"真空容器の内部を循環するレーザ媒質を放電によるエネルギーによって励起し、遷移の際に放出される光子を前記レーザ媒質を挟んで対向して配置された光共振器ミラーで増幅させ、その一部を部分反射鏡からレーザ光として外部へ取り出す炭酸ガスレーザ発振器において、前記レーザ媒質が前記部分反射鏡の表面に近づく流入経路を覆うようにレーザ光が通るための開口を有し、この開口の内面を多孔質型アルマイトとすると共に、前記部分反射鏡近傍に配置された部品を備え、この部品を、流入するレーザ媒質より温度が低くなるように冷却したことを特徴とする炭酸ガスレーザ発振器。前記開口内面の多孔質型アルマイトの表面に、二次電解処理を施したことを特徴とする請求項1に記載の炭酸ガスレーザ発振器。前記部品を、前記部分反射鏡の前記真空容器の内部側の面を保持するミラー押さえとしたことを特徴とする請求項1または2いずれかに記載の炭酸ガスレーザ発振器。炭酸ガスレーザ発振器では、例えば以下のような理由により、真空容器1の内部に気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が存在する。真空ポンプ13のオイルが気化したオイルミストブロア3のベアリング内に充填しているグリースが気化したものブロア3のステータコイルを固めているワニス、絶縁紙が劣化したもの熱交換器11のパイプをロウ付けする際に使用するフラックスの残留成分ブロア4のファン、ケーシングの鋳造時に付着した離型剤の残留成分アパーチャ12の切削加工時に付着した切削油の残留成分整流ダクト4のプレス加工時に付着した加工油の残留成分各構成部品の洗浄時に付着した洗浄液の残留成分これら気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡8に付着すると、その汚れによって、部分反射鏡8がレーザ光10のエネルギーを吸収する比率以降、これを熱吸収率と呼ぶが増大する。これによって、部分反射鏡8の内部で温度上昇による屈折率の変化が生じ、レーザ光10の特性が変化する。図9は、直交型炭酸ガスレーザ発振器において、レーザ光出力2kWと4kWで連続発振した時の、発振時間と部分反射鏡8の熱吸収率の関係を示したものである。未使用の部分反射鏡8でも、母材および表面の誘電体コーティングによって0.1の熱吸収が存在するが、出力4kWで1000hrレーザ発振することによって、これが0.2まで上昇している。また、同じ発振器では、高いレーザ光出力で発振する程、熱吸収率の上昇も大きく、今後、市場のニーズである高出力炭酸ガスレーザ発振器を開発していく上で、大きな課題になることが懸念される。図10は、部分反射鏡8の熱吸収率が0.1から0.2に上昇した場合の、レーザ光10の特性の変化を示したものであり、実線が0.1の場合であり、破線が0.2の場合を示している。窒素雰囲気中でレーザ光を5m伝播させた場所でのビーム径が、熱吸収率の増加により、Φ40からΦ32へと20小さくなっており、その分ビーム強度密度が高くなることは明らかである。そのため、レーザ加工で不良が発生する可能性が高くなり、安定した加工を行うことが困難な状況になる。本発明は、かかる問題点を解決するためのもので、真空容器1の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡8の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光10の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得ることを目的とする。本発明に係る炭酸ガスレーザ発振器においては、部分反射鏡の電極側の面はレーザ媒質に触れているが、このレーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。本発明は、部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を覆うように、表面が多孔質型アルマイトでできた部品を配置することにより、部分反射鏡の熱吸収率の増加を抑制することができる。このため、レーザ光の特性が安定し、品質の良いレーザ加工を行うことが可能となる。実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1を示すものであり、図1aは横断面図であり、図1bは縦断面図である。本実施の形態の特徴部分は、部分反射鏡8付近の構成であるので、その他従来技術と同様の構成については、従来技術の図11と同一部品は同一符号を付け詳細の説明を省略する。図1に示すように、ミラー押さえ16とミラーホルダ17で部分反射鏡8を保持し、Oリング18で気密性を確保する構造となっている。ミラー押さえ16は、部分反射ミラー8の真空容器1の内部側を保持しており、レーザ光10が通り部分反射鏡8へと通ずる筒状の開口21を有すると共に、この開口21の内面が多孔質型アルマイトでできている。また、ミラー押さえ16を冷却するために冷却媒体を流す流路20がミラー押さえ16の内部に設けられ、この流路20に冷却媒体を供給排出するポート19が設けられている。このような構造により、レーザ媒質2は、ミラー押さえ16の内面が多孔質型アルマイトでできた開口21内を通ってしか部分反射鏡8にたどり着くことができない。図2は、図1において、一点鎖線で囲んだ部分反射鏡8およびミラー押さえ16の付近Bの部分を拡大したものである。なお、多孔質型アルマイトは実際にはナノ~ミクロンオーダの非常に細かい構造をしているが、説明のために意図的に拡大して描いている。電極5側から、気化した有機物や浮遊した微細な粉塵がレーザ媒質2と一緒にやってくる。このうち、微細な粉塵の中でも比較的大きなものは、多孔質型アルマイトが圧力障壁となるのでミラー押さえ16の開口21に侵入することができず、手前で方向を変える。ごく微細な粉塵は開口21の中へ侵入することがあるが、開口21の内部では上記圧力障壁によって、部分反射鏡8へ向かう矢印Cの方向への強制的な流れは存在せず、自然対流による流れのみであるので、開口21内を漂っているうちに、やがて多孔質の孔中にトラップされる。気化した有機物についても開口21の中へ侵入することがあるが、上述の通り、開口21の内部では自然対流となっている。ミラー押さえ16は侵入してくるレーザ媒質2より温度が低くなるように冷却されているため、多孔質部分でコールドトラップされる。多孔質型アルマイトは、孔径と孔の深さの比率が1:1000程度であり、非常に細くて深い孔が無数にあいている。なお、1:1000で形状を描くことは困難であるため、図では意図的に比率を変えて描画した。このため、表面が多孔質型アルマイトでできたものは、そうでないものと比べて表面積が桁違いに大きい。このような広大な表面積を有しているため、冷却温度がそれほど低くなくてもコールドトラップとしての機能を十分に果たす。実際に試作し効果の確認を行った形状、製作条件の一例を示す。ミラー押さえ16の材質はA5052であり、表面には普通硫酸アルマイトを膜厚10μm施し、開口21の長さ方向の寸法Dは25mmとし、20°Cの水で冷却した以下、[例1]と呼ぶ。図3は、図9に対応したもので、レーザ光発振時間と部分反射鏡8の熱吸収率の関係を示したものである。直交型炭酸ガスレーザ発振器において、実線が実施の形態1を適用していない従来の技術を適用した発振器のデータであり、破線が実施の形態1を適用した発振器のデータであり、共にレーザ光出力4kWで連続発振したものである。従来の技術では、1000hrのレーザ光発振によって部分反射鏡8の熱吸収率が0.1上昇していたが、本発明の実施の形態1を適用することで、吸収率上昇が0.05に抑えられ、熱吸収率上昇低減の効果は50得られたことになる。実際に、本発明の技術を製品化するにあたっては、図3で得られた効果が、上述した[例1]の形状や製作条件に特異なものではなく、製造上や使用上で生じるばらつきによっても、効果が大きく損なわれないことを確認しておく必要がある。そこで、形状や製作条件をある程度変化させ、得られる効果がどの程度変わるのかを確認した。なお、実験として、実際の製造ではばらつかないもの、例えば材質などについても変化させ、変化量は製造上や使用上で想定されるばらつき量よりも大きくして、効果の確認を行った。図4は、形状や制作条件を変化させた場合の、レーザ光発振時間と部分反射鏡の熱吸収率の関係を測定した実験の結果を示したグラフであり、いずれも直交型炭酸ガスレーザ発振器を用い、レーザ光出力4kWで連続発振したものである。図4aは、ミラー押さえ16の材質をA1100、A5052、A6063と変えたものである。その他の形状、製作条件は[例1]と同一である。図4bは、アルマイト処理浴の種類を硫酸浴、蓚酸浴、クロム酸浴と変えたものである。その他の形状、製作条件は[例1]と同一である。図4cは、皮膜硬さを普通アルマイト、硬質アルマイトと変えたものである。その他の形状、製作条件は[例1]と同一である。図4dは、膜厚を5μm、10μm、20μmと変えたものである。その他の形状、製作条件は[例1]と同一である。図4eは、冷却水の温度を10°C、20°C、30°Cと変えたものである。その他の形状、製作条件は[例1]と同一である。図4fは、寸法Dを20mm、25mm、30mmと変えたものである。その他の形状、製作条件は[例1]と同一である。図4より、形状、製作条件で得られる効果は全く同じとは言えないが、図4a~図4fで実験を行った形状、製作条件の範囲内では、熱吸収率上昇低減効果は、50±10の範囲に収まっており、製品化すなわち量産に十分適用できる技術であることが確認できた。なお、図1,2において説明した構成においては、ミラー押さえ16に開口21を設け、その内面に多孔質型アルマイトを形成したが、ミラー押さえ16とは別部品でレーザ光が通過する開口21を有し内面に多孔質型アルマイトを形成したものを、部分反射鏡8の近傍に設けても良い。また、上記実験は直交型炭酸ガスレーザ発振器で行ったが、他の型式である軸流型やスラブ型においても、部分反射ミラー近傍に同様な構成を採用することにより、同様な効果を得ることができる。実施の形態2.上述した通り、本発明の実施の形態1を適用することで、部分反射鏡8の熱吸収率上昇を、従来の約50に低減することができた。しかしながら、言い換えればまだ残り50は熱吸収率が上昇するということである。この残り50という数値は、レーザ光10の特性を変化させるという影響から考えると決して無視できない程度のものである。そこで、本発明の実施の形態1における[例1]を適用して、レーザ光出力4kWで1000hr連続発振させた部分反射鏡8、すなわち熱吸収率が0.1から0.15まで上昇したものについて表面分析を行った。その結果を図5aに示す。用いた分析手法はTOF-SIMSTimeOfFlight-SecondaryIonMassSpectrometryであり、ppmオーダの極微量元素を検出できることが最大の特徴である。SEM-EDS、XPS、AESなど、表面分析手法には色々なものがあり、それぞれに特徴を有しているが、検出感度という点では、これらの分析手法ではオーダで元素が存在していないと検出することができない。炭酸ガスレーザについて言えば、波長10.6μmの光にとって透明でない物質は、それがオーダ未満のわずかな量付着していても、部分反射鏡8の熱吸収率上昇を引き起こす。従って、今回のような吸収率上昇の原因物質を突き止めるような分析には、TOF-SIMSが適している。図5aにおいて横軸は深さであり、これはデプスプロファイル分析を行ったことを意味する。すなわち、Arイオンで表面をスパッタリングしていき、一定時間ごとにTOF-SIMS測定を行うことで、深さ方向の分析を行っている。従って、元々の横軸はスパッタ時間であるが、スパッタレートを求めてこれを深さへ変換したものである。図5aにおいて、Se、Znは部分反射鏡8の構成物質であるZnSeに由来している物質である。また、表面にはC、Clが付着しており、表面から30nm程度の深さまでSがZnSe中に拡散している。図5bは、図5aに対応したもので、本発明の実施の形態1を適用していない従来の技術で、レーザ光出力4kWで1000hr連続発振させた部分反射鏡8、すなわち熱吸収率が0.1から0.2まで上昇したものをTOF-SIMSデプスプロファイル分析したものである。図5aと図5bを比較すると以下のことが言える。本発明の実施の形態1を適用したもの図5aの方が、表面でのC、Clの検出強度が低い。すなわち、実施の形態1で述べたように、気化した有機物や浮遊した微細な粉塵をトラップする本発明の効果が、分析によっても裏付けられたと言える。本発明の実施の形態1を適用したもの図5aのみ、表面から30nm程度の深さまでSがZnSe中に拡散している。これは、表面が多孔質型アルマイトでできたミラー押さえ16から、新たな汚染源であるSが発生していると考えられる。この新たな汚染源であるSの発生を防ぐことができれば、部分反射鏡8の熱吸収率上昇をさらに低減させることができると予想されることから、Sの発生メカニズムについて、検討を行った。アルマイト処理に関しては、次のことが知られている。多孔質型酸化皮膜への陰イオン混入量は10数である。硫酸浴で作った多孔質型酸化被膜中には硫酸根が17以上含まれているという報告や、SO3として13含まれているという報告などがある。酸化皮膜中に存在している硫酸根の結合状態についての検討もなされている。SO3含有量が13であった酸化皮膜を長時間の水洗を行った後に化学分析したら、SO3含有量が8になった。この実験より、8のSO3は皮膜内に組み込まれており、13と8の差である5のSO3は酸化皮膜表面に弱い吸着をしていたり、多孔質層の孔中に残存していた硫酸根と考えられる。前者を結合している陰イオンといい、後者を自由な陰イオンと呼んでいる。佐藤俊彦、神長京子著新アルマイト理論カロス出版、1997年5月8日、p.24-25これらの知見に基づき、発明者は、この自由な陰イオンが部分反射鏡8の表面に付着し、30nm程度の深さまで拡散した、との結論を得た。この結論に基づき、陰イオンの様子を図示したものが図6である。図6は、図2において、一点鎖線で囲んだEの部分を拡大したもので、多孔質型アルマイトの皮膜中の陰イオンの様子を模式的に示した図である。実施の形態2は、上述した問題点を解決するためのもので、多孔質型アルマイトの皮膜中に含有した陰イオンが部分反射鏡8の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によってレーザ光10の特性が変化するのを防ぐことにより、実施の形態1の炭酸ガスレーザ発振器よりも更に部分反射鏡8の熱吸収を抑制することを目的としたものである。図7は、本発明の実施の形態2の特徴部分を示すものであり、本発明の実施の形態1のミラー押さえ16の開口21内における多孔質型アルマイトの表面に二次電解処理を施すことで、自由な陰イオンが二次電解物質で覆われ、自由に動けなくなることを模式的に示した図である。これによって、多孔質型アルマイト皮膜中の陰イオンが部分反射鏡8の表面に付着することを防ぐことができる。実際に試作し効果の確認を行った製作条件の一例を示す。二次電解で析出させる元素はNiで処理を行った。図8は、図3に対応したもので、レーザ光発振時間と部分反射鏡8の熱吸収率の関係を示したものである。直交型炭酸ガスレーザ発振器において、実線が実施の形態1を適用していない従来技術におけるデータであり、破線が実施の形態1を適用したデータであり、一点鎖線が実施の形態2を適用したデータであり、共にレーザ光出力4kWで連続発振したものである。従来の技術では、1000hrのレーザ光発振によって部分反射鏡8の熱吸収率が0.1上昇していたが、実施の形態2を適用することで、吸収率上昇が0.01に抑えられ、熱吸収率上昇低減効果は90にまで向上した。実施の形態1で行ったのと同様に、製作条件をある程度変化させ、得られる効果がどの程度変わるのかを確認した。図示は省略するが、Ni以外にAg、Cuを析出させて実験を行った結果、熱吸収率上昇低減効果が90±3の範囲に収まっていることを確認した。なお、±3という数値は熱吸収率の測定ばらつきと同程度であり、有意差がないことを示している。上述した実験結果は直交型の炭酸ガスレーザ発振器で得られたものであるが、真空容器1の内部に存在する気化した有機物、浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡8の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によってレーザ光10の特性が変化するという問題点は、直交型、軸流型、スラブ型の各方式に共通のものであり、本発明の技術はその原理上、上記各方式に適用し効果をあげることができるものである。"