板状部材を含む被照射体に光を照射する光照射装置であって、前記被照射体を支持する支持手段と、前記被照射体に対して所定波長の光を照射可能な発光手段とを備え、前記支持手段は、水平面に対して傾斜した所定平面に位置する支持部を有し、前記所定平面に前記被照射体の被照射面を沿わせて当該被照射体を支持可能に構成され、前記発光手段は、被照射面の直交方向に対向して前記被照射体と相対配置されていることを特徴とする光照射装置。前記支持手段の支持部が位置する前記所定平面は、水平面に対して30°以上80°以下の傾斜角度を有して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。前記被照射体と前記発光手段とを前記所定平面に沿って相対移動させる移動手段を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光照射装置。板状部材を含む被照射体に光を照射する光照射方法であって、水平面に対して傾斜した所定平面に被照射面を沿わせて当該被照射体を支持し、前記支持した被照射体に対して前記被照射面の直交方向に対向する位置から所定波長の光を照射することを特徴とする光照射方法。ところで、近年、半導体ウェハの大径化が進み、大きなものでは18インチサイズウェハ外径が約450mmのものまで処理対象となっている。特許文献1に記載されたような従来の光照射装置では、被照射体を支持するガラスプレート等の支持手段が水平に設けられており、このような支持手段に対して作業者や搬送手段が上方から被照射体をセットすることになる。このため、従来の光照射装置では、装置設置のための水平投影面積装置が専有する設置面積が大きくなってしまうとともに、被照射体をセットするための作業者の労力増大や搬送装置の大型化などの不都合が生じることとなる。本発明の目的は、水平投影面積を縮小しつつ被照射体を容易にセットすることができる光照射装置および光照射方法を提供することにある。前記目的を達成するため、本発明の光照射装置は、板状部材を含む被照射体に光を照射する光照射装置であって、前記被照射体を支持する支持手段と、前記被照射体に対して所定波長の光を照射可能な発光手段とを備え、前記支持手段は、水平面に対して傾斜した所定平面に位置する支持部を有し、前記所定平面に前記被照射体の被照射面を沿わせて当該被照射体を支持可能に構成され、前記発光手段は、被照射面の直交方向に対向して前記被照射体と相対配置されている、という構成を採用している。この際、本発明の光照射装置では、前記支持手段の支持部が位置する前記所定平面は、水平面に対して30°以上80°以下の傾斜角度を有して設けられていることが好ましい。さらに、本発明の光照射装置は、前記被照射体と前記発光手段とを前記所定平面に沿って相対移動させる移動手段を備えることが好ましい。一方、本発明の光照射方法は、板状部材を含む被照射体に光を照射する光照射方法であって、水平面に対して傾斜した所定平面に前記被照射体の被照射面を沿わせて当該被照射体を支持し、前記支持した被照射体に対して前記被照射面の直交方向に対向する位置からから所定波長の光を照射することを特徴とする。以上のような本発明によれば、水平面に対して傾斜した所定平面に板状部材の被照射面を沿わせて被照射体を支持することで、支持された被照射体の水平投影面積を小さくして装置が専有する設置面積を縮小することとあわせて、装置に対する被照射体の投入方向の水平距離を小さくすることが可能となり、被照射体をセットするための作業者の労力増大や搬送装置の大型化などの不都合を抑制しつつ、被照射体を容易にセットすることができる。さらに、発光手段が被照射面の直交方向から光を照射可能に相対配置されているので、被照射体に対して均一な照度の光を照射することができる。以上において、水平面に対して30°以上80°以下の傾斜角度を有して所定平面が設けられていれば、水平投影面積を効果的に縮小しつつ、被照射体の投入と、投入した被照射体の支持を確実に実施することができる。さらに、移動手段によって発光手段と被照射体とを所定平面に沿って相対移動させつつ被照射体に光を照射することで、発光手段を小型化することができる。以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図1、2において、光照射装置1は、板状部材である半導体ウェハW以下、単にウェハWということがあるの表面に保護シート等の接着シートSが貼付された被照射体W1に光を照射する装置である。本実施形態の場合、被照射体W1は、ウェハWの裏面に貼付されたマウントシートMSを介してリングフレームRFと一体化された一体物WAとして供給される。接着シートSは、基材シートBSと、この基材シートBSのウェハW側の面に積層された接着剤層ADとからなり、接着剤層ADを介してウェハWに貼付されている。接着剤層ADは、光硬化型紫外線硬化型の接着剤で構成され、所定波長例えば、λ=365nmの光が照射されることによって硬化が始まり、その接着力が低下するように設計され、当該接着剤層ADが被照射面となる。ここで、水平面に対して所定角度θ本実施形態の場合60°傾斜し、かつ、図1の紙面と平行な方向をA軸とし、A軸に対し図1の紙面直交方向に交差する軸をB軸とし、A軸およびB軸に直交する軸をC軸とする。光照射装置1は、床Fまたは載置台に設置されるケース体2と、このケース体2の内部に設けられるとともに、リングフレームRFを介して一体物WAを支持する支持手段3と、ケース体2の内部側から石英ガラスGを通して被照射体W1の接着シートSに向かって所定波長の光を照射可能な発光手段4と、この発光手段4を図1中紙面直交方向に移動可能に支持する移動手段5と、被照射体W1、石英ガラスGおよび支持手段3で形成される空間SPに窒素ガス等の不活性ガスを供給する供給手段6とを備えて構成されている。以上各部の動作は、図示しない制御手段によって制御されるようになっている。なお、一体物WAは、リングフレームRFと一体の状態で図示しない搬送装置や作業者の手動によって光照射装置1に搬送、搬出される。ケース体2は、ケース体2内部に一体物WAを搬送、搬出する開口24を有した全体箱状のケース本体21と、ケース本体21に設けられ、回転軸23を中心として開口24を閉塞可能に設けられたカバー22とを有して構成されている。ケース本体21には、図示しないキーボードや操作スイッチ類等の操作手段や電源装置、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段等が設けられている。なお、カバー22は、駆動機器としての回動モータによって自動開閉するように構成してもよい。支持手段3は、ケース本体21に直接的または間接的に支持されるベース部材31と、このベース部材31に固定される支持部材32とを有して構成されている。これらのベース部材31と支持部材32とに挟持されるとともに隙間を密閉して石英ガラスGが取り付けられており、この石英ガラスGは、発光手段4から照射される光を被照射体W1の接着剤層ADに向かって透過可能であるとともに、発光手段4が発する熱の伝達を抑制可能に構成されている。ベース部材31は、矩形板状部材からなり、A軸およびB軸を含む所定平面としてのA-B平面と平行な支持面31Aを有し、支持面31Aから図1中右側斜め下方に掘り下げられた凹部の底面35と、当該底面35内に設けられた貫通穴36とを有して形成されている。なお、底面35もA-B平面と平行な面内に形成されている。石英ガラスGは、表面が支持面31Aと同一平面上に位置するように底面35上に設けられている。支持部材32は、A-B平面と平行な全体円環状で形成された表面32Aを有し、表面32Aから図1中右側斜め下方に掘り下げられた支持部33と、当該支持部33内に貫通穴34とを有して形成されている。なお、支持部33もA-B平面と平行な面内に形成されている。このような支持部材32の支持部33に接着シートSが石英ガラスG側となるように載置することで、ウェハWおよび接着シートSがA-B平面と平行になり、接着剤層ADが所定平面と平行に支持されるようになっている。この被照射体W1の支持状態において、石英ガラスGと、支持部材32の内周面部34と、被照射体W1の接着シートS側の面とで空間SPが形成されるようになっている。ここで、A-B平面の傾斜角度θとしては、30°以上80°以下であればよい。傾斜角度θが30°以上あればサイズの大きい一体物WAであっても、作業者が支持部33全体を簡単に目視確認することができる上、一体物WAを支持部33に立て掛けるように載置することが容易に行え、載置動作において前傾姿勢になることを回避できる。また、傾斜角度θが80°以下であれば、一体物WAを支持部33に立て掛けたときの安定感が増す。逆に、傾斜角度θが30°未満では傾斜角度θが0°のときと水平投影面積が殆ど変化しない上、支持部33を確認しながら載置することが困難である。その上、一体物WAに振動を与えないように慎重に載置するために装置内部に体を入れて作業しなければならず、余計な労力が生じてしまう。また、傾斜角度θが80°よりも大きくなると、一体物WAを支持部33に立て掛けてカバー22を開閉したときに、風圧によって一体物WAが手前に倒れてしまう可能性がある。発光手段4は、A-B平面と平行な支持面41Aを有するベース41と、この支持面41A上でA軸およびB軸方向へ所定間隔をあけて複数並設される光源42と、光源42から発光された拡散光を集光した収縮光ライン光を形成する図示しない反射板等の反射部材とを有して構成され、被照射面の直交方向に対向して相対配置されている。光源42は、LED発光ダイオード、LightEmittingDiodeランプや高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、ハロゲンランプ、レーザなど、紫外線を発光するものの他、接着シートSの接着剤層ADを硬化させる所定波長の光を発光できるもので構成されていればよい。また、このような発光手段4は、A軸方向に対する接着剤層ADの幅よりも長く形成されていればよく、光源42はベース41にA方向のみ所定間隔をあけて並設するように構成されていてもよい。移動手段5は、B軸方向に延び、ケース本体21に直接的または間接的に支持された駆動機器としての単軸ロボット51からなり、単軸ロボット51のスライダ52がベース41に固定されている。このような移動手段5によって発光手段4をA-B平面内でB軸方向に移動することで、光源42から発光された所定波長のライン光をその延出方向に直交する方向に移動させて順次接着剤層ADの全面に照射し、被照射面に対して均等な積算光量となるように照射可能に設けられている。供給手段6は、空間SPに窒素ガス等の不活性ガスを供給するものであって、図示しないタンクやファン、配管等を有する供給部61と、この供給部61に接続される配管62と、この配管62と連続するとともに支持手段3の支持部材32に設けられて空間SPに開口する給気口63と、この給気口63に対して支持部材32の反対側に設けられて空間SP内の酸素または給気された不活性ガスを排気する排気口64と、この排気口64接続される配管65と、配管65に接続されて空間SP内の気体を吸引する吸引部66とを備えて構成されている。以上のような光照射装置1の動作としては、先ず、適宜な搬送装置で搬送されるかまたは作業者の手動によって搬送された一体物WAを支持手段3に支持させ、カバー22を閉じてから操作スイッチをONにする。このように支持部33で被照射体W1を支持することで密閉空間SPが形成されるとともに、発光手段4および供給手段6がスタンバイ状態とされ、移動手段5によって発光手段4が初期位置に移動される。次に、供給手段6が不活性ガスを供給して空間SP内部に不活性ガスが充満され、接着剤層ADを含む接着シートSが不活性ガス雰囲気下におかれた状態において、接着剤層ADに対して発光手段4から発光されたライン光の照射を開始し、この発光手段4を移動手段5がB軸方向に移動させることで、接着剤層AD全体を硬化させる。接着剤層AD全体へのライン光の照射が終了したら、発光手段4の光源42を消灯するとともに供給手段6が空間SP内の不活性ガスを排気し、光照射装置1が停止する。その後、カバー22を開いて適宜な搬送装置または手動によって支持手段3から被照射体W1を搬出し、次工程の剥離装置等へ被照射体W1を搬送する。このようにして被照射体W1への光の照射が完了すると、次の被照射体W1に対して上述の動作を繰り返す。本実施形態によれば、次のような効果がある。すなわち、水平面に対して傾斜したA-B平面に沿って被照射体W1が支持されるので、支持された被照射体W1の水平投影面積を小さくして光照射装置1の設置面積を縮小するとともに、ケース体2への一体物WAの投入方向の水平距離を小さくすることが可能となり、被照射体W1をセットするための作業者の労力増大や搬送装置の大型化などの不都合を抑制しつつ、被照射体W1を支持手段3に容易にセットすることができ、作業効率を向上させることができる。以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は前記記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され且つ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状などの詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は本発明に含まれるものである。例えば、前記実施形態では、ウェハWに接着シートSが貼付された被照射体W1に光を照射する光照射装置1を例示したが、被照射体としては、板状部材であるウェハWおよび接着シートSで構成されたものに限られない。すなわち、本発明における板状部材および接着シートSの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、被着体が適宜な物品例えば、段ボールケースや樹脂容器等であって、接着シートSがラベルであってもよく、被着体が半導体ウェハである場合には、接着シートSが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材なども対象とすることができる。また、前記実施形態において支持手段3に支持する支持体は、ウェハWの裏面に貼付されたマウントシートMSを介してリングフレームRFと一体化された一体物WAとしたが、これに限らず、被照射体W1を支持体とし、裏面側から支持する構成とすればよい。また、供給手段6としては、前記実施形態のように給気口63が支持手段3の上方に設けられ排気口64が下方に設けられたものに限らず、給気口63が下方に排気口64が上方に設けられていてもよいし、給気口63や排気口64が各々複数箇所かつ任意の位置に設けられていてもよい。また、発光手段4としては、前述したような移動手段5によって移動されるものに限らず、被照射体の形状に応じた広さを有する発光面を有して構成され、発光面全体の一度の発光によって被照射体全面に光を照射可能なものでもよい。また、発光手段4はカバー22側に設けられてもよい。さらに、前記実施形態において照射する光は、反射部材を設け集光した収縮光を被照射面に照射する構成としたが、反射部材を設けなくてもよいし、屈折部材を設け光源から発光した光を平行光に変換する屈折部材を設けた構成としてもよい。また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる実施形態で例示したものと重複するものもある。