"多数本の中空糸膜から成る糸束と、前記糸束を収容し且つ側面に複数のノズルを有する筒状ケースと、前記筒状ケース内の前記糸束の両端部において、前記中空糸膜の外面同士及び当該外面と前記筒状ケースの内面との隙間を封止した一対の固定部と、を備え、前記筒状ケース内における中空糸膜外側の流路断面積S1に対する前記ノズルの流路断面積S2の比S2/S1が、0.15以上0.60以下である中空糸膜モジュール。複数のノズル各々の流路断面積が、互いに実質的に同じである、請求項1に記載の中空糸膜モジュール。前記糸束は、多数本の中空糸膜を束ねて形成された小束を前記筒状ケース内に複数並行に充填したものであり、少なくとも前記固定部の界面位置に、他の部分と比較して前記中空糸膜の充填密度が低い部分を有する、請求項1又は2に記載の中空糸膜モジュール。モジュールの一端が前記固定部によって封止され、前記糸束の両端部をそれぞれ囲繞するように延在する一対の整流筒を更に備え、前記一対の整流筒は前記固定部から隔離した位置に、前記整流筒内側の水が前記ノズルに流通し得る開口をそれぞれ有する、請求項1~3のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュール。前記一対の整流筒のうち少なくとも一方は、前記固定部から離隔した位置に、当該整流筒の外面から内面にかけて貫通する複数の貫通穴をそれぞれ有している、請求項4に記載の中空糸膜モジュール。前記整流筒は、前記貫通穴が存在する領域の全体を、前記固定部に近い側の第1の領域と前記固定部から遠い側の第2の領域とに二等分した場合に、前記第2の領域における前記貫通穴による開口率が、前記第1の領域における前記貫通穴による開口率よりも高い、請求項5に記載の中空糸膜モジュール。25°Cにおけるろ過部容積基準のモジュール透水性能が、1000~3000m3/hr/0.1MPa/m3である、請求項1~6のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュール。25°Cにおける1モジュール当たりの透水量が、20~40m3/hr/0.1MPaである、請求項7に記載の中空糸膜モジュール。多数本の中空糸膜から成る糸束と、前記糸束を収容し且つ側面に複数のノズルを有する筒状ケースと、前記筒状ケース内の前記糸束の両端部において、前記中空糸膜の外面同士及び当該外面と前記筒状ケースの内面との隙間を封止した一対の固定部と、を備え、前記筒状ケース内における中空糸膜外側の流路断面積S1に対する前記ノズルの流路断面積S2の比S2/S1が、0.15以上0.60以下である中空糸膜モジュールを用いてろ過を行うに際して、被処理水を前記中空糸膜モジュールの片側端部から前記中空糸膜の中空部へと供給し、前記中空糸膜の外側に流出したろ過水を、前記筒状ケースの両端の前記ノズルから、該ノズルに接続された配管を通じて流出させて採取する、ろ過方法。前記両端のノズルから流出させたろ過水を、前記片側端部に近い側のノズルよりも遠い側のノズルに近い位置にて合流させて採取する、請求項9に記載のろ過方法。前記両端のノズル各々の流路断面積が、互いに実質的に同じである、請求項9又は10に記載のろ過方法。前記配管が、前記ノズルの内径に対して0.80~1.20倍の内径を有する、請求項9~11のいずれか一項に記載のろ過方法。前記糸束は、多数本の中空糸膜を束ねて形成された小束を前記筒状ケース内に複数並行に充填したものであり、少なくとも前記固定部の界面位置に、他の部分と比較して前記中空糸膜の充填密度が低い部分を有する、請求項9~12のいずれか一項に記載のろ過方法。モジュールの一端が前記固定部によって封止され、前記糸束の両端部をそれぞれ囲繞するように延在する一対の整流筒を更に備え、前記一対の整流筒は前記固定部から隔離した位置に、前記整流筒内側の水が前記ノズルに流通し得る開口をそれぞれ有する、請求項9~13のいずれか一項に記載のろ過方法。前記一対の整流筒のうち少なくとも一方は、前記固定部から離隔した位置に、当該整流筒の外面から内面にかけて貫通する複数の貫通穴をそれぞれ有している、請求項14に記載のろ過方法。前記整流筒は、前記貫通穴が存在する領域の全体を、前記固定部に近い側の第1の領域と前記固定部から遠い側の第2の領域とに二等分した場合に、前記第2の領域における前記貫通穴による開口率が、前記第1の領域における前記貫通穴による開口率よりも高い、請求項15に記載のろ過方法。25°Cにおけるろ過部容積基準のモジュール透水性能が、1000~3000m3/hr/0.1MPa/m3である、請求項9~16のいずれか一項に記載のろ過方法。25°Cにおける1モジュール当たりの透水量が、20~40m3/hr/0.1MPaである、請求項17に記載のろ過方法。少なくとも紫外線照射手段とイオン交換処理手段と、限外膜ろ過処理手段と、を含む超純水製造システムにおいて、前記限外膜ろ過処理手段は、請求項1~8のいずれか一項に記載の中空糸膜モジュールである、超純水製造システム。しかしながら、上記の方法においてオリフィスやバルブ等の流量制御手段を設ける場合には、モジュールを設置する際に予め流量を測定して絞り度を調整する必要があり、そのために煩雑な操作が必要であった。一方、近年、製造規模の拡大と共に使用する超純水量が多くなっており、超純水製造設備も大型化する傾向にあり、該製造設備をコンパクトにする要求が強くなっている。このような状況において、高いろ過能力を有するモジュール、すなわち、1モジュールあたりのろ過流量が大きく、かつ、単位容積あたりのろ過流量が大きいモジュールが求められている。そこで本発明は、特別な流量制御手段を設けることなく2つのろ過水流路を流れる流量がほぼ同等とすることができる中空糸膜モジュール、並びに、これを用いたろ過方法及び超純水製造システムを提供することを第一の目的とする。更に本発明は、装置の規模がコンパクトでありながら良好な水質のろ過水を長期間安定して得ることができる中空糸膜モジュール、並びに、これを用いたろ過方法及び超純水製造システムを提供することを第二の目的とする。本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定の構造を有する中空糸膜モジュールを用いて内圧式ろ過を行うことが上記問題を解消するのに極めて有用であることを見出し、本発明をなすに至った。本発明は、多数本の中空糸膜から成る糸束と、糸束を収容し且つ側面に複数のノズルを有する筒状ケースと、筒状ケース内の糸束の両端部において、中空糸膜の外面同士及び当該外面と筒状ケースの内面との隙間を封止した一対の固定部と、を備え、筒状ケース内における中空糸膜外側の流路断面積S1に対するノズルの流路断面積S2の比S2/S1が、0.15以上0.60以下である中空糸膜モジュールを提供する。本発明の中空糸膜モジュールによれば、両端にノズルを有する筒状ケースを使用し、ケース内における中空糸膜外側の流路断面積S1に対するノズルの流路断面積S2の比S2/S1を、0.15以上0.60以下にすることにより、バルブやオリフィス等の流量調節手段を用いなくても両端のノズルから流出するろ過水の流量をほぼ同等とすることができ、中空糸膜モジュール内やろ過水配管中における微生物の増殖を十分に抑制することができると共に、高いろ過能力を示すことが可能になる。本発明においては、複数のノズル各々の流路断面積が、互いに実質的に同じであることが好ましい。これにより、各ノズルから流出するろ過水の流量をほぼ同等とすることが容易となる。本発明においては、糸束が多数本の中空糸膜を束ねて形成された小束を筒状ケース内に複数並行に充填したものであり、少なくとも固定部の界面位置に、他の部分と比較して中空糸膜の充填密度が低い部分を有することが好ましい。該低充填密度部分は、一端の固定部から他端の固定部にかけて連続して設けられていることが特に好ましい。筒状ケース内に中空糸膜の充填密度が低い部分を設けることで、筒状ケース内を流れる水の抵抗を小さくできる。すなわち、中空糸膜外側の流路断面積が同じであっても、全ての中空糸膜を1束にまとめる場合よりも、中空糸膜を小束に分割して各小束内における中空糸膜の充填密度を比較的高くすると共に各小束間に流路を確保する場合の方が、筒状ケース内を流れる水の抵抗総抵抗を小さくできる。これよって、同じろ過水流量を得るのに少ない供給圧力ですむという利点が得られる。本発明の中空糸膜モジュールは、一端が固定部によって封止され、糸束の両端部をそれぞれ囲繞するように延在する一対の整流筒を更に備え、一対の整流筒は固定部から隔離した位置に、整流筒内側の水がノズルに流通し得る開口をそれぞれ有することが好ましい。これにより、固定部の近傍において中空糸膜が水流から受ける剪断力を十分に低減できるので、水流による中空糸膜の損傷を十分に抑制できる。さらに、一対の整流筒のうち少なくとも一方は、固定部から隔離した位置に、内側から外側に貫通する貫通穴を複数設けることにより、整流筒の開口端における整流筒内側から外側への流速を緩和することができ、該整流筒開口端と中空糸膜との擦れによる中空糸膜の損傷を効果的に防止できる。これによって、優れた水質のろ過水を長期にわたって継続的に製造することが可能となる。整流筒は、貫通穴が存在する領域の全体を、固定部に近い側の第1の領域と固定部から遠い側の第2の領域とに二等分した場合に、第2の領域における貫通穴による開口率が、第1の領域における貫通穴による開口率よりも高いことが好ましい。すなわち、整流筒内側から外側に流出する水量が、固定部に近い側では少量とし、固定部から遠い側で比較的多量になるようにするのが好ましい。これによって、固定部近傍において水流によって中空糸膜が受ける力を低減すると共に、整流筒の開口端において水流によって中空糸膜が受ける力も効果的に低減することができる。本発明の中空糸膜モジュールは、25°Cにおけるろ過部容積基準のモジュール透水性能が、1000~3000m3/hr/0.1MPa/m3であることが好ましい。この場合、大きなろ過水量で安定したろ過水質を長期間維持することができる。また、本発明の中空糸膜モジュールは、25°Cにおける1モジュール当たりの透水量が、20~40m3/hr/0.1MPaであることが好ましい。この場合、中空糸膜モジュールが1人で持つことが可能であってハンドリング性が格段に良いものとなるため、取付ピッチ間の狭いろ過装置にも取り付けることができる。したがって、上記透水性能及び透水量の双方を満たすならば、該ろ過装置をよりコンパクトにすることができる。更に、本発明は、上記中空糸膜モジュールを用いたろ過方法を提供する。すなわち、本発明に係るろ過方法は、多数本の中空糸膜から成る糸束と、糸束を収容し且つ側面に複数のノズルを有する筒状ケースと、筒状ケース内の糸束の両端部において、中空糸膜の外面同士及び当該外面と筒状ケースの内面との隙間を封止した一対の固定部と、を備え、筒状ケース内における中空糸膜外側の流路断面積S1に対するノズルの流路断面積S2の比S2/S1が、0.15以上0.60以下である中空糸膜モジュールを用いてろ過を行うに際して、被処理水を中空糸膜モジュールの片側端部から中空糸膜の中空部へと供給し、中空糸膜の外側に流出したろ過水を、筒状ケースの両端のノズルから、該ノズルに接続された配管を通じて流出させて採取する。本発明のろ過方法によれば、上記中空糸膜モジュールを使用して内圧式ろ過を行うことで、両端のノズルからほぼ同量のろ過水を採取できるので、モジュール内やろ過水配管中における微生物の増殖を十分に抑制できる。本発明のろ過方法において、両端のノズルから流出させたろ過水を、片側端部に近い側のノズルよりも遠い側のノズルに近い位置にて合流させて採取することが好ましい。また、両端のノズル各々の流路断面積が、互いに実質的に同じであることが好ましい。また、配管が、接続されたノズルの内径に対して0.80~1.20倍の内径を有することが好ましい。また、本発明のろ過方法において、糸束は、多数本の中空糸膜を束ねて形成された小束を筒状ケース内に複数並行に充填したものであり、少なくとも固定部の界面位置に、他の部分と比較して中空糸膜の充填密度が低い部分を有することが好ましい。本発明のろ過方法において、モジュールの一端が固定部によって封止され、糸束の両端部をそれぞれ囲繞するように延在する一対の整流筒を更に備え、一対の整流筒は固定部から隔離した位置に、整流筒内側の水がノズルに流通し得る開口をそれぞれ有することが好ましい。これにより、高いろ過水流量で運転しても水流による中空糸膜のダメージを十分に低減できるので、コンパクトな装置で優れた水質のろ過水を長期にわたって安定的に製造できる。本発明のろ過方法において、更に、一対の整流筒のうち少なくとも一方は、固定部から離隔した位置に、当該整流筒の外面から内面にかけて貫通する複数の貫通穴をそれぞれ有していることが好ましい。また、本発明のろ過方法において、整流筒は、貫通穴が存在する領域の全体を、固定部に近い側の第1の領域と固定部から遠い側の第2の領域とに二等分した場合に、第2の領域における貫通穴による開口率が、第1の領域における貫通穴による開口率よりも高いことが好ましい。本発明のろ過方法において使用する中空糸膜モジュールがこれらの構成を備えている場合、本発明の上記効果が一層奏される。また、本発明のろ過方法は、25°Cにおけるろ過部容積基準のモジュール透水性能が、1000~3000m3/hr/0.1MPa/m3であることが好ましく、25°Cにおける1モジュール当たりの透水量が、20~40m3/hr/0.1MPaであることが好ましい。また、本発明は、上記中空糸膜モジュールを用いた超純水製造システムを提供する。すなわち、少なくとも紫外線照射手段とイオン交換処理手段と、限外膜ろ過処理手段と、を含む超純水製造システムにおいて、限外膜ろ過処理手段が上記中空糸膜モジュールである超純水製造システムを提供する。これにより、従来よりもシステム全体がコンパクトになり、少ない設置面積ですむ利点が得られる。本発明によれば、バルブやオリフィス等の流量調節手段を用いなくても両端のノズルから流出するろ過水の流量がほぼ同等とすることができる中空糸膜モジュールが提供される。また、このような中空糸膜モジュールを用いたろ過方法及び超純水製造システムによれば、コンパクトでありながら高いろ過水流量で、かつ、優れた水質のろ過水を長期にわたって安定的に製造できる。<中空糸膜モジュール>図1~3を参照しながら、本発明に係る中空糸膜モジュールの実施形態について説明する。本実施形態に係る中空糸膜モジュール10は、多数本の中空糸膜1aから成る糸束1と、糸束1を収容する筒状ケース2と、糸束1の両端部に設けられた注型剤から成る一対の固定部3a,3bと、糸束1の両端部をそれぞれ囲繞するように配置された一対の整流筒4,5とを備える。モジュール10は、筒状ケース2の両端に配管接続キャップ6a,6bをナット7a,7bによってそれぞれ装着できるようになっている。ナット7a,7bを締めることで、キャップ6a,6bの溝に配置されたOリング8a,8bによって当該箇所がシールされる。糸束1は、多数本の中空糸膜1aによって形成される。多数本の中空糸膜1aを一束にまとめて糸束を形成することもできるが、図2に示すように、糸束1を複数の小束1bに分割した状態とすることが好ましい。特に、多数本の中空糸膜1aから成る小束1bをネット1cで包んだ状態とすることがより好ましい。このようにしてモジュール10内に中空糸膜が充填されていない部分膜充填密度が低い部分を設けることによって、中空糸膜1aの外側を流れる水の抵抗が小さくなり、ひいてはより高いモジュール透水性能を実現することができる。なお、小束1bの表面を覆うことができ且つ透水性を有する素材からなるものであれば、小束を包むものとしてネットの代わりに不織布等を使用してもよい。中空糸膜1aの種類は、モジュール10の用途に応じて適宜選択することができる。中空糸膜1aの具体例として、限外ろ過膜及び精密ろ過膜を例示できる。例えば、モジュール10を超純水用ファイナルフィルターの用途に用いるのであれば、中空糸膜1aは平均孔径0.05μm以下より好ましくは0.02μm以下の限外ろ過膜であることが好ましい。中空糸膜1a材質は、用途に応じて適宜選択すればよく、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフッ化ビニリデン、ポリビニルアルコール、セルロースアセテート及びポリアクリロニトリルから選択できる。中空糸膜1aは、内面積換算の短糸透水量25°Cが2000L/m2/hr/0.1MPa以下、短糸透水量の単位をLMHと記す。以上であることが好ましく、4000LMH以上であることが特に好ましい。中空糸膜1aの内径は0.7~1.0mmであることが好ましく、0.70mm~0.85mmであることが特に好ましい。後述の通り、本実施形態のモジュール10は、通水時の振動による影響を十分に抑制できるため、上記の短糸透水量及び内径を有する中空糸膜を用いることによって、従来の約2倍のモジュール透水性能を実現できる。筒状ケース2は、両端に開口を有する円筒状の部材からなり、固定部3a,3bの界面Fa,Fb付近に設けられたノズル2a、2bを有する。ここでいう固定部の界面とは、固定部の一方面であって整流筒の基端部が包埋されている側の面を意味する。筒状ケース2の材質は、金属及びプラスチック類のなかから用途に応じて適宜選択することができる。加工の容易性及び軽量化の点から、筒状ケース2はプラスチック類で形成されたものが好ましく、プラスチック類の具体例として、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフッ化ビニリデン、ABS樹脂及び塩化ビニル樹脂等が挙げられる。なお、界面Fa,Fb付近にそれぞれ設けるノズルは、必ずしも1個ずつでなくてもよく、当該部位に複数個のノズルをそれぞれ設けることもできる。なお、筒状ケース2の側面に設けられるノズルは、上記のように固定部3a,3bの界面Fa、Fb付近のみに各1個設ける場合以外に、固定部3a,3bの界面付近に複数設けてもよい。また、固定部3a,3bの界面付近に各1個設け、かつ、筒状ケース2の中央部に追加して設けてもよい。固定部3a,3bの界面付近のみに各1個設けるのが好ましい。通常、固定部の界面付近のみに各1個設けることでろ過水を採取する目的を果たすことができる。そして、この場合には、部材の点数が少なくてすむと同時に部材の成形が容易であるという利点を有する。筒状ケース2の大きさは、外径が140~200mmであり、かつ、長さが700~1400mmであることが好ましく、外径160~180mmであり、かつ、長さが800~1100mmであることが特に好ましい。この範囲の大きさの筒状ケース2を使用したときに高いモジュール透水量及び最も高いモジュール透水性能を実現することができる。これに加え、この大きさならモジュール10を1人で持つことも可能であるのでハンドリング性が格段に良いという利点がある。なお、ここでいう筒状ケース2の外径とは、モジュール中央のろ過領域における円筒の外径を意味する。筒状ケース2の長さとは、中空糸膜1aの両端面間の距離を意味する。筒状ケース2の中央部ろ過部における中空糸膜外側の流路断面積をS1m2とし、中空糸膜モジュールの最大ろ過流量をQm3/sとすると、流路断面積S1は以下の不等式1で表される条件を満たすことが好ましい。この条件を満たすように流路断面積S1を設定することにより、この部分を水が流通する際の圧損を小さくでき、高いモジュール透水量を実現できる。なお、ここでいうモジュール透水量とは、膜間差圧0.1MPaを印加したときの25°Cにおける1時間当たりのろ過量m3/hr/0.1MPa25°Cをいう。また、モジュール透水性能とは、上記モジュール透水量をモジュールの見かけ容積、或いはろ過部容積で除した値m3/hr/0.1MPa/m325°Cをいう。前者を見かけ容積基準のモジュール透水性能と記し、後者をろ過部容積基準のモジュール透水性能と記す。ここで見かけ容積とは、筒状ケース2の外径から計算される断面積に配管接続キャップ6aと6bの端面間の距離を乗じた値であり、ろ過部容積とは、筒状ケース2の内径から計算される断面積に膜有効長固定部の界面FaとFbの距離を乗じた値である。なお、流路断面積S1は、下記式2によって算出される値である。式中、D1は筒状ケースの中央部における内径mを示し、dOは中空糸膜の外径mを示し、Nは糸束を成す中空糸膜の本数を示す。ノズル2a、2bは、その流路断面積をS2m2としたとき、上記の流路断面積S1m2との比S2/S1が、0.15以上0.60以下である必要がある。この範囲のときに、バルブやオリフィス等の流量調節手段を用いなくても両端のノズルから流出するろ過水の流量をほぼ同等とすることができると共に、高いろ過能力を示すことが可能になる。この値は、好ましくは、0.20以上0.50以下であり、より好ましくは、0.25以上0.45以下である。0.15未満では、各ノズルから流出するろ過水量のバランスが崩れる傾向が強くなったり、圧力損失が大きくなってモジュール透水性能が低くなったりする傾向がでてくる。また、0.60を超える場合には、各ノズルから流出するろ過水量のバランスが崩れる傾向が強くなる。0.60以下にすることによって、該ノズル部やそれに接続される配管中における流動抵抗RLに対して、筒状ケース内中空糸膜外側における流動抵抗RMが比較的小さくなるため、筒状ケースの中央部におけるろ過水がノズル2a側に流れるか、ノズル2b側に流れるかの分水界の位置がノズル部やそれに接続される配管中における流動抵抗RLによって主に支配され、結果として各ノズルからの流量が等しくなるものと考えられる。これに対して、0.60を超える場合には、筒状ケース内中空糸膜外側における流動抵抗RMの影響が無視できなくなり、被処理水の供給側の圧力が高いことによる影響によって供給側に近いノズルから多量にろ過水が流出するものと考えられる。本実施形態の中空糸膜モジュールを使用する際には、通常JIS等で定められた規格品の配管材料が接続される。したがって、本実施形態の上記ノズルは、上記配管の内径に準じた形状の流路を有していることが好ましい。すなわち、ノズルの流路が円形であって、接続される配管と略同じ内径を有していることが好ましい。これによって、ノズルと配管との接続が容易になる利点と、接続部分において滞留部が生じて微生物の増殖を招来することが防止できる利点が得られる。上記ノズルの内径DMと配管の内径DLとの比DM/DLが、0.80以上1.20以下であることが好ましく、0.90以上1.15以下であることが特に好ましい。また、ノズル2a、2bの流路断面積は、各ノズルから流出するろ過水の流量をほぼ同等にする観点から、互いに実質的に同じであることが好ましい。固定部3a,3bは、筒状ケース2内の糸束1の両端部において、中空糸膜1aの外面同士及び当該外面と筒状ケース2の内面との隙間を封止する注型剤から成るものである。固定部3a,3bをなす注型剤としては、エポキシ樹脂やウレタン樹脂等の熱硬化性樹脂が好適である。固定部3a,3bで糸束1の両端部を固定及び封止することにより、糸束1の両端面に中空糸膜1aの中空部が開口する。固定部3a,3bは、整流筒4,5の基端部4a,5aの開口を封止する役割も担っている。整流筒4,5は、固定部3a,3bの界面Fa,Fbの位置からモジュール10の中央の方向に向けてそれぞれ延在しており、固定部3a,3b付近の糸束1を囲繞している。整流筒4,5の材質は、用途に応じて適宜選択すればよく、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフッ化ビニリデン、ABS樹脂、塩化ビニル樹脂等が挙げられる。一対の整流筒4,5は、上述の通り、基端部4a,5aの開口が固定部3a,3bによってそれぞれ封止されている。すなわち、整流筒4の基端部4aは固定部3aに包埋され、整流筒5の基端部5aは固定部3bに包埋されている。整流筒4,5の配置方法は、固定部3a,3bにそれぞれの基端部4a,5aを包埋させて固定する方法が一般的である。ただし、筒状ケース2に整流筒4,5を予め固定し、その後、整流筒4,5の基端部4a,5aを固定部3a,3bに包埋させる工程を経てモジュール10を作製してもよい。整流筒4,5は、先端部4b,5bの開口は封止されることなく、開放されている。これらの開口は、固定部3a,3bの界面Fa,Fbからそれぞれ離隔した位置にあり、整流筒4,5の内側の水をノズル2a,2bへと流通させる役割を担っている。すなわち、整流筒4内の水は先端部4bの開口から糸束1と筒状ケース2との間の空間に流出し、筒状ケース2の内面と整流筒4の外面との間隙を通ってノズル2aから排出されるようになっている。これと同様に、整流筒5内の水は先端部5bの開口から糸束1と筒状ケース2との間の空間に流出し、筒状ケース2の内面と整流筒5の外面との間隙を通ってノズル2bから排出されるようになっている。整流筒4,5の先端部4b,5bの開口は、固定部の界面Fa,Fbからそれぞれ少なくとも30mm離れていることが好ましく、40mm以上離れていることがより好ましい。すなわち、固定部3a,3bのそれぞれの界面Fa,Fbから上記の長さで突出するように整流筒4,5を設置することが好ましい。さらに、上記先端部4b,5bの開口は、上記ノズルの開口部よりもモジュールの中央側に位置していることが好ましい。このような長さの整流筒4,5で糸束1の両端部をそれぞれ囲繞することにより、界面Fa,Fb付近における中空糸膜1aの破損を効果的に防止できる。これは、中空糸膜1aを横断する方向の水の流れが固定部3a,3bの界面Fa,Fbから離れた位置で起こるため、界面Fa,Fb付近において中空糸膜1aにかかる剪断力が著しく軽減されることによるものと考えられる。また、整流筒4,5のうち、少なくとも一方は、その内面から外面にかけて貫通している複数の貫通穴4cを有していることが好ましい。該貫通穴4cは、整流筒4,5の内側の水をノズル2a、2bへと流通させる開口として機能する。整流筒4,5の先端部4b,5bにおいて中空糸膜束を横切る水流が生じるが、大きなろ過水量で運転した際には、その水流によって中空糸膜が上記先端部に押しつけられて損傷する傾向がでてくる。そして、甚だしい場合には、中空糸膜が破損してろ過水の水質を低下させてしまうことがある。これに対して、複数の貫通穴4cを設けることによって、上記先端部の開口部から流出する水量を減少させることができ、その水流による中空糸膜の損傷を効果的に防止できる。上記貫通穴は、固定部の界面Fa,Fbからそれぞれ少なくとも30mm離れていることが好ましく、40mm以上離れていることがより好ましい。これによって、界面Fa,Fb付近における中空糸膜1aの破損を効果的に防止できる。これは、中空糸膜1aを横断する方向の水の流れが固定部3a,3bの界面Fa,Fbから離れた位置で起こるため、界面Fa,Fb付近において中空糸膜1aにかかる剪断力が著しく軽減されることによるものと考えられる。本実施形態に係るモジュール10においては、糸束1を4つの小束1bによって形成したことによって、上述の通り、モジュール10内に中空糸膜1aが充填されていない領域が形成されている。すなわち、図2に示すように、糸束1の中央部1d及び隣接する2つの小束1bによって形成される糸束1の最外面の凹部1eには中空糸膜1aが充填されていない。この充填されていない部分例えば1d、1eが小束内から流出したろ過水の流路として機能するために圧力損失を小さくでき、結果的にモジュール性能を高める効果を実現できる。また、上記貫通穴4cの形状は、円、楕円、多角形、星形等どのような形状でもよいが、図3a及びbに示すような円形やcに示すような長方形のスリット型であることが成形上好適である。また、貫通穴4cの寸法としては、中空糸膜長手方向の最大寸法が1~10mmの範囲であることが好ましく、2~8mmの範囲であることが特に好ましい。このようにすることによって、該貫通穴4cに中空糸膜が引き込まれて損傷することが防止できる。なお、整流筒の内面と外面との間で貫通穴の寸法が変化している場合には、内面側の値が上記の範囲であることが好ましい。各貫通穴4cの開口面積の合計値以後、総開口面積S3と記すは、整流筒の先端部4b,5bにおける整流筒内の流路断面積S4に対して0.4倍以上1.0倍以下であることが好ましい。より好ましくは0.5倍以上0.8倍以下である。なお、流路断面積S4は、下記式3によって算出される値である。式中、D3は整流筒の先端部における内径mを示し、dOは中空糸膜の外径mを示し、Nは糸束を成す中空糸膜の本数を示す。整流筒は、貫通穴4cが存在する領域の全体を、固定部3a,3bに近い側の第1の領域と固定部3a,3bから遠い側の第2の領域とに二等分した場合に、第2の領域における貫通穴4cによる開口率が、第1の領域における貫通穴4cによる開口率よりも高いことが好ましい。すなわち、整流筒内側から外側に流出する水量が、固定部に近い側では少量とし、固定部から遠い側で比較的多量になるようにするのが好ましい。これによって、固定部近傍において水流によって中空糸膜が受ける力を低減すると共に、整流筒の開口端において水流によって中空糸膜が受ける力も効果的に低減することができる。貫通穴4cの配置として、具体的には、図3aに示すように、円筒周囲を囲うように並ぶ貫通穴群が、中空糸膜長さ方向に等間隔に配置される場合同図中の両矢印を参照であって、貫通穴群の固定部3a,3bに近い位置にある貫通穴群の開口径を比較的小さくし、該固定部から遠い位置にある貫通穴群の開口径を比較的大きくする態様がある。また、図3bに示すように、各貫通穴の形状を同じにしておき、貫通穴群の中空糸膜長さ方向のピッチを、固定部3a,3bに近い位置から遠い位置にかけて次第に小さくする同図中の両矢印を参照態様としてもよい。また、図3cに示すように、スリット型貫通穴を設ける場合に、スリットの中空糸膜長さ方向の開口寸法を、固定部3a,3bに近い位置から遠い位置にかけて次第に大きくする態様としてもよい。上記実施形態においては、整流筒4,5の先端部4b,5bの開口が整流筒4,5の内側の水をノズル2a、2bへと流通させる開口として機能する場合を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図5に示すように、整流筒の先端部14bの外径と筒状ケース2の内径との間に隙間を設けず、該整流筒の側面に開口を設ける態様も採用できる。なお、この態様においては、整流筒の先端部14bの内径と筒状ケース2の内径を実質的に等しくしておくことが好ましい。このようにすることによって、該先端部の内面角部に中空糸膜が接触して損傷することを防止できる。上記図5に示す中空糸膜モジュール20においては、整流筒14が基端部14aから先端部14bに向かって径が大きくなる筒状部材からなり先端部14bが筒状ケース2の内面と接合されている。該整流筒の側面に貫通穴14cが形成されており、整流筒内の水が貫通穴14cから整流筒の外側に流出し、整流筒の外面と筒状ケース2の内面との間隙を通ってノズルに流出することができるようになっている。水流による中空糸膜1aのダメージを効果的に抑制する観点から、貫通穴4cの位置は固定部の界面Faから少なくとも30mm離れていることが好ましく、50mm以上離れていることがより好ましい。該貫通穴の形状や寸法等は、上記のとおりである。なお、図5においては、糸束1等の図示は省略する。上記のノズルと一対の整流筒はそれぞれ、一端側と他端側とを同じ形状寸法にしてもよいし、異なる形状寸法にしてもよい。整流筒の内側からノズルに水が流れるときの流動抵抗が略同一になるように形状寸法を設計することが好ましい。これらを同じ形状寸法にする場合には、流動抵抗を略同一にできると共にケースを作製する際の部材種類を少なくできる利点を有するため、より好ましい。上記のような構成にすることによって、ろ過部容積基準のモジュール透水性能が1000~3000m3/hr/0.1MPa/m325°Cである中空糸膜モジュールを得ることができる。超純水製造用に使用する場合には、ろ過部容積基準のモジュール透水性能が1100~2300m3/hr/0.1MPa/m325°Cであることが好ましく、1200~2000m3/hr/0.1MPa/m325°Cであることが特に好ましい。この範囲の中空糸膜モジュールは、大きなろ過水量で安定したろ過水質を長期間維持することができる。また、ろ過部容積基準のモジュール透水性能が前記の範囲内であって、かつ、1モジュール当たりの透水量が20~40m3/h/0.1MPa25°Cであることが好ましい。この範囲の中空糸膜モジュールは、1人で持つことが可能であってハンドリング性が格段に良いので、取付ピッチ間の狭いろ過装置にも取り付けることができる。したがって、1モジュール当たりのろ過水量が大きいことと相まって、該ろ過装置をよりコンパクトにすることができる。なお、図7~9に示すように、糸束1の端部を保護するものとして、多数の穴40aを有する保護用円筒体40が知られている。保護用円筒体40は、糸束1の外周を拘束し、それによって中空糸膜1aの過剰な揺れを防止して中空糸膜1aの破損を抑制しようとするものである。しかし、保護用円筒体40を装着した中空糸膜モジュールを用いて長期間にわたってろ過を行うと、中空糸膜1aが水流から一方向の力を継続的に受け、これによって中空糸膜1aのクリープ的な破壊が起こると考えられる。すなわち、糸束1の外周を単に拘束する方法ではクリープ的な破損を防止することは困難であり、水流によるダメージを十分に低減できないと考えられる。<ろ過方法>図4を参照しながら、中空糸膜モジュール10を用いて被処理水原水をろ過する方法について説明する。図4に示すろ過装置100は、中空糸膜1aの中空部に被処理水を供給し、外側にろ過する内圧式ろ過を行うためのものである。ろ過装置100は、モジュール10、これに被処理水を供給する配管L1、モジュール10からろ過水及び濃縮水をそれぞれ排出する配管ろ過水排出管L2,L3、並びに、これらの配管の途中に配設された圧力計Pi,Pf,Po及び弁V1~V3等からなる。まず、モジュール10を縦に配置する。配管接続キャップ6bに被処理水供給管L1を接続すると共に、配管接続キャップ6aに、濃縮水を排出する配管L3を接続する。また、筒状ケース2の上側ノズル2a及び下側ノズル2bに、ろ過水排出管L2a,L2bをそれぞれ接続する。なお、モジュールを縦に配置すると、被処理水を導入してモジュール内を水で満たす際に、空気溜まりを発生させることなくモジュール内の空気を水に容易に置換することができる。被処理水供給管L1を通じて被処理水をモジュール10に導入することによって中空糸膜1aの中空部に被処理水を供給する。上側ノズル2a及び下側ノズル2bの両方から中空糸膜1aの外表面側から流出したろ過水を採取する。このような内圧式ろ過をモジュール10によって行うことにより、中空糸膜1aの破損を起こすことなく良好な水質のろ過水を長期間安定して得ることができる。供給した水量の約2~5を上側の中空糸膜1aの中空部から濃縮水として流出させながらろ過運転を行うのが好ましい。このようにすると、中空糸膜1aによって排除された微粒子等がモジュール10外に排出されるので、膜面の閉塞を起こし難くなり一層長期間にわたって安定したろ過水量を得ることができる。図4に示すように、下側ノズル2bに接続したろ過水排出管L2bはエルボで立ち上がり、他方のろ過水排出管L2aに合流している。被処理水を供給する側に近い位置にあるノズルよりも遠い位置にあるノズルに近いところで上下のろ過水排出配管L2a,L2bを合流させて、被処理水を供給する側とは反対側に導出することが好ましい。これにより、ろ過水のモジュール10内での流動抵抗とろ過水排出管L2内での流動抵抗とがバランスし、結果として上側ノズルからのろ過水量と下側ノズルからのろ過水量がほぼ同量になる。それによって、モジュール内やろ過水配管中における微生物の増殖を十分に抑制できる。それに加えて、ノズル2a,2bから流出するろ過水量をバランスさせるためにろ過水排出管L2に流量調整用弁を設ける必要が無くなり、結果として弁の数を減らせるメリットがある。なお、ろ過水排出管L2a、L2bは、接続されたノズルの内径に対して0.80~1.20倍の内径を有することが好ましい。この範囲であれば、該接続部における圧力損失が無視できる程度に小さくでき、水の滞留部が生じることによる問題殺菌処理操作が長引く問題や、殺菌処理操作後の立ち上げに長時間を要する問題が起こらない。なお、図4では、中空糸膜モジュール1本を取り付けた装置の例を示したが、実際の超純水製造装置においては、複数本の中空糸膜モジュールを取り付けて、各モジュールからのろ過水配管を内径の大きい集合配管に接続して各モジュールからのろ過水を一括して採水するのが通例である。この場合、図4に示すように、各モジュールの上下ノズルからのろ過水排出管L2a、L2bを接続し、該接続配管を上記の集合配管に接続してもよいし、各モジュールの上下ノズルからのろ過水排出管L2a、L2bを各々個別に集合配管に接続することもできる。<超純水製造システム>上記中空糸膜モジュールは、超純水製造システムに適用することができる。一般に超純水を製造するにあたり、原水を凝集沈殿装置、砂ろ過装置、活性炭ろ過装置、逆浸透膜ろ過装置、イオン交換樹脂塔、脱ガス塔、紫外線照射装置等を組合せた一次純水製造装置で処理を行って純水を得ている。そして、該純水を更に紫外線照射装置、イオン交換樹脂塔、限外ろ過膜装置を含む超純水製造装置で処理して超純水を得ている。該超純水製造装置では、逆浸透膜ろ過装置を更に含むこともある。超純水の製造においては、上記一次純水製造装置で純水を得た後に、少なくとも上記紫外線照射装置等の紫外線照射手段とイオン交換樹脂塔等のイオン交換処理手段と限外膜ろ過装置等の限外膜ろ過処理手段とを含む超純水製造システムにおいて、該限外膜ろ過処理手段として本実施形態の中空糸膜モジュールを使用することが好ましい。これによって、従来よりもシステム全体がコンパクトになり、少ない設置面積ですむ利点が得られる。特に、紫外線照射手段とイオン交換処理手段で処理した後に、最終的にユースポイント使用箇所の直前で限外膜ろ過処理手段により処理することが好ましい。このようにすることによって、例えイオン交換処理手段で用いるイオン交換樹脂の劣化物質が混入したとしても後段の限外膜ろ過処理によって除去でき、ユースポイントに良好な水質の超純水を安定して供給することができる。超純水の製造においては、膜間差圧後述するモジュール透水量の測定の欄を参照が0.5~3.0MPaの範囲でろ過運転を行うのが好ましい。0.7~2.0MPaがより好ましく、0.9~1.5MPaが特に好ましい。この範囲であれば、大きなろ過水量で良好な水質のろ過水を長期間安定して得ることができる。以下の実施例及び参考例においては、中空糸膜としてポリスルホン製限外ろ過膜を使用した。その特性を以下に示す。内径/外径:0.75mm/1.35mm、内表面積換算短糸透水量:4500LMH膜有効長5cmでの測定値、引張強さ:5.0MPa、引張破断伸度:120。中空糸膜の透水量は、25°Cの限外膜ろ過水分画分子量4000の限外ろ過膜でろ過した水を長さ50mmの中空糸膜の内面から外面へ透過させたときのろ過水の量LMHである。透水量の計算にあたり有効膜面積は内面で換算した。中空糸膜の破断強度及び破断伸度は、株島津製作所製のオートグラフAGS-5Dを使用し、サンプルの長さ30mm、引っ張りスピード50mm/分で測定した。破断強度MPaは、中空糸膜1本当たりの破断時の荷重を、引っ張る前の膜の断面積で割ることによって算出される値である。破断伸度は元の長さに対する破断に至るまでに伸びた長さの比である。[実施例1]<中空糸膜モジュールの作製>筒状ケースとして、図1に示す筒状ケース2と同様の構成の透明ポリスルホン製のものを使用した。この筒状ケースの寸法は以下の通りである。ろ過領域における円筒部内径/外径:154mm/170mm、ノズル部における円筒部内径/外径:162mm/183mm、ノズルの内径:58mm、筒状ケースの長さ/ノズルの中心間距離:1050mm/872mm。整流筒として使用する透明ポリスルホン製の円筒寸法は下記のとおりを2つ準備した。基端部の内径/外径:142mm/147mm、先端部の内径/外径:142mm/146mm、長さ:135mm、整流筒の側面には4箇所突起を設け、これらの突起を筒状ケースの内面に接合することによって、整流筒を筒状ケースの両端部に予め固定した。中空糸膜1750本をポリエチレン製ネットで包んで形成した小束を4つ準備した。中空糸膜の両端から2mm程度の位置まで中空部を閉塞させた。その後、4つの小束を筒状ケース内に設けた整流筒内に挿入し、遠心注型法によって両端から熱硬化性エポキシ樹脂を注入し、これを固化させた。50°Cに加熱してキュアーし、中空糸膜の両端部を切断して中空糸膜の中空部を開口させ中空糸膜モジュールを作製した。この中空糸膜モジュールは、切断した端面間の長さ中空糸膜の両端面間の距離が1045mmであり、膜有効長が930mmであった。ポリスルホン製の配管接続キャップを中空糸膜モジュールの両端面にOリングを介して接合した。両方の配管接続キャップの端面間距離は、1180mmであった。そして、この中空糸膜モジュールの筒状ケース部における中空糸膜外側流路断面積S1と上記ノズルの流路断面積S2の値は、各々8.6×10-3m2、2.6×10-3m2であり、S2/S1が0.31であった。なお、当該モジュールは、内部の水を垂れきった状態では重量が34kgであり、一人で持ち運ぶことができた。<通水試験>上記中空糸膜モジュールを使用し、図4に示す内圧式ろ過装置と同様の構成の装置を構成した。なお、濃縮水を排出する配管L3の弁V3の下流側及びろ過水排出管L2の弁V2の下流側に各々ローター式流量計を設けた。また、ろ過水排出管L2bが上方の配管L2aに合流する手前の位置に超音波式流量計を設け、下側ノズル3bから配管L2bを通じて排出される水の流量を測定できるようにした。なお、配管L2a、L2bの内径は、51mmである。モジュールに25°Cの純水をろ過水流量が10m3/hr、濃縮水量が0.3m3/hrとなるように弁V1と弁V3の開度を調整して通水を開始し、モジュール内の空気を水で置換した。なお、通水時には弁V2を全開状態とした。モジュール透水量の測定次いで、濃縮水量を0.3m3/hrに固定したままろ過水流量が12m3/hrから最大36m3/hrまで段階的に通水量を上げていった。各段階での圧力計Pi、Po、Pfの指示値を読み取り、膜間差圧を求めた。膜間差圧ΔPMPaは、被処理水の圧力をPi、濃縮水の圧力をPo、ろ過水の圧力をPf、高さ補正値をHとしたとき、下記式4で算出される値である。高さ補正値HMPaは、Pi、Po、Pf各々の計測位置の床面からの高さをHi、Ho、Hfmとしたとき、下記式5で算出される値である。各ろ過水量と膜間差圧のグラフを描き、膜間差圧が0.1MPaのときのろ過水流量を求めたところ、28m3/hr/0.1MPa25°Cであった。この値がモジュール透水量である。この値とモジュール寸法外径170mm、配管接続キャップ間距離1180mmから見かけ容積基準のモジュール透水性能は1050m3/hr/0.1MPa/m325°Cと算出された。この値は、非特許文献1に記載のモジュールの約1.8倍である。そして、前記モジュール透水量と筒状ケース内径154mm、膜有効長930mmとから計算されるろ過部容積基準のモジュール透水性能は1620m3/hr/0.1MPa/m325°Cである。また、各ろ過水流量で通水しているときに下側ノズルからの流量を測定したところ、下側ノズルからの流量がろ過水流量のほぼ1/2を示し、上下のノズルからほぼ同量のろ過水が流出していることが確認された。結果を表1に示す。なお、ろ過水流量Qから下側ノズルからの流量Qbを差し引いた値を上側ノズルからの流量Qaとし、上側ノズルからの流量Qaと下側ノズルからの流量Qbとの比Qa/Qbの値を記した。[実施例2~5、比較例1]ノズル内径を変えた筒状ケースを用いた他は、実施例1と同様にして実施例2~5及び比較例1に係る中空糸膜モジュールを作製した。これらの中空糸膜モジュールの見かけ容積とろ過部容積は、実施例1と同じになるようにノズル位置を設定した。そして、配管L2a、L2bの内径を変えた他は、実施例1と同様にしてろ過装置を構成し、実施例1と同様にして試験及び評価を行った。結果を表1に示す。実施例2~5では、いずれも上下のノズルからほぼ同量のろ過水が流出しており、大きなモジュール透水性能を示すことが確認された。これに対して、比較例1では、ろ過抵抗が大きくモジュール透水性能が低下した。また、膜間差圧が0.3MPaを超えてしまうことから、ろ過水流量36m3/hで通水することができなかった。[実施例6]中空糸膜束を4束に分割せず、1束にした他は、実施例1と同様にして実施例6に係る中空糸膜モジュールを作製した。すなわち、中空糸膜7000本をポリエチレン製ネットで包んで形成した束を1つ準備して中空糸膜モジュールを作製した。なお、この中空糸膜モジュールの見かけ容積とろ過部容積は、実施例1と同じである。次いで、実施例1と同様にしてろ過装置を構成し、実施例1と同様にして試験及び評価を行った。結果を表1に示す。実施例6においては、上下のノズルからほぼ同量のろ過水が流出しており、大きなモジュール透水性能を示すことが確認された。[比較例2]中空糸膜1550本をポリエチレン製ネットで包んで形成した小束4つを用い、ノズル径が42mmの筒状ケースを使用した他は実施例1と同様にして比較例2に係る中空糸膜モジュールを作製した。なお、この中空糸膜モジュールの見かけ容積とろ過部容積は、実施例1と同じになるようにノズル位置を設定した。次いで、ろ過水排出管を内径42mmのパイプに変えた他は実施例1と同様にしてろ過装置を構成し、実施例1と同様にして試験及び評価を行った。結果を表1に示す。本比較例2においては、上下のノズルからのろ過水流量のバランスが大きく崩れ上側ノズルから多量にろ過水が流出していた。[比較例3]中空糸膜束7700本を1束にし、ノズル径が77mmの筒状ケースを用いた他は、実施例1と同様にして比較例3に係る中空糸膜モジュールを作製した。すなわち、中空糸膜7700本をポリエチレン製ネットで包んで形成した束を1つ準備して中空糸膜モジュールを作製した。該モジュールの流路断面積比S2/S1が0.61であった。なお、この中空糸膜モジュールの見かけ容積とろ過部容積は、実施例1と同じになるようにノズル位置を設定した。次いで、実施例1と同様にしてろ過装置を構成し、実施例1と同様にして試験及び評価を行った。結果を表1に示す。比較例3においては、上下のノズルからのろ過水流量のバランスが大きく崩れ下側ノズルから多量にろ過水が流出していた。[実施例7]整流筒の側面に下記の貫通穴が形成された整流筒図3a参照を用いた点の他は、実施例1と同様にして実施例7に係る中空糸膜モジュールを作製した。本実施例で使用した整流筒は、以下のような形状である。基端部の内径/外径:142mm/147mm、先端部の内径/外径:142mm/146mm、長さ:135mm、貫通穴:1行目:直径4mm、穴中心位置が基端部から53.5mm、15度間隔で18個2行目:直径4mm、穴中心位置が基端部から63.0mm、15度間隔で17個3行目:直径5mm、穴中心位置が基端部から72.5mm、15度間隔で18個4行目:直径5mm、穴中心位置が基端部から82.0mm、15度間隔で14個5行目:直径6mm、穴中心位置が基端部から91.5mm、15度間隔で18個6行目:直径6mm、穴中心位置が基端部から101.0mm、15度間隔で17個7行目:直径7mm、穴中心位置が基端部から110.5mm、15度間隔で24個8行目:直径7mm、穴中心位置が基端部から120.0mm、15度間隔で24個1行目から8行目にかけて、貫通穴が各々千鳥配置となるようにした。また、1行目から6行目は、整流筒中心軸に対して左右45°の範囲には穴を設けないようにし、ノズルの中心軸に対して左右45度の範囲内には貫通穴が存在しないように整流筒を筒状ケース内に配置した。また、4行目は、筒状ケースに固定するための突起と穴位置が3ヶ所で重なるため、14個とした。上記の貫通穴の開口面積の合計は、整流筒の基端部に最も近い側1行目から遠い側8行目にかけて、各々226、214、353、275、509、481、924、924mm2である。貫通穴は、基端部に最も近い側よりも最も遠い側の方が大きくなっている。なお、本実施例の中空糸膜モジュールは、流路断面積比S2/S1が0.31であり、内部の水を垂れきった状態では重量が34kgであり、一人で持ち運ぶことができた。モジュール透水量の測定本実施例の中空糸膜モジュールを用いてろ過装置を構成し、実施例1と同様にしてモジュール透水量を測定した。本実施例の中空糸膜モジュールは、モジュール透水量が29m3/hr/0.1MPa25°Cであった。この値とモジュール寸法から、見かけ容積基準のモジュール透水性能が1090m3/hr/0.1MPa/m325°C、ろ過部容積基準のモジュール透水性能が1690m3/hr/0.1MPa/m325°Cと算出された。また、本実施例においても、実施例1と同様に上側ノズルからの流量Qaと下側ノズルからの流量Qbとの比Qa/Qbの値が概ね1.0であり、上下のノズルからほぼ同量のろ過水が流出していた。リーク試験次いで、濃縮水量0.3m3/hr、ろ過水流量36m3/hrの条件で通水を3ヶ月間行った。1ヶ月毎にモジュールを装置から取り外してリーク検査を以下のようにして行いリークの有無を確認した。すなわち、両端の配管接続用キャップを取り外した後、モジュールを水槽に浸漬して内部を純水で満たした。次いで片側のノズルには栓を施して密閉状態とし、他のノズルには空気配管を接続した。0.2MPaまで徐々に空気圧を印加し、モジュール両端を観察して中空部から気泡が継続して出てこないかどうかを確認した。本実施例の中空糸膜モジュールは、3ヶ月後においてもリークが全くなかった。[実施例8]一定の径を有する円筒の代わりに、下方に向かって径が大きくなる筒状部材であって、その側面に下記の貫通穴が形成された整流筒図5参照を用いた点の他は、実施例1と同様にして実施例8に係る中空糸膜モジュールを作製した。本実施例で使用した整流筒は、以下のような形状である。基端部の内径/外径:142mm/147mm、先端部の内径/外径:154mm/158mm、長さ:85mm、貫通穴:1行目:幅50mm、高さ4mm、中心位置が基端部から55mmで5個、2行目:幅50mm、高さ6mm、中心位置が基端部から65mmで4個、と幅25mm、高さ6mm、中心位置が基端部から65mmで2個、3行目:幅50mm、高さ8mm、中心位置が基端部から77mmで5個1行目から8行目にかけて、貫通穴が各々千鳥配置となるようにした。また、1行目から3行目は、整流筒中心軸に対して左右45°の範囲には穴を設けないようにし、ノズルの中心軸に対して左右45度の範囲内には貫通穴が存在しないように整流筒を筒状ケース内に配置した。上記の貫通穴の開口面積の合計は、整流筒の基端部に最も近い側1行目から遠い側3行目にかけて、各々1000、1500、2000mm2である。貫通穴は、基端部に最も近い側よりも最も遠い側の方が大きくなっている。なお、本実施例の中空糸膜モジュールは、流路断面積比S2/S1が0.31であり、内部の水を垂れきった状態では重量が34kgであり、一人で持ち運ぶことができた。モジュール透水量の測定本実施例の中空糸膜モジュールを用いてろ過装置を構成し、実施例1と同様にしてモジュール透水量を測定した。本実施例の中空糸膜モジュールは、モジュール透水量が28m3/hr/0.1MPa25°Cであった。この値とモジュール寸法から、見かけ容積基準のモジュール透水性能が1050m3/hr/0.1MPa/m325°C、ろ過部容積基準のモジュール透水性能が1620m3/hr/0.1MPa/m325°Cと算出された。また、本実施例においても、実施例1と同様にQa/Qbの値が概ね1.0であり、上下のノズルからほぼ同量のろ過水が流出していた。リーク試験また、実施例7と同様にして3ヶ月間連続的に通水を行ない、リーク検査を行ったところ、3ヶ月後においてもリークは全くなかった。[実施例9]実施例1と同様にして実施例9に係る中空糸膜モジュールを2本作製した。本中空糸膜モジュールを用いて、ろ過水流量を変えた他は実施例7と同様にしてリーク試験を行った。作製した1本のモジュールを用いて36m3/hのろ過水流量で通水したところ、1ヶ月後に3本の中空糸膜がリークした。また、他の1本を用いて24m3/hのろ過水流量で通水したところ、3ヶ月後においてもリークは全くなかった。上記のリークした中空糸膜モジュールを解体して観察したところ、膜束の最外周の中空糸膜が整流筒先端部に接触する部位において破損していた。また、最外周にある他の中空糸膜においても破損には至っていない軽微な損傷が生じていた。さらに、24m3/hで通水試験した中空糸膜モジュールを通水試験後に解体して観察したところ、リークしたモジュールで観察されたような中空糸膜の損傷は見られなかった。[参考例1]実施例1と同様にして参考例1に係る中空糸膜モジュールを作製した。この中空糸膜モジュールを使用し、図6に示す外圧式ろ過装置と同様の構成の装置を構成した。なお、濃縮水を排出する配管L7の弁V7の下流側及びろ過水排出管L6の弁V6の下流側に各々ローター式流量計を設けた。また、ろ過水排出管L6bが上方の配管L6aに合流する手前の位置に超音波式流量計を設け、下側から配管L6bを通じて排出される水の流量を測定できるようにした。なお、配管L6a、L6bの内径は、51mmである。中空糸膜モジュールに25°Cの純水をろ過水流量が10m3/hr、濃縮水量が0.3m3/hrとなるように弁V5と弁V7の開度を調整して通水を開始してモジュール内を純水で置換した。次いで、ろ過水流量24m3/hr、濃縮水量0.3m3/hrの条件で3ヶ月間連続的に通水した。なお、通水時には弁V6を全開状態とした。1ヶ月毎に該モジュールを装置から取り外して、実施例7と同様にしてリーク検査を行ったところ、2ヶ月後まではリークは無かったが、3ヶ月後では3本の中空糸膜がリークしていた。なお、上記の内圧式ろ過の場合には、ろ過水流量36m3/hの条件で通水しても中空糸膜の振動は観察されなかったのに対して、この場合には中空糸膜が激しく振動しているのが観察された。この中空糸膜モジュールを解体してリーク位置を観察したところ、下側の固定部界面付近において糸束最外周部の中空糸膜が破損していた。実施例7~9、参考例1の結果を表2に示す。"