平均空孔径が50μm未満の微細空孔を備えたことを特徴とするポリマー発泡粒子。平均空孔径が3μm未満の微細空孔を備えたことを特徴とするポリマー発泡粒子。体積平均粒子径が15μm未満であることを特徴とする請求項2記載のポリマー発泡粒子。平均空孔径が50nm以上3μm未満の微細空孔を備え、かつ、体積平均粒子径が5μm以上15μm未満であることを特徴とする発泡トナー。平均空孔径が50nm以上1μm以下の微細空孔を備えていることを特徴とする請求項4記載の発泡トナー。比重が0.9未満であることを特徴とする請求項4記載の発泡トナー。ポリオレフィン、ポリオレフィンコポリマー、環状オレフィン、環状オレフィン共重合体樹脂、ポリスチレン、ポリスチレンコポリマー、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル樹脂及びその混合物よりなる群から選ばれるポリマー粒子と、高圧気体または超臨界流体とを、混合して混合物とする第1工程、該ポリマー粒子の中まで該高圧気体または超臨界流体を含浸させる第2工程、該混合物を減圧減温してポリマー発泡粒子を得る第3工程、を有するポリマー発泡粒子の製造方法であって、前記第3工程は、20MPa以上60°C以上の状態から、1MPa未満30°C未満の状態まで、5分以内に減圧減温することを特徴とするポリマー発泡粒子の製造方法。前記ポリマー発泡粒子を粉砕分級して所望の大きさのポリマー発泡粒子を得る第4工程を有することを特徴とする請求項7記載のポリマー発泡粒子の製造方法。前記高圧気体または超臨界流体が二酸化炭素を含有することを特徴とする請求項7記載のポリマー発泡粒子の製造方法。スチレンアクリル酸共重合体樹脂、ポリエステル樹脂、環状オレフィン共重合体樹脂のいずれかを含有するトナーと、高圧気体または超臨界流体とを、混合して混合物とする第1工程、該トナーの中まで該高圧気体または超臨界流体を含浸させる第2工程、該混合物を減圧減温してトナー発泡粒子を得る第3工程、前記トナー発泡粒子を粉砕分級して所望の大きさの発泡トナーを得る第4工程、を有し、前記第3工程は、20MPa以上60°C以上の状態から、1MPa未満30°C未満の状態まで、5分以内に減圧減温することを特徴とする発泡トナーの製造方法。本発明は、以上のような問題点に鑑みて為されたものであり、その目的とする処は、小さな空孔を設けたポリマー発泡粒子、発泡トナー、およびそれらの製造方法を提供することにある。本発明は下記の技術的構成により、上記課題を解決できたものである。1平均空孔径が50μm未満の微細空孔を備えたことを特徴とするポリマー発泡粒子。2平均空孔径が3μm未満の微細空孔を備えたことを特徴とするポリマー発泡粒子。3体積平均粒子径が15μm未満であることを特徴とする前記2記載のポリマー発泡粒子。4平均空孔径が50nm以上3μm未満の微細空孔を備え、かつ、体積平均粒子径が5μm以上15μm未満であることを特徴とする発泡トナー。5平均空孔径が50nm以上1μm以下の微細空孔を備えていることを特徴とする前記4記載の発泡トナー。6比重が0.9未満であることを特徴とする前記4記載の発泡トナー。7ポリオレフィン、ポリオレフィンコポリマー、環状オレフィン、環状オレフィン共重合体樹脂、ポリスチレン、ポリスチレンコポリマー、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル樹脂及びその混合物よりなる群から選ばれるポリマー粒子と、高圧気体または超臨界流体とを、混合して混合物とする第1工程、該ポリマー粒子の中まで該高圧気体または超臨界流体を含浸させる第2工程、該混合物を減圧減温してポリマー発泡粒子を得る第3工程、を有するポリマー発泡粒子の製造方法であって、前記第3工程は、20MPa以上60°C以上の状態から、1MPa未満30°C未満の状態まで、5分以内に減圧減温することを特徴とするポリマー発泡粒子の製造方法。8前記ポリマー発泡粒子を粉砕分級して所望の大きさのポリマー発泡粒子を得る第4工程を有することを特徴とする前記7記載のポリマー発泡粒子の製造方法。9前記高圧気体または超臨界流体が二酸化炭素を含有することを特徴とする前記7記載のポリマー発泡粒子の製造方法。10スチレンアクリル酸共重合体樹脂、ポリエステル樹脂、環状オレフィン共重合体樹脂のいずれかを含有するトナーと、高圧気体または超臨界流体とを、混合して混合物とする第1工程、該トナーの中まで該高圧気体または超臨界流体を含浸させる第2工程、該混合物を減圧減温してトナー発泡粒子を得る第3工程、前記トナー発泡粒子を粉砕分級して所望の大きさの発泡トナーを得る第4工程、を有し、前記第3工程は、20MPa以上60°C以上の状態から、1MPa未満30°C未満の状態まで、5分以内に減圧減温することを特徴とする発泡トナーの製造方法。本発明によれば、小さな空孔を設けたポリマー発泡粒子、発泡トナー、およびそれらの製造方法を提供することができる。また、均一な大きさの空孔を設けた発泡粒子を得ることもできる。また、空孔を小さくすることで小粒径の発泡粒子を得ることもできる。以下、図面を用いて本発明の実施形態について具体的に説明する。ポリマー発泡粒子および発泡トナー本発明のポリマー発泡粒子は、平均空孔径が50μm未満の微細空孔を備えたことを特徴とする。また、より好ましくは平均空孔径が10μm未満、さらに好ましくは平均空孔径が3μm未満である。なお、平均空孔径は、電子顕微鏡で空孔を撮影し、100個の空孔の長径を測定して平均を算出した値である。また、本発明のポリマー発泡粒子は、体積平均粒子径が5μm以上15μm未満とすると、電子写真用のトナーに適していて好ましい。粒子が大きいときは粉砕分級することで所望の大きさのポリマー発泡粒子を得ることができる。なお、体積平均粒子径は、コールターカウンター法により測定した値である。ポリマー発泡粒子の一例として、発泡したトナーを挙げることができる。本発明の発泡トナーは、平均空孔径が50nm以上3μm未満の微細空孔を備え、かつ、体積平均粒子径が5μm以上15μm未満であることが好ましく、更に平均空孔径が50nm以上1μm以下の微細空孔を備え、かつ、体積平均粒子径が5μm以上15μm未満であることが好ましい。また、比重が0.9未満であることが好ましく、より好ましくは0.75未満、さらに好ましくは0.5未満である。なお、比重は、カサ密度により測定した値である。軽量化によって、トナーの消費量を減らすことができ、熱定着時のにじみを減らして高精細な画像を得ることができる。製造方法本発明のポリマー発泡粒子の製造方法は、ポリオレフィン、ポリオレフィンコポリマー、環状オレフィン、環状オレフィン共重合体樹脂、ポリスチレン、ポリスチレンコポリマー、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル樹脂及びその混合物よりなる群から選ばれるポリマー粒子と、高圧気体または超臨界流体とを、混合して混合物とする第1工程、該ポリマー粒子の中まで該高圧気体または超臨界流体を含浸させる第2工程、該混合物を減圧減温してポリマー発泡粒子を得る第3工程、を有するポリマー発泡粒子の製造方法であって、前記第3工程は、20MPa以上60°C以上の状態から、1MPa未満30°C未満の状態まで、5分以内に減圧減温することを特徴とする。第2工程について、粒子の中まで含浸させるように時間を十分に掛けることで、均一な空孔を得ることができる。例えば、ポリマー粒子の体積平均粒子径が10μm程度であれば、10分以上掛けることが好ましい。減圧減温する時間は、好ましくは3分以内、より好ましくは1分以内である。減圧減温する時間が短いほど、すなわち急速に減圧減温するほど、小さな空孔を形成することができる。さらに、得られたポリマー発泡粒子を一般的な方法で粉砕分級して、所望の大きさのポリマー発泡粒子を得る第4工程を有していてもよい。高圧気体または超臨界流体は主成分として二酸化炭素を含有することが好ましい。その他窒素、二酸化炭素と窒素の混合物などを用いることもできる。本発明の発泡トナーの製造方法は、スチレンアクリル酸共重合体樹脂、ポリエステル樹脂、環状オレフィン共重合体樹脂のいずれかを含有するトナーと、高圧気体または超臨界流体とを、混合して混合物とする第1工程、該トナーの中まで該高圧気体または超臨界流体を含浸させる第2工程、該混合物を減圧減温してトナー発泡粒子を得る第3工程、前記トナー発泡粒子を粉砕分級して所望の大きさの発泡トナーを得る第4工程、を有し、前記第3工程は、20MPa以上60°C以上の状態から、1MPa未満30°C未満の状態まで、5分以内に減圧減温することを特徴とする。発泡トナーの粒子としては、体積平均粒子径が5μm以上15μm未満であることが好ましく、より好ましくは5μm以上10μm未満である。製造装置図1は、ポリマー発泡粒子の製造装置の一例を示す説明図である。1はCO2ボンベ、2は冷却器、3は高圧ポンプ、4は含浸槽、5はトナー、6は恒温水槽、Pは圧力計、Tは熱電対、V1~V5はバルブである。当該製造装置は、二酸化炭素の加圧部、定温含浸槽、噴射部から構成されている。CO2ボンベ1、冷却器2、高圧ポンプ3、バルブV1~V4は、二酸化炭素の加圧部を構成する。含浸槽4、恒温水槽6、圧力計P、熱電対Tは、定温含浸槽を構成する。バルブV5は噴射部を構成する。実施例1図1に示す製造装置を用いて、実施例1の発泡トナーを製造した。含浸槽4として、含浸槽SUS316製、体積:125ml、最高使用温度:200°C、最高使用圧力45MPaを用いた。また、高圧ポンプ3として、高圧送液のプランジャー型ポンプ富士ポンプ社製、最高使用圧力:100MPaを用いた。また、バルブV1~V5として、バルブSwagelok社製、SS-3NTRS4を用いた。具体的な作業は、以下の手順で行った。i何も入っていない含浸槽4を、図示していない乾燥機により55°Cで約1時間乾燥させた。その後、含浸槽4内に発泡前のトナー5結着樹脂:環状オレフィン共重合体樹脂、体積平均粒子径:300μm、2gを入れ、さらに乾燥機により55°Cで約1時間乾燥させた。その後、バルブV1~V5を開けて、冷却器2、高圧ポンプ3を作動させ、二酸化炭素が流れる状態にした。そして、バルブV5を閉めた。これによりトナー5と高圧気体である二酸化炭素を混合して混合物とした第1工程。なお、バルブV5を閉めた時、含浸槽4内の圧力はボンベ圧6MPaである。iiこの含浸槽4を、60°Cの湯を溜めた恒温水槽6内に入れた。このとき、バルブV4は開いたままなので、高圧ポンプ3により継続的に二酸化炭素が送られており加圧が続く。含浸槽4内が目的圧力30MPaになった後、バルブV4を閉めた。その後、冷却器2、高圧ポンプ3を停止させた。ここで、含浸槽4内は二酸化炭素の超臨界状態60°C、30MPaとなっており、この状態下で1時間放置し、二酸化炭素をトナー5の中まで含浸させた第2工程。iiiその後、含浸槽4を恒温水槽6から取り出して、室温約25°C下でバルブV5を開け、二酸化炭素を噴射30MPaから7~8MPaまで10秒、それから1気圧約0.1MPaまで30秒で、トータル40秒で減圧を完了。このとき含浸槽内の温度は60°Cから約25°Cになっており減温も完了。することにより、トナー5の発泡を行った第3工程。以上のようにして、実施例1の発泡トナーを得た。実施例2実施例1と同様にi~iiの工程でトナーを処理する。iiiその後、含浸槽4を恒温水槽6から取り出して、室温約25°C下でバルブV5を開け、二酸化炭素を噴射30MPaから7~8MPaまで30秒、それから1気圧約0.1MPaまで30秒で、トータル1分で減圧を完了。このとき含浸槽内の温度は60°Cから約25°Cになっており減温も完了。することにより、トナー5の発泡を行った。以上のようにして、実施例2の発泡トナーを得た。実施例3実施例1と同様にi~iiの工程でトナーを処理する。iiiその後、含浸槽4を恒温水槽6から取り出して、室温約25°C下でバルブV5を開け、二酸化炭素を噴射30MPaから7~8MPaまで2分30秒、それから1気圧約0.1MPaまで30秒で、トータル3分で減圧を完了。このとき含浸槽内の温度は60°Cから約25°Cになっており減温も完了。することにより、トナー5の発泡を行った。以上のようにして、実施例3の発泡トナーを得た。比較例1実施例1と同様にi~iiの工程でトナーを処理する。iiiその後、含浸槽4を恒温水槽6から取り出して、室温約25°C下でバルブV5を開け、二酸化炭素を噴射30MPaから7~8MPaまで24分30秒、それから1気圧約0.1MPaまで30秒で、トータル25分で減圧を完了。このとき含浸槽内の温度は60°Cから約25°Cになっており減温も完了。することにより、トナー5の発泡を行った。以上のようにして、比較例1の発泡トナーを得た。実施例および比較例の発泡トナーについて、下記の評価を行った。平均空孔径電子顕微鏡で空孔を撮影し、100個の空孔の長径を測定して平均を算出し、平均空孔径とした。空孔径バラツキ上記100個の空孔の長径のうち、最大値と最小値の差を算出し、空孔径バラツキとした。体積平均粒子径コールターカウンター法により体積平均粒子径を測定した。比重カサ密度により比重を算出した。実施例および比較例の条件と結果を表1に示す。なお、図2に実施例2の発泡トナー、図3に比較例1の発泡トナーの電子顕微鏡画像を示す。図2、図3および表1から明らかなように、実施例1~3の発泡トナーは、平均空孔径が50μm未満の微細空孔を備えている。特に実施例1および実施例2は平均空孔径が1μm以下と非常に小さい。また、実施例1~3の発泡トナーは、空孔径バラツキから明らかなように、均一な大きさの空孔が設けられている。また、実施例1~3の発泡トナーは、空孔を小さくすることで、体積平均粒子径が15μm未満の小粒径の発泡トナーを得ることができた。また、実施例1~3の発泡トナーは、比重も0.5未満で好ましい。これに対し、比較例1では平均空孔径が大きく、空孔径バラツキも大きく、体積平均粒子径が大きい。