"有機性排水を嫌気性処理する嫌気処理槽と、嫌気処理槽の処理液を嫌気処理槽外の内圧式管状膜で固液分離する排水処理装置において、前記嫌気処理槽が直列に複数設置されていることを特徴とする有機性排水の処理装置。請求項1において、内圧式管状膜における処理液の表面流速が0.5m/sec以上であることを特徴とする有機性排水の処理装置。請求項1又は2において、最後段の嫌気処理槽の処理液の一部を最前段の嫌気処理槽に返送する返送手段を備えたことを特徴とする有機性排水の処理装置。請求項3において、前記返送手段による返送液量が、最前段の嫌気処理槽に導入する有機性排水の導入量の0.25~4倍であることを特徴とする有機性排水の処理装置。請求項1ないし4のいずれか1項において、有機性排水がイソプロピルアルコールを主成分とすることを特徴とする有機性排水の処理装置。嫌気処理では粘質物の生成が少なく、フロックの形成力が弱い。膜面の汚れ防止のため、内圧式管状膜で高流速を与えると、その高い剪断力により汚泥フロックが微細化する。有機物の嫌気分解の過程で生成するプロピオン酸、酪酸やイソプロピルアルコールなどの一部の低分子有機物は、水素酢酸生成菌イソプロピルアルコールの場合は水素アセトン生成菌で生成した水素が水素資化性メタン菌により速やかに消費され、水素分圧が10-6~10-4atmに保たれ、両者の共生関係が成り立つことにより、分解が良好に進む。この共生関係が成り立つためには両者が数μm以内に存在することが必要であり、大部分の反応は、通常、数十μmの粒径の汚泥フロック内に固定された菌体同士の間で起こっていると考えられる。汚泥フロックが微細化すると、適切な距離に保たれた菌体量が少なくなり、共生関係が崩れ、処理が進まなくなってしまう。本発明は、有機性排水を嫌気処理した後、槽外型膜分離装置で膜分離する有機性排水の処理装置において、嫌気処理槽内での有機物分解反応を効率よく行わせることができる有機性排水の処理装置を提供することを目的とする。請求項1の有機性排水の処理装置は、有機性排水を嫌気性処理する嫌気処理槽と、嫌気処理槽の処理液を嫌気処理槽外の内圧式管状膜で固液分離する排水処理装置において、前記嫌気処理槽が直列に複数設置されていることを特徴とするものである。請求項2の有機性排水の処理装置は、請求項1において、内圧式管状膜における処理液の表面流速が0.5m/sec以上であることを特徴とするものである。請求項3の有機性排水の処理装置は、請求項1又は2において、最後段の嫌気処理槽の処理液の一部を最前段の嫌気処理槽に返送する返送手段を備えたことを特徴とするものである。請求項4の有機性排水の処理装置は、請求項3において、前記返送手段による返送液量が、最前段の嫌気処理槽に導入する有機性排水の導入量の0.25~4倍であることを特徴とするものである。請求項5の有機性排水の処理装置は、請求項1ないし4のいずれか1項において、有機性排水がイソプロピルアルコールを主成分とすることを特徴とするものである。本発明の有機性排水の処理装置では、有機性排水を嫌気処理した後、槽外の内圧式管状膜で膜分離する有機性排水の処理装置において、嫌気処理槽を直列に複数設置する。これにより、前段側の嫌気処理槽で水素が蓄積して水素酢酸生成反応が阻害を受けても、後段側の嫌気処理槽ではその影響が低減され、有機物の分解が安定して進むようになる。また、嫌気処理槽を直列に複数設置して最後段の嫌気処理槽から水素酢酸生成菌、メタン菌などを含む処理液を最前段の嫌気処理槽に、原水量に対し、0.25~4倍の流量で返送することにより、最前段の嫌気処理槽における汚泥負荷が高まる。高い汚泥負荷では菌体が粘質物を出しやすく、大きなフロックを形成しやすくなる。これにより、高負荷処理を安定して行うことができると共に、汚泥の膜濾過性も向上する。本発明では、内圧式管状膜により、高フラックスで固液分離処理が行われる。以下、本発明についてさらに詳細に説明する。本発明では、有機性排水を微生物固定化担体を有する嫌気処理槽で嫌気処理し、この嫌気処理水を槽外の内圧式管状膜で膜分離する。本発明では、この嫌気処理槽を直列に複数設置する。この嫌気処理槽は直列に2~5段設置されることが好ましい。図1は、かかる本発明の有機性排水の処理装置の一例を示すものであり、原水は第1の嫌気処理槽1に導入され、嫌気処理された後、第2の嫌気処理槽2に導入され、嫌気処理される。第2の嫌気処理槽2内の液の一部は返送ライン10及びポンプ11によって第1の嫌気処理槽1に返送される。この返送量は、第1の嫌気処理槽への原水流入量の0.25~4倍、特に1~2倍程度が好ましい。第2の嫌気処理槽2の液の残部は、ポンプ3により槽外の内圧式管状膜4に供給されて膜分離される。膜透過水が処理水として取り出され、濃縮水は返送ライン5により第2の嫌気処理槽2に返送される。嫌気処理槽1,2で発生したメタンガス等のバイオガスは、ガス取出ライン6を介して抜き出されるが、この実施の形態では、バイオガスの一部を分岐ライン7及びブロワ8を介して内圧式管状膜4に供給される。このように内圧式管状膜4内にバイオガスを流通させることにより膜面が洗浄され、膜濾過効率が向上する。なお、バイオガスの代りに又はバイオガスと共に、窒素などの非酸化性ガスを供給してもよい。複数の各嫌気処理槽の容積は同一であってもよく、前段側の容積を小さくしてもよい。図示の2段設置の場合、第1の嫌気処理槽の容積を第2の嫌気処理槽の50~100程度とすることができる。有機性排水としては、電子部品製造工場排水の他、化学工場排水、製薬工場排水、食品飲料工場排水、下水など、TOCが100~10,000mg/L特に300~1,000mg/L程度のものが好適である。有機性排水は、イソプロピルアルコールを主成分とし、さらにジエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドなどを含んだものが好適である。嫌気処理槽のCODcr負荷は、全体として2~50kg/m3d特に5~20kg/m3dが好ましい。最前段の嫌気処理槽1のCODcr負荷は、10~100kg/m3dが好ましい。最後段の嫌気処理槽の槽内汚泥濃度内圧式管状膜4に供給される液の汚泥濃度でもある。は4,000~30,000mgSS/L、特に6,000~12,000mg/L程度であることが、膜濾過性が良い点で好ましい。内圧式管状膜は、管状膜の内部に被処理液を流通させ、透過液を管外周面側に透過させて取り出すようにしたものである。内圧式管状膜のモジュール1本の直径は3mm~3cm、孔径は0.01~1μmが好適である。内圧式管状膜に嫌気処理槽の処理液を0.5m/sec以上、例えば0.5~2mm/secで通水するのが好ましい。前述の通り、処理液とともに、嫌気処理で生成するメタンを主成分とするガスや窒素ガスなど酸素を含有しないガスを通気することにより、膜濾過性を高めることができる。このように構成された有機性排水の処理装置では、前段側の嫌気処理槽で水素が蓄積して水素酢酸生成反応が阻害を受けても、後段側の嫌気処理槽ではその影響が低減され、有機物の分解が安定して進むようになる。なお、最後段の嫌気処理槽図では、第2の嫌気処理槽2から水素酢酸生成菌、メタン菌などを含む処理液を最前段の嫌気処理槽1に、原水量に対し、0.25~4倍の流量で返送することにより、最前段の嫌気処理槽1における汚泥負荷が高まる。高い汚泥負荷では菌体が粘質物を出しやすく、大きなフロックを形成しやすくなる。これにより、高負荷処理を安定して行うことができると共に、汚泥の膜濾過性も向上する。以下、実施例及び比較例について説明する。[実施例1]図1に示すフローに従って、下記水質の原水を下記条件で処理した。<原水>電子部品製造工場の排水水量1.5m3/dTOC300~700mg/L平均500mg/L、T-N30~70mg/L平均50mg/L、T-P3.0mg/Lその他の無機塩とともに栄養剤として添加有機物の組成イソプロピルアルコールIPA200~400mg/LジエチレングリコールモノブチルエーテルBDG200~400mg/LテトラメチルアンモニウムヒドロキシドTMAH200~400mg/L<嫌気処理槽>容量250Lのものを2槽設置水理学的滞留時間8hr第2の嫌気処理槽2の槽内液を返送ライン10により第1の嫌気処理槽へ原水流量1.5m3/dと同一流量にて返送した。水温35°C下水汚泥を種汚泥として6ヶ月馴養槽内MLSS12,000mg/Lを維持するように汚泥を引き抜いた。嫌気処理槽1,2から発生するバイオガスのうち4Nm3/hを内圧式管状膜に供給した。<内圧式管状膜>Noritのエアリフト型UF膜モジュール33PE孔径0.03μm、膜面積5.1m2内圧式管状膜内の処理液表面流速0.5m/secとなるように4m3hrで第2の嫌気処理槽2からの嫌気処理液を通水し、透過水を取り出し、濃縮液を第2の嫌気処理槽2に返送した。3min濾過、10sec逆洗のサイクルで、原水量に見合った処理水を膜の二次側から吸引して引き抜いた。逆洗時は処理水を7.2m3hrで二次側から通水した。[実施例2]容積125Lの嫌気処理槽を4槽水理学的滞留時間8hr直列に設置し、第4槽の槽内液を第1槽に原水量と同量返送するようにしたこと以外は実施例1と同一条件にて処理を行った。[比較例1]500Lの嫌気処理槽を1槽水理学的滞留時間8hrのみ設置したこと以外は実施例1と同一条件にて処理を行った。[比較例2]第2槽の槽内液を第1槽に原水流量の4倍量となるように返送したこと以外は実施例1と同一条件にて処理を行った。運転結果を図2、図3に示す。図2は嫌気処理槽のCODCr負荷kgm3dの経時変化を示す。図3はTOC除去率の経時変化を示す。図2,3の通り、3ヶ月の間、4~7.5kgm3dで変動したCODcr負荷に対し、実施例1,2では除去率97以上が安定して維持され、処理水TOC20mgL以下を満足したのに対し、比較例1では60~80、比較例2では80の除去率に留まり、特に負荷が急増したときに処理水質が悪化し、その影響が長く続いた。比較例1,2の処理水の残留有機物を分析したところ、大部分がIPA、および、BDGの分解過程で生成したと見られる酪酸であり、負荷が上昇した際には水素分圧が高まり、完全混合槽の比較例1や、汚泥の返送比が高く完全混合に近い比較例2では、それらの分解が阻害されたと考えられる。以上のように、本発明によって、水素を巡る菌体同士の共生により分解が進む有機成分に対し、水素が蓄積して阻害を受けても、後段ではその影響が低減され、分解が安定して進むようになり、内圧式管状膜による高フラックスでの固液分離と処理の安定化を両立させることができる。"