"XY平面に平行に置かれた基板と、前記基板の略中央部に設けられ加速度を受けて変位する第1の錘部と、前記第1の錘部を取り囲むように配置した支持枠部と、前記第1の錘部と支持枠部とを連結しX軸に平行な一対の梁状可撓部と、前記第1の錘部と支持枠部とを連結しY軸に平行な一対の梁状可撓部と、前記梁状可撓部上でかつ前記梁状可撓部と前記第1の錘部との連結端部に形成した歪抵抗素子とを備え、前記支持枠部内に、前記X軸に平行な一対の梁状可撓部の中心軸に関して略対称で、X軸に平行な一対の薄肉部を設けることにより、加速度を受けて変位する第2、第3の錘部を形成するとともに、前記支持枠部内に、前記Y軸に平行な一対の梁状可撓部の中心軸に関して略対称で、Y軸に平行な一対の薄肉部を設けることにより、加速度を受けて変位する第4、第5の錘部を形成した3軸加速度センサ。前記歪抵抗素子と電気的に接続された電極パッドを前記支持枠部の上面で、前記薄肉部および前記第2、第3、第4、第5の錘部以外の位置に設けたことを特徴とする請求項1記載の3軸加速度センサ。前記薄肉部に切り欠き部を設けたことを特徴とする請求項1または2記載の3軸加速度センサ。しかしながら、上記従来の加速度センサの検出素子においては、1つの軸方向のみに加速度が印加され錘部3にその軸方向の慣性力が働いた場合において、この軸方向の加速度の他に、他の軸方向の加速度も出力される、いわゆる他軸感度のために、加速度の検出精度が低下するという問題点があった。以下に、この問題点について説明する。図6aは前記第1、第2の梁状可撓部5,5′に形成した歪抵抗素子Rx1,Rx2,Rx3,Rx4により構成されるブリッジ回路である。図6aにおいて、歪抵抗素子Rx1と歪抵抗素子Rx2との間に電源電圧Vddが接続され、歪抵抗素子Rx3と歪抵抗素子Rx4との間にアースVssが接続されて、歪抵抗素子Rx1と歪抵抗素子Rx4との中点電位V1と、歪抵抗素子Rx2と歪抵抗素子Rx3との中点電位V2との差が測定される。X軸方向の加速度が印加されていない場合には、歪抵抗素子Rx1,Rx2,Rx3,Rx4は平衡するRx1Rx3=Rx2Rx4ように構成されており、歪抵抗素子Rx1と歪抵抗素子Rx4との中点電位V1と、歪抵抗素子Rx2と歪抵抗素子Rx3との中点電位V2との差は零となっている。また、図6bは前記第3、第4の梁状可撓部6,6′に形成した歪抵抗素子Ry1,Ry2,Ry3,Ry4により構成されるブリッジ回路である。図6bにおいて、歪抵抗素子Ry1と歪抵抗素子Ry2との間に電源電圧Vddが接続され、歪抵抗素子Ry3と歪抵抗素子Ry4との間にアースVssが接続されて、歪抵抗素子Ry1と歪抵抗素子Ry4との中点電位V1と、歪抵抗素子Ry2と歪抵抗素子Ry3との中点電位V2との差が測定される。Y軸方向の加速度が印加されていない場合には、歪抵抗素子Ry1,Ry2,Ry3,Ry4は平衡するRy1Ry3=Ry2Ry4ように構成されており、歪抵抗素子Ry1と歪抵抗素子Ry4との中点電位V1と、歪抵抗素子Ry2と歪抵抗素子Ry3との中点電位V2との差は零となっている。さらにまた、図6cは前記第3、第4の梁状可撓部6,6′に形成した歪抵抗素子Rz1,Rz2,Rz3,Rz4により構成されるブリッジ回路である。図6cにおいては、歪抵抗素子Rz1と歪抵抗素子Rz2との間に電源電圧Vddが接続され、歪抵抗素子Rz3と歪抵抗素子Rz4との間にアースVssが接続されているが、歪抵抗素子Rz1と歪抵抗素子Rz3との中点電位V1と、歪抵抗素子Rz2と歪抵抗素子Rz4との中点電位V2との差が測定される点で図6abと異なっている。Z軸方向の加速度が印加されていない場合には、歪抵抗素子Rz1,Rz2,Rz3,Rz4は平衡するRz1Rz4=Rz2Rz3ように構成されており、歪抵抗素子Rz1と歪抵抗素子Rz3との中点電位V1と、歪抵抗素子Rz2と歪抵抗素子Rz4との中点電位V2との差は零となっている。図7aは従来の加速度センサの検出素子にX軸方向の加速度が印加された時の上面図、図7bは図7aのX軸に平行なA-A線での断面図である。図7bにおいて、錘部3はX軸方向に向く慣性力Fxにより回動し、歪抵抗素子Rx1,Rx3には引張歪が作用して抵抗値が上昇し、歪抵抗素子Rx2,Rx4には圧縮歪が作用して抵抗値が低下する。これにより、図6aのブリッジ回路の平衡が破れ、歪抵抗素子Rx1と歪抵抗素子Rx4との中点電位V1と、歪抵抗素子Rx2と歪抵抗素子Rx3との中点電位V2との電圧差が検出される。図7cは図7aの第4の梁状可撓部6′と錘部3との連結部近傍におけるX軸に平行なB-B線断面図、図7dは第4の梁状可撓部6′と支持枠部4との中央部近傍におけるX軸に平行なC-C線断面図、図7eは第4の梁状可撓部6′と支持枠部4との連結部近傍におけるX軸に平行なD-D線断面図である。X軸の正方向への錘部3の回動に伴い、図7cdeに示すように、前記第4の梁状可撓部6′の断面は支持枠部4との連結部から錘部3との連結部までZ軸周りに連続的に回転する、すなわち前記第4の梁状可撓部6′が捻られるためRz3には引張歪が作用して抵抗値が上昇する。同様に、前記第3の梁状可撓部6も捻られるためRz2には引張歪が作用して抵抗値が上昇する。これにより、図6cのブリッジ回路の平衡が破れ、歪抵抗素子Rz1と歪抵抗素子Rz3との中点電位V1と、歪抵抗素子Rz2と歪抵抗素子Rz4との中点電位V2との電圧差が発生するため、あたかもZ軸方向に加速度が印加されたかのような偽信号、すなわち他軸感度が発生することになる。なお、歪抵抗素子Rz1,Rz4は各々前記第3の梁状可撓部6と支持枠部4との連結端部、前記第3の梁状可撓部6′と支持枠部4との連結端部に形成されているため、前記第3、第4の梁状可撓部6,6′の捻れによる歪は実質的に作用せず、歪抵抗素子Rz1,Rz4の抵抗値は変化することはない。また、図7cに示すように、X軸の正方向への錘部3の回動に伴い、前記第3、第4の梁状可撓部6,6′が捻られるため、歪抵抗素子Ry2,Ry3には圧縮歪が作用して抵抗値が低下する。この時、図6bのブリッジ回路は原理的には平衡状態を維持する。すなわち、歪抵抗素子Ry2,Ry3の抵抗値がともに△だけ低下するとすれば、Ry1Ry31-△-Ry4Ry21-△=Ry1Ry3-Ry2Ry41-△=0となるため、図6bのブリッジ回路は平衡状態を維持し、歪抵抗素子Ry1と歪抵抗素子Ry4との中点電位V1と、歪抵抗素子Ry2と歪抵抗素子Ry3との中点電位V2とは同一電位となる。これにより、X軸方向の加速度によりY軸方向の他軸感度が発生することはない。しかしながら、歪抵抗素子Ry1,Ry2,Ry3,Ry4の形成位置のバラツキやエッチング加工後に梁状可撓部に作用する残留歪等により、歪抵抗素子Ry2,Ry3の抵抗値の変化率△が異なる場合がある。この場合には、図6bのブリッジ回路は平衡が破れ、歪抵抗素子Ry1と歪抵抗素子Ry4との中点電位V1と、歪抵抗素子Ry2と歪抵抗素子Ry3との中点電位V2との電圧差が発生するため、あたかもY軸方向に加速度が印加されたかのような偽信号、すなわち他軸感度が発生することになる。次に、従来の加速度センサの検出素子にY軸方向の加速度が印加された時には、錘部3はY軸方向に向く慣性力Fyにより回動し、歪抵抗素子Ry2,Ry4には引張歪が作用して抵抗値が上昇し、歪抵抗素子Ry1,Ry3には圧縮歪が作用して抵抗値が低下する。これにより、図6bのブリッジ回路の平衡が破れ、歪抵抗素子Ry1と歪抵抗素子Ry4との中点電位V1と、歪抵抗素子Ry2と歪抵抗素子Ry3との中点電位V2との電圧差がY軸方向の加速度として検出される。また、Y軸方向への錘部3の回動に伴い、前記第1、第2の梁状可撓部5,5′が捻られる。この時、歪抵抗素子Rx1,Rx2,Rx3,Rx4の形成位置が前記第1、第2の梁状可撓部5,5′の中心線上からずれていたり、エッチング加工後に梁状可撓部に残留歪が存在したりする場合には、図6aのブリッジ回路の平衡が破れ、歪抵抗素子Rx1と歪抵抗素子Rx4との中点電位V1と、歪抵抗素子Rx2と歪抵抗素子Rx3との中点電位V2との電圧差が発生するため、あたかもX軸方向に加速度が印加されたかのような偽信号、すなわち他軸感度が発生することになる。本発明は上記従来の課題を解決するもので、歪抵抗素子の形成位置のバラツキやエッチング加工後に梁状可撓部に残留歪があったしても、他軸感度が発生せず、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出できる3軸加速度センサを提供するものである。上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。請求項1に記載の発明は、XY平面に平行に置かれた基板と、前記基板の略中央部に設けられ加速度を受けて変位する第1の錘部と、前記第1の錘部を取り囲むように配置した支持枠部と、前記第1の錘部と支持枠部とを連結しX軸に平行な一対の梁状可撓部と、前記第1の錘部と支持枠部とを連結しY軸に平行な一対の梁状可撓部と、前記梁状可撓部上でかつ前記梁状可撓部と前記第1の錘部との連結端部に形成した歪抵抗素子とを備え、前記支持枠部内に、前記X軸に平行な一対の梁状可撓部の中心軸に関して略対称で、X軸に平行な一対の薄肉部を設けることにより、加速度を受けて変位する第2、第3の錘部を形成するとともに、前記支持枠部内に、前記Y軸に平行な一対の梁状可撓部の中心軸に関して対称で、Y軸に平行な一対の薄肉部を設けることにより、加速度を受けて変位する第4、第5の錘部を形成したもので、この構成によれば、X軸方向またはY軸方向のいずれか1つの軸方向の加速度が印加された時、この加速度が印加された軸に直交する梁状可撓部と、第2、第3または第4、第5の錘部が同方向に変位するため、前記梁状可撓部と錘部との連結端部に形成した歪抵抗素子に引張歪または圧縮歪が作用しないようにでき、これにより、他軸感度を発生させることなく、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出でき、かつ第1の錘部と、第2、第3または第4、第5の錘部が同方向に変位するため、加速度感度を向上させることができるという作用効果を有するものである。本発明の請求項2に記載の発明は、特に、前記歪抵抗素子と電気的に接続された電極パッドを前記支持枠部の上面で、前記薄肉部および前記第2、第3、第4、第5の錘部以外の位置に設けたもので、この構成によれば、前記電極パッドと外部電極を接続する際、もしくは、他の基板等への実装接着を行う際に応力が印加された時、前記薄肉部が撓むため、前記梁状可撓部および前記第2、第3、第4、第5の錘部への応力印加を妨げることができ、これにより、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出できるという作用効果を有するものである。本発明の請求項3に記載の発明は、特に、前記薄肉部に切り欠き部を設けたもので、この構成によれば、前記薄肉部の剛性が下がるため、X軸方向またはY軸方向のいずれか1つの軸方向の加速度が印加された時、前記第2、第3、第4、第5の錘部の変位量を増加させることができ、これにより、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度感度をさらに向上させることができるという作用効果を有するものである。以上のように本発明の3軸加速度センサは、XY平面に平行に置かれた基板と、前記基板の略中央部に設けられ加速度を受けて変位する第1の錘部と、前記第1の錘部を取り囲むように配置した支持枠部と、前記第1の錘部と支持枠部とを連結しX軸に平行な一対の梁状可撓部と、前記第1の錘部と支持枠部とを連結しY軸に平行な一対の梁状可撓部と、前記梁状可撓部上でかつ前記梁状可撓部と前記第1の錘部との連結端部に形成した歪抵抗素子とを備え、前記支持枠部内に、前記X軸に平行な一対の梁状可撓部の中心軸に関して略対称で、X軸に平行な一対の薄肉部を設けることにより、加速度を受けて変位する第2、第3の錘部を形成するとともに、前記支持枠部内に、前記Y軸に平行な一対の梁状可撓部の中心軸に関して対称で、Y軸に平行な一対の薄肉部を設けることにより、加速度を受けて変位する第4、第5の錘部を形成したもので、X軸方向またはY軸方向のいずれか1つの軸方向の加速度が印加された時、この加速度が印加された軸に直交する梁状可撓部と、第2、第3または第4、第5の錘部が同方向に変位するため、前記梁状可撓部と錘部との連結端部に形成した歪抵抗素子に引張歪または圧縮歪が作用しないようにでき、これにより、他軸感度を発生させることなく、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出できるとともに、第1の錘部と、第2、第3または第4、第5の錘部が同方向に変位するため、加速度感度を向上させることができるという優れた効果を奏するものである。実施の形態1以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1に記載の発明について説明する。図1aは本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子の上面図、図1bは図1aの検出素子におけるX軸に平行なa-a線断面図、図1cは図1aの検出素子におけるX軸に平行なb-b線断面図を示す。図1a-cにおいて、21はXY平面に平行に配置されたシリコン単結晶基板であり、該基板21の底面側をエッチング処理するとともに貫通孔22を形成することにより、厚肉部からなる錘部23とそれを囲むように配された支持枠部24と、薄肉で該錘部23および支持枠部24とを接続するX軸に平行な第1、第2の梁状可撓部25,25′と、薄肉で該錘部3および支持枠部4とを接続するY軸に平行な第3、第4の梁状可撓部26,26′とが形成されている。前記第1の梁状可撓部25と支持枠部24との連結端部には歪抵抗素子Rx21を、前記第1の梁状可撓部25と錘部23との連結端部には歪抵抗素子Rx22を形成している。また、前記第2の梁状可撓部25′と錘部23との連結端部には歪抵抗素子Rx23を、前記第2の梁状可撓部25′と支持枠部24との連結端部には歪抵抗素子Rx24を形成している。そして、前記歪抵抗素子Rx21,Rx22,Rx23,Rx24を前記第1、第2の梁状可撓部25,25′の中心線上に配置している。同様にして、前記第3の梁状可撓部26と支持枠部24との連結端部には歪抵抗素子Ry21,Rz21を、前記第3の梁状可撓部26と錘部23との連結端部には歪抵抗素子Ry22,Rz22を形成している。また、前記第3の梁状可撓部26′と錘部23との連結端部には歪抵抗素子Ry23,Rz23を、前記第3の梁状可撓部26′と支持枠部24との連結端部には歪抵抗素子Ry24,Rz24を形成している。そして、前記歪抵抗素子Ry21,Ry22,Ry23,Ry24と前記歪抵抗素子Rz21,Rz22,Rz23,Rz24とを前記第3、第4の梁状可撓部26,26′の中心線の両側にそれぞれ1列に配置している。前記歪抵抗素子としてはシリコン単結晶基板の所定の位置にホウ素等の不純物をイオン注入して形成した半導体ピエゾ抵抗または酸化亜鉛、酸化クロム、酸化ルテニウムなどを蒸着して構成した酸化物抵抗を用いることができる。また、前記各歪抵抗素子は金属配線図示せずにより図6に示したものと同様のブリッジ回路を構成している。27,27′,28,28′は前記支持枠部24内に、前記X軸に平行な一対の梁状可撓部25,25′の中心軸に関して略対称で、X軸に平行に設けられた一対の薄肉部であり、31,32は前記薄肉部27,27′,28,28′を設けることによって形成された、加速度を受けて変位する第2、第3の錘部である。また、29,29′,30,30′は前記支持枠部24内に、前記Y軸に平行な一対の梁状可撓部26,26′の中心軸に関して略対称で、Y軸に平行に設けられた一対の薄肉部であり、33,34は前記薄肉部29,29′,30,30′を設けることによって形成された、加速度を受けて変位する第4、第5の錘部である。図2aは本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子にX軸方向の加速度が印加された時の上面図、図2bは図2aのX軸に平行なa-a線での断面図である。図2bにおいて、錘部23はX軸の正方向に向く慣性力Fxにより回動し、歪抵抗素子Rx21,Rx23には引張歪が作用して抵抗値が上昇し、歪抵抗素子Rx22,Rx24には圧縮歪が作用して抵抗値が低下する。これにより、歪抵抗素子Rx21,Rx22,Rx23,Rx24で構成されるブリッジ回路の平衡が破れ、歪抵抗素子Rx21と歪抵抗素子Rx24との中点電位と、歪抵抗素子Rx22と歪抵抗素子Rx23との中点電位との電圧差がX軸方向の加速度として検出される。図2cは図2aの第4の梁状可撓部26′と錘部23との連結部近傍におけるX軸に平行なc-c線断面図、図2dは図2aの第4の梁状可撓部26′と支持枠部24との連結部近傍におけるX軸に平行なd-d線断面図、図2eは図2aの支持枠部24上で、かつ、第4の薄肉部30,30′および第5の錘部34におけるX軸に平行なb-b線断面図である。図2cに示すように錘部23のX軸の正方向への回動に伴い第4の梁状可撓部26′は錘部23との連結部においてY軸の周りに回転する。ここで、従来の加速度センサの検出素子においては、第4の梁状可撓部26′は支持枠部24との連結部近傍においてY軸の周りに回転することができない。これにより、第4の梁状可撓部26′は錘部23との接続部と、支持枠部24との接続部との間で捻れることになる。しかしながら、本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子においては、支持枠部24に第4の薄肉部30,30′を設けているため、この第4の薄肉部30,30′が第1、第2の梁状可撓部25,25′と同方向に変位し、第1の錘部23における上面と、第5の錘部34における上面とが同一平面となるため、この捻れは第4の梁状可撓部26′内で発生することがない。これにより、歪抵抗素子Rz24には引張または圧縮歪が作用せず抵抗値は変化することはない。同様に、前記第3の梁状可撓部26上の歪抵抗素子Rz21にも引張または圧縮歪が作用せず抵抗値は変化することはない。これにより、歪抵抗素子Rz21,Rz22,Rz23,Rz24で構成されるブリッジ回路は平衡状態を維持するため、他軸感度が発生することがない。また、図2c-eに示すように、錘部23がX軸の正方向へ回動しても、前記第3、第4の梁状可撓部26,26′上に形成した歪抵抗素子Ry21,Ry24には歪が作用しないため抵抗値は変化せず、これにより歪抵抗素子Ry21,Ry22,Ry23,Ry24の形成位置のバラツキやエッチング加工後に梁状可撓部に作用する残留歪等により、歪抵抗素子Ry21,Ry24の抵抗値の変化率△が異なったとしても歪抵抗素子Ry21,Ry22,Ry23,Ry24で構成されるブリッジ回路は平衡状態を維持し、他軸感度が発生することがない。また、図2eに示すように、X軸方向の加速度が印加されると、第1の錘部23がX軸方向に回動するとともに、支持枠部24に形成された第5の錘部34は、第1の錘部23と同方向に変位するため、X軸に印加される単位加速度あたりに変位する錘部の質量が、第1の錘部23のみの場合と比較して増加する。同様に、第4の錘部33も、第1の錘部23と同方向に変位する。それにより、加速度検出素子のX軸方向の加速度感度を向上させることができる。次に、本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子にY軸方向の加速度が印加されると、錘部23はY軸方向に向く慣性力Fyにより回動し、歪抵抗素子Ry22,Ry24には引張歪が作用して抵抗値が上昇し、歪抵抗素子Ry21,Ry23には圧縮歪が作用して抵抗値が低下する。これにより、歪抵抗素子Ry21,Ry22,Ry23,Ry24で構成されるブリッジ回路の平衡が破れ、歪抵抗素子Ry21と歪抵抗素子Ry24との中点電位と、歪抵抗素子Ry22と歪抵抗素子Ry23との中点電位との電圧差がY軸方向の加速度として検出される。錘部23がY軸の正方向へ回動しても、支持枠部24には第1、第2の薄肉部27,27′,28,28′が設けられているため、本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子にX軸正方向の加速度が印加された時と同様にして、第1、第2の梁状可撓部25,25′には捻れが発生することがなく、前記第1、第2の梁状可撓部25,25′上に形成した歪抵抗素子Rx21,Rx24には歪が作用しないため抵抗値は変化せず、これにより歪抵抗素子Rx21,Rx24の形成位置のバラツキやエッチング加工後に梁状可撓部に作用する残留歪等により、歪抵抗素子Rx21,Rx24の抵抗値の変化率△が異なったとしても歪抵抗素子Rx21,Rx22,Rx23,Rx24で構成されるブリッジ回路は平衡状態を維持し、他軸感度が発生することがない。また、Y軸方向の加速度が印加されると、第1の錘部23がY軸方向に回動するとともに、支持枠部24に形成された第2、第3の錘部31,32は、第1の錘部23と同方向に変位するため、Y軸に印加される単位加速度あたりに変位する錘部の質量が、第1の錘部23のみの場合と比較して増加する。それにより、加速度検出素子のY軸方向の加速度感度を向上させることができる。このように、本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子においては、X軸方向またはY軸方向のいずれか1つの軸方向の加速度が印加された時、加速度が印加された軸方向に、支持枠部に設けられた薄肉部が変位することで、この加速度が印加された軸に直交する他の梁状可撓部には捻れが発生せず、前記梁状可撓部と錘部との連結端部に形成した歪抵抗素子に引張歪または圧縮歪が作用しないようにでき、これにより、他軸感度を発生させることなく、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出でき、かつ、支持枠部に形成された第2、第3、第4、第5の錘部が加速度印加方向に対して、第1の錘部と同方向に変位するため、X軸およびY軸方向の加速度感度を向上することができ、これにより、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出できるものである。実施の形態2以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項2に記載の発明についてさらに説明する。図3aは本発明の実施の形態2における3軸加速度センサの検出素子の上面図、図3bは図3aにおけるX軸に平行なe-e線断面図である。なお、この本発明の実施の形態2においては、上記した本発明の実施の形態1の構成と同様の構成を有するものについては、同一符号を付しており、その説明は省略する。図3aにおいて、本発明の実施の形態2が上記した本発明の実施の形態1と相違する点は、歪抵抗素子と電気的に接続された電極パッド35を支持枠部24の上面で、薄肉部27,27′,28,28′,29,29′,30,30′および第2、第3、第4、第5の錘部31~34以外の箇所に設けた点である。本発明の実施の形態2における3軸加速度センサにおいては、本発明の実施の形態1における3軸加速度センサと同様に他軸感度を発生させることがなく、かつ、加速度感度を向上させることができるとともに、さらに梁状可撓部25,25′,26,26′および歪抵抗素子Rx21~Rx24,Ry21~Ry24,Rz21~Rz24に応力を伝達させないようにでき、これにより、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出できるものである。以下に、この点について説明する。図3aに示す本発明の実施の形態2において、X軸方向の加速度が印加されると、本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子の場合と同様にして、支持枠部24に設けられた第3、第4の薄肉部29,29′,30,30′が第1、第2の梁状可撓部25,25′と同方向に変位し、第1の錘部23における上面と、第4、第5の錘部33,34における上面とが同一平面となるため、第3、第4の梁状可撓部26′内で捻れが発生することがない。これにより、歪抵抗素子Rz21,Rz24およびRy21,Ry24には引張または圧縮歪が作用せず抵抗値は変化しない。これにより、歪抵抗素子Rz21,Rz22,Rz23,Rz24およびRy21,Ry22,Ry23,Ry24で構成されるブリッジ回路は平衡状態を維持するため、他軸感度が発生することがない。また、本発明の実施の形態2において、Y軸正方向の加速度が印加された時も、本発明の実施の形態1における3軸加速度センサの検出素子の場合と同様にして、錘部23がY軸の正方向へ回動しても、支持枠部24には第1、第2の薄肉部27,27′,28,28′が設けられているため、第1、第2の梁状可撓部25,25′には捻れが発生することがなく、前記第1、第2の梁状可撓部25,25′上に形成した歪抵抗素子Rx21,Rx24には歪が作用しないため抵抗値は変化しない。これにより、歪抵抗素子Rx21,Rx22,Rx23,Rx24で構成されるブリッジ回路は平衡状態を維持し、他軸感度が発生することがない。次に、X軸方向の加速度が印加され、第1の錘部23がX軸方向に回動する際には、支持枠部24に形成された第4、第5の錘部33、34が、第1の錘部23と同方向に変位し、また、Y軸正方向の加速度が印加され、第1の錘部23がY軸正方向に回動する際には、支持枠部24に形成された第2、第3の錘部31,32が、第1の錘部23と同方向に変位するため、X、Y各軸に印加される単位加速度あたりに変位する錘部の質量が、第1の錘部23のみの場合と比較して増加する。それにより、加速度検出素子のX、Y各軸方向の加速度感度を向上させることができる。次に、本発明の実施の形態2における3軸加速度センサの検出素子は、検出素子上の電極パッドと外部電極間を金属ワイヤーを用いたワイヤーボンディング、もしくは、電極パッドと外部電極とをAu-Au接合などによる金属接合やはんだなどによる共晶接合等の接合を用いて電気的に接続される。これにより、特に、接合を用いて接続を行う際には、熱膨張などによる他材料の変形や外乱応力の影響などによって発生した応力が、梁状可撓部25,25′,26,26′および歪抵抗素子Rx21~Rx24,Ry21~Ry24,Rz21~Rz24に伝達しやすくなる。図3aに示すように、本発明の実施の形態2における3軸加速度センサの検出素子においては、前記電気的接続に用いる電極パッド35を薄肉部27,27′,28,28′,29,29′,30,30′および第2、第3、第4、第5の錘部31~34以外の支持枠部の上面に設けることにより、電極パッド間の略中央部にはいずれかの薄肉部が設けられるようになる。それにより、図3bに示すように、接合時および接合後の外乱雰囲気変化によって発生する応力が、薄肉部が変位することで緩和され、それにより、梁状可撓部および歪抵抗素子に応力が伝達することを防ぐことができ、他軸感度が発生することがない。また、図3aに示す構成においては、電極パッドと外部電極との接合のみでなく、加速度検出素子を他の基板等に接着剤等を介して実装を行う際にもその効果を奏する。このように、本発明の実施の形態2における3軸加速度センサの検出素子においては、X軸方向またはY軸方向のいずれか1つの軸方向の加速度が印加された時、加速度が印加された軸方向に、支持枠部に設けられた薄肉部が変位することで、この加速度が印加された軸に直交する他の梁状可撓部には捻れが発生せず、前記梁状可撓部と錘部との連結端部に形成した歪抵抗素子に引張歪または圧縮歪が作用しないようにでき、これにより、他軸感度を発生させることなく、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出でき、かつ、支持枠部に形成された第2、第3、第4、第5の錘部が加速度印加方向に対して、第1の錘部と同方向に変位するため、X軸およびY軸方向の加速度感度を向上することができるとともに、さらに、電極パッドを薄肉部および第2、第3、第4、第5の錘部以外の支持枠部の上面に設けることにより、外部電極との電気的接続時、もしくは、他の基板等への実装接着時に発生する応力が、薄肉部が変位することで緩和され、梁状可撓部および歪抵抗素子に応力が伝達することを防ぐことができ、これにより、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出できるものである。実施の形態3以下、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項3に記載の発明についてさらに説明する。図4a-cは本発明の実施の形態3における3軸加速度センサの検出素子の上面図である。なお、この本発明の実施の形態3においては、上記した本発明の実施の形態1の構成と同様の構成を有するものについては、同一符号を付しており、その説明は省略する。図4aにおいて、本発明の実施の形態3が上記した本発明の実施の形態1と相違する点は、支持枠部24に設けられた薄肉部27,27′,28,28′,29,29′,30,30′に切り欠き部36を設けた点である。本発明の実施の形態3における3軸加速度センサにおいては、本発明の実施の形態1、2における3軸加速度センサと同様に他軸感度を発生させることがなく、かつ、加速度感度を向上させることができるとともに、さらに加速度感度の向上ができるものである。以下に、この点について説明する。図4aに示す本発明の実施の形態3において、X軸正方向の加速度が印加された時、本発明の実施の形態1、2における3軸加速度センサの検出素子の場合と同様にして、支持枠部24に設けられた第3、第4の薄肉部29,29′,30,30′が第1、第2の梁状可撓部25,25′と同方向に変位し、第1の錘部23における上面と、第4、第5の錘部33,34における上面とが同一平面となるため、第3、第4の梁状可撓部26,26′内で捻れが発生することがない。これにより、歪抵抗素子Rz21,Rz24およびRy21,Ry24には引張または圧縮歪が作用せず抵抗値は変化しない。これにより、歪抵抗素子Rz21,Rz22,Rz23,Rz24およびRy21,Ry22,Ry23,Ry24で構成されるブリッジ回路は平衡状態を維持するため、他軸感度が発生することがない。また、本発明の実施の形態3において、Y軸正方向の加速度が印加された時も、本発明の実施の形態1,2における3軸加速度センサの検出素子の場合と同様にして、錘部23がY軸の正方向へ回動しても、支持枠部24には第1、第2の薄肉部27,27′,28,28′が設けられているため、第1、第2の梁状可撓部25,25′には捻れが発生することがなく、前記第1、第2の梁状可撓部25,25′上に形成した歪抵抗素子Rx21,Rx24には歪が作用しないため抵抗値は変化しない。これにより、歪抵抗素子Rx21,Rx22,Rx23,Rx24で構成されるブリッジ回路は平衡状態を維持し、他軸感度が発生することがない。次に、X軸正方向の加速度が印加され、第1の錘部23がX軸正方向に回動する際には、支持枠部24に形成された第4、第5の錘部33、34が、第1の錘部23と同方向に変位し、また、Y軸正方向の加速度が印加され、第1の錘部23がY軸正方向に回動する際には、支持枠部24に形成された第2、第3の錘部31,32が、第1の錘部23と同方向に変位するため、X、Y各軸に印加される単位加速度あたりに変位する錘部の質量が、第1の錘部23のみの場合と比較して増加する。それにより、加速度検出素子のX、Y各軸方向の加速度感度を向上させることができる。さらに、図4aに示す本発明の実施の形態3においては、前記各薄肉部に切り欠き部36を設け、前記各薄肉部の剛性を下げる構造となっているため、X、Y各軸方向の加速度が印加された時、第2、第3、第4、第5の錘部31~34の変位量を増大させることができ、これにより、加速度検出素子のX、Y各軸方向の加速度感度をさらに向上させることができる。図4b、cに示すように、前記切り欠き部の形状は一対の薄肉部内で同形状であれば、円形に限らず多角形のものでも構わない。また、前記各薄肉部に設ける前記切り欠き部の個数は複数でも良く、その配列方向はX軸方向、Y軸方向どちらでも構わない。このように、本発明の実施の形態3における3軸加速度センサにおいては、本発明の実施の形態1,2における3軸加速度センサと同様に他軸感度を発生させることがないとともに、薄肉部に切り欠き部を設けることにより、支持枠部に形成された第2、第3、第4、第5の錘部の変位量を増大させることができ、X軸およびY軸方向の加速度感度をさらに向上することができ、これにより、X軸、Y軸、Z軸からなる3軸方向の加速度を正確に検出できるものである。"