"セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシート6を得る第二工程と、前記焼結セラミックシートをせん断する第三工程と、からなる裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第三工程が、前記焼結セラミックシート6を上下金型のエッジ間でせん断する操作を含む請求項1記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第三工程が、前記焼結セラミックシート6を上下金型の当接面に対して第一又は第二押圧手段5a、5bにより直接又は間接的に押圧しながら前記上下金型の当接面にあるエッジ間でせん断する操作を含む請求項1又は2記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第三工程が、前記焼結セラミックシート6を上型3と前記第二押圧手段5bとに挟むとともに、前記第二押圧手段に下型4を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスXを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記焼結セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第三工程が、前記焼結セラミックシート6を前記下型4と前記第一押圧手段5aとに挟むとともに、前記第一押圧手段に前記上型3を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスXを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記焼結セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第三工程が、前記焼結セラミックシート6を前記上型3と前記第二押圧手段5bとに挟むとともに、前記上型に前記第一押圧手段5aを、前記第二押圧手段に前記下型4を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスXを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記焼結セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシート6を得る第二工程と、前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性樹脂フィルム9を貼着してフィルム貼着セラミックシート10を得る第三工程と、前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第四工程と、からなる裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシート10を上下金型のエッジ間でせん断する操作を含む請求項7記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシート10を上下金型の当接面に対して第一又は第二押圧手段5a、5bにより直接又は間接的に押圧しながら前記上下金型の当接面にあるエッジ間でせん断する操作を含む請求項7又は8記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシート10を上型3と前記第二押圧手段5bとに挟むとともに、前記第二押圧手段に下型4を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスXを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む請求項7乃至9のいずれか1項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシート10を前記下型4と前記第一押圧手段5aとに挟むとともに、前記第一押圧手段に前記上型3を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスXを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む請求項7乃至9のいずれか1項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。前記第四工程が、前記フィルム貼着セラミックシート10を前記上型3と前記第二押圧手段5bとに挟むとともに、前記上型に前記第一押圧手段5aを、前記第二押圧手段に前記下型4を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスXを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む請求項7乃至9のいずれか1項に記載の裁断焼結セラミックシートの製造方法。側面全面が起伏を有する破断面である裁断焼結セラミックシート。可撓性樹脂フィルム9が上下面の少なくとも一方の面に貼着している請求項13記載の裁断焼結セラミックシート。上下面のいずれか一方の面に被覆されている可撓性樹脂フィルム9が、前記裁断焼結セラミックシートの端部まで延展し、該端部に貼着していることを特徴とする請求項14記載の裁断焼結セラミックシート。しかしながら、ダイシング加工は、回転刃を焼結セラミックシートに直接接触させて切断するため、複雑な形状に加工することができないという問題がある。一方、レーザー加工は、複雑な形状に加工することは可能だが、レーザーを照射した部位に熱が発生するため、裁断焼結セラミックシートの特性が変化するという問題がある。また、所望の形状が複雑になるほど切断するのに時間がかかり生産効率が悪く、加工コストが高くなるという問題がある。したがって本発明は、焼結セラミックシートを迅速に複雑な形状に加工することができ、しかも非常に高い寸法精度で裁断焼結セラミックシートを得ることが可能な手法を提供することを目的とする。そこで、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程及び前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程を少なくとも包含する方法において、第二工程により得られた焼結セラミックシートに対して特定の切断手段を施せば寸法精度の高い裁断焼結セラミックシートが得られ、さらに好ましくはその切断手段として特定の金型を用いればより寸法精度の高い裁断焼結セラミックシートが得られるという知見に到達した。したがって、本発明の課題は、セラミックグリーンシートを原資材として、これを焼成して得られた焼結セラミックシートをその平面形状より小さい外形及び/又は内形を有する裁断焼結セラミックシートに迅速かつ高い寸法精度で製造する方法を提供することにある。前記の課題を解決する手段として、セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、前記焼結セラミックシートをせん断する第三工程と、からなる裁断焼結セラミックシートの製造方法を提供する。この手段を採用することにより、前記成形セラミックグリーンシートではなく、前記焼結セラミックシートをせん断しているので、寸法変形がない。切断手段を移動させる距離が短いので、焼結セラミックシートを迅速に切断できる。前記第三工程は、前記焼結セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含む。前記第三工程は、前記焼結セラミックシートを上下金型の当接面に対して第一又は第二押圧手段により直接又は間接的に押圧しながら前記上下金型の当接面にあるエッジ間でせん断する操作を含む。前記第三工程は、前記焼結セラミックシートを上型と前記第二押圧手段とに挟むとともに、前記第二押圧手段に下型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記焼結セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む。前記第三工程は、前記焼結セラミックシートを前記下型と前記第一押圧手段とに挟むとともに、前記第一押圧手段に前記上型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記焼結セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む。前記第三工程は、前記焼結セラミックシートを前記上型と前記第二押圧手段とに挟むとともに、前記上型に前記第一押圧手段を、前記第二押圧手段に前記下型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記焼結セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む。さらに、より良い寸法精度の焼結セラミックシートを成形するために、セラミックグリーンシートを成形して成形セラミックグリーンシートを得る第一工程と、前記成形セラミックグリーンシートを焼成して焼結セラミックシートを得る第二工程と、前記焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性樹脂フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第四工程と、からなる。前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型のエッジ間でせん断する操作を含む。前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型の当接面に対して第一又は第二押圧手段により直接又は間接的に押圧しながら前記上下金型の当接面にあるエッジ間でせん断する操作を含む。前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを上型と前記第二押圧手段とに挟むとともに、前記第二押圧手段に下型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む。前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを前記下型と前記第一押圧手段とに挟むとともに、前記第一押圧手段に前記上型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む。前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを前記上型と前記第二押圧手段とに挟むとともに、前記上型に前記第一押圧手段を、前記第二押圧手段に前記下型を併置して、前記上下金型が有するエッジ間に所定のクリアランスを設ける第一ステップと、前記上下金型を相対的に上下動させて前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第二ステップと、を含む。裁断焼結セラミックシートは、側面全面が起伏を有する破断面であることを特徴とする。裁断焼結セラミックシートは、可撓性樹脂フィルムが上下面の少なくとも一方の面に貼着していることを特徴とする。裁断焼結セラミックシートは、上下面のいずれか一方の面に被覆されている可撓性樹脂フィルムが、前記裁断焼結セラミックシートの端部まで延展し、該端部に貼着していることを特徴とする。本発明によると、複雑化してきている焼結セラミックシートの形状の要求に対して、寸法精度の優れた裁断焼結セラミックシートを非常に高い生産効率で製造することが可能となる。次に、本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明において、裁断焼結セラミックシートとは、ある面積を有する焼結セラミックシートがそれより小さい面積に裁ち切られた焼結セラミックシートをいう。具体的に、図12は、焼結セラミックシート6をせん断して得られた、それより小さい面積の裁断焼結セラミックシート13を示す。裁断焼結セラミックシートの基本的な製造方法について以下に示す。図1に示すように、裁断焼結セラミックシートの製造工程は、次の3つの工程からなる。1セラミックグリーンシート成形工程セラミックグリーンシートを一般的に知られているドクターブレード法や射出法などにより成形し、その後、適切な大きさに切り取る工程である。2焼成工程得られたセラミックグリーンシートを焼成炉で適切な温度で焼結し、焼結セラミックシートを得る工程である。3せん断工程得られた焼結セラミックシートを所望の形状にせん断し、裁断焼結セラミックシートを得る工程である。図22のように、せん断方法の原理は、まず、エッジ7bのある下型4の上に、焼結セラミックシート6を乗せて、その上からエッジの7aのある上型3をZ方向へ降下させる。せん断工程について、次に具体的に装置を説明する。焼結セラミックシート6をせん断するために、図2のようなせん断装置1を用いる。せん断装置1は、上部の金型2aと下部の金型2bとからなる。図2のように、上部の金型2aは、上型3と第一押圧手段5aとを具備している。一方、下部の金型2bは、下型4と第二押圧手段5bとを具備している。上型3の底面と第二押圧手段5bの上面は、焼結セラミックシート6をせん断したときの所望形状をしている。下型4と第一押圧手段5aは、それぞれ第二押圧手段5bと上型3に併置されている。すなわち、上型3と下型4は対角線上にある。さらに、上型3と下型4は、それぞれ略直角のエッジ7a,7bを有している。エッジの角度は、直角に近いほど良い。次に、せん断工程を説明する。図3に示すように、焼結セラミックシート6を上部の金型2aと下部の金型2bとの間にセットし、上型3の当接面8と第二押圧手段5bの当接面8とで焼結セラミックシート6を直接的に押圧して固定する。当接面とは、焼結セラミックシート6に上型3、下型4、第一押圧手段5a又は第二押圧手段5bとが接する面のことである。このように、焼結セラミックシート6を第二押圧手段5bで押圧して固定することによって、焼結セラミックシート6をせん断するときに、焼結セラミックシート6の撓みを防ぐので、寸法精度が良くなる。次に、第二押圧手段5bに下型4を併置する。このとき、図4に示すように、上型3と下型4に所定のクリアランスXを設ける。クリアランスXはせん断するときに上型3と下型4との間にできる隙間のことである。そして、図5、図6のように、上型3と下型4とを相対的に上下動すると、焼結セラミックシート6が上型エッジ7aと下型エッジ7bとの間でせん断されて、所望の形状にすることができる。相対的に上下動するとは、上型3を下げるか、下型4を上げるか又は上型3と下型4を同時に動かしても良い。このとき、図6のように、金型を動かす距離Aは、少なくとも焼結セラミックシート6の厚み以上の距離でなければならない。また、下型4と第一押圧手段5aとで焼結セラミックシート6の所望形状以外の部分6bを挟んで固定して、上型3を第一押圧手段5aに併置した後、上型3と第二押圧手段5bを上下に変位させることによって、焼結セラミックシート6を上型3と下型4とのエッジ間でせん断し、所望形状としても良い。また、上型3と第二押圧手段5bとで裁断焼結セラミックシート6aを、さらに下型4と第一押圧手段5aとで所望形状以外の部分6bを固定してからせん断すると、焼結セラミックシートのほぼ全面が固定されるので、最も寸法精度良く切断できる。また、図7のように、図2におけるB―B断面で切断し、矢印方向に見ると、焼結セラミックシート6は、上下Y1,Y2方向に引き裂かれるように、上型3と下型4のエッジ間でせん断されるため、せん断したと同時に所望形状の裁断焼結セラミックシート6aとなる。このようなせん断装置1を用いると、焼結セラミックシート6を迅速に複雑な形状に加工することができ、しかも非常に高い寸法精度で裁断焼結セラミックシート6aを得ることができる。前記方法でも、焼結セラミックシート6をせん断できるが、焼結セラミックシート上に突起などがあると、突起に圧力が集中するため、割れやすい。そこで、図8に示すように、可撓性樹脂フィルム貼着工程を加える。可撓性樹脂フィルム9を焼結セラミックシート6に貼着すると、断面は、図9のようになり、フィルム貼着セラミックシート10が得られる。図9のフィルム貼着セラミックシート10は、焼結セラミックシート6の両面に可撓性樹脂フィルム9を貼着しているが、片面だけでも良い。このように可撓性樹脂フィルム9を貼着すると、せん断時に、焼結セラミックシート6に直接かかる圧力が分散し、その結果、所望のせん断箇所以外において、焼結セラミックシート6が割れにくい。したがって、図10のように、フィルム貼着セラミックシート10をせん断装置1にセットして、前記方法同様に、フィルム貼着セラミックシート10をせん断すると、より寸法精度の良い裁断焼結セラミックシート6aを得ることができる。実施例1次に、実施例1として、図12は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの一実施例である。図13のように、上部の金型2aを真下から見ると、上型3と押圧手段5aが隣り合っている。一方、下部の金型2bは、真上から見ると、図13の上型3が第二押圧手段5bと、第一押圧手段5aが下型4と対応するよう同形状をしている。このような上部の金型2aと下部の金型2bを用意し、図1、図8に示した製造工程で焼結セラミックシート6をせん断すると、2つにせん断した裁断焼結セラミックシート13が得られる。実施例2次に、実施例2として、図14は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。図15に示すように、上部の金型2aを真下から見ると、上型3と第一押圧手段5aが隣同士に位置し、かつ上型3同士と第一押圧手段5a同士が対角線上に位置している。一方、下部の金型2bは、真上から見ると、図15の上型3が第二押圧手段5bと、第一押圧手段5aが下型4と対応するよう同形状をしている。このような上部の金型2aと下部の金型2bを用意し、図1、図8に示した製造工程で焼結セラミックシート6をせん断すると、4つにせん断した裁断焼結セラミックシート14が得られる。実施例3次に、実施例3として、図16は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。上部の金型2aを真下から見ると、実施例2同様に、上型3と第一押圧手段5aが隣同士に位置し、かつ上型3同士と第一押圧手段5a同士が対角線上に位置し、さらに、この形状が格子状に繋がっている。下部の金型2bは、実施例1同様に、上型3が第二押圧手段5bと、第一押圧手段5aが下型4と対応するよう同形状をしている。このような上部の金型2aと下部の金型2bを用意し、図1、図8に示した製造工程で焼結セラミックシート6をせん断すると、多数にせん断した裁断焼結セラミックシート15が得られる。実施例4次に、実施例4として、図17は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。図18に示すように、上部の金型2aを真下から見ると、上型3は星型の部分、第一押圧手段5aはそれ以外の部分である。一方、下部の金型2bは、真上から見ると、第二押圧手段5bが星型の部分、下型4が星型以外の部分となっている。このような上部の金型2aと下部の金型2bを用意し、図1、図8に示した製造工程で焼結セラミックシート6をせん断すると、星型の裁断焼結セラミックシート16が得られる。実施例5次に、実施例5として、図19は、本発明を利用して得られた裁断焼結セラミックシートの別の実施例である。図20に示すように、上部の金型2aを真下から見ると、上型3はドーナツ型の部分、第一押圧手段5aはそれ以外の部分である。一方、下部の金型2bは、真上から見ると、第二押圧手段5bがドーナツ型の部分、下型4がドーナツ型以外の部分となっている。このような上部の金型2aと下部の金型2bを用意し、図1、図8に示した製造工程で焼結セラミックシート6をせん断すると、ドーナツ型の裁断焼結セラミックシート17が得られる。このように、本発明を用いると、焼結セラミックシート6を、上部の金型2aと下部の金型2bの形状を変えるだけで様々な形状の裁断焼結セラミックシートにすることができる。このような方法で得られた裁断焼結セラミックシートの側面は、図21のように、全面が起伏を有する破断面であることを特徴とする。破断面とは、焼結後に破断され、側面に加工跡がない面のことである。側面を加工していないので、側面は、平坦ではなく、起伏を有する面となるのである。破断面を加工していないため、破断面の焼結状態が変化せず、特性が変化しない。例えば、レーザー加工すると、熱によって、側面の焼結状態が変化するため、特性が劣化することがある。裁断焼結セラミックシートは、可撓性樹脂フィルム9を上下面の少なくとも一方の面に貼着してあればよい。その可撓性樹脂フィルム9は、裁断焼結セラミックシートの上下面のいずれか一方の面において、端部まで貼着している。上記の特徴は、本発明による製造方法によってのみ得られるものである。例えば、フィルム貼着セラミックシート10をレーザー加工すると、加工後の裁断焼結セラミックシートは、熱によって、可撓性樹脂フィルム9の端部が溶融したり、変形したりして可撓性樹脂フィルム9で端部まで完全に覆われない。また、フィルム貼着セラミックシート10をダイシング加工すると、高速で回転する回転刃がセラミックを切断する際に、可撓性樹脂フィルム9を同時に変形させ、レーザー加工と同様に裁断焼結セラミックシートの端部まで可撓性樹脂フィルム9で完全に覆われない。したがって、可撓性樹脂フィルム9が覆われていない部分に外部から圧力が加わると、裁断焼結セラミックシートが割れやすくなる。本発明を利用すると、可撓性樹脂フィルムを裁断焼結セラミックシートの端部まで貼着することができ、裁断焼結セラミックシートを外部の圧力から保護することができる。以上、本発明は、焼結後の焼結セラミックシートを加工するため寸法精度が非常に良い。また、金型を用いて、焼結セラミックシートをせん断するだけで、焼結セラミックシートを所望形状に成形することができるので、迅速に効率よく裁断焼結セラミックシートを生産できる。"