Symposium A

Symposium A

13:30-14:00
Invited
A-I5-002
60 MHz非平衡プラズマジェットの開発と純水中活性酸素･窒素種の選択的生成 / Development of a 60
MHz nonthermal plasma jet and selective
production of reactive oxygen and nitrogenspecies in the plasma treated water

先端プラズマ技術が拓くナノマテリアルズフロンティア
Frontier of Nano-Materials Based on Advanced Plasma
Technologies

オーガナイザー :
代表委員

内田
節原

古閑

一憲（‌九州大学）

白谷正治（‌九州大学）

石川
井上
金子
金
節原
寺嶋
林
荻野

健治（‌名古屋大学）
泰志（‌千葉工業大学）
俊郎（‌東北大学）
載浩（‌産総研）
裕一（‌大阪大学）
和夫（‌東京大学）
信哉（‌九州大学）
明久（‌静岡大学）

弘祐、

Giichiro UCHIDA, Yusuke MINO, Tensho SUZUKI,
Kosuke TAKENAKA, Yuichi SETSUHARA（Joining
and Welding Research Institute, Osaka University）

連絡委員

オーガナイザー14:00-14:30
Invited
A-I5-003
大気圧空気プラズマ活性ガスから液中への活性種輸送に関する特性評価 / Characterization on Reactive
Species Transfer from Atmospheric Pressure Air
Plasma Effluent to Liquid Water

高島 圭介、木村 豊、二瓶大学大学院電子工学専攻）

Organizers:
Representative

健司、金子

俊郎（東北

Keisuke TAKASHIMA, Yutaka KIMURA,
Kenji NIHEI, Toshiro KANEKO（Department ofElectronic Engineering, Tohoku University）

Kazunori KOGA（‌Kyushu University）

Correspondence

14:30-15:00
Invited
A-I5-004
プラズマ医療科学とプラズマ活性溶液 / Plasma
medical science and Plasma-activated medium

Masaharu SHIRATANI（‌Kyushu University）

Co-Organizers

Kenji ISHIKAWA（‌Nagoya University）
Yasushi INOUE（‌Chiba Institute of Technology）
Toshiro KANEKO（‌Tohoku University）
Jaeho KIM（‌National Institute of Advanced Industrial Science and田中梶山

Technology）

宏昌、水野
広明、吉川

正明、石川 健治、豊國 伸哉、史隆、堀 勝（名古屋大学）

Hiromasa TANAKA, Masaaki MIZUNO,
Kenji ISHIKAWA, Shinya TOYOKUNI,
Hiroaki KAJIYAMA, Fumitaka KIKKAWA,
Masaru HORI（Nagoya University）

Yuichi SETSUHARA（‌Osaka University）
Kazuo TERASHIMA（‌The University of Tokyo）
Nobuya HAYASHI（‌Kyushu University）
Akihisa OGINO（‌Shizuoka University）

15:00-15:15
A-O5-005
プラズマ活性培養液（PAM）によって惹起される細胞内応答 / Intracellular responses during incubation inplasma-activated cell culture medium（PAM）

12 月 5 日（火）December 5（Tue.）
横浜市開港記念会館 6号室

石川 健治1）、古田 凌1）、倉家 尚之1）、竹田 圭吾2）、
橋爪 博司1）、田中 宏昌1）、太田 貴之2）、伊藤 昌文2）、
近藤 博基1）、関根 誠1）、堀 勝1）（1）名古屋大学、2）名城大学）

Yokohama Port Opening Plaza Room 6

午後の部
Afternoon Oral Session

Kenji ISHIKAWA1）, Ryo FURUTA1）,
Naoyuki KURAKE1）, Keigo TAKEDA2）,
Hiroshi HASHIZUME1）, Hiromasa TANAKA1）,
Takayuki OHTA2）, Masafumi ITO2）, Hiroki KONDO1）,
Makoto SEKINE1）, Masaru HORI1）（1）Nagoya
University, 2）Meijo University）

座長：‌八田 章光（高知工科大学）
Chair：‌Akimitsu HATTA（Kochi University ofTechnology）
13:00-13:30
Invited
A-I5-001
低温大気圧プラズマを用いた慢性創傷処置 / Cold
Atmospheric Plasma Treatment on Chronic
Wounds

15:15-15:30
A-O5-006
高速原子間力顕微鏡によるプラズマ活性培養液中における脂質二重膜形状変化の動的観察 / Morphological
Dynamics of Supported Lipid Bilayers in PlasmaActivated Liquids Observed by High-Speed
Atomic Force Microscopy

清水 鉄司1,2）、Julia ZIMMERMANN2）、Georg ISBARY3）、Wilhelm STOLZ3）、Sigrid KARRER4）、Gregor MORFILL2）（1）産業技術総合研究所、2）terraplasma GmbH、3）Department of
Dermatology, Hospital Munich Schwabing、
4）
Department of Dermatology, University ofRegensburg）
1,2）

儀一郎、美濃 裕資、鈴木 天翔、竹中裕一（大阪大学接合科学研究所）

山岡
石川

2）

Tetsuji SHIMIZU , Julia ZIMMERMANN ,Georg ISBARY3）, Wilhelm STOLZ3）, Sigrid KARRER4）,
Gregor MORFILL2）（1）National Institute of Advanced
Industrial Science and Technology, 2）terraplasmaGmbH, 3）Department of Dermatology, Hospital Munich
Schwabing, 4）Department of Dermatology, Universityof Regensburg）− 24 −

壮太郎、戸波 卓也、橋爪 博司、近藤 博基、健治、田中 宏昌、堀 勝（名古屋大学）

Sotaro YAMAOKA, Takuya TONAMI,
Hiroshi HASHIZUME, Hiroki KONDO,
Kenji ISHIKAWA, Hiromasa TANAKA, Masaru HORI
（Nagoya University）

Yokohama Port Opening Plaza Room 6

午後の部
Afternoon Oral Session

18:15-18:30
A-O5-012
HAuCl4とゼラチンの混合水溶液上で形成された高分子
膜中の金ナノ粒子の粒径分布 / Size Distribution ofGold Nanoparticles Embedded in a Polymer Film
Formed by Plasma in Contact with Aqueous
Solution of HAuCl4 and Gelatin

座長：‌内田 儀一郎（大阪大学）
Chair：‌Giichiro UCHIDA（Osaka University）
16:00-16:30
Invited
A-I5-007
金属中でのプラズマ誘起ヘリウムバブルの成長：フラクタルナノ構造から光触媒 / Plasma induced He
bubble growth in metals: from fractal
nanostructure to photocatalysts

梶田

白藤 立1,2）、中村 宥亮1）、東 志織1）、一色 俊之3）（1）大阪市立大学、2）東京理科大学W-FSTセンター、3）京都工芸繊維大学）
Tatsuru SHIRAFUJI1,2）, Yusuke NAKAMURA1）,
Shiori AZUMA1）, Toshiyuki ISSHIKI3）（1）Osaka City
University, 2）W-FST Center, Tokyo University of
Science, 3）Kyoto Institute of Technology）

信（名古屋大学）

Shin KAJITA（Nagoya University）
16:30-16:45
A-O5-008
パルスDCプラズマの開発とナノカーボン膜CVDへの応
用 / Development of Pulsed DC Plasma for
Application to CVD of Nano-carbon Films

八田 章光1,2）、マムン エムディアブドゥラアル2）、
古田 寛1,2）（1）高知工科大学ナノテクノロジー研究セン
ター、2）高知工科大学大学院工学研究科）

18:30-18:45
A-O5-013
水溶液中でのプラズマによる酸化物粒子の改質 /Modification of Oxide Particles by Plasma
Generated in Aqueous Solution

谷 真海1）、堀 史説1）、熊田 高之2）、大和田 めぐみ3）、
岩瀬 彰宏1）、水越 克彰4）（1）大阪府立大学大学院工学研究科、2）日本原子力研究開発機構物質科学研究セン
ター、3）東北大学金属材料研究所、4）東北大学金属材料研究所附属産学官広域連携センター）

Akimitsu HATTA1,2）, Md abdullah al MAMUN2）,
Hiroshi FURUTA1,2）（1）Center for Nanotechnology,
Kochi University of Technology, 2）Graduate School ofEngineering, Kochi University of Technology）

Masaumi TANI1）, Fuminobu HORI1）,
Takayuki KUMADA2）, Megumi OHWADA3）,
Akihiro IWASE1）, Yoshiteru MIZUKOSHI4）（1）Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture
University, 2）Materials Science Research Center, Japan
Atomic Energy Agency, 3）IMR, Tohoku University,
4）
Trans-Regional Corporation Center for Industrial
Materials Research, IMR, Tohoku University）

16:45-17:15
Invited
A-I5-009
次世代リソグラフィーのための極端紫外光源用プラズ
マの診断 / Diagnostics of extreme-ultraviolet（EUV）light source plasmas for next generation
semiconductor lithography

富田 健太郎1）、佐藤 佑太1）、築山 晶一1）、
深田 来夢1）、内野 喜一郎1）、神家 幸一郎2）、
戸室 弘明2）、柳田 達也2）、和田 靖典2）、國島 正人2）、
スマン ゲオルグ2）、児玉 健2）、溝口 計2）（1）九州大学、
2）
ギガフォトン株式会社）
Kentaro TOMITA1）, Yuta SATO1）,
Syouichi TSUKIYAMA1）, Raimu FUKADA1）,
Kiichiro UCHINO1）, Koichiro KOUGE2）,
Hiroaki TOMURO2）, Tatsuya YANAGIDA2）,
Yasunori WADA2）, Masahito KUNISHIMA2）,
George SOUMAGNE2）, Takeshi KODAMA2）,
Hakaru MIZOGUCHI2）（1）Kyushu University,
2）
Gigaphoton Inc.）

Yokohama Port Opening Plaza Room 7

午前の部
Morning Oral Session
座長：‌古閑 一憲（九州大学）
Chair：‌Kazunori KOGA（Kyushu University）

17:15-17:45
Invited
A-I5-010
高出力半導体レーザーを用いたレーザー維持プラズマ /Laser Sustained Plasma by High Power Laser
Diode

松井

12 月 6 日（水）December 6（Wed.）
横浜市開港記念会館 7号室

9:30-10:00
KeynoteA-K6-001
マイクロ波プラズマ源開発と材料プロセスへの応用 /Development of Microwave Plasma Sources andits Application to Materials Processing

豊田信（静岡大学工学部）

浩孝（名古屋大学）

Hirotaka TOYODA（Nagoya University）

Makoto MATSUI（Faculty of Engineering, Shizuoka
University）
17:45-18:15
Invited
A-I5-011
液滴を用いたプラズマ材料プロセス / Plasma
materials processing with microdroplets伊藤 剛仁1）、妻木 正尚1）、新田 魁洲1）、清水 禎樹2）、
寺嶋 和夫1,2）（1）東京大学、2）産業技術総合研究所）

10:00-10:30
Invited
A-I6-002
Characterization of SiOx:H Ultra-Thin Films
Fabricated by Plasma Atomic Layer Deposition
for Advanced Passivation Layers applied to
Heterojunction Solar Cells− 25 −

Symposium A

Tsuyohito ITO1）, Masanao TSUMAKI1）,
Kaishu NITTA1）, Yoshiki SHIMIZU2）,
Kazuo TERASHIMA1,2）（1）The University of Tokyo,
2）
National Institute of Advanced Industrial Scienceand Technology）

12 月 5 日（火）December 5（Tue.）
横浜市開港記念会館 6号室

Symposium A

Mickael LOZACH, Shota NUNOMURA, Hitoshi SAI,
Takuya MATSUI, Koji MATSUBARA（National
Institute of Advanced Industrial Science andTechnology（AIST）, Research Center for
Photovoltaics）

N. ITAGAKI, Han WANG, Daisuke YAMASHITA,
Hyunwoong SEO, Kazunori KOGA,
Masaharu SHIRATANI（Kyushu University）
14:00-14:15
A-O6-008
プラズマ化学気相成長（PE-CVD）方式によるGaN結晶
成長 / Plasma-enhanced CVD growth of GaN films

10:30-11:00
Invited
A-I6-003
次世代太陽光発電のための先端プラズマプロセス /Advanced plasma process for next-generation
photovoltaics

徐 鉉雄、板垣
大学）

奈穂、古閑

一憲、白谷

谷出 敦1,3）、中村 昭平1）、堀越 章1,3）、高辻 茂1）、
河野 元宏1,3）、木瀬 一夫1）、灘原 壮一1）、西川 正純2）、
江部 明憲2）、石川 健治3）、堀 勝3）（1）株式会社
SCREENホールディングス、2）株式会社イー・エム・
ディー、3）名古屋大学大学院工学研究科）

正治（九州Atsushi TANIDE1,3）, Shohei NAKAMURA1）,
Akira HORIKOSHI1,3）, Shigeru TAKATSUJI1）,
Motohiro KOHNO1,3）, Kazuo KINOSE1）,
Soichi NADAHARA1）, Masazumi NISHIKAWA2）,
Akinori EBE2）, Kenji ISHIKAWA3）, Masaru HORI3）（1）SCREEN Holdings Co., Ltd., 2）EMD Corporation,
3）
Graduate School of Engineering, Nagoya University）

Hyunwoong SEO, Naho ITAGAKI, Kazunori KOGA,
Masaharu SHIRATANI（Kyushu University）
11:00-11:30
Invited
A-I6-004
PS-PVD共凝縮によるSi:Sn複合ナノ粒状構造を利用したリチウムイオン電池の高容量化 / Enhancement incapacity of lithium ion batteries with composite
Si:Sn nanoparticulate anode produced throughco-condensation in PS-PVD

神原 淳、東原 智秋、太田 遼至（東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻）
Makoto KAMBARA, Tomoaki TOHARA,
Ryoshi OHTA（Department of Materials Engineering,
The University of Tokyo）
11:30-11:45
A-O6-005
非平衡プラズマによるNi/Al2O3上のCO2吸着促進 /Nonthermal plasma enhanced CO2 adsorption
over Ni/Al2O3 catalysts

亀島 晟吾、山﨑 匠、幸田
工業大学機械系）

尚彬、野崎

智洋（東京

14:15-14:45
Invited
A-I6-009
中性窒素ビーム照射による窒素ドープグラフェンの選
択合成 / Selective Formation of Nitrogen-Doped
Graphene by Neutral Nitrogen Beam岡田健（東北大学流体科学研究所）

Takeru OKADA（Institute of Fluid Science, Tohoku
University）
14:45-15:00
A-O6-010
プラズマCVD合成架橋グラフェンナノリボンの電気伝導特性 / Electrical transport properties ofsuspended graphene nanoribbons grown byplasma CVD

大北加藤

Seigo KAMESHIMA, Takumi YAMAZAKI,
Naoaki KODA, Tomohiro NOZAKI（Department of
Mechanical Engineering, Tokyo Institute ofTechnology）

若菜、鈴木 弘朗、和藤 勇太、金子俊顕（東北大学 大学院工学研究科）

俊郎、

Wakana OKITA, Hiroo SUZUKI, Yuta WATO,
Toshiro KANEKO, Toshiaki KATO（Department ofElectronic Engineering, Tohoku University）
15:00-15:15
A-O6-011
シリコン・ポリスチレンナノコンポジット薄膜のフォ
ノン輸送特性 / Phonon Thermal Transport in
Silicon Nanoparticles and Polystyrene
Nanocomposite Thin Films

12 月 6 日（水）December 6（Wed.）
横浜市開港記念会館 7号室

Yokohama Port Opening Plaza Room 7

午後の部
Afternoon Oral Session

ジャンサ フィルマン1）、室屋 好希1）、劉 芽久哉2）、
森川 淳子2）、野崎 智洋1）（1）東京工業大学工学院機械系、2）東京工業大学物質理工学院材料系）

座長：‌神原 淳（東京大学）
Chair：‌Makoto KAMBARA（The University of Tokyo）

Firman Bagja JUANGSA1）, Yoshiki MUROYA1）,
Meguya RYU2）, Junko MORIKAWA2）,
Tomohiro NOZAKI1）（1）Department of MechanicalEngineering, Tokyo Institute of Technology,2）
Department of Materials Sciences and Engineering,Tokyo Institute of Technology）

13:00-13:30
KeynoteA-K6-006
Atmospheric Plasma Mediated Synthesis of ZnO
Nanomaterials for Bio-medical Application

Antony ANANTH, Ki-hwan HWANG, Hyeon jin SEO,
Jin-hyo BOO（Sungkyunkwan University）
13:30-14:00
Invited
A-I6-007
不純物添加スパッタリング法による高移動度・ナノ結
晶フリー a-In2O3:Sn薄膜の作製 / Fabrication ofHigh-Mobility Nanocrystal-Free a-In2O3:Sn Films
by Magnetron Sputtering with Impurity-MediatedAmorphization Method板垣
白谷

奈穂、王 寒、山下
正治（九州大学）

大輔、徐

鉉雄、古閑

15:15-15:30
A-O6-012
プラズマ中に捕捉されたナノ粒子を活用した高品質シ
リコン薄膜堆積 / Deposition of High Quality SiliconThin Films Utilizing Nanoparticles Trapped in
Plasmas一憲、− 26 −

古閑板垣

一憲、小島 尚、都甲 将、山下 大輔、徐奈穂、白谷 正治（九州大学）

鉉雄、

Kazunori KOGA, Takashi KOJIMA, Susumu TOKO,
Daisuke YAMASHITA, Hyunwoong SEO,
Naho ITAGAKI, Masaharu SHIRATANI（Kyushu
University）

Yokohama Media & Communications Center, Hall

16:00-18:00
A-P6-006
非平衡プラズマ・触媒反応によるバイオガスの水素リッチ化 / Hydrogen enrichment of biogas bynonthermal plasma-mediated catalysis

ポスターセッション
Poster Session

山﨑野崎

座長：‌白谷 正治（九州大学）
Chair：‌Masaharu SHIRATANI（Kyushu University）

一憲、和田
奈穂、白谷

陽介、山下 大輔、徐正治（九州大学）

16:00-18:00
A-P6-007
プラズマ支援反応性プロセスを用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの低温形成 / Fabrication of High
Mobility IGZO Thin Film Transistor at Low
Temperature using Plasma-assisted Reactive
Processes

鉉雄、

Kazunori KOGA, Yousuke WADA,
Daisuke YAMASHITA, Hyunwoong SEO,
Naho ITAGAKI, Masaharu SHIRATANI（Kyushu
University）

遠藤 雅1）、竹中 弘祐1）、内田 儀一郎1）、節原 裕一1）、
江部 昭憲2）（1）大阪大学接合科学研究所、2）株式会社
イー・エム・ディー）

16:00-18:00
A-P6-002
プラズマ照射による水溶液中アミノ酸の酸化と分解 /Oxidation and decomposition of amino acids inwater induced by plasma irradiation

美濃節原祐資、内田 儀一郎、鈴木 天翔、竹中裕一（大阪大学接合科学研究所）

Masashi ENDO1）, Kosuke TAKENAKA1）,
Giichiro UCHIDA1）, Yuichi SETSUHARA1）,
Akinori EBE2）（1）Joining and Welding ResearchInstitute, Osaka University, 2）EMD Corporation）

弘祐、

Yusuke MINO, Giichiro UCHIDA, Tensho SUZUKI,
Kosuke TAKENAKA, Yuichi SETSUHARA（Joining
and Welding Research Institute, Osaka University）

16:00-18:00
A-P6-008
プラズマプロセスによるSnドープSiO2薄膜の作製 / Sn
doped SiO2 Thin Film Preparation by Powder
Targets Plasma Processes

16:00-18:00
A-P6-003
メタクリル酸系高分子ブラシにおけるプラズマ誘起表
面反応 / Plasma-induced Surface Reactions on
Methacrylic Polymer Brushes

川崎
篠原

Yasushi SASAI1）, Kohei NAKAMUTA1）,
Chiaki HIRAMATSU1）, Naoki DOI1）,
Yukinori YAMAUCHI2）, Masayuki KUZUYA3）,
Shin-ichi KONDO1）（1）Gifu Pharmaceutical University,
2）
Faculty of Pharmaceutical Sciences, Matsuyama
University, 3）Chubu Gakuin University）
16:00-18:00
A-P6-004
非平衡液中プラズマを利用したTiO2膜の作製 / TiO2
film prepared with a non-equilibrium plasma
induced in in a liquid phase

潤平、増田

優貴、奥谷

昌之（静

仁晴、大島 多美子、柳生 義人、猪原
正典（佐世保工業高等専門学校）

武士、

Hiroharu KAWASAKI, Tamiko OHSHIMA,
Yoshihito YAGYU, Takeshi IHARA,
Masanori SHINOHARA（National Institute ofTechnology, Sasebo College）

笹井 泰志1）、中牟田 晧平1）、平松 千明1）、
土井 直樹1）、山内 行玄2）、葛谷 昌之3）、近藤 伸一1）
（1）岐阜薬科大学、2）松山大学薬学部、3）中部学院大学）

奥村 亮祐、鷺坂岡大学大学院）

尚彬、

Takumi YAMAZAKI, Seigo KAMESHIMA,
Kenta SAKATA, Naoaki KODA, Tomohiro NOZAKI（Department of Mechanical Engineering, Tokyo
Institute of Technology）

16:00-18:00
A-P6-001
プラズマ誘起植物成長促進に対する種子密度の効果 /Effects of Number Density of Seeds on Plasma
Induced Plant Growth Enhancement

古閑板垣

匠、亀島 晟吾、坂田 謙太、幸田
智洋（東京工業大学機械系）

16:00-18:00
A-P6-009
Resistive Switching and Transparent Properties in
AZO/ZnO/GO/ITO Structural Device

Chun-chieh LIN, I-chen CHIU（National Dong Hwa
University）
16:00-18:00
A-P6-010
斜め堆積スパッタリング法により作製した離散的ナノ柱状構造化SnO2薄膜のガスセンシング特性 / Gassensing Properties of SnO2 Films with Isolated
Nanocolumnar Structures Deposited by Glancingangle Sputtering山本 雅己1）、佐藤 大樹2）、井上 泰志1,2）、高井 治3）（1）千葉工業大学工学部、2）千葉工業大学大学院工学研究科、3）関東学院大学工学部材料・表面工学研究科）

Ryosuke OKUMURA, Junpei SAGISAKA,
Yuki MASUDA, Masayuki OKUYA（Shizuoka
University）
16:00-18:00
A-P6-005
液相レーザーアブレーション法を用いた金/酸化チタン
複合ナノ粒子の生成 / Synthesis of Au/TiO2composite nanoparticles by pulsed laser ablation
in aqueous media

川合 翔太、ワーユー ディオノ、高田 昇治、
神田 英輝、後藤 元信（名古屋大学大学院工学研究科）− 27 −

Masami YAMAMOTO1）, Daiki SATO2）,
Yasushi INOUE1,2）, Osamu TAKAI3）（1）Faculty of  Engineering, Chiba Institute of Technology, 2）Graduate
School of Engineering, Chiba Institute of Technology,
3）
Materials and Surface Engineering ResearchInstitute, Kanto Gakuin University）

Symposium A

Shota KAWAI, Diono WAHYU, Noriharu TAKADA,
Hideki KANDA, Motonobu GOTO（Graduate Schoolof Engineering, Nagoya University）

12 月 6 日（水）December 6（Wed.）
横浜情報文化センター 情文ホール

Symposium A

Tamiko OHSHIMA1）, Yoshihiro NOJIRI1）,
Masaki IWAYA1）, Hiroharu KAWASAKI1）,
Yoshihito YAGYU1）, Takeshi IHARA1）,
Masanori SHINOHARA1）, Yoshiaki SUDA2）（1）National
Institute of Technology, Sasebo College, 2）National
Institute of Technology, Ishikawa College）

16:00-18:00
A-P6-011
圧力分布環境における斜め堆積反応性蒸着プロセスのモンテカルロシミュレーション / A Simple MonteCarlo Simulation of Glancing-angle Reactive
Evaporation Process in Pressure-distributed
Environmnets

川畑 透眞1）、泉澤 宏樹2）、井上 泰志1,2）、高井 治3）（1）千葉工業大学工学部、2）千葉工業大学大学院工学研究科、3）関東学院大学材料・表面高学研究所）
Touma KAWABATA1）, Hiroki IZUMISAWA2）,
Yasushi INOUE1,2）, Osamu TAKAI3）（1）Faculty ofEngineering , Chiba Institute of Technology,
2）
Graduate School of Engineering , Chiba Institute ofTechnology, 3）Materials & Surface Engineering
Research Institute , Kanto Gakuin University）

16:00-18:00
A-P6-016
機能性薄膜形成のためのプラズマ支援反応性スパッタ
リングプロセスの開発 / Development of plasmaassisted reactive sputtering processes forfunctional thin films formation

竹中 弘祐、吉谷 友希、内田
阪大学接合科学研究所）

16:00-18:00
A-P6-012
離散的ナノ柱状構造化InN薄膜のエレクトロクロミック
耐久性に対する熱処理の影響 / Effect of Thermal
Treatment on Electrochromic Cyclic Durability of
InN Films with Isolated Nanocolumnar Structures

細谷 昌史1）、椎名 祐斗2）、井上 泰志1,2）、高井 治3）（1）千葉工業大学工学部、2）千葉工業大学大学院工学研究科、3）関東学院大学材料・表面工学研究所）

16:00-18:00
A-P6-017
アルゴンプラズマ中で光捕捉した微粒子の揺動解析 /Fluctuation Analysis of An Optical Trapped Fine
Particle in Ar Plasma

16:00-18:00
A-P6-013
マイクロ波励起水素プラズマを用いた水素発生反応のためのMoS2基底面の活性化 / Activating basal-planeof MoS2 for hydrogen evolution reaction using
MW hydrogen plasma

雅浩、荻野

裕一（大

Kosuke TAKENAKA, Tomoki YOSHITANI,
Giichiro UCHIDA, Yuichi SETSUHARA（Joining and
Welding Research Institute, Osaka University）

Masashi HOSOYA1）, Yuuto SHIINA2）,
Yasushi INOUE1,2）, Osamu TAKAI3）（1）Faculty ofEngineering, Chiba Institute of Technology, 2）Graduate
School of Engineering, Chiba Institute of Technology,
3）
Materials & Surface Engineering Research Institute,
Kanto Gakuin University）

杉山

儀一郎、節原明久（静大院工）Masahiro SUGIYAMA, Akihisa OGINO（Shizuoka
Univ.）
16:00-18:00
A-P6-014
プラズマ支援エレクトロスプレーデポジション法の開発 / Development of plasma enhanced
electrospray deposition

橋本 光平1）、一木 隆範1,2）（1）東京大学工学系研究科、
2）
ナノ医療イノベーションセンター）
Kohei HASHIMOTO1）, Takanori ICHIKI1,2）（1）Schoolof enigineering, The University of Tokyo,
2）
Innovation Center of NanoMedicine）
16:00-18:00
A-P6-015
パルスレーザ堆積法による一室型固体酸化物燃料電池の電解質用バリウムセリウム酸化物薄膜の作製 /Preparation of Barium Cerium Oxide Thin Films
for Electrolyte of The Single Chamber Solid Oxide
Fuel Cell by Pulsed Laser Deposition

大島 多美子1）、野尻 能弘1）、岩屋 匡紀1）、
川崎 仁晴1）、柳生 義人1）、猪原 武士1）、篠原 正典1）、
須田 義昭2）（1）佐世保工業高等専門学校、2）石川工業高等専門学校）− 28 −

大友古閑洋、森 研人、山下 大輔、徐 鉉雄、板垣
一憲、白谷 正治（九州大学）

Hiroshi OHTOMO, Kento MORI,
Daisuke YAMASHITA, Hyunwoong SEO,
Naho ITAGAKI, Kazunori KOGA,
Masaharu SHIRATANI（Kyushu University）

奈穂、