"透明基板上に、少なくとも着色層と透明保護層と感光性樹脂組成物により形成されるスペーサとを形成してなる液晶表示装置用カラーフィルタ基板において、前記透明保護層のビッカース硬さが55以上であることを特徴とするカラーフィルタ基板。前記スペーサの下底の面積が、80μm2以上500μm2未満であることを特徴とする請求項1に記載するカラーフィルタ基板。請求項1または請求項2に記載するカラーフィルタ基板を備えたことを特徴とする液晶表示装置。本発明は、上記した問題を解決するためになされたものであり、小型の液晶表示装置において、スペーサの食い込みや変形の少ない、優れた機械強度特性を実現するカラーフィルタ基板を提供することを課題としている。本発明の請求項1に係る発明は、透明基板上に少なくとも着色層と透明保護層と感光性樹脂組成物により形成されるスペーサとを形成してなる液晶表示装置用カラーフィルタ基板において、前記透明保護層のビッカース硬さが55以上であることを特徴とするカラーフィルタ基板である。また、本発明の請求項2に係る発明は、前記スペーサの下底の面積が80μm2以上500μm2未満であることを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタである。次に、本発明の請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2に記載するカラーフィルタ基板を備えたことを特徴とする液晶表示装置である。本発明のカラーフィルタ基板は、透明基板上に少なくとも着色層と透明保護層と感光性樹脂組成物により形成されるスペーサを形成してなる。上記したように、透明保護層のビッカース硬さが55以上であり、また、スペーサの下底の面積が80μm2以上500μm2未満であるので、下地である透明保護層にスペーサが食い込んでしまう現象が発生せず、小型の液晶表示装置において優れた機械強度特性を実現することができる。以下に、本発明によるカラーフィルタ基板を、その一実施形態に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明のカラーフィルタ基板を備えた液晶表示装置の一実施形態を断面で模式的に示したものである。本発明のカラーフィルタ基板10は透明基板1上に、樹脂ブラックマトリクス層2、着色層33R、3G、3Bを形成し、さらに透明保護層4、スペーサ5を形成してなる。本発明のカラーフィルタ基板10は、スペーサ5を介してTFTThinFilmTransistorを別の透明基板に形成したアレイ基板20と数μmの狭隙を形成して貼り合わせられ、狭隙には液晶図示せずが充填されている。本発明のカラーフィルタ基板は、少なくとも樹脂ブラックマトリクス層2と、着色層3と、透明保護層4と、スペーサ5とを備えており、着色層は通常複数色から構成され画素を形成している。複数色には赤、緑、青RGBの組み合わせやイエロー、マゼンダ、シアンYMCの組み合わせが挙げられる。本発明に係る透明保護層は、光硬化性あるいは熱硬化性の透明樹脂組成物により形成できる。透明性の観点から熱硬化性の透明樹脂組成物を用いることが好ましく、熱硬化性樹脂組成物としては、エポキシ基含有樹脂と架橋性の硬化剤を使用する熱硬化性樹脂組成物が好ましい。エポキシ基含有樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、ハイドロキノン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、DPPジーn-ペンチルフタレート型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキサンカルボキシレートやビニルシクロヘキセンジエポキサイド等の脂環式エポキシ樹脂、TGPSトリグリシドキシフェニルシランや3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等の含ケイ素エポキシ樹脂、ビスフェノールAエチレンオキサイド付加物のジグリシジルエーテル、ビスフェノールAプロピレンオキサイド付加物のジグリシジルエーテル、シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、脂肪族多価アルコールのポリグリシジルエーテル;ヘキサヒドロ無水フタル酸のジグリシジルエステル等の多塩基酸のポリグリシジルエステル、ブチルグリシジルエーテル、ラウリルグリシジルエーテル等のアルキルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を1個有するグリシジルエーテル等が挙げられる。また上記エポキシ樹脂の核水添化物も使用できる。これらの化合物は単独で又は2種以上を適宜組み合わせて使用することができる架橋性の硬化剤としては、カルボン酸の無水物を用いる事ができる。カルボン酸としては、シクロヘキサン-1,2,4-トリカルボン酸、シクロヘキサン-1,3,5-トリカルボン酸、シクロヘキサン-1,2,3-トリカルボン酸などが挙げられる。また、シクロヘキサントリカルボン酸無水物としては、シクロヘキサン-1,3,4-トリカルボン酸-3,4-無水物、シクロヘキサン-1,3,5-トリカルボン酸-3,5-無水物、シクロヘキサン-1,2,3-トリカルボン酸-2,3-無水物などが挙げられる。本発明においては、これらの中で、シクロヘキサン-1,2,4-トリカルボン酸、シクロヘキサン-1,3,5-トリカルボン酸あるいはシクロヘキサン-1,3,4-トリカルボン酸―3,4-無水物を好ましく用いることができる。これらの化合物は単独で使用することもできるが、適宜組み合わせて使用することもできる。また、これらの化合物は例えば、トリメリット酸等のベンゼントリカルボン酸の水素添加により合成することができる。また、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸等の脂環式酸無水物を使用することができる。本発明に用いる透明保護膜として必要な硬さを付与するために、硬化促進剤を適宜添加する。添加しうる硬化促進剤としては、例えば、ベンジルジメチルアミン、トリスジメチルアミノメチルフェノール、ジメチルシクロヘキシルアミン等の3級アミン類;1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール等のイミダゾール類;トリフェニルホスフィン、亜リン酸トリフェニル等の有機リン系化合物;テトラフェニルホスホニウムブロマイド、テトラ-n-ブチルホスホニウムブロマイド等の4級ホスホニウム塩類;1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン-7等やその有機酸塩等のジアザビシクロアルケン類;オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、アルミニウムアセチルアセトン錯体等の有機金属化合物類;テトラエチルアンモニウムブロマイド、テトラブチルアンモニウムブロマイド等の4級アンモニウム塩類;三フッ化ホウ素、トリフェニルボレート等のホウ素化合物;塩化亜鉛、塩化第二錫等の金属ハロゲン化物が挙げられる。これらの硬化促進剤は単独又は二種以上を適宜組み合わせて使用することができる。硬化促進剤の添加量としては、固形分に対して、好ましくは1質量~15質量であり、さらに好ましくは2.5質量~10質量である。1質量より添加量が少ないと十分な硬度が得られず、15質量よりも多いとガラスに対する密着性が悪化するなどの弊害が発生する。本発明に係る透明保護層のビッカース硬さは55以上である。ビッカース硬さが55未満であると、その上に形成されたスペーサに荷重がかかった際に透明保護層にめり込んでしまい、液晶表示装置に必要な適切なセルギャップが保てなくなってしまう。スペーサの下底面積が500μm2未満の時、特に顕著である。なお、スペーサがさらに小さく、その下底面積が80μm2未満の場合には、透明保護層のビッカース硬さは55以上であっても、スペーサ自体の潰れが発生し、パネルギャップを正常に保つことが困難となる。また、スペーサが大きく、スペーサの下底面積が500μm2以上の場合には、ビッカース硬さが55未満であっても、スペーサに荷重がかかった際に透明保護層にめり込む現象は抑制される。ビッカース硬さは高いほどセルギャップの保持には有利となるが、高すぎるとガラスとの密着性が低下するなどの弊害も発生するため、本発明においては、ビッカース硬さは85程度が事実上の上限となる。次に、スペーサについて説明する。本発明に係るスペーサは、フォトリソグラフィー法により形成される、いわゆるフォトスペーサであり、カラーフィルタ基板とTFT基板とを貼り合わせた時に液晶セルのギャップを決めるものであり、表示品質にとって重要な役割を果たす。本実施形態におけるフォトスペーサは一定の高さを有しており、その均一性が要求される。また、高さの他、フォトスペーサに要求される形状、大きさ、密度等は、液晶表示装置の設計によって適宜決定される。フォトリソグラフィー法によってフォトスペーサを形成する際の現像は、有機溶剤を用いても構わないが、環境的な配慮からアルカリ水溶液を用いることが好ましい。現像液としてのアルカリ水溶液には、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機塩の水溶液、ヒドロキシテトラメチルアンモニウム、ヒドロキシテトラエチルアンモニウムなどの有機塩の水溶液を用いることができる。これらを単独または2種以上組み合わせて用いてもよい。また、このようなスペーサ形成用感光性樹脂組成物は、一般に透明樹脂アルカリ可溶性樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤を主成分とする組成からなり、必要に応じてレベリング剤、溶剤、連鎖移動剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、粘度調整剤などの添加剤を加えることにより調製することができる。透明樹脂は、パターン露光後の現像において、未露光部が上記したアルカリ現像液により溶解除去できる樹脂を言う。具体的には、アルキルアクリレート、環状アクリレート、環状メタクリレート、ヒドロキシエチルエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート等のアクリル系モノマートエチレン性の不飽和基を有するラジカル重合性のモノマーからなるアクリル系透明樹脂、フルオレン骨格を有するエポキシアクリレート透明樹脂、多官能エポキシ樹脂にエチレン性の不飽和基を有するラジカル重合性のモノマーを付加させたタイプの樹脂を使用することが出来る。ただし、上記樹脂に限定されるものではない。重合性モノマーとしては、以下に示すような不飽和二重結合を有するモノマーを単独で又は2種以上混合して使用することができる。例えば、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、2-エチルヘキシルメタアクリレート等の水酸基を含むモノマーや、エチレングリコールジメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、トリエチレングリコールジメタアクリレート、テトラエチレングリコールジメタアクリレート、テトラメチレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、トリメチロールエタントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールジメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、グリセロールメタアクリレート等のメタアクリル酸エステル類を挙げられる。これらの中で、例えば、高い弾性復元率を確保し易い重合性モノマーは、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、トリメチロールエタントリメタアクリレートを代表的に示すことができるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、2,2’-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2-クロロチオキサンソン、2,4-ジエチルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、2-イソプロピルチオキサンソン等の硫黄化合物、2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類、2,4-トリクロロメチル-4’-メトキシフェニル-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-4’-メトキシナフチル-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-ピペロニル-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-4’-メトキシスチリル-6-トリアジン等のトリアジン類、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物等が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。これらの光重合開始剤は、その1種を単独で、または、2種以上を併用することもできる。次に、樹脂ブラックマトリクス層について説明する。本発明に係る樹脂ブラックマトリクス層は、求める遮光性、すなわち光学濃度が達成できるものであれば特に組成、形成方法に制限はない。しかしながら、形成が容易であること、比較的好ましい均一性が得られることなどの観点から、カーボンブラック顔料などの黒色顔料を樹脂中に分散した分散体に、少なくとも光重合開始剤、重合性モノマーを添加して得られる感光性黒色樹脂組成物を、適切な方法で透明基板上に塗布、パターン露光、現像、焼成する、いわゆるフォトリソグラフィー法にて形成することが一般的である。この他、印刷法、エッチング法などの方法を用いることも可能である。フォトリソグラフィー法によって樹脂ブラックマトリクス層を形成する際の現像は、有機溶剤を用いても構わないが、環境的な配慮からアルカリ水溶液を用いることが好ましい。現像液としてのアルカリ水溶液には、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機塩の水溶液、ヒドロキシテトラメチルアンモニウム、ヒドロキシテトラエチルアンモニウムなどの有機塩の水溶液を用いることができる。これらを単独または2種以上組み合わせて用いてもよい。黒色組成物に用いることのできる顔料は、カーボンブラック顔料の他、チタンカーボンブラック顔料などがあり、また必要に応じて赤色顔料、緑色顔料、青色顔料を混合して用いても問題ない。黒色組成物に用いることのできる樹脂には、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、および感光性樹脂が含まれる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂等が挙げられる。また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。感光性樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する線状高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有するメタアクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、メタアクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該線状高分子に導入した樹脂が用いられる。また、スチレン無水マレイン酸共重合物やαオレフィン無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキルメタアクリレート等の水酸基を有するメタアクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。光架橋剤としては重合性モノマーあるいはオリゴマーを用いる。重合性モノマーおよびオリゴマーとしては、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、β-カルボキシエチルメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、トリエチレングリコールジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジメタアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリシクロデカニルメタアクリレート、エステルアクリレート、メチロール化メラミンのメタアクリル酸エステル、エポキシメタアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ウレタンアクリレート等の各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、メタアクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、メタアクリルアミド、Nヒドロキシメチルメタアクリルアミド、N-ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これらは、単独でまたは2種類以上混合して用いることができる。添加量は塗布性、現像適正を損なわない範囲で多い方が好ましく、黒色組成物の全固形分量を基準として、20質量~80質量程度、さらに好ましくは50質量~70質量程度である。この範囲より添加量が少ないと架橋性が不足し耐液晶性が悪化、この範囲より添加量が多いと黒色組成物の塗布時にムラ、ピンホールが発生しやすくなり塗布性が著しく悪化、あるいは現像液溶解性が著しく低下し現像適性が不良となってしまう。黒色組成物には、該組成物を紫外線照射により硬化する場合には、光重合開始剤等が添加される。光重合開始剤としては、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1-4-イソプロピルフェニル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1-オン等のアセトフェノン系化合物、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4’-メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’-テトラt-ブチルパーオキシカルボニルベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物、チオキサントン、2-クロルチオキサントン、2-メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物、2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-p-メトキシフェニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-p-トリル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-ピペロニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-スチリル-s-トリアジン、2-ナフト-1-イル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-4-メトキシナフト-1-イル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-ピペロニル-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル4’-メトキシスチリル-6-トリアジン等のトリアジン系化合物、1,2-オクタンジオン,1-4フェニルチオ-,2-O-ベンゾイルオキシム、O-アセチル-N-1-フェニル-2-オキソ-2-4’-メトキシ-ナフチルエチリデンヒドロキシルアミン等のオキシムエステル系化合物、ビス2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等のホスフィン系化合物、9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物、ボレート系化合物、カルバゾール系化合物、イミダゾール系化合物、チタノセン系化合物等が用いられる。これらの光重合開始剤は1種または2種以上混合して用いることができる。光重合開始剤の使用量は、黒色組成物の全固形分量を基準として0.5~50質量が好ましく、より好ましくは3~30質量である。さらに、増感剤として、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2-ジメチルアミノエチル、4-ジメチルアミノ安息香酸2-エチルヘキシル、N,N-ジメチルパラトルイジン、4,4’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスエチルメチルアミノベンゾフェノン等のアミン系化合物を併用することもできる。これらの増感剤は1種または2種以上混合して用いることができる。増感剤の使用量は、光重合開始剤と増感剤の合計量を基準として0.5~60質量が好ましく、より好ましくは3~40質量である。さらに、黒色組成物には、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。多官能チオールは、チオール基を2個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ブタンジオールビスチオプロピオネート、1,4-ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス3-メルカプトブチレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス2-ヒドロキシエチルイソシアヌレート、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6-トリメルカプト-s-トリアジン、2-N,N-ジブチルアミノ-4,6-ジメルカプト-s-トリアジン等が挙げられる。これらの多官能チオールは、1種または2種以上混合して用いることができる。多官能チオールの使用量は、黒色組成物の全固形分量を基準として0.1~30質量が好ましく、より好ましくは1~20質量である。0.1質量未満では多官能チオールの添加効果が不充分であり、30質量を越えると感度が高すぎて逆に解像度が低下する。また必要に応じ熱架橋剤を加えることもできる。熱架橋剤としては例えばメラミン樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。メラミン樹脂としては、アルキル化メラミン樹脂メチル化メラミン樹脂、ブチル化メラミン樹脂など、混合エーテル化メラミン樹脂等があり、高縮合タイプであっても低縮合タイプであってもよい。これらは、いずれも単独あるいは2種類以上混合して使用することができる。また、必要に応じて、さらにエポキシ樹脂を混合して使用することもできる。エポキシ樹脂としては、例えば、グリセロールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールポリエチレングリコールジグリシジルエーテル等がある。これらについても、単独あるいは2種類以上混合して使用することができる。黒色組成物は、必要に応じて有機溶剤を含有することができる。有機溶剤としては、例えばシクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、1-メトキシ-2-プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル-nアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられ、これらを単独でもしくは混合して用いる。透明基板上に、上述の感光性黒色組成物を塗布し、プリベークを行う。塗布する手段はスピンコート、ディップコート、ダイコートなどが通常用いられるが、40~60cm四方程度の基板上に均一な膜厚で塗布可能な方法ならばこれらに限定されるものではない。プリベークは50~120°Cで1~20分ほどすることが好ましい。塗布膜厚は任意で,通常はプリベーク後の膜厚で1~2μm程度である。感光性黒色組成物を塗布し、パターンマスクを介して露光を行う。光源には通常の高圧水銀灯などを用いればよい。続いて現像を行う。現像液にはアルカリ性水溶液を用いる。アルカリ性水溶液の例としては、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液、または両者の混合水溶液、もしくはそれらに適当な界面活性剤などを加えたものが挙げられる。現像後、水洗、焼成してパターン化された樹脂ブラックマトリクス層が得られる。次に、着色層について説明する。画素となる着色層の形成方法は、公知のインクジェット法、印刷法、フォトレジスト法、エッチング法など何れの方法で作製しても構わない。しかし、高精細、分光特性の制御性及び再現性等を考慮すれば、透明な樹脂中に顔料を、光開始剤、重合性モノマーと共に適当な溶剤に分散させた着色組成物を透明基板上に塗布製膜して、パターン露光、現像することで一色の画素を形成する工程を各色毎に繰り返し行ってカラーフィルタを作製するフォトリソグラフィー法が好ましい。現像液の選択についてはフォトスペーサの形成、樹脂ブラックマトリクスの形成と同様である。本発明のカラーフィルタ基板の着色層は、感光性着色組成物を調製してフォトリソ法により形成する場合は、例えば以下の方法に従う。着色剤となる顔料を透明な樹脂中に光開始剤、重合性モノマーと共に適当な溶剤に分散させる。分散させる方法はミルベース、3本ロール、ジェットミル等様々な方法があり特に限定されるものではない。本発明に係る着色層を形成する着色組成物に用いることのできる有機顔料の具体例を、カラーインデックス番号で示す。赤色着色層を形成するための赤色着色組成物には、例えばC.I.PigmentRed7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、279等の赤色顔料を用いることができる。赤色着色組成物には、黄色顔料、橙色顔料を併用することができる。黄色顔料としてはC.I.PigmentYellow1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、144、146、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等が挙げられる。橙色顔料としてはC.I.PigmentOrange36、43、51、55、59、61、71、73等が挙げられる。緑色着色層を形成するための緑色着色組成物には、例えばC.I.PigmentGreen7、10、36、37、58等の緑色顔料を用いることができる。緑色着色組成物には赤色着色組成物と同様の黄色顔料を併用することができる。青色着色層を形成するための青色着色組成物には例えばC.I.PigmentBlue15:1、15:2、15:3、15:4の青色顔料を用いることができる。必要に応じ、例えばC.I.PigmentViolet23の紫色顔料を混合して用いることもできる。また、上記有機顔料と組み合わせて、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、耐液晶性を低下させない範囲内で無機顔料を組み合わせて用いることも可能である。無機顔料としては、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら赤色酸化鉄III、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉等が挙げられる。さらに、調色のため、耐液晶性、耐熱性を低下させない範囲内で染料を含有させることができる。着色組成物に用いることのできる透明樹脂は、可視光領域の400~700nmの全波長領域において透過率が好ましくは80以上、より好ましくは95以上の樹脂である。透明樹脂には、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、および感光性樹脂が含まれる。透明樹脂には、必要に応じて、その前駆体である、放射線照射により硬化して透明樹脂を生成するモノマーもしくはオリゴマーを単独で、または2種以上混合して用いることができる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂等が挙げられる。また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。感光性樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する線状高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有するメタアクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、メタアクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該線状高分子に導入した樹脂が用いられる。また、スチレン-無水マレイン酸共重合物やα-オレフィン-無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキルメタアクリレート等の水酸基を有するメタアクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。光架橋剤としては重合性モノマーあるいはオリゴマーを用いる。重合性モノマーおよびオリゴマーとしては、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、β-カルボキシエチルメタアクリレート、ジエチレングリコールジメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、トリエチレングリコールジメタアクリレート、トリプロピレングリコールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジメタアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジメタアクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリシクロデカニルメタアクリレート、エステルアクリレート、メチロール化メラミンのメタアクリル酸エステル、エポキシメタアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ウレタンアクリレート等の各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、メタアクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、メタアクリルアミド、N-ヒドロキシメチルメタアクリルアミド、N-ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これらは、単独でまたは2種類以上混合して用いることができる。添加量は塗布性、現像適正を損なわない範囲で多い方が好ましく、着色組成物の全固形分量を基準として、20質量~80質量程度、さらに好ましくは50質量~70質量程度である。この範囲より添加量が少ないと架橋性が不足し耐液晶性が悪化する。この範囲より添加量が多いと着色組成物の塗布時にムラ、ピンホールが発生しやすくなり塗布性が著しく悪化、あるいは現像液溶解性が著しく低下し現像適性が不良となってしまう。着色組成物には、該組成物を紫外線照射により硬化する場合には、光重合開始剤等が添加される。光重合開始剤としては、4-フェノキシジクロロアセトフェノン、4-t-ブチル-ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1-4-イソプロピルフェニル-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-4-モルフォリノフェニル-ブタン-1-オン等のアセトフェノン系化合物、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4’-メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’-テトラt-ブチルパーオキシカルボニルベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物、チオキサントン、2-クロルチオキサントン、2-メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物、2,4,6-トリクロロ-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-p-メトキシフェニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-p-トリル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-ピペロニル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2,4-ビストリクロロメチル-6-スチリル-s-トリアジン、2-ナフト-1-イル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2-4-メトキシ-ナフト-1-イル-4,6-ビストリクロロメチル-s-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-ピペロニル-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル4’-メトキシスチリル-6-トリアジン等のトリアジン系化合物、1,2-オクタンジオン,1-4-フェニルチオ-,2-O-ベンゾイルオキシム、O-アセチル-N-1-フェニル-2-オキソ-2-4’-メトキシナフチルエチリデンヒドロキシルアミン等のオキシムエステル系化合物、ビス2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等のホスフィン系化合物、9,10-フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物、ボレート系化合物、カルバゾール系化合物、イミダゾール系化合物、チタノセン系化合物等が用いられる。これらの光重合開始剤は1種または2種以上混合して用いることができる。光重合開始剤の使用量は、着色組成物の全固形分量を基準として0.5~50質量が好ましく、より好ましくは3~30質量である。さらに、増感剤として、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2-ジメチルアミノエチル、4-ジメチルアミノ安息香酸2-エチルヘキシル、N,N-ジメチルパラトルイジン、4,4’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスエチルメチルアミノベンゾフェノン等のアミン系化合物を併用することもできる。これらの増感剤は1種または2種以上混合して用いることができる。増感剤の使用量は、光重合開始剤と増感剤の合計量を基準として0.5~60質量が好ましく、より好ましくは3~40質量である。さらに、着色組成物には、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。多官能チオールは、チオール基を2個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4-ブタンジオールビスチオプロピオネート、1,4-ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス3-メルカプトブチレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス2-ヒドロキシエチルイソシアヌレート、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6-トリメルカプト-s-トリアジン、2-N,N-ジブチルアミノ-4,6-ジメルカプト-s-トリアジン等が挙げられる。これらの多官能チオールは、1種または2種以上混合して用いることができる。多官能チオールの使用量は、着色組成物の全固形分量を基準として0.1~30質量が好ましく、より好ましくは1~20質量である。0.1質量未満では多官能チオールの添加効果が不充分であり、30質量を越えると感度が高すぎて逆に解像度が低下する。また必要に応じ熱架橋剤を加えることもできる。熱架橋剤としては例えばメラミン樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。メラミン樹脂としては、アルキル化メラミン樹脂メチル化メラミン樹脂、ブチル化メラミン樹脂など、混合エーテル化メラミン樹脂等があり、高縮合タイプであっても低縮合タイプであってもよい。これらは、いずれも単独あるいは2種類以上混合して使用することができる。また、必要に応じて、さらにエポキシ樹脂を混合して使用することもできる。エポキシ樹脂としては、例えば、グリセロールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールポリエチレングリコールジグリシジルエーテル等がある。これらについても、単独あるいは2種類以上混合して使用することができる。着色組成物は、必要に応じて有機溶剤を含有することができる。有機溶剤としては、例えばシクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、1-メトキシ-2-プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル-nアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられ、これらを単独でもしくは混合して用いる。予めパターン化された樹脂ブラックマトリクス層が形成された透明基板上に、上述の感光性着色組成物を塗布し、プリベークを行う。塗布する手段はスピンコート、ディップコート、ダイコートなどが通常用いられるが、40~60cm四方程度の基板上に均一な膜厚で塗布可能な方法ならばこれらに限定されるものではない。プリベークは50~120°Cで10~20分ほどすることが好ましい。塗布膜厚は任意であるが、分光透過率などを考慮すると通常はプリベーク後の膜厚で2~2.5μm程度である。感光性着色組成物を塗布しパターンマスクを介して露光を行う。光源には通常の高圧水銀灯などを用いればよい。続いて現像を行う。現像液にはアルカリ性水溶液を用いる。アルカリ性水溶液の例としては、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液、または両者の混合水溶液、もしくはそれらに適当な界面活性剤などを加えたものが挙げられる。現像後、水洗、焼成して任意の一色の着色層による画素が得られる。以上の一連の工程を、感光性着色組成物およびパターンを替え、必要な数だけ繰り返すことで必要な色数が組み合わされた着色パターンすなわち複数色の着色層による画素を得ることができる。この上全面に前述した透明保護層を形成し、樹脂ブラックマトリクス層で遮光される所定の位置に、前述したスペーサを形成することで、本発明のカラーフィルタ基板が得られる。以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下の説明で、部は部である。<実施例1>[樹脂ブラックマトリクス層の形成]感光性黒色組成物の作製以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性黒色組成物を作製した。このとき、固形分中の顔料濃度は、30.7であった。カーボンブラック分散液:御国色素社製TPBK-201628.5部樹脂:V259-ME新日鐵化学社製固形分56.1質量10.3部モノマー:DPHA日本化薬社製2.58部開始剤:OXE-02チバスペシャルティケミカルズ社製0.86部溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートエチル-3-エトキシプロピオネート92.0部レベリング剤1.3部樹脂ブラックマトリクス層の形成透明基板上に上記感光性黒色組成物をスピンコートにより膜厚1.5μmとなるように塗布した。100°Cで3分間乾燥の後、露光機にて格子状のパターンを200mJ露光した。次に、アルカリ現像液にて60秒間現像し、230°Cで60分加熱処理をして定着させ、格子状の樹脂ブラックマトリクス層を透明基板上に形成した。なお、アルカリ現像液は以下の組成からなる。以下、実施例及び比較例ではこのアルカリ現像液を用いて現像を行う。炭酸ナトリウム1.5質量炭酸水素ナトリウム0.5質量陰イオン系界面活性剤8.0質量花王株製ペリレックスNBL水900質量[着色層の形成]赤色着色組成物の作製下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を作製した。赤色顔料:C.I.PigmentRed254BASF社製イルガーフォーレッドB-CF18部赤色顔料:C.I.PigmentRed177BASF社製クロモフタールレッドA2B2部分散剤味の素ファインテクノ社製アジスパーPB8212部アクリルワニス固形分2050部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルタで濾過して赤色着色組成物を得た。赤色顔料分散体72部カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート8部日本化薬株製カヤラッドDPCA-30ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート10部日本化薬株製カヤラッドDPHAメチル化メラミン樹脂10部三和ケミカル株製MW30光開始剤BASF社製イルガキュアー9073部増感剤保土ヶ谷化学工業株製EAB-F1部シクロヘキサノン253部緑色着色組成物の作製下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して緑色顔料の分散体を作製した。緑色顔料:C.I.PigmentGreen36東洋インキ製造株製リオノールグリーン6YK16部黄色顔料:C.I.PigmentYellow150バイエル社製ファンチョンファーストイエローY-56888部分散剤ビックケミー社製Disperbyk-1632部アクリルワニス固形分20102部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物を得た。緑色顔料分散体128部トリメチロールプロパントリアクリレート14部新中村化学株製NKエステルATMPT光開始剤BASF社製イルガキュアー9074部増感剤保土ヶ谷化学工業株製EAB-F2部シクロヘキサノン257部青色着色組成物の作製下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して青色顔料の分散体を作製した。青色顔料:C.I.PigmentBlue15東洋インキ製造株製リオノールブルーES30部紫色顔料:C.I.PigmentViole23BASF社製パリオゲンバイオレット58902部分散剤ゼネカ社製ソルスバーズ200006部アクリルワニス固形分20200部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルタで濾過して青色着色組成物を得た。青色顔料分散体238部トリメチロールプロパントリアクリレート19部新中村化学株製NKエステルATMPT光開始剤BASF社製イルガキュアー9074部増感剤保土ヶ谷化学工業株製EAB-F2部シクロヘキサノン214部着色層の形成得られた赤色着色組成物、緑色着色組成物、青色着色組成物を用いて下記の要領で画素となる着色層を形成した。前述の樹脂ブラックマトリクス層を形成した透明基板に、赤色着色組成物をスピンコートにより膜厚2μmとなるように塗布した。乾燥の後、露光機にてストライプ状のパターン露光をし、樹脂ブラックマトリクス層の形成と同様のアルカリ現像液にて90秒間現像、230°Cで20分加熱して定着、ストライプ状の赤色着色層を透明基板上に形成した。次に、緑色着色組成物も同様にスピンコートにて膜厚が2μmとなるように塗布。乾燥後、露光機にてストライプ状の着色層を前述の赤色着色層とはずらした場所に露光し現像することで、前述赤色着色層と隣接した緑色着色層を形成した。さらに、赤色、緑色と全く同様にして、青色着色組成物についても膜厚2μmで赤色着色層、緑色着色層と隣接した青色着色層を形成した。[透明保護層の形成]熱硬化性透明樹脂組成物1の作製熱硬化性透明樹脂組成物1として以下の組成物を作製した。シクロヘキサノン320部ジエチレングリコールジメチルエーテル380部をサンプル瓶に入れた。攪拌しながら、エポキシ樹脂新日鐵化学社製ESF-300130部脂環式多官能エポキシ樹脂ダイセル化学工業社製EHPE315070部脂環式エポキシ樹脂ダイセル化学工業社製セロキサイド2021P50部を加え、完全に溶解させた。引き続き、硬化剤無水トリメリット酸30部硬化促進剤アルミニウムアセチルアセトナート15部を加え、十分に攪拌溶解した後に、シランカップリング剤チッソ社製S-51012部界面活性剤住友スリーエム社製フロラードFC-4301部を加えて十分に攪拌した。これをろ過して熱硬化性透明樹脂組成物1を得た。透明保護層の形成熱硬化性透明樹脂組成物1を用いて透明保護層を形成した。前述の樹脂ブラックマトリクス層および着色層を形成した透明基板に熱硬化性樹脂組成物1を塗布し、90°C120秒間プレベークを行い、さらに230°C30分焼成することで透明保護層を形成した。膜厚2μmとした。[スペーサの形成]スペーサ形成用感光性樹脂組成物の作製樹脂aの合成内容量が2リットルの5つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートPGMAc686g、グリシジルメタクリレートGMA332g、アゾビスイソブチロニトリルAIBN6.6gを加え、窒素を吹き込みながら80°Cで6時間加熱し、GMAのポリマー溶液を得た。次いで、得られたGMAのポリマー溶液に、アクリル酸AA168g、メトキノンMQ0.05g、トリフェニルホスフィンTPP0.5gを加え、空気を吹き込みながら100°Cで24時間加熱し、GMA樹脂のアクリル酸付加物溶液を得た。次に、得られたGMA樹脂のアクリル酸付加物溶液に、テトラヒドロフタル酸無水物186gを加え、70°Cで10時時間加熱し、樹脂a溶液を得た。次に、下記の配合で、レジスト中の固形分が30質量になるようにシクロヘキサノンで希釈し、感光性樹脂組成物を調製した。ペンタエリスリトールトリアクリレート日本化薬株社製PET-3080部樹脂a20部光重合開始剤BASF社製イルガキュア90714部スペーサの形成前述の、樹脂ブラックマトリクス層、着色層、透明保護層を形成した透明基板状に、スペーサ形成用感光性樹脂組成物を仕上り膜厚が4μmになるようにスピンコートし、90°Cで2分間乾燥した。次いで、マスク開口直径が8μmφの円形のフォトスペーサ形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を100mJ/cm2の照射量で照射した。尚、フォトマスクと基板との間隔露光ギャップを100μmとして露光した。その後、樹脂ブラックマトリクス層および着色層の形成と同様のアルカリ現像液を用いて現像し、水洗を施したのち、230°Cで30分ポストベークして、フォトスペーサをカラーフィルタ上の所定の位置に形成した、実施例1のカラーフィルタ基板を得た。<比較例1>[樹脂ブラックマトリクス層の形成]実施例1と同様の方法にて樹脂ブラックマトリクス層を形成した。[着色層の形成]実施例1と同様の方法にて着色層を形成した。[透明保護層の形成]熱硬化性透明樹脂組成物2の作製熱硬化性透明樹脂組成物2として、硬化促進剤を除いた以下の組成物を作製した。シクロヘキサノン320部ジエチレングリコールジメチルエーテル380部をサンプル瓶に入れた。攪拌しながら、エポキシ樹脂新日鐵化学社製ESF-300130部脂環式多官能エポキシ樹脂ダイセル化学工業社製EHPE315070部脂環式エポキシ樹脂ダイセル化学工業社製セロキサイド2021P50部を加え、完全に溶解させた。引き続き、硬化剤無水トリメリット酸30部を加え、十分に攪拌溶解した後に、シランカップリング剤チッソ社製S-51012部界面活性剤住友スリーエム社製フロラードFC-4301部を加えて十分に攪拌した。これをろ過して熱硬化性透明樹脂組成物2を得た。透明保護層の形成透明保護層の形成材料に熱硬化性透明樹脂組成物2を用いる以外は実施例1と同様の方法にて透明保護層を形成した。[スペーサの形成]実施例1と同様の方法にてスペーサを形成し、比較例1のカラーフィルタ基板を得た。透明保護層の硬さの評価上記実施例1、および比較例1で形成した透明保護層の硬さを、フィッシャーインストルメンツ社製微小膜硬度計HM2000によって評価した。ビッカース圧子を用い、0.25mN/secの速度で5mNまで荷重を負荷し1秒間保持した際の変移量からビッカース硬度を算出した。スペーサの変形特性の評価上記実施例1および比較例2で形成したフォトスペーサの弾性特性を、フィッシャーインストルメンツ社製微小膜硬度計HM2000によって評価した。50μm×50μmの平坦圧子を用い、2.2mN/secの速度で所定の荷重を負荷し、5秒間保持した後、2.2mN/secの速度で0.4mNまで荷重を除去したときの荷重と変形量との関係を示すヒステリシス曲線を得た。図2は、荷重と変形量とのヒステリシス曲線の一例を示したものである。符号A-Bは総変形量、符号A-Cは塑性変形量であり、符号C-Bは弾性変形量である。弾性復元率は[C-B/A-B]×100で表される。ここで、Aはスペーサの初期高さ、Bは所定荷重の負荷時における高さである。図2に示すヒステリシス曲線から、総変形量、塑性変形量、及び弾性変形量を求め、弾性復元率の値を算出した。表1に、実施例1および比較例1の透明保護層のビッカース硬さ、並びに、スペーサの弾性復元率の値を示した。また、これらを用いた液晶表示装置に押し跡試験液晶表示装置の表示面に一定の荷重を加え、除荷後の跡残りを観察を行った結果を、○:跡なし、×跡ありとして表1に示した。実施例1のカラーフィルタ基板のスペーサは、比較例1のカラーフィルタ基板のスペーサと比較して、荷重が強くなるほど復元率が良好であった。また、実施例1のカラーフィルタ基板を用いた液晶表示装置では押し跡試験で跡が観察されず良好であったが、比較例1のカラーフィルタ基板を用いた液晶表示装置では跡が観察された。"