座標測定機

インライン対応CNC三次元測定機

MACHシリーズ

Catalog No.16010(10)インライン対応 CNC 三次元測定機

MACH シリーズ
縦形＆フレキシブル

測定室から飛び出した、待望のインライン対応 CNC 三次元測定機です。
24 時間稼動する工 場 の中で求められるのは、安定した稼動を実現する優れた耐久性、測定時間の大 幅な短 縮、幅広い温度環境下での精度保証、安全性・メンテナンス性を考慮した構造設計です。
Ｍ ACH シリーズは、これらを実現するミツトヨのインライン対応 CNC 三次元測定機です。
その証が、国内外での自動車業界をはじめとした信頼と実績です。

横形＆高速駆動

MACH-V

MACH-3AC N C 移 動 速 度・加 速 度・測 定 速 度 の 向 上 により、高スル ープットを実 現した 横型 C N C 三次元測定機

パワートレ イン 生 産ライン に お けるゲ ージ 測 定に 置 き換 わるフレ キシブ ル 計 測システム の 構 築で す。ラインサイド・インラインに 対 応 するた め のを実 現します。また、高加速度、高速移動により、省スペース化・耐 久 性を実現しました。

高スループット測定を実現します。

フレキシブルなCNC 測定ヘッド

MACH Ko-ga-me

C N C 移 動 速 度・加 速 度・測 定 速 度 の 向 上 により、高スループットを実現した
C N C 測定ヘッドです。ラインサイド・インラインに対応するための省スペース化・耐久性を実現しました。

12

SMART FACTORY状 態 管 理 から予 知 保 全 まで。

「 見 える 化 」で 始 まる 、ス マ ートファクトリー 。
ミツトヨは、ネットワークにより製造工程の情報を一元管理する機能を実現 。M e a s u r L i n k は測定機のデータをリアルタイムで収 集・分 析することで不良品発生を予測します。また、測定機の稼働状況を示す

Status Monitor（SMS : Smart Measuring System）
な ら び に 測 定 機 自 体 の 状 態 を 示 す C o n d i t i o n M o n i t o r に より測定精度の維持と生産性の向上、保守管理の向上を図ります。

Status Monitor

ス テ ータス モ ニ タ

測定機の稼働状況を遠隔地で監視可能

Condition Monitor

三次元測定機の状態監視による予防保全

CNC 三次元測定機
サーバ● 稼働状況のデータ収集と見える化を実現● MT Connect 通信に対応

3

コン ディション モ ニタ

出力情報・走行距離・プローブ入力回数
・温度ログ ・その他

MeasurLink

メジャーリンク「品質の見える化」で不良品発生を抑制

サーバ（イメージ）

状態監視で予防保全を実現

4

生産ラインの専 用ゲージ測 定に置き換わる、最 適なフレキシブル計 測システム。

仕様
項目
測定範囲
最小表示量

符号

X軸
Y軸
Z軸

案内方式

防塵性能の向上

製造中に起こるワークの温度変化に対応した測定が可能

駆動速度だけでなく、加速度（ 8770 m m/s 2）、測定速度（接触駆動系および測長ユニットを全てマシン上部の防塵ケース

ワークの温度は加工や洗浄によって測定機とは異なる温度とも、縦形インライン対応ではする瞬間の速度：20 mm/s ）世界トップクラスの C N C 三 次 元 測 定 機です。測 定 のタクト

タイム短縮が要求されるインライン・ラインサイドでの自動測 定システムとして、専 用 機 やゲージの 代 用 設 備として、トータルコスト削減に貢献します。

内に配置することで、耐防塵性を実現しました。制御装置や演算 PC も防塵ラックを装備したタイプとなっています。

メンテナンス性の向上
メンテナンスし易い構造と、エア不使用によるトラブル要因製造ラインへの設置を考慮した省スペース設計加工機間への設置も考慮し、マシンの幅寸法を従来機と比較して 15 ％小さくし、ライン長短縮に貢献します。また、測定エリアを前後左右にオープンにすることで、搬送ルートの自由度を向上させました。の減少を実現しました。

であり常に変化しています。
インラインに対応するにはこれらのワーク形状が温度により変化している最中でも正確な三次元測定機としては、幅広い温度環境下での精度保証を可能にしました。また、リアルタイム温度補正機能と温度補正原点設定機能によって、温度変化にも対応が可能です。

MACH-V9106 変温過渡期の指示誤差（空間対角方向）

J/S Mode
最大駆動加速度
最大高さ測定が必要です。

測定物

下記グラフは 20 ℃の環境にある M A C H-V で 40 ℃に温めた機械の質量（設置台・コントローラ含む)ワークが冷えながら測定された結果です。温度補正機能を使うことで、温度による形状変化を考慮した測定が可能と最大質量設置温度環境なっています。

温度範囲
精度保証温度センター駆動による高速・高精度化

温度変化
温度勾配

片側駆動の場合、高速移動時に駆動側に回転力が発生します。

これを防ぐために、MACH-V では、センター重心駆動方式を本体精度駆動を実現しています。

使用プローブ各軸 8〜500 mm/s (移動速度)・最大合成速度 866 mm/s

1〜20 mm/s (測定速度)0〜80 mm/s (High Speed)
0〜3 mm/s (Low Speed)
0.05 mm/s (Fine Speed)
各軸 5063 mm/s2 ・最大合成加速度 8770 mm/s2
リニアエンコーダ

800 mm150 kg4130 kg

温度環境

5〜35℃
1時間あたり2℃以下
24時間あたり10℃以下(高さ) 1 mあたり1℃以下(水平) 1 mあたり1℃以下

最大許容長さ測定誤差 ISO 10360-2:2009 (JIS B 7440-2:2013)

採用し、スライダの回転を最小にすることのできる理想的な幅広い温度環境下（5 〜 35 ℃）での精度保証

駆動速度

測長方式

900 mm1000 mm
600 mm0.0001 mm (0.1 µm)

各軸ともリニアガイド

CNC Mode

最大駆動速度 866 mm/s の高速駆動

MACH-V9106

このため、一般的な三次元測定機よりも、高速での測定に環境温度
範囲

19〜21℃

おいて精度劣化を最小限に抑えて測定することが可能な構造

18〜22℃
SP25M(スタイラス:
ø4x50 mm) 15〜25℃となっております。

外観寸法図（単位：mm）

MACH-V9106
9002042

1477

5〜35℃
19〜21℃
TP7M
18〜22℃(スタイラス:
ø4x20 mm) 15〜25℃
5〜35℃

長さ測定誤差E0, MPE = 2.5＋3.5L/1000 µm
E150, MPE = 2.5＋3.5L/1000 µm
E0, MPE = 2.7＋3.8L/1000 µm
E150, MPE = 2.7＋3.8L/1000 µm
E0, MPE = 2.9＋4.3L/1000 µm
E150, MPE = 2.9＋4.3L/1000 µm
E0, MPE = 3.6＋5.8L/1000 µm
E150, MPE = 3.6＋5.8L/1000 µm
E0, MPE = 2.5＋3.5L/1000 µm
E0, MPE = 2.7＋3.8L/1000 µm
E0, MPE = 2.9＋4.3L/1000 µm
E0, MPE = 3.6＋5.8L/1000 µm

単位：µm

繰り返し精度R0, MPL = 2.2R0, MPL = 2.5

シングルスタイラス形状誤差 ISO 10360-5:2010 (JIS B 7440-5:2013) 単位：µm858324 Z:6002900

使用プローブ

SP25M(スタイラス: ø4x50 mm)
TP7M(スタイラス: ø4x20 mm)+Z+Z

Y:10005201

使用プローブ262

X:900

PFTU, MPE = 2.2
PFTU, MPE = 2.5

最大許容スキャニング誤差 ISO 10360-4:2000 (JIS B 7440-4:2003) 単位：µm+X6811533+Y

シングルスタイラス形状誤差

262

SP25M
(スタイラス: ø4x50 mm)

最大許容スキャニング誤差

MPETHP = 4.06横形マシニングに適した、横形三次元計測システム。
仕様
項目
測定範囲
最小表示量

符号

案内方式

最大駆動速度 1212 mm/s の高速駆動

防塵性能の向上

駆動速度だけでなく、加速度（11882 mm/s 2）、測定速度（接触制御装置、測定用 P C を内蔵しており、24 時間稼動を前提ととも、世 界トップクラスの C N Cする 瞬 間 の 速 度：30 mm/s）

三次元測定機です。測定のタクトタイム短縮が要求されるインライン・ラインサイドでの自動測定システムとして、専用機やゲージの代用設備として、トータルコスト削減に貢献します。

J/S Mode
最大駆動加速度
測長方式
測定物

メンテナンス性の向上
メンテナンスし易い構造と、エア不使用によるトラブル要因搬送ルートを用いることが可能です。

幅広い温度環境下（5 〜 40 ℃）での精度保証
三次元測定機としては、従来にない幅広い温度環境下での精度保証を可能にしました。また、リアルタイム温度補正機能と、温度補正原点設定機能によって、温度変化にも対応が可能です。

MACH-3A653 変温過渡期の指示誤差（空間対角方向）

リニアエンコーダ

200 kg1400 kg (特別付属品を含まず)

温度環境

5〜40℃

温度範囲

驚異的なスループットを実現
一般的な三次元測定機（CRYSTA-Apex Vシリーズ）、インラインで対応三次元測定機（ MACH-V9106 および MACH-3A653 ）トランスミッションケースを測定した場合の比較事例です。

MACH-V および MACH-3Aの驚異的なスループットを示しています。

測定項目：位置度（4箇所）、内径（5箇所）、穴間ピッチ（3箇所）

CRYSTA Apex
MACH-V9106 MACH-3A653
Vシリーズ
最大駆動速度【mm/s】
5198661212
最大測定速度【mm/s】
82030
最大駆動加速度【m/s2】
2.38.411.8
測定時間【sec】
57.628.524.3※測定時間は測定条件によって異なります。

・現場で対応可能な高速フレキシブルな軸物測定機です。
・専用ゲージでは設計変更のたびに多額な対応費用が発生しますが、本測定機では、測定パートプログラムの編集等で容易に対応できるため、トータルランニングコストの削減が可能となります。
・クランクシャフト/カムシャフトの評価項目全てを 1台で測定できます。
※この製品は特注品対応となります。

外観寸法図（単位：mm）

MACH-3A 653

Z：280818

精度保証温度

温度変化
温度勾配

X：600
1334

477

(高さ) 1 mあたり1℃以下(水平) 1 mあたり1℃以下

本体精度 (JIS B 7440-2:2013)
使用プローブ

単位：µm

最大許容指示誤差 (MPEE)

2.2 + 3.5L/1000 (19〜21℃)
2.5+ 4.2L/1000 (15〜25℃)
SP25M(スタイラス: 2.9 + 5.0L/1000 (10〜30℃)
ø4x50 mm) 3.2 + 5.7L/1000 (5〜35℃)
3.6 + 6.5L/1000 (5〜40℃)
2.5 + 3.5L/1000 (19〜21℃)
2.8+ 4.2L/1000 (15〜25℃)
TP7M(スタイラス: 3.2 + 5.0L/1000 (10〜30℃)
ø4x20 mm) 3.5 + 5.7L/1000 (5〜35℃)
3.9 + 6.5L/1000 (5〜40℃)
2.7 + 3.5L/1000 (19〜21℃)
3.0+ 4.2L/1000 (15〜25℃)
TP20(スタイラス: 3.4 + 5.0L/1000 (10〜30℃)
ø3x10 mm) 3.7 + 5.7L/1000 (5〜35℃)
4.1 + 6.5L/1000 (5〜40℃)※L= 任意測定長 (単位: mm)
本体精度 (JIS B 7440-4:2003)

257

1時間あたり2℃以下
24時間あたり10℃以下

最大許容プロービング
誤差 (MPEP)

2.2

2.52.7※※インデックステーブルはオプションです。

435

詳細は 6 ページをご参照ください。

1533

MACH-3Aは MACH-Vと同様の温度補正機能を持っています。

1925
1690
455
Y：500

製造中に起こるワークの温度変化に対応した測定が可能

7

最大質量

設置温度環境製造ラインへの設置を考慮した省スペース設計
おります。横形三次元の採用によって、加工機と変わらない

1〜30 mm/s (測定速度 /TP7M時)
1〜20 mm/s (測定速度 /TP20 時)
0〜80 mm/s (High Speed)
0〜3 mm/s (Low Speed)
0.05 mm/s (Fine Speed)
各軸6860 mm/s2・最大合成加速度11882 mm/s2

機械の質量（コントローラ含む)の減少を実現しました。

加工機間への設置も考慮した、横形三次元測定機となって各軸ともリニアガイド駆動速度した設計により優れた耐久力を実現。

600 mm
500 mm
280 mm0.0001 mm (0.1 µm)

各軸8〜700 mm/s (移動速度)・最大合成速度1212 mm/s

CNC Mode

MACH-3A 483のご紹介

MACH-3A 653

X軸
Y軸
Z軸（504）

776
1280

単位：µm

使用プローブ

最大許容スキャニング誤差 (MPETHP)

SP25M(スタイラス: ø4x50 mm)

3.88

高精度 / 高速 /フレキシブルな CNC 測定ヘッド
本体精度仕様

・お客様のご要望に合わせて、様々な測定システムの構築が可能です。

符号項目

・専用スタンドを組み合わせることにより小型 C N C 測定機となり、移動軸（親亀）と組み合わせることにより（親亀子亀方式）、測定範囲を拡大して使用することができます。

X軸

120 mm
120 mm80 mm
0.00002 mm (0.02 µm)
CNC Mode 各軸8〜200 mm/s (移動速度)・最大合成速度340 mm/s(AUTO)
1〜15 mm/s (測定速度 )CNC Mode 各軸8〜200 mm/s (移動速度)・最大合成速度250 mm/s
駆動速度 (MANUAL)
1〜15 mm/s (測定速度 )0〜80 mm/s (High Speed)
0〜15 mm/s (Low Speed)
J/S Mode
0.05 mm/s (Fine Speed)
最大駆動加速度
各軸3900 mm/s2・最大合成加速度6750 mm/s2

・加工現場でニーズに合った測定システムを構築し、さらに測定効率を向上することができます。
・温度補正機能が標準で搭載されています。これにより、10 〜35°Cという幅広い温度環境下での精度保証が可能になります。

ガイド方式

大物ワーク測定例：親亀子亀方式

駆動方式
測長方式

スタンド※ 1

ワーク移動例

直動式ハードベアリング
DCモータ＋ボールねじ（速度 / 位置フィードバック）
リニアエンコーダ

環境温度
使用プローブ範囲
19〜21℃

TP20015〜25℃(スタイラス:ø3x10 mm) 10〜30℃
10〜35℃
19〜21℃
SP25M
15〜25℃(スタイラス:ø4x50 mm) 10〜30℃
10〜35℃

長さ測定誤差E0, MPE = 2.4＋5.7L/1000 µm
E0, MPE = 2.7＋6.4L/1000 µm
E0, MPE = 3.1＋7.2L/1000 µm
E0, MPE = 3.4＋7.9L/1000 µm
E0, MPE = 2.4＋5.7L/1000 µm
E0, MPE = 2.7＋6.4L/1000 µm
E0, MPE = 2.9＋7.2L/1000 µm
E0, MPE = 3.6＋7.9L/1000 µm

単位：µm

繰り返し精度R0, MPL = 1.9

R0, MPL = 1.3

シングルスタイラス形状誤差 ISO 10360-5:2010 (JIS B 7440-5:2013) 単位：µm
使用プローブTP200(スタイラス: ø3x10 mm)
SP25M(スタイラス: ø4x50 mm)

シングルスタイラス形状誤差

PFTU, MPE = 2.2
PFTU, MPE = 2.2

最大許容スキャニング誤差 ISO 10360-4:2000 (JIS B 7440-4:2003) 単位：µm

設置環境

MACH Ko-ga-me

KGM12128-C

測定範囲 Y 軸
Z軸
最小表示量

・防塵性に優れ、且つエアーを必要としません。

スタンドアロンでの使用イメージ

最大許容長さ測定誤差 ISO 10360-2:2009 (JIS B 7440-2:2013)

温度範囲

精度保証
温度変化
温度

温度勾配

温度環境
10〜35℃
1時間あたり2℃以下
24時間あたり10℃以下
1 mあたり1℃以下 (高さ・水平両方とも)使用プローブ

SP25M(スタイラス: ø4x50 mm)

最大許容スキャニング誤差

MPETHP = 2.7 (30 s)※1：スタンドはオプションです。

ワーク側移動※ 2

小形ワークの高速測定が可能※2：移動軸システムはお客様にてご用意ください。

910座標測定機

画像測定機

形状測定機

光学機器

精密センサ

試験・計測機器

スケールユニット

測定工具、測定基準器、計測システム

仙台営業所
郡山営業所
宇都宮営業所
水戸営業所
伊勢崎営業所
さいたま営業所
新潟営業所
川崎営業所
東京営業所
厚木営業所

仙台市若林区卸町東1-7-30〒984-0002
仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002
宇都宮市平松本町796-1〒321-0932
水戸市元吉田町260-3〒310-0836
伊勢崎市宮子町3463-13〒372-0801
さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533
厚木市岡田1-7-1 ヴェルドミールSUZUKI 105 〒243-0021
富士駐在所
電話 (0545)55-1677諏訪営業所
諏訪市中洲582-2〒392-0015
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市東区和田町587-1〒435-0016
安城営業所
安城市住吉町5-19-5〒446-0072
中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5〒446-0072
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田〒920-0057
大阪営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34〒559-0034
神戸営業所
兵庫県神戸市西区丸塚1-25-15〒651-2143
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F〒525-0032
岡山営業所
岡山市北区田中134-107〒700-0951
広島営業所
東広島市八本松東2-15-20〒739-0142
福岡営業所
福岡市博多区博多駅南4-16-37〒812-0016
センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533
地震機器課
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533

電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884
電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884
電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248
電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372
電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613
電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610
電話 (046)226-1020 ファクス(046)229-5450
電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830
電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683
電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161
電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817
電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562
電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172
電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653
電話 (082)427-1161 ファクス(082)427-1163
電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470
電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140
電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140（※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。

お求めは当店で̶弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合があります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。
あらかじめご了承ください。
●仕様、価格、デザイン(外観)ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。
●本カタログに掲載されている仕様は 2022年 8 月現在のものです。

M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。
宇都宮市下栗町 2200
〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624
UTSUNOMIYA
川崎市高津区坂戸 1-20-1〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610
TOKYO
諏訪市中洲 582-2〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830
SUWA
安城市住吉町 5-19-5〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761
ANJO
大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817
OSAKA
呉市広古新開 6-8-20〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163
HIROSHIMA
計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。詳細は弊社営業所にご連絡ください。
〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000
ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1
キャリブレーションセンタ…商品の検査・校正・保守・修理をお受けしています。
宇都宮市下栗町2200〒321-0923 電話 (028) 656-1432
宇都宮川崎
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044) 813-8214
広島呉市郷原町一ノ松光山10626番62 〒737-0161 電話 (0823) 70-3820

ファクス (028) 656-8443
ファクス (044) 813-8223
ファクス (0823) 70-3833

カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。
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123 2208(10)Ae-(CH)NE143