部品組み付け工程において部品を取り上げて載置するように構成されたマニピュレータ装置1であって、-基板6上の載置位置5に対してZ軸に沿って部品を載置するように構成されたZストローク4と、-前記載置位置5に対して前記部品2を位置合わせするように構成された作動システム3と、-部品2を取り上げ、前記部品2を前記載置位置5に載置するために、前記Zストローク4上に配置されたピックアップヘッド7と、-前記作動システム3に結合された位置合わせシステム8と、を備え、-前記位置合わせシステム8は、●第1の軸外位置Aに配置されて前記載置位置5および前記部品2からの光を受光するように構成された画像検出システム9と、●第2の軸外位置Bに配置されて前記載置位置5に対して中心が合わせられた円弧状の凹球面鏡13と、前記光路を第3の軸外位置Cに折り返すために前記凹球面鏡13と前記載置位置5との間の光路に配置された折り返し鏡14と、前記第3の軸外位置Cに配置されて前記載置位置5および前記部品2を前記画像検出システム9に結像するための曲率を有する円弧状の凸球面鏡15を備えた結像システム11と、を備えた、マニピュレータ装置1。前記円弧形状が半円である、請求項1に記載の部品2マニピュレータ装置。前記載置位置5と前記部品2とがほぼ重なって前記画像検出システム9に結像されるように、前記画像検出システム9と前記載置位置5との間の光路に配置された半透鏡またはビームスプリッタキューブ10をさらに備える、請求項1に記載の部品2マニピュレータ装置。前記中心位置5への前記光路にシャッター16が設けられる、請求項1に記載の部品2マニピュレータ装置。前記ダイへの前記光路にシャッター16が設けられる、請求項1に記載の部品2マニピュレータ装置。本発明の一態様によると、部品組み付け工程において部品を取り上げて載置するように構成されたマニピュレータ装置が提供される。本装置は、基板上の載置位置に対してZ軸沿いに部品を載置するように構成されたZストロークと、載置位置に対して部品を位置合わせするように構成された作動システムと、部品を取り上げてこの部品を載置位置に載置するためにZストローク上に配置されたピックアップヘッドと、作動システムに結合された位置合わせシステムとを備え、位置合わせシステムは、第1の軸外位置図2のAに配置されて部品からの光を受光するように構成された画像検出システムを備える。位置合わせシステムは、第2の軸外位置Bに配置された円弧状の凹球面鏡と、光を第3の軸外位置Cに折り返すために光路に配置された折り返し鏡と、第3の軸外位置Cに配置された、画像検出システム上に部品を結像するための曲率を有する円弧状の凸球面鏡と、を備えた結像システムをさらに備える。この結像システムは、傾斜した画像検出を補正する。この結果、本画像検出システム上においては部品の完全な視野に焦点が合うことになる。部品を結像するために使用される光学系は、カメラを光源に置換するか、またはカメラを光路内でビームスプリッタに結合することによって、部品の照明にも使用可能である。図1を参照すると、ダイ2と基板6との組み合わせ画像と、同じ位置への載置とを提供する光学システムを備えた、当該技術分野においてボンドヘッドとして公知のチップダイマニピュレータ装置1が提案される。このシステムを用いると、要求された載置位置に既にあるダイ2を用いて載置位置5を測定できる。ダイの真下を見ることができる光学システムを用いると、上記のブラインドステップ5を排除できる。これはほぼ狙い撃ちaimandshoot原理であり、検出後はアクチュエータ3による追加のXY移動は不要である。唯一残っている移動は、Zストローク4を用いた実際の載置のための移動である。この移動は、機械的反復性に基づき行うことができる。したがって、載置精度は、機構の精度には最早依存しない。なお、中国特許出願公開第1738526号は、ダイと基板上の載置位置とを同時に斜め方向から半透鏡を介して撮像する固定カメラ配置を開示している。ただし、カメラの傾斜姿勢は、簡単には解決不能な焦点深度要件を伴う。また、上記公開に開示されているダイおよび載置位置の同時カメラ位置合わせは、高すぎると見なされる載置誤差を依然として引き起こす。したがって、より正確な視覚センサーを選択することによって機械精度を載置精度から排除でき、より高い精度に向けてシステムを調整できる。また、非組み合わせ測定システムに比べ、較正の手間が減る。図1は、同軸視認システムの1つの構成を示す。画像検出システム9は、当該ツールによって斜めに位置決めされる。半透鏡10またはビームスプリッタキューブを用いることによって、1つのカメラを用いて基板6の上面とダイの底面の両方を見ることができる。2つの投影図間のクロストークを減らすために、基板とダイの投影図間を切り替えるためのシャッターを追加できる。ただし、それぞれ別個の位置合わせシステムを用いて載置位置5とダイ2とを結像することも可能である。また、ダイのサイズがカメラの視野よりはるかに大きい場合は、鉛直Z軸周りの回転測定精度を上げるために、第2のカメラ90を追加できる。したがって、部品組み付け工程において部品を取り上げて載置するように構成されたマニピュレータ装置1が開示される。本装置は、基板6上の載置位置5に対してZ軸に沿って載置するように構成されたZストローク4と、載置位置5に対して部品2を位置合わせするように構成された作動システム3と、部品2を取り上げて載置位置5に載置するためにZストローク4上に配置されたピックアップヘッド7と、作動システム3に結合された位置合わせシステム8とを備え、位置合わせシステム8は、第1の軸外位置Aに配置されて載置位置5からの光を受光する画像検出システム9を備える。作動システムは、原理上、如何なる座標参照系でも使用でき、一般にZ軸に直角な平面での運動用に設計される。1つの例は、直線ZストロークがZ方向を画定する基準系内でのXYおよびRXYZ運動を制御するXYアクチュエータである。本セットアップは、載置動作中に基板6平面でのさらなる運動を必要とせずに、基板6に対するダイの位置合わせを可能にする。基板6上へのダイの載置に必要な唯一の運動は、Z移動である。このZ移動は、例えば透明基板6の上方でダミー載置を行うことによって、較正可能である。このような透明基板6は、複数の基準マーカーを有し、真下にあるカメラを用いた実際の載置の検証を可能にする。この透明基板は、機械内の専用位置に配置可能であり、規則的なダイ載置間における検証用測定の実施を可能にする。この較正に基づき、実際の基板6の上方の正確な位置を計算できる。第2のZストロークを用いることによって、Zアクチュエータ4の載置ストロークの機械的Z位置を変更せずに、基板6の局部高さに対する載置動作のZ位置の変更を第2のZアクチュエータによって行える。また、これらのZアクチュエータの何れも画像検出装置上での画像の焦点合わせに使用可能である。図2は、図1で参照した位置合わせシステム8をより詳細に示す。システム8は、物体平面を斜めに結像するように改造されたシュワルツシルト拡大対物鏡を備えた結像システム11を含む。本発明の一態様によると、結像システム11は、第2の軸外位置Bに配置された円弧状の凹球面鏡13と、光路を第3の軸外位置Cに折り返すための折り返し鏡14と、第3の軸外位置Cに配置された、中心位置5を画像検出システム9上に結像するための曲率を有する円弧状の凸球面鏡15とを備える。斜めからの検査では、焦点距離に応じて画像をずらすことになる。したがって合焦距離の反復性が重要である。合焦の反復性は、以下に挙げるいくつかの方法で実現可能である。1.画像のコントラストに焦点を合わせる。これは、小さな焦点深度高NAを必要とする。2.ダイおよび基板への1つ以上のレーザスポット、線、または他のパターンの投影による三角測量3.ダイおよび基板上の同じ領域を2つ以上のカメラで見ることによる三角測量4.瞳のマスキング5.干渉手法6.共焦手法上記のように、ダイのサイズがカメラの視野より大きい場合は、回転精度を上げるために第2のカメラ90を使用できる。ただし、実際には、同じ焦点距離に高い反復性で配置できるカメラの数は1つだけである。第2のカメラ90の焦点距離の変動は、1つの方向における測定誤差の増加をまねく。それにも拘らず、これは、この方向に対して直角な正確な位置測定を可能にする。この2つのカメラを組み合わせると、横方向の位置と鉛直軸周りの回転とを測定するためにちょうど十分な3つのパラメータの測定が得られる。原理上、円弧形状はZ軸の周囲に完全に延在しうるが、半円セグメントの円弧形状によってチップダイ2マニピュレータ装置1のコンパクトな設計が得られる。図3は、設計をコンパクト化するために第2の折り返し鏡17を有する一実施形態を示す。また、画像検出システム9において載置位置5と部品2とがほぼ重なって結像されるように、画像検出システム9と載置位置5との間の光路に半透鏡10が配置される。Zストローク4のZ作動によって部品2は焦点位置に都合よく移動される。また、本システムの性能をさらに向上させるには、ダイと基板位置とがそれぞれ別個に結像されることが好ましい。このために、中心位置5への光路にシャッター16を設けてもよく、またダイへの光路にシャッター16を設けてもよい。使用時、本マニピュレータ装置の動作は以下のようになりうる。1.ダイをドナー基板例えばウエハから取り上げる。2.較正が不要な場合は、ステップ11に進む。3.再現性のみに基づき使用されるZストロークによってダイを焦点位置に移動する。4.ダイの位置および向きを画像検出システムによって測定する。5.ダイを較正用基板に移動する。6.この基板を他のZストロークによって焦点位置に移動する。7.較正用基板の位置および向きを画像検出システムによって測定する。8.再現性のみに基づき使用されるZストロークによってダイを較正用基板上に載置する。9.この載置結果を較正用基板下のカメラによって測定し、今後の載置のために必要な補正値を計算する。10.ダイを較正用基板から持ち上げる。11.ダイの位置および向きを画像検出システムによって測定する。12.ダイを基板上の載置位置に移動する。13.他のZストロークによって基板を焦点位置に移動する。14.基板の位置および向きを画像検出システムによって測定する。15.必要であれば、ダイの位置または向きをX、Y、および回転アクチュエータによって調整する。16.再現性のみに基づき使用されるZストロークによってダイを基板上に載置する。本発明を図面および上記説明において例示し詳細に説明してきたが、このような例示および説明は説明または例示のためであり、限定のためではないと見なされるべきである。本発明は開示されている実施形態に限定されるものではない。特に、開示されている各実施形態は、光学的パワーを有さない折り返し鏡を示しているが、光学的パワーを有する折り返し鏡を備えた実施形態も本発明の範囲に含まれると考えられる。また、開示された各例における部品はダイ載置工程におけるダイであるが、表面実装デバイス、MEMSデバイスなど高精度を必要とする他の載置システムも本発明の範囲から逸脱することなく載置可能である。図面、開示、および添付の特許請求の範囲を検討されることにより、当業者は開示されている実施形態の他の変形例を理解し、特許請求されている本発明の実施時に具体化できる。特許請求の範囲において、備える/含むcomprisingという単語は、他の要素または工程を排除するものではなく、不定冠詞aまたはanは複数を排除するものではない。単一ユニットは、特許請求の範囲に記載されている複数項目の機能を果たしうる。特定の方策が互いに異なる従属請求項に記載されているという単なる事実は、これらの方策の組み合わせを好都合に使用できないことを示すものではない。特許請求の範囲における如何なる参照符号も範囲を限定するものと解釈されるべきではない。