"反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記反応容器の周囲を外側容器で覆い、前記反応容器における前記バーナの配置側の側面にクリーンエア導入口を設け、前記クリーンエア導入口にクリーンエアを整流するメッシュ状壁部を設け、前記バーナを支持する支持台を前記外側容器の外部に配置させ、前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記反応容器と前記外側容器との間の空間部へクリーンエアを供給することにより、前記クリーンエア導入口から前記メッシュ状壁部を介して前記空間部内のクリーンエアを前記反応容器内へ送り込み、前記空間部内の圧力Psを、前記反応容器内の圧力Ph及び前記外側容器外の圧力Ptよりも高くすることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記反応容器の周囲を外側容器で覆い、前記反応容器における前記バーナの配置側の側面にクリーンエア導入口を設け、前記クリーンエア導入口にクリーンエアを整流するメッシュ状壁部を設け、前記クリーンエア導入口を囲うチャンバーを形成し、前記バーナを支持する支持台を前記外側容器の外部に配置させ、前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記チャンバーへクリーンエアを供給することにより、前記クリーンエア導入口から前記メッシュ状壁部を介して前記チャンバー内のクリーンエアを前記反応容器内へ送り込み、前記反応容器と前記外側容器との間の空間部内の圧力Psを、前記反応容器内の圧力Ph及び前記外側容器外の圧力Ptよりも高くし、かつ前記チャンバー内の圧力Pcを前記空間部内の圧力Psよりも高くすることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。上記のように、クリーンエアを装置内へ直接導入して外側の収納容器内の空間よりも装置内の圧力を高くすると、装置内のクリーン度を高めてガラス微粒子堆積体への異物の付着や混入を抑制することができる。しかし、装置内へクリーンエアをそのまま導入して外側の収納容器内の空間よりも圧力を高くするだけでは、装置内の気流が変動してバーナの火炎に乱れが生じてしまう。特に、装置の上方からクリーンエア導入管によって装置内へクリーンエアを直接導入すると、出発ロッドに対して側方からガラス微粒子を吹き付けるバーナの火炎の乱れが大きくなる。そして、このように、バーナの火炎が乱れると、出発ロッドへのガラス微粒子の安定した堆積が困難となってしまう。この場合、装置内をクリーンエア供給部に対して負圧にするとともに、網状の整流板を通してバーナの周囲からターゲットに向けて整流されたクリーンエアを供給すれば、装置内の気流を安定させてバーナの火炎の乱れを抑えることができる。ところが、上記の対策を行っても、バーナを移動可能に支持する支持台やバーナへのガスの供給管を保温するヒータなどが発塵源となり、この発塵源から生じた塵埃がクリーンエアとともに負圧にした装置内へ入り込むおそれがあった。本発明の目的は、異物の付着や混入を抑制しつつ安定的にガラス微粒子堆積体を製造することが可能なガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することにある。上記課題を解決することのできる本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記反応容器の周囲を外側容器で覆い、前記反応容器における前記バーナの配置側の側面にクリーンエア導入口を設け、前記クリーンエア導入口にクリーンエアを整流するメッシュ状壁部を設け、前記バーナを支持する支持台を前記外側容器の外部に配置させ、前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記反応容器と前記外側容器との間の空間部へクリーンエアを供給することにより、前記クリーンエア導入口から前記メッシュ状壁部を介して前記空間部内のクリーンエアを前記反応容器内へ送り込み、前記空間部内の圧力Psを、前記反応容器内の圧力Ph及び前記外側容器外の圧力Ptよりも高くすることを特徴とする。また、本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、反応容器内のターゲットにバーナの火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法であって、前記反応容器の周囲を外側容器で覆い、前記反応容器における前記バーナの配置側の側面にクリーンエア導入口を設け、前記クリーンエア導入口にクリーンエアを整流するメッシュ状壁部を設け、前記クリーンエア導入口を囲うチャンバーを形成し、前記バーナを支持する支持台を前記外側容器の外部に配置させ、前記ターゲットへの前記ガラス微粒子の堆積時に、前記チャンバーへクリーンエアを供給することにより、前記クリーンエア導入口から前記メッシュ状壁部を介して前記チャンバー内のクリーンエアを前記反応容器内へ送り込み、前記反応容器と前記外側容器との間の空間部内の圧力Psを、前記反応容器内の圧力Ph及び前記外側容器外の圧力Ptよりも高くし、かつ前記チャンバー内の圧力Pcを前記空間部内の圧力Psよりも高くすることを特徴とする。本発明によれば、反応容器と外側容器との間の空間部内の圧力を、反応容器内の圧力及び外側容器外の圧力よりも高くし、発塵源となるバーナ台を外側容器の外部に配置することにより、反応容器内での気流の変動及び反応容器への塵埃の流入を防止することができる。しかも、クリーンエアを反応容器の側面のクリーンエア導入口からメッシュ状壁部を通して整流させて間接的に導入するので、反応容器へクリーンエアを上方から直接導入する場合と比較して、バーナの火炎の乱れも抑制することができる。これにより、異物の付着や混入を抑制しつつ安定的にガラス微粒子堆積体を製造することができる。以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。第1実施形態まず、第1実施形態に係るガラス微粒子堆積体の製造方法について説明する。図1に示すように、ガラス微粒子堆積体の製造装置10は、反応容器11内のターゲット15にバーナ13の火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させて、ガラス微粒子堆積体17を製造する装置である。ガラス微粒子堆積体の製造装置10は、回転するターゲット15を収容する反応容器11と、この反応容器11の周囲を覆う外側容器12と、ガラス微粒子をターゲット15に向けて吹き付ける複数のバーナ13と、ターゲット15とバーナ13とを相対的に移動させる移動手段図示省略と、清浄化ガスであるクリーンエアCAを供給するためのクリーンエア供給装置図示省略とを備えている。製造装置10は、反応容器11と外側容器12との間の空間部20を有している。クリーンエア供給装置によって供給されるクリーンエアCAは、この空間部20内に送り込まれる。バーナ13は、ガラス原料ガスと可燃性ガスおよび助燃性ガスとから火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成するものである。反応容器11及び外側容器12の上壁には、それぞれ貫通孔11a,12aが設けられており、ターゲット15がこれらの貫通孔11a,12aを上下方向に気密的に挿通するように配置される。ターゲット15は、上端が回転チャック図示省略に把持されて回転されるとともに、移動手段により上下方向に往復移動するようになっている。ターゲット15を回転させながらその軸方向に沿って往復移動させることにより、ターゲット15の表面にガラス微粒子を均一に堆積させてガラス微粒子堆積体17を製造するようにしている。このように、ガラス微粒子堆積体17の製造装置10は、複数のバーナ13が短く相対的に往復してガラス微粒子を堆積させるMMD多バーナ多層付け法によりガラス微粒子堆積体17を製造する構成を有する。外側容器12は、鉄等の金属材料から形成されたものである。外側容器12の一側面側には、複数のクリーンエア供給路21が設けられている。このクリーンエア供給路21には、クリーンエア供給装置が接続されており、これらのクリーンエア供給路21からクリーンエアCAが給気される。また、外側容器12には、クリーンエア供給路21が設けられた一側面における外面側に、バーナ13の支持と自動後退等を行う移動機構44を備えたバーナ台45が設けられている。このバーナ台45に支持されたバーナ13は、外側容器12の一側面に形成された挿通孔12bから外側容器12内に気密的に挿し込まれている。バーナ台45には、ガス配管46が導かれており、このガス配管46から各バーナ13へ、ガラス原料ガス、可燃性ガス及び助燃性ガスが供給される。また、このガス配管46には、リボンヒータ47が巻き付けられており、バーナ13へ供給されるガスがリボンヒータ47によって保温される。バーナ13を支持する上記構造のバーナ台45は、移動機構44における摺動部分で金属粉が生じたり、リボンヒータ47を構成するガラス繊維が剥離することがある。したがって、このバーナ台45は、発塵源となると考えられる。反応容器11は、ニッケル等の耐食性金属材料から形成されたものである。この反応容器11には、クリーンエアCAの給気側であるバーナ13の配置側の側面に、クリーンエア導入口39が設けられている。このクリーンエア導入口39には、メッシュ状壁部23が設けられている。このメッシュ状壁部23は、ニッケル等の耐食性金属材料から形成された3~6枚程度のメッシュ板を積層させたものである。各メッシュ板には、例えば、1インチ四方の孔部が約2500個50列×50行形成されている。そして、クリーンエア供給管21から反応容器11と外側容器12との間の空間部20内に送り込まれたクリーンエアCAが、メッシュ状壁部23を介して反応容器11内に送り込まれる。また、反応容器11には、メッシュ状壁部23を有するクリーンエア導入口39と反対側に複数の排気路27が設けられている。これらの排気路27は、外側容器12を貫通して外部に突出され、排気ライン図示省略に接続されている。排気ラインは反応容器11の内面へのガラス微粒子ススとも呼ばれるの付着を防ぐために、排気部27から余剰ススを含んだクリーンエアCAを吸引ファンで効率良く排気するよう構成されている。上記構成を有する製造装置10では、反応容器11内へクリーンエアCAが直接的に反応容器11内に流入することが無く、メッシュ状壁部23からの整流したクリーンエアCAのみが安定して供給される。なお、メッシュ状壁部23からのクリーンエアCAによる整流効果は、ターゲット15に近いほど良い。反応容器11のクリーンエア導入口39に設けられたメッシュ状壁部23には、バーナ13が貫通して設置されている。メッシュ状壁部23を貫通するバーナ13は、バーナ台45の移動機構44によって、バーナ13の軸線X図1b参照に沿う方向である前後方向に移動されるように構成されている。また、反応容器11及び外側容器12には、メンテナンス等の際に開閉される扉24,25がそれぞれ外側へ向かって開閉可能に設けられている。次に、上記構成の製造装置によるガラス微粒子堆積体の製造方法について説明する。ガラス微粒子堆積体17の製造では、ガラス原料の酸水素火炎をバーナ13から噴出させ、反応容器11の内部で火炎加水分解して生成されるガラス微粒子を、回転するターゲット15に吹き付けて堆積させてガラス微粒子堆積体17を製造する。また、バーナ13は、堆積によるガラス微粒子堆積体17の拡径にしたがって後退させる。上記のように、ターゲット15へのガラス微粒子の堆積時に、反応容器11と外側容器12との間の空間部20へクリーンエアCAを供給することにより空間部20がクリーンエアCAで満たされることで、反応容器11の側面に設けられたクリーンエア導入口39から空間部20内のクリーンエアCAがメッシュ状壁部23で整流されて反応容器11内へ送り込まれる。製造装置10では、ターゲット15へのガラス微粒子の堆積時に、クリーンエア供給装置、排気ラインの吸引ファンなどを調整することにより、空間部20内の圧力Psを、反応容器11内の圧力Ph及び外側容器12の外部の圧力である大気圧Ptよりも高くする。具体的には、これらの圧力が次式の関係となるようにする。Ph<Pt<Psこれらの圧力としては、例えば、製造装置10外の圧力である大気圧Ptを基準として、反応容器11内の圧力Phを-25Pa、空間部20内の圧力Psを5~10Paとする。このようにすると、空間部20内の圧力Psが反応容器11内の圧力Phよりも高いことから、空間部20内のクリーンエアCAが反応容器11の側面に設けられたクリーンエア導入口39からメッシュ状壁部23で整流されて円滑に流れ込み、反応容器11内が常にクリーンエアCAで満たされる。また、空間部20内の圧力Psが大気圧Ptよりも高いことから、空間部20内への外気の流入が確実に防止される。例えば、外側容器12に設けられた扉25、バーナ13が挿し込まれている挿通孔12bあるいはターゲット15が通される貫通孔12aに微細な隙間があっても、この隙間では、図1b中矢印Aで示すように、空間部20側から外部へ向かってクリーンエアCAが流れることとなる。したがって、空間部20内へ塵埃を含んだ外気が流入するようなことはなく、ガラス微粒子堆積体17を形成する反応容器11内への塵埃の流入が防止される。なお、高温となる反応容器11に歪みが生じて僅かな隙間が形成されたり、反応容器11の扉24やターゲット15が通される貫通孔11aに隙間があったりしても、図1b中矢印Bに示すように、隙間から反応容器11内に流入する空気は、空間部20内のクリーンエアCAであるので、反応容器11内へ塵埃が流入することはない。そして、第1実施形態によれば、反応容器11と外側容器12との間の空間部20内の圧力Psを、反応容器11内の圧力Ph及び外側容器12の外部の圧力である大気圧Ptよりも高くし、発塵源となるバーナ台45を外側容器12の外部に配置することにより、反応容器11内での気流の変動及び反応容器11への塵埃の流入を防止することができる。つまり、各空間に圧力差を設けることで気流を生じさせることにより、浮遊物質である塵埃の移動ルートをコントロールし、反応容器11内への塵埃の侵入を防止することができる。しかも、クリーンエアCAを反応容器11の側面のクリーンエア導入口39からメッシュ状壁部23を通して整流させて間接的に導入するので、反応容器11へクリーンエアCAを上方から直接導入する場合と比較して、バーナ13の火炎の乱れも抑制することができる。これにより、異物の付着や混入を抑制しつつ安定的にガラス微粒子堆積体17を製造することができる。このようにして製造されたガラス微粒子堆積体17によれば、線引き時における断線の頻度を極力抑えつつ円滑に高品質な光ファイバを製造することができる。第2実施形態次に、第2実施形態に係るガラス微粒子堆積体の製造方法について説明する。なお、第1実施形態と同一構成部分は同一符号を付して説明を省略する。図2に示すように、第2実施形態の製造装置10Aでは、反応容器11に隣接してチャンバー50が形成されている。そして、このチャンバー50によって、反応容器11の側面に設けられたクリーンエア導入口39が囲われており、このチャンバー50を構成する隔壁51の挿通孔51aにバーナ13が気密的に通されている。また、チャンバー50には、外側容器12の側面を通して外側容器12の内部へ導かれたクリーンエア供給路21が接続されている。これにより、このチャンバー50には、クリーンエア供給路21を通して、クリーンエア供給装置からのクリーンエアCAが送り込まれる。また、チャンバー50には、その側面に、開度の調節が可能な窓部52が設けられている。窓部52の構造は、例えば、穴に対して回転する蓋を備えたものである。次に、上記構成の製造装置によるガラス微粒子堆積体の製造方法について説明する。ガラス微粒子堆積体17の製造では、ガラス原料の酸水素火炎をバーナ13から噴出させ、反応容器11の内部で火炎加水分解して生成されるガラス微粒子を、回転するターゲット15に吹き付けて堆積させてガラス微粒子堆積体17を製造する。また、バーナ13は、堆積によるガラス微粒子堆積体17の拡径にしたがって後退させる。上記のように、ターゲット15へのガラス微粒子の堆積時に、反応容器11のチャンバー50へクリーンエアCAを供給することによりチャンバー50がクリーンエアCAで満たされることで、反応容器11の側面に設けられたクリーンエア導入口39からチャンバー50内のクリーンエアCAがメッシュ状壁部23で整流されて反応容器11内へ送り込まれる。この製造装置10Aでは、ターゲット15へのガラス微粒子の堆積時に、クリーンエア供給装置、排気ラインの吸引ファンなどを調整し、さらに、チャンバー50の側面の窓部52の開度を調節しておくことにより、空間部20内の圧力Psを、反応容器11内の圧力Ph及び外側容器12の外部の圧力である大気圧Ptよりも高くし、かつチャンバー50内の圧力Pcを空間部20内の圧力Psよりも高くする。具体的には、これらの圧力が次式の関係となるようにする。Ph<Pt<Ps<Pcこれらの圧力としては、例えば、大気圧Ptを基準として、反応容器11内の圧力Phを-25Pa、空間部20内の圧力Psを5~10Pa、チャンバー50内の圧力Pcを50Paとする。このようにすると、空間部20よりも高圧のチャンバー50内の圧力Pcが反応容器11内の圧力Phよりも高いことから、チャンバー50内のクリーンエアCAが反応容器11の側面に設けられたクリーンエア導入口39からメッシュ状壁部23で整流されて円滑に流れ込み、反応容器11内が常にクリーンエアCAで満たされる。さらに、チャンバー50の窓部52からクリーンエアCAが空間部20へ流出し、この空間部20もクリーンエアCAで満たされる。また、チャンバー50内の圧力Pcが空間部20よりも高いことから、チャンバー50内への空間部20のクリーンエアCAの逆流が防止される。また、空間部20内の圧力Psが大気圧Ptよりも高いことから、空間部20内への外気の流入が確実に防止される。例えば、チャンバー50の側面の窓部52またはチャンバー50を構成する隔壁51のバーナ13が挿し込まれている挿通孔51aの微細な隙間では、図2b中矢印Cで示すように、チャンバー50から空間部20内へ向かってクリーンエアCAが流れることとなる。また、外側容器12に設けられた扉25、バーナ13が挿し込まれている挿通孔12bまたはターゲット15が通される貫通孔12aに微細な隙間があっても、この隙間では、図2b中矢印Dで示すように、空間部20側から外部へ向かって空間部20内のクリーンエアCAが流れることとなる。したがって、空間部20内へ塵埃を含んだ外気が流入するようなことはなく、ガラス微粒子堆積体17を形成する反応容器11内への塵埃の流入がさらに確実に防止される。なお、高温となる反応容器11に歪みが生じて僅かな隙間が形成されたり、反応容器11の扉24やターゲット15が通される貫通孔11aに隙間があったとしても、図2b中矢印Eに示すように、隙間から反応容器11内に流入する空気は、空間部20内のクリーンエアCAであるので、反応容器11内へ塵埃が流入することはない。この第2実施形態の場合も、反応容器11と外側容器12との間の空間部20内の圧力Psを、反応容器11内の圧力Ph及び外側容器12の外部の圧力である大気圧Ptよりも高くし、発塵源となるバーナ台45を外側容器12の外部に配置することにより、反応容器11内での気流の変動及び反応容器11への塵埃の流入を防止することができる。つまり、各空間に圧力差を設けることで気流を生じさせることにより、浮遊物質である塵埃の移動ルートをコントロールし、反応容器11内へ塵埃の侵入を防止することができる。しかも、反応容器11に設けたチャンバー50に供給したクリーンエアCAを、反応容器11の側面のクリーンエア導入口39からメッシュ状壁部23を通して整流させて間接的に導入するので、反応容器11へクリーンエアCAを上方から直接導入する場合と比較して、バーナ13の火炎の乱れも抑制することができる。これにより、異物の付着や混入を抑制しつつ安定的にガラス微粒子堆積体17を製造することができる。このようにして製造されたガラス微粒子堆積体17によれば、線引き時における断線の頻度を極力抑えつつ円滑に高品質な光ファイバを製造することができる。なお、上記実施形態の製造装置10,10Aでは、ターゲット15の軸線Yに沿って複数のバーナ13を一列に配置させたが、ターゲット15の軸線Yに沿って複数のバーナ13を上下に千鳥状に配置させ、ターゲット15に対して周方向の異なる位置から火炎を吹き付けるようにしても良い。また、製造装置10は、OVDOutsideVaporPhaseDeposition法によってガラス微粒子堆積体17を製造する装置構成であっても良い。図3に示すように、外側容器12の内部に、バーナ台45を配置させた比較例1に係る製造装置10Bと、上記第1実施形態及び第2実施形態と同様の構成で製作した実施例1,2に係る製造装置10,10Aとを運転し、装置内部におけるクリーン度パーティクル個数を測定した。なお、パーティクル個数は、立法フィート中における0.5μm以上の粒子の個数pc/cf0.5μmとした。また、製造したガラス微粒子堆積体17から光ファイバを線引きし、そのときの断線の頻度を調査した。比較例1、実施例1,2のいずれも、ターゲット15の径をφ30mm、堆積終了時のガラス微粒子堆積体17の径をφ300mmとし、ガラス微粒子堆積体17の長さは2~3mとした。比較例1、実施例1,2に係る製造装置における圧力状態及び調査結果を表1に示す。1圧力状態比較例1大気圧を基準の0とし、反応容器11内の圧力を-25Paとし、同一空間であるメッシュ状壁部23の周囲、反応容器11と外側容器12との間の空間部20及びバーナ台45の周囲の圧力を5~10Paとした。実施例1大気圧を基準の0とし、反応容器11内の圧力を-25Paとし、同一空間であるメッシュ状壁部23の周囲及び反応容器11と外側容器12との間の空間部20の圧力を5~10Paとした。なお、バーナ台45は、外側容器12の外部に配置されているので、このバーナ台45の周囲の圧力は大気圧となり、大気圧差は0である。実施例2大気圧を基準の0とし、反応容器11内の圧力を-25Paとし、チャンバー50内におけるメッシュ状壁部23の周囲の圧力を50、反応容器11と外側容器12との間の空間部20の圧力を5~10Paとした。なお、バーナ台45は、外側容器12の外部に配置されているので、このバーナ台45の周囲の圧力は大気圧となり、大気圧差は0である。2調査結果2-1クリーン度比較例1反応容器11内のパーティクル個数が100、メッシュ状壁部23の周囲、反応容器11と外側容器12との間の空間部20及びバーナ台45の周囲のパーティクル個数が200であった。実施例1反応容器11内のパーティクル個数が50、メッシュ状壁部23の周囲及び反応容器11と外側容器12との間の空間部20のパーティクル個数も50であった。なお、バーナ台45は、外部に配置されているので、その周囲のパーティクル個数は大気中のものとなり、1万以上であった。実施例2反応容器11内のパーティクル個数が4、チャンバー内におけるメッシュ状壁部23の周囲のパーティクル個数が2、反応容器11と外側容器12との間の空間部20のパーティクル個数が50であった。なお、実施例1と同様に、バーナ台45は、外部に配置されているので、その周囲のパーティクル個数は大気中のものとなり、1万以上であった。2-2線引き断線頻度比較例1の線引き断線頻度を基準の1とすると、実施例1における線引き断線頻度は0.5であり、実施例2における線引き断線頻度は0.3であった。2-3評価上記のクリーン度及び線引き断線頻度の調査結果より、発塵源となるバーナ台45を外側容器12の外部に配置させた実施例1,2では、バーナ台45を外側容器12の内部に配置させた比較例1と比較して、反応容器11内、メッシュ状壁部23の周囲及び反応容器11と外側容器12との間の空間部20におけるクリーン度が大幅に良くなることがわかった。また、これに伴い、線引き断線頻度も大幅に低減されることがわかった。また、チャンバー50へクリーンエアCAを供給して反応容器11のクリーンエア導入口39からチャンバー50内のクリーンエアCAを反応容器11内へ送り込む実施例2では、反応容器11と外側容器12との間の空間部20へクリーンエアCAを供給して反応容器11のクリーンエア導入口39から空間部20内のクリーンエアCAを反応容器11内へ送り込む実施例1よりも、反応容器11内及びメッシュ状壁部23の周囲におけるクリーン度がさらに良好となることがわかった。また、これに伴い、実施例2の線引き断線頻度も実施例1よりも低減されることがわかった。"