"インターフェイスを通じアスキー形式で送信されてくる正しい計測器データを,被校正機の表示に必要なテーブル状に展開されているE2PROMに上書きし,これをデータ参照し新しい表示にする計測器および校正方法。インターフェイスを通じアスキー形成で送信されてくる真空度データを,被校正機の真空度表示に必要なテーブル状に展開されているE2PROMに上書きし,これをデータ参照し新しい表示とする冷陰極形電離真空計および校正方法。課題を解決するための手段,その1被校正機と標準機の測定子を同一圧力下におき,インターフェイス機能,例えばRS-232Cにより,両者を結線し校正を行う。即ち図1左方の測定子11と本体12よりなる標準真空計のインターフェイス端子13と被校正機のインターフェイス端子10を図中点線のように結線する。校正はシェイクハンド方式により標準機より送られる。送信データはアスキーデータ方式により送信されるが,内容は真空度データのみで他の要素は含まない。他は送信できる状態にあるか否かを示す信号線,および被校正機より送る送信要求線の3要素のみである。被校正機より標準機に送る送信要求は,被校正機を校正モードに入れSET1の表示窓にOKに相当する信号が表れ,STAT釦を押すことにより始まる。上記状態において標準機よりは常時現在の真空度データをアスキーデータ方式によりRS-232Cより送信している。一方被校正機はその真の真空度データを常時受信し,決められた手順に従ってメモリに記録し,校正した真の真空度データをメモリーテーブル上に展開する。校正機の測定においては新しいテーブルも参照し測定結果とする。校正範囲を1.0E-5PASCALから1.0E0PASCALの範囲で行う場合,標準機の表示が-5乗PASCAL台では被校正機の測定子には電流が流れ始めない。即ち放電が始まらない場合がある。このようなとき被校正機はE2PROMにLの字に相当するデータを送り測定子に電流が流れ始めてから標準機と等しいデータをメモリーテーブル上に展開する等のプログラムを用意する。インターフェイスを利用して標準機より連続的に送られてくるデータによる自動校正する方法は,例えば測定範囲内で複数の固定ポイントを設定し,そのポイント間は数式による演算方式をとる場合においても活用できる。課題を解決するための手段,その2被校正機の校正に,標準機のインターフェイス機能を用いる方法で,校正モードに入れた時に以下の手動校正が行われるようにプログラムされている。具体的には標準機の真空度表示を目視しながら被校正機の校正を行う。真空度指数の各一乗当り5点の固定ポイントを設定し,そのポイント間は数式による演算方式をとる。校正範囲は1.0E-5PASCALから1.0E0PASCALの範囲である。被校正と標準機のセンサーを同一真空槽に取りつける。校正モードに入れる等,方法は手段1と同様である。校正モードにするとき,標準機の指示が1.0E-5PASCAL以上の高真空になるよう真空槽を調整する。被校正機を校正モードにする。このとき表面パネル面のSET1に1,SET2には1.0-5の表示が現れる。真空槽のバルブを調整し,標準機の指示が1.0E-5PASCALを示したとき,パネル面のSTART釦を押す。次にパネル面のSE1とSET2には番号2と2.0-5の表示が現れる。真空槽のバルブを調整し,標準機の指示が2.0E-5PASCALを示したとき,パネル面のSTART釦を押す以上の手法を1.0E0PASCALまで順次行い校正を終るが,結果として測定より流入する値に対応した真空度が,被校正機のE2PROMテーブル上に展開される。高真空の範囲ではSTART釦を押したとき,SET1とSET2に表れる数字が点滅するときがある。この場合は測定子に放電電流が流れていない時である。再度釦を押すと次の数字に進むので,真空槽の圧力を更に高くしてSTART釦を押す。これを繰り返しSTART釦によりSET1,SET2の数字が点滅しなくなるまで圧力を高め,操作を進めれば1.0E0PASCALまでの校正作業を終了する。課題を解決するための手段,その3課題を解決するための手段,その2に近い方法で,校正モードに入る方法は同じである。手段2と相違する点は標準機の真空度が被校正機のSET2に表示される真空度に一致したとき,START釦を押さない方法である。例えば標準機が1.0E-5PASCALで,被校正機のSET1に1,SET2に1.0-5が表示され被校正機の測定子に同一電流が数秒間保持されるとき,被校正機は1.0-5自動認識し,次のSET2に2.0-5に変わる。更にバルブを調整し標準計の指示により槽内を2.0E-5PASCALに数秒間保持すれば2.0E-5PASCALに相当するデータは自動的に書き込まれる。これを順次行えば,手段2のようにSTART釦をその都度押すことなくROMテーブル上に展開される。上述の解決するための手段2,3により,一乗当り5点の固定ポイントを設定し,そのポイント間を数式による演算方式により正しい真空度を表示することが可能になる。上述のその1,その2,その3のいずれの場合も校正作業を終った後,一旦電源を切り校正モードより抜け出した後に再度電源を入れれば,通常の真空度計測に戻ることが出来る。冷陰極形電離真空計の校正方法の応用1.熱伝導真空計熱伝導真空計には熱電対真空計,定温度形ピラニ真空計など各種のものがある。いずれの場合も測定子内部にフィラメントを張り,これに電流を流すことにより加熱し,その温度変化に起る現象を読み取り,真空計とする装置である。熱伝導真空計の大きな欠点は経年変化によるフィラメントを原因とする線径の変化,およびフィラメントの表面状態の変化による感度変化である。この変化は真空度指示に誤差を生じるため校正を要する。また真空装置の状況によつては真空計本体と測定子を結ぶ連絡線を通常より延長する必要も生じる。このようなとき連結線の延長はフィラメントの温度を下げるため初期より真空度表示は誤差を生じることが予測されるため校正が必要となる。以後これら校正を要する真空計を被校正用真空計測定子と呼べば,被校正用真空計測定子と正確な標準値を表示する標準真空計の測定子を同一真空雰囲気中に取り付けることは容易である。従って事前に被校正機を校正モードにしインターフェイスを通じ標準真空計と被校正用真空計を接続し真空度を順次変化させれば,標準真空計より送られるアスキー方式の真空度データにより被校正用真空計の真空度表示に必要なE2ROMは上書きされ,被校正用真空計と標準真空計と同一真空度表示となり校正は終了する。2.熱電対形温度計一般に使用されている熱電対形温度計にも,経年変化による熱電対の蒸発,または熱電対先端の感温部分の化学的変化等により誤差を生じる。また温度計測場所によつては,熱電対および温度補償導線を,より延長する場合もある。このようなとき誘導,その他により表示温度により誤差を生じることがあるため校正を要する。発熱体測温部に対し,熱電対先端の占める面積,体積がごく僅少であれば,表示が正確で標準とする温度計の熱電対先端と,被校正用温度計の熱電対先端を先に取りつけても両熱電対先端は同一温度になる。上述の状態において,あらかじめ校正モードにした被校正用温度計と標準温度計をインターフェイスを通じ両者を結線し発熱温度を除々に上昇させれば,標準温度計より送られるアスキー方式の温度データにより被校正温度計の温度表示に必要なE2PROMは上書きされ,被校正用温度計は標準温度計と同一温度表示となり,校正は終了する。以上に冷陰極形電離真空計の校正方法を他の測定器に応用した例について2例あげたがその他種々のものがある。発明の効果表示が正確な計測器があり,誤差を持つ計測器の表示がE2PROMのデータ参照方式によつて表示されており,センサーを同一雰囲気中に置くことが可能な計測器においては比較的容易に校正が可能であることを示すことが出来た。校正を要する冷陰極形電離真空計と標準真空計の概略図である。校正を要する冷陰極形電離真空計の正面パネル図である。1逆マグネトロン冷陰極形電離真空計測定子の断面部である。2逆マグネトロン冷陰極形電離真空計測定子の接続管である。3ドーナツ状磁石4陰極5陽極6高電圧電源7増幅器8中央演算素子を含む電子回路9表示器10被校正機インターフェイス端子11標準真空計測定子12標準真空計本体13標準真空計インターフェイス端子"