"複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層して構成されたマイクロレンズアレイの焦点距離測定装置において、像を検出するカメラと、前記カメラの光軸に関して前記カメラの焦点位置と下面の焦点板パターン面とが一致するように前記カメラに対する位置が固定された焦点板と、前記カメラに向けて透過照明光を照射する光源と、前記光源と前記焦点板との間に配置され上面にマスクパターン面が設けられたマスクと、前記焦点板の前記焦点板パターン面と前記マスクの前記マスクパターン面との間の距離を測定する測定部材と、を有し、前記焦点板と前記マスクとの間にマイクロレンズアレイを配置し、前記マイクロレンズアレイを介して前記カメラに入射したマスクパターン像が前記カメラの検出面にて合焦点となるように、前記カメラの光軸に関する前記マスクの位置を調整して、前記測定部材が前記焦点板パターン面と前記マスクパターン面との間の距離を測定することを特徴とするマイクロレンズアレイの焦点距離測定装置。複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層して構成されたマイクロレンズアレイの焦点距離測定方法において、像を検出するカメラの光軸上に焦点板を介在させて配置し、前記カメラの焦点位置を前記焦点板の下面の焦点板パターン面に合わせて、前記カメラと前記焦点板とを固定する工程と、前記カメラの光軸上に、前記焦点板から順に、マイクロレンズアレイと、マスクと、透過照明光源とを配置し、前記透過照明光源から、透過照明光を前記カメラに向けて照射する工程と、前記カメラにより前記マスクの上面のマスクパターン面に形成されたマスクパターンを検出し、そのマスクパターンが前記カメラの検出面にて合焦点となるように、前記カメラの光軸に関する前記マスクの位置を調整する工程と、前記カメラが前記マスクパターンの合焦点像を検出した後、前記焦点板パターン面と前記マスクパターン面との間の距離を測定する工程と、を有することを特徴とするマイクロレンズアレイの焦点距離測定方法。上述のごとく構成されるマイクロレンズアレイは、高精細露光に使用する場合に、その焦点距離を高精度で把握する必要がある。マイクロレンズアレイの製造時の各単位マイクロレンズアレイの相互間のギャップの誤差等により、製造されたマイクロレンズアレイの焦点距離は設計値から若干外れる場合がある。このため、製造されたマイクロレンズアレイを使用して、マスクパターンを結像させたときの実像のコントラストで、フォーカス状態を判断することが好ましい。図5に示すように、フォーカス検査に際し、透過照明光源22から照明光を上方のマスク30に向けて照射し、マスク30の上面30aに形成したマスクパターンの像を、マイクロレンズアレイ2によりCCDカメラ20に入射させる。そうすると、カメラ20は、マスク30のマスクパターンの像を観察し、この実像のコントラストをみて、マイクロレンズアレイ2のフォーカス状態を判断する。しかし、従来、マスク30におけるマイクロレンズアレイ2のフォーカス状態は検出することができるものの、カメラ20とマイクロレンズアレイ2との間の焦点位置32は不明であり、マイクロレンズアレイ2の焦点距離f自体は測定することができなかった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、マイクロレンズアレイの焦点距離を測定することができるマイクロレンズアレイの焦点距離測定装置及び方法を提供することを目的とする。本発明に係るマイクロレンズアレイの焦点距離測定装置は、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層して構成されたマイクロレンズアレイの焦点距離測定装置において、像を検出するカメラと、前記カメラの光軸に関して前記カメラの焦点位置と下面の焦点板パターン面とが一致するように前記カメラに対する位置が固定された焦点板と、前記カメラに向けて透過照明光を照射する光源と、前記光源と前記焦点板との間に配置され上面にマスクパターン面が設けられたマスクと、前記焦点板の前記焦点板パターン面と前記マスクの前記マスクパターン面との間の距離を測定する測定部材と、を有し、前記焦点板と前記マスクとの間にマイクロレンズアレイを配置し、前記マイクロレンズアレイを介して前記カメラに入射したマスクパターン像が前記カメラの検出面にて合焦点となるように、前記カメラの光軸に関する前記マスクの位置を調整して、前記測定部材が前記焦点板パターン面と前記マスクパターン面との間の距離を測定することを特徴とする。また、本発明に係るマイクロレンズアレイの焦点距離測定方法は、複数個のマイクロレンズが2次元的に配置されて構成された複数枚の単位マイクロレンズアレイを厚さ方向に積層して構成されたマイクロレンズアレイの焦点距離測定方法において、像を検出するカメラの光軸上に焦点板を介在させて配置し、前記カメラの焦点位置を前記焦点板の下面の焦点板パターン面に合わせて、前記カメラと前記焦点板とを固定する工程と、前記カメラの光軸上に、前記焦点板から順に、マイクロレンズアレイと、マスクと、透過照明光源とを配置し、前記透過照明光源から、透過照明光を前記カメラに向けて照射する工程と、前記カメラにより前記マスクの上面のマスクパターン面に形成されたマスクパターンを検出し、そのマスクパターンが前記カメラの検出面にて合焦点となるように、前記カメラの光軸に関する前記マスクの位置を調整する工程と、前記カメラが前記マスクパターンの合焦点像を検出した後、前記焦点板パターン面と前記マスクパターン面との間の距離を測定する工程と、を有することを特徴とする。本発明においては、透過照明光は、マスクのマスクパターンの像をマイクロレンズアレイを介してカメラに入射させるが、カメラの光軸上の焦点位置は、焦点板の焦点板パターン面に一致しているので、カメラが、焦点板パターンの検出像と、マスクパターンの検出像とが合焦点であることを確認すると、マイクロレンズアレイの焦点位置は、カメラ側で焦点板パターン面であり、マスク側でマスクパターン面であるので、この焦点板パターン面とマスクパターン面との間の距離を、測定部材等で測定すれば、それが、マイクロレンズアレイの焦点間距離となり、高精度で、マイクロレンズアレイの焦点間距離を測定することができる。以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイの焦点距離測定装置を示す。本実施形態のマイクロレンズアレイ2は、図6乃至図8に示す構造を有し、マスクの露光パターンを正立等倍像として基板上に結像させるものである。このマイクロレンズアレイ2は、製造後に、本発明の焦点距離測定装置に設置される。この焦点距離測定装置においては、下方に透過照明光源22がその光照射方向を上方に向けて配置されており、上方にCCDカメラ20がその光検出方向を下方に向けて配置されている。このカメラ20の光軸と、透過照明光源22の光軸とは一致しており、共に鉛直方向を向いている。そして、このカメラ20の下方に焦点板31がその面を水平にして配置されており、この焦点板31とカメラ20とは、保持具21により一体的に相互に固定されるようになっている。この保持具21は、焦点板31とカメラ20との間の距離を調整可能に両者を保持するものであり、距離調整後は、保持具21とカメラ20とを固定することができる。また、この保持具21により固定されたカメラ20と焦点板31は、適宜の駆動装置図示せずにより、上下方向に駆動され、カメラ20及び焦点板31はこの駆動装置によりその上下位置を調整することができる。焦点板31の下面は、焦点板パターンが形成される焦点板パターン面となっている。透過照明光源22の上方には、マスク30がその面を水平にして設置されている。このマスク30の上面は、マスクパターンが形成されているマスクパターン面30aとなっている。そして、このマスク30と焦点板31との間に、焦点距離を測定せんとするマイクロレンズアレイ2が配置される。また、このマイクロレンズアレイ2の側方にレーザ光路を有する1対のレーザ変位計23,24がマスク30の下方に設置されており、レーザ変位計23,24により、マスクパターン面30aと焦点板パターン面31aとの間の距離を測定することができる。次に、上述のごとく構成された焦点距離測定装置の動作について説明する。先ず、図2aに示すように、保持具21により焦点板31を保持し、保持具21をカメラ20に対して上下動可能に支持する。そして、焦点板31の下面の焦点板パターン面31aには、図2bに示すように、2個の焦点板パターン40が形成されており、この焦点板パターン40をカメラ20により撮影し、保持具21をカメラ20に対して相対的に上下方向に移動させることにより、カメラ20にて焦点板パターン40の像のコントラストが明瞭に見える状態で、保持具21をカメラ20に固定する。これにより、カメラ20に入射するカメラ側の透過照明光の焦点位置が、焦点板パターン面31aに一致し、焦点板パターンが合焦点となる。なお、カメラ20と焦点板31とは相対的に上下動すればよく、いずれを移動させても良いことは勿論である。次に、図3aに示すように、透過照明光源22から照明光をマスク30に照射し、マスクパターン面30aに設けたマスクパターンの像を、マイクロレンズアレイ2を介して、焦点板31の焦点板パターン面に結像させる。このとき、マスクパターン面30aには、図3bに示すマスクパターン41が形成されており、カメラ20は、図3bに示すように、1対の焦点板パターン40の中央にマスクパターン41が存在する像を観察する。そして、カメラ20、保持具21及び焦点板31が一体的に固定されているので、これらのカメラ20及び焦点板21を一体的に上下動させて、マスクパターン面31aのマスクパターン41の像を、マイクロレンズアレイ2により、焦点板31の焦点板パターン面31aで結像させるように、カメラ20及び焦点板21の位置を調整する。これにより、図3bに示すパターン40,41が全て合焦点となり、カメラ20の光軸において、カメラ20の合焦点位置は、パターン40が設けられた焦点板パターン面31aにあると共に、パターン41をマイクロレンズアレイ2により結像させたパターン41の像が、同様に、焦点板パターン面31aにて合焦点となり、両者のフォーカスが一致する。そこで、図4に示すように、マスクパターン面30aと焦点板パターン面31aとの間の距離を、レーザ変位計23,24により測定すると、マイクロレンズアレイ2の焦点距離fが求まる。このようにして、本実施形態によれば、簡易にかつ容易に、マイクロレンズアレイ2の焦点距離fを求めることができる。この場合に、例えば、焦点距離fは10mmであり、マイクロレンズアレイ2と焦点板31の焦点板パターン面31aとの間の距離と、マスク30のマスクパターン面30aとの間の距離は、いずれも約0.7mm程度である。このような微小な焦点距離fも、本実施形態においては、高精度で測定することができる。"