検査対象物Mの表面にレーザー光1aを照射しつつ、前記表面に衝撃波12を与え、前記レーザー光1aのうち前記表面で反射され、かつ、前記衝撃波12によって位相変調された成分を信号光2としてフォトリフラクティブ結晶4に入射するとともに、前記レーザー光1aのうち前記検査対象物Mの表面で位相変調されていない成分を参照光3として前記フォトリフラクティブ結晶4に入射して、前記信号光2と参照光3とを干渉させてダイナミックホログラムを構成し、このダイナミックホログラムで回折された前記参照光3を複数の検出チャンネル5を備えたマルチチャンネル検出器6に入射し、前記複数の検出チャンネル5のうち、受光強度が所定範囲内の検出チャンネル5のみをディスクリミネータ7で弁別し、この弁別された前記検出チャンネル5の受光強度をマルチプレクサ8で積分し、この積分された信号強度の時間変化から、前記検査対象物M中のひび割れの有無を判断するようにしたひび割れ検出方法。前記各検出チャンネル5で検出した受光強度を高いものから低いものに順番に並べ、そのうち最も高い受光強度を前記所定範囲の上限とする一方で、予め決めた順番に相当する受光強度を前記所定範囲の下限とした請求項1に記載のひび割れ検出方法。検査対象物Mの表面にレーザー光1aを照射するレーザー光源1と、前記表面で反射されて位相変調された信号光2及び前記検査対象物Mの表面で位相変調されていない参照光3とを干渉させるフォトリフラクティブ結晶4と、このフォトリフラクティブ結晶4中で構成されたダイナミックホログラムで回折された参照光3を受光する複数の検出チャンネル5を備えたマルチチャンネル検出器6と、前記複数の検出チャンネル5のうち受光強度が所定範囲内の検出チャンネル5を弁別するディスクリミネータ7と、前記ディスクリミネータ7で弁別された前記検出チャンネル5の複数の受光強度を積分するマルチプレクサ8と、からなり、請求項1又は2のひび割れ検出方法によってひび割れ検出を行うひび割れ検出装置。スペックルパターンの明暗模様の時間変化を測定することによって、ひび割れ検査を行う場合においては、検査対象物に衝撃波を与える前信号光が位相変調を受ける前の受光強度と、衝撃波を与えた後信号光が位相変調を受けた後の受光強度との強度差を明確に区別する必要がある。しかしながら、この受光強度は、大気の影響、レーザー光源から発振されるレーザー光強度の変動等、種々の要因によって変動しやすい。この変動は、信号光のノイズ成分となって、位相変調が生じる前後における受光強度の強度差を明確に区別できなくなり、特に、深いひび割れの検出感度が低下する問題がある。そこで、本願発明は、スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上することを課題とする。上記の課題を解決するため、この発明は、検査対象物の表面にレーザー光を照射しつつ、前記表面に衝撃波を与え、前記レーザー光のうち前記表面で反射され、かつ、前記衝撃波によって位相変調された成分を信号光としてフォトリフラクティブ結晶に入射するとともに、前記レーザー光のうち前記検査対象物の表面で位相変調されていない成分を参照光として前記フォトリフラクティブ結晶に入射して、前記信号光と参照光とを干渉させてダイナミックホログラムを構成し、このダイナミックホログラムで回折された前記参照光を複数の検出チャンネルを備えたマルチチャンネル検出器に入射し、前記複数の検出チャンネルのうち、受光強度が所定範囲内の検出チャンネルのみをディスクリミネータで弁別し、この弁別された前記検出チャンネルの受光強度をマルチプレクサで積分し、この積分された受光強度の時間変化から、前記検査対象物中のひび割れの有無を判断するように、ひび割れ検出方法を構成した。スペックルパターンには明部、暗部、両者の中間の明度の部分がそれぞれ分布し、検査対象物に衝撃波を与えたときの明度変化は各部分で異なる。このように明度変化が異なる部分を区別せずに、視野全体として、あるいは、測定箇所をランダムにピックアップして明度変化を測定すると、各部分における明度変化が混在して衝撃波の影響が不明確になりやすい。そこで、この明度変化が類似する受光強度が所定範囲内の検出チャンネルのみをディスクリミネータで弁別して、これらの検出結果を採用することにより、上記のような明度変化の混在の問題を防止して、ひび割れの高感度検出が可能となる。各検出チャンネルで検出した受光強度は、上述したように種々の要因によって変動しやすく、それがノイズとなって、位相変調前後の信号光の区別がつきにくくなることがある。この場合、深いひび割れに対して検知感度が低下して、ひび割れの見落としにつながる恐れがある。そこで、弁別した検出チャンネルにおける受光強度をマルチプレクサで積分してノイズを平滑化することによって、位相変調前後の信号光を明確に区別し、深いひび割れの検出感度を一層向上することができる。前記構成においては、前記各検出チャンネルで検出した受光強度を高いものから低いものに順番に並べ、そのうち最も高い受光強度を前記所定範囲の上限とする一方で、予め決めた順番に相当する受光強度を前記所定範囲の下限とするのが好ましい。このようにして決めた所定範囲は、スペックルパターンの明部を主に含んでいる。後述する図2に示すように、この明部は、暗部と比較して、衝撃波によって位相変調された際の明度変化が大きいことが実験的に確認されている。そこで、この明部に相当する位置の検出チャンネルの検出結果をディスクリミネータで弁別することで、その明度変化を効率良く検知することができ、ひび割れの検出感度を一層向上することができる。例えば、64の検出チャンネルを備えたマルチチャンネル検出器と、8の入力端子を備えたマルチプレクサを用いる場合、前記64の検出チャンネルのうち、最も受光強度が高い検出チャンネルから8番目に受光強度が高い検出チャンネルまでディスクリミネータで弁別し、弁別した各検出チャンネルにおける受光強度をマルチプレクサに送るようにする。この弁別数は、マルチプレクサの入力端子数を上限として適宜決める本例の場合、4や6等のが一般的である。上記のひび割れ検出方法を採用したひび割れ検出装置は、コンクリート構造体等の検査対象物の表面にレーザー光を照射するレーザー光源と、前記表面で反射されて位相変調された信号光及び前記検査対象物の表面で位相変調されていない参照光とを干渉させるフォトリフラクティブ結晶と、このフォトリフラクティブ結晶中で構成されたダイナミックホログラムで回折された参照光を受光する複数の検出チャンネルを備えたマルチチャンネル検出器と、前記複数の検出チャンネルのうち受光強度が所定範囲内の検出チャンネルを弁別するディスクリミネータと、前記ディスクリミネータで弁別された前記検出チャンネルの複数の受光強度を積分するマルチプレクサと、から構成することができる。この発明は、検査対象物の表面で反射された信号光と参照光を干渉させてダイナミックホログラムを構成し、このダイナミックホログラムで回折された参照光を、複数の検出チャンネルを備えたマルチチャンネル検出器で検出し、この複数の検出チャンネルのうち、受光強度が所定範囲内の検出チャンネルの結果のみを弁別し、その検出チャンネルの受光強度をマルチプレクサで積分してノイズを平滑化した上で、位相変調された信号光を検出するようにした。この方法によると、この位相変調されていない信号光と、位相変調された信号光とを明確に区別できるため、ノイズ除去されていない状態では検知が困難な深いひび割れであっても、高感度に検知することができる。この発明に係るひび割れ深さ測定装置の装置構成図を図1に示す。このひび割れ深さ測定装置は、コンクリート構造体等の検査対象物Mの表面にレーザー光を照射するレーザー光源1と、前記表面で反射されて位相変調された信号光2及び検査対象物Mの表面で位相変調されていない参照光3とを干渉させるフォトリフラクティブ結晶4と、このフォトリフラクティブ結晶4中で構成されたダイナミックホログラムで回折された参照光3aを受光する複数の検出チャンネル5を備えたマルチチャンネル検出器6と、複数の検出チャンネル5のうち受光強度が所定範囲内の検出チャンネル5を弁別するディスクリミネータ7と、このディスクリミネータ7で弁別された検出チャンネル5の複数の受光強度を積分するマルチプレクサ8と、マルチプレクサ8からの出力データを処理するデータ処理装置9コンピュータとを備えている。光路中にはミラー10及びハーフミラー11が設けられ、参照光3がフォトリフラクティブ結晶4に導かれる。このレーザー光源1として、Nd:YVO4レーザーが用いられ、その第二高調波波長532nmが検査対象物Mに照射される。また、フォトリフラクティブ結晶4としてBi4Si3O12BSO結晶が用いられている。マルチチャンネル検出器6は、64の検出チャンネル5を備えている。また、加熱用レーザー炭酸ガスレーザー図示せずからのレーザー光をこの検査対象物Mの表面に照射し、この照射に伴う局所的な体積膨張によって、検査対象物M内に衝撃波12を発生させている。本構成で用いるマルチチャンネル検出器6、ディスクリミネータ7、マルチプレクサ8は光学測定用として市販されている汎用品をベースとして、信号入力端子の増設等、適宜必要な改良を加えたものである。図5に示すスペックルパターンの、同図中のA-A線に沿う強度の一次元分布を図2に模式的に示す。この強度の一次元分布は、明部13同図中で矢印を付した範囲と暗部14のパターンからなり、この発明に係る検出方法においては、各検出チャンネル5で検出した受光強度を高いものから低いものに順番に並べ、そのうち最も高い受光強度を検出した検出チャンネル5から、8番目に高い受光強度を検出した検出チャンネル5までをディスクリミネータ7によって弁別する。図3に示す8×8の碁盤目6aが、マルチチャンネル検出器6の一つ一つの検出チャンネル5に対応し、その中で×印をつけた8箇所が、ディスクリミネータ7で弁別した検出チャンネル5に対応する。弁別された検出チャンネル5の受光強度は、マルチプレクサ8で積分される。この積分によって、図4aに示すように受光強度を大きく変動させる原因となっていたノイズが、図4bに示すようにそのほとんどが相殺されて平滑化され、位相変調前後の信号を明確にとらえることが可能となる。このため、大気の影響、レーザー光源1から発振されるレーザー光強度の僅かな変動等に起因するノイズの影響をあまり受けることなく、より深いひび割れ15を高感度に検知することができる。このひび割れ測定装置を用いれば、衝撃波12の伝播の遅延時間に基づいて、ひび割れ15の深さを定量的に行うこともできる。この定量評価に際しては、ひび割れ15の深さが既知の試験片を用いた衝撃波12の遅延時間の測定実験に基づいて、衝撃波12の遅延時間と、ひび割れ15の深さとの関係を記録したデータベースを予め用意して、データ処理装置9に格納しておく。そして、このひび割れ測定装置によって測定した遅延時間と、データベースに記録した遅延時間とを突き合わせて、ひび割れ深さの定量評価を行う。この実施形態においては、最も高い受光強度から8番目に高い受光強度を検出した検出チャンネル5をディスクリミネータ7で弁別したが、この強度範囲は適宜変更することができる。例えば最大強度の40~60の範囲内明部13と暗部14の中間の明度の部分と定めることもできる。このスペックルパターンの明度がサインカーブ的に変化する場合には、衝撃波12による信号光2の微小な位相変化に対して、中間明度の位置明部13と暗部14の中間位置の明度変化が大きくなって、その位相変化を一層明確に検知できる場合もあり得るからである。また、この実施形態においては、64の検出チャンネル5を備えたマルチチャンネル検出器6を用いたが、そのチャンネル数は当然これに限定されず、データ処理装置9の処理能力や、ひび割れの検出感度等を考慮して適宜変更することができる。