基板上に配置した配線材と太陽電池セルを液体状の樹脂で覆った後で当該樹脂を硬化させて形成する太陽電池モジュールの製造方法であって、前記配線材と太陽電池セルのストリングを配置した基板を真空容器内に配置する工程と、前記真空容器内の気体を真空ポンプで吸気して前記真空容器内を真空状態にする工程と、前記基板上に配置された前記配線材と太陽電池セルのストリングに、塗布ヘッドのスリット状の開口から液体状の樹脂を吐出する工程と、を含む太陽電池モジュールの製造方法。前記液体状の樹脂は、ウレタン樹脂である、請求項1に記載の太陽電池モジュールの製造方法。前記液体状の樹脂は、2種類の液体を混合して生成されるウレタン樹脂である、請求項2に記載の太陽電池モジュールの製造方法。太陽電池セルと配線材からなる太陽電池セルのストリングを液体状の樹脂で覆った後に当該樹脂を硬化させて形成する太陽電池モジュールの製造方法であって、前記太陽電池セルのストリングを配置するための基板を真空容器内に配置する工程と、前記真空容器内の気体を真空ポンプで吸気して前記真空容器内を真空状態にする工程と、前記液体状の樹脂を、塗布ヘッドのスリット状の開口から前記基板上に吐出して第1の樹脂層を形成する工程と、前記太陽電池セルのストリングを、前記基板上に吐出された前記第1の樹脂層に埋め込んで配置する工程と、前記配線材と太陽電池セルのストリング上に、前記スリット状の開口から前記液体状の樹脂を吐出して第2の樹脂層を形成する工程と、を含む太陽電池モジュールの製造方法。前記第2の樹脂層のヤング率は、前記第1の樹脂層のヤング率よりも大きいことを特徴とする、請求項4に記載の太陽電池モジュールの製造方法。太陽電池セルと配線材からなる太陽電池ストリングを配置するための基板を載置する載置台が内部に配置される真空容器と、前記真空容器内の気体を、排気管を経由して吸気する真空ポンプと、液体状の樹脂を貯蔵するタンクと、前記真空容器内に配置され、前記液体状の樹脂を、前記基板及び/または前記基板上に配置された配線材と太陽電池セルのストリングに吐出するスリット状の開口部を有する塗布ヘッドと、前記タンクと前記塗布ヘッドとの間に配置され、前記塗布ヘッドから前記液体状の樹脂を塗布する際に、前記液体状の樹脂を加圧するポンプと、を備えることを特徴とする太陽電池モジュールの製造装置。前記タンクは、異なる液体状の樹脂が保存される複数のタンクで構成され、前記複数のタンクに貯蔵される異なる液体状の樹脂を所定の割合で混合して前記塗布ヘッドから塗布するための混合ユニットを更に備える請求項6に記載の太陽電池モジュールの製造装置。しかしながら、上記のような滴下法で製造した太陽電池モジュールは、ウレタン樹脂を硬化させた際に、特にスペーサ8の周辺で気泡が残ってしまうという問題があった。本発明の目的は、上記問題点を踏まえ、液体状のウレタン樹脂を塗布した後に、これを硬化させたときに、ウレタン樹脂の中に気泡が極力残存しないようにした、太陽電池モジュールの製造方法及びその製造装置を提供することにある。上記課題を解決し、本発明の目的を達成するための太陽電池モジュールの製造方法は、基板上の配線材と太陽電池セルを液体状の樹脂で覆った後で当該樹脂を硬化させる太陽電池モジュールの製造方法であって、配線材と太陽電池セルのストリングを配置した基板を真空容器内に配置する工程と、真空容器内の気体を真空ポンプで吸気する工程と、真空ポンプによる吸気を行いつつ、基板上に配置された太陽電池セルのストリングに、塗布ヘッドのスリット状の開口から液体状の樹脂を吐出する工程と、を含む。なお、ここで用いられる液体状の樹脂はウレタン樹脂であり、より好ましくは、2種類の液体を混合して生成されるウレタン樹脂である。また、本発明の他の太陽電池モジュールの製造方法は、太陽電池セルのストリングを配置するための基板を真空容器内に配置する工程と、真空容器内の気体を真空ポンプで吸気する工程と、液体状の樹脂を、塗布ヘッドのスリット状の開口から前記基板上に吐出して第1の樹脂層を形成する工程と、基板上に吐出された第1の樹脂層に太陽電池セルストリングを埋め込む工程と、第1の樹脂層に埋め込まれた太陽電池セルストリング上に、塗布ヘッドを用いて液体状の樹脂を吐出して第2の樹脂層を形成する工程と、を含んでいる。ここで、第1の樹脂層及び第2の趣旨層を構成する樹脂としては、いずれもウレタン樹脂が用いられるが、第1の樹脂層を構成するウレタン樹脂のヤング率は第2の樹脂層を構成するウレタン樹脂のヤング率よりも小さいことが望ましい。例えば、第2の樹脂層のウレタン樹脂のヤング率を第1の樹脂層のウレタン樹脂のヤング率に対して約10倍程度のものを使うことが好ましい。また、本発明の太陽電池モジュールの製造装置は、太陽電池セルと配線材からなる太陽電池ストリングを配置するための基板を載置する載置台が内部に配置される真空容器と、この真空容器内の気体を、排気管を経由して吸気する真空ポンプと、を備えている。そして、真空容器内には、液体状の樹脂を貯蔵するタンクと、この液体状の樹脂を、基板及び/または基板上に配置された配線材と太陽電池セルのストリングに吐出するスリット状の開口部を有する塗布ヘッドと、タンクと塗布ヘッドとの間に配置され、塗布ヘッドから液体状の樹脂を塗布する際に、液体状の樹脂を加圧するポンプとが設けられている。なお、異なる液体状の樹脂材料が貯蔵されているタンクを複数設け、これらを混合ユニットで所定の割合で混合して塗布ヘッドから吐出するようにしてもよい。本発明の太陽電池モジュールの製造方法及びその製造装置によれば、太陽電池モジュールの製造工程で発生する気泡が極力少なくなるので、太陽電池モジュールの品質が安定し、歩留まりが著しく向上するという効果がある。[第一の実施形態例の説明]まず、図2を参照して、本発明の第一の実施形態例である太陽電池モジュール製造方法及び製造装置を説明する。図2は、太陽電池モジュールを製造する際に発生する気泡を取り除くために、液体状の樹脂を塗布する塗布装置全体を真空容器チャンバ16の内部に配置した製造装置を示す。真空容器16内に存在している気体は、排気管17を経由して、真空ポンプ18によって吸気される。図2に示した製造装置によって製造される太陽電池モジュールは、配線材2によってストリング構造に配置された複数の太陽電池セル1を備える。この太陽電池セル1のストリングの上に、保護用の液状樹脂が塗布されて太陽電池モジュールが製造される。図2に示すように、真空容器16内には、載置台または移動ステージ14が配置され、この載置台14上に太陽電池セル1のストリングを配置するための基板6が設けられる。ここで載置台14は、通常真空容器16内に固定されて配置されるが、真空容器16の横幅を図2の断面図の横方向水平方向に載置台14の2倍程度に長くすることができるならば、載置台14を移動ステージとして用いることも可能である。また、載置台14上に置かれた基板6の上に、複数の太陽電池セル1が接続されたストリングが、スペーサ8をはさんで配置される。そして、このスペーサ8を含む太陽電池セル1のストリング上に、後述する方法で保護用の液状樹脂が塗布される。ここで、太陽電池セル1のストリングを覆う保護用の樹脂としては、ウレタン樹脂7が用いられる。また、基板6としては、ガラスエポキシ、ポリカーボネート、あるいはポリカーボネートにガラスを添加した複合材料などが用いられる。ウレタン樹脂7は、タンク13の中に液体の状態で貯蔵されており、塗布ヘッド10のスリット状開口部10aから吐出を始める際にポンプ12によって加圧される。そして、樹脂供給パイプ11を経由して塗布ヘッド10にウレタン樹脂が供給され、スリット状の開口部10aより太陽電池セル1のストリング上に吐出される。このスリット状の開口部10aは、図2の断面図の平面以外の方向が長手方向になる形状をしており、その長手方向の開口寸法は、図2の断面図に示される太陽電池セル1の奥行き方向の最大幅よりも長く設定される必要がある。そして、塗布ヘッド10を、スリット状開口部10aの長手方向ではない方向、例えば長手方向と直交する方向に動かすことによって、太陽電池セル1のストリングを覆うようにウレタン樹脂7からなる保護層が形成される。なお、真空容器16が横方向に長くなっていて、載置台14を横方向に移動することができるならば、塗布ヘッドを移動させる代わりに、載置台14を移動ステージとして使うこともできる。その場合、載置台14を開口部10aの長手方向でない方向、例えば長手方向と直交する方向に動かしてもよい。あるいは、載置台14と塗布ヘッド10の両方を動かしてもよい。ウレタン樹脂7の膜厚は、塗布ヘッド10の開口部10aのスリットの間隔、塗布ヘッド10または載置台14の移動速度、塗布ヘッド10と基板6間の距離、ポンプ12の加圧力などを調整することにより決定される。これらのパラメータを調整することにより、例えば、一回の吐出で数100マイクロメートルの膜厚を得ることも可能である。このように、本発明の第一の実施形態例で示す製造方法を用いることにより、塗布ヘッド10からの一回の吐出によるウレタン樹脂7でストリングを覆いつくすことができるので、生産性を上げ生産コストを下げることが可能となる。ここで、太陽電池セル1のストリング上にウレタン樹脂7を塗布する場合、特にスペーサ8の周辺にウレタン樹脂7が回り込みにくくなり、大気下では気泡が発生しやすくなる。しかし、本実施の形態例では、ウレタン樹脂を塗布する前に、真空ポンプ18で吸気して真空容器16内を真空状態にするため、気泡の発生を抑制することができる。このため、液状のウレタン樹脂7を塗布後に硬化させても、ウレタン樹脂7内に残存する気泡は極めて少なくなる。[第二の実施形態例の説明]図3~5は、本発明の第二の実施形態例である太陽電池モジュールの製造方法の第一工程から第三工程までを順に説明するための図である。本発明の第二の実施形態例でも、真空容器16内において真空状態で太陽電池モジュールを製造する点は同じである。本発明の第二の実施形態例が第一の実施形態例と異なる点は、基板6の一面に液状の樹脂を塗布した後に、配線材2と太陽電池セル1のストリングを、液状樹脂内に埋め込む工程を設けた点である。すなわち、上述したように、第一の実施形態例では、太陽電池セル1と配線材2からなるストリング上にウレタン樹脂7を吐出するため、配線材2や太陽電池セル1の裏側まで回りこむようにウレタン樹脂7を注入しなければならない。この第二の実施形態例では、塗布された液状のウレタン樹脂7aの中に、スペーサ8を有する太陽電池セル1のストリングを押し込むため、スペーサ8付近に残る気泡は、第一の実施形態例に比べて更に少なくすることができる。まず、図3に示すように、基板6の上にウレタン樹脂7aを吐出する。ウレタン樹脂7aの吐出方法は第一の実施形態例とまったく同じであり、タンク13に液体の状態で貯蔵されたウレタン樹脂7aをポンプ12によって加圧し、樹脂供給パイプ11を経由して塗布ヘッド10のスリット状の開口部10aより基板6上に吐出する。次に、図4に示すように、配線材2によって複数の太陽電池セル1を接続したストリングとスペーサ8を、吐出されたウレタン樹脂7aの中に沈めるように押し込む。このとき、ウレタン樹脂の粘度は十分に低く、かつ予め真空容器16内を真空状態にしていることもあって、スペーサ8の周辺に気泡が残ることが極めて少なくなる。最後に図5に示すように、塗布ヘッド10は、ストリング全体を覆うように再度ウレタン樹脂7bをスリット状開口部10aから吐出する。ウレタン樹脂の吐出方法は図2に示した第1の実施形態例のときと同じである。このような製造工程を真空容器16内で行うことにより、製造される太陽電池モジュール内の気泡の発生を極めて少なくすることができ、その結果、高品質で信頼性の高い太陽電池モジュールを生産することが可能となる。なお、第二の実施形態例の製造方法では、第1回目に吐出するウレタン樹脂7aと2回目に塗布するウレタン樹脂7bを異なる別の樹脂材料とした。しかし、1回目に吐出されるウレタン樹脂7aと、2回目に吐出されるウレタン樹脂7bは同じ樹脂材料であってよい。ここでは、最初に塗布ヘッド10から吐出するウレタン樹脂7aとしては、比較的ヤング率の小さい柔らかい樹脂材料を用い、2回目に吐出するウレタン樹脂7bとしては、ウレタン樹脂7aよりヤング率の高い樹脂材料を用いている。具体的には、ウレタン樹脂7bのヤング率はウレタン樹脂7aのヤング率の10倍程度にすることが考えられる。なお、下層に配置されるウレタン樹脂7aのヤング率は、2MPa以下、できれば0.2MPa以下が望ましい。この場合、異なるヤング率の樹脂材料の塗布は、タンク13の中の材料を入れ替えて用いることができるが、予め樹脂材料の異なるタンク13を2種類設け、これを交換して用いるようにしてもよい。ここで、ウレタン樹脂のヤング率を変える方法としては、ウレタン樹脂の中に軟化剤を添加することで実現できる。また、他にウレタン樹脂7aの代わりに、柔らかい材料であるシリコン樹脂を用い、ウレタン樹脂7bの代わりに堅い材料であるエポキシ樹脂を用いることもできる。[第三の実施形態例の説明]図6は、本発明の第三の実施形態例である太陽電池モジュールの製造方法と装置を説明するための図である。この第三の実施形態例でも、第一及び第二の実施形態例と同様に、太陽電池セル1のストリング上への樹脂材料の塗布は、真空容器16内において真空状態で行われる。ただ、第三の実施形態例が第一及び第二の実施形態例と異なるところは、塗布ヘッド10から基板6上に吐出するウレタン樹脂の作り方である。図6に示すように、第三の実施形態例では、例えばポリオールからなる第1の材料が貯蔵されるタンク13aと、例えばイソシアネートからなる第2の材料が貯蔵されるタンク13bが設けられる。実際に、タンク13aからの第1の材料例えばポリオールとタンク13bからの第2材料例えばイソシアネートは、それぞれポンプ12a、12bで加圧され、樹脂供給パイプ11a、11bを経由して混合ユニット15に送られる。この混合ユニット15は、第1の材料であるポリオールと第2の材料であるイソシアネートを所定の混合比で混合し、樹脂供給パイプ11cを介して塗布ユニット10に送る。塗布ユニット10からウレタン樹脂7を塗布する方法は、図2または図3~5に示した第一の実施形態例及び第二の実施形態例の製造方法と同じなので、ここでは説明を省略する。ここで、混合ユニット15で混合される第1の材料ポリオールと第2の材料イソシアネートの混合比は、例えば、ポリオール100に対してイソシアネート85が最適であることが実験で確かめられている。この混合比にすると、ポリオールとイソシアネートが完全な状態で反応されるが、他の混合比ではいずれか一方の材料が反応されない状態で残ってしまうのである。[太陽電池モジュールの製造装置]上述したように、第一の実施形態例及び第二の実施形態例の製造方法を実現するための製造装置は、図2~図6に示すように、真空容器16と排気管17と真空ポンプ18を備える。そして、真空容器16内に、液体状のウレタン樹脂7を貯蔵するタンク13と、ウレタン樹脂7を塗布する前に圧力を加えるポンプ12と、スリット状の開口部10aを有する塗布ヘッド10を備えている。タンク13とポンプ12及び塗布ヘッド10は、樹脂供給パイプ11により接続されている。以上の構成を備えた、太陽電池モジュールの製造装置により、既に説明したような第一及び第二の実施形態例の太陽電池モジュールの製造方法を実施することができる。なお、ポンプ12とタンク13は真空容器16の外部に配置されていてもよい。この場合は、樹脂供給パイプ11が真空容器16を貫通し、真空容器16外のポンプ12と真空容器16内の塗布ヘッド10が接続されることになる。本発明の第三の実施形態例の製造方法を実現するための製造装置では、異なる材料を貯蔵するタンク13a、13bと、これら2種類の材料を混合する混合ユニット15と、タンク13a、14bから混合ユニット15へ材料を送り込むポンプ14a、14bを備えている。それ以外の構成は、図3~図6に示した第一及び第二の実施形態例の製造方法を実現するための装置構成と同じである。以上、本発明の第一から第三の実施形態例について説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨を変更しない限りにおいて、種々の応用例及び変形例を含むことは言うまでもない。