"ケーシングと、ケーシング内に回転自在に保持された軸部材と、上記軸部材の外周から突出するとともに上記ケーシングの内面に沿って回動する羽根部と、ケーシングの上記内面から上記軸部材の方向に向かって設けた区画壁と、ケーシングの上記内面と軸部材の外周面との間であって、上記区画壁と羽根部とで区画される少なくとも2以上の区画室と、上記羽根部あるいは区画壁のいずれか一方に設けた流体通路と、上記流体通路を通過する粘性流体の流れに対して、当該羽根部及び区画壁で区画された一方の区画室から他方の区画室への流れのみを許容するチェック弁とチェック弁とともに回転する羽根部を含めた軸部材側あるいはチェック弁とともに回転する区画壁を含めたケーシング側のいずれかに、上記軸部材の軸方向に対応する上記チェック弁の軸方向一方の側面に当たってその軸方向の移動を阻止するストッパー部とを備え、上記ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側のいずれかで、当該チェック弁がストッパー部とは反対方向に移動するのを規制する構成にした有限角ロータリーダンパーにおいて、上記チェック弁は、上記軸部材の軸方向に対応する方向の上記流体通路の開口幅よりも、上記軸部材の軸方向に対応する方向の幅を大きくした弁体を備え、上記流体通路は、上記軸部材の軸方向に対応する方向における上記弁体の中心を境にして、当該ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側の開口面積を大きくした有限角ロータリーダンパー。上記流体通路を、羽根部あるいは区画壁を貫通する複数の流路孔で構成した請求項1記載の有限角ロータリーダンパー。上記流体通路を構成する複数の流路孔は、上記ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側に向かって順に開口面積を大きくした請求項2記載の有限角ロータリーダンパー。上記流体通路を構成する流体通路は、一つの流路孔から構成されるとともに、この流路孔は、上記ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側に向かって開口面積を大きくした請求項1記載の有限角ロータリーダンパー。上記のようにした従来の装置では、例えば、弁部材に粘性流体の圧力による偏荷重が作用することがあるが、その偏荷重の作用で弁部材が、カバーとは反対側のケーシングの底部に圧接したりすると、そのケーシングの底部が損傷されるおそれがある。もし、ケーシングが損傷されれば、流体が流れる隙間が大きくなり、必要なダンパトルクが得られなくなってしまうという問題が発生する。この発明の目的は、上記のような問題を解決し、ケーシングやキャップを損傷しない有限角ロータリーダンパーを提供することである。この発明は、ケーシングと、ケーシング内に回転自在に保持された軸部材と、上記軸部材の外周から突出するとともに上記ケーシングの内面に沿って回動する羽根部と、ケーシングの上記内面から上記軸部材の方向に向かって設けた区画壁と、ケーシングの上記内面と軸部材の外周面との間であって、上記区画壁と羽根部とで区画される少なくとも2以上の区画室と、上記羽根部あるいは区画壁のいずれか一方に設けた流体通路と、上記流体通路を通過する粘性流体の流れに対して、当該羽根部及び区画壁で区画された一方の区画室から他方の区画室への流れのみを許容するチェック弁と、チェック弁とともに回転する羽根部を含めた軸部材側あるいはチェック弁とともに回転する区画壁を含めたケーシング側のいずれかに、上記軸部材の軸方向に対応する上記チェック弁の軸方向一方の側面に当たってその軸方向の移動を阻止するストッパー部とを備え、上記ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側のいずれかで、当該チェック弁がストッパー部とは反対方向に移動するのを規制する構成にした有限角ロータリーダンパーに関する。そして、第1の発明は、上記チェック弁が、上記軸部材の軸方向に対応する方向の上記流体通路の開口幅よりも、上記軸部材の軸方向に対応する方向の幅を大きくした弁体を備え、上記流体通路は、上記軸部材の軸方向に対応する方向における上記弁体の中心を境にして、当該ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側の開口面積を大きくした点に特徴を有する。第2の発明は、上記流体通路を、羽根部あるいは区画壁を貫通する複数の流路孔で構成したものである。第3の発明は、上記流体通路を構成する複数の流路孔を、上記ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側に向かって、順に開口面積を大きくしたものである。第4の発明は、上記流体通路を構成する流体通路を、一つの流路孔で構成するとともに、この流路孔は、上記ストッパー部を備えていない上記ケーシング側あるいは軸部材側に向かって開口面積を大きくしたものである。第1~5のいずれの発明によっても、チェック弁の弁体であって、流体通路の開口面積が大きな部分に対向する部分には相対的に大きな圧力が作用するので、チェック弁は、上記相対的に大きな圧力の作用で、ケーシングやキャップから離れる方向の力を多く受けることになる。したがって、チェック弁がケーシングやキャップを損傷するようなことはなくなる。また、弁体を備えたチェック弁を用いることができるので、当該ダンパーの回転有効ストロークも大きく取れる。図1~5に示した第1実施形態は、円筒状のケーシング1に軸部材2の軸部2aを回転自在に組み込むが、このケーシング1内に組み込んだ軸部2aには、その半径方向に突出する一対の羽根部3,4を設けている。そして、軸部2aをケーシング1に組み込んだ状態では、図2に示すように、上記羽根部3,4の先端が、ケーシング1の内周に形成した円弧面1a,1bに接触するかあるいはわずかなすき間を保って回動する寸法を保っている。言い換えると、上記円弧面1a,1bは、円弧面からなるとともにその円弧の中心と、上記軸部材2の回転中心とを一致させ、軸部材2が回転したとき羽根部3,4の先端が上記円弧面1a,1bに沿って回動するようにしている。上記のようにした軸部材2は、図4に示すように、軸部2aの基端側にフランジ部5を設け、軸部2aはこのフランジ部5から突出する構成にしている。さらに、軸部2aの突出端には、軸部2aよりも小径な支持突部2bを設け、この支持突部2bがケーシング1に設けた図示していない軸受に回転自在に支持される構成にしている。そして、上記軸部2aと支持突部2bとの境界には段差を設けて段差部2cとしている。さらに、上記軸部材2は、それをケーシング1の一方に設けた開口から挿入し、上記支持突部2bをケーシング1に設けた軸受に支持させるとともに、上記開口を図1に示したキャップ6でふさぐ。このキャップ6には図示していない軸受部を設け、この軸受部で、上記フランジ部5の外側における軸部材2を回転自在に支持する。一方、上記ケーシング1の内周には、図2に示すように、軸部材2に向かって突出する一対の区画壁7,8を設けているが、この区画壁7,8の先端が軸部2aの外周に接触するかあるいはわずかなすき間を保って回動する。したがって、上記区画壁7,8は、ケーシング1の内周に接触するかあるいはわずかなすき間を保って回動する羽根部4と相まって少なくとも一対の区画室9a,9b及び10a,10bを形成する。さらに、上記羽根部3,4には、図4,5に示すように、軸部2aの軸線方向に長辺を有する長方形の貫通孔を形成し、この貫通孔を流体通路11,12としている。そして、一対の羽根部3,4であって、互いに点対称となる側面にはチェック弁13,14を設け、このチェック弁13,14の作用で、上記流体通路11,12には一方向の流れのみを許容する構成にしているが、このチェック弁13,14の具体的な構成は次のとおりである。上記チェック弁13,14は、板状の弁体13a,14aと固定部13b,14bとからなり、この固定部13b,14bは、弁体13a,14aの基端に連続させるとともに上記基端部分をU字状に折り返してなるが、これら弁体13a,14a及び固定部13b,14bは弾性を有する材料で構成している。なお、チェック弁13,14の強度が求められる場合には、チェック弁13,14を金属製とすることが好ましい。そして、上記固定部13b,14bは、はめ込み溝15,16に埋め込むが、このはめ込み溝15,16は、上記軸部2aの軸方向に対応する方向の長さと、上記固定部13b,14bの上記軸方向に対応する方向の長さとをほぼ等しくし、固定部13b,14bがはめ込み溝15,16にほぼぴったりとはまる構成にしている。また、はめ込み溝15,16の一方の側面は羽根部3,4の側面と連続し、この一方の側面と対向する他方の側面は、上記一方の側面との間で、上記固定部13b,14bがはめ込まれるだけの対向間隔を保つとともに、この他方の側面におけるはめ込み溝15,16の開口には、軸方向に伸びる抜止め用突部17,18を形成している。そして、フランジ部5側における溝の壁面をストッパー部15a,16aとし、上記弁体13a,14aがこのストッパー部15a,16aよりもフランジ部5側に移動しないようにしている。また、上記抜止め用突部17,18は、はめ込み溝15,16に埋め込まれた固定部13b,14bの先端である当接部13c、14cが当たって、固定部13b、14bがはめ込み溝15,16から抜けるのを防止する。さらに、上記支持突部2bの表面には、その軸方向に伸びる挿入溝19,20を形成し、この挿入溝19,20の一端を支持突部2bの先端に開放するとともに、他端を上記段差部2cに開口するはめ込み溝15,16に連続させている。なお、上記のようにはめ込み溝15,16に連続する挿入溝19,20を形成したのは、成形時の型抜きをやりやすくするためである。つまり、羽根部3,4は軸部2aに向かって図2の断面幅を狭くするが、羽根部3,4をこのような形状にすると、はめ込み溝15,16を形成する型を図2の直径方向には抜き難くなる。そこで、上記のようにはめ込み溝15,16に挿入溝19,20を連続させることによって、これらはめ込み溝15,16及び挿入溝19,20を形成する型を軸方向に抜くことができるようになる。また、このようにすることによって、抜止め用突部17,18も型成形できる。そして、チェック弁13,14を軸部材2に組み付けるときには、U字状にした固定部13b、14bをやや撓ませながら挿入溝19,20に沿ってスライドさせ、当接部13c、14cが抜止め用突部17,18の内側に入るようにしてはめ込み溝15,16に押し込む。このようにすれば、U字状にした固定部13b,14bがはめ込み溝15,16内で弾性的に開こうとする力が発生し、その力の作用で弁体13a,14aが羽根部3,4に密着する。そして、固定部13b、14bをはめ込み溝15,16に埋め込むことによって、当該固定部13b、14bを上記区画室9a,9b及び10a,10b外に位置させることができる。なお、この区画室9a,9b及び10a,10bは、上記ケーシング1の円弧面1a,1bと軸部材2の外周面との間であって、上記区画壁7,8と羽根部3,4とで区画されるが、上記ケーシング1の円弧面1a,1bとは、ケーシングの内周に内接する内接円上の弧面のことであり、軸部材2の外周面とは、軸部材の外周に外接する外接円上の周面のことで、上記はめ込み溝15,16が軸部材2の外周に開口していても、このはめ込み溝15,16の内面に沿った部分は軸部材2の外周に含まれない。そして、上記軸部材2に組み込まれたチェック弁13,14に対して、軸部2aの軸方向に対応する方向における弁体13a,14aの中心を基準にして、流体通路11,12を、支持突部2b側すなわちケーシング1側に偏らせている。言い換えると、上記弁体13a,14aの上記軸方向に対応する方向における中心を基準にして、上記流体通路11,12を支持突部2b側に偏らせている。上記のように弁体13a,14aの中心を基準に流体通路11,12を偏らせたので、上記中心よりも支持突部2b側すなわちケーシング1側における流体通路11,12の開口面積が、上記弁体13a,14aの上記中心を境にして反対側の開口面積よりも相対的に大きくなる。このように支持突部2b側すなわちケーシング1側において流体通路11,12の開口面積を相対的に大きくしたのは、弁体13a,14aが、流体通路11,12からの圧力を受けて、ケーシング1側にずれないようにし、弁体13a,14aとケーシング1とがこすれ合ってケーシング1を損傷させないようにするためである。例えば、上記流体通路11,12の上記軸方向における中心を、弁体13a,14aの上記軸方向における中心と一致させた場合には、言い換えれば、上記中心を境に流体通路11,12の開口面積を等しくした場合には、弁体13a,14aに作用する圧力バランスが少しでもくずれると、弁体13a,14aが圧力作用の大きな側から小さな側によじれる。このときのよじれ力は、弁体13a,14aを移動する力になり、当該弁体13a,14aを上記軸方向いずれかに移動させてしまう。もし、弁体13a,14aが、ケーシング1側によじれながら移動すると、弁体13a,14aと、ケーシング1や支持突部2bを支持する図示していない軸受とがこすれ合って磨耗によりケーシング1や軸受を損傷させることがある。特に、板状の弁体13a,14aを金属製にし、ケーシング1を樹脂製にしたときには、その損傷が大きくなる。この損傷が大きくなると、ケーシング1と羽根部3,4との間にすき間が形成されるとともに、しかも、そのすき間がどんどん大きくなっていくので、このすき間を通して粘性流体が通過移動してしまい、必要とするダンパトルクを得ることができないことになる。しかし、上記のようにケーシング1側における流体通路11,12の開口面積を相対的に大きくしておけば、弁体13a,14aは、ケーシング1から離れる方向のよじれ力を受け、ケーシング1側に移動しにくくなる。したがって、チェック弁13,14によってケーシング1を損傷することがほとんどなくなる。上記第1実施形態の有限角ロータリーダンパーは、図2において、軸部材2がケーシング1に対して反時計方向に回転すると、区画室9a、10aの容積が縮小して、区画室9b,10bの容積が拡大し、区画室9a,10a内の粘性流体の圧力が上昇する。したがって、区画室9a,10a内の粘性流体の圧力が、流体通路11,12を介してチェック弁13,14の弁体13a、14aに作用する。このように弁体13a,14aに高圧が作用すれば、それがたわんで流体通路11,12を開き、区画室9a,10aの粘性流体が区画室9b,10bに流れ、軸部材2の自由回転を許容する。すなわち、ケーシング1に対する軸部材2の回転トルクが小さくなり、ケーシング1に対して軸部材2が軽い力で回転することになる。軸部材2が上記とは反対方向である時計方向に回転すると、区画室9b、10bの容積が縮小して、区画室9a,10aの容積が拡大し、区画室9b,10b内の粘性流体の圧力が上昇する。したがって、区画室9b,10b内の粘性流体の圧力がチェック弁13,14の弁体13a、14aに作用するが、このときには弁体13a,14aが羽根部3,4に密着するだけで、流体通路11,12を閉じた状態に保つ。流体通路11,12が上記のように閉じられた状態では、高圧になった粘性流体は、ケーシング1の円弧面1a,1bと羽根部3,4との間のすき間や、軸部2aの外周と区画壁7,8との接触部分のすき間を通って、反対側の区画室9a,10aに流れるが、このときの流動抵抗で減衰力が発揮される。そして、軸部材2が上記のように時計方向にフルストロークすると、羽根部3,4と区画壁7,8との間に弁体13a,14aが介在するが、上記のように固定部13b,14bがはめ込み溝15,16に埋め込まれて区画室9a,9b及び10a,10bの外に位置するので、デッドストロークがほとんどない。また、弁体13a,14aは、それに圧力が作用していないノーマル状態で、固定部13b,14bの弾性力と相まって羽根部3,4に密接しているので、いわゆるバックラッシュもほとんどなくなる。したがって、バックラッシュが原因になっていた制御不能領域をなくすことができる。さらに、流体通路11,12は、上記したようにケーシング1側における流体通路11,12の開口面積を相対的に大きくし、弁体13a,14aが、ケーシング1から離れる方向のよじれ力を受けるようにして、ケーシング1側に移動しにくくしたので、弁体13a,14aによってケーシング1を損傷することがほとんどなくなる。また、上記はめ込み溝15,16には抜止め用突部17,18を設け、この抜止め用突部17,18にチェック弁13,14の当接部13c,14cが当たるようにしたので、弁体13a,14aにそれがはめ込み溝15,16から抜ける方向の力が作用したとしても弁体13a,14aがそのはめ込み溝15,16から抜けてしまうことがない。図6,7に示した第2実施形態は、第1実施形態の流体通路11,12及びはめ込み溝15,16に代えて、区画壁7,8に流体通路21,22を形成するとともに、ケーシング1の円弧面1a,1bに第1実施形態と同様のはめ込み溝23,24を形成し、そのはめ込み溝には抜止め用突部25,26を設けたもので、その他の構成要素及びチェック弁13,14及び流体通路21,22との相対関係は第1実施形態と同じである。したがって、第1実施形態と同じ構成要素については、その詳細な説明を省略するとともに、それら同一の構成要素については、第1実施形態と同一符号を用い、それらの詳細な説明は省略する。なお、この第2実施形態においても、区画室9a,9b及び10a,10bは、上記ケーシング1の円弧面1a,1bと軸部材2の外周面との間であって、上記区画壁7,8と羽根部3,4とで区画されるが、軸部材2の外周面とは、軸部材の外周に外接する外接円上の周面のことであり、上記ケーシング1の円弧面1a,1bとは、ケーシングの内周に内接する内接円上の周面のことで、上記はめ込み溝23,24がケーシング1の円弧面1aに開口していても、この発明においてはめ込み溝23,24の内面に沿った部分はケーシング1の内周に含まれない。上記したように第2実施形態においても、軸部材2がフルストロークすると、羽根部3,4と区画壁7,8との間に弁体13a,14aが介在するが、固定部13b,14bがはめ込み溝23,24に埋め込まれて区画室9a,9b及び10a,10bの外に位置するので、デッドストロークがほとんどない。また、弁体13a,14aは、それに圧力が作用していないノーマル状態で、固定部13b,14bの弾性力と相まって区画壁7,8に密接しているので、いわゆるバックラッシュもなくなる。さらに、上記はめ込み溝23,24には抜止め用突部25,26を設け、この抜止め用突部25,26にチェック弁13,14の当接部13c,14cが当たるようにしたので、弁体13a,14aにそれがはめ込み溝25,26から抜ける方向の力が作用したとしてもチェック弁13,14がそのはめ込み溝25,26から抜けてしまうことがない。なお、この実施形態においても、はめ込み溝25,26の図示していない壁面をストッパー部としている。また、この第2実施形態においても、流体通路21,22の位置を、第1実施形態と同様にチェック弁13,14に対して、軸部2aの軸方向に対応する方向における弁体13a,14aの中心を基準にして、支持突部2b側すなわちケーシング1側に偏らせている。言い換えると、上記弁体13a,14aの上記軸方向に対応する方向における中心を基準にして、上記流体通路21,22を支持突部2b側に偏らせている。上記のように弁体13a,14aの中心を基準に流体通路21,22を偏らせたので、上記中心よりも支持突部2b側すなわちケーシング1側における流体通路21,22の開口面積が、上記弁体13a,14aの中心を境にして反対側の開口面積よりも相対的に大きくなる。ケーシング1側における流体通路21,22の開口面積を相対的に大きくしておけば、第1実施形態と同様に、弁体13a,14aは、ケーシング1から離れる方向のよじれ力を受け、ケーシング1側に移動しにくくなる。したがって、弁体13a,14aによってケーシング1を損傷することがほとんどなくなる。上記以外の構成及び作用効果は、第1実施形態と同じである。図8,9に示した第3実施形態は、チェック弁27,28の構成を第1,2実施形態と相違させたものである。すなわち、この第3実施形態のチェック弁27,28は、図示のように弁体27a,28aの基部に設けた固定部27b,28bを鉤型に形成し、それを羽根部3,4の基部に直接埋め込んだものである。つまり、この第3実施形態では、第1,2実施形態のようにはめ込み溝を形成することなく、固定部27b,28bを羽根部3,4の基部に直接埋め込んでいる。なお、この第3実施形態においても、弁体27a,28aは、支持突部2b側から軸部2aの軸方向に沿って羽根部3,4の基部に挿入するものである。また、はめ込み溝23,24の図示していない壁面をストッパー部としている。そして、流体通路11,12の位置を、第1実施形態と同様にチェック弁27,28に対して、軸部2aの軸方向に対応する方向における弁体27a,28aの中心を基準にして、支持突部2b側すなわちケーシング1側に偏らせている。言い換えると、上記弁体27a,28aの上記軸方向に対応する方向における中心を基準にして、上記流体通路11,12を支持突部2b側に偏らせている。上記のように弁体27a,28aの中心を基準に流体通路11,12を偏らせたので、上記中心よりも支持突部2b側すなわちケーシング1側における流体通路11,12の開口面積が、上記弁体27a,28aの中心を境にして反対側の開口面積よりも相対的に大きくなる。ケーシング1側における流体通路11,12の開口面積を相対的に大きくしておけば、第1実施形態と同様に、弁体27a,28aは、ケーシング1から離れる方向のよじれ力を受け、ケーシング1側に移動しにくくなる。したがって、弁体27a,28aによってケーシング1を損傷することがほとんどなくなる。上記以外の構成及び作用効果は、第1実施形態と同じである。図10,11に示した第4実施形態は、第3実施形態の流体通路11,12に代えて、区画壁7,8に流体通路21,22を形成したもので、チェック弁27,28及び流体通路21,22との関係を含めた他の構成は第3実施形態と同じである。したがって、第3実施形態と同じ構成要素については、その詳細な説明を省略するとともに、それら同一の構成要素については、第3実施形態と同一符号を用いる。そして、この第4実施形態においても、流体通路21,22の位置を、第3実施形態と同様にチェック弁27,28に対して、軸部2aの軸方向に対応する方向における弁体27a,28aの中心を基準に、支持突部2b側すなわちケーシング1側に偏らせている。言い換えると、上記弁体27a,28aの上記軸方向に対応する方向における中心を基準にして、上記流体通路21,22を支持突部2b側に偏らせている。上記のように弁体27a,28aの中心を基準に流体通路21,22を偏らせたので、上記中心よりも支持突部2b側すなわちケーシング1側における流体通路21,22の開口面積が、上記弁体27a,28aの中心を境にして反対側の開口面積よりも相対的に大きくなる。ケーシング1側における流体通路21,22の開口面積を相対的に大きくしておけば、第1実施形態と同様に、弁体27a,28aは、ケーシング1から離れる方向のよじれ力を受け、ケーシング1側に移動しにくくなる。したがって、弁体27a,28aによってケーシング1を損傷することがほとんどなくなる。上記以外の構成及び作用効果は、第1実施形態と同じである。図12に示した第5実施形態は、軸線に直交する方向のケーシングcの断面形状を扇形にしたものである。すなわち、この第5実施形態は、ケーシングc内に円弧面aを形成するとともに、この円弧面aの両端に、円弧面aからその中心方向に向かう壁面を形成し、この壁面を区画壁29、30としている。また、上記ケーシングcの中心部分には、軸部材31の軸部31aを回転自在に保持させるとともに、この軸部31aには第1実施形態と同様の羽根部32を形成している。さらに、軸部31aを図12に示すようにケーシングcに組み込んだ状態では、上記羽根部32は、先端がケーシングcの円弧面aに接触するかあるいはわずかなすき間を保って回動する寸法を保っている。そして、上記円弧面aは、その円弧の中心と、上記軸部材2の回転中心とを一致させとともに、上記羽根部32と区画壁29,30とが相まって、ケーシングc内に区画室33,34を区画している。さらに、この第5実施形態においてもチェック弁35を組み付けるが、このチェック弁35には弁体35aと固定部35bとを備えるとともに、このチェック弁35の固定部35bを、軸部31aの軸線に沿って形成したはめ込み溝36に埋め込み、弁体35aの挿入端を図示していないストッパー部としている。そして、このチェック弁35の機能は第1実施形態と全く同じである。なお、図中符号37は抜け止め用突起で、第1実施形態と全く同じ機能を発揮するものである。そして、上記羽根部32には、流体通路38を形成しているが、この流体通路38は第1実施形態と同様の位置関係を保っている。すなわち、上記軸部材31に組み込まれたチェック弁35に対して、軸部31aの軸方向に対応する方向における弁体35aの中心を基準にして、流体通路38を、図示していない支持突部側すなわちケーシングc側に偏らせている。言い換えると、上記弁体35aの上記軸方向に対応する方向における中心を基準にして、上記流体通路38を支持突部2b側に偏らせている。上記のように弁体35aの中心を基準に流体通路38を偏らせたので、上記中心よりもケーシングc側における流体通路38の開口面積が、上記弁体35aの中心を境にして反対側の開口面積よりも相対的に大きくなる。このようにケーシングc側において流体通路38の開口面積を相対的に大きくしたのは、弁体35aが、流体通路38からの圧力を受けて、ケーシングc側にずれないようにし、弁体35aでケーシングcを損傷させないようにするためで、これらの点は第1実施形態と同様である。図13に示した第6実施形態は、軸部材39の軸部39aに形成した羽根部40,41の形状を上記各実施形態と相違させたものである。すなわち、羽根部40,41の先端部分に、軸部39aの軸方向に対応する方向に深さを有する溝42を形成し、羽根部40,41の先端部分を二股状にしたものである。そして、これら二股状部には、それらを貫通する流体通路46,47を形成するとともに、二股状部を形成する上記溝42、43にチェック弁44,45を組み込んでいる。つまり、上記チェック弁44,45には、弁体44a,45aと固定部44b,45bを形成し、この固定部44b,45bを上記溝42,43に組み込んでいる。なお、上記チェック弁44,45は、それが溝42,43に組み込まれた状態において、互いに点対称となる位置関係を保っている。そして、上記チェック弁44,45と流体通路46,47との相対関係は、すべて第1実施形態と同じであり、しかも、チェック弁44,45がケーシング1側に移動しないようにした点も第1実施形態と同じである。図14に示した第7実施形態は、流体通路を複数の円孔からなる流路孔48,49で構成したもので、その他は第1実施形態と同じである。したがって、第1実施形態と同じ構成要素については、その詳細な説明を省略するとともに、それら同一の構成要素については、第1実施形態と同一符号を用い、それらの詳細な説明は省略する。そして、上記複数の流路孔48,49は、軸部材2に組み込まれたチェック弁13,14に対して、軸部2aの軸方向に対応する方向における弁体13a,14aの中心を基準にして、支持突部2b側すなわちケーシング1側の数を多くし、上記弁体13a,14aの上記軸方向に対応する方向における中心を基準にして、上記支持突部2b側における流路孔48,49のトータルの開口面積を相対的に大きくしている。図15に示した第8実施形態は、流体通路を表面三角形した流路孔50,51で構成したもので、その他は第1実施形態と同じである。したがって、第1実施形態と同じ構成要素については、その詳細な説明を省略するとともに、それら同一の構成要素については、第1実施形態と同一符号を用い、それらの詳細な説明は省略する。そして、上記流路孔50,51は、軸部材2に組み込まれたチェック弁13,14に対して、軸部2aの軸方向に対応する方向における弁体13a,14aの中心を基準にして、支持突部2b側すなわちケーシング1側の開口面積を大きくし、上記弁体13a,14aの上記軸方向に対応する方向における中心を基準にして、上記支持突部2b側の流路孔50,51の開口面積を相対的に大きくしている。上記のようにした第7,8実施形態の作用効果は、ともに第1実施形態と全く同じである。図16,17図に示した第9実施形態は、第1実施形態と同様に、円筒状のケーシング1に軸部材2の軸部2aを回転自在に組み込むが、このケーシング1内に組み込んだ軸部2aには、その半径方向に突出する一対の羽根部52,53を設けている。そして、この羽根部52,53には、その先端部分を開放した凹部からなる流体通路54,55を形成している。上記のようにした羽根部52,53にはチェック弁56,57を設けているが、このチェック弁56,57は、一対の壁部56a,56b及び57a、57bを対向させた弁体からなり、それらの対向間隔を上記羽根部52,53の厚さよりも大きくし、この対向間隔内に羽根部52,53の先端を挿入している。そして、一方の壁部56b,57bには、上記流体通路54,55と軸方向の幅をほぼ同じにした凹部56c,57cを形成している。さらに、上記羽根部52,53の一方の側面には、第1実施形態と同じフランジ部5を形成しているが、この第9実施形態においては、このフランジ部5がストッパー部を構成することになる。一方、上記羽根部52,53に形成した流体通路54,55は、羽根部52,53に設けたチェック弁56,57に対して、軸部2aの軸方向に対応する方向におけるチェック弁56,57の弁体の中心を基準にして、上記流体通路54,55を、ストッパー部を構成するフランジ部5とは反対側すなわちケーシング1側に偏らせている。なお、チェック弁56,57の壁部56b,57bに形成した凹部56c,57cも、流体通路54,55に対応させて、フランジ部5とは反対側に偏らせている。上記のようにチェック弁56,57の弁体の中心を基準に流体通路54,55を偏らせたので、上記中心よりもケーシング1側における流体通路54,55の開口面積が、上記弁体の中心を境にして、ストッパー部であるフランジ部5側の開口面積よりも相対的に大きくなる。このようにケーシング1側において流体通路54,55の開口面積を相対的に大きくしたので、チェック弁56,57の弁体が、流体通路54,55からの圧力を受けて、ケーシング1側にずれることがなく、上記弁体とケーシング1とがこすれ合ってケーシング1を損傷させることはない。なお、この第9実施形態においても、ケーシング1の内周から突出する区画壁7,8を設けるとともに、この区画壁7,8と羽根部52,53との間で区画室9a,9b及び10a,10bが形成される。そして、図16に示す状態から、ケーシング1との間で軸部2aが反時計方向に相対回転すると、羽根部52,53が一方の壁部56a,57aに密着するので、流体通路54,55が塞がれる。この状態では、区画室9a,10a内の粘性流体は、チェック弁56,57とケーシング1との間のすき間及び区画壁7,8と軸部2aとの間のすき間を通って、他方の区画室9b,10bに流れるので、このときの流動抵抗で減衰力が発揮される。軸部2aが上記とは反対方向に相対回転すると、今度は、羽根部52,53が他方の壁部56b、57bに密着するので、流体通路54,55を開く。流体通路54,55が開けば、区画室9b,10bの粘性流体が、この流体通路54,55を通って流れるので、軸部2aは自由回転することになる。そして、流体通路54,55に粘性流体が流れるときには、チェック弁56,57の弁体に粘性流体による圧力が作用するが、上記したように流体通路54,55を、フランジ部5とは反対側に偏らせたので、チェック弁56,57にはフランジ部5であるストーパー部側に移動する力が作用する。このようにチェック弁56,57には、ストッパー部側に移動する力が作用するので、当該チェック弁56,57がケーシング1側に移動しにくくなり、チェック弁56,57の弁体とケーシング1とがこすれ合ってケーシング1を損傷させたりしない。図18に示した第10実施形態は、ケーシング1に設けた区画壁7,8側に流体通路58,59を形成し、チェック弁60,61をこの区画壁7,8と軸部2aとの間に設けたたもので、その他は、第9実施形態と全く同じである。つまり、上記区画壁7,8に形成した流体通路58,59は、ストッパー部を構成するフランジ部5とは反対側に偏らせ、当該チェック弁60,61がケーシング1側に移動しにくくして、チェック弁の弁体とケーシング1とがこすれ合ってケーシング1を損傷させないようにしている。また、減衰力を発揮するメカニズムも、第9実施形態と同様である。"