レーザ光を出力するレーザ装置のためのアライメントシステムであって、ガイドレーザ光を出力するガイドレーザ装置と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の少なくとも一方の進行方向を調節する調節機構と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を実質的に一致させる光路結合部と、前記光路結合部の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光を検出する第1の光検出部と、前記第1の光検出部による検出結果に基づいて、前記調節機構を制御する第1の制御部と、前記光路結合部の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を調節するビームステアリング機構と、前記ビームステアリング機構の下流側に配置され、少なくとも前記ガイドレーザ光を検出する第2の光検出部と、前記第2の光検出部による検出結果に基づいて、前記ビームステアリング機構を制御する第2の制御部と、を備えるアライメントシステム。前記ビームステアリング機構の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を調節する光路調節部と、前記光路調節部の下流側に配置され、少なくとも前記ガイドレーザ光の位置を検出する第3の光検出部と、前記第3の光検出部による検出結果に基づいて、前記光路調節部を制御する第3の制御部と、をさらに備える請求項1記載のアライメントシステム。前記光路結合部の下流側に配置され前記レーザ光を増幅する増幅器をさらに備える請求項1記載のアライメントシステム。レーザ光を出力するレーザ装置のためのアライメントシステムであって、ガイドレーザ光を出力するガイドレーザ装置と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の少なくとも一方の進行方向を調節する調節機構と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を実質的に一致させる光路結合部と、前記光路結合部の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を調節するビームステアリング機構と、前記ビームステアリング機構の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光を検出する光検出部と、前記光検出部による検出結果に基づいて、前記調節機構及び前記ビームステアリング機構を制御する制御部と、を備えるアライメントシステム。前記光路結合部の下流側に配置され前記レーザ光を増幅する増幅器をさらに備える請求項4記載のアライメントシステム。レーザ光を出力するレーザ装置のためのアライメントシステムと、前記レーザ装置から出力されるレーザ光を内部に導入するための入射口が設けられたチャンバと、前記チャンバに設けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、前記レーザ光を前記所定の領域で集光させるレーザ集光光学系と、を備える極端紫外光生成装置であって、前記アライメントシステムは、ガイドレーザ光を出力するガイドレーザ装置と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の少なくとも一方の進行方向を調節する調節機構と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を実質的に一致させる光路結合部と、前記光路結合部の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光を検出する第1の光検出部と、前記第1の光検出部による検出結果に基づいて、前記調節機構を制御する第1の制御部と、前記光路結合部の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を調節するビームステアリング機構と、前記ビームステアリング機構の下流側に配置され、少なくとも前記ガイドレーザ光を検出する第2の光検出部と、前記第2の光検出部による検出結果に基づいて、前記ビームステアリング機構を制御する第2の制御部と、を備える極端紫外光生成装置。レーザ光を出力するレーザ装置のためのアライメントシステムと、前記レーザ装置から出力されるレーザ光を内部に導入するための入射口が設けられたチャンバと、前記チャンバに設けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、前記レーザ光を前記所定の領域で集光させるレーザ集光光学系と、を備える極端紫外光生成装置であって、前記アライメントシステムは、ガイドレーザ光を出力するガイドレーザ装置と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の少なくとも一方の進行方向を調節する調節機構と、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を実質的に一致させる光路結合部と、前記光路結合部の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光の進行方向を調節するビームステアリング機構と、前記ビームステアリング機構の下流側に配置され、前記レーザ光及び前記ガイドレーザ光を検出する光検出部と、前記光検出部による検出結果に基づいて、前記調節機構及び前記ビームステアリング機構を制御する制御部と、を備える極端紫外光生成装置。