"固定子と、前記固定子上に配置された移動子と、前記固定子に信号を出力して前記移動子の動作を制御する制御装置と、を備え、前記固定子は、一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の主動作用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極に直交する方向で前記複数の主動作用線状電極に隣接し且つ前記複数の主動作用線状電極に対して平行に配置された検出用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極との間に前記検出用線状電極が位置するように前記検出用線状電極と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されたグランド電極と、を有し、前記制御装置は、帯電した前記移動子と前記検出用線状電極との間の距離が変化することによる前記検出用線状電極と前記グランド電極との間の電位差の変化に対応する検出信号に基づいて、前記移動子の位置を検出することを特徴とする静電アクチュエータ。前記制御装置は、前記固定子の前記主動作用線状電極に印加する信号が変化しないタイミングにおいて、前記電位差に応じた電位差信号を取得する演算回路を有することを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエータ。前記演算回路は、前記電位差に応じた電位差信号のパターンを認識し、前記電位差信号に含まれるパルス波を除去することにより、前記電位差信号に含まれる前記検出信号を抽出することを特徴とする請求項2に記載の静電アクチュエータ。前記制御装置は、前記電位差信号をアナログデジタル変換するアナログデジタル変換器をさらに有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。前記制御装置は、前記電位差信号をフィルタリングするローパスフィルタを備えることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。前記制御装置は、前記検出信号に基づいて、前記移動子が前記検出用線状電極に近接した状態であると判断することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。前記制御装置は、前記検出信号を連続して複数回検出した場合に、前記移動子が前記検出用線状電極に近接した状態であると判断することを特徴とする請求項6に記載の静電アクチュエータ。前記制御装置は、前記検出信号を検出した場合には、前記移動子の駆動を止める、または、前記移動子を逆方向に駆動させることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。前記制御装置は、前記検出信号を検出した場合には、前記移動子を所定期間そのまま駆動した後、前記移動子の駆動を止める、または前記移動子を逆方向に駆動させることを特徴とする請求項8に記載の静電アクチュエータ。前記検出用線状電極の幅は、前記主動作用線状電極の幅よりも太いことを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。前記検出用線状電極の幅は、前記主動作用線状電極の幅の3倍であることを特徴とする請求項10に記載の静電アクチュエータ。前記検出用線状電極に接続された配線と前記グランド電極に接続された配線とは、グランドに電気的に接続された2本の保護用グランド配線間に位置していることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。前記複数の主動作用線状電極に含まれる4本の主動作用線状電極のうち、第1番目の主動作用線状電極と第3番目の主動作用線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号が入力され、第2番目の主動作用線状電極と第4番目の主動作用線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号が入力され、隣接する2つの電極に入力される2つの信号は、4分の1周期だけずれて同一強度を有することを特徴とする請求項1ないし12のいずれか一項に記載の静電アクチュエータ。固定子と、前記固定子上に配置された移動子と、を備え、前記固定子は、一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の主動作用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極に直交する方向で前記複数の主動作用線状電極に隣接し且つ前記複数の主動作用線状電極に対して平行に配置された検出用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極との間に前記検出用線状電極が位置するように前記検出用線状電極と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されたグランド電極と、を有する静電アクチュエータの制御方法であって、帯電した前記移動子と前記検出用線状電極との間の距離が変化することによる前記検出用線状電極と前記グランド電極との間の電位差の変化に対応する検出信号に基づいて、前記移動子の位置を検出することを特徴とする静電アクチュエータの制御方法。一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の主動作用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極に直交する方向で前記複数の主動作用線状電極に隣接し且つ前記複数の主動作用線状電極に対して平行に配置された検出用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極との間に前記検出用線状電極が位置するように前記検出用線状電極と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されたグランド電極と、を有することを特徴とする固定子。本発明は、外光の影響を受けることなく、移動子の位置を検出することが可能な静電アクチュエータを提供する。本発明の一態様に係る静電アクチュエータは、固定子と、前記固定子上に配置された移動子と、前記固定子に信号を出力して前記移動子の動作を制御する制御装置と、を備え、前記固定子は、一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の主動作用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極に直交する方向で前記複数の主動作用線状電極に隣接し且つ前記複数の主動作用線状電極に対して平行に配置された検出用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極との間に前記検出用線状電極が位置するように前記検出用線状電極と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されたグランド電極と、を有し、前記制御装置は、帯電した前記移動子と前記検出用線状電極との間の距離が変化することによる前記検出用線状電極と前記グランド電極との間の電位差の変化に対応する検出信号に基づいて、前記移動子の位置を検出することを特徴とする静電アクチュエータである。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記制御装置は、前記固定子の前記主動作用線状電極に印加する信号が変化しないタイミングにおいて、前記電位差に応じた電位差信号を取得する演算回路を有してもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記演算回路は、前記電位差に応じた電位差信号のパターンを認識し、前記電位差信号に含まれるパルス波を除去することにより、前記電位差信号に含まれる前記検出信号を抽出してもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記制御装置は、前記電位差信号をアナログデジタル変換するアナログデジタル変換器をさらに有するようにしてもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記制御装置は、前記電位差信号をフィルタリングするローパスフィルタを備えてもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記制御装置は、前記検出信号に基づいて、前記移動子が前記検出用線状電極に近接した状態であると判断してもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記制御装置は、前記検出信号を連続して複数回検出した場合に、前記移動子が前記検出用線状電極に近接した状態であると判断してもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記制御装置は、前記検出信号を検出した場合には、前記移動子の駆動を止める、または、前記移動子を逆方向に駆動させてもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記制御装置は、前記検出信号を検出した場合には、前記移動子を所定期間そのまま駆動した後、前記移動子の駆動を止める、または前記移動子を逆方向に駆動させてもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記検出用線状電極の幅は、前記主動作用線状電極の幅よりも太くてもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記検出用線状電極の幅は、前記主動作用線状電極の幅の3倍であってもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記検出用線状電極に接続された配線と前記グランド電極に接続された配線とは、グランドに電気的に接続された2本の保護用グランド配線間に位置していてもよい。また、上記静電アクチュエータにおいて、前記複数の主動作用線状電極に含まれる4本の主動作用線状電極のうち、第1番目の主動作用線状電極と第3番目の主動作用線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号が入力され、第2番目の主動作用線状電極と第4番目の主動作用線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号が入力され、隣接する2つの電極に入力される2つの信号は、4分の1周期だけずれて同一強度を有してもよい。本発明の一態様に係る静電アクチュエータの制御方法は、固定子と、前記固定子上に配置された移動子と、を備え、前記固定子は、一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の主動作用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極に直交する方向で前記複数の主動作用線状電極に隣接し且つ前記複数の主動作用線状電極に対して平行に配置された検出用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極との間に前記検出用線状電極が位置するように前記検出用線状電極と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されたグランド電極と、を有する静電アクチュエータの制御方法であって、帯電した前記移動子と前記検出用線状電極との間の距離が変化することによる前記検出用線状電極と前記グランド電極との間の電位差の変化に対応する検出信号に基づいて、前記移動子の位置を検出することを特徴とする静電アクチュエータの制御方法である。本発明の一態様に係る固定子は、一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の主動作用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極に直交する方向で前記複数の主動作用線状電極に隣接し且つ前記複数の主動作用線状電極に対して平行に配置された検出用線状電極と、前記基板の一面に設けられ、前記複数の主動作用線状電極との間に前記検出用線状電極が位置するように前記検出用線状電極と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されたグランド電極と、を有することを特徴とする固定子である。本発明に係る静電アクチュエータによれば、外光の影響を受けることなく、移動子の位置を検出することができる。以下、本発明による静電アクチュエータの実施の形態について図面に基づいて説明する。図1は、本発明による静電アクチュエータ100の構成の一例を示す斜視図である。また、図2は、図1に示す静電アクチュエータ100を模式的に示す上面図である。また、図3は、図2のA-A線に沿った静電アクチュエータ100の断面を示す断面図である。また、図4は、図2のB-B線に沿った静電アクチュエータ100の断面を示す断面図である。なお、簡単のため、図1においては、制御装置を省略している。また、図2おいては、カバーフィルム103、摺動構造膜104を省略している。図1および図2に示すように、静電アクチュエータ100は、固定子1と、移動子2と、制御装置CONと、を備える。固定子1は、一面102aと他面102bとを有する基板102と、基板102の一面102aに各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された少なくとも4本の主動作用線状電極1a~1dと、基板102の一面102aに各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の補助動作用線状電極1s~1vと、基板102の一面に設けられ、複数の主動作用線状電極1a~1dに直交する方向で複数の主動作用線状電極1a~1dに隣接し且つ複数の主動作用線状電極1a~1dに対して平行に配置された検出用線状電極D1、D2と、基板102の一面に設けられ、複数の主動作用線状電極1a~1dとの間に前記検出用線状電極G1、G2が位置するように検出用線状電極G1、G2と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されたグランド電極G1、G2と、を有する。移動子2は、この固定子1上に移動自在に配置されている。制御装置CONは、固定子1に信号a~d、s~vを出力して移動子2の動作を制御するようになっている。また、制御装置CONは、電圧信号SD1、SD2、SG1、SG2に基づいて、移動子2の位置を検出し、この検出結果に応じて移動子2の動作を決定するようになっている。なお、以下では、主動作用線状電極1a~1dの一側図2の下側で主動作用線状電極1a~1dに直交する方向に延在する補助動作用線状電極1s~1vを、一側補助動作用線状電極と称し、主動作用線状電極1a~1dの他側図2の上側で主動作用線状電極1a~1dに直交する方向に延在する補助動作用線状電極1s~1vを、他側補助動作用線状電極と称する場合がある。以下、固定子1について更に詳述する。上述のように、固定子1は、基板102と、基板102の一面102aに設けられた導電性を有する少なくとも4本の主動作用線状電極1a~1dと、基板102の一面102aに設けられた導電性を有する複数の補助動作用線状電極1s~1vと、を備えている。ここで、4本の主動作用線状電極1a~1dのうち、第1番目の主動作用線状電極1aと第3番目の主動作用線状電極1cへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、第2番目の主動作用線状電極1bと第4番目の主動作用線状電極1dへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される。また、隣接する2つの電極、例えば、第1番目の主動作用線状電極1aと第2番目の主動作用線状電極1bに入力される2つの信号は、4分の1周期だけずれて同一強度を有している。さらに、4本の主動作用線状電極1a~1dの一側に図2の下側、4本の主動作用線状電極1a~1dに直交する方向に延設するとともに、第1番目の主動作用線状電極1aと第2番目の主動作用線状電極1bに各々接続される第1の主動作用バスライン101aと第2の主動作用バスライン101bが互いに平行に設けられている。さらに、4本の主動作用線状電極1a~1dの他側に図2の上側、4本の主動作用線状電極1a~1dに直交する方向に延設するとともに第3番目の主動作用線状電極1cと第4番目の主動作用線状電極1dに各々接続される第3の主動作用バスライン1cと第4の主動作用バスライン1dとが互いに平行に設けられている。また、上述のように、4本の主動作用線状電極1a~1dの一側図2の下側に、4本の主動作用線状電極1a~1dに直交する方向に延在する複数本ここでは4本単位の組が2組で計8本の一側補助動作用線状電極1s~1vが設けられている。さらに、上述のように、4本の主動作用線状電極1a~1dの他側図2の上側に、4本の主動作用線状電極に直交する方向に延在する複数本ここでは4本単位の組が2組で計8本の他側補助動作用線状電極1s~1vが設けられている。そして、複数本の一側補助動作用線状電極1s~1vと複数本の他側補助動作用線状電極1s~1vとは、4本の主動作用線状電極の両側で、4本の主動作用線状電極1a~1dを中心に対称に配置本実施例では8本ずつ同じ配線ルールで配置されている。なお、複数本の一側補助動作用線状電極1s~1vは、複数本の他側補助動作用線状電極1s~1vよりも、本数が多く設けられていてもよい。これにより、例えば、静電アクチュエータ100を壁に固定した場合等、移動子2が固定子1の中央から離れる方向に力重力が印加される場合に、この力の向きと反対向きこの場合、補助動作方向Zに補助力がより働くようにすることができる。また、補助動作用線状電極1s~1vが主動作用線状電極1a~1dの両側に設けられていることにより、補助動作用線状電極1s~1vを移動子2の位置補正目的だけでなく、主動作方向Xに直交する補助動作方向Y,Zを積極的に利用して、移動子2を主動作方向Xに対してジグザグに動かすようにすることもできる。また、4本の一側補助動作用線状電極1s~1vのうち、第1番目の一側補助動作用線状電極1sと第3番目の一側補助動作用線状電極1uへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、第2番目の一側補助動作用線状電極1tと第4番目の一側補助動作用線状電極1vへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される。そして、隣接する2つの一側補助動作用線状電極、例えば、第1番目の一側補助動作用線状電極1sと第2番目の一側補助動作用線状電極1tに入力される2つの信号は、4分の1周期だけずれて同一強度を有する。すなわち、複数本の一側補助動作用線状電極1s~1vへ互いに異なる位相の矩形波信号または正弦波信号が入力され、複数本の一側補助動作用線状電極1s~1vに近接する移動子2を4本の主動作用線状電極1a~1d側補助動作方向Zに移動させるようになっている。また、4本の他側補助動作用線状電極1s~1vのうち、第1番目の他側補助動作用線状電極1sと第3番目の他側補助動作用線状電極1uへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、第2番目の他側補助動作用線状電極1tと第4番目の他側補助動作用線状電極1vへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される。そして、隣接する2つの他側補助動作用線状電極、例えば、第1番目の他側補助動作用線状電極1sと第2番目の他側補助動作用線状電極1tに入力される2つの信号は、4分の1周期だけずれて同一強度を有する。すなわち、複数本の他側補助動作用線状電極1s~1vへ互いに異なる位相の矩形波信号または正弦波信号が入力され、複数本の他側補助動作用線状電極1s~1vに近接する移動子2を4本の主動作用線状電極1a~1d側補助動作方向Yに移動させるようになっている。また、図2に示すように、第1番目の補助動作用線状電極1sと第2番目の補助動作用線状電極1tに各々接続される第1の補助動作用バスライン101sと第2の補助動作用バスライン101tが互いに平行に設けられている。さらに、第3番目の補助動作用線状電極1uと第4番目の補助動作用線状電極1vに各々接続される第3の補助動作用バスライン101uと第4の補助動作用バスライン101vとが互いに平行に設けられている。また、図3、図4に示すように、基板102の一面102a上に設けられた主動作用線状電極1a~1dおよび補助動作用線状電極1s~1vを覆ってカバーフィルム103が設けられ、さらにカバーフィルム103を覆って摺動構造膜104が設けられている。ところで、基板102は、例えば、25μmの厚さを有する。この基板102に用いられる素材としては、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ樹脂、フェノール樹脂、PETポリエチレンテレフタレート、PET-Gテレフタル酸-シクロヘキサンジメタノール-エチレングリコール共重合体、PENポリエチレンナフレタート、PPポリプロピレン、PEポリエチレン、PCポリカーボネート、PAポリアミド、PPSポリフェニレンサルフイド、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ABS、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特にポリイミドは高耐熱性、高強度であり好ましい。また、上述のように、主動作用線状電極1a~1dおよび補助動作用線状電極1s~1vは、基板102の一面102a上に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で櫛歯状に繰り返し配置されている。そして、この主動作用線状電極1a~1dおよび補助動作用線状電極1s~1vは、例えば、配線ピッチが0.3mm以下に設定され、また、この主動作用線状電極1a~1dおよび補助動作用線状電極1s~1vは、その厚さとして、例えば、ポリイミド基板上に電極材として銅を形成する場合は、18μm程度を有する図2ないし図4参照。また、図2に示すように、2本の第1、第2の主動作用バスライン101a、101bは、各々帯状をなし、上述のように主動作用線状電極1a~1dの一側図2の下側に、設けられている。このうち第1の主動作用バスライン101aは、基板102の一面上面102aに設けられ、この第1の主動作用バスライン101aは、第1番目の主動作用線状電極1aに電気的に接続されている。また、第2の主動作用バスライン101bは、基板102の他面下面102bに設けられ、第2番目の主動作用線状電極1bに電気的に接続されている。また、基板102には、基板102を貫通し、基板102の他面102bに設けられた第2の主動作用バスライン101bに接続されるスルーホール配線1b2が設けられている。さらに、基板102の一面102aに、第2番目の主動作用線状電極1bの一側とスルーホール配線1b2とを接続するパッド電極1b1が設けられている。これにより、第2の主動作用バスライン101bは、第2番目の主動作用線状電極1bに電気的に接続される。また、2本の第3、第4の主動作用バスライン101c、101dは、各々帯状をなし、上述のように主動作用線状電極1a~1dの他側図2の上側に、設けられている。また、第3の主動作用バスライン101cは、基板102の一面上面102aに設けられ、第3番目の主動作用線状電極1cに電気的に接続されている。また、第4の主動作用バスライン101dは、基板102の他面下面102bに設けられ、第4番目の主動作用線状電極1dに電気的に接続されている。ここで、基板102には、基板102を貫通し、基板102の他面102bに設けられた第4の主動作用バスライン101dと接続されるスルーホール配線1d2が設けられている。そして、基板102の一面上面102aに、第4番目の主動作用線状電極1dの一側とスルーホール配線1d2とを接続するパッド電極1d1が設けられている。これにより、第4の主動作用バスライン101dは、第4番目の主動作用線状電極1dに電気的に接続されている。また、図2に示すように、2本の第1、第2の補助動作用バスライン101s、101tは、各々帯状をなして設けられている。右下の101s、101tは各々図示しないが外部との接続端子100s、100tと接続されている。このうち第1の補助動作用バスライン101sは、基板102の一面上面102aに設けられ、この第1の補助動作用バスライン101sは、第1番目の補助動作用線状電極1sに電気的に接続されている。また、第2の補助動作用バスライン101tは、基板102の他面下面102bに設けられ、第2番目の補助動作用線状電極1tに電気的に接続されている。また、基板102には、基板102を貫通し、基板102の他面102bに設けられた第2の補助動作用バスライン101tに接続されるスルーホール配線1t2が設けられている。さらに、基板102の一面102aに、第2番目の補助動作用線状電極1tの一側とスルーホール配線1t2とを接続するパッド電極1t1が設けられている。これにより、第2の補助動作用バスライン101tは、第2番目の補助動作用線状電極1tに電気的に接続される。また、2本の第3、第4の補助動作用バスライン101u、101vは、各々帯状をなして設けられている。左下の101u、101vは各々図示しないが外部との接続端子100u、100vと接続されている。また、第3の補助動作用バスライン101uは、基板102の一面上面102aに設けられ、第3番目の補助動作用線状電極1uに電気的に接続されている。また、第4の補助動作用バスライン101vは、基板102の他面下面102bに設けられ、第4番目の補助動作用線状電極1vに電気的に接続されている。ここで、基板102には、基板102を貫通し、基板102の他面102bに設けられた第4の補助動作用バスライン101vと接続されるスルーホール配線1v2が設けられている。そして、基板102の一面上面102aに、第4番目の補助動作用線状電極1vの一側とスルーホール配線1v2とを接続するパッド電極1v1が設けられている。これにより、第4の補助動作用バスライン101vは、第4番目の補助動作用線状電極1vに電気的に接続されている。なお、図2において、第1番目の補助動作用バスライン101sは、部分的に離れている領域があるが、この離れている領域間は図示しない配線を介して電気的に接続されている。また、他の補助動作用バスライン101t~101vについても同様である。次に、図3、図4により、固定子1のカバーフィルム103および摺動構造膜104について詳述する。図3、図4に示すように、カバーフィルム103は、基板102上に主動作用線状電極1a~1d、補助動作用線状電極1s~1vを覆うように設けられている。このカバーフィルム103は、例えば、12.5μmの厚さを有する。このカバーフィルム103に用いられる素材としては、例えば、ポリイミドが選択される。また、摺動構造膜104は、カバーフィルム103上に設けられている。この摺動構造膜104は、移動子2の下面後述のベースフィルム2aの下面に対して摺動性を有する。この摺動構造膜104は、例えば、数nmの厚さを有する。この摺動構造膜104に用いられる素材としては、例えば、シリコンが選択される。なお、主動作用線状電極1a~1dおよび補助動作用線状電極1s~1vの上面から抵抗体膜2bの帯電面下面までの距離Dは、例えば、30μm以上、150μm以下に設定される。また、既述のように、検出用線状電極D1、D2は、基板102の一面に設けられ、複数の主動作用線状電極1a~1dに直交する方向で複数の主動作用線状電極1a~1dに隣接し且つ複数の主動作用線状電極1a~1dに対して平行に配置されている。また、既述のように、グランド電極G1、G2は、基板102の一面に設けられ、複数の主動作用線状電極1a~1dとの間に検出用線状電極G1、G2が位置するように検出用線状電極G1、G2と平行に配置され且つグランドに電気的に接続されている。なお、検出用線状電極D1、D2の幅は、主動作用線状電極1a~1dの幅よりも太い。例えば、検出用線状電極D1、D2の幅は、主動作用線状電極1a~1dの幅の3倍である。次に、図1および図2により移動子2について詳述する。図1および図2に示すように、移動子2は、固定子1上に配置されている。この移動子2は、図3、図4に示すように、ベースフィルム2aと、抵抗体膜2bと、を有する。ベースフィルム2aは、固定子1に対向して接触するように配置される。このベースフィルム2aは、例えば、25μm程度の厚さを有する。このベースフィルム2aに用いられる素材としては、例えば、PETポリエチレンテレフタレート、PET-Gテレフタル酸-シクロヘキサンジメタノール-エチレングリコール共重合体、PENポリエチレンナフレタート、PPポリプロピレン、PEポリエチレン、PCポリカーボネート、PAポリアミド、PPSポリフェニレンサルフイド、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ABS、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特にPETは安価で入手し易く好ましい。抵抗体膜2bは、ベースフィルム2a上に設けられている。この抵抗体膜2bは、例えば、1μm程度の厚さを有する。また、抵抗体膜2bは、例えば、1011~1013Ω/□の範囲の表面抵抗率を有する。次に、以上のような構成を有する本実施形態の作用について説明する。始めに、移動子2が主動作用線状電極1a~1d上に位置して主動作方向Xに動作する場合について説明する。まず、図2に示すように、信号a~dは、図示しない駆動回路から静電アクチュエータ100に第1~第4の主動作用入力端子100a~100dを介して入力される。このとき、各信号a~dは、主動作用バスライン101a~101d、スルーホール配線1b2、1d2、および、パッド電極1b1、1d1を介して、主動作用線状電極1a~1dに、それぞれ印加される。ここで、図5は、主動作用線状電極1a~1dに印加される信号a~dの波形の一例を示す波形図である。なお、図5では、信号a~dが矩形波の場合について示しているが、信号a~dが正弦波である場合も同様の位相関係になる。図5に示すように、隣接する主動作用線状電極1a、1bに入力される2つの信号a、bは、4分の1周期だけずれている。同様に、隣接する主動作用線状電極1b、1cに入力される2つの信号b、cは、4分の1周期だけずれている。同様に、隣接する主動作用線状電極1c、1dに入力される2つの信号c、dは、4分の1周期だけずれている。この場合、各信号a~dは、同一強度振幅を有する。また、各信号a~dの振幅電圧の絶対値は、例えば、800V以下に設定される。これにより、第1番目の主動作用線状電極1aと第3番目の主動作用線状電極1cには、各々位相が反転した位相が半周期ずれた信号矩形波信号または正弦波信号a、cが入力される。また、第2番目の主動作用線状電極1bと第4番目の主動作用線状電極1dには、各々位相が反転した位相が半周期ずれた信号矩形波信号または正弦波信号b、dが入力される。この場合、移動子2の抵抗体膜2bにより、主動作用線状電極1a~1dに印加される信号a~dに応じて帯電する。そして、例えば、図5に示すように、信号a~dの振幅が変化することにより、この移動子2の帯電部と主動作用線状電極1a~1dに蓄積された静電エネルギーに応じて、移動子2が、固定子1上を主動作用線状電極1a~1dに垂直な方向主動作方向Xに、移動する図2。次に、移動子2が主動作方向Xから逸れることにより、一側補助動作用線状電極1s~1v上に位置し、補助動作方向Zに力を受けて移動子2が動作する場合について説明する。なお、移動子2が主動作方向Xから逸れることにより、他側補助動作用線状電極1s~1v上に位置し、補助動作方向Yに力を受けて移動子2が動作する場合も同様である。ここで、図6は、補助動作用線状電極1s~1vに印加される信号s~vの波形の一例を示す波形図である。なお、図6では、信号s~vが矩形波の場合について示しているが、信号s~vが正弦波である場合も同様の位相関係になる。図6に示すように、隣接する一側補助動作用線状電極1s、1tに入力される2つの信号s、tは、4分の1周期だけずれている。同様に、隣接する一側補助動作用線状電極1t、1uに入力される2つの信号t、uは、4分の1周期だけずれている。同様に、隣接する一側補助動作用線状電極1u、1vに入力される2つの信号u、vは、4分の1周期だけずれている。この場合、各信号s~vは、同一強度振幅を有する。また、各信号s~vの振幅電圧の絶対値は、例えば、800V以下に設定される。これにより、第1番目の一側補助動作用線状電極1sと第3番目の一側補助動作用線状電極1uには、各々位相が反転した位相が半周期ずれた信号矩形波信号または正弦波信号s、uが入力される。また、第2番目の一側補助動作用線状電極1tと第4番目の一側補助動作用線状電極1vには、各々位相が反転した位相が半周期ずれた信号矩形波信号または正弦波信号t、vが入力される。この場合、移動子2の抵抗体膜2bにより、一側補助動作用線状電極1s~1vに印加される信号s~vに応じて帯電する。そして、例えば、図6に示すように、信号s~vの振幅が変化することにより、この移動子2の帯電部と一側補助動作用線状電極1s~1vに蓄積された静電エネルギーに応じて、移動子2が、固定子1上を一側補助動作用線状電極1s~1vに垂直な方向主動作用線状電極に向かう補助動作方向Zに力を受けて、移動する図2。これにより、本実施例に係る静電アクチュエータ100においては、移動子2が主動作方向Xから逸れても、補助動作用線状電極1s~1v上に近接することにより、補助動作方向Zに力を受ける。すなわち、移動子を固定子の中央側に戻す方向のモーメント成分が発生し、移動子の摩擦抵抗が大きくすることなく、移動子2が主動作用線状電極に向けて動作することになる。次に、図2、図7ないし図10により、制御装置CONの構成機能に関して詳述する。図7は、図2に示す制御装置CONの構成の一例を示すブロック図である。また、図8は、図2の静電アクチュエータ100の検出用線状電極G1、G2近傍の領域の構成の一例を示す図である。図9は、電位差信号の一例を示す図である。図10は、ローパスフィルタによりフィルタリングされた電位差信号の一例を示す図である。既述のように、制御装置CONは、固定子1に信号a~d、s~vを出力して移動子2の動作を制御するようになっている。また、制御装置CONは、固定子1の電圧信号端子100D1、100D2、100G1、100G2から出力された電圧信号SD1、SD2、SG1、SG2に基づいて、移動子2の位置を検出し、この検出結果に応じて移動子2の動作を決定するようになっている。この制御装置CONは、帯電した前記移動子と前記検出用線状電極との間の距離が変化近づいたり、または離れたりすることによる検出用線状電極D1とグランド電極G1との間の電位差電圧信号SD1-電圧信号SG1の変化に対応する検出信号に基づいて、移動子2の位置を検出するようになっている。すなわち、制御装置CONは、該検出信号に基づいて、移動子2が検出用線状電極D1に近接した状態であると判断する。同様に、制御装置CONは、帯電した前記移動子と前記検出用線状電極との間の距離が変化近づいたり、または離れたりすることによる検出用線状電極D2とグランド電極G2との間の電位差電圧信号SD2-電圧信号SG2の変化に対応する検出信号に基づいて、移動子2の位置を検出するようになっている。すなわち、制御装置CONは、該検出信号に基づいて、移動子2が検出用線状電極D2に近接した状態であると判断する。なお敢えて検出用線状電極の近傍に信号用グランド電極G1,G2を設けるのはコモンモードノイズを除去するためである。また、制御装置CONは、例えば、図7に示すように、ローパスフィルタ10と、CPU20に設けられたアナログデジタル変換器30と、CPU20に設けられた演算回路40と、を有する。ローパスフィルタ10は、電位差信号をフィルタリングするようになっている。これにより、電位差信号に含まれるノイズをある程度除去することができる。なお、図8に示すように、検出用線状電極D1に接続された配線HD1とグランド電極G1に接続された配線HG1とは、グランドに電気的に接続された2本の保護用グランド配線P1、P2間に位置するようにしてもよい。これにより、配線HD1、HG1に重畳し得る近傍配線からの誘導ノイズなどを低減することができる。同様に、検出用線状電極D2に接続された配線HD2とグランド電極G2に接続された配線HG2とは、グランドに電気的に接続された2本の保護用グランド配線P3、P4間に位置するようにしてもよい。これにより、配線HD2、HG2に重畳し得る近傍配線からの誘導ノイズを低減することができる。すなわち、より確実に検出信号を取得することができる。また、図7に示すように、CPU20は、信号a~d、s~vを出力して移動子2を駆動し、電位差信号に基づいて移動子2の位置を検出するようになっている。また、アナログデジタル変換器30は、ローパスフィルタ10によりフィルタリングされた電位差信号をアナログデジタル変換ここでは、アナログ信号をデジタル信号に変換することを意味するするようになっている。これにより、電位差信号をデジタル値として認識できるため、後述のパターン認識が可能となる。ここで、電位差信号には、検出信号以外のノイズが含まれている図9。このノイズには、複数の主動作用線状電極1a~1dに印加される信号の変化による誘導ノイズのパルス波が含まれる。そして、図10に示すように、ローパスフィルタ10によりフィルタリングした後も、電位差信号には、複数の主動作用線状電極1a~1dに印加される信号の変化によるパルス波が含まれる。そこで、演算回路40は、固定子1の複数の主動作用線状電極1a~1dに印加する信号が変化しないタイミングすべての矩形波信号a~dがHighレベルまたはLowレベルのタイミングにおいて、電位差に応じた電位差信号を取得するようになっている。なお、ここで言う、信号の変化には、無視できるようなレベルのノイズは含まれない。これにより、矩形波信号a~dによるノイズが電圧差信号に重畳していないタイミングで、電位差信号に含まれる検出信号を検知することができる。さらに、演算回路40は、電位差に応じた電位差信号のパターンを認識し、この電位差信号に含まれるパルス波を除去することにより、電位差信号に含まれる検出信号を抽出する。これにより、電位差信号に含まれる検出信号をより確実に抽出することができる。また、ノイズ等の影響により、制御装置CONが誤って検出信号であると判断する場合がある。しかし、例えば、移動子2が検出用線状電極D1の近傍を通過すると、移動子2の表面の帯電の正負に応じて、電位差電圧信号SD1-電圧信号SG1が連続して変化し、この変化の数に応じた数の検出信号が制御装置CONにおいて取得される。そこで、制御装置CONは、検出信号を連続して複数回検出した場合に、移動子2が検出用線状電極D1に近接した状態であると判断する。これにより、制御装置CONは、より確実に移動子2が検出用線状電極D1に近接した状態であるか否かを判断することができる。また、制御装置CONは、検出信号を検出した場合には、例えば、移動子2の駆動を止める、または、移動子2を逆方向に駆動させる。また、制御装置CONは、検出信号を検出した場合には、移動子2を所定期間そのまま駆動した後、移動子2の駆動を止める、または移動子2を逆方向に駆動させるようにしてもよい。以上のように、本実施例に係る静電アクチュエータによれば、外光の影響を受けることなく、移動子の位置を検出することができる。また、本実施例に係る静電アクチュエータによれば、同一基板上に配線のみで形成できるため、他の素子などが不要でコストが安く、また平坦な外観を提供できる。また、本実施例に係る静電アクチュエータには、固定子の表面には、光センサのための穴を設ける必要がないので、異物の混入の問題も無く、また、意匠性を損なうこともない。なお、上記実施例では、少なくとも4本の補助動作用線状電極が設けられているが、主動作用線状電極に向かう補助動作方向Y、Zに力を印加できれば、補助動作用線状電極が3本以下であってもよい。"