PULSE DROOP COMPENSATION USING A MARX CIRCUIT
Mitsuo Akemoto 1,A), Hiroyuki Honma A), Hiromitsu Nakajima A), Tetsuo Shidara A), Toshihiro Matsumoto A),
Shigeki Fukuda A), Akira Tokuchi B)
A)High Energy Accelerator Research Organization(KEK)
1-1 Oho, Tsukuba, Ibaraki, 305-0801
B)
Pulse Power Japan Laboratory Ltd.
Kusatsu, Shiga 520-0806, Japan
Abstract
Droop compensation for capacitor switched modulators called a bouncer has been used to reduce the capacitor banksof their long pulse modulators. However, the bouncer configuration is large, expensive and inflexible to pulse length.
KEK is developing an alternative to the bouncer and this uses a solid-state Marx circuit, which is small and costeffective. It is composed of 5 Marx cells. The droop compensation is provided by delay switching of Marx cell as thevoltage falls. The paper describes the design of the solid-state Marx circuit and its performance.

マルクス回路方式によるパルスドループ補償の基本回路

１．はじめに大電力パルス電源では、パルス幅が長くなると(msオーダ)コンデンサバンクの容量が大きくなり、電源のサイズ、コストに大きな影響を与える。これを解決する技術として、パルスドループを補償する回路を組み込む方法がある。これまで、補償回路としはバウンサー方式 [1](LC共振回路で正弦波の直線部分を利用する)が用いられてきた。しかし、パル
ス幅が長くなると、コンデンサとインダクター両方のサイズが大きくなってしまう。また、補償できるパルス幅も固定してしまう欠点がある。そこで、小型でコスト効果のある、またパルス幅に柔軟に対応できる、のこぎり歯状の波形を直接作るマルクス回路を応用した補償回路を製作した。本稿では現在開発中のマルクス回路方式のドループ補償回路について報告する。

２．ドループの補償回路
2.1 ドループの補償
図1にダイレクトスイッチング方式のパルス電源の基本回路を示す。電源は、主に、コンデンサバンク(C)、シリーズスイッチ、負荷(R)で構成される。
ドループ補償回路のない場合、コンデンサバンクの放電により電圧低下が起きて、そのまま出力波形の電圧低下（ドループ）を招く。コンデンサバンクの容量Cとドループの割合Drとの間には、次式の関係がある。

C=τR ⋅ Dr(1)

ただし、τはパルス幅である。このようにドルー
プの度合いはコンデンサバンクの容量に反比例するので、例えば、20%のサグを1%にするためには、コンデンサバンクの容量を20倍増加させなければならない。コンデンサのコストとスペースが単純にコンデンサのエネルギーに比例するならば、コスト、サイズとも、20倍になってしまう。特に大電力長パル
スでパルス平坦度が要求される場合には、電源の大型化、高コスト化は避けられない。
図１示すように。ドループ補償回路は、出力電圧のドループを打ち消す逆電圧を発生させる回路を加えるもので、補償回路の出力電圧VB(t)は
図１：ダイレクトスイッチング方式のパルス電源

1E-mail: mitsuo.akemoto@kek.jp- 1236 -VB (t) =V0tC⋅R(2)で与えられる。ただし、V ０ はコンデンサバンクの充電電圧である。電圧波形は０Vからコンデンサバンクの低下電圧まで時間に比例して上がる、のこぎり歯状の波形である。
2.2 マルクス回路方式
のこぎり歯状の波形を直接作る発生器として、マルクス回路を応用した回路[2]を採用した。特長は回路構造が簡易で、また低電圧で高電圧を発生出来ることから、ユニット化することによって発生器の小型化、低価格化が容易である。図２に通常のマルクス回路を示す。マルクスセルは抵抗(R)、ギャップスイッチ及びコンデンサ(C)から構成する。並列に充電されたコンデンサCをギャップスイッチによって直列に接続し、コンデンサの段数倍の電圧パルスを発生する。この回路ではインパルス発生のみに留まる。

3．マルクス型補償回路
3.1 試験電源と仕様
現在ILCで開発が進められている、Distributed RFSystem(DRFS)のクライストロン電源システム[3]を使用してドループ補償を試験する。図４に補償回路を組み込んだ場合の回路構成を示す。この電源は750kW変調アノード付きクライストロン用で、カソード電圧65 kVでパルス幅1.5 msで約3%のドループが発生する。このドループを1%以下にすることを目的とする。表１にドループ補償回路の主な仕様を示す。

図４：DRFS電源の回路構成

表１：補正回路の主な仕様

図２：マルクスセル３段のマルクス回路

Maximum output voltage
Pulse width
Peak output current
RMS current
Peak power
Repetition rate

- 3 kV
1.5 ms
20 A
1A
60 kW
5 pps

3.2 パラメータの選定
マルクスセルの段数Nは、要求される平坦度から決定される。カソード電圧65kVで3%のドループを1%以下に補償をするためには、各マルクスセルの
図３：半導体化したマルクスセル
最大充電電圧は65kVx1%=650Vで与えられる。従って、
N≧ドループの最大低下電圧(65kVx3%)/マルクスセ
今回、採用したマルクス回路方式はマルクスセルルの最大電圧から求められ、Nは3段以上となる。余
各段を図３のように、抵抗Rとギャップスイッチを裕をみて段数を５段とする。
ダイオードと半導体スイッチ（充電、放電スイッ
各段のON遅延時間は1500µs/5段=300µs/段で、1段チ）に置き換えた。充電スイッチは充電時にONされ、 目がONした後、各段は300µs順次遅れながらONして、コンデンサ放電時にはOFFされる。このような半導1.5ms後全ての段がOFFすることになる。
体化によって回路は大きく改善され、安定したスセルのコンデンサ容量Cの選定は各段の放電時定イッチングができだけでなく、抵抗Rによる放電を数から求められる。各段のコンデンサもON時中、放防止することができ、また各マルクスセルを独立に、 電による電圧低下が起こるので、最大パルス幅1.5任意の時間に放電スイッチをON/OFF動作させることmsで10%以下の低下まで許容できるとすると、 コンができる。これによって、充電電圧のステップ状のデンサの容量CはC≧20Ax1.5ms/(650Vx10%)=460µF以波形を合成することが可能となる。従って、のこぎ上必要になる。余裕をみて、容量を550µFとする。
り歯状の波形は各マルクスセルの放電スッチのタイ
しかし、２段目以降は300µs順次放電時間が短くなミングを一定時間遅らしてONすることによって階段るので、各段の放電時定数を合わせると、２段目は状の波形ではあるが作ることができる。
4*C/5、３段目は3*C/5、４段目は2*C/5、５段目は- 1237 -C/5の容量でいいことになり、コンデンサの総容量を半分に減らす事ができる。

回路動作は、先ずVCに直流電源を接続して、各充電スイッチ、ダイオードDを通る回路で、各コンデン サ （ C1~5 ） に 充 電 す る 。 こ の 時 、 充 電 ス ッ チ(CS1~5)はONで、放電スイッチ(DS1~5)はOFF状態で3.3 回路と動作ある。次に、トリガー信号が入力されると、１段目の放電スイッチDS1がONされ、コンデンサC1が充図５に製作したマルクス型補償回路の回路図を示電スイッチ(CS2~5)ダイオードを通して回路に接続す。マルクスセルはダイオード(D)、放電スイッチされ、Voutに最初の階段波形が発生する。この時、(DS1~5)、充電スイッチ(CS1~5)、それらのスイッチ充電スイッチCS1はOFF状態になっている。そして、を駆動するゲート回路、トリガー信号を遅延する
300µs後に２段目の放電スイッチDS2がONされ、コ
DELAY回路、コンデンサ（C1~5）から構成され、ンデ ン サ C2 が 回 路 に 加 え ら れ 、 充 電 ス イ ッ チ
５段を直列接続されている。充電、放電スイッチは(CS3~5)ダイオードを通して、Voutに２段目の階段波
夫々定格1200V,20AのMOS-FET(IXFK 20N120)２並形が発生する。その後、次々とONすることで、５列接続で構成する。各スイッチのゲート回路の電源は5KV絶縁耐圧を持つDC/DCコンバータで供給され、 段の階段波形が作られる。パルス幅1.5ms後は、放電スイッチ(DS1~5)がOFFされ出力は0Vになり、そトリガー信号はフォトカプラを通して送っている。
れと同時に充電スイッチ(CS1~5)がONになって、コ
但し、充電スイッチには、コンデンサ放電中はOFFさせる必要があるためインバータ回路が入っている。 ンデンサ（C1~5）の充電が開始される。
DELAY回路はトリガー信号を300µs遅延させる。コンデンサ（C1~５）は夫々定格350V,220µFの電解コ
ンデンサ２直列接続を１組として、C1に5組、C2に4組、C3に3組、C4に2組、C5に1組夫々並列接続している。図６に回路基板を示す。５段のマルクスセル全て１枚の基板に収まっている。この基板は、サ
イズ500mmWx300mmDx110mmHのアルミのボック
スに収納される。

図６：補正回路の回路基板
3.4 試験
充電電圧600V、繰り返し5 Hz、負荷抵抗150Ωの時の出力電圧波形を図７に示す。最大電圧3 kV、300 µs幅の階段波形が確認できる。

図５：マルクス型補償回路の回路図- 1238 -図７：抵抗負荷での出力電圧波形(500V/div., 200µs/div.)

4．まとめ
マルクス回路方式によるパルスドループ補償回路の設計、製作、試験を行い、性能を確認した。
この補償回路はDRFSクライストロン電源システムに組み込んで試験する予定である。

参考文献[1] H. Pfeffer, et. al., “A Long Pulse Modulator for Reduced
Size and Cost”, FER-MILAB-Cnf-94/182 (1994).
[2] A. Krasnykh, et. al., “A Solid State Marx Type Modulator
for driving a TWT”, Conference Record of the TwentyFourth International Power Modulator Symposium, pp.209211, (2000).
[3] 明本光生、他, “ILC計画における分布型RF源用電源の開発”, Proceedings of Particle Accelerator Society Meeting
2010, pp.921-923, (2010).

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