"分離膜を使用してバイオガスからメタンを濃縮して回収するバイオガスのメタン濃縮方法であって、前記バイオガスを1段目の分離膜へ加圧供給し、前記1段目の分離膜を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを圧縮し、冷却することにより、前記透過ガス中の二酸化炭素を液化して回収し、残った透過ガスを再び前記1段目の分離膜へ再循環させ、前記1段目の分離膜を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスを残圧により2段目の分離膜へ供給し、前記2段目の分離膜を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを前記1段目の分離膜へ再循環させ、前記2段目の分離膜を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスをメタン濃縮ガスとして回収することを特徴とするバイオガスのメタン濃縮方法。前記1段目の分離膜へ供給されるガスを酸化触媒により酸化させることを特徴とする請求項1に記載のバイオガスのメタン濃縮方法。前記1段目の分離膜を透過した透過ガスを冷却する前に除湿することを特徴とする請求項1又は2に記載のバイオガスのメタン濃縮方法。分離膜を使用してバイオガスからメタンを濃縮して回収するバイオガスのメタン濃縮装置であって、バイオガスが供給される供給管と、前記供給管に接続された1段目の分離膜モジュールと、前記供給管に設けられた第1の圧縮機と、前記1段目の分離膜モジュールを透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを前記供給管へ再循環させる第1の再循環管と、前記1段目の分離膜モジュールを透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスが流れる非透過ガス管と、前記第1の再循環管に上流側から順次直列に設けられた第2の圧縮機及び冷却器と、前記非透過ガス管に接続された2段目の分離膜モジュールと、前記2段目の分離膜モジュールを透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを前記供給管へ再循環させる第2の再循環管と、前記2段目の分離膜モジュールを透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスをメタン濃縮ガスとして回収する回収管とを備えたことを特徴とするバイオガスのメタン濃縮装置。前記1段目の分離膜モジュールへ供給されるガスを酸化させるための酸化触媒を前記供給管に設けたことを特徴とする請求項4に記載のバイオガスのメタン濃縮装置。前記1段目の分離膜モジュールと前記第2の圧縮機との間にて前記第1の再循環管に除湿処理器を設けたことを特徴とする請求項4又は5に記載のバイオガスのメタン濃縮装置。ところが、特許文献1に記載の装置では、1段目の分離膜モジュール51における廃棄オフガス透過ガスについては、二酸化炭素の濃度が高く、リサイクルプロセス内再循環するとメタンの回収率が極端に低下してしまう。そのため、1段目の分離膜モジュール51では、2段目の分離膜モジュール52におけるリサイクルオフガス透過ガスのようにはリサイクルせずに廃棄している。その結果、1段目の分離膜モジュール51のオフガスの中に含まれるメタン全体のメタンの10~20程度も廃棄されることとなり、2段目の分離膜モジュール52で回収されるメタンの最終回収率が、実際には90以下となってしまう。このため、メタンの回収率を更に高めることが求められている。この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、バイオガスから最終的に回収されるメタンの回収率を更に向上させることを可能としたバイオガスのメタン濃縮方法及びメタン濃縮装置を提供することにある。上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、分離膜を使用してバイオガスからメタンを濃縮して回収するバイオガスのメタン濃縮方法であって、バイオガスを1段目の分離膜へ加圧供給し、1段目の分離膜を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを圧縮し、冷却することにより、透過ガス中の二酸化炭素を液化して回収し、残った透過ガスを再び1段目の分離膜へ再循環させ、1段目の分離膜を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスを残圧により2段目の分離膜へ供給し、2段目の分離膜を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを1段目の分離膜へ再循環させ、2段目の分離膜を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスをメタン濃縮ガスとして回収することを趣旨とする。上記発明の構成によれば、バイオガスが1段目の分離膜へ加圧供給されることにより、その分離膜でバイオガスの中の成分が分離される。そして、1段目の分離膜を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスが圧縮され、冷却されることにより、透過ガス中の二酸化炭素が液化して回収される。また、メタンを含む残った透過ガスは、再び1段目の分離膜へ再循環される。一方、1段目の分離膜を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは、その残圧により2段目の分離膜へ供給されることにより、その分離膜で非透過ガスの中の成分が更に分離される。そして、2段目の分離膜を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスは、1段目の分離膜へ再循環される。また、2段目の分離膜を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは、メタン濃縮ガスとして回収される。従って、1段目の分離膜を透過した透過ガスの中の二酸化炭素が圧縮と冷却により液化回収されるので、残った透過ガスの中の二酸化炭素濃度が低下し、メタンを多く含むガスとして1段目の分離膜へ再循環される。これにより、従来は捨てていた1段目の分離膜を透過した透過ガスが有効に利用され、その中のメタンが1段目及び2段目の分離膜での分離へと再利用される。上記目的を達成するために、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明であって、1段目の分離膜へ供給されるガスを酸化触媒により酸化させることを趣旨とする。上記発明の構成によれば、請求項1に記載の発明の作用に加え、1段目の分離膜へ供給されるガスが酸化触媒により酸化されるので、そのガス中に含まれる水素が酸化により水となって除去される。上記目的を達成するために、請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の発明であって、1段目の分離膜を透過した透過ガスを冷却する前に除湿することを趣旨とする。上記発明の構成によれば、請求項1又は2に記載の発明の作用に加え、1段目の分離膜を透過した透過ガスが、冷却される前に除湿されるので、透過ガスから水分が除去され、水分を含まない透過ガスが冷却に供される。上記目的を達成するために、請求項4に記載の発明は、分離膜を使用してバイオガスからメタンを濃縮して回収するバイオガスのメタン濃縮装置であって、バイオガスが供給される供給管と、供給管に接続された1段目の分離膜モジュールと、供給管に設けられた第1の圧縮機と、1段目の分離膜モジュールを透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを供給管へ再循環させる第1の再循環管と、1段目の分離膜モジュールを透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスが流れる非透過ガス管と、第1の再循環管に上流側から順次直列に設けられた第2の圧縮機及び冷却器と、非透過ガス管に接続された2段目の分離膜モジュールと、2段目の分離膜モジュールを透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを供給管へ再循環させる第2の再循環管と、2段目の分離膜モジュールを透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスをメタン濃縮ガスとして回収する回収管とを備えたことを趣旨とする。上記発明の構成によれば、バイオガスが供給管に供給され、そのバイオガスが第1の圧縮機により圧縮されることにより、1段目の分離膜モジュールへは、加圧されたバイオガスが供給される。第1の分離膜モジュールでは、供給されたバイオガスの中の成分が分離される。そして、1段目の分離膜モジュールを透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスは第1の再循環管へ流れ、1段目の分離膜モジュールを透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは非透過ガス管へと流れる。第1の再循環管へ流れた透過ガスは、第2の圧縮機により圧縮され、冷却器により冷却されることにより、透過ガス中の二酸化炭素が液化して回収される。また、メタンを含む残った透過ガスは、第1の再循環管を介して供給管へ再循環され、再び1段目の分離膜モジュールへ供給される。一方、1段目の分離膜モジュールを透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは、その残圧により非透過ガス管を介して2段目の分離膜モジュールへ供給される。2段目の分離膜モジュールでは、非透過ガスの中の成分が更に分離される。そして、2段目の分離膜モジュールを透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスは、第2の再循環管を介して供給管へ再循環され、再び1段目の分離膜モジュールへ供給される。一方、2段目の分離膜モジュールを透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは、回収管へ流れ、メタン濃縮ガスとして回収される。従って、1段目の分離膜モジュールを透過した透過ガスの中の二酸化炭素が圧縮と冷却により液化回収されるので、残った透過ガスの中の二酸化炭素濃度が低下し、メタンを多く含むガスとして1段目の分離膜モジュールへ再循環される。これにより、従来は捨てていた1段目の分離膜モジュールを透過した透過ガスが有効に利用され、その中のメタンが1段目及び2段目の分離膜モジュールでの分離へと再利用される。上記目的を達成するために、請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の発明であって、1段目の分離膜モジュールへ供給されるガスを酸化させるための酸化触媒を供給管に設けたことを趣旨とする。上記発明の構成によれば、請求項4に記載の発明の作用に加え、供給管を介して1段目の分離膜モジュールへ供給されるガスが酸化触媒により酸化されるので、そのガス中に含まれる水素が水となって除去される。上記目的を達成するために、請求項6に記載の発明は、請求項4又5に記載の発明であって、1段目の分離膜モジュールと第2の圧縮機との間にて第1の再循環管に除湿処理器を設けたことを趣旨とする。上記発明の構成によれば、請求項4又5に記載の発明の作用に加え、1段目の分離膜モジュールを透過した透過ガスが、第1の再循環管にて、冷却器により冷却される前に除湿処理器により除湿されるので、透過ガスから水分が除去され、水分を含まない透過ガスが冷却器での冷却に供される。請求項1に記載の発明によれば、バイオガスから最終的に回収されるメタンの回収率を更に向上させることができる。請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明の効果に加え、再循環する透過ガスの処理サイクル数が増えてもプロセス内の水素量が累積的に増えることを防止することができ、1段目及び2段目の分離膜における分離効率の低下を防止することができる。請求項3に記載の発明によれば、請求項1又は2に記載の発明の効果に加え、冷却器による冷却時に透過ガスの中の水分が氷結することを防止することができ、メタン濃縮のための阻害要因を排除することができる。請求項4に記載の発明によれば、バイオガスから最終的に回収されるメタンの回収率を更に向上させることができる。請求項5に記載の発明によれば、請求項4に記載の発明の効果に加え、再循環する透過ガスの処理サイクル数が増えてもプロセス内の水素量が累積的に増えることを防止することができ、1段目及び2段目の分離膜モジュールにおける分離効率の低下を防止することができる。請求項6に記載の発明によれば、請求項4又は5に記載の発明の効果に加え、冷却器による冷却時に透過ガスの中の水分が氷結することを防止することができ、メタン濃縮のための阻害要因を排除することができる。以下、本発明におけるバイオガスのメタン濃縮方法及びメタン濃縮装置を具体化した一実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。図1に、この実施形態のメタン濃縮装置を概略構成図により示す。図1に示すように、このメタン濃縮装置は、分離膜を使用してバイオガスからメタンCH4を濃縮して回収するものであり、直列に配置された前後2段の分離膜モジュール1,2を備える。1段目の分離膜モジュール1と2段目の分離膜モジュール2は、それぞれケースの内部に分離膜3を収容して構成される。分離膜3として、例えば、ポリアミド、ポリイミド、ゼオライト等、メタンを透過し難く、二酸化炭素を透過し易い分離膜であれば、種類を限定することなく、いずれであっても使用することができる。分離膜3は、それにバイオガスを透過させることにより、二酸化炭素CO2を多く含む透過ガスと、分離膜を透過しなかったメタンCH4を多く含む非透過ガスとに分離することができる。1段目の分離膜モジュール1の入口側には、バイオガスが供給される供給管4が接続される。この供給管4には、その上流側から順次直列に第1の圧縮機5及び酸化触媒6が設けられる。1段目の分離膜モジュール1の出口側には、第1の再循環管7が接続される。第1の再循環管7は、1段目の分離膜モジュール1を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスオフガスを供給管4へ再循環させるようになっている。この再循環管7の一端は、第1の圧縮機5と酸化触媒6との間にて供給管4に接続される。また、1段目の分離膜モジュール1の出口側には、その分離膜モジュール1を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスが流れる非透過ガス管8が接続される。第1の再循環管7には、二酸化炭素を回収するために、上流側から順次直列に第2の圧縮機9及び冷却器10が設けられる。1段目の分離膜モジュール1と第2の圧縮機9との間にて、第1の再循環管7には、除湿処理器13が設けられる。また、非透過ガス管8の一端は、2段目の分離膜モジュール2の入口側に接続される。2段目の分離膜モジュール2の出口側には、第2の再循環管11が接続される。この第2の再循環管11は、2段目の分離膜モジュール2を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを供給管4へ再循環させるようになっている。この再循環管11の一端は、第1の圧縮機5の上流側にて供給管4に接続される。2段目の分離膜モジュール2の出口側には、その分離膜モジュール2を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスをメタン濃縮ガス精製メタンとして回収する回収管12が接続される。この実施形態で、第1の圧縮機5によるガスの供給圧力は、好ましくは05~098MPaに設定される。酸化触媒6は、好ましくは、例えば100~300°Cに加熱されるように設定される。第2の圧縮機9によるガスの供給圧力は、好ましくは09~3MPaに設定される。冷却器10の冷却温度は、好ましくは-20~-50°Cに設定される。次に、上記したメタン濃縮装置を使用して行われるメタン濃縮方法の一例について説明する。この実施形態では、供給管4に脱硫と脱水がなされたバイオガスが30Nm3/hほど供給されるようになっている。この実施形態では、分離膜を有する1段目及び2段目の分離膜モジュール1,2を使用してバイオガスからメタンを濃縮して回収するバイオガスのメタン濃縮方法を実施している。具体的には、バイオガスを1段目の分離膜モジュール1へ加圧供給し、1段目の分離膜モジュール1を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを圧縮し、冷却することにより、透過ガス中の二酸化炭素を液化して回収し、残った透過ガスを再び1段目の分離膜モジュール1へ再循環させる。1段目の分離膜モジュール1を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスを残圧により2段目の分離膜モジュール2へ供給し、2段目の分離膜モジュール2を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスを1段目の分離膜モジュール1へ再循環させ、2段目の分離膜モジュール2を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスをメタン濃縮ガスとして回収するようにしている。すなわち、図1のaに示す位置では、供給管4に30Nm3/hのバイオガスを供給する。このバイオガスを、第1の圧縮機5により05~098MPa程度まで圧縮して1段目の分離膜モジュール1へ供給する。そして、1段目の分離膜モジュール1にバイオガスを透過させることにより、バイオガスの中の成分を分離させる。ここで、図1のcに示す位置では、第1の再循環管7に、1段目の分離膜モジュール1を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスが流れる。この透過ガスは、二酸化炭素が80以上を占め、残りは大部分がメタンであり、その他に微量の水素H2、酸素02及び窒素N2を含む。一方、図1のdに示す位置では、非透過ガス管8に、1段目の分離膜モジュール1を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスが流れる。この非透過ガスの性状は、メタンが70以上を占め、残りは大部分が二酸化炭素で、その他に微量の水素、酸素及び窒素を含む。図1のcに示す位置では、透過ガスが二酸化炭素を80以上含むため、そのまま1段目の分離膜モジュール1へ戻してリサイクルしようとすると、1段目の分離膜モジュール1の分離効率が極端に低下してしまう。そのため、従来技術では、透過ガスを廃棄していた。そこで、この実施形態では、1段目の分離膜モジュール1を透過した透過ガスを第2の圧縮機9により再び圧縮し、冷却器10により冷却することで、図1のhに示す位置で、二酸化炭素を液化して回収するようにしている。これにより、図1のiに示す位置では、第2の再循環管11に、液化後の残りのガスが流れる。このガスの性状は、二酸化炭素が40~60を占め、メタンが40~60となる。このように、透過ガス中の二酸化炭素の濃度を80以上から40~60へ低下させることにより、1段目の分離膜モジュール1の分離効率を低下させることなく、1段目の分離膜モジュール1を透過した透過ガスを1段目の分離膜モジュール1へ戻してリサイクルすることができる。更に、リサイクルされる透過ガスの圧力は、第2の圧縮機11により、第1の圧縮機5の圧力と同等以上に加圧される。このため、1段目の分離膜モジュール1を透過した透過ガスを、第1の圧縮機5の圧力まで減圧させることで、再圧縮することなく透過ガスを供給管4へ再循環することができる。二酸化炭素を液化して回収するとき、図1のcに示す位置にて、透過ガスに水分が含まれる。この水分が、透過ガスの冷却温度の露点以上の割合で含まれると、冷却器10による冷却時に透過ガスの中の水分が氷結して阻害要因となるおそれがある。そこで、この実施形態では、第1の再循環管7を流れる透過ガスを冷却器10により冷却する前に、除湿処理器13により水分を除去するようにしている。また、透過ガス中に微量に含まれる水素は、二酸化炭素よりも分離膜を透過し易い性質を持つため、再循環する透過ガスの処理サイクル数が増えるに連れてプロセス内の水素量が累積的に増え、分離膜の分離効率が低下するおそれがある。そこで、この実施形態では、1段目の分離膜モジュール1の前段、若しくは、二酸化炭素を液化回収した冷却器10の後段に、酸化触媒6を設けることで、透過ガス中の水素と酸素を酸化反応させて水分に変換するようにしている。このとき発生する水分は、その後段にて、除湿処理器13により除去することができる。1段目の分離膜モジュール1を透過しなかった非透過ガスは、図1のdに示す位置にて、非透過ガス管8に流れ、2段目の分離膜モジュール2へ供給する。そして、2段目の分離膜モジュール2では、1段目の分離膜モジュール1と同様、透過ガスと非透過ガスとに分けられる。このときの非透過ガスは、図1のgに示す位置で、回収管12に流れ、高濃縮された高純度のメタン濃縮ガス製品ガス精製メタンとして回収される。一方、2段目の分離膜モジュール2を透過した透過ガスは、図1のfに示す位置で、第2の再循環管11に流れ、供給管4へ再循環する。この透過ガスの性状は、メタンが約60、二酸化炭素が約40となる。このため、1段目の分離膜モジュール1の分離効率を低下させることなく、透過ガスをリサイクルすることができる。この透過ガスは、大気圧状態となっているので、第1の圧縮機5の前段の供給管4へ戻すようにしている。上記したように、この実施形態では、従来技術では廃棄していた1段目の分離膜モジュール1を透過した透過ガスを、メタン濃縮のためにリサイクルすることができる。このため、回収管12で回収されるメタン濃縮ガス精製メタンにつき、メタンを98以上とすることができ、最終的なメタン回収率を従来よりも5~10以上向上させることができる。加えて、二酸化炭素を液化して回収できるので、バイオガス精製プロセスからの二酸化炭素の発生量を大幅に削減することができる。以上説明したこの実施形態におけるバイオガスのメタン濃縮方法及びメタン濃縮装置によれば、バイオガスが供給管4に供給され、そのバイオガスが第1の圧縮機5により圧縮されることにより、1段目の分離膜モジュール1へは、加圧されたバイオガスが供給される。第1の分離膜モジュール1では、供給されたバイオガスの中の成分が分離される。そして、1段目の分離膜モジュール1を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスは、第1の再循環管7へ流れ、1段目の分離膜モジュール1を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは非透過ガス管8へと流れる。第1の再循環管7へ流れた透過ガスは、第2の圧縮機9により圧縮され、冷却器10により冷却されることにより、透過ガス中の二酸化炭素が液化して回収される。また、メタンを含む残った透過ガスは、第1の再循環管7を介して供給管4へ再循環され、再び1段目の分離膜モジュール1へ供給される。一方、1段目の分離膜モジュール1を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは、その残圧により非透過ガス管8を介して2段目の分離膜モジュール2へ供給される。2段目の分離膜モジュール2では、非透過ガスの中の成分が更に分離される。そして、2段目の分離膜モジュール2を透過した二酸化炭素を多く含む透過ガスは、第2の再循環管11を介して供給管4へ再循環され、再び1段目の分離膜モジュール1へ供給される。一方、2段目の分離膜モジュール2を透過しなかったメタンを多く含む非透過ガスは、回収管12へ流れ、高濃縮された高純度のメタン濃縮ガス製品ガス精製メタンとして回収される。従って、1段目の分離膜モジュール1を透過した透過ガスの中の二酸化炭素が、圧縮と冷却により液化回収されるので、残った透過ガスの中の二酸化炭素濃度が低下し、メタンを多く含むガスとして1段目の分離膜モジュール1へ再循環される。これにより、従来は捨てていた1段目の分離膜モジュール1を透過した透過ガスが有効に利用され、その中のメタンが1段目及び2段目の分離膜モジュール1,2での分離へと再利用される。このため、バイオガスから最終的に回収されるメタンの回収率を更に向上させることができる。この実施形態では、供給管4を介して1段目の分離膜モジュール1へ供給されるガスが酸化触媒6により酸化されるので、そのガス中に含まれる水素が酸化により水となって除去される。このため、再循環する透過ガスの処理サイクル数が増えてもプロセス内の水素量が累積的に増えることを防止することができ、1段目の分離膜モジュール1及び2段目の分離膜モジュール21段目の分離膜3及び2段目の分離膜3における分離効率の低下を防止することができる。また、この実施形態では、1段目の分離膜モジュール1を透過した透過ガスが、第1の再循環管7にて、冷却器10により冷却される前に除湿処理器13により除湿されるので、透過ガスから水分が除去され、水分を含まない透過ガスが冷却器での冷却に供される。このため、冷却器10による冷却時に透過ガスの中の水分が氷結することを防止することができ、メタン濃縮のための阻害要因を排除することができる。なお、この発明は前記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で構成の一部を適宜に変更して実施することもできる。例えば、前記実施形態では、酸化触媒6や除湿処理器13を設けたが、場合によってはこれらの器材を省略することもできる。"