"同じ種類の吸着材が充填された吸着層を有し、直列に接続された複数の吸着塔を備え、それぞれの前記吸着塔の前記吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっており、前記複数の吸着塔のうちどの2つの吸着塔においても前記2つの吸着塔のそれぞれの前記吸着層のその長さの和が、前記吸着帯の長さよりも長くなっていることを特徴とするウラン精製装置。それぞれの前記吸着塔の下流側に、前記吸着塔の前記吸着層の前記吸着材の飽和率を検出する検出部を配置している請求項1に記載のウラン精製装置。同じ種類の吸着材が充填された吸着層を有し、直列に接続された複数の吸着塔を備え、それぞれの前記吸着塔の前記吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっており、前記複数の吸着塔のうちどの2つの吸着塔においても前記2つの吸着塔のそれぞれの前記吸着層のその長さの和が、前記吸着帯の長さよりも長くなっているウラン精製装置を用いて前記ウランガスの精製を行うウランの精製方法であって、最上流に位置する前記吸着塔から順次前記ウランガスを供給し、前記最上流に位置する前記吸着塔の前記吸着層における前記吸着材の飽和率を検出し、検出された飽和率が設定飽和率以上になったとき、前記最上流に位置する前記吸着塔への前記ウランガスの供給を停止して前記ウランガスの供給が停止された前記吸着塔の下流に位置する他の前記吸着塔に前記ウランガスを供給することを特徴とするウランの精製方法。前記吸着材の飽和率の検出は、それぞれの前記吸着塔の下流側に配置された検出部によって行われる請求項3に記載のウランの精製方法。前記ウランガスの供給が停止された前記吸着塔内の前記吸着材を新しい吸着剤と交換する請求項3または4に記載のウランの精製方法。前記吸着材が前記新しい吸着剤と交換された前記吸着塔が、最下流に位置するように、他の前記吸着材に接続される請求項5に記載のウランの精製方法。同じ種類の吸着材が充填された吸着層を有し、直列に接続された複数の吸着塔を備え、それぞれの前記吸着塔の前記吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっており、前記複数の吸着塔のうちどの2つの吸着塔においても前記2つの吸着塔のそれぞれの前記吸着層のその長さの和が、前記吸着帯の長さよりも長くなっているウラン精製装置を用いて前記ウランガスの精製を行うウランの精製方法であって、最上流に位置する前記吸着塔から順次前記ウランガスを供給し、前記最上流に位置する前記吸着塔の前記吸着層における前記吸着材の飽和率を検出し、検出された飽和率が第1設定飽和率以上になったとき、前記最上流に位置する前記吸着塔の前記吸着層内で、前記ウランガスを逆方向に流し、前記ウランガスの精製を行うことを特徴とするウランの精製方法。前記ウランガスを前記逆方向に流している状態で、前記検出された飽和率が前記第1設定飽和率よりも大きい第2飽和率に到達したとき、前記最上流に位置する前記吸着塔への前記ウランガスの供給を停止して前記ウランガスの供給が停止された前記吸着塔の下流に位置する他の前記吸着塔に前記ウランガスを供給する請求項7に記載のウランの精製方法。前記吸着材の飽和率の検出は、それぞれの前記吸着塔の下流側に配置された検出部によって行われる請求項7または8に記載のウランの精製方法。前記ウランガスの供給が停止された前記吸着塔内の前記吸着材を新しい吸着剤と交換する請求項7ないし9のいずれか1項に記載のウランの精製方法。前記吸着材が前記新しい吸着剤と交換された前記吸着塔が、最下流に位置するように、他の前記吸着材に接続される請求項10に記載のウランの精製方法。前記検出部が前記吸着塔に充填した前記吸着材と同じ種類の吸着材を有し、前記検出部の前記吸着材が前記不純物を吸着したときに増加する重量を測定し、この重量の増加量に基づいて前記飽和率を求める請求項4または9に記載のウランの精製方法。前記検出部が前記吸着塔に充填した前記吸着材と同じ種類の吸着材を有し、前記検出部の前記吸着材が前記不純物を吸着したときに増加する放射線量を測定し、この放射線量の増加量に基づいて前記飽和率を求める請求項4または9に記載のウランの精製方法。吸着材が充填された流動床式吸着塔にウランガスを供給し、このウランガスに含まれる不純物を前記流動床式吸着塔内の前記吸着材に吸着させ、前記流動床式吸着塔から排出された前記ウランガスを、前記吸着材が充填された固定式吸着塔に供給することを特徴とするウランの精製方法。使用済核燃料のフッ化処理により発生したUF6に含まれる不純物例えば、FPフッ化物ガスを、吸着層に充填した吸着材で選択的に吸着させて除去するウラン精製には、大きく2つの課題がある。第1の課題は、放射性廃棄物となる吸着材の量を低減することである。不純物を含むUF6が吸着層から排気されたとき、この吸着層に充填された全ての吸着材は、新品の吸着材と交換された後、放射性廃棄物として処理される。不純物を含むUF6が排気された吸着層内には、大部分の、不純物を吸着した吸着材と共に、吸着層の下流端部に不純物を吸着できる吸着材も存在する。吸着層内の吸着材を新品の吸着材と交換するとき、この吸着層内に存在する、不純物を吸着した吸着材と不純物を吸着していない吸着材を分離することができず、両方の吸着材が放射性廃棄物として取り扱われる。このため、不純物を含むUF6が排気された吸着層において、不純物を吸着した吸着材の増加を図って不純物を吸着していない吸着材の量を低減することが望まれる。これにより、放射性廃棄物となる吸着材の量を低減することができる。第2の課題は、吸着塔を含むウラン精製設備の容量の低減、すなわち、ウラン精製設備の小型化である。ウラン精製では、放射性物質であるUF6を取り扱う関係上、ウランの精製がホットセル内で行われる必要がある。このため、ウラン精製設備の容量を小さくすることが求められる。特開2010-214285号公報に記載されたガス処理方法は、吸着層の、被処理ガスの流れ方向における厚みを、その吸着帯長さに設定して、最下流段の吸着層から排出されるガスの不純物濃度が所定値以上になったときに、最下流段の吸着層を最上流段に移設し、移設後の最上流段の吸着層以外の吸着層の吸着材を新品の吸着材と交換している。このため、移設後の最上流段の吸着層以外の、吸着材が交換される吸着層から廃棄される吸着材は、不純物を吸着できる吸着材を含んでいない。特開2010-214285号公報に記載されたガス処理方法で、UF6の精製を行った場合に発生する、放射性廃棄物となる吸着材の量を低減することができる。しかしながら、発明者らは、発明者らの検討によって、ウランの精製では吸着層の吸着帯長さを長くする必要があるという新たな知見を見出した。このため、特開2010-214285号公報に記載されたガス処理方法をウランの精製に適用した場合には、吸着塔内の吸着層の、UF6の流れ方向における吸着帯長さが長くなり、ウラン精製設備が大きくなる。すなわち、ウラン精製設備の容量を低減することができない。本発明の目的は、放射性廃棄物となる吸着材の量を低減することができ、設備容量を小さくすることができるウラン精製装置およびウランの精製方法を提供することにある。上記した目的を達成する本発明の特徴は、同じ種類の吸着材が充填された吸着層を有し、直列に接続された複数の吸着塔を備え、それぞれの吸着塔の吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっており、複数の吸着塔のうちどの2つの吸着塔においてもこの2つの吸着塔のそれぞれの吸着層のその長さの和が、その吸着帯の長さよりも長くなっていることにある。直列に接続された複数の吸着塔のそれぞれの吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっており、複数の吸着塔のうちどの2つの吸着塔においてもこの2つの吸着塔のそれぞれの吸着層のその長さの和が、その吸着帯の長さよりも長くなっているので、供給されるウランガスに含まれる不純物が最上流に位置する吸着塔の吸着層における吸着材に吸着することができ、吸着層のその長さが吸着帯の長さよりも短くてこの吸着層の下流に別の吸着塔の吸着層が存在している関係上、この最上流に位置する吸着塔の吸着層における大部分の吸着材が吸着した不純物で飽和する状態になるまで、最上流に位置する吸着塔内の吸着材で不純物を吸着することができる。このため、吸着塔内の吸着材を有効利用することができ、放射性廃棄物となる吸着材の量を低減することができる。また、上記の目的は、各吸着塔の吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっているので、ウラン精製装置の設備容量を小さくすることができる。上記した目的は、同じ種類の吸着材が充填された吸着層を有し、直列に接続された複数の吸着塔を備え、それぞれの吸着塔の吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっており、これらの吸着塔のうちどの2つの吸着塔においてもその2つの吸着塔のそれぞれの吸着層のその長さの和が、その吸着帯の長さよりも長くなっているウラン精製装置を用いてウランガスの精製を行うウランの精製方法であって、最上流に位置する吸着塔から順次ウランガスを供給し、最上流に位置する吸着塔の吸着層における吸着材の飽和率を検出し、検出された飽和率が設定飽和率以上になったとき、最上流に位置する吸着塔へのウランガスの供給を停止してウランガスの供給が停止された吸着塔の下流に位置する他の吸着塔に前記ウランガスを供給することによっても達成できる。さらに、上記の目的は、同じ種類の吸着材が充填された吸着層を有し、直列に接続された複数の吸着塔を備え、それぞれの吸着塔の吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さが、吸着帯の長さよりも短くなっており、これらの吸着塔のうちどの2つの吸着塔においてもその2つの吸着塔のそれぞれの吸着層のその長さの和が、その吸着帯の長さよりも長くなっているウラン精製装置を用いてウランガスの精製を行うウランの精製方法であって、最上流に位置する吸着塔から順次ウランガスを供給し、最上流に位置する前記吸着塔の吸着層における吸着材の飽和率を検出し、検出された飽和率が第1設定飽和率以上になったとき、最上流に位置する吸着塔の吸着層内で、ウランガスを逆方向に流し、ウランガスの精製を行うことによっても、達成することができる。本発明によれば、ウランの精製において、放射性廃棄物となる吸着材の発生量を低減することができ、設備容量を小さくすることができる。発明者らは、吸着材を用いたウランの精製について種々の検討を行った。以下にその検討結果を説明する。吸着塔内に設けられた、吸着材例えばフッ化ナトリウムNaF、フッ化マグネシウムMgF2、フッ化バリウムBaF2が充填された吸着層にUF6ガスを流通させることによって、そのUF6ガスに含まれる不純物であるFPフッ化物ガス例えばフッ化ルテニウムRuF5、フッ化ニオブNbF5、およびフッ化モリブデンMoF6をその吸着層に選択的に吸着させ、高純度のUF6を回収することができる。1つの吸着塔内には、1種類の吸着材のみを充填した吸着層を設ける。それぞれ異なる吸着材が別々に充填されたそれぞれの吸着層をここに設けた各吸着塔を直列に接続し、UF6ガスをそれらの吸着塔に順次流通させる。例えば、UF6ガスに含まれる不純物であるMoF6は、ウラン精製における初期分圧が約10-1KPaのオーダーであり、ウランの精製仕様である約10-4KPaのオーダーまで約3桁程度低減する必要があると考えられる。MgF2へのMoF6の吸着における吸着等温線を図2に示す。MoF6分圧が10-4kPaから1kPaの間では、MgF2へのMoF6の飽和吸着量はほぼ一定の値である。MoF6分圧が10-4kPaのオーダーで、MoF6が吸着材であるMgF2に吸着するため、MgF2によるMoF6の吸着によりウランの精製仕様が満たせることが分かる。また、飽和吸着量の値より吸着メカニズムはMgF2表面への単分子層吸着と考えられる。吸着メカニズムが単分子層吸着の場合、吸着等温線を説明する式としてLangmuirの理論があり、吸着材への吸着量は1式で表される。ここで、pは吸着ガスの分圧、qは分圧pの時の吸着量、q0は飽和吸着量、kaは吸着速度定数、kdは脱離速度定数、Kは吸着平衡定数である。吸着平衡定数Kが1に比べて非常に大きな値となる場合、つまり吸着速度定数kaが脱離速度定数kdに比べて非常に大きな値となる場合、1式から吸着量qは分圧によらず飽和吸着量q0で一定となる。これは、図2に示す吸着等温線において、10-4kPaから1kPaのMoF6分圧の範囲で飽和吸着量が一定となる結果と一致する。従って、MgF2へのMoF6の吸着の吸着速度は非常に大きいが、脱離速度は非常に小さい、もしくは吸着したMoF6はほとんど脱離しないと考えられる。一方、UF6ガスに含まれる不純物であるRuF5およびNbF5は、吸着材であるNaFと2式および3式に示す各反応によりRuNaF6およびNbNaF6を形成する。RuF5NaF→RuNaF6......2NbF5NaF→NbNaF6......3吸着温度が673KではUF6がNaFに吸着しないため、RuF5およびNbF5を、NaFに選択的に吸着させることによって、UF6と分離することができる。しかしながら、以下に述べるように、ウランの精製において発生する放射性廃棄物の量廃棄される吸着材の量は多くなる傾向にある。発明者らは、吸着材であるMgF2を充填した、吸着塔内の吸着層でMoF6を吸着分離した際の、吸着層内における吸着材の飽和率の位置依存性を計算した。この計算結果の一例を図3に示す。吸着材位置Xが0である位置は吸着層の上流端UF6ガスの流入端である。UF6ガスに含まれる不純物であるMoF6が吸着層内に流入すると、MoF6は吸着層の上流側に存在するMgF2に吸着されるが、MgF2によるMoF6の吸着速度が遅いため、吸着層内を流通して吸着層の下流側で吸着される。このため、吸着材の飽和率は、吸着材の位置が吸着層の下流に向かうに従ってなだらかに減少するプロファイルになる。図3において、MoF6の濃度が吸着前の濃度の1/10、1/100および1/1000になる吸着層内でのそれぞれの位置を示している。前述のように、ウランの精製により、UF6ガスに含まれるMoF6の濃度を3桁程度低減する必要がある。すなわち、MoF6の濃度が初期濃度の1/1000になる位置Xに相当する吸着層の、UF6ガス被処理ガスの流れ方向における長さがあれば、MoF6に対するウラン精製の仕様を満たすことができる。このように、吸着分離したいガスの初期濃度を目標濃度まで低減するために最低限必要な、吸着材を充填した吸着層のその長さを吸着帯長さという。一方、吸着層の下流側においては、吸着材の飽和率はほとんどゼロに近い値になっている図3参照。これはウラン精製に特有の現象であり、このような現象が生じるのは、MgF2へのMoF6の吸着速度が遅いこと、すなわち、ウラン精製で取り扱われる10-4KPaという低分圧のガスは吸着速度が遅いことが影響している。1つの吸着塔でウラン精製を行う場合、この吸着塔内の吸着層が破過する吸着層出口のMoF6濃度が吸着前のMoF6濃度の1/1000を超える前に、吸着塔へのUF6ガスの供給を停止し、吸着層内の全ての吸着材を使用済みの吸着材として処理することになる。しかしながら、その使用済みの吸着材には、図3に示すように、FPフッ化物の吸着が未飽和である吸着材まだ、MoF6を吸着できる吸着材が多く含まれ、放射性廃棄物として処理される吸着材の量が増大する。特開2010-214285号公報に記載されたガス処理方法をウランの精製に適用した場合には、吸着層内の吸着材を交換する際に、FPフッ化物の吸着が未飽和である吸着材の量を低減し、放射性廃棄物として処理される吸着材の量を低減することができる。しかしながら、ウラン精製に用いる吸着層の、UF6の流れ方向における吸着帯長さは、図3に示すように、長くする必要がある。このため、特開2010-214285号公報に記載されたガス処理方法をウランの精製に適用した場合には、吸着塔内の吸着層の、UF6の流れ方向における吸着帯長さが長くなり、ウラン精製設備の容量を低減することができないという、新たな課題が生じることを発明者らが見出した。発明者らは、この新たな課題を解消するための対策を種々検討し、本発明をなすに至ったのである。すなわち、発明者らは、この検討により、放射性廃棄物となる吸着材の量の低減、および精製設備の容量の低減を両立させるため、同じ種類の吸着材が充填された吸着層を有する複数の吸着塔を、直列に接続し、それぞれの吸着塔の吸着層の、供給されるウランガスの流れ方向における長さを、吸着帯の長さよりも短くし、複数の吸着塔のうちどの2つの吸着塔においてもこの2つの吸着塔のそれぞれの吸着層のその長さの和を、その吸着帯の長さよりも長くすれば良いとの結論に至った。例えば、同じ種類の吸着材を充填した吸着層を有する3つの吸着塔を直列に接続した場合では、最上流に位置する吸着塔の吸着層が不純物で十分に飽和されたとき、残りの2つの吸着塔でウラン精製の目標濃度を達成できれば良い。このため、3つの吸着塔の吸着層のウランガスの流れ方向における長さの総計は、およそ吸着帯長さの1.5倍ほどあれば良い。この結果、ウラン精製装置の設備容量を最小限に抑えることができる。かつ、後段の2つの吸着塔における吸着層のその長さその2つの吸着塔だけで十分にウラン精製が可能な長さにしておくことで、最上流に配置された吸着塔を通過したウランガスの不純物濃度を検知すれば良いことになる。直列に接続された各吸着塔にウランガスを流し、かつ上流に位置する吸着塔の吸着層の吸着塔出口における吸着材の飽和率が設定飽和率例えば、10以上になったとき、この吸着塔内の吸着層における各吸着材での吸着は、十分に飽和したと考える。そこで、この吸着塔をウランガスの流れから隔離し、この吸着塔内の吸着材を新しい吸着剤と交換する。発明者らは、上記の検討時において、上記の新たな課題を解消するための対策として、最上流に位置する吸着塔の吸着層における吸着材が、不純物の吸着が飽和するある程度の状態に到達したとき、最上流に位置する吸着塔の吸着層内で、ウランガスを逆方向に流し、ウランガスの精製を行う方法を発明した。一般的に、吸着塔内では吸着材への不純物の吸着と脱離が起こっており、吸着塔の吸着層内におけるウランガスの流れ方向を逆にすると、下流側では吸着した不純物の脱離が支配的になり、吸着させたい不純物が下流の吸着塔へ流入することになり、上流に位置する吸着塔での不純物の除去効率が悪くなる。しかしながら、吸着材であるMgF2にMoF6を吸着させる場合は、MoF6の吸着速度に比べてMoF6の脱離速度が非常に小さい、もしくは吸着したMoF6はほとんど脱離しないため、最上流に位置する吸着塔の吸着層内でウランガスを逆方向に流しても、脱離した不純物が下流の吸着塔に流入することはほとんど無い。また、発明者らは、他の対策案として、まず、吸着材を充填した流動床式吸着塔にウランガスを供給してこのウランガスに含まれる不純物を流動床式吸着塔内の吸着材に吸着させ、流動床式吸着塔から排出したウランガスをその吸着材を充填した固定床式吸着塔に供給することを考え付いた。流動床式吸着塔では吸着材が内部で攪拌されるため、流動床式吸着塔内における吸着材の飽和率を均一にできる。流動床式吸着塔内の吸着材の飽和率が十分に高くなった時点で流動床式吸着塔内の吸着材を廃棄することで、廃棄される未飽和の吸着材の量を少なくすることができる。以上の検討結果を反映した、本発明の実施例を以下に説明する。本発明の好適な一実施例である実施例1のウランの精製方法を、図1を用いて説明する。まず、本実施例のウランの精製方法に用いられるウラン精製装置を、図1を用いて説明する。本実施例のウラン精製装置22は、吸着塔1,3,5、および検知部2,4,6を備えている。バルブ7、吸着塔1、検知部2、バルブ8、吸着塔3、検知部4、バルブ9、吸着塔5、検知部6およびバルブ10が、この順番で、上流より下流に向かって配管16に設置されている。バルブ7より上流で配管16に接続された、バルブ11を設けた配管17は、バルブ8と吸着塔3の間で配管16に接続される。バルブ7より上流で配管16に接続された、バルブ12を設けた配管18は、バルブ9と吸着塔5の間で配管16に接続される。バルブ13を設けた配管19は、検知部2とバルブ8の間で配管16に接続され、さらにバルブ10より下流で配管16に接続される。バルブ14を設けた配管20は、検知部4とバルブ9の間で配管16に接続され、さらにバルブ10より下流で配管16に接続される。バルブ15を設けた配管21は、検知部6とバルブ10の間で配管16に接続され、さらにバルブ7と吸着塔1の間で配管16に接続される。吸着塔1,3,5は、それぞれ内部に同じ種類の吸着材例えば、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガスであるMoF6を吸着するMgF2を充填した吸着層を有する。吸着塔1,3,5のそれぞれの吸着層の、被処理ガスUF6ガスの流れ方向における長さは、吸着帯の長さよりも短くなっており、吸着塔1,3,5のうちのどの2つの吸着塔をとってもそれぞれの吸着層のその長さの和は吸着帯の長さよりも長くなっている。検知部2は、吸着塔1と対になって配置され、吸着塔1の吸着層から排気されるUF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6を検出する。検知部4は、吸着塔3と対になって配置され、吸着塔3の吸着層から排気されるUF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6を検出する。検知部6は、吸着塔5と対になって配置され、吸着塔5の吸着層から排気されるUF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6を検出する。検知部2,4,6には、少量の吸着材例えば、MgF2が封入されており、これらの検知部には、検知部の重量を測定する荷重計図示せずもしくは検知部の放射線量を測定する放射線検出器図示せずもしくはその両方が設けられている。使用済核燃料のフッ化処理により生成されたUF6ガスが、ウラン精製装置22に供給される。このとき、バルブ7,8,9,10が開いており、バルブ12,13,14,15が閉じている。FPフッ化物ガス例えば、MoF6を含むUF6ガスは、配管16を通り、バルブ7、吸着塔1、検知部2、バルブ8、吸着塔3、検知部4、バルブ9、吸着塔5、検知部6およびバルブ10をこの順に流れる。この結果、UF6ガスが精製される。FPフッ化物ガスであるMoF6は、吸着塔1,3,5のうち最も上流に位置している吸着塔1内の吸着層を形成する吸着材の上流端部から吸着される。FPフッ化物ガスの吸着領域は、時間の経過とともに、その吸着層の下流端側に広がって行く。吸着塔1の吸着層を通過したFPフッ化物ガスの一部は、検知部2において、検知部2の吸着材に吸着される。この結果、FPフッ化物ガスを吸着した検知部2では、重量または放射線量が増加する。検知部2の重量が荷重計で測定されまたは検知部2の放射線量が放射線検出器で測定され、この測定値が、例えば、制御装置図示せずに入力される。制御装置は、重量の測定値を用いて検知部2の重量の増加量を算出しまたは放射線量の測定値の増加量を算出し、この重量または放射線量の増加量を用いて検知部2に封入された吸着材の飽和率を求める。制御装置は、さらに、検知部2の吸着材の飽和率に基づいて吸着塔1の吸着層における吸着材の飽和率を計算する。検知部2,4,6のそれぞれの吸着材の飽和率を第1飽和率と称し、吸着塔1,3,5のそれぞれの吸着層における吸着材の飽和率を第2飽和率と称する。算出された吸着塔1の第2飽和率が設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ11を開いて、バルブ7および8を閉じる。設定飽和率は、吸着塔1の吸着層内の全ての吸着材がFPフッ化物ガス例えば、MoF6を吸着してこのFPフッ化物ガスを吸着できない状態になったときの飽和率の値である。吸着塔1の第2飽和率が設定飽和率になる前に、吸着塔1の吸着層から排出されたUF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6は、吸着塔3の吸着層で吸着される。そのようなバルブ制御により、吸着塔1および検知部2がUF6ガスの流れから隔離される。ウラン精製装置22に供給される、MoF6を含むUF6ガスは、配管17を通って吸着塔3、検知部4、吸着塔5および検知部6の順に流れ、精製される。吸着塔1および検知部2へのUF6ガスの供給が停止さているときに、吸着塔1の吸着層内の吸着材は新しい吸着材と交換され、検知部2内の吸着材も新しい吸着材と交換される。吸着塔1および検知部2のそれぞれから取り出された吸着材は、放射性廃棄物として処理される。吸着塔1および検知部2のそれぞれの吸着材の交換が終了した後、オペレータはそれらの吸着材の交換が終了した旨の情報を制御装置に入力する。制御装置は、入力したこの情報に基づいて、バルブ15,13を開いてバルブ10を閉じる。配管17を通って吸着塔3に供給されたUF6ガスは、配管16によって検知部4、吸着塔5および検知部6に順番に供給され、さらに、配管21を通って吸着塔1および検知部2に導かれる。検知部2から排出されたUF6ガスは、配管19を通って、バルブ10より下流で配管16に達する。UF6ガスは、このように流れて精製される。FPフッ化物ガスを含むUF6ガスは、このような状態で最も上流に位置する吸着塔3に供給され、FPフッ化物ガス例えば、MoF6が吸着塔3の吸着層内の吸着材に吸着される。FPフッ化物ガスが吸着塔3の吸着層を通過する状態になったとき、この吸着層を通過したFPフッ化物ガスの一部は、検知部4において、検知部4の吸着材に吸着される。検知部2の場合と同様に、制御装置は、荷重計で測定された検知部4の重量または放射線検出器で測定された検知部4の放射線量を用いてその重量または放射線量の増加量を算出し、この算出された重量または放射線量の増加量を用いて吸着塔3の吸着層における吸着材の第2飽和率を算出する。この第2飽和率が設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ12および13を開いて、バルブ9および11を閉じる。吸着塔3の第2飽和率が設定飽和率になる前に、吸着塔3の吸着層から排出されたUF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6は、吸着塔5の吸着層で吸着される。そのようなバルブ制御により、吸着塔3および検知部4がUF6ガスの流れから隔離される。ウラン精製装置22に供給される、MoF6を含むUF6ガスは、配管18を通って吸着塔5および検知部6に供給され、さらに配管21を通って吸着塔1および検知部2に供給されて精製される。検知部2から排出されたUF6ガスは、配管19を通ってバルブ10より下流で配管16に達する。吸着塔3および検知部4へのUF6ガスの供給が停止されているときに、吸着塔3内および検知部4内のそれぞれの吸着材が新しい吸着材と交換される。吸着塔3および検知部4のそれぞれから取り出された吸着材は、放射性廃棄物として処理される。吸着塔3および検知部4のそれぞれの吸着材の交換が終了した後、制御装置は、オペレータが入力したそれらの吸着材の交換が終了した旨の情報に基づいて、バルブ8,14を開いてバルブ13を閉じる。検知部2から排出されたUF6ガスは、吸着塔3および検知部4に供給され、さらに、配管20を通って、バルブ10より下流で配管16に達する。UF6ガスは、このように流れて精製される。FPフッ化物ガスを含むUF6ガスは、このような状態で最も上流に位置する吸着塔5に供給され、FPフッ化物ガス例えば、MoF6が吸着塔5の吸着層内の吸着材に吸着される。FPフッ化物ガスが吸着塔5の吸着層を通過する状態になったとき、この吸着層を通過したFPフッ化物ガスの一部は、検知部6において、検知部6の吸着材に吸着される。検知部2の場合と同様に、制御装置は、荷重計で測定された検知部6の重量または放射線検出器で測定された検知部6の放射線量を用いてその重量または放射線量の増加量を算出し、算出された重量または放射線量の増加量を用いて吸着塔5の吸着層における吸着材の第2飽和率を算出する。この第2飽和率が設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ7,14を開いて、バルブ9および15を閉じる。吸着塔5の第2飽和率が設定飽和率になる前に、吸着塔5の吸着層から排出されたUF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6は、吸着塔1の吸着層で吸着される。そのようなバルブ制御により、吸着塔5および検知部6がUF6ガスの流れから隔離される。ウラン精製装置22に供給される、MoF6を含むUF6ガスは配管16によって、吸着塔1、検知部2、吸着塔3および検知部4に順次供給されて、精製される。検知部4から排出されたUF6ガスは、配管14を通ってバルブ10より下流で配管16に達する。吸着塔5および検知部6へのUF6ガスの供給が停止されているときに、吸着塔5内および検知部6内のそれぞれの吸着材が新しい吸着材と交換される。吸着塔5および検知部6のそれぞれから取り出された吸着材は、放射性廃棄物として処理される。吸着塔5および検知部6のそれぞれの吸着材の交換が終了した後、制御装置は、オペレータが入力したそれらの吸着材の交換が終了した旨の情報に基づいて、バルブ9,10を開いてバルブ14を閉じる。検知部4から排出されたUF6ガスは、吸着塔5および検知部6に供給され、精製される。検知部6から排出されたUF6ガスは、バルブ10を通って配管16内を流れる。この状態は、最初に説明した状態である。本実施例では、吸着塔1,3,5のそれぞれの吸着層の、被処理ガスUF6ガスの流れ方向における長さが吸着帯の長さよりも短くなっており、吸着塔1,3,5のうちのどの2つの吸着塔をとってもそれぞれの吸着層のその長さの和は吸着帯の長さよりも長くなっているため、最上流に位置する1つの吸着塔例えば、吸着塔1の吸着層からFPフッ化物ガスが流出しても、このFPフッ化物ガスを、下流側でこの吸着塔の次に配置された吸着塔例えば、吸着塔3の吸着層で吸着することができる。このため、上流に位置する前者の吸着塔の吸着層内の全ての吸着材が、FPフッ化物ガス例えば、MoF6を吸着できなくなるまで、FPフッ化物ガスを吸着することができるので、新しい吸着材と交換される際に、この吸着塔から取り出された吸着材は、FPフッ化物ガスの吸着が未飽和である吸着材をほとんど含んでいない。したがって、ウラン精製装置22から廃棄される放射性廃棄物となる吸着材の量を低減することができる。さらに、本実施例では、吸着塔1,3,5のそれぞれの吸着層の、被処理ガスUF6ガスの流れ方向における長さが吸着帯の長さよりも短くなっているため、特開2010-214285号公報に記載されたガス処理方法に用いられる吸着塔の吸着層の被処理ガスの流れ方向における長さよりも短くすることができる。したがって、本実施例で用いられるウラン精製装置22の容積は、特開2010-214285号公報に記載されたガス処理方法をウラン精製に適用した場合における設備容量よりも小さくすることができる。本実施例では、バルブ11を設けた配管17、バルブ12を設けた配管18、バルブ13を設けた配管19、バルブ14を設けた配管20、およびバルブ15を設けた配管21を、図1に示すように配管16にそれぞれ接続しているので、吸着塔1および検知部2、吸着塔3および検知部4、および吸着塔5および検知部6のどの対を、吸着材の交換のために配管16から切り離しても、残りの2対でウランの精製を行うことができるので、吸着材を交換している場合でもウラン精製装置22はウランの精製を連続して行うことができる。本実施例では、UF6ガスの流れ方向における最上流に位置している吸着塔の吸着材の飽和率を検出するだけでよく、この吸着塔よりも下流に位置している吸着塔特に、最下流に位置している吸着塔の出口で吸着層の破過を検出するよりも検出すべきガス分圧が高くなるため、吸着層の破過の検出が容易になる。本実施例では、ウラン精製装置22は吸着塔および検知部をそれぞれ3基設けて構成されているが、1対の吸着塔および検知部における吸着材の交換が、すぐ後段の吸着塔からFPフッ化物ガスが流出する前に終えることができるのであれば、吸着塔および検知部をそれぞれ3基ではなく、吸着塔および検知部を2基ずつ設けてウラン精製装置22を構成してもよい。本実施例における上記の説明では、吸着塔1,3,5および検知部2,4,6のそれぞれに同じ種類の吸着材であるMgF2を用いて、FPフッ化物ガスであるMoF6を吸着除去することについて述べた。MgF2は、特開2006-46967号項に記載されているように、MoF6以外に、UF6ガスに含まれるNbF6,TcF6,RuF5,SbF5,NpF6を吸着することができる。このような構成では、前段の吸着塔1,3,5において前述したようにUF6ガスに含まれるNbF6,MoF6,TcF6,RuF5,SbF5,NpF6が吸着され、後段の吸着塔1,3,5においても同様にUF6ガスに含まれるPuF6およびCsFが吸着される。このようなウラン精製では、UF6ガスに含まれる大部分のFPフッ化物ガスを除去することができる。本発明の他の実施例である実施例2のウランの精製方法を説明する。本実施例のウランの精製方法においても、実施例1で用いられた図1に示すウラン精製装置22が用いられる。図3に示されるように、吸着塔の吸着層内の吸着材の飽和率は、吸着層の上流端部よりも吸着層の下流端部で低くなる。このため、吸着塔の吸着層における下流端部に存在する吸着材の飽和率がある値第2設定飽和率というになったとき、吸着塔、UF6ガスを導く配管から取り外して吸着塔のUF6ガスの入口と出口を逆にして、すなわち、取り外す前における吸着塔のUF6ガスの入口が出口になり、取り外す前における吸着塔のUF6ガスの出口が入口になるように、その配管に接続する。これにより、飽和率が低かった吸着層の下流端部が吸着層の上流端部になるため、この上流端部でFPフッ化物ガスをさらに吸着することができる。上記の第2設定飽和率は、実施例1で述べた設定飽和率第1設定飽和率というよりも小さい値である。上記したように、吸着塔の出入り口を逆にして配管に接続することによって、吸着層の、FPフッ化物の吸着が未飽和であった部分を、吸着層の上流端部に配置することができ、吸着層からFPフッ化物ガスが排出されない状態で、その未飽和であった部分を利用してFPフッ化物ガスを吸着することができる。このため、吸着塔の飽和率を高くすることができる。特に、吸着塔に充填したMgF2にMoF6を吸着させる場合には、MgF2に一度吸着したMoF6はMgF2から脱離が起こりにくいため、MgF2を充填した吸着層を有する吸着塔では、出入り口を逆にしたとしても、元々、吸着層の上流端部で吸着されていたMoF6が、吸着層から脱離する量は少ない。本実施例のウランの精製方法を詳細に説明する。吸着塔1,3,5のそれぞれの吸着層には、同じ種類の吸着材であるMgF2が充填されている。検知部2,4,6にもMgF2が封入されている。使用済核燃料のフッ化処理により生成されたUF6ガスが、ウラン精製装置22に供給される。このとき、バルブ7,8,9,10が開いており、バルブ12,13,14,15が閉じている。FPフッ化物ガス例えば、MoF6を含むUF6ガスは、配管16を通り、バルブ7、吸着塔1、検知部2、バルブ8、吸着塔3、検知部4、バルブ9、吸着塔5、検知部6およびバルブ10をこの順に流れている。MoF6が吸着塔1内の吸着材であるMgF2に吸着される。この状態で、制御装置は、荷重計で測定された検知部2の重量または放射線検出器で測定された検知部2の放射線量を用いてその重量または放射線量の増加量を算出し、算出された重量または放射線量の増加量を用いて吸着塔1の吸着層における吸着材の第2飽和率を算出する。この第2飽和率が第2設定飽和率例えば、10に到達したとき、制御装置は、バルブ11を開いて、バルブ7および8を閉じる。UF6ガスの吸着塔1への供給が停止され、UF6ガスが配管17を通って吸着塔3に供給される。吸着塔1および検知部2は、バルブ7,8が閉じられて配管16内のUF6ガスの流れから隔離される。この状態で、吸着塔1が、いったん、配管16から取り外され、前述したように、吸着塔1のUF6ガスの入口とUF6ガスの出口が逆になるようにして、再び、配管16に接続される。この接続により、取り外す前まで吸着塔1のUF6ガスの入口であった部分が、再接続後にUF6ガスの出口になり、取り外す前まで吸着塔1のUF6ガスの出口であった部分が、再接続後にUF6ガスの入口になる。このとき、検知部2に封入されていた吸着材も新品の吸着材に交換される。吸着塔1の再接続および検知部2内の吸着材の交換が終了した後、制御装置は、オペレータが入力したその再接続および吸着材の交換が終了した旨の情報に基づいて、バルブ7,8を開いてバルブ11を閉じる。UF6ガスは、再び、吸着塔1に供給される。吸着塔1の再接続後において、吸着塔1の吸着層は、上流端部に、FPフッ化物の吸着が未飽和である吸着材を有している。このため、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガスであるMoF6を、吸着塔1の吸着層の上流端部側に存在する、FPフッ化物の吸着が未飽和である吸着材MgF2で吸着することができる。UF6ガスは、吸着塔1、検知部2、吸着塔3、検知部4、吸着塔5および検知部6の順に流れ、精製される。荷重計で測定された検知部2の重量または放射線検出器で測定された検知部2の放射線量に基づいて算出した吸着塔1の吸着層における吸着材の第2飽和率が第1設定飽和率になったとき、制御装置は、実施例1と同様に、バルブ11を開いてバルブ7,8を閉じる。UF6ガスは配管17を通して吸着塔3に供給される。吸着塔1および検知部2がUF6ガスの流れから隔離され、吸着塔1の吸着層および検知部2内の吸着材が新しい吸着材MgF2と交換される。これらの吸着材が交換された後、制御装置がバルブ13,15を開いてバルブ10を閉じる。UF6ガスが、吸着塔3、検知部4、吸着塔5、検知部6、吸着塔1および検知部2の順に流れ、精製される。制御装置は、荷重計で測定された検知部4の重量または放射線検出器で測定された検知部4の放射線量に基づいて吸着塔3の吸着層における吸着材の第2飽和率を算出する。この第2飽和率が第2設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ12,13を開いて、バルブ9,11を閉じる。UF6ガスの吸着塔3への供給が停止され、UF6ガスが配管18を通って吸着塔5に供給される。UF6ガスの供給が停止された吸着塔3が配管16から取り外され、前述の吸着塔1と同様に、吸着塔3のUF6ガスの入口とUF6ガスの出口が逆になるようにして、再び、配管16に接続される。この接続により、取り外す前まで吸着塔3のUF6ガスの入口であった部分が、再接続後にUF6ガスの出口になり、取り外す前まで吸着塔3のUF6ガスの出口であった部分が、再接続後にUF6ガスの入口になる。このとき、検知部4に封入されていた吸着材も新品の吸着材に交換される。吸着塔3の再接続および検知部4内の吸着材の交換が終了した後、制御装置がバルブ9,11を開いてバルブ12,13を閉じる。UF6ガスは、再び、吸着塔3に供給される。吸着塔3の再接続後において、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガスであるMoF6を、吸着塔3の吸着層の上流端部側に存在する、FPフッ化物の吸着が未飽和である吸着材MgF2で吸着することができる。UF6ガスは、吸着塔3、検知部4、吸着塔5、検知部6、吸着塔1および検知部2の順に流れ、精製される。吸着塔3の吸着層における吸着材の第2飽和率が第1設定飽和率になったとき、制御装置は、実施例1と同様に、バルブ12,13を開いてバルブ9,11を閉じる。UF6ガスは配管18を通して吸着塔5に供給される。吸着塔3および検知部4がUF6ガスの流れから隔離され、吸着塔3の吸着層および検知部4内の吸着材が新しい吸着材MgF2と交換される。これらの吸着材が交換された後、制御装置がバルブ8,14を開いてバルブ13を閉じる。UF6ガスが、吸着塔5、検知部6、吸着塔1、検知部2、吸着塔3および検知部4の順に流れ、精製される。その後、制御装置は、吸着塔5の吸着層における吸着材の第2飽和率が第2設定飽和率に到達したとき、バルブ7を開いて、バルブ12,15を閉じる。UF6ガスの吸着塔5への供給が停止され、UF6ガスが配管16を通って吸着塔1に供給される。UF6ガスの供給が停止された吸着塔5が配管16から取り外され、前述の吸着塔1と同様に、吸着塔5のUF6ガスの入口とUF6ガスの出口が逆になるようにして、再び、配管16に接続される。この接続により、取り外す前まで吸着塔5のUF6ガスの入口であった部分が、再接続後にUF6ガスの出口になり、取り外す前まで吸着塔3のUF6ガスの出口であった部分が、再接続後にUF6ガスの入口になる。このとき、検知部6に封入されていた吸着材も新品の吸着材に交換される。吸着塔5の再接続および検知部6内の吸着材の交換が終了した後、制御装置がバルブ12,15を開いてバルブ7を閉じる。UF6ガスは、再び、吸着塔5に供給される。吸着塔5の再接続後において、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガスであるMoF6を、吸着塔5の吸着層の上流端部側に存在する、FPフッ化物の吸着が未飽和である吸着材MgF2で吸着することができる。UF6ガスは、吸着塔5、検知部6、吸着塔1、検知部2、吸着塔3および検知部4の順に流れ、精製される。吸着塔5の吸着層における吸着材の第2飽和率が第1設定飽和率になったとき、制御装置は、実施例1と同様に、バルブ7,14を開いてバルブ9,15を閉じる。UF6ガスは配管16を通して吸着塔1に供給される。吸着塔5および検知部6がUF6ガスの流れから隔離され、吸着塔5の吸着層および検知部6内の吸着材が新しい吸着材MgF2と交換される。これらの吸着材が交換された後、制御装置がバルブ9,10を開いてバルブ14を閉じる。UF6ガスが、吸着塔1、検知部2、吸着塔3、検知部4、吸着塔5および検知部6の順に流れ、精製される。本実施例は、実施例1で生じる各効果を得ることができる。本発明の他の実施例である実施例3のウランの精製方法を、図4を用いて説明する。本実施例のウランの精製方法では、図4に示すウラン精製装置22Aが用いられる。ウラン精製装置22Aの構成を、図4を用いて説明する。ウラン精製装置22Aは、吸着塔23,24,25,26、検知部72,73,74,75、及び環状配管27を有する。バルブ30、吸着塔23、バルブ31、検知部72、バルブ40、吸着塔24、バルブ41、検知部73、バルブ46、吸着塔25、バルブ47、検知部74、バルブ52、吸着塔26、バルブ71および検知部75が、UF6ガスの流れ方向図4では反時計回りの方向において、この順序で環状配管27に設けられる。吸着塔23,24,25,26のそれぞれの吸着層に充填された吸着材は、同じ種類であり、MgF2を用いている。検知部72,73,74,75にもMgF2が封入されている。各検知部に封入されるMgF2の量は、各吸着塔の吸着層に充填されるMgF2の量よりも少ない。吸着塔23,24,25,26のそれぞれの吸着層の、被処理ガスUF6ガスの流れ方向における長さは、吸着帯の長さよりも短くなっており、吸着塔23,24,25,26のうちのどの2つの吸着塔をとってもそれぞれの吸着層のその長さの和は吸着帯の長さよりも長くなっている。各検知部には、検知部の重量を測定する荷重計図示せずまたは検知部の放射線量を測定する放射線検出器が設けられている。バルブ28を設けた配管29が、バルブ30及び吸着塔23をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ38を設けた配管39が、吸着塔23およびバルブ31をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ42を設けた配管43が、バルブ40及び吸着塔24をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ44を設けた配管45が、吸着塔24およびバルブ41をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ48を設けた配管49が、バルブ46及び吸着塔25をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ50を設けた配管51が、吸着塔25およびバルブ47をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ53を設けた配管54が、バルブ52及び吸着塔26をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ55を設けた配管56が、吸着塔26およびバルブ71をバイパスして環状配管27に接続される。バルブ76を設けたUF6ガス供給管57およびバルブ80を設けたUF6ガス排出管61が、バルブ30より上流側での環状配管27と配管29の接続点と検知部75との間で、環状配管27に接続される。バルブ77を設けたUF6ガス供給管58およびバルブ81を設けたUF6ガス排出管62が、バルブ40より上流側での環状配管27と配管43の接続点と検知部72との間で、環状配管27に接続される。バルブ78を設けたUF6ガス供給管59およびバルブ82を設けたUF6ガス排出管63が、バルブ46より上流側での環状配管27と配管49の接続点と検知部73との間で、環状配管27に接続される。バルブ79を設けたUF6ガス供給管60およびバルブ83を設けたUF6ガス排出管64が、バルブ52より上流側での環状配管27と配管54の接続点と検知部74との間で、環状配管27に接続される。UF6ガス供給管57,58,59,60は、バルブ76,77,78,79よりも上流で1本のUF6ガス供給管図示せずに接続されている。UF6ガス排出管61,62,63,64は、バルブ80,81,82,83よりも下流で1本のUF6ガス排出管図示せずに接続されている。ウラン精製装置22Aを用いた本実施例のウランの精製方法を、具体的に説明する。例えば、バルブ76を開いて、UF6ガスをUF6ガス供給管57より環状配管27に供給する。このとき、バルブ30,31,40,41,46,47,83が開いており、図4に示された残りのバルブは全て閉じている。環状配管27に供給されたUF6ガスは、環状配管27によって、吸着塔23、検知部72、吸着塔24、検知部73、吸着塔25および検知部74へと順次導かれる。検知部74から排出されたUF6ガスは、環状配管27からUF6ガス排出管64に排出される。各バルブの開閉は、制御装置図示せずによって行われる。この状態で最上流に位置している吸着塔23の吸着層内の吸着材が、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6を吸着し、UF6ガスからFPフッ化物ガスを除去する。制御装置は、荷重計で測定された検知部72の重量または放射線検出器で測定された検知部72の放射線量を用いてその重量または放射線量の増加量を算出し、算出された重量または放射線量の増加量を用いて吸着塔23の吸着層における吸着材の第2飽和率を算出する。この第2飽和率が第2設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ28,38を開いて、バルブ30,31を閉じる。このようなバルブの開閉操作により、バルブ30を通しての吸着塔23へのUF6ガスの供給が停止され、UF6ガスは配管29を通って吸着塔23に供給される。吸着塔23から排気されたUF6ガスは配管39を通って検知部72へと導かれる。結果的に、吸着塔23の吸着層内では、バルブ30からバルブ31に向かって流れていたUF6ガスの流れが、バルブ28からバルブ38に向かう逆方向のUF6ガスの流れになる。バルブ28,38を開いて、バルブ30,31を閉じるバルブの開閉操作は、実質的に、実施例2において配管16から取り外された吸着塔のUF6ガスの入口とUF6ガスの出口が逆になるようにして、再び、配管16に接続していることと同じことを吸着塔23に対して行っていることになる。バルブ30を通しての吸着塔23へのUF6ガスの供給を停止するとき、吸着塔23の吸着層内では、バルブ30側の端部に存在する吸着材はFPフッ化物の吸着が飽和状態であり、バルブ31側の端部に存在する吸着材はFPフッ化物の吸着が未飽和の状態にある。上記したようにバルブ28,38を開いてバルブ30,31を閉じることによって、UF6ガスは、FPフッ化物の吸着が未飽和の状態にある吸着材が存在する端部から、吸着塔23の吸着層内に供給される。このため、配管39にFPフッ化物ガスが流出しない状態で、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガスが、その吸着層内の、FPフッ化物の吸着が未飽和の状態にある吸着材によって吸着される。すなわち、吸着塔23の吸着層内の吸着材を、FPフッ化物ガスの吸着に有効に利用することができる。荷重計で測定された検知部72の重量または放射線検出器で測定された検知部72の放射線量に基づいて算出した、吸着塔23の吸着層内における吸着材の第2飽和率が、第1設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ28,38,76,79を閉じて、バルブ77,52,71,80を開く。吸着塔23及び検知部72へのUF6ガスの供給が停止され、UF6ガスがUF6ガス供給管58より環状配管27に供給される。このUF6ガスは、環状配管27によって、吸着塔24、検知部73、吸着塔25、検知部74、吸着塔26および検知部75へと順次導かれ、さらにUF6ガス排出管61に排出される。このようなUF6ガスの流れによって、最上流に位置している吸着塔24の吸着層内の吸着材が、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6を最も吸着し、ウランが精製される。吸着塔24の吸着層内では、UF6ガスがバルブ40からバルブ41に向かって流れている。UF6ガスの供給が停止された吸着塔23では、吸着層内の吸着材が新しい吸着材と交換される。検知部72においても吸着材が新しい吸着材と交換される。吸着材の交換時において吸着塔23及び検知部72のそれぞれから取り出された吸着材は、放射性廃棄物として処理される。荷重計で測定された検知部73の重量または放射線検出器で測定された検知部73の放射線量に基づいて算出した、吸着塔24の吸着層内における吸着材の第2飽和率が第2設定飽和率に到達したとき、制御装置はバルブ42,44を開いて、バルブ40,41を閉じる。このようなバルブの開閉操作により、前述の吸着塔23と同様に、FPフッ化物ガスを含むUF6ガスが配管43から吸着塔24に供給され、吸着塔24から排出されたUF6ガスは配管45を通って検知部73へと導かれる。検知部73の測定された重量または放射線量に基づいて算出した、吸着塔24の吸着層内における吸着材の第2飽和率が第1設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ42,44,77,80を閉じて、バルブ78,30,31,81を開く。吸着塔24及び検知部73へのUF6ガスの供給が停止され、UF6ガスがUF6ガス供給管59より環状配管27に供給される。このUF6ガスは、環状配管27によって、吸着塔25、検知部74、吸着塔26、検知部75、吸着塔23および検知部72へと順次導かれ、さらにUF6ガス排出管62に排出される。このようなUF6ガスの流れによって、最上流に位置している吸着塔25の吸着層内の吸着材が、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6を最も吸着し、ウランが精製される。吸着塔25の吸着層内では、UF6ガスがバルブ46からバルブ47に向かって流れている。UF6ガスの供給が停止された吸着塔24及び検知部73では、内部の吸着材が新しい吸着材と交換される。この吸着材の交換時において吸着塔24及び検知部73のそれぞれから取り出された吸着材は、放射性廃棄物として処理される。検知部74の測定された重量または放射線量に基づいて算出した、吸着塔25の吸着層内における吸着材の第2飽和率が第2設定飽和率に到達したとき、制御装置はバルブ48,50を開いて、バルブ46,47を閉じる。このようなバルブの開閉操作により、FPフッ化物ガスを含むUF6ガスが配管49から吸着塔25に供給され、吸着塔25から排出されたUF6ガスは配管50を通って検知部74へと導かれる。検知部74の測定された重量または放射線量に基づいて算出した、吸着塔25の吸着層内における吸着材の第2飽和率が第1設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ48,50,78,81を閉じて、バルブ79,40,41,82を開く。吸着塔25及び検知部74へのUF6ガスの供給が停止され、UF6ガスがUF6ガス供給管60より環状配管27に供給される。このUF6ガスは、環状配管27によって、吸着塔26、検知部75、吸着塔23、検知部72、吸着塔24および検知部73へと順次導かれ、さらにUF6ガス排出管63に排出される。このようなUF6ガスの流れによって、最上流に位置している吸着塔26の吸着層内の吸着材が、UF6ガスに含まれるFPフッ化物ガス例えば、MoF6を最も吸着し、ウランが精製される。吸着塔26の吸着層内では、UF6ガスがバルブ52からバルブ71に向かって流れている。吸着塔24及び検知部73では、内部の吸着材が新しい吸着材と交換される。検知部75の測定された重量または放射線量に基づいて算出した、吸着塔26の吸着層内における吸着材の第2飽和率が第2設定飽和率に到達したとき、制御装置はバルブ53,55を開いて、バルブ52,71を閉じる。その後、検知部75の測定された重量または放射線量に基づいて算出した、吸着塔26の吸着層内における吸着材の第2飽和率が第1設定飽和率に到達したとき、制御装置は、バルブ53,55,79,82を閉じて、バルブ76,46,47,83を開く。本実施例は、実施例2で生じる各効果を得ることができる。本発明の他の実施例である実施例4のウランの精製方法を、図5を用いて説明する。本実施例のウランの精製方法では、図5に示すウラン精製装置22Bが用いられる。ウラン精製装置22Bは、吸着塔固定床式吸着塔65及び流動床式吸着塔66を有する。吸着塔65は内部にFPフッ化物ガス例えば、MoF6を吸着する吸着材例えば、MgF2を充填した吸着層を有している。流動床式吸着塔66内にも、FPフッ化物ガス例えば、MoF6を吸着する吸着材例えば、MgF2を充填した吸着層67が形成されている。UF6ガス供給管68が流動床式吸着塔66の底部に接続される。配管69が流動床式吸着塔66と吸着塔65を接続する。UF6ガス排出管70が吸着塔65に接続される。吸着塔65及び流動床式吸着塔66は同じ種類の吸着材例えば、MgF2を充填する。吸着材の充填量は、吸着塔65よりも流動床式吸着塔66で多くなっている。ウラン精製装置22Bを用いた本実施例のウランの精製方法を説明する。FPフッ化物ガスを含むUF6ガスがUF6ガス供給管68を通して流動床式吸着塔66に供給される。このUF6ガスに含まれたFPフッ化物ガスが吸着層67内の吸着材に吸着される。流動床式吸着塔66内では、吸着層67内の吸着材が常に攪拌されている。このため、流動床式吸着塔66内では、図3に示されるような吸着塔内における吸着材の飽和率の分布はできず、吸着材の飽和率が常に均一になる。従って、本実施例では、実施例1および2のように、吸着塔のUF6ガスの入口とUF6ガスの出口を逆にするための操作が不要になる。流動床式吸着塔66を通過したUF6ガスは、吸着塔65に供給される。本実施例では、このようにして、ウランが精製される。本実施例において、流動床式吸着塔66内の吸着材の飽和率が第1飽和率に到達したとき、流動床式吸着塔66の吸着層67内の吸着材が交換される。この吸着材の交換時において、流動床式吸着塔66内の吸着材が外部に取り出され、吸着塔65内に存在する全ての吸着材が流動床式吸着塔66内に投入される。吸着塔65内に存在する吸着材を流動床式吸着塔66内に投入する理由は、UF6ガス供給管68内を流れるUF6ガスに含まれたFPフッ化物ガスの大部分が流動床式吸着塔66内の吸着材に吸着され、FPフッ化物ガスが吸着塔65内の吸着材にあまり吸着されないため、吸着塔65内には、FPフッ化物の吸着が未飽和状態である吸着材が多量に存在するからである。吸着塔65からの吸着材の投入だけでは流動床式吸着塔66内の吸着材の必要量を賄えないので、流動床式吸着塔66内に充填すべき吸着材の量と吸着塔65から投入される吸着材の量の差分の量だけ、新しい吸着材を流動床式吸着塔66内に投入する。本実施例によれば、吸着材を充填した流動床式吸着塔66でウランの精製を行うので、流動床式吸着塔66における吸着材の飽和率を均一にできる。このため、実施例1および2のように吸着塔の吸着層内でのガスの流れ方向を変更する必要がなく、飽和率が高い状態の吸着材を廃棄することができる。したがって、ウラン精製工程から発生する放射性廃棄物となる吸着材の量を低減することができる。さらに、本実施例は、吸着材を充填した流動床式吸着塔66を用いているので、設備容量を小さくすることができる。流動床式吸着塔66内の吸着材の飽和率が第1飽和率に到達したときに、流動床式吸着塔66内での吸着材によるFPフッ化物ガスの吸着を継続させるために、上記したような流動床式吸着塔66内の吸着材の交換ではなく、以下の方法を採用することも可能である。すなわち、流動床式吸着塔66内の吸着材の飽和率が第1飽和率に到達したときに、流動床式吸着塔66内の吸着層67に存在する吸着材のうち、吸着塔65内に存在する吸着材の量と等しい量の吸着材を、流動床式吸着塔66から取り出す。その後、吸着塔65内に存在する全ての吸着材を流動床式吸着塔66に供給する。吸着塔65から流動床式吸着塔66に供給された吸着材と取り出されずに流動床式吸着塔66内に残っていた吸着材が、流動床式吸着塔66内で撹拌されて混合される。吸着塔66の吸着層に新しい吸着材が必要量充填される。吸着塔65から流動床式吸着塔66への吸着材の供給によって、流動床式吸着塔26内に存在する吸着材の平均飽和率を低下させることができる。このため、UF6ガス供給管68により流動床式吸着塔66に供給されたUF6ガスに含まれるFPフッ化物ガスを、流動床式吸着塔26内に存在する吸着材に吸着させることができる。"