複数の液体加圧室および該複数の液体加圧室にそれぞれ繋がっている複数の液体吐出孔を有する流路部材上に、前記複数の液体加圧室を覆うように圧電アクチュエータユニットが積層されている液体吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータユニットは、前記流路部材側から振動板、共通電極、圧電体および複数の個別電極の順に積層されているとともに、平面視したとき、前記複数の個別電極はそれぞれ前記複数の液体加圧室と重なるように配置されており、前記液体加圧室と重なっている前記振動板、前記共通電極、前記圧電体および前記個別電極にて変位素子を構成している液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を相対的に移動させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送部を制御する制御部とを有し、前記制御部は、一の前記変位素子を一の前記液体加圧室側に変位させて当該液体加圧室の体積を減少させた状態で待機し、前記一の液体加圧室の体積を増加させた後、当該液体加圧室の体積を減少させる駆動信号を当該変位素子に送るとともに、隣接する他の前記液体加圧室に対応する他の前記変位素子に同時に駆動信号を送らないように、遅延させて駆動信号を送るようにしてなり、かつ一の前記変位素子に前記駆動信号を送る際に、当該駆動信号のうちの体積を減少させる信号の電圧が変化し始めてから変化し終わるまでの期間と、一の前記変位素子に隣接する他の前記変位素子に、前記駆動信号のうちの体積を増加させる信号の電圧が変化し始めてから変化し終わるまでの期間とが重ならないようにすることを特徴とする記録装置。前記制御部は、前記駆動信号の後に、前記液体加圧室の体積を増加させた後、前記液体加圧室の体積を前記駆動信号よりも短い時間増加させた後、前記液体加圧室の体積を減少させるキャンセル信号を送り、かつ一の前記変位素子に前記駆動信号および前記キャンセル信号を送る際に、当該駆動信号のうちの体積を減少させる信号の電圧が変化し始めてから変化し終わるまでの期間と、一の前記変位素子に隣接する他の変位素子に、前記キャンセル信号のうちの体積を増加させる信号の電圧が変化し始めてから変化し終わるまでの期間とが重ならないようにすることを特徴とする請求項1に記録装置。前記液体加圧室および該液体加圧室から前記液体吐出孔までの流路の中の液体の体積固有振動周期の半分をALとするとき、前記制御部は、前記駆動信号の後に、前記液体加圧室の体積を増加させた後、前記液体加圧室の体積を前記駆動信号よりも短い時間増加させた後、前記液体加圧室の体積を減少させるキャンセル信号を送り、かつ一の前記変位素子に前記キャンセル信号を送る際に、当該キャンセル信号を送る一の前記変位素子に隣接する他の変位素子に、前記駆動信号により体積を増加させる信号を送り始めてから体積を減少させる信号を送るまでの間であって、当該体積を増加させる信号を送り始めてからAL/3経過後から、前記体積を増加させる信号を送り始めてから2AL/3経過後までの間以外の時間に、一の前記変位素子へ前記キャンセル信号を送り始めることを特徴とする請求項1または2に記載の記録装置。前記制御部は、一の前記変位素子に前記キャンセル信号を送る際に、当該キャンセル信号を送る一の前記変位素子に隣接する他の変位素子に、前記駆動信号により体積を増加させる信号を送り始めてから体積を減少させる信号を送るまでの間であって、当該体積を増加させる信号を送り始めてから2AL/3経過までの間以外の時間に、一の前記変位素子へ前記キャンセル信号を送り始めることを特徴とする請求項3に記載の記録装置。しかしながら、特許文献1に記載の液体吐出ヘッドでは、液体加圧室が密集して設けられており、しかも複数の液体加圧室を覆うように圧電アクチュエータユニットが積層されているため、液体吐出素子間でクロストークが生じ、記録精度が十分でなくなる場合があった。クロストークを抑制する方法としては、例えば、液体加圧室の中の液体を加圧する加圧部を駆動する駆動信号を遅延させて送ることが考えられる。また、駆動信号には電圧が変化し始めたから変化し終わるまで、ある程度時間を要することがある。そして、遅延を加えた駆動を行なう際に、電圧変化時間があるために、吐出特性がばらつくおそれがあった。したがって、本発明の目的は、駆動信号を遅延させる際に、液体吐出特性ばらつきが小さい記録装置を提供することにある。本発明の記録装置は、複数の液体加圧室および該複数の液体加圧室にそれぞれ繋がっている複数の液体吐出孔を有する流路部材上に、前記複数の液体加圧室を覆うように圧電アクチュエータユニットが積層されている液体吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータユニットは、前記流路部材側から振動板、共通電極、圧電体および複数の個別電極の順に積層されているとともに、平面視したとき、前記複数の個別電極はそれぞれ前記複数の液体加圧室と重なるように配置されていて、前記液体加圧室と重なっている前記振動板、前記共通電極、前記圧電体および前記個別電極にて変位素子を構成している液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を相対的に移動させる搬送部と、前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送部を制御する制御部とを有し、前記制御部は、一の前記変位素子を一の前記液体加圧室側に変位させて当該液体加圧室の体積を減少させた状態で待機し、前記一の液体加圧室の体積を増加させた後、当該液体加圧室の体積を減少させる駆動信号を当該変位素子に送るとともに、隣接する他の前記液体加圧室に対応する他の前記変位素子に同時に駆動信号を送らないように、遅延させて駆動信号を送るようにしてなり、かつ一の前記変位素子に前記駆動信号を送る際に、当該駆動信号のうちの体積を減少させる信号の電圧が変化し始めてから変化し終わるまでの期間と、一の前記変位素子に隣接する他の変位素子に、前記駆動信号のうちの体積を増加させる信号の電圧が変化し始めてから変化し終わるまでの期間とが重ならないようにすることを特徴とする。本発明の記録装置によれば、隣接した変位素子に駆動信号を送る際に、液滴を吐出するために電圧が立ち上がっている期間と、隣接した変位素子に送られる電圧が立ち下げっている期間とが重ならないように送られるため、吐出される液量にばらつきが生じ難く、その結果、液滴の吐出特性のばらつきを小さくできる。図1は、本発明の一実施形態である記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1以下、プリンタ1とするは、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端に液体吐出ヘッド本体13を有している。液体吐出ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔8が設けられている図3参照。1つの液体吐出ヘッド2に設けられた液体吐出孔8からは、同じ色の液滴インクが吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2の液体吐出孔8は一方方向印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタM、イエローY、シアンCおよびブラックKである。各液体吐出ヘッド2は、液体吐出ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成する液体吐出ヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a~122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示された液体吐出ヘッド本体13を示す上面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、液体吐出ヘッド本体13の一部である。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔8の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき液体加圧室10液体加圧室群9、しぼり12および液体吐出孔8を実線で描いている。図5は図3のV-V線に沿った縦断面図である。液体吐出ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、アクチュエータユニットである圧電アクチュエータユニット21とを有している。圧電アクチュエータユニット21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータユニット21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータユニット21により吐出された液滴が混在して着弾することになる。流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線仮想線のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータユニット21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータユニット21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータユニット21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータユニット21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータユニット21に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体13の長手方向に延在している。流路部材4は、複数の液体加圧室10がマトリクス状すなわち、2次元的かつ規則的に形成されている4つの液体加圧室群9を有している。液体加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータユニット21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室10によって形成された各液体加圧室群9は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータユニット21が接着されることで閉塞されている。本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1~E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。全体では、マニホールド5から繋がる液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の液体吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。圧電アクチュエータユニット21の上面における各液体加圧室10に対向する位置には後述する個別電極35がそれぞれ形成されている。個別電極35は液体加圧室10より一回り小さく、液体加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。流路部材4の下面には多数の液体吐出孔8が形成されている。これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータユニット21と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔群7は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット21の変位素子50を変位させることにより液体吐出孔8から液滴が吐出できる。液体吐出孔8の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。液体吐出ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャしぼりプレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体13は、図5に示されているように、液体加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、液体吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室10を介して副マニホールド5aと液体吐出孔8とが繋がる構成を有している。各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された液体加圧室10である。第2に、液体加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23詳細には液体加圧室10の入り口からサプライプレート25詳細には副マニホールド5aの出口までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。第3に、液体加圧室10の他端から液体吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ部分流路と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23詳細には液体加圧室10の出口からノズルプレート31詳細には液体吐出孔8までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27~30に形成されている。このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口副マニホールド5aの出口から液体吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室10の一端部に至る。さらに、液体加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔8へと進む。圧電アクチュエータユニット21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット21全体の厚さは40μm程度であり、100μm以下であることにより、変位量を大きくすることができる。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の液体加圧室10を跨ぐように延在している図3参照。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛PZT系のセラミックス材料からなる。圧電アクチュエータユニット21は、Ag-Pd系などの金属材料からなる共通電極34、Au系などの金属材料からなる個別電極35を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する位置に配置されている。個別電極35の一端は、液体加圧室10と対向する領域外に引き出されて引出電極35bになっており、引出電極35bの上には接続電極36が形成されている。接続電極36は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極36は、図示されていないFPCFlexiblePrintedCircuitに設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部100から外部配線であるFPCFlexiblePrintedCircuitを通じて駆動信号駆動電圧が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータユニット21に対向する領域内の全ての液体加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なる表面電極不図示が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に外部配線と接続されている。なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する液体加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット21における各液体加圧室10に対向する部分は、各液体加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50アクチュエータに相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が液体加圧室10毎に、液体加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5~7pLピコリットル程度である。平面視したとき、個別電極35は液体加圧室10と重なるように配置されており、液体加圧室10の中央に位置している部位の、個別電極35と共通電極34とに挟まれている圧電セラミック層21bは、圧電アクチュエータユニット21の積層方向に分極されている。分極の向きは上下どちらに向かっていてもよく、その方向に対応し駆動信号を与えることで駆動できる。本実施形態における駆動信号を、図6aおよびbを用いて説明する。図6aは駆動信号とその後に続くキャンセル信号であり、図6bは、その信号を加えた際に生じる変位素子の変位である。なお、実際の信号には、信号の立ち上がり、立ち下がりなどの信号のなまりが生じることがあるが、図ではそのようなものが含まれない、模式的なものを示している。また、実際の変位は、前記信号のなまりに対応した変位のなまりや、後述する液体加圧室10内の液体から受ける力などの外力により生じる変位が含まれるが、図ではそのようなものが含まれない、模式的なものを示している。これは、なまりのない信号を入力した際の、液体加圧室10に液体が入っていない状態の変位に相当する。図6の信号は、駆動信号であるメインパルスとメインパルスの後に送られるキャンセル信号であるキャンセルパルスとを含んでいる。なお、以下において、メインパスルとキャンセルパスルとを合わせた全体を駆動信号と言うこともある。メインパルスは引き打ちと呼ばれる駆動を行なうものである。まず、メインパルスについて説明する。メインパルスは、予め個別電極35を共通電極34より高い電圧V1Vボルト、以下で単位は省略することがあるにしておくことで、変位素子50が液体加圧室10側に変位して、液体加圧室の体積が減少した状態で待機し、吐出要求がある場合、時刻t0で個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位V2とすることで液体加圧室10の体積を増加させ、その後、時刻t1で再び高電位とすることで、液体加圧室10の体積を減少させる。時刻t0で液体加圧室10の体積が増加することで、液体加圧室10内の液体は負圧になる。これにより、液体吐出孔8から液体加圧室10に向かって圧力波が生じる。この圧力波が液体加圧室10に達し、反射されるタイミングに合わせて、時刻t1で液体加圧室10の体積が減少させられる。これにより反射した圧力波と液体加圧室10の体積が減少したことにより生じる圧力波が重なって液体吐出孔8に向かって進み、液滴が吐出される。なお、以上の説明は、t1と反射する時刻とが完全に一致している場合について説明しているが、実際には、これらの時刻はある程度ずれてもよい。個別流路32内において圧力波がしぼり12の液体加圧室10側の端から液体吐出孔8まで伝播する時間長さをALAcousticLengthといい、これはしぼり12の液体加圧室10側の端から液体吐出孔8までの液体の体積固有振動周期の半分でもある。理想的にはt1-t0をALと一致させることで、液体吐出速度は最大になると考えられるが、実際にはt1-t0を0.7AL~1.3AL程度の範囲にして使用される。ALは、流路の形状と液体の物性とから算出することもできるし、t1-t0の値を変えて吐出試験を行ない、液滴の速度がもっとも速くなる時間として、実験的に求めることもできる。なお、図1~5に示した個別流路32のALは約6.7μsである。以上のようなメインパルスにより、液滴の吐出は可能であるが、その後で、キャンセルパルスを送ってもよい。キャンセルパルスは、メインパルスの後の時刻t2で電圧V2を加え、液体加圧室10の体積を増加させた後、時刻t3で電圧V1を加え、液体加圧室10の体積を減少させる。キャンセルパルスの長さt3-t2は、メインパルスの長さt1-t0より短く設定される。キャンセルパルスは、例えば、次のような理由により加えられる。前述の説明では、液体吐出孔8に達した圧力波により、液滴が吐出されると簡単に説明したが、より詳しくは、液体吐出孔8から先に伸びる液柱が形成され、この液柱の後端がちぎれて、液柱が飛翔していくことになる。この際、液柱の後端近の液体の速度は、液柱の中央付近の液体の速度と比較して遅くなっている場合があり、液柱の後端部と液柱の中央部と別々の液滴になってしまう分滴が生じることがある。これらの液滴が印刷用紙Pの別々の場所に着弾すると、本来1つの画素となるべき吐出により2つの画素が形成されてしまい、記録精度が低くなることがある。この様な場合、キャンセルパルスにより、メインパルスにより形成された液柱の後端部分を液体吐出孔8に引き込んだり、液柱の後端部分となるはずの圧力波をディセンダ内部で引きも戻すことにより、分滴を抑制することができる。キャンセルパルスの長さt3-t2は、短いと上述の効果が少なく、長くなると、引き戻しの効果が大きくなりすぎて、液滴の吐出速度が下がってしまったり、長くなることでALに近づくとキャンセルパルスにより吐出が生じたりする。そのためキャンセルパルスの長さは、図1~5に示した液体吐出ヘッドでは、1.0~2.5μs程度に設定される。また、その長さは0.5AL以下、好ましくは0.4AL以下に設定される。メインパルスからキャンセルパルスまでの時間t2-t1は、液柱を引き込む動作をさせるために、AL以下の時間に設定される。t2-t1が短いと液柱を引き戻す効果が大きくなりすぎて、液滴の吐出速度が下がるため、t2-t1は0.1AL以上にすることが好ましく、特に0.25AL以上にすることが好ましい。t2-t1が短いと液柱を引き戻す効果が少なくなるため、t2-t1は0.6AL以下にすることが好ましく、特に0.5AL以下にすることが好ましい。駆動信号は、上述のメインパルスとキャンセルパルスとにより構成される。駆動信号は、基本的に、印刷用紙P上に1つの画素を形成するために送られるもので、所定の駆動周期毎に送られたり、送られなかったりすることで、画素が記録されたり、記録されなかったりする。メインパルスとキャンセルパルスの組み合わせは、もっとも単純なものでは、メインパルスの後にキャンセルパルスが送られる。他に、複数のメインパルスを送った後に、キャンセルパルスを送ったり、メインパルスの後にキャンセルパルスを送るパルスの組を2回以上送ってもよい。そのような場合、各メインパルスで吐出された液滴は、飛翔中に一体化して1つの液滴になったり、印刷用紙P上で広がって一体化するなどして、印刷用紙P上で1つの画素を形成する。このような駆動信号により記録を行なうとクロストークが生じることがある。主なクロストークとしては、圧変位素子50が変位する際に、変位素子50が収縮するので、その応力が隣接する変位素子に影響するもの、液体加圧室10の中の液体の振動が流路部材4を通じて隣接する液体加圧室10に伝わるもの、液体加圧室10の中の液体の振動がしぼり12を介して副マニホールド5aに伝わり、さらに副マニホールド5aに繋がっている液体加圧室10に伝わるものがある。このようなクロストークを抑制するために、駆動信号に遅延を与えて変位素子50に送ることが考えられる。これは、ある時刻tに駆動信号を送るところを時刻t遅延時間に駆動信号を送るものであり、マトリックス状に配置された液体加圧室10のうち隣接した液体加圧室に繋がっている変位素子50に同時に駆動信号を送らないようにすることで、前述の主なクロストークのうち最初の2つのクロストークを抑制することに効果がある。なお、ここで言う隣接する液体加圧室10とは、間の距離が最も近い液体加圧室10のことであり、より具体的には、略菱形より一般的には略平行四辺形のの辺が対向して隣り合う液体加圧室10のことである。そして、このような駆動は、例えば、図3のF1、F3、F5、F7、F9、F11、F13、F15の液体加圧室列に対応する変位素子50に遅延させない駆動信号を送り、F2、F4、F6、F8、F10、F12、F14、F16の液体加圧室列に対応する変位素子50に遅延させた駆動信号を送ればよい。そして、メインパルスとキャンセルパルスとを含む駆動信号を用いて、一部の駆動信号を遅延させて送る制御を行なって印刷していると、印刷のばらつきが大きくなる場合ある。これは、液滴の吐出速度にばらつきが生じた結果であり、その原因は次のように考えられる。図8a、bは、図5に示した液体吐出ヘッド2の要部である変位素子50のうち隣接したものを示したもので、変位素子50Aと変位素子50Bが隣接しており、その直下の液体加圧室10も隣接している。圧電セラミック層21aおよび圧電セラミック層21bは隣接する液体加圧室10を覆っており、隣接する液体加圧室10の間の上にも圧電セラミック層21aおよび圧電セラミック層21bが存在する。この隣接する品変位素子50A、50Bには、図7に示したような遅延無しの駆動信号と遅延有りの駆動信号が送られる。この場合の駆動信号は、時刻ta0~ta1および時刻tb0~tb1に送られているメインパルスと、時刻ta2~ta3および時刻tb2~tb3に送られているキャンセルパルスからなっている。図7駆動信号は、ドライバIC内の駆動信号生成部、配線および変位素子50などに付随する抵抗成分や容量成分により、電圧の立ち上がり、および立ち下がりに時間を要しているものを示している。より詳しくは、時刻ta1で上がり始めた電圧は時刻ta1-1で上昇を終わり、その後一定値になる。図7では、2つのメインパルスとキャンセルパルスはそれぞれ同じ長さ、同じ電圧のものが示されているが、印刷する内容によっては、それぞれ別な値であってもかまわない。また、それぞれの立ち上がり、立ち下りはほぼ同じ時間かかっているものを示しているが、例えば、ドライバICの内部回路を調整するなどして、それぞれの時間を変えてもよい。なお、上述の駆動波形では、時定数は約1.0μsであり、立ち上がり時間、立ち下がり時間は電圧が変化のする量の86までの変化が終了するまでの時間のことを指し、これは時定数の2倍の時間に相当する。また、時間駆動信号を遅延させる遅延時間Dはtb0-ta0である。ここでメインパルスの液体加圧室10の体積を減少させる際に電圧が立ち上がっている期間であるta1~ta1-1までの期間Ha1と、隣接する変位素子の駆動信号において電圧が立ち下りっている期間との関係に着目する。隣接する変位素子の駆動信号において電圧が立ち下りっている期間とはメインパルスにおける時刻tb0~tb0-1の期間Hb0およびキャンセルパルスにおける時刻tb2~tb2-1の期間Hb2のことである。期間Ha1と期間Hb0あるいは期間Hb2とが重なると液滴の吐出量が増えて、印刷ばらつきが生じるため、メインパルスは期間Ha0が上述の範囲とならないように送る。そのような制御は、遅延時間Dやメインパルスの長さやメインパルスからキャンセルパルスまでの時間を調整することにより行なうことができる。このなかで、メインパルスの長さやメインパルスからキャンセルパルスまでの時間は、所定の速度の液滴を吐出させるためなどの理由で、変更できる範囲にある程度の制限がある場合があるため、遅延時間Dで調整するのが好ましい。期間Ha1が、期間Hb0あるいは期間Hb2と重なると吐出量が多くなることを、図8bを用いて説明する。変位素子50Aはメインパルスの立ち上がり信号により液体加圧室10の体積を減少させようとしているところであり、変位素子50Bはメインパルスあるいはキャンセルパルスの立ち下り信号により液体加圧室10の体積を増やそうとしているところである。変位素子50Bは、変位が減ることにより、圧電セラミック層21bは変位素子50Bから変位素子50Aに向かって僅かに移動する。そして、この動きは変位素子50Aの液体加圧室10の体積を減らそうとする動きを助長するため、変位素子50Aの変位は、速く、大きくなり、液体吐出孔8に向かう圧力波が強くなり、液滴の量が増える。このことは、隣接する液体加圧室10に送られる駆動信号がメインパルスであってもキャンセルパルスであっても同様である。以上は、遅延無しの駆動信号のメインパルスの立ち上がり信号が、遅延有りの駆動信号の立ち下り信号に重なる場合について説明したが、これ以外の場合についても同様である。図9は、メインパルス、キャンセルパルス、メインパルス、キャンセルパルスの順で送られる駆動信号の例であり、2つのメインパルスではそれぞれ液滴が吐出され、それらの液滴は飛翔中、あるいは印刷用紙P上で一体化し、一つの画素を形成する。遅延有りの駆動信号の遅延時間はD2秒であり、遅延を加えた結果、遅延有りの駆動信号の1回目のメインパルスが立ち上がる時刻td1~td1-1の期間と遅延無しの駆動信号の2回目のメインパルスが立ち下がり時刻tc0~tc0-1の期間とが比較的近くなっている。この場合も同様に、これらの期間が重ならないようにすることで、印刷ばらつきを低減できる。続いて、キャンセル信号を送り始める時間と、隣接する変位素子50に駆動信号を送り始める時間の間隔について説明する。図10a~dは、図5に示した液体吐出ヘッド2の要部である変位素子50のうち隣接したものを示したもので、変位素子50Aと変位素子50Bが隣接しており、その直下の液体加圧室10も隣接している。圧電セラミック層21aおよび圧電セラミック層21bは隣接する液体加圧室10を覆っており、隣接する液体加圧室10の間の上にも圧電セラミック層21aおよび圧電セラミック層21bが存在する。この隣接する変位素子50A、50Bには、図7に示したような遅延無しの駆動信号と遅延有りの駆動信号が送られる。この場合の駆動信号は、時刻ta0~ta1および時刻tb0~tb1に送られているメインパルスと、時刻ta2~ta3および時刻tb2~tb3に送られているキャンセルパルスからなっている。図では、2つのメインパルスとキャンセルパルスはそれぞれ同じ長さ、同じ電圧のものが示されているが、印刷する内容によっては、それぞれ別な値であってもかまわない。駆動信号を遅延させる遅延時間Dはtb0-ta0である。ここでキャンセルパルスと隣接する変位素子のメインパルスとが重なる場合において、キャンセルパルスにおいて液体加圧室10の体積を増加させる時刻と、メインパルスにおいて液体加圧室10の体積を増加させる時刻との関係に着目する。図7の駆動信号では、メインパルスの液体加圧室10の体積を増加させる時刻tb0に対してH秒後の時刻ta2のキャンセルパルスで液体加圧室10の体積を大きくしている。この時間HがAL/3~2AL/3であると、そのキャンセルパルスを送られた変位素子50による吐出速度が速くなり、印刷ばらつきが生じるため、キャンセルパルスは時間Hが上述の範囲とならないように送る。そのような制御は、遅延時間Dやメインパルスの長さやメインパルスからキャンセルパルスまでの時間を調整することにより行なうことができる。このなかで、メインパルスの長さやメインパルスからキャンセルパルスまでの時間は、所定の吐出量の液滴を吐出させるためなどの理由で、変更できる範囲にある程度の制限がある場合があるため、遅延時間Dで調整するのが好ましい。時間HがAL/3~2AL/3であると吐出速度が速くなることを、図10bを用いて説明する。変位素子50Aはキャンセルパルスにより液体加圧室10の体積を増やそうとしているところであり、変位素子50Bはメインパルスにより液体加圧室10の体積を増やした後である。変位素子50Bは、電圧が加わっていない状態なので、電圧による駆動としては、変位していない状態であると考えられるが、実際には、液体が液体吐出孔8から液体加圧室10に移動してくるため、その液体の圧力により変位素子50Bは上側に変位している。そして、変位素子50Bが上側に変位しているため、圧電セラミック層21bは変位素子50Bから変位素子50Aに向かって力が加わった状態になる。そして、変位素子50Aが液体加圧室10の体積を増やすように変位しようとしても、圧電セラミック層21bが変位素子50Bから変位素子50Aに向かって力が加わった状態であるため、変位の戻り方が通常よりも遅くなる。これはキャンセルパルスの入り方が遅くなるのと同様の効果を生じ、キャンセルパルスの効果が少なくなる。キャンセルパルスの効果が少なくなると、そのキャンセルパルスを加えられた液体の吐出速度が速くなるので、印刷のばらつきが生じることがあるのである。なお、この際、キャンセルパルスの効果が小さくなっているので、キャンセルパルスの目的の一つである分滴を抑制する効果が十分でなくなっていることがあるが、これについても、キャンセルパルスを加えるタイミングを上述の範囲にすれば、通常と同じような抑制効果が得られる。変位素子50Bの上側の変位は、液体加圧室8から液体加圧室10へ移動する液体による力の加わり方が大きくなるAL/3~2AL/3で顕著になるため、キャンセルパルスの体積を大きくするタイミングは、この範囲以外にすればよい。なお、このような影響が大きくなる一つの要因は、液体加圧室10の体積を小さくする変位は、圧電体に電圧を加えたことにより直接的に生じる変位であるので、かなり強制的に行なわれるのに対し、液体加圧室10の体積を大きくする変位は、電圧が加わらなくなったことにより、自然に元の状態に戻ろうとしているだけであるので、周囲の圧電セラミック層21bの状態の影響を受けやすいことにある。続いて、時間Hが0であることにより生じる印刷ばらつきについて、図10c、dを用いて説明する。図10cの変位素子50Aは、キャンセルパルスが加わる時刻ta2の直前の状態であり、変位素子50Bは、メインパルスが加わる時刻tb0の直前の状態である。2つの変位素子50A、50Bの間の圧電セラミクック層21bは変位により引っ張り応力が加わっており、この際の応力は、1つの変位素子が変位している場合よりも大きく、約2倍であると考えられる。図8dでは変位素子50Aには、キャンセルパルスが加わって、液体加圧室10の体積が増えはじめ、変位素子50Bにはメインパルスが加わって、液体加圧室10の体積が増えはじめている。この際の変位の増加の駆動力の一部は、引き伸ばされた周囲の圧電セラミクック層21bが元に戻ろうとする力であり、上述のように、2つの変位素子50A、50Bにより引っ張られた圧電セラミクック層21bは、より大きな戻る力を生じさせるため、キャンセルパルスを加える力が強くなる。これによりキャンセルパルスの効果が強くなり、そのキャンセルパルスを加えられた液体の速度が速くなるので、印刷のばらつきが生じることがあるのである。この様に、キャンセルパルスと隣接する変位素子50に送られるメインパルスとが重なると、その重なり方により、そのキャンセルパルスを送られる変位素子50により吐出される液滴の速度が変わることがある。隣接する変位素子50に送ったメインパルスが液体加圧室10の体積を大きくしている状態を続けつつ、そのメインパルスが液体加圧室10の体積を大きくしてからAL/2秒経過した時点、すなわち時間H=AL/2付近で、キャンセルパルスを送ると、そのキャンセルパルスを送られた変位素子50により吐出される液滴の速度は速くなる。また、隣接する変位素子50に送ったメインパルスが液体加圧室10の体積を大きくし始めている時刻、すなわち時間H=0で、キャンセルパルスを送ると、そのキャンセルパルスを送られた変位素子50により吐出される液滴の速度は遅くなる。時間Hが0より大きくAL/3までの間は、この2つの要因が重なるので、相殺して結果的に印刷ばらつきがあまい大きくならないこともあるし、いずれか一方の影響が大きく出て、印刷ばらつきが大きくなることもある。いずれにしても、過渡的に領域であり、安定して印刷ばらつきをすくなくするには、この領域を避けて、キャンセルパルスは、隣接する変位素子50に送られるメインパルスが送られてから2AL/3までの間以外の時刻に送り初めればよい。以上は、遅延無しの駆動信号のキャンセルパルスが、遅延有りの駆動信号のメインパルスに重なる場合について説明したが、これ以外の場合についても同様である。例えば、メインパルス、キャンセルパルス、メインパルス、キャンセルパルスの順で送られる駆動信号では、2つのメインパルではそれぞれ液滴が吐出され、それらの液滴は飛翔中、あるいは印刷用紙P上で一体化し、一つの画素を形成する。遅延を加えた結果、遅延有りの駆動信号の1回目のキャンセルパルスと遅延無しの駆動信号の2回目のメインパルスとが近づくことがあるが、この場合も同様に、遅延無しの駆動信号の2回目のメインパルスを加える時刻に対する、遅延有りの駆動信号の1回目のキャンセルパルスを加える時刻までの時間を、AL/3~2AL/3以外、より好ましくは0~2AL/3以外にすれば、印刷ばらつきを低減できる。図1~5に示した構造の液体吐出ヘッドを作製し、印刷用紙P上の連続する16画素を形成する16個の液体吐出孔8からの液滴の大きさのばらつきを評価した。評価は遅延無信号により記録用紙P上に形成された画素の直径と、遅延有信号により記録用紙P上に形成された画素の直径と5個ずつを比較した。なお、画素の直径は33μm程度である。駆動波形は、7.6μsのメインパルスの2.6μs後に1.4μsのキャンセルパルスを送るものを使用した。遅延時間を0、5、8、11μsの4つの場合を評価した。なお、評価した液体吐出ヘッドの時定数は1.0μsであり、電圧変化が86終了するのに2.0μsかかる。遅延時間0μsでは、遅延無しの方が0.3μm大きく、遅延時間5μsでは、遅延無しの方が3.3μm大きく、遅延時間8μsでは、遅延無しの方が0.9μm大きく、遅延時間11μsでは、遅延無しの方が0.4μm大きかった。つまり、メインパルスの立ち上がり期間と、隣接する変位素子に送られる駆動信号の立ち下り期間が重なった場合は、0.9μm以上の画素の差になったのに対して、重ならないようにした場合は、画素の差は0.4μm以下になった。また、図1~5に示した構造の液体吐出ヘッドを作製し、印刷用紙P上の連続する16画素を形成する16個の液体吐出孔8からの液滴の吐出速度のばらつきを評価した。図11は、その評価結果をまとめたグラフであり、隣接する変位素子50にメインパルスを送る時刻tb0からキャンセルパルスを送る時刻ta2までの時間Hと吐出速度のばらつき最高の吐出速度-最低の吐出速度/吐出速度の平均の関係を示したものである。なお、実際の吐出速度は平均7~8m/sであった。この結果は次の2つ試験結果をまとめたものである。1つの試験は、遅延時間Dを11μsとして、駆動波形は、7.6μsのメインパルスの後に1.4μsのキャンセルパルスを送るもので、メインパルスとキャンセルパルスと間の時間を2.2μsから5.8μsまで変えて行なった。もう1つの試験は、遅延時間Dを6μsとして、駆動波形は、7.6μsのメインパルスの後に1.4μsのキャンセルパルスを送るもので、メインパルスとキャンセルパルスと間の時間を2.2μsから5.8μsまで変えて行なった。なお、上述の16個の液体吐出孔8はそれぞれ、液体加圧室列F1~F16に属する液体加圧室10の10の1個ずつに繋がっており、F1、F3、F5、F7、F9、F11、F13、F15の液体加圧室列に対応する変位素子50に遅延させない駆動信号を送り、F2、F4、F6、F8、F10、F12、F14、F16の液体加圧室列に対応する変位素子50に遅延させた駆動信号を送って試験を行なった。評価を行なった液体吐出ヘッドのALは6.7μsであり、時間Hを2.4μs=約0.36AL~4.2μs=約0.63AL以外の範囲、つまりAL/3~2AL/3以外の範囲とすることで、吐出速度ばらつきが20以下となった。また、時間Hを0μs~4.2μs=約0.63AL以外の範囲、つまり0~2AL/3以外の範囲とすることで、吐出速度ばらつきが13以下となった。なお、0~AL/3の範囲に吐出ばらつきの少なくなっている範囲もあるが、上述したように、この部分は2つの要因が相殺されたことにより生じていると考えられる過渡的な領域なので、より安定した印刷をするためには、避ける方が好ましい。