カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、RGBのいずれかの画素をBase面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置が行う方法であって、膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのRGBいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶し、Base面となるRGBのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うZ位置との相関を示す相関データを記憶し、搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値を読み出し、カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Base面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うZ位置を求め、求めたZ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定することを特徴とするフォトスペーサー高さ検査方法。カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、RGBのいずれかの画素をBase面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置であって、膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのRGBいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶する手段と、Base面となるRGBのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うZ位置との相関を示す相関データを記憶する手段と、搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値を読み出す手段と、カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Base面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うZ位置を求め、求めたZ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定する手段とを備えることを特徴とするフォトスペーサー高さ検査装置。ところで、上述のフォトスペーサー高さ検査装置の例では、測定座標ごとに毎回オートフォーカス動作を実施するために、装置タクトタイムが延びるという問題がある。本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、フォトスペーサー高さ検査装置の装置タクトタイムを短縮することを課題とする。本発明において上記課題を解決するために、まず請求項1の発明では、カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、RGBのいずれかの画素をBase面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置が行う方法であって、膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのRGBいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶し、Base面となるRGBのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うZ位置との相関を示す相関データを記憶し、搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値を読み出し、カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Base面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うZ位置を求め、求めたZ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定することを特徴とするフォトスペーサー高さ検査方法としたものである。また請求項2の発明では、カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、RGBのいずれかの画素をBase面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置であって、膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのRGBいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶する手段と、Base面となるRGBのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うZ位置との相関を示す相関データを記憶する手段と、搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値を読み出す手段と、カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Base面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うZ位置を求め、求めたZ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定する手段とを備えることを特徴とするフォトスペーサー高さ検査装置としたものである。本発明は、オートフォーカス動作を実施しないので、フォトスペーサー高さ検査装置の装置タクトタイムを短縮できるという効果がある。以下に、本発明の一実施形態を説明する。本実施形態では、カラーフィルタ基板は、ブラックマトリックスを形成するBM工程、R画素を形成するRed工程R工程とも云う、G画素を形成するGreen工程G工程とも云う、B画素を形成するBlue工程B工程とも云う、ブラックマトリック及びRGB画素の形成面を研磨して酸化インジウム錫ITOとも云うからなる透明電極を形成する研磨ITO工程、フォトスペーサーを形成するPSASV工程、検査工程を経て製造される。RGB各工程には、図4に示すように、膜厚監視装置TMSとも云う30が設置され、PSASV工程には、図5に示すように、本発明のフォトスペーサー高さ検査装置40が配置され、膜厚監視装置30と、フォトスペーサー高さ検査装置40とは、ネットワークで接続され、相互に通信可能となっている。RGBそれぞれの工程の膜厚監視装置は、フォトスペーサー高さ検査装置の測定座標と同座標でのRGBそれぞれの画素の膜厚測定を全カラーフィルタ基板で行っている。RGBのいずれかの工程の膜厚監視装置は、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのRGBいずれかの画素の膜厚測定値を測定すると、各カラーフィルタ基板を識別する基板IDと関係付けて、フォトスペーサー高さ検査装置に送信する。本発明のフォトスペーサー高さ検査装置は、RGBのいずれかの工程の膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのRGBいずれかの画素の膜厚測定値と、各カラーフィルタ基板を識別する基板IDとを関係付けたものを受信して、記憶装置に記憶する。また本発明のフォトスペーサー高さ検査装置にて、図6に示すような、Base面となるRGBのいずれかの画素の膜厚値Base面高さとも云うとカメラのピントが合うZ位置との相関を示すデータ相関データとも云うをとっておき、この相関データを記憶装置に記憶しておく。そして本発明のフォトスペーサー高さ検査装置は、カラーフィルタ基板搬入後、このカラーフィルタ基板の基板IDと関係付けて記憶している、このカラーフィルタ基板の測定座標ごとのBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値を読み出して取得し、カメラを各測定座標に移動後に、オートフォーカス動作スキャン動作を行うことなく、記憶している相関データに基づいて、各測定座標にてBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うZ位置を求め、求めたZ位置カメラを移動し、測定を行う。以下に、本発明のフォトスペーサー高さ検査装置の動作フローの例を、図7に示すフローチャートに従って説明する。SSTEP1;カラーフィルタ基板を搬入する。SSTEP2;以下のSTEP2aとSTEP2bとを平行して実施する。SSTEP2a;搬入したカラーフィルタ基板に対して、メカアライメント及びソフトアライメントによる位置合わせを行う。SSTEP2b;搬入したカラーフィルタ基板の基板IDと関係付けて記憶している、このカラーフィルタ基板の測定座標ごとのBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値を読み出して取得する。SSTEP3;カメラを最初の測定座標へ移動する。SSTEP4;オートフォーカス動作スキャン動作を行うことなく、記憶している相関データに基づいて、最初の測定座標にてBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うZ位置を求め、求めたZ位置にカメラを移動する。SSTEP5;最初の測定座標で、フォトスペーサーの高さを測定する。SSTEP6;カメラを次の測定座標へ移動する。SSTEP7;オートフォーカス動作スキャン動作を行うことなく、記憶している相関データに基づいて、次の測定座標にてBase面となるRGBいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うZ位置を求め、求めたZ位置にカメラを移動する。SSTEP8;次の測定座標で、フォトスペーサーの高さを測定する。SSTEP9;全ての測定座標でフォトスペーサーの高さを測定したかを確かめ、全ての測定座標で測定したならば、STEP10に進み、他方、測定していない測定座標があるならば、STEP6に戻る。SSTEP10;カラーフィルタ基板を搬出する。