吸着材を充填した吸着槽を2基以上備えた有機溶剤回収装置の各吸着槽が、有機溶剤を含有する被処理ガスを導入し、有機溶剤を該吸着槽で吸着処理し有機溶剤濃度が減少した処理済みガスを排出する吸着工程と、該吸着槽における吸着処理が完了した後に、前記有機溶剤回収装置の吸着槽へ水蒸気を導入し、吸着材から有機溶剤を脱着し、それによって吸着材を再生する脱着工程を、交互に繰り返す有機溶剤回収装置において、脱着工程後に吸着材を冷却する工程を設けたことを特徴とする有機溶剤回収装置。吸着材を冷却する工程において、空気、または不活性ガスを用いる請求項1記載の有機溶剤回収装置。吸着材を冷却する工程において、吸着材の温度を60°C以下にする請求項1または2記載の有機溶剤回収装置。吸着材を冷却する工程において、吸着材の冷却時間を全再生工程時間の50以上とする請求項1~3のいずれかに記載の有機溶剤回収装置。本発明は、反応性の高い有機溶剤である、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤や酢酸エチルなどのエステル系溶剤を含有するガスを処理する場合において、有機溶剤の分解を抑制することができる有機溶剤回収装置を提供することを課題とする。本発明者らは鋭意検討した結果、以下に示す手段により、上記課題を解決できることを見出し、本発明に到達した。すなわち本発明は以下の構成からなる。1.吸着材を充填した吸着槽を2基以上備えた有機溶剤回収装置の各吸着槽が、有機溶剤を含有する被処理ガスを導入し、有機溶剤を該吸着槽で吸着処理し有機溶剤濃度が減少した処理済みガスを排出する吸着工程と、該吸着槽における吸着処理が完了した後に、前記有機溶剤回収装置の吸着槽へ水蒸気を導入し、吸着材から有機溶剤を脱着し、それによって吸着材を再生する脱着工程を、交互に繰り返す有機溶剤回収装置において、脱着工程後に吸着材を冷却する工程を設けたことを特徴とする有機溶剤回収装置。2.吸着材を冷却する工程において、空気、または不活性ガスを用いる上記1記載の有機溶剤回収装置。3.吸着材を冷却する工程において、吸着材の温度を60°C以下にする上記1または2記載の有機溶剤回収装置。4.吸着材を冷却する工程において、吸着材の冷却時間を全再生工程時間の50以上とする上記1~3のいずれかに記載の有機溶剤回収装置。本発明の有機溶剤回収装置を用いることで、反応性の高い有機溶剤である、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤や酢酸エチルなどのエステル系溶剤を吸着材に吸着させた後に、水蒸気を用いて吸着材から有機溶剤を脱着させることにより、高温となった吸着槽内の吸着材の温度を、冷却することにより温度を下げ、その結果として、上記反応性の高い有機溶剤の分解を抑え、回収溶剤中の分解生成物量を減らし、回収溶剤の品質を向上させることが可能となる。以下、本発明を詳細に説明する。本発明者は、吸着材を充填した吸着槽を2基以上有する有機溶剤回収処理装置において、反応性の高い有機溶剤である、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤や酢酸エチルなどのエステル系溶剤を含有する被処理ガスを吸着槽に導入し、上記有機溶剤を該吸着槽にて吸着処理して有機溶剤濃度が減少した処理ガスを排出し、該吸着槽における吸着処理が完了した後に、該有機溶剤回収処理装置の吸着槽へ水蒸気を導入し、吸着材から有機溶剤を脱着し、それによって吸着材を再生し、再生の際に発生する有機溶剤含有水蒸気を凝縮、分離することで回収する際に、脱着工程後に吸着材に残存した反応性の高い有機溶剤である、例えば、ケトン系溶剤やエステル系溶剤が、吸着槽内の吸着材が、水蒸気脱着によって高温に加熱され、その後、次工程である吸着工程までの待機状態に高温下で保持されていることにより、上記反応性の高い残存有機溶剤の待機状態での分解を促進し、回収溶剤中の分解生成物量を増加させ、回収溶剤の品質を低下させることに大きく影響することを見出した。また、待機状態に高温下で保持されていた吸着材により、吸着工程を開始すると、吸着材が高温な吸着開始後の初期において、被処理ガス中の反応性の高い有機溶剤である、例えば、ケトン系溶剤やエステル系溶剤が、吸着時に分解されてしまい、回収溶剤中の分解生成物量を増加させ、回収溶剤の品質を低下させることに大きく影響することも見出した。本発明は、これらの点に着目し、吸着槽を冷却することにより、上記反応性の高い有機溶剤の分解を抑制し、回収溶剤中の分解生成物量を減少させ、回収溶剤の品質を向上させることを可能とすることを見出したものである。そこで、本発明においては、吸着材を充填した吸着槽を2基以上有する有機溶剤回収処理装置において、有機溶剤を含有する被処理ガスを導入し、有機溶剤を該吸着槽にて吸着処理して有機溶剤濃度が減少した処理ガスを排出し、該吸着槽における吸着処理が完了した後に、該有機溶剤回収処理装置の吸着槽へ水蒸気を導入し、吸着材から有機溶剤を脱着し、それによって吸着材を再生し、再生の際に発生する有機溶剤含有水蒸気を凝縮、分離することで回収する有機溶剤回収処理装置において、水蒸気脱着後の該吸着槽中の吸着材温度を下げるために、冷却工程を設けることを特徴とする。上記、吸着材を冷却する工程は、新たに外気ファンを取り付け、外気を吸着槽内に取り込むことで吸着材を冷却することができる。また、外気の代わりに窒素などの不活性ガスを使用してもよい。不活性ガスを使用することで該吸着槽内の酸素濃度を減らし、脱着工程にて該吸着材に残存した有機溶剤の酸化分解をより抑制することが可能である。吸着材を冷却する工程においては、吸着材温度を60°C以下にすることが好ましい。吸着材の60°C以下の温度に下げることで、該吸着材に付着した有機溶剤の分解をより抑制することができるからである。吸着材を冷却する工程においては、吸着材の冷却時間を全再生工程時間の50以上とすることが好ましい。これは、全再生工程時間中の冷却時間が短いと、相対的に脱着時間が長くなることで脱着工程中の回収溶剤の分解が顕著となり冷却工程による回収溶剤の分解抑制効果が十分発揮できなくなるからである。ケトン系溶剤やエステル系溶剤は、非常に反応性に富んでおり、容易に酸化分解、若しくは加水分解されうる。そのため、水蒸気脱着式溶剤回収装置を用いてケトン系溶剤やエステル系溶剤を処理する場合においては、吸着材が水蒸気脱着工程後から吸着工程までの待機状態にその温度が高温状態で移行するため、残存した上記有機溶剤が高温雰囲気下に晒される結果となる。また、水蒸気脱着後の高温のままの吸着材に、次工程である吸着工程で被処理ガスが導入されることとなる。そのため、上記反応性の高い有機溶剤が分解されてしまい、回収溶剤中に分解生成物を含有させることとなり、回収溶剤の品質を低下させてしまっていた。そこで本発明の有機溶剤回収装置を使用することで、ケトン系溶剤やエステル系溶剤といった反応性の高い有機溶剤の分解を抑制し、高品質な回収溶剤を得ることが可能となったのである。本発明の好ましい実施形態を図1にて説明する。有機溶剤含有被処理ガス2は送風機3にて、吸着工程となっている吸着槽7に、自動下ダンバー5または6より送られ、有機溶剤は吸着工程の吸着槽7内の吸着材8の通過中に吸着されて、処理済みガスとなって自動上ダンパー10または11を通り、排気口9へ送られて大気中に放出される。一方、脱着工程となっている吸着槽7内の吸着材8に吸着された有機溶剤は、水蒸気ライン12より導入された水蒸気によって脱着され、回収ライン13を通じてコンデンサー16へ導入され凝縮され、凝集された有機溶剤は回収溶剤15として得られる。なお、脱着工程後の吸着材8は、吸脱着工程切替により、次の吸着工程に切り替わるまでは待機状態となる。上記脱着工程後の待機状態に、送風機18より外気17を、送風ライン19を通じて待機状態の吸着槽7へ導入し、次の吸着工程に切り替わるまでの間に吸着材8を冷却する。なお、送風機を用いて外気を導入する際に、外気に変えて不活性ガスを使用してもよい。不活性ガスを使用することで吸着槽内の酸素濃度を低減させ、酸化分解をさらに抑制することができるからである。以下に実施例を示し、本発明をより具体的に説明する。実施例1図1に示される本発明の有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。なお、本発明がこれに限定されるものではない。ケトン系有機溶剤の一種であるメチルエチルケトンを4000ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量4.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は9分間、脱着時間は2分間、送風機18により導入される外気17を用いた冷却時間は2分間、待機時間は5分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気により脱着されたメチルエチルケトンと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、メチルエチルケトンを回収した。回収したメチルエチルケトン中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出したメチルエチルケトン負荷量に対する酢酸生成量は0.16gkg-MEKであった。実施例2図1に示される本発明の有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。尚、本発明がこれに限定されるものではない。エステル系有機溶剤の一種である酢酸エチルを2100ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量6.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は10分間、脱着時間は2分間、送風機18により導入される外気17を用いた冷却時間は8分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気12により脱着された酢酸エチルと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、酢酸エチルを回収した。回収した酢酸エチル中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出した酢酸エチル負荷量に対する酢酸生成量は0.20gkg-酢酸エチルであった。実施例3図1に示される本発明の有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。尚、本発明がこれに限定されるものではない。エステル系有機溶剤の一種である酢酸エチルを2100ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量6.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は10分間、脱着時間は5分間、送風機18により導入される外気17を用いた冷却時間は5分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気12により脱着された酢酸エチルと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、酢酸エチルを回収した。回収した酢酸エチル中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出した酢酸エチル負荷量に対する酢酸生成量は0.32gkg-酢酸エチルであった。実施例4図1に示される本発明の有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。尚、本発明がこれに限定されるものではない。エステル系有機溶剤の一種である酢酸エチルを2100ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量6.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は10分間、脱着時間は8分間、送風機18により導入される外気17を用いた冷却時間は2分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気12により脱着された酢酸エチルと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、酢酸エチルを回収した。回収した酢酸エチル中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出した酢酸エチル負荷量に対する酢酸生成量は0.60gkg-酢酸エチルであった。比較例1図2に示される一般的な有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。ケトン系有機溶剤の一種であるメチルエチルケトンを4000ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量4.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は9分間、脱着時間は2分間、待機時間7分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気12により脱着されたメチルエチルケトンと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、メチルエチルケトンを回収した。回収したメチルエチルケトン中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出したメチルエチルケトン負荷量に対する酢酸生成量は0.58gkg-MEKであった。比較例2図2に示される一般的な有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。エステル系有機溶剤の一種である酢酸エチルを2100ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量6.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は10分間、脱着時間は2分間、待機時間は8分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気12により脱着された酢酸エチルと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、酢酸エチルを回収した。回収した酢酸エチル中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出した酢酸エチル負荷量に対する酢酸生成量は0.40gkg-酢酸エチルであった。比較例3図2に示される一般的な有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。エステル系有機溶剤の一種である酢酸エチルを2100ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量6.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は10分間、脱着時間は5分間、待機時間は5分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気12により脱着された酢酸エチルと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、酢酸エチルを回収した。回収した酢酸エチル中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出した酢酸エチル負荷量に対する酢酸生成量は0.44gkg-酢酸エチルであった。比較例4図2に示される一般的な有機溶剤回収システムにおいて、以下に示す条件で被処理ガスを処理し、有機溶剤を回収分析をした。エステル系有機溶剤の一種である酢酸エチルを2100ppm含む45°Cの溶剤混合ガスを、風量6.0Nm3分で送風機3にて吸着槽7に送り、吸着材8により吸着処理を行った。吸着時間は10分間、脱着時間は8分間、待機時間は2分間となるよう、吸着槽を切り替えた。水蒸気12により脱着された酢酸エチルと水蒸気はコンデンサー16へ送られ、コンデンサー16にて凝縮し、酢酸エチルを回収した。回収した酢酸エチル中の酢酸濃度をガスクロマトグラフィー島津製作所社製を用いてGC分析した。その結果より算出した酢酸エチル負荷量に対する酢酸生成量は0.60gkg-酢酸エチルであった。実施例1~4、及び比較例1~4の処理結果を表1に示す。