"基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第1アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第1アームの中間部位に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第1アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、駆動機構とを備え、前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第1アームの前記各基端部との離間距離を変化させて当該各第1アームの各先端部間の距離を伸縮させる位置合わせ装置。一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、前記各リンク機構は、各々の前記第1アーム同士が互いに対向するように配置され、前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第1アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第1アームの前記先端部間に掛け渡されている請求項1記載の位置合わせ装置。基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第1アーム、各々の基端部が当該各第1アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の第2アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第1アームの前記先端部側に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第1アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、駆動機構と、付勢機構を備え、前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第1アームの前記各基端部との離間距離を変化させて前記各第1アームの前記各先端部間の距離を伸縮させ、前記付勢機構は前記各第2アームの各先端部間の距離が縮まる向きに当該第2アームを付勢する位置合わせ装置。一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、前記各リンク機構は、各々の前記第1アーム同士および各々の前記第2アーム同士が互いに対向するように配置され、前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第2アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第2アームの前記先端部間に掛け渡されている請求項3記載の位置合わせ装置。前記各当接部は、前記基板の角部を形成する互いに隣接する二面に当接可能な平面視L字状にそれぞれ形成されている請求項1から4のいずれかに記載の位置合わせ装置。請求項1から5のいずれかに記載の位置合わせ装置と、前記基板保持部と、前記基板が供給される供給位置から当該基板に対する検査が実行される検査位置に前記基板保持部を移動させる移動機構とを備えて当該基板を搬送可能に構成され、前記位置合わせ装置は、前記基板保持部と共に前記移動機構によって移動させられる基板搬送装置。請求項6記載の基板搬送装置と、当該基板搬送装置によって検査位置に搬送された基板に対して検査を実行する検査部とを備えている基板検査装置。ところが、従来の基板検査装置には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、従来の基板検査装置では、供給位置に供給された検査対象の基板を吸着によって保持する際に、保持部に対する基板の位置合わせを基板検査装置上の位置合わせ専用箇所に置いて行う必要があったり、搬送先が基板の位置ずれを許容できる構造にする必要があったりする。また位置合わせを行わない場合は、例えば、保持部に対して基板が大きく位置ずれしているときには、保持部の吸着面が基板から外れて確実に吸着されなかったり、保持部に対して位置ずれした状態で吸着された基板が載置台に載置されることにより、基板が載置台の中央部から大きく位置ずれして固定部による位置合わせが困難となったりするおそれがあり、この点の改善が望まれている。本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、基板保持部に対する基板の位置合わせを正確に行い得る位置合わせ装置、基板搬送装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。上記目的を達成すべく請求項1記載の位置合わせ装置は、基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第1アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第1アームの中間部位に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第1アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、駆動機構とを備え、前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第1アームの前記各基端部との離間距離を変化させて当該各第1アームの各先端部間の距離を伸縮させる。また、請求項2記載の位置合わせ装置は、請求項1記載の位置合わせ装置において、一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、前記各リンク機構は、各々の前記第1アーム同士が互いに対向するように配置され、前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第1アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第1アームの前記先端部間に掛け渡されている。また、請求項3記載の位置合わせ装置は、基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第1アーム、各々の基端部が当該各第1アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の第2アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第1アームの前記先端部側に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第1アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、駆動機構と、付勢機構を備え、前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第1アームの前記各基端部との離間距離を変化させて前記各第1アームの前記各先端部間の距離を伸縮させ、前記付勢機構は前記各第2アームの各先端部間の距離が縮まる向きに当該第2アームを付勢する。また、請求項4記載の位置合わせ装置は、請求項3記載の位置合わせ装置において、一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、前記各リンク機構は、各々の前記第1アーム同士および各々の前記第2アーム同士が互いに対向するように配置され、前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第2アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第2アームの前記先端部間に掛け渡されている。また、請求項5記載の位置合わせ装置は、請求項1から4のいずれかに記載の位置合わせ装置において、前記各当接部は、前記基板の角部を形成する互いに隣接する二面に当接可能な平面視L字状にそれぞれ形成されている。また、請求項6記載の基板搬送装置は、請求項1から5のいずれかに記載の位置合わせ装置と、前記基板保持部と、前記基板が供給される供給位置から当該基板に対する検査が実行される検査位置に前記基板保持部を移動させる移動機構とを備えて当該基板を搬送可能に構成され、前記位置合わせ装置は、前記基板保持部と共に前記移動機構によって移動させられる。また、請求項7記載の基板検査装置は、請求項6記載の基板搬送装置と、当該基板搬送装置によって検査位置に搬送された基板に対して検査を実行する検査部とを備えている。請求項1記載の位置合わせ装置では、各々の基端部同士が回動可能に連結された一対の第1アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が各第1アームの中間部位に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の連結部を有するリンク機構と、各連結部の各先端部と各第1アームの各基端部との離間距離を変化させて各第1アームの各先端部間の距離を伸縮させる駆動機構とを備えている。このため、この位置合わせ装置によれば、基板保持部に取り付けることで、例えば、位置ずれした状態で基板が供給位置に供給されていたときには、各第1アームの各先端部間の距離を縮ませた際に、各先端部が基板における対向する2つの端面に当接し、これによって基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように基板を正確に位置合わせし、その状態の基板を基板保持部によって保持させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板保持部の吸着面が基板から外れることなく、基板保持部によって基板を確実に保持させることができると共に、基板保持部によって保持された基板を検査位置に正確に搬送させることができる。また、請求項2記載の位置合わせ装置では、各々の第1アーム同士が互いに対向するように配置された一対のリンク機構における各々の一方の第1アームの先端部に当接部が掛け渡され、一対のリンク機構における各々の他方の第1アームの先端部に当接部が掛け渡されている。このため、この位置合わせ装置によれば、例えば棒状に形成した各当接部が互いに平行に対向した状態を維持しつつ各当接部間の距離を伸縮させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板における対向する2つの端面全体に各当接部をそれぞれ当接させることができる結果、基板を回転させることなく、基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように、基板の位置合わせをより正確に行うことができる。また、この位置合わせ装置によれば、各当接部によって一対のリンク機構が連結されているため、1つの駆動機構で2つのリンク機構の第1アームの先端部間の距離を伸縮させることができる。また、請求項3記載の位置合わせ装置では、各々の基端部同士が回動可能に連結された一対の第1アーム、各々の基端部が各第1アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の第2アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が各第1アームの先端部側に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の連結部を有するリンク機構と、各連結部の各先端部と各第1アームの各基端部との離間距離を変化させて各第1アームの各先端部間の距離を伸縮させる駆動機構と、各第2アームの各先端部間の距離が縮まる向きに第2アームを付勢する付勢機構とを備えている。このため、この位置合わせ装置によれば、基板保持部に取り付けることで、例えば、位置ずれした状態で基板が供給位置に供給されていたときには、各第2アームの各先端部間の距離を縮ませた際に、各先端部が基板における対向する2つの端面に当接し、これによって基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように基板を正確に位置合わせし、その状態の基板を基板保持部によって保持させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板保持部の吸着面が基板から外れることなく、基板保持部によって基板を確実に保持させることができると共に、基板保持部によって保持された基板を検査位置に正確に搬送させることができる。また、この位置合わせ装置によれば、各第2アームの各基端部が各第1アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結されているため、各第1アームが回動したときに、各第2アームが各第1アームに対して傾斜することで、各第2アームの各先端部の移動量に拘わらず、各第1アームの各基端部から各第2アームの各先端部までの垂直方向に沿った距離を一定に維持することができる。このため、この位置合わせ装置によれば、例えば、基板を載置台に載置した状態において、各第2アームの各先端部を載置台の載置面に沿わせつつ接触させつつ各先端部を移動させることができるため、基板の大きさに拘わらず、載置台に載置された基板の端面を確実に押圧して位置合わせを正確に行うことができる。また、請求項4記載の位置合わせ装置では、各々の第1アーム同士および各々の第2アーム同士が互いに対向するように配置された一対のリンク機構における各々の一方の第2アームの先端部に当接部が掛け渡され、一対のリンク機構における各々の他方の第2アームの先端部に当接部が掛け渡されている。このため、この位置合わせ装置によれば、例えば棒状に形成した各当接部が互いに平行に対向した状態を維持しつつ各当接部間の距離を伸縮させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板における対向する2つの端面全体に各当接部をそれぞれ当接させることができる結果、基板を回転させることなく、基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように、基板の位置合わせをより正確に行うことができる。また、この位置合わせ装置によれば、各当接部によって一対のリンク機構が連結されているため、1つの駆動機構で2つのリンク機構の第2アームの先端部間の距離を伸縮させることができる。また、請求項5記載の位置合わせ装置によれば、各当接部を平面視L字状にそれぞれ形成したことにより、矩形の基板における互いに対向する2つの角部に各当接部の屈曲部分を当接させることで、基板が基板保持部の中心軸に対して直交する平面水平面内におけるいずれの方向に位置ずれしていたとしても、その位置ずれを修正して、例えば、基板保持部の中心軸を通る垂直平面内に基板の中心が位置するように予め決められた位置関係となるように、基板の位置合わせを正確に行うことができる。また、請求項6記載の基板搬送装置は、上記の位置合わせ装置を備えたことにより、上記の位置合わせ装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。また、請求項7記載の基板検査装置によれば、上記の基板搬送装置を備えたことにより、上記の基板搬送装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。以下、本発明に係る位置合わせ装置、基板搬送装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。最初に、基板検査装置の一例としての基板検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。図1に示す基板検査装置1は、基板搬送装置2および検査部3を備え、基板100図3参照に対する電気的検査を実行可能に構成されている。この場合、基板100は、一例として、電子部品が実装されていないベアボードであって、矩形に形成されると共にその表面に導体パターン図示せずが形成されて構成されている。基板搬送装置2は、図2に示すように、基板保持部11、固定部材12図3参照、位置合わせ装置13および移動機構14を備え、検査部3における後述する制御部17の制御に従い、検査部3における後述する基板保持台15の載置面の中央部検査位置P2:図1参照に基板100を搬送可能に構成されている。基板保持部11は、図3,4に示すように、一例として、吸着面両図における下面に複数の吸気孔11a図4参照が形成された有底円筒状に構成されている。また、基板保持部11は、吸気口11b同図参照に接続された吸気管11c図3参照を介して図外の吸気ポンプによって内部が負圧に維持されることにより、吸気孔11aからの吸気によって基板100を吸着して保持可能に構成されている。固定部材12は、図3に示すように、位置合わせ装置13を基板保持部11に固定するための部材であって、図5に示すように、2つのフレーム12a、および複数この例では6つの梁12b~12dを組み合わせることによって略直方体状に構成されている。位置合わせ装置13は、基板保持部11によって基板100を保持させる際に、基板保持部11に対して予め決められた位置関係となるように基板100を位置合わせ可能に構成されている。具体的には、位置合わせ装置13は、図6に示すように、一対のリンク機構21a,21b、一対の当接部22a,22b、駆動機構23、およびガイド機構24を備えて構成されている。リンク機構21a,21bは、図6に示すように、一対のアーム第1アーム31a,31b、および一対の連結部41a,41bをそれぞれ備えて構成されている。アーム31a,31bは、図6,7に示すように、同じ長さの板状棒状にそれぞれ形成されている。また、アーム31a,31bは、各々の基端部32に形成されている各挿通孔33に挿通されたねじ34によって各基端部32同士が回動可能に連結されると共に、図3に示すように、各々の基端部32がねじ34によって固定部材12に固定されることにより、固定部材12を介して基板保持部11に固定される。連結部41a,41bは、図6,7に示すように、同じ長さの板状棒状にそれぞれ形成されている。この場合、連結部41a,41bの長さは、一例として、アーム31a,31bの長さの1/4程度の長さに規定されている。また、連結部41a,41bは、各々の先端部42に形成されている挿通孔43に挿通されたねじ44によって各先端部42同士が回動可能に連結されている。また、連結部41a,41bは、各々の基端部45に形成されている挿通孔46に挿通されたねじ47によって各アーム31a,31bの中間部位35に対して回動可能にそれぞれ連結されている。また、各リンク機構21a,21bは、図6に示すように、各々のアーム31a,31bが互いに対向するように配置されている。また、各リンク機構21a,21bは、各々のアーム31a,31a一方のアームの各先端部37に形成されている挿通孔38に挿通されたねじ39によって各先端部37に取り付けられた掛け渡された当接部22aと、各々のアーム31b,31b他方のアームの各先端部37に形成されている挿通孔38に挿通されたねじ39によって各先端部37に取り付けられた掛け渡された当接部22bとによって互いに連結されている。この場合、当接部22a,22bは、一例として、断面が矩形の棒状にそれぞれ形成されている。駆動機構23は、一例として、図外のコンプレッサから供給される圧縮空気によってロッド23a図6参照を伸縮させるロッド23aの突出量を変化させるエアシリンダで構成され、図3に示すように、固定部材12に固定されている。この場合、図6に示すように、駆動機構23におけるロッド23aの先端部は、リンク機構21aにおける連結部41a,41bの各先端部42にねじ44によって取り付けられている連結部材23bに連結されている。この構成により、駆動機構23は、ロッド23aの伸縮によって連結部41a,41bの各先端部42とリンク機構21aにおけるアーム31a,31bの各基端部32との離間距離を変化をさせることで、アーム31a,31bの各先端部37間の距離を伸縮させる。ガイド機構24は、図6に示すように、固定部材12に固定されたガイドパイプ24c図3参照と、ガイドパイプ24c内に挿入されてガイドパイプ24cに対してスライド可能なロッド24aと、リンク機構21bにおける連結部41a,41bの各先端部42に取り付けられると共にロッド24aの先端部が連結された連結部材24bとを備えて構成されている。このガイド機構24は、リンク機構21aにおける連結部41a,41bの各先端部42が駆動機構23によって移動上下動させられるのに伴ってリンク機構21bの連結部41a,41bの各先端部42が上下動する際の横振れを防止する機能を有している。この場合、上記したように当接部22a,22bによってリンク機構21a,21bが互いに連結されているため、駆動機構23によって一方のリンク機構21aにおけるアーム31a,31bの各先端部37間の距離が伸縮するのに伴い、他方のリンク機構21bのアーム31a,31bの各先端部37間の距離、および各当接部22a,22b間の距離も伸縮する。また、このリンク機構21a,21bでは、アーム31a,31bが互いに同じ長さに形成され、連結部41a,41bが互いに同じ長さに形成されているため、基板保持部11の中心軸11d図4参照、およびアーム31a,31bの挿通孔33アーム31a,31bにおける基端部32の連結部位を通って水平面と垂直をなす垂直平面A図7,8参照に対して対称両図において左右対称にアーム31a,31bが回動する。移動機構14は、基板100が供給される供給位置P1図7参照から基板100に対する検査が実行される検査位置P2図1参照に、基板保持部11と、固定部材12を介して基板保持部11に固定された位置合わせ装置13とを移動させる。検査部3は、基板搬送装置2によって検査位置P2に搬送された基板100に対して検査を実行する。具体的には、検査部3は、図1に示すように、基板保持台15、プロービング機構16および制御部17を備えて構成されている。基板保持台15は、載置面に吸気孔が形成された箱状に構成され、図外の吸気ポンプによって内部が負圧に維持されることにより、載置面に載置されている基板100を、吸気孔からの吸気によって吸着して固定可能に構成されている。プロービング機構16は、制御部17の制御に従い、基板保持台15によって保持されている基板100の導体パターンに対して検査用プローブ61をプロービングさせる。制御部17は、基板保持台15による吸着吸気を制御すると共に、プロービング機構16によるプロービングを制御する。また、制御部17は、基板搬送装置2の基板保持部11および移動機構14を制御すると共に、基板搬送装置2の位置合わせ装置13における駆動機構23に対する圧縮空気の供給を制御する。また、制御部17は、検査用プローブ61を介して入力した電気信号に基づいて物理量を測定すると共に、その物理量に基づいて基板100の良否を検査する検査処理例えば、絶縁検査処理や導通検査処理を実行する。次に、基板検査装置1を用いて基板100を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。この場合、初期状態においては、図7に示すように、駆動機構23のロッド23aが縮長した状態下側に突出する長さが短い状態に維持され、リンク機構21a,21bにおけるアーム31a,31bの各先端部37間の距離当接部22a,22b間の距離が基板100の幅よりも長い状態に維持されているものとする。また、検査対象の基板100は、図7,8に示すように、基板供給用の載置台200上の予め決められた供給位置P1に供給されるものとする。なお、図7,8および後述する図11,12では、発明の理解を容易とするため、固定部材12の図示を省略する。この基板検査装置1では、検査の開始が指示されたときに、検査部3の制御部17が基板搬送装置2の移動機構14を制御して、図7に示すように、基板100が供給されている供給位置P1の上方に基板保持部11、固定部材12および位置合わせ装置13を移動させる。次いで、制御部17は、基板搬送装置2における位置合わせ装置13の駆動機構23に対する圧縮空気の供給を制御して、駆動機構23のロッド23aを伸長させる。この際に、図8に示すように、ロッド23aに連結された連結部材23bが取り付けられているリンク機構21aにおける連結部41a,41bの各先端部42と、リンク機構21aにおけるアーム31a,31bの各基端部32との離間距離が伸びる向きに各先端部42が移動させられる各先端部42が押し下げられる。また、連結部41a,41bの各先端部42の移動に伴い、連結部41a,41bの各基端部45に連結されているアーム31a,31bの各中間部位35間の距離が縮まる向きにアーム31a,31bが引っ張られ、これによってアーム31a,31bの各先端部37間の距離が縮まる向きにアーム31a,31bが回動する。また、当接部22a,22bによってリンク機構21a,21bが互いに連結されているため、リンク機構21bのアーム31a,31bも同じ向きに回動する。さらに、リンク機構21bのアーム31a,31bの回動に伴ってリンク機構21bの連結部41a,41bの各先端部42が下向きに移動させられる。この場合、各先端部42の下向きの移動がガイド機構24図6参照によってガイドされるため、各先端部42の横振れが防止される結果、リンク機構21bのアーム31a,31bがスムーズに回動する。また、図8に示すように、両リンク機構21a,21bのアーム31a,31bの回動により、各先端部37にそれぞれ取り付けられている当接部22a,22bが基板100における対向する2つの端面同図における左右の端面に当接する。この場合、同図に示すように、アーム31a,31bは、上記した垂直平面Aに対して左右対称に回動する。このため、例えば、基板100の中心が垂直平面Aに対して位置ずれ同図における左右方向への位置ずれしているときには、当接部22a,22bの当接により、基板100の中心が垂直平面A内に位置するように予め決められた位置関係となるように正確に位置合わせが行われる。次いで、制御部17は、基板保持部11による吸気を制御して吸気を開始させて、基板100を保持吸着させる。これにより、基板100の中心が垂直平面A内に位置するように基板100が基板保持部11に対して予め決められた位置関係となるように正確に位置合わせされた状態で基板保持部11によって基板100が保持される。次いで、制御部17は、基板搬送装置2における位置合わせ装置13の駆動機構23に対する圧縮空気の供給を制御して、駆動機構23のロッド23aを縮長させる。この際に、連結部41a,41bの各先端部42と、アーム31a,31bの各基端部32との離間距離が縮まる向きに各先端部42が移動させられ各先端部42が引き上げられ、これに伴って連結部41a,41bの各基端部45に連結されているアーム31a,31bの各中間部位35間の距離が伸びる向きにアーム31a,31bが押し広げられる。これにより、リンク機構21a,21bにおける各々のアーム31a,31bの各先端部37間の距離が伸びる向きにアーム31a,31bが回動し、各先端部37に取り付けられている当接部22a,22bが基板100の端面から離反する。続いて、制御部17は、移動機構14を制御して、検査部3の基板保持台15における検査位置P2図1参照の上方基板保持部11によって保持されている基板100の下面が基板保持台15の載置面に近接する位置に基板保持部11、固定部材12および位置合わせ装置13を移動させる。続いて、制御部17は、基板保持部11を制御して吸気を停止させて基板100の保持を解除させる。また、制御部17は、基板保持台15による吸気を開始させる。これにより、基板100が基板保持台15に吸着されて保持される。この場合、基板100が基板保持部11に対して予め決められた位置関係となった状態で基板保持部11によって保持されて検査位置P2の上方に移動されるため、基板保持台15上の検査位置P2に正確に位置合わせされた状態で基板100が基板保持台15によって保持される。次いで、制御部17は、移動機構14を制御して、基板保持部11、固定部材12および位置合わせ装置13を初期位置に移動させる。続いて、制御部17は、プロービング機構16を制御して、基板100の導体パターンに検査用プローブ61を接触プロービングさせる。この場合、検査位置P2に位置合わせされた状態で基板100が基板保持台15に固定されているため、基板100の各導体パターンに検査用プローブ61が確実に接触される。次いで、制御部17は、検査用プローブ61を介して入力した電気信号に基づいて基板100についての電気的検査を実行する。この後、基板100についての検査を終了したときには、制御部17は、プロービング機構16を制御して検査用プローブ61を基板100から離反させる。これにより、基板100に対する検査が終了する。続いて、図外の取り出し装置を制御して、検査が終了した基板100を基板保持台15から保管場所に移動させる。この後、上記した各処理を繰り返して実行して他の基板100に対する検査を行う。このように、この位置合わせ装置13、基板搬送装置2および基板検査装置1では、各基端部32同士が回動可能に連結された一対のアーム31a,31b、および各先端部42同士が回動可能に連結されると共に各基端部45が各アーム31a,31bの各中間部位35に回動可能にそれぞれ連結された一対の連結部41a,41bを有するリンク機構21a,21bと駆動機構23とを備え、駆動機構23が各連結部41a,41bの各先端部42と各アーム31a,31bの各基端部32との離間距離を変化させて各アーム31a,31bの各先端部37間の距離を伸縮させる。このため、この位置合わせ装置13、基板搬送装置2および基板検査装置1によれば、位置合わせ装置13を基板保持部11に取り付けることで、位置ずれした状態で基板100が供給位置P1に供給されていたときには、各アーム31a,31bの各先端部37間の距離を縮ませた際に、各先端部37間に掛け渡されている当接部22a,22bが基板100における対向する2つの端面に当接し、これによって基板保持部11に対して予め決められた位置関係となるように基板100を正確に位置合わせし、その状態の基板100を基板保持部11によって保持させることができる。したがって、この位置合わせ装置13、基板搬送装置2および基板検査装置1によれば、基板保持部11の吸着面が基板100から外れて保持が不完全となったり、基板保持部11に対して位置ずれした状態で吸着された基板100が検査位置P2に搬送されることによって基板100が検査位置P2から位置ずれする事態を確実に防止することができる。また、この位置合わせ装置13、基板搬送装置2および基板検査装置1では、各々のアーム31a,31b同士が互いに対向するように配置した一対のリンク機構21a,21bにおける各々の一方のアーム31aの各先端部37に当接部22aが掛け渡され、リンク機構21a,21bにおける各々の他方のアーム31bの各先端部37に当接部22bが掛け渡されている。このため、この位置合わせ装置13、基板搬送装置2および基板検査装置1によれば、例えば棒状に形成した当接部22a,22bが互いに平行に対向した状態を維持しつつ当接部22a,22b間の距離を伸縮させることができる。したがって、この位置合わせ装置13、基板搬送装置2および基板検査装置1によれば、基板100における対向する2つの端面全体に当接部22a,22bをそれぞれ当接させることができる結果、基板100を回転させることなく基板100の中心が垂直平面A内に位置するように、基板100の位置合わせをより正確に行うことができる。また、この位置合わせ装置13、基板搬送装置2および基板検査装置1によれば、当接部22a,22bによって両リンク機構21a,21bが連結されているため、1つの駆動機構23で2つのリンク機構21a,21bのアーム31a,31bの各先端部37間の距離を伸縮させることができる。なお、基板検査装置の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、上記した位置合わせ装置13に代えて、図9に示す位置合わせ装置113を採用することができる。なお、以下に参照する図9~12において、上記した基板検査装置1の構成要素と同一の機能を有するものには同一の符号を付して重複する説明を省略する。この場合、位置合わせ装置113は、位置合わせ装置13の各リンク機構21a,21bに設けられている真っ直ぐな形状の直方体状の当接部22a,22bに代えて、当接部122a,122bを備えて構成されている。この場合、当接部122a,122bは、中央部が直角に屈曲して、基板100の角部を形成する互いに隣接する二面にその屈曲した部分がそれぞれ当接可能な平面視L字状に形成されている。この位置合わせ装置113では、同図に示すように、矩形の基板100における互いに対向する2つの角部に当接部122a,122bの屈曲部分を当接させることで、基板100が基板保持部11の中心軸11d図4参照に対して直交する平面水平面内におけるいずれの方向に位置ずれしていたとしても、その位置ずれを修正して、中心軸11dおよびアーム31a,31bの各挿通孔33を通る垂直平面A内に基板100の中心が位置するように予め決められた位置関係となるように、基板100の位置合わせを正確に行うことができる。また、上記した位置合わせ装置13に代えて、図10に示す位置合わせ装置213を採用することもできる。この位置合わせ装置213は、上記したリンク機構21a,21bに代えてリンク機構221a,221bを備えて構成されている。リンク機構221a,221bは、アーム31a,31bに代えて、第1アーム231a,231bおよび第2アーム331a,331bを備えてそれぞれ構成されている。この場合、第1アーム231a,231bは、図10,11に示すように、同じ長さの板状棒状に形成されている。また、第1アーム231a,231bは、各々の基端部232に形成されている各挿通孔233に挿通されたねじ34図6参照によって各基端部232同士が回動可能に連結されると共に、各基端部232が固定部材12を介して基板保持部11に固定される。また、第2アーム331a,331bは、各々の基端部332に形成されている各挿通孔333に挿通されたねじ334によって各基端部332が各第1アーム231a,231bの各先端部237に対して回動可能にそれぞれ連結されている。また、このリンク機構221a,221bでは、図10,11に示すように、連結部41a,41bにおける各々の基端部45が各第1アーム231a,231bの先端部237側に対して回動可能にそれぞれ連結されている。また、駆動機構23が連結部41a,41bの各先端部42と各第1アーム231a,231bの各基端部232との離間距離を変化させて各第1アーム231a,231bの各先端部237間の距離を伸縮させる。さらに、この位置合わせ装置213では、第2アーム331a,331bの各中間部位335の間に、コイルばねで構成された付勢機構224が掛け渡されており、この付勢機構224によって各先端部337間の距離が縮まる向きに第2アーム331a,331bが付勢されている。また、この位置合わせ装置213では、当接部22a,22bに代えて、当接部222a,222bが各第2アーム331a,331bの各先端部337に取り付けられている掛け渡されている。この場合、当接部222a,222bには、挿通孔225がそれぞれ形成され、各挿通孔225には、ロッド226が挿通されている。この位置合わせ装置213では、駆動機構23のロッド23aが伸長したときに、図12に示すように、ロッド23aに連結された連結部材23bが取り付けられているリンク機構221aにおける連結部41a,41bの各先端部42と、リンク機構221aにおける第1アーム231a,231bの各基端部232との離間距離が伸びる向きに各先端部42が移動させられる。また、連結部41a,41bの各先端部42の移動に伴い、連結部41a,41bの各基端部45にそれぞれ連結されている第1アーム231a,231bの各先端部237側の間の距離が縮まる向きに第1アーム231a,231bが引っ張られ、これによってリンク機構221a,221bにおける各第1アーム231a,231bがこの向きに回動する。また、図12に示すように、第1アーム231a,231bの回動に伴って第2アーム331a,331bの各基端部332間の距離が縮まる向きに引っ張られ、また、付勢機構224によって各先端部337間の距離が縮まる向きに第2アーム331a,331bが付勢されているため、第2アーム331a,331bの各先端部337にそれぞれ取り付けられている当接部222a,222b間の距離が縮まる向きに当接部222a,222bが移動して、基板100における対向する2つの端面同図における左右の端面に当接する。この場合、第2アーム331a,331bが第1アーム231a,231bに対して回動しない第1アームと第2アームとが1本アームで構成されている構成では、第1アーム231a,231bが回動したときに、第2アーム331a,331bの各先端部337が第1アーム231a,231bの各基端部232各基端部232の連結部分を中心として円弧を描くように移動するため、第1アーム231a,231bの各基端部232から第2アーム331a,331bの各先端部337当接部222a,222bの下面までの垂直方向に沿った距離が変化する具体的には、各先端部337同士が近づけば近づくほど垂直方向に沿った距離が長くなる。これに対して、この位置合わせ装置213では、第2アーム331a,331bの各基端部332が第1アーム231a,231bの各先端部237に対して回動可能にそれぞれ連結されているため、第1アーム231a,231bが回動したときに、第2アーム331aが第1アーム231aに対して傾斜し、かつ第2アーム331bが第1アーム231bに対して傾斜することで、第2アーム331a,331bの各先端部337の移動量に拘わらず、第1アーム231a,231bの基端部232から各先端部337当接部222a,222bの下面までの垂直方向に沿った距離を一定に維持することができる。このため、この位置合わせ装置213によれば、各当接部222a,222bの下面を載置台200の上面に接触させつつ各先端部337を載置台200の上面に沿わせつつ各当接部222a,222bを移動させることができるため、基板100の大きさに拘わらず、載置台200に載置された基板100の端面を確実に押圧して位置合わせを正確に行うことができる。また、この位置合わせ装置213によれば、各当接部222a,222bに形成されている各挿通孔225にロッド226が挿通されているため、第1アーム231aの基端部232から当接部222aの下面までの垂直方向に沿った距離と第1アーム231bの基端部232から当接部222bの下面までの垂直方向に沿った距離とを同じ距離に維持することができる。また、一対のリンク機構21a,21bを備えた構成、および一対のリンク機構221a,221bを備えた構成について上記したが、リンク機構を3つ以上備えた構成を採用することもできるし、リンク機構を1つだけ備えた構成を採用することもできる。この場合、リンク機構を2つ以上備えた構成では、各リンク機構に対して駆動機構23を1つずつ設けて、各リンク機構の双方における連結部41a,41bの先端部42を個別に移動させる構成を採用することもできる。さらに、当接部22a,22b,122a,122b,222a,222bを備えずに、アーム31a,31bの各先端部37、または第2アーム331a,331bの各先端部337を基板100における対向する2つの端面に対して直接当接させ、これによって基板保持部11に対して予め決められた位置関係となるように基板100を正確に位置合わせする構成を採用することもできる。また、この構成を採用した場合においては、先端部37,337の形状を、基板100の端面に面的または線的に接触可能な形状とすることで、先端部37,337を基板100の端面に確実に当接させることができる。また、駆動機構23としてエアシリンダを用いた例について上記したが、エアシリンダに代えて、油圧シリンダやモータ等を用いる構成を採用することもできる。また、コイルばねで構成された付勢機構224を用いた例について上記したが、コイルばねに代えて、板ばねやねじりばねを用いることもできる。"