"1次光源6から物体視野3に照明光8を誘導するためのマイクロリソグラフィのための照明光学系7であって、アクチュエータによって互いに独立して傾斜させることができ、かつ関連付けられた傾斜アクチュエータ12に接続した複数の個々のミラー11を有するミラーアレイ10と、前記アクチュエータ12を起動するためのコントローラ14と、2次光源の空間分布配列を生成するための複数のラスター要素28,30を有するラスターモジュール19と、を備え、前記ラスターモジュール19は、照明光部分光束15が該ラスター要素28,30のうちの1つを射出する際の射出角ARx,ARyが、該照明光部分光束15が該物体視野3上に入射する物体視野3内の場所の領域に厳密に割り当てられる照明光学系7の平面20の領域に配置され、前記コントローラ14は、各個々のミラー11に対する傾斜角の指定が、前記物体視野3にわたって配分された物体視野点が入射を受ける照明角度強度分布I1x,I2x,I3x,I4xの所定の視野依存の望ましい推移に割り当てられるような方法で構成される、ことを特徴とする照明光学系。前記ラスターモジュール19は、照明光学系7の瞳平面31に隣接する平面20、又は該瞳平面31と共役であり、かつそこから離間した平面20に配置されることを特徴とする請求項1に記載の照明光学系。前記ラスターモジュール19は、前記照明光8のビーム経路に互いに前後に配置されて各々が複数のラスター要素28,30を有する2つのラスター配列18,21を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明光学系。第2のラスター配列21の前記ラスター要素30のうちの1つの上に入射する前記照明光部分光束15の直径29が、該第2のラスター配列21の該ラスター要素30の全体の進入面又は入射面33の半域35よりも小さいような該2つのラスター配列18,21の配列及び構成を特徴とする請求項3に記載の照明光学系。前記2つのラスター配列18,21は、前記照明光部分光束15の少なくとも特定の射出角ARxr1,ARxr2に対して、前記第2のラスター配列21の前記ラスター要素30上の入射場所AOに基づいて、少なくとも、各場合に該第2のラスター配列21の該ラスター要素30上の該照明光部分光束15のそれぞれの入射場所AOに割り当てられた入射角ERxに対して該ラスター要素30からの該照明光部分光束15の同じ射出角ARxr1,ARxr2がもたらされるように構成されることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の照明光学系。前記2つのラスター配列18,21は、前記照明光部分光束15の少なくとも特定の射出角ARxmに対して、前記第2のラスター配列21の前記ラスター要素30上の前記照明光部分光束15の前記入射角ERxの小さい変化が、該ラスター要素30からの該照明光部分光束15の前記射出角ARxの大きい変化をもたらすように構成されることを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の照明光学系。前記ラスター要素30上の前記照明光部分光束15の前記入射角ERxの前記変化の該ラスター要素30からの該照明光部分光束15の前記射出角ARxの前記変化への依存性が、前記入射場所AOによって変化することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の照明光学系。前記ラスターモジュール19及び前記コントローラ40は、前記個々のミラー11の実際の傾斜角の事前判断される分布及びその結果としての前記ラスター要素28,30上の前記照明光部分光束15の実際の入射角ERx,ERyの事前判断される分布が、前記物体視野3にわたって配分された物体視野点が入射を受ける照明光角度強度分布I1x,y、I2x,y、I3x,y、I4x,yの事前判断される望ましい推移に割り当てられ、この割り当てが、該物体視野3の互いに垂直な2つの座標軸x,yに沿って存在するように構成されることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の照明光学系。請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学系7を調節する方法であって、物体視野3にわたって配分された物体視野点が入射を受ける照明角度強度分布I1x,I2x,I3x,I4xの視野依存の望ましい推移を事前判断する段階と、前記照明角度強度分布の前記所定の視野依存の望ましい推移に割り当てられたラスター要素28,30上の照明光部分光束15の望ましい入射角ERx,ERyの分布を判断する段階と、前記望ましい入射角ERx,ERyの前記判断された分布に従って望ましい傾斜角の分布を個々のミラー11に割り当てる段階と、前記個々のミラー11の実際の傾斜角が前記望ましい傾斜角と一致するように傾斜アクチュエータ12を起動する段階と、を含むことを特徴とする方法。請求項3から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学系7のための第2のラスター要素30を有する第2のラスター配列21を有するラスターモジュール19を生成する方法であって、第2のラスター配列21のラスター要素30上の照明光部分光束15の入射場所AOと、該第2のラスター配列21の該ラスター要素30上の該照明光部分光束15の入射角ERとに依存する該ラスター要素30からの該照明光部分光束15の得られる一定の射出角ARの推移の望ましい依存性ARER,AOを指定する段階と、ラスターモジュール19の所定の照明において前記所定の望ましい依存性に対応する実際の依存性がもたらされるように、前記第2のラスター配列21の前記ラスター要素30の進入面33及び/又は射出面34を構造化する段階と、を含むことを特徴とする方法。請求項3から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学系7のための第2のラスター要素30を有する第2のラスター配列21を有するラスターモジュール19を生成する方法であって、第2のラスター配列21のラスター要素30の進入面33及び/又は射出面34の一般的な面設計によって達成することができる該第2のラスター配列21の該ラスター要素30上の照明光部分光束15の入射場所AOと、該第2のラスター配列21の該ラスター要素30上の該照明光部分光束15の入射角ERとに依存する該第2のラスター配列21の該ラスター要素30からの該照明光部分光束15の得られる一定の射出角ARの推移の望ましい依存性ARER,AOの部類を判断する段階と、前記判断された部類のうちの1つの中に含まれる前記第2のラスター配列21の前記ラスター要素30上の前記照明光部分光束15の前記入射場所AOと、該第2のラスター配列21の該ラスター要素30上の該照明光部分光束15の前記入射角ERとに依存する該第2のラスター配列21の該ラスター要素30からの該照明光部分光束15の得られる一定の射出角ARの推移の望ましい依存性ARER,AOを指定する段階と、ラスターモジュール19の所定の照明において前記所定の望ましい依存性に対応する実際の依存性がもたらされるように、前記第2のラスター配列21の前記ラスター要素30の進入面33及び/又は射出面34を構造化する段階と、を含むことを特徴とする方法。請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学系7と、物体視野3を像平面27内の像視野に結像するための投影光学系26と、を備えることを特徴とする光学系。請求項12に記載の光学系と、1次光源6と、を備えることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光系1。微細構造化又はナノ構造化構成要素をマイクロリソグラフィ生成する方法であって、感光材料の層が少なくとも部分的に付加された基板を準備する段階と、結像される構造を有するレチクルを準備する段階と、請求項13に記載の投影露光系1を準備する段階と、前記投影露光系1を用いて前記レチクルの少なくとも一部を前記層の一領域上に投影する段階と、を含むことを特徴とする方法。請求項14に記載の方法によって生成された構成要素。本発明の目的は、全体の照明強度及び/又は異なる照明方向からの強度量に関して物体視野にわたる照明強度にターゲット方式又は望ましい方式で影響を及ぼすことができるような冒頭に示した種類の照明光学系を開発することである。本発明により、この目的は、請求項1に開示する特徴を有する照明系によって達成される。本発明は、実際には、ラスターモジュールを射出する照明光部分光束の射出角のラスターモジュールに進入する照明光部分光束の入射角への依存性が一般的に存在するという知識を利用する。ラスターモジュールは、ラスター要素上のそれぞれの実際の入射角に基づいて、このラスター要素に対応する照明角度からの照明の異なる強度推移を物体視野にわたって生成する。これまでこの依存性は、不安定化効果としてしか評価されなかった。ここでは、この依存性をターゲット方式に用いて、物体視野にわたる照明角度強度分布の望ましい推移の設計における付加的な自由度、言い換えれば、生成される照明角度に対する照明光学系の視野依存光学効果を与える。この事前判断される望ましい推移は、一般的に、物体視野の位置にわたって変化する。照明系の瞳平面内の目標とする望ましい強度推移と、視野にわたる照明角度強度分布の事前判断される望ましい推移とに依存するコントローラによる各個々のミラーにおける実際の傾斜角の指定又は事前判断される割り当ては、ラスター要素上の照明光部分光束の実際の入射角の事前判断される分布と、ラスター要素上の照明光部分光束の実際の入射位置又は入射場所の事前判断される分布との両方が同時に生成されることをもたらす。コントローラは、第1の照明設定、言い換えれば、第1の照明角度特性が、例えば、照明される物体の変位方向に対して垂直な、言い換えれば、例えば、照明光学系を使用することができる投影露光系の走査方向に対して垂直な物体視野の縁部のうちの1つにおいてもたらされ、物体視野の反対の縁部において、第1の照明設定とは異なる第2の照明設定がもたらされるように構成することができる。この場合、物体視野に配置された結像される物体、特に、高い精度で結像される構造を有する異なる設計のレチクルをこれらの視野縁部の間の照明角度によって結像することができ、それぞれの構造設計に適応させることができる。ミラーアレイを用いたラスターモジュールの入射により、特定の局所強度分布を有する照明設定を得ることができる。この場合、ラスターモジュールのラスター要素への個別の照明光部分光束の割り当ての変化を個々のミラーの対応する傾斜を用いて保証することができるので、ラスターモジュール上の照明光部分光束の異なる進入角分布により、言い換えれば、個々のミラーの実際の傾斜角の異なる所定分布により、又は個々のミラーへの実際の傾斜角の異なる割り当てにより、ラスターモジュールの入射の1つの同じ強度分布を生成することができる。本発明による照明光学系は、ラスターモジュールのラスター配列の光誘導ラスター要素の球面の収差を利用することができる。従って、個々のミラーの実際の傾斜角分布の対応する選択によってそれぞれ選択される、ラスターモジュール上の照明光部分光束の進入角分布により、物体視野にわたる照明角度特性の望ましい変化を生成することができる。WO2007/093433A1に説明されている照明光学系と比較すると、生成される照明角度に対して、本発明による照明光学系の光学効果のより強い視野依存性を与えることができる。照明角度強度分布の事前判断される望ましい推移にコントローラによって割り当てられる個々のミラーの実際の傾斜角の所定分布又は望ましい分布は、個々のミラーに対する傾斜角の分布である。従って、この望ましい分布の結果は、これらの個々のミラーのうちのどれが、どの傾斜角を使用するべきかに関する全ての個々のミラーに関する情報である。この場合、個々のミラーの群は、同じ傾斜角を有することができる。照明の対応する対称性により、この種の群は、互いから分離して配置されたミラーアレイのサブユニット上に収容することができる。請求項2に記載のラスターモジュールの配列は、ラスターモジュールから発する照明光部分光束の射出角のラスターモジュールに向う照明光部分光束のそれぞれの入射角への依存性を高める。請求項3に記載のラスターモジュールの第1のラスター配列は、物体視野内で互いに重ねて結像されるラスター要素を有することができる。第2のラスター配列は、物体視野上の場所の分布に直接相関付けられる照明光部分光束の射出角分布を生成することができる。請求項4に記載の第2のラスター配列のラスター要素の全体の進入面又は入射面に対する照明光部分光束の直径のサイズ比は、ラスター要素上の様々な場所に入射する照明光部分光束の異なる光束影響付与段階中に相応に大きい自由度をもたらす。この種のサイズ比は、生成される照明角度に対する照明光学系の強い視野依存光学効果の可能性をもたらす。請求項5に記載の構成は、特に、物体視野の視野縁部を定義する射出角を一定に保つように設計することができる。請求項6及び請求項7に記載の構成は、特定の照明角度からの照明強度の視野依存性の指定を可能にする。請求項8に記載の構成では、照明角度強度分布の事前判断される望ましい推移が、物体視野の2つの座標軸に拡張される。これは、特に、全物体視野が同時に、言い換えれば、走査法によらずに結像される場合に使用することができる。請求項9に記載の調節方法の利点は、本発明による照明光学系に関連して上述したものに対応する。請求項10及び請求項11に記載の製造方法は、一方で入射角及び入射場所と、他方で射出角との間で可能な依存性のそれぞれの境界条件に適合された利用を可能にする。請求項12に記載の光学系、請求項13に記載の投影露光系、請求項14に記載の製造方法、及び請求項15に記載の構成要素の利点は、本発明による照明光学系及び本発明による方法を参照して上述したものに対応する。本発明の実施形態を図面を用いて以下により詳細に説明する。図1は、ウェーハスキャナとして設計され、半導体組立部品及び他の微細構造化構成要素の製造に使用されるマイクロリソグラフィ投影露光系1を略示している。投影露光系1は、特に、深紫外範囲DUV又はVUVからの光を用いて数分の1マイクロメートルまでの分解能を得るように作動する。位置関係の呈示を容易するために、図面内に直交xyz座標系を再現している。x方向は、図1の上方に延びている。y方向は、図1の作図面と垂直に、そこから飛び出すように延びている。z方向は図1の右に延びている。投影露光系1の走査方向は、y方向に、言い換えれば、図1の作図面と垂直に延びている。図1に示す子午断面図では、投影露光系1の複数の光学要素が、z方向に延びる光軸2に沿って一列に配置される。図1に示すもの以外に、特に、投影露光系1を小型にするために、光軸2の折り返しが可能であることは明らかである。投影露光系1の全体を5で表す照明系は、詳細には示していないレチクルの形態にある転写される構造が配置された物体平面又はレチクル平面4の物体視野又は照明視野3の定義された照明に使用される。照明系5は、1次光源6と、照明光又は結像光8を物体視野3に誘導するための光学構成要素を備えた結像光学系7とを含む。1次光源6は、193nmの作動波長を有するArFレーザであり、その照明光ビームは、光軸2に対して同軸に向けられる。他のUV光源、例えば、157nmの作動波長を有するF2エキシマレーザ、248nmの作動波長を有するKrFエキシマレーザ、及びより大きいか又は小さい作動波長を有する1次光源も可能である。光源6から到着する小さい矩形断面を有する照明光8のビームは、最初にビーム拡幅光学系9上に入射し、ビーム拡幅光学系9は、実質的に平行な光及びより大きい矩形断面を有する照明光8の射出ビームを生成する。ビーム拡幅光学系9は、照明光8の望ましくない干渉効果を低減する要素を含むことができる。照明光8は、ビーム拡幅光学系7によって実質的に平行にされ、次に、マイクロミラーアレイ多ミラーアレイMMA10上に入射して照明光角度分布を生成する。マイクロミラーアレイ10は、xyラスターで配置された多数の矩形個々のミラー11を有する。個々のミラー11の各々は、関連付けられた傾斜アクチュエータ12に接続される。傾斜アクチュエータ12の各々は、アクチュエータ12を起動するコントローラ14に制御線13によって接続される。アクチュエータ12は、コントローラ14によって互いに独立して作動させることができる。アクチュエータ12の各々は、関連付けられた個々のミラー11によって反射される照明光部分光束15の反射角ASxをxz平面内で事前判断することができ、それに応じて図面には示していない反射角ASyをyz平面内で事前判断することができるように、個々のミラー11の事前判断されるx傾斜角xz平面内での傾斜を調節することができ、それとは独立してy傾斜角yz平面内での傾斜を調節することができる。MMA10によって生成される照明光部分光束15の反射角ASの角度分布は、焦点距離の間隔だけMMA10から離れて位置決めされたフーリエレンズ配列又はコンデンサー16を通過する時に、光軸2に対して垂直な2次元の場所依存照明光強度、従って、分布に変換される。従って、このようにして生成された強度分布は、照明系5の第1の照明平面17内に現れる。従って、フーリエレンズ配列16と併せて、MMA10は、2次元照明光強度分布を生成する光分布デバイスである。第1の照明平面17の領域内には、ハニカムコンデンサーとも呼ぶラスターモジュール19の第1のラスター配列18が配置される。ラスターモジュール19上の照明光8のxz平面内の入射角ERx図1の及びyz平面内の入射角ERy図面には示していないは、MMA10からの照明光部分光束15の反射角ASx図1の、ASy図面には示していない、及び/又はそれぞれの照明光部分光束15がMMA10、言い換えれば、それぞれの個々のミラー11から射出する場所に相関付けられる。この相関性は、フーリエレンズ配列16によって事前判断される。フーリエレンズ配列16を使用する場合、言い換えれば、コンデンサーを用いない場合には、ラスター配列18上では反射角はASx及びASyであり、フーリエレンズ配列16は、近似的に角度の場所の座標への変換をもたらすので、第1のラスター配列18上の照明光部分光束15の入射場所は、MMA10からの照明光部分光束15の反射角ASx、ASyに直接相関付けられる。フーリエレンズ配列16を使用する場合とコンデンサー16を使用する場合の両方において、フーリエレンズ配列16の使用とコンデンサー16の使用の両方が、場所の座標の角度への変換をもたらすので、ラスターモジュール19上の照明光部分光束15の入射角ERx、ERyは、MMA10上の照明光部分光束15の位置、言い換えれば、それぞれの照明光部分光束15が射出する個々のミラー11と直接相関付けられる。ラスターモジュール19は、2次光源の空間分布配列、言い換えれば、1次光源6の像の空間分布配列を生成すること、従って、ラスターモジュール19を射出する照明光の定義された照明角度分布の生成に使用される。第2のラスター配列21が、更に別の照明平面20に配置される。照明平面17は、第2のラスター配列21の個別要素の前側焦点面内又はその近くに存在する。2つのラスター配列18、21は、照明光学系7のハニカムコンデンサーである。更に別の照明平面20は、照明系5の瞳平面であり、又は照明系5の瞳平面に隣接する。従って、ラスターモジュール19を視野定義要素FDEとも呼ぶ。照明光部分光束15が第2のラスター配列21を射出する際のxz平面内の射出角ARx図1を参照されたい及びxz平面内の射出角ARy図面には示していないは、物体視野3内でそれぞれの照明光部分光束15が物体視野3上に入射する場所の領域に厳密に割り当てられる。ラスターモジュール19の下流には、視野レンズとも呼ぶ更に別のコンデンサー22が配置される。第2のラスター配列21と共に、コンデンサー22は、第1の照明平面17を照明系5の視野中間平面23に結像する。視野中間平面23内には、照明光強度分布の鮮明な縁部を生成するために調節可能な遮蔽マスクとして使用されるレチクルマスキング系REMA24を配置することができる。後続レンズ系25は、視野中間平面23をレチクル、言い換えれば、レチクル平面4内に位置したリソグラフィ原版上に結像する。投影レンズ系26を用いて、レチクル平面4は、走査方向yに断続的又は連続的に変位した図1には示していないウェーハ又は上ウェーハ上の像平面27上に結像される。第1のラスター配列18は、xy平面に列毎及び行毎に配置された個別の第1のラスター要素28を有する。第1のラスター要素28は、例えば、1/1のx/yアスペクト比を有する矩形の開口部を有する。第1のラスター要素28の他の、特に、より大きい、例えば、2/1のx/yアスペクト比が可能である。図1に記載の子午断面図は、ラスター列に沿って延びている。第1のラスター要素28は、例えば、正の屈折力を有するマイクロレンズとして構成される。第1のラスター要素28は、その矩形形状に対応する、言い換えれば、区域を実質的に埋めるラスターで互いに直接に隣接して配置される。第1のラスター要素28を視野ハニカムとも呼ぶ。基本的にラスター構造及びラスターモジュール19の機能は、WO2007/093433A1に説明されているものに対応する。図2は、MMA10からラスターモジュール19の第2のラスター配列21までの2つの照明光部分光束151及び152の進路を示している。それぞれの照明光部分光束15の中心反射角、入射角、又は射出角を余す位置なく示している。図2には、MMA10からの2つの照明光部分光束15の反射角ASx、第2のラスター配列21上の2つの照明光部分光束15の一方の入射角ERx他方の照明光部分光束の対応する中心入射角はゼロである、及びラスターモジュール19からの照明光部分光束15の射出角ARxを例示的に示している。図2にはフーリエレンズ配列16の屈折効果を簡略化した方式に示している。実際には、この種の屈折効果は、MMA10からの照明光部分光束15の反射角ASxが、第1のラスター配列18上の照明光部分光束15のそれぞれの入射角ERxと一致しないように存在する。フーリエレンズ配列16の屈折効果を用いて、MMA10からのそれぞれの照明光部分光束15の反射角ASx及びそれぞれの照明光部分光束15がMMA10から射出される場所の第1のラスター配列18上の同じ照明光部分光束15の入射角ERxへの相関性が与えられる。上述した図を参照して上記に解説したものに対応する構成要素は同じ参照番号を有し、これらに対しては再度詳細には説明しない。図2の上部に示す照明光部分光束151は、MMA10の図2の上部に示す個々のミラー111から反射角ASx1で、フーリエレンズ配列又はコンデンサー16を通じて、ラスターモジュール19の第1のラスター配列18の上から第2に示す第1のラスター要素28にもたらされる。照明光部分光束151は、フーリエレンズ配列16の屈折効果を無視した場合、図2の図にある反射角ASx1と同一入射角で第1のラスター配列18上に入射する。第1のラスター配列28を通過した後に、照明光部分光束151は、第2のラスター配列21の第2のラスター要素30の第1の場所の領域29上に入射する。この第1の場所の領域29は、第2のラスター要素30上に入射する照明光部分光束151の直径に対応し、第2のラスター要素30上の照明光に対する第1の入射場所を事前判断する。一方で第1のラスター配列18の照明光部分光束151の光路と、他方で第1のラスター配列18の照明光部分光束151の光路とを通じて互いに割り当てられる2つのラスター要素28、30は、照明光チャンネルを事前判断する。現実のラスターモジュール19の場合には、図面内に示すものよりも実質的に多くのチャンネル、例えば、数百個、数千個、又は更に数万個のこの種のチャンネルが存在する。各場合にチャンネルに割り当てられる第2のラスター配列21の第2のラスター要素30は、第1のラスター配列18の第1のラスター要素28の背後の光路に配置される。第2のラスター要素30は、特に、正の屈折力を有するマイクロレンズとしても構成される。第2のラスター要素30を瞳ハニカムとも呼び、このラスター要素は、第2の照明平面20、言い換えれば、照明光学系7の瞳平面に配置される。第2の照明平面20は、投影レンズ系26の瞳平面31と共役である。第2のラスター要素30は、視野レンズ22と共に、第2の照明平面17、言い換えれば、視野ハニカムに配置された第1のラスター要素28を視野中間平面23に結像する。従って、第1のラスター要素28の像は、視野中間平面23内で重ね合わされる。図1は、ラスター要素28、30を平凸レンズとして略示している。図面の更に別の図では、ラスター要素28、30を双凸レンズとしても略示している。図2に示す第2の照明光部分光束152は、下から第2のものとして示すMMA10の個々のミラー112から図2に示す第1の照明光部分光束151と同じ第1のラスター要素28にもたらされる。個々のミラー112からの照明光部分光束152の反射角ASx2は、フーリエレンズ配列16の屈折効果を無視した場合、図2に記載の図の照明光部分光束151の反射角ASx1と反対の符号を有する。フーリエレンズ配列16の屈折効果を考慮すると、照明光部分光束152及び照明光部分光束151が、第1のラスター配列18の同じラスター要素28上に入射する場合には、個々のミラー112からの照明光部分光束152の反射角ASx2は、照明光部分光束151の反射角ASx1にほぼ等しいとすることができる。照明光部分光束151、152は、MMA10の異なる場所から、言い換えれば、異なる個々のミラー11から射出し、従って、フーリエレンズ配列16上の異なる場所に入射するので、この場合、上述のことにも関わらず、第1のラスター配列18上の照明光部分光束151、152の2つの入射角の間に差がもたらされる。上述のように、図2には、様々な照明光部分光束151、152の同じ入射角が、フーリエレンズ配列16に異なる射出角で伝達されるこの関連を示していない。第1のラスター要素28を通過した後に、第2の照明光部分光束152は、第1の照明光部分光束151と同じ第2のラスター要素30の第2の場所の領域29’上に入射する。第2の場所の領域29’は、この第2のラスター要素30上の第2の照明光部分光束152の入射場所を指定する。図示の実施形態では、2つの照明光部分光束151、152が第2のラスター要素30上に入射する2つの場所の領域29と29’とは、互いから空間的に分離される。2つの照明光部分光束151、152が第2のラスター要素30上に入射する場所の領域29と29’とが互いに部分的に重なる別の実施形態が可能である。図2は、第2のラスター配列21及び第2のラスター要素30の2つの別々に可能な効果を示しており、図2の実線に示す第1の光束誘導では、第2のラスター要素30から射出する2つの照明光部分光束151、152において、同じ射出角ARx1、ARx2がもたらされる。この場合、射出角ARxは、第2のラスター要素30上のそれぞれの照明光部分光束の入射場所29又は29’には依存しない。第2のラスター配列21の図2の一点鎖線に示す別の光学効果では、照明光部分光束152における射出角ARx2は、照明光部分光束151における射出角ARx1よりも小さい。この場合、すなわち、反射角ARxは、第2のラスター要素30上の入射場所29に依存する。それに応じて、射出角ARxは、第2のラスター配列21の第2のラスター要素30上のそれぞれの照明光部分光束15の入射角ERxにも依存する可能性がある。図2には、この入射角ERxを照明光部分光束112において例として示している。第1のラスター配列18の第1のラスター要素28上のそれぞれの照明光部分光束15の入射角ERxと射出角ARxの間に対応する依存性が存在する。多くの場合に、第2のラスター要素30は、射出角ARxが、第2のラスター要素30上の入射角ERxと入射場所29との組合せに依存するように構成される。下記では、入射場所又は場所の領域29又は図2の29’をAOとも呼ぶ。ラスターモジュール19の第2のラスター配列21の第2のラスター要素30の進入面33及び/又は射出面34の面設計は、特定の射出角ARxにおいて、この射出角が、第2のラスター要素30上の照明光部分光束15の入射場所と、第2のラスター要素30上の照明光部分光束15の入射角ERxとの特定の組合せにおいて等しく、それに対して他の射出角では、ARxが、今度は入射場所及び/又は入射角ERxに依存するように設計することができる。以下に説明するが、この設計は、一方で物体視野3の視野縁部を鮮明に定義するのに使用することができ、他方で物体視野3上の特定の照明方向の強度分布を事前判断するのに使用することができる。ラスター要素30の進入面33及び/又は射出面34は、設計上球面、非球面、特に、円錐面とすることができる。コントローラ14は、MMA10の個々のミラー11の実際の傾斜角の所定分布、及びその結果としての第1のラスター要素28上の照明光部分光束15の実際の入射角ERx、ERyの所定分布が、物体視野3にわたる物体視野点が入射を受ける照明角度強度分布の事前判断される望ましい推移に割り当てられるように構成される。これを図3及び図4を用いて以下により詳細に説明する。これらの図には、x軸に対してゼロとは異なる角度で互いに隣合わせに配置された個々のミラー11を有するMMA10を示している。他の点では、図3及び図4に記載のMMA10は、図1に記載のMMA10に対応する。上述した図を参照して上記に解説したものに対応する構成要素は同じ参照番号を有し、これらに対しては再度詳細には説明しない。概略的な図3及び図4では、MMA10とラスターモジュール19の間のフーリエレンズ配列又はコンデンサー16を省略している。概略的な図3及び図4のいずれにも、図2に関連して上述したものに従ってこのフーリエレンズ配列16のいずれの屈折効果も示していない。図2に関連して上述したことは、この屈折効果に適用される。従って、現実には、MMA10からの照明光部分光束15の反射角が、ラスターモジュール19上の照明光部分光束15の入射角と一致することはない。第2の照明平面20内の図3及び図4に示すラスターモジュール19における別々の照明は、四重極強度分布を生成する。言い換えれば、この場合、瞳平面31内に4つの瞳スポット又は強度スポットI1からI4が照明され、これらのスポットを図5に示し、最上部に示す強度スポットI1で始まって反時計方向に順次付番している。図3は、ラスターモジュール19の第1のラスター配列18の第1のラスター要素28上の照明光部分光束15の実際の入射角ERxの対応する分布をもたらす個々のミラーの実際の傾斜角の第1の分布を示している。図3に記載の実際の傾斜角分布は、ラスターモジュール19の第1のラスター要素28上の照明光部分光束15の最小入射角ERx、ERyをもたらし、その結果、物体視野3内の全ての場所で、言い換えれば、視野に関係なく、強度スポットI1からI4に対応する4つの照明方向が、照明光の同じ強度で表されるということをもたらす。図4は、図5に記載の4つの強度スポット極I1からI4を有するが、ラスターモジュール19の第1のラスター要素28上に照明光部分光束15の実際の入射角ERx、ERyの異なる分布を有する四重極照明設定を同じくもたらすMMA10の個々のミラー11の実際の傾斜角の分布の変形を示している。図4に記載の実際の傾斜角分布は、図3と比較して、実質的に大きい入射角ERx、ERyがもたらされるようなものである。図3及び図4に記載の照明において照明光部分光束15による入射を受けるラスター要素28、30は、図4に記載の実際の入射角分布における入射角の増大が、物体視野3にわたる4つの強度スポットI1からI4の方向からの照明角度強度Ixの傾斜をもたらすことができるように構成される。この傾斜が基とする効果は、この傾斜が、ラスターモジュールの補助的な照明角度変更デバイスを用いて、言い換えれば、MMAを用いずに生成されているWO2007/093433A1に説明されている。図5には、物体視野にわたって物体視野点が入射を受ける図4に記載の実際の入射角分布に基づいてもたらされる照明角度強度分布の実際の推移を四重極照明設定の4つの照明方向I1からI4に対して示している。図4には、図5に記載の視野依存性をもたらす照明光部分光束15の一部しか示していない。図5の上部に示すIxグラフは、視野座標xにわたるI1極の方向からの強度の依存性を示している。傾斜は、強度が、左の視野縁部x=0から右の視野縁部X=x0に線形に減少するように調節される。図5の左には、極I2の方向からの照明強度の対応する視野依存性を示している。I2強度は、左の視野縁部から右の視野縁部に進んで線形に増大する。図5の下部には、I3極におけるIx依存性を示している。I3極の方向からの強度I3xは、視野座標xに依存しない。図5の右には、I4極の方向からの照明強度でのIx依存性を示している。I4極の方向からの照明強度I4xは、依存性I2xの傾きと比較してより小さい傾きを有して左の視野縁部から右の視野縁部に進んで増大する。第1のラスター要素28及び第2のラスター要素30の屈折効果の設計に基づいて、物体視野にわたって物体視野点が入射を受ける照明角度強度分布の大きい帯域幅の他の望ましい推移を事前判断することができる。次に、投影露光系1の作動を準備するための照明光学系7の調節中に、最初に、事前判断される望ましい推移に対して、ラスターモジュール19のラスター要素28上の照明光部分光束15の入射角ERx、ERyの望ましい分布が判断される。更に、個々のミラー11の望ましい傾斜角の分布が、この判断された望ましい入射角分布に割り当てられる。従って、望ましい傾斜角が、各個々のミラー11に対して事前判断される。最後に、個々のミラー11の実際の傾斜角が、関連付けられた望ましい傾斜角と一致するように個々のミラー11の傾斜アクチュエータ12が起動される。物体視野3にわたって物体視野点が入射を受ける照明角度強度分布の望ましい推移Ixの第1のラスター要素28上の照明光部分光束15の実際の入射角ERx、ERy、又は第2のラスター要素30上のERx、ERyの分布への依存度に対して、照明光学系7の少なくとも1つの瞳平面に対するラスターモジュール19の2つのラスター配列18、21の位置関係によって影響を及ぼすことができる。例えば、第2の照明平面20が、照明光学系7の瞳平面と一致するか否か、又は第2の照明平面20と照明光学系7の瞳平面の間に定義された間隔が存在するか否かに基づいて、照明角度強度分布の望ましい推移の実際の入射角ERxへの弱い又は強い依存性をもたらすことができる。MMA10の個々のミラー11の実際の傾斜角分布の指定に基づいて、ラスターモジュール19上の照明光部分光束15の事前判断される強度分布、及び瞳平面31内に対応して事前判断される強度分布をもたらすことができる。図3から図5に関連して上述した四重極強度分布を補足する更に別の例は、瞳平面31内で図5に記載の図の強度スポットI1及びI3のものに対応することができる位置を有する2つの瞳スポット又は強度スポットが照明される二重極強度分布である。ラスターモジュール19のラスター配列18、21の光チャンネルに割り当てられた2つのラスター要素28、30による照明光部分光束15の誘導における比を図6から図8を用いて以下に詳細に説明する。図6から図8では、ラスター要素28、30を平凸レンズに示している。これらのレンズは、双凸レンズとすることができる。上述した図を参照して上記に解説したものに対応する構成要素は同じ参照番号を有し、これらに対しては再度詳細には説明しない。図6に記載の照明光部分光束15の誘導中には、照明光部分光束15は、第2のラスター要素30上に入射角ERx=0で入射する。図示のxz平面内では、ラスター要素28と30の間に集束される照明光部分光束15の進路は、z軸に対して対称である。場所の領域29、言い換えれば、照明光部分光束15の直径は、第2のラスター要素30の全進入面33の半域35よりも小さい。場所の領域29と全進入面33の間の別の区域サイズ比も可能である。図7は、第2のラスター要素30上の15°程度の入射角ERxにおける照明光部分光束15の誘導の変形を示している。図7に記載の光束誘導における照明光部分光束15の入射場所29は、z軸、言い換えれば、ラスター要素28、30の対称軸の上方に位置する半平面に完全に収まる。図8は、第2のラスター要素30上の図7に記載の関連と比較して反対の符号を有するが、同じ絶対サイズを有する入射角ERxにおける照明光部分光束15の光束誘導の更に別の変形を示している。図8に記載の光束誘導における第2のラスター要素30の進入面33上の照明光部分光束15の入射場所29は、z軸の下方に位置する半平面に完全に収まる。図7に記載の光束誘導と図8に記載の光束誘導とを比較すると、これらの図における入射場所、言い換えれば、第2のラスター要素30上に入射する照明部分光束15の直径は、互いから完全に分離される。従って、第2のラスター要素30からの照明光部分光束15の射出角ARxの図6から図8に示す入射角ERxへの依存特性に、第2のラスター要素30の進入面33の適切な設計によって影響を及ぼすことができる。図9は、ラスターモジュール19から発する射出角ARxの一方でそれぞれの第2のラスター要素30上の入射角ERxへの依存性、他方で第2のラスター要素30上のそれぞれの照明光部分光束15の入射場所AOへの依存性を略示している。図9では、第1のラスター要素28のそれぞれの縁部を通過する照明光部分光束15は、各場合に直線を形成する。第1のラスター要素28の縁部は、物体視野3の視野縁部上に結像される。従って、図9では、物体視野3の2つの対向するx視野縁部を定義する2つの射出角ARxr1、ARxr2の等値線がもたらされる。各場合に、所定のパラメータ対ERx、AOに対して一方の視野縁部射出角ARxr1がもたらされ、パラメータ対ERx、AOの別の線形推移に対して他方の視野縁部射出角ARxr2がもたらされる。パラメータ対のこの推移を視野縁部射出角ARxr1、ARxr2に関する等値線36、37とも呼ぶ。図9に記載の等値線36、37に従うパラメータ対条件が厳守される場合には、同じ射出角ARxr12が常にもたらされ、従って、物体視野3のx方向の視野縁部、言い換えれば、物体視野3のx方向の左の視野縁部及びx方向の右の視野縁部は、鮮明に定義されたまま状態を維持する。実際には、パラメータ対は、図9に示すように線形に延びる必要はなく、異なる推移を有することができる。図9に示す線形推移は、視野縁部における物体視野の均一な照明をもたらすことができる。図10は、x方向の物体視野中心を定義する第3の射出角ARxmに関する第3の等値線38を2つの視野縁部射出角に関する等値線36、37に加えて同じく示す図9に対応する図を示している。等値線38は、2つの等値線36と37との間を等距離で延び、それによって照明光8による物体視野3の均一な照明がもたらされる。図11は、x方向の物体視野中心を定義する射出角ARxmに関する等値線38の推移の変形を示している。図11の入射場所AOの左縁部では、等値線37における入射角ERxと等値線38における入射角ERxとは、互いの近くに位置する。これは、物体視野中心における射出角ARxmをもたらす入射角ERxmが、それぞれの第2のラスター要素30上の入射場所に関して、例えば、物体視野3のx方向の左の縁部における射出角ARxr2をもたらす入射角ERxの近くに予め位置していることを意味する。この場合、物体視野3のこの左半域は、第2のラスター要素30上の入射角ERxの均一な分布を仮定すると、右の物体視野半域よりも弱い強度で照明される。2つの等値線36と38とが互いに接近する図11の入射場所AOの右縁部における条件は逆である。入射場所AOのこの領域が使用される場合には、他方の物体視野半域はより弱い強度で照明される。図12は、物体視野中心を定義する射出角ARxmに関する等値線38の更に別の推移の可能性を示している。中心の入射場所AO及び入射角ERxの領域内で、等値線38は、等値線37に隣接する推移から等値線36に隣接する推移に変化する。それに応じて、左の物体視野半域の強い照明と右の物体視野半域の強い照明の間の移行は、入射場所のそれぞれ使用される領域に依存してより急激である。図12に記載の関連は、ほぼ限界の場合であり、言い換えれば、ラスター要素30の進入面33の半域上の面領域29が、物体視野又は照明視野3の半域を照明し、この半域とは反対のラスター要素30の進入面33の他方の半域上の面領域29図6及び図7を参照されたいが、物体視野又は照明視野3の他方の半域を照明する配列である。図13は、上述の限界の場合を得るための第2のラスター要素30のうちの1つの進入面33の構造化の例を示している。円錐寄与40が、図13に破線に示す進入面33の球面の基本推移39又は光軸からの間隔への依存性に関して非球面の基本推移39の上に重ね合わされ、従って、進入面33は、屋根の稜線の方式で中心において隆起する。図13には、この隆起の場所をKで例示している。隆起Kは、図14から図16を用いて以下に説明するように、隆起Kを有するラスター要素30に起因して、照明光部分光束15が、物体視野3の幅の半分だけx方向に偏向されるように無条件に選択することができる。進入面33が図13に記載の設計に従って形成された第2のラスター要素30を有する第2のラスター配列21を有するラスターモジュール19の効果を図14から図16を用いて例示する。この場合、図14から図16は、ラスター要素28、30を双凸レンズとして示している。MMA10を互いから分離された2つの部分に分割されるように示している。これらの部分の各々は、互いに対して個々に傾斜させることができる複数の個々のミラー11を有することができる。各々が複数の個々のミラー11を有するより多くの部分へのMMA10の再分割も可能である。上述した図を参照して上記に解説したものに対応する構成要素は同じ参照番号を有し、これらに対しては再度詳細には説明しない。図14は、第1の入射角ERx1を有する入射方向からのラスターモジュール19の照明をzx平面に示している。MMA10をラスターモジュール19の上に示す図14に記載の図では、この照明は、左上から傾斜して発生する。図13に記載の照明される第2のラスター要素30の進入面33の円錐設計に起因して、ラスターモジュール19によってもたらされる照明光部分光束15の物体視野3内での正のx値への変位がもたらされ、この変位を図14の下部にあるIxグラフに示している。図14に記載の照明では、右の物体視野半域のみが、照明されるラスター要素28、30に対応する瞳スポットの方向から光を捉える。図15は、同じ第2のラスター要素30であるが、今度は反対の符号を有する入射角ERxIIを有する照明、言い換えれば、図15に記載の配列内の右上から傾斜した照明を示している。このようにしてもたらされる照明光部分光束15の負のx方向への変位は、物体視野3内で図15の下部のIxグラフに示すようにもたらされる。それによって図15に記載の照明では、左の物体視野半域のみが、照明されるラスター要素28、30に対応する瞳スポットの方向から光を捉える。図16は、図14に記載の照明と図15に記載の照明との組合せを示している。この場合、物体視野全体が、照明されるラスター要素28、30の方向から、言い換えれば、関連付けられた瞳スポットの方向から照明される。図16には、いずれの付加的なIxグラフも示していない。このIxグラフは、図14及び図15の2つのIxグラフの重ね合わせから生成される。図9から図12を参照して上述したものに対応する射出角依存性を指定する第2のラスター要素30を有する第2のラスター配列21を有するラスターモジュール29を製造するために、これらのラスター要素30上の照明光部分光束15の入射場所AOと、これらのラスター要素30上の照明光部分光束15の入射角ERxとに依存する第2のラスター要素30からの照明光部分光束15の得られる一定の射出角ARxの推移の望ましい依存性ARER,AOを事前判断することができる。次に、第2のラスター要素30の進入面33及び任意的に更に射出面34が、ラスターモジュール19の所定照明において、事前判断される望ましい依存性に対応する射出角推移の実際の依存性がもたらされるように構造化される。ラスターモジュール19に関する別の製造方法では、第2のラスター要素30の進入面33及び/又は射出面34の一般的な面設計を用いて得ることができる第2のラスター配列21上のこれらのラスター要素30上の照明光部分光束15の入射場所AOと、これらのラスター要素30上の照明光部分光束15の入射角ERxとに基づいて、第2のラスター要素30からの照明光部分光束15の得られる一定の射出角ARxの推移の望ましい依存性ARER,AOの部類が判断される。望ましい依存性ARER,AOのこれらの部類は、図9から図12に関連して上述したように、同じ射出角ARxをもたらす、入射角ERxと入射場所AOとのパラメータ対の等値線推移を有することができる。次に、判断された部類のうちの1つの中で得られる望ましい依存性ARER,AOが事前判断され、ラスターモジュール19の所定照明を用いて、事前判断される許容限界範囲の事前判断される望ましい依存性に対応する推移の実際の依存性がもたらされるように、第2のラスター配列21のラスター要素30の進入面33及び/又は射出面34が構造化される。照明光部分光束15に対するラスターモジュール19の効果に対しては、上記では主にxz平面内で説明した。対応する効果及び依存性は、yz平面内にも同じくもたらされる。これは、物体視野3のy視野縁部を定義するために、更に、照明設定によって事前判断される照明角度からの物体視野3にわたるy方向の強度分布を事前判断するために使用することができる。これは、特に、物体視野3全体が同時に、言い換えれば、走査法によらずに照明及び結像されるステッパとしての投影露光系1の構成の場合に使用することができる。説明した実施形態では、ラスター要素28、30は、屈折結像ラスター要素、言い換えれば、屈折ラスター要素である。原理的に、ラスター要素28、30は、反射ラスター要素、言い換えれば、反射ラスター要素として設計することができる。図2では、簡略的にフーリエレンズ配列16のいずれの屈折効果も示していないことは既に上述している。図17は、フーリエレンズ配列16の屈折効果を示す図2に対応する配列を示している。上述した図、特に、図2を参照して上記に既に解説したものに対応する構成要素は同じ参照番号を有し、これらに対しては再度詳細には説明しない。ここではマイクロミラーアレイ10のそれぞれの個々のミラー111及び112からの2つの照明光部分光束151及び152の進路を示している。2つの部分光束151、152は、個々のミラー111及び112からの反射角ASx1及びASx2を有する。フーリエレンズ配列16の屈折効果は、これらの反射角ASx1及びASx2のフーリエレンズ配列16の後の反射角AS’x1及びAS’x2への変換をもたらす。第2のラスター配列21の同じラスター要素30の進入面33上の2つの照明光部分光束151、152の入射角ERx1及びERx2も示している。図17に記載の図では、このラスター要素は、上から3番目のラスター要素30である。この場合、図17は、フーリエレンズ配列16上の同じ入射角、言い換えれば、角ASx1及びASx2が、異なる反射角AS’x1及びAS’x2に転換される状況を示している。更に、図17は、2つの部分光束151、152による作用を受ける第2のラスター配列21及びラスター要素30の2つの代替として可能な効果を示している。図17の実線に示す第1の光束誘導では、第2のラスター配列21のラスター要素30を射出する151、152という2つの照明光部分光束において、同じ射出角ARx1、ARx2がもたらされる。部分光束151、152の主ビームは、この場合、z軸に沿って延びるので、これらの射出角ARx1及びARx2は各場合にゼロである。図17に一点鎖線に示す第2のラスター配列21の別の光学効果では、照明光部分光束151においてゼロよりも小さい、言い換えれば、負のx方向に進路成分を有する射出角ARx1がもたらされ、部分光束152においてゼロよりも大きい、言い換えれば、正のx方向に進路成分を有する射出角ARx2がもたらされる。図18から図20は、第2の照明平面20内で各場合に同じラスター要素30の入射をもたらすが、入射角ERxの異なる分布を有するラスターモジュール19における別の照明を示している。図18から図20では、フーリエレンズ配列の屈折効果が考慮されている。2つのラスター配列18及び21のラスター要素28及び30上の部分光束15の異なる入射角に起因して、既に上述のように、物体視野3の照明の異なる視野依存効果を生成することができる。投影露光系1を用いた微細構造化構成要素又はナノ構造化構成要素のマイクロリソグラフィ製造では、最初にウェーハ平面27内の基板又はウェーハが準備される。ウェーハには、少なくとも1つの感光材料層が付加される。更に、結像される構造を有するレチクルが、レチクル平面4内に準備される。次に、物体視野3に配置されたレチクルの一部が、像視野に配置された層の一領域上に投影露光系1を用いて投影される。"