対象物を吸着する吸着装置であって、絶縁体により構成されており、表面に吸引口が開口している吸着板と、前記吸引口内を減圧する減圧手段と、減圧手段を制御する制御手段と、を備えており、制御手段は、吸着板の前記表面が対象物と対向しているときに、減圧手段を作動させて、対象物を吸着板の前記表面に吸着させる第1ステップと、第1ステップの後に、減圧手段を停止させる第2ステップ、を実行し、第2ステップの後に、吸着板から生じる静電気力によって、対象物が吸着板の前記表面に吸着された状態が維持されることを特徴とする吸着装置。吸着板を搬送する搬送手段をさらに有しており、制御手段は、減圧手段と搬送手段を制御し、制御手段は、第1ステップの前に、搬送手段によって、吸着板の前記表面が対象物と対向する位置まで吸着板を搬送するステップと、第2ステップの後に、搬送手段によって、吸着板を搬送するステップ、をさらに実行することを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。開口を有するチャンバが形成されているケーシングをさらに有しており、搬送手段は、吸着板がチャンバの開口を覆う位置と、吸着板がケーシングから離れる位置との間で吸着板を搬送し、吸着板がチャンバの開口を覆っているときに、前記吸引口がチャンバに繋がり、減圧手段は、チャンバ内を減圧する、ことを特徴とする請求項2に記載の吸着装置。絶縁体により構成されており、表面に吸引口が形成されている吸着板と、前記吸引口内を減圧する減圧手段と、を備える吸着装置を用いて、対象物を吸着板に吸着させる方法であって、吸着板の前記表面が対象物と対向しているときに、減圧手段を作動させて、対象物を吸着板の前記表面に吸着させる第1ステップと、第1ステップの後に、減圧手段を停止させる第2ステップ、を有しており、第2ステップの後に、吸着板から生じる静電気力によって、対象物が吸着板の前記表面に吸着された状態が維持されることを特徴とする方法。吸引口内を減圧することで対象物を吸着板に吸着させる吸着装置においては、吸引口を覆っている部分の対象物に対しては吸引力が作用するが、その他の部分の対象物には吸引力が作用しない。すなわち、吸引力は、吸引口を覆っている部分に対してのみ局所的に作用する。このため、薄いシート状の対象物を吸着すると、吸引口を塞いでいる部分の対象物が吸引口の内側に向かって撓んでしまうことがある。また、シート状の対象物の上面を吸引してその対象物を持ち上げるときには、吸引力が作用しない部分で対象物が下側に撓んでしまうことがある。このように、対象物が変形すると、対象物に負荷が加わる。特にシートの厚みが薄くなると、負荷が加わることで割れが発生するおそれがある。また、このような変形が生じることにより、対象物の位置決めするときの精度や、対象物に対して加工を行うときの寸法精度が低下するおそれがある。例えば、シート状の対象物の表面に薄い電極層や樹脂層をスピンコート、スプレーコート、スクリーン印刷等の手法を使って成膜する際には、対象物が吸引口の内側に向かって撓んで変形していることによって、変形箇所の膜厚が厚くなる等、シート内の膜厚の精度が低下するおそれがある。一方、吸着板の表面において略均一な吸着力を作用させる吸着装置として、静電チャック装置が知られている。静電チャック装置は、吸着板に電圧を印加することで、対象物と吸着板の間に静電気力を生じさせ、その静電気力により対象物を吸着板に吸着させる。静電チャック装置では、均一な吸着力で対象物を吸着できるので、対象物が変形することを抑制することができる。しかしながら、静電チャック装置は、静電気力を発生させるために吸着板に高い電圧を印加する必要があり、大型の電源等の各種の回路が必要となる。このため、装置全体が大型化、複雑化するという問題がある。したがって、本明細書では、簡単な構成を有しているとともに、対象物を変形させ難い吸着装置を提供する。本明細書は、対象物を吸着する吸着装置を開示する。この吸着装置は、絶縁体により構成されており、表面に吸引口が開口している吸着板と、前記吸引口内を減圧する減圧手段と、減圧手段を制御する制御手段とを備えている。制御手段は、吸着板の前記表面が対象物と対向しているときに、減圧手段を作動させて、対象物を吸着板の前記表面に吸着させる第1ステップと、第1ステップの後に、減圧手段を停止させる第2ステップを実行する。第2ステップの後においては、吸着板から生じる静電気力によって、対象物が吸着板の前記表面に吸着された状態が維持される。なお、減圧手段を作動させるとは、吸引口内を減圧した状態とすることを意味し、減圧手段を停止させるとは、吸引口内を減圧されていない状態とすることを意味する。この吸着装置により対象物を吸着する際には、まず、吸着板の前記表面吸引口が形成されている表面、以下、吸着面というに対向する位置に対象物を配置する。次に、減圧手段を作動させて吸引口内を減圧することによって、吸引口に空気を吸引する。これによって、吸着板の吸着面に対象物が吸着される第1ステップ。また、吸着板が絶縁体であるため、吸引口に空気を吸引する際に、吸引される空気と吸着板との間の摩擦によって吸着板が帯電する。吸着板が帯電すると吸着板内に蓄えられた電荷から生じる静電気力が対象物に作用し、この静電気力によっても対象物が吸着板全面で吸着される。次に、減圧手段を停止させて、吸引口内の圧力を元に戻す第2ステップ。減圧手段を停止させると、吸引口による吸引力が対象物に作用しなくなる。しかしながら、上述した静電気力は継続して対象物に作用している。一旦対象物が吸着面に吸着されると、その後は、弱い静電気力でも対象物を吸着しておくことができる。したがって、減圧手段を停止させた後でも、対象物が吸着面に吸着されている状態が維持される。以上に説明したように、この吸着装置では、対象物を吸着面に吸着する最初の段階すなわち、対象物を吸着面に貼り付かせるために比較的大きい吸着力が必要となる段階では、吸引口の吸引力で対象物を吸着する。そして、対象物が吸着面に吸着された後すなわち、強い吸着力が不要となる段階では、減圧手段を停止させて、静電気力によって対象物を吸着した状態を維持する。このように、この吸着装置は、対象物を変形させ易い吸引口による吸引を必要最小限しか行わない。また、静電気力は対象物に均一に作用するので、対象物を変形させ難い。したがって、この吸着装置によれば、対象物の変形を抑制しながら、対象物を吸着することができる。また、この吸着装置は、空気との摩擦によって吸着板を帯電させるので、吸着板に電圧を印加するための電源等が不要であり、構成が簡単である。上述した吸着装置は、吸着板を搬送する搬送手段をさらに有しており、制御手段が減圧手段と搬送手段を制御することが好ましい。制御手段は、第1ステップの前に、搬送手段によって、吸着板の前記表面が対象物と対向する位置まで吸着板を搬送するステップと、第2ステップの後に、搬送手段によって、吸着板を搬送するステップをさらに実行することが好ましい。このような構成によれば、吸着板に対象物を吸着させた状態で、その対象物を搬送することができる。また、対象物を搬送する吸着装置は、開口を有するチャンバが形成されているケーシングをさらに有していることが好ましい。搬送手段は、吸着板がチャンバの開口を覆う位置と、吸着板がケーシングから離れる位置との間で吸着板を搬送することができる。吸着板がチャンバの開口を覆っているときに、前記吸引口がチャンバに繋がる。減圧手段は、チャンバ内を減圧する。なお、減圧手段がチャンバ内を減圧するタイミングは、吸着板がチャンバの開口を覆っているときが好ましい。このような構成によれば、吸着板をケーシングから切り離して移動させることができる。すなわち、ケーシングを移動させないで、対象物を搬送することができる。図1に示す吸着装置10は、薄いシート状のセラミックスにより構成されているセラミックスシート例えば、厚さが50μm以下であり、一辺が25mm以上の四角形であり、圧電体、ジルコニア、アルミナ等により構成されたセラミックスシートを吸着して搬送する。吸着装置10は、吸着ユニット20と、ポンプ50と、搬送装置54と、制御装置56を備えている。吸着ユニット20の下面22は、セラミックスシートを吸着する吸着面である。後に詳述するが、吸着ユニット20の内部にはチャンバが形成されている。ポンプ50は、配管52によって吸着ユニット20のチャンバに接続されている。ポンプ50は、チャンバ内の空気を吸引することで、チャンバ内を減圧させる。搬送装置54は、吸着ユニット20を移動させる。制御装置56は、ポンプ50及び搬送装置54と電気的に接続されており、これらを制御する。図2、3に示すように、吸着ユニット20は、吸着板30と、ケーシング40を備えている。吸着板30は、絶縁体より具体的には、PET等の樹脂により構成された平板である。吸着板30の下面は、上述した吸着面となっている。図2の点線24は、セラミックスシートを吸着する吸着領域を示している。吸着面22の吸着領域24内にセラミックスシートが吸着される。吸着板30には、吸着領域24内の吸着面22に開口する吸引口26が複数個形成されている。各吸引口26は、吸着板30の上面と下面を連通している。吸引口26は、吸着領域24の外周に沿って形成されている。吸着面22の吸着領域24の外側には、吸着領域24の外周に沿って複数のガイドピン28が立設されている。ケーシング40は、PEEKやアクリル等の樹脂製絶縁体によって構成されていてもよいが、吸着ユニットの剛性の面からアルマイト処理が施されたアルミニウムにより構成されている方が好適である。ケーシング40は、一方が開放された箱型形状を備えている。ケーシング40には、一方が開口しているチャンバ44が形成されている。チャンバ44の開口部分は、吸着板30に閉じられている。吸着板30は、ケーシング40に固定されている。上述した各吸引口26は、チャンバ44に繋がっている。また、ケーシング40の側面には、吸引ポート42が形成されている。吸引ポート42は、チャンバ44とケーシング40外とを連通している。吸引ポート42は、配管52を介して、ポンプ50に接続されている。したがって、ポンプ50が作動すると、チャンバ44内の空気がポンプ50によって吸引され、チャンバ44と吸引口26の内部が減圧される。次に、吸着装置10の動作について説明する。ここでは、吸着装置10によって、図4に示すセラミックスシート70を、ステージ80上からステージ120上に搬送するときの動作について説明する。なお、ステージ120は、吸着ユニット20と略同じ構造を有している。具体的には、ステージ120は、絶縁体の吸着板130とアルマイト処理が施されたアルミニウムのケーシング140を有しており、ステージ120の内部にはチャンバ144が形成されている。吸着板130の上面122は吸着面である。吸着板130には、吸着面122に開口し、チャンバ144に繋がっている複数の吸引口126が形成されている。また、ケーシング140の吸引ポート142には、配管を介して図示しないポンプが接続されている。なお、ステージ120は、固定されたステージであり、移動しない。最初に、制御装置56は、搬送装置54によって、図5に示すように吸着ユニット20の吸着面22がステージ80上のセラミックスシート70の表面と対向する位置に吸着ユニット20を移動させる。すなわち、吸着面22をセラミックスシート70に接近させる。なお、このときに、吸着面22をセラミックスシート70に接触させてもよい。次に、制御装置56は、ポンプ50を作動させる。すると、チャンバ44と吸引口26の内部が減圧されて、図5の矢印180に示すように、各吸引口26を通って吸着ユニット20の外部からチャンバ44の内部に空気が流入する。この空気の流れによって、セラミックスシート70が吸い上げられて、図6に示すように、セラミックスシート70が吸着面22に貼り付く。また、このとき、流入する空気と絶縁体である吸着板30との間で摩擦が生じ、吸着板30が負に帯電する。したがって、吸着板30に蓄積された電荷による静電気力もセラミックスシート70に作用する。すなわち、セラミックスシート70は、吸引口26で生じる吸引力と、吸着板30に蓄積された電荷によって生じる静電気力の両方によって、吸着面22に吸着される。なお、ステージ80上からセラミックスシート70を吸い上げる際には、ガイドピン28によって、セラミックスシート70の位置ずれが防止される。これによって、位置ずれによるセラミックスシート70の落下が防止される。吸着ユニット20は、吸着領域24図2参照の内側に確実にセラミックスシート70を吸着することができる。セラミックスシート70が吸着面22に貼り付くと、制御装置56は、ポンプ50を停止させる。すると、チャンバ44と吸引口26の内部が常圧チャンバ44の外部の大気圧に戻り、セラミックスシート70に吸引口26による吸引力が作用しなくなる。しかしながら、吸着板30が帯電しているため、上述した静電気力は継続してセラミックスシート70に作用している。この静電気力によって、セラミックスシート70が吸着板30に張り付いた状態が維持される。すなわち、ポンプ50が停止しても、セラミックスシート70は吸着面22から落下しない。ポンプ50を停止させたら、制御装置56は、搬送装置54によって、図6の矢印182に示すように吸着ユニット20をステージ120の真上に移動させ、その後、図7に示すようにセラミックスシート70をステージ120の吸着面122に接近させる。なお、このときに、セラミックスシート70を吸着面122に接触させてもよい。すると、ステージ120側の制御装置が、ステージ120に接続されたポンプを作動させる。これにより、図7の矢印184に示すように各吸引口126を通って、ステージ120の外部からチャンバ144の内部に空気が流入する。この空気の流れによって、セラミックスシート70が、吸着面122側に吸い寄せられて、吸着面122に貼り付く。また、このとき、流入する空気と絶縁体である吸着板130との間で摩擦が生じ、吸着板130が負に帯電する。セラミックスシート70がステージ120の吸着面122に吸着されると、制御装置56は、搬送装置54によって、図8に示すように吸着ユニット20をステージ120から離れさせる。また、ステージ120側の制御装置は、セラミックスシート70が吸着面122に吸着されると、ポンプを停止させる。すると、チャンバ144の内部が常圧に戻り、セラミックスシート70に吸引口126による吸引力が作用しなくなる。しかしながら、吸着板130が帯電しているため、吸着板130に蓄積された電荷による静電気力がセラミックスシート70に作用している。この静電気力によって、セラミックスシート70が吸着板130に張り付いた状態すなわち、セラミックスシート70が吸着板130上に固定された状態が維持される。以上に説明したように、実施例1の吸着装置10では、セラミックスシート70をステージ80から吸い上げるときすなわち、強い吸着力が必要なときに限ってポンプ50を作動させ、セラミックスシート70が吸着面22に吸着された後は、ポンプ50を停止させて静電気力のみによってセラミックスシート70を吸着面22に吸着した状態を維持する。したがって、この吸着装置10は、セラミックスシート70の変形を抑制することができる。また、消費電力を抑えることができる。また、静電気力のみを用いる吸着装置では、セラミックスシートを吸い上げるときに、極めて大きい静電気力が必要になる。このためには、吸着板に高い電圧を印加することが必要となり、大型の電源等の各種の回路が必要となる。一方、実施例1の吸着装置10では、セラミックスシート70を吸い上げるときには吸引口26による吸引力を用い、静電気力を主に用いるのは、セラミックスシート70が吸着面22に吸着された後である。セラミックスシート70が既に吸着面22に貼り付いている状態であれば、セラミックスシート70を吸着面22に吸着させた状態を維持するために必要な静電気力はそれほど高くない。空気と吸着板30との摩擦で生じる静電気力で十分である。したがって、実施例1の吸着装置10では、吸着板30に電圧を印加するための電源等の回路が不要である。このため、実施例1の吸着装置10は、簡単な構成を有しており、小型化が可能である。また、実施例1において説明したステージ120も吸着装置10の吸着ユニット20と略同様に動作するため、吸着装置10と同様の効果が得られる。すなわち、ステージ120でも、セラミックスシート70の変形が抑制される。また、ステージ120も、静電気力のみを用いてセラミックシートを吸着するステージに比べて簡単な構成を有しており、小型化することができる。また、ステージ120はセラミックスシート70を変形させないで保持することができるので、ステージ120上で行うセラミックスシート70に対する加工を正確に実施することができる。例えば、ステージ上でセラミックスシートの表面に樹脂をスプレーコートすることを考える。吸引口による吸引によってセラミックスシートを固定するステージを用いている場合には、吸引口の上部のセラミックスシートの表面が凹む。このため、表面に塗布される樹脂がその凹みに溜まり、吸引口の上部の樹脂の膜厚が厚くなってしまう。一方、上述したステージ120では、セラミックスシート70を吸着した後は静電気力のみによってセラミックスシート70を固定するので、セラミックスシート70に変形が生じない。したがって、セラミックスシート70の表面が平坦となり、均一な膜厚で樹脂を塗布することができる。また、実施例1で説明した2つの吸着装置すなわち、吸着装置10とステージ120の間でのセラミックスシート70の受け渡しを応用することで、セラミックスシート70の表裏を反転させてセラミックスシート70を搬送することもできる。次に、実施例2の吸着搬送装置について説明する。なお、実施例1と共通する構成については、説明を省略する。実施例2の吸着搬送装置は、図9、10に示す吸着ユニット220を有している。吸着ユニット220は、吸着面222が上向きとなるように配置されている。吸着ユニット220では、ケーシング240が固定されており、吸着板230がケーシング240から分離して移動可能とされている。なお、図10に示すように、吸着ユニット220では、ガイドピン228がケーシング240に立設されており、吸着板230にはガイドピン28が挿通される貫通孔238が形成されている。ケーシング240には、ケーシング240の上面に開口するようにチャンバ244が形成されている。チャンバ244の開口は、吸着板230によって開閉することができる。すなわち、吸着板230は、チャンバ244の開口を覆う位置と、ケーシング240から離れる位置との間を移動することができる。吸着板230がチャンバ244の開口を覆っている状態では、吸引口226がチャンバ244に繋がっている。実施例2の吸着搬送装置の動作について説明する。吸着面222にセラミックスシートを吸着する際の動作は、実施例1の吸着装置10と等しい。すなわち、制御装置は、吸着ユニット220を図9に示す状態吸着板230がチャンバ244を閉じている状態に制御する。この状態で、吸着面222と対向する位置にセラミックシートが配置される。次に、制御装置は、ポンプを作動させてチャンバ244内を減圧することで、吸引口226によりセラミックスシートを吸引する。このとき、流入する空気との摩擦で吸着板230が帯電する。セラミックスシートが吸着板230に貼り付いたら、制御装置は、ポンプを停止させ、静電気力によりセラミックスシートを保持する。このように、吸引口226によって吸引する時間が必要最小限に抑えられるので、セラミックスシートに加わる負荷を低減することができる。セラミックスシートを吸着したら、セラミックスシートを搬送する。このとき、制御装置は、図10に示すように吸着板230をケーシング240から分離させて、吸着板230を移動させる。これによって、セラミックスシートを搬送する。吸着板230がケーシング240から分離されても、吸着板230が静電気を帯びた状態が維持される。このため、吸着板230だけを移動させる場合でも、セラミックスシートを吸着板230上に吸着固定しておくことができる。したがって、セラミックスシートを無負荷で搬送することができる。また、このように、配線や配管が接続されていない吸着板230だけを移動させることで、搬送装置の構成をより簡略化することができる。また、搬送する部分の重量が小さくなるので、搬送装置の消費電力を低減することができる。なお、上述した実施例1、2では、ポンプを動作状態と停止状態との間で切り換えることで、吸引口内を減圧する動作と減圧しない動作とを切り換えたが、吸着ユニットとポンプとの間の配管に弁を介装し、弁の切り換えによって吸引口内を減圧する動作と減圧しない動作を切り換えるようにしてもよい。また、上述した実施例1、2では、吸着板30が負に帯電したが、正に帯電してもよい。何れの場合でも、セラミックスシートを吸着することができる。なお、吸着板30が負に帯電するか正に帯電するかは、吸着板30の材質によって変化する。以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。