少なくとも、過酸化水素、酸を含む銅のエッチング液を再生する装置であって、銅濃度を測定する銅濃度測定手段と、前記エッチング液中の銅を除去する銅除去手段と、前記銅濃度測定手段により測定された銅濃度に応じて、前記銅除去手段を通過するエッチング液と、通過しないエッチング液との割合を制御する制御手段とを備え、再生したエッチング液中の銅濃度を任意の濃度に保つことが可能であることを特徴とする、エッチング液再生装置。エッチング液中の薬液濃度を測定する薬液濃度測定手段と、減少した薬液濃度に応じて薬液を追加する薬液追加手段を備え、制御手段は、追加する薬液量に応じて、エッチング液中の銅を除去する銅除去手段を通過するエッチング液と、通過しないエッチング液との割合を制御することを特徴とする、請求項1記載のエッチング液再生装置。エッチング液中の過酸化水素濃度を測定する過酸化水素濃度測定手段を備え、減少した過酸化水素濃度に応じて薬液を追加する過酸化水素追加手段を備え、制御手段は、追加する過酸化水素量に応じて、エッチング液中の銅を除去する銅除去手段を通過するエッチング液と、通過しないエッチング液との割合を制御することを特徴とする、請求項1または2記載のエッチング液再生装置。薬液追加手段が、銅除去手段より下流側に備えられていることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載のエッチング液再生装置。過酸化水素追加手段が、過酸化水素を除く薬液追加手段より下流側に備えられていることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載のエッチング液再生装置。エッチング液中の銅を除去するための手段に、キレート樹脂を用いたことを特徴とする、請求項1から5記載のエッチング液再生装置。少なくとも、過酸化水素、酸を含む銅のエッチング液を再生する方法であって、測定された銅濃度に応じて、銅除去工程を実施するエッチング液の割合を設定し、銅除去工程を実施するエッチング液と銅除去工程を実施しないエッチング液とを混合することにより再生したエッチング液中の銅濃度を任意の濃度に保つことが可能であることを特徴とする、エッチング液再生方法。測定された薬液濃度に応じて、薬液を追加し、追加する薬液量に応じて、銅除去工程を実施するエッチング液の割合を設定することを特徴とする、請求項7記載のエッチング液再生方法。しかしながら、フラットパネルディスプレイに用いられる銅配線用のエッチング液には、プリント基板の銅配線に用いられるエッチング液と比較して、溶解した銅の再析出を防ぐためや、銅のエッチング速度をコントロールするためなどの目的で、より多様な成分が含まれている。特に、銅のエッチング速度をコントロールする方法として、使用開始時からエッチング液中に銅を含有させておくことでエッチング速度を低下させているエッチング液においては、前記従来の方法などでエッチング液を再生させることは容易ではない。例えば、特許文献1のように陽イオン交換樹脂を用いた場合、エッチング液中の銅を、一定量だけ残留させて除去するには、陽イオン交換樹脂を通過するエッチング液の流速を、使用済エッチング液の濃度と、陽イオン交換樹脂に吸着された銅の量とに応じて変化させねばならないため、時間当たりに一定量のエッチング液を再生することができないという課題を有している。特許文献2のように電析法によって銅を除去させようにも、エッチングによる酸化溶解が起こるために、溶解した銅の除去ができないという課題を有している。特許文献3のように酸化剤を分解してから銅を電析させる方法では、酸化剤が無駄になるため、エッチング液の再生として非効率であるという課題を有している。このように、フラットパネルディスプレイに用いられる銅配線用のエッチング液においては、従来の方法では溶解した銅を高効率に除去することができず、エッチング液の再生が困難であるという課題を有している。そこで本発明では、少なくとも銅、過酸化水素、1種類以上の酸を含むエッチング液において、溶解した銅を除去することにより、エッチング液の再生が可能となる装置を提供することを目的とする。前記従来の課題を解決するために、本発明のエッチング液再生装置は、銅濃度を測定する銅濃度測定手段と、前記エッチング液中の銅を除去する銅除去手段と、前記銅濃度測定手段により測定された銅濃度に応じて、前記銅除去手段を通過するエッチング液と、通過しないエッチング液との割合を制御する制御手段とを備えることで、再生したエッチング液中の銅濃度を任意の濃度に保つことが可能であることを特徴とする、エッチング液再生装置である。本構成によって、少なくとも銅、過酸化水素、1種類以上の酸を含むエッチング液に溶解した銅を任意の割合で除去することができ、エッチング液の再生が可能となる。本発明によれば、少なくとも銅、過酸化水素、1種類以上の酸を含むエッチング液の再生が可能となる。以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。実施の形態1図1に、本発明のエッチング液再生装置のブロック図を示す。実施の形態1は、使用済エッチング液中の銅濃度が増加する一方、薬液濃度はエッチング性能を低下させるまでの大きな変化が見られない場合である。ここでいう薬液とは、エッチング液中に含有する銅を除く成分のことであり、酸、過酸化水素、キレート剤、過酸化水素分解防止剤など、エッチング性能を保持するために必要な成分のことである。使用済エッチング液1は、銅濃度測定手段としての銅濃度測定装置2を通過した後、流量スプリッター3によって、銅除去手段としての銅除去装置4を通過しない流路Aと、銅除去装置4を通過する流路Bとに分割される。流路Bを流れるエッチング液は、銅除去装置4を通過した後、銅濃度測定装置5を通過し、混合槽6にて流路Aを通過したエッチング液と混合される。混合槽6は、流路Aと流路Bとから流れてきたエッチング液を混合することができるものであればいずれの手段でもよく、その手段を限定するものではない。上記説明したエッチング液再生装置のブロック図は、流路Aを流れるエッチング液が、銅濃度測定工程→流量設定工程→混合工程を通り、流路Bを流れるエッチング液が、銅濃度測定工程→流量設定工程→銅除去工程→銅濃度測定工程→混合工程を通る、エッチング液再生方法も表している。本再生装置中に示した銅濃度測定装置2は、図中ではインラインにて測定する装置として図示したが、一定間隔で流路Bを流れるエッチング液をサンプリングしてオフラインで測定してもよい。例えば、銅濃度が安定している場合はオフライン測定、銅濃度が不安定な場合はインライン測定が好ましい。流量スプリッター3で使用済エッチング液1が分割される割合は、使用済エッチング液1の銅濃度Cx0、再生エッチング液10の銅濃度Cx1、銅除去装置を通過した後の流路Bの銅濃度CxBによって決められ、流路Aを流れる割合をrxAで表すと、流路Bを流れる割合は、1-rxAで表すことができる。また、これらの関係は、数1によって表すことができる。再生エッチング液10の銅濃度Cx1は、規定の値となるため、常に一定である。したがって、使用済エッチング液1の銅濃度Cx0と、銅除去装置4通過後の流路Bの銅濃度CxBを、それぞれ銅濃度測定装置2と銅濃度測定装置5によって測定することで、流路Aを流れる割合rxAをコントロールすることができる。実施の形態1における再生エッチング液10の制御手段は、流量スプリッター3であり、使用済エッチング液1の銅濃度Cx0と、銅除去装置を通過した後の流路Bの銅濃度CxBとの測定値を用いて、数1で算出した流路Aを流れる割合がrAとなるようにバルブ等の開度を制御することで、流路A、流路Bを流れる流量を設定している。また、特に銅除去装置4にキレート樹脂を用いた場合は、銅除去装置4通過後の流路Bの銅濃度CxBは、0またはCx0>>CxBとなる一定値をとなるため、使用済エッチング液1の銅濃度Cx0を正確に把握するだけで、再生エッチング液10を得ることができる。この場合、銅濃度測定装置5は不要となるため、銅除去装置4にキレート樹脂を用いた構成が、より好ましい。実施の形態2図2に、本発明のエッチング液再生装置の最良のブロック図を示す。実施の形態1と同様の作用効果を有する構成については同一符号を用い、詳細な説明は省略する。実施の形態2は、使用済エッチング液中の銅濃度が上昇し、過酸化水素濃度が減少した場合、すなわち、過酸化水素の減少分を追加することで、銅や過酸化水素以外の薬液濃度が減少し、エッチング性能を低下させる場合である。使用済エッチング液21は、薬液濃度測定装置22と銅濃度測定装置2を通過した後、流量スプリッター3によって、銅除去装置4を通過しない流路Aと、銅除去装置4を通過する流路Bとに分割される。流路Bを流れるエッチング液は、銅除去装置4を通過した後、銅濃度測定装置5を通過し、混合槽6にて流路Aを通過したエッチング液と混合される。その後、薬液濃度測定装置7を通過し、エッチング液の使用や銅除去装置4などにより失われた過酸化水素を除く薬液が、所定の濃度となるように、過酸化水素を除く薬液追加装置23によりそれぞれ任意の割合で追加され、その後段に過酸化水素追加装置24によって、エッチング液の使用や銅除去装置4などにより失われた過酸化水素が追加され、再生エッチング液30となる。過酸化水素を含む銅エッチング液は、以下の化学反応、化1、化2ただし、Aは酸の対の陰イオンによって過酸化水素を消費し、銅をエッチングする。この反応に加えて、過酸化水素が自己分解する化学反応、化3によって過酸化水素を消費する。これらの化学反応により、エッチング液中に含まれる薬液の中で一番多く消費されるのは過酸化水素であるため、エッチング液再生のためには、過酸化水素の追加が必要となる。この場合、まず薬液濃度測定装置22によって、過酸化水素濃度を測定することで、過酸化水素追加量Vpは、再生エッチング液30の量V、使用済エッチング液21の過酸化水素濃度Cp0、再生エッチング液30の過酸化水素濃度Cp1、追加する過酸化水素濃度Cp2によって、数2で表すことができる。この過酸化水素追加量Vpにより、混合槽6におけるエッチング液の銅濃度Cy2が薄められ、再生エッチング液30の銅濃度Cy1となるため、これらの関係は数3で表すことができる。流量スプリッター3によって流路Aに分割される割合ryAは、使用済エッチング液21の銅濃度Cy0、混合槽6におけるエッチング液の銅濃度Cy2、銅除去装置4を通過した後の流路Bの銅濃度CyBによって決められ、流路Aを流れる割合をryAで表すと、流路Bを流れる割合は、1-ryAで表すことができ、それらの関係は、で表すことができ、数2、数3と組み合わせることで、数5のように表すことができる。このように、流路A、流路Bを通る割合は、銅と過酸化水素との各箇所での濃度によって決めることができる。ここで、再生エッチング液30の銅濃度Cy1と過酸化水素濃度Cp1、追加する過酸化水素濃度Cp2は、規定の値となるため、常に一定である。したがって、使用済エッチング液1の銅濃度Cy0と過酸化水素濃度Cp0、銅除去装置4を通過した後の流路Bの銅濃度CyBを、それぞれ銅濃度測定装置2と薬液濃度測定装置22、銅濃度測定装置5によって測定することで、流路Aを流れる割合ryAをコントロールすることができる。このことから、銅濃度測定手段は、使用済エッチング液1ならびに、銅除去装置4通過後の流路Bの濃度を測定可能な位置に、薬液濃度測定手段は、使用済エッチング液1の濃度を測定可能な位置に設置することが望ましい。また、特に銅除去装置4にキレート樹脂を用いた場合は、銅除去装置4を通過した後の流路Bの銅濃度CyBが、0またはCy0>>CyBとなる一定値をとるため、使用済エッチング液1の銅濃度Cy0と過酸化水素濃度Cp0を正確に把握するだけで、再生エッチング液30を得ることができる。この場合、銅濃度測定装置5は不要となるため、銅除去装置4にキレート樹脂を用いた構成が、より好ましい。実施の形態2では特に過酸化水素の場合について記載したが、追加する薬液量によって銅濃度が変化し、再生エッチング液のエッチング性能に影響を及ぼす場合であれば、酸、キレート剤、過酸化水素分解防止剤など、いずれの薬液であってもかまわない。過酸化水素を除く薬液追加装置23と過酸化水素追加装置24の位置は、混合槽6よりも流路方向前段であってもかまわないが、銅除去手段によっては、エッチング液の薬液に何らかの変化を及ぼす可能性があるため、混合槽6にて流路Aと流路Bとが混合したときと同時に追加するか、その下流側で追加することが望ましい。また、特に、追加する薬液が過酸化水素の場合は、化3による自己分解反応をできるだけ防止するために、過酸化水素追加装置24は、過酸化水素を除く薬液追加装置23の下流側に設けることが好ましい。上記説明したエッチング液再生装置のブロック図は、流路Aを流れるエッチング液が、薬液濃度測定工程→銅濃度測定工程→流量設定工程→混合工程を通り、流路Bを流れるエッチング液が、薬液濃度測定工程→銅濃度測定工程→流量設定工程→銅除去工程→銅濃度測定工程→混合工程を通り、混合工程にて混合された流路A、流路Bを通ったエッチング液が、過酸化水素を除く薬液追加工程→過酸化水素追加工程を通る、エッチング液再生方法も表している。実施の形態2に示した銅除去手段として、銅濃度測定装置2と銅濃度測定装置5、薬液濃度測定手段として、薬液濃度測定装置7は、図2ではインラインにて測定する装置として図示したが、オフラインで測定する手段でもよく、その測定手段を限定するものではない。過酸化水素以外の薬液の減少によって、減少分を追加することで、銅や過酸化水素以外の薬液濃度が減少し、エッチング性能を低下させる場合であっても、過酸化水素を追加する場合と同様に計算することで同じ効果を得ることができる。薬液の減少が二成分以上の場合であっても、実施の形態2と同様の考え方で計算を追加することで、エッチング液の再生を行うことが可能である。実施の形態3図3に、実施の形態2に示したエッチング液再生装置の実験機の概略図を示す。使用済エッチング液21は、使用済エッチング液タンク31に入れられており、ポンプ32によって汲み上げられ、流量スプリッター3によって流路Aならびに流路Bに分割される。流量スプリッター3は、三方分岐33を通過後、可変流量バルブ34ならびに35を用いて、流量を可変した。流路A、流路Bに流れる流量をコントロール可能であれば、手段を問うものではない。流路Bを流れるエッチング液は、銅吸着手段として、キレート樹脂37を充填したカラム36を通過後、三方バルブ38にて適時サンプリングし、サンプリングタンク39に採取した。なお、実施の形態3では、キレート樹脂37に、三菱化学製のCR11を利用した。流路A、流路Bを通過したエッチング液は、混合タンク40にて混合された。その後、30過酸化水素水を手作業にて追加し、再生エッチング液30とした。使用済エッチング液21の銅濃度は吸光度法により、薬液濃度として、クエン酸濃度はイオンクロマトグラフィーにより、過酸化水素濃度は過マンガン酸カリウムによる滴定法により、それぞれ測定を行った。銅濃度測定のための吸光度は、日本分光製紫外可視分光光度計V-650を用い、EDTA0.05M溶液にて10倍希釈した使用済エッチング液の732nmの吸光度を測定し、ランベルトベールの法則に従って銅濃度を定量した。今回は実験装置のため、図2に図示したようなインライン式の自動測定手段ではなく、手動による測定手段であるが、装置の自動化の観点から、自動測定手段のほうが好ましい。具体的な実験結果を示すため、表1に、本発明で使用する初期の銅エッチング液の組成を、表2に、本発明で使用する使用済エッチング液の組成をそれぞれ示す。使用済エッチング液21の過酸化水素濃度Cp1は5.5であるから、追加する過酸化水素濃度Cp2が30のとき、再生エッチング液30の過酸化水素濃度Cp1を初期の過酸化水素濃度7.5に戻すためには、数2の計算によりおよそエッチング液0.92に対して30過酸化水素0.08の割合で混合することとなる。流路Aを通過する割合を数5に従って計算すると、rA=0.73となるため、流路スプリッター3で、流路Aに0.73、流路Bに0.27となるように分割することで、再生エッチング液30の銅濃度Cy1は、初期濃度である2.0g/kgとなることがわかる。実際に、流量スプリッター3の可変流量バルブ34、35の開閉量を調節し、流路Aに0.73、流路Bに0.27となるように分割したところ、初期のエッチング液とほぼ同様の組成となる再生エッチング液30を得ることができた。このときの再生エッチング液30の組成を、表3に示す。なお、実施の形態3では、流量スプリッター3の可変流量バルブ34、35の開閉量の調整は、あらかじめ、単位時間当たりに通過した水の重量を測定しておくことで調整したが、流量計などにより測定した値から、自動で開閉量を調整する方法でもよく、流量スプリッター3の方法を特定するものではない。