"シート状の振動部材と、前記振動部材の一面に取り付けられ、平面形状で中空部を有する第1圧電振動子と、前記振動部材の前記一面に取り付けられ、平面視で前記第1圧電振動子の前記中空部に位置する第2圧電振動子と、前記振動部材の縁を支持する支持体と、を備え、前記第1圧電振動子の基本共振周波数は前記第2圧電振動子の基本共振周波数よりも低く、前記第2圧電振動子は、前記第1圧電振動子が基本共振周波数で駆動しているときに前記振動部材で生じる振動の腹と重なっている発振装置。請求項1に記載の発振装置において、前記振動部材に埋め込まれ、平面視で前記第1圧電振動子の前記中空部に位置しており、前記第2圧電振動子の周囲を囲んでおり、かつ前記振動部材よりも縦弾性係数が低い材料により形成されている第1シールド部材を備えている発振装置。請求項2に記載の発振装置において、前記第1シールド部材は樹脂により形成されている発振装置。請求項1~3のいずれか一項に記載の発振装置において、前記振動部材に埋め込まれ、平面視で前記第1圧電振動子と前記支持体の間に位置しており、前記第1圧電振動子の周囲を囲んでおり、かつ前記振動部材よりも縦弾性係数が低い材料により形成されている第2シールド部材を備えている発振装置。請求項4に記載の発振装置において、前記第2シールド部材は樹脂により形成されている発振装置。請求項1~5のいずれか一項に記載の発振装置において、前記第1圧電振動子はリング形状である発振装置。請求項6に記載の発振装置において、前記第2圧電振動子は円形である発振装置。請求項1~7のいずれか一項に記載の発振装置において、前記発振装置は音波センサの発振源である発振装置。請求項8に記載の発振装置において、前記第1圧電振動子に第1周波数の音波を発生させ、前記第2圧電振動子に前記第1周波数より高い第2周波数の音波を発生させる制御部をさらに備える発振装置。請求項1~7のいずれか一項に記載の発振装置において、前記発振装置はスピーカであり、前記振動部材、前記第1圧電振動子、及び前記第2圧電振動子を複数組有しており、前記第1圧電振動子に再生音を示す信号をそのまま入力し、前記第2圧電振動子にパラメトリックスピーカとしての変調信号を入力する制御部をさらに備える発振装置。圧電振動子を用いた発振装置は、圧電材料の圧電効果を利用して、電気信号の入力による電歪作用により、振動振幅を発生させるものである。このため、上記した動電型の電気音響変換器発振装置に対して薄型化に優位である。しかしながら、圧電材料は脆性材料であり、かつ機械損失が小さいため、上記した動電型電気音響変換器に対して機械的品質係数Qが高い。動電型電気音響変換器はピストン型の振幅運動を発生させるのに対して、圧電振動子を用いた発振装置では屈曲型の振動姿態をとる。このため、圧電振動子を用いた発振装置は、動電型電気音響変換器と比較して振動端部での変異量が少なくなり、同一面積における体積排除量は小さくなりやすい。このため、圧電振動子を用いた発振装置において、出力を維持しつつ小型化することは難しかった。本発明の目的は、出力を維持しつつ小型化することができる、圧電振動子を用いた発振装置を提供することにある。本発明によれば、シート状の振動部材と、前記振動部材の一面に取り付けられ、平面形状で中空部を有する第1圧電振動子と、前記振動部材の前記一面に取り付けられ、平面視で前記第1圧電振動子の前記中空部に位置する第2圧電振動子と、前記振動部材の縁を支持する支持体と、を備え、前記第1圧電振動子の基本共振周波数は前記第2圧電振動子の基本共振周波数よりも低く、前記第2圧電振動子は、前記第1圧電振動子が基本共振周波数で駆動しているときに前記振動部材で生じる振動の腹と重なっている発振装置が提供される。本発明によれば、圧電振動子を用いた発振装置において、出力を維持しつつ小型化することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。第1の実施形態図1は、第1の実施形態に係る発振装置の構成を示す平面図である。図2は図1のA-A ́断面図を、周辺回路も含めて示す図である。この発振装置は、振動部材10、第1圧電振動子20、第2圧電振動子30、及び支持体40を備えている。振動部材10はシート形状を有している。第1圧電振動子20は振動部材10の一面に取り付けられており、平面形状で中空部21を有している。第2圧電振動子30は、振動部材10の上記した一面に取り付けられており、平面視で第1圧電振動子20の中空部21に位置している。支持体40は枠状の部材であり、内側面が振動部材10の縁を支持している。そして第1圧電振動子20の基本共振周波数は、第2圧電振動子30の基本共振周波数よりも低い。また第2圧電振動子30は、第1圧電振動子20が基本共振周波数で駆動しているときに振動部材10で生じる振動の腹、例えば振動の腹の中心と重なっている。好ましくは、第2圧電振動子30の中心は、第1圧電振動子20によって振動部材10に生じる振動の腹の中心と重なっている。この発振装置は、例えばスピーカ、又は音波センサの発振源として使用される。また相対的に小さい第2圧電振動子30は、圧電体の焦電効果を利用することで温度センサとして機能することもできる。発振装置をスピーカとして使用する場合、発振装置は、例えば電子機器例えば、携帯電話機、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、小型ゲーム機器などの音源として使用される。以下、詳細に説明する。振動部材10は、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30から発生した振動によって振動する。また振動部材10は、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30の基本共振周波数を調整する。機械振動子の基本共振周波数は、負荷重量と、コンプラインスに依存する。コンプラインスは振動子の機械剛性であるため、振動部材10の剛性を制御することで、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30の基本共振周波数を制御できる。なお、振動部材10の厚みは5μm以上500μm以下であることが好ましい。また、振動部材10は、剛性を示す指標である縦弾性係数が1Gpa以上500GPa以下であることが好ましい。振動部材10の剛性が低すぎる場合や、高すぎる場合は、機械振動子として特性や信頼性を損なう可能性が出てくる。なお、振動部材10を構成する材料は、金属や樹脂など、脆性材料である第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30に対して高い弾性率を持つ材料であれば特に限定されないが、加工性やコストの観点からリン青銅やステンレスなどが好ましい。本実施形態において第1圧電振動子20はリング形状であり、外周及び内周のいずれも円形である。そして第2圧電振動子30は円形である。第2圧電振動子30は第1圧電振動子20よりも小型である。このため、第2圧電振動子30の基本共振周波数は、第1圧電振動子20の基本共振周波数よりも高い。また第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30は、振動部材10に対向する面の全面が接着剤によって振動部材10に固定されている。また発振装置は、発振回路として制御部50、第1信号生成部52、及び第2信号生成部54を有している。第1信号生成部52は、第1圧電振動子20に入力する電気信号を生成する。第2信号生成部54は、第2圧電振動子30に入力する電気信号を生成する。制御部50は、外部から入力された情報に基づいて、第1信号生成部52及び第2信号生成部54を制御する。発振装置をスピーカとして使用する場合、制御部50に入力される情報は音声信号である。また発振装置を音波センサとして使用する場合、制御部50に入力される信号は、音波を発信する旨の指令信号である。そして発振装置を音波センサとして使用する場合、第1信号生成部52は第1圧電振動子20に第1圧電振動子20の共振周波数の音波を発生させ、第2信号生成部54は第2圧電振動子30に第2圧電振動子30の共振周波数の音波を発生させる。図3は、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30の厚さ方向の構成を示す断面図である。第1圧電振動子20は、圧電体22、上面電極24、及び下面電極26を有している。また第2圧電振動子30は、圧電体32、上面電極34、及び下面電極36を有している。なお第1圧電振動子20と第2圧電振動子30の概略の構造は互いに同じであるため、以下、第1圧電振動子20の構造のみ説明する。圧電体22は厚さ方向に分極している。圧電体22を構成する材料は、圧電効果を有する材料であれば、無機材料及び有機材料のいずれであってもよい。ただし、電気機械変換効率が高い材料、例えばジルコン酸チタン酸塩PZTやチタン酸バリウムBaTiO3であるのが好ましい。圧電体22の厚さhは、例えば10μm以上1mm以下である。厚さh1が10μm未満の場合、発振装置の製造時に第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30が破損する可能性が出てくる。また厚さh1が1mm超の場合、電気機械変換効率が低くなりすぎてしまい、十分な大きさの振動を得られない。その理由は、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30の厚さが厚くなると、圧電振動子内における電界強度は反比例して小さくなるためである。また圧電体22,32の厚さは、互いに等しくてもよいし、異なっていてもよい。上面電極24及び下面電極26を構成する材料は特に限定されないが、例えば、銀や銀/パラジウムを使用することができる。銀は低抵抗な汎用的な電極材料して使用されているため、製造プロセスやコストなどに利点がある。銀/パラジウムは耐酸化に優れた低抵抗材料であるため、信頼性の観点から利点がある。また、上面電極24及び下面電極26の厚さh2は特に限定されないが、その厚さh2が1μm以上100μm以下であるのが好ましい。厚さh2が1μm未満では、上面電極24及び下面電極26を均一に成形することが難しくなり、その結果、電気機械変換効率が低下する可能性がある。また、上面電極24及び下面電極26の膜厚が100μmを超える場合は、上面電極24及び下面電極26が圧電体22に対して拘束面となり、エネルギ変換効率を低下させてしまう可能性が出てくる。次に、発振装置の製造方法を説明する。まず、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30を所定の平面形状に加工する。また振動部材10を所定の形状に加工する。この時点で、圧電体22,32には既に分極処理が行われている。次いで、エポキシ樹脂等の接着剤を用いて、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30を振動部材10に固定する。なお振動部材10を支持体40に固定するタイミングは、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30を振動部材10に固定した後であってもよいし、固定する前であってもよい。支持体40は、例えばステンレスなどの金属により形成される。ここで、第1圧電振動子20は、外径=φ18mm、内径=φ12mm、厚み=100μmとすることができる。また第2圧電振動子30は、外径=φ3mm、厚み=100μm01mmとすることができる。また上面電極24,36及び下面電極26,36としては、例えば厚み8μmの銀/パラジウム合金重量比は例えば7:3を用いることができる。また振動部材10は、外径=φ20mm、厚み=50μm0.05mmのリン青銅を用いることができる。支持体40は、例えば、外径=φ22mm、内径=φ20mmの中空状のケースである。次に、発振装置をスピーカとして用いる場合について説明する。上記したように、第1圧電振動子20の基本共振周波数は、第2圧電振動子30の基本共振周波数よりも低い。このため、第1圧電振動子20から相対的に低い周波数の音を主に発振させ、かつ第2圧電振動子30から相対的に高い周波数の音を主に発振させるのが好ましい。また振動部材10、第1圧電振動子20、第2圧電振動子30を複数組設けてもよい。この場合、発振装置をパラメトリックスピーカとして用いることができる。この場合、制御部50は、第1信号生成部52を介して第1圧電振動子20には再生音を示す信号をそのまま入力し、小型である第2圧電振動子30には、第2信号生成部54を介してパラメトリックスピーカとしての変調信号を入力することができる。パラメトリックスピーカとして用いる場合、第2圧電振動子30は、20kHz以上、例えば100kHzの音波を信号の輸送波として用いる。また第1圧電振動子20を通常のスピーカとして用いる場合、第1圧電振動子20の基本共振周波数を、例えば1kHz以下にする。なお一般的に圧電振動子は機械品質係数Qが高い。このため、基本共振周波数近傍にエネルギーが集中するため、共振周波数近傍で音波は大きいが、それ以外の帯域では著しく音波が減衰する。一方、パラメトリックスピーカは単一の周波数を発振させればよい。このため、第2圧電振動子30をパラメットリックスピーカとして使用することは、スピーカの効率を高めるという視点から好ましい。ここでパラメトリックスピーカの原理を説明する。パラメトリックスピーカは、複数の発振源それぞれからAM変調やDSB変調、SSB変調、FM変調をかけた超音波を空気中に放射し、超音波が空気中に伝播する際の非線形特性により、可聴音を出現させるものである。ここでの非線形とは、流れの慣性作用と粘性作用の比で示されるレイノルズ数が大きくなると、層流から乱流に推移することを示す。音波は流体内で微少にじょう乱しているため、音波は非線形で伝播している。特に超音波周波数帯では音波の非線形性が容易に観察できる。そして超音波を空気中に放射した場合、音波の非線形性に伴う高調波が顕著に発生する。また音波は、空気中において分子密度に濃淡が生じる疎密状態である。そして空気分子が圧縮よりも復元するのに時間が生じた場合、圧縮後に復元できない空気が、連続的に伝播する空気分子と衝突し、衝撃波が生じる。この衝撃波により可聴音が発生する。次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。本実施形態において、第2圧電振動子30は、第1圧電振動子20が基本共振周波数で振動しているときに振動部材10に生じる振動の腹と重なっている。このため、第1圧電振動子20を基本共振周波数近辺で振動させるとき、第2圧電振動子30は大きく振動する。また、第1圧電振動子20の基本共振周波数は第2圧電振動子30の基本共振周波数よりも低い。このため、第1圧電振動子20を基本共振周波数近辺で振動させるとき、第2圧電振動子30には共振が生じず、板とみなすことができる。従って、第1圧電振動子20を基本共振周波数近辺で振動させるとき、第2圧電振動子30が大きく振動することにより、出力を維持しつつ小型化することができる。また第1圧電振動子20と第2圧電振動子30の基本共振周波数は互いに異なるため、第1圧電振動子20と第2圧電振動子30それぞれから効率よく互いに異なる周波数の音波を発生させることができる。また発振装置をスピーカとして用いる場合、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30を同時に駆動することで、音波を干渉させ、音圧レベルを増加することができる。また第2圧電振動子30をパラメトリックスピーカとして機能させる場合、高い指向性で音を再生することができる。特に第1圧電振動子20を通常のスピーカとして使用し、第2圧電振動子30をパラメトリックスピーカとして使用する場合、第1圧電振動子20と第2圧電振動子30とで異なる音声を再生させることにより、特定の場所にいる人のみに第2圧電振動子30によって再生される音を聴かせ、他の場所にいる人には第1圧電振動子20によって再生される音のみを聞かせることができる。この効果は、第1圧電振動子20以外の他のスピーカを通常のスピーカとして使用した場合にも得ることができる。第2の実施形態図4は、第2の実施形態に係る発信装置の第1圧電振動子20の構成を示す斜視分解図である。本実施形態に係る発振装置は、第1圧電振動子20が複数の圧電体22と電極24とを交互に複数積層させた構造を有している点、及び第2圧電振動子30も同様の構造を有している点を除いて、第1の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。圧電体22の分極方向は、一層ごとに入れ替わっており、互い違いになっている。本実施形態においても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30を、複数の圧電体22,32と電極24、34とを交互に複数積層させた構造にしているため、第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30の伸縮量が大きくなる。従って、発振装置の出力を大きくすることができる。第3の実施形態図5は第3の実施形態に係る発振装置の平面図であり、図6は図5のA-A ́断面図である。本実施形態に係る発振装置は、第1シールド部材12を有している点を除いて、第1の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。第1シールド部材12は、振動部材10に埋め込まれており、平面視で第1圧電振動子20の中空部21に位置している。第1シールド部材12は、第2圧電振動子30の周囲を囲んでおり、かつ振動部材10よりも縦弾性係数が低い材料、例えば樹脂により形成されている。本図に示す例において第1シールド部材12は、厚さ方向で見た場合、振動部材10の全域に設けられているが、一部分、例えば表面側のみ又は裏面側のみに第1シールド部材12を設けてもよい。本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また第1シールド部材12を設けているため、第1圧電振動子20が振動する際に、その振動が第2圧電振動子30に伝播することを抑制できる。また第1シールド部材12を、第2圧電振動子30が基本振動周波数で振動しているときの振動の節目に位置させることにより、その節目の剛性を低減させることができ、これによって振動に自由端を形成させることができる。この場合、振動する部材の可動範囲が拡大するため、第2圧電振動子30の振動の出力を大きくすることができる。また、第1シールド部材12が介在することにより、発振装置が落下した場合に衝撃が第2圧電振動子30に伝播することを抑制できる。このため、発振装置の信頼性が向上する。第4の実施形態図7は第4の実施形態に係る発振装置の平面図であり、図8は図7のA-A ́断面図である。本実施形態に係る発振装置は、第2シールド部材14を有している点を除いて、第3の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。第2シールド部材14は、振動部材10に埋め込まれており、平面視で第1圧電振動子20の周囲を囲んでいる。第2シールド部材14は、振動部材10よりも縦弾性係数が低い材料、例えば樹脂により形成されている。第2シールド部材14の材料は、第1シールド部材12の材料と同一であってもよいし、異なっていてもよい。また本図に示す例において第2シールド部材14は、厚さ方向で見た場合、振動部材10の全域に設けられているが、一部分、例えば表面側のみ又は裏面側のみに第2シールド部材14を設けてもよい。本実施形態によっても第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。また第2シールド部材14を、第1圧電振動子20が基本振動周波数で振動しているときの振動の節目に位置させることにより、その節目の剛性を低減させることができ、これにより振動に自由端を形成させることができる。この場合、振動する部材の可動範囲が拡大するため、第1圧電振動子20の振動の出力を大きくすることができる。また、第2シールド部材14が介在することにより、発振装置が落下した場合に衝撃が第1圧電振動子20及び第2圧電振動子30に伝播することを抑制できる。このため、発振装置の信頼性が向上する。第5の実施形態図9は、第5の実施形態に係る発振装置の断面図である。この発振装置は、振動部材10の両面に第2圧電振動子30を有している点を除いて、第1の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。すなわち本実施形態において、発振装置の圧電振動子は、振動部材10の両面を圧電振動子で拘束したバイモルフ構造を有している。2つの第2圧電振動子30は、互いに同一形状であってもよいし、異なる形状であってもよい。なお本実施形態において、図10に示すように、第1圧電振動子20も振動部材10の両面に設けられていてもよい。本実施形態によっても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また圧電振動子がバイモルフ構造を有しているため、より大きな振動を得ることができる。第6の実施形態図11は、第6の実施形態に係る発振装置の平面図である。この発振装置は、第2圧電振動子30の平面形状が矩形、例えば正方形である点を除いて、第1の実施形態に係る発振装置と同様の構成である。本実施形態によっても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお第2圧電振動子30の平面形状は、第1の実施形態及び本実施形態に示した形状に限定されない。また第1圧電振動子20の平面形状も、上記した各実施形態に限定されない。第7の実施形態図12は、第7の実施形態に係る発振装置の断面図である。この発振装置は、振動部材10の厚さが部分的に変わっている点を除いて、第1の実施形態に係る発信装置と同様の構成である。本実施形態において、振動部材10は、第2圧電振動子30とは逆側の面のうち第2圧電振動子30と重なる部分に凸部11を有している。本実施形態によっても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また振動部材10の厚さを部分的に変えることにより、発振素子の発信特性を調整することができる。実施例図1、図4、図5、図7、図9、図10、図11、及び図12に示した発振装置を作成し、各発振装置の特性を調べた実施例1~8。本実施例では、発振装置をパラメトリックスピーカとして機能させた。また比較例として、実施例1~8と同一の平面積を有する動電型の発振装置を作成し、特性を調べた。その結果を表1に示す。この表から、各実施例に係る発信装置は、比較例にかかる発振装置と比較して、出力が大きく、周波数特性が平坦であり、かつ落下時の衝撃に対して強いことが示された。また、図13に示すように、携帯通信端末100のスピーカ102として、実施例1~8に係る発振装置を使用した。スピーカ102は、携帯通信端末100の筐体の内面に取り付けた。各実施例を用いた場合のスピーカ102の特性を表2に示す。この表から、各実施例に係るスピーカ102は、周波数特性が平坦であり、かつ落下時の衝撃に対して強いことが示された。以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。この出願は、2010年7月23日に出願された日本出願特願2010-166506号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。"