電極が設けられた平面を有する被検査体の電気検査に用いられる電気的接続装置であって、前記被検査体の前記平面に間隔をおいて該平面に対向して配置される対向面領域を備える支持体と、前記電極に接触されるべき針先部を有し、該針先部が前記電極に接触可能に前記対向面領域から突出する複数のプローブと、前記対向面領域に張り巡らされた少なくとも1つの配線であって互いに近接して並行に延び前記対向面領域から露出する複数の近接部分を有する配線と、前記近接部分での短絡又は前記配線の断線を検知可能な電気計測装置に前記配線を電気的に接続するための、各配線に電気的に接続された検知用電極とを含む、電気的接続装置。前記対向面領域は、複数の区域であってそれぞれに1つ又は複数の前記配線が独立的に設けられた複数の区域に分けられる、請求項1に記載の電気的接続装置。さらに、前記被検査体に間隔をおいて前記平面に平行に配置可能であり、前記支持体を前記被検査体に向き合う面に保持した配線基板を含み、該配線基板は、前記検知用電極と、前記プローブに電気的に接続されたテスタ電極と、前記検知用電極及び前記テスタ電極にそれぞれ接続された第1及び第2の配線路とを備え、前記支持体は、前記配線と前記第1の配線路との間に介在して前記配線と前記検知用電極とを電気的に接続する第3の配線路と、前記プローブと前記第2の配線路との間に介在して前記プローブと前記テスタ電極とを電気的に接続する第4の配線路とを有する、請求項1又は2に記載の電気的接続装置。さらに、前記配線基板と前記支持体との間に介在して前記配線基板及び前記支持体に取り付けられた保持ブロックを含み、前記支持体は、一方の面が前記保持ブロックに取り付けられた第1のシート状部材と、一方の面が前記第1のシート状部材の他方の面に貼り付けられ、他方の面が前記対向面領域を備える第2のシート状部材とを有し、前記第3及び第4の配線路は、前記第1及び第2のシート状部材の間を両シート状部材に沿って延びる、請求項3に記載の電気的接続装置。前記プローブは、前記第2のシート状部材をその厚さ方向に貫通する基部であって前記第4の配線路に接続され、該第4の配線路から前記被検査体に向けて延びる基部と、該基部の延長端から前記第2のシート状部材の前記対向面領域に間隔をおいて該対向面領域に平行に延びるアーム部とを有し、前記針先部は、前記アーム部の延長端から前記被検査体に向けて延びる、請求項4に記載の電気的接続装置。さらに、前記被検査体に間隔をおいて平行に配置可能であり、前記支持体を保持した配線基板を含み、該配線基板は、前記被検査体に向き合う一方の面に、前記複数のプローブが当接された複数のプローブランドを備え、前記支持体は、相互に間隔をおいて向き合う第1及び第2の板状部材と、該第1及び第2の板状部材と共同して中空部を有する箱を形成するように該第1及び第2の板状部材の間に配置された枠状部材とを備え、前記第1の板状部材は、前記配線基板の前記プローブランドが設けられた部分に前記配線基板と平行に保持され、前記第2の板状部材は、前記第1の板状部材に向き合う面と反対の面に前記対向面領域を有し、前記プローブは、その一端を前記プローブランドに当接させ、前記プローブランドから前記被検査体に向けて直線状に延び、前記第1の板状部材、前記中空部及び前記第2の板状部材を通って前記箱を貫通し、前記対向面領域から突出する、請求項1又は2に記載の電気的接続装置。さらに、前記被検査体の外方に配置され、前記支持体を取り付けられたプローブ装置の本体を含み、前記支持体は、前記本体から前記被検査体に向けて延びるシート状に形成され、その一方の面に前記対向面領域を有し、その延長端に前記プローブが設けられている、請求項1又は2に記載の電気的接続装置。請求項1から7のいずれか1項に記載の電気的接続装置と、前記検知用電極に電気的に接続された前記電気計測装置とを含む、試験装置。したがって、本発明は、異物が付着しても被検査体を損傷させることがない電気的接続装置を提供するという思想とは根本的に異り、対向面領域に異物が付着した状態での電気検査を防止するという着想に基づく。すなわち、本発明の目的は、電気的接続装置の支持体の被検査体に対向する対向面領域に異物が付着したことを検知し、異物が付着した状態で電気検査が繰り返されることを防止することにある。本発明に係る電気的接続装置は、電極が設けられた平面を有する被検査体の電気検査に用いられ、前記被検査体の前記平面に間隔をおいて該平面に対向して配置される対向面領域を備える支持体と、前記電極に接触されるべき針先部を有し、該針先部が前記電極に接触可能に前記対向面領域から突出する複数のプローブと、前記対向面領域に張り巡らされた少なくとも1つの配線であって互いに近接して並行に延び前記対向面領域から露出する複数の近接部分を有する配線と、前記近接部分での短絡又は前記配線の断線を検知可能な電気計測装置に前記配線を電気的に接続するための、各配線に電気的に接続された検知用電極とを含む。前記対向面領域は、複数の区域であってそれぞれに1つ又は複数の前記配線が独立的に設けられた複数の区域に分けられることができる。さらに、前記電気検査装置は、前記被検査体に間隔をおいて前記平面に平行に配置可能であり、前記支持体を前記被検査体に向き合う面に保持した配線基板を含むことができる。その配線基板は、前記検知用電極と、前記プローブに電気的に接続されたテスタ電極と、前記検知用電極及び前記テスタ電極にそれぞれ接続された第1及び第2の配線路とを備えていてもよい。前記支持体は、前記配線と前記第1の配線路との間に介在して前記配線と前記検知用電極とを電気的に接続する第3の配線路と、前記プローブと前記第2の配線路との間に介在して前記プローブと前記テスタ電極とを電気的に接続する第4の配線路とを有していてもよい。前記電気的接続装置は、さらに、前記配線基板と前記支持体との間に介在して前記配線基板及び前記支持体に取り付けられた保持ブロックを含むことができ、前記支持体は、一方の面が前記保持ブロックに取り付けられた第1のシート状部材と、一方の面が前記第1のシート状部材の他方の面に貼り付けられ、他方の面が前記対向面領域を備える第2のシート状部材とを有していてもよく、前記第3及び第4の配線路は、前記第1及び第2のシート状部材の間を両シート状部材に沿って延びていてもよい。前記プローブは、前記第2のシート状部材をその厚さ方向に貫通する基部であって前記第4の配線路に接続され、該第4の配線路から前記被検査体に向けて延びる基部と、該基部の延長端から前記第2のシート状部材の前記対向面領域に間隔をおいて該対向面領域に平行に延びるアーム部とを有していてもよく、前記針先部は、前記アーム部の延長端から前記被検査体に向けて延びていてもよい。前記電気的接続装置は、さらに、前記被検査体に間隔をおいて平行に配置可能であり、前記支持体を保持した配線基板を含むことができ、該配線基板は、前記被検査体に向き合う一方の面に、前記複数のプローブが当接された複数のプローブランドを備えていてもよく、前記支持体は、相互に間隔をおいて向き合う第1及び第2の板状部材と、該第1及び第2の板状部材と共同して中空部を有する箱を形成するように該第1及び第2の板状部材の間に配置された枠状部材とを備えていてもよい。前記第1の板状部材は、前記配線基板の前記プローブランドが設けられた部分に前記配線基板と平行に保持されていてもよく、前記第2の板状部材は、前記第1の板状部材に向き合う面と反対の面に前記対向面領域を有していてもよく、前記プローブは、その一端を前記プローブランドに当接させ、前記プローブランドから前記被検査体に向けて直線状に延び、前記第1の板状部材、前記中空部及び前記第2の板状部材を通って前記箱を貫通し、前記対向面領域から突出していてもよい。前記電気的接続装置は、さらに、前記被検査体の外方に配置され、前記支持体を取り付けられたプローブ装置の本体を含むことができ、前記支持体は、前記本体から前記被検査体に向けて延びるシート状に形成され、その一方の面に前記対向面領域を有し、その延長端に前記プローブが設けられていてもよい。本発明に係る試験装置は、前記したような電気的接続装置と、前記検知用電極に接続された前記電気的接続装置とを含む。本発明に係る前記電気的接続装置によれば、前記被検査体の前記平面に対向する対向面領域に張り巡らされた複数の配線が、互いに近接して並行に延び前記対向面領域から露出する複数の近接部分を有し、また前記近接部分での短絡又は前記配線の断線を検知可能な電気計測装置に接続される検知用電極に電気的に接続されている。前記配線の前記近接部分に導電性の異物が付着することにより前記近接部分が短絡し、又は前記配線に付着した異物が前記配線を断線させると前記配線の抵抗値が変化する。この変化を前記電気計測装置が検出或いは計測し、対向面領域に異物が付着したことを検知する。異物が付着した場合には、異物を除去すべく支持体の対向面領域を清掃し、再び電気検査を行えばよい。したがって、本発明に係る電気的接続装置によれば、異物が付着した状態で電気検査が繰り返されることがないから、異物が被検査体に損傷を与え、被検査体が製品不良となることを防止できる。[第1の実施例]図1を参照するに、本発明の第1の実施例に係る試験装置10は、電気的接続装置16を用いて、半導体ウエーハのような平板状の被検査体12の全域を一回で、又は複数の検査領域に分けて検査領域毎で試験する電気検査に用いられる。試験装置10は、被検査体12を取り外し可能に保持するチャックトップ14と、該チャックトップに間隔をおいて配置される前記電気的接続装置16と、該電気的接続装置に電気的に接続された、テスタ図示しない及び電気計測装置60図4を参照とを含む。被検査体12である半導体ウエーハには、電子回路のような集積回路図示せずが組み込まれており、該集積回路の入力端子又は出力端子である複数の電極12aが被検査体12の平面12bに設けられている。チャックトップ14は、既知の検査ステージに備えられたものであり、また電極12aが上方に向けられた状態で被検査体12を解除可能に保持する上面14Aを有する。チャックトップ14への被検査体12の保持は、例えば真空吸着とすることができる。チャックトップ14と電気的接続装置16とは、図示しないが従来よく知られた駆動機構により、X方向及びY方向へ延びるXY面内、並びにXY面に垂直のZ方向の3方向に三次元的に相対的に移動されると共に、Z軸線の周りに角度的に相対的に回転される。本発明の電気的接続装置16と、チャックトップ14に保持された被検査体12とは、試験時に、相寄る方向すなわち、図1における上下方向に相対的に移動し、後述するプローブ26を被検査体12の電極12aに接触させる。電気的接続装置16は、試験装置10の前記テスタに電気的に接続されており、該テスタと被検査体12との間で電気信号を伝達するように機能する。試験のための電気信号電圧、電流は、前記テスタから被検査体12に供給される試験信号と、該試験信号に応答した、被検査体12から前記テスタに供給される応答信号とを含む。電気的接続装置16は、配線基板20と、配線基板20の一方の面20Aに支持された保持ブロック22と、配線基板20及び保持ブロック22に取り付けられた配線シート24と、配線シート24に設けられ、被検査体12の電極12aに接触する複数の接触子、すなわち複数のプローブ26と、配線シート24の一方の面24Aに設けられた配線28図2を参照とを含む。配線シート24は、プローブ26を支持する支持体として作用する。配線基板20は、従来よく知られているように、例えば、ガラス繊維を分散させたエポキシ樹脂板に配線路を形成したプリント配線基板PWB:PrintedWiringBoardである。一般に配線基板20は、円形に形成されている。配線基板20は、その内部に複数の配線路30、32、すなわち第1及び第2の配線路と、配線基板20の他方の面20Bに設けられ、かつ各配線路30、32に対応して、配線路30、32の一端にそれぞれ接続された検出用電極34及びテスタ電極36とを備える。検出用電極34及びテスタ電極36は、後に説明する電気計測装置60と、試験装置10の前記テスタとに、それぞれ電気的に接続され、また配線基板20の縁部に沿って配列されている。配線基板20は、被検査体12に、間隔をおいて平行に配置され、試験装置10の図示しないフレームに保持される。保持ブロック22は、配線基板20と配線シート24との間に在り、配線基板20の一方の面20Aの中央に配置され、配線基板20に取り付けられている。例えば、保持ブロック22は、配線基板20を厚さ方向に貫通して保持ブロック22に螺合するねじ部材により、配線基板20に結合することができる。配線シート24は、保持ブロック22に取り付けられる接触領域24aと、接触領域24aに連続して配線基板20の外方に向けて延びる一対の張出領域24bと、各張出領域24bに連続して、さらに外方に延び、かつ配線基板20の一方の面20Aに結合される接続領域24cとを有する。接触領域24aは、他方の面24Bを保持ブロックに支持されており、一方の面24Aから下方に突出するプローブ26が設けられており、各プローブ26は、被検査体12の電極12aに接触可能である。接触領域24aの一方の面24Aは、被検査体12の平面12bに対向した対向面領域である。配線シート24は、第1及び第2のシート状部材40及び42と、配線路44すなわち第4の配線路とを備える。両シート状部材は相互に張り合わされ、配線路44は、両シート状部材の間で、該両シート状部材に沿って延びる。配線路44は、接触領域24aでプローブ26に接続されており、張出領域24bを通って接続領域24cに延び、接続領域24cで配線路32の他端に接続されている。プローブ26は、図2に明確に示されているように、配線シート24の接触領域24aにおいて、第2のシート状部材42をその厚さ方向に貫通する基部26aと、基部26aと一体的に形成された針先部26bとを備える。基部26aは、配線路44に接続され、該配線路から被検査体12に向けて延びる。針先部26bは、基部26aの延長端から第2のシート状部材42を経て該第2のシート部材の下面より突出する。したがって、プローブ26は、配線シート24の配線路44及び配線基板20の配線路32を介してテスタ電極36に電気的に接続されている。プローブ26と配線シート24とは、従来よく知られた方法によりフォトリソグラフィ技術、エッチング技術、メッキ技術等を用いてPWBと同様の製造方法により連続した工程で製造されている。そのため、基部26aと配線路44とは、その製造工程の中でメッキ技術を用いて一体形成されている。試験時には、電気的接続装置16と被検査体12とが、相寄る方向に相対的に移動され、被検査体12の電極12aに、該電極に対応するプローブ26の針先部26bが接触する。これにより、試験装置10の前記テスタは、電気的接続装置16のテスタ電極36、配線路32、配線路44及びプローブ26を介して、被検査体12との間で電気検査のための電気信号の授受を行う。この接触では、従来よく知られているように電極12aの一部が削り取られ、電極12aの削りカスが生じる。電気計測装置60に接続された配線28は、接触領域24aの一方の面24A、すなわち対向面領域に設けられており、該対向面領域から露出している。配線28は、プローブ26に対して電気的に接続することなく、すなわち電気的に絶縁された異なる回路とされている。配線28は、配線シート24の張出領域24bに設けられた配線路図示しない、すなわち第3の配線路を介して接続領域24cで配線路30の他端に電気的に接続される。これにより、配線28は、検出用電極34に電気的に接続されている。配線28は、接触領域24aの全面に張り巡らされていてもよいし、接触領域24aの一部に張り巡らされていてもよい。図3を参照するに、前記対向面領域は、複数の区域に分けられ、図示の例では区域50、52を有する。区域50には、一対の配線28a、28bが、区域52には、一本の配線28cが、それぞれ独立的に設けられている。区域50に設けられた一対の配線28a及び28bは、それぞれが互いに近接して平行に延びる近接部分例えば、近接部分28Aと、一本の配線例えば、配線28bが折り返されて互いに近接して平行に延びる近接部分例えば、近接部分28Bとを備える。また、区域52の配線28cは、一本の配線が折り返されて互いに近接して平行に延びる近接部分例えば、近接部分28Cを備える。配線28a、28b及び28cの各一端及び各他端は、配線の抵抗値、すなわち配線間の短絡又は配線の断線を検出可能な電気計測装置60に検知用電極34を介して電気的に接続されており、又は接続可能とされている。配線28aと配線28bとは、異物が付着していない状態では相互に電気的に絶縁されている。電気計測装置60は、配線28a及び配線28bのそれぞれの一端に電気的に接続され、配線28aと配線28bとが電気的に絶縁されていることを検出する。配線28aと配線28bとの間例えば、近接部分28Aに異物が付着すると、配線28aから配線28bに渡る閉回路が前記異物を介して形成される。これにより、電気計測装置60は、配線28aと配線28bとの導通を検出して、配線28aと配線28bとの間に異物が付着したことを検知する。配線28bは連続する一本の配線であるから、配線28bの一端から他端に至る回路は直列回路となっている。したがって、電気計測装置60は、配線28bの一端と他端とに電気的に接続され、異物が付着されない状態では、配線28bの前記一端から前記他端に至る前記直列回路の電気抵抗を計測する。配線28bが折り返されて近接する近接部分例えば、近接部分28Bに該近接部分を短絡させる異物が付着すると、異物を介した新たな閉回路が形成され、配線28bの一端から他端に渡る回路が並列回路となる。これにより、配線28bの前記一端から前記他端に至る直列回路の電気抵抗が変化減少するから、電気計測装置60は、配線28bの近接部分に異物が付着したことを検知できる。図示の例では、約90°の曲角で配線パターンが形成されている。配線28cは、配線28bと同様に、連続する一本の配線である。したがって、上記した配線28bの近接部分に異物が付着した場合と同様に、電気計測装置60は、配線28cの近接部分例えば、近接部分28Cに異物が付着したことを検知できる。また、各配線2828a、28b、28cに異物が付着し、付着した異物が配線28を断線させることがある。このような場合も、各配線28の前記一端から前記他端に至る前記直列回路の電気抵抗が無限になることから、電気計測装置60は、各配線28に異物が付着したことを検知することができる。図4は、電気計測装置60及び配線28の電気的等価回路を示す。図の仮想線一点鎖線より右側は、電気計測装置60の等価回路を示し、左側は、配線28の等価回路を示す。電気計測装置60は、2つの端子62、64と、電源66と、電流計68と、保護抵抗70とを含む。電源66、電流計68及び保護抵抗70は、端子62、64の間で直列に接続されている。電流計68により計測される電流の変化により、電気計測装置60は、該電気計測装置に接続された前記回路の抵抗値の変化を検出することができる。端子62、64は、検出用電極34を介して配線28に電気的に接続される。図4Aは、図3における配線28a及び配線28bのそれぞれの一端に端子62、64が接続された状態を示す。異物72が付着していない状態では、配線28a及び28bは閉回路を形成しないことから、電流計68に電流は流れない。配線28a及び28b間に異物72が付着した状態では、配線28a及び配線28bは閉回路を形成するから、電流計68に電流が流れる。したがって、異物72の付着前後で配線28a及び28b間の抵抗値が変化するから、電気計測装置が異物の付着を検知する。図4Bは、図3における配線28b又は配線28cの一端及び他端にそれぞれ端子62、64が接続された状態を示す。異物72が付着していない状態では、配線28bは、その前記一端と前記他端との間で直列回路を形成し、これにより電流計68には所定の定電流が流れる。配線28bの近接部分に異物が付着した状態では、既存の直列回路に加えて異物を経る閉回路が形成され、配線28bの前記一端及び前記他端の間で並列回路が形成される。配線28bの前記一端と前記他端との間の等価回路が変化するから、電流68に流れる電流も変化する。したがって、異物72の付着前後で28bの前記一端と前記他端との間の抵抗値が変化するから、電気計測装置60が異物の付着を検知する。図4Cは、図3における配線28a又は28b、28cの一端及び他端にそれぞれ端子62、64が接続された状態を示す。異物72が付着していない状態では、配線28bは、その一端と他端との間で閉回路を形成しているから、電流計68に所定の定電流が流れる。配線28bの前記近接部分に異物が付着し、異物が配線28aを断線させた状態では、配線28bの前記一端及び前記他端の間で開回路が形成される。これにより、電流計68に電流が流れなくなる。したがって、前記近接部分への異物72の付着前後で28bの前記一端と前記他端との間の抵抗値が変化するから、電気計測装置60はこの抵抗値の変化によって異物の付着を検知する。電気計測装置60は、上記の実施例に限らず、配線28の抵抗値の変化を検知又は計測できれば、他の構成とすることができる。例えば、抵抗値の測定が可能な一般的なマルチテスタと同様の構成とすることができる。電気計測装置60は、試験装置10の前記テスタに組み込まれていてもよい。前記したように、接触領域24aの対向面領域を複数の区域50又は区域52等に分け、区域50に配線28a、28bを独立的に設け、区域52に配線28cを設け、区域と、該区域に設けられた配線との対応関係を付けることにより、抵抗値が変化した配線を特定することで、異物が付着した区域を特定することができる。これにより、異物を除去のために清掃する区域を特定できることから、電気的接続装置16の清掃作業が容易になる。対向面領域を区域に分けずに、一本の配線28を対向面領域の全域に張り巡らせてもよい。そのようにすれば、一本の配線28の抵抗値のみを検出すればよいから、検出作業が容易になる。また、複数の配線を平行して対向面領域の全域に張り巡らせてもよい。本実施例において、検出用電極34は、テスタ電極36と同様に配線基板20に設けられている。しかし、検出用電極34は、配線シート24に設けてもよい。しかし、検出用電極34がテスタ電極36の近くに設けられていれば、テスタ電極36を試験装置10の前記テスタに接続する作業に並行して検出用電極34を電気計測装置60に接続する作業を行うことができる。これにより、それら接続作業を簡易に行うことができる。検出用電極34と配線28とを電気的に接続する前記第3の配線路は、配線シート24において配線路44第4の配線路と同一の層、すなわち第1のシート状部材40及び第2のシート状部材42の間に設けられていてもよい。そのようにすれば、配線路44と前記第3の配線路とを配線シート24の製造において同時に製作できるから、前記第3の配線路を製作する工程を別途設ける必要がなく、配線シート24の製造が容易になる。前述したように、プローブ26と配線シート24とは連続した工程で製造されているが、さらに、配線28をプローブ26及び配線シート24の製造工程においてメッキ技術を用いて前記連続した工程の中で製造することができる。図5及び図6を参照するに、本発明に係る電気的接続装置116は、プローブ126のみが図2に示すプローブ26と異なり、その他の構成は電気的接続装置16と同様の構成である。プローブ126は、従来よく知られたカンチレバー型のプローブであり、配線シート24の接触領域24aにおいて、第2のシート状部材34をその厚さ方向に貫通する基部126aと、基部126aに一体形成されたアーム部126cと、該アーム部126cに一体形成された針先部126bとを含む。基部126aは、配線路44に接続され、配線路44から被検査体12に向けて延びる。アーム部126cは、基部126aの延長端から接触領域24aに間隔をおいて平行に延びる。針先部126bは、アーム部126cの延長端から被検査体12に向けて延びる。被検査体12の電気検査時に、プローブ126が被検査体12の電極12aに接触子して、針先部126bが接触領域24aに向けて押し上げられる。これにより、アーム部126cは、基部126aとの境界を支点にして所定の力で湾曲する。電気的接続装置116によれば、配線28が前記対向面領域のアーム部126cに対応する部分にも設けられているから、該部分に付着した異物を検知することができる。検知された異物は、前記対向面領域を清掃することにより、除去される。したがって、アーム部126aが湾曲されるときに、前記対向面領域に付着した異物がアーム部126cと前記対向面領域との間に挟まれることによってアーム部126が折損することを防止できる。配線28の前記近接部分を前記対向面領域とアーム部126cとの間隔よりも小さく設計することにより、アーム部126cを折損するような寸法の異物を一層確実に検知することができる。図7及び図8を参照するに、本発明に係る電気的接続装置216は、図1の試験装置10と同様の配線基板20と、配線基板20に取り付けられた接続基板222と、接続基板222に取り付けられたプローブ基板224と、プローブ基板224に結合された複数のプローブ226と、プローブ基板224に設けられた配線28とを含む。配線基板20、接続基板222及びプローブ基板224は、相互に重ねられて結合されており、それぞれ、複数の配線路を備え、プローブ226及び配線28は、それら配線路を介してテスタ電極36及び検出用電極34に電気的に接続されている。プローブ基板224は、被検査体12に対向する一方の面224Aの少なくとも一部を対向面領域とし、プローブ26を支持する支持体である。プローブ226は、プローブ基板224の対向面領域に設けられて、対向面領域から被検査体12に向けて突出している。プローブ基板224は、従来よく知られたプリント配線基板として製作されており、セラミック、ガラス繊維入りエポキシ等の硬質の基材と、該基材の内部又は外面に設けられた複数の配線路244と、配線路244に電気的に接続したプローブランド228とを備える。プローブ226は、従来よく知られたカンチレバー型のプローブであり、相互に一体的に形成された基部226a、アーム部226c及び針先部226bを含む。基部226aは、その一端をプローブランド228に接続されており、プローブランド228から下方に向けて延びる。アーム部226cは、基部226aの延長端から対向面領域に間隔をおいて平行に延びる。針先部226bは、アーム部226cの延長端から下方に延びる。本実施例におけるプローブ226は、図5及び図6に示された電気的接続装置116のプローブ126と同様にカンチレバー型のプローブであるから、対向面領域224Aに付着した異物により折損する虞がある。しかし、電気的接続装置216によれば、対向面領域224Aに配線28が設けられていることから、そのような異物を検知することができる。この異物の検知時にこれを除去することにより、プローブの折損が防止される。プローブランド228と配線28とは対向面領域224A、すなわちプローブ基板224の同一面に形成されている。したがって、プローブ基板224を製作する工程において、プローブランド228と配線28とを同時に形成できるから、プローブ基板224を製作する工程に別途配線28を製作する工程を必要としない。プローブランド228と配線28とを同一工程で製作すると、プローブランド228及び配線28の厚さは概同一寸法となる。図9及び図10を参照するに、本発明に係る電気的接続装置316は、配線基板20と、配線基板20に取り付けられたプローブ組立体322と、プローブ組立体322に設けられた配線28とを含む。プローブ組立体322は、複数のプローブ326と、複数のプローブ326が取り付けられて支持された支持機構324とを備える。すなわち、支持機構324は、プローブ326を支持する支持体として作用する。支持機構324は、第1の板状部材330と、枠状部材332と、第2の板状部材334とを含む。第1及び第2の板状部材330及び334は、相互に間隔をおいて向かい合って配置されている。枠状部材332は、第1及び第2の板状部材330及び334の間に配置されている。第1の板状部材330、枠状部材332及び第2の板状部材334は、中空部336を有する箱を形成するように重ねられて結合されている。複数のプローブ326は、それぞれ直線状に延び、第1の板状部材330、中空部336及び第2の板状部材334を通って、前記箱を貫通した状態で支持機構324に取り付けられている。このようにプローブ組立体322が組み立てられる。配線基板20は、被検査体12に対向した面に複数のプローブランド図示せずが設けられており、プローブ組立体322は、プローブ326の一端が前記プローブランドに当接するように配線基板20に取り付けられる。例えば、プローブ組立体322は、支持機構324を貫通して配線基板20に螺合したねじ部材により配線基板20に支持することができる。第2の板状部材334の一方の面334Aは、プローブ組立体322が配線基板20に取り付けられた状態で被検査体12に対向する。したがって、第2の板状部材334の一方の面334Aの少なくとも一部は、被検査体12の平面12bに対向する対向面領域となる。配線28は、第2の板状部材334の一方の面334Aに設けられている。図示の例では、第2の板状部材334は、板状の本体に配線28を直接形成して製作されているが、配線28が形成されたフレキシブル配線基板等を板状の本体に貼り付けることにより製作されてもよい。[第2の実施例]図11及び図12を参照するに、本発明の第2の実施例に係る試験装置410は、TFT基板、液晶表示用パネル等の液晶表示用基板の点灯検査のような電気検査に用いられる。試験装置410は、液晶表示用基板を平板状の被検査体412として、被検査体412を保持するチャックトップ図示せずと、チャックトップに保持された被検査体412の縁部に間隔をおいて配置される電気的接続装置416と、電気的接続装置416に電気的に接続されたテスタ図示せずを備える。また、試験装置410は、さらに、前記した電気計測装置60を含むことができる。被検査体412は矩形の形状を有しており、その矩形の少なくとも1つの辺に対応する縁部に、多数の電極412aが形成されている。各電極412aは、これが形成された縁部の長手方向すなわち、図11の紙背方向と直交する方向すなわち、図11の左右方向へ延びる帯状の形状を有しており、縁部の長手方向に所定の間隔で形成されている。電気的接続装置416は、従来よく知られたプローブ装置であり、被検査体412の周囲に被検査体412から間隔をおいて配置されている。前記プローブ装置は、その本体422を被検査体412の外方に配置されており、本体422から被検査体412に向けて延びる配線シート424と、配線シート424に設けられた複数の接触子、すなわち複数のプローブ426と、配線シート424に設けられた配線28と、配線シート424を支持する弾性部材430と配線28に電気的に接続された検出用電極図示せずを含む。プローブ426は、被検査体412の電極412aに対応して配線シート424に設けられており、プローブ426のピッチは、電極412aのピッチに対応している。電気的接続装置416と被検査体416とは、プローブ426が電極412aに接触するように相対的に移動する。プローブ426と電極412aとの接触では、従来よく知られているように電極412aの一部が削り取られ、電極412aの削りカスが生じる。配線シート424は、第3のシート状部材432と、第3のシート状部材432に設けられた配線434と、配線434を覆うように一方の面434Aを第3のシート状部材432に貼り付けられた第4のシート状部材436とを含む。配線28は、第4のシート状部材432の他方の面434Bに設けられている。配線シート424は、その延長端で配線434が被検査体12図の下方に向けて露出している。プローブ426は、配線434の露出部分に形成されており、配線シート424は、プローブ426を支持する支持体として作用する。プローブ426は、配線434を介して試験装置410の前記テスタに電気的に接続されている。配線シート424の延長端における第3のシート状部材432の一方の面432Aと、プローブ426の近傍に位置する第4のシート状部材436の他方の面434Bの一部とは、配線シート424の被検査体412に対向する対向面領域424Aとして作用する。電気的接続装置416によれば、対向面領域に付着した異物を検出することができる。