液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも一つの壁面を形成する変形可能な振動板部材と、前記振動板部材を変形させて前記液室内の液体を加圧する駆動手段と、を備え、前記振動板部材は、電鋳で形成され、前記駆動手段が当接する凸部と、前記凸部の周囲の薄肉部とを有し、前記凸部は、パターンエッジ部分が前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、一段目のオーバーハング形状部の前記薄肉部との連結部分を第1連結部分とし、二段目のオーバーハング形状部と前記一段目のオーバーハング形状部との連結部分を第2連結部分とするとき、前記第1連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W1が、前記第2連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W2より小さく、かつ、前記第1連結部分の液室長手方向に沿う方向の長さL1が、前記第2連結部分の液室長手方向に沿う方向の長さL2以上であることを特徴とする液体吐出ヘッド。前記一段目のオーバーハング形状部の液室短手方向に沿う方向の最大の幅X1が、前記二段目のオーバーハング形状部の液室短手方向に沿う方向の最大の幅X2より大きいことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。前記一段目のオーバーハング形状部の液室長手方向に沿う方向の最大の長さL11が、前記二段目のオーバーハング形状部の液室長手方向に沿う方向の最大の長さL12より大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。前記二段目のオーバーハング形状部の液室短手方向に沿う方向の幅が、液室長手方向に沿う方向において、中央部から両端部に向かうほど小さくなることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。前記振動板部材の前記薄肉部及び前記凸部が同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。請求項1ないし5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。上述した特許文献1に開示されている液体吐出ヘッドの振動板部材にあっては、一段目のオーバーハング形状部の薄肉部との連結部分を第1連結部分とし、二段目のオーバーハング形状部と一段目のオーバーハング形状部との連結部分を第2連結部分とするとき、第2の連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W2が、第1連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W1よりも小さい構造としている。なお、上記第1、第2連結部分の幅を薄肉部側の幅という。このような構造においては、ノズルピッチが300dpi以上の高密度配置である場合、凸部であるオーバーハング形状部の薄肉部側の幅が非常に微細なパターン10μmレベルが必要となり、凸部は液室長手方向に沿う方向で中央部が厚く盛り上がった形状となるという課題がある。また、二段目のオーバーハング形状部を形成するためのリソグラフィー工程での寸法精度が解像度限界のために悪くなり、二段目のオーバーハング形状部の寸法がばらついてしまい、滴吐出特性のばらつきが大きくなるという課題がある。本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高集積化を図りつつ、バラツキが少なく、安定した滴吐出特性が得られるようにすることを目的とする。上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも一つの壁面を形成する変形可能な振動板部材と、前記振動板部材を変形させて前記液室内の液体を加圧する駆動手段と、を備え、前記振動板部材は、電鋳で形成され、前記駆動手段が当接する凸部と、前記凸部の周囲の薄肉部とを有し、前記凸部は、パターンエッジ部分が前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、一段目のオーバーハング形状部の前記薄肉部との連結部分を第1連結部分とし、二段目のオーバーハング形状部と前記一段目のオーバーハング形状部との連結部分を第2連結部分とするとき、前記第1連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W1が、前記第2連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W2より小さく、かつ、前記第1連結部分の液室長手方向に沿う方向の長さL1が、前記第2連結部分の液室長手方向に沿う方向の長さL2以上である構成とした。ここで、前記一段目のオーバーハング形状部の液室短手方向に沿う方向の最大の幅X1が、前記二段目のオーバーハング形状部の液室短手方向に沿う方向の最大の幅X2より大きい構成とできる。また、前記一段目のオーバーハング形状部の液室長手方向に沿う方向の最大の長さL11が、前記二段目のオーバーハング形状部の液室長手方向に沿う方向の最大の長さL12より大きい構成とできる。また、前記二段目のオーバーハング形状部の液室短手方向に沿う方向の幅が、液室長手方向に沿う方向において、中央部から両端部に向かうほど小さくなる構成とできる。また、前記振動板部材の前記薄肉部及び前記凸部が同じ材料で形成されている構成とできる。本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、振動板部材は、電鋳で形成され、駆動手段が当接する凸部と、凸部の周囲の薄肉部とを有し、凸部は、パターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、一段目のオーバーハング形状部の薄肉部との連結部分を第1連結部分とし、二段目のオーバーハング形状部と一段目のオーバーハング形状部との連結部分を第2連結部分とするとき、第1連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W1が、第2連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅W2より小さく、かつ、第1連結部分の液室長手方向に沿う方向の長さL1が、第2連結部分の液室長手方向に沿う方向の長さL2以上である構成としたので、高集積化を図りつつ、バラツキが少なく、安定した滴吐出特性が得られる。本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を形成できる。以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について図1及び図2を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向液室長手方向に沿う断面説明図、図2は同ヘッドのノズル配列方向液室短手方向に沿う要部拡大断面説明図である。この液体吐出ヘッドは、SUS基板で形成した流路板流路部材、液室基板1と、この流路板1の下面に接合した振動板部材2と、流路板1の上面に接合したノズル板3とを有し、これらによって液滴液体の滴を吐出する複数のノズル4がそれぞれ連通する個別流路としての複数の液室加圧液室、圧力室、加圧室、流路などとも称される。6、液室6にインクを供給する供給路を兼ねた流体抵抗部7、この流体抵抗部7を介して液室6と連通する液体導入部8を形成し、液体導入部8に振動板部材2に形成した供給口9を介して後述するフレーム部材17に形成した共通液室10からインクを供給する。流路板1は、SUS基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜きプレスなどの機械加工することで、液室6、流体抵抗部7、液体導入部8などの開口をそれぞれ形成している。なお、流路板1としてはシリコン基板などを用いることもできる。振動板部材2は、第1層2aないし第3層2cの3層構造であり、各液室6に対応してその壁面を形成する第1層2aで形成された薄肉部である各振動領域ダイアフラム部2Aと、振動領域2aの面外側液室6と反対面側に第2層2b、第3層2cで形成された厚肉部である島状凸部2Bが設けられ、この島状凸部2Bに振動領域2Aを変形させるアクチュエータ手段駆動手段、駆動素子、圧力発生手段などともいう。としての積層型圧電部材12の圧電柱12Aの上端面接合面を接合している。また、積層型圧電部材12の下端面はベース部材13に接合している。ここで、圧電部材12は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極をそれぞれ端面、即ち圧電部材12の振動板部材2に略垂直な側面に引き出して、この側面に形成された端面電極外部電極23、24に接続し、端面電極外部電極23、24間に電圧を印加することで積層方向の変位を生じる。ここで、外部電極23を個別外部電極個別電極とし、外部電極24を共通外部電極共通電極として使用する。外部電極23、24は例えばAuなどの金属膜で形成されている。この圧電部材12は、ハーフカットダイシングによって溝を加工して1つの圧電部材12に対して所要数の圧電柱12A、12Bを所定の間隔で櫛歯状に形成したものである。なお、圧電部材12の圧電柱12A、12Bは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動柱12Aとして振動板部材3の凸部12Bに接合し、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動柱12Bとして液室間隔壁部1aに対応する部分に接合している。また、圧電部材12には駆動柱12Aに駆動信号を与えるための可撓性を有する配線基板としてのFPC15が接続されている。ノズル板3は、ニッケルNiの金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法電鋳で製造している。このノズル板3には各液室6に対応して直径10~35μmのノズル4を形成し、流路板1に接着剤接合している。そして、このノズル板3の液滴吐出側面吐出方向の表面:吐出面、又は液室6側と反対の面には撥水層を設けている。さらに、これらの圧電部材12、ベース部材13及びFPC15などで構成される圧電アクチュエータの外周側には、エポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材17を接合している。そして、このフレーム部材17には前述した共通液室10を形成し、更に共通液室10に外部から記録液を供給するための供給口19を形成し、この供給口19は更に図示しないサブタンクやインクカートリッジなどのインク供給源に接続される。このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電部材12の駆動柱12Aに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動柱12Aが収縮し、振動板部材2の振動領域2Aが下降して液室6の容積が膨張することで、液室6内に例えばインクが流入し、その後駆動柱12Aに印加する電圧を上げて駆動柱12Aを積層方向に伸長させ、振動領域2Aをノズル4方向に変形させて液室6の体積を収縮させることにより、液室6内のインクが加圧され、ノズル4からインク滴が吐出される。そして、駆動柱12Aに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板領域2Aが初期位置に復元し、液室6が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室10から液室6内にインクが充填される。そこで、ノズル4のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。なお、このヘッドの駆動方法については上記の例引き-押し打ちに限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。次に、この液体吐出ヘッドにおける振動板部材2の詳細について図3及び図4も説明する。なお、図3は同振動板部材のノズル配列方向液室短手方向に沿う方向の要部拡大説明図、図4は同振動板部材のノズル配列方向と直交する方向液室長手方向に沿う方向の要部拡大説明図である。振動板部材2は、ニッケル電鋳によって形成され、前述したように、三層の電鋳膜である第1層2aないし第3層2cによって形成され、第1層2aで振動領域2Aを形成し、第2層2b及び第3層2cで駆動手段としての圧電部材12の駆動柱12Aが当接する凸部2Bを形成したものである。ここで、振動板部材2の凸部2Bを構成する二段の電鋳膜である第2層2bこれを一段目の電鋳膜とする。と第3層2cこれをと二段目の電鋳膜とする。は、いずれも、パターンエッジ部分が薄肉部である振動領域2Aに対して二段以上ここでは、二段とする。のオーバーハング形状で形成されているオーバーハング形状部101、102を有している。そして、一段目のオーバーハング形状部101の振動領域2Aとの連結部分を第1連結部分101aとし、二段目のオーバーハング形状部102と一段目のオーバーハング形状部102との連結部分を第2連結部分102aとするとき、図3に示すように、第1連結部分101aの液室短手方向に沿う方向の幅W1が、第2連結部分102aの液室短手方向に沿う方向の幅W2より小さくW1<W2、かつ、図4に示すように、第1連結部分101aの液室長手方向に沿う方向の長さL1が、第2連結部分102aの液室長手方向に沿う方向の長さL2以上L1≧L2である構成としている。このように、第1連結部分101aの液室短手方向に沿う方向の幅W1を、第2連結部分102aの液室短手方向に沿う方向の幅W2より小さくW1<W2することで、圧電部材12の駆動柱12Aと接合される凸部2Bの中央部での偏肉を抑制することができる。また、第1連結部分101aの液室長手方向に沿う方向の長さL1を、第2連結部分102aの液室長手方向に沿う方向の長さL2以上L1≧L2とすることで、凸部2Bの液室長手方向に沿う方向における両端部で厚さが薄くなる中央部で厚さが厚くなることを防ぐことができる。これらにより、凸部2Bの平坦性を確保できる。つまり、第1連結部分101aの液室短手方向に沿う方向の幅W1を、第2連結部分102aの液室短手方向に沿う方向の幅W2以上W1≧W2にした場合、図5に示すように、凸部2Bの液室長手方向に沿う方向における中央部2Cで盛り上がりが生じて圧電部材12との接合面が平坦な形状とすることができない。これは、電鋳工法で細線パターンを形成するときに電界集中により生じる現象である。すなわち、パターンが密集して電界の逃げ場のない中央部2Cでは電界が集中し電鋳における金属の析出量が多くなり、図5のような中央部2Cが盛り上がった形状となる。この中央部2Cの盛り上がりの抑制には第2層2b、第3層2cの形状による電鋳高さの制御が必要となるが、第2層2bは振動領域2Aに駆動力を伝える部位であり吐出効率等で幅W1は決まってしまうため、あまり形状に自由度がない。これに対し、本実施形態では3層目の幅W2をW1<W2となるようにすることで、この電鋳部の盛り上がりを抑制している。以下に電鋳の盛り上がりを抑制できる理由について述べる。まず、第1に、W1≧W2の形態よりもW1<W2の形態の方が同じW1に対して電柱時の開口W2を広くとれることがある。電鋳の電界集中は開口が狭いほど顕著に現れるため、幅を広げただけでもある程度の盛り上がりの低減効果を有する。第2に、W1<W2とすることで、W2の両端部は第2層2bの上面に形成されたラウンド面図3に円弧で示された領域にかかることになる。ラウンド面は上面のフラット面よりも当然ながら下方にあるため、第3層3cの電鋳でラウンド面から盛り上がりが生じてもトータルの高さはフラット面に形成されるW1≧W2の場合よりも低くなる。また、W1<W2とすることで、幅W1が非常に微細なパターン例えば10μmレベルであっても、二段目のオーバーハング形状部102の形成のためのリソグラフィー工程での寸法精度を確保でき、二段目のオーバーハング形状部102のばらつきを小さくできて、滴吐出特性のばらつきを低減できるという効果も有する。一方で、同様に長手方向をL1<L2としては、長手端部でも同様に電鋳時の盛り上がりが小さくなってしまうため、中央部と長手端部の盛り上がり量の差はあまり変わらず平坦性は向上しない。そこで、本実施形態ではL1≧L2とすることで長手方向端部においては第2層2bのフラット面から電鋳を行う構成とすることで端部と中央部の厚さの差を小さくし、平坦性を向上している。凸部2Bの駆動柱12Aとの対向面の平坦性は、凸部2Bと駆動柱12Aとの接合に重要であり、より駆動柱12Aの変位を効率よく伝えるためには、凸部2Bはできるだけ平坦で広い面積で駆動柱12Aに当接することが好ましい。また、平坦性を向上することで、駆動柱12Aと点で当接することによって生じるチャンネルごとの変位伝達のばらつきも抑制でき、バラツキが少なく、安定した滴吐出特性を得ることができる。さらに、本実施形態では、図3に示すように、一段目のオーバーハング形状部101の液室短手方向に沿う方向の最大の幅X1が、二段目のオーバーハング形状部102の液室短手方向に沿う方向の最大の幅X2より大きくX1>X2形成されている。また、図4に示すように、一段目のオーバーハング形状部101の液室長手方向に沿う方向の最大の長さL11が、二段目のオーバーハング形状部102の液室長手方向に沿う方向の最大の長さL12より大きくL11>L12形成されている。このように、X1>X2、L11>L12とすることで、振動領域12Aである薄肉部のピンホール検査のための光路を確保でき、また、第3層目のアライメントずれの視認が可能になり、不良品の発生を低減できる。次に、本発明の他の実施形態について図6を参照して説明する。なお、図6は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの振動板部材の凸部の平面説明図である。本実施形態では、第2連結部分102の幅W2は、図5のように、凸部2Bの長手方向において、中央部から端部になるに従って小さくなるように形成されている。このとき少なくとも中央部においてはW1<W2の関係となっている。つまり、電鋳工法では、細線ほど電界集中により厚くなる現象を利用することで平坦化を可能にしている。凸部2Bの液室長手方向に沿う方向において、中央部の厚さの盛り上がりを抑え、端部では逆に電界集中しやすいようにすることで効果的に端部の膜の落ち込みを抑制でき、これらにより、凸部の接合面の平坦性をより向上できる。次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図7及び図8を参照して説明する。なお、図7は同装置の機構部の全体構成を説明する側面説明図、図8は同じく要部平面説明図である。この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向キャリッジ主走査方向に移動走査する。このキャリッジ233には、イエローY、シアンC、マゼンタM、ブラックKの各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド234を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。記録ヘッド234は、それぞれ2つのノズル列を有する液体吐出ヘッド234a、234bを1つのベース部材に取り付けて構成したもので、一方のヘッド234aの一方のノズル列はブラックKの液滴を、他方のノズル列はシアンCの液滴を、他方のヘッド234bの一方のノズル列はマゼンタMの液滴を、他方のノズル列はイエローYの液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは2ヘッド構成で4色の液滴を吐出する構成としているが、各色毎の液体吐出ヘッドを備えることもできる。また、キャリッジ233には、記録ヘッド234のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク235a、235b区別しないときはサブタンク235という。を搭載している。このサブタンク235には各色の供給チューブ236を介して、供給ユニット224によって各色のインクカートリッジ210から各色のインクが補充供給される。一方、給紙トレイ202の用紙積載部圧板241上に積載した用紙242を給紙するための給紙部として、用紙積載部241から用紙242を1枚ずつ分離給送する半月コロ給紙コロ243及び給紙コロ243に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド244を備え、この分離パッド244は給紙コロ243側に付勢されている。そして、この給紙部から給紙された用紙242を記録ヘッド234の下方側に送り込むために、用紙242を案内するガイド部材245と、カウンタローラ246と、搬送ガイド部材247と、先端加圧コロ249を有する押さえ部材248とを備えるとともに、給送された用紙242を静電吸着して記録ヘッド234に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト251を備えている。この搬送ベルト251は、無端状ベルトであり、搬送ローラ252とテンションローラ253との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向副走査方向に周回するように構成している。また、この搬送ベルト251の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ256を備えている。この帯電ローラ256は、搬送ベルト251の表層に接触し、搬送ベルト251の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト251は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ252が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。さらに、記録ヘッド234で記録された用紙242を排紙するための排紙部として、搬送ベルト251から用紙242を分離するための分離爪261と、排紙ローラ262及び排紙コロ263とを備え、排紙ローラ262の下方に排紙トレイ203を備えている。また、装置本体の背面部には両面ユニット271が着脱自在に装着されている。この両面ユニット271は搬送ベルト251の逆方向回転で戻される用紙242を取り込んで反転させて再度カウンタローラ246と搬送ベルト251との間に給紙する。また、この両面ユニット271の上面は手差しトレイ272としている。さらに、キャリッジ233の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド234のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構281を配置している。この維持回復機構281には、記録ヘッド234の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材以下キャップという。282a、282b区別しないときはキャップ282という。と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード283と、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け284などを備えている。また、キャリッジ233の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け288を配置し、この空吐出受け288には記録ヘッド234のノズル列方向に沿った開口部289などを備えている。このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ202から用紙242が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙242はガイド245で案内され、搬送ベルト251とカウンタローラ246との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド247で案内されて先端加圧コロ249で搬送ベルト251に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。このとき、帯電ローラ256に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト251が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト251上に用紙242が給送されると、用紙242が搬送ベルト251に吸着され、搬送ベルト251の周回移動によって用紙242が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ233を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド234を駆動することにより、停止している用紙242にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙242を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙242の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙242を排紙トレイ203に排紙する。このように、この画像形成装置では本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えているので、安定した滴吐出特性が得られ、安定して高画質画像を形成することができる。次に、この画像形成装置における温度検出部について図12のブロック説明図を参照して説明する。熱起電力計測部601は、前述した第1、第2金属配線151、152で構成される熱電対600で生じる熱起電力を計測する。温度換算部602は、熱起電力計測部601で計測された熱起電力を温度に換算して、この装置全体の制御を司る主制御部500に出力する。ここで、装置使用中における熱電対600で生じる熱起電力はアクチュエータ手段の温度に対応するものとなるので、熱起電力を計測して温度換算することで、記録ヘッド234のアクチュエータ手段の温度を検出することができる。そこで、主制御部500は、ヘッドのアクチュエータ手段の温度に応じて駆動波形の電圧を変更するなどの制御を行うことで、より安定した滴吐出を行うことができて、高画質画像を形成することができるようになる。なお、上記実施形態では本発明の画像形成装置としてシリアル型画像形成装置を例に説明しているが、ライン型画像形成装置にも同様に実施することができる。また、狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。