計測システム

EVA100

特性評価、機能評価、量産性評価、量産テストを強力にサポート

EVA100 E-Model……エンジニアリング向けアナログソリューション

高精度、高信頼性、省スペース
多チャンネル
計測電源

任意波形発生器
パターン発生器

デジタイザ

製品の特長

システム構成高精度かつ高安定度を実現
省エネルギー、低電力化が進む中、ますます精度が要求されるバッテ「EVA100」は、ラップトップ／デスクトップPCと接続して使用します。
システムへの電源供給は、ACDC Boxを使用することで商用電源をリ監視デバイスや高精度センサ、高電圧デバイスなどに、「EVA100」は最適な環境を提供します。
高精度な電源電流源と測定機能、そして高い安定性は、デバイス評価に掛かる測定時間を短縮し、製品の開発工期の削減に貢献します。

含む100〜240Vに対応。作業エリアを選ばず使用できます。
測定対象デバイスは、本体上部のPB（Performance Board）からケーブル等で接続。さらに、外部計測器を接続することで、測定ニーズに沿った最適なシステム構築が可能です。

高い安定性（EVA100 AVI モジュール）デジタルマルチメータ

I2C

100-240V(AC)

48V (DC)

ACDC BOX

テスティング・ユニット（EVA100）

オシロスコープ

SPI

周辺温度変化

高電圧
2000V

オールインワン

10nsの
同期機能

直感的なGUI

温度依存あり（他社計測器）

ラップトップ／デスクトップPC

Optical Bus
PCIe I/F

主な機能
機能評価

主な仕様
計測機能
標準搭載モジュール
同期制御用コア
ジェネラル・コントロール

モジュール名

機能

EMS
GCM

8ch

64ch
計測モジュール
多チャンネル
電圧/電流源
電圧/電流モニタ

AVI

6ch

ミドル・パワー
電圧/電流源
電圧/電流モニタ

MVI

高電圧
電圧/電流源
電圧/電流モニタ（フローティング）パターン・ジェネレータ※

HVI

1ch

DM

32ch

任意波形発生器
デジタイザ

LF

4ch

HF

2ch

SCAP

4ch

オシロスコープ

2ch

同期制御とシステムバス、外部接続機器の同期制御（サーモストリーマ制御を含む）
固定出力電源：＋5V, ＋12V, ＋15V, −15V
I2C, SPI, JTAGと任意プロトコル
100Mbps パターン・ジェネレータ、ファンクション試験機能、パーピン・パラメ
トリック・メジャメント・ユニット（PPMU）
時間測定機能（TMU:1ch）0.373Hz〜100MHz、時間差測定、周期測定、Tr/Tf、TPD
リレー・コントロール 5V, 12V
電圧出力：4 桁 ±64V または −32V〜＋96V、分解能 62.5μV 〜 4mV
電流出力：±500mA（±2V〜±8Vレンジ）, ±200mA（±16Vレンジ）, ±80mA（±32V〜±64Vレンジ）±30mA（−32V〜＋96Vレンジ）、分解能 0.25nA〜25μA
電圧測定：最大表示5 桁96V、最小分解能：15.625μV
電流測定：最大表示500mA、最小分解能：62.5pA
シンク可能なバイポーラ出力、ランプ/プログラム掃引、チャンネル間の直列/並列動作可能、デジタイズ機能、任意波形発生
電圧出力：4 桁 ±128V、最小分解能 62.5μV
電流出力：±5A（パルス）、最小分解能 0.25nA
電圧測定：最大表示5 桁128V、最小分解能：15.625μV 電流測定：最大表示5A、最小分解能：62.5pA
シンク可能なバイポーラ出力、ランプ/プログラム掃引、チャンネル間の並列動作可能、デジタイズ機能 、任意波形発生
電圧出力：1000V、最小分解能 3.125mV 電流出力：8mA、20mA（パルス）最小分解能 312.5pA
電圧測定：1000V、最小分解能 3.125mV 電流測定：0.8uA〜20mAレンジ 最小分解能 7.8125pA
モジュール間の直列/並列動作可能：直列 最大2000V、20mA（パルス）、並列 最大1000V、40mA（パルス）
高速セトリング 1000V/ms、デジタイズ機能、任意波形発生機能、ランプ/プログラム掃引、パルス波形生成機能
100Mbps パターン・ジェネレータ：ファンクション試験機能、マッチ、タイミングセット機能、128MWパターン・メモリ、SCANパターン（チャンネル・リンク可能、最大2GW）、サブルーチン・メモリ、フェイル解析メモリ、デジタル・キャプチャ・メモリ、パーピン・パラメ
トリック・メジャメント・ユニット（PPMU）、時間測定機能（TMU:4ch）0.373Hz〜100MHz、時間差測定、周期測定、Tr/Tf、TPD
低ジッタクロック（8ch）
任意波形発生（AWG）：200ksps/24bit 80kHz帯域
デジタイザ
（DGT）
：625ksps/24bit 200kHz帯域
パラメ
トリック・メジャメント・ユニット（PMU）
任意波形発生（AWG）：512Msps/16bit 200MHz帯域, 低歪信号出力機能 <−100dB at 1MHz
サイン波発生機能：0.1Hz〜200MHz, Max. 6Vpp
デジタイザ
（DGT）
：250Msps/16bit 200MHz帯域
パラメ
トリック・メジャメント・ユニット（PMU）
1Gsps 500MHz帯域（PBダイレクト入力：50Ω）, 300MHz帯域（BNC入力：1MΩ）
8,000ポイント/ch 高速サンプリングモード（2Gsps/2ch）

シーケンス・エディタにより、複数の測定機能の同期制御をグラフィカ
ルに実現。連続測定やループ設定などを自動化することで、デバイI2C、SPI、JTAGなどのプロトコルをサポートしており、強力かつ直感的なデバイス制御が可能。

ス評価を短時間で効率的に行うことが可能です。

レジスタマップにより、デバイス固有のレジスタ名での制御ができ、デジタル信号の可読性が格段に向上します。

■ シーケンス同期制御（シーケンス・エディタ）■ プロトコル制御（レジスタ・マップ）

特性評価

FFTを使用した周波数成分解析機能をサポートし、ノイズ成分の解析から高精度な歪測定など、評価からトラブル・シューティングまで、FFT解析ツール

オシロスコープのような計測対象デバイスの出力信号の過渡応答波形の観測、測定を行うことを目的とした高速デジタイザ・モジュール。
測定シーケンスへ組み込むことで測定条件や環境を簡単に記録でき、準備作業などの作業工数を削減します。

効率のよい作業環境を提供します。
■ FFT解析ツール■ 波形キャプチャ機能（シグナル・キャプチャ）※パターン実行はそれぞれのモジュールで独立して動作します。

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EVA100 E-Model……エンジニアリング向けデジタルソリューション

新製品の市場投入を加速し、競争力UP

製品の特長

システム構成「EVA100」の直感的なGUIは、「分かる」「使える」「測れる」
新たなテスト・シーケンスによる測定環境を提供し、製品のタイムリー

アナログ用のEVA100 スタンダード・テスティング・ユニット同様、ラップトップ／デスクトップPCと接続して使用します。

な市場投入に貢献します。

パッケージやIP の検証

オールインワン特性評価や不良解析

直感的なGUI
省スペース

E-Model（エンジニアリング・モデル）には128ch（DM64 × 2）
、P-Model（量産モデル）には256ch〜1024chを用意

3つの特長①特別なプログラミング・スキルが不要②超小型のシステムで卓上利用が可能③設計から量産まで共通した測定環境
さらに、デジタル用に開発したモジュール「DM64」は、64chのデジタ
ル I/Oに加えて、Flash測定用の高電圧ドライバ、時間測定機能、PerPin PMU、デバイス電源、AWG、DGT、VREFなど、測定するための機能を備えています。これらの機能は、EVA100の開発環境「Measurement Atelier」で、簡単につかいこなすことができます。
ターゲット・デバイス

MCU

システム・レベル・テスト
BOST 性能検証

Sma FPGA/ASIC
Small

Finger Print IC

Digital SensorStd Logic
Flash

主な機能

ウエハや完成品テスト
DFT

シーケンス・エディタ

フロー・エディタ

テスト・シーケンスは、セットアップから測定、測定後の動作までを直感作成したテスト・シーケンスは、フロー・エディタ上に配置することで、一的なGUIであるシーケンス・エディタで作成します。モジュールごとに決められた動作を、グラフィカルなアイコンで表現しているため、視覚的に非常にわかりやすく、特別なトレーニングなしで使用できます。

括実行が可能です。さらに、テスト結果による分岐機能やリザルト・コードにより、複雑なフローにも対応します。
■ テスト・シーケンスの実行順番を定義■ 測定条件と測定イベントを設定

主な仕様
計測機能

モジュール名機能

標準搭載モジュール同期制御機能SYNC

同期制御とシステムバス、外部接続機器の同期制御（サーモストリーマ制御を含む）
固定出力電源: ＋5V, ＋12V, ＋15V, −15V
1set I2C, SPIバス
64ch リレー・コントロール 5V, 12V

計測モジュール※
汎用デジタル・アナログ・デバイス電源機能

DM6464ch

デジタルI/O：100Mbps base rate、ダブルクロック機能（200MHz）、マッチ、タイミングセッ
ト機能
128MWパターン・メモリ、SCANパターン（チャンネル・リンク可能、最大2GW）、
サブルーチン・メモリ、フェイル解析メモリ、デジタル・キャプチャ・メモリ、パターン・トリガ
TDR Calibration機能

4ch

デバイス電源（DPS）：電圧出力−6V〜＋7V 電流出力−400mA〜＋500mA
IDDq, Vbump, 並列動作可

64ch

パーピン・パラメ
トリック・メジャメント・ユニット（PPMU）：電圧出力−1.25V〜＋7V、電流出力 ±32mA
パーピン・デバイス電源（PDPS）：電圧出力−1.25V〜＋7V 電流出力 ±64mA（並列動作）

16ch

高電圧ドライバ（VPP）：最大13.5V（パターン制御可能）

8ch

時間測定機能（TMU）：周波数／周期測定、15.3kHz〜最大200MHz、Tr/Tf、TPD
デジタルI/Oへの割り込み機能

2ch

コンタクト・パラメ
トリック・メジャメント・ユニット（CPMU）：電圧出力 −2V to ＋7V
AWG, DGT, VREF, VPPへの割り込み機能

デジタル・パターン・エディタ
デジタル・パターンの実行結果を表示するGUI。
長大なデジタル・パター

ロジック・アナライザ・ツール

ン・データから、比較パターンとそのフェイル情報が確認可能です。
ツール間リンク機能※をサポートしており、デバッグ作業を効率化します。

デバイスへの入出力波形を波形イメージで表示するGUI。パターン・エディタでは確認できない波形の変化のタイミングやレベルを視覚化す■ パターンの実行結果を表示

ることで、論理回路の動作タイミングおよび、不良個所の特定、原因調査を強力にサポートします。
■ デジタル入出力波形を表示

4port 任意波形発生器（AWG）：18bit 分解能、サンプリング周波数500ksps、（1ch） デジタルピンへの割り込み機能
2port デジタイザ（DGT）：18bit分解能、サンプリング周波数500ksps、（1ch） デジタルピンへの割り込み機能
1ch

リファレンス電源（VREF）：0.5mV分解能、電圧出力0V〜＋6V
デジタルピンへの割り込み機能※ツール間リンク機能：表示位置や設定情報を 他のツールに引き渡すことで、シームレスにデバッグできる機能※計測モジュールとして、AVI、MVI、HVI、LF、SCAPも対応しています。

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EVA100 P-Model……量産モデル
製品の特長

量産ライン構成例

量産モデルは、専用のワークステーションと安全規格に準拠した電源ユニットで構成された安心、安定、信頼の計測システムです。
• 少量多品種向けの生産ラインに最適

量産ラインではお客様の生産計画、同測個数、測定デバイス等の要求に応じて最適なシステムを構築が可能です。異なる構成のテスティング・ユニットを複数組み合わせる場合はケーブル接続するだけでシステムの変更を実現します。

• 複数テスティング・ユニット（アナログおよびデジタル）を組み合わせ可能• テスティング・ユニット単位でシステム構成が変更可能

さらに、メンテナンス・トレーニングを受講いただくことで、お客様自身でテスティング・ユニットのメンテナンスや拡張作業が可能になります。
※モジュール交換可能テスティング・ユニットのみ• エンジニアリング・モデルとの併用で、開発期間を大幅短縮「EVA100」
を製品の設計評価から量産まで一貫して活用いただくことで、新製品開発期間を短縮し、市場競争力の強化に貢献します。

テスティング・ユニット構成例構成例 1）LDO、DCコンバータ、OpAmp向け

共通のソフトウエア■ 評価用テスト・シーケンス

共通のソフトウエアを使用することによって、評価段階で作成した測定シーケンスをそのま■ 量産用テスト・フロー

GCM
AVI

構成例 2）MCU、 SmartCard、 NOR-Flash向け

DM64

リソース数x6

ま利用可能。
量産時に起こりやすい相関、歩留まり、不良解析、などのトラブルを早期解決します。

AVI
Digital
PPMU

DM6436ch
8ch
8ch

DM64

リソース数

DM64

Digital 512ch
PPMU 512ch
DPS
32ch

DM64
DM64
DM64
DM64

テスティング・ユニット構成変更例

共通のテスティング・ユニット変更後同じ測定モジュールを使用するため、相関トラブルを低減。
たとえば、測定レンジ、セトリングなどの測定条件を変えず

DM64

DM64

DM64

DM64

スタンダードDM64

共通のユニット
スタンダード×2ミニ

E-ModelP-Model（エンジニアリングモデル）（量産モデル）Digital 256ch
PPMU 256ch
DPS
16ch

DM64DM64リソース数

Digital 128ch
PPMU 128ch
DPS8ch

変更後構成2）Mixedデバイス向け
リソース数

DM64

Digital 128ch
PPMU 128ch
DPS8chAVI12ch

DM64
AVI

AVI

AVI

AVI

E-Model／P-Model仕様比較

リソース数

DM64

変更前 構成）MCU、SmartCard、Flash向けに、測定精度を保ったまま量産が可能です。
複数のテスティング・ユニットを連結し、テストコストを削減します。

構成1）MCU、SmartCard、NOR-Flash向け

量産環境ツール

E-ModelP-Model

基本ソフト

Measurement Atelier

テスティング・ユニット

ミニ／スタンダード

テスティング・ユニットの最大数

1

診断用ボード
（PB）

オプション

必須

電源ユニットACDC Box

AC-CONT

電源仕様

100V-240V単相

200V単相制御用コンピュータ

ラップトップ／
デスクトップ※エンジニアリング
ワークステーション

生産ライン用のプロダクション・ツールにより、安定かつ効率的な量産をサポート。グラフィカルなインタフェイスでさまざまな装置の制御に対応し、出力フォーマットなどのカスタマイズが可能です。

ドッキング・キット（オプション）
量産ラインで接続するプローバやハンドラ向けにドッキング・キットをご用意しています。
使用する装置との接続方式（ダイレクト、ケーブル）に応じて選択可能です。

4（最大）

※

制御用インタフェイス

PCIe I/F

量産用ソフトウエア

オプション

標準付属EMOスイッチ

̶AC-CONTに搭載

主な機能 オペレータ用GUI、測定サマリ、ファイル出力、プローバ/ハンドラ・ドライバ作成ツール
モニタリング・オプション等（WaferMap/Yield）■ オペレータGUIとウェハマップ

Optical I/F※接続ケーブルや制御用コンピュータは、構成には含まれませんので、お客さまにてご用意いただく必要があります。

6

Docking Fixture for2 Testing Units

Docking Fixture for
1 Testing Unit

プローバ用ドッキング・フィク
スチャで、スタンダードタイプを2つ連結可能です。

プローバ用ドッキング・フィクスチャ。

Cable Connection PB

P-Model set up with Manipulator

ケーブル接 続 用PBです。
ケーブルおよびコネクタは、接続する環境、装置に応じて個別仕様になります。

（3rd party製）

ハンドラやプローバ接続用のマニピュレータ。スタンダードタイプを2つまで使用可能です。
7オプション／主な仕様
オプション・ハードウエア
項目
AC Cable（Single-Phase 200V）
AC Cable（Single-Phase 100V-240V）※1
Diagnostics PB（Performance Board）
Connection Cable Set
External EMO Switch
Docking Fixture for Standard Testing Unit
Other Peripherals
General PB for Mini※1
General PB for Standard※1
Standard Board & Circuit(SB&C)DMMケーブル

詳細
200V ACケーブル 2.5m（UL/CSA）（/ PSE）（/ IEC）（/ プラグなし）
ACケーブル（PSE/UL/CSA）（/ CEE）（/ CCC）（/ EU-SEV）（/ UK）
ミニ デジタル用/ミニ アナログ用/スタンダード用
P-Model用接続ケーブル（1〜4 テスティング・ユニット）
追加のEMOスイッチ
スタンダード・テスティング・ユニット用ドッキング・フィクスチャ
モニタ・アーム/キーボード・トレイ
General PB ＋ PB Cover/PB Cover/General PB/スティフナ（12V用）/スティフナ（5V用）
General PB ＋ PB Cover/PB Cover/General PB/スティフナ（12V用）/スティフナ（5V用）/
SB&C PB ＋ PB Cover/SB&C PB/Cable Connection PB
LPF
LF用ロー・パス・フィルタ（100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz, 10kHz, 20kHz, 50kHz and through）
LF用バンド・エリミネーション・フィルタ（100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz, 10kHz, 20kHz, 50kHz and through）
BEF
SENTSENT（Single Edge Nibble Transmission）
Receiver 4ch
PSI5
PSI5 Protocol Transceiver with Logic Controller
CAN
CAN Protocol Transceiver with Logic Controller
CANFD CANFD Protocol Transceiver with Logic Controller
LIN
LIN Protocol Transceiver with Logic Controller
Traceable Calibration用ケーブル※1 HVIモジュールには専用ボードが必要です。

オプション・ソフトウエア
項目
EVA100 System Software Pro

詳細
アドバンスト・オプション・ソフトウエア（Optimizer、Event Proﬁler、Test Condition Editor拡張）（ネットワーク・ライセンス）
R2.00 以降
テスト・シーケンス作成用ソフトウエア（ネットワーク・ライセンス）
パターン変換ソフトウエア（STIL, WGL）
（ネットワーク・ライセンス）
DM/DM64対応
パターン変換ソフトウエア（VCD、EVCD）（ネットワーク・ライセンス）
DM/DM64対応※2
Basic Production ソフトウエア（aPalライセンス）（オペレータ用GUI、測定サマリ、ファイル出力、プローバ/ハンドラ・ドライバ作成ツール）※2
Advanced Production ソフトウエア（aPalライセンス）（モニタリング・オプション等（WaferMap/Yield））

EVA100 Atelier Editor
STILReader Plus for EVA100
CATVert VCD for EVA100
Basic Production Environment Tool
Basic ＋ Advanced Production
Environment Tool

※2 Advantest Performance Licensing

システム・サイズ
Testing Unit

Mini: 220 mm（W）× 472 mm（D）× 206 mm（H）
Standard: 363 mm（W）× 472 mm（D）× 206 mm（H）
重量 およそ 8.2kg以下（最軽量構成）〜19.4kg以下
140 mm（W）x 462 mm（D）x 206 mm（H） 重量およそ 6.4kg
265 mm（W）x 529 mm（D）x 475 mm（H） 重量およそ 16.9kg
169 mm（W）x 432 mm（D）x 445 mm（H） 重量およそ 17.7kg

ACDC BOX
AC-CONTEWS（Engineering WorkStation）

テスティング・ユニットのモジュール構成とシステム構成は別途お問い合わせください。

システム動作条件
オペレーティング・システム

Microsoft Windows 7 Professional 64bit（日本語版または英語版）
Service Pack1
Microsoft Windows 10 Pro 64bit（日本語版または英語版）
Microsoft Windows 10 Enterprise 2016 LTSB 64bit（英語版）
第4世代 インテル Core™ i7-4720 Processor 以上 または、第7世代 インテル Core™ i7-7500U Processor 以上
8GB以上
128GB以上の空き容量
1366 × 768ピクセル以上
USB 2.0 × 1以上
ExpressCard/34またはExpressCard/54
CD-ROM Drive
NI GPIB-USB-HSまたは、NI GPIB-USB-HS+を推奨
インターネットへのアクセス環境

プロセッサ
メモリ
ハード・ディスク・ドライブ
ディスプレイ解像度
インタフェース

GPIB
その他

CATVertは、株式会社アドバンテストの日本、米国およびその他の国における登録商標または商標です。
MicrosoftおよびWindowsは、米国Microsoft社の米国およびその他の国における商標および登録商標です。
インテルおよびインテルcoreは、米国Intel社の米国およびその他の国における商標および登録商標です。
その他のすべての商標は、それぞれの所有者の商標です。
●本カタログ記載の製品仕様および外観等は、予告なしに変更することがありますのでご了承ください。

https://www.advantest.com/〒100-0005 東京都千代田区丸の内1-6-2
新丸の内センタービルディング
TEL: 03-3214-7500（代）● お問い合わせ：E-mail : info_eva@advantest.com©2018 ADVANTEST CORPORATION Printed in Japan Bulletin No.EVA100-A9 Oct. ’18