台座と、前記台座に設けられた駆動部と、前記駆動部に設けられた可動部材とを有し、前記駆動部は、前記可動部材を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面に対して直角な回転軸線を中心に回転させるように構成されたステージ装置であって、前記駆動部は第一~第三の補助駆動部を有し、前記第一~第三の補助駆動部は、直線状の主ガイドと、前記主ガイドに沿って移動できるように前記主ガイドに取り付けられた主スライダと、直線状の副ガイドと、前記副ガイドに沿って移動できるように前記副ガイドに取り付けられた副スライダと、互いに中心軸線が一致され、前記中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材と、をそれぞれ有し、前記副ガイドと前記副スライダのうちのいずれか一方と、前記第一、第二の回転部材のうちのいずれか一方とが互いに固定され、前記副ガイドと前記副スライダのうちの他方が第一の取付部とされ、前記第一、第二の回転部材のうちの他方が第二の取付部とされて取付部材が構成され、前記主ガイドが前記一の平面と平行にされた状態で、前記主ガイドと前記主スライダのうちの一方は前記台座に設けられ、他方は主取付部とされ、前記副ガイドが前記一の平面と平行で前記主ガイドに対して前記所定角度を成し、前記第一、第二の回転部材の前記中心軸線が前記一の平面に対して直角にされた状態で、前記取付部材の前記第一、第二の取付部の一方は前記主取付部に固定され、他方は前記可動部材に固定され、前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、前記第三の補助駆動部の前記主ガイドは前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドに対して前記所定角度を成す向きに向けられ、前記台座には、前記第一~第三の補助駆動部の前記主取付部に、前記第一~第三の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第一~第三の動力部が設けられたステージ装置であって、前記可動部材は複数の補助可動部材を有し、前記台座は複数の補助台座を有し、前記第一の補助駆動部は一の前記補助可動部材と一の前記補助台座との間に設けられ、前記第二、第三の補助駆動部のいずれか一方又は両方は他の前記補助可動部材と他の前記補助台座との間に設けられたステージ装置。前記第一~第三の補助駆動部と同じ構造の第四の補助駆動部を有し、前記第三、第四の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、前記台座には、前記第四の補助駆動部の前記主取付部に、前記第四の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第四の動力部が設けられた請求項1記載のステージ装置。前記可動部材は可動部材接続部材を有し、前記台座は台座接続部材を有し、隣り合う二つの前記補助可動部材には同一の前記可動部材取付部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助可動部材は互いに固定され、隣り合う二つの前記補助台座には同一の前記台座接続部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助台座は互いに固定された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のステージ装置。本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、従来より低コストで大型化できるステージ装置を提供することにある。上記課題を解決するために本発明は、台座と、前記台座に設けられた駆動部と、前記駆動部に設けられた可動部材とを有し、前記駆動部は、前記可動部材を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面に対して直角な回転軸線を中心に回転させるように構成されたステージ装置であって、前記駆動部は第一~第三の補助駆動部を有し、前記第一~第三の補助駆動部は、直線状の主ガイドと、前記主ガイドに沿って移動できるように前記主ガイドに取り付けられた主スライダと、直線状の副ガイドと、前記副ガイドに沿って移動できるように前記副ガイドに取り付けられた副スライダと、互いに中心軸線が一致され、前記中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材と、をそれぞれ有し、前記副ガイドと前記副スライダのうちのいずれか一方と、前記第一、第二の回転部材のうちのいずれか一方とが互いに固定され、前記副ガイドと前記副スライダのうちの他方が第一の取付部とされ、前記第一、第二の回転部材のうちの他方が第二の取付部とされて取付部材が構成され、前記主ガイドが前記一の平面と平行にされた状態で、前記主ガイドと前記主スライダのうちの一方は前記台座に設けられ、他方は主取付部とされ、前記副ガイドが前記一の平面と平行で前記主ガイドに対して前記所定角度を成し、前記第一、第二の回転部材の前記中心軸線が前記一の平面に対して直角にされた状態で、前記取付部材の前記第一、第二の取付部の一方は前記主取付部に固定され、他方は前記可動部材に固定され、前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、前記第三の補助駆動部の前記主ガイドは前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドに対して前記所定角度を成す向きに向けられ、前記台座には、前記第一~第三の補助駆動部の前記主取付部に、前記第一~第三の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第一~第三の動力部が設けられたステージ装置であって、前記可動部材は複数の補助可動部材を有し、前記台座は複数の補助台座を有し、前記第一の補助駆動部は一の前記補助可動部材と一の前記補助台座との間に設けられ、前記第二、第三の補助駆動部のいずれか一方又は両方は他の前記補助可動部材と他の前記補助台座との間に設けられたステージ装置である。本発明はステージ装置であって、前記第一~第三の補助駆動部と同じ構造の第四の補助駆動部を有し、前記第三、第四の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、前記台座には、前記第四の補助駆動部の前記主取付部に、前記第四の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第四の動力部が設けられたステージ装置である。本発明はステージ装置であって、前記可動部材は可動部材接続部材を有し、前記台座は台座接続部材を有し、隣り合う二つの前記補助可動部材には同一の前記可動部材取付部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助可動部材は互いに固定され、隣り合う二つの前記補助台座には同一の前記台座接続部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助台座は互いに固定されたステージ装置である。部材の内部に発生する応力について説明する。図11aを参照し、一個の部材200の互いに異なる二点A、Bに、二点A、Bを結ぶ線分に対して垂直な方向の外力FA、FBを加えると、二点A、Bを結ぶ線分に平行な応力は部材200の内部に発生しない。一方、図11bを参照し、一個の部材200の互いに異なる二点A、Bに、二点A、Bを結ぶ線分に対して90°より小さい所定角度を成す方向の外力FA、FBを加えると、二点A、Bを結ぶ線分に平行な応力図11bでは線分ABが縮む方向の応力fA、fBが部材200の内部に発生する。ステージ装置の各構成部材は従来よりも小型になり、各構成部材の制作費や輸送費が低コストになる。一組の補助台座と補助可動部材からなるステージユニットは、従来より狭い作業スペースで製作することができ、従来より小型の輸送手段で設置場所まで搬送することができる。設置場所では各ステージユニットを寄せ集めて固定することで、大型のステージ装置を容易に組み立てることができる。<第一例のステージ装置の構造>本発明の第一例のステージ装置の構造を説明する。図1は第一例のステージ装置10aの平面図である。ステージ装置10aは、台座11と、台座11に設けられた駆動部と、駆動部に設けられた可動部材13とを有している。台座11は一の平面内に位置する複数の台座取付部を有し、可動部材13は一の平面内に位置する複数の可動部材取付部を有している。駆動部は第一~第三の補助駆動部121~123を有している。第一~第三の補助駆動部121~123の構造は互いに同じであり、第一の補助駆動部121で代表して説明する。図2は第一の補助駆動部121の内部側面図を示している。第一の補助駆動部121は、直線状の主ガイド211と、主ガイド211に沿って移動できるように主ガイド211に取り付けられた主スライダ221と、直線状の副ガイド231と、副ガイド231に沿って移動できるように副ガイド231に取り付けられた副スライダ241と、互いに中心軸線が一致され、中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材251、261とを有している。本実施例では、主ガイド211は直線状の二本のレールであり、互いに平行にされ対面されている。主スライダ221は主ガイド211の二本のレールと対面する位置に配置され、二本のレールと対面する部分にはそれぞれ断面が凹形状の溝がレールと平行に形成され、溝の内側にレールが挿し込まれ、溝の内側側面とレールの側面とが互いに接触され、主スライダ221は主ガイド211のレールの延びる方向に移動でき、他の方向には移動できないようになっている。なお、主スライダ221が主ガイド211のレールの延びる方向に移動でき、他の方向には移動できないようになっているならば、主ガイド211のレールの数は二本に限定されず、一本でもよいし、三本以上でもよい。また、主ガイド211が直線状の溝であり、主スライダ221のうち主ガイド211の溝と対面する部分に断面が凸形状のレールが溝と平行に形成され、溝の内側にレールが挿し込まれ、溝の内側側面とレールの側面とが互いに接触され、主スライダ221は主ガイド211の溝の延びる方向に移動でき、他の方向には移動できないようになっていてもよい。副ガイド231と副スライダ241の構造は、主ガイド211と主スライダ221の構造と同様であり、説明を省略する。本実施例では、第二の回転部材261は、リング状の回転部29aと、棒状の軸部29bとを有している。軸部29bと回転部29aとは互いに中心軸線が一致された状態で、軸部29bの一端は回転部29aに固定されている。第一の回転部材251の中心軸線上には回転部29aの外周の直径より直径が大きい開口が設けられ、回転部29aは第一の回転部材251の開口の内側に同心状に配置されている。回転部29aの外周側面と第一の回転部材251の内周側面との間の隙間には互いに同形状の複数の球が配置され、各球は回転部29aと第一の回転部材251とにそれぞれ点で接触している。従って、第一、第二の回転部材251、261は、互いに中心軸線が一致された状態を維持しながら、中心軸線を中心に互いに回転できるようになっており、このとき各球は回転部29aと第一の回転部材251とに接触しながら自転することにより、第一、第二の回転部材251、261の間に摩擦がかからないようになっている。副ガイド231と副スライダ241のうちのいずれか一方と、第一、第二の回転部材251、261のうちのいずれか一方とが互いに固定され、副ガイド231と副スライダ241のうちの他方が第一の取付部27aとされ、第一、第二の回転部材251、261のうちの他方が第二の取付部27bとされて取付部材27が構成されている。本実施例では取付部材27は、副スライダ241と第一の回転部材251とが互いに固定され、副ガイド231が第一の取付部27aとされ、第二の回転部材261の軸部29bが第二の取付部27bとされて構成されている。そして、主ガイド211が一の平面と平行にされた状態で、主ガイド211と主スライダ221のうちの一方は台座11の一の台座取付部に固定され、他方は主取付部28とされ、副ガイド231が前記一の平面と平行で主ガイド211に対して所定角度を成し、第一、第二の回転部材251、261の中心軸線が前記一の平面に対して直角にされた状態で、取付部材27の第一、第二の取付部27a、27bの一方は主取付部28に固定され、他方は可動部材13の一の可動部材取付部に固定されている。本実施例では、主ガイド211が一の平面以下、基準面と呼ぶと平行にされた状態で台座11の一の台座取付部に固定され、主スライダ221が主取付部28とされ、副ガイド231が基準面と平行で主ガイド211に対して所定角度ここでは90°を成し、第一、第二の回転部材251、261の中心軸線が基準面に対して直角にされた状態で、取付部材27の第一の取付部27aすなわち副ガイド231は主取付部28に固定され、第二の取付部27bすなわち第二の回転部材261の軸部29bは可動部材13の一の可動部材取付部に固定されている。ここでは具体的には第二の回転部材261の軸部29bはネジであり、符号51a、51bはナットであり、二つのナット51a、51bの間に可動部材13が挟み込まれることにより、第二の回転部材261の軸部29bは可動部材13に固定されている。図1を参照し、台座11には、第一~第三の補助駆動部121~123の主取付部28本実施例では主スライダ221~223に、第一~第三の補助駆動部121~123の主ガイド211~213と平行な向きの動力を伝達する第一~第三の動力部141~143が設けられている。ここでは第一~第三の動力部141~143はモーターであり、第一~第三の主スライダ221~223にそれぞれ接続されている。本発明のステージ装置10aでは、台座11は複数の補助台座を有し、可動部材13は複数の補助可動部材を有している。本実施例では、台座11は第一、第二の補助台座11a、11bを有し、可動部材13は第一、第二の補助可動部材13a、13bを有している。台座11の有する複数の台座取付部のうち一部の台座取付部は第一の補助台座11aの一部で構成され、他の台座取付部は第二の補助台座11bの一部で構成されている。また、可動部材13の有する複数の可動部材取付部のうち一部の可動部材取付部は第一の補助可動部材13aの一部で構成され、他の可動部材取付部は第二の補助可動部材13bの一部で構成されている。第一の補助駆動部121は一の補助可動部材と一の補助台座との間に設けられ、第二、第三の補助駆動部122、123のいずれか一方又は両方は他の補助可動部材と他の補助台座との間に設けられている。本実施例では、第一、第二の補助駆動部121、122が第一の補助可動部材13aと第一の補助台座11aとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部123が第二の補助可動部材13bと第二の補助台座11bとの間に設けられて第二のステージユニットが構成されている。第一のステージユニットでは、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212は、互いに平行にされて対面された状態で、第一の補助台座11aの二つの台座取付部にそれぞれ固定され、第一、第二の補助駆動部121、122の第二の回転部材261、262は、第一の補助可動部材13aの二つの可動部材取付部にそれぞれ固定されている。第二のステージユニットでは、第三の補助駆動部123の主ガイド213は、第二の補助台座11bの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材263は、第二の補助可動部材13bの一の可動部材取付部に固定されている。ここでは、台座11は台座接続部材17を有し、可動部材13は可動部材接続部材16を有している。第一、第二のステージユニットは、第一、第二の補助台座11a、11bの各台座取付部が同一の平面内に位置し、第一、第二の補助可動部材13a、13bの各可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第三の補助駆動部123の主ガイド213が、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212に対して所定角度ここでは90°を成す向きに向けられた状態で、隣り合う第一、第二の補助可動部材13a、13bには同一の可動部材接続部材16がネジ止めされて、第一、第二の補助可動部材13a、13bは互いに固定され、隣り合う第一、第二の補助台座11a、11bには同一の台座接続部材17がネジ止めされて、第一、第二の補助可動部材13a、13bは互いに固定され、第一例のステージ装置10aが構成されている。各ステージユニットはステージ装置全体よりも小型であり、ステージ装置を一体として製作する場合よりも狭い作業スペースで各ステージユニットをそれぞれ製作することができる。また、ステージ装置を一体として製作する場合のステージ装置の構成部材よりも各ステージユニットの構成部材は小型であり、構成部材の制作費や輸送費も低コストになる。そして、各ステージユニットは、ステージ装置全体を一体として搬送する場合よりも小型の輸送手段で設置場所まで搬送することができ、設置場所では可動部材接続部材16と台座接続部材17を用いてステージ装置を容易に組み立てることができる。本実施例では、台座11と可動部材13との間には一個又は複数の自在ガイド部15がそれぞれ設けられている。図3は自在ガイド部15の内部側面図を示している。自在ガイド部15は、直線状の主ガイド21と、主ガイド21に沿って移動できるように主ガイド21に取り付けられた主スライダ22と、直線状の副ガイド23と、副ガイド23に沿って移動できるように副ガイド23に取り付けられた副スライダ24と、互いに中心軸線が一致され、中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材25、26とを有している。自在ガイド部15の構造は、第一~第三の補助駆動部121~123から第一~第三の動力部141~143が取り除かれた構造と同じであり、説明を省略する。本実施例では自在ガイド部15の主ガイド21が台座11に固定され、第二の回転部材26が可動部材13に固定されている。従って自在ガイド部15は、基準面に平行で互いに所定角度を成す二方向にそれぞれ移動でき、かつ基準面に対して直角な回転軸線を中心に回転できるようになっている。図1を参照し、可動部材13が台座11の上方に配置される場合には、可動部材13の重みは第一~第三の補助駆動部121~123と自在ガイド部15とにそれぞれ分散され、可動部材13の重みにより第一~第三の補助駆動部121~123が損傷することを防止できる。また、可動部材13が大型化して隣り合う二つの可動部材取付部の間隔が広がっても、可動部材13が自在ガイド部15によって支持されることで、可動部材13に重力によるひずみが生じることを防止できる。なお、図4を参照し、第一、第三の補助駆動部121、123が第一の補助可動部材13aと第一の補助台座11aとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第二の補助駆動部122が第二の補助可動部材13bと第二の補助台座11bとの間に設けられて第二のステージユニットが構成され、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212が互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部123の主ガイド213は第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212に対して所定角度を成す向きに向けられた状態で、第一、第二の補助台座11a、11bが台座接続部材17を介して固定され、第一、第二の補助可動部材13a、13bが可動部材接続部材16を介して固定された構造も本発明に含まれる。<第一例のステージ装置の使用方法>第一例のステージ装置10aの使用方法を説明する。図1を参照し、以下では、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212と平行な方向をX方向5、第三の補助駆動部123の主ガイド213と平行な方向をY方向6と呼ぶ。第一、第二の補助駆動部121、122の副ガイド231、232はY方向6と平行であり、第三の補助駆動部123の副ガイド233はX方向5と平行である。図5を参照し、第三の動力部143を停止させ、第一、第二の動力部141、142から第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222にX方向5に平行な同一方向に同一量の動力を伝達させる。すると、第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222は主ガイド211、212に沿ってX方向5に平行な同一方向に同一距離移動し、第三の補助駆動部123の副スライダ243は副ガイド233に沿って第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材13全体としてX方向5に平行移動する。また、図6を参照し、第一、第二の動力部141、142を停止させ、第三の動力部143から第三の補助駆動部123の主スライダ223にY方向6に平行な動力を伝達させる。すると、第三の補助駆動部123の主スライダ223は主ガイド213に沿ってY方向6に平行に移動し、第一、第二の補助駆動部121、122の副スライダ241、242は副ガイド231、232に沿って第三の補助駆動部123の主スライダ223と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材13全体としてY方向6に平行移動する。また、図7を参照し、第一~第三の動力部141~143の動力の向きが基準面すなわち、XY平面に対して直角な回転軸線を中心に時計回り又は反時計回りを成すように、第一、第二の動力部141、142から第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222にX方向5に平行で互いに逆方向の動力を伝達させ、第三の動力部143から第三の補助駆動部123の主スライダ223にY方向6に平行で所定方向の動力を伝達させる。ここでは、第一の補助駆動部121の主スライダ221に正のX方向の動力を与え、第二の補助駆動部122の主スライダ222に負のX方向の動力を与え、第三の補助駆動部123の主スライダ223に正のY方向の動力を与える。すると、第一~第三の補助駆動部121~123の主スライダ221~223は主ガイド211~213に沿ってそれぞれ移動し、副スライダ241~243は副ガイド231~233に沿ってそれぞれ移動し、第一、第二の回転部材251~253、261~263はそれぞれ共通の中心軸線を中心に互いに回転して、可動部材13全体としては基準面XY平面に対して直角な回転軸線を中心に所定角度回転する。このようにして、第一~第三の補助駆動部121~123を有する駆動部は、可動部材13を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向X方向5とY方向6にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面XY平面に対して直角な回転軸線を中心に回転させることができる。本発明では、上述したように、第一の補助駆動部121の主ガイド211と第二の補助駆動部122の主ガイド212は互いに平行にされて対面されている。従って、第一、第二の動力部141、142から第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222に動力が伝達された場合には、可動部材13のうち第一、第二の補助駆動部121、122が固定された二つの可動部材取付部には、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材13の内部に発生しない。そのため、可動部材13の内部の応力により、可動部材接続部材16のネジがゆるんだり、可動部材接続部材16にひずみが生じて、第一、第二の補助可動部材13a、13bの相対位置が変化することを防止できる。また、第一、第二の動力部141、142から第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222に動力が伝達されると、主スライダ221、222から第一、第二の動力部141、142に反作用の力がかかるが、台座11のうち第一、第二の動力部141、142が固定された二つの固定箇所には、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座11の内部に発生しない。そのため、台座11の内部の応力により、台座接続部材17のネジがゆるんだり、台座接続部材17にひずみが生じて、第一、第二の補助台座11a、11bの相対位置が変化することを防止できる。<第二例のステージ装置の構造>本発明の第二例のステージ装置の構造を説明する。図8は第二例のステージ装置10bの平面図である。第二例のステージ装置10bのうち、第一例のステージ装置10aと同じ構造の部分には同じ符号を付して、説明を省略する。第二例のステージ装置10bの駆動部は第一~第四の補助駆動部121~124を有している。すなわち、第二例のステージ装置10bでは、第一例のステージ装置10aに比べて、第四の補助駆動部124が追加されている。第四の補助駆動部124の構造は第一~第三の補助駆動部121~123と同じであり、説明を省略する。台座11には、第四の補助駆動部124の主取付部28本実施例では主スライダ224に、第四の補助駆動部124の主ガイド214と平行な向きの動力を伝達する第四の動力部144が設けられている。本実施例では、第一、第二の補助駆動部121、122と第四の補助駆動部124が第一の補助可動部材13aと第一の補助台座11aとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部123が第二の補助可動部材13bと第二の補助台座11bとの間に設けられて第二のステージユニットが構成されている。第一のステージユニットでは、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212は、互いに平行にされて対面された状態で、第一の補助台座11aの二つの台座取付部にそれぞれ固定され、第四の補助駆動部124の主ガイド214は、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212に対して所定角度ここでは90°を成す向きに向けられた状態で、第一の補助台座11aの他の台座取付部に固定されている。第一、第二の補助駆動部121、122の第二の回転部材261、262と第四の補助駆動部124の第二の回転部材264は、第一の補助可動部材13aの三つの台座取付部にそれぞれ固定されている。第二のステージユニットでは、第三の補助駆動部123の主ガイド213は、第二の補助台座11bの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材263は、第二の補助可動部材13bの一の可動部材取付部に固定されている。第一、第二のステージユニットは、第一、第二の補助台座11a、11bの台座取付部が同一の平面内に位置し、第一、第二の補助可動部材13a、13bの可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第三、第四の補助駆動部123、124の主ガイド213、214が互いに平行にされて対面された状態で、隣り合う第一、第二の補助可動部材13a、13bには同一の可動部材接続部材16がネジ止めされて、第一、第二の補助可動部材13a、13bは互いに固定され、隣り合う第一、第二の補助台座11a、11bには同一の台座接続部材17がネジ止めされて、第一、第二の補助台座11a、11bは互いに固定され、第二例のステージ装置10bが構成されている。このとき、第三の補助駆動部123の主ガイド213は、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212に対して所定角度ここでは90°を成す向きに向けられている。<第二例のステージ装置の使用方法>第二例のステージ装置10bの使用方法を説明する。以下では、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイド211、212と平行な方向をX方向5、第三、第四の補助駆動部123、124の主ガイド213、214と平行な方向をY方向6と呼ぶ。第一、第二の補助駆動部121、122の副ガイド231、232はY方向6と平行であり、第三、第四の補助駆動部123、124の副ガイド233、234はX方向5と平行である。まず、第三、第四の動力部143、144を停止させ、第一、第二の動力部141、142から第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222にX方向5に平行な同一方向に同一量の動力を伝達させる。すると、第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222は主ガイド211、212に沿ってX方向5に平行な同一方向に同一距離移動し、第三、第四の補助駆動部123、124の副スライダ243、244は副ガイド233、234に沿って第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材13全体としてはX方向5に平行移動する。また、第一、第二の動力部141、142を停止させ、第三、第四の動力部143、144から第三、第四の補助駆動部123、124の主スライダ223、224にY方向6に平行な同一方向に同一量の動力を伝達させる。すると、第三、第四の補助駆動部123、124の主スライダ223、224は主ガイド213、214に沿ってY方向6に平行な同一方向に同一距離移動し、第一、第二の補助駆動部121、122の副スライダ241、242は副ガイド231、232に沿って第三、第四の補助駆動部123、124の主スライダ223、224と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材13全体としてはY方向6に平行移動する。また、第一~第四の動力部141~144の動力の向きが基準面XY平面に対して直角な回転軸線を中心に時計回り又は反時計回りを成すように、第一、第二の動力部141、142から第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダ221、222にX方向5に平行で互いに逆方向の動力を伝達させ、第三、第四の動力部143、144から第三、第四の補助駆動部123、124の主スライダ223、224にY方向6に平行で互いに逆方向の動力を伝達させる。ここでは、第一の補助駆動部121の主スライダ221に正のX方向の動力を与え、第二の補助駆動部122の主スライダ222に負のX方向の動力を与え、第三の補助駆動部123の主スライダ223に正のY方向の動力を与え、第四の補助駆動部124の主スライダ224に負のY方向の動力を与える。すると、第一~第四の補助駆動部121~124の主スライダ221~224は主ガイド211~214に沿ってそれぞれ移動し、副スライダ241~244は副ガイド231~234に沿ってそれぞれ移動し、第一、第二の回転部材251~254、261~264はそれぞれ共通の中心軸線を中心に互いに回転して、可動部材13全体としては基準面XY平面に対して直角な回転軸線を中心に所定角度回転する。このようにして、第一~第四の補助駆動部121~124を有する駆動部は、可動部材13を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向X方向5とY方向6にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面XY平面に対して直角な回転軸線を中心に回転させることができる。本発明では、上述したように、第一の補助駆動部121の主ガイド211と第二の補助駆動部122の主ガイド212は互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部123の主ガイド213と第四の補助駆動部124の主ガイド214は互いに平行にされて対面されている。従って、第一~第四の動力部141~144から第一~第四の補助駆動部121~124の主スライダ221~224に動力が伝達された場合には、可動部材13のうち第一、第二の補助駆動部121、122が固定された二つの可動部材取付部には、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材13の内部に発生しない。また、可動部材13のうち第三、第四の補助駆動部123、124が固定された他の二つの可動部材取付部には、基準面に平行で当該他の二つの可動部材取付部を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該他の二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材13の内部に発生しない。そのため、可動部材13の内部の応力により、可動部材接続部材16のネジがゆるんだり、可動部材接続部材16にひずみが生じて、第一、第二の補助可動部材13a、13bの相対位置が変化することを防止できる。また、第一~第四の動力部141~144から第一~第四の補助駆動部121~124の主スライダ221、222に動力が伝達されると、主スライダ221~224から第一~第四の動力部141~144に反作用の力がかかるが、台座11のうち第一、第二の動力部141、142が固定された二つの固定箇所には、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座11の内部に発生しない。また、台座11のうち第三、第四の動力部143、144が固定された他の二つの固定箇所には、基準面に平行で当該他の二つの固定箇所を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該他の二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座11の内部に発生しない。そのため、台座11の内部の応力により、台座接続部材17のネジがゆるんだり、台座接続部材17にひずみが生じて、第一、第二の補助台座11a、11bの相対位置が変化することを防止できる。<第三例のステージ装置の構造>本発明の第三例のステージ装置の構造を説明する。図9は第三例のステージ装置の平面図である。第三例のステージ装置10cのうち、第一例のステージ装置10cと同じ構造の部分には同じ符号を付して、説明を省略する。台座11は第一~第三の補助台座11a~11cを有し、可動部材13は第一~第三の補助可動部材13a~13cを有している。すなわち、第二例のステージ装置10bに比べて、第三の補助台座11cと第三の補助可動部材13cが追加されている。台座11の台座取付部のうち一部の台座取付部は第一の補助台座11aの一部で構成され、他の一部の台座取付部は第二の補助台座11bの一部で構成され、他の台座取付部は第三の補助台座11cの一部で構成されている。また、可動部材13の可動部材取付部のうち一部の可動部材取付部は第一の補助可動部材13aの一部で構成され、他の一部の可動部材取付部は第二の補助可動部材13bの一部で構成され、他の可動部材取付部は第三の補助可動部材13cの一部で構成されている。本実施例では、第一の補助駆動部121は第一の補助可動部材13aと第一の補助台座11aとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第二の補助駆動部122は第二の補助可動部材13bと第二の補助台座11bとの間に設けられて第二のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部123は第三の補助可動部材13cと第二の補助台座11cとの間に設けられて第三のステージユニットが構成されている。第一のステージユニットでは、第一の補助駆動部121の主ガイドは第一の補助台座11aの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材は第一の補助可動部材13aの一の可動部材取付部に固定されている。第二のステージユニットでは、第二の補助駆動部122の主ガイドは第二の補助台座11bの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材は第二の補助可動部材13bの一の可動部材取付部に固定されている。第三のステージユニットでは、第三の補助駆動部123の主ガイドは第三の補助台座11cの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材は第三の補助可動部材13cの一の可動部材取付部に固定されている。第一~第三のステージユニットは、第一~第三の補助台座11a~11cの台座取付部が同一の平面内に位置し、第一~第三の補助可動部材13a~13cの可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイドが互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部123の主ガイドは第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイドに対して所定角度ここでは90°を成す向きに向けられた状態で、隣り合う第一~第三の補助可動部材13a~13cには同一の第一の可動部材接続部材161がネジ止めされて、第一~第三の補助可動部材13a~13cは互いに固定され、隣り合う第一~第三の補助台座11a~11cには同一の第一の台座接続部材171がネジ止めされて、第一~第三の補助台座11a~11cは互いに固定され、第三例のステージ装置10cが構成されている。なお、本実施例では、補助台座接続部材19aが第一の台座接続部材171にネジ止めされて固定され、補助可動部材接続部材19bが第一の可動部材接続部材161にネジ止めされて固定されている。さらに、第一の補助可動部材13aと補助台座接続部材19aには同一の第二の可動部材接続部材162がネジ止めされて、第一の補助可動部材13aと補助台座接続部材19aは互いに固定され、第一の補助台座11aと補助可動部材接続部材19bには同一の第二の台座接続部材172がネジ止めされて、第一の補助台座11aと補助可動部材接続部材19bは互いに固定されている。また、隣り合う第二、第三の補助可動部材13b、13cには同一の第三の可動部材接続部材163がネジ止めされて、第二、第三の補助可動部材13b、13cは互いに固定され、隣り合う第二、第三の補助台座11b、11cには同一の第三の台座接続部材173がネジ止めされて、第二、第三の補助台座11b、11cは互いに固定されている。そのために、第一の可動部材接続部材161と第一の台座接続部材171だけを用いて固定された場合よりも、第一~第三の補助可動部材131~133を互いに固定する力と、第一~第三の補助台座111~113を互いに固定する力はそれぞれ強くなっている。第三例のステージ装置10cでは、全体の大きさが第一例のステージ装置10b全体の大きさと同じ場合には、第一~第三のステージユニットは、第一例のステージ装置10aの第一、第二のステージユニットよりも小型に製作でき、より制作費や輸送費を低コストにできる。第三例のステージ装置10cの使用方法は第一例のステージ装置10aの使用方法と同様であり、説明を省略する。第三例のステージ装置10cでは、第一例のステージ装置10aと同様に、第一の補助駆動部121の主ガイドと第二の補助駆動部122の主ガイドは互いに平行にされて対面されている。そのため、第一、第二の動力部141、142から第一、第二の補助駆動部121、122の主スライダに動力が伝達されても、基準面に平行で第一、第二の補助駆動部121、122が固定された二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材13の内部に発生せず、第一~第三の可動部材接続部材161~163のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。また、基準面に平行で第一、第二の動力部141、142が固定された二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座11の内部に発生せず、第一~第三の台座接続部材111~113のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。<第四例のステージ装置の構造>本発明の第四例のステージ装置の構造を説明する。図10は第四例のステージ装置の平面図である。第四例のステージ装置10dのうち、第三例のステージ装置10cと同じ構造の部分には同じ符号を付して、説明を省略する。第四例のステージ装置10dの駆動部は第一~第四の補助駆動部121~124を有している。すなわち、第四例のステージ装置10dでは、第三例のステージ装置10cに比べて、第四の補助駆動部124が追加されている。台座11は第一~第三の補助台座11a~11cを有し、可動部材13は第一~第三の補助可動部材13a~13cを有している。すなわち、第二例のステージ装置10bに比べて、第三の補助台座11cと第三の補助可動部材13cが追加されている。第四の補助駆動部124の構造は第一~第三の補助駆動部121~123と同じであり、説明を省略する。台座11には、第四の補助駆動部124の主取付部28本実施例では主スライダに、第四の補助駆動部124の主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第四の動力部144が設けられている。本実施例では、第一の補助駆動部121が第一の補助可動部材13aと第一の補助台座11aとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第二、第四の補助駆動部122、124が第二の補助可動部材13bと第二の補助台座11bとの間に設けられて第二のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部123が第三の補助可動部材13cと第三の補助台座11cとの間に設けられて第三のステージユニットが構成されている。第一、第三のステージユニットの構成は、第三例のステージ装置10cの第一、第三のステージユニットの構成と同様であり、説明を省略する。第二のステージユニットでは、第二の補助駆動部122の主ガイドと第四の補助駆動部124の主ガイドが、互いに所定角度ここでは90°を成す向きに向けられた状態で、第二の補助台座11bの二つの台座取付部にそれぞれ固定されている。また、第二の補助駆動部122の第二の回転部材と第四の補助駆動部124の第二の回転部材は、第二の補助可動部材13bの二つの可動部材取付部にそれぞれ固定されている。第一~第三のステージユニットは、第一~第三の補助台座11a~11cの台座取付部が同一の平面内に位置し、第一~第三の補助可動部材13a~13cの可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイドが互いに平行にされて対面され、第三、第四の補助駆動部123、124の主ガイドが互いに平行にされて対面された状態で、隣り合う第一~第三の補助可動部材13a~13cには同一の第一の可動部材接続部材161がネジ止めされて、第一~第三の補助可動部材13a~13cは互いに固定され、隣り合う第一~第三の補助台座11a~11cには同一の第一の台座接続部材171がネジ止めされて、第一~第三の補助台座11a~11cは互いに固定され、第四例のステージ装置10dが構成されている。このとき、第三、第四の補助駆動部123、124の主ガイドは第一、第二の補助駆動部121、122の主ガイドに対して所定角度ここでは90°を成す向きに向けられている。第四例のステージ装置10dの使用方法は第二例のステージ装置10bの使用方法と同様であり、説明を省略する。第四例のステージ装置10dでは、第二例のステージ装置10bと同様に、第一の補助駆動部121の主ガイドと第二の補助駆動部122の主ガイドは互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部123の主ガイドと第四の補助駆動部124の主ガイドは互いに平行にされて対面されている。そのため、第一~第四の動力部141~144から第一~第四の補助駆動部121~124の主スライダに動力が伝達されても、基準面に平行で第一、第二の補助駆動部121、122が固定された二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力、又は基準面に平行で第三、第四の補助駆動部123、134が固定された他の二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材13の内部に発生せず、第一~第三の可動部材接続部材161~163のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。また、基準面に平行で第一、第二の動力部141、142が固定された二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力、又は基準面に平行で第三、第四の動力部143、144が固定された二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座11の内部に発生せず、第一~第三の台座接続部材111~113のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。