009

光学製品ガイド No.

シングルモードレーザ用

Global Support, Global Solutions.

for Single Mode Laser

ビームシェイパ
Beam Shaper 第5版

非球面ビームシェイパ
Aspheric Beam Shaper

シングルモードビームをフラットトップやリングモードビームへ変換
切断、溶接、穴あけ、パターニングなど幅広いレーザ加工に有効
A single-mode beam is converted into a flattop
beam or a ring-mode beam .
Effective for laser processing such as cutting,welding, drilling, and patterning.

シングルモードビーム

フラットトップビーム

Single-mode Beam

Flattop Beam

対応波長 Compatible Wavelengths
遠赤外（ 10.6μm ）〜深紫外（ 266nm ）Far-Infrared (10.6μm) to Deep-Ultraviolet (266nm)

DOEビームシェイパ
DOE Beam Shaper ［Diffractive Optical Element］

回折現象を利用しフラットトップな矩形やラインビームを形成
矩形形状を利用したパターニングや
ラインビームによるアニーリングに有効
A flattop rectangular/line beam are formed
through the use of the diffraction phenomenon.
This is effective in patterning using a rectangle
shape and annealing with a line beam.

シングルモードビーム

均一矩形ビーム

DOE表面

Single-mode Beam

Uniform Rectangular Beam

DOE Surface

非球面ビームシェイパ Aspheric Beam Shaper
非球面ビームシェイパ原理図 Principle of Geometrical Intensity Mapping with Aspheric Beam Shaper
非球面ビームシェイパ
Aspheric Beam Shaper

周辺ビーム収束
Outer Beam Portion Converges

中央ビーム拡大

シングルモードビーム

フラットトップビーム

Central Beam Portion Diverges

Single Mode Beam

Flattop Beam

非球面ビームシェイパ
Aspheric beam shaper＊ 光線が交差しないので可干渉性の高いレーザに最適。
Optimal for highly coherent laser because the light rays do not intersect.

① 単一素子 Single Element■
非球面ビームシェイパ

像面

Aspheric Beam Shaper

Image Surface

・単一素子にて、フラットトップやリング、
リング+センターモードビームを形成。
・形成されるビームスポットサイズは、
素子にて一意的に決定。

断面プロファイル

均一ビーム ø0.1mm
Uniform Beam

Cross-sectional Profile

波長：1070nm

A flat top beam, a ring-mode beam or a ring + center-mode beam is formed with a single element.
The beam spot size is uniquely determined by the element.

Wavelengthø4.0mm
平行シングル
モードビームワーキング
ディスタンスCollimated Singlemode Beam

150mm

-0.1 0 +0.1

Working Distance(mm)② 集光機能分離型 Non-Focus Unit Type（組み合わせ例）Combination Example ⇒ FL100集光レンズ FL100 Focusing Lens■
非球面ビームシェイパ
ユニット
Aspheric Beam Shaper Unit

均一ビーム ø0.05mm

集光レンズ

像面

Focusing Lens

Image Surface

Uniform Beam・集光レンズと組み合わせて、集光レンズの焦点位置でフラットトップやリング、
リング+センターモードを形成。
・組み合わせる集光レンズの焦点距離により、形成されるビームサイズは変 更可能。

断面プロファイル
Cross-sectional Profile（FL100mm）

波長：532nm
Wavelengthø4.0mm
平行シングル
モードビームIn combination with a focusing lens a flat top beam, a ringmode beam or a ring + center -mode beam is formed at
the focal position of the lens.
The beam spot size can be changed depending on the
focal length of the focusing lens to be combined.

-0.05 0 +0.05(mm)

Collimated Singlemode Beam

シェイプパターン例

入射ビーム径依存性
Incident beam diameter dependency

Shape pattern example

フラットトップ

リングモードリング＋センターモード

a flat top beama ring-mode beama ring + center-mode beam

デフォーカス特性
Defocus characteristics

例：フラットトップタイプ Example: Flat top type
波長：1070nm 入射ビーム径：ø4mm ワーキングディスタンス：150mm
Wave length

設計より小さい入射ビーム径（-10%）

Incident beam diameter smaller than design (-10%)

Incident beam diameter Working distance

設計より大きい入射ビーム径（+10%）
Incident beam diameter larger than design (+10%)

凸状の分布

凹状の分布

Convex distribution

Concave distribution

例：フラットトップタイプ Example: Flat top type
波長：1070nm 入射ビーム径：ø4mm ワーキングディスタンス：150mm
Wave length

Incident beam diameter Working distance

集光点
focal point

1

5
フラットトップ位置（像面）(a.u.)

Intensity

強度

Flat top position (image plane)0ø100μm

Z= -2.0

-1.5

-1.0

-0.5

0

+0.5

2

+1.0

+1.5

+2.0

0
+5.6 (mm)非球面ビームシェイパ Aspheric Beam Shaper③ 2枚組（位相整合付）Set of two lenses (with phase compensation)■
非球面ビームシェイパ

位相整合レンズAspheric Beam Shaper

Phase compensation lens

周辺ビーム収束

ø8mm

Outer Beam Portion Converges

中央ビーム拡大

シングルモードビーム

フラットトップビーム

Central Beam Portion Diverges

Single Mode Beam

非 球 面 ビー ム シ ェイパ で 形 成 し た
フラットトップビームを位相整合レンズ
で コ リメ ート 。（ 拡 が り を 抑 える 。）
マスク結 像 系と組み合 わせることで、均一強度の優れた急峻性を実現。

位相整合後の伝播ビームプロファイル
Propagation beam profile after phase compensation（波長 Wave length：10600nm）

Z

Z= 0mmFlattop Beam

A flat top beam formed by an aspheric beam shaper iscollimated with a phase compensation lens.
(Suppress expansion)
Achieves excellent steepness with uniform strength bycombining with a mask imaging system.

Z= 100mm Z= 200mm

応用例 Application Example ⇒ 結像系 Imaging
均一コリメートビーム ø4.0mm

2枚組
Set of Two Lenses

1/10結像系

Uniform Collimated Beam

1/10 Imaging

非球面ビームシェイパ

位相整合レンズAspheric Beam Shaper

Phase Compensation Lens

像面

均一ビーム
ø0.4mm

断面プロファイル

Image Surface

Uniform Beam

Cross-sectional Profile

波長：532nm
Wavelengthø5.0mm
平行シングル
モードビーム

レンズ間距離Lens Spacing

マスク

150mm

Mask

Collimated Singlemode Beam

-0.2
結像レンズ

0

(mm)

0.2

Imaging Lens

① 単一素子（均一強度分布） 仕様 Single Element (Uniform Intensity Distribution) Specifications
■

仕様番号

波長

Wavelength

Spec. No.
（nm）
AHZ1-17.5-4WD100
10600
AHC1-4-0.1WD150
1064
AHQ1-7.4-0.3WD100（1070）
AHC1-5-5WD100
AHC2-10-0.065WD200
532

入射ビーム径（1/e2） フラットトップサイズ ワーキングディスタンス
Incident Beam Diameter

Flattop Size

Working Distance

ø（mm）

（mm）
4
0.1
0.3
5
0.065

（mm）
100
150
100
100
200

17.5
4
7.4
5
10

寸法（mm）
Diameter

øD

T

50.8
25
25
30
30

7
5
5
5
5

材質は、高出力レーザや短パルスレーザで利用可能な合成石英、CaF2、ZnSeなど。
The material is synthetic quartz, CaF2, ZnSe, etc. that canbe used with high-power lasers and short-pulse lasers.

② 集光機能分離型（均一強度分布） 仕様 Non-Focus Unit Type (Uniform Intensity Distribution) Specifications■

仕様番号Spec. No.

波長

Wavelength

（nm）
1064
（1070）

入射ビーム径（1/e2）フラットトップサイズ（代表例）
Incident Beam Diameter

ø（mm）

AHUC1-10-0.06
10
AHUC1-11-22
11
AHUQ2-5-0.1
5532
AHUQ2-5-0.05
5
AHUC3-15-0.03
15355
AHUC3-3-0.15
3
AHUC4-4-0.04
4
266
AHUC4-6-0.02
6＊1 FL100mm 集光レンズ使用時 ＊2 ホルダー付き
When using FL100mm focusing lens

寸法（mm）
Diameter

Flattop Size (Typical example)
＊1

（mm）
0.06
22
0.1
0.05
0.03
0.15
0.04
0.02

øD

T

25
30
25.4
25.4
44
30＊2
30
20

5
5
7
7
5
10
5
7.2

With holder③ 2枚組（位相整合付） 仕様 Set of two lenses (with phase compensation) Specifications■

仕様番号Spec. No.

AHCZ1-15-15LD170
AHCZ1-8-8LD150
AHCZ9-8-8LD150
AHCZ9-6.5-6.5LD122
AHCC1-5-4LD150
AHCC1-5-5LD150
AHCC2-5-4LD150
AHCC3-5-3LD150

波長

Wavelength

（nm）

10600
9300
（9400）

1064（1070）

532355

入射ビーム径（1/e2） 出射ビームサイズ レンズ間距離
Incident Beam Diameter

Output Beam Size

Lens Spacing

ø（mm）

（mm）

（mm）

15
8
8
6.5
5
5
5
5

15
8
8
6.5
4
5
4
3

170
150
150
122
150
150
150
150

記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
We handle various types of products other than those listed, so please contact us for specific information.

3

寸法（mm）
Diameter

シェイパ 位相整合
ShaperPhase Compensation（øD×T）（øD×T）
50.8×8 50.8×8
30 ×5 30 ×5
30 ×5 30 ×5
30 ×5 30 ×5
30 ×5 30 ×5
30 ×5 30 ×5
50-170（鏡筒外寸）
Dimensions of the lens barrel

30 ×3

30 ×5

2枚組鏡筒付オプション
Option with 2-lens barrel

DOEビームシェイパ

DOE Beam Shaper④ 単一素子 Single Element■
断面プロファイル

矩形ビーム

Rectangular Beam

DOE ビームシェイパ

像面

DOE Beam Shaper

Image Surface

Cross-sectional Profile

均一矩形ビーム 1.0mm × 0.5mm
Uniform Rectangular Beam

波長：532nm

A rectangle flat top beam, is formed with a single element.
The flat top size is uniquely determined by the element.

X-axisWavelength

・単一素子にて、矩形フラットトップビームを形成。
形成されたビームのサイズは、素子にて一意的に決定。

-0.5 0 +0.5 (mm)X

ø2.0mm
平行シングル
モードビームCollimated Singlemode BeamY-axisY

70mm-0.25 0 +0.25 (mm)

⑤ 集光機能分離型 Non-Focus Unit Type（組み合わせ例）Combination Example ⇒ FL100集光レンズ FL100 Focusing Lens■
DOE ビームシェイパ
ユニット
DOE Beam Shaper Unit

断面プロファイル

均一ビーム 0.154mm角

集光レンズ

像面

Focusing Lens

Image Surface

Uniform Beam: 0.154mm Square

Cross-sectional Profile

・集光レンズと組み合わせて、集光レンズの焦点位置で矩形フラットビームを形成。
・組み合わせる集光レンズの焦点距離により、形成されたサイズは変更可能。
In combination with a focusing lens a rectangle flat top
beam is formed at the focal position of the lens.
The flat top size can be changed depending on the focal
length of the focusing lens to be combined.

(FL100mm)

波長：355nm
Wavelength-0.077 0 +0.077

ø3.0mm
平行シングル
モードビーム(mm)

Collimated Singlemode Beam

入射ビーム径依存性

例：単一素子 矩形DOEビームシェイパ
Example : Single Element

入射光軸ズレ依存性

Rectangular DOE Beam Shaper

Incident Beam Diameter Dependency （波長 Wave length：532nm 1.0mm × 0.5mm）

設計より小さい入射ビーム径（-10%）

Incident beam diameter smaller than the design (-10%)

例：単一素子 矩形DOEビームシェイパ
Example : Single Element

Rectangular DOE Beam Shaper

Incident Beam Decenter Dependency （波長 Wave length：532nm 1.0mm × 0.5mm）

矩形長軸方向へ入射位置ずれ

設計より大きい入射ビーム径（+10%）

Incident beam diameter larger than the design (+10%)

Shift of the incident position in the longitudinal direction of the rectangle

凸状の分布

凹状の分布

傾斜状の分布Convex distribution

Concave distribution

Tilted Distribution④ 単一素子 仕様 Single Element Specifications■

仕様番号Spec. No.

DHZ1-20-8.5X4WD600
DHZ9-15-S0.15WD67
DHQ1-10-0.1X0.35WD300
DHQ1-15-S0.15WD500
DHQ2-2-1X0.5WD70
DHQ2-2.5-S0.04WD54
DHQ2-5-S0.2WD350
DHQ3-10-0.1X0.01WD210
DHQ3-3-S0.2WD130
DHQ3-2.5-S0.028WD81
DHQ4-5-S0.25WD220
DHQ4-5-S0.25WD600

波長

Wavelength

（nm）
10600
9300
（9400）
1064（1070）

532

355
266

入射ビーム径（1/e2） フラットトップ形状 ワーキングディスタンス

Spec. No.

波長

Wavelength

（nm）
532

DHUQ2-5-S0.043
DHUQ3-12-0.065X0.021
355
DHUQ3-10-S0.01＊ FL100mm 集光レンズ使用時

Diameter

Working Distance（mm）
8.5 × 4

（mm）
600

øD

T

20

50.8

5

15

0.15 × 0.15

67

50.8

5

10
15
2
2.5
5
10
3
2.5
5
5

0.1 × 0.35
0.15 × 0.15
× 0.5
10.04 × 0.04
0.2 × 0.2
0.1 × 0.01
0.2 × 0.2
0.028 × 0.028
0.25 × 0.25
0.25 × 0.25

300
500
70
54
350
210
130
81
220
600

30
50
50
30
50
50
50
30
50
30

5
5
5
5
5
5
5
5
5
5

ø（mm）

⑤ 集光機能分離型 仕様 Non-Focus Unit Type Specifications■

仕様番号

寸法（mm）

Flattop Shape

Incident Beam Diameter

入射ビーム径（1/e2） フラットトップ形状
Incident Beam Diameter

ø（mm）
5
12
10

寸法（mm）
Diameter

Flattop Shape＊（mm）
0.043×0.043
0.065×0.021
0.01 ×0.01

øD

T

30
60
60

5
27
27

When using FL100mm focusing lens

記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
We handle various types of products other than those listed, so please contact us for specific information.

4

材質は、高出力レーザや短パルスレーザで利用可能な合成石英もしくは、ZnSe。
The material is synthetic quartz or ZnSe that can be usedwith high-power lasers and short-pulse lasers.

DOEビームシェイパ

DOE Beam Shaper⑥ 単一素子（ラインビーム）Single Element (Line Beam)■
ラインビームLine Beam

DOE ビームシェイパ

像面

DOE Beam Shaper

Image Surface

断面プロファイル

均一ラインビーム 4.0mm × 0.1mm
Uniform Line Beam

Cross-sectional Profile

波長：532nm
Wavelengthø3.0mm
平行シングル
モードビーム

-2

0

2

(mm)

Collimated Singlemode Beam

100mm・単一素子にてラインビームを形成。形成されたビームのサイズは素子にて一意的に決定。
・仕様により、集光機能分離型でのラインビーム形成も可能、形成されたビームのサイズは組み合わせる集光レンズにより変化。
・ラインビームの短軸側は、基本、ガウスビーム集光もしくは長焦点深度タイプの集光になります。
A line flat top beam, is formed with a single element. The flat top size is uniquely determined by the element.
Depending on the specifications, it is possible to form a line beam with a non-focus unit type, and the size of the line beam changes depending on the focusing lens to be combined.
Basically, the short axis side of the line beam is Gaussian beam focusing or long focal depth type focusing.

デフォーカス特性
Defocus characteristics

-0.3

-0.2

-0.1

0

Intensity

Intensity

1

-0.4

1

短軸（Y）

Intensity

強度

強度(a.u.)

15μm

0
Z= -0.5

-0.4

-0.3

-0.2

-0.1

0

200μm

0
Z= -0.5+0.1 +0.2 +0.3 +0.4 +0.5 (mm)Short axis

長軸（X）
Long axis

強度

200μm

(a.u.)

0
Z= -0.5(a.u.)

1

長軸（X）
Long axis

強度(a.u.)

短軸長焦点深度タイプ
The short axis side of the line beam is long focal depth type focusing

-0.4

-0.3

-0.2

-0.1

0

+0.1 +0.2 +0.3 +0.4 +0.5 (mm)

短軸（Y）
Short axis

Intensity1

短軸ガウスビーム集光The short axis side of the line beam is Gaussian beam focusing

20μm+0.1 +0.2 +0.3 +0.4 +0.5 (mm)0
Z= -0.5

-0.4

-0.3

-0.2

-0.1

0

+0.1 +0.2 +0.3 +0.4 +0.5 (mm)

波長：532nm 入射ビーム径：ø2.0mm ワーキングディスタンス：43mm
Wave length

Incident beam diameter

Working distance⑥ 単一素子（ラインビーム） 仕様 Single Element (Line Beam) Specifications■

仕様番号Spec. No.

DHWZ1-15-25X0.3WD250
DHWZ1-15-50X0.5WD500
DHWZ1-6.25-10X0.2WD85
DHWZ1-8.75-14X0.14WD85
DHWQ1-5-4X0.027WD100
DHWQ2-24-100X0.1WD2800
DHWQ2-3-0.2X0.04WD75
DHWQ2-2-0.2X0.015WD43
DHWQ2-2-1.28X0.02WD54
DHWQ2-2.3-2.6X0.05WD150
DHWQ3-8-1.5X0.01WD160
DHWQ3-20-10X0.025WD600
DHWQ3-10-4X0.01WD230

波長

Wavelength

（nm）

10600
1064

532

355

入射ビーム径（1/e2） フラットトップ形状 ワーキングディスタンス
Incident Beam Diameter

Flattop ShapeWorking Distance

ø（mm）

（mm）
25 × 0.3
50 × 0.5
10 × 0.2
14 × 0.14
4 × 0.027
100 × 0.1
0.2 × 0.04
0.2 × 0.015
1.28 × 0.02
2.6 × 0.05
1.5 × 0.01
10 × 0.025
4 × 0.01

（mm）
250
500
85
85
100
2800
75
43
54
150
160
600
230

15
15
6.25
8.75
5
24
3
2
2
2.3
8
20
10

記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
We handle various types of products other than those listed, so please contact us for specific information.

5

寸法（mm）
Diameter

øD

T

50.8
50.8
50.8
50.8
30
50
50
30
30
30
30
50
30

5.08
5.08
5.08
5.08
5
5
5
5
5
5
5
5
5

材質は、高出力レーザや短パルスレーザで利用可能な合成石英もしくは、ZnSe。
The material is synthetic quartz or ZnSe that can be usedwith high-power lasers and short-pulse lasers.

DOEビームシェイパ
DOE beam shaperDOEビームシェイパ

DOE Beam Shaper⑦ 長焦点深度（集光機能分離型）タイプ Long Focal Depth (Non-Focus) Type（組み合わせ例）Combination Example ⇒ FL200集光レンズ FL200 Focusing Lens■
長焦点深度
DOE ビームシェイパ

像面Long Focal Depth DOE Beam Shaper

集光レンズ

均一ビーム 0.04mm角

Image Surface

断面プロファイル
Cross-sectional Profile

Uniform Beam: 0.04mm Square

Focusing Lens

波長：532nm(FL200mm)

Wavelengthø5.0mm
平行シングル
モードビーム0.04mmCollimated Singlemode Beam・集光レンズと組み合わせて、焦点位置でのビームのピーク強度を低減し、 長焦点深度を実現。
・組み合わせる集光レンズの焦点距離を変えることで、スポット形状が変化。
・フラットトップ集光のタイプは、円形と正方形の2タイプを用意。

フラットトップ集光スポットプロファイル
Flat top spot profile

In combination with a foucusing lens, the peak intensity of the beam at the focal position is reduced and a long depth of focus is achieved.
The spot shape changes by changing the focal length of the condenser lens to be ombined.
There are two types of flat top spot, circular and square.

デフォーカス特性

円形強度分布正方形強度分布Circular intensity distribution

Square intensity distribution

Defocus characteristics

波長：1070nm 入射ビーム径：ø4.7mm ワーキングディスタンス：200mm

フラットトップ集光Flat top beam focusing

Wave length

Incident beam diameter

Working distance1

集光レンズ単独

フラットトップ集光型 LFD-DOE
Intensity

強度(a.u.)

Only focusing lensFlat top beam focusing0
Z= -3.8

-3.0

-2.3

-1.5

-0.8

0

+0.8

+1.5

+2.3

+3.0

+3.8 (mm)

+2.3

+3.0

+3.8 (mm)

波長：1070nm 入射ビーム径：ø4.7mm ワーキングディスタンス：200mm

疑似ガウス集光Gauss-like beam focusing

Wave length1Working distance

集光レンズ単独

疑似ガウス集光型 LFD-DOE

Only focusing lensGauss-like beam focusing

Intensity

強度(a.u.)

Incident beam diameter0
Z= -3.8

-3.0

-2.3

-1.5

-0.8

0

+0.8

+1.5

⑦ 長焦点深度（集光機能分離型）タイプ 仕様■
Long Focal Depth (Non-Focus) Type Specifications

波長

Wavelength

寸法（mm）

入射ビーム径（1/e2） ホモジナイズ形状
Incident Beam Diameter

Diameter

Homogenize Shape＊The wavelength of 10600nm and 9300nm(9400nm) are the value with FL127mm,;the other wavelength are the value with the FL200mm focusing lens

記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
We handle various types of products other than those listed, so please contact us for specific information.

6

材質は、高出力レーザや短パルスレーザで利用可能な合成石英もしくは、ZnSe。
The material is synthetic quartz or ZnSe that can be used with high-power
lasers and short-pulse lasers.

正方形形状パターン 532nm用の事例
Square shape pattern

Case for 532nm

Type Ⅰ（a.u.）

Type Ⅱ

角の丸みを低減
Reduced roundness at the corner.

強度

（nm）
（μm）
ø（mm）
øD
T
8
DHLZ1-8-290
ø290
25.4
5.08
10600
DHLZ1-7.2-S310
7.2
310×310（TypeⅠ） 25.4
5.08
DHLZ1-7.2-S320E
7.2
320×320（Type Ⅱ） 25.4
5.08
DHLZ9-8-275
8
ø275
25.4
5.08
9300
（9400）DHLZ9-7.2-S285E
7.2
285×285（Type Ⅱ） 25.4
5.08
4.7
DHLQ1-4.7-80
ø80
25
5
DHLQ1-5-S80
1064
580× 80（TypeⅠ） 25
5
DHLQ1-5-S88E
5
88× 88（Type Ⅱ） 25
5
4.7
DHLQ2-4.7-40
ø40
25
5
DHLQ2-5-S40532
540× 40（TypeⅠ） 25
5
DHLQ2-5-S44E
5
44× 44（Type Ⅱ） 25
5
4.7
DHLQ3-4.7-27
ø27
25
5
DHLQ3-5-S27355
527× 27（TypeⅠ） 25
5
DHLQ3-5-S29E
5
29× 29（Type Ⅱ） 25
5
4.7
DHLQ4-4.7-20
ø20
25
5
DHLQ4-5-S20
520× 20（TypeⅠ） 25
5
DHLQ4-5-S22E
266
5
22× 22（Type Ⅱ） 255
DHLQ4-3-S34
3
34× 34（TypeⅠ） 25
5
DHLQ4-3-S37E
3
37× 37（Type Ⅱ） 25
5＊ 波長10600nmおよび9300nm（9400nm）はFL127mm、それ以外の波長はFL200mm集光レンズ使用時
Spec. No.

Intensity

仕様番号

40μm

44μm

回折効率：90%回折効率：84%

Diffraction efficiency

Diffraction efficiency

応用例 Application example
ファイバレーザシステムでの使用例
Example of use in a fiber laser system

ビームシェイパ（集光機能分離型）
Beam shaper (Non-focus unit type)ワーク

コリメートレンズ

集光レンズ

Collimating lens

Focusing lensWork

フラットトップ

ファイバレーザ

Flat top beam

Fiber laser

ビームシェイパ（単一素子）
Beam shaper (Single element)

コリメートレンズ

・レーザ溶接におけるスパッタ低減や表面荒れを改善-Effective for high-speed laser cutting and drilling.

ワーク

Collimating lens

・厚板の高速レーザ切断や穴あけに有効

Work-Reduces spatter and improves surface roughness in laser
welding.

リングモードファイバレーザ

Ring-mode beam

Fiber laser※マルチモードのファイバレーザについても、コリメート後のビームプロファイルによっては適用可能ですので、ご相談ください。
Multi-mode ﬁber lasers can also be applied depending on the beam proﬁle after collimation, so please contact us.

Fșレンズとの組み合わせ例
Example of combination with Fș lens
ビームシェイパ（集光機能分離型）

ガルバノスキャナ

Beam shaper (Non-focus unit type)

Galvano scanner・Fθレンズと組み合わせることで、フラットトップやリングモードスポットを高速にスキャン
Fșレンズ-High-speed scanning of a ﬂat top spot or a ring mode spots incombination with Fθ lens.

F-theta lensワーク

矩形フラットトップ

Work

Rectangle flat top beam

3Dスキャニングシステムとの組み合わせ
Combination with 3D scanning system

ビームシェイパ（集光機能分離型）
Beam shaper (Non-focus unit type)ガルバノスキャナ
Galvano scanner

・3 Dスキャンシステムと組 み 合わせる
ことで、ワイドなエリアでフラットトップ
やリングモードスポットをスキャン

ファイバレーザ
Fiber laser

コリメート
レンズ

フォーカス
シフタ
集光レンズ

Collimating lens

Focus shifter-Wide area scanning of a ﬂat top spot or a ring modespots in combination with 3D scanning system

Focusing lens

ワーク

リング+センターモード

Worka ring + center -mode beam

Fșレンズとの組み合わせによる
マスク転写結像スキャン光学系
Mask imaging scan system in combination with Fș lens

非球面ビームシェイパ（2枚組）
Aspheric beam Shaper (Set of two lenses)

ガルバノスキャナ

マスク

コリメートレンズ

Mask

Collimating lensGalvano scanner・位相整合レンズを採用することで、マスク以降でのビームの拡がりが抑えられ、高い縮小比でのスキャニングが実現可能・テーパを抑えた高速穴あけ加工を実現
Fșレンズ
F-theta lens-By adopting a phase compensation lens, the spread of
the beam after the mask is suppressed, and scanning at
a high reduction ratio can be realized.
-Achieves high-speed drilling with reduced taper.

ワーク

転写結像による
フラットトップWorka flat top beam7

ビームシェイパ比較表 Beam Shaper Comparison Table
非球面ビームシェイパ

DOEビームシェイパ

Aspheric Beam Shaper① 単一素子Single Element

DOE Beam Shaper② 集光機能分離 ③ 2枚組（位相整合） ④⑥ 単一素子
Non-Focus Unit
Single Element
結像系⑤ 集光機能分離
Non-Focus UnitLong Focal Depth(Non-Focus)

Set of Two Lenses (with Phase Compensation)
Imaging
非球面
ビームシェイパ

非球面
ビームシェイパユニット
Aspheric Beam Shaper Unit

Aspheric Beam Shaper

非球面
ビームシェイパ
Aspheric Beam Shaper

位相整合
レンズ

Phase Compensation

DOE
ビームシェイパ
DOE Beam Shaper⑦ 長焦点深度（集光機能分離）

DOE
ビームシェイパユニット

長焦点深度
DOEビームシェイパ

集光レンズ

集光レンズ

DOE Beam Shaper UnitLong Focal Depth DOE Beam Shaper

光学系
概要
Overview of
Optical Systems

マスク

像面

集光レンズ
Focusing Lens

像面

Image Surface

Mask

結像系

像面

Imaging

Image Surface

Focusing Lens

像面

Image Surface

像面

Focusing Lens

Image Surface

Image Surface

特長
Features

単一素子にて、
フラット 集光レンズと組み合わ
トップビームを形成。 せて、集光レンズの焦点
フラットトップ 径 は、 位置でフラットトップ
素子にて一意的に決定。 ビームを形成。 集光
A flattop beam is formed with
レンズの焦点距離を
a single element. The flattop
変えることで、フラット
diameter is uniquely determinedby the element.
トップ径を変化。
The combination with a focusinglens causes a flattop beam tobe formed at the focal position of
the focusing lens. Changing the
focal length of the focusing lenschanges the flattop diameter.

均一強度
分布形状
Uniform Intensity Distribution Shape

均一強度分布
サイズ
Uniform Intensity Distribution Size

形成したフラットトップ
ビームを位相整合レンズ
コ リ メ ー ト 、マ ス ク
結像系との組み合わせ
で、均一強度の優れた
急峻性を実現。
The formed flattop beam iscollimated by using a phasecompensation lens, which, in
combination with a mask Imaging,
provides excellent steepness
with uniform intensity.

単一素子にて、矩形や 集光レンズと組み合わせ 集光レンズと組み合わせ
ライン形状のフラット て、集光レンズの焦点位 て、焦点位置でビーム
トップビームを形成。 置で矩形やライン形状の のピーク強度を低減、フラットトップ形状は、 フラットトップビームを 長焦点深度を実現。
素子にて一意的に決定。 形成。集光レンズの焦点 The combination with a focusing
距 離 を 変 え る こ と で、 lens reduces the peak intensity
A flattop beam with a rectangleof the beam at the focal position,or line shape is formed with a
形状の比率を変化。
which achieves the long focal
single element. The flattop shapeis determined uniquely by theelement.

The combination with a focusinglens causes a rectangle or line
shaped flattop beam to be formedat the focal position of the focusinglens. Changing the focal lengthof the focusing lens change theratio of the shape.

depth.

円形

円形

円形

円形/矩形/ライン 他 円形/矩形/ライン 他

円形/正方形

CircleCircleCircleCircle, Rectangle, Line, etc.

Circle, Rectangle, Line, etc.

Circle, Square

集光レンズのスポット近似Any size depending on the design

設計により任意

設計により任意

設計により任意

設計により任意

Any size depending on the design

Any size depending on the design

Any size depending on the design

Any size depending on the design〜〜

Spot approximation of the focusing lens

設計により任意

均一強度の急峻性
Steepness of the Uniform Intensity

焦点深度
Focal Depth

エネルギー
利用率

〜

〜

〜

〜

Energy Usage Rate

：優：良: Excellent,: Good,：適: Fair● ZnSeダストを吸い込まないこと。 Do not inhale ZnSe dust.

● 火中に廃棄しないこと。Do not dispose by incineration.

● 酸、アルカリに浸さないこと。Do not dip in acids or alkalis.

● レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。 Please store away from acids and alkalis.

● ZnSeを用いた光学部品には毒物に指定されているZnSeが含まれますので、廃棄の際は都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。

警告

Disposal should be in compliance with all applicable laws and regulations.

R4（2022.6）Ⅴ 1504 GR