"液体調合薬を投与する器具であって、前記液体調合薬は、前記器具内に挿入された容器3内に保持されていて、少なくとも1つのノズル開口部12eを通って前記器具から放出され、前記液体調合薬は、前記少なくとも1つのノズル開口部12eを通って流れる前に、超微細フィルタ12fを通って流れ、前記超微細フィルタは、微細構造化コンポーネント12によって形成され、前置フィルタ27が前記器具内で前記微細構造化コンポーネント12の前であって前記液体の流路中に配置されている、器具において、微細フィルタ28が前記液体の前記流路中で前記前置フィルタ27と前記微細構造化コンポーネント12との間に更に設けられており、前記微細フィルタ28は、前記前置フィルタ27とは異なっており、前記調合薬が、前記微細構造化コンポーネント12に入る前に、サイズ又は性状の異なる粒子が前記前置フィルタ27及び前記微細フィルタ28に付着する、器具。前置フィルタ27、微細フィルタ28及び超微細フィルタ12fは、互いに異なる孔径を有すると共に前記孔径が流れ方向に減少するよう配置されている、請求項1記載の器具。前置フィルタ27、微細フィルタ28及び超微細フィルタ12fは、互いに異なる材料から成る、請求項1又は2記載の器具。1つのフィルタ、特に前記微細フィルタ28は、金属、特に焼結金属で作られている、請求項1~3のうちいずれか一に記載の器具。前記微細フィルタの構成金属は、チタンである、請求項4記載の器具。前記金属フィルタの前記孔径は、孔直径が5ミクロン未満であるほど小さい、請求項4又は5記載の器具。前記前置フィルタ27は、プラスチック製のフィルタであり、前記微細構造化コンポーネント12は、好ましくは、ガラス/シリコン複合材で作られている、請求項1~6のうちいずれか一に記載の器具。前記微細フィルタ28は、作用モードが主として吸着効果によって定められ、サイズ排除によってはそれほど定められることのないフィルタであり、前記フィルタを通って流れる液体からの粒子、特にナノ粒子は、分子間相互作用の結果として前記フィルタの表面上に堆積することができる、請求項1~7のうちいずれか一に記載の器具。吸着フィルタ32が前記前置フィルタ27と前記超微細フィルタ12fとの間で前記流路中に配置され、前記吸着フィルタの作用モードは、前記フィルタを通って流れる液体からの粒子、特にナノ粒子が分子間相互作用の結果として前記フィルタの表面上に堆積することができるという特徴を備えている、請求項1~7のうちいずれか一に記載の器具。前記吸着フィルタ32は、前記前置フィルタ27と前記微細フィルタ28との間か前記微細フィルタ28と前記超微細フィルタ12fとの間かのいずれかに独立コンポーネントとして配置されている、請求項9記載の器具。前記吸着フィルタ32は、縁部が摩擦の作用で固定されたフィルタディスクとして具体化されている、請求項9又は10記載の器具。前記フィルタディスクの前記縁部は、前記微細構造化コンポーネント12を封止し又は固定するコンポーネント又は取り付け位置にあるノズルによるか前記微細構造化コンポーネント12又は前記ノズルそれ自体によるかのいずれかによって保持され、或いは、前記前置フィルタ27と前記微細フィルタ28との間の定位置にクランプされている、請求項11記載の器具。前記吸着フィルタ32は、ガラス繊維、セルロース繊維、炭素繊維又はポリマー繊維で作られている、請求項9~12のうちいずれか一に記載の器具。前記吸着フィルタ32は、酸化アルミニウムで機能化された表面を有する、請求項9~13のうちいずれか一に記載の器具。前記吸着フィルタ32は、第四アンモニウム基で機能化された表面を有する、請求項9~13のうちいずれか一に記載の器具。前記前置フィルタ27及び前記微細フィルタ28は、円筒形又は少なくとも部分的に円錐形の形をしている、請求項1~15のうちいずれか一に記載の器具。投与されるべき前記液体調合薬は、蒸気圧の低い物質又はアルコール化合物を含む、請求項1~16のうちいずれか一に記載の器具。投与されるべき前記液体調合薬は、3.5~9のpHを有する、請求項1~17のうちいずれか一に記載の器具。前記液体調合薬は、エーロゾル、特に吸入可能なエーロゾルとして送り出される、請求項1~18のうちいずれか一に記載の器具。前記器具は、圧力チャンバ11を有し、前記フィルタは、前記圧力チャンバ11と前記少なくとも1つのノズル開口部12e及び/又はノズルチャネル12bとの間に配置されている、請求項1~19のうちいずれか一に記載の器具。前記器具は、中央部品23を有し、前置フィルタ27及び微細フィルタ28は、圧力チャンバ11又は計量チャンバの下流側で前記中央部品内に配置されている、請求項1~20のうちいずれか一に記載の器具。前置フィルタ27及び微細フィルタ28は、これらを固定する追加のコンポーネントなしで前記中央部品23内に保持されており、特に、前記中央部品それ自体23により形成された内部断面の減少部及び/又は圧力嵌めによって保持されている、請求項21記載の器具。請求項20~22のうちいずれか一に記載の器具を組み立てる方法であって、微細フィルタ28及び前置フィルタ27を、圧力チャンバ11である構成要素を通って中央部品23中に挿入し、挿入開口部を圧力発生器5のピストン又は特に中空ピストン9として形成された連結要素によって閉じ、次に、液体2を容器3から引き出す、方法。本発明が解決しようとする課題は、特に小さな流れ断面向きに設計されると共にあらゆる種類の粒子の付着向きに設計されたフィルタシステムを有する液体調合薬の投与器具であって、先行技術と比較して改良された器具であり、特に、手持ち型器具、例えばネブライザ又は注入器を提供することにある。このフィルタシステムを備えた器具は、これらの究極的な使用とはできるだけ独立しているべきであり、即ち、特に、調合薬中の溶剤の選択、適合性及び気候条件とは独立しているべきである。フィルタシステム及び関連の組み立て概念は、大量生産に適したものであるべきである。特に、本発明の目的は、液体調合薬の効果的な濾過が行われるフィルタシステムを提供することにある。特に好ましくは、フィルタシステムは、直径が1μm未満の極めて小さい残留物であってもこれらを吸入可能な溶液から濾過して除去すべきであり又は研磨粒子を濾過して除去すべきである。かかる極めて小さな粒子は、直径が少なくともミクロン範囲の粒子を確実に濾過して除去する典型的なサイズ排除フィルタによっても常にピックアップされるとは限らない。上述した課題は、本発明によれば、液体調合薬を投与する器具であって、液体調合薬は、器具内に挿入された容器内に保持されていて、少なくとも1つ、好ましくは2つのノズル開口部を通って器具から放出され、液体調合薬は、少なくとも1つのノズル開口部を通って流れる前に、超微細フィルタを通って流れ、前置フィルタが器具内で微細構造化コンポーネントの前であって液体の流路中に配置されている形式の器具によって解決される。超微細フィルタ及び好ましくは更に少なくとも1つのノズル開口部は、微細構造化コンポーネントによって形成される。この器具は、器具の内部で微細フィルタが液体の流路中で前置フィルタと微細構造化コンポーネントとの間に更に設けられており、微細フィルタは、前置フィルタとは異なっており、調合薬が微細構造化コンポーネントに入る前に、サイズ又は性状の異なる粒子が前置フィルタ及び微細フィルタに付着することを特徴としている。さらに、本発明の課題は、圧力チャンバ及び圧力チャンバとノズルチャネルとの相田に配置されたフィルタを有する器具を組み立てる方法であって、フィルタを、圧力チャンバである構成要素を通って中央部品中に挿入し、挿入開口部を圧力発生器のピストン又は特に中空ピストンとして形成された連結要素によって閉じ、次に、液体を容器から引き出すことを特徴とする方法によって解決される。有利な別の特徴を以下において図を参照して詳細に説明する。本発明の一特徴は、前置フィルタ、微細フィルタ及び超微細フィルタが互いに異なる孔径を有すると共に孔径が流れ方向に減少するよう配置されていることにある。本発明の利点は、前後に配置されたフィルタを有するこの種のシステムでは、粒子付着は、多くの場所にわたって分布して生じ、粒子負荷が高い場合であっても、それによって、フィルタが全体としては閉塞せず、それ故器具が全体としては閉塞しないことにある。これは、液体が流れチャネルを通って放出される前に直径の絞られた流れチャネルに通され、有効な取り付けスペース又は流動条件に鑑みて表面積の大きなフィルタを取り付けることができないような好ましくは本明細書において検討中の器具、例えば手持ち型器具にとって特に重要である。この種の厳しい取り付け状況では、個々のフィルタの付着容量は、その断面積が比較的小さいために制限されている。本発明の別の特徴は、フィルタが互いに異なる材料で作られているということにある。このように、フィルタの孔径により定められるフィルタ効果は、フィルタ材料の互いに異なる吸着特性によって支援される。フィルタの材料及び表面性状に応じて、粒子はサイズによる付着に加えてフィルタにくっつく。互いに異なるフィルタ材料が用いられる場合、種々のタイプの粒子も又、このように吸着によって付着する。本発明の別の特徴は、吸着フィルタが粗フィルタと硬質ノズルとの間で流路中に配置されていることにある。吸着フィルタは、分子間相互作用、例えば静電力、ファンデルワールス力又は水素結合の形成に基づいてナノ粒子を液体から分離する。特にプラスチック、例えばポリエチレンで作られていて、本明細書では粗フィルタとも呼ぶ場合のある前置フィルタは、まず最初に、粒子をその流路中で液体調合薬から最低約9μmのオーダまで粒子を沈殿させ、その下流側に位置する吸着フィルタは、次に、ナノ粒子を最高5nmの粒径まで液体調合薬から濾過して除去する。高い流量では、この種のナノ粒子は、これらの直径が小さいために従来型サイズ排除フィルタによっては濾過して除去することができない。ナノ粒子の付着は、かかるナノ粒子が放出ノズルの出口のところで堆積するのを阻止し、かくして、場合によってはネブライザに悪影響が生じたり又は特に2ジェット型ノズルが用いられている場合、それが原因となって流体のジェットの方向の反れが生じることを阻止する。好ましくは、とりわけ高い貫流量を保証する吸着フィルタが用いられる。特に好ましくは、特に内側の表面が広い吸着フィルタが用いられ、従って、可能な限り多くのナノ粒子がこの内面上に堆積することができるようになる。全体として、吸着フィルタを流路中に配置することにより、液体調合薬の噴霧化の面でネブライザの信頼性が高くなり、液体調合薬の効果的な濾過が行われて放出ノズルに対する悪影響が阻止される。本発明の別の特徴は、少なくとも1つのフィルタが好ましくは不活性金属、例えば特にチタンから成るということにある。その結果、フィルタ材料は、特に有機溶剤、例えばエタノールを主成分とすると共に/或いは特に酸性のpH範囲を有する調合薬との良好な化学的適合性を備えた状態で得られる。好ましくは、フィルタは、焼結金属から成る。といのは、焼結構造を断面が小さな構造体中に満足の行くほど押し込むことができるからである。焼結金属で作られたフィルタコンポーネントは、機械的に安定しており、良好な取り付け特性を示し、その結果、特にこのフィルタコンポーネントが比較的軟質の材料又はプラスチックのコンポーネント内に取り付けられる場合、取り付け状態では側壁にバイパスが形成されない。飛び散り分裂された金属粉末で作られた焼結金属を用いることによって、特に孔径の小さいフィルタを作ることができ、従って、先行技術のネブライザでこれまで用いられていた粒子フィルタの場合よりも小さな粒子が濾過して除去されるようになる。好ましくは、微細フィルタは、金属で作られたこの種のフィルタ又は吸着フィルタである。特に好ましくは、フィルタシステムは、吸着フィルタに加えて、サイズ排除方法によって別の粒子を噴霧化された液体調合薬から濾過して除去する複数個のフィルタを有する。特に、フィルタシステムは、粗フィルタ又は前置フィルタ、金属で作られた微細フィルタ及び吸着フィルタを含む。微細フィルタは、所望ならば前置フィルタと吸着フィルタとの間か吸着フィルタとノズル又は超微細フィルタを形成している微細構造化コンポーネントとの間かのいずれかに配置されるのが良い。本発明の別の特徴によれば、本発明で用いられる吸着フィルタは、ガラス繊維、セルロース繊維、炭素繊維又はポリマー繊維で作られ、これが用いられる前に表面の機能化を受ける。かくして、キャリヤ材料が、例えばその固有の表面特性により、それ自体吸着性繊維、例えばガラス繊維pH依存性表面電荷及び水素結合生成のための自由ヒドロキシル基OH基として用いることができない場合、キャリヤ繊維は機能化される。考えられる1つの機能化は、表面電荷の生成をもたらす第四アンモニウム基によって実施される。吸着フィルタの表面がこのように正に帯電される場合、代表的な負に帯電した粒子、好ましくはガラス状物質が堆積することができる。酸化アルミニウムを用いて吸着フィルタの表面を機能化することができるようにすることが特に好ましい。これにより、粒子を堆積させることができる2つの互いに異なる機能が表面上に生じ、即ち、表面の正の帯電と、粒子が水素結合の形成によって追加的に堆積することができる酸化アルミニウム水酸化物AlOOHのヒドロキシル基の正の帯電の両方が生じる。本発明のフィルタを用いた実験では、酸化アルミニウムを用いて機能化された表面を有する吸着フィルタは、pHの値が3.5~9の液体調合薬を用いた場合に良好な吸着特性を示した。酸性液体が用いられる場合、酸化アルミニウムを用いて機能化された表面のプロトン付加及びそれ故にその正の電荷は、強化され、塩基性液体の場合、水素結合の形成は、自由OH基の表面密度の増大によって強められる。このように、酸化アルミニウムを用いて機能化された吸着フィルタを用いた場合、特に、ネブライザの放出ノズルの出口のところでの100nmよりも極めて小さいサイズのシリカナノ粒子の凝集を阻止することが可能である。シリケートは、この種の典型的なエラストマーシールにおいてこれ又ネブライザで用いられるフィラーである。したがって、この種のシリカナノ粒子は、例えばネブライザの使用中、研磨材料として生じる場合があり、これは驚くべきことに確かめられている。吸着原理により働く公知のフィルタは、種々のブランド名で市場において入手することができ、陽電性フィルタ材料を備えたフィルタとして米国フロリダ州サンフォード所在のアルゴナイドアドバンスフィルトレーションテクノロジーズArgonideAdvanceFiltrationTechnologies社から入手できるNanoCeram登録商標及び代替例として米国ミネソタ州セントポール所在のスリーエムピュリフィケーションインコーポレイテッド3MPurificationIncから入手できるZetaPlus登録商標又はフィンランド国ヘルシンキ所在のアールストロムコーポレイションAhlstromCorporationから入手できるDisruptor商標を挙げることができる。加うるに、対応して自由表面積の広い標準型の市販のガラス繊維フィルタは、希釈分散液のための吸着を利用したフィルタとして有用である例えば、ジーイーワットマンジーエフシリーズGEWhatmanGFSeries社から入手できるガラス繊維フィルタ。上述のフィルタ材料は、単に例示であり、吸着に基づく他のフィルタ材料は、使用から排除されない。フィルタ容量という用語は、サイズ排除原理を用いた濾過において、液体が同時に通過しているときにフィルタにより捕捉できる粒子の量の尺度であることを意味している。この関係でフィルタしきい値は、フィルタにより保持される粒子のサイズの尺度である。このフィルタしきい値は、濾過の分離度となっており、即ち、フィルタしきい値に関して指定された孔径の場合、用いられる規格によると、少なくともこのサイズの粒子が、フィルタに付着する例えば90という規定された高い確率が得られる。フィルタのフィルタしきい値は、その孔径によって定められる。フィルタの孔径は、孔直径のコンピュータ計算されたサイズによって説明でき、その分布状態を例えば独国規格DIN66133に記載されているように、確立された毛管圧力測定法、例えば特に水銀圧入測孔法によって得られた測定データからウォッシュバーン方程式イーダブリューウォッシュバーンEWWashburn,プロシーディングスオブザナショナルアカデミーオブサイエンスユーエスエーProcNatiAcadSciUSA,7,115,1921年を用いて求めることができる。液体調合薬を投与する本明細書において開示される器具は、好ましくは、手持ち型器具、例えば規定された量の液体を送り出し、即ち噴霧化し又は注入する手段としてのネブライザ又は注入器である。純粋な液体及び溶液は別にして、液体という用語は、更に、分散液、懸濁液、サスリューション溶液と懸濁液の混合液等を含む。本発明と関連した調合薬又は製剤は、薬剤及び有効物質を含む調合薬を意味する他に、治療用物質等、特に他の手段による吸入又は投与のためのあらゆる種類の作動薬も又意味している。本発明の個々の特徴は、互いに別個独立に又は互いに組み合わせて使用できる。本発明の別の利点、特徴、特性及び観点は、特許請求の範囲の記載及び図面を参照して行われる好ましい実施形態に以下の説明から明らかになろう。図中、同一又は類似のコンポーネントには同一の参照符号が用いられており、対応の又は同等な特性及び利点は、関連の説明が省かれていたとしても得られる。図1及び図2は、提案対象のフィルタを納めることができる手動操作式の医療用器具を略図で示している。図1及び図2に示されている器具は、推進剤なしのネブライザ1であり、このネブライザは、各作動サイクルにおいて所定量の液体2又は液体調合薬を好ましくは肺行きの又は吸入可能なエーロゾル14として送り出す。空力学的直径が好ましくは0.5~10ミクロン、特に0.5~5ミクロンの液体粒子を含むこのエーロゾル14は、ユーザ図示せずによって吸息可能である。適当なノズルが噴霧化のために用いられ、このノズルは、図示の実施形態では微細構造化コンポーネント12に組み込まれている。噴霧化のために用いられるこの器具のノズルを液体ディスペンサのヘッド、注入ノズル、カニューレ又は他の注入器具と交換した場合でも、ノズルとは独立した動作原理は全て、不変のままであり、その結果、以下に説明する相関関係は、説明を簡単にするためにネブライザだけに言及している場合であっても、注入器又は他の液体送り出しシステムに類似的に当てはまる。ネブライザの作動において、圧力チャンバ11内の計量容積が満たされていない非引張り操作状態図1と圧力容器11が満たされている引張り操作状態図2とは区別される。ネブライザ1の引張り操作中、その上側ハウジング部品16を内側ハウジング部品17及び下側ハウジング部品18に対して一定の回転角度、例えば180°だけ回す。内部に取り付けられた螺旋スラスト歯車が相対回転によりピストンポンプを駆動し、その結果、所定の、オプションとして調節可能な量の液体2が容器3から圧力チャンバ内に送り込まれ、それと同時に、圧力発生器5の駆動ばね7が引っ張られる引張りプロセスの最終の状態が図2に示されている。ネブライザ1を具体的にはボタン40を用いてロックリング8を操作することにより作動させると、駆動ばね7に蓄えられた圧力発生器5のエネルギーが放出される。先に液体を送り出すために用いられた中空ピストン9は、今や、逆止弁10が閉じられた状態の圧力チャンバ11内に入り込み、その結果、中空ピストン9のストローク作用によりあらかじめ定められた量の液体がここからノズルを通って放出される。この器具は、今や、再び解除状態図1にある。図示の実施形態では、中空ピストン9は、圧力発生器5の一部をなす容器3のホルダ6に例えば射出成形により、接着により又はスナップ嵌めにより固定的に連結されている。容器3は、ホルダ6によって、具体的に言えば、クランプ又はラッチ留め作用によってネブライザ1内に固定されており、中空ピストン9は、容器3の流体チャンバ内に突き出ると共に/或いは容器3内の液体2に流体結合されており、液体を中空ピストンを介して吸い込むことができる。容器は、必要に応じて交換可能であるのが良い。この目的のため、器具ハウジングは、これを開くことができるよう又は部分的に取り外すことができるよう構成されているのが良い例えば、国際公開第07/128381A1号パンフレットに開示されているようにキャップ状下側ハウジング部品の形態をしている。投与量インジケータ又はカウンタ41を備えたネブライザ1中に挿入される容器3は、複数の投与ユニットの取り出し向きに設計されている。この理由で、容器は、内圧が液体を引き出したときでも実質的に不変のままであるよう設計されなければならず、従って、同一量の液体2が吸込み時に常に引き出されるようになる。これは、基本的には、例えば国際公開第06/136426A1号パンフレットに記載されているようにベントによって内圧が一定に保たれる剛性容器壁を備えた容器3と容器が取り出されているときに少なくとも部分的に容器の内部へと動き、かくして内容積を減少させることによって内圧を一定に保つ可撓性壁を備えた容器3の両方を用いることによって達成できる。可撓性壁が実質的に変形可能であり、圧縮可能であり且つ/或いは押し潰し可能な袋によって形成されている容器3が好ましい。この種の容器は、国際公開第00/49988A2号パンフレット、同第01/076849A1号パンフレット、同第99/43571A1号パンフレット、同第09/115200A1号パンフレット及び同第09/103510A1号パンフレットに種々の実施形態として記載されている。特に好ましくは、この容器は、底部が閉鎖されると共にグリップを形成する好ましくはプラスチック製のフランジに頂部が直接連結された柔軟性のある多層箔袋と、ネブライザ1のホルダ6に取り付け可能にこの袋に溶接された容器キャップと、外側保護スリーブと、頂部シールとから成る詳細については、国際公開第99/43571A1号パンフレット及び同第09/115200A1号パンフレットを参照されたい。図3は、ネブライザ1の圧力チャンバ11を概略的に示しており、この圧力チャンバは、図示の実施形態では、水性液体調合薬を噴霧化すると共に特にアルコール液体調合薬を噴霧化するのに適している。ピストンポンプシステムの一部をなす中空ピストン9は、容器側で圧力チャンバ11内に容器側のところで突き出ている。中空ピストン9は、圧力チャンバ11と容器3の内部との間の連結要素でもある。中空ピストン9が引張り操作プロセス中、圧力チャンバ11から部分的に引き出された場合、減圧状態が生じ、かかる減圧状態により、液体2は、容器3から吸い出され、中空ピストン9内の逆止弁10を経て圧力チャンバ11内に吸い込まれ、この状況では、逆止弁10は開いている。中空ピストン9がネブライザ1を作動させているときに圧力チャンバ11内に入り込むと、逆止弁11は、中空ピストン内の受座へのその密封面の当接によって閉じられ、圧力チャンバ11内の液体は、フィルタシステム及びノズルを通って圧力下で放出される。中空ピストン9及び圧力チャンバ11は、エラストマーシール24によって封止されており、エラストマーシール24は、特に、Oリングの形態をしていて、圧力チャンバ11内へのその入口の近くでピストンの案内管内に配置され、好ましくは支持リング25によって圧縮されるこのシール24の幾何学的取り付け位置は、例えば、国際公開第07/051536A1号パンフレットに記載されている位置に一致している。圧力チャンバ11の液体出口領域にはフィルタシステムが設けられており、このフィルタシステムは、ノズルが組み込まれた好ましくは微細構造化されたコンポーネント12の前に配置されている。図示の新規なフィルタシステムは、前後に配置された複数個のフィルタコンポーネントから成り、これらフィルタコンポーネントは、特に、用いられるフィルタ技術が異なっている。好ましくは、個々のフィルタコンポーネントのフィルタしきい値は、各フィルタがサイズ排除の原理に従ってこの前に位置するフィルタの場合よりも小さい粒子を通すようなサイズのものである。互いに異なるフィルタ技術と分離レベルが連続して増大し又は孔径が連続して小さくなるフィルタの配列の組み合わせによって、全体として高いフィルタ容量、即ち、フィルタを完全に詰まらせることなく多量の粒子の付着が生じること及び濾過がより徹底するということが達成される。孔直径が最も大きな流路中に配置されている第1のフィルタは、大きな粒子だけを捕捉し、孔直径がこれよりも小さい次のフィルタは、小さい粒子を捕捉し、その他同様である。このように、孔径の微細なフィルタは、これが液体を完全に通過させることができない時点までは大きな粒子によっては直接的に詰まらされることはない。特定サイズの固体粒子の捕捉に加えて、フィルタは、オプションとして、吸着によって追加の物質を捕捉することができる。互いに異なるタイプ及び互いに異なる材料のフィルタが用いられる場合、この追加の吸着は、フィルタによって様々であろう。互いに異なるフィルタ技術の組み合わせによって、より多くの粒子、特に圧力下で変形可能な粒子も又、互いに異なる吸着効果によりそれに応じて捕捉できる。粒子濾過の必要性は、特にその作動性能を保証するためにネブライザのノズルが閉塞しない状態に保たれなければならないということに鑑みてネブライザ技術において生じる。吸入可能なエーロゾルを生じさせるため、大抵のネブライザの設計では、極めて小さいノズル構造が必要であり、かかるノズル構造は、半導体製造からのリソグラフィー製造法や、スパークエロージョンsparkerosion又はレーザ穴あけ技術のような、いわゆるマイクロシステム技術によって作られる場合が多い。図示の実施形態では、望ましいマイクロ構造化コンポーネント12のノズルチャネル12dの寸法は、ほんの数ミクロンである。好ましくは、ノズルチャネル12dは、2~10ミクロンのエッジ長さを備えた長方形の輪郭形状のものである。特定の実施形態において挿入のために使用できる微細構造化コンポーネント12が図4に示されている。この実施形態では、ネブライザによる液体の噴霧化は、好ましくは、液体の2つのミクロ的ジェットの高速衝突を利用しており、液体ジェットは、規定された角度で交わるよう差し向けられた好ましくは2つのノズルチャネル12d又は関連のノズル開口部12eから出て、そして、衝突の際に作用する力によって噴霧化される。粒子が器具の作動中、これらノズルチャネル12d内に堆積した場合、液体ジェットは、方向が反らされ、場合によっては、衝突及びそれにより噴霧化がもはや完全ではなく又は極端な場合には全く起こらない場合がある。この理由で、粒子は、液体がノズルチャネル12d内に流れる前であっても可能な限り完全に液体2から濾過して除去されなければならない。液体調合薬内での凝集又はフロキュレーションや、ネブライザの組み立て中におけるプロセスステップ、そしてコンポーネントが器具内で、例えば動的シールの付近で互いに対して当たるように動くことで生じる研磨、のようにネブライザ内での粒子の発生要因は様々である。中央部品23は、圧力チャンバ11の側方境界部、液体を運搬する中空ピストン9の案内通路の形態をした液体入口及びフィルタがノズルの前で収容されている液体出口を形成する。図示の実施形態では、圧力チャンバは、実質的に円筒形である。好ましい実施形態におけるノズル及びポンプチャンバシステムの構成は、ポンプチャンバを構成する中央部品23が中空ピストン9側の端部のところに、好ましくは下流側の方向に僅かに円錐形に、即ち貫流方向に次第にテーパした中央ボアを有し、この中央ボアは、フィルタコンポーネントを受け入れると共に圧力チャンバ11を形成し、しかも中空ピストン9及び対応して広い箇所のところに関連シール24を受け入れる。下流側では、ノズルを形成する微細構造化コンポーネント12及び種々の関連保持又は密封コンポーネントを収容したノズル組立体29が中央部品23に取り付けられている。好ましくは、流れ方向において圧力チャンバ11の後に最初に位置するフィルタコンポーネントは、粗フィルタ又は前置フィルタ27であり、このフィルタのすぐ次に微細フィルタ28が配置されている。さらに下流側には、ノズルを形成すると共に実際のノズルチャネル12dだけでなく一体形超微細フィルタ12fを収容した微細構造化コンポーネント12が設けられている。このように、液体は、3つの濾過コンポーネント、即ち、粗フィルタ又は前置フィルタ27、微細フィルタ28及び最後に超微細フィルタ12fを通って器具内を流れる。送り出された液体の粒子負荷又は必要な粒子からの自由度に基づいて、追加のフィルタ要素又は濾過材を組み込むことも又可能である。望ましい実施形態では、ノズル開口部12eと超微細フィルタ12fの両方を有するノズル又は微細構造化コンポーネント12は、好ましくはシリコンの微細構造化プレート12a及び構造体を覆う好ましくはガラスで作られたプレート12bで構成されている。このようにして組み込まれると共に微細構造化技術によって作られた構造体は、まず最初に、流入領域12cの後に流れ方向に沿って位置する流れフィルタとして設計された超微細フィルタ12fを形成し、次にノズルチャネル12dを形成する。フィルタ作用は、中実ストラット及び通路の特別な配置によって達成される。超微細通路が製造された長方形の輪郭形状を有する状態でストラットの列のジグザグ配置が特に好ましい。通路の幅は、数ミクロンに過ぎず、好ましくはサイズが最高約2ミクロンまでの粒子が液体から除去され、その後、液体は、ノズルチャネルに入り、後で、噴霧化後に吸入器のユーザによって吸息される。ノズル組立体29内に納められる微細構造化コンポーネント12又は超微細フィルタ12fの考えられる構造の更なる詳細は、国際公開第94/07607A1号パンフレット、同第99/16530A1号パンフレット、同第05/000476A1号パンフレット、同第07/101557A2号パンフレット及び同第08/138936A2号パンフレットに開示されている。駆動ばね7を備えた圧力発生器5、前置フィルタ27、微細フィルタ28及び微細構造化コンポーネント12を有するシステム全体は、好ましくは、スプレーミストの生成中、肺に入るようになった液体粒子サイズが生成されるだけでなく、スプレーミストの雲それ自体が十分長く続き、その結果、患者が呼吸をこれに容易に合わせることができるよう構成されている。0.5~2秒、特に1~2秒のスプレー時間が好ましい。ネブライザ内におけるフィルタシステムの選択及びフィルタしきい値は、スプレー時間の長さに影響を与える。特に、前置フィルタ27、微細フィルタ28及び超微細フィルタ12fの本発明のフィルタシステムでは、結果として生じる全スプレー時間の面で、本発明の高圧システムでは30~70barの圧力降下を生じさせ、かくしてスプレー時間の延長に寄与する微細フィルタ28を用いることが有利であることが判明した。圧力降下は、フィルタの孔径と関連している。幾何学的形状が同一の場合、フィルタしきい値が小さければ小さいほど、即ち、孔径が小さければ小さいほど、フィルタでの圧力降下がそれだけ一層大きくなる。図示の実施形態のフィルタコンポーネントは、これらのフィルタしきい値の面で異なっているだけでなく性状、構造及び材料の面でも異なっている。器具の3つの濾過コンポーネントは、プラスチック製のフィルタ、金属製のフィルタ及び好ましくは上述したようにガラス/シリコン複合材で作られた微細構造化コンポーネントである。かくして、前置フィルタ27及び微細フィルタ28について超微細フィルタ12fとは異なる材料を用いることが好ましい。調合薬の大部分と化学的適合性のある、例えばポリオレフィン材料、例えばポリエチレンPE、ポリプロピレンPP又はポリテトラフルオロエチレンPTFEのようなプラスチックで作られた前置フィルタ27が特に好ましい。また、改質ポリオレフィン、例えばメタロセン‐PPで作られた前置フィルタ27を用いることも又可能であり、他方、この材料の特定の吸着特性を利用することができる。好ましくは、前置フィルタ27は、圧縮プラスチック細粒又は焼結材料、この場合、最も好ましくは焼結ポリエチレン材料から成る。微細フィルタ28に関し、金属製のフィルタを用いることが好ましい。図示の実施形態では、微細フィルタ28は、好ましくは、特にステンレス鋼の金属粒子、最も好ましくは微小有孔構造の状態に圧縮されたチタンの形態をした焼結金属から成る。例えば孔径としての直径が9~15ミクロンのプラスチック製フィルタと開口が2ミクロンの超微細フィルタ12fとの間の流路中では、5~3ミクロンの比較平均した孔径を有する微細フィルタが好ましい。したがって、金属製フィルタの孔径は、孔直径が5ミクロン未満であるほど十分小さく選択される。超微細フィルタ12fに関し2ミクロン開口幅を有する図示の多段フィルタシステムは、極めて大きな有効物質分子又は懸濁液成分であってもこれらが流路を辿り、そして噴霧化によりユーザによって吸入されることが可能であるように構成されている。変形例では、国際公開第08/138936A2号パンフレットの滅菌用途について好ましい0.05ミクロンという小さい孔径又は0.2~0.3ミクロンの孔径のいわゆる滅菌フィルタとして微細フィルタ28又は超微細フィルタ12fを用いることも可能である。この場合、流路及び圧力発生器は各々、滅菌フィルタで生じる高い圧力損失に適合するよう構成されなければならない。5ミクロン未満の適当な孔径のフィルタを表面のところで集塊するいわゆる飛び散り粒子から成る種類の金属粉末から焼結プロセスによって製作するのが良いことが判明した。この種の飛び散って分別された状態の金属粉末を用いることによって、特に小さい孔径を作ることができ、従って、特に好ましい孔直径が4ミクロンの金属製フィルタを製作することが可能である。飛び散り分別金属粉末としてチタンを用いること、即ち、フィルタ材料として焼結チタン金属を用いることが特に好ましい。卑金属の使用により、特に同一流体系中に存在する高級貴金属で作られたコンポーネント、例えば、一例として示されている実施形態ではネブライザ内の好ましい中空ピストン9が存在している場合、特にフィルタの広い表面積により腐食が迅速に生じる場合がある。液体で作動される医療システムにおいて微細フィルタ28としての例えばチタン、金又は白金のような貴金属の使用チタンの使用が最も費用効果の良いオプションであるは又、これが不活性であり、かくして、大抵の医療用有効物質及び調合薬物質と化学的に適合性があるという利点を有する。このように、フィルタは、調合薬を変化させず、しかも、フィルタを調合薬によって変化させず、特に腐食させない。好ましくは、pHの範囲が3.5~9であり、特に3.5~6である酸性調合薬を用いる場合に特に重要であり、かかるpHの範囲は、フィルタの卑金属の腐食をもたらす場合がある。本発明において想定されるフィルタシステムは、この種の酸性調合薬の濾過に適合している。フィルタ材料及びフィルタ特性の特定の選択は、最後の分析において、用いられるべき液体2又は調合薬の特定の意図した用途又は選択及び他の物質とのその適合性で決まる。本明細書において上述した材料及び取り付けに関する概念は、既に広範な要件を含んでいる。特に、この種のフィルタシステムを備えた器具は、蒸気圧が低い物質又は例えば溶剤としてアルコール化合物を含む液体調合薬を投与するのに適している。図示の実施形態では、器具は、中央部品23を有し、2つのフィルタ、又は前置フィルタ27及び微細フィルタ28が同一の中央部品23により形成されている圧力チャンバ11又は計量チャンバの下流側に位置した状態でこの中央部品内に配置されている。かくして、フィルタは、圧力チャンバ11とノズルチャネル12dとの間に配置されている。微細フィルタ28と前置フィルタ27又は粗フィルタの両方は、円筒形の形をしており又は少なくとも部分的に円錐形の形をしている。特に好ましくは、少なくとも一方のフィルタは、円筒形の形とは僅かに異なる円錐形の状態に先細になっている側壁を備えた形状を有する。図5は、微細フィルタ28の特に好ましい幾何学的形状を示している。これによれば、微細フィルタ28は、液体入口側に、一定の円直径の形態の微細フィルタ28の全長の1/3~1/2にわたって延びる円筒形の構造を有している。微細フィルタ28のこの円筒形領域に隣接して、円錐形領域が設けられ、従って、微細フィルタ28の円直径は、流路に沿って小さくなっている。微細フィルタ28の流れ出口のところに、微細フィルタは、この場合も又、幅の狭い又は細い円筒形の領域を有している。側壁の円筒形領域と円錐形に先細になっている領域のこの組み合わせにより、組み立てが容易になると同時に金属材料を用いた場合であっても中央部品23の内壁との微細フィルタの良好な密封が得られる。この場合、図示していない別の実施形態によれば、前置フィルタ27及び/又は微細フィルタ28は、カップの形状をしていても良い。この種のカップ状フィルタは、カップ状構造体の開口側が圧力チャンバの方へ向くよう器具内に収納されている。前置フィルタ27及び/又は微細フィルタ28の上流側に向いたカップ構造体は、円筒形のフィルタ型と比較して著しく拡大された入口面を有し、粒子がフィルタに達したときにより多くの粒子がこの入口面に付着することができる。これは、特に多くの大きな粒子の形成が重要であるシステムにとって特に重要である。というのは、これらに関するフィルタ容量をこのように増大させることができるからである。図示していない更に別の実施形態によれば、前置フィルタ27は、フィルタ効果が段階的であるコンポーネントの形態で微細フィルタ28と組み合わされるのが良い。好ましい材料の場合、フィルタセグメントは、一緒に焼結される。図示の実施形態では、2つのフィルタは、5ミリメートル未満、特に1~2ミリメートルの寸法を有し、従って、これらフィルタを小型流体システム、例えば小型高圧ネブライザ内に容易に収納することができる。ネブライザ1の組み立ての際、フィルタを中央部品23に設けられた適当な中央ボア中に次々に挿入し、これらフィルタは、圧力チャンバ11の端部のところで、中央部品23の内壁と圧力嵌め関係をなす。かくして、前置フィルタ27及び微細フィルタ28は、これらを固定する別のコンポーネントを何ら必要としないで中央部品23内に保持される。圧力嵌め及び/又は摩擦ロック連結に加えて又はこれに代えて、中央部品23は、その内側断面の減少によってフィルタを保持することができ、従って、流れ方向におけるフィルタは、特に流れ方向に固定される。フィルタの構成材料の選択も又、フィルタが収納される状況にとっては重要であり、特に好ましくは、微細フィルタ28の場合、金属で作られたフィルタは、流路中において、比較的軟質のプラスチックで作られたフィルタ、この場合前置フィルタ27に続く。特に高圧システムに用いられる場合、これは、金属製フィルタがプラスチック製フィルタの保持機能を果たすことができるという利点を有する。中央部品に設けられた案内通路の幾何学的設計に応じて、軟質プラスチック製フィルタは、高い流体圧力下において変形し、場合によっては損傷し或いはそのぴったりと嵌合した位置から押し出される場合がある。これは、このフィルタが比較的寸法安定性のある金属製フィルタにより定位置に保持されることによって阻止される。プラスチックで作られた中央部品23内に収納される場合に微細フィルタ28の構成材料として硬質金属、例えばチタンを選択した場合、円錐形圧縮の際、中実金属製微細フィルタ28は、中央部品23の見かけ上軟質のプラスチック材料中に押し入り、その側部のところにバイパスを作ることができないようになるという利点がある。微細フィルタ28が前置フィルタ27の前で中央部品23の同一の案内通路中に挿入される好ましい組み立てプロセスでは、中央部品23は、微細フィルタ28よりも見かけ上軟質であるが、前置フィルタ27よりも見かけ上硬質であることが有利である。前置フィルタ27が特に見かけ上軟質の材料、例えばPE又はPPから成る場合、側壁が硬質の中央部品内に押し込められると、側壁に対して特に締り嵌めが達成され、従って、この場合も又、バイパスの形成が阻止される。特に好ましくは、中央部品23は、中実の耐圧性プラスチック、例えばPEEKから成る。器具の組み立てプロセスを全体として見ると、フィルタを圧力チャンバ11である構成要素を通って中央部品23中に挿入し、挿入開口部を次に圧力発生器5又は特に中空ピストン9として構成された連結要素によって閉鎖し、その後液体2を容器3から取り出す。別の実施形態図面には示されていないでは、微細フィルタ28は、金属メッシュフィルタであるのが良く、その微細有孔構造は、いくつかのファインメッシュ目の細かいネットを重ね合わせることによって作られる。これらネットは、例えば、射出成形プロセス中、中央部品23内に直接成形されるのが良い。変形例として、メッシュは、別個の自蔵式フィルタ要素としてプラスチック、例えばTPE、最も好ましくはエラストマー内に埋め込まれ、従って、単一のコンポーネントがフィルタだけでなく、その関連保持要素又は好ましくは密封要素を収容する。図6~図8は、種々の実施形態におけるノズル組立体群29を拡大図で示しており、フィルタシステムはノズル組立体群の前に位置している。これら実施形態は、図3に示されている実施形態と比較して、全て、前置フィルタ27、微細フィルタ28及び超微細フィルタ12fの追加のフィルタとして別個の吸着フィルタ32を有している。吸着フィルタ32に起因して得られる新たな観点は別にして、図3を参照して説明した観点は、これら実施形態にも当てはまる。吸着フィルタ32は、所望通りに前置フィルタ27と微細フィルタ28との間図6、又は微細フィルタ28と、超微細フィルタ12fおよびノズルを備えた微細構造化コンポーネント12との間図7及び図8に配置されている。図6の実施形態では、吸着フィルタ32は、流れ方向で見て前置フィルタ27に隣接して位置している。吸着フィルタ32は、微細構造化コンポーネント12のノズルの出口のところに堆積している場合のあるサイズ範囲が100ナノメートルよりもかなり小さいナノ粒子を分離除去するのに役立つ。吸着フィルタ32は、酸化アルミニウムを用いてキャリヤ繊維として機能化されたガラス繊維から作られ、この吸着フィルタは、前置フィルタ27とサイズが最高約3~5μmの粒子を濾過する好ましくはチタンで作られた微細フィルタ28との間に摩擦的に固定されている。ノズルを形成する微細構造化コンポーネント12は、図示の実施形態ではガラス/シリコン複合材である。微細構造化コンポーネント12は、関連のシール31を備えたホルダ30によってネブライザに固定されている。この微細構造化コンポーネント12は、ミクロ的な液体ジェットを生じさせるノズル開口部12eを備えたノズルだけでなく、図4に示されたジグザグ型の流れフィルタとして具体化された超微細フィルタ12fを有し、この微細構造化コンポーネントは、ノズルチャネル12d及び/又はノズル開口部12eの前で流路中の液体調合薬から最高約2μmのサイズまでの粒子を除去するのに役立つ。微細構造化コンポーネント12中のノズル及び超微細フィルタ12fの微細構造の連結の結果として、超微細フィルタ12fは、流れ方向において微細フィルタ28の下流側に配置されている。図6に示されているように、吸着フィルタ32は、インターロック且つ/或いは摩擦連結状態で2つのフィルタシステム相互間に収納されるのが良い。図示の実施形態では、吸着フィルタは、中央部品23内の前置フィルタ27と微細フィルタ28との間に押し込まれている。図7及び図8の変形実施形態では、微細フィルタ28は、前置フィルタ27の下流側に配置され、吸着フィルタ32は、微細フィルタ28と超微細フィルタ12fとの間に直接配置されている。図7及び図8に示されている好ましい実施形態では、吸着フィルタ32は、縁部のところが摩擦の作用で固定されたフィルタディスクとして具体化されている。好都合には、フィルタディスクの縁部は、超微細フィルタ12f及びノズルを有する微細構造化コンポーネント12のシール31によるかノズル組立体29のホルダ30図8によるか微細構造化コンポーネント12それ自体図7によるかのいずれかによって保持される。フィルタディスクの直径が微細フィルタ28の直径よりも大きいこと及び微細フィルタ28及びフィルタディスクが直接前後に配置されていることに鑑みて、吸着フィルタ32の縁部は、流路の外側に位置する。吸着フィルタ32の縁部が流路内に位置しないため、吸着フィルタ32のコンポーネントが使用中、バイパスを通って放出される恐れがなく、かかる放出は、リムの周りの切断縁部のところで起こる場合が多い。図7及び図8に示されている2つの取り付け状況相互間の本質的な差は、吸着フィルタ32の直径が、吸着フィルタが微細構造化コンポーネント12を構成するコンポーネント、例えばホルダ30及びシール31によって保持される場合よりも、吸着フィルタが微細構造化コンポーネント12によって固定される場合の方が小さいということにある。この種の微細構造化コンポーネント12の通常の寸法では、2通りの場合に関し、吸着フィルタが微細構造化コンポーネント12によって固定された場合には吸着フィルタについて約2~5mm、好ましくは約3mmの直径が得られ、吸着フィルタがホルダ30及び/又はシール31によって固定された場合、約3~10mm、好ましくは約6mmの直径が得られる。図8に示されている実施形態では、微細フィルタ28と超微細フィルタ12fとの間に設けられた吸着フィルタ32は、この吸着フィルタがその縁部のところで微細構造化コンポーネント12のホルダ30によってクランプされるような直径を有する。形式が互いに異なり且つ作用が互いに異なるフィルタ要素を前後に配置するという技術的思想を液体が運搬され又は輸送される多くの器具に利用できる。提案対象のネブライザ1が特に純粋に機械的に動作する場合がそれである。しかしながら、本明細書において提案するフィルタシステムは、液体を小出しする純粋に機械的な装置への使用には限定されない。フィルタシステムは、例えば、液体の運搬が推進ガス又は電気ポンプ、油圧ポンプ若しくは他のポンプによって作動されるシステムにも使用できる。したがって、例えば圧力発生器という用語は、広く解釈されなければならない。この意味において、本発明は又、種々の分野にわたって使用でき、医療分野を超えた用途であっても可能である。図示のネブライザは、確かに、特に吸入可能なエーロゾルとして液体調合薬を小出しするために用いられ、かかるネブライザは、水性調合薬と好ましくはアルコールの、特にエタノールの調合薬の両方を送り出すのに適している。好ましくは液体調合薬の好ましい成分は、特に国際公開第09/047173A2号パンフレット及び同第09/115200A1号パンフレットに記載されており、これら国際公開を参照により引用し、これらの記載内容を本明細書の一部とする。特に、これら国際公開パンフレットに記載された流体は、溶剤、例えばエタノール等を含むかどうかを問わず水性又は非水性溶液、混合物、調合物であって良い。"