"物体を検査又は測定するための装置であって、前記装置の一部として一体として移動可能な光学アセンブリを含み、測定ビームを前記光学アセンブリの出口を通して方向づけるように構成され、前記光学アセンブリは、前記光学アセンブリの前記出口を通して方向づけられる前記測定ビームの光路を折り返すように構成される装置。前記光学アセンブリが反射屈折光学系を含む、請求項1に記載の装置。光の進行方向が前記光学アセンブリ内で変化する、請求項2に記載の装置。さらに、前記測定ビームと参照ビームを分離するように構成される第1スプリッタを含む、請求項1に記載の装置。さらに、前記物体からの反射された測定ビームと前記参照ビームを混ぜて前記物体の距離を測定するように構成される第2スプリッタを含む、請求項4に記載の装置。さらに、異なる方向を有する2つの軸に沿って前記光学アセンブリを動かすように構成される移動可能な部分を含む、請求項1に記載の装置。前記光学アセンブリが、前記測定ビームが前記光学アセンブリの前記出口へ方向づけられる透過部を有する窓を含む、請求項2に記載の装置。前記光学アセンブリが、前記測定ビームを光ファイバーから前記窓の反射領域へ方向づける中継システムと、前記窓の前記反射領域からの前記測定ビームを受光し反射し返し前記窓の透過部分を通して、前記光学アセンブリの前記出口を通して方向づけられているポインティングビーム及び測定ビームの光路を折り返す反射屈折光学系を含む、請求項7に記載の装置。前記光学アセンブリが、前記反射屈折光学系によって反射され戻って前記窓の前記透過部を通るように方向付けられる前記測定ビームの焦点を変化させるために、少なくとも一つの移動可能な光学系を含む、請求項8に記載の装置。前記反射屈折光学系によって反射され戻って前記窓の前記透過部を通るように方向づけられる前記測定ビームの前記焦点が、複数の光学系を動かすことによって変化し、前記複数の光学系が低屈折力であるが球面収差が大きいことを特徴とする、請求項9に記載の装置。前記窓は、前記ポインティングビーム及び前記測定ビームの波長範囲を含む所定の波長範囲内の光を透過するコールドミラーを含み、前記ポインティングビーム及び前記測定ビームを伝達する光ファイバーが前記コールドミラーの中心部位に設置され、前記反射屈折光学系は、前記光ファイバーからの前記測定ビームを受光し、前記測定ビームを反射して前記コールドミラーを通るように戻し、前記測定ビームが前記光学アセンブリの前記出口へ方向づけられる、請求項2に記載の装置。前記光学アセンブリが、前記反射屈折光学系によって反射され戻って前記コールドミラーを通るように方向づけられた前記測定ビームの焦点を変えるために、少なくとも一つの移動可能な光学系を含む、請求項11に記載の装置。前記反射屈折光学系によって反射され戻って方向づけられて前記窓の前記透過部分を通る前記測定ビームの前記焦点が、複数の光学系を動かすことによって変えられ、前記複数の光学系は、低屈折力であるが球面収差が大きいことを特徴とする、請求項12に記載の装置。前記測定ビームがポインティングビームを兼ねる、請求項1に記載の装置。前記光学アセンブリが、前記測定ビームを視線に沿って且つ前記光学アセンブリの出口を通して方向づけるように構成され、前記光学アセンブリは走査反射器を含み、前記走査反射器は前記測定ビームの焦点を前記視線に沿って調節するために移動可能である、請求項1に記載の装置。前記光学アセンブリは固定反射器を含み、前記固定反射器及び走査反射器は、光源からの前記測定ビームが前記走査反射器によって前記固定反射器へ反射され、前記固定反射器からの反射された測定ビームが再び前記走査反射器によって反射されるように、互いに関連して方向づけられ、前記測定ビームの前記焦点を前記視線に沿って調節するために、前記走査反射器は前記固定反射器に対して移動可能である、請求項15に記載の装置。前記走査反射器がレトロリフレクターを含み、前記固定反射器が平面鏡を含む、請求項16に記載の装置。前記光源及び前記平面鏡が全て前記光学アセンブリの支持構造体に対して固定された部位にあり、前記測定ビームの前記焦点を前記視線に沿って変化させるために、前記レトロリフレクターがそれらの固定された部位に対して移動可能である、請求項17に記載の装置。前記レトロリフレクターは、少なくとも3つの反射面を有するコーナーキューブを含み、前記少なくとも3つの反射面は、i前記光源からの前記測定ビームが前記コーナーキューブを通して前記平面鏡へ反射され、前記平面鏡から反射された前記測定ビームが再び前記コーナーキューブを通して反射され、ii少なくとも一つの所定の方向における前記コーナーキューブの動きによって、前記所定の方向を横切る方向における前記コーナーキューブの動きまたは前記所定の方向に対する前記コーナーキューブの回転に実質的に影響されない方法で、前記測定ビームの前記焦点が前記視線に沿って調節されるように方向づけられる、請求項18に記載の装置。前記走査反射器は、前記測定ビームの2つの反射をもたらす反射ルーフを含み、前記固定反射器も、前記測定ビームの2つの反射光をもたらす反射ルーフを含み、両方の反射ルーフの交線は互いに相対して所定の方向を向いている、請求項15に記載の装置。前記走査反射器によって反射され、前記視線に沿って方向づけられる前記測定ビームが、前記測定ビームの前記視線を折り返す折り返しミラーによって反射される、請求項20に記載の装置。前記ビーム源及び前記平面鏡が、前記レトロリフレクターに対して一体として動くことが可能であるような方法で支持され、前記視線は前記一体とともに動く、請求項21に記載の装置。前記光源が前記折り返しミラーに支持される光ファイバーを含む、請求項22に記載の装置。前記走査反射器によって反射され、前記視線に沿って方向づけられる前記測定ビームが、前記測定ビームの前記視線を折り返す偏光ビームスプリッタによって反射され、前記光源は、前記測定ビームの前記視線を折り返す前記偏光ビームスプリッタに対する所定の部位において光ファイバーを備える、請求項17に記載の装置。前記光源が、前記平面鏡として機能する部分及び前記走査反射器によって反射される前記測定ビームの前記視線を折り返す別の部分を有するモノリシック部材によって支持される光ファイバーを含む、請求項17に記載の装置。前記光源が前記平面鏡を支持する透過部材によって支持される光ファイバーを含む、請求項17に記載の装置。ビームを視線に沿って集光するための光学アセンブリであって、レンズと、前記レンズを通って延在する視線に沿って光源からのビームを集光するために協働する走査反射器及び固定反射器と含み、前記光源からのビームが前記走査反射器によって前記固定反射器へ反射され、前記固定反射器からの反射光が再び前記走査反射器によって反射されて前記レンズを通して前記視線に沿って方向づけられるように、前記レンズ、前記走査反射器及び前記固定反射器が互いに関連して方向付けられ、前記視線に沿って前記ビームの前記焦点を調節するために、前記走査反射器が前記光源、前記レンズ及び前記固定反射器に対して移動可能である光学アセンブリ。前記走査反射器がレトロリフレクターを含み、前記固定反射器が平面鏡を含む、請求項27に記載の光学アセンブリ。前記光源、前記レンズ及び前記平面鏡が全て前記光学アセンブリの支持構造体に対して固定され、前記測定ビームの前記焦点を前記視線に沿って変化させるために、前記レトロリフレクターがそれらの固定された部位に対して移動可能である、請求項28に記載の光学アセンブリ。前記レトロリフレクターは、少なくとも3つの反射面を有するコーナーキューブを含み、前記少なくとも3つの反射面は、i前記光源からの光が前記コーナーキューブを通して前記平面鏡へ反射され、前記平面鏡から反射された光が再び前記コーナーキューブを通して反射され、ii少なくとも一つの所定の方向における前記コーナーキューブの動きによって、前記所定の方向を横切る方向における前記コーナーキューブの動きまたは前記所定の方向に対する前記コーナーキューブの回転に実質的に影響されない方法で、前記ビームの前記焦点が前記視線に沿って調節されるように方向づけられる、請求項29に記載の光学アセンブリ。前記走査反射器は、前記ビームの2つの反射をもたらす反射ルーフを含み、前記固定反射器も、前記ビームの2つの反射光をもたらす反射ルーフを含み、両方の反射ルーフの交線は互いに相対して所定の方向を向いている、請求項27に記載の光学アセンブリ。前記走査反射器によって反射され、前記レンズを通して前記視線に沿って方向づけられる前記ビームが、前記レンズを通して方向づけられる前記ビームの前記視線を折り返す折り返しミラーによって反射される、請求項31に記載の光学アセンブリ。前記レンズ、前記ビーム源及び前記平面鏡が、前記レトロリフレクターに対して一体として動くことが可能であるような方法で支持され、前記視線は前記一体とともに動く、請求項32に記載の光学アセンブリ。前記光源が前記折り返しミラーに支持される光ファイバーを含む、請求項32に記載の光学アセンブリ。前記走査反射器によって反射され、前記レンズを通して前記視線に沿って方向づけられる前記ビームが、前記レンズを通して方向づけられる前記ビームの前記視線を折り返す偏光ビームスプリッタによって反射され、前記光源が、前記レンズを通して方向づけられる前記ビームの前記視線を折り返す前記偏光ビームスプリッタに対する所定の部位において光ファイバーを含む、請求項28に記載の光学アセンブリ。前記光源が、前記平面鏡として機能する部分及び前記走査反射器によって反射され且つ前記レンズを通して前記視線に沿って方向づけられる前記ビームの前記視線を折り返す別の部分とを有するモノリシック部材によって支持される光ファイバーを含む、請求項28に記載の光学アセンブリ。前記光源が前記平面鏡を支持する透過部材によって支持される光ファイバーを含む、請求項28に記載の光学アセンブリ。物体を検査又は測定するための方法であって、光学アセンブリの出口を通して測定ビームを方向づけるように構成される光学アセンブリ用いて前記物体に測定ビームを照射することを含み、前記光学アセンブリは、前記光学アセンブリの前記出口を通して方向づけられている前記測定ビームの光路を折り返すように構成される、物体を検査又は測定するための方法。前記光学アセンブリが反射屈折光学系を含む、請求項38に記載の物体を検査又は測定するための方法。前記光学アセンブリが、測定ビームを視線に沿って且つ前記光学アセンブリの前記出口を通して方向づけるように構成され、前記光学アセンブリは走査反射器を含み、前記走査反射器は前記測定ビームの焦点を前記視線に沿って調節するために移動可能である、請求項39に記載の物体を検査又は測定するための方法。設計情報に基づいて構造体を製造することと、請求項38の方法を用いることによって、構造体の形状情報を得ることと、前記得られた形状情報を前記設計情報と比較することとを含む、構造体を製造する方法。さらに、前記構造体を前記比較結果に基づいて再処理することを含む、請求項41に記載の構造体を製造する方法。前記構造体の再処理が前記構造体をもう一度製造することを含む、請求項41に記載の構造体を製造する方法。既存のレーザーレーダーシステムは、レーザーレーダーシステムの他の部品に対して回転し且つビームのポインティングを達成するために用いられる、比較的大きな回転走査ポインティングミラーを備える。このミラーはシステムの不安定性及び偏光の問題を引き起こす。また、既存のシステムは色収差があるため、2つの波長例えばポインティングビーム波長と測定ビーム波長を同時に空間の部分に集光させることができない。さらに、既存のシステムは、レーザーレーダーと同じ方向に向けられたカメラの視野を制限する。本発明は上記の事情を考慮してなされ、本発明の目的は、装置の一部として一体として移動可能な光学アセンブリを含み、光学アセンブリの出口を通して測定ビームを方向づけるように構成された装置を提供することである。なお、光学アセンブリは、光学アセンブリの出口を通して方向づけられている測定ビームの光路を折り返すように構成される。本発明の他の目的は、視線に沿ってビームを集光する光学アセンブリを提供することである。該光学アセンブリは、レンズと、レンズを通って延在する視線に沿って光源からのビームを集光するために協働する走査反射器及び固定反射器とを備え、光源からのビームが走査反射器によって固定反射器へ反射され、固定反射器からの反射光が再び走査反射器によって反射されてレンズを通して視線に沿って方向づけられるように、レンズ、走査反射器及び固定反射器が互いに関連して方向付けられ、視線に沿ってビームの焦点を調節するために、走査反射器が光源、レンズ、固定反射器に対して移動可能である。本発明の他の目的は、物体を検査又は測定する方法であって、測定ビームを光学アセンブリの出口を通して方向づけるように構成された光学アセンブリを用いることによって測定ビームを物体に向ける方法を提供することである。なお、前記光学アセンブリは、光学アセンブリの出口を通して方向づけられている測定ビームの光路を折り返すように構成される。本発明のさらに他の目的は、構造体を製造する方法であって、設計情報に基づいて構造体を形成することと、前記装置を用いることによって構造体の形状情報を得ることと、形成された構造体を配置することによって構造体の形状情報を得ることと、得られた形状情報を設計情報と比較することとを含む、構造体を製造する方法を提供することである。本発明のさらなる特徴は、以下の詳細な説明及び付随の図面から明らかになるだろう。本発明によるレーザーレーダーシステム100の実施形態を、以下で図面を参照して説明する。しかし、本発明はそれらに限定されない。本発明の実施形態は、小型の光学アセンブリ集積光学アセンブリ又はIOAと称されることがあるを提供する。このような小型の光学アセンブリはレーザーレーダーシステムにおいて有益であり、他の様々な光学システムにおいても有益である。レーザーレーダーシステムにおいて、光学アセンブリは、レーザーレーダーシステムがターゲットに向けられるように、レーザーレーダーシステムと一体として動くように構成され、レーザーレーダーシステムの他の部品に対して移動可能な大きな走査ポインティングミラーを不要にする。光学アセンブリは小型であり、ポインティングビーム及び測定ビームを光学レーダーシステムの出口に向けて方向づけ集光させるための素子を比較的単純に組み立てたものを利用するように設計される。第1実施形態に従う光学システムは、レーザーレーダーと一体として移動可能であり、レーザーレーダーシステムが向けられるターゲットへポインティングビームと測定ビームの両方を方向づける反射屈折光学系を含み、反射屈折光学系は、ポインティングビームを方向づけるためにレーザーレーダーの他の部品に対して移動可能な走査ポインティングミラーを不要にする。ポインティングビームは可視例えば約610nmから750nmのような赤色波長範囲内で作り出され、測定ビームは異なる所定の波長例えば約0.7μmから10μmなどの赤外光、つまりIR範囲内で作り出される。ポインティングビーム及び測定ビームをレーザーレーダーシステムからターゲットに方向づけるために、ポインティングビーム及び測定ビームは、レーザーレーダーシステムと一体として動く本実施形態の小型の光学アセンブリによって、レーザーレーダーの他の部品に対して移動可能な走査ポインティングミラーの使用をしない方法で操作される。光学アセンブリは、屈折力の大部分をもたらす凹面鏡を含む反射屈折光学系を含み、2つの必要とされる波長の間の色収差の容易な補正を可能にする。凹面鏡は、光路をそれ自身に向けて折り返し、光学アセンブリの全体の大きさを実質的に減じる。光学アセンブリのサイズは、カメラがレーザーレーダーシステムの移動部分に設置されるように十分小さく設計され、カメラの光軸が測定ビームの軸と同一線上になるようにする反射窓又はコールドミラーを用いることにより、視差効果を取り除く。凹面鏡は、システムの色収差の補正に役立ち、また光路を折り返して、走査のために光学アセンブリ全体がレーザーレーダーシステムと一体として回転するようにする小型の光学システムを作り出し、既存のシステムの高価で手間のかかる回転ポインティングミラーを除外する。基本的に第1実施形態は、レーザーレーダーシステムの一部として一体として移動可能であり、且つポインティングビーム及び測定ビームをレーザーレーダーシステムの出口を通して方向づけるように構成される光学アセンブリを含む。光学アセンブリは、光学アセンブリの大きさを圧縮するために、レーザーレーダーシステムの出口を通して方向づけられているポインティングビーム及び測定ビームの光路を折り返すように構成される反射屈折光学系を含む。第1実施形態は様々な方法で実装され得る。例えば、光学アセンブリは、ポインティングビーム及び測定ビームをレーザーレーダーシステムの出口に向かって方向づける透過部分を備える窓を含む。中継システムが、ポインティングビーム及び測定ビームを光ファイバーから窓の反射領域へ方向づけ、反射屈折光学系が窓の反射領域からのポインティングビーム及び測定ビームを受光し、反射して窓の透過部分に戻す。それによりレーザーレーダーシステムの出口を通して方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの光路が折り返され、光学アセンブリの大きさが圧縮される。凹面鏡は、光路をそれ自身に向けて折り返す。換言すると、光路の一部が重なる。測定ビームの光路に関しては、凹面鏡と窓の反射領域の間の光路が重なる。換言すると、光学アセンブリは光源からの光の2以上の方向を有する。この実装のある具合的なバージョンにおいて、光学アセンブリは、反射屈折光学系によって反射されて窓の透過部分を通るように戻されたポインティングビーム及び測定ビームの焦点を変えるために、少なくとも一つの移動可能な光学系を含む。他の具体的なバージョンにおいて、反射屈折光学系によって反射されて窓の透過部分を通るように戻されたポインティングビーム及び測定ビームの焦点は、低屈折力であるが球面収差が大きいことを特徴とする複数の光学系を動かすことによって変化する。第1実施形態の他の実装において、窓は、ポインティングビーム及び測定ビームの各々の波長範囲を含む所定の波長範囲内の光を透過するコールドミラーを含み、ポインティングビーム及び測定ビームを伝達する光ファイバーがコールドミラーの中心部位に設置される。反射屈折光学系は光ファイバーからのポインティングビーム及び測定ビームを受光し、ポインティングビーム及び測定ビームを反射して、レーザーレーダーシステムの出口へ方向づけられるコールドミラーに戻す。カメラ140は、コールドミラー122の被膜によって反射された光をカメラが受光するように位置づけられ、カメラの視線は測定ビーム及びポインティングビームの軸と同一線上になる。コールドミラー122はカメラの光軸を測定ビームの軸と同一線上にする。この実装のある具体的なバージョンにおいて、光学アセンブリは、反射屈折光学系によって反射されてコールドミラーを通るように戻るポインティングビーム及び測定ビームの焦点を変えるために、少なくとも一つの移動可能な光学系を含む。他の具体的なバージョンにおいて、反射屈折光学系によって反射されてコールドミラーを通るように戻ったポインティングビーム及び測定ビームの焦点は、低屈折力であるが球面収差が大きいことを特徴とする複数の光学系を動かすことによって変えられる。本発明の第2実施形態の基本的な態様に従うと、光学アセンブリは、ポインティングビーム及び測定ビームを視線に沿って且つレーザーレーダーシステムの出口を通して方向づけるように構成される。光学アセンブリは、光源、レンズ、走査反射器及び固定反射器を含み、これらはレンズを通って延在する視線に沿って光源からのポインティングビーム及び測定ビームを集光するために協働する。光源、レンズ、走査反射器及び固定反射器は、光源からのポインティングビーム及び測定ビームが走査反射器によって固定反射器へ反射され、固定反射器からの反射されたポインティングビーム及び測定ビームが再び走査反射器によって反射され、レンズを通して視線に沿って方向づけられるように、互いに関連して方向づけられる。そして走査反射器は、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点を視線に沿って調節するために、光源、レンズ及び固定反射器に対して移動可能である。第2の実施形態の好ましいバージョンに従うと、走査反射器はレトロリフレクターを含み、固定反射器は平面鏡を含む。光源、レンズ及び平面鏡は全て、光学アセンブリの支持構造体に対して固定された部位にあり、レトロリフレクターは、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点を視線に沿って変化させるために、それらの固定された部位に対して移動可能である。また、以下の詳細な説明は、第2実施形態の光学アセンブリのいくつかのバージョンを提供する。あるバージョンにおいて、レトロリフレクターは、次のように方向づけられる少なくとも3つの反射面を有するコーナーキューブを含む。i光源からのポインティングビーム及び測定ビームがコーナーキューブを通して平面鏡へ反射される。ii平面鏡から反射されたポインティングビーム及び測定ビームが再びコーナーキューブを通して反射される。iii少なくとも一つの所定の方向におけるコーナーキューブの動きによって、所定の方向を横切る方向におけるコーナーキューブの動きまたは所定の方向に対するコーナーキューブの回転に実質的に影響されない方法で、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点が視線に沿って調節される。第2実施形態に従う光学アセンブリの別のバージョンにおいて、走査反射器は、ポインティングビーム及び測定ビームの2つの反射光をもたらす反射ルーフを含み、固定反射器は、ポインティングビーム及び測定ビームの2つの反射光をもたらす反射ルーフを含み、両方の反射ルーフの交線は互いに相対して所定の方向を向いている。また以下の詳細な説明は、例えば第2実施形態の光学アセンブリの部品を構成し方向づけるためのコンセプトをもたらす。それらのコンセプトは、例えば、光学アセンブリを可能な限り小型に保ったまま、光学アセンブリを軽量にし、光学アセンブリの性能を改善するために設計される。あるコンセプトにおいて、走査反射器によって反射され且つレンズを通して視線に沿って方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームは、レンズを通して方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの視線を折り返す折り返しミラーによって反射される。光源は折り返しミラーに支持される光ファイバーを含む。別のコンセプトにおいて、レンズ、ビーム源及び平面鏡は、それらが、レトロリフレクターに対して一体として動くことが可能であるような方法で支持され、視線はその一体となったレンズ、ビーム源及び平面鏡とともに動く。さらなる別のコンセプトにおいて、走査反射器によって反射され且つレンズを通して視線に沿って方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームは、レンズを通して方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの視線を折り返す偏光ビームスプリッタによって反射される。光源は、レンズを通して方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの視線を折り返す偏光ビームスプリッタに対する所定の部位において光ファイバーを含む。さらに別のコンセプトにおいて、光源は、平面鏡として機能する部分及び走査反射器によって反射され且つレンズを通して視線に沿って方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの視線を折り返す別の部分を有するモノリシック部材によって支持される光ファイバーを含む。さらに別のコンセプトにおいて、光源は、平面鏡を支持する透過部材に支持される光ファイバーを含む。<第1実施形態>上記のように本発明は、レーザーレーダーシステムと一体として移動可能であり且つレーザーレーダーシステムからのポインティングビーム及び測定ビームを伝達するように構成される光学アセンブリを提供し、ポインティングビーム及び測定ビームはレーザーレーダーシステムが向けられるターゲットに向けられ得る。本発明は、米国特許第4733609号、第4,824251号、第4830,486号、第4969,736号、第5114,226号、第7139,446号、第7925,134号及び日本特許第2664399号に記載されるタイプのレーザーレーダーシステムと関連してここに記載され、これらをここに援用して本文の記載の一部とする。また、その記載から、本発明を様々なタイプのレーザーレーダーシステムに実装することができる方法は当業者にとって明らかであるだろう。図1及び図2は、この明細書で開示される実施形態の全てを含むレーザーレーダーシステムを示す。図1及び図2に示されるように、レーザーレーダーシステム100は、可視例えば、赤色波長範囲内のポインティングビームと、別の例えば、赤外、IR波長範囲内の測定ビームを形成し、ポインティングビーム及び測定ビームをレーザーレーダーシステムの出口120へ方向づける伝達する。ポインティングビームは、測定ビームが向けられるターゲット106上の位置を識別するために用いられる。ポインティングビーム及び測定ビームの光源は異なる。制御ユニットは、レーザーレーダーシステム100を制御することができる。この実施形態において、レーザーレーダーシステム100は制御ユニットを備える。しかし、レーザーレーダーシステム100に連結される別々のシステムが制御ユニットを備えてもよい。測定ビームは、スプリッタ102を通過してもよく、スプリッタ102は、測定ビーム及びポインティングビームを測定経路104に沿って且つターゲット106に向けて方向づけ、レーザービームの一部分が米国特許第4733609号、第4,824251号、第4830,486号、第4969,736号、第5114,226号、第7139,446号、第7925,134号及び日本特許第2664399号に記載される方法で処理される回路108を通して測定ビームの一部分を送る。図1において、そのスプリッタは102と識別される下部のスプリッタである。測定経路104に沿って方向づけられる測定ビームがターゲット106から反射され、その反射または散乱された測定ビームの一部分がレーザーレーダーシステム100に戻って受光される。反射または散乱された測定ビームの一部分は、図1に示される上部のスプリッタによって検出器へ方向づけられ、ターゲット106についての情報をもたらすために検出され処理される。反射又は散乱される測定ビームからの放射の検出及び処理は、レーザーレーダーシステム100の基部110でなされ、米国特許第4733609号、第4,824251号、第4830,486号、第4969,736号、第5114,226号、第7139,446号、第7925,134号及び日本特許第2664399号に従って、反射される放射を検出し処理するように構成される。これらの特許文献をここに援用して本文の記載の一部するが、これらは本実施形態のどの部分も形成しない。簡潔には、光ヘテロダイン式検出は、ターゲット106へ方向づけられ、ターゲット106から反射される光源光線を提供する。次いで、ターゲット106についての詳細な情報を提供するために処理されうる光干渉パターンをもたらすために、リターン光線は光検出器でローカルオシレーター光線と混合される。光ヘテロダイン技術は、光源光線及び反射光線の相互関係を利用する。例えばこれらの光線は実質的に同じ波長であり、同じ光軸上に方向づけられる。測定経路104及びターゲット経路104は同じである。このことより信号対雑音比SNRが改善され感度が高まる。SNRは公知の直接検出システムと対照的に、小さい受光開口を用いてもよいように十分に高い。小さい受光開口は、アクセスが制限される領域に挿入できる非常に小さいレンズとして想定されてもよい。また、小さい受光開口はターゲットについての詳細な情報を提供できるため、コヒーレントシステムの光学部品は非常に小さく形成されてもよく、関連する走査速度及び正確さの上昇をもたらしてもよい。例えば、1/2インチ約1.3cmの開口を用いるコヒーレント光システムは、直接光検出システムで用いられる4インチ約10.1cmの開口よりも多くのターゲットについての情報を得ることができる。本発明は、ポインティングビーム及び測定ビームをレーザーレーダーシステムの出口120に伝達する光学アセンブリを対象とする。公知のレーザーレーダーシステムにおいて、ポインティングビームをターゲットへと方向づけるために、移動可能なミラーが設けられる。移動可能なミラーは、測定ビームを伝達する光学系から離れており、移動可能なミラーとレーザーレーダー光学系の両方を収容するために比較的大きなレーザーレーダーハウジングを必要とする。測定ビームとポインティングビームの両方がレーザーレーダーシステム100と一体として移動可能で且つ比較的小型な光学アセンブリによって形成されるため、本発明は比較的小型である。さらに、本発明の光学アセンブリは、ビーム伝達/受光動作を実行する場合に比較的安定であるように設計される。光学アセンブリを移動するために電気モーターが設けられる。この実施形態において、光学アセンブリは、異なる方向と関連する2つの軸について移動可能である。図2に示されるように、2つの軸は、YZ面とXY面で定まる。2つの軸はZ軸及びX軸である。光学アセンブリの位置をモニターするためにエンコーダが設けられる。制御ユニットは、光学アセンブリの位置によって電気モーターのパワーを制御することができる。図2に示されるように、レーザーレーダーシステム100は、光学アセンブリが設置、固定されるハウジング例えば回転可能シリンダ112を含む。それにより光学アセンブリはシリンダ112と一体として、レーザーレーダーシステムの基部110に対して移動する。レーザーレーダーシステムは、ハウジング112において出口120を含み、出口120を通して放射例えば2つの波長のポインティングビーム及び測定ビームがレーザーレーダーシステムから方向づけられる。基部110は、米国特許第4733609号、第4,824251号、第4830,486号、第4969,736号、第5114,226号、第7139,446号、第7925,134号及び日本特許第2664399号に開示されるレーザーレーダーシステムの処理性能を含む。本実施形態の第1実施形態の光学アセンブリ114の基本的な特徴は、図3A~3Cから理解することができる。図3Aにおいて、光学アセンブリ114は、ポインティングビーム及び測定ビームが伝達される光ファイバーファイバーチップ116で表されると、光ファイバー116からのポインティングビーム及び測定ビームを図3A~3Cの実施形態においては、折り返しミラーとも称される窓122の小さい反射領域126へと方向づける中継システム124と、窓122の反射領域126からのポインティングビーム及び測定ビームを受光及び反射し窓122を通るように戻す反射屈折光学系128とを含み、ポインティングビーム及び測定ビームは、ハウジング112の出口120を通して方向づけられる。窓122は、片面に反射領域126を形成する小さな銀色の領域を有し、もう一方の面に赤色及び赤外範囲内の放射が窓を透過して出力開口120に伝達されるようにする被膜を有する。カメラ140が、窓122の被膜によって反射された光を受光するように、カメラの視線が測定ビーム及びポインティングビームの軸と同一線上になるようにして設置される。なお、カメラ140の位置及び向きが図3Aに示されているが、図3B、図3C、図4に示される第1実施形態のバージョンにおいて、カメラ140を窓122に対して同様に位置づけ、方向づけることができる。さらに、光学アセンブリ114は、ターゲット106から反射または散乱された少なくともいくつかの放射を受光するように構成され、その放射がファイバー116に戻るように方向付ける。ファイバー116は、可視例えば赤色波長範囲内のポインティングビームを異なる、例えば赤外IRの波長範囲内の測定ビームと結合する、ファイバービーム結合器を有し得る。ポインティングビーム及び測定ビームは別々の光源から発生させられ、当業者によく知られた方法で基部110内に設置されるファイバービーム結合器によって結合される。この実施形態のレーザーレーダーシステム100は、ポインティングビーム及び測定ビームを有する。しかしレーザーレーダーシステム100は測定ビームを有し、ポインティングビームを有さなくてもよい。測定ビームは、例えば可視である。ゆえにこの場合では、測定ビームがポインティングビームにもなり得る。この実施形態のレーザーレーダーシステム100は、ポインティングビームと測定ビームの間で異なる波長領域を有する。しかしレーザーレーダーシステム100は、例えば可視領域などの同じ波長領域を有してもよい。図3Aにおいて、光学アセンブリ114は、光ファイバー116からのポインティングビーム及び測定ビームを窓122の小さな反射領域126へと方向づける中継システム124と、窓122の反射領域126からのポインティングビーム及び測定ビームを受光及び反射し、窓122の透過部を通るように戻す反射屈折光学系128とを含み、ポインティングビーム及び測定ビームは、ハウジングの出口120を通して方向づけられる。反射屈折光学系128は、放射つまり、ポインティングビーム及び測定ビームを反射する球面鏡130と、放射を方向づける1つ以上の光学系を含む。図3Aの実施形態において、光学アセンブリは、球面鏡130から反射された放射の焦点を変化させ、窓122を通して戻すために、少なくとも一つの移動可能な光学系132を含む。光学系132は両凹でも平凹でもよく、少なくとも一つの凹部134が折り返しミラー122に対面する。移動可能な光学系132は、球面鏡130から反射された放射をターゲットに集光するように構成される。また移動可能な光学系132は、透過レンズ表面で反射された迷光ゴースト像が戻ってファイバー116を通るように方向付けられることを減少させるように構成される。特に、光学系132の凹部134は、レンズ表面で反射された迷光が戻ってファイバーを通るように方向付けられる可能性を減少させるために、ファイバー複合体とは全く異なる曲率中心を有する。また、光学アセンブリに関して固定されるレンズ135は、ターゲット上の回折限界集光スポットを考慮に入れて球面収差を補正する。球面鏡は光路をそれ自身に向かって折り返す。言い換えると、光路の一部分が重なる。測定ビームの光路に関して、凹面鏡と反射領域126の間の光路が重なる。言い換えると、光源からの光の進行方向が光学アセンブリ内で変わる。反射領域126から凹面鏡への方向は、凹面鏡から反射領域126への方向と異なる。第1実施形態の別の特定のバージョンでは、図3B及び図3Cに示されるように、光学アセンブリは、球面鏡130及び窓122に対してグループとして移動できる光学系の組136を含む。図3B及び3Cの実施形態において、反射屈折光学系によって反射され戻って窓122を通るように方向づけられたポインティングビーム及び測定ビームの焦点は、光学系の組136を動かすことによって変化する。その光学系は、低屈折力であるが球面収差が大きいことを特徴とする。よって、図3Bの例において、短い距離例えば、約1メートルの焦点をもたらすために、光学系の組136が窓122に比較的近接している。図3Cにおいては、比較的長い距離例えば、約60メートルの焦点をもたらすために、光学系の組136が球面鏡130に比較的近接している。移動するグループ136の位置は、2つの極端な状態の間で連続的に可変であり、レーザーレーダー光学アセンブリから例えば1~60メートルの間のいかなる距離においても、測定ビーム及びポインティングビームを集光できる。第1実施形態のさらに別の特定のバージョンにおいて、その反射屈折部分が図4に示されるが、窓122はコールドミラーとして知られるものを含む。なぜならコールドミラーはポインティングビーム及び測定ビームの可視赤色波長領域及びIR波長領域の放射を透過し、より短い波長の放射を反射するためである。光ファイバー116はコールドミラー122の中心部位の孔137に設置される。反射屈折光学系は、図3A、3B、3Cに関係して記載された方法で、光ファイバー116からのポインティングビーム及び測定ビームの放射を受光し、コールドミラー122を通してレーザーレーダーのハウジング122の出口120へその放射を反射して戻す。また、第1実施形態のこのバージョンは、反射されてコールドミラーを通るように戻された放射の焦点を変化させるために、例えば図3Aにおいて132で示されるような一つの両凹又は平凹の光学系を含み得る。一つの両凹又は平凹の光学系は、レンズ表面から反射された迷光ゴースト像が戻ってファイバーを通るように方向付けられることを減少させるために、ファイバー複合体とは全く異なる曲率中心を有する凹表面134を備える。あるいは、その第1実施形態のバージョンは、例えば、図3B及び3Cにおいて136で示されるような複数の移動する光学系を含み得る。複数の移動する光学系は、低屈折力であるが球面収差が大きいことを特徴とする光学系の組136を動かすことによって、反射屈折光学系によって反射され且つ戻ってコールドミラー122を通るように方向付けられたポインティングビーム及び測定ビームの焦点が変化するように構成される。図5は、本発明の第1実施形態に従う光学アセンブリの性能の例を示す。図5の例において、1、2、5、24及び60メートルにおいて赤外光について性能が示されているが、赤色光はいずれの位置についてもよく集光する。図5及び別紙Aは、当業者によく知られている光学システムの性能水準を示すスポットダイアグラムを示す。図5及び別紙Aの実線の円は、波長及びレーザーレーダー光学システムの開口によって定まる回折限界を示す。回折限界は、当業者によく知られるように、この光学システムにとって可能な最良の性能を示す。1、2、5、24及び60メートルの各ターゲット距離についての3つのプロットは、反射屈折光学システム128及び/又は中継システム124に対してファイバーが軸外に移動するときの性能を示す。各ターゲット距離についての3つのプロットは、左上は軸外距離0mmについて、右上は軸外距離0.3mmについて、中央下は軸外距離0.5mmについてである。記号は、異なる光線の集光位置を示す。これらの記号全てが回折限界を示す円内または円に近接している場合は、当業者によく理解されるように、レンズの性能は回折限界的である。ターゲットの3次元における位置を測定するためのレーザーレーダーの能力の重要な側面は、レーザーレーダーのポインティング光学軸に垂直な面におけるスポットの位置の分解能である。これは、光学アセンブリ全体をポイントするステアリングアセンブリの2つのポインティング角を正確に測定することによってなされる。しかしある状況において、ポインティング軸に垂直な面におけるターゲット位置の空間分解能は、光学アセンブリがターゲット上に結像するスポットの大きさに制限され得る。換言すると、ターゲットの結像される光のスポットが小さいほど、ターゲットの3次元位置がよりよく定められ得る。よって図5に示される性能は、当業者にとって明らかなように、本明細書に記載されるタイプのシステムを用いて達成される典型的な性能は回折限界的であり得ることを示す。さらに、結像したスポットの大きさは、光学アセンブリによってどれだけ光が集められ得るかを決定する。より多くの光がターゲットに集光する場合、より多くの光がターゲットによって反射又は散乱され、その反射又は散乱された光の適当な一部分が光学アセンブリによって集められ、集光されてファイバー116に戻され、これによりレーザーレーダーとターゲットの間の距離の正確な測定が可能となる。換言すると、米国特許第4733609号、第4,824251号、第4830,486号、第4969,736号、第5114,226号、第7139,446号、第7925,134号及び日本特許第2664399号に記載される技術を用いると、スポットが小さいほど、より多くの測定光が光学アセンブリに戻り、より正確な距離測定がなされる。上記の特許文献はここに援用され本文の記載の一部とされる。図6は、本実施形態に従う光学アセンブリを用いた、移動するグループ136の軸方向の位置を関数とする測定ビーム及びポインティングビームの焦点位置の例を示す。図6に示されるプロットは、特に図3B及び3Cに示される構成についての移動するグループの位置を示し、1メートルから60メートルの距離までレーザーレーダーハウジング112からターゲットまで進むためには、光学系の移動可能なグループ136が約47mm動く必要があることを示す。当業者に理解されるように、第1実施形態の光学アセンブリ114は小型で堅牢であり、屈折力の大半のために凹面鏡130を用いる。また、凹面鏡130は色収差を生じない。図3A~3Cの実施形態において、窓122は、窓の片面に小さな銀色の領域126が加えられ、少し不明瞭化を生じる。窓122の他方の面は、所定の波長例えば、可視赤色、IR範囲内の光を透過し、可視ポインティングビームに使用される波長以外のスペクトルの可視域の光を反射する波長選択性被膜を備える。これによりカメラ140は、レーザーレーダーシステムによって測定されている場所を見るためにその残りの可視光を使用できる。また、主ミラー130は凹型であり、好ましい実施形態において、主ミラーは球形であることにも注目すべきである。主ミラー130は、光学アセンブリの色収差を補正するのに役立ち得る。図3Aの実施形態における両凹又は平凹の移動レンズ132により集光を完了することができる。レンズグループ136図3B、3Cを主ミラー130とコールドミラー122の間で動かすことによっても集光を完了することができる。よって、第1実施形態の反射屈折光学アセンブリは、i移動するミラーの必要性を取り除いて、問題のあるドップラー効果を取り除き、ii2つの波長赤及び赤外を同時に集光させるように設計される、小型の光学アセンブリを提供する。凹面鏡130と窓又はコールドミラー122の間に設置される移動可能なレンズ132又はレンズグループ136が、ここに記載され示される部品と共に、集光を実現する。さらに、光学アセンブリは、窓又はコールドミラー122から1メートルから60メートルの連続的な集光範囲をもたらすように設計される。窓又はコールドミラーの背面での不明瞭化はごくわずかであり、中継システム124によってもたらされる色収差は反射屈折光学系によって補正される。よって、第1実施形態は、小型の光学アセンブリを提供し、この光学アセンブリは、レーザーレーダーシステムの他の部品に対して移動可能な大きな走査ポインティングミラーを不要にするため、レーザーレーダーシステムにおいて役立つ。さらに、第1実施形態の小型の光学アセンブリは、屈折力のほとんどをもたらす凹面鏡を備える反射屈折構成を有し、ポインティングビーム及び測定ビームの2つの所要波長間でより容易に色収差を補正する。凹面鏡は、光路をそれ自身へ向けて折り返し、全体的な大きさを実質的に減じる。システムの大きさは、カメラ140図2、3Aがレーザーレーダーシステムの動く部分に設置されるように十分に小さいべきであり、カメラの光軸が測定ビームの軸と同一線上になるようにする反射窓又はコールドミラーを用いることで視差効果を除外する。窓又はコールドミラー122は光がターゲットに投影される前の最後の光学要素であるため、この新たな光学アセンブリは、カメラの視野が窓またはコールドミラー122から反射されるように構成することによって、レーザーレーダーと同じ方向に同じ軸に沿って向けることができる広角カメラ140を使用できるようにする。不明瞭化はわずかであり、レーザーレーダーの作動中にターゲットに形成されるスポットの大きさを大幅に増加させないだろう。したがって、上記の説明からわかるように、本実施形態は、レーザーレーダーシステム用の小型の光学アセンブリを提供する。光学アセンブリは、レーザーレーダーシステムと一体として移動すしポインティングビーム及び測定ビームをレーザーレーダーシステムの出口へ伝達する反射屈折光学系を備え、レーザーレーダーシステムの他の部品に対して移動可能な走査ポインティングミラーを不要にする。上記の説明を考慮すると、本実施形態の光学アセンブリを様々なタイプのレーザーレーダーシステムに実装できる方法が当業者にとって明らかであろう。<第2実施形態>本発明の第2実施形態は、上記で図1及び2に関連して説明される基本原則に従って構成され作動するレーザーレーダーシステム100を備える。図7a及び7bから、本実施形態の第2実施形態に従う光学アセンブリ114の基本的な特定の特徴が理解されるだろう。図7aの光学アセンブリは、ポインティングビーム及び測定ビームが方向づけられるファイバー130で表される光源と、レンズ132、走査反射器134、及び固定反射器を含む。図7aにおいて固定反射器は平面鏡136を含む。これらの要素は、ファイバー130からのポインティングビーム及び測定ビームを視線138に沿って方向づけ集光するために協働する。視線138は光学アセンブリの光軸と一致しレンズ132を通って延在することが好ましい。ファイバー130、レンズ132、走査反射器134及び平面鏡は、ファイバー130からのポインティングビーム及び測定ビームが走査反射器134によって平面鏡136へ反射され、平面鏡136からの反射されたポインティングビーム及び測定ビームが再び走査反射器134によって反射され、レンズ132を通して視線138に沿って方向づけられるように、互いに関連して方向づけられる。次いでポインティングビーム及び測定ビームはレーザーレーダーシステムからターゲット106に方向づけられる。図7aの実施形態において、走査反射器134はレトロリフレクターを含む。レトロリフレクターは好ましくは、光学アセンブリの支持構造に全て固定されるファイバー130、レンズ132及び平面鏡136に対して例えばZ方向に移動するコーナーキューブである。コーナーキューブ134の移動により、ファイバーとレンズの間で測定ビームが進行する距離を変えることで、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点を視線138に沿って調節される。コーナーキューブ134は、次のように方向づけられる少なくとも3つの反射面を有する。i光源からのポインティングビーム及び測定ビームがコーナーキューブ134を通して平面鏡136へ反射される。ii平面鏡136から反射されたポインティングビーム及び測定ビームが再びコーナーキューブ134を通して反射される。iii少なくとも一つの所定の方向例えば図7aのZ方向におけるコーナーキューブの動きによって、所定の方向を横切る方向におけるコーナーキューブの動きまたは所定の方向に対するコーナーキューブの回転に実質的に影響されない方法で、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点が視線138に沿って調節される。図7bは図7aの光学アセンブリの断片的な概略図であり、コーナーキューブ134及び平面鏡136によりもたらされる反射の図式を示し、これは、ポインティングビーム及び測定ビームの反射が、Z方向を横切る方向におけるコーナーキューブ134の動きまたはZ方向に対するコーナーキューブの回転に影響されないようにする。ファイバー132は、可視例えば赤色波長範囲内のポインティングビームを異なる、例えば赤外IRの波長範囲内の測定ビームと結合するファイバービーム結合器を伴う。ポインティングビーム及び測定ビームは、別々の光源から発生させられ、当業者によく知られる方法で基部110内に設置されるファイバービーム結合器によって結合される。結合されるポインティングビーム及び測定ビームはここに記載される方法で、ファイバー130から方向づけられ、視線138に沿って集光される。よって、図7a及び7bに示される第2実施形態のバージョンにおいて、ポインティングビーム及び測定ビームは視線138に沿って方向づけられ、視線に沿ったポインティングビーム及び測定ビームの焦点は、一つの部品つまり、コーナーキューブ134を移動することにより、Z方向を横切る方向におけるコーナーキューブの動きまたはZ方向に対するコーナーキューブの回転に反応しないつまり、影響されない方法で調節される。また、図7a及び7bの光学アセンブリは非常に小型であり、比較的少ない部品で構成されている。ある構成において、コーナーキューブ134は、固定された素子ファイバー、平面鏡及びレンズに対して約22mm以下の距離にわたって移動することにより、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点を調節することができ、そのことは光学アセンブリの小型化に寄与する。図7a及び7bの第2実施形態のバージョンにおいて、ポインティングビーム及び測定ビームは視線に沿って、レーザーレーダーシステムの出口120へ方向づけられる。ポインティングビーム及び測定ビームは、測定ビームをレーザーレーダーシステムからターゲット106上のスポットに方向づけ、そこで放射がターゲットから反射及び/又は散乱される。レーザーレーダーシステムの動作原理に従うと、光学アセンブリ114は、ターゲット106から反射または散乱される少なくともいくつかの放射を受光し、その放射は、当業者にとって明らかな方法で、戻ってファイバー130を通るように方向づけられるであろう。ターゲット106上に結像した測定ビームのスポットの大きさは、どれだけの光が光学アセンブリによって集められ得るかを決定する。より多くの光がターゲット上に集光する場合、より多くの光がターゲットによって反射又は散乱され、その反射または散乱された光の適当な一部分が光学アセンブリによって集められ、ファイバー130に集光し戻され、これによりレーザーレーダーとターゲットの間の距離の正確な測定が可能となる。換言すると、米国特許第4733609号、第4,824251号、第4830,486号、第4969,736号、第5114,226号、第7139,446号、第7925,134号及び日本特許第2664399号に記載される技術を用いると、スポットがより小さいほど、より多くの測定光が光学アセンブリに戻り、より正確な距離測定が成なされる。上記の特許文献はここに援用され本文の記載の一部とされる。図7a及び7bに示される第2実施形態のバージョンの光学アセンブリにおいて、コーナーキューブ134に関連して固定される平面鏡136の設備は、コーナーキューブを出た第1経路ビームを送り戻してコーナーキューブを通すが、システムは移動するコーナーキューブのZ方向に対する傾斜に依然として反応しない。コーナーキューブ134のZ方向における横方向の移動は依然として第1経路にシフトを引き起こすが、しかし平面鏡136がビームを反転し戻してコーナーキューブを通し、それが等価な反対のシフトを引き起こし、シフトが相殺される。コーナーキューブを通る経路の各々について、コーナーキューブの再帰反射特性は、コーナーキューブの向き、つまり傾斜又は回転に関わらず、出力ビームが入力ビームに平行であることを確実にする。したがって、図7aのシステムは名目上、コーナーキューブの傾斜及びx/y方向の動きには反応しない。図7bは、固定された平面鏡136が、システムをどのようにコーナーキューブのx/y方向の動きに反応しないようにするかを示す。さらに、レーザーレーダーシステムは2つの波長を用いており、またシステムは背面反射に敏感であるため、コーナーキューブ134は、固体ガラスの従来のコーナーキューブよりもむしろ、3つのミラーの組エアコーナーキューブであってもよい。そして、ビームの各々が表面鏡に入射する。したがって、レーザーレーダーの距離測定部品についてノイズに寄与し得るゴースト像を形成し得る面は、屈折力をもたらすための2インチ約5.08cmレンズ以外は存在しない。コーナーキューブ134は、ビームによって2回横切られ、且つ反射されるため、ファイバー130とレンズ132の間の光路は、コーナーキューブの動きの4倍である;コーナーキューブの1mmの動きはファイバーとレンズの間の距離を4mm変化させる。ファイバーの既知のNA約0.1に基づき、且つ出口開口50mmに基づくと、固定レンズ132の理想的な焦点距離は約250mmであることがわかる。物体と像の関係についてのニュートン方程式に基づくと、必要な総焦点範囲は、近焦点位置1メートルと遠焦点位置60メートルの間で約88mmである。これは、88/4=約22mmのコーナーキューブの移動に換算される。したがって唯一の必要なレンズは直径2インチ約5.08cmの対物レンズ132である。この光学アセンブリの他の大きな利点は、光路138がコーナーキューブ134を通して2回折り返されるため、非常に小型な容積の中に250mmから88250=338mmが収められることである。また長い焦点距離は、より短い折り返しのないシステムと比べて、レンズ132の収差の要求が緩和されることも意味する。このシステムと透過光学系が移動するシステムとの主要な違いは、ファイバーがZ位置の基準であるために、集光部品コーナーキューブ134の動きがファイバー130と最後のレンズ部品の間のZ位置を変化させることである。したがって、システムは、この動きを簡単に補正するように十分正確にコーナーキューブの位置がわからなければならない。現在用いられているシステムパラメータは5μm1.25ppm/mの軸方向位置測定精度を有し、最低で1メートル焦点あたり6.25μmの軸方向位置精度を有する。これはステージ位置が最悪でも6.25/4=1.56μmの精度で測定されなければならないことを意味する。遠焦点60mにおいて、ステージは80/4=20μmの精度で知られなければならないだけである。このシステムのすべての利点を考慮すると、これはささいなトレードオフであるように思われる。図7aのシステムについて、入力ファイバー130は分岐する出力ビームのちょうど真ん中にある。システムが図7aのように造られる場合、ファイバー130を保持する構造体が光を遮り、光の一部が戻って直接ファイバーに入射し、ノイズをもたらす可能性がある。図8a、8b及び8cに示される代替システムは、この問題に対処する方法を提供する。図8a、8b及び8cに示される光学アセンブリ114aは第2実施形態の第2バージョンを提供し、測定ビーム及びポインティングビームの光源を提供するファイバー130a、レンズ132a、走査反射器134a及び固定反射器136aを含む。走査反射器134aは、ポインティングビーム及び測定ビームを2回反射する反射ルーフを含み、固定反射器136aもポインティングビーム及び測定ビームを2回反射する反射ルーフを含む。また、反射ルーフ134a及び136aのそれぞれの交線140、142は互いに相対して所定の方向に向けられている。図8a、8b及び8cに示される本発明のバージョンは、図7a及び7bのバージョンと全般的に同じ方法で作動する。反射ルーフ134aは、次のように方向づけられる一組の反射面を備える。i光源からのポインティングビーム及び測定ビームが反射ルーフ134aを通して固定反射ルーフ136aへ反射され、固定反射ルーフ136aから反射されたポインティングビーム及び測定ビームが再び反射ルーフ134aを通して反射される。ii少なくとも一つの所定の方向例えば図8aのZ方向における反射ルーフ134aの動きによって、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点が視線138aに沿って調節される。図8cは図8a及び8bの光学アセンブリの断片的な概略図であり、反射ルーフ134a及び固定反射ルーフ136aによりもたらされる反射の図式を示す。よって、ポインティングビーム及び測定ビームは視線138aに沿って方向づけられ、視線138aに沿ったポインティングビーム及び測定ビームの焦点は、一つの部品反射ルーフ134aを固定反射ルーフ136a、レンズ132a及びファイバー130aに対してZ方向に移動することによって調節される。図8a、8b及び8aの光学アセンブリは非常に小型であり、比較的少ない部品で構成されている。前のバージョンと同様に、反射ルーフ134aは、固定された素子ファイバー130a、固定反射ルーフ136a及びレンズ132aに対して22mm以下の距離にわたって移動することにより、ポインティングビーム及び測定ビームの焦点を調節することができ、そのことは光学アセンブリ114aの小型化に寄与する。図8a、8b及び8cの光学アセンブリは、分岐する出力ビームのちょうど真ん中に入力ファイバーがあり、その結果ファイバーを保持するための構造が光を遮り、光の一部が戻ってファイバーに直接入射し、ノイズをもたらすだろうという問題に対処する。具体的には、コーナーキューブを移動させること及び固定ミラーを用いることの代わりに、光学アセンブリは2つの反射ルーフ134a、136aに分けられる。反射ルーフ134aはコーナーキューブの代わりに移動し、反射ルーフ136aは固定され且つ反射ルーフ134aの移動に対して光学軸の周りを90°回転する。この光学アセンブリは、一つの主要なさらなる利点と一つの不利益と共に、図7aのシステムと同じ利点を達成する。入力ファイバー130からのポインティングビーム及び測定ビームは、動く反射ルーフ134aに向かい、反射ルーフ134aによって下へ移動される。次いでポインティングビーム及び測定ビームは、固定反射ルーフ136aに向かい、反射ルーフ136aはそれらのビームを図の手前から奥へずらす。次いでビームは、反射ルーフ134aを通して戻され、入力ファイバー130aに対して拡大され、しかし平行に外に出る。しかし、固定ルーフ136aのおかげで、ビームはファイバー130に対して図8a及び8bのY方向に移動される。したがって、不明瞭化の問題も背面反射の問題もない。しかし、もし移動するルーフがZ軸の周りを回転する場合は、この理想的な特性はもはや、必ずしも当てはまらないという不利益がある。もし反射ルーフ134aが移動中にY軸の周りを回転する場合、反射ルーフ134aは屋根のように作動し、角度は変化しない。もし反射ルーフ134aがX軸の周りを回転する場合、反射ルーフ134aは平面鏡のように振る舞うが、固定反射ルーフ136aがZ軸の周りを90°回転するため、固定反射ルーフ136aがこの角度変化を除去する。もし反射ルーフ134aがX方向にシフトする場合、それはビームをシフトさせるが、しかし、次いで固定反射ルーフ136aが図7aのシステムにおけるようにミラーのように振る舞い、反射ルーフ134aを通る第2経路がシフトを補正する。最後に、反射ルーフ134aがY方向にシフトする場合、それは平面鏡と同様であるため、ビームに変化は生じない。ファイバー130aと固定レンズ132aの間の軸方向距離を変化させるために、反射ルーフ134a、136aを形成する2つの屋根型プリズムの形の一連の第1面鏡表面鏡が用いられる。このシステムは名目上、動く部品反射ルーフ134aの傾斜及びxy方向のシフトには反応しない。2つのルーフ型のシステムからの出力ビームは、入力ファイバー130aに対してシフトされているので、不明瞭化や背面反射の問題はない。さらに、すべての面が第1面鏡であるため、ゴースト反射を生じ得る界面がない。ビーム経路の折り返さられた性質は、機械的安定性を考慮しても、システムを非常に小型にする。システムの長い焦点距離は、固定反射ルーフ136aが既製の色補正ダブレットであることが好ましいこと意味する。図9~13は、第2実施形態の光学アセンブリの部品を構成し方向づける様々なコンセプトを概略的に示す。例えば、図9に示されるように、走査反射器134によって反射され、レンズを通して視線138に沿って方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームは、レンズ132を通して方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの視線138を折り返す折り返しミラー144によって反射される。さらに図9に示されるように、ファイバー130は折り返しミラー144の中に設置することができる。本発明の光学アセンブリは、レンズ132から1メートルから60メートルの範囲で集光されるように設計される。図9に示されるシステムがレンズから1メートルで集光される場合、より少ない光がターゲットに方向づけられるが、光損失はたった数パーセントである。コーナーキューブ134が約22mm動くことによって、光学アセンブリがレンズから60メートルで集光される場合、ビームはレンズ132の開口をほとんど満たし、よって実質的にすべての光が、ターゲットに作用するスポットを形成するために用いられる。さらに、図10に概略的に示されるように、レンズ132、ビーム源つまり、ファイバー130及び平面鏡136は、それらがレトロリフレクター134に対して一体として動くことができるような方法で支持され、その場合、視線がその一体とともに動く。よって、図10に示されるように、レンズ132、平面鏡及びファイバー130はボックス146によって支持される。そのため、それらの部品の全てがレトロリフレクター134に対して一体として動くことができる。したがって、レトロリフレクター及び他の部品ファイバー、レンズ、固定反射器が互いに関連して移動可能であるということは、他の部品が支持構造体によって固定され、レトロリフレクターが支持構造体に対して動くこと、または、他の部品の支持構造体例えは図10のボックス146が、それらの他の部品がレトロリフレクター134に対して一体として動く例えば回転することを可能にすることを指し得る。さらに、図10にも示されるように、走査反射器134によって反射され、レンズ132を通して視線138に沿って方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームは、レンズを通して方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの視線138を折り返す偏光ビームスプリッタプレート150によって図9に示される方法と同様の方法で反射される。図10において、偏光ビームスプリッタプレート150は、偏光ビームスプリッタプレート150が偏光ビームスプリッタとして機能することを可能にする偏光ビームスプリット被膜を有し、平面鏡136から反射されたビームの偏光を調節するために平面鏡136に4分の1波長板148が設けられる。図10において、ビーム源である光ファイバー130は、偏光ビームスプリッタプレート150に対して所定の位置において太線で表わされる。よって、図10に示されるコンセプトにおいて、偏光ビームスプリッタPBSプレート150は、視線に沿って方向づけられる光が結合してファイバー130へ戻ることを防ぐために用いられる。測定ビームは直線偏光されているため、その偏光状態は、4分の1波長板QWP148を通過して45度に2度方向づけられることにより90度回転され得る。またこの場合、QWP148は、システムのミラー136として図7aと関連して示され且つ記載される方法で振る舞う第2面鏡裏面鏡136を備える。ファイバー130はPBSプレート150の裏面近傍に設置される。PBSプレートであり、入力面がファイバーに対して45度傾斜していることから、いかなる裏面反射もファイバーに戻らないだろう。コーナーキューブ134は固体ガラスである。なぜなら固体ガラスは既製部品であり、ファイバーとレンズの間の軸方向距離物理的距離を増すためである。この光学アセンブリには不明瞭性はない。また、図10に示されるコンセプトにおいて、コーナーキューブ134は、固定保持され得、すべてがボックス146内に支持さる平面鏡、折り返しミラー、レンズ及びファイバーは全てコーナーキューブの中心線を軸に回転する。回転はコーナーキューブの中心線を軸としなければならず、そうでないと回転中にビームがコーナーキューブの端の外に移動するだろう。第2実施形態のこのコンセプトは、仰角軸の回りを動く必要がある回転する質量を減らすことができ、そのため、より小型で軽量の仰角軸モーターを使用でき、さらに結果として発熱が少なくなる熱源は部品を動かすために使用されるアクチュエーターである。また、それによってさらにより小型のアセンブリとなってもよい。また、それは集光ステージの複雑さの低減にもつながり得、回転接合部を通過する必要があるケーブルがより少なくなり得る。それによりケーブルの経路設定がより単純になり、ケーブルが動くことによって引き起こされるケーブルの阻害を減少させることができ、動きの正確性が向上し、それゆえに機器の性能が向上する。それゆえ、図10のコンセプトのこの側面は、より小型でより単純なコスト効率のよりよい光学アセンブリを作り出すことができ、また、ケーブルの阻害の減少により正確性が向上する。さらに、図11に概略的に示されるように、光源は、平面鏡として機能する部分136bと走査反射器134によって反射され且つレンズ132を通して視線に沿って方向づけられるポインティングビーム及び測定ビームの視線138を折り返す別の部分154を有するモノリシック部材152によって支持される光ファイバー130を含む。また、図12に概略的に示されるように、光源は、平面鏡を形成する反射部136cを表面に有する透過部材例えばガラス窓160に支持される光ファイバー130を含み得る。さらに、光ファイバーは、出願人がスパイダーと称する、図13に示される、機械構造体162によって支持され得る。機械構造体162は、光ファイバーの支持体を形成する中央開口166を有する一連の支柱164含む。スパイダー162はアルミニウムのような軽量の金属で形成することができる。それゆえ、光学アセンブリは、図12に示されるように、ファイバー用の孔及びミラー136cのような銀色の領域を有するガラス板160を含み得る。又は、光学アセンブリは、図13のようなファイバーを保持し光を透過させるためのスパイダーを有する金属板と、スパイダーに取り付けられて反射領域136cを形成する、機械加工及び研磨された別の鏡面を備え得る。したがって、図12においてファイバーを支持する透過部材160はガラス部品であり、図13において透過部材はスパイダー162の機械的構成物の間の空間であるということを除いては、図12及び13は同様である。図11、12及び13に示されるコンセプトは、本発明の第2実施形態に従う光学アセンブリにさらなる有利な特徴をもたらす。例えば、図11のコンセプトは、両方のミラーとして及びファイバーの保持のために一つの基板を用いる。これはより単純な構成をもたらし、一つの基板が比較的軽量なアルミニウムで形成されてもよいことになる。図12及び13のコンセプトに関しては、折り返しミラーを窓、又は窓/スパイダー構成で代替することで、折り返しミラーの重量が除外されるため、光学アセンブリの全体の重量を減少させることができる。また、図12及び13のコンセプトは、表面形状及びミラー角度位置についてのさらなる許容誤差の要件を減少させることができる。結果として、ここではコーナーキューブはレンズの光学軸に対して垂直に動くよりもむしろ平行に動く。ゆえに、光学アセンブリはミラーが一つ少ないため、光学アセンブリはより単純化され、ミラーの間の角度は適合すべき仕様が一つ少ない。さらに、表面に垂直にカッティングするときにもし図11のモノリシック金属ミラーのコンセプトを用いる場合は問題ではないが、ファイバーの孔とミラー表面の間の角度がより直接的に制御可能である。また、製造中にレンズに対するファイバーの軸の位置を、例えば両方の部品をチューブ内に保持することによってより簡単に維持でき、それによってビームが開口の中心に置かれていないために起こる焦点ずれの反復可能な照準エラーが減少する。さらに、ファイバーの孔がレンズの光軸と平行であるため、それら二つを整列し熱的照準エラーを大きく減少させることがより容易である。さらに、コーナーキューブをファイバーにより近づけることができ、そしてより小型になり得る。したがって、上記の説明からわかるように、本発明の第2実施形態は、レーザーレーダーシステム用の小型の光学アセンブリを提供する。光学アセンブリは、光源、レンズ、走査反射器、及び固定反射器を含み、これらは、レンズを通って延在する視線に沿って光源からのビームを集光するために協働する。光源、レンズ、走査反射器、及び固定反射器は、i光源からのビームが走査反射器によって固定反射器へ反射され、ii固定反射器から反射された光が再び走査反射器によって反射され、レンズを通して視線に沿って方向づけられ、iiiビームの焦点を視線に沿って調節するために、走査反射器が、光源、レンズ及び固定反射器に対して移動可能であるように、互いに関連して方向づけられる。この実施形態において、レーザーレーダーシステム100はポインティングビーム及び測定ビームを有する。しかしレーザーレーダーシステム100は測定ビームを有し、ポインティングビームを有さなくてもよい。測定ビームは例えば可視である。ゆえにこの場合では、測定ビームがポインティングビームの役割をし得る。この実施形態のレーザーレーダーシステム100は、ポインティングビームと測定ビームの間で異なる波長領域を有する。しかしレーザーレーダーシステム100は、例えば可視領域などの同じ波長領域を有してもよい。随意の実施形態において、光学アセンブリはレンズ132、走査反射器134及び固定反射器を備える。しかし、光学アセンブリはレンズ132と走査反射器134を有し固定反射器を有さなくてもよい。例えば、測定ビームを反射器134からレンズ132へ直接方向づけることができる。また、レーザーレーダーシステム100に関して、第2実施形態は、反射器又は反射器が配置される物体の6自由度α、β、d、φ、χ、ψを測定し、且つ、例えば米国特許出願公開第2006-0222314号ここに援用し本文の記載の一部とするに開示されるレーザートラッカーのような角度及び距離測定装置を含む、距離測定システムに適用することができる。また、レーザーレーダーシステム100に関して、本発明は、放射されるレーザー光と反射されるレーザー光を比較することによって測定システムとターゲット位置の間の距離及び/またはこの距離の変化を測定する距離測定システム、例えば米国特許出願公開第2011-0181872号ここに援用し本文の記載の一部とするに開示されるようなレーザートラッカーに適用することができる。次に、上記の測定装置を備える構造体製造システムに関して説明する。図14は構造体製造システム700のブロック図である。構造体製造システムは、少なくとも一つの材料から、例えば船、航空機などの一つの構造体を製造し、構造体を形状測定装置100によって検査するためのものである。実施形態の構造体製造システム700は、実施形態において上に説明するように形状測定装置100を含み、さらに設計装置610、成形装置620、制御装置630検査装置及びリペア装置640を含む。制御装置630は、座標保管部631及び検査部632を含む。設計装置610は、構造体の形状に関して設計情報を作成し、作成した設計情報を成形装置620へ送信する。さらに、設計装置610は、作成した設計情報を制御装置630の座標保管部631に保管させる。設計情報は、構造体の位置の各々の座標を示す情報を含む。成形装置620は、設計装置610から入力された設計情報に基づいて構造体を製造する。成形装置620による成形工程は、例えば、鋳造、鍛造、切削などを含む。形状測定装置100は製造された構造体の座標を測定物体を測定し、測定した座標を示す情報形状情報を制御装置630に送る。制御装置630の座標保管部631は、設計情報を保管する。制御装置630の検査部632は、座標保管部631から設計情報を読み出す。検査部632は、形状測定装置100から受信した座標を示す情報形状情報を座標保管部631から読みだされた設計情報と比較する。比較結果に基づき、検査部632は、構造体が設計情報に従って成形されているかどうかを判定する。換言すると、検査部632は、製造された構造体に欠陥がないかどうかを判定する。構造体が設計情報に従って成形されていない場合、検査部632は、構造体が修復可能かどうかを判断する。もし修復可能な場合は、検査部632は、比較結果に基づいて欠陥部分及び修復量を計算し、欠陥部分を示す情報及び修復量を示す情報をリペア装置640に送信する。リペア装置640は、制御装置630から受信した欠陥部分を示す情報及び修復量を示す情報に基づき、構造体の欠陥部分の処理を行う。図15は、構造体製造システム700のプロセスフローを示すフローチャートである。構造体製造システム700に関して、まず、設計装置610が、構造体の形状に関して設計情報を作成するS101工程。次に、成形装置620が、設計情報に基づいて構造体を製造するS102工程。次いで、形状測定装置100が、製造された構造体を測定してその形状情報を得るS103工程。次いで、制御装置630の検査部632が、形状測定装置100から得られる形状情報を設計情報と比較することによって、構造体が真に設計情報に従って製造されているかどうか検査するS104工程。ついで、制御装置630の検査部632が、製造された構造体に欠陥がないかどうかを判定するS105工程。製造された構造体に欠陥がないと検査部632が判定した場合S105工程におけるYES、構造体製造システム700はプロセスを終了する。一方、製造された構造体に欠陥があると検査部632が判定した場合S105工程におけるNO、次いで検査部632は、構造体が修復可能かどうかを判断するS106工程。検査部632が製造された構造体が修復可能であると判断した場合S106工程のYES、次いでリペア装置640が構造体に対して再処理プロセスを実行しS107工程、構造体製造システム700はプロセスをS103工程に戻す。検査部632が製造された構造体が修復不可能であると判断した場合S106工程のNO、次いで構造体製造システム700はプロセスを終了する。そうして、構造体製造システム700は、図15のフローチャートに示される全プロセスを終了する。実施形態の構造体製造システム700に関して、実施形態の形状測定装置100は構造体の座標を正確に測定することができるため、製造された構造体に欠陥がないかどうかを判断することができる。さらに、構造体に欠陥がある場合、構造体製造システム700は構造体に対して再処理プロセスを実行して同様に修復することができる。さらに、実施形態においてリペア装置640によって実行される修復工程は、例えば成形装置620に成形工程をもう一度行わせることと置き換えられてもよい。このような場合において、制御装置630の検査部632が構造体は修復可能と判断した場合、次いで成形装置620は成形工程鋳造、鍛造、切削などをもう一度実行する。例えば具体的には、成形装置620は、切削を受けるべきであったが受けなかった構造体の部分に切削工程を実行する。これによって、構造体製造システム700が構造体を正確に製造することができるようになる。上記の実施形態において、構造体製造システム700は、形状測定装置100、設計装置610、成形装置620、制御装置630検査装置及びリペア装置640を含む。しかし、本教示はこの構成に限定されない。例えば、本教示に従う構造体製造システムは、少なくとも成形装置及び形状測定装置を含めばよい。よって、本発明は装置、光学アセンブリ、物体の検査方法又は測定方法、及び構造体を製造する方法について、新規で役に立つコンセプトを提供する。前述の説明を考慮すると、それらのコンセプト例えば本実施形態の光学アセンブリを様々なタイプのレーザーレーダーシステムや他のタイプの光学システム及び方法に実装することができる方法が、当業者にとって明らかであるだろう。"