"被処理基板を一時配置部から処理部へ移送し、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を処理部から一時配置部へ移送する基板移送装置において、フレームと、前記フレームを、前記処理部と前記一時配置部との間で移動させる移動機構と、前記フレームの第1方向に変位可能なように前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第1方向の一端部を解放可能にチャックする第1チャック部と、前記第1チャック部から前記第1方向に離れて前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第1方向の他端部を解放可能にチャックする第2チャック部と、前記被処理基板をチャックした状態で、前記第1チャック部を前記第2チャック部とは反対側に付勢する張り付与手段と、を備えたことを特徴とする表面処理における基板移送装置。前記移送のほぼ全期間中、前記張り付与手段が前記付勢を継続することを特徴とする請求項1に規制の基板移送装置。前記被処理基板をチャックした状態のとき、前記第1チャック部が前記第2チャック部から遠ざかる側に変位可能な位置を規制する規制手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板移送装置。前記第1チャック部が前記解放の状態のときは、前記規制手段が前記規制を解除することを特徴とする請求項3に記載の基板移送装置。前記第1チャック部が、前記第1方向と直交する第2方向に対峙する第1、第2の挟持部を有し、前記第1挟持部が、前記第2挟持部との間に前記被処理基板を挟み付けるチャック位置と、前記第2挟持部から離間した解放位置との間で前記第2方向に変位可能であり、前記規制手段が、前記フレームに対し固定された固定側規制部と、前記第1挟持部に固対し定された可動側規制部とを含み、前記第1挟持部が前記チャック位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部と前記第2方向に重なる位置にあり、前記第2挟持部が前記解放位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部から前記第2方向にずれていることを特徴とする請求項3又は4に記載の基板移送装置。被処理基板を基板移送装置にて処理部に入れ、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を基板移送装置にて処理部から出す移送方法において、前記基板移送装置のフレームの第1方向に離間して設けられた一対のチャック部にて前記被処理基板の前記第1方向の両端部をそれぞれチャックし、前記チャックした状態で、前記基板移送装置の張り付与手段によって、前記一対のチャック部の少なくとも一方のチャック部を他方のチャック部とは反対側に付勢しながら、前記フレームを前記処理部に入れ、又は前記処理部から出すことを特徴とする表面処理における基板移送方法。保形強度が充分高い被処理基板の場合は、その両端部をチャックして持ち上げても撓むことは殆どない。しかし、例えば極薄であるために保形強度が充分でない被処理基板は、両端部をチャックして持ち上げると、中央部が自重によって垂れるように撓む。その状態で移送すると、垂れた部分が移送経路上の構造物に引っ掛かったりぶつかったりして、被処理基板が損傷するおそれがある。特に、処理部内外の移送空間が狭いと上記引っ掛かり等を起こしやすく、円滑な移送の障害になる。上記問題点を解決するために、本発明装置は、被処理基板を一時配置部から処理部へ移送し、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を処理部から一時配置部へ移送する基板移送装置において、フレームと、前記フレームを、前記処理部と前記一時配置部との間で移動させる移動機構と、前記フレームの第1方向に変位可能なように前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第1方向の一端部を解放可能にチャックする第1チャック部と、前記第1チャック部から前記第1方向に離れて前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第1方向の他端部を解放可能にチャックする第2チャック部と、前記被処理基板をチャックした状態で、前記第1チャック部を前記第2チャック部とは反対側に付勢する張り付与手段と、を備えたことを特徴とする。本発明装置によれば、張り付与手段の付勢によって被処理基板を第1方向に引っ張って張りを付与することができる。したがって、被処理基板の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止できる。これによって、移送時に上記垂れた部分が移送経路上の構造物に引っ掛かる等して被処理基板が損傷するのを防止できる。移送空間が狭くても上記引っ掛かりを回避でき、移送を円滑に行なうことができる。前記張り付与手段による付勢は、少なくとも移送経路上の上記引っ掛かり等が起き易い箇所を通過するときに行なうことが好ましい。より好ましくは、前記移送のほぼ全期間中、前記張り付与手段が前記付勢を継続する。これによって、移送期間中の上記引っ掛かり等による被処理基板の損傷を確実に防止できる。被処理基板を一時配置部若しくは処理部から持ち上げる際、又は被処理基板を処理部若しくは一時配置部に降ろす際は、前記付勢を停止してもよい。前記基板移送装置が、前記被処理基板をチャックした状態のとき、前記第1チャック部が前記第2チャック部から遠ざかる側に変位可能な位置を規制する規制手段を、更に備えていることが好ましい。これによって、被処理基板の引っ張り量を制限でき、被処理基板に無理な引っ張り力が働くのを回避できる。前記第1チャック部が前記解放の状態のときは、前記規制手段が前記規制を解除するようにしてもよい。これによって、被処理基板をチャックしていないときは、第1チャック部の第1方向の位置を、前記規制手段に規制されることなく被処理基板の大きさ等に応じて調節できる。前記基板移送装置が、上記第1チャック部の位置調節のために、第1チャック部を第1方向にスライドさせるスライド機構を備えていることが好ましい。このスライド機構を前記張り付与手段として兼用できる。前記第1チャック部が、前記第1方向と直交する第2方向に対峙する第1、第2の挟持部を有し、前記第1挟持部が、前記第2挟持部との間に前記被処理基板を挟み付けるチャック位置と、前記第2挟持部から離間した解放位置との間で前記第2方向に変位可能であることが好ましい。これによって、被処理基板の第1方向の端部を第1挟持部と第2挟持部との間に配置したうえで、第1挟持部をチャック位置に位置させることで、第1、第2挟持部によって、被処理基板を厚さ方向の両側第2方向から挟み付けて確実にチャックできる。第1チャック部を解放位置にすると、被処理基板を第1チャック部から解放できる。前記規制手段が、前記フレームに対し固定された固定側規制部と、前記第1挟持部に対し固定された可動側規制部とを含み、前記第1挟持部が前記チャック位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部と前記第2方向被処理基板の厚さ方向に重なる位置にあり、前記第2挟持部が前記解放位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部から前記第2方向にずれていることが好ましい。これによって、前記チャック位置のときは、前記第1チャック部を前記第1方向に沿って前記第2チャック部から遠ざかる側に変位させていくと、前記可動側規制部が前記固定側規制部に突き当たることで、前記第1チャック部の変位可能位置を確実に規制できる。前記解放位置のときは、前記第1チャック部を前記第1方向に変位させても前記可動側規制部が前記固定側規制部に突き当たることがなく、前記規制を確実に解除できる。前記基板移送装置が、前記の挟み付け動作のために、第1チャック部を第1方向にスライドさせるスライド機構を備えていてもよい。前記第1チャック部を前記スライド機構によって被処理基板より第1方向の外側に位置させ、かつ前記第1挟持部を解放位置に位置させたうえで、前記第1チャック部を前記スライド機構によって第1方向の内側にスライドさせて、第1、第2挟持部の間に被処理基板の端部を差し入れ、その後、第1挟持部をチャック位置に位置させることで、被処理基板の端部を第1、第2挟持部によって挟み付けてもよい。そして、挟み付け後に、前記スライド機構にて前記第1チャック部を第1方向の外側へ変位させることで、被処理基板に張りを付与してもよい。この場合、前記スライド機構を前記張り付与手段として兼用できる。本発明方法は、被処理基板を基板移送装置にて処理部に入れ、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を基板移送装置にて処理部から出す移送方法において、前記基板移送装置のフレームの第1方向に離間して設けられた一対のチャック部にて前記被処理基板の前記第1方向の両端部をそれぞれチャックし、前記チャックした状態で、前記基板移送装置の張り付与手段によって、前記一対のチャック部の少なくとも一方のチャック部を他方のチャック部とは反対側に付勢しながら、前記フレームを前記処理部に入れ、又は前記処理部から出すことを特徴とする。前記付勢によって被処理基板を第1方向に引っ張ることができる。したがって、被処理基板の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止できる。これによって、被処理物の処理部への出し入れ時に上記垂れた部分が付近の構造物に引っ掛かる等して被処理基板が損傷するのを防止でき、出し入れ操作を円滑に行なうことができる。本発明によれば、被処理基板の保形強度が低くても、被処理基板の両端部をチャックして持ち上げたときに被処理基板の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止できる。これによって、被処理基板の出し入れを円滑に行なうことができる。以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。被処理基板9は、例えば銅等の金属板であるが、これに限られず、樹脂板でもよく、ガラス板でもよい。被処理基板9の形状は、例えば四角形であるが、これに限られず、四角形以外の多角形であってもよく、円形であってもよい。被処理基板9の大きさや形状が複数種類あってもよい。この実施形態では、第1の辺9aの長さが同じで、それと直交する第2の辺9bの長さが異なる複数種類の被処理基板9がある図1では一種類の被処理基板9のみ図示。被処理基板9の厚さは、極めて薄く、各辺9a,9bの長さと比べると非常に小さい。そのため、被処理基板9は、保形強度が充分でなく、撓みやすい。例えば、被処理基板9の各辺9a,9bの長さは、400mm~500mm程度であり、被処理基板9の厚さは、0.1mm以下である。図1~図3に示すように、表面処理装置Sは、処理部1と、搬送コンベア2と、基板移送装置3を備えている。図3において簡略化して示すように、処理部1は、ハウジング10と、該ハウジング10内に設けられた複数の電極13及び基板支持部14を有している。ハウジング10は、上下一対のハウジング部材11,12を有している。これらハウジング部材11,12の少なくとも一方が昇降機構図示省略によって昇降されることで、ハウジング10が上下に開閉される。この実施形態では、下側ハウジング部材11が昇降可能になっている。下側ハウジング部材12を下降させることで図2及び図3の実線、ハウジング10が開く。この開状態において、上下のハウジング部材11,12間に、差し入れスペース19が形成される。図3の二点鎖線に示すように、スペース19には被処理基板9が側方から差し入れられる。ハウジング10の複数の支柱16,16...のうちの少なくも1つの支柱16Sは、上記差し入れ動作を許容するために他の支柱16より短くなっている。差し入れられた被処理基板9は、下側ハウジング部材12の上面の支持部14に水平にセットされる。支持部14は、被処理基板9の周縁部及び中央部を支持する日字形状の枠にて構成されている。支持部14は、上側ハウジング部材11の下面に設けてもよい。追って詳述するように、上記の差し入れには移送装置3を用いる。図3に示すように、開時のハウジング10の差し入れスペース19の上下端部と移送装置3の差し入れ部分とのクリアランスCは狭く、例えば、C=10mm~20mm程度である。図2及び図3の三点鎖線に示すように、下側ハウジング部材12を上昇させて、上側ハウジング部材11に当てることで、ハウジング10が閉じられる。閉じたハウジング10の内部には、密閉チャンバー15が形成される。表面処理の際は、チャンバー15内のガスを吸引排気してチャンバー15の内圧を例えば10Pa~150Pa程度の真空にする。なお、チャンバー15の内圧は、真空に限られず、大気圧又はその近傍であってもよく、大気圧より高圧であってもよい。そして、チャンバー15内に処理ガスを導入するとともに、電極13への電圧供給によって放電を生成し、処理ガスをプラズマ化励起、活性化、ラジカル化、イオン化等を含むする。この処理ガスが被処理基板9に接触することによって、被処理基板9が表面処理される。この実施形態では、上下のハウジング部材11,12にそれぞれ電極14及び処理ガス導入部が設けられており、被処理基板9の両面を同時に処理できる。表面処理の内容は、特に限定が無く、エッチング、アッシング、表面改質親水化、撥水化等、成膜、その他の種々の表面処理を行なうことができる。表面処理の内容に応じて処理ガス成分等の処理条件を適宜選定する。表面処理後、チャンバー15の内圧を大気圧に戻したうえで、ハウジング10を開けて被処理基板9を取り出す。図1~図3に示すように、搬送コンベア2は、例えばコロコンベアにて構成されている。搬送コンベア2の搬送方向の一端部2eが処理部1の近くに配置されている。搬送コンベア2の端部2eの側部に移送装置3が設けられている。図1に示すように、被処理基板9が、第1辺9aを搬送コンベア2の幅方向に向け、かつ第2辺9bを搬送コンベア2の搬送方向に向けた状態で、搬送コンベア2上に載置される。図1及び図3に示すように、この被処理基板9が、搬送コンベア2によって端部2eまで搬入され、そこから移送装置3によって処理部1に移入され、上述した表面処理に付される。或いは、表面処理後の被処理基板9が、移送装置3によって処理部1から端部2eに移出され、搬送コンベア2によって搬出される。上記端部2eは、処理部1に出し入れされる被処理基板9を処理部1の近くに一時的に載置するための一時配置部を構成する。図面では、それぞれ単一の搬送コンベア2及び移送装置3によって、被処理基板9の搬入及び移入、並びに移出及び搬出を行っているが、搬入用の搬送コンベアと搬出用の搬送コンベアを別々に設けてもよく、移入用の移送装置と移出用の移送装置を別々に設けてもよい。移送装置3について詳述する。図1~図3に示すように、移送装置3は、アーム21と、ハンドフレーム22フレームと、一対のアタッチメント25を備えている。アーム21は、水平に延びている。図面では簡単のためにアーム21が単一のアーム部材にて構成されているが、アーム21が一列に連結された複数のアーム部材によって構成されていてもよい。隣接するアーム部材どうしは、回転軸を介して角度調節可能に連結されていてもよく、スライド可能に連結されていてもよい。アーム21の基端部には、支持シャフト23が設けられている。支持シャフト23は、アーム21を回転可能かつ昇降可能に支持している。アーム21及び支持シャフト23が、ハンドフレーム22を移動させる移動機構24を構成している。図1及び図3に示すように、アーム21の先端部にハンドフレーム22が設けられている。ハンドフレーム22は、概略長方形四角形の枠状又は板状をなして水平に配置されている。図示は省略するが、ハンドフレーム22の上面には梁や補強リブが設けられている。ハンドフレーム22の長手方向第1方向の基端部図1の実線の状態において右がアーム21に連結されている。図面では簡単のためにハンドフレーム22がアーム21に対して固定されているが、フレーム22がアーム21に回転可能に連結されていてもよい。ハンドフレーム22の長手方向の寸法は、被処理基板9の第1辺9aの長さとほぼ等しい。この実施形態では、被処理基板9の種類が異なっても、第1辺9aの長さは互いに同じであるから、1つのハンドフレーム22で対応できる。図1に示すように、フレーム22の長手方向第1方向の先端部アーム21とは逆側と基端部アーム21側にそれぞれアタッチメント25が設けられている。これら両端のアタッチメント25,25は、互いに第1方向に反転している点を除き、同一構造になっている。更に、各アタッチメント25は、フレーム22の短手方向に対称になっている。図1及び図5に示すように、各アタッチメント25は、チャック機構26と、スライド機構兼張り付与手段27を有している。図1に示すように、各チャック機構26は、ビーム28と、一対のチャック部30,30を含む。図4に示すように、ビーム28は、フレーム22の短手方向に延びている。後述するように、ビーム28は、スライド機構兼張り付与手段27を介してフレーム22に支持されている。図4及び図6に示すように、ビーム28の両端部にそれぞれチャック部30が設けられている。したがって、図1に示すように、フレーム22には4つのチャック部30が設けられている。4つのチャック部30がフレーム22の4つの隅角部の付近に配置されている。これらチャック部30によって被処理基板9の四隅が把持される。フレーム22の先端側図1の実線の状態において左の2つのチャック部30,30と、フレーム22の基端側図1の実線の状態において右の2つのチャック部30,30とのうち何れか一方が、特許請求の範囲の第1チャック部を構成し、他方が、特許請求の範囲の第2チャック部を構成する。これら第1、第2のチャック部どうしは、フレーム22の長手方向すなわち第1方向に互いに離れている。各チャック部30は次のように構成されている。図5及び図6に示すように、チャック部30は、第1挟持体31と、第2挟持体32を有している。第1挟持体31は、チャック駆動部40を介してビーム28に昇降可能に支持されている。図5及び図6に示すように、チャック駆動部40は、シリンダ本体41と昇降ロッド42とを含むシリンダーアクチュエータにて構成されている。駆動部40は、流体圧アクチュエータでもよく、電磁アクチュエータでもよい。図4及び図6に示すように、シリンダ本体41が、軸線を鉛直に向けてビーム28の端面に固定されている。シリンダ本体41の軸線上に昇降ロッド42が配置されている。図5に示すように、第1挟持体31は、昇降板33と、第1挟持部34を含む。昇降板33は、L字の板状であり、その垂直な板部33vがシリンダ本体41の外壁に昇降可能に支持され、水平な底板部33hが昇降ロッド42の下端部に連結されている。底板部33hの下面に第1挟持部34が設けられている。第1挟持部34は、直方体形状ないしは厚板状になっている。図6に示すように、第2挟持体32は、縦板部35と、第2挟持部36を一体に有している。縦板部35は、垂直な板状になっており、その上端部がビーム28の外側面に重ねられて固定されている。縦板部35の下端部は、ビーム28及びハンドフレーム22よりも下に突出している。図5及び図6に示すように、第2挟持部36は、縦板部35と直交する水平な板状になっており、縦板部35の下端部からビーム28の延び方向ハンドフレーム22の短手方向の外側へ向けて突出し、かつ縦板部35の下端部からハンドフレーム22の長手方向の内側他方のアタッチメント25側へ向けて突出している。第2挟持部36は、第1挟持部34のちょうど真下に配置されている。第1挟持部34と第2挟持部36が、上下第1方向と直交する第2方向に対峙している。図10及び図11に示すように、チャック駆動部40の昇降ロッド42を昇降させることによって、第1挟持体31ひいては第1挟持部34が、上側の解放位置と下側のチャック位置との間で昇降第2方向に変位される。図10に示すように、解放位置では、第1挟持部34が第2挟持部36の上方に離れて位置する。解放位置における第1、第2挟持部34,36間の離間距離は、基板9の厚さより好ましくは充分に大きい。図5及び図11に示すように、チャック位置では、第1挟持部34が第2挟持部36に近接し、これら挟持部34,36どうし間に被処理基板9が挟み付けられる。図4に示すように、チャック部30は、ビーム28を介してスライド機構兼張り付与手段27に連結されている。図4及び図5に示すように、スライド機構兼張り付与手段27は、スライド駆動部50と、一対のスライドガイド53,53を備えている。図4及び図6に示すように、スライド駆動部50が、ビーム28の中央部に配置され、一対のスライドガイド53,53がビーム28の両端部に配置されている。スライド駆動部50は、シリンダ本体51とスライドロッド52とを含むシリンダーアクチュエータにて構成されている。駆動部50は、流体圧アクチュエータでもよく、電磁アクチュエータでもよい。シリンダ本体51が、軸線をフレーム22の長手方向第1方向に向けて、フレーム22の上面に固定されている。シリンダ本体51の軸線上のスライドロッド52が、シリンダ本体51から突出してビーム28の中央部に連結されている。スライド駆動部50のロッド52を第1方向にスライドさせることで、ビーム28ひいてはチャック機構26全体が、第1方向に進退される。したがって、チャック部30が第1方向に変位される。更には、フレーム22の長手方向第1方向の両端の第1、第2チャック部30,30どうしが、第1方向に接近離間する図2の実線及び二点鎖線参照。スライド機構兼張り付与手段27は、各チャック部30が被処理基板9をチャックした状態で、対応するチャック部30を他方のアタッチメント22のチャック部30とは反対側に付勢して変位させることができる。図4に示すように、各スライドガイド53は、ガイドブロック54と、ガイドロッド55を含む。ガイドブロック54がフレーム22の上面に固定されている。このガイドブロック54に、ガイドロッド55が軸線を第1方向に向けてスライド可能に支持されている。ガイドロッド55にビーム28の端部が連結されている。フレーム22の短手方向図4において上下の両側のスライドガイド53,53によって、ビーム28ひいてはチャック機構26が、上記短手方向に対し平行を保ちつつ第1方向にスライド可能に支持されている。図5に示すように、各チャック部30とフレーム22との間には規制手段60が設けられている。規制手段60は、可動側規制部61と、固定側規制部62にて構成されている。可動側規制部61の上側部分が、昇降板33の垂直な板部に重ねられて固定されている。可動側規制部61の下側部分が、逆L字状に折り曲げられてシリンダ本体41側とは反対側に突出している。固定側規制部62は、フレーム22の隅角部の近くの上面に固定された凸片部材にて構成され、可動側規制部61とフレーム22の短手方向の同じ位置に配置されている。図10及び図11に示すように、可動側規制部61は、第1挟持体31と一体に昇降される。図10に示すように、第1挟持部34が解放位置のとき、可動側規制部61が、固定側規制部62より上方に離れる。すなわち、可動側規制部61が、固定側規制部6から第2方向にずれて配置される。したがって、上記解放位置では、規制手段60による規制が解除され、チャック部30を、規制手段60に規制されることなく第1方向にスライドできる図7b、図8、図9。図11に示すように、第1挟持部34がチャック位置のとき、可動側規制部61の下側の逆L字状の部分が、固定側規制部62と上下方向第2方向に重なる位置になる。このとき、可動側規制部61の下端部は、固定側規制部62より第1方向の内側フレーム22の中央側に位置する。したがって、チャック位置では、チャック部30を、図11の状態から第1方向の外方へスライドさせていくと、やがて可動側規制部61の下端部が固定側規制部62に突き当たることによって図5、チャック部30の第1方向の外方への変位可能位置が規制される。上記のように構成された移送装置3の動作を説明する。被処理基板9を搬送コンベア2の端部2eから処理部1に移送する際は、図7a及びbに示すように、先ず、移送装置3のハンドフレーム22を、移動機構24によってコンベア端部2e上の被処理基板9の上方に配置する。また、チャック駆動部40によって第1挟持部34を解放位置にして、規制手段60によるスライド規制を解除したうえで、スライド機構27によって、第2挟持体32が被処理基板9より第1方向の外側に位置するまで、チャック機構26を第1方向の外方にスライドさせる。そして、図8に示すように、ハンドフレーム22を下降させて被処理基板9の上面に近づける。これによって、第2挟持部36を、被処理基板9と干渉することなく被処理基板9より下に位置させることができる。第1挟持部36は、被処理基板9より上に位置させる。次に、図9aに示すように、スライド機構27によって、チャック機構26をハンドフレーム22に向けて第1方向の内側へスライドさせる。これによって、図9bに示すように、第2挟持部36が被処理基板9の端部の真下に入り込む。次に、図10に示すように、移動機構24によってハンドフレーム22を上昇させる。これによって、第2挟持部36に被処理基板9の端部が引っ掛かり、更に被処理基板9が搬送コンベア2から持ち上げられる。被処理基板9の持ち上げと前後して、図11に示すように、チャック駆動部40によって第1挟持体31をチャック位置へ下降させる。これによって、第1挟持部34と第2挟持部36との間に被処理基板9の端部を挟み付けてチャックできる。フレーム22の4つのチャック部30によって、被処理基板9の四隅をチャックできる。図11に示すように、被処理基板9を搬送コンベア2から持ち上げると、被処理基板9の中央部が自重で下に垂れるように撓む。そこで、図5に示すように、各スライド機構兼張り付与手段27によって、各チャック機構26を第1方向の外方他方のチャック機構26とは反対方向へ付勢して変位させる。すなわち、第1チャック部30を第2チャック部とは反対側へ付勢して変位させる。これによって、被処理基板9を第1方向に引っ張って、被処理基板9に張りを付与することができる。この結果、被処理基板9の撓みを矯正してほぼ平らに戻すことができる。上記挟み付けのためのスライド動作に用いたスライド機構27に張り付与手段としての機能を兼ねさせることができる。上記付勢によってチャック機構26を第1方向の外方へ変位させていくと、図5に示すように、やがて可動側規制部61が固定側規制部62に突き当たる。これによって、チャック機構26ひいてはチャック部30の第1方向の外方への変位が規制される。したがって、被処理基板9がそれ以上、第1方向に延ばされるのが防止される。この結果、被処理基板9に過大な張力が作用するのを回避でき、被処理基板9の破損を防止できる。図3の実線に示すように、処理部1のハウジング10は開けた状態にしておく。そして、図1の二点鎖線及び図3の二点鎖線に示すように、移動機構24によってハンドフレーム22を上下ハウジング部材11,12間のスペース19に差し入れる。この被処理基板9の移送の間、張り付与手段27による上記付勢を継続する。これによって、被処理基板9が移送中に再び撓むのを防止でき、被処理基板9の弛んだ部分が移送路上の構造物に当たって損傷するのを防止できる。特に、差し入れスペース19の上下端部と移送装置3とのクリアランスCが小さくても、被処理基板9が処理部1の構造部材に引っ掛かるのを回避できる。被処理基板9をスペース19に差し入れて支持部14の真上に配置したら、張り付与手段27による上記付勢を停止し、被処理基板9への張りを解除する。その後、フレーム22を下降させて、被処理基板9を支持部14に支持させる。或いは、被処理基板9をスペース19に差し入れ、更に支持部14に支持させた後、張り付与手段27による被処理基板9への張りを解除してもよい。次に、第1挟持体31を上昇させて、チャック部30によるチャックを解除する。次に、チャック機構26を第1方向の外側へスライドさせ、第2挟持体32を被処理基板9よりも外側へ出す。これによって、ハンドフレーム22を、被処理基板9と干渉しないようにしながら処理部1の外に出すことができる。その後、ハウジング10を閉じ、処理部1において被処理基板9の表面処理を行なう。表面処理済みの被処理基板9を処理部1から移出する際は、ハウジング10を開けて、ハンドフレーム22をスペース19に差し入れる。そして、上述した移入時と同様に、被処理基板9を持ち上げてチャックした後、張り付与手段27にて被処理基板9に張りを付与しながら、被処理基板9を配置部2eへ移送する。そして、被処理基板9への張りを解除するとともに被処理基板9を配置部2eに載置し、その後、ハンドフレーム22を被処理基板9から離す。この基板移送装置3によれば、被処理基板9の処理部1からの出し入れ時に、張り付与手段27によって被処理基板9に張りを付与することで、被処理基板9の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止でき、上記垂れた部分が移送経路上の構造物に引っ掛かったりぶつかったりして被処理基板9が損傷するのを防止できる。移送経路上の移送スペースが狭くても、上記引っ掛かり等を充分に回避でき、被処理基板9の移送操作を円滑に行なうことができる。特に、移送装置3による移送のほぼ全期間中、張り付与手段27による付勢を継続することによって、移送経路での上記引っ掛かり等による被処理基板9の損傷を確実に防止できる。これによって、被処理基板9の移送操作を確実に円滑に行なうことができる。本発明は、上記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の形態を採用可能である。例えば、フレーム22の長手方向第1方向の両端の一対のチャック機構26,26のうち一方のチャック機構26だけがスライド機構27によってスライド可能になっていてもよく、他方のチャック機構26はハンドフレーム22に対し固定されていてもよい。第1方向に離れた一対のチャック部30,30のうち第1チャック部3だけが第1方向に変位可能かつ張り付与手段27によって第1方向に付勢されるようになっていてもよく、第2チャック部はハンドフレーム22に対し固定されていてもよい。各チャック機構26にチャック部30が1つだけ設けられていてもよく、3つ以上設けられていてもよい。チャック部は、被処理基板9を厚さ方向の両側から挟んでチャックするものに限られず、例えば吸着によってチャックするものであってもよい。チャック部が、被処理基板を吸着する吸着部を有していてもよい。張り付与手段が、スライド機構22とは別途に設けられていてもよい。チャック部が吸着方式等の場合は、チャック機構26全体はフレーム12に対して固定としてスライド機構22を省略し、チャック部30だけを第1方向に変位可能にして張り付与手段にて付勢されるようにしてもよい。張り付与手段は、シリンダーアクチェエータ50に限られず、バネ等の弾性部材にてチャック部30を付勢するようになっていてもよい。張り付与手段によるチャック部の付勢は、被処理物が移送経路上の少なくとも引っ掛かり等が起き易い箇所を通過するときに行なうようにすればよく、移送の全期間を通じて張り付与手段が上記付勢を継続していなくてもよい。規制部62が、チャック部30のチャック動作に連動して出没可能であってもよい。"