"基準座標系において、半導体チップのピックアップステージとボンディングステージとの間の所定の座標に光センサを配置し、水平面沿いの一方向に設定座標値に従ってコレットを移動させながら、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはその装着部の縁部が、前記光センサの検知域を通過するのを該光センサで検知することにより、両縁部の中心である第一中央位置の座標値を検出し、水平面沿いの前記一方向に直交する方向に設定座標値に従ってコレットを移動させながら、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはその装着部の縁部が、前記光センサの検知域を通過するのを該光センサで検知することにより、両縁部の中心である第二中央位置の座標値を検出し、検出された前記第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出方法。前記光センサにより、コレットの吸引孔の縁部を検知することを特徴とする請求項1に記載のコレット位置検出方法。前記光センサにより、コレットの外周縁部またはコレット装着部の縁部を検知することを特徴とする請求項1に記載のコレット位置検出方法。前記第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求めた後、コレットをコレット回転軸回りに90度回転し、回転後のコレットまたはその装着部の縁部を対象とし、前記第一中央位置の検出と同様にして、コレット中心に対して対称位置にある縁部の中心である第三中央位置の座標値を検出し、前記第二中央位置と同様にして、コレット中心に対して対称位置にある縁部の中心である第四中央位置の座標値を検出し、検出された前記第三中央位置及び第四中央位置からコレット中心の座標値を求め、該座標値と、前記第一中央位置及び第二中央位置に基づく前記検出座標値との差に基づいてコレット回転の偏心量を求め、該偏心量に対応してコレット、コレット装着部または前記コレット回転軸の偏心補正を行なうことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のコレット位置検出方法。基準座標系において、半導体チップのピックアップステージとボンディングステージとの間の所定の座標に配置された光センサと、水平面沿いの一方向及び該方向に直交する方向に設定座標値に従ってコレットを移動させると共に、この移動に基づいて得られる検出値を演算する制御部とを備え、前記制御部は、前記一方向へのコレットの移動により、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部の座標値信号を前記光センサが発したときに、各々の座標値を第一検出値として記録すると共に、前記一方向に直交する方向へのコレットの移動により、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部の座標値信号を前記光センサが発したときに、各々の座標値を第二検出値として記録し、前記第一検出値及び第二検出値からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出装置。本発明は、これら従来技術の問題を解決し、簡便に且つ精度上の制限を受け難い状態でコレットの位置を検出し得るコレット位置検出方法及び装置を提供することを目的とする。本発明は、上記目的を達成するため、基準座標系において、半導体チップのピックアップステージとボンディングステージとの間の所定の座標に光センサを配置し、水平面沿いの一方向に設定座標値に従ってコレットを移動させながら、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはその装着部の縁部が、前記光センサの検知域を通過するのを該光センサで検知することにより、両縁部の中心である第一中央位置の座標値を検出し、水平面沿いの前記一方向に直交する方向に設定座標値に従ってコレットを移動させながら、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはその装着部の縁部が、前記光センサの検知域を通過するのを該光センサで検知することにより、両縁部の中心である第二中央位置の座標値を検出し、検出された前記第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出方法を提供するものである。本発明はまた、上記目的を達成するため、基準座標系において、半導体チップのピックアップステージとボンディングステージとの間の所定の座標に配置された光センサと、水平面沿いの一方向及び該方向に直交する方向に設定座標値に従ってコレットを移動させると共に、この移動に基づいて得られる検出値を演算する制御部とを備え、前記制御部は、前記一方向へのコレットの移動により、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部の座標値信号を前記光センサが発したときに、各々の座標値を第一検出値として記録すると共に、前記一方向に直交する方向へのコレットの移動により、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部の座標値信号を前記光センサが発したときに、各々の座標値を第二検出値として記録し、前記第一検出値及び第二検出値からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出装置を提供するものである。本発明に係るコレット位置検出方法は、基準座標系において、半導体チップのピックアップステージとボンディングステージとの間の所定の座標に光センサを配置し、水平面沿いにコレットを移動させながら、光センサでコレットまたはコレット装着部の座標値を検出する。コレットの移動は、設定座標値に従って水平面沿いの一方向に行ない、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部が検知域を通過するのを光センサで検知することにより、両縁部の中心である第一中央位置の座標値を検出する。コレットの移動はまた、設定座標値に従って水平面沿いの前記一方向に直交する方向に行ない、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部が検知域を通過するのを光センサで検知することにより、両縁部の中心である第二中央位置の座標値を検出する。そして、検出された第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正する。したがって、コレットを半導体チップのピックアップステージとボンディングステージとの間の移動経路に従って移動させるという簡単な操作に基づいてコレットの正確な位置検出を行なうことができる。コレットは、通常、半導体チップ吸着のために軸線方向に延びる断面円形または正方形の吸引孔を備えている。また、コレットの水平方向の外周縁部は、所定の一方向及びこれに直交する方向の各中心線に対して線対称である。コレット装着部は、例えばコレットホルダのように、コレットをコレットアームに装着し、中心位置がコレット中心の座標位置と正確に一致する部分であり、その縁部は、所定の一方向及びこれに直交する方向の各中心線に対して線対称である。したがって、これらの箇所が光センサの検知域を通過する毎に検知することにより、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部を検知することができる。本発明では、この縁部の検知を、水平面沿いの一方向、及び該一方向に直交する方向に行ない、各々で検知されるコレットまたはコレット装着部の縁部の中心を第一中央位置及び第二中央位置とし、これらの位置からコレット中心の検出座標値を求める。コレット中心の座標は設定値として基準座標系で決められているが、コレットホルダ部品の精度上の誤差やコレットの傾き等により、ずれを生じている場合がある。このずれ量によっては、ピックアップ時及びボンディング時のコレットの位置精度が十分に得られない場合がある。これに対し、上記のように、コレット中心の検出座標値を求め、検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することにより、コレットの座標を正確化することができ、設定値と検出値とを整合させてずれを解消乃至緩和することができる。制御部は、コレットの位置決めのための制御を行ない、この制御は高精度例えば1~数μmで行なうので、光センサの検出精度を高くしておけば、コレット中心の検出値も同レベルの高精度で得られ、検出精度の制限を受け難い。また、検出には作業者による認識作業を必要としないので、個人差に影響されることなく、高い精度を得ることができる。また、本発明に係るコレット位置検出装置は、上記検出方法を実施するために、光センサと制御部とを備える。この制御部は、前記一方向へのコレットの移動により、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部の座標値信号を光センサが発したときに、各々の座標値を第一検出値として記録すると共に、前記一方向に直交する方向へのコレットの移動により、コレット中心に対して対称位置にあるコレットまたはコレット装着部の縁部の座標値信号を光センサが発したときに、各々の座標値を第二検出値として記録し、前記第一検出値及び第二検出値からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正する。この補正により、コレットの座標を正確化することができ、設定値と検出値とを整合させてずれを解消乃至緩和することができる。これにより、上記本発明方法と同様の効果を得ることができる。このように、本発明によれば、簡便に且つ精度上の制限を受け難い状態でコレットの位置を検出し得るコレット位置検出方法及び装置を提供することができる。以下、本発明の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るコレット位置検出装置の斜視図である。このコレット位置検出装置1は、ボンディング装置2に設けられている。ボンディング装置2は、機台3、ピックアップステージ4、ボンディングステージ5、搬送装置6、ボンディングヘッド7等を備えている。ピックアップステージ4及びボンディングステージ5は、機台3のほぼ水平な作業面に配置されている。搬送装置6は、レール61に沿って基板Sをボンディング装置2の間口方向図の左右方向に搬送する。ボンディングヘッド7は、機台の前後方向に延び、機台後部に設けた駆動装置電動モータ70により後端部を駆動されてボンディング装置間口方向に往復動する。ボンディングヘッド7の前端部には、上下方向に延びるボンディングアーム8が支持されている。ボンディングアーム8は、所定位置への動作のために、ボンディングヘッド7により上下動自在に支持された第一中間部材81と、第一中間部材81材により前後動自在に支持された第二中間部材82と、第二中間部材82から下方へ延びるコレットアーム83と、該コレットアーム83の下端に支持されたコレット80とを備えている。これらの駆動のためにボンディングアーム8は、ボンディングヘッド7に支持され第一中間部材81を上下方向に駆動する駆動装置電動モータ85と、ボンディングヘッド7に支持され第二中間部材82を前後方向に駆動する駆動装置電動モータ86とを備えている。コレット80及びコレットアーム83には軸線方向に延びる吸引孔801が形成されており、第二中間部材82には、吸引孔801に連通するポート821が設けられ、該ポートに吸引チューブ822が接続されている。半導体チップを保持するウェーハリングをピックアップステージ4に対して供給及び排出するための供給装置及び排出装置が、ピックアップステージ4の上流側及び下流側に設けられている。ボンディングステージ5の上流側には、基板Sをストッカから基板Sを搬送装置6へ移行させるローダ、基板への接着剤塗布等を行なうプリフォーム部等が設けられ、ボンディングステージ5の下流側には、搬送装置6の終端部から機台3外へ基板Sを移行させるアンローダが設けられている。これらは、通常のボンディング装置に用いられるものであるので、ここでは説明及び図示を省略する。ピックアップステージ4は、ウェーハテーブル41を備えており、供給装置から供給されたウェーハリングを保持し、コレット80が半導体チップTを1個ずつ吸着して保持シートから剥離する操作を可能とする。ウェーハテーブル41は、機台3の間口方向及び前後方向、すなわち図1に示すX方向及びY方向における設定位置へ移動を行なうための駆動機構を備えており、ピックアップステージ4とボンディングステージ5との間を往復動するコレット80が、半導体チップTを順次吸着して移送するのを可能とする。コレット80及びウェーハテーブル41のX,Y方向への移動は、機台3の下部に設けられた制御部31による制御の下に行なわれ、制御部31は、機台3の所定位置を原点とする基準座標系に基づいて位置制御を行なう。なお、コレット80による吸着を円滑にするために、ピックアップステージ4では、例えば、突上げ針により半導体チップTを突き上げて保持シートから部分的に剥離した状態とする等、公知の種々の手段を採用することができる。ボンディングステージ5は、多数の基板Sを保持する保持板Hを、固定状態に保持し、コレット80が一列の基板Sに半導体チップTを移送した後に、次の列へ保持板Hを送るという操作を繰り返し、保持板H上の各基板Sに半導体チップTをボンディングするのを可能とする。ボンディングステージ5におけるこの送り動作も、制御部31により基準座標系に基づいて行なわれる。図2に示すように、機台3の上壁30に光センサ9が設けられている。光センサ9の位置は、半導体チップのピックアップステージ4とボンディングステージ5との間とすることにより、コレット80の移動距離を短くすることができ、このためには、通常のコレット移動経路内に光センサ9を配置するのが望ましい。光センサ9は、例えば、発光素子及び受光素子を備えたものとされ、検知域に位置する物体の有無に応じて、発光素子からの光の反射光が受光素子に到達するか否かで出力の高低を異ならせ、物体の有無の検知を可能とする。コレット80は、この実施形態では、上部の円筒状部分802及び下部の円錐台状部分803からなり、断面円形に形成されている。また、吸引孔801も断面円形に形成されている。したがって、コレット80が光センサ9に対してX方向及びY方向に移動したときの光センサ9の出力は、図3に示すように、コレット80の壁部が光センサ9の上方に差し掛かったときに高く、吸引孔801が光センサ9上方に位置するときに低く、再びコレット80の壁部が光センサ9上方に位置する間は高く、コレット80が光センサ9を通過すると低くなる。なお、この実施形態では、コレット80が、下部に円錐台状部分803を備えているので、この部分での反射光は、乱反射光の一部として光センサ9に到達する。その結果、円錐台状部分803での反射光による光センサ9への入力は、コレット下端面での反射光よるものよりは小さいが、吸引孔及びコレット外からの入力より明らかに高い値が得られる。制御部31は、X方向へのコレット80の移動により、コレット80の吸引孔801の縁部が光センサ9上を通過する毎に各々の座標値を第一検出値として記録する。同様に、制御部31は、Y方向へのコレット80の移動により、コレット80の吸引孔801の縁部が光センサ9上を通過する毎に各々の座標値を第二検出値として記録する。こうして記録された座標値に基づいてコレット中心の座標値を求めるために、制御部31には演算部310が設けられている。吸引孔801は、下端縁部が円形であるのでコレット中心を通る直線に対して線対称をなす。これに基づき、演算部310は、2つの第一検出値からその中央の第一中央位置の座標値を求め、2つの第二検出値からその中央の第二中央位置の座標値を求め、第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の座標値を求め、これをコレット中心の検出座標値とする。そして、予め定められたコレット中心の設定座標値をこの検出座標値に基づいて補正する。この補正は、例えば、設定座標値と検出座標値との差の分だけ基準座標の原点を移動させることにより行なうことができる。これに伴って、コレットによる半導体チップのピックアップ位置の座標値も補正される。光センサ9は、基準座標に対して正確な設定位置となるように治具等を用いて位置決めすることができる。この場合は、コレット中心の座標値を補正することにより、基準座標の原点位置の補正も行なわれる。これらの補正により、その後の制御部31によるコレット80の制御位置を短時間で適正化することができる。光センサ9によって検知されるコレット端面が、円形の吸引孔801のようにX軸及びY軸に関して線対称をなす形状の場合は、検知位置がコレット中心から若干ずれていても、正確な補正値を得ることができる。すなわち、図4に示すように、X軸及びY軸方向にコレット中心Oを通る直線X0,Y0に対し、光センサの検知位置がX1にずれを生じたとき、検知される第一検出値P1,P2は、間隔dが吸引孔801の直径Dより小さくなるが、d/2により求められるY軸方向の中心は、Y0として求められ、上記ずれは検出値に影響しない。これは、光センサの検知位置がY軸方向にずれているときも同様である。これにより、制御位置の適正化が確実に得られる。特に、制御部31は、コレットの位置決めのための制御機構を用いており、この制御機構は、例えば1~数μmという高レベルの精度で位置制御を行なう。したがって、光センサの検知精度をこれに匹敵する程度に高くしておくことにより、上記検出座標値及び補正値も制御機構と同様の高レベルで得られ、高精度の制御適正化が可能となる。したがって、コレットの位置検出について、精度上の制限を受け難い。また、検出には作業者による認識作業を必要としないので、個人差に影響されることなく、高い精度を得ることができる。図5は、本発明方法を実施する装置の実施形態において、コレット回転の偏心補正を行なう例を示している。この例では、ボンディングヘッド7の上部にコレット回転用の駆動装置87電動モータが設けられ、該駆動装置87及び上下駆動用の駆動装置85の各々の上に装着されたプーリ88a及び88b並びにこれらに巻き掛けられたベルト88cが連動装置88を構成している。プーリ88aはコレットアーム83に結合されており、駆動装置87の回転は、連動装置88及びコレットアーム83を介してコレット80aをコレットアーム83の軸線コレット回転軸線回りに回転させる。コレット80aは、上部804及び該上部より幅の狭い下部805からなり、断面矩形に形成されている。他の構成は、先の実施形態と同様であるので、説明は省略する。この装置は、次のようにして使用される。先ず、先の実施形態において説明したのと同様にして、コレット中心の設定座標値を検出座標値に基づいて補正する。すなわち、制御部31は、コレット80aのX方向への移動により、コレット80aの吸引孔801の縁部が光センサ上を通過する毎に各々の座標値を第一検出値として記録し、Y方向への移動により、吸引孔801の縁部が光センサ上を通過する毎に各々の座標値を第二検出値として記録する。そして、演算部310は、2つの第一検出値からその中央の第一中央位置の座標値を求め、2つの第二検出値からその中央の第二中央位置の座標値を求め、第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の座標値を求め、これをコレット中心の第一検出座標値X1,Y1とする。そして、予め定められたコレット中心の設定座標値をこの第一検出座標値に基づいて補正する。図6は、コレット80aの下面を示しており、は回転前、は回転後の状態を示している。ここでは、回転前にコレット中心Ocとコレット回転軸の回転中心Rとが、X軸、Y軸方向に各々、Xc,Ycだけずれており、回転後はコレット中心Oc’と回転中心RとがXc’,Yc’だけずれている状態を想定する。このずれ量の相違は、コレット中心Ocとコレット回転中心Rとが偏心していることに起因する。さらに、図7に示すように、設定座標系の原点Osに対するコレット中心の座標値XOc、YOcが、第一検出座標値X1,Y1として検知され、正しい原点Os’は、原点Osに対してXOc-X1、YOc-Y1だけずれている状態を想定する。この場合は、ずれに対し、第一検出座標値X1,Y1に基づいて原点Osの設定座標値をXOc-X1、YOc-Y1だけ補正すればよい。次に、駆動装置87及び連動装置88により、コレット80aをコレット回転軸回りに90度回転する。この回転後に、コレット80aの吸引孔801の縁部を対象とし、先の実施形態における第一中央位置と同様にして、コレット中心に対して対称位置にある縁部の中心である第三中央位置の座標値を検出する。また、第二中央位置と同様にして、コレット中心に対して対称位置にある縁部の中心である第四中央位置の座標値を検出する。そして、検出された第三中央位置及び第四中央位置から回転後のコレット中心Oc’の座標値を求め、第二検出座標値X2,Y2とする座標の基準は補正後の原点Os’である。そして第二検出座標値X2,Y2と第一検出座標値X1,Y1との差に基づいてコレット回転の偏心量を求める。これは、例えば、以下のようにして行なう。図7は、回転中心Rの回りにコレット80aを90度回転した状態を一点鎖線の円で示している。以下の偏心補正の計算上、初期の原点Osからの回転中心RまでのX軸及びY軸方向の距離を各々Xr、Yrとする。図6について説明した通り、回転中心Rから回転後のコレット中心Oc’のX軸及びY軸方向の距離は、各々Xc’、Yc’である。この状態において、以下の関係が成り立つ図7参照:Xr、Yr、Xc’、Yc’は未知の値であるが、コレット80aの回転が90度であるので、ハッチングを施した2つの四角形が同一形状であり、Xc’=Yc=Y1-YrYc’=Xc=Xr-X1設定座標系の原点OsからOs’への補正量:XOc-X1,YOc-Y1......式回転前におけるコレット中心Ocに対する回転中心Rの偏心量:Xc,Yc=Xr-X1,Y1-Yr......式回転後のコレット中心Oc’の第二検出座標値:X2,Y2という関係である。ここで、X2,Y2は、図7に示す関係から、X2=XrXc’=XrY1-Yr......式Y2=YrYc’=YrXr―X1......式式式により、X2Y2=2Xr-X1Y1したがって、Xr=1/2X1X2-Y1Y2......式式-式により、X2-Y2=-2YrX1Y1したがって、Yr=1/2X1-X2Y1Y2......式偏心量Xc,Ycを示す式に、上記式式を代入して、Xc=Xr-X1=1/2X1X2-Y1Y2-X1=1/2{X2-X1Y2-Y1}Yc=Y1-Yr=Y1-1/2X1-X2Y1Y2=1/2{X2-X1-Y2-Y1}となる。したがって、回転前におけるコレット中心Ocに対する回転中心Rの偏心量X,Y座標は、Xc,Yc=1/2{X2-X1Y2-Y1},1/2{X2-X1-Y2-Y1}となり、第一検出座標値X1,Y1及び第二検出座標値X2,Y2に基づいて偏心量が求められる。したがって、この偏心量に対応してコレット若しくはコレット装着部の中心、またはコレット回転軸の偏心補正を行なえばよい。上記いずれの実施形態においても、検出精度上の問題を生じない場合は、光センサとして、CCDカメラのような画像データを出力するものを用い、画像から検出座標値を得るようにすることもできる。また、光センサによる検知は、反射光に代えて、透過光を対象として行なうこともできる。この場合は、コレットまたはコレット装着部に対して一方の側及び他方の側に発光素子及び受光素子を対向するように配置し、発光素子から発せられた光が遮られるか否かによって、検知域におけるコレットまたはコレット装着部の通過を検知可能とすることができる。コレット中心の検出及びこれに基づく設定座標値の補正は、コレットの装着や交換を行なった直後に行なうことにより、以後の制御位置の適正化を行なうことができる。また、その検出や補正を、ウェーハリングの交換時や基板の補充時等に行なうことにより、ボンディング装置の処理時間の増大を皆無または最小限にすることができる。なお、コレット中心を検出するために光センサにより検知されるコレット位置は、水平面沿いの一方向及びこれに直交する方向において、コレット中心を通る直線に対して線対称をなす位置であればよく、円形の他、正方形等の多角形の吸引孔とすることができ、また、コレットの外周縁またはコレット装着部が、円形、正方形等の多角等、コレット中心を通る直線に対して線対称をなす場合は、これを検知対象とすることもできる。コレット装着部は、コレットをコレットアームに装着し、中心位置がコレット中心の座標位置と正確に一致する部分であり、例えば、コレットアームにおけるコレットホルダとすることができる。この場合は、コレットホルダの外周部等の縁部を検知対象とする。コレットの吸引孔を検知対象とする場合は、コレットが半導体チップを吸着していないときに検出を行なう。これは、前述のようにウェーハリング交換直後等に行なうのが望ましく、コレットが半導体チップの移送を繰り返している段階では、コレットの復路、すなわちボンディングステージからピックアップステージへの移動時に行なうこともできる。或いは、吸引孔を検知対象とする検知は、コレットの吸引孔を開放状態として該吸引孔を経る吸引流量の測定する際に行なうこともできる。また、コレットの外周縁またはコレット装着部の縁部を検知対象とした場合は、半導体チップがこれらの部分より小さければ、半導体チップを吸着した状態でも、コレット中心の検出を行なうことができる。いずれの場合もコレット中心の検出を複数回行なって、その平均値を求めることにより、検出精度をより高くすることができる。光センサによる検出は、コレットを光センサに近づけた状態で行なうのが望ましい。こうすることにより、コレット等の検知対象に僅かに生じ得る不可避的な傾斜がある場合でも、高い検出精度を保証することができる。コレットは、ボンディングを半田で行なう場合等、高温で使用されることがある。この場合は、熱膨張により設定座標値からのずれを生じやすいが、このコレット中心の検出及び補正によれば、熱による影響を回避または抑制して検出座標値を得て、設定座標値の補正を行なうことができる。本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、光センサの配置は、コレットが通常の処理操作においてピックアップステージとボンディングステージとの間の移動経路内とすることにより、移動距離及び検出時間を短くすることができるが、位置検出のタイミングをコレットの処理操作外のときとする等、余裕時間がある時とすれば、移動経路から或る程度離れていても、検出時間が全体の処理時間に影響するのを回避乃至緩和することができる。"