"サンギア回転駆動部によりサンギアが回転駆動され、インターナルギア回転駆動部によりインターナルギアが回転駆動されるようになされており、ワーク保持孔を設けたワークキャリアを、水平面内に配置されたサンギアとインターナルギアとの間に複数個噛み合わせておき、このワーク保持孔に挿入されたワークの表裏両面を下定盤と上定盤との間に挟み込んだ状態で、サンギアとインターナルギアとを回転させてワークキャリアを自転または公転させるとともに、上定盤と下定盤とをワークキャリアに対して相対的に回転させてワークをラッピングまたはポリッシングする両面研磨装置であって、サンギアの回転方向に対しインターナルギアを逆の回転方向であって、かつ同じ線速度で回転させて、ワークキャリアを公転させずにその場で自転のみさせるようなギア配列を有する第1のギアトレーンと、サンギアの回転方向に対しインターナルギアを同じ回転方向であって、かつ同じ角速度で回転させて、ワークキャリアを自転させずに公転のみさせるようなギア配列を有する第2のギアトレーンと、を備えることを特徴とする両面研磨装置。研磨時にはサンギア回転駆動部とインターナルギア回転駆動部とを第1のギアトレーンが繋いでワークキャリアに自転のみさせてワークの研磨を行い、ローディング時またはアンローディング時にはサンギア回転駆動部とインターナルギア回転駆動部とを第2のギアトレーンが繋いでワークキャリアに公転のみさせてローディング位置またはアンローディング位置へ移動させる、ことを特徴とする請求項1に記載の両面研磨装置。前記サンギアまたは前記インターナルギアの回転基準となる原点を検出する原点検出センサと、この原点検出センサにより検出される原点に基づいて位置決め誤差を修正しつつワークキャリアの位置制御を行う演算制御部と、を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の両面研磨装置。しかしながら、上記した従来技術では何れも問題点を有するものであった。例えば、引用文献1に記載の平面自動研磨装置では、キャリアを自転させることは可能であるが、ワークの位置決めについては具体的な開示がない。たとえば、1のキャリアに複数個のワークを保持させる場合、キャリアの自転によって最適な回転位置としないとワークのローディングやアンローディングが不可能となることもあった。単純に自転させるだけではローディングやアンローディングはできない。また、引用文献2に記載の研磨装置は、一連の研磨加工工程未加工ワークのローディング~加工~加工済みワークのアンローディングを自動化するシステムの場合、サンギアおよびインターナルギアの各々の回転数を累積して、キャリアの位置を算出する操作を繰り返し行う。また、ワークキャリアの位置決め制御を行うには、各々のギアの回転数を基に煩雑な計算を行い、それぞれのモータに対して適正な位置決め制御を行う。しかしながら、CPUでは、小数点以下の数値の扱い切り捨て、または、切り上げなどにより計算誤差およびこれらの累積誤差が生じるため、位置決め誤差が発生するという問題があった。これらの操作は各ギアの原点出しを行うまで継続するので、計算誤差なども累積していく。また、ギア機構ではバックラッシ等による位置誤差が生じるため、CPUの演算値とずれていくという問題もあった。通常は、ワークキャリアをセットするときに各ギアの原点合わせを行うが、その後は上記のような累積誤差も含む累積データに基づく計算の繰り返しとなるので、累積誤差は徐々に増大する傾向となる。これらの累積誤差は、再度ワークキャリアをセットするときに原点位置合わせを行うことによりリセットされるが、原点位置合わせは手間を要する作業であるため、リセット作業を頻繁に繰り返す訳にはいかず、累積誤差を増大させないように工夫する必要があった。そこで、本発明は上記した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークキャリアの自転位置および公転位置の正確な位置決め制御を行えるようにした両面研磨装置を提供することにある。本発明の請求項1に係る発明は、サンギア回転駆動部によりサンギアが回転駆動され、インターナルギア回転駆動部によりインターナルギアが回転駆動されるようになされており、ワーク保持孔を設けたワークキャリアを、水平面内に配置されたサンギアとインターナルギアとの間に複数個噛み合わせておき、このワーク保持孔に挿入されたワークの表裏両面を下定盤と上定盤との間に挟み込んだ状態で、サンギアとインターナルギアとを回転させてワークキャリアを自転または公転させるとともに、上定盤と下定盤とをワークキャリアに対して相対的に回転させてワークをラッピングまたはポリッシングする両面研磨装置であって、サンギアの回転方向に対しインターナルギアを逆の回転方向であって、かつ同じ線速度で回転させて、ワークキャリアを公転させずにその場で自転のみさせるようなギア配列を有する第1のギアトレーンと、サンギアの回転方向に対しインターナルギアを同じ回転方向であって、かつ同じ角速度で回転させて、ワークキャリアを自転させずに公転のみさせるようなギア配列を有する第2のギアトレーンと、を備えることを特徴とする両面研磨装置とした。また、本発明の請求項2に係る発明は、研磨時にはサンギア回転駆動部とインターナルギア回転駆動部とを第1のギアトレーンが繋いでワークキャリアに自転のみさせてワークの研磨を行い、ローディング時またはアンローディング時にはサンギア回転駆動部とインターナルギア回転駆動部とを第2のギアトレーンが繋いでワークキャリアに公転のみさせてローディング位置またはアンローディング位置へ移動させる、ことを特徴とする請求項1に記載の両面研磨装置とした。また、本発明の請求項3に係る発明は、前記サンギアまたは前記インターナルギアの回転基準となる原点を検出する原点検出センサと、この原点検出センサにより検出される原点に基づいて位置決め誤差を修正しつつワークキャリアの位置制御を行う演算制御部と、を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の両面研磨装置とした。このような本発明によれば、ワークキャリアの自転位置および公転位置の正確な位置決め制御を行えるようにした両面研磨装置を提供することができる。続いて、本発明を実施するための形態の両面研磨装置100について、図1~図6を参照しつつ説明する。両面研磨装置100は、ワーク200の表裏両面を研磨する装置であり、図1で示すように、ベース台101、ギアボックス102、蓋部103、軸支部104、中間ベース105、下定盤駆動モータ106、第1下定盤駆動ギア107、第2下定盤駆動ギア108、下定盤駆動体109、下定盤110、上定盤駆動モータ111、第1上定盤駆動ギア112、第2上定盤駆動ギア113、上定盤駆動体114、自在継手115、上定盤吊り板116、上定盤支持部117、上定盤118、上定盤駆動系ベース部119、シリンダ120、シャフト121、サンギア駆動モータ122、第1サンギア駆動ギア123、第2サンギア駆動ギア124、サンギア駆動体125、サンギア126、逆転用ギアトレーン127、正転用ギアトレーン128、インターナルギア駆動シャフト129、クラッチ130、上側支持部131、下側支持部132、中間ギア133、インターナルギア駆動体134、インターナルギア135、原点検出センサ136、ドグ137、ワークキャリア138を備えている。続いて各構成について説明する。ベース台101は、床面に固定される堅牢な構造体であり、重量物を支持することができる。ギアボックス102は、後述する各回転駆動部の機構を収容している。蓋部103は、ベース台101の上に設けられ、ギアボックス102の蓋として機能する。軸支部104は、蓋部103に固定されている。たとえば、転がり軸受けなどが配置されており、中央の下定盤駆動体109を回転自在に支持する。中間ベース105は、軸支部104や下定盤駆動体109の間に配置されており、下定盤駆動体109やインターナルギア駆動体134が円滑に移動するように支持している。続いて回転駆動部について説明する。まず、下定盤回転駆動部について説明する。下定盤回転駆動部は、下定盤駆動モータ106、第1下定盤駆動ギア107、第2下定盤駆動ギア108、下定盤駆動体109、下定盤110を少なくとも備える。下定盤駆動モータ106は、駆動軸に軸支されている第1下定盤駆動ギア107を回転させる。第1下定盤駆動ギア107は、第2下定盤駆動ギア108へトルクを伝達する。第2下定盤駆動ギア108は、下定盤駆動体109に軸支されており、下定盤駆動体109へトルクを伝達する。下定盤駆動体109は、上側で下定盤110が固定されており、自らの回転とともに下定盤110を回転させる。下定盤駆動体109は、中間ベース105により下側から支持されており、円滑に回転するようになされている。下定盤110は、図1,図4で示すように、環状円板であり、上面にワーク200を研磨するラップ面/ポリッシュ面を有する。なお、図示しないが、下定盤110の上面に図示しない研磨布を貼り付け、研磨布によりワークを研磨することもある。下定盤回転駆動部はこのようなものである。続いて上定盤回転駆動部について説明する。上定盤回転駆動部は、上定盤駆動モータ111、第1上定盤駆動ギア112、第2上定盤駆動ギア113、上定盤駆動体114、自在継手115、上定盤吊り板116、上定盤支持部117、上定盤118、上定盤駆動系ベース部119、シリンダ120、シャフト121を少なくとも備える。上定盤駆動モータ111は、駆動軸に軸支されている第1上定盤駆動ギア112を回転させる。第1上定盤駆動ギア112は、第2上定盤駆動ギア113へトルクを伝達する。第2上定盤駆動ギア113は、上定盤駆動体114に軸支されており、上定盤駆動体114へトルクを伝達する。上定盤駆動体114は、先端で自在継手115を介して上定盤吊り板116と連結される。自在継手115は、上定盤駆動体114と上定盤吊り板116との間に介在して設けられており、上定盤駆動体114を支軸として上定盤吊り板116へ回転を伝達すると同時に、姿勢変動自在となるように支持している。上定盤吊り板116は、堅牢な板体である。上定盤支持部117は、上定盤吊り板116と上定盤118との間に複数本設けられる。これら上定盤支持部117は、平面から視ると円上に等角間隔で設けられる。上定盤支持部117は上定盤吊り板116および上定盤118に図示しないボルトで連結固定されている。上定盤吊り板116、上定盤支持部117、および、上定盤118は常に一体に移動することになる。上定盤118は、環状円板であり、下面にワーク200を研磨するラップ面/ポリッシュ面を有する。なお、図示しないが、上定盤118の下面に図示しない研磨布を貼り付け、研磨布によりワークを研磨することもある。ここに下定盤110および上定盤118は、共通回転軸を回転中心として回転するように支持される。上定盤駆動系ベース部119は、上定盤駆動モータ111、第1上定盤駆動ギア112、第2上定盤駆動ギア113、上定盤駆動体114を収容し、歯車列を保持する。シリンダ120は、上定盤118の上側で支持部に固定されて配置されており、シャフト121に対し上下方向の昇降力を付与する機能を有している。シャフト121は、シリンダ120により昇降するように構成されており、上定盤駆動系ベース部119を昇降させることで、上定盤118を昇降させる。エアは図示しない送風ポンプにより供給され、図示しない演算制御部が電磁弁を制御して昇降を行う。上定盤回転駆動部はこのようなものである。続いてサンギア回転駆動部について説明する。サンギア回転駆動部は、サンギア駆動モータ122、第1サンギア駆動ギア123、第2サンギア駆動ギア124、サンギア駆動体125、サンギア126を少なくとも備える。サンギア駆動モータ122は、駆動軸に軸支されている第1サンギア駆動ギア123を回転させる。第1サンギア駆動ギア123は、第2サンギア駆動ギア124へトルクを伝達する。第2サンギア駆動ギア124は、サンギア駆動体125に軸支されており、サンギア駆動体125へトルクを伝達する。サンギア駆動体125は、先端でサンギア126と連結される。このサンギア駆動体125は、下定盤駆動体109の中心孔に遊挿されており、サンギア駆動体125と下定盤駆動体109とはそれぞれ独立して回転するようになされている。まとめると、下定盤駆動体109は軸支部104や中間ベース105により回転可能に支持され、さらにサンギア駆動体125は下定盤駆動体109により回転可能に支持される。サンギア126は、図4で示すように、下定盤110の内周側中心側に配置されている。なお、図1,図2ではピン126aが配置されてピンギアとして図示されているが、ピンギアに限定するものではなく、外周側に歯が形成された通常の歯車など、歯車として機能する各種の構成を採用することができる。サンギア回転駆動部はこのようなものである。続いて逆転用ギアトレーン127について説明する。逆転用ギアトレーン127は、本発明の第1のギアトレーンであって、サンギア126の回転方向に対しインターナルギア135を逆の回転方向であって、かつ同じ線速度で回転させて、噛み合うワークキャリア138が公転せずにその場で自転のみさせるようなギア配列を有する。逆転用ギアトレーン127は、図3a,bで示すように、さらに第1逆転駆動ギア127a、第2逆転駆動ギア127bを備える。第1逆転駆動ギア127aは、第2サンギア駆動ギア124と噛み合っており、駆動力が伝達される。第2逆転駆動ギア127bは、インターナルギア駆動シャフト129に単に遊挿された状態であり、後述するがクラッチ130でつなげないとインターナルギア駆動シャフト129を軸として空転する。逆転用ギアトレーン127はこのようなものである。続いて正転用ギアトレーン128について説明する。正転用ギアトレーン128は、本発明の第2のギアトレーンであって、サンギア126の回転方向に対しインターナルギア135を同じ回転方向であってかつ同じ角速度で回転させて、噛み合うワークキャリア138が自転せずに公転のみさせるようなギア配列を有する。正転用ギアトレーン128は、さらに第1正転駆動ギア128a、第2正転駆動ギア128b、第3正転駆動ギア128cを備える。第1正転駆動ギア128aは、二段歯車であり、小歯車が第2サンギア駆動ギア124と噛み合っており、駆動力が伝達される。第2正転駆動ギア128bは、二段歯車であり、小歯車が第1正転駆動ギア128aの大歯車と噛み合っており、駆動力が伝達される。第3正転駆動ギア128cは、第2正転駆動ギア128bの大歯車と噛み合っている。第3正転駆動ギア128cは、インターナルギア駆動シャフト129に単に遊挿された状態であり、後述するがクラッチ130でつなげないとインターナルギア駆動シャフト129を軸として空転する。正転用ギアトレーン128はこのようなものである。続いてインターナルギア回転駆動部について説明する。インターナルギア回転駆動部は、インターナルギア駆動シャフト129、クラッチ130、上側支持部131、下側支持部132、中間ギア133、インターナルギア駆動体134、インターナルギア135を少なくとも備える。インターナルギア駆動シャフト129は、上側支持部131、下側支持部132により、上下端で回動可能に支持されているシャフトである。クラッチ130は、逆転用ギアトレーン127か正転用ギアトレーン128かどちらか一方かをインターナルギア駆動シャフト129とつなげる。後述するが逆転か正転かが選択される。クラッチ130は、詳しくは溝付き筒体130a、キー130b、摺動体130c、切換用シリンダ130d、逆転用噛み合わせ部130e、正転用噛み合わせ部130fを備える。溝付き筒体130aは、インターナルギア駆動シャフト129に単に遊挿され、キー130bに沿って、上下に昇降するようになされている。溝付き筒体130aの側外周面には溝部が形成されている。キー130bは、インターナルギア駆動シャフト129のキー溝に配置されており、溝付き筒体130aの回転をインターナルギア駆動シャフト129に伝達する。摺動体130cは、溝付き筒体130aの溝部内に配置されており、溝付き筒体130aの回転時でも溝部内で同じ場所高さに位置するようになされている。切換用シリンダ130dは、摺動体130cを昇降させることで溝付き筒体130aを昇降させる。エアは図示しない送風ポンプにより供給され、図示しない演算制御部が電磁弁を制御して昇降を行う。逆転用噛み合わせ部130eは、三角歯状の爪部である。一方は溝付き筒体130aの下側に固定され、他方は第2逆転駆動ギア127bの上側に固定される。正転用噛み合わせ部130fは、三角歯状の爪部である。一方は溝付き筒体130aの上側に固定され、他方は第3正転駆動ギア128cの下側に固定される。なお、上記の各噛み合わせ部の構造は、基本的にクラッチの機能を実現できる構造であればよく、先に示した機械的に突起部同士を嵌合させる構造や摩擦で駆動力を伝達する構造でも可能である。図3aで示すように、切換用シリンダ130dが溝付き筒体130aを矢印a方向に下降させて逆転用噛み合わせ部130eを噛み合わせ、第2逆転駆動ギア127bとインターナルギア駆動シャフト129とを連結する。この場合、インターナルギア135は逆転、つまりサンギア126と逆方向に回転する。なお、回転速度はサンギア126のピッチ円直径とインターナルギア135のピッチ円直径との線速度が同じとなるように調整されている。つまりワークキャリア138は自転のみ行う。また、図3bで示すように、切換用シリンダ130dが溝付き筒体130aを矢印b方向に上昇させて正転用噛み合わせ部130fを噛み合わせ、第3正転駆動ギア128cとインターナルギア駆動シャフト129とを連結する。この場合、インターナルギア135は正転、つまりサンギアと同じ方向に回転する。なお、回転速度は角速度が同じとなるように調整されている。つまりワークキャリア138は公転のみ行う。クラッチ130はこのようなものとなる。上側支持部131は、インターナルギア駆動シャフト129の上端を回動自在に支持する。下側支持部132は、インターナルギア駆動シャフト129の下端を回動自在に支持する。中間ギア133は、インターナルギア駆動シャフト129の上端に一体に固定されている。インターナルギア駆動シャフト129の回転に応じて一体に回転する。インターナルギア駆動体134は、円筒体であって中間ベース105の外周面で回動自在に支持されている。そして下側にインターナルギアが形成されており、中間ギア133と噛み合っている。中間ギア133により駆動力が伝達されると、インターナルギア駆動体134も回動する。インターナルギア135は、図1,図4で示すように、下定盤110の外周側に配置されている。なお、図1,図2ではピン135aを有するピンギアとして図示されているが、ピンギアに限定するものではなく、内周側に歯が形成された通常の歯車など、歯車として機能する各種の構成を採用することができる。インターナルギア回転駆動部はこのようなものである。原点検出センサ136は、第2サンギア駆動ギア124から下側に突出するドグ137を検出することで、サンギア126の原点を検出する。原点検出センサ136は図示しない演算制御部に接続されており、サンギア126の機械的な原点を検出する。ドグ137は、例えば金属体であり、原点検出センサ136の原点位置検出体として機能する。原点検出センサ136が例えば近接センサであれば、ドグ137が近接したときに原点として検出信号を出力する。また、原点検出センサ136が例えば光電センサであれば、ドグ137が近接したときに反射を受光して原点として検出信号を出力する。このように原点検出センサ136は原点検出が可能な各種のセンサを採用することができる。ワークキャリア138は、図1,図2,図4で示すように下定盤110上に配置されている。ワークキャリア138は、サンギア126およびインターナルギア135に噛み合うようになされている。なお、本形態では、ピンギアに噛み合うようになされているが、通常の歯面を外周に形成する形態としてもよい。ワークキャリア138においてワーク200を保持するワーク保持孔が形成される。ワークキャリア138はワークに応じて各種用意されており、1個のワークキャリア138に1個のワーク保持孔が形成されるものであったり、または、複数個のワーク保持孔が形成されるものであったりする。本形態では図4でも明らかなように例示的に5個のワーク保持孔を備えるワークキャリア138を用いるものとして説明する。そして、このようなワークキャリア138は、複数個本形態では例示的に5個配置されるものとして説明する。本形態ではワークは25個配置されることとなる。このような両面研磨装置100では、下定盤110、および、上定盤118はそれぞれが独立して回転するが、サンギア126、および、インターナルギア135は、逆転用ギアトレーン127によりサンギア126に対してインターナルギア135が逆転し、また、正転用ギアトレーン128によりサンギア126に対してインターナルギア135も同じ方向に正転するようになされている。下定盤駆動モータ106、上定盤駆動モータ111、サンギア駆動モータ122は、いずれもモータドライバ装置に接続され、演算制御部により回転が制御されており、回転速度を調節して最適なラッピングポリッシングを行う。さらに、サンギア駆動モータ122では、演算制御部により回転量も同時に制御されている。続いて、正転逆転について説明する。逆転時は、図3aで示すように、クラッチ130を逆転用ギアトレーン127第1のギアトレーンに連結する。すると、図4aで示すように、サンギア126とインターナルギア135は逆転し、かつサンギア126の線速度とインターナルギア135の線速度とが同じ線速度Vとなるため、ワークキャリア138は公転することなく自転のみする。この自転は、下定盤110および上定盤118にワーク200を挟んで研磨するときに行う。正転時は、図3bで示すように、クラッチ130を正転用ギアトレーン128第2のギアトレーンに連結する。すると、図4bで示すように、サンギア126とインターナルギア135は正転し、かつサンギア126の角速度とインターナルギア135の角速度とが同じ速度となるため、ワークキャリア138は自転することなく公転のみする。この公転は、ワークキャリア138をローディング位置およびアンローディング位置に移動させるときに行う。このような本発明では、1つのモータサンギア駆動モータ122でサンギア126およびインターナルギア135を駆動すると同時に、キャリア駆動時にワークキャリア138が公転せずに自転する回転比となるギア構成としているので、機械的に誤差が生じないようにしており、従来技術のように演算制御部での繰り返し計算により発生する累積誤差を考慮する必要がない。つまり、モータの回転数からワークキャリアの回転方向位置を容易に決めることができる。また、研磨時ではワークキャリア138はその場で自転するので公転によりずれが生じることはない。さらに、原点検出センサ136は、ワークキャリア138のセット時に、サンギア126の機械的原点を合わせる操作を行う際に用いられる。なお、従来の装置ではサンギアおよびインターナルギアのそれぞれに原点センサを設けているが、本発明ではサンギア126とインターナルギア135とは逆転用ギアトレーン127または正転用ギアトレーン128に連結されているので、インターナルギア135の機械的原点は特に定義する必要はなく、サンギア126の歯数を1ピッチとする整数倍の歯数の位置に位置決めされる。上記のように、本発明の両面研磨装置100では第1のワークキャリア138がワーク給排位置にあるときにサンギア126は原点位置にあるので、このタイミングで原点検出センサ136を使って機械的原点出しを毎回行うこともできる。更新された原点を基準として位置決めを行うため、正確な位置決めが行われる。よって、位置決め精度の確保あるいは確認を逐次行うことができ、装置の信頼性を向上させることができる。なお、通常の装置サンギアとインターナルギアが独立している装置では実施できないではこのような操作ができないので、次の各ギアをリセットするときまで誤差が累積することは避けられない。続いて研磨について説明する。研磨をする場合は、ワークキャリア138を自転のみ行わせる。ワークキャリア138を自転させる場合、サンギア126およびインターナルギア135を逆転用ギアトレーン127で機械的に繋ぐ。これにより、1台のサンギア駆動モータ122がサンギア126を駆動し、また、逆転用ギアトレーン127を介してインターナルギア135を駆動する。このような構成によれば、例えばサンギア126の回転数よりワークキャリア138の自転方向位置を容易に算出でき、所定の位置キャリアセット位置=ロード位置およびアンロード位置に停止させることが容易である。サンギア126の円周方向の任意の位置に原点検出センサ136があり、この位置が前記のキャリアセット位置となるのでこの原点検出センサ136の直前にドグ137が位置するようにすれば、原点にあるとして演算制御部が演算により算出した回転位置を0にリセットして位置決め誤差を逐次修正することができる。なお、従来の独立制御方式では、キャリアセット時にそれぞれのギアの機械原点を位置決めし、以降の制御はこの位置を基に回転数を積算していく。動作を開始してからは各ギアが同時に原点位置にくることは通常考えられないので、次回のキャリア回収~キャリア再セット時の原点出し操作まで積算データはリセットできず、誤差の累積拡大が生じてしまう。なお、サンギアに代えてインターナルギアの機械原点を検出するようにしてもよいが、サンギアおよびインターナルギアをともに原点検出する必要はない。続いて、両面研磨装置100よるローディング位置またはアンローディング位置への移動について説明する。下定盤110上のワークキャリア138に対するワーク200の給排動作時は、サンギア126が原点位置にあるときサンギア駆動モータ122とインターナルギア135との間を正転用ギアトレーン128に変更してサンギア126とインターナルギア135を同方向かつ同じ角速度で回転させることにより、ワークキャリア138を自転させず定盤中心軸回りに公転させる。自動化装置でのロードアンロード時は以上の公転動作を繰り返して、順次対象となるワークキャリアに対するワークの給排動作を容易に行うことができる。すべてのワークキャリア138との給排動作が終了し、さらに第1のワークキャリア138が給排位置に移動した時点で、再びサンギア駆動モータ122とインターナルギア135との間を逆転用ギアトレーン127で連結することにより加工時のキャリア自転動作を行うように設定する。以上、本発明の両面研磨装置100について説明した。このような本発明の両面研磨装置100によれば、以下のような利点を有する。1ワークキャリア138をその場で自転するようにサンギア126およびインターナルギア135の歯数比を設定して、1台のサンギア駆動モータ122により駆動する。以上により、ワークキャリア138内のワーク200を給排するときのワークキャリア位置決めが機械的に決定されて著しく容易となると同時に、位置決め精度も向上するので、自動化装置の信頼性が向上する。2第1のワークキャリア138がワーク給排位置にあるとき、逆転用ギアトレーン127から正転用ギアトレーン128へ切り替えて、各ワークキャリア138を自転させずに定盤中心軸回りに公転できるようにし、他のワークキャリア138をワーク給排位置へ移動させる。このような動作を繰り返すことで、ワークキャリア138毎のワーク200の給排作業が容易にできるようになる。3上記のすべての動作において、サンギア126の回転数~駆動装置回転数よりサンギア回転方向位置を容易に求められると同時に、従来の累積誤差などの影響による位置決め誤差が生じることがなく、高精度に位置決めすることができる。さらに、サンギア126およびインターナルギア135の各動作を1台の駆動装置サンギア駆動モータ122で容易に行うことができるので、簡易かつ安価にこれらの構造を構築することができる。続いて他の形態について説明する。研磨定盤上に円周方向に複数のワークキャリアを配置して1度に多数のワークを同時研磨する装置において、先に示した工程の自動化を図る方法としてワークのローディングおよびアンローディングをワークキャリア毎に行う場合がある。この場合には、任意の位置に配置したハンドリング装置により、定盤上の特定の位置にあるワークキャリアとの間でワークの給排が行われる。このような場合は、特定のキャリアのローディング位置と加工後のアンローディング位置とを一致させると同時に、複数のワークキャリアが順次上記のローディング位置およびアンローディング位置へ回転停止する必要がある。ここで、ワークの給排位置とは、ローディング位置およびアンローディング位置であり、ワークキャリアは同じ位置、同じ位相円周方向位置も同じに配置する必要がある。そこで、図5で示すように、両面研磨装置にハンドリング装置を組み込んだ形態とする。両面研磨装置100は、上記した形態に加え、さらにストックヤード300、ハンドリング装置400を備える。ストックヤード300は、詳しくはローディング用ストックヤードと、アンローディング用ストックヤードと、を備える。ハンドリング装置400は、ローディング用ストックヤードからワークを取り出してワーク給排位置にあるワークキャリア138にワークをローディングし、また、ワーク給排位置にあるワークキャリア138からワークを取り出してアンローディング用ストックヤードへワークを収容させる機能を有している。続いて、ローディングおよびアンローディングについて説明する。ローディング時では、演算制御装置はハンドリング装置400を制御し、ローディング用ストックヤードからワーク200を取り出してワーク給排位置にあるワークキャリア138にワークをローディングする。そして、図4bで示すようにワークキャリア138が公転のみして他のワーク未搭載のワークキャリア138をワーク給排位置に配置し、この状態でハンドリング装置400を制御し、ローディング用ストックヤードからワーク200を取り出してワークキャリア138にワークをローディングする。以下、同様の動作を繰り返していき、すべてのワークキャリア138にワークを配置する。また、アンローディング時では、演算制御装置はハンドリング装置400を制御し、ワーク給排位置にあるワークキャリア138からワークを取り出してアンローディング用ストックヤードへワークを収容させる。そして、図4bで示すようにワークキャリア138が公転のみして他のワーク搭載のワークキャリア138をワーク給排位置に配置し、この状態で演算制御装置はハンドリング装置400を制御し、ワーク給排位置にあるワークキャリア138からワークを取り出す。以下、同様の動作を繰り返していき、すべてのワークキャリア138からアンローディング用ストックヤードへワークを収容させる。本形態では、例えばワークキャリア138の回転方向位置合わせ後、第1のワークキャリア138に対してハンドリング装置400によりワークの給排を行い、その後、インターナルギア135の伝達系統を切り替えてワークキャリア138が姿勢を保持した状態で定盤中心軸回りに公転するようにして、第2のワークキャリア138以降のワークキャリア138を第1のワークキャリア138と同じ位置へ移動させて、ワークキャリア138毎にワーク200の給排を行うことができるようにしている。続いて実施例について説明する。先のワークキャリア138の枚数は、図6aでも示すように、5枚であるものとして説明した。この場合、サンギア126、インターナルギア135およびワークキャリア138の歯数は次のようになる。なお、以下に示す計算例の中で定義する係数;k1およびk2は、任意の整数であり、キャリア同士が干渉しない等の条件で任意に設定する数値である。一般には、ワークの形状や一度に加工できる枚数などを勘案して決定する。[数1]キャリア配置枚数;n=5係数;k1=8係数;k2=9キャリア歯数;k2×n=9×5=45サンギア歯数;k1×n=8×5=40インターナルギア歯数;2=2=130そして、これら歯数はワークキャリア138の枚数によって変更される。先のワークキャリア138の枚数を、図6bでも示すように、4枚とした場合、サンギア126、インターナルギア135およびワークキャリア138の歯数は次のようになる。[数2]キャリア配置枚数;n=4係数;k1=8係数;k2=12キャリア歯数;k2×n=12×4=48サンギア歯数;k1×n=8×4=32インターナルギア歯数;2=2=128また、先のワークキャリア138の枚数を、図6cでも示すように、3枚とした場合、サンギア126、インターナルギア135およびワークキャリア138の歯数は次のようになる。[数3]キャリア配置枚数;n=3係数;k1=6係数;k2=18キャリア歯数;k2×n=18×3=54サンギア歯数;k1×n=6×3=18インターナルギア歯数;2=218×3=126ワークキャリア138の枚数が3枚の場合は、サンギア126とインターナルギア135とで歯数の差が大きくなってこれ以下の枚数は好ましくなく、実際的にはワークキャリア138の枚数が3枚、4枚、5枚が適当であるが、もちろんこの数値に限定されるものではなく、適宜設計により最適な数値が選択される。"