表面に微細な凹凸が形成されたチタン製の平板材で構成され、後処理として当該平板材に対してプレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材であって、前記凹凸に関し、凸部の高さμm×[凹部の幅μm/隣り合う凸部のピッチμm]で定義される形状パラメータが85μm以下となるように、前記元板材の表面の凹凸が設定されていることを特徴とする熱交換用プレートの元板材。前記形状パラメータが4μm以上となるように、前記元板材の表面に前記凹凸を形成していることを特徴とする請求項1に記載の熱交換用プレートの元板材。前記凸部は平面視で円形状であって、平板材の表面に千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱交換用プレートの元板材。前記凸部の高さは、十点平均粗さRzが5μm以上であって、0.1×平板材の厚みμm以下とされていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の熱交換用プレートの元板材。表面に微細な凹凸が形成されたチタン製の平板材で構成され、後処理として当該平板材に対してプレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材の製造方法であって、前記凹凸に関し、凸部の高さμm×[凹部の幅μm/隣り合う凸部のピッチμm]で定義される形状パラメータが85μm以下となるように、前記元板材の表面に前記凹凸を形成することを特徴とする熱交換用プレートの元板材の製造方法。前記形状パラメータが4μm以上となるように、前記元板材の表面に前記凹凸を形成することを特徴とする請求項5に記載の熱交換用プレートの元板材の製造方法。前記凸部を平面視で円形状に形成すると共に、平板材の表面に千鳥配置で形成することを特徴とする請求項5又は6に記載の熱交換用プレートの元板材の製造方法。前記凸部の高さが、十点平均粗さRzが5μm以上であって、0.1×平板材の厚みμm以下となるように、平板材の表面に凸部を形成することを特徴とする請求項5~7のいずれかに記載の熱交換用プレートの元板材の製造方法。特許文献1に開示された如く、熱交換用プレートにおいて、平板材の表面にミクロンオーダの微細な凹凸を形成し、表面積を拡大することで伝熱性を向上させているが、多くの場合、表面に微細な凹凸が形成された平板材は、そのままの形で熱交換用プレートとなることは少ない。すなわち、特許文献2の図6に開示されているように、通常は微細な凹凸が形成された平板材は、その平面に例えばヘリンボーンと言われる高さ数mm~数cmの山形の溝がプレス成形され、その後、熱交換器内へ組み込まれる。そのため、微細な凹凸形成後の平板材に関しては、プレス成形性が望まれることとなる。特に、平板材がチタン製の場合、チタンは異方性を有する材料であり、材料の異方性が応力集中部における板厚の減少や歪み勾配等の変形挙動に影響するため、異方性のない他の材料と比較しプレス成形性などが著しく悪い。また、チタンは焼き付きやすい材料であり、プレス時に潤滑油の油膜切れを起こすと、材料の破断、プレス金型や工具との接触により疵が発生しやすくなる。当然ながら、特許文献1や特許文献2に開示された技術は、チタン製の平板材に対する困難性を克服した上で、熱交換用プレートを製造する技術を開示するものとはなっていない。そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、表面に凹凸が形成されることで伝熱性が非常に優れると共に、後処理であるプレス成形での加工性が非常に良く、容易に熱交換用のプレートへと成形可能な熱交換用プレートの元板材、及びこの元板材の製造方法を提供することを目的とする。前記目的を達成するため、本発明においては以下の技術的手段を講じた。すなわち、本発明における熱交換用プレートの元板材は、表面に微細な凹凸が形成されたチタン製の平板材で構成され、後処理として当該平板材に対してプレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材であって、前記凹凸に関し、凸部の高さμm×[凹部の幅μm/隣り合う凸部のピッチμm]で定義される形状パラメータが85μm以下となるように、前記元板材の表面の凹凸が設定されている点にある。前記形状パラメータが4μm以上となるように、前記元板材の表面に前記凹凸を形成していることが好ましい。前記凸部は平面視で円形状であって、平板材の表面に千鳥状に配置されていることが好ましい。さらに、前記凸部の高さは、十点平均粗さRzが5μm以上であって、0.1×平板材の厚みμm以下とされていることが好ましい。また、本発明における熱交換用プレートの元板材の製造方法は、表面に微細な凹凸が形成されたチタン製の平板材で構成され、後処理として当該平板材に対してプレス加工が施された後に熱交換用プレートとなる元板材の製造方法であって、前記凹凸に関し、凸部の高さμm×[凹部の幅μm/隣り合う凸部のピッチμm]で定義される形状パラメータが85μm以下となるように、前記元板材の表面に前記凹凸を形成する点にある。前記形状パラメータが4μm以上となるように、前記元板材の表面に前記凹凸を形成することが好ましい。また、前記凸部を平面視で円形状に形成すると共に、平板材の表面に千鳥配置で形成することが好ましい。さらに、前記凸部の高さが、十点平均粗さRzが5μm以上であって、0.1×平板材の厚みμm以下となるように、平板材の表面に凸部を形成することが好ましい。本発明の技術に係る元板材を用いることで、プレス加工時に割れ等を生じることなく熱交換用プレートを製造することができる。製造された熱交換用プレートは、伝熱性が非常に優れるものとなる。以下、図面に基づき、本発明の実施の形態を説明する。図1は、熱交換用プレートの製造方法を示した概念図である。図1に示すように、熱交換用プレートを製造するにあたっては、まず、図1aに示すように素材である平板材1を所定の大きさに形成する。そして、図1bに示すように、平板材1をプレス加工することによって平板材1の表面1aに微細な凹凸形状を形成したプレート元板元板材を作成する。次に、図1cに示すように、表面2aに微細な凹凸形状が形成されたプレート元板2元板材に、例えば、ヘリンボーンと言われる山形の溝3を形成することにより熱交換用プレート4を製造する。図1aに示す平板材1はチタン材であって、その寸法、板厚は最終製品である熱交換用プレート4にて所望される寸法、板厚を考慮して決定される。この平板材1の表面1aに対して、後述する加工装置10を用いて微細な凹凸形状複数の凸部5とこの凸部5に挟まれた凹部6を形成することでプレート元板2が形成される。凹凸形状が形成されたプレート元板2は、伝熱性が非常によい熱伝達率が非常に高いものとなっている。加えて、本発明のプレート元板2はチタン製とされているため、耐食性、強度、軽量化などの特性が他金属と比較し優れている。それゆえに、プレート式熱交換器のプレートなど耐食性、強度が必要となる製品に対して好適である。プレート元板2に形成されたヘリンボーン3は、骨格形状を呈した複数の山形溝であり、溝の大きさは、高さ数mm~数cmとされている。この元板2は、熱交換器内へ組み込まれる。ヘリンボーン3などに代表される斜格子形状は、熱交換器内部の作動流体の流れが不均一である場合に関しても、どの方向からの流れに対しても凹凸が作動流体に対して直交する壁となり得て、乱流による伝熱性向上に寄与することとなる。以降、プレート元板2の表面の凹凸形状の詳細について述べる。図2aに示すように、プレート元板2の表面2aに形成された凸部5は、平面視で円形であって、その直径Dは400μm以上とされている。凸部5の平面視での配置は、千鳥状とされている。ここで千鳥状の配置千鳥配置とは、縦方向及び横方向において、いずれか一方に隣り合う凸部5、5の中心が一直線上に並ばないという意味である。具体的には、プレート元板2において、縦方向に隣接する凸部5、5は、横方向に半ピッチだけズレており、横方向に隣接する凸部5の中心同士を結んだ直線一点鎖線Aと、縦方向に隣接する凸部5の中心同士を結んだ直線一点鎖線Bとの角度θが60°となるように凸部5を配置してもよい。このように千鳥格子配列とすることで、熱交換器内の作動流体の流れが不均一である場合に関し、どの方向からの流れに対しても凹凸が作動流体に対して直交する壁となり得ることができ、乱流による伝熱性向上に寄与する。また、チタン等の異方性のある材料に対して、異方性起因の応力集中に対応できる。縦方向や横方向に隣り合う凸部5間の距離L凹部6の幅Lは、200μm以上が好ましい。なお、凹部6の幅Lとは、横方向又は縦方向に隣接する凸部5同士の最短距離であって、凹部6の幅L=隣り合う凸部5のピッチP-凸部5の直径D/2×2により求めることができる。また、隣り合う凸部5のピッチPとは、横方向又は縦方向に隣接する最も近い凸部5同士の中心間の距離最短距離にある凸部5同士の中心間距離である。図2aに示した凹部6の幅Lは、縦方向及び横方向ともに同じ値である縦方向に隣接する凸部5同士の距離と、横方向に隣接する凸部5同士の距離とが共に同じ値。隣り合う凸部5のピッチP凸部5の中心間距離は600μm以上が好ましい。図2bに示すように、プレート元板2の表面に形成された凸部5は、断面視にて上方に立ち上がる上壁8と、この上壁8の上縁を水平に結ぶ表壁9とから台形状に構成されている。言い換えれば、凸部5の頂部には平坦部が設けられている。十点平均粗さRzにて示される凸部5上壁8の高さ以降、高さRzと示すことがあるは5μm以上であって、プレート元板2の板厚tの1/1010分の1以下となっている。凸部5の高さRzをこの範囲としているのは、板厚に対して凹凸形状が大きすぎると、後述する加工装置10での圧延転写の際に平坦度形状が確保できず圧延安定性が得られないためである。また、平坦度が確保できていない板では、後工程でのプレス成形時に応力分布が発生するため、応力が高い箇所において割れが発生するためである。すなわち、プレス加工の際に凸部5の高さRzが大きすぎると割れの原因起点となり、疵の原因となる。一方、高さRzが小さすぎる5μm以下であると、伝熱効率の向上を図ることができなくなる。ところで、凸部5は平面視形状は、完全な円形でなく、扁平率0.2程度の楕円形までも含む。なお、凸部5の平面視形状に関しては、他に角形など様々な形状が考えられるが、後工程で行われるプレス加工時の応力集中回避の観点から、略円形であることが好ましい。ところで、凸部5の千鳥配置状態は図2のものに限定はされない。例えば、図3に示すように、横方向に隣接する凸部5の中心同士を結んだ直線一点鎖線Cと、縦方向に隣接する凸部5の中心同士を結んだ直線一点鎖線Dとの角度θが45°となるように凸部5を配置してもよいし、他の角度であってもよい。以上のようなプレート元板2の凹凸形状に関して、その根拠となる事項を説明する。発明者は、プレート元板2を製造するにあたって、プレート元板2の表面に形成した凸部5の高さRz、凸部5の数凹部6の幅L、隣り合う凸部のピッチPを最適なものとするため、これらを含む凹凸形状の形状パラメータ[凸部5の高さRz×凹部6の幅L/隣り合う凸部のピッチP]について着目した。まず、上述した形状パラメータのうち、凸部5の高さRzを一定として、凹部6の幅L/隣り合う凸部のピッチPL/Pを変化させたときを考えると、図4に示すように、L/Pが増加するにしたがって応力集中率が増加する傾向がある。即ち、凹部6の幅Lが大きすぎたり、凸部のピッチPが狭すぎると、応力が集中してプレス成形ヘリンボーン等を成形するためのプレス加工を実施したときなどに、割れが発生し易い状況になる。一方、上述した形状パラメータのうち、凸部5の高さRzを変化させ、凸部5の高さRzを高くした状況を考えると、凹部6の幅Lや隣り合う凸部のピッチPと同様に、プレス成形を実施した際に、不均一な応力分布が発生して応力が高い箇所において割れが発生する恐れがある。したがって、プレート元板2のプレス成形性を考えると、凸部5の高さRz又は凹部6の幅Lが大きすぎず、凸部のピッチPは狭すぎないことが最適であって、これらを表す形状パラメータには上限値があると考えられる。そこで、本願出願人らは、様々な形状の凹凸が形成されたチタン製のプレート元板2に対して形状パラメータ[凸部5の高さRz×凹部6の幅L/隣り合う凸部のピッチP]とプレス成形性との関係を実験等により明らかにした。プレス加工での成形性プレス成形性を評価する評価試験では、まず、図7に示すように、元プレート元板2にヘリンボーン溝3を成形して熱交換用プレート4を成形する。作成にあたっては、まず、熱交換器使用条件に応じた成形用の金型を一枚用意しておく。そして、各金型で元プレート元板2にヘリンボーン3を成形高さが0.1mm毎に異なる条件で成形して熱交換用プレート4を複数枚作成する。作成した評価用プレート熱交換用プレート4の中で、ネッキングが発生しない金型の成形限界高さネッキングが発生しない最大の成形高さを押し込み量として評価する。上記した評価試験で、押し込み量が大きい場合はネッキングが発生し難くプレス成形性が良いと言え、評価試験で押し込み量が小さい場合はネッキングが発生し易くプレス成形性は悪いと言える。このように評価試験では、くびれネッキングが始まる成形深さ、成形に耐えうるひずみ量を評価することができる。図5のプレス成形性のスコアは上述した押し込み量を正規化して表したものであり、プレス成形性のスコアが1以上であれば、ネッキングの発生を防止しつつ確実なプレス成形を実現できることを本願発明者らは確認している。図5に示すように、形状パラメータが大きくなるにつれてプレス成形性のスコアは低下するものの、形状パラメータが85μm以下であれば、プレス成形性のスコアを1以上にすることができ、ネッキングの発生を防止できる。即ち、形状パラメータが85μm以下であれば、ネッキングの発生を防止してプレス成形性が低下するといった状況は回避することができる。なお、形状パラメータが65μm以下であれば、凹凸高さの増加に伴う、潤滑状態の不均一分布による局所面圧の増加や焼き付き現象の発生をより一層防げることとなり、プレス加工時のトラブルを発生することなく確実に熱交換用プレート4を製造することができるようになることを本願発明者らは実験等により確認している。上述したように、形状パラメータが85μm以下であれば、プレス成形性が低下するといった状況は回避することができるものの、本発明のプレート元板2は、熱交換器を構成するプレートの元となるものであり、熱交換を行う隔壁となるものである。ゆえに、本発明のプレート元板2においては、熱伝達率が大きい伝熱効率が大きいことも要求される。そこで、凹凸形状を形成していない平板の伝熱効率を1.00とし、凹凸形状を形成したプレート熱交換用プレートにおける伝熱効率を考えると、熱交換用プレートの伝熱効率は1.00よりも大きいことが必要であるが、現実の熱交換器で著しい作用を奏するためには、伝熱効率は1.05以上あることが望ましいとされている。ここで、伝熱効率と形状パラメータとの関係を考える。図5に示すように、例えば、凸部5の高さRzを小さくしたり、凹部6の幅Lを小さくしたり、凸部のピッチPを大きくすることによって、形状パラメータは85μmから徐々に小さくなる。このように、形状パラメータを徐々に小さくすると伝熱効率も徐々に小さくなり、伝熱効率は、凹凸を形成していない平板に近づくことになる。しかしながら、形状パラメータが4μm以上であれば、現実の熱交換器にて必要とされる伝熱効率1.05以上を確保することができる。したがって、伝熱効率の点からすれば、プレート元板2を製造するにあたっては、形状パラメータを4μm以上にすることが好ましい。さらに好ましくは、形状パラメータは12μmより大きいことが好ましく、形状パラメータは12μmを超えて85μm以下であることが好ましい。さて、凹部6の幅Lを小さくすればするほど、形状パラメータは小さくなる。流体を流したときの温度境界層の観点から考えると、凹部6の幅Lが小さ過ぎると伝熱性の低下を招いてしまうことから、凹部6の幅Lもある程度確保したほうが良い。即ち、形状パラメータも、ある程度大きい必要があると思われる。このように、温度境界層と凹部6の幅Lとの関係性から見ても、形状パラメータは85μm以下であっても、ある程度確保する必要があり、具体的には、形状パラメータは、上述したように4μm以上にする必要があると考えられる。形状パラメータを4μm~85μm内のいずれかの値とし、前述したように、凸部5の高さRzを十点平均粗さRzが5μm~0.1×平板材の厚みμmとすることで、必然的に凹部6の幅L乃至は凸部5ピッチは決定する割り出すことができる。加えて、後工程で実施されるプレス作業での加工性や凹凸部5の変形防止を考えるのであれば、プレート元板2における圧着面積比Sが、図2aの凹凸形状においては、式1を満たすようにすることが好ましい。平板材チタンの降伏応力σy>プレス時に凸部にかかる面圧P/Sここで、S1=PPtan/4S2=π/4DD/2S=圧着面積比=S2/S1P=プレス加工時の荷重式1のS1は、図2における平面の面積図2に示した直線A及び直線Bにて囲まれる三角形の面積である。式2のS2は、図2における凸部の面積前述の三角形内に存在する凸部の面積である。このように、チタン製であって、表面に形状パラメータが4μm~85μmとなるような凹凸が形成されている元板材2を用いることで、プレス加工時に割れ等を生じることなく、熱交換器を構成する熱交換用プレート4を製造することができる。このようにして製造された熱交換用プレート4は、熱交換率が1.05以上であって伝熱性が非常に優れたものとなり、この熱交換用プレート4が組み込まれた熱交換器は、熱交換効率の非常に高いものとなる。ところで、上記したプレート元板2は、図6に示すような加工装置10を用いて形成することができる。この加工装置10は、移送ロール11と、加工ロール12と、支持ロール13とを備えている。移送ロール11は、平板材1を移送するためのものであって、加工ロール12から見て上流側及び下流側に配置されている。加工ロール12は、移送されている平板材1の表面にミクロンオーダ数μm~数百μmの凹凸を形成するものである。具体的には、加工ロール12は加工後のプレート元板2において、形状パラメータが4μm~85μmとなるように、平板材1の表面1aに凸部5及び凹部6を形成するものである。即ち、加工ロール12には、形状パラメータが4μm~85μmとなるように、凸部5及び凹部6を形成させるための、凸部5の高さRz、凹部6の幅L、隣り合う凸部のピッチPが設定されている。加工ロール12の外周面の全周には、凸状台形の凸となる加工部14がエッチングや放電ダルにより形成されている。加工部14の高さは、加工後におけるプレート元板2における凸部5の高さRzが5μm以上となり、且つ、0.1×平板材の厚みμm以下となるように設定されている。加工ロール12の表面層は、耐荷重性や耐摩耗性の観点より、Crメッキ又はタングステンカーバイト処理を行うとよい。この加工装置10では、加工ロール12を回転させながら、加工ロール12に設けた加工部14を、平板材1の表面に押しつけることによって、当該平板材1の表面に加工部14を反転した形状と同じ凸部5、凹部6を形成できる。即ち、加工装置10によって、形状パラメータが4μm~85μm以下となり、高さRzが5μm以上で且つ板厚tに対して10以下となる凹凸を有したプレート元板2を形成することができる。なお、凸部5の形成は、上記した加工装置に限定されない。ところで、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。例えば、熱交換用のプレート4は、プレート元板2をプレス加工することにより製造されるが、プレート元板2のプレス加工は何でも良く、上述したようなヘリンボーンを形成するものでなくてもよい。また、プレート元板2に形成した凹凸に関して、形状パラメータが4μm~85μm以下となる範囲は当該プレート元板2の少なくとも一部であればよく、好ましくは全体に亘るのがよい。