磁気的作用により振動子を往復振動させ、前記振動子の両端に設けられた一対の円盤状のダイヤフラムを駆動し、流体を吸引、吐出する電磁振動型ダイヤフラムポンプであって、前記円盤状のダイヤフラムのそれぞれが、一対の円盤状のプレートからなるセンタープレートにより両面から挟持され、前記センタープレートが、前記ダイヤフラムと当接する側の面に複数の凸部が形成された第1のプレートと、該第1のプレートと対向して配置され、前記凸部が圧入される複数の凹部が形成された第2のプレートとを備え、前記ダイヤフラムの中央部に形成された開口部を介して、前記第1のプレートの凸部が、前記第2のプレートの凹部に圧入嵌合され、前記ダイヤフラムの開口部の周囲に、前記ダイヤフラムの両面からそれぞれ突出する円盤状のダイヤフラム滲み出し防止突起が形成され、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのそれぞれに、前記ダイヤフラム滲み出し防止突起に、前記ダイヤフラムの径方向外側から係合する環状リブが形成されてなることを特徴とする電磁振動型ダイヤフラムポンプ。前記第1のプレートが、前記ダイヤフラム滲み出し防止突起を嵌め込むための組み付け溝を備え、前記第2のプレートが、前記ダイヤフラム滲み出し防止突起を嵌め込むための嵌め込み溝を備え、前記環状リブのうち、前記第1のプレート側に形成された第1環状リブが、前記組み付け溝の周縁部に沿って立ち上がるように形成され、前記第1環状リブは、前記第1のプレートにおける第1環状リブよりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出し、前記環状リブのうち、前記第2のプレート側に形成された第2環状リブが、前記嵌め込み溝の周縁部に沿って立ち上がるように形成され、前記第2環状リブは、第2のプレートにおける第2環状リブよりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出してなることを特徴とする請求項1記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。前記ダイヤフラムの開口部端縁に、前記ダイヤフラムの径方向内側に向かって突出する、前記センタープレートが前記ダイヤフラムに対して回転することを防止する回り止め突出部が形成され、前記第1のプレートまたは第2のプレートに、前記第1のプレートまたは第2のプレートの前記ダイヤフラムと当接する側の面から垂直方向に伸び、前記回り止め突出部が形成された開口部に対応する形状の隆起部が形成され、該隆起部と前記回り止め突出部とが係合していることを特徴とする請求項1または2記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。しかし、特許文献1や図7に開示された従来例のように、超音波溶着でダイヤフラムとセンタープレートを組み付ける場合、溶け代の成形状態や、超音波溶着を行なう前にセンタープレートを構成する一方の第1のプレート107aに他方の第2のプレート107bを組み付ける際の組み付け方法等により、組み付け時の第1のプレート107aと第2のプレート107bとの間の配置関係が安定せず、製品間で、ダイヤフラム104とセンタープレート第1のプレート107a、第2のプレート107bとの組み付け状態や溶着にばらつきが生じ、ダイヤフラムポンプの性能が製品間で安定しにくいという問題がある。また、超音波溶着のための設備が別途必要になるため、製造コストが上がり、超音波溶着のための工程が別途必要であるため、ダイヤフラムの製造時における作業効率が低下する問題がある。また、図7に示すようにダイヤフラム104とセンタープレート第1のプレート107a、第2のプレート107bを溶着により組み付ける場合、センタープレートの第2のプレート107bの円筒部127をダイヤフラム104の貫通孔126に挿通するのであるが、組み付け作業時にダイヤフラム104に対して第1および第2のプレート107a、107bが回りやすく位置決めが困難であり、ダイヤフラム104とセンタープレート第1のプレート107a、第2のプレート107bとの組み付け作業時の作業効率に支障をきたすという問題がある。また、図7に示す組み付け方法のように、ダイヤフラム104の第2のプレート107bと当接する側の面に設けた突出部131図10参照を、センタープレートの第2のプレート107bのダイヤフフラム104と当接する側の面に形成した孔129図7参照に嵌合する場合、ダイヤフラム104とセンタープレートとの接触面積が十分でなく、センタープレートを構成する第1および第2のプレート107a、107bとダイヤフラム104との間の組み付け状態の保持力を十分に確保することが困難である。そのため、第1および第2のプレート107a、107bが、ダイヤフラム104の貫通孔126からの抜けなどにより、ダイヤフラム104から外れるというような事態が生じやすい。さらに、第1のプレート107aは、第2のプレート107bの円筒部127を溶着することによりダイヤフラムに組み付けているのみであるため、ダイヤフラムポンプが作動した際、ダイヤフラム104のゴムが第2のプレート107bの溝128の外径側に形成した環状リブ132を越えて外側へ滲み出す問題がある。この結果、センタープレートを構成する第1および第2のプレート107a、107bのダイヤフラム104を挟持する力が製品間でばらつき、これに伴い、ポンプ作動時に、振動子が振動する基準となる中心位置振動子の振動方向での中心位置を製品間で一定にして、ポンプの性能を製品間で安定させるのが困難になる。本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、ダイヤフラムとセンタープレートを組み付ける際の作業効率の向上、製造コストの削減、および製品間での性能の安定化が可能である電磁振動型ダイヤフラムポンプを提供することを目的とする。本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプは、磁気的作用により振動子を往復振動させ、前記振動子の両端に設けられた一対の円盤状のダイヤフラムを駆動し、流体を吸引、吐出する電磁振動型ダイヤフラムポンプであって、前記円盤状のダイヤフラムのそれぞれが、一対の円盤状のプレートからなるセンタープレートにより両面から挟持され、前記センタープレートが、前記ダイヤフラムと当接する側の面に複数の凸部が形成された第1のプレートと、該第1のプレートと対向して配置され、前記凸部が圧入される複数の凹部が形成された第2のプレートとを備え、前記ダイヤフラムの中央部に形成された開口部を介して、前記第1のプレートの凸部が、前記第2のプレートの凹部に圧入嵌合され、前記ダイヤフラムの開口部の周囲に、前記ダイヤフラムの両面からそれぞれ突出する円盤状のダイヤフラム滲み出し防止突起が形成され、前記第1のプレートおよび前記第2のプレートのそれぞれに、前記ダイヤフラム滲み出し防止突起に、前記ダイヤフラムの径方向外側から係合する環状リブが形成されてなる。さらに、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプは、前記第1のプレートが、前記ダイヤフラム滲み出し防止突起を嵌め込むための組み付け溝を備え、前記第2のプレートが、前記ダイヤフラム滲み出し防止突起を嵌め込むための嵌め込み溝を備え、前記環状リブのうち、前記第1のプレート側に形成された第1環状リブが、前記組み付け溝の周縁部に沿って立ち上がるように形成され、前記第1環状リブは、前記第1のプレートにおける第1環状リブよりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出し、前記環状リブのうち、前記第2のプレート側に形成された第2環状リブが、前記嵌め込み溝の周縁部に沿って立ち上がるように形成され、前記第2環状リブは、第2のプレートにおける第2環状リブよりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出してなるのが好ましい。さらに、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプは、前記ダイヤフラムの開口部端縁に、前記ダイヤフラムの径方向内側に向かって突出する、前記センタープレートが前記ダイヤフラムに対して回転することを防止する回り止め突出部が形成され、前記第1のプレートまたは第2のプレートに、前記第1のプレートまたは第2のプレートの前記ダイヤフラムと当接する側の面から垂直方向に伸び、前記回り止め突出部が形成された開口部に対応する形状の隆起部が形成され、該隆起部と前記回り止め突出部とが係合しているのが好ましい。以上のように、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプによれば、センタープレートとダイヤフラムとの組み付けを、センタープレートを構成する一対のプレートの凸部と凹部による凹凸嵌合により行なうため、従来の超音波溶着による問題、つまり、溶け代の成形状態や、超音波溶着を行なう前にセンタープレートを構成する一方のプレートに他方のプレートを組み付ける際の組み付け方法等により、組み付け時の一方のプレートと他方のプレートとの間の配置関係が安定せず、製品間で、ダイヤフラムとセンタープレートとの組み付け状態や溶着にばらつきが生じるという問題が生じることがないため、ダイヤフラムポンプの性能を製品間で安定させることができる。また、ダイヤフラムとセンタープレートとを超音波等により溶着する工程が不要になり、ダイヤフラムとセンタープレートとを組み付ける際の作業効率を向上させることができる。さらに、溶着設備が不要になるため、ダイヤフラムポンプを製造する際のコストを削減することができる。そして、ダイヤフラムの開口部の周囲に形成され、かつダイヤフラムの両面からそれぞれ突出する円盤状のダイヤフラム滲み出し防止突起に、第1のプレートおよび第2のプレートのそれぞれに形成された環状リブを、ダイヤフラムの径方向外側から係合するため、環状リブとダイヤフラム滲み出し防止突起との間に隙間が生じなくなるため、ポンプの繰り返しの使用によりダイヤフラムのゴムが滲み出すことを防止することができ、ダイヤフラムの変形を防止することができる。この結果、ポンプ1の作動時に、振動子が振動する基準となる中心位置振動子の振動方向での中心位置を製品間で一定にして、ポンプ1の性能を製品間で安定させることができる。さらに、第1のプレートが、ダイヤフラム滲み出し防止突起を嵌め込むための組み付け溝を備え、第2のプレートが、前記ダイヤフラム滲み出し防止突起を嵌め込むための嵌め込み溝を備え、環状リブのうち、第1のプレート側に形成された第1環状リブを、組み付け溝の周縁部に沿って立ち上がるように形成し、第1環状リブは、第1のプレートにおける第1環状リブよりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出させ、環状リブのうち、第2のプレート側に形成された第2環状リブを、嵌め込み溝の周縁部に沿って立ち上がるように形成し、第2環状リブは、第2のプレートにおける第2環状リブよりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出させる。この場合、ダイヤフラム滲み出し防止突起と環状リブとの軸方向振動子の振動方向での接触面積が大きくなり、これにより、ダイヤフラムにおいて、滲み出し防止突起の直近の径方向外側の面と第1および第2のセンタープレートとの接触面圧が従来よりも高くなる。この結果、ダイヤフラムのゴムの滲み出しを従来よりも確実に防止して、ダイヤフラムの変形を防止でき、ひいては、ポンプ1の作動時に、振動子が振動する基準となる中心位置を製品間で一定にして、ポンプ1の性能を製品間で確実に安定させることができる。さらに、ダイヤフラムの開口部端縁に形成され、ダイヤフラムの径方向内側に向かって突出する回り止め突出部と、第1のプレートまたは第2のプレートに、第1のプレートまたは第2のプレートのダイヤフラムと当接する側の面から垂直方向に伸び、回り止め突出部が形成された開口部に対応する形状を有する隆起部とを係合させているため、ダイヤフラムとセンタープレートとの組み付け作業時に、センタープレートを構成する第1および第2のプレートがダイヤフラムに対して位置決めされて回りにくくなるため、ダイヤフラムにセンタープレートを組み付ける際の作業効率が向上する。以下に本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプについて、図1~図6を参照して説明する。図1に本発明の第1の実施形態にかかる電磁振動型ダイヤフラムポンプを示す。この電磁振動型ダイヤフラムポンプ1以下、単にポンプ1というは、電磁石ケーシング11と、電磁石ケーシング11の内部に配置された一対の電磁石2a、2bと、電磁石2a、2bの間に、電磁石2a、2bに接触しないように配置された振動子3と、振動子3の両端に配置された一対の円盤状のダイヤフラム4と、一対の円盤状のプレート第1のプレート7a、第2のプレート7bからなり、ダイヤフラム4を挟持して固定するセンタープレートとで主要部が構成されている。ダイヤフラム4は、ポリエチレンプロピレンゴムEPDMやフッ素ゴムなどで成形できるが、振動子3の移動に伴い、弾性変形が可能な材料であれば、特に限定されるものではない。第1のプレート7aおよび第2のプレート7bは、後述するように互いに組み合わせることができる程度に硬質な部材、例えばPBTポリブチレンテレフタレートなどのプラスチックで成形できる。電磁石2a、2bは、E型の電磁石コア13と、電磁石コア13に組み込まれた電磁コイル14、15とで構成されている。振動子3の電磁コイル14、15と対向する部位には、極性の異なる永久磁石16例えばN極と永久磁石17例えばS極とが配置されている。ダイヤフラム4は、外周部にフランジ4aを有し、このフランジ4aが電磁石ケーシング11とポンプケーシング18とで固定されている。また、振動子3は、第2のプレート7bに固定されている。ポンプケーシング18は、3つの隔壁50a、50b、50cにより、吸入室51と、吐出室52と、ダイヤフラム4が配置された圧縮室53とに区画されている。隔壁50aには、吸入弁54が圧縮室53側から装着されている。この吸入弁54が開くことにより、隔壁50aに形成された通気孔56を通して、空気等の流体が圧縮室53に吸入される。隔壁50cには吐出弁55が吐出室52側から装着され、この吐出弁55が開くことにより、隔壁50cに形成された通気孔57を通して、圧縮室53の空気は、吐出室52に排出されるようになっている。次に、図1に示すダイヤフラム4とセンタープレート第1のプレート7a、第2のプレート7bとの組み付けについて図2~図6を参照して説明する。第2のプレート7bは、図2に示すように、中央部が盛り上がった円盤状をなし、中心に貫通孔H4が形成され、ダイヤフラム4と当接する側の面の中央部に、ダイヤフラム4側に向けて垂直方向に伸び、ダイヤフラム4の中心の後述する貫通孔26に挿通される十字型の隆起部21と、隆起部21の外径側に形成され、ダイヤフラム4に組み付けるための第2環状リブ29と、第2環状リブ29と隆起部21とで形成され、かつ、後述するダイヤフラム滲み出し防止突起28を嵌め込むための嵌め込み溝22とを有する。第2環状リブ29は、隆起部21から、センタープレートの径方向外側に離間して形成されている。第2環状リブ29は、図2、図4aおよび図4bに示すように、嵌め込み溝22の周縁部に沿って立ち上がるように形成され、第2環状リブ29は、第2のプレート7bにおける第2環状リブ29の位置よりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出している図4aおよび図4b参照。嵌め込み溝22は、第2環状リブ29の内周縁と、隆起部21の外周縁との間の凹所をいうものである。また、隆起部21は、第2のプレート7bの中心から延びる4つのアームを有し、当該アームの自由端側にそれぞれ、第1のプレート7aとの組み付け用の凹部20が形成されている。第1のプレート7aは、図6に示すように、中央部が窪んだ円盤状をなし、中心に貫通孔H3が形成され、ダイヤフラム4と当接する側の面の中央部に、ダイヤフラム4側に向けて垂直方向に伸び、ダイヤフラム4と組み付けるための第1環状リブ30が形成されており、この第1環状リブ30により、後述するダイヤフラム滲み出し防止突起28を嵌め込むための組み付け溝24が形成され、この組み付け溝24に、周方向で90°間隔に第2のプレート7bの凹部20と形状が一致し、この凹部20に圧入嵌合する凸部25が形成されている。第1環状リブ30は、図4a、図4bおよび図6に示すように、組み付け溝24の周縁部に沿って立ち上がるように形成され、第1環状リブ30は、第1のプレート7aにおける第1環状リブ30の位置よりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出している図4aおよび図4b参照。凸部25は、凹部20に嵌合されるものであれば、特にその形状は限定されず、凹部20の形状も同様にその形状は限定されるものではない。ダイヤフラム4は、図2に示すように、中央部に貫通孔26開口部が形成され、この貫通孔26は、その開口部端縁に、ダイヤフラム4の径方向内側に向けて突出する周り止め突出部27が形成されて、その開口形状が、センタープレートを構成する第2のプレート7bの隆起部21に対応した十字型の形状となっている。また、ダイヤフラム4は、貫通孔26の周囲に、ダイヤフラム4の両面からそれぞれ突出し、回り止め防止突起27と一体となったダイヤフラム滲み出し防止突起28を有する。なお、図2のX方向正面図を図3に示し、図3のA-A線断面図を図4aに示し、図3のB-B線断面図を図4bに示し、図2のY方向正面図を図5に示した。ダイヤフラム4とセンタープレートを構成する第1および第2のプレート7a、7bの組み付けは、たとえば、図2に示すように、第2のプレート7bに、ダイヤフラム4、第1のプレート7aを矢印Zの方向へ順に重ねていくことにより行なう。詳細には、まず、ダイヤフラム4の貫通孔26に第2のプレート7bの隆起部21を挿通する。これにより、第2のプレート7bの環状リブ29をダイヤフラム4の滲み出し防止突起28に周囲から係合し、ダイヤフラム4のダイヤフラム滲み出し防止突起28を第2のプレート7bの嵌め込み溝22に嵌合する。ここまでの作業で、ダイヤフラム4と第2のプレート7bとの組み付けが完了し、隆起部21の先端面がダイヤフラム4の第1のプレート7a側の滲み出し防止突起28の先端面と一致した状態になる。次に、第2のプレート7bの隆起部21に形成された凹部20に、第1のプレート7aの凸部25を圧入により嵌合し、第1のプレート7aの環状リブ30図6をダイヤフラム4の滲み出し防止突起28に周囲から係合する。これにより、ダイヤフラム4の第1のプレート7aと当接する側の面の組み付け溝24図6にダイヤフラム4の滲み出し防止突起28を嵌合させる。以上の作業により、ダイヤフラム4とセンタープレートを構成する第1および第2のプレート7a、7bとの組み付けが完了する。以上のように、本実施形態の電磁振動型ダイヤフラムポンプ1によれば、センタープレートを構成する一方の第1のプレート7aの凸部25を、センタープレートを構成する他方の第2のプレート7bの凹部20に圧入により嵌合することで、第1のプレート7a、第2のプレート7bとダイヤフラム4とを組み付けているので、従来の超音波溶着による問題、つまり、超音波溶着を行なう前にセンタープレートを構成する一方の第1のプレート7aに他方の第2のプレート7bを組み付ける際の組み付け方法等により、組み付け時の第1のプレート7aと第2のプレート7bとの間の配置関係が安定せず、製品間で、ダイヤフラム4とセンタープレートとの組み付け状態や溶着にばらつきが生じるということがないため、ポンプ1の性能を製品間で安定させることができる。また、第1および第2のプレート7a、7bとダイヤフラム4を組み付ける際に従来のような超音波溶着などを行なう工程が不要となる。そのため、第1および第2のプレート7a、7bとダイヤフラム4を組み付ける際の作業効率が向上する。また、溶着設備なども不要になるため、ポンプ1の製造に必要なコストを削減することができる。また、図2に示す本発明の実施形態の場合、ダイヤフラム4の両面に形成したダイヤフラム滲み出し防止突起28の周囲からセンタープレートを構成する第1および第2のプレート7a、7bの環状リブ29、30を係合させているため、環状リブ29、30とダイヤフラム滲み出し防止突起28との間に隙間が生じず、ポンプ1の作動時において、ダイヤフラム4のゴムが環状リブ29、30を越えて外側へ移動するという事態が生じにくい。また、滲み出し防止突起28および環状リブ29、30により、ポンプ1の繰り返しの使用によりダイヤフラム4のゴムが滲み出すことを防止することができるので、ダイヤフラム4の変形を防止することができる。以上の結果、ポンプ1の作動時に、振動子3が振動する基準となる中心位置振動子3の振動方向での中心位置を製品間で一定にして、ポンプ1の性能を製品間で安定させることができる。さらに、第1のプレート7aが、ダイヤフラム滲み出し防止突起28を嵌め込むための組み付け溝24を備え、第2のプレート7bが、ダイヤフラム滲み出し防止突起28を嵌め込むための嵌め込み溝22を備え、環状リブ29、30のうち、第1のプレート7a側に形成された第1環状リブ30を、組み付け溝24の周縁部に沿って立ち上がるように形成し、第1環状リブ30は、第1のプレート7aにおける第1環状リブ30よりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出させ、環状リブ29、30のうち、第2のプレート7b側に形成された第2環状リブ29が、嵌め込み溝22の周縁部に沿って立ち上がるように形成し、第2環状リブ29は、第2のプレート7bにおける第2環状リブ29よりも径方向外側に形成された面よりも高くなるように突出させている。この場合、ダイヤフラム滲み出し防止突起28と第1および第2環状リブ29、30との軸方向振動子の振動方向での接触面積が大きくなり、これにより、ダイヤフラム4において、滲み出し防止突起28の直近のダイヤフラム4の径方向外側の面と第1および第2のセンタープレート7a、7bとの接触面圧が従来よりも高くなる。この結果、ダイヤフラム4のゴムの滲み出しを従来よりも確実に防止して、ダイヤフラム4の変形を防止でき、ひいては、ポンプ1の作動時に、振動子3が振動する基準となる中心位置を製品間で一定にして、ポンプ1の性能を製品間で確実に安定させることができる。なお、ダイヤフラム滲み出し防止突起28の外径は、センタープレートを構成する第1および第2のプレート7a、7bの環状リブ29、30をダイヤフラム滲み出し防止突起28に周囲から係合させることができ、ダイヤフラム4とセンタープレートを構成する第1および第2のプレート7a、7bとの接触面積を十分に確保することができれば、特に限定されるものではない。さらに、図2に示す本発明の実施形態の場合、ダイヤフラム4の開口部端縁の回り止め突出部27と、センタープレートを構成する第2のプレート7bのダイヤフラム4側の面から垂直方向に伸びる隆起部21とを係合させるため、ダイヤフラム4とセンタープレートを構成する第1および第2のプレート7a、7bとの組み付け作業時に、第1および第2のプレート7a、7bがダイヤフラム4に対して位置決めされて回りにくくなるため、ダイヤフラム4にセンタープレートを組み付ける際の作業効率が向上する。また、従来図7参照のように、ダイヤフラム104におけるセンタープレートの第2のプレート107bと当接する側の面に設けた突出部131図10参照を、センタープレートの第2のプレート107bのダイヤフラム104と当接する側の面に形成した孔129に嵌合する場合よりも、ダイヤフラム4と第2のプレート7bとの接触面積が大きくなるため、センタープレートを構成する第1および第2のプレート7a、7bとダイヤフラム4との間の組み付け状態の保持力を従来よりも向上させることができる。これに伴い、第1および第2のプレート7a、7bが、ダイヤフラム4の貫通孔26からの抜けなどにより、ダイヤフラム4から外れるというような事態が生じにくくなる。なお、本実施形態では、第1のプレート7aが凸部25を備え、センタープレート7bが、凹部20および隆起部21を備えた構成であるが、第1のプレート7aが凹部20および隆起部21を備え、第2のプレート7bが凸部25を備えた構成とすることもできる。また、本実施形態では、第1のプレート7aおよび第2のプレート7bに設ける凸部25や凹部20を複数4つとしているが、4つ以外の複数の場合であっても、既に述べた効果を得ることができる。また、本実施形態では、ダイヤフラム4の貫通孔26に設ける回り止め突出部27を複数4つとし、第2のプレート7bの隆起部21を、回り止め突出部27を設けた十字型の貫通孔26に対応させて十字型としているが、回り止め突出部27を4つ以外の複数の場合であっても、この回り止め突出部27を設けた貫通孔26に対応する形状の隆起部21を第2のプレート7bに設けるようにして、既に述べた効果を得ることができる。以下に、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプにおけるセンタープレートにより挟持されたダイヤフラム以下、ダイヤフラムとセンタープレートをまとめてダイヤフラムブロックというを用いた実施例と従来の電磁振動型ダイヤフラムポンプにおけるセンタープレートにより挟持されたダイヤフラムを用いた比較例とで、加圧後のダイヤフラムの滲み出しの程度を比較した実験結果について、図12~図14cを参照して述べる。図12にダイヤフラムの滲み出しについての比較実験を行う方法の概略図を示す。この概略図による実験方法は、実施例および比較例の両方に適用した。まず、通常の電磁振動型ダイヤフラムポンプに用いられる、空気を吸入し、吐出するケーシング205を用意し、センタープレート207によりダイヤフラム206を挟持し、当該ダイヤフラム206に振動子209を取り付け、振動子209が取り付けられ、センタープレート207により挟持されたダイヤフラム206をケーシング205に固定した。ケーシング205は、ケーシング205内に空気を吸入する吸入口と吐出口図示せずを有し、吸入室202、圧縮室203および吐出室204を有している。圧縮室203は、弁を介して吸入室202および吐出室204と連通し、吸入口から吸入される空気は、吸入室202、圧縮室203、吐出室204の順に流れ、吐出口から排出され、逆流はしないようになっている。図示しない振動子209の端部は、ダイヤフラムなど他の部材を接続しなかった。実施例のダイヤフラムブロック208は、ダイヤフラム206および2つのセンタープレート207として、それぞれ図1に示す実施形態のダイヤフラム4およびセンタープレート7a、7bを使用した。また、比較例では、図7に示すダイヤフラム104およびセンタープレート107a、107bから構成されるダイヤフラムブロック208を用い、センタープレート7aと7bの接合は、超音波融着により行なった。実施例および比較例の両方において、ダイヤフラム206は、EPDMポリエチレンプロピレンゴムで成形し、センタープレート208は、PBTポリブチレンテレフタレートで成形したものを使用した。また、ダイヤフラム206の外径は実施例、比較例で同じものとし、ケーシング205への取り付け条件も同一とした。次に、エアー供給部201をケーシング205の吸入室202に接続し、圧力計210を吐出室204に接続した。圧力計210の先は閉鎖し、エアー供給部201から流入した空気の圧力がダイヤフラム206に加わるようにした。次に、図12中矢印で示すように、ケーシング205へのエアーの供給およびエアーの吐出を行うことで120Kpの圧力をダイヤフラムブロック208に加え、ダイヤフラムブロック208のダイヤフラム206を、図12中、左側に撓ませ、この状態を5秒間保持した後、エアー供給部からの空気の供給を停止した。その後、ダイヤフラムブロック208をケーシング205から取り出し、ダイヤフラム206のゴムの滲み出しの有無を観察した。本発明にかかる実施例は、実施例のダイヤフラム206の振動子209側の面の写真である図13a、実施例のダイヤフラム206の圧縮室203側の面の写真である図13b、および実施例のダイヤフラム206を外周面側から撮影した写真である図13cに示したように、ダイヤフラム206とセンタープレート207との間からのダイヤフラム206のゴムの滲み出しが見られず、エアー供給部201からの空気の供給を停止した後は、もとの形状に戻っていた。一方で、比較例は、ダイヤフラム206が外周側に向かって引っ張る方向の負荷を受けることで、図14aに写真で示したように、センタープレート207とダイヤフラム206の振動子209側の面との間から径方向外側に滲み出し、エアー供給部201からの空気の供給を停止した後も、ダイヤフラム206は変形したままであった図14a~c参照。すなわち、比較例の変形は、ダイヤフラム206の振動子209側の面では、センタープレート207の環状リブ132図7参照とダイヤフラム206の突起130図10参照との間に距離があることに起因し、ダイヤフラム206の突起130とセンタープレート207の環状リブ132との間のゴムが、センタープレート207の環状リブ132を越えて外径側へ滲み出すことによる。また、この滲み出したゴムは、エアー供給部201からの空気の供給を停止した後は、元通りに復元しようとするものの、この復元力はセンタープレート207の環状リブ132の支持力ダイヤフラム206に接触する力よりも小さいことから、復元できず、比較例のダイヤフラム206の振動子209側の面の写真である図14aおよび比較例のダイヤフラム206を外周面側から撮影した写真である図14cに示したように、ダイヤフラム206が変形したままとなってしまった。これに対し、実施例においては、環状リブ29、30がダイヤフラム滲み出し防止突起28の外周側から係合し、比較例のように、突起130と第2のセンタープレート107bの環状リブ132との間に隙間図10参照が設けられていないため、ダイヤフラム4のゴムが滲み出してダイヤフラム4が変形したままとなることを防ぐことができる。以上の比較実験の結果から、本発明は、従来品と比較して、優れたダイヤフラムの滲み出し防止機能を発揮し、ダイヤフラムのゴムの滲み出しによるダイヤフラムの変形を防ぐことができることが判明した。