移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする欠陥検査システムであって、回転軸にカムが設けられたモータと、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、駆動範囲を定める設定値を入力する入力部と、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせることで前記マーキング手段を往復動させる制御部と、を有することを特徴とする欠陥検査システム。前記入力部は、前記マーキング手段が往復動する範囲を指定する設定値を入力し、前記制御部は、前記往復動する範囲に応じた回転角の範囲に従って、前記モータを正転及び逆転させる、ことを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査システム。前記入力部は、前記マーキング手段が設けられた作業室以外に設置されている、ことを特徴とする請求項1または請求項2いずれか一項に記載の欠陥検査システム。回転軸にカムが設けられたモータと、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、を備える欠陥検査システムにおいて、移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする方法であって、駆動範囲を定める設定値を入力部に入力する入力ステップと、前記マーキング手段を往復動させる制御部が、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせるモータ切り替えステップと、を有することを特徴とするマーキング方法。欠陥検査システムでは、マーキング装置におけるマーキング手段、例えばフェルトペンのペン先が早期に磨耗してマーキングを施すことが出来なくなり、或いは、ペン先が押し潰されて余分にインクが流出して連続シート状物を汚すといった不具合が生じ得る。このような不具合が生じた場合の対応において、以下に述べる問題があった。図4は、欠陥検査システムにおいて用いるマーキング装置90の構成を示す図である。マーキング装置90は、ACサーボモータ91と、駆動カムディスク92と、駆動リンク93と、を備える。ACサーボモータ91は、不図示の欠陥検査装置から欠陥部へのマーキングを指示する駆動開始信号が入力されると、自身の回転軸91aの回転動作を開始する。駆動カムディスク92は、ACサーボモータ91の回転軸91aに固定され、回転軸91aを中心に回転動作を行う。また、駆動リンク93は、駆動カムディスク92の回転運動を検査対象物3連続シート状物に対して垂直方向の上下運動に変換する。駆動リンク93は、その一端において連結部材93cにより、マーキング手段93aを保持する保持部材93bに固定され、他端において連結部材92aにより駆動カムディスク92の外周部に固定される。駆動リンク93は、連結部材93cの垂直方向における中心点が下死点BDCBottomDeadCentreの位置に来たとき、マーキング手段93aの先端部を検査対象物3に当接させる。そして、マーキング装置90は、検査対象物3上の欠陥の位置に垂直にマーキング手段93aを当接させることで、欠陥を示すマーキングを施す。なお、下死点BDCは、図4に示すように、回転軸91aの中心から連結部材92aの中心への距離を半径R92とする円C92と、回転軸91aから検査対象物3に垂直に引いた直線L90との交点で示される。このように、マーキング装置90では、駆動カムディスク92の回転運動の下死点において、マーキング手段93aにより検査対象物3にマークを施す構成である。そのため、上述したペン先の磨耗といった不具合が生じた場合、ペン先が検査対象物3に当接する面積が減少、あるいは当接しなくなるため、マーキングが視認できなくなる。そうすると、連結部材93cと保持部材93bとの接続を緩めるなどしてマーキング手段93aの検査対象物3に対する距離を調整し、その後連結部材93cと保持部材93bとの接続を固定するといった人手による位置調整作業が必要となる。この位置調整作業では、マイクロメータ等によりマーキング手段93aの検査対象物3に対する距離を微調整しつつ、目視によりマーキングの形状等を確認し、最適なマーキングとなるときのマーキング手段93aの位置を決めていた。このように、従来の欠陥検査システムでは、マーキング手段の位置調整には人手による煩雑な作業が必要であるという問題があった。また、この位置調整作業は、検査工程において少なくない頻度、例えば、連続稼働中であれば一日に2、3回程度発生する場合もある。検査工程は一般的にクリーンルームで行われるため、調整のためにクリーンルームに入室し、検査ラインを停止させて上述した位置調整作業を行なう必要がある。そのため、マーキング手段の位置を調整する作業時間の検査時間に占める割合が増大するにつれて、継続して最適なマーキングを検査対象物に施すことに支障が出るという問題があった。本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、人手による煩雑な位置調整作業を不要とし、かつ、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システムを提供することにある。上記の課題を解決するために、本発明の欠陥検査システムは、移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする欠陥検査システムであって、回転軸にカムが設けられたモータと、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、駆動範囲を定める設定値を入力する入力部と、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせることで前記マーキング手段を往復動させる制御部と、を有することを特徴とする。また、本発明は、上記欠陥検査システムにおいて、前記入力部は、前記マーキング手段が往復動する範囲を指定する設定値を入力し、前記制御部は、前記往復動する範囲に応じた回転角の範囲に従って、前記モータを正転及び逆転させる、ことを特徴とする。また、本発明は、上記欠陥検査システムにおいて、前記入力部は、前記マーキング手段が設けられた作業室以外に設置されている、ことを特徴とする。また、上記の課題を解決するために、本発明のマーキング方法は、回転軸にカムが設けられたモータと、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、を備える欠陥検査システムにおいて、移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする方法であって、駆動範囲を定める設定値を入力部に入力する入力ステップと、前記マーキング手段を往復動させる制御部が、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせるモータ切り替えステップと、を有することを特徴とする。本発明によれば、入力部から入力される設定値に従ってマーキング手段を往復動させるようにした。これにより、入力部から設定される設定値に応じて、マーキング手段が往復する範囲を変更することができる。よって、マーキング状態を容易に調整することができる。つまり、人手によるマーキング手段の位置調整作業を不要とし、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システムを提供できる。また、駆動範囲を定める設定値の入力を入力部から行なうことで、検査工程をストップさせることなく調整作業を行うことができる。以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は、本実施形態に係る欠陥検査システム1の概略構成図である。欠陥検査システム1は、一部が制御室2aに設けられ、残りの一部がクリーンルーム2bに設けられる。欠陥検査システム1は、制御室2a内に、画像処理装置13、入力装置24、及び制御部25を備える。また、欠陥検査システム1は、クリーンルーム2b内に、照明装置11、ラインセンサ12、及び欠陥マーキング装置20を備える。また、連続シート状の検査対象物3の表面に存在する欠陥を検査するための検査ラインは、クリーンルーム2b内において、検査対象物3が巻き回された供給ロール4と、搬送ロール5a、及び搬送ロール5bを介して検査対象物3を巻き取る巻き取りロール6とを備える。検査対象物3は、連続シート状の金属板、フィルム、布、不織布、樹脂板等であり、検査ライン上を供給ロール4から引き出され、搬送ロール5a及び搬送ロール5bにより搬送されることで移動する。欠陥検査装置10は、搬送ロール5a、及び搬送ロール5bの間において移動する検査対象物3の表面に光を照射する照明装置11と、検査対象物3からの反射光を受光して、その画像信号を得るラインセンサ12と、この画像信号を処理する画像処理装置13と、を備える。照明装置11は、検査対象物3上における光の照射範囲の長手方向が検査対象物3の移動方向に直交するように配置されたライン状の照明装置であり、例えば、蛍光灯、ロッド照明、光ファイバ照明等が挙げられる。ラインセンサ12は、撮像範囲の長手方向が検査対象物3の移動方向に直交するように配置されたライン状の光センサであり、検査対象物3からの反射光を受光し、検査対象物3の表面の光強度分布に応じた画像信号を出力する。ラインセンサ12としては、例えば、CCDChrageCoupledDeviceカメラが挙げられる。なお、図示する例では、ラインセンサ12を、照明装置11と同じく検査対象物3の表面側に配置する構成としている。照明装置11を、ラインセンサ12とは反対の検査対象物3の背面側に配置し、検査対象物3の背面から光を照射し、透過光をラインセンサ12が受光する構成としてもよい。画像処理装置13は、ラインセンサ12が出力した画像信号を、所定のプログラムにしたがって処理し、検査対象物3上に存在する欠陥を検出した場合、欠陥を検出したこと、及び検査対象物3の幅方向の位置と移動方向の位置とを表す欠陥位置情報とを示すマーキング開始信号Startをマーキング装置20に出力する。マーキング装置20は、ACサーボモータ21と、駆動カムディスク22と、駆動リンク23と、を含んで構成される。ACサーボモータ21は、画像処理装置13から検査対象物3の欠陥部へのマーキングを指示するマーキング開始信号Startが入力されると、制御部25から入力される回転角度設定信号ASに応じて自身の回転軸91aの回転動作を開始する。なお、図1において、半時計回りの回転を正転、時計回りの回転を反転とする。駆動カムディスク22は、円状のディスクであり、ACサーボモータ21の回転軸21aにディスクの中心が固定され、ACサーボモータ21の回転に応じて、回転軸21aを中心に回転動作を行う。駆動リンク23は、駆動カムディスク22の回転運動を検査対象物3に対して垂直方向の上下運動に変換する。駆動リンク23は、その一端において、連結部材22aによりマーキング手段23aを保持する保持部材23bが連結される。連結部材23c例えばピンと止め輪により連結されたマーキング手段23aの保持部材23b及びマーキング手段23aは、直線ガイド28図1において不図示により検査対象物3に対して常に垂直方向の直線運動となる詳細後述。マーキング手段23aとしては、例えば、先端部がペン先となって、このペン先がインクを貯めるペン軸と一体をなすマーキングペンを挙げることができる。先端部を構成するペン先としては、検査対象物3を破損するおそれがない点で、比較的柔らかい材質のもの、例えばフェルト束からなるものが用いられる。入力装置24は、制御室2aにいる作業者がマーキング手段23aと検査対象物3との間の距離を手入力することにより、この距離に対応する信号以下、距離Dαとするを制御部25に対して出力する。制御部25は、この距離Dαに基づいてACサーボモータ21の回転軸の回転を正転から反転へと切り替える角度連結部材22aの終点でもあるを指定する回転角度設定信号ASを、ACサーボモータ21に対して出力する。このように、欠陥検査システム1は、マーキング装置20において、回転軸回転軸21aにカム駆動カムディスク22が設けられたモータACサーボモータ21と、一端がカムに連結され、他端にマーキング手段マーキング手段23aが設けられ、カムの回転に応じて往復動することでマーキング手段によりマーキングする駆動リンク駆動リンク23と、を有している。また、欠陥検査システム1は、駆動範囲を定める設定値距離Dαを入力する入力部入力装置24と、入力部から入力された設定値に応じて、モータを正転と逆転とをさせることでマーキング手段を往復動させる制御部制御部25と、を有している。作業者は、制御室2aにおいて入力装置24にマーキング手段23aが往復動する範囲を指定する設定値距離Dαを入力する。制御部25は、この設定値に応じた回転角の範囲に従って、回転角度設定信号ASをACサーボモータ21に出力する。ACサーボモータ21は、回転角度設定信号ASに従って、回転軸21aを正転及び反転させ、駆動カムディスク22を介して接続された駆動リンク23、及びマーキング手段23aを往復動させる。なお、往復動とは、ACサーボモータ21の駆動によって、駆動リンク23またはマーキング手段23aが、その長手方向である直線方向へ往復する動作を表す。そして、このACサーボモータ21の回転軸21aが正転から反転へと転ずるときに、マーキング手段23aが検査対象物3の欠陥部に当接する。このように、本発明によれば、入力部入力装置24から入力される設定値距離Dαに従ってマーキング手段マーキング手段23aを往復動させるようにした。これにより、入力部から設定される設定値に応じて、マーキング手段が往復する範囲を変更することができる。よって、マーキング状態を容易に調整することができる。つまり、人手によるマーキング手段の位置調整作業を不要とし、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システムを提供できる。また、駆動範囲を定める設定値の入力を入力部から行なうことで、検査工程をストップさせることなく調整作業を行うことができる。具体的な一例として、ACサーボモータ21は、制御部25が出力する回転角度設定信号ASに応じて、連結部材22aの中心が下死点の位置に来る前の終点において回転運動を正転から反転へと切り替える。このACサーボモータ21が回転を正転から反転へと切り替えるとき、同時に、駆動リンク23も、下降から上昇へと動作の向きを変える。これにより、連結部材22aの中心が下死点の位置に来る前の終点に位置することとなり、連結部材22aの中心と検査対象物3との間の距離が最小となり、マーキング手段23aの先端部が検査対象物3に当接するこのようにして、マーキング装置20は、図1に示すようにマーキング手段23aの先端を検査対象物3に垂直に当接し、検査対象物3に欠陥を示すマーキングを施す詳細後述。以下、マーキング装置20の具体的な構成、及び動作について詳述する。図2は、マーキング装置20を説明するための図である。図2において、図1と同じ部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。図2a~図2c各々において示すように、保持部材23bの後方には、検査対象物3に垂直に設けられる支持板不図示に、その長手方向が検査対象物3に垂直となるように直線ガイドレール28aが固定される。摺動ブロック28bは、直線ガイドレール28a上を、上下方向に、すなわち検査対象物3に垂直となるように直線運動を行なう滑動部材である。この摺動ブロック28bと直線ガイドレール28aとにより、直線ガイド28を構成する。直線ガイド28のうち摺動ブロック28bは、保持部材23bとの間にマーキング手段23aを挟むように保持部材23bに固定され、保持部材23bとともにマーキング手段23aを保持する。これにより、直線ガイド28は、駆動リンク23とともに、駆動カムディスク22の回転運動に応じて、マーキング手段23aを検査対象物3に対して垂直方向の直線L0上で往復運動させる。図2aは、マーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接した状態を示している。図2aにおいて、直線L0は、ACサーボモータ21の回転軸21aの中心を通り、検査対象物3に対して垂直方向である直線を示す。直線L1は、直線L0に垂直であって回転軸21aの中心を通り、駆動カムディスク22の直径方向であり、かつ検査対象物3に対して平行方向である直線を示す。また、半径R22は、ACサーボモータ21の回転軸21aの中心と連結部材22aの中心との距離を示す。円C22は、ACサーボモータ21の回転軸21aの中心を、円の中心とする半径R22の円周を示す。マーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接した状態では、ACサーボモータ21の回転軸21aの中心と連結部材22aの中心とを通る直線直線L2とするは、直線L1と円C22の反時計回りの方向へ角度α0≦α≦90°をなし、連結部材22aの中心は終点MEに位置する。この終点MEは、直線L1と円C22との交点である下死点BDCとは異なる点である。つまり、ACサーボモータ21が、回転角度設定信号ASに応じて、直線L1と直線L2とのなす角度が角度αになるとき回転運動を正転から反転へと切り替えれば、駆動リンク23も下降から上昇へと動作の向きを変え、連結部材22aの中心を終点MEに位置することができる。これにより、連結部材22aの中心終点MEは検査対象物3から最小距離となり、マーキング手段23aの先端部は検査対象物3に当接する。図2bは、マーキング手段23aの先端を検査対象物3から距離Dαだけ離した状態を示している。つまり、連結部材22aの中心は、直線L1上に位置している。ここで、距離Dαと、図2aに示す角度α°との関係は、近似的に次式1で表される。距離Dα=半径R22×sin2π×角度α/3601例えば、半径R22=16mm、距離Dα=6.78mmであれば、角度α=25.07°である。そこで、制御室2aにいる作業者が距離Dαを図1に示す入力装置24に入力すると、制御部25が、式1に基づいて、直線L1と直線L2とのなす角度αを算出し、ACサーボモータ21がこの角度αになるとき回転軸21aの回転を正転から反転へと切り替える。これにより、連結部材22aの中心終点MEは検査対象物3から最小距離となり、マーキング手段23aの先端を検査対象物3に当接した状態とすることができる。また、図2aに示す様に、連結部材22aの終点MEを、直線L1と円C22との交点である下死点BDCとは異なる位置とした。そのため、マーキング手段23aの先端が磨耗などして、距離Dαが大きくなった場合でも、制御室2aにいる作業者が入力装置24から距離Dαを再設定し、制御部25がその距離Dαに応じて角度αを再設定することにより、図2aに示すようにマーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接した状態とすることができる。例えば、距離Dα=6.79mmとなった場合、式1より、角度α=25.11°であり、距離Dα=6.80mmとなった場合、式1より、角度α=25.15°である。このように、本実施形態では、入力装置24により距離Dαを10μm変化させると、角度αを0.04°変化させることができるので、いずれかの角度αにおいてマーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接した状態とすることができることになる。このように、距離Dαが変化しても、変化後の距離Dαを図1に示す入力装置24に入力し、ACサーボモータ21が調整後の角度αになる位置で回転軸21aの回転を正転から反転へと切り替えることにより、連結部材22aの中心終点MEは検査対象物3から最小距離となり、マーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接した状態とすることができる。つまり、図4を用いて説明したマーキング装置90では、連結部材92aの下死点BDCにおいてマーキング手段93aの先端が検査対象物3に当接する設定としている。そのため、マーキング手段93aの先端が磨耗するなどして、マーキング手段93aの先端が検査対象物3に当接しなくなった場合、連結部材93cと保持部材93bとの接続を緩め、或いは締める作業により、マーキング手段93aを保持部材93bに対して下方向にずらすなどして、連結部材92aの下死点BDCにおいて、マーキング手段93aの先端が検査対象物3に当接するように調整する必要があった。これに対して、本実施形態におけるマーキング装置20では、連結部材22aの終点MEにおいて、マーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接しなくなった場合であっても、制御室2aにいる作業者が入力装置24に距離Dαを再設定し、この距離Dαに応じて制御部25が角度αを再設定することで、マーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接するように調整することができる。なお、上述した例では、直線L1上に駆動カムディスク22の連結部材22aがある場合を基準にして、つまり、ACサーボモータ21の回転運動を角度αの範囲で行なう場合について距離Dαと角度αとの対応関係を説明したが、この例に限られない。図2cは、ACサーボモータ21の回転軸21aの初期点を示す図である。図2cにおいて、直線L2aは、回転軸21aの中心を通り、駆動カムディスク22の直径方向であり、かつ直線L1に対して時計回りに角度β0°<β≦270°-αをなす直線を示す。この図2cに示すように、駆動カムディスク22の連結部材22aの中心始点が、直線L2a上に位置するところから、ACサーボモータ21の回転運動を開始してもよい。この場合、距離Dβと角度αβの関係は、近似的に次式2で表される。距離Dβ=半径R22×sin2π×角度α/360半径R22×sin2π×角度β/3602例えば、角度α=角度βとすれば、距離Dβは上述した距離Dαの2倍の距離となる。制御室2aにいる作業者がこの距離Dβを図1に示す入力装置24に入力すると、制御部25が、式2に基づいて角度α及び角度βを算出し、この角度α及び角度βに従ってACサーボモータ21を駆動させる。これにより、ACサーボモータ21は、直線L2aと直線L1とのなす角度が角度αになる位置で回転軸21aの回転運動を正転から反転へと切り替えることで、連結部材22aの終点MEは検査対象物3から最小距離となり、マーキング手段23aの先端が検査対象物3に当接した状態とすることもできる。図3は、上述した距離Dα、或いは距離Dβを入力する入力装置24の概略構成図である。なお、以下では、距離Dαを入力する場合について、つまり図2bで示す位置の距離Dαを制御室2aにいる作業者が入力装置24に入力し、制御部25が角度αに従ってACサーボモータ21を駆動させる場合について説明する。入力装置24は、制御室2aにいる作業者が押下することにより入力する距離Dαを側へ増大する操作ボタン25a、距離Dαを-側に減少する操作ボタン25b、距離Dαを直接的な値として入力する入力欄26、及び実際に入力されたDαを表示する目盛付きの表示部27を含んで構成される。操作ボタン25a、及び操作ボタン25bは、それぞれインクリメントボタン、デクリメントボタンであり、作業者がボタンを一度押下する度に、距離Dαを所定の長さ例えば10μm単位で増加あるいは減少させることができる。入力欄26は、例えば距離Dαをm単位で小数第2位まで入力可能な入力部である。例えば、入力欄26は、所定の長さ例えば10μm単位で距離Dαを入力可能な入力部である。表示部27は、最小値MINと最大値MAXの間で設定された距離Dαを表示する。例えば、上記図2aに示す半径R22が16mmの場合、目盛の最大値MAXは16mm、目盛の最小値MINは0mmを表示する。終点MEの調整方法次に、上述した欠陥検査システム1において、検査対象物3上のマーキングが、マーキング手段23aの先端の磨耗等により、最適なマーキングを施すことが出来なくなった場合の連結部材22aの中心終点MEの調整方法について説明する。まず、図2を用いて説明した例と同じく、図2bに示すように距離Dαは検査ラインの稼動時においてDα=6.78mmの状態で、図2aに示すように直線L1と直線L2とが作る角度αを角度α=25°に初期設定する場合について説明する。制御室2aにおいて、作業者は、入力装置24の入力欄26に、距離Dαとして、例えば6.80をタッチパネルやキーボート等を用いて直接入力する。このとき、入力装置24の表示部27は、距離Dαを6.8mmの位置に応じた目盛で表示する。制御部25は、入力された距離Dα=6.80mmに応じた回転角度設定信号ASをACサーボモータ21に出力する。ACサーボモータ21は、画像処理装置13からマーキング開始信号Startが入力されると、回転角度設定信号ASに応じて、連結部材22aの中心を通る直線L2と直線L1が重なる位置図2b参照から反時計回りに回転運動を開始する。ACサーボモータ21は、直線L2と直線L1との間の角度が角度α=25.15°になると、直線L2と直線L1が重なる位置まで時計回りに回転運動をし、次の回転角度設定信号ASとマーキング開始信号Startとの入力を待つ。直線L2と直線L1との間の角度が角度αになったとき、マーキング手段23aの先端は直線L0上において最下点に位置し、検査対象物3にマーキングが施される。作業者は、制御室2aからクリーンルーム2bの検査ラインを流れる検査対象物3に施されたマーキングを目視する。作業者は、マーキングが予定のサイズよりも大きく、また、インクが滲みすぎていると判断した場合、距離Dα=6.80mmのままでは、マーキング手段23aの先端が検査対象物3におしつぶされるおそれがあるので、入力装置24の操作ボタン25bを押下し、距離Dαを10μm単位で、6.80mmより少ない値となるように調整する。制御部25は、式1により入力された距離Dαから角度αを算出し、算出した角度αに応じた回転角度設定信号ASをACサーボモータ21に出力する。ACサーボモータ21は、回転角度設定信号ASに応じて、距離Dαの設定値が10μm変化するたびに、角度αを約0.04°少ない角度へ変更する。例えば、作業者が入力装置24に距離Dα=6.77mmを入力した場合、制御部25は、式1より角度αを25.03°と算出し、角度α=25.03°に応じた回転角度設定信号ASをACサーボモータ21に出力する。ACサーボモータ21は、直線L2と直線L1との間の角度が角度α=25.03°になると、直線L2と直線L1が重なる位置まで時計回りに回転運動をし、次の回転角度設定信号ASとマーキング開始信号Startとの入力を待つ。作業者は、制御室2aからクリーンルーム2bの検査ラインを流れる検査対象物3に施されたマーキングを目視する。作業者は、目視したマーキングが、今度は形状が予定のサイズよりも小さく、また、目視で確認するには濃さが薄いと判断した場合、検査ラインをこのまま継続して稼動するには、このマーキングでは最適なマーキングではないので、入力装置24の操作ボタン25aを押下し、距離Dαを10μm単位で、6.77mmより大きい値となるように調整する。例えば、作業者が、入力装置24に距離Dα=6.78mmを入力する。これにより、マーキング装置20は、画像処理装置13からマーキング開始信号Startが入力されるたびに、距離Dα=6.78mmに従って、マーキングを検査対象物3の欠陥部に施す。作業者は、このマーキング状態を、制御室2aから目視し、マーキング状態に問題ないと判断すると、作業者は距離Dαの設定値をそのままにしておく。ところが、検査対象物3の欠陥検査を進めるうちに、マーキング手段23aの先端が磨耗するなどして、マーキング装置20の施すマーキングが初期に設定した最適なマーキングではなく、マーキングのサイズも小さく、また、目視で確認するには濃さが薄いマーキングとなってしまう場合がある。作業者は、マーキングが最適でなくなると、制御室2aにおいて入力装置24を操作することで、クリーンルーム2bに入室することなく、マーキング装置20の施すマーキングを最適なマーキングとすることができる。このように、本発明の欠陥検査システム欠陥検査システム1は、移動する検査対象部検査対象物3上に存在する欠陥部分を検出してマーキング開始信号マーキング開始信号Startを出力する欠陥検出装置欠陥検査装置10と、マーキング開始信号Startが入力されると、検出された欠陥部分にマーキングを施すマーキング装置マーキング装置20と、を備えた欠陥検査システムである。ここで、マーキング装置20は、マーキング開始信号Startが入力されると回転軸の回転を開始するACサーボモータACサーボモータ21と、ACサーボモータ21の回転軸回転軸21aに接続され、回転軸21aを中心に回転運動を行なう駆動カムディスク駆動カムディスク22と、一端にマーキングを施すマーキング手段マーキング手段23aを有し、他端が駆動カムディスク22の外周部に連結部材22aを介して接続され、駆動カムディスク22の回転運動を検査対象物3に対して垂直方向の上下運動に変換し、マーキング手段23aを検査対象物3に当接する駆動リンク駆動リンク23と、を含んで構成される。また、回転軸21aから連結部材22aに対する距離を半径半径R22とする円円C22と回転軸21aから検査対象物3に垂直に降ろした直線直線L0との交点である下死点下死点BDC以外の点が、連結部材22aの回転動作の終点終点MEとなるように回転動作を制御する、ことを特徴とする。本発明によれば、駆動カムディスク22をACサーボモータ21に固定する連結部材22aの中心の終点MEを、下死点BDC以外の点となるように、駆動カムディスク22の回転動作を制御する。連結部材22aが終点MEに位置することは、駆動リンク23が有するマーキング手段23aの先端が検査対象物3と当接することに対応する。これにより、連結部材22aの中心の終点MEを制御室2aに設けられた入力装置24から予め設定し、施されたマーキングの調整作業の必要が発生した場合であっても、この終点MEを再設定することで、駆動リンク23が有するマーキング手段23aの先端が検査対象物3と当接するようにできる。つまり、人手によるマーキング手段23aの保持部材23bにおける位置の調整作業を不要とし、保持部材23bによるマーキング手段23aの保持位置を変更せずに、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システム1を提供できる。また、連結部材22aの中心の終点MEの設定を制御室2aに設けられた入力装置24から行なうことで、検査工程をストップさせることなく調整作業を行うことができる。以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。例えば、幅方向に複数の欠陥が検出される場合に、マーキング装置20を検査対象物3の幅方向に複数配置し、互いに並行する複数のマークを検査対象物3にマーキングする構成としてもよい。また、上記実施形態では、マーキング手段23aが往復動する駆動範囲を、入力装置24から、距離Dαとして、あるいは距離Dαを増加あるいは減少させる値として入力し、制御部25は入力される距離Dαと式1により角度αを算出し、算出した角度αにおうじて回転角度設定信号ASを出力する構成を示した。しかしながら、これは一例であって、例えば、制御部25が、入力装置24から入力される識別信号により参照可能な、距離Dαを記憶するテーブルを有する構成としてもよい。この構成をとる場合、作業者が入力装置24から専用に設けられた操作ボタンを押下するなどして、入力装置24は、所定の識別信号を制御部25へ出力する。制御部25は、入力された識別信号に対応する距離Dαをテーブルから読み出し、式1に従い角度αを算出し、角度αに応じた回転角度設定信号ASを出力し、ACサーボモータ21の回転運動の正転及び反転制御を行なってもよい。また、距離Dαを記憶するこのテーブルに、各識別信号に角度αをそれぞれ対応付けて記憶しておき、入力装置24から識別信号が入力されると、制御部25が、この識別信号に対応する角度αを読み出し、角度αに応じた回転角度設定信号ASを出力してもよい。