"ε型銅フタロシアニンクルード、α型銅フタロシアニンを含むε型銅フタロシアニンセミクルード又は窒素吸着法におけるBET比表面積が90m2/g以下のε型銅フタロシアニン顔料を、前記クルード、セミクルード又は顔料を1重量部当たり8~20重量部の、平均粒子径0.5~50μmの無機塩を用いてソルベントソルトミリングし、次いで、有機溶剤と無機塩を除去する、窒素吸着法におけるBET比表面積95~150m2/gを有するε型銅フタロシアニン微細顔料の製造方法。更にフタロシアニン誘導体の存在下でソルベントソルトミリングを行う請求項1記載のε型銅フタロシアニン微細顔料の製造方法。しかしながら、上記した従来の方法では、いずれも顔料の微細化に限界があり、得られた比表面積の小さいε型銅フタロシアニン顔料は、いずれも使用に当たっての分散性が不充分であるという欠点があった。その結果、カラーフィルター用に用いた場合、鮮明性と明度が不充分となる欠点もあった。そこで本発明者等は、上記実状に鑑みて鋭意検討した結果、ε型銅フタロシアニン顔料を従来より大きな比表面積とすることで、上記課題を解決できることを見い出し本発明を完成するに至った。即ち、本発明は上記課題を解決するために、次の発明を提供するものである。1.ε型銅フタロシアニンクルード、α型銅フタロシアニンを含むε型銅フタロシアニンセミクルード又は窒素吸着法におけるBET比表面積が90m2/g以下のε型銅フタロシアニン顔料を、前記クルード、セミクルード又は顔料を1重量部当たり8~20重量部の、平均粒子径0.5~50μmの無機塩を用いてソルベントソルトミリングし、次いで、有機溶剤と無機塩を除去する、窒素吸着法におけるBET比表面積95~150m2/gを有するε型銅フタロシアニン微細顔料の製造方法。本発明の製造方法では、粗顔料に対する無機塩の使用割合が従来よりも多いので、比表面積がより大きいε型銅フタロシアニン微細顔料が容易に製造できるという格別顕著な効果を奏する。以下、本発明について詳細に説明する。本発明におけるε型銅フタロシアニン微細顔料は、C.I.PigmentBlue15:6であり、従来よりもより大きな比表面積を有することを最大の特徴とする。本発明のε型銅フタロシアニン微細顔料は、例えば、ε型銅フタロシアニンクルード又はα型銅フタロシアニンを含むε型銅フタロシアニンセミクルードを、クルードまたはセミクルードに対する無機塩の倍率が従来より高い条件で、ソルベントソルトミリングすることにより製造することが出来る。本発明で用いる、ε型銅フタロシアニンクルードとは、一次粒子の平均粒子径が50~0.1μmのε型銅フタロシアニンを意味し、一方、α型銅フタロシアニンを含むε型銅フタロシアニンセミクルードとは、一次粒子の平均粒子径0.02~0.001μmの粒子が凝集したα型銅フタロシアニンとε型銅フタロシアニンとの混合物を意味する。ここで、ε型銅フタロシアニンクルードの製造方法としては、金属フタロシアニン誘導体の存在下または不存在下で銅フタロシアニンを製造する公知慣用の製造方法をいずれも採用できるが、フタロシアニン誘導体の少量の存在下で銅フタロシアニンを製造する方法は、ε型銅フタロシアニンの含有率が高くなるので好ましい。なお、フタロシアニン誘導体については追って詳述する。この様な製造方法としては、例えば、ニトロベンゼン溶剤中、無水フタル酸と尿素と銅塩及び反応触媒を銅フタロシアニンスルホクロリドとデヒドロアビエチルアミンとの縮合反応物の存在下に加熱攪拌して合成する方法特開昭53-39325号公報や、アルキルベンゼン溶媒中で、無水フタル酸と尿素と銅塩及び反応触媒を銅フタロシアニンスルホアミド誘導体とシード結晶としてのε型銅フタロシアニン存在下にに加熱攪拌して合成する方法特開昭57-149358号公報等を用いることができる。α型銅フタロシアニンを含むε型銅フタロシアニンセミクルードは、例えばε型銅フタロシアニンクルードを摩砕することにより得ることが出来るが、通常は、ε型銅フタロシアニンクルードを粉砕媒体の存在下で乾式摩砕することにより得られる。この摩砕に使用する乾式摩砕装置としては、例えば、粉砕媒体等が充填されたボールミル装置、振動ミル装置、アトライターミル装置、円筒型のビーズミル装置、横置型ダブルドラムミル装置等が挙げられる。これらの装置の中でも、粉砕すべき粉体を入れるための、縦方向の軸線を有する円筒形の摩砕容器と、この軸線に沿って配置された回転軸、及びこの回転軸に固定され、それぞれが摩砕容器の側壁に向かって外向きに対称に延びた一対の腕を2個以上有する撹拌機とからなり、粉砕媒体として鋼球が充填されたアトライターミル装置が好ましいこれは、特開昭58-29861号公報に記載されている。。乾式摩砕装置で使用される粉砕媒体しては、例えば、鉄、ステンレス、コランダム、陶器、ステアタイト、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化混合物、石英等のボールやロッドなどが挙げられる。その大きさは、通常、直径1~50mmである。この乾式摩砕は、通常100°C以下の温度、好ましくは常温~100°Cの温度で行われる。乾式摩砕時間は、摩砕装置の種類と、必要とする顔料比表面積によって決定されるが、一般に0.1~36時間である。例えば、摩砕装置として、上記好適なアトライターミルを用いた場合の乾式摩砕時間は、通常0.1~10時間、好ましくは0.5~5時間であり、振動ミルを用いの場合の乾式摩砕時間は、通常1~36時間、好ましくは2~12時間である。金属フタロシアニン誘導体を含むε型銅フタロシアニンクルードを摩砕すると、α型銅フタロシアニンとフタロシアニン誘導体とを含むε型銅フタロシアニンセミクルードが得られる。同様の一次粒子の平均粒子径を有するセミクルードを得る場合には、この金属フタロシアニン誘導体の存在下で摩砕するほうが、より摩砕時間を短くすることが出来る。本発明では前記したクルードやセミクルードに代えて、窒素吸着法におけるBET比表面積が90m2/g以下のε型銅フタロシアニン顔料を用いることが出来る。このε型銅フタロシアニン顔料は、例えば、英国特許第1411880号明細書に従って得ることが出来る。この方法は、α型、γ型もしくはδ型の各銅フタロシアニンまたはこれらの混合物を高度の粉砕エネルギーを用いてε型を必須に含む様に粉砕し、この粉砕物と例えばエタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノンまたはテトラヒドロフラン等の有機溶剤と共に、銅フタロシアニンがβ型に変換しない前記有機溶剤に特有の温度限界温度以下で1~30時間加熱し攪拌して脱溶剤し乾燥する方法である。β型への結晶転移を防止するためには、水を併用することも出来る。また必要なら加圧下に前記操作を行うことが出来る。以下、ε型銅フタロシアニンクルードと、α型銅フタロシアニンを含むε型銅フタロシアニンセミクルードと窒素吸着法におけるBET比表面積が90m2/g以下のε型銅フタロシアニン顔料を合わせて、便宜的に、粗顔料と称する。このようにして得られた粗顔料は、次いで顔料化処理される。この顔料化処理方法としては、特に限定はなく、各種の顔料化処理法を採用することができるが、多量の有機溶剤中で粗顔料を加熱攪拌するソルベント処理よりも、容易に結晶成長を抑制でき、かつ比表面積の大きい顔料粒子が得られる点で、ソルベントソルトミリング処理を採用するのが好ましい。このソルベントソルトミリングとは、粗顔料と無機塩と有機溶剤とを混練摩砕することを意味する。具体的には、粗顔料と、無機塩と、それを溶解しない有機溶剤とを混練機に仕込み、その中で混練摩砕を行う。この際の混練機としては、例えばニーダーやミックスマーラー等が使用できる。上記無機塩としては、水溶性無機塩が好適に使用でき、例えば塩化ナトリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム等の無機塩を用いることが好ましい。また、平均粒子径0.5~50μmの無機塩を用いることがより好ましい。この様な無機塩は、通常の無機塩を微粉砕することにより容易に得られる。本発明で規定する特定BET比表面積のε型銅フタロシアニン微細顔料を得るに当たっては、ソルベントソルトミリングにおける粗顔料使用量に対する無機塩使用量を、従来よりも高くするのが好ましい。即ち当該無機塩の使用量は、粗顔料1重量部に対して8~20重量部とするのが好ましく、10~15重量部とするのがより好ましい。有機溶剤としては、結晶成長を抑制し得る有機溶剤としての水溶性有機溶剤が好適に使用でき、例えばジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコール、プロピレングリコール、液体ポリエチレングルコール、液体ポリプロピレングリコール、2-メトキシメトキシエタノール、2-ブトキシエタノール、2ーイソペンチルオキシエタノール、2-ヘキシルオキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングルコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、1-メトキシ-2-プロパノール、1-エトキシ-2-プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコール等を用いることができる。当該水溶性有機溶剤の使用量は、特に限定されるものではないが、粗顔料1重量部に対して0.01~5重量部が好ましい。本発明の製造方法では、粗顔料のみをソルベントソルトミリングしても良いが、粗顔料とフタロシアニン誘導体とを併用してソルベントソルトミリングするのが本発明で規定する比表面積の顔料をより短時間で得ることが出来る点で好ましい。フタロシアニン誘導体の存在下で製造した粗顔料をそのままソルベントソルトミリングしても良いし、フタロシアニン誘導体の不存在下で製造した粗顔料にフタロシアニン誘導体を加えてソルベントソルトミリングしても良い。勿論、フタロシアニン誘導体の存在下で製造した粗顔料に更にフタロシアニン誘導体を加えてソルベントソルトミリングしても良い。同一比表面積の微細顔料を得る場合、フタロシアニン誘導体の存在下でソルベントソルトミリングを行うほうが、不存在下でソルベントソルトミリングを行うよりは、本発明で規定した範囲内であっても、無機塩の使用量をより低減することが出来る。粗顔料調製時及び/又はソルベントソルトミリング時に粗顔料に含めることが出来るフタロシアニン誘導体としては、公知慣用のものがいずれも使用出来るが、下記一般式Iのフタロシアニン誘導体が好ましい。式中、Pは中心金属を有さないまたは中心金属を有するフタロシニアン残基を、Aは直接結合又は二価の連結基を、Yは第1~3級アミノ基又は複素環残基を、そしてnは~4を表す。具体的には、無金属又は金属フタロシアニンのフタルイミドメチル誘導体、同スルホン酸誘導体、同N-ジアルキルアミノメチル誘導体、同N-ジアルキルアミノアルキルスルホン酸アミド誘導体が好ましい。これらのフタロシアニン誘導体には、更に1級アミン、2級アミン、3級アミン、4級アミン塩、エチレンジアミン等のアミンを添加して用いることも好ましい。粗顔料調製時に併用するフタロシアニン誘導体としては、ε型銅フタロシアニンの収率が最も高くなる点で、スルホン酸誘導体やスルホン酸-芳香族アミン縮合物からなる誘導体が好ましく、ソルベントソルトミリング時に併用するフタロシアニン誘導体としては、より比表面積を大きくできる点でフタルイミドメチル誘導体が好ましい。金属フタロシアニン誘導体としては、顔料の中心金属と対応する銅フタロシアニン誘導体を用いることが好ましい。粗顔料調製時及び/又はソルベントソルトミリング時に粗顔料に含めることが出来るフタロシアニン誘導体は、通常、粗顔料1重量部当たり0.01~0.3重量部である。尚、粗顔料調製時及び/又はソルベントソルトミリング時にフタロシアニン誘導体を用いる場合には、粗顔料とフタロシアニン誘導体との合計量を粗顔料の使用量と見なして、無機塩の使用量等は、前記した範囲から選択する。ソルベントソルトミリング時の温度は、30~150°Cが好ましく、80~100°Cがより好ましい。ソルベントソルトミリングの時間は、5時間から20時間が好ましく、8~18時間がより好ましい。こうして、窒素吸着法におけるBET比表面積95~150m2/gを有する本発明のε型銅フタロシアニン顔料、無機塩、有機溶剤を主成分として含む混合物が得られるが、この混合物から有機溶剤と無機塩を除去し、必要に応じてε型銅フタロシアニン微細顔料を主体とする固形物を洗浄、濾過、乾燥、粉砕等をすることにより、ε型銅フタロシアニン微細顔料粉体を得ることが出来る。洗浄としては、水洗、湯洗のいずれも採用できる。洗浄回数は、1~5回の範囲で繰り返すことも出来る。水溶性無機塩及び水溶性有機溶剤を用いた前記混合物の場合は、水洗することで容易に有機溶剤と無機塩を除去することが出来る。上記した濾別、洗浄後の乾燥としては、例えば、乾燥機に設置した加熱源による80~120°Cの加熱等により、顔料の脱水及び/又は脱溶剤をする回分式あるいは連続式の乾燥等が挙げられ、乾燥機としては一般に箱型乾燥機、バンド乾燥機、スプレードライアー等がある。また、乾燥後の粉砕は、比表面積を大きくしたり一次粒子の平均粒子径を小さくするための操作ではなく、例えば箱型乾燥機、バンド乾燥機を用いた乾燥の場合のように顔料がランプ状等のとなった際に顔料を解して粉末化するために行うものであり、例えば、乳鉢、ハンマーミル、ディスクミル、ピンミル、ジェットミル等による粉砕等が挙げられる。こうして、窒素吸着法におけるBET比表面積95~150m2/gを有する本発明のε型銅フタロシアニン微細顔料を主成分として含む顔料粉末が得られる。本発明の特定比表面積のε型銅フタロシアニン顔料は、公知慣用の用途にいずれも使用できるが、この比表面積が達成されたことにより、着色すべき合成樹脂等への分散性がより良好となる。また、カラーフィルター分野においては、カラーフィルター用レジストインキを硬化する際に多用される365nmにおける遮光性は低下し、レジストの光硬化感度の低下がなく、現像時の膜へりやパターン流れも起こり難くなるので好ましい。尚、本発明における窒素吸着法におけるBET比表面積は、JISZ8830-1990気体吸着による粉体の比表面積測定方法に従って測定される。カラーフィルターを製造する場合は、本発明の微細顔料は、窒素吸着法におけるBET比表面積95~150m2/g、かつ、一次粒子の平均粒子径が0.01~0.06μmであることが好ましい。微細顔料の一次粒子の平均粒子径が上記粒子径範囲であると、顔料凝集も比較的弱く、カラーフィルター用レジストインキへの顔料分散が容易であり、近年要求されている鮮明度と明度とのいずれもが高いカラーフィルターがより簡便に得られる。本発明の微細顔料は、縦横のアスペクト比が4以下であると、インキ及び塗料等の粘度特性を向上にも寄与し、流動性がより高くなるので好ましい。また、顔料の一次粒子の平均粒子径及び縦横のアスペクト比は、透過型電子顕微鏡又は走査型電子顕微鏡により測定することが出来る。本発明における顔料の一次粒子の平均粒子径は、透過型電子顕微鏡JEM-2010日本電子株式会社製で視野内の顔料を撮影し、二次元画像上の、凝集体を構成する顔料一次粒子の50個につき、その長い方の径長径を各々求め、それを平均した値である。本発明における顔料の一次粒子の縦横のアスペクト比は、短径と前記長径とから求められる。短径は、透過型電子顕微鏡で視野内の顔料を撮影し、二次元画像上の、凝集体を構成する顔料一次粒子の50個につき、その短い方の径短径を各々求め、それを平均した値である。なお、本発明においては、青色カラーフィルター用として、赤味つけのためにジオキサジン系化合物顔料を併用することも出来る。ジオキサジン系化合物顔料としては、例えばC.I.PigmentViolet23、同37等が挙げられる。本発明では、従来の小さい比表面積のε型銅フタロシアニン顔料をジオキサジン系化合物顔料と併用していた場合における、液晶ディスプレイとした時の明るさの低下がより小さくなるし、青色領域の光透過量もより大きくなる。本発明のε型銅フタロシアニン微細顔料は、公知の方法でカラーフィルターの青色パターンの形成に用いることが出来る。カラーフィルターの製造方法としては、例えば、この顔料を感光性樹脂からなる分散媒に分散させた後、スピンコート法、ロールコート法、インクジェット法等でガラス等の透明基板上に塗布し、ついでこの塗布膜に対して、フォトマスクを介して紫外線によるパターン露光を行った後、未露光部分を溶剤等で洗浄して青色パターンを得る、フォトリソグラフィーと呼ばれる方法が挙げられる。その他、電着法、転写法の方法で青色パターンを形成して、カラーフィルターを製造してもよい。なお、赤色パターンおよび緑色パターンも公知の顔料を使用して、同様の方法で形成できる。カラーフィルター用レジストインキを調製するには、顔料と、感光性樹脂と、光重合開始剤と、前記樹脂を溶解する有機溶剤とを必須成分として混合する。その製造方法としては、顔料と有機溶剤と必要に応じて分散剤を用いて顔料分散液を調製してから、そこに感光性樹脂等を加えてレジストインキとする方法が一般的である。ここで顔料としては、フタロシアニン誘導体を含んでいても含んでいなくても良いε型銅フタロシアニン顔料と、必要に応じてジオキサジン系化合物顔料を用いることが出来る。必要に応じて用いる分散剤としては、例えば、ビックケミー社のディスパービック130、ディスパービック161、ディスパービック162、ディスパービック163、ディスパービック170、エフカ社のエフカ46、エフカ47等が挙げられる。また、レベンリグ剤、カップリング剤、カチオン系の界面活性剤なども併せて使用可能である。有機溶剤としては、トルエンやキシレン、メトキシベンゼン等の芳香族系溶剤、酢酸エチルや酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル系溶剤、エトキシエチルプロピオネート等のプロピオネート系溶剤、メタノール、エタノール等のアルコール系溶剤、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤、ヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤、N,N-ジメチルホルムアミド、γ-ブチロラクタム、N-メチル-2-ピロリドン、アニリン、ピリジン等の窒素化合物系溶剤、γ-ブチロラクトン等のラクトン系溶剤、カルバミン酸メチルとカルバミン酸エチルの48:52の混合物のようなカルバミン酸エステル、水等がある。有機溶剤としては、特にプロピオネート系、アルコール系、エーテル系、ケトン系、窒素化合物系、ラクトン系、水等の極性溶媒で水可溶のものが適している。顔料100重量部当たり、300~1000重量部の有機溶剤と、必要に応じて0~80重量部の分散剤とを、均一となる様に攪拌分散して顔料分散液を得ることができる。次いでこの顔料分散液に、顔料1重量部当たり、3~20重量部の感光性樹脂、感光性樹脂1重量部当たり0.05~3重量部の光重合開始剤と、必要に応じてさらに有機溶剤を添加し、均一となる様に攪拌分散してレジストインキを得ることができる。この際に使用可能な感光性樹脂としては、例えばウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリアミド酸系樹脂、ポリイミド系樹脂、スチレンマレイン酸系樹脂、スチレン無水マレイン酸系樹脂等の熱可塑性樹脂や、例えば1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ビスアクリロキシエトキシビスフェノールA、3-メチルペンタンジオールジアクリレート等のような2官能モノマー、トリメチルロールプロパトントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリス2-ヒドロキシエチルイソシアネート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート等のような多官能モノマー等の光重合性モノマーが挙げられる。光重合開始剤としては、例えばアセトフェノン、ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタノール、ベンゾイルパーオキサイド、2-クロロチオキサントン、1,3-ビス4’-アジドベンザル-2-プロパン、1,3-ビス4’-アジドベンザル-2-プロパン-2’-スルホン酸、4,4’-ジアジドスチルベン-2,2’-ジスルホン酸等がある。こうして調製されたカラーフィルター用レジストインキは、フォトマスクを介して紫外線によるパターン露光を行った後、未露光部分を有機溶剤やアルカリ水等で洗浄することによりカラーフィルターとなすことができる。本発明の顔料は、高い鮮明性を有する微細な顔料であり、詳述したカラーフィルター用以外にも、塗料、プラスチック、印刷インク、ゴム、レザー、捺染、電子トナー、ジェットインキ、熱転写インキなどの着色に適する。次に、製造例、実施例及び比較例により本発明を詳述する。なお、部はいずれも重量基準である。製造例1大日本インキ化学工業株式会社製のファーストゲンブルーEPCε型銅フタロシアニンブルークルード。一次粒子の平均粒子径0.1~10μm、比表面積5m2/g。微量の銅フタロシアニンスルホン酸-芳香族アミン縮合物からなる誘導体を含有。1部、粉砕した塩化ナトリウム10部、ジエチレングリコール1部、銅フタロシアニンフタルイミドメチル誘導体0.05部を双腕型ニーダーに仕込み、80°C~90°Cで10時間混練した。混練後80°Cの1塩酸水溶液100重量部に取り出し、1時間攪拌後、濾過、湯洗、乾燥、粉砕し、ε型銅フタロシアニン微細顔料aを得た。得られた微細顔料aの窒素吸着法によるBET比表面積については、マイクロデータ株式会社製マイクロソープ4232IIを用いて測定したところ比表面積は110m2/gであった。尚、同社製NISTのMO-206-11比表面積110±7m2/gを用いて校正した結果は、112.34m2/gであった。また、平均粒子径については、透過型電子顕微鏡JEM-2010日本電子株式会社製で測定し、平均粒子径は0.02μmであった。縦横のアスペクト比は2であった。製造例2大日本インキ化学工業株式会社製のファーストゲンブルーEPCを、アトライターミル装置を用いて、摩砕空間1L当たり0.4KWの出力密度で乾式摩砕して、一次粒子の平均粒子径が0.02μmのセミクルードα型とε型の混合物、比表面積3m2/gを得た。尚、ここで用いたアトライターミル装置は、粉砕すべき粉体を入れるための、縦方向の軸線を有する円筒形の摩砕容器と、この軸線に沿って配置された回転軸、及びこの回転軸に固定され、それぞれが摩砕容器の側壁に向かって外向きに対称に延びた一対の腕を2個以上有する撹拌機とからなり、粉砕媒体として鋼球が充填されたアトライターミル装置である。このセミクルード1部、粉砕した塩化ナトリウム10部、ジエチレングリコール1部、銅フタロシアニンN-ジメチルアミノプロピルスルホン酸アミド誘導体0.10部を双腕型ニーダーに仕込み、80°C~90°Cで7時間混練した。混練後80°Cの1塩酸水溶液100重量部に取り出し、1時間攪拌後、濾過、湯洗、乾燥、粉砕しε型銅フタロシアニン微細顔料bを得た。得られた微細顔料bの上記機器による比表面積は130m2/gで、上記機器による平均粒子径は0.01μmであった。縦横のアスペクト比は1.5であった。製造例3特開昭48-101419号公報実施例1に従って、まず、β型粗製銅フタロシアニンを濃硫酸に溶解し、この硫酸溶液を多量の水中に注入してα型銅フタロシアニンに変換し、濾過し中性となるまで水洗し乾燥した。次いで、このα型銅フタロシアニン10gを鋼球を入れたプラネットボールミル容積0.2リットル、球直径3cm、球容積28cm3中で16時間20°Cにて粉砕し、α型とε型の銅フタロシアニンを含む乾式摩砕物を得て、これを20倍量のエタノール中で8時間78°Cにて還流下に攪拌して、ε型銅フタロシアニン顔料を製造した。これを濾過し水洗し乾燥させた。解したこのε型銅フタロシアニンブルー顔料は、一次粒子の平均粒子径0.1μm、比表面積50m2/gであった。このε型銅フタロシアニンブルー顔料1部、粉砕した塩化ナトリウム10部、ジエチレングリコール1部、銅フタロシアニンフタルイミドメチル誘導体0.05部を双腕型ニーダーに仕込み、80°C~90°Cで8時間混練した。混練後80°Cの1塩酸水溶液100重量部に取り出し、1時間攪拌後、濾過、湯洗、乾燥、粉砕し、ε型銅フタロシアニン微細顔料cを得た。得られた微細顔料cの上記機器による比表面積は110m2/gで、上記機器による平均粒子径は0.02μmであった。縦横のアスペクト比は2であった。製造例4製造例2で得たセミクルード1部、トルエン3部、n-ブタノール1.5部、水6.7部からなる混合溶剤に投入し、共沸温度で4時間加熱した後、溶剤を蒸留回収し、濾過、粉砕し、ε型銅フタロシアニン顔料を得た。得られた顔料dの上記機器による比表面積は70m2/gで、上記機器による平均粒子径は0.10μmであった。縦横のアスペクト比は4であった。製造例5製造例1の粉砕した塩化ナトリウム10部を7部に、混練時の温度を80°C~90°Cから120~130°Cに変更して、ε型銅フタロシアニン顔料を得た。得られた顔料eの上記機器による比表面積は70m2/gで、上記機器による平均粒子径は0.07μmであった。縦横のアスペクト比は2であった。実施例1上記の製造例で得られた微細顔料aを青色顔料として用い、赤色顔料としてアントラキノンレッドを、青色顔料として臭素化フタロシアニングリーンを用いて、フォトリソグラフィーで、以下の通りカラーフィルターを製造した。カラーフィルターの製造方法としては、微細顔料a10部、N,N’-ジメチルホルムアミド2.5部、ディスパービック161ビックケミー社製6.78部、ユーカーエステルEEPユニオンカーバイド社製80.80部を0.5mmφセプルビーズを加え、ペイントコンディショナー東洋精機株式会社製で1時間分散し、顔料分散液を得た。この顔料分散液75.00部とポリエステルアクリレート樹脂アロニックスM7100、東亜合成化学工業株式会社製5.50部、ジぺンタエリスレートヘキサアクリレートKAYARADDPHA、日本化薬株式会社製5.00部、ベンゾフェノンKAYACUREBP-100、日本化薬株式会社製1.00部、ユーカーエステルEFP13.5部を分散攪拌機で攪拌し、カラーレジストを得た。カラーレジストは1mm厚ガラスに乾燥膜厚1μmとなるように塗布した。次いでフォトマスクを介して紫外線によるパターン露光を行った後、未露光部分を有機溶剤で洗浄することによりカラーフィルターとした。実施例2上記の製造例で得られた顔料組成物bを青色顔料として用いた以外は実施例1と同様にしてカラーフィルターを製造した。実施例3上記の製造例で得られた顔料組成物cを青色顔料として用いた以外は実施例1と同様にしてカラーフィルターを製造した。製造した実施例1、2、3のカラーフィルターの青色パターンの鮮明性および明度を目視評価した。その結果を表1に示す。比較例1上記の製造例で得られた顔料組成物dを青色顔料として用いた以外は実施例1と同様にしてカラーフィルターを製造した。比較例2上記の製造例で得られた顔料組成物eを青色顔料として用いた以外は実施例1と同様にしてカラーフィルターを製造した。また、実施例1と同様にして製造したカラーフィルターの青色パターンの鮮明性および明度を目視評価した。その結果を表1に示す。表1窒素吸着法におけるBET比表面積が110、130m2/gの実施例1~3のε型銅フタロシアニン微細顔料a、b、cは、顔料の分散性に優れ、顔料凝集が極めて少ないカラーフィルター用レジストインキをより短時間で調製でき、それから得られる青色パターンは、表1から明らかなように、鮮明性と明度が高いものであった。一方、比較例1及び2の窒素吸着法におけるBET比表面積が70m2/gのε型銅フタロシアニン顔料d、eを使用したカラーフィルターは、鮮明性と明度が低いものであった。実施例1、2及び3のレジストインキよりも顔料凝集が多く分散性と流動性がやや悪かった。また、光硬化感度は実施例のよりも低かった。また、実施例1~3の微細顔料a、b及びcをC.I.PigmentViolet23と併用した顔料組成物を用いて上記と同様にして得たカラーフィルターは、比較例1の顔料d及びeをC.I.PigmentViolet23と併用した顔料組成物を用いて上記と同様にして得たカラーフィルターよりも、鮮明性と明度が高いものであった。"