"モータ位置検出器と、モータにより駆動される被駆動体の被駆動体位置検出器と、を含み、被駆動体の位置をフルクローズド制御する被駆動体の位置制御装置であって、前記モータ位置検出器からの位置検出値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値の差であるたわみ量を算出する減算器と、前記たわみ量を入力とする1次遅れ回路の出力と前記モータ位置検出器からの位置検出値を加算して位置フィードバック値を算出する加算器と、前記位置フィードバック値と上位装置から入力される位置指令値との偏差を比例増幅して速度指令値を出力する速度指令演算器と、前記モータ位置検出器からの位置検出値を微分して速度フィードバック値を算出する微分器と、前記速度フィードバック値と前記速度指令値との偏差を比例積分増幅してトルク指令値を出力するトルク指令演算器と、前記トルク指令値に応じて前記モータを駆動する手段と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を入力とし、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数が大きくなるように当該時定数を可変する経年変化補正器と、を備え、経年変化により機械共振周波数が低下しても低周波振動の発生を抑制する、ことを特徴とする位置制御装置。モータ位置検出器と、モータにより駆動される被駆動体の被駆動体位置検出器と、を含み、被駆動体の位置をフルクローズド制御する被駆動体の位置制御装置であって、前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を位置フィードバック値とし、前記位置フィードバック値と上位装置から入力される位置指令値との偏差を比例増幅して速度指令値を出力する速度指令演算器と、前記モータ位置検出器からの位置検出値を微分してモータ速度検出値を算出する微分器と、前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を微分して被駆動体速度検出値を算出する微分器と、前記モータ速度検出値と前記被駆動体速度検出値の差を入力とする1次遅れ回路の出力と前記モータ速度検出値を加算して速度フィードバック値を算出する加算器と、前記速度フィードバック値と前記速度指令値との偏差を比例積分増幅してトルク指令値を出力するトルク指令演算器と、前記トルク指令値に応じて前記モータを駆動する手段と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を入力とし、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数が大きくなるように当該時定数を可変する経年変化補正器と、を備え、経年変化により機械共振周波数が低下しても低周波振動の発生を抑制する、ことを特徴とする位置制御装置。請求項1または2に記載の位置制御装置であって、前記経年変化補正器は、前記位置指令値を2階微分して指令加速度を出力する2次微分器と、前記指令加速度の大きさが閾値以下である場合に駆動系が加減速状態に無いと判断し振動検出開始信号を出力する比較器と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値との差分から被駆動体の位置誤差を算出する減算器と、前記振動検出開始信号の出力時に前記被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数を算出し出力する振動検出器と、前記振動周波数から振動周期を算出し時定数初期値を出力する除算器と、前期振動検出器が振動を検出している間、前記時定数初期値に対し予め設定された時定数増加分を繰り返し加算して前記1次遅れ回路の時定数を更新出力する加算器と、を備え、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数を大きくする、ことを特徴とする位置制御装置。請求項1に記載の位置制御装置であって、前記経年変化補正器は、前記可変した時定数が、予め設定した許容時定数を超えた場合に、前記速度指令演算器のゲイン設定値が小さくなるように、当該ゲイン設定値を可変する、ことを特徴とする位置制御装置。請求項4に記載の位置制御装置であって、前記経年変化補正器は、前記位置指令値を2階微分して指令加速度を出力する2次微分器と、前記指令加速度の大きさが閾値以下である場合に駆動系が加減速状態に無いと判断し振動検出開始信号を出力する比較器と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値との差分から被駆動体の位置誤差を算出する減算器と、前記振動検出開始信号の出力時に前記被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数を算出し出力する振動検出器と、前記振動周波数から振動周期を算出し時定数初期値を出力する除算器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記時定数初期値に対し予め設定された時定数増加分を繰り返し加算して前記1次遅れ回路の時定数を更新出力する加算器と、前記振動周波数から振動角周波数を算出しゲイン初期値を出力する演算器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記ゲイン初期値に対し予め設定されたゲイン低減分を繰り返し減算してゲイン推奨値を算出する減算器と、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合に前記ゲイン推奨値を前記速度指令演算器のゲイン設定値として更新出力し、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数に満たない場合は前記速度指令演算器のゲイン設定値の変更を行わず出力値を保持し続けるゲイン出力切替器と、を備え、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数を大きくし、可変した時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合に前記速度指令演算器のゲイン設定値を小さくする、ことを特徴とする位置制御装置。請求項2に記載の位置制御装置であって、前記経年変化補正器は、前記可変した時定数が、予め設定した許容時定数を超えた場合に、前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値が小さくなるように、当該ゲイン設定値を可変する、ことを特徴とする位置制御装置。請求項6に記載の位置制御装置であって、前記経年変化補正器は、前記位置指令値を2階微分して指令加速度を出力する2次微分器と、前記指令加速度の大きさが閾値以下である場合に駆動系が加減速状態に無いと判断し振動検出開始信号を出力する比較器と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値との差分から被駆動体の位置誤差を算出する減算器と、前記振動検出開始信号の出力時に前記被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数を算出し出力する振動検出器と、前記振動周波数から振動周期を算出し時定数初期値を出力する除算器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記時定数初期値に対し予め設定された時定数増加分を繰り返し加算して前記1次遅れ回路の時定数を更新出力する加算器と、予め設定したゲイン換算初期値を出力するゲイン換算初期値設定器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記ゲイン換算初期値に対し予め設定されたゲイン低減率分を繰り返し減算してゲイン換算値を算出する減算器と、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合に前記ゲイン換算値を前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値に乗算し、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数に満たない場合は前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値の変更を行わず、出力値を保持し続けるゲイン出力切替器と、を備え、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数を大きくし、可変した時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合にのみ前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値を小さくする、ことを特徴とする位置制御装置。図9に示した従来技術では、送り軸機構部の剛性の低下にあわせて1次遅れ回路17の時定数Tpを大きくしたり、速度指令演算器3のゲインKpを小さくしたりすることで、機械共振周波数Kb/M1/2におけるゲイン余裕を確保し、低周波振動を抑制している。ここで、送り軸機構部の剛性の低下はたわみ量Psの増加により検出される。しかしながら、たわみ量Psが増加する現象は、送り軸機構部の剛性が低下した場合や被駆動体の積載重量が増加した場合に限らず、被駆動体に作用する摺動抵抗が増加した場合にも発生する。被駆動体に作用する摺動抵抗が増加したことにより、たわみ量Psが増加した場合、機械共振周波数Kb/M1/2におけるゲイン余裕に変動は無いため、1次遅れ回路17の時定数Tpを大きくしたり、速度指令演算器3のゲインKpを小さくしたりする必要は無い。逆に、この状況下で時定数Tpを大きくしたり、速度指令演算器3のゲインKpを小さくしたりすることは、過度にゲイン余裕を確保することとなり、結果として制御系の応答性を低下させてしまう。それどころか、被駆動体に作用する摺動抵抗が軽くなることでたわみ量Psが減少した場合、機械共振周波数Kb/M1/2におけるゲイン余裕に変動は無いにも関らず、1次遅れ回路17の時定数Tpを小さくしたり、速度指令演算器3のゲインKpを大きくしたりすると低周波の振動が発生してしまう。摺動抵抗の影響について詳しく説明する。被駆動体に作用する摺動抵抗をFdとすると被駆動体位置検出値Plはモータ位置検出値Pmを用いて、下記式4で表される。式4においてSはラプラス演算子を示す。PlS={Kb/MS2DSKb}PmS-{1/MS2DSKb}FdS式4式4においてFd=0、即ち被駆動体に作用する摺動抵抗を無視した場合、式4は図6に示すブロック図のバネ系モデル28と等価である。即ち、摺動抵抗の有無に関わらず、機械共振周波数はKb/M1/2であり、送り軸機構部の剛性、及び被駆動体の積載重量によって決まる。しかし、被駆動体位置検出値Plは被駆動体に作用する摺動抵抗の影響を受ける。式4においてS=0とし、極低周波での駆動を想定した場合、式4は下記式5のように展開される。PlS=PmS-{1/Kb}FdS式5つまり、送り軸機構部の剛性低下、即ちバネ係数Kbが小さくなる、あるいは摺動抵抗Fdが大きくなることによって、被駆動体位置検出値Plとモータ位置検出値Pmの差であるたわみ量Psの大きさは増大する。更に、摺動抵抗Fdの大きさは被駆動体の速度によって変化する。例えば、被駆動体が滑りガイド機構により支持駆動される場合、高速移動時は油膜面上を滑るように移動するため摺動抵抗Fdが小さくなる。一方、低速移動時は油膜の抵抗を受けながら進むため摺動抵抗Fdが大きくなる。この他にも、摺動抵抗Fdの大きさは温度や被駆動体の位置など種々の要因により変動するため、正確に把握することは困難である。即ち、被駆動体に摺動抵抗が作用し、変動する駆動系においては、たわみ量Psから送り軸機構部の剛性低下を検出することは困難であり、1次遅れ回路17の時定数Tpを適切に定めることができない。また、図9に示した従来技術では、1次遅れ回路17の時定数Tp、及び速度指令演算器3のゲインKpを変更することで、機械共振周波数Kb/M1/2におけるゲイン余裕を確保し、低周波振動を抑制している。しかし、ゲインKpを小さくすることは制御系を安定化する上で有効であるものの、指令に対する追従性が大きく損なわれてしまうといった問題がある。図6と同様に、速度指令Vcからモータの速度検出値Vmまでの伝達特性が1であるとすると、図7の制御系における位置偏差Pdif、被駆動体位置検出値Plは位置指令Pcを用いて、下記式6、式7で表される。式6、式7においてSはラプラス演算子を示す。PdifS=PcS{S1TpSMS2DSKb}/{S1TpSKpTpMS2DSKbKpKb}式6PlS=PcS{1TpSKpKb}/{S1TpSKpTpMS2DSKbKpKb}式7式6、式7において、Tp=0とした場合、図6の制御系における位置偏差Pdif、被駆動体位置検出値Plと一致する。反対に、1次遅れ回路17の時定数Tpを限りなく大きくしたTp=∞とした場合、式6、式7は下記式8、式9のように展開される。PdifS={S/SKp}PcS式8PlS={Kp/SKp}{Kb/MS2DSKb}PcS式9これは、モータ位置検出値Pmを位置フィードバック値Pdとした場合に等しい。更に、式8は、位置制御系の制御応答帯域が速度指令演算器3のゲインKpによって決定されることを意味しており、1次遅れ回路17の時定数Tpを大きくしてもモータ位置検出値Pmの追従性は劣化しない。また、式9に関しても、バネ系モデル28の送り軸機構部の剛性が著しく低下して、Kp<Kb/M1/2の関係が損なわれない限り、被駆動体位置検出値Plの応答帯域は速度指令演算器3のゲインKpによって決定されることを意味している。即ち、被駆動体位置検出値Plの追従性の劣化は、送り軸機構部の剛性低下が影響するが、この影響分はゲインKpの一次遅れ要素で抑制された上での変動であるため、殆ど無いといえる。一方、速度指令演算器3のゲインKpを極端に小さくしたKp=0とした場合、式6は下記式10のように展開される。PdifS=PcS式10これは、位置制御系がまったく応答しない状態を意味している。速度指令演算器3のゲインKpを小さくすることは、送り軸機構部の剛性低下に起因した低周波振動を抑制することに対し効果的であるが、モータ位置検出値Pmの追従性までもが損なわれてしまう。当然のことながら、被駆動体位置検出値Plの追従性はモータ位置検出値Pmよりも更に送り軸機構部の剛性低下分だけ劣ったものとなる。本発明が解決しようとする課題は、摺動抵抗など被駆動体にトルク外乱が作用する駆動系において、その大きさが変動することにより、たわみ量の大きさも変動し、送り軸機構部の剛性低下が検出できなくなることである。また、送り軸機構部の剛性低下の度合いにあわせて、位置速度フィードバック値を算出するための1次遅れ回路の時定数等の値を適切な値に調節することができなくなり、結果として、過度にゲイン余裕が確保され制御系の応答性が低下してしまったり、反対にゲイン余裕が少なくなり被駆動体に低周波振動が発生したりすることである。そして、本発明の目的は、送り軸機構部の剛性低下や被駆動体の積載重量の増加による機械共振周波数の低下を検出し、少なくとも、共振特性にあわせて1次遅れ回路の時定数を最適化することで、被駆動体の低周波振動を防止するとともに制御系の追従性の低下を最小限に止める位置制御装置を提供することである。本発明は、上記課題に対してなされたものであり、モータ位置検出器と、モータにより駆動される被駆動体の被駆動体位置検出器とを含み、被駆動体の位置をフルクローズド制御する被駆動体の位置制御装置であって、前記モータ位置検出器からの位置検出値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値の差であるたわみ量を算出する減算器と、前記たわみ量を入力とする1次遅れ回路の出力と前記モータ位置検出器からの位置検出値を加算して位置フィードバック値を算出する加算器と、前記位置フィードバック値と上位装置から入力される位置指令値との偏差を比例増幅して速度指令値を出力する速度指令演算器と、前記モータ位置検出器からの位置検出値を微分して速度フィードバック値を算出する微分器と、前記速度フィードバック値と前記速度指令値との偏差を比例積分増幅してトルク指令値を出力するトルク指令演算器と、前記トルク指令値に応じて前記モータを駆動する手段と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を入力とし、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数が大きくなるように当該時定数を可変する経年変化補正器と、を備え、経年変化により機械共振周波数が低下しても低周波振動の発生を抑制することを特徴とする。また、他の本発明は、モータ位置検出器と、モータにより駆動される被駆動体の被駆動体位置検出器とを含み、被駆動体の位置をフルクローズド制御する被駆動体の位置制御装置であって、前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を位置フィードバック値とし、前記位置フィードバック値と上位装置から入力される位置指令値との偏差を比例増幅して速度指令値を出力する速度指令演算器と、前記モータ位置検出器からの位置検出値を微分してモータ速度検出値を算出する微分器と、前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を微分して被駆動体速度検出値を算出する微分器と、前記モータ速度検出値と前記被駆動体速度検出値の差を入力とする1次遅れ回路の出力と前記モータ速度検出値を加算して速度フィードバック値を算出する加算器と、前記速度フィードバック値と前記速度指令値との偏差を比例積分増幅してトルク指令値を出力するトルク指令演算器と、前記トルク指令値に応じて前記モータを駆動する手段と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値を入力とし、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数が大きくなるように当該時定数を可変する経年変化補正器と、を備え、経年変化により機械共振周波数が低下しても低周波振動の発生を抑制することを特徴とする。好適な態様では、前記経年変化補正器は、前記位置指令値を2階微分して指令加速度を出力する2次微分器と、前記指令加速度の大きさが閾値以下である場合に駆動系が加減速状態に無いと判断し振動検出開始信号を出力する比較器と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値との差分から被駆動体の位置誤差を算出する減算器と、前記振動検出開始信号の出力時に前記被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数を算出し出力する振動検出器と、前記振動周波数から振動周期を算出し時定数初期値を出力する除算器と、前期振動検出器が振動を検出している間、前記時定数初期値に対し予め設定された時定数増加分を繰り返し加算して前記1次遅れ回路の時定数を更新出力する加算器と、を備え、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数を大きくする。他の好適な態様では、前記経年変化補正器は、前記可変した時定数が、予め設定した許容時定数を超えた場合に、前記速度指令演算器のゲイン設定値が小さくなるように、当該ゲイン設定値を可変する。この場合、前記経年変化補正器は、前記位置指令値を2階微分して指令加速度を出力する2次微分器と、前記指令加速度の大きさが閾値以下である場合に駆動系が加減速状態に無いと判断し振動検出開始信号を出力する比較器と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値との差分から被駆動体の位置誤差を算出する減算器と、前記振動検出開始信号の出力時に前記被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数を算出し出力する振動検出器と、前記振動周波数から振動周期を算出し時定数初期値を出力する除算器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記時定数初期値に対し予め設定された時定数増加分を繰り返し加算して前記1次遅れ回路の時定数を更新出力する加算器と、前記振動周波数から振動角周波数を算出しゲイン初期値を出力する演算器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記ゲイン初期値に対し予め設定されたゲイン低減分を繰り返し減算してゲイン推奨値を算出する減算器と、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合に前記ゲイン推奨値を前記速度指令演算器のゲイン設定値として更新出力し、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数に満たない場合は前記速度指令演算器のゲイン設定値の変更を行わず出力値を保持し続けるゲイン出力切替器と、を備え、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数を大きくし、可変した時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合に前記速度指令演算器のゲイン設定値を小さくする、ことが望ましい。他の好適な態様では、前記経年変化補正器は、前記可変した時定数が、予め設定した許容時定数を超えた場合に、前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値が小さくなるように、当該ゲイン設定値を可変する。この場合、前記経年変化補正器は、前記位置指令値を2階微分して指令加速度を出力する2次微分器と、前記指令加速度の大きさが閾値以下である場合に駆動系が加減速状態に無いと判断し振動検出開始信号を出力する比較器と、前記位置指令値と前記被駆動体位置検出器からの位置検出値との差分から被駆動体の位置誤差を算出する減算器と、前記振動検出開始信号の出力時に前記被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数を算出し出力する振動検出器と、前記振動周波数から振動周期を算出し時定数初期値を出力する除算器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記時定数初期値に対し予め設定された時定数増加分を繰り返し加算して前記1次遅れ回路の時定数を更新出力する加算器と、予め設定したゲイン換算初期値を出力するゲイン換算初期値設定器と、前記振動検出器が振動を検出している間、前記ゲイン換算初期値に対し予め設定されたゲイン低減率分を繰り返し減算してゲイン換算値を算出する減算器と、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合に前記ゲイン換算値を前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値に乗算し、前記1次遅れ回路の時定数が予め設定した許容時定数に満たない場合は前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値の変更を行わず、出力値を保持し続けるゲイン出力切替器と、を備え、被駆動体の振動が検出された場合に前記1次遅れ回路の時定数を大きくし、可変した時定数が予め設定した許容時定数を超えた場合にのみ前記トルク指令演算器および前記速度指令演算器の少なくとも一方のゲイン設定値を小さくする、ことが望ましい。本発明による位置制御装置によれば、摺動抵抗など被駆動体に作用するトルク外乱の大きさが変動する送り軸駆動系においても、経年変化補正器が機構部の剛性低下に起因した振動を検出し、位置検出値演算部の1次遅れ回路の時定数Tp、または、速度検出値演算部の1次遅れ回路の時定数Tvの値を大きくする。その結果、送り軸機構部の剛性が低下しても低周波の振動を発生させることなく被駆動体を動作させることができる。更に、必要に応じて速度指令演算器、トルク指令演算器のゲイン設定値を小さくする。その結果、送り軸機構部の剛性が低下しても低周波の振動を発生させることなく被駆動体を動作させることができるとともに制御系の追従性の低下を最小限に止めることができる。本発明の実施例について説明する。従来例と同一要素には同一符号を付しており説明は省略する。本発明の制御ブロック図を図1、図2に示す。経年変化補正器30は位置指令Pcと被駆動体位置検出値Plを入力とし、駆動系が非加減速状態にあるときの被駆動体の振動を検出する。更に、被駆動体の振動が検出された場合には、1次遅れ回路17または23で使用する時定数Tp,Tvを可変する。具体的に、時定数Tp,Tvを可変する実施例を図3に示す。位置指令値Pcを2次微分器31に入力し、2階微分することで指令加速度Acを算出する。算出された指令加速度Acは比較器33により予め設定された指令加速度閾値Acrefと比較され、指令加速度Acが指令加速度閾値Acref以下の場合には、駆動系が加減速状態に無い定常状態にあると判断し、振動検出開始信号を振動検出器38に出力する。一方、振動検出器38は、振動検出開始信号の他に位置指令値Pcと被駆動体位置検出値Plとの差分により定義される被駆動体の位置誤差信号を入力に持ち、振動検出開始信号が出力されている間の被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数fpを算出し出力する。この時、振動周波数fpの検出範囲は予め定数設定されたfstからfenの範囲に限定される。更に、被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の大きさ振幅が予め定数設定されたSPrefの値よりも大きい場合にのみ振動が存在していると見なし、振動周波数fpとして出力する。除算器39は振動周波数fpが出力された場合に逆数である振動周期を算出し、時定数初期値T0を出力する。算出された時定数初期値T0は、1次遅れ回路17または23で使用する時定数Tp,Tvの初期値として設定される。時定数Tp,Tvの値が更新されても振動検出器38が振動周波数fpを検出し続けている場合、カウンタ41,44がカウントアップされ、予め定数設定された時定数増加量分ΔTp,ΔTvの加算が行われ、時定数増加量分ΔTp,ΔTvだけ時定数Tp,Tvの値が大きくなる。上記カウントアップ操作は振動検出器38が振動周波数fpを検出し続けている間継続して行われるため、振動検出器38にて振動が検出されなくなるまで時定数Tp,Tvの値が大きくなる。言い換えれば、被駆動体の振動を抑制するのに必要な分だけ時定数Tp,Tvの値が大きくされ、必要以上に大きな時定数が設定されることを防ぐことができる。なお、除算器39の出力である時定数初期値T0は、振動検出器38において異なる振動周波数fpが検知された場合に、その値が更新されるものとし、振動検出器38が振動を検出していない間は、その値が保持されるものとする。同様に、カウンタ41,44のカウンタ値nは、振動検出器38において異なる振動周波数fpが検知された場合に、カウントクリアされるものとし、振動検出器38が振動を検出していない間は、その値が保持されるものとする。ただし、前述のように同一の振動周波数fpを検出し続けている間はカウントアップ動作を行うものとする。また、振動検出器38は、振動検出開始信号が出力されている間の被駆動体の位置誤差信号に含まれる振動の振動周波数fpを算出することを示したが、その振動検出アルゴリズムの実現にあたっては、工学的に良く知られているDFTFFT等を利用することによって実現できる。もしくは被駆動体の位置誤差信号が最大値あるいは最小値をとる時間の間隔を計測し、直接振動周期を検出することも可能である。なお、この場合、時定数初期値T0を単位換算のみで直接的に定めることが可能であるため、除算器39による振動周波数fpから時定数初期値T0に換算する処理は不要となる。また、本実施例では、経年変化補正器30により1次遅れ回路で使用する時定数Tp,Tvを可変することを前提としているが、図1、図2に示した制御ブロック17,23の伝達特性GpS,GvSは必ずしも1次遅れ特性である必要はない。具体的には、高域遮断特性を持つフィルタであればよく、例えば移動平均演算を行うFIRフィルタであってもよい。この場合、制御系におけるサンプリング周期Tsに対し、Tp/Ts段、Tv/Ts段の移動平均を構成すれば効果的な振動抑制効果を得ることができる。以上のように、本発明による位置制御装置によれば、図11のように機械共振周波数Kb/M1/2が低下した場合に発生する低周波振動に対し、振動が観測されなくなるまで時定数Tp,Tvを大きくすることにより、機械共振周波数Kb/M1/2におけるゲイン余裕が大きくなるため、図12の実線で示す様なゲイン特性となる。結果として、制御系を安定化し、低周波振動の発生を抑制することができる。また、時定数Tp,Tvの値として必要以上に大きな値が設定されることがないため、過度にゲイン余裕が確保され制御系の応答性を低下させることもない。更に、経年変化補正器30は、被駆動体の振動を検出して時定数Tp,Tvを可変するため、摺動抵抗など被駆動体に作用するトルク外乱の大きさが変動する送り軸駆動系においても、適切に機構部の剛性低下を検出し、低周波振動を抑制することができる。次に、他の実施形態について、図4A、図4Bを参照して説明する。図4Aは位置制御装置の制御ブロックを示した図である。この図4のブロック図で示される位置制御装置は、図1の位置制御装置に対し、経年変化補正器30が別構成の経年変化補正器51に代わり、1次遅れ回路17で使用する時定数Tpに加え、速度指令演算器3のゲインKpを可変する構成となっていることを除けば、図1に示したものと同じである。また、図4Bは図4Aで用いる経年変化補正器51の構成を示す図である。図4Bに示した経年変化補正器51は、位置指令Pcと被駆動体位置検出値Plを入力とし、駆動系が非加減速状態にあるときの被駆動体の振動を検出する。更に、被駆動体の振動が検出された場合には、1次遅れ回路17で使用する時定数Tpに加え、さらに、速度指令演算器のゲインKpも可変する。具体的には、図4に示す経年変化補正器30は、図3を用いて説明した流れと同じ流れで、時定数Tpを可変する。また、次の手順で、速度指令演算器のゲインKpも可変する。振動検出器38から振動周波数fpが出力された場合、振動周波数fpを角周波数演算器50にて振動角周波数に換算し、ゲイン初期値K0を出力する。比較器48では、時定数Tpと予め定数設定された許容時定数Tprefと比較される。この比較の結果、時定数Tpが許容時定数Tprefを超えた場合に、算出されたゲイン初期値K0が、ゲイン出力切替器49にて速度指令演算器3で使用するゲインKpの初期値として設定される。ゲインKpの値が更新されても振動検出器38が振動周波数fpを検出し続けている場合、カウンタ53がカウントアップされ、予め定数設定されたゲイン低減量分ΔKpの減算が行われ、ゲイン低減量分ΔKpだけゲインKpの値が小さくなる。上記カウントアップ操作は振動検出器38が振動周波数fpを検出し続けている間継続して行われるため、振動検出器38にて振動が検出されなくなるまでゲインKpの値が小さくなる。言い換えれば、被駆動体の振動を抑制するのに必要な分だけゲインKpの値が小さくされ、必要以上に小さなゲインが設定されることを防ぐことができる。更に時定数Tpを大きくしても振動を抑制できない場合にのみゲインKpを小さくするため位置制御系の追従性の低下を最小限に止めることができる。以上の説明から明らかなとおり、本実施形態によれば、図1、図3を用いて説明した場合と同様の作用効果が、得られる。すなわち、本実施形態によれば、機械共振周波数Kb/M1/2が低下した場合に発生する低周波振動に対し、振動が観測されなくなるまで時定数Tpを大きくすることにより、機械共振周波数Kb/M1/2におけるゲイン余裕が大きくなるため、制御系を安定化し、低周波振動の発生を抑制することができる。また、時定数Tpを大きくしても振動抑制できないほど機械共振周波数が低下した場合には、ゲインKpを小さくすることで振動を抑制するため、時定数Tpのみで振動抑制する場合に比べ、広範囲の周波数帯での振動抑制が可能となる。更に、時定数Tpの値として必要以上に大きな値が設定されたり、ゲインKpの値として必要以上に小さな値が設定されたりすることがないことに加え、振動抑制する上で時定数Tpによる抑制を優先的に行うため、過度にゲイン余裕が確保されることもなく、制御系の追従性の低下を最小限に止めることができる。また、経年変化補正器51は、被駆動体の振動を検出して時定数Tp、ゲインKpを可変するため、摺動抵抗など被駆動体に作用するトルク外乱の大きさが変動する送り軸駆動系においても、適切に機構部の剛性低下を検出し、低周波振動を抑制することができる。次に、他の実施形態について、図4C、図4Dを参照して説明する。図4Cは位置制御装置の制御ブロックを示した図である。図2に対し、経年変化補正器30が別構成の経年変化補正器54に代わり、1次遅れ回路23で使用する時定数Tvに加え、速度指令演算器3のゲインKp、トルク指令演算器の比例ゲインPv、積分ゲインIvを可変する構成となっていることを除けば、図2に示したものと同じである。また、図4Dは図4Cで用いる経年変化補正器54の構成を示す図である。図4Dに示した経年変化補正器54は、位置指令Pcと被駆動体位置検出値Plを入力とし、駆動系が非加減速状態にあるときの被駆動体の振動を検出する。更に、被駆動体の振動が検出された場合には、1次遅れ回路23で使用する時定数Tvに加え、さらに、速度指令演算器のゲインKp、トルク指令演算器の比例ゲインPv、積分ゲインIvも可変する。具体的には、図4Dに示した経年変化補正器54は、図3を用いて説明した流れと同じ流れで、時定数Tvを可変する。また、次の手順で速度指令演算器のゲインKp、トルク指令演算器の比例ゲインPv、積分ゲインIvも可変する。振動検出器38から振動周波数fpが出力された場合、ゲイン換算初期値設定器55はゲイン換算初期値Ksを出力する。なお、Ksには1100よりも若干小さい値を設定しておくものとする。比較器48では、時定数Tvと予め定数設定された許容時定数Tvrefと比較される。この比較の結果、時定数Tvが許容時定数Tvrefを超えた場合に、ゲイン出力切替器49はゲイン換算初期値Ksを、ゲイン換算値Kとして出力する。このゲイン換算値Kをトルク指令演算器の比例ゲインPv、積分ゲインIvに乗算し、各値を更新することで、トルク指令演算器のゲイン設定値を小さくする。ゲイン設定値が更新されても振動検出器38が振動周波数fpを検出し続けている場合、カウンタ53がカウントアップされ、予め定数設定されたゲイン低減率分ΔKの減算が行われ、ゲイン低減率分ΔKだけゲイン換算値Kの値が小さくなる。上記カウントアップ操作は振動検出器38が振動周波数fpを検出し続けている間継続して行われるため、振動検出器38にて振動が検出されなくなるまでゲイン換算値Kの値が小さくなる。そして、この比率分だけトルク指令演算器の比例ゲインPv、積分ゲインIvの値が小さくなる。言い換えれば、被駆動体の振動を抑制するのに必要な分だけゲイン設定値が小さくされ、必要以上に小さなゲインが設定されることを防ぐことができる。更に時定数Tvを大きくしても振動を抑制できない場合にのみゲイン設定値を小さくするため速度制御系の追従性の低下を最小限に止めることができる。なお、トルク指令演算器のゲイン設定値を小さくした場合、速度フィードバック系の制御応答帯域が低下するため、速度指令演算器3のゲインKpを高い設定値のままにしておくと、位置制御系が不安定となり、振動的な応答を示す場合がある。このような場合、ゲイン換算値Kに従い、トルク指令演算器の比例ゲインPv、積分ゲインIvを低減するのと同時に、速度指令演算器3のゲインKpを低減することで解決できる。以上の説明から明らかなとおり、本実施形態によれば、図2、図3を用いて説明した場合と同様の作用効果が得られる。すなわち、本実施形態によれば、機械共振周波数Kb/M1/2が低下した場合に発生する低周波振動に対し、振動が観測されなくなるまで時定数Tvを大きくすることにより、機械共振周波数Kb/M1/2におけるゲイン余裕が大きくなるため、制御系を安定化し、低周波振動の発生を抑制することができる。また、時定数Tvを大きくしても振動抑制できないほど機械共振周波数が低下した場合には、トルク指令演算器、速度指令演算器のゲイン設定値を小さくすることで振動を抑制するため、時定数Tvのみで振動抑制する場合に比べ、広範囲の周波数帯での振動抑制が可能となる。更に、時定数Tvの値として必要以上に大きな値が設定されたり、ゲイン設定値を必要以上に小さくしたりすることがないことに加え、振動抑制する上で時定数Tvによる抑制を優先的に行うため、過度にゲイン余裕が確保されることもなく、制御系の追従性の低下を最小限に止めることができる。また、経年変化補正器54は、被駆動体の振動を検出して時定数Tv、トルク指令演算器、速度指令演算器のゲインを可変するため、摺動抵抗など被駆動体に作用するトルク外乱の大きさが変動する送り軸駆動系においても、適切に機構部の剛性低下を検出し、低周波振動を抑制することができる。"