"外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部に設けられた蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記媒体が、PH線図の過熱蒸気領域において、飽和蒸気線の傾きよりも、等エントロピー線の傾きの方が大きい媒体であり、前記ヒートポンプ循環経路に、前記媒体凝縮器から前記膨張機に向かう媒体と、前記排熱回収器から前記圧縮機に向かう媒体とを熱交換して、前記圧縮機に導入される媒体を加熱する内部熱交換器が配置されていることを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。前記媒体が、n-ペンタンC5H12、1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパンCHF2CH2CF3、1,1,1,2,2,3,3-ヘプタフルオロ-3-メトキシプロパンC3F7OCH3から選ばれる1種である、請求項1に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。前記内部熱交換器は、前記圧縮機で前記媒体を圧縮して目的温度まで昇温する際において、該媒体が凝縮することなく目的温度まで昇温可能な温度に達するまで、前記圧縮機に導入される媒体を加熱する、請求項1又は2に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。前記内部熱交換器から前記膨張機に向かう媒体と、前記媒体凝縮器に向かう供給水とを熱交換して、前記媒体凝縮器に向かう供給水を予備加熱する媒体冷却器が配置されている、請求項1~3のいずれか1項に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置。特許文献2は、冷凍装置を対象としたものであって、蒸気生成装置に比べてヒートポンプから取出される温度は低い。このため、冷凍装置のヒートポンプ媒体と、ヒートポンプ式蒸気生成装置のヒートポンプ媒体とは異なる特性を有するものが用いられている。ヒートポンプ式蒸気生成装置のヒートポンプ媒体には、より多くの熱量を取り出す必要があるため、臨界温度の高いものを用いる必要があり、1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパンCHF2CH2CF3、以下、R245faという、プロパンなどが用いられている。特許文献1においても、R245faをヒートポンプ媒体として用いている。しかしながら、図3に示すように、R245faのPH線図は過熱蒸気領域において、飽和蒸気線の傾きよりも、等エントロピー線の傾きの方が大きいため、圧縮機で昇圧する際にヒートポンプ媒体が過熱蒸気領域から気液領域に移行して凝縮する可能性があった。また、ペンタンにおいても、図4のPH線図に示されるように、過熱蒸気領域において飽和蒸気線の傾きよりも、等エントロピー線の傾きの方が大きいため、圧縮機で昇圧する際にヒートポンプ媒体が過熱蒸気領域から気液領域に移行して凝縮する可能性があった。したがって、本発明の目的は、ヒートポンプ媒体の圧縮機での凝縮を抑制し、長期にわたって安定して蒸気を取り出すことが可能なヒートポンプ式蒸気生成装置を提供することにある。本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置は、外部熱源から熱を回収して媒体を加温する排熱回収器、前記排熱回収器を通過した媒体を圧縮する圧縮機、前記圧縮機で圧縮された媒体の熱を被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する媒体凝縮器、及び前記媒体凝縮器を通過した媒体を減圧して温度を下げる膨張機を有するヒートポンプ循環経路と、前記媒体凝縮器に供給水を導入する給水経路と、前記媒体凝縮器で生成した、温水及び蒸気の気液二相流を、水蒸気と水とに分離する気液分離器と、前記気液分離器の気相部に設けられた蒸気取出し経路と、前記気液分離器の液相部と前記給水経路とを接続する水循環経路とを備えたヒートポンプ式蒸気生成装置であって、前記媒体が、PH線図の過熱蒸気領域において、飽和蒸気線の傾きよりも、等エントロピー線の傾きの方が大きい媒体であり、前記ヒートポンプ循環経路に、前記媒体凝縮器から前記膨張機に向かう媒体と、前記排熱回収器から前記圧縮機に向かう媒体とを熱交換して、前記圧縮機に導入される媒体を加熱する内部熱交換器が配置されていることを特徴とする。本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置は、前記媒体が、n-ペンタンC5H12、1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパンCHF2CH2CF3、1,1,1,2,2,3,3-ヘプタフルオロ-3-メトキシプロパンC3F7OCH3から選ばれる1種であることが好ましい。本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置の前記内部熱交換器は、前記圧縮機で前記媒体を圧縮して目的温度まで昇温する際において、該媒体が凝縮することなく目的温度まで昇温可能な温度に達するまで、前記圧縮機に導入される媒体を加熱することが好ましい。本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置は、前記内部熱交換器から前記膨張機に向かう媒体と、前記媒体凝縮器に向かう供給水とを熱交換して、前記媒体凝縮器に向かう供給水を予備加熱する媒体冷却器が配置されていることが好ましい。PH線図の過熱蒸気領域において、飽和蒸気線の傾きよりも、等エントロピー線の傾きの方が大きい媒体は、十分に過熱されないまま圧縮機に導入されると、圧縮時に凝縮することがあったが、本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置は、ヒートポンプ循環経路に、媒体凝縮器から膨張機に向かう媒体と、排熱回収器から圧縮機に向かう媒体とを熱交換して、圧縮機に導入される媒体を加熱する内部熱交換器を配置したことにより、圧縮機に導入される媒体が加熱され、圧縮機内部における媒体の凝縮を防止できる。このため、圧縮機の損傷を抑え、長期にわたって安定して蒸気を取り出すことができる。図1は、本発明を適用するヒートポンプ式蒸気生成装置の第1の実施形態の概略図である。図1に示すように、このヒートポンプ式蒸気生成装置は、排熱回収器1の出口側から伸びた配管L1が、内部熱交換器10の低温媒体部、圧縮機2、媒体凝縮器3、内部熱交換器10の高温媒体部、膨張機5の順に経由して、排熱回収器1の入り口側に接続したヒートポンプ循環経路20を備える。ヒートポンプ循環経路20では、媒体以下、ヒートポンプ媒体というが循環流通しており、ヒートポンプ媒体を介して外部熱源から送られてくる熱媒体この実施形態では、熱媒体として排温水を使用しているの熱を回収するとともに、給水源から送られてくる供給水にヒートポンプ媒体の熱を伝熱して蒸気を生成するように構成されている。ヒートポンプ媒体としては、PH線図の過熱蒸気領域において、飽和蒸気線の傾きよりも、等エントロピー線の傾きの方が大きい媒体を用いる。好ましくは、R245faCHF2CH2CF3、n-ペンタンC5H12、1,1,1,2,2,3,3-ヘプタフルオロ-3-メトキシプロパンC3F7OCH3、3M社製品名:HFE-7000である。これらは、臨界温度が150°C以上であり、地球温暖化係数が低く、オゾン破壊係数が低いため、好ましく用いられる。外部熱源から伸びた、排温水が流通する配管L2は、排熱回収器1を経由して系外に接続している。給水源から伸びた、供給水が流通する配管L3は、図示していない給水ポンプ、媒体凝縮器3の順に経由して、気液分離器7の気相部に接続している。気液分離器7は、気相部に、蒸気取出し用の開閉弁V1を介装した配管L4が設けられている。また、液相部に、系外の排水系へと伸びる開閉弁V2を介装した配管L5と、媒体凝縮器3に接続する配管L6が設けられている。次に、本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置の定常運転時における動作について、ヒートポンプ媒体としてR245faを用いた場合を例に挙げて、熱の流れに沿って説明する。排温水工場排水系等の外部熱源から送られる排温水この実施形態では70°Cは、配管L2を流通し、排熱回収器1を通過して排水この実施形態では60°Cとして系外へと送られる。排熱回収器1では、排温水の熱を、配管L1を流通するヒートポンプ媒体に伝熱してヒートポンプ媒体を加温する。ヒートポンプ媒体排熱回収器1にて、排温水との熱交換により加温されたヒートポンプ媒体この実施形態では60°Cの飽和蒸気は、内部熱交換器10の低温媒体部に送られる。そして、内部熱交換器10の高温媒体部に送られる、媒体凝縮器3を通過したヒートポンプ媒体この実施形態では130°Cの飽和蒸気との熱交換により加熱されて、圧縮機2に送られる。内部熱交換器10では、圧縮機2でヒートポンプ媒体を圧縮して目的温度まで昇温する際において、ヒートポンプ媒体が凝縮することなく目的温度まで昇温可能な温度に達するまで加熱することが好ましい。すなわち、この実施形態では、ヒートポンプ媒体が70°C以上の過熱蒸気になるまで行うことが好ましい。圧縮機2では、内部熱交換器10で加熱されたヒートポンプ媒体この実施形態では70°Cの過熱蒸気を所定の圧力まで圧縮して高温高圧媒体この実施形態では130°Cの過熱蒸気とする。この高温高圧媒体は、媒体凝縮器3を通過して、配管L3を流通する供給水との熱交換に利用される。媒体凝縮器3では、高温高圧媒体ヒートポンプ媒体の熱を、配管L3を流通する被加熱水に伝熱して温水及び蒸気の気液二相流を生成する。媒体凝縮器3を通過したヒートポンプ媒体は、内部熱交換器10の高温媒体部に送られ、前述したように内部熱交換器10の低温媒体部に送られるヒートポンプ媒体との熱交換により、内部熱交換器10の低温媒体部を流通するヒートポンプ媒体を加熱する。そして、内部熱交換器10の高温媒体部を通過したヒートポンプ媒体この実施形態では120°Cの過冷却液体は、膨張機5にて所定圧力まで膨張し、排熱回収器1に再び導入して、配管L2を流通する排温水の熱回収に用いられる。供給水給水源から図示していない給水ポンプで供給される供給水この実施形態では25°Cは、供給水の質量流量Q1が、配管L4から取出される蒸気の質量流量Q2及び配管L5からの排水流量Q3との合計量Q2Q3となるように制御される。次に、供給水は、配管L6から送られてくる、気液分離器7内の温水以下、循環水という。この実施形態では120°Cと合流して、循環水と供給水との混合水この実施形態では100°Cが形成され、媒体凝縮器3に送液される。媒体凝縮器3に導入された混合水は、前述したように高温高圧媒体ヒートポンプ媒体の熱を回収し、温水及び蒸気の気液二相流この実施形態では125°Cを生成して、気液分離器7に送られる。気液分離器7では、温水及び蒸気の気液二相流を蒸気と温水とに分離する。そして、気液分離器7の気相部に貯留された蒸気は、外部の需要に応じて開閉弁V1を開閉し、配管L4から取出される。また、気液分離器7の液相部に貯留された温水は、配管L6を通して配管L3内を流通する供給水と混合して循環利用される。気液分離器7の液相部に接続された配管L5に設けられた開閉弁V2は、循環水系統の塩分の濃縮防止を目的としてブローダウンするために、定期的又は一時的に開閉制御を行う。本発明のヒートポンプ式蒸気生成装置によれば、内部熱交換器10によって、圧縮機2に送られるヒートポンプ媒体が、媒体凝縮器3を通過したヒートポンプ媒体によって加熱されるので、排熱回収器を大型化したり、ヒータ等で加熱しなくても、圧縮機2入口前のヒートポンプ媒体の温度を昇温して過熱蒸気状態にできる。このため、装置コストや運転コストを増加させることなく、圧縮機2内部におけるヒートポンプ媒体の凝縮を効果的に防止できる。次に、本発明の図2を用いて、本発明を適用するヒートポンプ式蒸気生成装置の第2の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態のヒートポンプ式蒸気生成装置と同一箇所は同一符号を付して、その説明を省略する。この実施形態では、ヒートポンプ循環経路20に、内部熱交換器10の高温媒体部と、膨張機5との間の経路に、媒体冷却器4が配置され、媒体冷却器4にて、媒体凝縮器3に導入される供給水を予備加熱できるように構成されている。この実施形態によれば、供給水25°Cが、内部熱交換器10の高温媒体部を通過したヒートポンプ媒体この実施形態では120°Cの過冷却液体によって予備加熱この実施形態では90°Cに加熱されるので、媒体凝縮器3において、蒸気を効率よく発生させることができる。"