Proceedings of the 5th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japanand the 33rd Linear Accelerator Meeting in Japan (August 6-8, 2008, Higashihiroshima, Japan)

DEVELOPMENT OF KLYSTRON PULSE POWER SUPPLY FOR
XFEL/SPring-8
Chikara Kondo1, Takahiro Inagaki, Katsutoshi Shirasawa, Tatsuyuki Sakurai, Tsumoru Shintake
SPring-8 Joint-Project for XFEL/RIKEN
1-1-1, Kouto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198 Japan
Abstract
XFEL project at SPring-8 requires a pulse power supply which equips highly stable high voltage, and a compact sizebody. To meet the request, we have developed the compact oil-filled power supply in which the high voltage
components are stored in the insulation oil. The shell of the tank is composed of thick steel plates, which enhances thestiffness of the body (monocoque structure). The steel plate shields the EMI noise emission generated by the highpower pulse current. The power supply is designed for easy maintenance, and equips the maintenance-free coolingsystem. Since Nov. 2007, the power supply has worked well.

XFEL/SPring-8向けクライストロン用パルス電源の開発
１．概要
２．設計概念XFEL/SPring-8では、高品質の電子ビームによるまず、本電源の構造図と動作仕様を図１および表SASE型自由電子レーザーの発振を目指しており、こ１に示す。PFN充電器により、約15msかけ、PFNのれには従来よりも安定動作する高電圧パルス電源がコンデンサーを定格45kVまで充電する。そして、必要となる[1]。また、8GeVの電子ビームエネルギーを約400mの線形加速器で加速するため、C-band加速サイラトロンの放電スイッチングにより、出力ピー管を使用するが、高電界であるために、電源側の機
ク 23kV, 5kA, パルス幅約4µsの大電力パルスをパル
器密度が高く、コンパクトなRF電源装置が必要とストランス(昇圧比 1:16)に送り、350kVに昇圧し、なった。そこで、2003年に「絶縁油密閉型モジュクライストロンを駆動する。クライストロンにおいレーター電源」[2]を開発したが、更なるコンパクトて増幅された約50MWの大電力RFを、導波管を通じ化、メンテナンス性の向上、漏洩ノイズ対策などがて加速管に送り、そこで電子ビームの加速を行う。
要求されていた。そこでPFNコンデンサー、スイッ
XFEL/Spring-8で必要とされる電子ビームの安定チングデバイス（サイラトロン）、パルストランス、 加速には、パルス電源の出力安定度100ppm以下とクライストロンなどの高電圧部品を一つの油タンクいう、高い安定度が要求される。これは主にインに収めた「一体型モジュレーター電源」を2007年にバータ方式の高電圧充電器を安定化することが重要提案した[3]。そして、メーカーの協力のもと試作機であるが、モジュレーターの絶縁油の温度を安定化が完成したので、ここに報告する。
することや、PFNコンデンサーの充電電圧をフィードバックする高精度な高電圧プローブをモジュレー
クライストロン

高電圧プローブ
PFN
EOL

サイラトロン

Shuntダイオード

放電抵抗

PFN
充電器

パルストランス
Tail
Clipper

図１．パルス電源の回路図（概略）1

PFN コンデンサー
PFN 特性
インピーダンス
定格充電電圧
パルストランス出力電圧
パルストランス出力電流
出力ピーク電力
最大繰り返し充電電圧安定度
パルス幅(ピーク 70%の幅)

29.3nF×16 段
4.3Ω45kV
350kV
310A
110MW
60pps
<100ppm
4.2μs

表１．パルス電源の動作仕様

E-mail: ckondo@spring8.or.jp-551-

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鉄工(相生)にて行った。

３．各部詳細3.1 絶縁油タンク
絶 縁 油 タ ン ク ( 図 2) の サ イ ズ は L1.7m × W1m ×H1.05mであり、厚さ25mmのSS鋼を溶接して製作されている。また、内部に厚さ19mmのSS鋼による仕切りを入れ、高電圧発生部と充電部を分けている。
このような厚い鋼板を溶接にて組み合わせた構造にすることで、z
外殻により強度を持たせるモノコック構造とすることで、約1.2 トンのクライストロンの図２．一体型モジュレーター電源外観図２．パルス電源の外観
荷重による変形を抑える。またトラック輸送時の振動によるタンクの変形も抑えられるため、装置の組立を工場にて行え、製造効率がターに直接取り付け、ノイズの少ない環境を作るこ向上する。とも重要である。
z
筐体自体が大きな導体であるため、内部の本パルス電源は、従来のモジュレーター電源に対して、以下のような特徴をもっている。
高電圧パルス回路に対して全面アースを取る
1. 絶縁油密封方式により、高電圧装置をコンパことができる。また、電磁シールド効果によクトに収納し、また空気中の埃や湿度などのり放射ノイズを低減できる。
環境に絶縁性能が左右されない。
といった利点がある。
2. 厚さ25mmのSS鋼板の壁材によりタンクの強度
表面は無電解ニッケルメッキを施し、防錆性およを形成するモノコック構造とし、重量1.2トび導電性を持たせている。開口部は、上部にクラインのクライストロンとソレノイドを安定に支ストロン用開口部および油バッファー付天板用開口持する。
部を持ち、側面には６つの開口部をもつ。各開口部
3. 高電圧パルス発生時の電流経路を、厚い金属は、厚さ6mmのSUS板により密封する。この密封に内で閉じることで、漏洩ノイズを低減する。
はOリングにより密封する。この時、Oリングの接4. 側面および上面に開口部を持ち、内部におけ触面が密封の可否を左右するため、表面の保護にはる作業性を確保することで、量産性、メンテ十分に気を配った。絶縁油の密封にはOリング以外ナンス性を向上する。
5. 各モジュールをユニット化し、メンテナンスにもゴムパッキンがよく用いられるが、ゴムパッキ性を高める。
ンでは長期信頼性や漏洩ノイズのシールド性が劣る
6. パルストランスに、コア材に高周波用電磁鋼ため、Oリング方式を選択した。なお密封検査は、材を用い、また巻き線にモールド化を施すこ
内部にHeガスを加圧し外部からHeリーク検出装置とで、低騒音、耐放電性を実現する[4]。
でチェックする手法を用いた。
7. フロリナート充填型高電圧プローブにより、また、装置のメンテナンス性にも配慮して設計し充電電圧を高速・高精度フィードバックして、ており、タンクに開口部を多くることによる内部で[5,6]安定化する 。の作業効率の向上や、内部装置をモジュール化し脱8. 自然対流を利用したメンテナンスフリーな冷[7]着を容易とするなどの工夫を加えている。また、絶却機構により、絶縁油を冷却する
縁油の注入に真空脱気装置(加藤電機製作)を用いる
9. 絶縁油を真空脱気装置に通してから、電源タことで、絶縁油注入後の真空脱気を省略し、また定ンクに注入することで、注入後の真空脱気過期的な絶縁油のメンテナンスもできるようにした。
程を省略する。
10. クライストロンと導波管の接続を容易にする
3.2 冷却機構
ため、重量約5トンのタンクを可動化する高[8]重量用エアーパッドを装備 する。
電源内部では、クライストロンやサイラトロンの本発表では上記のうち、タンクの構造、ノイズ漏ヒーター電力として約1 kW、高圧パルス発生時の電洩対策、および冷却機構について述べ、パルストラ力損失に約2kW（定格運転時：充電電圧45kV、繰りンス、高電圧プローブ、エアーパッドの詳細につい返し60pps）の合計3kWの発熱がある。この発熱を筐[4-8]に委ねる。ては他発表
体から大気への自然放熱のみで行うと、絶縁油の温
なお、今回のパルス電源試作機の製作・調整は日度は90℃近くまで上がり、絶縁油の劣化や装置の損本高周波㈱にて行い、また絶縁油タンクの製造は寿傷を招く。また、大きな放熱は室温を不安定にし、-552-

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制御機器の動作に悪影響も与える。そのため、冷却水を用いて絶縁油を積極的に冷却する必要があるが、絶縁油を攪拌プロペラにより強制的に対流を起こすことは、メンテナンス性を考えて行わず、代わりに発熱によって生まれる油の自然対流を最大限に利用することで、メンテナンスフリーの冷却機構を目指した。
この冷却機構には、粘性が大きい絶縁油の対流を最大限に利用すること、また高電圧部位を避けるために限定されたスペースに収めることが必要であった。そこで、数種類の冷却機構を製作前に試験し、そこで得られた冷却能力および知見を基に設計を行った[7]。
図４．パルストランスの出力電圧波形(赤)本機における冷却機構は、冷却配管と銅板をロウおよび電流波形（青）付けで組み合わせた冷却板を絶縁油内に取り付けるタイプで、銅板により絶縁油との接触面積を増やし、効率的に冷却水に熱を伝える(図3)。このような冷3.3 漏洩ノイズ対策
却板を、タンクの側面部、中仕切り板部、そして天本電源では、PFNコンデンサーからパルストラン板部に計5つ配置している。
ス、クライストロンまでを一つのタンクに収納されこの冷却機構に水温26℃，流量9L/minの冷却水をている。そのため、大電流パルスが通る経路のルー流し、電源の定格運転を行い、絶縁油の温度変化をプ面積を狭くすることができノイズの発生を抑える測定した。絶縁油温度は8時間程度の連続運転でほことができる。さらに、周りが厚い金属で囲われてぼ上限に達し、油面付近で最大約43℃であった。まいるため、電磁ノイズはシールドされて放射されなた、発熱の大きいサイラトロン、EOL抵抗などの表いようにしている。また、堅牢な筐体が全面アース面温度を測定したところ、大部分は絶縁油の劣化をの役割を果たしており、高周波ノイズに対する接地促進する温度である70℃を下回っていたが、サイラ効果も高い。
トロンのヒーター部のみ、80℃にまで達することが一方、サイラトロンやクライストロンのヒーター確認された。この箇所においては、放熱機構を増強ライン、電流・電圧モニターなどの信号ラインのよする予定である。なお、冷却水は冷却機構を通してうに、外部と接続を持つラインに対しては、ノイズ約4.5℃温度上昇しており、この冷却機構が吸収すフィルターを用いることで、伝導ノイズを閉じ込める熱量は約2.8kWであることが分かる。これより、る工夫を施している。
全体の発熱量(約3kW)の大部分は冷却水に伝わり、これらの対策を施すことで、放射ノイズは抑えら残りの大気への放熱量は小さいことがわかる。
れているが、ヒーターラインにおいては、サイラトロンのスイッチング時に、10-100MHzの領域に大きな伝導ノイズが観測されている。今後、ヒーターライン用ノイズフィルターの開発を行い、ノイズ低減を図る。

４．動作試験

図３．冷却板。側面開口部の蓋板に取り付けるタイプ。写真ではゴムパッキンを使用しているが、後の試験で油リークを生じたため、現在はすべてＯリングのみを使用している。

図４に、パルストランスの出力電圧波形および電流波形を示す。ピーク電圧350kV、パルス幅4.2μsの高電圧パルス出力を達成した。今後、PFNコイルの調整により、ピーク部の平坦度を改善する予定である。
また、充電器にニチコン製高精度充電器[6]を用いて充電電圧の安定度を測定したところ、45kVの充電電圧に対し、50-60ppmという安定度を達成した。これは、目標としている安定度100ppmを上回る結果であり、XFEL/SPring-8プロジェクトで要求される加速器の性能を満たせることを示している。
本電源は、2007年10月より運転を開始し、2008年-553-Proceedings of the 5th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japanand the 33rd Linear Accelerator Meeting in Japan (August 6-8, 2008, Higashihiroshima, Japan)

7月末時点において、約500時間の運転を行い、油漏れや故障等のトラブルも起こらずに、安定な運転を実現している。

５．まとめ、および今後
XFEL/Spring-8プロジェクトに向け、コンパクトな高電圧パルス電源を開発した。現在、長時間の運転を行い、安定的な運転を実現している。今後は、量産に向け、ノイズフィルターの強化などに改良を加えていく。なお、今秋からプロジェクトの完成予定である2010年にむけ、量産を始める予定である。

謝辞
本電源の設計、製作、調整を行って頂いた、佐藤和之氏をはじめとする㈱日本高周波の方々、またタンクの設計、製作を行って頂いた、太田正之氏、竹谷昌久氏をはじめとする㈱寿鉄工（相生）の方々に深く感謝いたします。その他、各装置の開発・製作に協力して頂いた、各メーカーの方々に深く感謝いたします。最後に、本電源の据付から実験に至るまで、様々なサポートとして頂いたスプリングエイト
サービスの印道征一氏、中嶋一馬氏に深く感謝いたします。

参考文献[1] 田中均,他 “XFEL/SPring-8のバンチ圧縮性能に及ぼすRF機器変動の影響評価”,第4回加速器学会,
TP66, 2003年, 和光[2] T. Inagaki, et. al., “A Compact Oil-filled Modulator
for C-band Klystrons”, IEEE Pulsed Power Conf.’05.
[3] 新竹積,他 “FEL向け高安定高周波電源について”,
第4回加速器学会, TP41, 2003年, 和光[4] 白澤克年,他 “XFEL/SPring-8用6.5%ケイ素鋼板を使用したエポキシ含浸型パルストランスの開発”, 本学会 WP109[5] 岡田幸一,他 “XFEL/SPring-8向けフロリナート充填型高電圧プローブ”, 本学会 WP108[6] 川崎敦志,他 “XFEL/SPring-8向け高電圧充電器の開発”, 本学会, WP111[7] 近藤力,他 “クライストロン電源における絶縁油の冷却効率の向上”, 第4回加速器学会, TP42, 2003
年, 和光
[8] 櫻井辰幸,他 “XFELクライストロン用モジュレー
タ電源の位置調整エアーパッドの開発”,本学会
WP110-554-