"複数の基板保持体と、複数の前記基板保持体を第1の方向に並ぶように支持し、且つ複数の前記基板保持体の前記第1の方向におけるピッチを変更する支持機構と、それぞれの前記基板保持体に設けられ、前記基板保持体に対し移動可能な1以上の可動保持部材を含み、前記可動保持部材によって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板が前記第1の方向に並ぶように当該基板を把持するよう構成された保持部と、前記第1の方向に交差する第2の方向及びその反対方向の第3の方向に移動可能であり、当該移動に伴って1以上の前記可動保持部材を移動させるように、それぞれの前記基板保持体に設けられた可動体と、前記第2の方向に前記可動体を付勢し、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持するようそれぞれの前記基板保持体に設けられた付勢機構と、押し戻し部を含み、当該押し戻し部が、複数の前記基板保持体にそれぞれ設けられた前記可動体を、前記第3の方向に前記付勢力に抗して移動させて、前記可動保持部材による前記基板の押圧保持を解除する押し戻し機構と、を備え、前記押し戻し機構は、前記押し戻し部を前記可動体と非接触となる待機位置に位置させることができるよう構成されている、基板保持装置。前記待機位置は、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持する把持位置よりも前記第2の方向側である、請求項1に記載の基板保持装置。前記保持部は、前記基板保持体に固定された1以上の固定保持部材を含み、当該固定保持部材と前記可動保持部材とによって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板を把持するよう構成されている、請求項1又は2に記載の基板保持装置。前記可動保持部材は、それぞれの前記基板保持体に2以上設けられている、請求項1乃至3の何れかに記載の基板保持装置。前記付勢機構は、前記把持位置よりも前記第2の方向側であって、前記可動体に対する前記第2の方向への付勢力が解かれる付勢可能限度位置を含み、前記待機位置は、前記付勢可能限度位置より前記第2の方向側に位置するよう構成されている、請求項1乃至4の何れかに記載の、基板保持装置。前記可動体の前記第2の方向側への移動を規制するストッパを備え、当該ストッパによって前記付勢可能限度位置が規定される、請求項5に記載の基板保持装置。前記支持機構は、前記押し戻し機構の前記押し戻し部が前記待機位置に位置しているときに複数の前記基板保持体の前記第1の方向におけるピッチを変更するよう構成されている、請求項1乃至6の何れかに記載の基板保持装置。ところで、基板保持部のピッチを大きく変更するような基板保持装置であったり、基板保持部の数を増やしたりした基板保持装置においては、ピッチの変更に伴い、一部の基板保持部において変更の前後のスチールテープの両端の間の直線距離が大きく変わり、その結果スチールテープが大きく撓むような場合がある。このような場合においても、スチールテープの屈曲部分の弾性力によってスチールテープの撓みを吸収し、基板の把持力を一定に保つことは容易ではない。本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、基板保持部のピッチを大きく変更したり、基板保持部の数を増やしたりした場合においても、把持力を一定に保ち、基板を確実に保持することができる基板保持装置を提供することを目的としている。上記課題を解決するために、本発明に係る組合せ秤の基板保持装置は、複数の基板保持体と、複数の前記基板保持体を第1の方向に並ぶように支持し、且つ複数の前記基板保持体の前記第1の方向におけるピッチを変更する支持機構と、それぞれの前記基板保持体に設けられ、前記基板保持体に対し移動可能な1以上の可動保持部材を含み、前記可動保持部材によって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板が前記第1の方向に並ぶように当該基板を把持するよう構成された保持部と、前記第1の方向に交差する第2の方向及びその反対方向の第3の方向に移動可能であり、当該移動に伴って1以上の前記可動保持部材を移動させるように、それぞれの前記基板保持体に設けられた可動体と、前記第2の方向に前記可動体を付勢し、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持するようそれぞれの前記基板保持体に設けられた付勢機構と、押し戻し部を含み、当該押し戻し部が、複数の前記基板保持体にそれぞれ設けられた前記可動体を、前記第3の方向に前記付勢力に抗して移動させて、前記可動保持部材による前記基板の押圧保持を解除する押し戻し機構と、を備え、前記押し戻し機構は、前記押し戻し部を前記可動体と非接触となる待機位置に位置させることができるよう構成されている。この構成によれば、付勢機構は、複数の基板保持体にそれぞれ設けられ、ピッチ変更時において、対応する基板との位置関係が変わらないようにすることができる。これによって、ピッチ変更時において、把持力を一定に保つことができ、基板を確実に保持することができる。また、押し戻し部が可動体と非接触となる待機位置に位置する時にピッチ変更を行なうことができ、それにより、ピッチ変更時に押し戻し部と可動体とが擦れ合わないようにすることができる。これによって、ピッチ変更時におけるパーティクルの発生を防止することができ、ひいては基板を用いて製造される被製造物の歩留まりを向上させることができる。上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記待機位置は、前記可動保持部材が前記基板に接触して当該基板を押圧把持する把持位置よりも前記第2の方向側であってもよい。この構成によれば、押し戻し部を把持位置より第2の方向側に動かすことによって、押し戻し部と可動体とを非接触とすることができる。上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記保持部は、前記基板保持体に固定された1以上の固定保持部材を含み、当該固定保持部材と前記可動保持部材とによって、複数の前記基板保持体に対応する複数の基板を把持するよう構成されていてもよい。この構成によれば、1以上の固定保持部材と1以上の可動保持部材とによって対応する基板を把持することができる。上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記可動保持部材は、それぞれの前記基板保持体に2以上設けられていてもよい。この構成によれば、2以上の可動保持部材によって対応する基板を把持することができる。上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記付勢機構は、前記把持位置よりも前記第2の方向側であって、前記可動体に対する前記第2の方向への付勢力が解かれる付勢可能限度位置を含み、前記待機位置は、前記付勢可能限度位置より前記第2の方向側に位置するよう構成されていてもよい。この構成によれば、押し戻し機構を付勢可能限度位置より第2の方向側に動かすことによって、保持部が基板を保持しているか否かにかかわらず、押し戻し部と可動体とを非接触とすることができる。上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記可動体の前記第2の方向側への移動を規制するストッパを備え、当該ストッパによって前記付勢可能限度位置が規定されていてもよい。この構成によれば、押し戻し機構をストッパより第2の方向側に動かすことによって、保持部が基板を保持しているか否かにかかわらず、押し戻し部と可動体とを非接触とすることができる。上記発明に係る組合せ秤の基板保持装置において、前記支持機構は、前記押し戻し機構の前記押し戻し部が前記待機位置に位置しているときに複数の前記基板保持体の前記第1の方向におけるピッチを変更するよう構成されていてもよい。この構成によれば、押し戻し部と可動体とが擦れ合わないようにすることができる。本発明は以上に説明したように構成され、把持力を一定に保つことができ、基板を確実に保持することができるという効果を奏する。また、本発明は、基板を用いて製造される被製造物の歩留まりを向上させることができるという効果を奏する。以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、以下では全ての図を通じて同一又は相当する要素には同じ参照符号を付して、その重複する説明を省略する。[全体構成]図1は、基板保持装置100を含む基板搬送システム1の構成例を示す図である。基板として、半導体ウエハ、半導体プロセスによって処理される薄型ディスプレイ液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等用のガラス基板が例示される。半導体ウエハとして、シリコンウェハ、シリコンカーバイドウェハ、サファイアウェハ等が例示される。基板搬送システム1は、基板を搬送するものであれば特に限定されない。基板搬送システム1は、例えば、半導体製造ラインにおいてシリコンウェハ基板を一のカセットから他のカセットに搬送するシステムである。本実施の形態に係る基板搬送システム1は、第1カセット2に収納されている円形の基板を搬出し、この基板を第2カセット3に搬入する。第1カセット2及び第2カセット3は、それぞれ箱状に形成され、その側面に各カセットに収納される基板の搬入搬出を行うための開口部2a,3aが形成されている。第1カセット2及び第2カセット3は、これら開口部2a,3aが互いに対向するように配置されている。そして、第1カセット2は、基板がピッチP1で例えば鉛直方向に並ぶように、図示しない支持部が基板を支持している。また、第2カセット3は、基板が第1ピッチP1よりも小さいピッチP2で鉛直方向に並ぶように、図示しない支持部が基板を支持している。基板搬送システム1は、基板保持装置100がその先端に取り付けられ、基板保持装置100を用いて第1カセット2に収納されている基板を第2カセット3に搬送するロボット4と、ロボット4を昇降させる昇降台5と、基板保持装置100を含むロボット4及び昇降台5を制御する図示しない制御部を備えている。ロボット4は、例えば、産業用ロボットであり、このアームの先端部に基板保持装置100が装着されている。本実施の形態において、ロボット4は、いわゆる水平多関節式ロボットであり、水平面内においてそのアームが動作する。ロボット4は、周知の水平多関節式ロボットで構成することができるので、これ以上の説明を省略する。昇降台5は、ロボット4の基台と連結され、ロボット4のアームが動作する水平面と交差する方向に昇降する。本実施の形態に係る昇降台5は、第1カセット2及び第2カセット3の間に配置され、これらのカセットに収納されている基板が並ぶ鉛直方向に昇降する。昇降台5の構成は周知であるので、これ以上の説明を省略する。[基板保持装置の構成]図2は、基板保持装置100の構成例を示す外観図である。図3は、基板保持装置100の構成例を示す要部拡大斜視図であり、後述する基板保持体10の基端部付近を示したものである。図2及び図3に示すように、基板保持装置100は、複数の基板保持体10と、複数の基板保持体10の基端部を支持する支持機構12と、基板を把持する保持部14と、可動体16と、付勢機構18と、押し戻し機構20とを備えている。本実施の形態において、基板保持体10は、基板保持体10a~10eの5つが設けられている。図4は、基板保持装置100の構成例を示す側面図である。なお、図4では、押し戻し部60を後述する待機位置よりも基板保持体10の先端方向に位置させた状態を表している。図2に示すように、各基板保持体10a~10eは、本実施の形態において、基端部から先端部に向かって延びる板状に形成され、その中間部から先端部にかけて円形のシリコンウェハを保持する基板保持位置Aが設定されている。図2及び図3に示すように、各基板保持体10a~10eの基端部の中間部は、基端部から先端部に向かって切り欠かれ切欠部11を形成している。なお、以下では、便宜上、基板保持体10a~10eの基端部側から先端側に向かう方向を前といい、その反対方向を後という。図3及び図4に示すように、支持機構12は、各基板保持体10a~10eがその厚み方向に並ぶように、各基板保持体10a~10eを支持し、各基板保持体10a~10eが並ぶ方向のピッチを変更する。本実施の形態において、各基板保持体10a~10eは、鉛直方向第1の方向に沿って並ぶように構成されている。なお、以下では、便宜上、基板保持体10aから10eに向かう方向を上といい、その反対方向を下という。図5A及び図5Bは、基板保持装置100の支持機構12の構成例を示す図である。図3、図5A及び図5Bに示すように、本実施の形態において、支持機構12は、基板保持体10と同数、即ち5つの支持台第1~第5の支持台50a~50eと、一対のガイドレール52と、回動部材54と、図示しないピッチ変更駆動部とを有する。第1~第5の支持台50a~50eは、それぞれ厚板状に形成され、表面表側主面と、表面の周囲から下方向に延びる前面、後面及び両側面を含む周囲面とを有している。そして、基板保持体10a~10eの後端が、第1~第5の支持台50a~50eの前面に、第1~第5の支持台50a~50eの表面が延びる方向と平行にそれぞれ基板保持体10a~10eが延びるように、取り付けられている。そして、第1~第5の支持台50a~50eは、図3に示すように、表面に後述する可動体16の本体部16aを案内するガイド溝57が形成されている。ガイド溝57は、各支持台の表面の内側から前方に向かって基板保持体10が延びる方向と平行に延び、その先端は第1~第5の支持台50a~50eの前面に開口している。そして、図5A及び図5Bに示すように第2~第5の支持台50b~50eは、それぞれその後面に、表面が延びる方向と平行に延び、後述する係合ピン55b~55eと係合する長孔51b~51eを有している。また、本実施の形態において、第1~第5の支持台50a~50eは、図3及び図4に示すように、後述する可動体16のレバー部16bの移動を規制するストッパ6を備えている。ストッパ6は、第1~第5の支持台50a~50eの前面から前方に突出するように側面視L字状に形成され、後述する待機可能限度位置に位置する可動体16のレバー部16bと当接するように配設される。一対のガイドレール52は、上下方向に延び、その下端が第1支持台50aの両側面にそれぞれ固定されている。また、ガイドレール52は、第2~第5の支持台50b~50eの両側面とそれぞれ摺動可能に係合している。そして、この一対のガイドレール52は、第2~第5の支持台50b~50eの姿勢を保ちながらガイドレール52の延びる方向、即ち上下方向に第2~第5の支持台50b~50eを案内する。回動部材54は、例えば細長い板状体である。回動部材54は、その基端部から先端部にかけて基板保持体10と同数の係合ピン55が等間隔に設けられ、本実施の形態においては、5つの係合ピン55a~55eが設けられている。このうち、係合ピン55aは、第1支持台50aと回動可能に係合している。また、他の係合ピン55b~55eは、それぞれ長孔51b~51eと係合し、長孔51の延びる方向に摺動可能に構成されている。ピッチ変更駆動部は、係合ピン55aと連結され、係合ピン55a及びこれと共に回動部材54を回動させる。上記の通り構成された支持機構12は、ピッチ変更駆動部が回動部材54を揺動させると、回動部材54は各長孔51b~51eの延びる方向と交差して位置しているため、第2~第5の支持台50b~50eが一対のガイドレール52の延びる上下方向に案内される。また、5つの係合ピン55a~55eは等間隔に設けられているため、これによって、第1~第5の支持台50a~50eはいずれのピッチにおいても等間隔に並ぶ。図2~図4に示すように、保持部14は、基板保持体10a~10eのそれぞれに設けられ、基板保持体10a~10eに対しそれぞれ移動可能な可動保持部材24を備えている。そして、本実施の形態においては、更に2つの固定保持部材22を備えている。可動保持部材24は、基板保持体10上の基板保持位置Aの後側の周縁に位置するように設けられている。2つの固定保持部材22は、基板保持体10a~10e上の基板保持位置Aの前側の周縁に位置するように設けられている。これら可動保持部材24及び固定保持部材22が基板保持体10に対応する基板を把持する。これによって、各基板は、上下方向に並ぶ。可動体16は、各基板保持体10a~10eに設けられ、上下方向に交差する方向に移動可能であり、その移動に伴って可動保持部材24を移動させる。本実施の形態において、可動体16は、基板保持体10が延びる方向と平行に延びる棒状の本体部16aと、本体部16aが延びる方向と交差する方向にレバー部16bを有している。本体部16aは、第1~第5の支持台50a~50eのガイド溝57内に配置され、このガイド溝57に案内されて基板保持位置Aに向かう方向、即ち前方第2の方向、及び基板保持位置Aから離れる方向、即ち後方第3の方向に摺動する。そして、本体部16aの前端は可動保持部材24の後端に一体的に取り付けられている。これによって、可動保持部材24は、可動体16と共に、前後方向に移動する。レバー部16bは、後述する押し戻し部60と接触する部分であり、基板保持体10が延びる方向と平行な面内において、本体部16aが延びる方向と直交する方向に延びている。付勢機構18は、可動体16を付勢し、可動保持部材24が基板保持位置Aに位置する基板に接触してこの基板を押圧把持する。付勢機構18として、各種のばね、モータ、空圧作動のアクチュエータ等が例示される。本実施の形態において、付勢機構18は、圧縮コイルばねであり、後方から前方に向かって可動体16の本体部16aの後端部を付勢している。これによって、基板保持位置Aに基板が位置している場合、可動保持部材24は、可動体16を介して付勢機構18に付勢され、前方に移動し、基板に接触し、基板を押圧把持する。一方、基板保持位置Aに基板が位置していない場合、可動体16は、前方に更に移動し、レバー部16bがストッパ6に当接して前方への可動体16の移動を規制する。これによって、可動保持部材24に対する前方への付勢力が解かれる。この状態における可動体16の位置が付勢可能限度位置図9参照を構成する。即ち、ストッパ6によって付勢可能限度位置が規定されている。押し戻し機構20は、押し戻し部60を有し、押し戻し部60が可動体16を後方に付勢機構18の付勢力に抗して移動させて、可動保持部材24による基板の押圧保持を解除する。本実施の形態において、押し戻し機構20は、押し戻し駆動部61及びロッド62を備え、ロッド62の基端部が押し戻し駆動部61に連結されている。ロッド62は、棒状体をL字状に屈曲させて形成され、この屈曲部分の先端側の部分が押し戻し部60を構成している。押し戻し部60は、上下方向に延びて形成され、切り欠き11の内側に位置している。また、押し戻し部60は、レバー部16bよりも前方に位置している。押し戻し駆動部61は、第1支持台50aの底面に取り付けられている。押し戻し駆動部61は、アクチュエータであり、切り欠き11内において、押し戻し部60を前方の待機位置図8参照と後方の解放位置図7参照との間でガイド溝57が延びる方向に進退動させる。待機位置と解放位置との間には、可動保持部材24が基板保持位置Aに接触した状態におけるレバー部16bに押し戻し部60が接触する把持位置が含まれている。待機位置は、把持位置よりも前方第2の方向側に設定される。したがって、押し戻し部60を把持位置から待機位置に移動させると、可動保持部材24及び可動体16は、付勢機構18によって前方に付勢されるものの、基板によって前方への移動が規制される。これによって、押し戻し部60の動きに伴って、可動保持部材24及び可動体16が追従しない。よって、押し戻し部60とレバー部16bとは切り離され、非接触となる。また、本実施の形態において、待機位置は、付勢可能限度位置に位置する可動体16のレバー部16bに押し戻し部60が当接する位置よりも前方に設定される図9参照。したがって、基板保持位置Aに基板が位置しないときであっても、可動保持部材24及び可動体16はストッパ6によって前方への移動が規制される。これによって、押し戻し部60の動きに伴って、可動保持部材24及び可動体16が追従しない。よって、押し戻し部60とレバー部16bとは切り離され、非接触となる。このように、基板保持位置Aの基板の有無に関わらず、押し戻し部60は、待機位置において、レバー部16bと非接触となるように構成されている。また、解放位置は、把持位置よりも後方第3の方向に設定される。したがって、押し戻し部60を把持位置から解放位置に移動させると、可動保持部材24及び可動体16は、押し戻し部60の動きに追従する。これによって、可動保持部材24及び可動体16は、付勢機構18の付勢力に抗して後方に押し戻される。よって、基板の押圧保持が解除される。[動作例]次に、基板保持装置100を含む基板搬送システム1の動作例を説明する。図6は、基板保持装置100の動作例を示すフローチャートである。図7~図9は、基板保持装置100の動作例を示す図である。まず、基板保持装置100の制御部は、5つの基板保持体10のピッチが第1カセット2に収納されている基板のピッチと同じ第1ピッチP1になるように基板保持体10を位置決めし、図7に示すように、押し戻し部60を解放位置に位置させるステップS1。次に、基板搬送システム1の制御部は、昇降台5を駆動し、基板保持装置100の各基板保持体10を第1カセット2に収納されている基板の隙間に差し込める高さ位置に位置させる。そして、基板搬送システム1の制御部は、ロボット4を駆動し、第1カセット2の開口部2aを介して、基板保持装置100の各基板保持体10を第1カセット2に収納されている基板の隙間に差し込み、基板保持体10の各基板保持位置Aに基板を位置させる。次に、基板搬送システム1の制御部は、図8に示すように、押し戻し部60を待機位置に位置させるステップS2。この過程において、可動保持部材24は、付勢機構18の付勢力に付勢されて基板保持位置Aに位置している基板に当接して基板を押圧把持する。なお、第1カセット2に基板が収納されていない場合、図9に示すように、可動体16は、付勢可能限度位置に位置する。次に、基板搬送システム1の制御部は、昇降台5及びロボット4を駆動し、基板保持装置100を第1カセット2の外に引き出し、基板を第1カセット2から搬出する。そして、本実施の形態のように、第1カセット2の第1ピッチP1と第2カセット3の第2ピッチP2とが異なる場合、基板搬送システム1の制御部は、ピッチ変更を行うと判定するステップS3においてYES。そして、基板搬送システム1の制御部は、ピッチ変更駆動部を駆動し、5つの基板保持体10のピッチが第2カセット3の基板のピッチと同じ第2ピッチP2になるように基板保持体10を位置決めするピッチ変更を行うステップS4。このピッチ変更に伴って、レバー部16bは、押し戻し部60が延びる方向と平行に移動するが、押し戻し部60はレバー部16bと非接触の状態にあるので、押し戻し部60とレバー部16bとが擦れ合わない。よって、パーティクルの発生を防ぐことができる。一方、第1カセット2の第1ピッチP1と第2カセット3の第2ピッチP2とが同じ場合はピッチ変更を行わないと判定しステップS3においてNO、ピッチ変更を行わない。次に、基板搬送システム1の制御部は、昇降台5を駆動し、基板保持装置100の各基板保持体10を第2カセット3に収納されている基板の隙間に差し込める高さ位置に位置させる。そして、基板搬送システム1の制御部は、ロボット4を駆動し、第2カセット3の開口部3aを介して、基板保持装置100の各基板保持体10を第1カセット2に差し込み、基板を第2カセット3に搬入する。そして、押し戻し部60を解放位置に位置させ、基板の押圧把持を解除し、第2カセット3の支持部に支持させ、第2カセット3に対する基板の搬入を完了する。以上のように、本実施の形態の基板保持装置100は、各基板保持体10に設けられている付勢機構18が対応する基板保持体10の基板保持位置Aに位置する基板を個々に押圧する。これによって、ピッチ変更を行っても基板の把持力を一定に保つことができる。また、押し戻し部60をレバー部16bと非接触となる待機位置に位置させることができるので、ピッチを変更する際に押し戻し部60とレバー部16bとが擦れ合うことによるパーティクルの発生を防ぐことができる。これによって、当該基板を用いて作成される被製造物の歩留まりを向上させることができる。また、基板保持装置100は、押し戻し部60の位置の切り替えにより、複数の基板の押圧把持及びその解除を一括して行う。これによって、基板保持装置100の構成を簡素化でき、製造に有利、且つ、製造コストも安価となる。<変形例>上記実施の形態においては、基板保持装置100は、円形の基板を可動保持部材24及び二つの固定保持部材22によって把持する構成を示したがこれに限られるものではない。これに代えて、例えば、図10に示すように、矩形の基板を把持する構成としてもよい。更に、この矩形の基板を対向する可動保持部材124及び固定保持部材122によって把持してもよい。また、上記実施の形態においては、保持部14は、可動保持部材24及び固定保持部材22を有するように構成されているがこれに限られるものではない。これに代えて、例えば、複数の可動保持部材24のみからなる構成としてもよい。更に、上記実施の形態においては、ストッパ6が可動体16の付勢可能限度位置を規定しているがこれに限られるものではない。これに代えて、ストッパ6を設けず、付勢機構18のコイルばねが自由長に達した際の可動体16位置を付勢可能限度位置としてもよい。上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び/又は機能の詳細を実質的に変更できる。"