基材の表面にNi-Al合金層を形成した皮膜形成処理装置用部材であって、前記基材の材質が純ニッケルまたはNi-Cr-Fe合金であり、前記Ni-Al合金層が厚さ:10~200μmであり、組成:Al;10~60重量で、残部:Niと不可避不純物であることを特徴とする皮膜形成処理装置用部材。前記基材の材質がNi-Cr-Fe合金であり、前記Ni-Al合金層の直下にCr濃縮層を有していることを特徴とする請求項1に記載の皮膜形成処理装置用部材。近年、プロセスの多様化により、400~700°Cのような高温域での耐熱性が要求されるようになってきた。CVD装置など皮膜形成処理装置のチャンバー内の部材に、アルミニウムを用いた場合、アルミニウムは、耐プラズマ反応性にはすぐれるものの、融点が低いため、700°Cぐらいまでの耐熱性が要求されるチャンバー内の部材としては、高温強度の点で問題がある。また、アルミニウムは、低温側ではプロセスガスに対する耐食性にすぐれているが、高温側では、プロセスガスに対する耐食性が劣っている。さらに、アルミニウム基材に耐食性の皮膜を形成した部材は、プロセスガスに対する耐食性にすぐれているが、高温強度に問題がある。また、耐プラズマ反応性に劣っている。また、ニッケルやNi-Cr-Fe合金やハステロイ登録商標などのニッケルやNi基合金は、高温強度にすぐれ、プロセスガスに対する耐食性にすぐれている。しかし、高温域における耐プラズマ反応性が十分でない。特に、Ni基合金は、合金成分であるCrが、高温側でフッ素ラジカルにより形成されるクロムフッ化物として昇華してしまうため耐プラズマ反応性に劣っている。そこで、本発明が解決しようとする技術的課題、すなわち、本発明の目的は、高温強度、プロセスガスに対する耐食性および耐プラズマ反応性を備えた皮膜形成処理装置用部材を提供することにある。前記の課題を解決すべく、本発明者らが鋭意研究したところ、高温強度にすぐれるニッケルまたはNi基合金を基材として用い、低温側で耐プラズマ反応性、プロセスガスに対する耐食性にすぐれるアルミニウムをニッケルと合金化させることによってアルミニウムよりも格段に高融点であるNi-Al合金層を前記基材表面に形成することにより、高温強度、プロセスガスに対する耐食性および耐プラズマ反応性のいずれにもすぐれた部材を得ることができるという新規な知見を得た。本発明は、この知見に基づき完成されたものであって、1基材の表面にNi-Al合金層を形成した皮膜形成処理装置用部材であって、前記基材の材質が純ニッケルまたはNi-Cr-Fe合金であり、前記Ni-Al合金層が厚さ:10~200μmであり、組成:Al;10~60重量で、残部:Niと不可避不純物であることを特徴とする皮膜形成処理装置用部材。2前記基材の材質がNi-Cr-Fe合金であり、前記Ni-Al合金層の直下にCr濃縮層を有していることを特徴とする1に記載の皮膜形成処理装置用部材。に特徴を有するものである。以下に、本発明について、より具体的かつ詳細に説明する。本発明は、基材の表面に耐プラズマ反応性、高温強度、プロセスガスに対する耐食性にすぐれたNi-Al合金層を形成する。ここで、Ni-Al合金層の厚さとしては、10μm未満であると高温での使用中に基材成分の拡散の影響を受けるため好ましくない。一方、200μmを超えると基材との熱膨張差などにより、高温での使用中にNi-Al合金層に亀裂などが発生しやすくなるため好ましくない。したがって、Ni-Al合金層の厚さは、10~200μmと定めた。また、Ni-Al合金層の組成は、Alが10未満だと、純ニッケルに近い挙動となり、耐プラズマ反応性がアルミニウムよりも劣る。一方、60を超えるとアルミニウムに近い挙動となり、プロセスガスに対する耐食性が劣る。アルミニウム以外は、ニッケルであるが、基材成分に含まれるクロムを5以下、鉄を10以下含有することは許容される。基材の材質は、純ニッケルまたはNi-Cr-Fe合金を用いる。特に、耐プラズマ反応性とプロセスガスに対する耐食性を重視する場合には、純ニッケルを用いる。純ニッケルは、アルミニウムより高温強度にすぐれるが、さらなる高温強度重視の場合には、Ni-Cr-Fe合金を用いる。Ni-Cr-Fe合金の具体例としては、重量で、Cr:15.5、Fe:7、残部Niおよび不可避不純物の化学組成をもつ、いわゆる600合金OLELINK1OLELINK2UNSN06600OLELINK1OLELINK2や、Cr:23、Fe:14、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、いわゆる601合金UNSN06601や、Cr:30、Fe:9.5、残部Niおよび不可避不純物の化学組成を持つ、いわゆる690合金UNSN06690などがあげられる。また、基材にNi-Cr-Fe合金を用いた際には、基材表面にカロライジング処理によりNi-Al合金層を形成すると基材中のCrが表面近傍に濃縮してきてNi-Al合金層と基材との間にCr濃化層が形成される。このCr濃化層がNi-Al合金層のバッファー層として作用し、特に耐腐食ガス性を一層向上させることができる。本発明によれば、基材の表面にNi-Al合金層を形成した皮膜形成処理装置用部材であって、基材の材質が純ニッケルまたはNi-Cr-Fe合金であり、Ni-Al合金層が厚さ:10~200μmであり、組成:Al;10~60重量で、残部:Niと不可避不純物であることによって、Ni-Al合金の持つすぐれた耐プラズマ反応性および成膜クリーニングガスに対する耐食性と純ニッケルおよびNi-Cr-Fe合金の持つすぐれた高温強度の特性の相乗効果により、耐プラズマ性耐腐食ガス性にすぐれた皮膜形成処理装置用部材が実現可能であり、パーティクルの発生が低減されることから、製品への汚染が少なく、高い製品歩留まりを実現することが可能である。以下に、本発明について、実施例を用いて説明する[皮膜形成処理装置用部材の製造方法]プラズマCVDチャンバー内の部材であるシリコンウエハホルダを各種金属素材から機械加工により形成し、表面にNi-Al合金層を形成することにより、表1に示したような本発明および比較例の皮膜形成処理装置用部材を作成した。なお、表1中で600合金と示した基材は、重量で、Cr:15.5、Fe:7、残部Niおよび不可避不純物の化学組成をもつNi基合金を示している。なお、表1においては、Ni基合金として、いわゆる600合金しか示していないが、Ni基合金としては、前述したいわゆる601合金や690合金など、他のNi-Cr-Fe合金であっても構わない。Ni-Al合金層の形成は、カロライジング処理を用いた。カロライジング処理は、被処理物基材にアルミニウムを拡散浸透させる処理で、具体的には、基材をFe-Al合金粉末およびNH4Cl粉よりなる調合剤とともに鋼製ケース内に埋め込み、ケースを密閉し、それを炉内にて900~1050°Cに加熱することによって基材の表面にNi-Al合金層を得た。温度や処理時間を変量にすることにより、所定の厚さ組織の合金層とした。[皮膜形成処理装置用部材の評価方法]上記のようにしてできた各部材をプラズマCVDチャンバーに挿入し、フッ素系ガスを含むプラズマに曝したとき、高温のフッ素系ガスに曝したときのパークティル量を比較した。試験条件は、次の通りである。チャンバー内圧力:5torr、クリーニングガス:C2F6、電極間に750Wの高周波電力を印加することで60秒間プラズマを発生させた。ガス排気口に取り付けたパーティクルカウンターによりパーティクル数を測定した。この時、チャンバー内ヒーターにより、ホルダ表面温度を300°Cと450°Cの2温度条件に保持した。この試験結果を表1に記載する。400°Cでは、従来アルミニウム製従来例1を100として比較した。また、600°Cでは、従来ニッケル製従来例2を100として比較した。表1から明らかなように、表面に所定のNi-Al合金層を形成した基材は、パーティクルの発生量が少なく皮膜形成処理装置用部材として適していることが分かる。