気密容器と、前記気密容器にレーザガスを供給するレーザガス供給源と、予め定めたレーザガス交換の間隔の度に前記気密容器内が目標到達圧力となるまで真空引きを行う前記気密容器に接続された真空ポンプとを有し、前記気密容器に前記レーザガスが充填された状態でレーザ発振する封じ切り型のガスレーザ発振器であって、前記レーザガス交換の間隔と真空引き後の前記気密容器への外部からの不純ガスのリーク速度とガスレーザ発振器が動作可能な許容不純ガス圧力に基づいて前記目標到達圧力を決定する手段を備えたことを特徴とするガスレーザ発振器。前記リーク速度に推定値を用いることを特徴とする請求項1に記載のガスレーザ発振器。前記気密容器内に圧力計を備え、前記リーク速度を前記圧力計の測定結果に基づいて求めることを特徴とする請求項1に記載のガスレーザ発振器。気密容器と、当該気密容器にレーザガスを供給するレーザガス供給源と、当該気密容器に接続された真空ポンプとを有し、当該気密容器に当該レーザガスが充填された状態でレーザ発振する封じ切り型のガスレーザ発振器において、レーザガス交換の間隔を定める工程と、前記気密容器内の目標到達圧力を、前記レーザガス交換の間隔と真空引き後の前記気密容器への外部からの不純ガスのリーク速度とガスレーザ発振器が動作可能な許容不純ガス圧力とから定める工程と、前記レーザガス交換の間隔を経る度に、前記不純ガスが前記目標到達圧力となるまで前記真空ポンプが前記気密容器に真空引きを行う真空引き工程と、前記真空引き工程にて前記不純ガスが前記目標到達圧力に達した後に前記レーザガス供給源が前記気密容器を前記レーザガスで充填する工程とを備えたことを特徴とするガスレーザ発振器におけるガス交換方法。前記リーク速度に推定値を用いることを特徴とする請求項4に記載のガスレーザ発振器におけるガス交換方法。前記気密容器内に圧力計を備え、前記リーク速度を前記圧力計の測定結果に基づいて求めることを特徴とする請求項4に記載のガスレーザ発振器におけるガス交換方法。しかしながら上記従来の技術によれば、封じ切りのレーザ発振器におけるガス交換において、前回のガス交換日時や状況、例えば直前にメンテナンスで筐体を大気に開放した等の事情に関わらず、一定間隔でガス交換を実施していたため、発振時の設定圧から、0.1~0.01Torrまで真空引きをする必要があり、真空引きに時間がかかってしまうという問題があった。本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、短時間でガス交換が可能なガスレーザ発振器、及びガスレーザ発振器におけるガス交換方法を得ることを目的とする。上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、気密容器と、前記気密容器にレーザガスを供給するレーザガス供給源と、予め定めたレーザガス交換の間隔の度に前記気密容器内が目標到達圧力となるまで真空引きを行う前記気密容器に接続された真空ポンプとを有し、前記気密容器に前記レーザガスが充填された状態でレーザ発振する封じ切り型のガスレーザ発振器であって、前記レーザガス交換の間隔と真空引き後の前記気密容器への外部からの不純ガスのリーク速度とガスレーザ発振器が動作可能な許容不純ガス圧力に基づいて前記目標到達圧力を決定する手段を備えたことを特徴とする。本発明によれば、封じ切りタイプのガスレーザ発振器においてレーザガス交換時間の短縮という効果を奏する。以下に、本発明にかかるガスレーザ発振器、及びガスレーザ発振器におけるガス交換方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。実施の形態1.図1は、本発明にかかる実施の形態1のガスレーザ発振器1の構成を示す図である。ガスレーザ発振器1は封じ切りタイプのガスレーザ発振器であり、放電電極2、ガスレーザ発振器1内部のレーザガスを循環させるガス循環ブロア3、レーザ光11の一部を反射し他を透過し得る部分反射鏡4、レーザ光11を全反射する全反射鏡5、レーザガスの温度制御のための熱交換をする熱交換器6を備える。ガス循環ブロア3、放電電極2、熱交換器6はガスレーザ発振器1の真空容器7気密容器の中に備えられている。真空容器7はガスレーザ発振器1の稼動時には例えば1/15~1/10気圧程度55~65TorrのCO2などのレーザガスで満たされ、この中でレーザ発振が生ずる。また、ガスレーザ発振器1は温度制御ユニット8を備えており、温度制御ユニット8は、部分反射鏡4、全反射鏡5、熱交換器6、放電電極2等に冷却水加熱水を送って、各部位を温度制御する機能を有する。さらに、ガスレーザ発振器1は、放電電極部2に放電を発生させる機器図示せず、ガス循環ブロア3を制御する機器図示せず、レーザ発振のためのレーザガスを充填する真空容器7を真空に引く機能を有する真空ポンプ14などが納められている電源盤9を備える。さらに、ガスレーザ発振器1は、レーザガス供給源12、圧力計13を備える。レーザガス供給源12は、真空容器7にレーザガス例えば、CO2を供給する例えばガスボンベである。圧力計13は真空容器7内の圧力を測定する。真空容器7とレーザガス供給源12、圧力計13、真空ポンプ14との間にはそれぞれ弁15、16、17が備えられている。そしてガスレーザ発振器1の動作に関する制御を行う制御手段10を備える。制御手段10は、圧力計13からの測定結果等に基づいて、レーザガス供給源12、真空ポンプ14などを制御することができる。さらに、制御手段10にはユーザが操作可能な入力端末18が接続されている。また、制御手段10あるいは入力端末18には記憶手段図示せずが備えられている。封じ切りのガスレーザ発振器1において、筐体真空容器7内のレーザガス交換直前の不純ガス圧Pdは、以下の式1ように表すことが出来る。Pd=L×TPdl式1ここで、Lは単位時間当たり不純ガスが外部から真空容器7へ浸入する漏れ量即ちリーク速度、Tはレーザガス交換の間隔、Pdlは前回レーザガス交換したときに真空ポンプ14による真空引きによる目標到達圧力、即ち、真空引き後の発振器筐体真空容器7内に残った不純ガス主として大気の圧力である。ガスレーザ発振器1の特性に影響を与える不純ガスの許容限界となる許容不純ガス圧力Pdthは、個々のガスレーザ発振器によって異なる真空容器7の内部の構造やレーザ光の出力等に依存して決定される。許容不純ガス圧力Pdthはガスレーザ発振器1が動作可能な許容最大の不純ガスの圧力である。リーク速度Lは圧力計13で測定することができる。また、真空引き後の真空容器7内の不純ガス圧Pdlは、レーザガス交換時の真空引きの到達圧を圧力計13で測定することで求められる。即ち、圧力計13が示すのは残留レーザガスを含んだ圧力であるので、その分圧値として不純ガス圧Pdlが得られる。従って、レーザガス交換後にガスレーザ発振器1を継続して使用する時間が決まっていれば、その時間が収まる範囲で出来るだけ短いガス交換の間隔Tを決定すれば、Pd≦Pdthが成り立つ条件下で出来るだけ高い不純ガスの目標到達圧力Pdlを決めることが出来る。これにより、ガスレーザ発振器1の性能を落とさずにより短時間でガス交換を行うことができる。上述したことを図2に示した不純ガス量Torrの時間Hr変化のグラフを用いて詳述する。式1のリーク速度Lが一定であるとした場合、図2の破線のグラフに示すように、ガス交換間隔Tが長い場合はL×Tが大きくなり、式1のPdがPd≦Pdthを満たすためには、真空引き後の不純ガスの目標到達圧力Pdlを低くするために真空容器7内が0.1~0.01Torrくらいになるまで真空ポンプ14による真空引きが必要となる。これには通常30分程度の時間がかかる。しかしながら本実施の形態においては、図2の実線のグラフが示すように、ガス交換間隔Tを短くとることにより、リーク速度L実線20の勾配が上記の場合と同じだとするとL×Tを小さくできる。これにより式1のPdがPd<Pdthを満たすための真空引き後の不純ガスの目標到達圧力Pdlを高くすることができる。これにより、真空容器7内が0.1~0.01Torrとなるまで真空引きすることが不要となり、真空引き時間の短縮が可能となる。本実施の形態のガス交換方法による真空引き時間の短縮について、図3を用いて説明する。図3は、図2のガス交換間隔Tが短い場合の実線のグラフとガス交換間隔Tが長い場合の破線のグラフを実線21と破線22が真空引き開始時が一致するように横にずらして拡大した図である。通常真空到達度は、真空引き時間に対して、図3に示すように指数関数的な振る舞いをするので、真空到達度が例えば0.1Torrから1Torrになるだけで、真空引き時間ガス交換時間はTexlからTexsへと大幅な時間削減が可能となる。図3は縦軸に不純ガス圧をとっているが、真空容器7の全圧についても同様な傾向となる。また、リーク速度Lは通常メンテナンス等によって真空シール面を破らない限りは、変化することがないので、レーザガス交換ごとに毎回測定する必要はなく、メンテナンス後の測定値をそのまま推定値として使用しても良い。本実施の形態にかかるレーザガス交換方法を図4に示したフローチャートを用いて説明する。まず、ガスレーザ発振器1を継続して使用する時間以上でなるべく短い間隔にレーザガス交換の間隔Tを決定するステップS41。例えばレーザガス交換の間隔Tは入力端末18を介してユーザが入力し、制御手段10の記憶手段図示せずに記憶させる。次に、圧力計13からの測定結果あるいは推定値よりリーク速度Lを決定するステップS42。リーク速度Lも、例えば圧力計13或いは入力端末18から制御手段10の記憶手段図示せずに記憶させる。上記ステップで決定され、例えば制御手段10の記憶手段図示せずに記憶されたレーザガス交換の間隔Tおよびリーク速度Lに加え、さらに同様に記憶されている許容不純ガス圧力Pdthに基づいて制御手段10が不純ガスの目標到達圧力Pdlおよびそれに応じた真空容器7内の目標到達圧力を決定するステップS43。その後は、制御手段10がレーザガス交換の間隔Tを経る度に不純ガス圧がPdl真空容器7内が目標到達圧力となるまで真空ポンプ14による真空引き及びレーザガス供給源12によるレーザガスの充填を繰り返すステップS44。逆算的に考えれば、真空引き時間を短縮したい時間に応じて不純ガスの目標到達圧力Pdlが高くなるようにレーザガス交換の間隔Tを決定するようにしてもよい。以上説明したように、発振器筐体外部からのリークによるレーザガス純度の低下が生じている場合は、前回のガス交換からの経過時間が短ければ、必ずしも発振器筐体内を0.1~0.01Torrまで真空引きをする必要がない。従って、本実施の形態にかかるレーザガス交換方法によりガス交換時の真空引き時間を短縮でき短時間でガス交換を行うことが可能となる。実施の形態2.本発明にかかる実施の形態2のガスレーザ発振器1の構成も図1と同じである。日常的にガスレーザ発振器1を使用し、レーザガス交換を実施する場合は、毎回のレーザガス交換後の筐体真空容器7内の不純ガス量が飽和する定常値を保つには以下の式2の関係が成り立っている。これは、真空引き前後の不純ガス圧の全圧に対する割合から要請される関係である。Pda=PdaL×T×Pv/PlL×T式2ここで、Pdaはレーザガス交換後の不純ガス圧、Plはレーザガス交換直後に筐体内に充填されたレーザガスを含めた全圧、Pvは真空引き後の筐体内の到達圧力全圧である。さらに、安定したレーザ発振を得るためには以下の式3が成り立っていなければならない。Pdth≧PdaL×T式3上記式2および式3を満たす条件内であれば、利用者の要望に合わせてレーザガス交換時間Tを決めることによって、真空引き到達圧力Pvを変化させることで、実施の形態1と同様に安定したレーザ発振が得られる不純ガス圧を維持しつつ、真空引き時間の最適化及び短縮化を図ることが出来る。更に、本願発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、上記実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出されうる。例えば、上記実施の形態それぞれに示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出されうる。更に、上記実施の形態にわたる構成要件を適宜組み合わせてもよい。