"プローブヘッドに設けたプローブ針と接触する接触端子を表面及び裏面に対向して設け、かつ、貫通するスルー電極により対向する前記接触端子を電気的に接続した測定基板と、電気的特性を測定する水晶デバイスを、該水晶デバイスの実装端子を上向きにして載置する、水晶デバイス測定治具において、前記測定基板の裏面と前記水晶デバイスの前記実装端子の端子面との間に、多数の金属ピンを厚さ方向に埋設した端子シートを介在させて、前記測定基板と前記端子シートの金属ピンとを電気的に接続して、前記水晶デバイスの電気的特性を測定するようにしたことを特徴とする水晶デバイス測定治具。前記測定基板と前記端子シートの外形寸法が、前記水晶デバイスの底面部の外形寸法より大き目であることを特徴とする請求項1に記載の水晶デバイス測定治具。前記端子シートが、シリコン樹脂、シリコンゴム等の弾性材料からなることを特徴とする請求項1に記載の水晶デバイス測定治具。しかしながら、水晶振動子等の水晶デバイスの小型化低背化に伴い、水晶デバイスの外形寸法、測定実装端子の寸法形状、端子数等が変化し、多品種化すると、それらの測定端子寸法等に合せて、その都度、プローブヘッドを交換することが必要となる。とくに、プローブヘッドには、検査システム等の測定回路が含まれているため、プローブヘッド自体が高価なものとなってしまう問題点があった。上記した問題点を解決するために、本発明では、水晶デバイス、例えば、水晶振動子の、測定実装端子とプローブカード、プローブ針との間に、測定基板及び端子シートからなる測定治具を介在させて、プローブと測定基板の接触端子とを電気的に接続させて、水晶デバイスの種類、外形寸法やそれに伴う端子寸法、位置、形状等が変化しても、所定の形状寸法をもつ端子シートと測定基板との組合せにより、一種類の共通のプローブヘッドにより各種の水晶デバイスをプロービングして、それらの電気的特性の測定が容易にできるようにする。そのため、本発明の水晶デバイス測定治具では、プローブヘッドに設けたプローブ針と接触する接触端子を表面及び裏面に対向して設け、かつ、貫通するスルー電極により対向する前記接触端子を電気的に接続した測定基板と、電気的特性を測定する水晶デバイスを、該水晶デバイスの実装測定端子を上向きにして載置する水晶デバイス測定治具において、前記測定基板の裏面と前記水晶デバイスの前記実装端子の端子面との間に、多数の金属ピンを厚さ方向に埋設した端子シートを介在させて両者を電気的に接続し、前記水晶デバイスの電気的特性を測定するようにする。また、本発明の水晶デバイス測定治具では、前記測定基板と前記端子シートを、前記水晶デバイスの底面部の外形寸法より大き目に構成する。さらに、本発明の水晶デバイス測定治具では、前記端子シートを、シリコン樹脂、シリコンゴム等の弾性材料から構成する。本発明の水晶デバイス測定治具を用いることにより、多品種の異なった端子寸法、位置、形状例えば、2、4あるいは6端子をもつ水晶デバイスの電気的特性を、一種類の共通したプローブヘッドにより、低コスト、かつ、効率良く測定できるようになる。実施例1図1は、本発明の水晶デバイス測定治具1と、この測定治具1を適用するプローブヘッド2の概念的構成図である。図1に示すように、本発明の水晶デバイス測定治具1は、プローブヘッド2のプローブ針12と接触する、例えば、4個の測定端子53よりも大き目の外形寸法の矩形状の銅板からなる接触端子16aを、その両面に設けた図3参照ガラスエポキシ樹脂基板に配線が施された測定基板16と、この測定基板16と、電気的特性を測定するために、温度制御整列台基台10の上面の整列治具11内に金属カバー52を下向きにして整列して配置した水晶デバイス、例えば、水晶振動子50、の測定実装端子53との間に介在する端子シート17とからなる。また、測定基板16の両面に設けた接触端子16aは、図5a,bに示すように、測定基板16を貫通するスルー電極16bによって、電気的に接続されている。とくに、図3a,bに示すように、ガラスエポキシ樹脂からなる測定基板16両面の所定位置には、例えば、それぞれ4個の接触端子16aが設けられ、それぞれ両面に設けられた対向する接触端子16aは、測定基板16を貫通するスルー電極16bによって電気的に接続されている。そのため、図3aに示すように、大き目の水晶振動子50を、図1に示すように、水晶振動子50の測定端子53の端子シート17に、また図3bに示すように、小さ目の水晶振動子50を接触するようにして搭載しても、プローブヘッド2のプローブカード13に設けた複数のプローブ針12が測定基板16の表面に設けた、それぞれの接触端子16aに接触し、測定基板16を貫通するスルー電極16bによって、測定基板16の裏面に設けた接触端子16aに電気的に導通する。そして、図5a,bに示すように、測定基板16の裏面に設けた接触端子16aは、測定基板16と水晶振動子50の測定端子53との間に介在させた端子シート17に埋め込まれた複数の金属ピン17aと接触して、水晶振動子50との電気的導通がとられるようになる。また、水晶振動子50が、6端子をもつ場合には、図4に示すように、水晶振動子50の中央部に設けた一対の測定端子53と接触する平面視T字状の接触端子16aと、水晶振動子50の四隅部に設けられた測定端子53と接触する平面視L字状の4個の接触端子16aとを測定基板16に設けて端子シート17を介してプローブ針12との電気的導通をとるようになっている。また、端子シート17は、図2に示すように、平面視で測定基板16の接触端子16aと接触できる大きさの矩形状の外形形状と所定厚みを有し、かつ、シリコン樹脂、シリコンゴム等の弾性材料からなる端子シート17には、その両面を貫通する多数金属ピン17a例えば、0.1~0.2mm径が埋め込まれている。そして、実際の電気的特性の測定時には、多数の、例えば、10個×10行=100個の水晶振動子50を測定実装端子53を上向きにして、整列治具11内に整列させ、例えば、100個の水晶振動子50に見合った数セットの測定基板16及び端子シート17を、あるいは、例えば100個分の複数の接触端子16aを整列して一枚の基板に設け、この基板に対応する大きさの端子シート17とともに、測定治具にセットし、測定基板16の接触端子16aに見合った数の、例えば活花の剣山状の、プローブ針12に端子シート17の弾性変形を利用して密に接触させる。そして、温度制御整列台基台10に設けた加熱冷却手段10aにより、水晶振動子50を所定の温度範囲例えば、-40°C~80°Cで温度に制御し、水晶振動子50の周波数特性、クリスタルインピーダンス等をプローブ針12で測定し、特性測定システムに記録し、画像として表示する。本発明の水晶デバイス測定治具によれば、共通のプローブヘッドを用いて異なった端子数、大きさをもつ水晶デバイス、例えば、水晶振動子、の電気的特性を安価、かつ、効率良く測定できる。"