板状の基体部と、前記基体部の片側表面に設けられたリング状の固定領域と、前記固定領域の内側に位置する冷却領域に配置され、前記基体部の側面から離間して形成された溝部と、前記基体部内に形成され、前記溝部に熱媒体を導入、排出させる循環路と、前記冷却領域を覆う大きさに形成され、周囲が前記基体部の前記固定領域にリング状に密着固定された蓋板部とを有し、前記蓋板部は、前記基体部とは反対側の表面上にターゲット材料が配置され、前記基体部に面する裏面は前記溝部内に導入された熱媒体が接触するようにされ、前記蓋板部は、前記基体部よりも厚みが薄く、前記蓋板部に前記裏面側から前記表面側に向く膨出力が印加されたときに、前記蓋板部は前記表面側に膨張するように構成されたバッキングプレート。前記溝部の内部に導入された熱媒体によって、前記蓋板部の前記裏面側の圧力が、表面側の圧力よりも大きくされると、圧力差が前記膨出力となって前記蓋板部は前記表面側に膨張するように構成された請求項1記載のバッキングプレート。前記膨出力を発生させる膨出力発生部を有する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のバッキングプレート。前記膨出力発生部は、圧縮変形された弾性部材を有し、前記弾性部材の復元力を前記蓋板部の裏面側から前記蓋板部に印加して前記膨出力となるようにされた請求項3記載のバッキングプレート。前記基体部は長手方向を有し、前記膨出力発生部は、前記長手方向に沿って複数個配置された請求項3又は請求項4のいずれか1項記載のバッキングプレート。請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載のバッキングプレートと、前記バッキングプレートの前記蓋板部の表面上に保持されたターゲット材料と、を有するターゲット装置。真空槽と、前記真空槽内を真空排気可能に構成された真空排気部と、前記真空槽内にスパッタガスを供給可能に構成されたガス供給部と、前記真空槽内に配置された請求項6記載のターゲット装置と、液状の熱媒体が蓄液され、ポンプと温度制御装置が設けられ、前記ターゲット装置の前記循環路に接続された熱媒体循環装置と、前記ターゲット装置の前記ターゲット材料に電気的に接続された電源装置と、を有するスパッタリング装置。本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、ターゲット材料とバッキングプレートとをインジウムで全面接着することなく、ターゲット材料の冷却不足を解消できるバッキングプレート、ターゲット装置及びスパッタリング装置を提供することにある。上記課題を解決するために本発明はバッキングプレートであって、板状の基体部と、前記基体部の片側表面に設けられたリング状の固定領域と、前記固定領域の内側に位置する冷却領域に配置され、前記基体部の側面から離間して形成された溝部と、前記基体部内に形成され、前記溝部に熱媒体を導入、排出させる循環路と、前記冷却領域を覆う大きさに形成され、周囲が前記基体部の前記固定領域にリング状に密着固定された蓋板部とを有し、前記蓋板部は、前記基体部とは反対側の表面上にターゲット材料が配置され、前記基体部に面する裏面は前記溝部内に導入された熱媒体が接触するようにされ、前記蓋板部は、前記基体部よりも厚みが薄く、前記蓋板部に前記裏面側から前記表面側に向く膨出力が印加されたときに、前記蓋板部は前記表面側に膨張するように構成されたバッキングプレートである。本発明はバッキングプレートであって、前記溝部の内部に導入された熱媒体によって、前記蓋板部の前記裏面側の圧力が、表面側の圧力よりも大きくされると、圧力差が前記膨出力となって前記蓋板部は前記表面側に膨張するように構成されたバッキングプレートである。本発明はバッキングプレートであって、前記膨出力を発生させる膨出力発生部を有するバッキングプレートである。本発明はバッキングプレートであって、前記膨出力発生部は、圧縮変形された弾性部材を有し、前記弾性部材の復元力を前記蓋板部の裏面側から前記蓋板部に印加して前記膨出力となるようにされたバッキングプレートである。本発明はバッキングプレートであって、前記基体部は長手方向を有し、前記膨出力発生部は、前記長手方向に沿って複数個配置されたバッキングプレートである。本発明はターゲット装置であって、前記バッキングプレートと、前記バッキングプレートの前記蓋板部の表面上に保持されたターゲット材料と、を有するターゲット装置である。本発明はスパッタリング装置であって、真空槽と、前記真空槽内を真空排気可能に構成された真空排気部と、前記真空槽内にスパッタガスを供給可能に構成されたガス供給部と、前記真空槽内に配置された前記ターゲット装置と、液状の熱媒体が蓄液され、ポンプと温度制御装置が設けられ、前記ターゲット装置の前記循環路に接続された熱媒体循環装置と、前記ターゲット装置の前記ターゲット材料に電気的に接続された電源装置と、を有するスパッタリング装置である。スパッタリング中にターゲット材料の冷却効率を低下させないので、ターゲット材料の割れを防止できる。インジウムを使用しないので、安価である。ターゲット材料の交換のときにバッキングプレートは損傷しないので、バッキングプレートの寿命が長くなる。本発明であるバッキングプレートの構造を説明する。図3はバッキングプレート20の内部側面図を示している。バッキングプレート20は板状の基体部21を有している。基体部21はここでは500×200mm程度の大きさの銅板を使用するが、本発明はこれに限定されない。図2は基体部21の平面図を示している。基体部21の片側表面のうち、基体部21表面の縁付近のリング状の領域を固定領域32とし、固定領域32で取り囲まれる領域を冷却領域33とすると、冷却領域33は、基体部21の中心を含む領域であり、冷却領域33には、有底の溝部24が形成されている。この溝部24は冷却領域33内に位置し、基体部21の側面からは離間している。基体部21の当該表面上には、固定領域32の内周よりも大きく、冷却領域33を覆う大きさに形成された蓋板部23が配置されている。蓋板部23は基体部21よりも厚みが薄く、ここでは0.5~1mm程度の厚さの銅板を使用するが、本発明はこれに限定されない。蓋板部23の周囲は基体部21表面の固定領域32に密着固定され、蓋板部23と基体部21とが固定された固定部分はリング状になっており、固定部分は冷却領域33を取り囲み、溝部24の開口は、蓋板部23によって蓋をされた状態になっている。図1の符号29は固定部分を示す。基体部21の内部には導入孔28aと導出孔28bとが形成されている。導入孔28aの一端と導出孔28bの一端は、それぞれ溝部24に接続されている。溝部24の開口が位置する面を基体部21の表面とし、反対側の面を裏面とすると、導入孔28aと導出孔28bの他端は基体部21の裏面、又は側面に位置して開口が形成され、導入孔28aと導出孔28bの他端の開口は、それぞれ真空槽の外部に配置された熱媒体循環装置に接続されている。熱媒体循環装置には、液状の熱媒体が蓄液されており、熱媒体循環装置内に設けられたポンプによって、熱媒体に圧力を印加し、導入孔28aから溝部24の内部に熱媒体を送液できるように構成されている。溝部24の内部に送液された熱媒体は、溝部24の開口を蓋する蓋板部23の裏面と接触しながら溝部24内を流動し、導出孔28bから熱媒体循環装置に戻る。このように、導入孔28aと導出孔28bによって、熱媒体循環装置から溝部24内に熱媒体を供給する循環路28が構成されている。蓋板部23の裏面には、熱媒体の流動に伴って、熱媒体の送液に起因する圧力が印加され、蓋板部23の表面側の圧力よりも裏面側の圧力が高くなると、蓋板部23は基体部21から離間する方向に膨張する。隣接する溝部24間に位置する基体部21の部分を山部と呼ぶと、山部は蓋板部23に接触しておらず、蓋板部23が膨張すると、山部の上端と蓋板部23の裏面との間に隙間が生じる。熱媒体の一部は、山部と蓋板部23との間の隙間を越えて、溝部24間を移動する場合も熱媒体の基体部21内の移動に含まれる。熱媒体循環装置には、温度制御装置が設けられており、基体部21には一定温度の熱媒体が送液される。ここでは、基体部21から帰還した熱媒体の温度は所定温度まで冷却され、冷却された熱媒体以後、冷却媒体と呼ぶが熱媒体循環装置から送液されて基体部21を冷却するようになっている。バッキングプレート20は、蓋板部23の裏面に裏面側から表面側に向く膨出力を印加する膨出力発生部31を有している。ここでは、基体部21の蓋板部23に対面する面は長方形であり、長辺に伸びる方向である長手方向を有し、膨出力発生部31は基体部21の長手方向に沿って複数個配置されている。膨出力発生部31はここでは弾性部材26と有底の弾性部材設置穴25とを有している。弾性部材設置穴25の開口は固定部分29に取り囲まれた領域に形成されている。弾性部材26は弾性部材設置穴25の内側に配置されている。弾性部材26は圧縮変形した状態で弾性部材設置穴25の底部に接触して配置され、圧縮が解除されたのち蓋板部23側に復元する途中で蓋板部23の裏面に接触して、蓋板部23の裏面に裏面側から表面側に向く復元力を印加する。弾性部材26の復元力は、蓋板部23の裏面側から表面側に向く膨出力となるようにされている。図3に示すように、弾性部材26の復元力による膨出力によって、蓋板部23は表面側に膨張する。次に、本発明のターゲット装置30の構造を説明する。図4aはターゲット装置30の内部側面図を示している。ターゲット装置30は上述のバッキングプレート20と、ターゲット材料22とを有している。ターゲット材料22は、バッキングプレート20の蓋板部23の表面上に、蓋板部23の表面の膨張した部分の頂部と接触するように配置される。以後、ターゲット材料22の蓋板部23と対面する側とは反対の面を表面、蓋板部23と対面する側の面を裏面と呼ぶ。ターゲット材料22が基体部21側に押圧されると、蓋板部23の表面はターゲット材料22の裏面と接触しながら基体部21側に押圧され、変形し、図4aに示すように、膨張した部分が解消され、蓋板部23とターゲット材料22とは面で接触する。ターゲット装置30はクランプ27を有している。ターゲット材料22が基体部21側に押圧された状態で、クランプ27の一部はターゲット材料22上に位置し、クランプ27の他の部分は基体部21の側面にネジ等で固定される。ターゲット材料22はクランプ27によって基体部21に固定され、押圧が解除されたのち、基体部21から脱落しないようにされている。後述のスパッタリング工程後に、ターゲット材料22を交換するときには、クランプ27を取り外すことで、ターゲット材料22をバッキングプレート20から取り外すことができる。従来のようにインジウムの全面接着を除去する必要はなく、バッキングプレート20は損傷しない。ターゲット装置30の内部では、上述したように、蓋板部23の裏面には弾性部材26から膨出力が印加されているが、蓋板部23の表面上にはターゲット材料22がクランプ27で固定されているため、押圧が解除されても、蓋板部23の表面はターゲット材料22の裏面で押さえられ、蓋板部23の表面側への膨張は復元していない。次に本発明のスパッタリング装置10の構造を説明する。図1はスパッタリング装置10の内部側面図を示している。スパッタリング装置10は真空槽11と真空排気部12とガス供給部13と上述のターゲット装置30とを有している。真空排気部12とガス供給部13は真空槽11の外側に配置されている。真空排気部12は真空槽11内に接続され、真空槽11内を真空排気可能に構成されている。ガス供給部13は真空槽11内に接続され、真空槽11内にスパッタガスを供給可能に構成されている。ターゲット装置30は真空槽11内に配置されている。真空槽11内には、基板15が、基板15の処理面がターゲット材料22の表面と対面するように配置されている。基体部21には、真空槽11の外部に配置された電源装置19が電気的に接続されている。ターゲット材料22は基体部21を介して電源装置19と電気的に接続される。ここでは電源装置19には直流電源を使用するが、本発明はこれに限定されず、交流電源でも良い。真空槽11は接地されている。上述したように、基体部21の循環路28には熱媒体循環装置18が接続されている。次にこのスパッタリング装置10を使用したスパッタリング工程を説明する。まず、真空排気部12により真空槽11内を真空排気する。以後、真空槽11内の真空排気を維持しておく。熱媒体循環装置18により溝部24内に冷却媒体を循環させ、基体部21を冷却させておく。電源装置19からターゲット材料22に直流電圧を印加すると、ターゲット材料22から真空排気された真空槽11内に放電が生じる。ガス供給部13から真空槽11内にスパッタガスを供給すると、スパッタガスはターゲット材料22からの放電により電離され、プラズマが発生する。プラズマ中のイオンは直流電圧を印加されたターゲット材料22に引き寄せられ、ターゲット材料22表面に衝突し、ターゲット材料22の粒子を弾き飛ばす。ターゲット材料22から弾き飛ばされた粒子は基板15の処理面に到達する。基板15の処理面にはターゲット材料22の粒子の薄膜が成膜される。放電中はプラズマ中のイオンの衝突によりターゲット材料22の温度が上昇する。ターゲット材料22は、プラズマが衝突する表面とは反対の裏面から蓋板部23を介して溝部24内を循環する冷却媒体と熱交換され、冷却されている。しかしながら、ターゲット材料22内部の熱伝導があるために、ターゲット材料22の表面は裏面よりも温度が高い状態になり、図4bに示すように、表面の熱伸び熱膨張によりターゲット材料22には表面側に膨張した形状の反りが生じる。蓋板部23には上述したように、弾性部材26から膨出力が印加されている。ターゲット材料22が表面側に膨張した分だけ、蓋板部23の表面がターゲット材料22の裏面により押さえられていた力が解除されるので、ターゲット材料22の反りに追従して、蓋板部23の表面側への膨張が復元し始める。そのため、蓋板部23とターゲット材料22とは互いに広い面積で接触し続ける。従って、蓋板部23とターゲット材料22との間の熱交換効率の低下は少なく、蓋板部23の裏面側を冷却媒体が循環することによりターゲット材料22は冷却され続け、ターゲット材料22の冷却不足による割れが防止される。本発明は基体部21に膨出力発生部31が設けられたものに限定されず、冷却媒体の送液に起因する膨出力で本発明の効果が達成できるならば、膨出力発生部31は設けられなくてもよい。ターゲット装置30の周囲が真空排気されているときは、蓋板部23表面側の圧力は小さく、冷却媒体の送液に起因する膨出力は大気中より大きくなる。本発明の膨出力発生部31は弾性部材26と弾性部材設置穴25とを有するものに限定されず、例えばモーター等で機械的に膨出力を発生させてもよい。