高周波空洞技術
加速器学会 技術研修会
8月10日～11日
肥後寿泰 （KEK)高周波空洞技術 2製作から運転へ
MOOLT1 技術研修会2
8月11日 大ホール 9:00 - 10:00
肥後寿泰（KEK）

高周波空洞技術 ２ 内容
• 材料
• 機械加工
• 洗浄
• 組立
• 接合
• チューニング• 高電力• ビーム運転• 長期運転での劣化対策
2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

肥後3

高周波空洞技術 2：製作から運転へ• 第一部で述べた基本設計を元に、高周波加速空洞を製作し、実際に運転するまでの具体的な技術について 述べる。
• 材料の選択や調達、各種構成パーツの製作、保管管理、組立前の処理、組立工程、完成検査、更に現地への設置、高電力導入までのプロセシ ング過程、更に長期の運転とそれに伴う不具合への対処、等が含まれる。
• 主に電子蓄積リングで用いるCW空洞、及び電子直線加速器で用いる 高電界加速管の二つに焦点をあてて述べ、そこから一般的な加速空洞技術を俯瞰できるよ
うに解説したい。
2014/8/10

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肥後

4

高周波空洞の一生の相互関連技術
加速器目的

製造

エネルギー等授受

機械設計

材料

加速・減速

空胴形状形成加工

横キック

空胴構造体支持

表面洗浄
組立

電気設計

熱の処理

モード

材料内熱伝達

熱処理
低電力

高電力運転
プロセシング

基本モード

熱変形解析

調整運転

HOM

冷媒への伝達定格運転

エネルギー流れ長期運転
真空RF 導入口

材料アウトガス

空洞内部伝搬

排気ビーム
空洞性能確認ウェーク場対策

ビームへの伝達エネルギー取出2014/8/10

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技術研修会 肥後

5

Swiss FEL (PSI) 製造の例
Ultra Precise turning machine

P. Craievich PSI HG 2013 Trieste

Brazing stacking
provided by a robot

Vacuum brazing furnace
installed and operative

Surface quality and tolerances well
below the specs. (Specs.: Ra 25 nm andinner diameter ± 4µm)

Ra 8,8 nm
5 axes machine for BOC
production (installed andoperational)
2014/8/10

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肥後

6

KEKB入射器加速管内部 建設後～30年後（2011年）

割に良い例

非常に悪化したアイリス

良くある放電痕

2011年5～6月 加速管放電/日
標準Es=42kV

FE

問題視：放電頻度、電界放出
今後の悪化を懸念している

ACC unit number
2014/8/10

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肥後

7

空胴構造
• 電気的表面– 閉じ込め– 外部からの電磁波導入– 外部への電磁波取り出し• 真空表面– アウトガス– 排気• 機械構造体– 廃熱– 構造支持2014/8/10

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8

設計計算
• まずは手計算をせよ– 直感評価

• ２Dシミュレーション– 主モード＋他のモード理解– 結合 等価回路的理解• ３Dモデリング シミュレーション– 必要ならモデルでの検証• 実機製作2014/8/10

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9

空胴材料 念頭におく特性• 電気– 表面電気伝導度• 機械– 結晶構造、密度、ヤング率、硬さ– 熱膨張、歪み• 熱– 熱伝導度、熱膨張率– 冷却通路と熱伝達• 真空– 表面吸着ガス、内部吸蔵ガス– 表面二次電子放出能
2014/8/10

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肥後

10

空胴材料選択常伝導• Cu 表面• Cu、SUS 構造• Cu, Fe, SUS 熱伝導• 冷却水• SUS 結合2014/8/10

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超伝導••
•
•
•表面 Nb構造 Nb、SUS、Ti
熱伝導 Nb、Cu，SUS
液体ヘリウム
結合 SUS、Ti

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肥後11

電気伝導と熱伝導
Metal Property
8YoungModulus[GPa]Metal
Property

1010610Young Modulus [GPa]510410Electrical conductance [1/Ohm/m]
Thermal conductance [M/m/K]

1000

100100Ag
Cu
Au
AlW
Ni
Fe
Nb
Ti
SUS
Nicrom

1010Ag
Cu
Au
AlW
Ni
Fe
Nb
Ti
SUS
NicromElectrical conductance [1/Ohm/m]
Thermal conductance [W/m/K]

1000
7Material

Material

弾性係数

2014/8/10

強度

硬さ

熱膨張係数

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肥後

12

DC 放電特性
A. Descoeudres et al.

PRST-AB 12, 032001(2009)
Sergio Calatroni 5 May 20102014/8/10

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肥後

13

無酸素銅
• 無酸素銅– 小林 クラス１ アメリカ標準– メーカー 世界 ・・・– SLACのお墨付き– 三菱・・住友・・日立（→SHカッパー）・・・• 銅以外の添加– Ag、Zr、アルミナ、・・・・

2014/8/10

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肥後

14

無酸素銅 真空特性
SHカッパー（旧日立電線） ＆ 三菱マテリアル
OFC 日立電線カタログ

三菱マテリアル 組織評価

6N銅

4N Class1

小林・斉藤

2014/8/10

埼玉大パルスDC試験

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肥後

15

製造：ビレット→熱間引抜き→冷間鍛造
ビレット

棒状押出し

鍛造

切り出し加工
通常の加速空胴ではビーム通過用穴があり、中心部は用いない。
カプラーセル等、回転対称では無い場所などでの欠陥の問題に注意
2014/8/10

2014年加速器学会

http://ja.wikipedia.org/wiki/銅よりコピー

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肥後16

結晶欠陥 粒界、ボイド、・・・・
鍛造後の組織検査
欠陥

引張り強度 280MPa

Void、ガス源

日立OFC Class 1, 3

引張り強度 350MPa

鍛造不良？ 中心部分に起きやすい→ビームパイプくり抜き形状では問題見えずClass 1を用いるのが無難である。が、板材等ではClass-2保証。但し製造方法が変わるわけではない。数十MV/m程度まででは、Class 2でも問題無いようだ。

三菱マテリアル ６N銅2014/8/10

SLACでLC用53㎝加速管（T53VG3N-MC）の中央1/3に隠し挿入したが、>>50MV/mで、放電頻度他部分と変わらず（C.
Pearson氏)

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肥後

17

銅の生産分布2014/8/10

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肥後18

機械加工
• 加工方法– ターニング 加工変質層薄い– ミリング 表面粗度、加工スピード 漸次改善
– 放電加工 → 後処理大（EP等）• 回転機構– エア、オイル静圧、ベアリング– 回転速度

• ツール
– カーバイド、ダイヤモンド– 旋盤刃先チップ、エンドミル、ボールエンドミル• 精度– 位置決め精度、剛性、・・・・・– 刃先の形状計測 μmでの計測結構難2014/8/10

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肥後

19

精密加工
加速器： 絶対寸法・相対寸法 の使い分け、 全面加工の必要性

カーバイドツール

旋盤加工
真空チャック→Z方向基準
半径方向→OD計測
2014/8/10

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ダイヤモンドミリング加工
Ra ～ 6～30nm
加工時間の問題
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肥後

20

加工直後の電気チェック（RF-QC）重要
スタック計測必要に応じて単セル簡便計測

Nitrogen gas Inlet
Disks under test
Probe
Port 1

Left End Plate

Port2

Semi-rigid cable

Right End Plate

Pressing Plate

2014/8/10

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肥後

21

製造の最初でモード、周波数の確認
Extract a part along structure and stack 6 identical cells.
Measure dispersion characteristics to confirm the HOM.
Acc mode -206-disk Spectrum#97--102

1st Dipole
2nd Dipole

S12 [dB]-40

Manifold-60-80-100-120

2014/8/10

10121416Freq [GHz]2014年加速器学会

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18肥後2022

ＲＦ計測→旋盤加工へのフィードバックも可能

3δΦ0 ~ 3

HOMの精度保持o

δF1 =0.6MHz

Too good

Too good

Integrated phase

Single-disk Stack RF-QC on Fd1pi
502

std = 0.62 MHz

Measured frequency
40

1
Number of samples

Diameter offset [µm]Frequency error [MHz]Integrated phase [degree]

加速モード
先追い補正0-130

20

10-2

Cell diameter offset
for feedforward

0-2-3050100150200-1012

Residual from 3rd-order polymonial fit [MHz]Disk number

The frequency measurement is performed in a simple setup
and offsets are put in NC program easily.
2014/8/10

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肥後23

表面変化
• 材料：鋳造→熱間加工→冷間加工• 成型：機械加工• 表面改質：洗浄、エッチング• 表面保護：コーティング• 母材の改質＆組立：高温処理• 高周波での表面改質：RFプロセシング• 経時劣化：長期高電力・ビーム運転
2014/8/10

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肥後24

洗浄 エッチング
KEK：基礎とした工程

加工変質層の除去
表面汚染の除去

経験ある施設＋工程の意味把握

SLAC 化学洗浄工場

セル洗浄

浸漬時間とエッチング深さ
ミリング
超精密旋盤

洗浄クリーンハット

2014/8/10

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肥後

25

パーツ段階の洗浄～組立後の洗浄• パーツ段階洗浄– 有機洗浄• オイル等– エッチング• SLAC Recipe 模擬• 化学洗浄、電解研磨– 純水リンス• アルコール、アセトン等揮発性液に浸漬– 乾燥• 窒素ブロー、窒素雰囲気• 組立後の洗浄– 純粋高圧洗浄• 物理的パーティクル取り、化学的効果は??
• 超伝導の技術として開発 100気圧級• Sバンド 無酸素銅空洞へ 数分の一の圧力
2014/8/10

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肥後

26

五十嵐康仁LAM28 WP-37 東海村 2003年

組立後の洗浄例 Sバンド2m管試験
五十嵐 KEKB2m加速管試験

速いプロセ
シング立ち上がり（3） 純水洗浄管

低暗電流
高β?

2014/8/10

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肥後

27

Brazing stacking
provided by a robot

組立

インロウ ～10μ級

P. Craievich Swiss FEL
HG 2013 Trieste外周Vブロック当て ～1μ級

必要に応じて治具を凝れば1ミクロン級は可能
2014/8/10

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分割 Quad / Half 方式～数～10μm
肥後

28

接合技術 問題が頻繁に発生• ロウ付け– 水素・真空 標準的– 銀ロウ、金ロウ、その他、In等 低温ロウ 可不可??

• 電鋳– 外部のみ固める、運転時のベーク不可• 拡散接合– 高温（可能）、常温（未開発）• 溶接– TiG、EBW、Laser･･･• クランプ方式– 熱処理無しの材料を使える– 真空チェンバー必要
2014/8/10

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肥後29

ロウ付け

拡散接合

BrazingBonding

古くから確立されてきた技術
1気圧水素、パーシャルガス、真空
ロウ剤流れ→フロート、スリップ
融点、・・・・溶ける・溶けない
2014/8/10

2014年加速器学会

加速器には比較的新しい固相→スリップ無し、現状 高温拡散、変形にも通ずる母材改質？
技術研修会

肥後30

真空炉での表面悪化例

Mn、Fe、・・・・等正常？

結晶成長、粒界顕著、結晶方位 Facet、・・・・・
炉壁等からの不純物の飛散注意→炉管理重要2014/8/10

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肥後

31

水素炉･･･真空炉
Ti以外の混入
表面なだらか

結晶粒界、Facetting

KEK 水素炉
ロウ付け

KEK 真空炉
拡散接合

真空炉
Ti Box内サンプル
1040℃ 1時間

水素炉（atm，パーシャル） 表面昇華再付着で滑らか、 水素露点管理
真空炉 ヒーター、炉壁、炉床からの飛散防止策 要2014/8/10

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肥後

32

接合失敗例 熱膨張1000℃
SUSチェンバー
ロウ付け
↓
本体の銅部
φ60㎜
50μm級
半径方向に拡大

ΔT～1000℃ → 1.2×10-3
φ60㎜→70μm
2014/8/10

2014年加速器学会

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肥後

33

接合失敗例 大物の接合

1.8m

DDS3 Dummy
スプリング破壊

荷重DDS32014/8/10

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肥後34

接合失敗例 端面癒着
Alumina ceramics→ Graphite Scratch→ Si3N4 3元系、900℃ → 癒着 フレア→ Glassy Carbon
グラファイト

DB後の端面グラッシー
カーボン

フレア矯正
2014/8/10

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肥後35

チューニング• SW– 空洞周波数計測しながら空洞壁の変形– 空洞内フィールドのパターンを見ながら、摂動計算にそって補正方向にしかるべきセルの壁を変形• TW– ビード、プランジャーでのセル間の位相進み計測– 周波数の誤差を評価し、これを減少させる– マッチング等に必要な反射ベクトルを生成するための下流セルのミスマッチ
2014/8/10

2014年加速器学会

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肥後36

摂動
ω −ω
22() dV=H−E2∫
ω0
δV220

SCC cavity tuning
Blue nominal freq
Freq up green
Freq down red

PUSH/PULL

2014/8/10

Dimple tuning

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肥後37微少反射とチューニング
Express wave propagation

Frequency
perturbation

Vk = 1 e − k ( jθ + Γ ) + R e −2 m ( jθ + Γ ) e k ( jθ + Γ ) for k ≤ mT e − k ( jθ + Γ )From continuity at m-th cell,

Forwardfor k > m

T = 1+ RmReflect

From coupled resonator model,(δωm2 + ωm2 − ω 2 + jωωm1) Vm = ωm2 (k m −1/ 2 Vm −1 + k m +1/ 2 Vm +1 )2Qm

Finally reflection from cell m becomes,R=Transmit

δω / ω2m2m

δωm2 / ωm2 + k m −1/ 2 (ΓCosθ + j Sinθ )Γ：減衰項=0（Loss less)→ R:インダクティブ→ 反射位相決まる→ セル位置変えて位相調節-4Assume; loss-less TW with 2π/3 mode, k~0.02, δω2/ω2 ~ 10δωm2 / ωm2
10 −4R≈≈≈10 − 2k m −1/ 2 Sinθ 0.02 ( 3 / 2)
T. Higo

反射作るために必要なデチューニング量の見積

LC School, Chicago, 2008, LINAC-I

38

空洞の測定• 今：Network analyzer– S-parameter• 昔：Slotted line 計測– VSWR• Plots– Smith chart– 反射平面透過反射

2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

肥後39

Slotted line＆Crystal↓
Sパラ計測
Scalar NANetwork Analyzer ↓Vector NA 8510 数段ラックマウント
昨今↓
TRL Calibration 12パラメータ↓
Portable 8720↓
周波数確度 10-7↓
Windows based 5230↓
N-port↓2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

肥後40

Q値 計測𝟒𝟒 𝜷𝜷𝟏𝟏 𝜷𝜷𝟐𝟐𝟏𝟏(𝟏𝟏+𝜷𝜷𝟏𝟏 +𝜷𝜷𝟐𝟐 )𝟐𝟐 (𝟏𝟏+𝟒𝟒𝑸𝑸𝟐𝟐𝑳𝑳 𝜹𝜹𝟐𝟐 )𝒇𝒇−𝒇𝒇𝟎𝟎𝜹𝜹 ≡𝒇𝒇𝟎𝟎

𝑻𝑻(𝒇𝒇) =• 周波数ドメイン– NA出現で容易– 幅、位相進み∞

𝑾𝑾 𝒕𝒕 = � 𝒂𝒂𝝎𝝎 ∙ 𝒆𝒆

• 時間ドメイン（減衰）𝝎𝝎• Slater tuning curve– Q~102014/8/10

tan2π dλg

2014年加速器学会

𝒆𝒆𝒋𝒋𝒋𝒋𝒋𝒋

ショート面までの距離– Q～10、Q>>108の場合– RF計測– ビーム励起−𝝎𝝎𝝎𝝎�
𝟐𝟐𝑸𝑸𝑳𝑳 ∙=∑1 / Qext ,a(ω / ω a − ω a / ω )

λga

技術研修会

肥後41

組立 接合前、接合後チューニング時
RF特性のSパラ計測
反射、透過 特性

スタック＋クランプ＋仮カプラー等
2014/8/10

空気/窒素ガス中
低電力ロード
結合回路
摂動子
・・・・・
2014年加速器学会

技術研修会

肥後

42

対称性を持つマルチポートデバイスの2ポートNA計測

Γ ＝ S11 + S12 = S22 + S21
21

Γ
2014/8/10

34• Dividerの広帯域でのミスマッチが見えてしまう• 中心周波数部分は再現できる

S11 S122014年加速器学会

技術研修会

肥後

43

群速度1.10

周波数1.05• 分散関係

1.00– SW 分散関係δω/δφ– TW NA δφ/δω0.95位相進み βd0.9000• 加速管充填時間計測

S21(ns)3 10π/2

4KX016π810

Delay measured by HP8720C-7S21(ns)

S21 位相2.5 10 -7– TW 時間遅れ
031212
Input power(100mV)transmission(20mV)/102Pulse Shape

2 10 -7
1.5 10 -7
1 10 -7
5 10 -8

0.002

0 10 011.1

Input power(100mV)

011.15

11.2

11.25

11.3

11.35

11.4

11.45

11.5

frequency(GHz)-0.002

周波数-0.004-0.006-0.008-0.01-0.0120

2014/8/10

2 10 -7

4 10 -7
6 10 -7time(s)8 10 -7

2014年加速器学会

1 10 -6

技術研修会

肥後44

注意：計測環境の制御（特に位相計測時）
Foperation = Fmeasurement × {1 + α × (T − 45) +dΦ RoundTrip= 4 ⋅τ ⋅ Q ⋅α =14 deg ree / deg CdTε − 1 20 + 273×)},
T + 273
2

Phase drift after stopping nitrogen flow

Phase drift after flowing nitrogen gas

180

180
N2175

175

phase

165

Input N2 at a rate of
1 liter/min from 170s
155

0165
160

Air

160

phase

Reflection measurement
output end shorted

170

170

100

200

300

400

500

155

0500

600

1000

1500

2000

time (s)time(s)

温度、湿度、気圧、窒素フローレート、・・・・・クリーンネス
2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

肥後45

内部電磁界分布の摂動計測• ビードプル– 糸＋摂動体– 計測量 電磁場2– SW: 周波数変化– TW： 反射係数変化• プランジャー– 金属棒差し込み→セルデチューン– SW: 両端境界条件←→デチューンセル
– TW: Nodal shift法←→直前での反射位相
2014/8/10

2014年加速器学会

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肥後46

プランジャー

Pro
クリーン化容易Con
デチューン鈍い（@ｖg大）2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

2π/3モード 計測例
肥後47

ビードプルN2 gas
flow

Input
WG

021225

糸による周波数変化
del_F due to string measured in T20VG5N
10.8
del_F [MHz]128µm0.60.40

温度
計測

64µm

0.250µm
nominal string
00.0050.010.0150.02NADia^2 [mm^2]

糸の牽引

ΓnMeasure

2014/8/10

2014年加速器学会= ΓInput + e
技術研修会

肥後j 2 nγε E + ΓOutput ⋅ enj 2 Nγ48

ビードによる計測の基礎• SW– ビードによる周辺電磁場の摂動→周波数（位相）の変化– Slater perturbation定式化– ビード形状効果 → 単なる無摂動の体積積分では無く、周辺の場の変化によること注意• TW– ビードによる電磁波の散乱– Non-resonant perturbation theory
2014/8/10

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肥後49

ビードプル 計測例
2π/3モード

5π/6モード
BeadPull(39)Data

Bead Pull Example
TD24R05#3_110907_11424MHz
0.02

50

n+200ImagImaginary

n+1nn-0.02-50

n+1-100-100 -80 -60 -40 -200

Bead moves toward downstream
-0.04
-0.08
-0.06
-0.04
-0.02
Real20 40

RealDwell pointでの複素反射係数
位相進みの周波数依存性
Phase advance versus operating frequency
セル毎の位相進み

155
y = -7994.4 + 0.71298x

R= 0.99818

phase advance

154
153
152
151
150
149
148
11420

2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

肥後1142211424 11426
freq

11428

11430

50

ベーキング 効果、努力
二重排気
500℃弱、>1週間
ガスケット問題
水素1桁程度!?
Total Vacuum [Pa]

UpH60VG3K1

CO2 [Pa]

BakingTrend 2003/07/03

Mid

H2 [Pa]0.001

5000.0001N2 / CO [Pa]400

H2O [Pa]H 2O

SLAC 650℃～2週間
VACベーキング
VAC缶内に設置

Vacuum [Pa]

10 -5

300

H210 -6200

N2O/CO
CO210 -7

100

Cx Hy

10 -80048

96

144
Hour

2014/8/10

Body Temperature [degreeC]

CxHy [Pa]2014年加速器学会

技術研修会

肥後

192

240

H60VG3N-6C 5X10^-7Pa@650C SLAC

51

プロセシング ＆ キーワード
BDR ∝ E 30t 5pulse
11−30 6pulse

E ∝ BDR t

パルス幅

放電回数

加速電界
パルス数

2014/8/10

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技術研修会

肥後

52

Forward

Refl_sym

放電時 RF&電流 パルス波形

Forward
UPRsymHigo at SAMEERTransmDN

Large Rs2011/02/02

Rasym

Loss in Tr53

電界エネルギー吸収とSc

Sc

Iris近傍ピット状放電痕
M. Aicheler, IWLC2011

Grudiev PRST-AB 12 (2009)2014/8/10

2014年加速器学会

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肥後

54

暗電流 と 電界増倍係数β

暗電流 次第に減少 β多少減少？
β * Esmax ~ 5~7 GV/m 電界蒸発フィールドに匹敵
つまりこれが限界か？
2011/02/02

Higo at SAMEER

55

磁場 → 電流→ パルス温度上昇Surface heating and heat diffusion into body.
P ( x, t )∂u ( x, t ) − κ 2 u ( x, t ) = w∂tcp ρTemperature

degC in rise Temperature

2001000

100

800

00600
400

102002030 02 Tp
12∆T = Rs H s2
ρ cε π α dPritzkaw Thesis, p99, SLAC-Report 577.
2014/8/10

金属疲労2014年加速器学会

Cu
Rs=27.85mΩ
Hs=1MA/m
Tp=400ns=4*10^-7
ρ=8.93 10^3 kg/m^3Cε=380 J/kg/K
αd=k/ρcε= m^2/s
k=401 W/m/K

V. Dolgashev and L.
Laurent, AAS08

これらが放電トリガー？

∆T=270degC
技術研修会

肥後56

シャープエッジ → 表面電流の増倍
これまでも入力カプラー等で生じていた。

11GHz
表面ωµ≈0.5µ m
2σ

電流400ns磁場

拡散2 D t ≈10µ m

F. Le Pinpec, ISG8, 2002, SLAC

表面電流が1MA/m 級に近づくと問題が顕著になる。
それまではBDRの上昇程度に見えてくる？
2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

肥後57

100万～1000万パルスに一回級の放電発生へのトリガー
Hot spots

金属疲労
結晶方位 Facetting

Inclusion offoreign materials
High magnetic field
triggered surface
damagePulse heatdamage電流
Markus Aicheler 13. Oct. 20102014/8/10

Hs max Highcurrent

Evolution frommaterial defects
Othermechanism??

ギャップ？
電流、微少放電？
2014年加速器学会

技術研修会

Electromigration?
肥後58

高電界加速への検討課題
SLACでの基礎試験

表面電流を切るギャップ無し
精密ミリングは日進月歩
硬い、熱処理無し、Ag入り銅・・・・
対疲労→対放電改善するか？

X-band TW Linac
80MV/m級 現在技術で実現可能
100MV/m超 材料、表面、形状の改善が必要
150MV/m超 ?????
2014/8/10

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技術研修会

肥後59

私の参考文献• マイクロウェーブ一般– C. G. Montgomery, “Technique of Microwave measurements” , MITseries 11, (1947)– E. L. Ginzton, “Microwave measurement” (1957)– J. C. Slater “Microwave Electronics”• 線形加速器– The Blue Book: “The Stanford Two-Mile Accelerator”,
http://www.slac.stanford.edu/library/2MileAccelerator/2mile.htm• 電磁場計測とチューニング
– C. W. Steel et al., “A nonresonant Perturbation Theory”, IEEE Trans.
MTT-14, N0.2, (1966)– D. Whittum, “Introduction of Electrodynamics for Microwave LinearAccelerators”, Frontiers of Accelerator Technology, Proc. US-CERNJapan Acc. School, (1996)– T. Khabicoulline et al., DESY M-95-02, (1995)

2014/8/10

2014年加速器学会

技術研修会

肥後60

高周波空洞技術の研修会の終わりに• Professor Perry Baker Wilson– one of the accelerator physics pioneers at Stanford
and SLAC, died on November 30, 2013 in Redwood
City, Calif. at age 86.

• WW-II、HEPL、SLAC・・・・・– SC RF Cavity– Ring RF cavities、SLED、・・・– SLAC Linear accelerator  Linear collider– Cavity  Vacuum discharge under high gradient• ご冥福を祈り、高周波空洞技術の更なる発展を願って講演の終わりとします。
2014/8/10

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肥後61