精密センサ

非接触・高精度・インライン レーザ測長システム

レーザスキャンマイクロメータ

LSM-02-A/30-A/CU-A

Catalog No.13024

APPLICATION アプリケーション

インライン測定の時代における高精度外径測定の答え

カテーテル・マグネットワイヤ測定

ローラベアリング測定

ローラーの外径・振れの同時測定

フィルム・シートの厚み測定

ミツトヨの新しいセンサーは ”つながる” スマートファクトリーを実現し、お客様に新しい価値をもたらします。

※写真のレーザ光はイメージです。

SYSTEM CONFIGURATION システム構 成
外部機器（PLC）

USB or 汎用 Ethernet

LSM Controller
Applications S / W for PC

I / F module LSM Controller
LSM Controller
for in-line

測定範囲 5 μm ＆繰返し精度± 0.03 μm での高精度測定を実現

1

DIN レールへのワンタッチ設置、配電盤に対応した薄型設計

LSM Sensor（LSM-02-A / LSM-30-A）

2

SOFTWARE ソフトウェア ［LSMPAK］

LINE UP 商 品ラインアップ

LSMPAK は、LSM の測定条件（使用する機能や合否判定など）やキャリブレーションの実行、測定対象物の位置決めなどを直感的に行うことができる設定ソフトウェアです。

センサ ー 部 の 特 長

測定値の取得やモニター機能も備えています。
Point1

ウィザード形式

L SM -3 0 -A

L SM - 02-A

測定機メーカーとして培った精度保証

極細線測定モード搭載

繰 返し精 度5 µ m 対応 L SM - 02-A（ 2σ）
を保 証
ø1 mm ：± 0.015 µ m L SM - 02-A
ø10 mm：± 0.06 µ m L SM -3 0 -A
直 線 性を保 証± 0.3 µ m L SM - 02-A ±1.0 µ m L SM -3 0 -A

耐環境性 IP67 に対応：3,20 0 回 / 秒

レーザ 走 査 回 数測 定 条 件 の詳 細 設 定 画 面

Point

2

ヘルプ表示機能受 発 光 部をセパレートして使 用可 能 L SM -3 0 -A

L SM - CU -A

測定条件の選択画面

高精度モータを使用した高精度スキャン

組み込みやすいサイズ感 L SM - 02-A

コントローラー 部 の 特 長

対 話 形 式 の 採 用 に よ り、必 要 な 項目を 選 択していくだ
けで、目的まで の 操 作を簡 単かつスピーディーに行うことが可能です。

モジュー ル 部 の 特 長

I/F module

わ か ならい 機 能 や 名 称 に ついて、簡 易 的 なガイダ ンス表示し、疑 問 点 を 即 時 に 解 決します。さらに は、マニュアル
PDF へ のリンク機 能 も備えており、正しい 設 定を 短 時 間で行えます。

クリックで 各 項目の簡 易説 明を表 示

配電盤・装置内への設置に対応できる小型・薄型設計
ケーブル 込 みでも奥 行 10 0 mm の配電 盤に対応 可能

ユーザーズ マニュアル P DF を表 示

4 種のインタフェースを用意し、生産ラインDIN レールへの工具レス・ワンタッチ着脱に対応のご要望に応じて必要な規格を選択可能

USB Type-C、IO 入出力、産業用インタフェース（オプション）

コントローラーへの差し込みによりレイアウト変更無しでの追加が可能

簡単設定を実現する設定用ソフトウェアを標準付属
縦方向の設置にも対応し、柔軟なレイアウトが可能

Point

3

測定ワークの位置調整

フォーカス具合で位置調整

L SM に 対 する 測 定 ワークのベ ストポ ジ ション を 視 覚 的・
定 量 的 に 把 握で きます。これにより、正 確 かつ 短 時 間で の位置 調 整 が 可能 になり、再 現性 の 高 い 安 定した 測 定 を 可能にします。
位置調整前

3

位置調整 後4

■センサー部

LSM-02-A仕様

発光部受光部間距離
使用環境
保存環境

CE マーキング / UKCA マーキング
標準付属品※１ 基本設定で『極細線測定をしない』又は『エッジ指定』を設定しない場合の範囲※２ 精度検査はパターンをクローム蒸着させたガラス基板を測定対象物とし実施しています。
環境：温度：20 ℃±1 ℃、湿度：50% ±10 ℃※３ 測定間隔0.32秒で ø 2 mm / ø 1 mm ゲージを2分間測定したときの±2σの値（σ：標準偏差）※４ 測定間隔0.32秒で ø 30 mm / ø 10 mm ゲージを2分間測定したときの±2σの値（σ：標準偏差）※５ 測定領域中央で測定したときの値※６ ⊿ D はマスターゲージとの外径差（単位：mm）※７ 測定ワークを光軸方向 / 走査方向に移動することによる誤差※８ 基本設定で『極細線測定をしない』に設定すると、平均化回数1〜8回を使用可能、ただし測定範囲は0.05 mm 〜2 mm となる。

10.5
17.5
22.5
15.5

17.5

1

126
3×M4×66.5

9055
29.5

4 3（長穴深さ4） ø3 56LSM-30-A50
22単位：mm

ø38×M370以上

355（ケーブルスペース）

170

42
21 21

30

57.5

80

90.3

64.5

104265.8

1812

25.8

33.5

50

6
測定領域

56.8

55

13080

108

保護等級

17.5

34.5

18.5

レーザー走査速度

41
35

測定領域

23.5

レーザー走査回数

181
105.5

90

平均化回数

レーザークラス

70以上(ケーブルスペース)

40
19.5

22.5

測定領域

20.5

14.5

位置誤差※ 2 ※ 7

ø3 4

9.5
17.5

直線性

※20.01 µm
ø 30 mm：± 0.09 µm ※ 4
ø 10 mm：± 0.06 µm ※ 4
全範囲：± 1.0 µm ※ 5± 0.3 µm ※ 5
狭範囲：±（0.6 ＋ 0.1 ⊿ D）µm ※ 5 ※ 6
全領域（10 × 30）：± 1.8 µm± 0.4 µm
中心領域（5 × 20）：± 1.0 µm
1 × 2（光軸方向×走査方向）mm
10 × 30（光軸方向×走査方向）mm
16 〜 2048 回 ※ 8
1 〜 2048 回
半導体レーザ：クラス 1（最大出力：1.0 mW、波長：650 nm）
3200 回 /sec
76 m/s226 m/s
IP67
ー
標準：130 mm、最大：350 mm
温度：0 ℃〜 40 ℃、湿度：35%RH 〜 85%RH（結露しないこと）
高度：2000 m 以下
温度：-10 ℃〜 50 ℃、湿度：35%RH 〜 85%RH（結露しないこと）
EMC 指令：EN IEC 61326-1、Immunity test requirements：Clause 6.2 Table2
Emission limit：ClassA
RoHs 指令：EN IEC 63000
信号ケーブル：№ 02AGQ190
CD（ユーザーズマニュアル）：No.02AGQ039

2フルレンジ
ミドルレンジ

32.5
57.584

繰返し精度（2 σ）※20.3 〜 30 mm

26

最小表示量

544-124
LSM-30-A(R)

測定範囲

544-123
LSM-02-A
0.005 〜 2 mm
0.05 〜 2 mm ※ 10.01 µm
ø 2 mm：± 0.03 µm ※ 3
ø 1 mm：± 0.015 µm ※ 328

符号56

コード№

単位：mm

11 11

4×M3×6

24 18

4.5

95.5

3×M4×8(裏面同様)

65.5

4.5

2×M4×8(裏面同様)

4.5

46336

38×M3

38202392038*277mmまで延長可能

43（長穴深さ4）

9.5
ø3 5

417
3×M4×88

9.5

23.5
18.5

ø3 523.5

3×M4×814.5857*3（長穴深さ4)

418.5

90150

9.5

10

セパレート時56

■コントローラー■インタフェースユニット

仕様

平均化方法

測定機能 ※ 1機能インジケータ

信号ケーブルコネクタ

USB コネクタ
I/O コネクタ

標準インタフェース

電源コネクタ

定格電源
使用環境
保存環境
質量

CE マーキング / UKCA マーキング

標準付属品

1 〜 7（透明体は 1 〜 3）
1 〜 255
単純平均：1 〜 2048、移動平均：32 〜 2048
透明体指定、極細線指定（LSM-02-A のみ）、2 項目測定、測定ワーク自動検出、異常値除外、合否判定（上下限値、多段選別、目標値と公差）、保護ガラスの汚れ検知、サンプル測定、アナログ出力、パラメータ設定（測定条件）：20、ワーク位置、キャリブレーション、プリセット、オフセット、統計演算、2 セット以上の演算、センサー識別、［ERROR］LED（赤）［POWER］LED（緑）Mini D-Sub（15 極）Type-C
セパレート型端子台（18 極）
セパレート型端子台（6 極）
DC ＋ 24 V ± 10%、3.0 A 以上 ※ 2
温度：0 ℃〜 50 ℃、湿度：20%RH 〜 85%RH（結露しないこと）
高度：2000 m 以下
温度：-10 ℃〜 60 ℃、湿度：20%RH 〜 85%RH（結露しないこと）
約 550 g
EMC 指令：EN IEC 61326-1、Immunity test requirements：Clause 6.2 Table2
Emission limit：ClassA
RoHs 指令：EN IEC 63000
I/O 端子台用ソケット：№ D800-396、電源端子台用ソケット：№ D827-827
アースリード（4 m）：№ 02AGQ068
CD（LSMPAK インストーラ、ユーザーズマニュアル）：№ 02NGA070※1 各機能には、組み合わせによる機能制限があります。
※2 ＋24 V / 3.0 A 以上の出力を持った AC アダプタ / スイッチング電源をご使用ください。
参考 AC アダプタ：Signcomplex / AC アダプター 24V / 3A DC ポート直径5.5×2.1 mm、電源コネクタ：（株）
カウモ / 電源コネクタ 外径5.5 mm 内径2.1 mm
スイッチング電源：オムロン（株）/ OMRON S8VS-12024

コード№

02AGQ390
LSM-CC-A
CC-Link IE TSND Link：Dual Color LED1（赤 / 緑）
ERROR：Single Color LED1（赤）2 チャンネル
RJ45 ×２
100 Mbps 全二重Cat.5e 以上 STP ケーブル
認証クラス A に準拠したリモート局
1 msec符号

通信規格
インタフェースLED

Ethernet 通信

通信速度

CC-Link IE TSN

CC-Link IE TSN

RJ45 コネクタ
通信ポート

使用ケーブル

機能最小サイクル時間共通仕様

使用環境

温度：0 ℃〜 50 ℃、湿度：20%RH 〜 85%RH（結露しないこと）

温度：-10 ℃〜 60 ℃、湿度：20%RH 〜 85%RH（結露しないこと）

保存環境

EMC 指令：EN IEC 61326-1
Immunity test requirements：Clause 6.2 Table2
Emission limit：ClassA
RoHs 指令：EN IEC 63000

CE マーキング / UKCA マーキング■コントローラー■インタフェースユニット

LSM-CU-A

単位：mm

61.5

2.5

LSM-EI-A

Ethernet 通信

RJ45 コネクタ
通信ポート

通信速度

使用ケーブル

140
159

10109.547.4

LSM-EC-A

LSM-CC-A
2814

LED

単位：mm

28.3

2814

インタフェース

1689.5112.510

通信規格

02AGQ300
02AGQ370
LSM-EI-A
LSM-EC-A
EtherNet/IP
EtherCATNETWORK STATUS インジケータ：Dual Color LED1（赤 / 緑）
RUN インジケータ：Single Color LED1（緑）MODULE STATUS インジケータ：Dual Color LED1（赤 / 緑）
ERROR インジケータ：Single Color LED1（赤）2 チャンネル
RJ45 × 2
100 Mbps 全二重Cat.5e 以上 STP ケーブル

47.4

符号

LSM-PN-A

140
159

47.448

仕様

コード№

69.5

100

9.5

■インタフェースユニット

単位：mm

2814

セグメント指定

エッジ指定544-120
LSM-CU-A

140
159

9.5

140
159

10符号

47.4

コード№

2814

仕様

仕様

コード№
符号

通信規格
インタフェース

Ethernet 通信

LED
RJ45 コネクタ
通信ポート

通信速度

使用ケーブルPROFINET RT
PROFINET 機能

最小サイクル時間

接続（AR ※ 1）最大数

接続コントローラー毎の CR 数※ 2

02AGQ350
LSM-PN-A
PROFINET
RUN インジケータ：Dual Color LED1（赤 / 緑）
ERROR インジケータ：Dual Color LED1（赤 / 緑）
2 チャンネル
RJ45 × 2
100 Mbps 全二重Cat.5e 以上 STP ケーブル
適合クラス B に準拠した PROFINET デバイス
メディア冗長プロトコル（MRP）クライアント
マルチキャストプロバイダ及びサブスクライバ

2 msec2■使用上のご注意
互換性についてLSM センサー LSM-02 / 30-A 及び LSM コントローラー LSM-CU-A は、従来機種（LSM-3000、3100、4000、4100、400シリーズ、5000、5100、5200、6000、6100、6200、500シリーズ、500H シリーズ、500S シリーズ）との互換性はありません。

測定物と測定条件について測定物の形状や表面の粗さによって測定誤差を生じることがあります。この場合、出来るだけ既知の形状や表面粗さが同じ値の基準ゲージやマスターゲージをご使用いただき、キャリブレーションを必ず行なってください。測定条件によって測定値が大きくばらつく場合は、測定回数を出来るだけ多くする事で精度の高い測定が可能です。

ノイズ対策について誤動作防止のため、本装置の信号ケーブルと中継ケーブルを高圧線やサージノイズの発生するケーブルと同一配線をしないようにお願いします。また、必ずアース（接地）をしてください。

レーザー光について、安全上の注意点

本装置は測定用に低出力の可視レーザー光を使用しており、JIS C 6802「レーザー製品の放射安全基準」のクラス（1 可視光）に相当します。LSM センサー LSM-02 / 30-A には下の図に示すようなクラス1の説明ラベルが貼られています。

周期データ用：2、パラメータ設定用：1※１ AR：Application Relation、AR の種類：Device Access※２ CR：Communication Relation

78

OPTION オプション
標準キャリブレーションゲージセット

ワークステージ

信号延長ケーブル／中継延長ケーブル

レーザスキャンマイクロメータを校正するための基本ゲージです。
ゲージ寸法は１方向１ヶ所のみの検定値です。

シャフト等のセットを簡単に行い、高さ調整する事もできるため、高精度な測定を可能とします。

測定部と表示部を遠く離して使用する時（信号延長ケーブル）や、受発光部を離して使用する時（中継延長ケーブル）に、継ぎ足して使用するケーブルです。

25

測定範囲

水平ストローク

118

測定位置中心：15.5（28）44

10.5 15.5

ø 132×六角穴付きボルト（M3）38

垂直ストローク
最大積載質量19.5
測定位置中心：25（26）

発光部側

質量

標準付属品
アクセサリ
（オプション）

エアチューブ

40.5
44
54.5

12

ø10：CALゲージ取付穴ø10：CALゲージ取付穴51

測定位置中心：90

Vブロック 同軸段付きワーク

øD6ødøD

6ød

同軸段付きワーク

パーツ No.

単位：mm

ワーク径 ø Dmax
軸径 ødmax（øD-ød）max

H

質量

H

レーザ光路安定カバー
測定空間における空気の揺らぎによる測定値のばらつきを抑える効果があります。

パーツ No.

LSM-30-A02AGQ452

L2L1L2L1単位：mm

2×六角穴付きボルト（M4）
レーザ出射口備考

ストッパ

パーツ No.

44.21035 3553846.5516242

単位：mm16

LSM発光部

300

測定位置中心：300

上下動ハンドル

LSM受光部

アジャスタブルワークステージ標準付属品（LSM-30-A用）

69.5

21.526

可動領域：505以下（水平ストローク：200）6238

46.542316

上下動クランプ

水平クランプ11

流量調節用継手

6.5

スライドテーブル

02AGD490
0.3 〜 30 mm
200 mm35 mm
2.0 kg
4.9 kg
V ブロック（No.02AGD420）× 2ストッパ（No.02AGD430）× 1両センタ（No.02AGD440）
上下動 V ブロック（No.02AGD450）（178）

レーザ出射口単位：mm460

単位：mm

2×六角穴付きボルト（M4）

LSM-30-A02AGQ450※エアブローカバーには、長さ5 m のエアーチューブ（外径 ø 6 mm）が付属します。

適用機種

1m3m6266受発光窓に煙や埃が付着する場合、受発光部に取付けたエア吹出し口から清浄なエアを吹出すことにより、受発光窓の汚れを防止します。

パーツ No.

ケーブル長さ02AGQ464A
02AGQ464B

上下左右スライド機構により、多種多様なワークの直径が簡単に測定可能です。
精密シャフト・ローラ・ピンゲージなどの品質管理に最適です。

パーツ No.

12.5 12.5

エアブローカバー
適用機種

パーツ No.

180

測定対象物（測定範囲：ø 0.1〜ø 1.5）

キャリブレーションゲージ取付穴

キャリブレーションゲージが必要な場合は、どちらもLSM-02-A用キャリブレーションゲージセット（No.02AGD110）をご使用ください。

5m
10 m
15 m
20 m

測定位置中心：97.5

単位：mm

測定位置中心：16.5

各測定範囲は以下のようになります。
LSM-02-A：ø 0.1 mm〜ø 1.5 mm
ø 0.1 mm未満〜ø 1.5 mmより大きいワークを測定したい場合は、当社営業・サービスの窓口にご連絡ください。

1202AGN780A
02AGN780B
02AGN780C
02AGN780D

中継延長ケーブル

アジャスタブルワークステージ（LSM-30-A用）
受光部側

24.5

パーツ No.

中継ケーブル（0.5m）
LSM-30-Aのみ※ LSM-02-A の信号ケーブルは全長20 m を限度とします。
※ LSM-30-A の信号ケーブルは全長29 m を限度とし、中継ケーブルは全長5 m を限度とします。
※ 信号ケーブルと中継ケーブルを合わせた合計長さは29 m を限度とします。

受光部側

50

マグネットワイヤーや繊維などの細線状の外径を安定して、測定できるようにガイドの役割を行うプーリ治具です。

LSM-02-A
02AGD20025

ø 30

ガイドプーリ適用機種

発光部側

ケーブル長さ垂直ストローク：35

ø1

測定方向明示線

6

パーツ No.

167

ø 10

ø2

信号延長ケーブル

測定位置中心：22.5

測定位置中心：57.5

ø 10

受光部

中継延長ケーブルø 2（両センタ穴）

590（垂直ストローク：約56 mm）
34

ø 10
ø 0.1

単位：mm

上下動ハンドル

127.8

510.5 15.5

単位：mm

36
キャリブレーションゲージ

ø2

測定位置中心：31

LSM-30-A

14211322522キャリブレーションゲージ

ø 0.1

520.86

キャリブレーションゲージ

単位：mm

発光部

信号延長
ケーブル

4×六角穴付きボルト（M3）96

LSM-02-A

ø 30

ケース

表示部

キャリブレーションゲージ取付穴

ø 10ゲージø1

セット内容（パーツ No.）

信号ケーブル（5m）No.02AGN770A

LSM-30-A
02AGD270

パーツ No.

22

スタンド

適用機種

LSM-30-A
02AGD130
02AGD131
ø1 ：02AGD920
ø30：02AGD961
02AGD980

21

セット No.

LSM-02-A
02AGD110
02AGD111
ø0.1：958200
ø2 ：958202
95820314

適用機種

1418.428

920272027L3L4

L3 A以上
ストローク

質量
用途

02AGD420
30 mm
30 mm
25 mm
0.03 kg（1 個の質量）使用可能な CAL ゲージø 1 （No.02AGD920）
ø 10（No.229317）
ø 25（No.02AGD963）
ø 30（No.02AGD961）

02AGD430
0.05 kg

ワークの位置決めに使用

10座標測定機

画像測定機

形状測定機

光学機器

精密センサ

試験・計測機器

スケールユニット

測定工具、測定基準器、計測システム

仙台営業所
郡山営業所
宇都宮営業所
水戸営業所
伊勢崎営業所
さいたま営業所
新潟営業所
川崎営業所
東京営業所
厚木営業所

仙台市若林区卸町東1-7-30〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884
仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884
宇都宮市平松本町796-1〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248
水戸市元吉田町260-3〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372
伊勢崎市宮子町3463-13〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613
さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610
厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F〒243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404
富士駐在所
電話 (0545)55-1677
諏訪営業所
諏訪市中洲582-2〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市東区和田町587-1〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683
安城営業所
安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161
大阪営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817
神戸営業所
神戸市西区丸塚1-25-15〒651-2143 電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172
岡山営業所
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M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。
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