"差圧法による水蒸気透過率測定装置であって、試料用フィルムの装着によって内部が二分割されるチャンバーと、前記二分割された一方のチャンバーに水蒸気を供給する水蒸気発生器と、前記一方のチャンバー内の蒸気圧を調節するための流量調節用バルブと前記二分割されたチャンバー内のそれぞれの圧力を測定する圧力センサーが、内部温度の制御可能な恒温槽内に配置されるとともに、前記チャンバー内を減圧ないし真空にするための真空ポンプが槽外に設けられていることを特徴とする水蒸気透過率測定装置。前記測定用フィルムは、分割されたチャンバーの差圧による変形を防ぐためのサポート用の通気性シートを介してチャンバー内に保持されていることを特徴とする請求項1記載の水蒸気透過率測定装置。温度調整が可能な恒温槽内に配置されるチェンバー内を、試料用フィルムで二分割し、前記試料用フィルムで二分された一方に、水蒸気発生器の蒸気圧力を調節することにより得られた一定圧力の水蒸気を加え、他方を減圧ないし真空状態とし、前記試料用フィルムを介して浸透する水蒸気によって上昇する圧力の時間勾配を測定することによって、前記恒温室内の温度における試料フィルムの水蒸気透過率を求めることを特徴とする水蒸気透過率測定方法。前記水蒸気透過率の測定は、前記恒温槽内の温度と水蒸気発生器からの水蒸気圧を連続的かつ段階的に変更し、各段階の温度と水蒸気圧における試料用フィルムの水蒸気透過率を求めることを特徴とする請求項3に記載の水蒸気透過率測定方法。しかしながら、同提案においても、当該公報の図1などから明らかなように、測定ガスに関して、恒温槽外の測定ガス源と恒温槽内に測定ガスタンクが必要とされている。特に測定ガスタンクは、高圧側の圧力変動による測定誤差防止のために、かなり大きなものであって、装置のコンパクト化は不十分なものである。さらに、透過圧力センサーを恒温槽外に配置したため、恒温槽内外の温度差に基づき、測定値を補正しなければならないという工程を必要とするものとなっている。この発明はかかる現状に鑑み、より簡略化された測定装置、さらには、測定が簡単で精密にできる方法を提供するべく検討を行った。その結果、ガスとして、水蒸気を選択し、水蒸気の特性を活用することにより、上記課題が解決されることを見出した。この発明は、サンプル用のフィルムの一方側に供給するガスを水蒸気とし、水蒸気透過による圧力上昇値の直接変換による水蒸気透過率を測定できる水蒸気透過率測定装置と、この測定装置を利用した水蒸気透過率測定方法を提供することを目的としたものである。前記目的を達成するため、この発明の請求項1に記載の発明は、差圧法による水蒸気透過率測定装置であって、試料用フィルムの装着によって内部が二分割されるチャンバーと、前記二分割された一方のチャンバーに水蒸気を供給する水蒸気発生器と、前記一方のチャンバー内の蒸気圧を調節するための流量調節用バルブと前記二分割されたチャンバー内のそれぞれの圧力を測定する圧力センサーが、内部温度の制御可能な恒温槽内に配置されるとともに、前記チャンバー内を減圧ないし真空にするための真空ポンプが槽外に設けられていることを特徴とする水蒸気透過率測定装置である。また、請求項2に記載の発明は、請求項1記載の水蒸気透過率測定装置において、前記測定用フィルムは、分割されたチャンバーの差圧による変形を防ぐためのサポート用の通気性シートを介してチャンバー内に保持されていることを特徴とするものである。さらに、請求項3に記載の発明は、温度調整が可能な恒温槽内に配置されるチェンバー内を、試料用フィルムで二分割し、前記試料用フィルムで二分された一方に、水蒸気発生器の蒸気圧力を調節することにより得られた一定圧力の水蒸気を加え、他方を減圧ないし真空状態とし、前記試料用フィルムを介して浸透する水蒸気によって上昇する圧力の時間勾配を測定することによって、前記恒温室内の温度における試料フィルムの水蒸気透過率を求めることを特徴とする水蒸気透過率測定方法である。さらにまた、請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の水蒸気透過率測定方法において、前記水蒸気透過率の測定は、前記恒温槽内の温度と水蒸気発生器からの水蒸気圧を連続的かつ段階的に変更し、各段階の温度と水蒸気圧における試料用フィルムの水蒸気透過率を求めることを特徴とするものである。この発明の水蒸気透過率測定装置は、試料用フィルムによって二分割された一方のチャンバー側に、設定された温度、圧力の水蒸気を入れ、他方のチャンバーは減圧ないし真空にし、その圧力差により前記試料用フィルムを通過した水蒸気により、他方側のチャンバー内の上昇する圧力の速度上昇率を測定し透過率を出すというきわめてシンプルな構造でありながら、測定下限が2×10-4g/m2/day以下の高い精度での検出を可能とするものである。この発明の水蒸気透過率測定方法は、水蒸気透過による圧力上昇値の直接変換による算出、すなわち、透過した水蒸気による圧力上昇値から通過した水分子量水の重量gが計算され、それに要した時間から、水蒸気透過率g/m2/dayが直接演算できる。また、圧力センサーは、差圧を測定するだけなので補正が不要なため、再現精度が極めて高い。すなわち、電気量、赤外線量、化学的変化量の換算、質量分析等の間接因子を経由する間接的変換方法に比較して、誤差の累積、推定要素がないため、誤差が少なく極めて高い精度での検出を可能とするものである。さらに、この発明の水蒸気透過率測定装置は、多くの装置で必要とされている標準フィルム等による測定前キャリリブレーション校正が不要である。また、キャリアガス不要なので、その流量精度、ガス温度制御、ガス成分純度などによる誤差の問題を発生させることもないものである。また、チャンバー、水蒸気発生器、圧力センサーが内部温度の制御可能な槽恒温槽内に配置された装置であるため、広い温度範囲、通常40°C~85°C雰囲気下の水蒸気透過率とバリア特性が連続的に測定できるとともに、すべての構成部品が常に設定された同じ温度と湿度に維持されるので、内部に温度/相対湿度勾配がなく、この点からも測定精度を大きく向上させるものである。また、総ての測定条件を恒温槽外からパソコンで指示することが可能で、サンプルに触れることなく種々の測定条件で測定が可能である。よって、測定値の再現性が自己確認でき、得られた水蒸気透過率と温度のアレニウスプロットを描くことにより温度とバリア強度等の特性、たとえば、物性変化の対温度評価、繰り返しによる再現性の確認等種々の解析が可能なものである。また、恒温槽内のサンプルからのアウトガス、システム内部の付着水分等の追い出しが、装置全体をヒートアップして付属の真空ポンプによる減圧操作を行なえば、他の方式のようなドライガスをパージするより遥かに早くコンディショニングできる。その際、全測定時間を、例えばアレニウスプロットを採るための一連のテストも含め、1~2日で完了することができ、迅速な測定結果が求められる、製造現場等における、品質管理あるいは評価解析等に有効に利用可能なものである。さらに、装置自体が簡易なものであるので、保守が簡単で、キャリアガスが不要で、消耗部品も少なく、ランニングコストが大幅に低減できるうえ、圧力センサーも一定時間の差圧を計測するだけなので校正も通常不要で極めて長期に渡って使用可能である。なお、この発明においては、チャンバー内を二分するように、試料用フィルムを保持する際、通気性シートを介して保持することによって、差圧法において、フィルムの両面のガス圧が異なるために、フィルムに生じ易い歪みやクラック発生の防止が可能である。また、内部温度の制御可能な恒温槽を気密性のあるものとすることによって、他のガス分子が紛れ込んで、圧力測定が不正確になることを防止し、他のガス分子が測定値に与える影響が無視できる構造とすることができる。この発明にかかる水蒸気透過率測定装置の一例を、以下、添付図に基づいて具体的に説明する。この発明の水蒸気透過率測定装置1は、内部温度の制御可能な恒温槽2と、この恒温槽2内に配置され、試料用フィルム3によって二分割され、チャンバー4aと4bの二室が形成された所要の大きさのチャンバー4と、前記チャンバー4a内の蒸気圧を測定する圧力センサー6と、前記チャンバー4b内の蒸気圧を測定する圧力センサー7と、前記チャンバー4aに水蒸気を供給する水蒸気発生器5と、この水蒸気発生器5に付設され、前記チャンバー4aに供給される水蒸気の蒸気圧を調整するための流量調節用バルブ8と、前記恒温槽2外に配置される真空ポンプ9とで構成されるものである。なお、前記試料用フィルム3を、チャンバー4に装着するに際しては、少なくとも減圧ないし真空とするチャンバー4b側に、図示しないが、試料用フィルムを下方から支持する支持部材が配置される。また、前記真空ポンプ9は、チャンバー4内を減圧ないし真空にするためのものであって、バルブ10,11を解放することによってチャンバー4a,4bを、バルブ11を解放し、バルブ10を閉止することによって、二分割された一方側のチャンバー4a内を、バルブ10を解放し、バルブ11を閉止することによって、他方側のチャンバー4b内を、それぞれ減圧ないし真空状態とすることができる。また、前記水蒸気発生器5は、前記流量調節用バルブ8を介して前記チャンバー4aと連通し、流量調節用バルブ8の解放によって、所定量の水蒸気をチャンバー4a内に供給する。前記各バルブ8,10,11の開閉は、恒温槽2外からリモートコントロール可能に構成されている。水蒸気透過率の測定は、前記チャンバー4bを真空にしたのち、チャンバー4aに水蒸気発生器5から所定の蒸気圧に設定された水蒸気を供給し、チャンバー4aの水蒸気が試料用フィルム3を通過してチャンバー4bに移動することによって、チャンバー4b内の圧力が上昇するのを、圧力センサー7で測定して行われる。なお、圧力の検出に用いられる圧力センサーとしては、各種の圧力センサーが使用可能であって、例えば、静電容量式ダイアフラムセンサーなどが挙げられる。水蒸気透過率の測定のための操作手順は、以下のとおりである。まず、チャンバー4を二分するように試料用フィルム3をチャンバー4に装着保持させたのち、恒温槽2内を一定温度に調節するとともに、試料用フィルム3により形成されたチャンバー4a、4b内を、バルブ10,11を開放し、真空ポンプ9を作動させることによりいずれも真空状態とする。ついで、真空状態のチャンバー4aに水蒸気を供給するために、流量調節用バルブ8を開放して水蒸気発生器5からチャンバー4aに水蒸気を供給する。前記水蒸気発生器5には純水が貯蔵され、流量調節用バルブ8を経由して水蒸気をチャンバー4aに一定蒸気圧で供給するものである。なお、水蒸気発生器5に別個の他ガス導入機能を付与することにより、チャンバー4aの湿度を制御し、低湿度や混合ガス条件下における、水蒸気透過率あるいは混合ガス透過率の測定を可能とすることができる。前記チャンバー4aに一定圧力の水蒸気が供給されると、チャンバー4bの圧力が、チャンバー4aから試料用フィルム3を通過してきた水蒸気により上昇する。したがって、その圧力上昇を圧力センサー7で測定し、水蒸気透過率を算出する。なお、圧力センサー6は、チャンバー4aの圧力変動を監視し、また、流量調節用バルブ8の開閉をするためのものである。圧力上昇による水蒸気透過率の算出は公知の手段である。すなわち、図2に示されるように、縦軸に圧力を、横軸に時間とした図に、圧力変動値をプロットすると、拡散時間遅れタイムラグと称される非定常状態を過ぎると、プロットの勾配が一定になり、その勾配に基づいて水蒸気透過率が算出される。上記操作によって、特定温度と前記チャンバー4aに供給された水蒸気の圧力下における、試料用フィルム3の水蒸気透過率を算出することができる。さらに、別の温度での水蒸気透過率を測定するときは、チャンバー4内に保持された試料用フィルム3はそのまま保持させて、温度調節-真空操作-水蒸気供給-圧力測定の工程を、遠隔操作で繰り返して行うことができ、測定値の信頼性、フィルムの温度による特性変化などの観察のために好ましい方法である。下記仕様のハイバリアフィルムを用い、上記操作で、測定温度を連続的かつ段階的に変化させて、各温度の水蒸気透過率を測定した。得られた各温度の水蒸気透過率に基づいてアレニウスプロットを求めたところ、図3に示す結果が得られた。<サンプル仕様>材質:ポリエチレンナフタレート厚さ:100μバリア膜種:SiON系単層薄膜CVDコーテング厚さ:100nm設定温度履歴:サンプルA:40°C-60°C-40°C-85°C-40°CサンプルB:40°C-50°C-60°C-85°C-40°C-60°C-80°C-100°C-40°C相対湿度:いずれも100RHなお、図3に示す測定結果を得るためには、サンプルAに関しては、コンディショニングを含め約1,900min32Hr、サンプルBに関しては、コンディショニングを含め2,400min40Hrを要した。図3に示されるように、サンプルA、B共全体としては、アレニウスプロットの直線に乗っている。また、40°C昇温、降下を繰り返した後の温度40°Cでの水蒸気透過率は、2.4~2.0×10-3g/m2/dayに集約しており、再現性と信頼性は極めて高いものである。一方、サンプルBは、温度100°Cにおいて直線から外れ、明らかにバリア膜に非可逆的現象が発生した。その後、温度を40°Cに戻したが、水蒸気透過率は、9.0×10-3g/m2/dayと復帰できてなかったことによっても組成の変質が窺え、部材相互間の物性変化の対温度評価も可能であることが判明した。"