側面に水の供給/排出機能を備えた複数の側面ノズルを有し、上端面に水の供給/排出機能を備えた上端面ノズルを有し、下端面に水の供給/排出機能を備えた下端面ノズルを有する筒状ケース内に複数本の中空糸膜からなる中空糸膜束が挿入され、中空糸膜束の少なくとも片側の端部が、複数の側面ノズルのうちのいずれの側面ノズルよりも高い位置で樹脂により筒状ケースと接着固定された中空糸膜モジュールを備えた中空糸膜ろ過装置であって、複数の側面ノズルのうちの少なくとも2つが配管により連通されていることを特徴とする、中空糸膜ろ過装置。配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルの高さが異なるように配置され、水の供給/排出に至る連通された配管の合流部の位置が、配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルのうちの最も高い側面ノズルと同じ位置、または、それ以上高い位置であることを特徴とする、請求項1に記載の中空糸膜ろ過装置。配管により連通された全ての側面ノズルの内径が、膜ろ過水側の端面ノズルの内径よりも小さいことを特徴とする、請求項1または2に記載の中空糸膜ろ過装置。複数本の中空糸膜からなる中空糸膜束を、側面に水の供給/排出機能を備えた複数の側面ノズルを有し、上端面に水の供給/排出機能を備えた上端面ノズルを有し、下端面に水の供給/排出機能を備えた下端面ノズルを有する筒状ケース内に複数本の中空糸膜からなる中空糸膜束が挿入され、中空糸膜束の少なくとも片側の端部が、複数の側面ノズルのうちのいずれの側面ノズルよりも高い位置で樹脂により筒状ケースと接着固定された中空糸膜モジュールを備えた中空糸膜ろ過装置における中空糸膜モジュールの洗浄方法であって、上端面ノズルから中空糸膜モジュール内に清澄水を供給し、中空糸膜の洗浄排水を複数の側面ノズルから同時に排出し、複数の側面ノズルのうちの少なくとも2つを連通する配管によって排出後の洗浄排水を合流させることを特徴とする、中空糸膜モジュールの洗浄方法。配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルの高さが異なるように配置され、洗浄排水の排出に至る連通された配管の合流部の位置が、配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルのうちの最も高い側面ノズルと同じ位置、または、それ以上高い位置であることを特徴とする、請求項4に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。配管により連通された全ての側面ノズルの内径が、膜ろ過水側の端面ノズルの内径よりも小さいことを特徴とする、請求項4または5に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。本発明は、中空糸膜による膜ろ過法において、簡便な方法によって膜のろ過抵抗上昇を抑えつつ中空糸膜逆圧洗浄時の圧力上昇を防止する、中空糸膜ろ過装置および中空糸膜モジュールの洗浄方法を提供することにある。上記課題を解決するため、本発明の中空糸膜ろ過装置および中空糸膜モジュールの洗浄方法は、次の特徴を有するものである。1側面に水の供給/排出機能を備えた複数の側面ノズルを有し、上端面に水の供給/排出機能を備えた上端面ノズルを有し、下端面に水の供給/排出機能を備えた下端面ノズルを有する筒状ケース内に複数本の中空糸膜からなる中空糸膜束が挿入され、中空糸膜束の少なくとも片側の端部が、複数の側面ノズルのうちのいずれの側面ノズルよりも高い位置で樹脂により筒状ケースと接着固定された中空糸膜モジュールを備えた中空糸膜ろ過装置であって、複数の側面ノズルのうちの少なくとも2つが配管により連通されていることを特徴とする、中空糸膜ろ過装置。2配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルの高さが異なるように配置され、水の供給/排出に至る連通された配管の合流部の位置が、配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルのうちの最も高い側面ノズルと同じ位置、または、それ以上高い位置であることを特徴とする、1に記載の中空糸膜ろ過装置。3配管により連通された全ての側面ノズルの内径が、膜ろ過水側の端面ノズルの内径よりも小さいことを特徴とする、1または2に記載の中空糸膜ろ過装置。4複数本の中空糸膜からなる中空糸膜束を、側面に水の供給/排出機能を備えた複数の側面ノズルを有し、上端面に水の供給/排出機能を備えた上端面ノズルを有し、下端面に水の供給/排出機能を備えた下端面ノズルを有する筒状ケース内に複数本の中空糸膜からなる中空糸膜束が挿入され、中空糸膜束の少なくとも片側の端部が、複数の側面ノズルのうちのいずれの側面ノズルよりも高い位置で樹脂により筒状ケースと接着固定された中空糸膜モジュールを備えた中空糸膜ろ過装置における中空糸膜モジュールの洗浄方法であって、上端面ノズルから中空糸膜モジュール内に清澄水を供給し、中空糸膜の洗浄排水を複数の側面ノズルから同時に排出し、複数の側面ノズルのうちの少なくとも2つを連通する配管によって排出後の洗浄排水を合流させることを特徴とする、中空糸膜モジュールの洗浄方法。5配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルの高さが異なるように配置され、洗浄排水の排出に至る連通された配管の合流部の位置が、配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルのうちの最も高い側面ノズルと同じ位置、または、それ以上高い位置であることを特徴とする、4に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。6配管により連通された全ての側面ノズルの内径が、膜ろ過水側の端面ノズルの内径よりも小さいことを特徴とする、4または5に記載の中空糸膜モジュールの洗浄方法。本発明の中空糸膜ろ過装置によれば、複数の側面ノズルを連通する配管を設けているので、簡便な方法によって膜のろ過抵抗上昇を抑えつつ、中空糸膜逆圧洗浄時の圧力上昇を防止することができる。また、本発明の中空糸膜モジュールの洗浄方法によれば、中空糸膜の洗浄排水を筒状ケースの複数の側面ノズルから同時に排出し、複数の側面ノズルを連通する配管によって排出後の洗浄排水を合流させているので、簡便な方法によって膜のろ過抵抗上昇を抑えつつ、中空糸膜逆圧洗浄時の圧力上昇を防止することができる。以下、図面に示す実施態様に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施態様に限定されるものではない。本発明の中空糸膜ろ過装置は、例えば、図1に示すように、原水を貯留する原水貯留槽1と、原水を供給する原水供給ポンプ2と、原水供給時に開となる原水供給弁3と、原水をろ過する中空糸膜モジュール4と、逆圧洗浄や空気洗浄する場合などに開となるエア抜き弁5と、膜ろ過時に開となるろ過水弁6と、膜ろ過水を貯留する膜ろ過水貯留槽7と、膜ろ過水を中空糸膜モジュール4に供給して逆圧洗浄する逆洗ポンプ8と、膜ろ過水で逆圧洗浄する時に開となる逆洗弁9と、中空糸膜モジュール4の1次側の水を排出する場合に開となる排水弁10と、圧縮空気を中空糸膜モジュール4の下部に供給し空気洗浄する場合に開となる空洗弁11と、圧縮空気の供給源であるコンプレッサー12と、中空糸膜モジュール4の2つの側面ノズルを連通する連通管13と、中空糸膜モジュール4の2つの側面ノズルが合流する合流部14とが設けられている。中空糸膜モジュール4は、側面に水の供給/排出機能を備えた複数の側面ノズルを有し、上端面に水の供給/排出機能を備えた上端面ノズルを有し、下端面に水の供給/排出機能を備えた下端面ノズルを有する筒状ケース内に複数本の中空糸膜からなる中空糸膜束が挿入され、中空糸膜束の少なくとも片側の端部が、複数の側面ノズルのうちのいずれの側面ノズルよりも高い位置で樹脂により筒状ケースと接着固定されてなる。中空糸膜モジュールには、原水を中空糸膜の外側から供給し、膜ろ過水を中空糸膜の内側から排出し筒状ケースの端面ノズルから排出する外圧式と、原水を筒状ケースの端面ノズルから供給し中空糸膜の内側から供給し、膜ろ過水を中空糸膜の外側から排出する内圧式とがあるが、本発明で対象となる中空糸膜モジュールは、外圧式である。図1には、側面ノズルが2つ、上端面ノズルが1つ、下端面ノズルが1つの場合を示しているが、側面ノズルが3つ以上、上端面ノズルが2つ以上、下端面ノズルが2つ以上あっても構わない。また図1には、中空糸膜束をU字状に曲げた上で、両端部を1箇所で樹脂により筒状ケースと接着固定した場合を示しているが、中空糸膜束をストレート状にして、両端部それぞれを樹脂により筒状ケースと接着固定していても構わない。中空糸膜束がU字状の場合は、樹脂で接着固定した中空糸膜束端部で中空糸膜内側と、接着部に近い方の端面ノズル図1の場合は上端面ノズルとが連通し、その端面ノズルが膜ろ過水側となり、側面ノズルを含む残りのノズルが原水側となる。中空糸膜束がストレート状の場合は、樹脂により筒状ケースと接着固定している箇所のうち一方の中空糸膜束端部で中空糸膜内側と、その接着部に近い方の端面ノズルとが連通し、その端面ノズルが膜ろ過水側となり、側面ノズルを含む残りのノズルが原水側となる。またその接着部は、複数の側面ノズルのうちのいずれの側面ノズルよりも高い位置となる。もう一方の接着部では、中空糸膜端部は樹脂内に埋没されて開放されていないが、原水や空気洗浄のための空気が通過できるよう穴が設けられているため、側面ノズルは膜ろ過水側の端面ノズル以外の端面ノズルと同様に原水側となる。中空糸膜束を構成する中空糸膜の素材は特に限定されず、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアクリロニトリル、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン-ビニルアルコール共重合体、セルロース、酢酸セルロース、ポリフッ化ビニリデン、エチレン-テトラフルオロエチレン共重合体、ポリテトラフルオロエチレンなどや、これらの複合素材を例示することができる。なかでも、ポリフッ化ビニリデンは耐薬品性に優れているため、中空糸膜を定期的に薬品洗浄することで中空糸膜のろ過機能が回復し、中空糸膜モジュールの長寿命化につながるので、中空糸膜の素材として好ましい。また、中空糸膜の外径は0.3mm以上3mm以下の範囲であることが好ましい。これは、中空糸膜の外径が小さすぎると、中空糸膜モジュールを製作する際の中空糸膜の取り扱い時や、中空糸膜モジュールを使用する際のろ過、洗浄時などに中空糸膜が折れて損傷するなどの問題があり、逆に外径が大きすぎると同じサイズの筒状ケース内に挿入できる中空糸膜の本数が減ってろ過面積が減少するなどの問題があるからである。さらに、中空糸膜の膜厚は0.1mm以上1mm以下の範囲であることが好ましい。これは、膜厚が小さすぎると、中空糸膜モジュールの場合、圧力で膜が折れるなどの問題があり、逆に膜厚が大きいと圧損や原料代の増加につながるなどの問題がある。筒状ケースの材質としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン等のポリオレフィンや、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテルコポリマーPFA、フッ化エチレンポリプロピレンコポリマーFEP、エチレンテトラフルオロエチレンコポリマーETFE、ポリクロロトリフルオロエチレンPCTFE、三フッ化塩化エチレン-エチレンコポリマーECTFE、ポリフッ化ビニリデンPVDF等のフッ素系樹脂、そしてポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等の塩素樹脂、さらにポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリルスルホン樹脂、ポリフェニルエーテル樹脂、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合体樹脂ABS、アクリロニトリルスチレン共重合体樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂などが単独または混合して用いられる。また、樹脂以外ではアルミニウム、ステンレス鋼などが好ましく、さらに、樹脂と金属の複合体や、ガラス繊維強化樹脂、炭素繊維強化樹脂などの複合材料を使用してもかまわない。連通管13は、中空糸膜モジュール4に設けられた複数の側面ノズルを連通しているが、連通する側面ノズルの数は、図1に示す2つに限らず3つ以上でも構わない。連通管13が複数の側面ノズルを連通することによって、中空糸膜モジュールの逆圧洗浄の際に、複数の側面ノズルを逆洗排水の吐出口として使用することができるために、必要な圧力を低く抑えることができるようになるとともに、複数の側面ノズルから吐出される逆洗排水の背圧が合流部14で等しくなるため、中空糸膜モジュール原水側内部の濁質や有機物などの均一な排出が可能となる。連通管13の材質としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン等のポリオレフィンや、ポリテトラフルオロエチレンPTFE、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテルコポリマーPFA、フッ化エチレンポリプロピレンコポリマーFEP、エチレンテトラフルオロエチレンコポリマーETFE、ポリクロロトリフルオロエチレンPCTFE、三フッ化塩化エチレン-エチレンコポリマーECTFE、ポリフッ化ビニリデンPVDF等のフッ素系樹脂、そしてポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等の塩素樹脂、さらにポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリルスルホン樹脂、ポリフェニルエーテル樹脂、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合体樹脂ABS、アクリロニトリルスチレン共重合体樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂などが単独または混合して用いられる。また、樹脂以外ではアルミニウム、ステンレス鋼などが好ましく、さらに、樹脂と金属の複合体や、ガラス繊維強化樹脂、炭素繊維強化樹脂などの複合材料を使用してもかまわない。複数の側面ノズルが合流する合流部14はどの位置にあっても構わないが、配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルのうちの最も高い側面ノズルと同じ位置、または、それ以上高い位置であることが、中空糸膜モジュールの逆圧洗浄の際に、側面ノズル間の排出水量に差がつき、中空糸膜と平行の流れが生じ、中空糸膜に付着した付着物が剥離しやすくなり、より好ましい。本発明の中空糸膜ろ過装置の中空糸膜モジュール4は、膜ろ過水側の端面ノズル図1の場合は上端面ノズルが他端面ノズル図1の場合は下端面ノズルより高くなるように設置することが好ましいが、筒状ケースの軸方向をできるだけ垂直に近づける方が、中空糸膜モジュールの逆圧洗浄の際に、側面ノズル間の排出水量により差がつき、中空糸膜と平行の流れがより生じ、中空糸膜に付着した付着物がより剥離しやすくなり、より好ましい。本発明の中空糸膜ろ過装置の中空糸膜モジュール4の、連通された全ての側面ノズルは、その内径が膜ろ過水側の端面ノズル図1の場合は上端面ノズルの内径より小さいことが、連通管の設置面積を小さくすることができ、好ましい。次に、上記構成からなる中空糸膜ろ過装置で原水の処理を行う場合を、図1を用いて以下に説明する。原水貯留槽1に蓄えられた原水は、原水供給弁3が開となってから、原水供給ポンプ2によって中空糸膜モジュール4の原水側に供給される。中空糸膜モジュール4の原水側に溜まっていた空気は、開であるエア抜き弁5から抜け、抜け終わってからエア抜き弁5は閉となる。膜ろ過水は、開であるろ過水弁6を通して中空糸膜モジュール4から吐出されて膜ろ過工程となり、膜ろ過水貯留槽7に蓄えられる。所定時間膜ろ過後、原水供給ポンプ2が停止し、原水供給弁3およびろ過水弁6が閉となり、次に示す洗浄工程に移行する。洗浄工程では、膜ろ過水貯留槽7に蓄えられた膜ろ過水が、逆洗弁9が開となってから、逆洗ポンプ8によって中空糸膜モジュール4の膜ろ過水側に供給される。中空糸膜を膜ろ過とは反対方向に通り抜けた逆洗水は、開となったエア抜き弁5を通して洗浄排水として中空糸膜モジュール4から吐出されて逆圧洗浄工程となる。所定時間逆洗後、逆洗ポンプ8が停止し、逆洗弁9が閉となる。この逆洗と同時に、あるいは引き続いて、空洗弁11を開にすることによりコンプレッサー12から中空糸膜モジュール4に供給される空気によって、中空糸膜を揺動するように洗浄する空気洗浄工程を行うことも可能である。空洗弁11を閉とし、排水弁10を開とすることで、中空糸膜モジュール4の原水側に保持されていた洗浄排水は、中空糸膜モジュール4から排出される。以上で洗浄工程が終了し、最初の膜ろ過工程に戻って原水の処理が繰り返される。この洗浄工程において、中空糸膜を膜ろ過とは反対方向に通り抜けた洗浄排水は、中空糸膜モジュール4の筒状ケースの複数の側面ノズルから同時に排出し、排出後の洗浄排水を、複数の側面ノズルを連通した連通管13によって、合流部14にて合流させることにより、中空糸膜モジュール4の逆圧洗浄の際に、必要な圧力を低く抑えることができるようになるとともに、中空糸膜モジュール4原水側内部の濁質や有機物などの均一な排出が可能となる。また排出後の洗浄排水が合流する位置はどの位置にあっても構わないが、洗浄排水の排出に至る連通された配管の合流部の位置が、配管により連通された少なくとも2つの側面ノズルのうちの最も高い側面ノズルと同じ位置、または、それ以上高い位置であることが、中空糸膜モジュール4の逆圧洗浄の際に、側面ノズル間の排出水量に差がつき、中空糸膜と平行の流れが生じ、中空糸膜に付着した付着物が剥離しやすくなり、より好ましい。<実施例1>外圧式PVDF中空糸膜モジュールHFU-2020東レ株製、全長2160mm、上端面ノズルの内径65mm、下端面ノズルの内径65mm、側面ノズル2つの内径50mmを1本、中空糸膜モジュールとして使用して、図1に示したフローにて以下の条件で実験を行った。なお、中空糸膜モジュールは、膜ろ過水側の上端面ノズルが最も高くなるように、その筒状ケースの軸方向を垂直にし、側面ノズルの合流部14の位置は、上部の側面ノズルの高さ位置とした。中空糸膜モジュールは、琵琶湖水水温:15~25°C、濁度:3~7NTUNephelometricTurbidityUnit、TOCTotalOrganicCarbon:2~3mg/Lを原水とし、ろ過流束2.0m3/m2d、全量ろ過方式かつ定流量ろ過方式、膜ろ過工程時間30分の後、ろ過流束の1.5倍の流束による逆圧洗浄工程時間30秒、空気洗浄工程時間30秒、中空糸膜モジュール内の原水側の水を全量排出、ろ過膜モジュール内の原水側を原水で満水とする順序で洗浄を行い、再び膜ろ過工程に戻る操作を繰り返す運転を行った。さらに、1日に1回の頻度で該中空糸膜モジュールにてろ過した清澄水を用いた酸化剤含有逆洗工程120秒、酸化剤保持工程20分、リンスとして酸化剤を含有しない清澄水での逆洗工程120秒、ろ過膜モジュール内の原水側の水を全量排出、ろ過膜モジュール内の原水側を原水で満水とする順序で酸化剤含有水による逆洗を行い、膜ろ過工程に戻る操作をする運転を行った。逆洗工程においては、酸化剤として次亜塩素酸ナトリウム水溶液12を塩素濃度300mg/Lとなるように注入した。運転初期、膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で20kPaであり、逆圧洗浄工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で30kPaであった。この圧力が低いほど、逆洗ポンプ8の電力消費量が少なく好ましい。また、3カ月間運転を行った後の膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で40kPaであった。この圧力が低いほど、膜のろ過抵抗上昇が抑えられ、原水供給ポンプ2の電力消費量が少なく好ましい。<実施例2>実施例1において、側面ノズルの合流位置を上部のノズルより20cm高い位置とした以外は実施例1と同じ条件にて運転を行った。運転初期、膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で20kPaであり、逆圧洗浄工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で30kPaであった。また、3カ月間運転を行った後の膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で40kPaであった。<実施例3>実施例1において、側面ノズルの合流位置を上部のノズルより20cm低い位置とした以外は実施例1と同じ条件にて運転を行った。運転初期、膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で20kPaであり、逆圧洗浄工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で30kPaであった。また、3カ月間運転を行った後の膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で45kPaであった。<実施例4>実施例1において、上端面ノズルの内径を側面ノズルの内径と同じ50mmに絞ること以外は実施例1と同じ条件にて運転を行った。運転初期、膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で25kPaであり、逆圧洗浄工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で37kPaであった。また、3カ月間運転を行った後の膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で45kPaであった。<比較例1>実施例1において、図2に示したフローのように、2つの側面ノズルのうち下方の側面ノズルは使用せず、上方の側面ノズルのみを使用し、側面ノズルの連通管も使用せず、合流部も設けずに実験を行った以外は実施例1と同じ条件にて運転を行った。運転初期、膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で20kPaであり、逆圧洗浄工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で40kPaであった。また、3カ月間運転を行った後の膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で60kPaであった。<比較例2>実施例1において、図3に示したフローのように、側面ノズルの連通管を使用せず、合流部も設けずに実験を行った以外は実施例1と同じ条件にて運転を行った。運転初期、膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で20kPaであり、逆圧洗浄工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で38kPaであったが、2つの側面ノズルのうち上方の側面ノズルからは洗浄排水は吐出されなかった。また、10日間運転を行った後に膜ろ過工程の膜差圧は25°C温度補正差圧で150kPaに達し、これ以上運転を継続できなかった。