VF-3000渦式フローセンサ

IM-F2466-J00

取扱説明書

初版 2024 01 E

このたびは弊社製品をご採用いただきありがとうございます。
本書は VF-3000 渦式フロ－センサの設置・運転方法などについて説明しています。
本書をよくお読みの上、正しくご使用ください。
また、本書はお読みいただいた後も大切に保管してください。
・本書に記載されている内容は、予告なく変更される場合があります。あらかじめご了承ください。

1. 製品の確認

3. 概 要VF-3000 は弊社にて充分な検査を行い出荷されています。本器がお手元に届きましたら、次の点を確認してください。
1) 外観をチェックして、損傷のないことを確認してください。
2) ケース上面の銘板に形式等が記載されています。ご注文通りの仕様であることを確認してください。

VF-3000 フローセンサは、コストパフォーマンスに優れた超純水用渦式フローセンサです。
シンプル＆クリーンな構造で、半導体製造プロセスの超純水、水等の流量管理に最適です。

2. 保管上の注意
1) 保管に際しては弊社出荷時の梱包状態のまま保管してください。
2) 保管場所は下記の条件を満足する場所を選定してください。
・温度が 0～50℃、湿度が 90%RH 以下の場所
常温・常湿（25℃、65%RH 程度）の場所に保管することを推奨します。
・雨や水のかからない場所
・振動や衝撃の少ないところ■ 特 長
 シンプルな構造で低圧力損失
流路には台形断面を有する渦発生体と渦検出体があるだ
けのシンプルな構造で、低圧力損失です。
 クリーン構造
ボディには New PFA(420HP-J)を採用。
液溜まりも極めて少ない構造となっています。
 高信頼の流量検出方式実績のあるカルマン渦式を採用。可動部がなく、定期的な保守点検は必要ありません。
 超小形･軽量
従来の流量計の概念を打ち破る超小形･軽量設計のフローセンサです。
 ローコストフローセンサとしての位置付けにふさわしい低価格を実現しました。
 表示付タイプをラインアップ
3 桁 LED による瞬時流量表示、電流出力に加え、2 点独立設定可能な警報出力を装備しています。
 CE マーキング付
欧州 EMC 指令に適合しています。

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■ 測定原理
流れの中に渦発生体を置くと、下流両側に、流速に比例したカルマン渦が交互に規則正しく発生します。
VF-3000 では交互に発生したカルマン渦により圧電素子が受ける電荷量の変化を周波数として測定し、流量に比例した流量信号に変換して出力します。

7) 安定した測定のため、流量調節バルブはフローセンサの下流側に設置してください。測定時の最小圧力は 50kPaを目安としてください。
8) 流体圧力は、下図の範囲で使用してください。

 流体圧力範囲

渦発生体
渦検出体

(MPa)

使用範囲

カルマン渦

流体圧力

0.5

圧電素子

0.36

4. 設 置
4.1 設置上の注意事項
1) 周囲温度 0～50℃の環境に設置してください。
表示器付タイプ(VF-303□)の場合は、流体温度による周囲温度の制限があります。下図の範囲で使用してください。

0904.2 配管取り付け

 流体温度－周囲温度範囲

4.2.1 注意事項

（VF-303□：表示器付タイプにのみ適用）

1) 樹脂製品のため、いずれの取り付け方法の場合も本体部にストレスの加わらないように接続してください。
2) 精度維持のため、以下に示す直管長さを確保してください。

90
使用範囲
流体温度 (℃)

40
流体温度(℃)

直管長さ (mm)形 式
30
VF-300VF-301VF-302VF-3030025

50

VF-305

周囲温度 (℃)2) 樹脂製品のため、直射日光、紫外線や輻射熱を受ける場所への設置は避けてください。やむをえず設置する場合は十分な遮光、断熱処置を行ってください。

上流側
エルボ
仕切弁
ティー
拡大管
50240

80400

180500下流側-不要

504.2.2 取り付け
1) チューブエンドタイプの場合
チューブサイズはインチ系を標準としています。チュー
ブフィティングの取り付けは使用する各フィティングメーカの施工基準に沿って実施してください。

3) 本器は IP64（JIS C0920 防まつ構造）に適合していますが、屋内設置を推奨します。雨や水は避けてください。
4) 腐食性ガス雰囲気に設置しないでください。

注意5) 本器に薬液がかからないようにしてください。

施工の際はボディおよびチューブに過大な曲げ、ねじり応力が加わらないよう注意してください。
また、ヒーティング加工を伴う場合はボディ部分を加熱させないように注意してください。

6) 振動および衝撃の少ない場所に設置してください。
7) 電磁気的ノイズの発生源の近くでは誤作動の恐れがあります。離して設置するか、磁気シールドを設けてください。
8) 必ず満液となる場所に設置してください。本器の流れ方
向は PFA の半透明のボディ側面に浮き出し矢印で示しています。確認し、配管の流れ方向に合わせて設置してください。

形 式

VF-300VF-301VF-302VF-303（水平・垂直など配管の向きに制限はありません）
9) 気泡等の混入が懸念される場合で特に低流速域まで計測される場合は、垂直配管（下→上）を推奨します。水平の場合、配管部に気泡が滞留し測定誤差を生じる場合があります。

VF-3052接続
チューブサイズ

寸 法 (mm）
外 径

内 径

3/8"

9.53

6.353/4"

19.05

15.91"

25.422.2

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2) 継手タイプの場合
フローセンサ側にはフィティングのオネジ側が接続されています。上下流配管には付属の(袋)ナットおよびフェルールを装着して使用してください。
締め付けの際はフィティングの根元に過大なねじり応力が加わらないよう、オネジの裏側にスパナをかけて(袋)ナットの締め込みを行ってください。
（フィッテイングメーカから専用治具が販売されています。不明点はお問い合わせください。）

負荷抵抗範囲 （電流出力形）(Ω)
600

負荷抵抗作動範囲

300

250
215

5. 結 線
ケーブルの端末を、電源および受信計器に接続してください。
010.8 12電源電圧 電流出力形 ［VF-301］

24 26.4 (V DC)[茶]6. 運 転+[黒]+DC4-20mA

-[青]

負荷抵抗-

1) 接続配管に漏れがないことを確認した後に、バルブを徐々に開けて流体を導いてください。
2) 初期状態では配管中の空気が残留し、指示が安定しない場合があります。バルブの開閉を繰り返してエアー抜きを十分に行ってください。
3) 運転開始後しばらくの間、(袋)ナットの緩みがないか確認してください。緩みがある場合は適切に増し締めを行ってください。

DC10.8～26.4V[シールド線]※電流出力の負荷抵抗については、「負荷抵抗範囲」図を参照してください。

注意 パルス出力形 ［VF-302］

機器の破損を避けるため、急激な圧力上昇、流量増加を行わないでください。

[茶]+[黒]+-DC10.8～26.4V

パルス出力[青]7. 警報設定-表示・電流出力形（VF-303□）は独立設定可能な警報出力を2 点装備しています。

[シールド線]※パルス出力（オープンコレクタ）の負荷定格は、警報出力動作時は表示パネルのインジケータ(LED)が点灯します。

DC30V / 10mA 以下です。定格を越えないよう注意してください。

 表示・電流出力形 ［VF-303］・AL1：警報出力１・AL2：警報出力２[茶]

流量表示
警報表示

[白]

+
[灰]

AL1++
[黒]
DC4-20mA+[青]

-

負荷抵抗

警報出力
(1)

-

警報出力
(2)

AL2

DC10.8- ～26.4V-[シールド線]※電流出力の負荷抵抗については、

SET キー

操作キー「負荷抵抗範囲」図を参照してください。

警報の設定は次頁を参照して行ってください。

3

IM-F2466-J00 警報設定方法
測定値表示

VORTEX FLOW SENSORVORTEX FLOW SENSOR

AL1AL1

AL2

SETキーを3秒間以上押す

AL2

L/minSETL/min

SET

AL1極性設定VORTEX FLOW SENSORVORTEX FLOW SENSOR

AL1

AL1

AL2

AL2L/minSET▼または▲キーを押してAL1の警報動作極性を選択する

AL2

SET

AL1 警報動作極性の設定

VORTEX FLOW SENSOR
AL1

SETキーを押す

L/min

1-P：流量が設定値以上で ON

L/min

1-n：流量が設定値以下で ON
SET

1-F：常時 OFF （警報非動作）

AL1警報点設定▼または▲キーを押してAL1の警報点を設定する

VORTEX FLOW SENSORVORTEX FLOW SENSOR

AL1

AL1

AL2

AL2

L/min

SET

SETキーを押す

L/min

SET（設定例）

AL2極性設定VORTEX FLOW SENSOR
AL1

AL2 についても同様に操作して設定する

AL2▼または▲キーを押してAL2の警報動作極性を選択する

L/min

SET

SETキーを押す

VORTEX FLOW SENSORVORTEX FLOW SENSOR

AL1

AL1AL2L/min

SET

AL2L/minSET

AL2警報点設定▼または▲キーを押してAL2の警報点を設定する

VORTEX FLOW SENSOR
AL1AL2L/min

AL2 警報動作極性の設定
2-P：流量が設定値以上で ON
2-n：流量が設定値以下で ON

SETキーを押す

SET

2-F：常時 OFF （警報非動作）

設定完了

測定値表示

4

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8. 標準仕様
プロセス接続：PFA チューブエンド〔標準〕
または FLARETECKPILLAR
FINALLOCK
Flowell
材 質 ：測定流体 ：超純水、水
精 度：± 3% F.S.
（表示付加精度；± 1 digit）

再現性
流体圧力
流体温度
周囲温度

：± 0.5% F.S.
：0～0.5 MPa〔流体圧力範囲図参照〕：0～90 °C
：0～50 °C

部品名

（表示・電流出力形 VF-303□は流体温度-周囲温度
範囲図を参照）

接液部

周囲湿度 ：5～90 %RH

渦検出体
O リング *流量レンジ：
形 式
VF-300VF-301VF-302VF-303VF-305

材 質

ボディ
チューブ

New PFA (420HP-J)
New PFA (450HP)
圧電素子(New PFA 420HP-J でモールド)
パーフロロ エラストマー (PF)

ポリブチレンテレフタレート樹脂(PBT)
ケーブルシース
耐熱･耐寒性 PVC* O リングなしの場合はセンサ部 PFA 溶接構造

流量レンジ（水の場合）
L/min
0.3 – 2.5
0.5 – 42 – 164 – 4015 – 150

カバー

質 量 ：

電源電圧 ：DC10.8～26.4V
消費電力 ：1W（電流出力形）
0.5W（パルス出力形）
2W（表示・電流出力形）
表 示（VF-303□形）：
瞬時流量表示；3 桁 LED
流量警報；LED 2 個（警報 1 / 警報 2）
表示分解能 ：VF-3030, VF-3031；0.01 L/min
VF-3032, VF-3033；0.1 L/min
VF-3035；1L/min
出 力：
VF-301□；電流出力(DC4-20mA)
VF-302□；パルス出力
VF-303□；電流出力(DC4-20mA)および警報出力（2 点独立）
・DC4-20mA（3 線式）
負荷抵抗 0～250Ω（DC12V 時）
250～600Ω（DC24V 時）〔負荷抵抗範囲図参照〕
・パルス出力（アンスケールド・パルス）
オープンコレクタ、Max. 10mA / DC30V
デューティ；約 50%
フルスケール周波数
VF-3020；750 Hz
VF-3021；867 Hz
VF-3022；860 Hz
VF-3023；596 Hz
VF-3025；900 Hz
・警報出力（2 点独立設定）
オープンコレクタ、Max. 80mA / DC30V
ヒステリシス幅；表示分解能と同じ
時定数：1 s (63%応答)ケーブル ：VF-301□、VF-302□；
3 心一括シールド 0.2mm2 (AWG.24)、3m
外径 3.5mm （端末予備ハンダ処理）
VF-303□；5 心一括シールド 0.2mm2 (AWG.24)、3m
外径 4.5mm （端末予備ハンダ処理）
構 造：IP64（JIS C0920 防まつ形）

形 式

本体

ケーブル

VF-301 / VF-302

80～220g *75 g

100～240 g *90 g

VF-303

* 継手の種類による

9. 構 造（VF-301□ / VF-302□) 
品番FLOW

名 称

1

ボディ

2

チューブ

3

渦発生体（ボディと一体成型）

4

渦検出体

5

O リング *

6

カバー

7

信号処理基板

8

ケーブル

9

断熱材

* O リングなしの場合はセンサ部 PFA 溶接構造

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10. 形式コード
VF - 30-12出 力

301235流量レンジ／接続口径-P-0O リング材質

01234567プロセス接続

1流量単位内容
電流出力：DC4-20 mA
パルス出力：オープンコレクタ(アンスケールド・パルス)表示器：流量表示（3 桁 LED）
、 警報表示（LED 点灯×2）
電流出力：DC4-20mA 警報出力：オープンコレクタ（2 点独立設定）
0.3 – 2.5 L/min ／ 3/8"
0.5 – 4 L/min ／ 3/8"
2 – 16 L/min ／ 3/4"
4 – 40 L/min ／ 3/4"
15 – 150 L/min ／ 1"
パーフロロ エラストマー (PF)[VF-30□2 , VF-30□3]
Ｏリングなし（センサ部溶接構造）[VF-30□0 , VF-30□1 , VF-30□5]PFA チューブエンド[標準]FLARTECKPILLAR [SUPER TYPE PILLARFITTING]
FINALLOCK
Flowell [ 20 Series Tube Fittings ]Flowell [ 20A Series Tube Fittings ]Flowell [ 60 Series Tube Fittings ]PILLAR [SUPER 300 TYPE PILLARFITTING]
L/min

11. 外形図

単位：mm形 式
VF-30 0VF-30 1
VF-30 2VF-30 3VF-30 5寸 法

接続
チューブサイズ- 0- 1- 2- 3- 4- 5- 6- 7

3/8"
3/8"
3/4"
3/4"
1"

200
200
200
200
250

170
170
185
185
225

160
160
190
190
235

165
165
170
170
210

150
150
165
165
200

150
150
165
165
200

200
200
220
220
255

155
155
185
185
230

L （継手の種類は形式コードによる）

6DdH1h1H2h29.53
9.53
19.05
19.05
25.4

6.35
6.35
15.9
15.9
22.2

52
52
52
53.5
67

39
39
39
40.5
4758
5858
59.5
73

313131
32.5
39IM-F2466-J00

■ サービスネット
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