各々が順に積み重ねられた正極層、固体電解質層、および、負極層と、前記正極層または前記負極層の少なくとも一方の上に配置された集電体層とを備えた全固体電池の製造方法であって、正極材料、固体電解質材料、負極材料、および、集電体材料の各々の成形体を積層して積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体を焼成する焼成工程とを備え、前記焼成工程が、不活性雰囲気中で前記積層体を焼成する第1の焼成工程と、前記第1の焼成工程の後で酸素を含む雰囲気中で前記積層体を焼成する第2の焼成工程とを含む、全固体電池の製造方法。前記第1の焼成工程が、前記積層体を600°C以下の温度で加熱することを含む、請求項1に記載の全固体電池の製造方法。前記第2の焼成工程が、前記積層体を200°C以上700°C以下の温度で加熱することを含む、請求項1または請求項2に記載の全固体電池の製造方法。前記第2の焼成工程における雰囲気中の酸素含有量が、0体積を超え20体積以下である、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の全固体電池の製造方法。前記第2の焼成工程における雰囲気中の酸素含有量が、0.5体積以上5体積以下である、請求項4に記載の全固体電池の製造方法。前記積層体形成工程が、正極材料、固体電解質材料、負極材料、および、集電体材料の各々のグリーンシートを積層して積層体を形成することを含む、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の全固体電池の製造方法。前記正極材料、前記固体電解質材料、または、前記負極材料の少なくとも一つの材料が、ナシコン型構造のリチウム含有リン酸化合物からなる固体電解質を含む、請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載の全固体電池の製造方法。前記正極材料または前記負極材料の少なくとも一つの材料が、リチウム含有リン酸化合物からなる電極活物質を含む、請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の全固体電池の製造方法。請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の製造方法によって製造された全固体電池。しかしながら、発明者らが、特許文献1に記載されているような全固体電池の製造方法を種々検討した結果、グリーンシート群を酸化雰囲気中で加熱すると、集電体層が酸化してしまうために電子伝導性が低下し、電池特性が劣化することがわかった。本発明は、上記の知見に基づいてなされたものである。したがって、本発明の目的は、集電体層の酸化を抑制することが可能な全固体電池の製造方法とその方法によって製造された全固体電池を提供することである。発明者らが上記の課題を解決するために種々検討を重ねた結果、集電体を含むグリーンシート群を、不活性雰囲気中で焼成した後、酸素を含む雰囲気中でさらに焼成することにより、集電体層の酸化を抑制することができることを見出した。このような発明者らの知見に基づいて、本発明は以下の特徴を備えている。本発明に従った全固体電池の製造方法は、各々が順に積み重ねられた正極層、固体電解質層、および、負極層と、正極層または負極層の少なくとも一方の上に配置された集電体層とを備えた全固体電池の製造方法であって、以下の工程を備える。A正極材料、固体電解質材料、負極材料、および、集電体材料の各々の成形体を積層して積層体を形成する積層体形成工程B上記の積層体を焼成する焼成工程C上記の焼成工程が、不活性雰囲気中で積層体を焼成する第1の焼成工程と、第1の焼成工程の後で酸素を含む雰囲気中で積層体を焼成する第2の焼成工程とを含む。本発明の全固体電池の製造方法において、第1の焼成工程が、積層体を600°C以下の温度で加熱することを含むことが好ましい。また、本発明の全固体電池の製造方法において、第2の焼成工程が、積層体を200°C以上700°C以下の温度で加熱することを含むことが好ましい。さらに、本発明の全固体電池の製造方法において、第2の焼成工程における雰囲気中の酸素含有量が、0体積を超え20体積以下であることが好ましい。さらにまた、本発明の全固体電池の製造方法において、第2の焼成工程における雰囲気中の酸素含有量が、0.5体積以上5体積以下であることが好ましい。本発明の全固体電池の製造方法において、積層体形成工程が、正極材料、固体電解質材料、負極材料、および、集電体材料の各々のグリーンシートを積層して積層体を形成することを含むことが好ましい。本発明の全固体電池の製造方法において、正極材料、固体電解質材料、または、負極材料の少なくとも一つの材料が、ナシコン型構造のリチウム含有リン酸化合物からなる固体電解質を含むことが好ましい。本発明の全固体電池の製造方法において、正極材料または負極材料の少なくとも一つの材料が、リチウム含有リン酸化合物からなる電極活物質を含むことが好ましい。本発明に従った全固体電池は、上述の特徴を備えた製造方法によって製造されたものである。本発明の全固体電池の製造方法では、集電体材料の成形体を含む積層体を、不活性雰囲気中で焼成した後で、酸素を含む雰囲気中で焼成することにより、集電体層の酸化を抑制することができるので、電池特性が劣化するのを防止することができる。図1に示すように、本発明の製造方法が適用される一つの実施の形態としての全固体電池積層体10は、正極層11と固体電解質層13と負極層12と集電体層14とからなる単電池で構成される。固体電解質層13の一方面に正極層11が配置され、固体電解質層13の一方面と反対側の他方面に負極層12が配置されている。いいかえれば、正極層11と負極層12とは、固体電解質層13を介して互いに対向する位置に設けられている。固体電解質層13に接しない正極層11の面に集電体層14が配置され、固体電解質層13に接しない負極層12の面に集電体層14が配置されている。図2に示すように、本発明の製造方法が適用されるもう一つの実施の形態としての全固体電池積層体20では、正極層11と固体電解質層13と負極層12とから構成される単電池が複数個、たとえば2個、集電体層14を介して直列に接続されている。全固体電池積層体20の内部に配置される集電体層14は、正極層11と負極層12との間に設けられている。全固体電池積層体20の外側には、最外層に位置する正極層11の面のうち、固体電解質層13に接しない面に集電体層14が配置され、最外層に位置する負極層12の面のうち、固体電解質層13に接しない面に集電体層14が配置されている。最外層の正極層11に接する集電体層14には正極端子が接続され、最外層の負極層12に接する集電体層14には負極端子が接続される。図3に示すように、本発明の製造方法が適用される別の実施の形態としての全固体電池積層体30では、正極層11と固体電解質層13と負極層12とから構成される単電池が複数個、たとえば2個、集電体層14を介して並列に接続されている。全固体電池積層体30の内部に配置される集電体層14は、負極層12と負極層12との間にまたは正極層11と正極層11との間に設けられている。全固体電池積層体20の外側には、最外層に位置する正極層11の面または負極層12の面のうち、固体電解質層13に接しない面に集電体層14が配置されている。最外層の正極層11または負極層12に接する集電体層14には正極端子または負極端子が接続され、内部の負極層12または正極層11に接する集電体層14には負極端子または正極端子が接続される。なお、正極層11と負極層12のそれぞれは固体電解質と電極活物質とを含み、固体電解質層13は固体電解質を含む。正極層11と負極層12のそれぞれは、電子伝導性材料として、炭素、金属などを含んでもよい。上記のように構成された全固体電池積層体10、20、30を製造するために、本発明では、まず、正極材料、固体電解質材料、負極材料、および、集電体材料の各々の成形体を積層して積層体を形成する積層体形成工程。その後、上記の積層体を焼成する焼成工程。この焼成工程が、不活性雰囲気中で積層体を焼成する第1の焼成工程と、第1の焼成工程の後で酸素を含む雰囲気中で積層体を焼成する第2の焼成工程とを含む。このように、集電体材料の成形体を含む積層体を、不活性雰囲気中で焼成した後で、酸素を含む雰囲気中で焼成することにより、集電体層の酸化を抑制することができるので、電池特性が劣化するのを防止することができる。第1の焼成工程では、バインダの自燃作用を利用してバインダを分解することができる。第2の焼成工程では、第1の焼成工程で生じた残炭を微量の酸素を使って除去することができる。第1の焼成工程が、積層体を600°C以下の温度で加熱することを含むことが好ましい。また、第2の焼成工程が、積層体を200°C以上700°C以下の温度で加熱することを含むことが好ましい。このように第1の焼成工程における焼成温度第1焼成温度と第2の焼成工程における焼成温度第2焼成温度とを制御することにより、集電体層の酸化を抑制する効果をさらに向上させることができる。なお、第1焼成温度が第2焼成温度に比べて低くてもよく、高くてもよく、または、第1焼成温度と第2焼成温度とが同じ温度でもよい。第1焼成温度は100°C以上であることが好ましい。第1の焼成工程における不活性雰囲気は、窒素ガスで置換した雰囲気が生産性の観点で好ましいが、アルゴンガスで置換した雰囲気、または、水素ガスが混入した還元雰囲気であってもよい。また、第2の焼成工程におけるキャリアガスは、窒素ガスで置換した雰囲気が生産性の観点で好ましいが、アルゴンガスで置換した雰囲気であってもよい。さらに、本発明の全固体電池の製造方法において、第2の焼成工程における雰囲気中の酸素含有量が、0体積を超え20体積以下であることが好ましい。このように焼成雰囲気中の酸素含有量を制御することにより、集電体層の酸化を効果的に防ぐことができる。さらにまた、本発明の全固体電池の製造方法において、第2の焼成工程における雰囲気中の酸素含有量が、0.5体積以上5体積以下であることが好ましい。このように焼成雰囲気中の酸素含有量を微量の範囲内に制御することにより、緻密な積層体からなる全固体電池積層体10、20、30を得ることができる。本発明の全固体電池の製造方法において、積層体形成工程が、正極材料、固体電解質材料、負極材料、および、集電体材料の各々のグリーンシートを積層して積層体を形成することを含むことが好ましい。このようにして得られたグリーンシートの積層体を焼成することにより、全固体電池の発電要素としての全固体電池積層体10、20、30を容易に作製することができる。上記のグリーンシートを成形する方法は特に限定されないが、ダイコーター、コンマコーター、スクリーン印刷などを使用することができる。グリーンシートを積層する方法は特に限定されないが、熱間等方圧プレスHIP、冷間等方圧プレスCIP、静水圧プレスWIPなどを使用してグリーンシートを積層することができる。なお、本発明の製造方法が適用される全固体電池積層体10、20、30の正極層11または負極層12に含まれる電極活物質の種類は限定されないが、正極活物質としては、Li3V2PO43などのナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物、LiFePO4、LiMnPO4などのオリビン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物、LiCoO2、LiCo13Ni13Mn13O2などの層状化合物、LiMn2O4、LiNi05Mn15O4などのスピネル型構造を有するリチウム含有化合物を用いることができる。負極活物質としては、MOxMはTi、Si、Sn、Cr、FeおよびMoからなる群より選ばれた少なくとも1種以上の元素であり、xは0.9≦x≦2.0の範囲内の数値であるで表わされる組成を有する化合物を用いることができる。たとえば、TiO2とSiO2、などの異なる元素Mを含むMOxで表わされる組成を有する2つ以上の活物質を混合した混合物を用いてもよい。また、負極活物質としては、黒鉛リチウム化合物、Li‐Alなどのリチウム合金、Li3V2PO43、Li3Fe2PO43、Li4Ti5O12などの酸化物、などを用いることができる。また、本発明の製造方法が適用される全固体電池積層体10、20、30の正極層11、負極層12、または、固体電解質層13に含まれる固体電解質の種類は限定されないが、固体電解質としては、ナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物を用いることができる。ナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物は、化学式LixMyPO43化学式中、xは1≦x≦2、yは1≦y≦2の範囲内の数値であり、MはTi、Ge、Al、GaおよびZrからなる群より選ばれた1種以上の元素であるで表わされる。この場合、上記化学式においてPの一部をB、Siなどで置換してもよい。たとえば、Li15Al05Ge15PO43とLi12Al02Ti18PO43などの、ナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物の2つ以上の異なる組成を有する化合物を混合した混合物を用いてもよい。また、上記の固体電解質に用いられるナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物としては、ナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物の結晶相を含む化合物、または、熱処理によりナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物の結晶相を析出するガラスを用いてもよい。なお、上記の固体電解質に用いられる材料としては、ナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物以外に、イオン伝導性を有し、電子伝導性が無視できるほど小さい材料を用いることが可能である。このような材料として、たとえば、ハロゲン化リチウム、窒化リチウム、リチウム酸素酸塩、および、これらの誘導体を挙げることができる。また、リン酸リチウムLi3PO4などのLi‐P‐O系化合物、リン酸リチウムに窒素を混ぜたLIPONLiPO4xNx、Li4SiO4などのLi‐Si‐O系化合物、Li‐P‐Si‐O系化合物、Li‐V‐Si‐O系化合物、La051Li035TiO294、La055Li035TiO3、Li3xLa23xTiO3などのぺロブスカイト型構造を有する化合物、Li、La、Zrを有するガーネット型構造を有する化合物、などを挙げることができる。本発明の製造方法が適用される全固体電池積層体10、20、30の正極材料、固体電解質材料、または、負極材料の少なくとも一つの材料が、ナシコン型構造のリチウム含有リン酸化合物からなる固体電解質を含むことが好ましい。この場合、全固体電池の電池動作に必須となる高いイオン伝導性を得ることができる。また、ナシコン型構造のリチウム含有リン酸化合物の組成を有するガラス、または、ガラスセラミックスを固体電解質として用いると、焼成工程においてガラス相の粘性流動により、より緻密な焼結体を容易に得ることができるため、ガラス、または、ガラスセラミックスの形態で固体電解質の出発原料を準備することが特に好ましい。また、本発明の製造方法が適用される全固体電池積層体10、20、30の正極材料または負極材料の少なくとも一つの材料が、リチウム含有リン酸化合物からなる電極活物質を含むことが好ましい。この場合、焼成工程において電極活物質が相変化すること、または、電極活物質が固体電解質と反応することをリン酸骨格の高い温度安定性により容易に抑制することができるため、全固体電池の容量を高くすることができる。また、リチウム含有リン酸化合物からなる電極活物質と、ナシコン型構造のリチウム含有リン酸化合物からなる固体電解質とを組み合わせて用いると、焼成工程において電極活物質と固体電解質との反応を抑制することができるとともに、両者の良好な接触を得ることができるため、上記のように電極活物質と固体電解質の材料を組み合わせて用いることが特に好ましい。さらに、本発明の製造方法が適用される全固体電池積層体10、20、30の集電体層14は電子伝導性材料を含む。電子伝導性材料は、電子伝導性酸化物、金属、および、炭素材料からなる群より選ばれた少なくとも一種を含むことが好ましい。次に、本発明の実施例を具体的に説明する。なお、以下に示す実施例は一例であり、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。以下、本発明の製造方法に従って作製された全固体電池の一つの実施例について説明する。電極活物質としてナシコン型構造を有するリチウム含有リン酸化合物として、Li3V2PO43以下、LVPという、固体電解質としてナシコン型構造のリチウム含有リン酸化合物の組成を有するガラス粉末Li15Al05Ge15PO43、電子伝導性材料として炭素粉末を用いた。また、集電体層の材料として炭素材料を用いた。<電極グリーンシート、固体電解質グリーンシートの作製>電極活物質材料としてのLVPの結晶粉末と、バインダとしてのポリビニルアルコールとを混合して、電極活物質スラリーを作製した。調合比は、質量比率で、LVP:ポリビニルアルコール=80:20とした。固体電解質材料としてのLAGPのガラス粉末と、バインダとしてのポリビニルアルコールとを混合して、固体電解質スラリーを作製した。混合比は、質量比率で、LAGP:ポリビニルアルコール=80:20とした。電子伝導性材料としての炭素粉末と、バインダとしてのポリビニルアルコールとを混合して、電子伝導性材料スラリーを作製した。混合比は、質量比率で、炭素粉末:ポリビニルアルコール=80:20とした。上記で作製された電極活物質スラリーと固体電解質スラリーと電子伝導性材料スラリーとを、LVPとLAGPと炭素粉末の混合比が、質量比率で、LVP:LAGP:炭素粉末=45:45:10になるように混合して、電極スラリーを作製した。以上のようにして作製された電極スラリーと固体電解質スラリーを、ドクターブレードを用いて、50μmの厚みに成形することにより、電極グリーンシートと固体電解質グリーンシートを作製した。<集電体グリーンシートの作製>電子伝導性材料としての炭素粉末と、バインダとしてのポリビニルアルコールとを混合して、集電体スラリーを作製した。混合比は、質量比率で、炭素粉末:ポリビニルアルコール=70:30とした。上記で作製された集電体スラリーを、ドクターブレードを用いて、50μmの厚みに成形することにより、集電体グリーンシートを作製した。<全固体電池の作製>直径が12mmの円板形状に打ち抜いた固体電解質層13用グリーンシートの一方面に、直径が12mmの円板形状に打ち抜いた正極層11用グリーンシートと集電体層14用グリーンシートを、図4に示すような積層体の構成で積層し、80°Cの温度で1トンの圧力で熱圧着し、全固体電池の一部を構成する積層体101を形成するためのグリーンシート積層体を6個作製した。上記で作製された6個のグリーンシート積層体のそれぞれを、2枚のアルミナ製のセラミックス板を用いて挟み込み、窒素ガス雰囲気中にて400°Cの温度で焼成した第1の焼成工程。その後、6個のグリーンシート積層体を、450°Cの温度で、それぞれ、酸素を50体積、20体積、5体積、1体積、0.5体積、0.1体積含む窒素ガス雰囲気中にて焼成した第2の焼成工程。第2の焼成工程後、各積層体を窒素ガス雰囲気中にて600°Cの温度で焼成する第3の焼成工程ことにより、図4に示すように、集電体層14と正極層11と固体電解質層13とを焼成によって接合することにより、全固体電池の一部を構成する積層体101を作製した。なお、第2の焼成工程において窒素ガス雰囲気中の酸素含有量が0.1体積の窒素ガス雰囲気中で焼成された積層体は、焼結が阻害されたために全固体電池用として用いることができなかった。得られた6個のグリーンシート積層体のうち、第2の焼成工程において窒素ガス雰囲気中の酸素含有量が0.5体積~50体積の窒素ガス雰囲気中で焼成された5個の積層体を100°Cの温度で乾燥し、水分を除去した。その後、図5に示すように、負極層12対極としての金属リチウム上にポリメタクリル酸メチルPMMAゲル電解質131を塗布し、固体電解質層13の面がPMMAゲル電解質131と接触するように負極層12を積層して、全固体電池積層体100を作製した。全固体電池積層体100を2032型のコインセルで封止して全固体電池を作製した。<全固体電池の評価>上記で作製された全固体電池を、3~4.5Vの電圧範囲、20μA/cm2の電流密度で、定電流定電圧充放電測定を行った。その測定によって得られた結果として、全固体電池の放電容量と第2の焼成工程が行われた雰囲気中の酸素含有量との関係を図6に示す。図6から、第2の焼成工程が行われた雰囲気中の酸素含有量が20体積で放電容量が84mAh/gを示し、さらに、第2の焼成工程が行われた雰囲気中の酸素含有量が0.5体積~5体積の範囲内で放電容量が90mAh/g以上と高い放電容量を示した。なお、第2の焼成工程が行われた雰囲気中の酸素含有量が50体積の場合では、放電容量が低くなることを確認した。今回開示された実施の形態と実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は以上の実施の形態と実施例ではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものであることが意図される。