ベローズ天板部にベローズ部が取り付けられて形成されたベローズを少なくとも2つ備え、各ベローズをそれぞれ気密に摺動可能に配置する2つのシリンダを備え、該2つのシリンダケース及び2つのベローズを固着させるポンプ本体を備え、前期シリンダ内であって該シリンダケースと前期ベローズ部との間に、および前期ベローズ天板部と前期シリンダケースとの間にそれぞれ圧縮流体作動室が形成され、それぞれの圧縮流体作動室に圧縮流体が導入されることによって前期ベローズ部を圧縮、伸張させて、各ベローズに搬送液体を交互に流入させ、各ベローズから搬送流体を交互に吐出させるようにさせたベローズポンプにおいて、吸入通路及び吐出通路を形成し、各通路にそれぞれ逆止弁を備えたポンプ本体と、軸方向に伸縮可能な有底ベローズの開口側円周外方向に取り付け部分を有するベローズと、該ベローズを覆うシリンダケースと、該ベローズの取り付け部分を挟んで該ポンプ本体とシリンダケースとを締め付ける固定手段とを備えて、吸入用逆止弁と吐出用逆止弁とをポンプ本体の同一方向から開けた穴内に構成したことを特徴とするベローズポンプ請求項1のベローズポンプにおいて、ベローズの取り付け部分の内周方向に、ポンプボディの面と接するように延伸した薄肉部を有し、ベローズ内部に液を吸引し圧力をかけて液を吐出させるときに該薄肉部が該ポンプボディの面に液圧を受けて圧接しベローズ内の液漏れを防ぐことを特徴とするベローズポンプ請求項2において、薄肉部の厚さが、該ベローズのベローズ部分の厚さより薄くし、薄肉部の先端付近のポンプ本体と接する側に突起を設けたことを特徴とするベローズポンプ請求項1の軸方向に伸縮可能な有底ベローズと、該ベローズを覆うシリンダケースとから成り、ベローズ天板部外周にシール部材を設けて、ベローズ天板側気室と蛇腹側気室とを設けるようにしたベローズポンプにおいて、該シール部材に平板状の潤滑プラスチックを使用したことを特徴とするベローズポンプのシール方法。請求項5のシールにおいて、該シール部材に平板状の物を使用し、該シール部材をOリングでシリンダに押しつけてシールを行うことを特徴とするベローズポンプのシール方法。以上のような背景に鑑み、ポンプ本体内の流路を工夫して搬送流体の漏れを引き起こすおそれを少なくすること、及び、ベローズとポンプ本体と間の安定したシールを実現することが本発明の課題1である。次にベローズ天板側気室と蛇腹側気室との間のシール構造として、摩擦が小さく、使用しても摩耗が小さく摩耗粉を出すことが少ないシール構造で、かつ長寿命のシールを乾燥圧縮空気使用する乾式シールで提供することが本発明の課題2である。課題1を解決するための手段として、吸入側逆止弁と吐出側逆止弁をポンプ本体の同一穴内に装着するように構成することにより、ポンプ本体内の流路を簡潔にすることができ、かつ搬送流体の漏れを引き起こす部分も少なくすることができる。一方、ベローズの取り付け部については、ベローズ内部側に薄肉部を延伸せしめ、ポンプ本体に接するように構成する。こうすると、ベローズが収縮してベローズ内部の搬送流体の圧力が上昇するとこの圧力によって、該薄肉部はポンプ本体に押しつけられ、結果としてベローズとポンプ本体は、圧接されて液漏れがなくなるようにしっかりシールされることになる。しかも、ベローズ内の圧力が高くなればなるほど、該薄肉部はポンプ本体に強く押し付けられることになり、シールも強固なものとなる。この時、該薄肉部端部に突起を設けることにより、ポンプ本体面とより強い力で圧接するので、更にシール効果を上げることができる。課題2を解決するための手段として、シール部材として、潤滑シート材を利用する。潤滑シート材は、材料の種類が多く、目的に合うものが得やすい。例えば、ポリプロピレン、ポリアセタールの他、フッソ樹脂類、潤滑剤混練樹脂シート類、個体潤滑材混練樹脂シート類などの多くの種類が利用可能である。この潤滑シート材を略長方形にカットし、円筒形に丸めて使用する。この潤滑シートパッキンをシリンダと摺動する外側に配置し、その内側に軟質の潤滑パッキンを配置して、潤滑シートパッキンをシリンダ面に押し付けてシールする。以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。課題1の図1は、本発明の実施例のベローズポンプの全体斜視図、図2は図1の正面図、図3は図1の右側面図、図4は図3のA-A線断面図、図5は図2のB-B線断面図、図6は図2のC-C線断面図、図7はポンプボディ部の斜視図、図8は図7の左側面図、図9は図8のD-D線及びE-E線断面図、図10はベローズの断面図、図11は図4のF部詳細図である。ポンプ本体1aに垂直方向の段付き穴3、3-1、7および4、4-1、8を設ける。水平方向に吸入用流体通路2を設ける。水平方向に前記垂直方向穴7と8を連通する穴9を設ける。垂直方向に吐出用流体通路10を設ける。ポンプ本体1aの軸と平行に前記穴3に連通する流体通路5、前記穴4に連通する流体通路6を設ける。前記穴3-1、4-1部にそれぞれ吐出用逆止弁27、28を軸方向に移動自由に収納する。前記穴3、4に弁座19、20を圧入する。この時、弁座内の流体通路25、26がそれぞれ前記流体通路5、6に連通するようにする。前記弁座19、20内の逆止弁ガイド穴24、25に吸入用逆止弁17、18を軸方向移動自由に収納する。更に弁座11、12を弁座内の流体通路15、16がポンプ本体1aの吸入用流体通路2に連通するように穴3、4に圧入する。流体通路9の外気開口部は、栓29を圧入する。流体通路2に連通して吸入口30を、流体通路10に連通して吐出口31を設ける。ポンプボディ本体1aと外気に接する各部材との境界部は溶接32a~32eにより固着を確実なものにする。以上のように構成されたポンプ本体1の両側に、ベローズ41、42を装着する。ベローズ取り付け部の内部側に薄肉部を設ける。この薄肉部はポンプボディ本体1aの面にほぼ接するように形成される。細穴とOリング溝部が設けられたベローズ金属をベローズ天井部に取り付け、Oリングを装着する。特許文献1と同様に、シリンダ69、70、シリンダ端板71、72をボルト82-1~82-4、ナット83a、83b~86a、86bで取り付ける。こうしてポンプが完成する。課題2の図15は図3のA-A線断面図、図16は図4のB部詳細図、図17はシートパッキンの部品状態使用前の斜視図、図17は潤滑シートパッキンの使用状態を示す斜視図、図19は別実施例を示す図4のB部詳細図である。潤滑シートパッキン57、58は、円筒状に曲げた時外周がシリンダ内径より少し小さくなる寸法でシート材から打ち抜いて製作される。その端部は階段状に切り欠かれ、円筒状に曲げた時反対側の端部の階段状部と幅方向が略スキマなく一致するようになされる。リングは、従来のOリングに比べ半径で潤滑シートパッキン57、58の板厚だけ小さいものを使用する。このOリングの外側に前述のようにして製作された潤滑シートパッキン57、58を円筒形に成形しながら入れる。図8には、Oリング68-b1、68-b2を2本入れた例をしめしている。この場合、潤滑シートパッキン58が安定的にシリンダ内面に押し付けられ、動作がより安定するという利点がある。なお、上述したクッションとシールのOリング68-b1、68-b2を略矩形断面の角ベルト状のものに変えることも可能である。