対象物の温度を調節するための温調装置であって、複数の供給口から所定温度の流体を供給する流体供給手段と、前記対象物を保持する保持面と、前記供給口から供給された流体を受ける流体受け面と、を有する保持手段と、前記供給口を内包する温調室を前記保持手段と共に構成する温調用筐体と、前記温調室内の流体を排出する排出流路と、を具備することを特徴とする温調装置。前記流体受け面は、前記供給口の位置に併せて配列された複数の凹部又は凸部を有することを特徴とする温調装置。前記流体供給手段は、流体を所定温度に加熱する第1加熱タンク及び第2加熱タンクと、前記第1加熱タンク又は前記第2加熱タンクと前記供給口を選択的に接続する供給流路と、前記温調室と前記第1加熱タンク又は前記第2加熱タンクを選択的に接続する前記排出流路と、を有することを特徴とする請求項1又は2記載の温調装置。前記流体供給手段は、流体を所定温度に加熱する加熱タンクと、前記加熱タンクと前記供給口を接続する供給流路と、前記供給流路を開閉する供給流路開閉手段と、前記排出流路に接続される回収タンクと、前記回収タンクと前記加熱タンクを接続する循環流路と、前記循環流路を開閉する循環流路開閉手段と、を有することを特徴とする請求項1又は2記載の温調装置。前記流体供給手段は、冷却用の流体を貯留する冷却用タンクと、前記冷却用タンクと前記供給口を接続する冷却流体供給流路と、前記冷却タンクの流体を供給口から流すためのポンプと、を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の温調装置。前記凹部又は凸部の形状は、四角錐であることを特徴とする請求項2記載の温調装置。型の成型パターンを被成形物に転写するためのインプリント装置であって、複数の供給口から所定温度の流体を供給する流体供給手段と、前記型又は前記被成形物を保持する保持面と、前記供給口から供給された流体を受ける流体受け面と、を有する保持手段と、前記供給口を内包する温調室を前記保持手段と共に構成する温調用筐体と、前記温調室内の流体を排出する排出流路と、を具備することを特徴とするインプリント装置。しかしながら、従来の方法では、ヒータや冷却流路が通っている部分と通っていない部分とで温度差が生じる。また、冷却流路は、流路の上流と下流との間においても温度差が生じる。このように、成型面内で温度差が生じると、樹脂の熱膨張の差等によってパターンの転写むらが生じるという問題があった。また、ヒータと冷却流路を同時に同一部分に設けることはできないため、いずれか一方が型や被成形物から遠くなり、温度調節や高速な昇降温が難しいという問題もあった。そこで本発明は、型や被成形物等の対象物を均一かつ高速に加熱及び冷却することができる温調装置およびこれを適用したインプリント装置を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明の温調装置は、対象物の温度を調節するためのものであって、複数の供給口から所定温度の流体を供給する流体供給手段と、前記対象物を保持する保持面と、前記供給口から供給された流体を受ける流体受け面と、を有する保持手段と、前記供給口を内包する温調室を前記保持手段と共に構成する温調用筐体と、前記温調室内の流体を排出する排出流路と、を具備することを特徴とする。この場合、前記流体受け面は、伝熱面積を増やすために前記供給口の位置に併せて配列された複数の凹部又は凸部を有する方が好ましい。前記凹部又は凸部の形状は、例えば四角錐にすれば良い。対象物を加熱したい場合には、前記流体供給手段は、流体を所定温度に加熱する第1加熱タンク及び第2加熱タンクと、前記第1加熱タンク又は前記第2加熱タンクと前記供給口を選択的に接続する供給流路と、前記温調室と前記第1加熱タンク又は前記第2加熱タンクを選択的に接続する前記排出流路と、で構成するか、あるいは、流体を所定温度に加熱する加熱タンクと、前記加熱タンクと前記供給口を接続する供給流路と、前記供給流路を開閉する供給流路開閉手段と、前記排出流路に接続される回収タンクと、前記回収タンクと前記加熱タンクを接続する循環流路と、前記循環流路を開閉する循環流路開閉手段と、で構成すれば良い。また、対象物を冷却したい場合には、前記流体供給手段は、冷却用の流体を貯留する冷却用タンクと、前記冷却用タンクと前記供給口を接続する冷却流体供給流路と、前記冷却タンクの流体を供給口から流すためのポンプと、で構成すれば良い。また、本発明のインプリント装置は、型の成型パターンを被成形物に転写するためのものであって、複数の供給口から所定温度の流体を供給する流体供給手段と、前記型又は前記被成形物を保持する保持面と、前記供給口から供給された流体を受ける流体受け面と、を有する保持手段と、前記供給口を内包する温調室を前記保持手段と共に構成する温調用筐体と、前記温調室内の流体を排出する排出流路と、を具備することを特徴とする。本発明の温調装置は、対象物の全面を均一に加熱又は冷却することができる。また、加熱と冷却を同一の機構で行うことができる。また、伝熱面積を増やし、熱媒流体を噴霧することにより境膜伝熱係数を大きく出来る事から、高速の昇温、冷却が可能になる。更に、所定温度の流体を用いるため、高速に昇降温を行ってもオーバーシュートを小さくすることができる。本発明の温調装置は、対象物の温度を調節するためのものであって、所定間隔で均等に配列された複数の供給口11から所定温度の流体を供給する流体供給手段1と、対象物を保持する保持面21および供給口11から供給された流体を受ける流体受け面22を有する保持手段2と、供給口11を内包する温調室31を保持手段2と共に構成する温調用筐体3と、温調室31内の流体を排出する排出流路4と、で主に構成される。ここで対象物とは、本発明の温調装置によって温度を調節される物で、例えば、インプリント成型においては、所定の成型パターンを有する型100や被成形物200が該当する。型100とは、例えばニッケル等の金属、セラミックス、ガラス状カーボン等の炭素素材、シリコンなどから形成されており、その一端面成型面に所定のパターンを有するものを指す。このパターンは、その成型面に精密機械加工を施すことで形成することができる。また、シリコン基板等にエッチング等の半導体微細加工技術によって形成したり、このシリコン基板等の表面に電気鋳造法、例えばニッケルメッキ法によって金属メッキを施し、この金属メッキ層を剥離して形成したりすることもできる。また、インプリント技術を用いて作製した樹脂製の型を用いることも可能である。この場合、型は、被成形物200の被成形面に対して可撓性のあるフィルム状に形成しても良い。もちろん型100は、微細パターンが形成できるものであれば材料やその製造方法が特に限定されるものではない。また、型100に形成される成型パターンは、凹凸からなる幾何学的な形状のみならず、例えば所定の表面粗さを有する鏡面状態の転写のように所定の表面状態を転写するためのものや、所定の曲面を有するレンズ等の光学素子を転写するためのものも含む。また、成型パターンは、平面方向の凸部の幅や凹部の幅の最小寸法が100μm以下、10μm以下、2μm以下、1μm以下、100nm以下、10nm以下等種々の大きさに形成される。また、深さ方向の寸法も、10nm以上、100nm以上、200nm以上、500nm以上、1μm以上、10μm以上、100μm以上等種々の大きさに形成される。また、被成形物200とは、例えば、熱可塑性樹脂や重合反応性基含有化合物類の重合反応熱硬化、または光硬化によって製造される樹脂を指す。熱可塑性樹脂としては、環状オレフィン開環重合/水素添加体COPや環状オレフィン共重合体COC等の環状オレフィン系樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ビニルエーテル樹脂、パーフルオロアルコキシアルカンPFAやポリテトラフルオロエチレンPTFE等のフッ素樹脂、ポリスチレン、ポリイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂等を用いることができる。重合反応性基含有化合物類の重合反応熱硬化、または光硬化によって製造される樹脂としては、エポキシド含有化合物類、メタアクリル酸エステル化合物類、ビニルエーテル化合物類、ビスアリルナジイミド化合物類のようにビニル基アリル基等の不飽和炭化水素基含有化合物類等を用いることができる。この場合、熱的に重合するために重合反応性基含有化合物類を単独で使用することも可能であるし、熱硬化性を向上させるために熱反応性の開始剤を添加して使用することも可能である。更に光反応性の開始剤を添加して光照射により重合反応を進行させて成型パターンを形成できるものでもよい。熱反応性のラジカル開始剤としては有機過酸化物、アゾ化合物が好適に使用でき、光反応性のラジカル開始剤としてはアセトフェノン誘導体、ベンゾフェノン誘導体、ベンゾインエーテル誘導体、キサントン誘導体等が好適に使用できる。また、反応性モノマーは無溶剤で使用しても良いし、溶媒に溶解して塗布後に脱溶媒して使用しても良い。なお、被成形物200は、可撓性のあるフィルム状に形成したものや、シリコン等の無機化合物又は金属からなる基板上に層状に形成したものを用いても良い。また、図1~3においては、保持手段2側に型100が配置されているが、保持手段2側に被成形物200を配置しても構わない。なお、以下で、本発明の温調装置をインプリント装置に適用した場合について説明するが、その他の装置にも勿論適用できる。流体としては、対象物の加熱温度より高い沸点と冷却温度より低い融点を有する液体を用いれば良い。例えば、水や油等の液体を用いることができる。また、飽和水蒸気等の気体を用いることも可能である。保持手段2の保持面21は、型100や被成形物200等の対象物を保持するためのもので、対象物の形状に合わせて、任意の形状に形成される。例えば、インプリント成型において、対象物が平坦な基板や金型の場合には、均一な加圧ができるよう、できる限り平面度の高いものが用いられる。また、型100や被成形物200等の対象物を固定するために、真空チャック等の固定手段図示せずを設けても良い。保持手段2の材質は、伝熱性が高く、インプリントプロセス中の成形条件に対し、耐熱性、耐圧性を有するものであればどのようなものでも良く、例えば、炭素鋼等の鉄材やSUSなどの金属を用いることができる。保持手段2の流体受け面22は、供給口11から供給された流体を受けられるものであればどのような形状でも良いが、流体との間で効率よく熱交換できるようにするために、表面積を大きくする複数の凹部22a又は凸部22bを有する方が好ましい。また、保持面21側の温度を均一にするために、当該凹部22a又は凸部22bは、供給口11の位置に併せて均等に配列しても良い。凹部22a又は凸部22bの形状としてはどのようなものでも良いが、例えば均等に配列できる四角錐にすれば良い。一例としては、高さ25mmで角度が45度の四角錐を5mm間隔で均一に配列したものを用いることができる。温調用筐体3は、保持手段2の流体受け面側に配置され、保持手段2と共に供給口11を内包する温調室31を構成する。また、温調用筐体3の下部には、保持手段2の流体受け面22に供給された流体を排出するための排出流路4が接続される。温調用筐体3は、温調時の内圧に耐えられる耐圧性を有していればどのようなものでも良いが、できる限り断熱性の高いものが好ましい。また、保持手段2と温室用筐体は一体に形成されるものであっても良い。排出流路4は、温調室31内の流体を廃棄するように構成しても良いし、流体供給手段1に戻して再利用するように構成しても良い。流体供給手段1は、所定温度の流体を供給することができるものであればどのようなものでも良いが、例えば図1に示すように、型100又は被成形物200等の対象物を加熱する場合には、流体を所定温度に加熱する加熱タンク12と、加熱タンク12と供給口11を接続する供給流路13と、加熱タンク12の流体を供給口11から流すためのポンプ19とで構成されたもの用いれば良い。供給口11は、保持手段2に保持されている対象物を均一に加熱できるような位置に適切に配列される。また、供給口11は、流体を流体受け面22に対して垂直に供給するか、噴霧できるように構成される。また、加熱タンク12は、流体を加熱する電熱ヒータ等の加熱手段12aと、流体の温度を検出する熱電対等の温度検出手段図示せずを備えることにより、流体を所定温度に加熱することができる。この流体供給手段1は、予め加熱タンク12内で流体を所定温度に加熱しておき、対象物型100及び被成形物200を加熱する際には、ポンプ19を作動させて流体を供給口11から保持手段2の流体受け面22に供給する。すると、保持手段2が加熱され、保持手段2に保持されている対象物を均一に加熱することができる。流体受け面22に供給された流体は、排出流路4によって温調室31から排出される。また、流体として液体を用いる場合には、大気圧以上の圧力下で加熱し、大気圧における沸点よりも高温にして用いることも可能である。この場合には、例えば図2に示すように、流体供給手段1として、流体を所定温度に加熱する加熱タンク12と、加熱タンク12と供給口11を接続する供給流路13と、供給流路13を開閉する供給流路開閉手段14と、排出流路4に接続される回収タンク15と、回収タンク15と加熱タンク12を接続する循環流路16と、循環流路16を開閉する循環流路開閉手段17と、で構成することができる。加熱タンク12は、流体を加熱する電熱ヒータ等の加熱手段12aと、流体の温度を検出する熱電対等の温度検出手段図示せずを備えることにより、流体を所定温度に加熱することができる。また、加熱タンク12内の内圧を検出する圧力検出手段図示せずを配置しても良い。なお、加熱タンク12には、加熱された流体の蒸気圧以上の耐圧性が必要である。また、供給流路13は、加熱タンク12の下部に接続される。また、回収タンク15は、重力によって流体が流れるように、温調室31よりも下方でかつ加熱タンク12より上方に配置される方が好ましい。これにより、流体供給手段1は、ポンプを用いずに流体を循環させることができる。また、次の加熱に備えて、回収タンク15内の流体を事前に加熱する伝熱ヒータ等のプレ加熱手段図示せずを備えていても良い。この流体供給手段1は、供給流路開閉手段14と循環流路開閉手段17を閉じておき、加熱タンク12内の液体流体を温調室31の内圧より高い蒸気圧を有する所定温度まで加熱する。次に、供給流路開閉手段14を開けると、加熱タンク12内の蒸気圧は温調室31の内圧よりも高いため、加熱タンク12内の液体は、供給口11を介して保持手段2の流体受け面22に供給される。すると、保持手段2が加熱され、保持手段2に保持されている対象物型100及び被成形物200を均一に加熱することができる。流体受け面22に供給された液体は、排出流路4によって温調室31から回収タンク15に排出される。対象物の加熱が終了すると、供給流路開閉手段14を閉じると共に循環流路開閉手段17を開き、回収タンク15内の液体は加熱タンク12内に戻され、次の加熱に再利用される。また、図3に示すように、流体供給手段1は、流体を所定温度に加熱する第1加熱タンク121及び第2加熱タンク122と、第1加熱タンク121又は第2加熱タンク122と供給口11を選択的に接続する供給流路131と、温調室31と第1加熱タンク121又は前記第2加熱タンク122を選択的に接続する排出流路41と、を有するように構成しても良い。供給流路131には、第1加熱タンク121又は第2加熱タンク122と供給口11を選択的に切り替える供給流路切換手段131a、例えば三方弁等が設けられている。第1加熱タンク121及び第2加熱タンク122は、それぞれ流体を加熱する電熱ヒータ等の加熱手段12aと、流体の温度を検出する熱電対等の温度検出手段図示せずを備えることにより、流体を所定温度に加熱することができる。また、加熱タンク12内の内圧を検出する圧力検出手段図示せずを配置しても良い。なお、第1加熱タンク121及び第2加熱タンク122には、加熱された流体の蒸気圧以上の耐圧性が必要である。また、供給流路131は、第1加熱タンク121及び第2加熱タンク122の下部にそれぞれ接続される。また、第1加熱タンク121及び第2加熱タンク122は、重力によって流体が流れるように、温調室31よりも下方に配置される方が好ましい。これにより、流体供給手段1は、ポンプを用いずに流体を循環させることができる。また、排出流路41には、温調室31と第1加熱タンク121又は第2加熱タンク122とを選択的に接続する排出流路切換手段41a、例えば三方弁等が設けられている。この流体供給手段1は、供給流路切換手段131a及び排出流路切換手段41aによって第1加熱タンク121が閉じた状態になるよう切り替えておき、第1加熱タンク121内の液体流体を温調室31の内圧より高い蒸気圧を有する所定温度まで加熱する。次に、供給流路切換手段131aを第1加熱タンク121と供給口11が連通する側に切り替えると、第1の加熱タンク12内の蒸気圧は温調室31内の内圧よりも高いため、第1加熱タンク121内の液体は、供給口11を介して保持手段2の流体受け面22に供給される。すると、保持手段2が加熱され、保持手段2に保持されている対象物型100及び被成形物200を均一に加熱することができる。この際、流体受け面22に供給された液体は、排出流路41によって温調室31から第2加熱タンク122に排出される。第2加熱タンク122内では、温調室31の内圧よりも蒸気圧が高くならない範囲で、液体を加熱しておく。対象物の加熱が終了すると、排出流路切換手段41aによって第2加熱タンク122が閉じた状態になるように切り換える。そして第2加熱タンク122内で液体を温調室31の内圧より高い蒸気圧を有する所定温度に加熱した後、供給流路切換手段131aを第2加熱タンク122と供給口11が連通する側に切り替える。すると、第2の加熱タンク12内の蒸気圧は温調室31内の内圧よりも高いため、第2加熱タンク122内の液体は、供給口11を介して保持手段2の流体受け面22に供給される。この際、流体受け面22に供給された液体は、排出流路41によって温調室31から第1加熱タンク121に排出される。このように構成すれば、対象物の加熱を素早く行うことができ、スループットを向上することができる。また、対象物型100及び被成形物200を冷却する場合には、図4に示すように、流体供給手段を、冷却用の流体を貯留する冷却用タンク123と、冷却用タンク123と供給口11を接続する冷却流体供給流路124と、冷却タンク123の流体を供給口11から流すためのポンプ19と、で構成すれば良い。冷却用の流体としては、対象物の温度よりも低くできるものであればどのようなものでも良いが、例えば水を用いることができる。これにより、インプリントの成型時等に加熱された型100や被成形物200を均一に冷却することができる。なお、加熱と冷却を共通の供給口11から行う場合には、図4に示すように、冷却流体供給流路124を供給流路13に三方弁等の切換手段125を介して接続すれば良い。また、冷却流体を廃棄する廃棄流路126を設け、排出流路4に三方弁等の切換手段127を介して接続すれば良い。