多結晶シリコン外形の鋭角部分を面取りすることによって接触時の衝撃を緩和したことを特徴とする単結晶引き上げ用多結晶シリコン。円形または角形を有する棒状、柱状、板状の多結晶シリコンについて、その端部、稜部ないし角部を面取りした請求項1の多結晶シリコン。本発明は従来の多結晶シリコンの溶融工程における上記問題を解決したものであり、溶融時にルツボ内壁に衝突してルツボを損傷する問題のないように加工した多結晶シリコンを提供するものである。本発明は以下の構成からなる多結晶シリコンに関する。1多結晶シリコン外形の鋭角部分を面取りすることによって接触時の衝撃を緩和したことを特徴とする単結晶引き上げ用多結晶シリコン。2円形または角形を有する棒状、柱状、板状の多結晶シリコンについて、その端部、稜部ないし角部を面取りした上記の多結晶シリコン。上記多結晶シリコンは、その端部、稜部ないし角部の少なくとも一つ、好ましくはその大部分ないし全部を面取りすることによって、外形の鋭角部分をできる限り除去しているので、溶融ルツボへの装入時ないし溶融時に、この多結晶シリコン塊がルツボ内壁に衝突しても接触面が比較的広いので衝撃が緩和されてルツボ内壁の損傷を抑制することができる。本発明の係る多結晶シリコンは、その端面や稜部、角部が面取りされて鋭角な部分が除去されており、あるいは棒状の多結晶シリコンについては長手方向に沿って湾曲しているので、溶融ルツボの内壁に接触したときに接触面積が大きく、衝撃が緩和されるので、ルツボの損傷を避けることができる。以下、本発明を実施形態に基づいて具体的に説明する。本発明に係る多結晶シリコンの第一の形態は、多結晶シリコン外形の鋭角部分を面取りしたことを特徴とするものである。具体的には、例えば円形または角形を有する棒状、柱状、板状の多結晶シリコンについて、その端部、稜部ないし角部を面取りした単結晶引き上げ用の多結晶シリコンである。すなわち、図1に示すように、本発明の多結晶シリコン10は、円形または角形を有する棒状、柱状、板状の多結晶シリコン塊について、その端部、稜部ないし角部の少なくとも一つ、好ましくはその大部分ないし全部を面取りすることによって外形の鋭角部分が除去されている。面取りする多結晶シリコンの形状は限定されない。円柱ないし角柱、板状ないしブロック状など何れでも良い。面取り部分11は多結晶シリコン10の端部、稜部および角部などの鋭角部分であり、この面取り部分11は直線状でも湾曲状でもよい。また、鋭角部分が除去されていれば面取り後の形状は限定されない。例えば、円柱状ロッドの端面を面取りしてアールに加工し、カプセル型のチャンクを形成する。上記多結晶シリコン10は鋭角部分が除去されているので、この多結晶シリコンを溶融ルツボに装入する際に落下し、または溶融時に浮遊してシリコン塊がルツボ内壁に衝突しても、接触面積が大きいので衝撃が緩和されてルツボ内壁の損傷を免れることができる。本発明に係る多結晶シリコンの第二の形態は、図2に示すように、棒状のシリコンロッドが溶融ルツボの内周面に沿った湾曲形状を有するものである。このような形状の多結晶シリコンは、例えば、三塩化シランと水素の混合ガスの熱分解によってシリコンを生成させる気相反応による場合、湾曲した種棒を用い、その表面に多結晶シリコンを析出させて製造することができる。なお、この湾曲した多結晶シリコン10においても、端面は図1の場合と同様に面取りすると良い。図2に示す湾曲した形状を有する多結晶シリコン10は湾曲に沿って接触するので、ルツボ内壁に衝突した場合でも接触面積が大きくなり衝撃が緩和される。従って、ルツボの損傷を避けることができる。また、溶融ルツボの内周に沿った湾曲形状を有するので、ルツボ内周面に沿って多結晶シリコンを密に並べることができ、多結晶シリコンのルツボに対する充填率を高めることができる。