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半導体製造装置用コネクタ
高真空、耐高温/耐熱性、小型コネクタ

○高密度
○小型同軸
○非磁性
○高電圧シールドコネクタ：最大 50kVDC 対応○信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラ-8
真空（気密）、He 漏れ率：1x10 Pa. ㎥ /s 以下まで対応可能○耐高温 / 耐熱性（非防水モデル：～ 250℃、防水モデル：～ 200℃動作可能）®

INNOVATIVE CONNECTION SOLUTIONSFOR SEMICONDUCTOR INDUSTRY The only limit is imagination
レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で 20 年以上の実績を持っています。
LEMO の丸型コネクタはプッシュプルセルフラッチングシステムの採用により、小型化、ワンタッチでのすばやい嵌合・脱着を可能とします。振動、引っ張り、ねじれ、衝撃などにさらされる過酷な環境下での使用に十二分に耐え、狭い場所での作業や短時間での作業等に特に有効に働いています。

このような LEMO コネクタですが、その特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で数多くのモデルが半導体製造装置でご使用いただいております。

我々のコネクタは特に下記の様な機能を提供出来る性能でお客様のご支持をいただいております。
ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

- 高密度- 小型同軸- 高電圧シールドコネクタ- 信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラー- 耐高温 / 耐熱性

INNOVATIVE CONNECTION SOLUTIONS FOR SEMICONDUCTOR
内容

主なアプリケーション分野

主なコネクタシリーズ
B シリーズ高密度

レモの高密集コンタクトコネクタはアプリケーションの省スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とします。
標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を提供出来ます。これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタクトを同一コネクタ内に複合化出来ます。

高電圧

レモ社は、最大 50kVDC までの様々なタイプの高電圧コネクタを提供しています。
当社のラインナップには、単極シールドコネクタ（同軸型ケーブル用）だけでなく、多極高電圧ソリューション（最大 21 極）と複合構成があります。
高電圧ケーブル（UL 対応品もご利用いただけます）とケーブルアセンブリを含む完全な接続ソリューションを提供出来ます。

真空レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは 80℃までの温度で使用可能です。
高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。-8He 漏れ率は 1x10 Pa. ㎥ /s 以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、-10He 漏れ率 1x10 Pa. ㎥ /s 以下の特別セラミックシールのソリューションを提供出来ます。

高温

レモ標準コネクタは、250℃まで（非防水モデルの場合）、防水モデルの場合は最高 200℃までの温度で動作可能です。
市場一の被覆の薄さを実現したアウトガスが少ない耐熱 300℃PTFE ケーブ
ルもあります。
有機ケーブルジャケットが問題となる可能性のあるアプリケーションでは、当社のビジネスパートナーを通じて幅広い MI（無機絶縁）ケーブルを提供することができます。
カスタムソリューションでは、300℃までの温度での使用が可能です。

小型同軸LEMO の 00.250 シリーズ、01.250 シリーズは 50Ωの同軸コネクタです。
LEMO が開発したセルフラッチングシステムを使用し、軸方向の抜き差しだけですばやく確実な挿抜が可能です。従来の BNC コネクタに比べて直径で約半分のサイズとなっており、加えて着脱に捻り等の動作を必要としないため、限られたスペースに多くのソケットの設置が可能となります。
（00.250 シリーズで 10cm 平方あたりソケット 50 個を実装可能！）半導体分野では検査装置での測定信号のコネクションに多く採用されています。
標準的なクロムメッキバージョンに加えて、金メッキのモデルは、非磁性を要求されるアプリケーションに対応出来ます。
お客様のニーズに合わせて幅広いソリューション（フィードスルー、PCBレセプタクル、EMC の改善など）を提供することができます。

スパッタリング装置
ドライエッチング装置
S シリーズ

露光装置用温度測定器露光装置用測長器

イオン注入装置

Y シリーズ

高電圧・高周波電源装置
PZT 駆動装置
測長 SEM 他検査測定装置

B シリーズウェハハンドリング
セラミックヒータ
電子ビーム描画装置

S シリーズ

真空チャンバー
測長 SEM 他検査測定装置

セラミックヒータ

B シリーズ

ドライエッチング装置
マスフローコントローラ
モールド装置S シリーズ露光装置光源00＆01 シリーズ

各種センサ
電子ビーム描画装置
測長 SEM 他検査測定装置
PZT 駆動装置

非磁性金メッキモデル

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製品情報
B シリーズ

S シリーズ

Ｋシリーズ

シリーズ内容コンタクト構成
主な特徴

標準セルフラッチ
多極アライメントキー付コネクタ

半月形インシュレータ使用
標準セルフラッチ
多極コネクタ多極セルフラッチ防水コネクタ
アライメントキー溝付、悪条件下に耐えるハウジング• 多極 2 ～ 64 ﾋﾟﾝ• 多極、 及び複合 ：同軸 1-14 コンタクト
流体 1-14 コンタクト
高電圧 2-21 コンタクト
光ファイバ 1-14 コンタクト• 熱電対 2-64 コンタクト• 光ファイバ• 流体• 単極• 同軸 50 Ω 75 Ω
• 多極 2 ～ 106 ﾋﾟﾝ• 三同軸 50 Ω 75 Ω
• 高電圧
• 多極、 及び複合 ：同軸 1-8 コンタクト
高電圧 2-8 コンタクト• 熱電対 2-6 コンタクト• 多極 2 ～ 64 ﾋﾟﾝ• 多極、 及び複合 ：同軸 1-14 コンタクト
流体 1-14 コンタクト
高電圧 1-21 コンタクト
光ファイバ 1-14 コンタクト• 光ファイバ• 熱電対 2-64 コンタクト• 流体• プッシュプルセルフラッチング• 8 サイズ• 13 アライメントキーオプション• 9 カラーコード• 60 以上のシェルタイプ
• UL 認定• 温度範囲 -55°C - 250°C• ハンダ、 クリンプ、 プリント基板
コンタクト• EMC シールド> 75dB at 10Mhz> 40dB at 1 Ghz• プッシュプルセルフラッチング• 8 サイズ• 半月形インサート多極• 9 カラーコード• 50 以上のシェルタイプ
• UL 認定• 温度範囲 -55°C - 250°C• ハンダ、 クリンプ、 プリント基板
コンタクト• EMC シールド> 75dB at 10Mhz> 40dB at 1 Ghz• プッシュプルセルフラッチング• 6 サイズ• 9 アライメントキーオプション• 28 以上のシェルタイプ
• UL 認定• 温度範囲 -55°C - 200°C• ハンダ、 クリンプ、 プリント基板
コンタクト• EMC シールド> 95dB at 10Mhz> 80dB at 1 Ghz• IP50• Cable ø 1 - 25 mm• IP50• Cable ø 1 - 30 mm

Ｅシリーズ

シリーズ内容半月形インシュレータ使用
標準セルフラッチ
防水多極コネクタ
悪条件下に耐えるハウジング

コンタクト構成• 単極• 同軸 50 Ω 75 Ω
• 多極 2 ～ 106 ﾋﾟﾝ• 三同軸 50 Ω 75 Ω
• 高電
• 多極、 及び複合 ：同軸 1-8 コンタクト
高電圧 1-8 コンタクト• 熱電対 2-6 コンタクト

主な特徴• プッシュプルセルフラッチング• 7 サイズ• 半月形インサート多極• 22 以上のシェルタイプ
• UL 認定• 温度範囲 -55°C - 200°C• ハンダ、 クリンプ、 プリント基板
コンタクト• EMC シールド> 95dB at 10Mhz> 80dB at 1 Ghz• IP66 / IP68
• Cable ø 1 - 23.5 mm

Y シリーズ

00 & 01 シリーズ

使用電圧最大 50kVDC の単極セルフラッチ高電圧コネクタ

NIM-CAMAC の標準となった
50Ω同軸コネクタ
超小型セルフラッチ 50 Ω同軸コネクタ• 単極高電圧コンタクト• 同軸 50 Ω• 三同軸• プッシュプルセルフラッチング• 使用電圧最大 50kVDC• 3 サイズ• 温度範囲 -55°C - 250°C• ハンダコンタクト• 安全ロックオプション• プッシュプルセルフラッチング• 40 以上のシェルタイプ
• 温度範囲 -55°C - 250°C• EMC シールド> 90dB at 10Mhz> 70dB at 1 Ghz• ハンダ、 クリンプ、 プリント基板
コンタクト• IP50• Cable ø 1 - 29 mm• IP50• Cable ø 1.5 - 5 mm

• IP66 / IP68
• Cable ø 1 - 30 mm®

本社〒108-0073®

レモ ジャパン株式会社

東京都港区三田 2-7-22

TEL：03-5446-5510

FAX：03-5446-5511

Email：info-jp@lemo.com

HP：www.lemo.co.jp

date：2019.11.20.

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