システム製品SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage

手動ステージ共通ガイダンス
Common Features of Kohzu Manual Stages

アクチュエータ
Actuator Solutions
マイクロメータヘッドは、精密に位置を決めるための器具で、研削加工されたネジと雌ネジで構成されています。スリーブの目盛とシンブルのバーニア目盛を組み合わせることで、10μm単位までの位置読みとりが可能です。

マイクロメータヘッド Micrometer

Kohzu standard micrometers offer precise ground-screw positioning and 10 micron
resolution measured on laser etched vernier-scale along actuator body.

X・XY
X・XYZZ

精密ポジショナー Fine Pitch Positioner
回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

精密ポジショナーは、精密位置決め用に開発されたアクチュエータです。送り方式は研削ネジを利用した粗動と、弾性ヒンジを利用した微動から成り立ちます。弾性ヒンジ構造の採用でネジの噛み合わせによるバックラッシュを無くし、50nm程度の感度で位置決め調整ができます（詳細はO-008ページ）。
Kohzu's Fine Pitch Positioner (FPP) was developed for precise positioning. It has
both coarse and fine position adjustments, a minimum resolution of 0.5 microns
and an unrivaled 0.05 micron sensitivity. Refer page O-008.

ハンドル Handle-Wheel

弊社独自のハンドルです。1周25分割の目盛が付いたもの、及び目盛の無いものの2種類があります。
Kohzu handle-wheel actuators with 25 divisions per revolution or no scale are alsoavailable. Device resolution is calculated by dividing lead-screw pitch by the numberof divisions on the actuator barrel.

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox

アクチュエータ仕様一覧
Specification of Actuators
名称Name
マイクロメータヘッド
Micrometer

精密ポジショナー（粗微動）Fine Pitch Positioner(coarse, fine)

モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories

移動範囲
Motion Range

最小読取
Minimum Readout

ネジピッチ
Thread Pitch (mm/p)

MHT4-6.5

6.5mm

10μm

0.5mm/p

MHS4-1313mm

10μm

0.5mm/pMHM2-1515mm

10μm

0.5mm/p

MHN4-25T

25mm

10μm

0.5mm/p

FPPO3-13

粗動 Coarse

13mm

10μm

0.5mm/p

微動0.3mm

0.5μm（感度 50nm）(Sensitivity 50nm)

－Fine

クランプ
Locking Mechanism
ディスククランプ Caliper-Lock

ステンレス板のディスクを2枚の平板で挟み込むタイプのクランプです。
クランプ時の位置ずれを数μm以下に抑えます。

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver

型式
Model Number

The caliper-lock is used on most linear travel stages. In
this mechanism locking is achieved by clamping two flat
metal calipers against both sides of a flexible stainlessplate (in similar fashion as calipers on a disc brake) bytightening a knurled thumb-screw. The benefit of thismechanism is positive locking with minimal lateral position
displacement.

板バネクランプ Spring-Plate Lock

ゴシックアーク、Zステージ、スイベルステージに使用されています。板バネをクランプネジで移動体に押しつけて、移動体をクランプします。
Kohzu's spring-plate locking mechanism is used on all
swivel-arc stages. It uses a flexible plate that deflects
when locking screw is tightened.

検査システムInspection
SystemC-002

C.indd 2

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 16:28

システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

回転ステージのクランプ Rotary Stage Table-Lock & Travel-Stop

回転ステージには、2つのクランプが取り付いています。ひとつは粗動の動きを固定するクランプと、もうひとつはマイクロメータヘッドによって押されるバーを反対側から押さえつける微動クランプがあります（精密ポジショナー付回転ステージには、精密ポジショナーが破損する恐れがあるので附属致しません）。
Kohzu manual rotary stages are fitted with two separate locking mechanisms. First isa table-lock used to lock coarse rotation. The second lock is an actuator travel-stopand is used to prevent fine rotation produced by stage actuator. The travel-stop
restricts forward (CW) actuator travel. However, it does not impede reverse (CCW)
actuator travel. Stages fitted with FPP differential actuators do not include a travelstop, because it can damage the FPP actuator if improperly used.

ハンドルクランプ Actuator-Lock
実験用
Experimental

ハンドル 付 Zス
テージに使用されて います 。ハンド
ルの回転を防止します。

手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Actuator-Lock is used to verticallinear stage. Preser ve thehandle rotation.

ZZ

回転Rotation

オプショングリス交換
Option Lubricant Change

ご要望に応じてステージのグリスをクリーン対応グリス、または真空対応グリスに変更いたします。
＊グリス以外の部品、表面処理、組み立て環境は標準と同じです。
＊オプショングリス交換は、クリーン環境、真空環境でのご使用を保障するものではありません。
●クリーングリス：LG2（日本精工株式会社）〔ねじやベアリングの回転時にも発塵量を少なく保つ効果があります。〕●真空対応グリス：S-3230（株式会社MORESCO）〔高い真空環境を汚染しにくい、飽和蒸気圧の低いグリスです。〕＊標準グリスと粘性が異なるため、標準品とは感触が異なることがあります。
＊お客様ご指定のグリスも対応可能です（グリス代は別途費用となります）。
●グリス交換箇所
1．
案内部：ボールレースと円筒コロ摺動面、クロスローラベアリング。
2．
送り機構部：ウォーム＆ウォームホイル、クサビ部、ラック＆ピニオン部。
マ3．
 イクロメータヘッド（精密ポジショナーFPP03-13を除く）。

Stage lubricants can be changed for clean-room andvacuum applications with strict lubrication requirementswith charge.
＊Except lubricant, using parts and surface treatment andmanufacturing environment is same as standard
condition.
＊Clean room environment or vacuum environment cannot
be guaranteed by option lubricant exchange.
●Clean room lubricant:LG2 from NSK LTD.
(Clean room lubricant aids in the reduction of particulate
output when stage’s screw and bearing rotating.)●Vacuum lubricant:S-3230 from MORESCO corporation.
(Vacuum lubricant is low in particle emissions, and Low
saturated vapor pressure.)＊Viscosity is different from standard grease, then feelingcan be different.
＊C ustomer’s specified lubricant can be corresponded(lubricant cost will be added separately).
●Affected parts
1. G uide: ball race, sliding surface of ball bearing,crossed roller bearing.
2. Feeding mechanism: worm and worm wheel, wedge,
rack and pinion
3. Micrometer (Except model number sfine pitch positioner“FPP03-13”)

真空の区分と圧力範囲
Vacuum category and pressure range

単位換算表
conversion chart

低真空
中真空
高真空
超高真空
極高真空

区分
Low Vacuum
Medium Vacuum
High Vacuum
Ultra-High Vacuum
Extreme-High Vacuum

圧力範囲（Pa）
100kPa～100Pa
100Pa～0.1Pa
0.1Pa～10ｰ5 Pa
10ｰ5 Pa～10ｰ8 Pa≦10ｰ8 Pa

圧力範囲（Torr）
760～1 Torr
1～10ｰ3 Torr
10ｰ3 Torr～10ｰ7 Torr
10ｰ7 Torr～10ｰ10 Torr
＜10ｰ10 Torr

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転
Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller〔Torr〕〔atm〕〔kgf/㎠〕〔psi〕〔Pa〕
1Torr＝1㎜Hg 1
1.31579×10ｰ3 1.35951×10ｰ3 1.9337×10ｰ2 1.33322×102
1atm
760
11.03323
1.4695×10 1.01325×105
1kgf/㎠
7.3556×102 9.6784×10ｰ1 1
1.4223×10 9.80665×104
1psi
5.1715×10 6.8046×10ｰ2 7.0307×10ｰ2 1
6.8948×103
1Pa（＝1N/㎡）7.5006×10ｰ3 9.8692×10ｰ6 1.01972×10ｰ5 1.4503×10ｰ4 1

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application

ステージ取付方法
Stage Installation
ステージを他のステージや定盤に組み付ける際は、テーブル面をずらすか、マイクロメータヘッドを十分に回転させてから行なって下さい。また、ステージの取り付け穴位置を合わせるために、各種スペーサをご用意してありますのでご利用下さい。
（O-006ページをご参照下さい）＊テーブル面を戻す際に、バネの反動により深刻な障害を起こす恐れがありますので注意して作業を行なって下さい。

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モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

Mounting Kohzu stages is quick and simple. Mounting holes are provided on stage base and are counter-bored for standard
metric socket-head screws. To access mounting holes (two at a time) move stage to each end of travel. Kohzu also offers aselection of adapter plates to facilitate stage mounting to third-party devices with custom bolt patterns. See page O-006 foravailable adapter plates.
＊You should take care to move back the stage from end of travel, there is heavy damage caused by spring kickback.

アクセサリー
Accessories

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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検査システムInspection
System2022/07/28 16:28