"基板と、加速度に応じて前記基板に対して変位可能な質量部と、前記質量部に一端が連結され、前記基板に対して変位可能な可動電極と、前記可動電極の側面に対向して配置され、前記基板に固定された第1及び第2の固定電極と、前記可動電極と前記第1の固定電極との間の第1の容量の変化と、前記可動電極と前記第2の固定電極との間の第2の容量の変化とを電気信号に変換する変換回路とを備え、前記第1の固定電極は、前記第2の固定電極よりも前記可動電極に近く、前記可動電極の変位量を規制するストッパとして機能し、前記第1の固定電極と前記質量部との距離は、前記第2の固定電極と前記質量部との距離とは異なることを特徴とする加速度センサ。前記可動電極が前記第1の固定電極に衝突すると前記第1の容量を前記変換回路から切り離すスイッチを更に備え、前記第1の容量と前記第2の容量は前記変換回路に対して並列に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の加速度センサ。前記スイッチは、前記変換回路の出力が所定値を超えると前記第1の容量を前記変換回路から切り離すことを特徴とする請求項2に記載の加速度センサ。前記第1の固定電極は前記第2の固定電極よりも前記質量部に近いことを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の加速度センサ。前記可動電極の他端に設けられた錘を更に備えることを特徴とする請求項4に記載の加速度センサ。前記可動電極はくびれを有することを特徴とする請求項4又は5に記載の加速度センサ。前記第1の固定電極は前記第2の固定電極よりも前記質量部から遠いことを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の加速度センサ。ストッパを設けた従来の加速度センサでは、質量部の荷重が2点のストッパに集中する。従って、梁部が細いと梁部が破損する可能性があり、信頼性が低いという問題があった。本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は加速度に応じて感度を変化させることができる信頼性の高い加速度センサを得るものである。本発明に係る加速度センサは、基板と、加速度に応じて前記基板に対して変位可能な質量部と、前記質量部に一端が連結され、前記基板に対して変位可能な可動電極と、前記可動電極の側面に対向して配置され、前記基板に固定された第1及び第2の固定電極と、前記可動電極と前記第1の固定電極との間の第1の容量の変化と、前記可動電極と前記第2の固定電極との間の第2の容量の変化とを電気信号に変換する変換回路とを備え、前記第1の固定電極は、前記第2の固定電極よりも前記可動電極に近く、前記可動電極の変位量を規制するストッパとして機能し、前記第1の固定電極と前記質量部との距離は、前記第2の固定電極と前記質量部との距離とは異なることを特徴とする。本発明により、加速度に応じて感度を変化させることができる信頼性の高い加速度センサを得ることができる。本発明の実施の形態に係る加速度センサについて図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1に係る加速度センサのセンサチップを示す上面図である。図2は図1のI-IIに沿った断面図であり、図3は図1のIII-IVに沿った断面図である。シリコン基板1の表面には酸化膜2が設けられている。シリコン基板1にアンカー部3が固定され、そのアンカー部3にループ状の梁部4が支持されている。梁部4に質量部5の両端が連結されている。質量部5に可動電極6の一端が連結されている。質量部5及び可動電極6は、加速度に応じてシリコン基板1に対して変位可能である。固定電極7a,8aが可動電極6の図中の左側の側面に対向して配置され、固定電極7b,8bが可動電極6の図中の右側の側面に対向して配置され、それぞれシリコン基板1に固定されている。固定電極7a,7bは、固定電極8a,8bよりも可動電極6に近く、可動電極6の変位量を規制するストッパとして機能する。固定電極7a,7bは固定電極8a,8bよりも質量部5に近い。可動電極6は、導電性の質量部5、梁部4、アンカー部3、及び配線9aを介してAlパッド10aに接続されている。固定電極7a,7b,8a,8bは、それぞれ配線9b,9c,9d,9eを介してAlパッド10b,10c,10d,10eに接続されている。質量部5、可動電極6、及び固定電極7a,7b,8a,8bはキャップ11により覆われている。なお、説明の簡略化のために、図1ではキャップ11の一部を省略してその内部を示している。図4は、本発明の実施の形態1に係る加速度センサを示す回路図である。加速度センサは、加速度を検出するセンサチップと、センサチップの出力信号を成形増幅するASICApplicationSpecificIntegratedCircuitとを有する。可動電極6と固定電極7aとの間に容量C11、可動電極6と固定電極8aとの間に容量C12、可動電極6と固定電極7bとの間に容量C21、可動電極6と固定電極8bとの間に容量C22がそれぞれ形成される。容量C11の一端はスイッチSW1を介して容量電圧変換回路12の端子Dに接続され、容量C21の一端はスイッチSW2を介して容量電圧変換回路12の端子Gに接続されている。容量C12の一端は容量電圧変換回路12の端子Dに直接に接続され、容量C22の一端は容量電圧変換回路12の端子Gに直接に接続されている。容量C11,C12,C21,C22の他端は容量電圧変換回路12の端子Cに直接に接続されている。容量C11と容量C12は容量電圧変換回路12に対して並列に接続されている。同様に、容量C21と容量C22も容量電圧変換回路12に対して並列に接続されている。容量電圧変換回路12は、容量C11,C12,C21,C22の容量変化を電気信号に変換する。コンパレータ13aは、容量電圧変換回路12の出力を参照電圧Ref1と比較してスイッチSW1を制御する。コンパレータ13bは、容量電圧変換回路12の出力を参照電圧Ref2と比較してスイッチSW2を制御する。ローパスフィルタ14は、容量電圧変換回路12の出力をフィルタ処理する。特性調整回路15は、EPROM16に記憶されたデータに基づいて、ローパスフィルタ14の出力のゲインやオフセットなどの特性を調整する。特性調整回路15の出力がセンサ出力として外部に出力される。このように、加速度センサは、可動電極6の変位に基づく可動電極6と固定電極7a,7b,8a,8bとの間の容量変化によって加速度を検出する。続いて、本実施の形態に係る加速度センサの動作を説明する。図5は、図1のセンサチップの動作時の状態を示す上面図である。左方向に加速度が印加されると、図5の左図に示すように質量部5と可動電極6は左側に変位する。一方、右方向に加速度が印加されると、図5の右図に示すように質量部5と可動電極6は右側に変位する。可動電極6の変位量は、梁部4の寸法や質量部5の重さなどにより決まる。可動電極6が固定電極7a,7bに衝突すると、質量部5の動きは止まるが、可動電極6の先端は慣性力により変位を続ける。ただし、固定電極7a,7bに動きが制限されているため、加速度あたりの変位量が小さくなる。即ち、センサ感度が低感度に変化する。図6は、高感度モードにおける図4のスイッチの切り替え動作を示す回路図である。可動電極6が固定電極7a,7bに衝突していない高感度モードでは、スイッチSW1は容量C11をD点とC点に接続し、スイッチSW2は容量C21をG点とC点に接続する。加速度が印加されると、容量C11,C12の値が共に増加減少、容量C21,C22の値が共に減少増加する。これらの容量の容量変化を容量電圧変換回路12が電気信号に変換する。図7は、低感度モードにおける図4のスイッチの切り替え動作を示す回路図である。可動電極6が固定電極7a,7bに衝突して容量電圧変換回路12の出力が所定値Ref1,Ref2を超える上回る又は下回ると、コンパレータ13a,13bはスイッチSW1,SW2を低感度モードに切り替える。低感度モードでは、スイッチSW1,SW2はそれぞれ容量C11,C21を容量電圧変換回路12から切り離す。従って、容量C12,C22のみの容量変化を容量電圧変換回路12が電気信号に変換する。図8は、本発明の実施の形態1に係る加速度センサのセンサ出力と加速度の関係を示す図である。上記のスイッチSW1,SW2の切り替え動作により、センサ出力が所定の範囲を超えるAを上回る又はBを下回ると、高感度モードから低感度モードに切り替わる。続いて、本実施の形態の効果を説明する。本実施の形態では、固定電極を質量部5からの距離が異なる2つの部分に分割し、固定電極7a,7bを、固定電極8a,8bよりも可動電極6の近くに配置して、可動電極6の変位量を規制するストッパとして機能させる。可動電極6が固定電極7a,7bに衝突すると、質量部5の動きは止まるが、可動電極6の先端は慣性力により変位を続ける。この際に、加速度あたりの変位量が小さくなるため、センサ感度が低感度に変化する。従って、加速度に応じて感度を変化させることができる。また、梁部4の構造は、質量部5や可動電極6の変位量に影響を与えるため、あまり頑丈に構成することはできない。従って、細い梁部4にストッパを設けた従来技術では、梁部4が破損するという問題があった。これに対して、本実施の形態では、頑丈に構成することができる固定電極7a,7bをストッパとしている。従って、信頼性の高い加速度センサを得ることができる。また、可動電極6が固定電極7a,7bに衝突すると、容量C11,21はショートしてしまう。従って、容量C11,21と容量C12,C22が並列に接続されていると、容量C12,C22の容量値変化を正確に測定できなくなる。そこで、本実施の形態では、可動電極6が固定電極7a,7bに衝突して低感度モードになると、スイッチSW1,SW2により容量C11,21を容量電圧変換回路12から切り離す。これにより、低感度モードにおける加速度を正確に測定することができる。また、スイッチSW1,SW2の切り替えは、容量電圧変換回路12の出力が所定値を超えるかどうかにより行う。これにより、スイッチSW1,SW2の切り替えを簡単に制御することができる。実施の形態2.図9は、本発明の実施の形態2に係る加速度センサのセンサチップを示す上面図である。図10は図9のセンサチップの動作時の状態を示す上面図である。可動電極6が固定電極7aに衝突した後も可動電極6の先端は慣性力により変位を続ける。しかし、可動電極6の先端部の重量だけでは、慣性力を十分に得られないため、検出可能な加速度範囲が制限される。そこで、実施の形態2では、可動電極6の他端に錘17を設ける。これにより、慣性力を向上させることができるため、検出可能な加速度範囲が拡大する。実施の形態3.図11は、本発明の実施の形態3に係る加速度センサのセンサチップを示す上面図である。図12は図11のセンサチップの動作時の状態を示す上面図である。可動電極6はくびれ18を有する。これにより、慣性力を向上させることができるため、検出可能な加速度範囲が拡大する。また、実施の形態2では錘17と他の電極や配線との衝突を防ぐためにチップサイズの拡大が必要だが、実施の形態3ではチップサイズの拡大は不要である。なお、実施の形態2の錘17と実施の形態3のくびれ18を組み合わせてもよい。これにより、更に大きな慣性力を得ることができる。実施の形態4.図13は、本発明の実施の形態4に係る加速度センサのセンサチップを示す上面図である。図14は図13のセンサチップの動作時の状態を示す上面図である。実施の形態1~3とは異なり、固定電極7aが固定電極8aよりも質量部5から遠くに配置されている。即ち、固定電極7aが可動電極6の先端側に配置されている。これにより、可動電極6がストッパである固定電極7aに衝突した後も、質量部5の慣性力により可動電極6が固定電極8aに対して変位する。このように質量部5の慣性力を利用することで検出可能な加速度範囲が拡大する。また、実施の形態3のようにくびれ18を設ける必要が無いため、過大な加速度によりくびれ18の部分で可動電極6が破損することもない。"