Ревельский И. И., Туулик В., Буц В., Зирко Б., Яшин Ю. Устройство регулирования расхода паров жидких веществ - реагентов в процессах газовой эпитакси. Заявка 4751023 от 20.10.1989
Date: 1989-01-01-1989-12-31