座標測定機

超高精度CNC三次元測定機

Catalog No.16034(3)その 指 先の 感 性 が 、究 極の 精 度 を生 んだ 。

ミツトヨには 品 質を支える匠 が いる。
匠 が 表 面をなぞるとき、その 卓 越した 感 性 が機 械で は 不 可 能 な 真 直 度を磨き上 げる。
ミツトヨの 技と歴 史を継 承 する、「匠」と呼 ば れるマイスターたちが 限 界 に挑んだ
究 極 の 測 定 機。

いま、世界の基準が変わっていく。

「 LEGEX 匠モデル」
紹介動画はこちらから

1

2

歯車金型
鍛 造 製 品 は 高 度 化、複 雑 化、多 様 化 が 進 み、金 型 に はミクロン単 位 の精 度 が 要 求されます。

LEGEX 匠モデルは圧倒的な高精度測定と様々なアプリケーションの組
み 合わ せ により、超高精度が求められる金型製造に貢 献します。

Gear Mold

Lens Mold
レンズ 金 型
スマートフォンの世界的な普及、SNS 利用者数の増加に伴うモバイル端末搭載カメラの飛躍的な性能向上により、量産小型レンズの性能にもそれに見合う精度と安定性が求められるようになりました。寸法と形状の高精度な把握が必要なレンズ金型の測定でも、LEGEX 匠モデルのポテンシャルが存分に発揮できます。

スキャニング測定により得られた点群データと3D CAD との比較が可能です。CAD サーフェス
上 にカラーマップ 表示をすることで 直感的 に誤差をとらえることができるので、加工工程への素早いフィードバックが行えます。

ゼノー・テック株式会社様ご提供

34

匠でなければ到達できない精度

誤差要因を徹底的に排除した本体ベース

斬新な 設 計、高 い 部 品加工技術、組み立て技術によって完 成され た LEGEX を

超 高 精 度を達 成 するた め、本 体 ベースは 材 質 にこだわり、卓越した 匠 の 技 能で 仕上げた究極の超高精度 CNC 三 次 元 測 定 機

さらに、高 剛 性・高 減 衰 性を徹 底 的 に追 求しました。

それ が「 LEGEX 匠モデル」です。

広範囲を自在にラップし卓越した精度で磨き上げる

測定精度追求に適した鋳鉄を採用

Y 軸ガイドレールとベースの一般的なラップ工程では、ラップ定盤上でワーク本体ベースの構成材には、高い硬性を有しながら大きな靭性を示し、剛性および熱的安定性の更なる向上を図るため、Y 軸レールと本体を擦って研磨するのに対し、LEGEX 匠モデルでは良好な切削性と耐摩耗性を両立するダクタイル鋳鉄 FCD600を採用。

ベースは一体化構造を採用しています。

研磨する範囲が大きいため、固定した躯体の上さらに0.1 mm 以上の巣やピンホール（欠陥）のない製法で作られた鋳にラップ定盤を置いて仕上げます。研磨量は、圧鉄を使用しています。

一体化構造

図1
ベースと一体化した力の掛け具合、使用するラップ材、研磨面の表面

Y 軸ガイドレール性状によって異なります。狙った箇所を狙った量だけ自在に研磨する技術には、経験やノウハウに深く裏打ちされた高い技能が求められます。

ラップ研磨後100100150200250300350400450

A１結果

500550600

A2結果

650700750800

B１結果

850900150200250300350400450

500

550600650700750800

850

900

950 1000 1050 1100 1150

950 1000 1050 1100 1150

B2結果

A１結果

A2結果

B１結果

B2結果

倣い測定の精度を向上させる

0.6

高剛性と高減衰性

ひたすらに直角を追求した組み付けでY 軸駆動の要となるベースガイド面の真直は、加工面の測定と、凸に高精度に仕上げた部品を組み付けるだけでは歪みのない測定空間はなっている部分をめがけたラップを繰り返し、精度を高めていきます。

実現できません。機械組立では不可能な正確さを高める組み付け調

ガイドはベースの左右両側にあり（p6：図1）、それぞれ高さ、傾き、う整作業は、匠の技能によってのみ可能な工程です。

真直を仕上げる

歪みのない測定空間を造りだす

ζ=0.0280.2

本体ベースは、FEM 構造解析を駆使した徹底的な応力分析により高剛-0性化を図り、その結果、テーブル移動によって発生する荷重変動変形-0.2を最小限に押え込み、優れた幾何学的運動精度を確保しています。

-0.4

さらに密閉化構造にすることで剛性を向上させ、かつ構造物の内部に-0.6

鋳物砂を残すことで砂の摩擦を利用して振動を早期に減衰させます。

まっすぐに摺動するように

0.08s

0.4m/s2

ラップ研磨前

0.5

0.6

0.7

0.8

0.9

Time (s)FEM 構造解析シミュレーション

ねりが異なります。テーブルをまっすぐに摺動させるには、互いのガイド面の真直度と平行度、測定テーブル組み付けによるたわみを考慮してラップする匠の技能が必要になります。
Low

5N/mm 2 (MPa)High6

動 的 誤 差 要因を徹 底 的 に排 除する機 構・制御 技術

測定動作の制御改良で測定精度を研ぎ澄ます摺動に伴う、変形、振動、ぶれなどの動的誤差要因の徹底排除、アルゴリズムの改善により、測定時のプローブ移動から停止に至る動

自社開発・製造の超高精度測長ユニットの採用により、世界最高水準の精度を実現しています。

作の切り替えや、プローブ動作に対して測定値を読み込む際のタイミングを三次元座標値の振幅が小さくなるように調整し、測定値取得のノイズ因子を低減しています。

門固定構造による全軸センター

ピッチング・ヨーイング誤差の排除駆動方式を採用

門移動構造では、X ビームとコラムが一体になった門部をコラムで駆各軸の駆動系は各移動部の重心に配置しているため、駆動軸回りの動させるため、移動時にピッチング、ヨーイング誤差が発生します。

慣性モーメントが抑えられ加減速時の構造体変形がほぼありません。

LEGEX 匠モデルは、門固定・テーブル移動構造を採用し、これらの誤また、X 軸ガイドには X 軸ビーム全面にミツトヨ独自の高剛性エア差要因を排除することで、高精度化を図っています。

ベアリングを配置したオリジナル構造を採用し、高速・高加減速駆動を可能にしています。

● X 軸運動と Y 軸運動の独立門固定・テーブル移動構造の採用で、移動する XZ 軸とＹ軸は完全に独立しますので、互いの運動の影響を受けにくくなります。
X
Z

水平に保つ除振装置

オートレベリング空気圧式除振台

超高精度測定では、少しの外部振動でも精度に影響を与えます。

Z軸ラム

LEGEX 匠モデルは、専用高機能オートレベリング空気圧式除振装置を駆動軸標準装備。外部振動を除去し、かつ測定テーブルの移動や測定物によエアベアリング

X

外部振動の制御と本体をる荷重移動を検知し、素早く本体を水平復帰させます。
駆動軸

Z

除振台配置

Y

内部振動対策Y
X 軸ビーム

門移動構造

ベース

門固定・テーブル移動構造

セラミックス – プラズマ溶射ます。

フローティング機構付
ボールねじ構造図

また、ボールねじ軸回りのコニカル運動や、軸に垂直な面における振線膨張係数 “ ≒ゼロ ” の各軸スライド部分に駆動方式は、ボールねじ（X 軸・Y 軸）＋ DC サーボモータを採用していボールねじれ対策として、ナット部にフローティング機構を有する特殊ボールねじ

高精度ガラススケールを採用を採用しています。

パルスジェネレータ

フローティング機構がボールねじの振れを吸収することで、運動精度

線膨張係数0.01×10 −6/ ℃というほとんど熱膨張しない超高精度結晶化ガラススケールと最小分解能1/100 μ m の高性能反射形リニヤエン

Y 軸ガイドレール、X 軸ビームのスライド部分はセラミックス – プラズ

コーダの組み合わせによる、超高精度測長ユニットが搭載されていマ溶射処理され、エアベアリング摺動に最適な表面が形成されています。

ます。

また、このスケールは独自の固定方式によって、取付面との熱膨張率また耐錆性・耐食性にも優れています。の違いによって生じるヒステリシス誤差を最小限に抑えています。

サーボモータへの影響を排除した高速駆動が可能です。
また、振動を抑えた当社独自の高剛性低振動エアベアリングや、各軸フローティング機構案内レールに特殊な振動減衰機構を装備するなど、様々な内部振動対策が施されています。

ガイドブロック

ナット

超高精度結晶化ガラススケール

未踏の境地を確たる精度にする新開発校正器
三次元測定機で超高精度を保証するためには、本体を極限まで追い込むだけでなく、「検査の25∞C

050 100 150 200 250 300 350 400 450 500
位置 (mm)20∞C-1

誤差 (mm)20∞C＜ゼロガラス・特殊固定＞

715∞C

0

誤差 (mm)

015∞C

20∞C-2
20∞C-3＜汎用スケール・通常固定＞

20∞C
025∞C
30∞C

不確かさ」の低減も重要です。

LEGEX 匠モデルでは新開発の長尺ゲージブロック光波干渉計「LGBI Ⅱ」で校正した「低膨張セラミックゲージブロック」で検査することで、従来と比べ約55 % の測定の不確かさの低減を実現。
ミツトヨが所有するこれらの基礎技術に支えられ、世界トップレベルの精度を実現しています。

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
位置 (mm)8

性 能 評 価（量産１号機）

測定例

匠マイスターの技能と各種技術の結集によって高度に安定した測定結果を実現しました。

最大許容長さ測定誤差（E 0,MPE）各方向測定結果
1 回目

2 回目

3 回目

最大許容長さ測定誤差（E 150,MPE）測定結果

規格値

E04

1 回目

2 回目

600

800

3 回目

スクロールコンプレッサー

レンズ金型

ゲージ

スクロールコンプレッサーは、圧縮性能を高1 μ m レベルの高精度が要求されるレンズ金各種ゲージの校正に LEGEX 匠モデルが最適めるために揺動スクロールと固定スクロール型の測定においてはサブミクロンの精度保証です。との隙間管理が重要とされ高精度の輪郭評価

が 可能 な LEGEX 匠 モデ ル の 選定 が 不可欠

ミツトヨは国内のみならず海外拠点でも国家を要求されます。

です。

規格値

E150 -

1.50

1.50

0.23+0.7L/1000

1.00

0.33+0.7L/1000

1.00

0.50

0.50

0.00

0.00

-0.50

-0.50

-1.00

-1.00

-1.50-1.500200400600

800

1000

1200

0200E07

E150 +

1.50

1.50

1.00

1.00

0.50

0.50

0.00

0.00

-0.50

-0.50

-1.00

-1.00

-1.50

400

1000

1200

標準とトレーサブルとなる体制を確立していLEGEX 匠モデルでは、独自のスキャニング技ますので、お使いのゲージもトレーサブルが術により高精度な輪郭評価が可能です。

確立できます。

歯車電極加工用金型-1.500200

400600

800

1000

1200

0200400600

800

1000

1200

リングゲージ倣い測定結果
CW
22. 505135

22. 50445

22. 503
22. 5021800

型彫り放電加工では、機械加工で困難な薄物や長軸物、はすば歯車のような異形状の金型を数μ m 〜 20 μ m 程度で転写することが可能です。

LEGEX 匠モデルは型彫り放電加工機で生成された複雑形状の金型も高精度で測定することがZ

225Y[mm]9315270

できます。
三菱電機株式会社様・株式会社ＭＳＴコーポレーション様・東洋炭素株式会社様ご提供

倍 率 : 18228

10interv iew

機械化・標準化できない卓越した技能で高精度化を牽引し、継承する

匠マイスター

ソフトウェア制度の詳細はこちらからミツトヨ製品の高い測定精度を支える固有技能は 600 以上。大部分は機械化・標準化などで属人性を排除していますが、一部は個人の卓越した技能が必要です。これらは匠の技と位置づけられ、中には機械化が不可能な突出した技能も含まれています。ミツトヨでは、匠の技を「残すべき技能」と「残さざるを得ない技能」の視点で後継者へ継承し、会社や社会貢献を果たす仕組みを制度化しています。

機械では不可能な精度を磨き出すマイスター
黄綬褒章

名匠マイスター

大金 房

匠マイスター

インタビューの
詳細はこちらから

技能名：仕上げ
作業名：高精度ラップ 本社 生産技術開発センタ 製造 1 課 匠係

ラップ加工とは、ラップ工具と仕上げ面の間に研磨剤を入れて擦り合わせることで平面MCOSMOS エムコスモスを仕上げる加工方法であり、その中でも手作業で行うものは「ハンドラップ」と呼ばれています。30年以上にわたって三次元測定機や内製生産設備の開発・組立などに携わっている大金の最も秀でている技能の一つがそのハンドラップです。
機械加工では、発生する熱が仕上げ面に変化を及ぼしてしまうため、要求精度が真直度0.1 μ m になると、それに応えることはできません。三次元測定機の製造においては、高（三次元測定機用データ処理装置）（三次元測定機用自動測定プログラム生成ソフトウェア）

Windows 上で動作する、三次元測定機用の処理プログラムです。オプ

3D CAD モデルに公差情報を付加することで公差情ションソフトウェアのラインナップが豊富で、様々なプローブに対応し報から測定箇所を判断し測定プログラムを自動生ており、あらゆるワークの全自動測定が可能です。

精度になればなるほど、高度かつ熟練したハンドラップの技が必須となります。

MiCAT Planner マイキャットプランナー

成。従来（ティーチング）よりも効率的な測定プログラム作成が可能です。

正確な測定に基づく現状把握。目標値の半分を狙って研磨。測定して現状把握。繰り返

詳細はこちらからし目標値の半分を狙って研磨。経験と手の感覚を頼りに精度を少しずつ着実に高めていくことで、機械では不可能な真直度0.1 μ m の精度を実現します。

LEGEX を世に出し、匠モデルを現実のものとしたマイスター
匠マイスター鈴木 政夫

匠マイスター
インタビューの
詳細はこちらから

技能名：仕上げ作業名： CMM 組立 MC 工場 生産技術部 生産技術 1 課 2 係

1980年の入社以来40年以上にわたって、おもに三次元測定機の試作、量産化に向けた組立性評価・工程設計などに携わってきました。
かつてない最高精度を追求した LEGEX シリーズ開発・量産化プロジェクト（1998年）
メンバーの一人。
「精度で負けない世界一の三次元測定機をお客様に供給したい一心で、新規開発評価、リニューアル、特注品の組立業務にあたっています。その中で発生する多くの課題を一つひとつ解決することで、知見を深め、技を磨いてきました」と振り返ります。
初項1 μ m を切ること自体が難しい領域で、初項0.3 μ m 以下という異次元の数字を出し、LEGEX はこれまでもミツトヨの最高精度を誇ってきました。この従来の LEGEX を超えるべく、人による技能の限界に挑んだ「LEGEX 匠開発プロジェクト」。メカ精度を極限まで追い込んだ究極の1台を作り上げるこのプロジェクトを通じて培った経験と技術によって、LEGEX 匠モデルが生み出されました。

11

GEARPAK Express ギヤパックエクスプレス（三次元測定機用 歯車計測・評価用ソフトウェア）
入力した歯車諸元から3D モデルが作成されるため、想定した通りに測定されるかを視覚的にわかりやすく確認できます。
また、自動プログラム生成と測定ガイダンス表示により、どなたでも直観的にギヤ計測を行うことが可能です。

12

本体仕様

ロータリーテーブル

測定範囲

三次元測定機の動きとロータリーテーブルの案内方式

ローブ姿勢で測定していた物でも、少ない姿勢駆動速度回転の動きを同期させることで、従来複数のプで短時間且つ高精度で測定することができまに最適です。

本体寸法［mm ］ 幅

MRT240

MRT320327470250400

高さ105150

テーブル直径［mm ］

240320

本体質量［kg］※

20120

許容ワーク質量［kg］

40

100

± 0.7"± 0.7"

69

精度

割出し精度

最大駆動速度［rpm ］

700 mm

600 mm

鋳鉄

550 mm × 750 mm
250 kg
3500 kg

750 mm × 750 mm
M8 × 1.25

700 mm

500 kg

記号

規格

E 0,MPE

長さ測定誤差E 150,MPE

繰り返し精度R 0,MPL

球面スキャニング形状誤差

P Form.Sph.Scan:PP:Tact,MPE

スキャニング検査時間

τ Sph.Scan:PP:Tact,MPL

シングルスタイラス形状誤差

P Form.Sph.1×25:SS:Tact,MPE

ISO 10360-2:2009
JIS B 7440-2:2013
ISO 10360-2:2009
JIS B 7440-2:2013
ISO 10360-2:2009
JIS B 7440-2:2013
ISO 10360-5:2020
JIS B 7440-5:2022
ISO 10360-5:2020
JIS B 7440-5:2022
ISO 10360-5:2020
JIS B 7440-5:2022

950 mm × 1050 mm
850 mm

800 kg6500 kg

5000 kg
5100 kg
AC100 〜 120/200 〜 240 V ± 10 %（50 ･ 60 Hz）
最大 1.5 kW
0.5 MPa（5 kgf/cm 2）（標準状態において）120 L/min（空気源としては 160 L/min 以下）
10 〜 30 ℃

精度保証温度環境

単位：μ m
名称

LEGEX9106
900 mm1000 mm

0.00001 mm

精度仕様

※本体のみ

LEGEX776
700 mm

各軸ともエアベアリング
Moving Speed ：各軸最大 120 mm/s（最大合成速度： 200 mm/s）
Measuring Speed 1 〜 3 mm/s
Moving Speed ：各軸最大 120 mm/s（最大合成速度： 200 mm/s）
Measuring Speed 1 〜 3 mm/s
Moving Speed 0 〜 80 mm/s
Measuring Speed 0 〜 3 mm/s
Fine Speed 0 〜 0.01 mm/s
各軸 0.588 m/s²（最大合成加速度 0.98 m/s²）
リニアエンコーダ

CNC モード（キーセレクタスイッチ： AUTO）
CNC モード（キーセレクタスイッチ： MANUAL ）材質
測定テーブル
大きさ（載物面）
測定物固定方法
最大高さ
測定物
最大質量
機械の質量（除振台・コントローラ含む / ワーク含まず）
電源電圧
電源条件
消費電力（プローブ、PC は含まない）
使用空気圧
空気使用条件
空気消費量
動作保証温度仕様

LEGEX774
450 mm

駆動加速度
測長方式
最小表示量

フト、インペラー、ブリスク、円筒カム）の測定

奥行LEGEX574
500 mmJ/S モード

す。回転体形状のワーク（歯車、ローター、シャ符号

符号XYZ

MPP-310Q

SP25M

0.23 ＋ 0.7L/1000

0.38 ＋ 0.7L/10000.33 ＋ 0.7L/1000

0.48 ＋ 0.7L/1000

0.20

0.38

0.8

1.160sec

60sec

0.350.45

環境温度
温度変化 1 時間あたり
24 時間あたり
温度勾配 水平 / 高さ

19 〜 21 ℃
0.5 ℃
1.0 ℃
1.0 ℃ /m

E 0,MPE, E 150,MPE, R 0,MPL の試験及び評価方法は、ISO 10360-2:2009（JIS B 7440-2:2013）に準拠します。
P Form.Sph.Scan:PP:Tact,MPE,τSph.Scan:PP:Tact,MPL および P Form.Sph.1×25:SS:Tact,MPE の試験及び評価方法は、ISO 10360-5:2020（JIS B 7440-5:2022）に準拠します。
L ＝任意測定長さ（単位： mm）

外観寸法図

単位： mm
符号

LEGEX574 LEGEX774 LEGEX776 LEGEX9106
W（幅）
1470
1670
1870
H（高さ）
2630
2930
3050
D（奥行）
2430
3030
A（支持位置）
445
550
660
B（支持位置）
1390
1410
1795
C
745
895
E
600
720
F
1311
1461

稼働状況

測定機の稼働状況、使用状況が離れた場所からでも監視可能に

稼働率

測定範囲

H

「Condition Monitor」から収集した測定機の稼働状況をクラウFドサーバに記録するサービスです。記録された稼働状況はウェブブラウザ経由でご確認いただけます。各所に設置した

詳細はこちらからコンディションデータの活用■ 設定したしきい値を目安に、部品交換や保守を実施することで、不慮のダウンタイム発生をなくし、必要最低限の稼働停止で運用できます。
■ 測定に必要な稼働時間、各種測定時間の比較ができ、測定計画や時間短縮を検討できます。
■ 環境、本体、ワークの温度をモニタリングし記録されるため、より適切で安定した温度環境下での測定を可能にします。

AAW

13712

稼働状況の監視■ 各測定機の設置場所に移動することなく、稼働状況の確認を行うことが可能です。
■ エラーや異常値が発生した時点で通知され、故障や不具合によるダウンタイムの削減、再計測実行に伴う工程の非効率化を削減します。

プローブ

251

保全など以下の利点があります。

YE

き、記録されたコンディションデータを活用することで、予防C

測定機の稼働状況、使用状況を一括してリモートで監視で測定範囲

Z

X

760

B

570

D

14

座標測定機

画像測定機

形状測定機

光学機器

精密センサ

試験・計測機器

スケールユニット

測定工具、測定基準器、計測システム

仙台営業所
郡山営業所
宇都宮営業所
水戸営業所
伊勢崎営業所
さいたま営業所
新潟営業所
川崎営業所
東京営業所
厚木営業所

仙台市若林区卸町東1-7-30〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884
仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884
宇都宮市平松本町796-1〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248
水戸市元吉田町260-3〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372
伊勢崎市宮子町3463-13〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613
さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610
厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F〒243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404
富士駐在所
電話 (0545)55-1677
諏訪営業所
諏訪市中洲582-2〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市中央区和田町587-1〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683
安城営業所
安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161
大阪営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817
神戸営業所
神戸市西区丸塚1-25-15〒651-2143 電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172
岡山営業所
岡山市北区田中134-107〒700-0951 電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653
広島営業所
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M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。
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