レーザビームを被加工物に集光する集光レンズに向けて、前記レーザビームを偏向させる曲率可変ユニットにおいて、圧力負荷を鏡面部の裏面の圧力負荷面に加えることによりサジタル方向の曲率:メリジオナル方向の曲率=2:1となる変形を発生する曲率可変鏡と、前記レーザビームにより前記曲率可変鏡にて発生する熱変形と同等の熱変形を発生する熱変形補正鏡とを備え、前記曲率可変鏡と前記熱変形補正鏡を互いの反射方向が90°ねじれるように配置する構成とした曲率可変ユニット。前記曲率可変鏡により前記レーザビームを偏向させる偏向角を90°とする請求項1に記載の曲率可変ユニット。前記熱変形補正鏡は、平面の鏡板部材と前記レーザビームを反射する鏡面の鏡裏面と接触する鏡押え部材から構成され、前記鏡板部材と接触する前記鏡押え部材の鏡板接触面に座ぐり加工が施されている請求項1または請求項2に記載の曲率可変ユニット。前記熱変形補正鏡の前記鏡板部材と接触する前記鏡押え部材の面に施された前記座ぐり加工の形状は、前記曲率可変鏡の前記圧力負荷面と相似関係の形状である請求項3に記載の曲率可変ユニット。前記熱変形補正鏡を前記曲率可変鏡に向けて前記レーザビームを偏向させる位置に配置する構成とした請求項1ないし請求項4の何れか1項に記載の曲率可変ユニット。前記レーザビームを発振するレーザ発振器と、前記レーザ発振器から被加工物に前記レーザビームを伝送する加工光学系から構成されるレーザ加工装置において、請求項1ないし請求項5の何れか1項に記載の曲率可変ユニットを前記加工光学系に有するレーザ加工装置。単パルス、複数パルスあるいは連続発振の前記レーザビームを前記被加工物面上で位置決め照射して、前記被加工物を燃焼、溶融、昇華あるいは変色させて、切断、穴あけ、溶接、熱処理、あるいはマーキングなどの加工を行う請求項6に記載のレーザ加工装置。特許文献3開示の曲率可変鏡では、この曲率可変鏡の熱変形で非点収差が発生しないように、曲率可変鏡裏面の圧力負荷をかけるために高圧の冷却水を用いて熱変形を抑制しており、この高圧の冷却水を発生させるために、レーザ加工装置に備える専用の装置が必要となる問題点があった。この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、高圧冷却水を発生させる装置を備えなくても、曲率可変鏡の熱変形を補正することができる曲率可変ユニット、およびこの曲率可変ユニットを使用したレーザ加工装置を提供することを目的とする。この発明に係る曲率可変ユニットは、レーザビームを被加工物に集光する集光レンズに向けて、レーザビームを偏向させる曲率可変ユニットにおいて、圧力負荷を鏡面部の裏面の圧力負荷面に加えることにより、サジタル方向の曲率:メリジオナル方向の曲率=2:1となる変形を発生する曲率可変鏡と、レーザビームにより曲率可変鏡にて発生する熱変形と同等の熱変形を発生する熱変形補正鏡とを備え、曲率可変鏡と熱変形補正鏡を互いの反射方向が90°ねじれるように配置する構成としたものである。この発明に係る曲率可変ユニットは、レーザビームを被加工物に集光する集光レンズに向けて、レーザビームを偏向させる曲率可変ユニットにおいて、圧力負荷を鏡面部の裏面の圧力負荷面に加えることにより、サジタル方向の曲率:メリジオナル方向の曲率=2:1となる変形を発生する曲率可変鏡と、レーザビームにより曲率可変鏡にて発生する熱変形と同等の熱変形を発生する熱変形補正鏡とを備え、曲率可変鏡と熱変形補正鏡を互いの反射方向が90°ねじれるように配置する構成としたものであるため、高圧冷却水を発生させる装置を備えなくても、曲率可変鏡の熱変形を熱変形補正鏡で補正することができる。実施の形態1.実施の形態1は、高圧冷却水を発生させる装置を備えなくても、曲率可変鏡の熱変形を熱変形補正鏡で補正することができる曲率可変ユニットに関するものである。以下、本願発明の実施の形態1の構成、動作について、曲率可変ユニットの構成図である図1、曲率可変鏡の変形の概念図である図2、曲率可変鏡の断面図である図3、および熱変形補正鏡の構成図である図4に基づいて説明する。まず、本願発明の実施の形態1に係る曲率可変ユニット1の構成について説明する。図1において、曲率可変ユニット1は、熱変形補正鏡3、曲率可変鏡4、および集光レンズ5から構成される。レーザ発振器図示なしから発振されたレーザビーム2は、例えば-Y方向に進行し、熱変形補正鏡3でX方向に偏向される。次にX方向に進行するレーザビーム2は、曲率可変鏡4で-Z方向に偏向される。さらに-Z方向に進行するレーザビーム2は集光レンズ5により、被加工物6に集光される。図2は、曲率可変ユニット1を構成する曲率可変鏡4の変形を説明する概念図である。曲率可変鏡4は楕円形の外形をしており、レーザビーム2を反射する鏡面部7を有し、空圧による圧力負荷により平面からサジタル方向の曲率:メリジオナル方向の曲率=2:1を保持しながら凸面に変形する。ここで、サジタル方向、メリジオナル方向は、レーザビーム光束を含む概念であり、図2ではサジタル方向の曲率、メリジオナル方向の曲率はそれぞれ短軸方向の曲率8A、長軸方向の曲率8Bに該当する。図2では、曲率可変鏡4の外形は楕円形であるが、直交する2軸の曲率が2:1を保持しながら圧力負荷により変形するのであれば、外形は楕円形でなくても、例えば円形でもよい。図3は、曲率可変鏡4の断面図である。曲率可変鏡4は、例えば長軸の長さ:短軸の長さ=√2:1の寸法形状である圧力負荷面10と鏡面部厚み13を有する圧力負荷室11を備える。空圧流入口12からの空圧流により、圧力負荷面10に圧力負荷9が加えられると、鏡面部7は平面から図2で説明した短軸方向の曲率:長軸方向の曲率=2:1を保持しながら、圧力負荷9により凸面14に変形する。図2、図3では圧力負荷を加える前の鏡面部7は平面としているが、圧力負荷を加えたときの凸面形状を反転した短軸方向の曲率:長軸方向の曲率=2:1の凹面形状としてもよい。次に、曲率可変ユニット1を構成する熱変形補正鏡3について説明する。図1の熱変形補正鏡3は、曲率可変鏡4に高出力例えば1kW以上のレーザビーム2を照射した場合に、レーザビーム2の出力に比例した熱変形と同一の熱変形を持つ平面鏡とする。図4は、曲率可変ユニット1を構成する熱変形補正鏡3の構成図である。熱変形補正鏡3は、レーザビームを90°に偏向させる円形の鏡面15を有する外形が円形の鏡板部材16と、鏡板接触面18が楕円形状の座ぐり加工された座ぐり部分19を有する鏡押え部材20から構成される。そして、鏡板部材16の鏡裏面17に対して、鏡押え部材20の鏡板接触面18が張り合わされる。鏡押え部材20を用いることで、熱変形補正鏡3を保持するホルダーに固定する場合に、鏡板部材16を直接押えて変形を発生させることを防ぐことができる。また、鏡押え部材20は、冷却管を備え、間接的に鏡板部材16を冷却する役割も果たす。座ぐり加工された楕円形状は、例えば曲率可変鏡4の圧力負荷面10の楕円形状と同等の座ぐり加工長軸21Aの長さ:座ぐり加工短軸21Bの長さ=√2:1寸法形状とし、レーザビーム2の反射面と鏡面15が交差する回転軸22に対する回転方向の角度23を0°とする。これにより、レーザビーム2が照射された場合、鏡板部材16には曲率可変鏡4と相似の熱分布を持たせることができ、鏡板部材16は曲率可変鏡4と相似な熱変形を発生する。さらに、鏡押え部材20の楕円形状の大きさを短軸の長さと長軸の長さの比を固定して、大きさを変化させることにより、レーザビーム2の出力による変形量の大きさを調整して、曲率可変鏡4の熱変形と同等の熱変形を再現することができる。以下に、熱変形の補正、すなわち非点収差相殺のメカニズムについて説明する。図1において、曲率可変鏡4にてレーザビーム2の照射により発生する熱変形が、レーザビーム2を含むZX面での曲率可変鏡4の曲率例えば凸面とレーザビーム2を含むXY面での曲率可変鏡4の曲率例えば凸面との比が1:2よりも小さくなる場合、集光レンズ5の入射面でのレーザビーム2断面は、X方向に長い楕円形状のレーザビーム2となる。しかし、熱変形補正鏡3にて曲率可変鏡4と同等の熱変形が発生すると、熱変形補正鏡3の熱変形は、レーザビーム2を含むXY面での熱変形補正鏡3の曲率例えば凸面とレーザビーム2を含むZX面での熱変形補正鏡3の曲率例えば凸面の比が曲率可変鏡4と同等に1:2よりも小さくなり、曲率可変鏡4の入射面でのレーザビーム2断面は、Y方向に長い楕円形状のレーザビーム2となる。このレーザビーム2が曲率可変鏡4の変形により、集光レンズ5の入射面でのレーザビーム2断面は、X方向とY方向の長さは同値となり、非点収差を持たないレーザビーム2を得ることができる。熱変形補正鏡3の熱変形は、レーザビーム2の出力に比例しているため、レーザビーム2の出力が変化しても、曲率可変鏡4の熱変形から発生する非点収差を、レーザビーム2の出力により熱変形補正鏡の変形を駆動制御することなく抑制することができる。実施の形態1では、熱変形補正鏡3は、曲率可変鏡4の直前の位置に配置されているが、曲率可変鏡4の反射方向と90°ねじれた反射方向となる位置に配置すれば、曲率可変鏡4と熱変形補正鏡3の間に平面鏡が配置されていてもよい。また、曲率可変鏡4によるレーザビーム2の偏向角を90°として説明しているが、90°に限定されるものではない。熱変形補正鏡3についても、熱変形補正鏡3によるレーザビーム2の偏向角を90°として説明しているが、90°に限定されるものではない。さらに、熱変形補正鏡3の圧力負荷面10に圧力負荷9を加えるために空気流を使用しているが、圧電素子例えば、ピエゾ素子を使用して、圧力負荷を加えることもできる。以上説明したように、実施の形態1に係る曲率可変ユニット1では、高圧冷却水を発生させる装置を備えなくても、曲率可変鏡4の熱変形を補正することができる効果がある。実施の形態2.実施の形態2のレーザ加工装置は、実施の形態1で説明した曲率可変ユニット1を備えたレーザ加工装置である。図5は、実施の形態2に係るレーザ加工装置30の構成図である。図5において、図1と同一あるいは相当部分には、同一の符号を付している。レーザ発振器31からレーザビーム2が発振され、反射鏡32を経て、また、いろいろな光学系を経た後、X方向移動ユニット33の直前反射鏡34にレーザビーム2が入射される。入射されたレーザビーム2は、実施の形態1の曲率可変ユニット1を通ることにより、-Z方向に偏向される。さらに、レーザビーム2は、集光レンズ5により被加工物6に集光される。この時、X方向移動ユニット33がX方向に移動することにより、集光ビームを被加工物上のX方向に走査することができる。また、加工ヘッド35をY方向に移動することにより、集光ビームを被加工物上のY方向に走査することができる。ここで、熱変形補正鏡3は、曲率可変鏡4の隣接する位置に配置されていることが好ましいが、X方向移動ユニットの直前反射鏡34と熱変形補正鏡3が反対に配置されていてもよい。また、曲率可変鏡4の反射方向と90°ねじれた反射方向となる位置であれば、熱変形補正鏡3を曲率可変鏡4とレーザ発振器31の間で、図5の位置以外に配置してもよい。このレーザ加工装置30は、小さな角度にてレーザビーム2の入射角を入射する反射鏡を設ける必要がないため、加工ヘッド35を曲率可変鏡4と集光レンズ5のみで構成することができ、構成が簡素で軽量な加工ヘッド35とすることができる。また、曲率可変鏡4の冷却用に、高圧冷却水を使用する必要がないため、高圧冷却水を発生させる装置を備える必要がない。以上説明したように、実施の形態2に係るレーザ加工装置30では、実施の形態1の曲率可変ユニット1を適用しているので、曲率可変鏡の熱変形を補正するために高圧冷却水を発生させる装置を備える必要がなく、光学系の構成が簡素化され、加工ヘッドを軽量で高速動作可能とできる効果がある。また、単パルス、複数パルスあるいは連続発振のレーザビームを被加工物面上で位置決め照射して、被加工物を燃焼、溶融、昇華あるいは変色させて、切断、穴あけ、溶接、熱処理、あるいはマーキングなどの加工を行うレーザ加工装置に、曲率可変ユニット1を適用することにより、簡便に焦点距離やビーム径、あるいはビームプロファイルの調整を実時間で行うことが可能で安定した高出力のレーザ加工装置を低コストで提供できる効果もある。