Catalog No.14024 (6)

画像測定機

微細形状スキャニングプローブ搭載画像測定機

サラブレッド

微細領域から大きめのワークに対応する高精度3Dスキャニング
最小径125umのスタイラスを搭載可能な新開発「MPP-NANO」
プローブが微細領域での3Dスキャニング測定を実現しました。
観察カメラを搭載し、ワークの汚れ・キズの有無を確認しながら容易にアプローチできます。
スキャニング測定で高い実績を誇るSP25Mへも対応していますので大きめのワークへの汎用性も兼ね備えています。

高レベルでのパフォーマンスを持つ画像測定機能
画像測定機のベストセラー Quick Vision シリーズと同じ画像ヘッドを採用しました。

Quick Visionと同じ光学系と多彩な照明機能に強力なソフトウェアが加わって、画像測定においても高いパフォーマンスを発揮します。

1

こちらから動画をご覧いただけます微細形状測定を知り尽くした最適な測定機
画像測定ヘッドとスキャニングプローブ（MPP-NANO、SP25M）を搭載した理想的なハイブリッド機です。
目視による測定が難しい狭小部位でも画像ヘッドで正確な位置決めを行い、狙い込み測定が可能です。

MPP-NANOスタイラスで測定

画像で正確に位置決め

MPP-NANOスタイラス用観察ユニットをオプションに設定しました。ø0.125ｍｍの極小スタイラスでもモニターで確認しながら測定位置にアプローチ可能なため安心して操作ができます。

マグネット方式によるキネマティックジョイントの採用により、異なるスタイラスへの交換が容易に行えます。スタイラス交換工具（MPP-NANOスタイラスツールセット）を標準装備。
MPP-NANOスタイラス

2自動車電動化や、自動運転技術に不可欠なセンシング技術など、近年急速に微細加工技術が高まってまいりました。一方でこれらの微細形状を高精度、高スループットで測定することが求められています。
弊社ではいち早く超微細形状測定機UMAP Vision Systemを販売してまいりましたが、昨今の生産性向上の要求から、高効率に微細形状が測定可能な”MiSCAN Vision System”と小径倣いプローブ”MPP-NANO”を開発致しました。

MiSCAN Vision System ＋ MPP-NANOが実現する微細形状測定例
精密微細歯車MiSCAN Vision System + MPP-NANOであれば、これまで評価が困難であったモジュール1以下の精密微細歯車を高効率なスキャニング測定によって評価可能です。歯車評価ソフト”GEARPAK”により諸元値を入力するだけで歯形誤差、歯すじ誤差も簡単に評価可能です。

モジュール0.8 マスターギア測定例

MPP-NANO ø0.125mmスタイラス測定例

GEARPAK-Cylindrical解析例

レンズ/レンズ鏡筒
MiSCAN Vision System + MPP-NANOは小型化、複雑形状化が進むレンズ及びレンズ鏡筒の高精度、高効率測定 を可能にします。車載カメラや監視カメラなどの急傾斜の非球面形状もMPP-NANOであれば高精度に測定可能です。

レンズ鏡筒

MPP-NANOによる非球面形状スキャニング測定

SCANPAKによる形状解析例

精密金型
MiSCAN Vision System + MPP-NANOは従来の三次元測定機で困難な精密パンチ・ダイなどの微細部位を、ø0.125mmからラインアップする極小スタイラスによるスキャニング測定を実現可能にします。

MPP-NANOによる金型のスキャニング測定

3

スタイラス観察カメラユニットによる観察画像

SCANPAKによる形状解析例

精密機構部品
MiSCAN Vision System + MPP-NANOは小型化、高精度化が進む産業機械等の機構部品の寸法測定を高効率、高精度に測定可能です。

精密機構部品（直動ガイド）

スタイラス観察カメラユニットによる観察画像

FORMTRACEPAK-APによる形状解析例

微細孔形状測定MiSCAN Vision System ＋ MPP-NANOは従来破壊検査でしか測定できなかったノズルや線引きダイスなどの内径形状も、高アスペクト比最大17のスタイラスによってスキャニング測定が可能となります。

最大アスペクト比17（R500-125-85の場合）

MPP-NANOによる微細孔形状測定

FORMTRACEPAK-APによる解析結果

微細表面形状微細V溝、微細矩形溝形状などをCAT1000S（オプション）を用いてCADデータから設計断面を生成し、設計値倣いおよび形状評価が可能です。

微細V溝形状CADデータから設計断面生成（CAT1000S）SCANPAKによる設計値照合

4

仕様
名称
符号
測定範囲

画像

MPP-NANO/SP25M

最小分解能/測長ユニット
撮像素子
観察装置
照明装置
接触式プローブ

E1X, E1Y
E1Z
測定精度 [µm]E2XY
MPP-NANO E0MPE
SP25M
E0MPE
MPP-NANO
スキャニング精度 [µm]SP25M
MPETHP
MPP-NANO
プロービング精度 [µm]SP25
PFTU,MPE
繰り返し精度σ[µm]MPP-NANO
画像※1

精度保証温度

環境温度
温度変化

載物ガラスの大きさ
測定物の最大質量※2
本体外観寸法
本体質量（設置台含む）

MVS Hyper302
MVS Hyper404
MVS 404Apex
MVS-H302P1L-D
MVS-H404P1L-D
MVS-X404P1L-D
300x200x200ｍｍ
400x400x250mm
175x200x200mm
275x400x250mm
0.02µm/リニアエンコーダ
0.1µm/リニアエンコーダ
B&W CCDカメラ
パワータレット（1x-2x-6x)
落射、透過、PRL照明
MPP-NANO/SP25M
SP25Mのみ
0.8+2L/1000
1.5+3L/1000
1.5+2L/10001.5+4L/1000
1.4+3L/1000
2.0+4L/1000
ー
1.9+4L/1000
1.9+4L/1000
2.5+6L/1000
ー
0.6
2.52.7ー
0.6
1.92.2ー0.05
18〜23℃
0.5℃/1Hかつ1℃/24H
399x271mm
493x551mm
15kg
30kg
40kg
859x951x1609mm
1407x1027x1778mm
360kg
579kg

※1 画像の精度は対物レンズQV-HR2.5x+チューブ2xの光学条件の場合の精度です。
※2 極端な変化中、集中荷重は除く※ ISO10360-7:2011精度保証対応機も対応可能です。
お願い：本カタログに掲載されている CNC 画像測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に本機の操作を禁止する本体起動システム（移設検知システム）が組込まれています。
ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業所（本カタログ裏表紙をご参照ください）までご連絡をお願い致します。

5MPP-NANO MVS-H302用
世界最高水準の極小・高精度スキャニングプローブ
ø0.125mmからのスタイラスラインナップにより微細形状のスキャニング測定が可能です。
● 最大アスペクト比17（ø500L8.5）
で深溝、深穴部位の測定にも適応可能です。
● 繰返し精度σ≦0.05µm（MVS-H302）を実現、高精度な形状測定が可能です。
● 約1mNと低測定力のため軟質物でも傷がつきにくく、測定物の変形を最小限に抑えます。
● マグネットジョイント方式のスタイラスで簡単にスタイラス交換が可能です。
● スタイラス観察ユニット（オプション）により狭小部も観察しながら測定可能です。

● 最小径仕様

MPP-NANOMPP-NANOMPP-NANOMPP-NANO

ø125L2
R125-85-20
125 µm2 mm
0.08 mm16ø300L4
R300-85-40
300 µm
4 mm
0.2 mm13.3

ø500L4.5
R500-85-45
500 µm
4.5 mm
0.3 mm
9ø500L8.5
R500-125-85
500 µm
8.5 mm
0.3 mm
17ルビー

ルビー

ルビー

ルビー

48.5

8.50.3

ø0.125

ø0.3

スタイラス

R500-125-85

44.5

R500-85-45

4.5

0.08

0.60.2

スタイラス

0.3

20.6

R300-85-40

6.5
8.5

R125-85-20

4型式
チップ呼び径
スタイラス呼び長さ
シャフト径
アスペクト比
チップ材質

スタイラス

8.512.5

スタイラス

品名

ø0.5
ø0.5

SP25M
小型高精度スキャニングプローブ
SP25M”も搭載可能で● 三次元測定機で実績の高い小型高精度スキャニングプローブ”

す。
”
で横向きスタイラスなど複数のスタイラ
FCR25（オプション）● スタイラスチェンジャー ”

スを自動交換可能です。
● 高精度ポイント測定や求心ポイント測定（オプション）
で測定対象を確実に捉えます。

6非接触測定（画像測定）
MiSCAN Vision Systemには弊社製画像測定機 “クイックビジョン”の観察光学系と照明ユニットを搭載。
画像測定機としても高いレベルで威力を発揮します。

VISIONPAK-PRO（必須オプション）
画像測定によるエッジ検出を簡単に行える"ワンクリックツール"や、最適な照明光量を自動で認識する"デュアルエリアコントラストツール"、エッジ検出を確実に実行する各種フィルター（モフォロジーフィルタ）など高機能画像測定機能を網羅しました。

ワンクリック円弧ツール

デュアルエリアコントラストツール

高精度画像測定

モフォロジーフィルター

イメージセンサが得られた画像から高精度エッジ検出が可能です。

プログラム制御パワータレット
観察ユニットには倍率再現性が高く、解像度の高いプログラム制御パワータレット を採用しました。

画像オートフォーカス
画像オートフォーカスは非接触で高精度高さ測定を実現します。また透明体や鏡面でもフォーカス可能なパターンフォーカスも装備しています。

1×2×

6×

プログラム制御リング照明
最高水準の照射角度、照射方向の制御可能なプログラム制御リング照明を標準装備しています。
垂直落射照明プログラム制御リング照明

載物ガラス透過照明7接触測定・スキャニング測定
MiSCAN Vision Systemは三次元測定を知り尽くした本体コントローラとソフトウエアを採用、高次元の座標測定技術を提供いたします。

MCOSMOS（必須オプション）
三次元測定を知り尽くしたMCOSMOSは寸法測定のほか線の輪郭度、面の輪郭度など幾何公差評価にも威力を発揮します。

MCOSMOSMCOSMOS平面度作図

SCANPAK（必須オプション）

CAT1000S（オプション）

MiSCAN Vision Systemで取得した輪郭データからの要素演算のほか設計値照3DCADデータから設計値倣いの断面抽出や線の輪郭度や面の輪郭度の評価が合やベストフィット照合などが可能です。

可能です。

FORMTRACEPAK-AP（オプション）
MiSCAN Vision Systemで取得したデータから設計値照合やオーバーピン径測定や任意深さの幅測定など高度な解析を行う事が可能です。

8

主要オプション
対物レンズ

44 67

44 67

211

175225172
112 57.5 55.5

322

145

85 44
172

101

225

145

275

186.5400

186.5
400

125
47

47

125804550
1027

662951

2500

MVS-H302

MVS-X404/MVS-X404
145
47

145

47

186.5

400

186.5

145

4786.5322
400

ステージサイズMVS-X404

9125

225

47

186.5

125
47

接触式プローブ（SP-25M）

32 55

200

113

接触式プローブ（MPP-NANO / SP-25M）

50 47

127

83.5 57.5 3432250
125125
225
400
300

127

127
32 55

接触式プローブ測定範囲

47 50

50

86 44

113

400
200
32 55
ステージサイズMVS-H302

86 44

画像・接触式プローブ共通測定範囲

画像測定範囲

225
300

755
1407

2700

83.5 57.5 34 50

113

200

12533986.5

83.5 57.5 34 50

504786.5

86 44

275

47680

50

127
51

32 55
1777.536200113339

175300

1200

400

550
859

12550

680

800.5

1609

1200

51

101
127

47

86.5

275

186.5
400

175 12512583.5 57.5 34
300 47503650

14551

32 55
3636
1753005050 ・測定テーブル
外観寸法図

85 44

127

200

200

113

3636

・FCR25 SP25M用・マスターボールø16・キャリブレーションゲージ

32 55

113

186.5
400

83.5 57.5 34

・MPP-NANO用スタイラス観察カメラユニット・マスターボールø4・キャリブレーションゲージ

125

86.5

83.5 57.5 34

51322101

85 44

127

186.5
400

322

86.5

17517251

225

36 60.5 55 84.5 36

17551

対物レンズ「QV-SL0.5x」、「QV-HR10x」、「QV-10x」、「QV-25x」を使用する場合は、被検物によっては照度不足など一部制限が発生する場合があります。

QV-25×※13mm
0.25×0.18
0.10×0.07
0.04×0.03

101127

QV-HR10×※ QV-10×※20mm
30.5mm
×0.47
0.62
44 67
211
0.31×0.23
0.10×0.07

86.5

36 60.5 55 84.5 36

36 60.5 55 84.5 36

QV-5×
33.5mm
1.42×0.93
0.62×0.47
0.20×0.15

186.5
400

QV-HR1×
QV-SL1×112 QV-HR2.5
57.5 55.5 × QV-SL2.5×40.6mm
52.5mm
40.6mm60mm
6.27×4.7
2.49×1.86
3.13×2.35
1.24×0.93
1.04×0.78
0.41×0.31

127×※
112 57.5QV-SL0.555.5
作動距離30.5mm××9.4
タレッ
ト112.54
機
PRO
撮像視野
タレット2×6.27×4.7［（H）mm×（V）mm］ タレット6× 2.09×1.56
対物レンズ

86.5

86.5

101101211

125322

抜群の信頼性~国家標準へのトレーサビリティ~

国家標準にトレーサブルな基準器を使用

国立研究開発法人
産業技術総合研究所
計量標準総合センター

お客様の信頼を獲得するため、国家標準にトレーサブルに測定したい。
・ミツトヨでは日本の国家標準にトレーサブルな長さ標準器を保有し、協定世界時に同期した原子時計測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うことにより、各種測定機器のトレーサビリティ確立と維持を行っています。

ミツトヨ
計量標準キャリブレーション課（JCSS認定事業者 №0067）

・当社の校正事業者は、ILACのMRA（相互承認協定）により国際的に認められた認定機関であるIAJapanよりJCSSの認定を受けており、海外の校基準周波数発振器（光周波数コム装置の基準器として使用）

正機関と同等の測定技術能力を有することが認められています。

ミツトヨ
計量標準キャリブレーション課（JCSS認定事業者 №0067）
長さ用633nmよう素分子吸収線
波長安定化He-Neレーザ装置
ミツトヨ
宇都宮キャリブレーションセンタ（JCSS認定事業者 №0031）
長さ用633nm実用波長安定化He-Neレーザ装置
ミツトヨ 川崎工場
基準スケール
画像測定機

安心のサポート体制

世界トップクラスのグローバルネットワーク

1963年（昭和38年）、 販売会社 MTI社（米国）設立以来、全世界にそのマーケットを拡大しているミツトヨ。

現在、 29カ国に研究開発・製造・販売・技術サービス拠点と80数カ国の代理店網を構築しています。
各地域・社会に合わせたサービスで、世界のトップメーカとしての地位を不動のものとしています。

本社

■ 販売
■ 研究開発■ 生産

Mitutoyo Europe GmbH

Mitutoyo（UK）L.td.

Mitutoyo France S.A.R.L

Mitutoyo America
Corporation Head Office

Mitutoyo Italiana S.R.L.

Mitutoyo Asia Pacific Pte.
Ltd. Regional Headquarters

MITUTOYO SUL AMERICANA
Ltda.

10

座標測定機

画像測定機

形状測定機

光学機器

精密センサ

試験・計測機器

スケールユニット

測定工具、測定基準器、計測システム

仙台営業所
郡山営業所
宇都宮営業所
水戸営業所
伊勢崎営業所
さいたま営業所
新潟営業所
川崎営業所
東京営業所
厚木営業所

仙台市若林区卸町東1-7-30〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884
仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884
宇都宮市平松本町796-1〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248
水戸市元吉田町260-3〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372
伊勢崎市宮子町3463-13〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613
さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610
厚木市岡田1-7-1 ヴェルドミールSUZUKI 105 〒243-0021 電話 (046)226-1020 ファクス(046)229-5450
八王子駐在所 電話 (042)620-5380
富士駐在所 電話 (0545)55-1677
諏訪営業所
諏訪市中洲582-2〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市東区和田町587-1〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683
安城営業所
安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
岐阜営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161
大阪営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817
神戸営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34（※1） 〒559-0034 電話 (078)924-4560 ファクス(06)6613-8817
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172
岡山営業所
岡山市北区田中134-107〒700-0951 電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653
広島営業所
東広島市八本松東2-15-20〒739-0142 電話 (082)427-1161 ファクス(082)427-1163
福岡営業所
福岡市博多区博多駅南4-16-37〒812-0016 電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470
センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140
地震機器課
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140（※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。

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M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。
宇都宮市下栗町 2200
〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624
UTSUNOMIYA
川崎市高津区坂戸 1-20-1〒213-8533 電話 (044) 813-1623 ファクス (044) 813-5433
TOKYO
諏訪市中洲 582-2〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830
SUWA
安城市住吉町 5-19-5〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761
ANJO
大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817
OSAKA
呉市広古新開 6-8-20〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163
HIROSHIMA
計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。詳細は弊社営業所にご連絡ください。
〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000
ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1
キャリブレーションセンタ…商品の検査・校正・保守・修理をお受けしています。
宇都宮市下栗町2200〒321-0923 電話 (028) 656-1432
宇都宮
川崎川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044) 813-8214
広島呉市郷原町一ノ松光山10626番62 〒737-0161 電話 (0823) 70-3820ファクス (028) 656-8443
ファクス (044) 813-8223
ファクス (0823) 70-3833

カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。
電話 (0570) 073214
ファクス (044) 813-1691

最寄りの営業所をご確認いただけます。

https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/domestic/list.html#sale

https://www.daiichi-kagaku.co.jp/
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