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NanoScan 2s ȊȎǹǭȣȳ

株式会社オフィールジャパン

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NanoScan2s
高精度ビームプロファイル解析

NanoScan2s はハイスピード USB2.0 に対応しており、コンピュータに接続するだけで紫外から遠赤外 (>100µm)の波長帯域において CW 及びパルスレーザのビームプロファイル計測が行えます。付属の専用ソフトも一新され、ユーザ指定による表示機能も充実し、計測の精度を最大限に引き出します。世界的に定評のあった従来機種の Nano Scan や BeamScan よりもさらに使い易く直感的で操作の自由度が高くなり、さらに大きく機能拡張されたレーザビームプロファイラとなっています。

特徴

NanoScan2s は ISO（国際標準化機構）標準規格 11146に準拠したレーザビームプロファイラで、パワーの測定もISO13694 に 準拠して行われます。

NanoScan2s を含む NanoScan シリーズは、スリットスキャン型のビームプロファイラで、このビーム径スキャニング技法はISO 標準のうちの 1 つです。ビーム径が数μから数 cm、出力が数μW から数 kW までのビームプロファイル計測可能で、多くの場合アッテネータなしでも対応しています。ディテクタはシリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックから選択でき、波長帯域は紫外から赤外領域まで計測可能です。

NanoScan2s のデジタルコントローラは 35dB ワイドダイナミックレンジまでの信号を 16bit でデジタル化しています。

こうしたビームプロファイル計測の精度と安定性により、ビーム径とビームポインティングを数百 nm (3σ) の精度で計測することが可能です。ソフトウェアでスキャン速度を調整し、ピークコネクト アルゴリズムにより応答繰り返し周波数 10kHz 以上＊のパルスレーザまたはパルス幅変調されたレーザの計測が可能です。ドラムスピードが変更できるのでどのスキャンヘッドに対してもダイナミックレンジを拡大でき、動作範囲は格段に広くなります。
＊NanoScan 作動領域のグラフをご参照ください。

優位点
優れた測定精度＊繰り返し周波数とビーム径に依存します。

2インターフェース

一新されたハードウェアに加え、NanoScan2s はソフトウェアも改良され、全ての計測結果が 1 画面に表示可能です。
ソフトウェアは最大 16 の RO I を選択でき、また最大 16 のレーザビームが同時計測できます。

NanoScan2s 専用ソフトウェアは、スタンダード版とプロフェッショナル版の 2 バージョンをご用意しています。

NanoScan2s プロフェッショナル版には Active X オートメーション機能が含まれているので、NanoScan を OE M システムで使用でき、C++、LabView、Excel、その他の OE M ソフトウェアパッケージで、ユーザ側で独自の制御システムを作ることができます。

ファイル
メニュー
リボンタブ

クイックアクセス
ツールバー
パネル

解析結果

ユーザー ノート

タイトルバー

ステータス バー

第 1 ドック ウインドウ

パワーメータ機能
シリコンまたはゲルマニウムディテクタを採用した
NanoScan2 s は、最大測定出力 200 mW のパワーメータ機能が組み込まれています。ユーザが使用している IS O または NIST トレーサブルのパワーメータと対照してユーザ校正が可能です。

対照とするパワーメータの校正精度に対して 1.5％のパワーメータ機能

追加誤差内で相対値測定ができます。

広波長範囲に渡り一定の感度が得られる合成石英のアッテネータウインドウが付属します。

3リボンバーWindows
操作ボタン

NanoScan2s ディテクタの種類

動作範囲グラフ参照
動作範囲グラフ参照

動作範囲グラフ参照
動作範囲グラフ参照

動作範囲グラフ参照
動作範囲グラフ参照

動作範囲グラフ参照
動作範囲グラフ参照

Pyro/9/5 µm-MIR
900nm->5µm

動作範囲グラフ参照
動作範囲グラフ参照

動作範囲グラフ参照
動作範囲グラフ参照

4

最も汎用性が高くフレキシブルなビームプロファイラ

NanoSca n シリーズは世界的に定評のある BeamSca n の使い易さや汎用性の高さを継承し、機能がさらに拡張されたスリットスキャン式ビームプロファイラです。NanoSca n シリーズのスキャンヘッドは紫外から赤外に渡る全波長域の C W 及びパルスレーザビームに対応しています。

比類ないビームプロファイル機能

最新バージョンの NanoScan2 s は、ドック、フローティング ウインドウ、リボンツールバーなどの GU I 機能により、小さなノート型 P C からマルチモニタのデスクトップまで、どんなサイズのディスプレイにおいても操作性に優れたソフトウェアとなっています。

ビーム計測結果(1/e2 や 4σを含む )5

オートメーションインターフェース (オプション）
NanoScan2s

NanoScan2s

直線または対数スケール 解像度

各軸

ログファイル

ハードウェア アクセラレータ付き

6

NanoScan2s

NanoScan2s 一般仕様
21.4MHz10.26cm (4.04”)×φ6.35cm (2.5”)

NanoScan2s 図面
標準スキャンヘッド : NS2s-Si, NS2s-Ge, NS2s-Pyro
スキャヘッド回転調整ねじ
代替マウント可能＊つまみねじを使用しない場合
ねじ#4-40 UNC-2B
3.048mm(0.12”)以上は不可

22mm

0.74mm±0.03
基準面
測定面
0.38mm±0.05＊A 詳細
拡大倍率6:1

40.36mm40.36mm

スキャヘッド回転調整ねじ＊つまみねじを使用しない場合
ねじ#4-40 UNC-2B
3.048mm(0.12”)以上は不可

基準面
有効口径

14.48mm＊A

Cマウント取付穴
1-32 UN-2B(着脱可能)

55.37mm63.37mm81.28mm

95.76mm38.10mm
40.39mm38.10mmMINI USB
77.57mm83.03mm77.95mm

スキャヘッド回転調整ねじ
代替マウント可能＊つまみねじを使用しない場合
ねじ#4-40 UNC-2B
3.048mm(0.12”)以上は不可

81.79mm
製品番号

35.28mm

12.70mm34.90mm

9.53mm

φ3.20mm40.36mm

6.35mm(0.25” )1/4-20 UNC-1B

M6×1.0 - 6H
12.85mm

7.37mm(0.29” )7.37mm(0.29” )PH00456
PH00457
PH00458
PH00459
PH00460
PH00461PH00462PH00463PH00464
PH00465PH00466
PH00467
PH00468
PH00469PH00470
PH00471

7

製品名

NS2s-SI/3.5/1.8-STD
NS2s-SI/9/5-STD
NS2s-SI/9/25-STD
NS2s-GE/3.5/1.8-STD
NS2s-GE/9/5-STD
NS2s-GE/9/25-STD
NS2s-PYRO/9/5-STD
NS2s-PYRO/9/25-STD
NS2s-SI/3.5/1.8-PRO
NS2s-SI/9/5-PRO
NS2s-SI/9/25-PRO
NS2s-GE/3.5/1.8-PRO
NS2s-GE/9/5-PRO
NS2s-GE/9/25-PRO
NS2s-PYRO/9/5-PRO
NS2s-PYRO/9/25-PRO

アパチャサイズ(mm)
3.5993.599993.5993.59999NanoScan2s動作範囲 シリコンディテクタ
動作範囲はディテクタ感度のピーク値近傍になります。
動作範囲は決して絶対的なものではありませんので、チャートはあくまでも参考としてください。

シリコン ディテクタ / 3.5mm / 1.8µm
1MW
100KW
10KW
1KW

パワー（W）

100W
10W
1W
100mW
10mW
1mW
100μW
10μW
1μW
100nW
10nW

110100ビーム径（1/e2, μm）

1000

10000

〈シリコン ディテクタ〉
感度：波長に依存 測定波長範囲：400-1100nm
ピーク感度：0.7A/W@980nm
ディテクタによる感度の個体差：±20％〈パワー〉
レーザの平均パワー〈ビーム径〉
円形ビームで想定。
楕円ビームの場合は平均ビーム径を用いた概算値。
極端な楕円ビーム（比率＞4：1）については別途お問合せ。
〈パルス計測〉パルスレーザ測定時の動作範囲の上限値。
〈ブラックコーティング剥離〉
反射低減のためにスリットはブラックコーティング採用。
（パイロディテクタのスリットは除く。）
ライン近傍でブラックコーティングが気化。
〈スリット損傷〉
ライン近傍のパワー密度（W/cm2）においてスリット損傷。
〈左境界〉
スリットの幅の4倍に相当する最小ビーム径。
（レポートされたTEM00ガウシアンビーム（ビーム径1/e2）の5％レベルに対して、スリットコンボリューションエラーが重要となるビーム径。）〈右境界〉
装置の入射アパーチャ径。TEM00ガウシアンビームの場合、ビーム裾野を観測するのにアパーチャ径は1/2以上である必要あり。同様にフラットトップの場合、アパーチャ径の約95％以上である必要あり。
全てのビーム（完全プロファイルを除く）のクリップレベル径を得るために、アパーチャの約95％以上が使用可能。

8NanoScan2s動作範囲 ゲルマニウム ディテクタ
動作範囲はディテクタ感度のピーク値近傍になります。
動作範囲は決して絶対的なものではありませんので、チャートはあくまでも参考としてください。

ゲルマニウム ディテクタ / 3.5mm / 1.8µm
1MW
100KW
10KW
1KW

パワー（W）

100W
10W
1W
100mW
10mW
1mW
100μW
10μW
1μW
100nW

110100

1000

10000

ビーム径
（1/e2, μm）〈感度〉
入射光を電流に一定変換〈ゲルマニウムディテクタ〉
感度：波長に依存測定波長範囲：800-1800nm
ピーク感度：1.05A/W@1550nm
ディテクタによる感度の個体差：±20％〈パワー〉
レーザの平均パワー〈ビーム径〉
円形ビームで想定。
楕円ビームの場合は平均ビーム径を用いた概算値。
極端な楕円ビーム（比率＞4：1）については別途お問合せ。
〈パルス計測〉パルスレーザ測定時の動作範囲の上限値。
〈ブラックコーティング剥離〉
反射低減のためにスリットはブラックコーティング採用。
（パイロディテクタのスリットは除く。）
ライン近傍でブラックコーティングが気化。
〈スリット損傷〉
ライン近傍のパワー密度（W/cm2）においてスリット損傷。
〈左境界〉
スリットの幅の4倍に相当する最小ビーム径。
（レポートされたTEM00ガウシアンビーム（ビーム径1/e2）の5％レベルに対して、スリットコンボリューションエラーが重要となるビーム径。）〈右境界〉
装置の入射アパーチャ径。TEM00ガウシアンビームの場合、ビーム裾野を観測するのにアパーチャ径は1/2以上である必要あり。同様にフラットトップの場合、アパーチャ径の約95％以上である必要あり。
全てのビーム（完全プロファイルを除く）のクリップレベル径を得るために、アパーチャの約95％以上が使用可能。

9NanoScan2s動作範囲 パイロエレクトリック ディテクタ
動作範囲はディテクタ感度のピーク値近傍になります。
動作範囲は決して絶対的なものではありませんので、チャートはあくまでも参考としてください。

パイロエレクトリック ディテクタ / 9mm / 5µm
1MW
100KW
10KW

パワー（W）

1KW
100W
10W
1W
100mW
10mW
1mW

110100

1000

10000

ビーム径（1/e2, μm）〈パイロエレクトリック ディテクタ〉
測定波長帯域：0.2-20µm（波長感度特性は比較的均一）〈パワー〉
レーザの平均パワー〈ビーム径〉
円形ビームで想定。楕円ビームの場合は平均ビーム径を用いた概算値。
極端な楕円ビーム（比率＞4：1）については別途お問合せ。
〈パルス計測〉パルスレーザ測定時の動作範囲の上限値。
〈スリット損傷〉
ライン近傍のパワー密度（W/cm2）においてスリット損傷〈左境界〉
スリットの幅の4倍に相当する最小ビーム径。
（レポートされたTEM00ガウシアンビーム（ビーム径1/e2）の5％レベルに対して、スリットコンボリューションエラーが重要となるビーム径。）〈右境界〉
装置の入射アパーチャ径。TEM00ガウシアンビームの場合、ビーム裾野を観測するのにアパーチャ径は1/2以上である必要あり。同様にフラットトップの場合、アパーチャ径の約95％以上である必要あり。
全てのビーム（完全プロファイルを除く）のクリップレベル径を得るために、アパーチャの約95％以上が使用可能。

10

NanoScan2sシリーズ
モデル名

NS2s-Si/3.5/1.8-STD

製品概要

品番

NanoScan2s Siディテクタ, 入射口径3.5mm , スリット1.8µm , スタンダード版
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域190nm 〜 <1µm (1.06µmは範囲外)
NanoScan2s Siディテクタ, 入射口径9mm , スリット5µm , スタンダード版
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域190nm 〜 <1µm (1.06µmは範囲外)
NanoScan2s Geディテクタ, 入射口径3.5mm , スリット1.8µm , スタンダード版
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域700nm 〜1.8µm
NanoScan2s Geディテクタ, 入射口径9mm , スリット5µm, スタンダード版
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域700nm〜1.8µm
NanoScan2s パイロディテクタ, 入射口径9mm , スリット5µm , スタンダード版
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域190nm〜 >100µm

PH00456

NanoScan2s Siディテクタ, 入射口径3.5mm , スリット1.8µm, プロフェッショナル版
スタンダード版の機能＋ActiveXオートメーション機能
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域190nm 〜 <1µm (1.06µmは範囲外)

PH00464

NanoScan2s Siディテクタ, 入射口径9mm , スリット5µm, プロフェッショナル版
スタンダード版の機能＋ActiveXオートメーション機能
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域190nm 〜 <1µm (1.06µmは範囲外)

PH00465

NS2s-Ge/3.5/1.8-PRO

NanoScan2s Geディテクタ, 入射口径3.5mm , スリット1.8µm, プロフェッショナル版
スタンダード版の機能＋ActiveXオートメーション機能
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域700nm 〜1.8µm

PH00467

NS2s-Ge/9/5-PRO

NanoScan2s Geディテクタ, 入射口径9mm , スリット5µm, プロフェッショナル版
スタンダード版の機能＋ActiveXオートメーション機能
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域700nm 〜1.8µm

PH00468

NS2s-Pyro/9/5-PRO

NanoScan2s パイロエレクトリックディテクタ, 入射口径9mm , スリット5µm, プロフェッショナル版
スタンダード版の機能＋ActiveXオートメーション機能
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域190nm 〜>100µm

PH00470

NS2s-Pyro/9/5-MIR-PRO

NanoScan2s パイロエレクトリックディテクタ, 入射口径9mm , スリット5µm, プロフェッショナル版
スタンダード版の機能＋ActiveXオートメーション機能
高分解能ヘッド, 直径63.5mm, 回転マウント付, 波長帯域 900nm 〜5µm

NS2s-Si/9/5-STD
NS2s-Ge/3.5/1.8-STD
NS2s-Ge/9/5-STD
NS2s-Pyro/9/5-STD
NS2s-Si/3.5/1.8-PRO
NS2s-Si/9/5-PRO

PH00457
PH00459
PH00460
PH00462

NanoSacn2 ソフトウェア アップグレード
NanoScan2のアップグレード

PH00417

NanoScanV2スタンダード版からプロフェッショナル版へアップグレード

t11PH00496

M 2 計測 レーザビームプロファイラ
NanoModeScan ナノモードスキャン
センサ / ディテクタ(UV〜I R 領域のレンズもご用意）

コンピュータ通信 / 電源

機械寸法

重量

NanoModeScan ナノモードスキャン
NMS-NS2s-GE/9/5
NMS-NS2s-Pyro/9/5

1740モードスキャン(ModeScan) ：NanoScan2s シリコンディテクタ, 有効口径63.5mm,入射口9mm, 5µ幅スリットのペアと適合, スキャンヘッド直径63.5mm, 波長帯域190nm 〜 1000nm

PH00477

1740モードスキャン(ModeScan) ：NanoScan2s ゲルマニウムディテクタ, 有効口径63.5mm,入射口9mm, 5µ幅スリットのペアと適合, スキャンヘッド直径63.5mm, 波長帯域700nm 〜 1.8µm

PH004781740モードスキャン(ModeScan) ：NanoScan2s パイロエレクトリックディテクタ, 有効口径63.5mm,入射口9mm, 5µ幅スリットのペアと適合, スキャンヘッド直径63.5mm

PH00479

オプションレンズ, 焦点距離200mm, 石英, 波長帯域190‒400nm

PH00090
PH00091
PH00092
PH00093
PH00094
PH00095
PH00075
PH00447PH00076
PH00224
PH00237
PH00238
PH00239
PH00240PH00241PH00242

NanoModeScan ナノモードスキャン アクセサリ
LENS 200 UV-XXX
LENS 400 UV-XXX
LENS 190 10.6
LENS 100 VISLENS 100 NIRLENS 100 LIR
1740 LENS MNTモデル1740
1740 LENS PREP
Lens 400 2um
Lens 200mm VIS
Lens 400mm VIS
Lens 200mm NIR
Lens 400mm NIR
Lens 200mm LIR
Lens 400mm LIR

オプションレンズ, 焦点距離400mm, 石英, 波長帯域190‒400nm
オプションレンズ, 焦点距離7.5インチ, 波長帯域10.6 μm

オプションレンズ, 焦点距離100mm, 波長帯域400‒700nm

オプションレンズ, 焦点距離100mm, 波長帯域650‒1000nm

オプションレンズ, 焦点距離100mm, 波長帯域1000‒1550nm
レンズマウント, 直径25mmレンズ用

モードスキャン（ModeScan）レール（スキャンヘッドなし), 小型スキャンヘッド
モードスキャン（ModeScan）カスタマイズレンズ
オプションレンズ, 焦点距離400mm, 波長帯域2 μm

オプションレンズ, 焦点距離200mm, 波長帯域400-700nm
オプションレンズ, 焦点距離400mm, 波長帯域400-700nm

オプションレンズ, 焦点距離200mm, 波長帯域650-1000nm
オプションレンズ, 焦点距離400mm, 波長帯域650-1000nm

オプションレンズ, 焦点距離200mm, 波長帯域1000-1550nm
オプションレンズ, 焦点距離400mm, 波長帯域1000-1550nm

株式会社オフィールジャパン
営業事務所〒102-0073
東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス6階
Tel：03-3556-2781
Fax：03-3556-2790
Email：info@ophirjapan.co.jp
URL：www.ophiropt.com/jp

ｷｬﾘﾌﾞﾚｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ〒330-0854
埼玉県さいたま市大宮区桜木町4-384
Tel：048-646-4151
Fax：048-650-9977

2019.04

NMS-NS2s-Si/9/5