"近赤外光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光を平行光に変換するコリメートレンズと、前記コリメートレンズから射出された平行光を拡大するビームエキスパンダー部と、前記ビームエキスパンダー部から射出された平行光に対して挿抜可能に設けられ、前記平行光に挿入されたとき前記平行光を収束する収束レンズと、前記ビームエキスパンダー部によって拡大された平行光もしくは収束レンズによって収束された収束光を分割して被検物の被検面及び参照物の参照面に導き、前記被検面及び前記参照面から反射された二つの反射光を重ね合わせて射出する光路分割重合部と、前記光路分割重合部によって重ね合わされた光束を干渉縞として取得する干渉縞取得部とを備えたことを特徴とする干渉計。前記ビームエキスパンダー部は、エキスパンダーレンズとして光路に対し挿抜可能な第1エキスパンダーレンズ及び第2エキスパンダーレンズからなり、前記第1エキスパンダーレンズまたは前記第2エキスパンダーレンズのいずれかを選択して前記光路に挿入して前記平行光の光束の大きさを変更できるように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の干渉計。前記収束レンズに、通過する光により発生する球面収差を補正する球面収差補正手段が含まれていることを特徴とする請求項1または2に記載の干渉計。前記光路分割重合部は、キューブ型ビームスプリッターであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の干渉計。前記干渉縞取得部は、前記光路分割重合部から射出された前記反射光を受光するスクリーン部を備えることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の干渉計。前記スクリーン部は、前記光路分割重合部から射出された光の光軸方向に移動可能に設けられることを特徴とする請求項5に記載の干渉計。前記収束レンズは、前記ビームエキスパンダー部から射出された平行光の光軸方向に移動可能に設けられることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の干渉計。被検物の被検面の形状情報を入力する形状情報入力部と、前記形状情報入力部から入力された形状情報に基づいて、前記収束レンズ及び前記スクリーン部を光軸方向に移動させる移動部とを備えることを特徴とする請求項5~7のいずれかに記載の干渉計。検査対象の被検物を、前記被検物の被検面に前記光路分割重合部により導かれた光が入射する位置に、位置決めして載置させる被検物載置部を備えることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の干渉計。前記光源部から射出される光の波長は、1000nm以上1600nm以下であることを特徴とする請求項1~9のいずれかに記載の干渉計。前記光路分割重合部から射出された前記二つの反射光を受光するスクリーン部と、可視光を受光する撮像素子を持つ撮像光学系とを有し、前記スクリーン部は、前記光源部から射出された前記波長の光を受光したときに可視光を発光する機能を備え、前記撮像光学系は、前記スクリーン部から発せられた可視光に基づく像を前記撮像素子により受光することを特徴とする請求項1~10のいずれかに記載の干渉計。前記スクリーン部は、その表面に、前記光源部から射出された前記波長の光を受光したときに可視光を発光する発光物質を含有する塗料が塗布されていることを特徴とする請求項11に記載の干渉計。前記発光物質は、エレクトロントラッピング剤であることを特徴とする請求項12に記載の干渉計。前記エレクトロントラッピング剤を励起するため、450nm以上500nm以下の波長を含む光を射出する励起用光源を有することを特徴とする請求項13に記載の干渉計。前記スクリーン部は、IRセンサーカードであることを特徴とする請求項11~14のいずれかに記載の干渉計。しかしながら、上述したCGHは高価な光学素子であり、さらにCGHは測定対象の表面形状毎に設ける必要があるためコストが高くなるという課題がある。また、CGHと被検面との間における位置調整は高精度に行う必要があるが、レンズ変更のたびに上記位置調整を行わなければならないため容易にレンズの種類を変更できないという課題もある。そして、上述した原子間力プローブを使用する方法は、超高精度に測定することは可能なものの、測定にかかる時間が長く大量の非球面レンズを効率的に測定するには適さないという課題があった。このように、上述したCGH又は原子間力プローブを用いた方法は、高精度に面形状を測定したい場合は有益な方法となるが、大量の被検物の表面形状を効率良く測定する場合においては、コストと時間がかかり過ぎるため有益な方法とは言えない。本発明は、上述したような課題に鑑みてなされたものであり、コスト及び測定時間を抑えるとともに、非球面を含む様々な表面形状を効率良く測定することが可能な干渉計を提供することを目的とする。このような目的を達成するため、本発明に係る干渉計は、近赤外光を射出する光源部と、前記光源部から射出された光を平行光に変換するコリメートレンズと、前記コリメートレンズから射出された平行光を拡大するビームエキスパンダー部と、前記ビームエキスパンダー部から射出された平行光に対して挿抜可能に設けられ、前記平行光に挿入されたとき前記平行光を収束する収束レンズと、前記ビームエキスパンダー部によって拡大された平行光もしくは収束レンズによって収束された収束光を分割して被検物の被検面及び参照物の参照面に導き、前記被検面及び前記参照面から反射された二つの反射光を重ね合わせて射出する光路分割重合部と、前記光路分割重合部によって重ね合わされた光束を干渉縞として取得する干渉縞取得部とを備えたことを特徴とする。以上のように構成される本発明の干渉計においては、コスト及び測定時間を抑えるとともに、非球面を含む様々な表面形状を効率良く測定することができる。以下、図面を参照しながら、本発明に係る干渉計の実施形態について説明する。本実施形態における干渉計1は、図1に示すように、参照レンズ12を測定基準として、被検レンズ13の被検面の表面形状を測定するために用いられる装置である。干渉計1は、光源2と、コリメートレンズ3と、フォーカシングレンズ4と、空間フィルタ5と、第1ビームエキスパンダーレンズ6と、第1平面ミラー7と、第2ビームエキスパンダーレンズ8と、収束レンズ9と、収束レンズ駆動部10と、ビームスプリッター11と、参照レンズ12と、スクリーン14と、スクリーン駆動部15と、第2平面ミラー16と、撮像光学系17と、CCDカメラ18と、形状解析部19とを備えて構成される。被検レンズ13は、ビームスプリッター11の上方に設けられた後述の被検レンズ用フォルダ20のレンズ載置部21a図4参照に載置された状態で、その被検面が測定される。光源2は、1000nm以上1600nm以下の光を射出する。本実施形態では、光源2は、波長1030nmの近赤外光を射出し、コリメートレンズ3に導く。光源2から射出される近赤外光は、波長帯域が狭く、可干渉距離が長いレーザー光である。コリメートレンズ3は、光源2から射出された光を平行光にする。フォーカシングレンズ4は、コリメートレンズ3から射出された平行光を収束する。空間フィルタ5は、フォーカシングレンズ4の焦点位置に配置され、レーザー光のノイズを除去する。第1ビームエキスパンダーレンズ6及び第2ビームエキスパンダーレンズ8は、フォーカシングレンズ4により収束され空間フィルタ5から射出された光束を再度平行光にする。第1ビームエキスパンダーレンズ6、第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9は、それぞれ光軸に対して垂直な方向に移動させて光路内に挿抜可能に設けられており、例えば、図2のように第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を光路から外したり、図3のように第1ビームエキスパンダーレンズ6のみを光路から外したりして、第1ビームエキスパンダーレンズ6、または第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を光路に挿入させるか否かを選択することができるようになっている。例えば、図2に示すように、第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を光路内から外す場合、参照レンズ12及び被検レンズ13には、ビームスプリッター11を介して第1ビームエキスパンダーレンズ6から射出された平行光が入射する。これにより、被検レンズ13の被検面が平面又は曲率が小さい面である場合に、被検面に略垂直に光を入射させることができるため、反射光がビームスプリッター11の外部に漏れることがなく、平面基板、凸面、凹面に限らず、曲率の小さい球面や非球面の形状測定を行うことができる。また、図3に示すように、第1ビームエキスパンダーレンズ6のみを光路から外す場合、第2ビームエキスパンダーレンズ8により射出された平行光は、収束レンズ9により収束され、ビームスプリッター11を介して参照レンズ12及び被検レンズ13に入射する。第2ビームエキスパンダーレンズ8は、第1ビームエキスパンダー6よりも焦点距離が長いため、第1ビームエキスパンダー6を使用する場合より、拡大した平行光を射出することができる。これにより、収束レンズ9による収束角を大きくすることができる。従って、被検レンズ13の被検面の曲率が大きい球面又は非球面であっても、被検面に略垂直に光を入射させることができるため、反射光がビームスプリッター11の外部に漏れることがなく、凸面、凹面に限らず、曲率の大きい球面レンズや非球面レンズの形状測定を行うことができる。収束レンズ9は、収束レンズ駆動部10により、図1及び図3の矢印に示すように、光軸方向に移動可能に設けられている。なお、収束レンズ9には、球面収差が補正されたダブレット図1参照又は非球面レンズを用いることが好ましい。この構成により、凸面、凹面に限らず、曲率が大きく且つ外径が小さい被検レンズ13を用いた場合でも干渉縞を得ることができる。例えば、球面収差を補正していない収束レンズ9を用いて、曲率が大きく外径が小さい被検レンズ13の形状を測定した場合、被検レンズ13へ入射する収束角の大きい光線が、被検レンズ13へ入射する収束角の小さい光線よりも内側に入るようになるため、正常な干渉縞が得られないという問題が発生する。ビームスプリッター11は、上述した第1ビームエキスパンダーレンズ6又は収束レンズ9から射出された光束を分割し、参照レンズ12及び被検レンズ13に導く。ここで、良好な干渉縞を得るためには、基準となる参照レンズ12参照面側の光路長と、被検レンズ13被検面側の光路長とを同じにする必要があるが、例えばビームスプリッター11としてプレート型ビームスプリッターを用いた場合、光路長を同一にするためには、参照面側又は被検面側のいずれかの光路に光路長補正用部材を設けなければならない。これに対し、キューブ型ビームスプリッターを用いた場合、上記のような光路長補正用部材を設けなくても、参照レンズ12参照面側の光路長と被検レンズ13被検面側の光路長を同じにすることができる。また、キューブ型ビームスプリッターを用いた場合、スクリーン14に投影される干渉縞の像の歪みを抑えることができるという利点もある。以上の理由により、ビームスプリッター11としては、キューブ型ビームスプリッターを用いた方が好ましい。なお、ビームスプリッター11における光の透過面及び反射面の基板面精度凹凸の差の最大値は、測定の精度に影響を及ぼすため、λ/10以下であることが好ましい波長λ=6328nm。被検レンズ13は、図4に示すように、被検レンズ用フォルダ20のレンズ載置部21aに載置させた状態で、その被検面の測定が行うことができる。被検レンズ用フォルダ20は、ビームスプリッター11の上方に設けられ、レンズ位置決め部材21と、蓋体22とを備えて構成される。レンズ位置決め部材21は、断面凹形状のレンズ載置部21aと、レンズ載置部21aの凹部底面の中央部に上下に貫通して形成された貫通孔21bとを有する。この構成によれば、貫通孔21bの下方に位置するビームスプリッター11により分割された光が、当該貫通孔21bを通ってレンズ載置部21aに載置された被検レンズ13の被検面に照射されるようになっている。なお、貫通孔21bの径の大きさは、被検レンズ13の外周縁部がレンズ載置部21aに載るように、被検レンズ13の被検面より大きく、被検レンズ13の外径よりも小さい。また、貫通孔21bの中心は、被検レンズ13の中心及び光軸と略一致している。蓋体22は、レンズ載置部21aの前記凹部開口に対して開閉可能に設けられている。被検レンズ13は、この蓋体22を開放してレンズ載置部21aの凹部に載置され、この状態で蓋体22を被せられて測定される。このような構成の被検レンズ用フォルダ20により、測定対象の被検レンズ13は、レンズ載置部21aへの載置及び測定を速やかに行うことができ、作業の効率化を図ることができる。ビームスプリッター11は、参照レンズ12及び被検レンズ13からの反射光を重ね合わせて射出する。スクリーン14は、ビームスプリッター11から射出された光を受光する。本実施形態では、ビームスプリッター11から射出された光は、スクリーン14に干渉縞として投影される。なお、スクリーン14として、例えば、光を拡散させるすりガラス状のものを用いることができる。また、スクリーン14は、図1~図3の矢印で示すように、スクリーン駆動部15により光軸方向に移動可能に設けられている。このようにスクリーン14を光軸方向に移動させることにより、スクリーン14上の画像干渉縞の拡大または縮小を行うことができる。スクリーン14で受光された光干渉縞は、第2平面ミラー16により撮像光学系17に導かれ、CCDカメラ18により撮像される。そして、撮像された画像は、形状解析部19に取り込まれ、形状解析される。形状解析部19は、画像解析のために用いられるパーソナルコンピュータPC等を備えて構成される。形状解析部19は、CCDカメラ18により撮影された画像例えば、干渉縞画像から被検レンズ13の形状を解析するが、そのために必要な情報を取得するため、測定対象の被検レンズ13の形状に関する情報曲率半径、非球面係数、コーニック係数等が入力される形状情報入力部20a図示略と、収束レンズ9、参照レンズ12及びスクリーン14の光路上の位置情報を検出する位置検出部20b図示略とを有し、形状情報入力部20aに入力された形状情報及び位置検出部20bにより検出された光路上の位置情報に基づき、光源2から射出された光の光線経路を算出して光線追跡できるようになっている。そして、形状解析部19は、上記のように光線追跡を行った結果に基づいて収束レンズ9及びスクリーン14の光路上における最適位置を算出し、収束レンズ駆動部10及びスクリーン駆動部15に対して、収束レンズ9及びスクリーン14を前記最適位置に移動するように制御信号を出力する。形状解析部19が出力した制御信号を受信した収束レンズ駆動部10及びスクリーン駆動部15は、収束レンズ9及びスクリーン14を上記最適位置に移動させる。なお、本実施形態ではスクリーン14が受光した像は干渉縞であり、形状解析部19は、被検レンズ13の被検面の径と前記干渉縞の径との関係が例えば、図5のa又はcの曲線ではなくbの直線で示すように線形となり、前記干渉縞の位置が被検レンズ13の被検面の位置を的確に示すように、収束レンズ9及びスクリーン14の光路上における最適位置を補正する。具体的には、形状解析部19は、上記のように被検レンズ13の被検面の径とスクリーン14の前記干渉縞の径との関係が線形となるように、上記形状等の情報に基づいて内部プログラムの補正関数により補正される。以上のように構成される干渉計装置1において、第1ビームエキスパンダーレンズ6、第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を光路内から挿抜させる手段としてレンズ切替装置30を備えている。以下、レンズ切替装置30について述べるが、説明を簡潔にするため、図6において、第2ビームエキスパンダーレンズ8に対して収束レンズ9が設けられている方向すなわち、紙面上方を上方向、LMガイド32に対して第1ビームエキスパンダーレンズ6が設けられる方向紙面右上方向を前方向、図6の紙面左上方向を左方向として定義する。レンズ切替装置30は、図6に示すように、レンズ保持部材31と、LMガイド32と、一対のストッパ33,33と、マイクロメータ34とを有して構成される。レンズ保持部材31は、第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を上下に並んで保持するとともに、第1ビームエキスパンダーレンズ6を第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9の下方の右斜め前方に保持する。LMガイド32は、レンズ切替装置30の下部に設けられ、該装置の長手方向紙面左右方向に延びたレール32aと、レンズ保持部材31が固定されてレール32aに沿って移動自在なスライダー32bとからなる。一対のストッパ33,33は、LMガイド32のレール32aの両端部に設けられ、スライダー32bがレール32a上から脱落しないように、スライダー32bの移動範囲を制限する。マイクロメータ34は、収束レンズ9を光軸方向図中上下に移動させるものであり、手動で収束レンズ9の光軸方向の位置を最適化する場合に使用する。このような構成を有するレンズ切替装置30は、図示は省略するが、その前側下方に光源2、コリメートレンズ3、対物レンズ4及び空間フィルタ5が位置し、レンズ保持部材31に保持された第2ビームエキスパンダーレンズ8の下方に第1平面ミラー7が位置し、同じくレンズ保持部材31に保持された収束レンズ9の上方にビームスプリッター11、参照レンズ12及び被検レンズ13が位置するように、干渉計装置1内に設置される。そして、レンズ切替装置30は、図6に示すように、レンズ保持部材31をLMガイド32のスライダー32bによりレール32aの右端側へとスライド移動させ、第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を光路に挿入し、第1ビームエキスパンダーレンズ6を光路から外すと、光源2から射出された光は、コリメートレンズ3、対物レンズ4、空間フィルタ5をこの順で透過した後に、第1平面ミラー7で上方に向かって反射され、第2ビームエキスパンダーレンズ8、収束レンズ9をこの順で透過して、ビームスプリッター11にその下方から入射するようになっている。また、図6の位置から、レンズ保持部材31をLMガイド32のスライダー32bによりレール32aの左端側へとスライド移動させ、第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を光路から外し、第1ビームエキスパンダーレンズ6を光路に挿入すると、光源2から射出された光は、コリメートレンズ3、対物レンズ4、空間フィルタ5をこの順で透過した後に、第1ビームエキスパンダーレンズ6を経て、第1平面ミラー7により上方に反射され、ビームスプリッター11にその下方から入射するようになっている。このようにレンズ切替装置30では、第1ビームエキスパンダーレンズ6のみを光路に挿入するか、あるいは第2ビームエキスパンダーレンズ8及び収束レンズ9を光路に挿入するかにより、ビームスプリッター11に入射させる光を平行光にするか、あるいは収束光にするかを選択することができる。つまり、本実施形態における干渉計装置1は、レンズ切替装置30により、収束レンズ9が光路に対して挿抜可能に設けられている。従って、収束レンズ9を光路から外した場合は、平行光束が参照レンズ12の参照面及び被検レンズ13の被検面に導かれるため、平面基板、曲率が小さい球面レンズや非球面レンズ等の被検面の形状測定を好適に行うことができる。また、収束レンズ9を光路内に挿入した場合は、収束光が参照レンズ12の参照面及び被検レンズ13の被検面に導かれるため、凸面、凹面に限らず、曲率が大きな球面レンズや非球面レンズの被検面の形状測定を好適に行うことができる。なお、本実施形態では、レンズ切替装置30を用いて、第2ビームエキスパンダーレンズ8と収束レンズ9とを同時に光路に対して挿抜させる例について説明したが、第2ビームエキスパンダーレンズ8と収束レンズ9とを別々に光路に対して挿抜させるように構成してもよい。また、本実施形態における干渉計装置1は、レンズ切替装置30により、第1ビームエキスパンダーレンズ6と第2ビームエキスパンダーレンズ8とが別々に光路に対して挿抜可能に設けられている。この構成により、参照レンズ12及び被検レンズ13に入射させる光の光束の径を変更することが可能となり、これらレンズ6,8を被検レンズ13の被検面の大きさに応じて使い分けることができる以上のように、本実施形態における干渉計装置1では、ビームスプリッター11により分割された後の光束の波面精度は、参照レンズ12側及び被検レンズ13側の両光路で同一になるようにする必要があるため、ビームスプリッター11の面精度や、光束を分割した後の光路に光学素子を設ける場合は前記光学素子の面精度及び配置等に細心の注意を払う必要がある。しかしながら、干渉計装置1は、光束を分割する前において光路長に差が発生しないように構成されているため、各光学素子の面や配置について従来のフィゾー干渉計と比較して高い精度が必要ないという点で優れている。ここまで、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはない。例えば、本実施形態では、1000nm以上1600nm以下の波長を有する近赤外線を射出する光源2を用いた例について示してきたが、光源2の波長としては必ずしも上記に限定されず、例えば、可視光を用いることも可能である。しかしながら、上記波長範囲を有する近赤外光を使用することにより、例えば可視光領域に対応した反射防止コートが塗布された参照レンズまたは被検レンズに対しても、参照面及び検出面から比較的高い反射率の光が得られ、被検面を良好に測定することが可能となる。また、本実施形態では、スクリーン14に写した干渉縞を撮像光学系17に撮像させる例について説明したが、このスクリーン14を省略して、干渉縞を直接CCDカメラ18に投影させることも可能である。また、本実施形態では、図1等に示すように、光源2の後段にコリメートレンズ3、対物レンズ4、空間フィルタ5及び第1平面ミラー7が設けられ、スクリーン14の後段に第2平面ミラー16が設けられた例について説明したが、これらレンズ群及びミラー群の構成については上記に限定されることはなく、適宜変更可能である。また、本実施形態では、スクリーン14として、すりガラス状のものを用いた例について説明したが、光源2から射出された近赤外光を受光したときに可視光を発光する機能を備えたものを用いてもよい。例えば、近赤外光を受光するとその強弱に応じて可視光を発光するエレクトロントラッピングElectronTrapping剤が表面に塗布されたIRセンサーカードを用いることも可能である。このような構成により、スクリーン14上の近赤外光を受光した部分から発せられた可視光に基づく像、すなわち干渉縞を目視することが可能になる。その結果、画像を取得するために使用する撮像光学系17として、可視光領域に対応したものを使用することができるため、赤外光領域に対応したものと比べて、入手しやすくコストを抑えることが可能である。なお、IRセンサーカードに使用されているエレクトロントラッピング剤によっては、近赤外光照射の前に、450~500nmの波長の光を含む可視光により予備励起し、この予備励起のプロセスを経て初めて近赤外光の受光による可視光発光が可能となるものがある。その場合は、エレクトロントラッピング剤を励起するため、450nm以上500nm以下の波長を含む光を射出する励起用光源23を備え図1参照、前記可視光に基づく像干渉縞を観測または解析する前に、予め励起用光源23から前記可視光を照射してエレクトロントラッピング剤を励起する構成とするのが好ましい。また、このような予備励起が必要なエレクトロントラッピング剤である場合、近赤外光を連続して照射すると、可逆的ではあるが変換効率が経時的に変化し、エレクトロントラッピング剤から発光される可視光強度が徐々に弱くなる。そこで、励起用光源23は、通常点灯してエレクトロントラッピング剤を励起するが、前記可視光に基づく像干渉縞の観測時又は解析時には消灯し、近赤外光励起光を連続して照射しないようにして可視光発光強度を確保できるようにする。なお、上述では、スクリーン14として、薄板表面にエレクトロントラッピング剤が塗布された構成のIRセンサーカードを用いたが、これに限定されるものではない。例えば、薄板の材料としてエレクトロントラッピング剤を含有する構成のIRセンサーカード等、スクリーン14は、光源2から射出された近赤外光を受光したときに可視光を発光する機能を有したものであればよい。"