"入射光を受けて、前記入射光のうちの所定波長領域内の少なくとも一部の波長帯の光を通過させる第1の状態と、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の光を実質的に通過させない第2の状態とを切り替え得るシャッタ装置であって、光学デバイスと、切替信号に応じて前記光学デバイスを制御する制御部と、を備え、前記光学デバイスは、基板に対して角度に関する姿勢が変化し得る可動部を有するマイクロアクチュエータを複数有し、当該複数のマイクロアクチュエータの前記可動部が前記基板の一方の面側に1次元状又は2次元状に配置されたマイクロアクチュエータアレーと、前記各マイクロアクチュエータの前記可動部に設けられ波長選択特性を持つ透過型又は反射型の光学フィルタであって、当該光学フィルタに対する入射光の入射角度に応じて前記波長選択特性が変化する光学フィルタと、を有し、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記入射光の各部分光束をそれぞれ受け、前記制御部は、前記切替信号が前記第1の状態を示す場合には、前記入射光の各部分光束が前記光学デバイスの前記各光学フィルタを透過又は反射した後の各光のいずれもが、前記少なくとも一部の波長帯の光となるように、前記各マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御するとともに、前記切替信号が前記第2の状態を示す場合には、前記光学デバイスの前記各光学フィルタの通過波長帯が前記入射光のいずれの波長帯とも実質的に重ならないように、前記各マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御し、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の光は、離散的な複数の波長帯の光からなり、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記波長選択特性として離散的な複数の通過波長帯を持つバンドパス特性を有し、前記光学デバイスの前記各光学フィルタに関して、前記第1の状態で前記入射光の前記複数の波長帯の光が当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯とそれぞれ重なるように、当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯が設定された、ことを特徴とするシャッタ装置。前記所定波長領域が可視領域であることを特徴とする請求項1記載のシャッタ装置。前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、当該光学フィルタに対する入射光の入射角度が同じである場合において互いに実質的に同一の波長選択特性を有することを特徴とする請求項1又は2記載のシャッタ装置。前記複数のマイクロアクチュエータに対して共通して駆動信号が供給されるように配線されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のシャッタ装置。前記複数のマイクロアクチュエータのうちの少なくとも1つのマイクロアクチュエータの前記可動部は、トーションヒンジにより前記基板に対して所定の回転軸回りに回転可能に支持された回転部を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のシャッタ装置。前記少なくとも1つのマイクロアクチュエータは、前記回転部に一方の回転方向への第1の駆動力を付与し得る第1の駆動力付与部と、前記回転部に他方の回転方向への第2の駆動力を付与し得る第2の駆動力付与部とを有することを特徴とする請求項5記載のシャッタ装置。前記少なくとも1つのマイクロアクチュエータに関して、前記回転部が前記第1の駆動力により前記一方の回転方向へ回転し前記回転部が前記基板側の第1の被当接部に当接して保持されたときの前記基板の前記一方の面に対する前記回転部の角度と、前記回転部が前記第2の駆動力により前記他方の回転方向へ回転し前記回転部が前記基板側の第2の被当接部に当接して保持されたときの前記基板の前記一方の面に対する前記回転部の角度とが互いに異なるように、設定されたことを特徴とする請求項6記載のシャッタ装置。前記複数のマイクロアクチュエータのうちの少なくとも1つのマイクロアクチュエータの前記可動部は片持ち梁構造を持ち、当該可動部は所定の姿勢に復帰しようとする復帰力が生ずるように設けられ、当該可動部は前記復帰力に抗した駆動力を生じ得る駆動力発生部を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のシャッタ装置。前記駆動力発生部は、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路であることを特徴とする請求項8記載のシャッタ装置。前記入射光を構成する前記離散的な複数の波長帯の光は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のシャッタ装置。前記光学デバイスの前記各光学フィルタは透過型の光学フィルタであり、前記基板は、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記少なくとも一部の波長帯の光に対して透明であり、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記少なくとも一部の波長帯の光が前記基板を透過した後に前記光学デバイスの前記各光学フィルタに入射するか、あるいは、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記少なくとも一部の波長帯の光が前記各光学フィルタを透過した後に前記基板を透過する、ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載のシャッタ装置。前記入射光のうちの前記少なくとも一部の波長帯の光が前記基板を透過した後に前記光学デバイスの前記各光学フィルタに入射し、前記基板における前記入射光の入射側に、前記入射光の部分光束を前記光学フィルタに集光するマイクロレンズが形成されたことを特徴とする請求項11記載のシャッタ装置。前述したように、液晶デバイス並びにこれを用いたシャッタ装置や可変フィルタ装置は、マクロの機械的な機構を用いた光学手段に比べて、小型化及び動作の高速化の点で大変優れている。しかしながら、これらのデバイスや装置では、液晶を用いるが故に、本質的に光の利用効率が低下していた。すなわち、液晶は、一方の偏光光を除去し、透過又は反射される他方の偏光光を利用するものであるため、光源の光量の半分は無駄にされる。このため、暗い光になるばかりではなく、無駄な消費電力も生じてしまう。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、マクロの機械的な機構を用いた手段に比べて小型化及び動作の高速化を図ることができ、しかも、光の利用効率を高めることができる光学デバイスを用いたシャッタ装置を提供することを目的とする。ここでは、前記課題を解決する技術手段及びこれに関連する技術手段として、以下の各態様を提示する。第1の態様による光学デバイスは、i基板に対して角度に関する姿勢が変化し得る可動部を有するマイクロアクチュエータを複数有し、当該複数のマイクロアクチュエータの前記可動部が前記基板の一方の面側に1次元状又は2次元状に配置されたマイクロアクチュエータアレーと、ii前記各マイクロアクチュエータの前記可動部に設けられ波長選択特性を持つ透過型又は反射型の光学フィルタであって、当該光学フィルタに対する入射光の入射角度に応じて前記波長選択特性が変化する光学フィルタと、を備えたものである。第2の態様による光学デバイスは、前記第1の態様において、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記波長選択特性として1つ以上の通過波長帯を持つバンドパス特性を有するものである。第3の態様による光学デバイスは、前記第1又は第2の態様において、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、当該光学フィルタに対する入射光の入射角度が同じである場合において互いに実質的に同一の波長選択特性を有するものである。第4の態様による光学デバイスは、前記第1乃至第3のいずれかの態様において、前記複数のマイクロアクチュエータに対して共通して駆動信号が供給されるように配線されたものである。第5の態様による光学デバイスは、前記第1乃至第4のいずれかの態様において、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの少なくとも1つのマイクロアクチュエータの前記可動部は、トーションヒンジにより前記基板に対して所定の回転軸回りに回転可能に支持された回転部を含むものである。第6の態様による光学デバイスは、前記第5の態様において、前記少なくとも1つのマイクロアクチュエータは、前記回転部に一方の回転方向への第1の駆動力を付与し得る第1の駆動力付与部と、前記回転部に他方の回転方向への第2の駆動力を付与し得る第2の駆動力付与部とを有するものである。第7の態様による光学デバイスは、前記第6の態様において、前記少なくとも1つのマイクロアクチュエータに関して、前記回転部が前記第1の駆動力により前記一方の回転方向へ回転し前記回転部が前記基板側の第1の被当接部に当接して保持されたときの前記基板の前記一方の面に対する前記回転部の角度と、前記回転部が前記第2の駆動力により前記他方の回転方向へ回転し前記回転部が前記基板側の第2の被当接部に当接して保持されたときの前記基板の前記一方の面に対する前記回転部の角度とが互いに異なるように、設定されたものである。第8の態様による光学デバイスは、前記第1乃至第4のいずれかの態様において、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの少なくとも1つのマイクロアクチュエータの前記可動部は片持ち梁構造を持ち、当該可動部は所定の姿勢に復帰しようとする復帰力が生ずるように設けられ、当該可動部は前記復帰力に抗した駆動力を生じ得る駆動力発生部を有するものである。第9の態様による光学デバイスは、前記第8の態様において、前記駆動力発生部は、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生ずる電流経路であるものである。第10の態様による可変フィルタ装置は、入射光を受けて、前記入射光のうちの所定波長領域内の可変に選択される一部の波長帯の光を、前記所定波長領域内に関して選択的に通過させる可変フィルタ装置であって、前記第1乃至第9のいずれかの態様による光学デバイスと、選択信号に応じて前記光学デバイスを制御する制御部と、を備え、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記入射光の各部分光束をそれぞれ受け、前記制御部は、前記入射光の各部分光束が前記光学デバイスの前記各光学フィルタを透過又は反射した後の各光のいずれもが、前記選択信号に応じた波長成分であって互いに実質的に同じ波長成分の光となるように、前記各マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御するものである。第11の態様による可変フィルタ装置は、前記第10の態様において、前記所定波長領域が可視領域であるものである。第12の態様による可変フィルタ装置は、前記第10又は第11の態様において、前記入射光の前記所定波長領域内の光は、離散的な複数の波長帯の光からなり、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記波長選択特性として離散的な複数の通過波長帯を持つバンドパス特性を有し、前記光学デバイスの前記各光学フィルタに関して、当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯のうちのいずれか1つの通過波長帯が前記入射光の前記複数の波長帯のうちのいずれか1つの波長帯と重なるときに、当該光学フィルタの他の通過波長帯が前記入射光の他の波長帯と実質的に重ならないように、当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯が設定されたものである。第13の態様による可変フィルタ装置は、前記第12の態様において、前記入射光を構成する前記離散的な複数の波長帯の光は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光であるものである。第14の態様による可変フィルタ装置は、前記第10又は第11の態様において、前記入射光は、前記所定波長領域内において連続的なスペクトルを有し、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記波長選択特性として前記所定波長領域より帯域幅の狭い単一の通過波長帯を持つバンドパス特性を有し、前記光学デバイスの前記各光学フィルタに関して、当該光学フィルタの前記通過波長帯が前記所定波長領域と重なるように、当該光学フィルタの前記通過波長帯が設定されたものである。第15の態様による可変フィルタ装置は、前記第10乃至第14のいずれかの態様において、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは透過型の光学フィルタであり、前記基板は、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記可変に選択される一部の波長帯の光に対して透明であり、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記可変に選択される一部の波長帯の光が前記基板を透過した後に前記光学デバイスの前記各光学フィルタに入射するか、あるいは、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記可変に選択される一部の波長帯の光が前記各光学フィルタを透過した後に前記基板を透過するものである。第16の態様による可変フィルタ装置は、前記第15の態様において、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記可変に選択される一部の波長帯の光が前記基板を透過した後に前記光学デバイスの前記各光学フィルタに入射し、前記基板における前記入射光の入射側に、前記入射光の部分光束を前記各光学フィルタに集光するマイクロレンズが形成されたものである。第17の態様による投射型表示装置は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光を含む入射光を受けて、前記赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光を順次循環的に選択的に通過させる可変フィルタ装置と、前記可変フィルタ装置からの各色の波長帯の光を順次受けて、当該色の波長帯の光をそれに同期した色成分の画像信号によって変調する空間光変調部と、前記空間光変調部により得られる変調光を投射する投射光学系と、を備え、前記可変フィルタ装置として、請求項10乃至16のいずれかに記載の可変フィルタ装置が用いられたものである。第18の態様によるシャッタ装置は、入射光を受けて、前記入射光のうちの所定波長領域内の少なくとも一部の波長帯の光を通過させる第1の状態と、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の光を実質的に通過させない第2の状態とを切り替え得るシャッタ装置であって、前記第1乃至第9のいずれの態様による光学デバイスと、切替信号に応じて前記光学デバイスを制御する制御部と、を備え、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記入射光の各部分光束をそれぞれ受け、前記制御部は、前記切替信号が前記第1の状態を示す場合には、前記入射光の各部分光束が前記光学デバイスの前記各光学フィルタを透過又は反射した後の各光のいずれもが、前記少なくとも一部の波長帯の光となるように、前記各マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御するとともに、前記切替信号が前記第2の状態を示す場合には、前記光学デバイスの前記各光学フィルタの通過波長帯が前記入射光のいずれの波長帯とも実質的に重ならないように、前記各マイクロアクチュエータの前記可動部の姿勢を制御するものである。第19の態様によるシャッタ装置は、前記第18の態様において、前記所定波長領域が可視領域であるものである。第20の態様によるシャッタ装置は、前記第18又は第19の態様において、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の光は、離散的な複数の波長帯の光からなり、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは、前記波長選択特性として離散的な複数の通過波長帯を持つバンドパス特性を有し、前記光学デバイスの前記各光学フィルタに関して、前記第1の状態で前記入射光の前記複数の波長帯の光が当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯とそれぞれ重なるように、当該光学フィルタの前記複数の通過波長帯が設定されたものである。第21の態様によるシャッタ装置は、前記第20の態様において、前記入射光を構成する前記離散的な複数の波長帯の光は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光であるものである。第22の態様によるシャッタ装置は、前記第18乃至第21のいずれかの態様において、前記光学デバイスの前記各光学フィルタは透過型の光学フィルタであり、前記基板は、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記少なくとも一部の波長帯の光に対して透明であり、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記少なくとも一部の波長帯の光が前記基板を透過した後に前記光学デバイスの前記各光学フィルタに入射するか、あるいは、前記入射光のうちの前記所定波長領域内の前記少なくとも一部の波長帯の光が前記各光学フィルタを透過した後に前記基板を透過するものである。第23の態様によるシャッタ装置は、前記第22の態様において、前記入射光のうちの前記少なくとも一部の波長帯の光が前記基板を透過した後に前記光学デバイスの前記各光学フィルタに入射し、前記基板における前記入射光の入射側に、前記入射光の部分光束を前記光学フィルタに集光するマイクロレンズが形成されたものである。本発明によれば、マクロの機械的な機構を用いた手段に比べて小型化及び動作の高速化を図ることができ、しかも、光の利用効率を高めることができる光学デバイスを用いたシャッタ装置を提供することができる。以下、本発明によるシャッタ装置、並びに、これに関連する光学デバイス、可変フィルタ装置及び投射型表示装置について、図面を参照して説明する。[第1の実施の形態]図1は、本発明の第1の実施の形態による投射型表示装置プロジェクタを示す概略構成図である。説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸を定義する後述する図についても同様である。。また、Z軸方向のうち矢印の向きをZ方向又はZ側、その反対の向きを-Z方向又は-Z側と呼び、X軸方向及びY軸方向についても同様とする。Z軸がこの投射型表示装置の光軸と平行となっている。本実施の形態による投射型表示装置は、図1に示すように、光源1と、光学デバイス2及びこれを制御するデバイス制御回路3を有する可変フィルタ装置4と、空間光変調器5と、画像信号制御回路6と、表示画像をスクリーン8に照射する投射光学系としての投射レンズ7とを備えている。なお、本実施の形態では、空間光変調器5として、透過型の変調器が用いられているが、反射型の変調器を用いてもよい。また、本実施の形態では、空間光変調器5として液晶パネルが用いられているが、他の空間光変調器を用いてもよい。本実施の形態では、光源1は、離散的な複数の波長帯の光として、赤色の波長帯の光R光、緑色の波長帯の光G光及び青色の波長帯の光B光からなる光を発する。光源1として、具体的には、例えば、R、G、Bの三つのLEDがセットになったLEDが用いられ、光源1から出射される光の3つの波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBは、470nm付近、、550nm付近及び650nm付近のそれぞれの比較的狭い波長帯となっている。また、光源1として、例えば、可視領域内において連続的なスペクトルの光を発するハロゲンランプ等と、その光を濾波して離散的なR光、G光及びB光を得る透過型又は反射型の3バンド光学フィルタとを、組み合わせたものを用いてもよい。本実施の形態では、光源1からの光は、平行光束として光学デバイス2に入射するようになっている。必要に応じて、コリメータレンズ等を用いて光源1からの光を平行光束にしてもよい。また、光学デバイス2へ入射させる光は必ずしも、平行光束でなくてもよい。画像信号制御回路6は、入力される画像信号を処理して、色選択信号としてR光選択信号、G光選択信号及びB光選択信号を順次循環的に可変フィルタ装置4のデバイス制御回路3に供給する一方、各色の選択信号に同期して当該色成分の画像信号を空間光変調器5に供給する。デバイス制御回路3が画像信号制御回路6からの色選択信号に応じて光学デバイス2を制御することで、可変フィルタ装置4の光学デバイス2は、光源1からの光のうち、色選択信号が示す色の光を選択的に通過本実施の形態では、透過させて、空間光変調器5に入射させる。したがって、可変フィルタ装置4は、画像信号制御回路6による制御下で、R光、G光及びB光を順次循環的に選択的に通過させる。可変フィルタ装置4は、例えば、R光を通過させている際には、G光及びB光は通過させない。空間光変調器5は、可変フィルタ装置4の光学デバイス2から受けた色光を、画像信号制御回路6からの対応する色成分の画像信号によって変調して、当該色の画像光変調光を生成する。したがって、空間光変調器5は、可変フィルタ装置4からのR光、G光及びB光を順次受けて、当該色光をそれに同期した色成分の画像信号によって変調して、当該色の画像光を生成する。このようにして、空間光変調器5からは、順次循環的にR光、G光及びB光の各画像光が送出され、これが投射レンズ7によりスクリーン8上に投射される。したがって、R光、G光及びB光の切り替えを比較的高速に行うことで、視聴者にはフルカラー画像として観察される。図2は、図1中の光学デバイス2を模式的に示す概略平面図である。なお、図2は大幅に簡略化して示しており、基板11、回転板12及び光学フィルタ13のみしか示していない。図3は、図2中の隣り合う2つの単位素子10を模式的に示す概略平面図である。図4は、図3中のA-A’線に沿った概略断面図である。図5は、図3中のB-B’線に沿った概略断面図である。なお、図2及び図3において、光学フィルタ13には、ハッチングを付している。本実施の形態では、光学デバイス2は、前述したR光、G光及びB光を含む可視領域の光に対して透明であるパイレックス登録商標ガラス基板やサファイヤ基板等の基板11と、該基板11上に2次元状に配置された4×4個の素子10とを備えている。勿論、素子10の数はこれに限定されるものではない。基板11のZ側の面は、XY平面と平行となっている。各素子10は、基板11に対して角度に関する姿勢が変化し得る可動部としての回転板12と、回転板12に設けられ波長選択特性を持つ透過型の光学フィルタ13であって当該光学フィルタ13に対する入射光の入射角度に応じて前記波長選択特性が変化する光学フィルタ13と、を有している。各素子10の光学フィルタ13は、光源1からの入射光の部分光束をそれぞれ受ける。回転板12は、SiNSiNx膜21によって矩形の平板状に構成され、その周囲には剛性を高めるための段差12aが形成されている。なお、SiN膜は、可視領域の光に対して透明である。回転板12のY側の一辺の中央部及び-Y側の一辺の中央部が、基板11から立ち上がるポスト14にトーションヒンジ15を介して支持され、回転板12は、トーションヒンジ15によってY軸と平行な回転軸回りに回転可能に支持されている。回転板12が回転すると、回転板12のXY平面に対する傾斜角度すなわち、基板11のZ側の面に対する傾斜角度θが変化する。回転板12に後述する静電力が付与されていない場合には、トーションヒンジ15の復帰力によって、回転板12がXY平面と平行となる姿勢に復帰するようになっている。回転板12を構成するSiN膜21は、そのままトーションヒンジ15及びポスト14に延在している。回転板12上にはITO膜22からなる可動電極16が形成され、更に可動電極16上に光学フィルタ13が形成されている。ITO膜22は可視領域の光に対して透明である。光学フィルタ13は、図3に示すように、回転板12の周囲の段差12a付近を除く回転板12の平面部の大部分の領域に形成されている。可動電極16も回転板12の同様の領域に形成されている。可動電極16を構成するITO膜22は、図5に示すように、可動電極16の配線の一部として、トーションヒンジ及びポスト14にも延在しており、ポスト14においてSiN膜21に形成したコンタクトホールを介してITO膜からなる基板11上の配線17に接続されている。配線17によって、全ての素子10の可動電極16が電気的に共通に接続されている。なお、本実施の形態では、2つのポスト14においてそれぞれ2本の配線17に接続されているが、可動電極16は一本の配線17に接続するだけでもよい。トーションヒンジ15及びポスト14は、回転板12から延在するSiN膜21及び可動電極16から延在するITO膜22によって構成されている。本実施の形態では、光学フィルタ13は、誘電体多層膜例えば、SiO2層とNb2O5層との交互層を多数積層した構成の誘電体多層膜により、後述する波長選択特性を持つように構成されている。誘電体多層膜に対する入射光の入射角度が変化すると、その入射角度に応じて各層の実効的な厚さが変化するため、その入射角度に応じて波長選択特性が変化する。例えば、誘電体多層膜が透過特性に関する波長選択特性としてバンドパス特性を有している場合、誘電体多層膜の法線方向に対する入射光の傾きが大きくなるほど、透過波長帯は短波長側へシフトしていく。光学フィルタ13の波長選択特性については、後に詳述する。なお、光学フィルタ13は、誘電体多層膜に限定されるものではなく、例えば、フォトニック結晶により構成してもよい。基板11上には、可動電極16の-X側の領域に対向するITO膜22からなる第1の固定電極18aと、可動電極16のX側の領域に対向するITO膜22からなる第2の固定電極18bとが、形成されている。第1の固定電極18aはそれを構成するITO膜22がそのまま延びることによって構成された配線19aに接続され、第2の固定電極18bはそれを構成するITO膜22がそのまま延びることによって構成された配線19bに接続されている。配線19aによって全ての素子10の第1の固定電極18aが電気的に共通に接続され、配線19bによって全ての素子10の第2の固定電極18bが電気的に共通に接続されている。配線17,19a,19b及び固定電極18a,18bは、可視領域の光に対して透明であるSiN膜又はSiO2膜からなる絶縁膜20で覆われている。素子10は、前述したように可動電極16並びに第1及び第2の固定電極18a,18bを有しているので、可動電極16と第1の固定電極18aとの間に電圧を印加すると、両者の間に駆動力としての静電力が作用し、回転板12は、2つのトーションヒンジ15を結ぶY軸と平行な回転軸回りに、可動電極16の-X側の領域が基板11側へ近づく回転方向へ回転する。そして、回転板12は、基板11上に可動電極16の-X側の領域と対向する位置に設けられた被当接部としてのSiN膜等からなるストッパ31aに当接し、その状態で保持される。この状態において、回転板12の傾斜角度XY平面に対する傾斜角度θが所定の第1の傾斜角度θ1となるように、ストッパ31aの高さが設定されている。この第1の傾斜角度θ1については、後に詳述するが、例えば、光学フィルタ13がR光を選択的に透過させる傾斜角度である。同様に、可動電極16と第2の固定電極18bとの間に電圧を印加すると、両者の間に、両者の間に駆動力としての静電力が作用し、回転板12は、2つのトーションヒンジ15を結ぶY軸と平行な回転軸回りに、可動電極16のX側の領域が基板11側へ近づく回転方向へ回転する。そして、回転板12は、基板11上に可動電極16のX側の領域と対向する位置に設けられた被当接部としてのSiN膜等からなるストッパ31bに当接し、その状態で保持される。この状態において、回転板12の傾斜角度θが所定の第2の傾斜角度θ2となるように、ストッパ31bの高さが設定されている。この第2の傾斜角度θ2は、前記第1の傾斜角度とは異なる角度となっており、θ2<θ1となっている。本実施の形態では、第1及び第2の傾斜角度θ1,θ2を異ならせるために、ストッパ31aの高さとストッパ31bの高さとを異ならせている。この第2の傾斜角度θ2についても、後に詳述するが、例えば、光学フィルタ13がG光を選択的に透過させる傾斜角度である。なお、基板11上に必ずしもストッパ31a,31bを設ける必要はなく、例えば、ストッパ31aを設けずに、可動電極16と第1の固定電極18aとの間に電圧を印加した場合に、可動電極16の-X側の端部が基板11上の絶縁膜20に当接して、その状態で保持されるようにしてもよい。そして、可動電極16と第1の固定電極18aとの間にも可動電極16と第2の固定電極18bとの間にも電圧が印加されていない場合には、トーションヒンジ15の復帰力によって、回転板12がXY平面と平行となる姿勢、すなわち、回転板12の傾斜角度θが0度に復帰する。後に詳述するが、傾斜角度θが0度の場合には、例えば、光学フィルタ13がB光を選択的に透過させるように設定される。本実施の形態では、光学デバイス2は透過型として構成され、かつ、基板11側すなわち、-Z側を光入射側としている。前述したように、基板11、絶縁膜20、固定電極18a,18b、回転板12、可動電極16等は可視領域の光に対して透明であるので、光源1からのR光、G光及びB光が遮られることはない。そして、本実施の形態では、基板11の光入射側に、オンチップで、各素子10の光学フィルタ13に対して対応して、入射光を当該光学フィルタ13に集光するマイクロレンズ11aが形成されている。本実施の形態では、マイクロレンズ11aは、基板11を加工することで基板11と一体に同じ材料で形成されているが、基板11とは別の材料で形成してもよい。本実施の形態では、このマイクロレンズ11aを採用することで、マイクロレンズ11aがなければ光学フィルタ13間に入射してしまって光学フィルタ13に入射し得ないような光も有効に利用することができ、これにより、光の利用効率をより高めることができる。なお、マイクロレンズ11aとして集光率が良いレンズを用いるなら、配線や電極が配置される部分を光路から避けることも可能である。このような場合には、必ずしも透明電極物質を用いて配線や電極を構成する必要はない。もっとも、マイクロレンズ11aは必ずしも形成する必要はなく、この場合には、必要に応じて、光学フィルタ13に入射しない光は図示しない遮光部で遮光すればよい。このようにマイクロレンズ11aを形成しない場合、本実施の形態とは逆に、光学フィルタ13側すなわち、Z側を光入射側としてもよい。ただし、光学フィルタ13側を光入射側とする場合、光学デバイス2とは別に構成したマイクロレンズアレイを光学フィルタ13のZ側に配置して、光の利用効率を高めるようにしてもよい。本実施の形態では、前述したように、全ての素子10の可動電極16が電気的に共通に接続され、全ての素子10の第1の固定電極18aが電気的に共通に接続され、全ての素子10の第2の固定電極18bが電気的に共通に接続されているので、全ての素子10に対して共通して駆動信号が供給されるように配線されており、全ての素子10の回転板12の傾斜角度は常に互いに実質的に同一になる。また、本実施の形態では、全ての素子10の光学フィルタ13は全く同一に構成されており、これにより、全ての素子10の光学フィルタ13は、回転板12の傾斜角度が同じである場合すなわち、光学フィルタ13に対する入射光の入射角度が同じである場合において互いに実質的に同一の波長選択性を有している。本実施の形態では、素子10のうち光学フィルタ13以外の部分が1つのマイクロアクチュエータを構成している。そして、光学デバイス2を構成している複数の素子10のうち各光学フィルタ13を除いた部分が、複数のマイクロアクチュエータを備えたマイクロアクチュエータアレーを構成している。次に、光学デバイス2の製造方法の一例について、図6乃至図8を参照して説明する。図6乃至図8は、この製造方法における各工程の状態を模式的に示す概略断面図であり、図3中のA-A’線に沿った断面ただし、1つの素子10の断面のみに相当している。なお、以下の説明における材料や寸法は例示であり、それらに限定されるものではない。まず、パイレックスガラス基板やサファイヤ基板等の基板11上に、厚さ0.3μmのITO膜を形成し、このITO膜を、固定電極18a,18b及び配線17,19a,19b等の形状にパターニングする。次いで、それらの上に基板11上の全面に渡ってSiN膜又はSiO2膜等からなる厚さ0.5μmの絶縁膜20を形成する図6a。次に、ストッパ31aに合わせた犠牲層としての高さ3μmの島状のレジスト41aと、ストッパ31bに合わせた犠牲層としての高さ6μmの島状のレジスト41bを、絶縁膜20上に形成する図6b。次いで、0.3μmのSiN膜を形成し、このSiN膜を、ストッパ31a,31bの形状に合わせてパターニングする図6c。このとき、後にレジスト41a,41bを除去することができるように、ストッパ31a,32bには図示しない微小な開口を形成しておく。引き続いて、図6cに示す状態の基板上の全面に、犠牲層としての厚さ12μmのレジスト42を塗布する図6d。更に、レジスト42上に、回転板12に合わせた犠牲層としての厚さ3μmのレジスト43を島状に形成する図7a。次に、レジスト43及び絶縁膜20に、ポスト14におけるコンタクトホールに応じた開口一辺5μmの正方形状の開口を形成する。その後、SiN膜21を形成し、このSiN膜21を、回転板12、ポスト14及びトーションヒンジ15の形状にパターニングする図7b。このとき、このSiN膜21には、ポスト14におけるコンタクトホールに応じた開口を形成する。次に、厚さ0.3μmのITO膜22を形成し、このITO膜22を、可動電極16及びその配線の一部の形状にパターニングする。更に、SiO2層とNb2O2層との交互層を多数積層した構成の全体の層厚が4μmの誘電体多層膜を形成し、この誘電体多層膜を光学フィルタ13の形状にパターニングする図7c。次いで、図7cの状態の基板上に保護層としてのレジスト44を形成する。更に、基板11の下面上に、マイクロレンズ11aの形状に合わせた曲面を持つようにグレイトーンマスク等で露光現像したレジスト45を形成する図8a。その後、基板11の下面側がマイクロレンズ11aとなるように、レジスト45をマスクとして基板11の下面側をドライエッチングする図8b。最後に、レジスト41a,41b,42~44をプラズマアッシング法等により除去する。これにより、光学デバイス2が完成する。ここで、光学フィルタ13の波長選択特性について、図9を参照して説明する。図9は、光源1からの離散的なR光、G光及びB光の波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBと、光学フィルタ13の離散的な透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3との関係を、模式的に示す図である。図9aは回転板12の傾斜角度θが0 ゚の場合、図9bは回転板12の傾斜角度θが前述した第2の傾斜角度θ2の場合、図9cは回転板12の傾斜角度θが前述した第1の傾斜角度θ1>θ2の場合を、それぞれ示している。前述したように、本実施の形態では、光源1からの光の波長成分は、可視領域において、離散的なR光、G光及びB光の波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBのみしか有していない。そして、本実施の形態では、光学フィルタ13は、図9に示すように、可視領域において、離散的な3つの透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3を持つバンドパス特性いわゆる3バンドパス特性を有している。回転板12が傾くほどすなわち、傾斜角度θが大きくなるほど、光学フィルタ13を構成する誘電体多層膜の各層の実効的な厚さが厚くなるため、図9に示すように、透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3は短波長側にシフトしていく。なお、本実施の形態では、基板11に対する入射光の入射角度は不変である。本実施の形態では、θ=0 ゚の場合には、図9aに示すように、透過波長帯Δλ1がΔλBと重なるが、他の透過波長帯Δλ2,Δλ3はいずれの波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBとも重ならない。また、θ=θ2の場合には、図9bに示すように、透過波長帯Δλ2がΔλGと重なるが、他の透過波長帯Δλ1,Δλ3はいずれの波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBとも重ならない。さらに、θ=θ1の場合には、図9cに示すように、透過波長帯Δλ3がΔλRと重なるが、他の透過波長帯Δλ1,Δλ2はいずれの波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBとも重ならない。本実施の形態では、このような関係を満たすように、第1及び第2の傾斜角度θ1,θ2並びに透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3が設定されている。なお、例えば、光学フィルタ13を構成する層数や層厚等を適宜設定することで、光学フィルタ13に3バンドパス特性を持たせて透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3を適宜設定することができることは周知である。したがって、本実施の形態では、回転板12の傾斜角度θを0 ゚にすると光学フィルタ13はB光のみを選択的に透過し、回転板12の傾斜角度θを第2の傾斜角度θ2にすると光学フィルタ13はG光のみを選択的に透過し、回転板12の傾斜角度θを第1の傾斜角度θ1にすると光学フィルタ13はR光のみを選択的に透過する。もっとも、R光、G光及びB光のいずれかを選択的に透過させる場合であっても、傾斜角度θ1,θ2、波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλB及び透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3の関係は、図9に示す例に限定されるものではない。例えば、θ=0 ゚の場合に、透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3のうちのいずれか1つの透過波長帯のみが波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBのうちのいずれか1つの波長帯のみと重なり、θ=θ1の場合に透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3のうちの残りの2つの透過波長帯のうちのいずれか1つの透過波長帯のみが波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBのうちの残りの2つの波長帯のうちのいずれか1つの波長帯のみと重なり、θ=θ2の場合に透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3のうちの残りの1つの透過波長帯のみが波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBのうちの残りの1つの波長帯のみと重なるように、前記関係を設定すればよい。ここで、図9に示すような関係に設定する場合のシミュレーション結果の一例を、図11乃至図13に示す。このシミュレーションでは、ハロゲンランプからの光を図10に示す3バンドパス特性を有する光学フィルタ入射光作製用の光学フィルタを透過させた光が、光学フィルタ13に対する入射光であるものとした。そして、この入射光を光学フィルタ13にその法線方向に入射させた場合θ=0 ゚の場合に相当の、光学フィルタ13を透過した後の光のスペクトルのシミュレーション結果を、図11に示す。また、この入射光を光学フィルタ13の法線方向に対して30 ゚傾けて光学フィルタ13に入射させた場合θ=θ2=30 ゚の場合に相当の、光学フィルタ13を透過した後の光のスペクトルのシミュレーション結果を、図12に示す。さらに、この入射光を光学フィルタ13の法線方向に対して40 ゚傾けて光学フィルタ13に入射させた場合θ=θ1=40 ゚の場合に相当の、光学フィルタ13を透過した後の光のスペクトルのシミュレーション結果を、図13に示す。このシミュレーションに際し、光学フィルタ13は、80層の積層膜であるものとし、光入射側から奇数番目の層は全て厚さ50nmのSiO2層であるものとし、光入射側から偶数番目の層は全て厚さ50nmのNb2O5層であるものとした。図10乃至図13から、光学フィルタ13の構成としてそのシミュレーション時のような構成を採用し、第1及び第2の傾斜角度θ1,θ2を40 ゚及び30 ゚にそれぞれ設定すれば、θ=0 ゚の場合にB光のみが光学フィルタ13を選択的に透過し、θ=θ2の場合にG光のみが光学フィルタ13を選択的に透過し、θ=θ1の場合にR光のみが光学フィルタ13を選択的に透過することがわかる。本実施の形態では、図1中のデバイス制御回路3は、画像信号制御回路6からR光選択信号を受けているときには全ての素子10の可動電極16と第1の固定電極18aとの間に電圧を印加してθ=θ1とし、G光選択信号を受けているときには全ての素子10の可動電極16と第2の固定電極18bとの間に電圧を印加してθ=θ2とし、B光選択信号を受けているときには全ての素子10の可動電極16と固定電極18a,18bとの間には電圧を印加せずθ=0 ゚とする。本実施の形態では、前述した光学デバイス2及びデバイス制御回路3からなる可変フィルタ装置4が用いられており、光学フィルタ13の波長選択特性を利用して通過させる光の波長を変えるので、可変フィルタ装置4の代わりに従来と同様に偏光を利用する液晶デバイスを用いる場合に比べて、光の利用効率が大幅に高まる。また、本実施の形態では、単一の大きな光学フィルタを用いてそれを動かすことで通過させる光の波長を変えるものではなくすなわち、マクロの機械的な機構を用いるものではなく、マイクロアクチュエータアレーの個々のマイクロアクチュエータの可動部本実施の形態では、回転板12に個々の光学フィルタ13が設けられ、これらの複数の光学フィルタ13がそれぞれマイクロアクチュエータによって動かされることで、一斉に同じ色選択動作を行う。したがって、個々の光学フィルタ13は小さくすることができて軽量にすることができる。よって、個々の光学フィルタ13の動作速度を高めることができ、色選択の動作速度を高めることができる。また、マクロの機械的な機構を用いて可変フィルタ装置を構成する場合に比べて、可変フィルタ装置4の小型化を図ることができる。このように、本実施の形態によれば、可変フィルタ装置4に関して、マクロの機械的な機構を用いた手段に比べて小型化及び動作の高速化を図ることができ、しかも、光の利用効率を高めることができる。よって、本実施の形態によれば、投射型表示装置全体としても、小型化を図ったり光の利用効率を高めたりすることができる。なお、本実施の形態では、前述したように、全ての素子10の光学フィルタ13が同一の波長選択特性を有し、全ての素子10の回転板12の傾斜角度が常に互いに同一にされていたが、本発明では必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、全ての素子10をいくつかのグループに分け、各グループの素子10の光学フィルタ13をグループ毎に異なる波長選択特性を持つように構成し、デバイス制御回路3が、画像信号制御回路6からR光選択信号を受けたときに、各グループ毎に異なる駆動信号を印加して回転板12の傾斜角度を各グループ毎に異ならせることで、全てのグループの素子10の光学フィルタ13がR光を選択的に透過させるように、構成してもよい。この場合は、例えば、固定電極18a,18bは各グループ毎に共通接続して、異なるグループ間では独立した駆動信号を印加できるように配線すればよい。[第2の実施形態]図14は、本発明の第2の実施の形態による投射型表示装置で用いられる光学デバイス52の隣り合う2つの単位素子60を模式的に示す概略平面図であり、図3に対応している。図15は、図14中ののC-C’線に沿った概略断面図である。図14及び図15において、図3及び図4中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。本実施の形態による投射型表示装置が前記第1の実施の形態による投射型表示装置と異なる所は、光学デバイス2に代えて光学デバイス52が用いられ、これに伴い、デバイス制御回路3から光学デバイス52に供給される信号が電圧信号ではなく、後述する電流信号である点のみである。光学デバイス52が光学デバイス2と異なる所は、以下に説明する点である。図面には示していないが、光学デバイス52では、単位素子10に代わる単位素子60が、基板11上に2次元状に複数配置されている。光学デバイス52が光学デバイス2と基本的に異なる所は、光学デバイス2では可動部としての回転板12が回転可能に支持されているのに対し、光学デバイス52では、以下に説明するように、片持ち梁構造が採用されている点である。各素子60は、基板11に対して角度に関する姿勢が変化し得る可動部としての可動板62と、可動62に設けられた光学フィルタ13この光学フィルタ13は、光学デバイス2の光学フィルタ13と同一である。と、を有している。可動板62は、下側のSiN膜71と上側のSiN膜72とによって矩形の平板状に構成され、その周囲には剛性を高めるための段差62aが形成されている。光学フィルタ13は、SiN膜72上に形成されている。可動板62の-X側の一辺における両側部分が、それぞれ基板11から立ち上がるポスト64に板ばねをなすヒンジ65を介して支持され、可動板62は、ヒンジ65によって傾き可能に支持されている。本実施の形態では、このように、ヒンジ65によって一端辺が支持される片持ち梁構造が採用されている。可動板62に後述するローレンツ力が付与されていない場合には、ヒンジ65の復帰力本実施の形態では、バネ力によって、可動板62がXY平面と平行となる姿勢に復帰するようになっている。可動板62を構成するSiN膜71,72は、そのままヒンジ65及びポスト64に延在している。SiN膜71,72間には、図14に示すように、Y側のポスト64から、Y側のヒンジ65、可動板62のY側の辺付近、可動板62のX側の辺付近、可動板62の-Y側の辺付近、-Y側のヒンジ65を通って、-Y側のポスト64に至るAl膜からなる配線63が形成されている。本実施の形態では、配線63は光学フィルタ13と重ならないように配置されているが、重なるように配置した場合には、配線63をITO膜等で構成すればよい。図示していない永久磁石電磁石等でもよい。によって、X軸方向に沿ってその一方側へ向かう略均一な磁界を発生している。配線63のうち、可動板62のX側の一辺に沿ってY軸方向に延びた直線状の部分63aが、前記磁石による磁界内に配置されて通電により駆動力としてのローレンツ力を生じる電流路ローレンツ力用電流路を構成している。配線63の他の部分は、ローレンツ力電流路63aに電流を供給するための供給路となっている。前記磁石によって前記磁界が発生しているので、ローレンツ力電流路63aに流す電流の向きに応じて、-Z方向又はZ方向のローレンツ力がローレンツ力電流路63aひいては、可動板62に作用する。本実施の形態では、ローレンツ力電流路63aが駆動力発生部となっているが、駆動力は必ずしもローレンツ力に限定されるものではない。しかしながら、ローレンツ力は電流に対して直線性が良いので、駆動力の大きさを調整して、駆動力とヒンジ65のバネ力とが釣り合う所望の傾斜角度で安定して可動板62を保持するためには、駆動力としてローレンツ力を用いることが好ましい。なお、ヒンジ65及びポスト64は、可動板62から延在するSiN膜71,72及び配線63によって構成されている。配線63の一端は、Y側のポスト64において、SiN膜71に形成したコンタクトホールを介して、基板11上に形成されたAl膜からなる配線66aに接続されている。同様に、配線63の他端は、-Y側のポスト64において、SiN膜71に形成したコンタクトホールを介して、基板11上に形成されたAl膜からなる配線66bに接続されている。配線66a,66bは、SiN膜又はSiO2膜からなる絶縁膜80で覆われている。配線66aによって、全ての素子60のローレンツ力電流路63aの一端が電気的に共通に接続されている。同様に、配線66bによって、全ての素子60のローレンツ力電流路63aの一端が電気的に共通に接続されている。これにより、全ての素子60のローレンツ力電流路63aが並列接続されている。したがって、全ての素子60のローレンツ力電流路63aに対して共通して、駆動信号であるローレンツ力用電流が供給されるようになっている。なお、全ての素子60のローレンツ力電流路63aには、同じ向きのローレンツ力が生ずるようになっている。全ての素子60のローレンツ力電流路63aが並列接続する代わりに、全ての素子60のローレンツ力電流路63aを直列接続してもよいし、複数の素子毎にローレンツ力電流路63aを直列接続してその直列接続体を並列接続してもよい。これらの場合にも、全ての素子60のローレンツ力電流路63aに対して共通して、駆動信号であるローレンツ力用電流が供給される。この光学デバイス52では、ローレンツ力電流路63aにローレンツ力用電流を流すと、ローレンツ力電流路63aに生ずるローレンツ力とヒンジ65のバネ力とが釣り合う傾斜角度まで可動板62が傾斜し、その状態を保持する。したがって、ローレンツ力電流路63aに流すに流す電流の大きさを変えることで、保持される可動板62の傾きを変えることができる。なお、ローレンツ力の向きはZ方向でもよいし、-Z方向でもよい。本実施の形態においても、光学フィルタ13は前記第1の実施の形態の場合と同じであるので、デバイス制御回路3は、画像信号制御回路6からR光選択信号を受けているときには、駆動信号として、全ての素子60の可動板62の傾斜角度XY平面に対する傾斜区角度θを前述した第1の傾斜角度θ1にする大きさの電流を、全ての素子60のローレンツ力電流路63aに流す。また、デバイス制御回路3は、画像信号制御回路6からG光選択信号を受けているときには、駆動信号として、全ての素子60の可動板62の傾斜角度θを前述した第2の傾斜角度θ2にする大きさの電流を、全ての素子60のローレンツ力電流路63aに流す。さらに、デバイス制御回路3は、画像信号制御回路6からB光選択信号を受けているときには、全ての素子60の可動板62の傾斜角度θを0 ゚にするべく、全ての素子60のローレンツ力電流路63aに電流を流さない。本実施の形態では、素子60のうち光学フィルタ13以外の部分が1つのマイクロアクチュエータを構成している。そして、光学デバイス52を構成している複数の素子60のうち各光学フィルタ13を除いた部分が、複数のマイクロアクチュエータを備えたマイクロアクチュエータアレーを構成している。次に、光学デバイス52の製造方法の一例について、図16乃至図18を参照して説明する。図16乃至図18は、この製造方法における各工程の状態を模式的に示す概略断面図であり、図15に示す断面図に対応している。ただし、図16乃至図18では、1つの素子60の断面のみについて示している。なお、以下の説明における材料や寸法は例示であり、それらに限定されるものではない。まず、パイレックスガラス基板やサファイヤ基板等の基板11上に、厚さ0.3μmのAl膜を形成し、このAl膜を、配線66a,66b等の形状にパターニングする。次いで、それらの上に基板11上の全面に渡ってSiN膜又はSiO2膜等からなる厚さ0.5μmの絶縁膜80を形成する図16a。次に、絶縁膜20上の全体に、犠牲層としての厚さ3μmのレジスト91を形成する図16b。更に、レジスト91上に、可動板62に合わせた犠牲層としての厚さ3μmのレジスト92を島状に形成する図16c。引き続いて、レジスト91及び絶縁膜80に、ポスト64におけるコンタクトホールに応じた開口一辺5μmの正方形状の開口を形成する図16d。その後、SiN膜71を形成し、このSiN膜71を、可動板62、ポスト64及びヒンジ65の形状にパターニングする図17a。このとき、このSiN膜71には、ポスト64におけるコンタクトホールに応じた開口を形成する。次に、厚さ0.3μmのAl膜を形成し、このAl膜を配線63の形状にパターニングする図17b。更に、その上に厚さ0.3μmのSiN膜72を形成し、そのSiN膜72を、可動板62、ポスト64及びヒンジ65の形状にパターニングする図17c。次いで、SiO2層とNb2O2層との交互層を多数積層した構成であって全体の層厚が4μmの誘電体多層膜を形成し、この誘電体多層膜を光学フィルタ13の形状にパターニングする図17d。次いで、図17dの状態の基板上に保護層としてのレジスト93を形成する。更に、基板11の下面上に、マイクロレンズ11aの形状に合わせた曲面を持つようにグレイトーンマスク等で露光現像したレジスト94を形成する図18a。その後、基板11の下面側がマイクロレンズ11aとなるように、レジスト94をマスクとして基板11の下面側をドライエッチングする図18b。最後に、レジスト91~93をプラズマアッシング法等により除去する。これにより、光学デバイス52が完成する。本実施の形態によっても、前記第1の実施の形態と同様の利点が得られる。ところで、本実施の形態による投射型表示装置に採用されている可変フィルタ装置光学デバイス52及びデバイス制御回路からなる可変フィルタ装置は、用途によっては、次のように変形してもよい。この変形例について、図19も参照して説明する。図19は、この変形例における光源1からの光のスペクトルの波長帯ΔλRGBと、光学フィルタ13の単一の波長帯Δλ11との関係を示す図である。図19aは可動板62の傾斜角度θが0 ゚である場合、図19bはその傾斜角度θが大きくなった場合、図19cはその傾斜角度θが更に大きくなった場合を、それぞれ示している。この変形例では、光源1として可視領域内において連続的なスペクトルの光を発するハロゲンランプ等を用い、この連続的なスペクトルの光図19では、その波長帯をΔλRGBで示している。を、次のように変形した光学デバイス52に入射させる。この変形例では、光学デバイス52の光学フィルタ13として、図19に示すように単一の透過波長帯Δλ11を持つ波長選択特性を有するフィルタを設ける。この例では、図19aに示すθ=0 ゚から図19cに示す角度まで連続的に変えることで、選択的に透過する光の波長を、ほぼG光からB光まで連続的に変えることができる。マイクロアクチュエータを可動板62の傾斜角度の可変範囲がより大きくなるように構成するとともに、θ=0 ゚の場合のΔλ11をR光付近に設定すれば、可動板62の傾斜角度を連続的に変えることで、選択的に透過する光の波長を、ほぼR光からB光まで連続的に変えることができる。したがって、このように変形すれば、R光からB光まで連続的に通過波長を変える用途に用いることができる。また、マイクロアクチュエータを可動板62の傾斜角度の可変範囲がより大きくなるように構成するとともに、θ=0 ゚の場合のΔλ11をR光付近に設定すれば、この単一の透過波長帯Δλ11を持つように変形した光学デバイス52は、前記第2の実施の形態における光学デバイス52に代えて用いることができる。この場合、デバイス制御回路3は、色選択信号に応じて、ローレンツ力電流路63aに電流を流さない状態、G光用の電流を流す状態及びB光用の電流を流す状態に切り替えればよい。また、前記第1の実施の形態や前記第2の実施の形態において採用されている可変フィルタ装置は、用途によっては、2色の光を切り替えて可変に出力するように構成してもよい。この変形例では、例えばG光及びB光のうちのいずれかのみを選択的に出力するように構成する場合には、図9から理解できるように、例えば、光源1必要に応じて、適当な波長選択特性を有する光学フィルタを含む。からの光として、G光及びB光の2つの離散的な波長帯ΔλG,ΔλBの成分の光を、当該可変フィルタ装置に入射させ、光学フィルタ13を、離散的な2つの透過波長帯Δλ1,Δλ2を持つバンドパス特性いわゆる2バンドパス特性を持つように構成してもよい。このとき、例えば、図20に示すように、各素子60の光学フィルタ13を、比較的狭い透過波長帯Δλ1,Δλ2の代わりに比較的広い透過波長帯Δλ1’,Δλ2’を持つように構成してもよい。[第3の実施の形態]図21は、本発明の第3の実施の形態によるシャッタ装置104を示す概略構成図である。本実施の形態によるシャッタ装置104は、光学デバイス102及びこれを制御するデバイス制御回路103とから構成されており、切替信号に応じて、光源101からの入射光のうち可視領域内の少なくとも一部の波長帯の光を通過させるオン状態と、光源101からの入射光のうちの可視領域内の光を実質的に通過させないオフ状態とを切り替える。光源101は、前記第1の実施の形態における光源1と同じであり、光源101からの光の波長帯は、離散的な3つの比較的狭い波長帯、すなわち、R光、G光及びB光の波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBである。本実施の形態では、光源101からの光は、平行光束として光学デバイス102に入射するようになっている。必要に応じて、コリメータレンズ等を用いて光源1からの光を平行光束にしてもよい。また、光学デバイス102へ入射させる光は必ずしも、平行光束でなくてもよい。光学デバイス102は、以下に説明する点を除いて、前記第1の実施の形態による投射型表示装置で採用されている光学デバイス2と同一に構成されている。光学デバイス102が光学デバイス2と異なる所は、各素子10において第2の固定電極18b及びストッパ31bが除去され、更に配線19bも除去されている点と、各素子10の光学フィルタ13の波長選択特性の点のみである。この光学デバイス102では、固定電極18aと可動電極16との間に電圧が印加されて回転板12の傾斜角度θが傾斜角度θ1に保持された状態と、固定電極18aと可動電極16との間に電圧が印加されずに回転板12の傾斜角度θが0 ゚に保持された状態との、いずれかの状態に切り替えられる。図22は、光源101からの離散的なR光、G光及びB光の波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBと、光学デバイス102の光学フィルタ13の離散的な透過波長帯Δλ21,Δλ22,Δλ23との関係を、模式的に示す図である。図22aは回転板12の傾斜角度θが0 ゚の場合、図22bは回転板12の傾斜角度θが前記傾斜角度θ1の場合を、それぞれ示している。前述したように、本実施の形態では、光源1からの光の波長成分は、可視領域において、離散的なR光、G光及びB光の波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBのみしか有していない。そして、本実施の形態では、光学デバイス102の各素子10の光学フィルタ13は、図22に示すように、可視領域において、離散的な3つの透過波長帯Δλ21,Δλ22,Δλ23を持つバンドパス特性いわゆる3バンドパス特性を有している。回転板12が傾くほどすなわち、傾斜角度θが大きくなるほど、光学フィルタ13を構成する誘電体多層膜の各層の実効的な厚さが厚くなるため、図22に示すように、透過波長帯Δλ21,Δλ22,Δλ23は短波長側にシフトしていく。なお、本実施の形態では、基板11に対する入射光の入射角度は不変である。本実施の形態では、θ=0 ゚の場合には、図22aに示すように、3つの透過波長帯Δλ21,Δλ22,Δλ23が3つの波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBとそれぞれ重なっている。一方、θ=θ1の場合には、3つの透過波長帯Δλ21,Δλ22,Δλ23は、いずれの波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBとも重ならない。本実施の形態では、光学デバイス102の各素子10の光学フィルタ13は、このような関係を満たすように、傾斜角度θ1及び透過波長帯Δλ21,Δλ22,Δλ23が設定されている。したがって、本実施の形態では、回転板12の傾斜角度θを0 ゚にすると、光学フィルタ13はR光、G光及びB光を全て透過して透過後の光も透過前の光とほぼ同じ白色光となる。一方、回転板12の傾斜角度θを前記傾斜角度θ1にすると、R光、G光及びB光のいずれの波長帯の光も透過せず、光源101からの光は完全に遮光される。ここで、図22に示すような関係に設定する場合のシミュレーション結果の一例を図23及び図24に示す。このシミュレーションでは、ハロゲンランプからの光を図10に示す3バンドパス特性を有する光学フィルタを透過させた光が、光学フィルタ13に対する入射光であるものとした。そして、この入射光を光学フィルタ13にその法線方向に入射させた場合θ=0 ゚の場合に相当の、光学フィルタ13を透過した後の光のスペクトルのシミュレーション結果を、図23に示す。また、この入射光を光学フィルタ13の法線方向に対して30 ゚傾けて光学フィルタ13に入射させた場合θ=θ1=30 ゚の場合に相当の、光学フィルタ13を透過した後の光のスペクトルのシミュレーション結果を、図24に示す。図23及び図24から、光学フィルタ13の構成としてそのシミュレーション時のような構成を採用し、傾斜角度θ1を30 ゚に設定すれば、光学フィルタ13は、θ=0 ゚の場合にR光、G光及びB光からなる白色光が透過し、θ=θ1の場合にいずれの波長帯の光も遮光されることがわかる。本実施の形態では、図21中のデバイス制御回路103は、外部からの切替信号を受けて、切替信号がオン状態を示す場合には、全ての素子10の可動電極16と固定電極18aとの間には電圧を印加せずθ=0 ゚とし、切替信号がオフ状態を示す場合には、全ての素子10の可動電極16と固定電極18aとの間に電圧を印加してθ=θ1とする。本実施の形態によるシャッタ装置104では、前述した光学デバイス102及びデバイス制御回路103が用いられており、光学フィルタ13の波長選択特性を利用して光の透過をオンオフさせるので、シャッタ装置104の代わりに従来と同様に偏光を利用する液晶シャッタを用いる場合に比べて、光の利用効率が大幅に高まる。また、本実施の形態では、単一の大きな光学フィルタを用いてそれを動かすことで通過させる光の波長を変えるものではなくすなわち、マクロの機械的な機構を用いるものではなく、マイクロアクチュエータアレーの個々のマイクロアクチュエータの可動部本実施の形態では、回転板12に個々の光学フィルタ13が設けられ、これらの複数の光学フィルタ13がそれぞれマイクロアクチュエータによって動かされることで、一斉に同じオンオフ切替動作を行う。したがって、個々の光学フィルタ13は小さくすることができて軽量にすることができる。よって、個々の光学フィルタ13の動作速度を高めることができ、オンオフの動作速度を高めることができる。また、マクロの機械的な機構を用いてシャッタ装置104を構成する場合に比べて、シャッタ装置104の小型化を図ることができる。このように、本実施の形態によれば、マクロの機械的な機構を用いた手段に比べて小型化及び動作の高速化を図ることができ、しかも、光の利用効率を高めることができる。なお、波長帯ΔλR,ΔλG,ΔλBと光学デバイス102の光学フィルタ13の離散的な透過波長帯Δλ1,Δλ2,Δλ3との関係は、図22に示す例に限定されるものではなく、例えば、θ=θ1の場合にR光、G光及びB光からなる白色光が透過し、θ=0 ゚の場合にいずれの波長帯の光も遮光されるように、設定することも可能である。本実施の形態では、光学デバイス102は、前記第1の実施の形態で採用されていた光学デバイス2を変形したものとされていたが、光学デバイス102の代わりに、前記第2の実施の形態で採用されていた光学デバイス52を変形したものを用いてもよい。この場合、光学デバイス52における各素子60の光学フィルタ13を、光学デバイス102の光学フィルタ13と同じものすなわち、図22に示す波長選択特性を有する光学デバイスで置き換えればよい。この場合、デバイス制御回路102は、切替信号がオフ状態を示す場合は、駆動信号として、全ての素子60の可動板62の傾斜角度XY平面に対する傾斜区角度θを前記傾斜角度θ1にする大きさの電流を、全ての素子60のローレンツ力電流路63aに流し、切替信号がオン状態を示す場合は、全ての素子60の可動板62の傾斜角度θを0 ゚にするべく、全ての素子60のローレンツ力電流路63aに電流を流さない。ところで、第3の実施の形態によるシャッタ装置104を、次のように変形してもよい。すなわち、光源101からの光の波長成分がΔλR,ΔλG,ΔλBであっても、オン状態において、ΔλR,ΔλG,ΔλBのうちのいずれか1つ又は2つの波長帯の光のみを選択的透過させるようにしてもよい。この場合、オン状態で例えばΔλB,ΔλGの波長帯の光のみを選択的に通過させる場合には、各素子10の光学フィルタ13を、2つの透過波長帯Δλ21,Δλ22のみを持つバンドパス特性を持つように構成すればよい。また、光源101からの光の波長成分はΔλR,ΔλG,ΔλBに限定されるものではなく、例えば、そのうちのいずれか1つ又は2つのみを含んでいてもよい。例えば、光源101からの光がΔλGのみを含む場合、各素子10の光学フィルタ13を、1つの透過波長帯Δλ22のみを持つ単一バンドパス特性を持つように構成すればよい。また、この場合、例えば、図25に示すように、各素子10の光学フィルタを、遮断波長以下の波長帯ΔλSを透過させるショートパス特性を持つように構成してもよい。以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。例えば、前記第1及び第2の実施の形態は、本発明による可変フィルタ装置を投射型表示装置に用いた例であったが、本発明による可変フィルタ装置の用途はこれに限定されるものではなく、例えば、蛍光顕微鏡において観察する波長を変えるために用いてもよい。前記第1及び第2の実施の形態で採用されている可変フィルタ装置や前記第3の実施の形態やその変形例によるシャッタ装置では、各単位素子が2次元状に配置されていたが、用途によっては1次元状に配置してもよい。前記第1及び第2の実施の形態で採用されている可変フィルタ装置や前記第3の実施の形態やその変形例によるシャッタ装置では、透過型として構成されていたが、反射型として構成してもよい。それらの装置において、反射型の構成を採用する場合には、各素子において透過型の光学フィルタ13に代えて反射型の光学フィルタを採用すればよい。このとき、入射光を基板11側からではなく光学フィルタ側から入射させれば、基板11等を透明材料で構成する必要はない。また、この場合、マイクロレンズ11aには光が入射しないので、マイクロレンズ11aを形成しおく必要はない。"