目次およぴプログラム
１日目

1月29日 (月)

開会の挨拶

〇は発表者

圧電シンポ2024委員長

垣尾省司（山梨大）9:50～10:00

開始

終了

10:00

10:20

9.5-12 GHz Solidly Mounted Bulk Acoustic Wave Resonators Utilizing TEOvertone Mode
A-2〇門田 道雄， 山下 冬子， 田中 秀治(東北大学)

10:20

10:40

電極抵抗低減に向けて上下電極に金属音響ブラッグ反射器を採用した
SMR
A-3
1,2
1,21,2,3,4〇富岡 美咲 ，渡海 智 ，柳谷 隆彦(1 早稲田大，2 材研，3 JST-CREST，4 JST-FOREST)

10:40

11:00

Wide Band SH1 Mode Plate Wave Resonator Using 175oYX LiNbO3Thin Plate
A-4〇Ferriady Setiawan, Michio Kadota, Shuji Tanaka(Tohoku University)

11:00

11:20

c軸平行配向ZnO膜/SOI基板すべりモード共振子の作製―スパッタ成膜中の粒子照射制限の有無による共振特性の比較ー
A-5〇冨山 直樹1，高柳 真司1，柳谷 隆彦2(1 同志社大，2 早稲田大)

11:20

11:40

13:00

13:40

13:50

14:10

14:10

14:30

14:30

14:50

A：BAWデバイスI

座長：小林 牧子(熊本大)

エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたブラッグ反射器型共振子
A-1 〇下山 航1,2，島野 耀康1,2，國信 聡太1,2，柳谷 隆彦1,2,3,4(1 早稲田大，2 材研，3 JST-CREST，4 JST-FOREST)

昼食(11:40～13:00)
S：招待講演I

座長：垣尾 省司(山梨大)LiTaO3単結晶の総ての非線形定数の決定
S-1 〇長 康雄(東北大学未来科学技術共同研究センター)休憩（13:40～13:50）
B：計測・評価

座長：鈴木 雅視(山梨大)

UMS技術による薄膜音響特性測定法と適用例〇櫛引 淳一1, 大橋 雄二1, 戸津 健太郎1, 松本 繁治2, 白井 孝典2,B-1
2
3
3
稲瀬 陽介 , 竹野 広晃 , 伊東 孝洋(1東北大, 2シンクロン, 3ジオマテック)
LFB-UMCシステムによるAlN薄膜の評価
B-2 〇大橋 雄二1，櫛引 淳一1，戸津 健太郎1，竹野 広晃2，伊東 孝洋2(1 東北大，2 ジオマテック)
パルスエコー法による減衰定数測定を用いたScAlN薄膜のQ値評価
B-3 〇島野 耀康1,2，柳谷 隆彦1,2,3,4(1 早稲田大，2 材研，3 JST-CREST，4 JST-FOREST)ページ

休憩（14:50～15:00）
C：圧電・強誘電材料

座長：大橋 雄二（東北大）

鉛系圧電単結晶の交流分極の2023年の最新状況
C-1 〇山下 洋八1,2，向 宇2，眞岩 宏司2，Xiaoning Jiang1

15:00

15:20

固体結晶成長法により育成されたMn添加Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-Pb(ZrTi)O3単結晶の自己分極と特性
11
112C-2 〇眞岩 宏司 ，山形 湧志 ，向 宇 ， 孫 海洋 ，Ho-Yong Lee ，
山下 洋八1，3(1 湘南工大， 2 韓国セラコンポ社，3 ノースカロライナ州立大)

15:20

15:40

Bi2O3を過剰にしたBiFeO3-BaTiO3系セラミックスの小振幅圧電特性C-3 〇小穴 智輝，濃添 圭佑，ナム ヒョンウク，髙木 優香，永田 肇(東京理科大学)

15:40

16:00

16:00

16:20

(1 NCSU, USA, 2 湘南工大)

エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の電界誘起圧電性
C-4 〇勝又 彩馨1,2，島野 耀康1,2，柳谷 隆彦1,2,3,4(1 早稲田大，2 材研，3 JST-CREST，4 JST-FOREST)
休憩（16:20～16:30）
D：SAWデバイスI

座長：後藤 令 (Skyworks Solutions, Inc.)

D-1 〇鈴木 渉志,

周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波伝搬特性の解析
鈴木 雅視, 垣尾 省司
(山梨大)

16:30

16:50

周期的傾斜分極反転構造を用いたベタ電極によるSAWの励振〇松村 理司1,2，島野 耀康1,2，大野 直輝1,2，柳谷 隆彦1,2,3,4，D-2
長 康雄5(1 早稲田大，2 材研，3 JST-CREST，4 JST-FOREST，5 東北大)

16:50

17:10

板波・弾性表面波における圧電薄板分割による不要伝搬モードの抑圧
D-3 〇原 尚斗1，鈴木 雅視1，垣尾 省司1，山本 泰司2(1 山梨大，2 山本エイデック)

17:10

17:30

SH-mode spurious suppression over a wide frequency range techniquefor TC-SAW with inserting middle SiN layer.
D-4〇平松 裕也，小松 禎也，小林 京平，後藤 令(Skyworks Solutions, Inc.)

17:30

17:50

懇親会：あおば食堂DOCK（18:10～）

２日目

1月30日（火）E：圧電薄膜 座長：小田川 裕之（熊本高等専門学校）

RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜の BAW 伝搬特性の基
板温度依存性E-1〇中山 雄太，鈴木 雅視、垣尾 省司( 山梨大)

9:10

9:30

9:30

9:50

成膜条件によるSiAlN膜の極性制御と2層分極反転SiAlN膜HBARの形成・評価
E-3〇福永 慶，鈴木 雅視，垣尾 省司
(山梨大)

9:50

10:10AOGsレスSc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソード平行平板
スパッタリング
E-4
1,2
1,2
1,2
1,2,3,4〇浴田 航平 、石井 直輝 、島野 耀康 、柳谷 隆彦(1 早稲田大、2 材研、3 JST-CREST、4 JST-FOREST)

10:10

10:30

10:40

11:00

11:00

11:20

ボールSAWガスクロマトグラフを用いた清酒の香気成分の精密分析〇赤尾 慎吾、岩谷 隆光、大友信哉、田中 久美子、岡野 達広、
F-3 竹田 宣生、塚原 祐輔、大泉 透、福士 秀幸、田中 智樹、
菅原 真希、武田 昭信、山中 一司(ボールウェーブ株式会社)

11:20

11:40

パリレン直接蒸着法を用いた新型圧電MEMS可変焦点液体レンズ〇Zhengnan Tang、岡谷 泰佑、Andrea Vergara、鈴木 裕輝夫、
F-4
田中 秀治
(東北大学)

11:40

12:00

13:3014:10

純AlN薄膜共振子の強誘電性とヒステリシス特性
E-2 〇花井 彩香1,2、柳谷 隆彦1,2,3,4(1 早稲田大、2 材研、3 JST-CREST、4 JST-FOREST)

休憩（10:30～10:40）
F：センサ・アクチュエータ 座長：柳谷 隆彦（早稲田大）

マイクロストリップ線路を用いた電波遮断狭空間で使用するワイヤレス
F-1 SAW温度センサ〇新留 祥稔、小田川 裕之 (熊本高専)

F-2

有限要素法を用いた横波型弾性表面波センサ構造の検討〇太田 雄大，近藤 淳 (静岡大)

昼食（12:00～13:30）
S：招待講演IIS-2

座長：近藤 淳(静岡大)SAWデバイスの非線形性に関するこれまでの研究〇中川 亮 (株式会社村田製作所)

休憩（14:10～14:20）
G：SAWデバイスII

座長：近藤 淳(静岡大)，堤 潤(Qorvo)

LiNbO3/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波特性の解析
G-1 〇武居 諒1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、山本 泰司2

14:20

14:40

14:40

15:00

15:00

15:20

15:20

15:40

Influence of SAW Slowness Shape on Quality Factor Behavior of SAWResonators
G-5 Yiwen He, Yiming Liu, Zijiang Yang, Ying Yang, Jingfu Bao,
〇Ken-ya Hashimoto(University of Electronic Science and Technology)

15:40

16:00

Rayleigh type acoustic device by LiNbO3 bonded on support substrate
structure with excellent wide band reflection coefficientG-6〇後藤 令、平松 裕也(Skyworks Solutions, Inc.)

16:00

16:20

16:30

16:50

分極反転もしくは中間電極を用いたScAlN多層薄膜SMRによる二重モード型BAWフィルタ（DMB）
H-2◯松村 桃佳1,2、柴田 真之1,2、柳谷 隆彦1,2,3,4(1 早稲田大、2 材研、3 JST-CREST、4 JST-FOREST)

16:50

17:10

ニオブ酸リチウムベースゾルゲル複合体による高温超音波トランス
ジューサ
H-3〇小林 牧子、財頭 直希、濱田 岳志
(熊本大)

17:10

17:30

(1 山梨大、2 山本エイデック)
Wideband Surface Acoustic Wave Resonator with Good Temperature
Stability Using LiNbO3 and Glass with Low Coefficient of Thermal
G-2 Expansion〇Yong Guo、Michio Kadota、Yuji Ohashi、Shuji Tanaka(東北大)
LiNbO3/水晶接合構造の縦型リーキーSAW高次高調波の共振解析
G-3 〇森田 響生1、鈴木 雅視1、 垣尾 省司1、水野 潤2(1 山梨大、2 早稲田大)
RF-SAW デバイスで発生する２次高調波の複素振幅可視化
G-4 〇賀井 大輝、大森 達也(千葉大)

休憩（16:20～16:30）
H：BAWデバイスII

座長：大森 達也(千葉大)時空間同期技術と超小型原子時計チップの展開
H-1 〇原 基揚(情報通信研究機構)

閉会の挨拶

圧電シンポ2024副委員長 近藤淳（静岡大）17:30～17:40