"吸引部と、前記吸引部を作動させて浮遊する帯電粒子を含む気体を取り込むとともに、帯電粒子をセンシングする検知部と、前記検知部と管路で繋がれ、前記検知部を通過した前記気体が導入されて帯電粒子を撮影する撮影部と、前記管路に設けられた開閉バルブと、前記検知部から帯電粒子のセンシングデータが送信された際に前記開閉バルブを閉制御する制御部と、を備え、前記検知部で帯電粒子がセンシングされ、このセンシングデータが前記制御部に送信されて前記開閉バルブを閉制御し、取り込まれた帯電粒子を前記管路における該開閉バルブよりも下流側で捕捉するようになっており、前記撮影部はレーザ光を照射する照射機構を具備し、帯電粒子にレーザ光を照射した際に帯電粒子から発せられる散乱光の受光データから帯電粒子の帯電量を特定する、帯電粒子の帯電量特定装置。前記検知部は、前記気体が通過する検出セルと、該気体にレーザ光を照射する照射機構と、帯電粒子から発せられる散乱光を受光する受光機構と、から構成され、前記制御部には散乱光に関する電圧強度閾値が記憶され、受光機構から送信されたセンシングデータが該電圧強度閾値以上の場合に前記開閉バルブを閉制御するようになっている請求項1に記載の帯電粒子の帯電量特定装置。前記制御部では、前記気体が検知部から前記管路を介して前記撮影部に通じるまでの所定の時間データが記憶されており、前記センシングデータを受信し、該所定の時間経過後に前記開閉バルブを閉制御するようになっている請求項1または2に記載の帯電粒子の帯電量特定装置。本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、帯電粒子を撮影する際に要する時間をより一層短縮でき、帯電粒子捕捉効率の高い帯電粒子の帯電量特定装置を提供することを目的とする。前記目的を達成すべく、本発明による帯電粒子の帯電量特定装置は、吸引部と、前記吸引部を作動させて浮遊する帯電粒子を含む気体を取り込むとともに、帯電粒子をセンシングする検知部と、前記検知部と管路で繋がれ、前記検知部を通過した前記気体が導入されて帯電粒子を撮影する撮影部と、前記管路に設けられた開閉バルブと、前記検知部から帯電粒子のセンシングデータが送信された際に前記開閉バルブを閉制御する制御部と、を備え、前記検知部で帯電粒子がセンシングされ、このセンシングデータが制御部に送信されて前記開閉バルブを閉制御し、取り込まれた帯電粒子を前記管路における該開閉バルブよりも下流側で捕捉するようになっており、前記撮影部はレーザ光を照射する照射機構を具備し、帯電粒子にレーザ光を照射した際に帯電粒子から発せられる散乱光の受光データから帯電粒子の帯電量を特定するものである。本発明の帯電量特定装置は、装置内に帯電粒子この粒子は、エアロゾルと称することもできるが取り込まれたことを精緻に検知するべく、実際に帯電粒子を撮影してその帯電量を特定する撮影部よりも帯電粒子を含む気体が流れる上流側にまず検知部を設け、この検知部と撮影部を管路で繋ぐとともにこの管路の途中に開閉バルブを備えたものである。装置内への気体の取り込みはポンプ等の吸引部を作動しておこなうものであり、吸引部を作動させて装置内へ取り込まれた気体は、まず検知部を通過するようになっている。この検知部で帯電粒子がセンシングされると、そのセンシングデータが制御部へ送信され、開閉バルブが閉制御されるようになっている。管路途中にある開閉バルブが閉制御されることにより、装置内に取り込まれた、より具体的には開閉バルブよりも下流側に移動した帯電粒子が装置外へ放出されるのが抑止され、検知部でセンシングされた帯電粒子を開閉バルブよりも下流にある撮影部へ確実に導入することができる。なお、吸引部の作動もこの制御部が実行することができ、装置をON制御した際に制御部からの動作指令信号に基づいて吸引部が作動して気体吸引を実行し、これと同時に検知部へも動作指令信号が送信されて導入された気体内における帯電粒子の検知を実行できる形態であってもよい。撮影部では、導入された帯電粒子にレーザ光が照射され、このレーザ光照射によって帯電粒子で反射してできた散乱光の受光データに基づいて帯電粒子の帯電量が特定されるものである。この帯電量の特定は、たとえば撮影部を構成するCCDカメラ等で受光データを取得し、この受光データを画像読み取り機器等で読み取って帯電粒子の粒径と移動速度が特定され、これらの特定結果に基づいて帯電量の特定測定がおこなわれる。上記する本発明の帯電量特定装置によれば、たとえば大気中の帯電粒子濃度が低い場合であっても、検知部で帯電粒子がセンシングされ、開閉バルブが閉制御されて装置内に捕捉された帯電粒子は確実に撮影部に導入されることから、撮影部を帯電粒子が通り過ぎて撮影がおこなわれないといった問題は生じ得ず、帯電粒子捕捉効率もしくは帯電粒子撮影効率の極めて高い装置となる。したがって、帯電粒子の荷電数を荷電数分布として評価するに当たり、50個程度の帯電粒子を撮影する際に要する時間も上記する従来装置に比して格段に短縮することができる。ここで、前記検知部は、前記気体が通過する検出セルと、該気体にレーザ光を照射する照射機構と、帯電粒子から発せられる散乱光を受光する受光機構と、から構成され、前記制御部には散乱光に関する電圧強度閾値が記憶され、受光機構から送信されたセンシングデータが該電圧強度閾値以上の場合に前記開閉バルブを閉制御するようになっている実施の形態が好ましい。本実施の形態の装置は、検知部においても撮影部と同様にレーザ光を照射してその散乱光を受光し、受光データを制御部に送信するものであり、さらに、検知部における帯電粒子の誤検知を抑制するべく、帯電粒子から発せられる散乱光に関する電圧強度閾値を予め設定しておいて制御部にそのデータを記憶させておき、検知部から送信されてくる散乱光受光データが電圧強度閾値以上の場合に帯電粒子が捕捉されたとしてその装置外への流出を防止するために開閉バルブの閉制御を実行するものである。照射機構は、レーザ発振器と、該レーザ発振器から照射されたレーザ光を集光する集光レンズと、集光レンズを通過したレーザ光を帯電粒子に合焦させる合焦レンズと、からなり、受光機構は、帯電粒子で発せられる散乱光を集光する集光レンズと、集光レンズを通過した散乱光を合焦する合焦レンズと、からなる形態を適用できる。本実施の形態の装置によれば、検知部における帯電粒子の誤検知が抑制され、より一層高い検知精度で帯電粒子を捕捉してその撮影を実行し、帯電粒子の粒径や帯電量の特定をおこなうことができる。さらに、前記制御部では、前記気体が検知部から前記管路を介して前記撮影部に通じるまでの所定の時間データが記憶されており、前記センシングデータを受信し、該所定の時間経過後に前記開閉バルブを閉制御するようになっている実施の形態が望ましい。開閉バルブの閉制御にあたり、検知部で検知された帯電粒子が管路を通過し、その途中の開閉バルブを通過し、さらにその下流に位置する撮影部に導入された際に開閉バルブを閉制御することで、たとえば開閉バルブの上流側に帯電粒子が移動している際に開閉バルブが閉じられ、撮影部への導入が阻止されるのを抑制することができる。そのために、本実施の形態の装置では、気体が検知部から管路を介して撮影部に通じるまでの所定の時間データを制御部に予め記憶しておき、制御部がセンシングデータを受信して所定の時間経過後に開閉バルブを閉制御するようになっている。この所定の時間とは、帯電粒子もしくは気体の流速や管路の管径や管長さ等によって変化することから、吸引部による吸引によって装置内に取り込まれた気体の速度経験則と装置を構成する管路の管径や管長さから当該所定の時間を算定しておいてこれを制御部に記憶しておいてもよいし、検知部で帯電粒子の速度を検知し、この速度を維持して、もしくは一定の減速を加味して撮影部までの所定の時間を制御部で割り出す形態であってもよい。以上の説明から理解できるように、本発明の帯電粒子の帯電量特定装置によれば、帯電粒子を撮影してその帯電量を特定する撮影部よりも帯電粒子を含む気体が流れる上流側に検知部を設け、この検知部と撮影部を管路で繋ぐとともにこの管路の途中に開閉バルブを備えた構成とし、装置内に帯電粒子が取り込まれたことを精緻に検知しながら取り込まれた帯電粒子を確実に捕捉して撮影することにより、帯電粒子捕捉効率もしくは帯電粒子撮影効率の極めて高い装置となる。以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明の帯電量特定装置は、その特徴構成以外の構成として、本発明者等によって開発された図4,5で示す従来装置の構成の一部もしくは全部を装置構成に適用することもできる。図1は、本発明の帯電量特定装置の装置構成を説明する説明図である。図示する帯電量特定装置100は、クリーンルーム等のルーム内で浮遊する帯電粒子p、...を含むエアAを取り込む吸引源となる吸引部40吸引ポンプと、この吸引されたエアAとともに帯電粒子pが装置内に取り込まれたか否かを検知する検知部10と、この検知部10を通過して装置に下流側にエアAを流す管路Lと、管路Lの途中位置にあって吸引部40の吸引力を閉鎖可能でかつ管路L内におけるエアAの流れを遮蔽する開閉バルブ30と、下流側に位置してエアAとともに取り込まれた帯電粒子pが導入される撮影部50と、検知部10における帯電粒子を検知した旨のセンシングデータに基づいて開閉バルブ30に対して閉制御を実行させる制御部20と、から大略構成されている。検知部10は、帯電粒子pを含むエアAが導入される検知セル11と、照射機構を構成するレーザ光を照射するレーザ発振器12および送光系ユニット13と、受光系ユニット14受光機構と、から構成されている。この送光系ユニット13は、照射されたレーザ光を集光する不図示の集光レンズと、集光レンズを通過したレーザ光を帯電粒子pに合焦させる不図示の合焦レンズと、から構成されており、それらが不図示のフレームにて一体とされている。一方、受光系ユニット14は、帯電粒子pで発せられる散乱光を集光する不図示の集光レンズと、集光レンズを通過した散乱光を合焦する不図示の合焦レンズと、から構成されており、それらが不図示のフレームにて一体とされている。検知部10で取り込まれた帯電粒子pは、管径φ、管長さtその途中位置に開閉バルブ30があるの管路Lを介して撮影部50に導入される。撮影部50は、帯電粒子pが導入される撮影セル51と、レーザ光を照射するレーザ発振器52と、送光系ユニット53と、CCDカメラ54と、から構成されている。この送光系ユニット53は、照射されたレーザ光を集光する不図示の集光レンズと、集光レンズを通過したレーザ光を帯電粒子pに合焦させる不図示の合焦レンズと、から構成されており、それらが不図示のフレームにて一体とされている。撮影部50では、撮影セル51内を移動する帯電粒子の発する散乱光をCCDカメラ54で受光データとして取得し、この受光データを画像読み取り機器パーソナルコンピュータ60で読み取って帯電粒子の粒径と移動速度が特定され、これらの特定結果に基づいて帯電量の特定がおこなわれる。ここで、粒径と移動速度から帯電量を特定する際のアルゴリズムを概説する。帯電粒子を電界強度Eの電場内に導入すると、粒子の帯電量npeは、以下の式1で示される。ここで、Dpは粒径、vetは粒子の移動速度、Ccはカニンガムの補正係数、e=160217733×1019であり、その導出式を以下の式2で示す。また、μはエアの粘度で、00181103である。ここで、Knはクヌーセン数で、エアの平均自由行程をλとすると、以下の式3で表すことができる。上式1~3より、帯電粒子の帯電量は、その粒径と電界中の粒子の移動速度に依存することが分かり、これらの計測データから帯電粒子の帯電量を特定することができる。図示する帯電量特定装置100は、当該装置内に帯電粒子pが取り込まれたことを精緻に検知するべく、実際に帯電粒子pを撮影してその帯電量を特定する撮影部50よりも帯電粒子pを含むエアAが流れる上流側にまず検知部10が設けられており、検知部10から帯電粒子pを検知した旨のセンシングデータが制御部20に送信されると、制御部20から管路Lの途中位置にある開閉バルブ30に対してこれを閉制御する指令信号が送信されるようになっている。ここで、図2のブロック図を参照して制御部20の内部構造を概説する。図示する制御部20は、検知部10から帯電粒子pを検知した旨のセンシングデータ散乱光受光データが送信されてくるセンシングデータ入力部と、電圧強度閾値が記憶された電圧強度閾値記憶部を備えている。これは、検知部10における帯電粒子pの誤検知を抑制するための手段であり、帯電粒子pから発せられる散乱光に関する電圧強度閾値をこの電圧強度閾値記憶部に予め入力しておき、検知部10から送信されてくる散乱光受光データと記憶された電圧強度閾値を比較演算部で比較し、散乱光受光データが電圧強度閾値以上の場合に帯電粒子pが検知部10に捕捉されたとして帯電粒子pが装置外へ流出するのを防止するべく、閉制御指令部を介して開閉バルブ30に閉制御指令信号を送信するものである。なお、図3には、装置100を作動してからの検知部10における散乱光に関する電圧強度の時系列グラフの一例を示している。電圧が低い場合はノイズの可能性が高いことから、ある程度の大きさの電圧図3では0.05Vを電圧強度閾値に設定するのが好ましい。この開閉バルブ30の閉制御に当たり、検知部10で検知された帯電粒子pが管路Lを通過し、その途中の開閉バルブ30を通過し、さらにその下流に位置する撮影部50の撮影セル51に導入された際に開閉バルブ30を閉制御するのが好ましく、このような制御によって、たとえば開閉バルブ30の上流側に帯電粒子pが移動している際に開閉バルブ30が閉じられ、撮影部50への導入が阻止されるのを抑制することができる。そのために、制御部20には、気体Aが検知部10から管路Lを介して撮影部50に通じるまでの時間データを所定時間記憶部に記憶しておき、制御部10がセンシングデータを受信して所定の時間経過後に開閉バルブ30を閉制御するようになっている。所定時間記憶部への所定時間の入力においては、帯電粒子pもしくは気体Aの流速や管路Lの管径φや管長さt等によってこの所定時間が変化することから、吸引部40による吸引によって装置100内に取り込まれた気体の速度経験則と装置を構成する管路Lの管径φや管長さtから当該所定時間を算定しておいてこれを入力してもよいし、検知部10で帯電粒子pの速度を検知し、この速度を維持して、もしくは一定の減速を加味して撮影部50までの所定時間を制御部20で割り出し、割り出された所定時間後に閉制御指令信号を送信する形態であってもよい。図示する帯電量特定装置100によれば、帯電粒子pを撮影してその帯電量を特定する撮影部50よりも帯電粒子pを含む気体Aが流れる上流側に検知部10を設け、この検知部10と撮影部50を管路Lで繋ぐとともにこの管路Lの途中に開閉バルブ30を備えた構成とし、装置100内に帯電粒子pが取り込まれたことを精緻に検知しながら取り込まれた帯電粒子pを確実に捕捉して撮影することができ、もって帯電粒子捕捉効率もしくは帯電粒子撮影効率の極めて高い装置となる。また、帯電量特定装置100によれば、検知部10で粒子の散乱光をセンシングするまで気体Aの吸引が継続される。したがって、Class10000.5μmの粒子が35個/lのクリーンルームで吸引した場合は、60/35秒≒1.7秒に1個の粒子が検知部10を通過し、自動でバルブの閉鎖およそ10秒、撮影およそ5秒の一連の動作に15秒程度を要するため、16.7秒に1個の撮影が可能となっている。帯電粒子の荷電数は、図4で示すように荷電数分布として評価することが重要であり、既述するように、この荷電数分布評価においては50個程度の帯電粒子を撮影して荷電数を計測することが必要となるが、既述する従来装置の場合に要する時間:750秒/個の1/44に時間を短縮することが可能となり、50個の帯電粒子の撮影とその荷電数の計測に要する時間は、10時間25分から14分へ格段に時間短縮することが可能となる。以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。"