"酸化亜鉛と複数の添加物成分との混合物を焼結する非直線抵抗体素子の製造方法であって、複数の添加物成分のうちの一部に、ニッケル,コバルトのうち少なくとも何れか一方の金属塩水溶液を用いることを特徴とする非直線抵抗体素子の製造方法。前記の複数の添加物成分のうち金属塩水溶液以外においては、ビスマス,マンガン,アンチモン,クロム,珪素が含まれたものであることを特徴とする請求項1記載の非直線抵抗体素子の製造方法。前記の金属塩水溶液を0.5モル~3.0モル配合することを特徴とする請求項1または2記載の非直線抵抗体素子の製造方法。前記の金属塩水溶液は、水溶性無機化合物または水溶性有機化合物であることを特徴とする請求項1~3の何れかに記載の非直線抵抗体素子の製造方法。前記の水溶性無機化合物は、硝酸塩,塩酸塩,リン酸塩の何れかであることを特徴とする請求項4記載の非直線抵抗体素子の製造方法。前記の水溶性有機化合物は、スルファミン酸塩,スルホン酸塩のうち何れかであることを特徴とする請求項4記載の非直線抵抗体素子の製造方法。本願発明者は、前記のように粉末状の金属酸化物を添加物成分として利用する背景技術等に伴って、ZnO素子においては以下に示す課題があることに着目した。すなわち、酸化亜鉛と複数の添加物成分を含んだ混合物を焼結して得られるZnO素子は、複数の添加物成分の一部としてニッケル,コバルトのうち少なくとも何れか一方を用いる場合、当該混合物の焼結においてニッケルまたはコバルトが酸化亜鉛結晶粒子等に対して固溶し易くなるようにし、良好な電気的特性制限電圧比,非直線指数αが得られるようにすることが挙げられる。この発明に係る非直線抵抗体素子の製造方法は、前記の課題を解決すべく本願発明者の鋭意研究の末になされた技術的思想による創作である。具体的に、この発明の一態様は、酸化亜鉛と複数の添加物成分との混合物を焼結する非直線抵抗体素子の製造方法であって、複数の添加物成分のうちの一部に、ニッケル,コバルトのうち少なくとも何れか一方の金属塩水溶液を用いることを特徴とする。前記の金属塩水溶液は、0.5モル~3.0モルの範囲で配合することが挙げられる。また、前記の複数の添加物成分のうち金属塩水溶液以外においては、ビスマス,マンガン,アンチモン,クロム,珪素が含まれたものが挙げられる。さらに、前記の金属塩水溶液は、水溶性無機化合物または水溶性有機化合物であっても良い。加えて、前記の水溶性無機化合物としては、硝酸塩,塩酸塩,リン酸塩の何れかであることが挙げられ、前記の水溶性有機化合物としてはスルファミン酸塩,スルホン酸塩のうち何れかであることが挙げられる。以上示したように本発明によれば、酸化亜鉛と複数の添加物成分との混合物を焼結することにより、ニッケルまたはコバルトが酸化亜鉛結晶粒子等に対して固溶し易くなり、良好な電気的特性制限電圧比,非直線指数αを有する非直線抵抗体素子が得られる。以下、本発明の実施形態におけるZnO素子の製造方法は、酸化亜鉛と複数の添加物成分を含んだ混合物を焼結してZnO素子を得る方法であって、複数の添加物成分のうちの一部に固溶金属ニッケルやコバルトを用いる。この固溶金属においては、従来のように単に粉末状の酸化物酸化ニッケルや酸化コバルトを用いるのではなく、固溶金属の金属塩水溶液を用いるものである。本実施形態によれば、固溶金属の金属塩水溶液が、主成分である酸化亜鉛や他の添加物成分ニッケル,コバルト以外に対して原子オーダーで均一に分散混合する。このような混合物を焼結することにより、たとえ当該金属塩水溶液の配合量が少量であっても、固溶金属が酸化亜鉛結晶粒子に対して十分固溶し、酸化亜鉛結晶粒子の自由電子密度が高くなり抵抗値が減少する。また、例えば従来のアルミニウムの添加量を少なくできるため、非直線指数αを大きく低下させることもない。したがって、良好な電気的特性制限電圧比,非直線指数を有するZnO素子が得られる。本実施形態におけるZnO素子の製造方法は、複数の添加物成分に含まれる固溶金属において金属塩水溶液ニッケル,コバルトのうち少なくとも何れか一方の金属塩水溶液を用いるものであれば、ZnO素子の分野で知られている製造方法技術を適宜適用できる。複数の添加物成分においては、固溶金属の金属塩水溶液を用いる他に、その金属塩水溶液以外として種々の金属元素を適用することができるが、例えばビスマス,アンチモン,マンガン,クロム,ケイ素等の各種金属元素の酸化物粉末が挙げられる。また、混合物においては、酸化亜鉛に対し複数の添加物成分を所定の割合で配合し、その配合物に適宜水分を加えボールミル等で予備混合および粉砕することによりスラリー状にしたものでも良い。前記のスラリー状の混合物は、例えばバインダーを加えスプレードライヤー等を用いて造粒し、その造粒粉を金型プレス等により例えば円柱形に成形してから焼成することにより焼結される。そして、前記の焼結体の両端面に電極を形成することにより、所望のZnO素子が得られる。実施例次に、ZnO素子について、以下に示すように比較例の試料P1,P2と実施例の試料S1,S2を作製し、それら試料の特性をそれぞれ調べた。まず、純度99以上のZnO95.0モルに対し、酸化物粉末であるBi2O3,MnO2,Sb2O3,Cr2O3,SiO2,NiOをそれぞれ0.5モル,0.5モル,1.0モル,0.5モル,1.0モル,0~3.0モルとなるように秤量して配合し、その配合物をボールミルで混合してスラリーM1を作製した。また、前記NiOの代わりに酸化物粉末であるCo2O3を適用し、0~3.0モル秤量して配合することにより、スラリーM2を作製した。さらに、前記NiOの代わりに、硝酸ニッケル水溶液または硝酸コバルト水溶液を適用し、それぞれ0~3.0モル秤量して配合することにより、スラリーM3,M4を作製した。これらスラリーM1~M4をそれぞれ乾燥し造粒して円柱形に加圧成形した後、それら成形体を1000~1300°Cで焼成して焼結体直径30mmを得、各焼結体を厚さ5mmとなるように研磨両端面を研磨してから、その研磨面に対し直径27mmの銀電極を焼き付けることにより、ZnO素子の試料P1,P2,S1,S2を作製した。そして、前記の試料P1,P2,S1,S2について、固溶金属ニッケルまたはコバルトの配合量に対する非直線指数α,制限電圧比,自由電子密度の変化特性を調べ、その結果をそれぞれ図1~図3に示した。なお、自由電子密度変化特性は、赤外線反射の測定により各試料の酸化亜鉛結晶粒子内の自由電子密度を算出して求めた。図1に示す結果から、金属塩水溶液として硝酸ニッケル水溶液や硝酸コバルト水溶液を適用した試料S1,S2の非直線指数αは、当該固溶金属の酸化物粉末を適用した試料P1,P2と比較すると、固溶金属配合量が少ない領域例えば0.1~1.0モルにおいても高いことを判明した。この試料P1,P2とS1,S2との非直線指数αの差は、固溶金属配合量の増加と共に小さくなることが読み取れる。また、試料S1,S2において固溶金属配合量が増加しても、例えば従来のアルミニウムを添加する場合のように、非直線指数αが大きく降下することは無いことを判明した。図2に示す結果から、試料S1,S2の制限電圧比は、試料P1,P2と比較すると、たとえ固溶金属配合量が少ない領域であっても、小さい値に抑えられていることを判明した。例えば、試料S1,S2において、固溶金属配合量を0.5モル以上にした場合には制限電圧比を1.90以下に抑制できることが読み取れる。また、図2の場合、試料S1,S2の制限電圧比において、固溶金属配合量が2.0モルの際に最小値となり、3.0モルにかけて増大する傾向があることを読み取れる。これは、固溶金属配合量の増加に伴い、粒界においてニッケルやコバルトによる絶縁性を示す副生成物が形成され、その副生成物により試料S1,S2の電流経路が狭められて減少したものと考えられるが、その減少の程度は極めて僅かである。このことから、試料S1,S2において、ZnO素子としての特性を大きく損なわない程度であれば、固溶金属配合量を適宜設定して十分良好例えば試料P1,P2よりも良好な電気的特性を付与できることが判った。図3に示す結果から、試料S1,S2の自由電子密度は、固溶金属配合量が増加するに連れて上昇し、試料P1,P2と比較して大きいことが判明した。ここで、図3の結果を図2の結果と照合すると、試料S1,S2の制限電圧比が固溶金属配合量に応じて低下し良好な電気的特性が得られた理由は、酸化亜鉛結晶粒子の固有抵抗の減少に起因したものであることが読み取れる。したがって、固溶金属配合量に応じて酸化亜鉛結晶粒子における固溶量が増加、すなわち自由電子密度が増大し、その自由電子密度の増大は酸化亜鉛結晶粒子の固有抵抗の減少を意味することが判った。以上示したことから、試料S1,S2のように、添加物成分においてニッケルやコバルトの金属塩水溶液を適用することにより、単にニッケルやコバルトの酸化物粉末を用いた試料P1,P2と比較して、優れた電気的特性非直線指数α,制限電圧比を有するZnO素子を製造できることが判明した。また、金属元素配合量を0.5~3.0モルの範囲で設定すると、より良好な制限電圧比が得られることを判明した。なお、試料S1,S2においては、金属塩水溶液として硝酸塩によるもの硝酸ニッケル水溶液または硝酸コバルト水溶液を適用したが、これらに限られるものではない。例えば塩酸塩,リン酸塩等の水溶性無機化合物によるものや、スルファミン酸塩,スルホン酸塩等の水溶性有機化合物によるものを適用例えば塩化ニッケル,リン酸ニッケル,スルファミン酸ニッケル等を適用しても、試料S1,S2の場合と同様の作用効果が得られることを確認した。また、試料S1,S2では、ニッケルまたはコバルトによる金属塩水溶液を単独で用いたが、それぞれの金属塩水溶液を併用した場合においても、試料S1,S2の場合と同様の作用効果が得られることを確認した。以上、本発明において、記載された具体例に対してのみ詳細に説明したが、本発明の技術思想の範囲で多彩な変形および修正が可能であることは、当業者にとって明白なことであり、このような変形および修正が特許請求の範囲に属することは当然のことである。"