回折格子の格子溝の形状を規定するパラメータの値を、コンピュータを用いて求める方法であって、前記格子溝の形状を規定するパラメータの所定の範囲における値と、選択された波長の光に対する2つの異なる次数の回折光の間の光量比との関係のうち、前記所定の範囲において前記光量比の極値が存在しない関係を予め取得する第1ステップと、前記選択された波長の光に対する2つの異なる次数の回折光の間の光量比を測定する第2ステップと、前記第1ステップで取得された前記関係を用いて、該測定された光量比に対応する前記パラメータの値を求める第3ステップと、を有することを特徴とする方法。前記コンピュータは、前記第1ステップにおいて、前記関係を、前記パラメータを変数xとし、a、b、cを定数とする二次関数であるax2bxcでフィッティングし、前記所定の範囲において前記光量比の極値が存在するかどうかを前記所定の範囲に軸である-b/2aが存在するかどうかによって決定することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記コンピュータは、前記2つの異なる次数の回折光の間の光量比が1よりも小さくなるように計算することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記第2ステップに使用される光源は可変波長レーザであり、前記選択された波長は前記可変波長レーザの可変波長域に存在することを特徴とする請求項1に記載の方法。前記回折格子はブレーズ型回折格子であり、前記パラメータはブレーズ角であることを特徴とする請求項1に記載の方法。請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の回折格子の格子溝の形状を決定する方法によって回折格子の格子溝の形状を決定するステップを有する回折格子の製造方法。しかしながら、例えば、非対称の三角溝形状を持つブレーズ型回折格子において、三角溝形状を規定するパラメータブレーズ角や頂角を決定するのに、異なる次数の回折光の間の光量比を利用する方法は従来提案されていなかった。この方法は、上記パラメータと選択された波長の光についての異なる次数の回折光の間の光量比との関係を予めシミュレーションによって取得し、該波長の光についての実際の異なる次数の回折光の間の光量比を当てはめて上記パラメータの値を取得するものである。しかしながら、選択される波長によっては溝形状を規定するパラメータの値が一意に定まらない場合がある。そこで、本発明は、格子溝を規定するパラメータの値を一意に定めることが可能な回折格子の格子溝の形状の決定方法および回折格子の製造方法を提供することを例示的な目的とする。本発明の回折格子の格子溝の形状を規定するパラメータの値を、コンピュータを用いて求める方法は、前記格子溝の形状を規定するパラメータの所定の範囲における値と、選択された波長の光に対する2つの異なる次数の回折光の間の光量比との関係のうち、前記所定の範囲において前記光量比の極値が存在しない関係を予め取得する第1ステップと、前記選択された波長の光に対する2つの異なる次数の回折光の間の光量比を測定する第2ステップと、前記第1ステップで取得された前記関係を用いて、該測定された光量比に対応する前記パラメータの値を求める第3ステップと、を有することを特徴とする。本発明によれば、単一のパラメータの値が得られるので回折格子の格子溝の形状の決定が可能である。図6は、非対称の三角形状の格子溝を有する反射型のエシェル型回折格子ブレーズ型回折格子の溝形状を規定するブレーズ角度横軸と次数間比率例えば、39次回折光と40次回折光の光量比強度比縦軸との関係を示すグラフである。なお、横軸のブレーズ角の代わりに頂角を用いても同様の特性を得ることができる。図6に示す関係はコンピュータによるシミュレーションによる計算結果から取得することができる。この回折格子は、ある選択された波長と入射角を有する入射光に使用されて所定の高次の回折光を生成し、その時の回折格子のブレーズ角の設定値はコンピュータによるシミュレーションにより、例えば、79.5度°と設定可能である。ここで、例えば、実際の測定装置において39次回折光と40次回折光の光量比が3であるものとする。すると、図6に示す関係を使用するとブレーズ角は78.74度と80.16度という二つの解を持ち、一意に定まらなくなってしまう。また、実際には測定結果には測定誤差が含まれる。誤差±0.5を想定した場合、測定結果は2.5から3.5の値を取り得る。これに対する算出パラメータ量は78.58度から78.93度及び79.97度から80.31度の範囲である。そこで、本実施形態では格子溝の形状を規定するパラメータの値を一意に決定する方法を提案する。また、別の実施例では、算出誤差が少なくなる方法を提案する。なお、異なる次数の回折光の間の光量比に回折格子溝の形状を規定するパラメータが依存する限り、本実施形態が適用可能な回折格子はエシェル型回折格子に限定されない。図2は、本実施形態の方法を適用して溝形状が決定されるエシェル型回折格子1の部分拡大断面図である。エシェル型回折格子1は平行に延びる複数の格子溝を有する。格子は、同図に示すように、非対称三角形状を有し、入射光2が最も多く照射されるブレーズ面3とブレーズ面3に隣接するカウンタ面8を有する。ブレーズ面3と格子平面4のなす角度はブレーズ角5である。本実施形態ではブレーズ面3は短辺を有する面であり、カウンタ面8は長辺を有する面であるが、光の入射方向によってはこの関係は逆となる。ブレーズ面3とカウンタ面8とがなす角度は頂角6である。異なる次数の回折光の光量比に依存する格子溝を規定するパラメータは、例えば、ブレーズ角5である。設定値の一例として、ブレーズ角5を79.60度、頂角6を83.40度、溝形状の繰り返しピッチ7を10.2968μmとする。溝形状が決定された後は被加工物に対してダイヤモンドバイトによる切削加工機械加工で行われてその溝形状が形成される。実際に作製された格子には設定値からの製造誤差が存在する。例えば、ブレーズ角に関してはσ=0.40度の誤差が生じる。この誤差は回折格子の回折効率にも影響を及ぼすため、これを考慮して設定値から所定の範囲内で実際に製造すべきブレーズ角などのパラメータを決定する必要がある。本実施形態の平行に延びる複数の格子溝を有する回折格子の格子溝の形状を決定する方法は、コンピュータによって実行される。まず、複数の異なる選択された波長に対して各次数効率とブレーズ角5との関係をコンピュータによるシミュレーションによって計算する。ここでは、波長は500nmから510nmの間で1nm刻みを選択した。これらの波長を有する図2に示す入射角79.50度の入射光2を照射した際に同時発生する各次数の回折効率に関してブレーズ角依存性を計算した。ブレーズ角5の計算範囲に関しては、設計値79.60度に最大加工誤差量として±3σを加味した78.40度から80.80度の所定の範囲で0.10度刻み計15条件で計算を行った。また、計算は厳密結合波理論RCWA法を用いてコンピュータにより行った。図3aは、波長505nmの光に対する37~40次の回折光の効率とブレーズ角との関係を示すグラフであり、図3bは、波長510nmの光に対する37~40次の回折光の効率とブレーズ角との関係を示すグラフである。実際には加工パラメータ設定値は有限のパターンしか存在せず、その設定値に対応した計算結果をテーブルとして予め保持しておく。次に、各波長に対する次数比のブレーズ角依存性を算出する。次数比は最大次数の効率とその一つ低次の次数の比率をとる。ここでは、39次回折光と40次回折光の回折効率の比をとる。この時、比の値が1以下となるように分母の次数が分子の次数よりも大きくなるように設定する。これは、分母となる次数の効率がゼロに近い値をとる際に比が無限に近い値となることを防止するためである。また、後述する2axbの比較による波長決定方法を適用すると分子次数の効率が非常に弱い波長が選択される可能性が高いが、このような低効率は測定誤差が大きく波長選択に適していないからである。図4は、各波長に対する次数間比率とブレーズ角との関係を示すグラフである。次に、各波長に関して二次関数フィッティングを行う。製造誤差という狭い範囲において次数間比率の変極点が複数存在する可能性は低く、パラメータを変数xとする二次関数y=ax2bxcにより精度良くフィッティングすることが可能である。なお、a、b、cは定数である。この二次関数の係数から波長を決定する。まず、二次関数の軸である-b/2aが設定値を含む所定の範囲設定値に最大誤差量を加味した範囲内に存在した場合、図1aの丸の点や図6に示すように測定された次数比の値によってはブレーズ角の解が一意に定まらない。解が一意に定まるためには図1aの四角の点で示すように-b/2aが上記範囲外に存在すること、即ち、上記範囲内に極値が存在しないことが必要である。なお、図1は、次数間比率のブレーズ角依存性を示すグラフである。表1は、各波長における軸-b/2aとなるブレーズ角の値を示している。表1から、503~507nmの波長の光に対しては軸が79.6度から80.8度の間に存在し、解が二つ存在する可能性がある。それ以外の波長では上記範囲内に複数解極値を有しないため、使用可能である。本実施形態の回折格子の格子溝の形状を規定するパラメータの値を、コンピュータを用いても求める方法は第1ステップから第3ステップを有する。また、各ステップは、コンピュータに各ステップの機能を実現させるためのプログラムとして具現化が可能である。まず、第1ステップでは、格子溝の形状を規定するパラメータの所定の範囲における値と、選択された波長の光に対する2つの異なる次数の回折光の間の光量比との関係のうち、所定の範囲において光量比の極値が存在しない関係を予め取得する。ここで、格子溝の形状を規定するパラメータは、本実施例ではブレーズ角であるが、上述したように、これに限定されない。所定の範囲は、例えば、78.40度~80.80度である。選択された波長は、例えば、500nm~510nmである。所定の範囲で光量比の極値が存在する関係は、例えば、図1aの丸の点で示す関係であり、表1においては、例えば、503~507nmの波長の光に対する関係である。所定の範囲で光量比の極値が存在する関係は、例えば、図1aの四角の点で示す関係であり、表1においては、例えば、500nm~502nm、508nm~510nmの波長の光に対する関係である。次に、第2ステップでは、選択された波長の光に対する2つの異なる次数の回折光の間の光量比を、センサ等の測定装置を用いて測定する。なお、測定に使用される光源は可変波長レーザで、選択された波長は可変波長レーザの可変波長域に存在する。次に、第3ステップでは、第1ステップで取得された前記関係を用いて、第2ステップで測定された光量比に対応するパラメータの値を求める。また、次数間比率のブレーズ角敏感度が鈍感な波長を選択すれば測定誤差に関する誤差が大きくなる。例えば、実際のブレーズ角が79.67度である回折格子に対し502nmの光で測定を行う場合、測定誤差をゼロと仮定すると図4から次数間比率は10.0となる。しかし実際の測定には測定誤差が存在し、次数間比率の測定において測定誤差±1が存在すると実際の次数比は9.0~11.0の値を取り得る。この範囲に対する算出ブレーズ角は79.48度~79.83度であり、測定誤差±1に対してPVで0.35度のブレーズ角の誤差が生じることとなる。図1bに示す次数間比率のブレーズ角依存性はこの様子を示している。誤差が小さくなる波長を選択するため、ブレーズ角の設定値をx軸とした時に設定値における二次関数接線の傾きである2axbの絶対値が最大となる波長を選択する。図1bでは上側の波長が選択されている。図5は、本実施形態における2axbの値を示すグラフである。上述したように、503nm~507nmの波長は選定波長として不適であるため、図5では省略されている。本実施例において2axbが最大となるのは510nmの波長である。この波長で設定値79.67度のブレーズ角を持つ回折格子の実際のブレーズ角の決定を行うと、測定誤差をゼロと仮定すると測定次数間比率は71.4となる。比率測定誤差を±1とすると70.4~72.4測定値が得られるが、この時に算出されるブレーズ角は79.64度~79.69度であり、測定誤差±1に対してPVで0.05度の誤差が生じることとなる。よって、任意の波長502nmと、上記波長510nmに対するブレーズ角の誤差は0.35度から0.05度に大きく改善されている。なお、本実施形態は、被加工物が一定間隔で配置された微細な溝形状を備え、溝形状を規定するパラメータが予め設定値を持つ例について説明している。しかし、本発明は被加工物が回折格子自体である実施形態に限定されない。例えば、被加工物は金型の材料例えば、金属材料から構成され、回折格子の製造方法は、この金型を利用して回折格子を成形するステップを更に有してもよい。より具体的には、成形ステップは、金型内に回折格子の材料例えば、樹脂を充填する射出成形によって金型とは格子パターンが反転した回折格子を形成する。この場合、金型とは格子パターンが反転した回折格子が上記溝形状を有すればよい。また、被加工物は金型の材料例えば、金属材料から構成され、回折格子の製造方法は、この金型あるいはこの金型を利用して成形した回折格子に反射膜例えば、アルミニウムを被覆して回折格子反射型回折格子を形成するステップを更に有してもよい。また、反射膜にさらに保護膜としての誘電体膜を形成してもよい。誘電体膜としては、Al2O3膜、LaF3膜、MgF2膜等を挙げることができる。この場合、金型が上記溝形状を有すればよい。なお、上述の金型を作成する際に機械加工が行われて製造誤差が発生する点は同様である。以上、本実施形態について説明したが、本発明は本実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。