第1、第2電極により短冊形状の圧電膜を挟持し、上記電極により圧電膜に電圧を印加することにより上記圧電膜を変形させる圧電アクチュエータを作製する方法であって、アクチュエータを形成する基板上に、第1電極となる第1導電膜を形成する第1電極膜形成工程と、形成された第1導電膜上の所望のエリアに、自己組織化による単分子膜を形成する単分子膜形成工程と、形成された単分子膜に、圧電膜の短冊形状をパターニングし、第1電極膜を上記短冊形状に露呈させるパターニング工程と、短冊形状に露呈した第1電極膜部分に、圧電膜となる圧電膜材料の前駆液をインクジェット方式で塗布する塗布工程と、塗布された前駆液を圧電膜に変質させる圧電膜化工程と、圧電膜化された圧電膜の上に第2電極となる第2電極膜を形成する第2電極膜形成工程と、を有し、上記圧電膜材料の前駆液に対して、上記第1電極膜が親液性で、上記単分子膜が疎液性となるように、上記前駆液と第1電極膜と単分子膜の材料を調整し、上記圧電膜化工程が、塗布された前駆液を乾燥し、熱分解する乾燥熱分解工程と、熱分解された圧電膜材料を結晶化させる結晶化工程を含むことを特徴とする圧電アクチュエータ作製方法。請求項1記載の圧電アクチュエータ作製方法において、アクチュエータを形成する基板がSi基板であり、第1電極膜、第2電極膜の材料が、白金族元素もしくはその酸化物であり、単分子膜の材料がアルカンチオール材料であり、圧電膜の前駆液が、金属の複合酸化物の前駆液であることを特徴とする圧電アクチュエータ作製方法。請求項2記載の圧電アクチュエータ作製方法において、第1電極膜の材料が白金族金属であり、圧電膜材料の前駆液がPZT前駆体溶液であることを特徴とする圧電アクチュエータ作製方法。請求項1~3の任意の1に記載の圧電アクチュエータ作製方法において、複数回の単分子膜形成工程と、複数回の塗布工程と、複数回の乾燥熱分解工程と、1回以上の結晶化工程と、を行なって、複数の圧電膜を階層的に積層して形成し、階層的に積層される複数の圧電膜の、長手方向の大きさが、上層の圧電膜ほど小さくなるように、インクジェット方式による複数回の塗布工程を制御することを特徴とする圧電アクチュエータ作製方法。請求項1~4の任意の1に記載の圧電アクチュエータ作製方法において、第2電極膜を、圧電膜上にインクジェット方式で形成することを特徴とする圧電アクチュエータ作製方法。請求項1~5の任意の1に記載の圧電アクチュエータ作製方法により基板上に作成された圧電アクチュエータ。請求項6記載の圧電アクチュエータを用いた液体吐出ヘッド。請求項7に記載の液体吐出ヘッドを備えたインクジェットプリンタ。この発明は、特許文献1に開示された作製方法における連通溝を有する隔壁の形成を不要とし、より容易に圧電アクチュエータを作製できる新規な圧電アクチュエータ作製方法の提供、かかる作製方法により作製される圧電アクチュエータ、およびこれを用いる液体吐出ヘッド、かかる液体吐出ヘッドを用いるインクジェットプリンタの実現を課題とする。この発明の圧電アクチュエータ作製方法は第1および第2電極により短冊形状の圧電膜を挟持し、上記電極により圧電膜に電圧を印加することにより、圧電膜を変形させる圧電アクチュエータを作製する方法であって、第1電極膜形成工程、単分子膜形成工程、パターニング工程、塗布工程、圧電膜化工程および第2電極膜形成工程を有する請求項1。第1電極膜形成工程は、アクチュエータを形成する基板上に、第1電極となる第1導電膜を形成する工程である。基板上に形成するアクチュエータが複数個ある場合、第1電極膜は、第1電極膜形成工程により複数のアクチュエータに共通して形成される。基板上に単一のアクチュエータが形成される場合、第1電極膜は圧電膜の短冊形状よりも広い領域に形成される。単分子膜形成工程は、第1電極膜形成工程で基板上に形成された第1電極膜上の所望のエリアに、自己組織化による単分子膜を形成する工程である。所望のエリアは、1以上のアクチュエータの圧電膜が形成される領域である。自己組織化による単分子膜はSAM膜として知られており、単分子膜形成工程は第1電極膜上にSAM膜を形成する工程である。SAM膜を形成する処理をSAM処理とも言う。パターニング工程は、第1電極膜上に形成された単分子膜に圧電膜の短冊形状をパターニングし、第1電極膜を短冊形状に露呈させる工程である。このパターニング工程は、例えば、後述するように、周知のフォトリソグラフィの手法と酸素プラズマ照射の手法等により容易に実行可能である。塗布工程は、短冊形状に露呈した第1電極膜部分に圧電膜となる圧電膜材料の前駆液をインクジェット方式で塗布する工程である。圧電膜化工程は、塗布された前駆液を圧電膜に変質させる工程である。第2電極膜形成工程は、圧電膜化された圧電膜の上に第2電極となる第2電極膜を形成する工程である。圧電膜材料の前駆液と第1電極膜の材料と単分子膜の材料は、前駆液に対して第1電極膜が親液性で、単分子膜が疎液性となるように調整される。前駆液、第1電極膜、単分子膜の材料がこのように調整されていると、前駆液をインクジェット方式で短冊形に露呈した第1電極面に塗布するとき、前駆液は単分子膜の疎液性により弾かれて単分子膜には付着せず、第1電極膜の親液性により露呈している第1電極膜には良好に付着して第1電極膜を濡らす。前駆液は、インクジェット方式により塗布されるので、第1電極膜が露呈している部分に位置精度良く塗布でき、塗布量を高精度に調整できる。圧電膜化工程は、塗布された前駆液を乾燥し、熱分解する乾燥熱分解工程と、熱分解された圧電膜材料を結晶化させる結晶化工程を含む。即ち、塗布された前駆液は、乾燥熱分解工程後は固体状の膜となるが、この固体状の膜が結晶化工程で結晶化されることにより圧電膜に変質する。上記の方法において、単分子膜形成工程から乾燥熱分解工程まで、もしくは単分子膜形成工程から結晶化工程までを行なった後、必要に応じ必要厚の圧電膜を得るために単分子膜形成工程と塗布工程と乾燥熱分解工程もしくは単分子膜形成工程と塗布工程と乾燥熱分解工程と結晶化工程を繰り返し工程として繰り返して行なうことができる。この繰り返し工程ではパターニング工程を行なう必要は無い。請求項1記載の圧電アクチュエータ作製方法は、アクチュエータを形成する基板をSi基板とし、第1電極膜、第2電極膜の材料を白金族元素もしくはその酸化物とし、単分子膜の材料をアルカンチオール材料とし、圧電膜の前駆液を金属の複合酸化物の前駆液として実施することができる請求項2。この請求項2記載の圧電アクチュエータ作製方法は、第1電極膜の材料を白金族金属とし、圧電膜材料の前駆液をPZT前駆体溶液として良好に実現できる請求項3。請求項1~3の任意の1に記載の圧電アクチュエータ作製方法は複数回の単分子膜形成工程と複数回の塗布工程と複数回の乾燥熱分解工程と1回以上の結晶化工程とを行なって、複数の圧電膜を階層的に積層して形成し、階層的に積層される複数の圧電膜の長手方向短冊の長手方向の大きさが上層の圧電膜ほど小さくなるように、インクジェット方式による複数回の塗布工程を制御することができる請求項4。請求項1~4の任意の1に記載の圧電アクチュエータ作製方法においては、第2電極膜を圧電膜上にインクジェット方式で形成することができる請求項5。この発明の圧電アクチュエータは、請求項1~5の任意の1に記載の圧電アクチュエータ作製方法により基板上に作成された圧電アクチュエータである請求項6。この発明の液体吐出ヘッドは、請求項6記載の圧電アクチュエータを用いた液体吐出ヘッドである請求項7。この発明のインクジェットプリンタは、請求項7に記載の液体吐出ヘッドを備えたインクジェットプリンタである。以上に説明したように、この発明によれば新規な圧電アクチュエータ作製方法を提供できる。この作製方法では、第1電極膜上への前駆液の塗布を、インクジェット方式で行なうので、塗布位置に正確且つ適量に前駆液を塗布できる。塗布された前駆液は、単分子層の疎液性により弾かれるので、露呈された第1電極膜部分に適正に留まり、圧電膜化工程により良好な圧電膜とすることができる。このように、この発明の作製方法では、基板上に良好な圧電アクチュエータを容易に且つ低コストで作製できる。液体吐出ヘッドの圧電アクチュエータをこの作製方法で作製することで、液体吐出ヘッドやこれを用いるインクジェットプリンタのコストを低減化できる。以下、実施の形態を説明する。実施の形態1図1以下を参照して、実施の形態1を説明する。図1は単分子膜形成工程とパターニング工程を説明するための図である。図1aは、Si基板1の表面に第1電極膜形成工程により第1電極膜1Aを均一に形成された状態を示している。第1電極膜形成工程では電極材料である白金をスパッタによりSi基板1の表面に成膜して第1電極膜1Aとしている。即ち、第1電極膜1Aは白金膜である。この白金膜の表面に単分子膜形成工程を行い単分子膜であるSAM膜を形成する。SAM膜は、基板1の表面の第1電極膜1Aをアルカンチオール液にディップして自己配列させることにより得られる。この実施の形態では、アルカンチオール液としてCH3-SHを用いた。図1bは、CH3-SHの分子MLが自己配列してSAM膜2が形成された状態を示している。このように形成されたSAM膜2の上にフォトレジスト3の層を形成し、フォトリソグラフィにより除去すべきSAM膜部分の上部のフォトレジストを除去する。図1cは、このようにフォトレジスト3を除去した状態を示している。この状態において、例えば酸素プラズマを照射することにより、フォトレジストに覆われていないSAM膜2を形成すべき圧電膜の短冊形状に除去する。そうすると、基板1の表面に形成された白金膜第1電極膜1Aの表面が露呈する。白金膜の露呈した部分の形状は、圧電膜の短冊形状に合同な形状である。さらに、酸素プラズマ照射の際にマスクとして用いられたフォトレジスト3を除去する。図1dの左図はこの状態を示し、符号1A1で示す領域で白金膜1Aの表面が露呈している。白金膜1Aの露呈した領域1A1の形状は短冊形状であり、その長手方向は、図1d左図において図面に直交する方向である。図1d右図は、SAM膜2に囲繞されて短冊形状に露呈した白金膜1A1を示している。この短冊形状は、長手方向の長さが1mm、幅短手方向の長さは80μmである。なお、SAM膜2の除去は、上記酸素プラズマの照射に限らず、例えばUV光照射で実行することもできる。続いて、図1eに示すように、インクジェット塗布装置の液体吐出ヘッド4を用いて、前駆液6の塗布を行なう。前駆液を構成するための溶液は、出発材料に酢酸鉛三水和物、イソプロポキシドチタン、イソプロポキシドジルコニウムを用いる。酢酸鉛の結晶水はメトキシエタノールに溶解後、脱水し、化学量論組成に対し鉛量を10モル過剰にしてある。これは熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性低下を防ぐためである。イソプロポキシドチタン、イソプロポキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解し、アルコール交換反応、エステル化反応を進め、上記酢酸鉛を溶解したメトキシエタノール溶液と混合することでPZT前駆液圧電膜となる圧電膜材料の前駆液を合成した。このPZT濃度は0.1モル/リットルにした。以下では前駆液6を、PZT前駆液6と記すこともある。SAM膜6は前駆液6に対してに対して疎液性であり、露呈した白金膜1A1の表面は前駆液6に対して親液性である。このため、露呈した白金膜1A1に液体吐出ヘッド4によりPZT前駆液6を塗布すると、前駆液6は、露呈した親液性の白金膜1A1の表面を濡らして付着するが、SAM膜2には、疎液性により弾かれて付着しない。図1eは、露呈した白金膜1A1の表面に前駆液6が塗布された状態を示す。接触角のコントラスト親液性と疎液性の差により、前駆液6は親液部である白金膜1A1にのみに広がり短冊形状のパターンを形成する。このように塗布された前駆液6に対し第1加熱溶媒乾燥工程として120°Cで処理した後、有機物の熱分解処理を行う。第1過熱工程で熱処理されると、塗布された前駆液6は乾燥して厚みを減じ、膜状になる。この膜状のものを、便宜上以下においては前駆膜と称する。図1fにおいて符号6Aは熱分解処理で得られた前駆膜を示している。1度の塗布工程で塗布される前駆液に第1過熱工程を行なって得られる前駆膜6Aの厚さは、膜の長手方向中心部で100nm前後が好ましい。液体吐出ヘッド4により1度の塗布工程で塗布される前駆液6における前駆体濃度は成膜面積と前駆体塗布量の関係に応じて適正化しておく。説明中の実施の形態では、熱分解処理後の短冊形状の前駆膜6Aは、長手方向の中心部で膜厚:90nmであった。引き続き繰返し工程を行う。図1fの状態でイソプロピルアルコールによる洗浄を行なうと、白金膜1A上のSAM膜2が除去されて図2aに示す如き状態となる。洗浄後、上記と同様の浸漬処理によりSAM膜2を再度形成する。SAM膜2は、第1電極膜である白金膜1Aとアルカンチオール分子との組み合わせで形成されるものであり、前駆膜6A上には形成されない。従って、繰り返し工程における2度目以降の単分子膜形成工程では、SAM膜2は自動的に短冊形状をパターニングされた状態で形成される。このように自動的にパターニングされたSAM膜の状態を図2bに示している。即ち、SAM膜2は前駆液に対して疎液性で、熱分解処理後の前駆膜6Aは前駆液に対して親液性である。この状態で、1度目に形成した前駆膜6Aに位置合わせして、インクジェット塗布装置の液体吐出ヘッド4によりPZT前駆体6を塗布する。図2cは、この状態を示している。塗布された前駆液6は前駆膜6A上に重ね塗りされた状態となる。続いて、1回目と同じ加熱プロセスにより乾燥熱分解工程を実施すると、重ね塗りされた前駆液6が乾燥熱分解されて、先に形成されている前駆膜6Aと一体となって前駆膜6Bが得られる。このときの膜厚は180nmであった。この状態を図2dの左図に示す。同図右図は、SAM膜2の短冊形状にパターニングされた部分に前駆膜6Bが形成されている様子を示している。上記の工程を6回繰り返して厚さ:540nmの前駆膜を得たのち結晶化工程として700°Cの温度での結晶化熱処理をRTA急速熱処理で行なった。この処理において前駆膜のクラックの発生等の不良は生じなかった。結晶化工程により厚さ:540nmの前駆膜は、その前駆成分が結晶化してPZT結晶となり、圧電膜に変質する。図2eは、Si基板1上の白金膜による第1電極膜1Aの表面に圧電膜6Dが形成された状態を示している。このようにして、圧電膜6Dを形成したのち、図2fに示すように、圧電膜6D上に白金により第2電極膜1Bを形成して圧電アクチュエータとした。図2e、fにおいては、図の左右方向が短冊形状の長手方向である。圧電膜6Dの厚さは、長手方向の中央部から長手方向の両端部の極く近傍に至るまで、同じ厚さ180nmであり、第2電極膜1Bの長手方向の両端部1B1、1B2における圧電膜6Dの厚さ端部膜厚と呼ぶ。も180nmであった。端部膜厚は、圧電膜の長手方向の長さをXとするとき、長手方向両端部から0.1X長さ:Xの10だけ中心部側へ変位した位置における膜厚である。なお、第2電極膜1Bは、公知の適宜の方法で形成することが可能であるが、インクジェット方式で形成することができる。実施の形態2図2dの状態から、上記の繰り返し工程を更に4回繰り返して、膜厚:540nmの圧電膜を形成した。なお、結晶化工程は、全部で6層の前駆膜を形成した後、一括して行った。このように形成された厚さ:540nmの圧電膜に対して、さらに、上記SAM膜形成工程、前駆液塗布工程、120°Cでの乾燥工程、500°Cでの熱分解工程、700°Cでの結晶化工程を6回行ない、厚さ:90nmの圧電膜を全体で7層に形成した。第1電極膜上に直接に形成されている第1層の膜厚は上記の540nmであり、その上に積層された6層の圧電膜の厚さは何れも90nmである。第1層の上に積層される6層の圧電膜は、その長手方向の長さが直前の層の長手方向の長さよりも20短くなるようにインクジェット塗布装置による塗布を制御した。この塗布処理は、PZT膜断面形状が長手方向に左右対称になるように、両端部で塗布条件を同じにした。結晶化処理が施された膜にクラックなどの不良は生じなかった。図3に、このように形成した全7層構造の圧電膜を説明図的に示す。7層の圧電膜を、図の如く下から第1層L1、第2層L3第7層L7とする。図の左右方向が長手方向であり、第i層i1~7の長手方向の長さをXiとすると、上記の如く、Xi1=0.8Xiである。中心部膜厚は1080nmに達し、端部膜厚第1層L1の端部膜厚は540nmである。各層L1~L7の長手方向の中央位置は揃っている。図3に示した7層構造の圧電膜の第7層L7の上面に白金による第2電極膜を形成し、圧電膜の電気特性、電気-機械変換能圧電定数の評価を行った。電気特性として圧電膜の比誘電率は1163、誘電損失は0.03、残留分極は16.5μC/cm2、抗電界は10.7kV/cmであり通常のセラミック焼結体と同等の特性を持つ。図4に、P-Eヒステリシス曲線を示す。横軸は印加電界、縦軸は分極率を示す。電気-機械変換能は電界印加による変形量をレーザードップラー振動計で計測し、シミュレーションによる合わせ込みから算出した。その圧電定数d31結晶軸d31方向の圧電係数は120pm/Vとなり、セラミック焼結体と同等の値であった。図3のような、圧電膜の長さが上層ほど短くなるようにすると、長手方向中心部の変形が、端部からの拘束を軽減されるため中心部変形量を大きくすることができる。図5の破線は、実施の形態2の圧電アクチュエータの長手方向の変形量を示す。中心部変形量は、セラミック焼結体実線に比べ20向上している。これは液体吐出ヘッドの圧電アクチュエータとして十分設計できうる特性値である。図3の圧電膜に第2電極膜を形成したのと同種の圧電アクチュエータで、長手方向中心部膜厚:TCと端部膜厚Teの倍率R=TC/Teが1.25<R<3.0の範囲にあるようにすると、上記の端部からの拘束を軽減して、中心部変形量を大きくする効果が認められた。図3に即して説明した圧電膜の上に白金膜による第2電極膜を形成した圧電アクチュエータの第2電極膜側に、窒化シリコンによる厚み:200nmの保護膜をスパッタリングで形成した。この保護膜付き圧電アクチュエータの断面観察をしたところ、長手方向の最端部のPZTは、図6aに示すように、中心部に向かって8.5°のテーパを有していた。このテーパは、中心部図の右方に向かって4.4μmに渡って連続し、それ以降は第1層の端部膜厚である540nmでテーパは見られなかった。圧電膜上に成膜した保護膜を観察すると、第1層の最端部のテーパ8.5°が小さいため、圧電膜と保護膜の界面から最表面までの保護層の膜厚実効膜厚が、長手方向の位置に依存せずほぼ一定の大きさを維持していた。具体的には、実効膜厚は198nmであり、成膜膜厚に対する実効膜厚は99.4であった。比較のために、スピンコートやスパッタで成膜したPZTの圧電膜を用意した。この場合は、レジストパターニングのドライエッチングの際に、オーバーエッチングが発生し、圧電膜端部にテーパが生じる。これらのテーパは50~70°程度の高いテーパを有するため上記低いテーパを有するPZT圧電膜の場合と同条件で成膜した保護膜の実効膜厚は68.4nmで、成膜膜厚に対する実行膜厚は34.2であった。即ち、実施の形態2で形成した低いテーパを有するPZT圧電膜の方が必要な保護膜の膜厚を効率良く確保できることを意味する。実施の形態3実施の形態2と同様の工程で、第1層を形成し、第1層の上にさらに6層の圧電膜を形成した。このとき形成した6層の圧電膜は、図7に示すように、第1層L1の上の第2層L21~第7層L27の層の長さ図の左右方向の長さが、1層あがるたびに直下の層の長さを片側10ずつ短くなるようにし、圧電膜厚が、長手方向両端部側から中央部に向かって減少し、両端部で1080nm、中央部で最小膜厚:540nmとなるようにした。7層の圧電膜の断面形状が長手方向において左右対称になるように、両端部で同じ条件を用いて前駆液の塗布を行なった。結晶化処理による結晶化工程が施された圧電膜にクラックなどの不良は生じなかった。この圧電膜上に第2電極膜を白金のスパッタリングで成膜し、電気特性、電気-機械変換能圧電定数の評価を行った。圧電膜の比誘電率は1163、誘電損失は0.03、残留分極は19.3μC/cm2、抗電界は3.3kV/cmであった。図8にP-Eヒステリシス曲線を図4にならって示す。電気-機械変換能は、電界印加による変形量をレーザードップラー振動計で計測し、シミュレーションによる合わせ込みから算出した。その圧電定数:d31は120pm/Vとなり、こちらもセラミック焼結体と同等の値であった。また、長手方向の中心部膜厚:TCと端部膜厚:Teの倍率R=TC/Teが0.33<R<0.67の範囲とすることにより、図5の点線のように、セラミック焼結体に比べて10の中心部変形量の向上が認められた。図5から明らかなように、セラミック焼結体や実施の形態2に示した1.25<R<3.0の範囲の圧電アクチュエータでは、長手方向の変形量が山形実線と破線になるが、実施の形態3の圧電アクチュエータでは点線で示すように変形量が長手方向に水平を保つ。このような変形量分布は液体吐出ヘッドとして安定した振動モードを実現でき、液体吐出ヘッドの圧電アクチュエータとして十分設計できうる特性値である。第2電極膜は、請求項5記載のように圧電膜上にインクジェット方式で形成することができる。この場合の実施の1形態を、図9を参照して説明する。図9は、圧電膜の長手方向から見た断面図であり、符号256は基板を支持する基体、符号255はSi基板、符号254は第1電極膜を示し、符号253はPZT結晶による圧電膜を示している。インクジェット塗布装置の液体吐出ヘッド250に微細な白金微粒子をコロイド状に分散させた液体を充填し、インクジェット方式で塗布する。この塗布においても前述の接触角のコントラストを利用して塗布領域を規制した。第2電極膜は、短絡を防止するためにPZT結晶の圧電膜253の膜パターンより小さい領域に塗布する必要があるため圧電膜253上にも上記液体を弾く疎液領域を設ける必要がある。これを実現するため、白金を塗布しない領域にレジスト252をパターニングし、レジスト252で覆われていない圧電膜表面に塗布を行い、120°Cで白金の塗布液を乾燥処理した後にレジスト252を剥離し、最終的に250°Cで焼結した。焼成後の白金膜の膜厚は0.5μmであり、比抵抗は5×10-6Ωcmであった。以下、上に説明したインクジェット塗布装置の1例を、図10を参照して説明する。図10は、インクジェット塗布装置を説明するための斜視図である。同図において、架台200上に、Y軸駆動手段201が設置され、その上に基板202塗布対象を搭載するステージ203がY軸方向に駆動可能に設置されている。ステージ203には図示されない真空、静電気などを利用する吸着手段が設けられており、基板202を固定する。X軸支持部材204には、X軸駆動手段205が取り付けられており、これにZ軸駆動手段211上に搭載されたヘッドベース206が取り付けられており、X軸方向に移動できるようになっている。ヘッドベース206の上には塗布液を吐出させる液体吐出ヘッド208が搭載されている。液体吐出ヘッド208には、図示されない液タンクから供給用パイプ210を介して塗布液が供給される。上記X、Y、Z駆動手段205、201、211により、塗布対象塗布液が前駆液であるときには、SAM膜をパターニングされて露呈した第1電極膜表面、塗布液が白金液である場合には圧電膜表面に対する位置調整を行い、液体吐出ヘッド208から塗布液を吐出して塗布を行なう。図11に、液体吐出ヘッドPHの構成を示す。図12には、図11の液体吐出ヘッドPHをアレイ配列した状態を示す。図11において、圧力室21は、ノズル板10、圧力室基板20、振動板30により4方を囲繞され、図面に直交する方向の両端部は板部材で閉ざされ、一方の板部材を貫通する導液管により塗布液を導入できるようになっている。圧力室基板20および振動板30はSiの板である。図12に示すように、圧力室基板20は、隣接する圧力室を隔てる隔壁となっている。図11において、圧力室21は図面に直交する方向へ長い直方体状であって、その長さは1mmより若干大きい。ノズル11は、ノズル板10における上記長手方向の1端部側に小径の円孔として穿設されている。圧力室21は、導入された塗布液により満たされており、振動板30の変形により塗布液に圧力を作用させてノズル11から吐出させる。振動板30の上部には密着層41を介して第1電極膜42が形成され、その上に形成された圧電膜43および第2電極膜44と、により圧電アクチュエータ40が構成されている。圧電アクチュエータ40の変形により振動板30を変形させて圧力室内の体積を変化させ、塗布液に圧力を作用させる。上記圧電アクチュエータを上に説明した作製方法で作製でき、このようにして請求項7記載の液体吐出ヘッドを実現できる。圧電アクチュエータの部分は、図11に示す形態のものに限らず、実施の形態2や3に示したものを適宜用いうることは言うまでもない。なお、図11、図12に示した液体吐出ヘッドでは、先ず、Si基板の表面に密着層41を介して第1電極膜42を形成し、その上に、先に説明したプロセスで圧電膜43、第2電極膜44が形成される。図12の場合には、複数個の圧電アクチュエータが一度に形成される。このようにして圧電アクチュエータを形成した後、Si基板を裏面側からエッチングで侵刻して圧力室21となるべき空間その天井部分が振動板30となる。を形成し、しかるのちに、ノズル11を穿設されたノズル板10を接合して上記空間を閉ざして液体吐出ヘッドが形成される。最後に、図13、14を参照してインクジェットプリンタの実施の1形態を説明する。図13は斜視図的説明図、図14は機構部の側面説明図である。インクジェットプリンタは、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド、この記録ヘッドへ吐出液であるインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部82等を収納している。本体81の下方部には、多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい。84を抜き差し自在に装着でき、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができる。給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。印字機構部82は、図示されない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ93にはイエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックBkの各色のインク滴を吐出する液体吐出ヘッドインクジェットヘッドからなるヘッド94を、複数のインク吐出口ノズルを主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。キャリッジ93には、ヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95が交換可能に装着される。インクカートリッジ95は、上方には大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を有し、内部にはインクが充填された多孔質体を有し、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクの圧力をわずかな負圧に維持している。記録ヘッドとして、ここでは各色のヘッド94を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個のヘッドでもよい。キャリッジ93は、後方側用紙搬送方向下流側を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送方向上流側を従ガイドロッド92に摺動自在に載置されており、キャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を張装し、このタイミングベルト100をキャリッジ93に固定し、主走査モータ97の正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。給紙カセット84にセットされた用紙83をヘッド94の下方側に搬送するため、給紙カセット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は副走査モータ107によってギヤ列を介して回転駆動される。キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して、搬送ローラ104から送り出された用紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材として印写受け部材109を設けている。印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112が設けられ、さらに用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114、排紙経路を形成するガイド部材115、116を配設している。記録時には、キャリッジ93を移動させつつ、画像信号に応じて記録ヘッド94を駆動して、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙83を排紙する。キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置に、ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117を配置している。回復装置117はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ93は、印字待機中には回復装置117側に移動されてキャッピング手段でヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド94の吐出口ノズルを密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等がクリーニング手段により除去され、吐出不良が解消される。吸引されたインクは、本体下部に設置された図示されない廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このように、このインクジェット記録装置においては、本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。