行列状に配列された複数の光電変換部と、前記光電変換部に蓄えられた信号電荷を読み出し、垂直方向に転送する複数の垂直転送部と、前記垂直転送部から転送された信号電荷を水平方向へ転送する水平転送部と、前記垂直転送部及び前記水平転送部による電荷転送を制御する駆動制御部とを備え、前記駆動制御部は前記垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を、少なくとも1回以上連続で転送できるよう駆動制御する固体撮像装置。前記駆動制御部による駆動制御においては、前記垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を少なくとも1つ以上の電荷回収パケットを作って電荷転送し、垂直転送部もしくは水平転送部にて取り残した元の電荷パケットに合流できるように駆動制御するか否かが決定される請求項1記載の固体撮像装置。行列状に配列された複数の光電変換部と、前記光電変換部に蓄えられた信号電荷を読み出し、垂直方向に転送する複数の垂直転送部と、前記垂直転送部から転送された信号電荷を水平方向へ転送する水平転送部と、前記垂直転送部及び前記水平転送部による電荷転送を制御し、前記垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を、少なくとも1回以上連続で転送できるよう駆動制御する駆動制御部と、外部からの指示及び前記水平転送部からの出力の少なくとも何れかに基づいて、前記垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を少なくとも1つ以上の電荷回収パケットを作って電荷転送し、垂直転送部もしくは水平転送部にて取り残したもとの電荷パケットに合流できるように駆動制御するかの何れにするかを決定する信号処理部と、を備える撮像装置。先述のとおり、従来においては、垂直および水平の読み出しが分割される駆動の採用により、垂直CCDでは1画素の電荷を転送するゲート電極数が増加して垂直電荷転送能力が向上、また、水平CCDではゲート電極の設計余裕度の向上が図られた。一方、1画面を形成するために、信号電荷を読み出し転送する回数が増加し、垂直CCDでの転送スピードをあげる必要がでてきた。また、画素サイズが縮小され、垂直CCD電極内にポテンシャル勾配を設けるのが難しくなってきた。このような、垂直CCDの高速化、低ポテンシャル勾配は、電荷転送効率の劣化につながり、低照度から高照度における縦線発生の原因となっている。そこで、本発明は、垂直、水平が分割されて読み出された場合において、垂直CCDを高速化しても、低照度から高照度の領域において、転送効率劣化による縦線のない良質な画像を得ることができる固体撮像装置及び撮像装置を提供することを目的とする。本発明に係る固体撮像装置は、行列状に配列された複数の光電変換部と、光電変換部に蓄えられた信号電荷を読み出し、垂直方向に転送する複数の垂直転送部と、垂直転送部から転送された信号電荷を水平方向へ転送する水平転送部と、垂直転送部及び水平転送部による電荷転送を制御する駆動制御部とを備える。そして、駆動制御部は、垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を、少なくとも1回以上連続で転送できるよう駆動制御することを特徴とする。また、本発明に係る固体撮像装置は、上記構成において、駆動制御部による駆動制御において、垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を少なくとも1つ以上の電荷回収パケットを作って電荷転送し、垂直転送部もしくは水平転送部にて取り残した元の電荷パケットに合流できるように駆動制御するか否かが決定されることを特徴とする。また、本発明に係る撮像装置は、行列状に配列された複数の光電変換部と、光電変換部に蓄えられた信号電荷を読み出し、垂直方向に転送する複数の垂直転送部と、垂直転送部から転送された信号電荷を水平方向へ転送する水平転送部と、垂直転送部及び水平転送部による電荷転送を制御し、垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を、少なくとも1回以上連続で転送できるよう駆動制御する駆動制御部と、外部からの指示及び水平転送部からの出力の少なくとも何れかに基づいて、垂直転送部にて1回の電荷転送にて取り残された電荷を少なくとも1つ以上の電荷回収パケットを作って電荷転送し、垂直転送部もしくは水平転送部にて取り残したもとの電荷パケットに合流できるように駆動制御するかの何れにするかを決定する信号処理部と、を備えることを特徴とする。本発明によれば、低照度から高照度の領域まで、垂直CCDの転送効率劣化がない状態が作れ、転送効率劣化による縦線のない良質な画像を実現することができる。また、近年、画素サイズが縮小され、電極内にポテンシャルの傾斜を作ることが難しくなる傾向にあり、本発明はそのような状況において、非常に有効な手段である。以下に、本発明の実施の形態における固体撮像装置及び撮像装置カメラについて、図面を参照して具体的に説明する。[第1の実施の形態]1.固体撮像装置の概略構成まず、本発明の実施の形態における固体撮像装置について、図1を用い説明する。図1は、本実施の形態における固体撮像装置の構成を模式的に示すブロック図である。図1に示すように、本実施の形態に係る固体撮像装置は、複数のフォトダイオード1および複数の垂直転送部2からなる撮像部3、水平転送部4、出力部6、並びに駆動制御部7を備える。複数のフォトダイオード1は、そのそれぞれが本発明の光電変換部の一例であり、撮像部3において行列状に配列される。複数の垂直転送部2は、それぞれがフォトダイオード1の列に対応してY軸方向に延伸する状態で設けられ、対応するフォトダイオード1に蓄えられた信号電荷を読み出し、読み出した信号電荷を水平転送部4に向け、垂直方向Y軸方向に転送する。本実施の形態における固体撮像装置では、複数の垂直転送部2において、3つの垂直転送部2を1つのグループとする複数のグループを有し、このグループが水平方向X軸方向に繰り返して設けられている。同一のグループ内の垂直転送部2のそれぞれは、グループ内で共通グループ内の他の第1転送部21と共通の駆動電圧の供給を受けて信号電荷を垂直方向に転送する第1転送部21と、該第1転送部21に対応して設けられ、グループ内で独立グループ内の他の第1転送部21に対して独立の駆動電圧の供給を受けて対応する第1転送部21から水平転送部4に信号電荷を転送する第2転送部22とを有する。垂直転送部2は、1つの転送電極図示を省略に対応して設けられ、対応する前記転送電極への転送パルス駆動電圧に応じてポテンシャルのバリア領域又はウェル領域として動作する複数の電荷転送段から構成される。第1転送部21は、異なる転送パルスφV1、φV2、φV3、φV4、φV5及びφV6が供給される6段の電荷転送段を含み、第2転送部22は垂直転送部2を構成する電荷転送段のうちの水平転送部4の直前に位置する最終の電荷転送段で構成される。電荷転送段のそれぞれは、転送パルスが供給される1つの電極と、該電極の下方に形成された半導体基板の不純物領域とから構成される。水平転送部4は、垂直転送部2から転送された信号電荷を水平方向X軸方向左側へ転送する。水平転送部4は異なる転送パルスφH1、φH2及びφH3が供給される3段の電荷転送段を含む。駆動制御部7は、垂直転送部2及び水平転送部4による電荷転送を制御する。具体的に、駆動制御部7は、第1転送部21の垂直転送電極に6相の転送パルスφV1、φV2、φV3、φV4、φV5及びφV6を供給して第1転送部21を駆動する。そして、駆動制御部7は、第2転送部22の垂直最終段電極に7種類の転送パルスφV7、φV7R、φV7L、φV8、φV8R、φV8L及びφV9を供給して第2転送部22を駆動する。また、駆動制御部7は、水平転送部4の水平転送電極に3相の水平転送パルスφH1、φH2及びφH3を供給して水平転送部4を駆動する。駆動制御部7は、第1転送部21が、バリア領域で区切られるウェル領域で転送される信号電荷であるパケットを転送した後、水平方向へのパケットの転送が行われる期間でパケットの転送を停止し、第2転送部22が、同一のグループ内の異なる第1転送部21により転送されたパケットを異なるタイミングで水平転送部4に転送し、水平転送部4が、異なるタイミングで転送されたパケットを異なる期間で水平方向に転送し、異なる期間のそれぞれで、第1転送部21のパケットを形成するウェル領域として動作する電荷転送段が異なるように垂直転送部2による電荷転送を制御する。このとき、駆動制御部7は、第1転送部21が、上記異なる期間の間で第1転送部21のパケットを第2転送部22に向かって転送するように垂直転送部2による電荷転送を制御する。2.固体撮像装置の電極構成次に、本実施の形態に係る固体撮像装置の電極構成について、図2を用い説明する。図2は、本実施の形態における固体撮像装置の電極構成を模式的に示す図である。図2に示すように、第1転送部21においては、垂直転送電極は1つのフォトダイオード1に対して2電極が形成されており、垂直転送電極V1、V2、V3、V4、V5及びV6の6電極を1単位としてこれが繰り返し配置されている。これらの垂直転送電極V1~V6には転送パルスφV1~φV6が印加され、パケットを水平転送部4に向けて転送する。第2転送部22においては、垂直最終段電極V7、V7R、V7L、V8、V8R、V8L及びV9が形成され、これらの垂直最終段電極V7~V9には転送パルスφV7、φV7R、φV7L、φV8、φV8R、φV8L、φV9が印加される。水平転送部4においては、3種類の転送電極H1、H2及びH3が形成され、これらの転送電極H1~H3には3相の水平転送パルスφH1~φH3が印加されるが、水平転送におけるパケットはこの転送電極H1~H3に対して1パケットが形成されるため、垂直転送部2の3列に対して独立して1パケットを転送することができる。このため、垂直転送部2を転送された1行分の信号電荷は、第2転送部22にて3回に割り振られて水平転送部4に転送され、3回に分けて水平転送されて出力部6から出力される。3.固体撮像装置のVレート期間の駆動方法次に、本実施の形態に係る固体撮像装置のVレート期間の駆動方法について、図3から図9を用い説明する。a第1の方法による駆動従来の技術に基づく第1の方法による、固体撮像装置のVレート期間の駆動方法について、図3から図5を用い説明する。図3は従来の技術に基づく第1の方法による固体撮像装置のVレート期間の駆動方法を示すタイミング図である。図4は、従来の技術に基づく第1の方法による図3のVレート期間のタイミングのHレート期間を拡大したタイミング図である。また、図5は、図4のタイミングチャートに対応した従来の駆動における電荷転送をポテンシャル図と転送電荷を模式的に示したものである。図3に示すように、固体撮像装置の駆動においては、垂直転送部第1転送部21、垂直転送部第2転送部22及び水平転送部4に対して、転送パルスφV1~φV6、φV7L/R、φV8L/R、φV9、φH1~φH3が順次印加される。そして、図3に示すタイミングチャートにおいて、Hレート期間Aが含まれる。ここで、従来の技術に基づく第1の方法による駆動では、フォトダイオードから読み出された信号電荷は、垂直転送部21を図4のタイミングでφV1からφV6の繰り返し電極を駆動して転送される。この例では、繰り返しの6電極中、3電極で電荷を蓄積し、転送は3電極蓄積と2電極蓄積を繰り返しながら行う。具体的には、図4に示すように、転送パルスφV1は、タイミングt1までHighHレベルであり、タイミングt2からタイミングt8までの期間にLowLレベル、タイミングt9からは再度Hレベルに設定される。転送パルスφV2は、タイミングt3までHレベルであり、タイミングt4からタイミングt10までの期間にLレベル、その後は再度Hレベルに設定される。同様に、転送パルスφV3は、タイミングt5まではHレベルであり、タイミングt6から一定の期間、Lレベルとされ、その後、再度Hレベルに設定される。一方、図4に示すように、転送パルスφV4は、タイミングt2までLレベルであり、タイミングt3からタイミングt7までの期間にHレベル、タイミングt8からは再度Hレベルに設定される。転送パルスφV5は、タイミングt4までLレベルであり、タイミングt5からタイミングt9までの期間にHレベル、タイミングt10からは再度Hレベルに設定される。転送パルスφV6も、タイミングt4までLレベルであり、タイミングt5から一定の期間、Hレベルとされ、その後、再度Hレベルに設定される。図5aから図5eに示すように、タイミングt1における電荷蓄積状態のポテンシャルからタイミングt2、タイミングt3と電荷転送されるに従って、信号電荷が取り残される丸印B1~丸印B4。具体的には、転送パルスφV1がLレベルとされたタイミングt2において、図5bに示すように、電極V1に相当する箇所のポテンシャルが変化する。このとき、丸印B1の部分に示すように、一部の信号電荷が取り残される。そして、転送パルスφV4がHレベルとされ、電極V4に相当する箇所のポテンシャルが変化するタイミングt3においても、V1電極に電荷が取り残された状態が維持される丸印B2。同様に、転送パルスφV2、φV3、φV5、φV6の印加によるポテンシャルが変化する以後のタイミングt3~においても、図5cから図5mに示すように、取り残された信号電荷は、時間の経過によっても、そのまま取り残されることになる。これが、垂直転送部の転送効率劣化の原因となり、垂直転送部21のバラツキによりライン毎に転送効率が異なり、縦線として画像に現れる。b本実施の形態における第2の方法によるHレート期間の駆動次に、本実施の形態における第2の方法による固体撮像装置の駆動の内、Hレート期間の駆動について、図6及び図7を用い説明する。図6は、本実施の形態における第2の方法による固体撮像装置の駆動の内、Hレート期間を拡大したタイミングである。また、図7は、本実施の形態における第2の方法による固体撮像装置の駆動の際の、垂直転送部の電荷転送時のポテンシャルと電荷を模式的に示した図である。なお、以下の説明においては、図3から図5に示す従来の技術における駆動との差異を中心に説明する。図6に示すように、本実施の形態における第2の方法による駆動では、転送パルスφV1をタイミングt2でLレベルとした後、タイミングt3で一旦Hレベルへと戻す。そして、タイミングt4で再度Lレベルとする。その後については、図4に示したのと同様の波形を採る。同様に、転送パルスφV2~φV6についても、HレベルからLレベル、あるいは、LレベルからHレベルへと変化させた後、一旦、もとの状態信号電荷が取り残される前の電荷パケットに戻し、その後に、完全に電荷転送を行うという操作を行っている。以上のような操作を実行する本実施の形態における第2の方法による駆動では、図7bに示すように、転送パルスφV1をLレベルにすることで電極V1に相当する箇所に取り残された信号電荷を丸印C1、一旦、転送パルスφV1をHレベルへと一旦戻すことにより、図7cに示すように、信号電荷が取り残される前の電荷パケットに戻すことができる矢印C2。そして、タイミングt3において、取り残された信号電荷を電荷パケットに戻すことで、図7d及び図7eに示すように、その後のタイミングt4、t5における垂直転送部での転送効率の劣化を抑制することができる。同様に、図7fに示すように、転送パルスφV2をLレベルにすることで電極V2に相当する箇所に取り残された信号電荷を丸印C3、一旦、転送パルスφV2をHレベルへと一旦戻すことにより、図7gに示すように、信号電荷が取り残される前の電荷パケットに戻すことができる矢印C4。そして、タイミングt7において、取り残された信号電荷を電荷パケットに戻すことで、図7h及び図7iに示すように、その後のタイミングにおける垂直転送部での転送効率の劣化を抑制することができる。そして、その後の駆動においても、上記同様の操作を実行することにより、図7j及び図7kに示すように、取り残された信号電荷を丸印C5を、もとの電荷パケットに戻し矢印C6、図7n及び図7oに示すように、取り残された信号電荷を丸印C7を、もとの電荷パケットに戻し矢印C8、図7r及び図7sに示すように、取り残された信号電荷を丸印C9を、もとの電荷パケットに戻し矢印C10、図7v及び図7wに示すように、取り残された信号電荷を丸印C11を、もとの電荷パケットに戻す矢印C12。以上のように、本実施の形態における第2の方法による駆動においては、従来の駆動タイミングとは異なり、例えば、電極に相当する箇所に取り残された信号電荷を、取り残される前の電荷パケットに戻し、その後に完全に電荷転送する。これにより、上記従来の駆動第1の方法による駆動に比べて垂直転送部にて信号電荷の取り残しがない転送効率のよい電荷転送を実現することができる。c特許文献1に開示の技術に基づく第3の方法によるHレート期間の駆動次に、特許文献1に開示の技術に基づく第3の方法による駆動の内、Hレート期間の駆動について、図8及び図9を用い説明する。図8は、特許文献1に開示された技術に基づく第3の方法による駆動でのHレート期間の駆動タイミングであり、図9は、特許文献1に開示された技術に基づく第3の方法による駆動での垂直転送部の電荷転送時のポテンシャルと電荷を模式的に示した図である。図8に示すように、転送パルスφV1は、タイミングt1までHレベルであり、タイミングt2からタイミングt6までの間がLレベルに設定される。転送パルスφV2は、タイミングt3までHレベルであり、タイミングt4からタイミングt7までの間がHレベルに設定される。転送パルスφV3は、タイミングt5までがHレベルであり、タイミングt6から一定の期間がLレベルに設定される。一方、転送パルスφV4は、タイミングt2までLレベルであり、タイミングt3から一定の期間がHレベルに設定される。転送パルスφV5は、タイミングt4までLレベルであり、タイミングt5から一定の期間がHレベルに設定される。転送パルスφV6についても、一定の期間がHレベルに設定される。以上のように、第3の方法による駆動においては、タイミングt1からタイミングt6までは、上記従来の技術による駆動方法と変わらないが、タイミングt7においてV1電極をオンHレベルにして取り残した信号電荷を回収し、その後のタイミングt23において回収した電荷をもとのパケットに合流させることで、垂直の転送効率を改善できる。具体的には、図9bから図9fに示すように、各箇所に取り残された信号電荷を丸印D1~D5、図9g及び図9hに示すように、回収し矢印D6、D7、また、図9kに示すように、取り残された信号電荷を丸印D8、図9lに示すように、回収する矢印D9。そして、図9wに示すように、タイミングt23において、回収した信号電荷をもとの電荷パケットに合流させる矢印D10。4.効果上記項目aに示す従来の技術における駆動第1の方法による駆動と、上記項目bに示す第2の方法による駆動と、上記項目cに示す第3の方法による駆動との各転送効率について、図10から図12を用い説明する。図10は、垂直転送部の信号電荷が8mV出力のときの、各転送効率を示し、図11は、垂直転送部の信号電荷が25mVのときの、各転送効率を示し、図12は、垂直転送部の信号電荷が200mVのときの、各転送効率を示す。先ず、図10に示すように、上記項目aに示す第1の方法による駆動通常駆動では、転送効率が略93となっているのに対し、上記項目cに示す第3の方法による駆動回収駆動では、転送効率が略99となっており、上記bに示す第2の方法による駆動再転送駆動では、転送効率が略100となっている。このように、垂直転送部の信号電荷が8mVの低照度時の撮影に際しては、本発明の実施の形態における第2の方法を用いた再転送駆動上記項目bに示す方法が、通常駆動上記項目aに示す方法、特許文献1の回収駆動上記項目cに示す方法に比べて一番転送効率が良い。次に、図11に示すように、垂直転送部の信号電荷が25mV出力のときにおいては、通常駆動上記項目aに示す第1の方法の転送効率が98となっているのに対して、本発明の実施の形態における第2の方法を用いた再転送駆動上記項目bに示す方法、及び特許文献1の回収駆動上記項目cに示す第3の方法での各転送効率が略100となっている。このように、垂直転送部の信号電荷が25mVの時の撮影に際しては、本発明の実施の形態における第2の方法を用いた再転送駆動上記項目bに示す方法と特許文献1の回収駆動上記項目cに示す第3の方法が略同等の転送効率で、通常駆動上記項目aに示す第1の方法よりも良い結果である。次に、図12に示すように、垂直転送部の信号電荷が200mV出力のときにおいては、従来駆動上記項目aに示す第1の方法、及び本発明の実施の形態における第1の方法を用いた再転送駆動上記項目bに示す方法の転送効率が、略99となっており、特許文献1の回収駆動上記項目cに示す第3の方法の転送効率が100となっている。このように、垂直転送部の信号電荷が200mVの高照度時の撮影に際しては、特許文献1の回収駆動上記項目cに示す第3の方法が、通常駆動上記項目aに示す第1の方法、本発明の実施の形態における第2の方法を用いた再転送駆動上記項目bに示す方法に比べて、一番転送効率が良い。以上より、本発明の実施の形態における駆動上記項目bに示す第2の方法は、25mV以下の低照度時の撮像時に非常に有効であり、高ISOのカメラが求められる現状においては、非常に有効な駆動である。図10から図12に示す結果から、信号出力により最適な駆動方法が存在することがわかる。以上、図面を用いて説明したように、固体撮像装置の駆動においては、垂直CCDにおいて転送効率劣化で取り残された電荷を、転送パケットとは別に電荷回収用のパケットを設けて水平CCDなどで電荷を合流させて転送効率劣化を防止する方法が提案されている。また、回収駆動とは別に取り残された電荷を再転送し、元の電荷転送パケットに転送毎に戻す方法もある。これらの転送効率改善の駆動は、信号量によって効果に違いがある。本発明の実施の形態では、この信号量によって効果の違うそれぞれの転送方法を、信号量によって使い分けることで、低照度から高照度まで転送効率劣化による縦線のないが良質な画像を得ることを可能にする。図10、図11、及び図12に通常駆動第1の方法による駆動、回収駆動第3の方法による駆動、再転送駆動第2の方法による駆動の転送効率の結果を示したが、低照度においては再転送駆動が一番転送効率がよいが、信号が増加して高照度になった場合は回収駆動の方が転送効率がよくなる。一方、このような転送効率を改善する駆動は、転送のステップ数が増加して、スチル画像のフレームレートの低下、消費電力の増加などのデメリットもある。本発明の実施の形態では、このようなそれぞれの駆動のメリット、デメリットを考慮して、低照度では再転送駆動第2の方法による駆動、一番使うことの多い中照度ではフレームレートの低下、消費電力の増加を抑制できる通常駆動第1の方法による駆動もしくは一番転送効率のよい回収駆動第3の方法による駆動を使うよう、信号出力に合わせて使い分け、転送効率劣化による縦線のない良質な画像を得る。[第2の実施の形態]次に、本発明の第2の実施の形態である撮像装置カメラについて、図13を用い説明する。図13は、本実施の形態のカメラの構成を模式的に示すブロック図である。図13に示すように、本実施の形態のカメラは、レンズ90と、上記第1の実施の形態に係る固体撮像装置と同様の構成を有する固体撮像装置91と、信号処理部93と、外部インターフェイス部94とから構成される。上記構成を有するカメラにおいて、外部に信号が出力されるまでの処理は以下のような順序に沿って行われる。1レンズ90を光が通過し、固体撮像装置91に入る。2信号処理部93は、固体撮像装置91を駆動し、固体撮像装置91からの出力信号を取り込む。このとき、信号処理部93は、カメラ外部からの指示及び固体撮像装置91からの出力の少なくともいずれかに基づいて、本発明の再転送駆動、特許文献1の回収駆動および従来駆動のいずれにするかを決定し、駆動制御部7を制御する。例えば、信号処理部93は、ユーザにより高ISO感度での高ゲイン状態が設定されている場合暗い被写体を撮影する場合には、上記本発明の実施の形態の第1の方法による駆動方法で垂直転送部の転送が行われ、低ISO感度での低ゲイン状態が設定されている場合明るい被写体を撮影する場合には第3の方法による駆動方法で垂直転送部の転送が行われるように駆動制御部7を制御する。3信号処理部93で処理した信号が、外部インターフェイス部94を通して外部に出力される。以上のように本実施の形態のカメラによれば、転送効率劣化による縦線が低減された固体撮像装置91からデータが出力される。よって、本実施の形態のカメラは、優れた画質での撮像を実現することができる。また、本実施の形態のカメラによれば、信号処理部93が撮像シーン、信号電荷量やカメラのゲイン設定に応じて駆動制御部7の転送パルスを制御することにより、低照度から高照度の領域まで転送効率劣化による縦線のない画像を得ることができる。[その他の事項]以上、本発明に係る固体撮像装置及び撮像装置について、第1、第2の実施の形態で一例を説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本発明の主旨を逸脱しない範囲で、これらの実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、これらの実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される形態も、本発明に含まれる。例えば、上記実施の形態において、水平転送期間中にパケットを保持する垂直転送電極数は2電極又は4電極であるとしたが、この電極数に限られない。また、上記実施の形態において、第1転送部21は異なる転送パルスが供給される6段の電荷転送段を含むとしたが、上記実施の形態のパケット転送が適用可能な転送部、つまり4段以上の電荷転送段を含む転送段であればこれに限られない。例えば、図14に示すように、第1転送部21は異なる転送パルスが供給される4段の電荷転送段を含んでいてもよい。図14に示すように、n型基板107には、複数のフォトダイオード101が行列状に配列されており、各列間に垂直転送部102が形成されている。垂直転送部102の下端には、水平転送部104が設けられ、その転送方向下流側に電荷検出部105及び出力アンプ106が設けられている。垂直転送部102の転送電極及び水平転送部104の転送電極に対しては、タイミング発生回路108から転送パルスφV1~φV4、φH1、φH2が出力されるようになっている。そして、図14に示す構成では、垂直転送部102の第1転送部が異なる転送パルスが供給される4段の電荷転送段を含む構成とすることができる。