Proceedings of the 10th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan (August 3-5, 2013, Nagoya, Japan)

次世代加速器用スイッチング回路
HIGH SPEED SWITCHING CIRCUITS FOR FUTURE ACCELERATORS
小笹有輝#, A), 佐藤祥 A), 江偉華 A) ,徳地明 A),B), 明本光生 C), 中島啓光 C)
Yuki Kozasa #, A), Sho SatoA), Weihua JiangA), Akira Tokuchi A),B), Mitsuo AkemotoC), Hiromitsu NakajimaC)
A)
Nagaoka University of TechnologyB)
Pulsed Power Japan laboratoryC)
KEKAbstract
We are developing a Klystron modulator power source for ILC (International Linear Collider). This modulator needs
120kV(±0.5%), 140A, 5pps, with a pulse width of 1.7ms, aiming for a compact, low-cost and reliable design. To meetthese requirements, we propose solid state, chopper controlled pulsed power generator using Marx-topology. This paper
shows circuit simulation and prototype experimental results.

1. はじめに力される。エネルギー蓄積用のコンデンサは放電によっ

これまでに高エネルギー物理実験を目的として様々な加速器が建設されてきた。現在、新たな素粒子実験のために世界中の研究者によってILC(International Linear Collider) 計画が推進されている。ILC 計画は全長約 30km の直線状の加速器によって電子と陽電子をそれぞれ加速し、250GeV まで到達させて衝突実験を行う計画である。ILC 計画の直線加速器は 10MW マルチクライストロンでマイクロ波を発生させて荷電粒子を加速する。また、マルチクライストロンは約 600 本使用され、それらを駆動するパルス電源も約 600 台使用される[1]。そのためパルス電源の小型化、低コスト化、高信頼性などが要求される。さらに、出力パルスは電圧120kV(±0.5%)、電流 140A、パルス幅 1.7ms、繰り返し率 5pps であることが要求される。電源にパルストランスを用いる場合、大型のコアを用いる必要があるためサイズ・コストともに大きくなってしまい、立ち上がりも遅くなる。パルストランスを用いない方法として、マルクス発生器を用いた方法が有用である[2][3]。
本論文では半導体デバイスを用いたマルクス発生器の構成とチョッパ制御を応用したパルスパワー電源の提案、回路シミュレーション結果、試作電源の性能評価について報告する。て電荷を失うため、放電時間が長くなるにつれて出力電圧は低下する。そのため 120kV(±0.5%)を達成するには、このコンデンサを大容量化する必要があるが、装置が大型化するという欠点がある。そのため小型化を目的としたチョッパ制御を用いた定電圧制御を提案する。

(a) The charging current paths

2. 回路構成
2.1 半導体マルクス発生器
図 1 に一般的なマルクス発生器の回路図と動作を示す。一般的な半導体デバイスによるマルクス発生器は図 1 のように、充電用と放電用の半導体スイッチ、ダイオード、エネルギー蓄積用のコンデンサから構成される。充電時は(a)の経路でそれぞれのコンデンサが入力電圧 VIN に達するまで充電され、放電時は(b)の経路で負荷には入力電圧 VIN の段数倍が出- 1028 -(b) The discharge current path
Figure.1 Schematic of Marx generator circuit

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2.2 チョッパ制御
降圧チョッパ回路の回路図と動作を図 2 に示す。
降圧チョッパ回路は DC/DC コンバータに用いられており、半導体スイッチの ON-OFF によってパルス幅変調(PWM)を行い、出力電圧を制御する方法である。スイッチが ON の時は直流電源－インダクタ－コンデンサの経路で電流が流れ、スイッチが OFF のときはインダクタンスに蓄えられた磁気エネルギーによってインダクタ－コンデンサ－ダイオードの経路で電流が流れる。降圧チョッパ回路を前述のマルクス発生器のそれぞれの段に組み込むことによって定電圧制御を行う。

Figure.3 Schematic of constant voltage controlled
Marx generator circuit(a) SW-ON

Fig.4 Ripple reduction method

3. 回路シミュレーション(b) SW-OFF
Figure.2 Schematic of Step-down chopper circuit
2.3 定電圧制御マルクス発生器
今回提案する定電圧制御マルクス発生器の回路図を図 3 に示す。充電時は図１と同様の経路で電解コンデンサに電圧を蓄積し、放電時は SW1 を ON-OFFすることによって定電圧制御を行う。また、一般的な降圧チョッパ型 DC/DC コンバータでは L のインダクタンスと C1 の容量を大きくすることによってカットオフ周波数を下げ、リプルを小さくするが、立ち上がり時間・立ち下り時間が遅くなる。また素子のサイズも大きくなってしまい、電源が大型になってしまう。そこでマルクス発生器のそれぞれの段において SW1 のスイッチング周期に段数分の位相差を持たせることによって、L のインダクタンスとC1 の容量が小さくても重畳した電圧のリプルを低減することが可能である(図 4)。
マルクス発生器の定電圧制御方法として現在２つの方式を検討している。１つ目はアナログ回路によるフィードバック方式であり、現在シミュレーション段階である。２つ目は FPGA によるパルス幅変調制御で、手動またはマイコンによってパルス幅変調を調整する方式である。現在、図 3 のマルクス発生器を試作し、これらの制御方式の試験・検討を推進している。

回路シミュレーションソフト Micro Cap を用いて
図 3 の回路を組み立て、シミュレーションを行った。2 段マルクスのシミュレーション回路図と結果を図 5 の(a),(b)に、4 段マルクスのシミュレーション結果を(c)にそれぞれ示す。(a)に示すようにアナログ回路によってフィードバック制御を行い、入力電圧1300V、一段当たりの出力電圧 1000V、PWM 周波数40kHz とした。(b)より 1 段目と 2 段目の電圧波形の位相を半周期分の 12.5us だけずらすことによって合成電圧のリプルを低減していることが確認できる。
またメインコンデンサ電圧がパルス立ち上がり時の1300V から 1.7ms 後には 1100V 付近まで低下しているが、パルス幅が徐々に広がっていくことによって定電圧制御を行っていることが確認できる。(c)ではマルクスの段数を 4 段に増やし、一段当たりの位相のずれを 1/4 周期の 6.25μs とした。(b)の 2 段の波形と比べてリプルがさらに小さくなっていることが確認できた。この結果より後述の試験結果に比べて、段数を重ねていくにつれて低リプル化することが期待できる。
_________________________________________#- 1029 -y_kozasa@etigo.nagaokaut.ac.jp

Proceedings of the 10th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan (August 3-5, 2013, Nagoya, Japan)(a) Schematic of simulated circuit

Figure.5 Circuit simulation results

4. 試作機試験
図 3 の回路図を元に 2 段の定電圧制御マルクス発生器の試作機を作製し、試験を行った。各素子のパラメータを表 1 に示す。制御方法は FPGA によって20kHz で矩形波を発生させ、手動でパルス幅を 0μsから 50μs まで可変できるように設定した。まず始めにパルス幅を 40μs(duty 比= 80%)で固定して試験をした。その結果を図 6 に示す。(a)にはマルクス発生器の 1 段目のコンデンサ電圧、2 段目のコンデンサ電圧及び合成電圧の波形を示しており、(b)は 1 段目の PWM 用スイッチ SW1 のトリガ電圧と、パルス幅の時間変化を示している。また、2 段目の PWM用スイッチ SW1’ には(b)の波形を 25μs 位相をずらしたトリガ信号を入れてリプルの低減を図っている。
(a)の波形から 1 段目の振動が落ち着いた部分のリプルが±9.6%に対して、合成電圧のリプルが±3.4%ということが分かった。また、コンデンサ C0 の放電により、電圧のパルス幅が長くなるにつれて、合成電圧が徐々に低下していることが確認できる。さらにリプルを詳しく観察するために、(a)の波形の時間レ- 1030 -Proceedings of the 10th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan (August 3-5, 2013, Nagoya, Japan)

ンジを狭くした波形を図 7 に示す。1 段目と 2 段目のリプルの周期はそれぞれ 50μs であり、位相のずれは 25μs であることがわかる。また、合成電圧のリプルの周期は 25μs であることが確認できた。これらの波形より、リプルが完全に消えなかった原因として 1 段目、2 段目の波形はともに完全な正弦波
ではないためにリプルが十分打消されなかったということが挙げられる。現在、このマルクス発生器は2 段で試験を行っている。前述の通り、段数をさらに重ねることで、さらなるリプル低減が可能である。
Figure.7 Ripple of output voltage
次に、図 6 の(a)で見られた合成電圧の低下を補償するために、FPGA によって PWM のパルス幅を100ns ずつ増加させ、試験を行った。その結果を図8 に示す。図 6 の一定のパルス幅の場合、立ち上がりが落ち着いた部分の電圧を基準にすると、終端部
では 5%のドループが発生していた。一方で図 8 のパルス幅を 100ns ずつ増加させた場合では、ドループは 0.1%とほぼ完全に、補償できている。C0 の容量が小さく、ドループが大きくなる場合でもこのよTable 1 Experimental condition

うに補償ができれば、電源の小型化が可能である。

(a) Output voltage(a) Output voltage(b) PWM signal and pulse width
Figure.6 Experimental results with constant pulse width- 1031 -(b) PWM signal and pulse width
Figure.8 Experimental results with droop compensation

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5. まとめ
本論文では、定電圧制御マルクス電源の提案と回路シミュレーション、試作機の試験について記述している。現在、制御方法としてアナログ回路によるフィードバック制御方式と FPGA による定電圧制御方式の開発を同時進行しており、アナログ回路によるフィードバック制御方式は回路シミュレーションによる試験段階であり、マルクスの段数を増やしていくことによってリプルを減らすことができることを確認した。今後は制御回路の実装・試験を進行していく予定である。また、FPGA による方式ではPWM のパルス幅を手動で調整し、パルス幅を徐々に広げていくことによって出力電圧のドループを補正することができた。現在は FPGA の書き換えを手動で行っているが、今後はメイン回路の各部電圧をモニタリングしてマイコンによる FPGA の自動書き換えを行えるようなシステムを構築していく予定である。

参考文献[1] C. Burkhart, A.Benwell, T.Beukers, M.Kemp, R.Larsen,
M.Nguyen, J.Olsen, T.Tang : “ILC MARX MODULATPRDEVELOPMENT PROGRAM STATUS” , Pulsed PowerConference, pp. 807 – 810 (2009)[2] T.Tang, C.Burkhart, M.Nguyen : “A VERNIERREGULATORFORILCMARXDROOPCOMPENSATION” , Pulsed Power Conference, pp. 1402 –1405 (2009)[3] Dr. Floyd Arntz, Dr. Marcel Gaudreau, Kevin Ostlund,
Michael Kempkes, Dr. Jeffery Casey : “New Concepts forPuled Power Modulators: Implementing a High Voltage
Solid-State Marx Modulator” , Vacuum Electronics
Conference, pp.427 – 428 (2012)- 1032 -