"絶縁液体の流動を制御するマイクロポンプにおいて、前記絶縁液体の移動通路を形成する、四角形状を有する四角チャネル250と、前記四角チャネルの内部に形成され、電場を印加するための、シリンダ形状を有するシリンダ電極形成部210と、前記絶縁液体が流入する流入部230と、前記絶縁液体が流出する流出部240と、を備えることを特徴とするマイクロポンプ。前記シリンダ電極形成部210は、接地電圧GNDを印加するための接地電極接続部211と、前記接地電極接続部211にそれぞれ接続された第2シリンダ電極上部接合部214および第3シリンダ電極上部接合部215と、外部電源から供給された直流DCまたは交流AC電圧を印加するための外部電源接続部212と、前記外部電源接続部212に接続された第1シリンダ電極上部接合部213と、を含むことを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。前記第1シリンダ電極上部接合部213、前記第2シリンダ電極上部接合部214および前記第3シリンダ電極上部接合部215は、一定間隔をおいてシリンダ形状を有する複数の第1シリンダ電極216a~216e、第2シリンダ電極217a~217eおよび第3シリンダ電極218a~218eをそれぞれ備えることを特徴とする請求項2に記載のマイクロポンプ。前記第1シリンダ電極216a~216e、前記第2シリンダ電極217a~217eおよび前記第3シリンダ電極218a~218eのそれぞれは、互いに交差配置され、これらが配置されているN正の整数番目の位置で第N電極セットを形成することを特徴とする請求項3に記載のマイクロポンプ。前記第2シリンダ電極217a、前記第1シリンダ電極216a、前記第3シリンダ電極218aはそれぞれ、直径が50μm~10mmを有することを特徴とする請求項4に記載のマイクロポンプ。前記絶縁液体は、10-10~10-12S/mの範囲の電気伝導度を有する有機または無機溶液に、0.001~10wtの添加剤を使用することを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。前記添加剤は、イオン性および非イオン性界面活性剤またはアルコール類物質を使用することを特徴とする請求項6に記載のマイクロポンプ。前記四角チャネル250は、絶縁物質を使用し、前記電極形成部210は、金属物質を使用することを特徴とする請求項1に記載のマイクロポンプ。絶縁液体の流動を制御するマイクロポンプにおいて、前記絶縁液体の移動通路を形成する、四角形状を有する四角チャネル370と、前記四角チャネルの内部に形成され、電場を印加するための、平面形状を有する平面電極形成部310と、前記絶縁液体が流入する流入部320と、前記絶縁液体が流出する流出部330と、を備えることを特徴とするマイクロポンプ。前記平面電極形成部310は、接地電圧GNDを印加するための接地電極接続部311と、前記接地電極接続部311に接続された第2平面電極上部接合部312と、外部電源から供給された直流DCまたは交流AC電圧を印加するための外部電源接続部313と、前記外部電源接続部313に接続された第1平面電極上部接合部314と、を含むことを特徴とする請求項9に記載のマイクロポンプ。前記第1平面電極上部接合部314および第2平面電極上部接合部312のそれぞれは、一定間隔をおいて四角平面形状を有する複数の第1平面電極314a~314eおよび第2平面電極312a~312eを備えることを特徴とする請求項10に記載のマイクロポンプ。前記第1平面電極314a~314eおよび前記第2平面電極312a~312eのそれぞれは、互いに交差配置され、これらが配置されたN正の整数番目の位置で第N電極セットを形成することを特徴とする請求項11に記載のマイクロポンプ。前記第1平面電極314a~314eは、幅が10μm~10mmで、長さが50μm~100mmであり、前記第2平面電極312a~312eは、長さは前記第1平面電極と同じであるが、幅は前記第1平面電極の2~5倍であることを特徴とする請求項12に記載のマイクロポンプ。絶縁液体の流動を制御するマイクロポンプにおいて、前記絶縁液体の移動通路を形成する、シリンダ容器450内に設けられた、シリンダ形状を有するシリンダチャネル440と、前記シリンダチャネル440の内部に形成され、電場を印加するための、平面形状を有する平面電極形成部410と、前記絶縁液体が流入する流入部420と、前記絶縁液体が流出する流出部430と、を備えることを特徴とするマイクロポンプ。前記平面電極形成部410は、接地電圧GNDを印加するための接地電極接続部411と、前記接地電極接続部411に接続された第2平面電極414と、外部電源から供給された直流DCまたは交流AC電圧を印加するための外部電源接続部412と、前記外部電源接続部412に接続された第1平面電極413と、を備え、前記第1平面電極413と前記第2平面電極414とは、前記シリンダ容器の軸方向に円形の形態で互いに交差配置されたことを特徴とする請求項14に記載のマイクロポンプ。前記平面電極形成部520は、接地電圧GNDを印加するための接地電極接続部521と、前記接地電極接続部521に接続された第2平面電極522と、外部電源から供給された直流DCまたは交流AC電圧を印加するための外部電源接続部523と、前記外部電源接続部523に接続された第1平面電極524と、を備え、前記第1平面電極524と前記第2平面電極522とは、前記シリンダ容器の軸方向に一字状に互いに交差配置されたことを特徴とする請求項14に記載のマイクロポンプ。前記絶縁液体の回転運動量を伝達するために、前記シリンダ容器の内部にロータ530をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載のマイクロポンプ。本発明が解決しようとする技術的課題は、10-10~10-12S/mの範囲の低い伝導度を有する絶縁液体を移送することができるマイクロポンプを提供することである。上記の技術的課題を達成するための、本発明にかかるマイクロポンプは、絶縁液体の流動を制御するマイクロポンプにおいて、前記絶縁液体の移動通路を形成する、四角形状を有する四角チャネル370と、前記四角チャネルの内部に形成され、電場を印加するための、平面形状を有する平面電極形成部310と、前記絶縁液体が流入する流入部320と、前記絶縁液体が流出する流出部330とを備える。本発明は、複雑な部品を用いることなく簡単な技術的構成だけで、10-10~10-12S/mの範囲の低い伝導度を有する絶縁液体を移送することによって、費用節減および多様な微細力学装置に応用できるという利点がある。以下、本発明の具体的な実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施形態に適用されるシリンダ電極型絶縁液体マイクロポンプの第1原理を説明するために示した図である。図1を参照すると、四角チャネル114,115と垂直な方向に三角形の形状をなすように設けられた第1シリンダ電極110、第2シリンダ電極111a、第3シリンダ電極111bを備える。第1シリンダ電極110は、-極または極を備え、直流DCまたは交流AC電圧が印加され、第2シリンダ電極111aおよび第3シリンダ電極111bは、接地GND電圧が印加される。以下、本発明のシリンダ電極型絶縁液体マイクロポンプの作動原理を簡単に説明する。四角チャネル114,115の内部に絶縁液体を満たした後、第1シリンダ電極110に直流DCまたは交流AC電圧を印加すると、第1シリンダ電極110と第2シリンダ電極111aとの間、および第1シリンダ電極110と第3シリンダ電極111bとの間に不均一な電場112が形成される。上記形成された不均一な電場112は、Onsager効果によって絶縁液体の電気伝導度の勾配を形成し、形成された電気伝導度の勾配は、Maxwell-Wagner分極現象によって絶縁液体の内部に自由電荷freechargeを形成する。上記形成された自由電荷が電気力の影響で動きながら周辺の絶縁液体に運動量を伝達することによって、絶縁液体が図示の経路113に沿って一方向に移動するようにする。かくして、本発明のシリンダ電極型絶縁液体マイクロポンプは、ポンプpumpとしての機能を果たすことになる。本発明の絶縁液体は、10-10~10-12S/mの範囲の非常に低い電気伝導度を有する有機あるいは無機絶縁液体に、イオン性および非イオン性界面活性剤あるいはアルコール類添加剤を少量添加した溶液を使用し、好ましくは0.001~10wtの添加剤を含む。本発明の一例は、絶縁液体としてシリコーンオイル、ドデカンdodecaneまたはトルエンtolueneを使用し、イオン性界面活性剤としてsorbitanetrioleateSpan85を、非イオン性界面活性剤としてsodiumdi-2-ethylhexylsulfosuccinateAOTをそれぞれ使用することができる。また、オイル溶解性塩としてテトラブチルアンモニウムテトラブチルボレートtetrabutylammoniumtetrabutylborateを使用し、アルコール類はエタノールを使用することができる。本発明において、第1シリンダ電極110、第2シリンダ電極111a、第3シリンダ電極111bはいずれも、上記絶縁液体に溶解しない性質を有する金属物質を使用し、四角チャネル114,115は、ガラス、プラスチック、ゴムなどの絶縁物質を使用する。例えば、金属物質として、鉄、銅、タングステン、アルミニウム、金、銀などを使用することができる。図2および図3はそれぞれ、本発明の第1実施形態のシリンダ電極-四角チャネル型マイクロポンプの斜視図、およびシリンダ電極-四角チャネル型マイクロポンプの内部電極の配置を示したものである。図2を参照すると、本発明のシリンダ電極-四角チャネル型マイクロポンプ200は、チャネル上板270と、チャネル上板を含み、直方体の形状を有する四角チャネル250と、電極形成部210と、流入部230と、流出部240とを備える。電極形成部210は、接地電極接続部211と、外部電源接続部212と、第1シリンダ電極上部接合部213と、第2シリンダ電極上部接合部214と、第3シリンダ電極上部接合部215とを含む。接地電極接続部211は、第2シリンダ電極上部接合部214および第3シリンダ電極上部接合部215に互いに接続され、これらに接地電圧GNDを印加できる構造を有する。外部電源接続部212は、第1シリンダ電極上部接合部213に接続され、外部電源から供給された直流DCまたは交流AC電圧を、第1シリンダ電極上部接合部213に接続された第1シリンダ電極216に印加できる構造を有する。ここで、直流は10~10,000V、交流は0.1~10kHzで10~10,000Vrmsが好ましい。第1シリンダ電極上部接合部213は、シリンダ形状を有する複数の第1シリンダ電極216a~216eに互いに接続された構造を有する。ここで、各シリンダ電極216a~216eは、一定の間隔で、好ましくはシリンダ直径の5~10倍程度離れている。同じ方式で、第2シリンダ電極上部接合部214および第3シリンダ電極上部接合部215はそれぞれ、一定間隔をおいてシリンダ形状を有する複数の第2シリンダ電極217a~217eおよび第3シリンダ電極218a~218eに互いに接続された構造を有する。1番目の位置にある第1シリンダ電極216a、第2シリンダ電極217aおよび第3シリンダ電極218aは、互いに1つのセットとなり、三角形状を有する第1電極セットS1を構成する。同じ方式で、2番目ないし5番目の位置にある第1シリンダ電極216b、第2シリンダ電極217bおよび第3シリンダ電極218bないし第1シリンダ電極216e、第2シリンダ電極217eおよび第3シリンダ電極218eはそれぞれ、第2電極セットS2ないし第5電極セットS5を構成する。電極セットS1は、一定の間隔をおいて複数個形成可能であり、電極セットS1の個数が増加するほど絶縁液体の流動速度が速くなるため、ポンプの強さは増加する。本発明の場合、絶縁液体の流動速度は、直流電場で電圧の調節によって可能なだけでなく、交流電場の場合、電圧および交流周波数の調節によっても可能である。ここでは、5つの電極セットS1~S5について説明したが、これに限定されず、電極セットが多いほど絶縁物質の移動速度が速くなる点を考慮して多様に変形実施できることは当然である。図4は、本発明の第2実施形態ないし第4実施形態に適用される平面電極型絶縁液体マイクロポンプの第2原理を説明するために示した図である。図4を参照すると、チャネル124,125内部の一側面に第1平面電極120および第2平面電極121を備える。チャネル124,125は、四角形状またはシリンダ形状を使用することができる。第1平面電極120は、幅が狭い平面形態の-極または極を備え、直流DCまたは交流AC電圧が印加され、第2平面電極121は、幅が広い平面形態の電極を備え、接地GND電圧が印加される。以下、本発明の平面電極型絶縁液体マイクロポンプの作動原理を簡単に説明する。チャネル124,125の内部に絶縁液体を満たした後、第1平面電極120に直流DCまたは交流AC電圧を印加すると、第1平面電極120と第2平面電極121との間に不均一な電場122が形成される。上記形成された不均一な電場122は、Onsager効果によって絶縁液体の電気伝導度の勾配を形成し、形成された電気伝導度の勾配は、Maxwell-Wagner分極現象によって絶縁液体の内部に自由電荷freechargeを形成する。上記形成された自由電荷が電気力の影響で動きながら周辺の絶縁液体に運動量を伝達することによって、絶縁液体が図示の経路123に沿って一方向に移動するようにする。かくして、本発明の平面電極型絶縁液体マイクロポンプは、ポンプpumpとしての機能を果たすことになる。本発明の絶縁液体は、10-10~10-12S/mの範囲の非常に低い電気伝導度を有する有機あるいは無機絶縁液体に、イオン性および非イオン性界面活性剤あるいはアルコール類添加剤を少量添加した溶液を使用し、好ましくは0.001~10wtの添加剤を含む。本発明において、第1平面電極120と第2平面電極121はいずれも、上記絶縁液体に溶解しない性質を有する金属物質を使用し、チャネル124,125は、ガラス、プラスチック、ゴムなどの絶縁物質を使用する。図5、図6および図7はそれぞれ、本発明の第2実施形態の平面電極-四角チャネル型マイクロポンプの平面図、平面電極-四角チャネル型マイクロポンプの内部の配置に対する平面図、および平面電極-四角チャネル型マイクロポンプの内部電極の配置に対する平面図を示したものである。図5を参照すると、本発明の平面電極-四角チャネル型マイクロポンプ300は、電極形成部310と、流入部320と、流出部330と、チャネル底部340、垂直隔壁350、上部蓋360を含む四角チャネル370とを備える。電極形成部210は、接地電極接続部211と、外部電源接続部212と、第1シリンダ電極上部接合部213と、第2シリンダ電極上部接合部214と、第3シリンダ電極上部接合部215とを含む。電極形成部310は、チャネル底部340に金属材質でパターニングpatterningされ、垂直隔壁350によって絶縁液体が流入部320から流出部330に移動可能なチャネルが形成され、垂直隔壁350の上部は上部蓋360によって密封sealされる。以下、図7を参照して、電極形成部310の形状、配置などを詳細に説明する。電極形成部310は、接地電極接続部311と、第2平面電極上部接合部312と、外部電源接続部313と、第1平面電極上部接合部314とを含む。接地電極接続部311は、第2平面電極上部接合部312に互いに接続され、第2平面電極上部接合部312を介してそれぞれ接続された複数の第2平面電極312a~312eに接地電圧GNDを印加できる構造を有する。同じ方式で、外部電源接続部313は、第1平面電極上部接合部314に互いに接続され、第1平面電極上部接合部314を介してそれぞれ接続された複数の第1平面電極314a~314eに、外部電源から供給された直流DCまたは交流AC電圧を印加できる構造を有する。第1平面電極314a~314eはそれぞれ同じ平面形状、幅、長さを有し、また、第2平面電極312a~312eもそれぞれ同じ平面形状、幅、長さを有する。好ましくは、第1平面電極314a~314eは、幅が10μm~10mmで、長さが50μm~100mmであり、第2平面電極312a~312eは、長さは第1平面電極と同じであるが、幅が第1平面電極の2~5倍である。1番目に位置した第1平面電極314a、第2平面電極312aは、第1電極セットS1を構成し、同じ方式で、2番目から4番目の位置の第1、第2平面電極はそれぞれ、第2電極セットS2ないし第5電極セットS5を構成する。本発明の場合、5つの電極セットについて説明したが、これに限定されず、電極セットが多いほど絶縁液体の移動速度が速くなる点を考慮して多様に変形実施できることは当然である。図8および図9はそれぞれ、本発明の第3実施形態の平面電極-シリンダチャネル型マイクロポンプに対する斜視図、および平面電極-シリンダチャネル型マイクロポンプの内部電極の配置に対する斜視図で示したものである。図8を参照すると、本発明の平面電極-シリンダチャネル型マイクロポンプ400は、電極形成部410と、流入部420と、流出部430と、シリンダチャネル440とを含む。電極形成部410は、接地電極接続部411と、外部電源接続部412と、シリンダ形態の狭い平面を有する第1平面電極413と、シリンダ形態の広い平面を有する第2平面電極414とを含む。一方、第3実施形態の平面電極-シリンダチャネル型マイクロポンプ400は、基本的に、第2実施形態の平面電極-四角チャネル型マイクロポンプ300と作動原理、基本構成が同じであり、単にチャネルの形態をシリンダ形態にするか四角形態にするかによって、平面電極の形状もそれぞれシリンダ形態や四角形態に変形実施される点に違いがある。したがって、上記第2実施形態で詳細に説明した内容と重複する内容については説明を省略する。図10、図11および図12は、本発明の第4実施形態の平面電極-シリンダ型電気水力学モータに関する斜視図、内部電極の配置に関する斜視図、および内部ロータに関する斜視図をそれぞれ示したものである。図10を参照すると、本発明の平面電極-シリンダ型電気水力学モータ500は、シリンダ容器510と、電極形成部520と、ロータ530と、上部蓋540とを含む。電極形成部520は、接地電極接続部521と、外部電源接続部523と、シリンダ容器510の壁面に垂直方向に複数の平面電極がパターン化された、幅の狭い第1平面電極524と、幅の広い第2平面電極522とを含む。第4実施形態の電極形成部520と、第3実施形態の電極形成部410とは、シリンダ型チャネルに平面電極形態を有する点で共通するが、電極形成部を構成する第1平面電極および第2平面電極の配置される形態が、第4実施形態の場合、シリンダの壁面に沿って垂直方向に一字状に交差配列されるが、第3実施形態の場合、円形の形態で交差配列される点に違いがある。上記配列の違いによって、第4実施形態の場合、絶縁液体が時計方向に移送されるが、第3実施形態の場合、絶縁液体が流入口420から流出口430の方向に直線形態で移送される。ロータ530は、シリンダ容器510の内部に位置し、外部から電場が電極形成部520に印加される場合に発生する、シリンダ容器510の壁面に沿って時計方向に絶縁液体が移送される力を利用して、ロータ翼532に運動量を受けて翼を動かし、胴体に連結されたロータ軸531を介して外部に力学的仕事をする。かくして、本発明は、従来の電磁的モータに比べて部品の構成が非常に簡単で、小型モータの製作に応用することができる。以上、本発明に対する技術思想を添付図面と共に述べたが、これは、本発明の好ましい実施形態を例示的に説明したもので、本発明を限定するものではない。また、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば誰でも、本発明の技術的思想の範疇を逸脱しない範囲内で多様な変形および模倣が可能であることは自明である。"