"複数の異なる波長の光を発生する光発生手段と、この光発生手段から発せられた光を上記複数の波長の光に分岐し、それぞれ光路長の異なる別々の光路を通した後に再び重ね合わせて、それら光路長の差に応じた干渉縞を生じさせる干渉縞発生手段と、この干渉縞発生手段によって生じた干渉縞を撮像する撮像手段と、この撮像手段で得た干渉縞画像から、上記光の波長ごとの明るさ変化と位相との関係を解析する画像解析手段と、測定対象物の測定面の高さに応じて干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相を上記光の複数の異なる波長ごとに求めて、当該測定面の高さと位相とを組み合わせた位相コード変換テーブルと、上記画像解析手段によって得た位相情報をパラメータとして、上記位相コード変換テーブルを参照することにより、上記測定対象物の測定面の高さを求める高さ演算手段とを備えてなる光学的計測装置であって、上記測定対象物の測定面の高さと上記測定面の高さに応じた複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との関係を所定の演算式に数式化するとともに、上記測定対象物の測定面の高さと同測定面の高さに応じた上記複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との組合せを、同数式化した所定の演算式に基いて演算し、この演算により求めた位相情報を上記位相コード変換テーブルに反映させることによって、上記測定対象物の測定面の高さを計測するようにしたことを特徴とする光学的計測装置。所定の演算式に基く干渉画像内各点の光の明るさ変化に対応した位相情報の演算は、予じめ光発生手段からの各光の中心波長をデータとして取得して置き、同取得した光の中心波長を基にして演算するようになっていることを特徴とする請求項1記載の光学的計測装置。ところが、上記のような従来の計測装置の場合、上述のように事前に画像データを準備しなければならないことから、当該画像取得時点でノイズ例えば振動、カメラの熱雑音などを内包している問題がある。すなわち、上記図11の位相コード変換テーブル作成のためには、上述のように複数枚の位相シフト画像、または参照ミラーRMを故意に傾けて、参照ミラーRMと測定対象物Wとの反射光の光路に差異を設けて干渉縞の明るさを変化させた干渉縞画像を事前に準備しておかなければいけないが、以下のような理由により、各種のノイズ成分を内包してしまう。例えば、複数波長での干渉縞の明るさ変化の組合せから位相コード変換表を作成する際、上記ナノメータステージSTを、ある単位量単位波長ΔLごとに移動させて、その時に得た明るさ変化の組合せをシフト量=高さ=単位波長×測定回数に対応させて、コード表を作成していたが、その場合にナノメータステージSTのヒステリシスによる位置ズレやナノメータステージST駆動時の振動などによるノイズ成分を画像情報内に内包してしまう。また、複数の画像を取得する間に、CCD等撮像カメラ特有の熱雑音やショット雑音がランダムに発生することで、画像間の位相情報に差異が生じることもある。また、次に測定光の波長が区切りの良い数値でないことによる問題もある。例えば干渉縞を発生させるための光源波長が、450nm、600nmのような区切りのよい数値となるのは稀で、453nm、667nmのような端数となりやすく、また、他の光学部品の影響で、本来想定している波長域からずれてしまうこともある。そのため、仮にナノメータステージSTを単位量単位波長ΔLごとに移動させることができたとしても、図5のナノメータステージSTの上下動による位相シフトでの明るさ変化を、波長nmのような物理的な単位量例えば450nm、600nmに対する、5nmや10nmのような公約数等で分割してコード表を作成することができず、コード表の軸方向データが光源波長と不整合となってしまい、高さ情報を規則正しく並べることができなくなる。さらに、波長nmのような物理的な単位量で分割しやすくするために、例えば453nm→450nm、607nm→605nmのように近似量とするようにしても、コード間の高さデータに不整合が生じてしまい、測定対象の高さが高くなるほどコード間の不整合による影響を受けて誤差が累積していくため、例えば上記特許文献2中に示されているような、補正作業を別途付随させていく必要が生じる。本願発明は、このような課題を解決するためになされたもので、段差面等の高さと段差面等の高さに応じた複数の異なる波長の光による干渉縞画像の画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との関係を数式化し、段差面等の高さと段差面等の高さに応じた複数の異なる波長の光による干渉縞画像の画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との組合せを、同数式による演算によって求めた位相情報を反映させた位相分割方式のものとすることによって、上述のような問題を生じさせることなく、微小物体の高さ等を正確に計測することができるようにした光学的計測装置を提供することを目的とするものである。本願発明は、同目的を達成するために、次のような課題解決手段を備えて構成されている。1請求項1の発明この発明の課題解決手段は、複数の異なる波長の光を発生する光発生手段と、この光発生手段から発せられた光を上記複数の波長の光に分岐し、それぞれ光路長の異なる別々の光路を通した後に再び重ね合わせて、それら光路長の差に応じた干渉縞を生じさせる干渉縞発生手段と、この干渉縞発生手段によって生じた干渉縞を撮像する撮像手段と、この撮像手段で得た干渉縞画像から、上記光の波長ごとの明るさ変化と位相との関係を解析する画像解析手段と、測定対象物の測定面の高さに応じて干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相を上記光の複数の異なる波長ごとに求めて、当該測定面の高さと位相とを組み合わせた位相コード変換テーブルと、上記画像解析手段によって得た位相情報をパラメータとして、上記位相コード変換テーブルを参照することにより、上記測定対象物の測定面の高さを求める高さ演算手段とを備えてなる光学的計測装置であって、上記測定対象物の測定面の高さと上記測定面の高さに応じた複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との関係を所定の演算式に数式化するとともに、上記測定対象物の測定面の高さと同測定面の高さに応じた上記複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との組合せを、同数式化した所定の演算式に基いて演算し、この演算により求めた位相情報を上記位相コード変換テーブルに反映させることによって、上記測定対象物の測定面の高さを計測するようにしたことを特徴としている。以上の構成では、従来のように、明るさ変化と位相の組合せを表す単位量を、上記ナノメータステージSTを光軸方向に移動させる時の単位量として取得した画像をもとに位相コード変換テーブルを作成するのではなくて、上記測定対象物の測定面の高さと上記測定面の高さに応じた複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との関係を所定の演算式に数式化するとともに、上記測定対象物の測定面の高さと同測定面の高さに応じた上記複数の異なる波長の光による干渉縞画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との組合せを、同数式化した所定の演算式に基いて演算し、この演算により求めた位相情報を上記位相コード変換テーブルに反映させ、それによって、上記測定対象物の測定面の高さを計測するようにしている。したがって、例えば分光器などによって、光源の中心波長を予めデータとして取得しておけば、計算によって求まる高さ計測が可能な範囲において、波長を異にする複数の光源からの光の干渉によって得られる干渉縞の位相変化と高さとの関係組み合わせを位相をコード変換テーブルとして記録することができるようになるため、位相をシフトさせるためのナノメータステージによる位置ズレや、ナノメータステージ駆動時の振動による雑音、またはCCD等撮像カメラ特有の雑音、さらに複数の光源の中心波長のズレによる位相コード変換テーブルのデータ不整合、或いは同複数の光源の中心波長ズレに対応した別途の補正作業に起因する問題を解消することができる。従来法では、上述のように複数枚の位相シフト画像、または参照ミラーRMを故意に傾けることで、参照ミラーRMと測定対象物Wとの反射光の光路に差異を設け、干渉縞の明るさを変化させた干渉縞画像を予め複数枚準備するうちに、作成した位相コード変換テーブルに各種のノイズ成分を内包してしまうため、複数の波長の光RGBによる干渉画像をもとに高さデータへ変換しても、後述する図3の画像のように精度の悪い演算結果となってしまう。一方、この発明によると、段差面等の高さと、段差面等の高さに応じた複数の異なる波長の光による干渉縞画像の画像内の各点の明るさが変化する部分の位相との関係が正確に反映され、図4のように、高精度に表面形状を表すことができる。2請求項2の発明この発明の課題解決手段は、上記請求項1の発明の課題解決手段の構成において、所定の演算式に基く干渉画像内各点の光の明るさ変化に対応した位相情報の演算は、予じめ光発生手段からの各光の中心波長をデータとして取得して置き、同取得した光の中心波長を基にして演算するようになっていることを特徴としている。このような構成の場合、上述の如く、例えば分光器などによって、光源である発生手段からの光のの中心波長を予めデータとして取得しておけば、計算によって求まる高さ計測が可能な範囲において、波長を異にする複数の光源からの光の干渉によって得られる干渉縞の位相変化シフト量と高さとの関係組み合わせを位相コード変換テーブルとして正確に記録することができるため、従来のような位相をシフトさせるためのナノメータステージによる位置ズレや、ナノメータステージ駆動時の振動による雑音、またはCCD等撮像カメラ特有の雑音、さらに複数の光源の中心波長のズレによる位相コード変換テーブルのデータ不整合、或いは同複数の光源の中心波長ズレに対応した別途の補正作業に起因する問題等を解消することができる。以上の結果、本願発明によると、前述した従来の光学的計測装置の問題を略確実に解決することができる。次に、本願発明を実施するための形態について、図1~図5を参照して詳細に説明する。先ず図1は、本願発明の実施の形態における光学的計測装置の位相コード変換テーブル作成過程における位相シフト量高さと干渉縞の各色の周期との関係を示す図前述の図9の光源毎のデータ高さを正規化した図である。また、図2は、同本実施の形態の光学的計測装置の位相コード変換テーブル作成過程における波長1のコードと波長2のコードの関係を示す図高さデータを格納する順番を示す図である。なお、図中の0~7は、干渉縞明るさ変化の位相の組合せから求まった高さデータを格納するインデックスの配置が、位相の組合せによって変化していく順番を表している。また、図3は、従来の波長分割方式の位相コード変換テーブルを採用して、複数の波長の光RGBによる干渉画像から測定対象物の高さを算出し、同高さデータをグレイスケールで表現した測定面画像図である。また、図4は、位相分割方式の位相コード変換テーブルを採用した、本願発明の実施の形態に係る複数の波長の光RGBによる干渉画像から測定対象物の高さを算出し、同高さデータをグレイスケールで表現した測定面画像図である。また、図5は、本願発明が前提とする前述した従来例に係る光の干渉画像を利用した光学的計測装置の構成共通を示す図である。この実施の形態の場合、上述した図5の装置構成を利用する点では従来例と全く同様であるが、従来のように明るさ変化と位相の組合せを表す単位量を、ナノメータステージSTを光軸方向に移動させる時の単位量として取得した画像をもとに位相コード変換テーブルを作成するのではなく、予じめ光源である第1,第2,第3の光発生手段L1~L3の光の中心波長をデータとして取得しておき、同取得した各光源の中心波長を基に、ソフトウェアで、以下に述べるような数式1~5を用い、同式1~5中に含まれる単位量単位位相θを基に干渉縞の明るさ輝度変化の位相情報を計算し、この位相情報を前述した図11の位相コード変換テーブルへ反映させるようにしたことを特徴としている。すなわち、この実施の形態では、先ず図5の第1,第2,第3の光発生手段L1~L3の3種類の波長の光源RGBによる干渉縞の明るさ変化輝度変化に対応する数式を上記1~5とし、以下の手順[1]~[5]でコード表を作成する。これら1~5式の内、1式は高さ計測が可能なレンジを示しており、また2~4式は上述した第1,第2,第3の光発生手段L1~L3のRGB各光源の波長に対応した高さ位相シフト量演算式であり、縞となって現れる高さHと位相θとの関係を示している。さらに、5式は、測定対象物Wの段差面等の測定面の高さは、本来RGB何の波長の光で測定しても同一である筈であるから、上記2~4で演算したRGB各波長ごとの高さの差が最小理論的にはゼロになることを示している。[1]先ず上記RGB3種類の光源波長の中心波長λと半値全幅Δλを求め、上述の数式1に基づいて各光源RGBの中心波長での単位量単位位相θの計測可能な範囲計測レンジLを算出する。そして、式2~4中の変数i、j、kの組合せを全て求める。これは、位相差が1波長を越える場合の各単位位相θの組合せを表しており、測定対象物Wの高さHに応じた光源波長の位相変化が1波長を越えた場合でも、高さデータが図11の位相コード変換テーブル内に収まるようなインデックスの組合せを調べることに相当する。[2]続いて、先に求めた変数i、j、kの組合せごとに、上記RGB各光源の波長に対応した演算式2~4中の単位量単位位相θ単位は[rad]であり、図11の位相コード変換テーブルのインデックスに相当するの組合せを、全てソフトウェアで計算する。これらの式2~4は、単位量の組合せが、位相差が1波長以下である場合の単位位相θの組合せであることを表し、またRGB複数光源による干渉縞位相のすべての組合せが、1波長内の変化量として図11の位相コード変換テーブルに収まるようなインデックスを作成することに相当する。例えば、各波長による干渉縞の明るさ輝度変化1周期360[rad]を、位相5[rad]単位で分割して図11の位相コード変換テーブルを作成する場合、各波長に相当する光軸成分を72[個]360[rad]÷5[rad]とすることができ、例えば2つの波長の光源を用いるとすれば、その場合の位相の組合せは72×72=5,184通りとなる。[3]そこで、予め計算した単位位相θの組合せを、上記式2~4に代入し、さらに周期中の順番何番目かを示す変数i、j、kの組合せを変化させ、上記RGB各波長に該当する高さHR、HG、HBを演算する但し、上記変数i、j、kは、式1の計測レンジ範囲内から選出する。ここで、上記HR、HG、HBはRGB3種類の異なる波長によって算出される高さ位相シフト量、λはRGB各光源の3種類の各波長、θは同各波長λから得た干渉縞の明るさ輝度値変化の位相量を表し、i,j,kはゼロを含む定数項0,1,2,3を表す。[4]続いて、上述の式5を基に、RGB各波長に該当する高さHR、HG、HBの差異が最も少なくなる組合せを求める。これは、位相差が1波長を越える場合の各単位位相θi,θj,θkの組合せを表しており、測定対象物Wの段差面の高さHに応じたRGB各光源波長の位相変化が1波長を越えた場合でも、高さデータが図11の位相コード変換テーブル内に収まるようなインデックスの組合せを調べることに相当する。[5]そして、上記高さHR、HG、HBの差異が最も少なくなるときの、同高さHR、HG、HBの平均値を求め、該当するインデックスに格納する。このようにして、干渉縞明るさ変化の位相の組合せに応じて、検出高さHを格納していくと、例えば図2のように、位相コード値が0から1へと移り、波長1が1波長分変化すれば1から2へと飛んで、さらに2から3へと移り、続いて波長2が1波長分変化すれば3から4へ飛んで、さらに4から5へと移る、という操作が適用範囲計測レンジLの範囲内まで繰り返されていくことになる。このような構成の場合、例えば分光器などによって、上記RGB3つの波長の光源の中心波長を予めデータとして取得しておけば、計算によって求まる高さ計測が可能な範囲計測レンジLにおいて、波長を異にするRGB各光源からの光の干渉によって得られる干渉縞の位相変化と高さとの関係組み合わせを位相をコード変換テーブルとして正確に記録することができるため、従来の位相をシフトさせるためのナノメータステージによる位置ズレや、ナノメータステージ駆動時の振動による雑音、またはCCD等撮像カメラ特有の雑音、さらに複数の光源の中心波長のズレによる位相コード変換テーブルのデータ不整合、或いは同複数の光源の中心波長ズレに対応した別途の補正作業に起因する問題を解消することができる。今、先ず図3に、前述した従来の波長分割方式によって作成した位相コード変換テーブルを用いて所定の測定対象物Wの段差面上下方向の下から1/3のライン部分に上下方向の段差があるの左右方向の高さを測定した時の測定画像図を、また図4に、上記本実施の形態の位相分割方式によって作成した位相コード変換テーブルを用いて同様の測定対象物Wの段差面上下方向の下から1/3のライン部分に上下方向の段差があるの左右方向の高さを測定した時の測定画像図を示す。これら図3,図4の画像データを対比すると明らかなように、図3の測定画像の場合には、左側から右側方向に次第に高さHが高くなる段差面の高さ変化のコントラスト低い方から高い方に次第に薄くなるが必ずしも明確でなく、実際には左側から右側にかけて次第に高さが高くなっているにもかかわらず、中央部で画像が乱れてしまっており、また左右方向の高さ変化を示す下方側の波形図チャートも乱れており、正確な画像データとなっていない。一方、これに対して、図4の場合には、左右方向の高さの変化に応じたコントラストの変化も明瞭で、下方側の左右方向の高さの変化を示す波形図、また上下方向の段差部を表わす右側の波形図も、それぞれ略正確に表わされている。したがって、上述した本実施の形態の光学的計測装置によると、従来のように、ノイズ成分に影響されることなく、高精度な測定が可能になることが分る。なお、以上の場合、図3,図4において、その測定対象面は、図示上下方向の略中央部が選ばれている。"