固定容量形のポンプ1と、上記ポンプ1を駆動するモータ2と、上記ポンプ1の吐出ライン11に接続したリリーフ弁3と、上記リリーフ弁3からのリリーフ流量を検知するためのセンサ4と、上記リリーフ弁3からのリリーフ流量と上記モータ2の目標回転速度との予め定められた関数関係に基づいて、上記センサ4にて検知されたリリーフ流量に対応する上記モータ2の目標回転速度を作成する目標回転速度作成部51と、上記モータ2の現在の回転速度から上記目標回転速度に到る速度変動率に制限を加える速度変動率制限部52とを備え、上記速度変動率制限部52で速度変動率が制限された状態で上記目標回転速度になるように、上記モータ2を制御することを特徴とする液圧ユニット。請求項1に記載の液圧ユニットにおいて、上記速度変動率制限部52の上記制限の加え方を調整する調整部53を備えることを特徴とする液圧ユニット。請求項1または2に記載の液圧ユニットにおいて、上記速度変動率制限部52は、上記モータ2の現在の回転速度と上記モータ2の目標回転速度との差に基づいて、上記速度変動率に制限を加えることを特徴とする液圧ユニット。請求項1または2に記載の液圧ユニットにおいて、上記速度変動率制限部52は、上記モータ2の目標回転速度に基づいて、上記速度変動率に制限を加えることを特徴とする液圧ユニット。請求項1または2に記載の液圧ユニットにおいて、上記速度変動率制限部52は、上記モータ2の現在の回転速度に基づいて、上記速度変動率に制限を加えることを特徴とする液圧ユニット。そこで、この発明の課題は、ハンチングの発生を抑制し、かつ、目標回転速度に迅速かつ正確に到ることができる液圧ユニットを提供することにある。上記課題を解決するため、この発明の液圧ユニットは、固定容量形のポンプと、上記ポンプを駆動するモータと、上記ポンプの吐出ラインに接続したリリーフ弁と、上記リリーフ弁からのリリーフ流量を検知するためのセンサと、上記リリーフ弁からのリリーフ流量と上記モータの目標回転速度との予め定められた関数関係に基づいて、上記センサにて検知されたリリーフ流量に対応する上記モータの目標回転速度を作成する目標回転速度作成部と、上記モータの現在の回転速度から上記目標回転速度に到る速度変動率に制限を加える速度変動率制限部とを備え、上記速度変動率制限部で速度変動率が制限された状態で上記目標回転速度になるように、上記モータを制御することを特徴としている。この発明の液圧ユニットによれば、上記速度変動率制限部で速度変動率が制限された状態で上記目標回転速度になるように、上記モータを制御するので、ハンチングの発生を抑制し、かつ、目標回転速度に迅速かつ正確に到ることができる。このため、高い精度を必要とする工作機械や射出成形機等への使用に最適となる。また、一実施形態の液圧ユニットでは、上記速度変動率制限部の上記制限の加え方を調整する調整部を備える。この実施形態の液圧ユニットによれば、上記速度変動率制限部の上記制限の加え方を調整する調整部を備えるので、工作機械や射出成形機等の主機の特性に応じて上記制限の加え方を調整できて、ハンチングの発生を抑制し、かつ、目標回転速度に迅速かつ正確に到ることができる。また、一実施形態の液圧ユニットでは、上記速度変動率制限部は、上記モータの現在の回転速度と上記モータの目標回転速度との差に基づいて、上記速度変動率に制限を加える。この実施形態の液圧ユニットによれば、上記速度変動率制限部は、上記モータの現在の回転速度と上記モータの目標回転速度との差に基づいて、例えば、上記差が大きいほど上記速度変動率が大きくなるように、上記速度変動率に制限を加える。こうすることによって、簡単にハンチングの発生を確実に抑制できると共に、目標回転速度に迅速かつ正確に達することができる。つまり、上記差が大きいときは、上記速度変動率を大きくして、回転速度を目標回転速度に迅速に変化させる。一方、上記差が小さいときは、上記速度変動率を小さくして、回転速度を目標回転速度に正確に変化させることで、ハンチングの発生を確実に抑制する。また、一実施形態の液圧ユニットでは、上記速度変動率制限部は、上記モータの目標回転速度に基づいて、上記速度変動率に制限を加える。この実施形態の液圧ユニットによれば、上記速度変動率制限部は、上記モータの目標回転速度に基づいて、例えば、上記目標回転速度が大きいほど上記速度変動率が小さくなるように、上記速度変動率に制限を加えるので、主機や液体の慣性の影響を小さくしてハンチングの発生を抑制できると共に、目標回転速度に迅速かつ正確に達することができる。また、一実施形態の液圧ユニットでは、上記速度変動率制限部は、上記モータの現在の回転速度に基づいて、上記速度変動率に制限を加える。この実施形態の液圧ユニットによれば、上記速度変動率制限部は、上記モータの現在の回転速度に基づいて、例えば、上記現在の回転速度が大きいほど上記速度変動率が大きくなるように、上記速度変動率に制限を加えるので、主機や液体の慣性の影響を小さくしてハンチングの発生を抑制できると共に、目標回転速度に迅速かつ正確に達することができる。この発明の液圧ユニットによれば、上記速度変動率制限部で速度変動率が制限された状態で上記目標回転速度になるように、上記モータを制御するので、ハンチングの発生を抑制し、かつ、目標回転速度に迅速かつ正確に到ることができる。以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。図1は、この発明の液圧ユニットの一実施形態の油圧ユニットの回路図を示している。図1に示すように、この油圧ユニットは、固定容量形のポンプ1と、このポンプ1を駆動するモータ2とを有する。ポンプ1の吸込側は、油が貯留されたタンク10に接続され、ポンプ1の吐出ライン11には、主機7が接続されている。この主機7は、図示しない油圧シリンダ、油圧モータ、電磁弁等を有する。ポンプ1から吐出された油は、主機7を経由して、タンク10に返される。上記ポンプ1の吐出ライン11から分岐された分岐ライン12には、リリーフ弁3が接続されている。このリリーフ弁3は、リリーフ弁3の上流側のポンプ1の吐出圧力が、設定圧よりも大きくなったときに、上流側の油を下流側に逃がして、上記吐出ライン11の圧力が設定圧になるように制御する。リリーフ弁3から排出される油の流量を、以下、リリーフ流量とよぶ。なお、リリーフ弁3の設定圧は、可変にしてもよい。上記分岐ライン12には、上記リリーフ弁3の下流側に、絞り8を設け、この絞り8とリリーフ弁3との間に、圧力センサ4を設けている。絞り8を通過するリリーフ流量は、絞り8の前後の圧力差絞り8の上流側圧力とタンク圧との差によって、定まるから、圧力センサ4は、結局、リリーフ流量を検出していることになる。もっとも、圧力センサ4に代えて、流量センサを設けて、直接リリーフ流量を検出するようにしてもよい。上記分岐ライン12に、絞り8の上流側からタンク10へ分岐したライン13を設け、このライン13に、ロードチェック弁9を設けている。このロードチェック弁9は、リリーフ流量が過大になって、絞り8の上流側の圧力が、ロードチェック弁9のバネの力よりも大きくなったときに、開放して回路を保護する。なお、ロードチェック弁の代わりに、リリーフ弁あるいは安全弁を用いてもよい。上記液圧ユニットは、上記モータ2を制御するモータ制御部15を有する。このモータ制御部15は、PLCProgrammableLogicController;プログラマブルロジックコントローラ5とインバータ6とを有する。なお、このモータ制御部15を、上記PLC5の機能と上記インバータ6の機能とを一体に有するインバータコントローラによって、構成してもよい。上記PLC5は、上記圧力センサ4にて間接的に検知されたリリーフ流量に対する上記モータ2の目標回転速度つまり、ポンプ1の目標吐出流量を予め、例えばメモリにテーブルの形態で、関数関係として記憶しており、この予め定められた関数関係に基づいて、モータ2の回転速度が目標回転速度になるように、インバータ6にスイッチング信号を送る。なお、PLC5は、テーブルに代えて、リリーフ流量と目標回転速度との関係を示す演算式を記憶していて、この演算式により目標回転速度を求めるようにしてもよい。図2では、横軸に、リリーフ弁3からのリリーフ流量を示し、縦軸に、モータ2の目標回転速度、つまり、ポンプ1からの吐出流量を示している。この関数関係では、リリーフ流量が0から第1流量値Q1まで増大するとき、モータ回転速度は最大回転速度Rmaxの一定値となり、リリーフ流量が第1流量値Q1から第2流量値Q2まで増大するとき、モータ回転速度は最大回転速度Rmaxから最小回転速度Rminまで直線的に減少し、リリーフ流量が第2流量値Q2より大きいとき、モータ回転速度は最小回転速度Rminの一定値となる。図1に示すように、上記PLC5は、図2に示すモータの目標回転速度を作成する目標回転速度作成部51と、モータの現在回転速度から上記モータの目標回転速度に到る速度変動率に制限を加える速度変動率制限部52と、上記速度変動率制限部52の上記制限の加え方を調整する調整部53とを有する。上記目標回転速度作成部51は、予め、図示しないメモリに記憶している図2に示す関数関係のテーブルに基づいて、上記センサ4にて検知された現在のリリーフ流量Qpに対応する上記モータ2の目標回転速度Rtを作成する。上記速度変動率制限部52は、上記モータ2の現在の回転速度Rpから上記目標回転速度Rtに到る図2の矢印Aに示す速度の変化の速度変動率に制限を加える。そして、上記モータ制御部15は、上記速度変動率制限部52で速度変動率が制限された状態で上記目標回転速度Rtになるように、インバータ6のスイッチングを制御して、上記モータ2の回転速度を制御する。上記速度変動率制限部52は、図2に示すように、上記モータ2の現在の回転速度Rp矢印IIIと上記モータ2の目標回転速度Rt矢印IIとの差矢印Iに基づいて、上記速度変動率加速度に制限を加える。例えば、上記差矢印Iが大きい程、上記速度変動率revsec2が大きくなるようにする。こうすることによって、主機や液体の慣性の影響を小さくしてハンチングの発生を抑制できると共に、目標回転速度に迅速かつ正確に達することができる。つまり、上記差が大きいときは、上記速度変動率を大きくして、回転速度を目標回転速度に迅速に変化させる。一方、上記差が小さいときは、上記速度変動率を小さくして、回転速度を目標回転速度に正確に変化させることで、ハンチングの発生を確実に抑制する。なお、図示しないが、図2の矢印Aに示す速度変化の過程で、最初と最後の速度変動率が小さく、中間の速度変動率が大きくなるように、テーブルや数式を定めてもよい。上記調整部53は、例えば、操作パネルを有し、人の手入力や主機7からの遠隔制御により、調整される。この調整部53により、工作機械や射出成形機等の主機の特性に応じて上記制限の加え方を調整できて、ハンチングを確実に防止できる。上記構成の液圧ユニットによれば、上記速度変動率制限部52で速度変動率が制限された状態で上記目標回転速度になるように、上記モータ2を制御するので、ハンチングの発生を抑制し、かつ、目標回転速度に迅速かつ正確に到ることができる。このため、高い精度を必要とする工作機械や射出成形機等への使用に最適となる。図示しないが、速度変動率制限部は、上記モータ2の目標回転速度図2の矢印IIに基づいて、上記速度変動率に制限を加えるようにしてもよい。例えば、上記目標回転速度矢印IIが大きい程、上記速度変動率revsec2が小さくなるようにする。こうすることによって、主機や液体の慣性の影響を小さくしてハンチングの発生を抑制できると共に、目標回転速度に迅速かつ正確に達することができる。また、図示しないが、速度変動率制限部は、上記モータ2の現在回転速度図2の矢印IIIに基づいて、上記速度変動率に制限を加えるようにしてもよい。例えば、上記現在回転速度矢印IIIが大きい程、上記速度変動率revsec2が大きくなるようにする。こうすることによって、主機や液体の慣性の影響を小さくしてハンチングの発生を抑制できると共に、目標回転速度に迅速かつ正確に達することができる。なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、速度変動率制限部は、時間軸の伸長や圧縮によって、速度変動率を変えるようにしてもよい。また、調整部を省略してもよく、また、絞りやロードチェック弁を省略してもよい。また、本発明の構成を、油圧ユニット以外に、水圧ユニット等の液圧ユニットに適用してもよい。なお、主機として、例えば、建機、農機、工作機械、射出成形機などの種々の産業機械がある。