洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に
ULTRA-CLEAN ULTRASONIC FLOWMETER

SFC2000

RoHS 対応

UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器

概要
UCUF シリーズ超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。接液部はすべて特殊グレードの PFA の成型品で構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすい O リングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC2000 は UCUF 用の変換器で、次世代アップグレードチップを搭載することにより、超音波伝播時間計測分能解と安定性を向上させながら、消費電力を大幅に低減（弊社従来機種の半分以下）することを実現した製品です。
さらに、ケースの見直しも行い（弊 社従 来品と比 較し体 積 比 50%
Down） 設 置 の 省 スペ ース化、 また、 市 販 の TBUS コ ネクタでSFC2000 同士を接続することにより面倒な配線作業なしで最大 8 台の連結を可能にしました。

特長●次世代アップグレードチップの採用
このチップは最小出力時間分解能 45 ps と高速で伝搬時間計測が行える。その為 CPU の負担を軽減すると共に消費電力を小さくする事が出来ました。これにより、発熱による温度上昇を抑え信頼性を標準仕様

UP させました。

形式●コンパクト
検出器・変換器分離型で、軽量コンパクト。
従来製品と比べて 50％のシェイプアップを実現しました。
DIN レール取り付け式バスコネクタ採用により、連結時の電源およ

SFC2000-0

電源電圧

DC24V ± 10%

消費電流

約 40mA
約 65mA（スタート時約 150mA）（スタート時約 150mA）

突入電流

び RS485 の省配線化が可能。
SMB コネクタを採用し小形化しました。
出力● EMC 適合規格 ：EN61326-1: 2006

1 A 以下● RoHS 対応
入力2●動粘度 40mm /s までの高粘度流体の測定が可能●腐食に強く、取付けが容易●精度：指示値の ± 1% 以内（流速 1m/s 以上において）●新機能
エラー履歴保持機能

DC24V ± 10%・周波数パルス出力
オープンコレクタ
パルス
負荷定格：DC30V、10mA 以内
出力
デューティ比：1：1
パルスレート： 0 〜 1000Hz（フルスケール）
電流
出力●理想的なクリーン構造の検出器

SFC2000-A

DC4 〜 20mA
負荷抵抗：500Ω 以内

なし

センサ
専用ケーブル（SMB コネクタ）
信号

通信機能

RS485 通信機能搭載
プロトコル：MODBUS
最大 32 台まで接続可能

・測定対象

：液体全般

・流体温度

：5 〜 90℃・流体の音速：400 〜 2500m/s

・流体の動粘度：0.3 〜 40mm2/s

・適合検出器・流量範囲
センサ

流量レンジ（L/min）
最小最大

UCUF-04M

0 〜 0.05

0 〜 2.0

UCUF-04HM

0 〜 0.05

0 〜 3.0

UCUF-06M

0 〜 0.4

0 〜 8.0

従来の超音波流量計は、液体中に気泡が含まれると超音波の伝搬

UCUF-10M

0 〜 1.0

0 〜 20.0が阻害されて流量測定が不能になりましたが、豊富なフィールド経

UCUF-15M

0 〜 3.00 〜 50.0

験による伝搬時間判定技術で、気泡の影響による異常出力を排除し

UCUF-20M

0 〜 4.0

0 〜 80.0ます。

※ 同軸コネクタは SMB コネクタ
※ その他の形式についてはご相談下さい。

●容易な操作で被測定液に合わせたパラメータの設定が可能●対気泡性能の向上

TG-F1096-4
改訂 2016 05 K
初版 2012 09 K

SFC2000UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器

フロント部
・ローカットオフ：0 〜 25 % F.S.

・リニアライズ機能：動粘度設定による自動補正
手動リニアライザも付加可能（最大 10 点、折れ線近似方式）

㸦㸧ղ

・ステータス表示：ERROR、ZERO/AGC（赤色 LED 表示）SET（青色 LED 表示）㸦㸧ճ・アドレススイッチ：1 〜 32 まで設定可能

㸦㸧

・周囲温度

：0 〜 60 ℃（単独）
0 〜 50 ℃（5 mm 間隔連結）
0 〜 40 ℃（密着連結）※ 連結設置の場合は、取付姿勢によって留意点がございますので、取扱説明書を参照してください。

・周囲湿度：30 〜 95 % RH（結露なきこと）

アナログ出力付識別ライン

㸦㸧

=(52$'-ձմ
(55=(526(7

յ
ն


$'5շ

・取付：DIN レール取付・連結方式、台数：バスコネクタによる、最大 8 台突入電流制御電源により台数増加可能。
ご相談下さい。
（バスコネクタ電流定格 8A のため。
）

・構造：IP30（屋内仕様）

番号・材質：PA66（グレー）1ゼロ点調整スイッチ

・質量：約 70 g（アナログ出力無し）

2

パルス出力 / アナログ出力用
パルス / アナログ出力端子コネクタ（4 極）

3ERROR ランプ（赤色）

受信信号異常時に点灯

4AGC/ZERO ランプ（赤色）AGC エラー時点灯ZERO 点調整中は点滅

5SET ランプ（青色）

通信パラメータ設定中に点灯 /点滅

約 75 g（アナログ出力付き）
形式コード
SFC2

□00-□

内容0

UCUF-04, 06

1

UCUF-10, 15, 20

名称

内容ゼロ点調整を行うとき押します。

0

アナログ出力なし

6

RS485 アドレススイッチ

スレーブアドレスを設定

A

アナログ出力付き DC4 〜 20 mA

G

アナログ出力付き DC0 〜 20 mA

7

SMB コネクタ

センサケーブルを接続

H

アナログ出力付き DC1 〜 5 VN

アナログ出力付き DC0 〜 5 VP

アナログ出力付き DC0 〜 10 V

SMB コネクタ
端子

識別色

極性

IN

赤

流入側

OUT

黒流出側

内容センサ信号入力

パルス出力／アナログ出力端子配列
アナログ出力無し（SFC2000-0）
端子 NO.

名称

1P.OUT ＋パルス出力 ＋側信号

内容2P.OUT −パルス出力 −側信号

3NC

未接続

4NC

未設続

アナログ出力有り（SFC2000-A 他）

2TOKYO KEISO CO., LTD.

端子 NO.

名称

1P.OUT ＋

パルス出力 ＋側信号

内容2P.OUT −パルス出力 −側信号

3A.OUT ＋アナログ出力 ＋側信号

4

A.OUT −

アナログ出力 −側信号

TG-F1096-4

SFC2000UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器

外形図

97

MAX 11017.56934※
71〜76 スライド
※SFC2000-A 他用バスコネクタ 2 を接続した場合は 39 mm になります

DINレール 35 mm幅（JISC2812）

バスコネクタ端子配列
端子番号
á&â
á'â
á(âá)â
á*â

端子仕様 / 端子名

内容1

DC POWER 0 V

DC24 V 電源 （−）

2

DC POWER 24 V

DC24 V 電源 （＋）

3RS485 SG

RS485 通信 シグナルグランド

4RS485 ＋

RS485 通信 （＋）

5RS485 −RS485 通信 （−）

バスコネクタ（5極）

TG-F1096-4

TOKYO KEISO CO., LTD.

3

SFC2000UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器

バスコネクタ 1

バスコネクタ 2
17.5

2222.522

DINレール

DINレールバスコネクタ 2 で連結した場合

バスコネクタ 1 で連結した場合
配線用コネクタ
（メス）
17.5

17.5

配線用コネクタ
（メス）

17.5

17.5

17.5

17.5

配線用コネクタ
（オス）

ZERO
ADJ.

124816ERR
ZERO
SET

485
ADR

ZERO
ADJ.

124816ERR
ZERO
SET

485
ADR

ZERO
ADJ.

124816配線用コネクタ
（オス）

ZERO
ADJ.

ERR
ZERO
SET

124816485
ADR

ERR
ZERO
SET485
ADR

ZERO
ADJ.

124816ZERO
ADJ.

ERR
ZERO
SET124816485
ADR

ERR
ZERO
SET485ADR

DINレール

DINレール
17.9

17.99.55514.5

使用コネクタ一覧
仕様

形式

PHOENIXCONTACT 社
Order No.

適合ケーブルバスコネクタ 1（SFC2000-0 用）

3.81 mm ピッチ 5 極
グレー（17.5 mm 幅）

ME 17.5 TBUS 1.5/
5-ST-3.81 KMGY

2713645―

変換器本体接続、連結用（17.5 mm 幅）

バスコネクタ 2（SFC2000A, G, H, N, P 用）

3.81 mm ピッチ 5 極
グレー（22.5 mm 幅）

ME 22.5 TBUS 1.5/5-ST-3.81 KMGY

2713722―

変換器本体接続、連結用（22.5 mm 幅）

バスコネクタ配線用コネクタ（メス型）

3.81 mm ピッチ 5 極
緑（ソケット）IMC 1.5/5-ST-3.81

1857919

AWG # 28-16

24 V 電源配線
RS485 配線／終端抵抗取付用

バスコネクタ配線用コネクタ（オス型）

3.81 mm ピッチ 5 極
緑（プラグ）

MC 1.5/5-ST-3.81

1803604

AWG # 28-16

24 V 電源配線
RS485 配線／終端抵抗取付用

パルス出力 / アナログ
出力配線用コネクタ

3.81 mm ピッチ 4 極
緑（プラグ）

MC 1.5/4-ST-3.81

1803594

AWG # 28-16

基板側コネクタMC 1.5/4-G-3.81 P26 THRR32

種類

備考※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

http://www.tokyokeiso.co.jp〒105‒8558 東京都港区芝公園1‒7‒24芝東宝ビル
TEL: 03‒3434‒0441（代） FAX: 03‒3434‒0455
4

TOKYO KEISO CO., LTD.

製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。

anything@tokyokeiso.co.jp

使用可否、形式選定などなんでも（Anything）
ご遠慮なくどうぞ。

TG-F1096-4