座標測定機

三次元測定機用
非接触レーザプローブ

SurfaceMeasure

Catalog No.16000(16)高精度、高速、高効率な測定を実現

非接触レーザプローブの登場で検査設備として利用されていた三次元測定機は、開発 / 試作 / 生産のあらゆるプロセスで活躍する生産設備としても位置づけられるようになりました。

SurfaceMeasureシリーズにはレーザ照 射 方 式や測 定 範 囲 が 異なる 2 種 類をラインナップしています。測 定ワークの 形 状 、表面性状に合わせてレーザープローブをお選びいただけます。

1

開発部門ではマスタモデルや CADデータがない製品でも、測定点群データをもとにした最適化設計により開発プロセスは大幅に効率化されます。

試作部門では部品の干渉やクリアランス、加工セッティングの最適化などCADデータとの照合はもちろん、をシミュレーションできますので、試作から量産向け評価までの工程を短縮できます。

生産部門では量産品のバラツキを管理したり、解析データを前工程にフィードバックし、例えば型修正用データ等にも利用できます。

2非接触レーザプローブもMitutoyo Quality
CNC 三次元測定機用として開発された軽量かつ高性能な非接触レーザプローブです。

最大で 720 方向の位置決め制御により、複雑なワークでも最適な姿勢での高速スキャニングが可能です。また、接触式スキャニングと比較して、測定点群データを短時間で高密度に取得できます。

オートプローブチェンジャーACR3 を利用することで、”非接触測定 / 接触測定”を使い分けながらの全自動測定が可能になります。

レーザスキャニングによって得られた測定点群データは、ものづくりへの展開を容易にします。
寸法計測に留まらず、市販ソフトウエアを利用した点群データからのモデリング、構造 / 流体解析、造形機へのデータ転送など、デジタルエンジニアリング用のツールとして活用できます。

SurfaceMeasure1110

SurfaceMeasure201FS■高速かつ高密度に3D形状データを取得します。測定幅■フライングスポット方式を採用することでエッジ部分が110 mm、測定できる深さが100 mmあるため、奥行などの測定でも高い形状再現性を実現しました。

きのある形状も1回のスキャンで測定できます。

また、レーザ強度の調整を自動で行いますので、色が混在するものや反射率の異なる物体でも、安定した

サ イ ク ルも の づ く り

形状データを取得することができます。

非接触測定で三次元測定機を用いるメリット
・要求精度や形状に合わせて接触 / 非接触測定を使い分けることができるため、測定の信頼性を向上できます。

信頼性

全自動・ツールチェンジャで複数のプローブを自動交換できるため、複雑な形状の測定も測定からレポート発行まで全自動でカラーサンプル板の測定行えます。

紫銀

銅

金緑

赤青黒

※レーザプローブへの電源供給ポート付 ACR3 を利用すると、レーザプローブの暖機運転が短縮できます。

ワーク

34

仕様
● CNC 三次元測定機（CRYSTA-Apex V、STRATO-Apexシリーズ、他）で動作します。

プローブの特長と適用先例

SurfaceMeasure1110

SurfaceMeasure201FS

ビームエクスパンド

フライングスポット

測定幅110 mm

最大23 mm

測定深さ100 mm

15 mmワーキングディスタンス

155 mm57.5 mm9 µm

1.8 µm36 µm

8.0 µm300,000点 / 秒

25,000点 / 秒

440 g

500 g

データ取得速度
質量EN/IEC
レーザクラスカーボディ、インナーパネル、鋳造品、航空機ボディ、ブレード

201FS

フライングスポット式レーザ照射、多重反射に強い
高精度モデル

小物、高精度部品

Class2 [ IEC60825-1-2014,EN 60825-1:2014 + A11:2021 ]

JIS

測定領域

Class2 [ JIS C 6802 : 2014 ]媒体
測定用レーザ

データ取得速度が従来比 4倍、奥行きのあるワーク、広範囲の測定時間短縮に有効

適用先の例

単位：mm

半導体レーザ

波長660 nm

670 nm

出力

2.5 mW

1 mW

403

1110

汎用測定

201FS

汎用測定

3066183※1：当社指定の検査方法による。
（1σ/ 球測定）、プローブ単体誤差※2：ISO 10360-8:2013の検査方法による。プローブ単体誤差

147.5

P form.sph.D95%:Tr:ODS

1110

106.5

2スキャニング誤差※（95%）

特 長156.5

1スキャニング誤差※（1σ）

SurfaceMeasure

267.5

レーザ照射方式51

仕 様（68）高感度・汎用測定57.5

5015100401101110

5201FS6データ処理ソフトウェア

点群データ処理ソフトウェア MSURF
MSURF（エムサーフ）は非接触レーザプローブ SurfaceMeasure をお使いいただく際に、測定から評価までを同一プラットフォームで作業できる点群データ処理ソフトウェアです。

MSURF-S■ SurfaceMeasureを装着した CNC 三次元測定機で点群データを計測するためのソフトウェアです。
スキャニング開始点、スキャン長さ、スキャン幅の3 点を定義するだけでスキャニングパスを生成します。
●3点の指定は、カメラプレビューを確認しながらJ/Sを操作することで容易に行えます。

● J/S のボタンを使ってスキャニングパスの設定・実行
およびマクロへの登録と削除を行えます。

●画面上に点群またはマスタデータが存在する場合には、PCを操作しなくとも測定作業を行えるため、特に大型そのデータ上をマウスで指定することで 3 点を定義する三次元測定機の場合には作業効率が格段に向上します。

ことができます。これは、シミュレーションによる測定パスの生成や、取り残しデータ部の再測定指定等に便利で、測定工数の低減に役立ちます。

■MSURF ソフトウェアパッケージ
ソフトウェアパッケージ■MCOSMOS からMSURF-S を起動できます。

●作成された測定マクロは、オーバーライド機能によって● MCOSMOSで作成したワーク座標系をMSURF-Sで利用できますので、“ 接触測定 / 非接触測定 ” を融 合した測定条件を部分変更または一括変更できます。

ソフトウェアMSURF-S
1

On lineMSURF-S
2

MSURF-S
3

MSURF-S○○○

MSURF-G
1

Off line
MSURF-G MSURF-G
2
3●サブマクロ機能は同一ワークを複数個測定する場合にMSURF-I
PRO

全自動測定が可能です。

有効です。
●測定条 件と三次元測定機の仕様から、測定マクロの実行時間を試算します。

○MSURF-G○○○

MSURF-I
MSURF-I Option○○○○

MSURF-MESH PRO

○

○

○

○

MSURF-PLANNER ※■スキャニングパスは測定マクロとして登録できます。

○○○○

○

※MSURFシリーズは Windows10/11で動作します。

非接触測定による評価は、まず成形された部品の表面をできる限り捉えることから始まります。
部品の表面から得られる高密度な点群は、MSURFによって「幾何要素の抽出」「自由曲面および断面形状の評価」「マスターデータとの比較照合」等のデータ解析に利用されます。
また、リバースエンジニアリングの世界へ展開することで、3Dデータを核とした"ものづくりサイクル"の活性化も期待できます。

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MSURF-I

MSURF-G■測定した点群データを取り込み、データ解析または設計値（CADデータのインポートに対応）との比較照合を行うソフトウェアです。

MSURF-PLANNER■MSURF-Sのオフラインバージョンです。CADデータ■MSURF-PLANNER は、3D CADデータからレーザプを使用することによって、事前に測定マクロを作成ローブ用の測定マクロ（面形状、要素形状）を自動することが出来るため、現物が用意できた時点で生成するソフトウェアです。

■CADデータのインポート■面形状の比較

即時に測定作業に着手できます。また、測定マクロ

測定パスは最適化（移動経路、プローブヘッド回転●標準で、STEP, SAT 形式に対応しています。

●点群またはメッシュデータとCADデータを比較し、面形作成のために測定機を占有する必要がありません

回数など）された内容のため、お客様の生産性のので、測定機の稼働率アップを図れます。

向上に貢献します。

●オプションで、CATIA V4, CATIA V5, ProEngineer,Unigraphics, VDAFS, Parasolid, Solidworks, IGES, JTが利用可能です。

状の誤差をカラーマップで表示します。
●肉厚量をカラーマップで表示できますので、従来のように実ワークを切断する必要はありません。
●デジタルキャリパ の 形状を定義できますので、様々な■断面形状の比較●点群またはメッシュとマスタデータを切断し、断面形状の比較や角度・距離・R 等の寸法計算ができます。

※MSURF-GはMSURF-Sと組み合わせることはできません。

段隙評価に対応可能です。
●面の曲率評価では、例えば指定された寸法公差内の角R の評価等に利用できます。

MSURF-MESH PRO■点群、メッシュに対するフィルタリングなどの各種操作を行うことが可能です。標準機能と比べ機能強化されています。また、メッシュの間引き、強調、穴埋め、クリーンなど、標準では使用できない機能も使用可能となります。
※MSURF-MESH PROはMSURF-Iのオプション機能です。

MSURF-PLANNER による測定マクロの自動生成
誤差のカラーマップ

肉厚のカラーマップ

段差 / 隙間の評価

面の曲率評価

断面評価（寸法計算）■オートメーション機能による操作手順マクロの作成●オートメーション機能は、測定マクロの実行も含めた操作手順を記録できます。
これによって、測定から評価、レポートまでの一連の操作を自動化できます。

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水戸市元吉田町260-3〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372
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さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610
厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F〒243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404
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