測定対象流体に挿入される振動体と、当該振動体を自励振動させるアクチュエータと、前記振動体の振動速度を検出する振動速度検出手段と、前記振動速度検出手段で検出される前記振動速度を正帰還して、Fs=Ccdx/dtただし、Fs:フィードバック制御信号Cc:正値である線形速度フィードバックゲインdx/dt:振動体の振動速度で表されるフィードバック制御信号により前記アクチュエータをフィードバック制御する制御手段と、からなる粘度測定装置を用いた粘度の測定方法であって、前記フィードバック制御における線形速度フィードバックゲインを変化させるステップと、前記振動体が振動状態と非振動状態との間で状態変化するときの前記線形速度フィードバックゲインを、発振限界を与えるときの発振限界ゲインとし、当該発振限界ゲインを前記測定対象流体の粘度の大きさを表す粘度相当値として検出するステップと、を備えることを特徴とする粘度の測定方法。前記粘度測定装置は、前記振動体の振動変位を検出する振動変位検出手段を備え、前記制御手段は、前記振動変位検出手段で検出される振動変位及び前記振動速度に基づいて前記振動体の振動振幅を低減する振動振幅低減化手段を有し、Fs=Cc-Cnonx2dx/dtただし、Fs:フィードバック制御信号Cc:正値である線形速度フィードバックゲインCnon:正値である非線形フィードバックゲインx:振動体の振動変位dx/dt:振動体の振動速度で表されるフィードバック制御信号により前記アクチュエータをフィードバック制御することを特徴とする請求項1記載の粘度の測定方法。前記測定対象流体の密度をρ、前記振動体の発振周波数をω、前記線形速度フィードバックゲインをCc、前記測定対象流体に対向する前記振動体の面積をSとしたとき、前記測定対象流体の粘度ηを、η={2/ρω}×Cc/S2から算出するステップを有し、前記線形速度フィードバックゲインCcとして前記発振限界ゲインを適用し、且つ前記発振周波数ωとして前記線形速度フィードバックゲインが前記発振限界ゲインであるときの前記振動体の発振周波数を適用することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の粘度の測定方法。前記振動体は、カンチレバーであることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項に記載の粘度の測定方法。測定対象流体に挿入される振動体と、当該振動体を自励振動させるアクチュエータと、前記振動体の振動速度を検出する振動速度検出手段と、前記振動速度検出手段で検出される前記振動速度を正帰還して、Fs=Ccdx/dtただし、Fs:フィードバック制御信号Cc:正値である線形速度フィードバックゲインdx/dt:振動体の振動速度で表されるフィードバック制御信号により前記アクチュエータをフィードバック制御する制御手段と、前記フィードバック制御手段における線形速度フィードバックゲインを変化させるゲイン調整手段と、前記振動体が振動状態と非振動状態との間で状態変化するときの前記線形速度フィードバックゲインを、発振限界を与えるときの発振限界ゲインとし、当該発振限界ゲインを前記測定対象流体の粘度の大きさを表す粘度相当値として検出する粘度相当値検出手段と、を備えることを特徴とする粘度測定装置。上述のように、周波数応答曲線から得たQ値に基づき粘度を求める方法においては、周波数応答曲線を実験的に予め求めておく必要がある。そのためには、幅広い周波数範囲で加振周波数をスイープして各周波数における振動体の振動振幅を獲得する必要があり手間がかかる。また、実験的に求められる周波数応答曲線は、振動体が液体中にある場合には、例えば、図4aに示すように共振ピークが鮮明とはならず、周波数応答曲線から共振点を正確に読み取り、ここから正確なQ値を得ることは困難である。このため、粘度の測定精度を向上させることは困難であるという問題がある。そこで、この発明は、上記従来の未解決の問題に着目してなされたものであり、粘度を容易且つ高精度に検出することの可能な粘度の測定方法および粘度測定装置を提供することを目的としている。上記目的を達成するために、本発明の一の実施形態に係る粘度の測定方法は、測定対象流体に挿入される振動体と、当該振動体を自励振動させるアクチュエータと、前記振動体の振動速度を検出する振動速度検出手段と、前記振動速度検出手段で検出される前記振動速度を正帰還して、Fs=Ccdx/dtただし、Fs:フィードバック制御信号Cc:正値である線形速度フィードバックゲインdx/dt:振動体の振動速度で表されるフィードバック制御信号により前記アクチュエータをフィードバック制御する制御手段と、からなる粘度測定装置を用いた粘度の測定方法であって、前記フィードバック制御における線形速度フィードバックゲインを変化させるステップと、前記振動体が振動状態と非振動状態との間で状態変化するときの前記線形速度フィードバックゲインを、発振限界を与えるときの発振限界ゲインとし、当該発振限界ゲインを前記測定対象流体の粘度の大きさを表す粘度相当値として検出するステップと、を備えることを特徴としている。また、上記の方法において、前記粘度測定装置は、前記振動体の振動変位を検出する振動変位検出手段を備え、前記制御手段は、前記振動変位検出手段で検出される振動変位及び前記振動速度に基づいて前記振動体の振動振幅を低減する振動振幅低減化手段を有し、Fs=Cc-Cnonx2dx/dtただし、Fs:フィードバック制御信号Cc:正値である線形速度フィードバックゲインCnon:正値である非線形フィードバックゲインx:振動体の振動変位dx/dt:振動体の振動速度で表されるフィードバック制御信号により前記アクチュエータをフィードバック制御することを特徴としている。また、上記の方法において、前記測定対象流体の密度をρ、前記振動体の発振周波数をω、前記線形速度フィードバックゲインをCc、前記測定対象流体に対向する前記振動体の面積をSとしたとき、前記測定対象流体の粘度ηを、η={2/ρω}×Cc/S2から算出するステップを有し、前記線形速度フィードバックゲインCcとして前記発振限界ゲインを適用し、且つ前記発振周波数ωとして前記線形速度フィードバックゲインが前記発振限界ゲインであるときの前記振動体の発振周波数を適用することを特徴としている。さらに、上記の方法において、前記振動体は、カンチレバーであることを特徴としている。また、本発明の一の実施形態に係る粘度測定装置は、測定対象流体に挿入される振動体と、当該振動体を自励振動させるアクチュエータと、前記振動体の振動速度を検出する振動速度検出手段と、前記振動速度検出手段で検出される前記振動速度を正帰還して、Fs=Ccdx/dtただし、Fs:フィードバック制御信号Cc:正値である線形速度フィードバックゲインdx/dt:振動体の振動速度で表されるフィードバック制御信号により前記アクチュエータをフィードバック制御する制御手段と、前記フィードバック制御手段における線形速度フィードバックゲインを変化させるゲイン調整手段と、前記振動体が振動状態と非振動状態との間で状態変化するときの前記線形速度フィードバックゲインを、発振限界を与えるときの発振限界ゲインとし、当該発振限界ゲインを前記測定対象流体の粘度の大きさを表す粘度相当値として検出する粘度相当値検出手段と、を備えることを特徴としている。本発明によれば、振動速度を正帰還させてアクチュエータをフィードバック制御することにより測定対象流体中で振動体を自励振動させるようにしたため、線形速度フィードバックゲインを変化させたとき、線形速度フィードバックゲインが発振限界に達した時点で初めて振動体は自励振動を開始することになり、この発振限界における線形速度フィードバックゲインである発振限界ゲインは粘度相当値を表す。したがって、振動体が振動しているか否かを明確に判断することができ、そのときの線形速度フィードバックゲインすなわち発振限界ゲインを粘度相当値として獲得することができるため、この粘度相当値を用いることにより測定対象流体の粘度を容易且つ高精度に検出することができる。特に、振動振幅低減化手段を設け、振動速度に基づく線形成分と振動変位及び振動速度に基づく非線形成分とをフィードバックすることによって、非線形成分を調整することにより振動体の振動振幅を調整することができる。このため、振動体の振動振幅を調整することにより測定対象流体における渦の発生を抑制することができ、また層流状態の流れを保つことができ、すなわち粘度の測定精度を向上させることができる。さらに、線形速度フィードバックゲインCcが発振限界ゲインであるときの振動体の発振周波数、すなわち振動体の固有振動数に相当する発振周波数を用いて振動体の粘度ηを演算することにより、演算式η={2/ρω}×Cc/S2を用いた粘度ηの換算精度が向上し高精度な粘度を得ることができる。特に、振動振幅を低減させると、線形速度フィードバックゲインが発振限界ゲインから少し離れていても振動体の発振周波数は振動体の線形の固有振動数と近い値をとり、振動振幅によらず一定値をとる。このため、振動振幅を低減させた状態で、線形速度フィードバックゲインが発振限界ゲイン付近であるときの振動体の発振周波数を前記演算式中の発振周波数ωとして用いて粘度を演算することによって、結果的に高精度な粘度を得ることができる。以下、本発明の実施の形態を説明する。まず、第1の実施の形態を説明する。図1は、本発明における粘度測定装置の一例を示す概略構成図である。図1において、1はカンチレバー等の振動体、2は振動体の振動変位を測定する変位センサ、3は変位検出器、4は振動速度演算器、5は増幅器、6は振動体1に振動を与えるアクチュエータ、7はアクチュエータ6を駆動するドライバである。変位センサ2は例えばピエゾ素子で構成され、この変位センサ2の出力が変位検出器3に入力され、変位検出器3によって振動体1の変位を検出する。例えばカンチレバーを振動体1として用いた場合には、変位検出器3はチャージアンプ等のシグナルコンディショナで構成される。変位検出器3が検出するカンチレバーの撓み量は、カンチレバーの振動変位xと等価である。変位検出器3は、検出した振動体1の振動変位xを振動速度演算器4に供給する。振動速度演算器4は微分器で構成され、変位検出器3から振動変位xを受信し、受信した振動変位xを微分して振動体1の振動速度であるdx/dtを算出し、算出したdx/dtを増幅器5に供給する。増幅器5は可変増幅器で構成され、振動速度演算器4から振動速度dx/dtを受信し、受信した振動速度dx/dtに正値の線形フィードバックゲインである速度フィードバックゲインCcを乗じて、Ccdx/dtを算出し、算出したCcdx/dtをフィードバック制御信号Fsとしてドライバ7に出力する。アクチュエータ6は、例えばピエゾ素子で構成され、アクチュエータ6が振動体1を駆動することにより振動体1が自励振動するように構成されている。ドライバ7は、例えば、ピエゾ素子駆動用増幅器で構成され、増幅器5から受信するフィードバック制御信号Fsを増幅してアクチュエータ6に出力し、アクチュエータ6を駆動する。次に、第1の実施の形態による粘度の測定方法を説明する。まず、粘度を測定したい流体である測定対象流体中に振動体1を挿入する。そして、ドライバ7を作動させて、振動速度dx/dtを正帰還でフィードバックさせる。このとき、速度フィードバックゲインCcは予め設定した初期値、例えば比較的小さい値に設定する。これにより、ドライバ7によってアクチュエータ6が駆動され、アクチュエータ6が振動体1に力又はモーメントを加える。この振動体1の変位が変位センサ2により検出され、変位センサ2の出力をもとに変位検出器3により振動体1の振動変位xが検出される。この振動変位xは振動速度演算器4に供給されて振動速度dx/dtが演算される。増幅器5により、振動速度dx/dtと速度フィードバックゲインCcとが乗算され、算出されたCcdx/dtがフィードバック制御信号Fsとしてドライバ7に供給される。ドライバ7がフィードバック制御信号Fsを増幅しアクチュエータ6を駆動することにより、アクチュエータ6が振動体1に力又はモーメントを加える。このようにアクチュエータ6が制御されている状態で、例えば変位検出器3で演算される振動変位x又は振動速度演算器4で演算される振動速度dx/dtに基づき、振動体1が振動したか否かを監視する。速度フィードバックゲインCcが比較的小さいときには振動体1は振動しない。振動体1が振動しないときには速度フィードバックゲインCcを増加させ、フィードバック制御信号Fsが増加し、アクチュエータ6により振動体1に加えられる力又はモーメントが増加し振動体1が振動したとき、この時点における速度フィードバックゲインCcを、粘度の大きさを表す粘度相当値として検出する。ここで、振動体1の運動方程式は、図1に示す測定系を1自由度2次系とみなすと等価的に次式1で表すことができる。式1中の、mは振動体1の質量と振動体1及び振動体1周辺の流体の動きによる付加的質量を含めた等価的質量、Sは測定対象流体に対向する振動体1の面積対向面積、ρは測定対象流体の密度、ηは測定対象の粘度、ωは振動体1の発振周波数、Ccは増幅器5における速度フィードバックゲイン、kは振動体1のばね定数、である。なお、前記対向面積Sとは、振動体1が測定対象流体の中を運動するとき、振動体1のせん断力を生じる面の面積を表し、例えば振動体1がカンチレバーである場合には、振動する方向と平行な面の面積を表す。ここで、振動体1の振動振幅が比較的小さく、且つ前記1式が成り立ち、1式中のdx/dtの係数の絶対値が小さいとき、振動体1の発振周波数は線形振動理論上、振動振幅に依存しない振動体1の線形の固有振動数にほぼ等しい値をとる。そして、速度フィードバックゲインCc>0を徐々に大きくすると、次式2の条件が満足されるとき、振動系は負減衰系となり自励振動が発生する。すなわち、振動体1の発振が始まる自例振動の発振限界を与える速度フィードバックゲインCc以下、発振限界ゲインともいう。は、次式3で表すことができる。したがって、粘度ηは、自励振動の発振限界を与えるときの速度フィードバックゲインCcを求めることにより、次式4から同定できることになる。このように粘度ηは、前記4式から演算することができ、また、振動体1の振動振幅が比較的小さく前述のように1式が成り立ち、そのdx/dtの係数の絶対値が小さいとき、発振周波数ωは振動体1の線形の固有振動数とほぼ等しく一定値をとるため、粘度ηと、発振限界における速度フィードバックゲインCcとは一意に対応していることがわかる。したがって、振動体1が振動した時点の速度フィードバックゲインCcは、発振限界を与えるときの速度フィードバックゲインCcであるため、速度フィードバックゲインCcを変化させて振動体1が振動した時点の速度フィードバックゲインCcは、粘度の度合を表す粘度相当値として用いることができ、さらに、前記4式を用いて演算を行うことにより、粘度ηを演算することができる。なお、4式において、測定対象流体の密度ρ及び測定対象流体に対向する振動体1の面積Sは予め検出しておく。また、発振周波数ωは、速度フィードバックゲインCcを変化させることにより振動体1が自励振動を開始したときの振動体1の発振周波数ωを検出し、これを発振周波数ωとして用いる。つまり、前述のように、前記1式が成り立つとき、すなわち振動振幅が小さく1式中のdx/dtの係数の絶対値が小さいときの発振周波数は、線形振動理論上、振動体1の線形の固有振動数にほぼ等しく振動振幅によらず一定値をとるため、前記4式における発振周波数ωとして自励振動を開始したときの実際の発振周波数を用いることにより精度の高い粘度ηを得ることができることになる。言い換えれば、4式の発振周波数ωとして用いられる発振周波数と固有振動数との誤差が大きいときほど、粘度ηの検出誤差が大きくなることになる。一方、振動体1は自励振動すると単一発振周波数で振動し、この単一発振周波数は、振動体1の振動振幅が十分小さいとき線形の固有振動数にほぼ一致し振動振幅によらず一定値をとることは、理論上明らかである。そして、振動体1は、図2に示すように、速度フィードバックゲインCcが発振限界ゲインCcに達すると自励振動を開始し、速度フィードバックゲインCcが発振限界ゲインCcを超えると、速度フィードバックゲインCcが大きいときほど自励振動の振動振幅が大きくなる。つまり、速度フィードバックゲインCcの値が発振限界ゲインCcに近いときほど、振動体1の自励振動の振動振幅は小さい。したがって、自励振動を開始したとき、すなわち振幅が小さい状態での振動体1の発振周波数は、振動体1の線形の固有振動数と同等程度の値を表し、且つ速度フィードバックゲインCcが発振限界ゲインCcに近いときほど振動体1の発振周波数と固有振動数との差は小さくなり、振幅によらず一定した発振周波数を示し、式4の演算精度が向上する。以上から、自励振動を開始したときの振動体1の発振周波数を、4式における発振周波数ωとして用いて粘度ηを演算することはすなわち振動体1の固有振動数を用いて演算することと同等となり、精度の高い粘度ηを得ることができることになる。なお、図2において、横軸は速度フィードバックゲインCc、縦軸は、振動体1としてカンチレバーを適用した場合の振動振幅aである。そこで、図3のフローチャートに示すように、まず、増幅器5の速度フィードバックゲインCcを初期値に設定するステップS2。この初期値は、任意に設定することができ、例えば、零、或いは、測定対象流体の予測される粘度に応じた発振限界ゲインCc近傍の値を設定すればよい。次に、変位検出器3で演算した振動体1の振動変位x或いは振動速度演算器4で演算した振動体1の振動速度dx/dtに基づき振動体1が振動したか否かを判断するステップS4。振動体1が振動したか否かの判断は、例えば、振動変位x或いは振動速度dx/dtが予め設定したしきい値以上変化したときに、振動体1が振動したと判断するようにすればよい。また、これに限らず振動変位xからなる振動変位データに対しFFT高速フーリエ変換処理を行うこと等により、振動体1の振動振幅の周波数スペクトルを求め、単一発振周波数のスペクトルが発生したとき、振動体1が振動したと判断するようにしてもよい。そして、ステップS4で振動体1が振動したと判断されないときにはステップS6に移行し、増幅器5の速度フィードバックゲインCcを増加させた後、ステップS4に戻る。速度フィードバックゲインCcは連続的に変化させてもよいし予め設定した変化量毎に変化させてもよい。ステップS4で振動体1が振動したと判断されるまでの間、ステップS4及びステップS6の処理を繰り返し行って速度フィードバックゲインCcを増加させ、振動体1が振動したときステップS4からステップS8に移行する。そして、この時点における速度フィードバックゲインCc、すなわち、振動体1が振動したときの速度フィードバックゲインCcを発振限界ゲインCcとして検出し、これを測定対象流体の粘度相当値とする。次いで、ステップS9に移行し、例えば、発振限界ゲインCcに所定量Δc1を加算したCcΔc1の値に速度フィードバックゲインCcを維持し、この状態での振動体1の振動変位xからなる振動波形データに対し、FFT高速フーリエ変換処理を用いてスペクトル解析をし、スペクトルが生じている単一発振周波数を、発振限界における発振周波数ωとして獲得する。なお、Δc1は、速度フィードバックゲインCcをCcΔc1に維持したときに、振動体1の振動変位xから発振周波数ωを検出することのできる程度の比較的小さい値に設定する。Δc1が大きくなると速度フィードバックゲインCcが大きくなり、図2に示すように、振動体1の振動振幅が大きくなる。その結果、振動体1の発振周波数が線形の固有振動数からずれてしまい、振動振幅のわずかな変化に依存して発振周波数が変動しやすくなる。これはすなわち、4式中のωの検出誤差が大きくなることになり、粘度ηの算出精度が低下することになる。したがって、Δc1は、できるだけ小さな値が好ましい。そして、ステップS10に移行し、ステップS8で獲得した粘度相当値である発振限界ゲインCcとステップS9で獲得した発振限界における発振周波数ωとを前記4式に代入し、粘度ηを演算する。このように、速度フィードバックゲインCcを変化させ、振動体1が自励振動を開始した時点の速度フィードバックゲインCc=Ccを検出し、且つ自励振動する振動体1の発振周波数=ωを検出するだけで、測定対象流体の粘度を容易に検出することができる。ここで、周波数応答曲線から得たQ値に基づいて粘度を測定するようにした強制加振法に基づく従来の粘度の測定方法にあっては、振動体1に対する加振周波数を掃引して図4aに示すような振動体1の周波数応答曲線を描き、この周波数応答曲線からQ値を求めている。そのため、振動体1に対する加振周波数を少しずつ変化させて実験データを蓄積して周波数応答曲線を得る必要がある。これに対し、本実施の形態においては、粘度の検出にQ値を必要としないため周波数応答曲線を必要としない。そのため、周波数応答曲線を作成する工程を必要としない分、粘度検出に要する時間と手間を大幅に削減することができるという長所がある。また、振動体1を加振させる方法の場合、図4aに示す周波数応答特性曲線のようにピーク周波数が鮮明に現れないため、粘度相当値としてのピーク周波数を高精度に特定することは困難である。これに対し、振動体1を自励振動させる場合には、図4bに示すように自励振動する振動体1は、測定対象流体中であっても単一の周波数で発振する。このため、以下の理由で粘度測定は容易になる。すなわち、図2に示すように、振動体1は、速度フィードバックゲインCcを変化させたとしても、発振限界を与える速度フィードバックゲインCcとなるまでの間は振動せず、発振限界を与える速度フィードバックゲインCcとなった時点で初めて振動が生じ、その後速度フィードバックゲインCcの増加に伴って振動振幅aが増加する。このとき振動体1は単一周波数で発振する。このため、振動振幅aの立ち上がりを検出するだけで、振動が生じたか否かの判断を容易且つ的確に行うことができる。そして、このように振動振幅aが立ち上がったときに、このときの速度フィードバックゲインCcを獲得すれば、これはすなわち、粘度相当値としての発振限界ゲインCcであるから、発振限界ゲインCcの検出を的確に行うことができることになり、その結果、粘度ηを高精度に検出することができることになる。なお、図4aにおいて、横軸は加振周波数、縦軸は振動体の振動振幅である。また、図4bにおいて、横軸は振動体の発振周波数、縦軸は振動体の振動振幅である。また、上記粘度測定装置を用いて測定を行うことにより、測定対象流体の粘度の変化をリアルタイムで検出することができるという効果も得ることができる。つまり、上述のように、前記2式を満足するときにのみ自励振動が生じる。したがって、速度フィードバックゲインCcが発振限界を与える発振限界ゲインCcに達した時点で、この発振限界ゲインCcを用いて前記4式の演算を行うことにより、粘度ηを求めることができる。続いて、自励振動が生じる発振限界ゲインCcに所定量Δc2を加算し、加算した値CcΔc2に速度フィードバックゲインCcを維持する。これにより、振動体1は、定常振幅で自励振動することになる。この状態から測定対象流体の粘度が変化し、粘度が大きくなった場合には、前記2式を満足しなくなるため自励振動が停止する。この場合には、速度フィードバックゲインCcを増加させ、振幅が生じたか否かを監視することにより新たな発振限界ゲインCcを求めることができる。したがって、速度フィードバックゲインCcをCcΔc2に維持した状態で、振動体1が定常振幅で自励振動している状態から非振動状態となったか否かを監視することにより、粘度が増加したか否かをリアルタイムで検出することができる。また、測定対象流体の粘度と各粘度における速度フィードバックゲインCcとの対応を予め求めておくことによって、この対応関係と、測定対象流体の粘度が変化する前の発振限界ゲインCcの値と、変化した後の粘度における発振限界ゲインCcの値との関係から、粘度がどの程度変化したのかを、定量的に判断することができる。一方、速度フィードバックゲインCcを、発振限界ゲインCcに所定量Δc2を加算したCcΔc2に維持した状態で測定対象流体の粘度が変化し、粘度が小さくなった場合には、定常振幅で自励振動していた振動体1の振幅が大きくなる。このとき、速度フィードバックゲインCcを減少させることにより、自励振動の振幅は小さくなり自励振幅が生じなくなった時点における速度フィードバックゲインCcが、粘度変化後の測定対象流体における発振限界ゲインCcとなる。したがって、速度フィードバックゲインCcをCcΔc2に維持した状態で、定常振幅で自励振動していた振動体1の振幅が大きくなったか否かを監視することにより、測定対象流体の粘度が減少したか否かをリアルタイムで検出することができ、上記と同様にその粘度の増加量も定量的に測定することができる。なお所定量Δc2は、速度フィードバックゲインCcをCcΔc2に維持した状態において、振動体1の振動振幅から、振動体1が振動状態から非振動状態になったことを検出することが可能であり、且つ振動体1の振幅の変動を的確に検出することができる程度の大きさであればよい。Δc2が大きいと粘度が大きくなった場合であっても前記2式を満足しなくなるまでは自励振動を継続するため、粘度の変化に対する感度が低くなる。したがって、粘度の変化に対する感度を考慮してΔc2を設定するようにしてもよい。また、粘度ηを算出する際には、発振限界ゲインCcと発振限界における発振周波数ωと検出し、これらを用いて前記4式から算出している。ここで前述のように、発振周波数ωは、速度フィードバックゲインCcを、発振限界ゲインCcに所定量Δc1を加算したCcΔc1の値に維持した状態での振動体1の発振周波数であり、且つ所定量Δc1を、振動振幅が発振周波数を検出できる程度の比較的小さな値となるように設定したため、得られる発振周波数ωと振動体1の固有振動数との差を小さくすることができる。つまり、振動体1の固有振動数を高精度に検出することができる。したがって、このように高精度に検出される振動体1の固有振動数=発振周波数ωと、高精度に検出される発振限界ゲインCcとを用いて粘度ηを演算することにより、粘度ηの検出精度をより向上させることができる。また、このように、粘度測定を容易且つ高精度に行うことができる。ここで、例えば、食品メーカにおいては、開発した食品についての精密な粘度測定は、食品の品質、味、咀嚼感覚の化学的指標を得るためにも重要である。また、化学計測器メーカにおいては、ユーザビリティの向上のためにも、粘度の測定精度の向上が必要である。したがって、食品メーカ、或いは化学計測器メーカ等、粘度測定が比較的重要となる分野において、上記の粘度の測定方法を適用することによって、高精度に粘度測定を行うことができ、且つ容易に行うことができるため、作業効率の向上を図ることができ好適である。なお、上記第1の実施の形態においては、速度フィードバックゲインCcを粘度相当値として獲得し、これに基づき粘度ηを演算する場合について説明したが、これに限るものではない。例えば粘度の変化のみを検出すればよい場合には、獲得した速度フィードバックゲインCcをそのまま粘度の大きさを表す粘度相当値として用い、粘度相当値の変化を検出することにより、粘度が変化したか否かを判断するようにしてもよい。また、上記第1の実施の形態においては、4式において発振周波数ωとして、発振限界における発振周波数ωを用いる場合について説明したが、これに限るものではない。前述のように、発振周波数ωは、測定系が1自由度2次系であり且つ振動体1の振動振幅が比較的小さいときには固有振動数にほぼ等しくなる。このため、測定系が1自由度2次系であり且つ振動体1の振動振幅が比較的小さく、粘度ηとしてそれほど高い精度が要求されない場合には、固有振動数として等価的に表されるk/m12を発振周波数ωとして用いるようにしてもよい。なお、kは振動体1のばね定数、mは振動体1の質量と振動体1及び振動体1周辺の流体の動きによる付加的質量を含めた等価的質量である。また、上記第1の実施の形態においては、速度フィードバックゲインCcを粘度相当値として、粘度測定装置から出力する場合について説明したがこれに限るものではない。例えば、図5に示すように、さらに、振動変位x又は振動速度dx/dt、又は振動振幅の周波数スペクトルに基づき振動体1が自励発振しているか否かを検出する自励発振検出手段9と、振動変位xからなる振動波形データに対して高速フーリエ変換を行って発振周波数を演算するFFT処理部9aと、演算器10とを設ける。そして、速度フィードバックゲインCcを変化させ、振動体1が自励発振したときの増幅器5の速度フィードバックゲインCcを自励発振検出手段9で獲得する。その後、速度フィードバックゲインCcを、自励振動が生じたときの発振限界ゲインCcに所定量Δc1を加算した値CcΔc1に維持し、この状態における、振動体1の振動変位xからなる振動波形データに対してFFT処理部9aで高速フーリエ変換を行って発振周波数を演算する。そして、FFT処理部9aで獲得した発振周波数を発振限界における発振周波数ωとし、この発振周波数ωと自励発振検出手段9で獲得した発振限界ゲインCcとを用いて、演算器10において、前記4式にしたがって粘度ηを演算するように構成してもよい。さらに、図6に示すように、速度フィードバックゲインCcを自動的に変化させるゲイン調整手段10aを設け、速度フィードバックゲインCcの調整も自動的に行うように構成することも可能である。また、上記第1の実施の形態において、マイクロコンピュータ等の演算処理装置及びA/D変換器、D/A変換器を設け、変位センサ2の出力をA/D変換器を介して演算処理装置に取り込み、変位検出器3及び振動速度演算器4での演算処理及び速度フィードバックゲインCcを変化させこれを振動速度dx/dtに乗算する処理を演算処理装置によりデジタル的に行ってフィードバック制御信号Fsを生成し、これをD/A変換器を介してドライバ7に出力する構成としてもよい。この場合には、演算処理装置において、変位検出器3で検出される振動変位x又は振動速度演算器4で演算される振動速度dx/dtに基づき、振動体1が振動したか否かを監視し、振動したときの速度フィードバックゲインCcを発振限界ゲインCcとし、これを粘度相当値として獲得し、これを粘度測定結果として例えばディスプレイ等の出力装置に出力し、オペレータに通知するように構成すればよい。さらに、発振限界ゲインCcを獲得した後、速度フィードバックゲインCcをCcΔc1に維持して自励振動を行わせる処理、自励振動の発振周波数をFFT処理により演算して発振限界における発振周波数ωを算出する処理、発振限界ゲインCcと発振周波数ωとを用いて4式から粘度ηを演算する処理も、演算処理装置において実行するよう構成し、すなわち、図6の変位検出器3、振動速度演算器4、増幅器5、自励発振検出手段9、FFT処理部9a、演算器10、ゲイン調整手段10aにおける各処理を、演算処理装置において実行することによって、粘度ηを自動的に演算しこれをオペレータに通知するように構成することも可能である。次に、本発明の第2の実施の形態を説明する。この第2の実施の形態は、上記第1の実施の形態において、さらに、振動体1が自励発振する際の振幅の低減を図るようにしたものである。図7は、第2の実施の形態における粘度測定装置の概略構成を示す概略構成図である。図1に示す、上記第1の実施の形態における粘度測定装置と同一部には同一符号を付与しその詳細な説明は省略する。第2の実施の形態における粘度測定装置は、図7に示すように、カンチレバー等の振動体1、振動体1の振動変位を測定する変位センサ2、変位検出器3、振動速度演算器4、増幅器5、振動体1に振動を与えるアクチュエータ6、アクチュエータ6を駆動するドライバ7を有すると共に、さらに、乗算器11及び12、増幅器13、演算器14を備える。乗算器11は、変位検出器3から振動変位xを受信し、受信した振動変位xを二乗してx2を演算し、乗算器12に供給する。乗算器12は、振動速度演算器4から振動速度dx/dtを受信し、この振動速度dx/dtと乗算器11の演算結果x2とを乗算し、この乗算結果x2dx/dtを、増幅器13に供給する。増幅器13は、乗算器12の乗算結果x2dx/dtと正値の非線形フィードバックゲインCnonとを乗じてCnonx2dx/dtを算出し、算出したCnonx2dx/dtを演算器14に供給する。演算器14は、増幅器5の演算出力Ccdx/dtから、増幅器13の演算出力Cnonx2dx/dtを減算し、減算結果{Ccdx/dt-Cnonx2dx/dt}を、フィードバック制御信号Fsとしてドライバ7に供給する。次に、第2の実施の形態による粘度の測定方法を説明する。ドライバ7を作動させることにより、ドライバ7によってアクチュエータ6が駆動され、アクチュエータ6により力又はモーメントが振動体1に加えられる。振動体1の変位が変位センサ2により検出され、変位センサ2の出力をもとに変位検出器3により振動体1の振動変位xが検出される。この振動変位xは、振動速度演算器4に供給されて振動速度dx/dtが演算される。増幅器5により、この振動速度dx/dtと線形フィードバックゲインである速度フィードバックゲインCcとが乗算される。また、変位検出器3で検出された振動変位xをもとに、乗算器11においてx2が演算され、乗算器12においてx2と振動速度演算器4で演算された振動速度dx/dtとが乗算され、さらに増幅器13において、乗算器12の演算結果x2dx/dtに非線形フィードバックゲインCnonが乗算される。そして、演算器14で、増幅器5の演算出力Ccdx/dtから、増幅器13の演算出力Cnonx2dx/dtが減算され、その減算結果{Ccdx/dt-Cnonx2dx/dt}が、フィードバック制御信号Fsとしてドライバ7に供給される。ドライバ7がフィードバック制御信号Fsを増幅しアクチュエータ6を駆動することにより、振動体1に力又はモーメントが加えられる。ここで、前記フィードバック制御信号Fsは、次式5で表される。Fs=Ccdx/dt-Cnonx2dx/dt......55式中の、Ccdx/dtが振動体1の振動速度dx/dtに対する線形成分の項となり、Cnonx2dx/dtが振動体1の振動速度dx/dtに対する非線形成分の項となる。そして、振動体1としてカンチレバーを適用した場合、その特性から、非線形成分と振動体1としてのカンチレバーの自励振動力とがバランスすると、カンチレバーの振動振幅が一定に維持され、非線形フィードバックゲインを大きくすることにより振動体1の振動振幅を小さく抑制することができ、振動体1の発振周波数を振動振幅によらず一定な線形の固有振動数に維持することができる。ここで、測定系のレイノルズ数を下げ層流状態の流れが保たれ、振動体1の振動による渦の発生を抑えることにより、粘度の測定精度をより向上させることができる。そのためには、自励振動時の振動振幅を低減する振幅低減化制御を行えばよく、すなわち、図7に示すように非線形フィードバック成分を設ければよい。つまり、非線形フィードバックを講じて振動体1を振動させることにより、振動体1の自励振動による振幅を低減することができ、これはすなわち渦の発生を抑制し、また層流状態の流れを維持し乱流状態の発生を防ぐことになる。さらに前述のように、振動振幅を低減すると、発振限界における発振周波数ωと振動体1の固有振動数との差をより小さくすることが可能となり発振周波数ωを固有振動数とほぼ一致させることができるため、発振限界ゲインCc及び、固有振動数としての発振限界における発振周波数ωをより高精度に検出することができる。したがって、これら発振限界ゲインCc及び発振限界における発振周波数ωを用いて演算される粘度ηの検出精度をより向上させることができる。なお、前記非線形フィードバックゲインCnonは、次のように設定すればよい。すなわち、非線形フィードバックゲインCnonが大きいときほど振動振幅を抑制することができるため、非線形フィードバックゲインCnonを比較的大きな値であり、且つ線形フィードバックゲインCcが発振限界ゲインCcに達したときに生じる振動体1の振動を、その振幅から的確に判断することのできる程度の値を予め検出しておき、これを設定すればよい。このようにすることにより、カンチレバーの自励振動による、測定対象流体中での渦の発生が抑制され、乱流状態の発生が抑えられ、且つ発振限界における発振周波数ωと線形の固有振動数との差をより小さくすることができるため発振周波数が振動振幅の変化に対して変動せず、粘度測定の測定精度をより向上させることができる。なお、この第2の実施の形態においても、自励発振が生じたときの速度フィードバックゲインCcを粘度の大きさを表す粘度相当値とし、この粘度相当値を監視することにより、測定対象流体中の粘度の変化を検出するようにしてもよい。また、図8に示すように、上記第1の実施の形態と同様に、振動変位x又は振動速度dx/dt、又は振動振幅の周波数スペクトルに基づき振動体1が自励発振しているか否かを検出する自励発振検出手段9と、振動変位xからなる振動波形データに対して高速フーリエ変換を行って発振周波数を演算するFFT処理部9aと、演算器10とを設ける。そして、振動体1が自励発振したときの増幅器5の速度フィードバックゲインCcを自励発振検出手段9で獲得した後、速度フィードバックゲインCcを増加させて、自励振動が生じたときの発振限界ゲインCcに所定量Δc1を加算したゲインCcΔc1に維持し、このときの振動体1の振動変位xからなる振動波形データに対してFFT処理部9aで高速フーリエ変換を行って発振周波数を演算する。そして、FFT処理部9aで獲得した発振周波数を発振限界における発振周波数ωとし、これと自励発振検出手段9で獲得した発振限界ゲインCcとを用いて、演算器10において、前記4式にしたがって粘度ηを演算するように構成してもよい。さらに、マイクロコンピュータ等の演算処理装置及びA/D変換器、D/A変換器を設け、変位センサ2の出力をA/D変換器を介して演算処理装置に取り込み、変位検出器3及び振動速度演算器4における演算処理及び速度フィードバックゲインCcを変化させる処理、増幅器5及び13、演算器14での演算処理を演算処理装置によってデジタル的に行ってフィードバック制御信号Fsを生成し、これをD/A変換器を介してドライバ7に出力する構成とする。そして、自励発振を検出したときの速度フィードバックゲインである発振限界ゲインCcを獲得する処理、速度フィードバックゲインCcをCcΔc1に維持し、このときの振動体1の振動変位xからなる振動波形データをFFT処理して発振周波数を求めこれを発振限界における発振周波数ωとする処理、さらに、発振限界ゲインCc及び発振周波数ωから粘度ηを演算する処理を、演算処理装置において実行するように構成してもよい。また、上記各実施の形態において、変位検出器3で検出した振動体1の振動変位xをモニタ装置等に出力し、モニタ装置において振動体1の振動状況をオペレータが監視できるように構成してもよい。また、上記各実施の形態においては、振動体1としてカンチレバーを適用した場合について説明したがこれに限るものではなく、例えば、従来の振動式粘度計、例えば回転円筒、平行平板等を用いた粘度計であっても適用することができる。また、上記各実施の形態においては、速度フィードバックゲインCcを比較的小さい値から増加させる場合について説明したが、これに限るものではなく、速度フィードバックゲインCcを比較的大きな値から減少させるようにしてもよい。この場合には、速度フィードゲインCcが大きいため、アクチュエータ6を駆動開始すると振動体1は自励振動を開始する。したがって、振動体1の自励振動が停止する時点を検出しこの時点における速度フィードバックゲインCcを、発振限界ゲインCcとして検出すればよい。また、上記各実施の形態において、速度フィードバックゲインCcを連続的に変化させてもよく、さらに、例えばΔc毎に変化させる等、段階的に変化させるようにしてもよい。速度フィードバックゲインCcを段階的に変化させる場合には、速度フィードバックゲインCcの変化分例えばΔcが、発振限界ゲインの検出誤差となるため、目標とする粘度精度に応じて速度フィードバックゲインの変化分を設定するようにすればよい。また、上記各実施の形態においては、自励振動が生じたときの速度フィードバックゲインCcを粘度相当値として検出することによりリアルタイムで粘度相当値を獲得する場合について説明したが、これに限るものではない。例えば、記憶手段を設け、速度フィードバックゲインCcを変化させたときの、振動体1の振動変位x又は振動速度dx/dtを、速度フィードバックゲインCcの値と対応付けて、対応情報として記憶手段に格納するようにし、速度フィードバックゲインCcを所定の範囲で変化させ、そのときの対応情報を記憶手段に格納する。そして、対応情報を獲得した後、記憶手段に格納された対応情報を読み出し、これに基づき、発振限界に達したときの速度フィードバックゲインCcを、粘度相当値として獲得するようにしてもよい。なお、上記実施の形態において、変位検出器3が振動変位検出手段に対応し、振動速度演算器4が振動速度検出手段に対応し、自励発振検出手段9および演算器10が粘度相当値検出手段に対応している。また、第1の実施の形態において、増幅器5およびドライバ7が制御手段に対応し、第2の実施の形態において、増幅器5、乗算器11及び12、増幅器13、演算器14およびドライバ7が制御手段に対応し、乗算器11及び12、増幅器13及び演算器14からなるフィードバック系が振動振幅低減化手段に対応している。