"天井面から吹き出した清浄空気を通気性の床で仕切られた床下チャンバに向けて気流をダウンフローで流すようにしたクリーンルームにおいて、前記クリーンルームの前記床下チャンバの空気を吸引する吸引口と、前記クリーンルーム内に前記空気を吹き出す吹出口と、前記吸引口から前記床下チャンバの前記空気を吸引して前記吹出口から前記クリーンルーム内に吹き出すファンと、前記吹出口から吹出す空気流の高さ方向の向きを調整する板状の吹出し角度調整用フィンと、前記吹出口で装置中心から放射状に延びかつ高さ方向には互いに平行な板状の放射状空気吹出用フィンと、前記ファンを駆動制御して、前記クリーンルームで不足している流量を前記床下チャンバから前記クリーンルーム内に供給する制御装置と、を備えることを特徴とするクリーンルームの逆流防止装置。前記吹出口からの吹出流量Qoutが、前記床から前記クリーンールーム内に逆流する流量Qに対して、1.20×Q≦Qout≦3.47×Qとなるように、前記ファンで流量調整を行うことを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの逆流防止装置。前記吹出し角度調整用フィンの角度は、前記空気流が水平方向から下向き方向に吹き出す方向に調整されることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーンルームの逆流防止装置。装置中心をO、前記装置中心Oから逆流の範囲の左端を結んだ直線をAとし、前記装置中心Oから前記逆流の範囲の右端を結んだ直線をBとし、∠AOBの二等分線をCとし、∠AOC=∠BOC=θとし、実際に前記吹出口から吹く角度をθ’とするとき、0.9≦θ’/θ≦1.2であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1つに記載のクリーンルームの逆流防止装置。前記床を境とした上下空間の差圧を検出する差圧計をさらに備え、前記差圧計で検出された前記差圧に基づき、前記制御装置で、前記ファンを駆動制御して、前記クリーンルームで不足している流量を前記床下チャンバから前記クリーンルーム内に供給することを特徴とする請求項1~4のいずれか1つに記載のクリーンルームの逆流防止装置。しかしながら、前記従来の構成では、床下チャンバからクリーンルーム内に逆流してくる問題は抑えることができるが、以下の課題は残っている。すなわち、逆流が発生するのは、排気を伴った機器又は装置が要因で、クリーンルーム内の空気が不足していることが本質的な要因である。天井に設置されたFFUは、クリーンルーム内で空気が不足している箇所から遠い位置にあるため、空気が分散してしまい、クリーンルーム内で正味の不足している流量よりも非常に多い流量を前記FFUから供給する必要があった。そのため、天井に設置されたFFUの流量を低減することができず、結果的にエネルギーコストが大幅に増大してしまう。本発明は、上記従来の問題に鑑み、クリーンルーム内の負圧箇所を解消し、クリーンルームの床下からの逆流を防止することができるクリーンルームの逆流防止装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。本発明の第1態様によれば、天井面から吹き出した清浄空気を通気性の床で仕切られた床下チャンバに向けて気流をダウンフローで流すようにしたクリーンルームにおいて、前記クリーンルームの前記床下チャンバの空気を吸引する吸引口と、前記クリーンルーム内に前記空気を吹き出す吹出口と、前記吸引口から前記床下チャンバの前記空気を吸引して前記吹出口から前記クリーンルーム内に吹き出すファンと、前記吹出口から吹出す空気流の高さ方向の向きを調整する板状の吹出し角度調整用フィンと、前記吹出口で装置中心から放射状に延びかつ高さ方向には互いに平行な板状の放射状空気吹出用フィンと、前記ファンを駆動制御して、前記クリーンルームで不足している流量を前記床下チャンバから前記クリーンルーム内に供給する制御装置と、を備えることを特徴とするクリーンルームの逆流防止装置を提供する。以上のように、本発明のクリーンルームの逆流防止装置によれば、クリーンルーム内で不足している流量を床下チャンバからクリーンルーム内に供給することにより補うことができて、床下チャンバからの逆流を発生させることなく、循環回数を低減した省エネルギーなクリーン設計を可能とする。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1Aは、本発明の一実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置10の概略構成図を示した平面図である。このクリーンルーム62では、天井面から吹き出した清浄空気を通気性の床61で仕切られた床下チャンバ63に向けて気流をダウンフローで流すようにしている。このクリーンルームの逆流防止装置10は、逆流防止装置10の箇体11と、クリーンルーム62のグレーチング床61よりも上部の位置の箇体11の側面に設置された吹出口12と、吹出口12から離れてかつグレーチング床61よりも下部の位置でかつ箇体11内に設置されたFFUファンフィルタユニット13と、箇体11の底面にFFUの下方に配置された吸込口14とで構成されている。逆流防止装置10の吹出口12は、グレーチング床61の床面からあまり高くない箇所であることが好ましい。吹出口12の位置がグレーチング床61の床面よりも高くなった場合、クリーンルーム62で逆流しているグレーチング床61の床面から遠くなってしまうため、吹出した空気が拡散してしまい、後述する逆流防止効果が薄くなってしまう。一例としては、図1Aのように、グレーチング床61の床面から所定寸法の高さの間に、筐体11の側面に、吹出口12が配置されている。なお、逆流防止装置10の別の構成として、吹出口12にフィルタを設置した場合、FFU13の構成は、フィルタ無しのファン送風機のみの構成にしてもよい。また、吹出口12にFFUを設置することによって、逆流防止装置10は、筐体11の下方にFFU13を配置することなく、吸込口14のみの構成にしてもよい。FFU13のフィルタは、クリーンルーム62で必要とされる清浄度によって最適なものを採用する。また、ファンは必要な吹出し量を満たすことができるものを選定して採用する。吹出口12は、吹出口12から吹出した空気が、水平方向若しくは斜め下向きとなるような構造になっていることが好ましい。吹出口12から上向き又は斜め上向きに空気が吹出した場合、周りの空気を巻き込んだ上昇気流を発生させ、それに伴って床下チャンバ63の空気も巻上げてしまう可能性がある。そのため、クリーンルーム62の床下チャンバ63から逆流を誘発してしまう可能性がある。逆流防止装置10の下部底部に設置された吸込口14から、床下チャンバ63の空気を吸込む。その空気は、FFU13によって、クリーンルーム62内の必要とされる清浄度まで上げられる。その空気は、吹出口12までFFU13のファンによって、逆流防止装置10内でその上部に送風され、クリーンルーム62のグレーチング床61より高さが上部に位置する吹出口12からクリーンルーム62内に吹出され、クリーンルーム62内で不足している空気を供給する。FFU13のファンの動作方法としては、クリーンルーム62の床下チャンバ63から逆流が発生しているときのみ動作させ、逆流が発生していていない場合は、ファンの動作を停止させることで、逆流防止装置10自体の省エネを図った動作方法も可能である。この動作を実現するために、グレーチング床61を境とした上下空間の差圧を検出する差圧計16を設置し、差圧計16の検出値が制御装置90に入力され、制御装置90において、差圧計16の検出値を基に、FFU13のファンをON/OFF制御することで可能となる。一例としては、差圧計16の検出値が閾値を越えると制御装置90で判定するとき、逆流が発生しないようにFFU13のファンをONにし、差圧計16の検出値が閾値以下であると制御装置90で判定するとき、逆流が発生しないようにFFU13のファンをOFFするような制御が考えられる。また、逆流が発生する要因は、クリーンルーム62内の設備65が排気していることであるため、設備65の稼動状況の情報が制御装置90に入力され、設備65の稼動状況に応じて、制御装置90の制御の下にFFU13のファンをON/OFF制御することも可能である。逆流防止10の吹出口12の構造と吹出方法について、図2Aと図2Bを用いて説明する。図2Aと図2Bに示すように、吹出口12は、逆流防止装置10の側面において、グレーチング床61より上に位置する部分に設置されている。吹出口12の高さ方向の長さは、逆流防止装置10の上面より低い位置までである。なお、吹出口12の最上部の位置は、グレーチング床61から2m以下が好ましい。逆流防止装置10の吹出口12からの吹出しがグレーチング床61に対して高すぎる場合、吹出口12から吹出した空気が、グレーチング床61に到達するまでに拡散してしまうため、逆流防止の効果が弱くなる。そのため、逆流を防止するためには、より多くの吹出流量が必要となってくる。図2Aと図2Bで示すように、吹出口12には、放射状空気吹出用フィン18が放射状に設置されている。逆流防止装置10が円柱形の場合、その軸中心から、逆流防止装置10の表面から放射状に延ばした直線A,Bの範囲内に吹出口12及び放射状空気吹出用フィン18が設置され、高さ方向には互いに平行な平板である。このように放射状空気吹出用フィン18が設置されており、放射状空気吹出用フィン18を制御装置90の制御の下に駆動させることにより、吹出口12からは、逆流防止装置10の中心から放射状の向きに空気が吹出す。参照符号103は、吹出口12からの幅方向の吹出し向きを示す流線である。また、図2Aで示すように、逆流防止装置10の中心をOとおき、装置中心Oから、逆流15が発生しているとき、その逆流15の範囲の左端を結んだ直線をAとする。装置中心Oから、逆流15の範囲の右端を結んだ直線をBとする。そして、∠AOBの二等分線をCとおく。このとき、∠AOC=∠BOC=θとおく。吹出口12は、逆流防止装置10の表面で直線Aと直線Bの範囲に設置する。このような構造になっているため、角度θによって吹出口12の幅が決まる構成になっている。また、吹出口12には、高さ方向の吹出し角度を調整する板状の吹出し角度調整用フィン19も同様に設置されている。この吹出し角度調整用フィン19の角度は、水平方向から下向き方向にしか調整できないようになっている。吹出口12から吹出した空気が上向きの場合、周りの空気を巻き込んだ上昇気流を発生させ、床下チャンバ63からの逆流を引き起こすためである。このような構成により、吹出口12からは、吹出し角度調整用フィンにより、空気が、水平方向より下向きの角度に向かって吹出す。参照符号102は、吹出口12からの高さ方向の吹出し向きを示す流線である。クリーンルーム62内の不足流量は逆流している流量と等しいため、クリーンルーム62のグレーチング床61から逆流している流量より、クリーンルーム62内の不足流量を、制御装置90内に制御本体部90aとは別に備えられた演算部90bで算出する。差圧計16などからの検出情報及び設備65からの情報などは制御本体部90aに入力される。差圧計16などからの検出情報が制御本体部90aから演算部90bに入力されると、演算部90bは所定の演算を行う。演算部90bでの演算結果に基づいて、制御本体部90aはファン13を駆動制御する。逆流15が発生している面積をAm2とし、流速計若しくは差圧計16の検出情報から求められる逆流している各箇所の流速をVim/sとし、逆流している流量をQとする。すると、の式を使用して、演算部90bで、逆流している流量をQを算出することができる。ここで、x,yは、図2Aの平面における直交座標のx座標とy座標である。この算出値が、クリーンルーム62内で不足している正味の不足流量となる。逆流している面積又はその流速又はグレーチング床61の上下の差圧は、各箇所を1つ又は複数の流速計若しくは差圧計16で測定することによって把握することができる。逆流防止装置10の吹出口12からの吹出流量Qoutを、適正量に制御することが求められる。クリーンルーム62内で不足している流量に対して吹出流量Qoutが少な過ぎる場合、本来の課題である逆流防止を解決することができず、床下チャンバ63からの逆流15を完全に抑えることができない。また、吹出流量Qoutが適正量に対して多過ぎる場合、図1Bの矢印101で示すように、余剰の空気がクリーンルーム62の床下チャンバ63に流れて入った後、クリーンルーム62の床下チャンバ63を循環する過程で、逆流15が発生する箇所が生ずる。これは、余剰の空気が、クリーンルーム62の床下チャンバ63に流れ入ることによって、クリーンルーム62の床下チャンバ63では通常よりも多い流量が流れる結果となり、床下チャンバ63内の圧力とクリーンルーム62内の室圧との圧力バランスが崩れる箇所が発生し、床下チャンバ63から逆流15が発生する。このとき、吹出流量Qoutの適正量は、の関係を保つことが好ましい。この関係式は、図3の構成で、クリーンルーム62内に設置された逆流防止装置10の吹出流量Qoutの最適値と、クリーンルーム62内で床61から逆流している面積との関係を、熱流体解析ソフトクレイドル社製のストリームを用いて熱流体解析を行い、その結果より得られた。図3で、7.49m3/minの逆流15が発生しているクリーンルーム62において、逆流防止装置10を設置し、逆流防止装置10からの吹出流量Qoutの最適流量を熱流体解析した結果を、図4に示す。図4では、縦軸に逆流15が発生している面積m2を示し、横軸に逆流防止装置10からの吹出流量m3/minを示す。解析の結果、吹出流量を9m3/min以上にすることによって、グレーチング床下61からの逆流15を防止することができた。逆に、吹出流量が26m3/min以上の場合、床下チャンバ63から逆流15が新たに発生する。つまり、本来、逆流している流量7.49m3/minに対して、1.20倍以上かつ3.47倍以下の流量であることが必要であることがわかった。その結果、前記2の式が得られた。逆流防止装置10の吹出口12からの吹出しの幅方向について図2Aを用いて説明する。また、図2Aで示すように、前記したように装置中心Oからの逆流15の範囲の2分の一の角度をθとし、実際に吹出口12からの吹く角度をθ’とおく。逆流している範囲逆流15の範囲に対して、狭い面積しか吹かない場合、θ’<θとなる。また、逆流している範囲逆流15の範囲に対して広い面積で吹く場合、θ’>θとなる。このような構成により、角度θ’によって吹出口12の吹出す幅と逆流15に対してカバーできる範囲逆流15の範囲とが決まる構成になっている。よって、角度がθ’=θのとき、逆流防止装置10の吹出口12から吹出した空気の幅が、ちょうど逆流している範囲逆流15の範囲と一致するような形になっている。また、このような構成をとっているため、逆流防止装置10を、逆流15に対して近い距離に設置した場合と遠い距離に設置した場合とで比較すると、逆流15に対して近い距離の場所に逆流防止装置10を設置した方が角度θが大きくなるため、吹出口12の吹出幅が大きくなることがわかる。しかし、逆流防止装置10の吹出し流量は、逆流15に対して、近い場所に逆流防止装置10を設置した場合と、遠い場所に逆流防止装置10を設置した場合で同じであるため、近い場所に逆流防止装置10を設置した場合の方が必然的に流速が遅くなる吹出流速をVとし、吹出し面積をDとすると、吹出流速VはV=Q/Dの関係式で定義され、Qは一定であるため、流速Vは吹出し面積Dと反比例の関係になるためである。。逆流防止装置10の吹出口12からの吹出幅には最適幅が求められる。その吹出幅は前述のように角度θ’で定義することが可能である。よって、最適な吹出角度はθとθ’の関係式θ’/θよりの関係を保つことが好ましい。この関係式は、逆流防止装置10の吹出口12からの吹出角度θ’と逆流している面積との関係を熱流体解析ソフトクレイドル社製ストリームで熱流体解析を行った結果より得られた。今回の解析モデルでは、実施形態で定義したθの値は、θ=33°となる。ここで、前述の適切な吹出し量の結果より、逆流防止装置10からの吹出口12からの流量が最も少ないモデル1吹出流量:9m3/minと、吹出口12からの流量が最も多いモデル2吹出流量:26m3/minとのそれぞれで、熱流体解析した。図5Aと図5Bとにその解析結果をそれぞれ示す。縦軸に逆流している面積m2を取り、横軸はθ’/θとして無次元化したものを用いている。解析の結果、吹出流量が9m3/minと最小流量のモデル1の場合、θ’/θの値が0.9以上1.2以下であれば逆流を防止することができることがわかった。また、吹出流量が26m3/minと最大流量のモデル2の場合、θ’/θの値が0.7以上1.6以下であれば逆流を防止することができることがわかった。吹出流量が多いほど、逆流の発生を抑止しやすいことから、このような解析結果となっている。今回の結果より、逆流防止装置10の吹出口12からの吹出角度の最適値は、今回の中で最も条件が厳しい、の範囲を満たすことが必要であることがわかった。逆流防止装置10の吹出流量は、前述のように、各箇所での面積と流速若しくはグレーチング床61の上下の差圧を測定することで把握することが可能である。しかし、クリーンルーム62内の環境変化又は生産状況によって、吹出流量は時々刻々変化する場合もある。そのため、逆流15が発生している範囲に、流速若しくはグレーチング床61の上下の差圧を測定するセンサ流速計若しくは差圧計16を複数個設置する。そして、逆流15を示したセンサ流速計若しくは差圧計16の範囲から逆流している面積を算出し、また各センサで測定される流速若しくは差圧から演算部90bで算出される流速から、逆流している流量を演算部90bで算出する。そして、その逆流している流量に基づいて、逆流防止装置10のFFU13の流量を制御装置90で制御する。このような機構を設けることにより、時々刻々変化する逆流面積又は逆流の流速に対応することが可能となる。以上のように、実施形態に係るクリーンルーム62によれば、クリーンルーム62内で空気が不足している領域に、床下チャンバ63から直接その不足流量を供給することで、クリーンルーム天井のFFU17をさらに削減することが可能となり、従来と比べてさらに省エネルギーなクリーンルーム62を実現することで本発明の効果が得られる。なお、上記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。"