酸素イオン導電性固体電解質層の一方の面に排気ガスが導入される排気ガス側電極を、他方の面に基準ガスが導入される基準ガス側電極を配設したセンサ部と、上記固体電解質層の一方の面側に、少なくとも上記排気ガス側電極を覆うように積層した多孔質のガス拡散抵抗層と、上記固体電解質層の他方の面側に積層され、絶縁セラミック材料よりなるヒータ基体層に発熱体を配設したヒータ部とを有する素子本体を備え、少なくとも排気ガスに晒される上記素子本体の外表面を覆って、多孔質のセンサ保護層を設けた積層セラミック排気ガスセンサ素子であって、上記素子本体は、上記ガス拡散抵抗層の上記固体電解質層と反対側の表面に排気ガスを透過しない遮蔽層を有し、上記ガス拡散抵抗層は、セラミック焼結体からなる多孔質骨格を有し、かつ上記ガス拡散抵抗層の気孔率が60~80で、上記多孔質のセンサ保護層の気孔率より大きいことを特徴とする積層セラミック排気ガスセンサ素子。上記ガス拡散抵抗層は、セラミック焼結体の骨格を形成するセラミック粒子と、焼成時に焼失する気孔形成粒子を含有する未焼成層を焼成してなり、上記気孔形成粒子は樹脂ビーズである請求項1記載の積層セラミック排気ガスセンサ素子。本願請求項3の発明において、上記気孔形成粒子はナイロンビーズである請求項2記載の積層セラミック排気ガスセンサ素子。上記多孔質のセンサ保護層の気孔率が45~60であり、上記ガス拡散抵抗層の気孔率が70~80である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の積層セラミック排気ガスセンサ素子。上記ガス拡散抵抗層は、骨格を形成するセラミック焼結体の基材が、上記素子本体の焼成温度において焼結する材料で構成されている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の積層セラミック排気ガスセンサ素子。上記固体電解質層は、ジルコニア系固体電解質にて形成されており、上記ガス拡散抵抗層は、骨格を形成するセラミック焼結体が、平均粒径0.2~0.4μmのアルミナを用いて形成される請求項1ないし5のいずれか1項に記載の積層セラミック排気ガスセンサ素子。請求項1ないし6のいずれか1項に記載の上記積層セラミック排気ガスセンサ素子を用いた排気ガスセンサであり、多気筒内燃機関の排気通路の集合部に設置されることを特徴とする排気ガスセンサ。酸素イオン導電性固体電解質層の一方の面に排気ガスが導入される排気ガス側電極を、他方の面に基準ガスが導入される基準ガス側電極を配設したセンサ部と、上記固体電解質層の一方の面側に、少なくとも上記排気ガス側電極を覆うように積層した多孔質のガス拡散抵抗層と、上記固体電解質層の他方の面側に積層され、絶縁セラミック材料よりなるヒータ基体層に発熱体を配設したヒータ部とを有する素子本体を設け、上記素子本体には、上記ガス拡散抵抗層の上記固体電解質層と反対側の表面に排気ガスを透過しない遮蔽層を積層し、少なくとも排気ガスに晒される上記素子本体の外表面を覆って、多孔質のセンサ保護層を設けた積層セラミック排気ガスセンサ素子の製造方法であって、上記ガス拡散抵抗層を、骨格を形成するセラミック粒子と、焼成時に焼失する気孔形成粒子として樹脂ビーズを含有する未焼成層を、上記素子本体を形成する他の未焼成セラミックシートと積層し、1400~1500°Cで一体焼成することにより、気孔率が60~80の多孔質骨格を有するセラミック焼結体とすることを特徴とする積層セラミック排気ガスセンサ素子の製造方法。内燃機関の排気マニホールド下流の排気管に空燃比センサを配置して、空燃比制御を行う場合、一般には、気筒間ばらつきによる空燃比変動を抑制するために、空燃比センサの出力をなまし補正した値に基づいて、空燃比のフィードバック制御が行われる。ただし、各気筒への燃料噴射量や空気量を一律に補正することは、結果として気筒間ばらつきが大きくなり、排気エミッションが悪化するおそれがある。そこで、特許文献4のように、気筒別の空燃比の不均衡インバランスを検出することが重要となっている。ところが、特許文献2、3の構成のガスセンサ素子を用いた空燃比センサでは、例えば10μm程度のセンサ保護層を形成することで、耐被水性、耐被毒性は向上するが、気筒別の空燃比を精度よく検出することが難しいことが判明した。これは、センサ保護層が形成された積層セラミック排気ガスセンサ素子では、排気ガスは、多孔質体であるセンサ保護層および拡散抵抗層の両方を通過して、センサ部へ導入されることになるからである。特許文献2のガスセンサ素子では、厚み方向および側面方向から排気ガスが導入されるために、拡散距離が一定とならず、インバランス検出への応用は難しい。特許文献3のガスセンサ素子は、厚み方向からの侵入を遮断する構成であるものの、センサ部の電極へ到達する間に、各気筒からの排気ガスが混合されてしまい、センサ応答性が低下すると考えられる。そこで、本願発明は、センサ保護層を備える積層セラミック排気ガスセンサ素子について、センサ保護層の耐被水性、耐被毒性を損なうことなくセンサ応答性を向上させることにより、高性能で信頼性の高い積層セラミック排気ガスセンサ素子とその製造方法を実現すること、そして、多気筒内燃機関用の空燃比センサとしても好適に使用されて、気筒間差を検出可能な排気ガスセンサを提供することを目的とする。本願請求項1の発明は、酸素イオン導電性固体電解質層の一方の面に排気ガスが導入される排気ガス側電極を、他方の面に基準ガスが導入される基準ガス側電極を配設したセンサ部と、上記固体電解質層の一方の面側に、少なくとも上記排気ガス側電極を覆うように積層した多孔質のガス拡散抵抗層と、上記固体電解質層の他方の面側に積層され、絶縁セラミック材料よりなるヒータ基体層に発熱体を配設したヒータ部とを有する素子本体を備え、上記素子本体は、上記ガス拡散抵抗層の上記固体電解質層と反対側の表面に排気ガスを透過しない遮蔽層を有し、少なくとも排気ガスに晒される上記素子本体の外表面を覆って、多孔質のセンサ保護層を設けた積層セラミック排気ガスセンサ素子であって、上記ガス拡散抵抗層は、セラミック焼結体からなる多孔質骨格を有し、かつ上記ガス拡散抵抗層の気孔率が60~80で、上記多孔質のセンサ保護層の気孔率より大きいことを特徴とする。本願請求項2の発明において、上記ガス拡散抵抗層は、セラミック焼結体の骨格を形成するセラミック粒子と、焼成時に焼失する気孔形成粒子を含有する未焼成層を焼成してなり、上記気孔形成粒子は樹脂ビーズである。本願請求項3の発明において、上記気孔形成粒子はナイロンビーズである。本願請求項4の発明において、上記多孔質のセンサ保護層の気孔率が45~60であり、上記ガス拡散抵抗層の気孔率が70~80である。本願請求項5の発明において、上記ガス拡散抵抗層は、骨格を形成するセラミック焼結体の基材が、上記素子本体の焼成温度において焼結する材料で構成されている。本願請求項6の発明において、上記固体電解質層は、ジルコニア系固体電解質にて形成されており、上記ガス拡散抵抗層は、骨格を形成するセラミック焼結体が、平均粒径0.2~0.4μmのアルミナを用いて形成される。本願請求項7の発明は、上記積層セラミック排気ガスセンサ素子を用いた排気ガスセンサであり、多気筒内燃機関の排気通路の集合部に設置される。本願請求項8の発明は、酸素イオン導電性固体電解質層の一方の面に排気ガスが導入される排気ガス側電極を、他方の面に基準ガスが導入される基準ガス側電極を配設したセンサ部と、上記固体電解質層の一方の面側に、少なくとも上記排気ガス側電極を覆うように積層した多孔質のガス拡散抵抗層と、上記固体電解質層の他方の面側に積層され、絶縁セラミック材料よりなるヒータ基体層に発熱体を配設したヒータ部とを有する素子本体を設け、上記素子本体には、上記ガス拡散抵抗層の上記固体電解質層と反対側の表面に排気ガスを透過しない遮蔽層を積層し、少なくとも排気ガスに晒される上記素子本体の外表面を覆って、多孔質のセンサ保護層を設けた積層セラミック排気ガスセンサ素子の製造方法であって、上記ガス拡散抵抗層を、骨格を形成するセラミック粒子と、焼成時に焼失する気孔形成粒子として樹脂ビーズを含有する未焼成層を、上記素子本体を形成する他の未焼成セラミックシートと積層し、1400~1500°Cで一体焼成することにより、気孔率が60~80の多孔質骨格を有するセラミック焼結体とする。本発明者等は、センサ保護層を備える積層セラミック排気ガスセンサ素子のセンサ特性について鋭意検討を行い、ガス拡散抵抗層の気孔率がセンサ保護層より大きく、特に、60以上であると、排ガスの気筒間差をモニタ可能なガス透過率となることを見出し、本願請求項1の発明に到達した。すなわち、センサ保護層の形成により耐被水性、耐被毒性は向上するが、センサ保護層の気孔率に対しガス拡散抵抗層の気孔率が著しく低い場合、排気ガスの気筒間差を検出できない。その理由は、センサ保護層、ガス抵抗拡散層の両方とも多孔質体で構成されているため、各気筒からの排ガスが混合されるからである。そこで、本発明では、センサ素子を被水、被毒Si、S等から保護するセンサ保護層に対し、排気ガスを速やかに透過させるガス拡散抵抗層を組み合わせ、各気筒から排出されるガスを混合することなくセンサ部へ到達させる。この時、拡散抵抗層の表面に設けた遮蔽層により厚み方向からの侵入が遮断されるので、拡散距離を略一定として、所定の拡散速度でセンサ部へ排気ガスを導入することができる。これにより、被水、被毒から素子本体を守り、かつセンサ応答性を向上させることができ、例えば多気筒エンジンの気筒差を検出可能となる。さらに、ガス拡散抵抗層の気孔率を80以下とし、その多孔質体骨格をセラミック焼結体で構成するので、強度低下を抑制して、信頼性を向上させることができる。本願請求項2の発明のように、ガス拡散抵抗層は、骨格を形成するセラミック粒子に気孔形成粒子を添加した未焼成層を焼成し、気孔形成粒子を焼失させることで形成することができる。好適には、ガス拡散抵抗層の気孔形成粒子として樹脂ビーズを用いると、未焼成層に含まれる有機バインダの脱脂工程において、樹脂ビーズを溶融分解することができる。そして、形成される連通孔を通じて、バインダの除去が促進されるので、分解ガスの残留等による不具合を防止することができ、工程管理を容易にして、骨格を形成するセラミック粒子の焼結を良好に進行させることができる。また、一般に樹脂ビーズは真球状粒子であり、気孔が連通した拡散通路の形成や気孔率の調整や容易になる。したがって、気孔率の大きなセラミック焼結体の強度を確保し、高品質なガス拡散抵抗層を得ることができる。本願請求項3の発明によれば、気孔形成粒子である樹脂ビーズとして、耐溶剤性に優れたナイロンビーズを用いるので、未焼成層となるシートあるいはペーストに含まれる溶剤による溶解を防止して、安定した多孔体を形成することができる。よって、取り扱いが容易であるとともに、より高品質なガス拡散抵抗層を形成することができる。本願請求項4の発明のように、好適には、多孔質のセンサ保護層の気孔率が45~60であると、センサ保護層の多孔質構造を保持し、耐被水性、耐被毒性に対する効果と、ガス透過性の確保とを両立できる。また、ガス拡散抵抗層の気孔率は、70~80であるとより好ましく、強度低下を抑制しながら、検出性能を向上させることができる。本願請求項5の発明によれば、ガス拡散抵抗層は、骨格を形成するセラミック焼結体の基材を、素子本体の焼成温度において焼結させることができる。これにより焼成温度の高温化を抑制しながら、ガス拡散抵抗層を焼結させて強度を向上させ、容易に上記効果が得られる。本願請求項6の発明によれば、ガス拡散抵抗層の骨格に平均粒径0.2~0.4μmのアルミナを用いることで、ジルコニア系固体電解質からなる固体電解質層の焼成温度通常、1450°C程度にて、セラミック焼結体とすることができる。したがって、比較的低温で一体焼結が可能であり、低コストで高性能なセンサ素子を実現できる。本願請求項7の発明のように、本願発明の積層セラミック排気ガスセンサ素子は、空燃比センサ等の排気ガスセンサとして有用であり、センサ応答性に優れるので、多気筒内燃機関の排気通路の集合部に設置されて気筒差を検出することができる。よって、気筒別の空燃比を精度よく検出して最適な制御を行うことができる。本願請求項8の発明のように、各部を構成する未焼成のグリーンシートを積層して、焼成することにより素子本体が得られる。この際、ガス拡散抵抗層は、骨格を形成するセラミック粒子に気孔形成粒子を添加したペースト等を用いて、排気ガス側電極を覆うように配置した未焼成層を焼成し、気孔形成粒子を焼失させることで形成することができる。好適には、樹脂ビーズを用いると、互いに連通して拡散通路となる気孔形成が容易にでき、比較的低温で焼結し所望の気孔率を有する多孔質構造体とすることで、強度を確保できる。この素子本体の外周に多孔質のセンサ保護層を形成することで、本願発明の積層セラミック排気ガスセンサ素子を製造することができる。以下に、本発明を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の第1の実施形態における積層セラミック排気ガスセンサ素子1の概略構成を示す図であり、図2は、図1の積層型ガスセンサ素子1を含む排気ガスセンサSの全体構成を示す図である。排気ガスセンサSは、例えば、内燃機関としての自動車エンジンの排気管に設置されて、被測定ガスである排気ガス中に含まれる特定ガス成分濃度、例えば、酸素濃度、空燃比、NOx濃度等を検出するセンサとして使用することができる。特に、多気筒エンジンの制御装置において、空燃比制御に用いられる空燃比センサA/Fセンサに好適であり、気筒毎の空燃比を応答性よく検出可能である。これについては後述する。図2において、排気ガスセンサSは、図示しない排気管壁に取り付けられる筒状ハウジングH1と、ハウジングH1内に絶縁保持される積層セラミック排気ガスセンサ素子1を有している。積層セラミック排気ガスセンサ素子1は、細長い板状で、中央部がハウジングH1内に配置した筒状絶縁体H2内に保持され、積層セラミック排気ガスセンサ素子1の先端部図の下端部は、ハウジングH1下端に固定される素子カバーH3内に収容されている。ハウジングH1上端には大気カバーH4が固定され、図示しない外部の制御回路に接続されるリード線S1が大気カバーH4内に延出している。リード線S1の延出端に設けられる金属端子は、積層セラミック排気ガスセンサ素子1の基端部図の上端部を両側から挟むように保持している。これにより、積層セラミック排気ガスセンサ素子1の基端部に設けた端子部S2と導通して、センサ信号の入出力を可能にしている。大気カバーH4と積層セラミック排気ガスセンサ素子1の基端部との間には、筒状絶縁体H5が充填されている。排気管内に突出する素子カバーH3は内外二重の有底筒構造で、内筒H6、外筒H7の側壁および底壁にそれぞれ排気口H61、H71が設けられる。これにより、排気管内を流通する特定ガスを含む排気ガスを、積層セラミック排気ガスセンサ素子1の先端部が位置する素子カバーH3の内部に取り込むことができる。一方、排気管外部に露出する筒状部材H4の上端部には、側壁に大気口H8が形成されており、積層セラミック排気ガスセンサ素子1の基端側から内部に大気を導入可能となっている。図1aに、積層セラミック排気ガスセンサ素子1の先端部断面の拡大図図2のA-A線断面図を、図1bにその主要部である素子本体1 ́の積層構造を示す。図示するように、積層セラミック排気ガスセンサ素子1の素子本体1 ́は、酸素イオン導電性固体電解質層11と一対の電極を有するセンサ部2と、センサ部2を加熱するためのヒータ部3と、センサ部2に導入される排気ガスの量を制御するためのガス拡散抵抗層4とを備える。センサ部2は、酸素イオン導電性固体電解質層11の一方の面側図の上側表面に、排気ガス側電極である検出電極12を形成するとともに、他方の面側図の下側表面に、基準ガス側電極である基準電極13を形成し、対向する一対の電極としている。拡散抵抗層4は、排気ガスが導入されるセンサ部2の上面側に積層され、ヒータ部3は、センサ部2の下面側に積層されている。また、素子本体1 ́は、外周表面の全体がセンサ保護層5にて被覆されている。酸素イオン導電性固体電解質層11は、部分安定化ジルコニアを主成分とするジルコニア系固体電解質を平板状としたもので、その両面の対向位置に、一対の電極となる検出電極12と基準電極13が形成される。部分安定化ジルコニアとしては、例えば、ジルコニアZrO2にイットリアY2O3等の安定化剤を添加したイットリア部分安定化ジルコニアが好適に使用される。また、アルミナ等の他のセラミック成分を添加することで、積層される他の層との接合性を向上させることができる。酸素イオン導電性固体電解質層11の下側表面には、アルミナAl2O3を主成分とする絶縁セラミック材料からなるセラミック基体21が積層される。セラミック基体21は、上面中央部に基準ガス室22を形成する溝部を有し、基準ガス室22に面して基準電極13が配置される。基準ガス室22は、図2の大気カバーH4内空間に連通しており、外部から基準ガスである大気が導入されるようになっている。一方、酸素イオン導電性固体電解質層11の上側表面には、チャンバ形成層14が積層される。チャンバ形成層14には、排気ガス室42となる開口部が形成され、この排気ガス室42に面して、基準電極13と対向する位置に、検出電極12が配置される。チャンバ形成層14は、アルミナを主成分とする絶縁セラミック材料からなる。さらに検出電極12の上面側に積層して、多孔質のセラミック焼結体からなるガス拡散抵抗層4が構成される。ガス拡散抵抗層4は、排気ガス室42となる開口部を閉鎖するようにチャンバ形成層14に積層されて、検出電極12の上方を覆い、その上側に、遮蔽層41が積層される。ヒータ部3は、アルミナを主成分とする絶縁セラミック材料からなるヒータ基体層31に、発熱抵抗体からなるヒータ32を所定パターンに形成して構成される。ヒータ部3は、基準ガス室22を形成するセラミック基体21の下面側に積層され、これによりヒータ32がセラミック基体21とヒータ基体層31の間に埋設保持される。ヒータ32は、外部からの通電により発熱して、センサ部3を所定の温度まで加熱し、活性化する。これら酸素イオン導電性固体電解質層11、セラミック基体21、チャンバ形成層14およびヒータ基体層31は、ドクターブレード法や押し出し成形法等の公知の方法により、シート形状に成形することができる。また、検出電極12と基準電極13、ヒータ32には、それぞれリード部12a、13a、32aが接続され、酸素イオン導電性固体電解質層11、ヒータ基体層31に形成したスルーホール15を介して、端子部16に接続されている。これら検出電極12と基準電極13、ヒータ32、接続されるリード部12a、13a、32a、端子部15は、スクリーン印刷等により形成することができる。ガス拡散抵抗層4は、互いに連通する多数の気孔を内包する多孔質の骨格構造を有し、被測定ガスである排気ガスが拡散により透過できるよう構成されている。本発明では、特に、ガス拡散抵抗層4を、多孔質のセラミック焼結体で構成し、かつ気孔率を60~80、好適には70~80となるように調整することで必要な強度とガス透過率を両立させる。ガス拡散抵抗層4の気孔率が60に満たないと、センサ保護層5を通過してガス拡散抵抗層4に導入される排気ガスが、検出電極に到達するまでに混合されてしまい、センサ応答性が低下する。また、80を超えると、多孔質の骨格の強度を十分保持することが難しい。遮蔽層41は、緻密なセラミック層であり、ガス拡散抵抗層4を挟んでチャンバ形成層14の上面に積層されて、ガス拡散抵抗層4の上面からの排気ガスの導入を遮断している。これにより、排気ガスの導入が、ガス拡散抵抗層4の側面からのみに制限され、拡散距離を略一定にするとともに、導入される排気ガス量を適切に調整することができる。遮蔽層41は、アルミナを主成分とする絶縁セラミック材料からなり、ドクターブレード法等の公知の方法により、シート形状に成形される。ガス拡散抵抗層4は、多孔質の骨格を構成する骨材粒子と、焼成により焼失する気孔形成粒子を含有する未焼成層を焼成してなる。具体的には、未焼成層は、骨材粒子に気孔形成粒子を混合して、有機バインダや溶剤を添加したペーストまたはシート状としたものを用いて形成される。ペーストを用いる場合には、遮蔽層41となるセラミックシートの所定位置に、ペーストを印刷することで未焼成層を一体に形成することができ、取り扱いや厚さの調整が容易である。これを焼成することで、未焼成層中の気孔形成粒子を焼失させ、骨材粒子同士を結合した多孔質のセラミック焼結体とすることができる。骨材粒子は、ガス拡散抵抗層4に導入される排気ガスと接触するため、アルミナ等の耐熱性、耐薬品性に優れるセラミック粒子が用いられる。気孔形成粒子は、樹脂ビーズ、例えばナイロンビーズが好適に用いられ、所定の気孔率が得られるように、気孔形成粒子の添加量を調整する。好適には、ガス拡散抵抗層4の基材は、素子本体1 ́の焼成温度で焼結可能な材料で構成される。ここでは、素子本体1 ́の焼成温度は、センサ部2の主要部を構成する酸素イオン導電性固体電解質層11の焼成温度例えば、1450°Cであり、このため、ガス拡散抵抗層4の基材、すなわち骨格を構成する骨材粒子には、平均粒径0.2~0.4μmのアルミナ粉末が、特に好ましい。一般に、アルミナは焼結温度が高く例えば1600°C以上、より低い温度で焼結させるために、カルシアCaO等の焼結助剤を添加することが行われるが、気孔率の大きいガス拡散抵抗層4の基材に、他の成分が含まれることで焼成時に他の層へ拡散して影響を与えるおそれがある。これに対して、平均粒径0.2~0.4μmのアルミナ粉末を用いることで、焼結助剤を使用せずに、低温焼結例えば1400°C~1500°Cが可能になり、骨材強度の高い多孔質セラミック焼結体を得ることができる。平均粒径が0.2μm未満であると、取り扱いが困難であり、0.4μmを超えると1500°C以下での焼結が難しくなる。本実施形態において、積層型ガスセンサ素子1は、導電性固体電解質層11であるジルコニアシートと、他の層を構成するアルミナシートが同時焼成にて一体化した構造となっており、ジルコニアシートとアルミナシートは同時焼成で剥離等無きよう、焼成収縮挙動を合わせた設計がなされている。このため、ガス拡散抵抗層4を強度の高い多孔質体とするためには、素子基材であるジルコニアシート、アルミナシートと焼成収縮挙動を合わせた設計とすると良く、特に、素子本体1 ́で使用したアルミナシートと同じ素材同じ粒子径のアルミナの使用が好適となる。気孔形成粒子となる樹脂ビーズは、通常、骨材粒子より平均粒径が大きい球状粒子であり、好適には真球状に成形されていることが望ましい。特に、耐溶剤性に優れるナイロンビーズを用いると、ペースト調製時に使用される溶剤に溶解することなく、形状を保持するので、気孔率の調整が容易であり、焼成により焼失して互いに連通する気孔を形成しやすい。樹脂ビーズの平均粒径が小さいと、排気ガスの拡散に寄与しない閉孔が形成されやすく、平均粒径が大きいと、ガス拡散抵抗層4の強度が低下するおそれがあるため、ガス拡散抵抗層4の厚さ等に応じて、適宜設定する。通常、ガス拡散抵抗層4の厚さは10~40μm、好ましくは15~30μm程度とするのがよく、これに対して、樹脂ビーズの平均粒径を1/2以下、好ましくは、1/3以下とし、例えば、平均粒径1~20μmの範囲で設定するとよい。気孔形成粒子を樹脂ビーズとすることで、未焼成層に添加される樹脂バインダと、同等の温度例えば400°C程度で、溶融分解させることが可能になる。したがって、樹脂ビーズの焼失により形成される気孔を通じて、樹脂バインダの分解ガスを容易に除去することができる。これに対し、一般的な気孔形成粒子であるカーボン粒子は、溶融分解する温度がより高く例えば、600°C程度、樹脂バインダの分解ガスが速やかに排出されずに、多孔質骨格の強度等に影響を与えるおそれがある。また、カーボン粒子は溶剤吸収性が高いため、未焼結体にて形状形成する際にスラリーへの溶剤添加量が高くなる。その結果、溶剤乾燥に時間が掛かる、未焼結基材シートへの溶剤によるアタック量が大きくなる等の問題が発生する可能性がある。素子本体1 ́は、ガス拡散抵抗層4となる未焼成層を、センサ部2およびヒータ部3を構成する各層の未焼成シートとともに積層した未焼成積層体を、一体に焼成することにより得られる。この時、ガス拡散抵抗層4が、所定の気孔率の多孔質セラミック焼結体となる。焼成温度は、1400~1500°Cの範囲で選択されることが好ましい。このため、センサ部2およびヒータ部3を構成するセラミック基体21、チャンバ形成層14およびヒータ基体層31がアルミナからなる場合には、ガス拡散抵抗層4と同様に、平均粒径0.2~0.4μmのアルミナ粉末を用いて未焼成シートを形成することで、焼結助剤を使用せずに低温焼結例えば、1450°Cが可能になる。素子本体1 ́の先端部は、少なくともヒータ部3によって加熱される領域について、その外周表面の全体が、多孔質のセンサ保護層5によって被覆されている。このため、図1aの横断面において、素子本体1 ́は、全ての角部をテーパ状に切り欠いた切欠き面としており、角部を含むセンサ保護層5の厚さが所定厚以上となるようにしている。また、ヒータ部3が形成される下側の切欠き面に対して、ガス拡散抵抗層4が形成される上側の切欠き面を広く形成し、排気ガスの導入口となるガス拡散抵抗層4の側面開口面積を確保して、適切に排気ガスを律速させて検出電極に導入できるようにしている。センサ保護層5は、耐熱性のセラミック粒子と無機バインダ等を含む混合体からなり、粒子間に形成される細孔に排気ガス中の水分および被毒物質Si、S等をトラップし、素子本体1 ́を保護する。センサ保護層5の気孔率は、ガス拡散抵抗層4の気孔率より小さく、好適には、45~60の範囲とするのがよい。センサ保護層5の気孔率が45未満であると、十分なガス透過性が得られないおそれがあり、また60を超えると、センサ保護層の多孔質構造を保持しにくく、耐被水性、耐被毒性の効果が小さくなり、強度が低下するので好ましくない。なお、本発明の構成では、遮蔽層41により、ガス拡散抵抗層4の上面からのガス拡散が遮断されている。このため、センサ保護層5には、外周の全体から排気ガスが導入されるのに対して、ガス拡散抵抗層4には遮蔽層41のない側面開口からのみ排気ガスが導入されることになる。したがって、ガス拡散抵抗層4の気孔率がセンサ保護層5より大きくても、センサ部2に導入される排気ガスの拡散経路において、ガス導入量の律速はセンサ保護層5に大きく依存することはない。本発明では、このように、ガス拡散抵抗層4とセンサ保護層5の気孔率を適切に設定することによって、耐被水性、耐被毒性とセンサ応答性を両立させることができる。センサ保護層5を構成する耐熱性のセラミック粒子としては、親水性耐熱粒子、例えば、アルミナAl2O3、スピネルMgOAl2O3、シリカSiO2、チタニアTiO2のいずれかから選択される金属酸化物が用いられる。これにより、積層セラミック排気ガスセンサ素子1に水滴が付着しても、センサ保護層5において、速やかに親水性耐熱粒子の間に形成された細孔に速やか拡散させることができる。したがって、センサ部2およびヒータ部3に水分が到達することがなく、被水割れを防止する。センサ保護層5を構成する耐熱性のセラミック粒子として、親水性耐熱粒子に、疎水性耐熱粒子、例えば、炭化硅素SiC、炭化タンタルTaC、炭化タングステンWC、炭化チタンTiC等の金属炭化物を混合することもできる。あるいは、センサ保護層5を親水性耐熱粒子の層と、疎水性耐熱粒子の層の複層構造とすることもできる。センサ保護層5の厚みは、図1aの横断面において、素子本体1 ́の積層方向の上下表面側の最大厚みが30~2000μm、角部における厚みが10~50μmの範囲となるのがよい。全ての部位において、センサ保護層5の厚みが10μm以上となるようにすることで、耐被水性、耐被毒性を確保することができる。また、平板状の素子本体1 ́において、積層方向の厚みが大きくなるようにすることで、各部の厚みを適切とし衝撃に対する割れを防止することができる。センサ保護層5は、センサ部2とヒータ部3および拡散抵抗層4、遮蔽層41となる各部の未焼成シートを積層した未焼成積層体を焼成して素子本体1 ́とした後、得られた素子本体1 ́を、耐熱性のセラミック粒子と無機バインダ等を含む混合体スラリーに浸漬し、乾燥した後、熱処理することにより得られる。この時、混合体スラリーの粘度を調整し、浸漬、乾燥工程を繰り返すことで、所望の厚みに形成することができる。また、センサ保護層5を形成する前に、素子本体1 ́の外周に、下地層51を形成して焼成し、素子本体1 ́との接合性を向上させる構成とすることができる。このようにして得られた積層セラミック排気ガスセンサ素子1を、図2の排気ガスセンサSとして、排気管内を流通する排気ガス中の特定成分を応答性よく検出することができる。図3は、排気ガスセンサSを、空燃比センサとして利用した多気筒エンジンEここでは、4気筒の制御装置の構成例である。図中、排気ガスセンサSは、多気筒エンジンEの排気マニホールドE1に近い排気管6壁に固定され、先端部が排気管6内に突出している。排気ガスセンサSの下流には、触媒Cが配設されている。多気筒エンジンEの各気筒には、それぞれインジェクタIが取り付けられており、電子制御装置ECUによって、燃料噴射量が制御されている。排気ガスセンサSの出力信号は、電子制御装置ECUに入力されており、排気ガスセンサSによって検出される空燃比が所望の値となるように、フィードバック制御している。ここで、多気筒エンジンEでは、インジェクタIの噴射量ばらつき等によって、各気筒における空燃比にばらつきが生じる場合がある。ところが、従来の積層セラミック排気ガスセンサ素子は、特に、外周にセンサ保護層を有することによって、センサ部に到達するまでの間に各気筒からの排気ガスが混合されてしまう。このため、検出される空燃比は、各気筒間の空燃比を平均化したものとなり、これに基づいて個々の気筒の燃料噴射量を決定すると、実際の空燃比を目標値に制御することが困難となる。これに対して、本願発明の積層セラミック排気ガスセンサ素子1は、ガス拡散抵抗層4の気孔率が60~80、好適には70~80と、センサ保護層5より十分大きく、センサ保護層5を通過した排気ガスが所定の拡散速度で速やかに検出電極12へ到達するので、センサ応答性が向上し、気筒毎の空燃比を検出することができる。また、ガス拡散抵抗層4はセラミック焼結体よりなり、強度低下を抑制して、信頼性を向上させることができる。本発明の積層セラミック排気ガスセンサ素子1による効果を確認するために、以下の方法で種々の試験用素子を作製して、ガス拡散抵抗層4の気孔率および焼成条件を変更した時のインバランス検出性およびガス拡散抵抗層4の強度に対する影響を調べた。1積層セラミック排気ガスセンサ素子1の作製まず、酸素イオン導電性固体電解質層11となるジルコニア系グリーンシートを得るために、原料となるイットリア添加ジルコニア粉末イットリア添加量6molに、アルコール系およびエステル系の溶媒を添加し、ボールミルで混合粉砕した。さらに、ポリビニルブチラール等のバインダ7.2重量と、可塑剤4.8重量を添加して混合し、所定粘度に調整したスラリーを用い、ドクターブレード法によりシート状に成形して、ジルコニア系グリーンシートを得た。次に、セラミック基体21、ヒータ基体層31、チャンバ形成層14、遮蔽層41となるアルミナ系グリーンシートを得るために原料のアルミナ粉末平均粒径0.2~0.4μmに、アルコール系およびエステル系の溶媒を添加し、ボールミルで混合粉砕した。さらに、ポリビニルブチラール等のバインダ12重量と可塑剤8重量を添加して混合し、所定粘度に調整したスラリーを用い、ドクターブレード法によりシート状に成形して、アルミナ系グリーンシートを得た。酸素イオン導電性固体電解質層11となるジルコニア系グリーンシートには、両面の対向位置に検出電極12、基準電極13と、リード部12a、13aとなる電極ペーストを印刷した。また、セラミック基体21用のアルミナ系グリーンシートには、上面に長手方向に延びる溝部にて基準ガス室22を形成し、ヒータ基体層31には、上面にヒータ32と、リード部32aとなる導電性ペーストを印刷した。これらグリーンシートに、さらに遮蔽層41となるグリーンシートに拡散抵抗層4となるスラリーペーストを印刷したグリーンシートを積層、加圧接着し未焼成積層体とした。ガス拡散抵抗層4は骨材粒子となるアルミナ粒子平均粒径0.2~0.3μmに、気孔形成粒子としてナイロンビーズ平均粒径5μmを添加し、エステル系の溶媒とエチルセルロース等のバインダ骨材アルミナ添加量を100重量としたとき26.0重量を添加したペースト状のものを用いて未焼成層を形成した厚さ20μm。この時、アルミナ粒子に対するナイロンビーズの配合割合を、35~85の範囲で変更して、種々の気孔率の焼結体が得られるようにした。この未焼成積層体を脱脂後、所定の焼成温度で焼成して1450°C、2時間、素子本体1 ́を得た試験例1-5。得られた素子本体1 ́に、次の方法でセンサ保護層5を形成した。アルミナ粒子平均粒径22μm、無機バインダ5重量を分散媒に分散させたスラリーを形成し、素子本体1 ́に所定の厚さ厚さ300μmとなるよう塗布し、その後熱処理処理温度900°Cして、素子本体1 ́の先端部外周表面を被覆するセンサ保護層5を形成した。この時、試験例1-5の素子本体1 ́のそれぞれに対して、センサ保護層5の気孔率が、45、65となるようにした2種類の排気ガスセンサ素子1を作製した。また、比較のため、拡散抵抗層4を未焼結のセラミック体とした場合について、検討した。ガス拡散抵抗層4となるスラリーペーストを調製する際に、使用する骨材粒子として平均粒径1.5μmのアルミナ粒子を用いた以外は、同様の方法で、遮蔽層41となるグリーンシートに未焼成層を形成した。このグリーンシートをセンサ部2およびヒータ部3となるその他のグリーンシートに積層、加圧接着して未焼成積層体とし、1450°Cで焼成して、素子本体1 ́を得た試験例6-9。得られた素子本体1 ́に、同様にして、センサ保護層を形成し、気孔率が45、65の2種類の排気ガスセンサ素子1を作製した。なお、平均粒径1.5μmのアルミナ粒子を使用した場合、焼結温度は1600°C以上であり、この焼成温度では焼結しない。2積層セラミック排気ガスセンサ素子1の評価このようにして得た積層セラミック排気ガスセンサ素子1試験例1-9について、インバランス検出性の評価試験を行ない、ガス拡散抵抗層4の気孔率の影響を調べた。具体的には、表1に示す試験例1-9の排気ガスセンサ素子1を、それぞれ実機エンジンに設置して同一条件でセンサ出力を検出し、空燃比の変化に対する応答性からインバランス検出性を評価した。インバランス検出性の評価基準は、以下の通りとした。◎:目標とするインバランス値の1.2倍以上の感度○:目標とするインバランス値の1.1倍以上の感度△:目標とするインバランス値の1.0倍以上の感度×:目標とするインバランス値を満たさないものまた、ガス拡散抵抗層4の試験片について、ガス拡散抵抗層強度の評価試験を行なって、これらの結果を表1に示した。具体的には、試験例1-9のそれぞれについて、ガス拡散抵抗層4単体の強度を4点曲げ試験で評価した。また、気孔率を変更した試験例1-9の排気ガスセンサ素子1を作製した後、気孔構造として成立しているか観察した。ガス拡散抵抗層強度の評価基準は、以下の通りとした。◎:基材であるアルミナの焼結密度95時の強度に対し、強度低下25以下○:◎に対する強度低下が1/2未満△:◎に対する強度が1/2~1/3に低下×:焼成にて気孔構造に崩れが発生表1に明らかなように、ガス拡散抵抗層4の気孔率が35では、ガスを透過する開気孔を形成することができず、50でも十分ではない。60以上でインバランス検出可能となり、特に、70~80で最良となる。ただしガス拡散抵抗層4が未焼結である場合には、は、60以上で強度が低下し、85では気孔形状が崩れて、ガス拡散抵抗層にクラックが発生する。このため、ガス拡散抵抗層4がセラミック焼結体からなり、気孔率が60以上の場合に、インバランス検出性と強度を両立可能となり、特に、70~80であると望ましいことがわかる。また、試験例1-9の積層セラミック排気ガスセンサ素子1は、センサ保護層5の気孔率が45、60のいずれの場合も、同様の結果が得られた。したがって、センサ保護層5の気孔率が45~60の範囲にあれば、インバランス検出性および強度への影響はなく、ガス拡散抵抗層4を、気孔率が60~80のセラミック焼結体とすることで、空燃比センサとして気筒間差を検出可能な高性能な素子を得ることができる。本発明の積層セラミック排気ガスセンサ素子は、図1に示した構造に限らず、本発明の趣旨に沿う範囲で、適宜変更することができる。例えば、積層セラミック排気ガスセンサ素子を構成する各層間に、基材シートの凹凸を吸収するための緩衝層を形成することもできる。また、センサ保護層の接合性を高めるために、下地層を形成することもできる。