UCUF/SFC-900
超音波流量計IM-F964-1

取扱説明書

2 版 2019 08 E
初版 2009 12 E

このたびは、弊社超音波流量計をご採用いただき、誠にありがとうございます。
この取扱説明書には本器の標準仕様、設置方法、取扱上の注意事項等が記載されておりますので、ご使用前に必ずご一読下さい。
保管場所について本器を保管する場合は、以下に示す条件の保管場所にしてください。
•
雨や水がかからない場所•
温度が－20～60℃、湿度が 80％RH 以下の通風の良い場所•
振動の少ない場所•
腐食性ガスのない場所

目■ 本書で使用しているマークについて ···················· 2■ 使用上の一般的注意事項 ··································· 2■標準仕様 ············································· 3■ 検出器仕様 ················································ 3

次

５．通信関連 ··········································· 12
５．１

モードとバイト構成 ···························· 12５．２

必要な設定パラメータ ························· 12

５．３

設定方法 ··········································· 12

５．４

設定の確認 ········································ 13■ 変換器仕様 ················································ 3■ 外形寸法図 ················································ 4

１． 設置方法 ············································· 6

６．日常点検 ··········································· 13
６．１

チューブ継手、接続部の点検 ················ 13６．２接続配管の点検 ·································· 13

検出器の設置 ······································ 6６．３

防水性の点検 ····································· 13

１．１．１

設置場所 ······································ 6６．４

検出器の点検 ····································· 13

１．１．２

配管上の取付位置 ·························· 6

１．１

１．２

変換器の設置 ······································ 6

７．トラブル一覧 ·································· 14

１．２．１

設置場所 ······································ 6

１．２．２

取付および取外し方法 ···················· 6

７．１

LED 表示について······························ 14

配線 ·················································· 7７．２

測定異常時の出力状態図 ······················ 14

１．３．１

検出器の配線 ································ 7

７．３

トラブルシューティング ······················ 14

１．３．２

変換器の配線 ································ 7

１．３

２．パネル部の名称と機能 ·················· 8
３．運 転···················································· 9３．１

運転準備 ············································ 9３．１．１

電源投入前の確認事項 ···················· 9３．１．２

検出器通水 ··································· 9３．２

運転 ·················································· 9３．２．１

通電 ············································ 9３．２．２

運転 ············································ 9

３．２．３

ゼロ点調整 ··································· 9

４．パラメータについて ····················· 10
４．１

パラメータの内容 ······························ 10

４．２パラメータ設定例 ·······························11

■ 本書で使用しているマークについて
本書では、安全上絶対にしないでいただきたいことや注意していただきたいこと、また、取扱い上守っていただきたい
ことの説明に次のようなマークを付けています。これらのマークの箇所は必ずお読み下さい。

警告

この表示を無視して誤った取扱いをすると、使用者が死亡または重傷を負う可能性が想定される内容を示しています。

注意

この表示を無視して誤った取り扱いをすると、使用者が傷害を負う可能性や製品の破損または付帯設備等の物的損害の発生が想定される内容を示します。

注記

この表示は製品の取り扱い上、必要不可欠な操作や情報を示しています。

■ 使用上の一般的注意事項
改造等の禁止警告

材質

本製品は工業用計器として厳密な品
質管理のもとに製造・調整・検査を行い納入しております。
みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、作動不適合や事故の原因となります。改造や変更は行わないで下さい。
仕様変更の必要がある場合は当社までご連絡下さい。

注意

本製品の材質については納入仕様書
あるいはテクニカルガイダンスに記載されています。当社でもお客様の仕様をお伺いし最適な材質選定に努めておりますが、実際のプロセスにおいては混入物などの影響があり、耐食性等が万全でないこともあります。
耐食性・適合性のご確認、最終的な材質の決定はお客様の責任でお願いいたします。

使用条件の厳守

警告

納入仕様書あるいはテクニカルガイ
ダンスに記載された仕様、圧力、温度の範囲内での使用を厳守して下さい。
この範囲を超えた条件での使用は事
故、故障、破損などの原因となります。

制御上の安全性

警告

用途

警告

本製品は計器としての用途にのみ使用し、その他の用途には使用しないで
下さい。

保守・点検

警告

本製品を保守、点検などのためにプロセスから取り外す際は、測定対象物の計器内への付着に注意して下さい。
測定対象物に腐食性や毒性がある場
合は、作業者に危険がおよびます。

2

本製品は工業計器として最善の品質管理のもとに製造、調査、検査を行い納入いたしておりますが、各種の原因
で不測の故障が発生する可能性もあります。安全上の重大な問題が発生する可能性のあるプロセスコントロー
ルなどにおいて本製品を使用する場
合は、万一に備えて本製品に加えて同様な機能を果たす機器を併設し、二重化を行うことにより一層の安全性を確保して下さい。

■標準仕様■ 検出器仕様
測定対象

液体全般（気泡を含まない液体）

3）AL2

流体温度

10～60℃

下限警報

流体圧力

0～0.5MPa

オープンコレクタ

音速範囲

1000～2200 m/s

NO、NC 選択可能

流体動粘度

0.3～40 mm2/s

負荷定格：DC30V、20mA 以内

プロセス接続PFA チューブエンド（表 1 参照）

接液部材質

New PFA

4）A-OUT

構造

IP65 相当（屋内仕様）

電流出力
DC4～20mA

表.1 検出器材質

接液部

負荷抵抗：500Ω以下

部品

材質

ボディ

NEW PFAチューブ

NEW PFA

通信機能

RS485 通信機能搭載
プロトコル：MODBUS
最大 32 台まで接続可能（ホスト含む）

センサキャップPP

ケーブルフィッティング

PP

EMI/EN55011：2007

ケーブルシース

PVC

EMS/EN61326-1：2006

適合規格

EMC 適合RoHS 対応
表 2：適合検出器口径と流量範囲
流量レンジ（L/min）
センサ
最小
最大
0～0.050～3.0
UCUF-04
0～0.4
0～8.0
UCUF-06
0～1.0
0～20.0UCUF-100～3.0
0～50.0UCUF-150～4.0
0～80.0UCUF-20

ローカットオフ 0～25%F.S.
ダンピングタイム 0～25s
ステータス表示 ERROR、AGC/ZERO、
ALARM ランプ
アドレススイッチ 1～32 まで設定可能
電源

DC24V±10%消費電流

約 100mA

突入電流

約 1.5A/2ms

周囲温度

0～50℃（単独設置）
0～40℃（5mm ピッチ設置）■ 変換器仕様
出力

0～30℃（密着設置）

1）P.OUT

構造

周波数パルス出力又は FAULT を選択可能

ケース材質/色 耐熱 ABS 樹脂、黒・周波数パルス出力

質量

オープンコレクタ
負荷定格：DC30V、10mA 以内
パルス幅：デューティ 1:1
パルスレート：0～1000Hz（フルスケール）・FAULT 出力（変換器、検出器の異常時に出力）
オープンコレクタ
NO、NC 選択可能
負荷定格：DC30V、10mA 以内
2）AL1
上限警報
オープンコレクタ
NO、NC 選択可能
負荷定格：DC30V、20mA 以内

3

IP20 相当（屋内仕様）
約 200g

■ 外形寸法図
検出器

4

変換器

5

１．設置方法
１．１ 検出器の設置
注記
１．１．１ 設置場所
設置場所は下記の条件を考慮して下さい。
1) 周囲温度が0℃～60℃で、直射日光の当たらない屋内。
急激な温度の変化がないところをお勧めします。
2) 誘導障害を受ける恐れのない場所。動力機器の近くなどは避けて下さい。
3) 水滴や、腐食性ガスのない所。
4) 保守点検が容易にできる場所。
注記
１．１．２ 配管上の取付位置
正しい測定を行うために、次の項目について考慮して取付位置の選定および取付を行って下さい。
1) 測定管内が常に流体で満たされている事。
水平、垂直、斜めの配管いずれでも取り付けできますが、気泡が溜まりにくい取付姿
勢をお奨めします。
また、堆積や沈殿しやすい液体の場合は、液抜けのしやすい取り付け姿勢にして下さい。
2) 開放配管に取り付ける場合は配管の低い部分に設置して下さい。
3) 検出器には、流れ方向を矢印で示していますので、流れ方向は必ず矢印の向きに合う
ように取り付けて下さい。
4) 配管内の圧力が、大気圧（正圧）以上になるような位置に取り付けて下さい。
5) 流量調整バルブは検出器の二次側に設置することをお奨めします。
流量調整バルブを検出器の一次側に設置すると減圧により、気泡が発生する場合があります。
測定管路内の気泡は超音波信号の減衰要素であり、測定不能となる場合があります。
6) ゼロ点の確認や保守点検を容易にするため、バイパス配管を設置して下さい。
7) 検出器の固定は、本体底部のネジ穴を利用して下さい。
また、入口、出口側接続配管の応力影響がないようにして下さい。
8) チューブ継手の接続について
各継手メーカの施工要領書に従って下さい。

１．２ 変換器の設置
注記
１．２．１ 設置場所
設置場所は下記の条件を考慮して下さい。
1) 周囲温度が0℃～50℃（単独設置）で、直射日光の当たらない屋内。
2) 周囲湿度95%RH以下（結露しないこと）。
3) 誘導障害を受ける恐れのない場所。動力機器の近くなどは避けて下さい。
4) 水没する恐れのない場所。

１．２．２ 取付および取外し方法
1) 変換器本体は配線工事がしやすいプラグイン構造です。
2) 端子台ソケットに変換器本体を差し込みます。
3) 変換器本体と端子台ソケットが本体側のロックアームでしっかり固定されているか確認する。
4) 分離するときは、本体側のロックアームを押して手前に引いて下さい。

6

１．３ 配線
注記

１．３．１ 検出器の配線検出器と変換器の接続は検出器側にあらか
じめ取り付いている、BNCコネクタ付き専用
同軸ケーブルを使用します。

φ14

φ3

45

BNCコネクタの極性は右図に示した通りとなっています。
変換器のIN（上流側）に赤、OUT（下流側）に黒を接続して下さい。
BNCコネクタは確実にロックして下さい。

極性表示付
赤：IN
BNC コネクタ寸法図 黒：OUT

注意

複数台使用される場合は検出器と変換器の組合せに注意して下さい。
組合せは、弊社工番（Mfg.No.）ごとに行って下さい。

１．３．２ 変換器の配線
1) 専用のDINレール取り付けタイプの端子台を使用して下さい。
2) DINタイプ端子図3) SFC-900DINタイプ端子台の端子番号と仕様
番号

端子仕様（端子名）

番号

端子仕様（端子名）

1

AL2

7

（＋）：RS485

2

AL1

8

（＋）：P-OUT

3

COM：（AL1/AL2 用）

9（＋）：A-OUT

4

FG：アース端子

10（－）：RS485

5

電源：0Ｖ

11

（－）：P-OUT

6

電源：DC24Ｖ

12（－）：A-OUT

注意4) 電源の接続① 銘板上に記載されている電源電圧と、接続しようとする電源電圧が一致していることを確認して下さい。
② 電源は必ず計装用電源などを使用し、動力用電源と共有することは避けて下さい。
③ 電源端子にて、電源電圧が規定範囲内にあることを確認して下さい。
④ 変換器の立ち上げ時、1.0A（2ms）の電流を消費します。使用する台数分の電流を確保して下さい。

7

２．パネル部の名称と機能

④

①

⑤
②

⑥

③

番号

名

称

機

能

ZERO ADJ スイッチZERO 点調整を行うとき押します。

②

ADRS（アドレス）
スイッチ

RS485 で通信のアドレス、および通信仕様変更に使用します。
例）アドレス 25 の場合：
スイッチ矢印を×10 を 2 に、×1 を 5 に合せる。

③

BNC コネクタ④

ERROR ランプ（赤色）⑤

AGC/ZERO ランプ（赤色） ZERO 点調整中に点滅します。

⑥

ALARM ランプ（赤色）①

検出器からの専用ケーブルを接続します。
（IN と OUT の極性に注意のこと）
受信信号異常時に点灯します。

上限または下限警報が動作すると点灯します。

8

３．運転
本器は納入に先立ち、ご指定の仕様に基いてデータ設定・調整がなされております。
取付および配線が完了した後、電源を投入していただければ流量信号が得られます。
３．１ 運転準備注意

３．１．１ 電源投入前の確認事項
取付および配線が完了したら、電源投入前に次の点を必ず確認して下さい。
1) 配線
・ 電源および出力端子の配線に誤りがなく、確実に端子に接続されていること。
・ 接地が確実に行われていること。
・ 検出器と変換器は正しい組合せで接続されていること。
2) 電源電圧が仕様と合っていること。
3) 検出器の取付・接続継手ネジ部のロックナットが確実に締められていること。
・流れ方向と流れ表示矢印が一致していること。
注記
３．１．２ 検出器通水検出器測定管路内を満水状態にして、流体を静止させて下さい。
この際、バルブにリークがなく、完全に流体が静止していることを確認して下さい。
また、気泡の発生や、溜まり部がないことも確認して下さい。
気泡が溜まっている場合は、しばらくブローして、完全に気泡を除去して下さい。

３．２ 運転３．２．１ 通電
1) 変換器に通電して下さい。
2) 規定の性能を満足させるため、通電後約15分間ウォームアップして下さい。
３．２．２ 運転
1) 流体を流し運転を開始して下さい。
2) 流量出力信号が、正方向の流れにもかかわらず増加しない場合は流れ方向が逆になっています。（逆流しています。）
3) 検出器の取付方向と、流れ方向マーク、流れ方向が一致していることを再確認して下さい。
注記
３．２．３ ゼロ点調整
配管内の気泡が抜けるまで充分に通水して下さい。
二次側バルブを閉じてから一次側バルブを閉じ、検出器内を完全に満水の静止状態にして下さい。
次にパネル面のZERO ADJスイッチを2秒以上押してZERO点調整を開始して下さい。
ZERO点調整時間は、約10秒間です。終了すると自動的に測定モードに戻ります。
（ZERO点調整中は、AGC/ZEROのLEDランプが1秒間隔で点滅します）。
ゼロ点調整後、出力が0%になっている事を確認して下さい。
大きくずれている場合は、もう一度通水からやり直して下さい。
ローカットオフ機能を使用している場合は、設定値以下マイナス側がすべて0%になりますのでご注意下さい。

9

４．パラメータ設定
４．１ パラメータの内容
パラメータ

内容

説明

Detector size

口径

接続検出器の口径（タイプ）K Factor

K ファクター

検出器固有の定数（偏差補正係数）
検出器銘板にも記入されています。

Flow rate unit

流量単位

フルスケール流量の流量単位設定値

Full-scale

フルスケール

フルスケール流量の設置数値

Viscosity Function

動粘度設定

Kinematic Viscosity

動粘度設定値

流体に応じた動粘度を設定して、出力を自動的にリ
ニアライズします。
出荷時は仕様流体の動粘度を設定しています。

Time constant

時定数

出力応答性を変化させる設定値。
（例：1s の場合は、出力上昇において設定流量の 63％に約 1 秒間で到達します）

Low cut off

ローカットオフ

0.0%～1.0%F.S.および 1～25%F.S.の範囲で設定。
流量が設定値以下になった場合は、流量出力をゼロとします。

Burnout

バーンアウトFault 時（出力異常時）の、アナログ出力設定。
設定値に対して上限アラームが ON から OFF に復帰する値。
設定値は 0％固定
設定値に対して下限アラームが ON から OFF に復帰する値。
設定値は 0％固定

Hi Hysteresis

ハイヒステリシス

Lo Histeresis

ローヒステリシス

AL1
AL2

アラーム出力

P.Out

接点出力

周波数出力（0-1kHz）、Fault 出力の設定および AB
接点の設定

Device Setting

通信設定

後述参照下さい（５．通信関連）

Linearize Function
Linearize Point
Current output type

アラーム設定＝上下限、設定値＝**％F.S.
A、B 接点（NO、NC）の設定

手動
リニアライザリニアライズ
点数

手動でリニアライザを設定します（オプション）
出荷時設定は無効です。

出力タイプ

アナログ出力設定です。
出荷時設定は 4-20mA です。
（0-10V：オプション）

10４．2 パラメータ設定例

SFC-900 パラメータリスト[PARAMETER SETTING DATA]
2009/*/*

日付

工 番 [MFG.No.]

F08-XXXXX-XX

計器番号[TAG.No.]

Device Setting
STI

0ms

Mode

RTU

Baurd Rate

57.6kbps

Parity bit

Even

Stop bit1

流体名[FLUID]

XXX

フルスケール流量[FULL SCALE]

300mL/min

SER.No.(DETECTOR)

0406XXXXXXSER.No.(CONVERTER)

06XXXXXXXXSETTING PARAMETERFACTORYSETTINGSETTINGPARAMETER

FACTORY SETTING

Detector size

4mm

Linearize Function

Non

K Factor

0.942

Linearize Point---

Flow rate unit

mL/minYes

Full-scale

300

Time constant

0.1s

Viscosity Function
Kinematic
Viscosity
Current output
type

Low cut off

2.0%F.S.

Burnout

hold

Hi Hysteresis0%

Lo Hysteresis

0%

ALM1

ALM2

P.out

High/Low

High

%F.S.

100%F.S.

contact typeNC

High/Low

Low

%F.S.

10%F.S.

contact typeNC

Frequency/Fault

Fault

contact type

NC

11

0.990
4-20mA

５．通信関連
SFC-900は通信により流量モニタおよび設定変更する事が出来ます。
詳細は『SFC-900 通信仕様書』を参照してください。
５．１ モードとバイト構成
プロトコルは RS485/MODBUS です。
伝送モード
RTU
スタートビット1
データ長
8
Even（偶数）/odd（奇数）パリティ/No parity（なし）1ストップビット（no parity の時は 1、2 選択）
５．２ 必要な設定パラメータ
1) 通信速度57.6kbps、38.4kbps、19.2kbps
2) 伝送モード
RTU MODE
3) パリティ
偶数、奇数､なし
4) ストップビット
1 または 2５．３ 設定方法
SFC-900 の通信パラメータ設定は、変換器側のみで設定可能です｡（ローカル設定）
設定時には、アドレス SW を変更後に ZERO 調整ボタンを 2 秒以上押下して下さい。
入力完了で、3 つの LED ランプが 1Hz 間隔で 5 秒間点滅します。
1) 通信速度アドレス SW50
51
52
以下 未定義内容
57.6 kbps
38.4 kbps
19.2 kbps－

アドレス SW60
以下 未定義内容
RTU―

2) 伝送モード

3) パリティおよびストップビット
アドレス SW70
71
72
73
以下 未定義内容
偶数（ストップビット 1）
奇数（ストップビット 1）
なし（ストップビット 2）なし（ストップビット 1）－
124) サイレントインターバル Sit の設定
アドレス SW
80
81
82
83
84
85
86
以下 未定義5) 通信設定値のデフォルト化
アドレス SW90
以下 未定義

内容
0 ms
5 ms
10 ms
20 ms
30 ms
40 ms
50 ms
－

内容
デフォルト化－
アドレス SW
50
60
70
80

デフォルト値
57.6kbps
ボーレート
RTU
伝送モード
パリティ
偶数
Sit
0 ms

５．４ 設定の確認
アドレス SW を設定済み番号に設定すると 3 つの LED ランプが点灯をします。
#50、60、70、80 番台のみこの機能は有効です。
通信の設定中および確認中は、マスターからの問合せに対し無応答となります｡
また通信出力以外の出力（アナログ、オープンコレクタ）は直前値ホールドとなります。

６．日常点検注記

超音波流量計は可動部や消耗部品がなく、ほとんどメンテナンスフリーでご使用いただけま
すが、長期に渡って安定してご使用いただくために以下の日常点検を実施することをお奨め
します。
６．１

チューブ継手、接続部の点検
・ 液漏れ、浸透はないか。
・ ナットの緩みはないか。
テフロンの性質により一度締め付けても時間が経つと緩むことがあるので、定期的に増締めして下さい。

６．２

接続配管の点検・ 配管に曲がりが生じて検出部に過大な応力が加わっていないか。
・ 配管振動は大きくないか。

６．３

防水性の点検検出器ケーブル接続口のシールは完全か。

６．４

検出器の点検継手接続部および測定管内に異物または、気泡溜まりがないか、目視により確認する

13

７．トラブル一覧
超音波流量計のトラブルは、配線や取付など設置に起因するもの、計器自体の故障など、さまざまな原因が考えられます。
原因探索にはトラブルの現象を正確に把握し、それぞれに応じた対応を取ることが近道です。
７．１

1

LED 表示について
LED 表示状態および想定される原因、対応方法

ERROR ランプ（赤色）

受信信号異常時に点灯します。
・ケーブルが断線または外れていないか確認して下さい。
・管路内が満水であるか、または気泡が混入してないかを確認して下さい。
ZERO 点調整時に点滅します。
・ZERO 点調整が終了しない場合は点滅したままになります。

2

AGC/ZERO ランプ（赤色）3

ALARM ランプ（赤色）７．２ZERO 点調整失敗時に点灯したままになります。
・完全に満水で流体が停止していることを確認し、再度 ZERO
点調整を行って下さい。
上限または下限警報が動作すると点灯します。
・流量を警報設定範囲外になるように調整して下さい。

測定異常時の出力状態図

P-OUT

HIGH
ALARM

LOW
ALARM

通信流量
出力

A-OUT

ERROR
LED

ALARM
LED

ON
※1

OFF

ON

0mL/min

直前値ホールド※2ONON※1：Fault 出力選択時のみ※2：0mA、3.2mA、21.6mA、22.0mA 選択可能・・・オプション
７．３

トラブルシューティング
ここでは、一般的に考えられるトラブル現象別に、トラブルシューティングフローを記載しています。
トラブル現象を確認し、対応する項目を参照して下さい。

トラブルの現象参照するトラブルシューティング項目

1

LED 表示が正常でない

2

全 LED 表示が薄く点滅を繰り返している

3

ゼロ点調整が終わらない

B：ゼロ点調整がうまくいかない時

4

流体を流しても出力がゼロのままである

C：流体を流しても出力が出ない時

5

ゼロ点が不安定

6

ゼロ点で出力が出る、振り切れる

7

流体を流すと出力が不安定

8実流と出力が合わない

9

流体を流すと出力が振り切れる

A：LED 表示が正常でない時

D：ゼロ点が不安定な時
E：出力が不安定な時
F：実流と出力が合わない時

14

A：LED 表示が正常でない時※1 検出器を接続していない時、および接続時でも満水ではない場合に ERROR LED が消灯している。
※2 検出器を接続し、満水時に ERROR LED が点灯している。

START A

電源が正しく供給されているか調べる

電源接続・電圧は正しいか
電源電圧は規定範囲内かNo

電源を正しく入れる
正しく供給する。

Yes
組合せは正しいか
検出器口径と変換器設定は合っているかNo
組合せを正しくする。

Yes
全 LED が薄く点滅をしているYes

No
電源を一度切り、10秒以上待ってから再投入する

No正常に復帰したか
Yes
基板の故障が
考えられる

END

サービスへ

15

B：ゼロ点調整がうまくいかない時
START B

電源投入

ゼロ点調整がうまくいかない。

AGC/ZERO LED
は？

点灯

検出器が外れているか

点滅したままNo

検出器に気泡が混入しているか
Yes

Yes

検出器を正しく接続
30 秒以内に正常状態
になるか

No

検出器内の気泡を除去
30 秒以内にERROR LED は消えるか

No

検出器の
上側センサ隔壁に気泡が付着しているか

Yes

No

Yes
Yes
ゼロ点調整を実施

電源をいったん切
り 10 秒以上待ってから再投入する

START B へ

END

16

C：流体を流しても出力しない時
START C

電流出力(DC4-20mA)のチェック

受信計器の結線を外し、出力端子に直接電流計を接続する

電流出力は出るか
No

Yes

・配線断絶
・受信計器異常・入出力仕様のミスマッチ
パルス出力は出るか
ループチェックを行う

受信計器の結線を外し、出力端子にパルスカウン
タを接続する

出力回路故障

サービスへ

流れ方向は
合っているか

No

No

Yes

パルス出力は出るかNo

流れ方向を正しくする

Yes
検出器と変換器の組合せは合っているかNo

正しい組合せにする
No

Yes

配管内に液は充満しているかNo

液が充満して流れるよう
センサの設置位置を変更する

Yes
出力回路故障Yes

ゼロ点は合っているか

流れ方向および
パルス出力関係の設定データは正しいかNo

流れを止め、
正しくゼロ調整を行う

Yes
1

17

1

BNC コネクタの接続は確かかYes

コネクタを正しく接続し直す

No異物が付着しているか

Yes

異物を取り除く

No

検出部の点検をする

検出部は正常かYes

原因が特定できない時はサービスまでご連絡ください

No

電源をいったん切り、10 秒以上待って再投入してください。
その後 START からやり直してください。

18

D：ゼロ点が不安定な時
START D

測定管内は完全に液で充満されているかNo

完全に充満するよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい。
上→下または水平配管の場合は要注意

Yes

バルブに
漏れがあるかYes

バルブの交換等を行い、漏れを止めるNo

ポンプ等による
圧力変動や振動はあるか
No

Yes

センサの下流側だけでなく上流側のバルブも閉め、液を完全に制止させる（特に小口径形の場合）

Yes

フラッシング等により気泡を抜く
脱泡装置を取り付ける

Yes

誘導ノイズの影響がないか調べる
配線のシールド、隔離を行う

No

液に気泡が
含まれているかNo

ポンプ・モータ・変圧器などの動力機器があるかNo

1
BNC コネクタの接続は確かかYes

コネクタを正しく接続し直す

No異物が付着しているか

Yes

異物を取り除く

No

検出部の点検をする

検出部は正常かYes

原因が特定できない時はサービスまでご連絡ください

No

電源をいったん切り、10 秒以上待って再投入してください。
その後 START からやり直して
ください。

19

E：出力が不安定な時
START E

ゼロ点の出力は安定しているかNo

ゼロ点でも、流体を流しても指示が不安定な時は、最初に「D：ゼロ点が不安定な時」を参照して原因を調べる

No

完全に充満するよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい。
上→下または水平配管の場合は要注意

Yes

脈動をなくす脈動の影響のない場所に移設する応答性を要求しなければ、時定数を大きくする

Yes

測定管内を液が完全に充満して流れているか
Yes

流れに脈動があるか
No

Yes

液に気泡が
含まれているか

上流側に脱泡装置を取り付けるNo

スラリーが多量に混入しているかYes

時定数（応答）を大きく設定する（要返却・・・サービスにご相談ください）Yes

キャビテーションにより指示が不安定になる場合がある
バルブを全開で使用するか、バルブの下流側に移設する

Yes

粘度、密度が不均一になると指示が不安定となるので上流側での異種液の注入は避け、下流側で行う混合の場合は充分攪拌する

No

アース端子から第 3 種接地(接地抵抗 100以下)を確実に行う

No

上流側に全開できない
バルブが設置されているかNo上流側で液の混合や異種液の注入を行っているかNo

接地は完全かYes

1

C：流体を流しても指示が出ない時を参照

20

F：実流と出力が合わない時
START F

Yes

流量出力は
正しいか

Yes

電流出力(DC4-20mA)
は正しいか

パルス出力は正しいか
No

No

No
流れを止めゼロ点のチェックをする

流量レンジの設定は正しいかNo「C：流体を流しても指示が出ない時」を参照して出力関係のチェックを行う

Yes
流量レンジより流量を低くする

ゼロ点は合っているかNo

流体を満液状態で完全に静止させ、ゼロ調整を行う

Yes
測定条件が
仕様と合っているかNo

パラメータシート記載の配管径、流量レンジなどの仕様を確認する

Yes
接地は完全かNo

アース端子から第 3 種接地(接地抵抗 100以下)を確実に行う

No

完全に充満するよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい。
上→下または水平配管の場合は要注意

Yes

混入した気泡の体積分、指示は大きめとなる
上流側に脱泡装置を取り付ける

Yes
測定管内を液が完全に充満して流れているか
Yes
液に気泡が
含まれているかNo
測定流体が仕様と合っているかNo

流体仕様を確認する

Yes
流れに脈動があるか

Yes

脈動周期が短いと指示が低めになる場合がある
脈動をなくす脈動の影響のない場所に移設する

No

1

C：流体を流しても指示が出ない時を参照

21

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