被検査物を搬送面2a上で搬送する搬送手段2と、前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のX線を照射する第1のX線源31および第2のX線源32と、前記搬送面を挟んで前記第1のX線源および前記第2のX線源と対向する位置に配置され、前記第1のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第1のX線画像データおよび前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第2のX線画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサ51および第2のX線ラインセンサ52と、前記第1のX線画像データおよび第2のX線画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段44と、前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段48と、を備えるX線異物検出装置1であって、前記第1のX線源を、前記第1のX線ラインセンサに対する相対位置を調整可能に支持する支持手段100と、前記第1のX線画像データおよび前記第2のX線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、前記第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第1の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別する調整判定手段81と、前記調整判定手段により判定された調整方向を表示する表示手段5と、を備えたことを特徴とするX線異物検出装置。前記調整判定手段は、前記第1のX線画像データおよび前記第2のX線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、前記第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第1の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別するとともに、前記第1の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第2の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記第1のX線源が前記第1のX線ラインセンサに対して近接および離隔する方向軸上において、前記第1のX線ラインセンサに近接する方向であると判別することを特徴とする請求項1に記載のX線異物検出装置。前記支持手段が、前記第1のX線源を、該第1のX線源が前記第1のX線ラインセンサに対して近接および離隔する方向であるZ軸と、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向であるY軸とにおける各位置を調整可能に支持し、前記調整判定手段が、前記第1の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第2の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記Z軸上において、前記第1のX線ラインセンサに対して近接する方向であると判別し、前記第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記Y軸上において、前記第1の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別することを特徴とする請求項1に記載のX線異物検出装置。前記調整判定手段が、前記第1の波形と前記第2の波形とを取得する際は、前記第1のX線源および前記第2のX線源を所定の調整用出力に設定することを特徴とする請求項1~請求項3の何れかに記載のX線異物検出装置。前記第1の波形がなす台形形状と前記第2の波形がなす台形形状の大きさおよび形状の差異と、前記第1のX線源の要調整量との間の定数を予め記憶する定数記憶手段80を備え、前記調整判定手段が、前記第1のX線源の調整方向を判定するとともに、前記大きさおよび形状の差異と前記定数記憶手段に記憶された定数とに基づいて前記第1のX線源の要調整量を判定し、前記表示手段が、前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整量を表示することを特徴とする請求項1~請求項4の何れかに記載のX線異物検出装置。前記支持手段に支持された前記第1のX線源の前記第1のX線ラインセンサに対する相対位置を変位させる位置変位手段112、118と、前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整用に応じて前記位置変位手段を駆動制御する駆動制御手段82と、を備えたことを特徴とする請求項1~請求項5の何れかに記載のX線異物検出装置。しかしながら、特許文献1に記載された従来の技術では、一方のX線源とX線ラインセンサの組合せにより得たX線画像と、他方のX線源とX線ラインセンサの組合せにより得たX線画像の大きさおよび形状が一致せず2つのX線画像上の被検査物の境界の位置がずれていると、2つのX線画像を合成する際に、X線画像上の被検査物の境界の位置ずれも高コントラスト化により強調されてしまい、異物検出性能を大きく損なってしまうという問題があった。この種のX線異物検出装置ではX線画像のサイズがX線源と被検査物の搬送面とX線ラインセンサの3つの相互の位置関係により決定されるため、2つのX線画像の位置ずれは、一方のX線源とX線ラインセンサの組合せと他方のX線源とX線ラインセンサの組合せとの間で、組み付け誤差等によりこれらの位置関係がずれることにより発生する。また、X線画像のサイズのずれは数ピクセル程度と小さいものであり、画像処理によりX線画像を拡大または縮小してサイズを一致させることは、異物の情報も変わってしまって実質的に不可能であるため、他の手法が求められていた。そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供することを目的としている。本発明に係るX線異物検出装置は、被検査物を搬送面上で搬送する搬送手段と、前記搬送面上を搬送される被検査物に互いに異なる強度のX線を照射する第1のX線源および第2のX線源と、前記搬送面を挟んで前記第1のX線源および前記第2のX線源と対向する位置に配置され、前記第1のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第1のX線画像データおよび前記第2のX線源から照射され前記被検査物を透過するX線に応じた第2のX線画像データをそれぞれ出力する第1のX線ラインセンサおよび第2のX線ラインセンサと、前記第1のX線画像データおよび第2のX線画像データを合成して前記被検査物に対応する1つの画像データとして出力する画像合成手段と、前記画像合成手段が出力する画像データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えるX線異物検出装置であって、前記第1のX線源を、前記第1のX線ラインセンサに対する相対位置を調整可能に支持する支持手段と、前記第1のX線画像データおよび前記第2のX線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、前記第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第1の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別する調整判定手段と、前記調整判定手段により判定された調整方向を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする。この構成により、表示手段には、第1のX線源の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従って第1のX線源の位置を利用者が調整することにより、X線画像データにおける被検査物の大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。また、本発明に係るX線異物検出装置において、前記調整判定手段は、前記第1のX線画像データおよび前記第2のX線画像データから前記被検査物の検出幅方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、前記第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記搬送面と平行な平面上であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において、前記第1の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別するとともに、前記第1の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第2の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記第1のX線源が前記第1のX線ラインセンサに対して近接および離隔する方向軸上において、前記第1のX線ラインセンサに近接する方向であると判別することを特徴とする。この構成により、表示手段には、第1のX線源の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従って第1のX線源の位置を利用者が調整することにより、X線画像データにおける被検査物の大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記支持手段が、前記第1のX線源を、該第1のX線源が前記第1のX線ラインセンサに対して近接および離隔する方向であるZ軸と、前記搬送面であって前記被検査物の搬送方向と直交する方向において前記搬送方向に直交する方向であるY軸とにおける各位置を調整可能に支持し、前記調整判定手段が、前記第1の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、前記第2の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記Z軸上において、前記第1のX線ラインセンサに対して近接する方向であると判別し、前記第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度が前記第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度より小さい場合に、前記第1のX線源の調整方向が、前記Y軸上において、前記第1の波形がなす台形形状の他方の端点から前記一方の端点の方向であると判別することを特徴とする。この構成により、表示手段には、2軸上における第1のX線源の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従って第1のX線源の位置を利用者が調整することにより、X線画像データにおける被検査物の大きさと形状を一致させることができる。また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記調整判定手段が、前記第1の波形と前記第2の波形とを取得する際は、前記第1のX線源および前記第2のX線源を所定の調整用出力に設定することを特徴とする。この構成により、第1のX線源および第2のX線源が所定の調整用出力に設定されることで、第1のX線源と第1のX線ラインセンサから取得したX線画像と、第2のX線源と第2のX線ラインセンサから取得したX線画像と、の間で、被検査物の大きさと形状以外の差異が発生することを防止することができる。また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記第1の波形がなす台形形状と前記第2の波形がなす台形形状の大きさおよび形状の差異と、前記第1のX線源の要調整量との間の定数を予め記憶する定数記憶手段を備え、前記調整判定手段が、前記第1のX線源の調整方向を判定するとともに、前記大きさおよび形状の差異と前記定数記憶手段に記憶された定数とに基づいて前記第1のX線源の要調整量を判定し、前記表示手段が、前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整量を表示することを特徴とする。この構成により、第1のX線源の調整方向だけでなく、要調整量の判定および表示を行うことで、短時間または少ない試行回数で第1のX線源を適切な位置に調整することができる。また、本発明に係るX線異物検出装置は、前記支持手段に支持された前記第1のX線源の前記第1のX線ラインセンサに対する相対位置を変位させる位置変位手段と、前記調整判定手段により判定された調整方向および要調整用に応じて前記位置変位手段を駆動制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする。この構成により、判定された調整方向および要調整用に応じて駆動制御手段が位置変位手段を駆動制御するので、自動的に第1のX線源を適切な位置に調整することができる。本発明は、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。図1に示すように、X線異物検出装置1は、搬送部2と検出部3とを筐体4の内部に備え、表示器5を筐体4の前面上部に備えている。搬送部2は、被検査物Wを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部2は、例えば筐体4の内部で水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部2は、図1に示す駆動モータ6の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口7から搬入された被検査物Wを搬出口8側図中X方向に向けて搬送面としてのベルト面2a上を搬送させるようになっている。筐体4の内部においてベルト面2a上を搬入口7から搬出口8まで貫通する空間は搬送路21を形成している。検出部3は、順次搬送される被検査物Wに対し、搬送路21の途中の検査空間22においてX線を照射するとともに被検査物Wを透過するX線を検出するものであり、搬送路21の途中の検査空間22の上方に所定高さ離隔して配置されたX線発生器9と、搬送部2内にX線発生器9と対向して配置されたX線検出器10を備えている。X線発生器9は、不図示の筐体の内部に円筒状のX線源としてのX線管30を備えた構成で、筐体とX線管30は絶縁油または絶縁樹脂等により絶縁されている。本実施の形態では、X線管30として、2つのX線管31、32を備えている。これらX線管31、32は、後述する3軸調整機構によりZ軸上X線異物検出装置1の高さ方向、X軸上搬送部2の搬送方向およびY軸上搬送部2の幅方向で移動可能となっている。X線管31、32の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてX線を生成している。X線管31、32は、その長手方向が被検査物Wの搬送方向X方向となるよう配置されている。X線管31、32により生成されたX線は、下方のX線検出器10に向けて、検査空間22図1、図2参照の上面に配置された図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向X方向を横切るように照射されるようになっている。なお、このスリットは、3軸調整機構により変位するX線管31、32とともに変位するように構成してもよく、また、検査空間22の上面の所定位置に固定されていてもよい。スリットの位置を固定とする場合は、X線管31、32の変位可能幅の全域でX線が通過でき、且つ、X線が漏洩しないようスリット幅を設定する。ここで、X線管31、32が発生するX線の強度は、X線管31、32の陽極と陰極との間に流す電流管電流に比例して変化するとともに、発生するX線の波長がX線管31、32の陽極と陰極との間に印加する電圧管電圧に応じて短くなり透過力が強くなる。すなわち、X線管31、32から発生されるX線の線質は、X線管31、32の管電流および管電圧に応じて変化する。本実施の形態では、X線管31が発生するX線の強度とX線管31が発生するX線の強度を異ならせており、例えば、X線管31を高出力高エネルギーの線質のX線を出力、X線管32を低出力低エネルギーの線質のX線を出力としている。なお、X線管31、32が発生するX線の強度は、必ずしも一定値に固定されるものではなく、検出対象とする異物および被検査物Wの種類や搬送速度に応じて、X線管31、32の管電流または管電圧が調整されるようになっている。X線検出器10は、搬送される被検査物Wの搬送方向X方向の平面上で搬送方向と直交するY方向に複数の検出素子を直線状に並べたX線ラインセンサ50を備えている。本実施の形態では、X線ラインセンサ50として、2つのX線ラインセンサ51、52を被検査物Wの搬送方向に備え、X線ラインセンサ51は、高出力のX線管31から照射されて被検査物Wを透過した検出信号を出力し、X線ラインセンサ52は、低出力のX線管32から照射されて被検査物Wを透過した検出信号を出力するようになっている。すなわち、X線異物検出装置1は、X線ラインセンサ51、52から取得した高エネルギー画像と低エネルギー画像を合成して異物を強調させた画像を得るエネルギーサブトラクション法を採用した構成となっている。なお、X線ラインセンサ51、52は、X線を受けて光蛍光を発する図示しないシンチレータおよびこのシンチレータからの光を受光する受光素子を備えている。ここで、本実施の形態では、X線検出器10は、内蔵する図示しないA/D変換部によりX線ラインセンサ51、52の検出信号輝度値データを出力するとともに、この検出信号輝度値データをデジタルデータに変換した濃度データをX線画像のデータのデータとして出力するようになっている。なお、X線検出器10の外部にA/D変換部を備える構成としてもよい。X線ラインセンサ51、52を備えるX線検出器10からは、後述する総合制御部40図2参照での異物混入の有無の判定に必要なX線画像のデータを出力するようになっている。図2に示すように、搬送路21内の天井部21aには、搬送方向X方向に沿って複数個所にX線遮蔽用の遮蔽カーテン16が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン16は、X線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態に加工したものから構成されており、検査空間22から搬送路21を介してX線が筐体4の外部に漏えいすることを防止するものである。遮蔽カーテン16は、本実施の形態では、搬入口7と検査空間22との間、および検査空間22と搬出口8との間にそれぞれ2枚ずつ設けられており、1つの遮蔽カーテン16が被検査物Wと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン16がX線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくX線の漏えいを防止できるようになっている。なお、検査空間22の上面にはスリットが配置され、検査空間22の下面、側面は、X線の遮蔽のために筐体4等により略閉塞されている。搬送路21における遮蔽カーテン16、スリット、および筐体4等により囲まれた内側の空間が検査空間22を構成している。X線異物検出装置1は、X線検出器10から受け取った濃度データに基づく被検査物W中の異物の有無の判定を含む総合的な制御を行う総合制御部40を備えている。総合制御部40は、X線異物検出装置1の総合的な制御を行うものであり、X線ラインセンサ51、52からの濃度データを検出して所定のタイミングの濃度データをそれぞれ有効化するデータ検出部61、62と、データ検出部61、62からの濃度データをそれぞれ複数記憶する記憶部43と、X線ラインセンサ51、52からの濃度データの画像以下、単に画像というに対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施す画像処理部44と、画像処理部44で画像処理が施された画像に対して被検査物Wと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部48とを備えている。判定部48による判定結果は表示器5に表示されるようになっている。データ検出部60は、本実施の形態では2つのデータ検出部61、62からなり、X線ラインセンサ51、52からの濃度データに対して所定のタイミングで入力された濃度データ、すなわち、所定のデータ有効化入力タイミングの範囲のデータだけをそれぞれ有効化するようになっている。記憶部43は、X線ラインセンサ51、52から出力されたデータのうち、データ検出部61、62で有効化されたデータを一時的に記憶するものであり、画像を高速に記憶および読み出しが可能なメモリから構成されている。画像処理部44は、X線ラインセンサ51、52からの濃度データの画像に対して合成処理、フィルタ処理等の画像処理を施すようになっている。判定部48は、画像処理部44で画像処理が施された画像に対して、画像上の被検査物Wの中から異物を検出し、異物の混入の有無を判定するようになっている。また、X線異物検出装置1は、X線発生器9のX線出力、被検査物Wの搬送速度、X線検出器10の検査パラメータ、動作モード等の設定操作、選択操作が行われる設定部49を備えており、この設定部49は、筐体4の前面上部の表示器5の隣に配置されている。図2、図3に示すように、本実施の形態では、X線管31、32のZ軸、X軸、Y軸の3軸上の位置をそれぞれ調整する機構として、内部にX線管31を備えたX線ユニット33を3軸上で変位可能に支持する第1支持機構100、および内部にX線管32を備えたX線ユニット34を3軸上で変位可能に支持する第2支持機構120を備えている。ここで、X線ユニット33、34は、高電圧発生部を含んだモノタンク型の構成としてもよいし、高電圧発生部を別ユニットとした構成としてもよい。第1支持機構100と第2支持機構120は同様に構成されているため、以下、第1支持機構100について詳細を説明する。第1支持機構100は、内部にX線管31を備えたX線ユニット33を上面で支持する第1ステージ101と、第1ステージ101を下方から支持する第2ステージ102と、第2ステージ102を下方から支持する第3ステージ103とを備えている。第1ステージ101は、第1ステージ101の両端下面の凸部101aが第2ステージ102の上面の凹部102a内を案内されることにより、Y軸上をスライド移動可能に第2ステージ102に支持されている。第2ステージ102は、第2ステージ102の両端下面の凸部102cが第3ステージ103の上面の凹部103c内を案内されることにより、X軸上をスライド移動可能に第3ステージ103に支持されている。第2ステージ102のY軸上の一端側には、第1ステージ101の一端側に当接して第1ステージ101のY軸上の位置を調整するY軸調整部材111が、第2ステージ102と一体または別体に形成された取り付けステー102bを介して設けられている。第2ステージ102のY軸上の他端側には、第1ステージ101の他端側に当接してこの第1ステージ101をY軸調整部材111の側に押圧する圧縮ばね113が設けられている。Y軸調整部材111は、マイクロメータと同様の機構からなっており、そのY軸調整ハンドル111aが手動操作またはY軸駆動モータ112により回転されるとプランジャ111bが前進または後退し、第1ステージ101のY軸上の位置を変位させるようになっている。Y軸駆動モータ112は、パルス駆動するステッピングモータから構成されており、その出力軸がY軸調整ハンドル111aに接続されている。第3ステージ103のY軸上の一端側には、第2ステージ102に回動可能に設けられたL字状部材116の一端部に当接してL字状部材116の他端部を変位させることにより、第2ステージ102のX軸上の位置を調整するX軸調整部材114が、第3ステージ103と一体または別体に形成された取り付けステー103bを介して設けられている。第3ステージ103の他端側には、第2ステージ102の他端側に当接してこの第2ステージ102をX軸調整部材114の側に押圧する圧縮ばね117が設けられている。X軸調整部材114は、マイクロメータと同様の機構からなっており、そのX軸調整ハンドル114aが手動操作またはX軸駆動モータ115により回転されると、L字状部材116を介して第2ステージ102のX軸上の位置を変位させるようになっている。X軸駆動モータ115は、パルス駆動するステッピングモータから構成されており、その出力軸がX軸調整ハンドル114aに接続されている。また、第1支持機構100は、第3ステージ103に挿通されて第3ステージ103をZ軸上でスライド移動可能に支持する支持レール104と、筐体4に回転可能に軸支されて第3ステージ103に螺合して回転することにより第3ステージ103をZ軸上で移動させる回転軸105と、筐体4の上部外側であって回転軸105の上端部に固定されたZ軸調整ハンドル106とを備えている。そして、Z軸調整ハンドル106が手動操作またはZ軸駆動モータ118により回転されると、第3ステージ103のZ軸上の位置が変位するようになっている。Z軸駆動モータ118は、パルス駆動するステッピングモータから構成されており、その出力軸がZ軸調整ハンドル106に接続されている。Z軸駆動モータ118は、筐体4の上面に形成された取り付けステー140を介して設けられている。第2支持機構120は、第1支持機構100の第1ステージ101、第2ステージ102、第3ステージ103、Z軸調整ハンドル106、Y軸調整部材111、X軸調整部材114に相当するものとして、第1ステージ121、第2ステージ122、第3ステージ123、Z軸調整ハンドル126、Y軸調整部材131、X軸調整部材134を備えている。また、本実施の形態では、X線管31、32のZ軸、X軸、Y軸の3軸上の位置を調整するときは、図4、図5に示すように、X線画像が比較的濃く出力されるポリエチレンブロック等からなる直方体の被検査物Wを基準被検査物Wsとして用い、1組目のX線管31とX線ラインセンサ51とによりX線ラインセンサ51が出力するX線画像データと、2組目のX線管32とX線ラインセンサ52とによりX線ラインセンサ52が出力するX線画像データから得られる基準被検査物Wsの検出幅方向である装置奥側から装置手前側方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形の形状を比較し、2つのX線画像の大きさ、形状が等しくなるようなX線管31の3軸上の位置の調整方向および調整量を求めるようになっている。ここで、第1の波形および第2の波形は、図4、図5に示すように、基準被検査物WsのY軸方向またはX軸方向を横軸とし、X線画像データを基に被検査物Wと背景との差が大きくなるような輝度値に変換して縦軸としたときの波形であり、基準被検査物Wsの輝度値に対応する部分は台形形状となる。また、第1の波形および第2の波形は波形整形して形成されており、例えば、X軸方向を横軸とした場合は、Y軸方向の所定の検出区間の平均値を1つのデータとし、Y軸方向またはX軸方向に走査するようにしている。総合制御部40は、X線ラインセンサ51が出力するX線画像データおよびX線ラインセンサ52が出力するX線画像データから得られる基準被検査物Wsの検出幅方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形の形状を比較し、2つのX線画像の大きさと形状が等しくなるようなX線管31の位置の調整方向、要調整量を求める手段として、調整判定部81を備えている。ここで、X線異物検出装置1においては、X線管31、32から照射されるX線が、X線管31、32を中心としてそれぞれ放射状に広がるため、X線管31とX線管32のZ軸上の位置が組み付け誤差等による原因で一致していない場合、第1の波形と第2の波形との間で台形の大きさと形状が不一致となるが、形状より大きさの不一致が顕著となる。例えば、図4に示すように、X線管31のZ軸上の位置、すなわち鉛直方向の位置が、組み付け誤差等による原因で適正位置より上方に配置されていた場合、第1の波形がなす台形の上底および下底の長さが、第2の波形がなす台形の上底および下底の長さより短くなる。そこで、調整判定部81は、X線管31、32の配置が図4のような場合には、第1の波形がなす台形の上底および下底の長さが長くなるよう、X線管31のZ軸上の調整方向が下方向であると判別するようになっている。なお、X線管31がZ軸上の適正位置にある場合とは、鉛直方向における同じ位置にX線管31とX線管32が配置されている状態のことである。また、X線異物検出装置1においては、X線管31、32から照射されるX線が、X線管31、32を中心としてそれぞれ放射状に広がるため、X線管31とX線管32のY軸上またはX軸上の位置が組み付け誤差等による原因で一致していない場合、第1の波形と第2の波形との間で台形の大きさと形状が不一致となるが、大きさより形状の不一致が顕著となる。例えば、図5に示すように、X線管31のY軸上の位置が、組み付け誤差等による原因で適正位置より右側Y軸上の正の方向に配置されていた場合は、第2の波形がなす台形の形状が等脚台形となるが、第1の波形がなす台形の形状は等脚台形にならない。なお、X線管31または、X線管32のX軸上の位置に関わらず、波形第1の波形および第2の波形がなす台形の形状は等脚台形となる。そこで、本実施の形態では、X線管31のY軸上の調整方向の判別とX線管31、32のX軸上の調整方向の判別に異なる手法を用い、X線管31のY軸上の調整方向に関しては、調整判定部81は、図5に示すように、第1の波形がなす台形実線の下底の左端点の角度θ1が第2の波形がなす台形一点鎖線の下底の左端点の角度θ2より小さい場合は、X線管31のY軸上の調整方向は、左方向Y軸上の負の方向であると判別するようになっている。また、X線管31、32のX軸上の調整方向については、上記の手法では特定できないため、X線管ごとに以下の手法を用い、ここではX線管31を例にして説明する。まず、図6に示すように、X線管31の位置を搬送方向であるX軸方向に故意に変位させて、X線管31の複数個所の位置において搬送方向の濃度変化を示す波形がなす台形の傾斜部の水平方向幅、すなわち輝度スロープ幅を測定する。そして、X線管31が同組のX線ラインセンサ51の直上より上流側に位置しているときの搬送方向の濃淡変化を示す波形と下流側に位置しているときの搬送方向の濃淡変化を示す波形とで、図7に示すように、輝度スロープ幅のグラフを求めることにより、X軸方向におけるX線管31の最適位置を算出する。輝度スロープ幅が最小となる位置U字形状の輝度スロープのグラフの底部に相当する位置が最適位置であり、このときX線ラインセンサ51の直上にX線管31が位置することとなる。すなわち、X線管31のX軸上の調整方向に関しては、調整判定部81は、輝度スロープ幅が小さくなる方向がX線管31の調整方向であると判別する。また、調整判定部81は、図7の輝度スロープ幅のグラフに基づいて要調整量を判定する。本実施の形態では、X線管31の3軸上の位置を測位する位置センサ等を備えていないため、X線管31が適正位置となるための要調整量距離を直接的に求めることはできないが、Z軸において、第1の波形がなす台形における上底、下底の長さと第2の波形がなす台形における上底、下底の長さの差は、要調整量との間に定数による一定の関係を有しており、また、X軸またはY軸において、第1の波形がなす台形における下底の端点の角度と要調整量との間に定数による一定の関係を有しているため、Z軸、X軸、Y軸のそれぞれの定数を記憶しておくことにより、調整判定部81に要調整量を算出させることができる。そこで、総合制御部40は、上記の定数をZ軸、X軸、Y軸毎に予め記憶しておく定数記憶部80を備えている。そして、調整判定部81は、定数記憶部80に記憶されている定数と、基準被検査物Wsを用いて取得した第1の波形、第2の波形がなす台形の各々の上底、下底の差と、第1の波形がなす台形における下底の端点の角度とに基づいて、X線管31のZ軸、X軸、Y軸の要調整量を調整するようになっている。なお、定数は、X線管31をZ軸上で意図的に所定距離移動させたときの第1の波形がなす台形における上底、下底の長さの変化量、またはX線管31をX軸またはY軸上で意図的に所定距離移動させたときの第1の波形がなす台形における下底の端点の角度の変化量から求めることができる。また、調整判定部81は、判定結果を表示器5に出力するようになっている。表示器5には、例えば、X線管31の調整方向および要調整量としてZ軸:2mm、X軸:-1.5mm、Y軸:3mm等のメッセージが表示される。総合制御部40は、調整判定部81が判定したX線管31の調整方向および要調整量に応じて、Y軸駆動モータ112、X軸駆動モータ115、Z軸駆動モータ118を駆動制御する駆動制御部82を備えている。駆動制御部82は、調整判定部81が判定した調整方向、要調整量に応じて、Y軸駆動モータ112、X軸駆動モータ115、Z軸駆動モータ118の駆動パルスを決定し、その駆動パルスによりY軸駆動モータ112、X軸駆動モータ115、Z軸駆動モータ118を駆動するようになっている。このため、X線管31の調整方向および要調整量が判定されると、調整方向および要調整量が表示器5に調整方向および要調整量が表示されるとともに、駆動制御部82によりY軸駆動モータ112、X軸駆動モータ115、Z軸駆動モータ118が駆動制御され、X線管31の3軸上の位置が適正位置に調整されることとなる。本実施の形態では、総合制御部40の動作モードとして自動調整モードと手動調整モードを有し、動作モードが自動調整モードに設定されているときは、表示器5による調整方向および要調整量の表示と、駆動制御部82によるY軸駆動モータ112、X軸駆動モータ115、Z軸駆動モータ118の駆動制御の両方を行い、動作モードが手動調整モードに設定されているときは、表示器5による調整方向および要調整量の表示のみを行い、ユーザーがY軸調整ハンドル111a、X軸調整ハンドル114a、Z軸調整ハンドル126を操作するようになっている。次に、動作モードが自動調整モードに設定されている場合であってX線管31の位置調製が必要なときの動作を説明する。まず、総合制御部40は、基準被検査物Wsを走査して第1の波形および第2の波形を取得し、調整判定部81により、1組目のX線管31とX線ラインセンサ51から取得した第1の波形と、2組目のX線管32とX線ラインセンサ52から取得した第2の波形との大きさ、すなわち、第1の波形がなす台形における上底および下底の長さと第2の波形がなす台形における上底および下底の長さ、を比較し、X線管31のZ軸上の調整方向、要調整量を判別し、判別結果を表示器5により表示するとともに、駆動制御部82によりZ軸駆動モータ118を駆動制御する。これにより、X線管31のZ軸上の位置が概ね適正位置に調整される。ついで、総合制御部40は、再び基準被検査物Wsを走査して第1の波形および第2の波形を取得し、調整判定部81により、第1の波形がなす台形の下底の左端点の角度θ1と、第2の波形がなす台形の下底の左端点の角度θ2とを比較し、X線管31のY軸上の調整方向、要調整量を判別し、判別結果を表示器5により表示するとともに、駆動制御部82によりY軸駆動モータ112を駆動制御する。これにより、X線管31のY軸上の位置が適正位置に調整される。ついで、総合制御部40は、前述したようにX線管31の複数個所の位置において搬送方向の濃度変化を示す波形がなす台形の傾斜部の水平方向幅輝度スロープ幅を測定して輝度スロープ幅のグラフを求め、X軸方向におけるX線管31の最適位置を算出する。そして、X線管31のX軸上の調整方向、要調整量を判別し、判別結果を表示器5により表示するとともに、駆動制御部82によりX軸駆動モータ115を駆動制御する。これにより、X線管31のX軸上の位置が適正位置に調整される。ついで、総合制御部40は、再び基準被検査物Wsを走査して第1の波形および第2の波形を取得し、調整判定部81により、1組目のX線管31とX線ラインセンサ51から取得した第1の波形と、2組目のX線管32とX線ラインセンサ52から取得した第2の波形との大きさ、すなわち、第1の波形がなす台形における上底および下底の長さと第2の波形がなす台形における上底および下底の長さ、を比較し、X線管31のZ軸上の調整方向、要調整量を再び判別し、判別結果を表示器5により表示するとともに、駆動制御部82によりZ軸駆動モータ118を駆動制御する。これにより、X線管31のZ軸上の位置が精度良く適正位置に調整される。このように、総合制御部40は、基準被検査物Wsを走査して第1の波形および第2の波形を取得する毎に、まず、X線管31のZ軸上の位置を調整し、ついで、Y軸上の位置を調整し、ついで、X軸上の位置を調整し、再びZ軸上の位置を調整するようになっている。これは、Z軸、X軸、Y軸の3軸は、互いに影響し合っているため、X線管31を水平面上X軸またはY軸上で変位させると、Z軸上の位置が変化するためである。なお、調整判定部81によりX線管31の調整方向の判定をするために基準被検査物Wsを撮像する際には、X線管31とX線管32を所定の調整用出力に設定することが好ましい。このようにすることで、1組目のX線管31とX線ラインセンサ51から取得したX線画像と、2組目のX線管32とX線ラインセンサ52から取得したX線画像と、の間で、基準被検査物Wsの大きさおよび形状以外の差異が発生することを防止することができる。具体的には、調整判定部81の制御により、X線管31とX線管32を、調整用出力として、管電圧および管電流を等しくして、X線管31とX線管32から照射されるX線の線質波長、強度が可能な限り等しい出力とする。また、管電圧および管電流を等しくすることに加えて、または、管電圧および管電流を等しくすることに代えて、X線管31とX線管32の何れか一方に、図示しないフィルタを手動または自動で挿入するように構成することで、X線管31とX線管32から照射されるX線の線質が可能な限り等しい出力となるようにしてもよい。また、調整判定部81がX線管31の調整方向のみを判定するように構成してもよく、この場合、利用者は、基準被検査物Wsを用いた画像の取得と、表示器5に表示された調整方向に従ったX線管31の目安距離分の調整とを数回繰り返すことにより、X線管31を適切な位置に調整することができる。以上のように、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、X線管31を、X線ラインセンサ51に対する相対位置を調整可能に支持する第1支持機構100と、第1のX線画像データおよび第2のX線画像データから被検査物Wの検出幅方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度角度θ1が第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度角度θ2より小さい場合に、X線管31の調整方向が、搬送面と平行な平面上であって被検査物Wの搬送方向と直交する方向Y軸において、第1の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別する調整判定部81と、調整判定部81により判定された調整方向を表示する表示器5と、を備えたことを特徴とする。この構成により、表示器5には、X線管31の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従ってX線管31の位置を利用者が調整することにより、X線画像データにおける被検査物Wの大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物Wの大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1において、調整判定部81は、第1のX線画像データおよび第2のX線画像データから被検査物Wの検出幅方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度角度θ1が第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度角度θ2より小さい場合に、X線管31の調整方向が、搬送面と平行な平面上であって被検査物Wの搬送方向と直交する方向Y軸において、第1の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別するとともに、第1の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、第2の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、X線管31の調整方向が、X線管31が第1のX線ラインセンサに対して近接および離隔する方向軸Z軸上において、X線ラインセンサ51に近接する方向であると判別することを特徴とする。この構成により、表示器5には、X線管31の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従ってX線管31の位置を利用者が調整することにより、X線画像データにおける被検査物Wの大きさと形状を一致させることができる。したがって、エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物Wの大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができる。また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、第1支持機構100が、X線管31を、このX線管31がX線ラインセンサ51に対して近接および離隔する方向であるZ軸と、搬送面と平行な平面上であって被検査物Wの搬送方向と直交する方向であるY軸とにおける各位置を調整可能に支持し、調整判定部81が、第1の波形がなす台形形状の上底および下底の長さが、第2の波形がなす台形形状の上底および下底の長さより短い場合に、X線管31の調整方向が、Z軸上において、X線ラインセンサ51に対して近接する方向であると判別し、第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度角度θ1が第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度角度θ2より小さい場合に、X線管31の調整方向が、Y軸上において、第1の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別することを特徴とする。この構成により、表示器5には、2軸上におけるX線管31の調整方向が表示されるので、表示された調整方向に従ってX線管31の位置を利用者が調整することにより、X線画像データにおける被検査物Wの大きさと形状を一致させることができる。また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、調整判定部81が、第1の波形と第2の波形とを取得する際は、X線管31およびX線管32を所定の調整用出力に設定することを特徴とする。この構成により、X線管31およびX線管32が所定の調整用出力に設定されることで、X線管31とX線ラインセンサ51から取得したX線画像と、X線管32とX線ラインセンサ52から取得したX線画像と、の間で、被検査物Wの大きさと形状以外の差異が発生することを防止することができる。また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、第1の波形がなす台形形状と第2の波形がなす台形形状の大きさおよび形状の差異と、X線管31の要調整量との間の定数を予め記憶する定数記憶部80を備え、調整判定部81が、X線管31の調整方向を判定するとともに、大きさおよび形状の差異と定数記憶部80に記憶された定数とに基づいてX線管31の要調整量を判定し、表示器5が、調整判定部81により判定された調整方向および要調整量を表示することを特徴とする。この構成により、X線管31の調整方向だけでなく、要調整量の判定および表示を行うことで、短時間または少ない試行回数でX線管31を適切な位置に調整することができる。また、本実施の形態に係るX線異物検出装置1は、第1支持機構100に支持されたX線管31のX線ラインセンサ51に対する相対位置を変位させるY軸駆動モータ112、Z軸駆動モータ118と、調整判定部81により判定された調整方向および要調整用に応じてY軸駆動モータ112、Z軸駆動モータ118を駆動制御する駆動制御部82と、を備えたことを特徴とする。この構成により、判定された調整方向および要調整用に応じて駆動制御部82がY軸駆動モータ112、Z軸駆動モータ118を駆動制御するので、自動的にX線管31を適切な位置に調整することができる。