第1の方向または第2の方向への変位を発生する第1の変位手段と、前記第1の変位手段の変位によって往復運動される振動基板と、前記振動基板の平面上に配置され、該振動基板の平面に直交する第3の方向に変位を発生する第2の変位手段を有する移動体と、を備え、前記第2の変位手段を介して前記移動体を第3の方向に変位させて前記振動基板と前記移動体との間の摩擦力を制御する摩擦力制御手段と、を有し、前記第2の変位手段の周波数は、前記第1の変位手段の周波数よりも高い周波数で変位を発生することを特徴とする慣性駆動アクチュエータ。前記摩擦力制御手段は、第1の方向と第2の方向の何れか一方において、第2の変位手段による第3の方向への変位を発生させ、前記第2の変位手段の周波数は、前記第1の変位手段の周波数より2倍の周波数で変位を発生することを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。前記第1の変位手段と前記第2の変位手段が圧電素子であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の慣性駆動アクチュエータ。前記振動基板の平面に対向する位置に磁気発生手段が配置され、前記移動体が磁気発生手段を有することを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。前記振動基板の平面に対向する位置に配置した磁気発生手段と、前記移動体が有する磁気発生手段のどちらかひとつが磁性体であることを特徴とする請求項4に記載の慣性駆動アクチュエータ。前記振動基板が磁気発生手段を有し、前記移動体が磁気発生手段を有することを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。前記振動基板が有する磁気発生手段と、前記移動体が有する磁気発生手段のどちらかひとつが磁性体であることを特徴とする請求項6に記載の慣性駆動アクチュエータ。共通の振動基板の平面上に複数の移動体が配設され、共通の振動基板に対する複数の移動体の全部或いは一部の相対位置が相互独立に変化可能に構成されたことを特徴とする請求項1から請求項7の何れか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。上記特許文献1に記載されているインパクト駆動アクチュエータは、板ばねにより振動部材と移動体に摩擦力を与えている。しかしながら、板ばねは常に振動部材と接触しているため摩耗などの影響で所望の摩擦力が得られなくなり安定した動作ができなくなるおそれがある。本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、簡単かつ低コストな構成でありながら、摩耗等の影響が少なく、長期に亘って安定して移動体を移動駆動することができる慣性駆動アクチュエータを提供することを目的とする。このため、本発明に係る慣性駆動アクチュエータは、第1の方向または第2の方向への変位を発生する第1の変位手段と、前記第1の変位手段の変位によって往復運動される振動基板と、前記振動基板の平面上に配置され、該振動基板の平面に直交する第3の方向に変位を発生する第2の変位手段を有する移動体と、を備え、前記第2の変位手段を介して前記移動体を第3の方向に変位させて前記振動基板と前記移動体との間の摩擦力を制御する摩擦力制御手段と、を有し、前記第2の変位手段の周波数は、前記第1の変位手段の周波数よりも高い周波数で変位を発生することを特徴とする。本発明において、前記摩擦力制御手段は、第1の方向と第2の方向の何れか一方において、第2の変位手段による第3の方向への変位を発生させ、前記第2の変位手段の周波数は、前記第1の変位手段の周波数より2倍の周波数で変位を発生することを特徴とすることができる。本発明において、前記第1の変位手段と前記第2の変位手段が圧電素子であることを特徴とすることができる。本発明において、前記振動基板の平面に対向する位置に磁気発生手段が配置され、前記移動体が磁気発生手段を有することを特徴とすることができる。本発明において、前記振動基板の平面に対向する位置に配置した磁気発生手段と、前記移動体が有する磁気発生手段のどちらかひとつが磁性体であることを特徴とすることができる。本発明において、前記振動基板が磁気発生手段を有し、前記移動体が磁気発生手段を有することを特徴とすることができる。本発明において、前記振動基板が有する磁気発生手段と、前記移動体が有する磁気発生手段のどちらかひとつが磁性体であることを特徴とすることができる。本発明において、共通の振動基板の平面上に複数の移動体が配設され、共通の振動基板に対する複数の移動体の全部或いは一部の相対位置が相互独立に変化可能に構成されたことを特徴とすることができる。本発明は、簡単かつ低コストな構成でありながら、摩耗等の影響が少なく、長期に亘って安定して移動体を移動駆動することができる慣性駆動アクチュエータを提供することができる。以下に、本発明に係る慣性駆動アクチュエータの実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。ここにおいて、本発明に係る慣性駆動アクチュエータは、以下で説明するように、位置が微小に移動する振動部材に摩擦係合した移動体の構成において、移動体が振動基板の移動と伴って動く必要があるときは移動体と振動基板の摩擦力を増大させ、移動体が振動基板の移動に伴う必要がないときは移動体と振動基板の摩擦力を低下させるように、移動体に振動基板の変位する周波数よりも高周波で変位する機構を設けて摩擦力を制御する手段を備えた構成を採用することとして、従来のような摩耗などによる影響で所望の摩擦力が得られなくなることを回避することを特徴としている。図1は、本発明に係る慣性駆動アクチュエータの実施例1の構成を示す断面図である。図1aは、実施例1の慣性駆動アクチュエータの断面を示す構成図である。図1aに示したように、固定部材7に、圧電素子1、振動基板4を設置し、ばね6で押圧することにより固定部材7に圧電素子1と振動基板4を固定している。この構成により、圧電素子1が図1aにおいて水平方向に微小変位第1の変位手段したときに、振動基板4も圧電素子1の変位に伴って図1aにおいて水平方向に微小変位する。また、本実施例においては、移動体20は、振動基板4の平面図1の主面に載置され、図1aの垂直方向に微小変位する圧電素子2と接触部材5を有している。圧電素子2が伸縮を繰り返すことにより生じる振動が、接触部材5内部を伝わり接触部材5の振動基板4と接触する表面が振動する。この接触部材5の振動基板4との当接表面の振動により、移動体20の振動基板4と接触している面では、図1aにおいて上方向の力が働き、また、振動している表面の形状が変化して移動体20と振動基板4の接触面積が減少することから、移動体20と振動基板4の摩擦力が減少する。このようにして、移動体20と振動基板4との間の摩擦力を減少させることによって摩擦力の制御を行い、慣性駆動を実行する。なお、圧電素子2の伸縮の周波数を圧電素子1の伸縮の周波数より高く設定することにより、振動基板4の図1aにおいて左方向の変位運動に対して移動体20と振動基板4の間に働く摩擦力を制御することが可能となる。摩擦力の制御により移動体20が移動する原理については、図2で示す駆動波形を用いて後述する。本実施例では、移動体20と振動基板4の摩擦力を制御するための構成に関し、従来のようにバネなどのような摩耗によって力が低下する部材を用いていないため、例えば経時的な摩擦力の低下を抑えることができるため、長期に亘って必要な摩擦力を維持することができ安定した駆動を可能にすることができる。なお、圧電素子2と接触部材5、圧電素子2と慣性部材51は、それぞれ機械的に結合されていること、例えば接着されていることが望ましい。図1bは実施例1の移動体20に接触部材5と比べて同等、あるいは質量が大きい慣性部材51を配置した場合の構成図である。移動体20に慣性部材51を配置したことにより、圧電素子2が収縮するときに、移動体20の振動基板4と接触している部位では、図1bにおいて上方向の力が働き、移動体20と振動基板4の摩擦力が減少するため、図1aと同様の作用効果を得ることができる。ここで、図2に従って、駆動波形による駆動原理を説明する。図2は、図1aに示した実施例1の構成で移動体20を駆動するときに圧電素子1および圧電素子2に印加する電圧波形の実施例を示す。図2aは、図1aの移動体20が図1aの左方向に移動するときの駆動波形を示し、図2bは図1aの移動体20が図1aの右方向に移動するときの駆動波形を示す。図2aと図2bは同等の原理を示すため、ここでは図2aの説明のみをする。図2aのA点のとき、圧電素子1に電圧を印加し始める。A点からB点の間に圧電素子1に印加する電圧を増加していく。すなわち、圧電素子1の長さが微小に長くなるため振動基板4は図1aの左方向第1の方向に微小に変位する。そのとき、移動体20は振動基板4との摩擦力が滑らない程度に大きいため、移動体20は振動基板4とともに図1aの左方向に微小に変位する。図2aのB点のとき、圧電素子1への印加電圧を減少しはじめ、圧電素子2へ圧電素子1より高い周波数の三角波を印加しはじめる。B点からC点の間で圧電素子1に印加する電圧をゼロまで下げていき、圧電素子2は三角波を印加し続ける。それによって、圧電素子1の長さがA点からB点の間で微小に長くなった分が収縮して元の長さに戻るため、これに伴って振動基板4は図1aの右方向第2の方向に微小に変位し、A点のときの位置に戻る。この一方で、振動基板4が図1aの右方向に微小変位している間、圧電素子2は伸縮振動し、その振動が接触部材5に伝達して接触部材5の振動基板4に対向した表面が振動することにより、移動体20は図1aの上方向の力第3の方向への変位を連続的に受けるとともに、接触部材5表面形状の変化から振動基板4との接触面積が小さくなることから、移動体20と振動基板4の間に働く摩擦力が低下した状態となっている。したがって、B点からC点の間で振動基板4が、図1aの右方向に微小変位している間は、移動体20は振動基板4との間の摩擦力が低下しているため、移動体20は振動基板4に対して滑る運動をすることによって、移動体20はその位置にとどまる。よって、移動体20の動きで考えた場合、A点からB点の間は振動基板4の動きと伴って図1aの左方向に微小に移動し、B点からC点の間は、振動基板4が右に微小変位するのに伴わず振動基板4上を滑りながら、その位置にとどまるため、結果として移動体20は振動基板4に対して図1aの左方向に微小相対変位する。このA点からC点の波形パターンを繰り返すことによって、移動体20は図1a左方向に移動していくこととなる。図2bについては、図2aのときの逆のことを行うことによって移動体20が図1aの右方向に移動することとなる。本実施例では、比較的簡単な回路で生成できる三角波を用いているため、回路の簡便化が可能となる。また、駆動波形については三角波ではなくても、正弦波でも同様の動きは可能である。なお、本実施例では、移動体20が振動基板4に対して、滑る、滑らない状態のときを例示して説明したが、これに限定されるものではなく、A点からB点の間と、B点からC点の間で、移動体20の振動基板4に対する滑る量を異ならせるだけで、移動体20を振動基板4に対して相対移動させることが可能である。ところで、図1bで示したように、移動体20に慣性部材51を配置した場合、圧電素子2が収縮するときに、移動体20の振動基板4と接触している部位における上方向の力移動体20が振動基板4から離れる方向への力を、図1aのような慣性部材51が省略されている場合に比べて大きくできるため、移動体20と振動基板4の摩擦力をより減少させることができ、例えば移動速度を増加させることなどが可能となる。なお、例えば、圧電素子2による変位第3の方向への変位の発生周波数は、圧電素子1による変位第1又は第2の方向への変位の発生周波数の2倍以上とすることができる。次に、実施例2について説明する。なお、圧電素子1と圧電素子2による移動体20の移動のメカニズムについては実施例1図1と同様のため、ここでの説明は省略する。図3は、本発明に係る慣性駆動アクチュエータの実施例2の構成を示す断面図である。図3に示したように、移動体20は圧電素子2と磁力発生手段として永久磁石52を有している。また、振動基板4を介して移動体20と対向する位置に磁力発生手段として永久磁石41を配置している。すなわち、永久磁石52と永久磁石41の間に磁気吸引力が働くように配置している。よって、常に移動体20は振動基板4に対向する方向振動基板4に接近する方向に力が働き、移動体20の位置ズレが防止される。また、実施例1に対して、前記磁気吸引力が付加されていることから、振動基板4に対向する方向に移動体20に働く力が大きくなるため、移動体20と振動基板4の間に働く摩擦力が大きくなり、圧電素子1の伸縮による振動基板4の変位運動の速さをあげても慣性駆動が可能となる。よって、実施例2においては、実施例1に比べて、移動体20の移動速度をさらに大きくすることが可能となる。また、永久磁石52を磁性体に変えても同様の効果を得ることが出来る。さらに、永久磁石52を磁性体にすることで、永久磁石52、永久磁石41の極性の向きを磁気吸引力が働くように揃える必要がなくなり、また、磁性体は永久磁石に比べて加工性が良いことから、部品の加工、組み立ての簡便化が可能となる。なお、永久磁石41を磁性体としても同様の効果を得ることが出来る。次に、実施例3について説明する。なお、圧電素子1と圧電素子2による移動体20の移動のメカニズムについては実施例1図1と同様のため、ここでの説明は省略する。図4は、本発明に係る慣性駆動アクチュエータの実施例3の構成を示す断面図である。図4に示すように、移動体20が磁気発生手段として永久磁石52を有し、振動基板42自体が磁気発生手段として永久磁石により構成されている。振動基板42の永久磁石と永久磁石52は、移動体20と振動基板42の間で磁気吸引力が働くように配置されている。よって、実施例2と同様に、常に移動体20は、振動基板42に対向する方向振動基板4に接近する方向に力が働き、移動体20の位置ズレが防止されるなど同様の効果を得ることが出来る。さらに、実施例3は振動基板42自身が永久磁石であるため、部品点数を少なくすることができ、サイズを小さくすることができる。また、振動基板42を永久磁石ではなく磁性体に変えても同様の効果を得ることが出来る。さらに、振動基板42を磁性体にすることで、永久磁石52、振動基板42の永久磁石の極性の向きを磁気吸引力が働くように揃える必要がなくなり、また、磁性体は永久磁石に比べて加工性が良いことから、部品の加工、組み立ての簡便化が可能となる。なお、永久磁石52を磁性体としても同様の効果を得ることが出来る。次に、実施例4について説明する。なお、移動体が2つであること以外は図3に示した実施例2と同じであるため重複する説明は省略する。図5は、本発明に係る慣性駆動アクチュエータの実施例4の構成を示す断面図である。図5に示すように、実施例5は移動体が複数備えられた場合の実施例であり、図5中左側に位置する移動体21は圧電素子2を有し、図5中右側に位置する移動体22は圧電素子3を有している。図5の構成において、駆動する際に圧電素子1、圧電素子2、圧電素子3に印加する電圧波形を示したのが図6である。図6の電圧波形は、移動体21と移動体22がお互い近づくように移動する動きを行う波形である。言い換えると、移動体21は図5中右側へ、移動体22は図5中左側へと移動する。図6のA点からC点までの圧電素子1と圧電素子2の電圧パターンの関係をみた場合、図2bで示した移動体20が図中右側に移動する場合の波形になっている。同様に、圧電素子1と圧電素子3の電圧パターンの関係をみた場合、図2aで示した移動体20が図中左側に移動する場合の波形となっている。これを同時に行うことで、移動体21と移動体22が、お互いに近づく動きをすることが可能となる。また、圧電素子2と圧電素子3の電圧パターンを交換すると、移動体21と移動体22が互いに対して離れていく動きをする。なお、圧電素子2、圧電素子3のどちらかに対して、圧電素子1に対して高い周波数の電圧を印加するタイミングを無くすことによって、一方は停止し、他方のみが移動するといった動きも可能であり、ひとつの板状の上で、移動体21、移動体22を相互に独立して駆動をすることが出来る。本実施例では2つの移動体での駆動を説明したが、移動体を3つ以上に増やしても、それぞれ独立した駆動をすることが可能である。本発明は、上述した発明の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々変更を加え得るものである。