はじめに
当社はステージメーカーとして、お客様のご要望にお答えするために、多くのステージを製造販売しています。当社の手動ステージは、従来から各仕様の位置付けを明確にし、お客様がその目的に応じて選択しご使用いただけるように、多くの品種を取り揃えています。また、当社の自動ステージとの互換性も考慮し、各種ステージの取り付け基準穴、取り付けねじを共通にしました。設計面・製造面において原価低減を図り、皆様にご提供できるよう日々努力しています。
特　長
●ステージ面寸法、移動量、移動精度、価格など、各仕様の位置付けを明確にしていますので、用途に合わせての選択が容易です。 ●ステージ面の取り付けねじ穴とペース底面の取り付け穴位置に互換性があり、お客様の用途に合わせて自由な組み合わせが可能です。 Θほとんどのステージに、クランプ機構が標準で装備されています。 Oアフターサービス、サポート体制が充実しています。 ■ステージ面の大きさ当社手動ステージのステージ面の大きさは、基本的に下記表の種類を採用しています。
表３　基本的なステージ面の大きさ
■ベースの取り付け穴【図１】
基本的なステージ下面に開いている穴の位置と大きさは、图１のように統一され、互換性を有しています。各製品の組み合わせの際にご利用ください。また、ステージを取り付ける部品の平面精度を出すようにお願いします。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が出ていないと、ステージ本来の精度が発揮できないときがあります。
■ステージ面のねじ穴【図２】
基本的なステージ上面に開いているねじの位置と大きさは、図２のように統一され、互換性を有しています。また、ステージ上面のねじと、ステージ下面の穴の位置と大きさは、互換性を有していますので、いろいろなステージの組み合わせが可能です。各製品の組み合わせ、お客様の搭載物(試料など)を取り付ける際にご使用ください。また、ステージに取り付ける部品の平面精度を出すようにお願いします。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が出ていないと、ステージ本来の精度が発揮できないときがあります。 [東北]TEL : 0248(28)2293 · FAX : 03(3257)1915手動ステージの[▼ベースの取り付け穴【図1】] [▼ステージ面のねじ穴【圈2]] = D-T方式のステージ、回転ステージ以外■回転ステージ]姫や御川
 田島淳鑑ЧХОЧ目ペーツン
ニははりハジー当社のステージは、基本的に以下の４種類の案内方式に分類されます。
■案内方式アリ(D-T方式)
構造：軌道面として転がり接触ではなく、台形状のオスアリとメスアリのアリ満機構を採用したすべり接触の案内です。特長：案内部はすべり接触ですので、オスアリとメスアリの摺り合わせを行い、滑らかに摺動するように組み立てられています。当社ステージでは、主として駆動機構にラックピニオン方式を用いています。他のステージに比べ、長ストロークで安価です。用途：精度をあまり要求しない、単なる位置決め用のステージに採用しています。低倍率顕微鏡、観察用TVカメラの焦準装置や、試料の位置合わせに最適です。
■Ｖ満レールと鋼球(V-B方式)
構造：軌道面として向き合った２本のＶ溝レールに鋼球を配列させ、鋼球がＶ溝を転がりながら移動する案内です。特長：V溝レールは焼入れ硬化後、高精度研削加工が施され、高い平行度、平面度となっていますので、真直度の良い案内が得られます。移動精度は、V-CRと同等で、耐荷重は、V-CRより少し劣ります。用途：光学実験などにおける精密送り、精密微調整位置決めなどに最適です。
■ V満とクロスローラ(V-CR方式)
構造：軌道面として向き合った２本のＶ溝レールにローラを交互に直交して配列させ、ローラがＶ溝を転がりながら移動する案内です。特長：V溝レールは焼入れ硬化後、高精度研削加工が施され、高い平行度、平面度となっています。ローラは円滑な動作ができるよう、鏡面に近い特殊仕上になっており、径のパラツキも不均一さもなく、非常に高精度な案内が得られます。構造上、V溝とローラが線で接触しているため、高精度な移動精度と大きな耐荷重が得られます。用途：高精度、垂荷垂用の精密位置決めステージに採用しています。光学実験などにおける精密送り、精密微調整位置決めなどに最適です。各種生産機械、検査装置における精密な位置決めや測定などに使用できます。装置における精密な定量送り、あるいは移動量の測定など測長的な使用ができます。
■ V溝とクロスローラ(HG-VCR方式)
構造：鉄鋼焼入れ材のレールにＶ溝研削加工し、２本一対のレールをＶ溝同士が向き合うように配置し、そのＶ溝にローラを90°交互に配列して、それを二対(レール4本1組)で使用するガイドレールです。精度はもちろん剛性でも最上級のガイドレールです。特長：当社では、ステージのコンパクト化、剛性アップというお客様のご要望を受け、クロスローラガイドの更なる性能向上を目指し、まったく新しい発想の新型ガイドレールを開発しました。レールの高さ寸法の限界までローラ径を大きくし、ローラ同士の配列の問隔も極限まで狭くして配列数を増やして、リテーナで保持しています。高い予圧がかけられ、コンパクトで超高剛性です。用途：当社の新しい自動ステージ、手動ステージに採用しています。各種センサ、カメラなどの精密位置決めの他、各種生産機械、検査装置における精密な位置決め、測定などに使用でき、ある程度の偏荷重のかかる用途においても、安心してご利用いただけます。手動ステ３精度、仕様表の見方
O移動方向ステージの移動方向です。 �ステージ面ステージの移動部分の大きさです。 Bクランプ方式クランプの種類を表示します。 ●操作部取付位置操作部の取付位置を表示します。 Θ送り方式ステージを送る方式を表示します。 6移動量ステージがどのくらい移動可能かを表示します。 ●移動量／ツマミ1回転ステージを移動させるツマミを1回転した場合の移動量を表示します。 Θ目量[中央精機　社内規格]目盛りの最少範囲を目測により読取れる値を[目量]とし、表示します。 ☻惑度[中央精機　社内規格]人が感覚的に操作できる最少単位の目安を[感度]とし表示します。の移動ガイド採用している案内方式を表示します。は
長校
山原公演ペール×原作温公一ツン
①移動精度移動精度は真直度(水平・垂直)、ヨーイング、ピッチングの項目で表示され、それぞれ以下のように定義されます。 \"ーハンのBl巡行巡行
ペール内部地[直進運動する運動部品の運動の幾何学的直線からの狂いの大きさ。]基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置での変位長さと基準位置との差をその位置の測定値とします。基準位置と最終測定位置での測定点を結んだ幾何学的直線との最大差を[真直度]とします。真直度は、水平方向と垂直方向の２方向で示されます。
■ヨーイング・ピッチング[JIS B 6191-1993準拠]
[直進運動すべき運動部品の運動中の姿勢の狂いの大きさ移動量基準長さであって、運動部品が直進運動するときに生じる角度の偏差。]基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で基準位置に対して水平方向変位角の最大値を[ヨーイング]とします。同様に、それぞれの位置で基準位置に対して垂直方向変位角の最大値を[ピッチング]とします。
■真直度[JIS B 6191-1993準拠]
手動ステージの
@許容モーメント[JIS B 6201-1993準拠]
ステージ同士またはステージ上に部品を組付する時に掛けても良いモーメント負荷を[許容モーメント]とします。許容モーメントはモーメント負荷の方向により種類があり、ステージの種類により異なります。 X、X・Y、Zステージは許容モーメント(ヨー)、許容モーメント(ピッチ)、許容モーメント(ロール)の３種類、回転ステージは許容モーメントの1種類、傾斜ステージは許容モーメント(ヨー)、許容モーメント(ロール)の2種類を設定します。
⊕モーメント剛性[JIS B 6201-1993準拠]
1N・cm当たりのモーメント負荷による手動ステージの変位角(sc)を[モーメント剛性]とします。モーメント剛性はモーメント負荷の方向により種類があり、手動ステージの種類により異なります。X軸、X・Y軸、Z軸ステージはヨー剛性、ピッチ剛性、ロール剛性の３種類を設定します。回転ステージはモーメント剛性を設定します。モーメント剛性の数値が小さいほど、モーメント負荷による手動ステージの変位が小さく、剛性に優れていることを示します。 X軸、XY軸、Z軸ステージのモーメント剛性①モーメント剛性(ヨー剛性) ②モーメント剛性(ピッチ剛性) ③モーメント剛性(ロール剛性) XY軸ステージの場合は下軸が基準となります。回転ステージのモーメント剛性●平行度[JIS B 6330-1980準拠] [平面部分と平面部分のそれぞれの組合せにおいて、それらのうちの一方を基準とし、基準平面に平行な幾何学平面に対して、他方の平面部分が狂っているときの狂いの大きさ」ステージの総移動量の中心位置でのテープル面とベース面の平面部分の狂いを平行度とします。
\"ーハンの●運動の平行度／垂直度運動部品の運動と互いに平行でなければならない機械部分の面、線又は他の運動部品の運動との並行からの狂いの大きさ。基準平面上に固定したステージを基準位置から一方向へ一定問隔位置決めを行い、各ポイントにおける基準平面と移動ステージ上面に固定した計測器との間を測定し、その最大差を運動の平行度とします。百角基準に対するＺステージのテープル面までの距離の最大差を垂直度とします。 Blogvell}
サーリン事事
@XY直交度[JIS B 7440-1987準拠]
[直行する２軸間の直角度は、運動の真直基準となる幾何学的直線に直角な幾何学的直線に対し、他方の直線運動の狂いの大きさ。」 Ｘ軸ステージの基準位置と最終測定位置での真直度(水平)の幾何学的直線を基準軸とします。 X軸ステージ基準軸に対し、直角の幾何学的直線に対するY軸ステージの基準位置から最終測定位置までの水平誤差の最大値を[XY直交度にします。の耐荷重手動ステージに積載可能なステージ面に応じた等分荷重を[耐荷重]とします。 O質量ステージ本体の質量を表示します。 Ø主要材質／表面処理ステージに使用している主な材料の材質と、その外装(メッキ、塗装など)を表示します。 @RoHS指令対応状況欧州RoHS規制10物質不含有品に[趣▩規制10物質不含有品]と記載します。手動ステージに●心円度[JIS B 6191-1993.B 6194-1997準拠]円であるべき部分の幾何学的円からの狂いの大きであって、平面内にある線は、その線上のすべての点が二つの同心円の間にあり、円の半径方向の間隔の差が最小となる場合のこの二つの同心円の半径方向の間隔の差で表す。」幾何学的円に対する、測定値の最大差を心円度としています。 ●面振れ[JIS B 6191-1993準拠] ーつの軸を中心として回転する端面が回転中にこの軸に直角な一平面から外れる大きさ。」回転ステージのステージ上面のスラスト(垂直)方向の振れの最大値を[面振れ]とします。 ●回転中心精度[中央精機　社内規格]ゴニオステージのステージ上面から理想回転中心までの位置を基準とし、ステージを位置決めした時の、理想回転中心に対する最大差を測定します。最大差を半径とした球の直径を[回転中心精度]とします。
●送り矯度
当社の手動ステージの多くは、主としてマイクロメータヘッドにより分解能の細かい送りをすることができ、また、移動するテープルとマイクロメータヘッドのスピンドルとの間をスプリングローディングすることにより、再現性が良くバックラッシもほとんど無視できるほど最小になるように設計されています。したがって送り精度は、マイクロメータヘッド自身の送り精度、およびステージの移動による真直度に依存するところが非常に大きいといえます。当社のステージのうち、移動ガイド(案内方式)としてV-CR方式、HG-VCR方式を採用したステージについては、精密位置決め用のほかに測長用にも使用できるということから、送り精度を考慮しています。これはマイクロメータヘッドの精度、ステージの真直度および両者の連結精度などの誤差要因を合わせて、次のようになります。 90mm× 90mm以下のステージに対して(1 + 2L/10) μm以内90mm× 90mmを超え125mm× 150mm以下のステージに対して(1+L/10)μm以内ただし、Lは送り量(mm)とする。

ステージの取り付け方法
どール入場  10周
脚注4. 1ステージの取り付け方法ステージを取り付ける部品の平面精度を出すようにお願いします。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が出ていないと、ステージ本来の精度が発揮できないときがあります。外観上、取り付け穴の見える製品については説明を省略します。
4 .1- 1   X軸、X・Y軸ステージ
1.マイクロメータヘッドを取り外し、クランプねじが緩んでいることを確認してください。 X・Y翰ステージはX翰(下翰)を確認してください。クランプねじを緩めるときは、テープルがスプリングの力によって強く戻りますのでご注意ください。 2.テープルを手で取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ仮止めします。 3.テープルを手で反対側へ取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ固定します。 4.再度反対方向ヘテープルを移動し、仮止めしていたねじを本固定します。操作部取付位置サイドタイプステージには、クランプねじ、マイクロ台、マイクロ当てを外さないと、取り付け穴が現れないものがあります。取り付け穴が現れない場合は、取り外して行ってください。マイクロメータヘッドがステージの中心に取り付いているものは、マイクロ台を取り外してください。マイクロメータヘッドがステージの側面に取り付いているものは、マイクロ当てを取り外してください。ステージを取り付けた後に、マイクロ台、マイクロ当てを取り付けてください。マイクロ台、マイクロ当ての取り付けは、ステージ本体に対して平行や直角をなるべく合わせるように取り付けてください。厳密に合わせなくてもステージの精度に影響はありません。操作部取付位置センタータイプ手動ステージに
4.1-2回転ステージ
1.テープル面に、ねじ穴とは別に取り付けねじ落し穴が開いています。クランプがされていないことを確認してください。 2.テーブルを回して取り付けねじ落し穴を取り付け穴の位置へ合わせ、取り付けねじを入れ仮止めします。これを取り付け穴の数だけ行ってください。 3.再度テープルを回し、取り付けねじ落し穴を取り付け穴の位置へ合わせ、ねじの本固定を全て行ってください。
4.1-3傾斜ステージ
1.クランプねじが緩んでいることを確認し、テープルをハンドルで取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ仮止めします。 2.テープルをハンドルで反対側へ取り付け穴が現れるまで移動させ、付属の取り付けねじを入れ固定します。 3.再度反対方向ヘテープルを移動し、仮止めしていたねじを本固定します。
4. ②ステージを精度良く設置するには。
4 . 2 - 1ダイヤルゲージを使用した取付方法(弊社推奨の取り付け方法です。)ステージ取り付け部付近にお客様が設けた基準面と、ステージの走りが平行となるようダイヤルゲージを使用して、ステージを矢印方向へ動かしながら平行度を測定し、ダイヤルゲージの変位が最小となるよう取り付けて下さい。基準面○手動ステージいールの4 . 2 - 2ステージの加工基準面を使用した簡易的な取付方法ハイグレードステージは、下図のような加工基準面を持っています。ステージを設置する際に、設置したい箇所の基準面や基準ピンなどに、この加工基準面を突き当てて取り付けることで、簡易的に平行を合わせて設置することが可能です。 II通信
サーリン部地$サクハ[▼ハイグレードステージの基準面] CR：センター対称型SR :サイド対称型
4.3ステージへ治具や部品などを取り付ける際のご注意
ステージに取り付ける部品の平面精度にご注意下さい。ステージによって、構造上取り付ける部品の平面精度が良く出ていないと、ステージへ悪影響を及ぼし、本来の精度が発揮できない場合があります。ステージへの部品などの取り付けは、テープルを手などで押えて行ってください。移動ガイドに許容以上の負荷がかかりますとガイドに傷が付き、精度が低下します。ステージへの部品などの取り付けを先に行い、ステージの取り付けを後に行うことをお勧めします。手動ステ
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目盛の読み取り方法
当社のほとんどのステージには、テープルの位置(移動量)が読み取れるように目盛が付いています。各ステージによって最小読み取り単位が違いますので、ここでは代表的な目盛について説明します。
5.1マイクロメータヘッド
0.01mm読みの場合
1.シンプル端面の位置がスリープの何㎜の位置にあるかを0.5㎜単位で読みます。右図の場合7.5mm 2.スリープの基準線とシンプルの目盛線が一致している位置のシンプルの値を読みます。右図の場合0.38mm 3.1と２の値を合計した値がステージの現在の位置となります。右図の場合7.88mm
5. ②スケール(主尺)とバーニヤ(副尺)
直動ステージ0.1mm読みの場合
1.パーニヤの０の位置がスケールの何㎜の位置にあるかを1㎜単位で読みます。右図の場合14mm 2.スケールの目盛線とパーニヤの目盛線が一致している位置のパーニヤの信を読みます。右図の場合0.7mm 3.1と２の値を合計した値がステージの現在の位置となります。右図の場合14.7mm
5.3スケール(主尺)とバーニヤ(副尺)
回転ステージ　５′読みの場合
1.パーニヤの０の位置がスケールの何での位置にあるかを１ず単位で読みます。右図の場合14° 2.スケールの目盛線とパーニヤの目盛線が一致している位置のパーニヤの値を読みます。右図の場合457 3.1と２の値を合計した値がステージの現在の位置となります。右図の場合14° 45°
5.4スケール(主尺)とバーニヤ(副尺)
傾斜ステージ  5´読みの場合1.パーニヤの０の位置がスケールの何˚の位置にあるかを1˚単位で読みます。右図の場合4° 2.スケールの目盛線とパーニヤの目盛線が一致している位置のパーニヤの信を読みます。右図の場合451 3.1と２の値を合計した値がステージの現在の位置となります。右図の場合4° 45°
シ

ラックピニオンステージハンドルの種類
ラックピニオンステージに使用しているハンドルの種類は、次の写真のような４種類があります。
マイクロメータヘッドの仕様
当社製品に使用しているマイクロメータヘッドの仕様は次の通りです。
MHT3-6.5FP 81短六週間ペーリン専用ないハ")手動ステCMS-6.5Fの処守部部（ベール×修用ペール空軍温泉ーツンCMH-13FM CMH-13RM MHM1-15シD手動ステ81短谷漫画ベーリン部社温冷ーパン
にははりハMHH1-50T MHN1-25MX MHD-50MB手動ステージ🎵
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ステージの固定方法
ステージの固定は、クランプねじまたはクランプレバーを締めるだけで簡単に行えます。クランプを行ったときに、テープルが極力動かないよう考慮しています。クランプレバーのタイプ(D-T方式のステージ)は、レバーの位置調整が６０度毎に行えます。レバーの位置調整は図のようにクランプレバー固定ねじ、クランプレバー等を取り外し、レバーを任意の位置にずらし、クランプレバー固定ねじで再度固定します。
基本構造と移動方法
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9.1  D-T方式のステージ[写真１]
ペース板を取り外すことにより、XY、Z、XYZ、XZへの組み替えが可能になっています。D-T方式のステージには、移動方法として主にラックピニオン方式を採用しています。ベースおよびベース板が固定側で、ハンドルを回すことによりテープルが移動します。写真1 LM-412 + SS-401 + TS-413好動量± 10mのLM-412とゴニオステージTS-413を組み合わせました。 40mm× 40mmステージで頻成されたコンパクトなメ・Ｚ傾斜ステージです。  と異度を5000円です。その異度を500円です。
全15mのLV-612をXYZに頻成しました。
上軸になるごとに小さなサイズで構成していますので安定性に疲れた組み合わせになります。はは姫や歌山
田島淳鑑ベーリングポ温公ーハン○手動ステージ
9.2 V-B、V-CR、HG-VCR方式のステージ【写真３】
\"ーハンの日巡守急IIIベーリン部地移動するテープルとマイクロメータヘッドのスピンドルとの間をスプリングローディングすることにより、再現性が良く、パックラッシもほとんど無視できます。案内に適当な予圧(プリロード)をかけ、案内のスキマが０になるよう製作しています。 V-B、V-CR方式のステージは、主としてマイクロメータヘッドを使用してテープルを移動させます。ベースが固定側で、マイクロメータヘッドを回すことによりテープルが移動します。写真３ステージに取り付いているマイクロメータヘッドの位置はセンター、サイドにそれぞれ対称型があります。【写真４】 XY軸ステージは、X軸ステージを垂ね合わせたタイプと、ステージの高さを低くするためX軸(下軸)のテープルとY軸(上軸)のペースを一体構造とした３枚構成としたスリムステージがあります。高精度で高剛性のHG-VCR方式を採用したステージは、X軸ステージを垂ね合わせて直交度を精度よく組み立てています。タイプの違うステージを組み合わせて直交度を精度良く調整し、出荷することも可能ですのでご要望の際は別途お問い合わせください。手動ステージΩ
9.3回転ステージ
テーブル組動のみの回転ステージ。【写真５】テープルを回転させるための、ハンドルやマイクロメータヘッドが付いていないシンプルな構造です。テープルを手などで直接回転させます。クランプ機構はありません。粗微動のできる回転ステージ。【写真６】組動はクランプがされていない状態で、テープルを手などで直接回転させます。クランプねじにて狙動のクランプをし、マイクロメータヘッドにて微動が行えます。ギヤー式の回転ステージ【写真７】ハンドルを回すことにより、微動で回転します。360°の調整が可能です。
9.4 傾斜ステージ
傾斜２方向と回転のできるステージ[写真８]各々のハンドルを回すことにより、テープルが傾斜回転します。試料(負荷)の重心位置は、テープルの中央にてご使用ください。傾斜２方向のステージ【写真９,１０】各々のマイクロメータヘッドまたはアオリねじを回すことにより、テープルが傾斜します。クランプ機構はありません。 2韓傾斜ステージの動作イメージ２軸傾斜ステージの動作イメージ家族
山原○手動ステージ
ゴニオステージ【写真１１】
|パーツ入庫( Blogygmベーリン部地温パーハン
にははりハハンドルを回すことにより、テープルが傾斜します。２台を重ねることにより、回転中心が同位置の２軸の傾斜となります。水平面上で円弧運動をするゴニオステージもあります。 =ゴニオステージの回転中心複合カップリング機構を採用したゴニオステージは、図のような回転中心の異なる3種類を用意しています。直轄でも大きなら住民を見込ました。
それぞれステージ本体の厚さ分、回転中心までの長さが違いますので、
ゴニオステージ同士を組み合わせても回転中心を一致させることが
できます。できます。 【1軸ゴニオステージの移動イメージ】 【2翰ゴニオステージの移動イメージ】
使用環境
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手動ステージをご使用の際は、使用環境にもご注意ください。温度の極端に高いところや低いところ、温度変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでの使用は避け、下記の温度／湿度でご使用ください。県  度10 ～ 40℃現 度20 ～ 80%RH手動ステージ🎵 ● 81定定期ザーリングル温ピーツン
[▼ガラス基板やフィルム検査装置のカメラ位置調整に] [▼産業用カメラの位置調整に] [▼マイクロスコープの試料台やフォーカス調整に] [▼レーザー変位計の位置決めに] [▼レーザー変位計の位置決めに] ●