"吸着剤が充填された吸着槽にコンプレッサからの圧縮空気を供給して該吸着槽内を昇圧させ、該吸着槽内の吸着剤により生成された製品ガスを該吸着槽から取り出すよう構成された気体分離装置において、前記コンプレッサからの圧縮空気の使用状態を検出する検出手段と、前記コンプレッサを駆動するモータの回転数を検出する回転検出手段と、前記検出手段により検出された圧縮空気の使用量が所定値以下のとき前記モータの回転数を所定の割合で減速する回転制御手段と、を備えてなることを特徴とする気体分離装置。前記検出手段は、前記コンプレッサの空気タンクの圧力を検出する圧力検出器からなることを特徴とする請求項1記載の気体分離装置。前記検出手段は、前記製品ガスの吐出流量を検出する流量計からなることを特徴とする請求項1記載の気体分離装置。前記検出手段は、前記吸着槽の圧力を検出する圧力検出器からなることを特徴とする請求項1記載の気体分離装置。ところが、上記気体分離装置では、上記各工程~を繰り返して窒素を分離生成しているが、コンプレッサの回転数を一定にして空気タンクに所定圧力の圧縮空気を貯溜しており、吸着工程時に空気タンク内の圧縮空気が吸着槽へ供給される。尚、コンプレッサは空気タンクの圧力が上限圧力に達するとアンロード運転に切り換わるが、コンプレッサの駆動用モータの回転数は変化せず一定である。そのため、従来の気体分離装置では、例えば圧縮空気の使用状態や空気タンクの圧力に関係無く一定の回転数で駆動されているため、圧縮空気の使用量が減少しているときでも無駄に排気しなければならず、あるいは、空気タンクの圧力が充分にあるのに圧縮空気を無駄に排気しなければならかった。よって、従来の気体分離装置においては、例えば圧縮空気の使用量が時間によって変動するような環境で使用される場合、圧縮空気を排気し続けることになり、コンプレッサの運転効率を高めることができなかった。そこで、本発明は上記課題を解決した気体分離装置を提供することを目的とする。本発明は上記課題を解決するため、以下のような特徴を有する。上記請求項1記載の発明は、吸着剤が充填された吸着槽にコンプレッサからの圧縮空気を供給して吸着槽内を昇圧させる気体分離装置であり、コンプレッサからの圧縮空気の使用状態を検出する検出手段により検出された圧縮空気の使用量が所定値以下のときモータの回転数を所定の割合で減速する回転制御手段を備えてなり、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止してコンプレッサの運転効率を高めることが可能になる。また、請求項2記載の発明は、検出手段がコンプレッサの空気タンクの圧力を検出する圧力検出器からなり、空気タンクの圧力が所定値以上になると、モータの回転数を所定の割合で減速して、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止できる。また、請求項3記載の発明は、検出手段が製品ガスの吐出流量を検出する流量計からなり、製品ガスの吐出流量が所定値以下になると、モータの回転数を所定の割合で減速して、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止できる。また、請求項4記載の発明は、検出手段が吸着槽の圧力を検出する圧力検出器からなり、吸着槽の圧力が吸着剤の使用可能最大圧力に達すると、モータの回転数を所定の割合で減速して、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止できる。上述の如く、請求項1記載の発明によれば、吸着剤が充填された吸着槽にコンプレッサからの圧縮空気を供給して吸着槽内を昇圧させる気体分離装置であり、コンプレッサからの圧縮空気の使用状態を検出する検出手段により検出された圧縮空気の使用量が所定値以下のときモータの回転数を所定の割合で減速する回転制御手段を備えてなるため、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止してコンプレッサの運転効率を高めることができる。また、請求項2記載の発明によれば、検出手段がコンプレッサの空気タンクの圧力を検出する圧力検出器からなるため、空気タンクの圧力が所定値以上になると、モータの回転数を所定の割合で減速して、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止できる。また、請求項3記載の発明によれば、検出手段が製品ガスの吐出流量を検出する流量計からなるため、製品ガスの吐出流量が所定値以下になると、モータの回転数を所定の割合で減速して、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止できる。また、請求項4記載の発明によれば、検出手段が吸着槽の圧力を検出する圧力検出器からなるため、吸着槽の圧力が吸着剤の使用可能最大圧力に達すると、モータの回転数を所定の割合で減速して、コンプレッサで圧縮された空気を無駄に排気することを防止できる。以下、図面と共に本発明の一実施例について説明する。図1は本発明になる気体分離装置の一実施例を示す構成図である。図1に示されるように、気体分離装置11は圧縮空気から窒素を製品ガスとして生成するPSA式の窒素発生装置であり、スタート信号の入来により作動開始する。制御装置12は冷凍式ドライヤ13,コンプレッサ15を有する空気供給ユニット16,吸着ユニット17及び貯蔵ユニット18の各バルブV1~V11を制御する。また、制御装置12のメモリには、後述するようにコンプレッサ15の吐出圧力と回転数との関係を示すデータ図5参照が記憶されている。コンプレッサ15で生成された圧縮空気は、冷凍式ドライヤ13で除湿され、乾燥した清浄な圧縮空気として吸着ユニット17に供給される。空気供給ユニット16と吸着ユニット17との間は、管路19を介して接続されている。従って、ドライヤ13で乾燥された圧縮空気は、管路19を通って吸着ユニット17で分岐した給気側の管路20,21を介して分子ふるいカーボンよりなる吸着剤が充填された第1,第2の吸着槽17A,17Bに供給される。また、管路20,21には、排気用の管路22,23が分岐接続されている。図2はコンプレッサの構成を拡大して示す図である。図2に示すように、コンプレッサ15は、パッケージ形圧縮機と呼ばれる空気圧縮機で、スチール製の筐体37内にスクロール式の圧縮機38、モータ39、空気タンク40を立体的、且つコンパクトに収納してなる。また、モータ39には、回転数を検出するためのレゾルバあるいはロータリエンコーダなどからなる回転検出器46が設けられている。また、空気タンク40には、圧縮空気が充填されたときの圧力を検出する圧力検出器47が設けられている。筐体37のベース41上には、防振ゴム42を介して架台43が固定されている。モータ39はブラケット44を介して架台43上に固定され、空気タンク40はブラケット45を介して架台43上に固定されている。圧縮機38は、固定スクロールとモータ39に回転駆動される旋回スクロールとを組み合わせてなる。固定スクロール及び旋回スクロールは、インボリュート曲線又はインボリュート曲線に近いうず巻き状に形成された複数の隔壁を有する。そして、固定スクロールと旋回スクロール隔壁間には、三日月状の圧縮室が形成されており、中央部付近の圧縮室ほどその容積が小さい。そのため、外周側から圧縮室に流入した空気は、旋回スクロールの回転とともに中央部に移動しながら圧縮される。筐体37の前面に設けられた操作パネル51には、スタートスイッチ釦52、停止スイッチ釦53、運転時間計54、吐出圧力表示部55等が配設されている。57はインバータ回路モータ回転制御手段で、上記コンプレッサ5を駆動するモータ39の回転数を制御しており、空気タンク40に貯留された圧縮空気の使用状態に応じてモータ39の回転数を減速する。このインバータ回路57は、例えばコンバータ図示せずにより正弦波の交流をいったん直流に順変換し、これをトランジスタ図示せずのオン、オフにより可変周波数の交流に逆変換するので、モータ39の定格周波数を任意に変更させることができる。従って、モータ39の出力軸はインバータ回路57から出力された交流の可変周波数に応じた回転数で回転駆動される。そのため、インバータ回路57は後述するように吸着工程時にのみコンプレッサ15を駆動するモータ39を増速させてコンプレッサ15の圧縮空気生成量を増大させるように制御するとともに、空気タンク40の圧力が所定以上例えば、6.5kgfm2以上に昇圧している状態で圧縮空気の使用量が少ないときは、モータ39の回転数を減速して圧縮空気が無駄に排気されることを防止する。吸着槽27A,27Bの上部には取出側の管路24,25が接続されており、両管路24,25間には両吸着槽17A,17Bを接続する均圧用の管路26が横架されている。又、上記管路24,25は吸着ユニット17と貯蔵ユニット18とを接続する管路27に接続されている。さらに、給気用の管路20,21との間を接続する排気用の管路22,23にはサイレンサ32が設けられている。貯蔵ユニット18は製品ガスとしてのN2ガスが蓄圧される窒素槽33と、窒素槽33内の酸素濃度を計測する酸素センサ34とよりなる。窒素槽33の下部には上記管路27が接続されており、吸着槽17A,17Bで分離された高純度のN2ガスは管路27を介して窒素槽33に供給される。又、窒素槽33の上部にはN2ガスを取り出す取出管路35が接続されている。この取出管路35は下流側のN2ガスを使用する装置図示せずへ延在している。又、酸素センサ34は管路36を介して窒素槽33と接続されている。上記各管路20~26,35,36には常閉形の電磁弁V1~V11が配設されており、各電磁弁V1~V8は後述するように制御装置12からの信号により還流、吸着、再生、取出し、均圧の各工程に応じて選択的に開弁する。上記気体分離装置11においては、スタートスイッチ釦52の操作によりコンプレッサ15のモータ39が起動して圧縮機38が駆動される。圧縮機38により生成された圧縮空気は、空気タンク40に蓄圧される。空気タンク40の圧縮空気は空気ドライヤ13に供給されて除湿された後、吸着ユニット17に供給される。図3は各工程のバルブ動作及び各吸着槽の圧力変化を示す工程図である。図3に示すように、吸着ユニット17では、第1,第2の吸着槽17A,17B内に上記空気ドライヤ13により乾燥された圧縮空気が供給されて、昇圧、減圧を繰り返しながら原料空気から窒素と酸素とを分離する。尚、吸着ユニット17では製品ガスとしての窒素を安定供給するため、第1の吸着槽17Aが昇圧されて吸着工程のとき第2の吸着槽17Bでは減圧されて再生工程が行なわれ、これとは逆に、第1の吸着槽17Aが再生工程のとき第2の吸着槽17Bは吸着工程となる。従って、制御装置12は予め入力されたプログラムに基づいて吸着槽17A,17Bが交互に窒素ガスを生成するように吸着ユニット7の各バルブV1~V11を開閉制御する。ここで、上記構成になる気体分離装置11において、各工程ごとに開閉する吸着ユニット17の各バルブV1~V9の動作について説明する。図3に示されるように、各バルブV1~V9は白抜きが開弁状態であり、黒塗りが閉弁状態であることを示す。第1工程吸着槽A=環流吸着、吸着槽B=再生図3において、バルブV1,V3,V6が開弁する。そのため、吸着槽17Aにはドライヤ13からの圧縮空気が下方から供給されるとともに、窒素槽33からの窒素ガスが上方から還流される。同時に上記の如くインバータ回路57によりコンプレッサ15からの圧縮空気供給量が増大し、吸着槽17Aは短時間で昇圧し、内部に充填された吸着剤が酸素分子を吸着する。多孔質の分子ふるいカーボンよりなる吸着剤は、圧力と吸着量との関係により吸着槽17A内の圧力変化に応じて酸素分子を吸着し、減圧されるとその圧力差により酸素分子を脱着する。尚、図3中、圧縮機供給圧力の線図で分かるように、吸着工程時上記コンプレッサ15の空気タンク40から吸着槽17Aに圧縮空気が供給されてもモータ39の増速運転により吸着槽17Aに供給される圧力は急激に低下せず、圧縮空気が安定供給される。又、吸着槽17Aにおける吸着性能は所定圧力例えば5Kg/cm2以上になると大幅に向上しないので、実際には吸着槽17A内の圧力がほぼ5Kg/cm2程度の圧力を一定に保つようにコンプレッサ15の運転状態、換言すればモータ39の回転数を増速又は減速制御する。他の吸着槽17BではバルブV6の開弁により残存ガスが大気中に排気されて減圧される。そのため、吸着槽17B内に充填された充填剤は前回の吸着工程で吸着した酸素分子が脱着されて再生される。そして、均圧用管路26に設けられた吸着槽28は排気用の管路29のバルブV9が開弁しているので、内部が大気圧に減圧されて吸着剤が再生される。第2工程吸着槽A=取出し、吸着槽B=再生図3において、前記第1工程と同様バルブV1,V3,V6が開弁している。吸着槽17AではバルブV1の開弁により圧縮空気が供給され続けられているため、短時間でコンプレッサ15の供給圧力近くまで昇圧する。そして、吸着剤により分離生成された窒素ガスがバルブV3を介して窒素槽33へ取出される。尚、他方の吸着槽17BはバルブV6の開弁により再生工程である。又、前述したように、コンプレッサ15では吸着槽17Aの吸着工程終了とともに定常速度の運転に戻る。第3工程吸着槽A,吸着槽B=均圧図3において、上記バルブV1,V3,V6が閉弁した後、均圧用管路26のバルブV4,V8が開弁する。一方の吸着槽17Aでは取出工程が完了したため、略コンプレッサ15からの供給圧力まで昇圧しているのに対し、他方の吸着槽17Bでは再生工程が完了しているので略大気圧まで減圧されている。又、均圧用管路26に設けられた吸着槽28も再生工程が完了して減圧されている。そのため、吸着槽17A内には窒素濃度の高いN2ガスが加圧された状態で残存している。均圧用の吸着槽28の両側に配設された上記バルブV4,V8が開弁すると、吸着槽17A内のN2ガスが均圧用ガスとしてバルブV4を介して吸着槽28に供給される。そして、吸着槽28内が昇圧すると均圧用ガス中に含まれている酸素分子が吸着剤に吸着される。さらに、吸着槽28により分離生成された均圧用ガスは吸着槽17Aから取出したときよりも高純度のN2ガスとなって吸着槽17Bへ送出される。従って、吸着槽17Bは吸着槽28を介して供給された高純度のN2ガスにより加圧状態となり、次の吸着工程に備える。このように、均圧工程においてはバルブV4,V8の開弁により昇圧された一方の吸着槽17Aが急速に減圧されるため、前回の吸着工程で吸着剤に吸着された酸素分子が脱着されてしまう。そのため、均圧用ガスの窒素濃度が低下するが、均圧用管路26に設けられた吸着槽28に充填された吸着剤により均圧用ガス中の酸素分子が吸着されるので、均圧工程による高純度のN2ガス生成効率が高められる。よって、高純度のN2ガス発生量が増加し、再起動時間をより短縮することができる。均圧工程においては、定期的にコンプレッサ15を休ませるため、コンプレッサ15はアンロード運転又は停止状態となる。しかし、N2ガス使用量が多いときで均圧時間が短い場合には、アンロード運転又は停止状態とせず、通常運転を行う。上記第1~第3工程が完了すると、吸着槽17Aと17Bとが入れ換わるように上記第1~第3工程が実行される。ここで、インバータ回路57が実行する制御処理について説明する。図4はインバータ回路57が実行する処理のフローチャートである。図4に示されるように、インバータ回路57は、ステップS11以下、ステップを省略するにおいて、吸着ユニット17の第1の吸着槽17A又は第2の吸着槽17Bが吸着工程となったとき、S12に移り上記コンプレッサ15のモータ39を増速する。モータ39の増速によりコンプレッサ15の圧縮空気供給量が増大し、第1の吸着槽17A又は第2の吸着槽17Bへの圧縮空気供給量が増える。そのため、吸着槽17A又は吸着槽17Bにおける所定圧力例えば5kgf/cm2に達するまでの昇圧時間が短縮され、吸着工程時間が短くて済む。スクロール式の圧縮機38は、回転数が一定の場合、圧縮空気の空気量も一定となってしまい、吸着槽17A,17Bへの圧縮空気供給量が不足するおそれがある。しかしながら、本実施例では、S12において、コンプレッサ15のモータ39を増速するため、往復動圧縮機と同様に、吸着工程開始時の圧力不足を解消することができる。次のS13では、吸着工程になってからの経過時間が予め設定された設定時間に達したとき、吸着工程が終了し同時にモータ39の回転を定常速度に減速する。これは、コンプレッサ15がモータ39の増速により能力以上の運転となるため、吸着工程以外の工程では回転数を落としてコンプレッサ15の負担を軽減させ、コンプレッサ15の寿命を延ばしている。尚、上記設定時間は吸着工程の全時間と同一にしても良いが、吸着槽17A,17B内の圧力が所定圧力に達するまでの所定時間としてもよい。S14では、圧力検出器47により検出された空気タンク40の圧力値を読み込む。次のS15では、予めメモリに記憶されたコンプレッサ15の吐出圧力と回転数との関係を示すデータ図5参照から上記S14で検出された空気タンク40の圧力値に対応する制御目標となるモータ39の回転数目標値を読み込む。そして、S16では、モータ39の回転数を上記S15で読み込んだモータ39の回転数目標値となるように制御する。すなわち、空気タンク40の圧力値に基づいて図5に示すようにモータ39の回転制御を行う。例えば、図5中、グラフIに示すように通常のスクロール圧縮機の場合、モータ39の回転数を一定値に保つように制御している。この場合、グラフIIに示すように圧縮機38からの吐出流量も吐出圧力に関係なくほぼ一定値になる。本実施例では、グラフIIIに示すように、空気タンク40の圧力が例えば2kgf/cm2であるときは、吸着工程を行うには圧力が低いので、モータ39の回転数を増速して圧縮機38からの吐出流量を増大させる。これにより、グラフIVに示すように、圧縮機38からの吐出流量は、増大して吸着工程時の原料空気不足を解消できる。また、空気タンク40の圧力が昇圧するにつれてモータ39の回転数を徐々に減速して、圧縮機38からの吐出流量を減少させる。さらに、グラフIIIに示すように吐出圧力が6kgf/cm2以上になると、空気タンク40の圧力が吸着工程を行うのに十分であるので、破線で示すようにモータ39の回転数を急激に減速する。これにより、グラフIVに示すように圧縮機38が圧縮空気を大気中に排気する空気量を大幅に減少することができ、圧縮空気の使用状態に対して圧縮空気の生成量を減らして圧縮機38の運転効率を高めることができる。上記のようにS16でモータ39の回転制御を行った後、S17に進み、吸着ユニット17が均圧工程になると、S11に戻り次の吸着工程に備える。従って、モータ29の増速によりコンプレッサ15の圧縮空気供給量が増大して吸着工程時間が短くなるため、一連の吸着、再生、取出し、均圧工程による1サイクル時間が短縮され、コンプレッサ5を大型化することなく窒素生成効率が向上する。次に、本発明の変形例1について説明する。図6は変形例1の構成を示す構成図である。図6に示されるように、窒素槽33の上部からN2ガス製品ガスを取り出す取出管路35には、N2ガスの吐出流量を測定する流量計61が配設されている。すなわち、この流量計61は、気体分離装置11の下流へ供給されるN2ガスの使用量を計測し、その流量計測値を制御装置12に出力する。図7はインバータ回路57が実行する変形例1の処理を示すフローチャートである。図7において、S21~S23の処理は、前述した図4のS11~S13と同じ処理なので、その説明は省略する。S24において、流量計61により計測されたN2ガスの吐出流量を読み込む。次のS25では、予めメモリに記憶されたN2ガスの吐出流量とコンプレッサ15の回転数との関係を示すデータ図5参照から上記S24で検出されたN2ガスの吐出流量に対応する制御目標となるモータ39の回転数目標値を読み込む。そして、S26では、モータ39の回転数を上記S25で読み込んだN2ガスの吐出流量に対応するモータ39の回転数目標値となるように制御する。すなわち、N2ガスの吐出流量に基づいて図5に示すようにモータ39の回転制御を行っており、前述したS16の場合と同様にN2ガスの吐出流量が多いときはモータ39の回転数を増速して圧縮機38からの吐出流量を増大させる。これにより、圧縮機38からの吐出流量は、増大して吸着工程時の原料空気不足を解消できる。また、空気タンク40の圧力が昇圧するにつれてモータ39の回転数を徐々に減速して、圧縮機38からの吐出流量を減少させる。さらに、N2ガスの吐出流量が所定値以下になると、窒素槽33の圧力が十分であるので、モータ39の回転数を急激に減速する。これにより、グラフIVに示すように圧縮機38が圧縮空気を大気中に排気する空気量を大幅に減少することができ、圧縮空気の使用状態に対して圧縮空気の生成量を減らして圧縮機38の運転効率を高めることができる。次に、本発明の変形例2について説明する。図8は変形例2の構成を示す構成図である。図8に示されるように、吸着槽17A,17Bには、吸着槽17A,17B内の圧力を検出する圧力検出器62,63が取り付けられている。すなわち、この圧力検出器62,63は、吸着工程、取出し工程、再生工程の圧力変化を検出しており、その圧力検出値を制御装置12に出力する。図9はインバータ回路57が実行する変形例2の処理を示すフローチャートである。図9において、S31~S33の処理は、前述した図4のS11~S13と同じ処理なので、その説明は省略する。S34において、圧力検出器62,63により検出された吸着槽17A,17Bの圧力値PA,PBを読み込む。次のS35では、予めメモリに記憶された吸着槽17A,17Bの圧力PA,PBとコンプレッサ15の回転数との関係を示すデータ図5参照から上記S34で検出された吸着槽17A,17Bの圧力値に対応するモータ39の回転数目標値を読み込む。そして、S36では、モータ39の回転数を上記S35で読み込んだ吸着槽17A,17Bの圧力PA,PBに対応するモータ39の回転数目標値となるように制御する。すなわち、吸着槽17A,17Bの圧力PA,PBに基づいて図5に示すようにモータ39の回転制御を行っており、前述したS16の場合と同様に吸着槽17A,17Bの圧力値PA,PBが所定値以上に低下した場合、モータ39の回転数を増速して圧縮機38からの吐出流量を増大させる。これにより、圧縮機38からの吐出流量は、増大して吸着工程時の原料空気不足を解消できる。また、吸着槽17A,17Bの圧力PA,PBが昇圧するにつれてモータ39の回転数を徐々に減速して、圧縮機38からの吐出流量を減少させる。さらに、吸着槽17A,17Bの圧力PA,PBが6kgf/cm2以上になると、空気タンク40の圧力が吸着工程を行うのに十分であるので、モータ39の回転数を急激に減速する。これにより、圧縮機38が圧縮空気を大気中に排気する空気量を大幅に減少することができ、圧縮空気の使用状態に対して圧縮空気の生成量を減らして圧縮機38の運転効率を高めることができる。尚、上記実施例では、インバータ回路47を一例として挙げたが、これに限らず、例えばモータ29への供給電圧を可変して回転数を制御するようにしても良い。又、上記実施例では、一対の吸着槽7A,7Bが設けられているが、2個以上の吸着槽を有する装置にも適用できるのは勿論である。又、上記実施例では、各吸着槽が酸素分子を吸着する構成であるが、各吸着槽が他の気体分子を吸着する構成例えば酸素発生装置等にも適用できるのは勿論である。"