Авторское свидетельство 1660404, 01.03.1991. Устройство регулирования расхода паров жидких веществ реагентов в процессах газовой эпитаксии. Авторы: Ревельский И. А., Туулик В. В., Буц В. Г., Зирко В. Г., Яшин Ю. С. Заявка № 4751023 с приор. от 20.10.1989