"力学量検出部を有する内部ユニット22を、外部ケース23内に収容して構成され、回路基板24上に実装される力学量センサ装置であって、前記外部ケース23のうち、前記回路基板24の上面に対向配置される底壁部32、42、52に、空気抜き用の呼吸穴36、43、53を備えると共に、前記回路基板24上に塗布された防湿剤が、前記底壁部32、42、52の下面部に付着した際に、その防湿剤を前記呼吸穴36、43、53以外の部位に誘導するための案内手段37、44、54、55を備えることを特徴とする力学量センサ装置。前記案内手段は、前記呼吸穴36を取囲むように延びて形成され、前記防湿剤が流れ込む経路となる溝部37を含んで構成されることを特徴とする請求項1記載の力学量センサ装置。前記案内手段は、前記呼吸穴43から外れた位置に前記底壁部43の外辺部で開放するように延びて形成され、前記防湿剤が流れ込む経路となる溝部44を含んで構成されることを特徴とする請求項1又は2記載の力学量センサ装置。前記案内手段は、前記呼吸穴53から外れた位置に形成され、前記防湿剤を溜める凹部54を含んで構成されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の力学量センサ装置。前記呼吸穴53は、前記底壁部52の周囲部寄りに位置して形成され、前記凹部54は、該底壁部52の中央部に位置して形成されていることを特徴とする請求項4記載の力学量センサ装置。前記底壁部52の前記呼吸穴53から外れた位置に、該底壁部52の外辺部から前記凹部54につながるように延びる溝部55が形成されていることを特徴とする請求項5記載の力学量センサ装置。前記溝部55は、前記凹部54に近い部分で、幅寸法が小さくなる形状とされていることを特徴とする請求項6記載の力学量センサ装置。前記外部ケース23と、前記内部ユニット22との間には、前記呼吸穴36、43、53から外れた位置において、防振用の弾性部材34が介在されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の力学量センサ装置。前記外部ケース23の底壁部32、42,52は金属薄板から構成され、前記呼吸穴36、43、53、前記溝部37、44、55及び/又は凹部54が、プレス成形により一体的に設けられていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の力学量センサ装置。ところで、上記した角速度センサ装置1は、外部からの異物侵入防止のために、外部ケース3を上カバー12及び下カバー13により密閉する構造を採用している。そのため、回路基板への実装作業時リフロー工程の熱によって、外部ケース3の内部が高圧となる問題点がある。そこで、例えば、下カバー13に空気抜き用の呼吸穴を設けることにより、内外の圧力差の発生を解消することが考えられる。しかしながら、下カバー13に呼吸穴を設けたものでは、次のような不具合の発生が予測される。即ち、車載用の回路基板といった防湿性が要求されるものでは、ヒューミシール等の防湿剤絶縁コーティング剤が塗布されることが一般的である。このように回路基板上に防湿剤を塗布した場合、防湿剤が、基板の上面と角速度センサ装置1の下面下カバー13との間に入り込み、呼吸穴を塞いでしまうことが考えられる。この場合、防湿剤が呼吸穴に侵入すると、呼吸穴としての機能が損なわれるだけでなく、呼吸穴を通った防湿剤が更に外部ケース3の内部まで侵入し、例えば弾性部材10に付着してダンパ規能を阻害させてしまう虞がある。また、外部ケース3の内部まで侵入しなくとも、防湿剤が、下カバー13の下面部と回路基板の上面との間において部分的に固着すると、振動の伝達にアンバランスが生じ、ダンパ性能が変動して耐衝撃性の低下を招く虞がある。本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、外部ケースの底壁部に呼吸穴を形成したものにあって、回路基板への実装時に防湿剤が呼吸穴に侵入することを効果的に防止することができる力学量センサ装置を提供することにある。上記目的を達成するために、本発明の力学量センサ装置は、力学量検出部を有する内部ユニット22を、外部ケース23内に収容して構成され、回路基板24上に実装されるものであって、前記外部ケース23のうち、前記回路基板24の上面に対向配置される底壁部32、42、52に、空気抜き用の呼吸穴36、43、53を備えると共に、前記回路基板24上に塗布された防湿剤が、前記底壁部32、42、52の下面部に付着した際に、その防湿剤を前記呼吸穴36、43、53以外の部位に誘導するための案内手段37、44、54、55を備えるところに特徴を有する請求項1の発明。これによれば、回路基板24上に塗布された防湿剤が、呼吸穴36、43、53を有する底壁部32、42、52の下面部に付着した場合でも、防湿剤は、案内手段37、44、54、55によって呼吸穴36、43、53以外の部位に誘導されるようになる。従って、回路基板24への実装時に防湿剤が呼吸穴36、43、53に侵入して呼吸穴36、43、53が塞がれることを未然に防止することができる。より具体的には、前記案内手段を、呼吸穴36を取囲むように延びて形成され、防湿剤が流れ込む経路となる溝部37を含んで構成することができる請求項2の発明。これによれば、底壁部32の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴36を取囲むように延びる溝部37に流れ込み、その内側に進入することが阻止されるので、防湿剤により呼吸穴36が塞がれることを防止することができる。前記案内手段を、呼吸穴43から外れた位置に底壁部42の外辺部で開放するように延びて形成され、防湿剤が流れ込む経路となる溝部44を含んで構成することもできる請求項3の発明。これによれば、底壁部42の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴43から外れた位置を延びる溝部44に流れ込み、底壁部42の外辺部に導かれるので、防湿剤により呼吸穴43が塞がれることを防止することができる。前記案内手段を、呼吸穴53から外れた位置に形成され、防湿剤を溜める凹部54を含んで構成することもできる請求項4の発明。これによれば、底壁部52の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴53から外れた位置の凹部54に溜められるようになるので、防湿剤により呼吸穴53が塞がれることを防止することができる。前記底壁部52に防湿剤を溜める凹部54を設ける場合には、前記呼吸穴53を、底壁部52の周囲部寄りに位置して形成し、凹部54を、該底壁部52の中央部に位置して形成する構成とすることができる請求項5の発明。これにより、防湿剤が付着するとしても、底壁部52の中央部に位置しているので、アンバランスな位置で防湿剤が固着することに伴う、ダンパ性能の変動といった不具合を防止することができる。このとき、底壁部52の呼吸穴53から外れた位置に、該底壁部52の外辺部から前記凹部54につながるように延びる溝部55を形成することができる請求項6の発明。これによれば、底壁部52に付着された防湿剤が、溝部55を案内されて、凹部54に至るようになり、より効果的となる。更にこのとき、前記溝部55を、前記凹部54に近い部分で、幅寸法が小さくなる形状とすることができ請求項7の発明、これにより、凹部54内に導かれた防湿剤が、凹部54から抜出すことを効果的に防止することができる。本発明においては、前記外部ケース23と、前記内部ユニット22との間には、前記呼吸穴36、43、53から外れた位置において、防振用の弾性部材34を介在させる構成とすることができる請求項8の発明。弾性部材34によりダンパ機能を得ることができ、力学量の検出精度を向上させることが可能となる。本発明においては、前記外部ケース23の底壁部32、42、52を金属薄板から構成し、前記呼吸穴36、43、53と、前記溝部37、44、55及び/又は凹部54とを、プレス成形により一体的に設ける構成とすることができる請求項9の発明。溝部37、44、55及び/又は凹部54の形成を容易に行うことができる。以下、本発明を具体化したいくつかの実施例について、図1ないし図5を参照しながら説明する。尚、以下に述べる各実施例は、本発明を、例えば自動車用の半導体角速度センサ装置に適用したものである。1第1の実施例まず、図1及び図2を参照して、本発明の第1の実施例について述べる。図2aは、本実施例に係る力学量センサ装置たる半導体角速度センサ装置21の全体構成を概略的に示す縦断側面図である。この角速度センサ装置21は、内部ユニット22を、外部ケース23内に収容して構成され、回路基板24上に実装される。そのうち内部ユニット22は、センサチップ25を信号処理チップ26に実装したスタック構造を備え、それらを例えばセラミック製のパッケージ27内に収容して構成される。詳しい図示は省略するが、前記センサチップ25は、周知のように、コリオリ力を検知することにより角速度を検出するための力学量検出部たる角速度検出部を備えて構成されている。また、前記信号処理チップ26は、前記センサチップ25よりもやや大きな矩形板状をなし、前記センサチップ25の角速度検出部からの信号を処理する信号処理回路を備えて構成されている。前記パッケージ27は、例えば多層セラミック基板からなり、前記センサチップ25及び信号処理チップ26を収容するための凹部27aを有する全体として薄型の矩形容器状に構成されている。また、パッケージ27には、図示しない電極や配線が設けられている。このパッケージ27の開口部図では下面は、蓋27bにより閉塞されるようになっている。前記センサチップ25は信号処理チップ26に対し、フェースダウン状態フリップチップ方式で、バンプ接続により実装電気的及び機械的な接続され、いわばマルチチップモジュールの状態となる。これと共に、そのマルチチップモジュールの状態で、パッケージ27の凹部27a内に収容され、信号処理チップ26の下面図では上向きの面が凹部27aの内底面に例えば接着されると共に、ボンディングワイヤ28により電気的な接続がなされるようになっている。前記外部ケース23は、例えばプラスチック製のケーシング本体29に、複数本のリードリードフレーム30をインサート成形により備えている。図1にも示すように、本実施例では、前記リード30は、外部ケース23の前後の辺部に多数本ずつ設けられている。また、このケーシング本体29の上下両面に、夫々金属製の薄板からなる上カバー31及び下カバー32が設けられる。前記ケーシング本体29は、ある程度の厚みを持った矩形枠状に構成されていると共に、その内側の底部寄り部位に、前記内部ユニット22を取付けるための載置板部33を一体に有している。載置板部33は、水平方向に延びる薄板状をなすと共に、図1にも示すように、ほぼ十文字状をなす開口33aが形成されている。前記内部ユニット22は、前記載置板部33上に、上下反転した蓋27bを下向きにした状態で装着される。このとき、前記載置板部33の開口33aの周囲部内側に張出す4つの直角な角部分には、内部ユニット22蓋27bとの間に、防振用ダンパ機能を得るための例えばシリコーンゴムからなる弾性部材34が介在される。また、内部ユニット22パッケージ27の底面図で上面の電極と、前記ケーシング本体29の内側上面のリード30との間が、ボンディングワイヤ35により電気的に接続される。前記ケーシング本体29の上面部には、断面コ字状の凹溝部29aが全周に渡って矩形枠状に形成されている。前記上カバー31は、ケーシング本体29の上面開口部を塞ぐ大きさの矩形板状をなし、その周囲部四辺部が前記凹溝部29a内に嵌るように折り曲げられ、接着剤38によって固着されている。前記ケーシング本体29の下面部にも、断面コ字状の凹溝部29bが全周に渡って矩形枠状に形成されている。前記下カバー32は、ケーシング本体29の下面開口部を塞ぐ大きさの矩形板状をなし、その周囲部四辺部が前記凹溝部29b内に嵌るように折曲げられ、接着剤38によって固着される。従って、この下カバー32は、外部ケース23の底壁部を構成している。さて、前記外部ケース23の下カバー32には、図1及び図2bにも示すように、空気抜き用の微小な呼吸穴36が形成されている。この場合、呼吸穴36は、下カバー32の各コーナー寄り部分に位置して、つまり前記弾性部材34から僅かに外れた位置に、4個が設けられている。そして、下カバー32の下面部には、前記回路基板24上に塗布された防湿剤が、該下カバー32の下面部に付着した際に、その防湿剤を前記呼吸穴36以外の部位に誘導するための案内手段としての溝部37が形成されている。本実施例では、この溝部37は、例えば断面ほぼV字状をなし、下カバー32の四辺部寄り部位に、前記4個の呼吸穴36形成部分を取囲むように矩形枠状に延びて形成されている。このとき、下カバー32の呼吸穴36及び溝部37は、下カバー32の製造時におけるプレス成形により一体的に設けられている。尚、図2aに示すように、以上のように構成された本実施例の角速度センサ装置21は、前記回路基板24に対し、各リード30が回路基板24の電極上に載置された状態で、はんだ付けにより実装される。このとき、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー32は、回路基板24の実装面から僅かな隙間をもって浮き上がった形態、つまり回路基板24の上面に対向配置されて設けられる。また、図示はしないが、回路基板24上には、例えばヒューミシールと称される、防湿剤絶縁コーティング剤が塗布散布されるようになっている。次に、上記構成の作用について述べる。上記した角速度センサ装置21においては、外部ケース23は、基本的に密閉構造が採られているので、回路基板24への実装作業時リフロー工程の熱によって、外部ケース23の内部が高圧となる虞が考えられる。ところが、本実施例では、下カバー32に呼吸穴36が形成されているので、外部ケース23内外での圧力差の発生を解消することができる。ここで、下カバー32に呼吸穴36を設けた場合には、回路基板24に塗布された防湿剤が、回路基板24の上面と下カバー32の下面との間に入り込み、呼吸穴36を塞いでしまう不具合の発生が考えられる。もし、防湿剤が呼吸穴36に侵入することがあると、呼吸穴36としての機能が損なわれるだけでなく、呼吸穴36を通った防湿剤が更に外部ケース23の内部まで侵入し、例えば弾性部材34に付着してダンパ規能を阻害させてしまう虞がある。しかし、本実施例では、防湿剤を呼吸穴36以外の部位に誘導するための案内手段としての溝部37が形成されているので、回路基板24への実装時に下カバー32の下面部に防湿剤が付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴36を取囲むように延びる溝部37に流れ込み、その内側領域に進入することが阻止されるので、防湿剤により呼吸穴36が塞がれたり、外部ケース23の内部に侵入したりすることを未然に防止することができるのである。このように本実施例によれば、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー32に呼吸穴36を形成して外部ケース23内外での圧力差の発生を解消することができるものにあって、下カバー32の下面部に、呼吸穴36を取囲むように延び、防湿剤が流れ込む経路となる溝部37を形成したので、回路基板24への実装時に防湿剤が呼吸穴36に侵入することを効果的に防止することができるという優れた効果を得ることができる。2第2、第3の実施例、その他の実施例図3及び図4は、本発明の第2の実施例を示すもので、力学量センサ装置たる角速度センサ装置41の構成を示している。この角速度センサ装置41が、上記第1の実施例の角速度センサ装置21と異なる点は、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー42の構成にある。尚、以下に述べる第2、第3の実施例については、下カバー以外の部分の構成は、上記第1の実施例と共通している。従って、上記第1の実施例と同一部分には、同一符号を付して新たな図示や詳しい説明を省略することとする。即ち、下カバー42には、各コーナー寄り部分に位置して、外部ケース23の内外の圧力差を解消するための空気抜き用の4個の微小な呼吸穴43が形成されている。そして、下カバー42の下面部には、前記回路基板24上に塗布された防湿剤が、該下カバー42の下面部に付着した際に、その防湿剤を前記呼吸穴43以外の部位に誘導するための案内手段として、防湿剤が流れ込む経路となる溝部44が形成されている。本実施例では、この溝部44は、呼吸穴43から外れた位置に、下カバー42の外辺部で開放するように延びて形成されている。具体的には、溝部44は、下カバー42の下面部の前後方向の中央部を左右方向全体に渡って延びる部分と、左右方向の中央部を前後方向全体に渡って延びる部分とが十文字状に交差するように設けられている。下カバー42の下面部の四辺部外周部についても、溝部44と同程度の凹状に呼吸穴43形成部分の面よりも一段低く構成されている。言い換えれば、図4にも示すように、下カバー42の下面部は、呼吸穴43形成部分を含む前後左右の4箇所のほぼ矩形状の領域が、相互間に僅かな間隔をおいて下方に凸状となるように形成されている。尚、この下カバー42についても、薄板状の金属材料をプレス成形することにより製造され、図4に示すように、呼吸穴43及び溝部44は、製造時におけるプレス成形により一体的に設けられている。このような第2の実施例においても、回路基板24上に塗布された防湿剤が、回路基板24の上面と下カバー42の下面との間に入り込み、下カバー42の下面部に付着した場合でも、その防湿剤は、呼吸穴43から外れた位置を延びる溝部44に流れ込み、下カバー42の外辺部に導かれるので、防湿剤により呼吸穴43が塞がれることを未然に防止することができる。図5は、本発明の第3の実施例に係る力学量センサ装置たる角速度センサ装置51の構成を示している。この第3の実施例に係る角速度センサ装置51においては、外部ケース23の底壁部を構成する下カバー52に、周囲部寄りコーナー寄り部分に位置して4個の呼吸穴53が形成されていると共に、防湿剤を呼吸穴53以外の部位に誘導するための案内手段が設けられる。このとき、本実施例では、下カバー52の下面部には、案内手段として凹部54及び溝部55が形成されている。即ち、下カバー52の下面部の呼吸穴53から外れた位置、本実施例では中央部に位置して、防湿剤を溜める凹部54がほぼ円形をなすように形成されている。そして、下カバー52の下面部の呼吸穴53から外れた位置に、該下カバー52の外辺部にて開放し、該辺部から前記凹部54につながるように延びる溝部55が、前記凹部54と同等の深さで形成されている。このとき、溝部55は、下カバー52の各辺の中央部から、前記凹部54に向けて、4本が形成されている。更に、それら溝部55は、幅寸法が前記凹部54に近い部分で、次第に小さくなる形状とされている。このような第3の実施例によれば、下カバー52の下面部に防湿剤が付着した場合には、その防湿剤は、溝部55を案内されて、呼吸穴53から外れた位置の凹部54に至り、凹部54に溜められるようになる。これにより、防湿剤により呼吸穴53が塞がれることを効果的に防止することができる。しかも、前記溝部55は、凹部54に近い部分で、幅寸法が小さくなっていることにより、凹部54内に導かれた防湿剤が、凹部54から溝部55を通って抜出すことを効果的に防止することができる。ここで、防湿剤が外部ケース23の内部まで侵入しなくとも、防湿剤が、下カバー52の下面部と回路基板24の上面との間において部分的に固着すると、振動の伝達にアンバランスが生じ、弾性部材34によるダンパ性能が変動して耐衝撃性の低下を招く虞がある。しかし、本実施例では、凹部54内の防湿剤が、回路基板24と外部ケース23の下カバー52との間において固着した場合でも、下カバー52の中央部に位置するので、アンバランスな位置で防湿剤が固着することに伴う、ダンパ性能の変動といった不具合を防止することができる。尚、上記各実施例では、本発明を角速度センサ装置に適用するようにしたが、それ以外でも、例えば加速度センサや慣性力センサ等にも適用することができる。防振用の弾性部材の材質についても、シリコーンゴムに限らず、各種のエラストマーなど様々なものを採用することができる。更には、呼吸穴の個数や形成する位置、溝部や凹部の形状や形成位置等についても、様々な変形例が考えられる。その他、内部ユニットの構成や、外部ケースの形状や構造についても種々の変更が可能であるなど、本発明は、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得るものである。"