Применение вычислительной техники для управления эпитаксиальным технологическим процессом в электротехнической промышленности. Разработка алгоритмов и программ для статистического исследования процесса наращивания эпитаксиальных пленок. 4 часть.
Date: 1970-01-01-1970-12-31