"層状化合物と、吸着活性成分と、無機保湿剤とを含む半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤であって、前記吸着活性成分は、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物及び酸化鉄化合物からなる群から選択される1種以上の化合物からなることを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記層状化合物は、ベントナイト、ヒドロタルサイト、モンモリロナイト、バーミキュライトからなる群から選択されることを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1又は請求項2に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記層状化合物は、500~2000kg/m3の範囲の密度と、900~1400m2/gの範囲の比表面積とを有し、前記層状化合物を、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、6~15重量の範囲で含むことを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記吸着活性成分は、NaOH、KOH、MgOH2、CaOH2、SrOH2、FeO、FeOOH、Fe2O3、及びFe3O4からなる群から選択される1種以上を含むことを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記吸着活性成分を、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、80~90重量の範囲で含むことを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記無機保湿剤は、オルトケイ酸テトラエチル、ジルコニウムプロポキシド、チタンt-ブトキシド及び2種以上のこれらの混合物のうちから選択されることを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記無機保湿剤を、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、1~6重量の範囲で含むことを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤は、顔料または染料、及び水からなる群から選択される1種以上をさらに含むことを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤において、前記半導体エッチング工程用の排ガスは、Cl2、BCl3、HBrからなる群から選択される1種以上を含むことを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤。請求項1乃至請求項9のうち何れか一項に記載の半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤を利用することを特徴とする半導体エッチング工程用の排ガス処理方法。しかしながら、従来のスクラバーは、実際の半導体製造工程において、中和反応により強度が低下してしまい、化学的な反応によって吸着剤同士に多少の凝集が生じる固化現象により吸着剤間の空隙が減り、流体の流れを妨害して差圧が大きくなってしまうという問題点がある。また、従来のスクラバーにおいて代表的な吸着剤として用いられる活性炭等は、特定の反応時に発熱して危険をもたらすおそれがある。このように、従来のスクラバーは、安定性、吸着能及び製品寿命の観点で改善しなければならない余地を多く有している。これにより、当該技術分野では、安定的でありながらも、吸着能に優れ、製品寿命を向上させることができる半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤及びそれを利用した排ガス処理方法についての研究が必要とされている。本発明は、上記事情に鑑み、吸着能に優れ、製品寿命を向上させることができる半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤及びそれを利用した排ガス処理方法を提供することを目的とする。本発明は、層状化合物と、吸着活性成分と、無機保湿剤とを含む半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤であって、前記吸着活性成分は、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物及び酸化鉄化合物からなる群から選択される1種以上の化合物からなることを特徴とする。また、本発明の半導体エッチング工程用の排ガス処理方法は、前記半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤を用いることを特徴とする。本発明は、層状化合物と、吸着活性成分と、無機保湿剤とを含む半導体エッチング工程用の排ガス吸着剤であって、前記吸着活性成分を、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物及び酸化鉄化合物からなる群から選択される1種以上の化合物とすることによって、半導体エッチング工程において発生する排ガスに対する吸着能を向上させると共に、排ガス吸着剤としての製品寿命を向上させることができる。以下、本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。本実施形態の排ガス吸着剤は、層状化合物と、吸着活性成分と、無機保湿剤とを含み、前記吸着活性成分は、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物及び酸化鉄化合物からなる群から選択される1種以上の化合物からなる。本実施形態の排ガス吸着剤において、前記層状化合物は、排ガス吸着剤内で気孔を確保して吸着活性成分の反応面積を増加させて性能を向上させるように作用する。前記層状化合物は、ベントナイト、ヒドロタルサイト、モンモリロナイト、バーミキュライトからなる群から選択されることが望ましい。前記層状化合物は、500~2000kg/m3の範囲の密度と、900~1400m2/gの範囲の比表面積とを有することが望ましい。前記層状化合物が、前記範囲の密度及び比表面積を有することにより、排ガス吸着剤における吸着活性成分の反応面積を増加させることができる。また、前記層状化合物は、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、6~15重量の範囲で含まれることが望ましい。前記層状化合物の含量が、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、6重量未満である場合には、十分な吸着能を得ることができず、15重量を超過する場合には、成形的な問題が発生するか、他の活性成分の割合が少なくなり、吸着能が低下するという問題が発生することがある。前記層状化合物は、最終的に製造される排ガス吸着剤の用途及び方法によって粉末または顆粒形態とすることができる。前記層状化合物の大きさは、排ガス吸着剤の使用用途及び適用対象によって適宜選択され、粉末形態である場合には、直径が1.2mm以下であり、顆粒形態である場合には、直径が1.2mm以上であることが望ましい。本実施形態の排ガス吸着剤において、前記吸着活性成分は、吸着反応時に発生する吸着熱を最小化することができる。また、前記吸着活性成分は、ハロゲン族元素との電気陰性度の差に起因して、ハロゲン族元素との反応性に優れているため、酸度を高くし吸着活性を増大させることができる。前記吸着活性成分は、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物及び酸化鉄化合物からなる群から選択される1種以上を含むことが望ましい。前記アルカリ金属化合物としては、例えば、NaOH、KOHを挙げることができる。前記アルカリ土類金属化合物としては、例えば、MgOH2、CaOH2、SrOH2を挙げることができる。前記酸化鉄化合物としては、例えば、FeO、FeOOH、Fe2O3、Fe3O4を挙げることができる。前記吸着活性成分は、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、酸化鉄化合物を単独で用いてもよく、2種以上併用してもよい。特に、前記吸着活性成分は、NaOH、CaOH2及びFeOOHを含むことが望ましい。本実施形態の排ガス吸着剤は、前記吸着活性成分を、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、80~90重量の範囲で含むことが望ましい。前記吸着活性成分の含量が、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、80重量未満である場合には、十分な吸着能を得ることができず、90重量を超過する場合には、成形的な問題が発生するか、他の活性成分の割合が少なくなり、吸着能が低下するという問題が発生することがある。本実施形態の排ガス吸着剤において、前記無機保湿剤は、排ガス吸着剤の製造時に適切な水分を保持するように作用し、前記層状化合物と前記吸着活性成分との反応面積を効果的に広げることができる。そのため、ガス除去時、中和反応中に発生する水分の調節に寄与し、前記化学的な反応によって、吸着剤同士に多少の凝集が生じることで吸着剤間の空隙が減り、流体の流れが妨害されて発生する差圧の増大や偏流の発生等の問題を減少させる。また、前記無機保湿剤は、排ガス吸着剤に含まれることによって、半導体エッチング工程用の排ガス処理時に化学吸着、物理吸着、分解反応などを促進させて性能を向上させることができる。前記無機保湿剤は、オルトケイ酸テトラエチル、ジルコニウムプロポキシドまたはチタンt-ブトキシドからなる群から選択される1種以上の化合物を用いることが望ましい。本実施形態の排ガス吸着剤は、前記無機保湿剤を、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、1~6重量の範囲で含むことが望ましい。前記無機保湿剤の含量が、前記層状化合物と前記吸着活性成分と前記無機保湿剤との合計重量に対し、1重量未満である場合には、十分な吸着能を得ることができず、6重量を超過する場合には、成形的な問題が発生するか、排ガス吸着剤の吸着能が低下することがある。また、本実施形態の排ガス吸着剤は、顔料または染料をさらに含み、水をさらに含んでもよい。前記顔料または染料は、排ガス吸着剤の色を表わすためのものであって、有機顔料、無機顔料、染料などを単独または組み合わせて利用し、その含量も排ガス吸着剤の色を実現できるように適切に決定することができるものあればよく、特別に限定されるものではない。より具体的に、前記有機顔料としては、例えば、C.I.PigmentBlue15、C.I.PigmentBlue15:3などの青色顔料;C.I.PigmentViolet19、C.I.PigmentViolet23などのバイオレット顔料;C.I.PigmentGreen7、C.I.PigmentGreen10などの緑色顔料;C.I.PigmentRed5、C.I.PigmentRed9などの赤色顔料;C.I.PigmentOrange31、C.I.PigmentOrange36などのオレンジ顔料;C.I.PigmentYellow13、C.I.PigmentYellow42などの黄色顔料;C.I.PigmentBrown23、C.I.PigmentBrown25などのブラウン顔料;C.I.PigmentBlack7などの黒色顔料を挙げることができる。前記染料としては、例えば、アゾ系染料、フタロシアニン系染料、アントラキノン系染料、メチン系染料、オキサジン系染料、カルボニウム系染料、キノンイミン系染料、ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、トリフェニルメタン系染料、インジゴイド系染料、ペリノン系染料、ナフタルイミド系染料、キノリン系染料、及び前記染料含有の金属錯塩系染料などを挙げることができる。本実施形態の排ガス吸着剤は、0.6~0.8g/cm3の範囲の比重であることが望ましい。本実施形態の排ガス吸着剤を、前記範囲の比重とすることにより、より優れた吸着能を発揮させ、製品寿命を増大させることができる。本実施形態の排ガス吸着剤は、前述したように、層状化合物と、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物及び酸化鉄化合物からなる群から選択される1種以上の吸着活性成分と、無機保湿剤とを含むことによって、半導体エッチング工程時に発生する排ガスに対して、より優れた吸着能を発揮し、製品寿命を増大させることができる。本実施形態の排ガス吸着剤において、前記半導体エッチング工程時に発生する排ガスは、例えば、Cl2、BCl3、HBrの1種以上を含み得る。本実施形態の排ガス吸着剤は、層状化合物、吸着活性成分、無機保湿剤を除いて、当該技術分野において通常利用されている方法を用いて製造することができる。また、本発明は、本実施形態の排ガス吸着剤を用いる半導体エッチング工程用の排ガス処理方法を提供する。前記半導体エッチング工程用の排ガス処理方法は、本実施形態の排ガス吸着剤を利用することを除いて、当該技術分野においてよく知られた方法を利用することができる。以下、本発明の実施例及び比較例を示すが、下記の実施例は、本発明をより容易に理解するために提供するものであり、これによって、本発明の内容は限定されない。<実施例1>粒度が325メッシュである粉末形態の水酸化カルシウム密度:0.31g/cm3、比表面積:26m2/g250gと、C.I.Pigmentyellow42.5gと、バーミキュライト30gと、オルトケイ酸テトラエチル10gと、93試薬用NaOH5gとを水80gに添加し混練した。得られた混練物をエクストルーダーで5°C、60rpmの条件下で成形し、その後、120°Cで6時間、180°Cで6時間空気を循環させながら乾燥して、本実施例の排ガス吸着剤とした。本実施例で製造された排ガス吸着剤の強度を測定した。結果を表1に示す。<実施例2>本実施例では、バーミキュライトに代えて、ヒドロタルサイトを用いたことを除いて、実施例1と全く同一にして排ガス吸着剤を製造した。本実施例で製造した排ガス吸着剤の強度を測定した。結果を表1に示す。<実施例3>本実施例では、オルトケイ酸テトラエチルに代えて、ジルコニウムプロポキシドを用いたことを除いて、実施例1と全く同一にして排ガス吸着剤を製造した。本実施例で製造した排ガス吸着剤の強度を測定した。結果を表1に示す。<実施例4>本実施例では、水酸化カルシウムに代えて、FeOOHを用いたことを除いて、実施例1と全く同一にして排ガス吸着剤を製造した。本実施例で製造した排ガス吸着剤の強度を測定した。結果を表1に示す。<比較例1>本比較例では、バーミキュライトを用いていないことを除いて、実施例1と全く同一にして排ガス吸着剤を製造した。本比較例で製造された排ガス吸着剤の強度を測定した。結果を表1に示す。<比較例2>本比較例では、オルトケイ酸テトラエチルを用いていないことを除いて、実施例1と全く同一にして排ガス吸着剤を製造した。本比較例で製造された排ガス吸着剤の強度を測定した。結果を表1に示す。<比較例3>本比較例では、バーミキュライト、オルトケイ酸テトラエチルを用いていないことを除いて、実施例1と全く同一にして排ガス吸着剤を製造した。本比較例で製造された排ガス吸着剤の強度を測定した。結果を表1に示す。<比較例4>椰子系の活性炭商品名:SGA-100、三千里活性炭素株式会社製を排ガス吸着剤とし、その強度を測定した。結果を表1に示す。<実験例>実施例1~4及び比較例1~4で製造したそれぞれの排ガス吸着剤に対して、吸着実験装置を用いて吸着能を評価した。前記吸着実験装置としては、社内製の実験装置を使った。これは、高圧ガス容器に充填された特殊ガスを吸着カラムに常温常圧で安全に供給するシステムの制御装備であって、タッチスクリーン方式となっていて画面を見ながら制御できるようになっている。半導体エッチング工程用の排ガスとしては、Cl2、BCl3、HBrなどを利用し、N2ガスをともに流して充填層を通過するガスの流量を1,000ml/分になるようにした。吸着カラムには、実施例1~4及び比較例1~4で製造した排ガス吸着剤を100ml充填し、除去ガス量は、排出されるガスの濃度を、20°C、大気圧の条件下で分析することにより評価した。評価結果を、表2に示す。表1及び表2の結果から、実施例1~4の排ガス吸着剤は、層状化合物と、吸着活性成分と、無機保湿剤とを含むことによって、半導体エッチング工程時に発生する排ガスに対して、安定的であり、優れた吸着能を発揮し、製品寿命を向上させることができることが明らかである。特に、実施例1に示すように、バーミキュライト、水酸化カルシウム、オルトケイ酸テトラエチルを選択して使うことにより、非常に高い吸着能が得られるという格別な効果を奏することができることが確認された。"