令和4年度 学生研修プログラムリスト

2022/5/17

高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル
No.

1

横断技術
領域

加工

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

MEMSフォースセンサと
東北大学
IoTモジュールの作製

戸津 健太郎

研修期間

7月1日～9月8日（うち5日間）

定員

3名

研修概要

対象学年など

特記事項

ピエゾ抵抗形のMEMSフォースセンサ（force sensor）の試作を通して、加工プロセスの基礎を習得します。さらに、IoTの高専4～5年、高専専攻科、入口として、試作したセンサをプリント基板に実装し、WiFi無学部1～4年、修士課程、
線モジュール、インターネットを介してスマートフォン等で測定
博士課程
値をモニタリングできるようにします。モジュールはFRISKの箱に入る大きさです。加工プロセスとしては、フォトリソグラ※どなたでも参加いただけ
フィ、イオン注入、CVD、ウェットエッチング、スパッタリング、ます。
シリコンDeepRIE、ダイシング、ワイヤボンディングなどを行います。

研修スケジュール

1日目

イントロ、安全教育、フォトリソグラフィ、イオン注
入、ランプアニール、施設見学

2日目

SiO2 TEOS-PECVD、フォトリソグラフィ、SiO2
ウェットエッチング、Alスパッタリング

5日目

プリント基板実装、マイコンプログラミング、評
価、まとめ

研修場所

〒980－0845
宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉
フォトリソグラフィ、Alウェットエッチング、Alシンタ
519-1176
3日目
リング、フォトリソグラフィ
東北大学西澤潤一記念研究センター
4日目 Si DeepRIE、ダイシング、ワイヤボンディング

1日目 FIB・TEMについての基礎講習（オンライン開催）

2

3

FIBおよびTEMを用い計測 た基礎的微細構造解
析

計測

東北大学

X線光電子分光測定入
筑波大学
門

今野 豊彦
竹中 佳生
兒玉 裕美子

末益 崇
岡野 彩子

7月1日～7月29日（うち4日間)

8月3日～8月5日
（3日間）
応相談

2名

高専4～5年、高専専攻科、本研修では、集束イオンビーム（FIB）装置を用いたTEM観察 学部4年、修士課程、用薄片試料の作製から透過電子顕微鏡（TEM）による組織 博士課程
試料持込可、要相談。
解析までの概略を学び、実際にこれら装置を用いた実習を行う。
※FIBおよびTEMの未経験者、初心者向け

本研修では、超高真空装置による分光測定の仕組みを学ぶ
高専4～5年、高専専攻科、4名 ことを目的とする。真空技術とX線分光の説明と、実際にX線
学部4年、修士課程、日程の調整可能です。
程度 光電子分光（XPS）装置を用いた測定・解析を実習として行
博士課程
い、基礎から応用までの知見を習得する。

2日目 FIB実習（実地）
3日目 TEM実習（実地）
4日目 解析方法の実習＋まとめ（実地）備考：

講義担当者の都合により日程が前後する可能性
があります

1日目

午前：安全教育・研修の説明、見学 午後：真空技術・分光に関する講義

2日目 午前：装置の説明、試料準備 午後：XPS測定
3日目

4

5

6

加工

パワー半導体デバイス
筑波大学の電気特性評価

両面からのシリコン深加工 掘りエッチングで創る
MEMSデバイス

豊田工業大学

三次元ナノ構造を見加工 る・作る －モルフォ蝶 香川大学
を例にして－

末益 崇
矢野 裕司

佐々木 実

下川 房男

8月3日～8月5日
（3日間）
応相談

8月22日～8月24日
または
8月29日～9月2日（3日間）

7月1日～9月8日（うち4日間）
実地研修

本研修では、パワー半導体デバイスの電気特性について学
ぶため、パワーデバイス特性評価装置を用い、市販のパッ 高専4～5年、高専専攻科、
3名
ケージデバイスやチップ／ウエハ上の自作デバイスの電流 学部4年、修士課程、程度－電圧特性や容量－電圧特性などの測定の実習を行い、パ 博士課程
ワー半導体デバイスの特性評価技術を習得する。

〒980-8577
宮城県仙台市青葉区片平2-1-1
東北大学 金属材料研究所
2号館6階および地下1階
オンライン、実地研修併用〒305-8577
茨城県つくば市天王台1-1-1
筑波大学 総合研究棟B 0022室

午前：データ解析方法の説明・実習 午後：測定
結果のまとめ

午前：安全教育および測定装置の概要説明 午
1日目
後：デバイスの測定
日程や研修で行う測定内〒305-8577
容は調整可能です。
午前：デバイスの測定 午後：デバイスの測定及
茨城県つくば市天王台1-1-1
自作デバイスを含め、測 2日目
び特性の解析
筑波大学 総合研究棟B 0022室
定試料の持込も歓迎します。
午前：測定・解析結果のまとめ 午後：ディスカッ
3日目
ション

2名

事前講習（研修前リモートでのやりとりも行う）、
リアルでの実習前後に、 1日目 安全教育、裏面用フォトマスク作製
シリコン基板の両面から、深掘りエッチングを施すことで、オンラインや資料による様々なMEMS貫通デバイスを創ることができる。本研修では、〒468-8511
説明を行います。
高専4～5年、高専専攻科、
数10μｍの大きさを持つ細胞を吸引トラップするノズルデバ
愛知県名古屋市天白区久方2-12-1
コロナウイルス感染症を
学部4年、修士課程
表面マスクレス直描パターニング、シリコン深掘
イス、表面張力で水が漏れない微細な貫通穴をもつ細胞培
豊田工業大学受けた本学活動指針の 2日目
りエッチング、加工結果の評価
養チャンバ、を想定して製作実習を行う。製作を通して、
マイクロメカトロニクス研究室・共同状況次第では、研修日程※未経験者歓迎
MEMSデバイス製作の基本である、パターニングとシリコン利用クリーンルームの延長・中止を判断する
エッチングを習得する。
場合があります。予めご裏面マスクパターニング、シリコン深掘りエッチン
了承ください。
3日目
グ、評価とまとめ（研修後も含む）

3名

自然界には,色素による発色だけではなく,三次元ナノ構造が織り成す構造色による発色がある．著名な例として、モルフォ
蝶の鱗粉がある。本研修では，(1)モルフォ蝶の構造色の原理を知って，モルフォ蝶の三次元的な棚構造を観察(見る)す
るとともに，(2)ナノ・マイクロ加工の基本現象を理解し，更に最先端のプロセス技術を用いて,その要素となるナノメ－タサ 高専専攻科、学部3～4年、イズの構造を製作(作る)する．具体的にモルフォ蝶の構造色 修士課程の観察では，屈折率の異なる複数の液体中に浸す光学的な基本実験やモルフォ蝶の棚構造を走査型電子顕微鏡を用い ※未経験者歓迎て観察を行う．また，製作実習では， 三次元構造形成の基本となるナノメ－タサイズの構造(厚み，幅が100nm程度)を，
電子線描画装置(リソグラフィ技術)と高密度プラズマエッチン
グ装置(エッチング技術)，デュアルイオンビ－ムスパッタ装置(薄膜形成技術)等を用いて製作する．

1/8

開始予定時刻:10:00～
研修概要，モルフォ蝶の構造色の仕組み～加工
1日目 プロセスの基礎(講義)，
安全指導，モルフォ蝶の構造色の観察等とナノ構造観察(走査型電子顕微鏡等)〒761-0396
香川県高松市林町2217-20
ナノメ－タサイズのパタ－ン設計(CAD)～電子線
香川大学 創造工学部
2日目 描画装置(E．B)を用いた描画プロセス
施設内の見学等((現地開催での研修プログラムとなっており，
現像・洗浄プロセス～ナノメ－タ構造の加工(高3日目 密度プラズマエッチング装置)～製作したナノ構造の観察(走査型電子顕微鏡等)
4日目

研修の纏め
終了予定時刻:12:00

オンラインでの開催/オンライン併用は,予定していない)革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル
No.

横断技術
領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

TEMの基礎（講義）TEMでどんなデータ（情報・信号）が得られる
1日目 か？
TEM操作のための簡単なTEMの原理と構造
試料作製法

7

計測

初心者のためのTEM基
東京大学
本操作

押川 浩之
木村 鮎美
寺西 亮佑
森田 真理
森山 和彦

8月22日～8月25日
（4日間）

3名

基本操作実習（試料交換～観察まで）
高専4～5年、高専専攻科、
電子線の発生試料持込みは可能です 2日目
学部1～4年、修士課程
照射系軸合わせが、試料作製等の制限も結像系軸合わせありますので、その際は※初心者（基礎から形態観研修担当者と予めご相察・分析基本操作を学びた
基本操作実習（試料交換～観察まで）
談下さい。
い方）
電子線の発生3日目
照射系軸合わせ
結像系軸合わせTEMについて基礎から応用まで習得するため、JEM1400/JEM-2800を使用したTEM操作実習を行い、TEM/STEM操作・観察・分析技術を習得する。

〒113-8656
東京都文京区弥生二丁目11-16
東京大学大学院
工学系研究科総合研究機構（工学部9号館）

種々の観察法結晶方位合わせ/高分解能像観察法
4日目
制限視野電子回折法
STEM-EDS8

粉末X線回折法の基礎
計測東京大学（初心者向け）

府川 和弘
森山 和彦

8月1日～8月3日
（3日間）

3名

X線の発生・体に与える影響などの基礎知識・安
1日目
全知識の講義X線を使った測定手法の中で一番の基礎となる粉末X線回折法に関する講義・実習です。
高専4～5年、高専専攻科、
X線とは何か、Ｘ線回折で何が分かるのか、何に気を付ける 学部1～4年
試料持込可ですが、あら 2日目 X線回折法の装置実習・定性分析実習のか、などのX線に関する概要や安全知識習得から、粉末X
かじめ概要をお知らせく
線回折法の実習、定性分析実習までを行います。
※未経験者・初心者向けに ださい
3日目 X線回折法の装置実習・定性分析実習、まとめ
将来粉末X線測定をするかもしれない、基礎知識として知っ なります。
ておきたいという方向けの講義・実習にする予定です。
参加者の理解に合わせ、日程・内容を変更する
備考：
場合があります。

〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
東京大学総合研究機構（工学部9号館3階）

1日目 安全講習およびトランジスタ回路設計

9

加工

CMOSトランジスタ・集積回路作成実習広島大学

黒木 伸一郎
山田 真司

７月25日～7月30日
（6日間）

5名

オンラインも検討中

NMOS,PMOSトランジスタを用いたCMOS集積回路の試作実習を通じて、プロセス基礎技術とトランジスタ・回路の基本技
術全体を学ぶ。イオン注入、酸化、リソグラフィー、エッチングなど基本技術を学ぶ。作製する回路は、CMOSインバータを 高専4～5年、高専専攻科、
基本とするリングオシレータ、SRAMなど。時間短縮のためN- 学部4年、修士課程、ウェル形成までは研修前に準備する。受講生は主にトランジ 博士課程
スタ回路設計及びデバイス作製途中のパターン観察と完成後の特性評価を行う。半導体製造装置によるデバイス作製 ※未経験者歓迎
は主にスタッフが行う(受講生は簡単な作業と操作を見ながら講義を受ける)。最小加工寸法は、マスクレス露光を用いた
3ミクロンとする。

2日目

チャネル、チャネルストップインプラ（酸化、リソ、エッチング、イオン注入）実習

ソース/ドレイン、コンタクトホール形成（リソ、イオ 〒739-8527
半導体実践実習（社会人 3日目 ン注入）実習
東広島市鏡山一丁目四番二号
向け）同時開催、ノートパ
広島大学ナノデバイス研究所
ソコン持参（マウスも必
Alゲート、配線形成（スパッタ、リソ、エッチング、須）をお願い4日目
オンラインとなる可能性もあります。
アニール）実習
5日目

トランジスタ特性、回路特性測定（Vd-Id, Vg-Id、gm他）

6日目 特性評価（続）およびまとめ

量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル
No.

横断技術
領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

物質・材料研 渡辺 英一郎
10 加工 グラフェンマイクロデバ
イスの作製
津谷 大樹
究機構

研修期間

定員

研修概要

対象学年など【研修内容】
二次元層状物質“グラフェン”を用いたマイクロデバイスを作製する。フォトリソグラフィや成膜プロセス，エッチングプロセ
ス，電気伝導測定など加工プロセス技術の基礎・装置操作を習得する。
【実験手順】
単層・多層グラフェンは機械的剥離法によりSiO2/Si基板上 高専4～5年、高専専攻科、
7月1日～8月31日
学部3～4年、修士課程、最大2名 に転写する。転写したグラフェンは、リソグラフィプロセスと（うち4日間）※ 実地研修のみ
エッチングプロセスにより任意の形状に加工する。その後、リ 博士課程
ソグラフィプロセス，成膜プロセス，リフトオフプロセスにより金属電極を形成し，作製したグラフェンデバイスの電気伝導測定を実施する。
【使用装置】
高速マスクレス露光装置，電子銃型蒸着装置，ドライエッチ
ング装置，熱処理装置，プローバーシステムなど

2/8

特記事項

研修スケジュール

1日目

研修場所

概要説明、安全教育、施設見学、および、グラフェン転写（機械的剥離法）・観察

2日目 グラフェンの加工〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1 材料信頼性実験棟１階 クリーンルーム
3日目 グラフェンへのコンタクト電極作製

4日目 アニール、電気伝導測定、および、まとめ

研修先
ホスト氏名

No.

横断技術
領域

11

オージェ電子分光装置とイオンミリング装置を計測
北海道大学用いた微小領域の表面分析及び断面分析

研修テーマ

機関名

坂入 正敏
鈴木 啓太
吉田 すずか研修期間

7月1日～9月1日（うち3日間）オンライン研修対応/併
用可

定員

研修概要

対象学年などオージェ電子分光装置及び関連分析装置(SEM-EDS、XPS 学部4年、修士課程、
等)を用いた微細領域における元素分析，化学状態分析，元 博士課程
1～2名
素マッピングに関する技術と、イオンミリング装置による試料作製技術の習得を目指す。
※未経験者歓迎

特記事項

研修スケジュール

1日目 実験概要説明，試料作製
試料持込歓迎(固体試料
2日目 オージェ電子分光装置による測定、試料作製に限る。粉体も可)
3日目 オージェ電子分光装置による測定，実習まとめ
1日目

電子ビームリソグラフィ

12 加工 を用いた金属/半導体 北海道大学
微細構造の作製松尾 保孝
石旭

7月1日～9月8日（うち3日間）電子ビーム(EB)描画・スパッタによる金属薄膜形成・ドライ
学部4年、修士課程、エッチングなどを用いた微細構造作製を通じ、加工における博士課程
1～2名 基本的技術を習得する。また作製された金属/半導体微細構
造を走査電子顕微鏡(SEM)を用いて観察することで、試料評※未経験者を歓迎します
価(構造解析)の基本的技術を習得する。

研修場所〒060-8628
北海道札幌市北区北13条西8丁目
北海道大学工学部
フロンティア応用科学研究棟1-03

微細加工プロセスに関する講義、微細加工実習(クリーンルーム講習、EB描画)

微細加工実習(EB描画、スパッタ・リフトオフによ
2日目 る金属微細構造作製、ドライエッチングによる半導体微細構造作製)
作製したいデバイスがあ〒001-0021
れば相談を受け付けま北海道札幌市北区北21条西10丁目
微細加工実習(金属微細構造作製・半導体微細 北海道大学 創成科学研究棟
す。
3日目
構造作製の続き)、SEM観察
開始時間・終了時間等は参加者の都合に合わせて調整します。
備考：
状況により一部講習をオンラインにて実施し、現地実習を短縮する可能性があります。
オリエンテーションおよびALD、スパッタ装置等に
1日目 よる加工技術、FIB、STEMによる評価技術に関する講義、薄膜作製実習

13

14

15

加工 原子層堆積装置等によ+ る薄膜作製ととFIB・
北海道大学
計測 TEMによる構造解析

陽電子プローブマイク
計測 ロアナライザーによる欠陥・ナノ空隙評価

産業技術総
合研究所

走査型プローブ顕微鏡
産業技術総
計測 （SPM）の原理と分光ナ
合研究所
ノ計測

松尾 保孝
平井 直美
森 有子

満汐 孝治

井藤 浩志

原子層堆積装置（ALD）やスパッタ装置等を用いた薄膜作製技術の研修と、作製した薄膜についての集束イオンビーム加
学部4年、修士課程、7月1日～9月8日
工装置（FIB）・透過電子顕微鏡（STEM）を用いたナノ構造評（うち4日間、状況に 1～2名 価についての基礎的な実験を行う。また、それらを適用した 博士課程
より3日間）
先端研究内容についての講義学習を併せて行うことにより、
オンライン研修対応可※未経験者を歓迎します
薄膜作製等の加工技術から透過電子顕微鏡による分析手法までの一連の基礎技術の習得を行う。

8月17日～8月19日（3日間）
状況により講義はオンラインに変更の可能性

7月27日～8月2日
（5日間）

2名

2名

陽電子寿命測定法は、電子の反粒子である陽電子を材料中に打ち込み、電子と対消滅するまでの時間を測定すること
で、材料中に含まれる微小な欠陥（原子空孔）やナノ空隙の 高専専攻科、修士課程、構造を評価する手法である。本研修では、陽電子寿命測定 博士課程
法と集束陽電子ビームを用いた局所空隙評価法（陽電子プ
ローブマイクロアナライザー）について基礎から応用まで習 ※未経験者歓迎得するため、原理から応用まで一通りの講義と当装置を用いた実習を行う。

走査プローブ顕微鏡（SPM）の歴史・発展の過程を理解する。また、SPMの原理を理解して、ナノ材料の物性・特性を計測するための、分光ナノ計測技術を習得する。習得する分光 高専4～5年、高専専攻科、
技術は、力学特性、近接場顕微鏡による赤外吸収、電位計 学部1～4年、修士課程、
測技術のいずれか１つ選択する。また、参加者の研究課題 博士課程に関連する持ち込みサンプルの測定を実施可能である。（一部、制限有）

2日目 薄膜作製 実習 および FIB 実習
薄膜作製したいデバイスがあれば、実習内で対応できるかの相談を受け付 3日目 FIB実習、透過電子顕微鏡観察 実習
けます。
4日目 透過電子顕微鏡観察 実習、 まとめ
備考：

開始時間・終了時間等は参加者の都合に合わせて調整します。

1日目

10:00-17:00、安全教育、陽電子分析法の基礎に関する講義 （オンライン/実地併用可）

試料の持込可（事前に要10:00-17:00、応用に関する講義、施設見学、実
2日目
相談）
習 （オンライン/実地併用可）〒305-8568
茨城つくば市梅園1-1-1
産業技術総合研究所
つくば中央第二事業所 2-4棟

3日目 10:00-17:00、実習 （実地）施設紹介、利用ルール説明、安全教育などの簡単なガイダンス
1日目 ・施設見学と走査プローブ顕微鏡（SPM）の基礎
・SPMの原理の説明・走査型トンネル顕微鏡の探針の作成法
カンチレバーの動作と変位検出方法を理解し、原 〒305-8568
原則、来所で実施。２名の希望者がいた場合は、 2日目 子間力顕微鏡（AFM）の基本測定技術を習得す 茨城県つくば市梅園1-1-1
る。
別々の期間で実施するこ
産業技術総合研究所ともある。
分光ナノ物性計測習得（力学、赤外分光、電位計 つくば中央第２事業所 D棟
3日目
測から選択）
4日目

ナノ物性計測法の習得、又は、持ち込み試料測定

5日目 持ち込み試料測定、まとめ

3/8〒001-0021
北海道札幌市北区北21条西10丁目
北海道大学 創成科学研究棟

No.

横断技術
領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

8月22日～8月25日
（4日間）

16

超伝導検出器による軟X 線分光測定の基礎
講習 超伝導X線検出 産業技術総計測器付き走査型電子顕 合研究所
微鏡での材料分析実
習藤井 剛（事前相談により変更す
る場合があります。泊りでの研修を前提としており、参加者全員が日帰りでの参加の場合、研修期間を3日間に短縮する可能性があります。また、緊急事態宣言発令
されている場合、全ての研修をオンライン（Microsoft Teams）で実施する。オンラインの場
合、3日間に短縮）

定員

17

18

超伝導検出器によるX
線吸収分光の基礎講
習 および 超伝導検出 産業技術総計測器を搭載した走査型電 合研究所
子顕微鏡を用いたX線
分光の実習

固体NMR計測・解析技 産業技術総
計測
術
合研究所

産業技術総

19 計測 レーザー時間分解分光 合研究所

20

東京工業大
加工 電子ビームリソグラフィ
学

志岐 成友

服部 峰之

細貝 拓也
松﨑 弘幸

宮本 恭幸

8月3日～8月5日（3日間）（“オンライン”“実地研修”の併用、日程は応相談）

対象学年など

特記事項

シリコンドリフト検出器に匹敵する効率と波長分散型検出器に匹敵するエネルギー分解能を両立している超伝導体を用いたX線検出器（超伝導X線検出器）の動作原理、作成方
法、検出特性などについて講義を行う。さらに、超伝導X線検高専専攻科、学部3～4年、出器付き走査型電子顕微鏡で得られた分析結果についても修士課程、博士課程
紹介する。
実技として、超伝導X線検出器付き走査型電子顕微鏡で標2名※SEM-EDX、EPMA、XRF 測定希望の試料の持ち
準試料のX線分光分析を行う。測定希望のサンプルがある場
以下などのX線分光分析の経験 込みは大歓迎です。
合はそのサンプルの分析を行う。その後、得られたX線分光を有することが望ましいが、の結果について解析を行い、データの解釈に関して議論を行
未経験者も歓迎いたしまう。
す。
その他先端分析装置、超伝導X線検出器の作製現場（クリーンルーム）の見学を行う。
緊急事態宣言発令されている場合、全ての研修をオンラインで実施する。

8月22日～8月25日（4日間）（事前相談により変更す
る場合があります。泊りでの研修を前提としており、参加者全員が日帰りでの参加の場合、研修期間を3日間に短縮する可能性があります。また、緊急事態宣言発令
されている場合、全ての研修をオンライン（Microsoft Teams）で実施する。オンラインの場
合、3日間に短縮）

研修概要

2名

シリコンドリフト検出器に匹敵する効率と波長分散型検出器に匹敵するエネルギー分解能を両立している超伝導体を用いたX線検出器（超伝導X線検出器）の動作原理、作成方
法、検出特性などについて講義を行う。さらに、超伝導X線検高専専攻科、学部3～4年、出器付きＸ線吸収分光装置で得られた分析結果についても修士課程、博士課程
紹介する。
実技として、超伝導X線検出器付き走査型電子顕微鏡で標※SEM-EDX、EPMA、XRF 測定希望の試料の持ち
準試料のX線分光分析を行う。測定希望のサンプルがある場などのX線分光分析の経験 込みは大歓迎です。
合はそのサンプルの分析を行う。その後、得られたX線分光を有することが望ましいが、の結果について解析を行い、データの解釈に関して議論を行
未経験者も歓迎いたしまう。
す。
その他先端分析装置、超伝導X線検出器の作製現場（クリーンルーム）の見学を行う。
緊急事態宣言発令されている場合、全ての研修をオンラインで実施する。

研修スケジュール

1日目

13時～17時半：安全教育、施設見学（オンラインの場合、1日目の研修は実施しない）

2日目 9時～17時半：講義

3日目

研修場所

〒305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1
産業技術総合研究所
つくば中央2-10棟

9時～17時半：実技（分析）（オンラインの場合、産 緊急事態宣言発令されている場合、全ての研修をオンライン(Microsoft Teams)で実施致総研のスタッフが実施する様子を見学頂く。）
します。

4日目 9時～12時：実技（解析）

1日目

13時～17時半：安全教育、施設見学（オンラインの場合、1日目の研修は実施しない）

2日目 9時～17時半：講義

3日目〒305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1
産業技術総合研究所
つくば中央2-10棟

9時～17時半：実技（分析）（オンラインの場合、産 緊急事態宣言発令されている場合、全ての研修をオンライン(Microsoft Teams)で実施致総研のスタッフが実施する様子を見学頂く。）
します。

4日目 9時～12時：実技（解析）

講義：NMRの基本原理、固体NMRから得られる
固体NMRは、固体物質における局所構造を原子レベルで調
1日目 情報、固体高分解能NMRの測定技術 “オンライべることのできる有用な手法です。講義では、固体NMRの基ン”
高専専攻科、学部4年、〒305-8565
本原理・理論をわかりやすく解説し、固体NMRを用いることに修士課程、博士課程
茨城県つくば市東1-1-1
4名 より固体物質や材料についてどのような知見が得られるかを
試料持込または送付可（実地 理解します。測定実習では、固体NMR装置を用いて固体試（事前に相談の上判断し 2日目 安全教育、施設の見学、実習：NMR測定の基本 つくば中央第5事業所※化学系、生化学系、物理“実地研修”または“オンライン”
研修） 料から得られるシグナルを観測し、講義をした固体NMRの基ます。）
系もしくはそれに関連した専相談により“オンライン”“実地研修”の併用で本原理・理論をより深く理解します。同時に、講義では触れる行うことが可能です。
攻に限る。
ことの無い実際の測定手順とその際に注意すべきことを理解
施設の見学、実習：固体高分解能NMRの測定します。
3日目“実地研修”または“オンライン”

時間分解分光法についてのイントロ・安全教育・
高専4～5年、高専専攻科、
1日目 施設見学、ナノ秒時間分解蛍光測定の説明、実ポンプ・プローブ分光法や時間分解発光スペクトル、発光寿 学部3～4年、修士課程、
習 （オンライン併用可能）
命など、超短パルスレーザーを用いた時間分解分光法は原 博士課程
計測したい試料の持込み〒305-8568
子や分子、材料（例えば光触媒や発光材料）の光反応機構 ※現在の研究に時間分解 を可能とする。この際に茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第8月2日～8月5日
や反応速度定数を調べる強力な手法である。本研究では、 分光技術が役に立つと思わ 計測方法に関する相談も 2日目 ピコ秒時間分解蛍光測定, ナノ秒過渡吸収測定 2（4日間）の説明、実習 （オンライン併用可能）
2～3名 時間分解分光について基礎から応用まで習得するため、ナ れる者に問わず、未経験者 事前に受け付ける。
産業技術総合研究所“オンライン研修対応/併
ノ秒とピコ秒の時間分解蛍光寿命測定の説明、実習、また時や初心者などのレーザー技
同日程の産総研プログラ
つくば中央第2事業所 2-10棟
用可”
間分解過渡吸収測定の説明、実習、データ解析等を行い、 術や分光技術に興味を持 ム参加者合同で装置見 3日目 フェムト秒過渡吸収測定の説明、実習 （オンライン併用可能）
オンライン併用可能
パルスレーザーの使い方と同時に時間分解分光法の基礎的 つ者も歓迎する。また、希望 学を予定。
概念と測定技術を習得する。
によりオンライン開催でのデータ解析、全体のまとめ等 （オンライン併用可
研修も可能とする。
4日目
能）

7月6日～7月8日
（3日間）

2名

電子線リソグラフィの講義・露光実習を通し、電子線リソグラ
高専専攻科、学部4年、フィの基礎を習得する。
修士課程
実習では、位置合わせを含んだ露光作業からSEMによる露光精度評価までの一連の作業を行い、電子線露光装置の重※未経験者・初心者向け
ね合わせ露光を体験する。

1) 電子線リソグラフィについての講義
1日目 2) 電子線露光装置（JBX6300） 基本操作及び露光実習〒152-8552
東京都目黒区大岡山2-12-1
1) 露光プロセス（レジスト塗布、現像等）実習
東京工業大学 未来産業技術研究
2日目
2) 重ね露光（1st及び2ndアライメント露光）実習 所
3日目

4/8

1) SEMによる重ね露光評価
2) まとめ

No.

横断技術
領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

21

量子科学技
高温高圧法による新規
術研究開発
合成
物質合成
機構

齋藤 寛之

7月11日～9月8日（うち5日間）3名

新規物質合成のための強力な手法の一つである数百度・数万気圧領域での高温高圧合成について基礎から応用まで修 高専4～5年、高専専攻科、得するため、キュービックマルチアンビル装置を使用した高 学部1～4年、修士課程、
温高圧合成実習を行い、高温高圧発生と合成された試料の 博士課程
分析技術の習得を目指す。実習では、実験のためのセルパーツ作製、キュービックマルチアンビル装置を用いた高温 ※未経験者、および、他分
高圧実験、および、常温常圧下に回収された試料について 野からのご参加を歓迎しま
粉末X線回折測定、走査電子顕微鏡、熱分析装置を用いた す。
評価などを行う。

高温高圧合成についてのイントロダクション・安
全教育

マルチアンビルプレスを使用した高温高圧合成
高温高圧処理を希望す 2日目 の実習
る試料の持ち込みは、技術面および安全面で問
マルチアンビルプレスを使用した高温高圧合成
題の無い範囲で可。持ち 3日目の実習込みを希望する際は事前に担当者と打ち合わせ
微小部X線回折装置、走査型電子顕微鏡、熱分を行ってください。
4日目
析装置を使用した合成試料の分析
5日目

研修場所

〒679-5148
兵庫県佐用郡佐用町光都1-1-1
理化学研究所播磨事業所内
量子科学技術研究開発機構

データの解析、レポートの作成と放射光施設の見学

マテリアルの高度循環のための技術
No.

22

横断技術
領域

研修テーマ

計測
動物細胞の電子顕微
+
鏡観察
合成

機関名

研修先
ホスト氏名

物質・材料研 服部 晋也
究機構
鴻田 一絵

研修期間

以下4候補
1）7/6(水)－8(金)2）7/20(水)－22(金)3）8/3(水)－5(金)4）8/24(水)－
26(金)
（3日間）

定員

研修概要

対象学年など8月23日～8月25日（3日間）

研修スケジュール

1名

高専4～5年、高専専攻科、培養細胞を透過型電子顕微鏡で観察できる試料に調製する
修士課程、博士課程
工程を実習形式で学ぶとともに細胞培養の基礎、光学顕微鏡を用いた細胞観察についても実習する。
※未経験者歓迎〒305-0047
新型コロナウイルスの状
午前 細胞培養実習2（光学顕微鏡観察、卓上電 茨城県つくば市千現1-2-1
況によっては、オンライン
物質・材料研究機構
開催のみとさせていただ 2日目 顕観察）（合成グループ）オンライン対応可
午後
TEMの実習1（切片作製）（解析グループ）
く場合がございます。
オンライン研修対応可
オンライン対応可
3日目

2名※特記事項参照細胞のアポトーシス実験を題材として、培養細胞の基本的な高専4～5年、高専専攻科、取り扱い方法や、共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡を用い
学部1～4年、修士課程、た蛍光免疫染色による細胞イメージング、卓上走査型電子博士課程
顕微鏡を用いた細胞のSEM観察を実体験して、基礎的な技術を学ぶ。
※未経験者歓迎関連する基本知識の座学も行なう。

24

竹口 雅樹
物質・材料研
上杉 文彦
究機構
下村 周一

8月22日～8月25日（4日間）
オンライン研修対応/併用可

1名

TEMの実習2（TEM観察）とまとめ（解析グループ）オンライン対応可培養細胞の基本知識、安全教育（座学）。アポ1日目
トーシス実験、細胞観察、細胞固定（実技）。
新型コロナウイルスの感〒305-0047
染状況により実地開催が顕微鏡観察法、細胞免疫染色法（座学）。細胞免
茨城県つくば市千現1-2-1 物質・中止になった場合は、代 2日目
疫染色（実技）。
材料研究機構
替として半日程度のオンライン講座を実施予定。
卓上走査型電子顕微鏡観察、共焦点レーザー走
3日目
査型蛍光顕微鏡観察（実技）。
1日目

FIBによる試料作製と計測 TEMによる観察・分析
の研修

研修場所

午前 電子顕微鏡の基礎（座学）オンライン開催
1日目 午後 細胞培養実習1（培養細胞の播種、計数
法）細胞試料の包埋 オンライン対応可

オンライン研修対応/併
用可物質・材料研 李 香蘭
23 合成 細胞実験・イメージング
究機構
基礎講習
竹村 太郎

特記事項

FIBとTEMの基礎講義、オリエンテーション（オンライン）

自身の試料持ち込みは 2日目 安全ガイダンス、FIBの実習（オンラインの可能性 〒305-0047
集束イオンビーム加工装置(FIB)と透過型電子顕微鏡(TEM) 高専4～5年、高専専攻科、あり）
茨城県つくば市千現1-2-1 物質・不可としますが、研究の基礎を学び、FIBによる試料作製とTEM操作(HRTEM、
学部1～4年、修士課程、材料研究機構 精密計測実験棟
テーマに関するTEM利用
STEM-EDSなど)を研修する。
博士課程
3日目 FIBの実習（オンラインの可能性あり）
オンライン（一部もしくは全部）の相談は歓迎します。
4日目 TEMの実習（オンラインの可能性あり）

25

合成
エネルギーデバイスの 名古屋工業
+
作製と評価
大学
計測

日原 岳彦

7月4日～9月8日（うち3日間）エネルギーデバイスとして、燃料電池とリチウムイオン電池を取り上げ、材料の合成と電池の評価を実習します。1日目
は、気相合成法により金属触媒を作製し、これを燃料電池の 学部4年、修士課程、最大 電極触媒として実際に燃料電池の出力を測定します。電子 博士課程
3名 顕微鏡による触媒の観察も行います。2～3日目は、グローブ
ボックスで全固体リチウム電池を試作して、充放電試験をし ※未経験者歓迎ます。電池動作の原理を勉強しつつ、電池特性の向上に必
要なポイントを理解することを目指します

5/8

10:00～17:00、気相合成法により金属触媒を作製
1日目 し、これを燃料電池の電極触媒として実際に燃料電池の出力を測定する

2日目

10:00～17:00、グローブボックスで全固体リチウ
ム電池を試作して、充放電試験を開始する。

10:00～15:00、充放電試験の結果を見て、電池
3日目 動作の原理を勉強しつつ、電池特性の向上に必
要なポイントを理解する。

〒466-8555
愛知県名古屋市昭和区御器所町
名古屋工業大学1号館

次世代バイオマテリアル
No.

横断技術
領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

名古屋大学
26 計測 ミクロトームによる生物試料作製技術の習得

山本 剛久

研修期間

7月20日～7月22日
（3日間）

定員

2名

研修概要

対象学年など生物材料の試料作製の基本技術を習得する。生物試料を光学顕微鏡、電子顕微鏡等で観察するには、高品質切片や試料断面を正確に作製する技術が必要とされる。超薄切片、断 高専4～5年、高専専攻科、面試料を作製するツールとしてミクロトーム(Leica EM UC7)を 学部1～4年、修士課程、
用いての講習を行う。講師として、ライカ マイクロシステムズ 博士課程
株式会社シニアアプリケーションスペシャリストを招き、超薄切片作製のための基礎から学ぶことができる。

特記事項

研修スケジュール

コロナウイルス感染症を 1日目 装置基礎講義と実習受けた本学活動指針指針の状況次第では、研修
2日目 試料作製実習
日程の延長・中止を判断する場合がございますので、予めご了承ください。
3日目 試料作製実習とまとめ
1日目

巨大磁気抵抗効果を

27 加工 利用した磁気センサの 名古屋大学

加藤 剛志

試作

28

8月1日～8月4日
（4日間）

3名

オンライン研修対応可

ナノバイオデバイスによる分子・細胞計測の合成 基礎技術習得 (細胞染 名古屋大学
色〜超解像イメージン
グ)

馬場 嘉信

8月1日～8月5日
（5日間）

2名

磁性薄膜のスパッタ成膜と磁気特性の評価，微細加工につ 学部4年、修士課程、
いて基本的な技術を学ぶため，多元スパッタ装置を用いて巨 博士課程
大磁気抵抗効果を示す磁性多層膜を作成する。さらにマスク
レス露光装置による重ね合わせ露光，イオンエッチングによ ※未経験者歓迎，微細加工
る加工により，磁気抵抗型の磁気センサを試作する｡
初心者向け

ナノ・マイクロデバイスおよびナノバイオ材料を用いたバイオ分析の基本技術を習得する。デバイスのデザインと作製、ナ
高専4～5年、高専専攻科、ノバイオ材料による細胞染色および超解像イメージング実験
学部1～4年、修士課程などの実習を行い、ナノバイオ研究の基礎知識と実験操作を
学ぶ。

29

公立千歳科
学技術大学

オラフ カートハウス

7月4日～7月6日
（3日間）

4名

〒464-8603
名古屋市千種区不老町
名古屋大学
未来材料･システム研究所
超高圧電子顕微鏡施設

磁性薄膜，巨大磁気抵抗効果，金属薄膜の微細加工についての講義・安全教育・施設見学〒464-8603
巨大磁気抵抗薄膜のスパッタリング成膜と，磁力愛知県名古屋市千種区不老町計による磁気特性の評価
名古屋大学
先端技術共同研究施設，
CADによるセンサ構造の設計とマスクレス露光 ベンチャービジネスラボラトリー，
3日目
装置を利用したレジストパターン作製
IB電子情報館
2日目

4日目

重ね合わせ露光によるセンサ微細加工とセンサ
特性の評価

1日目

ナノバイオデバイスについての基礎講義、デバイ
スのデザインと作製実習

コロナウイルス感染症に 2日目 作製したデバイスの表面改質と表面状態分析
おける本学活動指針に応じて、延長・中止となる 3日目 ナノバイオ材料による細胞染色と機能評価場合がございますので、予めご了承ください。
4日目 デバイスを用いた単一細胞の分離
5日目

自己組織化現象を利用した高分子メゾスコ
合成
ピック構造の作製とイ
メージング

研修場所

〒464-8603
名古屋市千種区不老町
名古屋大学 大学院工学研究科

デバイスを用いた単一細胞の超解像イメージン
グ&予備日

10:00～17:00 自己組織化現象についての講義、機能性材料の構造作成実習
Introduction to self-organization and sample
preparation (crystallizable low molecular weightcompounds or polymers that are soluble in ethyl
1日目
acetate). If you want to bring your own
自己組織化現象を利用したメゾスコピック構造（サブマイクロ・試料持込可（高分子のcompounds, please feel free; we might be able to
ンのドット、ライン、多孔質構造）の作成方法について基礎か溶液やナノ粒子の分散〒066-8655
investigate their self-organization properties.
高専4～5年、高専専攻科、
ら応用まで習得するため、原料調製から自己組織化構造の液。溶媒は酢酸エチー
The typical concentration is 3-10 mg/ml, and 1 北海道千歳市美々758番地65
学部1～4年、修士課程、作製まで行う。また、基板に構築したメゾスコピック構造をル、アセトン、トルエンな
公立千歳科学技術大学
ml is enough for the experiments.
博士課程
様々なイメージング法（電子顕微鏡、蛍光顕微鏡、原子間力
ど。濃度は1mg/ml、量は研究棟・実験棟・大学院棟
顕微鏡など）を用いて多角的解析を行う。
1ml）
10:00～17:00 電子顕微鏡についての講義、測2日目 定ガイダンス、実習Electron microscopy / EDX on the samples
10:00～17:00 実習まとめ
3日目 Summary, discussion and preparation of a shortpresentation.
施設見学（ナノマテリアルテクノロジーセンター）
1日目 電子顕微鏡の原理から分析電子顕微鏡法まで、データ科学の手法について（講義）透過電子顕微鏡とデー 北陸先端科
学技術大学
ケール元素解析院大学

30 計測 タ科学に基づく原子ス

大島 義文
麻生 浩平
東嶺 孝一

電子顕微鏡の簡単な操作、 照射系軸合せ、結像系軸合せ、非点補正（実習）2日目
電子顕微鏡の操作：像観察（明視野像，電子回
初心者を対象に、透過電子顕微鏡を利用して、原子やナノス
・参加者が観察を希望す
折，暗視野像）、高分解能観察（実習）
8月22日～8月26日
ケールレベルで材料の構造を明らかにする研修を行う。講 高専4～5年、高専専攻科、〒923-1292
る試料があれば対応しま（5日間）
義、実習を通して、透過電子顕微鏡の原理を理解し、正しく 学部3～4年、修士課程
電子顕微鏡の実習（参加者が観察を希望する試 石川県能美市旭台1-1
す。
オンラインに変更の可能 2～4名
3日目
操作する技術を習得し、像の解釈のしかたを学ぶ。さらに、
北陸先端科学技術大学院大学大学
料があれば対応します）
性あり。その場合は3日・参加者の研究テーマに得られたデータを解析するための、画像処理などといった※初心者を対象とします。
ナノマテリアルテクノロジーセンター
間に短縮。
関する相談に応じます。
データ科学について学ぶ。
電子顕微鏡のスペクトルマッピング手法を用いた4日目
組成分析（実習）

6/8

5日目

データ科学に基づく解析（実習）（参加者の研究テーマに関する相談に応じます）、まとめ

備考：

状況によって３日間程度のオンライン開催に変更する可能性があります次世代ナノスケールマテリアル
No.

横断技術
領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

施設見学（超顕微解析研究センター）
電子顕微鏡の原理から最新の分析電子顕微鏡
1日目
法まで（講義）、
電子顕微鏡の操作原理（講義）
2日目

九州大学
31 計測 透過電子顕微鏡による微細構造解析法

電顕の簡単な操作： 照射系軸合せ、結像系軸合せ、非点補正（実習）

高専4～5年、高専専攻科、 参加者が観察を希望す
電顕の操作： 焦点合せ、像観察（明視野像 制
初心者を対象に、透過電子顕微鏡を使いこなすために必要 学部2～4年、修士課程、る試料があれば対応も可 3日目 限視野回折 暗視野像）（実習）、な装置の基礎知識と操作法、電子回折の基礎と解析法を習 博士課程
能です。
実地研修
電子回折演習問題（演習）
2～4名
得する。
参加者の研究テーマに（状況により３日間程度のオンライン開催に変更
講義、実習（200kV の透過電子顕微鏡を使用）、演習を行う。 ※未経験者歓迎、初心者を 関する相談にも応じま
電顕像のコントラスト、電子回折の基礎（講義）、の可能性あり）
対象とします。
す。
4日目 電顕実習（参加者が観察を希望する試料があれば対応します）8月22日～8月26日
（5日間）
村上 恭和

〒819-0395
福岡市西区元岡744
九州大学超顕微解析研究センター
CE21棟（オンラインに変更の可能性あり）

電顕像の解釈、電子回折図形の解析（参加者の5日目 研究テーマに関する相談に応じます）、まとめ

ナノカーボンの可溶化

32 合成 と分光分析およびナノ 九州大学
構造解析の実習

33 合成 ナノマテリアルの合成

信州大学

藤ヶ谷 剛彦利光 史行
キム チェリン橋本 佳男

カーボンナノチューブとグラフェンの可溶化と構造解析の基礎を習得する。種々の可溶化剤を用いて分散したナノカーボ
7月1日～8月30日
高専4～5年、高専専攻科、ン溶液について、紫外可視近赤外吸収分光、顕微ラマン分（うち3日間）学部1～4年、修士課程、試料持ち込み可能です
光、そして近赤外蛍光分光装置などのスペクトル測定法か（平日の連続した3日
2～4名
博士課程
ので事前にご相談くださら、ナノ構造とスペクトルの相関を観測する。また、走査型電間、但し8/12〜16日を除い。
く、希望者との日程調整
子顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡による構造観測と、計算化※未経験者歓迎による）学によるシミュレーションを併用し、ナノカーボンの構造解析技術を習得する。

8月24日～8月26日
（3日間）

3名

優れた機械的、電気的、化学的特性を示すナノマテリアルをその場で作ります。さらに、できたものをラマン散乱や電子顕
微鏡、表面分析などの手段で分析します。作るのに使う装置
は、つつ状の炉にガスを流すだけのものや、メタンガスを入れて電子レンジのように電磁波を与えるだけの簡単なもので 高専専攻科、学部4年、す。（これでも、最先端の合成装置です。）さらに、3000℃近 修士課程、博士課程
い高温処理も行います。カーボン材料では、カーボンナノ
チューブとダイヤモンドのごく薄い膜などを作ります。また、化 ※未経験者歓迎。
合物の層状材料も最近注目されていますが、代表的な層状 参加者の技術レベルに合わの化合物である遷移金属の硫化物を作製します。原料の金 せて指導します。
属を炉の中で反応させて薄い膜を作ります。どの合成も、ス
イッチをポンと押して装置が自動合成してくれることを待っているのではなく、反応が見える状態で合成や処理を行い、材料合成の基礎技術を習得していただきます。

7/8

備考：

（状況により３日間程度のオンライン開催に変更の可能性あり）

1日目

ナノカーボンの構造と分光化学的性質について
講義と計算化学シミュレーション

2日目 ナノカーボンの可溶化実験とスペクトル測定〒819-0395
福岡県福岡市西区元岡744番地
九州大学伊都キャンパスW3-615

3日目 顕微鏡によるナノ構造解析

1日目

講義、施設見学、カーボンナノチューブ合成、層状材料合成

超高温処理、ダイヤモンド薄膜合成、ラマン分
2日目
析、表面分析

3日目 ラマン分析、電子顕微鏡観察、表面分析、まとめ〒380-8553
長野県長野市若里4-17-1
信州大学 長野（工学）キャンパス
国際科学イノベーションセンター（E2棟）

マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル
No.

横断技術
領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

34

STEM-EELSによる構計測
造観察と化学分析

京都大学

倉田 博基

8月2日～8月5日（4日間）
オンライン研修対応/併
用可

2名

走査型透過電子顕微鏡（STEM）に電子エネルギー損失分光（EELS）やエネルギー分散型X線分光（EDS）を組み合わせた分析電子顕微鏡に関する講義と実習を行い、構造観察と分 修士課程
析技法の基礎を習得することを目的としている。特に、分析技法としてはEELSに力点を置き、モノクロメータを搭載した電 ※未経験者歓迎
子顕微鏡を用いた実習を通じて、高エネルギー分解能EELSの特徴や状態分析についても研修を行う予定である。

35

ソフトリソグラフィーによるPDMS製マイクロ流
京都大学
加工体デバイスの作製・評
価

松嶋 朝明
大村 英治
高橋 英樹
江崎 裕子

8月31日～9月2日
（3日間）

3名

10:00～16:30 STEMの講義とイメージングおよび 〒611-0011
STEM-EDS分析の実習（併用可）
京都府宇治市五ヶ庄
京都大学／化学研究所
10:00～16:30 EELSの講義とEELS分析の実習 超高分解能分光型電子顕微鏡棟
3日目
（併用可）

試料持込可

36

37

パルスレーザー蒸着装置(PLD)による透明導大阪大学
合成
電膜(ITO)作製およびその評価

SUKUMARAN 8月1日～9月8日
SATHISH（うち3日間）
対面のみ
KUMAR

田中 秀和
北島 彰

7月1日～8月5日（うち3日間）5名

10:00～16:30 まとめと持参試料の実験（併用可）① 安全講習② 実習の説明（マイクロ流路デバイス作製に関
する概要）
1日目
③ マイクロ流路の設計とパターンデータ（CADデータ）の作成 レーザー描画装置を用いてフォ 〒606-8501
京都市左京区吉田本町
トマスク作製工学部物理系校舎378号室① レジストモールド（鋳型）作製
京都大学ナノテクノロジーハブ拠点
マスクアライナーを用いSU-8のモールド作製
実験室
2日目（フォトリソグラフィ）② PDMSによるマイクロ流路プレート作製
3日目 マイクロ流路デバイス組立・評価
1日目

高分子レオロジーの基
山形大学
合成
礎とフィルム加工

13:30～16:00 分析電子顕微鏡についての概要に関する講義と施設見学（併用可）

2日目

4日目
マイクロ流体デバイスは、化学分析、合成、細胞培養、生体模倣デバイスなど、広い範囲の分野に利用されている。本研
修では、マイクロ流体デバイスの作製を通じて、微細加工技
高専4～5年、高専専攻科、術の一端であるソフトリソグラフィーを体験するとともに、マイ学部3～4年、修士課程、
クロ流路内の流体のふるまいを学ぶことができる。参加者
博士課程
は、マイクロ流体の流路設計を行い、レーザー直接描画装置
によりフォトマスクを作製する。レジスト塗布、マスクアライ※マイクロ流体デバイス、ソナーによる紫外線露光、現像によりレジスト鋳型を作製す
フトリソグラフィーに興味のる。鋳型に離型処理を施した後、PDMS（シリコーン）を流し込
ある方
み、加熱硬化後、離型。表面処理後、ガラス基板に接合することでマイクロ流体デバイスが完成する。数種類の液体を流して、混合、反応の状態を観察、評価する。

高分子レオロジーの基礎（座学）、レオメーターの基礎１（座学と装置利用）

高分子のレオロジーについて基礎から応用までを習得する 学部4年、修士課程、ため、回転型レオメーターを使用した、高分子の溶融粘度の 博士課程
特になし（1日目は、高分
レオメーターの基礎２（高分子せん断粘度などの特性を理解し、その測定法を習得します。さらに、押出装置を子レオロジーの基礎の座 2日目 測定（装置利用））、レオメーターの基礎３（高分
用いて、高分子のフィルムの加工について基礎を学び、加工 ※分野専攻は不問（初心者 学 ２時間程度あり）
子せん断粘度などの測定（装置利用））
性とレオロジーとの関係について理解を深めます。
向け）
押出装置による高分子フィルムの作製（成形条
3日目
件などによる成形安定性の理解（装置利用））

1) パルスレーザー蒸着装置(PLD)により基板加熱温度(RT／
320℃)を変えて成膜する。
2) 1)で成膜したサンプルのシート抵抗を４探針法で、透過率
高専4～5年、高専専攻科、
1～2名 を紫外可視分光光度計で測定する。
学部1～4年、修士課程
3) 薄膜X線回折装置による定性分析(θ/2θ法ならびに薄膜法)を行う。
4) 原子間力顕微鏡による表面観察を行う。

8/8

研修場所

1日目

施設見学・安全教育ならびにパルスレーザー蒸着装置による成膜(条件１)〒992-8510
山形県米沢市城南４－３－１６
山形大学 工学部
グリーンマテリアル成形加工研究セ
ンター〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8－1
パルスレーザー蒸着装置による成膜(条件２)なら大阪大学 産業科学研究所
2日目
びにシート抵抗測定／透過率測定
マテリアル先端リサーチインフラ設
備供用拠点
薄膜X線回折装置による定性分析ならびに原子
3日目
間力顕微鏡による表面観察