アルミニウム基材の表面に、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドを製造する方法であって、アルミニウム基材の表面を陽極酸化して複数の細孔を有する酸化皮膜を形成した後、該酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する除去工程を有し、除去工程にて、アルミニウム基材と接触する部材の、該アルミニウム基材と接触する部分の材質が、前記アルミニウム基材と同じ材質である、ナノインプリント用モールドの製造方法。前記処理液がクロムリン酸水溶液である、請求項1に記載のナノインプリント用モールドの製造方法。ところで、特許文献1、2に記載のように陽極酸化の工程とエッチングの工程を交互に繰り返して陽極酸化アルミナを形成する場合や、これらの工程を交互に繰り返すのに先立ち、陽極酸化により形成した酸化皮膜を除去する工程を行う場合では、アルミニウム基材を把持する部材や通電部材など、アルミニウム基材と接触する部材をアルミニウム基材に取り付けた状態で、一連の工程を行うことがある。しかしながら、アルミニウム基材と接触する部材をアルミニウム基材に取り付けた状態で、酸化皮膜を処理液特にクロムリン酸水溶液に溶解させて除去すると、アルミニウム基材が腐食する場合があった。本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、アルミニウム基材の腐食を抑制できるナノインプリント用モールドの製造方法の提供を目的とする。本発明者らは鋭意検討した結果、酸化皮膜を除去する工程でのアルミニウム基材の腐食は、アルミニウム基材と接触する部材と、アルミニウム基材とが異種金属であることに起因するガルバニック腐食であることを突き止めた。そこで、アルミニウム基材と接触する部材をアルミニウム基材と同じ材質にすればよい、との着想に基づき、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明のナノインプリント用モールドの製造方法は、アルミニウム基材の表面に、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドを製造する方法であって、アルミニウム基材の表面を陽極酸化して複数の細孔を有する酸化皮膜を形成した後、該酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する除去工程を有し、除去工程にて、アルミニウム基材と接触する部材の、該アルミニウム基材と接触する部分の材質が、前記アルミニウム基材と同じ材質であることを特徴とする。ここで、前記処理液がクロムリン酸水溶液であることが好ましい。本発明によれば、アルミニウム基材の腐食を抑制できるナノインプリント用モールドの製造方法を提供できる。本発明のナノインプリント用モールド以下、単にモールドという場合がある。の製造方法は、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドを製造する方法であって、アルミニウム基材の表面を陽極酸化して複数の細孔を有する酸化皮膜を形成した後、該酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する除去工程後述する工程bを有する。以下、本発明のモールドの製造方法の一例について詳細に説明する。モールドの製造方法としては、例えば下記工程a~工程fを有する方法が挙げられる。a中空円柱状のアルミニウム基材を電解液中で陽極酸化して、表面に複数の細孔を有する酸化皮膜を形成する工程。b酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去し、陽極酸化の細孔発生点を形成する工程。c前記工程bの後、電解液中、再度陽極酸化する酸化皮膜を形成する工程。d前記工程cの後、細孔の径を拡大させる工程。e前記工程dの後、電解液中、再度陽極酸化する工程。f前記工程dと工程eを繰り返し行う工程。工程a図1は、陽極酸化される中空円柱状のアルミニウム基材と、陽極酸化するための各種部材との関係を模式的に示す断面図である。この例のアルミニウム基材10は、その両端に、アルミニウム基材10を固定し、かつアルミニウム基材10を通電する通電部材20が取り付けられ、基材内部が封止された状態で、電解液Lで満たされた処理槽30に浸漬されている。さらに、アルミニウム基材10には、柱状の通電シャフト40が軸方向をアルミニウム基材10の軸方向と同じにして、アルミニウム基材10および通電部材20を貫通して設けられており、通電シャフト40が通電部材20に締付ネジ50で固定されている。また、通電部材20と通電シャフト40とには、電源図示略が電気的に接続され、電流が印加可能とされている。また、アルミニウム基材10は支持軸図示略上に支持されており、支持軸に接続されたモータ等の回転駆動部図示略によって支持軸が回転することで、アルミニウム基材10が回転できるようになっている。さらに、アルミニウム基材10は、2枚の陰極板図示略によって間隙を開けて挟まれている。2枚の陰極板には、それぞれ電源図示略が電気的に接続され、電流が印加可能とされている。アルミニウム基材10は、アルミニウムの純度が99質量以上であることが好ましく、より好ましくは99.5質量以上であり、さらに好ましくは99.8質量以上であり、特に好ましくは99.99質量である。アルミニウムの純度が低いと、陽極酸化した際に、不純物の偏析により可視光線を散乱する大きさの凹凸構造が形成されたり、陽極酸化で形成される細孔の規則性が低下したりする。ところで、純度の高いアルミニウムを用いた場合、所望の形状例えば図1に示すように中空円柱状などに加工する際に、柔らかすぎて加工しにくくなる場合がある。そこで、アルミニウムにマグネシウムを添加して所定の形状に加工したものをアルミニウム基材10として用いるのが好ましい。マグネシウムを添加することで、アルミニウムの強度が高まるため加工しやすくなる。マグネシウムの添加量は、アルミニウムに対して0.5~1質量程度である。通電部材20、通電シャフト40、および締付ネジ50の材質としては特に制限されないが、アルミニウム基材10に通電部材20や通電シャフト40を取り付けた状態のまま後述の工程bを行う場合には、アルミニウム基材10と接触する部分の材質がアルミニウム基材10と同じ材質であることが好ましい。ここで、アルミニウム基材と接触する部分とは、例えば図1に示す通電部材20の、アルミニウム基材10と接触している接触部分20aや、図1には図示していないが、アルミニウム基材10を支持したり把持したりする部材治具の、アルミニウム基材10と接触している接触部分などが挙げられる。なお、アルミニウム基材と接触しない部分例えば図1に示す通電部材20の、アルミニウム基材10と接触していない非接触部分20bの材質については特に制限されず、アルミニウム基材の材質と同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、アルミニウムは、JIS規格により、純アルミニウム系1000系、Al-Mn系合金3000系、Al-Si系合金4000系、Al-Mg系合金5000系、Al-Cu-Mg系合金2000系、Al-Mg-Si系合金6000系、Al-Zn-Mg系合金7000系などに分類されている。本発明において、同じ材質とは、JIS規格で分類されるアルミニウムの合金系統が同じ系統である例えばアルミニウム基材の材質が1000系の場合は、アルミニウム基材と接触する部分の材質も1000系であることを意味する。なお、アルミニウム基材や接触部分の材質が、JIS規格に該当しない場合は、以下のようにする。アルミニウムの純度が99質量以上は、純アルミニウム系とする。純アルミニウム系に他の元素を添加した場合は、添加した元素の添加量の差が0.5質量以内のものであれば、同じ材質とする。アルミニウム基材10の陽極酸化は、例えば下記のように行う。図1に示すように、アルミニウム基材10を処理槽30の電解液Lに浸漬させた状態にて、回転駆動部図示略を駆動させて、支持軸図示略を回転させてアルミニウム基材10を回転させる。アルミニウム基材10を回転させながら、通電シャフト40および通電部材20を介してアルミニウム基材10と陰極板図示略に電圧を印加し、アルミニウム基材10の陽極酸化を行う。電解液としては、シュウ酸、硫酸等が挙げられる。シュウ酸を電解液として用いる場合:シュウ酸の濃度は、0.7M以下が好ましい。シュウ酸の濃度が0.7Mを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。ある所定の周期で規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得るには、所定の周期に合った化成電圧をかける必要がある。例えば周期が100nmの陽極酸化アルミナの場合、化成電圧は30~60Vであることが好ましい。所定の周期に合った化成電圧をかけない場合、規則性が低下する傾向にある。電解液の温度は、60°C以下が好ましく、45°C以下がより好ましい。電解液の温度が60°Cを超えると、いわゆるヤケといわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。硫酸を電解液として用いる場合:硫酸の濃度は0.7M以下が好ましい。硫酸の濃度が0.7Mを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。ある所定の周期で規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得るには、所定の周期に合った化成電圧をかける必要がある。例えば周期が63nmの陽極酸化アルミナの場合、化成電圧は25~30Vであることが好ましい。所定の周期に合った化成電圧をかけない場合、規則性が低下する傾向にある。電解液の温度は、30°C以下が好ましく、20°C以下がよりに好ましい。電解液の温度が30°Cを超えると、いわゆるヤケといわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。上述のようにしてアルミニウム基材10を陽極酸化すると、図2aに示す状態から図2bに示すように細孔62を有する酸化皮膜64が形成される。工程b工程bでは、酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する。工程bは、図1に示すように、アルミニウム基材10の両端に、締付ネジ50で通電シャフト40が固定された通電部材20が取り付けられた状態や、図1には図示していないが、アルミニウム基材10が支持軸で支持されたり、把持部材で把持されたりする状態すなわち、アルミニウム基材が部材と接触した状態で実施できる。従って、工程aで用いた通電部材20や通電シャフト40をアルミニウム基材10から取り外す手間が省ける。工程bにて、アルミニウム基材と接触する部材例えば図1に示す通電部材20や、図示略の支持軸および把持部材などの治具の、アルミニウム基材と接触する部分例えば図1に示す場合は通電部材20の接触部分20aの材質は、アルミニウム基材と同じ材質である。アルミニウム基材と接触する部分以下、接触部分という場合がある。がアルミニウム基材と同じ材質であれば、処理液中で酸化皮膜を除去する際に、ガルバニック腐食が起こりにくくなるので、アルミニウム基材が腐食するのを抑制できる。また、アルミニウム基材の腐食に起因した処理液の汚染も防げる。なお、接触部分は、その材質がアルミニウム基材と同じ材質、すなわちJIS規格で分類されるアルミニウムの合金系統が同じ系統であれば、アルミニウムの純度までは特に制限されないが、アルミニウム基材と同じ純度であることが好ましい。また、アルミニウム基材と接触する部材は、接触部分の材質がアルミニウム基材と同じ材質であれば、その他の部分の材質に関しては特に制限されず、同じであってもよく異なっていてもよい。その他の部分の材質がアルミニウム基材と同じ材質の場合例えば図3に示すように通電部材20がアルミニウム基材と同じ材質からなる場合は、酸化皮膜の除去中に、接触部分とその他の部分との界面でもガルバニック腐食が起こるのを防げる。また、ガルバニック腐食に起因した処理液の汚染も防げる。ところで、アルミニウム基材が純度の高い純アルミニウムからなる場合、純度の高い純アルミニウムは高価であるため、接触部分も高価な純アルミニウムで構成されることになる。従って、このような場合には、例えば図1に示す通電部材20の非接触部分20bの材質をアルミニウム基材と異なる、純度の低いアルミニウムとすれば、図3に示すように通電部材20全体をアルミニウム基材と同じ材質純度の高い純アルミニウムとする場合に比べて、純度の高い純アルミニウムの使用量が少なくてすむので、コストを低減できるという利点がある。なお、仮に通電部材20の接触部分20aと非接触部分20bとの界面でガルバニック腐食が起こったとしても、接触部分20aのみを交換すればよく、通電部材20全体を交換する場合に比べてコストを低減できるという利点もある。また、通電部材20に通電シャフト40が締付ネジ50で固定されている状態で工程bを行う場合、通電シャフト40や締付ネジ50の材質に関しては特に制限されず、アルミニウム基材の材質と同じであってもよく異なっていてもよい。工程bを行う際は、図1に示す処理槽30内の電解液Lを工程bで用いる処理液に入れ替えて行ってもよいし、締付ネジ50で通電シャフト40が固定された通電部材20が両端に取り付けられた状態でアルミニウム基材10を処理槽30から引き上げ、処理液で満たされた他の処理槽に浸漬させて行ってもよい。工程bでは、図2cに示すように、酸化皮膜を除去することで、これを陽極酸化の細孔発生点66にする。工程bを行うことで、細孔の規則性を向上することができる。酸化皮膜は、アルミニウムを溶解せず、酸化皮膜を選択的に溶解する処理液に溶解させて除去する。このような処理液としては、例えば、クロムリン酸水溶液が好適である。また、このような処理を行う場合、特にアルミニウム基材10をクロムリン酸水溶液などの処理液中に比較的長時間浸漬させる必要があるが、通電部材20とアルミニウム基材10とが接触したまま長時間処理液中に配置すると、通電部材20とアルミニウム基材10との間での腐食がより顕著となる傾向にある、という問題があった。しかし、本発明においては、アルミニウム基材10および通電部材20に腐食を生じさせることなく、上述のような処理を行うことができるために、規則性が高く配置された細孔を有するモールドを容易かつ安定的に製造することが可能となる。工程c酸化皮膜を除去したアルミニウム基材を再度、陽極酸化すると、図2dに示すように、円柱状の細孔62を有する酸化皮膜64が形成される。陽極酸化の条件は、図2bに示した酸化皮膜64を形成した際と同様な条件であればよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。工程cは、工程bに引き続き、アルミニウム基材10の両端に、締付ネジ50で通電シャフト40が固定された通電部材20が接続された状態で実施できるが、必要に応じて、通電部材20、通電シャフト40、締付ネジ50を取り替えてもよい。その際、これらの材質については特に制限されず、アルミニウム基材と同じ材質でもよいし、異なる材質例えばチタンなどでもよい。工程d図2eに示すように、細孔62の径を拡大させる処理を行う。細孔径拡大処理は、酸化皮膜を溶解する溶液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶液としては、例えば、5質量程度のリン酸水溶液等が挙げられる。細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。工程e図2fに示すように、再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔62の底部から下に延びる、直径の小さい円柱状の細孔62がさらに形成される。陽極酸化の条件は、上述と同様な条件であればよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。工程f上述した工程dと工程eを繰り返すと、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔62を有する陽極酸化アルミナアルミニウムの多孔質の酸化皮膜アルマイトが形成された、図2gに示すようなロール状モールド60が得られる。最後は工程dで終わることが好ましい。繰り返し回数は、合計で3回以上が好ましく、5回以上がより好ましい。繰り返し回数が2回以下では、非連続的に細孔の直径が減少するため、このような細孔を転写して製造され光学フィルムの反射率低減効果は不十分である。細孔62の形状としては、略円錐形状、角錐形状等が挙げられる。細孔62間の平均周期は、可視光線の波長以下、すなわち400nm以下である。細孔62間の平均周期は、25nm以上が好ましい。細孔62のアスペクト比細孔の深さ/細孔の開口部の幅は、1.5以上が好ましく、2.0以上がより好ましい。以上説明した本発明のモールドの製造方法にあっては、工程aにより形成された酸化皮膜の少なくとも一部を除去する除去工程工程bにおいて、アルミニウム基材と接触する部材の接触部分をアルミニウム基材と同じ材質にすることで、アルミニウム基材と部材との界面でガルバニック腐食が起こりにくくなり、アルミニウム基材が腐食するのを抑制できる。また、工程aにおいて、アルミニウム基材と接触する部分の材質がアルミニウム基材と同じ材質である部材通電部材や、アルミニウム基材を支持したり把持したりする治具を用いれば、これらをアルミニウム基材に取り付けた状態で、上述した工程a~工程fの一連の工程を実施できる。従って、通電部材、通電シャフト、締付ネジ、各種治具を各工程で取り外す手間が省けるので、効率よくモールドを製造できる。ところで、工程a~工程fを経て得られたモールドは、その外周面や内周面に各工程で用いた電解液や処理液などの付着物が付着している。これら付着物はモールドを洗浄することにより除去されるが、外周面に比べて内周面に付着した付着物は除去されにくい。しかし、図1に示すように、アルミニウム基材10の両端に通電部材20が取り付けられ、基材内部が封止された状態であれば、基材内部に電解液や処理液が侵入するのを防げる。よって、アルミニウム基材の内周面に付着物が付着しにくいので、より品質の高いモールドが得られる。[試験例]以下、試験例について説明する。以下の試験例1~9では、部材が接触した状態でアルミニウム基材が処理液中に浸漬したときのアルミニウム基材評価対象基材の腐食を確認するために行った。なお、本試験例では、処理液としてクロムリン酸水溶液Aクロム酸濃度:1.8質量、リン酸濃度:5.0質量またはクロムリン酸水溶液Bクロム酸濃度:1.8質量、リン酸濃度:6.0質量を用いた。[試験例1]図4aに示すように、評価対象基材71として純度99.99質量の純アルミニウム製の板高純度アルミニウム板を用い、これを挟持基材72として純度99.7質量以上のアルミニウム板合金呼称:A10702枚で挟んだ。高純度アルミニウム板およびアルミニウム板には中央に貫通孔が設けられており、図4bに示すように樹脂製ボルト73で各板を締結し、試験片70とした。ついで、図4cに示すように、処理液Mとしてクロムリン酸水溶液Aの入ったビーカー74に試験片70を浸漬させ、70°C×6時間の条件で放置した。放置後の試験片70について、樹脂製ボルト73をはずして評価対象基材71および把持基材72をばらし、評価対象基材71の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例2]アルミニウム板の代わりに、2枚のチタン板を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液A中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例3]アルミニウム板の代わりに、2枚のAl-Cu系合金製の板合金呼称:A2017を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液A中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例4]アルミニウム板の代わりに、2枚のAl-Mg系合金製の板合金呼称:A5052を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液A中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例5]アルミニウム板の代わりに、2枚のAl-Mg-Si系合金製の板合金呼称:A6063を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液A中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例6]純度99.99質量の高純度アルミニウム粉に1質量相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を3枚作製した。得られたマグネシウム含有高純度アルミニウム板3枚を、評価対象基材および挟持基材として用いて試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Bを用いた以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液B中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例7]純度99.99質量の高純度アルミニウム粉に1質量相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を1枚作製し、これを評価対象基材とした。アルミニウム板の代わりに、2枚のAl-Mg系合金製の板合金呼称:A5052を用いて評価対象基材マグネシウム含有高純度アルミニウム板を挟み試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Bを用いた以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液B中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例8]純度99.99質量の高純度アルミニウム粉に1質量相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を1枚作製し、これを評価対象基材とした。アルミニウム板の代わりに、2枚のAl-Cu系合金製の板合金呼称:A2017を用いて評価対象基材マグネシウム含有高純度アルミニウム板を挟み試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Bを用いた以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液B中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。[試験例9]純度99.99質量の高純度アルミニウム粉に0.5質量相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を1枚作製し、これを評価対象基材とした。純度99.7質量以上のアルミニウム板合金呼称:A10702枚で評価対象基材マグネシウム含有高純度アルミニウム板を挟み試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Bを用いた以外は、試験例1と同様にしてクロムリン酸水溶液B中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表1に示す。表1から明らかなように、評価対象基材と挟持基材とが同じ材質である試験例1、6、9の場合、処理液浸漬後の評価対象基材は腐食していなかった。一方、評価対象基材と挟持基材とが異なる材質である試験例2~5、7、8の場合、処理液浸漬後の評価対象基材は腐食していた。よって、これらの結果より、陽極酸化によってアルミニウム基材の表面に形成された酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する際に、アルミニウム基材と接触する部材の接触部分をアルミニウム基材と同じ材質にすることで、アルミニウム基材と部材との界面でガルバニック腐食が起こりにくくなり、アルミニウム基材が腐食するのを抑制できる。