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A1. Next Generation Lithography and Nanotechnology
A2. Directed Self Assembly (DSA)
A3. Nanobiotechnology
A4. Advanced Materials for Molecular Device and Technolog㼥䚷
A5. 193nm Lithography and Immersion Lithography/ Double Patterning/ Multi Patterning
A6. EB Lithography
A7. Nanoimprint Lithography
A8. EUV Lithography
A9. Computational/ Analytical Approach for Lithography Processes
A10. Chemistry for Advanced Photopolymer Science
A11. Photofunctional Materials for Electronic Devices
A12. General Scopes of Photopolymer Science and Technology
P.

Panel Symposium “Advanced Patterning Materials and Processes (EUV, EB, DSA, Double/ Multi Patterning, Nanoimprint etc.)”