超高真空用直線・回転導入機

超高真空用直線 ・ 回転導入機
回転式直線導入機
高い耐熱性能 （最大 250℃） を備えた回転式直線導入機は、 大気側から真空側へ直線運動を与えます。 真空側は超高真空用潤滑剤 （クライトックス） を使用したフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。
シャフトは高圧 ・ 寿命特性に優れた AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空領域で使用が可能です。

プッシュプル式直線導入機

超高真空用直線 ・回転導入機

直線運動量は 25mm または 50mm タイプがあります。
＊オプションで DC ステップモータ、直線目盛 ： 0.025”
高トルク DC ステップモータ、 リバー
回転目盛 ： 0.001”
シブル AC モータ等を取付できます。
シャフト径 ： 0.25”
位置ロック可
型番
フランジ
真空度 ： 1 x 10^-10 Torr
RLM25-133
ICF34
温度 ： ～ 250℃ (ICF)
RLM25-275
ICF70～ 150℃ (NW)
※直線移動のみ
RLM50-133
ICF34
RLM50-275
ICF70
RLM100-133
ICF34
RLM100-275
ICF70
RLM25-N16
NW16
RLM25-N40
NW40
RLM50-N16
NW16
RLM50-N40
NW40
RLM100-N16
NW16
RLM100-N40
NW40

プッシュプル式直線導入機は、 すばやく真空チャンバ―内で直線移動するのに最適です。 真空側は超高真空用潤滑剤（クライトックス） を使用したフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。
シャフトは AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空領域で使用が可能です。
直線運動量は 25mm または 50mm タイプがあります。
型番
直線目盛 ： 0.025”
PLM25-133
回転目盛 ： 0.001”
シャフト径 ： 0.25”
PLM25-275
位置ロック可PLM50-133
真空度 ： 1 x 10^-10 Torr
PLM50-275
温度 ： ～ 250℃ (ICF)
PLM25-N16～ 150℃ (NW)
※直線移動のみ
PLM25-N40
PLM50-N16
PLM50-N40

フランジ
ICF34
ICF70
ICF34
ICF70
NW16NW40
NW16NW40

回転式回転導入機
高トルク （最大 1.8N-m） 対応の回転式回転導入機は大気側から真空側へ回転運動を伝えます。 回転目盛は 5°、 回転位置をロックできます。 真空側はタングステンジスフィドを使用したドライフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。 シャフトは AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空用機器としてご使用いただけます。
直線目盛 ： 5°
シャフト径 ： 0.25”
位置ロック可真空度 ： 1 x 10^-10 Torr
温度 ： ～ 250℃ (ICF)～ 150℃ (NW)
高トルク （最大 1.8N-m） 対応

http://www.tecsam.co.jp＊オプションで DC ステップモータ、高トルク DC ステップモータ、 リバー
シブル AC モータ等を取付できます。

※回転のみ

TEL:072-973-4020

型番
RRM-133
RRM-275
RRM-N16
RRM-N40

FAX:072-973-4032

フランジ
ICF34
ICF70
NW16
NW40

10超高真空用直線・回転導入機
ウォブルスティック導入機
ウォブルスティック導入機は、 真空容器に導入したスティックの先端に運動を与えます。 操作方法は基本的に手動となり、
44° ,12.7mm, シャフト径 0.125" と 60° ,25.4mm, シャフト径 0.25" の２種類があります。 前者は最大で水平方向に±1/4”、 最大角度± 22° , 後者は最大で水平方向に± 1/2”、 最大角度± 30°の範囲で任意に移動ができます。
フランジは ICF、 NW タイプがありますが、 フランジサイズによって移動範囲に制限があります。

型番
WBM44-133
WBM60-275
WBM44-N16
WBM44-N40
WBM60-N40[ 寸法インチ ]真空度 ： 1 × 10^-10 Torr
温度 ： ～ 250℃ (ICF)～ 150℃ (NW)

超高真空用直線 ・回転導入機

超高真空用直線 ・ 回転導入機モーターオプション
下記モーターオプションは、 10 頁の導入機に取付けた状態で納入されます。
価格には本体側アタッチメント、 モーター側アタッチメント等が含まれています。
Option.12 高トルク DC ステップモーター

Option.11 DC ステップモーター

サイズ ： NEMA23 （56.4mm）
ステップ角 ： 1.8°定格電圧 ： DC3.0V
定格電流 ： 2.0A
静止トルク ： 1.20N ‐ m
リード線 ： 6 線 - L300mm

サイズ ： NEMA23 （56.4mm）
ステップ角 ： 1.8°定格電圧 ： DC5.0V
定格電流 ： 0.7A
静止トルク ： 0.53N ‐ m
リード線 ： 6 線 - L300mm

Option.21 AC モーター

Option.31 エアー式 90° アクチュエーター
定格電圧 ： AC115V/60Hz
消費電力 ： 7.5W
トルク ： 0.85N ‐ m
回転数 ： 10 rpm
リード線：4 線 （リバーシブル）

回転式回転導入機 DC ステップモーター取付イメージ

モーター取付 構成イメージ

本体側アタッチメント

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フランジ
ICF34
ICF70
NW16
NW40
NW40

http://www.tecsam.co.jp

モーター側アタッチメント

TEL:072-973-4020

FAX:072-973-4032

超高真空用直線・回転導入機

シャフト 1/8"&1/4"
型番
PGSS125S6

長さ6"

シャフト径 ： 1/8”

型番PGSS250S6
PGSS250S12PGSS250S24

長さ6"
12"
24"

シャフト径 ： 1/4”

超高真空用ベアリング(1/4" シャフト用 )超高真空用ベアリングマウント(1/4" シャフト用 )型番 ： RBMT250

型番 ： LBMT250

ロータリーベアリング

ライナーベアリング

型番 ： RBB250

型番 ： LBB250

超高真空用直線 ・回転導入機

ロータリーベアリングマウント ライナーベアリングマウント

カップリング (1/8"&1/4" シャフト用 )フレックスカップリング

1/4” シャフト用
型番 ： FLEXC250

ベローズカップリング

スリーブカップリング

1/4" シャフト用 型番 ： BELC250
1/8" シャフト用 型番 ： BELC125

1/4" シャフト用 型番 ： SLVC250
1/8" シャフト用 型番 ： SLVC125

ユニバーサルジョイント、マイタ＆ベベルギア(1/8"&1/4" シャフト用 )スクリューセットカラー(1/8"&1/4" シャフト用 )ユニバーサルジョイント

マイタ＆ベベルギア

1/4" 用型番 ： UNVJT250
1/8" 用型番 ： UNVJT125

1/4" 用型番 ： MBGR250
1/8" 用型番 ： MBGR125

http://www.tecsam.co.jp

1/4" シャフト用型番 ： SETCOLL250
1/8" シャフト用型番 ： SETCOLL125

TEL:072-973-4020

FAX:072-973-4032

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