電子銃と、電子レンズと、前記電子銃及び電子レンズを保持するカラムと、透磁率に関し、前記カラムを鉛直方向に分割する少なくとも1つの非磁性部材と、前記カラム及び若しくは前記電子レンズの一部全周に亘り配置される、又は、前記カラム及び若しくは前記電子レンズの一部外壁の全周に沿って配置される、透磁率の高い方向が前記カラム軸の方向とは異なる異方性構造とを有することを特徴とする電子顕微鏡。請求項1に記載の電子顕微鏡において、前記異方性構造は、前記カラム軸に沿う方向に対する透磁率が低く、前記カラム軸と直交する面内における透磁率が高いことを特徴とする電子顕微鏡。請求項1に記載の電子顕微鏡であって、前記異方性構造の配置領域と前記非磁性部材の配置領域は、前記カラムの軸方向について、少なくとも一部で重複することを特徴とする電子顕微鏡。請求項1に記載の電子顕微鏡であって、前記異方性構造は、前記電子レンズの周辺を取り囲むように配置されることを特徴とする電子顕微鏡。請求項1に記載の電子顕微鏡であって、前記異方性構造は、強磁性部材と非磁性部材とが前記カラムの軸方向に交互に配置されることを特徴とする電子顕微鏡。電子源と、電子レンズと、前記電子銃及び電子レンズを保持するカラムと、前記カラムと共に真空容器を構成する試料室と、電子ビームに対して試料を相対的に移動するステージと、前記試料から放出される2次電子を捕捉する2次電子検出部と、透磁率に関し、前記カラムを鉛直方向に分割する少なくとも1つの非磁性部材と、前記カラム及び若しくは前記電子レンズの一部全周に亘り配置される、又は、前記カラム及び若しくは前記電子レンズの一部外壁の全周に沿って配置される、透磁方向が前記カラム軸とは異なる異方性構造とを有する電子顕微鏡。ところが、特許文献1に示す構造は、多量の高透磁率部材が必要であり、重量が増える問題がある。電子顕微鏡の軽量化を図るには、余分な磁気シールドの削減が効果的である。しかし、磁気シールド効果が十分でないと、環境磁場の変動に伴い、電子ビームの軌道空間が変動し、電子ビームの位置ずれやフォーカスずれ等が発生する。本発明者は、かかる技術課題を鋭意検討した結果、より少ないシールド材にて十分な磁気シールド効果を実現できる電子顕微鏡の構造を提案する。具体的には、透磁率の高い方向がカラム軸の方向とは異なる異方性構造を、カラム及び若しくは電子レンズの一部全周に亘り、又は、カラム及び若しくは電子レンズの一部外壁の全周に沿うように配置する。本発明によれば、環境磁場変動への耐性が強い、すなわち磁気シールド効果の高い電子顕微鏡を実現することができる。上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明の実施態様は、後述する形態例に限定されるものではなく、その技術思想の範囲において、種々の変形が可能である。以下の説明において、非磁性とは、その比透磁率が099以上101以下である特性をいうものとし、強磁性とは、その比透磁率が101より大きい特性をいうものとする。<形態例1>図1に、各形態例に共通する電子顕微鏡の概略構成を示す。電子顕微鏡は、電子銃1から放出された電子を集束レンズ2、偏向レンズ3、対物レンズ4を用いて偏向及び集束し、試料9の所定領域に照射する機能を有する。この明細書では、集束レンズ2、偏向レンズ3、対物レンズ4のそれぞれを電子レンズともいう。電子レンズを保持するカラム5は、一般に、強磁性体で構成される。試料9は、試料室容器7に収納される。試料室容器7とカラム5は対物レンズ4を挟んで接続されている。対物レンズ4、カラム5、試料室容器7は、全体として1つの真空容器を構成する。電子ビームと試料9の位置関係は、試料ステージ8により調整される。試料ステージ8は、XY平面内で試料位置を調整するXYステージと、Z方向について試料位置を調整するZステージで構成される。なお、カラム軸10は、偏向レンズ3が無偏向の場合の電子ビームの経路を示す。電子ビームにより照射された試料9の表面からは反射電子や2次電子が放出される。電子顕微鏡は、このうち2次電子を2次電子検出部6で補足する。電子顕微鏡は、偏向レンズ3による電子ビームの偏向及び試料ステージ8の位置調整により、試料9の様々な部位を検査又は撮像する。なお、試料ステージ8を構成する部品のうち、試料容器7内で移動される部品は、非磁性部材で構成されることが望ましい。図2に、電子顕微鏡に採用して好適な異方性構造12の一例を示す。ここで、異方性とは、透磁率に関する異方性をいい、カラム軸10とは透磁率の高い方向が異なることをいう。また、異方性構造とは、透磁率の高い方向がカラム軸10の方向とは異なる構造をいう。図2の場合、カラム5の下端付近対物レンズ4とカラム5が接続される端部付近で、カラム5は非磁性部材11によって鉛直方向に2つに分割される。この形態例の場合、カラム5と非磁性部材11はいずれも筒状であり、それらの内径と外径はいずれも同じである。異方性構造12は、非磁性部材11だけでなく、その周辺に位置するカラム5の外周面も覆うように配置される。この構造により、カラム本体には、カラム軸10に沿って、強磁性体-非磁性体-強磁性体が順番に出現する。すなわち、強磁性体は分割されており、強磁性体同士は接続されていない。一方、異方性構造12は、カラム軸10に沿う方向の透磁率が低く、カラム軸10に直交する面内における透磁率が高い構造を有している。異方性構造12は、カラム5の全周に亘って配置される環状の部材である。なお、異方性構造12と、カラム5及び非磁性部材11とは隙間無く接続されている。ここで、電子顕微鏡の設置環境に起因する外部磁場が電子顕微鏡に印加された場合を考える。カラム5は、強磁性体であるので磁束13を良く通す。なお、図2においては、便宜上、磁束13に進行方向があるものとし、その方向を矢印で示している。図2に示すように、カラム5の上方から誘導された磁束13は、カラム本体に沿って流れ、対物レンズ4の方向に誘導される。すなわち、図中、上方から下方へと誘導される。しかし、非磁性部材11は、大きな磁気抵抗であるため磁束が侵入しづらい。さらに、異方性構造12は、カラム軸10に対して直交する面内において高い透磁率を有している。従って、磁束13は、非磁性部材11の辺りから異方性構造12の方向に曲がり、そのままカラム5の外側へと誘導される。外側に誘導された磁束13は、強磁性体からなる試料室容器7又は試料室容器7が有する磁気シールドへと向かい、対物レンズ4に向かうことはない。この結果、カラム5の全体が強磁性体の連続体で構成されている場合と比べ、対物レンズ4に向かう磁束13を低減することができる。このことは、本形態例を適用した電子顕微鏡は、外部磁場変動に対する磁気シールド効果が高いことを意味する。図3に、本形態例で使用する異方性構造12をXY平面で切断した図を示す。なお、図3は、非磁性部材11より上方位置でカラム5を切断した図である。また、本図では、磁束14はカラム5に沿って印加されるのではなく、電子顕微鏡の外部から異方性構造12に直接誘導された磁束の流れを概念的に表している。図3に示すように、透磁率に関する異方性構造12は、紙面内XY平面内で磁束14を通し易い。このため、異方性構造12に外部から侵入した磁束14は、異方性構造12の内部へと進み、侵入してきた方向とは反対の方向に通り抜けることになる。このことは、本形態例に係る電子顕微鏡は、外部磁場変動に対して磁気シールド効果が高いことを意味する。<形態例2>図4に、異方性構造12の構造例を示す。図4も、電子顕微鏡をカラム軸10に沿って破断して示している。形態例2の場合も、非磁性部材11と異方性構造12は、対物レンズ4の上方位置に配置されている。ただし、本形態例の場合、異方性部材12は、非磁性部材11の表面と当該非磁性部材11に対して上方のカラム5を覆うように配置されている。また、この形態例の場合、異方性構造12は、カラム軸10の延長方向に間隔を空けて配置された複数枚本図では6枚の強磁性部材15で構成される。ここで、強磁性部材15は何れも同形状であり、カラム5の全周に亘って連続している。また、複数枚の強磁性部材15は等間隔で配置されている。強磁性部材15には、例えば1mm厚のパーマロイ板を使用する。また、6枚の強磁性部材15のうち鉛直方向上方の数個図4では2枚はカラム5の外壁に接続しておくことが望ましい。カラム5と強磁性部15との間の磁気抵抗を抑制し、両者間の磁束誘導をスムーズにするためである。<形態例3>図5に、異方性構造12の他の構造例を示す。図5に示す構造は、図4に示す異方性構造12の変形例である。図4に示す構造例との違いは、強磁性部材15が非磁性部材11と対物レンズ4の間に位置するカラム5の領域にも設けられる点と、強磁性部材15とカラム5との間には非磁性部材16が設けられている点である。すなわち、強磁性部材15がカラム5と直接接続されない構造を採用する点である。図3で説明したように、外部から侵入した磁束は、リング形状の強磁性部材15の内部に沿って流れ、反対側から外部へ放出される。ただし、図5に示すように、非磁性部材16を強磁性部材15とカラム5の間に挿入することにより、対物レンズ4への外部磁束の流入をより確実に防ぐことができる。<形態例4>図6のa及びbに、カラム5の表面への取り付けに適した強磁性部材15の構造例を示す。強磁性部材15は1枚板から作るのが理想である。ただし、その場合、強磁性部材15をカラム5に隙間無く設置することが困難になる。そこで、図6のaに示すように、強磁性部材15を複数枚本図では4枚用意し、それらを円周方向に連結してカラム5を取り囲むように設置する方法を提案する。このように、強磁性部材15を複数枚の部品に分割されている場合、鉛直方向の任意の高さ位置に、カラム5の全周を取り囲む異方性構造12を容易に配置することできる。ここで、強磁性部材15を互いに連結する方法には、図6のbに示すように、鉛直方向に強磁性部材15同士を重ね合わせる方法の他、カラム5の半径方向に強磁性部材15同士を重ね合わせる方法を用いても良い。このような取り付け手法を用いれば、鉛直方向に一定の間隔を空けて複数の強磁性部材15を簡単に設置することができる。<形態例5>図7に、異方性構造12の他の構造例を示す。図7の場合も、電子顕微鏡をカラム軸10に沿って破断して示している。図7に示す構造は、図4に示す異方性構造12の変形例である。図4に示す構造例の場合には、複数枚の強磁性部材15がいずれも同じ形状厚み及び半径が同じであり、かつ、それらが等間隔に配置されていた。しかし、図7に示すように、強磁性部材15の大きさ強磁性部材15が円盤形状の場合はその半径16、厚さ17、配置間隔18はいずれも異なっていても良い。<形態例6>前述までの形態例の場合には、強磁性部材15の外観が円盤状である場合について説明した。しかし、強磁性部材15の外形状は、図8に示すような四角形その他の多角形でも良いし、それ以外の任意の形状でも良い。また、カラム5の周辺には、電子顕微鏡の様々な装置が配置されており、異方性構造12の設置スペースも限られている。従って、図8に示すように、強磁性部材15の一部に切り欠けを設けた形状を採用しても良い。ただし、どのような形状を採用する場合でも、強磁性部材15はカラム軸10を周回する方向に連続体とすべきである。<形態例7>前述の各形態例の場合には、強磁性部材15をカラム5の外周面に配置する場合について説明した。しかしながら、カラム5の外周に異方性構造12を配置できる空間が無い場合も考えられる。そのような場合には、カラム5や対物レンズ4を構成する本体の一部分を異方性構造12で構成しても良い。図9に、この種の構造の一例を示す。図9は、非磁性部材11と強磁性部材15を交互に積層してカラム5や対物レンズ4の筐体の一部を構成する例を示している。<他の形態例>前述の形態例の場合には、異方性構造12の配置領域と非磁性部材11の配置領域がカラム軸10の延長方向について一部で重複する場合について説明した。しかしながら、異方性構造12の配置領域と非磁性部材11の配置領域の間に重複領域が存在しなくても良い。例えばカラム5の上端側と下端側とで離れていても良い。また、前述の形態例の場合には、主に、対物レンズ4の近傍位置に異方性構造12を配置する場合について説明した。しかし、集束レンズ2や偏向レンズ3の近傍位置に異方性構造12を配置しても良い。また、全ての電子レンズの近傍に異方性構造12を配置しても良い。なお、本発明は上述した形態例に限定されるものでなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上述した形態例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある形態例の一部を他の形態例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の形態例の構成を加えることも可能である。また、各形態例の構成の一部について、他の構成を追加、削除又は置換することも可能である。