ステーター2と、ローター3と、前記ステーター2および前記ローター3の間を複数の圧縮室53、54に仕切るためのベーン4とを有するベーン式圧縮機1A、1Bにおいて、前記ステーター2は、その中心2aから外側に向けて当該中心2aを中心として同心状に配置された第1円形状内周面21b、円形状外周面21aおよび第2円形状内周面22bを備え、前記円形状外周面21aおよび前記第2円形状内周面22bの間には円環状空間23が形成されており、前記ローター3は、その中心3aを中心とする円筒35と、当該円筒35をその半径方向に貫通して延びる少なくとも一対のベーン装着溝37とを備えており、前記円筒35は、前記ステーター2の前記円環状空間23に偏芯した状態で配置され、当該円環状空間23を外周側空間23aと内周側空間23bに仕切っており、前記ベーン装着溝37のそれぞれには、スライド可能な状態で前記ベーン4が装着されており、前記ベーン4のそれぞれは、前記ローター3の前記円筒35の半径方向に沿って、その中心側から所定の間隔で形成された第1櫛歯部分41および第2櫛歯部分42を備え、前記第1櫛歯部分41は前記第1円形状内周面21bの内側に配置され、前記第2櫛歯部分42は前記円環状空間23内において前記外周側空間23aおよび前記内周側空間23bのそれぞれを、複数の前記圧縮室53、54に仕切っており、前記ローター3の回転に伴って前記ベーン4に作用する遠心力によって、少なくとも前記第1櫛歯部分41は、これが対峙している前記第1円形状内周面21bに押し付けられた状態となり、当該第1円形状内周面21bによって案内されて前記ベーン4が前記ベーン装着溝37に沿って往復スライド運動を行うことを特徴とするベーン式圧縮機1A、1B。請求項1において、前記ステーター2は、その中心2aから外側に向けて当該中心2aを中心として同心状に配置された第1円筒状部分21および第2円筒状部分22を備えており、前記第1円筒状部分21に、前記第1円形状内周面21bおよび前記円形状外周面21aが形成されており、前記第2円筒状部分22に、前記第2円形状内周面22bが形成されていることを特徴とするベーン式圧縮機1A、1B。請求項2において、前記ベーン4の前記第1櫛歯部分41が前記第1円形状内周面21bに当接した状態において、前記第2櫛歯部分42は前記第2円形状内周面22bに対して非接触状態で対峙することを特徴とするベーン式圧縮機1A、1B。請求項3において、前記第1円形状内周面21b、前記円形状外周面21aおよび前記第2円形状内周面22bの形状は、これらに対峙している前記ベーン4の前記第1、第2櫛歯部分41、42の部位の回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定されていることを特徴とするベーン式圧縮機1A、1B。請求項2ないし4のうちのいずれかの項において、前記ステーター2は、前記第1円筒状部分21Bをその中心回りに回転可能な状態で支持していることを特徴とするベーン式圧縮機1B。ステーター102と、ローター103と、前記ステーター102および前記ローター103の間を複数の圧縮室153~156に仕切るためのベーン104とを有するベーン式圧縮機100、100Aにおいて、前記ステーター102は、その中心102aから外側に向けて当該中心102aを中心として同心状に配置された第1円形状外周面120a、第1円形状内周面121b、第1円形状外周面121aおよび第2円形状内周面122bとを備え、前記第1円形状外周面120aおよび前記第1円形状内周面121bの間には第1円環状空間123が形成され、前記第2円形状外周面121aおよび前記第2円形状内周面122bの間には第2円環状空間124が形成されており、前記ローター103は、その中心103aから外側に向けて当該中心103aを中心として同心状に配置された第1円筒131および第2円筒132と、前記第1、第2円筒131、132をその直径方向に貫通して延びる少なくとも一つのベーン装着溝137とを備えており、前記第1円筒131は、前記第1円環状空間123に偏芯した状態で配置され、当該第1円環状空間123を外周側空間123aと内周側空間123bに仕切っており、前記第2円筒132は、前記第2円環状空間124に偏芯した状態で配置され、当該第2円環状空間124を外周側空間124aと内周側空間124bに仕切っており、前記ベーンは、その長さ方向の中心から両端に向かって、当該中心に対して点対称の位置に形成された一対の第1櫛歯部分141、142および一対の第2櫛歯部分143、144を備え、前記第1櫛歯部分141、142は、両側から前記第1円形状外周面120aに接していると共に、前記第1円環状空間123の前記外周側空間123aおよび前記内周側空間123bを複数の前記圧縮室155、156に仕切っており、前記第2櫛歯部分143、144は、前記第2円環状空間124の前記外周側空間124aおよび前記内周側空間124bを複数の前記圧縮室153、154に仕切っており、前記ローター103の回転に伴って前記ベーン104の前記第1櫛歯部分141、142が前記第1円形状外周面120aに沿って摺動することにより、当該ベーン104が前記ベーン装着溝137に沿って往復スライド運動を行うことを特徴とするベーン式圧縮機100、100A。請求項6において、前記ステーター102は、前記第1円形状外周面を備えた円筒状あるいは円柱状のベーンガイド120と、この外側に同心状に配置され、前記第1円形状内周面121bおよび前記第2円形状外周面121aを備えた第1円筒状部分121と、この外側に同心状に配置され、前記第2円形状内周面122bを備えた第2円筒状部分122とを備えていることを特徴とするベーン式圧縮機100、100A。請求項7において、前記第1、第2円形状外周面120a、121a、前記第1、第2円形状内周面121b、122bの形状は、これらに対峙している前記ベーンの前記第1、第2櫛歯部分の部位の回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定されていることを特徴とするベーン式圧縮機100、100A。請求項8において、前記ステーター102は、前記ベーンガイド120をその中心回りに回転可能な状態で支持していることを特徴とするベーン式圧縮機100、100A。請求項9において、前記ステーター102は、前記ベーンガイド120を、その中心軸線の方向に沿って、前記ベーン104に押し付けている弾性部材176を有していることを特徴とするベーン式圧縮機100、100A。請求項6において、前記ローター103は、その中心103aにおいて直角に交差する一対の前記ベーン装着溝137A、137Bを備えており、前記ベーン装着溝のそれぞれに、前記ベーン104がスライド可能な状態で装着されていることを特徴とするベーン式圧縮機100A。請求項6ないし11のうちのいずれかの項において、前記ベーン104の前記第1櫛歯部分141における前記ベーンガイド120の前記第2円形状外周面120aに接触している内側端面141b、142bの幅寸法Wは、少なくとも、前記中心103aと前記ステーター102の前記ベーンガイド120の中心102aとの間の偏芯量Δの2倍であることを特徴とするベーン式圧縮機100、100A。従来における同心状に配置された複数の圧縮室を備えたベーン式圧縮機は、基本的に、一段のベーン式圧縮機を同心状に配置した構成となっている。したがって、軸方向にベーン式圧縮機を多段に接続する場合と同様に、部品点数が増加し、構造も複雑になる。また、同心状に圧縮室を配列して3段以上の多段化を図ることが困難である。本発明の課題は、このような点に鑑みて、部品点数の増加を最小限に抑えて、簡単な構成で同心状に圧縮室を多段に配置することのできるベーン式圧縮機を提案することにある。上記の課題を解決するために、本発明のベーン式圧縮機は以下のように構成したことを特徴としている。なお、括弧内の符号は後述の本発明の実施の形態における対応する部位を示すものであり、理解を容易にするために付してあるが、本発明を実施の形態に限定することを意図したものはない。すなわち、本発明は、ステーター2と、ローター3と、前記ステーター2および前記ローター3の間を複数の圧縮室53、54に仕切るためのベーン4とを有するベーン式圧縮機1A、1Bにおいて、前記ステーター2は、その中心2aから外側に向けて当該中心2aを中心として同心状に配置された第1円形状内周面21b、円形状外周面21aおよび第2円形状内周面22bを備え、前記円形状外周面21aおよび前記第2円形状内周面22bの間に円環状空間23が形成されており、前記ローター3は、その中心3aを中心とする円筒35と、当該円筒35をその半径方向に貫通して延びる少なくとも一対のベーン装着溝37とを備えており、前記円筒35は、前記ステーター2の前記円環状空間23に偏芯した状態で配置され、当該円環状空間23を外周側空間23aと内周側空間23bに仕切っており、前記ベーン装着溝37のそれぞれには、前記ベーン4がスライド可能な状態で装着されており、前記ベーン4のそれぞれは、前記ローター3の前記円筒35の半径方向に沿って、その中心側から所定の間隔で形成された第1櫛歯部分41および第2櫛歯部分42を備え、前記第1櫛歯部分41は前記第1円形状内周面21bの内側に配置され、前記第2櫛歯部分42は前記円環状空間23内において前記外周側空間23aおよび前記内周側空間23bのそれぞれを、複数の前記圧縮室53、54に仕切っており、前記ローター3の回転に伴って前記ベーン4に作用する遠心力によって、少なくとも前記第1櫛歯部分41は、これが対峙している前記第1円形状内周面21bに押し付けられた状態となり、当該第1円形状内周面21bによって案内されて前記ベーン4が前記ベーン装着溝37に沿って往復スライド運動を行うことを特徴としている。本発明のベーン式圧縮機1A、1Bでは、ローター3が回転すると、ローター3のベーン装着溝37に装着されているベーン4もローター3と共に回転する。また、ローター3はステーター2に対して偏芯した位置を中心として回転するので、ローター3に対してスライド可能に取り付けられている各ベーン4は、ベーン装着溝37に沿って半径方向に往復スライド運動し、各ベーン4の第2櫛歯部分42はステーター2の円環状空間23内を当該円環状空間に沿って移動する。すなわち、ベーン4の各櫛歯部分41、42は、ローター3と共にステーター2の第1円形状内周面21b、円形状外周面21aおよび第2円形状内周面22bに沿って回転する。また、各櫛歯部分41、42によって仕切られている圧縮室53、54もローター3の回転に伴って、その容積の増加および減少を繰り返す。したがって、外側の圧縮室53の吐出口を内側の圧縮室54の吸入口に連通させておくことにより、外側の圧縮室で圧縮された流体を内側の圧縮室に送り込んで更に圧縮することができる。よって、ステーター側の円環状空間の数、ローター側の円筒の数、および、ベーンの第2櫛歯部分の数を増やすことにより、ベーン式圧縮機の多段化を簡単に実現できる。すなわち、圧縮性能の改善を簡単に実現できる。ここで、本発明のベーン式圧縮機1A、1Bでは、ベーン4がベーン装着溝37にスライド可能に装着されているので、ローター3の回転に伴って半径方向の外方に向かう遠心力がベーン4に作用し、半径方向の外方に引張られながらベーン4が回転する。したがって、周速の最も遅い中心側の櫛歯部分、すなわち、第1櫛歯部分41のみをステーター2側の第1円形状内周面21bに対して遠心力によって内側から押し付けてベーン4の半径方向の位置を制御し、外側の第2櫛歯部分42を円形状外周面21aに対して微小な隙間で対峙させた状態に保持することが可能である。すなわち、本発明のベーン式圧縮機1A、1Bでは、前記ベーン4の前記第1櫛歯部分41が前記第1円形状内周面21bに当接した状態において、前記第2櫛歯部分42は前記第2円形状内周面22bに対して非接触状態で対峙することを特徴としている。このようにすると、ローター3の回転中心に最も近い側の第1櫛歯部分41、換言すると、周速の最も遅い第1櫛歯部分41のみが、ステーター2側の第1円形状内周面21bに接触する。よって、周速が速い外側の第2櫛歯部分42がステーター2側の第2円形状内周面22bに沿って摺動する場合に比べて、摺動部分の摩耗量を低減でき、部品の寿命を延ばすことができる。また、摺動抵抗を低減できるので損失動力を低減することができる。ここで、第1櫛歯部分41と第1円形状内周面21bとの接触状態を維持し、第2櫛歯部分42と円形状外周面21a、第2円形状内周面22bとの間を一定の微小隙間で対峙した非接触状態に維持するためには、前記第1円形状内周面21b、前記円形状外周面21aおよび前記第2円形状内周面22bの形状を、これらに対峙している前記ベーン4の前記第1、第2櫛歯部分41、42の部位の回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定すればよい。これらの櫛歯部分の回転軌跡は、真円に対して僅かに偏平な楕円形状になる。したがって、本願明細書においては、櫛歯部分の回転軌跡、または、その近似曲線によって規定される内周面、外周面を、それぞれ、円形状内周面、円形状外周面として表現している。次に、ローター側のベーンとステーター側の第1円形状内周面との間の摩耗をさらに抑制し、これらの間の摺動抵抗を一層抑制するために、本発明では、前記ステーター2によって、前記第1円形状内周面21bを備えた第1円筒状部分21Bをその中心回りに回転可能な状態で支持している。ベーン4の往復スライド運動を制御するベーンガイドとして機能する第1円筒状部分21Bは、回転可能であるので、ベーン4の回転に伴ってベーンと連れ回りする。第1円筒状部分21Bとベーン4との間には、ローター3の偏芯回転に伴う滑りが発生するが、ベーンガイドが静止している場合に比べて、滑り速度を大幅に小さくできる。よって、これらの間の摩耗および摺動抵抗を大幅に抑制できる。次に、本発明は、ステーター102と、ローター103と、前記ステーター102および前記ローター103の間を複数の圧縮室153~156に仕切るためのベーン104とを有するベーン式圧縮機100、100Aにおいて、前記ステーター102は、その中心102aから外側に向けて当該中心102aを中心として同心状に配置された第1円形状外周面120a、第1円形状内周面121b、第1円形状外周面121aおよび第2円形状内周面122bとを備え、前記第1円形状外周面120aおよび前記第1円形状内周面121bの間には第1円環状空間123が形成され、前記第2円形状外周面121aおよび前記第2円形状内周面122bの間には第2円環状空間124が形成されており、前記ローター103は、その中心103aから外側に向けて当該中心103aを中心として同心状に配置された第1円筒131および第2円筒132と、前記第1、第2円筒131、132をその直径方向に貫通して延びる少なくとも一つのベーン装着溝137とを備えており、前記第1円筒131は、前記第1円環状空間123に偏芯した状態で配置され、当該第1円環状空間123を外周側空間123aと内周側空間123bに仕切っており、前記第2円筒132は、前記第2円環状空間124に偏芯した状態で配置され、当該第2円環状空間124を外周側空間124aと内周側空間124bに仕切っており、前記ベーンは、その長さ方向の中心から両端に向かって、当該中心に対して点対称の位置に形成された一対の第1櫛歯部分141、142および一対の第2櫛歯部分143、144を備え、前記第1櫛歯部分141、142は、両側から前記第1円形状外周面120aに接していると共に、前記第1円環状空間123の前記外周側空間123aおよび前記内周側空間123bを複数の前記圧縮室155、156に仕切っており、前記第2櫛歯部分143、144は、前記第2円環状空間124の前記外周側空間124aおよび前記内周側空間124bを複数の前記圧縮室153、154に仕切っており、前記ローター103の回転に伴って前記ベーン104の前記第1櫛歯部分141、142が前記第1円形状外周面120aに沿って摺動することにより、当該ベーン104が前記ベーン装着溝137に沿って往復スライド運動を行うことを特徴としている。ここで、前記ステーター102は、前記第1円形状外周面120aを備えた円筒状あるいは円柱状のベーンガイド120と、この外側に同心状に配置され、前記第1円形状内周面121bおよび前記第2円形状外周面121aを備えた第1円筒状部分121と、この外側に同心状に配置され、前記第2円形状内周面122bを備えた第2円筒状部分122とを備えた構成とすることができる。本発明のベーン式圧縮機100、100Aでは、ベーン104の一対の第1櫛歯部分141、142の間にベーンガイド120が挟まれた状態となっているので、ベーン104を、遠心力を利用してベーンガイド120に押し付けて往復移動させる必要がない。また、ベーン104の重心がローター103の回転中心に近い位置となり、ベーン104に作用する遠心力が小さくなる。よって、ベーン104とベーンガイド120の間の摩耗、摺動抵抗を大幅に抑制できる。特に、前記ベーンガイド120が回転自在に支持されている回転式ベーンガイドである場合には、一層効果的に、ベーン104とベーンガイド120の間の摩耗、摺動抵抗を低減できる。また、ベーンガイド120によって案内されるベーン104の第1櫛歯部分141によっても圧縮室155、156が形成されているので、スペースの利用効率が高く、多段化が容易である。さらに、ベーンガイド120の第1円形状外周面120aからベーン104の第1櫛歯部分141が外れないようにするためには、前記ベーン104の前記第1櫛歯部分141における前記ベーンガイド104の前記第1円形状外周面120aに当接している内側端面の幅寸法Wを、少なくとも、前記ローター回転中心と、前記ステーターの前記ベーンガイドの中心との間の偏芯量Δの2倍にすればよい。また、ステーター102は、ベーンガイド120を、その中心軸線の方向に沿って、ベーン104に押し付けている弾性部材176を有していることが望ましい。このようにすれば、ローター側のベーンとステーター側の部位との間の軸線方向の位置を適切に設定することができる。なお、本発明のベーン式圧縮機100Aにおいて、前記ローター103は、その中心103aにおいて直角に交差する一対の前記ベーン装着溝137A、137Bを備えており、前記ベーン装着溝のそれぞれに、前記ベーン104がスライド可能な状態で装着されている構成を採用することも可能である。本発明のベーン式圧縮機では、ステーターの側に形成した円環状空間に、ローター側の円筒を偏芯配置して、円環状空間を外周側空間および内周側空間に仕切っている。また、ベーンを、ローター側に設けたベーン装着溝にスライド可能に装着し、ローターの回転に伴ってベーンをベーン装着溝に沿って往復スライド運動させながら、ステーター側の円環状空間に沿ってその円周方向に移動させるようにしている。この構成によれば、ステーター側の円環状空間およびローター側の円筒を同心状に多段化することにより、簡単に、圧縮室を同心状に多段化することができる。よって、少ない部品点数で容易に圧縮室を多段化できるので、高圧縮比のベーン式圧縮機を安価に実現できる。また、本発明を真空ドライポンプに応用すれば、到達圧力に優れた安価なドライ真空ポンプを得ることができる。以下に、図面を参照して本発明を適用したベーン式圧縮機の実施の形態を説明する。実施の形態1図1を参照して実施の形態1に係るベーン式圧縮機を説明する。ベーン式圧縮機1Aは、ステーター2と、このステーター2の内部に回転自在の状態で支持されているローター3と、これらステーター2およびローター3によって囲まれている空間を複数の圧縮室に仕切っている一対のベーン4とを備えている。ステーター2は、円筒状のホルダー5と、このホルダー5の前端側開口を封鎖しているステータープレート6とを備えている。ローター3には、その半径方向にスライド可能な状態で一対のベーン4が装着されている。本例では、180度の角度間隔、すなわち、直径方向に一対のベーン4が一直線上に配列されている。ホルダー5の後端面には同軸状にモーター7が取り付けられており、モーター7によってローター3が回転駆動される。ホルダー5は、後側が小径の円筒部分11となっており、前側が大径の円筒状部分12となっている。小径の円筒部分11の後端面にはモーター7が取付フランジ7aを介して同軸状態に連結固定されている。小径の円筒部分11の内部には、ローター3の後側支軸14が、軸受13を介して、回転自在の状態で支持されている。軸受13の前後にはシール15、16が取り付けられ、後側支軸14とホルダー5の円筒部分11の内周面との間が密閉されている。後側支軸14の後側の軸端部は、軸継ぎ手17を介して、後側から挿入されているモーター回転軸7bの先端部に同軸状に連結固定されている。ホルダー5の大径の円筒状部分12の前端にはステータープレート6が同軸状態に固定されている。ステータープレート6は、円筒状部分12と同一の輪郭形状をしている円盤状のものであり、このステータープレート6における内側端面からは、同心状に、複数の円筒状部分、本例では、第1円筒状部分21および第2円筒状部分22が突出している。内側の第1円筒状部分21と、その外側の第2円筒状部分22との間、および、第2円筒状部分22と外側の円筒状部分12第3円筒状部分との間に、それぞれ、円環状空間23、24が形成されている。第1円筒状部分21、第2円筒状部分22および円筒状部分12は、それらの中心2aステーター中心が、ローター回転中心3aに対して一定の偏芯量Δだけ偏芯している。したがって、円環状空間23、24も同一量だけローター回転中心3aに対して偏芯している。次に、ローター3は円盤部分31を備えており、この円盤部分31は、ステータープレート6に対して一定の間隔で対峙しており、その円形端面31aには、ステータープレート6の側に形成されている第1、第2円筒状部分21、22の先端面が微小隙間で対峙している。円盤部分31の後側には後側支軸14が一体形成されており、その前側には同軸状に前側支軸32が一体形成されている。前側支軸32の軸先端部は、ステータープレート6の内側端面に形成した凹部に取り付けた軸受33を介して、ステータープレート6の側に回転自在の状態で支持されている。また、前側支軸32とステータープレート6の間はシール34によって密閉されている。ローター3の円盤部分31の円形端面31aには、ローター回転中心3aを中心として、同心状に複数の円筒、本例では2つの円筒35、36が一体形成されている。内側の円筒35第1円筒はステーター2側の内側の円環状空間23に突入しており、この円筒35の円環状の先端面がステータープレート6の内側端面6cに微小隙間で対峙している。外側の円筒36第2円筒も、ステーター2側の外側の円環状空間24に突入しており、この円筒36の円環状の先端面がステータープレート6の内側端面6cに微小隙間で対峙している。これにより、内側の円環状空間23は円筒35によって内周側空間23bと外周側空間23aに仕切られており、外側の円環状空間24は円筒36によって内周側空間24bと外周側空間24aに仕切られている。ローター側の円筒35、36は、それぞれ、ステーター側の円環状空間23、24に対して偏芯量Δだけ偏芯した状態で組み込まれている。本例では、図1aに示すように、円筒35、36の円形外周面35a、36aは、それらの1つの直径方向Lにおける一方の端において微小隙間で円筒状部分22の内周面22bおよび円筒状部分12の内周面12bに対峙し、直径方向Lの反対側の端においては最大隙間で円筒状部分22、12の内周面22b、12bに対峙している。したがって、内側の円環状空間23の外周側空間23aは、直径方向Lの一方の端から円周方向に沿って反対側の端に向けて幅が漸増し、当該端から他方の端に向けて逆に幅が漸減している。内周側空間23bは、円周方向に沿って逆の状態で幅が変化している。外側の円環状空間24の外周側空間24aは外周側空間23aと同様に幅が変化し、内周側空間24bは内周側空間23b同様に幅が変化している。次に、ローター3には半径方向に延びる一対のベーン装着溝37が形成されている。これらのベーン装着溝37にはベーン4のそれぞれがベーン装着溝37に沿ってスライド可能な状態で装着されている。各ベーン装着溝37はローター回転中心3aの近傍位置から半径方向の外方に直線状に延びる一定幅の溝であり、ローター3の円盤部分31の円形端面31aに形成されている一定深さの溝部分37aと、当該溝部分37aに対峙する円筒35、36の部分を半径方向に貫通しているスリット部分37b、37cとを備えている。ベーン装着溝37にスライド可能に装着されているベーン4は、円盤部分31の溝部分37aに装着されている一定幅の連結板部分40と、この連結板部分40から一定の間隔で突出している複数本の櫛歯部分、本例では3本の櫛歯部分41、42、43とを備えている。ローター回転中心3aの側に位置している櫛歯部分41第1櫛歯部分は、内側の円筒状部分21の内周側に位置しており、その先端面41cはステータープレート6側の内側端面6cに対して微小隙間非接触状態で対峙しており、その外周側端面41aは円筒状部分21の内周面21bに接触可能となっている。ローター3が回転すると、ベーン4は遠心力によって外方に押され、ベーン装着溝37に沿って外方にスライドする。この結果、ベーン4の第1櫛歯部分41の外周側端面41aは円筒状部分21の内周面21bに押し付けられるので、ローター3の回転に伴って、ベーン4は、当該内周面21bに沿って摺動する。換言すると、円筒状部分21の内周面21bがベーンガイド面として機能して、ローター3の回転に伴うベーン4の往復スライド運動を制御することになる。これに対して、櫛歯部分42第2櫛歯部分は、内側の円筒35のスリット部分37bおよび内側の円環状空間23内に位置しており、その先端面42cはステータープレート6側の内側端面6cに対して微小隙間非接触状態で対峙している。また、櫛歯部分41第1櫛歯部分が円筒状部分21の内周面21bに当接した状態においては、櫛歯部分42の外周側端面42aは円筒状部分22の内周面22bに対して微小隙間非接触状態で対峙し、その内周側端面42bは円筒状部分21の外周面21aに対して微小間隔非接触状態で対峙するようになっている。同様に、最も外側に位置する櫛歯部分43も、外側の円筒36のスリット部分37cおよび外側の円環状空間24に位置しており、その先端面43cはステータープレート6側の内側端面6cに対して微小隙間非接触状態で対峙している。また、櫛歯部分41が円筒状部分21の内周面21bに当接した状態においては、櫛歯部分43の外周側端面43aは円筒状部分12の内周面12bに対して微小隙間非接触状態で対峙しており、その内周側端面43bは円筒状部分22の外周面22aに対して微小間隔非接触状態で対峙するようになっている。ここで、櫛歯部分42、43を、一定の微小間隔を保った状態で、円筒状部分21、22、12の外周面、内周面に沿って回転させるために、本例では次のように円筒状部分21、22の内周面、外周面、および、円筒状部分12の内周面の形状が規定されている。すなわち、円筒状部分21の内周面21bの輪郭形状は、これに対峙しているベーン4の櫛歯部分41の外周側端面41aの回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定されている。また、円筒状部分21の外周面21a、円筒状部分22の内周面22bの輪郭形状は、これらに対峙しているベーン4の櫛歯部分42の内周側端面42bおよび外周側端面42aの回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定されている。同様に、円筒状部分22の外周面22aおよび円筒状部分12の内周面12bの輪郭形状は、これらに対峙している櫛歯部分43の内周側端面43bおよび外周側端面43aの回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定されている。上記のように、ベーン4の櫛歯部分42、43によって、各円環状空間23、24の外周側空間23a、24aおよび内周側空間23b、24bがそれぞれ2つの圧縮室に仕切られている。すなわち、図1aに示すように、円環状空間24の外周側空間24aが、櫛歯部分43によって2つの第1段圧縮室51に仕切られており、円環状空間24の内周側空間24bが2つの第2段圧縮室52に仕切られている。また、内側の円環状空間23の外周側空間23aが、櫛歯部分42によって2つの第3段圧縮室53に仕切られており、内周側空間23bが櫛歯部分42によって2つの第4段圧縮室54に仕切られている。また、円筒状部分12には、ローター3の回転に伴って第1段圧縮室51の容積が漸増する回転角度範囲内の部位、本例では直径方向Lに対して90度回転した角度位置の部位に、外部から流体を吸入するための吸入口55が形成されている。ステータープレート6の内側端面6cには、ローター3の回転に伴って第1段圧縮室51の容積が漸減する回転角度範囲内の部位、本例では吸入口55から180度回転した部位に、第1段圧縮室51と第2段圧縮室52との間の連通口56が形成されている。同様に、ステータープレート6には、第2段圧縮室52と第3段圧縮室53との連通口57、および、第3段圧縮室53と第4段圧縮室54との連通口58が形成されている。さらに、ステータープレート6には、最終段の第4段圧縮室54から圧縮流体を吐出するための吐出口59が形成されている。図2を参照してベーン式圧縮機1Aの動作を説明する。モーター7によってローター3を回転すると、ローター3と一緒に一対のベーン4がローター回転中心3a回りに回転する。ベーン4は、ローター3に対してその半径方向にスライド可能であるので、回転に伴って発生する遠心力によって半径方向の外方に押されながら回転する。すなわち、ベーン4の最も中心側の櫛歯部分41が最も内側の円筒状部分21の内周面21bに沿って摺動する。ベーン4の櫛歯部分42、43によって仕切られている第1段圧縮室51~第4段圧縮室54は、ベーン4の回転毎に、容積増加に伴う流体吸入行程および容積減少に伴う流体圧縮吐出行程を繰り返し、次段の圧縮室に圧縮流体を送り出す。また、最終段の第4圧縮室54からは圧縮流体が吐出口59から吐き出される。本例のベーン式圧縮機1Aでは、ステーター2側の円筒状部分21、22の数、ローター3側の円筒35、36の数、および、ベーン4の櫛歯部分42、43第2櫛歯部分の数を増やすことにより、同心状に容積圧縮室を多段に設けることができる。したがって、少ない部品点数で圧縮性能の高いベーン式圧縮機を簡単な構成で安価に製造できる。また、同心状に各段の圧縮室が配列されているので、これらの間を連通する連通路も簡単に形成することができる。したがって、ベーン式圧縮機1Aは、到達圧力に優れた安価なドライ真空ポンプ等として用いることができる。また、遠心力によって半径方向の外方に押し出されるベーン4は、周速の遅い中心側の櫛歯部分41のみが固定側の円筒状部分21の内周面21bに沿って摺動する。これ以外の部分は非接触状態で回転する。したがって、ベーン4と、これが摺動する円筒状部分21の部位の間の摩耗を低減することができ、これらの部品の寿命を延ばすことができる。また、ベーン4の摺動抵抗を低減できるので、ベーン式圧縮機1Aの損失動力を低減できる。さらに、円筒状部分21の外周面形状、円筒状部分22の内外周面形状、円筒状部分12の内周面形状を、これらに対峙しているベーン4の櫛歯部分41~43の部位の回転軌跡またはその近似曲線を用いて規定している。これにより、櫛歯部分42、43と円筒状部分21、22、12との間を最適な一定の微小隙間で対峙した非接触状態に維持することができる。なお、本例では、一対のベーン4を備えているが、ベーンの個数は3個以上であってもよい。実施の形態2図3を参照して実施の形態2に係るベーン式圧縮機を説明する。ベーン式圧縮機1Bの基本構成は実施の形態1に係るベーン式圧縮機1Aと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、それらの部位の説明を省略する。ベーン式圧縮機1Bにおいては、ベーン式圧縮機1Aにおけるステーター側の最も内側に位置している円筒状部分21の代わりに、ステータープレート6の側に回転可能な状態で取り付けたベーンガイド21Bを備えている。ベーンガイド21Bは、ステータープレート6の中心部分に形成した凹部に軸受33Bを介して回転自在の状態に支持されている支軸部分61と、この支軸部分61の端に一体形成されている円盤部分62と、この円盤部分62の端面外周縁部分に一体形成されている円筒状部分63とを備えている。円筒状部分63の先端63cはローター3の円形端面31aに対して微小隙間で対峙している。円筒状部分63の内周面63bはベーン4の案内面として機能する。すなわち、ローター3の回転に伴って生ずる遠心力によって、ベーン4の櫛歯部分41第1櫛歯部分の外周側端面41aが、当該内周面63bに押し付けられた状態で摺動し、ベーン4の往復スライド運動が制御される。ベーンガイド21Bは回転可能な状態でステータープレート6の側に支持されている。したがって、ローター3の回転に伴って回転するベーン4によって当該ベーンガイド21Bは連れ回る。ベーン4の回転中心であるローター回転中心3aと、ベーンガイド21Bの中心であるステーター中心2aとは偏芯量Δだけずれているので、その分、双方の部材の間に滑りが発生するが、ベーンガイド21Bが連れ回りしない場合に比べて、双方の部材の間の滑り速度を大幅に低減できる。よって、これらの部材の間の摩耗を低減でき、これらの部材の間の摺動抵抗も大幅に低減できる。なお、本例のベーン式圧縮機1Bでは、ローター3はホルダー5によって片持ち状態に支持されており、ローター3の円盤部分31には、実施の形態1のベーン式圧縮機1Aにおける前側支軸32が備わっていない。したがって、円盤部分31に形成されている一対のベーン装着溝37の溝部分37aは連続した1本の溝として形成してある。実施の形態3図4を参照して本発明を適用した実施の形態3に係るベーン式圧縮機を説明する。ベーン式圧縮機100は、ステーター102と、このステーター102の内部に回転自在の状態で支持されているローター103と、これらステーター102およびローター103によって囲まれている空間を複数の圧縮室に仕切っているベーン104一体型ベーンとを備えている。ステーター102は、円筒状のホルダー105と、このホルダー105の前端側開口を封鎖しているステータープレート106とを備えている。ローター103には、その直径方向にスライド可能な状態でベーン104が装着されている。ホルダー105の後端面には同軸状にモーター107が取り付けられており、モーター107によってローター103が回転駆動される。ホルダー105は、後側が小径の円筒部分111となっており、前側が大径の円筒状部分112となっている。小径の円筒部分111の後端面にはモーター107が取付フランジ107aを介して同軸状態に連結固定されている。小径の円筒部分111の内部には、一対の軸受113を介して、ローター103の後側支軸114が回転自在の状態で支持されている。軸受113の前後にはシール115、116が取り付けられており、後側支軸114とホルダー105の円筒部分111の内周面との間が密閉されている。後側支軸114の後側の軸端部は、軸継ぎ手117を介して、後側から挿入されているモーター回転軸107bの先端部に同軸状に連結固定されている。ホルダー105の大径の円筒状部分112の前端にはステータープレート106が同軸状態に固定されている。ステータープレート106は、円筒状部分112と同一の輪郭形状をしている円盤状のものであり、このステータープレート106における内側端面106cの中心部には、ローター103の回転に伴ってベーン104を直径方向に往復スライド運動させるための円筒状のベーンガイド120がステーター中心102aと同心状に取り付けられている。また、内側端面106cには、このベーンガイド120を同心状に取り囲む複数の円筒状部分、本例では、第1円筒状部分121および第2円筒状部分122が形成されている。ベーンガイド120と内側の第1円筒状部分121の間、第1円筒状部分121と外側の第2円筒状部分122との間、および、第2円筒状部分122と外側の円筒状部分112との間に、それぞれ、円環状空間123、124、125が形成されている。ステーター中心102aは、ローター回転中心103aに対して偏芯量Δだけ偏芯している。したがって、円環状空間123、124、125もローター回転中心103aに対して一定の偏芯量Δだけ偏芯している。次に、図4cに示すように、ローター103は円盤部分130を備えており、この円盤部分130は、ステータープレート106に対して一定の間隔で対峙している。円盤部分130の円形端面130aには、ステータープレート106の側に取り付けたベーンガイド120の端面120cが当接していると共に、第1、第2円筒状部分121、122の先端面121c、122cが微小隙間で対峙している。円盤部分130の後側には後側支軸114が一体形成されている。ローター103の円盤部分130の円形端面130aには、ローター回転中心103aを中心として、同心状に複数の円筒、本例では3つの円筒131、132、133が一体形成されている。内側の円筒131はステーター102側の内側の円環状空間123に突入しており、その先端面がステータープレート106の端面106cに微小隙間で対峙している。同様に外側の円筒132、133も、それぞれ、ステーター102側の円環状空間124、125に突入しており、それらの先端面がステータープレート106の端面106cに微小隙間で対峙している。各円筒131~133によって、各円環状空間123~125は、それぞれ、内周側空間123b、124b、125bと外周側空間123a、124a、125aに仕切られている。図4aに示すように、円筒131~133の円形外周面131a~133aは、それらの1つの直径方向Lにおける一方の端において微小隙間で円筒状部分121、122、112の内周面121b、122b、112bに対峙し、直径方向Lの反対側の端においては最大隙間で円筒状部分121、122、112の内周面121b、122b、112bに対峙している。したがって、内側の円環状空間123の外周側空間123aは、直径方向Lの一方端から円周方向に沿って反対側の他方端に向けて幅が漸増し、当該他方端から一方端に向けて逆に幅が漸減している。内周側空間123bは、円周方向に沿って逆の状態で幅が変化している。内側の円環状空間124、125の外周側空間124a、125aは外周側空間123aと同様に幅が変化し、内周側空間124b、125bは内周側空間123b同様に幅が変化している。次に、ローター103には直径方向に延びるベーン装着溝137が形成されている。このベーン装着溝137にはベーン104が当該ベーン装着溝137に沿ってスライド可能な状態で装着されている。ベーン装着溝137はローター回転中心103aを通って直径方向に直線状に延びる一定幅の溝であり、ローター103の円盤部分130の円形端面130aに形成されている一定深さの溝部分137aと、当該溝部分137aに対峙する円筒131~133の部分を半径方向に貫通しているスリット部分137b、137c、137dとを備えている。ベーン装着溝137にスライド可能に装着されているベーン104は、円盤部分130の溝部分137aに装着されている一定幅の連結板部分140と、この連結板部分140から一定の間隔で突出している複数本の櫛歯部分、本例では6本の櫛歯部分141~146とを備えている。これらの櫛歯部分141~146は、ローター回転中心103aを挟み点対称に形成されている。ローター回転中心103aの側に位置している一対の櫛歯部分141、142は、内側の円環状空間123内に位置しており、それらの先端面141cはステータープレート106側の内側端面106cに対して微小隙間非接触状態で対峙しており、それら内周側端面141bはベーンガイド120の外周面120aに接している。ローター103が回転すると、これと一緒に回転するベーン104の櫛歯部分141、142の間にはベーンガイド120が挟まれているので、ベーン104はベーンガイド120の外周面120aによって案内されて、ベーン装着溝137に沿ってローター直径方向に往復スライド運動しながら回転する。これに対して、櫛歯部分141の外周側端面141aは円筒状部分121の内周面121bに対して微小隙間非接触状態で対峙した状態で回転する。また、外側の一対の櫛歯部分143、144は、円環状空間124内に位置しており、その先端面143c、144cは、ステータープレート106側の内側端面106cに対して微小間隔非接触状態で対峙している。また、これらの櫛歯部分143、144は、それらの内周側端面143b、144bは円筒状部分121の外周面121aに対して微小隙間非接触誦応対で対峙し、それらの外周側端面143a、144aは円筒状部分122の内周面122bに対して微小隙間非接触状態で対峙している。同様に、最も外側に位置している一対の櫛歯部分145、146は円環状空間125内に位置しており、その先端面145a、146cはステータープレート106の内側端面106cに対して微小隙間非接触状態で対峙している。また、これらの櫛歯部分145、146は、それらの内周側端面145b、146bが円筒状部分122の外周面122aに対して微小隙間で対峙し、それらの外周側端面145a、146aが円筒状部分112の内周面112bに対して微小隙間で対峙している。ここで、櫛歯部分141~146を、上記のように円筒状部分121、122、112に対して一定の微小間隔を保った状態で回転させるために、本例では次のように、ベーンガイド120の外周面120aの形状、円筒状部分121、122の内周面、外周面の形状、および、円筒状部分112の内周面の形状が規定されている。すなわち、ベーンガイド120の外周面120aの輪郭形状は、これに対峙しているベーン104の櫛歯部分141、1142の内周側端面141b、142bの回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定されている。同様に、円筒状部分121、122の内周面121b、122b、外周面形状121a、122a、円筒状部分112の内周面112bの輪郭形状は、これらに対峙しているベーン4の櫛歯部分の部位の回転軌跡または当該回転軌跡の近似曲線によって規定されている。上記のように、ベーン104の櫛歯部分141~146によって、各円環状空間123、124、125の外周側空間123a、124a、125aおよび内周側空間123b、124b、125bがそれぞれ2つの圧縮室に仕切られている。すなわち、図4aに示すように、円環状空間125の外周側空間125aが、櫛歯部分146、145によって2つの第1段圧縮室151に仕切られており、その内周側空間125bが櫛歯部分146、145によって2つの第2段圧縮室152に仕切られている。また、円環状空間124の外周側空間124aが、櫛歯部分144、143によって2つの第3段圧縮室153に仕切られており、内周側空間124bが櫛歯部分144、143によって2つの第4段圧縮室154に仕切られている。さらに、円環状空間123の外周側空間123aが、櫛歯部分142、141によって2つの第5段圧縮室155に仕切られており、その内周側空間123bが櫛歯部分142、141によって2つの第6段圧縮室156に仕切られている。また、円筒状部分112には、ローター103の回転に伴って第1段圧縮室151の容積が漸増する回転角度範囲内の部位、本例では直径方向Lに対して90度回転した角度位置の部位に、外部から流体を吸入するための吸入口161が形成されている。ステータープレート106の内側端面106cには、ローター103の回転に伴って第1段圧縮室151の容積が漸減する回転角度範囲内の部位、本例では吸入口161から180度回転した部位に、第1段圧縮室151と第2段圧縮室152との間の連通口162が形成されている。同様に、ステータープレート106には、第2段圧縮室152と第3段圧縮室153との連通口163、第3段圧縮室153と第4段圧縮室154との連通口164、第4段圧縮室154と第5段圧縮室155との連通口165、第5段圧縮室155と第6段圧縮室156の連通口166が形成されている。さらに、ステータープレート106には、最終段の第6段圧縮室156から圧縮流体を吐出するための吐出口167が形成されている。ここで、本例のベーンガイド120は、ステータープレート106の中心部分に回転自在の状態で取り付けられている。ベーンガイド120は、円筒状部分171と、この円筒状部分171におけるローター側の端を封鎖する状態に一体形成されている円盤部分172とを備えており、円盤部分172の端面120cは、ローター103の円盤部分130の円形端面130aに接している。円筒状部分171の内部には、ステータープレート106の外側の端面106bの側から装着された軸部材173が同軸状態に挿入されている。円筒状部分171は、軸受174を介して、軸部材173によって回転自在の状態で支持されている。また、軸部材173と円筒状部分171の間はシール175によって密閉されている。さらに、軸受174の端面とベーンガイド120の円盤部分172の内側の端面との間にはウエーブワッシャー176弾性部材が挿入されている。このウエーブワッシャー176によって、ベーンガイド120はローター103の円盤部分130円形端面130aに対して押しつけられている。したがって、当該円形端面130aを直径方向に延びているベーン装着溝137の溝部分137aに装着されているベーン104の連結板部分140が、ベーンガイド120によって溝部分137aに押し付けられている。このように、ローター103およびベーン104が、ホルダー5に対してローター中心軸線方向に押し付けられて、それらのローター中心軸線の方向の位置が規定されている。よって、ステータープレート106の端面106cと、ローター側の円筒131~133の先端面131c~133cとの間を微小隙間で非接触状態に保持できる。また、ローター側の円盤部分130の円形端面130aと、ステーター側の円筒状部分121、122の先端面121c、122cとの間を微小隙間で非接触状態に保持できる。なお、回転時に、ベーンガイド120の外周面120aからベーン104の櫛歯部分141、142が外れないようにするためには、図4dに示すように、ベーン104の櫛歯部分141、142におけるベーンガイド120の外周面120aに当接している内周側端面の幅寸法Wを、少なくとも、ローター回転中心103aとステーター中心102aの間の偏芯量Δの2倍にしておけばよい。図5を参照してベーン式圧縮機100の動作を説明する。モーター107によってローター103を回転すると、ローター103と一緒にベーン104がローター回転中心103a回りに回転する。ベーン104は、ローター103に対してその直径方向にスライド可能であり、ローター回転中心103aに位置するベーンガイド120の外周面120aによって案内されて、直径方向に往復スライド運動しながら回転する。この結果、第1段~第6段の圧縮室151~156が実質的にベーン104の各櫛歯部分141~146によって密閉された状態でローター103と共に回転して、それらの容積は、ローター103が180度回転する毎に増加および減少を繰り返す。よって、各圧縮室151~156において順次に流体が圧縮されて、最終段の圧縮室156から高圧縮比で圧縮された圧縮流体が吐出される。本例のベーン式圧縮機100では、ステーター側の円筒状部分の数、ローター側の円筒の数、および、ベーンの櫛歯部分の数を増やすことにより、同心状に容積圧縮室を多段に設けることができる。したがって、少ない部品点数で圧縮性能の高いベーン式圧縮機を簡単な構成で安価に製造できる。また、同心状に各段の圧縮室が配列されているので、これらの間を連通する連通路も簡単に形成することができる。したがって、ベーン式圧縮機100は、到達圧力に優れた安価なドライ真空ポンプ等として用いることができる。また、ベーン104の一対の櫛歯部分141、142の間にベーンガイド120が挟まれた状態となっているので、ベーン104を、遠心力を利用してベーンガイド120の内周面に押し付けて往復移動させる必要がない。また、ベーン104の重心がローターの回転中心に近い位置となり、ベーン104に作用する遠心力が小さくなる。よって、ベーン104とベーンガイド120の間の摩耗、摺動抵抗を大幅に抑制できる。特に、本例では、ベーンガイド120が、ステーター側に回転自在に支持されているので、一層効果的に、ベーンとベーンガイドの間の摩耗、摺動抵抗を低減できる。また、ベーンガイド120によって案内されるベーン104の櫛歯部分141、142によって最終段の圧縮室156が形成されているので、スペースの利用効率が高く、多段化が容易である。さらに、ローター103およびベーンガイド120は、ウエーブワッシャー176によって、その中心軸線の方向に沿ってステーター102のホルダー105の側に押し付けられている。したがって、ステーター102に対するローター103およびベーン104の中心軸線方向の位置が規定され、これらの軸線方向の相対位置を精度よく設定することができる。実施の形態4図6を参照して、本発明を適用した実施の形態4に係るベーン式圧縮機を説明する。本実施の形態に係るベーン式圧縮機100Aは、基本的に、実施の形態3に係るベーン式圧縮機100と同様な構成であるので、ベーン式圧縮機100の各部に対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。ベーン式圧縮機100Aは2つのベーン104A、104Bを備えており、ベーン104Aはベーン装着溝137Aに摺動可能な状態で保持されており、ベーン104Bはベーン装着溝137Bに摺動可能な状態で保持されている。すなわち、ベーン装着溝137A、137Bは相互に直交する方向に延びており、それぞれ、ローター103の中心103aを通る状態に形成されている。これらのベーン装着溝137A、137Bのそれぞれは、ローター回転中心103aを通って直径方向に直線状に延びる一定幅の溝であり、基本的には、前述のベーン装着溝137と同一である。したがって、ベーン装着溝137A、137Bにおける溝部分137aは、それらの中心において重なる状態に形成されている。図7a~dを参照して、ベーン装着溝137Aにスライド可能に装着されているベーン104A、および、ベーン装着溝137Bにスライド可能に装着されているベーン104Bを説明する。これらの図に示すように、双方のベーン104A、104Bは全体的に同一構成であり、基本的に実施の形態3のベーン式圧縮機100におけるベーン104と同一構成である。異なる点は、これらのベーン104A、104Bを直交させた状態で、ベーン装着溝137A、137Bに装着できるように、矩形の切欠き部104a、104bが形成されていることである。すなわち、一方のベーン104Aには、その連結板部分140の長さ方向の中央部分において下側端面の側に矩形の切欠き部104aが形成されており、他方のベーン104Bには、その連結板部分140の長さ方向の中央部分において上側端面の側から矩形の切欠き部104bが形成されている。直交する状態に配置されている2つのベーン104A、104Bの櫛歯部分141~146によって、各円環状空間123、124、125の外周側空間123a、124a、125aおよび内周側空間123b、124b、125bがそれぞれ4つの圧縮室に仕切られている。すなわち、図6aに示すように、最も外側の円環状空間125の外周側空間125aは、ベーン104Aの櫛歯部分146、145と、ベーン104Bの櫛歯部分146、145とによって、4つの第1段圧縮室151に仕切られている。円環状空間125の内周側空間125bは、ベーン104Aの櫛歯部分146、145と、ベーン104Bの櫛歯部分146、145とによって、4つの第2段圧縮室152に仕切られている。同様に、円環状空間124の外周側空間124aは、一対の櫛歯部分144と一対の櫛歯部分143によって、4つの第3段圧縮室153に仕切られている。円環状空間124の内周側空間124bは、一対の櫛歯部分144と一対の櫛歯部分143によって、4つの第4段圧縮室154に仕切られている。円環状空間123の外周側空間123aは、一対の櫛歯部分142と一対の櫛歯部分141によって、4つの第5段圧縮室155に仕切られており、その内周側空間123bは一対の櫛歯部分142と一対の櫛歯部分141によって、4つの第6段圧縮室156に仕切られている。なお、吸入口161、連通口162~166および吐出口167は、前述のベーン式圧縮機100と同一位置に形成されている。この構成のベーン式圧縮機100Aでは、モーター107によってローター103を回転すると、ローター103と一緒に一対のベーン104A、104Bが直交状態のままローター回転中心103a回りに回転する。ベーン104A、104Bは、それぞれ、ローター103に対して直交する直径方向にスライド可能なので、これらのベーン104A、104Bは、ローター回転中心103aに位置するベーンガイド120の外周面120aによって案内されて、直径方向に往復スライド運動しながら回転する。この結果、第1段~第6段の圧縮室151~156が実質的にベーン104A、104Bの各櫛歯部分141~146によって密閉された状態でローター103と共に回転して、それらの容積は、ローター103が180度回転する毎に増加および減少を繰り返す。よって、各圧縮室151~156において順次に流体が圧縮されて、最終段の圧縮室156から高圧縮比で圧縮された圧縮流体が吐出される。ベーン式圧縮機100Aによっても、前述のベーン式圧縮機100と同様な作用効果が得られる。