Prof.  Nico de Rooij
Dr, D, J, Strike

光一マイクロ機構コンポーネント

超音波ミリモータ

電子嗅覚

1 .マイクロマシンに関する調査及び研究

(2)　総合調査研究

2 .マイクロマシンに関する情報の収集及び提供事業

３ .マイクロマシンに関する内外関係機関との交流及び協力事業

4』マイクロマシン技術の標準化の推進
(一部日本機械工業連合会からの受託研究)

5 .マイクロマシンに関する普及啓発事業

5,３事業紹介・普及啓発用ビデオの制作

第５回（平成９年度）「マイクロマシン技術に関する研究助成課題の募集要領」

1.はじめに
筋肉運動は骨格筋の筋フィラメントの滑走によっておこる。フィラメント界面での举動についての分子論的な理解はほとんどなされていないが、いくつかの駆動モデルが提案されている。その中の一つに、界面における親水・疎水転移現象、すなわち、装面エネルギーの変化が重要な役割を果たしているとする鈴木誠氏(現東北大学)の提案がある。本研究の主たる目的は、光照射を外部刺激として表面エネルギーを制御し、それによって液滴の移動を操作することを試みることにある。光照射によって液滴の移動が可能となれば、光を駆動力とするデバイス概築は種々可能と想定される。
2 .カリックスレゾルシンアレンの単分子膜と光
応答性
我々はすでに、円筒構造の一方の緑に親水基を持つ環状両親媒性分子であるカリックスレゾルシンアレン誘浄体（以下ＣＲＡと略す）が、シリルガラス表面に容易に溶液から吸着し、最密重点に近い形で自己組織化單分子膜を形成することを見いだしている。さらに、この円筒概造の他方の緑にアゾベンゼン基を導入すると、その水面上での単分子腐の面積が光照射によって可逆的に数10％変化することを明らかにした（図１）。これは光エネルギーが力学的なエネルギーに変換された系とも言える。ついで、アゾベンゼンで置換されたＣＲＡ誘導体の光応答性を巨視的な現象へ変換する系の一つとして、コロイダルシリカの分散・凝集の光制御を検討した。粒径160nm程度のコロイダルシリカ表面にアゾベンゼン置換ＣＲＡを液相から吸落させると、有機溶媒に分散するようになる。これに紫外線を照射するとコロイダルシリカは凝集し、やがて沈降することが認められた。これは、光異性化によって吸着単分子膜の表面エネルギーが増大し、その結果分散状態が不安定化して凝集沈降すると説明される。光照射によって巨視的に分子溶液物性が削御できたことを意味している。これらの知見に悲づき、アゾベンゼンＣＲＡの吸着単分子膜について、光照射による水の接触角制御を試みた。しかし、ＣＲＡ吸着膜表面での水の接触角は不安定であり、水茶結合を介して吸着したＣＲＡ分子が脱離することが判明した。より強固な結合を実現させるために、CRAのフェノール性水酸基を化学的に改質して８つのカルボキシル誌を有する化合物を新たに合成し、アルミニウムで蒸着したガラス基板上に吸溶膜を形成させた。この新たな単分子吸着膜は水中でも安定であり、水に対する接触角が測定可能となった。紫外線照射前後でそれぞれ85° 、78°であった。この接触角変化量はこれまでの報告に比較して大きな値である。そこで、水滴に移動を図２のようにして試みた。一つの水滴の半分ずつをそれぞれ紫外線および青色光で照射し、接触角は前者では小さく、後者では大きくなるように設定した。しかしながら、実際に水滴が移動するまでには至っていない。
3．おわりに
現時点では、初期の目的である液滴の移動を光でガイドして操作することに成功していない。しかし、アゾベンゼンＣＲＡの分子概造、固体表面の形状をそれぞれさらに改質することによってさらなる接触角変化の増大が見込まれるので、検討を続ける予定である。 ＣＲＡおよびその誘導体は容易に単分子腐を形成する。潤滑、摩擦といった界面力学現象が単分子膜によって決まることを考慮すると、この種の化合物は本研究の目的以外に、マイクロマシン茶子の駆動部における表面処理に有効に活用できると思われる。この点での検討もこれからの課題である。

1．はじめに
微小なアクチュエータやセンサ、電子回路、バッテリなどが朱積された自律的なマイクロロボットの運動を制御するには、制御回路を組み込むためのスペースが限られているため、制御アルゴリズムを単純化する必要がある。人間に比べて神経細胞の数が極端に少ない昆虫（人間の神経細胞の数が100億個以上であるのに対して昆虫は10万個程度）は、歩行運動をすばやく環境に適応させるために、末端の感覚入力を下位の神経系で処理することにより、反射的に脚の支持期と振動期を切り替えたり、歩行周期などを調節している。このような反射的な運動アルゴリズムは、論理回路で記述することが可能であり、マイクロロボットの削御に応用できる。本研究では、反射運動を組み合わせて、 6脚ロボットの歩行バターンを生成するアルゴリズムを構築した。また、論理回路で制御可能な静電マイクロアクチュエータを開発し、反射アルゴリズムとの集親化によりマイクロロポットの実現が可能であることを示した。
2．反射運動による6足歩行パターンの生成
製作した６脚ロボットを図１に示す。全長は312×図1   反射を利用して歩行する6脚ロボット210×160mm、電池を含む質量は1.8kgである。名脚は、脚を前後に動かすモータと上下に動かすモータ、前端センサ（脚が前端にあることを検出するセンサ）、第地センサ（脚が地面に接触していることを検出するセンサ）を有する。前端センサがONになれば脚を下ろし、着地センサがONになれば脚を後方にかき、着地センサがOFFになれば脚を前方に振り上げるというように、各脚の動作はセンサの2値状態により反射的に行われる。また、隣脚同士は同時に上がらないという協調を図るために、隣脚間で抑制信号（上下に動かすモータの状態）の受け渡しを行わせた。これらのアルゴリズムを論理式で記述し、Programmable Logic Deviceに書き込み、ロボット上に実装した。歩行実験では、 3脚歩行や波歩行といった実際の昆虫が示す歩行パターンを、ロボットが歩行速度に応じて自動的に生成することを実証した。また、凹凸面上の歩行実験では、ロボットが平面上よりも、より安定な歩行パターンを自動的に生成することを確認した。
3．論理回路で駆動できる静電マイクロアクチュエータ
前述のロボットを微小化するには、論理回路で駆動できるようなマイクロアクチュエータである。そのために本研究では低電圧で大きく変形できる静電マイクロアクチュエータを実現した。製作したアクチュエータのＳＥＭ写真を図２に示す。このアクチュエータは、低電圧で小さく変形するカンチレバーを複数個直列に接続することにより、全体として大きな変形量を得ることができる。必要な駆動電圧は11,8Vであり、先端の最大変位は245 μ mであった。材質はアルミニウムとクロムの薄膜である。ＣＭＯＳ論理デバイスの出力を直接アクチュエータに接続し、論理デバイスの入力レベルを変化させることにより、アクチュエータをON / OFF動作させることに成功した。従来の電磁力モータや静電マイクロアクチュエータでは、論理回路の出力の電流や電圧を増幅するための回路が必要であった。しかし、本研究で開発したアクチュエータにはそのような増幅回路が不要であり、システム全体が非常に簡単かつ微小になり得る。駆動電圧が低いということはエネルギ供給の面からも非常に有利であり、市販の太陽電池でアクチュエータを動作させることができることを確認し、その結果から必要な太陽電池を2 mm× 3 mm程度の寸法に作り込めることを概算した。
4.結論
昆虫の反射運動機能を利用すれば、マイクロロボットの制御アルゴリズムを簡単な論理回路で実現できる。また、静電マイクロアクチュエータは、構造を工夫して駆動電圧を低減することにより、ＣＭＯＳ論理回路による直接駆動と微小な太陽電池によるエネルギ供給が可能となる。さらに、これらは全て半導体加工技術を利用して製作でき、全てが集積化されたシステムをチップ化することが可能である。これにより、自律的に動作するマイクロロボットの実現が可能となる。

1.まえがき
マイクロマシンを動かすためには高性能マイクロアクチュエータの実現が不可欠で、色々な駆動原理のものが研究されている。本研究では独自の駆動原理を有するイオンドラグ形のマイクロポンプ（アクチュエータ）の開発を行った。本ポンプは通常のポンプにおけるビストン、羽根車またはカム形ロータなどのような動く部品を全く必要としない極めてユニークなＤＣ駆動ポンプである。
2.加圧原理
図１にポンプの基本標造と加圧原理を示す。同図に示すように、加圧液体としての数10%のプチルアルコールを混入したシリコーン油中に電板の片側半分に絶縁バリアが形成された正・貨の電極が交互に置かれてい国1加圧原理る。同図において両イオン性物質であるプチルアルコール分子（ＢＡ）は、バリア層で保護されていない露出した正の電板１に接すると、電子をとられて正のイオンになる。そして最も近い異極性電板である右隣負電極2に引かれて右方向に加速される。このときイオンは周りの液体を引きずり、流動を起こしながら電板2の左半面（バリア層上）に漂着する。しかしこれらのイオンは、ここでは電荷の交換ができないので、液体の流動などによって電板２の露出部分にたどり着く。そして電荷の中和及び負電荷の付着が行われ負イオンとなり、それらは最も近い異種電極である正電極３に引かれ再び右方向に加速される。同様の現象が次々と起こり、正・貨の電圧が交互に印加されている電板構造にもかかわらず、両イオン性物質は正負のイオンになりながら右の方向に加速されて、液体の流動を生じさせる。
３．試作ポンプの構造
本研究では動作原理を確かめることと流量および加圧力を測定するために、図2に示されているような金属メッシュの片面を絶縁塗装したものをイオン加速電極としたポンプを作製した。図には金属メッシュを6枚有し、イオンを５段加速する場合を示しているが、加速段数を色々変えて実験を行った。このような電極を液体の流入口と流出口を持つ小さな直方体に納めた。加圧力は流出口と流入口に細いパイプを立て液面差から求めた。また流速は流路に0.06 μ mのアルミナの粉を入れ、その流動をＣＣＤカメラ付きの頭微鏡で観察することにより求めた。
4.実験結果
図３に電極段数６段のポンプの加圧力及び電極電流の印加電界依存性を示す。同図よりポンプの加圧力は印加電界のほぼ2.5乗に比例し、電極の導電電流はほぼ1, 2乗に比例することがわかる。このことから本ポンプはオーミックコンダクションに近い領域で動作しまた、イオン加速段数を可変とした実験から、ポンプの加圧力はイオンの加速段数に比例し、ほぼ予想した動作が行われていることがわかった。

l.はじめに
SOI (Silicon On Insulator)構造は、埃称回路の高運、高密度化、低消費電力化のみならず、朱積回路の3次元化を図る上で重要な基本構造である。今まで我々が研究してきたエピタキシャル成長による単結晶絶緑薄膜Al²O 3とSi単結晶膜による多層薄膜SOI構造を形成し（図1 ）、マイクロマシン用新材料として提案、レーションの結果とは違いが生じた。これは、注入イオンによる損傷のエネルギー準位と充分な量の正孔とにより、基板が正に帯電し、打ち込み妨害を受けたと考えられる。そこで多層レジスト（Photoresist/ Al）法を用いて同様の実験を行った結果、より深く注入ができ、注入特性が改善された。Siイオン注入を用いた化学エッチングによって単結晶γ − Al 2 O 3膜やサファイア基板がエッチングされており、結果を段差測定器と電子走査顕微鏡を用いて確認した（図２）。また、X図１　多層SOI構造研究することが本研究の目的である。これまでAl2O3層をエッチングストップ層として評価し、また圧力センサへ応用してきた。この方法では薄膜を何層にでも、また希望の膜厚に制御することは容易であり、また、 Si (111)等の別の結晶方位の基板を用いることで、種々の方位の膜も利用できる。そのほかに、この系はSiのICプロセスとの整合性がよく、ICプロセスと共存できる点も利点である。
2.研究成果
SOI構造の形成を超高真空対応の気相成長法（ＵＨ V − C V D）と分子線エピタキシャル成長法により行った。当初めざしたように、Si (100)、(111)ウエハ上に、それぞれAl²O 3の（100）と（111）面の成長が行われ、Si (100) ／Al²O3 (100) ／Si (100)以外にSi (111) ／AlzO 3 (111) ／Si (111)を基本とした５層以上の薄膜多層構造が任意に形成できることが判明した。この単結晶AI2O3膜やサファイア基板をエッチングするため、Si基板上に成長させたγ一Al 2 O 3膜やサファイア芸板にSiイオンを注入し、ＨＦ＋Ｈ₂Ｏにより化学的なエッチングが可能なことと、そのメカニズムを明らかにすることができた。実験では、Si（100）基板上の単結晶γ − Al2Os膜とサファイア基板を用いた。Siイオンをドーズ量1×1014 ～ 1 × 10¹ 7cm -²、加速電圧30～120kVの条件で打ち込み、その後に単結晶AI2O3膜をＨＦ水溶液によって化学的なエッチングを行った。この部分は薬品（ＨＦ＋ H 2 O ）によって100 Å／minのエッチレートでエッチングされる。Al2O3膜へのイオン注入特性はSIMS測定により行った。その結果、投影飛程（Ｒｐ）は加速電圧80kVの場合450 Åであった。しかしながら、シミュ図2    Al 2 O 3膜のエッチング（20 μ m／120 μ m）線光電子分光法（ＸＰＳ）により、注入されたSiイオンによってAl2O3膜がアルミノシリケイト（Al2O3・Si 0 2 ）へ組成変化したことが確認できた。予想されるエッチング機構は、まずSiイオンが注入されたAl203膜には多くの欠陥と組成変化が起こる。それから、組成変化が起こった部分（アルミノシリケイト）と火陥部分がＨＦによってエッチングされたと考えられる。これを用いて、5 μ mのラインアンドスペースの渦巻
3.まとめ
エピタキシャル成長による単結晶絶縁薄膜Al2O3とSi単結晶膜による多層薄膜SOIの特徴は、Al 2 O 3がサファイアと同じく化学的に非常に安定で、Siのエッチングストップ層として利用でき、また電気的絶縁層としても使用できるので、多くの応用が期待できる。またこの安定なAl2O3を容易にエッチングする方法を開発でき、新しいマイクロマシン用材料として新しい展堂を開くことができた。

1.はじめに
本研究の最終目的は、生体内で動作するエネルギー変換茶子(マイクロアクチュエータ)の作製である。そこで、微小物体(マイクロアクチュエータ)の水中での動作特性及びエネルギー変換機構と機械システム要素の解析・標準を行った。従来の振動型人工筋肉(媒質分子の熱運動に抗して、仕事をする微小機械)の研究を発展させるために、マイクロ・ナノマシンとしての筋肉(アクチン・ミオシン系)に箸眼した。一般にマイクロマシンでは、機械寸法の微小化に伴い、エネルギー効率とＳ／Ｎ比の極度の低下を来たす。他方、生物機械システムでは、ノイズレベルでの入力エネルギーで効率良く動作する。そこで我々は「中間領域の徹小機械に共通の原理が存在する」と考えて、媒質分子の熱運動(熱ノイズ)の一部を有効な仕事に変換し、自ら一方向に運動する微小機械を、確率共鳴機械(Stochastic Inclined Rods Model, SIRM)として提案した。 2．確率共鳴機械は、熱ノイズを利用するており、ロッドの先端には熱ノイズとの共鳴体として作用する頭部が付いている。SIRMの働く環境は熱的な開放・散逸系であり、ランジュバン方程式を用い、SIRMが満すべき条件を解明した。つまり、11確率共鳴の存在：内部系(微小機械系)と外部系(環境、熱源等)との間に確率共鳴が存在すること。内部系と外部系の間でエネルギー移行が起こる状懲の存在が必要であり、共鳴現象がこれに相当する。また、確率共鳴を起している機械系では、S ／ N比が1を超える。 (2)微小機械・環境系に非対称構造の存在：微小機械自身(振動型人工筋肉素子、SIRM)が非対称構造を持つか、外部環境に非対称性の存在が必要である。SIRMに外部より熱ノイズが加わると、ロッド頭部の共鳴体がノイズ中の特定の周波数と共鳴を起こし振動する。しかし、この振動は等方的である。そこで、SIRMは対称性を破る（運動の方向性を作る)ために非対称的に傾いたロッドが必要である。さらに、ロッド間に協調運動は不要(ランダム運動で良い)であり、SIRMに加わる外力(熱ノイズ、外場等)の振幅や方向性は問題ではない。SIRMの駆動力は、確率共鳴(エネルギー移行部)とロッド（運動の方向性）により生み出される。ロッドは適度な弾性を持ち、これが、大地を斜めに押すことにより敵小機械は一方向に駆動される。 SIRMの運動を解析するために、摩擦力、粘性抵抗、ゆらぎ、静電気力等の効果を組み入れた2次元のランジュバン方程式を組み立てた。この方程式より微小機械の出力、弾性定数、摩擦係数等の物理工学的要素を計算した。確率共鳴の存在する条件は、(1)相関関係の存在：熱ゆらぎと微小機械系との間に相関関係が重要である(一般的に中間領域では熟と機械系の間に相関が生じる)。(2)粘性抵抗(一般的に散逸力)の存在：散逸構造が存在しない場合、純力学的機械になる。この場合、確率共鳴が熱ゆらぎと機械系との間に生じず、S ／ N比が悪化する。(3)ロッド及び頭部の弾性定数が適切であること：弾性定数が適切な時には、共鳴現象が生じエネルギー移行が効率的に行われる。頭部の質量が、ミオシン程度ならば、SIRMの弾性体の固有角振動数は約1,0Ellrad/sと推定される。この数値は、室温の平均のフォノン(熱ノイズ)の周波数にほぼ等しく、微小機械は良好なＳ／Ｎ比(１を超える)を持つことが期待できる。確率共鳴により生じた振動に、方向性を持たせるために傾いたロッドが必要である。しかし、微小機械系に非線形的な効果が加わると、方向性を生み出す効果は増強され、非線形性は、熱ゆらぎに非対称性を与える。特に、乱流や電磁気力は、傾いたロッド以上に強い運動の指向性を微小機械に付与する。つまり、これらの力は、SIRMの力出力の制御に使用できる。もし、ロッド頭部に約10個程の電荷対が存在すれば、ロッドの生み出す力と、静電的な力が等しくなる。さらに、電荷の変化により共鳴周波数が変わり、確率共鳴機械の出力に影響する。(表1参照)
300Kにおけるフォノンの角振動数: 1.2Ellrad/s
3 . 将来の可能性
確率共鳴は中間領域の一般的現象であり、システム相互間のエネルギー・運動量の移行に関係する。確率共鳴は、情報の伝達に関与し、生物機械では情報処理への関与が示唆される。この熱ノイズ通信・熱ノイズ情報処理(確率通信)を用いると、信号伝達率の向上、測定感度の改善(閾値が不要)、廃熱の利用等の多くの利点が存在する。微小機械は、熱ゆらぎ・ノイズと争わず、ノイズとの共生、利用が基本原理である。中間領域機械学は、新しい次世代の工学であり、簡率共鳴が重要な鍵である。

1．はじめに
医療分野においてマイクロマシンを応用展開するには、そのマシンを機能させる部位へ確実に送達する必要がある。本研究では、生体の外部からの物理信号によってリモートコントロールすることにより、薬物をある特定の目的部位あるいは臓器に送達、朱積する薬物運搬体、すなわち標的指向型薬物運搬用マイクロマシンの分子設計について検討した。本研究を通じて得られた知見は薬物運搬体に限定されることなく、生体内におけるマイクロマシンの移動制御を行うための基鑑技術になるものと期待される。
2.研究成果
本研究では、相転移温度を埃に溶解・沈殿生成を繰り返す温度応答性高分子、ポリ（Ｐ－イソプロピルアクリルアミド、PIPAAmと略す）と疎水性のポリーDL一ラクチド（PDLLAと略す）からなるプロック共重合体を合成し、温度応答性を有する会合体への展開を検討した。PIPAAmは相転移温度以下では親水性を示すことから、低温側で親水ー疎水型のミセル様の会合体を形成し、高温にすると分子全体が疎水性になり凝集・不溶化すると考えられた。すなわち、ある特定部位を局所的に加温すれば、安定に存在していたこの高分子会合体が凝集し、集積する。このようなシステムを用いれば、外部からの温度変化という信号に応答した薬物ターゲティングが実現すると期待された。まずはじめに、片末端に水酸基を有するPIPAAmを合成し、この水酸基を開始点としてラクチドの開環重合を行い、PIPAAm — PDLLAブロック共重合体を合成した。このポリマーをジメチルアセトアミドに溶解させ、水に対して透析を行うことにより、会合体の調整を行った。次に5 ℃から5 ℃おきに動的光散乱測定（DLS）を測定することにより、PIPAAm連鎖の温度変化に応答した会合体のサイズおよび会合体の均一性を観察した。この会合体は温度上昇に伴い、平均粒径が120nm程度の会合体の生成が示唆された。その後30℃付近まで温度上昇させても、粒径がほとんど変化しなかった。その後、35℃において急激に粒径の低下が観察され、約65nmの粒径の会合体が得られた。このときの多分散度はほぼ0.1程度であった。DLS測定原理より多分散度が0.1以下であればほぼ球形の会合体の生成を示唆するものである。さらに温度を上昇させると会合体は凝集し始め、沈殿を生じた。すなわち、PIPAAm – PDLLAブロックコポリマーから得られた会合体は、生体温度の近いところでほぼ球形に近い高分子ミセルを形成し、そのサイズも65nmと小さいものであった。この高分子ミセルは温度上昇に伴い会合体の凝集・沈殿を生起することが明らかとなった。
3.結語
この研究の応用例として、抗ガン剤を腫瘍部位にのみ送達させるシステムが可能である。この治療システムを用いれば、腫瘍が発生した臓器だけに抗ガン剤を選択的に送達されるために副作用が低減され、治療効果の優れた化学療法に発展すると考えられる。さらに将来、マイクロマシンを目的部位へ送達す水性高分子相（接）る塔盤技術の確立に有用であると考えている。

l .マイクロマシン技術への取り組み
21世紀に向け地球環境問題やエネルギー問題が地球規模でクローズアップされ、またインターネット等の通信手段の改革やマルチメディア分野のデジタルレボリューションによってグローバル化が急速に進行しています。このような大変革の中、次の世代に向け、人類が快適に生活できる空間を引き継ぐため、より進んだ生活様式を創る必要があると考えています。当社をはじめとした半導体加工技術の進展は小型・高機能な電子機器を産みだし、ワイヤレス携帯機器に進歩し、生活を豊かにしてきました。また、半導体技術は太陽電池というクリーンな新エネルギー源も生み出しています。マイクロマシン技術もまた新しい機械形態を産みだし、新しい生活様式を実現できる技術だと思います。当社では、「人と地球」の未来のために、21世紀の茅となるマイクロマシン技術を代表とした次世代基盤技衛や要素技術の開発に積極的に取り組んでいきたいと考えています。
2 .マイクロマシン技術の開発
マイクロマシンの実現を考えますと、ワイヤレスで動く「自走微小機械」が一つの形態と考えられますが、機械に与えるエネルギーを電源コードを使わず供給する技術は電子機器に比べより困難になっています。このため、産技プロの中で当社はエネルギー供給として有効な手段である光エネルギー伝送技術開発に取り組んでいます。マイクロマシンに適した光エネルギー供給技術として、静電アクチュエータや圧電アクチュエータ等のマイクロアクチュエータ動作のために，小面積で数10～数100V程度の高電圧を供給すること、また、マイクロマシンの駆動に必要なエネルギーは体積に比例して減少するとしても、IC等の電子回路の消費電力は同等であり、より高出力のエネルギーを供給することが必要になります。図1は、当社で開発した0.5mm× 2 mmの欲小な光電変換素子を高密度に朱積化し、285個の3次元的な接続を実現した1 cm²サイズの高電圧マイクロ光電変換デバイスを示図1・高電圧マイクロ光電変換デバイスします。このデバイスは、太陽光下で世界最高の207Vの電圧を達成し、従来に比べ大幅な高出力化も同時に達成しました。これは、高電圧化するために薄膜構造のa-Si等を厚さ方向に称層した、異種材料から構成される多層薄膜を高精度に選択的除去加工するレーザ微細加工技術等により実現しました。さらに、マイクロマシンの表面を有効に利用しエネルギーを供給するために曲面实装マイクロ光電変換デバイスを開発しました。これは、最小２mmの曲率半径まで実装可能で、図２のように、昆虫型の微小アクチュエータ(サイズ：約1cm×1,5cm、駆動電力：約2mW)上に実装し、外部から光を供給するだけで1 cm程度のアクチュエータを平面内で吸動する程度のエネルギー供給が可能であることを変図2 ・昆虫型アクチュエータへの光工ネルギー供給証しました。
3 .今後の取り組み
現在、私たちの身の回りの機器はほとんど電気で制御されており、また光電エネルギーは電卓・時計から家庭用の発電所まで広く使われています。マイクロマシン技術や光電変換デバイス技術・システム化技術を進展させることによって、光エネルギーはより幅広い使い方が可能になります。さらに、光エネルギーの利用により省エネのみならず、「人にやさしい・地球環境にやさしい」デバイスが実現されると考えられます。今後、人にやさしい未来技術の実現に向け、より一層の高機能化、システム化を中心としたマイクロマシン技術の研究開発に取り組んでいきたいと考えています。 (三洋電機機)研究開発本部ニューマテリアル研究所電子材料研究部　複合材料研究室　室長；樽井久樹）

1.マイクロマシン技術への取り組み
21世紀は、「エネルギー不足・資源の枯渇」、「自然環境の悪化」などの大きな課題が表面化してくる時代になると言われています。この課題を解決するため、知恵を発揮し技術を開発することが、今、企業に求められています。機械分野に登場したマイクロマシン技術は、「省エネルギー」、「省スペース」、「省資源」といったキーワードからも、21世紀の課題を解決する基鑑技術になると期待されています。マイクロマシン技術は、幅広く多岐にわたるため全体像が把握されづらい技術ですが、キーワードからも技術的に正しいトレンドであり、今後、この技術が将来の数多くの新製品に生かされるものと思います。
2 .マイクロマシン技術の開発
当社は、産技プロジェクトに参画し、配管内検査システムを研究開発しています。図１はマイクロマシンるにせよ、光やマイクロ液によるエネルギー伝送方式を用いるにせよ、供給できるエネルギーは極く微量に限られます。そのため、そのシステムを構成するデバイスは低消費電力化が強く要求されます。現在は、税層数によって発生力と変位量をコントロールする低消費電力のアクチュエータと、マイクロ波を使ったエネルギー供給・通信デバイスについて研究を進めています。図2はそれらの技術を使って製作したワイヤレス移動機構です。14GHzのマイクロ波を15V、600Hzの鋸歯状波に変換することで、۽15mmの配管内を1 mm/sの速度で移動することができます。この無茶移動機構には、配管内のマイクロ波を高効率で受信するアンテナや、高周波高耐圧の電力変換素子、低消費電力で移動するために必要な力と変位を発生する力積層アクチュエータを組み込んでいます。
3．今後の取り組み
マイクロマシンは、その技術分野の広さから、さまざまな分野に取り入れられていくと予想されます。当社も、マイクロマシン技術を応用して、21世紀にマッチした製品を提供し、社会に貢献していきたいと考えています。 (掛デンソー 常務取締役悲硫研究所　所長；大森德郎）図1　マイクロ検査マシンシステムの課題抽出の目的で、プロジェクトの第１期に製作したマイクロ検査マシンです。頭部には、金属配管の亀裂を検知する目的で、直径2 mmの渦電流センサを２個取り付けています。また、パッケージ内部のスタック型圧電アクチュエータを伸縮動作させることにより、内径８mmの配管を６mm/sの速度で前後進移動することが可能です。移動機能と認識機能を持つ最も単純な配管内検査システムであると言えます。このマイクロ検査マシンには、厚さ60 μ m、重さ0.084gの3次元極薄構造体のバッケージを形成するためのシェルボディ形成技術や、アクチュエータから発生する熱を、抵抗少なく放熱フィンに伝達するための直接接合技術を用いています。このマイクロ検査マシンの開発を通して、マイクロ特有の課題を抽出しました。最大の課題はワイヤレスにする場合のエネルギー供給です。バッテリーを用い
4月28日～30日の間、カナダのバンクーパーにおいて、第３回マイクロマシンサミットが開催されました。今回は昨年参加の10カ国（日本、米、英、伊、豪州、蘭、カナダ、スイス、独、仏）に加え、スカンジナビア、中国、台湾が新たに加わり、世界13の国と地域から81名が参加し、活況を呈しました。日本からは、東京大学の中島教授首席代表をはじめとして、㈱デンソーの石丸会長、オリンパス光学工業(桃の下山会長、セイコーインスツルメンツ)の守友副社長、別マイクロマシンセンター（MMC）の平野専務理事の5名の代表と、MMC及び贊助会員の中から14名がオブザーバーとして参加しました。今回はホスト国であるカナダのサイモンフレーザー大学内のMicromachiningTechnologyCenterのGordonGuild社長が議長の進行により、カントリレビューによる各国・地域のマイクロマシンに関する活動状況の紹介に加え、標準化、ヘルスケア、現境、新展開＆新材料、輸送、情報技術といった観点でのマイクロマシン技術について議論がなされました。今回のサミットにおける主な討議の内容は以下の通いです。 (1)カントリレビュー中国、台湾といった日本以外のアジア勢の状況がはじめて報告され、注目されました。その他の国・地域については、昨年同様、研究開発状況、主要研究開発機関名等が紹介されましたが、特に大きな変動はなく、各国・地域とも政府等の支援を受けたプロジェクトを中心として研究開発が続けられていました。日本からは中島教授が産技プロの第２期計画の概要を中心に報告しました。 (2)標準化ドイツのメンツ教授、MMCの平野専務理事双方より、早期の標準化の必要性が示され、平野専務理事のマイクロマシンの国際的標準化のためのワークショップ開催の提案がなされましたが、それに対して、積極的あるいは消極的な意見が出され、各国の考え方の違いが明らかになりました。 (3)ヘルスケアオリンバス光学工業の下山会長、カナダのアルバータマイクロエレクトロニックセンターのラム社長より発表があり、低侵襲治療のためのマイクロマシン技術の重要性が確認されました。またラム社長よりマイクロマシン技術の有望な応用先としては分析システムや医療用デバイスがあり、その商品化に関しては、技術よりも市場ニーズが重要であるという意見が出されました。

(4)環境
デンソーの石丸会長、米ハネウェル社のホッカー氏、イギリスのインペリアル大学のドーレイ教授より発表があり、地球環境保全には地球規模での汚染状況の把据、環境監視が必要で、そのためにマイクロマシン技術を用いた低コストのセンサによる環境モニタリングの必要性が確認されました。また日本のマイクロファクトリのような省エネルギーのための取り組みを高く評価する意見も出されました。
(5)新展開＆新材料
新展開として、英エキシテック社のハーベイ氏からレーザーパルスアプレーションによる３次元微細概造の加工方法、カナダのアルバータ大学のハリソン教授からμ TAS（マイクロ流体解析システム）の発表がありました。また、新材料としては、圧電体、ポリマー、金属等シリコン系以外の様々な材料の重要性が述べられました。
(6)輸送
中国North China技術研究所のZhang氏、米アナログデバイス社のペイネ氏、英Defence Research Agencyのワード氏らから自動車用の加速度センサをはじめとして、低コストのマイクロセンサの開発が商品レベルで活発に行われていることが紹介されました。特にこの分野では不必要に高機能なものはコスト高になるため、適度な性能で安いセンサの開発が重要であることが強調されました。日本からコメントとして紹介したAHS（自動ハイウェイ走行システム）のＶＴＲが、マイクロマシン技術により、将来どのようなものが実現できるかを具体的に示したものとして注目され、そこに議論が集中しました。
(7)情報技術
セイコーインスツルメンツの守友副社長、スウェーデン・エリクソン社のエドウォール氏から情報通信ネットワーク等でマイクロマシン技術が応用されることが示されましたが、守友副社長のプレゼンテーションの中で示した市場規模予測に高い関心が持たれ、その値の妥当性について論議を呼びました。全般的に、日本からのブレゼンテーションは、高い視点に立って将来のマイクロマシン技術の展望を示しており、その内容に対して、議長をはじめ、参加者から高い評価を得ました。なお、次回は来年４月末にオーストラリアのメルボルンにおいて開催されることが決まりました。
当センターの国際交流事業の一環として海外のマイクロマシン研究機関との技術交流を目的としたセミナーを共催しました。詳細は以下の通りです。
6月23日(月)
[Micromachine Seminar]場 所：Marina Congress Center儀：財団法人マイクロマシンセンター TEKES（フィンランド工業技術院）参加者：50名演題および講演者"Future Prospect of Micromachine"平野降之関マイクロマシンセンター 専務理事"Current Status of Micromachine Technology R&D"柳沢　一向　関マイクロマシンセンター　研究開発部会長オリンバス光学工業仲　扱合精密技術部　部長"Development of Inspection Micromachine"川原伸究 (松デンソー 赤礎研究所主任研究員"Development of Microgyroscope"大和田邦樹  (掛村田製作所 横浜開発センター部長"Micromachine Research in Finland" Oiva  Knuuttila TEKES "Microtelemanipulation System" Heikki Koivo Helsinki University of Technology "Micromechanics Research at VTT" Ari  Lehto Technical Research Center of Finland "Microactuators at Oulu University" Seppo  Leppavuri Oulu University "Micromechanics for capacitive accelaration sensors" VTI Hamlin oy Risto  Mutikainenセミナーでは、両国の技術紹介および成果報告があり活発な質疑応答が行われました。特に、日本側の産技プロ第１期の研究成果について、質問が多く関心の高さが伺えました。そして、トータルシステムとして研究を進めている産技プロジェクトの取り組みについて高い評価を得ることができました。これまでに、フィンランドでのセミナーは一度も開催したことがなく、技術交流は殆ど行われてませんでしたが、このセミナーの成功がひとつのきっかけとなり今後の技術協力体制が確立てきるものと期待されます。 6月26日（木） [MMC／MIC Seminar on micromachines]場　所：デンマーク工科大学主 催：財団法人マイクロマシンセンターアーンマーク工科大学マイクロエレクトリックセンター参加者：70名演題および講演者：日本間講演者および演題はフィンランドでのセミナーと同様"Strategy within Technology Development at Microtronic, P. Schell Microtronic A/S "Microsystems Research at NKT" T. Freltoft NKT research A/S "Microsensors  &  Microprobes" S. Bouwstra Mikroelektronik Centret "Artifical Muscles" P. S. Larsen Riso National Laboratory "Microdevices by Metal Plating" O. Hansen Mikroelektronik Centret "Design of Microactuators using Topology Optimlization" Technical University of Denmark O. Sigmud "Microelectrodes for Biological Applications" T, Sinkjaer University of Aalborg,セミナーの参加者は、学生が大半を占めておりましたが、中には地元企業からの参加もありました。そして、日本のマイクロマシン技術とデンマーク工科大学での研究成果を中心に様々な分野での発表が行われ、特に学生からの日本間の研究成果に対する関心があることが感じられ、多くの質疑応答があり盛況なものになりました。そして、デンマークの近未来産業を担う研究者ならびに技術者にマイクロマシンに関する技術を提供することができました。 MMCでは、過去に何回かデンマーク工科大学に訪問し、技術交流を行ってきましたが、その当時は、クリーンルームが建築中でありました。しかし現在は完成し、興味のある成果がでてきていると思われます。 6月30日(月) [joint seminar on micromachine/mst in besancon]場 所：フランス国立科学研究所（CNRS）走　価：財団法人マイクロマシンセンターフランス国立科学研究庁（CNRS）参加者：32名演題および講演者：日本側講演者および演題は、フィンランドセミナーと同様"Outline of the 3 calls for proposal in Microsystems and ANVAR Role" N, DELORME ANVAR "Ultrasonics and Electromagnetic Micromotors" M. FROELICHER      CETEHOR "Local LIGA technology and applications" CNRS S. BASROUR "Design and control of coopertive microrobots" N. CHALILLET CNRS "French Research Microsystem Programme 1997-2000" D. HAUDEN CNRSスイスとフランスの国境付近にあるプサンソンは、時計技術を指本とした征気機械関連の研究所が多く存在し、官学産が連携して研究を行っている都市であります。セミナーではそのため多くの研究者の参加があり、より専門的な技術討論が行われました。そしてこれらの討議の結果は、今後の技術交流に非常に有益なものになると思われます。
当センターは多岐に渡りマイクロマシンの振興と普及に力を注いでおり、その活動は日本はもとより海外からも高い評価を受けています。海外への調査ミッションはその重要な事業として位置付けられている国際交流の一環として企画され実施されているもので、マイクロマシンに関する情報の収集と交換のために海外の大学・研究機関を訪問して実績を上げてきています。今回は４月28日～30日にカナダ・バンクーバで開催された第３回マイクロマシンサミットへのオブザーバ参加を機会に「97北米マイクロマシン調査団」を４月26日～ ５月10日の間、派遣しました。東京大学中島尚正教授（前期団長）、セイコーインスツルメンツ株安宅簡明技術総括部長(後期団長)の他、当センター及び贊助会員企業からの12名で編成され、カナダと米国の５つの大学を訪問し、その研究開発状況の調査及び研究者との交流を行うともに、産技プロジェクトを中心とした我が国の研究開発状況のプレゼンテーションを行い、理解を深めていただくことが出来ました。訪問した大学とその概要は次の通りです。 (1)サイモンフレーザ大学／カナダ応対者：Prof. John  Stubbs（学長） Prof. Ronald  G. Marteniuk (学部長) Mr. Gordon  Guild 他バンクーバーの中心部にあるハーバーセンターキャンパスを訪問しました。ここは教室・会議室のみの施設のため研究室の見学はありませんでしたが、関連する部門のスタッフを集めるなどの配慮を頂き、応用科学部門のマイクロマシン&マイクロ加工研究所におけるマイクロマシンに関する研究開発がビデオにて紹介されました。主な研究成果としては内視鏡手術用圧覚センサ、DNA分析用流体デバイス、ヒーターを用いた加速度センサ等があり、各デバイスの応用先は医撩、バイオ関連が多いようです。加工方法としては半導体加工技術がベースで、薄膜のプリッジ構造やエッチングによる溝の形成技術が中心になっており、設備としては4インチウエハの一連の半導体加工設備が揃っているとのことでした。 (2)ルイジアナ州立大学／米国応対者：Dr. Volker  Saile (所長)他ルイジアナ州・バトンルージュにあるCAMD (Center for Advanced Microstructures and Devices)と呼ばれる研究機関を訪問しました。ここはルイジアナ州政府の支援を受け、ルイジアナ州立大学によって運営管理されているもので、施設内にはSR装置(1.3～1.5GeV　リング、直径16.3m)を所有しており、X線リソグラフィーを用いたハイアスペクト構造体加工技術の研究開発が行われています。主な研究成果としては、LIGAプロセスによるハードディスクドライプ用スピンドルモータ(IBM社と共同研究)、シリコンバルケマシニングとLIGAプロセスによる体内埋め込み型薬品投与装置等が紹介されました。CAMDはMCNCを中心とする米国の大学・企業間研究協力ネットワークの中でX織リソグラフィーを用いた加工を担当する拠点になっています。 (3)ルイジアナ工科大学／米国応対者：Prof. Barry  A. Benedict (学部長) Mr. Philip Coane他ルイジアナ州・ラストンにあるマイクロマニュファクチャリング研究所(IfM：Institute for Micromanufacturing)を訪問しました。本研究所は1995年に完成し、イオンビーム加工研究室、微細機械加工研究室、レーザ加工研究室、トランスファ技術研究室、クリーンルーム等から構成されていました。主な研究内容としてはレーザ加工(エキシマレーザアプレーション)技術、イオンビーム加工技術、微細機械加工(穴あけ加工、フライス加工、放電加工）技術、LIGA等の研究開発が行われており、これらの加工技術は主にマイクロ流体デバイス、オプトデバイス(ファイバーコネクタ等)、バイオメディカルデバイスに応用されるということでした。米国では半導体加工技行の延長上にあるMEMSへの取り組みが一般的ですが、この研究所ではこのような流れとは異なり、日本と同じように機械加工技術をはじめ広範囲な微細加工技術によってマイクロシステムを実現することを目指していることが特徴的でした。 (4)ケースウェスタンリザーブ大学／米国応対者：Dr. Wen  H. Ko (名誉教授)他クリープランドにある電気工学・応用物理部門を訪問しました。ここでは半導体加工技術を中心としたいわゆるMEMS (特に圧力、力、変位、流量、化学量等各種センサ)の研究開発が行われています。研究設備としては4インチCMOS − ICの製造が可能な一連の半導体加工ライン(現在6インチラインに改造中)を持っている他、シリコン誌板の接合装置、 SiCエピタキシャル装置があります。研究内容としてはガスセンサ、流量センサ、温度センサ等が紹介され、それらのセンサのアレイ化やコントロールICとの1チップ化(スマート化)の研究開発が行われている他、流体デバイス、オプトデバイス、燃料噴射ノズル用のアクチュエータやSMA、ポリマー材料についての研究も行われています。
(5)マサチューセッツ工科大学／米国
応対者：Prof. Ian  W. Hunter Dr. Jhon  Madden 他ケンブリッジにあるMITでは複数の部門でマイクロアクチュエータ、マイクロ光学系、マイクロセンサ、シミュレーション、マイクロロボット等幅広い研究開発が行われていますが、今回はマイクロロボット、淳電ポリマー応用等で幅広く研究している工学部機械工学科のハンター研究室とMEMSデバイスプロセス研究所を中心とするMTL (Microsystems Technology Laboratories)を訪問しました。ハンター教授の研究室では光学、電気、機械、化学、分子生物学などの基盤技術をベースに生物学的課題の解決のためのロボット技術の開発を目指しており、究極の自律ロボットの開発のためのセンサー、アクチュエータ、システムの開発を行っている他、特に準電ポリマーを使って様々な機能デバイスを英現することを目指していました。また、M. T Lは、4インチャエハ(ケースウェスタンリザープ大学と同様、6インチラインに改造中）で種々の半導体デバイスの製造が可能な一連の半導体加工ラインを持っており、MITにおけるMEMSデバイス研究開発のインフラ拠点であり、産学協同での研究を通じて教育を行う機関となっています。
マイクロマシン連合運営協議会開催される
第６回マイクロマシン連合運営協議会が５月30日（金）に、代表幹事佐藤知正東京大学教授を始め11団体の委員が出席し、脱マイクロマシンセンターの会議室で開催されました。この協議会では、マイクロマシン連合の平成8年度活動報告、平成9年度活動計画、代表幹事の選出及び新規加入希望会員に関する審議等が行われました。平成8年度のマイクロマシン連合の主な活動は、下表に示すイベントの協賛４件、マイクロマシン連合のホームページによる会員への情報提供等でした。平成9年度のマイクロマシン連合代表幹事には、藤正厳塔玉大学教授が選出されました。また、(社)電気学会センサ・マイクロマシン部門が新規に会員となり、マイクロマシン連合の会員構成は、会員29、準会員1 、後援会員１となりました。平成９年度の活動計画では、マイクロマシン進合の会則に定められた事業計画に基づき共催・協賛を実施するとともに、連合会員のイベントやトピックス、マイクロマシン関連出版図書等の情報をマイクロマシン連合のホームページを通じて提供し、会員相互の情報交換を行う予定です。また、平成7年4月に初版のマイクロマシン連合会員名簿の見直しを行い、平成9年度事業として改訂版を出版する予定です。
なお、マイクロマシン連合のホームページは、下記のとおりです。 Home Page Address : http://biomed. poli - sci. saitama - u, ac, jp
従来から生物の機能や構造を工学的に实現しようとする試みは数多くあった。航空機のように、機械として実現されたものが、手本であった生物よりずっと高性能になったと考えられる例も多い。マイクロマシンはこれまでわれわれが作れなかった微小寸法の機械である。従来の機械を外挿的にスケールダウンしてマイクロマシンを設計しても、期待した性能が得られないこともある。この理由の一つは、スケールダウンすることによって、支配的な力、つまり相対的な力の関係が変わるからである。たとえば、寸法が小さくなれば、慣性力に比べて粘性力が支配的になる。流体力を利用した移動では、寸法が小さくなると粘性力を利用したほうがよいといわれている。また、寸法が小さくなるとともに表面張力が大きくなって、シリコン基板に微小部品が固着することはよく経験することである。微小世界では摩擦力も大きくなるので、回転軸も回りにくくなる。ここで目を自然界に向ければ、生物は自然選択による進化の過程で寸法に適した構造や機能を獲得したと考えられる。そのなかでも昆虫は、小さな寸法にもかかわらず、飛んだり、はねたり、あるいは逃避行動をとり、その動きにた酸茶の量を、酸茶１リットルあたり20.1kJとしてエネルギに換算したものである。図１から、代謝エネルギP metは体重mの0.75乗に比例していることがよみとれる。 P me: ∞ m 0.75これは、寸法が小さくなるとともに、単位体重あたりの代謝エネルギが増大することを意味している。図1の関係が生物全体に成り立つと素直に認めればいろいろ面白い結論が導き出せる。たとえば、水中で呼吸できない生物の潜水時間では、体内に蓄えられる酸茶の量を酸素の時間当たりの消費量で割ったものである。潜水時間（T）＝体内の酸素量／時間当たりの酸素の消費者体内の酸茶量は体重に比例する。時間当たりの酸茶の消費量は、代謝エネルギに比例するので、体重の0.75乗に比例する。体内の酸素量∞m時間当たりの酸蒸の消費量∞m°.751したがって、潜水時間は体重の0.25乗に比例することになり、体重が増加するにつれて、潜水時間も増加することがいえる。は驚かされる。昆虫はマイクロマシンの寸法と同程度の大きさなので、マイクロマシンのちょうどよい手本だ。そこで、特に昆虫に着目して、マイクロマシンの立場から生物学的なデータをながめてみよう。図１に示すグラフは、いろいろな寸法の生物が単位時間に消費するエネルギ（代謝エネルギ）の実測値である。このグラフは、生物が　図1単位時間に消費しシュミットニールセン著、下澤、大原、浦野訳、「スケーリング：動物設計論」（コロナ社）から転載パッテリに蓄えられるエネルギの量も体積に比例するので、体重と潜水時間の関係はマイクロマシンでもそのまま成り立ちそうである。機械の寸法が小さくなるにつれて、摩擦や表面張力がエネルギ効率を低下させ、図１の代謝エネルギの場合と同様に、機械内部でエネルギがむだに消費され、効率が低下するといえるのではないか。バッテリに寄えられる単位体積あたりのエネルギは一定なので、バッテリで機械を駆動できる時間は、寸法が小さくなるとともに減少する。つまり、マイクロマシンをバッテリのみで駆動するときには、駆動時間は短いものになるのではないか。長時間助かしたいマイクロマシンでは、一般的にいって、外部からのエネルギ供給が必須になると考えられる。昆虫の構造としての特徴は外骨格である。昆虫の多くは胸の飛翔筋が直接翅を引くのではなくて、図２のように胸部の骨格の変形を介して翅の動きをつくっている。カイコガの胸部には約10種類の筋肉があって、それらの収縮のタイミングの違いで複雑な羽ばたきパターンを発生している。外骨格構造を使うと、アクチュエータを骨格構造のなかに平均的に置くことができるので、限られた体積を有効に利用できる。また、シリコン芸板上の薄膜を折り紙のように折ると外骨格構造ができるのも面白い。ところで、昆虫が細胞でできた柔らかい皮膚をもてなかったのは、皮膚が厚く複雑すぎてスケールダウンできなかったからではないだろうか。昆虫の飛翔もマイクロマシンにとって興味ある手本飛行（羽ばたいて飛ぶ状態では、空気から翼が受ける力図3と重力がつり合っている）である。図３に昆虫が羽ばたいているときの様子を示した。翼が受ける空気力f」が運動量変化によるものであるならば、それは次のように表される。 f oc A U 20cmこの力と重力がつりあって飛んでいるのだから，空気力f。は体重に比例することになる。体重mが寸法の３乗に、翼面積Ａが寸法の２乗に比例するなら、流速Ｕは寸法の0.5乗に比例する。 U oc L ocsこのとき、単位時間当たりの運動エネルギの増加、つまり、単位時間に翼のする仕事Ｐは寸法の3.5乗に比例する。 P ∞ f ∈ U ∞ L ³· 5 = m − 17ところが、生物の代謝エネルギP …は体重mの0.75乗に比例するので、飛翔に必要なパワーＰと、供給可能パワーである代謝エネルギＰ …は、ある寸法を境に逆転し、寸法が小さくなるほど飛翔に必要なバワーが供給可能パワーに比べて小さくなる。つまり、エネルギ的には小さいものほど飛ぶのが楽になる。ただし、小さくなるほど代謝エネルギに対する実効エネルギの比(効率)が悪くなりそうなので、本当に小さいほど楽に飛べるかどうかは、一概にはいえないかもしれないが。以上述べた以外にも、昆虫から学べることは多い。そこで、次回以降、「昆虫の感覚器」、「昆虫の神経系」がマイクロマシンにどのようなヒントを与えるかを述べていきたい。はやややりSBログナト平均平茶日乳虫虫いさい第３回
6月住日時平成９年10月30日（木） 9:30 ～ 17:35 (燃税会：18:00 ～ 20:00)所#後期（子宮） [ [ ] 31日( 52 ) 9:30~ - 15:35サイユンスホール科学技術館〒102東京都千代田区北の丸公園2-1 (HマイクロマシService 2 0坊日本館築技術振興に会通商産業者、工業技術院、新エネルギー
・産業技術総合開発機構ン研究所2 (クロマシン进合、マイクロマシ(東京) 、マイクロマシン研究会（名古屋）、問い合わせ先■ブログラム1系集広報誌[マイクロマシン]の発行も今回で20回目となります。年平均４回の発行回数で５年の歳月が経ったわけです。この問いろいろの分野の方に執筆をお願いし、快く引き受けて頂いたことに感謝いたします。さて、マイクロマシンセンターの事業活動も活況を呈しており、研究活動をはじめ、調査活動、国際活動、広報活動等においてさらに着実な業務推進が図られると考えます。特に、4月にカナダで開催された第3回マイクロマシンサミットは世界13カ国から86名が参加し、7つのトピックスについて計議がなされました。その中でも日本からのプレゼンテーションは高い視点に立ってマイクロマシンの将来を威望した発表がなされ、参加各国の出席者から高い評価を得たと聞いています。今年も早半年が過ぎ、秋には第３回国際マイクロマシンシンポジウムとマイクロマシン展が開催される予定です。今後ともマイクロマシン技術の更なる飛躍に向けて、有益な情報発信ができるようにしたいと考えていまや。発　行　財団法人マイクロマシンセンター発行人 平野 陸之〒101東京都千代田区神田司町２－２　新倉ビル５階TEL.03-5294-7131 FAX.03-5294-7137 WWWホームページ：http://www.iijnet.or.jp/ MMC/が同#参加中込みは日本ロボット工業会、明発電設備技術検査協会、以日本機械工業連合15, 000円(子稿集代・思親会費用を含( )平成9年10月15日までに(J)マイクロマン一覧に所定の申込用紙に記入の上FAXにてお申込み下さい。先落期に空定員になり次第締め切らせていただ国際交通省Fax:03 - 5294 - 7137 Tel:03 - 5294 - 7131