T-Guard2
540-200, 540-201

V 2.41

jina83ko1-14-(2211)

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Köln, Deutschland

INFICON1............................................................................................................................................................... 6
1.1......................................................................................................................................................................................... 6

1.2......................................................................................................................................................................................... 62........................................................................................................................................................................... 7
2.1......................................................................................................................................................................... 7
2.1.1...................................................................................................................................................................... 7

2.2................................................................................................................................................................................ 7

2.3............................................................................................................................................................ 8

2.4.................................................................................................................................................................................................... 83............................................................................................................................................ 104......................................................................................................................................................................... 12
4.1.................................................................................................................................................................................................. 124.2....................................................................................................................................................................................... 13

4.3.......................................................................................................................... 17
4.3.1.................................................................................................................................................................... 18

4.3.2.......................................................................................................................................... 18

4.3.3......................................................................................................................................................... 19

4.3.4......................................................................................................................................................................... 19

4.3.5........................................................................................................................................................ 19

4.3.6

I•Stick................................................................................................................................................................................ 19

4.45.................................................................................................................................................................................. 20
4.4.1.................................................................................................................................................................... 20

4.4.2......................................................................................................................................................................... 20

4.4.3.................................................................................................................................................................... 21

4.4.4.................................................................................................................................................................... 21

4.4.5......................................................................................................................................................................... 22......................................................................................................................................................................... 23
5.1.................................................................................................................................................................................................. 235.2........................................................................................................................................................... 25

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

iii

INFICON

5.2.1......................................................................................................................................................... 26

5.2.2.............................................................................................................................................. 28

5.3............................................................................................................................................................. 30

5.4.................................................................................................................................................................................. 31

5.5 PLC 입력부를 전기적으로 연결............................................................................................................................................ 32
5.6 PLC 출력부를 전기적으로 연결............................................................................................................................................ 33
5.7................................................................................................................................. 35

5.8 PC와의 연결 ................................................................................................................................................................................. 35
5.96..................................................................................................................... 36......................................................................................................................................................................... 37

6.1.................................................................................................................................................................................................. 37

6.2....................................................................................................................................................................................... 37

6.3.................................................................................................................................................. 37
6.3.1..................................................................................................................................................... 38

6.3.2......................................................................................................................................................... 39

6.4....................................................................................................................................................................................... 40
6.4.1........................................................................................................................................................ 40

6.4.2.............................................................................................................................................................. 41

6.4.3........................................................................................................................................................... 41

6.4.4................................................................................................................................................................................... 42

6.4.4.1............................................................................................................................................................. 43

6.4.4.2.............................................................................................................................................. 44

6.4.4.3.................................................................................................................................................. 45

6.4.5.............................................................................................................................................................. 45

6.4.6......................................................................................................................................................... 46

6.5

iv

....................................................................................................................................................................................... 47
6.5.1......................................................................................................................................................................... 47

6.5.2......................................................................................................................................................... 49

6.5.3......................................................................................................................................................................... 51

6.6....................................................................................................................................................................... 51

6.7....................................................................................................................................................................................... 55

6.8....................................................................................................................................................................................... 56

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON

6.9........................................................................................................................................................................................ 56

6.10.................................................................................................................................................................................................. 57

6.11....................................................................................................................................................... 577............................................................................................................................... 59
7.1 PLC를 통한 제어......................................................................................................................................................................... 59
7.1.1

PLC 입력부의 기능 배정 ........................................................................................................................................... 59

7.1.2

PLC 출력부의 기능 배정 ........................................................................................................................................... 61

7.1.3

PLC를 통한 축정 측정의 제어................................................................................................................................. 64

7.1.4

PLC를 통한 캐리어 가스 측정의 제어 ................................................................................................................. 65

7.2 RS-232를 통한 제어.................................................................................................................................................................. 66
7.38.............................................................................................................................................................. 67......................................................................................................................................................... 70

9 F.A.Q. - 자주 묻는 질문......................................................................................................................................... 72
10.............................................................................................................................................. 7411.................................................................................................................................................................. 81
11.1............................................................................................................................................................................ 81

11.2.................................................................................................................................................. 8212................................................................................................................................................................ 84
12.1....................................................................................................................................................................................... 84

12.2 ........................................................................................................................................................................................................... 8413............................................................................................................................................................. 85

14 CE 적합성 선언....................................................................................................................................................... 86
15 China RoHS............................................................................................................................................................ 8716.................................................................................................................................................................. 88......................................................................................................................................................................... 89

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)v

1|

INFICON

1

1.1

1.2

6 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|22
2.1
T-Guard2는 헬륨 누설 탐지기입니다. 이를 사용하면 검사 제품의 누설 상태를 정량화T-Guard2는 대기압 하에서 간단한 구조의 챔버를 갖추고 작동됩니다. 진공 챔버는 별-6mbar l/s입니다. 최소 탐지 누설률은 측정 시간 및 측정 챔버의 용량에 따라 달라집니-4~ 1 × 10 -2 mbar l/s 사이2.1.1
•
••
•
•
•
•

2.2
•

•
•

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

7 / 92

2|

INFICON

2.3•••––––••••2.4••

8 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|2••••••

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

9 / 92

3|

INFICON

31254112

540-0113432

1
T-Guard2 또는

540-200

PROFIBUS 적용 T-540-201

1

Guard252►

10 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|3►►} 20]).

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

11 / 92

4|

INFICON

44.1

T-Guard2에서는 Wise™ Technology 센서를 기반으로 헬륨이 확인되고 정량화됩니다.

Wise™ Technology 센12 / 92

Wise™ Technology 센서는 유리 하우징에 봉입되어 있으며, 그 내부에는 석영 멤브레

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON

|44.2

12
3

1

"IN" 연결부, 측정 입력부

2"REF" 연결부, 레퍼런스 입력부

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

3"OUT" 연결부, 펌프 연결부

13 / 92

4|

INFICON

12

910

38

4
7

5

6111
2

PROFIBUS 연결부

37RS-232 연결부

8I•Stick 연결부9UNIT)

4

PLC 인터페이스(PLC IN/OUT)

51011(RECORDER)
614 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|41.

} 21].
2. PROFIBUS 연결부(옵션)3.

} 30].
4. PLC 인터페이스(PLC IN/OUT)

5.

6.

– LED– LED 1–4– LED 2

7. RS-232 연결부
8. I•Stick 연결부
9.

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

15 / 92

4|

INFICON} 51].
12312316 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON

|44.3

• PLC
•

0.5 m, 1.0 m 및 2.0 m 길이의 라인을 액세서리로 구입할 수 있습니다.

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

17 / 92

4|

INFICON

4.3.1

4.3.2

18 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|44.3.3

• PLC
•

4.3.4

4.3.5
0.5 m, 1.0 m 및 2.0 m 길이의 라인을 액세서리로 구입할 수 있습니다.

4.3.6 I•StickI•StickI•Stick에는 매개변수를 저장해 놓을 수 있고, 다양한 T-Guard 장치들에 신속하게 적용} 70].

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

19 / 92

4|

INFICON

4.44.4.1
130 mm × 271 mm × 272 mm
5.8 kg
6 mm 퀵 커넥터
1/8˝ M-NPT< 56 dB (A)4.4.2
2000 m80%(31 °C 이하) 및 50%(31 °C 초과)-20 °C ~ +60 °C
5 °C ~ 50 °C
220 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|44.4.3
24 V DC ± 16 % / 최대 6 A70 WattIP 40
II7 A, 비활성

4.4.41300 mbar
1×10-6 mbar l/s
15 mbar l/s< 1s
180 sccm
90 sccm
Wise™ Technology
1000000 sccm
– 3…30 min, 휴지 시간에 따름T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

21 / 92

4|

INFICON

4.4.5

2 x 10-5mbar l/s
1 x 10-5mbar l/s
1 x 10-5mbar l/s
1 x 10-5mbar l/s
He 농도

100%

1000 sccm
50 cm

4s
4s
1lmbarLR 지수
LR Log., 2 V/decade

180 mbar
350 mbar
1PIN 메뉴

22 / 92

0000

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|555.1►►►►►►►►20 cm의 공간이 확보되어야 합니다.
►►►T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

23 / 92

5|

INFICON8,3 mmmax. 10 mm
31123212
324 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|55.2►

T-Guard2는 3개의 측정 모드를 제공합니다:•••<10 ppm 백그라운드 정상
10…18 ppm 백그라운드 적정 수준>18 ppm 백그라운드 불량T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

25 / 92

5|

INFICON

5.2.1

12
34
5

7

6

1

52

6374
•

•

•

•

26 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|5•••

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

27 / 92

5|

INFICON

5.2.2

123456789162738495•

1×10-5 mbar l/s<3000 sccm

1×10-4 mbar l/s<30000 sccm

1×10-3 mbar l/s<300000 sccm•

28 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|5•

•

•

•

•

•

•

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

29 / 92

5|

INFICON

5.3

►

•
•

•

30 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON

|55.4

►
►►••
•

8.5 m

0.75 mm210 m

1 mm2 / AWG 1815 m

AWG 1617.5 m

1.5 mm225 m

AWG 14123T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

31 / 92

5|

INFICON

5.5 PLC 입력부를 전기적으로 연결►

PLC 입력부의 기술 제•

PLC 입력부와 PLC 출력부는 갈바닉 절연된 상태입니다.

PLC 입출력부의 전기적 연결

PIN

32 / 92

1START

2

STOP

3

CAL

4

PROOF

5CLEAR

6

STANDBY

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|57COMMON(NEGATIVE)

5.6 PLC 출력부를 전기적으로 연결►

PLC 출력부의 기술 제

±24 V DC
28 V DC
0.75 A(내부 퓨즈를 통한 안전조치)0.75 A(내부 퓨즈를 통한 안전조치)PLC 입출력부의 전기적 연결

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

33 / 92

5|

INFICONPIN

34 / 92

8TRIGGER 19ERROR/WARNING

10READY

11MEASURE

12STANDBY

13REC. STROBE

14WARNING

15CAL ACTIVE

16COMMON

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON

|55.7

PIN 1

0 ~ 10 V

PIN 2
PIN 3
PIN 40 ~ 10 V

≥10 kOhm, 각 출력부
PLC 입력부를 전기적으로 연} 32].

5.8 PC와의 연결RS-232 인터페이스를 통해(일반적인 9극 서브 D 커넥터 사용) PC를 연결할 수 있습니

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

35 / 92

5|

INFICON

5.9►

1234123436 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON

|66
6.1

6.2

6.3

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

37 / 92

6|

INFICON

6.3.1

38 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|66.3.2

1

92

873

61

62

73

84

94

55

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

39 / 92

6|

INFICON

6.4
•
•
•
•

6.4.1
•
••
•
•
•
•
►►

40 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|66.4.2• atm• Torr• Psi• Pa• mbar
►

6.4.3

►

1.

2.

×, 50 ×, 100 ×).
►T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

41 / 92

6|

INFICON

6.4.4► INFICON이 각 고객별로 제공하는 교정 누설기를 이용하면 정확한 교정을 할 수 있►►
-6~ 15 mbar l/s 사이입니다.

•
–––
•
––

42 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|66.4.4.1

ü

12
3
4

"OK"를 눌러서 확인해주십시오.

••} 51].
•••

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

43 / 92

6|

INFICON

6.4.4.2

ü1234
5"OK"를 눌러서 확인해주십시오.

••••••44 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|66.4.4.3-6~ 15 mbar l/s 사이입니다.

►►

6.4.5

RS232

PLC

• RS-232에서는 언제든지 값 판독이 가능합니다.
• PLC 출력부는 항상 활성화 상태입니다.
••T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

45 / 92

6|

INFICON

} 59]

6.4.6
►

PIN 메뉴 지정

46 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON

|66.5
•
•
•

6.5.1

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

47 / 92

6|

INFICON

172839410511612

GROSS 측정 및 FINEGROSS 측정 시에는 감도가 제한되면서 센서가 헬륨에 오염되지 않도록 보호됩니다.
FINE 측정 시에는 센서의 감도가 최고 수준으로 설정됩니다.

FINE 측정이 진행되는 동안 헬륨 농도가 너무 급속히 상승된다면, 측정은 중지됩니다.

GROSS 측정이 필요합니다.

48 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|6-3

mbar l/s 이상으로 설정했다면, 장치에서는

6.5.2

1

42

5

3

6

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

49 / 92

6|

INFICONGROSS 측정 및 FINE

50 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|66.5.3-7

GROSS 측정을 선택할지 혹은 FINE 측정을 선택할지는 수동으로 설정하면 됩니다. 측} 56]

6.6-3

mbar l/s 이상으로 설정하는 경} 47].

} 47]
10-7 mbar l/s입니다.

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

51 / 92

6|

INFICON►•-6~ 15 mbar l/s.

•-5~ 15 mbar l/s.

He 농도►►30s

40 ppm30s

75 ppm30s

200 ppm►

52 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|6

10 ... 350 mbar
250 ... 800 mbar
100 mbar
►►

►

►

►

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

53 / 92

6|

INFICON

►

►

►

} 40]

►} 40]

T-Guard2가 무헬륨 환경을 오류인 것으로 인식하지 않게 하려면, 해당 모니터링 기능►

54 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|66.7FINE 측정, 진행 막대 그래프

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

55 / 92

6|

INFICON

6.8••} 51]

10-8 A 이상이 되면, 장치는 마지막 보호 조치로서 스스로 기준 라인으로 전환됩니다.

6.9

►

►

56 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|66.10►

6.11►

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

57 / 92

6|

INFICON

INFICON 서비스센터에서만 가능합니다.

58 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|77
7.1 PLC를 통한 제어PLC를 통해 제어할 수 있고, 그 측정값을 판독할 수 있습니다. 입

PLC 입력부를 전기적으로 연결 [} 32]PLC 출력부를 전기적으} 33].

7.1.1 PLC 입력부의 기능 배정►

1.
2.
3. "OK"를 눌러서 확인해주십시오. 선택된 모든 기능이 표시된 개요 화면이 나타납니4.

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

59 / 92

7|

INFICON

1. "PLC 출력부 검사"를 선택합니다.
2.
3.

START

STOP
START/STOPHIGH 또는 LOW로 전환되면, 측정 사이클이 시작되거나 정지됩니

CAL
PROOF
CLEAR
READY
STANDBYGROSS/FINE

GROSS 측정 및 FINE 측정 사이를 상호 전환합니다. 이는 오직 지속

PURGE

INV STARTINV STOP
STOP/STARTHIGH 또는 LOW로 전환되면, 측정 사이클이 정지되거나 시작됩니INV CALINV PROOF
INV CLEARINV READYINV STANDBY
FINE/GROSSFINE 측정 및 GROSS 측정 사이를 상호 전환합니다. 이는 오직 지속

INV PURGE

60 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|7

7.1.2 PLC 출력부의 기능 배정►

1.
2.
3. "OK"를 눌러서 확인해주십시오. 선택된 모든 기능이 표시된 개요 화면이 나타납니4.

1. "PLC 출력부 검사"를 선택합니다.
2.
3.
PLC 출력부 8부터 11까지는 LED 1부터 4까지와 연결되어 있습니다.

OPEN
CLOSE
TRIGGER 1
TRIGGER 2
READY

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

61 / 92

7|

INFICONCYCLE ACTIVE

STANDBYERRORWARNINGERROR /WARN
CAL ACTIVE
REC. STROBEMEASUREGROSS/FINE
GROSS LEAKCONTAMINATEDBACKGROUNDINV TRIGGER 1
INV TRIGGER 2
INV READYINV CYCLEACTIVE

INV STANDBYINV ERROR
INV WARNING

62 / 92

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

INFICON|7

INV ERROR /WARN
INV CAL
ACTIVEINV REC.
STROBEINV MEASURE

FINE/GROSSINV GROSSLEAKINVCONTAMIN.
INV
BACKGROUND

T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

63 / 92

7|

INFICON

7.1.3 PLC를 통한 축정 측정의 제어►

READY가 저저항일 때 측정을 시작하십시오.

PLC 제어된 축정 측정의 예시

PLC 제어된 축정 교정의 예시

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INFICON|77.1.4 PLC를 통한 캐리어 가스 측정의 제어ü►READY가 저저항일 때 측정을 시작하십시오.

READY 출력부는 기준 측정 이후 저저항입니다. 이는 FINE 측정만큼 시간이 소요됩니PLC 제어된 캐리어 가스 측정의 예시PLC 제어된 캐리어 가스 교정의 예시T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

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7|INFICON

7.2 RS-232를 통한 제어• ASCII•ASCII 프로토콜을 사용하면, 터미널 프로그램에 기반한(예: Putty) 전형적인 명령어를

►

•••
•••
•
•

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INFICON|77.3} 35]

►

1.
2.
3. "OK"를 눌러서 확인해주십시오.

Pressure0 ~ 10 V는 0 ~ 1000 mbar에 해당됩니LR Mantissa

LR 지수[V] × 2) – 14.

4.5 V 전압을 통해 지수는 (4.5 × 2) – 14-5T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

mbar l/s

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7|

INFICONLR Linear

LR Log.

Current Lin

Current Log.

►68 / 92

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INFICON|7• "LR Log." 설정에서의 누설률 계산 방법:(U - 10) / 볼트 / 디케이드)3.7 V 전압인 경우 최종값이 10-1 mbar l/s이고, 각 디케이드 당 2 V일 때 누설률은7.08 × 10-5 mbar l/s입니다.
"Current Log."에 대해서는 누설률 대신 전류에 대하여 이와 유사한 방법을 적용할 수• "LR Linear" 설정에서의 누설률 계산 방법:

10 V인 경우 최종값은 10-3 mbar l/s에 해당되고, 3.7 V인 경우는 3.7 × 10-4 mbar l/s"Current Lin"에 대해서는 누설률 대신 전류에 대하여 이와 유사한 방법을 적용할 수

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8|

INFICON

8I•Stick은

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INFICONI•Stick 끼우기|8I•Stick이 삽입되어 있는 지의 여부는 시스템 가동 시에만 장치에서 확인 가능합니다.
►I•Stick을 사용할 수 있게 됩니다.
I•Stick 빼내기► I•Stick은 반드시 장치가 꺼져 있을 때만 빼내십시오.
1.
2.
3.
4.

1.
2.
3.

4.

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9 | F.A.Q. - 자주 묻는 질문

INFICON

9 F.A.Q. - 자주 묻는 질문•––––––-7mbar l/s 이– INFICON 측정 호스를 사용하지 않는 경우 측정의 재현성이 감소됩니다. 내경–•72 / 92

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INFICON

F.A.Q. - 자주 묻는 질문 | 9–•––•–•––––•–

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10 |INFICON

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INFICON| 10E1MC50에서의 24 V

DC/DC 회로기판에서

INFICON 서비스센터에 연락

E2DC/DC 회로기판에서

INFICON 서비스센터에 연락

E324 V II 전원이 너무 DC/DC 회로기판에서

INFICON 서비스센터에 연락W4

OPTION 출력부에DC/DC 회로기판에서

INFICON 서비스센터에 연락

E7MC50에서의 -15 V

DC/DC 회로기판 결함

INFICON 서비스센터에 연락

E8MC50에서의 15 V

DC/DC 회로기판 결함

INFICON 서비스센터에 연락

E9W11INFICON 서비스센터에 연락

WISE 전류가 안정

T-Guard2를 몇 시간 동안 작ppm을 초과했습니다.
E12Wise 센서가 점화되Technology 센서의 전

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10 |INFICON(<5 × 10-11 A).
E13

Wise Technology 센서

E14– Wise Technology 센

E20(>60°)

W27

W28

CPU 카드가 교체됨
CPU 카드에서의 배터리
INFICON 서비스센터에 연락

E 38

W41

READY 및 FINE 사이의

W43

W44

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INFICON| 10W45

He 농도가 너무 높

RS232 명령을 통해 센서의

W50

I•Stick 없음

I•Stick이 꽂힌 상태에서 장치

I•Stick 결함W52I•Stick 매개변수 분
I•Stick이 꽂힌 상태에서 장치I•Stick 결함

W59

EEPROM 매개변수W60

INFICON 서비스센터에 연락

W61

EEPROM 매개변수T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

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10 |INFICON

INFICON 서비스센터에 연락

W62

EEPROM 매개변수INFICON 서비스센터에 연락

W64

W65

INFICON 서비스센터에 연락W72

INFICON 서비스센터에 연락

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INFICON

| 10

W81

W82

W84

W89

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INFICON

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INFICON| 111111.1

12

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11 |INFICON

11.2

►

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INFICON| 1112313244

ü123456
7

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12 |INFICON

1212.1

T-Guard2 제품을 절대로 가정용 쓰레기로 폐기하지 마십시오.

12.2

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INFICON| 13

13T-Guard2-사용 설명서 KO-jina85ko1-14-(2211)

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14 | CE 적합성 선언

INFICON

14 CE 적합성 선언

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INFICON

China RoHS | 1515 China RoHS

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16 |INFICON

16551-100
551-101551-102551-103551-110
I•Stick

200 001 997
200 001 680

PLC 입출력부 테스트를 위한 I/O 테스트

200 002 490

200 002 496
200 002 615
200 002 929

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2 × 0.5 m

540-011

2 × 1.0 m

540-0122 × 2.0 m

540-013

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INFICON

74
4242
53
50
4156
67
7447

GGROSS 측정 및 FINE 측정48, 50

I
I•Stick70PPLC를 통한 제어

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