センサ部と、前記センサ部に対して相対的に移動する可動部とを具備し、前記可動部は、前記センサ部から出力される位置を検出するための第1信号に基づいて、前記センサ部に対する相対的な位置に基づいた第2信号を出力する第1コイル対群を備え、前記第1コイル対群は、2つのコイルを有する第1コイル対と、2つのコイルを有する第2コイル対とを備える検出装置請求項1に記載の検出装置であって、前記センサ部は、前記第1コイル対群に対して、前記第1信号を出力して前記第2信号を受け取り、前記可動部の位置を算出する第1送受信部を備え、前記第1送受信部は、入力信号を出力する第1送信回路と、前記入力信号に基づいて前記第1信号を出力する第1送信コイルとを有する第1送信部と、前記第2信号に基づいて誘起された信号を発生する第1受信コイルと、前記第2信号に基づいて誘起された信号を検出して、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を表す第1出力信号を出力する第1受信回路とを有する第1受信部とを備える検出装置。請求項2に記載の検出装置であって、前記第1送受信部は、前記第1送信部と前記第1コイル対と前記第1受信部とを含む伝送経路を介した場合の前記第1出力信号の第1の値と、前記第1送信部と前記第2コイル対と前記第1受信部とを含む伝送経路を介した場合の前記第1出力信号の第2の値とを予め保持し、前記第1受信回路から出力された前記第1出力信号に基づいて、前記第1コイル対と前記第2コイル対との何れが伝送経路に含まれているのかを判断し、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を算出する演算部を更に備える検出装置。請求項3に記載の検出装置であって、前記第1コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と、前記第2コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と、前記第1送信コイルと前記第1受信コイルとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、前記可動部の第1移動方向と直交する検出装置。請求項4に記載の検出装置であって、前記第1コイル対群は、2つのコイルを有する第3コイル対を更に備え、前記第3コイル対の2つのコイルを結ぶ直線は、前記第1コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と平行であり、前記第2コイル対の2つのコイルを結ぶ直線は、前記第1コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と、前記第3コイル対の2つのコイルを結ぶ直線との間に位置し、前記演算部は、前記第1送信部と前記第3コイル対と前記第1受信部とを含む伝送経路を介した場合の前記第1出力信号の第3の値を更に保持し、前記第1の値と前記第2の値との差は、前記第1の値と前記第3の値との差よりも大きく、前記第1受信回路から出力された前記第1出力信号に基づいて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断し、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を算出する検出装置。請求項4又は5に記載の検出装置であって、前記可動部は、前記第1コイル対群に隣接して配置され、前記センサ部から出力される位置を検出するための第3信号に基づいて、前記センサ部に対する相対的な位置に基づいた第4信号を出力する第2コイル対群を更に備え、前記第2コイル対群は、2つのコイルを有する第4コイル対と、2つのコイルを有する第5コイル対とを備え、前記センサ部は、前記第2コイル対群に対して、前記第3信号を出力して前記第4信号を受け取り、前記可動部の位置を算出する第2送受信部を更に備え、前記第2送受信部は、前記入力信号を出力する第2送信回路と、前記入力信号に基づいて前記第3信号を出力する第2送信コイルとを有する第2送信部と、前記第4信号に基づいて誘起された信号を発生する第2受信コイルと、前記第4信号に基づいて誘起された信号を検出して、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を表す第2出力信号を出力する第2受信回路とを有する第2受信部とを備え、前記第4コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と、前記第5コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と、前記第2送信コイルと前記第2受信コイルとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、前記第1移動方向と直交し、前記第1コイル対は、前記第1移動方向に対して、前記第4コイル対と前記第5コイル対との間に位置し、前記演算部は、前記第2送信部と前記第4コイル対と前記第2受信部とを含む伝送経路を介した場合の前記第2出力信号の第4の値と、前記第2送信部と前記第5コイル対と前記第2受信部とを含む伝送経路を介した場合の前記第2出力信号の第5の値とを予め保持し、前記第1出力信号と、前記第2出力信号とに基づいて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断し、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を算出する検出装置。請求項4乃至6の何れか一項に記載の検出装置であって、前記可動部は、前記第1コイル対群に隣接して配置され、前記センサ部から出力される位置を検出するための第5信号に基づいて、前記センサ部に対する相対的な位置に基づいた第6信号を出力する第3コイル対群を更に備え、前記第3コイル対群は、2つのコイルを有する第6コイル対と、2つのコイルを有する第7コイル対とを備え、前記センサ部は、前記第3コイル対群に対して、前記第5信号を出力して前記第6信号を受け取り、前記可動部の位置を算出する第3送受信部を更に備え、前記第3送受信部は、前記入力信号を出力する第3送信回路と、前記入力信号に基づいて前記第5信号を出力する第3送信コイルとを有する第3送信部と、前記第6信号に基づいて誘起された信号を発生する第3受信コイルと、前記第6信号に基づいて誘起された信号を検出して、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を表す第3出力信号を出力する第3受信回路とを有する第3受信部とを備え、前記第6コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と、前記第7コイル対の2つのコイルを結ぶ直線と、前記第3送信コイルと前記第3受信コイルとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、前記第1移動方向とも平行であり、前記演算部は、前記第3送信部と前記第6コイル対と前記第3受信部とを含む伝送経路を介した場合の前記第3出力信号の第6の値と、前記第3送信部と前記第7コイル対と前記第3受信部とを含む伝送経路を介した場合の前記第3出力信号の第7の値とを予め保持し、前記第1出力信号と、前記第3出力信号とに基づいて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断し、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を算出する検出装置。請求項3乃至7の何れか一項に記載の検出装置であって、前記第1送信回路は、時間と電流値とで表したときに波形が同じである電流を、前記入力信号として所定のタイミングで前記第1送信コイルに出力し、前記第1受信回路は、前記第1受信コイルに発生する、前記第2信号に基づいて誘起された信号の電圧値を前記第1出力信号として出力し、前記演算部は、前記第1の値と前記第2の値とを電圧値として保持し、前記第1受信回路から出力された前記第1出力信号に基づいて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断する検出装置。請求項3乃至7の何れか一項に記載の検出装置であって、前記第1送信回路は、時間と電流値とで表したときに波形が同じである電流を、前記入力信号として所定のタイミングで前記第1送信コイルに出力し、前記第1受信回路は、前記第1送信回路が前記入力信号を出力してから、前記第1受信コイルに、前記第2信号に基づいて誘起された信号に所定の電圧値が発生するまでの遅延時間を算出し、前記遅延時間を前記第1出力信号として出力し、前記演算部は、前記第1の値と前記第2の値とを遅延時間として保持し、前記第1出力信号に基づいて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断する検出装置。請求項3乃至7の何れか一項に記載の検出装置であって、前記第1送信回路は、時間と電流値とで表したときに最大の電流値までの傾きが異なる第1入力信号と第2入力信号とを、前記入力信号として前記第1送信コイルに出力し、前記第1受信回路は、一定の期間内において、前記第1入力信号に基づいて前記第1受信コイルに発生する第1電圧値と、前記第2入力信号に基づいて前記第1受信コイルに発生する第2電圧値とのうちで最大の電圧値を検出し、前記最大の電圧値が現れた前記一定の期間内における時間を、前記第1出力信号として出力し、前記演算部は、前記第1の値と前記第2の値とを前記一定の期間内における時間として保持し、前記第1出力信号に基づいて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断する検出装置。請求項3乃至8の何れか一項に記載の検出装置であって、前記第1送受信部は、前記第1送信回路が前記入力信号を前記第1送信コイルに出力するための送信用クロックに基づいて、伝送経路の遅延時間に相当する時間を遅らせた受信用クロックを生成するタイミング調整部を更に備え、前記第1受信回路は、前記受信用クロックに基づいて、前記第2信号に基づいて誘起された信号を検出する検出装置。請求項11に記載の検出装置であって、前記タイミング調整部は、バッファ回路である検出装置。請求項11に記載の検出装置であって、前記タイミング調整部は、抵抗素子と容量素子である検出装置。センサ部と、前記センサ部に対して相対的に移動する可動部とを具備し、前記可動部は、前記センサ部から出力される位置を検出するための第1信号を受ける第1コイルと、前記センサ部に対する相対的な位置に基づいた第2信号を出力する第2コイルとを有するコイル対を備え、前記センサ部は、前記コイル対に対して、前記第1信号を出力して前記第2信号を受け取り、前記可動部の位置を算出する送受信部を備え、前記送受信部は、送信用クロックに基づいて、入力信号を出力する送信回路と、前記入力信号に基づいて前記第1信号を出力する送信コイルと、前記第2信号に基づいて誘起された信号を発生する受信コイルと、前記送信用クロックに基づいて、前記送信回路と前記送信コイルと前記受信コイルとを介する伝送経路の遅延時間に相当する時間を遅らせた受信用クロックを生成するタイミング調整部と、前記受信用クロックに基づいて、前記誘起された信号を検出して、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を表す出力信号を出力する受信回路と、前記コイル対と、前記送信コイル及び前記受信コイルとの距離に基づいた前記出力信号の値を予め保持し、前記受信回路から出力された前記出力信号に基づいて、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を算出する演算部とを備える検出装置。センサ部と、コイル対群を備え前記センサ部に対して相対的に移動する可動部とを具備し、前記コイル対群は、2つのコイルを有する第1コイル対と、2つのコイルを有する第2コイル対とを備える検出装置の検出方法であって、前記センサ部が、前記コイル対群に対して位置を検出するための第1信号を出力するステップと、前記コイル対群が、前記第1信号に基づいて、前記センサ部に対する相対的な位置に基づいた第2信号を出力するステップと、前記センサ部が、前記第2信号を受け取り、前記可動部の位置を算出するステップとを具備し、前記第1信号を出力するステップは、送信回路が入力信号を送信コイルに出力するステップと、前記入力信号に基づいて、前記送信コイルが前記第1信号を出力するステップとを備え、前記可動部の位置を算出するステップは、受信コイルが前記第2信号に基づいて誘起された信号を発生するステップと、受信回路が前記誘起された信号を検出して、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を表す出力信号を出力するステップと、予め保持している、前記送信回路と前記第1コイル対と前記受信回路とを含む伝送経路を介した場合の前記出力信号の第1の値と、前記送信回路と前記第2コイル対と前記受信回路とを含む伝送経路を介した場合の前記出力信号の第2の値とを参照して、前記出力信号に基づいて前記第1コイル対と前記第2コイル対との何れが伝送経路に含まれているのかを判断するステップと、伝送経路に含まれると判断されたコイル対に基づいて、前記可動部の前記センサ部に対する相対的な位置を算出するステップとを備える検出方法。2つのコイルを用意して適切な位置に配置したとき、一方のコイルの電流を変化させると、他方のコイルに誘導起電力を生じさせることができる。このとき他方のコイルに生じる誘導起電力は、2つのコイル間の距離などに基づく相互インダクタンスによって変化する。しかし、誘導起電力の大きさに基づいて2つのコイル間の僅かな距離の変化を検出するには、誘導起電力を解析する能力を高くする必要があり、検出のための構成が複雑になる。以下に、発明を実施するための形態で使用される符号を括弧付きで用いて、課題を解決するための手段を記載する。この符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態実施例の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、特許請求の範囲に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。本発明の検出装置1は、センサ部3と、センサ部3に対して相対的に移動する可動部2とを具備する。可動部2は、センサ部3から出力される位置を検出するための第1信号に基づいて、センサ部3に対する相対的な位置に基づいた第2信号を出力する第1コイル対群20を備える。第1コイル対群20は、2つのコイルを有する第1コイル対20aと、2つのコイルを有する第2コイル対20bとを備える。本発明の検出方法は、センサ部3と、コイル対群20を備えセンサ部3に対して相対的に移動する可動部2とを具備する検出装置の検出方法である。コイル対群20は、2つのコイルを有する第1コイル対20aと、2つのコイルを有する第2コイル対20bとを備える。本発明の検出方法は、センサ部3が、コイル対群20に対して位置を検出するための第1信号を出力するステップと、コイル対群20が、第1信号に基づいて、センサ部3に対する相対的な位置に基づいた第2信号を出力するステップと、センサ部3が、第2信号を受け取り、可動部2の位置を算出するステップとを具備する。第1信号を出力するステップは、送信回路111aが入力信号を送信コイル111bに出力するステップと、入力信号に基づいて、送信コイル111bが第1信号を出力するステップとを備える。可動部2の位置を算出するステップは、受信コイル112bが第2信号に基づいて誘起された信号を発生するステップと、受信回路112aが誘起された信号を検出して、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を表す出力信号を出力するステップと、予め保持している、送信回路111aとコイル対20aと受信回路112aとを含む伝送経路を介した場合の出力信号の第1の値と、送信回路111aと第2コイル対20bと受信回路112aとを含む伝送経路を介した場合の出力信号の第2の値とを参照して、出力信号に基づいて第1コイル対20aと第2コイル対20bとの何れが伝送経路に含まれているのかを判断するステップと、伝送経路に含まれると判断されたコイル対に基づいて、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を算出するステップとを備える。本発明の検出装置は、位置を表す出力信号を、位置毎に明確な差を付けて出力することができる。その結果、本発明の検出装置は微小な出力信号の差を解析する必要がなく、簡潔な構成で高精度な位置検出を行うことができる。以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態による検出装置および検出方法を説明する。第1の実施の形態本発明の第1の実施の形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施の形態による検出装置1の構成を示す断面図である。図1を参照すると、検出装置1は、可動部2とセンサ部3とを具備する。可動部2は、センサ部3に対して相対的に移動可能なように取り付けられている。センサ部3は、可動部2の位置、速度及び加速度を算出し、外部の装置に出力する。可動部2には接着部5を介して被測定物4が固定されている。そのため、検出装置1は、被測定物4の位置、速度及び加速度を、外部の装置に出力することができる。図2Aは、可動部2の断面図である。図2Aの断面図は、図1の可動部2の断面図に相当する。図2Bは、可動部2を下から見た底面図である。但し、図2Bは、図2Aの保護部30詳細は後述が省略されている。従って、図2Bの底面図は、センサ部3と向かい合う可動部2内部の面を示している。尚、図2BのA-A’の断面の位置は、図2Aの断面に相当する。図2A及び図2Bを参照すると、可動部2は、基板10と、コイル対群20と、保護部30とを備える。基板10は、コイル対群20が形成される基板である。保護部30は、コイル対群20がセンサ部3と直接接触しないように保護する。保護部30は、シリコン酸化膜や、ポリイミドなどの絶縁樹脂によって形成される。コイル対群20は、センサ部3から出力される信号磁束の変化に基づいて、センサ部3に対する相対的な位置に基づいた信号磁束の変化をセンサ部3に出力する。コイル対群20の詳細を説明すると、コイル対群20は複数のコイル対20a~20dを備える。複数のコイル対20a~20dの各々は、2つのコイルと、2つのコイルを接続する接続線とを有する。コイル対20aと、コイル対20bと、コイル対20cと、コイル対20dとは、それぞれ所定の距離を置いて配置されている。尚、本実施の形態では、詳細は後述するが可動部2の移動方向はy方向である。複数のコイル対20a~20dの各々が有する2つのコイルは、可動部2のy方向への移動を検出できるように、y方向と直交するように配置されている。また、本実施の形態では、コイル対群20は4つのコイル対20a~コイル対20dを備えているが、コイル対の数を4に限定するものではなく複数であればよい。図3Aは、センサ部3の断面図である。図3Aは、図1のセンサ部3の断面図に相当する。図3Bは、センサ部3の平面図である。但し、図3Bは、図3Aに示した一部の構成が省略されている。図3Bの平面図は、可動部2と向かい合うセンサ部3内部の面を示している。尚、図3BのB-B’の断面の位置は、図3Aの断面に相当する。図3A及び図3Bを参照すると、センサ部3は、基板40と、回路部50と、ボンディングワイヤ60と、保護樹脂部70と、パッケージ部80と、保護部90と、ガイド部100と、送受信部110とを備える。基板40は、回路部50が形成される基板であって、回路部50から出力された信号をボンディングワイヤ60及び端子41を介して受け取り、外部の装置に出力する。回路部50は、各種機能を実現するための回路が形成されており、送受信部110で算出された可動部2の位置、速度及び加速度を示す信号を、端子51とボンディングワイヤ60を介して基板40に出力する。ボンディングワイヤ60は、基板40と回路部50とを電気的に接続する。保護樹脂部70は、基板40、回路部50、ボンディングワイヤ60を覆い保護する。パッケージ部80は、保護樹脂部70を覆い、センサ部3を保護する。保護部90は、可動部2の保護部30と同様に、送受信部110が可動部2と直接接触しないように保護する。保護部90は、シリコン酸化膜や、ポリイミドなどの絶縁樹脂によって形成される。ガイド部100は、可動部2が所定の方向に移動するように誘導するものであって、ここでは、ガイド部100は可動部2をy方向に誘導する。言い換えると、第1の実施の形態では、可動部2はガイド部100に誘導されて、x方向及びz方向には移動せず、y方向のみに移動する。送受信部110は、可動部2のコイル対群20に対して、位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。そして、送受信部110は、出力した信号磁束の変化に対する応答として、コイル対群20が出力する位置に基づいた信号磁束の変化を受け取り、可動部2の位置、速度及び加速度を算出する。詳細には、送受信部110は、送信部111と、受信部112と、演算部113と、タイミング調整部114とを備える。送信部111は、送信回路111aと、送信回路111aに接続された送信コイル111bとを含む。受信部112は、受信回路112aと、受信回路112aと接続された受信コイル112bとを含む。コイル対群20と送信コイル111bと受信コイル112bとの配置について説明すると、コイル対20a~コイル対20dのそれぞれが有する2つのコイルは、可動部2の移動に伴って、送信コイル111b及び受信コイル112bと磁気的に結合できるように配置される図1参照。詳細には、コイル対20aの一方のコイルと送信コイル111bとが磁気的に結合できる位置にあるとき、コイル対20aの他方のコイルと受信コイル112bとが磁気的に結合できる位置にある。コイル対20b~コイル対20dについても同様である。尚、コイル対20a~コイル対20dのそれぞれの2つのコイルを結ぶ直線と、送信コイル111bと受信コイル112bとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、可動部2の移動方向と直交する。送受信部110の構成の詳細な説明として、可動部2のコイル対群20と、センサ部3の送受信部110との間における信号の伝送について説明する。図4は、可動部2のコイル対20aと、センサ部3の送受信部110とが磁気的に結合したときの信号の伝送を示すブロック図である。図4を参照すると、コイル対20aは、コイルL0と、コイルL1と、接続線21aとを備える。送受信部110は、送信部111と、受信部112と、演算部113と、タイミング調整部114とを備える。送信回路111aは、送信用クロックVclt_txに基づいた所定のタイミングで、入力信号を送信コイル111bに出力する。詳細には、送信回路111aは、電流値が変化する電流Itx時間と電流値とで表したときに波形が同じである電流を、入力信号として所定のタイミングで送信コイル111bに流す。尚、送信用クロックVclt_txを発生する構成は省略されているが、送受信部110に含まれていてもよいし、回路部50から出力されてもよい。送信コイル111bは、送信回路111aによって電流Itxが流され、磁力を発生する。このとき、送信コイル111bは、電流Itxの電流値の変化に基づいて、変化する磁束を発生する。送信コイル111bの変化する磁束は、コイル対群20のうちで磁気的に結合しているコイル対20aに作用して、コイル対20aに誘起された信号誘導起電力誘導電流を発生させる。詳細には、コイルL0は、送信コイル111bの磁束の変化に基づいて、電圧VL0が発生する。コイルL1には、コイルL0の電圧VL0に基づく電流IL1が流れる。このとき電流IL1は変化するため、コイルL1の磁束も変化する。即ち、コイル対20aは、送信コイル111bによって誘起された信号に基づいて、変化する磁束を発生する。受信コイル112bは、磁気的に結合しているコイル対20aが発生する磁束の変化に基づいて、誘起された信号誘導起電力を発生する。ここでは、受信コイル112bは、コイルL1の磁束の変化に基づいて、電圧Vrxが発生する。送信回路111aが送信コイル111bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル112bに電圧Vrxが発生するまでには、伝送経路に基づいた遅延が発生する。タイミング調整部114は、送信回路111aが送信コイル111bに電流を流すタイミングと、受信回路112aが受信コイル112bに誘起された信号を検出するタイミングとを調整する。つまり、タイミング調整部114は、送信用クロックVclt_txに基づいて、伝送経路の遅延時間に相当する時間を遅らせた受信用クロックVclt_rxを生成し、受信回路112aに出力する。受信回路112aは、タイミング調整部114が出力した受信用クロックVclt_rxに基づいて、受信コイル112bに発生した電圧Vrxを検出する。受信回路112aは検出した電圧を、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部113へ出力する。演算部113は、受信回路112aから出力される図4に示す伝送経路を経た出力信号に基づいて、可動部2の位置、速度及び加速度を算出し、回路部50に出力する。尚、演算部113は、回路部50に形成されていてもよい。図4ではコイル対20aを例に説明したが、コイル対群20の備える他のコイル対20b~コイル対20dのそれぞれが伝送経路に含まれた場合でも、検出装置1は同様に信号を伝送する。留意すべき点として、本発明の検出装置1は、図4に示す伝送経路にどのコイル対コイル対20a~20dが含まれるかによって伝送特性が異なるように形成される。送信コイル111bに流れる電流Itxの変化が同じである場合、受信コイル112bに誘起される信号の強度は伝送特性に比例する。つまり、受信回路112aが出力する出力信号は、コイル対コイル対20a~20d毎に異なる。伝送経路毎に伝送特性を異なるものにするには、相互インダクタンスを変化させる方法がある。例えば、コイル対20a~コイル対20dは、それぞれのコイルの巻き数が異なっていたり、それぞれのコイルに異なる比誘電率の材料が含まれていたり、それぞれのコイルの内径が異なっていたりする。その他に、コイル対20aと送受信部110との距離と、コイル対20bと送受信部110との距離と、コイル対20cと送受信部110との距離と、コイル対20dと送受信部110との距離を、それぞれ変えることによって実現することもできる。この場合、コイル対20a~コイル20dの構成は同じであってもよい。図5は、コイル対20a~コイル対20dの違いに基づいた、送信コイル111bから受信コイル112bまでの伝送特性の違いを示す模式図である。図5を参照すると、横軸は可動部2とセンサ部3との相対位置Xを表し、縦軸は伝送特性を表している。ここでは、複数のコイル対20a~20dのそれぞれの間隔は、距離d離れて配置されている。演算部113は、コイル対20a~コイル対20dのそれぞれが伝送経路に含まれた場合の出力信号の値電圧値を予め保持する。つまり、演算部113は、送信部111とコイル対20aと受信部112とを含む伝送経路を介した場合の出力信号の値、送信部111とコイル対20bと受信部112とを含む伝送経路を介した場合の出力信号の値などを予め保持する。演算部113は、受信回路112aから出力された出力信号に基づいて、どのコイル対コイル対20a~20dが伝送経路に含まれているのかを判断し、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を算出する。演算部113は、出力信号に明確な差があると、微小な出力信号の差を解析する必要がなく、高精度な位置検出を行うことが可能となる。本発明の検出装置1は、2つのコイル間の距離に基づいて僅かな出力信号の差を読み取るのではなく、複数のコイル対20a~20dに基づいた伝送経路毎の伝送特性の差を利用することで、出力信号に大きな差をつけることが可能となっている。言い換えると、検出装置1は、どのコイル対コイル対20a~20dが伝送経路に含まれているのかを出力信号から明確に判断できるように形成される。図5に示すように、コイル対20a~コイル対20dに基づいた各伝送経路の伝送特性は、出力信号に明確な差を持たせるために、隣接するコイル対同士例えばコイル対20aを含む伝送経路とコイル対20bを含む伝送経路の伝送特性の差を大きくすることが好ましい。一方で、隣接していないコイル対同士例えばコイル対20aを含む伝送経路とコイル対20cを含む伝送経路の伝送特性の差を小さくすると、限られた伝送特性の範囲の中で差を付けやすくなる。このように、本発明の検出装置1は、送信コイル111b及び受信コイル112bが、どのコイル対コイル対20a~20dと磁気的に結合しているかによって伝送特性が大きく異なるため、受信回路112aの出力信号も大きく異なる。従って、本発明の検出装置1は、微小な出力信号の差を解析する必要がなく、高精度な位置検出を行うことができる。以下、検出装置1が被測定物4の位置、速度及び加速度を検出する方法を説明する。ここでは、被測定物4に外部から力が加わり、可動部2がガイド部100に沿って移動する場合を例に説明する。図6は、本発明の第1の実施の形態による検出方法を示すタイミングチャートである。図6において、tは時間を表し、特に、演算部113で位置、速度及び加速度を算出する周期Tを表している。演算部113は、周期T毎に可動部2のセンサ部3に対する相対位置、速度、及び加速度を算出する。Vclk_txは、送信回路111aに入力される送信用クロックである。Itxは、送信コイル111bに流れる電流である。VLは、送受信部110の送信コイル111bと磁気的に結合しているコイル対コイル対20a~20dに誘起される電圧である。ILは、電圧VLに基づいて磁気的に結合しているコイル対コイル対20a~20dに流れる電流である。Vclk_rxは、タイミング調整部114が、受信回路112aに出力する受信用クロックである。Vrxは、磁気的に結合しているコイル対コイル対20a~20dに基づいて、受信コイル112bに誘起される電圧である。時間t=0~T初期状態:図7Aは、時間t=0~Tに対応する検出装置1の初期状態を示した図である。図7Aを参照すると、コイル対20aと、送受信部110とが磁気的に結合している様子が示されている。尚、図7Aでは、可動部2とセンサ部3との一部が示されており、その他の構成は省略されている。図6のタイミングチャートを参照すると、送信回路111aは、送信用クロックVclt_txに基づいて、入力信号としての電流Itxを送信コイル111bに流す。送信コイル111bは、電流Itxの電流値の変化に基づいて、変化する磁束を発生する。コイル対20aは、送信コイル111bの磁束の変化に基づいて誘起された電圧VLが発生する。更に、コイル対20aは、電圧VLに基づいて電流ILが流れる。電流ILは変化するため、コイル対20aの磁束も変化し、受信コイル112bに誘起された電圧Vrxが発生する。送信回路111aが送信コイル111bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル112bに電圧Vrxが発生するまでには、伝送経路に基づいた遅延が発生する。タイミング調整部114は、送信用クロックVclt_txに基づいて、伝送経路の遅延時間に相当する時間を遅らせた受信用クロックVclt_rxを生成し、受信回路112aに出力する。受信回路112aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル112bに誘起された電圧Vrxの2Vを検出する。受信回路112aは検出した電圧を、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部113へ出力する。時間t=T図7Aの状態:演算部113は、電圧Vrxの2Vに基づいてコイル対20aが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2の相対位置がX=0であると算出する。検出装置1は、算出した位置を外部に出力する。時間t=T~2T図7Aの状態:この期間も可動部2は移動していない。検出装置1は前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路112aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル112bに誘起された電圧Vrxの2Vを検出する。受信回路112aは検出した電圧Vrxを、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部113へ出力する。時間t=2T:演算部113は、電圧Vrxの2Vに基づいてコイル対20aが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2の相対位置がX=0であると算出する。そして、演算部113は、時間T~2Tの間周期Tで可動部2が移動していないため、速度及び加速度は0と算出する。検出装置1は、算出した位置と、速度と、加速度とを外部に出力する。ここで、被測定物4に外部から力が加えられ、被測定物4と共に可動部2が移動したとする。図7Bは、時間t=2Tに対応する検出装置1の状態を示した図である。図7Bを参照すると、図7Aの状態から可動部2がy方向に移動し、コイル対20bと、送受信部110とが磁気的に結合している様子が示されている。時間t=2T~3T図7Bの状態:検出装置1は前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路112aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル112bに誘起された電圧Vrxの4Vを検出する。受信回路112aは検出した電圧Vrxを、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部113へ出力する。時間t=3T:演算部113は、電圧Vrxの4Vに基づいて、コイル対20bが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2の相対位置がX=dであると算出する。そして、演算部113は、周期Tの間で可動部2が距離dを移動したため、周期Tと距離dに基づいて速度及び加速度を算出する。演算部113は、距離dを時間Tで1回微分することで可動部2の速度を算出し、2回微分することで加速度を算出する。ここで、可動部2は外部の力に基づく慣性の法則によって移動し続けているとする等速度運動。図7Cは、時間t=3Tに対応する検出装置1の状態を示した図である。図7Cを参照すると、図7Bの状態から可動部2がy方向に移動し、コイル対20cと、送受信部110とが磁気的に結合している様子が示されている。時間t=3T~4T図7Cの状態:可動部2は等速度で移動し続けている。検出装置1は前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路112aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル112bに誘起された電圧VrxのVを検出する。受信回路112aは検出した電圧Vrxを、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部113へ出力する。時間t=4T:演算部113は、電圧VrxのVに基づいて、コイル対20cが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2の相対位置がX=2dであると算出する。そして、演算部113は、周期Tの間で可動部2が距離dを移動したため、周期Tと距離dに基づいて速度及び加速度を算出する。ここでも、可動部2は等速度で移動し続けているとする。図7Dは、時間t=4Tに対応する検出装置1の状態を示した図である。図7Dを参照すると、図7Cの状態から可動部2がy方向に移動し、コイル対20dと、送受信部110とが磁気的に結合している様子が示されている。時間t=4T~図7Dの状態:可動部2は等速度で移動し続けている。検出装置1は前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路112aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル112bに誘起された電圧Vrxの3Vを検出する。受信回路112aは検出した電圧Vrxを、可動部2のセンサ部3に対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部113へ出力する。これ以降の動作は、前述と同様である。このように、本発明の検出装置1は、可動部2のセンサ部3に対する移動に基づいて、可動部2とセンサ部3との間の伝送経路が変化する。検出装置1は、複数の伝送経路のそれぞれに含まれるコイル対コイル対20a~20dに基づいて、伝送特性が異なるように形成されている。その結果、検出装置1は、どのコイル対コイル対20a~20dを伝送経路に含むかによって、受信コイル112bに誘起される信号の強度が2V→4V→V→3Vと変化する。検出装置1はその出力信号の強度に基づいて、可動部2のセンサ部3に対する相対位置をX=0→d→2d→3dであると算出し、更に、移動距離と時間とに基づいて速度及び加速度を算出することができる。以上のように、本発明の第1の実施の形態による検出装置1は、複数のコイル対20a~20dを備えることで、位置毎の出力信号に明確な差を付けて出力することができ、微小な出力信号の差を解析する必要がなく、簡潔な構成で高精度な位置検出を行うことができる効果を奏する。また、本発明では、コイル対20a~コイル対20dと、送信コイル111b及び受信コイル112bとが離れていたとしても、磁束を利用しているため信号を検出しやすいという効果も奏している。更に、本発明は、送信コイル111bへの入力信号の強度を増加させることでS/N比を改善できるため、検出精度の向上も容易である。また、本発明の検出装置1では、可動部2は一般的な基板製造工程で製造することができ、センサ部3も一般的なCMOSComplementaryMetalOxideSemiconductor製造工程で製造することができる。従って、高性能なセンサであるにも係らず、製造コストを削減することが可能である。加えて、可動部2を駆動させる電源が不要であるため、可動部2を搭載する自由度が高く、実装コストの削減にも繋がる。本発明の第1の実施の形態の検出装置1は、可動部2には接着部5を介して被測定物4が固定されている。しかし、検出装置1は、可動部2に被測定物4が取り付けられずに、可動部2だけが存在するものであってもよい。この場合、検出装置1は、可動部2の速度及び加速度を算出し、外部の装置に出力することができる。第2の実施の形態本発明の第2の実施の形態を説明する。本発明の第2の実施の形態の検出装置は、可動部2aとセンサ部3aとを具備する。可動部2a及びセンサ部3aは、含まれるコイルの数及び配置が、第1の実施の形態の可動部2及びセンサ部3と異なるものである。以降、第1の実施の形態と同様の構成は同じ符号を付して説明を省略する。図8は、本発明の第2の実施の形態における可動部2aの内部の底面図である。図8では、センサ部3aと向かい合う内部の面を示している。尚、図8は、可動部2aの主要部を記載したものであり、第1の実施の形態の可動部2と同様の構成は説明に支障の無い限り省略されている。可動部2aは、基板10aと、コイル対群20と、コイル対群22と、保護部30図示略とを備える。基板10aは、コイル対群20及びコイル対群22が形成される基板である。コイル対群20とコイル対群22とは隣接して配置される。コイル対群22は、コイル対群20と同様に、センサ部3aから出力される信号磁束の変化に基づいて、センサ部3aに対する相対的な位置に基づいた信号磁束の変化をセンサ部3aに出力する。コイル対群22の詳細を説明すると、コイル対群22は複数のコイル対22a~22dを備える。複数のコイル対22a~22dの各々は、2つのコイルと、2つのコイルを接続する接続線とを有する。コイル対22aと、コイル対22bと、コイル対22cと、コイル対22dとは、それぞれ所定の距離を置いて配置されている。尚、本実施の形態でも、検出装置は伝送経路にどのコイル対コイル対22a~22dが含まれるかによって伝送特性が異なるように形成される。コイル対群20とコイル対群22とは、それぞれに含まれる複数のコイル対コイル対20a~20d、コイル対22a~22dが可動部2の移動方向y方向に対して、交互に配置される。詳細には、コイル対20aは、可動部2の移動方向y方向に対して、コイル対22aとコイル対22bとの間に位置する。同様に、コイル対22bは、可動部2の移動方向y方向に対して、コイル対20aとコイル対20bとの間に位置する。他のコイル対も全て同様に配置される。また、本実施の形態でも、コイル対群20及びコイル対群22が備えるコイル対の数は4に限定されない。図9は、センサ部3aの内部の平面図である。図9の平面図は、可動部2aと向かい合う面を示している。尚、図9では、センサ部3aの主要部を記載したものであり、第1の実施の形態のセンサ部3と同様の構成は説明に支障の無い限り省略されている。センサ部3aは、基板40aと、回路部50aと、ボンディングワイヤ60図示略と、保護樹脂部70図示略と、パッケージ部80図示略と、保護部90図示略と、ガイド部100図示略と、送受信部120と、送受信部130と、演算部200とを備える。基板40aは、回路部50aが形成される基板である。回路部50aは、各種機能を実現するための回路が形成されており、送受信部120及び送受信部130で算出された可動部2aの位置、速度及び加速度を示す信号を基板40aに出力する。尚、可動部2aは、ガイド部100図示略によって、y方向に移動し、x方向及びz方向には移動しないものとする。送受信部120は、可動部2aのコイル対群20に対して、位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。そして、送受信部120は、出力した信号磁束の変化に対する応答として、コイル対群20が出力する位置に基づいた信号磁束の変化を受け取り、可動部2aのセンサ部3aに対する相対的な位置を表す出力信号を、演算部200へ出力する。詳細には、送受信部120は、送信部121と、受信部122と、タイミング調整部124とを備える。送信部121は、送信回路121aと、送信回路121aに接続された送信コイル121bとを含む。受信部122は、受信回路122aと、受信回路122aと接続された受信コイル122bとを含む。尚、送信部121、受信部122、及びタイミング調整部124の構成及び動作は、第1の実施の形態の送受信部110の同名称の構成と同じである。送受信部130は、送受信部120と同様に、可動部2aのコイル対群22に対して、位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。そして、送受信部130は、出力した信号磁束の変化に対する応答として、コイル対群22が発生する位置に基づいた信号磁束の変化を受け取り、可動部2aのセンサ部3aに対する相対的な位置を表す出力信号を、演算部200へ出力する。詳細には、送受信部130は、送信部131と、受信部132と、タイミング調整部134とを備える。送信部131は、送信回路131aと、送信回路131aに接続された送信コイル131bとを含む。受信部132は、受信回路132aと、受信回路132aと接続された受信コイル132bとを含む。尚、送信部131、受信部132、及びタイミング調整部134の構成及び動作は、第1の実施の形態の送受信部110の同名称の構成と同じである。送受信部120と送受信部130との配置について説明すると、送信コイル121b、受信コイル122b、送信コイル131b、及び、受信コイル132bは、移動方向のy方向に直交するx方向の直線上に配置される。言い換えると、送信コイル121bと受信コイル122bとを結ぶ直線と、送信コイル131bと受信コイル132bとを結ぶ直線とは一直線上にある。また、コイル対群20と送信コイル121bと受信コイル122bとの配置について説明すると、コイル対20a~コイル対20dのそれぞれが有する2つのコイルは、可動部2aの移動に伴って、送信コイル121b及び受信コイル122bと磁気的に結合できるように配置される。尚、コイル対20a~コイル対20dのそれぞれの2つのコイルを結ぶ直線と、送信コイル121bと受信コイル122bとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、可動部2bの移動方向y方向と直交する。同様に、コイル対群22と送信コイル131bと受信コイル132bとの配置について説明すると、コイル対22a~コイル対22dのそれぞれが有する2つのコイルは、可動部2aの移動に伴って、送信コイル131b及び受信コイル132bと磁気的に結合できるように配置される。尚、コイル対22a~コイル対22dのそれぞれの2つのコイルを結ぶ直線と、送信コイル131bと受信コイル132bとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、可動部2bの移動方向y方向と直交する。本実施の形態においても、検出装置はコイル対群20と送受信部120とに基づく伝送経路にどのコイル対コイル対20a~20dが含まれるかによって伝送特性が異なるように形成される。更に、検出装置は、コイル対群22と送受信部130とに基づく伝送経路にどのコイル対コイル対22a~22dが含まれるかによって伝送特性が異なるように形成される。図10は、コイル対群20と送受信部120とを含む伝送経路の伝送特性下段と、コイル対群22と送受信部130とを含む伝送経路の伝送特性上段とを示す模式図である。図10を参照すると、横軸は可動部2aとセンサ部3aとの相対位置Xを表し、縦軸は伝送特性を表している。複数のコイル対20a~20dのそれぞれの間隔は、距離d離れて配置さてれている。同様に、複数のコイル対22a~22dのそれぞれの間隔も、距離d離れて配置さてれている。演算部200は、コイル対20a~コイル対20dのそれぞれが伝送経路に含まれた場合の出力信号の値、及び、コイル対22a~コイル対22dのそれぞれが伝送経路に含まれた場合の出力信号の値を予め保持する。演算部200は、送受信部120の受信回路122aが検出した電圧Vrxを、可動部2aのセンサ部3aに対する相対的な位置を表す出力信号として受け取る。また、演算部200は、送受信部130の受信回路132aが検出した電圧Vrxを、可動部2aのセンサ部3aに対する相対的な位置を表す出力信号として受け取る。尚、送信回路121aと送信回路131aとは、同じタイミングで入力信号を出力することが好ましい。演算部200は、受信回路122aと受信回路132aとから出力信号を受け取り、周期T毎に強度が大きい方の出力信号を用いて、どのコイル対コイル対20a~20d、コイル対22a~22dが伝送経路に含まれているのかを判断する。そして、演算部200は、伝送経路に含まれるコイル対に基づいて、可動部2aのセンサ部3aに対する相対的な位置、速度及び加速度を算出する。尚、演算部200は、回路部50aの内部に形成されていてもよいし、第1の実施の形態の演算部113と同様に、送受信部120又は送受信部130のどちらか一方に含まれていてもよい。本実施の形態においても、検出装置は複数のコイル対コイル対20a~20d、コイル対22a~22dを利用して、出力信号に明確な差をつけることが可能となっている。図10に示すように、どのコイル対コイル対20a~20d、コイル対22a~22dが伝送経路に含まれるかによって伝送特性は大きく異なる。従って、受信回路122a又は受信回路132aから出力される出力信号も大きく異なるため、本実施の形態の検出装置も、微小な出力信号の差を解析する必要がなく、高精度な位置検出を行うことができる。しかも、本実施の形態の検出装置では、コイル対群20と送受信部120との組、及び、コイル対群22と送受信部130との組は、それぞれに含まれる複数のコイル対コイル対20a~20d、コイル対22a~22dが、可動部2aの移動方向Y方向に対して交互に配置されているため、可動部2aのセンサ部3aに対する相対的な位置を表す出力信号を、より高密度に出力できるように作用する。詳細には、受信回路122aの出力信号が小さいときでも、受信回路132aの出力信号が大きくなる相対位置があり、反対に、受信回路122aの出力信号が小さいときでも、受信回路132aの出力信号が大きくなる相対位置がある。即ち、コイル対群20と送受信部120との組、及び、コイル対群22と送受信部130との組は、お互いに出力信号として表すことができない位置を補うように作用する。従って、演算部200が、受信回路122aと受信回路132aとから受け取る出力信号のうちで、強度が大きい方の出力信号を用いて可動部2aのセンサ部3aに対する位置、速度及び加速度を算出すると、より高精度な検出を行うことができる。尚、本発明の第2の実施の形態の検出装置の動作は、第1の実施の形態と同様であり、演算部200が2つの受信回路受信回路122a、132aの出力に基づいて、可動部2aの位置、速度及び加速度を算出する点だけが異なる。以上のように、本発明の第2の実施の形態の検出装置は、複数のコイル対群コイル対群20、22と、複数の送受信部送受信部120、130を備えることで、1つのコイル対群と1つの送受信部だけでは表すことができない可動部2aのセンサ部3aに対する相対的な位置を出力することができる。従って、本発明の第2の実施の形態の検出装置は、第1の実施の形態よりも更に精度良く、位置、速度及び加速度を検出するできる効果を奏する。尚、本発明の第2の実施の形態の検出装置は、2つのコイル対群と、2つの送受信部との例を説明したが、位置を検出する精度を更に高めるために、それぞれ2つ以上であってもよい。第3の実施の形態本発明の第3の実施の形態を説明する。本発明の第3の実施の形態の検出装置は、可動部2bとセンサ部3bとを具備する。可動部2b及びセンサ部3bは、含まれるコイルの数及び配置が、第1及び第2の実施の形態の可動部2、2a及びセンサ部3、3aと異なるものである。また、第3の実施の形態の検出装置は、可動部2bがセンサ部3bに対してxy方向に移動可能に取り付けられている。以降、第1、第2の実施の形態と同様の構成は同じ符号を付して説明を省略する。図11は、本発明の第3の実施の形態における可動部2bの内部の底面図である。図11では、センサ部3bと向かい合う内部の面を示している。尚、図11は、可動部2bの主要部を記載したものであり、第1の実施の形態の可動部2と同様の構成は説明に支障の無い限り省略されている。可動部2bは、基板10bと、コイル対群20と、コイル対群23と、コイル対群24と、コイル対群25と、保護部30図示略とを備える。基板10bは、コイル対群20、コイル対群23、コイル対群24及びコイル対群25が形成される基板である。コイル対群23~コイル対群25は、コイル対群20と同様の構成であり、センサ部3bから発生される信号磁束の変化に基づいて、センサ部3bに対する相対的な位置に基づいた信号磁束の変化をセンサ部3bに出力する。コイル対群23~コイル対25のそれぞれは複数のコイル対を備える。複数のコイル対群20、23~25それぞれの配置について説明すると、コイル対群20はコイル対群24とx方向に隣接して配置されており、コイル対群25とy方向に隣接して配置されている。また、コイル対群23は、コイル対群24とy方向に隣接して配置されており、コイル対群25とx方向に隣接して配置されている。各コイル対群を詳細にみると、コイル対群20は複数のコイル対を備え、各コイル対は2つのコイルを有している。1つのコイル対の2つのコイルは、可動部2bのy方向への移動を検出できるように、y方向に直交するように配置される。コイル対群23も同様に、1つのコイル対の2つのコイルは、可動部2bのy方向への移動を検出できるように、y方向と直交するように配置される。一方、コイル対群24は、1つのコイル対の2つのコイルが、可動部2bのx方向への移動を検出できるように、x方向と直交するように配置される。コイル対群25も同様に、1つのコイル対の2つのコイルは、可動部2bのx方向への移動を検出できるように、x方向と直交するように配置される。図12は、センサ部3bの内部の平面図である。図12の平面図は、可動部2bと向かい合う面を示している。尚、図12は、センサ部3bの主要部を記載したものであり、第1、第2の実施の形態のセンサ部3、3aと同様の構成は説明に支障の無い限り省略されている。センサ部3bは、基板40bと、回路部50bと、ボンディングワイヤ60図示略と、保護樹脂部70図示略と、パッケージ部80図示略と、保護部90図示略と、ガイド部図示略と、送受信部120と、送受信部140と、演算部250とを備える。基板40bは、回路部50bが形成される基板である。回路部50bは、各種機能を実現するための回路が形成されており、送受信部120及び送受信部140で算出された可動部2bの位置、速度及び加速度を示す信号を基板40bに出力する。尚、可動部2bは、ガイド部図示略によって、xy方向に移動し、z方向には移動しないものとする。送受信部120は、第2の実施の形態と同様であって、可動部2bのコイル対群20に対して位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。更に、送受信部120は、コイル対群23に対しても、同様に位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。そして、送受信部120は、出力した信号に対する応答として、コイル対群20又はコイル対群23が出力する位置に基づいた信号磁束の変化を受け取り、可動部2bのセンサ部3bに対する相対的な位置を表す出力信号を、演算部250へ出力する。送受信部140は、送受信部120と同様である。送受信部140は、可動部2bのコイル対群24又はコイル対群25に対して、位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。そして、送受信部140は、出力した信号に対する応答として、コイル対群24又はコイル対群25が出力する位置に基づいた信号磁束の変化を受け取り、可動部2bのセンサ部3bに対する相対的な位置を表す出力信号を、演算部250へ出力する。送受信部120と送受信部140との配置について説明すると、送受信部120の2つのコイルはx方向に配置され、送受信部140の2つのコイルはy方向に配置される。従って、送受信部120の2つのコイルと、送受信部140の2つのコイルとは、直交するように配置される。言い換えると、送受信部120の2つのコイルを結ぶ直線と、送受信部140の2つのコイルを結ぶ直線とは直交する。また、コイル対群20と、コイル対群23と、送受信部120との配置について説明すると、コイル対群20及びコイル対群23が備える複数のコイル対の各々が有する2つのコイルは、可動部2bの移動に伴って、送受信部120の2つのコイルと磁気的に結合できるように配置される。つまり、コイル対群20、コイル対群23、及び送受信部120の組は、可動部2bがy方向に移動したとき、可動部2bのセンサ部3bに対する相対位置を算出できるように配置されている。尚、コイル対20a~コイル対20d、コイル対23a~コイル対23dのそれぞれの2つのコイルを結ぶ直線と、送受信部120の送信コイルと受信コイルとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、可動部2bの移動方向y方向と直交し、移動方向x方向と平行である。同様に、コイル対群24と、コイル対群25と、送受信部140との配置について説明すると、コイル対群24及びコイル対群25が備える複数のコイル対の各々が有する2つのコイルは、可動部2bの移動に伴って、送受信部140の2つのコイルと磁気的に結合できるように配置される。つまり、コイル対群24、コイル対群25、及び送受信部140の組は、可動部2bがx方向に移動したとき、可動部2bのセンサ部3bに対する相対位置を算出できるように配置されている。尚、コイル対24a~コイル対24d、コイル対25a~コイル対25dのそれぞれの2つのコイルを結ぶ直線と、送受信部140の送信コイルと受信コイルとを結ぶ直線とは平行であって、且つ、可動部2bの移動方向x方向と直交し、移動方向y方向と平行である。本実施の形態においても、検出装置はコイル対群20及びコイル対群23と、送受信部120とに基づく伝送経路にどのコイル対コイル対20a~20d、コイル対23a~23dが含まれるかによって伝送特性が異なるように形成される。また、検出装置は、コイル対群24及びコイル対群25と、送受信部140とに基づく伝送経路にどのコイル対コイル対24a~24d、コイル対25a~25dが含まれるかによって伝送特性が異なるように形成される。演算部250は、コイル対群20の複数のコイル対と、コイル対群23の複数のコイル対のそれぞれが伝送経路に含まれた場合の出力信号の値、及び、コイル対群24の複数のコイル対と、コイル対群25の複数のコイル対のそれぞれが伝送経路に含まれた場合の出力信号の値を予め保持する。演算部250は、送受信部120の受信回路が検出した電圧Vrxを、可動部2bのセンサ部3bに対する相対的な位置を表す出力信号として受け取る。また、演算部250は、送受信部140の受信回路が検出した電圧Vrxを、可動部2bのセンサ部3bに対する相対的な位置を表す出力信号として受け取る。演算部250は、送受信部120と送受信部140とから出力信号を受け取り、周期T毎に強度が大きい方の出力信号を用いて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断する。そして、演算部250は、伝送経路に含まれるコイル対に基づいて、可動部2bのセンサ部3bに対する相対的な位置、速度及び加速度を算出する。尚、演算部250は、回路部50bの内部に形成されていてもよい。更に、演算部250は、第1の実施の形態の演算部113と同様に、送受信部120又は送受信部140のどちらか一方に含まれていてもよい。本発明の第3の実施の形態の検出装置の動作は、第2の実施の形態と同様であり、演算部250が送受信部120と送受信部140との出力に基づいて、可動部2bの位置、速度及び加速度を算出する点だけが異なる。以上のように、本発明の第3の実施の形態の検出装置は、複数のコイル対群コイル対群20、23~25と、複数の送受信部送受信部120、140を2次元に備えることで、可動部2bのセンサ部3bに対する2次元方向xy方向の相対的な位置を検出できる効果を奏する。第4の実施の形態本発明の第4の実施の形態を説明する。本発明の第4の実施の形態の検出装置は、可動部のセンサ部に対する相対的な位置を、伝送経路の遅延時間に基づいて算出するものである。以降、第1の実施の形態と同様の構成は同じ符号を付して説明を省略する。図13は、本発明の第4の実施の形態による検出装置1dの構成を示す断面図である。図13を参照すると、検出装置1dは、可動部2dとセンサ部3dとを具備する。可動部2dは、センサ部3dに対して相対的に移動可能なように取り付けられている。センサ部3dは、可動部2dの位置、速度及び加速度を算出し、外部の装置に出力する。図14Aは、可動部2dの断面図である。図14Aの断面図は、図13の可動部2dの断面図に相当する。図14Bは、可動部2dを下から見た底面図である。但し、図14Bは、図14Aの保護部30が省略されている。従って、図14Bの底面図は、センサ部3dと向かい合う可動部2d内部の面を示している。図14A及び図14Bを参照すると、可動部2dは、基板10dと、コイル対群26と、保護部30とを備える。基板10dは、コイル対群26が形成される基板である。コイル対群26は、センサ部3dから出力される信号磁束の変化に基づいて、センサ部3dに対する相対的な位置に基づいた信号磁束の変化をセンサ部3dに出力する。コイル対群26の詳細を説明すると、コイル対群26は複数のコイル対26a~26dを備える。複数のコイル対26a~26dの各々は、2つのコイルと、2つのコイルを接続する接続線とを有する。コイル対26a~コイル対26dは、それぞれ所定の距離を置いて配置されている。ここで、本実施の形態の検出装置1dは、伝送経路にどのコイル対コイル対26a~26dが含まれるかによって伝送特性遅延時間が異なるように形成される。例えば、コイル対26a~コイル対26dは、抵抗値が異なるように形成される。尚、本実施の形態では、可動部2dの移動方向はy方向である。従って、複数のコイル対26a~26dの各々が有する2つのコイルは、可動部2dのy方向への移動を検出できるように、y方向と直交するように配置されている。また、本実施の形態では、コイル対群26は4つのコイル対26a~コイル対26dを備えているが、コイル対の数を4に限定するものではなく複数であればよい。図15Aは、センサ部3dの断面図である。図15Aは、図13のセンサ部3dの断面図に相当する。図15Bは、センサ部3dの平面図である。但し、図15Bは、図15Aに示した一部の構成が省略されている。図15Bの平面図は、可動部2dと向かい合うセンサ部3d内部の面を示している。図15A及び図15Bを参照すると、センサ部3dは、基板40dと、回路部50dと、ボンディングワイヤ60と、保護樹脂部70と、パッケージ部80と、保護部90と、ガイド部100と、送受信部150とを備える。基板40dは、回路部50dが形成される基板である。回路部50dは、各種機能を実現するための回路が形成されており、送受信部150で算出された可動部2dの位置、速度及び加速度を示す信号を基板40dに出力する。尚、可動部2dは、ガイド部100によって、y方向に移動し、x方向及びz方向には移動しないものとする。送受信部150は、送信部151と、受信部152と、演算部153とを備える。送信部151は、送信回路151aと、送信回路151aに接続された送信コイル151bとを含む。受信部152は、受信回路152aと、受信回路152aと接続された受信コイル152bとを含む。コイル対群26と送信コイル151bと受信コイル152bとの配置は、第1の実施の形態のコイル対群20の配置と同様である。送受信部150の構成の詳細な説明として、可動部2dのコイル対群26と、センサ部3dの送受信部150との間における信号の伝送について説明する。図16は、可動部2dのコイル対26aと、センサ部3dの送受信部150とが磁気的に結合したときの信号の伝送を示すブロック図である。図16を参照すると、コイル対26aは、コイルL2と、コイルL3とを備える。送受信部150は、送信部151と、受信部152と、演算部153とを備える。図16では、タイミング調整部がない点が第1の実施の形態と異なる。送信部151は、コイルL2に対して、位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。詳細には、送信回路151aは、電流値が変化する電流Itx時間と電流値とで表したときに波形が同じである電流を入力信号として、送信用クロックVclt_txに基づいた所定のタイミングで送信コイル151bに流す。コイルL2、L3は、送信部151から発生される信号磁束の変化に基づいて、センサ部3dに対する相対的な位置に基づいた信号磁束の変化を受信部152に出力する。受信コイル152bは、磁気的に結合しているコイル対26aが発生する磁束の変化に基づいて、誘起された信号誘導起電力を発生する。ここでは、受信コイル152bは、コイルL3の磁束の変化に基づいて、予め設定された電圧値である電圧Vrxが発生する。受信回路152aは、予め設定された電圧値の電圧Vrxを検出し、送信用クロックVclt_txに基づいて、送信回路151aが送信コイル151bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル152bに予め設定された電圧値の電圧Vrxが発生するまでの伝送経路に基づいた遅延時間を算出する。受信回路152aは算出した遅延時間を、可動部2dのセンサ部3dに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部153へ出力する。演算部153は、受信回路152aから出力される出力信号に基づいて、どのコイル対が伝送経路に含まれているのかを判断し、可動部2dの位置、速度及び加速度を算出する。演算部153は、可動部2dの位置、速度及び加速度を回路部50dに出力する。尚、演算部153は、回路部50dに形成されていてもよい。図16ではコイル対26aを例に説明したが、コイル対群26の備える他のコイル対26b~コイル対26dのそれぞれが伝送経路に含まれた場合でも、検出装置1dは同様に信号を伝送する。留意すべき点として、本発明の検出装置1dは、図16に示す伝送経路にどのコイル対コイル対26a~26dが含まれるかによって伝送特性遅延時間が異なるように形成される。送信コイル151bに流れる電流Itxの変化が同じである場合、受信コイル152bに信号が誘起されるタイミングは伝送特性遅延時間に比例する。つまり、受信回路152aが出力する出力信号は、コイル対コイル対26a~26d毎に異なる。図17Aは、コイル対26a~コイル対26dの違いに基づいた、送信コイル151bから受信コイル152bまでの伝送特性強度:振幅の違いを示す模式図である。ここでは、送信回路151aが、送信コイル151bに同じ波形の電流を流した場合を表している。図17Aを参照すると、横軸は可動部2dとセンサ部3dとの相対位置Xを表し、縦軸は伝送特性強度:振幅を表している。複数のコイル対26a~26dのそれぞれの間隔は、距離d離れて配置されている。図17Aに示すように、送信コイル151b及び受信コイル152bが、どのコイル対コイル対26a~26dと磁気的に結合していても、同じ伝送特性強度:振幅が得られる。図17Bは、コイル対26a~コイル対26dの違いに基づいた、送信コイル151bから受信コイル152bまでの伝送特性遅延時間の違いを示す模式図である。図17Bを参照すると、横軸は可動部2dとセンサ部3dとの相対位置Xを表し、縦軸は伝送特性遅延時間を表している。複数のコイル対26a~26dのそれぞれの間隔は、距離d離れて配置されている。演算部153は、コイル対26a~コイル対26dのそれぞれが伝送経路に含まれた場合の出力信号の値遅延時間を予め保持する。つまり、演算部153は、送信部151とコイル対26aと受信部152とを含む伝送経路を介した場合の出力信号の値、送信部151とコイル対26bと受信部152とを含む伝送経路を介した場合の出力信号の値などを予め保持する。演算部153は、受信回路152aから出力された出力信号に基づいて、どのコイル対コイル対26a~26dが伝送経路に含まれているのかを判断し、可動部2dのセンサ部3dに対する相対的な位置を算出する。本実施の形態においても、検出装置1dは複数のコイル対26a~26dに基づいた伝送経路毎の伝送特性遅延時間の差を利用することで、出力信号に大きな差をつけることが可能となっている。図17Bに示すように、コイル対26a~コイル対26dに基づく各伝送経路の伝送特性遅延時間は、出力信号に明確な差を持たせるために、隣接するコイル対同士例えばコイル対26aを含む伝送経路とコイル対26bを含む伝送経路の伝送特性の差を大きくすることが好ましい。一方で、隣接していないコイル対同士例えばコイル対26aを含む伝送経路とコイル対26cを含む伝送経路の伝送特性遅延時間の差を小さくすると、限られた伝送特性の範囲の中で差を付けやすくなる。このように、本発明の検出装置1dも、送信コイル151b及び受信コイル152bが、どのコイル対コイル対26a~26dと磁気的に結合しているかによって伝送特性が大きく異なる。従って、受信回路152aから出力される出力信号も大きく異なるため、微小な出力信号の差を解析する必要がなく、高精度な位置検出を行うことができる。図18は、本発明の第4の実施の形態による検出方法を示すタイミングチャートである。図18を参照して、本発明の第4の実施の形態による検出方法を説明する。尚、可動部2dとセンサ部3dとの状態は、図7A~図7Dと同様であるとする。図18において、tは時間を表し、特に、演算部153で位置、速度及び加速度を算出する周期Tを表している。演算部153は、周期T毎に可動部2dのセンサ部3dに対する相対位置、速度、及び加速度を算出する。Itxは、送信コイル151bに流れる電流である。Vrxは、磁気的に結合しているコイル対コイル対26a~26dに基づいて、受信コイル152bに誘起される電圧である。時間t=0~T初期状態、図7Aの状態に相当:送信回路151aは、入力信号としての電流Itxを送信コイル151bに流す。送信コイル151bは、電流Itxの電流値の変化に基づいて、変化する磁束を発生する。コイル対26aは、送信コイル151bの磁束の変化に基づいて誘起された電圧VLが発生する。更に、コイル対26aは、電圧VLに基づいて電流ILが流れる。電流ILは変化するため、コイル対26aの磁束も変化し、受信コイル152bに誘起された電圧Vrxが発生する。受信回路152aは、予め設定された電圧値Vの電圧Vrxを検出し、送信回路151aが送信コイル151bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル152bに所定の電圧値Vが発生するまでの伝送経路に基づいた遅延時間td=t2tdを算出する。受信回路152aは算出した遅延時間を、可動部2dのセンサ部3dに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部153へ出力する。この遅延時間td=t2tdは、コイル対26aに基づく遅延時間である。時間t=T図7Aの状態に相当:演算部153は、遅延時間td=t2tdに基づいて、コイル対26aが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2dの相対位置がX=0であると算出する。検出装置1dは、算出した位置を外部に出力する。時間t=T~2T図7Aの状態に相当:この期間も可動部2dは移動していない。検出装置1dは前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路152aは、予め設定された電圧値Vの電圧Vrxを検出し、遅延時間td=t2tdを算出する。受信回路152aは算出した遅延時間を、可動部2dのセンサ部3dに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部153へ出力する。時間t=2T:演算部153は、遅延時間td=t2tdに基づいて、コイル対26aが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2dの相対位置がX=0であると算出する。そして、演算部153は、時間T~2Tの間周期Tで可動部2dが移動していないため、速度及び加速度は0と算出する。検出装置1dは、算出した位置と、速度と、加速度とを外部に出力する。ここで、被測定物4に外部から力が加えられ、被測定物4と共に可動部2dが移動したとする図7Bを参照。時間t=2T~3T図7Bの状態に相当:検出装置1dは前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路152aは、予め設定された電圧値Vの電圧Vrxを検出し、遅延時間td=t4tdを算出する。受信回路152aは算出した遅延時間を、可動部2dのセンサ部3dに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部153へ出力する。この遅延時間td=t4tdは、コイル対26bに基づく遅延時間である。時間t=3T:演算部153は、遅延時間td=t4tdに基づいて、コイル対26bが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2dの相対位置がX=dであると算出する。そして、演算部153は、時間2T~3Tの間周期Tで可動部2dが距離dを移動したため、周期Tと距離dに基づいて速度及び加速度を算出する。演算部153は、距離dを時間Tで1回微分することで可動部2dの速度を算出し、2回微分することで加速度を算出する。このとき、可動部2dは外部の力に基づく慣性の法則によって移動し続けているとする図7Cを参照。時間t=3T~4T図7Cの状態に相当:可動部2dは等速度で移動し続けている。検出装置1dは前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路152aは、予め設定された電圧値Vの電圧Vrxを検出し、遅延時間td=ttdを算出する。受信回路152aは算出した遅延時間を、可動部2dのセンサ部3dに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部153へ出力する。この遅延時間td=ttdは、コイル対26cに基づく遅延時間である。時間t=4T:演算部153は、遅延時間td=ttdに基づいて、コイル対26cが伝送経路に含まれていると判断し、可動部2dの相対位置がX=2dであると算出する。そして、演算部153は、時間3T~4Tの間周期Tで可動部2dが距離dを移動したため、周期Tと距離dに基づいて速度及び加速度を算出する。このときも、可動部2dは等速度で移動し続けているとする図7Dを参照。時間t=4T~図7Dの状態に相当:可動部2dは等速度で移動し続けている。検出装置1dは前述の時間t=0~Tと同様の処理を行う。その結果、受信回路152aは、予め設定された電圧値Vの電圧Vrxを検出し、遅延時間td=t3tdを算出する。受信回路152aは算出した遅延時間を、可動部2dのセンサ部3dに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部153へ出力する。この遅延時間td=t3tdは、コイル対26dに基づく遅延時間である。これ以降の動作は、前述と同様である。このように、本発明の検出装置1dは、可動部2dのセンサ部3dに対する移動に基づいて、可動部2dとセンサ部3dとの間の伝送経路が変化する。検出装置1dは、複数の伝送経路のそれぞれに含まれるコイル対コイル対26a~26dに基づいて、伝送特性遅延時間が異なるように形成されている。その結果、検出装置1dは、どのコイル対コイル対26a~26dを伝送経路に含むかによって、受信コイル152bに誘起される所定の強度の信号の遅延時間が変化する。検出装置1dはその出力信号の遅延時間に基づいて、可動部2dのセンサ部3dに対する相対位置をX=0→d→2d→3dであると算出し、更に、移動距離と時間とに基づいて速度及び加速度を算出することができる。以上のように、本発明の第4の実施の形態による検出装置1dも、第1の実施の形態と同様に、伝送特性の異なる複数のコイル対26a~26dを備えることで、位置毎の出力信号に明確な差を付けて出力することができ、微小な出力信号の差を解析する必要がなく、簡潔な構成で高精度な位置検出を行うことができる効果を奏する。本実施の形態で示した遅延量検出の方法はあくまでも検出方法の一例であり、本方法に限定されるものではなく、他の手法により遅延量を検出してもかまわない。第5の実施の形態本発明の第5の実施の形態を説明する。本発明の第5の実施の形態の検出装置は、可動部のセンサ部に対する相対的な位置を、伝送経路の共振周波数に基づいて算出するものである。以降、第1の実施の形態と同様の構成は同じ符号を付して説明を省略する。本発明の第5の実施の形態の検出装置は、可動部2eとセンサ部3eとを具備する。図19は、本発明の第5の実施の形態における可動部2eの内部の底面図である。図19では、センサ部3eと向かい合う内部の面を示している。尚、図19では、可動部2eの主要部を記載したものであり、第1の実施の形態の可動部2と同様の構成は説明に支障の無い限り省略されている。可動部2eは、基板10eと、コイル対群27と、保護部30図示略とを備える。基板10eは、コイル対群27が形成される基板である。コイル対群27は、センサ部3eから出力される信号磁束の変化に基づいて、センサ部3eに対する相対的な位置に基づいた信号磁束の変化をセンサ部3eに出力する。コイル対群27の詳細を説明すると、コイル対群27は複数のコイル対27a~27dを備える。複数のコイル対27a~27dの各々は、2つのコイルと、2つのコイルを接続する接続線とを有する。コイル対27a~コイル対27dは、それぞれ所定の距離を置いて配置されている。尚、本実施の形態の検出装置1eは、伝送経路にどのコイル対コイル対27a~27dが含まれるかによって伝送特性共振周波数が異なるように形成される。例えば、コイル対27a~コイル対27dは、抵抗値や容量が異なるように形成される。尚、本実施の形態では、可動部2eの移動方向はy方向である。従って、複数のコイル対27a~27dの各々が有する2つのコイルは、可動部2eのy方向への移動を検出できるように、y方向と直交するように配置されている。また、本実施の形態では、コイル対群27は4つのコイル対27a~コイル対27dを備えているが、コイル対の数を4に限定するものではなく複数であればよい。図20は、センサ部3eの内部の平面図である。図20の平面図は、可動部2eと向かい合う面を示している。尚、図20では、センサ部3eの主要部を記載したものであり、第1の実施の形態のセンサ部3と同様の構成は説明に支障の無い限り省略されている。センサ部3eは、基板40eと、回路部50eと、ボンディングワイヤ60図示略と、保護樹脂部70図示略と、パッケージ部80図示略と、保護部90図示略と、ガイド部100図示略と、送受信部160とを備える。基板40eは、回路部50eが形成される基板である。回路部50eは、各種機能を実現するための回路が形成されており、送受信部160で算出された可動部2eの位置、速度及び加速度を示す信号を基板40eに出力する。尚、可動部2eは、ガイド部100図示略によって、y方向に移動し、x方向及びz方向には移動しないものとする。送受信部160は、送信部161と、受信部162と、演算部163と、タイミング調整部164とを備える。送信部161は、送信回路161aと、送信回路161aに接続された送信コイル161bとを含む。受信部162は、受信回路162aと、受信回路162aと接続された受信コイル162bとを含む。コイル対群27と送信コイル161bと受信コイル162bとの配置は、第1の実施の形態のコイル対群20の配置と同様である。送受信部160の構成の詳細な説明として、可動部2eのコイル対群27と、センサ部3eの送受信部160との間における信号の伝送について説明する。図21は、可動部2eのコイル対27aと、センサ部3eの送受信部160とが磁気的に結合したときの信号の伝送を示すブロック図である。図21を参照すると、コイル対27aは、コイルL4と、コイルL5とを備える。送受信部160は、送信部161と、受信部162と、演算部163と、タイミング調整部164とを備える。送信回路161aは、送信用クロックVclt_txに基づいた所定のタイミングで、入力信号を送信コイル161bに出力する。詳細には、送信回路161aは、時間と電流値とで表したとき、最大の電流値までの傾きが異なる4種類の電流Itxを、一定の期間内周期Tで、且つ、時間td毎に、入力信号として送信用クロックVclt_txに基づいて順番に送信コイル161bに流す入力信号の詳細は後述する。この時、4種類の電流Itxは、それぞれ送信コイル161bから受信コイル162bまでの伝送路の共振周波数と同じ周波数成分を持つことが望ましい。送信コイル161bは、送信回路161aによって4種類の電流Itxが流され、流れた4種類の電流に基づいた磁力を発生する。各電流に基づいて磁力が発生しているとき、送信コイル161bは、電流Itxの電流値の変化に基づいて、変化する磁束を発生する。以降では、4種類の電流Itxのうちで、1種類の電流Itxに基づいた伝送について説明する。送信コイル161bの変化する磁束は、磁気的に結合しているコイル対27aに作用して、コイル対27aに誘起された信号誘導起電力誘導電流を発生させる。詳細には、コイルL4は、送信コイル161bの磁束の変化に基づいて、電圧VL4が発生する。コイルL5には、コイルL4の電圧VL4に基づく電流IL5が流れる。このとき電流IL5は変化するため、コイルL5の磁束も変化する。即ち、コイル対27aは、送信コイル161bによって誘起された信号に基づいて、変化する磁束を発生する。受信コイル162bは、磁気的に結合しているコイル対27aが発生する磁束の変化に基づいて、誘起された信号誘導起電力を発生する。ここでは、受信コイル162bは、コイルL5の磁束の変化に基づいて、電圧Vrxが発生する。送信回路161aが送信コイル161bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル162bに電圧Vrxが発生するまでには、伝送経路に基づいた遅延が発生する。タイミング調整部164は、送信用クロックVclt_txに基づいて、伝送経路の遅延時間に相当する時間を遅らせた受信用クロックVclt_rxを生成し、受信回路162aに出力する。受信回路162aは、タイミング調整部164が出力した受信用クロックVclt_rxに基づいて、受信コイル162bに発生した電圧Vrxを検出する。受信回路162aは、受信コイル162bに発生した電圧Vrxを一時保存する。その後、受信回路162aは、送信回路161aが出力する4種類の電流Itxのそれぞれに基づいた4つの電圧Vrxを順番に受信する。受信回路162aは、一定の期間内周期Tの範囲内で受信した4種類の電圧Vrxを比較し、最大の電圧値を判定する。受信回路162aは、周期Tの中での最大の電圧値の時間を算出し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部163へ出力する。演算部163は、受信回路162aから出力される時間を保存し、あらかじめ保持していた時刻と比較することで、共振周波数を特定する。演算部163は、共振周波数に基づいて、コイル対27aであることを特定し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対位置X=0を算出する。図21ではコイル対27aを例に説明したが、コイル対群27の備える他のコイル対27b~コイル対27dのそれぞれが伝送経路に含まれた場合でも、検出装置1eは同様に信号を伝送する。留意すべき点として、本発明の検出装置1eは、図21に示す伝送経路にどのコイル対コイル対27a~27dが含まれるかによって伝送特性共振周波数が異なるように形成される。従って、送信回路161aが出力する入力信号と、伝送経路の共振周波数とが一致するとき、受信コイル162bに発生する電圧Vrxが最大値となり、受信回路162aはその電圧Vrxを判定する。図22Aは、コイル対27a~コイル対27dの違いに基づいた、送信コイル161bから受信コイル162bまでの伝送特性強度:振幅の違いを示す模式図である。ここでは、全てのコイル対コイル対27a~コイル対27dの共振周波数でない周波数の電流を流した場合の伝送特性強度:振幅を示している。図22Aを参照すると、横軸は可動部2eとセンサ部3eとの相対位置Xを表し、縦軸は伝送特性強度:振幅を表している。複数のコイル対27a~27dのそれぞれの間隔は、距離d離れて配置されている。図22Aに示すように、送信コイル161b及び受信コイル162bが、どのコイル対コイル対27a~27dと磁気的に結合していても、受信回路162aは予め設定された同じ強度の電圧Vrxを得る。図22Bは、コイル対27a~コイル対27dの違いに基づいた、送信コイル161bから受信コイル162bまでの伝送特性共振周波数の違いを示す模式図である。図22Bを参照すると、横軸は可動部2eとセンサ部3eとの相対位置Xを表し、縦軸は伝送特性共振周波数を表している。複数のコイル対27a~27dのそれぞれの間隔は、距離d離れて配置されている。受信回路162aは、一定の期間内周期Tの範囲内で、受信した最大の電圧値を判定し、周期Tの中での時間を算出する。演算部163は、受信回路162aから出力される時間を保存し、あらかじめ保持していた時刻と比較することで、共振周波数を特定する。演算部163は、特定した共振周波数に基づいて、どのコイル対コイル対27a~27dが伝送経路に含まれているのかを判断する。このように、演算部163は、一定の期間内における時間に基づいて、どのコイル対コイル対27a~27dが伝送経路に含まれているのかを判断し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対的な位置を算出する。本実施の形態においても、検出装置は複数のコイル対27a~27dに基づいた伝送経路毎の伝送特性共振周波数の差を利用することで、出力信号に大きな差をつけることが可能となっている。図22Bに示すように、コイル対27a~コイル対27dに基づいた各伝送経路の伝送特性共振周波数は、出力信号に明確な差を持たせるために、隣接するコイル対同士例えばコイル対27aを含む伝送経路とコイル対27bを含む伝送経路の伝送特性の差を大きくすることが好ましい。一方で、隣接していないコイル対同士例えばコイル対27aを含む伝送経路とコイル対27cを含む伝送経路の伝送特性共振周波数の差を小さくすると、限られた伝送特性の範囲の中で差を付けやすくなる。このように、本実施の形態の検出装置も、送信コイル161b及び受信コイル162bが、どのコイル対コイル対27a~27dと磁気的に結合しているかによって伝送特性が大きく異なるため、微小な出力信号の差を解析する必要がなく、高精度な位置検出を行うことができる。図23は、本発明の第5の実施の形態による検出方法を示すタイミングチャートである。図23を参照して、本発明の第5の実施の形態による検出方法を説明する。図23において、tは時間を表し、特に、周期Tは受信回路162aが時間を算出するために使用し、演算部163が位置を算出するために使用する一定の期間を表している。受信回路162aは、周期Tに基づいて、受信コイル162bの電圧を比較し、最大の電圧値が現れる時間を算出する。演算部163は、周期T毎に可動部2eのセンサ部3eに対する相対位置を算出する。Itxは、送信コイル161bに流れる電流である。Vrxは、磁気的に結合しているコイル対に誘起される電圧を表している。時間t=0~T初期状態、図7Aの状態に相当:送信回路161aは、送信用クロックVclt_txに基づいて、入力信号としての4種類の傾きをもつ電流Itxを送信コイル161bに流す。送信コイル161bは、電流Itxの電流値の変化に基づいて、変化する磁束を発生する。コイル対27aは、送信コイル161bの磁束の変化に基づいて誘起された電圧VLが発生する。更に、コイル対27aは、電圧VLに基づいて電流ILが流れる。電流ILは変化するため、コイル対27aの磁束も変化し、受信コイル162bに誘起された電圧Vrxが発生する。この時、入力信号の周波数成分の違いにより、誘起される電圧Vrxの大きさが異なり、最も大きな電圧が得られるのは、伝送路の共振周波数と入力信号の周波数成分が一致したときとなる。送信回路161aが送信コイル161bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル162bに電圧Vrxが発生するまでには、伝送経路に基づいた遅延が発生する。タイミング調整部164は、送信用クロックVclt_txに基づいて、伝送経路の遅延時間に相当する時間を遅らせた受信用クロックVclt_rxを生成し、受信回路162aに出力する。受信回路162aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxそれぞれを検出する。時間t=T図7Aの状態に相当:受信回路162aは、受信した4種類の電圧Vrxを比較し、最大の電圧となったときの時間2tdを、周期Tを基準として算出し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対的な位置を表す出力信号として演算部163へ出力する。演算部163は、受信回路162aから出力される時間2tdを保存し、あらかじめ保持していた時刻と比較することで、共振周波数を特定する。演算部163は、共振周波数に基づいて、コイル対27aであることを特定し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対位置X=0を算出する。時間t=T~2T図7Aの状態に相当:送信回路161aは、送信用クロックVclt_txに基づいて、入力信号としての4種類の傾きをもつ電流Itxを送信コイル161bに流す。その結果、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxが発生する。この時、入力信号の周波数成分の違いにより、誘起される電圧Vrxの大きさが異なり、最も大きな電圧が得られるのは、伝送路の共振周波数と入力信号の周波数成分が一致したときとなる。受信回路162aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxそれぞれを検出する。時間t=2T:受信回路162aは、受信した4種類の電圧Vrxを比較し、最大の電圧となったときの時間2tdを、周期Tを基準として算出し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対的な位置を表す出力信号として演算部163へ出力する。演算部163は、受信回路162aから出力される時間2tdを保存し、あらかじめ保持していた時刻と比較することで、共振周波数を特定する。演算部163は、共振周波数に基づいて、コイル対27aであることを特定し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対位置X=0を算出する。時間t=2T~3T図7Bの状態に相当:送信回路161aは、送信用クロックVclt_txに基づいて、入力信号としての4種類の傾きをもつ電流Itxを送信コイル161bに流す。その結果、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxが発生する。受信回路162aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxそれぞれを検出する。時間t=3T:受信回路162aは、受信した4種類の電圧Vrxを比較し、最大の電圧となったときの時間tdを、周期Tを基準として算出し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対的な位置を表す出力信号として演算部163へ出力する。演算部163は、受信回路162aから出力される時間tdを保存し、あらかじめ保持していた時刻と比較することで、共振周波数を特定する。演算部163は、共振周波数に基づいて、コイル対27bであることを特定し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対位置X=dを算出する。時間t=3T~4T図7Cの状態に相当:送信回路161aは、送信用クロックVclt_txに基づいて、入力信号としての4種類の傾きをもつ電流Itxを送信コイル161bに流す。その結果、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxが発生する。受信回路162aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxそれぞれを検出する。時間t=4T:受信回路162aは、受信した4種類の電圧Vrxを比較し、最大の電圧となったときの時間3tdを、周期Tを基準として算出し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対的な位置を表す出力信号として演算部163へ出力する。演算部163は、受信回路162aから出力される時間3tdを保存し、あらかじめ保持していた時刻と比較することで、共振周波数を特定する。演算部163は、共振周波数に基づいて、コイル対27cであることを特定し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対位置X=2dを算出する。時間t=4T~5T図7Dの状態に相当:送信回路161aは、送信用クロックVclt_txに基づいて、入力信号としての4種類の傾きをもつ電流Itxを送信コイル161bに流す。その結果、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxが発生する。受信回路162aは、受信用クロックVclk_rxに基づいて、受信コイル162bに誘起された4種類の電圧Vrxそれぞれを検出する。時間t=5T:受信回路162aは、受信した4種類の電圧Vrxを比較し、最大の電圧となったときの時間4tdを、周期Tを基準として算出し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対的な位置を表す出力信号として演算部163へ出力する。演算部163は、受信回路162aから出力される時間4tdを保存し、あらかじめ保持していた時刻と比較することで、共振周波数を特定する。演算部163は、共振周波数に基づいて、コイル対27dであることを特定し、可動部2eのセンサ部3eに対する相対位置X=3dを算出する。以上のように、本発明の第5の実施の形態の検出装置は、第1の実施の形態と同様に、位置を表す出力信号を位置毎に明確な差を付けて出力することができため、微小な出力信号の差を解析する必要がなくなり、簡潔な構成で高精度な位置検出を行うことができる。本実施の形態で示した共振周波数検出の方法はあくまでも検出方法の一例であり、本方法に限定されるものではなく、他の手法により共振周波数を検出してもかまわない。第6の実施の形態本発明の第6の実施の形態を説明する。本発明の第6の実施の形態は、検出装置が備えるタイミング調整部に関するものである。図24は、タイミング調整部の構成を示したブロック図である。図24は、図4のブロック図に相当する。図24を参照すると、送受信部110は、送信部111と、受信部112と、演算部113と、タイミング調整部114aとを備える。タイミング調整部114aは、バッファ回路で構成される。第1の実施の形態で説明したように、送信回路111aが送信コイル111bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル112bに電圧Vrxが発生するまでには、伝送経路に基づいた遅延が発生する。タイミング調整部114aは、送信回路111aが送信コイル111bに電流を流してから、受信回路112aの受信コイル112bに信号が誘起するまでの遅延時間を、バッファ回路に基づいて調整する。従って、タイミング調整部114aは、バッファ回路で遅延時間に相当する時間を遅らせて、受信回路112aに受信用クロックVclt_rxを出力する。その結果、受信回路112aは、受信コイル112bに発生した電圧Vrxを検出することができる。また、図25は、タイミング調整部の他の構成を示したブロック図である。図25を参照すると、タイミング調整部114bは、抵抗素子と、容量素子とで構成される。図25のようなタイミング調整部114bも、前述のタイミング調整部114aと同様に作用する。即ち、タイミング調整部114bは、送信回路111aが送信コイル111bに電流を流してから、受信回路112aの受信コイル112bに信号が誘起するまでの遅延時間を、抵抗素子と容量素子とに基づいて調整する。本発明のタイミング調整部114a、114bは、1つのクロックから送受信用クロックを生成している。詳細には、タイミング調整部114a、114bは、受信用クロックVclt_rxを、送信用クロックVctl_txに基づいて生成している。その結果、本発明の検出装置は、電源変動などの要因によって送信用クロックVctl_txの位相がずれた場合でも、同じ分だけずれた受信用クロックVclt_rxを生成することができ、可動部2のセンサ部3に対する相対な位置を表す信号を、正確に受信することができる。図26は、受信回路112aがタイミング調整部114a、114bによって、受信コイル112bに発生した電圧Vrxを正確に検出できることを示したタイミングチャートである。図26において、tは時間を表し、Vclk_txは送信回路111aに入力される送信用クロックを表し、Itxは送信コイル111bに流れる電流を表し、Vclk_rxはタイミング調整部114a、114bが受信回路112aに送信する受信用クロックを表し、Vrxは受信コイル112bに誘起される電圧を表す。図26を参照すると、送信用クロックVclt_txが時間t=T~2Tにおいて位相がずれていることが示されている。その結果、送信コイル111bに流れる電流Itxもずれることになる。しかし、タイミング調整部114a、114bは、受信用クロックVclt_rxを、送信用クロックVctl_txに基づいて生成しているため、送信用クロックVctl_txでずれた分を遅延させた受信用クロックVclt_rxを容易に生成することができる。従って、受信回路112aは、受信コイル112bに発生するVrxを確実に検出することが可能となる。このように、タイミング調整部114a、114bは、受信回路112aが受信コイル112bに発生する電圧Vrxを確実に検出できるように作用する。第7の実施の形態本発明の第7の実施の形態を説明する。図27は、本発明の第7の実施の形態による検出装置1fの構成を示す断面図である。図27を参照すると、検出装置1fは、可動部2fとセンサ部3fとを具備する。可動部2fは、センサ部3fに対して相対的に移動可能なように取り付けられている。センサ部3fは、可動部2fの位置、速度及び加速度を算出し、外部の装置に出力する。可動部2fには接着部5を介して被測定物4が固定されている。そのため、検出装置1fは、被測定物4の位置、速度及び加速度を、外部の装置に出力することができる。以降、第1の実施の形態と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。図28Aは、可動部2fの断面図である。図28Aの断面図は、図27の可動部2fの断面図に相当する。図28Bは、可動部2fを下から見た底面図である。但し、図28Bは、図28Aの保護部30が省略されている。従って、図28Bの底面図は、センサ部3fと向かい合う可動部2f内部の面を示している。図28A及び図28Bを参照すると、可動部2fは、基板10fと、コイル対28と、保護部30とを備える。基板10fは、コイル対28が形成される基板である。コイル対28は、センサ部3fから出力される信号磁束の変化に基づいて、センサ部3fに対する相対的な位置に基づいた信号磁束の変化をセンサ部3fに出力する。コイル対28の詳細を説明すると、コイル対28は、コイルL6と、コイルL7と、コイルL6及びコイルL7を接続する接続線とを有する。尚、本実施の形態では、コイル対28は1つであるとして説明するが、複数であってもよい。また、本実施の形態では、詳細は後述するが可動部2fの移動方向はz方向である。図29Aは、センサ部3fの断面図である。図29Aは、図27のセンサ部3fの断面図に相当する。図29Bは、センサ部3fの平面図である。但し、図29Bは、図29Aに示した一部の構成が省略されている。図29Bの平面図は、可動部2fと向かい合うセンサ部3f内部の面を示している。図29A及び図29Bを参照すると、センサ部3fは、基板40fと、回路部50fと、ボンディングワイヤ60と、保護樹脂部70と、パッケージ部80と、保護部90と、ガイド部100fと、送受信部170とを備える。基板40fは、回路部50fが形成される基板である。回路部50fは、各種機能を実現するための回路が形成されており、送受信部170で算出された可動部2fの位置、速度及び加速度を示す信号を、基板40fに出力する。ガイド部100fは、可動部2fが所定の方向に移動するように誘導するものである。ここでは、ガイド部100fは、可動部2fをセンサ部3fに対向したまま近づける方向と、遠ざける方向に誘導する。言い換えると、第7の実施の形態では、可動部2fはガイド部100fに誘導されて、x方向及びy方向には移動せず、z方向のみに移動する。送受信部170は、可動部2fのコイル対28に対して、位置を検出するための信号磁束の変化を出力する。そして、送受信部170は、出力した信号磁束の変化に対する応答として、コイル対28が出力する位置に基づいた信号磁束の変化を受け取り、可動部2fの位置、速度及び加速度を算出する。詳細には、送受信部170は、送信部171と、受信部172と、演算部173と、タイミング調整部174とを備える。送信部171は、送信回路171aと、送信回路171aに接続された送信コイル171bとを含む。受信部172は、受信回路172aと、受信回路172aと接続された受信コイル172bとを含む。コイル対28と送信コイル171bと受信コイル172bとの配置について説明すると、コイル対28のコイルL6、L7は、送信コイル171b及び受信コイル172bと磁気的に結合できるように対向して配置される図27参照。詳細には、コイルL6と送信コイル171bとが磁気的に結合できる位置で対向するとき、コイルL7と受信コイル112bも磁気的に結合できる位置で対向する。本発明の第7の実施の形態における検出装置1fの検出方法について説明する。図30は、可動部2fのコイル対20aと、センサ部3fの送受信部170とを示すブロック図である。送信回路171aは、送信用クロックVclt_txに基づいた所定のタイミングで、入力信号を送信コイル171bに出力する。詳細には、送信回路171aは、電流値が変化する電流Itx時間と電流値とで表したときに波形が同じである電流を、入力信号として所定のタイミングで送信コイル171bに流す。尚、送信用クロックVclt_txを発生する構成は省略されているが、送受信部170に含まれていてもよいし、回路部50fから出力されてもよい。送信コイル171bは、送信回路171aによって電流Itxが流され、磁力を発生する。このとき、送信コイル171bは、電流Itxの電流値の変化に基づいて、変化する磁束を発生する。送信コイル171bの変化する磁束は、磁気的に結合しているコイル対28に作用して、コイル対28に誘起された信号誘導起電力誘導電流を発生させる。詳細には、コイルL6は、送信コイル171bの磁束の変化に基づいて、送信コイル171bとコイルL6との距離に基づく電圧VL6が発生する。コイルL7には、コイルL6の電圧VL6に基づく電流IL7が流れる。このとき電流IL7は変化するため、コイルL7の磁束も変化する。即ち、コイル対28は、送信コイル171bとコイルL6との距離に基づいた磁束を発生する。受信コイル172bは、磁気的に結合しているコイル対28が発生する磁束の変化に基づいて、誘起された信号誘導起電力を発生する。ここでは、受信コイル172bは、コイルL7の磁束の変化に基づいて、電圧Vrxが発生する。送信回路171aが送信コイル171bに入力信号を出力してから、その応答として受信コイル172bに電圧Vrxが発生するまでには、伝送経路に基づいた遅延が発生する。タイミング調整部174は、送信回路171aが送信コイル171bに電流を流すタイミングと、受信回路172aが受信コイル172bに誘起された信号を検出するタイミングとを調整する。つまり、タイミング調整部174は、送信用クロックVclt_txに基づいて、伝送経路の遅延時間に相当する時間を遅らせた受信用クロックVclt_rxを生成し、受信回路172aに出力する。受信回路172aは、タイミング調整部174が出力した受信用クロックVclt_rxに基づいて、受信コイル172bに発生した電圧Vrxを検出する。受信回路172aは検出した電圧を、可動部2fのセンサ部3fに対する相対的な位置を表す出力信号として、演算部173へ出力する。演算部173は、受信回路172aから出力される出力信号に基づいて、可動部2fの位置、速度及び加速度を算出し、回路部50fに出力する。尚、演算部173は、回路部50fに形成されていてもよい。送信コイル171bに流れる電流Itxの変化が同じである場合、受信コイル172bに誘起される信号の強度は、送信コイル171bとコイルL6との距離と、受信コイル172bとコイルL7との距離に基づいて変化する。従って、演算部173は、コイル対28と、送信コイル171b及び受信コイル172bとの距離に基づいた出力信号の値を予め保持する。演算部173は、受信回路172aから出力された出力信号に基づいて、可動部2fのセンサ部3fに対する相対的な位置を算出する。以上のように、本発明の第7の実施の形態の検出装置1fは、コイル対28と送受信部170との対向している距離位置と、速度及び加速度を算出することができる。尚、以上説明した実施の形態は、矛盾のない範囲で組み合わせることが可能である。