膜厚測定装置

TohoSpec3100 シリーズ
信頼と実績の測定ヘッド
高精度膜厚測定のスタンダード機として長年の信頼と実績を持つ

NanoSpec3000 シリーズの正式な後継機として TohoSpec3100 シリーズをご提案しております。測定性能をさらに向上し、ユーザーのニーズに合わせた仕様変更、より操作性の高いソフトウェアへの更新など、利便性が向上した新たなスタンダード機を是非ご活用ください。多層膜サンプルの膜厚、光学定数（n,k）の同時測定が可能です。高分解能ヘッドを搭載した新モデルも加わり、微小エリアの測定や厚膜の測定など、より幅広い分野でお使いいただけるようになっております。

特徴 / 活用分野

NanoSpec3000の後継機で旧機からのレシピ移植が可能

単層/多層膜の膜厚及び光学定数（n,k）の同時測定

多くの測定モデルを標準搭載、様々な膜種の測定に対応

シンプルな構造で操作が容易

安定の高速、高精度測定

国内製造の安心品質、安心サービス対応

製品ラインナップ
モデル

TohoSpec3100（標準）TohoSpec3100T（高分解能）

測定波長範囲380 – 800nm

380 – 850nm

膜厚測定範囲 *1

100A – 30um

100A – 70um

対物レンズ（スポット径）*標準5X（φ50um）

5X（φ15um）

対物レンズ（スポット径）*オプション

10X（φ25um）、50X（φ5um）

10X（φ7.5um）、50X（φ1.5um）、100X（φ0.75um）

測定再現性（1σ） *1 *2±2A または ±0.1% の大きい方

測定時間0.1 – 2.5秒 / ポイント

光 源

ハロゲンランプ

サンプルサイズ
電最大8インチ源

単層 100 – 240V

標準概算寸法

W280×D472×H753

標準概算重量22kg

オプション*1：測定膜種、サンプル構造による。

膜厚スタンダード、各種対物レンズ、USBカメラ、ノートPC、除振台、他*2：同一ポイントの 15 回測定とする。

仕様、外観は予告なく変更することがあります。

解析例

測定原理
ホログラフィック凹面回折格子

フィッティング№

100X(0.75um) イメージ

Thick1［nm］N1（633nm） K1（633nm）№436nm［%］ 640nm［%］ 780nm［%］

1453.99

1.47310.0000142.3334.22

32.66

2453.92

1.47330.0000242.30

34.22

32.65

3453.94

1.47330.0000342.28

34.21

32.65

4453.98

1.47310.0000442.31

34.23

32.65

5453.95

1.47320.0000542.2834.2132.62

膜厚 /n/k 測定

反射率測定

対物レンズを介してサンプルに光を垂直に入射させ、その反射光を分光し、各波長毎の反射強度データを取得します。その反射スペクトルと作成した測定モデルの反射スペクトルでフィッティングを行い膜厚値を出力します。
（カーブフィッティング法）

稲沢ものづくり開発本部 ファインメカ事業部

https://www.toho-tec.co.jp

愛知県稲沢市下津下町東5‑1〒492‑8501
Tel：0587‑24‑1210
Fax：0587‑24‑1224

Film Thickness Measurement System

TohoSpec3100 Series
Reliable and Accurate head

TohoSpec 3100 is the official successor to NanoSpec 3000 thatused to be the standard system for the accurate film thickness
measurement in the industry for many years. With even moreaccuracy, more user-oriented specifications and more user friendly
interface, Toho introduces this new standard system to the market.
TohoSpec 3100 can measure the film thickness and the opticalconstant (n, k) for multi-layered films at the same time. The newmodel, TohoSpec3100T, is the best for small spot measurement andthicker film measurement.
Features / Application

Successor to NanoSpec3000 with compatible recipes
Various measurement models pre-installed
Fast and accurate measurement

Thickness measurement with optical constant (n,k)
Simple and easy operation
Made in Japan with high quality and service

Product Lineup
TohoSpec3100 (Standard)

Model
Measurement wavelength

380 – 800nm

380 – 850nm

Measurement range *1

100A – 30um

100A – 70um

Objective lens (spot size)

5X (φ50um)

5X (φ15um)

Objective lens (spot size)*optional

10X (φ25um), 50X (φ5um)

10X (φ7.5um), 50X (φ1.5um), 100X (φ0.75um)

Measurement repeatability (1σ) *1 *2±2A or ±0.1% whichever is greater

Measurement time

0.1 – 2.5sec / point

Light source

Halogen Lamp

Sample size

Max 8 inch wafer

Power supply

Single phase 100 – 240V

Standard dimension

W280×D472×H753

Standard weight

22kg

Options

Film thickness Standard, Objective lens, USB camera, Laptop PC, Vibration isolator, etc.

*1：Depends on the sample material and structure *2：Measured 15 times at the same point

Analysis

Specifications and dimensions are subject to change without notice.

Measurement Theory

100X(0.75um) image

Spectral Fitting№

TohoSpec3100T (High Resolution)

Thick1［nm］N1（633nm） K1（633nm）№436nm［%］ 640nm［%］ 780nm［%］

1453.99

1.47310.0000142.33

34.22

32.66

2453.92

1.47330.0000242.30

34.22

32.65

3453.94

1.47330.0000342.28

34.21

32.65

4453.98

1.47310.0000442.31

34.23

32.65

5453.95

1.47320.0000542.28

34.21

32.62

Thick/n/k measurement

Reflection measurement

Toho Technology Corp.
https://www.toho-tec.co.jp

The incident light through the lens is reflected and dispersed to acquire
the intensity of each wavelength. The reflected spectrum is fitted withthe model spectrum to calculate the film thickness.
(Curve fitting method)

Fine Mechatronics Division

5-1 Orizushimomachi Higashi Inazawa-city, Aichi 492-8501, Japan
TEL: +81-(0)587-24-1210 / FAX: +81-(0)587-24-1224