Vol. 11, No. 6（通巻No. 69）
2020年2⽉8⽇

化学⼯学会エレクトロニクス部会ニュースをお届けします。主な内容は，2019 年度第 6 回幹事会トピックです。
幹事会講演会では，⽻深部会⻑より，「室温プラズマ SiCNO 薄膜形成における複数パラメータの取扱⽅法」と題した研究紹介が⾏われた。
ご案内 20 年度会費請求書を送付させて頂きました。
是⾮継続して部会活動へのご参加をお願いします。
■2019 年度第 6 回幹事会トピック
・⽇時・場所

令和⼆年（2020 年）1 ⽉ 31 ⽇(⾦) 14:00〜17:30
住友ベークライト株式会社本社 20 階会議室（天王洲パークサイドビル）

・出席者

⽻深，横沢，佐藤（押部代理），幸⽥，齋藤，髙⽊，⾼橋（昭），⾼橋（健），・議事進⾏

⿃成，及川，薦⽥，荻野，吉野 各幹事 計 13 名（敬称略）
薦⽥

1. 前回（2019/12/25）幹事会議事録の承認
12/25 第 5 回幹事会の議事録が承認されました。
2. 会員異動，幹事名簿確認
前回着任の幸⽥幹事（宇部興産）が，諸事情により再交代することになりました。
3. 会計報告
令和元年（2019 年）12 ⽉〜1 ⽉度の会計報告があり，承認されました。詳細は資料 1 を参照します。
4. 化学⼯学会部会年会・秋季⼤会，2020 年度エレクトロニクス部会シンポジウムについて◇年会・秋季⼤会
・第 85 回化学⼯学会年会は，以下の⽇程で開催されます。
⽇時 2020 年 3 ⽉ 15 ⽇（⽇）〜17 ⽇（⽕）
会場 関⻄⼤学 千⾥⼭キャンパス
・第 51 回秋季⼤会
⽇時 2020 年 9 ⽉ 24 ⽇（⽊）〜26 ⽇（⼟）
場所 岩⼿⼤学 上⽥キャンパス
秋季⼤会では，「エレクトロニクスを⽀える材料・プロセス研究と実装技術の展開」と題し，他学会と連携した特別シンポジウムを計画しています。エレクトロニクスの材料・プロセス技術に幅広い研究・開発を俯瞰する招待
講演の他，広く⼀般投稿も募集する予定です。ご期待ください。

化学⼯学会エレクトロニクス部会 http://www2.scej.org/elebukai/1◇部会シンポジウム
2020 年度の部会シンポジウムは，12 ⽉開催で計画することになりました。部会シンポジウムでは個別のテーマについて集中討議を⾏うスタイルとし，テーマ選定をすすめています。テーマとして 5G や CASE，AI などの注⽬の⾼いテーマから，センサ技術や IoT に使⽤される省電⼒無線，また防災やインフラで使⽤される技術などを俎上に上げて議論をすすめており，次回幹事会にて決定します。部会員の皆様におかれましても，これは，というテーマ（ご意⾒）がございましたら是⾮お寄せください。
5. 会員担当業務について斎藤幹事（⼤阪府⽴⼤）の研究室にて名簿管理や年会費の請求，各種の情報配信等の部会事務業務を依頼することになり，その⼯数相当の費⽤を⽀払うことが承認されました。
6. 年鑑
2019 年度の年鑑は，⽻深部会⻑，斎藤幹事，⼤野幹事で執筆することになりました。薦⽥幹事が取りまとめを⾏います。
7. その他トピック◇部会活性化幹事会講演会のリニューアルについて議論が⾏われました。
◇化学⼯学会部会 CT・部会⻑会議トピックス
部会活動貢献賞（部会 CT 賞）規定の改定案について報告がありました。主な改訂内容は，従来は 40 歳までの個⼈またはグループによる活性化や企画運営等に対して授与されていたものを，40 歳以前から継続した活動であれば 40 歳を過ぎていても対象とする点です。
8. 次回幹事会及び幹事会講演会
⽇時2020 年 4 ⽉ 21 ⽇（⽕）

場所
進⾏役

住友ベークライト株式会社本社 20 階会議室
薦⽥幹事

講演会

調整中（16 時からを予定）■幹事会講演会概要【ご案内】
幹事会講演会は，部会員の皆様に聴講いただけます（無料）。開催 1-2 週間前までに案内を配信しますので，お申し込みの上ご参加ください。講演会後の講師の⽅との交流会にも参加いただけます（有料）。
また講演資料は，部会員限定でウェブページにて配信します（講師の了解が得られた場合のみ）。

講師 横浜国⽴⼤学⼤学院 ⽻深 等教授（エレクトロニクス部会⻑）
題⽬ 室温プラズマ SiCNO 薄膜形成における複数パラメータの取扱⽅法
室温 DC プラズマ CVD による SiCxNyOz 成膜では，複数の複雑な反応が寄与している。この反応機構を理解するために，⽻深教授らのチームでは DC プラズマで⽣じる電流値に着⽬し，実際の反応を反映するパラメータの探索を⾏っている。各反応ガスの分圧と反応速度定数の積に電流値を乗じ，さらにこれを反応に与るガス種ごとに積算し，個別の反応と電流値を関連付けた。これを成膜反応とエッチング反応をそれぞれ正，負として和を取った近似式を解析したところ，実際の成膜速度を良く記述できることを⾒いだした。これは DC プラズマで⽣じる電流値によって成膜反応を近似できることを意味しており，実際の成膜において，膜厚や膜組成を，電流値を使⽤したシンプルな近似式によってコントロールできる可能性があることを⽰す。
化学⼯学会エレクトロニクス部会 http://www2.scej.org/elebukai/

2

■あとがき今年はあまり寒いと感じる間もなく⽴春を迎え（⽴春後寒くなりましたが・・），当部会でも新年度の活動計画に関する議論が始まりました。各幹事もそれぞれに本業（⼤学教員，会社員，会社経営等）を抱えつつの学会業務ですが，公的な活動として学会活動を盛り上げ，また会員間の情報交換やメリットとなることは何か⽇々考える傍ら，ついでに⾃分の本業にも有効活⽤しよう，とあくせくしております。そんな学会活動は会員の皆様のために⾏うもの。次年度も会員の皆様のご要望を最⼤限に反映した部会活動としていきたいと思います。部会活動へのご意⾒やお気づきの点がございましたら，お気軽にご連絡ください。
化学⼯学会 エレクトロニクス部会
ご意⾒・お問合せ先 electro_div@chemeng.osakafu-u.ac.jp■資料 1
令和元年（2019年）12⽉〜令和⼆年（2020年）1⽉度会計報告
１．前回残⾼（令和元年11⽉末）
⼝座残⾼

1,634,256 円 ①

積⽴⾦

1,800,000 円

実質残⾼△ 165,744 円

２．今回収⼊と⽀出
項⽬
⽇時内容収⼊2019/12/10 部会シンポジウム 参加費
交流会費
2019/12/25 第5回幹事会技術交流会費
2020/1/27 20年度年会費前受収⼊計
⽀出

⾦額（円）
595,000
105,000
30,0005,000

2019/12/10 部会シンポジウム 講師謝⾦・交通費
事務費⽤（受付員交通費，雑品）
技術交流会費
幹事交通費
2019/12/10 源泉徴収税（12⽉度）
2019/12/25 第5回幹事会 飲み物代
幹事交通費
技術交流会費

⽀出計
⽉次収⽀
全体収⽀ ①+②-③

735,000 ②
117,280
5,310
100,000
63,61013,3333,240
40,00065,490408,263 ③
326,737 ②-③
1,960,993 ④

３．残⾼（令和⼆年1⽉末）
⼝座残⾼

1,960,993 ⑤

積⽴⾦

1,800,000 ⑥

実質残⾼160,993 ⑤-⑥④の全体収⽀と，⑤の⼝座残⾼（令和⼆年1⽉末現在）が⼀致していることが確認された。
備考
・APCChEへの積⽴⾦適⽤は未反映（期末に反映予定）
・20年度会費は前受け分．20年度活動の原資となるため，19年度会計では負債の扱い．

化学⼯学会エレクトロニクス部会 http://www2.scej.org/elebukai/3