MitutoyoセパレートタイプリニヤスケールST36ユーザーズマニュアルー取扱説明書ーご使用前に本書をよくお読みのうえ、正しくお使いください。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。 No. 99MBE048B4 2021年1月1日　発行（1）
|商品名および型番の対応

本書に関するお願いとご注意
•本書に記載の使用法に依らない使用により損害が発生した場合には、弊社は一切その責任を負いかねます。 •本商品を貸与または譲渡するときは、本書を本商品に添付してください。 •本書を紛失または損傷されたときは、すみやかに営業または代理店に連絡してください。 •本商品の操作は、本書をよく読んで内容を理解してから行ってください。 •特に、冒頭の「安全上のご注意」「取り扱い上のご注意」の内容を十分にご理解いただいてから本商品をお使いください。 • 本書の内容は2021年1月現在の情報に基づいています。 •本書の内容の一部または全部を転載・複製することは固くお断りいたします。 •本文中の会社名、団体名、商品名などは、各社、各団体の商標、または登録商標です。 ©2019-2021 Mitutoyo Corporation. All rights reserved.
本書で使用されているマークは大別すると３種類（注意喚起、行為の禁止・強制、参考情報・参照先）です。また、マークには、汎用的に使用されるものと特定の内容を示すものがあります。特定の内容を示す場合には、マーク内に具体的な内容を示す絵が描かれます。

■潜在的な危険性に対する注意喚起を示すマークや文字
行為の禁止および行為の強制を示すマークや文字

参考情報や参照先を示すマークや文字
本文に記載されている操作方法や手順を特定の条件に適用する場合の参考情報などを示します。 Tips本書または外部取扱説明書に、参照するべき情報がある場合は、参照先を示します。 EE例：○○の詳細は、国「1.2各部の名称と機能」(2ページ)
安全上のご注意
本商品の性能を十分に発揮するために、次のことを守ってで使用ください。
注記
•で使用の前に必ず本書をよくお読みください。 •本商品を機械本体に取り付ける場合には、制御装置の電源がオフであることを確認してから行ってください。 •各接続ケーブルのコネクターのねじ類は、シールドを確実に行うためしっかり締めてください。 •接触不良を起こす恐れがありますので、コネクター部の接続端子には絶対に手を触れないでください。
取り扱い上のご注意
■本商品の用途や取り扱いについて
•本商品は測定器です。本商品を測定以外の目的に使用しないでください。 •本商品は工業用商品です。本商品を工業用以外の用途で使用しないでください。 •本商品は精密機器です。本商品の取り扱いには十分で注意ください。また、ご使用時に各部に衝撃を加えたり、無理な力をかけたりしないでください。
■設置環境
●振動に対して
本商品を機械本体に取り付ける場合は、なるべく振動の少ない場所に設置してください。振動の多い場所で長時間使用されますと、内部の精密部品に不具合が生じ、性能に影響を及ぼす場合があります。
●衝撃・防塵・防水に対して
本商品にワークなどが当たり強い衝撃が加わったり、切削油や切粉が直接スケール本体にかかるのを防止するために、スケール本体全体を覆うようなカバーを用意してください。
●周囲温度および湿度に対して
本商品の動作環境は、温度0 ℃ ～ 40 ℃、湿度20 % ～ 80 %RHですが、急激に温度や湿度が変化する場所での使用は避けてください。
電磁両立性について
本商品は、欧州EMC指令に適合していますが、この要求を超える電磁妨害に対しては保証外となり、適切な対策が必要となります。本商品は工業用商品です。住宅環境での使用は意図しておりません。住宅環境で使用すると、他の機器に対して電磁妨害が発生する可能性があります。その場合には電磁妨害に対する適切な対策が必要となります。
輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意
本商品は、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第１もしくは外国為替令別表に定める16の項」によるキャッチオール規制貨物・キャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になる場合があります。また、本商品に機能を追加するためにオプションの追加や改造を行った場合、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第１もしくは外国為替令別表に定める１から15の項」によるリスト規制貨物、リスト規制技術（プログラムを含む）に該当となることがあります。その場合の本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になります。事前に弊社にご相談ください。
EU（欧州）諸国への輸出に関するご注意
EU加盟国へ本商品を輸出される際は、英文の取扱説明書・EU適合宣言書（場合によっては輸出国公用語の取扱説明書・EU適合宣言書）が必要となる場合があります。詳細につきましては弊社にご相談ください。
日本国内で本商品を廃棄する際のご注意
•事業者として廃棄する場合は、廃棄物の処理および清掃に関する法律（廃棄物処理法）等の関連法令に従い、適正な廃棄処理をしてください。 •個人として廃棄する場合は、各自治体の廃棄ルールに従ってください。
商品または包装に記されたこのシンボルマークは、EU諸国の規制である廃電気電子機器指令(WEEE指令)に基づくもので、本商品を廃棄する時に一般家庭ゴミと一緒に捨てないようにするためのものです。土壌に埋め立てする量を減らし環境への影響を低減するために、商品の再利用とリサイクルにご協力ください。本商品の廃棄方法については、お買い上げになった小売店や代理店にお問い合わせください。
保証
本商品は、厳重な品質管理のもとで製造されていますが、お客様の正常な使用状態において、万一お買い上げの日から1年以内に故障した場合には、無償で修理させていただきます。お求めの代理店、または弊社営業へで連絡ください。次のような場合には、保証期間内でも有償修理となります。 •使用による通常の損耗によって生じた故障および損傷•メンテナンス上、修理上や取り扱い上の誤り、および不当な改造による故障および損傷•お買い上げ後の移動、落下や輸送による故障および損傷•火災、塩害、ガス害、異常電圧、雷サージおよび天災地変などによる故障および損傷•ミツトヨによって指定または許可されているハードウェアやソフトウェア以外のハードウェアやソフトウェアと組み合わせて使用したことによる故障および損傷•高度に危険な活動に使用したことによる故障および損傷本保証は日本国内において適切に設置され、本書に記載される指示に従って操作されている場合にのみ有効です。本保証に規定される場合を除き、適用される法によって許される最大の範囲で、あらゆる性質の、すべての明示的・黙示的な条件、表明および保証（商品性に関する保証、特定の目的への適合性の保証、非侵害の保証または取引過程、使用または取引実務から生じる保証を含みますが、これらに限定されません）は、排除されます。お客様は、お客様が意図された結果を実現するために本商品を選択したことによって生ずるすべての結果についての全責任を引き受けるものとします。免責ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーは、いかなる場合においても、収益の損失、利益の損失、もしくはデータの損失、または本商品の使用もしくは使用不能によって生じた特別損害、直接損害、間接損害、派生的損害、付随的損害、または懲罰的損害について、原因および責任理論の如何にかかわらず、たとえミツトヨ、その関連会社またはそのサプライヤーが当該損害の可能性について通知を受けていた場合であっても、責任を負いません。前記にもかかわらず、ミツトヨが、お客様による本商品の使用によって生じた損害または損失に対して責任があると判断された場合でも、いかなる場合においても、ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーのお客様に対する責任は、契約に基づくと、（過失を含む）不法行為とを問わず、本商品に対してお客様が支払った金額を超えないものとします。国、州、または管轄地によっては、派生的損害または付随的損害に対する責任の排除または制限を認めていない場合があります。そのような国、州、または管轄地におけるミツトヨの責任は、法に認められる最大の範囲内で排除または制限されるものとします。
■本書の位置付け、ドキュメントマップ●リニヤスケール関連ST36セパレートタイプリニヤスケールユーザーズマニュアル（本書）
|本書の対象読者と目的
●対象読者ST36セパレートタイプリニヤスケールをはじめてご使用になる方を対象にしています。図面を読んで指示を理解できることを前提とします。
●目的
本書は、ST36セパレートタイプリニヤスケールをご理解いただくことを目的としています。目次
1
戦奏
本章では、本商品の特長、各部の名称と機能、本商品を使用するうえでの主な作業の流れについて説明します。
1.1特長
光電式のセパレートタイプリニヤスケールは、ガラススケールの格子目盛を元に発光素子と受光素子によって光量変化を検出し、変化量を出力します。半導体製造での露光装置、ワイヤーボンディング、ステージをはじめ、さまざまな機器の移動量を正確に捉えることができます。本商品は、指示精度土0.5 μm（有効測定長300 mmまで）の高精度なセパレートタイプリニヤスケールです。また、検出ヘッドの厚さ11.5 mmの薄型化、最大有効測定長3000 mmに対応し、大型装置にも使用可能です。さらに、信号異常時のLED表示機能も備えています。本商品には、以下の4種類の出力信号形態が用意されています。 •二相正弦波•二相方形波•二相方形波／二相正弦波• 差動1 Vpp正弦波
1.2　システムの構成および各部の名称
本商品の構成および各部の名称を以下に示します。
本商品を使用するために行う作業として、事前準備と機械本体への取り付け作業の流れを下図に示します。
事前準備
機種の確認🇮🇳「2.1機種の確認」（5ページ）スケール取り付け面の設計🇮🇳「2.2スケール取り付け面の設計」（8ページ）検出ヘッドブラケットの設計■■「2.3検出ヘッドブラケットの設計」（10ページ）
機械本体への取り付け作業
梱包内容の確認目「3.1梱包内容の確認」（11ページ）スケールの取り付け検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け目「3.2スケールの取り付け」（12ページ）間「3.3検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け」 (15ページ)フィードバックケーブルの接続目「3.4フィードバックケーブルの接続」（16ページ）検出ヘッドの信号調整国「3.5検出ヘッドの信号調整」（17ページ）ケーブルの処理と取り付け状態の確認目「3.6ケーブルの処理と取り付け状態の確認」（23ページ）
MEMO
2
この章では、本商品を機械本体に取り付けるための事前準備について説明します。
2.1
機種の確認
ST36は、主信号出力形態、有効測定長、スケール原点、分解能／最小エッジ間隔／応答速度、ディレクション、アラーム出力形態、ヘッドケーブル長、特殊符号により型番を選択します。で購入のスケールユニットが、目的の仕様に対応した機種であることを確認してください。分解能／最小エッジ間隔／応答速度
■主信号出力形態

有効測定長

スケール原点

Tips
•有効測定長10 mm ～ 80 mmのスケール原点は、B（中央1点）が標準仕様になります。 •有効測定長100 mm ～ 3000 mmのスケール原点は、A（50 mmピッチ）が標準仕様になります。
■分解能／最小エッジ間隔／応答速度

Tips
・記号A ～ Rの数字は、最大応答速度（mm/s）を表します。 •最小エッジ間隔は、使用条件により0 % ～ –10 %の範囲でばらつきます。
lディレクション

|アラーム出力形態

ヘッドケーブル長

特殊符号

2.2 スケール取り付け面の設計メインスケール背面より外乱光が入ると誤動作の原因になります。下図のように外乱光が入らないよう、メインスケール取り付け部を設計してください。
2.2.1
有効測定長10 mm ～ 80 mm（接着固定タイプ）のスケール
取り付け
有効測定長10 mm ～ 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールは接着剤で固定して取り付けます。目「4.10.1取り付け寸法図」（44ページ）を参考に、メインスケール取り付け部は下図のように設計してください。
Tips
メンテナンスなどで、有効測定長10 mm ～ 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールを再度取り付ける可能性がある場合は、下図のようなスケールプラケットにメインスケールを貼り付け、ボルトで固定するように
2.2.2
有効測定長100 mm ～ 3000 mmのスケール取り付け
有効測定長100 mm ～ 3000 mmのメインスケールは、スケール押さえばねで固定して取り付けます。国「4.10.1取り付け寸法図」（44ページ）を参考に、スケール押さえばねAとスケール押さえばねBのボルトを締めるための作業スペースを確保してください。スケール押さえばねA
2.3

•下図を参考に、検出ヘッドブラケットを設計してください。検出ヘッドの位置調整(モアレ／ギャップ）ができる形状とします。また、検出ヘッド固定ねじ穴は、検出ヘッドの位置調整を容易にするため、長穴にすることを推奨します。 •検出ヘッドの取り付け面とスケール取り付け面の平行度が0.03 mm以内になるように設計してください。 3
この章では、本商品を機械本体に取り付ける手順、方法、注意事項について説明します。
3.1 梱包内容の確認
取り付け作業を開始する前に、次の部品がそろっていることを確認してください。なお、購入されたスケールが指定の内容でない場合や不明点などがある場合には、お求めの代理店ま
•検出ヘッドを取り付けるため、以下の部品を用意してください。
•有効測定長100 mm ～ 3000 mmのスケールを取り付ける場合、以下の部品を用意してください。
注記メインスケールはガラス製です。傷や破損に十分注意して取り扱ってください。 •メインスケールに汚れ・埃などが付着していると、誤動作や精度劣化の原因となります。アルコールなどを浸した柔らかい布、またはクリーニングペーパーで汚れや埃を十分に拭き取っておいてください。機械装置のスケール取り付け面も、同様にアルコールなどで十分に清掃しておいてください。 •有効測定長10 mm ～ 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールの接着には弾性タイプの接着剤を使用してください。信越シリコーン社製KE441Tを推奨します。
Tips
•メインスケールは、取り付ける部材とともに十分に温度慣らしをしたうえで固定してください。本商品は20 °Cで精度保証をしています。温度慣らしの目安は、メインスケールおよびスケールを取り付ける部材ともに20 °Cで約8時間以上です。温度慣らし後、取り付け作業を実施してください。 •温度慣らしを含めた温度環境が不十分な場合、所定の指示精度を得られないことがあります。 1スケール取り付け面が下図のとおりにできていることを、てて式インジケーターまたは電気マイクロメーターで確認する•機械装置の運動軸に対するメインスケール取り付け面の平行度を確認してください。 •平行度が不十分な場合は、機械装置を再調整してください。 2スケール保護テープを剥がすW |メインスケールを取り付ける•メインスケールは、目盛表面側（斜めから光を当てると虹色に見える面）に検出ヘッドが配置されるように取り付けます。 •ミツトヨロゴがあるスケールでは、検出ヘッド側から見てロゴが正しい向きとなる配置がメインスケールの正しい取り付け方向です。 •有効測定長10 mm ～ 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールでは、設置機械のスケール取り付け部付近にシリアル番号シールを貼付してください。 |スケール押さえばねによる取り付けスケール押さえばねAでメインスケール中央を仮固定する2スケール押さえばねＢでメインスケールを仮固定するスケール押さえばねBは、メインスケール中央に近いものから順に仮固定します。 3 1時間〜 2時間、温度慣らしをする4メインスケール中央から両端に向かって、順にスケール押さえばねのボルトを本締めするスケール押さえばねのボルトの推奨締め付けトルクは、1.5 N・mです。
注記取り付け作業中にI/F Boxのピン部などに直接触れないように注意してください。静電気によって電子部品が破損することがあります。取り付け作業では静電気対策を十分に行ってください。検出ヘッドを取り付けて使用する際には、装着するプラケットに加え、機械本体を電気的に確実に接地した状態にしてください。接地せずに使用した場合、外部ノイズの影響を受ける場合があります。また、プラケットの材質などで接地が難しい場合は、ヘッドケーブルのシールド部をアースバーなどで確実に接地して使用してください。 1検出ヘッドの検出面に貼られている保護テープ（青色）を剥がす2検出ヘッドを検出ヘッドプラケットに取り付ける下図のようにギャップスペーサーを使用して、検出ヘッドとメインスケールの間の距離(ギャップ)を0.6 mmに調整してください。 3）検出ヘッドとメインスケールの平行度を、てて式インジケーターまたは電気マイクロメーターで確認する検出ヘッドとメインスケールの平行度を0.03 mm以下にしてください。 4検出ヘッドを固定する•検出ヘッド固定ねじの推奨締め付けトルクは1.14 N·m ～ 1.5 N·mです。 •検出ヘッドを固定した後、検出ヘッドのガラス面とメインスケールの間の距離（ギャップ）が0.6 mmであることをギャップスペーサーで確認してください。
3.4
フィードバックケーブルの接続
•フィードバックケーブルによって制御装置にスケールユニットを接続する前には、制御装置の電源を必ずオフにしてください。 •フィードバックケーブルは、お客様の手配になります。 ■ 「4.4フィードバックケーブルの製作」 (34ページ)を参照して、機種に対応したケーブルを準備してください。 I/F Boxと制御装置をフィードバックケーブルで接続する2制御装置の電源をオンにするI/F BoxのPOWERランプが点灯»
3.5 検出ヘッドの信号調整
メインスケール、検出ヘッドを取り付け、フィードバックケーブルを接続した後、検出ヘッドの信号調整を行います。
検出ヘッドの取り付け位置調整
3.5.1
ねじ２本を外し、I/F Boxカバーを取り外す2オシロスコープを以下のように設定する
3 オシロスコープの２本のプローブをI/F BoxのVref, GNDプローブをI/F BoxのGNDにそれぞれクリップする
■主信号出力形態：A（二相正弦波）
主信号出力形態：B（二相方形波＋外部リセット入力）、C（二相方形波+二相正弦波)
|主信号出力形態：D（差動1 Vpp正弦波）
4オシロスコープの輝点が中央になるよう、水平／垂直ポジションつまみを調整するch1のプローブをøA（A相）、ch2のプローブをøB（B相）にクリップする5 6 I/F Boxの出力信号が以下の規定値内であることを確認する
Tips
規定値外であった場合には、メインスケールまたは検出ヘッドを動かしながら検出ヘッドのモアレ方向を調整してください。
測定値が規定値内に収まらない場合は、ギャップを微調整します（ギャップ：0.6 ± 0.1 mm）。
Tips
•検出ヘッドとI/F Boxは、出荷時に出力信号が1.8 V ～ 2.2 Vになるよう調整されています。 •振幅電圧（Vpp）は、国「3.5.2信号の調整」（20ページ）で示す電気的な調整によって、さらに微調整できます。 •位相誤差øは上図のt/s（長径と短径の比率）より求めます。
•測定中はオシロスコープのドリフトに注意してください。検出ヘッドを固定する8 I/F Boxからの出力信号が規定値内であることを確認する
3.5.2
■メイン信号の調整
1オシロスコープの２本のプローブをI/F BoxのVref, GNDプローブをI/F BoxのGNDにそれぞれクリップする2オシロスコープの輝点が中央になるよう、水平／垂直ポジションつまみを調整する3 ch1のプローブをøA（A相）、ch2のプローブをøB（B相）にクリップする4 検出ヘッドを動かしながら、基板上のボリュームVR1でメイン信号（振幅電圧）を調整する
Tips
・主信号出力形態によってI/F Boxの基板上のチェックピン(TP)およびボリューム(VR1)の位置が異なります。 ・測定中はオシロスコープのドリフトに注意してください。振幅電圧、中心電圧、位相誤差の規定値については、軸「3.5.1検出ヘッドの取り付け位置調整」（17ページ)
■原点信号の調整
スケールに複数の原点がある場合は、使用する原点（1か所）で原点信号を調整してください。 1オシロスコープを以下のように設定する
2 I/F Boxの基板上のチェックピンøZにオシロスコープのch1のプローブ、チェックピンGNDにGNDプローブをそれぞれクリップする3メインスケールのスケール原点マーク近くに、検出ヘッドの中央を移動する4スケールまたは検出ヘッドを測定方向に移動する»検出ヘッドの中央付近がスケール原点マークを通過した際に、原点信号波形がオシロスコープの画面に表示5基板上のボリュームで、原点信号波形のノイズレベルを約2.5 Vに調整する
6 ■基板上のボリュームで、原点信号波形のピークレベルを約2.2 Vに調整する

■主信号出力形態Dでの原点信号の調整
•主信号出力形態がD（差動1 Vpp正弦波）のスケールユニットでは、韓「原点信号の調整」（21ページ）の調整作業に加えて、以下に示す原点信号の調整が必要です。 •原点信号の調整は、使用する原点（1か所）、原点復帰方法で行ってください。 •スケールユニットの取り付け、または他の調整を行った場合には、必ず原点信号を再調整してください。 I/F Boxの基板上のディップスイッチDPSW1のスイッチ３をオンにする2スケールまたは検出ヘッドを原点復帰方向にゆっくりと(20 mm/s以下)移動する3 スケール原点マークを通過した際に、LED4が点灯し、LED2およびLED3が点灯／消灯することを確認するスケールに複数の原点がある場合は、使用する原点（1か所）を通過させてください。 4 LED2およびLED3の点灯／消灯の状態により、ディップスイッチDPSW1のスイッチ1および2を設定する

Tips
・ディップスイッチDPSW1のスイッチ４はオンで固定です。 ・出荷時は、スイッチ１がオフ、スイッチ２がオンに設定されています。 5 ディップスイッチDPSW1のスイッチ３をオフにする
3.6
ケーブルの処理と取り付け状態の確認
ケーブル処理
3.6.1
信号調整を終えた後、I/F Boxおよびフィードバックケーブルを固定してください。ケーブルのねじれや曲がりに注意し、ケーブルを配置する1注記フィードバックケーブルは、電気的なノイズ源となる他のケーブル類と束ねたり、大電流をオン／オフするリレーの近くに配置すると、ノイズにより誤作動することがあります。 2 I/F Boxおよびフィードバックケーブルをケーブルクランプなどで固定する機械装置の稼働時に検出ヘッドに力が加わらないように、検出ヘッドとともに移動する近傍の部材にフィードバックケーブルをクランプしてください。 I/F Boxの筐体は、必ず機械本体にねじで固定してください。
取り付けおよび調整状態の確認
3.6.2
I/F Boxおよびフィードバックケーブルの固定を終えた後、メインスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整状態を再確認します。
Tips
検出ヘッドがメインスケールまたは機械装置の部品と接触・干渉しないことを確認しながら、作業を進めてください。各部のねじ類、クランプなどに締め忘れがないことを確認する2 制御装置の電源をオフにし、5秒～ 10秒程度待って再度オンにする
Tips
制御装置の電源をオフにすることで、調整作業中に生じたアラームを解除します。 3   I/F Box基板の+5 VチェックピンとGNDチェックピンで、入力電源電圧が5 V ± 5 %であることを確認する
Tips
主信号出力形態がA（二相正弦波）のI/F Boxでは、出力コネクターの3、4番ピンで入力電源電圧を確認してください。 4機械装置の移動範囲全域で、出力信号が規定値内であることを確認する
Tips
規定値を満足していない場合、メインスケールの汚れ、検出ヘッドの位置微調整、信号の電気的微調整などを再確認してください。 5機械装置の移動範囲全域で、制御装置のアラームが発生しないことを確認する6オシロスコープのプローブを取り外すI/F Boxカバーをねじ２本で取り付ける
3.6.3 保護カバーの取り付け
メインスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整状態の再確認を終えた後、保護カバーを取り付けます。 •保護カバーが機械装置の一部やスケールユニットのケーブルなどに接触しないようにしてください。 •機械装置の移動範囲全域で、上記の問題がないことを確認してください。
MEMO
4

4.1 仕様一覧

4.2.1
主信号形態：Aタイプ、Cタイプ
出力回路
正弦波出力信号（A相、B相）および基準信号の出力回路は下図のとおりです。
■信号波形
正弦波出力信号（A相、B相）の波形は下図のとおりです。
4.2.2

■出力回路
方形波出力信号（A相、B相）、原点信号、アラーム信号の出力回路は下図のとおりです。 —o PA,PB,PZ —o PA.PB.PZ.ALM差動ラインドライバー AM26C31相当
■信号波形
方形波出力信号（A相、B相）、原点信号の波形は下図のとおりです。
Tips
・ PZ信号とPA信号（またはPB信号）との位相差は関係しません。 •上図は、I/F BoxのディップスイッチDPSW2のスイッチ8がオンで、検出ヘッドが以下のように移動した際の波形です。

■出力回路
差動1 Vpp正弦波出力信号（A相、XA相、B相、XB相）、原点信号（Z相、XZ相）の出力回路および推奨受信回路は下図のとおりです。
|信号波形
差動1 Vpp正弦波出力信号（A相、XA相、B相、XB相）、原点信号（Z相、XZ相）の波形は下図の

主信号形態：Aタイプ
4.3.1

Tips
適合コネクター（付属品）は、D15-403N-110（テクニカル電子製）です。
主信号形態：Bタイプ
4.3.2

Tips
適合コネクター（付属品）は、D15-403N-110（テクニカル電子製）です。
4.3.3

Tips適合コネクター（付属品）は、D15-403N-110（テクニカル電子製）です。
4.3.4
主信号形態：Dタイプ

Tips
適合コネクター（付属品）は、D15-403N-150インチねじ仕様（テクニカル電子製）です。
フィードバックケーブルには、以下の条件を満たすものを使用してください。 •シールドケーブルを使用してください。 •シールド（FG）は、付属コネクターの金属ケースにクランプしてください。困難な場合はピン番号15へ接続してください。 •  I/F Box側での電源電圧が4.75 V以上となるようにケープルインピーダンスおよび長さを設定してください。 Vsp −  (Rc ÷ 2)  × L × 2 × 0.25 ≥ 4.75 V Vs。制御装置からの供給電源電圧（Volts） R。ケーブルの電源・グランド線インピーダンス（Ω/m） L：ケーブルの長さ（m） 0.25：スケールユニットの最大消費電流(A)主信号出力形態がB（二相方形波＋外部リセット入力）またはC（二相方形波＋二相正弦波）のスケールユニットで二相方形波を使用する場合、以下のようにI/F Boxと制御装置を接続してください。 • Ａ相／Ｂ相(PA,  Pā,  PB,  PB)に対する断線検出機能が制御装置にある場合は、ĀLM出力を接続する必要はありません。この場合は、I/F Boxの基板上のディップスイッチDPSW2でスイッチ7をオンにしハイインピーダンスモードに設定します。 • 断線検出機能が制御装置にない、またはA相／ B相出力をハイインピーダンス状態にすることがシステム上問題になる場合は、ALM出力を接続してください。この場合、I/F Boxの基板上のディップスイッチDPSW2でスイッチ7をオフにし、アラーム信号を出力するようにしてください。 I/F Boxの基板上のディップスイッチの詳細は、餌「4.8出力設定の変更」(41ページ)
4.5
アラーム機能
主信号形態：Aタイプ
4.5.1
検出内容
I/F Boxへの入力正弦波信号の波形が以下の設定範囲であった場合、異常信号を検出したとしてPOWERランプが赤色で点灯します。

Tips
上記の設定範囲は、電源電圧が5.0 Vのときの値です。電源電圧が変動した場合、入力範囲とともに電圧比例で設定範囲も変動します。
アラームの解除
異常信号となった原因を解消する2制御装置の電源をオフにし、10秒以上待って再度電源をオンにする

■検出内容
●オーバースピード出力パルスの最小エッジ間隔および分割数の設定によって決められた最大応答速度を超過した場合、 POWERランプが赤色で点灯します。
●異常信号検出
I/F Boxへの入力正弦波信号の波形が注意領域または異常領域となった場合、POWERランプおよびS.UP（セットアップ）ランプが赤色で点滅／点灯します。

Tips
•注意領域で使用した場合、アラームにはなりませんが、分割精度が低下します。 •異常信号検出では、以下のように入力正弦波信号の波形の大きさ（大きすぎる／小さすぎる）を、正常、注意、異常の３つの領域に分けLEDで表示しています。
•上記の設定範囲は、電源電圧が5.0 Vのときの値です。電源電圧が変動した場合、入力範囲とともに電圧比例で設定範囲も変動します。
■アラーム時の動作

■アラームの解除
●電源の再投入1アラームとなった原因を解消する２制御装置の電源をオフにし、10秒以上待って再度電源をオンにする●アラームリセット信号３アラームとなった原因を解消する4 アラームリセット信号（パルス幅10 ms以上）を入力する
Tips
•アラームリセット信号によるアラームの解除は、主信号出力形態がB（二相方形波＋外部リセット入力）の場合のみ可能です。 •アラームリセット入力回路は、電流が3 mA ～ 10 mAになるように接続してください。 •本商品内部に抵抗（1.2 kΩ）を内蔵していますので、リセット入力AL（アノード)、リセット入力AL（カソード）間に５Ｖ～ 12 Vを与えることでアラームを解除できます。 • 12 V以上を与える場合には、外部に抵抗を追加してください。
信号調整時以外は、I/F Boxからチェックアダプターを取り外してください。
Tips
•チェックアダプターによる信号調整は、主信号出力形態がB（二相方形波＋外部リセット入力）またはC（二相方形波＋二相正弦波）のスケールユニットのみで行えます。 •チェックアダプターはシールドされていないため、信号調整時に測定値に若干ノイズが加わることがあります。別売(パーツ番号：06ACE468)のチェックアダプターを使用することで、信号調整を効率よく行えます。 1チェックアダプターをI/F Boxの出力コネクターとフィードバックケーブルの間に接続する2チェックアダプターに付属のハーネス（角型コネクター付きリード線）で、チェックアダプター基板のCNP3とI/F Box基板のCNP3を接続する3チェックアダプターのGND  ANに、オシロスコープのGNDプローブをクリップする4  オシロスコープの２本のプローブを、チェックアダプター基板上のVrefにクリップする5オシロスコープの輝点が中央になるよう、水平／垂直ポジションつまみを調整する6] ch1のプローブをチェックアダプター基板上のøA（A相）、ch2のプローブをチェックアダプター基板上øB（B相）にクリップする7検出ヘッドを動かしながら、I/F Box基板上のボリュームVR1でメイン信号（振幅電圧）を調整する»　メイン信号の調整については、──「メイン信号の調整」(20ページ)
Tips
チェックアダプターのPA、PB、PZで、分割された方形波および原点信号パルスを確認できます。確認する場合は、オシロスコープのGNDプローブをチェックアダプターのGNDにクリップしてください。 8チェックアダプター基板上のøZに、ch1のプローブをクリップする9】メインスケールのスケール原点マーク近くに、検出ヘッドの中央を移動する10スケールまたは検出ヘッドを測定方向に移動する検出ヘッドの中央付近がスケール原点マークを通過した際に、原点信号波形がオシロスコープの画面に表示»原点信号の調整については、■■「原点信号の調整」(21ページ) 11 I/F Box基板上のVR4で、原点信号波形のノイズレベルを約2.5 Vに調整する12  I/F Box基板上のVR5で、原点信号波形のピークレベルを約2.2 Vに調整する13チェックアダプターとハーネスを取り外す
検出ヘッドやI/F Boxを交換しなければならない場合には、I/F Boxからヘッドケーブルを取り外します。 1 ねじ2本を外し、I/F Boxカバーを取り外す2ケーブルフランジのねじ２本を緩める３基板上のコネクターからヘッドケーブルを引き抜く
Tips
•ヘッドケープルを取り付ける場合は、上記と逆の手順で作業してください。 •基板上のコネクターにヘッドケーブルを差し込む場合は、コネクターノッチの向きを間違えないように注意し、最後まで確実に差し込んでください。 •ケーブルフランジのねじ２本は、しっかりと固定してください。 •コネクターへの差し込みや、ねじ類の固定が不十分であった場合、誤作動の原因になります。

Tips
出力設定の変更は、主信号出力形態がB（二相方形波＋外部リセット入力）またはC（二相方形波＋二相正弦波）のスケールユニットのみで行えます。 I/F Box基板上のディップスイッチDPSW2で、出力設定を変更できます。
最小エッジ間隔

Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。
■分解能

上記以外の設定での動作は保証されません。
Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。
■アラーム出力形態

Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。
lディレクション切り替え

Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。

Tips
最大応答速度は、I/F Box基板上のディップスイッチDPSW2で出力設定を変更できる主信号出力形態がB（二相方形波＋外部リセット入力）またはC（二相方形波＋二相正弦波）のスケールユニットのみで変更できます。
4.10外観・取り付け寸法図取り付け寸法図4.10.1
1：二相正弦波2：二相方形波＋外部リセット入力3：二相方形波＋二相正弦波4：差動1 Vpp正弦波※ 2：型番の◇印は、以下を示します。 A：二相正弦波B：二相方形波＋外部リセット入力C：二相方形波＋二相正弦波D：差動1 Vpp正弦波
MEMO

この章では、初期電源投入時のトラブルや動作中に発生したアラームの原因確認の方法について説明
MEMO
営業の窓口2020年11月現在
App-1センシング営業部1課・2課川崎市高津区坂戸1-20-1電話：(044) 813-8236 〒 213-8533ファクス：(044) 822-8140 ◆商品の故障および操作方法に関してのご相談・お問い合わせカスタマーサポートセンタ電話：(0570) 073214ファクス：(044) 813-1691
サービスの窓口
•商品の検査／校正、および修理のご依頼は最寄りのサービスセンタへ
株式会社ミツトヨ神奈川県川崎市高津区坂戸1-20-1 〒 213-8533ホームページ: http://www.mitutoyo.co.jp