"根本部分が回転軸に接続された第一、第二の能動アームと、根本部分が前記第一、第二の能動アームの先端にそれぞれ取り付けられた第一、第二の従動アームと、前記第一、第二の従動アームの先端に取り付けられ、前記回転軸の回転によって移動されるハンドとを有し、前記ハンドには、基板を着座させる着座部と、前記着座部の、前記回転軸側に位置し、前記着座部の内外に出入り可能な保持部材と、前記着座部の前記保持部材とは反対側の縁部分に位置するストッパ部材と、前記第一、第二の能動アームが成すアーム間角度が0°以上180°以下の範囲で大きくなると、前記保持部材を前記着座部方向に押圧し、前記保持部材と前記ストッパ部材で前記着座部上に基板を挟み、前記保持部材には緩衝部材が設けられ、前記基板を挟む際に、前記緩衝部材が変形するように構成された基板搬送ロボットであって、前記緩衝部材は、離間した長短二本の横棒のうち、短い方の短棒の両端が、長棒に取り付けられ、前記長棒は、両端が固定部材によって前記ハンドに固定され、前記保持部材が前記着座部方向に押圧される際には、前記長棒のうちの前記短棒が取り付けられた二カ所の部分の間が押圧されて前記長棒が変形しながら、前記短棒を介して前記保持部材が押圧されるように構成された基板搬送ロボット。前記第一、第二の従動アームの前記先端には、互いに逆方向に同角度回動するように規制された第一、第二の規制ギアを有し、前記ハンドは、前記第一、第二の規制ギアの第一、第二の回動中心に対して静止するように取り付けられた請求項1記載の基板搬送ロボット。前記第一、第二の規制ギアとそれぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアと、前記第一、第二のピニオンギアに挟まれ、前記第一、第二のピニオンギアとそれぞれ歯合するピニオンギア用ラックとを有し、前記緩衝部材は、前記ピニオンギア用ラックによって前記長棒のうちの前記短棒が取り付けられた二カ所の部分の間が押圧されるように、前記ピニオンギア用ラックに取り付けられた請求項2記載の基板搬送ロボット。前記第一、第二の規制ギアに挟まれた規制ギア用ラックと、前記規制ギア用ラックに取り付けられ、前記規制ギア用ラックの移動方向とは反対方向に前記緩衝部材を押圧するリンク機構を有し、前記リンク機構によって前記長棒のうちの前記短棒が取り付けられた二カ所の部分の間が押圧されるように構成された請求項2記載の基板搬送ロボット。根本部分が回転軸に接続された第一、第二の能動アームと、根本部分が前記第一、第二の能動アームの先端にそれぞれ取り付けられた第一、第二の従動アームと、前記第一、第二の従動アームの先端に取り付けられ、前記回転軸の回転によって移動されるハンドとを有し、前記ハンドには、基板を着座させる着座部と、前記着座部の、前記回転軸側に位置し、前記着座部の内外に出入り可能な保持部材と、前記着座部の前記保持部材とは反対側の縁部分に位置するストッパ部材と、前記第一、第二の能動アームが成すアーム間角度が0°以上180°以下の範囲で大きくなると、前記保持部材を前記着座部方向に押圧し、前記保持部材と前記ストッパ部材で前記着座部上に基板を挟む基板搬送ロボットであって、前記保持部材には緩衝部材が設けられ、前記基板を挟む際に、前記緩衝部材が変形するように構成された基板搬送ロボット。前記第一、第二の従動アームの前記先端には、互いに逆方向に同角度回動するように規制された第一、第二の規制ギアを有し、前記ハンドは、前記第一、第二の規制ギアの第一、第二の回動中心に対して静止するように取り付けられた請求項5記載の基板搬送ロボット。前記第一、第二の規制ギアとそれぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアと、前記第一、第二のピニオンギアに挟まれ、前記第一、第二のピニオンギアとそれぞれ歯合するピニオンギア用ラックとを有し、前記緩衝部材は、前記ピニオンギア用ラックに取り付けられた請求項6記載の基板搬送ロボット。前記第一、第二の規制ギアに設けられた突起を有し、前記突起は、前記アーム間角度が所定の設定角度以上になると、前記保持部材を前記着座部方向に押圧するように構成された請求項6記載の基板搬送ロボット。前記第一、第二の規制ギアに挟まれた規制ギア用ラックと、前記規制ギア用ラックに取り付けられ、前記規制ギア用ラックの移動方向とは反対方向に前記緩衝部材を移動させるリンク機構を有する請求項6記載の基板搬送ロボット。本発明は、上記従来技術の課題を解決するために創作されたものであり、基板が損傷しない基板搬送ロボットを提供することにある。上記課題を解決するため、本発明は、根本部分が回転軸に接続された第一、第二の能動アームと、根本部分が前記第一、第二の能動アームの先端にそれぞれ取り付けられた第一、第二の従動アームと、前記第一、第二の従動アームの先端に取り付けられ、前記回転軸の回転によって移動されるハンドとを有し、前記ハンドには、基板を着座させる着座部と、前記着座部の、前記回転軸側に位置し、前記着座部の内外に出入り可能な保持部材と、前記着座部の前記保持部材とは反対側の縁部分に位置するストッパ部材と、前記第一、第二の能動アームが成すアーム間角度が0°以上180°以下の範囲で大きくなると、前記保持部材を前記着座部方向に押圧し、前記保持部材と前記ストッパ部材で前記着座部上に基板を挟み、前記保持部材には緩衝部材が設けられ、前記基板を挟む際に、前記緩衝部材が変形するように構成された基板搬送ロボットであって、前記緩衝部材は、離間した長短二本の横棒のうち、短い方の短棒の両端が、長棒に取り付けられ、前記長棒は、両端が固定部材によって前記ハンドに固定され、前記保持部材が前記着座部方向に押圧される際には、前記長棒のうちの前記短棒が取り付けられた二カ所の部分の間が押圧されて前記長棒が変形しながら、前記短棒を介して前記保持部材が押圧されるように構成された基板搬送ロボットである。また、本発明は、前記第一、第二の従動アームの前記先端には、互いに逆方向に同角度回動するように規制された第一、第二の規制ギアを有し、前記ハンドは、前記第一、第二の規制ギアの第一、第二の回動中心に対して静止するように取り付けられた基板搬送ロボットである。また、本発明は、前記第一、第二の規制ギアとそれぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアと、前記第一、第二のピニオンギアに挟まれ、前記第一、第二のピニオンギアとそれぞれ歯合するピニオンギア用ラックとを有し、前記緩衝部材は、前記ピニオンギア用ラックによって前記長棒のうちの前記短棒が取り付けられた二カ所の部分の間が押圧されるように、前記ピニオンギア用ラックに取り付けられた基板搬送ロボットである。また、本発明は、前記第一、第二の規制ギアに挟まれた規制ギア用ラックと、前記規制ギア用ラックに取り付けられ、前記規制ギア用ラックの移動方向とは反対方向に前記緩衝部材を押圧するリンク機構を有し、前記リンク機構によって前記長棒のうちの前記短棒が取り付けられた二カ所の部分の間が押圧されるように構成された基板搬送ロボットである。また、本発明は、根本部分が回転軸に接続された第一、第二の能動アームと、根本部分が前記第一、第二の能動アームの先端にそれぞれ取り付けられた第一、第二の従動アームと、前記第一、第二の従動アームの先端に取り付けられ、前記回転軸の回転によって移動されるハンドとを有し、前記ハンドには、基板を着座させる着座部と、前記着座部の、前記回転軸側に位置し、前記着座部の内外に出入り可能な保持部材と、前記着座部の前記保持部材とは反対側の縁部分に位置するストッパ部材と、前記第一、第二の能動アームが成すアーム間角度が0°以上180°以下の範囲で大きくなると、前記保持部材を前記着座部方向に押圧し、前記保持部材と前記ストッパ部材で前記着座部上に基板を挟む基板搬送ロボットであって、前記保持部材には緩衝部材が設けられ、前記基板を挟む際に、前記緩衝部材が変形するように構成された基板搬送ロボットである。また、本発明は、前記第一、第二の従動アームの前記先端には、互いに逆方向に同角度回動するように規制された第一、第二の規制ギアを有し、前記ハンドは、前記第一、第二の規制ギアの第一、第二の回動中心に対して静止するように取り付けられた基板搬送ロボットである。また、本発明は、前記第一、第二の規制ギアとそれぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアと、前記第一、第二のピニオンギアに挟まれ、前記第一、第二のピニオンギアとそれぞれ歯合するピニオンギア用ラックとを有し、前記緩衝部材は、前記ピニオンギア用ラックに取り付けられた基板搬送ロボットである。また、本発明は、前記第一、第二の規制ギアに設けられた突起を有し、前記突起は、前記アーム間角度が所定の設定角度以上になると、前記保持部材を前記着座部方向に押圧するように構成された基板搬送ロボットである。また、本発明は、前記第一、第二の規制ギアに挟まれた規制ギア用ラックと、前記規制ギア用ラックに取り付けられ、前記規制ギア用ラックの移動方向とは反対方向に前記緩衝部材を移動させるリンク機構を有する基板搬送ロボットである。基板をクランプする際に緩衝部材が変形し、その復元力によって基板がストッパ部材に押しつけられるから、基板に強い力が加わらず、基板は損傷しない。図1の符号10は、マルチチャンバ型の真空装置であり、この真空装置10が有する搬送室11の内部に、本発明の基板搬送ロボット20が配置されている。搬送室11の周囲には、搬入室12と、搬出室13と、複数の処理室141~144が接続されており、基板搬送ロボット20によって、各室11~13、141~144間を、基板を移動させることができるようになている。図2は、基板搬送ロボット20の側面図、同図、は搬送室11の天井側から鳥瞰した平面図である。基板搬送ロボット20は、回転軸30と、第一、第二の能動アーム21a,21bと、第一、第二の従動アーム22a,22bと、ハンド23とを有している。回転軸30は、外筒30aと、この外筒30aの内部に配置された内筒30bで構成されており、外筒30aと内筒30bは不図示のモータに接続され、同一の回転軸線Pを中心として独立に回転できるように構成されている。第一、第二の能動アーム21a,21bの根本部分は、一方が外筒30aに固定され、他方が内筒30bに固定されている。ここでは、第一の能動アーム21a,21bが外筒30aに固定され、第二の能動アーム21a,21bが内筒30bに固定されている。第一、第二の従動アーム22a,22bの根本部分は第一、第二の能動アーム21a,21bの先端部分に、それぞれ回動可能に取り付けられている。回転軸線Pは鉛直に配置されており、第一、第二の能動アーム21a,21bと第一、第二の従動アーム22a,22bは水平に配置されており、従って、第一、第二の能動アーム21a,21bと第一、第二の従動アーム22a,22bは水平面内で移動するように構成されている。ハンド23の拡大図を、図4、に示す。第一、第二の従動アーム22a、22bの先端には、図4、の符号25a、25bで示した第一、第二の規制ギアがそれぞれ水平に固定されている。ハンド23は、第一、第二の規制ギア25a,25b中心に設けられたピンに、回動可能に取り付けられている。図4の符号27は、第一、第二の規制ギア25a,25bの中心を通る水平な直線を示しており、同図符号28は、第一、第二の規制ギア25a,25bの中心の間の中央を通り、回転軸線Pと交叉する水平な直線を示している。第一、第二の規制ギア25a,25bは、この二本の直線27、28が直交するように配置された状態で互いに歯合されている。符号Qa,Qbは、第一、第二の従動アーム22a,22bの第一、第二の能動アーム21a,21bに対する回動の中心である第一、第二の回動軸線を示している。第一の回動軸線Qaと回転軸線Pの間の距離と、第二の回動軸線Qbと回転軸線Pの間の距離は等しくなっている。また、第一、第二の規制ギア25a,25bの直径は等しく、また、第一の回動軸線Qaと第一の規制ギア25aの中心との間の距離と、第二の回動軸線Qbと第二の規制ギア25bの中心との間の距離は等しくされている。このように、第一、第二の能動及び従動アーム21a,21b,22a,22bが左右対称な状態で、第一、第二の規制ギア25a,25bが歯合していると、第一、第二の規制ギア25a,25bは、第一、第二の回動軸線Qa,Qb周りに互いに逆方向に同角度しか回転できない。従って、第一、第二の規制ギア25a,25bが回転しても、ハンド23は第一、第二の規制ギア25a,25bに対して同じ方角を向く。次に、基板をクランプする機構について説明する。第一例の基板搬送ロボット20では、ハンド23は、台座38と、保持部材40と、第一、第二のピニオンギア32a,32bとを有している。台座38はU字状に形成されており、その先端は、回転軸線Pを中心とする放射方向外側を向けられている。図2、の記号θは、第一、第二の能動アーム21a,21bの成すアーム間角度であり、より正確には、第一の回動軸線Qaと回転軸線Pとを通る水平な直線と、第二の回動軸線Qbと回転軸線Pとを通る水平な直線が成す角度である。第一、第二の規制ギア25a,25bが歯合した状態で内筒30bと外筒30aのいずれか一方又は両方が回転し、アーム間角度θの大きさが変わると、ハンド23は、台座38の先端が放射方向外側を向いたまま、水平面内を放射方向に沿って移動する。同図は、このアーム間角度θが180°のときの状態であり、第一、第二の能動アーム21a,21bは、回転軸線Pを中央にして互いに逆方向を向いている。同図は、アーム間角度θが180°よりも小さいときの状態であり、180°のときよりも回転軸線Pから遠ざかっている。アーム間角度θがゼロに近い値になる程、ハンド23は回転軸線Pから遠ざかる。保持部材40の拡大図を図5に示す。図4、に示すように、第一、第二のピニオンギア32a,32bは、第一、第二の規制ギア25a,25bとそれぞれ歯合しており、第一、第二の規制ギア25a,25bが回転すると、第一、第二のピニオンギア32a,32bがそれぞれ、第一、第二の規制ギア25a,25bとは逆方向に回転するように構成されている。保持部材40は、ピニオンギア用ラック41を有している。ピニオンギア用ラック41は、第一、第二のピニオンギア32a,32bの間に挟まれており、根本部分が中心軸線Pに向き、先端部分が放射方向外側に向けられた状態で、第一、第二のピニオンギア32a,32bと歯合されている。アーム間角度θの大きさが変わり、第一、第二のピニオンギア32a,32bが回転すると、ピニオンギア用ラック41は、第一、第二のピニオンギア32a,32bの間の位置で、放射方向に沿って移動する。その移動方向は、アーム間角度θが小さくなるとき、即ち、ハンド23が中心軸線Pから遠ざかる方向に移動するとき、中心軸線Pに近づく方向であり、アーム間角度θが大きくなるとき、即ち、ハンド23が中心軸線Pに近づく方向に移動するとき、中心軸線Pから遠ざかる方向である。ピニオンギア用ラック41の放射方向の先端には緩衝部材47が取り付けられており、緩衝部材47の放射方向の更に外側位置には押圧部材43が取り付けられている。ピニオンギア用ラック41と、緩衝部材47と、押圧部材43とは放射方向に沿って配置されており、ピニオンギア用ラック41、緩衝部材47、押圧部材43の順序で、中心軸線Pから遠ざかっている。台座38の表面には、図3に示すように、台座38の窪みから成る着座部31が形成されている。押圧部材43は、アーム間角度θがゼロ度に近い値の時は、着座部31の外側に位置しており、アーム間角度θが増加すると、ピニオンギア用ラック41は緩衝部材47を放射方向外側に押圧し、緩衝部材47と押圧部材43を、その方向に移動させる。ここでは、アーム間角度θが、予め設定された基準角度θ0よりも大きくなったときに、押圧部材43が着座部31の外側から内側に進入するように構成されている。従って、アーム間角度θが、基準角度θ0よりも大きい状態では、押圧部材43は着座部31の外側に位置し、着座部31上に基板を配置することができる。着座部31が円形であるとすると、図3は、その直径DPよりも小径の直径Dwを有する基板15を、着座部31上に配置した状態を示している。図4は、そのときの平面図である。その状態で、アーム間角度θが増大し、基準角度θ0よりも大きくなると、押圧部材43は着座部31内に進入し基板15の側面と接触し、基板15を放射方向外側に移動させる。着座部31の外周位置であって、押圧部材43の移動方向の延長線上にはストッパ部材34a,34bが設けられている。ストッパ部材34a,34bは、台座38の窪みの壁面の一部で構成してもよいし、基板15の表面よりも高く突き出させた突起を着座部31の縁に配置してもよい。図3、及び図5に示すように、基板15の側面がストッパ部材34a,34bに当接した状態を示しており、基板15と押圧部材43はそれ以上移動できなくなる。基板15がストッパ部材34a,34bに当接したときよりも、更にアーム間角度θが大きくなると、ピニオンギア用ラック41は緩衝部材47を押圧し、緩衝部材は、ピニオンギア用ラック41と押圧部材43とで挟まれ、変形する。その状態では、緩衝部材47には元の形状に戻ろうとする復元力が発生し、その復元力によって、押圧部材43は基板15方向に押圧され、基板15をストッパ部材34a,34bに押しつける。この状態では、基板15は、押圧部材43とストッパ部材34a,34bとに挟まれ、クランプされている。図5は、緩衝部材47が変形した状態を示している。緩衝部材47の一部はハンド23に固定されている。図5、の符号46は、緩衝部材47をハンド23に固定する固定部材である。ハンド23が、搬送室11内に位置しているときは、基板15が押圧部材43とストッパ部材34a,34bとに挟まれる程度にアーム間角度θが大きくなっており、基板搬送ロボット20が搬送室11内でハンド23を高速移動させても、基板15がハンド23上から落下することはない。基板搬送ロボット20がアームを伸ばし、ハンド23を搬入又は搬出室12、13や処理室141~144の内部に挿入され、所定の受渡場所に位置する場合には、アーム間角度θは、押圧部材43が着座部31の外側に移動する程度に小さくなっており、押圧部材43は基板15の側面から離間し、緩衝部材47の変形は解除され、もとの形状に戻っている。この状態では、基板15はハンド23上から、各室12、13、141~144内の基板保持装置等へ受け渡しが可能である。また、空の状態のハンド23が各室12、13、141~144内に挿入されていた場合、そのハンド23上に基板を乗せることができる。以上説明したように、本発明では、ハンド23が搬送室11内に位置するときは、基板15はクランプされており、搬送室11に接続された各室12、13、141~144内の受渡場所に位置するときは、基板15のクランプは解除されている。これにより、基板15が高速搬送されても、基板15が損傷することはない。上記実施例では、ラックピニオン機構によって、基板15を挟んだが、本発明はそれに限定されるものではない。例えば、図6、に示すように、第一、第二の規制ギア25a,25bに、それぞれ突起26a,26bを設けてカム構造にし、第一、第二の規制ギア25a,25bと着座部31の間に配置された保持部材50を押圧するようにしてもよい。ここでは、アーム間角度θが所定の設定角度以上になると、突起26a,26bが、保持部材40が有する緩衝部材57と接触し、緩衝部材57を着座部31方向に押圧する。緩衝部材57の着座部31側には押圧部材43が設けられており、アーム間角度θが、予め設定された基準角度θ0になると、押圧部材43が着座部31内に進入し、更に小さくなると押圧部材43は基板15の側面に接触し、基板15を移動させ、基板15の側面をストッパ部材34a,34bに押しつける。アーム間角度θが小さくなり、押圧部材43が基板15から離間し、緩衝部材57が復元すると、基板15をハンド23上から他の場所に移載することができる。図6は、突起26a,26bが緩衝部材57から離間した状態を示しており、同図は、突起26a,26bが緩衝部材57を変形させている状態を示している。また、カム構造ではなく、図7、に示すような、リンク機構64を有する保持部材60を設けても良い。この保持部材60を有する基板搬送ロボットでは、第一、第二の規制ギア25a,25bの間に、規制ギア用ラック61が挟まれており、第一、第二の規制ギア25a,25bは、規制ギア用ラック61とそれぞれ歯合され、第一、第二の規制ギア25a,25bが、互いに同角度反対方向に回転するように構成されている。この規制ギア用ラック61は、放射方向に沿って配置されており、第一、第二の規制ギア25a,25bが回転すると、規制ギア用ラック61は、放射方向に沿って移動する。規制ギア用ラック61の、着座部31側を向く先端には、リンク機構64が設けられており、リンク機構64の着座部31側には、緩衝部材67と押圧部材43がこの順序で配置されている。規制ギア用ラック61とリンク機構64の拡大図を図8、に示す。リンク機構64は、X字状に組み合わされ、その交叉部分が支点軸62によってハンド23に回動可能に取り付けられた第一、第二の伸縮腕66a,66bと、該第一、第二の伸縮腕66a,66bの規制ギア用ラック61側の先端に、ピン65a,65bによってそれぞれ回動可能に取り付けられた第三、第四の伸縮腕66c,66dを有している。第一、第二の伸縮腕66a,66bの着座部31側の先端は、緩衝部材67と接触するように配置されており、第三、第四の伸縮腕66c,66dの規制ギア用ラック61側の先端は、規制ギア用ラック61に回動可能に取り付けられている。この構成では、規制ギア用ラック61が支点軸62に近づく方向に移動すると、第一、第二の伸縮腕66a,66bの、着座部31側の先端は、支点軸62方向に移動し、逆に、規制ギア用ラック61が支点軸62から遠ざかる方向に移動すると、第一、第二の伸縮腕66a,66bの着座部31側の先端は、着座部31側に移動し、押圧部材43を押圧する。規制ギア用ラック61は、アーム間角度θが減少すると、支点軸62に近づき、増加すると支点軸から遠ざかる。従って、アーム間角度θが増大するとき、押圧部材43は着座部31の内部に進入し、基板15をクランプする。図7、図8は、押圧部43が着座部31の外部に位置する状態であり、この状態ではハンド23上に基板15を配置し、又はハンド23上から基板15を移動させることができる。図7、図8は、押圧部が基板15をクランプしている状態であり、緩衝部材67は変形し、その復元力によって、基板15がストッパ部材34a,34bに押しつけられている。上記保持部材60では、リンク機構64と押圧部材43の間に緩衝部材67が配置されていたが、図9、に示した保持部材70のように、前例と同じリンク機構64を押圧部材43と直結し、押圧部材43の先端の基板15の側面と接触する部分に、ゴムなどの弾性体から成る緩衝部材48を設けてもよい。この場合、緩衝部材48が基板15の側面に当接されて押圧されると、緩衝部材48は変形し、その復元力によって基板15がストッパ部材34a,34bに押しつけられる。同図は、押圧部材43と緩衝部材48が着座部31の外側に移動し、緩衝部材48が基板15から離間している状態、同図は、緩衝部材48によって基板15がストッパ部材34a,34bに押しつけられている状態を示している。なお、上記第一、第二の規制ギア25a,25bは、二本の直線27、28図4aが直交するように配置された状態で、直接又は規制ギア用ラック61を介して互いに歯合されており、互いに同角度逆方向に回転するように構成されていたが、第一、第二の規制ギア25a,25bが離間し、歯合ていなくても、第一、第二の規制ギア25a,25bの間に8の字状にベルトを巻き回わし、それによって、互いに同角度逆方向に回転するようにしてもよい。要するに、互いに同角度逆方向に回転し、ハンド23が第一、第二の規制ギア25a,25bに対して常に同方角を向くようにすればよい。また、上記実施例では、回転軸30は外筒30aと内筒30bを有しており、同一の回転軸線Pを中心に回転したが、第一の能動アームの根本が固定された第一の回転軸と、第二の能動アームが接の根本が固定された第二の回転軸とが、同軸ではないように離間して配置されていてもよい。この場合、第一、第二の能動アームは、互いに離間した第一、第二の回転軸線を中心に、それぞれ回転するように構成される。"