"光源からの光の一部を通過させる開口部を有する絞りと、前記絞りの開口部からの光を略平行光にして標本に照射するコンデンサレンズと、前記標本を通過した前記光を結像する対物レンズと、複数の単位レンズが二次元状に配置されたマイクロレンズアレイであって、前記対物レンズにより前記標本の像が結像される位置に配置された第1のマイクロレンズアレイと、前記第1のマイクロレンズアレイよりも像側であって、前記対物レンズの射出瞳面と共役な面上に配置された第2のマイクロレンズアレイと、を有し、前記第2のマイクロレンズアレイは、前記第1のマイクロレンズアレイの前記単位レンズの各々から出射した光束を分割する複数の単位レンズからなる単位レンズセットが、二次元状に配置されて構成され、且つ、前記単位レンズセットの各々の、前記絞りの開口部と共役な位置にある前記単位レンズに、位相膜が設けられていることを特徴とする顕微鏡装置。前記絞りの前記開口部は、光軸を含むように配置され、前記第2のマイクロレンズアレイの前記単位レンズセットの各々は、当該単位レンズセットの中心にある前記単位レンズに前記位相膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。前記絞りの開口部は、光軸を囲むようにリング状に形成され、前記第2のマイクロレンズアレイの前記単位レンズセットの各々は、当該単位レンズセットの中心を囲みリング状に位置する単位レンズに前記位相膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。受光素子が2次元状に配置され、前記第1のマイクロレンズアレイ及び前記第2のマイクロレンズアレイで形成される前記標本の像を検出する撮像素子を有し、前記第2のマイクロレンズアレイの各々の前記単位レンズで形成される像の位置に、前記撮像素子を構成する前記受光素子の各々が配置されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の顕微鏡装置。しかしながら、外部位相差観察が可能な顕微鏡装置の場合、瞳をリレーするためのレンズ等が必要となり、光学系の全長が長くなってしまうという課題があった。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、外部位相差観察が可能で、光学系の全長を短くすることができる顕微鏡装置を提供することを目的とする。前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡装置は、光源からの光の一部を通過させる開口部を有する絞りと、この絞りの開口部からの光を略平行光にして標本に照射するコンデンサレンズと、標本を通過した光を結像する対物レンズと、複数の単位レンズが二次元状に配置されたマイクロレンズアレイであって、対物レンズにより標本の像が結像される位置に配置された第1のマイクロレンズアレイと、この第1のマイクロレンズアレイよりも像側であって、対物レンズの射出瞳面と共役な面上に配置された第2のマイクロレンズアレイと、を有し、第2のマイクロレンズアレイは、第1のマイクロレンズアレイの単位レンズの各々から出射した光束を分割する複数の単位レンズからなる単位レンズセットが、二次元状に配置されて構成され、且つ、この単位レンズセットの各々の、絞りの開口部と共役な位置にある単位レンズに、位相膜が設けられていることを特徴とする。このような顕微鏡装置において、絞りの開口部は、光軸を含むように配置され、第2のマイクロレンズアレイの単位レンズセットの各々は、当該単位レンズセットの中心にある単位レンズに位相膜が形成されていることが好ましい。あるいは、このような顕微鏡装置において、絞りの開口部は、光軸を囲むようにリング状に形成され、第2のマイクロレンズアレイの前記単位レンズセットの各々は、当該単位レンズセットの中心を囲みリング状に位置する単位レンズに位相膜が形成されていることが好ましい。また、このような顕微鏡装置は、受光素子が2次元状に配置され、第1のマイクロレンズアレイ及び第2のマイクロレンズアレイで形成される標本の像を検出する撮像素子を有し、第2のマイクロレンズアレイの各々の単位レンズで形成される像の位置に、撮像素子を構成する受光素子の各々が配置されていることが好ましい。本発明に係る顕微鏡装置を以上のように構成すると、外部位相差観察が可能で、かつ、光学系の全長が短い顕微鏡装置を提供することができる。以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1を用いて本実施形態に係る顕微鏡装置の構成について説明する。この顕微鏡装置10は、標本Hを位相差観察するものであり、光源1、光軸上に光源1からの光が通過する開口部2aが形成された絞り2、焦点がこの絞り2の開口部2aと略一致するように配置され、開口部2aを通過した光を略平行光にして標本Hに照射するコンデンサレンズ3、標本Hを含む標本面F1からの光を集光して一次像面F3に結像する対物レンズ4、一次像面F3上に配置された第1のマイクロレンズアレイ5、このマイクロレンズアレイ5よりも像側であって、対物レンズ4の射出瞳面F2と共役な面F4上に配置された第2のマイクロレンズアレイ6、及び、第1及び第2のマイクロレズアレイ5,6で二次像面F5上に結像された標本面F1標本Hの像を検出する撮像素子7を有し、光軸上にこの順で並んで配置されていてる。以上のように、この顕微鏡装置10において、第1のマイクロレンズアレイ5及び撮像素子7は標本Hと共役な位置に配置され、第2のマイクロレンズアレイ6は対物レンズ4の射出瞳と共役な位置に配置されている。さらに、絞り2の開口部2aは対物レンズ4の射出瞳と共役である。なお、図1において、観察像の結像光線のうち直接光が実線で示され、回折光が一点鎖線で示され、射出瞳の結像光線が破線で示されている。ここで、第1及び第2のマイクロレンズアレイ5,6は、図2に示すように、多数個の単位レンズマイクロレンズが2次元状に配置されたものであり、これらの単位レンズの焦点面は、略同一平面上に位置するように構成されている。この本実施形態に係る顕微鏡装置10において、第1のマイクロレンズアレイ5及び第2のマイクロレンズアレイ6は、略同一の直径を有している。また、光軸方向から見たときに、第1のマイクロレンズアレイ5の単位レンズ5aの各々を、複数の第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズ6aが分割するように配置されている。図2cは、第1のマイクロレンズアレイ5の単位レンズ5aの一つに対応して配置された第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズ6aの組以下、単位レンズセット6bと呼ぶを示しており、この図2の場合は、1つの単位レンズ5aに対応して配置された単位レンズセット6bは、3×3の9個の単位レンズ6aで構成されている。すなわち、第2のマイクロレンズアレイ6は、第1のマイクロレンズアレイ5の単位レンズ5aの数と同じ数の単位レンズセット6bが2次元状に配置されて構成されている。そして、対物レンズ4により標本面F1の一次像を第1のマイクロレンズアレイ5の単位レンズ5aで分割し、さらに、この第1のマイクロレンズアレイ5の各々の単位レンズ5aを出射した光束を、各々の単位レンズ5aに対して設けられた第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズセット6bの単位レンズ6aで分割して結像するように構成されている。本実施形態に係る顕微鏡装置10において、上述のように、第2のマイクロレンズアレイ6は、対物レンズ4の射出瞳面F2と略共役な位置瞳共役面F4上に配置されており、さらに、この第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズセット6bの各々は、この単位レンズセット6bを構成する単位レンズ6aのうち、絞り2の開口部2aと略共役な位置にある単位レンズ6aに位相膜が形成されている図2においては、中央の単位レンズ6aに位相膜が形成されている。この位相膜は、透過する光の位相を1/4波長進める、若しくは、遅らせるとともに、透過する光の光量を小さくするものである。なお、撮像素子7は、複数の受光素子が2次元状に配置されたCCDやCMOS等で構成され、この撮像素子7で取得された標本Hの像は、図示しない処理装置に出力され、デジタル画像として記憶されたり、表示装置に表示される。また、撮像素子7の代わりに接眼レンズを配置し、直接観察することも可能である。以上のような構成の顕微鏡装置10において、光源1から放射された光は絞り2に入射し、一部の光がこの絞り2の開口部2aを通過してコンデンサレンズ3で略平行光に変換され、標本Hに照射される。そして、この標本Hを含む標本面F1からの光は、対物レンズ4で集光されて一次像面F3に標本面Hの一次像を形成し、この一次像面F3からの光は第1のマイクロレンズアレイ5の単位レンズ5aの各々で集光される。さらに、第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズ6aの各々で集光されて、二次像面F2に標本面F1の二次像が形成され、撮像素子7で検出される。ここで、標本面F1に照射された光源1からの光のうち、標本Hを透過する光は、この標本Hを通過する直接光と、標本Hの表面等媒質の屈折率の変化する部分で回折した回折光とに分かれる。図1において、光軸上にある標本面F1から出射した光を用いて説明すると、標本Hを通過した直接光は、対物レンズ4で集光され、一次像面F3上に結像する。この一次像面F3上には第1のマイクロレンズアレイ5が配置されており、直接光は、この第1のマイクロレンズアレイ5の光軸上の単位レンズ5aを通過して、第2のマイクロレンズアレイ6の光軸上の単位レンズセット6bのうち、光軸上の単位レンズ6aに入射する。この光軸上の単位レンズ6aには、上述のように位相膜が設けられており、この単位レンズ6aを通過した直接光の位相は、1/4波長進められるか、若しくは、遅らされる。そして、この直接光は、光軸上の単位レンズ6aにより、撮像素子7二次像面F5の光軸上に結像される。一方、標本Hにより回折し、標本面F1の光軸上から出射した回折光は、直接光よりも広がって対物レンズ4に入射し、この対物レンズ4で集光されて一次像面F3上に結像する。そして、第1のマイクロレンズアレイ5の光軸上の単位レンズ5aを通過し、第2のマイクロレンズアレイ6の光軸上の単位レンズセット6bに入射する。この回折光は、直接光よりも広がって標本面F1から出射しているため、単位レンズセット6bの光軸上の単位レンズ6aだけでなく、その周りの単位レンズ6aにも入射する。そして、この回折光は、単位レンズセット6bの各々の単位レンズ6aで集光され、撮像素子7二次像面F5の光軸上直接光と同じ位置に結像される。そのため、単位レンズセット6bのうち、中央以外の単位レンズ6aを通過した回折光の位相は変化していない。以上より、二次像面F5に結像される標本面F1の像のうち、標本Hの表面のように、直接光と回折光とが出射した部分の像は、第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズ6aのうち、位相膜が設けられた単位レンズ6aを通過した直接光と設けられていない単位レンズ6aを通過した回折光とが干渉する。位相膜で、直接光の位相が1/4波長進められているときは、直接光と回折光とは弱め合い、1/4波長遅らされているときは、直接光と回折光とは強めあう。また、標本面F1から出た光のうち、回折が起こらない部分から出射した光すなわち、直接光のみのときは、このような干渉は発生しない。そのため、標本Hのうち、回折が起こる部分の像のコントラストを他の部分と変化させることができ、標本Hの像を可視化することができる。本実施形態に係る顕微鏡装置10のように、標本面F1の一次像面F3に第1のマイクレンズアレイ5を配置し、さらにその像側で対物レンズ4の射出瞳面F2と共役な面F4に第2のマイクロレンズアレイ6を配置することにより、この第2のマイクロレンズアレイ6に位相リングの役割を持たせることができ、外部位相差観察が可能となる。このとき、第1及び第2のマイクロレンズアレイ5,6は、複数の単位レンズ5a,6aで構成されているため、個々の単位レンズ5a,6aの焦点距離を短くすることができ、全体として、第1及び第2のマイクロレンズアレイ5,6の焦点距離を短くして、この顕微鏡装置10の光学系の全長を短くすることができる。また、このように、対物レンズ4の外部に第1及び第2のマイクロレンズアレイ5,6を配置することができるので、位相差用対物レンズ対物レンズ内の射出瞳面に位相リングが配置されたものを用いる必要がなく、第1及び第2のマイクロレンズアレイ5,6を光軸上に挿抜することで、位相差観察と明視野観察とを切り換えることができる。さらに、第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズ6aの配置と、撮像素子7の受光素子の配置とを揃える個々の単位レンズ6aで結像された像が、撮像素子7の個々の受光面上に位置するように構成することにより、視差毎の画像取得が可能となり、この画像から実体顕微鏡装置で位相差観察を行うような効果を得ることができる。なお、絞り2を、光軸を囲むように形成されたリング状の開口部を有するリング絞りとした場合、第2のマイクロレンズアレイ6の単位レンズセット6bは、図3に示すように、リング状の開口部と共役な位置にある単位レンズ6aに位相膜を設けることにより、位相差観察を行うことができる。図3では、単位レンズ6aを10×10の100個の単位レンズ6aで構成し、これらの単位レンズ6aのうち、リング状の開口部と共役な単位レンズ6aに全体としてリング状になるように位相膜を設けた場合を示している。また、以上の説明では、第1及び第2のマイクロレンズアレイ5,6を構成する単位レンズ5a,6aを光軸方向から見たときに、円形形状に形成した場合について説明したが、矩形形状や六角形形状としても良い。"