Vol. 15, No. 1（通巻No. 87）
2023年5⽉9⽇

化学⼯学会エレクトロニクス部会ニュース No. 87 をお届けします。内容は、2023 年度第 1 回幹事会トピックです。

■2023 年度第 1 回幹事会トピック
・⽇時

令和 5 年（2023 年）4 ⽉ 18 ⽇（⽕） 13:30〜17:00

・場所

住友ベークライト㈱ 20 階会議室＋web（Zoom meeting）のハイブリッド開催

・出席者（会場参加） ⽻深、横沢、吉野、⿑藤、岩本、武野、百瀬、薦⽥、及川（web 参加） 宇井、遠藤、林、橋⽖、深澤、鳴井、⾼⽊ 各幹事 計 16 名（敬称略）

・議事進⾏ 鳴井幹事

1. 前回幹事会議事録の承認
令和 4 年度第 6 回（2023 年 2 ⽉ 27 ⽇開催）の幹事会議事録が承認されました。なお、「次回の Mate（共催）開催場所は未定」であることが指摘され、修正されました。

2. 会員異動、幹事名簿確認
新幹事 2 名（熊本⼤百瀬先⽣、DIC 株式会社深澤様）の就任が承認され、就任のご挨拶をいただきました。

3. 会計報告・令和 4 年度決算は、⾼⽊監事、薦⽥監事に監査いただき、化学⼯学会へ提出されたことが報告されました。
・令和 5 年（2023 年）2⽉〜3⽉度の会計報告があり、承認されました。詳細は資料 1 をご参照ください。

4. 化学⼯学会関連トピックス
・第 54 回秋季⼤会は、2023 年 9 ⽉ 11 ⽇(⽉)〜13 ⽇(⽔)に福岡⼤学七隈キャンパスにて開催されます。シンポジウムの企画については、⽻深部会⻑、⿑藤代表幹事、岩本幹事を担当とし、実装の材料・プロセスのテーマで申込済です。ＣＶＤなど他の⾏事との兼ね合いを考慮して、⽇時を決めていく予定です。⽇時が決まり次第、会員への案内を配信し、⼀般講演申込を促していきます。

5. 部会トピックス
・萩野名誉部会⻑に贈呈する賞状と記念品がお披露⽬されました。後⽇、⽻深部会⻑からお⾔葉を添えて郵送されました。
・部会会員宛に情報配信する際の承認⼿続きについて、⽻深部会⻑より、協賛⾏事や従来から実績のある共催など簡易なものは部会⻑、副部会⻑、代表幹事のうち複数名から了解を得ること、また新規の共催⾏事や費⽤・責任の発⽣するもの、その他対象が会員の所属組織である参画募集等の案内などは幹事会承認を得る案が提案され、承認されました。
・技術交流会への幹事参加費補助の扱いについて、幹事会が対⾯開催ではなく、対⾯と web のハイブリッド開催である現状を踏まえて意⾒交換を⾏いました。定期講演会講師との技術交流会の費⽤として、概ね 5,000 円／⼈を⽬安として 3,000 円を参加者が負担、残りを部会で補助し、参加費補助⾦額は会計報告に記録する運⽤となっています。Web 参加者への適⽤は困難となりますが、他の部会の事例を⾒て当⾯は現⾏通りに運⽤しながら、問題提起があれば都度検討していくことになりました。
・2023 年度部会シンポジウムテーマ候補として情報爆発と熱マネジメントが取り上げられ、グリーン関連、ＡＩ・ＭＩ、ＡＩ専⽤チップなどの講演案が出されました。次回幹事会でテーマと⽇程を決定する予定です。

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16. 次回幹事会・エレクトロニクス定期講演会
⽇時2023 年 6⽉ 23⽇（⽕）13 時 30 分 〜

場所

住友ベークライト㈱会議室 ＋ web（Zoom meeting）のハイブリッド開催

講演会「演題は未定（熱制御関連テーマを予定）」 ⻄剛伺 教授（⾜利⼤学 ⼯学部創⽣⼯学科 電気電⼦分野）■4/18 開催 エレクトロニクス定期講演会（幹事会講演会）概要報告【ご案内】エレクトロニクス定期講演会（幹事会講演会）は、偶数⽉に⾏われる幹事会の後に開催します。部会員の皆様には無料で聴講いただけます。開催 1-2 週間前までに案内を配信しますので、お申し込みの上ご参加ください。
講演会は、有償で⼀般公開します（部会員の⽅は引き続き無料）。周囲のご興味ありそうな⽅に是⾮お声がけください。
講演資料は、講師の了解が得られた場合に限り、部会員限定で配布します。ご希望の⽅はご連絡ください。
題⽬ ナノインプリント半導体製造技術の開発
講師 伊藤 俊樹 様

キヤノン株式会社 光学機器事業本部 半導体機器事業部

ナノインプリントリソグラフィ（NIL）は、従来のフォトリソグラフィと⽐較してウェハ⼀枚あたりを処理するためのコストが低く、また微細化だけではなくデュアルダマシンなど 3D 形状の構造を⼀⼯程で形成できるなどの特徴がある。同社で開発した NZ2C 型 NIL 装置は 4 台の並列処理により 80wph のスループットを達成するが、フットプリントは 4.6×6.6m2 と⼩さい点が特徴である。
NIL はフォトリソグラフィとは異なり、等倍で作製したマスクをレジスト材料に直接接触する。このためモールドは消耗品であり、また⾼価であるため、通常はレプリカモールドが使⽤される。NIL におけるレジストへのパターン形成はステッパと同様のステップ＆リピートで⾏われるが、等倍でのアライメントが必要となるため 1 ショットごとに位置合わせとひずみ補正が必要である。ひずみ補正は、モールド・ウェハ両⾯から、ピエゾアクチュエータによる補正と局所的な加熱による補正を併⽤して⾏う。またモールドとレジストが物理的な接触を伴うためパーティクルの管理が重要であり、このため装置には除電やエアカーテンによる気流制御を備える。さらにモールドのクリーニングシステムも備えており、装置内でのプラズマクリーニングに加えて，⼀定処理ごとのウェットクリーニングを併⽤する。これらの機能により、NIL 装置は通常の半導体プロセスに求められる仕様は既にクリアしており、現在顧客側で量産適⽤についての検証がすすめられている。
NIL の現状の課題の⼀つとして、主に気泡巻き込みの制御が挙げられる。これはモールドの溝内部に雰囲気ガスが⾼圧で閉じ込められるものであり、パターン未充填の原因となる。閉じ込められたガスは、レジスト材料やモールド、基板中に拡散する必要がある。そこでレジストや基板、モールド中へのガスの拡散を分⼦動⼒学的に解析し、得られた知⾒から、He に代わる雰囲気ガスとして CO2 の適⽤検討をすすめており、またガスに合わせた材料開発も⾃社で⾏っている。

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2■あとがき
近年、エレクトロニクス技術の進化により、私たちの⽣活は⼤きく変わってきています。特に、スマートフォンやタブレット端末などの普及により、情報通信の⼿段が劇的に進歩し、私たちはより便利な⽣活を送ることができるようになりました。
また、⾃動運転⾞の開発や⼯場の⾃動化など、エレクトロニクス技術は産業分野でも⼤きな進歩を遂げています。これにより、より⾼い⽣産性や効率性を実現し、⽣産現場の改善に役⽴っています。
⼀⽅で、エレクトロニクス技術の進化に伴い、新たな問題も⽣じています。例えば、電⼦機器の廃棄物の処理が問題となっています。また、情報セキュリティの問題も顕在化しており、私たちはより安全な情報社会の実現に向けて、より⾼度な技術を求められています。
エレクトロニクス技術の進化は、私たちの⽣活をより便利にすると同時に、新たな問題も⽣み出していることを認識する必要があります。
私たちは、より⾼度なエレクトロニクス技術を駆使して、持続可能な社会の実現に向けて取り組む必要があるでしょう。

・・・・いかがでしたでしょうか？上記の⽂章は、流⾏りの ChatGPT に「エレクトロニクスに関するコラムの⽂章を考えて」と指定して出⼒されたものです。無難で当たり障りもなく、違和感のない内容と思います。内容が表⾯的な気がするのは聞き⽅にもよると思いますが、何の苦労もなくこのような⽂章が出てくるのをオソロシイとは思わない、といえばウソになります。しかし⼀部の機関でやっているように、これを否定して排除（使⽤を禁⽌）するのも違うように思います。ChatGPT ⾃体はソフトウェアの領域に成り⽴つ技術ですが、そのソフトウェアを⽀えるハードウェアについては、材料もプロセスもある意味エレクトロニクスの領域。そう考えると「我が⼦」も同然のこのようなツール。正しく賢く使いこなしていかねば、とあらためて考えさせられます。さて皆さまはどのように活⽤されるでしょうか？
23 年度も、引き続き化学⼯学会エレクトロニクス部会をよろしくお願いします。
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ご意⾒・お問合せ先 div_electro@scej.org

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■資料 1
令和5年（2023年）2⽉〜3⽉度会計報告
１．前回残⾼⼝座残⾼（令和5年1⽉末）

3,013,712 円 ①

２．今回収⼊と⽀出
項⽬
収⼊⽇時内容⾦額（円）2023/2/10 2/27幹事会講演会参加費（⾮会員）
2023/2/20 銀⾏⼝座利息
2023/2/24 源泉徴収税調整（交通費課税分戻⼊）2023/2/28 2/27幹事会技術交流会参加費
2023/3/3 12/16シンポジウム参加費
2⽉〜3⽉ 個⼈年会費
2⽉〜3⽉ 法⼈年会費

3,000
12
5,896
18,0006,000
75,000400,000

収⼊計
⽀出507,908 ②
2023/2/21 2⽉幹事会講演会 謝⾦・源泉徴収税
2023/3/1 2/27幹事会技術交流会参加費
2023/3/2 決算書類発⾏費⽤
2023/3/3 2023年度会員担当業務委託費⽤（⼤阪公⽴⼤）
2023/3/22 監査資料郵送費⽤

⽀出計

56,66328,740880
200,330252

286,865 ③
⽉次収⽀221,043 ②-③

全体収⽀ ①+②-③

3,234,755 ④

残⾼（令和5年3⽉末）

3,234,755 ⑤

その他
３．⼝座残⾼④の全体収⽀と，⑤の⼝座残⾼が⼀致していることが確認された。

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