被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、スピンドルハウジング中に回転可能に収容されたスピンドルと、該スピンドルの先端に固定されたホイールマウントと、該ホイールマウントとネジによって締結されホイールベースに環状超音波振動子を備えるとともに該ホイールベースの自由端部に複数の研削砥石が環状に配設された研削ホイールと、該スピンドルを回転駆動する駆動源とを含んでおり、該研削ホイールの該ホイールベースには、該環状超音波振動子に高周波電力を供給する可動電極が配設されており、該可動電極は、磁力により引きつけられる材質で形成されバネ部材に連結されてケースに収納されており、該ホイールマウントには、該研削ホイールをネジにより締結した状態において該可動電極に向き合う位置でありかつ該可動電極よりも該研削ホイールの半径方向外周側に、磁力を持つ固定電極が配設されており、該研削ホイールは、ネジにより該ホイールマウントに締結する際、該バネ部材の引っ張り張力より強力な該固定電極の磁力により該可動電極が該固定電極に接触し、該スピンドルを回転させると、該可動電極にはたらく遠心力により、該可動電極よりも研削ホイールの半径方向外周側に配設された該固定電極に対して該可動電極が接触圧力を加える構造としたことを特徴とする研削装置。しかし、特許文献2における環状電極の配設位置には高い精度が要求されるため、誤差により電極の接触不良が生じるおそれがある。また、電極同士が点接触により接続されるため、超音波振動を伴う加工時に振動が相殺される領域であるノード領域が変化すると、電極の接触不良が生じることがある、本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、超音波振動を伴って研削を行う研削ホイールをホイールマウントに装着して使用する場合において、高精度な電極位置精度を不要とするとともに、超音波振動加工時のノード領域変化によっても電極接触不良を発生させず、かつ、研削ホイールを容易に着脱できるようにすることを目的とする。本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段とを備えた研削装置に関するもので、研削手段は、スピンドルハウジング中に回転可能に収容されたスピンドルと、スピンドルの先端に固定されたホイールマウントと、ホイールマウントとネジによって締結されホイールベースに環状超音波振動子を備えるとともにホイールベースの自由端部に複数の研削砥石が環状に配設された研削ホイールと、スピンドルを回転駆動する駆動源とを含んでおり、研削ホイールのホイールベースには、環状超音波振動子に高周波電力を供給する可動電極が配設されており、可動電極は、磁力により引きつけられる材質で形成されバネ部材に連結されてケースに収納されており、ホイールマウントには、研削ホイールをネジにより締結した状態において可動電極に向き合う位置でありかつ可動電極よりも研削ホイールの半径方向外周側に、磁力を持つ固定電極が配設されており、研削ホイールは、ネジによりホイールマウントに締結する際、バネ部材の引っ張り張力より強力な固定電極の磁力により可動電極が固定電極に接触し、スピンドルを回転させると、可動電極にはたらく遠心力により、可動電極よりも研削ホイールの半径方向外周側に配設された固定電極に対して可動電極が接触圧力を加える構造としている。本発明に係る研削装置においては、超音波振動子に高周波電力を供給する可動電極が研削ホイールに配設され、可動電極が磁力により引きつけられる材質で形成されバネ部材によりケースに収納されているとともに、ホイールマウントには磁力をもつ固定電極が可動電極よりも外周側に配設されており、研削ホイールを研削マウントにネジにより締結する時に互いの電極が向き合うように配置され、磁力により可動電極と固定電極とが接触するため、電極同士の接続が容易であり、研削ホイールをホイールマウントに対して着脱するだけで、可動電極と固定電極との着脱も容易に行うことができる。また、磁力に加えて遠心力により可動電極が固定電極に対して接触圧力を加えるため、回転中においても可動電極と固定電極とをより確実に接触させることができる。図1に示す研削装置1は、チャックテーブル2に保持された被加工物に対して研削手段3によって研削加工が施される装置であり、チャックテーブル2は、回転可能であるとともに、前後方向に移動可能となっている。研削手段3は、鉛直方向の軸心を有しスピンドルハウジング30中に回転可能に収容されたスピンドル31と、スピンドル31の一方の先端下端に固定されたホイールマウント32と、ホイールマウント32に固定された研削ホイール33とを備えている。研削手段3は、研削送り手段4によって駆動されて昇降可能となっている。研削送り手段4は、鉛直方向に延びるボールネジ40と、ボールネジ40と平行に配設された一対のガイドレール41と、ボールネジ40の一端に連結されボールネジ40を正逆両方向に回動させるモータ42と、ボールネジ40に螺合する内部のナット図示せずを有するとともに側部がガイドレール41に摺接した昇降部43と、昇降部43に連結され研削手段3を支持する支持部44とから構成されており、モータ42によって駆動されてボールネジ40が回動することにより昇降部43がガイドレール41にガイドされて昇降すると、研削手段3も昇降する構成となっている。図2に示すように、スピンドル31は、スピンドルハウジング30によって非接触状態で回転可能に支持されている。研削手段3には、スピンドル31を回転駆動する駆動源35を備えている。駆動源35は、電動モータであり、スピンドル31の中間部に連結されたロータ350と、ロータ350の外周側に配設されたステータコイル351とを備えている。駆動源35は、電力供給手段5から電力の供給を受けて動作する。電力供給手段5は、交流電源50と、交流電源50のステータコイル361との間に介在する電圧調整手段51と、ステータコイル361に供給する交流電力の周波数を調整する周波数調整手段52と、電圧調整手段51及び周波数調整手段52を制御する制御手段53と、超音波振動の振幅等の入力に用いる入力手段54とを備えている。交流電源50は、制御回路55及び配線56を介して駆動源35のステータコイル351に接続されており、ステータコイル351に交流電力を供給することによりロータ350及びスピンドル31を回転させることができる。スピンドル31の一端は小径先端部310となっており、小径先端部310にホイールマウント32が固定されている。スピンドル31の他端には、ロータリートランス36を備えている。ロータリートランス36は、スピンドル31の上端に連結された受電手段360と、受電手段360の外周側に位置する給電手段361とから構成される。受電手段360は、スピンドル31に連結されたロータコア360aと、ロータコア360aに巻回された受電コイル360bとから構成されている。給電手段361は、受電手段360を構成するステータコア360bの外周側に配設されたステータコア361aと、ステータコア361aに配設された給電コイル361bとから構成される。給電コイル361bには、配線57を介して交流電力が供給される。受電手段360の受電コイル360bには、導電線37が接続されている。この導電線37は、スピンドル31の軸方向に形成された孔37aを通り、図3に示す固定電極38に接続されている。図3に示す固定電極38は、ホイールマウント32の下面から下方に突出した状態で複数図3の例では2つ固着されており、それぞれが磁性を有している。図3に示すように、ホイールマウント32には、鉛直方向に貫通する貫通孔320が環状に複数形成されており、この貫通孔320に図2に示すネジ321を挿入し、図4に示す研削ホイール33のネジ穴33aに締結することにより、研削ホイール33がホイールマウント32に固定される。図4に示すように、研削ホイール33は、ホイールマウント32に固定される装着リング330と、装着リング330の下方に一体に形成されたホイールベース331と、ホイールベース331の下面の自由端部に環状に固着された複数の研削砥石332とから構成されている。ホイールベース331の中心部には円形の中心孔331aが形成されており、この中心孔331aの周囲には、中心孔331aと同心円状に形成された環状超音波振動子6を備えている。環状超音波振動子6としては、チタン酸バリウムBaTiO3、チタン酸ジルコン酸鉛PbO3、リチウムナイオベートLiNbO3、リチウムタンタレートLiTaO3、ニオブ酸カリウムナトリウム等を用いることができる。ホイールベース331においては、環状超音波振動子6の外周側に電極接続部7が複数図3の例では2つ配設されている。個々の電極接続部7は、環状超音波振動子6に電気的に接続される導電線70と、導電線70が固定される固定板71と、固定板71よりも外周側に位置し固定板71と電気的に導通する可動電極72と、固定板71と可動電極72とを連結するバネ部材73と、これらを収容するケース74とから構成されている。ケース74には、研削ホイール33の径方向外周側の端部に開口部740が形成されており、バネ部材73の伸縮により開口部740を介して可動電極72が出没可能となっている。可動電極72は、磁力により引きつけられる材質、例えば金属により形成されている。また、バネ部材73の伸縮方向は、研削ホイール33の径方向であり、バネ部材73よりも当該径方向の外周側に可動電極72が位置している。装着リング330には、周方向に離間して複数のスリット330aが形成されている。このスリット330aは、超音波振動がホイールマウント32に伝達されるのを抑制する役割を果たす。図5に示すように、装着リング330とホイールベース331とは環状連結部333によって連結されている。ホイールベース331の底面331bと環状連結部333の内側面333aとによって囲まれる空間334に電極接続部7が収容されている。なお、図5においては電極接続部7を1つのみ図示しているが、他にも少なくとも1個は電極接続部7が空間334に配設されている。図5に示すように、ネジ321を締結してホイールマウント32に研削ホイール33を固定すると、固定電極38と電極接続部7の可動電極72とが向き合った状態となる。また、固定電極38は、可動電極72よりも研削ホイール33の半径方向外周側に位置する。そして、可動電極72は、図6に示すように、固定電極38の磁力によって、バネ部材73の伸張を伴って開口部740から外側に出て固定電極38に近づく方向に移動し、固定電極38に接続される。すなわち、固定電極38の磁力はバネ部材73の引っ張り張力より強く、かかる磁力により電極接続部7を引きつけて接触させる。このように、研削ホイール33をホイールマウント32に取り付けるだけで固定電極38と可動電極72とが接続されるため、電力供給手段5から供給された高周波電力が、導電線37及び固定電極38を介して可動電極72に伝わり、可動電極72が環状超音波振動子6に高周波電力を供給することができる。一方、固定電極38と電極接続部7とは磁力によって接続されているため、ネジ321を緩めて研削ホイール33をホイールマウント32から取り外すと、固定電極38と電極接続部7との接続が解除される。このように、ホイールマウント32に対して研削ホイール33を取り付けることによって固定電極38と電極接続部7とが磁力により接触し、研削ホイール33をホイールマウント32から取り外すことで電極接続部7が固定電極38から離れるため、ホイールマウント32に対する研削ホイール33の着脱とは別に固定電極38と可動電極72との接触状態を操作する必要がなく、研削ホイールの着脱を容易とすることができる。また、固定電極38と可動電極72とは磁力により引き合って接触するため、高い位置精度が要求されることはなく、誤差による接触不良が生じることもない。次に、図1に示した研削装置1を用いて被加工物ワークWを研削する場合に装置の動作について説明する。ワークWは、被保持面にテープTが貼着されてチャックテーブル2に保持される。そして、チャックテーブル2が後方側に移動することにより、ワークWが研削手段3の下方に位置づけされる。次に、チャックテーブル2を例えば300RPMほどの回転速度で回転させるとともに、スピンドル31を回転させることにより研削ホイール33を例えば6000RPM程度の回転速度で回転させながら、研削送り手段4が研削手段3を降下させることにより、図7に示すように、回転する研削砥石332をワークWに接触させて研削を行う。そして、ワークWが所望の厚さとなった時点で研削手段3を上昇させて研削を終了する。図6に示したように、電極接続部7を構成する可動電極72は、バネ部材73に連結されバネ部材73よりも研削ホイール33の外周側に位置しているため、研削中は、スピンドル31及び研削ホイール33が回転することにより、可動電極72には固定電極38側に向けた遠心力が作用する。したがって、磁力による接触に加えて、遠心力によっても可動電極72が固定電極38に接触圧力を加えるため、接触不良が起こるのをより確実に防止することができる。また、可動電極72と固定電極38とは面で接触するため、高精度な位置あわせが不要であり、超音波振動加工時のノード領域が変化しても、接触不良が発生しない。超音波振動子として、チタン酸ジルコン酸鉛PZTで形成されたものを用いた。上記可動電極72を備えた研削ホイール33を固定電極38を備えたホイールマウント32に装着し、28kHz、150Vの電圧を電力供給手段5から印加したところ、研削砥石332は、28kHzの周波数でラジアル方向径方向に10μm前後、スラスト方向軸方向に10μm前後の振幅で振動した。一方、従来の研削ホイールをホイールマウントに装着し、同じ条件で電圧を印加すると、研削砥石はラジアル方向に0.2μm前後の振幅でしか振動しなかった。なお、図2に示した周波数調整手段52として、交流電流の周波数をDC~500kHzまで調整可能である株エヌエフ回路設計ブロックが提供するデジタルファンクションジェレネータDF1905を使用した。