金属・複合材料と透明材料との気密性レーザー接合
立命館大学 理工学部

電気電子工学科

教授 渡邉

歴（平成 25 年度一般研究開発助成 AF-2013206）
キーワード：フェムト秒レーザー，接合

１. はじめにができる．

近年，様々な産業分野でフェムト秒レーザーでの加工が注目を集めている 1-4)．フェムト秒レーザー加工は，非接触，微細な加工が可能などの特徴をもつ．
光学部品，電子部品，MEMS（Micro Electro MechanicalSystem）においてさまざまな環境条件から保護し，耐候

図１

レーザー微細接合性に優れた，金属と透明材料との気密性パッケージングの開発がのぞまれている．しかし，従来の接合法では，接合フェムト秒レーザーパルスを透明材料中に集光照射す点以外に損傷が生じるという問題点がある．本問題を解決ることにより，多光子吸収や自己集束など高いピークパワするために，超短光パルスの加工技術により透明材料の直ーをもつ場合のみに起こる非線形光学現象が生じ，プラズ

接接合方法を提案している 6-9)．超短光パルスを 2 枚の透マが生成され，透明材料を溶融し，再凝固し，接合が可能

明材料の内接面に集光照射すると，集光領域では局所的にになる．フェムト秒レーザーパルスを透明材料内部に集光温度が上昇し，集光近傍にのみ局所的な溶融と再凝固が生すると材料を非接触でかつ局所的に内部加工ができるこ

じ，精密な接合が可能となる 10-18)．本研究では，ギャップとから，図２に示すように，超短光パルスを 2 つの基板ののある金属材料，複合材料とガラス材料間の接合を可能に境界面に集光することにより，局所的な溶融が生じ，2 つすることを目的として，超短光パルスレーザー接合のための基板を接合することができる．この接合法は，高精度，の加工因子の抽出を行い，レーザー接合を実施した．レー

中間層が不要，微細領域の接合が可能という利点をもつ．

ザーパルスの繰り返し周波数，ビーム形状整形により，構

この超短光フェムト秒レーザー接合では，基板間の隙間が造変化の制御，レーザー接合を試みた．

大きくなれば基板間でアブレーションが生じ，接合が不安定になるため，圧力をかけることにより基板間の隙間を低

２. フェムト秒レーザー接合減し，レーザーパルスを照射する必要がある．

レーザー接合法は，微細領域の接合が可能である．例えば，図１(a) に示すように透明材料と（線形）吸収材料が重ね合わせられているとき，レーザー光は透明材料を透過後，吸収材料にて線形吸収される．このため，レーザー光が照射される吸収材料の全領域にわたり線形吸収が生じ，熱が発生する．そして，被接合材料の溶融が生じることにより，2 つの材料を接合することができる．または，図 1(b)のように，透明材料間に吸収媒質が中間層として介在されている場合，中間層において線形吸収による熱発生が生じることにより，材料が溶融し，2 つの材料を接合すること

図２

フェムト秒レーザーを用いた接合概念図

３. 実験光学系
図３(a)に，本研究で用いた実験光学系を示す．

(a) 接合結果(b) 接合後の加工面の観察結果
図４ 接合後の観察結果(a)実験光学系(b)試料の保持

図３ 実験光学系

５. ファイバーレーザーによる PMMA 接合
ファイバーレーザーを用いて PMMA の接合を行った．
速度 1 mm/s の場合，パルスエネルギーが 0.6μJ/pulse 以レーザー光源として，チタンサファイアレーザー(中心上で接合することができた．ファイバーレーザーの繰り返

波長 800 nm，パルス幅 100 fs，繰り返し周波数 1 kHz)とし周波数が高いことから，熱蓄積しやすく，パルスエネルファイバーレーザー(中心波長 1064 nm，パルス幅 250 fs，ギーが小さく，速度が速くても接合できたと考えられる．

繰り返し周波数 1 MHz)を用いた．レーザー光源から出たレーザーパルスのエネルギーを半波長板，偏光子，ND(Neutral Density)フィルターで調節した．レーザーパ
ルスは，ダイクロイックミラーで反射され，開口数 0.40

６. アキシコンレンズを用いた PMMA 内部のフェムト秒レーザー加工の対物レンズを用いて試料内部に集光照射した．試料には，レーザーパルスをガウスビームで集光する場合，フィラメ

厚さ 1 mm の PMMA を使用し，コンピューター制御の 3ント状構造変化が誘起されるが，さらに，光軸方向に長い軸精密ステージに設置した．さらに，図３(b)に試料間の隙範囲で集光する特徴を持つアキシコンレンズを用いるこ

間を狭くするために凸レンズを備えた冶具を示す．とによる，フェムト秒レーザー加工領域の拡張を試みた．
アキシコンレンズとは片面が平面，もう片面が円錐型のレ

４. チタンサファイアレーザーによる PMMA 接合
PMMA 間の接合実験の結果を図４(a)，(b)に示す．チタン サ フ ァ イ ア レ ー ザ ー の パ ル ス エ ネ ル ギ ー を 4.2ンズである．アキシコンレンズにガウス型の強度分布を持つ光が入射すると，ベッセル型の透過光を得ることができる．この透過光はベッセルビームと呼ばれる 19)．

μJ/pulse，速度 0.1 mm/s，ステージの走査パターンは四角形の中心から外に向かう螺旋状のようなパターンを加工し，接合領域は 1 mm2，ステップ間隔は 10 μm として接合した．図４(a)は，接合した PMMA の一枚を持ち上げ，接合できているか確認した観察結果である．図４(b)は，接合後の接合面の透過顕微鏡像である．次に，接合可能範囲を探索するため速度 0.1 mm/s は固定し，パルスエネルギーを変化させ実験を行った．速度を 0.1 mm/s として接合を行う場合，3.5 μJ/pulse 以上のパルスエネルギーが必要であった．

図５

アキシコンレンズによるベッセルビームの伝搬距
離７. 金属と透明材料の接合
チタンサファイアレーザーならびにファイバーレーザーを用いて，銅と PMMA，銅とガラスの接合が可能であった．金属の表面形状，金属と透明材料との密着度により接合状況が変わることがわかった．フェムト秒レーザーを集光し，金属とガラスを治具なしで接合できることが報告されている 21)．金属と透明材料のレーザー接合では，金属のアブレーションと透明材料の溶融のため，接合が可能であると考えられる．図 7 に銅とガラスの接合結果を示す．

図 7 銅とガラスの接合

８. まとめと今後の展開
本研究では，フェムト秒レーザーとして，チタンサファ
図６

アキシコンレンズとフェムト秒レーザーパルスによる PMMA 内部の構造変化イアレーザーとファイバーレーザーを用いて接合を行った．繰り返し周波数が高い場合，熱が蓄積し，速い速度で接合でき，レーザー接合に向いていると考えられる． また，接合領域の拡大を目指し，アキシコンレンズを用いたレーザー光源には増幅チタンサファイアレーザー(中心加工領域の拡張を行った．集光領域の空間形状を制御した

波長:800 nm パルス幅:100 fs 繰り返し周波数:1 kHz)をレーザー加工により，透明材料や金属の加工が可能となる用いた．光源から出たフェムト秒レーザーパルスをアキシと考えられる．

コンレンズにより PMMA 内部に集光した．PMMA 試料

謝辞の厚さは 2mm である．アキシコンレンズの頂角は 170°

本研究の実施にあたり，公益財団法人天田財団より一般研である．

究開発助成(AF-2013206)を賜りました．ここに深甚なるレーザーのエネルギーが 0.15 mJ⁄pulse，レンズと試料謝意を表します．の距離が 15 mm，ステージの速度が 0.5 mm⁄s の条件で，光軸に垂直方向へステージを 2 mm 動かした．構造変化

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