"鋼試料の溶解液をフィルターろ過して得られた残渣を含むフィルターを、酸素プラズマを用いて低温灰化処理して、前記残渣に含まれる遊離カーボンを前記フィルターとともに除去することにより、前記残渣中の鋼中介在物を分離することを特徴とする、鋼中介在物の分離方法。前記残渣を含むフィルターを基板上に固定し、該基板ごと前記低温灰化処理することにより、前記分離された鋼中介在物が載置された基板を得る請求項1記載の分離方法。前記低温灰化処理されるフィルターに含まれる残渣中のカーボン量を1mg/cm2以下とする請求項2記載の分離方法。前記ろ過にポリカーボネート製フィルターを用い、前記基板と前記フィルターとの固定に有機系接着剤を用いる請求項2または3記載の分離方法。前記鋼中介在物の種類が酸化物および窒化物の少なくとも一方を含む場合には、臭素-メタノール、またはヨウ素-メタノール法を用いて前記鋼試料の溶解液を得る請求項1から4のいずれか記載の分離方法。前記鋼中介在物の種類が硫化物を含む場合には、非水溶媒系電解液を用いた電解を行うことにより前記鋼試料の溶解液を得る請求項1から4のいずれか記載の分離方法。請求項2から6にいずれかに記載される方法により得られる、分離された鋼中介在物が載置された基板を用いて、鋼に含まれる介在物を分析する方法。鋼中に炭素量を多く含む0.05以上場合、電気分解、ハロゲン分解で鋼を分解すると、セメンタイト、遊離カーボンが同時に抽出される。そのため、介在物の粒度分布測定を行う場合、析出炭化物、遊離カーボンが測定を妨害する。本発明は、上記の問題を解決し、鋼中介在物の粒度分布計測を迅速に計測するための前処理方法となりうる鋼中介在物の分離方法および当該方法を前処理とする分析方法を提供することを目的とする。本発明者らが上記の課題を解決すべく検討した結果、鋼中介在物および遊離カーボンを含む残渣をフィルターろ過し、酸素プラズマを用いた灰化処理によってフィルターごと遊離カーボンを除去することにより、残渣中の介在物のみを取り出すことができるという知見を得た。本発明は、上記新知見に基づいてなされたものであり、一態様として、鋼試料の溶解液をフィルターろ過して得られた残渣を含むフィルターを、酸素プラズマを用いて低温灰化処理して、残渣に含まれる遊離カーボンをフィルターとともに除去することにより、残渣中の鋼中介在物を分離する方法を提供する。上記の残渣を含むフィルターを基板上に固定し、その基板ごと低温灰化処理することにより、分離された鋼中介在物が載置された基板を得ることが好ましい上記の低温灰化処理されるフィルターに含まれる残渣中のカーボン量を1mg/cm2以下とすることが好ましい。上記のろ過にポリカーボネート製フィルターを用い、基板とフィルターとの固定に有機系接着剤を用いることが好ましい。鋼中介在物の種類が酸化物および窒化物の少なくとも一方を含む場合には、臭素-メタノール、またはヨウ素-メタノール法を用いて鋼試料の溶解液を得ることが好ましい。鋼中介在物の種類が硫化物を含む場合には、非水溶媒系電解液を用いた電解を行うことにより鋼試料の溶解液を得ることが好ましい。本発明は、他の一態様として、上記の方法により得られる、分離された鋼中介在物が載置された基板を用いて、鋼に含まれる介在物を分析する方法を提供する。本発明によれば鋼中介在物と同時に抽出される遊離カーボンの大部分を除去できるので、鋼中介在物の多数個を簡便に観察することが可能であり、これら介在物の粒度分布計測を容易にすることができる。本発明は、鋼中介在物の分析に適用することができ、特にハロゲン-メタノール溶液により抽出可能な介在物に極めて有効に適用できる。以下、本発明について、臭素-メタノール溶液を用いた抽出法により介在物を抽出し、低温灰化処理を行った場合を例に詳細に説明する。分析フローを図1に示す。対象とする鋼中介在物は臭素-メタノール溶液により残渣中に回収できる。一方で、鋼中の炭素もアモルファスなカーボンとして残渣中に回収され、遊離カーボンと呼ばれる。鋼試料が溶解する臭素-メタノール溶液をフィルター濾過し、残渣を含むそのフィルターを基板に貼り付けて固定し、酸素プラズマを用いてフィルターの低温灰化処理を行う。低温灰化は処理時の温度が100°C以下であるため、無機物である鋼中介在物を溶解、変形することなく基板上に残すことができる一方、酸素プラズマを用いていることから遊離カーボンを一酸化炭素や二酸化炭素にして除去することができる。灰化処理後は、そのままの形態表面に鋼中介在物が残留する基板の状態で光学顕微鏡、走査型顕微鏡等で観察することが可能である。抽出処理に供する鋼試料の上限量は、残渣を飛散させることなくフィルターを貼付することができる最大の残渣量をあらかじめ見積もり、残渣が遊離カーボンからなり鋼中の炭素は全量遊離カーボンとなると仮定して、その最大量の残渣を与える鋼試料の重量として求めることができる。残渣のほとんどが遊離カーボンからなり、残渣における鋼中介在物の割合はわずかであるため、残渣量を上記のように鋼中の炭素量に基づいて計算しても差し支えない。残渣量が過度に多いと灰化が完了する前に遊離カーボンが酸素プラズマによる急激な反応で飛散してしまうため、フィルター上に抽出された遊離カーボン量は1mg/cm2以下基板上に固定されたフィルター1cm2あたり1mgとすることが望ましい。フィルターの材質は低温灰化処理によって全量灰化除去されるものであれば特に限定されない。鋼試料の溶解処理においてメタノールを含む溶液を用いる場合には、その溶液による変質を防止する観点からポリカーボネート製のフィルターを用いることが好ましい。フィルターを貼り付ける基板は低温灰化処理によって劣化しない材質であれば特に限定されない。基板表面に平滑性があり、低温灰化処理によって錆が発生しないことから、シリコンウエハーまたはガラスが好ましい基板である。基板へのフィルターの貼付に使用する薬剤は、低温灰化処理によって全量灰化除去されるものであれば特に限定されない。低温灰化処理中にフィルターの収縮を発生させず、基板との密着性が良いものであることが好ましい。入手のし易さから、市販の有機系接着剤で無機物質を含まないものが望ましい。低温灰化処理条件プラズマ発生用電源出力、酸素流量、処理時間などは、低温灰化によってフィルターおよび遊離カーボンが除去され、処理終了時に鋼中介在物が基板上に適切に残留する、という目的を果たす範囲で適宜設定されるべきものである。プラズマ発生用電源の出力が過小の場合には遊離カーボンを灰化する反応が不十分となることが懸念され、出力が過大であるとこの反応が激しくなって灰化処理中に介在物が基板から飛散してしまうことが懸念される。酸素の使用量は灰化処理のための装置における通常の使用量でよい。処理時間が過度に短い場合には未反応の遊離カーボンが基板上に残留する可能性が高まる。具体的な条件の一例を挙げれば、20W~150Wで酸素ガス流量30ml/min~100ml/minで30分以上である。低温灰化処理後の試料は介在物のサイズによるが、主に走査電子顕微鏡を用いて観察し、粒度分布の計測は目視でも画像処理を行ってもどちらでもよい。以上の説明は、鋼中介在物の抽出に臭素-メタノール溶液を用いる場合化学抽出法を例としているが、介在物の抽出方法は特に限定されず、他の抽出方法を行ってもよい。ヨウ素-メタノール法を用いた場合も、臭素-メタノール溶液の場合と同様の方法にて介在物を観察することができる。また、介在物の抽出に電解抽出を用いる場合には、あらかじめ抽出前に鋼を1100°C程度の高温から急冷させる溶体化処理でセメンタイトを減らし、遊離カーボンの状態でフィルターに回収させ、同様に低温灰化処理を行えば良い。なお、抽出中に鋼中介在物が変質したり溶解したりすることを回避する観点から、鋼中介在物の種類が酸化物および窒化物の少なくとも一方を含む場合、特に酸化物および窒化物の少なくとも一方である場合には、臭素-メタノール、またはヨウ素-メタノール法を鋼中介在物の抽出方法とすることが好ましく、鋼中介在物の種類が硫化物を含む場合、特硫化物である場合には、非水溶媒系電解液を用いた電解を鋼中介在物の抽出方法とすることが好ましい。鋼として化学成分が表1である炭素鋼を用いた。試料約1gを10臭素-メタノール溶液300ml中で溶解し、残渣を0.05μm孔径のろ過直径35mmのポリカーボネート製フィルターに回収した。回収後のフィルターをシリコンウエハー上に接着剤で貼付し、酸素ガス流量60ml/min、および50W×18時間の条件で酸素プラズマを用い低温灰化処理を行った。低温灰化処理後の試料を走査型電子顕微鏡加速電圧は2kVにより観察した結果を図2に示す。図中に球状に見えるのが介在物であり、代表的な介在物のEDSスペクトルデータを図3に示す。この場合、介在物はTi,Zr,MnおよびAlを含む複合的な介在物である。比較例として同試料について低温灰化処理を行わなかった結果を示す。観察視野内のフィルターは全面が遊離カーボンに覆われており、一部の介在物しか観察できなかった。表2に低温灰化処理前後の介在物構成元素の抽出量を示す。介在物の回収量はICP発光分光分析によって求めた。低温灰化処理を行っても介在物を80以上回収できることが確認された。図4に本発明方法により計測した粒度分布図を示す。多数個を一度に観察できるため、画像処理により迅速に粒度分布が計測可能であることが確認された。"