順次投入される被計量物Wを所定の搬送条件で秤量台32上を搬送する搬送手段14と、前記秤量台に載置された被計量物の荷重に応じた秤量信号を出力する秤量手段21と、前記秤量手段に設けられ、前記秤量手段に加わる振動を互いに異なる少なくとも2軸方向で検出してそれぞれ振動検出信号を出力する振動検出手段100と、前記振動検出手段が出力した各軸の振動検出信号の振幅を所定の感度比でそれぞれ補正する振幅補正手段103X、103Y、103Zを含み、前記振幅補正手段により振幅が補正された各軸の振動信号に基づいて、前記秤量信号に含まれる振動成分を除去するための補正信号を生成する補正信号生成手段102と、前記秤量信号と、前記補正信号を合成することで、前記秤量信号から前記振動成分を除去する信号合成手段108と、前記信号合成手段から出力され、前記振動成分が除去された秤量信号を受け被計量物の計量値を算出する計量手段72と、を備えたことを特徴とする計量装置。前記振動検出手段が振動を検出する前記2軸方向は、少なくとも鉛直方向を含むことを特徴とする請求項1に記載の計量装置。前記振動検出手段が振動を検出する前記2軸方向は、ともに鉛直方向に対して所定角をなして傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の計量装置。前記振動検出手段が振動を検出する前記2軸方向は、互いに直交していることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の計量装置。前記振動検出手段は、互いに直交する3軸方向の振動を検出することを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の計量装置。しかしながら、振動影響は秤量台の重さ、秤の自由端側に秤量台が支持される計量装置の構造で秤量台の重心と秤の重心とが不一致になる場合に起こりうる偏荷重等により影響レベルが変わり、また振動方向も多軸方向の成分となるため、特許文献1、2のような1軸方向の振動成分を検出する従来の計量装置では、十分に振動影響を除去することができず、高精度に計量を行うことができないという問題があった。そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、振動の複数軸の成分を検出して秤量信号から振動除去を行うことで、十分に振動影響を除去して高精度に計量を行うことができる計量装置を提供することを目的とする。本発明に係る計量装置は、順次投入される被計量物を所定の搬送条件で秤量台上を搬送する搬送手段と、前記秤量台に載置された被計量物の荷重に応じた秤量信号を出力する秤量手段と、前記秤量手段に設けられ、前記秤量手段に加わる振動を互いに異なる少なくとも2軸方向で検出してそれぞれ振動検出信号を出力する振動検出手段と、前記振動検出手段が出力した各軸の振動検出信号の振幅を所定の感度比でそれぞれ補正する振幅補正手段を含み、前記振幅補正手段により振幅が補正された各軸の振動信号に基づいて、前記秤量信号に含まれる振動成分を除去するための補正信号を生成する補正信号生成手段と、前記秤量信号と、前記補正信号を合成することで、前記秤量信号から前記振動成分を除去する信号合成手段と、前記信号合成手段から出力され、前記振動成分が除去された秤量信号を受け被計量物の計量値を算出する計量手段と、を備えたことを特徴とする。この構成により、振動検出手段により互いに異なる少なくとも2軸方向で振動検出信号が出力され、振動検出信号に基づいて秤量信号に含まれる振動成分を除去するための振幅が補正された補正信号が補正信号生成手段により生成され、補正信号が信号合成手段により秤量信号に合成されることにより、秤量信号に含まれる振動成分を良好に除去することができる。したがって、振動の複数軸の成分を検出して秤量信号から振動除去を行うことで、十分に振動影響を除去して高精度に計量を行うことができる。また、本発明に係る計量装置は、前記振動検出手段が振動を検出する前記2軸方向は、少なくとも鉛直方向を含むことを特徴とする。この構成により、最も影響を受けやすい鉛直方向の振動を効率よく検出することができる。また、本発明に係る計量装置は、前記振動検出手段が振動を検出する前記2軸方向は、ともに鉛直方向に対して所定角をなして傾斜していることを特徴とする。この構成により、最も影響を受けやすい鉛直方向の振動を、ともに同レベルの振動検出信号を出力し、これらを合成することにより補正信号の精度を向上して、より確実に秤量信号から振動成分を除去することができる。また、本発明に係る計量装置は、前記振動検出手段が振動を検出する前記2軸方向は、互いに直交していることを特徴とする。この構成により、振動検出手段により互いに直交する2軸方向の振動を検出することができる。また、本発明に係る計量装置は、前記振動検出手段は、互いに直交する3軸方向の振動を検出することを特徴とする。この構成により、上記の効果に加えて、市販されている2軸もしくは3軸の加速度センサを用いることができ、構成を簡易化することができる。本発明は、振動の複数軸の成分を検出して秤量信号から振動除去を行うことで、十分に振動影響を除去して高精度に計量を行うことができる計量装置を提供することができる。以下、本発明に係る計量装置の実施の形態について図面を参照して説明する。図1~図4は、本発明に係る計量装置の一実施の形態を示している。図1、図2に示すように、計量装置1は、装置本体部2と、搬送部3と、搬入センサ4とを備えて構成されている。また、計量装置1の後段には選別部5が接続されている。計量装置1は、生産ラインの一部を構成するベルトコンベア14の下流側に設置されており、所定の間隔で矢印A方向に順次搬入されてくる肉、魚、加工食品、医薬品などの被計量物Wの重量を測定し、得られた測定値を測定結果として出力するようになっている。さらに、計量装置1は、予め設定された重量の上限および下限の基準値とそれぞれ比較し、得られた測定値が基準値の範囲内にあるか否かを判定して範囲内のものを良品とし、範囲外のものを不良品として良否判定したり、複数の基準値に対応して重量ランク判定をするようになっていてもよい。また、測定結果、良否判定結果や重量ランク判定結果は、表示手段10に表示されるとともに、計量装置1の後段に接続された選別部5に出力されるようになっている。選別部5では、計量装置1が出力した測定結果、良否判定結果や重量ランク判定結果に応じて被計量物Wを振り分けるようになっている。装置本体部2は、秤量手段21と、総合制御部7と、表示手段10と、設定手段11と、これらの各部を収納する収納筐体2aとにより構成されている。搬送部3は、ベルトコンベア14から矢印A方向に搬入されてくる被計量物Wを所定の搬送条件により搬送するようになっている。被計量物Wは、助走コンベア31により測定するのに最適な速度になるよう加速または減速されて搬送され、秤量コンベア32によりさらに搬送され、搬送されている間に重量が秤量手段21により計量されるようになっている。秤量コンベア32は、被計量物を所定の搬送条件により搬送するようになっている。また、被計量物Wは、計量の後にさらに後段の選別部5に搬送され、振り分けられるようになっている。搬送部3は、助走コンベア31および秤量コンベア32により構成されている。助走コンベア31は、前段のベルトコンベア14から搬送されてきた被計量物Wが秤量コンベア32に移動する前に、被計量物Wの助走を行うものであり、2つのローラ31a、31cと、これらのローラに巻き付けられている無端状の搬送ベルト31bとにより構成されている。図4に示すように、秤量コンベア32は、被計量物Wの計量を行う秤量手段21の上部に支持されており、2つのローラ32a、32cとこれらのローラに巻き付けられている無端状の搬送ベルト32bと、ローラ32cを駆動するモータ32dとにより構成されている。モータ32dとローラ32cは、それぞれプーリを有していて、駆動ベルトにより回転駆動されるようになっている。図4において、Gsは、秤量手段21の起歪体110の中心であり、Gtは、秤量手段21に負荷を加える状態で固定される秤量コンベア32の重心である。秤量コンベア32の重心は、モータ32dの配置により中心線Cから外れた位置にある。なお、中心線Cは、秤量手段21と秤量コンベア32の固定位置を含む鉛直線である。床面がZ方向に振動する場合、秤量手段21に固定された秤量コンベア32の荷重は、重心Gtを質点としてZ方向に作用する。このとき、秤量コンベア32の荷重の振動成分は、秤量手段21の中心Gsに関してモーメントを生じる。また、同様に、床面がY方向やX方向に振動する場合も、秤量コンベア32の荷重の振動成分は、秤量手段21の中心Gsに関してモーメントを生じる。このように、秤量手段21の中心Gsと秤量コンベア32の重心Gtとが一致していないことにより、各方向X、Y、Zの床振動による荷重変動を精度よく補正するためには、振動の強さ加速度に応じた振動成分だけでなく、上記したようなモーメントを考慮する必要があった。そして、特開2002-013971号公報に記載のように、重量のあるモータを秤量手段21の下方に配置して秤量コンベア32の重心Gtを下げ、振動によるモーメントを低減する技術があった。しかしながら、重心を下げるためにモータを秤量手段21の下方に配置したため、モータを安定的に支持するための構造が複雑になり重量が増加したり、駆動力を伝達する駆動ベルトが長くなって駆動ベルトの振動や回転むらにより振動が増加するといった、新たな問題が生じることとなり、床振動のある場所で高精度の計量を行うという点では課題があった。本実施の形態の計量装置1は、この課題を解決できる構成となっている。搬入センサ4は、一対の投光部4aおよび受光部4bからなる透過形光電センサで構成されており、助走コンベア31と秤量コンベア32との間に配置されている。具体的には、投光部4aは、搬送ベルト32bの装置本体部2側に配置され、受光部4bは、搬送ベルト32bの他の側面側で投光部4aに対向するように配置されており、被計量物Wが投光部4aおよび受光部4bの間を通過すると被計量物Wにより受光部4bが遮光されるので被計量物Wの搬入が開始されたことが検出されるようになっている。検出された搬入開始の信号は、装置本体部2内の総合制御部7に出力されるようになっている。秤量手段21は、秤量コンベア32を支持し被計量物Wの荷重に基づいて秤量信号を出力する荷重センサであり、電気抵抗線式秤ロードセルの構成を有し、被計量物Wが秤量コンベア32で搬送されている間に、秤量手段21に加わる荷重を測定するようになっている。具体的には、秤量手段ロードセル21は、図5a、図5bに示すように、金属性の起歪体110と、この起歪体110の応力集中部に貼り付けた電気抵抗線113a~113dからなるブリッジ回路113と、から構成され、秤量手段21に加わる荷重を受けて起歪体110の応力集中部が変形することにより、貼り付けられた電気抵抗線ひずみゲージ113a、113dが圧縮されて電気抵抗値が減少する一方、電気抵抗線ひずみゲージ113b、113cが伸張されて電気抵抗値が増加して、ブリッジ回路113の抵抗値が変化するため、この抵抗値の変化を秤量信号として測定するようになっている。起歪体110は、その固定端111が固定ベース87に固定される一方、その自由端112には秤量コンベア32の荷重を受ける支持部21aの下端部が連結されている。また、起歪体110の固定端111には、振動センサ100が設けられている。振動センサ100は、X軸、Y軸、Z軸の3軸の加速度を検出する1つの3軸加速度センサから構成されており、起歪体110の固定端111における振動のX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の各方向の振動成分を検出して出力するようになっている。ここで、X軸方向は、ベルトコンベア14による被計量物Wの搬送方向であり、Y軸方向は、水平面上における被計量物Wの搬送方向と直交する方向ベルトコンベア14の幅方向であり、X軸方向は鉛直方向である。また、振動センサ100としては、起歪体110の固有振動数よりも高い固有振動数を持つ加速度センサが用いられている。総合制御部7は、信号処理手段71、計量手段72、記憶手段73、制御手段74、良否判定手段76、モード切替手段77を備えている。信号処理手段71は、秤量手段21からの秤量信号を受け所定の信号処理条件に基づいて信号処理して信号処理済の秤量信号を出力するようになっていて、アナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換器を備えている。具体的には、信号処理手段71は、秤量手段21からの秤量信号に対して、種類や特性の異なる複数のローパスフィルタから選択したフィルタを用いて、秤量信号の低周波成分のみを信号処理済の秤量信号として通過させるようになっている。なお、信号処理手段71が選択するローパスフィルタは、1つの場合、または、複数を組み合わせたものの場合がある。このローパスフィルタとしては、FIRFiniteImpulseResponseフィルタと、IIRInfiniteImpulseResponseフィルタとがある。FIRフィルタは、インパルス応答波形が入力された場合に、ある決まった時間有限時間だけ出力を出す有限インパルス応答フィルタであり、IIRフィルタは、無限にインパルス応答波形の減衰波形を出力する無限インパルス応答フィルタである。ここで、FIRフィルタは、A/D変換器によりデジタル信号に変換された秤量信号に対して、所定の低周波成分を通過するローパスフィルタを構成し、単純平均化処理や公知の窓関数を用いた重み付け平均化処理を行うようになっている。IIRフィルタは、スイッチトキャパシタフィルタのように特性変更が可能なハードウェアを用いて秤量手段21からの秤量信号アナログ秤量信号を直接受けて処理済信号をA/D変換器に出力するアナログフィルタで構成してもよいし、A/D変換器からのデジタル秤量信号図示せずを受けるデジタルフィルタで構成してもよい。信号処理手段71は、具体的には、図7に示すように、秤量手段21からの秤量信号を増幅する増幅器94と、増幅された信号をデジタル変換するA/D変換器96と、デジタル変換された信号をフィルタ処理するフィルタ97と、を備えている。計量手段72は、信号処理手段71が出力する信号処理済の秤量信号に基づいて被計量物Wの計量値を算出グラム換算するようになっている。また、計量手段72においては、搬入センサ4によって被計量物Wが秤量コンベア32に搬入されたことが検知されてから所定の基準時間Tkが経過し、秤量手段21から秤量信号が出力された被計量物Wに対して、計量値を算出するようになっている。計量手段72により算出された個々の重量は、記憶手段73に算出データとして記憶されるようになっている。計量手段72は、搬入センサ4によって被計量物Wが秤量コンベア32に搬入されたことが検知されてから予め設定された基準時間Tkが経過したときに計量を行うようになっている。ここで、基準時間Tkは、搬入センサ4で被計量物Wが秤量コンベア32に搬入を開始したことを検出してから、被計量物Wが秤量コンベア32に完全に乗り移り、さらに秤量手段21から出力された秤量信号が安定するまでに必要な時間を意味する。具体的には、基準時間Tkは、秤量コンベア32の速度m/min、秤量コンベア32の矢印B方向の長さmmおよび被計量物Wの搬送方向である矢印B方向の長さmm、被計量物Wのサイズやラインの処理能力、その他の条件などに基づいて設定される。また、図3に示すように、基準時間Tkが経過すると、被計量物Wは、搬入開始検出位置POからL1だけ移動して質量測定位置PSに到達し、計量が行われる。なお、計量手段72においては、被計量物Wの品種特に、サイズに応じて、その測定範囲、測定能力および検査精度などの検査条件パラメータが選択されるようになっており、被計量物Wの品種に応じて、例えば、測定範囲が6g~600g、測定能力が最大150個/minで選択されるようになっている。この場合、被計量物Wの1個当たりの基準時間Tkは、最小400msecに設定されていることになり、基準時間Tkは400msec以上であればよいが、被計量物Wのサイズ、ラインの処理能力、生産その他の条件により設定されるようになっている。基準時間Tkは、400msecに近いほど短時間で測定されるので検査効率は高まり、遠くなるほど検査時間はかかるが、秤量コンベア32上を安定して搬送されるようになるから計量精度は高まることになる。また、被計量物Wの品種に応じて、例えば、測定範囲が1g~300g、測定能力が最大600個/minで選択されるようになっている。測定能力が最大600個/minであると、被計量物Wの1個当たりの測定時間は最小100msecに設定されていることになり、被計量物Wのサイズ、ラインの処理能力、生産やその他の条件により設定されるようになっている。この基準時間Tkは、100msecに近いほど短時間で測定されるので検査効率は高まり、遠くなるほど検査時間はかかるが、秤量コンベア32上を安定して搬送されるようになるから計量精度は高まる。このように、計量手段72においては、被計量物Wの品種に応じて、その範囲、能力などの検査条件パラメータが選択される。記憶手段73は、記憶媒体などから構成されており、秤量コンベア32による被計量物Wの所定の搬送条件、および信号処理手段71における所定の信号処理条件を含む条件パラメータを被計量物Wの品種に対応させて記憶するようになっている。記憶手段73には、被計量物Wの品種毎に付された各品種番号に対応して、搬送速度、LPFLowPassFilter特性が記憶されている。また、記憶手段73には、被計量物Wの良否を判定するための良品範囲が記憶されている。搬送速度は、被計量物Wを搬送する搬送部3の速度であり、LPF特性は、どのような特性のローパスフィルタであるかを示すものであり、良品範囲とは、良品と判定される被計量物Wの重量の範囲である。これらの記憶情報は、設定手段11からの設定操作または外部機器との接続により予め記憶されるようになっている。記憶手段73は、計量値、良品判定結果等の種々のデータを記憶するようになっている。制御手段74は、被計量物Wの品種に応じて記憶手段73から所定の搬送条件および所定の信号処理条件を読み出して秤量コンベア32および信号処理手段71をそれぞれ制御するようになっている。また、制御手段74は、記憶手段73に記憶している複数の品種に対応する条件パラメータを順次切り替えて搬送部3および信号処理手段71を制御するようになっている。また、制御手段74は、図示しないモータの回転速度rpmを駆動制御して、搬送部3による被計量物Wの搬送速度を制御するようになっている。良否判定手段76は、被計量物Wの良否を判定するものであり、判定回路などから構成され、計量手段72が算出した計量値と良否判定基準とを比較して被計量物Wの良否を判定するようになっている。具体的には、良否判定手段76は、計量手段72から出力された被計量物Wの重量信号を受けると、記憶手段73に予め記憶されている重量の上限値Gaおよび下限値Gbを読み出し、算出した被計量物Wの重量と上限値Gaおよび下限値Gbとをそれぞれ比較し、上限値Gaおよび下限値Gbで決定される重量の許容範囲内に被計量物Wの重量が入っているか否かを判定するようになっている。良否判定手段76において判定された判定結果は、表示手段10に出力され、良品または不良品として表示されるようになっている。また、判定結果は、計量装置1の後段に接続された選別部5に出力され、被計量物Wが良品または不良品として選別されるようになっている。さらに、この判定結果は、記憶手段73に出力され、各被計量物Wについての判定結果が記憶されるようになっている。モード切替手段77は、制御手段74に指令を出し、計量装置1の動作モードを、運転モードと設定モードとの間で切り替えるものである。ここで、運転モードとは、計量装置1が被計量物Wの計量、重量の算出および良否判定を行う通常の動作モードのことであり、設定モードとは、運転モードの動作のための各種パラメータの設定をしたり、運転モードの動作を正常に行うことができるか否かの動作確認のための動作モードである。モード切替手段77は、設定手段11からの入力操作に応じて動作モードを設定モードに切り替えたり、または、装置の運転開始時に動作モードを設定モードに切り替えるようになっている。また、総合制御部7は、図2、図5aに示すように、補正信号生成部102と、信号合成部108と、を備え、更に、図7に示すように、A/D変換器101X、101Y、101Zと、感度補正部103X、103Y、103Zと、を備えている。補正信号生成部102は、振動センサ100から出力された振動信号に対する制御対象モデルの応答信号を利用し、秤量手段21から出力された秤量信号から振動影響を除去するための補正信号を生成するものである。具体的には、補正信号生成部102は、X軸方向の振動値をX1、、Xn、X軸方向の振動値をY1、、Yn、X軸方向の振動値をZ1、、Zn、秤量値をW1、、Wnnは自然数としたとき、秤量手段21に被計量物Wがない状態で同時に得られる複数組n組の各振動成分の値Xk、Yk、Zk;k=1、、nの一次結合を左辺、秤量値Wk;k=1、、nを右辺として得られた連立方程式a[X]b[Y]c[Z]=[W]を解いて、定数a、b、cを算出して求めることにより、計量センサである秤量手段21の振動影響を除去するためのある時点tにおける補正信号Ctを、振動センサ100の各振動成分Xt、Yt、Ztを一次結合により合成して生成するようになっているCt=aXtbYtcZt。信号合成部108は、秤量手段21が出力する振動成分の混ざった秤量信号図6a参照に対して、補正信号生成部102により生成された補正信号図6b参照を、逆位相で加算または同位相で減算することにより、秤量手段21が出力する秤量信号から振動成分を除去するようになっている。これにより、図6cに示すような振動影響の無い秤量信号が得られる。また、図7に示すように、振動センサ100と補正信号生成部102との間には、振動センサ100からのX軸の振動成分、Y軸の振動成分、Z軸の振動成分をそれぞれアナログ信号からデジタル信号に変換するA/D変換器101X、101Y、101Zが設けられている。さらに、補正信号生成部102と信号合成部108との間には、補正信号生成部102により生成されたX軸、Y軸、Z軸の各補正信号に対して所定の感度比によりそれぞれ振幅補正を行う感度補正部103X、103Y、103Zが設けられている。すなわち、本実施の形態では、振動センサ100から出力されたX軸、Y軸、Z軸の各振動成分は、A/D変換器101X、101Y、101Zによりアナログ信号からデジタル信号に変換され、これらの振動成分に基づいて補正信号生成部102によりX軸、Y軸、Z軸の各補正信号が生成され、生成された各補正信号は、感度補正部103X、103Y、103Zによりそれぞれ振幅補正され、振幅補正された各補正信号は、信号合成部108により秤量信号に合成加算または減算されるようになっている。上記の振動センサ100による振動成分の検出、補正信号生成部102による補正信号の生成、信号合成部108による定数a、b、cの算出は、計量装置1の動作モードが運転モードのときに被計量物Wが搬入されるごとに搬入直前の振動センサ100の各振動成分および秤量値を用いて行って逐次更新するようにしてもよいし、動作モードが設定モードのときに振動センサ100による振動成分の検出、補正信号生成部102による定数a、b、cの算出を行って、この定数を記憶手段73に記憶させておき、動作モードが運転モードのときに、信号合成部108による信号の合成を行うようにしてもよい。前者の構成は、振動方向が一定でなく経時変化するようなときに適しており、後者の構成は、振動方向が変化せず一定であるときに適している。表示手段10は、図1に示すように、装置本体部2の搬送部3側の上端部に設けられ、液晶ディスプレイなどの表示デバイスで構成される。表示手段10は、計量装置1の動作モードが運転モードのときにおいては、計量装置1の動作状態、被計量物Wの計量値、良否判定結果を表示し、計量装置1の動作モードが設定モードのときにおいては、パラメータの設定や動作確認に関する表示をするようになっている。なお、表示手段10は、表示された数字、文字などがタッチ操作により入力されるタッチパネルとして構成し、設定手段11と一体化した構成にしてもよい。選別部5は、計量装置1の後段に接続されており、選別機構部5aおよび搬送ベルト5bにより構成されている。選別機構部5aは、例えば、押し出し型の選別機構により構成されている。選別機構部5aは、良品と不良品とを選別できるものであればよく、フリッパ機構、ドロップアウト機構、エアジェット機構などの選別機構で構成してもよい。選別機構部5aは、上流の秤量コンベア32から搬送される被計量物Wが搬送ベルト5bで矢印B方向に搬送されている間に、不良品と判定された被計量物Wに対して搬送ベルト5bの側面方向への押し出しやジェットエアの吹き付けを行うようになっており、不良の被計量物Wを搬送ベルト5b上から排出し、良品の被計量物Wと区別することにより選別を行っている。また、搬送ベルト5bは、ローラ5cおよびローラ5cに対向して配置されるローラ不図示と、これらのローラに巻き付けられている無端状の搬送ベルトとして構成されており、測定を終了した被計量物Wを所定の速度で下流側に搬送するようになっている。また、搬送ベルト5bは、ローラ5cおよびローラ5cに対向して配置されるローラ不図示と、これらのローラに巻き付けられている無端状の搬送ベルト5dとにより構成されており、測定を終了した被計量物Wを所定の速度で下流側に搬送するようになっている。ここで、図7に示す構成では、振動センサ100は、X軸、Y軸、Z軸の各振動成分を検出して出力する3軸加速度センサとして構成されているが、この振動センサ100に代えて、図8に示すように、3つの1軸加速度センサ、すなわち、X軸の振動成分を検出および出力する振動センサ100Xと、Y軸の振動成分を検出および出力する振動センサ100Yと、Z軸の振動成分を検出および出力する振動センサ100Zと、を用いるようにしてもよい。ここで、3つの振動成分のうち、Z軸の振動成分は、図9aに示すように最も振幅が大きく、X軸の振動成分は、図9bに示すように、Z軸の振動成分に次いで振幅が大きく、Y軸の振動成分は、図9cに示すように、最も振幅が小さい。このため、最も振幅が小さいY軸の振動成分の検出を省略して、Z軸およびX軸の2つの振動成分から補正信号を生成するように構成しても、秤量信号から十分に振動成分を除去することができる。すなわち、図10に示すように、振動センサ100に代えて、2軸加速度センサからなる振動センサ100XZを備えるとともに、Y軸用のA/D変換器101Y、感度補正部103Yを省略した構成とすることができる。この場合、振動センサ100XZによりX軸およびZ軸の振動成分を検出し、振動センサ100から出力されたX軸、Z軸の各振動成分は、A/D変換器101X、101Zによりアナログ信号からデジタル信号に変換され、これらの振動成分に基づいて補正信号生成部102によりX軸、Z軸の各補正信号が生成され、生成された各補正信号は、感度補正部103X、103Zによりそれぞれ振幅補正され、振幅補正された各補正信号は、信号合成部108により秤量信号に合成加算または減算される。振動センサ100XZとしては、例えば、櫛歯構造の電極を用いた静電容量式の加速度センサや、片持ち構造の梁部を圧電素子で支持する構造の圧電式の加速度センサ等を用いることができる。これらの加速度センサは、検出する主感度方向以外の振動成分が重畳する割合他軸感度が数程度2~5であり、各振動成分を精度よく検出して補正信号を生成することができる。また、図11に示すように、振動センサ100、100XZに代えて、1軸加速度センサからなる振動センサ100X、100Zを備えるとともに、Y軸用のA/D変換器101Y、感度補正部103Yを省略した構成とすることができる。この場合、振動センサ100XによりX軸の振動成分を検出するとともに、振動センサ100ZによりZ軸の振動成分を検出し、振動センサ100X、100Zから出力されたX軸、Z軸の各振動成分は、A/D変換器101X、101Zによりアナログ信号からデジタル信号に変換され、これらの振動成分に基づいて補正信号生成部102によりX軸、Z軸の各補正信号が生成され、生成された各補正信号は、感度補正部103X、103Zによりそれぞれ振幅補正され、振幅補正された各補正信号は、信号合成部108により秤量信号に合成加算または減算される。振動センサ100X、100Zとしては、検出可能な加速度範囲が±数GGは重力加速度を表すの高感度タイプの半導体加速度センサを用いるのがよく、具体的設計にあたっては、センサ活用ハンドブック第9章CQ出版社、2006年刊に紹介されているようなものから、検知軸数1軸乃至3軸、検知感度mV/G、サイズといった仕様を種々検討して、選定することとなる。なお、本実施の形態では、秤量手段21は、起歪体110を備える電気抵抗線式秤として構成されているが、秤量手段21が、電磁平衡式秤フォースバランス、または差動トランス式秤の構成であってもよい。秤量手段21が電磁平衡式秤または差動トランス式秤の構成である場合、振動センサ100、100X、100Y、100Zまたは100XZを、秤量手段21内の振動を良好に検出できる部位、例えば、支持部21aに相当する部位に設ければよい。さらに、加速度センサの感度軸は、必ずしも鉛直方向Zを含まなくてもよいし、各加速度センサの感度軸は互いに直交する方向でなくてもよい。これは、秤量手段21の振動成分を除去するための補正信号が、複数の加速度センサの一次結合による合成で得られることから、各加速度センサの感度方向が一次独立の関係であればよいことに基づいている。すなわち、1軸加速度センサを2つもしくは3つ用いる場合、各加速度センサの感度軸を鉛直方向に設定しなくてもよい。具体的には、3軸方向の振動を検出する場合、各加速度センサの感度軸を互いに一次独立なI、J、Kとなるように取付けし、これらの加速度センサからの信号をそれぞれX成分、Y成分、Z成分として取扱い、補正信号をCt=aXtbYtctのように一次結合により生成する。このように、各感度軸が互いに一次独立であれば、各感度軸の角度が多少ばらついたり、傾いて取付けられたりしても、精度のよい補正信号を生成することができる。また、2軸加速度センサや3軸加速度センサを用いる場合も、1軸加速度センサを用いる場合と同様に、感度軸の1つを鉛直方向に設定しなくてもよい。例えば、2軸加速度センサは、直交する感度軸を有する2つの加速度検出素子を備えている。通常、秤量手段21に作用する振動は、鉛直方向Z方向が主成分で、他方向X方向やY方向は1/3~1/10程度であり、振動のレベルが小さい場合には、ノイズ信号に埋もれてしまう。このような場合は、ノイズ信号を用いて定数a、b、cを求めることとなり、精度良く補正信号による振動成分の除去ができないことがあり、このような場合には、むしろ鉛直方向を感度軸に含まないようにしたほうがよい。図12に、鉛直方向を含まない互いに一次独立な3軸方向I、J、Kの振動を検出して補正信号を算出し、秤量信号から振動成分を除去する構成の例を示す。また、I軸を除いたJ、K軸の2軸による2軸方向の振動を検出するようにしてもよい。何れの場合でも、1軸の加速度センサを3つあるいは2つ用いて取付方向が多少ばらついても、振動信号を合成する定数が適宜算出されるから補正信号の精度は悪化しない。なお、2軸あるいは3軸の加速度センサを用いると、より容易に実施することができる。以上説明したように、本実施の形態に係る計量装置1は、順次投入される被計量物Wを所定の搬送条件で秤量コンベア32上を搬送するベルトコンベア14と、秤量コンベア32に載置された被計量物Wの荷重に応じた秤量信号を出力する秤量手段21と、秤量手段21に設けられ、秤量手段21に加わる振動を互いに異なる少なくとも2軸方向で検出してそれぞれ振動検出信号を出力する振動センサ100と、振動センサ100が出力した各軸の振動検出信号の振幅を所定の感度比でそれぞれ補正する感度補正部103X、103Y、103Zを含み、これら感度補正部103X、103Y、103Zにより振幅が補正された各軸の振動信号に基づいて、秤量信号に含まれる振動成分を除去するための補正信号を生成する補正信号生成部102と、秤量信号と、補正信号を合成することで、秤量信号から振動成分を除去する信号合成部108と、信号合成部108から出力され、振動成分が除去された秤量信号を受け被計量物Wの計量値を算出する計量手段72と、を備えたことを特徴とする。この構成により、振動センサ100により互いに異なる少なくとも2軸方向で振動検出信号が出力され、振動検出信号に基づいて秤量信号に含まれる振動成分を除去するための振幅が補正された補正信号が補正信号生成部102により生成され、補正信号が信号合成部108により秤量信号に合成されることにより、秤量信号に含まれる振動成分を良好に除去することができる。したがって、振動の複数軸の成分を検出して秤量信号から振動除去を行うことで、十分に振動影響を除去して高精度に計量を行うことができる。また、本実施の形態に係る計量装置1は、振動センサ100が振動を検出する2軸方向は、少なくとも鉛直方向を含むことを特徴とする。この構成により、最も影響を受けやすい鉛直方向の振動を効率よく検出することができる。また、秤量信号への影響が小さいY軸方向の振動成分の検出を省略した場合は、秤量信号に含まれる多軸成分の振動成分の良好な除去を維持したまま、振動センサ100の小型化、補正信号生成部102、感度補正部103X、103Y、103Z、信号合成部108の小規模化を行うことができる。また、本実施の形態に係る計量装置1は、振動センサ100が振動を検出する2軸方向は、ともに鉛直方向に対して所定角をなして傾斜していることを特徴とする。この構成により、最も影響を受けやすい鉛直方向の振動を、ともに同レベルの振動検出信号を出力し、これらを合成することにより補正信号の精度を向上して、より確実に秤量信号から振動成分を除去することができる。また、本実施の形態に係る計量装置1は、振動センサ100が振動を検出する2軸方向は、互いに直交していることを特徴とする。この構成により、振動センサ100により互いに直交する2軸方向の振動を検出することができる。また、本実施の形態に係る計量装置1は、振動センサ100は、互いに直交する3軸方向の振動を検出することを特徴とする。この構成により、上記の効果に加えて、市販されている2軸もしくは3軸の加速度センサを用いることができ、構成を簡易化することができる。