座標測定機

Catalog No.16012(7)ミツトヨの技術を結晶化。

世界が認める精密測定テクノロジー。

LEGEX 574
世界最高峰の高精度

E 0,MPE =0.28+L/1000 を達成

LEGEX 776

LEGEX 9106
12

進化する技術
徹底的な誤差要因の分析と排除 その 1

本体ベース設計
高剛性、高減衰性

Y軸ガイドレールとベースの一体化構造よる密閉化構造を採用することで、高剛性、高減衰性を実現しています。
さらに、FEM 構造 解 析シミュレーションを駆使した徹 底的な応力分析により、荷重変動などによる変形を最小限に抑え、優れた幾何学的な運動精度を確保しています。

各軸スライド部分にセラミックス–プラズマ溶射

LEGEX の本体ベースは、球状黒鉛鋳鉄（ダクタイル鋳鉄）*にFEM 構造解析シミュレーション

ベースと一体化したY 軸ガイドレール

剛性および熱的安定性の更なる向上を図るため、Y 軸ガイドレールと本体ベースが一体化構造です。

Y 軸ガイドレール、X 軸ビーム、Z 軸スピンドルのスライド部分
はセラミックス–プラズマ溶射処理され、エアベアリング摺動に最適な表面が形成されています。
また耐錆性・耐食性にも優れています。

0.60.08s

0.4

鋳 鉄 は 、炭 素・ケイ 素・マ ン ガ ン・リン・硫 黄 な ど を 含む 鉄合 金で、特に炭 素が黒鉛として析出していることにより、特徴的な性質を示します。
ダクタイル 鋳 鉄 は 、溶 湯にマグネシウム合 金を 添 加させることで、析出させる黒鉛を球状化させたもので、
普 通 鋳 鉄に比べて、高い引張 強さと比 較的大きな靱性を示し、かつよい切削性と良好な耐摩耗性を有しているため、自動車部品など様々な機械部品に利用されています。
LEGEXでは、ダクタイル鋳鉄FCD600が採用されており、また 0.1 ｍｍ以上の巣やピンホール（欠陥）のない製法で作られた鋳鉄を使用しています。

3-0-0.2-0.4-0.6

高減衰性超高精度倣い測定の実現

LEGEX の本体構造は、移動時の残留振動を素早く減衰させ、振動によるバラツキ幅を大幅に軽減します。また外部振動に対して除振装置の効果をより有効的に働きかけ、除振性能を向上させます。
これらにより、倣い測定時の振動を抑え、超高精度倣い測定を実現します。

0.2m/s2* 球状黒鉛鋳鉄（ダクタイル鋳鉄）

ζ=0.028

0.50.60.7

0.80.9Time (s)4進化する技術
徹底的な誤差要因の分析と排除 その 2

振動対策
外部振動対策設置場所の床振動は、測定値にバラツキとなって影響します。LEGEX は、専用の高機能オートレベリング空気圧式除振装置を標準装備しています。測定テーブルの移動や測定物による荷重変動をセンサでキャッチし、すばやく本体を水平復帰させることが可能です。

門固定・テーブル移動構造

門移動構造

門固定・テーブル移動構造
門移動形三次元測定機におけるX 軸移動による荷重変動例

高い運動精度X 軸運動とY 軸運動の独立

門移動構造の場合、例えば X 軸が移動すると Y 軸ガイド（エアベアリング）に荷重変動が起こり、測定空間に幾何学的変形が発生してしまいます。
LEGEX は特に X 軸とY 軸が完全に独立した構造になっており、X 軸の移 動が Y 軸ガイドに与える影 響は全くありません。
よって、それぞれの軸の精度追求が行ないやすく、高精度を長期にわたって維持することができます。

ピッチング・ヨーイング誤差の排除

門移動構造の CNC 三次元測定機の多くは片側下部に配置された駆動系によってのみ門移動（Y軸移動）を行なうため、移動時にピッチング誤差・ヨーイング誤差が生じてしまいます。駆動系を門中央重心付近に配置する方式もあります
が、X軸が左右に動く時に当然重心も移動するため、それらの誤差は排除できません。
「 門移動によって誤差が発生するなら、門を動かさLEGEX は、なければいい」という逆転の発想で、アッベ誤差を極力抑えるために門固定・テーブル移動構造を採用しています。

Z 軸スピンドル
エアベアリング

駆動軸

完全重心駆動各軸の駆動系は、各移動部の重心に配置されており、駆動軸回りの慣性モーメントが抑えられ加減速時の構造体変形がほとんどありません。
また、例えば X 軸案内には X 軸ビーム全面にミツトヨ独自の高剛性エアベアリングを配置したオリジナル構造を採用し、高速・高加減速駆動を可能にしています。

5駆動軸

除振台配置

内部振動対策駆 動は、ボールスクリュ＋ D C サーボモータによって行なわれます。ボールスクリュ軸回りのコニカル運動や軸に垂直な面における振れを吸収するため、ナット部にフローティング機構を有する特殊ボールスクリュを採用しています。
これによって、ボールスクリュの振れが運動精度に影響することなく、高速駆動が可能です。
また、従来比の 5 分 の 1 に振動を抑えたミツトヨ独自の高剛性低振 動エアベアリングや、各軸案内レールに特殊な振 動減衰機構を装備するなど、様々な内部振動対策が施されています。

オートレベリング空気圧式除振台

ボールスクリュ

パルスジェネレータ
サーボモータX 軸ビームフローティング機構
ガイドブロックナット

フローティング機構付ボールスクリュー構造図

6進化する技術徹底的な誤差要因の分析と排除 その 3
超高精度測長ユニット

温度補正機能線膨張係数 “≒ゼロ” の高精度ガラススケール

18 〜 22 ℃の温度範囲で精度を保証

LEGEX には、新開発の線膨張係数 0.01×10 / ℃ というほと−6

んど熱膨張しない超高精度結晶化ガラススケールと、同じ
く新開発の最小分解能 1/100 µm の高性能反射形リニヤエンコーダの組合せによる、超高精度測長ユニットが搭載されています。
また、このスケールは独自の固定方式によって、取付面との熱膨張率の違いによって生じるヒステリシス誤差を最小限に抑えています。

従来の超高精度三次元測定機では、レベルの高い恒温室クラスの設置環境が必 要でしたが、LEGEX は、FEM 構造解 析によって熱的対称構造を実現し、その結果、温度変化による測定空間のひずみを抑え、サブミクロンの測定精度でありな
がら 20±2 ℃という幅広い温度環境下での測定を可能にしています。また、測定物の温度をリアルタイムに測定し、20℃ 時の寸法に換算した結果を出力することができます。

プローブ

PH10MQ

TP7M

MPP-310Q

高精度・低測定力
スキャニングプローブ

SP80

ロングスタイライス対応
高精度
スキャニングプローブ

SurfaceMeasure403

高精度
タッチトリガープローブ

非接触ラインレーザプローブ

SP25M

小型・高精度スキャニングプローブ

SurfaceMeasure1110
非接触ラインレーザプローブ

SurfaceMeasure201FS

非接触レーザプローブ

QVP

クイックビジョンプローブ

最新の制御技術の採用
自社開発の制御装置を一新。新アルゴリズムの適用による高度な制御技術を採用しています。そして新開発の高分解能リニアエンコーダを搭載し、さらなる高精度化を実現しています。
超高精度結晶化
ガラススケール

SP80 スキャニングプローブ

MPP-310Q

QVP

MRT240（ロータリーテーブル）

Status Monitor（ステータスモニタ）

回転体系の測定物（歯車、円筒カム、インペラ等）を効率的に測定します。
倣いプローブによる回転同期倣い測定にも対応しています。

測定機の稼働状況を遠隔地で監視可能

20∞C
25∞C15∞C
20∞C

誤差 (mm)0サーバ● 稼働状況のデータ収集と見える化を実現●＜ゼロガラス・特殊固定＞050

100 150 200 250 300 350 400 450 500
位置 (mm)15∞C
20∞C-1
20∞C-2
20∞C-325∞C
30∞C

誤差 (mm)0精度
測定物最大質量＜汎用スケール・通常固定＞

0MeasurLink（メジャーリンク）

仕様

最小表示

テーブル

MT Connect 通信に対応

割出精度
回転軸の半径方向振れ
回転軸の軸方向振れ
直径
高さ0.00005°(0.18”)± 0.00025 °(0.9 ”）
1 µm
0.5 µm40 kg
ø240 mm
105 mm「品質の見える化」
で不良品発生を抑制

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
位置 (mm)従来スケールと結晶化ガラススケールのヒステリシス比較

78

仕様

測定テーブル表面符号項目

LEGEX 574

X軸
Y軸
Z軸測定範囲
測長方式
最大駆動速度
最大駆動加速度
最小表示量
案内方式

LEGEX 774

500 mm
450 mmLEGEX 776

LEGEX 9106

700 mm

700 mm

900 mm1000 mm

600 mm

リニアエンコーダ

200 mm/s
980 mm/s 20.00001 mm

材質
測定テーブル
大きさ
最大高さ
測定物
最大積載質量
機械の質量（除振台、コントローラ含む/ワーク含まず）
使用空気圧
空気使用条件空気消費量

550×750 mm
250 kg
3500 kg

エアベアリング
鋳鉄
750×750 mm

700 mm
5000 kg

500 kg950×1050 mm

850 mm

800 kg6500 kg

5100 kg

0.5 MPa（標準状態において）120 L/min（空気源としては160 L/min以上）● LEGEX シリーズ 本体精度

標準仕様：セラミックコーティング● LEGEX シリーズ 設置温度環境

使用プローブ

長さ測定誤差 E0,MPE

温度環境1

温度範囲

19 〜 21 ℃

温度変化

MPP310Q（ø4×18）（0.28+L/1000）µm（温度環境 1）（0.30+L/1000）µm（温度環境 2）

SP25M（ø4×50）（0.38 ＋ L/1000）µm（温度環境 1）（0.40 ＋ L/1000）µm（温度環境 2）

温度分布

特注仕様：きさげ加工

温度環境2

0.5 ℃/h
1.0 ℃/m18 〜 22 ℃

LEGEX12128 のご紹介

※L＝任意測定長（単位：mm）※温度環境 1 および 2 については右の表をご参照ください。

外観寸法図

主な仕様
単位：mm

項目
測定範囲
最小表示量
案内方式

符号

X軸
Y軸
Z軸

長さ測定誤差 E0,MPE（温度環境2）
使用プローブ：MPP-310Q（ø4×18）

LEGEX12128
1200 mm
1200 mm
800 mm0.00001 mm

エアベアリング（0.6+1.5L/1000）µm

FH※L＝任意測定長（単位: mm）※本商品は特注品対応となります。
※温度環境2は、P9のLEGEXシリーズ 設置温度環境を参照ください。

YCZX

測定範囲

E251

測定範囲

AA

B

W

D符号

W
H
DA
B
C
E
F

9

LEGEX574
1470
445
1390

LEGEX774
2630

745
1311

2430

600

1670
550
1410

LEGEX776
2930

895
1461

LEGEX9106
1870
3050
3030
660
1795

お願い：本カタログに掲載されているCNC三次元測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に本機の操作を禁止する本体起動システム（移設検知システム）が組み込まれています。
ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業所までご連絡をお願いいたします。

720

10

座標測定機

画像測定機

形状測定機

光学機器

精密センサ

試験・計測機器

スケールユニット

測定工具、測定基準器、計測システム

仙台営業所
郡山営業所
宇都宮営業所
つくば営業所
伊勢崎営業所
さいたま営業所
新潟営業所
川崎営業所
東京営業所
厚木営業所

仙台市若林区卸町東1-7-30〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884
仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884
宇都宮市平松本町796-1〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248
宇都宮市平松本町796-1（※1）
〒321-0932 電話 (029)839-9139 ファクス(028)660-6248
伊勢崎市宮子町3463-13〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613
さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610
厚木市岡田1-7-1 ヴェルドミールSUZUKI 105 〒243-0021 電話 (046)226-1020 ファクス(046)229-5450
八王子駐在所 電話 (042)620-5380
富士駐在所 電話 (0545)55-1677
諏訪営業所
諏訪市中洲582-2〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市東区和田町587-1〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683
安城営業所
安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
岐阜営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161
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大阪市住之江区南港北1-4-34〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817
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大阪市住之江区南港北1-4-34（※1） 〒559-0034 電話 (078)924-4560 ファクス(06)6613-8817
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172
岡山営業所
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広島営業所
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福岡営業所
福岡市博多区博多駅南4-16-37〒812-0016 電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470
センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140
地震機器課
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140（※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。

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弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合があります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。
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あらかじめご了承ください。
●本カタログに掲載されている仕様は 2021年 7 月現在のものです。

M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。
宇都宮市下栗町 2200
〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624
UTSUNOMIYA
川崎市高津区坂戸 1-20-1〒213-8533 電話 (044) 813-1623 ファクス (044) 813-5433
TOKYO
諏訪市中洲 582-2〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830
SUWA
安城市住吉町 5-19-5〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761
ANJO
大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817
OSAKA
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HIROSHIMA
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〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000
ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1
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宇都宮市下栗町2200〒321-0923 電話 (028) 656-1432
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