"A下記式1で表される化合物と、B溶剤とを含有する洗浄液。式1において、Rは、水酸基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基、炭素数1~4のアルキルチオ基、炭素数1~4のヒドロキシアルキル基、炭素数1~4のメルカプトアルキル基、炭素数1~4のハロゲン化アルキル基及びハロゲン原子からなる群より選択される基であり、mは1~3の整数であり、nは0~3の整数であり、mが2又は3である場合、Rは同一であっても異なっていてもよい。前記Rの結合位置が、-CH2n-SHの結合位置に対してメタ位又はパラ位である、請求項1記載の洗浄液。前記Rが水酸基である、請求項1又は2記載の洗浄液。銅又は銅含有合金からなる金属層を備える基板の洗浄に用いられる、請求項1から3何れか記載の洗浄液。下記式1で表される化合物からなる、銅又は銅含有合金の防食剤。式1において、Rは、水酸基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基、炭素数1~4のアルキルチオ基、炭素数1~4のヒドロキシアルキル基、炭素数1~4のメルカプトアルキル基、炭素数1~4のハロゲン化アルキル基及びハロゲン原子からなる群より選択される基であり、mは1~3の整数であり、nは0~3の整数であり、mが2又は3である場合、Rは同一であっても異なっていてもよい。しかし、特許文献1に記載の防食剤を含む洗浄液は、銅等の金属に対する腐食防止効果はある程度認められるが、その腐食防止効果はさらなる改善が求められるものであった。本発明は、銅又は銅含有金属に対して優れた防食効果を有する洗浄液、及び防食剤を提供することを目的とする。本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意研究を重ねた結果、特定の構造の芳香族メルカプト化合物が優れた防食効果を有し、防食剤として有用であることを見出した。また、本発明者らは、この芳香族メルカプト化合物を防食剤として洗浄液に加えることにより上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。本発明の第一の態様は、A下記式1で表される化合物と、B溶剤とを含有する洗浄液である。式1において、Rは、水酸基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基、炭素数1~4のアルキルチオ基、炭素数1~4のヒドロキシアルキル基、炭素数1~4のメルカプトアルキル基、炭素数1~4のハロゲン化アルキル基及びハロゲン原子からなる群より選択される基であり、mは1~3の整数であり、nは0~3の整数であり、mが2又は3である場合、Rは同一であっても異なっていてもよい。本発明の第二の態様は、上記式1で表される化合物からなる、銅又は銅含有金属の防食剤である。本発明によれば、銅又は銅含有金属に対して優れた防食効果を有する洗浄液、及び防食剤を提供することができる。≪洗浄液≫本発明に係る洗浄液は、A下記式1で表される化合物と、B溶剤とを含有する洗浄液である。<A式1で表される化合物>洗浄剤は、例えば、銅や銅含有金属等により配線が形成された基板等の被洗浄物の洗浄に使用される。かかる洗浄により、被洗浄物の表面に付着する、レジスト膜、一時的積層膜、エッチング工程において生じた金属配線層や低誘電体層由来の残渣物等が、被洗浄物の表面から除去される。洗浄剤が下記式1で表される化合物を含む場合、銅や銅含有金属からなる配線の腐食を抑制することができ、洗浄時の、配線の抵抗値の変化や、断線の発生を抑制することができる。式1において、Rは、水酸基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基、炭素数1~4のアルキルチオ基、炭素数1~4のヒドロキシアルキル基、炭素数1~4のメルカプトアルキル基、炭素数1~4のハロゲン化アルキル基及びハロゲン原子からなる群より選択される基であり、mは1~3の整数であり、nは0~3の整数であり、mが2又は3である場合、Rは同一であっても異なっていてもよい。Rが炭素数1~4の水酸基を有していてもよいアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、iso-ブチル基、sec-ブチル基、及びtert-ブチル基が挙げられる。これらのアルキル基の中では、溶剤への溶解性が好適となるためメチル基、ヒドロキシメチル基、又はエチル基が好ましく、防食効果がより高まるためメチル基又はヒドロキシメチル基がより好ましい。Rが炭素数1~4のアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、n-プロピルオキシ基、iso-プロピルオキシ基、n-ブチルオキシ基、iso-ブチルオキシ基、sec-ブチルオキシ基、及びtert-ブチルオキシ基が挙げられる。これらのアルコキシ基の中では、溶剤への溶解性が好適となるためメトキシ基、又はエトキシ基が好ましく、防食効果がより高まるためメトキシ基がより好ましい。Rが炭素数1~4のアルキルチオ基である場合の具体例としては、メチルチオ基、エチルチオ基、n-プロピルチオ基、iso-プロピルチオ基、n-ブチルチオ基、iso-ブチルチオ基、sec-ブチルチオ基、及びtert-ブチルチオ基が挙げられる。これらのアルキルチオ基の中では、溶剤への溶解性が好適となるためメチルチオ基、又はエチルチオ基が好ましく、防食効果がより高まるためメチルチオ基がより好ましい。Rが炭素数1~4のヒドロキシアルキル基である場合の具体例としては、ヒドロキシメチル基、2-ヒドロキシエチル基、1-ヒドロキシエチル基、3-ヒドロキシ-n-プロピル基、4-ヒドロキシ-n-ブチル基等が挙げられる。これらのヒドロキシアルキル基の中では、溶剤への溶解性が好適となるため、ヒドロキシメチル基、2-ヒドロキシエチル基、又は1-ヒドロキシエチル基が好ましく、防食効果がより高まるためヒドロキシメチル基がより好ましい。Rが炭素数1~4のメルカプトアルキル基である場合の具体例としては、メルカプトメチル基、2-メルカプトエチル基、1-メルカプトエチル基、3-メルカプト-n-プロピル基、4-メルカプト-n-ブチル基等が挙げられる。これらのメルカプトアルキル基の中では、溶剤への溶解性が好適となるため、メルカプトメチル基、2-メルカプトエチル基、又は1-メルカプトエチル基が好ましく、防食効果がより高まるためメルカプトメチル基がより好ましい。Rが炭素数1~4のハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等が挙げられる。Rが炭素数1~4のハロゲン化アルキル基である場合の具体例としては、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基、フルオロメチル基、ジクロロメチル基、ジブロモメチル基、ジフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリフルオロメチル基、2-クロロエチル基、2-ブロモエチル基、2-フルオロエチル基、1,2-ジクロロエチル基、2,2-ジフルオロエチル基、1-クロロ-2-フルオロエチル基、3-クロロ-n-プロピル基、3-ブロモ-n-プロピル基、3-フルオロ-n-プロピル基、及び4-クロロ-n-ブチル基等が挙げられる。これらのハロゲン化アルキル基の中では、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基、フルオロメチル基、ジクロロメチル基、ジブロモメチル基、ジフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、又はトリフルオロメチル基が好ましく、防食効果がより高まるためクロロメチル基、ジクロロメチル基、トリクロロメチル基、又はトリフルオロメチル基がより好ましい。Rがハロゲン原子である場合の具体例としては、フッ素、塩素、臭素、又はヨウ素が挙げられる。式1において、mは1~3の整数であり、1がより好ましい。mが2又は3である場合、Rは同一であっても異なっていてもよい。式1で表される化合物において、ベンゼン環上のRの置換位置は特に限定されない。高い防食効果を得やすい点から、ベンゼン環上のRの置換位置は-CH2n-SHの結合位置に対してメタ位又はパラ位であるのが好ましい。式1で表される化合物としては、銅又は銅含有金属に対する防食性に優れ、且つ洗浄液中での安定性に優れることから、Rとして、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、及びメルカプトアルキル基からなる群より選択される基を、少なくとも1つ有する化合物が好ましく、Rとして、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、及びメルカプトアルキル基からなる群より選択される基を1つ有する化合物がより好ましい。式1で表される化合物が、Rとして、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、及びメルカプトアルキル基からなる群より選択される基を1つ有する場合、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、又はメルカプトアルキル基のベンゼン環上の置換位置は、-CH2n-SHの結合位置に対してメタ位又はパラ位であるのが好ましく、パラ位であるのがより好ましい。式1において、nは0~3の整数である。化合物の調製や、入手が容易であることからnは0又は1であるのが好ましく、0であるのがより好ましい。式1で表される化合物の具体例としては、p-メルカプトフェノール、p-チオクレゾール、m-チオクレゾール、4-メチルチオベンゼンチオール、4-メトキシベンゼンチオール、3-メトキシベンゼンチオール、4-エトキシベンゼンチオール、4-イソプロピルオキシベンゼンチオール、4-tert-ブトキシベンゼンチオール、3,4-ジメトキシベンゼンチオール、3,4,5-トリメトキシベンゼンチオール、4-エチルベンゼンチオール、4-イソプロピルベンゼンチオール、4-n-ブチルベンゼンチオール、4-tert-ブチルベンゼンチオール、3-エチルベンゼンチオール、3-イソプロピルベンゼンチオール、3-n-ブチルベンゼンチオール、3-tert-ブチルベンゼンチオール、3,5-ジメチルベンゼンチオール、3,4-ジメチルベンゼンチオール、3-tert-ブチル-4-メチルベンゼンチオール、3-tert-4-メチルベンゼンチオール、3-tert-ブチル-5-メチルベンゼンチオール、4-tert-ブチル-3-メチルベンゼンチオール、4-メルカプトベンジルアルコール、3-メルカプトベンジルアルコール、4-メルカプトメチルフェノール、3-メルカプトメチルフェノール、4-フルオロベンゼンチオール、3-フルオロベンゼンチオール、4-クロロベンゼンチオール、3-クロロベンゼンチオール、4-ブロモベンゼンチオール、4-ヨードベンゼンチオール、3-ブロモベンゼンチオール、3,4-ジクロロベンゼンチオール、3,5-ジクロロベンゼンチオール、3,4-ジフルオロベンゼンチオール、3,5-ジフルオロベンゼンチオール、4-メルカプトカテコール、2,6-ジ-tert-ブチル-4-メルカプトフェノール、3,5-ジ-tert-ブチル-4-メトキシベンゼンチオール、4-ブロモ-3-メチルベンゼンチオール、4-トリフルオロメチルベンゼンチオール、3-トリフルオロメチルベンゼンチオール、3,5-ビストリフルオロメチルベンゼンチオール、4-メチルチオベンゼンチオール、4-エチルチオベンゼンチオール、4-n-ブチルチオベンゼンチオール、及び4-tert-ブチルチオベンゼンチオール等が挙げられる。これらの化合物の中では、銅や銅含有金属に対する防食効果が高く、入手が容易であることから、p-メルカプトフェノール、p-チオクレゾール、m-チオクレゾール、4-メチルチオベンゼンチオール、4-メトキシベンゼンチオール、4-エチルベンゼンチオール、4-イソプロピルベンゼンチオール、4-フルオロベンゼンチオール、4-クロロベンゼンチオール、及び4-ブロモベンゼンチオールがより好ましい。また、銅や銅含有金属に対する防食効果が高く、且つ洗浄液中での安定性に優れることから、4-メルカプトベンジルアルコール、及び4-メルカプトメチルフェノールも好ましい。式1で表される化合物の、洗浄液における含有量は、洗浄液の洗浄効果を阻害せず、洗浄剤中に式1で表される化合物が均一に溶解可能であれば特に限定されない。洗浄液における、式1で表される化合物の含有量は、洗浄液の質量に対して、0.05~5.0質量が好ましく、0.1~1.0質量がより好ましい。式1で表される化合物を、かかる範囲の量で洗浄液に加える場合、良好な金属の防食効果を得つつ、洗浄液により洗浄された、被洗浄物を、水等によりリンスする場合に、式1で表される化合物の析出を抑制しやすい。なお、洗浄液において、式1で表される化合物は、2種以上を組み合わせて用いることもできる。<B溶剤>洗浄液は、式1で表される化合物や、後述するCアルカリ性化合物、又は酸性化合物やDその他の添加剤を溶解させるB溶剤を含む。溶剤は、洗浄液に含まれる成分を均一に溶解させることができるものであれば特に限定されず、水、有機溶剤、及び有機溶剤の水溶液の何れも用いることができる。有機溶剤は、水溶性有機溶剤であっても、疎水性有機溶剤であってもよいが、水溶性有機溶剤が好ましい。溶剤に含まれる有機溶剤が水溶性である場合、被洗浄物の表面に残留する洗浄液を、水により被洗浄物をリンスすることによって除去しやすい点で好ましい。水溶性有機溶剤の好適な例としては、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類;ジメチルスルホン、ジエチルスルホン、ビス2-ヒドロキシエチルスルホン、テトラメチレンスルホン等のスルホン類;N,N-ジメチルホルムアミド、N-メチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド等のアミド類;N-メチル-2-ピロリドン、N-エチル-2-ピロリドン、N-ヒドロキシメチル-2-ピロリドン、N-ヒドロキシエチル-2-ピロリドン等のラクタム類;β-プロピオラクトン、γ-ブチロラクトン、γ-バレロラクトン、δ-バレロラクトン、γ-カプロラクトン、ε-カプロラクトン等のラクトン類;1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン、1,3-ジエチル-2-イミダゾリジノン、1,3-ジイソプロピル-2-イミダゾリジノン等のイミダゾリジノン類;エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、グリセリン、1,2-ブチレングリコール、1,3-ブチレングリコール、2,3-ブチレングリコール等の多価アルコール類、及びその誘導体;モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、2-2-アミノエトキシエタノール、N,N-ジメチルエタノールアミン、N,N-ジエチルエタノールアミン、N,N-ジブチルエタノールアミン、N-メチルエタノールアミン、N-エチルエタノールアミン、N-ブチルエタノールアミン、N-メチルジエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン等のアルカノールアミン類を挙げることができる。これらの水溶性有機溶剤の中では、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、及びジエチレングリコールモノブチルエーテルがより好ましい。洗浄液に含まれる溶剤が、水溶性有機溶剤を含む場合、被洗浄物に付着する親水性の残渣と疎水性の残渣との双方を除去しやすいことから、水溶性有機溶剤を水とともに用いるのが好ましい。洗浄液における溶剤の含有量は、洗浄液に溶解させる成分の使用量に応じて自ずと定まる。洗浄液に含まれる溶剤が、水と水溶性有機溶剤とを含む場合、洗浄液における水溶性有機溶剤の含有量は、10~90質量が好ましく、20~80質量がより好ましい。洗浄液が水を含まない場合、洗浄液における水性有機溶剤の含有量は、50~99質量が好ましく、75~95質量がより好ましい。<Cアルカリ性化合物、又は酸性化合物>洗浄液としては、アルカリ性洗浄液、酸性洗浄液、及び中性洗浄液の何れも使用でき、被洗浄物に付着する、除去対象の残渣物の種類に応じて適宜選択される。これらの洗浄液の中では、洗浄効果に優れる点から、アルカリ性、又は酸性の洗浄液が好ましい。洗浄液が、アルカリ性、又は酸性の洗浄液である場合、洗浄液には、アルカリ性化合物、又は酸性化合物が配合される。ただし、アルカリ性の洗浄液について、溶剤が塩基性化合物であるアルカノールアミン類を含む場合、必ずしも、洗浄液にアルカリ性化合物を配合する必要は無い。洗浄液がアルカリ性である場合、洗浄液に配合されるアルカリ性化合物は、有機、又は無機のアルカリ性化合物から適宜選択される。有機のアルカリ性化合物としては、種々の塩基性の含窒素有機化合物を用いることができる。塩基性の含窒素有機化合物の中では、4級アンモニウム水酸化物が好ましい。4級アンモニウム水酸化物の好適な例としては、テトラメチルアンモニウム水酸化物、テトラエチルアンモニウム水酸化物、テトラプロピルアンモニウム水酸化物、テトラブチルアンモニウム水酸化物、エチルトリメチルアンモニウム水酸化物、ジメチルジエチルアンモニウム水酸化物、メチルトリエチルアンモニウム水酸化物、メチルトリプロピルアンモニウム水酸化物、メチルトリブチルアンモニウム水酸化物、ベンジルトリメチルアンモニウム水酸化物、及び2-ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウム水酸化物等が挙げられる。これらの4級アンモニウム水酸化物の中では、洗浄液の洗浄効果が良好であることから、テトラメチルアンモニウム水酸化物、テトラプロピルアンモニウム水酸化物、テトラブチルアンモニウム水酸化物、ベンジルトリメチルアンモニウム水酸化物及びテトラエチルアンモニウム水酸化物が好ましく、テトラメチルアンモニウム水酸化物又はテトラブチルアンモニウム水酸化物がより好ましい。有機のアルカリ性化合物は、2種以上を組み合わせて用いることができる。有機のアルカリ性化合物の洗浄液への配合量は、化合物の塩基性の強さによっても異なるが、典型的には、洗浄液の質量に対して、1~20質量が好ましく、2~15質量がより好ましい。無機のアルカリ性化合物は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の化合物を用いることができる。無機のアルカリ性化合物の好適な例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ルビジウム等のアルカリ金属水酸化物が挙げられる。無機のアルカリ性化合物は、2種以上を組み合わせて用いることができる。無機のアルカリ性化合物の洗浄液への配合量は、化合物の塩基性の強さによっても異なるが、典型的には、洗浄液の質量に対して、0.1質量ppm~1質量が好ましく、1質量ppm~0.5質量がより好ましい。洗浄液が酸性である場合、洗浄液に配合される酸性化合物は、本発明の目的を阻害しない範囲でプロトン酸から適宜選択される。好適な酸性化合物の具体例としては、塩酸、フッ酸、硫酸、硝酸、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、イソ酪酸、吉草酸、イソ吉草酸、乳酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、クエン酸、グリコール酸、ジグリコール酸、燐酸、メタンスルホン酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロメタンスルホン酸等のプロトン酸が挙げられる。酸性化合物は、2種以上を組み合わせて用いることができる。酸性化合物の洗浄液への配合量は、化合物の酸性の強さによっても異なるが、典型的には、洗浄液の質量に対して、0.1~20質量が好ましく、0.5~15質量がより好ましい。1.0~10質量がさらに好ましい。<Dその他の添加剤>洗浄液は、本発明の目的を阻害しない範囲で、式1で表される化合物、アルカリ性、又は酸性物質の他に、洗浄液に通常配合し得る種々の添加剤を含んでいてもよい。洗浄液に配合することができる、その他の添加剤の好適な例としては、界面活性剤、酸化防止剤、防腐剤等が挙げられる。その他の添加剤の使用量は、添加剤の種類によって適宜定められる。その他の添加剤は、洗浄剤において、通常使用される範囲の量で、洗浄剤に配合される。≪被洗浄物の洗浄方法≫式1で表される化合物を含む洗浄液により洗浄される、被洗浄物は特に限定されない。被洗浄物が、銅又は銅含有合金からなる金属層を備える基板である場合、式1で表される化合物を含む洗浄液により基板を洗浄する場合でも、金属層の腐食が良好に抑制される。銅又は銅含有合金からなる金属層を備える基板の好適な例としては、シリコンウェーハ等の基板上に金属配線層、低誘電体層、絶縁層等を積層して半導体デバイスが形成された基板が好ましい。被洗浄物の洗浄方法は、通常行われる方法であれば特に限定されない。具体的には、例えば浸漬法、パドル法、シャワー法等を用いて、上記の洗浄液を被洗浄物に1~40分間接触させることにより処理される。洗浄は、通常は室温で行われるが、洗浄効果を高めるため洗浄液を85°C程度まで昇温させて行ってもよい。以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例1~10、及び比較例1~4防食剤として表2に記載の化合物を用いた。下表1に記載の比率で、洗浄液に含まれる各成分を混合し、均一に溶解した洗浄液を調製した。なお、比較例1では、防食剤を使用しなかったため、洗浄液における水の含有量を50.30質量とした。得られた洗浄液を用いて、下記方法に従って、防食試験を行った。各実施例、及び比較例の洗浄液を用いて、防食試験を行った際の、銅膜の腐食量nmを、表2に示す。<防食試験方法>スパッタ法により膜厚30nmの銅膜が表面に形成されたシリコン基板から、4cm×2cmのサイズに切り出された試験片を、被洗浄物として用いた。試験容器としては、容量100mlのガラス製ビーカーを用いた。試験片の短辺がビーカーの底面に接するように、試験片をビーカーの内壁に立てかけて試験を行った。各実施例、及び比較例の50°Cに温められた洗浄液を、試験片が入ったビーカーにゆっくりと注いだ後、洗浄液の温度を50°Cに保持した状態で、試験片を10分間、洗浄液に浸漬した。浸漬中は、1段プロペラ翼が取り付けられた撹拌装置により、回転数200rpmにて、洗浄液を撹拌した。浸漬終了後、試験片を洗浄液から引き上げ、試験片表面を水によりリンスした後、試験片表面に窒素を吹きつけ、試験片を乾燥させた。乾燥後の試験片の銅膜が形成された表面の表面抵抗値を、VR-70国際電気株式会社製により測定した。表面抵抗値から銅膜の腐食量を算出した。実施例1~10と、比較例1とによれば、式1で表される防食剤を含む洗浄剤であれば、洗浄工程における銅の腐食を極めて良好に抑制できることが分かる。一方、比較例2~4によれば、式1で表される化合物と同様にメルカプト基を有する化合物であっても、式1に含まれない化合物を防食剤として用いた洗浄液では、銅膜の腐食は抑制されても、ある程度銅膜が腐食されることが分かる。実施例11、及び12p-チオクレゾールの含有量を0.30質量から0.10質量に変えることと、水の含有量を50.00質量から50.20質量に変えることの他は、実施例2と同様に実施例11の洗浄液を調製した。また、p-チオクレゾールの含有量を0.30質量から0.70質量に変えることと、水の含有量を50.00質量から49.60質量に変えることの他は、実施例2と同様に実施例12の洗浄液を調製した。実施例11及び12の洗浄液を用いて、実施例2と同様に防食試験を行ったところ、実施例11の洗浄液による銅膜腐食量は、0.35nmであり、実施例12の洗浄液による銅膜腐食量は0.15nmであった。実施例2と実施例11とによれば、洗浄液中の防食剤の含有量を0.10質量程度まで減らす場合、やや銅膜腐食量は増加するものの、優れた防食効果を維持できることが分かる。また、実施例2と実施例12とによれば、洗浄液中の防食剤の含有量を、増加させることによって、洗浄液の防食効果をさらに優れたものとできることが分かる。実施例13、及び比較例5防食剤として表4に記載の化合物を用いた。下表3に記載の比率で、洗浄液に含まれる各成分を混合し、均一に溶解した洗浄液を調製した。なお、比較例5では、防食剤を使用しなかったため、洗浄液における水の含有量を50.30質量とした。実施例2、及び実施例13と、比較例5とによれば、アルカリ性の洗浄液において、洗浄液に含まれるアルカリ性物質の種類によらず、式1で表される防食剤を用いることにより、洗浄工程における銅の腐食を極めて良好に抑制できることが分かる。実施例14、及び比較例6防食剤として表6に記載の化合物を用いた。下表5に記載の比率で、洗浄液に含まれる各成分を混合し、均一に溶解した洗浄液を調製した。なお、比較例6では、防食剤を使用しなかったため、洗浄液における水の含有量を50.30質量とした。実施例14と、比較例6とによれば、酸性の洗浄液においても、式1で表される防食剤を用いることにより、洗浄工程における銅の腐食を極めて良好に抑制できることが分かる。"