ミラプロ真空計

タフゲージ
総合カタログ真空計タフゲージシリーズ ラインナップ
複合真空計
機

タフゲージ（ピラニ ＋ BAタフゲージ）
種

形状
測定範囲
インターフェイス
圧力信号出力出力信号
接続フランジ

温度補正

タフモード

TG301CD
トランスミッタタイプ（LED表示付）
1×10-8Pa～1.2×105Pa
RS232C
0 - 10V × 1ch
セットポイント接点×2ch、アラーム接点
NW25、CF70※本機には電源は付属しません。別途 TG200CBL（電源通信ケーブル）をご使用ください。

コールドカソードタフゲージ
機

種形状
測定範囲
インターフェイス
圧力信号出力出力信号
接続フランジ
写タフモード

CCTG200C
トランスミッタタイプ（LED表示付）
1×10-8 Pa ～ 0.1 Pa
RS232C
0 - 10V × 2ch
セットポイント接点×2ch、アラーム接点
NW25、CF70

CCTG110S
セパレートタイプ
1×10-8 Pa ～ 0.1 Pa
RS232C，USB
0 - 10V × 2ch
セットポイント接点×2ch、アラーム接点NW25、CF70

真※本機には電源は付属しません。別途 CCTG200CBL（電源通信ケーブル）をご使用ください。

用途●真空蒸着装置●スパッタ装置●エッチング装置 ●電子顕微鏡●イオン注入装置 ●質量分析装置●LPCVD装置●加速器●有機EL材料精製

複合真空計

タフゲージ

複合真空計タフゲージは、ＢＡ電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ１本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の 材料を使用 、高真空ではＢＡ電離 真空計がタフモ ードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間精度よく測定することができます。

主な仕様

温度補正機種形状
測定範囲
電極材質

圧力単位
タフモード
（ＢＡのみ）
デガス（ＢＡのみ）
インターフェイス
入力信号
出力信号
圧力信号出力入力電源
接続フランジ
ご注文型式

写

タフモード

TG301CD
トランスミッタタイプ（LED表示付）
1×10-8Pa～1.2×105Pa
ピラニ：Ｎｉ
ピラニ温度計：Ｐｔ１００
ＢＡフィラメント ：Ｙ－Ｉｒ
グリッド：Ｐｔ－Ｍｏ
コレクタ：Ｐｔ－ＭｏＰａ、Ｔｏｒｒ、ｍｂａｒ
測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱
OFF，約300℃，約500℃，約700℃に設定可
グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱

RS232C
表示器(TGD100)、PCに接続可
測定開始/停止、デガス、タフモードＯＮ/ＯＦＦ

セットポイント接点×2ch、アラーム接点
0 - 10V × 1ch
ＤＣ２４Ｖ、０．８Ａ
NW25、CF70
コントローラ＋NW25測定子 ：TG301CD-NW25
コントローラ＋CF70測定子 ：TG301CD-CF70
測定子（ＮＷ２５）：TGH301C-NW25
測定子（ＣＦ７０）：TGH301C-CF70

真※本機には電源は付属しません。別途 TG200CBL（電源通信ケーブル）をご使用ください。

※ ＢＡ型真空計は、フッ素などのハロゲンガスの雰囲気中ではタフモードの効果がない場合があります。
このような環境の場合はＣＣＴＧをご検討ください。
※ ピラニ真空計は１０＋４Ｐａ～大気で測定値に誤差が出やすいため、目安としてお使いください。

コールドカソードタフゲージ

ＣＣＴＧ

コールドカソードタフゲージＣＣＴＧ（Cold Cathode Tough Gauge）はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。

主な仕様
機

タフモード
種

CCTG200C

CCTG110S

形状
測定範囲
圧力単位
タフモード

トランスミッタタイプ（LED表示付）

セパレートタイプ

1×10-8 Pa ～ 0.1 Pa

1×10-8 Pa ～ 0.1 Pa

Ｐａ、Ｔｏｒｒ、ｍｂａｒ

Ｐａ、Ｔｏｒｒ、ｍｂａｒ

測定時カソード電極を通電加熱（温度を3段階に設定可）

測定時カソード電極を通電加熱（温度を3段階に設定可）

デガスインターフェイス

カソードを約700℃にフラッシュ加熱

カソードを約700℃にフラッシュ加熱

RS232C
表示器(TGD100)、PCに接続可

RS232C、USB
PCに接続可測定開始/停止、デガス、タフモードＯＮ/ＯＦＦ

測定開始/停止、デガス、タフモードＯＮ/ＯＦＦ

セットポイント接点×2ch、アラーム接点

セットポイント接点×2ch、アラーム接点

0 - 10V × 2ch

0 - 10V × 2ch

ＤＣ２４Ｖ、１Ａ

ＡＣ８５～２４０Ｖ ５０／６０Ｈｚ

３ｋＶ～５００Ｖ最適制御

３ｋＶ～５００Ｖ最適制御

バイトンシール（ＮＷ２５）
メタルＯリングシール（ＣＦ７０）
NW25、CF70

バイトンシール（ＮＷ２５）
メタルＯリングシール（ＣＦ７０）
NW25、CF70

NW25
CF70

NW25
CF70

入力信号
出力信号
圧力信号出力入力動作
バイアス電圧シール部材質
接続フランジ
ご注文型式
写

ネオジム磁石：CCTG200C-NW25
ネオジム磁石：CCTG200C-CF70

ネオジム磁石：CCTG110S-NW25
サマコバ磁石：CCTG110S-CF70

真※本機には電源は付属しません。
別途 CCTG200CBL（電源通信ケーブル）をご使用ください。
CCTGの概念図(カソード)

陰極(カソード)加熱電源

103.2×10-2Pa

CCTG

3.0×10-2Pa

基準圧力計

1.7×10-2Pa1/磁界

フッ素系エッチングガス(CF4+O2)中での感度変化

比感度（真空計指示値／基準真空計指示値）
比感度 各真空計の指示値 基準圧力計

Si含浸SiC 陰極
陰極（ｶｿｰﾄﾞ）

高圧電源

陽極(アノード)

微小電流計

CCTGの概念図

最適制御回路0.1

1.2×10-3 Pa

A社冷陰極（逆マグネトロン）
0.01
5.4×10-5 Pa
10-310-4

1.4×10-5Pa

B社冷陰極（ペニング）
1.0×10-6 Pa

熱陰極真空計（5日後にフィラメント切れ）
10-50102030405060
時間(日)708090100

表示器

TGD100（TG Display 100）
TG Display 100はトランスミッタタイプのタフゲージシリーズRS232C
シリアル通信で接続され、圧力値をデジタル表示します。
3台まで接続し、切替表示が可能です。

主な仕様
機

【写真】

種接続機種
入力電源
TG インターフェイス
PC インターフェイス
操作ボタン【表示器セット例】
・TG201CG-NW25
・表示器（TGD100)
・ケーブル（TG200CBL）TG Viewer

表示

寸法
ご注文型式

TGD100TG100、TG200、TG201C、TG301CD、CCTG200C
DC5V（AC100Vアダプタ付）

RS232C（Dsub9ピン：RXD・TXD・GND × 各3本）
ＵＳＢ ミニ（TG Display Viewerと接続可）
ＣＨ ：チャンネル切替。長押しで各ｃｈ順次表示
ＤＧＳ：長押しでデガス開始
ＥＭＩ：長押しでデガス開始
ＣＨ１～３、ＡＬＭ（アラーム）、ＤＧＳ（デガス中）､ＥＭＩ（圧力測定中）､ＴＭ（タフモード中）､
単位：Pa,Torr,mbarを使用ゲージに合わせ自動表示
100mm × 54㎜ 奥行63.5mm
TGD100／ TG Display Viewer

TG Viewer／TG Display Viewerはタフゲージ専用のWindowsアプリケーションソフトウェアです。
ログの取得及び保存管理、CSVデータ変換、設定、操作ができます。
圧力表示はグラフ（対数、リニア）、デジタル、アナログメータの4通りです。

※ TG Viewer ：タフゲージとPCを直接接続する場合
TG Display Viewer ：タフゲージ～表示器～PCの場合※ アプリケーションソフトウェアおよびUSBドライバをご希望の方は、弊社HPよりお問合せ下さい。
（本アプリケーションはタフゲージには付属していません。）

システムゲージシリーズ

システムゲージは「装置組込み」をコンセプトとして設計された新しい かたち のコンパクトでコストパフォーマンスに優れ、環境にやさしい真空計です。
1枚のコントロール基板で、SG700MP4は4個のピラニ、SG701CMP3は1個の複合真空計と3個のピラニを制御します。

主な仕様
機
種機
能測定範囲
入力電源
タフモード
（ｵﾌﾟｼｮﾝ）圧力信号出力外部信号出力インターフェイス
測定子の許容温度寸法

温度補正
SG700MP4
ピラニを4個接続
0.1～1.0×10+5Pa
ＤＣ２４Ｖ±１０％ ４Ｗmax（フル装備）
──
0 – 10V × 各ch（圧力信号を電圧で出力）
セットポイント（各ch×1）
アラーム信号（代表）RS232C
最大150℃（ベーキング温度）
基板：90 × 100
ピラニ測定子 ：φ31×33

温度補正

タフモード

SG701CMP3
複合真空計を1個、ピラニを3個接続
複合真空計：1×10-6Pa～1.0×10+5Pa
ピラニ真空計 ：0.1～1.0×10+5Pa
ＤＣ２４Ｖ±１０％ ４５Ｗmax（フル装備）
測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱
OFF，約300℃，約500℃，約700℃に設定可
0 – 10V × 各ch（圧力信号を電圧で出力）
セットポイント（複合ch×2、ピラニch×1）
アラーム信号（代表）RS232C
最大150℃（ベーキング温度）
基板：90 × 100
複合測定子
：φ31×54
ピラニ測定子 ：φ31×33

基本構成

ピラニ × 1～4個 ケーブル × 1～4本
ご注文型式

コントロール基板 ：SG700MP4
ピラニ測定子：SGH700P
ケーブル：SG700CBL-###（長さ###×100㎜)

複合×1個 ケーブル × 1本
ピラニ × 1～3個 ケーブル × 1～3本
コントロール基板：SG701CMP3
複合測定子：SGH701C
ピラニ測定子：SGH700P
複合ケーブル：SG701CBL-###（長さ###×100㎜)
ピラニケーブル ：SG700CBL-###（長さ###×100㎜)

表示器

SGD100

SGD100はシステムゲージの圧力信号出力を受けて圧力表示する表示器です。

主な仕様
機

種

接続機種
入力電源表示
圧力信号入力
使用環境温度寸法
ご注文型式
写SGD100
SG700MP4、SG701CMP3
DC24V±10% １．２Ｗmax
７セグ表示灯×４桁
0-10V
0-40℃55×60㎜
SGD100：基板タイプ
SGD100WP：パネル付

真SGD100

SGD100WP【問い合わせ先】
本社工場〒408-0111 山梨県北杜市須玉町穴平1100番地
TEL：0551-42-5111(代表) FAX：0551-42-4311
つくば事務所〒305-0821 茨城県つくば市春日4丁目1-9 矢口ビル103
TEL：029-893-4451 FAX：029-893-6269
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