Исследование и разработка системы автоматического управления (САУ) процессом выращивания эпитаксиальных пленок силовых полупроводниковых приборов. 2 часть. Анализ ошибок измерения температуры и изучения возможностей повышения точности измерения.
Date: 1970-01-01-1970-12-31