"少なくともカーボンナノ構造物の分散液と繊維とを混合して混合分散液を作製する第1工程と、前記混合分散液を用いてカーボンナノ構造物含有繊維シートを作製する第2工程と、前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを加熱して前記繊維を炭化又は除去することにより、前記カーボンナノ構造物を主体としてなるシート状カーボンナノ構造物を作製する第3工程と、をこの順序で含むことを特徴とするシート状カーボンナノ構造物の製造方法。請求項1に記載のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記繊維がセルロース繊維であり、かつ、前記混合分散液が水系の混合分散液であることを特徴とするシート状カーボンナノ構造物の製造方法。請求項1又は2に記載のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記混合分散液を網状部材に噴射することにより前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを連続的に作製することを特徴とするシート状カーボンナノ構造物の製造方法。請求項1又は2に記載のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記混合分散液を基材上にコーティングすることにより前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを連続的に作製することを特徴とするシート状カーボンナノ構造物の製造方法。請求項1又は2に記載のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記混合分散液を基材上に糸状に垂下させながら垂下位置を前記基材面に沿って走査することにより前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを連続的に作製することを特徴とするシート状カーボンナノ構造物の製造方法。請求項3~5のいずれか一項に記載のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記第1工程においては、少なくともカーボンナノ構造物の分散液と繊維と増粘剤とを混合して混合分散液を作製することを特徴とするシート状カーボンナノ構造物の製造方法。請求項1~6のいずれかに記載のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記第1工程においては、少なくともカーボンナノ構造物の分散液と繊維の分散液とを混合して混合分散液を作製することを特徴とするシート状カーボンナノ構造物の製造方法。しかしながら、従来のカーボンナノ構造物含有繊維シートの製造方法によって製造されるカーボンナノ構造物含有繊維シートは、カーボンナノ構造物以外に多量の繊維を含んでいるために、導電性を高くすることが困難であり、さらには、高温環境下で使用することが困難であるという問題がある。そこで、本発明は、導電性が高く、高温環境下で使用することが可能なシート状カーボンナノ構造物を製造することが可能な、シート状カーボンナノ構造物の製造方法を提供することを目的とする。本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意努力を重ねた結果、カーボンナノ構造物の分散液と繊維とを混合した混合分散液を用いて作製したカーボンナノ構造物含有繊維シートを加熱して、繊維を炭化又は除去する方法を採用することによって、導電性が高く、しかも、高温環境下で使用することが可能なシート状カーボンナノ構造物が製造可能となることを見出し、本発明を完成させるに至った。[1]本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法は、少なくともカーボンナノ構造物の分散液と繊維とを混合して混合分散液を作製する第1工程と、前記混合分散液を用いてカーボンナノ構造物含有繊維シートを作製する第2工程と、前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを加熱して前記繊維を炭化又は除去することにより、前記カーボンナノ構造物を主体としてなるシート状カーボンナノ構造物を作製する第3工程と、をこの順序で含むことを特徴とする。このため、本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法によれば、作製されたカーボンナノ構造物含有繊維シート中の繊維を炭化あるいは除去して、カーボンナノ構造物を主体としてなるシート状カーボンナノ構造物を製造することとしているために、導電性が高く、高温環境下で使用可能なシート状カーボンナノ構造物の製造を可能にすることができる。また、本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法によれば、少なくともカーボンナノ構造物の分散液と繊維とを混合した混合分散液を用いて作製したカーボンナノ構造物含有繊維シートを基にシート状カーボンナノ構造物を製造することとしているために、カーボンナノ構造物が凝集した状態で存在するおそれが少なく、カーボンナノ構造物の導電性等の特性を活かしたシート状カーボンナノ構造物を製造することが可能となる。なお、本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、カーボンナノ構造物とは、ほぼ炭素元素のみにより構成されたナノメートルオーダーの構造体のことを言い、グラファイト構造を持つシートであるグラフェンシート、1つのグラフェンシートが筒状になった単層カーボンナノチューブ、2つ以上のグラフェンシートが筒状に層をなしている多層カーボンナノチューブ、ナノメートルサイズの直径を持つカーボン繊維が直径1000nm以内でらせん状になったカーボンナノコイル、カーボンナノファイバー、カーボンナノホーン、カーボンナノカプセルなどを好ましく例示できる以下、本明細書においてCNTの用語は、これらのカーボンナノ構造物を含む総称として用いている。また、シート状カーボンナノ構造物とは、カーボンナノ構造物が主体となって構成されたシート状物のことを言う。また、カーボンナノ構造物含有繊維シートとは、繊維が主体となって構成され、カーボンナノ構造物が分散されているシート状物のことを言う。このカーボンナノ構造物含有繊維シートは、湿潤状態のもの及び乾燥状態のものをともに含む。[2]本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記繊維がセルロース繊維であり、かつ、前記混合分散液が水系の混合分散液であることが好ましい。このような方法とすることにより、カーボンナノ構造物が繊維表面に均一に付着した構造のカーボンナノ構造物含有繊維シートを作製することが可能となり、カーボンナノ構造物が均一に分散したシート状カーボンナノ構造物を製造することが可能となる。セルロース繊維は、カルボキシル基や水酸基などの親水基を有するため、水によく分散するからである。[3]本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記混合分散液を網状部材に噴射することにより前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを連続的に作製することが好ましい。このような方法とすることにより、混合分散液のうちの一部の溶媒を通過させながらカーボンナノ構造物含有繊維シートを網状部材上に作製することができるために、溶媒含有量の低いカーボンナノ構造物含有繊維シートを作製することが可能となり、爾後の加熱時間を短縮することが可能になる。[4]本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記混合分散液を基材上にコーティングすることにより前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを連続的に作製することが好ましい。このような方法とすることにより、混合分散液を無駄にすることなく効率的にシート状カーボンナノ構造物を製造することが可能になる。また、基材上にコーティングすることによりカーボンナノ構造物含有繊維シートを作製することとしているため、得られるシート状カーボンナノ構造物の厚さの管理を容易にすることが可能となる。[5]本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記混合分散液を基材上に糸状に垂下させながら垂下位置を前記基材面に沿って走査することにより前記カーボンナノ構造物含有繊維シートを連続的に作製することが好ましい。このような方法とすることにより、不織布状のシート状カーボンナノ構造物を高い生産効率で製造することが可能になる。[6]本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記第1工程においては、少なくともカーボンナノ構造物の分散液と繊維と増粘剤とを混合して混合分散液を作製することが好ましい。このような方法とすることにより、カーボンナノ構造物含有繊維シートを作製することが容易になり、ひいては、シート状カーボンナノ構造物を高い生産効率で製造することが可能となる。増粘剤としては、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸ソーダ、メチルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース、カゼイン、ポリアクリル酸ソーダ、スチレン-無水マレイン酸共重合体などの水溶性高分子、珪酸塩などの無機重合体等を単独で、あるいは、組み合わせて使用することができる。[7]本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法において、前記第1工程においては、少なくともカーボンナノ構造物の分散液と繊維の分散液とを混合して混合分散液を作製することが好ましい。このような方法とすることにより、カーボンナノ構造物と繊維とが良好に分散し、カーボンナノ構造物が凝集した状態で存在するおそれがより一層少ない混合分散液を作製することが可能となる。以下、本発明のシート状カーボンナノ構造物の製造方法について、図に示す実施形態に基づいて説明する。[実施形態1]図1は、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法を説明するために示す図である。図2は、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法を概略的に示す図である。図3は、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法における第2工程及び第3工程を説明するために示す図である。図3aは第2工程を説明するために示す図であり、図3bは第3工程を説明するために示す図である。図4は、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法における第2工程の別の例を説明するために示す図である。実施形態1に係るシート状CNTの製造方法は、図1及び図2に示すように、少なくともCNT分散液と繊維とを混合して混合分散液1Aを作製する第1工程混合分散液作製工程と、混合分散液1Aを用いてCNT含有繊維シート5Aを作製する第2工程CNT含有繊維シート作製工程と、CNT含有繊維シート5Aを加熱して繊維を炭化又は除去することにより、CNTを主体としてなるシート状CNT7Aを作製する第3工程加熱処理工程とをこの順序で含む。以下、製造工程に沿って実施形態1に係るシート状CNTの製造方法を詳細に説明する。1第1工程混合分散液作製工程第1工程は、CNTが分散して存在するように作製されたCNT分散液と繊維とを混合してこれらの混合分散液1Aを作製する混合分散液作製工程である。この工程においては、例えば、図1及び図2に示すように、タンク11内にCNT分散液、繊維等を投入して、混合装置13によってこれらを混合して混合分散液1Aを作製する。CNT分散液の作製方法は、特に限定されるものではなく、国際公開第WO2009/054415号、国際公開第WO2008/069150号などに例示された方法を好適に採用することができる。一例を挙げれば、CNTの分散を助ける界面活性剤を使用して、超音波処理等で分散する方法や、有機溶剤を使用して超音波処理等によって分散する方法、同じ極性を有する分子同士の斥力を利用して分散する方法、CNTに磁性体を付着させて分散する方法、CNTの表面を修飾することで分散する方法等を、単独で、あるいは、組み合わせて実施することで、CNTが凝集することなく均一に分散して存在するCNT分散液を作製することができる。用いられるCNTは特に限定されない。CNTの例としては、グラフェンシート、単層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブ、カーボンナノコイル、カーボンナノファイバー、カーボンナノホーン、カーボンナノカプセル等を単独で、あるいは、組み合わせて使用することができる。また、CNTの製造方法についても、CVD法、アーク放電法等、いずれの方法であっても構わない。CNT分散液に対して混合する繊維は、中間体として作製されるCNT含有繊維シート5Aの主体となる材料であり、実施形態1においてはセルロース繊維を用いる。セルロース繊維としては、例えば、木材パルプ繊維や非木材パルプ繊維、セルロース繊維を処理して得られるマイクロフィブリル繊維、バイオセルロース繊維等を単独で、あるいは、適宜組み合わせて使用することができる。ただし、第3工程においてシート状CNT7Aを効率的に作製するためには、炭化あるいは焼却される温度がCNTの耐熱温度よりも低い繊維を使用することが重要である。繊維は、乾燥状態の繊維をCNT分散液に直接投入するのではなく、あらかじめ繊維の分散液以下、繊維分散液と称する。を作製した上で、CNT分散液と混合することとしている。このように混合分散液1Aを作製することにより、繊維が凝集することを防ぐことができる。CNT分散液としては界面活性剤を含有するCNT分散液を用い、繊維分散液としてはCNT定着液を含有する繊維分散液を用いる。界面活性剤アニオン性界面活性剤と定着液カチオン性定着剤とは逆の極性を有する。そして、CNT分散液と繊維分散液とを混合する前に、繊維にCNT定着液を吸着させることとしている。混合分散液1Aには、これ以外にも、無機系あるいは有機系の接着剤や増強剤、増粘剤等の添加物を適宜混合することができる。製造するシート状CNT7Aの用途に応じて、混合する材料やその種類、混合比率等を決定することが好ましい。実施形態1に係るシート状CNTの製造方法は、網状部材19に混合分散液1Aを噴射する第2工程を含むものであるために、噴射装置によって混合分散液1Aを噴射できるように粘度や密度等を調整することが重要である。混合分散液1Aは有機系分散液又は水系分散液のいずれであってもよいが、中でも、少なくともCNT分散液やセルロース繊維を、水や水及びアルコールの混合溶媒等の溶媒中に分散させた水系分散液とすることが好ましい。水系分散液であれば、混合分散液1A中のCNTやセルロース繊維が均一に分散しやすくなる。なお、混合分散液1Aの作製に用いる混合装置13は特に限定されるものではなく、公知のミキサー等の中から、適宜最適なものを選択することができる。2第2工程CNT含有繊維シート作製工程第2工程は、混合分散液1Aを用いてCNT含有繊維シート5Aを作製するCNT含有繊維シート作製工程である。具体的には、混合分散液1Aを網状部材19に噴射して、繊維を主体としてなるCNT含有繊維シート5Aを連続的に作製する。第2工程は、以下のようにして行う。すなわち、図2に示すように、エンドレスベルト状の網状部材19を送りローラ23,25によって一方方向に回転させる。この状態で、図2及び図3aに示すように、ポンプ15によってタンク11内の混合分散液1Aを噴射ノズル17に向けて圧送し、混合分散液1Aの圧力が噴射ノズル17の開弁圧を超えたときに、あるいは、噴射ノズル17の開弁操作をすることで、送られていく網状部材19に向けて噴射ノズル17から混合分散液1Aが噴射される。噴射ノズル17自体が加圧機構を有していてもよく、この場合には、噴射ノズル17の加圧機構の動作によって混合分散液1Aの噴射動作を制御する。図3aに示す例では、ポンプ15によって圧送される混合分散液1Aが2系統に分配されて、2つの噴射ノズル17から混合分散液1Aが噴射されるようになっている。これにより、網状部材19上にCNT含有繊維シート5Aが作製され、上面にCNT含有繊維シート5Aが作製された網状部材19が順次加熱処理工程に送られる。実施形態1に係るシート状CNTの製造方法では、混合分散液1Aを網状部材19に噴射することとしているため、噴射後、加熱するまでの間に、混合分散液1A中の溶媒の一部が網状部材19を通過して落下する。網状部材19を通過して落下した溶媒は、溶媒受部28内に回収される。網状部材19を構成する材料自体は特に限定されないが、網状部材19は、送りローラ23,25によって一方方向に回転可能に構成されている。また、実施形態1のシート状CNTの製造方法においては、網状部材19上にCNT含有繊維シート5Aが堆積された状態で加熱装置30内に投入されるために、金属等の耐熱性の高い材料によって網状部材19を構成することが好ましい。噴射ノズル17の数は特に限定されるものではなく、1つ又は複数の噴射ノズル17から混合分散液1Aを噴射することができる。あるいは、図4に示すように、網状部材19の移動方向に直交する方向に配列された複数の吐出口を有する噴射ノズル17’により混合分散液1Aを噴射することもできる。作製されるCNT含有繊維シート5Aの厚さは、例えば10μm~1000μmである。噴射ノズル17によって噴射が可能となるように溶媒が比較的多い混合分散液1Aが用いられているため、噴射直後のCNT含有繊維シート5A図3aのCNT含有繊維シート5Aの厚さは、製造されるシート状CNT7Aの厚さに比べてやや厚めになる。第2工程においては、作製するCNT含有繊維シート5Aの厚さに応じて、混合分散液1Aの噴射流量と網状部材19の送り速度とを調節することが好ましい。3第3工程加熱処理工程第3工程は、CNT含有繊維シート5Aを加熱して繊維を炭化又は除去することにより、CNTを主体としてなるシート状CNT7Aを作製する加熱処理工程である。第3工程は、以下のようにして行う。すなわち、図2及び図3bに示すように、順次送られてくる網状部材19を加熱装置30内に通して、CNT含有繊維シート5Aを加熱処理する。これにより、CNT含有繊維シート5A中の繊維が炭化又は除去されて、シート状CNT7Aを連続的に作製することができる。作製されたシート状CNT7Aは巻き取りローラ27によって巻き取られる。使用する加熱装置30は特に限定されない。実施形態1に係るシート状CNTの製造方法においては、加熱装置30として燃焼炉を使用しているが、この他にも、電熱線を用いて構成した加熱装置や、赤外線を利用した加熱装置などを適宜使用することができる。なお、第2工程と第3工程との間に、CNT含有繊維シート5Aを図示しない1対のローラの間に通すことによって、CNT含有繊維シートを脱水する工程を実施するようにしてもよい。また、第2工程と第3工程との間に、CNT含有繊維シート5Aを図示しない乾燥機に通してCNT含有繊維シートを乾燥する工程を実施するようにしてもよい。温度や時間等の加熱条件は、セルロース繊維の種類や加熱装置30の構造、製造するシート状CNT7Aの特性に応じて適宜最適な値を選択することができる。セルロース繊維の一部又は全部を炭化させた状態で残すのか、あるいは、セルロース繊維を完全に焼却して除去するのかによって、加熱温度や加熱時間などが異なる。セルロース繊維を完全に除去するには、セルロース繊維を確実に焼失できる温度及び時間で加熱することが必要である。セルロース繊維を完全に除去した場合には、軽量、かつ、CNTの特性をより発揮させることができるシート状CNT7Aとすることができる。一方、一部又は全部のセルロース繊維を炭化して残す場合には、嵩密度が高く、比較的高強度のシート状CNT7Aとすることができる。加熱処理後に作製されるシート状CNT7Aの厚さは、例えば10μm~1000μmである。以上の工程を経て、シート状CNT7Aを連続的に製造することができる。製造されたシート状CNT7Aは、その後、使用目的や用途に応じて適宜の大きさに裁断されて使用される。実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、少なくともCNT分散液と繊維とを混合した混合分散液1Aを用いて作製したCNT含有繊維シート5A中の繊維を炭化又は除去して、CNTを主体としてなるシート状CNT7Aを製造することとしているため、導電性が高く、高温環境下で使用可能なシート状CNT7Aを製造することが可能となる。また、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、少なくともCNT分散液と繊維とを混合した混合分散液1Aを用いて作製したCNT含有繊維シート5Aを基にシート状CNT7Aを製造することとしているために、CNTが凝集した状態で存在するおそれが少なく、CNTの導電性等の特性を活かしたシート状CNT7Aを製造することが可能となる。また、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、混合分散液1Aを網状部材19に噴射してCNT含有繊維シート5Aを連続的に作製しながら、CNT含有繊維シート5Aを加熱処理してシート状CNT7Aを製造するようにしているために、生産ラインを構築して、混合分散液1Aからシート状CNT7Aを高い生産効率で製造することが可能となる。また、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、混合分散液1Aを網状部材19に噴射することにより中間体としてのCNT含有繊維シート5Aを作製することとしているため、溶媒含有量の低いCNT含有繊維シート5Aを作製することが可能となり、爾後の加熱時間を短縮することが可能となる。また、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、繊維がセルロース繊維であり、かつ、混合分散液1Aが水系の混合分散液であるため、CNTが繊維表面に均一に付着した構造のCNT含有繊維シート5Aを作製することが可能となり、CNTが均一に分散したシート状CNT7Aを製造することが可能となる。また、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、CNT分散液に界面活性剤が含有されているため、CNT分散液中でCNTがよく分散するようになる。また、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、CNT分散液と繊維分散液とを混合する前に、繊維に、CNTの定着液を吸着させることとしているため、CNTが繊維の表面に良好に定着するようになる。また、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、定着液と界面活性剤とが逆の極性を有するため、CNTが繊維の表面により一層良好に定着するようになる。さらにまた、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によれば、少なくともCNT分散液と繊維分散液とを混合して混合分散液1Aを作製することとしているため、CNTと繊維とが良好に分散し、CNTが凝集した状態で存在するおそれがより一層少ない混合分散液1Aを作製することが可能となる。[実施形態2]図5は、実施形態2に係るシート状CNTの製造方法を概略的に示す図である。なお、以下の図面において、特に説明がない限り、図1と同じ符号が付されているものは同じ構成要素を示しており、これらの構成要素は実施形態1で説明した内容に沿って同様に構成することができる。実施形態2に係るシート状CNTの製造方法は、図5に示すように、基本的には実施形態1に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様の工程を含むものであるが、第1工程の内容が実施形態1に係るシート状CNTの製造方法の場合とは異なる。すなわち、実施形態2に係るシート状CNTの製造方法においては、少なくともCNT分散液と繊維と増粘剤とを混合してこれらの混合分散液1Bを作製することとしている。CNT分散液及び繊維は、実施形態1のシート状CNTの製造方法で使用したものを好適に使用することができる。繊維は、あらかじめ繊維分散液としたものを混合することもできる。また、混合分散液1Bは好ましくは水系分散液である。増粘剤は、歩留向上剤や紙力増強剤として用いられ、混合分散液中で接着剤として機能する材料であって、網状部材19上に噴射する混合分散液1Bをシート状に保持することを容易にするために混合される。増粘剤としては、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸ソーダ、メチルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース、カゼイン、ポリアクリル酸ソーダ、スチレン-無水マレイン酸共重合体などの水溶性高分子、珪酸塩などの無機重合体等を単独で、あるいは、組み合わせて使用することができる。このうち、水溶性ポリマーとしては、例えば、天然水溶性ポリマーのカチオン性デンプン、合成水溶性ポリマーのポリエチレンイミン、カチオン性ポリビニルアルコール、カチオン性アクリルアミド系重合体などのカチオン性水溶性ポリマー並びにアニオン性アクリルアミド系重合体などのアニオン性のポリマーを用いることができる。水溶性ポリマーは、これ以外にも、水溶性非イオンポリマーや水溶性両性ポリマーなどを使用することもできる。第2工程CNT含有繊維シート作製工程及び第3工程加熱処理工程は、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法の各工程と同様に行われる。以上の工程を経て、シート状CNT7Bを連続的に製造することができる。実施形態2に係るシート状CNTの製造方法によれば、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法によって得られる効果と同様の効果を得ることができる。また、実施形態2に係るシート状CNTの製造方法によれば、接着剤として機能する増粘剤が混合分散液1B中に含有されているために、網状部材19上に噴射したときに、混合分散液1Bをシート状に保持することが容易になる。したがって、CNT含有繊維シート5Bを作製することが容易になり、シート状CNT7Bを高い生産効率で製造することが可能になる。また、製造するシート状CNT7Bの厚さの管理を容易にすることが可能になるという効果も得られる。[実施形態3]図6は、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法を概略的に示す図である。図7は、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法における第2工程及び第3工程を説明するために示す図である。図7aは第2工程を説明するために示す図であり、図7bは第3工程を説明するために示す図である。実施形態3に係るシート状CNTの製造方法は、基本的には実施形態2に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様の工程を含むものであるが、第2工程CNT含有繊維シート作製工程の内容が実施形態2に係るシート状CNTの製造方法の場合とは異なる。すなわち、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法においては、図6及び図7aに示すように、混合分散液1Cを基材29上にコーティングすることによりCNT含有繊維シート5Cを連続的に作製することとしている。以下、製造工程に沿って実施形態3に係るシート状CNTの製造方法を説明する。1第1工程混合分散液作製工程第1工程は、CNTが分散して存在するように作製されたCNT分散液と繊維と増粘剤とを混合してこれらの混合分散液1Cを作製する混合分散液作製工程である。例えば、図6に示すように、タンク11内にCNT分散液や繊維、水溶性ポリマー等を投入して、混合装置13によってこれらを混合して混合分散液1Cを作製する。第1工程については、基本的に実施形態2に係るシート状CNTの製造方法における混合分散液作製工程と同様に実施することができるために、詳細な説明は省略する。但し、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法においては、基材29上に混合分散液1Cをコーティングするため、用いる塗工機31の構成や作製するCNT含有繊維シート5Cの厚さ等に応じて粘度や密度等を調整することが重要である。また、基材29上にコーティングする混合分散液1Cをシート状に保持することを容易にするために、実施形態2に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、混合分散液1Cに増粘剤を混合することが重要である。2第2工程第2工程は、混合分散液1Cを基材29上にコーティングしてCNT含有繊維シート5Cを連続的に作製するCNT含有繊維シート作製工程である。第2工程は、以下のようにして行う。すなわち、図6に示すように、基材29を送りローラ23,25によって一方方向に回転させる。この状態で、図6及び図7aに示すように、ポンプ15によって混合分散液1Cを塗工機31に供給するとともに、塗工機31によって基材29上に混合分散液1Cをコーティングし、連続的にCNT含有繊維シート5Cを作製する。図6及び図7aに示す例では、塗工機31としてロールコーターを用いる例が示されているが、塗工機31はロールコーターに限定されない。基材29は、実施形態1のシート状CNTの製造方法で使用する網状部材19とは異なり、混合分散液1Cあるいはその溶媒が通過しないように構成されている。基材29を構成する材料自体は特に限定されない。樹脂フィルムのように溶媒を透過させない材料からなっていてもよいし、紙や不織布のように溶媒を透過させる材料からなっていてもよい。但し、基材29上にCNT含有繊維シート5Cが堆積された状態で加熱装置30内に投入されるために、耐熱性の高い材料によって基材29を構成することが好ましい。CNT含有繊維シート5Cの厚さは、例えば10μm~1000μmである。コーティングによってCNT含有繊維シート5Cを作製する方法の場合には、粘度あるいは濃度の高い混合分散液1Cを用いることができるため、実施形態1に係るシート状CNTの製造方法において作製されるCNT含有繊維シート5Aの厚さに比べてやや薄くなる傾向にある。第2工程においては、作製するCNT含有繊維シート5Cの厚さに応じて、混合分散液1Cの粘度と基材29の送り速度とを調節することが好ましい。3第3工程加熱処理工程第3工程は、CNT含有繊維シート5Cを加熱処理して繊維を炭化又は除去することにより、CNTを主体としてなるシート状CNT7Cを作製する加熱処理工程である。図6及び図7bに示すように、順次送られてくる基材29を加熱装置30内に通過させて、基材29上のCNT含有繊維シート5Cを加熱処理して、CNT含有繊維シート5C中の繊維を炭化又は除去する。これにより、シート状CNT7Cを連続的に製造することができる。製造されたシート状CNT7Cは巻き取りローラ27によって巻き取られる。実施形態3に係るシート状CNTの製造方法の第3工程においても、実施形態1又は実施形態2に係るシート状CNTの製造方法と同様に、使用する加熱装置30は特に限定されない。また、温度や時間等の加熱条件は、混合分散液1Cの原料や加熱装置30の構造に応じて適宜最適な値を選択することができる。以上の工程を経て、CNTを主体としてなるシート状CNT7Cを連続的に製造することができる。製造されたシート状CNT7Cは、その後、使用目的や用途に応じて適宜の大きさに裁断されて使用される。以上説明したように、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法は、第2工程の内容が実施形態2に係るシート状CNTの製造方法の場合とは異なるが、少なくともCNT分散液と繊維と増粘剤とを混合した混合分散液1Cを用いて作製したCNT含有繊維シート5C中の繊維を炭化又は除去して、CNTを主体としてなるシート状CNT7Cを製造することとしているために、導電性が高く、高温環境下で使用可能なシート状CNT7Cを製造することが可能となる。また、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法によれば、上記した混合分散液1Cを用いて作製したCNT含有繊維シート5Cを基にシート状CNT7Cを製造することとしているため、CNTが凝集した状態で存在するおそれが少なく、CNTの導電性等の特性を活かしたシート状CNT7Cを製造することが可能となる。また、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法によれば、上記した混合分散液1Cを用いて中間体としてのCNT含有繊維シート5Cを作製することとしているため、混合分散液1Cを無駄にすることなく有効利用することが可能になるとともに、製造するシート状CNT7Cの厚さの管理を容易にすることが可能になる。また、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法によれば、上記した混合分散液1Cを用いて連続的に作製したCNT含有繊維シート5Cを基にシート状CNT7Cを製造することとしているため、実施形態2に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、高い生産効率でシート状CNT7Cを製造することが可能になり、工業化によるシート状CNT7Cの大量生産が可能となる。また、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法によれば、混合分散液1Cを基材29にコーティングしてCNT含有繊維シート5Cを連続的に作製しながら、CNT含有繊維シート5Cを加熱処理してシート状CNT7Cを製造するようにしているため、実施形態2に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、生産ラインを構築して、混合分散液1Cからシート状CNT7Cを高い生産効率で製造することが可能となる。また、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法によれば、増粘剤が混合分散液1C中に含有されているために、混合分散液1Cを基材29上にコーティングしたときに、CNT含有繊維シート5Cをシート状に保持することが容易になる。したがって、中間体としてのCNT含有繊維シート5Cを作製することが容易になり、シート状CNT7Cを高い生産効率で製造することが可能になる。また、製造するシート状CNT7Cの厚さの管理を容易にすることが可能になるという効果も得られる。[実施形態4]図8は、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法を概略的に示す図である。図9は、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法における第2工程及び第3工程を説明するために示す図である。図9aは第2工程を説明するために示す図であり、図9bは第3工程を説明するために示す図である。実施形態4に係るシート状CNTの製造方法は、基本的には実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様の工程を含むものであるが、第2工程CNT含有繊維シート作製工程の内容が実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合とは異なる。すなわち、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法においては、図8及び図9aに示すように、混合分散液1Dを基材29上に糸状に垂下させながら垂下位置を基材面に沿って走査することによりCNT含有繊維シート5Dを連続的に作製することとしている。以下、製造工程に沿って実施形態4に係るシート状CNTの製造方法を説明する。1第1工程混合分散液作製工程第1工程は、CNTが分散して存在するように作製されたCNT分散液と繊維と増粘剤とを混合してこれらの混合分散液1Dを作製する混合分散液作製工程である。例えば、図8に示すように、タンク11内にCNT分散液、繊維、水溶性ポリマー等を投入して、混合装置13によってこれらを混合して混合分散液1Dを作製する。第1工程については、基本的に実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法における混合分散液作製工程と同様に実施することができるために、詳細な説明は省略する。但し、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法においては、基材29上に混合分散液1Dを糸状に垂下しながらCNT含有繊維シート5Dを作製することとしているために、用いるノズル33の構成や作製するCNT含有繊維シート5Dの厚さ等に応じて粘度や密度等を調整することが重要である。また、基材29上に作製するCNT含有繊維シート5Dをシート状に保持することを容易にするために、実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、混合分散液に増粘剤を混合することが重要である。用いる増粘剤としては、実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様の増粘剤を好適に用いることができる。2第2工程CNT含有繊維シート作製工程第2工程は、混合分散液1Dを基材29上に糸状に垂下させながら垂下位置を基材面に沿って走査することによりCNT含有繊維シート5Dを連続的に作製するCNT含有繊維シート作製工程である。第2工程は、以下のようにして行う。すなわち、図8に示すように、エンドレスベルト状の基材29を送りローラ23,25によって一方方向に回転させる。この状態で、図8及び図9aに示すように、ポンプ15によって混合分散液1Dをノズル33に供給してノズル33から混合分散液1Dを基材29に向けて糸状に垂下させる。このとき、混合分散液1Dは、増粘剤により粘度が高く、また、糸状に垂下する過程で溶媒が蒸発するため、糸状形状を保ったまま基材上に堆積する。図9aに示す例では、ポンプ15によって圧送される混合分散液1Dが3系統に分配されて、3つのノズル33から糸状の混合分散液1Dが垂下されるようになっている。第2工程においては、ノズル33の配置位置を基材面に沿って規則的に又は不規則に高速に走査することにより、混合分散液1Dの垂下位置を基材面に沿って走査して、不織布状のCNT含有繊維シート5Dを連続的に作製する。これにより、基材29上にCNT含有繊維シート5Dが作製され、上面にCNT含有繊維シート5Dが作製された基材29が順次第3工程に送られる。ノズル33の数は特に限定されるものではなく、1又は複数のノズル33から混合分散液1Dを垂下することができる。また、複数の吐出口を有する1又は複数のノズルを用いることもできる。基材29は、実施形態3のシート状CNTの製造方法の場合と同様に、混合分散液1Dあるいはその溶媒が通過しないように構成されている。基材29を構成する材料自体は特に限定されない。樹脂フィルムのように溶媒を透過させない材料からなっていてもよいし、紙や不織布のように溶媒を透過させる材料からなっていていてもよい。但し、実施形態3に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、耐熱性の高い材料によって基材29を構成することが好ましい。CNT含有繊維シート5Dの厚さは、例えば10μm~1000μmである。実施形態4に係るシート状CNTの製造方法においては、不織布状のCNT含有繊維シート5Dが作製されるため、実施形態1~3に係るシート状CNTの製造方法の場合よりも厚く通気度の高いシート状CNTを製造することが可能となる。第2工程においては、作製するCNT含有繊維シート5Dの厚さ、密度、通気度などに応じて、混合分散液1Dの粘度と、基材29の送り速度と、ノズル33の内径を調節することが好ましい。3第3工程加熱処理工程第3工程は、CNT含有繊維シート5Dを加熱処理して、CNT含有繊維シート5D中の繊維を炭化又は除去することによりシート状CNT7Dを作製する加熱処理工程である。図8及び図9bに示すように、順次送られてくる基材29を加熱装置30内に通過させて、基材29上のCNT含有繊維シート5Dを加熱処理する。これにより、シート状CNT7Dを連続的に製造することができる。製造されたシート状CNT7Dは巻き取りローラ27によって巻き取られる。実施形態4に係るシート状CNTの製造方法の加熱処理工程においても、実施形態1~実施形態3に係るシート状CNTの製造方法と同様に、使用する加熱装置30は特に限定されない。また、温度や時間等の乾燥条件は、混合分散液1Dの原料や加熱装置30の構造に応じて適宜最適な値を選択することができる。以上の工程を経て、シート状CNT7Dを連続的に製造することができる。製造されたシート状CNT7Dは、その後、使用目的や用途に応じて適宜の大きさに裁断されて使用される。以上説明したように、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法は、第2工程の内容が実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合とは異なるが、少なくともCNT分散液と繊維とを混合した混合分散液1Dを用いて作製したCNT含有繊維シート5D中の繊維を炭化又は除去して、CNTを主体としてなるシート状CNT7Dを製造することとしているため、実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、導電性が高く、高温環境下で使用可能なシート状CNT7Dを製造することが可能となる。また、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法によれば、上記した混合分散液1Dを用いて作製したCNT含有繊維シート5Dを基にシート状CNT7Dを製造することとしているため、CNTが凝集した状態で存在するおそれが少なく、CNTの導電性等の特性を活かしたシート状CNT7Cを製造することが可能となる。また、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法によれば、上記した混合分散液1Dを用いて連続的に作製したCNT含有繊維シート5Dを基にシート状CNT7Dを製造することとしているため、実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、高い生産効率でシート状CNT7Dを製造することが可能になり、工業化によるCNT含有シート7Dの大量生産が可能となる。また、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法によれば、混合分散液1Dから中間体としてのCNT含有繊維シート5Dを連続的に作製することとしているため、実施形態2又は3に係るシート状CNTの製造方法の場合と同様に、生産ラインを構築して、混合分散液1DからCNT含有シート7Dを高い生産効率で製造することが可能となる。また、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法によれば、増粘剤が混合分散液1D中に含有されているために、基材29に向けてノズル33から混合分散液1Dを糸状に垂下させながらCNT含有繊維シート5Dを作製するときに、CNT含有繊維シート5Dをシート状に保持することが容易になる。したがって、CNT含有繊維シート5Dを作製することが容易になり、シート状CNT7Dを高い生産効率で製造することが可能になる。また、製造するシート状CNT7Dの厚さの管理を容易にすることが可能になるという効果も得られる。また、実施形態4に係るシート状CNTの製造方法によれば、混合分散液1Dを無駄にすることなく有効利用することが可能になるとともに、不織布状のシート状CNT7Dを高い生産効率で製造することが可能となる。以上、本発明のシート状CNTの製造方法を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。1上記各実施形態において示した各要素の寸法、形状、配置、材料は例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲において任意に決定することができる。2上記実施形態1~4においては、網状部材19又は基材29を送りローラ23,25によって順次送り出すようにしているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、所定の大きさの基材をベルトコンベア上に載置して流すようにしてもよい。図10は、変形例1に係るシート状CNTの製造方法を概略的に示す図である。図10に示すように、送りローラ23,25によって一方方向に回転されたベルトコンベア35上に矩形状の基材37を載置して当該基材37を搬送するとともに、搬送されていく基材37上に混合分散液1Eを噴射して矩形状のCNT含有繊維シート5Eを作製し、さらに当該CNT含有繊維シート5Eを加熱処理してシート状CNT7Eを製造することにより、矩形状のシート状CNT7Eを連続的に製造することもできる。この場合において、混合分散液を噴射するのではなく、コーティングしたり、糸状に垂下しながら垂下位置を基材面に沿って走査したりすることによっても、CNT含有繊維シートを作製することができる。3上記実施形態1~4においては、第2工程と第3工程とを一連のライン上で実施するようにしているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、第2工程と第3工程とを別のラインに分けて実施することも可能である。図11は、変形例2に係るシート状CNTの製造方法を概略的に示す図である。図11に示すように、送りローラ23,25によって基材43を一方方向に回転させながら、噴射ノズル17によって基材43上に混合分散液1Fを噴射して湿潤状態のCNT含有繊維シート50を形成し、そのまま湿潤状態のCNT含有繊維シート50をヒーター21a,21bを備えた乾燥装置内に通過させて、乾燥状態のCNT含有繊維シート5Fを作製する。次いで、作製されたCNT含有繊維シート5Fを加熱装置30内で加熱して繊維を炭化又は除去することにより、CNTを主体としてなるシート状CNT7Fが製造される。このような方法によっても、導電性が高められ、高温環境下でも使用可能なシート状CNTを高い生産効率で製造することが可能になる。また、変形例2に係るシート状CNTの製造方法のように第2工程と第3工程とを分ける場合には、上記図10に示すような矩形状の基材37を使用することにより、第2工程と第3工程との間の移動を容易にすることが可能になるとともに、大型の加熱装置30を用いて一度に大量のCNT含有繊維シートを加熱処理することが可能になる。4上記実施形態1~4においては、網状部材19や基材29を一方方向に回転させて、CNT含有繊維シート5A,5B,5C,5Dあるいはシート状CNT7A,7B,7C,7Dを連続的に製造するようにしているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、少なくともCNT分散液と繊維とを混合した混合分散液を、古来の抄紙法にならって抄き網を用いて抄紙することでCNT含有繊維シートを作製した後、当該CNT含有繊維シートを加熱して繊維を炭化又は除去することにより、CNTを主体としてなるシート状CNTを製造することもできる。5上記実施形態4においては、混合分散液1Dをノズル33から糸状に吐出しながら当該ノズル33を基材面に沿って走査してCNT含有繊維シート5Dを作製することとしているが、混合分散液をノズルから糸状に吐出しながら当該ノズルの吐出角度を規則的に又は不規則に変えてCNT含有繊維シートを作製するようにしてもよい。このようにすることによっても、不織布状のシート状CNTを高い生産効率で製造することが可能になる。"