被検光学系からの光の波面を測定するシアリング干渉測定装置であって、撮像素子と、前記被検光学系の瞳を前記撮像素子の撮像面に結像させる瞳結像光学系と、前記瞳結像光学系の光路に配置され、前記被検光学系からの光の波面を分割することによって複数の波面を形成する回折格子と、前記回折格子によって分割された複数の波面の間の前記撮像面におけるシア量が変更されるように前記回折格子を駆動する駆動機構と、前記回折格子によって分割された複数の波面によって前記撮像面に形成される干渉縞を前記撮像素子によって撮像して得られた干渉縞データを処理することにより被検光学系からの光の波面を算出する制御部と、を備え、前記制御部は、前記撮像面におけるシア量が第1の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第1の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第1の直線を決定し、前記撮像面におけるシア量が第2の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第2の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第2の直線を決定し、前記第1の直線と前記第2の直線とにおけるシア量の差分が前記第1の目標シア量と前記第2の目標シア量との差分と等しくなる前記第1の直線におけるシア量および前記第2の直線におけるシア量をそれぞれ真のシア量として決定する、ことを特徴とするシアリング干渉測定装置。前記駆動機構は、前記回折格子によって分割された複数の波面の間の前記撮像面におけるシア量が変更されるように前記シアリング干渉測定装置の光軸に平行な方向における前記回折格子の位置を変更する、ことを特徴とする請求項1に記載のシアリング干渉測定装置。前記瞳結像光学系は、前記被検光学系が配置されるべき面と前記撮像面との間に配置されて前記被検光学系からの光を平行光束にする第1のコリメータレンズと、前記第1のコリメータレンズと前記撮像面との間に配置された集光レンズと、前記集光レンズと前記撮像面との間に配置された第2のコリメータレンズとを含み、前記回折格子は、前記第1のコリメータレンズと前記集光レンズとの間に配置されている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のシアリング干渉測定装置。前記集光レンズと前記第2のコリメータレンズとの間に配置されて、前記回折格子で発生した回折光のうち特定の次数の回折光を通過させる次数選択窓を更に有することを特徴とする請求項3に記載のシアリング干渉測定装置。前記多項式は、Zernike多項式である、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のシアリング干渉測定装置。被検光学系からの光の波面を測定するシアリング干渉測定装置の校正方法であって、前記シアリング干渉測定装置は、撮像素子と、前記被検光学系の瞳を前記撮像素子の撮像面に結像させる瞳結像光学系と、前記瞳結像光学系の光路に配置され、前記被検光学系からの光の波面を分割することによって複数の波面を形成する回折格子と、前記回折格子によって分割された複数の波面の間の前記撮像面におけるシア量が変更されるように前記回折格子を駆動する駆動機構と、前記回折格子によって分割された複数の波面によって前記撮像面に形成される干渉縞を前記撮像素子によって撮像して得られた干渉縞データを処理することにより被検光学系からの光の波面を算出する制御部と、を備え、前記校正方法は、前記撮像面におけるシア量が第1の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第1の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第1の直線を決定するステップと、前記撮像面におけるシア量が第2の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第2の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第2の直線を決定するステップと、前記第1の直線と前記第2の直線とにおけるシア量の差分が前記第1の目標シア量と前記第2の目標シア量との差分と等しくなる前記第1の直線におけるシア量および前記第2の直線におけるシア量をそれぞれ真のシア量として決定するステップとを含む、ことを特徴とするシアリング干渉測定装置の校正方法。本発明は、シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供することを目的とする。本発明の1つの側面は、被検光学系からの光の波面を測定するシアリング干渉測定装置に係り、前記シアリング干渉測定装置は、撮像素子と、前記被検光学系の瞳を前記撮像素子の撮像面に結像させる瞳結像光学系と、前記瞳結像光学系の光路に配置され、前記被検光学系からの光の波面を分割することによって複数の波面を形成する回折格子と、前記回折格子によって分割された複数の波面の間の前記撮像面におけるシア量が変更されるように前記回折格子を駆動する駆動機構と、前記回折格子によって分割された複数の波面によって前記撮像面に形成される干渉縞を前記撮像素子によって撮像して得られた干渉縞データを処理することにより被検光学系からの光の波面を算出する制御部とを備え、前記制御部は、前記撮像面におけるシア量が第1の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第1の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第1の直線を決定し、前記撮像面におけるシア量が第2の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第2の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第2の直線を決定し、前記第1の直線と前記第2の直線とにおけるシア量の差分が前記第1の目標シア量と前記第2の目標シア量との差分と等しくなる前記第1の直線におけるシア量および前記第2の直線におけるシア量をそれぞれ真のシア量として決定する。本発明によれば、シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術が提供される。図1を参照しながら本発明の1つの実施形態の校正方法が適用されうるシアリング干渉測定装置100について説明する。シアリング干渉測定装置100は、被検光学系2からの光の波面例えば、波面形状を測定するように構成される。ピンホール板1は、被検光学系2の物体面に配置され、被検光学系2に入射させる球面波を生成するためのピンホール1Aを有する。ピンホール1Aの径は、被検光学系2の物体側NANAは開口数に対して無収差の球面波を発するような径に設定されている。ピンホール1Aは、不図示の照明光学系により被検光学系2の測定波長の光で照明される。ピンホール1Aを通過した光束は、被検光学系2に入射し、被検光学系2により、被検光学系2の像側NA13に応じた角度で像点14に集光される。以下では、被検光学系2を通過した光を被検光束と呼ぶことがある。シアリング干渉測定装置100は、被検光学系2の瞳を撮像素子11の撮像面に結像させる瞳結像光学系を有する。該瞳結像光学系は、この実施形態では、コリメータレンズ第1のコリメータレンズ4、集光レンズ7およびコリメータレンズ第2のコリメータレンズ9を含む。シアリング干渉測定装置100は、その光軸と被検光束の光軸とがXY面内で一致し、かつ内部に配置されたコリメータレンズ4の物点が被検光学系2の像点14に一致するように、Z方向の位置が調整された状態に配置される。ここで、Z方向は、シアリング干渉測定装置100の光軸に平行な方向である。コリメータレンズ4は、被検光束を平行光束にするとともに、被検光学系2の瞳3の像を瞳3の共役面である瞳共役面3Cに結像させる。平行光束となった被検光束は、回折格子5に入射する。回折格子5は、被検光学系2から射出されコリメータレンズ4を介して入射する光の波面を分割することによって複数の波面を形成する。回折格子5のパターンは、例えば2次元の市松格子であり、回折格子5で発生した±1次回折光はX方向およびY方向に回折される。この実施形態では、回折格子5は、平行光束光路に配置されている。よって、集光光束中もしくは発散光束中に回折格子が配置されている場合と比較して、回折格子5の姿勢誤差によって回折光に重畳される波面収差の発生量を小さく抑えることができる。回折格子5で発生した回折光は、集光レンズ7により回折光次数選択板8が配置された面に集光される。回折光次数選択板8には、それが配置された面に入射した回折光のうち特定の次数ここで、±1次の回折光を通過させる次数選択窓8A及び8Bが設けられている。よって、回折光次数選択板8が配置された面に入射した回折光のうち次数選択窓8A及び8Bにより選択される±1次回折光のみが当該面を通過する。±1次回折光は、コリメータレンズ9により再び平行光となり、撮像素子11の撮像面で、光軸に対して互いに異なる角度で、XY方向に横ズラシつまりラテラルシアリングされた状態で重なる。ここで、撮像素子11の撮像面は、瞳共役面3Cの結像光学系10による共役面3C’に一致するように配置されている。ラテラルシアリングされた複数の光束の重なり領域には、被検光学系2の波面収差の情報を含んだキャリア干渉縞が生じ、その干渉縞が撮像素子11によって撮像される。制御部12は、撮像素子11によって撮像されキャリア干渉縞キャリアの重畳した干渉縞の画像を解析することによって被検光学系2の波面位相を回復算出する。撮像素子11の撮像面における±1次回折光間のシア量は、波面位相復元処理をする過程において、復元精度を左右する重要なパラメータとなる。そのため、シア量を高精度に決定することが重要である。シア量は、光軸方向Z方向における回折格子5と瞳共役面3Cとの間隔Zあるいは、回折格子5の位置を駆動機構6によって変更することによって変更される。シア量は、光軸方向における回折格子5の位置に基づいて計算することができるので、駆動機構6に与える位置指令値に基づいて計算することができる。あるいは、目標とするシア量が得られるように駆動機構6に与える位置指令値を決定することができる。しかしながら、計算されたシア量または目標とするシア量と真のシア量との間には、例えば駆動機構6による回折格子5の位置決め精度、シアリング干渉測定装置100の光学系の製造誤差および配置誤差などによる誤差が存在する。したがって、高精度な波面回復計算を実現するためには、シア量を高精度に校正する必要がある。図3は、シア量S1であるときに撮像素子11で観測される回折光の位置関係を例示している。図3は、シア量S2であるときに撮像素子11で観測される回折光の位置関係を例示している。光束31、32は、市松回折である回折格子5によりY方向に回折され、次数選択窓8Aを透過した±1次回折光であり、光束33、34は、X方向に回折され、次数選択窓8Bを透過した±1次回折光である。光束35は、0次光が撮像素子11の撮像面まで到達した場合の0次光の位置を示している。実際には、0次光は、回折光次数選択板8で遮断されるため、撮像素子11には到達しない。図3aに示す例では、撮像面における光束31と光束32とのシア量および光束33と光束34とのシア量がS1である。図2には、シアリング干渉測定装置100において撮像素子11で撮像される被検光束のシア量の値を高精度に校正するための方法の手順が例示されている。なお、以下の手順は、制御部12によって制御される。ステップ11では、制御部12は、±1次回折光のシア量が第1の目標シア量S1となるように駆動機構6により回折格子5の位置を設定し、その状態で撮像素子11により干渉縞を撮像することにより第1の干渉縞データ1を取得する。次に、ステップ12では、制御部12は、取得した干渉縞データ1を処理波面回復計算することにより波面位相分布を得る。この際に、制御部12は、波面回復計算のために必要なシア量として複数のシア量S1ΔS1ΔS1は、例えば-α~αの範囲における複数の値を用い、該複数のシア量のそれぞれにおける波面位相分布を算出する。ここで、ΔS1は、目標シア量S1を基準とするシア量の偏差である。キャリア干渉縞のデータから2方向にシアした差分波面位相を算出する方法としては、次のような方法がある。例えば、干渉縞のデータをフーリエ変換して、キャリア周波数のスペクトルのみをフィルタリング処理にて抜き出し、それを逆フーリエ変換したデータから位相を算出するフーリエ変換法を用いる方法がある。あるいは、回折格子5を光軸に垂直な方向へ微小量駆動することでキャリア干渉縞の位相を変調し、位相変調量の異なる複数フレームの干渉縞を撮像し、フレーム数に応じた位相回復アルゴリズムを用いて位相を算出する方法があるフリンジスキャン法。さらに、2方向の差分波面位相から被検光学系2の波面収差を復元する方法としては、特開2005-156403号公報に開示されている方法などを用いて算出する。次に、ステップ13では、制御部12は、複数のシア量S1ΔS1を用いて回復した複数の波面位相分布のそれぞれに対してZernike多項式の近似計算を実施してZernike係数を決定する。次に、ステップ14では、制御部12は、回復計算で使用した偏差ΔS1=-α~αとステップ13で算出されたZernike係数のうち特定の収差成分に相当する1つの項の係数以下、特定係数の値との関係を示す直線1を算出する。図4には、シア量S1を基準とするシア量の偏差ΔS1=-α~αに対する特定係数の関係を示す直線1が例示されている。なお、図4に示す例では、シア量の偏差は、撮像素子11の画素pixelを単位として示されている。ステップ15では、制御部12は、±1次回折光のシア量が第2の目標シア量S2となるように駆動機構6により回折格子5の位置を設定し、その状態で撮像素子11により干渉縞を撮像することにより第2の干渉縞データ2を取得する。次に、ステップ16では、制御部12は、取得した干渉縞データ2を処理波面回復計算することにより波面位相分布を得る。この際に、制御部12は、波面回復計算のために必要なシア量として複数のシア量S2ΔS2ΔS2は、例えば-α~αの範囲における複数の値を用い、該複数のシア量のそれぞれにおける波面位相分布を算出する。ここで、ΔS2は、目標シア量S2を基準とするシア量の偏差である。次に、ステップ16では、制御部12は、複数のシア量S2ΔS2を用いて回復した複数の波面位相分布のそれぞれに対してZernike多項式の近似計算を実施してZernike係数を決定する。次に、ステップ17では、制御部12は、回復計算で使用したS2を基準とするシア量の偏差ΔS2=-α~αとステップ16で算出されたZernike係数のうち特定の収差成分に相当する1つの項の係数特定係数の値との関係を示す直線2を算出する。図4には、目標シア量S2を基準とするシア量の偏差ΔS2=-α~αに対する特定係数の関係を示す直線2が例示されている。図4に例示されるように、任意のシア量例えば、S1、S2を基準とするシア量の偏差ΔSここでは、ΔS=ΔS1=ΔS2と特定係数の値とは、第1の直線1、第2の直線2として示されるように線形の関係にある。また、直線1、2の変化率傾きは、回折格子5の位置に応じて決まるシア量に依存する。換言すると、直線1、2は、回折格子5の位置に応じて決まるシア量に応じた変化率を有する。よって、図5に例示されるように、目標シア量S1に対応する真のシア量S1Tと目標シア量S2に対応する真のシア量S2Tとの差分SDTが分かれば、その差分SDTに対応する真のシア量S1T、S2Tを決定することができる。ここで、一般には、駆動機構6による回折格子5の位置決め精度が回折格子5の可動範囲において許容値内であることを保証することができるので、差分SDTは、目標シア量S1と目標シア量S2との差分SDと等しいものとみなすことができる。したがって、ステップ19では、制御部12は、目標シア量S1と目標シア量S2との差分SDと直線1、2とに基づいて真のシア量S1T、S2Tを決定する。より具体的には、ステップ19では、制御部12は、直線1と直線2とにおけるシア量の差分DDが目標シア量S1と目標シア量S2との差分SDと等しくなる直線1におけるシア量S1Tおよび直線2におけるシア量S2Tをそれぞれ真のシア量として決定する。制御部12は、真のシア量S1Tを用いて干渉縞データ1から波面回復計算により波面位相分布を算出することができる。同様に、制御部12は、真のシア量S2Tを用いて干渉縞データ2から波面回復計算により波面位相分布を算出することができる。あるいは、制御部12は、目標シア量S1および真のシア量S1Tに基づいて、目標シア量S1、S2が真のシア量S1T、S2Tに近づくように駆動機構6に与える位置指令値を補正することができる。あるいは、目標シア量S2および真のシア量S2Tに基づいて、目標シア量S1、S2が真のシア量S1T、S2Tに近づくように駆動機構6に与える位置指令値を補正することができる。以上のように、この実施形態のシアリング干渉測定装置100によれば、被検光束のシア量の設定の自由度を向上させることができる。具体的には、この実施形態のシアリング干渉測定装置100によれば、駆動機構6によって回折格子5を光軸方向に駆動することによりシア量を任意の値に設定可能である。また、この実施形態のシアリング干渉測定装置100およびその校正方法によれば、真のシア量を高精度に決定することができ、これにより、高精度に波面または波面収差を測定することができる。上記の説明では、Zernike多項式の1つの収差成分に相当する項の係数とシア量の偏差との関係を示す直線を決定したが、複数の項の係数に対して同様の処理を施して、それらの平均値によってシア量を補正してもよい。つまり、Zernike多項式の複数の係数のうち少なくとも1つの係数に基づいてシア量を決定することができる。また、多項式は、Zernike多項式に限定されるものではなく、波面位相分布を近似可能なあらゆる多項式を使用することができる。