ミッシェルジャパン株式会社

第380回ガスクロマトグラフィー研究懇談会特別講演
キャリヤーガスにアルゴンを使⽤した検出限界＜50ppbを達成する
コンパクトオンラインガスクロマトグラフ

ミッシェルジャパン株式会社
モイスチャー事業部
18th Nov 2022

ミッシェルジャパン株式会社

⽬次• 会社紹介• オンラインガスクロマトグラフMD3のご紹介• 検出器PEDについて• ⾼精度分析を⾏うために• 分析結果• その他

本⽇はご参加いただきありがとうございます。
講座の最後に質疑応答時間を設けております。
ご質問は、WEBサイトからも受け付けています。
WEBサイトからいただきましたご質問は、順次個別に回答させていただきます。
本⽇講座終了後でもご質問がありましたら、お気軽にご連絡ください。

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ミッシェルジャパン株式会社 とはミッシェルジャパン株式会社は、2005年5⽉、英国 ミッシェル社（露点/⽔分計、酸素濃度計、露点・湿度標準器）を傘下に収める英国 Parametric Holding Ltd の⽇本法⼈として設⽴されました。
2016年10⽉、ミッシェル社は、バッテリーベンチャー社（⽶）の傘下に⼊り、中核企業としてプロセスセンシングテクノロジー（PST）グループを形成しています。

社名

ミッシェルジャパン株式会社設⽴

2005年5⽉

所在地

東京都武蔵野市中町1-19-18

電話番号

0422-50-2600

代表取締役

齋藤 裕⼀

資本⾦2000万円

WEBサイトwww.michell-japan.co.jp

メールアドレス

info@michell-japan.co.jp

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PST（Process Sensing Technologies ）グループ とは
2016年10⽉より⽔分・露点計のMichell Instruments社を中⼼として、湿度計のRotronic社、ガス分析計のLDetek社、ガスセンサーのDynament社、酸素計のAnalytical Industries社、Ntron社およびSST社を傘下に収めた計測器グループです。

グループ名

プロセスセンシングテクノロジーグループ

設⽴

2016年

所在地

アメリカ

WEBサイトwww.processsensing.com

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LDetek Inc.（カナダ） とは
LDetekは、⼯業⽤特殊ガス及びプロセスガス中の微量不純物を測定・検出するためのオンライン分析計やガスクロマトグラフを開発・製造・販売しています。 2009年設⽴の若い会社ですが、すでに国際的には認知されているブランドであり、特に半導体アプリケーションを得意としています。
独⾃のPED検出器を使⽤した⾼分解能・⾼精度が特⻑となります。 また、アプリケーションに合わせてFID検出器やTCD検出器を搭載する等フレキシブルな対応が可能な会社です。

社名

エルディーテック社

設⽴

2009年

所在地

990 Rue Monfette Est, Thetford Mines,Québec, Canada

代表取締役

Louis Paradis

WEBサイトwww.ldetek.com

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⼩型オンラインガスクロマトグラフ

MultiDetek3
・ ユーザーのアプリケーションに合わせて、設計、製造される⼯業ガス/品質管理⽤のオンラインガスクロマトグラ
フ・ 幅50cm x⾼さ27cm x奥⾏60cmの筐体に検出器、カラム、オーブン、制御部を詰め込んだコンパクトな設計
・ 1台で複数のサンプルガス、複数の不純物の分析が可能
・ ⼤型のタッチパネルによる操作
・ LDL: 0.03ppm（Arキャリア、Range: 0-1ppm）
LDL: 1ppb（Heキャリア、Range: 0-500ppb）

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PED（Plasma Emission Detector）とはプラズマ化させたAr、Heのエネルギーで化合物をイオン化させ、その化合物が元に戻るときに放出する光を検出する検出器です。
化合物はイオン化後、元に戻るため、サンプルを破壊することなく分析が可能です。

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PEDの基本原理① ⾼電圧、⾼周波放電によりプラズマ化させたAr、He（キャリヤガス）が、サンプルガス中の対象化合物をイオン化させます。
② イオン化した化合物はすぐに元に戻ります。そのとき化合物特有の光を放出します。
③ その発光を光学フィルターを通し、フォトダイオードで受け、電気信号として取り出します。
光学フィルターを対象化合物に合わせたものを使⽤することで、⾼い選択制を実現しています。

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PEDの基本原理

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PED（プラズマ発光式検出器）の特⻑ アルゴン、ヘリウム、窒素をキャリアガスとして使⽤可能（低 ppb 域の測定感度が得られます）
 どんなタイプのカラムも簡単操作できる設計 (パック、キャピラリー、マイクロパック)
 オールインワン検出器：永久ガス、炭化⽔素、硫⻩、希ガス、有毒ガス、腐⾷性ガスなど ⽯英（クオーツ）製：腐⾷や不純物吸着がない（不活性材料）
 PPB 検出感度
 選択的/⾮選択的構成を使⽤可能 (最⼤ 4 つの光学フィルター) FID で使⽤される燃料や空気など、追加のガスが必要ない
 ガス発⽣器不要、 これは費⽤対効果が⾼く、安全です デッドボリュームなし： 従来の⽔素イオン炎検出器でキャピラリーカラムを使⽤した場合に発⽣するファントムピークの⽣成を回避する
 放射能フリーミッシェルジャパン株式会社

⾼感度検出するためにはPEDではプラズマ化させるAr、Heガスにキャリヤガスを使⽤するため、別途⾼純度のガスを⽤意する必要はありません。
しかし、そのため⾼精度の分析には⾼純度のキャリアガスが必要不可⽋です。

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キャリアガスの純度を上げるために

LDP1000 series

Ar/He/Ne/Xe/Krの精製が可能

ゲッタータイプ（Zr/V/Fe合⾦）

H2O, O2, CO, CO2, N2, THC, H2, CH4の除去が可能(加熱時)

不 純 物 レ ベ ル を ⼊ ⼝ 10ppm → 出 ⼝>10ppbレベルまで除去

希ガスタイプのほかに窒素タイプ、⽔素タイプも⽤意ミッシェルジャパン株式会社

キャリアガスの純度を上げるために
1ppm N2 inサンプルガス精製器なし、キャリアガス中のN2濃度1.2ppm
1ppm N2 inサンプルガス
精製器なし、キャリアガス中のN2濃度0.5ppm
1ppm N2 inサンプルガス
精製器あり
クロマトグラムイメージミッシェルジャパン株式会社

キャリアガスの純度を上げるためにベースラインのノイズレベル低下にも寄与
S/N⽐に優れるため、⾼感度検出が可能

クロマトグラム イメージ

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アルゴンキャリアでの分析結果例

サンプルガス
100ppb CO2-H2-N2-CH4-CO in Arミッシェルジャパン株式会社アルゴンキャリアでの分析結果例

CO2では、約100ppbのピークの⾼さが251なのに対して、ノイズは23程度 ⇒ S/N: 約10ミッシェルジャパン株式会社

⼩型オンラインガスクロマトグラフ

MultiDetek3

希釈器（校正⽤）

ストリームセレクター

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海外メーカー…気になるサポート体制は？
オンラインサポートを利⽤してカナダのLDetek社⼯場の技術者と繋がり、カナダから直接リモートサポートを受けることができます。
こちらでの補助を必要とせず完全リモートで作業を⾏うことが出来るので、時差（+14時間）を利⽤して⼯場や研究が休⽌している時間帯に、機器を設置している場所から動かさずに、メーカー⼯場の専⾨的なスタッフから技術サポートを受けることができます。
このサービスは、⽇本国内のサポートスタッフからも受けることが出来ます。
緊急トラブルが発⽣した場合でも、国内なので時差を気にせず⽇本⼈技術者や担当営業に電話でコンタクトを取り、リモートで緊急的な対応を依頼できます。