超音波流量計変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現

FC6000 シリーズ
流量コントロールシステム
概要

FC6000 シリーズは高精度超音波流量計を流量センサに採用した分離形の流量コントロールシステムです。
流量コントローラ FCA6000 シリーズには超音波流量計変換部を内蔵しており、流量センサとコントロール弁の組合せでコンパクトなシステムを構成できます。
• コントロール弁：FCV シリーズ
• 超音波流量計検出器：UCUF シリーズ
• 流量コントローラ：FCA6000 シリーズ
流量センサ・コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測・制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。
半導体プロセスをはじめとする各種薬液の高度な流量管理等に最適です。

特長❏ 耐気泡性能、流量計測安定性の向上
一般的な超音波流量計は液体中に気泡が含まれると、超音波の受信感度が低下し流量計測が困難になります。FCA6000
シリーズは実績のある独自の信号処理技術により、感度が低下した場合でも流量計測を可能にしました。さらに豊富なフィールド経験に基づき異常出力を判別して除外することで耐気泡性能が大幅に向上しています。
また、流量計測の安定性も向上しています。
❏ 安全性の向上、自由なレイアウトが可能
プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測制御部を分離することで液漏れなどに対する安全性が向上し、レイアウトも自由に選べます。
❏ 広範囲の流量制御が可能
FCA6000シリーズは最小 2.5〜25mL/minから最大1〜10L/minの流量まで対応できます。
❏ 低消費電力
FCA6000 シリーズは従来機種の変換器より消費電流を削減しました。

主要用途❏ 薬液や DIW の供給量設定
定量ポンプやタンクへの加圧により制御していたさまざまな薬液や DIW の供給ラインに流量コントロールシステムを設置することで、高精度かつ安定した供給量の制御が可能となります。
❏ 濃度管理薬液を純水等で希釈して一定濃度にする場合、薬液ラインと純水ラインに流量コントロールシステムを設置することで、安定した濃度管理が可能となります。
❏ 分岐ラインの流量管理
メイン配管から分岐された各ラインにコントロールユニットを設置することで、ライン間の相互干渉の影響を受けずに安定した流量設定が可能となります。

❏ CE マーキング
EU EMC、RoHS2 および低電圧指令に対応（EMC 適合規格：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013）❏ 高耐食
UCUF シリーズの接液部は極めて耐食性の高い PFA およびPTFE を採用し、半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。

TG-F1177-J01
２版 2023 03 K
初版 2019 10 K

FC6000 シリーズ 流量コントロールシステム

仕形式コード様コントロール弁式

FCV-1000S タイプ

駆動部

FCV-3000 タイプ

高分解能ステッピングモータ

接続ケーブル

多芯ケーブル

外被材質 PVC

接液部材質

長さ 5m（標準）φ3/8”、φ1/2”
0.05 ～ 0.2MPa

最大使用圧力0.3MPa

使用温度範囲5 ～ 50°C

使用周囲温度範囲

5 ～ 50°C

公称口径FCA6200

4-20mA/4-20mA FCA6300※

特殊
0FCV-3000
タイプ

1FCV-1000S
タイプ

06K

10K

04E

06E

04M

06M

6mm

10mm

4mm

6mm4mm6mm

New PFA

接続口径φ3/8”

接続ケーブル造φ1/2”

0※00
01020304

PFAφ3/8”

同軸ケーブル（2 本） 外被材質 PVC

φ1/4”

05

φ3/8”

長さ 5m（標準）

防噴流形（IP65）

使用周囲温度範囲

液体温度 : 10 ～ 60°C精

流速 1m/s 以上：指示値の ±1%、流速 1m/s 未満：±0.01m/s 以内※UCUF-04Kのフルスケール 50mL/min 以下の場合、精度は±2mL/min

度

FCV-3000D
タイプ
特殊標準
特殊
2.5 〜 25mL/min
5 〜 50mL/min
10 〜 100mL/min
20 〜 200mL/min
50 〜 500mL/min
100 〜1000mL/min
200 〜
2000mL/min
300 〜
3000mL/min
400 〜
4000mL/min
600 〜
6000mL/min
800 〜
8000mL/min
1 〜 10L/min
特殊※

特殊仕様
（1）

04K

接液部材質

構

0-10V/0-10V

334mm

06
流量範囲–0708

液体温度 : 10 ～ 90°C

09
1011

コントローラ形式

電源電圧※

FCA6100

FCA6200

バルブ接続口径

200mA

消費電流

出力信号

DC4–20mA（負荷抵抗：0 ～ 500Ω）

流量警報

トランジスタ接点出力（定格：DC30V，50mA）

動作警報

論理：A 接点（NO）/ B 接点（NC） メーカ設定

パルス出力

トランジスタ接点出力（定格：DC30V，50mA）
パルス幅：0.5ms、50ms、100ms

入力信号

目標流量

DC1–5V

DC0–10V

流量計形式

積算リセット接点入力（ワンショット）センサ

専用ケーブル（SMB コネクタ）

4M
4K4E
6M–6K
6E10K※

DC4–20mA

制御開始 / 停止 接点入力（短絡時 ON、解放時 OFF）

表示方法

バックライト付 16 文字・2 段 LCD（液晶表示）
警報表示：赤色 LED×1、動作表示：緑色 LED×1

構造 / 取付

屋内配線（IP20 相当）/ パネル取付

配電源線、接地線、各種信号線、センサケーブル（2 本）、
バルブケーブル線

3※

DC4–20mA
DC0–10V（出力インピーダン （負荷抵抗：0 ～ 500Ω）
ス 500Ω）

流量信号

コネクタ

バネ接続式分離型コネクタ 5P、10P、3P、6P

ケース材質・色

ABS・黒

周囲温度

0 ～ 50°C（LCD 除く）

制御精度

流量＞ 30%FS：目標値の ±3%、流量≦ 30%FS：目標値の 5%
応答時間 3 秒以内

FCV-3000
FCV-3100
FCV-3200
FCV-3300
FCV-3400
FCV-3500
FCV-3600/
1100S
FCV-1200S
FCV-1300S
FCV-1400S
FCV-1500S
FCV-1600S

1/4 チューブ接続

4

スタート時：1A

7 種類。最小2.5mL/min から最大 2L/min まで
6 種類。最小200mL/min から
最大 10L/min
二重シール
（耐薬型）

FCV-3000シリーズ
FCV-1000S
3/8 チューブ接続（4L/min 以下）
FCV-1000S のみ
1/2 チューブ接続（6L/min 以上）
特殊
UCUF-04M
MAX. 2L/min
UCUF-04K
MAX. 3L/min
UCUF-04E
UCUF-06M
UCUF-06K
MAX. 8L/min
UCUF-06E
UCUF-10K
MAX. 10L/min
特殊U形
標準2

FCA6300

DC24V±10%

考2

UCUF-式備

FCA6100

バルブ
形式

超音波流量計検出器

容4-20mA/1-5V

φ1/4”

制御差圧範囲内□1

PTFE、PFA

接続口径形（出力 入\ 力）
電 気 仕 様形FC6 □ □ □ – □□ □ – □□ □ □ /U
流量計形状（1）チューブ向き

流量計形状（2）ケーブル向き
特殊仕様（2）ZZ形※

特殊NW標準反対側
空欄 標準/※
特殊

チューブと同じ向き
UCUF-04M のみ※ 内容によりコードを決定

変換ケーブル形

式

仕様

CONC-76-301

ロック付 SMB コネクタ –SMB コネクタ（プラグ）CONC-56-151

BNC コネクタ（ジャック）–SMB コネクタ（プラグ）

2TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F1177-J01

FC6000 シリーズ 流量コントロールシステム

外形図
FCV1000S（3/8”タイプ）

FCV1000S（1/2”タイプ）

2-M5 深サ 6
固定用

2-M5 深サ 6
固定用

FCV-3000

FCV-3000D

2-M3 深サ 5
固定用

TG-F1177-J01

2-M3 深サ 5固定用TOKYO KEISO CO., LTD.

3

FC6000 シリーズ 流量コントロールシステム

UCUF-04K

UCUF-06K

8-M4 深サ10

8-M4 深サ10

UCUF-04K/Z

UCUF-06K/Z

4-M4 深サ10

4-M4 深サ10

8-M4 深サ10

8-M4 深サ10

UCUF-10K

UCUF-10K/Z

8-M4
深サ10

8-M4
深サ104

TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F1177-J01

FC6000 シリーズ 流量コントロールシステム

UCUF04EU

UCUF06EU

（全ネジ）

（全ネジ）

UCUF04EZ

UCUF06EZ（全ネジ）

UCUF-04M-U

UCUF-06M-U

取付穴（回転可能）
取付穴（回転可能）UCUF-04M-Z

UCUF-06M-Z

取付穴（回転可能）

TG-F1177-J01

取付穴（回転可能）TOKYO KEISO CO., LTD.

5FC6000 シリーズ 流量コントロールシステム

FCA6000

パネルカット図（パネル厚さ 0.8～5mm）コントローラ端子図
CN3123

CN112345

CN4123456

CN5321IN

OUT

CN213579
2 4 6 810

コントローラ配線
CN

12番 号 極 性
内 容
モータ駆動コネクタ
1FGモータグランド
2
緑モータ A+ 相
3
黒モータ A– 相
4白モータ B+ 相
5赤モータ B– 相コントローラコネクタ
1+
制御開始／停止入力 ※1
2–
3+弁体警報出力
4–5+積算リセット入力 ※26–7+現在流量出力8–9+
目標流量入力10–※1 制御開始 / 停止入力 CN2 1, 2			
※2 積算リセット入力
CN2 5, 6			6TOKYO KEISO CO., LTD.

CN

番 号 極 性内 容
電源コネクタ1+24V
3
電 源
20V3FG
フレームグランド警報出力コネクタ
1+積算パルス出力
2–43+流量監視 1
4–5+流量監視 2
6–
シリアル通信コネクタ
152
弊社メンテナンス用
3SMB コネクタ
IN
上流側センサ入出力信号
OUT
下流側センサ入出力信号

短絡時：開始開放時：停止短絡時：リセット
開放時：積算TG-F1177-J01

FC6000 シリーズ 流量コントロールシステム

変換ケーブルロック付 SMB コネクタ

SMB コネクタ（プラグ）ロック付 SMB コネクタ‒SMB コネクタ変換ケーブル（FCA-7000 からリプレイスする場合）

SMB コネクタ（プラグ）

BNC コネクタ（ジャック）

BNC コネクタ‒SMB コネクタ変換ケーブル（FCA-5000 リプレイスや既存の UCUF を流用する場合）

FCA-7000 で使用していた検出器を FCA6000 でも使用できるように、ロック付 SMB コネクタ –SMB コネクタ変換ケーブルを用意しました。
また UCUF による流量計測のみ行っていたラインにコントローラを追加する場合や、FCA-5000 のリプレイス用に BNC コネクタ –SMB コネクタ変換ケーブルも用意しました。

制御性能・精度
FC6000 シリーズは現在流量の測定後、設定流量になるようにコントロール弁を調整する動作を繰り返し行うフィードバック制御方式のコントロールユニットです。
設定流量値の ±3% 以内に約 3 秒以内でコントロールすることが可能です。

TG-F1177-J01

TOKYO KEISO CO., LTD.

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FC6000 シリーズ 流量コントロールシステム

使用例
FCA6000、FCV-3000、UCUF04E を組み合わせた例

FCA6000

FCV-3000

UCUF04E

OUTIN

諸注意
1）コントロール弁は必ず流量計の 2 次側に配管してください。
2）コントロール弁と検出器は 500mm 以内の間隔で配管してください。
3）大きな脈動がある配管ではご使用できません。
（例：ダイヤフラムポンプによる流量供給の場合等）

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TG-F1177-J01