"基板を保持するステージと、前記ステージに対向して配置されインクジェット法により機能性インクをノズルから吐出して前記基板上に塗布する液体吐出ヘッドと、を有し、前記ステージ及び/又は液体吐出ヘッドを相対的に移動させて前記基板上に機能性インクを吐出し任意のパターンで塗布する液体吐出塗布機構部と、前記基板上の機能性インクを加熱し結晶化させて機能性薄膜とする加熱機構部と、を備え、前記液体吐出塗布機構部におけるステージは、前記液体吐出ヘッドの前記機能性インクを塗布するときの走査行路上に前記ノズルと摺擦するワイピングブレードを有することを特徴とする薄膜製造装置。前記ワイピングブレードは、前記ステージ上の前記液体吐出ヘッドの走査行路における走査方向の一方の端部側または両端部側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜製造装置。前記ワイピングブレードの前記ノズルと摺擦する部分は可撓性を有することを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜製造装置。前記ワイピングブレードは、前記ノズルと摺擦する部分に前記機能性インクの溶媒を供給する溶媒供給手段を有することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の薄膜製造装置。請求項1~4のいずれかに記載の薄膜製造装置を用いて基板上に機能性薄膜を形成する薄膜製造方法であって、前記ステージ及び/又は液体吐出ヘッドを相対的に走査させながら、前記液体吐出ヘッドから機能性インクを吐出させて前記基板上に任意のパターンで塗布するインクジェット塗布工程と、前記基板上の機能性インクを加熱し結晶化させて機能性薄膜とする加熱工程と、を備え、前記インクジェット塗布工程は、前記ステージ及び/又は液体吐出ヘッドの走査ごとの走査開始時及び/又は走査終了時に、前記ワイピングブレードが前記ノズルと摺擦するワイピング処理を有することを特徴とする薄膜製造方法。前記インクジェット塗布工程は、撥液部と親液部からなるパターンを形成した基板上に、前記機能性インクを塗布するものであることを特徴とする請求項5に記載の薄膜製造方法。請求項5または6に記載の薄膜製造方法により製造されてなる電気機械変換膜を有する電気機械変換素子であって、前記機能性インクは、強誘電体の前駆体インクであり、前記基板である第1の電極と、該第1の電極に対向して配置される第2の電極と、前記第1の電極及び第2の電極に狭持される前記電気機械変換膜と、を備えることを特徴とする電気機械変換素子。前記第2の電極が請求項5または6に記載の薄膜製造方法により製造されてなることを特徴とする請求項7に記載の電気機械変換素子。請求項7または8に記載の電気機械変換素子を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。請求項9に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とするインクジェットプリンタ。本発明は、以上の従来技術における課題に鑑みてなされたものであり、機能性インクの吐出安定性を有するインクジェット法による薄膜製造装置を提供することを目的とする。また、該薄膜製造装置を用いた薄膜製造方法、該薄膜製造方法により製造される電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、インクジェットプリンタを提供することを目的とする。前記課題を解決するために提供する本発明は、基板を保持するステージと、前記ステージに対向して配置されインクジェット法により機能性インクをノズルから吐出して前記基板上に塗布する液体吐出ヘッドと、を有し、前記ステージ及び/又は液体吐出ヘッドを相対的に移動させて前記基板上に機能性インクを吐出し任意のパターンで塗布する液体吐出塗布機構部と、前記基板上の機能性インクを加熱し結晶化させて機能性薄膜とする加熱機構部と、を備え、前記液体吐出塗布機構部におけるステージは、前記液体吐出ヘッドの前記機能性インクを塗布するときの走査行路上に前記ノズルと摺擦するワイピングブレードを有することを特徴とする薄膜製造装置である。本発明の薄膜製造装置によれば、ステージが液体吐出ヘッドの機能性インクを塗布するときの走査行路上にノズルと摺擦するワイピングブレードを有することにより、機能性インクの塗布時のステージ及び/又は液体吐出ヘッドの走査ごとにノズルのワイピング処理が行われるので、機能性インクの吐出安定性を確保することができる。薄膜製造装置以下に、本発明に係る薄膜製造装置の構成について説明する。まず、本発明に係る薄膜製造装置は、基板を保持するステージと、前記ステージに対向して配置されインクジェット法により機能性インクをノズルから吐出して前記基板上に塗布する液体吐出ヘッドと、を有し、前記ステージ及び/又は液体吐出ヘッドを相対的に移動させて前記基板上に機能性インクを吐出し任意のパターンで塗布する液体吐出塗布機構部と、前記基板上の機能性インクを加熱し結晶化させて機能性薄膜とする加熱機構部と、を備え、前記液体吐出塗布機構部におけるステージは、前記液体吐出ヘッドの前記機能性インクを塗布するときの走査行路上に前記ノズルと摺擦するワイピングブレードを有することを特徴とするものである。なお、加熱機構部において機能性インクを加熱する手段としては、ホットプレート、オーブン、あるいはハロゲンランプ、キセノンランプ、赤外線ランプ等の加熱手段や、YAGレーザ、CO2レーザ、Arレーザ等のレーザ照射手段を用いる。ここで、本発明の薄膜製造装置は、液体吐出塗布機構部に特徴を有するため、以下、該液体吐出塗布機構部について説明する。図1は、本発明に係る薄膜製造装置に用いられる液体吐出塗布機構部の構成例を示す斜視図である。図1に示すように、液体吐出塗布機構部はいわゆるインクジェット塗布装置であって、装置のベースとなる架台200と、架台200の上に設置され、ステージ203をY軸方向に移動させるY軸駆動手段201と、該Y軸駆動手段201の上に設置され、その上に基板202を保持しワイピングブレード212を有するステージ203と、ステージ203上に対向して配置され、機能性インクを吐出する液体吐出ヘッド以下、IJヘッド208と、ヘッドベース206を介してIJヘッド208を支持するとともにZ軸方向に移動させるZ軸駆動手段211と、IJヘッド208,ヘッドベース206及びZ軸駆動手段211を支持してX軸方向に移動させるX軸駆動手段205と、該X軸駆動手段205を支持するX軸支持部材204と、を備える。ここで、IJヘッド208は、図2に示すように、振動板540と、振動板540上に密着層500dを介して設けられた圧電素子である電気機械変換素子501と、機能性インクが充填される圧力室個別液室ともいう21と、機能性インクを吐出する液滴吐出孔であるノズル505が圧力室506に対応して設けられたノズル板504と、を有する。また、圧力室506は、振動板540と、圧力室基板503の壁面隔壁部と、ノズル板504と、で囲まれた空間である。また、振動板540の圧力室506とは反対面側に、密着層500d,下部電極500a,圧電体である電気機械変換膜500b,上部電極500cが積層されてなる電気機械変換素子501が形成されている。また、圧力室506の振動板540に対向する板面がノズル板504となっている。このように構成されたIJヘッド208において、各圧力室506内に液体、例えば機能性インクが満たされた状態で、図示しない制御部から所定のパターンデータに基づいて、発振回路により、記録性インクの吐出を行いたいノズル505に対応する上部電極500cに対して、パルス電圧を印加する。この電圧パルスを印加することにより、電気機械変換膜500bは、電歪効果により電気機械変換膜500bそのものが振動板540と平行方向に縮むことにより、振動板540が圧力室506側に凸となるように撓むことになる。これにより、圧力室506内の圧力が急激に上昇して、圧力室506に連通するノズル505から機能性インクが吐出されるようになる。このとき、ノズル505から数十~数百の液滴が連続的に吐出される。次に、パルス電圧印加後は、縮んだ電気機械変換膜500bが元に戻ることから撓んだ振動板540は、元の位置に戻り、機能性インクが共通液室533後述から圧力室506に供給される。以上の動作制御を繰り返すことにより、IJヘッド208は機能性インクの液滴を連続的に吐出できる。なお、不図示のインクタンクからインク供給用パイプ210を経由してIJヘッド208に機能性インクが供給されるようになっている。ステージ203は、真空、静電気などを利用して基板202をステージ203の主面上に吸着して保持する吸着手段を有する。また、ステージ203は、機能性インクを塗布するときのIJヘッド208の走査行路上にノズル505と摺擦するワイピングブレード212を有する。このワイピングブレード212は、ステージ203上のIJヘッド208の走査行路における走査方向の一方の端部側または両端部側に配置されることが好ましい。図1では、ワイピングブレード212は、ステージ203において、IJヘッド208が塗布時にY軸方向に移動走査するときの移動開始位置付近と移動終了位置付近それぞれに配置されており、Y軸駆動手段201によりステージ203とともにステージ203における配置が変わることなく移動するようになっている。また、ワイピングブレード212は、少なくとも基板202の幅X軸方向の長さと同じ長さをもつ平板形状のブレードであって、その長手方向をX軸方向としてZ軸方向ステージ203の主面に対して垂直方向に立設されている。このとき、ワイピングブレード212のZ軸方向の高さはその先端がIJヘッド208のノズル板504のノズル面基板202側に面する主面にわずかに接触する程度となっている。また、ワイピングブレード212の少なくともZ軸方向の先端部分、すなわちノズル505と摺擦する部分は可撓性を有する。これにより、機能性インク塗布のための走査のとき、IJヘッド208のY軸方向への走査開始時に、2つのワイピングブレード212の一方がIJヘッド208のノズル板504のノズル面と摺擦してワイピング処理が行われ、IJヘッド208のY軸方向への走査終了時に、2つのワイピングブレード212の他方がIJヘッド208のノズル板504のノズル面と摺擦してワイピング処理が行われる。なお、ワイピング処理とは、ワイピングブレード212がIJヘッド208のノズル板504のノズル面と摺擦して、ノズル505及びその近傍に付着した機能性インクを払拭する処理である。図3に、ワイピングブレード212の構成例1を示す。図3に示すように、ワイピングブレード212は、平板形状の支持部材213と、支持部材213の一端面に固設され、その先端がノズル板504のノズル面と接触するノズル接触部214とから構成されている。このうち、支持部材213は、ステージ203に用いられるような金属やセラミックなどからなり、ノズル接触部214がノズル板504と摺擦しても変形しない程度の剛性を有している。また、ノズル接触部214は、可撓性のあるシリコーン樹脂やゴム材などからなり、Z軸方向の先端に向かうにつれて厚みを薄くして、Y-Z平面における断面形状を凸形状としている。これにより、ワイピングブレード212の先端ノズル接触部214をIJヘッド208のノズル板504のノズル面に均等な圧力で接触させることができ、ノズル板504に付着した機能性インクを効率的に払拭することが可能となる。以上の構成の液体吐出塗布機構部により、IJヘッド208に対向して配置された基板202に所定パターンで機能性インクを塗布することが可能となる。またこのとき、IJヘッド208のY軸方向の走査ごとの走査開始時及び走査終了時に、ワイピングブレード212がノズル505と摺擦するワイピング処理が行われるようになる。詳しくは、機能性インクの塗布時に、つぎのように処理が行われる図4~図8。S11Z軸駆動手段211によりIJヘッド208がZ軸方向に移動し基板202との距離が調整された後、Y軸駆動手段201によりステージ203がY軸方向図1において、例えばY方向、図4において右方向に移動を開始する図4。S12ステージ203のY軸方向Y方向への移動開始直後に、2つのワイピングブレード212の一方図5において右側がIJヘッド208におけるノズル板504のノズル面と摺擦し、ワイピング処理を行う図5。なお、インク吐出前であるが、機能性インクによってはIJヘッド208を放置するとノズル面が圧力室506内の機能性インクで少し濡れる場合があり、このワイピング処理によりその機能性インクを払拭する。S13さらにステージ203がY軸方向Y方向へ移動しながら、入力されたパターンに基づきIJヘッド208から機能性インク209が吐出されステージ203とともに移動する基板202の所定位置に塗布を行う図6。このとき、前述の通り、機能性インクがノズル面においてノズル505及びその近傍に付着する。S14ステージ203のY軸方向Y方向への移動終了直前に、2つのワイピングブレード212の他方図7において左側がIJヘッド208におけるノズル板504のノズル面と摺擦し、ワイピング処理を行う図7。さらに、ステージ203がY軸方向Y方向へ移動して、Y軸方向の一走査が終了する図8。S15ついで、そのY軸方向の一走査が終わると、X軸駆動手段205によりIJヘッド208がX軸方向のつぎのY軸方向走査位置に移動する。S16ステップS11~S15の動作が行われる。この場合、ステージ203はY軸方向において逆方向Y-方向に移動する。以上のステップS11~S16が入力されたパターンが塗布されるまで繰り返し行われ、基板202に所定のパターンの機能性インクが塗布されることになる。このとき塗布するパターンにもよるが、通常、数十回の走査スキャンが行われる。なお、Y軸方向の走査に関してはIJヘッド208とステージ203との間で相対的に移動する構成であればどのような構成でもよく、ここではIJヘッド208を固定しステージ203を移動させる例を示したが、ステージ203を固定しIJヘッド208を移動する構成としてもよい。このように、機能性インクの塗布時において、IJヘッド208のY軸方向の走査ごとに、特別なIJヘッド208の走査制御を行うことなく、その一走査の前後でノズル505及びその付近のノズル板504に付着した機能性インクを払拭するので、ノズル詰まりを防止し、機能性インクの吐出安定性を確保することができ、目的のパターンの機能性インクの塗膜を形成することが可能となる。なお、従来のワイピングブレード212を有しない液体吐出塗布機構部では、塗布時の走査数が多いほど、ノズル面に付着する機能性インクの量や面積が増えるため、塗膜のパターン不良が発生しやすくなる。またここでは、ステージ203の両端部側にワイピングブレード212を有する構成を説明したが、図9に示すように、ステージ203上のIJヘッド208の走査行路における走査方向の一方の端部側図9において左側のみにワイピングブレード212を配置するようにしてみよい。ワイピングブレード212をステージ203の両端部側に配置するか、一方の端部側に配置するかは、機能性インクの安定性や塗布パターンを考慮して決定するとよい。また、ワイピングブレード212は、ノズル505と摺擦する部分に機能性インクの溶媒を供給する溶媒供給手段を有することが好ましい。PZT前駆体のように乾燥しやすい機能性インクを使用する場合、ノズル505に付着するとそのままではノズル詰まりが発生しやすくなる。そこで、溶媒供給手段によりワイピングブレード212におけるノズル505と摺擦する部分ノズル接触部214の先端に機能性インクの溶媒、例えば1-プロパノールやエタノールを供給するようにしてやると、前述のようにノズル接触部214の先端がノズル505と摺擦したときにノズル505に溶媒が供給され、そこに付着した機能性インクが乾燥固化することを防止することができ、その除去が容易になることからノズル詰まりを防止することが可能となる。図10~図13にその例を示す。図10は、ワイピングブレード212の構成例2を示す斜視図である。図10に示すように、支持部材213の底部からノズル接触部214の先端にかけてワイピングブレード212内部を通る溶媒供給チューブ215を設けており、ノズル接触部214の長手方向X軸方向中央部に溶媒を供給する構造となっている。図11は、ワイピングブレード212の構成例3を示す斜視図である。図11に示すように、ノズル接触部214の長手方向X軸方向端部からノズル接触部214の先端にかけてノズル接触部214内部を通る溶媒供給チューブ215を設けており、ノズル接触部214の長手方向X軸方向中央部に溶媒を供給する構造となっている。図12は、ワイピングブレード212の構成例4を示す斜視図である。図12に示すように、ノズル接触部214の先端ワイピングブレード212におけるノズル505と摺擦する部分にノズル接触部214の長手方向X軸方向に延びる溝部214aを設け、該溝部214aに図10または図11に示した溶媒供給チューブ215が接続されている。これにより、溶媒供給チューブ215から供給された溶媒が溝部214aに貯留され、ノズル接触部214の先端がノズル505と摺擦したときにノズル505に安定して溶媒を供給することができるので、確実にノズル詰まりを防止することが可能となる。なお、図12ではノズル接触部214の先端部分の平坦面の一部に溝部214aを設けるようにしていたが、図13に示すように、ノズル接触部214の先端部分の平坦面全面に溶媒を貯留する溝部214a’を設けるようにしてもよい。また、溶媒供給チューブ215から供給される溶媒をノズル505のワイピング処理に使用するだけではなく、ワイピングブレード212自体の洗浄に用いてもよい。機能性インクには固化しやすいものが多いため、ワイピング処理直後に溶媒を供給してワイピングブレード212に付着した機能性インクを洗い流すことによって、ワイピングブレード212を清浄な状態に保つことができる。薄膜製造方法次に、本発明に係る薄膜製造方法について説明する。本発明に係る薄膜製造方法は、前述した本発明の薄膜製造装置を用いて基板上に機能性薄膜を形成する薄膜製造方法であって、前記ステージ及び/又は液体吐出ヘッドを相対的に走査させながら、前記液体吐出ヘッドから機能性インクを吐出させて前記基板上に任意のパターンで塗布するインクジェット塗布工程と、前記基板上の機能性インクを加熱し結晶化させて機能性薄膜とする加熱工程と、を備え、前記インクジェット塗布工程は、前記ステージ及び/又は液体吐出ヘッドの走査ごとの走査開始時及び/又は走査終了時に、前記ワイピングブレードが前記ノズルと摺擦するワイピング処理を有することを特徴とするものである。ここで、前記インクジェット塗布工程は、撥液部と親液部からなるパターンを形成した基板上に、前記機能性インクを塗布するものであることが好適である。なお、機能性薄膜とは、後述する下部電極500a、電気機械変換膜500b、上部電極500cなどである。以下、本発明の薄膜製造方法の詳細について説明する。iSAM膜のパターニング図14に、SAM膜のパターニング方法を示す。ここでは、図14a,b,cに3つの方法を示す。パターニング方法1S21まず基板202を用意する。ここでは、例えば振動板540の表面にチオールとの反応性に優れたPtからなる密着層500dを形成したものを基板202として用いる図14a1。S22機能性溶液を用いて基板202表面に均一なSAM膜300を形成する図14a2。ここで用いる機能性溶液は、基板202に撥液性または親液性を付与するための有機分子含有溶液であり、例えばCnH2n1SHn=6~18で示されるアルカンチオール化合物やCnF2n1CH22SHで示されるフルオロアルキルチオール化合物等の撥液材料を用いることができる。また、所望の撥液性、あるいは基板202表面に対する反応性にしたがって材料種、あるいは濃度を適宜選択することができる。これらの化合物はアルコール、アセトン、トルエン、キシレン等の有機溶媒に溶解することにより、機能性溶液とする。この機能性溶液中に基板202を所定時間浸漬し、取り出した後に余分な分子を溶媒で置換洗浄し乾燥することにより、SAM膜300を形成する。S23ついで、従来公知のフォトリソグラフィ技術によりフォトレジスト300pをパターン形成する図14a3S24ステップS23の材料表面から酸素プラズマなどによりドライエッチングを行って露出しているSAM膜300を除去し、ついでフォトレジスト300pを除去して撥液部撥液性領域301、親液部親液性領域302からなる所定パターンのSAM膜300を得る図14a4。ここでは、SAM膜300が残存している領域が撥液部301となり、SAM膜300が除去された領域が親液部302となっている。パターニング方法2S31まず基板202を用意する。ここでは、例えば振動板540の表面にチオールとの反応性に優れたPtからなる密着層500dを形成したものを基板202として用いる図14b1。S32基板202表面に所定パターンのマスク層300rを形成する図14b2。マスク層300rは、従来公知のフォトリソグラフィ技術によりフォトレジスト膜から形成するとよい。S33機能性溶液を用いて基板202表面にSAM膜300を形成する図14b3。このとき、マスク層300rから露出している基板202表面にSAM膜300が形成される。S34マスク層300rを除去して、撥液部撥液性領域301、親液部親液性領域302からなる所定パターンのSAM膜300を得る図14b4。パターニング方法3S41まず基板202を用意する。ここでは、例えば振動板540の表面にチオールとの反応性に優れたPtからなる密着層500dを形成したものを基板202として用いる図14c1。S42パターニング方法1と同様に、機能性溶液を用いて基板202表面に均一なSAM膜300を形成する図14c2。S43ステップS42の材料の表面にフォトマスク300mを配置し、その上から紫外線を露光する図14c3。これにより、露光部分のSAM膜300は消失し、未露光部分のSAM膜300は残存し、撥液部撥液性領域301、親液部親液性領域302からなる所定パターンのSAM膜300を得る図14c4。本発明では、以上の3つのパターニング方法のいずれを用いてもよい。あるいは、マイクロコンタクトプリント法により、所望の撥液部撥液性領域301、親液部親液性領域302からなる所定パターンのSAM膜300を形成してもよい。なお、本工程により得られた基板202において、例えばSAM膜300が残存している領域では純水に対する接触角が92度と疎水性撥水性を示し、SAM膜300が除去され密着層500dが露出している領域では純水に対する接触角が54度と親水性を示す。ii機能性薄膜の形成本発明の薄膜製造装置を用いた機能性薄膜の形成においては、一度の成膜で得られる薄膜の厚さには限度があるため、インクジェット塗布工程及び加熱工程を繰り返し行い、積層することにより所定の膜厚の機能性薄膜を形成するとよい。図15に、本発明の薄膜製造装置を用いて機能性薄膜を形成する手順を示す。S51前述の撥液部301、親液部302からなる所定パターンのSAM膜300を形成した基板202を用意する図151。S52本発明の薄膜製造装置における液体吐出塗布機構部を用いて、IJヘッド208から親液部302に機能性インク209を吐出し、塗膜401を形成する図152。このとき、機能性インク209は、親液部302で濡れ性よく広がり、撥液部301ではじかれることから、親液部302のパターンの塗膜401となる。機能性インク209は、例えばPZT前駆体溶液を用いる。このPZT駆体溶液の調製には、例えば出発材料に酢酸鉛三水和物、イソプロポキシドチタン、ノルマルブトキシドジルコニウムを用い、まず酢酸鉛の結晶水をメトキシエタノールに溶解後、脱水する。なお、酢酸鉛に関して、熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性低下を防ぐために、化学両論組成に対し鉛量が10モルほど過剰になるように秤量しておく。ついで、イソプロポキシドチタン、ノルマルブトキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解し、アルコール交換反応、エステル化反応を進め、前記酢酸鉛を溶解したメトキシエタノール溶液と混合することでPZT前駆体溶液を合成する。このPZT前駆体溶液におけるPZT濃度は、成膜面積と前駆体塗布量の関係から適正化されるが、一度の塗布で形成する塗膜401の膜厚は100nm程度が好ましことから例えば0.1mol/lにする。図15の以降の説明では、このPZT前駆体溶液を用いた場合について説明する。S53塗膜401に対して溶媒乾燥のための第一の加熱処理例えば、120°C加熱を行い、ついで有機物の熱分解処理500°C加熱を行って第1層のPZT膜である機能性薄膜500を形成する図153。このときの膜厚は90nmとなる。S54引き続き、繰返し処理として、対象物をイソプロピルアルコールで洗浄した後、図14a2と同様の機能性溶液への浸漬処理にてSAM膜300を形成する図154。2回目以降の浸漬処理では、SAM膜300は酸化膜である機能性薄膜500上には形成されないため、フォトリソグラフィ技術によるパターン形成工程を実施せずに撥液部301、親液部302からなる所定パターンのSAM膜300が得られる。なおこのときの接触角は純水に対してSAM膜300上は92度、PZT膜上は34度であった。S55本発明の薄膜製造装置における液体吐出塗布機構部を用いて、IJヘッド208から第1層のPZT膜である機能性薄膜500上に機能性インク209を吐出し、塗膜401を形成する図155。S56さらに、塗膜401に対して溶媒乾燥のための第二の加熱処理例えば、120°C加熱を行い、ついで有機物の熱分解処理を行って積層したPZT膜である機能性薄膜500を形成する図156。このときの膜厚は180nmとなる。ステップS54~S56の工程をさらに4回繰り返し計6回の処理で、膜厚540nmの機能性薄膜500を得た後、結晶化熱処理700°C加熱をRTA急速熱処理にて行う。このとき、機能性薄膜500にクラックなどの不良は生じなかった。ついで、さらにステップS54~S56の工程を6回繰り返し行い、結晶化熱処理700°C加熱を行う。このとき、機能性薄膜500の膜厚は1000nmとなり、膜にクラックなどの不良は生じなかった。ここで、このパターン化したPZT膜である機能性薄膜500に上部電極白金を成膜し、電気特性、電気-機械変換能圧電定数の評価を行った。その結果、機能性薄膜500の比誘電率は1220、誘電損失は0.02、残留分極は19.3μCcm2、抗電界は36.5kV/cmであり、通常のセラミック焼結体と同等の特性を示した。また、図16に、P-Eヒステリシス曲線を示す。電気-機械変換能は電界印加による変形量をレーザードップラー振動計で計測し、シミュレーションによる合わせ込みから算出した。その圧電定数d31は120pm/Vとなり、こちらもセラミック焼結体と同等の値であった。これは液体吐出ヘッドとして十分設計できうる特性値である。なお、膜厚1000nmの機能性薄膜500について、上部電極を配置せずに、更なる厚膜化を試みた。すなわち、ステップS54~S56の工程を6回繰り返し行い、結晶化熱処理700°C加熱を行う処理を10回繰り返したところ、膜厚5μmのパターン化PZT膜の機能性薄膜500がクラックなどの欠陥を伴わずに得られた。電気機械変換素子及び液体吐出ヘッドつぎに、本発明に係る電気機械変換素子について説明する。本発明に係る電気機械変換素子は、前述した本発明の薄膜製造方法により製造されてなる電気機械変換膜を有する電気機械変換素子であって、前記機能性インクは、強誘電体の前駆体インクであり、前記基板である第1の電極と、該第1の電極に対向して配置される第2の電極と、前記第1の電極及び第2の電極に狭持される前記電気機械変換膜と、を備えることを特徴とするものである。また、前記第2の電極が本発明の薄膜製造方法により製造されてなることが好ましい。図17を参照しながら、電気機械変換素子501において下部電極500a、電気機械変換膜500b、上部電極500cすべてを本発明の薄膜製造方法で形成する場合を説明する。S61まず、密着層500dを形成した振動板540を用い密着層500dは図示省略、前述したSAM膜のパターニング方法により、その表面に所望の撥液部301a、親液部302aからなるパターンのSAM膜300を形成する図17A1。S62次に、本発明の薄膜製造装置における液体吐出塗布機構部を用いて、IJヘッド208から機能性インクである電極材料含有溶液401aを親液部302aに選択的に塗布する図17A2。親液部302aに塗布された電極材料含有溶液401aは、振動板540密着層500d上の表面エネルギー差により親液部302aに対して濡れ拡がり、撥液部301aに対しては濡れ拡がりが抑制されるため、高解像度のパターニングを行うことができる。ここで、電極材料含有溶液401aとしては、白金微粒子をエタノール溶媒中に分散させた溶液を用いているが、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム等の白金系金属微粒子を、アルコール等の有機溶媒中に分散させた金属微粒子分散液や、ゾルゲル法により金属アルコキシド等の金属有機化合物を溶媒中に溶解、分散した所謂ゾルゲル液を用いてもよい。S63次に、エネルギー付与手段700を用いて、振動板540密着層500d上の電極材料含有溶液401aにエネルギーを加えて下部電極500aを形成する図17A3。ここで、エネルギー付与手段700としては、ホットプレート、オーブンを用いているが、ハロゲンランプ、キセノンランプ、赤外線ランプ等の加熱手段や、YAGレーザ、CO2レーザ、Arレーザ等のレーザ照射手段を用いてもよい。以上、ステップS61~S63の工程を下部電極500aの膜が所望の膜厚となるまで複数回実施する。なお、下部電極500aをスパッタリング法により形成してもよい。この場合、Tiからなる密着層500dを配置した熱酸化膜付きシリコンウェハである振動板540上に、ステップS61と同様に、所望の撥液部301a、親液部302aからなるパターンのSAM膜300を形成した後に、Pt、他の白金族元素の電極材料ルテニウム、イリジウム、ロジウム、白金族合金白金-ロジウムロジウム濃度15wtのいずれかをスパッタリング成膜する。あるいは、下部電極500aとして、イリジウム酸化膜とイリジウム金属を積層してスパッタリング成膜してもよい。Tiからなる密着層500dを形成した振動板540について、親液部302aSAM膜300除去部位の水の接触角は5°以下完全濡れであり、撥液部301aSAM膜配置部位のそれは全ての試料において90.0°を示した。S71次に、振動板540の下部電極500a形成面について、前述したSAM膜のパターニング方法により、その表面に所望の撥液部301b、親液部302bからなるパターンのSAM膜300を形成する図17B1。S72次に、本発明の薄膜製造装置における液体吐出塗布機構部を用いて、IJヘッド208から機能性インクであるPZT前駆体溶液401bを親液部302b下部電極500aに選択的に塗布する図17B2。ここで、PZT前駆体溶液401bとしては、ゾルゲル法により成膜される圧電体材料、具体的には前述したような酢酸鉛、イソプロポキシドジルコニウム、イソプロポキシドチタンを出発材料にし、共通溶媒としてメトキシエタノールに溶解させたチタン酸ジルコン酸鉛PZT系の材料を用いる。S73次に、エネルギー付与手段700を用いて、下部電極500a上のPZT前駆体溶液401bにエネルギーを加えて電気機械変換膜500bを形成する図17B3。以上、ステップS71~S73の工程を電気機械変換膜500bの薄膜が所望の膜厚となるまで複数回実施する。S81次に、振動板540の下部電極500a及び電気機械変換膜500b形成面について、前述したSAM膜のパターニング方法により、その表面に所望の撥液部301c、親液部302cからなるパターンのSAM膜300を形成する図17C1。なお、上部電極500cは短絡を防止するために電気機械変換膜500bのパターン領域よりも小さい領域に電極材料含有溶液401cを塗布する必要がある。そこで、図17C1に示すように、電気機械変換膜500b上にも撥液部301cを形成している。S82次に、本発明の薄膜製造装置における液体吐出塗布機構部を用いて、IJヘッド208から機能性インクである電極材料含有溶液401cを親液部302c電気機械変換膜500bに選択的に塗布する図17C2。ここでは、電極材料含有溶液401cと前述した電極材料含有溶液401aは同一の材料である。S83次に、エネルギー付与手段700を用いて、電気機械変換膜500b上の電極材料含有溶液401cにエネルギー乾燥処理のための120°C加熱と焼結のための250°C加熱を加えて上部電極500cを形成する図17C3。以上、ステップS81~S83の工程を上部電極500cの膜が所望の膜厚となるまで複数回実施する。例えば、Ptからなる上部電極500cの膜厚は0.5μmで、比抵抗は5×10-6Ωcmである。以上のように、本発明の薄膜製造方法を用いたステップS61~S63,S71~S73,S81~S83の工程により、振動板540密着層500d上に下部電極500aと、電気機械変換膜500bと、上部電極500cからなる電気機械変換素子501をパターン不良を発生させることなく精度よく形成することが可能となり、引いては安定した吐出性能を有する液体吐出ヘッド1を得ることができる。つぎに、本発明に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。本発明の液体吐出ヘッドは、前述した本発明の電気機械変換素子501を備えることを特徴とする。図18に、本発明に係る液体吐出ヘッドの一部を断面にて示した分解斜視図を示す。また、本発明に係る液体吐出ヘッドの幅方向の断面概略構成は、図2に示す通りである。なお、図2では単一の圧力室506を示しているが、液体吐出ヘッドは図19に示すとおり圧力室基板503の隔壁で区画されることにより、左右方向に圧力室506が配列する構造をとる。液体吐出ヘッド1は、インクを吐出する液滴吐出孔であるノズル505を有するノズル板504と、複数の圧力室506、振動板540、電気機械変換素子501が形成され、電気機械変換膜500bの駆動のための駆動回路が搭載されたフレキシブルプリント基板FPC573を有する圧力室基板503と、電気機械変換素子保護空間574を配した保持基板572との3枚の基板を重ねた積層構造となっている。圧力室基板503は、Si基板上に積層膜により振動板540が形成されている。本実施形態における振動板540はSOI基板を用いてSi基板の片側面にシリコン酸化膜、シリコン活性膜、シリコン酸化膜を堆積させたものである。また、その上に複数の電気機械変換素子501を設けており、更に該複数の電気機械変換素子501それぞれに対応する圧力室506、該圧力室506に液体を供給する為の流体抵抗部供給路532、共通液室533を形成している。ノズル板504は、例えばニッケル高速電鋳法を用いて厚さ20μmに形成したニッケル基板であり、圧力室基板503の面部に圧力室506それぞれに対応して連通するように設けられたノズル505を有する。保持基板572は、電気機械変換素子501の保護及び変位を妨げないための電気機械変換素子保護空間574と液滴であるインクが外部から共通液室533へ供給するためのインク供給部533aを形成した基板である。液体吐出ヘッド1は、図2に示すように、Si基板上に形成された振動板540と、該振動板540上に、下部電極500a,電気機械変換膜500b,上部電極500cがこの順番で積層されてなる電気機械変換素子501と、を備え、電気機械変換素子501及び振動板540からなる圧電アクチュエータを用いてノズル板504の基板面部に設けた液滴吐出孔であるノズル505から液滴を吐出させるものである。ここで、ノズル板504は、SUS、Ni、Siなどの金属または無機材料、PIポリイミドなどの樹脂材料にノズル505を形成して構成され、図示していない接着剤または陽極接合等の他の接合手段によって圧力室基板503に接合されるものである。圧力室基板503は、必要とされる機械的強度および化学的耐性を備えた加工しやすい材料であるSi基板で作られる。Si基板を用いる場合、フォトリソグラフィとエッチング法による加工に、いわゆる半導体プロセスを用いることができるため、液室配列の高集積化が可能となる。振動板540は、電気機械変換素子501による変位の範囲内で弾性変形する材質とすることが必要である。材質としては、無機材料、有機材料の薄膜が用いられるが、電極との密着性を考慮すると無機材料を用いることが好ましい。無機材料としては、金属、合金、半導体、誘電体等の任意の材料を用いることができる。材料は加工方法から最適のものを選定することができ、圧力室基板503にSiを用いた場合は、SiO2,Si3N4,他結晶Siを用いることが好ましい。一般にはSiの熱酸化膜とするケースが多い。また、これらの積層膜とすることで、残留応力を相殺する構造をとることができる。また、SiO2,Si3N4等の誘電体材料は化学的に安定であり、吐出するインクに接触しても、インクによる腐食による振動板540の破壊を防止することができる。さらに、これらの薄膜の成膜技術は半導体プロセスで確立された技術であるため、安定した振動板540を得ることができる。振動板540の厚さは、材料の剛性や形成方法から最適化することが好ましいが、前述の無機材料SiO2,Si3N4を用いた場合、1~5μmの範囲とすることが好ましい。例えばまず、Si基板上に振動板540となる絶縁物を形成し、その後圧力室506などの液室となる空洞をエッチングにより形成後、必要な厚みに研磨される。エッチングの際は絶縁物層がストップ層となる。下部電極500aは、複数の電気機械変換素子501における共通電極であり、共通電極配線不図示と接続している。また、下部電極500aは、例えば電気機械変換膜500bの配向性を制御するために111結晶配向した薄膜であり、下部電極500aを構成する材料としては、任意の導電性材料を用いることができる。導電材料としては、金属、合金、導電性化合物等を用いることができるが、電気機械変換膜500bの成膜方法により耐熱性の高い電極材料を用いることが好ましい。通常電気機械変換膜500bは成膜後に結晶化させるプロセスが必要であり、一般的な圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTを用いた場合、結晶化プロセス温度は500°C~800°Cとなることが一般的である。そのため、電気機械変換素子に用いられる材料は高融点であると同時に高温で隣接する振動板540や圧電材料と化合物を形成しない安定性の高い材料であることが必要である。これらの材料としてはPt,Ir,Pd,Au等の反応性が低く高融点である金属やその合金を用いることが好ましい。このうち、一般的に電気機械変換膜500bを構成する代表的材料であるチタン酸ジルコン酸鉛PZTと格子定数が近く酸化しにくい貴金属であるPtが最も多く使用されている。また、高温安定性の高い化合物導電材料を用いても良い。これらの化合物導電材料としては、任意の複合酸化物を用いることができる。例えば、IrO2、RuO2、SrO、SrRuO3、CaRuO3、BaRuO3、SrxCa1-xRuO3等の白金族金属含有導電性酸化物やLaNiO3などが挙げられる。下部電極500aの膜厚は電極に必要とされる電気抵抗により任意に設定することができるが、100nmから1μmの範囲が好ましい。電気機械変換膜500bを構成する材料としては、ペロブスカイト型結晶構造を有し化学式ABO3で示すことのできる複合酸化物を用いることができる。ここで、Aサイトの元素としてはPb、Ba、Nb、La、Li、Sr、Bi、NaおよびKなどである。また、Bサイトの元素としてはCd、Fe、Ti、Ta、Mg、Mo、Ni、Nb、Zr、Zn、WおよびYbなどである。この中でも、Aには鉛Pb、BにジルコニウムZrとチタンTiの混合を適用したチタン酸ジルコン酸鉛PZTが多く用いられている。この材料は、温度特性,圧電特性に優れているため、高信頼性、高安定性の電気機械変換素子501を得ることができる。PZTの他には、鉛を使用しないという環境的な利点があり変位量が大きく原料が安価であり使用実績が多いものとしては、チタン酸バリウムBaTiO3を用いることができる。電気機械変換膜500bの膜厚は所望の特性により最適値を設定することができるが、0.1μmから5μmの範囲とすることが好ましい。さらに電気機械変換膜500bは圧力室506ごとに個別に形成される必要があり、個別液室幅よりも圧電体幅を狭くする必要がある。それにより、剛性の高い電気機械変換膜500bの膜が形成されない部分が圧力室506上に形成され、振動変位する領域を確保することができる。そのため、前述した電気機械変換膜500bのパターニングが重要である。上部電極500cは、圧力室506ごとに形成される電気機械変換膜500bの上方に形成される。また上部電極500cは、複数の電気機械変換素子501ごとに設けられる個別電極であり、個別電極配線不図示と接続している。該個別電極配線は複数の電気機械変換素子501それぞれの上部電極500cと個別に導通しており、駆動信号入力部不図示から個別電極配線を通じてそれぞれの電気機械変換素子501に駆動信号が入力される。上部電極500cを構成する材料としては、下部電極500aの場合と同じ材料群のいずれかを用いることができる。すなわち、上部電極500cの材料は任意の導電性材料を用いることが可能である。導電材料としては、金属、合金、導電性化合物等が挙げられるが、金属または合金を用いることが好ましい。その際、電気機械変換膜500bとの密着性を考慮した材料を選定する必要がある。また、圧電材料に含まれるPb等の材料と反応相互拡散し合金を形成する材料は好ましくない。さらに、圧電材料に含まれる酸素等と反応する材料も好ましくない。従って、反応性の低い安定した材料を用いるのが好ましい。これらの材料としては、Au,Pt,Ir,Pdまたはこれらの合金,固溶体を例として挙げられる。また、上部電極500cの幅は電気機械変換膜500bの幅より狭くすることが好ましい。電気機械変換膜500b端部まで上部電極500cを形成した場合、電気機械変換膜500b端部の電界集中により、下部電極500a-上部電極500c間の放電現象に繋がる可能性があり、電気機械変換素子501の信頼性を著しく損なう可能性がある。インクジェットプリンタ等ところで、前述した本発明の液体吐出ヘッドに対してインクなどの液体を供給する液体タンクを一体化して液体カートリッジとしてもよい。図20に、その液体カートリッジであるインクカートリッジの外観図を示す。このインクカートリッジ80は、ノズル505等を有する前述した本発明に係る液体吐出ヘッド1と、この液体吐出ヘッド1に対してインクを供給する液体タンクであるインクタンク82とを一体化したものである。このようにインクタンク82が一体型の液体吐出ヘッド1の場合、アクチュエータ部を高精度化、高密度化、および高信頼化することで、インクカートリッジ80の歩留まりや信頼性を向上することができ、インクカートリッジ80の低コスト化を図ることができる。つぎに、本発明に係るインクジェットプリンタについて説明する。本発明に係るインクジェットプリンタは、液滴を吐出させて画像を形成する画像形成装置であって、前述した本発明の液体吐出ヘッド又は図20の一体型液体吐出ヘッドユニットである液体カートリッジを備えていることを特徴とする。ここでは、図21及び図22を用いて、本発明の液体吐出ヘッド1を搭載した画像形成装置であるインクジェットプリンタを実施例として説明する。なお、図21は同記録装置の斜視説明図、図22は同記録装置の機構部の側面説明図である。このインクジェットプリンタは、記録装置本体の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ98、キャリッジ98に搭載した本発明の液体吐出ヘッド記録ヘッド1、液体吐出ヘッド1へインクを供給するインクカートリッジ99等で構成される印字機構部91等を収納し、装置本体の下方部には前方側から多数枚の用紙92を積載可能な給紙カセット或いは給紙トレイでもよい。93を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙92を手差しで給紙するために開かれる手差しトレイ94を有し、給紙カセット93あるいは手差しトレイ94から給送される用紙92を取り込み、印字機構部91によって所要の画像を記録した後、後面側の装着された排紙トレイ95に排紙する。印字機構部91は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド96と従ガイドロッド97とキャリッジ98を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ98には、イエローY、シアンC、マゼンダを主ガイドロッド96に摺動自在に嵌装し、前方側用紙搬送上流側を従ガイドロッド97に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ98を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ101で回転駆動される駆動プーリ102と従動プーリ103との間にタイミングベルト104を張装し、このタイミングベルト104をキャリッジ98に固定しており、主走査モータ101の正逆回転によりキャリッジ98が往復駆動される。一方、給紙カセット93にセットした用紙92を液体吐出ヘッド1に下方側に搬送するために、給紙カセット93から用紙92を分離給装する給紙ローラ105及びフリクションパッド106と、用紙92を案内するガイド部材107と、給紙された用紙92を反転させて搬送する搬送ローラ108と、この搬送ローラ108の周面に押し付けられる搬送コロ109及び搬送ローラ108からの用紙92の送り出し角度を規定する先端コロ110とを有する。搬送ローラ108は副走査モータによってギア列を介して回転駆動される。そして、キャリッジ98の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ108から送り出された用紙92を液体吐出ヘッド1の下方側で案内するため用紙ガイド部材である印写受け部材111を設けている。この印写受け部材111の用紙搬送方向下流側には、用紙92を排紙方向へ送り出すための回転駆動される搬送コロ112と拍車113を設け、さらに用紙92を排紙トレイ95に送り出す排紙ローラ114と拍車115と排紙経路を形成するガイド部材116,117とを配設している。このインクジェットプリンタ90による記録時には、キャリッジ98を移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド1を駆動することにより、停止している用紙92にインクを吐出して1行分を記録し、その後、用紙92を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号または用紙92の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙92を排紙する。また、キャリッジ98の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液体吐出ヘッド1の吐出不良を回復するための回復装置118を配置している。回復装置118はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ98は印字待機中にはこの回復装置118側に移動されてキャップ手段で液体吐出ヘッド1をキャッピングして吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係ないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出状態を維持する。また、吐出不良が発生した場合等には、キャップ手段で液体吐出ヘッド1の吐出出口を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともの気泡等を吸出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜不図示に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。このように、このインクジェットプリンタ90においては本発明の液体吐出ヘッド1を搭載しているので、電気機械変換膜のパターン不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク吐出特性が得られ、画像品質が向上する。なお、ここではインクジェットプリンタ90に液体吐出ヘッド1を使用した場合について説明したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する装置に液体吐出ヘッド1を適用してもよい。なお、これまで本発明を図面に示した実施形態をもって説明してきたが、本発明は図面に示した実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、変更、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。"