筒状のユニットケース11と、前記ユニットケース11の内側に同軸状態に配置されている円筒軸12と、前記ユニットケース11の内周面11cおよび前記円筒軸12の外周面12cの間において、これらの軸線方向に離れた位置に配置され、これらを相対回転自在の状態に保持している第1軸受15および第2軸受16と、前記ユニットケース11の内周面11c、前記第1軸受15、前記第2軸受16および前記円筒軸12の外周面12cによって囲まれた円筒状空間に配置され、前記ユニットケース11および前記円筒軸12の間を気密状態に保持している磁性流体シール13と、前記円筒軸12の中空部を同軸状態に貫通して延びている回転出力軸14と、前記回転出力軸14の外周面14cおよび前記円筒軸12の内周面12dの間を気密状態に保持している弾性シール部材17、18とを有していることを特徴とするシール用回転出力ユニット3。請求項1において、前記弾性シール部材はOリング17、18であることを特徴とするシール用回転出力ユニット3。請求項1において、前記ユニットケース11における前記軸線方向の先端部に締結固定された円盤状の先端フランジ21と、前記ユニットケース11および前記先端フランジ21の相互の接合面11e、21bの間を気密状態に保持している接合面間シール部材23とを有し、前記先端フランジ21は、前記回転出力軸14の軸先端部14aが貫通して延びているフランジ軸穴21aを備えていることを特徴とするシール用回転出力ユニット3。請求項1ないし3のうちのいずれかの項において、前記回転出力軸14の軸後端部14bに同軸状態に締結固定される後端フランジ24を有し、前記回転出力軸14と前記後端フランジ24の締結固定位置は、前記軸線に直交する方向に所定量だけ変更可能となっていることを特徴とするシール用回転出力ユニット3。中心に軸線4方向に中空部5が貫通して延びている中空モータ2と、前記中空部5に同軸状態に配置された請求項1に記載のシール用回転出力ユニット3とを有し、前記シール用回転出力ユニット3の前記ユニットケース11は、前記中空モータ2のモータケースに締結固定されており、前記シール用回転出力ユニット3の前記回転出力軸14は、前記中空モータ2の前記モータケースによって回転自在の状態で支持されている中空モータ軸9に、同軸状態に締結固定されていることを特徴とするシール用モータアセンブリ1。請求項5において、前記シール用回転出力ユニット3は、前記ユニットケース11における前記軸線方向の先端部に締結固定された円盤状の先端フランジ21と、前記ユニットケース11および前記先端フランジ21の相互の接合面11e、21bの間を気密状態に保持している接合面間シール部材23とを有し、前記先端フランジ21は、前記回転出力軸14の軸先端部14aが貫通して延びているフランジ軸穴21aを備えており、前記先端フランジ21は、前記中空モータ2のモータケースに締結固定されていることを特徴とするシール用モータアセンブリ1。請求項6において、前記シール用回転出力ユニット3は、前記回転出力軸14の軸後端部14bに同軸状態に締結固定される後端フランジ24を有し、前記回転出力軸14と前記後端フランジ24の締結固定位置は、前記軸線に直交する方向に所定量だけ変更可能となっており、前記後端フランジ24は、前記中空モータ2の前記中空モータ軸9に、同軸状態に締結固定されていることを特徴とするシール用モータアセンブリ1。請求項7において、前記中空モータ2の前記モータケースは、その軸線方向における先端側に位置する固定側モータケース6aと、その後端側に位置する回転側モータケース7bとを備え、当該回転側モータケース7bは前記中空モータ軸9に一体形成あるいは連結固定されており、前記固定側モータケース6aによって前記中空モータ軸9は回転自在の状態で支持されており、前記シール用回転出力ユニット3の前記先端フランジ21は前記固定側モータケース6aに締結固定されており、前記シール用回転出力ユニット3の前記後端フランジ24は前記回転側モータケース7bに締結固定されていることを特徴とするシール用モータアセンブリ1。請求項5ないし8のうちのいずれかの項において、前記シール用回転出力ユニット3の前記弾性シール部材はOリング17、18であることを特徴とするシール用モータアセンブリ1。本発明では、磁性流体シールによって外周面がシールされている円筒軸の内側に、回転出力軸を貫通する状態に配置し、これら円筒軸と回転出力軸の間をOリングなどの弾性シール部材によってシールしている。この構成によれば、モータ軸に直結した場合の回転出力軸の芯振れが弾性シール部材によって吸収されるので、モータ軸の軸受側あるいは磁性流体シールの軸受側に無理な応力が発生することがない。また、円筒軸は回転出力軸と共に回転するので、これらの間をシールしている弾性シール部材が摺動摩耗してシール性が低下することもない。よって、本発明によれば、モータ、例えば既存のモータに、継ぎ手を介さずに直結して用いることのできる回転精度の高いシール用回転出力ユニットを実現できる。また、中空モータの中空部を利用して磁性流体シールを備えたシール用回転出力ユニットを配置することにより、寸法増加を招くことなく、回転精度の高いシール用モータアセンブリを実現できる。以下に、図面を参照して本発明を適用したシール用モータアセンブリの実施の形態を説明する。図1を参照して説明すると、本実施の形態に係るシール用モータアセンブリ1は中空モータ2とシール用回転出力ユニット3を備えている。中空モータ2の中心部にはモータ軸線4の方向に延びる中空部5が貫通して延びており、ここにシール用回転出力ユニット3が同軸状態に装着されている。中空モータ2は、先端側の固定部6と後端側の回転部7から構成されている。固定部6は、その後端側から、円筒状の固定側モータケース6aと、円筒状のエンコーダカバー6bと、円盤状の取付用フランジ6cが同軸状に組み付けられた構成となっている。回転部7は、固定部6および回転部7の中心に沿って延びている中空モータ軸9を備えている。中空モータ軸9の後端部には半径方向の外方に広がる円盤状の後端側端板7aが一体形成されている。後端側端板7aの外周縁部には先端側に延びる円筒状の回転側モータケース7bが一体形成されている。固定側モータケース6aと回転側モータケース7bによって、中空モータ2のモータケースが構成されている。回転側モータケース7bと中空モータ軸9の間の円筒状空間には、固定側モータケース6aの内側に固定されたステータコアおよび当該ステータコアに巻き付けた駆動コイルからなるステータ部図示せずが配置されており、当該ステータ部は、一定のギャップを介して中空モータ軸9の外周に同軸状態に固定したロータマグネット7cに対峙している。また、固定部6と回転部7は、これらの間に配置したクロスローラベアリング8によって相対回転自在の状態に保持されている。エンコーダカバー6bによって覆われている中空モータ軸9の外周部分にはエンコーダユニット10が組み込まれており、中空モータ軸9の回転位置を検出可能となっている。シール用回転出力ユニット次に、シール用回転出力ユニット3は円筒状のユニットケース11を備えている。ユニットケース11の先端部には半径方向の外方および内側に広がっている円環状の先端側端板11aが一体形成されており、ユニットケース11の後端部には半径方向の内側に延びる円環状の後端側端板11bが一体形成されている。この形状のユニットケース11の内側には同軸状態に円筒軸12が配置されており、この円筒軸12の軸先端部12aは先端側端板11aから先端側に僅かに突出しており、軸先端部12aの外周面部分と先端側端板11aの円形内周面の間には微小な円環状隙間が形成されている。同様に、円筒軸12の軸後端部12bは後端側端板11bから後端側に僅かに突出しており、軸後端部12bの外周面部分と後端側端板11bの円形内周面の間には微小な円環状隙間が形成されている。ユニットケース11の内側には、その先端側端板11aの後側位置および後端側端板11bの前側位置に、それぞれ先端側軸受15および後端側軸受16が組み込まれており、これらの軸受15、16を介して、円筒軸12はユニットケース11の円形内周面11cに回転自在の状態で支持されている。これらユニットケース11の円形内周面11c、軸受15、16および円筒軸12の円形外周面12cによって囲まれている円筒状空間には、磁性流体シール13が装着されている。磁性流体シール13は、永久磁石リングと磁性リングとが交互に円筒軸の軸線方向に積層配列され、各磁性リングの内周面と磁性材料からなる円筒軸12の円形外周面12cの間に、磁力によって磁性流体が保持された構成となっている。磁性流体シール13の構造は公知であるので図示を省略してある。磁性流体シール13によって、円筒軸12とユニットケース11の間が気密状態に保持されている。円筒軸12の中空部には回転出力軸14が同軸状態に貫通して延びている。円筒軸12の円形内周面12dと回転出力軸14の円形外周面14c間は微小な環状隙間が形成されている。また、円筒軸12の円形内周面12dにおいて、先端側軸受15に対峙する位置および後端側軸受16に対峙する位置には、それぞれ矩形断面の円環溝が形成されており、これらの円環溝には弾性シール部材としてOリング17、18が装着されている。Oリング17、18は弾性変形して押しつぶされた状態で、円筒軸12の円形内周面12dと回転出力軸14の円形外周面14cの間を気密状態に保持している。なお、場合によっては、Oリング17、18の代わりに、弾性変形可能な樹脂製あるいはゴム製のシールリングを用いることも可能である。次に、ユニットケース11の先端側端板11aの先端側の端面11eには、円盤状の先端フランジ21が締結ボルト22によって同軸状態に締結固定されている。先端フランジ21の中心に形成したフランジ軸穴21aは先端側が小径開口部となっており、後端側が大径開口部となっており、大径開口部に後側からユニットケース11の先端側端板11aが装着され、締結ボルト22によって締結固定されている。フランジ軸穴21aの円環状段面21bと、これに接触している先端側端板11aの先端側の端面11eとの間は、Oリング23によって気密状態に保持されている。先端フランジ21のフランジ軸穴21aを貫通して、回転出力軸14の軸先端部14aが先端側に向けて突出している。一方、回転出力軸14の軸後端部14bには同軸状態に円盤状の後端フランジ24が締結ボルト25によって締結固定されている。回転出力軸14の軸後端部14bには、大きな径の円盤状のボス14dが形成されており、ボス14dの後端面14eの中心からは後方に円柱状の凸部14fが突出している。これに対して、後端フランジ24は大径の円盤部分24aと、この円盤部分24aの先端側の端面の中心から先端側に突出している円柱状のボス24bとを備えている。ボス24bはボス14dと同一径のものであり、その先端面24cの中心には円形凹部24dが形成されている。回転出力軸14のボス14dの後端面14eと、後端フランジ24のボス24bの先端面24cは、回転出力軸14および後端フランジ24を連結する際の位置決め用の合わせ面となっている。また、円形凹部24dの内径はボス14dの外径よりも僅かに大きく、これらの間に遊びがあり、回転出力軸14と後端フランジ24は、それらの軸線に直交する方向に相対的に僅かに移動可能である。ここで、シール用回転出力ユニット3は、その先端フランジ21が締結ボルト26によって中空モータ2の固定部6の取付用フランジ6cに対して後側から締結固定されている。また、その後端フランジ24の円盤部分24aが、締結ボルト27によって、中空モータ2の中空モータ軸9の後端部に締結固定されている。この構成のシール用モータアセンブリ1は、例えば、真空室30における大気側との仕切り壁31の大気側側面32に、先端フランジ21の先端面21cが不図示の締結ボルトによって締結固定される。仕切り壁31の大気側側面32と先端フランジ21の先端面21cの間には弾性シール部材、例えばOリング33が装着され、これらの間が気密状態に保持される。回転出力軸14の軸先端部14aは仕切り壁31の軸穴35を通って真空室側に突出した状態になる。この状態において、真空側と大気側とは、Oリング33と、シール用回転出力ユニット3のOリング23、磁性流体シール13、および、Oリング17、18とによってシールされた状態が形成される。本実施の形態に係るシール用モータアセンブリ1では、磁性流体シール13を用いて、固定側のユニットケース11と回転側の円筒軸12の間をシールしている。非接触型の磁性流体シール13を用いているので、中空モータ2による回転出力軸14の回転に伴う摩擦力を低減できる。また、シール用回転出力ユニット3における先端フランジ21、後端フランジ24以外の部分、すなわち、磁性流体シール13が形成されている部分を中空モータ2の中空部5内に配置してある。したがって、既存の中空モータ2の軸長、外径の大幅な増加を伴うことなく、シール用回転出力ユニット3を取り付けることができる。よって、小型でコンパクトなシール用モータアセンブリ1を実現できる。また、回転出力軸14は継ぎ手を介さずに中空モータ軸9に締結固定されているので、捩れ、滑りなどが双方の部材の間に発生しない。よって、回転出力軸14の回転位置決め精度を確保することができる。さらに、磁性流体シール13の回転軸である円筒軸12と、この内側の回転出力軸14との間には微小な円環状隙間があり、この円環状隙間が前後に配置したOリング17、18によってシールされている。円筒軸12と回転出力軸14は連れ回りするので、これらの間のOリング17、18に摺動摩耗が発生せずに、確実なシール状態が維持される。さらには、円筒軸12と回転出力軸14の間に芯ずれが発生したとしても、これらの間に配置されているOリング17、18の弾性変形によって芯ずれが吸収される。一方、回転出力軸14と中空モータ軸9の間は後端フランジ24を介して連結固定されている。回転出力軸14と後端フランジ24は、精度良く形成されている相互の合わせ面14e、24cによって精度良く直角に組み付けられる。また、後端フランジ24は回転出力軸14に対して軸線に直交する方向に僅かに移動可能であるので、後端フランジ24を介して中空モータ軸9に対して回転出力軸14を芯ずれの無い状態で連結固定することができる。したがって、回転出力軸14と中空モータ軸9との間の芯ずれに起因して、磁性流体シール13側の軸受15、16、あるいは、中空モータ2側の軸受図示せずに過剰な応力が発生して、これらの寿命が低下するなどの弊害も回避できる。なお、上記の中空モータ2では、モータケースが固定側モータケース6aと回転側モータケース7bから構成されているが、単一の円筒状のモータケース内に同軸状態に中空モータ軸が回転自在の状態で配置されている一般的な構成の中空モータを用いることも可能である。この場合には、固定側のモータケースにユニットケース11を直接あるいは間接的に連結固定し、中空モータ軸に回転出力軸14を直接あるいは間接的に連結固定すればよい。