"リチウムLiとベリリウムBeとホウ素BとナトリウムNaとマグネシウムMgと珪素SiとカリウムKとカルシウムCaとチタンTiとバナジウムVとクロムCrとマンガンMnと鉄FeとニッケルNiとコバルトCoと銅Cuと亜鉛ZnとガリウムGaとゲルマニウムGeとヒ素AsとセレンSeとジルコニウムZrとモリブデンMoと銀AgとカドミウムCdとインジウムInとスズSnとアンチモンSbとバリウムBaとランタンLaとセリウムCeと白金Ptと水銀Hgと鉛PbとビスマスBiの合計含有量が原子比で0.45ppm以下であり、残留抵抗比のサイズ効果補正値が70000~100000であることを特徴とするアルミニウム材。チタンTiの含有量が原子比で0.02ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載のアルミニウム材。請求項1または2のいずれか1項に記載のアルミニウム材の半導体成膜プロセスでの使用。請求項1または2のいずれか1項に記載のアルミニウム材の半導体バルク単結晶成長プロセスでの使用。アルミニウムの一部分を溶融した溶融部を形成し、該溶融部を移動させて不純物を除去する帯溶融工程を含むアルミニウム材の製造方法であって、前記溶融部を形成するアルミニウムがアルミナ層の上に配置され、かつ前記溶融部の移動速度が毎時40mm以下であることを特徴とするアルミニウム材の製造方法。前記帯溶融工程を減圧下で行うことを特徴とする請求項5に記載の製造方法。前記帯溶融工程を圧力3×10-6Pa~2×10-5Paの減圧下で行うことを特徴とする請求項6に記載の製造方法。前記帯溶融工程を不活性ガス雰囲気中で行うことを特徴とする請求項5に記載の製造方法。前記溶融部の移動方向に沿った長さが30~120mmであることを特徴とする請求項5~8のいずれか1項に記載の製造方法。本願はこのような要望に応えて、不純物レベルをよりいっそう抑制したアルミニウム材およびその製造精製方法を提供することを目的とする。本発明の態様1は、リチウムLiとベリリウムBeとホウ素BとナトリウムNaとマグネシウムMgと珪素SiとカリウムKとカルシウムCaとチタンTiとバナジウムVとクロムCrとマンガンMnと鉄FeとニッケルNiとコバルトCoと銅Cuと亜鉛ZnとガリウムGaとゲルマニウムGeとヒ素AsとセレンSeとジルコニウムZrとモリブデンMoと銀AgとカドミウムCdとインジウムInとスズSnとアンチモンSbとバリウムBaとランタンLaとセリウムCeと白金Ptと水銀Hgと鉛PbとビスマスBiの合計含有量が原子比で0.45ppm以下であり、残留抵抗比のサイズ効果補正値が70000~100000であることを特徴とするアルミニウム材である。本発明の態様2は、チタンTiの含有量が原子比で0.02ppm以下であることを特徴とする態様1に記載のアルミニウム材である。本発明の態様3は、態様1または2のいずれかに記載のアルミニウム材の半導体成膜プロセスでの使用である。本発明の態様4は、態様1または2のいずれかに記載のアルミニウム材の半導体バルク単結晶成長プロセスでの使用である。本発明の態様5は、アルミニウムの一部分を溶融した溶融部を形成し、該溶融部を移動させて不純物を除去する帯溶融工程を含むアルミニウム材の製造方法であって、前記溶融部を形成するアルミニウムがアルミナ層の上に配置され、かつ前記溶融部の移動速度が毎時40mm以下であることを特徴とするアルミニウム材の製造方法である。本発明の態様6は、前記帯溶融工程を減圧下で行うことを特徴とする態様5に記載の製造方法である。本発明の態様7は、前記帯溶融工程を圧力3×10-6Pa~2×10-5Paの減圧下で行うことを特徴とする態様6に記載の製造方法である。本発明の態様8は、前記帯溶融工程を不活性ガス雰囲気中で行うことを特徴とする態様5に記載の製造方法である。本発明の態様9は、前記溶融部の移動方向に沿った長さが30~120mmであることを特徴とする態様5~8のいずれかに記載の製造方法である。本願発明により、金属35元素Li、Be、B、Na、Mg、Si、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni、Co、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Se、Zr、Mo、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Ba、La、Ce、Pt、Hg、Pb、Biの合計含有量が0.45ppm以下であり、かつ残留抵抗比のサイズ効果補正値が70000以上、100000以下と不純物レベルが極めて低い高純度アルミニウム材およびその製造方法を提供することができる。本願発明の不純物を抑制したアルミニウム材は、金属元素成分が所定量以下であるアルミニウム材である。より詳細には、本発明は、金属35元素の合計含有量が0.45ppm以下であり、好ましくは0.05~0.2ppmであり、より好ましくは0.05~0.15ppmであるアルミニウム材である。本願発明のアルミニウム材は、詳細を後述する残留抵抗比のサイズ効果補正値が70000~100000である。ここで、本明細書において用語包晶系7元素は、Ti,V、Cr、As、Se、Zr、Moの7つの元素を意味する。同様に、本明細書において用語金属35元素は、Li、Be、B、Na、Mg、Si、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Ni、Co、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Se、Zr、Mo、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Ba、La、Ce、Pt、Hg、Pb、Biの35元素を意味する。また、本明細書におけるppmは原子比で示したppmである。次に、用語残留抵抗比のサイズ効果補正値について説明する。金属等の材料の純度を示す指標として、残留抵抗比RRRが知られている。残留抵抗比とは、同一の材料試料の絶対温度4.2Kでの電気抵抗測定値と室温での電気抵抗測定値の比室温での電気抵抗測定値を4.2Kでの電気抵抗測定値で除した値であり、高純度アルミニウムは低温で電気抵抗が小さいために、通常、1より大きい値を示す。残留抵抗比はアルミニウムの純度が上がるほど大きくなることが知られている。不純物含有量が10ppm以下のような高純度アルミニウムでは、測定試料表面での電子散乱に起因する残留抵抗比の測定値の低下が無視できなくなり、同じ不純物含有量であっても測定試料形状により残留抵抗比の値が変化する。この現象はサイズ効果と呼ばれ、その影響について理論的な計算がなされている。残留抵抗比の測定値からサイズ効果による影響を取り除き、すなわち測定試料寸法に依存しないバルク状態での残留抵抗比を評価するための計算方法が、Y.Ueda,J.Sci.HiroshimaUniv.,Ser.A,471984p.305-340に示されている。そこで、本願発明者らは、この計算式を用いて残留抵抗比のサイズ効果補正値サイズ効果を補正した残留抵抗比を得た。なお、本願明細書では、特に断らない限り、この計算式を用いて求めた残留抵抗比のサイズ効果補正値を簡単のため残留抵抗比と記載する。本願発明に係るアルミニウム材は、好ましくは、チタンTiの含有量が0.02ppm以下である。より好ましくは0.01~0.05pmである。本願発明者は、アルミニウム中の不純物を帯溶融精製zonemeltingprocessにより除去する際に、不純物がボートから加熱したアルミニウム中に拡散するのを防止するために、アルミニウムが配置されるボートの表面に予めアルミナ層を形成し、かつ溶融したアルミニウムからの不純物の分離を確実に行うために帯溶融精製を、溶融部の移動速度を毎時40mm以下、好ましくは毎時30mm以下と小さくすることで上述の本願発明に係るアルミニウム材を得ることができることを見出した。さらに帯溶融精製をアルゴンガス、窒素ガス等の不活性雰囲気下で行うことが好ましく、減圧下真空中で行うことがより好ましいことを見出した。減圧については、好ましくは圧力を3×10-5Pa以下とし、さらに好ましくは圧力を3×10-6Pa以上、2×10-5Pa以下とする。以下に本願に係るアルミニウム材の製造方法の詳細を示す。アルミニウム原料:詳細を後述する帯溶融精製時にその一部分に溶融した溶融部を形成して不純物を除去するアルミニウム原料として、純度5N99.999以上、原子比から6N99.9999以上、原子比のアルミニウムを使用するのが好ましい。アルミニウム材の純度を予め高めておくことにより、帯溶融精製をより効率的に行えるからである。このような純度5Nから6Nのアルミニウムは、比較的純度の低い市販のアルミニウム例えば純度99.9のJIS-H2102の特1種程度のグレードを精製することによって得ることができる。精製方法としては、特に制限されないが、好ましくは、三層電解法による精製と、一方向凝固法による精製との両方が用いられる。三層電解法による精製と一方向凝固法による精製の実施順序は特に制限されないが、通常は、三層電解法で精製し、その後、一方向凝固法で精製される。また、三層電解法による精製と一方向凝固法による精製は、例えば、交互に繰り返し行ってもよく、またいずれか一方もしくは両方を各々繰り返し行ってもよい。なお、三層電解法による精製および一方向凝固法による精製の具体的な手法や条件などは、当該技術分野で通常行われている方法や条件等を適宜採用すればよい。得られたアルミニウム原料は、後述の前処理、真空溶解に適した形状に加工することができる。アルミニウム原料の形状はペレット、棒、板、ブロック状などである。前処理:アルミニウム原料は、帯溶融精製に供せられる前に、好ましくは前処理が行なわれる。大気雰囲気中で表面に生じた酸化膜等およびアルミニウム原料を加工する際にその表面に付着した不純物元素を予め除去することで帯溶融精製をより効率的に行えるからである。前処理の方法は特に限定されるものでなく、アルミニウム原料の表面層を除去するために当該技術分野で用いられている各種の処理を用いることができる。前処理として、例えば酸処理、電解研磨などが挙げられる。好適な酸処理の例として、以下の条件でアルミニウム原料を酸に浸漬してよい。酸の種類および濃度:純水で希釈した約20塩酸水溶液温度:20°C~40°C時間:1~5時間好適な電解研磨の例として以下の条件を挙げることができる。電解研磨液:過塩素酸およびエタノール1:6混合液温度:19~23°C電圧:25V定電圧電解時間:1~10分帯溶融精製:アルミニウム原料の不純物を除去し、目的の不純物レベルに到達したアルミニウム材を得るために帯溶融精製帯溶融法を行う。帯溶融精製は、ボート上に配置したアルミニウム原料の一部分にアルミニウムが溶融した溶融部を形成し、この溶融部を所定の方向に移動させることにより行う。以下に帯溶融精製の詳細を示す。ボート上のアルミナ層の形成使用するボートは、帯溶融法で通常使用可能な各種のボートが使用可能である。このようなボートの例として、ステンレス鋼より成るボート、タングステンW、チタンTi、モリブデンMo、タンタルTaまたはこれら金属の炭化物より成るボートおよびアルミナより成るボートがある。好適なボートはグラファイトボートである。高純度で大型の素材が容易に入手でき、また真空中およびアルゴン、窒素などの不活性ガス雰囲気中で安定であり、溶融アルミニウムとも反応しないためである。そして、ボートの上にアルミナを塗布して、アルミナ層を形成してよい。アルミナ層はボートの全面に形成してもよいが、アルミニウム原料が配置される原料配置部にのみ形成してもよい。アルミナ層の塗布はアルミナ粉末を有機溶剤等の液体中に分散させ、このアルミナ粉末を含む液体をボートに塗布した後、液体を蒸発させることにより行ってもよい。また、アルミナの固体粉末を直接ボート表面に塗布してもよい。後者の方が、より簡便に塗布できるため好ましい。アルミナ層は帯溶融を行って得られたアルミニウム材を取り出しやすくする離型剤の働きに加えて、ボートから不純物元素がアルミニウム材に侵入するのを防止する働きがある。アルミナからの不純物の侵入を防止するように、塗布するアルミナは例えば住友化学株式会社製高純度アルミナ粉末AKPシリーズ純度99.99のような高純度のアルミナが好ましい。従って、アルミニウム原料はボートのアルミナ層以外の部分とは接触しないように配置されるのが好ましい。アルミナ層を形成した後、ボートは好ましくは不活性ガスまたは真空中減圧下でベーキングされる。ボートおよびアルミナ層に付着している水分や不純物成分を高温でかつ真空または不活性ガス雰囲気で除去するためである。ベーキングは真空熱処理炉や雰囲気熱処理炉を用いることができる。またベーキングは、帯溶融に用いるチャンバー内で高周波加熱にて行っても良く、高周波加熱コイルを30~200mm/時間程度の移動速度にて移動させるのが好ましい。アルミニウム原料の配置上述したボートのアルミナ層上にアルミニウム原料を配置する。アルミニウム原料は、その形状にもよるが1本または複数本配置される。アルミニウム原料の形状複数本用いる場合は合わせた形状は、棒状が好ましく、また概ね四角柱あるいは円柱が簡便で好ましいが他の形状でもよい。このアルミニウム原料の形状を断面溶融部の移動方向に垂直な断面が正方形の四角柱とみなしたとき、正方形の一辺をwアルミニウム原料の断面寸法と呼ぶこととする。従って、断面寸法wはアルミニウム原料の断面積の平方根に相当する。、四角柱の長さ溶融部の移動方向に平行な方向の長さをLとすると、Lはw×30以上、w×100以下であることが好ましい。Lがw×30未満では十分な精製効果が得られない場合があり、またLがw×100を越えると精製に長い時間が必要となり、効率的でないためである。また、複数本のアルミニウム原料を用いる場合、長手方向後述する溶融部が移動する方向に複数のアルミニウム原料を配置してもよい。帯溶融本願発明では、アルミニウム表面の酸化を抑制するように、好ましくは、帯溶融をアルゴンガス、窒素ガス等の不活性雰囲気下で行い、より好ましくは減圧下真空下で行う。減圧については、好ましくは圧力を3×10-5Pa以下とし、さらに好ましくは圧力を3×10-6Pa以上かつ2×10-5Pa以下とする。圧力が高い真空度が低いと不純物成分が十分に除去されない場合があるためである。また圧力が低い真空度が高いほど好ましいが、圧力が低すぎると設備が過剰となり、経済性が悪い。このような高真空低い圧力への減圧は、アルミニウム原料が配置された上述のボートが内部に配置されているチャンバの排気を、例えばターボ分子ポンプと油回転ポンプとの両方を用いて行うことで実現できる。これ以外にも油拡散ポンプおよびクライオポンプ等を他の真空ポンプと組み合わせて排気する方法も好ましい。そして、ボート上に配置したアルミニウム原料の一部分にアルミニウムが溶融した溶融部を形成する。溶融部の形成にはアルミニウム原料の一部のみを加熱する必要があることから、好ましくは高周波加熱高周波誘導加熱により行う。例えばアルミニウム原料の一部分のみが高周波コイルの内側になるように配置することで高周波コイルの内側に溶融部を形成することができる。これ以外にも抵抗加熱により加熱してもよい。抵抗加熱する部分を移動させることで溶融部を容易に移動できるからである。アルミニウムの帯溶融精製では、表面の酸化皮膜形成等を防止するために真空中で帯溶融を行うことがあったが、従来、真空度は10-4~10-2Pa程度と低いものであった例えば、NoeCheungらによるExperimentalimpuritysegregationandnumericalanalysisbasedonvariablesolutedistributioncoefficientsduringmultipasszonerefiningofaluminumJournalofCrystalGrowth31012741280およびSHauttmannらによるSiCformationandinfluenceonthemorphologyofpolycrystallinesiliconthinfilmsongraphitesubstratesproducedbyzonemeltingrecrystallization。しかし、本願発明者は上述のように高真空圧力3×10-5Pa以下で行うことにより、より高純度のアルミニウム材を得ることができることを見出した。本発明の範囲を制限するものではない、本願発明者らが考えるメカニズムは、このように高真空中で帯溶融を行うことで、溶融部から液相部および固相部に不純物をはき出すという従来の帯溶融のメカニズムと、高真空下での真空精製精錬のメカニズムと、が同時に複合的に機能することで、従来にない高純度が達成できるというものである。したがって、真空精製で用いられる極めて高い真空度に比べて低い真空度であっても、帯溶融精製では二つの作用が同時に複合的に作用するために、高い精製効果が得られると考えられる。溶融部の温度は660°C以上900°C以下であることが好ましい。温度が660°Cより低いとアルミニウムが凝固し、十分な精製効果が得られない場合があり、温度が900°Cより高いと、ボートや高周波コイル周辺部材の温度が上昇し、アルミニウム蒸気や発生ガスにより十分な精製ができない場合があるからである。また、温度が900°Cより高いとボートに用いた黒鉛と反応する場合があるからである。溶融部を所定の温度まで加熱する昇温は装置に依存するが、20分以上で行うことが望ましい。昇温が速いほうが、生産性が高くなるが、速過ぎるとアルミニウムより放出される成分により真空度が急激に悪化して真空排気装置のトラブルを生じたり、溶融部が急激に拡大して溶融領域の制御が困難になる恐れがあるからである。溶融帯幅溶融部の移動方向に沿った長さは、装置等の条件にも依存するが30mm以上120mm以下が好ましく、50~100mmがより好ましい。この理由について説明する。広い溶融帯幅を得るためには、例えば、高周波コイル等の溶融部を加熱する手段の出力を大きくすることが、通常行われる。従って、120mmを超える溶融帯幅を得るように加熱手段の出力を大きくすると、溶融部溶融帯の中心部の温度が融点よりもかなり高くなり、雰囲気や周辺部材からの汚染が生じやすくなる。また溶融帯幅が30mmより狭い場合、試料形状の不均一に起因する溶融帯幅の時間的変動が大きくなりやすく、極端な場合には溶融部が凝固しフリーズと呼ばれる、精製効果が低減する。従って、フリーズを生じない安定した溶融部を形成するとともに、汚染を抑制して良好な精製結果を得るためには、溶融帯幅が前述の範囲内であることが好ましい。また、最適な溶融帯幅はアルミニウム原料の寸法に依存するため、アルミニウム原料の断面寸法wに対して、w×1.5以上、w×6以下を満たすことが更により好ましい。溶融帯幅が、120mmまたはw×6より大きいと上述のように、溶融部の中心部の温度が融点よりもかなり高くなり、雰囲気や周辺部材からの汚染が生じやすくなる。一方、溶融帯幅が、30mmまたはw×1.5より小さいと、上述のように溶融帯幅の制御が難しく、溶融部が急激に縮小または凝固する場合がある。溶融帯幅は、後述する帯溶融精製装置100のように高周波誘導加熱により溶融部を加熱する場合には高周波コイル出力を適正な値にすることにより、また抵抗加熱により溶融部を加熱する場合には溶融部に流す電流を適正な値にすることにより所望の値となるように制御できる。次にアルミニウム溶融部の幅溶融帯幅を所定の値とした後、溶融部を所定の位置まで移動させる。アルミニウム原料の形状が棒状の場合、通常、溶融部の移動は、アルミニウム原料の長手方向の一方の端から他方の端まで行う。また溶融部の移動はアルミニウム原料または高周波コイルの少なくとも一方を移動して、アルミニウム原料の加熱されている部分を移動させることにより行うことができる。本願発明者は、溶融部の移動速度を制御することで、高純度のアルミニウム材を得ることができることを見出した。具体的には、溶融部の移動速度を毎時40mm以下、より好ましくは毎時30mm以下とすることで、残留抵抗比を70000以上70000~100000と顕著に向上できることを見出した。そして、金属35元素の合計含有量についても0.45ppm以下に制御できる。さらに、溶融部の移動速度を毎時40mm以下、より好ましくは毎時30mm以下とすることにより、不純物元素であるチタンTiの濃度を顕著に減少できることを見出した。溶融部の移動速度を毎時40mm以下にすることで、残量抵抗比をより顕著に向上させ、またチタンの濃度を顕著に減少にさせるメカニズムについては、明確には判っていないが、本願発明らが推測するメカニズムは以下の通りである。つまり、チタンを含む一部の元素が凝固界面で固体に取り込まれる割合は、平衡状態図から決まる分配係数のみではなく凝固界面移動速度とも関係しており、凝固界面移動速度が小さいほど固体に取り込まれる割合が向上する作用が大きいと推測される。そして、溶融部の移動速度を毎時30mm以下とすることでこのメカニズムはよりいっそう確実に機能するものと考えられる。また、このメカニズムから考えると溶融部の移動速度は毎時10mm以上であることが好ましい。すなわち、凝固界面移動速度が十分小さくなれば、溶融部近傍は平衡状態で説明でき、精製効率は平衡状態図から決まる分配係数にほぼ支配される。従って、移動速度が十分に小さい範囲、具体的には毎時10mm程度より小さい範囲では、取り込み割合はほぼ一定になると考えられる。溶融部の移動速度が10mmより小さくなると、精製時間が長くなり、周辺部材からの汚染の影響が大きくなりやすく、またアルミニウム原料の一端に移動した精製された元素が固相内で拡散することで精製効果が低くなる場合があると考えられる。なお、上述のメカニズムは、現在までに得られた知見に基づいて、本願発明らが、推定したものであり、本願発明の技術的範囲を制限することを意図したものではないことに留意されたい。また、帯溶融を複数パス行う場合、通常、溶融部の移動方向は、全てのパスで同じ方向である。帯溶融帯溶融精製は、例えば、横型の高周波加熱式の装置などを使って行うことができる。帯溶融精製装置チャンバの内部に配置されたボートにアルミニウム原料を入れ、チャンバ内を密閉して排気装置により減圧した後、アルミニウム原料を高周波加熱により加熱し、アルミニウム原料の長手方向の一方の端部近傍を溶融し溶融部を形成する。図1は、帯溶融精製装置の一例である帯溶融精製装置100を示す断面図である。一方の端部がシールされ他方が真空ポンプ排気装置20に繋がる真空チャンバ14が、その長手方向が水平になるように配置されている。真空チャンバ14は、好ましくはその内部を視認できるように石英等の透明な材料より成る。真空チャンバ14の内部にはグラファイトボート16が配置されている。グラファイトボート16の原料配置部はアルミナ層18により覆われている。そして、アルミナ層18を介して、グラファイトボート16の原料配置部にアルミニウム原料10が配置されている。アルミニウム原料10の一部を加熱し、溶融部10bを形成するように、真空チャンバ14を取り囲むように高周波コイル12が配置されている。高周波コイル12は図示しない高周波電源に繋がれている。高周波コイル12は、図中の矢印の向きに移動速度毎時40mm以下、好ましくは毎時30mm以下で移動しており、これによりコイル内部に位置するアルミニウム原料10の一部を溶融して形成した溶融部10bが移動速度毎時40mm以下、好ましくは毎時30mm以下で移動する。このように高周波コイル12が移動することで、アルミニウム原料10は、溶融部10bの前方高周波コイル12の進行方向に未溶融部10cを有し、溶融部10bの後方に溶融凝固部精製部10aを有している。図2は、帯溶融精製装置100に複数のアルミニウム原料10を配置した例を示す断面図である。複数のアルミニウム原料10が長手方向高周波コイル12の進行方向に、互いの端部を接触させた状態で配置されている。図2に示す例では、まだ溶融が行われておらずアルミニウム原料10は全て未溶融部10cとなっている。高周波コイル12を図2の左から右に図2の4つのアルミニウム原料10の左端から右端に移動することにより、溶融部は複数のアルミニウム原料10を横断して移動する。この結果、複数のアルミニウム原料10は1つに接合される。高周波加熱のための高周波コイルを移動することで、溶融部を他方の端部に向けて移動させ、試料全体を帯溶融精製することができる。金属元素成分のうち包晶系成分包晶系7元素は溶融開始部に、共晶系成分金属35元素から包晶系7元素を除いた28元素は溶解終了部に濃縮する傾向があるため、アルミニウム原料の両端部を除く領域で高純度アルミニウムを得ることが可能である。溶融部を例えばアルミニウム原料の長手方向の一端から他端までの間のように所定の間移動させた後は、高周波加熱を終了し、溶融部を凝固させる。凝固後、アルミニウム材を切り出す例えば両端部を切り落とすことにより、精製された高純度のアルミニウム材が得られる。長手方向溶融部の移動方向に複数本のアルミニウム原料を配置している場合は、長手方向のアルミニウム原料を接触させて、長手方向に1個のアルミニウム原料として、一方の端部すなわち、複数のアルミニウム原料の端部のうち長手方向に隣接するアルミニウム原料がない2つの端部の一方から他方の端部すなわち、複数のアルミニウム原料の端部のうち長手方向に隣接するアルミニウム原料がない2つの端部の他方に移動させるのが好ましい。接触するアルミニウム原料の端部同士が帯溶融時に接合し、長い一本のアルミウム材を得ることができるからである。なお、上述したようにアルミニウム原料の一方の端から他方の端まで帯溶融帯溶融精製した後、再度、一方の端から他方の端まで同じ方向に帯溶融を繰り返すことができる。繰り返し数パス数は通常1以上20以下である。パス数をこれ以上多くしても、精製効果の向上は限定的である。包晶系7元素を効果的に精製するため、パス数は3以上が好ましく、5以上がさらに好ましい。パス数がこれより少ないと、包晶系7元素は移動しにくいため、十分な精製効果が得られない場合がある。また、長手方向に複数のアルミニウム原料を互いに接触させて配置した場合、パス数が3より少ないと接合後の精製材アルミニウム材の形状特に高さ寸法が不均一となって、精製中に溶融帯幅が変動して均一な精製効果が得られにくい場合があるからである。金属35元素の総含有量を低減するため、ボート、高周波コイル、チャンバ内部の洗浄を行い、事前に真空中でベーキングを行い、周辺部材からの汚染を抑制することが好ましい。鉄Feと珪素Siと銅Cuの3元素は高純度アルミニウム中の主要不純物であり、精製用素材を切出準備する際に混入しやすい。これらの元素をチャンバ内に持ち込まないように、精製原料を前処理し、精製原料表面の汚染成分を除去することが好ましい。得られたアルミニウム材は、標準的な精製方法では低減が困難な包晶系7元素についても十分に低減されるために、一般的に入手可能な純度3N、4N、5N等の高純度アルミニウムと比較して、不純物元素含有量がさらに少ない。さらに、上述のように溶融部の移動速度を毎時40mm以下とすることにより、特に高い残留抵抗比および低いチタン濃度を得ることができる。そして、得られたアルミニウム材は、MBEによる半導体結晶成長用原料成膜原料として使用することができ、例えば高品質なAlN、AlGaNエピタキシャル層を形成成膜することができる。成膜法はMBEに限定されず、アルミニウムを含有する半導体材料の成膜方法であれば、例えば、HVPE法ハイドライド気相成長法のような他の成膜法でも利用可能であり、これにより不純物の少ない高品質な成膜が可能である。また、AlNおよびAlGaN等の半導体層の成膜に限定されず、AlNおよびAlGaN等のような、アルミニウムを含有する半導体のバルク単結晶の製造方法においても利用可能である。このような半導体のバルク単結晶の製造方法の具体例として、フラックス法、昇華再結晶法、HVPE法が挙げられ、これらを含む半導体のバルク単結晶の製造方法において、本願発明のアルミニウム材を用いることでアルミニウムを含有する半導体のバルク単結晶を得ることができる。さらに、このような不純物の少ない高純度のアルミニウムは、低温での電気抵抗が少ないことから、例えば低抵抗が必要な超電導安定化材のような用途に使用することが可能である。また、超電導応用機器のような低温での熱伝達材にも使用できる。実施例1純度99.93原子比、以下同じのアルミニウムを三層電解法により精製して純度が99.999以上の5Nアルミニウムを得た。この5Nアルミニウムの成分分析結果は、Si=2.4ppm、Cu=0.47ppm、Fe=0.30ppm、Mg=0.54ppm、これら以外の他の31元素すなわち、Li、Be、B、Na、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Co、Zn、Ga、Ge、As、Se、Zr、Mo、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Ba、La、Ce、Pt、Hg、Pb、Bi。以下、単に31元素という場合がある。が0.33ppmでありこれら不純物35元素の合計が4.0ppmであった。この5Nアルミニウムを原料として、一方向凝固により精製して、純度99.9999の6Nアルミニウムを得た。より詳細には、黒鉛製ルツボ内寸法:幅65mm×長さ400mm×高さ35mmの中に1.8kgの5Nアルミニウムを原料として配置し、これを、炉体移動式管状炉の炉心管石英製、内径100mm×長さ1000mmの内部に収容し、1×10-2Paの減圧雰囲気にて炉体を700°Cに温度制御して、5Nアルミニウムを溶解させた。その後、炉体を30mm/時間の速度で炉心管から引き抜くことにより一方の端部凝固開始端から他方の端部に向けて一方向に凝固させた。そして、長さ方向において凝固開始端より50mmの位置から凝固開始端より250mmの位置までを切出し、幅65mm×長さ200mm×厚さ26mmの塊状の6Nアルミニウムを得た。この6Nアルミニウムの主要不純物元素含有量は、Si=0.33ppm、Fe=0.043ppm、Cu=0.059ppmすなわち、FeとSiとCuの合計含有量が、0.43ppm、Mg=0.11ppm、31元素=0.11ppm、これら35元素合計で0.65ppmであった。上記で得られた6Nアルミニウム塊から、約18mm×18mm×100mmの四角柱あるいは類似形状に切削加工で切出し、純水で希釈した20塩酸水溶液で3時間酸洗浄したアルミニウム原料を得た。帯溶融精製:帯溶融精製装置の真空チャンバ外径50mm、内径46mm、長さ1400mmの石英管内部に、グラファイトボートを配置した。グラファイトボートの原料配置部には、住友化学株式会社製の高純度アルミナ粉末AKPシリーズ純度99.99を押圧しながら塗布してアルミナ層を形成した。グラファイトボートを真空下にて高周波加熱しベーキングした。ベーキングは10-5~10-7Paの真空中で、帯溶融に用いる高周波加熱コイル加熱コイル巻数3、内径70mm、周波数約100kHzにて加熱し、100mm/時間の速度でボートの一端から他端まで移動して、グラファイトボート全体を順に加熱して行った。上記のアルミニウム原料9本、合計重量約780gを、グラファイトボートに設けた20×20×1000mmの原料配置部に配置した。アルミニウム原料は9本全体で概ね四角柱とみなせるように配置した、アルミニウム原料の断面寸法w=18mm、長さL=900mm、L=w×50であった。チャンバ内を密閉し、ターボ分子ポンプおよび油回転ポンプにより圧力が1×10-5Pa以下になるまで排気した。その後、高周波加熱コイル高周波コイルによりアルミニウム原料の長手方向の一端を加熱し溶融させ溶融部を形成した。溶融部の溶融帯幅溶融部の移動方向に沿った長さが約90mmとなるように高周波電源周波数100kHz、最大出力5kWの出力を調整した。そして高周波コイルを毎時30mmの速度で移動させ、溶融部を約900mm移動させた。このときのチャンバ内の圧力は5×10-6~9×10-6Paであった。溶融部の温度を放射温度計にて測定した結果、660°C~800°Cであった。その後、徐々に高周波出力を下げて溶融部を凝固させた。そして、高周波コイルを溶融開始位置最初に溶融部を形成した位置まで移動させ、チャンバ内を真空に維持したまま、溶融開始位置で再度アルミニウム原料を加熱溶融させて溶融部を形成した。この溶融部を移動させて帯溶融精製を繰り返した。溶融帯幅約90mm、溶融部の移動速度毎時30mmでの帯溶融精製を、合計10回10パス実施した。溶融帯幅は精製原料の断面寸法wに対し、w×2.8~w×3.9であった。10パス終了後にチャンバを大気開放し、アルミニウムを取り出し、長さ約950mmの精製アルミニウム材を得た。得られたアルミニウム材を切出して組成分析を行った結果を表1に示す。組成分析はグロー放電質量分析法サーモエレクトロン社製VG9000を使用により行った。組成分析用サンプルは、溶融開始端から90mm、210mm、330mm、450mm、570mm、690mm、810mmの7箇所より採取した。アルミニウム材の溶融開始端から810mmの試料を除いた他の試料アルミニウム材の溶融開始端から90mm、210mm、330mm、450mm、570mmおよび690mmの6試料では、包晶系7元素Ti、V、Cr、As、Se、Zr、Moの合計含有量が0.018~0.11ppm、金属35元素の合計含有量が0.10~0.16ppmであった。FeとSiとCuの合計含有量は0.007~0.084ppmであった。すなわち、帯溶融精製前の上述の6Nアルミニウムと比べ、不純物が少なくなっていること、および金属35元素の合計含有量が0.2ppm以下と極めて高い純度に精製されたことが確認できた。包晶系7元素の合計含有量濃度および金属35元素の合計含有量濃度の算出に際して、検出限界以下の濃度の元素、すなわち含有量が0.001ppm未満の元素については0.001ppmとして計算を行った。従って、金属35元素全てが検出限界0.001ppm以下に精製された場合、金属35元素の合計含有量の計算結果は0.035ppm0.001ppm×35となる。しかし、全ての元素を検出限界以下に低減することは技術的に困難であり、特に包晶系7元素が残留しやすいことを考慮すると、現在のところ、金属35元素の合計含有量を0.05ppm未満に精製することは困難であると考えられる、このことから、上述のように本願発明に係るアルミニウム材の金属35元素の合計含有量の好ましい下限値は0.05ppmである。アルミニウム材の溶融開始端から810mmの領域では、包晶系7元素の合計含有量は0.012ppmと極めて少ないが、金属35元素の合計含有量は2.5ppmと多かった。特にFeとSiとCuの合計含有量が2.4ppmと多く、FeとSiとCuが濃縮していた。角柱形状の試料を切り出し、電解研磨により表面の加工変質層を除去し、500°Cにて熱処理を行い、残留抵抗測定に供した。四端子法にて液体ヘリウム浸漬状態での電気抵抗を測定し、室温で測定した電気抵抗に対する液体ヘリウム浸漬状態での電気抵抗の比を計算してサイズ効果補正をしていない残留抵抗比を得た。次に角柱試料の寸法を測定し、その寸法値を用いてサイズ効果補正計算を行い、残留抵抗比サイズ効果補正を行った残留抵抗比を得た。得られた結果を図3に示す。溶融開始端から90mmと810mmの領域を除き、残留抵抗比サイズ効果補正値は50000以上を示した。特に溶融開始端から450mm~690mmの領域では、70000以上70000~100000の範囲の極めて高い値を示し、極めて高い純度に精製されたことが確認できた。また、図4には、溶融開始端からの距離とチタン濃度との間系を示す。チタン濃度は、上述のグロー放電質量分析法による組成分析で得た。溶融開始端から90mmと210mmの領域を除く領域では、チタン濃度は0.0006~0.0135ppmと少なくなっている。すなわち、実施例1のサンプルにおいて、両端側溶融開始端から210mmまでの領域と溶融開始端から810mm以降の領域を取り除くことで、本願発明の目的とする高純度アルミニウム材を得ることができる。比較例1溶融部の移動速度を毎時60mmとした以外は実施例1と同じ条件で比較例1のサンプルを作製した。実施例1と同様に帯溶融精製を10パス行って得られたアルミニウム材について評価を行った。不純物分析用の試料は90mm、210mm、330mm、450mm、570mm、690mm、810mm、930mmの8箇所から採取した。組成分析を行った結果を表1に示す。アルミニウム材の溶融開始端から930mmの試料を除いた他の試料では、包晶系7元素Ti、V、Cr、As、Se、Zr、Moの合計含有量が0.033~0.071ppm、金属35元素の合計含有量が0.10~0.17ppmであった。FeとSiとCuの合計含有量が0.010~0.098ppmであった。すなわち、帯溶融精製前の上述の6Nアルミニウムと比べ、不純物が少なくなっていた。残留抵抗比の測定試料は、溶融開始位置から90mm、210mm、330mm、450mm、570mm、690mm、810mmの7箇所から採取した。実施例1と同じ方法でこれら7箇所から得たサンプルの残留抵抗比残留抵抗比のサイズ効果補正値を得た。得られた結果を図3に示す。長さ方向の全域において、残留抵抗値が60000以下であった。また、実施例1と同じ方法により得た、溶融開始端からの距離とチタン濃度との間系を図4に示す。比較例2溶融部の移動速度を毎時60~100mmとした。具体的には、最初の3パスでは移動速度を毎時100mmとし、溶融帯幅は約70mmとした。残り7パスでは移動速度を毎時60mmとし、溶融帯幅は約50mmとした。これ以外の精製条件は実施例1と同じにして、比較例2のサンプルを作製した。残留抵抗比の測定試料および不純物分析用の試料は、溶融開始位置から30mm、150mm、270mm、390mm、510mm、630mm、750mmの7箇所から採取した。組成分析を行った結果を表2に示す。アルミニウム材の溶融開始端から750mmの試料を除いた他の試料では、包晶系7元素Ti、V、Cr、As、Se、Zr、Moの合計含有量が0.042~0.093ppm、金属35元素の合計含有量が0.097~0.18ppmであった。FeとSiとCuの合計含有量が0.009~0.042ppmであった。すなわち、帯溶融精製前の上述の6Nアルミニウムと比べ、不純物が少なくっているのがわかる。実施例1と同じ方法で、上記7箇所から得たサンプルの残留抵抗比サイズ効果補正行った残留抵抗比を得た。得られた結果を図3に示す。長さ方向の全域において、残留抵抗値サイズ効果補正値が60000以下であった。また、実施例1と同じ方法により得た、溶融開始端からの距離とチタン濃度との間系を図4に示す。比較例3溶融部の移動速度を毎時60~100mmとした。具体的には、最初の3パスでは移動速度を毎時100mmとし、溶融帯幅は約100mmとした。残り7パスでは移動速度を毎時60mmとし、溶融帯幅は約60mmとした。これ以外の条件は実施例1と同じにして比較例2のサンプルを作製した。残留抵抗比の測定試料および不純物分析用の試料は、溶融開始位置から30mm、270mm、570mmの3箇所から採取した。組成分析を行った結果を表2に示す。包晶系7元素Ti、V、Cr、As、Se、Zr、Moの合計含有量が0.050~0.076ppm、金属35元素の合計含有量が0.11~0.14ppmであった。FeとSiとCuの合計含有量が0.013~0.017ppmであった。すなわち、帯溶融精製前の上述の6Nアルミニウムと比べ、不純物が少なくっているのがわかる。実施例1と同じ方法で、上記7箇所から得たサンプルの残留抵抗比サイズ効果補正行った残留抵抗比を得た。得られた結果を図3に示す。長さ方向の全域において、残留抵抗値サイズ効果補正値が60000以下であった。また、実施例1と同じ方法により得た、溶融開始端からの距離とチタン濃度との間系を図4に示す。残留抵抗比およびチタン濃度について実施例1および比較例1~3のサンプルは、いずれも帯溶融精製前と比べ、包晶系7元素の合計含有量、金属35元素の合計含有量、FeとSiとCuの合計含有量が帯溶融精製前の6Nアルミニウム材より低い領域がある程度存在しており、この部分を取り出すことで高純度のアルミニウム材を得られることが判る。さらに、実施例1のサンプルは、図3および図4に示すように、残留抵抗比およびチタン濃度について他のサンプルと比べて顕著に優れていることが判る。すなわち、残留抵抗比については、比較例1~3のサンプルは何れの領域のおいても60,000以下に留まっているのに対して、実施例1においては、溶融開始端から450mm~690mmの領域で、70000以上70000~100000の範囲の極めて高い値を示し、極めて高い純度に精製できたことが判る。また、チタン濃度については、実施例1は、溶融開始端から330mm~810mmの領域で、比較例1~3より低い値となっている。すなわち、溶融開始端から450mm~690mmの領域では、実施例1のサンプルは、比較例1~3のサンプルと比べ、残留抵抗比が高くかつチタン濃度が低くなっていることが判る。"