"ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる撥インク剤Aと、1分子内に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂Bと、光重合開始剤Cと、溶媒Dと、を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、組成物の全固形分に対する前記撥インク剤Aの割合が0.01~10質量であり、組成物全量に対する、前記撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基の割合が0.000001~1.0mmol/gであることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。前記組成物全量に対する、前記撥インク剤A由来のケイ素原子の含有割合が、0.000001~1.0mmol/gである請求項1に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記撥インク剤Aにおけるケイ素原子に結合する水酸基の数がケイ素原子1個当たりの平均個数として、0.2~3.5個である請求項1または2に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記溶媒Dが、下記1~3から選ばれる有機溶媒を主成分とする溶媒からなることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。1水酸基を有し、炭素数が3~10であるエーテル性酸素を含んでいてもよい、炭化水素ただし、脂環族炭化水素を除く2水酸基を有し、炭素数が6~10である脂環族炭化水素3水酸基を有しない、比誘電率が10~30である有機溶媒前記含フッ素シロキサン化合物が、ケイ素原子に、p個pは0、1または2のフッ素原子を有してもよい有機基と、4-p個の加水分解性基が結合した加水分解性シラン化合物から選ばれる1種以上ただし、少なくとも1種は含フッ素有機基を有するの部分加水分解縮合生成物である請求項1~4のいずれか1項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記加水分解性シラン化合物が有する含フッ素有機基が、炭素数4~8のペルフルオロアルキル基または炭素数4~9のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基を有する有機基である請求項5に記載のネガ型感光性樹脂組成物。前記加水分解性シラン化合物が、下記式a1で表される化合物から選ばれる少なくとも1種と下記式a2で表される化合物から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする請求項5または6に記載のネガ型感光性樹脂組成物。上記式a1、a2中の記号は、以下の通りである。RFは、炭素数3~10のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基を有する有機基、RHは、炭化水素基、Xは、加水分解性基をそれぞれ表す。pは0、1または2なる数をそれぞれ表す。なお、RH、およびXが、各化合物内に複数個存在する場合は、それぞれ独立して前記基を表し、これらは互いに異なっていても、同一であってもよい。2つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しないラジカル架橋剤Eをさらに含む、請求項1~7のいずれか1項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁であって、請求項1~8のいずれか1項に記載のネガ型感光性樹脂組成物から溶媒Dを除いた組成物の硬化物からなる隔壁。基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁の製造方法であって、請求項1~8のいずれか1項に記載のネガ型感光性樹脂組成物を前記基板上に塗布し該組成物の塗膜を形成する工程と、前記塗膜を加熱して溶媒Dを除くプリベーク工程と、前記溶媒Dを除いた組成物の膜の隔壁となる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の膜を除去し前記膜の感光硬化部分からなる隔壁を形成させる現像工程と、前記形成された隔壁を加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とする隔壁の製造方法。基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子の製造方法であって、請求項10に記載の製造方法によって基板上に隔壁を形成した後、前記基板と前記隔壁で囲まれた領域内にインクジェット法によりインクを注入して前記画素を形成する工程を有する光学素子の製造方法。隔壁を形成した後かつインク注入前に、前記基板と前記隔壁で囲まれた領域内に露出した基板表面に親インク化処理を施す請求項11に記載の光学素子の製造方法。前記親インク化処理が、UV洗浄処理、UVオゾン洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理および酸素プラズマ処理からなる群から選ばれる1種または2種以上である請求項12に記載の光学素子の製造方法。前記光学素子が、有機EL表示素子、カラーフィルタ、または有機TFTアレイである請求項11~13のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる撥インク剤を、比誘電率が5以上である有機溶媒を主成分とする溶媒に溶解してなる撥インク剤溶液。しかしながら、特許文献1に記載の感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ、有機EL表示素子、有機TFTアレイ等の隔壁を作成すると、隔壁近傍のインク層の膜厚が薄くなり、隔壁周辺が白く見えるいわゆる白抜け現象の発生につながる場合がある。特許文献2に記載の方法では、樹脂を除く工程が必要なため煩雑である。特許文献3に記載の感光性樹脂組成物は、ポジ型であるため、基板との密着性に問題がある可能性がある。特許文献4に記載の感光性樹脂組成物は、撥インク剤のシラノール基どうしが反応して分離するなど、保存安定性が充分でない場合がある。本発明は、保存安定性に優れ、かつ親インク化処理を経ても優れた撥インク性を持続できる隔壁の製造に使用可能なネガ型感光性樹脂組成物およびその製造方法、ならびに該製造方法に使用可能な撥インク剤溶液を提供することを課題とする。本発明は、上記ネガ型感光性樹脂組成物を使用して得られる光学素子の隔壁およびその製造方法を提供することを課題とする。本発明は、上記ネガ型感光性樹脂組成物を使用して得られた隔壁を有する、白抜け現象等の発生が抑制された光学素子の製造方法を提供することを課題とする。本発明者らは、特定の撥インク剤と、特定の溶媒とを含むネガ型感光性樹脂組成物は、保存安定性が良好であることを見出した。さらに該ネガ型感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成すると、初期の撥インク性をUVオゾン処理等により、隔壁の撥インク性を低下させることなく、ドットの親インク化を計れることを見出し本発明に至った。本発明は、以下の[1]~[8]の構成を有するネガ型感光性樹脂組成物、[9]の構成を有する光学素子用隔壁、[10]の構成を有する光学素子用隔壁の製造方法、[11]~[14]の構成を有する光学素子の製造方法および[15]の構成を有する撥インク剤溶液を提供する。[1]ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる撥インク剤Aと、1分子内に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂Bと、光重合開始剤Cと、溶媒Dと、を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、組成物の全固形分に対する前記撥インク剤Aの割合が0.01~10質量であり、組成物全量に対する、前記撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基の割合が0.000001~1.0mmol/gであることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。[2]前記組成物全量に対する、前記撥インク剤A由来のケイ素原子の含有割合が、0.000001~1.0mmol/gである[1]記載のネガ型感光性樹脂組成物。[3]前記撥インク剤Aにおけるケイ素原子に結合する水酸基の数がケイ素原子1個当たりの平均個数として、0.2~3.5個である[1]または[2]記載のネガ型感光性樹脂組成物。[4]前記溶媒Dが、下記1~3から選ばれる有機溶媒を主成分とする溶媒からなることを特徴とする[1]~[3]のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。1水酸基を有し、炭素数が3~10であるエーテル性酸素を含んでいてもよい、炭化水素ただし、脂環族炭化水素を除く2水酸基を有し、炭素数が6~10である脂環族炭化水素3水酸基を有しない、比誘電率が10~30である有機溶媒[5]前記含フッ素シロキサン化合物が、ケイ素原子に、p個pは0、1または2のフッ素原子を有してもよい有機基と、4-p個の加水分解性基が結合した加水分解性シラン化合物から選ばれる1種以上ただし、少なくとも1種は含フッ素有機基を有するの部分加水分解縮合生成物である[1]~[4]のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。[6]前記加水分解性シラン化合物が有する含フッ素有機基が、炭素数4~8のペルフルオロアルキル基または炭素数4~9のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基を有する有機基である[5]記載のネガ型感光性樹脂組成物。[7]前記加水分解性シラン化合物が、下記式a1で表される化合物から選ばれる少なくとも1種と下記式a2で表される化合物から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする[5]または[6]記載のネガ型感光性樹脂組成物。上記式a1、a2中の記号は、以下の通りである。RFは、炭素数3~10のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基を有する有機基、RHは、炭化水素基、Xは、加水分解性基をそれぞれ表す。pは0、1または2なる数をそれぞれ表す。なお、RH、およびXが、各化合物内に複数個存在する場合は、それぞれ独立して前記基を表し、これらは互いに異なっていても、同一であってもよい。[8]2つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しないラジカル架橋剤Eをさらに含む、[1]~[7]のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物。[9]基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁であって、[1]~[8]のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物から溶媒Dを除いた組成物の硬化物からなる隔壁。[10]基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁の製造方法であって、[1]~[8]のいずれかに記載のネガ型感光性樹脂組成物を前記基板上に塗布し該組成物の塗膜を形成する工程と、前記塗膜を加熱して溶媒Dを除くプリベーク工程と、前記溶媒Dを除いた組成物の膜の隔壁となる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の膜を除去し前記膜の感光硬化部分からなる隔壁を形成させる現像工程と、前記形成された隔壁を加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とする隔壁の製造方法。[11]基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子の製造方法であって、[10]記載の製造方法によって基板上に隔壁を形成した後、前記基板と前記隔壁で囲まれた領域内にインクジェット法によりインクを注入して前記画素を形成する工程を有する光学素子の製造方法。[12]隔壁を形成した後かつインク注入前に、前記基板と前記隔壁で囲まれた領域内に露出した基板表面に親インク化処理を施す[11]記載の光学素子の製造方法。[13]前記親インク化処理が、UV洗浄処理、UVオゾン洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理および酸素プラズマ処理からなる群から選ばれる1種または2種以上である[12]記載の光学素子の製造方法。[14]前記光学素子が、有機EL表示素子、カラーフィルタ、または有機TFTアレイである[11]~[13]のいずれかに記載の光学素子の製造方法。[15]ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる撥インク剤を、比誘電率が5以上である有機溶媒を主成分とする溶媒に溶解してなる撥インク剤溶液。本発明のネガ型感光性樹脂組成物およびその製造方法、ならびに本発明の撥インク剤溶液を用いたネガ型感光性樹脂組成物は保存安定性に優れかつ、親インク化処理を経ても優れた撥インク性を持続できる隔壁を製造することができる。本発明の光学素子の隔壁は、親インク化処理を経ても優れた撥インク性を持続できる。本発明の光学素子の隔壁の製造方法によれば、親インク化処理を経ても優れた撥インク性を持続できる隔壁を得ることができる。本発明の光学素子の製造方法によれば、画素間の混色および白抜け現象等の発生が抑制された光学素子を得ることができる。以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、本明細書において特に説明のない場合、は質量を表す。なお、本発明のネガ型感光性樹脂組成物は溶媒Dを含む組成物であり、このネガ型感光性樹脂組成物から溶媒Dを除いた組成物を以下感光性組成物という。また、前者のネガ型感光性樹脂組成物を基板等に塗布することにより形成される溶媒Dを含む塗膜すなわち、ネガ型感光性樹脂組成物の膜を湿潤塗膜といい、該湿潤塗膜から溶媒Dを除去した後の膜すなわち、感光性組成物の膜を感光性膜という。感光性膜を構成する材料である感光性組成物を感光させて硬化させたものを感光硬化物という感光硬化物をさらに加熱等により後硬化させたものも感光硬化物という。<本発明のネガ型感光性樹脂組成物>本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる撥インク剤Aと、1分子内に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂Bと、光重合開始剤Cと、溶媒Dと、を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、組成物の全固形分に対する前記撥インク剤Aの割合が0.01~10質量であり、組成物全量に対する、前記撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基の割合が0.000001~1.0mmol/gであることを特徴とする。本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、ケイ素原子に結合する水酸基、すなわちシラノール基を有する含フッ素シロキサン化合物フッ素原子含有量:10~55質量からなる撥インク剤を、シラノール基が上記割合となるように配合し、かつネガ型感光性樹脂組成物に含有される溶媒の比誘電率が特定の範囲か、特定の構造のいずれかであることにより、ネガ型感光性樹脂組成物の保存安定性が優れる。またさらにこのネガ型感光性樹脂組成物を用いて得られる隔壁における初期の撥インク性を向上させながら、その後のUVオゾン処理等による隔壁の撥インク性の低下を防ぐことを可能としている。これまでの撥インク剤では隔壁上面の表面に撥インク剤A由来の基として撥インク性を有する含フッ素基とともに分子設計上撥インク性に乏しい基が存在していたが、本発明においてはこれをシラノール基と置き換えることにより撥インク性を向上させたものである。また、ネガ型感光性樹脂組成物としては、撥インク剤Aがシラノール基を有すると上記感光性樹脂B等の他の成分との相溶性が向上し、隔壁の形成に有利に作用する。以下、本発明のネガ型感光性樹脂組成物の含有成分とともに、本発明の撥インク剤溶液について説明する。撥インク剤A撥インク剤Aは、ケイ素原子に結合する水酸基、すなわちシラノール基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる。撥インク剤Aを構成する含フッ素シロキサン化合物としては、シラノール基を有し、フッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物であれば特に制限なく使用可能である。また、撥インク剤Aにおけるシラノール基の数としては、ケイ素原子1個当たりの平均個数として、0.2~3.5個であることが好ましい。このような含フッ素シロキサン化合物としては、例えば、上記条件を満たす、加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合生成物が挙げられる。加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合生成物は、通常、それ自身分子量分布を有する組成物である。撥インク剤Aとして用いられる加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合生成物としては、上記条件を満たす、常温で液体または溶媒溶解性の固体であり、通常シリコーンレジンと呼ばれる硬化性シリコーンすなわち、硬化性のオルガノポリシロキサン化合物が好ましい。硬化性シリコーンは、3官能性モノマーと2官能性モノマーの加水分解縮合により得られ、場合により少量の4官能性モノマーや1官能性モノマーが併用される。官能性の数は1つのケイ素原子に結合した加水分解性基の数、および場合により1つのケイ素原子に結合した水酸基シラノール基やシラノール基となりうる結合の数などとの合計数をいう。モノマーは加水分解性シラン化合物単量体を意味する。撥インク剤Aは、具体的には、ケイ素原子に、p個pは0、1または2のフッ素原子を有してもよい有機基と、4-p個の加水分解性基が結合した加水分解性シラン化合物から選ばれる1種以上ただし、少なくとも1種は含フッ素有機基を有するの部分加水分解縮合生成物であり、かつ上記条件を満たす硬化性シリコーンからなることが好ましい。上記フッ素原子を有する有機基、すなわち含フッ素有機基としては、炭素数3~10のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基を有する有機基が好ましく、炭素数4~8のペルフルオロアルキル基または炭素数4~9のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基を有する有機基がより好ましい。含フッ素有機基の種類や導入数を適宜選択することにより、化合物全量に対するフッ素原子の含有量を10~55質量の割合となるように調整する。撥インク剤Aは、以下に説明する加水分解性シラン化合物a-1、加水分解性シラン化合物a-2からそれぞれ選ばれる少なくとも2種のモノマーの加水分解縮合により得られる硬化性シリコーンからなることがより好ましい。硬化性シリコーンは、該シリコーン全量に対するフッ素原子の含有量が10~55質量となるように含フッ素有機基を有し、さらにシラノール基を好ましくはケイ素原子1個当たりの平均個数として、0.2~3.5個有し、場合により炭化水素基を有する。これら有機基は、ケイ素原子に結合する結合手が炭素原子の結合手であるものをいう。加水分解性シラン化合物a-1は、1個の炭素数3~10のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基を有する有機基を有する3官能性のモノマーである。加水分解性シラン化合物a-1は1種を単独で用いることも2種以上を併用することも可能である。加水分解性シラン化合物a-2は、p個pは0、1または2の炭化水素基を有する4-p官能性のモノマーである。加水分解性シラン化合物a-2は、pが0である4官能性モノマー、またはpが1である3官能性モノマーであることが好ましい。加水分解性シラン化合物a-2は1種を単独で用いることも2種以上を併用することも可能である。2種以上を併用する場合、4官能性モノマーおよび/または3官能性モノマーとともに2官能性モノマーを併用することもできる。ここで、本発明に用いる部分加水分解縮合生成物を得るための原料成分である加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2を、化学式を用いて表すと、加水分解性シラン化合物a-1は下記式a1で表される化合物[以下、化合物a1という]であり、加水分解性シラン化合物a-2は下記式a2で表される化合物[以下、化合物a2という]である。上記式a1~a2中の記号は、以下の通りである。RFは、炭素数3~10のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基を有する有機基、RHは、炭化水素基、Xは、加水分解性基をそれぞれ表す。pは0、1または2となる数を表す。なお、式a1において3個のXは、互いに同一であっても異なっていてもよい。式a2においてp=2の場合、2個のRHは互いに同一であっても異なっていてもよく、2個のXは互いに同一であっても異なっていてもよい。同様にp=0の場合、4個のXは互いに同一であっても異なっていてもよく、p=1の場合、3個のXは互いに同一であっても異なっていてもよく、p=2の場合、2個のXは互いに同一であっても異なっていてもよい。本発明に用いる撥インク剤Aにおける基RFおよび基RHは、撥水性を発現する基であり、主に基RFによって撥油性が発現される。撥インク剤Aの硬化物が充分な撥油性を発現するのは、撥油性を損なう基RHが結合していないケイ素原子に結合した基RFが存在するためと考えられる。また、撥インク剤Aの硬化物が充分な撥油性を発現するには、撥インク剤A中の基RFと基RHの合計に対して、基RFの相対的割合が高いことが好ましい。p=0の場合、撥インク剤Aにおける基RFの相対的割合が高くなり撥油性が向上し、また造膜性に優れるという利点がある。p=1または2の場合、基RHがある程度存在することにより、撥インク剤Aは炭化水素系の溶媒に溶解しやすくなり、基材の表面にネガ型感光性樹脂組成物の湿潤塗膜を形成する際に比較的安価な溶媒を選択できるという利点がある。ここで、本発明における撥インク剤Aのフッ素原子含有率は、これを含有するネガ型感光性樹脂組成物から得られる隔壁に、優れた撥インク性および撥インク性の耐UVオゾン性を付与するために、10~55質量であり、さらに20~55質量であることが好ましい。同様の観点から、撥インク剤Aにおいては、加水分解性シラン化合物a-1が含む有機基が、炭素数4~8のペルフルオロアルキル基または炭素数4~9のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基を有する有機基であり、フッ素原子含有率が10~55質量であるのが最も好ましい。なお、本明細書において、フッ素原子含有率とは、原料の加水分解性シラン化合物の加水分解性基の全てがシロキサン結合となって加水分解縮合生成物を構成していると仮定した場合の化学式から計算される値をいう。また、撥インク剤Aにおける上記フッ素原子含有率や上記好ましい条件を達成するために、これら撥インク剤Aの原料成分である加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2の構成や組み合わせ等を調整する必要があるが、それについては後述の通りである。本発明に用いる部分加水分解縮合生成物は、上記加水分解性シラン化合物a-1、a-2に分類されないケイ素系加水分解性モノマーを、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2と共縮合したものであってもよい。上記加水分解性シラン化合物a-1、a-2以外のケイ素系加水分解性モノマーとしては、例えば、ケイ素原子に3個の炭化水素基と1個の加水分解性基が結合した1官能性の加水分解性シラン化合物、ヘキサメチルジシロキサンなどの1官能性シロキサン単位となりうるオルガノジシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサンなどの環状オルガノポリシロキサン、シランカップリング剤と呼ばれる官能基含有有機基を有する加水分解性シラン化合物上記加水分解性シラン化合物a-1、a-2を除く。などが挙げられる。これらのうちでも、上記加水分解性シラン化合物a-1、a-2以外のケイ素系加水分解性モノマーとして、特に、得られる加水分解縮合生成物の分子量調節剤として機能する1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4を、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2と併用することが好ましい。なお、1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4は、アクリロイル基やメタクリロイル基のような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物であってもよい。上記1官能性加水分解性シラン化合物a-3として、好ましくは下記式a3で表される加水分解性シラン化合物[以下、化合物a3という]が、また前記オルガノジシロキサンa-4として、好ましくは下記式a4で表されるオルガノジシロキサン[以下、化合物a4という]が挙げられる。これらは1官能性のシロキサン単位を生成しうるシラン化合物である。上記式a3、a4中の記号XとRHは、上記a1、a2式中のXとRHと同様である。式a3、a4中、Wは、独立して上記RF、RHまたはアクリロイル基およびメタクリロイル基から選ばれる重合性官能基の1個以上を部分構造として持つ有機基を表す。式a4中Wは互いに同一であっても異なっていてもよい。なお、式a3において2個のRHWがRHの場合は3個のRHは互いに同一であっても異なっていてもよく、式a4において4個のRHWがRHの場合は5または6個のRHは互いに同一であっても異なっていてもよい。撥インク剤Aが、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2とともに1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4を併用して得られたものである場合、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2の種類や使用量によるが、1官能性加水分解性シラン化合物a3やオルガノジシロキサンa4のWがRFであるような化合物を用いると、撥インク剤Aの基RFの相対的割合を高めてより優れた撥油性を発現しうる。同様に、WがRHであるような化合物を用いると、撥インク剤Aの炭化水素系溶媒への溶解性が向上する。Wがアクリロイル基およびメタクリロイル基から選ばれる重合性官能基の1個以上を部分構造として持つ有機基であるような化合物を用いると、撥インク剤Aの硬化性が向上し、また炭化水素系溶媒への溶解性が向上する。また、上記加水分解性シラン化合物a-1、a-2以外のケイ素系加水分解性モノマーとして、アクリロイル基やメタクリロイル基のような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5を用いて、これを加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2と共縮合すると、得られる撥インク剤Aは露光後、隔壁上面に留まりやすく、隔壁上面を撥インク性に、隔壁側面を親インク性にする効果がある。一方、撥インク剤Aを好ましく構成する上記部分加水分解縮合生成物の原料共縮合成分として、このような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物を用いないと、露光後、撥インク剤が隔壁側面に移動しやすいので、隔壁上面、隔壁側面共に撥インク性にする効果がある。これらは、用途に応じて使い分ければよい。上記アクリロイル基やメタクリロイル基のような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5として、好ましくは下記式a5で表される加水分解性シラン化合物[以下、化合物a5という]が挙げられる。上記式a5中の記号XとRHは、上記a1、a2式中のXとRHと同様である。式a5中、Vはアクリロイル基およびメタクリロイル基から選ばれる重合性官能基を有する有機基を表す。qは1または2、rは0または1であってqrが1または2となる数を表す。なお、式a5において、q=2の場合、2個のVは互いに同一であっても異なっていてもよく、qr=1の場合、3個のXは互いに同一であっても異なっていてもよく、qr=2の場合、2個のXは互いに同一であっても異なっていてもよい。加水分解性シラン化合物a-5は、qが1でrが1の2官能性モノマー、またはqが1でrが0の3官能性モノマーであることが好ましい。また、加水分解性シラン化合物a-5を用いる場合は、1種を単独で用いることも2種以上を併用することも可能である。なお、撥インク剤Aを好ましく構成する上記加水分解縮合生成物の原料成分として、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2とともに上記1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4、重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5を用いる場合についても、撥インク剤Aにおける上記フッ素原子含有率や上記好ましい条件を達成するために、これら撥インク剤Aの原料成分である上記シラン化合物a-1~a-5の構成や組み合わせ等を調整する必要がある。これについては後述の通りである。以下、上記化合物a1~化合物a5についてさらに具体的に例を挙げて説明する。化合物a1~化合物a5が有するXは加水分解性基であり、例えば、モノアルコールから水酸基の水素原子を除いた有機基、ハロゲン原子、アシル基、イソシアネート基、アミン化合物からアミノ基の水素原子を除いた有機基などがある。Xとしては、炭素数4以下のアルコキシ基またはハロゲン原子が好ましく、CH3O-、C2H5O-、Cl-がより好ましい。これらの基Xは加水分解反応により水酸基シラノール基となり、さらに分子間で反応してSi-O-Si結合すなわち、シロキサン結合を形成する。化合物a1が有するとともに、化合物a3、化合物a4が任意に有するRFとしては、RF1-Y-で表される基が好ましい。ただし、RF1は、炭素数3~10のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキル基を示し、Yはフッ素原子を含まない2価連結基を示す。RF1は、炭素数4~8のペルフルオロアルキル基、または、炭素数4~9のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基が好ましく、炭素数6のペルフルオロアルキル基がより好ましい。RF1がこの様な基であると本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いて形成される隔壁が、優れた撥インク性および撥インク性の耐UVオゾン性を示し、また、汎用の溶媒への溶解性が優れているため好ましい。RF1の構造は、直鎖構造、分岐構造、環構造、または部分的に環を有する構造が挙げられるが、本発明においては直鎖構造が好ましい。RF1の具体例としては、以下の基が挙げられる。FCF24-、FCF26-、FCF28-。CF3CF2OCF2CF2OCF2-、CF3CF2OCF2CF2OCF2CF2-、CF3CF2OCF2CF2OCF2CF2OCF2CF2OCF2-、CF3CF2OCF2CF2OCF2CF2OCF2CF2OCF2CF2-。CF3CF2CF2OCF2-、CF3CF2CF2OCF2CF2-、CF3CF2CF2OCFCF3-、CF3CF2CF2OCFCF3CF2-、CF3CF2CF2OCFCF3CF2OCF2CF2-、CF3CF2CF2OCFCF3CF2OCFCF3-、CF3CF2CF2OCFCF3CF2OCFCF3CF2-。上記Yとしては2価連結基であれば特に制限されないが、-CH2g-、-CH2OCH2g-、-SO2NR2-CH2g-、-C=O-NR2-CH2g-で表される基が好ましい。ただし、gは1~5の整数を示し、R2は水素原子、メチル基、またはエチル基を示す。Yは、gが2または3である-CH2g-が特に好ましい。なお、該基Yの向きとしては、右側にSiが、左側にRF1が結合することを意味する。RF1が炭素数4~8のペルフルオロアルキル基である場合、前記Yとしては、-CH2g-で表される基が好ましい。gは2~4の整数であることが好ましく、gが2である-CH22-が特に好ましい。RF1が炭素数4~9のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基である場合、前記Yとしては、-CH2h-、-CH2OCH2h-、-SO2NR2-CH2h-、-C=O-NR2-CH2h-で表される基が好ましい。ただし、hは1~5の整数を示し、R2は水素原子、メチル基、またはエチル基を示す。Yは、hが2である-CH22-が特に好ましい。なお、該基Yの結合の向きとしては、右側にSiが、左側にRF1が結合することを意味する。化合物a2、化合物a3、化合物a4および化合物a5が有する、RHとしては、炭素数1~4のアルキル基、またはフェニル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。化合物a5が有するVとしては、V1-Z-で表される基が好ましい。ただし、V1はメタアクリロイルオキシ基を示す。Zは-CH23-、-CH24-、-CH25-、または-CH26-を示し、-CH23-が好ましい。また、化合物a3、化合物a4が任意に有するアクリロイル基およびメタクリロイル基から選ばれる重合性官能基としても、同様の基が好ましい。化合物a1の具体例としては、以下の例が好ましい。FCF24CH2CH2SiOCH33、FCF26CH2CH2SiOCH33、FCF28CH2CH2SiOCH33、CF3CF2CF2OCFCF3CF2OCF2CF2CH2CH2SiOCH33。化合物a2の具体例としては、以下の例が好ましい。SiOCH34、SiOCH2CH34、CH3SiOCH33、CH3SiOCH2CH33、CH3CH2SiOCH33、CH3CH2SiOCH2CH33、CH32SiOCH32、CH32SiOCH2CH32。化合物a3の具体例としては、以下の例が好ましい。[FCF26CH2CH2]CH32SiOCH3、CH33SiOCH3、[CH2=CCH3COOCH23]CH32SiOCH3。化合物a4の具体例としては、以下の例が好ましい。CH33SiOSiCH33。化合物a5の具体例としては、以下の例が好ましい。CH2=CCH3COOCH23SiOCH33、CH2=CCH3COOCH23SiOCH2CH33、CH2=CHCOOCH23SiOCH33、CH2=CHCOOCH23SiOCH2CH33、[CH2=CCH3COOCH23]CH3SiOCH32、[CH2=CCH3COOCH23]CH3SiOCH2CH32。撥インク剤Aは、上記各化合物を反応させて得られる反応生成物である。この反応は、加水分解性基の加水分解反応によるシラノール基の生成とシラノール基同士の脱水縮合反応によるシロキサン結合の生成である。本発明のネガ型感光性樹脂組成物に用いる撥インク剤Aは、このようにして得られる部分加水分解縮合生成物中に、上記加水分解反応により生成されたシラノール基が残るように分子設計されたものであり、その好ましいシラノール基数はケイ素原子1個当たり、平均0.2~3.5個である。例えば、加水分解性シラン化合物a-1と加水分解性シラン化合物a-2を用いて撥インク剤Aを製造する場合、使用する加水分解性シラン化合物a-1と、加水分解性シラン化合物a-2とのモノマーの共縮合割合は、上記フッ素原子含有率が得られるものであれば、特に限定されるものではないが、加水分解性シラン化合物a-11モルに対する加水分解性シラン化合物a-2の量として、0.1~9モルであることが好ましい。加水分解性シラン化合物a-11モルに対する加水分解性シラン化合物a-2のより好ましい量は、0.5~9モルである。撥インク剤Aは加水分解性シラン化合物a-1に由来する基RFを含有するが、この基RFは感光性膜の表面に偏析する性質を有する。したがって、少量の基RF、言い換えれば加水分解性シラン化合物a-1に由来する単位を、撥インク剤Aに導入することにより、感光性組成物を硬化させた膜の表面は撥水性と撥油性を発揮できる。過剰の基RFを、撥インク剤Aに導入すると汎用の溶媒への溶解性が損なわれるおそれがある。上記撥インク剤Aの製造において、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2に加えて、1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4などの1官能性のシロキサン単位を生成しうるシラン化合物を使用する場合、上記加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2の合計モル量に対する1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4の量は、100モル以下が好ましく、特に10モル以下が好ましい。ただし、オルガノジシロキサンa-4のみを用いる場合の上記量は、50モル以下が好ましく、特に5モル以下が好ましい。また、上記撥インク剤Aの製造において、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2さらに、任意に1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4を使用してもよい。に加えて、重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5を使用する場合、上記加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2の合計モル量に対する重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5の量は、100モル以下が好ましく、特に50モル以下が好ましい。本発明における撥インク剤Aは、単一の化合物で構成されていてもよいが、通常、重合度等の異なる複数の化合物で構成される混合物である。すなわち、撥インク剤Aは、例えば、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2を必須成分として用い、任意に1官能性加水分解性シラン化合物a-3および/またはオルガノジシロキサンa-4を用いて製造された場合は、下記式1で表される平均組成式の構造を有するものとなる。ただし、撥インク剤Aは、実際は加水分解性基またはシラノール基が残存した生成物部分加水分解縮合生成物であるので、この生成物を化学式で表すことは困難であり、下記式1で表した平均組成式は、上記のように製造された部分加水分解縮合生成物がさらに反応して加水分解性基およびシラノール基の全てがシロキサン結合となったと仮定した場合の化学式である。式1中、RF、RH、W、およびp、は上記式a1~a4で説明したのと同様である。m、nはそれぞれ1以上の整数であり、kは0または1以上の整数である。上記式1で表される平均組成式の構造を有する部分加水分解縮合生成物においては、化合物a1および化合物a2にそれぞれ由来するモノマー単位は、ランダムに配列していると推測され、任意に配合される化合物a3および/または化合物a4に由来するモノマー単位は分子鎖の末端に配置していると推測される。なお、m、nの値は、撥インク剤A全体の平均値として、m:nが、それぞれ加水分解性シラン化合物a-1に対する加水分解性シラン化合物a-2の使用量の割合として上述した範囲内にあることが好ましい。また、kの値は、撥インク剤A全体の平均値として、mn:kが、上述の範囲、すなわちmnの1に対してkが1以下にあることが好ましく、特に0.1以下にあることが好ましい。また、撥インク剤Aは、例えば、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2を必須成分として用い、任意にアクリロイル基やメタクリロイル基のような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5と任意に1官能性加水分解性シラン化合物a-3および/またはオルガノジシロキサンa-4とを用いて製造された場合は、下記式2で表される平均組成式の構造を有するものとなる。ただし、撥インク剤Aは、実際は加水分解性基またはシラノール基が残存した生成物部分加水分解縮合生成物であるので、この生成物を化学式で表すことは困難であり、下記式2で表した平均組成式は、上記のように製造された加水分解縮合生成物において加水分解性基またはシラノール基の全てがシロキサン結合となったと仮定した場合の化学式である。式2中、RF、RH、V、Wおよびp、q、rは上記式a1、a2、a5で説明したのと同様である。s、tはそれぞれ1以上の整数であり、uおよびjはそれぞれ0または1以上の整数である。上記式2で表される平均組成式の構造を有する加水分解縮合生成物においては、上記式1で表される加水分解縮合生成物と同様、化合物a1および化合物a2、任意に配合される化合物a5にそれぞれ由来するモノマー単位は、ランダムに配列していると推測され、任意に配合される化合物a3および/または化合物a4に由来するモノマー単位は分子鎖の末端に配置していると推測される。なお、s、tの値は、撥インク剤A全体の平均値として、s:tが、それぞれ加水分解性シラン化合物a-1に対する加水分解性シラン化合物a-2の使用量の割合として上述した範囲内にあることが好ましい。また、uの値は、撥インク剤A全体の平均値として、st:uが、上述の範囲、すなわちstの1に対してuが1以下にあることが好ましく、0.5以下にあることがより好ましく、特に0.1以下にあることが好ましい。また、jの値は、撥インク剤A全体の平均値として、stu:jが、上述の範囲、すなわちstuの1に対してjが1以下にあることが好ましく、特に0.1以下にあることが好ましい。ここで、本発明における撥インク剤Aを構成する、含フッ素シロキサン化合物、好ましくは上記部分加水分解縮合生成物中のシラノール基数は、上記の通りケイ素原子1個当たり平均0.2~3.5個であることが好ましい。含フッ素シロキサン化合物中のシラノール基数が平均3.5以下であると、これを含有するネガ型感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する際に、基材表面からの撥インク剤Aの蒸発を防止できる利点がある。含フッ素シロキサン化合物中のシラノール基数がケイ素原子1個当たり、平均0.2以上であると撥インク剤Aの溶媒への溶解性やネガ型感光性樹脂組成物中の他の成分への相溶性が良好になるため、作業性が向上する利点がある。なお、含フッ素シロキサン化合物中のシラノール基数は、ケイ素原子1個当たり、より好ましくは平均0.2~2.0個、さらに好ましくは、平均0.5~1.5個である。なお、含フッ素シロキサン化合物中のシラノール基数は、29Si-NMRにより測定されるシラノール基を有する、または有しない各種構造由来のピーク面積比により算出される。含フッ素シロキサン化合物中のケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は、例えば、上記加水分解縮合生成物中のケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数を例にすると、以下の方法により算出することができる。平均シラノール基数の算出29Si-NMRにより測定されるピークは、以下の分子構造別に特定のケミカルシフト範囲を有する。硬化性シリコーンなどのオルガノポリシロキサン化合物において、4官能性加水分解性シラン化合物に由来する単位はQ単位、3官能性加水分解性シラン化合物に由来する単位はT単位、2官能性加水分解性シラン化合物に由来する単位はD単位、1官能性加水分解性シラン化合物に由来する単位はM単位と呼ばれている。各単位におけるケイ素原子の4個の結合手は、前記したような有機基とケイ素-炭素結合で結合した結合手であるか、ケイ素-酸素結合の結合手である。場合により、加水分解性基が加水分解せずに残存しかつ加水分解性基の末端がアミノ基等である場合は、ケイ素-窒素結合の結合手であることもある。ケイ素-酸素結合のうち、その酸素原子がさらに他のケイ素原子に結合している場合、このケイ素-酸素結合はシロキサン結合である。本発明における部分加水分解縮合生成物の場合、各単位におけるケイ素原子の4個の結合手は、実質的にケイ素-炭素結合の結合手とケイ素-酸素結合の結合手からなる。ケイ素-酸素結合の結合手は、ケイ素原子に結合した水酸基における結合であるかまたは酸素原子を介して隣接したケイ素原子に結合する結合シロキサン結合の結合手である。残存する加水分解性基は無視しうる数と考えられる。ここで、部分加水分解縮合生成物におけるQ単位の構造は、シロキサン結合の数によって以下の5種に分類される。ただし、Q0はモノマーの加水分解物縮合していないものであり、重合体の単位ではないが、部分加水分解縮合生成物に含有される場合もあることより、Q単位の1種とみなす。Q0:HO4SiQ1:HO3SiO1/2Q2:HO2SiO2/2Q3:HOSiO3/2Q4:SiO4/2Q0~Q3における水酸基シラノール基は、4官能性加水分解性シラン化合物の加水分解性基が加水分解によりシラノール基となった後、縮合に供しなかった基である。Q単位において、Q0~Q4が異なるピークとして、29Si-NMRにより測定され、その測定結果に基づき、各単位のピーク面積比を単位数の比として、以下の計算式によりQ単位由来の平均シラノール基数が算出される。Q単位由来の平均シラノール基数=Q0単位の数×4Q1単位の数×3Q2単位の数×2Q3単位の数×1/Q0単位の数Q1単位の数Q2単位の数Q3単位の数Q4単位の数同様に、T単位の構造は、シロキサン結合の数によって以下の4種に分類される。Rは、ケイ素-炭素結合でケイ素原子に結合している有機基である以下のD単位、M単位においても同じ。ただし、T0はモノマーの加水分解物縮合していないものであり、重合体の単位ではないが、部分加水分解縮合生成物に含有される場合もあることより、T単位の1種とみなす。T0:RHO3SiT1:RHO2SiO1/2T2:RHOSiO2/2T3:RSiO3/2T単位において、T0~T3が異なるピークとして、29Si-NMRにより測定され、その測定結果に基づき、各単位のピーク面積比を単位数の比として、以下の計算式によりT単位由来の平均シラノール基数が算出される。T単位由来の平均シラノール基数=T0単位の数×3T1単位の数×2T2単位の数×1/T0単位の数T1単位の数T2単位の数T3単位の数同様に、D単位の構造は、シロキサン結合の数によって以下の3種に分類される。ただし、D0はモノマーの加水分解物縮合していないものであり、重合体の単位ではないが、部分加水分解縮合生成物に含有される場合もあることより、D単位の1種とみなす。なお、ケイ素原子に結合した2つのRは異なっていてもよい。D0:R2HO2SiD1:R2HOSiO1/2D2:R2SiO2/2D単位において、D0~D2が異なるピークとして、29Si-NMRにより測定され、その測定結果に基づき、各単位のピーク面積比を単位数の比として、以下の計算式によりD単位由来の平均シラノール基数が算出される。D単位由来の平均シラノール基数=D0単位の数×2D1単位の数×1/D0単位の数D1単位の数D2単位の数同様に、M単位の構造は、シロキサン結合の数によって以下の2種に分類される。ただし、M0はモノマーの加水分解物縮合していないものであり、重合体の単位ではないが、部分加水分解縮合生成物に含有される場合もあることより、M単位の1種とみなす。なお、ケイ素原子に結合した3つのRは互いに異なっていてもよい。M0:R3HOSiM1:R3SiO1/2M単位において、M0、M1が異なるピークとして、29Si-NMRにより測定され、その測定結果に基づき、各単位のピーク面積比を単位数の比として、以下の計算式によりM単位由来の平均シラノール基数が算出される。M単位由来の平均シラノール基数=M0単位の数/M0単位の数M1単位の数なお、部分加水分解縮合生成物中のケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は、上記Q単位、T単位、D単位、M単位の各構造単位由来の29Si-NMR測定ピーク面積比から、以下の通り算出される。全平均シラノール基数=Q0単位の数×4Q1単位の数×3Q2単位の数×2Q3単位の数×1T0単位の数×3T1単位の数×2T2単位の数×1D0単位の数×2D1単位の数×1M0単位の数×1/Q0単位の数Q1単位の数Q2単位の数Q3単位の数Q4単位の数T0単位の数T1単位の数T2単位の数T3単位の数D0単位の数D1単位の数D2単位の数M0単位の数M1単位の数部分加水分解縮合生成物中のシラノール基数は、シラノール基を安定化する溶媒の使用割合を変化させることにより調整することができる。なお、本発明のネガ型感光性樹脂組成物では、撥インク剤Aとともに含有する溶媒Dにおいて、シラノール基を安定化する溶媒の使用割合を調整する。シラノール基を安定化する溶媒については、後の溶媒Dにおいて詳述する。ここで、加水分解縮合生成物中のシラノール基数は、上記1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4を使用して調整することもできるが、ケイ素原子に結合した炭化水素基が存在すると撥インク性が低下する原因となるので、シラノール基を安定化する溶媒を使用することにより調整することが望ましい。本発明における撥インク剤Aである硬化性シリコーンの数平均分子量は、500以上が好ましく、1000000未満が好ましく、10,000未満がより好ましい。数平均分子量が500以上であると、これを含有するネガ型感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する際に、基材表面からの蒸発を防止できる利点があり、数平均分子量が1000000未満であると、溶媒への溶解性が良好になるため、作業性が向上する利点がある。撥インク剤Aである硬化性シリコーンの数平均分子量は反応条件等を選択することにより調節できる。また、分子量は、上記シラノール基数の調整と同様、シラノール基を安定化する溶媒の使用割合を変化させることでも調整することができる。シラノール基を安定化する溶媒は、後に例示した通りである。このように、シラノール基数と分子量には、相関があると考えられる。1官能性加水分解性シラン化合物a-3やオルガノジシロキサンa-4を使用して分子量の上限を調整することができ、またこれにより反応により得られる硬化性シリコーンの保存安定性を向上させることもできる。しかし、ケイ素原子に結合した炭化水素基が存在すると撥インク性が低下する原因となるので、シラノール基を安定化する溶媒を使用することにより調整することが望ましい。なお、数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として測定した値をいう。以下、本明細書中に記載の数平均分子量は、前記同様の測定方法により測定した値である。<撥インク剤Aの製造および本発明の撥インク剤溶液>撥インク剤Aを構成する含フッ素シロキサン化合物、好ましくは、上記部分加水分解縮合生成物を、例えば、上記加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2、ならびに任意に加えられる1官能性加水分解性シラン化合物a-3、オルガノジシロキサンa-4、アクリロイル基やメタクリロイル基のような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5を加水分解、縮合して得る反応には、一般的な加水分解性シラン化合物を加水分解縮合させる反応に通常用いる反応条件を特に制限なく適用することが可能である。場合により、多官能の加水分解性シラン化合物は事前にある程度加水分解縮合させた後他の加水分解性シラン化合物と反応させてもよい。特に、4官能性の加水分解性シラン化合物はあらかじめある程度加水分解縮合させて反応に使用することができ、また、市販の4官能性加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合物を4官能性加水分解性シラン化合物の代わりにまたはその一部として使用することができる。市販の4官能性加水分解性シラン化合物の部分加水分解縮合物としては、例えば、テトラメトキシシランの部分加水分解縮合物例えば、コルコート社のメチルシリケート51商品名、テトラエトキシシランの部分加水分解縮合物例えば、コルコート社のエチルシリケート40、エチルシリケート48いずれも商品名などが挙げられる。なお、この加水分解性シラン化合物を加水分解縮合させる反応には、通常用いられる塩酸、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、酢酸、シュウ酸、マレイン酸等の有機酸を触媒として用いるのが好ましい。用いる触媒の量として具体的には、反応に用いる加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2、ならびに任意に加えられる1官能性加水分解性シラン化合物a-3、オルガノジシロキサンa-4、アクリロイル基やメタクリロイル基のような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5の全量に対して0.01~10質量、好ましくは0.1~1質量の量を挙げることができる。撥インク剤の溶媒D2上記撥インク剤Aを得るための加水分解縮合反応に用いる溶媒は、撥インク剤溶液の形で本発明のネガ型感光性樹脂組成物に配合される。従って撥インク剤の反応溶媒は比誘電率が5以上である有機溶媒を主成分とする溶媒からなる。またこのような有機溶媒は、加水分解シラン化合物、加水分解縮合物、加水分解に必要な水、および触媒を溶解する比誘電率が5以上の溶媒を使用するのが好ましい。また比誘電率が5以上30以下の溶媒を用いることがより好ましい。また、溶媒D2は水を加えた結果水を含んでいてもよいし、水を含まなくてもよい。水を含まない方が好ましい。このような溶媒としては、メタノール、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、1-ブタノール、2-ブタノール、イソブタノール、2-メチル-2-プロパノール、エチレングリコール、グリセリン、プロピレングリコール等のアルコール類;アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;;メチルアセテート、エチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類;2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール等のエチレングリコールのモノアルキルエーテル、2-2-メトキシエトキシエタノール、2-2-エトキシエトキシエタノール、2-2-ブトキシエトキシエタノール等のジエチレングリコールのモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のプロピレングリコールのモノアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等のジプロピレングリコールのモノアルキルエーテル、その他のグルコールのモノアルキルエーテル類が挙げられる。その他には、ベンジルアルコール、N,N-ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。また、それ自体の比誘電率が30以上である非有機溶媒を、上記単独で比誘電率が5以上の溶媒に併用添加して、シラノール基の安定化効果を高めることもできる。このような非有機溶媒として、水ε:76.7330°Cが挙げられる。上記撥インク剤Aを得るための加水分解縮合反応に用いる溶媒D2は、水、および触媒を溶解する前記溶媒と、加水分解シラン化合物、および部分加水分解縮合物を溶解する非水溶性溶媒とを組み合わせてもよい。前記溶媒と、加水分解シラン化合物、および部分加水分解縮合物とを溶解させる非水溶性溶媒は相互に混和することが好ましい。このような溶媒の組み合わせとして具体的には、イソプロピルアルコールとヘキサン、イソプロピルアルコールとジクロロペンタフルオロプロパン旭硝子社製、AK-225商品名;CF3CF2CHCl2とCClF2CF2CHClFの混合物、イソプロピルアルコールとトルエン等が例示できる。ただし、これらの溶媒を使用する際には、混合溶媒の誘電率が5以上になるように調整して使用することが好ましい。用いる溶媒の量として具体的には、反応に用いる加水分解性シラン化合物が、加水分解性シラン化合物a-1および加水分解性シラン化合物a-2、ならびに任意に加えられる1官能性加水分解性シラン化合物a-3、オルガノジシロキサンa-4、アクリロイル基やメタクリロイル基のような重合性官能基を有する加水分解性シラン化合物a-5の場合には、溶媒を含むネガ型感光性樹脂組成物全量に対して、加水分解性シラン化合物が0.01~10質量、好ましくは0.1~1.0質量になるように溶媒を使用すればよい。通常は撥インク剤溶液は固形分濃度として、0.1~50質量で使用される。反応は、室温から溶媒の沸点までの温度で、適当な撹拌条件の下で実施することが好ましい。反応時間として具体的には、用いる原料成分の量、反応温度、撹拌条件等にもよるが、概ね0.5~24時間、好ましくは1~10時間を挙げることができる。反応終了後、溶媒を除去することなく、本発明のネガ型感光性樹脂組成物中に添加することもできる。シラノール基の安定性が保てれば、通常の方法により溶媒を除去してから撥インク剤Aを得た後、ネガ型感光性樹脂組成物中に添加してもよいが、通常は反応に用いた溶媒を除去することなく撥インク溶液とする。このようにして得られる反応生成物、すなわち部分加水分解縮合生成物が、撥インク剤Aとして、通常、この反応において使用される溶媒とともに、撥インク剤A溶液の形で、本発明のネガ型感光性樹脂組成物に配合される。この場合、上記反応において使用された溶媒が、上記ネガ型感光性樹脂組成物の溶媒Dの一部を構成する。したがって、加水分解縮合生成物の製造に用いる溶媒としては、上記シラノール基を安定化する溶媒を用いることが好ましい。ただし、部分加水分解縮合生成物は、その製造を別の溶媒中で行い、製造後シラノール基を安定化する溶媒に溶媒置換されてもよい。この場合に用いられる溶媒は、撥インク剤の反応に用いる溶媒として挙げた上記溶媒の中から選択することができる。さらに、上記のように、シラノール基の安定性を保てれば、溶媒を除去したものをネガ型感光性樹脂組成物にシラノール基を安定化する溶媒とともに配合することも可能である。この場合に用いられる溶媒は、撥インク剤の反応に用いる溶媒として挙げた上記溶媒の中から選択することができる。本発明の撥インク剤溶液は、後述の本発明のネガ型感光性樹脂組成物の製造において、撥インク剤を他の構成成分とともに配合する際に、撥インク剤が有するシラノール基を安定化した状態で、配合するために用いられる溶液である。すなわち、本発明の撥インク剤溶液は、ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる撥インク剤が、比誘電率5以上の溶媒に溶解してなることを特徴とする。撥インク剤としては、上に説明した撥インク剤Aを用いることができる。また、比誘電率5以上の溶媒としては、上に説明した、比誘電率が5以上である有機溶媒を主成分とし、溶媒が挙げられる。上記溶液における撥インク剤Aの含有量としては、ケイ素原子に結合する水酸基シラノール基の濃度として0.01~10mmol/gとなる割合が挙げられる。また、本発明は、撥インク剤溶液の別の態様として、ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シロキサン化合物からなる撥インク剤を、ケイ素原子に結合する水酸基シラノール基の濃度として、隔壁形成性、撥インク剤Aの溶媒への溶解性やネガ型感光性樹脂組成物中の他の成分への相溶性の観点から、溶液中に0.01~10mmol/gとなる割合で含有する撥インク剤溶液を提供する。上記シラノール基の濃度としては、さらに0.01~10mmol/gとなる割合が好ましい。ここで、撥インク剤としては、上に説明した撥インク剤Aを用いることができる。また、撥インク剤を溶解する溶媒として、好ましくは、比誘電率5以上の溶媒、具体的には、比誘電率が5以上である有機溶媒を主成分とする溶媒が挙げられる。なお、ここで上記溶液における撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基シラノール基の濃度mmol/gは、以下の方法で測定、算出することができる。すなわち、撥インク剤Aを含有する溶液ただし、該溶液の溶媒は上記比誘電率特性を有する溶媒について、29Si-NMR測定を行い、該溶液に含まれるシラノール基量を測定する。次に、上記方法により撥インク剤A由来のケイ素原子1個あたりの平均シラノール基量を算出する。測定にもちいた溶液中のケイ素原子の濃度からこの値は仕込み値から計算できる、該溶液中のシラノール基濃度を算出する。本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する撥インク剤Aの割合は、ネガ型感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.01~10質量であり、好ましくは0.1~1質量である。なお、全固形分とは、ネガ型感光性樹脂組成物が含有する成分のうち、隔壁形成成分をいい、溶媒D等の隔壁形成過程における加熱等により揮発する揮発性成分以外の全成分を示す。なお、全固形分である組成物は、本発明にいう感光性組成物である。また、上記割合は、原料の加水分解性シラン化合物の加水分解性基の全てがシロキサン結合となって加水分解縮合生成物を構成していると仮定した場合から計算される値をいう。撥インク剤Aの含有割合を当該範囲とすることにより、本発明のネガ型感光性樹脂組成物から得られる光学素子の隔壁の撥インク性が良好となり、滑らかな表面を有する隔壁が得られる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する撥インク剤Aの割合は、上記に加えて、組成物全量に対する、上記撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基の割合が0.000001~1.0mmol/gとなる割合であり、好ましくは、0.000005~0.5mmol/gとなる割合である。撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基の割合を当該範囲とすることにより、揮発性防止をでき、組成物への溶解性も良好となる。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物全量に対する、上記撥インク剤A由来のケイ素原子の含有割合は、撥液性、耐UVオゾン性の点から、0.000001~1.0mmol/gであることが好ましく、0.000005~0.5mmol/gであることがより好ましい。なお、ここで上記組成物における撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基シラノール基の濃度mmol/gは、上記溶液中のシラノール基濃度mmol/gと撥インク剤Aの組成物中の濃度から算出することができる。また、ケイ素原子の含有割合mmol/gについては、撥インク剤Aにおけるケイ素化合物の仕込み値と撥インク剤Aの組成物中の濃度から算出できる。次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する感光性樹脂Bについて説明する。感光性樹脂B本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する感光性樹脂Bは、1分子内に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂である。感光性樹脂Bが酸性基を有することによりこれを含むネガ型感光性樹脂組成物から形成される感光性組成物の膜すなわち、感光性膜の未露光部はアルカリ現像液にて除去され、また、エチレン性二重結合を有することによりネガ型感光性樹脂組成物から形成される感光性膜の露光部はアルカリ現像液に不溶の感光硬化物となり、アルカリ現像液にて除去されずに基板面に残って、光学素子の隔壁等を形成することができる。感光性樹脂Bは実質的にペルフルオロアルキル基を含有しないことが好ましい。上記酸性基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびリン酸基からなる群から選ばれる1以上の酸性基が挙げられる。なお、上記酸性基としては、カルボキシル基が好ましい。エチレン性二重結合としては、例えば、メタアクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルエーテル基等の付加重合性の不飽和基や、これら付加重合性不飽和基の水素原子の一部またはすべてが、炭化水素基により置換されている基等が挙げられる。なお、上記炭化水素基としては、メチル基が好ましい。感光性樹脂Bの例として具体的には、酸性基を有するエチレン性不飽和単量体や反応性基と結合し得る官能基を有するエチレン性不飽和単量体等の共重合体であって、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する重合体B1、エポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂B2等が挙げられる。上記重合体B1は、例えば、酸性基を有するエチレン性不飽和単量体や反応性基と結合し得る官能基を有するエチレン性不飽和単量体等を通常のラジカル重合法により合成したあと、反応性基と二重結合を有する化合物を反応させることにより、エチレン性二重結合を有する側鎖を形成することで得られる。上記樹脂B2としては、エポキシ樹脂と、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する化合物との反応物に、さらに多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させて得られる化合物が好ましい。上記樹脂B2の製造に用いられるエポキシ樹脂として具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、下記式B21で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂ただし、sは1~50の整数を示し、2~10が好ましい。、下記式B22で表されるエポキシ樹脂ただし、R7、R8、R9、R10は独立して水素原子、塩素原子または炭素数1~5のアルキル基のいずれかを示し、これらは互いに同一であっても異なってもよい。tは0~10の整数を示す。等が挙げられる。エポキシ樹脂に、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する化合物を反応させることにより、エポキシ樹脂にエチレン性二重結合が導入される。次いで、これに多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させることにより、酸性基としてカルボキシル基を導入することができる。上記エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合を導入した樹脂B2の市販品としては、KAYARADPCR-1069、K-48C、CCR-1105、CCR-1115、CCR-1163H、CCR-1166H、CCR-1159H、TCR-1025、TCR-1064H、TCR-1286H、ZAR-1535H、ZFR-1122H、ZFR-1124H、ZFR-1185H、ZFR-1492H、ZCR-1571H、ZCR1569H、ZCR-1580H、ZCR1581H、ZCR1588H、CCR-1159以上、日本化薬社製等が挙げられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において感光性樹脂Bは、1分子内に3個以上のエチレン性二重結合を有することが好ましく、1分子内に6個以上のエチレン性二重結合を有することがより好ましい。これにより、得られる感光性樹脂組成物から形成される感光性膜の露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。感光性樹脂Bは、架橋反応し得る基としてカルボキシル基および/または水酸基を有することが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、後述のように、カルボキシル基および/または水酸基と反応し得る基を2つ以上有する化合物である熱架橋剤Fをさらに含む場合があるが、その場合、感光性樹脂Bが架橋反応し得る基としてカルボキシル基および/または水酸基を有していれば、現像後の加熱処理により感光性樹脂Bと熱架橋剤Fが架橋反応し、感光硬化物の架橋密度が増大し、耐熱性が向上するからである。感光性樹脂Bが酸性基としてカルボキシル基、フェノール性水酸基を既に有する場合、これらは上記架橋反応し得る基として作用し得る。感光性樹脂Bが酸性基としてスルホン酸基、リン酸基等を有している場合は、架橋反応しうる基としてカルボキシル基、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基のいずれか1個以上を有することが好ましい。感光性樹脂Bの酸価は、10~300mgKOH/gが好ましく、30~150mgKOH/gがより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物のアルカリ溶解性が良好である。また、酸価とは、試料1g中の樹脂酸などを中和するのに必要な水酸化カリウムのミリグラム数をいい、JISK0070の測定方法に準じて測定することができる値である。感光性樹脂Bの数平均分子量は、500以上20,000未満が好ましく、2,000以上15,000未満がより好ましい。この範囲であると感光性樹脂組成物から形成される感光性膜の露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、感光性樹脂Bとして、これに分類される化合物の1種を単独で含有してもよいし、2種以上の混合物を含有してもよい。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物の全固形分に対する感光性樹脂Bの割合は、5~80質量が好ましく、10~60質量がより好ましい。当該範囲であると感光性樹脂組成物から形成される感光性膜の露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する光重合開始剤Cについて説明する。光重合開始剤C本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する光重合開始剤Cは、光重合開始剤としての機能を有する化合物であれば特に制限されないが、光によりラジカルを発生する化合物からなることが好ましい。光重合開始剤Cとしては、例えば、ベンジル、ジアセチル、メチルフェニルグリオキシレート、9,10-フェナンスレンキノン等のα-ジケトン類;ベンゾイン等のアシロイン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類;チオキサントン、2-クロロチオキサントン、2-メチルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、チオキサントン-4-スルホン酸等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4,4’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2-4-トルエンスルホニルオキシ-2-フェニルアセトフェノン、p-ジメチルアミノアセトフェノン、2,2’-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、p-メトキシアセトフェノン、2-メチル-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノ-1-プロパノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1-オン等のアセトフェノン類;アントラキノン、2-エチルアントラキノン、カンファーキノン、1,4-ナフトキノン等のキノン類;2-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸n-ブトキシエチル、4-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4-ジメチルアミノ安息香酸2-エチルヘキシル等のアミノ安息香酸類;フェナシルクロライド、トリハロメチルフェニルスルホン等のハロゲン化合物;アシルホスフィンオキシド類;ジ-t-ブチルパーオキサイド等の過酸化物;1,2-オクタンジオン,1-[4-フェニルチオ-,2-O-ベンゾイルオキシム、エタノン1-[9-エチル-6-2-メチルベンゾイル-9H-カルバゾイル-3-イル]-1-O-アセチルオキシム等のオキシムエステル類等が挙げられる。特に、上記ベンゾフェノン類、上記アミノ安息香酸類等は、その他のラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。また、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、n-ブチルアミン、N-メチルジエタノールアミン、ジエチルアミノエチルメタクリレート等の脂肪族アミン類も同じくラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。さらに、上記以外にも、2-メルカプトベンズイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール、1,4-ブタノールビス3-メルカプトブチレート、トリス2-メルカプトプロパノイルオキシエチルイソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス3-メルカプトブチレートなどのチオール化合物も同じくラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、光重合開始剤Cとして、これに分類される化合物の1種を単独で含有してもよいし、2種以上の混合物を含有してもよい。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤Cの割合は、0.1~50質量が好ましく、0.5~30質量がより好ましい。当該範囲であると感光性樹脂組成物から形成される感光性膜の露光部分の光硬化性が良好となり、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する溶媒Dについて説明する。溶媒D本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する溶媒Dは、ネガ型感光性樹脂組成物が含有する上記撥インク剤A、感光性樹脂B、および光重合開始剤C、さらには後述する任意成分を均一に溶解または分散させて、隔壁が形成される基材へのネガ型感光性樹脂組成物の塗布を均一かつ容易にする機能を有し、かつこれら成分との反応性を有しないものであれば特に制限されないが、上記撥インク剤Aが有するシラノール基を安定化する機能を有する溶媒であることが好ましい。溶媒Dは、有機溶媒を主成分とする溶媒である。溶媒中に有機溶媒が50~100質量含まれることが好ましく、70~100質量であることがより好ましく、80~100質量であることが特に好ましい。また溶媒Dを構成する有機溶媒は、1水酸基を有し、炭素数が3~10であるエーテル性酸素を含んでいてもよい、炭化水素ただし、脂環族炭化水素を除くか、2水酸基を有し、炭素数が6~10である脂環族炭化水素か、3水酸基を有しない、比誘電率が10~30である有機溶媒から選ばれる。溶媒Dは比誘電率が10~30であることが好ましく、12~20であることが特に好ましい。1水酸基を有し、炭素数が3~10であるエーテル性酸素を含んでいてもよい、炭化水素ただし、脂環族炭化水素を除く上記炭化水素としては、エタノール、1-プロパノール、2-プロパノール、1-ブタノール、2-ブタノール、イソブタノール、2-メチル-2-プロパノール、グリセリン、プロピレングリコール等のアルコール類;2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール等のエチレングリコールのモノアルキルエーテル;2-2-メトキシエトキシエタノール、2-2-エトキシエトキシエタノール、2-2-ブトキシエトキシエタノール等のジエチレングリコールのモノアルキルエーテル;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のプロピレングリコールのモノアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等のジプロピレングリコールのモノアルキルエーテル、その他のグルコールのモノアルキルエーテル類、ベンジルアルコール等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。2水酸基を有し、炭素数が6~10である脂環族炭化水素上記脂環族炭化水素の具体例としては、4-エチルシクロヘキサノール、4-プロピルシクロヘキサノール等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。3水酸基を有しない、比誘電率が10~30である有機溶媒上記有機溶媒の具体例としては、アセトンε:21.3625°C、メチルイソブチルケトンε:13.1125°C、シクロヘキサノンε:16.0225°C等のケトン類等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。なお、εは比誘電率を表している。1~3の溶媒は単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。併用する場合、溶媒D中の1の割合は、20質量以上であることが好ましく、50質量以上であることが特に好ましい。溶媒D中の2および3の割合は、それぞれ、80質量以下であることが好ましく、50質量以下であることが特に好ましい。なお、上記1~3に含まれない溶媒をさらに併用してもよい。例えば、水酸基を有しない、比誘電率が30超である有機溶媒、水酸基を有し、炭素数が1~2であるエーテル性酸素原子を含んでいてもよい、炭化水素ただし、脂環族炭化水素を除く、水ε:76.7330°Cが挙げられる。併用することで、シラノール基の安定化効果を高めることができる水酸基を有しない、比誘電率が30超である有機溶媒としては、N,N-ジメチルホルムアミドε:37.0625°C、ジメチルスルホキシドε:46.7125°C、ジメチルアセトアミドε:38.325°C、N-メチルピロリドンε:32.5820°C等が挙げられる。水酸基を有し、炭素数が1~2であるエーテル性酸素原子を含んでいてもよい、炭化水素ただし、脂環族炭化水素を除くとしては、エチレングリコールε:38.6625°C、メタノールε:32.3525°C等が挙げられる。これらの溶媒は単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。溶媒D中に含まれる割合は、30質量以下であることが好ましく、20以下であることが特に好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する溶媒Dは、撥インク剤Aが製造された溶液、または、製造後、溶媒置換された溶液の形でネガ型感光性樹脂組成物に配合された場合には、該撥インク剤A溶液が含有する溶媒を包含するものである。すなわち、溶媒Dは、例えば、撥インク剤Aが溶液の形で配合されてネガ型感光性樹脂組成物が製造される場合には、溶媒単独の形で配合される第1の溶媒D1と、撥インク剤溶液由来の第2の溶媒D2とで構成される。また、上記製造に際して撥インク剤Aそのものが配合される場合には、溶媒Dは、上記溶媒単独の形で配合される第1の溶媒D1のみで構成される。本発明においては、これらいずれの場合であっても、溶媒Dが、比誘電率が10~30である、有機溶媒を主成分とする溶媒からなることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する溶媒Dの量としては、上記ネガ型感光性樹脂組成物の組成、用途等にもよるが、組成物の全固形分に対する撥インク剤Aの配合量が0.01~10質量となる量とした上で、さらに組成物における全固形分が1~50質量になるように使用することすることが好ましい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する必須成分である上記撥インク剤A、感光性樹脂B、光重合開始剤C、溶媒Dについて個々に説明したが、本発明のネガ型感光性樹脂組成物におけるこれら成分の好ましい配合組成を以下に説明する。本発明のネガ型感光性樹脂組成物における、撥インク剤A、感光性樹脂B、光重合開始剤C、溶媒Dの配合割合は、各成分の種類や組合せにもよるが、撥インク剤A由来のケイ素原子に結合する水酸基の割合が0.000001~1.0mmol/gとなる割合であり、かつネガ型感光性樹脂組成物の全固形分に対して、撥インク剤Aの含有量が0.01~10質量であることを必須条件として、ネガ型感光性樹脂組成物の全固形分に対して、感光性樹脂Bが20~80質量、光重合開始剤Cが0.1~50質量、ネガ型感光性樹脂組成物全量に対して、溶媒Dが10~95質量の範囲にあることが好ましい。さらに、撥インク剤A由来のシラノール基の割合を上記同様の範囲に確保しつつ、撥インク剤Aが0.1~1.0質量、感光性樹脂Bが30~70質量、光重合開始剤Cが1~10質量、溶媒Dが20~80質量の範囲にあることがより好ましい。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物が以下に説明する任意成分を含む場合においても、撥インク剤A、感光性樹脂B、光重合開始剤C、溶媒Dの好ましい配合比は上記の割合を維持しながら任意成分を含有することが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、通常製造後、冷蔵庫内で保管した場合、少なくとも1か月程度の保存安定性、例えばシラノール濃度が上記濃度範囲に保たれることが必要である。以上、本発明のネガ型感光性樹脂組成物が必須成分として含有するA~D成分について説明したが、本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、これら必須成分以外に各種任意成分を含有することができる。以下、本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有してもよい任意成分について説明する。任意成分本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、2個以上のエチレン性二重結合を有し、かつ酸性基を有しないラジカル架橋剤Eを含むことが好ましい。これにより、さらに感光性樹脂組成物の光硬化性が向上し、低露光量での光学素子用の隔壁の形成が促進される。ラジカル架橋剤Eの具体例としては、ジエチレングリコールジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタアクリレート、1,9-ノナンジオールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート等が挙げられる。また、ウレタンアクリレートも挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において、その全固形分に対するラジカル架橋剤Eの割合は、10~60質量が好ましく、15~50質量がより好ましい。当該範囲であると感光性樹脂組成物から形成される感光性膜の露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、さらに、カルボキシル基および/または水酸基と反応し得る基を2個以上有する化合物である熱架橋剤Fを含むことが好ましい。熱架橋剤Fは、感光性樹脂Bがカルボキシル基および/または水酸基を有する場合、感光性樹脂Bと反応し、感光硬化物の架橋密度を増大させ耐熱性を向上させるという作用を有する。熱架橋剤Fとしては、アミノ樹脂、エポキシ化合物、オキサゾリン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリカルボジイミド化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を好ましく挙げることができる。これらの化合物は単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において、その全固形分に対する熱架橋剤Fの割合は、1~50質量が好ましく、5~30質量がより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物の現像性が良好となる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物を液晶表示素子のカラーフィルタのR、G、Bの三色の画素を囲む格子状の黒色部分であるブラックマトリックス形成のために用いる場合、または有機EL表示素子の画素間の隔壁形成のために用いる場合、黒色着色剤Gを含むことが好ましい。黒色着色剤Gを含むことによってコントラストが良好となる。黒色着色剤Gは、例えば、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、ペリレン系黒色顔料、具体的には、C.I.ピグメントブラック1、6、7、12、20、31等が挙げられる。樹脂などで表面処理された高抵抗カーボンブラックも挙げられる。カーボンブラックとしては、ブラックマトリックスの形状の観点から、BET法による比表面積が50~200m2/gであるものが好ましい。比表面積が50m2/g未満のカーボンブラックを用いる場合には、ブラックマトリックス形状の劣化を引き起こし、200m2/gより大きいカーボンブラックを用いる場合には、カーボンブラックに分散助剤が過度に吸着してしまい、諸物性を発現させるためには多量の分散助剤を配合する必要が生じるためである。また、カーボンブラックとしては、感度の点から、フタル酸ジブチルの吸油量が120cc/100g以下のものが好ましく、少ないものほどより好ましい。黒色着色剤Gとしては、赤色顔料、青色顔料、緑色顔料、黄色顔料等の有彩色の有機顔料の2種以上を、得られる混合物が黒色となる、すなわち可視光領域の波長の光を広く吸収するように配合し混合した黒色着色剤Gを用いることもできる。このような黒色着色剤Gの製造に使用可能な有彩色の有機顔料として、具体的には、C.I.ピグメントブルー2、3、9、15:1、15:3、15:6、22、25:4、60、61、66、80、C.I.ピグメントレッド7、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、81:4、146、177、184,185、187、200、202、208、210、246、254、255、264、270、272、279、C.I.ピグメントグリーン7、10、36、37、58、ピグメントイエロー12、13、14、17、20、24、74、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、153、165、166、173、185等が挙げられる。これらの有彩色の有機顔料の混合物として得られる黒色着色剤Gとしては、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントグリーン36、C.Iピグメントイエロー150の組み合わせが分散性および分散安定性の点から好ましい。各有機顔料の配合割合は、混合後黒色となる割合であれば特に制限されない。黒色着色剤Gのネガ型感光性樹脂組成物における分散性を向上させるためには、高分子分散剤を含有させることが好ましい。該高分子分散剤は、黒色着色剤Gへの親和性の点から、酸性官能基あるいは塩基性官能基を有する化合物が好ましい。該酸性官能基としては、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。高分子分散剤の酸価としては10~100mgKOH/gが好ましい。該塩基性官能基としては、1級、2級もしくは3級アミノ基を有すると、特に分散性に優れる。高分子分散剤としては、ウレタン系、ポリイミド系、アルキッド系、エポキシ系、不飽和ポリエステル系、メラミン系、フェノール系、アクリル系、塩化ビニル系、塩化ビニル酢酸ビニル系共重合体系、ポリアミド系、ポリカーボネート系等の化合物が挙げられる。中でも特にウレタン系、ポリエステル系の化合物が好ましい。高分子分散剤の使用量は、黒色着色剤Gに対して5~30質量が好ましく、10~25質量が特に好ましい。使用量が上記範囲の下限値以上であると、黒色着色剤Gの分散が良好になり、上記範囲の上限値以下であると、現像性が良好になる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物において、通常、黒色着色剤Gは、高分子分散剤とともに分散媒に配合され分散処理して得られる黒色着色剤料Gの分散液として配合される。黒色着色剤Gの分散液は、例えば、黒色着色剤G、高分子分散剤、分散媒を加えた混合物を公知の湿式粉砕分散装置、例えばペイントコンディショナー、ビーズミル等を用いて湿式粉砕分散処理することで製造できる。用いる分散媒としては、ネガ型感光性樹脂組成物の溶媒Dと同様のものが使用可能である。黒色着色剤Gの分散液としてネガ型感光性樹脂組成物に配合された分散媒は、溶媒Dの一部を構成する。分散液における分散媒の配合量としては、通常、分散液全体の65~90質量程度である。さらに、黒色着色剤Gの透過型電子顕微鏡観察による平均1次粒子径は、20~50nmであることが好ましい。平均1次粒子径が小さすぎると、高濃度に分散させることが困難になるおそれがあり、経時安定性の良好なネガ型感光性樹脂組成物が得られ難く、平均1次粒子径が大きすぎると、ブラックマトリックス形状の劣化を招くことがあるためである。また、透過型電子顕微鏡観察による平均2次粒子径としては、80~200nmが好ましい。なお、黒色着色剤Gの分散液としては、市販品を用いることができる。市販品としては、いずれも商品名で、DINA混色BMDIC社製、黒色着色剤G混色黒色有機顔料:高分子分散剤:分散媒プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセテートPGMEAの質量比=15:4.5:80.5の混合物、S2961大日精化工業社製、黒色着色剤Gアゾメチン系黒色顔料:高分子分散剤:分散媒PGMEAの質量比=12:7.2:80.8の混合物等が挙げられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物に黒色着色剤Gを含有させブラックマトリックス形成等に用いる場合、該ネガ型感光性樹脂組成物の全固形分に対する黒色着色剤Gの割合は、15~50質量が好ましく、20~40質量がより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物は感度が良好であり、また、形成される隔壁は遮光性に優れる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、必要に応じてシランカップリング剤Hを含むことが好ましい。シランカップリング剤を使用すると得られる感光硬化物の基材密着性が向上する。シランカップリング剤Hの具体例としては、テトラエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、へプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、ポリオキシアルキレン鎖含有トリエトキシシラン等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、その全固形分におけるシランカップリング剤Hの割合は、0.1~20質量が好ましく、1~10質量がより好ましい。含有量が少なすぎると得られる感光硬化物の基材密着性向上の効果が少なく、含有量が多すぎると撥インク性が損なわれるため好ましくない。本発明のネガ型感光性樹脂組成物においては、さらに必要に応じて硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤、紫外線吸収剤等を含有することができる。<本発明のネガ型感光性樹脂組成物の製造方法>本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、撥インク剤Aについてはネガ型感光性樹脂組成物の全固形分における割合が0.01~10質量、好ましくは0.1~1質量となるように、さらに、上記撥インク剤A由来のシラノール基含有量が0.000001~1.0mmol/g、好ましくは、0.000005~0.5mmol/gとなるように、その他の成分については上記説明した適当量を秤量し、これらを適当な方法で適当な時間、具体的には、30~120分間程度混合撹拌することにより調製することができる。また、上記撥インク剤Aは本発明のネガ型感光性樹脂組成物全量に対して、上記撥インク剤A由来のケイ素原子の含有割合が、0.000001~1.0mmol/gとなるように配合されることが好ましく、0.000005~0.5mmol/gとなるように配合されることがより好ましい。なお、本発明においては、ネガ型感光性樹脂組成物を製造する方法として、撥インク剤Aを下記溶液として準備し、これを、感光性樹脂B、光重合開始剤Cおよび第1の溶媒D1と混合する方法をとってもよく、この方法が本発明において、好ましく用いられる方法である。なお、この場合においても、撥インク剤Aについては、ネガ型感光性樹脂組成物の全固形分における割合が0.01~10質量、好ましくは0.1~1質量となるように、さらに、上記撥インク剤A由来のシラノール基含有量が0.000001~1.0mmol/g、好ましくは、0.000005~0.5mmol/gとなるように、配合される。また、上記同様、上記撥インク剤Aは本発明のネガ型感光性樹脂組成物全量に対して、上記撥インク剤A由来のケイ素原子の含有割合が、0.000001~1.0mmol/gとなるように配合されることが好ましく、0.000005~0.5mmol/gとなるように配合されることがより好ましい。撥インク剤A溶液:ケイ素原子に結合する水酸基を有し、化合物全量に対してフッ素原子を10~55質量の割合で含有する含フッ素シラン化合物からなる撥インク剤Aが第2の溶媒D2に溶解してなり、前記撥インク剤Aを、ケイ素原子に結合する水酸基の濃度として、該溶液中に0.01~10mmol/gとなる割合で含有する溶液。ここで、このような撥インク剤A溶液として、具体的には、上に説明した本発明の撥インク剤溶液が挙げられる。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、通常のネガ型感光性樹脂組成物と同様にフォトリソグラフィ等の材料として用いられ、得られた感光硬化物は、通常のネガ型感光性樹脂組成物を使用して得られた感光硬化物が用いられる光学素子の部材として、使用することが可能である。特に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を、基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁の形成に用いると、UVオゾン洗浄処理等の親インク化処理後も充分に撥インク性を有する隔壁を得ることができ、好ましい。本発明はまた、上記本発明のネガ型感光性樹脂組成物を使用した上記光学素子用の隔壁の製造方法を提供するものである。以下に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を使用したフォトリソグラフィ工程による本発明の光学素子用隔壁の製造方法について説明する。<本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用いた光学素子用隔壁の製造方法>本発明の光学素子用の隔壁の製造方法は、基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子用の隔壁の製造に適用され、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を上記基板上に塗布し該組成物の塗膜を形成する工程と、上記塗膜を加熱して溶媒Dを除くプリベーク工程と、上記溶媒Dを除いた組成物の膜の隔壁となる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、上記感光硬化した部分以外の膜を除去し上記膜の感光硬化部分からなる隔壁を形成させる現像工程と、上記形成された隔壁を加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とする。なお、上記塗膜を形成する工程において形成される塗膜は湿潤塗膜であり、プリベーク工程は該湿潤塗膜から溶媒Dを加熱により揮発除去して感光性膜とする工程であり、露光工程における溶媒Dを除いた組成物の膜とはこの感光性膜を意味する。図1は、本発明の製造方法の実施の形態の一例を模式的に示す図である。図1Iは、基板1上に感光性膜2が形成された状態の断面を示す図である。感光性膜2は、本発明のネガ型感光性組成物からなる湿潤塗膜から溶媒を除去することにより形成された膜である。IIは露光工程を模式的に示す図である。IIIは、現像工程後の基板1と基板上に形成された隔壁6を示す断面図である。以下、図1を用いて本発明の製造方法を具体的に説明する。塗膜形成工程光学素子用隔壁を製造するには、まず、図1Iに断面を示すように、基板1上に上記本発明のネガ型感光性樹脂組成物を塗布してネガ型感光性樹脂組成物からなる湿潤塗膜を形成する。基板1としては、その材質は特に限定されるものではないが、例えば、各種ガラス板;ポリエステルポリエチレンテレフタレート等、ポリオレフィンポリエチレン、ポリプロピレン等、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリイミド、ポリメタアクリル樹脂等の熱可塑性プラスチックシート;エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂の硬化シート等を挙げることができる。特に、耐熱性の点からガラス板、ポリイミド等の耐熱性プラスチックが好ましく用いられる。なお、基板1上にネガ型感光性樹脂組成物の湿潤塗膜を形成させる前に、基板1のネガ型感光性樹脂組成物の塗布面をアルコール洗浄、UVオゾン洗浄等で洗浄することが好ましい。ネガ型感光性樹脂組成物の湿潤塗膜の形成方法としては、膜厚が均一な塗膜が形成される方法であれば特に制限されず、スピンコート法、スプレー法、スリットコート法、ロールコート法、回転塗布法、バー塗布法など通常の塗膜形成に用いられる方法が挙げられる。また、湿潤塗膜の膜厚は最終的に得られる隔壁の高さを勘案して決められる。このような湿潤塗膜の膜厚として概ね、好ましくは03~325μm、より好ましくは13~65μm程度を挙げることができる。プリベーク工程次に、上記塗膜形成工程で基板1上に形成された湿潤塗膜を加熱する。この加熱によって、湿潤塗膜を構成するネガ型感光性樹脂組成物に含まれる溶媒を含む揮発成分が揮発、除去され、粘着性のない感光性膜が得られる。また、撥インク剤Aが膜表面近傍に移行する。加熱の方法としては、基板1とともに湿潤塗膜をホットプレート、オーブンなどの加熱装置により、好ましくは50~120°Cで10~2,000秒間程度加熱処理する方法が挙げられる。このプリベーク工程で、湿潤塗膜から溶媒Dおよびその他の揮発性成分が存在する場合はその揮発成分が除去され、湿潤塗膜が感光性膜2となる。なお、上記のようにプリベーク工程での加熱によって溶媒等の揮発成分を除去することも可能であるが、溶媒等の揮発成分を除去するために加熱乾燥以外の真空乾燥等の乾燥工程をプリベーク工程の前に別に設けてもよい。また、感光性膜外観のムラを発生させず、効率よく乾燥させるために、上記プリベーク工程による乾燥を兼ねた加熱と真空乾燥を併用することがより好ましい。真空乾燥の条件は、各成分の種類、配合割合などによっても異なるが、好ましくは500~10Paで10~300秒間程度の幅広い範囲で行うことができる。露光工程プリベーク工程に引き続き、図1IIに模式図を示す露光工程を実行する。すなわち、基板1上の感光性膜2に所定パターンのマスク4を介して光5を照射する。上記マスク4に切られた所定パターン部分のみを光5が透過し基板1上の感光性膜に到達しその部分の感光性組成物のみが感光硬化する。したがって、隔壁の形成を行う場合、上記所定パターンは隔壁の形状に適合する形に設けられる。例えば、以下のポストベーク工程後に隔壁の幅の平均が、好ましくは100μm以下、より好ましくは20μm以下、また、隣接する隔壁間の距離の平均が、好ましくは300μm以下、より好ましくは100μm以下となるようにパターンを形成したマスクを用いることが、本発明においては好ましい。露光は上記感光性膜の所望の部分に光を照射する工程であり、方法は特に限定されないが、図1IIのように所定パターンのマスクを介して行うことが好ましい。図1IIにおいて、光が照射された感光性膜の露光部分3は感光性組成物の感光硬化物からなり、一方、未露光部分は未硬化の感光性膜2そのものが残存する状態である。照射する光5として、具体的には、可視光;紫外線;遠紫外線;KrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、F2エキシマレーザー、Kr2エキシマレーザー、KrArエキシマレーザー、Ar2エキシマレーザー等のエキシマレーザー;X線;電子線等が挙げられる。また、照射光5としては、波長100~600nmの電磁波が好ましく、300~500nmの範囲に分布を有する光線がより好ましく、i線365nm、h線405nm、g線436nmが特に好ましい。照射装置図示されていないとして、公知の超高圧水銀灯やディープUVランプ等を用いることができる。露光量は、好ましくは5~1,000mJ/cm2の範囲であり、より好ましくは50~400mJ/cm2である。露光量が低すぎると、隔壁となる感光性組成物の硬化が不充分で、その後の現像で溶解や基板1からの剥離が起こるおそれがある。露光量が高すぎると高い解像度が得られなくなる傾向にある。また、光照射露光時間として、露光量、感光性組成物の組成、感光性膜の厚さ等にもよるが、具体的には1~60秒間、好ましくは5~20秒間を挙げることができる。現像工程露光工程の後、現像液を用いて現像を行い、図1IIに示される基板1上の未露光部分2を除去する。これにより、図1IIIに断面図が示されるような、基板1と上記基板上に感光性組成物の感光硬化物により形成された隔壁6の構成が得られる。また、隔壁6と基板1で囲まれた部分は、インク注入等により画素が形成されるドット7と呼ばれる部分である。得られた基板10は、後述のポストベーク工程を経て、インクジェット方式での光学素子作製に用いることが可能な基板となる。現像に用いる現像液としては、例えば、無機アルカリ類、アミン類、アルコールアミン類、第4級アンモニウム塩等のアルカリ類を含むアルカリ水溶液を用いることができる。また現像液には、溶解性の向上や残渣除去のために、界面活性剤やアルコールなどの有機溶媒を添加することができる。現像時間現像液に接触させる時間は、5~180秒間が好ましい。また現像方法は液盛り法、ディッピング法、シャワー法などのいずれでもよい。現像後、高圧水洗や流水洗浄を行い、圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、基板1および隔壁6上の水分を除去できる。ポストベーク工程続いて、基板1上の隔壁6を加熱することが好ましい。加熱の方法としては、基板1とともに隔壁6をホットプレート、オーブンなどの加熱装置により、好ましくは150~250°Cで、5~90分間加熱処理をする方法が挙げられる。この加熱処理により、基板1上の感光硬化物からなる隔壁6がさらに硬化し、隔壁6と基板1で囲まれるドット7の形状もより固定化される。なお、上記加熱温度は180°C以上であることがより好ましい。加熱温度が低すぎると感光硬化物の後硬化が不充分であるために、充分な耐薬品性が得られず、その後のインクジェット塗布工程でドット7にインクを注入した場合に、そのインクに含まれる溶媒により隔壁6が膨潤したり、インクが滲んでしまうおそれがある。一方、加熱温度が高すぎると、感光硬化物の熱分解が起こるおそれがある。本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、隔壁の幅の平均が、好ましくは100μm以下、より好ましくは20μm以下のパターン形成に用いることができる。また、隣接する隔壁間の距離ドットの幅の平均が、好ましくは300μm以下、より好ましくは100μm以下のパターン形成に用いることができる。また、隔壁の高さの平均が、好ましくは0.05~50μm、より好ましくは0.2~10μmのパターン形成に用いることができる。本発明はまた、基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁上記本発明の方法で製造される隔壁とを有する光学素子の製造方法を提供するものである。以下に、本発明の光学素子の製造方法について説明する。<本発明の光学素子の製造方法>本発明の光学素子の製造方法は、基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する光学素子の製造に適用され、上記本発明の隔壁の製造方法によって基板上に隔壁を形成した後、上記基板と上記隔壁で囲まれた領域内に露出した基板表面に親インク化処理を施し、次いで、上記領域にインクジェット法によりインクを注入して上記画素を形成する工程を有することを特徴とする。親インク化処理工程本発明の光学素子の製造方法においては、上記本発明の隔壁の製造方法で隔壁を形成した後に、上記基板と上記隔壁で囲まれた領域ドット内に露出した基板表面に親インク化処理をおこなう。該親インク化処理の方法としては、例えばアルカリ水溶液による洗浄処理、UV洗浄処理、UVオゾン洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理、酸素プラズマ処理等の方法が挙げられる。アルカリ水溶液による洗浄処理は、アルカリ水溶液水酸化カリウム、テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液等を用いて基板表面を洗浄する湿式処理である。UV洗浄処理は、UV紫外線を用いて基板表面を洗浄する乾式処理である。UVオゾン洗浄処理は、185nmと254nmを発光する低圧水銀ランプを用いて基板表面を洗浄する乾式処理である。エキシマ洗浄処理は、172nmを発光するキセノンエキシマランプを用いて基板表面を洗浄する乾式処理である。コロナ放電処理は、高周波高電圧を利用し、大気中にコロナ放電を発生させ、基板表面を洗浄する乾式処理である。酸素プラズマ処理は、主に真空中で高周波電源等をトリガーとして酸素を励起させ、反応性の高いプラズマ状態にしたものを用いて基板表面を洗浄する乾式処理である。UVオゾン洗浄処理等の乾式処理法が工程上簡便であり本発明においては好ましい。UVオゾンは市販の装置を用いて発生させることができる。UVオゾン装置内部に隔壁が形成された基板をおき、空気雰囲気下、室温で、1~10分程度、隔壁の撥油性を損なわない範囲で処理をおこなうことにより、親インク化処理を実行することができる。なお、処理時間については、個々のUVオゾン装置にあわせて、隔壁の撥油性を損なわない範囲となる時間に調整すればよい。この親インク化処理により、上記隔壁の形成後にドットに残る不純物の除去等を充分に行うことでドットの親インク化を充分に計ることができ、得られる光学素子を用いたカラー表示装置等の白抜け現象を防止することが可能となる。また、本発明のネガ型感光性樹脂組成物から得られる隔壁を用いれば、上記UV洗浄処理等で、隔壁の撥インク性を低下させることなく親インク化をおこなうことが可能である。ここで、感光性組成物から形成される感光硬化物の撥水撥油性撥インク性は、水およびPGMEAプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:インクの溶媒として多く使用されている有機溶媒の接触角で見積もることができる。上記本発明の製造方法にかかる光学素子については、隔壁は上記親インク化処理後も充分な撥インク性を有することが求められる。そこで、隔壁の水の接触角は90度以上が好ましく、95度以上がより好ましい。また、同様に隔壁のPGMEAの接触角は40度以上が好ましく、50度以上がより好ましい。一方、上記本発明の製造方法にかかる光学素子のドットについては、親インク性であることが求められ、その水の接触角は20度以下が好ましく、10度以下がより好ましい。インク注入工程上記親インク化処理工程後のドットにインクジェット法によりインクを注入して画素を形成する工程である。この工程は、インクジェット法に一般的に用いられるインクジェット装置を用いて通常の方法と同様に行うことができる。このような画素の形成に用いられるインクジェット装置としては、特に限定されるものではないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等の各種の方法を用いたインクジェット装置を用いることができる。なお、本明細書においてインクとは、乾燥または硬化した後に、例えば光学的、電気的に機能を有する液体材料や固体材料ただし、固体材料の場合はその溶液や分散液を総称するものであり、従来から用いられている着色材料に限定されるものではない。また、上記インクを注入して形成される画素についても同様に、隔壁で仕切られたそれぞれに光学的、電気的機能を有する区分を表すものとして用いられる。上記本発明の隔壁を用いた本発明の光学素子の製造方法が好ましく適用される光学素子として具体的には、カラーフィルタ、有機EL表示素子、有機TFTアレイ等が挙げられる。以下、上記3種の光学素子における本発明の製造方法の適用について説明する。カラーフィルタの製造本発明の隔壁を用いてカラーフィルタを製造する場合、上記フォトリソグラフィ工程によって隔壁を形成した後、ドットの親インク化処理を行い、ドットに、インクジェット法によりインクを注入して画素を形成することで、カラーフィルタを製造することができる。隔壁の形成、ドットの親インク化処理、インクジェット法によるインク注入は上述の通りである。カラーフィルタにおいて、形成される画素の形状は、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、4画素配置型等の公知のいずれの配列とすることも可能である。画素の形成に用いられるインクは、主に着色成分とバインダー樹脂成分と溶媒とを含む。着色成分としては、耐熱性、耐光性などに優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バインダー樹脂成分としては、透明で耐熱性に優れた樹脂が好ましく、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。水性のインクは、溶媒として水および必要に応じて水溶性有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として水溶性樹脂または水分散性樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。また、油性のインクは、溶媒として有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として有機溶媒に可溶な樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。またインクジェット法によりインクを注入した後、必要により、乾燥、加熱硬化、紫外線硬化を行うことが好ましい。画素形成後、必要に応じて、保護膜層を形成する。保護膜層は表面平坦性を上げる目的と隔壁や画素部のインクからの溶出物が液晶層に到達するのを遮断する目的で形成することが好ましい。保護膜層を形成する場合は、事前に隔壁の撥インク性を除去することが好ましい。撥インク性を除去しない場合、オーバーコート用塗布液をはじき、均一な膜厚が得られないため好ましくない。隔壁の撥インク性を除去する方法としては、プラズマアッシング処理や光アッシング処理等が挙げられる。さらに必要に応じて、カラーフィルタを用いて製造される液晶パネルの高品位化のためにフォトスペーサーを隔壁で構成されるブラックマトリックス上に形成することが好ましい。有機EL表示素子の製造上記のように本発明の製造方法により隔壁を形成した後、ドットの親インク化処理を行い、ドットに、インクジェット法によりインクを注入して画素を形成することで、有機EL表示素子を製造することができる。隔壁を形成する前に、ガラス等の透明基材にスズドープ酸化インジウムITO等の透明電極をスパッタ法等によって製膜し、必要に応じて所望のパターンに透明電極をエッチングする。次に、本発明の隔壁を形成し、ドットの親インク化処理後、インクジェット法を用いてドットに正孔輸送材料、発光材料の溶液を順次塗布、乾燥して、正孔輸送層、発光層を形成する。その後アルミニウム等の電極を蒸着法等によって形成することによって、有機EL表示素子の画素が得られる。有機EL照明素子の製造有機EL表示素子の製造と同様にして製造することができる。発光層は、赤、緑、青などの各色を発色するような発光体をインクジェットにより積層してもよいし、前記発光体を平面上に塗り分けてもよい。有機TFTアレイの製造上記のように本発明の製造方法により隔壁を形成した後、ドットの親インク化処理を行い、ドットに、インクジェット法によりインクを注入して画素を形成することで、有機TFTアレイを製造することができる。より具体的には、以下の方法で有機TFTアレイを製造することができる。1ガラス等の透明基材に本発明の隔壁を形成する。ドットの親インク化処理後、インクジェット法を用いてドットにゲート電極材料の溶液を塗布しゲート電極を形成する。2ゲート電極を形成させた後、その上にゲート絶縁膜を形成させる。ゲート絶縁膜上に本発明の隔壁を形成し、ドットの親インク化処理後、インクジェット法を用いてドットにソースドレイン電極材料の溶液を塗布しソースドレイン電極を形成する。3ソースドレイン電極を形成させた後、一対のソースドレイン電極を含む領域を囲むように本発明の隔壁を形成し、ドットの親インク化処理後、インクジェット法を用いてドットに有機半導体の溶液を塗布し有機半導体層をソースドレイン電極間に形成させる。なお、1~3は、それぞれ1工程のみにおいて本発明の隔壁を利用してもよいし、2つ以上の工程において本発明の隔壁を利用してもよい。以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。まず、合成例1および合成例2に本発明のネガ型感光性樹脂組成物が含有する撥インク剤Aの合成例を説明する。なお、合成例で得られた撥インク剤Aの溶液について、以下の方法により、該溶液中のシラノール基濃度mmol/gを測定した。さらに、これを配合したネガ型感光性樹脂組成物において、該組成物全量に対する、撥インク剤A由来のシラノール基濃度mmol/gを算出した。シラノール基濃度の測定方法以下の方法で、撥インク剤Aを含有する溶液について、29Si-NMR測定を行い、該溶液に含まれるシラノール基量を測定する。次に、上記方法により撥インク剤A由来のケイ素原子1個あたりの平均シラノール基量を算出する。測定にもちいた溶液中のケイ素原子の濃度からこの値は仕込み値から計算できる、該溶液中のシラノール基濃度を算出する。29Si-NMRによるピーク測定方法核磁気共鳴分析装置日本電子社製、ECA600を使用して、各試料の29Si-NMRを測定した。プローブはT10、試料管はポリテトラフルオロエチレンPTFE製10mmφチューブを使用した。測定条件は、共鳴周波数119.2MHz、パルス幅22.5μsec、待ち時間30sec、積算回数1,000回であった。テトラメチルシランtetramethylsilaneのメチル基の遮蔽定数を基準として測定を行い、下記表1のケミカルシフト範囲に相当するピークを、上記加水分解性シラン化合物の構造分類に分子構造を示すT1からQ4とした。試料由来のスペクトルから、バックグランド由来のスペクトルを差し引いた後に、各ピーク強度の算出を行った。なお、表1において、ピーク範囲を示す数値の単位はppmである。[合成例1]撹拌機を備えた50cm3の三口フラスコに、CF3CF25CH2CH2SiOCH33旭硝子社製:上記化合物a1に相当を0.5g、SiOC2H54コルコート社製:上記化合物a2に相当を1.1g、およびCH2=CHCOOCH23SiOCH33東京化成工業社製:上記化合物a5に相当を0.63g入れた。次いで、PGMEA8.84gを入れた。上記混合物を、室温で、撹拌しながら、10硝酸水溶液を1.2g滴下した。滴下終了後、さらに、5時間撹拌した。この液撥インク剤A1を10質量で含有するPGMEA溶液をA-1液とする。得られたA-1液の溶媒を除いた組成物のフッ素原子含有率は、21.5である。また、A-1液の溶媒を除いた組成物の数平均分子量は1,250であった。得られたA-1液におけるシラノール基濃度を、溶液中のケイ素原子の濃度仕込み濃度:0.74mmol/g、と以下の29Si-NMR測定結果から算出したところ、0.72mmol/gであった。なお、表2に29Si-NMRにより測定した各シラノール構造の数比を示す。加水分解基が3個である3官能加水分解性シラン化合物に由来する上記T単位のケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は0.71個、加水分解基が4個である4官能加水分解性シラン化合物に由来する上記Q単位のケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は1.17個であった。また、撥インク剤A1全体としてのケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は、0.97であった。[合成例2]合成例1において、溶媒をPGMEAから、プロピレングリコールモノメチルエーテルPGMEに変えた他は同様に撥インク剤A2を合成した。この液をA-2液とする。得られたA-2液の溶媒を除いた組成物のフッ素原子含有率は、21.5である。また、A-2液の溶媒を除いた組成物の数平均分子量は1,050であった。得られたA-2液撥インク剤A2の10質量PGME溶液におけるシラノール基濃度を、溶液中のケイ素原子の濃度仕込み濃度:0.74mmol/g、と以下の29Si-NMR測定結果から算出したところ、0.94mmol/gであった。なお、表3に29Si-NMRにより測定した各シラノール構造の数比を示す。加水分解基が3個である3官能加水分解性シラン化合物に由来する上記T単位のケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は0.93個、加水分解基が4個である4官能加水分解性シラン化合物に由来する上記Q単位のケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は1.53個であった。また、撥インク剤A2全体としてのケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は、1.27であった。[合成例3]撹拌機を備えた50cm3の三口フラスコに、CF3CF25CH2CH2SiOCH33旭硝子株式会社製を0.5g、SiOC2H54コルコート株式会社製を2.8g、を入れた。次いで、PGMEA7.0gを入れた。上記混合物を、室温で、撹拌しながら、1.0硝酸水溶液を2.0g滴下した。滴下終了後、さらに、5時間撹拌した。この液撥インク剤A3を10質量で含有するPGMEA溶液をA-3液とする。得られたA-3液の溶媒を除いた組成物のフッ素原子含有率は、21.5である。得られたA-3液におけるシラノール基濃度を、溶液中のケイ素原子の濃度仕込み濃度:1.17mmol/g、と以下の29Si-NMR測定結果から算出したところ、0.76mmol/gであった。また、29Si-NMR測定結果によれば、撥インク剤A3全体としてのケイ素原子1個当たりの平均シラノール基数は、0.65個であった。[実施例1-1]ネガ型感光性樹脂組成物の調製CCR-1159日本化薬社製:エポキシ樹脂にカルボキシル基とエチレン性二重結合を導入した樹脂、感光性樹脂Bを3.9g、A9530ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合品、新中村化学工業社製:ラジカル架橋剤Eの50PGME溶液を5.0g、IRGACURE9072-メチル-1-[4-メチルチオフェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、チバガイギー社製:光重合開始剤Cの20PGME溶液を1.5g、ジエチルジアミノベンゾフェノン東京化成工業社製:増感剤の10PGME溶液を1.9g、A-1液撥インク剤A1の10.0質量PGMEA溶液を0.2g、およびPGME7.5gを撹拌用容器に入れ、30分間撹拌して、本発明のネガ型感光性樹脂組成物1を調製した。得られたネガ型感光性樹脂組成物1におけるシラノール基濃度は、0.0072mmol/gであった。感光硬化物の作成5cm四方のガラス基板をエタノールで30秒間超音波洗浄し、次いで5分間のUV/O3UVオゾン洗浄を施した。なお、上記UV/O3洗浄には、UVオゾン発生装置としてPL7-200センエジニアリング株製を使用した。なお、以下の全てのUVオゾン処理についても、UVオゾン発生装置として本装置を使用した。上記洗浄後のガラス基板上に、スピンナーを用いて、上記で得られたネガ型感光性樹脂組成物1を塗布した後、100°Cで2分間ホットプレート上で加熱乾燥させ、膜厚2.0μmの感光性膜を形成した。得られた塗膜の表面に、感光性膜側から、開孔パターン2.5cm×5cmを有するフォトマスクを介して、高圧水銀ランプの紫外線を10mW/cm2で10秒間照射した。次いで、露光処理がされた上記ガラス基板を0.1テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液に40秒間浸漬して現像し、感光性膜の未露光部分を水により洗い流し、乾燥させた。次いで、これをホットプレート上、230°Cで20分間加熱することにより、上記開孔パターンサイズの上記ネガ型感光性樹脂組成物1からの感光硬化物が形成されたガラス基板1を得た。露光部分および未露光部分の撥インク性親インク性評価上記工程により得られたガラス基板1の感光硬化物表面露光部分と、ガラス基板表面現像により感光性膜が除去された未露光部分。以下、単に未露光部分という。の水とPGMEAに対する接触角を以下の方法で測定した。その後、上記工程により得られた感光硬化物が形成されたガラス基板1の感光硬化物が形成された側の表面全体に、UV/O3照射処理を5分間行った。照射1分毎の、感光硬化物表面と未露光部分のガラス基板表面の水とPGMEAに対する接触角を測定しその変化を評価した。測定結果を表4に示す。<測定方法>水に対する接触角は、静滴法により、JISR3257基板ガラス表面のぬれ性試験方法に準拠して、基材上の測定表面の3ヶ所に水滴を載せ、各水滴について測定した。液滴は2μL/滴であり、測定は20°Cで行った。接触角は、3測定値の平均値n=3で示す。PGMEAに対する接触角は、静滴法により、JISR3257基板ガラス表面のぬれ性試験方法に準拠して、基材上の測定表面の3ヶ所にPGMEA滴を載せ、各PGMEA滴について測定した。液滴は2μL/滴であり、測定は20°Cで行った。接触角は、3測定値の平均値n=3で示す。表4からわかるように、UV/O3照射処理を3分間行うと未露光部分のガラス基板表面の水とPGMEAに対する接触角は10度以下に低下した。このことは、未露光部分の未露光感光性組成物等の残渣が充分に除かれ、親インク化が達成されていることを示す。この時の感光硬化物表面の水とPGMEAに対する接触角はそれぞれ、81度と42度と高い値が保持されていた。このように、感光硬化物表面の撥水、撥油性を低下させることなく、未露光部分の親インク化が達成されることがわかった。このネガ型感光性樹脂組成物1を冷蔵庫で1カ月後保存したところ液の外観に変化はなく、保存安定性の良いことを確認した。[実施例1-2]ライン/スペースが20μmのフォトマスクを用いる他は、実施例1-1と同様の操作により、上記ネガ型感光性樹脂組成物1からの感光硬化物が形成されたガラス基板を得た。レーザー顕微鏡キーエンス社製により観察したところ、高さが1.4μm、トップの幅が18.6μm、ボトムの幅が、26.1μmのバンクが形成されていることがわかった。[実施例2]実施例1において、撥インク剤Aとして、A-1液の代わりにA-2液を用いた他は、同様の処理を行い、ネガ型感光性樹脂組成物2を調製した。得られたネガ型感光性樹脂組成物2におけるシラノール基濃度を、算出したところ0.0094mmol/gであった。さらに得られたネガ型感光性樹脂組成物2を用いて、実施例1と同様の操作により、上記ネガ型感光性樹脂組成物2からの感光硬化物が形成されたガラス基板2を得た。ガラス基板2について上記実施例1と同様にして、感光硬化物表面と、未露光部分のガラス基板表面について5分間のUV/O3照射処理における撥インク性親インク性評価を行った。結果を表5に示す。表5からわかるように、UV/O3照射処理を1分間行うと未露光部分のガラス基板表面の水とPGMEAに対する接触角は10度以下に低下した。このことは、未露光部分の未露光感光性組成物等の残渣が充分に除かれ、親インク化が達成されていることを示す。この時の感光硬化物表面の水とPGMEAに対する接触角はそれぞれ、85度と42度と高い値が保持されていた。このように、感光硬化物表面の撥水、撥油性を低下させることなく、未露光部分の親インク化が達成されることがわかった。このネガ型感光性樹脂組成物2を冷蔵庫で1カ月後保存したところ液の外観に変化はなく、保存安定性の良いことを確認した。[実施例3]実施例1において、撥インク剤Aとして、A-1液の代わりにA-3液を用いた他は、同様の処理を行い、ネガ型感光性樹脂組成物3を調製した。得られたネガ型感光性樹脂組成物3におけるシラノール基濃度を、算出したところ0.0076mmol/gであった。さらに得られたネガ型感光性樹脂組成物3を用いて、実施例1と同様の操作により、上記ネガ型感光性樹脂組成物3からの感光硬化物が形成されたガラス基板3を得た。ガラス基板3について上記実施例1と同様にして、感光硬化物表面と、未露光部分のガラス基板表面について5分間のUV/O3照射処理における撥インク性親インク性評価を行った。結果を表6に示す。表6からわかるように、UV/O3照射処理を2分間おこなうと未露光部分のガラス基板表面の水とPGMEAに対する接触角は10度以下に低下した。このことは、未露光部分の未露光感光性組成物等の残渣が充分に除かれ、親インク化を計れていることを示す。この時の感光硬化物表面の水とPGMEAに対する接触角はそれぞれ、83度と42度と高い値が保持されていた。このように、感光硬化物表面の撥水、撥油性を低下させることなく、未露光部分の親インク化を計れることがわかった。このネガ型感光性樹脂組成物3を冷蔵庫で1カ月後保存したところ液の外観に変化はなく、保存安定性の良いことを確認した。[実施例4]実施例2において、ネガ型感光性樹脂組成物の調製にあたり、PGMEの代わりにPGME:90重量、イソプロピルアルコール:5重量、水:5重量の混合溶媒を用いた他は、同様の処理を行い、ネガ型感光性樹脂組成物4を調製した。さらに得られたネガ型感光性樹脂組成物4を用いて、実施例1と同様の操作により、上記ネガ型感光性樹脂組成物4からの感光硬化物が形成されたガラス基板4を得た。ガラス基板4について上記実施例1と同様にして、感光硬化物表面と、未露光部分のガラス基板表面について5分間のUV/O3照射処理における撥インク性親インク性評価を行った。結果を表7に示す。表7からわかるように、UV/O3照射処理を2分間行うと、未露光部分のガラス基板表面の水とPGMEAに対する接触角は10度以下に低下した。このことは、未露光部分の未露光感光性組成物等の残渣が充分に除かれ、親インク化を計れていることを示す。この時の感光硬化物表面の水とPGMEAに対する接触角はそれぞれ、87度と45度と高い値が保持されていた。このように、感光硬化物表面の撥水、撥油性を低下させることなく、未露光部分の親インク化を計れることがわかった。このネガ型感光性樹脂組成物4を冷蔵庫で3カ月後保存したところ液の外観に変化はなく、保存安定性の良いことを確認した。[比較例1]実施例1において、ネガ型感光性樹脂組成物の調製にあたり、PGMEの代わりにトルエンを用いた他は、同様の処理を行い、ネガ型感光性樹脂組成物5を調製した。さらに、3時間後に、得られたネガ型感光性樹脂組成物5を用いて、実施例1と同様の操作により、上記ネガ型感光性樹脂組成物5からの感光硬化物が形成されたガラス基板5を得た。この時、ネガ型感光性樹脂組成物5の液には、白濁が観察され、保存安定性がないことが確認された。ネガ型感光性樹脂組成物5の液が白濁したのは、シラノール基が不安定なためシラノール基どうしが架橋して高分子量化し、溶媒に不溶なポリマーに変化したためと考えられる。この場合、シラノール基濃度は反応により減少し、本願の範囲外になると考えられる。また、ガラス基板5について上記実施例1と同様にして、感光硬化物表面の水とPGMEAに対する接触角を測定したところ、それぞれ、67度と28度と充分な撥水、撥油性を示さなかった。"