Применение вычислительной техники для управления эпитаксиальным технологическим процессом в электротехнической промышленности. Расчет на ЦВМ и анализ статистических характеристик осаждения кремния. Этап Е18. 8045. 03. 3. 2 часть.
Date: 1970-01-01-1970-12-31