"配線を支持する配線支持ボードと、プローブを装着したピンボードと、を備えた検査ユニットにおいて、前記プローブは、前記ピンボードを貫通して該ピンボードに軸方向に所定量移動自在に支持されるプランジャと、該プランジャを被測定物方向に付勢する付勢部材と、を有し、前記配線の先端に、該配線の線本体を一体成形して線径より大きな断面積を有する膨出部を形成し、該膨出部を、前記配線支持ボードに、弾性部材に抗して所定量移動自在に収納し、前記プランジャの被測定物に接触し得る先端部と反対側の後端部に、前記配線先端の膨出部を前記弾性部材の弾力により接触してなる、ことを特徴とする検査ユニット。前記配線支持ボードと前記ピンボードとを一体に固定してなる、請求項1記載の検査ユニット。前記配線支持ボードに対して前記ピンボードの反対側にピン先ガイドボードを配置し、前記配線支持ボードと前記ピン先ガイドボードとを連結部材により一体に連結して、これら配線支持ボード及びピン先ガイドボードを、前記ピンボードに所定量移動自在にかつ前記ピン先ガイドボードが被測定物に向う方向に付勢されて支持してなる、請求項1記載の検査ユニット。前記ピン先ガイドボードの被測定物側表面に、被測定物におけるコンタクト対象部より突出した凹凸部との干渉を避ける突出部を設けてなる、請求項3記載の検査ユニット。前記配線先端の膨出部は、前記線本体をレーザ加工することにより成形されたボール形状からなる、請求項1ないし4のいずれか記載の検査ユニット。前記プランジャは、先端突尖部と、円筒部と、該円筒部の軸方向一部に形成された面取り部と、前記円筒部より大径のボス部と、を有し、前記面取り部及び前記円筒部にスリーブを嵌挿し、該スリーブを前記面取り部に係合するようにかしめて抜止めし、前記付勢部材は、コイルスプリングであり、前記プローブは、前記コイルスプリングを前記プランジャに嵌挿して、前記ボス部と前記スリーブとの間で抜止めして構成されてなる、請求項1ないし5のいずれか記載の検査ユニット。前記配線支持ボードは、弾性体からなる弾性体ブロックと蓋部材とを有し、前記配線先端の膨出部が、前記弾性体ブロックと前記蓋部材との間に収納されて、前記弾性体ブロックの弾力により前記プランジャの後端部に接触してなる、請求項1ないし6のいずれか記載の検査ユニット。前記プローブを構成する少なくとも一部の部品が、CNT複合めっきを施されてなる、請求項1ないし7のいずれか記載の検査ユニット。上記特許文献1記載の検査ユニットは、ワークに接触するプランジャがスリーブ接続部材を介して直接配線に接続するので、検査時の電気信号が安定して高周波、高電流での検査にも適用可能であり、かつ配線の相対移動が少なく、検査時の配線による負荷及び配線の傷み等を減少することが可能であるが、ピンボードの外に、一体に連結したピン先ガイドボード及び配線支持ボードが必要となり、装置が大掛りで複雑な構成となってコストアップの原因となってしまう。また、プローブの交換に際して、ピンボードを、配線支持ボード及びピン先ガイドボードから分解する必要があるが、プランジャと配線がスリーブにより一体に接続されているため、上記分解が面倒であって、プローブの交換に柔軟性を欠いている。特許文献1の図9に示す支持ボードに貫通してプランジャを支持するプローブにあっても、プランジャと配線を接続するスリーブ等を外さないと、プローブの交換を行うことができず、検査に合せてプローブを交換する柔軟性に欠ける。更に、上記配線に直接接続するプランジャは特許文献1の図1~図3,図9参照、ワークに接触する先端部から配線に接続する後端部まで延びる軸方向に長い寸法からなり、該プランジャに対して予期せぬ負荷が作用した場合、曲がりや反りが起き易く、ピンボード又は支持ボードに対して摺動不良を生じて検査不能となる場合がある。特に、プランジャの後端が配線に直接接続しているため、配線の荷重がプランジャに作用し、上記プランジャの摺動不良を生じる傾向にある。一方、スプリングにより互いに反対側に付勢されるワークコンタクト用のプランジャと信号取出し用プランジャを有する双頭タイプのプローブも存在し例えば特許文献2参照、該多数のプローブをピンボードに装着し、多数の配線が接続されている配線支持ボードに、上記ピンボードを上記信号取出し用プランジャが配線に接触するように連結した検査ユニットもある。このものは、プローブの交換は容易であるが、特許文献1の図8に示すものと同様に、電気径路に多数の部品が介在し、高周波及び高電流の検査に対応することができない。上記双頭タイプのプローブに用いられる前記配線支持ボードは、図6A,Bに示すものがある。図6Aに示すものは、配線支持ボード10に形成した孔10aに配線11の先端を挿入して接着剤で埋込んだ後、該配線支持ボード10のピンボード側の表面10bをフライス加工等により均平な平面に仕上げて形成される。図6Bに示すものは、配線支持ボード10に大き目の孔10a’をあけ、該孔10a’に配線11の先端部を挿通して、該配線先端に膨出円筒状のコンタクト部品12を圧着又は半田付けした後、該コンタクト部品12を上記孔10a’に圧入して固定して形成される。図6Aに示すものは、配線11が配線支持ボード10に埋込んで固定されるため、配線の交換が不可能であり、かつコンタクト面11aが線径からなり、上記プローブの信号取出し用プランジャとの接触面積が小さく、ピンボードに装着されたプローブが僅かにずれた場合、接触不良になることがある。図6Bに示すものは、コンタクト部品12の膨径部12aからなる比較的広いコンタクト面を有するが、配線10とコンタクト部品12との接続部で断線や接触不足を生じ易く、また上記接触のための工程が面倒でコストアップの原因になってしまう。そこで、本発明は、プランジャと配線とを直接接触して、高周波及び高電流での検査に対応可能とするものでありながら、プローブの交換等を容易にし、もって上述した課題を解決した検査ユニットを提供することを目的とするものである。本発明は、配線11を支持する配線支持ボード23と、プローブ21を装着したピンボード22と、を備えた検査ユニット20,120において、前記プローブ21は、前記ピンボード22を貫通して該ピンボードに軸方向に所定量移動自在に支持されるプランジャ25と、該プランジャを被測定物方向に付勢する付勢部材26と、を有し、前記配線11の先端に、該配線の線本体11bを一体成形して線径より大きな断面積を有する膨出部11cを形成し、該膨出部を、前記配線支持ボード22に、弾性部材41に抗して所定量移動自在に収納し、前記プランジャ25の被測定物Wに接触し得る先端部25aと反対側の後端部に、前記配線11先端の膨出部11cを前記弾性部材41の弾力により接触してなる、ことを特徴とする検査ユニットにある。例えば図1、図2を参照して、前記検査ユニット20は、前記配線支持ボード23と前記ピンボード22とを一体に固定してなる。例えば図3、図4を参照して、前記検査ユニット120は、前記配線支持ボード23に対して前記ピンボード22の反対側にピン先ガイドボード50を配置し、前記配線支持ボード23と前記ピン先ガイドボード50とを連結部材51により一体に連結して、これら配線支持ボード及びピン先ガイドボード50を、前記ピンボード22に所定量移動自在にかつ前記ピン先ガイドボード50が被測定物Wに向う方向に付勢53されて支持してなる。前記検査ユニット120において、前記ピン先ガイドボード50の被測定物側表面50aに、被測定物Wにおけるコンタクト対象部Waより突出した凹凸部Wcとの干渉を避ける突出部56を設けてなる。前記配線11先端の膨出部11cは、前記線本体11bをレーザ加工することにより成形されたボール形状からなる。例えば図2を参照して、前記プランジャ25は、先端突尖部25aと、円筒部25d,25d’と、該円筒部の軸方向一部に形成された面取り部25eと、前記円筒部25d,25d’より大径のボス部25cと、を有し、前記面取り部25e及び前記円筒部25d,25d’にスリーブ27を嵌挿し、該スリーブ27を前記面取り部25eに係合するようにかしめて抜止めし、前記付勢部材は、コイルスプリング26であり、前記プローブ21は、前記コイルスプリングを前記プランジャ25に嵌挿して、前記ボス部25cと前記スリーブ27との間で抜止めして構成されてなる。例えば図5を参照して、前記配線支持ボード123は、弾性体からなる弾性体ブロック135と蓋部材136とを有し、前記配線先端の膨出部11cが、前記弾性体ブロック135と前記蓋部材136との間に収納されて、前記弾性体ブロック135の弾力により前記プランジャ25の後端部に接触してなる。前記プローブ21を構成する少なくとも一部の部品25,26,27が、CNT複合めっきを施されてなる。なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照するためのものであるが、これにより特許請求の範囲の記載に何等影響を及ぼすものではない。請求項1に係る本発明によると、プローブのプランジャが配線先端に一体成形された膨出部に接触するので、被測定物のコンタクト対象部に接触したプランジャを介して直接配線に導通するので、検査に際して電気抵抗の変動が少なく、高い精度で半導体ウエハや素子、電気回路の部品の電気検査を行うことができ、高周波や高電流での検査にも対応可能となるものでありながら、配線支持ボードとピンボードとを容易に分離することができ、プローブの交換、配線の交換、修理、メンテナンス等を容易に行うことができる。プランジャと接触する配線の先端が、線径より大きな膨出部からなるので、コンタクト面を大きくとれ、プローブの位置が僅かにずれても上記配線との接触を確保して安定した接続を行うことができるものでありながら、上記膨出部は、配線の線本体を熱加工等により一体成形されるので、中継コンタクト部品の接続が不用であり、半田付け不良や圧着不良、劣化がなく、信頼性を向上することができる。請求項2に係る本発明によると、配線支持ボードとピンボードとを一体に固定したので、検査ユニットが簡単でコンパクトな構成からなり、コストダウンを図ることができる。該検査ユニットによる検査に際して、被測定物に対してプランジャの先端が、ピンボードの付勢部材と配線支持ボードの弾性部材の両方の付勢力が作用するので、コンタクト対象部に汚れや酸化被膜があっても、該被膜等を破ってプランジャ先端をコンタクト対象部に導通することができ、かつ配線先端の膨出部とプランジャ後端との接触部は、良好に保持されているので、該接触部には配線支持ボードの弾性部材による比較的弱い付勢力が作用して、無駄な押圧力を作用することがない。請求項3に係る本発明によると、ピン先ガイドボード及びプランジャが被測定物に接触した後、更にピンボードを被測定物に近づく方向に相対移動する際、プランジャには付勢部材からの付勢力が作用するが、プランジャと配線支持ボードとの相対移動はないか又は僅かであり、配線支持ボードに対する配線の相対移動は、あっても僅かであって、配線を傷めることが少ないと共に配線からの負荷がプランジャに作用することをなくすことができる。コンタクト対象部の厚みの違い等によるプランジャの僅かな動きによる配線支持部材に対する配線の相対移動は、弾性部材が変形することより吸収され、配線支持部材に無理な力が作用することを防止できる。請求項4に係る本発明によると、被測定物に実装部品等の凹凸部があっても、該凹凸部との干渉を避けるように、ピン先ガイドボードに設けられた突出部が被測定部に当接するので、プランジャとピン先ガイドボード及び配線支持ボードとの相対移動を少なくでき、配線の移動の少ない高い精度での測定を行うことができる。請求項5に係る本発明によると、配線先端の膨出部が、レーザ加工により成形されたボール形状からなるので、該ボール状端子を容易かつ正確に成形することができ、またボール形状からなるので、該ボール端子を配線支持ボードに移動自在に収納して、プランジャ後端部との接触を正確かつ確実にして信頼性及び耐久性を向上することができる。請求項6に係る本発明によると、プランジャに面取り部を形成し、該面取り部に係合するようにスリーブをかしめたので、ピンボードに対するプランジャの摺動支持面となるスリーブが、コイルスプリングのプランジャに対する抜止めの機能を付加されるので、抜止め専用部品であるカラー等を不要として、プローブの部品点数を少なくし、かつコンパクト、特に軸方向寸法の短縮性を図ることができ、プローブ、強いては検査ユニットのコストダウンを図ると共に、プローブを短くして検査精度を向上することが可能となる。請求項7に係る本発明によると、配線支持ボードを弾性体からなる弾性体ブロックと蓋部材で構成したので、配線先端の膨出部を上記弾性体ブロックで付勢すると共に移動を許容して、配線支持ボードを単純に構成することができ、特にプランジャと配線支持ボードの相対移動の少ない請求項3,4記載の検査ユニットに適用して、コストダウン及び信頼性の向上を図ることができる。請求項8に係る本発明によると、プローブの構成部品であるプランジャ、スリーブ及び付勢部材スプリング等の少なくとも1個にCNT複合めっきを施すことにより、表面硬度を高くして、摺動時の部品同士の摩擦を減少して、プランジャ等の摺動を滑らかにして検査精度及び安定性を向上すると共に、耐摩耗性を向上し、更にCNTの特性を利用して電気特性や放熱性、バネ荷重を向上し、高周波特性の改良、かつ接触抵抗の低減により高電流への対応限界を高めることができる。以下、図面に沿って、本発明の実施の形態を説明する。第1の実施の形態による検査ユニット20は、図1に示すように、多数のプローブ21を装着されたピンボードプローブ支持部材22と、配線11が支持された配線支持ボード23と、を備える。プローブ21は、図2に詳示するように、比較的長尺なプランジャ25とコイルスプリング付勢部材26とを有する。プランジャ25は、先端が円錐状に突出した突尖部25aとなっており、かつ該突尖部から延びる円筒柱状の大径部25bに膨径状のボス部25cが形成されている。該ボス部25cの後端側は上記大径部25bより小径からなる小径部円筒部25dが形成されており、該小径部25dの後端側の一部は、図2のC及びDに示すように、両側面が面取りされた2面取りの面取り部25eとなっており、かつ該面取り部25eの更に後端側は再び小径部25d’となっている。即ち、プランジャ25の後端側の小径部円筒部25d,25d’は、その中間の一部の両側が削られて面取り部25eとなっている。なお、該面取り部25eは、小径部円筒部25d,25d’の径より小径になる部分があればよく、2面取りに限らず、1面取り、3面取り、4面取り等でもよい。前記小径部25d,25d’に、プランジャ後端側から前記スプリング26が嵌挿され、該スプリング26を前記ボス部25cとの間に圧縮しつつスリーブ27を後端側から該小径部25d,25d’に嵌挿して、該スリーブ27を、上記面取り部25eの面取りに突出するように2箇所にてかしめる。スリーブ27は、かしめ部27aが上記面取り部25eを移動することにより、プランジャ25に摺動自在に、かつ上記かしめ部27aが上記面取り部25eと後端小径部25d’との間の段差部に当接することにより抜止めされ、プランジャ25とスプリング26とが不可分となって前記プローブ21が形成される。プランジャ25は、上記ピンボード22に装着された状態で、スプリング26に抗して図2ABとに示すストロークS分移動し得る。前記プランジャ25の材質は、電導性がよく、接触抵抗が低く、かつ半田パット等の半田面にコンタクトした際の転写による劣化が起きにくい銀又はパラジウム系の合金を用いることが好ましい。また、プランジャ25には、カーボンナノチューブCNTと金属の複合めっきを施すことが好ましい。該CNTと金属の複合めっきは、プローブ21の部品である前記スプリング26及び/又はスリーブ27に施してもよく、更に配線支持ボード37の部品であるスプリング41に施してもよい。図1に示すように、前記ピンボード22は、2個のブロック29,30からなり、これらブロックには、それぞれ対向する位置に、小径部31a,32a及び大径部31b,32bを有する貫通孔31,32が形成されている。貫通孔31の小径部31aに上記プランジャ25の大径部25bが嵌挿するように、貫通孔32の小径部32aにスリーブ27が嵌挿するようにして、かつ互いに対向する大径部31b,32b内にスプリング26が収納されるようにして、下ブロック29と上ブロック30とが一体に固定され、ピンボード22に各プローブ21が装着される。該ピンボード22にプローブ21が装着された状態にあっては、スプリング26がボス部25cとスリーブ27の膨径部27bとの間で圧縮された状態にあり、かつ上記ボス部25c及びスリーブ膨径部27bとがそれぞれ貫通孔31,32の段差部に当接して抜止めされており、かつプランジャ25の先端突尖部25aが下ブロック29の下面29bから突出すると共に、該プランジャ25の後端小径部25d’が上ブロック30の上面30aから突出するように位置決めされる。配線支持ボード23は、1個のブロック35と1個の蓋板部材36からなり、ブロック35には大径部37a及び小径部37bを有する多数の貫通孔37が形成されている。上記蓋板36には、上記貫通孔37と対向する位置に、上記孔の大径部37aより小径の貫通孔39が多数形成されている。図1に示す実施の形態では、プランジャ25にカラー40がかしめられるか又は圧入されて、スプリング26の抜止めが図られている詳しくは図4参照。図2に示す実施の形態では、前述したように、スリーブ27がプランジャ25の面取り部25e内でかしめられることによりスプリングの抜止めが図られている。これにより、図1に示すカラー40が不要となり、その分部品点数が少なくなると共に、プランジャ25をコンパクト、特に軸方向寸法の短縮化が図ることができる。従って、プローブ21、強いては検査ユニット20を短くでき、省スぺース化、電気径路が短くなることにより電気特性の向上に繋がる。前記配線11は、エナメル線からなる先端部をレーザ溶射することによりボール状の端子11cが形成される。該ボール状端子膨出部11cは、メッキ処理が施され、かつ配線11の線本体エナメル線11bより大径に形成される。各配線11は、ボール状端子11cを形成した線本体11bをブロック35の貫通孔37にその大径部37a側から挿通するか、又は線本体11bを小径部37bから貫通した後、先端をレーザ溶射して上記ボール状端子11cを形成する。そして、上記いずれかの方法で線本体11bを貫通孔小径部37aに挿通するに際し、比較的荷重の小さいコイルスプリング41を線本体11bに通して、該スプリング41を貫通孔37の段差部との間に配置した状態で、上記ボール状端子11cを貫通孔大径部37bに収納する。この状態で、蓋板36を上記ブロック35に一体に固定して、配線11を配置した状態の配線支持ボード23が形成される。ボール状端子11cの径は、貫通孔37の大径部37aの直径より僅かに小さく、かつ小径部37b及び蓋板36の貫通孔39の径より小さいので、ボール状端子11cは、大径部37a内を移動自在にかつ抜出すことなく保持され、かつスプリング41によりボール状端子11cが蓋板36の貫通孔39に接触した状態にある。該配線支持ボード23は、その蓋板36の貫通孔39を前記プランジャ後端小径部25d’に嵌挿するように位置決めして、前記ピンボード22に一体に固定されて、本検査ユニット20が組立てられる。該組立てられた状態にあって、配線11のボール状端子11cは、プランジャ後端に、配線支持ボード23のスプリング弾性部材41の付勢力により接触コンタクトする。本実施の形態は、以上のような構成からなるので、前記検査ユニット20を被測定物ワークWに相対的に近づけ、プランジャ25の先端突尖部25aをワークの端子等のコンタクト対象部Waに接触する。更に、検査ユニット20は、ワークW方向に相対移動すると、プランジャ25は、ピンボード22内のスプリング26に抗してピンボード22に対して相対的に退入し、かつ該プランジャの後端部がボール状端子11cをスプリング41に抗して押込んで、配線11を配線支持ボード23に対して相対移動して、一体のピンボード22及び配線支持ボード23のみがワークWに近づく。この状態では、プランジャ25には、スプリング26から直接付勢力が作用すると共に、ボール状端子11cを介してスプリング41からの付勢力も作用し、その先端突尖部25aが上記両スプリング26,41による大きな押圧力でワークのコンタクト対象部Waに接触する。これにより、例えワーク端子Waの表面に汚れや酸化被膜を生じていても、上記先端突尖部25aが該酸化被膜等を破って確実にワーク端子Waに接触して、安定した電気導通を図ることができる。一方、プランジャ25の後端部とボール状端子11cとの接合部には、配線支持ボード23のスプリング41の付勢力のみが作用するが、該プランジャ後端40とボール状端子11cとの接触部は、良好な状態に保持されており、大きな押圧力を必要としないので、上記スプリング41の軽い接触圧により良好な導通状態を維持することができる。また、プランジャ25、スリーブ27及び/又はスプリング26は、CNT複合めっきが施されているので、CNT複合めっきの特性による電気特性及び放熱性が向上され、かつ表面硬度を上げることにより、耐摩耗性や耐久性も向上して、プランジャ25、スリーブ27及び/又はスプリング26がピンボード22に対して滑らかに摺動して、大電流や高周波による検査であっても、安定した確実な検査を行うことができる。更に、例えプランジャ25の上記めっきが削れたとしても、該プランジャ自体の材料が電気特性の良い銀やバナジウム系の合金からなるので、検査精度が急激に劣化することなく安定した検査を持続することができる。また、スプリング26又は41にCNT複合めっきを施すことによりバネ荷重を向上することができる。次いで、図3及び図4に沿って第2の実施の形態について説明する。なお、プローブ21,ピンボード22,配線11及び配線支持ボード23は、前述した第1の実施の形態と略々同じなので、同じ部分は、同一符号を付して説明を省略する。本検査ユニット120は、先の特許文献1に示される検査ユニットに本発明を適用したものであり、ピンボードプローブ支持部材22及び配線支持ボードプローブ後端支持部材23の外に、ピン先ガイドボードプローブ先端支持部材50を有する。配線支持ボード23は、第1の実施の形態のようにピンボード22に一体に固定されておらず、ピンボード22とは分離されており、上記ピン先ガイドボード50と連結部材51を介して一体に移動自在に連結されている。配線支持ボード23がピンボード22の後端側ワークと反対側で、ピン先ガイドボード50がピンボード22の先端側ワーク側に位置するように、該ピンボードを挟むように上下に配置されており、ロッドからなる上記連結部材51が、ピンボード22に形成された孔52を貫通して配線支持ボード23及びピン先ガイドボード50を連結している。上記ピンボード23とピン先ガイドボード50との間には、上記連結部材51を囲むようにしてコイルスプリング53が縮設されており、ピン先ガイドボード50がワークWと離れた自然状態において、ストッパ55により、ピン先ガイドボード50とピンボード22とが所定間隔離れた位置になるように位置決めされている。上記ピン先ガイドボード50のワーク側面先端側面50aには、ワークWにある実装部品等の凹凸部Wcとの干渉を避けるための突出部56が一体に設けられている。なお、該突出部は、ピン先ガイドボード50に一体に形成したハンプでも、また上記ロッドからなる連結部材51を表面50aから突出した軸56’からなるものでもよい。該ピン先ガイドボード50は、プランジャ25の大径部25bより僅かに大径の貫通孔57が形成されており、該孔57にプランジャ25の先端部が貫通している。上記ピン先ガイドボード50がワークWと離れた自然状態において、プランジャ25の先端突尖部25cが上記突出部56と略々同じ高さとなるように設定されている。また、ワークの凹凸部Wcは、コンタクト対象部Waより高く突出しており、かつ前記突出部56は、上記凹凸部Wcより高く設定されて、これら凹凸部が存在しない位置に配置されている。また、第1の実施の形態では、スリーブ27によりスプリング26とプランジャ25との抜止めを図っているが、本実施の形態では、プランジャ25は、面取り部25eを有しておらず、小径部25dが後端まで連続して形成されており、上記スリーブ27は、該小径部25dに摺動自在に嵌挿する円筒部材即ちカシメがないからなる。上記プランジャ25の後端側には外周面に沿って環状の凹溝25gが形成されており、該部分にカラー40が嵌合し、かつ上記凹溝25gに喰込むようにかしめ40aられて、該カラー40は、プランジャ25の後端部に一体に固定される。これにより、膨径部27bを有するスリーブ27と相俟って、カラー40がボス部25cとの間でスプリング26を抜止めして、プランジャ25とスプリング26とを不可分としたプローブ21を構成する。上記ピンボード22は、支持部材59と連結部材60を介して一体に連結している。支持部材59は、ピンボード22をワークWに移動する場合、ピンボードを移動する可動部材となり、ワークWがピンボード22に対して移動する場合、ピンボードを固定する固定部材となる。本実施の形態は、以上のような構成からなるので、ワークWとピンボード22を相対的に近づく方向に移動する。ピン先ガイドボード50がワークWに当接すると略々同時に、プランジャ25の先端突尖部25aが金パッドや端子等のコンタクト対象部Waに当接する。この際、ワークWには、実装部品等の凹凸部Wcを避けるように、ピン先ガイドボード50の先端側の表面50aより突出した突出部56がワーク表面に当接する。また、スプリング53及びストッパ55により位置決めされて、ピン先ガイドボード50及び配線支持ボード23は、ピンボード22と一体に支持又は移動され、ピンボード22と配線支持ボード23とは相対移動することはない。従って、プランジャ25の後端部とボール状端子11cとは、スプリング41の付勢力により接触状態を保持されている。そして、更にピンボード22とワークWとを近づく方向に相対移動すると、ピン先ガイドボード50及びプランジャ25はワークWに接触してそれ以上の相対移動は阻止されているので、ピンボード22がスプリング26を圧縮するように移動する。これにより、プランジャ先端突尖部25aは、上記スプリング26の付勢力によりワークコンタクト対象部Waに押圧され、確実に導通される。この際、ピン先ガイドボード50と配線支持ボード23とは連結部材51により一体となって相対移動はないので、プランジャ突尖部25aと突出部56の高さが同じであれば、プランジャ後端部とボール状端子11cとの関係も同じとなり、プランジャ25とボール状端子11cとは上記スプリング41の付勢力により接触している同じ状態に維持され、配線11が相対移動することはない。コンタクト対象部Waが、隆起又は突出している場合、プランジャ25は、ピン先ガイドボード50及び配線支持ボード23に対して相対移動する。該相対移動は、配線支持ボード23のスプリング41を圧縮することにより吸収される。該相対移動は僅かであり、スプリング41により圧縮力が生じたとしても、これによる付勢力は僅かであり、コンタクト対象部Waである金パッドや端子に対してプランジャ突出部から大きな荷重が作用することはなく、該コンタクト対象部等を破損することはない。また、上記相対移動による配線11の配線支持ボード23に対する移動も僅かであり、配線に作用する負荷変動も僅かである。本第2の実施の形態にあっても、プランジャ25、スリーブ27及び/又はスプリング26のプローブ21の構成部品の少なくとも一部にCNT複合めっきを施してもよい。上述した第1の実施の形態でも第2の実施の形態でも、配線支持ボード23に支持された配線11とピンボード22に装着されたプランジャ25とは、スプリング41等の弾性部材で付勢されて接触しているので、容易に分離可能であり、ピンボード22を配線支持ボード23から分解して、プローブ21を容易に交換することができると共に、配線11も容易に交換、修理、メンテナンスをすることができる。また、配線先端のボール状端子11c等の膨出部とプランジャ25の後端とは、上記弾性部材により確実に接触されて保持されるので、安定した導通を保持することができる。プランジャ25が直接配線に接続することによる電気抵抗変動の減少が、上記接触部での安定した導通と相俟って、検査の安定を向上して、高周波や高電流での検査にも対応可能となる。更に、ボール状端子11c等の膨出部は、プランジャ25との大きな接触面を取ることができ、プローブ21の配置に僅かにずれがあってもコンタクトを確保して安定した接触を行うことができる。更に、ボール状端子11c等は、配線11の先端を熱加工等により直接加工して容易に製造することができ、図6Bに示す中継コンタクト部品の接続作業が不要となり、圧着の不備や繰返し使用することによる劣化を減少して、接続部の断線をなくして信頼性を向上できる。CNT複合めっきをプローブ部品に施すことにより、上述したように更なる性能向上を図ることができる。図5は、上記第2の実施の形態において一部変更した配線支持ボード123を示す。上述したように、プランジャ25と配線支持ボード23との相対移動は僅かであるので、コイルスプリング41のような大きな吸収ストロークは必ずしも必要としない。本配線支持ボード123は、ブロックを、ゴム又はスポンジ等の弾性体135により構成する。また、蓋板136を、ボール状端子11cを収納し得る厚さを有する部材で構成し、該蓋板136の一端側に、ボール収納部となる凹部65を形成する。上記弾性体ブロック135に上記凹部65に対向する位置に配線用孔66を形成し、上記蓋板136の他端側から上記凹部65に貫通する、プランジャ挿通用の孔67を形成する。上記弾性体ブロック135と蓋板136とは、上記凹部65に配線先端のボール状端子11cを収納するようにして一体に固定する。該配線支持ボード123は、コイルスプリング41の収納等の面倒な作業を必要とせず、弾性体ブロック135と蓋体136をボール状端子11cを収納して貼付け等により一体に固定すれば足り、コストダウンを図ることがきると共に、配線ピッチの狭小化を図ることが可能となる。なお、本配線支持ボード123は、プランジャの移動ストロークの小さな第2の実施の形態に適用して好ましいが、プランジャの移動ストロークが小さい場合、第1の実施の形態にも適用可能である。配線先端のボール状端子11cは、必ずしもボール状でなくてもよく、本体配線より大きい断面積の円筒形状又はその他の形状の膨出部であればよい。該膨出部の形成は、レーザ等による熱加工が好ましいが、プレス等の圧力成形でもよく、配線本体との一体成形すればよい。また、該膨出部をプランジャに接触するための弾性部材は、コイルスプリングに限らず、皿バネ等のスプリング又はゴム等の弾性体でもよい。"