Vol. 13, No. 2（通巻No. 76）
2021年6⽉16⽇
化学⼯学会エレクトロニクス部会ニュース No76 をお届けします。内容は，2021 年度第 2 回幹事会トピックです。新型コロナウィルス COVID-19 流⾏の影響を考慮し，今回もオンラインで実施しました。

■2021 年度第 2 回幹事会トピック
・⽇時

令和三年（2021 年）6 ⽉ 1 ⽇(⽕) 14:00〜17:00

・場所
・出席者

オンライン開催
⽻深，横沢，薦⽥，⽼⽥，髙⽊，宇井，⿑藤，鳴井，及川，吉野
計 10 名（敬称略）

・議事進⾏

薦⽥幹事

1. 前回（2021/4 ⽉度）幹事会議事録の承認
2021 年度第 1 回（4/6 開催）の幹事会議事録が承認されました。
2. 会員異動，幹事名簿確認
・荻野監事（京⼤名誉教授）の勇退が報告されました。萩野監事には，部会⻑退任後も化学⼯学の専⾨家の⽴場から部会へのアドバイスや運営にご尽⼒いただきました。この場を借りて御礼申し上げます，なお後任の監事は，髙⽊幹事が務めることになりました。
・丸中幹事（新明和⼯業）の，部署異動に伴う幹事退任が報告されました。
3. 会計報告
令和 3 年（2021 年）4 ⽉〜5 ⽉度の会計報告があり，承認されました。詳細は資料 1 をご参照ください。幹
事会開催がオンラインとなったことで発⽣費⽤が抑えられ，その分⾏事の充実に充てていくことが確認されました。
4. 化学⼯学会・関連団体トピックス◇化学⼯学会からの情報発信（会告）⽅法の変更について（再掲）
⾏事等の案内⽅法が，週単位のメール配信と，ウェブに変更となります。
会員向けのメールには詳細情報を記した URL が掲載され，各⾃にてご参照いただく形式となります。また⾏事ごとの案内ではなく，複数の⾏事をまとめたメールが配信されます。⾏事ごとのメール配信は⾏われません。
なお化学⼯学会誌発刊案内と年会・秋季⼤会関係のお知らせは，従来通り個別のメールにてご案内します。
◇化学⼯学会秋季⼤会
第 52 回化学⼯学会秋季⼤会（2021 年 9/22〜24）において，エレクトロニクス部会主催のシンポジウムを開催します。奮ってご参加ください。
シンポジウム名

エレクトロニクス材料とプロセス技術
化学⼯学会エレクトロニクス部会 http://www2.scej.org/elebukai/

1

開催⽇
開催⽅法

2021 年 9 ⽉ 24 ⽇（⾦）
オンライン

5. 2021 年度エレクトロニクス 先端技術シンポジウム（エレクトロニクス部会シンポジウム）
2021 年度先端技術シンポジウム開催⽇を，12 ⽉ 7 ⽇（⽕）午後に開催することが決定しました。
シンポジウムテーマは「次世代半導体」とし，デバイス（新構造トランジスタ，⼆次元材料），微細加⼯技術，材料，パッケージング技術などをキーワードに講演プログラムを構成します。是⾮ご予定を確保ください．
「この⼈の話が聞いてみたい︕」というリクエストがございましたら，是⾮お寄せください。
6. 次回幹事会・エレクトロニクス定期講演会
・臨時幹事会
7/6 に臨時の幹事会を開催し，12/7 エレクトロニクス先端技術シンポジウムのプログラム内容に関する議論を⾏います。
・次回幹事会（通常開催）
⽇時2021 年 8 ⽉ 23 ⽇（⽉）14 時

場所

オンラインでの開催を予定

講演会調整中。決まり次第，ご連絡いたします。

■6/1 開催 エレクトロニクス定期講演会（幹事会講演会）概要報告【ご案内】エレクトロニクス定期講演会（幹事会講演会）は，隔⽉に⾏われる幹事会の後に開催します。部会員の皆様には無料で聴講いただけます。開催 1-2 週間前までに案内を配信しますので，お申し込みの上ご参加ください。
また講演資料は，部会員限定でウェブページにて配信します（講師の了解が得られた場合のみ）。

講師 井上 史⼤様（横浜国⼤准教授）
題⽬ 欧州研究所 imec における先端ロジックデバイス研究動向
3 ⽉までベルギーの imec に所属されていた井上先⽣より，imec の紹介と，三次元実装技術を⽤いたポストコロナへ向けたイノベーションとしてロジック半導体のロードマップについて講演が⾏われた。
imec は，半導体のスケーリングやデバイスデザイン，応⽤を取り扱うベルギーのコンソーシアムである。特に EUV（極紫外光）露光装置は，装置メーカである ASML 社及び各国の材料メーカと，プロトタイプ機の開発から共同で⾏っており，現在はその次の世代となる⾼ NA の次世代 EUV 露光装置の開発をすすめている。imec にはベルギーの公⾦が投⼊されるが，⽇本など他国の同様のコンソーシアムと異なり，⾃国企業を優先しない点が特徴である。従い，構成メンバーも多国籍にわたる。
これは，⾃国の企業や産業に直接資⾦を投⼊するのではなく，市場そのものを先ず活性化し，その結果⾃国の企業が利益をあげられることを⽬指すという考え⽅による。コロナ禍においては，多国籍から研究者が集まっていることから駐在員の帰国による装置導⼊の遅れや特殊実験の停⽌，新規パートナーの探索などに影響がでた。しかしながら，通常のプロセスラインはほぼ⾃動化されており，コロナ禍ではむしろ通常より速く流動できた，などの影響があったとのことである。
先端のロジック半導体では，5 nm 世代以降には三次元化技術が導⼊される。3 nm 世代ではいわゆる FinFET が導⼊され，その後，ナノシートや相補型 FET(CFET)の導⼊がすすむ。このような超微細デバイスでは，FET を駆動する電源をトランジスタと同⼀平⾯に配置することはデザイン上の制約も⼤きく，また信号遅延の要因となってしまう。そこで，デバイス基板にシリコン層を接合し，FET レイヤと別レイヤに電源ラインを配置して両者を TSV で接続する構造が有⼒となる。このとき，FET ⾃体が微細となるため TSV の径は nano-TSV と呼ばれる 100 nmfレベルにまで⼩さくする必要があり，またこのときのシリコン層の厚さも 500 nm となることから，微細で⾼アスペクト⽐のビア埋め技術が重要である。
化学⼯学会エレクトロニクス部会 http://www2.scej.org/elebukai/

2

■あとがき⻄⽇本では異常に早い梅⾬梅⾬⼊りとなった中，関東地⽅はむしろ遅めの 6/14 にようやく梅⾬⼊りとなりました。この梅⾬が明けると，例年以上の猛暑（例年同様になりつつある・・・︖）が予測されている中，恐らく，ではありますが，オリンピックが開催されます。賛
否両論渦巻く中，いざ始まってしまえばそこはやはりスポーツの祭典。問題⼭積は気にしながらも，トップアスリートたちのパフォーマンスに眠れぬ⽇々が来ることと信じています。そういう我々も，ある意味化学⼯学のトップアスリート。コロナや猛暑，⼤⾬にも負けず，その存在感を⾼めていきましょう︕
さて 21 年度の部会シンポジウム（エレクトロニクス先端技術シンポジウム）のテーマは，次世代半導体に決まりました。奇しくも世の中は，「TSMC のつくば後⼯程 R&D」「ポスト 5G ⽤微細半導体」「3A!?」といったキーワードが取り沙汰されています。今年のシンポジウム
では，次世代の半導体を我々⽇本の技術者がどのようにリードできるのか，議論できるような場にしたいと考えています。今年もオンラインでの開催を⾏いますので，普段は遠⽅で参加が難しい皆さまも，是⾮ご参加ください。

化学⼯学会 エレクトロニクス部会
ご意⾒・お問合せ先 electro_div@chemeng.osakafu-u.ac.jp■資料 1
令和3年（2021年）4⽉〜5⽉度会計報告
１．前回残⾼（令和3年3⽉末）
⼝座残⾼
２．今回収⼊と⽀出
項⽬
⽇時
収⼊

収⼊計
⽀出

内容

2,675,408 円 ①
⾦額（円）

0 ②200,440
20,3302,2742021/4/27 部会事務担当委託費（⼤阪府⽴⼤）1年分
2021/4/27 4/6 幹事会講演会謝⾦2021/4/27 4⽉度源泉徴収税

⽀出計
⽉次収⽀
全体収⽀ ①+②-③

223,044 ③△ 223,044 ②-③2,452,364 ④

その他
３．残⾼（令和3年5⽉末）
⼝座残⾼2,452,364 ⑤④の全体収⽀と，⑤の⼝座残⾼（令和3年5⽉末現在）が⼀致していることが確認された。
備考
・21年度より，化学⼯学会の経費分類改訂に合わせて部会積⽴⾦を廃⽌した．
積⽴⾦130万円は，4⽉度より⼀般会計に組み⼊れを⾏った．
化学⼯学会エレクトロニクス部会 http://www2.scej.org/elebukai/3