洗浄層内の溶液に振動を与える超音波振動子と、前記洗浄層内の音圧を測定する音圧測定部と、AM変調波電力を発振して前記超音波振動子に供給する超音波発振部と、前記音圧測定部で測定した音圧に基いて、前記超音波発振部が発振する前記AM変調波電力の周波数および電力を制御する制御部と、を具備することを特徴とする超音波洗浄装置。しかし、特許文献1の従来技術は、複数の振動子の厚みを異ならせることで定在波を抑制しているため、振動子の構成が複雑となり、振動子によるコスト高を招くと共に、振動子の厚さの調整は容易ではないので、定在波の抑制の程度を細かく調整することが難しい。本発明は、定在波の抑制を確実に行うことで、被洗浄物の表面に発生する縞模様を無くして洗浄品質を向上させる超音波洗浄装置を提供することを目的とする。課題を解決する一実施形態は、洗浄層内の溶液に振動を与える超音波振動子と、前記洗浄層内の音圧を測定する音圧測定部と、AM変調波電力を発振して前記超音波振動子に供給する超音波発振部と、前記音圧測定部で測定した音圧に基いて、前記超音波発振部が発振する前記AM変調波電力の周波数および電力を制御する制御部と、を具備することを特徴とする超音波洗浄装置である。洗浄層の音圧に応じて、予め用意したソフトウェアのテーブルに従って変調度周波数および電力を任意に変更することで、装置固有の定在波を抑制し、被洗浄物の表面に発生する縞模様を無くして、超音波洗浄装置の洗浄品質を向上させる。以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。はじめに、本発明に係る超音波洗浄装置の構成の一例を説明する。図1は、超音波洗浄装置の構成の一例を示す説明図、図2は詳細な説明図である。超音波洗浄装置10は、洗浄するシリコンウェハーW等の対象物を浸すための洗浄液31が満たされる石英槽11と、純水32が満たされた中にこの石英槽11を格納する外槽12を有している。この外槽12の底面には超音波振動板14が設けられており、超音波振動板14は、一例として、第1の超音波振動板14-1と第2の超音波振動板14-2と接着層14-3から構成されている。また、超音波振動板14は、接着層15を介して超音波振動素子16が接続されており、超音波振動素子16は、超音波発振部13から高周波電力が供給されている。また、超音波発振部13は、制御部21で動作が制御され、制御部21には石英槽11の音圧を測定することにより液深を測定することができる音圧測定センサ33および図示しない操作スイッチ等の操作部が接続されている。さらに、外槽12の音圧を測定するもう一つの音圧測定センサをさらに設けて制御部21に接続することも可能である。なお、図2では、接着層15の厚みは誇張されており、実際は超音波振動素子16や振動板14の厚さよりも十分に薄い。なお、上述した水槽は、石英槽11と外槽12の二重構造をもっているが、洗浄液31を満たす一つの水槽であっても同様の機能をもつものである。このような構成において、本発明の一実施形態に係る超音波洗浄装置10の制御部21は、AM変調方式を一例として70変調とすると共に、高出力部分の割合を高くし、最大出力時の規定電力を66以上に保つような、ソフトウェアのテーブル値を予め記憶領域に用意している。制御部21は、内蔵する超音波発信出力を制御するCPU制御プログラムにおいて、変調度周波数および電力をテーブル化し、66以上の実行電力を保つようなAM変調波電力を超音波発振部13に出力させるべく超音波発振部13を制御する。このような制御部21の超音波発振部13の制御処理により、AM変調波電力を用いて定在波の発生を防ぐと共に、目標の実行電力を保つことができ、洗浄効果も損なわれることがない。すなわち、定在波の発生を防ぐと、液面からの反射波の影響が無くなり、振動子に電力損失がなくなるものである。すなわち、本発明の一実施形態に係る超音波洗浄装置10においては、その作用効果として、ハードウェアによる電圧振幅変調機構が不要となり、コストダウンを行うことができる。また、安定した出力電力が確保でき、超音波洗浄装置としての優位性を保つことができる。すなわち、この超音波洗浄装置10の制御部21による制御をさらに図面を用いて詳細に説明すると、従来の単純なCPU制御でAM変調のみを行った場合、AM変調の出力変位は、図3に示すように直線的な変調となるため、実行電力を確保することができない。一方、本発明の一実施形態に係る超音波洗浄装置10においては、出力の電位を制御部21にてテーブル化することにより、変調度の100発生を抑止し、高出力部の割合を高くすることができるが、制御部21のテーブル値は、機械的な構成ではないので、任意に変更することが容易に可能である。従って、上述した従来型の装置において定在波の抑制の程度を細かく調整することが難しいといった問題点を解決することができる。また、制御部21は、音圧測定センサ33からの検出信号に従って、図4および図5に示すように、石英槽11および外槽12の深さが深い場合と浅い場合について、液深に応じて、超音波発振部13で発振させるAM変調波電力の周波数および電力を制御する。ここで、AM変調波電力の包絡線は、音圧測定センサ33からの検出信号の値と制御部21の内部に格納されたソフトウェアのテーブルの値に従って、図4のbまたは図5のbのように制御される。これにより、本発明の一実施形態に係る超音波洗浄装置10においては、実際の洗浄槽の物理的特性に応じた最適な定在波の抑制を行うことができる。なお、制御部21が液深に応じて制御する要素は、AM変調波電力の周波数のみでも電力のみでもよい。また、複数の槽に対して、それぞれ独立した音圧測定センサを用いて、それぞれの槽の音圧を測定して制御に生かしても良いし、どちらか一方の値を代表させることも可能である。また、単数の槽に対しては、単数の槽に設けた音圧測定センサからの検出値を制御に生かすことは言うまでも無い。以上記載した様々な実施形態は複数同時に実施することが可能であり、これらの記載により、当業者は本発明を実現することができるが、更にこれらの実施形態の様々な変形例を思いつくことが当業者によって容易であり、発明的な能力をもたなくとも様々な実施形態へと適用することが可能である。従って、本発明は、開示された原理と新規な特徴に矛盾しない広範な範囲に及ぶものであり、上述した実施形態に限定されるものではない。