力学量の印加により変位する可動部31を有し、この可動部31の変位量に応じて前記力学量を検出する力学量センサにおいて、前記可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、前記可動部31に対して加速度を加えるアクチュエータ40を備え、前記可動部31は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されており、前記駆動振動の方向に沿って前記可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、前記可動部31に対して前記アクチュエータ40による加速度の印加を行うことを特徴とする力学量センサ。力学量の印加により変位する可動部31を有し、この可動部31の変位量に応じて前記力学量を検出する力学量センサにおいて、前記可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、前記可動部31に対して加速度を加えるアクチュエータ40を備え、前記可動部31は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されており、前記コリオリ力の印加方向に沿って前記可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、前記可動部31に対して前記アクチュエータ40による加速度の印加を行うことを特徴とする力学量センサ。前記可動部31に対して対向する第1の固定部32aと、前記可動部31に対して対向する第2の固定部32bとを備え、前記力学量の印加時には、前記可動部31は前記両固定部32a、32bの一方に近づくとともに他方からは遠ざかるように変位するものであり、前記可動部31と前記第1の固定部32aとの間の容量と、前記可動部31と前記第2の固定部32bとの間の容量との差動容量をとることにより前記力学量を検出するようになっていることを特徴とする請求項1または2に記載の力学量センサ。前記可動部31を有するセンサチップ30は、前記アクチュエータ40の上に重なって配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の力学量センサ。前記可動部31と前記アクチュエータ40との間には、弾性を有する接着部材60が介在し、前記可動部31はこの接着部材60を介して前記アクチュエータ40上に支持されており、前記可動部31にはボンディングワイヤ50が電気的に接続されていることを特徴とする請求項4に記載の力学量センサ。前記アクチュエータ40は、前記可動部31の周囲に平面的に配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の力学量センサ。前記可動部31と電気的に接続され前記可動部31の信号が入力される回路部20が備えられており、この回路部20に入力された前記可動部31の信号により前記回路部20は前記アクチュエータ40を駆動させるようになっていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の力学量センサ。前記アクチュエータ40は、電圧信号により変位する圧電体を備えるものであることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の力学量センサ。前記アクチュエータ40は、静電力により駆動される静電駆動型のものであることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の力学量センサ。しかしながら、上記したような力学量センサにおいては、外部から衝撃などの過大な力学量が加わったとき、可動部も過大な変位を起こし、当該可動部に対向している部分に衝突して、可動部がダメージを受けたり、可動部が相手側の部分に付着するスティッキング現象を起こしたりする恐れがある。特に、この種の力学量センサでは、センサの特性向上のため、高感度化を行うべく、可動部を支持するバネを軟らかいものとすることが行われている。そのため、構造上の強度が低下し、可動部の過大な変位が起こりやすくなっており、上記した可動部の過大変位の問題が顕著となっている。本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、力学量の印加により変位する可動部を有し、この可動部の変位量により力学量を検出する力学量センサにおいて、過大な力学量によって可動部が過大変位するのを防止することを目的とする。上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部31に対して加速度を加えるアクチュエータ40を備え、可動部31は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されており、駆動振動の方向に沿って可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部31に対してアクチュエータ40による加速度の印加を行うことを、特徴とする。それによれば、可動部31に印加される力学量が過大であった場合、その過大な力学量によって可動部31の変位も過大となるが、この過大な変位を打ち消すように、可動部31に対してアクチュエータ40から加速度が印加されるため、過大な力学量によって可動部31が過大変位するのを防止することができる。また、請求項1のように、上記したアクチュエータ40による可動部31への加速度印加を行う構成において、可動部31が、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されている場合には、駆動振動の方向に沿って可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部31に対してアクチュエータ40による加速度の印加を行うことようにすればよい。また、請求項2に記載の発明のように、可動部31が角速度検出素子として構成されている場合には、コリオリ力の印加方向に沿って可動部31が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部31に対してアクチュエータ40による加速度の印加を行うようにしてもよい。また、請求項3に記載の発明のように、上記の各構成を有する力学量センサは、可動部31に対して対向する第1の固定部32aと、可動部31に対して対向する第2の固定部32bとを備え、力学量の印加時には、可動部31が両固定部32a、32bの一方に近づくとともに他方からは遠ざかるように変位するものであり、可動部31と第1の固定部32aとの間の容量と、可動部31と第2の固定部32bとの間の容量との差動容量をとることにより力学量を検出するもの、いわゆる差動型の力学量センサに用いて好ましい。また、請求項4に記載の発明のように、上記の各構成においては、可動部31を有するセンサチップ30を、アクチュエータ40の上に重ねて配置してもよい。この場合、体格の小型化が期待できる。さらに、この場合には、請求項5に記載の発明のように、互いに重なって配置されている可動部31とアクチュエータ40との間に、弾性を有する接着部材60を介在させ、可動部31をこの接着部材60を介してアクチュエータ40上に支持するとともに、可動部31にボンディングワイヤ50を電気的に接続した構成とすることができる。この場合、接着部材60の弾性により可動部31全体が動くことで、ボンディングワイヤ50がダメージを受けやすいが、そのような場合でも、アクチュエータ40による上記の過大変位の防止効果により、ボンディングワイヤ50のダメージを抑制しやすい。また、可動部31をアクチュエータ40上に重ねるだけでなく、請求項6に記載の発明のように、アクチュエータ40を、可動部31の周囲に平面的に配置してもよい。また、請求項7に記載の発明のように、上記の各構成において、可動部31と電気的に接続され可動部31の信号が入力される回路部20を備え、この回路部20に入力された可動部31の信号により、回路部20がアクチュエータ40を駆動させるようにすれば、回路構成の小型化が期待できる。また、請求項8や請求項9に記載の発明のように、上記の各構成において、アクチュエータ40としては、電圧信号により変位する圧電体を備えたものや、静電力により駆動される静電駆動型のものを採用することができる。なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。第1実施形態図1は、本発明の第1実施形態に係る力学量センサとしての加速度センサ100の概略構成を示す図であり、aは概略平面図、bは概略断面図である。また、図2は、図1aに示される加速度センサ100におけるセンサチップ30のより詳細な構成を示すための拡大平面図である。この加速度センサ100は、特に限定するものではないが、たとえば、エアバッグ、ABS、VSC等の作動制御を行うための自動車用加速度センサやジャイロセンサなどに適用することができる。図1に示されるように、この加速度センサ100は、大きくは、パッケージ10と、パッケージ10上に支持された回路チップ20と、この回路チップ20上に設けられたアクチュエータ40と、このアクチュエータ40の上に設けられたセンサチップ30とを備えて構成されている。パッケージ10は、センサチップ30、アクチュエータ40および回路チップ20を収納するものであって、加速度センサ100の本体を区画形成する基部となるとともに、加速度センサ100を被測定体の適所に取り付けるためのものである。このパッケージ10は、特に限定するものではないが、セラミックや樹脂などからなる。図1に示される例では、パッケージ10は、アルミナなどのセラミック層が複数積層された積層基板として構成されており、このパッケージ10における配線は、図示しないが、各セラミック層の表面や各セラミック層に形成されたスルーホールの内部などに形成されている。そして、この配線を介して加速度センサ100と外部とが電気的に接続可能となっている。また、パッケージ10の開口部には蓋11が溶接などにて取り付けられ、パッケージ10内部を封止している。回路部としての回路チップ20は、このパッケージ10の底面に搭載されており、エポキシ樹脂などよりなる図示しない接着剤を介して、回路チップ20とパッケージ10とは固定されている。この回路チップ20は、センサチップ30からの出力信号を処理するための検出回路後述の図3参照などが形成されたものである。たとえば、回路チップ20は、シリコン基板等の半導体基板に半導体プロセスを用いてMOSトランジスタ素子などを形成し、回路を構成したものである。この回路チップ20の上には、アクチュエータ40およびアクチュエータステージ41を介してセンサチップ30が搭載されている。ここで、これら回路チップ20、アクチュエータ40、アクチュエータステージ41、センサチップ30の各間は、図示しないエポキシ樹脂などよりなる接着剤を介して接着されている。そして、センサチップ30の各パッド34図2参照、回路チップ20のパッド21、およびパッケージ10における上記した図示しない配線は、金やアルミニウムなどのボンディングワイヤ50を介して電気的に接続されている。また、アクチュエータ40のパッド40aと回路チップ20との間もボンディングワイヤ50を介して電気的に接続されている。センサチップ30は、たとえば、第1のシリコン基板と第2のシリコン基板とを酸化膜を介して貼り合わせてなるSOIシリコン-オン-インシュレータ基板により構成されたものであり、可動電極と固定電極との間の容量変化に基づいて加速度を検出する静電容量式加速度センサチップを構成している。この静電容量式加速度センサチップは、周知のものであるため、ここではその概略を述べる。図2に示されるように、センサチップ30には、互いに対向する櫛歯状の可動電極31と固定電極32a、32bとを備えた梁構造体33が形成されており、図2中の矢印X方向に力学量としての加速度が印加されると、可動部としての可動電極31がこの矢印X方向へ変位する。そして、この変位量に基づいて両電極31、32a、32b間の静電容量信号が変化し、この容量信号は、上記ボンディングワイヤ50から回路チップ20へ取り出され、回路チップ20にて電圧等の信号に変換される。この変換された信号は、ボンディングワイヤ50からパッケージ10へ伝達され、パッケージ10に備えられた上記配線から外部へ出力される。このようにして、本実施形態においては、矢印X方向に印加される加速度が検出されるようになっている。つまり、本実施形態のセンサチップ30においては、可動部としての可動電極31は、力学量としての加速度が印加されたときに当該加速度の印加方向に変位する加速度検出素子として構成されている。言い換えれば、本実施形態の可動部31は、一方向へ変位可能なものであって当該一方向への力学量としての加速度を検出するものとして構成されている。特に、本実施形態では、可動部としての可動電極31に対して対向する第1の固定部としての第1の固定電極32aと、可動電極31に対して対向する第2の固定部としての第2の固定電極32bとを備えている。そして、可動部31の矢印X方向における加速度の印加時には、可動電極31は両固定電極32a、32bの一方に近づくとともに他方からは遠ざかるように変位する。そのため、本実施形態の加速度センサ100は差動型の検出動作を行うようになっている。この検出動作について具体的に説明する。本加速度センサ100においては、個々の可動電極31の側面に対してそれぞれ各固定電極32a、32bの側面が対向して設けられており、これら両電極31、32a、32bの側面の各対向間隔において、容量を検出するための検出間隔が形成されている。ここで、図2中の左側に位置する第1の固定電極32aにおける図中の下側の側面と可動電極31との間隔に、第1の容量CS1が形成されており、一方、右側に位置する第2の固定電極32bにおける図中の上側の側面と可動電極31との間隔に、第2の容量CS2が形成されているとする。そして、図2中の矢印X方向へ加速度が印加されると、可動電極31全体が一体的に当該矢印X方向へ変位し、この可動電極31の変位に応じて上記各容量CS1、CS2が変化する。たとえば、上記図1において、可動電極31が、矢印X方向に沿って下方へ変位したときを考える。このとき、第1の固定電極32aと可動電極31との間隔は広がり、一方、第2の固定電極32bと可動電極31との間隔は狭まる。そのため、上記第1の容量CS1は小さくなり、上記第2の容量CS2は大きくなり、これらの差動容量CS1-CS2をとることで検出感度が向上する。こうして、本実施形態では、可動電極31と各固定電極32a、32bによる差動容量CS1-CS2の変化に基づいて、矢印X方向の加速度を検出するようにしている。具体的には、この差動容量CS1-CS2に基づく信号が加速度センサ100から出力信号として出力され、この信号は上記回路チップ20にて処理され、最終的に出力される。図3は、本加速度センサ100における加速度を検出するための検出回路200の一例を示す回路図である。この検出回路200において、スイッチドキャパシタ回路SC回路210は、容量がCfであるコンデンサ211、スイッチ212および差動増幅回路213を備え、入力された上記差動容量CS1-CS2を電圧に変換するものとなっている。そして、本加速度センサ100においては、たとえば、第1の固定電極32aから振幅Vccの搬送波1を入力し、第2の固定電極32bから搬送波1と位相が180°ずれた搬送波2を入力し、SC回路210のスイッチ212を所定のタイミングで開閉する。そして、矢印X方向の印加加速度は、下記の数式1に示されるように、電圧値V0として出力される。数1V0=CS1-CS2Vcc/Cfこのように、本実施形態の加速度センサ100は、可動電極31と第1の固定電極32aとの間の容量CS1と、可動電極31と第2の固定電極32bとの間の容量CS2との差動容量CS1-CS2をとることにより力学量としての加速度を検出するものである。ここで、本実施形態の加速度センサ100においては、上記アクチュエータ40は、可動電極31が加速度によって変位する方向とは反対方向に、可動電極31に対して加速度を加えるものである。具体的には、アクチュエータ40は、可動電極31に対して上記図1、図2中の矢印X方向に沿った下方向きに検出対象となる加速度が印加されたとき、この矢印X方向に沿った上方向きにアクチュエータ40からの加速度を印加するようになっている。このアクチュエータ40は、電圧印加により自身が変位するものであり、本実施形態では、PZTなどの圧電体よりなる。ここでは、アクチュエータ40は、回路チップ20からの電圧印加により伸縮するようになっており、この伸縮により、このアクチュエータ40の上のアクチュエータステージ41が矢印X方向に動くようになっている。ここで、センサチップ30はアクチュエータステージ41に固定されているため、アクチュエータステージ41とともに、センサチップ30すなわち可動電極31も、アクチュエータ40によって矢印X方向に動く。このようにして、アクチュエータ40は、検出対象となる加速度とは反対方向に、可動電極31に対してアクチュエータ40による加速度を印加するようにしている。ここで、回路チップ20、アクチュエータ40、アクチュエータステージ41、センサチップ30の各間は、図示しないエポキシ樹脂などよりなる接着剤を介して接着されているものの、上記したようなアクチュエータ40の変形によりセンサチップ30が動くことが可能となっている。このことは、たとえば、アクチュエータ40とその上下のアクチュエータステージ41、回路チップ20との接着を全面ではなく、一部を接着した形とするなどにより可能である。このような圧電体よりなるアクチュエータ40の動作およびそれを実現するための構成については、従来よりよく知られている圧電体の原理を用いて、容易に実現できることはいうまでもない。また、アクチュエータステージ41は、電気絶縁性のセラミックなどよりなる板状の部材により構成されている。なお、アクチュエータ40のパッド40aは、アルミニウムの蒸着膜などよりなるものであり、上述したように、このパッド40aを介したワイヤボンディングを行うことにより回路チップ20とアクチュエータ40とが電気的に接続されている。このアクチュエータ40の作動について、図4、図5を参照して、具体的に述べる。図4は、本実施形態における加速度の検出機構およびアクチュエータ40の制御機構を示すブロック図である。図4に示されるように、回路部としての回路チップ20は、上記図3に示した検出回路200と、アクチュエータ40の作動を制御するアクチュエータ制御回路300とを備える。検出回路200は、上述したように、センサチップ30に発生した可動電極31と固定電極32a、32bとの間の容量変化CS1-CS2を、電圧に変換してセンサ出力として出力するものである。また、図4に示されるように、この容量変化CS1-CS2を電圧値に変換した信号である上記センサ出力は、アクチュエータ制御回路300に入力され、この制御回路300は、その入力されたセンサ出力に応じて、アクチュエータ40に制御信号を与えるようになっている。これにより、可動電極31に加わる加速度が過大である場合、可動電極31の矢印X方向とは反対方向にアクチュエータ40を駆動することで、可動電極31に加わる加速度を低減することが可能になる。この場合、入力された加速度に対する可動電極31の制御量は、原則的にはその変位を0とするように、アクチュエータ40を駆動することが理想である。そして、この場合は、従来より一般的に知られた、その制御量が加速度と等価となるサーボ式の加速度センサとしての動作方法を採用することが考えられる。しかし、このサーボ式の加速度センサの場合、可動電極を支持するバネが、当該可動電極のわずかな変位すなわち微小な加速度に追従するような軟らかさを必要とすることになり、そのため、可動部の支持部分などの構造強度が、外部衝撃などに対して弱いものとなってしまう。本実施形態では、検出対象である加速度を可動電極31の故障固定電極32a、32bへの衝突やスティッキングなどが生じないレベルにまで抑制できればよく、必ずしも、可動電極31の制御量が、上記サーボ式の場合のように検出対象である加速度と等価とならなくてもよい。つまり、本実施形態では、アクチュエータ40はノンサーボ式の制御でよい。この詳細は、図5に示される。図5は、ノンサーボ式の制御方法の一例を示す説明図である。本実施形態は、容量式加速度センサであり、センサチップ30に発生した可動電極31と固定電極32a、32bとの間の容量変化を、電圧としてのセンサ出力に変換して出力するものである。図5では、横軸に加速度、縦軸に電圧値としてのセンサ出力を示している。ここで、加速度検出範囲は、当該加速度センサ100において可動電極31の変位量により検出される加速度の検出範囲である。具体的には、加速度とセンサ出力とが直線性のよい関係にある範囲であり、この加速度検出範囲の上限のセンサ出力をVsとする。また、加速度検出範囲に対応するセンサ出力範囲は、図5に示されている。また、図5において、変位量の上限値として示している値は、可動電極31の変位量の限界に相当するセンサ出力すなわち加速度の値である。ここで、可動電極31の変位量の限界は、具体的には可動電極31と各固定電極32a、32bとの距離であり、それ以上になると、可動電極31が固定電極32a、32bに衝突して破損したり、スティッキングを起こす。そして、本実施形態では、上述したように、回路チップ20においては、上記検出回路200からのセンサ出力をアクチュエータ制御回路300に入力しているが、このセンサ出力が加速度検出範囲内すなわち加速度検出範囲の上限のセンサ出力Vs以下では、アクチュエータ40を作動させないようにしている。本実施形態では、上記加速度検出範囲の上限値Vsと変位量の上限値との間に、アクチュエータを駆動させる閾値アクチュエータ駆動閾値Vaが設けられている。そして、センサ出力が、このアクチュエータ駆動閾値Va以上となったときに、アクチュエータ制御回路300からの信号によりアクチュエータ40が作動するようにしている。そして、アクチュエータ40は、アクチュエータ制御回路300からの電圧信号を受けて、可動電極31の検出対象となる加速度による矢印X方向とは反対方向に、可動電極31に対して加速度を加える。このときアクチュエータ40から加えられる加速度は、図5中に示すように、アクチュエータ駆動加速度として示されており、その大きさは、センサ出力にほぼ対応したものとしている。また、アクチュエータ制御回路300からのセンサ出力電圧信号を受けて、当該信号が図5中に示されるアクチュエータ停止閾値Va’以下となったときに、アクチュエータ制御回路300は、アクチュエータ40の作動を停止するようにしている。このように、本実施形態では、アクチュエータ40は、可動電極31の検出対象となる加速度による変位方向とは反対の方向に、可動電極31に対して加速度を加える。それにより、アクチュエータ40は、可動電極31の変位量により検出される加速度が所定値本例ではアクチュエータ駆動閾値Va以上となった場合に、可動電極31の変位量を抑制して検出される加速度を当該所定値未満に抑制する。このように、本実施形態では、ノンサーボ式のアクチュエータ40による制御を行うことで、検出には影響を与えることはない。むしろ、DSPデジタルシグナルプロセッサなどを用い、FFTなどの信号処理を行うことにより、センサ構造、あるいは実装構造の共振周波数などの特定の周波数に限りアクチュエータ40を駆動するような制御も可能である。これにより、本来の加速度検出に影響を与えることなく、可動電極31の保護が可能となる。ところで、本実施形態によれば、力学量としての加速度の印加により変位する可動電極31を有し、この可動電極31の変位量に応じて加速度を検出する加速度センサ100において、可動電極31の加速度による変位の方向とは反対向きの方向に、可動電極31に対して加速度を加えるアクチュエータ40を備えている。それによれば、可動電極31に印加される加速度が過大であった場合、その過大な加速度によって可動電極31の変位も過大となるが、この過大な変位を打ち消すように、可動電極31に対してアクチュエータ40から加速度が印加されるため、過大な加速度たとえば外部衝撃によって可動電極31が過大変位するのを防止することができる。その結果、可動電極31のダメージやスティッキングなどを防止できる。言い換えれば、本実施形態では、可動電極31の変位量により検出される加速度が所定値以上となった場合に、可動電極31の変位量を抑制して検出される加速度を所定値未満に抑制するアクチュエータ40を備えているため、過大な力学量によって可動電極31が過大変位するのを防止することができる。また、本実施形態では、上記図4に示されるように、回路チップ20は、可動電極31と電気的に接続され可動電極31の信号が入力される検出回路200を備えたものとして構成されているが、回路チップ20は、さらにアクチュエータ制御回路300を備えている。そして、回路チップ20に入力された可動電極31の信号により、回路チップ20はアクチュエータ40を駆動させるようになっている。それにより、加速度センサ100における回路チップ20が1個のものでよい構成となり、小型化が可能となる。ただし、本実施形態においては、これに限定するものではなく、センサ出力用の回路部とアクチュエータ制御用の回路部とは別々でもよい。つまり、上記図4に示した検出回路200とアクチュエータ制御回路300とが別体の回路チップであってもよい。第2実施形態図6は、本発明の第2実施形態に係る力学量センサとしての加速度センサ110の概略構成を示す図であり、aは加速度センサ110の概略平面図、bは加速度センサ110の概略断面図である。上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。図6に示されるように、本実施形態においても、上記第1実施形態と同様に、可動電極31を有するセンサチップ30は、アクチュエータ40の上に重なって配置されている。そして、上記同様にアクチュエータ40が作用することにより、本実施形態でも、過大な加速度によって可動電極31が過大変位するのを防止することができる。ここで、本実施形態では、上記第1実施形態の構成に加えて、センサチップ30すなわち可動電極31とアクチュエータ40との間に、弾性を有する接着部材60を介在させており、可動電極31は、この接着部材60を介してアクチュエータ40上に支持されたものとしている。具体的には、接着部材60は、上記特許文献1に記載されているようなもの、たとえばシリコーン樹脂などの軟接着フィルムを採用することができる。そして、この接着部材60を介して、アクチュエータステージ41とセンサチップ30とが接着により固定されている。また、本実施形態の加速度センサ110においても、上記第1実施形態と同様に、可動部としての可動電極31および各固定電極32a、32bには、パッド34を介してボンディングワイヤ50が電気的に接続されており、このボンディングワイヤ50を介して、センサチップ30の各電極31、32a、32bと回路チップ20との間の信号のやりとりが可能となっている。ここで、本実施形態のように、センサチップ30の下を低弾性率の接着部材60により接着する方法を採用した場合、上記特許文献1にも記載されているように、センサチップ30に加わる熱応力を、その低弾性な接着部材60によって低減することができ、温度特性を良好にすることができる。しかしながら、接着部材60が低弾性であるがゆえに、その接着部材60によるセンサチップ30の支持構造における強度が低下し、過大な外部衝撃が印加されたときにセンサチップ30全体が過大変位しやすいという問題がある。このような問題がある場合には、センサ本体の強度が保証できなくなったり、また、そのセンサチップ30の過大変位によってボンディングワイヤ50に対して過大な応力が加わり、製品としての寿命が低下したりする恐れがある。その点、本第2実施形態においては、センサチップ30を軟接着フィルムなどの接着部材60により支持する構成としているものの、アクチュエータ40により、可動電極31が過大変位するのを防止できるだけでなく、センサチップ30全体の変位を抑えることができる。そのため、センサチップ30の変位によるボンディングワイヤ50の変形も抑えることができ、ボンディングワイヤ50も含めた保護が可能となる。その結果、ボンディングワイヤ50の断線などによる故障を防止することができる。第3実施形態図7は、本発明の第3実施形態に係る力学量センサとしての加速度センサにおける要部の概略平面構成を示す図であり、センサチップ30に対するアクチュエータ40の配置構成を示している。上記各実施形態では、可動部としての可動電極31は、アクチュエータ40の上に重なって配置されていたが、本実施形態では、図7に示されるように、可動電極31の周囲に平面的に配置してもよい。具体的には、図7においても、上記図1中の回路チップ20の上にセンサチップ30を支持した状態で、上記矢印X方向に沿ったセンサチップ30の両端に、アクチュエータ40をそれぞれ配置する。これらアクチュエータ40は、上記各実施形態と同様に、電圧信号によって変位し、その変位によりセンサチップ30が押されるため、アクチュエータ40による可動電極31への加速度の印加が可能となっている。このようにして、本実施形態においても、アクチュエータ40は、可動電極31の検出対象となる加速度による矢印X方向とは反対方向に、可動電極31に対して加速度を加えることができ、過大な外部衝撃などによって可動電極31が過大変位するのを防止することができる。なお、図7に示される例では、アクチュエータ40は、上記矢印X方向に沿ったセンサチップ30の両端に配置されているが、図7において、アクチュエータ40をセンサチップ30の一端側にのみ配置してもよい。第4実施形態図8は、本発明の第3実施形態に係るアクチュエータ40およびアクチュエータステージ41の概略平面図である。上記各実施形態では、アクチュエータ40として、電圧信号により変位する圧電体を備えるものであり、この圧電体の変位により可動部31に加速度を加えるものであったが、本実施形態では、アクチュエータ40は、静電駆動型のものである。具体的には、本実施形態のアクチュエータ40は、上記センサチップ30と同様に、半導体チップよりなり、この半導体チップに対して半導体プロセスを用いることで作成可能なものである。そして、図8に示されるように、バネ部としての梁42を介して半導体チップに支持されたアクチュエータステージ41を、櫛歯状のアクチュエータ40によって駆動するようになっている。アクチュエータ40は、対向する2つの櫛歯電極よりなるものであり、各櫛歯電極に対応するパッド43は、上記回路チップ20とボンディングワイヤなどを介して電気的に接続されている。そして、このアクチュエータ20には上記アクチュエータ制御回路300から信号電圧を印加されるようになっており、それによって、アクチュエータ40を構成する2つの櫛歯電極間に静電力が作用するようになっている。そして、このアクチュエータ40の静電力により、アクチュエータステージ41は、梁42の作用によって矢印X方向に変位するようになっている。そのため、本実施形態では、このアクチュエータステージ41上にセンサチップ30を搭載し、可動電極31の検出対象となる加速度による変位の方向とは反対向きの方向に、可動電極31に対してアクチュエータ40からの加速度を加えるようにすることで、上記第1実施形態と同様の作用効果を得ることが可能となる。他の実施形態なお、上記各実施形態においては、可動部31は加速度検出素子として構成されていたが、上記センサチップ30に設けられている可動部31は、力学量の印加により変位するものであればよく、一般に知られている角速度検出素子であってもよい。この一般的な角速度検出素子としての可動部31は、上記センサチップ30に対して半導体プロセスにより形成されるものであり、櫛歯構造を有する梁構造体とすることができる。なお、角速度検出素子としての可動部31の詳細な構成は、上記図2に示される加速度検出素子とは異なるものの公知であるため図示しない。このような角速度検出素子としての可動部31の一般的な作動について述べておく。たとえば上記図1において、励振機構によって可動部31が矢印X方向に駆動振動しているときに角速度が印加されると、矢印X方向と直交する方向上記図1では左右方向へコリオリ力により、可動部31は検出振動する。そして、この検出振動する可動部31の変位を、静電容量変化として検出することにより、角速度検出が可能となる。ここにおいて、アクチュエータ40は、たとえば上記図1と同様に、センサチップ30の下にアクチュエータステージ41を介して設ける。そして、駆動振動の方向に沿って可動部31が外部衝撃などの力学量によって変位する方向とは反対の方向、または、コリオリ力の印加方向に沿って可動部31が外部衝撃などの力学量によって変位する方向とは反対の方向、あるいは、これら両反対の方向に、アクチュエータ40から可動部31に対して加速度の印加を行うようにすればよい。なお、この角速度検出素子の場合にも、アクチュエータ40による加速度印加を行えるならば、アクチュエータ40は角速度検出素子としての可動部31に対して平面的に配置してもよい。また、角速度検出素子の性質上、好ましくはコリオリ力の発生方向への衝撃力をアクチュエータ40で緩和するようにした方が望ましい。また、採用可能なアクチュエータ40としては、上述した圧電体や静電駆動型のもの以外であってもよい。たとえば、従来の電磁力を用いたリニアソレノイド、リニアモータなどをアクチュエータ40とすることも可能である。