内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサの故障判定を行うときには、前記PMセンサの故障検出を行わないときよりも、前記供給装置から供給する還元剤の量を多くし、該供給装置から供給する還元剤の量を多くしたときに前記PMセンサの検出値が変化した場合に、前記PMセンサが正常であると判定する判定部と、を備える内燃機関の排気浄化装置。前記判定部は、前記PMセンサの故障判定を行うときに、前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けるように前記供給装置から供給する還元剤の量を調整する請求項1に記載の内燃機関の排気浄化装置。前記判定部は、前記PMセンサの故障判定を行うときに、前記選択還元型NOx触媒の温度が所定値以下、排気の温度が所定値以下、排気の流量が所定値以上、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が所定値以上の少なくとも1つに該当するように、前記内燃機関を制御する請求項1または2に記載の内燃機関の排気浄化装置。本発明は、上記したような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、PMセンサの故障判定を精度よく行うことにある。上記課題を達成するために本発明に係る内燃機関の排気浄化装置は、内燃機関の排気通路に設けられ供給される還元剤によりNOxを還元する選択還元型NOx触媒と、前記選択還元型NOx触媒よりも上流側から還元剤を供給する供給装置と、前記選択還元型NOx触媒よりも下流側で排気中の粒子状物質の量を検出するPMセンサと、前記PMセンサの故障判定を行うときには、前記PMセンサの故障検出を行わないときよりも、前記供給装置から供給する還元剤の量を多くし、該供給装置から供給する還元剤の量を多くしたときに前記PMセンサの検出値が変化した場合に、前記PMセンサが正常であると判定する判定部と、を備える。ここで、供給装置から還元剤を供給したときに、排気や選択還元型NOx触媒の状態によっては、還元剤の一部が選択還元型NOx触媒を通り抜けてPMセンサに付着することがある。PMセンサに還元剤が付着すると、該PMセンサの出力値が変化してしまい、PMを正確に検出することが困難となる。これに対して判定部は、この特性を利用してPMセンサの故障判定を行う。このため、判定部は、PMセンサの故障判定行うときには、行わないときよりも、還元剤の供給量を増加させる。そうすると、還元剤が選択還元型NOx触媒を通り抜けやすくなる。そして、選択還元型NOx触媒を通り抜けた還元剤は、PMセンサに付着する。ここで、PMセンサが正常であれば、還元剤の付着により検出値が変化する。一方、PMセンサが故障している場合には、還元剤が付着しても検出値が変化しない場合もある。すなわち、還元剤の供給量を増加させたときに、PMセンサの検出値が変化すれば、PMセンサが正常であると判定できる。このように、PMセンサへ還元剤を積極的に付着させることで、PMセンサの故障判定を精度よく行うことができる。なお、還元剤には、供給装置から供給される物質、供給装置から供給される物質から最終的に生成される物質、供給装置から供給される物質から最終的に生成される物質に至るまでの中間生成物が含まれる。この何れかが選択還元型NOx触媒においてNOxと反応し、該NOxが還元される。たとえば、供給装置から尿素水を供給する場合には、尿素水は、アンモニアNH3に変化する。しかし、排気や選択還元型NOx触媒の状態によっては、尿素水からアンモニアに変化するまでの間に生成される中間生成物が選択還元型NOx触媒を通り抜けてPMセンサに付着することがある。PMセンサに中間生成物が付着すると、該PMセンサの出力値が変化する。そして、判定部は、PMセンサにより粒子状物質の量を検出するときには、中間生成物の生成量を多くしてもよい。また、本発明においては、前記判定部は、前記PMセンサの故障判定を行うときに、前記選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けるように前記供給装置から供給する還元剤の量を調整することができる。一般に、選択還元型NOx触媒へ還元剤を供給するときには、還元剤が選択還元型NOx触媒を通り抜けないように、排気中のNOx量に応じて、供給量が決定される。これに対し、排気中のNOx量に対して過剰な量の還元剤を供給することで、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける。これにより、PMセンサに還元剤を付着させることができるため、PMセンサの故障検出を精度よく行うことができる。なお、還元剤の量を調整するときには、単位時間当たりの供給量を調整してもよく、還元剤の供給時間を調整してもよい。また、当量比を10として還元剤を供給してもよい。また、例えば中間生成物の生成量が多くなるように、内燃機関を制御してもよい。これにより、PMセンサが正常であれば検出値が変化するため、PMセンサの故障判定の精度を高めることができる。そして、本発明においては、前記判定部は、前記PMセンサの故障判定を行うときに、前記選択還元型NOx触媒の温度が所定値以下、排気の温度が所定値以下、排気の流量が所定値以上、前記選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が所定値以上の少なくとも1つに該当するように、前記内燃機関を制御してもよい。ここで、選択還元型NOx触媒の温度が低い場合、または、排気の温度が低い場合、排気の流量が多い場合、選択還元型NOx触媒に吸着している還元剤の量が多い場合には、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすくなる。選択還元型NOx触媒の温度が低くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤が反応し難くなるため、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすくなる。すなわち、選択還元型NOx触媒の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒よりも上流側の排気の温度が低くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤が反応し難くなるため、該選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜けやすくなる。すなわち、排気の温度と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒を通過する排気の流量が多くなると、該選択還元型NOx触媒において還元剤の反応が終了する前に還元剤が該選択還元型NOx触媒を通り抜けやすくなる。すなわち、排気の流量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。また、選択還元型NOx触媒に吸着している還元剤量が多くなると、該選択還元型NOx触媒に還元剤が吸着し難くなるので、還元剤が該選択還元型NOx触媒を通り抜けやすくなる。すなわち、還元剤の吸着量と、選択還元型NOx触媒を通り抜ける還元剤の量と、には相関関係がある。このため、選択還元型NOx触媒の温度が所定値以下の場合、排気の温度が所定値以下の場合、排気の流量が所定値以上の場合、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量が所定値以上の場合の少なくとも1つに該当する場合には、PMセンサに還元剤が付着するものとして、PMセンサの故障判定を行うことができる。なお、ここでいう選択還元型NOx触媒の温度における所定値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける温度の上限値、または、PMセンサに還元剤が付着する温度の上限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が故障判定に必要な量となる選択還元型NOx触媒の温度を所定値としてもよい。また、排気の温度における所定値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける温度の上限値、または、PMセンサに還元剤が付着する温度の上限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が故障判定に必要な量となる排気の温度を所定値としてもよい。また、排気の流量における所定値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける流量の下限値、または、PMセンサに還元剤が付着する流量の下限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が故障判定に必要な量となる流量を所定値としてもよい。なお、排気の流量に代えて排気の流速としてもよい。また、還元剤の吸着量における所定値は、選択還元型NOx触媒を還元剤が通り抜ける吸着量の下限値、または、PMセンサに還元剤が付着する吸着量の下限値とすることができる。また、PMセンサに付着する還元剤量が故障判定に必要な量となる吸着量を所定値としてもよい。なお、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着量に代えて、選択還元型NOx触媒における還元剤の吸着率としてもよい。この吸着率は、吸着している還元剤量を、最大限吸着可能な還元剤量で除算した値である。本発明によれば、PMセンサの故障判定を精度よく行うことができる。以下、本発明に係る内燃機関の排気浄化装置の具体的な実施態様について図面に基づいて説明する。<実施例1>図1は、本実施例に係る内燃機関の排気浄化装置の概略構成を示す図である。図1に示す内燃機関1は、ディーゼル機関であるが、ガソリン機関であってもよい。内燃機関1には、吸気通路2及び排気通路3が接続されている。吸気通路2には、該吸気通路2を流通する吸気の量を検出するエアフローメータ11が設けられている。一方、排気通路3には、排気の流れ方向の上流側から順に、酸化触媒4、フィルタ5、噴射弁6、選択還元型NOx触媒7以下、NOx触媒7という。が設けられている。酸化触媒4は、酸化能を有する触媒であればよく、たとえば三元触媒であってもよい。酸化触媒4は、フィルタ5に担持されていてもよい。フィルタ5は、排気中のPMを捕集する。なお、フィルタ5には、触媒が担持されていてもよい。フィルタ5によってPMが捕集されることで、該フィルタ5にPMが徐々に堆積する。そして、フィルタ5の温度を強制的に上昇させる、所謂フィルタ5の再生処理を実行することで、該フィルタ5に堆積したPMを酸化させて除去することができる。たとえば、酸化触媒4にHCを供給することでフィルタ5の温度を上昇させることができる。また、酸化触媒4を備えずに、フィルタ5の温度を上昇させる他の装置を備えていてもよい。さらに、内燃機関1から高温のガスを排出させることでフィルタ5の温度を上昇させてもよい。噴射弁6は、還元剤を噴射する。還元剤には、例えば、尿素水等のアンモニア由来のものが用いられる。例えば、噴射弁6から噴射された尿素水は、排気の熱で加水分解されアンモニアNH3となり、その一部又は全部がNOx触媒7に吸着する。以下では、噴射弁6から還元剤として尿素水を噴射するものとする。なお、本実施例においては噴射弁6が、本発明における供給装置に相当する。NOx触媒7は、還元剤が存在するときに、排気中のNOxを還元する。例えば、NOx触媒7にアンモニアNH3を予め吸着させておけば、NOx触媒7をNOxが通過するときにNOxをアンモニアにより還元させることができる。酸化触媒4よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第一排気温度センサ12が設けられている。酸化触媒4よりも下流で且つフィルタ5よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第二排気温度センサ13が設けられている。フィルタ5よりも下流で且つ噴射弁6よりも上流の排気通路3には、排気の温度を検出する第三排気温度センサ14及び排気中のNOx濃度を検出する第一NOxセンサ15が設けられている。NOx触媒7よりも下流の排気通路3には、排気中のNOx濃度を検出する第二NOxセンサ16及び排気中のPM量を検出するPMセンサ17が設けられている。これらセンサの全てが必須というわけではなく、必要に応じて設けることができる。以上述べたように構成された内燃機関1には、該内燃機関1を制御するための電子制御ユニットであるECU10が併設されている。このECU10は、内燃機関1の運転条件や運転者の要求に応じて内燃機関1を制御する。ECU10には、上記センサの他、アクセルペダルの踏込量に応じた電気信号を出力し機関負荷を検出可能なアクセル開度センサ18、及び機関回転数を検出するクランクポジションセンサ19が電気配線を介して接続され、これらセンサの出力信号がECU10に入力される。一方、ECU10には、噴射弁6が電気配線を介して接続されており、該ECU10により噴射弁6が制御される。ECU10は、フィルタ5に堆積しているPM量が所定量以上になると、前記フィルタ5の再生処理を実施する。なお、フィルタ5の再生処理は、内燃機関1が搭載されている車両の走行距離が所定距離以上となったときに行ってもよい。また、規定期間ごとにフィルタ5の再生処理を実施してもよい。また、ECU10は、PMセンサ17により検出されるPM量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行う。ここで、フィルタ5が割れる等の故障が発生すると、該フィルタ5を通り抜けるPM量が増加する。このPM量の増加をPMセンサ17により検出すれば、フィルタ5の故障を判定することができる。例えば、フィルタ5の故障判定は、PMセンサ17の検出値に基づいて算出される所定期間中のPM量の積算値と、フィルタ5が所定の状態であると仮定した場合における所定期間中のPM量の積算値とを比較することで行われる。なお、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量に基づいて、フィルタ5の故障判定を行ってもよい。例えば、所定期間におけるPMセンサ17の検出値の増加量が閾値以上のときに、フィルタ5が故障していると判定してもよい。ところで、PMセンサ17の故障によりPMセンサ17の検出値が変化しないと、フィルタ5が故障しているにもかかわらず正常であると判定される虞がある。これに対してECU10は、PMセンサ17の故障判定を行う。ECU10は、PMセンサ17の故障判定を行うときに、還元剤がNOx触媒7を通り抜けるような制御を行う。そして、本実施例では、還元剤の供給量を増加させることにより、還元剤がNOx触媒7を通り抜けるようにする。このときには、NOxの還元に必要となる量よりも多い還元剤を供給する。すなわち、NOx触媒7で還元剤が消費されるよりも多い量の還元剤を供給する。なお、PMセンサ17の故障判定を行わないときには、排気中のNOx量に応じて還元剤が供給される。すなわち、排気中のNOxの還元に必要なる量だけ還元剤が供給される。したがって、PMセンサ17の故障判定を行うときには、行わないときよりも、還元剤の供給量が増加される。例えば当量比を10程度とすることで、NOx触媒7に対して過剰な還元剤を供給する。これにより、PMセンサ17に還元剤を付着させる。ここで図2は、PMセンサ17の概略構成図である。PMセンサ17は、自身に堆積したPM量に対応する電気信号を出力するセンサである。PMセンサ17は、一対の電極171と、該一対の電極171の間に設けられる絶縁体172と、を備えて構成されている。一対の電極171の間にPMが付着すると、該一対の電極171の間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗の変化は、排気中のPM量と相関関係にあるため、該電気抵抗の変化に基づいて、排気中のPM量を検出することができる。このPM量は、単位時間当たりのPMの質量としてもよく、所定時間におけるPMの質量としてもよい。なお、PMセンサ17の構成は、図2に示したものに限らない。すなわち、PMを検出し、且つ、還元剤の影響により検出値に変化が生じるPMセンサであればよい。そして、本実施例では、噴射弁6よりも下流側にPMセンサ17を設けているため、該噴射弁6から噴射される還元剤がPMセンサ17に付着する。このPMセンサ17に付着する還元剤は、たとえば、尿素、及び、尿素からアンモニアに至るまでの中間生成物ビウレット、シアヌル酸である。このようにPMセンサ17に還元剤が付着すると、PMセンサ17の検出値が変化する。すなわち、PMセンサ17が正常であれば、PMセンサ17に還元剤が付着することにより、検出値が変化する。このため、還元剤を過剰に供給したときに、検出値が変化増加すれば、PMセンサ17が正常であると判定することができる。一方、PMセンサ17が故障している場合には、PMセンサ17に還元剤が付着しても、検出値が変化しない。このため、還元剤を過剰に供給したときに、検出値が変化しなければ、PMセンサ17が故障していると判定することができる。このように、本実施例では、PMセンサ17の故障判定を行うときには、故障判定を行わないときよりも、還元剤がPMセンサ17に付着しやすくしている。図3は、本実施例に係るPMセンサ17の故障判定のフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、ECU10により、所定の時間毎に実行される。ステップS101では、フィルタ5の故障判定を行う要求があるか否か判定される。すなわち、フィルタ5の故障判定を行う時期であるか否か判定される。例えば、フィルタ5の再生処理をした後や、内燃機関1が始動してから規定時間が経過したとき、さらには、内燃機関1を搭載する車両の走行距離が規定距離に達したときなど、フィルタ5の故障判定が必要となる条件を予め設定しておき、該条件が成立したときに、フィルタ5の故障判定を行う要求があると判定される。ステップS101で肯定判定がなされた場合にはステップS102へ進み、一方、否定判定がなされた場合には本ルーチンを終了させる。ステップS102では、PMセンサ17によりPMが検出される。すなわち、ECU10は、PMセンサ17からの出力信号を取得する。ステップS103では、PMセンサ17から信号の出力があるか否か判定される。ここで、PMセンサ17が正常であれば、該PMセンサ17にPMまたは還元剤が付着すれば、該PMセンサ17から信号の出力がある。したがって、PMセンサ17から信号の出力があれば、PMセンサ17は正常であると判定できる。そして、ステップS103で肯定判定がなされた場合には、ステップS104へ進む。ステップS104では、フィルタ5が故障していると仮の判定がなされる。ここで、PMセンサ17から信号の出力があったときに、その信号がPMによるものであれば、フィルタ5が故障していると判定してもよいが、還元剤によるものであれば、フィルタ5は正常であると判定しなくてはならない。現時点では、PMセンサ17で検出されたものが、PMまたは還元剤の何れであるのか判定できない。そこで、ステップS104では、フィルタ5が故障していると仮に判定し、以降のステップにおいて、フィルタ5が本当に故障しているのか否か検証する。ステップS105では、PMセンサ17から還元剤を除去する処理が行われる。例えば、NOx触媒7の温度、または、NOx触媒7よりも下流の排気の温度が、中間生成物の気化する温度例えば、360°Cとなるように、内燃機関1が制御される。例えば、内燃機関1から排出されるガスの温度を上昇させるか、内燃機関1からHCを排出させて酸化触媒4で反応させることにより、NOx触媒7の温度、または、NOx触媒7よりも下流の排気の温度を上昇させる。なお、PMセンサ17のカバーをヒータで加熱して例えば360°Cとしてもよい。そうすると、PMセンサ17の温度が、中間生成物の気化する温度まで上昇するため、該PMセンサ17から中間生成物を除去することができる。ここで、中間生成物であるビウレットは、132-190°Cのときに生成され、それよりも温度が高くなると気化する。また、中間生成物であるシアヌル酸は、190-360°Cで生成され、それよりも温度が高くなると気化する。このように、PMと比較すると中間生成物は低温で気化する。このため、本実施例では、PMセンサ17の温度を360°C以上として中間生成物を気化させる。そして、この後にフィルタ5の故障判定を実施すれば、PMセンサ17の検出値は中間生成物による影響を受けないため、故障判定の精度が高くなる。そして、ステップS106では、フィルタ5の故障判定を実施する。例えば、PMセンサ17の検出値が閾値以上であれば、フィルタ5が故障していると判定される。一方、PMセンサ17から信号の出力がない場合には、PMセンサ17にPM及び還元剤が付着していないために出力がないのか、または、PMセンサ17が故障しているために出力がないのか判断する必要がある。このため、ステップS103で否定判定がなされた場合には、ステップS107へ進む。ステップS107では、PMセンサ17の故障判定の要求がなされる。そして、ステップS108では、還元剤が過剰に供給される。すなわち、NOxの還元に必要となるよりも多くの還元剤が供給される。このときは、予め設定された規定量を供給してもよい。また、第一NOxセンサ15または第二NOxセンサ16の検出値に基づいて、NOxの還元に必要となる還元剤量を算出し、それよりも多くの還元剤を供給してもよい。たとえば、排気中のNOxを還元するために必要となる還元剤量の10倍の還元剤量を供給してもよい。噴射弁6から噴射させる単位時間当たりの還元剤量を増加させてもよく、噴射弁6から還元剤を噴射する時間を延長してもよい。このときに供給する還元剤量は、PMセンサ17に中間生成物が速やかに析出するような値としてもよい。ステップS109では、ステップS108で還元剤の供給を開始してから所定時間が経過したか否か判定される。本ステップでは、PMセンサ17に付着している還元剤量が十分な量となる時間が経過したか否か判定される。すなわち、本ステップでは、PMセンサ17に十分な量の還元剤が付着しているか否か判定している。この所定時間は予め実験等により求めることができる。なお、ステップS108で供給される還元剤量に応じて、所定時間を変更してもよい。また、設定される所定時間に応じて、ステップS108で供給される還元剤量を変更してもよい。また、所定時間は、例えば10分間としてもよい。ステップS109で肯定判定がなされた場合には、ステップS110へ進む。一方、ステップS109で否定判定がなされた場合には、ステップS108へ戻る。すなわち、PMセンサ17に十分な量の還元剤が付着するまで、ステップS108とステップS109とが繰り返し実行される。ステップS110では、PMセンサ17によりPMが検出される。すなわち、ECU10は、PMセンサ17からの出力信号を取得する。ステップS111では、PMセンサ17から信号の出力があるか否か判定される。PMセンサ17には、多くの還元剤が付着しているために、PMセンサ17が正常であれば、該PMセンサ17から信号の出力がある。したがって、PMセンサ17から信号の出力があれば、PMセンサ17は正常であると判定できる。そして、ステップS111で肯定判定がなされた場合には、ステップS112へ進み、PMセンサ17は正常であると判定される。次いで、ステップS113では、PMセンサ17から還元剤を除去する処理が行われる。本ステップでは、ステップS105と同じ処理がなされる。一方、ステップS111で否定判定がなされた場合には、PMセンサ17に還元剤が付着しているのにもかかわらず、PMセンサ17から信号が出力されていない状態であるので、ステップS114へ進み、PMセンサ17が故障していると判定される。なお、本実施例では、ステップS108からステップS111、及びステップS114を処理するECU10が、本発明における判定部に相当する。以上説明したように、本実施例によれば、還元剤を過剰に供給することで、PMセンサ17が故障しているか否か精度よく判定することができる。<実施例2>本実施例では、実施例1で説明した還元剤を過剰に供給することに加えて、PMセンサ17に還元が付着しやすいように内燃機関1を制御する。その他の装置などは実施例1と同じため、説明を省略する。ここで、還元剤を過剰に供給してPMセンサ17に還元剤を付着させたとしても、例えば排気の温度が高くなることにより該還元剤が気化してしまうこともある。そこで本実施例では、排気の温度が低くなるように内燃機関1を制御する。例えば、内燃機関1の気筒内への燃料噴射時期を進角し、且つ、燃料噴射量を減量することで排気の温度が低下する。このときには、トルクが変化しないように燃料噴射時期及び燃料噴射量を決定してもよい。燃料噴射時期及び燃料噴射量は、予め実験等により最適値を求めておく。なお、内燃機関1の気筒内に燃料噴射が複数回行われる場合には、主噴射に相当する燃料噴射の時期及び量を変更する。また、燃料噴射圧を高くすることで排気の温度を低下させてもよい。これにより、気筒壁面に付着する燃料が多くなるので、排気の温度が低下する。なお、燃料噴射圧は、予め実験等により最適値を求めておく。また、燃料の主噴射の後にアフター噴射を実施している場合には、アフター噴射を停止させることで、排気の温度が低下する。さらに、排気弁の閉弁時期を変更可能な場合には、排気弁の閉弁時期を遅くすることによっても、排気の温度が低下する。排気弁の閉弁時期は、予め実験等により最適値を求めておく。なお、上記制御を組み合わせて排気の温度を低下させてもよい。図4は、本実施例に係るPMセンサ17の故障判定のフローを示したフローチャートである。本ルーチンは、ECU10により、所定の時間毎に実行される。なお、図3に示したフローのステップS107とステップS108との間の処理が異なるだけなので、この個所についてのみ説明する。ステップS201では、排気の温度が低くなるように内燃機関1が制御される。たとえば、内燃機関1の気筒内への燃料噴射時期を進角し、且つ、燃料噴射量を減量する。ステップS202では、PMセンサ17の温度が360°C未満であるか否か判定される。すなわち、中間生成物の気化する温度よりも低いか否か判定される。なお、PMセンサ17の温度は、第三排気温度センサ14により推定してもよい。また、NOx触媒7の温度がPMセンサ17の温度と等しいとしてもよい。さらに、PMセンサ17の温度を検出するセンサを備えていてもよい。ステップS202で肯定判定がなされた場合には、ステップS108へ進む。一方、ステップS202で否定判定がなされた場合には、ステップS203へ進む。ステップS203では、還元剤の過剰供給を行わず所定の時間待機し、その後、ステップS202へ戻る。すなわち、PMセンサ17の温度が低下するまで、還元剤の過剰供給を行わないようにしている。なお、還元剤の過剰供給を行わないで待機している時間が閾値を超えた場合には、本ルーチンを終了させてもよい。そして、次回の内燃機関1の始動時に、還元剤の過剰供給を行ってもよい。ここで、内燃機関1の始動時であれば、NOx触媒7やPMセンサ17の温度が低いため、PMセンサ17に還元剤が付着しやすい。なお、本実施例では、図3におけるステップS108からステップS111、ステップS114、図4におけるステップS201からステップS203を処理するECU10が、本発明における判定部に相当する。また、本実施例においては、排気の温度が低くなるように内燃機関1を制御することに代えて、NOx触媒7の温度が低くなるように内燃機関1を制御してもよい。また、排気の流量が多くなるように、または排気の流速が高くなるように内燃機関1を制御してもよい。さらに、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が高くなるように、またはNH3の吸着量が多くなるように内燃機関1を制御してもよい。また、これらを組み合わせてもよい。例えば、NOx触媒7または排気の温度が所定値以下となるように内燃機関1を制御してもよい。また、排気の流量が所定値以上となるように、または排気の流速が所定値以上となるように内燃機関1を制御してもよい。さらに、NOx触媒7におけるNH3の吸着率が所定値以上となるように、またはNH3の吸着量が所定値以上となるように内燃機関1を制御してもよい。これら所定値は、PMセンサ17に還元剤が付着する値として、予め実験等により求めることができる。ここで、NOx触媒7または排気の温度が低いと、尿素の熱分解などの反応に時間がかかるので、尿素の反応が完了する前にNOx触媒7を通過する。したがって、NOx触媒7または排気の温度を低くすることにより、中間生成物をNOx触媒7から流出させて、PMセンサ17に付着させることができる。また、排気の流量が多いと、尿素がNOx触媒7と接する時間が短くなるため、尿素の反応が完了する前にNOx触媒7を通過する。したがって、排気の流量を多くすることにより、中間生成物をNOx触媒7から流出させることができる。なお、排気の流速を高くするか、または、内燃機関1の吸入空気量を増加させてもよい。さらに、NOx触媒7に吸着しているNH3量が多いほど、加水分解が進み難くなるので、尿素の反応が完了する前にNOx触媒7を通過する。したがって、NOx触媒7に吸着しているNH3量を増加させることにより、中間生成物をNOx触媒7から流出させることができる。なお、NH3吸着率を高くしてもよい。NH3吸着率は、NOx触媒7に最大限吸着可能なNH3量に対する、NOx触媒7に吸着しているNH3量の比である。以上説明したように本実施例によれば、PMセンサ17に速やかに還元剤を付着させることができるため、PMセンサ17の故障検出を速やかに完了させることができる。