生体の生理学的変数又はその他の信号を測定し、前記測定に応じてセンサ信号を生成するように構成されたセンサユニット3を含むセンサ部2と、少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルに電気的に接続されるように構成された複数のコンタクト部材6を含む接合部5を備え、前記接合部5は電気絶縁材料18で被覆されるが前記センサ部2は被覆されないことを特徴とするセンサ素子1。前記センサ部2と前記接合部5の間に配置され、前記複数のコンタクト部材6を前記センサユニット3に接続するように構成された電気接続線19を含む中間部7を更に含む請求項1記載のセンサ素子1。前記中間部7の略全体も前記電気絶縁材料18で被覆される請求項2記載のセンサ素子1。前記センサユニット3は、薄膜4によって覆われた空洞8を含む上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。前記センサ素子1は長方形である上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。前記センサ素子1の最大伸長が2.2mmである上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。前記センサ素子1が1.0~2.2mmの間の長さ、0.1~0.6mmの間の幅、及び、0.05~0.3mmの間の厚さを有する上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。前記電気絶縁材料18は、生体適合性があり、生体内で化学的に安定である上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。前記電気絶縁材料18は、シリコーン及びエポキシからなる群から選択される上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。前記センサユニット3は、圧力、温度及び流速を含む、1つ以上の生理学的変数を感知する上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。前記センサユニット3は、ピエゾ抵抗素子、コンデンサ又は機械共鳴センサの少なくとも1つを含む上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。請求項4に従属する場合、前記センサユニット3は、前記薄膜4に接続して配置された少なくとも1つのピエゾ抵抗素子を含む上記請求項のいずれか1項に記載のセンサ素子1。生体の生理学的変数又はその他の信号を血管内測定するためのセンサワイヤ10であって、近位領域11、遠位センサ領域12及び遠位先端領域13を有し、前記遠位センサ領域12に配置された請求項1~12のいずれか1項に記載のセンサ素子1と、前記センサ素子1の少なくとも一部を収容するジャケット14と、心線15と、前記センサ素子1に接続され、前記センサワイヤ10に沿って延びる少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルを備えたセンサワイヤ10。センサ支持体17を提供する工程と、センサユニット3を形成する工程を含むセンサ部2を形成する工程と、複数のコンタクト部材6を形成する工程を含む接合部5を形成する工程を含み、前記センサ部2を被覆せずに、前記接合部5を電気絶縁材料18で被覆することを特徴とするセンサ素子1の製造方法。前記センサユニット3を形成する工程は、生体の生理学的変数又はその他の信号を測定し、前記変数又はその他の信号に応じてセンサ信号を生成するようにセンサユニット3を構成する工程を含み、前記センサ支持体17内に空洞8を形成し、前記空洞8を覆うように層9を前記センサ支持体17に接着して薄膜4を有する基準チャンバを形成する工程を更に含み、前記コンタクト部材6は、少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルに電気的に接続されるように構成される請求項14記載のセンサ素子1の製造方法。前記センサ部2と前記接合部5の間に中間部7を形成する工程を更に含む請求項14又は15記載の方法。前記中間部7の略全体を前記電気絶縁材料18で被覆する工程を更に含む請求項16記載の方法。前記センサユニット3を形成する工程は、ピエゾ抵抗素子、コンデンサ又は機械共鳴センサのうちの少なくとも1つを形成する工程を含む請求項11~17のいずれか1項に記載の方法。前記センサユニット3を形成する工程は、前記薄膜4に接続してピエゾ抵抗素子を配置する工程を含む請求項11~18のいずれか1項に記載の方法。上記の目的は、独立請求項に係る本発明により達成される。好適な実施形態が、従属請求項に記載される。本発明によれば、安定した線形測定を提供し、1±1までドリフト故障率を低減するセンサ素子が開示される。よって、生体の生理学的変数又はその他の信号を測定し、前記変数又はその他の信号に応じてセンサ信号を生成するように構成されたセンサユニットを含むセンサ部と、少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルに電気的に接続されるように構成された複数のコンタクト部材を含む接合部を備え、接合部は電気絶縁材料で被覆されるがセンサ部は被覆されないセンサ素子により、本発明は達成される。本発明の好適な一実施形態によれば、センサ素子は、前記センサ部と前記接合部の間に配置され、前記複数のコンタクト部材をセンサユニットに接続するように構成された電気接続線を含む中間部を更に備える。好ましくは、中間部の略全体も電気絶縁材料で被覆される。本発明の他の実施形態によれば、センサワイヤが提供される。センサワイヤは、近位領域、遠位センサ領域及び遠位先端領域を有し、本発明に係るセンサ素子と、前記センサ素子の少なくとも一部を収容し、心線に取り付けられたジャケットと、前記センサ素子に接続され、センサワイヤに沿って延びる少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルを備える。本発明の他の実施形態によれば、センサ素子の製造方法が提供される。この方法は、センサ支持体を提供する工程と、センサユニットを形成する工程を含むセンサ部を形成する工程と、複数のコンタクト部材を形成する工程を含む接合部を形成する工程と、センサ部を被覆せずに接合部を電気絶縁材料で被覆する工程を含む。本発明の好適な一実施形態によれば、前記方法は、前記センサ部と前記接合部の間に中間部を形成する工程を更に含む。好ましくは、前記方法は、実質的に中間部の全体を前記電気絶縁材料で被覆する工程を更に含む。従って、本発明は、その近位端からセンサ部近傍の位置まで電気絶縁材料で被覆されたセンサ素子を開示する。換言すれば、センサ部が被覆されない場合に、接合部及び任意で中間部が電気絶縁材料で被覆されたセンサ素子が記載される。よって、センサ部が電気的に絶縁されることはない。従って、センサユニットは、電気絶縁材料が存在せず、これにより生理学的変数又はその他の信号の測定を行う生体内の液体媒体に直接的に接触可能となる。本発明は、上記の信号偏差とドリフトの問題を生じさせる原因の新規な発見に基づいている。現在のところ、上述したように、センサ素子が備える薄膜と、センサ素子に含まれる可能性がある受動及び能動抵抗器は、シリコーンに埋め込まれる。しかし、このシリコーン層は厚さが不均一であり図4参照、湿潤時には、フックの法則:σij=cijklεklσij、cijkl及びεklは、それぞれ応力、剛性及び歪みテンソルで説明ができる可変の三次元応力状態となる。これにより、薄膜及び受動及び能動抵抗器へのシリコーン絶縁体の適用は、信号安定性に影響し、生産時の故障率を増加させる。臨床環境に外挿した場合、従来のシリコーンの適用は、冠動脈の圧力測定などの生体の生理学的変数又はその他の信号の測定精度に影響を及ぼす可能性がある。更に、センサ素子を備えたセンサワイヤを使用する場合、実施される測定、例えば、圧力測定により、ほぼ即時に有効且つ正確な信号が発信されることが非常に望ましい。この点における重大な要素の1つは、センサユニットの効果的な湿潤が達成されることである。本発明により、センサ部に電気絶縁材料が無い状態にすることにより、センサユニットは、測定が実施される生体内の液体媒体に直接的に接触可能となる。従って、本発明は、センサユニットの効果的な湿潤も容易にする。本願明細書において、遠位という用語は操作者に対して距離をおいて位置する部分を指し、近位という用語は操作者の近傍に位置する部分を指す。図1は、従来技術に係るセンサ素子1の上面図を示す。センサ素子1は、センサ部2と、少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルに電気的に接続されるように構成された複数のコンタクト部材6例えば、図面に示すような3つのコンタクト部材を含む接合部5を備える。センサ素子1は、前記センサ部2と前記接合部5の間に配置され、複数のコンタクト部材6をセンサユニット3に接続するように構成された電気接続線19を含む中間部7を更に含む。センサ部2は、生体の生理学的変数又はその他の信号を測定し、前記測定に応じてセンサ信号を生成するように構成されたセンサユニット3を含む。センサユニット3は、薄膜4を含む。センサ素子1は、全体が電気絶縁材料18図中の細かい斜線部で被覆される。図2は、従来技術に係るセンサ素子1の側面図を示す。センサ素子1は、例えばエッチングにより内部に空洞8が形成されたセンサ支持体17を備える。更に、層9が空洞8を覆うことにより、薄膜4を有する基準チャンバが形成される。センサ素子1の全体が、不均一な厚さの電気絶縁材料18で被覆され、それにより上記に検討したドリフトの問題がもたらされる。図3は、従来技術に係るセンサワイヤ10を示す。センサワイヤ10は、近位領域11、遠位センサ領域12及び遠位先端領域13を有する。そして、心線15、センサユニット3を有するセンサ素子1、ジャケット14及びコイル16を備える。心線は、ジャケット14内を通り、コイル16内へと延びる。センサユニット3を備えるセンサ素子1は、ジャケット14内の心線15に取り付けられ、センサワイヤ10に沿って延びる1本又は複数のマイクロケーブル図示せずを介して電子ユニット図示せずに接続される。図4は、本発明に係るセンサ素子1の上面図を示す。センサ素子1は、センサ部2と、少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルに電気的に接続されるように構成された複数のコンタクト部材6例えば、図示された3つのコンタクト部材を含む接合部5を備える。センサ部2は、生体の生理学的変数又はその他の信号を測定し、前記測定に応じてセンサ信号を生成するように構成されたセンサユニット3を備える。本発明によれば、接合部5は電気絶縁材料18で被覆され、センサ部2は被覆されない。図5は、接合部5が電気絶縁材料18で被覆され、センサ部2が被覆されない、本発明に係るセンサ素子1の側面図を示す。図6は、本発明の好適な一実施形態に係るセンサ素子1の上面図を示す。センサ素子1は、センサ部2と、少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルに電気的に接続されるように構成された複数のコンタクト部材6例えば、図示される3つのコンタクト部材を含む接合部5を備える。センサ素子1は、前記センサ部2と前記接合部5の間に配置され、複数のコンタクト部材6をセンサユニット3に接続するように構成された電気接続線19を含む中間部7を更に含む。センサ部2は、生体の生理学的変数又はその他の信号を測定し、前記測定に応じてセンサ信号を生成するように構成されたセンサユニット3を含む。本発明の好適な一実施形態によれば、接合部5及び中間部7の略全面が電気絶縁材料18で被覆され、センサ部2は被覆されない。図7は、接合部5及び中間部7の略全面が電気絶縁材料18で被覆され、センサ部2は被覆されない、本発明の好適な一実施形態に係るセンサ素子1の側面図を示す。前記電気絶縁材料18は、生体適合性があり、生体内で化学的に安定であることが好ましい。前記電気絶縁材料18は、シリコーン及びエポキシからなる群から選択してもよい。本発明の一実施形態において、前記センサ素子1は長方形である。本発明の一実施形態において、前記センサ素子1は、1.0~2.2mmの間の最大伸長、0.1~0.6mmの間の幅、及び、0.05~0.3mmの間の厚さを有する。好適な一実施形態において、前記センサ素子1は、最大伸長が1.32mmであり、好ましくは幅が約0.16mm及び厚さが約0.09mmである。本発明の他の実施形態において、前記センサ素子1は、二次形状、球状又は楕円形状を有する。前記センサ部2は、圧力、温度及び流速など、1つ以上の生理学的変数を感知する。前記センサユニット3は、ピエゾ抵抗素子、コンデンサ又は機械共鳴センサの少なくとも1つを含んでもよい。一実施形態において、前記センサユニット3は、前記薄膜4に接続して配置された少なくとも1つのピエゾ抵抗素子図示せずを含む。かかるピエゾ抵抗素子は、薄膜の上面上に配置してもよい。あるいは、薄膜の下側に位置してもよい。一実施形態において、前記センサユニット3は、ピエゾ抵抗素子と感温抵抗器図示せずを含む。好適な一実施形態において、前記ピエゾ抵抗素子は、センサ回路の第1のホイートストンブリッジの一部であり、前記感温抵抗器は、そのセンサ回路の第2のホイートストンブリッジの一部である。一実施形態において、センサユニット3は、前記薄膜4に接続して配置されたピエゾ抵抗素子を含み、前記センサ素子1は、抵抗器群を更に含み、ピエゾ抵抗素子と抵抗器群の組み合わせがホイートストンブリッジ図示せずを形成する。図8は、センサ部2及び接合部5、そして、本発明の好適な一実施形態によれば、中間部7を含むセンサ素子1の上面図を示す。センサユニット3及び3つのコンタクト部材6が描かれている。センサユニット3の近位端即ち、図面ではセンサユニット3の左側から第1のコンタクト部材6の遠位端センサユニット3に最も近い位置までの距離は、250μmと500μmの間であり、好ましくは350~400μm、最も好ましくは370μmである。センサユニット3の近位端から第2のコンタクト部材6の遠位端までの距離は、550μmと800μmの間であり、好ましくはおよそ650~700μm、最も好ましくは670μmである。センサユニット3の近位端から第3のコンタクト部材6の遠位端までの距離は、850μmと1100μmの間であり、好ましくは950~1000μm、最も好ましくは970μmである。センサユニット3の近位端から接合部5の近位端までの距離は、前記距離が、センサユニット3の近位端から第3のコンタクト部材6の遠位端までの距離よりも長い場合1000μmと1400μmの間であり、好ましくは1100~1200μm、最も好ましくは1145μmである。本発明によれば、接合部5の全体が電気絶縁材料で被覆される。また、中間部7の略全体が電気絶縁材料で被覆される。図8には3本の境界線が描かれ、本発明によって電気絶縁材料で被覆される部分の接合部5の近位端からの最小、最適及び最大をそれぞれ規定する。図8から、最小、最適及び最大の部分を規定する境界線は、全てセンサ部2の近傍に位置し、センサ部2が被覆されないことがわかる。また、本発明は、図9の図で説明されるセンサ素子1の製造方法にも関する。この方法は、センサ支持体を提供する工程と、センサユニットを形成する工程を含むセンサ部を形成する工程と、複数のコンタクト部材を形成する工程を含む接合部を形成する工程と、センサ部を被覆せずに接合部を電気絶縁材料で被覆する工程を含む。一実施形態において、センサ素子1の前記製造方法は、生体の生理学的変数又はその他の信号を測定し、前記変数又は信号に応じてセンサ信号を生成するようにセンサユニットを構成する工程を含み、前記センサ支持体内に例えばエッチングで空洞を形成し、空洞を覆うように層をセンサ支持部に接着することにより薄膜を有する基準チャンバを形成する工程を更に含む。更に、前記接合部はセンサ部の近傍に形成され、前記複数のコンタクト部材は少なくとも1本の信号伝送マイクロケーブルに電気的に接続されるように構成される。図10は、前記センサ部と前記接合部の間に中間部を形成する工程を更に含む方法の好適な一実施形態を示す。この方法は、前記電気絶縁材料により前記中間部を被覆する工程を更に含む。本発明の一実施形態において、前記センサ支持体17は、シリコンからなる。前記層9は、シリコン、多結晶シリコン又は単結晶シリコンからなってもよい。前記方法の一実施形態において、センサユニット3を形成する工程は、ピエゾ抵抗素子、コンデンサ又は機械共鳴センサのうち少なくとも1つを形成する工程を含む。前記方法の一実施形態において、センサユニット3を形成する工程は、薄膜4に接続してピエゾ抵抗素子を配置する工程を含む。本発明は、上記の好適な実施形態に限定されない。様々な代替、変形、均等物を用いてもよい。従って、上記の実施形態が、添付の請求項に規定する発明の範囲を限定するものとみなされるべきではない。