"複数のカソード磁石装置と、複数の前記カソード磁石装置のそれぞれに連結された伝達手段と、前記伝達手段のそれぞれに連結され、前記伝達手段を介して前記カソード磁石装置を所定の負荷条件で動作させる駆動手段と、前記駆動手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、複数の前記駆動手段のうち、任意の2つの前記駆動手段に供給された電力値の差分を算出し、前記差分と予め設定された判別条件とを比較し、前記差分が前記判別条件を満たす場合には前記伝達手段の異常を報知することを特徴とする成膜装置。前記判別条件は、前記差分が予め設定された閾値を所定時間越えた条件であることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。複数の前記カソード磁石装置は、基板搬送路の両側に配置されており、前記差分を算出する2つの前記駆動手段によって動作する前記カソード磁石装置は、前記基板搬送路を挟んで対向して配置されている一対の前記カソード磁石装置であることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜装置。前記所定の負荷条件は、複数の前記駆動手段が同一の負荷条件で同期して動作する条件であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の成膜装置。しかしながら、特許文献1の成膜装置に用いられる技術では、軸継手の破損や脱落等によりサーボモーターだけが空回りしている場合に自動的な異常検知ができないケースがあった。すなわち、モーター自体は回転し続けている一方、サーボモーターのトルクが減少するケースでは、トルクの増大やエンコーダの位置フィードバック値からでは異常検知が困難なためである。このため、軸継手の破損や脱落等の機械的な異常を発見するためには、駆動部を目視で確認するか、作業者がモーターの速度とトルク線図を分析して検知しなければならなかった。このことから、駆動部の機械的な異常を迅速且つ確実に検知できる手段が望まれていた。本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであり、カソード磁石の駆動部の機械的な異常を迅速且つ確実に検知できる成膜装置を提供することを目的とする。本発明に係る成膜装置は、複数のカソード磁石装置と、複数のカソード磁石装置のそれぞれに連結された伝達手段と、伝達手段のそれぞれに連結され、伝達手段を介してカソード磁石装置を所定の負荷条件で動作させる駆動手段と、駆動手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、複数の駆動手段のうち、任意の2つの駆動手段に供給された電力値の差分を算出し、差分と予め設定された判別条件とを比較し、差分が判別条件を満たす場合には伝達手段の異常を報知することを特徴とする。複数のカソード磁石を駆動するための複数の動力源を有する成膜装置において、カソード磁石の駆動部の機械的な異常を迅速且つ確実に検知することができる。以下に、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下に説明する部材、配置等は発明を具体化した一例であって本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨に沿って各種改変できることは勿論である。図1乃至9は本発明の一実施形態に係るカソード磁石駆動装置又は成膜装置について説明した図であり、図1は成膜装置の概略図、図2は成膜装置の成膜室の断面図、図3はカソード磁石駆動装置の横断面図、図4は図3のI-I断面図、図5はカソード磁石駆動装置の検知装置の概略図、図6は異常検知システムで測定されたカソード磁石駆動装置の様子正常時、図7は異常検知システムで測定されたカソード磁石駆動装置の様子異常時、図8は本発明の一実施形態に係るカソード磁石駆動装置の監視装置で測定された正常時と異常時の出力-時間線図の差分の絶対値を示す線図、図9は異常検知システムでの異常判定のフローチャートである。なお、図面の煩雑化を防ぐため一部を除いて省略されている。本発明に係る成膜装置1は、成膜室11に複数のカソード50を配置することで大型基板の成膜に対応させたスパッタリング装置である。成膜室11のカソード50の内部に配置されたカソード磁石80aを往復運動させる機構を持っており、このカソード磁石80aの往復運動は全てのカソード50で同期させている。成膜装置1では、異なるカソード50に配置されたカソード磁石80の動作中のトルクを検出し、これらのトルクを比較することでカソードの駆動装置の異常検知を行うことができるように構成されている。まず、図1に示した成膜装置について説明する。成膜装置1は、成膜室11、予備加熱室13、基板移載室15基板投入室LL,基板取出し室ULなどのチャンバが連結されて構成されている。また、ゲートバルブGVを介してこれらのチャンバが連結されている。これらのチャンバには、真空排気のための排気装置が連結されるとともに、基板Sを保持する基板ホルダ5と基板ホルダ5をチャンバ内の所定位置に搬送する不図示の基板搬送路が設けられている。成膜室11は、基板Sに成膜処理を行うチャンバであり、成膜装置1では、起立した姿勢で基板ホルダ5の両面に保持された二枚の基板Sに所定の成膜処理が行われる。成膜室11については図2に基づいてさらに後述する。予備加熱室13は、成膜室11とゲートバルブGVを介して連結されており、成膜処理を行う前の基板Sが保持された基板ホルダ5を成膜室11に搬送し、成膜処理後の基板Sが保持された基板ホルダ5を回収するように構成されている。予備加熱室13内には、成膜処理前の基板Sを所定温度に加熱する加熱装置不図示が備えられている。基板移載室15は、基板投入室LLと基板取出し室ULとから構成されている。基板投入室LL及び基板取出し室ULはそれぞれ予備加熱室13とゲートバルブGVを介して連結されている。基板投入室LLロードロックチャンバ及び基板取出し室ULアンロードチャンバは、いずれもゲートバルブGVを閉じた状態でベントと真空排気を繰り返すことができる。移載装置17は、大気圧に開放ベントされた基板投入室LL内の基板ホルダ5に、大気圧雰囲気に配置された基板カセット19aに保持された処理前の基板Sを搬入する。そして、基板投入室LL内を真空排気した後に基板投入室LLと予備加熱室13との間のゲートバルブGVを開放され、基板Sが保持された基板投入室LL内の基板ホルダ5は真空雰囲気の予備加熱室13に搬送される。なお、基板Sは被成膜面を上方向水平姿勢に向けて基板カセット19aに保持されているが、基板ホルダ5には被成膜面を水平方向に向けた姿勢起立姿勢で保持される。すなわち、基板Sは基板ホルダ5に移載されるとき移載装置17によって水平姿勢から起立姿勢に変更される。基板ホルダ5は、各チャンバ内に設けられた基板搬送路に沿って移動するためのスライダの上に基板Sを立てかけることができる枠体が設けられて構成されている。枠体の両側にそれぞれ基板Sを起立姿勢で保持することができる。すなわち、基板ホルダ5は、2枚の基板Sをいずれも成膜面を外側に向けた状態で保持することができるため、2枚の基板Sの成膜処理を同時に行うことができる。なお、基板Sの起立姿勢とは、基板Sの被処理面の裏面が水平方向重力方向に直行する方向に対して86~89.5°の角度を有するように、基板Sが基板ホルダ5に立てかけられる状態を示すものとする。成膜処理後の基板Sを保持した基板ホルダ5は、真空雰囲気の予備加熱室13から基板取出し室ULに搬入される。その後に、基板取出し室ULと予備加熱室13との間のゲートバルブGVを閉鎖して大気圧に開放ベントし、移載装置17によって、基板Sを大気圧雰囲気に配置された基板カセット19bに移載する。なお、図1に示した成膜装置の基板移載室15は、基板投入室LLと基板取出し室ULを異なるチャンバとして備えているが、基板移載室15を基板投入室LLと基板取出し室ULの機能をいずれも有する1つのチャンバとして構成してもよいことはもちろんである。成膜装置1で成膜処理される基板Sは、長さ2460mm、幅2160mm、厚さ1mm程度のガラス製であるが、サイズの異なる基板や、アルミニウムやステンレス製の基板であっても本発明に係る成膜装置で成膜処理できることはもちろんである。ここで、成膜装置1での基板Sの処理の流れについて説明する。基板カセット19aに収納された処理前の基板Sは、まず、移載装置17によって基板カセット19aから基板投入室LL内に配置された基板ホルダ5に搭載される。次に、基板ホルダ5に搭載された基板Sは、予備加熱室13内で所定の温度に加熱された後に成膜室11に搬入されて所定の真空処理が施される。なお、本実施形態の成膜室11では基板表面に対してITOなどの電極やAlなどの反射膜などがスパッタリング処理により成膜される。成膜室11で所定の成膜処理が施された基板Sは、予備加熱室13を通過して基板取出し室UL内まで搬送され、基板取出し室ULで基板ホルダ5から回収される。図2は、成膜装置の成膜室の断面図である。成膜室11は、基板ホルダ5を所定位置に搬送する不図示の基板搬送路と、基板ホルダ5に保持された基板Sに対してスパッタ成膜を行うためのカソード50と、カソード50の周囲を覆う断面略C字状のシールド板70を内部に備えている。シールド板70は、カソード50と同等な高さを有するとともに、横断面の形状が略C字状に形成されたステンレス製の板体である。シールド板70によって、カソード50の横断面方向では基板側を除く3方向が覆われている。カソード50は、略三角柱状であり軸方向を重力方向に向け、中心軸の周りに回動可能に配置されている。このカソード50は、基板搬送路を挟んで4個ずつ計8個成膜室11内に備えられている。なお、8個のカソードのそれぞれには符号501-508を付するが、任意のカソードを指すときは便宜上、符号50を付するものとする。これらのカソード50は基板搬送路を挟んで対象位置に、中心軸回転軸が平行になるように配置されている。また、基板搬送路の一方側に配置された4つのカソード50501,502,503,504は、外側基板搬送路の逆側に凸な円弧を描くように配置されている。同様に、基板搬送路の逆側に配置された4つのカソード50505,506,507,508も、外側基板搬送路の逆側に凸な円弧を描くように配置されている。基板Sに均一な成膜を行うためである。カソード50が基板搬送路の両側に配置されているため、基板ホルダ5の両側から同時にスパッタリングを行い、同時に2枚の基板Sに成膜を行うことができる。すなわち、処理前の基板Sが保持された基板ホルダ5が、基板搬送路に沿って成膜室11内に搬送されると、基板ホルダ5の両側に位置しているターゲット60から同時にスパッタリング処理が行われる。なお、基板ホルダ5の両側は、成膜面を外側に向けた基板Sをそれぞれ保持できるように構成されている。カソード50は、略三角柱状に形成されたカソードチャンバー61、カソードチャンバー61の三角形の各面に設けられたターゲット電極5151a,51b,51cを備えている。各ターゲット電極51の内側にはカソード磁石8080a,80b,80cが配置されており、ターゲット電極5151a,51b,51cのそれぞれにターゲット6060a,60b,60cを取り付けることができる。カソード磁石80を駆動するカソード磁石駆動装置90がカソードチャンバー61の内側に設けられている。カソードチャンバー61及びターゲット60は、いずれも基板Sの高さ方向の上下端よりも長い寸法を有している。カソードチャンバー61の上下端には蓋が取り付けられており、カソードチャンバー61内の雰囲気を、成膜室11内の雰囲気と隔離できる。図3はカソード磁石駆動装置の横断面図である。図3に基づいてカソード50の構成について説明する。カソードチャンバー61は略三角柱の中心軸を中心に回動するように成膜室11内に設けられている。カソードチャンバー61は略三角柱の中心軸が、基板の成膜面に対して平行若しくは僅かに傾斜角度を有するように配置されている。ターゲット60は、被成膜材料を含んだ略矩形の板状部材であり、カソードチャンバー61外周の三面にそれぞれ配置することができる。すなわち、各カソードチャンバー61のカソードチャンバー61の三面に設けられたターゲット電極5151a,51b,51cのそれぞれにターゲット6060a,60b,60cを取り付けることができる。それぞれのターゲット6060a,60b,60cは、バッキングプレートに被成膜材料がボンディングされて形成されている。同一のカソードチャンバー61に取り付けられるターゲット60の被成膜材料は、同種材料でも異種材料でもよく、基板Sに成膜する工程に応じて選択される。なお、本実施形態においては、全てのターゲット電極5151a,51b,51cに配置されているターゲット60の種類と順序は統一されている。各ターゲット電極5151a,51b,51cは、カソードチャンバー61の軸方向の中心軸を回転軸として回動させ、基板Sに対向させるターゲット60を選択することができる。複数のターゲット電極51を同時に使用することで複数枚の同種のターゲット60を同時に使用して一つの膜を成膜する。次に、各カソードチャンバー61を回転させて、次のターゲット60を選び、成膜された膜の上に次の膜を積層する。カソード磁石8080a,80b,80cは、カソードチャンバー61の内側で各ターゲット電極5151a,51b,51cの裏面に沿って往復運動可能に設けられた永久磁石である。このカソード磁石80を往復運動させてターゲット60の基板側表面に磁力を形成することでプラズマ生成密度と位置をコントロールすることができる。なお、本実施形態のカソード50は、1つ歯車93に連動して3つのカソード磁石が動作する構成であるので、これらのカソード磁石をまとめてカソード磁石装置と呼ぶことにする。また、動作するカソード磁石が一つだけの成膜装置に本発明を適用する場合には、1つのカソード磁石をカソード磁石装置というものとする。さらに、複数のカソード50を同一の歯車又はサーボモーターで動作させる成膜装置に本発明を適用する場合には、それらのカソードに設けられている全てのカソード磁石をまとめてカソード磁石装置と呼ぶものとする。例えば、成膜装置1に設けられている8個のカソード50を複数のグループに分けて、それぞれのグループを動作させるサーボモーターを共通にした場合には、同じグループに属するカソード磁石をまとめてカソード磁石装置と呼ぶことになる。図4は、図3のI-I断面図である。図4に基づいてカソード磁石駆動装置の構成について説明する。カソード磁石駆動装置90は、サーボモーター91とサーボモーター91の動力をカソードに伝達する伝達装置伝達手段を有して構成されている。サーボモーター91は、負荷を動作させる駆動力源であり、動作すると出力軸94を回転させることができる。伝達装置は回転軸92の回転に連動してカソード磁石80を動作させることができ、回転軸92はサーボモーター91の出力軸94と連結されている。回転軸92の先端には歯車93が一体に設けられており、カソード磁石80の裏面には歯車93と噛み合うラックが形成されている。サーボモーター91は、一方向と逆方向に交互に所定角度ずつ回転する。そのためカソード磁石80はターゲット60と一定距離を保ちながら往復運動する。サーボモーター91の出力軸94は、軸継手95によって回転軸92と機械的に接続されている。サーボモーター91は、1つのカソード50に1台ずつ配置されており、それぞれサーボアンプ98を介して制御装置99からの指令により動作する。サーボモーター91は動作中の出力値はそれぞれのサーボアンプにて計測されており、それぞれの電力値を読み出すことができる。なお、後述するがサーボアンプ98は、制御装置99からの指令値とサーボモーター91からの現在位置フィードバックを基にサーボモーター91への動力供給を行う装置である。上記構成により、カソード磁石駆動装置90は、サーボモーター91の出力軸94に軸継手95によって連結された回転軸92によって3つのカソード磁石8080a,80b,80cを同時に往復運動させることができる。また、カソード磁石80の往復運動は複数のターゲット電極51501~508から選択された複数の間で同期させることができる。ここで、制御装置99は、複数のサーボアンプ98に対して指令値コマンドを与えるとともに、サーボモーター動作中の出力値を監視する演算装置101を備えている。サーボアンプ98は、制御装置99からの指令値とサーボモーター91からの現在位置フィードバックを基に、サーボモーター91への動力供給を行う装置ドライバである。サーボモーター91の現在位置はエンコーダの読み取り値から算出される。制御装置99とサーボアンプ98を有して、カソード磁石駆動装置90の異常を検知する異常検知システム100が構成される。図5は異常検知システム100の模式図である。異常検知システム100は、上述のようにカソード磁石駆動装置90の異常を検知するシステムであり、サーボモーター91と等しい数のサーボアンプ98と制御装置99を含んで構成されている。異常検知システム100は、まず、異常監視の対象となるカソード磁石駆動装置90のサーボアンプ98からリアルタイムの出力値を読み出す。ここで、異常監視の対象となるカソード磁石駆動装置90は常に複数とされる。本実施形態においては2つのカソード磁石駆動装置90の出力値を読み出している。各カソード50は重量や機械的構造などが同じであり、また、サーボモーターの出力や動作速度などについて制御装置99から与えられる動作命令による負荷条件は同一である。そのため、サーボモーター91の出力値を比較する組み合わせは任意である。なお、演算処理は、比較演算回路102と閾値判断回路103を含んで構成される演算装置101で行われる。本実施形態においては、出力値を読み出す2つのカソード磁石駆動装置90の動作は同期しているが、動作タイミングがシフトさせても異常検知システムで検知することができる。この場合、比較する一方の出力値を、動作タイミングのシフトしている時間だけシフトさせて比較すればよい。すなわち、上述した同一の負荷条件とは、カソード磁石駆動装置90の動作タイミングまでをも同一とする趣旨ではない。また、負荷条件が同一でない場合にも、予め設定された負荷条件所定の負荷条件であれば、出力値の差分を比較することで異常を判別することができる。読み出した2つ出力値の差分の絶対値を比較演算回路102にて求め、差分の絶対値が所定の閾値を超えていた場合判断条件を満たす場合には閾値判断回路103にて検知し異常処理を開始する。異常の判定基準としては、差分の絶対値が閾値を所定時間に亘って超えた場合や、差分の絶対値が閾値を超えた部分の積分値が基準値を超えた場合などとしてもよい。ここで、出力値はサーボモーター91に電源ドライバから供給される電流電圧値電力値であり、サーボモーター91の発生するトルク値にも比例する値である。なお、異常判定のデータ処理については図9に基づいて後述する。差分の絶対値が所定の閾値を超えた場合は、比較したカソード50に取り付けられているカソード磁石駆動装置90のいずれか一方のサーボモーター91の負荷が低下若しくは上昇したことを示している。歯車93や軸継手95の変形や磨耗、破損、又は、歯車93への異物の噛み込みなどが考えられる。異常処理としては、異常を検知したカソード磁石駆動装置90の報知や、装置の停止などがある。ここで、異常検知システム100でのデータ処理について説明する。まず、図6、7に基づいてサーボアンプ98で測定されるデータについて説明する。図6a~図6cは、カソード磁石駆動装置の検知装置で測定されたカソード磁石駆動装置90の様子正常時である。図6aは速度-時間線図、図6bは出力-時間線図、図6cは位置-時間線図である。なお、図6~8の横軸は時間と表記されているが、ここでいう時間はサーボモーター91の位置情報であり、サーボモーターの回転角度や位置に置き換えることができるものである。図6aでは、サーボモーター91の速度はプラスとマイナスが交互に現われている。これは、カソード磁石80を揺動動作させるためサーボモーター91が正転と逆転を繰り返す動作を行うためである。速度はサーボモーター91に取り付けられているエンコーダをサーボアンプ98が読み込むことで測定されている。図6bの出力は、サーボモーター91に印加される電力値であり、速度が変化する際に大きな出力が負荷される様子がわかる。図6cの位置情報は、サーボモーター91の回転軸92の回転角度であり、サーボアンプ98で読み込まれたサーボモーター91のエンコーダの測定値から算出される。図7a~図7cは、カソード磁石駆動装置の検知装置で測定されたカソード磁石駆動装置90の様子異常時である。図7aは速度-時間線図、図7bは出力-時間線図、図7cは位置-時間線図である。図7a~図7cは軸継手95が破損した例である。まず、図7cの位置-時間線図に異常は見られない。軸継手95が破損してもサーボモーター91は正常に動作しているためである。図7aの速度-時間線図には若干の変動が認められるが、これは、回転軸92に何らかの部材が接触しているためと思われる。軸継手95の破損の状態によっては図7aも変化は観測されないことがあると思われる。図7bの出力-時間線図には、正常時図6b参照と比べて大きな変化が認められた。軸継手95が破損し、サーボモーターの出力軸94と回転軸92が連結されていないので、加速/減速動作時の出力値電力が正常時よりも小さくなるためである。図8cは正常時と異常時の出力-時間線図の差分の絶対値を示す線図である。図8aは正常時の出力-時間を示す線分であり、図6bと同じ線分である。図8bは異常時の出力-時間を示す線分であり、図7bと同じ線分である。出力について正常時と異常時の差分の絶対値を取ることによって変化を数値化できる。また、所定の値を閾値とすると、閾値を超えた時間や位置を測定することができる。すなわち、エンコーダの位置フィードバックでも異常検知することができない異常を検知することができる。異常検知システム100での異常判定のデータ処理は演算装置101で行われる。異常判定は演算装置101内で行われている。カソード磁石駆動装置90を駆動制御する際には常時監視が行われている。図9に基づいて異常判定のフローチャートについて説明する。ステップS101にて比較対象とする複数のサーボアンプ98,99から出力値電力を読み出す。S101の読み出しはリアルタイムで行われており、ステップS102にて任意の組み合わせの出力値電力を比較し、その差分の絶対値を算出する。S102で比較される出力値の組み合わせは任意であるが、同じ負荷条件で制御されている複数のカソード磁石を備えるカソード磁石駆動装置90に限られる。ただし、基板搬送路を挟んで対向して配置されている一対のカソード磁石駆動装置90は、負荷条件が最も近いため、異常判定を行う組み合わせに適している。その出力値の差分を算出して異常判定する際の閾値を小さくでき、異常判定の精度を確保しやすいためである。ステップS103にて、閾値との比較や持続時間、指定時間内での発生頻度等の条件判別条件で異常の有無を判別する。本実施形態では、S101とS102はリアルタイムで行われているため、S102で出力される差分が閾値を超えた状態が一定時間以上に亘り継続した場合に異常と判定する判別条件が採用されている。S103で異常なしと判断された場合にはステップS101に戻り、異常がない限りS101~S103の間を繰り返す。S103で異常有りと判断された場合にはステップS104に進む。ステップS104にて異常を検知したカソード磁石駆動装置90をユーザーに報知し、装置の停止等の処理を行う。S104でユーザーに異常を報知する手段として、アラーム音の出力や制御装置のディスプレイへの表示があげられる。なお、本実施形態のS102では、差分の絶対値を算出しているが絶対値演算でなくてもよい。絶対値演算を採用しない場合は異常が検知されたカソード50を特定できる検知システムとすることができる。具体的には、差分を取る基準となるカソード磁石駆動装置90を定めておいて、差分がマイナス側かプラス側かを判別すれば異常が検出されたカソード磁石駆動装置90を特定できる。なお、本実施形態では、サーボモーター91が正常に作動しない場合には、図9のフローチャートとは別の異常判断プログラムによって異常が報知される。サーボモーター91が正常に作動しない場合にはエンコーダの位置情報から異常が検知されるためである。もちろん、本実施形態の異常判定のフローチャートを実行する前に、サーボモーター91の異常判定を行ってもよい。例えば、制御装置でサーボモーターのエンコーダの回転角度情報を読み込み、予め設定されている回転角度情報と誤差差分が一定値以上に大きくなった場合にサーボモーターの異常を報知するように構成することができる。この場合、サーボモーターの回転角度情報に異常がない場合に、図9のフローチャートが実行される。本発明によれば、複数のカソード磁石を駆動するための複数の動力源を有する成膜装置において、エンコーダの位置フィードバックでも異常検知することができない異常を迅速且つ確実に検知することができる。特に、カソード磁石の駆動部の機械的な異常の発見に大きな効果が期待できる。"