計測自動制御学会論 文 集
Vol.6, No.7, 52/60（2007）

空気圧浮上ガントリーの加速度補償を用いた精密速度制御†
苅北一 朗∗ ・前田 浩 一∗∗

志∗∗ ・徳平 裕 介∗∗

北 野 岳

Precise Velocity Control of the Air Floating Gantry Type Precision Stagewith the Acceleration Feedback Compensation
Ichiro Karikita∗ , Hirokazu Mayeda∗∗ ,Takeshi Kitano∗∗ and Yusuke Tokuhira∗∗

Recently, the gantry type precision stage and its precise velocity control are required in the field of inspection
machine and slit nozzle coater of the flat panel display, since the glass substrate becomes large. In this paper, toreduce the velocity fluctuation and the range of deviation between the gantry legs due to the input disturbances,the velocity control scheme with the acceleration feedback compensation is proposed and examined on a miniature gantry. First, the control is experimented for various acceleration feedback gain and integral time, where
the position and the velocity gains are fixed. The results show how the acceleration gain and integral time effecton the velocity control. Next, the velocity controls without acceleration compensation and with acceleration P
compensation and acceleration PI compensation are experimented after the control parameters optimization foreach control. Comparison of results of the three controls shows that the acceleration compensations are very
valid for the control purposes.
Key Words: gantry control, velocity control, acceleration feedback compensation
ントリーの速度制御精度をさらに高める，あるいはどこまで

1. ま え が き高精度化できるかに挑戦することが求められている．

フラットパネルディスプレイ製造において近年ガラス基板

ガントリーの速度変動と左右偏差はガントリーの揺れ，ケーの大型化が著しく進み，それに対する樹脂塗布では，従来のブルの牽引，モータの着磁ピッチムラ，レールの汚れなどにスピンコーターに替わってスリットノズルを搭載したガント起因する入力外乱によって生じる．本研究では，加速度補償リータイプのコーターが使用されるようになってきた．ガラによりこれらの入力外乱の影響を早期に抑制することによりス基板サイズが大きくなるにつれスリットダイの重量も大き

定速期の速度変動率と左右偏差をできるだけ小さくすることくなるが，塗布樹脂の膜厚を均一に保つなどのためガントリーを試みる．ガントリーの制御方式には左右独立制御とクロスを精密速度制御することが要求される．また，高速度化や立カップリング制御の２つがある．前者は制御パラメータ調整ち上げ距離の短縮も望まれていることから，速度制御への要の考え方が簡単であるが，一方の脚の運動による他方の脚へ求内容はさらに厳しくなってきている．筆者らはこの要求にの干渉力を無視している．後者はこの干渉力を動特性に含め応えるため，空気圧浮上ガントリーの精密速度制御の研究をて制御できるが並進制御系と左右偏差制御系の制御パラメー行なってきた 1) ．そこではクロスカップリング制御とゲインタ調整のかねあいに難しさが残る．本研究では制御パラメー切替により，ガントリーの速度変動率と左右脚の位置の差（以タ調整の簡単さおよび，加速度補償により上の干渉力を入力後，左右偏差と呼ぶ）が十分要求仕様内に収まることが実機外乱に加えても速度制御への影響を低減できると思われるのを用いて検証されている．しかしながら，液晶パネルにおいで前者の制御方式を採用する．
加速度補償は従来より提案されてきた技術であり 2) 入力外ては今後のさらなる高品質化が要求されており，このためガ乱を早く抑制することや目標軌道への追随性の向上などに効†果があるとされているが，加速度の推定ノイズが大きいため∗

加速度補償ゲインを高くできずその効果は十分には確認されIEEE TENCON 2006 で一部を発表（2006・11）
東レエンジニアリング（株）∗∗ 立命館大学理工学部∗ Toray Engineering Co. Ltd.
∗∗ Ritsumeikan University（Received February 9, 2007）てこなかった．しかし，最近は加速度センサの高精度化に伴いこの技術を見直す機運が生じつつある．
加速度は近年その分解能が非常に高くなったリニアスケー
52

53

Fig. 3 Model of the gantry

左右偏差，および人為的に突発的な入力外乱を加えた場合の速度変動の 3 つを評価指数として，加速度補償を行なわなかった場合と行なった場合を比較し，加速度補償の効果と有効性
Fig. 1 View of the gantryを実証する．なお，加速度補償は P 補償と PI 補償の 2 つを行なっている．
本稿の構成は，まず 2 章で空気圧浮上ミニチュアガントリーの構成と動特性モデルを示す．3 章では加速度補償を用いた速度制御則を提案し，速度と加速度推定フィルターの選定について論じる．4 章では最初に実験条件について述べ，つぎに速度，位置ゲインを一定とし，加速度補償なしの場合および加速度 P 補償で比例ゲインを変化させた場合と加速度 PI補償で比例ゲインを一定とし積分時間を変化させた場合の実験を行ないそれらの結果を比較する．これにより，加速度補償比例ゲインと積分時間の効果を検証し，速度，位置ゲインが一定の場合に定速時の速度変動率と左右偏差および突発的な入力外乱による速度変動の 3 つの評価指標のすべてについて加速度補償を用いて制御性能の改善を試みる．さらに，加速度補償なしおよび加速度 P 補償と加速度 PI 補償がある速度制御で，各制御において速度変動率を主に左右偏差を従にこれらが小さくなるように制御パラメータ調整を行ないこのときの速度変動率と左右偏差と突発的入力外乱による速度変Fig. 2 Structure of the gantry

動の結果を比較する，これにより，これら 3 つの評価指標について加速度補償の有効性を実証する．

ルによる位置情報を 2 階差分し，それをフィルターすること

2. 空気圧浮上ガントリー

でも推定ノイズを低減できる．本研究では加速度センサを用いることなく，空気圧浮上ガントリーに装備されている高分

2. 1 装置概要

解能リニアスケールによる加速度推定値を利用することとす

本研究で使用する空気圧浮上ミニチュアガントリー・テーブ

る．この方式においては，差分値に対するフィルターの遮断

ルの概観と構造の概略図をそれぞれ Fig. 1 および Fig. 2 に周波数の選定が 1 つのポイントとなる．これが高いと推定ノ示す．装置の寸法は 409W[mm] × 676L[mm] × 299H[mm]

イズが大きくなり，低いとフィルターの位相遅れのため加速であり概略重量は 50[Kg] である．

度補償が遅れその効果が低下することになる．また，この推ガントリーの構造は以下のとおりである．無電解ニッケル定値を用いて加速度補償を行なうと，その影響のため速度とメッキされた 2 本のレールがベース上に固定されていて，エ位置のフィードバックゲインを加速度補償しなかった場合とアーベアリングにささえられたガントリーがそのレールの上比べて小さくしなければならないという問題も生じる．加速を動く．ガントリーは対になった柱と脚と，実機のスリット度補償がこれらの問題点を補ってどれだけ効果があるかを調ノズルのかわりに横木と呼ばれる鉛の板からなっている．

べることは実用上重要な問題である．

それぞれの脚はガントリーを支えるエアーベアリングとト本研究では，左右独立制御方式において加速度補償を用いラバース方向の動きを規制するバネつきのエアーベアリングた速度制御則を提案し空気圧浮上ミニチュアガントリーに適をもっている．また，ガントリーを駆動するためのリニアサー用した実験を行なう．ここでは定速期における速度変動率とボモータがおのおのの脚に装備されていて，0.02[µm/pulse]

54Fig. 4 Block diagram of the gantryの分解能をもったリニアスケールがガントリーの位置を光学的に検知している．横木と脚は柱の周りを自由に回ることができ，この構造が，左右偏差が大きくなった場合でも脚とレールが衝突するのを防止している．
本装置は実機のミニチュアタイプであるが，その寸法に対して重量や重量配分および，エアーベアリングのバネ定数は実機に近い固有振動数を有するように選定されている．したがって，リニアサーボモータ出力をスケール比に比例させて小さくするとその運動は実機と同様になる．また，ケーブルによる入力外乱はケーブルの剛性がスケールほど小さくならないでかえって相対的に少し大きくなっていると考えられる．
これらのことは文献 1) の実機での実験の準備として行なった+d12 (s) + d22 (s)]/[(m2 + α)s + D2 ] （2）ただし X1 (s)，X2 (s)，F1 (s)，F2 (s) は x1 ，x2 ，f1 ，f2 にそれぞれラプラス変換を施したものである．α = (M/4 + I/l2 ), β =(M/4 − I/l2 ) である．k は脚の偏差（x1 -x2 ) と両側面のエアーベアリングに起因する力に関連するバネ定数である．また，d11 (s) と d12 (s) はケーブル牽引による力とモータの着磁ピッチムラによる推力の変動であり，d21 (s) と d22 (s) はガントリーのピッチ揺れによる影響を外乱と見なした力である．

3. 加速度補償を用いた速度制御則
提案する加速度補償を用いた速度制御則の第 i 脚（i=1,2）の制御系のブロック線図は Fig. 4 のようになる．ここで本ミニチュアガントリーの速度制御結果が実機のそれらに近は m1 = m2 = m，D1 = D2 = D としている．また，いものであったことでも正当であると推定される．したがっVi (s) = sXi (s)，d3i (s) = βs2 Xj (s) + k(Xj (s) − Xi(s))/l2て，本ミニチュアガントリーでの制御結果の有効性はリニアとおく．ただし，i = 1 のときは j = 2 であり，i = 2 のとスケールの分解能が同等であれば実機においても実現できる

きは j = 1 とする．d3i (s) は横木のヨー運動と左右偏差によものと考えられる．

り，第 i 脚に加わる力であるが，d1i (s) や d2i (s) と同様に入2. 2 ガントリーの動作モデル

力外乱とみなすこととする．Gm(s) はモータの伝達関数であガントリーのモデルは Fig. 3 に示される．

るが，その静的ゲインは m + α となるようスケーリングされている．Kp と Kv はそれぞれ位置と速度のフィードバック

ここでゲインであり，Ka と Ta はそれぞれ加速度補償のゲインと積Fi ：第 i リニアモータの出力（i=1,2）

分時間である．H は加速度補償を行なっても速度制御系におxi ：第 i 支柱の位置座標（i=1,2）

ける制御対象の静的ゲインが加速度補償を行なわなかった場

mi ：第 i 支柱の質量（i=1,2）合のそれと同じになるように挿入された係数であり，P 補償

Di ：第 i 支柱の移動に関する粘性摩擦係数（i=1,2）のときは (1 + Ka )/Ka ，PI 補償の場合は 1 とする．W1 (s)M ：横木の質量は速度推定用，W2 (s) と W3 (s) は加速度推定用のローパス 1

I ：横木の重心まわりの慣性モーメント次フィルターである．Vref (s) は速度目標を表わす．

fi ：第 i 支柱が横板に与える力（i=1,2）

速度はサンプル周期 100[µsec] 間のリニアスケールからの

l：第 1 と第 2 の支柱の回転軸間の距離パルス数から推定され，加速度は連続した 2 つのサンプル周期での速度差から推定される．文献 1) の実機による研究でである．
これらの変数の運動方程式から以下の 2 式が導きだされる 1) ．
2sX1 (s) = [F1 (s) − βs X2 (s) − k(X1 (s) − X2 (s))/l

2+d11 (s) + d21 (s)]/[(m1 + α)s + D1 ] （1）はリニアスケールの分解能は 0.1[µm/pulse] であり，本ミニチュアガントリーでも当初同じ分解能のものを用いていたが，これでは速度はフィルターを通して推定できるが，加速度はノイズが格段に大きくなり，いかなるフィルターを用いても加速度フィードバックゲインを上げられず，加速度補償の効

sX2 (s) = [F2 (s) − βs2 X1 (s) + k(X1 (s) − X2 (s))/l2

果はまったくみられなかった．そこで本研究ではできるだけ高い分解能のリニアスケールを用いることとし，リニアサーボ

55

定にするには移動速度の目標値に対する変動率を極力小さくする必要があり，一般的には両脚の平均速度の偏差が ±0.5[%]以下とされているが，ここではまえがきで述べた要求のためできるだけ小さくすることを試みる．また，ガントリーは左右独立に駆動，制御されるため，左右偏差はさけがたいものであるがこれも樹脂の塗布ムラの一因となる．したがって脚間の偏差も小さくする必要があり，一般的には ±100[µm] 以下とされているがここではこの範囲内で左右偏差の変動幅をできるだけ小さくすることを試みる．

4. 制 御 実 験Fig. 5 Power spectrum of an acceleration data with filters

4. 1 実験条件
本実験において，ガントリーは 0[mm/sec] から 75[mm/sec]

モータの力率検知の安定性とのかねあいから 0.02[µm/pulse]

まで 0.2[sec] の間に正弦波曲線で加速され，その後 4.9[sec]のリニアスケールを採用することとした．これを用いると当の間 75[mm/sec] の速度が維持され，最後の 0.2[sec] の間に然，速度フィードバックだけでも分解能が 0.1[µm/pulse] の0[mm/sec] まで減速される指令速度にしたがうように制御されときよりも制御性能がかなり向上するが，本研究は加速度補償る．本論文においては 1.5[sec] から 5[sec] の区間の速度変動率によりさらに制御性能が改善されることを検証するものであと左右偏差に注目し，この区間を定速区間と呼び，75[mm/sec]る．ただ，このように高い分解能のリニアスケールを用いての速度において ±0.5[%] の速度変動率は ±0.375[mm/sec] のも量子化と時間離散化によるノイズはまだ大きい．そこでこ速度偏差となる．

れらのフィルターをどう選定するかは重要なポイントとなる．

ガントリーの走行においてはレールに付着した汚れなどの速度および加速度推定フィルターはその位相遅れによる制ため前に述べた入力外乱のほかに突発的な入力外乱が生じる御性能の劣化を防ぐため 1 次フィルターとした．また，その可能性がある．この外乱の速度と左右偏差への影響を評価す

遮断周波数はこのためには高いほうが望ましいが，高すぎるとるため，つぎのような外乱発生装置を用いる．

推定ノイズが低減されずフィードバックゲインを十分に大きまず電磁石を第 2 脚基部に吸着させ，その電磁石に糸をつくできないので制御性能が向上しない．また，制御中の抑制しけその他端をレール端に固定する．糸は最初はたるんでいる

たい振動の周波数よりも遮断周波数を高く設定する必要があが，定速走行中に張力を発生し，電磁石が脚基部から脱落する．これらを指針として遮断周波数を変えて制御実験を行なるような長さとなっている．この糸の張力を高速応答センサ

い，最適な妥協点を探索した．その結果，速度推定フィルターを用いて計測したところ，糸の伸びのため極く短時間である

W1 (s) の遮断周波数を 100[Hz]，加速度フィルター W2 (s)，が，張力は 0 から次第に増加し約 4[N] に達した時に電磁石W3 (s) の遮断周波数をそれぞれ 50[Hz] に設定する．加速度が脱落し瞬間的に 0 に戻るというのこぎり歯状の入力外乱と推定ノイズは速度推定ノイズと比較して格段に大きいことおなっている．実用上どのような範囲の力とその形状の突発的よびゲイン Ka をある程度高くしないと加速度補償の効果が入力外乱を想定すべきか不明な点が多いが，ここではこのよなくなることから 1 次フィルターを 2 段にして用い，定速うな入力外乱を用いて評価することとする．

時の速度の振動は比較的低い周波数帯で大きいので W2 (s)，4. 2 速度位置ゲイン一定の場合の加速度補償効果検証実験

W3 (s) の遮断周波数は W1 (s) のそれと比べて低めにするの

ここでは加速度 P 補償の比例ゲイン Ka および加速度 PI補償の積分時間 Ta がどのように制御性能に影響するかを見が適当であったと解釈できる．
参考のため Fig. 5 に定速期における W2 (s)，W3 (s) を用るため速度ゲイン Kv と位置ゲイン Kp をそれぞれ 150 と 25いた制御時の加速度推定値のパワースペクトルを示す．定速に固定し，Ka と Ta を系が振動的にならない範囲で変化させ期ではあるが制御中なので多少の信号成分が存在することた制御実験を行なう．比較のため加速度補償がない場合につを考慮すると，制御帯域を 150[Hz] と考えてノイズ成分はいても制御実験結果を示す．

230.01[(mm) /sec ] 以下に収まっていると推定される．これはまず，Fig. 6，Fig. 7，Fig. 8 に加速度補償がない場合のフィルタを用いなかった場合の加速度推定値のパワースペク

ガントリーの中心速度，左右偏差，外乱を加えた場合の第 2トルの約 1/100 となっている．

脚の速度と外乱として加えたのこぎり歯状の負荷を示す．こ

樹脂塗布においては，膜厚はスリットダイの樹脂吐出流量とガントリーの移動速度の比に比例する

3)．また，樹脂吐出流のときの速度偏差は ±0.05[mm/sec] であり，左右偏差の変動幅は 5.3[µm] である．

量を一定とすれば塗布膜厚の目標値に対する変動率は移動速

つぎに速度ゲインと位置ゲインを一定のまま，加速度 P 補償度の目標値に対する変動率と一致する．したがって，膜厚を一の比例ゲイン Ka を 0.5，1.0，1.5，2.0 と大きくしていったとこ
ろ，系が振動的にならない限り，Ka が大きいほど良い結果が得56

Fig. 6 Gantry center velocity without acceleration compensation control

Fig. 9 Gantry center velocity with P acceleration compensation

Fig. 7 Leg deviation without acceleration compensation control

Fig. 10 Leg deviation with P acceleration compensation

Fig. 8 Second leg velocity when the input disturbance is applied in case of without acceleration compensation
control

Fig. 11 Second leg velocity when the input disturbance is applied in case of with P acceleration compensation

さらに位置ゲインと速度ゲインを一定の状態で Ka を 1.0 にられた．Ka = 2.0 のときの 3 つの評価項目の結果を Fig. 9，固定しておき Ta を 100[msec] から 50，20，10，8[msec] と変Fig. 10，Fig. 11 に示す．速度偏差は ±0.026[mm/sec] ，左化させ加速度 PI 補償の実験を行なった．系が振動的にならな右偏差の変動幅は 3.0[µm] まで改善された．また，外乱を加い限り Ta が小さいほど制御性能がよくなる．Ta = 8[msec]

えた場合の速度はピーク値が下がり，元の速度に戻るのも早の場合の 3 つの評価項目の結果を Fig. 12，Fig. 13，Fig. 14

くなっている．に示す．速度偏差は ±0.0083[mm/sec] ，左右偏差の変動幅

57Fig. 12 Gantry center velocity with PI acceleration compensation

Fig. 15 Gantry center velocity without acceleration compensation with parameter optimization

Fig. 13 Leg deviation with PI acceleration compensation

Fig. 16 Gantry center velocity with P acceleration compensation with parameter optimization

Fig. 14 Second leg velocity when the input disturbance is applied in case of with PI acceleration compensation

Fig. 17 Gantry center velocity with PI acceleration compensation with parameter optimization

は 0.6[µm] となり，積分の効果により左右偏差の変動は 0 を中心としたものになり，加速度 P 補償の場合よりも良い結果乱の影響を受けることなく，元の速度を保っている．

が得られた．PI 補償の積分は低周波領域でゲインをあげた効

ただ速度変動のピーク値は加速度 P 制御のほうが小さく果をもち，モータの着磁ピッチムラのような低周波の入力外なっている．このピークは入力外乱が瞬間的に 0 になること乱の影響をなくしていると思われる．また，Fig.14 からわかによる反動で生じるもので加速度フィルターと積分を用いたるように外乱を加え始めピークにいたるまでの間も速度が外補償では補償しきれないことを示している．

58

Fig. 18 Leg deviation without acceleration compensation
with parameter optimization

Fig. 19 Leg deviation with P acceleration compensation withparameter optimization

Fig. 21 Second leg velocity when the input disturbance is applied in case of without acceleration compensation
with parameter optimization

Fig. 22 Second leg velocity when the input disturbance isapplied in case of with P acceleration compensationwith parameter optimization

Fig. 20 Leg deviation with PI acceleration compensation
with parameter optimization

以上をまとめると，系が振動的にならない限り Ka は大き

Fig. 23 Second leg velocity when the input disturbance is applied in case of with PI acceleration compensation
with parameter optimization

いほど，Ta は小さいほど制御成績はよくなる．また，加速度補償がない場合に比して，加速度 P 補償を行なった場合，速に，制御性能が向上する結果が得られた．

度偏差，左右偏差の変動幅，外乱を加えた場合のいずれにお4. 3 制御パラメータ最適調整後の加速度補償効果検証実験

いても制御性能は向上し，加速度 PI 補償を行なうと，さら4.2 節では Kv と Kp を一定とした実験を行なったが，加速59

左右偏差に関してはその変動幅が Fig. 18 で 1.7[µm]，Fig. 19で 1.5[µm]，Fig. 20 で 0.24[µm] となっている．加速度 P，PI補償の効果は速度偏差の場合と同様であるが，特に，加速度PI 補償の場合は左右偏差の変動が 0 を中心に相当小さいものとなっている．
突発的な入力外乱が加わったときの第 2 脚の速度変動については，外乱が加わり始めてからピークに達するまでは，加速度 P 補償，加速度 PI 補償の順に変動は小さくなっている．
ただピーク値やその直後の速度の戻りに関してはほとんど効果が見られず，加速度 PI 補償ではかえって悪化している．これは速度変動と左右偏差の改善を目標にパラメータを調整したため，加速度 P 補償では位置，速度，加速度補償ゲインをFig. 24 Second leg velocity when the input disturbance is applied in case of with P acceleration compensation
with best parameter optimization for input disturbance

必要以上に大きくできず，加速度 PI 補償では積分時間を限度まで小さくしていることが原因である．そこで，この入力外乱による速度変動を小さくすることを目標に制御パラメータの再調整を試みた．加速度 P 補償の場合を Fig. 24 に，加速度 PI 補償の場合を Fig. 25 に示す．これらより，速度変動や左右偏差の多少の悪化が許されるとすれば，加速度補償により突発的入力外乱の速度への影響のピーク値やその直後の速度の戻りを改善できることがわかる．
以上より，加速度補償は速度偏差，左右偏差の変動幅，突発的入力外乱の速度への影響の 3 つの評価に関していずれも効果があり，とくにリニアサーボモータの着磁ピッチムラの影響と思われる低周波の速度と左右偏差の変動に対しては加速度 PI 補償の効果が大きいと結論できる．ただ，突発的入力外乱による速度変動のピーク値やその直後の速度の戻りに関しては，最適な制御パラメータが異なるということがある

Fig. 25 Second leg velocity when the input disturbance is applied in case of with PI acceleration compensation
with best parameter optimization for input disturbanceが，これらの現象の原因である入力外乱の大きな瞬間的変化は実用上あまりないと考えられるので大きな問題とはならないと思われる．

5. あ と が き度補償を用いるためこれらを低く設定している．したがって，空気圧浮上ガントリーの左右脚独立速度制御において，定加速度補償の有効性を検証するには，加速度補償なし，加速速期の速度変動率と左右偏差および突発的入力外乱のそれら

度 P 補償，加速度 PI 補償のおのおのについて制御パラメーへの影響を低減する加速度補償制御則を提案し，ミニチュアタを最適調整したものについて比較を行なう必要がある．

ガントリーを用いてその有効性を検証した．まず，速度と位ここでは速度偏差を小さくすることを主に左右偏差の変動置のフィードバックゲインを一定とした場合は加速度補償比幅を小さくすることを従として制御パラメータの調整を行なっ

例ゲインと積分時間の逆数は系が振動的にならない範囲ではた．このときの，加速度補償なし，加速度 P 補償，加速度 PI大きいほど制御性能が向上することを検証した．

補償の場合の場合の中心速度をそれぞれ Fig. 15，Fig. 16，つぎに，各制御方式で制御パラメータを最適調整した結果

Fig. 17 に，左右偏差をそれぞれ Fig. 18，Fig. 19，Fig. 20を比較することにより加速度補償の効果と有効性を実証した．に，突発的入力外乱の第 2 脚速度への影響をそれぞれ Fig. 21，

本研究で用いたミニチュアガントリーは実機に近い運動特性

Fig. 22，Fig. 23 に示す．

を有しているので，これらの結果は実機においてもリニアス

速度偏差に関しては Fig.15 では ±0.017[mm/sec]，Fig.16では ±0.013[mm/sec]，Fig.17 では ±0.0064[mm/sec] となっケールの分解能が同等であれば実装できると思われるので，たいへん有用であると考えられる．ている．加速度 P 補償は効果があるもののあまり大きくなく，加速度補償においてはリニアスケールによる加速度推定ノ

加速度 PI 補償の効果は非常に大きくなっている．当然のこイズの低減が重要な問題である．さらに高い分解能のリニアとながら，これらのいずれの場合も速度と位置ゲインを一定スケールを用い，モータの位相特性を改善することで，加速としたときよりも制御成績は改善されている．

度補償をさらに有効にできると思われる．

60

クロスカップリング制御における加速度補償の有効性の検証およびガントリーの加速期においても加速度補償を用いて速度変動率と左右偏差を小さくすることを現在検討中である．
[参 考 文 献]1）苅北一朗，前田浩一：ガントリータイプ精密テーブルの精密速度制御について，計測自動制御学会産業論文集，5-11，75/82（2006）
2）堀 洋一：加速度制御形サーボシステム，公開特許公報，昭和64-65608（1989）
3）濱口正良他：Electric Journal 別冊「2006LCD 工場・設備・装置」，第 4 章，第 7 節，電子ジャーナル（2005）［著苅 北一者

紹介］朗（正会員）
1974 年早稲田大学理工学研究科電気工学専攻修了．同年東レエンジニアリング（株）入社．FA コントローラ，NC 制御コントローラの開発に従事．

前 田浩 一（正会員）
1966 年大阪大学基礎工学部制御工学科卒業．71
年同大学大学院基礎工学研究科博士課程単位取得退学．同年同大学基礎工学部制御工学科助手．助教授を経て，92 年立命館大学理工学部情報工学科教授．96 年同大学理工学部ロボティクス学科教授．この間（78〜79）トロント大学電気工学科客員研究員．現在，ロボットのモデルベースド制御および運動，作業知能などの研究に従事．日本ロボット学会，日本機械学会，システム制御情報学会，IEEE の会員．

北野岳志
2005 年 3 月立命館大学理工学部ロボティクス学科卒業，06 年 4 月立命館大学大学院入学，空気圧浮上ガントリーの精密速度制御の研究に従事．
2007 年 4 月より日揮（株）に勤務．

徳平裕介
2006 年 3 月立命館大学理工学部ロボティクス学科卒業，06 年 4 月立命館大学大学院入学．空気圧浮上ガントリーの精密速度制御の研究に従事．