人工脂質膜を有するバイオセンサデバイスの製造方法であって、第1チャンバー、開口部を有する第2チャンバー、および第1チャンバーと第2チャンバーとの間に位置する連通部を有するボディ部材を準備すること、ボディ部材に、第2チャンバーの開口部から、第1電解液、人工脂質膜を形成するための脂質液、および第2電解液を順次供給して、第1電解液で第1チャンバーを満たし、脂質液で連通部を少なくとも部分的に満たし、および第2電解液で第2チャンバーを満たすことを含む、バイオセンサデバイスの製造方法。ボディ部材における連通部の内壁面が撥水性を有する、請求項1に記載の製造方法。ボディ部材における連通部の内壁面に切り欠きが形成されている、請求項1または2に記載の製造方法。第2チャンバーが連通部と開口部との間に内側張出し部を有する、請求項1~3のいずれかに記載の製造方法。第1電解液、脂質液、および第2電解液からなる群より選択される少なくともいずれか1つの液体を液滴状態で供給する、請求項1~4のいずれかに記載の製造方法。従来の製造方法では、図10~11を参照して上述したように、センサチップ前駆体290を、それより大きい試験槽303に満たした試料液302に浸漬することによって、脂質膜形成成分281から人工脂質膜301が形成される。浸漬の際、試料液302に振動が励起されるため、脂質膜形成成分281にかかる液圧は場所および時間により変動するため、脂質膜形成成分281が、シート310の表面に沿って移動し、人工脂質膜301を形成するのに必要な成分量が不足して、人工脂質膜301が形成されなかったり、人工脂質膜301が形成されたとしても、各人工脂質膜301間で電気特性膜電位の検出感度にバラツキが生じたりするという課題を有していた。本発明は、従来の製造方法の有する課題を解決すべくなされたものであり、人工脂質膜を安定して形成することが可能なバイオセンサデバイスの製造方法を提供することを目的とする。本発明によれば、人工脂質膜を有するバイオセンサデバイスの製造方法であって、第1チャンバー、開口部を有する第2チャンバー、および第1チャンバーと第2チャンバーとの間に位置する連通部を有するボディ部材を準備すること、ボディ部材に、第2チャンバーの開口部から、第1電解液、人工脂質膜を形成するための脂質液、および第2電解液を順次供給して、第1電解液で第1チャンバーを満たし、脂質液で連通部を少なくとも部分的に満たし、および第2電解液で第2チャンバーを満たすことを含む、バイオセンサデバイスの製造方法が提供される。本発明の上記バイオセンサデバイスの製造方法は、従来の製造方法のように、試験槽に試料液を満たし、これにセンサチップ前駆体を浸漬して人工脂質膜を形成するものとは根本的に異なるものである。本発明の上記バイオセンサデバイスの製造方法では、所定の構造を有するボディ部材を準備し、このボディ部材に、第1電解液、人工脂質膜を形成するための脂質液、第2電解液を順次供給しているので、脂質液にかかる液圧の変動を効果的に低減することができ、これにより、ボディ部材内の連通部において、脂質液から人工脂質膜を安定して形成することができる。なお、本発明において、第1電解液で第1チャンバーを満たすとは、第1電解液が第1チャンバーの容積の実質的に全部を満たすことを意味する。また、脂質液で連通部を少なくとも部分的に満たすとは、脂質液が連通部の容積の一部または全部を満たすことを意味し、少なくとも連通部の開口面積全域に亘って広がり得る程度で存在する限り特に限定されない。また、第2電解液で第2チャンバーを満たすとは、第2電解液が第2チャンバーの容積の実質的に全部を満たすことを意味する。概略的には、本発明においては、第1電解液、第2電解液および脂質液が、第1チャンバー、第2チャンバーおよび連通部にそれぞれ対応して存在し、脂質液が、第1電解液と第2電解液との間に介在していればよい。よって、第1電解液と脂質液との間の界面は、第1チャンバーと連通部との間の境界と厳密に一致している必要はなく、また、第2電解液と脂質液との間の界面は、第2チャンバーと連通部との間の境界と厳密に一致している必要はない。かかる本発明のバイオセンサデバイスの製造方法は、簡便には、第1チャンバーより第2チャンバーが上方に位置するようにボディ部材を配置して、第2チャンバーの開口部より、第1電解液、脂質液、第2電解液を定量的に順次供給することによって実施し得る。本発明の1つの態様では、ボディ部材における連通部の内壁面が撥水性を有する。かかる態様によれば、ボディ部材内の連通部において、人工脂質膜をより安定して形成および保持することができる。なお、本発明において撥水性とは、水に対する接触角が、例えば60°以上180°未満であることを意味し、好ましくは70°~120°である。本発明の1つの態様では、ボディ部材における連通部の内壁面に切り欠きが形成されている。かかる態様によれば、ボディ部材へ供給した脂質液は、この切り欠きによって連通部に留まり易くなるため、ボディ部材内の連通部において、人工脂質膜をより安定して形成および保持することができる。本発明の1つの態様では、第2チャンバーが連通部と開口部との間に内側張出し部を有する。かかる態様によれば、脂質液が連通部から第2チャンバーへと、第2チャンバーの内壁面に沿って移動したとしても、この内側張出し部によって、それ以上移動することを防止でき、ボディ部材内の連通部において、人工脂質膜をより安定して形成することができる。本発明の1つの態様では、バイオセンサデバイスの製造方法の上記液体供給工程において、第1電解液、脂質液、および第2電解液からなる群より選択される少なくともいずれか1つの液体を液滴状態で供給する。かかる態様は、液体を定量的に供給するのに好適である上、空気の混入を抑制することができる。本発明によれば、所定の構造を有するボディ部材を準備し、このボディ部材に、第1電解液、第1電解液、人工脂質膜を形成するための脂質液、および第2電解液を順次供給することにより、ボディ部材内の連通部において、脂質液から人工脂質膜を安定して形成することが可能なバイオセンサデバイスの製造方法が提供される。本発明の様々な実施形態について、図面を参照して以下に詳述する。実施形態1本発明の1つの実施形態におけるバイオセンサデバイスの製造方法は、以下のようにして実施される。まず、バイオセンサデバイスのためのボディ部材を準備する。図1aに示すように、ボディ部材30は、第1チャンバー5、開口部7aを有する第2チャンバー7、および第1チャンバー5と第2チャンバー7との間に位置する連通部6を有する図1a中、第1チャンバー5、第2チャンバー7、連通部6の開口領域を点線にて模式的に示す。第1チャンバー5、連通部6および第2チャンバー7は、それぞれ、後述する第1電解液2、脂質液1および第2電解液3が充填されるべき空間を規定するものである。第1チャンバー5は、連通部6と連通している開口領域を除いて、液密的に封止される。第2チャンバー7は、連通部6と連通している開口領域に加えて開口部7aを有し、それらを除いて、液密的に封止される。第1チャンバー5と第2チャンバー7とは、連通部6を通じて連通しているが、連通部6によって互いに空間的に隔てられる。かかる連通部6は、第1チャンバー5および第2チャンバー7より小さい外形寸法を有し、第1チャンバー5と第2チャンバー7との間の狭窄部またはネック部の形態でボディ部材30に配設されている。図示する態様では、基材9の上に、穴またはウェルが各々形成された基材10、11、12を積層することにより、ボディ部材30が構成される。かかる態様では、第1チャンバー5は、基材9の上面、基材10の内壁面および基材11の下面によって規定されまたは囲まれ、連通部6は、基材11の内壁面によって規定され、第2チャンバー7は、基材11の上面および基材12の内壁面によって規定される。第2チャンバー7の開口部7aは、基材12の穴の上面開口部に一致する。そして、基材9の主面と平行な方向図2を参照して、最終的に形成される人工脂質膜4の膜厚方向に対して垂直な方向において、連通部6の外形寸法基材11の穴面積は、第1チャンバー5の外形寸法基材10の穴面積より小さく、かつ、第2チャンバー7の外形寸法基材12の穴面積より小さくなっている。また、第1チャンバー5の外形寸法基材10の穴面積は、第2チャンバー12の外形寸法基材7の穴面積と同じになっているが、これに限定されず、第1チャンバー5の外形寸法は、第2チャンバー7の外形寸法より小さくても、あるいは、大きくてもよい。その他、基材10、11、12の高さ、これらに各々形成される穴の膜厚方向から見た形状および大きさは、所望する第1チャンバー5、連通部6および第2チャンバー7の寸法および配置などに応じて適宜決定してよい。穴の形状は特に限定されず、例えば円形、楕円形、矩形、多角形などであってよく、基材間で同じ相似形であっても、異なっていてもよい。基材9、10、12は、液密性を有する任意の適切な材料から構成され得る。例えば、基材9、10、12には、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリフェニレンサルファイドPPS、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合樹脂ABS樹脂、アクリル樹脂例えばポリメチルメタクリレートPMMA、環状ポリオレフィン、ポリカルボナート通称ポリカーボネートなどの有機系材料から構成される。しかしながら、これらに限定されず、基材9、10、12は、例えばガラス、シリコン、酸化アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコンなどの無機系材料で構成されていてよい。基材11は、これら基材9、10、12と同様の材料で構成されていてよいが、連通部6の内壁面を成すことから、少なくとも内壁面が撥水性を有することが好ましい。例えば、基材11は、少なくとも内壁面および場合により他の表面、例えば基材11の露出面全体が、フッ素系樹脂などにより撥水処理されていてよい。あるいは、基材11は、撥水性を有する材料、例えば、フッ化炭素樹脂、ポリテトラフルオロエチレンPTFEやテフロン登録商標から構成されていてよい。これら基材9、10、11、12の間は、接着剤層例えば熱硬化性フィルムなど、図示せずにより接着されていてよい。また例えば、これら基材が有機系材料有機系フィルムから構成される場合には、これら基材を積層し、得られた積層体を熱処理に付すことによって、基材同士を熱融着させて接着してもよい。加えて、ボディ部材30は、最終的に形成される人工脂質膜4図2を参照のことの膜電位を測定するための電極を有し得る。より詳細には、第1チャンバー5内に電極8a、8a’が形成される。図示する態様では、電極8a、8a’を基材8の裏面側に引き回して形成しているが、これに限定されない。次に、上記の通り準備したボディ部材30に、図1bに示すように、液体供給装置51を用いて、第2チャンバー7の開口部7aより、第1電解液2を供給する。第1電解液2は、イオン性物質を極性溶媒に溶解させたものであればよく、脂質液1の組成などに応じて適宜選択され得る。イオン性物質には、例えば塩化ナトリウムNaCl、塩化カリウムKCl、塩化マグネシウムMgCl2、リン酸二水素ナトリウムNaH2PO4、リン酸一水素ナトリウムNa2HPO4などを単独または組み合わせて用いることができ、好ましくは塩化カリウムが用いられる。極性溶媒には、例えば水、グリセリン、糖、糖アルコール、エタノール、イソプロピルアルコール、エチレングリコール、ソルビトール、キシリトール、ジプロピレングリコール、ブチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリオキシエチレンメチルグルコシド、マルチトール、マンニトール、グルコースなどを単独または組み合わせて用いることができる。第1電解液2は、浸透圧が280~330mOsm/kg-H2Oの範囲以内となることがより好ましいが、これに限定されるものではない。あるいは、第1電解液2として、電気生理実験で用いられる一般的な溶液を用いることが好ましい。また、有機化合物や高分子を添加することにより、第1電解液2の粘度を調整することも好ましい。第1電解液2の供給は、第1チャンバー5を第1電解液2で満たすように実施する。かかる供給は、第1チャンバー5の容積に応じて、第1電解液2を定量的に供給することにより実施できる。第1電解液2の供給は、所定量の第1電解液2を複数回に分けて間欠的に供給することが好ましい。例えば液体供給装置51としてインクジェット装置を用いて、インクジェット方式により、第1電解液2を液滴状態で供給することが好ましい。これにより、第1チャンバー5内に空気が混入することを効果的に抑制できる。第1電解液2を液滴状態で供給する場合、例えば、1滴あたり10pL以上300pL以下の液量とし得る。インクジェット方式は、他の方式に比べて1滴の液量がより小さく、このように少量の液量を単位として供給量の調節が可能であるので、第1電解液2を定量的に供給するのに好適である。しかし、これに限定されず、ディスペンス方式、転写方式などによって第1電解液2を供給してもよい。次に、第1電解液2を供給したボディ部材30に、図1cに示すように、液体供給装置52を用いて、同じく第2チャンバー7の開口部7aより、脂質液1を供給する。なお、液体供給装置52には、液体供給装置51と同じ装置を利用しても、別の装置を利用してもよい。脂質液1は、脂質を溶媒に分散または溶解させたものであることが好ましい。脂質には、任意の適切な脂質を用いてよく、特に、分子中にリン酸や糖を含む複合脂質、具体的にはリン脂質、糖脂質、リポタンパク質、スルホ脂質などが好ましく、リン脂質が最も好ましい。リン脂質としては、グリセロリン脂質例えば、ホスファチジルコリンレシチン、ホスファチジルエタノールアミン、ホスファチジルセリン、ジフィタノイルホスファチジルコリン、ジパルミトイルホスファチジルコリンなどおよびスフィンゴリン脂質例えばスフィンゴミエリンなどが挙げられる。また、脂質は、単純脂質例えば、グリセロルモノオレエートまたは誘導脂質であってもよい。天然由来の脂質、例えばアゾレクチンダイズリン脂質であっても、合成脂質であってもよい。合成脂質は高純度で化学的に安定なものが得やすいのでより好ましい。脂質の脂肪酸部分は、炭素数10~20の飽和脂肪酸または不飽和脂肪酸であることが好ましい。このような脂質は、1種を単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。溶媒は、脂質に応じて適宜選択され得、一般的には有機溶媒、好ましくは飽和炭化水素が用いられる。例えばデカン、ヘキサデカン、ヘキサン、クロロホルムなどが挙げられる。このような溶媒は、1種を単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。溶媒に対する脂質の濃度は、溶媒1mLに対して、脂質3~50mgが好ましく、脂質4~40mgがより好ましい。脂質液1の供給は、連通部6を脂質液1で少なくとも部分的に満たすように実施する。かかる供給は、脂質液1が連通部6の開口面積全域に亘って広がって、第1電解液2の液面を覆うように、脂質液1を定量的に供給することにより実施できる。脂質液1の供給は、所定量の脂質液1を複数回に分けて間欠的に供給することが好ましい。例えば液体供給装置52としてインクジェット装置を用いて、インクジェット方式により、脂質液1を液滴状態で供給することが好ましい。これにより、連通部6内に空気が混入することを効果的に抑制できる。脂質液1を液滴状態で供給する場合、微小液滴とすること、例えば、1滴あたり10pL以上200pL以下の液量とすることが好ましい。インクジェット方式は、他の方式に比べて1滴の液量がより小さく、このように少量の液量を単位として供給量の調節が可能であるので、脂質液1を定量的に供給するのに好適である。脂質液1の供給量は少量であるので、インクジェット方式が特に好適に用いられる。しかし、これに限定されず、ディスペンス方式、転写方式などによって脂質液1を供給してもよい。次に、脂質液1を供給したボディ部材30に、図1dに示すように、液体供給装置53を用いて、同じく第2チャンバー7の開口部7aより、第2電解液3を供給する。なお、液体供給装置53には、液体供給装置51および52のいずれかと同じ装置を利用しても、これらと別の装置を利用してもよい。第2電解液3は、第1電解液2について上述したように、イオン性物質を極性溶媒に溶解させたものであればよく、脂質液1の組成などに応じて適宜選択され得る。第1電解液2および第2電解液3は、同じ電解液であっても、異なる電解液であってもよい。より詳細には、第1電解液2および第2電解液3は、濃度、粘度および浸透圧のいずれか1つ以上において相違があってもよいし、同一であってもよい。第2電解液3の供給は、第2チャンバー7を第2電解液3で満たすように実施する。かかる供給は、第2チャンバー7の容積に応じて、第2電解液3を定量的に供給することにより実施できる。第2電解液3の供給も、所定量の第2電解液3を複数回に分けて間欠的に供給することが好ましい。例えば液体供給装置53としてインクジェット装置を用いて、インクジェット方式により、第2電解液3を液滴状態で供給することが好ましい。これにより、第2チャンバー7内に空気が混入することを効果的に抑制できる。第2電解液3を液滴状態で供給する場合、例えば、1滴あたり10pL以上300pL以下の液量とし得る。インクジェット方式は、他の方式に比べて1滴の液量がより小さく、このように少量の液量を単位として供給量の調節が可能であるので、第2電解液3を定量的に供給するのに好適である。しかし、これに限定されず、ディスペンス方式、転写方式などによって第2電解液3を供給してもよい。上述のようにして供給された脂質液1は、図2aに示すように、第1電解液2および第2電解液3の間に存在する人工脂質膜4となり、バイオセンサデバイス40が完成する。脂質液1から人工脂質膜4への変化は、第2電解液3を供給している間から供給後に、脂質液1の一部が基材11の壁面に沿って広がり、貫通部6の脂質液1が薄膜となることで、自然と起こるものである。第2電解液3の供給は、脂質液1の供給後、脂質液1が蒸発しきってしまう前に行う必要がある。第2電解液3を液滴状態で供給することにより、第2電解液3により励起される振動を小さくでき、人工脂質膜4をより安定して形成することができる。このようにして形成される人工脂質膜4は、連通部6の内壁面と接触し、人工脂質膜4の表面張力などにより、この内壁面で保持することができる。人工脂質膜4は、脂質二分子膜であることが好ましい。人工脂質膜4の膜厚は、例えば約2~5nmであり得る。人工脂質膜4には、被検出物質に応じて、膜タンパク質やイオンチャンネルなどの受容体図示せずが組み込まれ得る。以上のようにして、図2aに示すバイオセンサデバイス40が製造される。かかる本実施形態の製造方法では、従来の製造方法のように、人工脂質膜を形成するために、センサチップ前駆体を試料液に浸漬する必要がない。本実施形態の製造方法では、所定の構造を有するボディ部材30を準備し、このボディ部材30に、第1電解液2、人工脂質膜4を形成するための脂質液1、第2電解液3を順次供給しているので、脂質液1にかかる液圧の変動を効果的に低減することができ、これにより、ボディ部材30内の連通部6において、脂質液1から人工脂質膜4を安定して形成することができる。上記のようにして得られたバイオセンサデバイス40は、例えば図2bに示すように、第2電解液3に電極8b、8b’が浸漬されて使用され得る。電極8a’、8b’は電源図中、記号Vにて模式的に示すに接続され、電極8a、8bは電流計図中、記号Aにて模式的に示すに接続される。より詳細には、次のようにして使用される。まず、被検出物質の不存在下にて、電源に接続した電極8a’、8b’に電圧を印加することにより、人工脂質膜4の両面に電圧を印加し、この状態で、人工脂質膜4の膜厚方向に流れる電流を、電極8a、8b間に流れる電流として、電流計にて測定する。人工脂質膜4が、第1電解液2および第2電解液3を互いに隔てるようにして適切に形成されていれば、被検出物質の不存在下では一般的に絶縁性を示すので、電流は実質的に流れない。次に、所定量の被検出物質を溶解または分散させて調製した第2電解液3を用いてバイオセンサデバイスを製造し、上記と同様にして人工脂質膜4の膜厚方向に流れる電流を測定する。被検出物質の存在下では、人工脂質膜4に組み込まれた受容体に被検出物質が作用することにより、被検出物質の量に応じて電流が流れる。よって、第2電解液3に溶解または分散させる被検出物質の量を種々異ならせ、複数の電流測定値を採取することにより、検量データを得ることができる。以上のようして予め検量データを得た上で、新たに、試料液を混合して調製した第2電解液3を用いてバイオセンサデバイス40を製造し、上記と同様にして人工脂質膜4の膜厚方向に流れる電流を測定する。測定された電流値から、試料中の被検出物質の有無、および存在する場合にはその量を調べることができる。上記使用方法においては、電極8a’、8b’を用いて、人工脂質膜4の両面に電圧を印加し、電極8a、8bを用いて、人工脂質膜4の膜厚方向に流れる電流を測定するものとした。かかる構成は、微小なイオン電流を高精度で測定するのに特に好ましい。しかしながら、本発明はこれに限定されず、人工脂質膜4の膜電位を測定し得る限り、電極の数は、第1電解液および第2電解液につき1つずつであってもよく、電流および電圧のいずれを測定してもよい。実施形態2本実施形態は、実施形態1にて上述したバイオセンサデバイスの製造方法を改変したものである。以下、改変点を中心に説明するものとし、特に断りのない限り、実施形態1と同様の説明が当て嵌まる。本実施形態においては、図3aに示すボディ部材31を準備する。ボディ部材31では、連通部6の内壁面に切り欠き16が形成されている。より詳細には、ボディ部材31では、図1aに示すボディ部材30における基材11に代えて、別の基材17を用いており、この基材17の連通部6を成す内壁面に切り欠き16が形成されている。かかる切り欠き16は、基材17の内壁面に溝加工を施すことにより形成されていてよい。図3bを参照して、切り欠き16の深さLは、連通部6の外形寸法基材17に円形の穴が形成されている場合は直径に対して2~30としてよい。より具体的には、連通部6を規定する他の内壁面部分基材17に形成された穴の内側端面より、深さL=5μm~50μmで凹んだ形状であることが好ましい。切り欠き16の幅は、5~30μmであることが好ましい。基材17は、基材9、10、12と同様の材料、例えば、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリフェニレンサルファイドPPS、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合樹脂ABS樹脂、アクリル樹脂例えばポリメチルメタクリレートPMMA、環状ポリオレフィン、ポリカルボナートなどの有機系材料から構成される。しかしながら、これらに限定されず、基材17は、例えばガラス、シリコン、酸化アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコンなどの無機系材料で構成されていてよい。切り欠き16の表面は、撥水性を有することが好ましい。例えば、図3bに示すように、基材17の露出面22がフッ素系樹脂などにより撥水処理されていてよい。あるいは、基材17は、撥水性を有する材料、例えば、フッ化炭素樹脂、ポリテトラフルオロエチレンPTFEやテフロン登録商標から構成されていてよい。上記のようなボディ部材31を用いて、実施形態1と同様にして、図4に示すバイオセンサデバイス41が製造される。かかる本実施形態の製造方法では、連通部6に対して供給された脂質液1は、切り欠き16内に侵入し、この切り欠き16によって連通部6に留まり易くなるため、人工脂質膜4を安定的に形成することができる。本実施形態は、連通部6の内壁面に切り欠きが形成される限り、上記態様に限定されない。例えば、ボディ部材31における基材17に代えて、図5aおよびbに示すボディ部材32のように、基材19、中間材20、基材21を積層して用いてもよい。基材9の主面と平行な方向最終的に形成される人工脂質膜4の膜厚方向に対して垂直な方向において、基材19と基材21の間に位置する中間材20の穴面積は、基材19の穴面積より大きく、かつ、基材21の穴面積より大きくなっている。これにより、基材19~21の連通部6を成す内壁面には、切り欠き18が形成される。図5bを参照して、切り欠き18の深さLは、連通部6の外形寸法基材17に円形の穴が形成されている場合は直径に対して2~30としてよい。より具体的には、連通部6を規定する他の内壁面部分基材19および基材21に形成された穴の内側端面より、深さL=5μm~50μmで凹んだ形状であることが好ましい。切り欠き18の幅は中間材20の厚さに等しく、5~30μmであることが好ましい。基材19、21は、基材9、10、12と同様の材料、例えば、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリフェニレンサルファイドPPS、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合樹脂ABS樹脂、アクリル樹脂例えばポリメチルメタクリレートPMMA、環状ポリオレフィン、ポリカルボナートなどの有機系材料から構成され得る。基材19と基材21の間に位置する中間材20は、このような有機系材料で構成されていてよいが、熱硬化性接着シートであることがより好ましい。しかしながら、これらに限定されず、基材19、21および中間材20は、例えばガラス、シリコン、酸化アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコンなどの無機系材料で構成されていてよい。切り欠き18の表面も、撥水性を有することが好ましい。例えば、図5bに示すように、基材19、中間材20、基材21の全露出面23がフッ素系樹脂などにより撥水処理されていてよい。あるいは、基材19、21については、撥水性を有する材料、例えば、フッ化炭素樹脂、ポリテトラフルオロエチレンPTFEやテフロン登録商標から構成されていてよい。上記のようなボディ部材32を用いても、上記の実施形態と同様の効果を奏することができる。実施形態3本実施形態も、実施形態1にて上述したバイオセンサデバイスの製造方法を改変したものである。以下、改変点を中心に説明するものとし、特に断りのない限り、実施形態1と同様の説明が当て嵌まる。本実施形態においては、図6aに示すボディ部材33を準備する。ボディ部材33では、第2チャンバー7が、連通部6と開口部7aとの間に内側張出し部24を有する。より詳細には、ボディ部材33では、図1aに示すボディ部材30における基材12の上に、更なる基材14を積層して用いており、第2チャンバー7は、基材11の上面、基材12の内壁面、基材14の下面および内壁面によって規定され、第2チャンバー7の開口部7aは、基材14の穴の上面開口部に一致する。そして、基材9の主面と平行な方向最終的に形成される人工脂質膜4の膜厚方向に対して垂直な方向において、基材14の穴面積は、基材12の穴面積第2チャンバー7の最大外形寸法より小さくなっている。基材12および14の高さ、これらに各々形成される穴の膜厚方向から見た形状および大きさは、本実施形態の効果が得られる範囲で適宜決定してよいが、穴の形状は円形であることが好ましい円形の穴の場合、穴の面積は穴の直径で代表される。具体的には、基材12の穴径は基材14の穴径より大きく、かつ、基材11の穴径より大きくなっており、好ましくは、基材14の穴径は基材11の穴径と同じか、それよりも大きい。基材14の穴径が基材11の穴径と同等以上とすることにより、液供給が容易になる。基材14は、基材9、10、11、12と同様の材料、例えば、ポリエチレンテレフタレートPET、ポリエチレンナフタレートPEN、ポリフェニレンサルファイドPPS、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合樹脂ABS樹脂、アクリル樹脂例えばポリメチルメタクリレートPMMA、環状ポリオレフィン、ポリカルボナートなどの有機系材料から構成される。しかしながら、これらに限定されず、基材14は、例えばガラス、シリコン、酸化アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコンなどの無機系材料で構成されていてよい。上記のようなボディ部材33を用いて、実施形態1と同様にして、図7に示すバイオセンサデバイス43が製造される。例えば、脂質液1と基材11の表面を成す材料との親和性が高い場合などには、連通部6に対して供給された脂質液1の一部が、基材11の上面に沿って移動することがあり、顕著な場合には、図7に例示的に示す連通部外の脂質液15のように、更に基材12の内壁面に沿って移動することが懸念され得る。しかしながら、かかる本実施形態の製造方法では、連通部6と開口部7aとの間において、第2チャンバー7の内壁面に内側張出し部24を設けているので、脂質液15が過度に移動することを防止でき、このため、脂質液1は連通部6に留まり易くなるため、人工脂質膜4を安定的に形成することができる。実施例1本実施例では、図1~2を参照して上述した実施形態1におけるバイオセンサデバイス40を製造した。<1>ボディ部材の準備工程まず、基材9、10、11、12を用意した。各基材には、ポリエチレンテレフタレートPETから成るシートを用い、基材9の厚み100μm、基材10の厚み100μm、基材11の厚み50μm、基材12の厚み100μmとした。これら基材10、11、12に、それぞれ円形の穴を形成し、基材10の穴の直径500μm、基材11の穴の直径180μm、基材12の穴の直径500μmとした。これら穴は、パンチングマシンを用いて形成した。基材9には、電極8a、8a’を形成した。電極8a、8a’は以下の手順で形成した。はじめに基材9に電極引き回し用の穴を、パンチングマシンを用いて形成し、この穴に、Cuフィラーを含む導電性ペーストを充填した。次に、これら穴の上に、電極下地として、厚み12μmのCuから成るパターンを形成した。次に、このパターンの外周面を銀Agによりメッキした。最後に、次亜塩素酸ナトリウム水溶液5重量を用いて、銀によりメッキした外周面を更に塩化銀AgClによって被覆した。これにより得られた基材9、10、11、12を、厚さ20μmの熱硬化性接着シートをそれらの間に介挿しつつ、位置合わせして積層して、熱圧着することによって、互いに接着した。これにより、図1aに示すボディ部材30を作製した。<2>第1電解液の供給次に、以上により得られたボディ部材30に、図1bに示すように、液体供給装置51としてインクジェット装置を用いて、第2チャンバー7の開口部7aより、第1電解液2を全量で25.5nL供給した。第1電解液2の供給全量は、第1チャンバー5の容積に一致する量とした。このとき、インクジェット装置のヘッド部から吐出される一回あたりの液量は170pLであり、吐出回数を150回とした。第1電解液2には、100mmol/Lの塩化カリウムKCl水溶液およびグリセリンを体積比50:50で混合したものを用いた。<3>脂質液の供給そして、図1cに示すように、液体供給装置52として別のインクジェット装置を用いて、第2チャンバー7の開口部7aより、上記で供給した第1電解液2の上に、脂質液1を全量で400pL供給した。このとき、インクジェット装置のヘッド部から吐出される一回あたりの液量は20pLであり、吐出回数を20回とした。脂質液1には、デカン1mLにレシチン10mgを溶解させた溶液を用いた。<4>第2電解液の供給次に、図1dに示すように、液体供給装置53として、液体供給装置51として用いたものと同じインクジェット装置を用いて、第2チャンバー7の開口部7aより、上記で供給した脂質液1の上に、第2電解液3を全量で30nL供給した。第2電解液3の供給全量は、第2チャンバー7の容積よりも多いが、表面張力により保持される。このとき、インクジェット装置のヘッド部から吐出される一回あたりの液量は170pLであり、吐出回数を180回とした。第2電解液3には、上記の第1電解液2と同じものを用いた。以上により、図2aに示すように、本実施例のバイオセンサデバイス40を完成した。人工脂質膜4は、追加の工程を要することなく、脂質液1から第1電解液2および第2電解液3の間で自然と形成され得る。<5>人工脂質膜の電気特性の測定図2bに示すように、電極8b、8b’を第2電解液3に浸漬し、電源図中、記号Vにて模式的に示すに接続した電極8a’、8b’より人工脂質膜4に20mVのパルス電圧パルス幅10m秒を印加し、この状態で、人工脂質膜4の膜厚方向に流れる電流応答を、電極8a、8bに接続した電流計図中、記号Aにて模式的に示すにて測定した。かかる電源および電流計として、パッチクランプアンプHEKA社製、型番EPC-10を用い、測定電流を経時的に記録した。なお、電極8b、8b’を第2電解液3に浸漬しても、電解液は表面張力により保持されていた。他方、比較例として、脂質液1を供給しなかったよって、第1電解液=第2電解液により、デバイス内の空間全体を満たしたこと以外は、実施例1と同様にして、比較例のデバイスを作製し、このデバイスについて、上記と同様にして電流応答を測定した。図8aは、実施例1のバイオセンサデバイスの電流応答波形であり、図8bは比較例のデバイスの電流応答波形である。本実施例のバイオセンサデバイスは、図8aを参照して、絶縁性を示す電流応答波形が観測された。これに対して、比較例のデバイスは、図8bを参照して、パルス電圧印加中、電流が常に流れた状態の波形が観測された。本実施例のバイオセンサデバイスの電流ピーク値のバラツキ標準偏差は、サンプル数n=30で、10程度であった。以上の結果より、本実施例のバイオセンサデバイスにおいては、絶縁性の人工脂質膜4を、第1電解液2および第2電解液3を互いに隔てて、安定的に、再現性よく形成できることが確認された。実施例2本実施例では、図5を参照して上述した実施形態2の改変例におけるバイオセンサデバイスを製造した。<1>ボディ部材の準備工程まず、基材19、中間材20、基材21を用意した。基材19、21には、ポリエチレンテレフタレートPETから成るシートを用い、厚みを各50μmとした。これら基材19、21に、それぞれ円形の穴を形成し、穴の直径を各180μmとした。これら穴は、パンチングマシンを用いて形成した。中間材20には、厚み25μmの熱硬化性接着シートを用い、円形の穴を形成し、穴の直径を200μmとした。基材19、中間材20、基材21を位置合わせして積層して、熱圧着することによって、切り欠き18を有する積層体を作製した。切り欠き18の深さL=10μmであった。その他については実施例1と同様の条件として、上記で作製した基材19、中間材20および基材21の積層体を、基材9、10、12と一緒に、厚さ20μmの熱硬化性接着シートをそれらの間に介挿しつつ、位置合わせして積層して、熱圧着することによって、互いに接着した。そして、基材19、中間材20および基材21の露出面23切り欠き18の表面を含むにフッ素系コーティング剤を塗布して、露出面23に撥水処理を施した。これにより、図5aに示すボディ部材32を作製した。<2>第1電解液の供給次に、以上により得られたボディ部材32に、マイクロピペットを用いて、第2チャンバー7の開口部7aより、第1電解液を全量で28nL供給した。第1電解液の供給全量は、第1チャンバー5の容積を満たし、第1電解液の液面が基材19の上面に一致する量とした。第1電解液には、100mmol/Lの塩化カリウムKCl水溶液およびグリセリンを体積比50:50で混合したものを用いた。<3>脂質液の供給そして、液体供給装置としてインクジェット装置を用いて、第2チャンバー7の開口部7aより、上記で供給した第1電解液の上に、脂質液を全量で400pL供給した。このとき、インクジェット装置のヘッド部から吐出される一回あたりの液量は20pLであり、吐出回数を20回とした。脂質液には、デカン1mLにレシチン10mgを溶解させた溶液を用いた。<4>第2電解液の供給次に、マイクロピペットを用いて、第2チャンバー7の開口部7aより、上記で供給した脂質液の上に、第2電解液を全量で30nL供給した。第2電解液の供給全量は、第2チャンバー7の容積よりも多いが、表面張力により保持される。第2電解液3には、上記の第1電解液と同じものを用いた。以上により、図4に示すバイオセンサデバイス41と同様の、本実施例のバイオセンサデバイスを完成した。人工脂質膜4は、追加の工程を要することなく、脂質液1から第1電解液2および第2電解液3の間で自然と形成され得る。<5>人工脂質膜の電気特性の測定本実施例で製造したバイオセンサデバイスを、実施例1のバイオセンサデバイスと同様にして、人工脂質膜4に20mVのパルス電圧パルス幅10m秒を印加し、この状態で、人工脂質膜4の膜厚方向に流れる電流応答を測定した。他方、参考例として、中間材20の穴の直径を、基材19、21と同様に180μmとしたよって、切り欠き18を形成しなかったこと以外は、実施例2と同様にして、参考例のデバイスを作製しよって、切り欠きのない露出面に撥水処理を施し、脂質液を全量で400pL供給した、このデバイスについて、上記と同様にして電流応答を測定した。なお、この参考例のバイオセンサデバイスも、本発明のバイオセンサデバイスの製造方法に従って製造されたものに該当する。図9aは、実施例2のバイオセンサデバイスの電流応答波形であり、図9bは参考例のバイオセンサデバイスの電流応答波形である。図9aおよびbより、本実施例のバイオセンサデバイスの電流ピーク値は、参考例のバイオセンサデバイスの電流ピーク値の70程度となった。これは、連通部6の内壁面に切り欠きを有する本実施例のバイオセンサデバイスで形成されている人工脂質膜の方が、切り欠きを有しない参考例のバイオセンサデバイスで形成されている人工脂質膜よりも厚いことを示している。以上の結果より、本実施例のバイオセンサデバイスにおいては、脂質液は切り欠きによって連通部に留まり易くなる傾向にあり、切り欠き無しの場合と同量の脂質液で、より厚い人工脂質膜を形成できることが確認された。よって、切り欠きを設けることによって、より少ない脂質液で、同じ膜厚の人工脂質膜を安定的に形成することが理解される。