"不活性粒子Aを含有するポリエステルAからなるフィルム層Aを、ポリエステルBからなるフィルム層Bの少なくとも片面に共押出によって積層し、少なくとも一方向に延伸する積層フィルムの製造方法であって、表面を形成するフィルム層Aの合計厚みが、積層フィルム全体の厚みに対して、1~10の範囲で、かつ不活性粒子Aの平均粒径が、表層に位置するフィルム層Aの厚みに対して、0.5~3倍の範囲であり、フィルム層Aとフィルム層Bとを共押出によって積層する際に、製膜方向および積層方向に直交する方向幅方向の両端部にポリエステルAからなるエッジ単層部を設けた状態で押出し、後にエッジ単層部をトリミングすることを特徴とする積層フィルムの製造方法。フィルム層Aは、不活性粒子Aを、フィルム層Aの重量を基準として、0.05~5.0質量の範囲で含有する請求項1記載の積層フィルムの製造方法。ポリエステルAとポリエステルBとの吐出量の比が、3:7~7:3の範囲である請求項1または2のいずれかに記載の積層フィルムの製造方法。ポリエステルAとポリエステルBとは、繰り返し単位の80モル以上が同じ繰り返し単位であり、かつ固有粘度の差が0.03dl/g以下である請求項1~3のいずれかに記載の積層フィルムの製造方法。積層フィルムの厚みが、1~5μmの範囲である請求項1~4のいずれかに記載の積層フィルムの製造方法。請求項1~5のいずれかに記載の方法で製造された積層フィルム。本発明は、上記のごとき、不活性粒子を含有する極めて薄い層を表層に配置する積層フィルムの製造において、薄い層の長手方向における厚み斑を小さくできる積層フィルムの製造方法を提供することおよびそれによって薄い層の長手方向における厚み斑を小さくした積層フィルムを提供することにある。本発明者らは、上記のごとき従来技術が潜在していた課題を解決すべく鋭意研究した結果、不活性粒子を含有する極めて薄い層を表層に配置する積層フィルムを製造する際に、その両端部に薄い層を形成するのに用いたポリマーを単一層としてフィルムの幅方向の両端部にエッジ単層として形成することで厚み変動を抑制できることを見出し、本発明に到達した。かくして本発明によれば、不活性粒子Aを含有するポリエステルAからなるフィルム層Aを、ポリエステルBからなるフィルム層Bの少なくとも片面に共押出によって積層し、少なくとも一方向に延伸する積層フィルムの製造方法であって、表面を形成するフィルム層Aの合計厚みが、積層フィルム全体の厚みに対して、1~10の範囲で、かつ不活性粒子Aの平均粒径が、表層に位置するフィルム層Aの厚みに対して、0.5~3倍の範囲であり、フィルム層Aとフィルム層Bとを共押出によって積層する際に、製膜方向および積層方法に直交する方向幅方向の両端部にポリエステルAからなるエッジ単層部を設けた状態で押出し、後にエッジ単層部をトリミングする積層フィルムの製造方法が提供され、本発明の好ましい態様として、フィルム層Aは、不活性粒子Aを、フィルム層Aの重量を基準として、0.05~5.0質量の範囲で含有すること、ポリエステルAとポリエステルBとの吐出量の比が、3:7~7:3の範囲であること、ポリエステルAとポリエステルBとは、繰り返し単位の80モル以上が同じ繰り返し単位であり、かつ固有粘度の差が0.03dl/g以下であること、積層フィルムの厚みが、1~5μmの範囲であることの少なくともいずれかを具備する積層フィルムの製造方法も提供される。さらにまた、本発明によれば、上記本発明の製造方法で製造された積層フィルムも提供される。本発明によれば、極めて薄いのに長手方向に厚み斑が抑制された、不活性粒子を含有する層を有する積層フィルムを製造することができる。その結果、長手方向に表面粗さなどの品質が均一化され、極めて高品位の製品とすることができる。以下、図面を引用して本発明を説明する。図1は、本発明の一つの実施形態の一例である。2層シートの押出装置のうち押出機からキャスティングドラムまでを示している。2層シートの押出装置は、2層シートのフィルム層AとなるポリエステルAの流れ方向の上流側から順に押出機1、ギアポンプ2、フィルター3、ポリマーパイプ4a、同様に2層シートのフィルム層BとなるポリエステルBの流れ方向の上流側から順に押出機5、ギアポンプ6、フィルター7、ポリマーパイプ4bとなっており、フィードブロック8の内部で2つの溶融樹脂を積層させ、フィードブロック9にてフィルム層Aとフィルム層Bの積層方向および製膜方向に直交する方向幅方向の両端部にエッジ単層部を設け、ダイ10からシート状に溶融樹脂11を2層シートとして押し出す構成となっている。ダイ10は単層のサイドフィード式であり、ダイの片側に樹脂の供給口を有するものを例示している。ポリエステルAおよびBに用いる樹脂としては、フィルムに製膜可能なポリエステルであれば特に制限されず、例えばポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートが挙げられ、これらを用いる場合には、さらにキャスティングドラム12で冷却して未延伸積層フィルムとし、図示しない延伸装置によって縦延伸および/または横延伸を施して配向積層フィルムとすることができる。なお、説明の便宜上、本発明では、フィルム層Aとフィルム層Bの積層方向を、積層方向、厚み方向またはz方向と称することがある。また、製膜中の進行する方向に沿ったフィルムの方向を、製膜方向、長手方向、縦方向またはMD方向と称することがある。さらにまた、製膜方向および積層方向に直交する方向を、幅方向、横方向またはTD方向と称することがある。図2は本発明の一つの実施形態の例示であり、2層の積層状態を作り出すフィードブロック8を図1の矢印A方向から見た断面を示している。13aはポリエステルAであり、ポリエステルAの流路を示している。13bはポリエステルBであり、ポリエステルBの流路を示している。14はポリエステルAからなるフィルム層Aのキャスティングドラム12に接触する層の層厚調整具であり、該層の全体の厚み、幅方向の層厚プロファイルを調整する部材である。図3は本発明の一つの実施形態の例示であり、3層の積層状態を作り出すフィードブロック8を図1の矢印A方向から見た断面を示している。14はポリエステルAからなるフィルム層Aのキャスティングドラム12に接触する層の層厚調整具であり、該層の全体の厚み、幅方向の層厚プロファイルを調整する部材である。15はポリエステルAからなるフィルム層Aのキャスティングドラム12に接触しない層の層厚調整具であり、該層の全体の厚み、幅方向の層厚プロファイルを調整する部材である。図4は本発明の一つの実施形態の例示であり、製膜方向に直交する方向幅方向の両端部にエッジ単層部を設けるフィードブロック9を図1の紙面手前側から見た断面を示している。16はポリエステルAとポリエステルBの積層樹脂である。17はポリエステルAのダイ先端側エッジ単層幅調整具であり、18はポリエステルAのダイ根元側エッジ単層幅調整具である。図5に図1~3の実施形態を用いて製膜した未延伸フィルムの製膜に直交する方向の断面図を示す。11aがフィルム層A、11bがフィルム層B、11cがエッジ単層部である。図6は図5に示した未延伸フィルムの幅方向の厚みグラフの一例である。矢印B部は単層境界での厚み変化部を示している。この厚み変化の大きさは、フィルム層Aとエッジ単層部の樹脂の固有粘度差に応じて変化し、粘度差が大きいほど厚み変化も大きくなることが実験により明らかになっている。図7はポリエステルAとBの固有粘度差を0.03dl/g以下にした本発明により得られた未延伸フィルムを、縦、横方向に延伸して得られた2軸延伸フィルムの幅方向の厚みグラフの一例である。矢印Cの位置が単層境界部であるが、厚み変化は殆ど見られない。それに対し図8はポリエステルAとBの固有粘度差を大きくした本発明により得られた未延伸フィルムを、同様に2軸延伸したフィルムの幅方向の厚みグラフの一例である。単層境界の位置矢印Cには大きな厚み変化が発生し、その外側の矢印Dでは過剰に延伸された結果、厚みが中央部より薄くなっている。以下、さらに本発明を詳細に説明する。前述のとおり、本発明は不活性粒子Aを含有するポリエステルAを、ポリエステルBの少なくとも片面に共押出によって積層し、少なくとも一方向に延伸する積層フィルムの製造方法であって、表面を形成するフィルム層Aの合計厚みが、積層フィルム全体の厚みに対して、1~10の範囲であり、フィルム層Aとフィルム層Bとを共押出によって積層する際に、幅方向の両端部にポリエステルAからなるエッジ単層部を設けた状態で押出し、後にエッジ単層部をトリミングすることに特徴がある。共押出しの技術や設備は一般的に用いられているが、表層に全体の厚みに対して、合計厚みが1/10以下のフィルム層Aを設ける場合、表層に位置するフィルム層Aのポリエステルの押出量もそれに応じて、フィルム層Bを形成するポリエステルB対比、極めて少なくなり、両者のバランスが崩れるためか、製膜方向に厚み斑を生じる。そして、非常に薄いフィルム層Aを形成するがゆえに、厚み斑は表面に存在する粒子量の変化をもたらし、表面粗さに影響を及ぼす。なお、フィルム層Aの吐出を安定化させやすい点から、フィルム層Aにフィルム層Bに比べてサイズの小さな押出し装置を用いることは有効であるが、それだけでは十分な解決とはなっていなかった。本発明では、ポリエステルAとポリエステルBとが、その繰り返し単位の80モル以上が同じ繰り返し単位であることが好ましい。同じ繰り返し単位の割合が下限未満では、後述の固有粘度の差を制御しても、前述の図5の矢印Bで示される厚み斑を縮小することが困難となる。好ましい同じ繰り返し単位の割合は、85モル以上、さらに90モル以上、特に95モル以上である。また、本発明では、ポリエステルAとポリエステルBとの固有粘度の差が0.03dl/g以下であることが好ましい。これにより、前述の図6の矢印Bで示される厚み斑を縮小することができる。そのような観点から、固有粘度の差は0.02dl/g以下であることが好ましい。また、固有粘度の差の下限は、前述の厚み斑を抑える観点から小さいほど好ましいことから制限されないことは容易に理解されるであろう。本発明におけるポリエステルAおよびBとしては、フィルムへの製膜が可能なものであれば、それ自体公知のものを採用でき、例えば、ジオール成分と芳香族ジカルボン酸成分との重縮合によって得られる芳香族ポリエステルが好ましい。かかる芳香族ジカルボン酸成分としては、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、4,4’-ジフェニルジカルボン酸、6,6’-エチレンジオキシジ-2-ナフトエ酸などの6,6’-アルキレンジオキシジ-2-ナフトエ酸が挙げられる。また、かかるジオール成分としては、例えばエチレングリコール、1,4-ブタンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、1,6-ヘキサンジオールが挙げられる。これらの中でも、高温での加工時の寸法安定性の点からは、エチレンテレフタレートまたはエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレートを主たる繰り返し単位とするものが好ましく、特にエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレートを主たる繰り返し単位とするものが好ましい。ここでいう主たるとは、好ましくは80モル以上、さらに90モル以上を意味する。本発明におけるポリエステルAまたはBのいずれか固有粘度の高い方のポリエステルは、その溶融押出する前の固有粘度が0.60~0.65dl/gの範囲にあることが、フィルムに製膜する際の溶融状態での樹脂の積層状態や、製膜後のフィルムの機械的特性を高度に維持しやすいことから好ましい。なお、後述の回収ポリマーを使用する場合、回収ポリマーはポリエステルAに含有して使用することが、エッジ単層部に用いられることから好ましい。ところで、本発明では、フィルム層Aは不活性粒子Aを含有することが必要である。この不活性粒子Aの粒子サイズや粒子量は、積層フィルムを用いる用途に応じて適宜決めればよい。このような不活性粒子を含有させることで、フィルムに白度、光沢性、隠蔽性を待たせたり、フィルムの巻き取り性を向上させたりすることができる。含有させる不活性粒子としては、例えば、ルチル型酸化チタン、アナターゼ型酸化チタン、硫酸バリウム、酸化シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、燐酸カルシウム、カオリン、タルクのような無機不活性粒子、シリコーン、架橋ポリスチレン、スチレン-ジビニルベンゼン共重合体のような有機不活性粒子をあげることができる。また、含有させる不活性粒子Aの平均粒径は0.01~8μmが好ましい。なお、不活性粒子Aは1種類に限定されず、複数の種類の不活性粒子Aを併用してもよく、併用する場合は、粒子種、サイズ、形状などの異なる個々の不活性粒子Aが、特に断らない限り、それぞれ前記条件を満足することが好ましい。本発明は、前述の通り、不活性粒子を含有する非常に薄い層を表層に用いるときの課題を解決したものである。そのような観点から、延伸後の表層に位置するフィルム層Aの厚みに対して、含有する不活性粒子Aの平均粒径が0.5~3倍の範囲、好ましくは0.6~2.0倍の範囲である。このように表層に位置するフィルム層Aに、その厚みとほぼ同じ大きさの不活性粒子Aを含有することで、不活性粒子Aによる突起の高さを均一にさせることができる。一方、このような厚みと平均粒子径との関係を具備させると、厚み斑によって非常に粒子頻度などにバラツキがおきやすいという問題があったが、それをエッジ単層部を設けることで解消したのが本発明である。また、表層に位置するフィルム層Aの厚みに対して、平均粒径が0.5~3倍の不活性粒子Aの含有量は、フィルム層Aの質量を基準として、0.05~5.0wtの範囲にあることが好ましく、さらに0.06~2.0wtの、特に0.08~1.0wtの範囲にあることが好ましい。なお、本発明におけるフィルム層Aは、上記不活性粒子Aのほかに、本発明の効果を損なわない範囲で、表層に位置するフィルム層Aの厚みに対して、平均粒径が0.5倍未満の不活性粒子を含有していても良い。含有させる不活性粒子としては、前述の不活性粒子Aで説明したのと同様なものが挙げられる。また、本発明におけるフィルム層Bは、不活性粒子を含有しても含有しなくても良いが、含有する場合は上記不活性粒子Aと同じ粒子であることが回収などの面からも好ましい。また、フィルム層Aによる表面設計をそのまま反映しやすいことから、フィルム層Bは、不活性粒子を含有しないか、含有するとしてもフィルム層Aよりも少ない、好ましくはフィルム層Aの粒子含有量に対して、1割以上少ないことが好ましい。本発明では、ポリエステルAとポリエステルBとを押出機から押し出してから、ダイから吐出されるまでの間で、厚み方向に積層、すなわち、フィルム層Aとフィルム層Bを積層する。この際、ポリエステルBは組成や固有粘度を異にする、例えばポリエステルB1、ポリエステルB2といった複数のポリエステルとそれぞれ押し出す押出機を用意し、それぞれでフィルム層B1、フィルム層B2を形成してもよい。具体的な積層構造としては、フィルム層Aとフィルム層Bを積層した2層積層フィルム、フィルム層Bの両面にフィルム層Aを積層した3層フィルム、フィルム層A1とフィルム層A2とフィルム層Bとを積層した3層フィルム、フィルム層Aとフィルム層Bとを交互に積層した多層積層フィルムなどが挙げられる。ところで、本発明の製造方法では、上記フィルム層Aの合計厚みが、フィルム層Aとフィルム層Bの厚みの合計に対して、1~10の範囲である。フィルム層Aの厚みの好ましい下限は、2以上、さらに3以上である。他方、フィルム層Aの厚みの好ましい上限は、7以下、さらに5以下である。フィルム層Aの厚みが上限以下であることで、縦方向厚み斑改善の効果がより発現される。他方、フィルム層Aの厚みが下限以上であることで、縦方向の厚み斑をより改善しやすくなる。つぎに、本発明の製造方法では、上記フィルム層Aとフィルム層Bを積層した後、その幅方向の両端部にポリエステルAからなるエッジ単層部を設ける。このとき、押し出すダイの幅にもよるが、未延伸フィルムの断面積で見たときの、それぞれの端部に設けられるエッジ単層部の断面積の割合の下限は、10以上、さらに15以上であることが、ダイからの押し出しを安定させつつ、幅方向に延伸する際などに把持される幅方向の端部を十分に確保する点から好ましい。他方、それぞれの端部に設けられるエッジ単層部の断面積の割合の上限は、製品とされる部分を効率的に確保する観点から、25以下、さらに20以下であることが好ましい。また、本発明の観点からは、フィルム層Aとエッジ単層部を形成するのに用いるポリエステルAと、フィルム層Bを形成するポリエステルBとの吐出量の比は、3:7~7:3の範囲にあることが、フィルム層Aの厚み斑を抑制する観点から好ましい。なお、ここでいう吐出量の比は、エッジ単層部をトリミングする前の未延伸積層シートを製膜方向に直交する方向に裁断し、その断面を見たときの断面積比で求めることができる。具体的には、断面を観察して、ポリエステルAの断面積フィルム層Aの断面積とエッジ単層部の断面積との合計断面積と、ポリエステルBの断面積とから求めることができる。なお、ポリエステルAとポリエステルBの境界が、同種のポリエステルで見分けにくい場合は、含有する不活性粒子の違いから、境界を求めればよい。このようにしてダイから押し出される未延伸積層シートの幅方向の中央部における厚みは特に制限されないが、後述の幅方向に延伸する際に、厚み斑による破断が薄いほど顕著に発現する、すなわち本発明の厚み斑の改良による効果がより発現されやすいことから、200μm以下、さらに160μm以下であることが好ましい。なお、上述の未延伸積層シートの製造は、例えば、ポリエステルAと、ポリエステルBとを用意し、これらを溶融状態で積層してダイからシート状に共押出する工程、得られたシート状物を冷却固化する工程で製造できる。溶融状態で押し出す工程での温度は、未溶融物がなく、過度にポリエステルの熱劣化が進まない温度であれば特に制限されず、例えば、最も融点の高いポリエステルの融点Tm:°CないしTm70°Cの温度で行うことが好ましい。つぎに、冷却については、得られる積層未延伸ポリエステルフィルムの平坦性を維持しつつ、厚み斑も少なくするために、フィルム製膜方向に沿ってダイの下方に設置された回転する冷却ドラムを用い、それにシート状物を密着させて冷却するのが好ましい。このようにして得られた未延伸積層シートは、機械的特性などを向上させたり、熱などに対する寸法安定性などを向上させる観点から、少なくとも一方向、例えば製膜方向または幅方向に延伸に延伸する。以下では、製膜方向に延伸し、つづいて幅方向に延伸する逐次二軸延伸を例にとって説明する。まず、未延伸積層シートを、製膜方向にもっともガラス転移温度の高いポリエステルのガラス転移温度Tg-10°C~Tg70°Cの温度で延伸し、次いで幅方向にTg~Tg70°Cの温度で延伸する。この際、通常、製膜方向の延伸は回転速度の異なるロール間で行われ、幅方向の延伸はテンター法と言われる、フィルムの幅方向の端部を把持部で把持して延伸する方法が行われる。そして、冒頭で述べたとおり、未延伸シートのエッジ単層部の境界に厚み斑があると、この幅方向の延伸の際に、延伸斑が生じたり、過度に延伸された部分が破断したりするのである。そのため、幅方向の延伸倍率が高いほど、上記厚み斑による影響は大きく、そういった観点から本発明の製造方法は、幅方向の延伸倍率が3倍以上、さらに3.5倍以上であるときに、より効果的である。また、さらに必要に応じて縦方向および/または横方向に再度延伸してもよい。このように延伸したときの全延伸倍率は、面積延伸倍率縦方向の延伸倍率×横方向の延伸倍率として9倍以上が好ましく、12~35倍がさらに好ましく、15~30倍が特に好ましい。さらにまた、延伸後のフィルムは、Tg70~Tm-10°Cの温度で熱固定することができ、例えば180~250°Cで熱固定するのが好ましい。熱固定時間は1~60秒が好ましい。また、前述の延伸は逐次二軸延伸で説明したが、縦方向と横方向に同時に延伸する同時二軸延伸を用いても良い。このようにして幅方向に延伸されたフィルムは、熱固定処理の前もしくは後に、エッジ単層部をトリミングして、製品として巻き取られる。なお、エッジのトリミングは、フィルムの両端部をレザーカッターやロータリーカッター等で切り取る工程である。また、本発明の製造方法では、必要に応じて、積層フィルムの製造工程中または製造後にフィルムに塗液を塗布し乾燥する工程を設けても良い。塗膜の種類や塗布方法などはそれ自体公知の方法を任意に採用できる。ところで、本発明の製造方法は、冒頭で述べたとおり、回収ポリマーを再利用するのに極めて有効であり、以下、回収ポリマーの作成方法や投入方法について説明する。まず、トリミングされたエッジ単層部や、製品とならなかった配向積層フィルム、また未延伸シートなどは粉砕され、乾燥され、溶融押出されて再生チップとして再利用する。なお、ポリエステルAとBとで組成が異なる場合、エッジ単層部と配向積層フィルムとは別々に回収して、別々に再生チップとするのが、後に再生チップを使用する場合の品質の変化を押える上で好ましい。そのため、前述の未延伸シートなども、エッジ単層部と切り分けてから回収するのが好ましい。すなわち、本発明においてはトリミングされたフィルムエッジ部分を回収した樹脂と、フィルム中央部を回収した樹脂では、ポリエステルAとポリエステルBの含有率が異なるので、それぞれ独立した回収系を用意するのが好ましく、このような回収系を用意しても付加価値の高いフィルムの生産においてはコストダウン効果が大きい。このようにして製造された例えば再生チップは、ポリエステルAに投入する。この際、回収系の異なる回収ポリエステルでは、ポリエステルAとポリエステルBの含有率が異なるため、それぞれの含有率に応じて配合比を調整し、バージンポリマーと適量混合することで、所望の組成や固有粘度とすることが可能となる。このようにして得られる本発明の積層フィルムは、用いる用途にもよるが、本発明の効果がより顕著に現れやすいことから薄いことが好ましく、1~10μmの範囲、さらに3~5μmの範囲にあることが好ましい。以下、実施例によって本発明を更に説明する。尚、実施例中の物性値の測定および製膜性の評価は下記の方法とした。1固有粘度製膜後のフィルムを溶媒に溶解させオストワルド式粘度計を応用した自動粘度計を用いて測定した。なお、測定は35°Cで行い、溶媒はo-クロロフェノールを用いた。なお、o-クロロフェノールでは十分に溶けない場合は、P-クロロフェノール/テトラクロロエタン40/60重量比の混合溶媒を用いた。2各フィルム層の厚みキャスティングドラム12で冷却固化した未延伸サンプルを三角形に切り出し、包理カプセルに固定後、エポキシ樹脂にて包理した。そして、包理されたサンプルをミクロトームULTRACUT―Sで縦方向に平行な断面をおよそ50nm厚みの薄膜切片にしたあと、透過型電子顕微鏡を用いて、加速電子100kvにて観察投影し、写真から各層の厚みを測定し、各層の厚みを測定した。3長手方向における粒子頻度のバラツキZygo社製NewView5022三次元表面構造解析顕微鏡倍率:25、スキャンレングス:5μm、データ平均回数:4回を用い、表層側の測定面積250μm2の範囲において、高さ30nm以上の突起数をカウントした。それを、MD方向に2mのピッチで10回測定し、平均値と標準偏差を算出した。4長手方向における表面粗さのバラツキ上記と同様にZygo社製NewView5022三次元表面構造解析顕微鏡倍率:25、スキャンレングス:5μm、データ平均回数:4回を用い、表面粗さRaを求めた。それを、MD方向に2mのピッチで10回測定し、平均値と標準偏差を算出した。5各フィルム層の厚みおよびエッジ単層部の幅ならびにそれらの断面積比キャスティングドラム12で冷却固化した未延伸サンプルを三角形に切り出し、包理カプセルに固定後、エポキシ樹脂にて包理した。そして、包理されたサンプルをミクロトームULTRACUT―Sで縦方向に平行な断面をおよそ50nm厚みの薄膜切片にしたあと、透過型電子顕微鏡を用いて、加速電子100kvにて観察投影し、写真から各層の厚みを測定し、各層の厚みを測定した。また、未延伸フィルムの幅方向に同様な測定を行い、エッジ単層部の幅ならびにそれらの断面積比を求めた。また、エッジ単層部と製品となる積層フィルムの境界部分における未延伸サンプルの最も厚い部分の厚みT1と、その幅方向における両側に位置する薄い部分の厚みの平均T2とを求め、境界部の段差{T1-T2/T2:}を求めた6実施例、比較例で用いた樹脂は以下の通りである。PEN1:固有粘度0.62dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.3μmのシリカ粒子を0.1質量含有している。PEN2:固有粘度0.62dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.1μmのシリカ粒子を0.2質量含有している。PEN3:固有粘度0.62dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.2μmのシリカ粒子を0.15質量含有している。PEN4:固有粘度0.64dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.3μmのシリカ粒子を0.1質量含有している。PEN5:固有粘度0.60dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.3μmのシリカ粒子を0.1質量含有している。PEN6:固有粘度0.60dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.1μmのシリカ粒子を0.05質量含有している。PEN7:固有粘度0.62dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.1μmのシリカ粒子を5.0質量含有している。CoPEN:固有粘度0.62dl/gの6,6’-エチレンジオキシジ-2-ナフトエ酸を全酸成分のモル数を基準として15モル共重合したポリエチレン-2,6-ナフタレンジカルボキシレート。平均粒径0.05μmのシリカ粒子を0.1質量含有している。[実施例1]まず、図1に示す構成の押出装置、図2,3に示すフィードブロックを用い2層フィルムを製膜した。フィルム層A側の原料PEN1を押出機1に投入し、ギアポンプ2で計量、続くフィルター3で濾過しおよそ280°Cの温度で積層フィードブロック8に導いた。一方、フィルム層B側の原料PEN6は押出機5に投入し、ギアポンプ6で計量、続くフィルター7で濾過しおよそ280°Cの温度で積層フィードブロック8に導いた。積層フィードブロック8にて図2に示すごとく、ダイから吐出された後フィルム層Aがキャスティングドラムに接触する側に積層するように、ポリエステルA:PEN1の片側にポリエステルB:PEN6を合流させた。次いで、エッジ単層フィードブロック9にて図3に示すごとく、ポリエステルA:PEN1とポリエステルB:PEN6の積層樹脂の上部および下部に、ポリエステルA:PEN1を合流させダイ10に送り込んだ。次いで単層ダイ10から押し出してキャスティングドラム12で冷却固化し、エッジ単層付きの800mm幅の積層未延伸フィルムを得た。この未延伸フィルムの層構成を測定すると、フィルム全厚が130μm、エッジ単層の幅が両側とも80mm、フィルム層Aおよびエッジ単層部の合計の断面積と、フィルム層Bの断面積の比、すなわち吐出比は23:77であった。得られた未延伸フィルムを160°C、4.6倍で縦延伸した後、155°C、5.4倍で横延伸し、更に220°Cで熱固定して、連続24時間の間、フィルムが破断することなく安定して2軸延伸積層フィルムを得ることができた。この2軸延伸積層フィルムをサンプリングし、フィルム層Aの厚みを計測すると層厚みは0.3μmであった。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例2]フィルム層Aの厚みを0.5μmにポリエステルAとポリエステルBの吐出量比で調整したこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例3]フィルム層Aの厚みを0.2μm、フィルム層Bの厚みを4.5μmにポリエステルAとポリエステルBの吐出量比で調整したこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例4]フィルム層Aの原料をPEN2にしたこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例5]フィルム層Aの原料をPEN3にしたこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例6]フィルム層Aとエッジ単層部の合計の断面積と、フィルム層Bの断面積の比、すなわち吐出比を、30:70にしたこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例7]フィルム層Aとエッジ単層部の合計の断面積と、フィルム層Bの断面積の比、すなわち吐出比を、35:65にしたこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例8]フィルム層Aの原料をPEN4にし、フィルム層Bの原料をCoPENにしたこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例9]フィルム層Aの原料をPEN5にし、フィルム層Bの原料をCoPENにしたこと以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[実施例10]フィルム層Aの原料をPEN1にし、フィルム層Bの原料をCoPENにし、フィルム層Bをフィルム層Aの両面に積層し3層構造とし、積層フィードブロック8にて図7に示すごとく、ダイから吐出された後フィルム層Aがキャスティングドラムに接触する側とその反対面に積層するように、ポリエステルA:PEN1の片側にポリエステルB:CoPENを合流させた。それ以外は、実施例1と同様に2軸延伸積層フィルムを得た。この2軸延伸フィルムをサンプリングし、キャスティングドラムに接する側のフィルム層Aの厚みを計測すると層厚みは0.1μm、反対面のフィルム層Aの厚みを測定すると、層厚みは0.2μmであった。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[比較例1]ポリエステル樹脂の組み合わせを、ポリエステルAをPEN1、ポリエステルBをPEN5とし、ポリエステルAとポリエステルBの吐出量比を、7:93にし、エッジ単層部を設けなかったこと以外は、実施例1と同様に二軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。[比較例2]ポリエステル樹脂の組み合わせを、ポリエステルAをPEN7、ポリエステルBをPEN5とし、ポリエステルAとポリエステルBの吐出量比を、0.5:99.5にし、全層の厚みを8.04μmにしたこと以外は、実施例1と同様に二軸延伸積層フィルムを得た。得られた二軸延伸積層フィルムの特性を表1に示す。表1中のフィルム層Aの厚み比は、表層に位置するフィルム層Aの合計厚みを、積層フィルム全体の厚みで割った厚み比率であり、粒径/フィルム層Aの厚みは、A層―Aの厚みで、不活性粒子Aの平均粒径を割った値である。"