"複数の電極を並列配置してなる内部電極と、前記内部電極を挟み込むように、かつ前記内部電極の複数の電極の各々と隣接するように配置され、グランド機能を有する外部電極と、前記内部電極と前記外部電極との間に配置され、荷重により変形する誘電体と、を備え、前記内部電極の各電極と前記外部電極との間の静電容量の変化を検出することで、前記内部電極の各電極と前記外部電極との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した前記内部電極の電極位置から、荷重が印加された位置を検出することを特徴とする感圧センサ。前記内部電極は、短冊状に形成された複数の電極を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなり、前記内部電極を挟み込む上下の外部電極は、短冊状に形成された複数の電極を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなり、前記内部電極の電極配列方向と、前記外部電極の電極配列方向とが、互いに垂直となっており、前記内部電極の各電極と前記外部電極の各電極との間の静電容量の変化を検出することで、前記内部電極の各電極と前記外部電極の各電極との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した前記内部電極の電極位置と前記外部電極の電極位置とから、荷重が印加された位置を検出する請求項1記載の感圧センサ。前記内部電極は、該内部電極を挟み込む上下の外部電極のうち一方と対面する第1層と、前記外部電極の他方と対面する第2層とを、絶縁層を介して積層した2層構造とされ、前記第1層及び前記第2層は、短冊状に形成された複数の電極を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなり、かつ、前記第1層の電極配列方向と、前記第2層の電極配列方向とが、互いに垂直となっており、前記第1層の各電極と一方の前記外部電極との間、および前記第2層の各電極と他方の前記外部電極との間の静電容量の変化を検出することで、前記内部電極の各電極と前記外部電極との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した前記第1層の電極位置と前記第2層の電極位置とから、荷重が印加された位置を検出する請求項1記載の感圧センサ。前記誘電体が発泡体である請求項1~3いずれかに記載の感圧センサ。前記外部電極の上下で対向する電極同士は、電気的に接続されている請求項1~4いずれかに記載の感圧センサ。ところで、最近では、共生型ロボットの皮膚部に対して、圧力が印加された位置も検出したいという要求が出てきている。本発明は上記事情に鑑み為されたものであり、複雑な形状を有する場所にも設置可能な程度の柔軟性、及び外部の擾乱に対するシールド機能を有しつつも、圧力が印加された位置も検出可能な感圧センサを提供することを目的とする。本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、複数の電極を並列配置してなる内部電極と、前記内部電極を挟み込むように、かつ前記内部電極の複数の電極の各々と隣接するように配置され、グランド機能を有する外部電極と、前記内部電極と前記外部電極との間に配置され、荷重により変形する誘電体と、を備え、前記内部電極の各電極と前記外部電極との間の静電容量の変化を検出することで、前記内部電極の各電極と前記外部電極との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した前記内部電極の電極位置から、荷重が印加された位置を検出する感圧センサである。前記内部電極は、短冊状に形成された複数の電極を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなり、前記内部電極を挟み込む上下の外部電極は、短冊状に形成された複数の電極を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなり、前記内部電極の電極配列方向と、前記外部電極の電極配列方向とが、互いに垂直となっており、前記内部電極の各電極と前記外部電極の各電極との間の静電容量の変化を検出することで、前記内部電極の各電極と前記外部電極の各電極との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した前記内部電極の電極位置と前記外部電極の電極位置とから、荷重が印加された位置を検出してもよい。前記内部電極は、該内部電極を挟み込む上下の外部電極のうち一方と対面する第1層と、前記外部電極の他方と対面する第2層とを、絶縁層を介して積層した2層構造とされ、前記第1層及び前記第2層は、短冊状に形成された複数の電極を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなり、かつ、前記第1層の電極配列方向と、前記第2層の電極配列方向とが、互いに垂直となっており、前記第1層の各電極と一方の前記外部電極との間、および前記第2層の各電極と他方の前記外部電極との間の静電容量の変化を検出することで、前記内部電極の各電極と前記外部電極との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した前記第1層の電極位置と前記第2層の電極位置とから、荷重が印加された位置を検出してもよい。前記誘電体が発泡体であるとよい。前記外部電極の上下で対向する電極同士は、電気的に接続されているとよい。本発明によれば、複雑な形状を有する場所にも設置可能な程度の柔軟性、及び外部の擾乱に対するシールド機能を有しつつも、圧力が印加された位置も検出可能な感圧センサを提供できる。以下、本発明の実施の形態を添付図面にしたがって説明する。図1は、本実施の形態に係る感圧センサを示す図であり、aは平面図、bはその1B-1B線断面図、cはその1C-1C線断面図である。図1a~cに示すように、感圧センサ1は、複数の電極S1~S3を並列配置してなる内部電極信号電極2と、内部電極2を挟み込むように、かつ内部電極2の複数の電極S1~S3の各々と隣接するように配置され、グランド機能を有する外部電極グランド電極3と、内部電極2と外部電極3との間に配置され、荷重により変形する誘電体4と、を備えている。本実施の形態に係る感圧センサ1では、内部電極2は、短冊状平面視で長方形の板状に形成された複数ここでは3つの電極S1~S3を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなる。また、内部電極2を挟み込む上下の外部電極3は、それぞれ、短冊状に形成された複数ここでは3つの電極G1~G3,G4~G6を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなる。内部電極2の電極配列方向と、外部電極3の電極配列方向とは、互いに垂直となるようにされる。また、電極G1~G3と電極G4~G6とは、1C-1C線断面視において、上下方向に線対称となる位置に配置されている。このとき、線対称の対称軸は、内部電極2の中心を通る。内部電極2と外部電極3の電極配置間隔は、例えば1mm程度である。外部電極3を構成する電極G1~G6のうち上下で対向する電極同士、すなわち電極G1と電極G4、電極G2と電極G5、電極G3と電極G6は、電気的に接続されている。内部電極2、外部電極3を構成する電極S1~S3,G1~G6は、例えば、PETポリエチレンテレフタレートフィルムに銅を施したものからなる。なお、内部電極2、外部電極3を構成する電極S1~S3,G1~G6の材質、形状、本数等は上記のものに限定されない。内部電極2と外部電極3との間に配置される誘電体4は、外部から荷重が印加されたときに容易に変形し、当該荷重を除いたときに元の形状に復元する材料を用いるとよく、好ましくは、低荷重でも変形し易いウレタン発泡体などの発泡体を用いるとよい。荷重が印加されない状態における内部電極2と外部電極3との距離は、例えば1mm程度である。感圧センサ1では、これら内部電極2、外部電極3、誘電体4の全体を覆うように、保護用の外皮5が設けられる。本実施の形態では、片面に接着剤を塗布した2枚のPETテープで内部電極2、外部電極3、誘電体4を上下から包むことで、外皮5を形成した。次に、感圧センサ1の動作を説明する。感圧センサ1では、内部電極2の各電極S1~S3と外部電極3の各電極G1~G6との間の静電容量の変化を検出することで、内部電極2の各電極S1~S3と外部電極3の各電極G1~G6との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した内部電極2の電極位置と外部電極3の電極位置とから、荷重が印加された位置を検出するようになっている。より具体的には、本実施の形態では、内部電極2を構成する電極がS1~S3の3つ、外部電極3を構成する電極がG1とG4、G2とG5、G3とG6の3対であるから、これらそれぞれの組合せについて9箇所の静電容量を測定する。例えば、図2に示すように、R点に荷重が印加されると、電極S1と電極G1,G4の距離が近くなり、電極S1と電極G1,G4間の静電容量が増加する。同様に、Q点に荷重が印加されると電極S2と電極G2,G5間の静電容量が増加し、P点に荷重が印加されると電極S3と電極G3,G6間の静電容量が増加する。したがって、測定した9箇所の静電容量の中で、電極S1と電極G1,G4間の静電容量の変化が大きければ、R点に荷重が印加されたと判断することができる。同様に、電極S2と電極G2,G5間の静電容量の変化が大きければ、Q点に荷重が印加されたと判断でき、電極S3と電極G3,G6間の静電容量の変化が大きければ、P点に荷重が印加されたと判断できる。ここでは、内部電極2の電極数を3つ、外部電極3の電極数を3つとしているが、内部電極2の電極数や外部電極3の電極数を増加することで、分解能をさらに向上し、荷重が印加された位置をより高い精度で検出することが可能となる。なお、本実施の形態に係る感圧センサ1では、内部電極2と外部電極3の両方を複数の電極で構成したが、少なくとも内部電極2が複数の電極で構成されていれば、荷重が印加された位置を検出することが可能である。例えば、上下の外部電極3をそれぞれ共通の1つの電極で構成するようにした場合、内部電極2の各電極と外部電極3との間の静電容量の変化を検出することで、内部電極2の各電極と外部電極3との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した内部電極2の電極位置から、荷重が印加された位置を検出することになる。この場合、図1aのように内部電極2の電極を並列配置すれば、荷重が印加された位置を電極配列方向に沿って一次元的に検出できることになる。また、内部電極2を2次元的に配置する構成とすれば、荷重が印加された位置を2次元的に検出することも可能となる。但し、内部電極2を2次元的に配置するのは電極数が増加し配線等が困難になるため、荷重が印加された位置を2次元的に検出する場合には、本実施の形態に係る感圧センサ1のように構成することが望ましい。以上説明したように、本実施の形態に係る感圧センサ1では、複数の電極S1~S3を並列配置してなる内部電極2と、内部電極2を挟み込むように、かつ内部電極2の複数の電極S1~S3の各々と隣接するように配置され、グランド機能を有する外部電極3と、内部電極2と外部電極3との間に配置され、荷重により変形する誘電体4と、を備えている。内部電極2を、複数の電極S1~S3を並列配置した構造とすることにより、各電極S1~S3と外部電極3間の静電容量の変化を検出することで、内部電極2の各電極S1~S3と外部電極3との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した内部電極2の電極位置から、荷重が印加された位置を検出することが可能になる。また、内部電極2を上下の外部電極3で挟む構造とすることで、外部の擾乱に対するシールド機能が得られ、水滴等の外乱による誤作動を抑えることが可能である。さらに、感圧センサ1は、設置される場所の形状に沿って変形可能であるから、本発明によれば、複雑な形状を有する場所にも設置可能な程度の柔軟性、及び外部の擾乱に対するシールド機能を有しつつも、圧力が印加された位置も検出可能な感圧センサ1を実現できる。また、感圧センサ1では、内部電極2を上下の外部電極3で挟む構造とし、かつ、外部電極3の上下で対向する電極同士を電気的に接続しているため、荷重が加わったときに、内部電極2と上方の外部電極3、内部電極2と下方の外部電極3の両方の距離が短くなって、静電容量の変化が大きくなり、圧力に対して感度のよい静電容量式の感圧センサ1を実現できる。さらに、感圧センサ1では、内部電極2の複数の電極S1~S3と、外部電極3の複数の電極G1~G6を短冊状に形成し、内部電極2の電極配列方向と、外部電極3の電極配列方向とを互いに垂直に交差させているため、少ない電極の数で、荷重が印加された位置を2次元的に特定することが可能となる。さらにまた、感圧センサ1では、誘電体4として発泡体を用いているため、低荷重で内部電極2と外部電極3間の距離が変化するようになり、感度が良くなる。次に、本発明の他の実施の形態を説明する。図3a~cに示す感圧センサ31は、図1の感圧センサ1において、内部電極2を2層構造とし、上下の外部電極3をそれぞれ共通の1つの電極G1,G2で構成したものである。電極G1,G2は、電気的に接続してある。感圧センサ31では、内部電極2は、下方の外部電極3電極G2と対面する第1層2aと、上方の外部電極3電極G1と対面する第2層2bとを、絶縁層32を介して積層した構造となっている。絶縁層32は、例えばPETフィルムからなる。第1層2aは、短冊状に形成された複数の電極S1~S3を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなり、第2層2bは、短冊状に形成された複数の電極S4~S6を、その短冊状の短辺方向に並列配置してなる。第1層2aの電極配列方向と、第2層2bの電極配列方向とは、互いに垂直となっている。感圧センサ31では、第1層2aの各電極S1~S3と外部電極3の電極G2との間、および第2層2bの各電極S4~S6と外部電極3の電極G1との間の静電容量の変化を検出することで、内部電極2の各電極S1~S6と外部電極3の電極G1,G2との間の距離の変化を検知し、当該距離が変化した第1層2aの電極位置と第2層2bの電極位置とから、荷重が印加された位置を検出するようになっている。具体的には、感圧センサ31では、内部電極2を構成する電極がS1~S6の6つ、外部電極3を構成する電極がG1とG2の1対であるから、これらの組合せについて6箇所の静電容量を測定する。例えば、図4に示すように、T点に荷重が印加されると、電極S3と電極G2、電極S6と電極G1の距離が近くなり、電極S3,S6と電極G1,G2間の静電容量が増加する。同様に、U点に荷重が印加されると電極S2,S5と電極G1,G2間の静電容量が増加し、V点に荷重が印加されると電極S1,S4と電極G1,G2間の静電容量が増加する。したがって、電極S3,S6と電極G1,G2間の静電容量の変化が大きければ、T点に荷重が印加されたと判断することができる。同様に、電極S2,S5と電極G1,G2間の静電容量の変化が大きければ、U点に荷重が印加されたと判断でき、電極S1,S4と電極G1,G2間の静電容量の変化が大きければ、V点に荷重が印加されたと判断できる。感圧センサ31によれば、外部電極3が上下単一の電極G1,G2であっても荷重が印加された位置を検知することが可能となり、図1の感圧センサ1と同様に、複雑な形状を有する場所にも設置可能な程度の柔軟性、及び外部の擾乱に対するシールド機能を有しつつも、圧力が印加された位置も検出可能な感圧センサを実現できる。また、感圧センサ31によれば、外部電極3を上下単一の電極G1,G2で構成でき、図1の感圧センサ1のように外部電極3の電極間に隙間が形成されないため、外部の擾乱に対するシールド機能をより向上できる。さらに、感圧センサ31によれば、例えば図4におけるV点を電極G1側から押圧した場合、電極S4と電極G1間の距離の方が、電極S1と電極G2間の距離よりも小さくなり、電極S4と電極G1間の静電容量の変化が、電極S1と電極G2間の静電容量の変化よりも大きくなる。つまり、感圧センサ31によれば、上下の外部電極3電極G1,G2のどちらの方向から荷重が印加されたかも判別可能となる。本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加え得ることは勿論である。実施例1図1に示すタイプの静電容量式の感圧センサ1を作製した。上側の外部電極3は、幅5mm、長さ22mmの短冊状の電極G1~G3を1mmの間隔を空けて3個設置した。下側の外部電極3も、同様の寸法の電極G4~G6を同様の方向に配置した。上下一対の外部電極3同士G1とG4、G2とG5、G3とG6は、電気的に接続してある。内部電極2は、幅5mm、長さ15mmの短冊状にして、外部電極3の長手方向と内部電極2の長手方向が垂直になるように、上側と下側の外部電極3の中間に設置した。電極S1~S3,G1~G6の材質は、厚さ6μmPETフィルムに銅2μmを施したものを用いた。外部電極3と内部電極2の間には誘電体4として発泡体を挿入し外部電極3と内部電極2の間が1mmとなるようにした。発泡体は、イノアック製ウレタン発泡商品名:UEM55、密度55kg/m3を使用した。そして、片面に接着剤を塗布したPETテープ厚さ12μm2枚で電極部を上下から包み、外皮5を形成、周囲を接着した。実施例1の感圧センサ1は、S1,S2,S3の3個の内部電極2と、G1とG4、G2とG5、G3とG6の3対の外部電極3間のそれぞれの組み合わせについて計9箇所、静電容量を測定している。そして、例えば図2に示すR点に荷重が印加されると、電極S1と電極G1,G4の距離が近くなり、静電容量が増加する。また、計9箇所の静電容量の中で、電極S1と電極G1,G4間の静電容量の変化が大きい場合、R点に荷重が印加されたと判断することができる。この感圧センサ1に、まんべんなく水滴を20滴たらしたが、静電容量の変化はなく、誤作動は生じなかった。また、図7に示すφ5mmの円柱押圧治具銅製71を用いて、図2におけるP点,Q点,R点に200gの荷重を加え、感圧センサ1を反応させたところ、表1に示すような静電容量の変化が得られた。表1に示すように、実施例1の感圧センサ1では、測定電極電極S1と電極G1,G4、電極S2と電極G2,G5、電極S3と電極G3,G6間で大きな静電容量変化があり、荷重が印加された位置の検出が可能であった。実施例2図3に示すタイプの静電容量式の感圧センサ31を作製した。上側の外部電極3、下側の外部電極3は、21mm×21mmで、上下2枚設置した。上下の外部電極3同士G1とG2は、電気的に接続してある。内部電極2は、幅5mm、長さ15mmの短冊状の電極S1~S6を6個作製し、3個を1mm間隔で並べ、PETテープの絶縁層厚さ12μm32を介して3個を先ほどのものと垂直になるように設置させた。電極S1~S6,G1,G2の材質は、厚さ6μmPETフィルムに銅2μmを施したものを用いた。外部電極3と内部電極2の間には誘電体4として発泡体を挿入し、外部電極3と内部電極2の間が1mmになるようにした。発泡体は、イノアック製ウレタン発泡商品名:UEM55、密度55kg/m3を使用した。そして、片面に接着剤を塗布したPETテープ厚さ12μm2枚で電極部を上下から包み、外皮5を形成、周囲を接着した。実施例2の感圧センサ31は、S1~S6の6個の内部電極2と、G1,G2の1対の外部電極3のそれぞれの組合せについて計6箇所、静電容量を測定している。そして、例えば図4におけるV点に荷重が印加されると、電極S1と電極G2、電極S4と電極G1の電極間の距離が近くなり、静電容量が増加する。また、電極S1と電極G2、電極S4と電極G1の電極間の静電容量の変化が大きい場合、V点に荷重が印加されたと判断することができる。この感圧センサ31に、まんべんなく水滴を20滴たらしたが、静電容量の変化はなく、誤作動は生じなかった。また、図7に示すφ5mmの円柱押圧治具銅製71を用いて、図4におけるT点,U点,V点に200gの荷重を加え、感圧センサ31を反応させたところ、表2に示すように測定電極に大きな静電容量変化があり、位置の検出が可能であった。さらに、感圧センサ31を両面から荷重が加えられるように縦に設置して、図4におけるT点を上側の外部電極3電極G1側から押した場合、電極G1と電極S6間の静電容量は1.5pF変化したが、電極G2と電極S3間の静電容量は0.1pFしか変化せず、これにより上側、下側の外部電極3のどちらの方向から荷重が印加されたかも判別することができた。比較例図5に示すタイプの静電容量式の感圧センサ51を作製した。比較例の感圧センサ51は、図1の感圧センサ1において、下側の外部電極3電極G4~G6と内部電極2の下側の誘電体4とを省略したものである。上側の外部電極3は、幅5mm、長さ22mmの短冊状の電極G1~G3を1mmの間隔を空けて3個設置した。内部電極2は、幅5mm、長さ15mmの短冊状にして、外部電極3の長手方向と内部電極2の長手方向が垂直になるように、上側の外部電極3の下方に設置した。電極S1~S3,G1~G3の材質は、厚さ6μmPETフィルムに銅2μmを施したものを用いた。外部電極3と内部電極2の間には誘電体4として発泡体を挿入し外部電極3と内部電極2の間が1mmとなるようにした。発泡体は、イノアック製ウレタン発泡商品名:UEM55、密度55kg/m3を使用した。そして、片面に接着剤を塗布したPETテープ厚さ12μm2枚で電極部を上下から包み、外皮5を形成、周囲を接着した。この試作品に、まんべんなく水滴を20滴たらしたとき、各電極間の静電容量が大きく変化し、誤作動が生じてしまった。また、図7に示すφ5mmの円柱押圧治具銅製71を用いて、図6に示すW点、X点、Y点に200gの荷重を加え、感圧センサ51を反応させたところ、表3に示すように測定電極に静電容量変化があり、位置の検出が可能であったが、実施例1表1と比較して半分程度の静電容量変化となっていた。以上述べたように、本発明による実施例1,2の感圧センサ1,31は、水滴等の外乱で誤作動を起こさず、荷重が加わった位置を検知でき、荷重に対して感度がよい。"