を用意する図6a。次に、固体電解質層13上に、薄膜型の負極活物質層12を形成する図6b。最後に、負極活物質層12上に、負極集電体15を配置することにより、全固体二次電池20を得る。本発明によれば、上述した全固体二次電池用電極体を用いることにより、活物質層および集電体の間の剥離、活物質層の破壊等を抑制した全固体二次電池を得ることができる。また、本発明においては、上述した全固体二次電池用電極体に対して、任意の方法で活物質層を形成し、電池を得ることができる。例えば、上述した全固体二次電池用電極体が、正極集電体と薄膜型の正極活物質層とを有するものである場合、任意の方法で固体電解質層、負極活物質層および負極集電体を形成し、電池を得ることができる。中でも、本発明においては、固体電解質層および負極活物質層の少なくとも一方を、上記C.全固体二次電池用電極体の製造方法に記載した成膜方法で形成することが好ましく、特にAD法で形成することが好ましい。また、この事項は、上述した全固体二次電池用電極体が、負極集電体と薄膜型の負極活物質層とを有するものである場合も同様である。なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。以下に実施例を示して本発明をさらに具体的に説明する。[実施例1]原料粒子の調製まず、正極活物質として、市販のコバルト酸リチウムLiCoO2、戸田工業製を用意した。次に、コバルト酸リチウム150gを、ジルコニアボール10mmφ、10個とともに、ジルコニア製のポット45mlに入れ、ポットを完全に密閉した。このポットを遊星型ボールミル機フリッチュ製P7に取り付け、台盤回転数250rpmで、4時間メカニカルミリングを行い、粒子の微細化を行った。その後、所定の分級により、平均粒径1.8μmの粉末状のコバルト酸リチウムを得た。次に、固体電解質材料として、Li1.3Al0.3Ti1.7PO43LATPを用意した。次に、LATP150gを、ジルコニアボール10mmφ、10個とともに、ジルコニア製のポット45mlに入れ、ポットを完全に密閉した。このポットを遊星型ボールミル機フリッチュ製P7に取り付け、台盤回転数250rpmで、4時間メカニカルミリングを行い、粒子の微細化を行った。その後、所定の分級により、平均粒径1.2μmの粉末状のLATPを得た。次に、負極活物質として、市販のチタン酸リチウムLi4Ti5O12、石原産業製を用意した。次に、チタン酸リチウム150gを、ジルコニアボール10mmφ、10個とともに、ジルコニア製のポット45mlに入れ、ポットを完全に密閉した。このポットを遊星型ボールミル機フリッチュ製P7に取り付け、台盤回転数250rpmで、4時間メカニカルミリングを行い、粒子の微細化を行った。その後、所定の分級により、平均粒径0.8μmの粉末状のチタン酸リチウムを得た。電極体の作製正極集電体として、Al合金ビッカース硬度1405、厚さ0.1mmを用意した。次に、エアロゾルデポジション法により、正極集電体上に、コバルト酸リチウムから構成される正極活物質層を形成し、電極体を得た。なお、成膜条件は以下の通りである。<成膜条件>温度常温チャンバー内の圧力約1TorrガスHeガス流量4L/minスキャン速度2mm/sec得られた正極活物質層は、厚さが4.2μmであり、ビッカース硬度が250であった。電池の作製得られた電極体の正極活物質層上に、エアロゾルデポジション法により、LATPから構成される固体電解質層を形成した。なお、成膜条件は以下の通りである。<成膜条件>温度常温チャンバー内の圧力約1TorrガスHeガス流量2.5L/minスキャン速度2mm/sec得られた固体電解質層は、厚さが5μmであった。次に、得られた固体電解質層上に、エアロゾルデポジション法により、チタン酸リチウムから構成される負極活物質層を形成した。なお、成膜条件は以下の通りである。<成膜条件>温度常温チャンバー内の圧力約1TorrガスHeガス流量4L/minスキャン速度2mm/sec得られた負極活物質層は、厚さが4μmであった。また、正極活物質層、固体電解質層および負極活物質層が積層された膜のビッカース硬度は、320であった。最後に、得られた負極活物質層上に、スパッタリング法によりAu薄膜負極集電体を形成し、電池を得た。[実施例2]正極活物質として、市販のマンガン酸リチウムLiMn2O4、戸田工業製を用意した。次に、マンガン酸リチウム150gを、ジルコニアボール10mmφ、10個とともに、ジルコニア製のポット45mlに入れ、ポットを完全に密閉した。このポットを遊星型ボールミル機フリッチュ製P7に取り付け、台盤回転数250rpmで、4時間メカニカルミリングを行い、粒子の微細化を行った。その後、所定の分級により、平均粒径2.2μmの粉末状のマンガン酸リチウムを得た。この正極活物質を用いたこと以外は、実施例1と同様にして電池を得た。なお、得られた正極活物質層は、厚さが4μmであり、ビッカース硬度が550であった。[比較例1]正極集電体として、SUS316L-Hビッカース硬度452.9、厚さ0.1mmを用いたこと以外は、それぞれ実施例1と同様にして電池を得た。[評価1]実施例1、2および比較例1で得られた電池に対して、電流密度2.5μA/cm2、電圧範囲0.3V-2.7V、20サイクルの条件で充放電試験を行った。その結果、実施例1、2では、充放電試験後においても、正極活物質層を含む各層の破壊、正極集電体および正極活物質層の界面を含む各層間の剥離等は生じなかった。これに対して、比較例1では、充放電試験後において、各層の破壊が生じた。なお、比較例1において、破壊された層を厳密に特定することは困難であったが、実施例1、2との差異が正極集電体であることを考慮すると、正極活物質層に起因する破壊であることが示唆された。なお、図7aは破壊や剥離が生じなかった電池実施例1の写真であり、図7bは全体破壊が生じた電池比較例1の写真であり、図7cは部分破壊が生じた電池比較例1の写真である。[実施例3]まず、集電体として、Cu合金ビッカース硬度95.6、厚さ1mmを用意した。次に、実施例1で作製したコバルト酸リチウムの粉末を用いて、エアロゾルデポジション法により、集電体上に活物質層を形成し、電極体を得た。なお、成膜条件は以下の通りである。<成膜条件>温度常温チャンバー内の圧力約1TorrガスHeガス流量4L/minスキャン速度2mm/sec得られた活物質層は、厚さが4.2μmであり、ビッカース硬度が250であった。[実施例4]集電体として、Al合金ビッカース硬度140.5、厚さ0.1mmを用いたこと以外は、実施例3と同様にして、電極体を得た。[参考例1]集電体として、SUS304ビッカース硬度563.7、厚さ0.3mmを用いたこと以外は、実施例3と同様にして、電極体を得た。[参考例2]集電体として、Siビッカース硬度706.0、厚さ0.25mmを用いたこと以外は、実施例3と同様にして、電極体を得た。[評価2]Liイオン伝導度測定実施例3、4および参考例1、2で得られた電極体の活物質層に対して、Liイオン伝導度測定を行った。測定は、交流インピーダンス法により行った。結晶サイズ測定実施例3、4および参考例1、2で得られた電極体の活物質層に対して、X線回折XRD測定を行った。この得られたピークの半値全幅FWHMから、活物質層に含まれるコバルト酸リチウム粒子の結晶サイズを求めた。結晶サイズは、シェラーの式を用いて算出した。D=Kλ/βcosθK:Scherrer定数、λ:波長、β:結晶子の大きさによる回折線の拡がり、θ:回折角2θ/θ表1および図8に示すように、集電体のビッカース硬度が600以下である時に、Liイオン伝導度が1×10-4S/cm以上となり、良好なLiイオン伝導性を示した。また、実施例3、4では、結晶サイズが14nm以上と大きかった。特に、エアロゾルデポジション法により活物質層を成膜する場合、原料粒子は集電体に衝突した際の衝撃圧力で粉砕され、原料粒子の結晶サイズは微細化し、膜自体は緻密化する。この時、集電体の硬度が高すぎると、原料粒子衝突時の衝撃力は過剰に大きくなり、必要以上に結晶サイズの微細化が進む。その結果、結晶粒界密度が増加結晶性が低下し、イオン伝導が阻害されると考えられる。一方、集電体の硬度が低すぎると、膜に含まれる粒子の結晶サイズは過度に微細化しないが、膜自体の密度が低下する。その結果、膜のLiイオン伝導度は低くなると考えられる。従って、膜のイオン伝導度を最大化する集電体硬度が存在すると考えられる。[実施例5]実施例2で作製したマンガン酸リチウムの粉末を用いたこと以外は、実施例3と同様にして、電極体を得た。得られた活物質層は、厚さが4μmであり、ビッカース硬度が550であった。[実施例6、参考例3、4]実施例2で作製したマンガン酸リチウムの粉末を用いたこと以外は、実施例4、参考例1、2と同様にして、電極体を得た。[評価3]Liイオン伝導度測定実施例5、6および参考例3、4で得られた電極体の活物質層に対して、Liイオン伝導度測定を行った。評価方法は評価2と同様である。結晶サイズ測定実施例5、6および参考例3、4で得られた電極体の活物質層に対して、X線回折XRD測定を行った。評価方法は評価2と同様である。表2および図9においても、表1と同様の傾向が確認された。