"被冷却物を浸漬して冷却するための浸漬槽内に低温液化ガスを供給する方法であって、前記浸漬槽内の低温液化ガスより高い圧力の高圧低温液化ガスを、前記浸漬槽内の低温液化ガスと同じ圧力の低圧低温液化ガスと熱交換させて前記高圧低温液化ガスを冷却した後、該冷却された高圧低温液化ガスを前記低圧低温液化ガスと同じ圧力に降圧して前記浸漬槽内に供給する低温液化ガス供給方法。前記冷却された高圧低温液化ガスを前記低圧低温液化ガスと同じ圧力に降圧して液供給槽内に導入し、該液供給槽内の前記低圧低温液化ガスを前記浸漬槽内に供給する請求項1記載の低温液化ガス供給方法。前記高圧低温液化ガスの減圧を多孔質ノズルで行う請求項1又は2記載の低温液化ガス供給方法。前記液供給槽と前記浸漬槽との間に設けた仕切板の下端部と前記低温液化ガス貯留槽の底板との間に形成した隙間を通して前記液供給槽から前記浸漬槽内に前記低圧低温液化ガスを供給する請求項1乃至3のいずれか1項記載の低温液化ガス供給方法。前記液供給槽と前記浸漬槽との間に設けた仕切板の上縁を越えて前記液供給槽から前記浸漬槽内に前記低圧低温液化ガスを供給する請求項1乃至3のいずれか1項記載の低温液化ガス供給方法。前記液供給槽と前記浸漬槽との間に設けた仕切板に形成した多数の通孔を通して前記液供給槽から前記浸漬槽内に前記低圧低温液化ガスを供給する請求項1乃至3のいずれか1項記載の低温液化ガス供給方法。浸漬槽内に貯留した低温液化ガス中に被冷却物を浸漬して該被冷却物を冷却する低温液化ガス浸漬装置において、前記浸漬槽内の低温液化ガスより高い圧力の高圧低温液化ガスを供給する高圧低温液化ガス供給経路と、該高圧低温液化ガス供給経路から供給される前記高圧低温液化ガスと前記浸漬槽内の低温液化ガスと同じ圧力の低圧低温液化ガスとを熱交換させて前記高圧低温液化ガスを冷却する熱交換器と、該熱交換器で冷却された高圧低温液化ガスを降圧して前記浸漬槽内に供給する降圧手段とを備えている低温液化ガス浸漬装置。前記降圧手段が多孔質ノズルである請求項7記載の低温液化ガス浸漬装置。前記降圧手段で降圧した低温液化ガスを貯留する液供給槽と、該液供給槽と前記浸漬槽とを連通して液供給槽内の低温液化ガスを浸漬槽内に供給する液供給路とを備えている請求項7又は8記載の低温液化ガス浸漬装置。低温液化ガス貯留槽の内部に仕切板を設け、該仕切板によって前記低温液化ガス貯留槽内を前記浸漬槽と前記液供給槽とに区画するとともに、前記仕切板の下端部と前記低温液化ガス貯留槽の底板との間に前記液供給路となる隙間を設けた請求項9記載の低温液化ガス浸漬装置。低温液化ガス貯留槽の内部に仕切板を設け、該仕切板によって前記低温液化ガス貯留槽内を前記浸漬槽と前記液供給槽とに区画するとともに、前記仕切板の上縁を前記液供給路とし、仕切板を越えて液供給槽から浸漬槽に低温液化ガスを供給するように形成した請求項9記載の低温液化ガス浸漬装置。低温液化ガス貯留槽の内部に仕切板を設け、該仕切板によって前記低温液化ガス貯留槽内を前記浸漬槽と前記液供給槽とに区画するとともに、前記仕切板として、前記液供給路となる多数の通孔が形成された多孔板を用いた請求項9記載の低温液化ガス浸漬装置。しかし、低温液化ガス供給管から浸漬槽内に供給される低温液化ガスは、低温液化ガス供給管内で気液二相流になっていることが多いため、低温液化ガス供給管から浸漬槽内に吐出した低温液化ガス中のガスが気泡となって浮上する。このため、浸漬槽内に貯留した低温液化ガスの液面が不安定になり、浸漬槽内の液面を検出して低温液化ガスの供給を制御するものでは、液面が不安定になることから液面の検知精度が低下し、目標とする液面高さに対して大きな誤差を生じることがあった。また、低温液化ガスを断続的に供給する場合、供給開始時には比較的ガス量が多い状態の低温液化ガスが浸漬槽内に吐出されることから、大量に噴出するガスが液面に勢いよく衝突して液面が大きく波立ち、低温液化ガスが浸漬槽から溢れ出ることもあった。浸漬槽に低温液化ガスを供給する別の方法として、気液分離器を設置してガスを分離し、液状の低温液化ガスのみを浸漬槽に供給することもできるが、浸漬槽とは別の気液分離器を浸漬槽の直近に設置する必要があるため、設置場所に問題があり、全体的な設備コストが上昇するなどの問題があった。そこで本発明は、低温液化ガスを浸漬槽内に安定した状態で供給することができる低温液化ガス供給方法及び低温液化ガス浸漬装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するため、本発明の低温液化ガス供給方法は、被冷却物を浸漬して冷却するための浸漬槽内に低温液化ガスを供給する方法であって、前記浸漬槽内の低温液化ガスより高い圧力の高圧低温液化ガスを、前記浸漬槽内の低温液化ガスと同じ圧力の低圧低温液化ガスと熱交換させて前記高圧低温液化ガスを冷却した後、該冷却された高圧低温液化ガスを前記低圧低温液化ガスと同じ圧力に降圧して前記浸漬槽内に供給することを特徴としている。さらに、本発明の低温液化ガス供給方法は、前記冷却された高圧低温液化ガスを前記低圧低温液化ガスと同じ圧力に降圧して液供給槽内に導入し、該液供給槽内の前記低圧低温液化ガスを前記浸漬槽内に供給すること、前記高圧低温液化ガスの減圧を多孔質ノズルで行うことを特徴としている。加えて、前記液供給槽から前記浸漬槽への前記低圧低温液化ガスの供給は、前記液供給槽と前記浸漬槽との間に設けた仕切板の下端部と前記低温液化ガス貯留槽の底板との間に形成した隙間を通して、あるいは、前記液供給槽と前記浸漬槽との間に設けた仕切板の上縁を越えて、あるいは、前記液供給槽と前記浸漬槽との間に設けた仕切板に形成した多数の通孔を通して行うことができる。また、本発明の低温液化ガス浸漬装置は、浸漬槽内に貯留した低温液化ガス中に被冷却物を浸漬して該被冷却物を冷却する低温液化ガス浸漬装置において、前記浸漬槽内の低温液化ガスより高い圧力の高圧低温液化ガスを供給する高圧低温液化ガス供給経路と、該高圧低温液化ガス供給経路から供給される前記高圧低温液化ガスと前記浸漬槽内の低温液化ガスと同じ圧力の低圧低温液化ガスとを熱交換させて前記高圧低温液化ガスを冷却する熱交換器と、該熱交換器で冷却された高圧低温液化ガスを降圧して前記浸漬槽内に供給する降圧手段とを備えていることを特徴としている。さらに、本発明の低温液化ガス浸漬装置は、前記降圧手段が多孔質ノズルであること、前記降圧手段で降圧した低温液化ガスを貯留する液供給槽と、該液供給槽と前記浸漬槽とを連通して液供給槽内の低温液化ガスを浸漬槽内に供給する液供給路とを備えていることを特徴とし、さらに、低温液化ガス貯留槽の内部に仕切板を設け、該仕切板によって前記低温液化ガス貯留槽内を前記浸漬槽と前記液供給槽とに区画するとともに、前記仕切板の下端部と前記低温液化ガス貯留槽の底板との間に前記液供給路となる隙間を設けたこと、あるいは、前記仕切板の上縁を前記液供給路とし、仕切板を越えて液供給槽から浸漬槽に低温液化ガスを供給するように形成したこと、あるいは、前記仕切板として、前記液供給路となる多数の通孔が形成された多孔板を用いたことを特徴としている。本発明の低温液化ガス供給方法及び低温液化ガス浸漬装置によれば、低温液化ガスを安定した状態で浸漬槽内に供給することができ、浸漬槽内の液面変動を小さく抑えることができる。これにより、浸漬槽内の液面制御を確実に行えるとともに、浸漬槽から低温液化ガスが溢れ出ることを防止できる。また、気化による低温液化ガスの損失を少なく抑えることができる。図1の第1形態例に示す低温液化ガス浸漬装置は、断熱構造を有し、上方が開口した低温液化ガス貯留槽11の内部に液供給路12を有する仕切板13を設け、該仕切板13によって低温液化ガス貯留槽11内を浸漬槽14と液供給槽15とに区画するとともに、液供給槽15に、低温液化ガス供給経路16、熱交換器17及び降圧手段18を設けた構成となっている。浸漬槽14は、上部開口から低温液化ガス中に被冷却物を挿入して被冷却物を低温液化ガス中に浸漬することで被冷却物を低温液化ガスで冷却するものであって、槽内の低温液化ガスは大気に開放されており、浸漬槽14内の低温液化ガスは大気圧となっている。また、浸漬槽14に対して液供給路12で連通した液供給槽15内の低温液化ガスも大気圧となっている。一方、図示しない低温液化ガス貯槽などの低温液化ガス供給源から前記低温液化ガス供給経路16を通して供給される低温液化ガスは、大気圧より高い圧力、例えば、0.2~0.8MPaゲージ圧で供給される。以下、大気圧状態の低温液化ガスを低圧低温液化ガス、大気圧より高い圧力の低温液化ガスを高圧低温液化ガスとして説明する。前記熱交換器17は、液供給槽15内に貯留された低圧低温液化ガス中に熱交換用のコイル管などからなる熱交換部を浸漬したものであって、低温液化ガス供給経路高圧低温液化ガス供給経路16の供給弁19を通って供給される高圧低温液化ガスは、熱交換器17を通る際に、周囲の低圧低温液化ガスと熱交換を行い、低圧低温液化ガスの温度に近い温度、すなわち、大気圧より高い圧力を有する高圧低温液化ガスにおける飽和温度よりも低い温度に冷却されて過冷却状態となる。熱交換器17で冷却されて過冷却状態となった高圧低温液化ガスは、降圧手段18で低圧低温液化ガスの圧力、すなわち、大気圧に降圧されて液供給槽15内に導入される。降圧手段18は、降圧後の低温液化ガスが穏やかな状態で流出する構造のもの、例えば、濾過度が10~200μm、好ましくは50~120μmであって、空隙率が20~60好ましくは35~50の多孔質体、例えば燒結金属を流出部に用いた多孔質ノズルを用いることが好ましい。このように、熱交換器17で過冷却状態とした高圧低温液化ガスを多孔質ノズルを用いた降圧手段18で大気圧に降圧させて液供給槽15内に導入することにより、低温液化ガスの気化量を少なく抑えることができるとともに、ガスの噴出による液供給槽15内の液面の乱れも抑えることができ、液供給槽15に低温液化ガスを安定した状態で導入することができる。また、降圧手段18を、液供給槽15内の液面の直上に配置することにより、液面の乱れ、波立ちを最小とすることができる。さらに、多孔質ノズルを用いることにより、降圧手段18からガスのみが流出する場合でも、液面へのガスの衝突力を弱めることができ、液面の乱れや、これに伴う低温液化ガスの飛散を抑えることができる。液供給槽15に導入された低温液化ガスは、浸漬槽14内の低温液化ガスの消耗に伴い、仕切板13の液供給路12を通って液供給槽15から浸漬槽14内に供給される。仕切板13は、降圧手段18から液供給槽15に導入される低温液化ガスによって液供給槽15内の液面が大きく波打ったとしても、該液供給槽15内の波立ちが浸漬槽14に伝達されることを防止するものであって、仕切板13及び液供給路12の構造は、浸漬槽14の大きさや低温液化ガスの供給量などの条件に応じて適宜に選択することができる。本形態例に示すように、仕切板13の下端部と低温液化ガス貯留槽11の底板との間に液供給路12を設ける場合、液供給路12の高さ隙間の高さは、10~50mmの範囲とすることが好ましく、隙間を高くしすぎると液供給槽15内の波立ちが浸漬槽14に伝達されてしまうおそれがあり、隙間を小さくしすぎると低温液化ガスの供給量が不足するおそれがある。また、図2の第2形態例に示すように、仕切板として、液供給路12aとなる通孔を多数形成した多孔板13aや金網などを用いることができる。なお、以下の説明において、前記第1形態例に示した低温液化ガス浸漬装置の構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。このように、仕切板として多孔板13aを使用する場合は、孔径5~20mmで、開口率20~60の多孔板を使用することが好ましい。この場合も、前記同様に、口径が大きすぎたり、開口率が大きすぎると波立ちが伝達されるおそれがあり、これらが小さすぎると低温液化ガスの供給量が不足するおそれがある。また、液供給槽15内の液面の波立ちを浸漬槽14に伝達しないためには、第1形態例に示すように、液供給路12を仕切板13の下方に設けることが好ましいが、図3の第3形態例に示すように、仕切板13bを越えて液供給槽15から浸漬槽14に低温液化ガスを供給するように、仕切板13bの上縁部に液供給路12bを形成することも可能である。このように、液供給槽15から仕切板13bを越えて浸漬槽14に低温液化ガスを供給する場合、浸漬槽14の液面より仕切板13bの上縁を10~40mm、好ましくは15~30mm高くしておくことにより、浸漬槽14での波立ちを効果的に抑えることができる。なお、熱交換器17及び降圧手段18の構造や低温液化ガスの供給量、低温液化ガス貯留槽11の形状などの条件を適切に選定し、降圧手段18から液供給槽15に導入される低温液化ガスによる液面の変動を十分に抑えることができれば、液供給路12を有する仕切板13を省略することができる。逆に、液供給路12を有する仕切板13を複数枚設置することもでき、各形態例に示した仕切板12,12a,12bを適宜組み合わせて使用することもできる。さらに、図示は省略するが、一つの液供給槽15から複数の浸漬槽14に低温液化ガスを供給するように形成することも可能であり、液供給槽15と浸漬槽14とを分離してそれぞれ独立した槽とし、両槽を液供給路12となる配管で接続することもできる。このように、低温液化ガス供給源から供給される高圧低温液化ガスを、熱交換器17で液供給槽15内あるいは浸漬槽14内の低圧低温液化ガスと熱交換させ、過冷却状態に冷却してから液供給槽15あるいは浸漬槽14に供給することにより、浸漬槽14内の液面変動を小さく抑えることができ、低温液化ガス中への被冷却物の浸漬を確実に行えるとともに、浸漬槽14内の液面を検知して高圧低温液化ガスを断続的に供給する制御も確実に行うことができる。さらに、液面の波立ちによって槽外に低温液化ガスが溢れ出ることもなくなり、低温液化ガス供給経路から槽内に低温液化ガスを供給する際の気化も抑えることができるので、低温液化ガスの損失を抑えることができるとともに、低温液化ガスの気化による装置周囲の環境を悪化、たとえば、低温液化ガスとして液化窒素を使用した場合の周囲環境の酸素濃度を低下させることもなくなる。また、高価な気液分離器やこれに付随する配管などの設備を必要とせず、熱交換用コイルの追加などの簡単な構成で実施できるので、設備コストの上昇も抑えることができる。"