現像剤像が記録媒体に転写された後の静電潜像担持体に残留する現像剤を、前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードであって、該クリーニングブレードは、前記静電潜像担持体に圧接する面に珪素酸化物を含む微粒子の層を備え、該微粒子の大きさは0.01μm以上1μm以下であることを特徴とするクリーニングブレード。現像剤像が記録媒体に転写された後の静電潜像担持体に残留する現像剤を前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードであって、前記クリーニングブレードは、金属からなるホルダーと、前記ホルダーと密着したブレード基板を備え、前記ブレード基板表面には、前記ホルダーに当接する面、及び前記静電潜像担持体と当接する面に珪素酸化物を含む微粒子の層を有し、該微粒子の大きさは0.01μm以上1μm以下であることを特徴とするクリーニングブレード。現像剤像が記録媒体に転写された後の静電潜像担持体に残留する現像剤を前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードの製造方法であって、前記クリーニングブレードは、少なくとも前記静電潜像担持体に圧接する面側が珪素酸化炎処理されることを特徴とするクリーニングブレードの製造方法。現像剤像が記録媒体に転写された後の回転する静電潜像担持体の周面に残留する現像剤を前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードの製造方法であって、前記クリーニングブレードは、金属からなるホルダーと、前記ホルダーと密着したブレード基板を備え、前記ブレード基板表面には、前記ホルダーに当接する面、及び前記静電潜像担持体と当接する面に珪素酸化炎処理がされることを特徴とするクリーニングブレードの製造方法。トナー担持体に当接して、該トナー担持体上にトナー層を形成するトナー規制ブレードであって、トナー層に当接する面に珪素酸化物を含む微粒子の層を備え、前記微粒子の大きさは0.01μm以上1μm以下であることを特徴とするトナー規制ブレード。しかしながら、特許文献1記載のコーティング層や、特許文献2記載の摩擦帯電剤層は、薄く均一な層をブレード表面に形成することが困難で、層が厚いために亀裂が発生し易いという問題があった。また、特許文献1、2等に記載の塗布や塗装による層形成方法は、塗布層形成後、数時間から数日乾燥させる工程が必要になるという問題もあった。そこで、本発明はかかる課題を解決するためになされたものであり、薄く均一で亀裂等が発生しにくい層を有するブレード、及び該ブレードを短時間で形成する製造方法を提供することを目的とする。本発明に係るクリーニングブレードは、現像剤像が記録媒体に転写された後の静電潜像担持体に残留する現像剤を、前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードであって、該クリーニングブレードは、前記静電潜像担持体に圧接する面に珪素酸化物を含む微粒子の層を備え、該微粒子の大きさは0.01μm以上1μm以下であることを特徴とする。さらに、本発明に係るクリーニングブレードは、現像剤像が記録媒体に転写された後の静電潜像担持体に残留する現像剤を前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードであって、前記クリーニングブレードは、金属からなるホルダーと、前記ホルダーと密着したブレード基板を備え、前記ブレード基板表面には、前記ホルダーに当接する面、及び前記静電潜像担持体と当接する面に珪素酸化物を含む微粒子の層を有し、該微粒子の大きさは0.01μm以上1μm以下であることが好ましい。また、本発明に係るクリーニングブレードの製造方法は、現像剤像が記録媒体に転写された後の静電潜像担持体に残留する現像剤を前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードの製造方法であって、前記クリーニングブレードは、少なくとも前記静電潜像担持体に圧接する面側が珪素酸化炎処理されることを特徴とする。さらに、本発明に係るクリーニングブレードの製造方法は、現像剤像が記録媒体に転写された後の回転する静電潜像担持体の周面に残留する現像剤を前記静電潜像担持体に圧接して除去するクリーニングブレードの製造方法であって、前記クリーニングブレードは、金属からなるホルダーと、前記ホルダーと密着したブレード基板を備え、前記ブレード基板表面には、前記ホルダーに当接する面、及び前記静電潜像担持体と当接する面に珪素酸化炎処理がされることが好ましい。また、本発明に係るトナー規制ブレードは、トナー担持体に当接して、該トナー担持体上にトナー層を形成するトナー規制ブレードであって、トナー層に当接する面に珪素酸化物を含む微粒子の層を備え、前記微粒子の大きさは0.01μm以上1μm以下であることを特徴とする。本発明によれば、薄く均一な層が短時間で形成可能で、亀裂等が発生しにくい層を有するクリーニングブレード、及びクリーニングブレードの製造方法、並びにトナー規制ブレードを提供することができる。以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を詳細に説明する。実施形態1クリーニングユニットの構成図1は、本発明の一実施形態におけるクリーニングユニットの概略構成図である。クリーニングユニット10は、静電潜像担持体5に隣接して、トナー回収部11と、ブレード支持部材12と、クリーニングブレード13と、開口部14とを備える。トナー回収部11は、静電潜像担持体5の表面から除去される残留トナーなどの付着物を収容する。静電潜像担持体5に近接した位置に開口部14が形成される。クリーニングブレード13は、ブレード支持部材12を介してトナー回収部11に装着され、静電潜像担持体5の表面に当接するように設けられ、残留トナーや紙粉などの付着物を掻き取る。開口部14に近接したトナー回収部11の上縁部分にブレード支持部材12が設けられる。クリーニングブレードの構成図2は、クリーニングブレード13の静電潜像担持体5に対する当接状態を示す図である。クリーニングブレード13は、軸方向の一方の端部がブレード支持部材12に装着され、他方の自由端の端部131が、静電潜像担持体5の表面に当接するようにブレード支持部材12に装着される。クリーニングブレード13の静電潜像担持体5に対する当接点を通り、静電潜像担持体5の表面に接する接線32と、クリーニングブレード13との成す角度を当接角度θとするとき、クリーニングブレード13は、当接角度θが10~40度になるように、かつ静電潜像担持体5に対する線圧が0.1~0.5N/cmの範囲になるように調整して装着される。静電潜像担持体5の表面に当接するクリーニングブレード13によって静電潜像担持体5の表面から除去されたトナーや紙粉などの付着物は、トナー回収部11内に落下し、落下した付着物が、トナー回収部11の内部に設けられる不図示の残留トナー搬送手段によって排出されるので、残留トナー等がトナー回収部11に詰まることがない構成となっている。図3は、本発明の一実施形態に係るクリーニングブレード13の概略図である。尚、簡単ため、図3においてトナー回収部11の図示は省略した。クリーニングブレード13は、平面形状が略長方形の平板であり、ブレード基板132と、珪素酸化炎処理層133とを有する。珪素酸化炎処理層133は、静電潜像担持体5と当接するブレード基板132の一面には少なくとも形成されており、後に詳述する珪素酸化炎処理を行うことで形成する。ブレード基板132は、良好なクリーニング性を得るために、静電潜像担持体5との密着性を確保できる程度の弾性を有するものであればよく、その素材としては特に限定はされないが、例えば、ウレタン樹脂等のゴム素材や、ステンレス鋼、アルミ合金、炭素鋼、制振合金等の金属素材が用いられる。また、静電潜像担持体5の軸線方向と並行に延ぶ長さをブレード基板132の幅Lとし、ブレード支持部材12に対する装着部から静電潜像担持体5に向かって延びる方向の長さをブレード基板132の長さとする。珪素酸化炎処理実施形態1に係るクリーニングブレード13は、珪素酸化炎処理層133を備えることを特徴とする。珪素酸化炎処理とは、燃料ガス中にシランガス等を導入した火炎を用いて、固体表面にSiO2などの珪素酸化物を主成分とする数10nmの粒子からなる層を形成する表面処理方法である。図4は、珪素酸化炎処理の方法を示した概略図である。図4で示すように、まずゴム層332を一定速度vで移動させながら、その上面にバーナーCから距離Hをとって火炎を照射する。図4中の矢印Bは、ゴム層332の移動方向を表す。反応状態は、火炎のシランガスの添加量、火炎と固体表面の距離H、ゴム層332の移動速度vなどによって変化させることができ、形成される珪素酸化物の量や粒径などが自由に調整可能である。例えば、シランガスの添加量として0.5~2.0mL/min、火炎バーナーと固体表面の距離Hとして10~50mm、試料移動速度vとして10~35m/minなどと設定できる。シランガスの添加量と試料移動速度vは固体表面における珪素酸化被膜の膜厚や被覆率に影響し、距離Hは生成される珪素酸化物微粒子の大きさに影響する。従来の薄膜形成方法として、通常の蒸着やメッキといった方法も考えられるが、例えば、通常の蒸着では、真空或いは不活性ガスを注入した環境下で蒸着材料を加熱し、気化若しくは昇華して薄膜形成させるため、熱や電気エネルギーが必要となる上、装置が大型化する傾向がある。また、メッキでは、液体中での反応を利用するため、前処理工程が必要となり、コストや時間がかかるデメリットがある。従来、塗布により形成された層は、少なくとも1μm以上の厚さにする必要があり、亀裂が発生し易いという問題があったが、本発明によれば、珪素酸化炎処理によって形成された層は、数10nmの粒子からなる層であり、層の厚さを1μm以上にする必要は無く、亀裂が発生し難い。層の厚さを鑑みると、珪素酸化物の粒子径は、0.01μm以上1μm以下であることが好ましい。0.01μm未満の粒子は作成困難であり、1μmを超える微粒子では、微粒子同士が凝集しやすくなり、均一な層を形成できず、また、微粒子が層から剥がれる可能性が大きくなるため、安定したクリーニング性能を維持できなくなる。さらに、珪素酸化炎処理を行うことにより、ブレード表面、すなわち、珪素酸化炎処理層133の親水性が向上し、トナーが付着しにくくなる。なぜなら、トナー粒子は、ポリエステルやスチレン/アクリルといった合成樹脂成分を主体としており、疎水性を有しているため、静電潜像担持体5表面の残留トナーを効率的に回収するには、クリーニングブレード13表面がトナーとは異なる親水性であることが、トナーとクリーニングブレード13間の付着力を低減させることになる。また、珪素酸化炎処理は、処理時間が数秒と短く、前処理や後工程も不要となるため、従来のように、数時間から数日乾燥させる工程が必要な、塗布による層形成方法に比べて、生産性が格段に向上する。連続プリントテスト以下、珪素酸化炎処理されたクリーニングブレード13の一例を示す。クリーニングブレード13は、ブレード基板132として、長さ20mm、幅300mm、厚さ0.1mmのステンレス鋼SUS304を用い、静電潜像担持体と当接する面に珪素酸化炎処理を施し、珪素酸化炎処理層を形成した。このときのシランガスの添加量は、1.5mL/min、火炎と固体表面との距離は30mm、試料移動速度は20m/minとした。次に、長期ランニングテストによって、クリーニングブレードのクリーニング性と耐久性の評価を行った。上記クリーニングブレード13を、クリーニングユニットに装着し、改造した画像形成装置AR-5030シャープ株式会社製に搭載し、体積平均粒子径が8.5μmの非磁性黒トナーを用いて常温常圧環境下で40000枚の連続長期ランニングテストを行った。ランニングテスト後、静電潜像担持体表面及び形成された画像におけるトナー融着の有無及びカブリの状態を目視観察し、クリーニング性を評価した。また、ランニングテスト後のクリーニングブレードを光学顕微鏡にて観察し、ブレード先端の磨耗や欠け、又はホルダーと樹脂の接着面の剥離の有無を確認し、耐久性を評価した。実施形態1におけるクリーニングブレードを装着したクリーニングユニットは、繰り返し使用してもトナーの融着やすり抜けによるカブリがなく、クリーニング効果を長期間維持することができた。また、ブレード先端の磨耗や欠けに起因する静電潜像担持体の損傷もなく、耐久性も良好であった。実施形態2実施形態2のクリーニングブレード13は、ホルダー134を備えたものである。その他の構成は実施形態1のクリーニングユニット10と同様である。図5は、実施形態2に係るクリーニングブレード13と周辺部を表した概略図である。実施形態2のクリーニングブレード13は、ブレード基板132の静電潜像担持体5表面と当接する面とは逆の面側に金属製のホルダー134を備える。クリーニングブレード13はホルダー134を備えることで、クリーニングブレード13の反りを抑えることによって、良好なクリーニング性能を発揮することができる。ブレード基板132は、静電潜像担持体5表面と当接する面と、少なくともホルダー134と接触する部分とは珪素酸化炎処理層133を有している。珪素酸化炎処理は、各種材料間の接着性を向上させることができるため、ホルダー134と接触するブレード基板132上に珪素酸化炎処理層133を形成することで、ブレード基板132とホルダー134との接着性を向上させることができ、長期に亘って良好なクリーニング性能を維持できる。連続プリントテスト以下、珪素酸化炎処理され、金属製のホルダー134が当接されたクリーニングブレード13の一例を示す。クリーニングブレード13は、ブレード基板132として、長さ20mm、幅300mm、厚さ3mmのウレタン樹脂を用い、長さ8mm、幅300mm、厚さ3mmの金属製のホルダー134及び静電潜像担持体と当接する面に珪素酸化炎処理を施し、珪素酸化炎処理層を形成した。このときのシランガスの添加量は1.0mL/min、火炎と固体表面との距離は20mm、試料移動速度は15m/minとした。次に、長期ランニングテストによって、クリーニングブレードのクリーニング性と耐久性の評価を行った。上記クリーニングブレード13を、クリーニングユニットに装着し、改造した画像形成装置AR-5030シャープ株式会社製に搭載し、体積平均粒子径が8.5μmの非磁性黒トナーを用いて常温常圧環境下で40000枚の連続長期ランニングテストを行った。ランニングテスト後、静電潜像担持体表面及び形成された画像におけるトナー融着の有無及びカブリの状態を目視観察し、クリーニング性を評価した。また、ランニングテスト後のクリーニングブレードを光学顕微鏡にて観察し、ブレード先端の磨耗や欠け、又はホルダーと樹脂の接着面の剥離の有無を確認し、耐久性を評価した。実施形態2におけるクリーニングブレードを装着したクリーニングユニットでは、ホルダーと樹脂の密着性も良好で、樹脂の剥離等によるクリーニング性能の低下もなく、高品位な画像を維持できた。実施形態3現像ユニットの構成図6は、実施形態3における現像ユニット30の構成を示した概略図である。現像ユニットは、現像ローラ31、供給ローラ32、トナー規制ブレード33、及び高圧電源34を備える。現像ローラ31は静電潜像担持体5に近接して設置され、供給ローラ32によってトナーが供給される。トナー規制ブレード33は、トナー層を規制するもので、トナーを帯電させるために高圧電源34と接続されている。トナー規制ブレードの構成トナー規制ブレードとは、現像装置において、トナー担持体である現像ローラ上に形成されるトナー層の厚みを規制するためのブレードである。図7は、実施形態3におけるトナー規制ブレードの構成図である。トナー規制ブレード33は、金属プレート331、ゴム層332、珪素酸化炎処理層3321を備え、トナーを帯電させるための高圧電源34と接続している。金属プレート331は、使用前のトナーを収容する現像剤収容部図示せずに保持され、現像ローラ31当接面にはゴム層332が担持されている。ゴム層332は、現像ローラ31当接面に珪素酸化炎処理層3321を有し、現像ローラ31の表面に形成されるトナー層の膜厚を規制し、同時に、珪素酸化炎処理層3321と現像ローラ31との間を通過するトナーへ、接触摩擦により電荷を付与する。実施形態3に係るトナー規制ブレード33は、珪素酸化炎処理層3321を備えることを特徴とする。尚、珪素酸化炎処理は、実施形態1におけるブレード基板132を、実施形態3におけるゴム層332に置き換えることで行うことができるので説明は省略する。トナー規制ブレードの動作供給ローラ図示せずによりトナーがくみ上げられ、現像ローラ31にトナー層が形成される。形成されたトナー層は、トナー規制ブレード33を通過する際に、トナー規制ブレード33からの圧力で規制されると同時に帯電される。トナー規制ブレード33を通過したトナー層は、現像ローラ31の電位と静電潜像担持体5上の潜像電位に応じて静電潜像担持体5に現像が行われることにより静電潜像が可視化される。以下、実施形態3におけるトナー規制ブレード33の一例を示す。金属プレート331は、長さ35mm、幅320mm、厚さ0.1mmのステンレス鋼SUS製である。ゴム層332は、長さ10mm、幅320mm、厚さ1.0mmのJISA硬度20~75のポリウレタンを用い、該ゴム層332のトナー層当接面に珪素酸化炎処理を施し、珪素酸化炎処理層3321を形成した。このときのシランガスの添加量は、1.5mL/min、火炎と固体表面との距離は30mm、試料移動速度は20m/minとした。珪素酸化物粒子の粒子径確認珪素酸化炎処理された面上の珪素酸化物粒子の大きさを測定した。珪素酸化物粒子の確認には、電子顕微鏡を用いた。図8は、実施形態3の珪素酸化炎処理層3321を電子顕微鏡にて観察した画像である。これにより、微粒子の径が数10nm程度であることが確認できた。酸化珪素微粒子の径が1μm以上になると、微粒子どうしが凝集しやすくなり、均一な珪素酸化炎処理層が形成されず、また、被膜から微粒子が剥がれる可能性が大きくなるため、1μm以下であることが好ましい。プリントテストトナー規制ブレード33を組み込んだ現像装置を用いて、画像評価を行うと、ライフを通じて白筋等のない良好な画像が得られ、滑り性が向上したことにより、良好な帯電性能を維持できたと同時に、過度なストレスによるトナーの融着やブレードの劣化が抑制された結果であると考えられる。また、ブレード表面に微粒子が露出していることにより現像ローラ31との滑り性は良好で、異常画像が発するような現象も確認されなかった。現像ローラ31との滑り性が悪いと、使用開始時においてブレードが振動してトナー層形成が不均一になり、その結果、異常画像が発するような現象が起こる。また、珪素酸化炎処理は、処理したい基材の表面を0.1秒~数秒程度通過させるだけで済むため、従来のスプレーコート等のような湿式コーティング法では必要とされる塗膜形成後数時間から数日乾燥する工程が不要となり、生産性が大きく向上した。トナー規制ブレード33のトナー層当接面を粗面化するために、0.01μm以上が好ましく、微粒子の大きさは1μm以下であることが好ましい。これ以上の大きさの微粒子では基材表面の凹凸により、トナー層が不均一になる可能性がある。