大見研究室 和文 論文リスト

大見研究室 和文 論文リスト
2007 年
1166(W)

熊谷勇喜、須川成利、諏訪智之、宮本直人、鎌田 浩、寺本章伸、大見忠弘、「局所的ゲートリック電流の統計的評価によるフラッシュメモリの Bit 不良評価」、ゲートスタック研究会－材料・プロセス・評価の物理－第 12 回研究会、（（社）応用物理学会 薄膜・表面物理分科会／シリコンテクノロジー分科会共催）、pp.73-78、2007 年 2 月。

1167(W)

黒田理人、寺本章伸、Cheng Weitao、須川成利、大見忠弘、「ノーマリオフ Accumulation-ModeSOI ｎMOSFET における Hot Carrier Instability のメカニズム」、ゲートスタック研究会－材料・プロ
セス・評価の物理－第 12 回研究会、（（社）応用物理学会 薄膜・表面物理分科会／シリコンテクノ
ロジー分科会共催）、pp.79-84、2007 年 2 月。

1168(W)

高橋一郎、船岩清、安曇啓太、山下哲、白井泰雪、平山昌樹、寺本章伸、須川成利、大見忠弘、「マイクロ波励起プラズマ有機金属化学気相堆積装置の開発と強誘電体」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.106、No.593、（（社）電子情報通信学会）、SDM2006-260、pp.33-37、2007 年 3月。

1169(M)

大見忠弘、平澤泠、金森修、北澤宏一、市東利一、滝順一、谷重男、鳥井弘之、中島正治、永田潤子、林光、甕昭男、大熊和彦、「第５回「未来社会と科学技術」研究会 半導体研究にかける夢――
二〇二五年に目指すべき社会のかたちとイノベーション」、21 世紀フォーラム、No.106、（（財）政策科学研究所）、pp.50-63、2007 年 3 月。

1170(C)

矢野篤男、佐藤晶子、四方田淳、南場浩二、鍛冶光司、佐藤靖史、白井泰雪、大見忠弘、「超音波照射法における大腸菌の殺菌メカニズムの検討」、第 41 回日本水環境学会年会講演集、（（社）日本水環境学会）、pp.537、2007 年 3 月。

1171(W)

大見忠弘、「半導体産業の新しい未来を拓く超高性能シリコン技術」、福島県半導体関連産業協議会設立記念講演会資料集、（福島県、財団法人福島県産業振興センター）、2007 年 3 月。

1172(C)荒谷 崇、樋口正顕、須川成利、池永英司、野平博司、寺本章伸、大見忠弘、服部健雄、「角度分解光電子分光法の新しい試み」、第 54 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 No.2、（(社)応用物理学会）、28p-C-8、pp.835、2007 年 3 月。

1173(C)荒谷 崇、樋口正顕、須川成利、池永英司、野平博司、丸泉琢也、寺本章伸、大見忠弘、服部健雄、「Si のラジカル窒化により形成した Si3N4/Si 界面におけるサブナイトライドと価電子帯オフセット」、第 54 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 No.2、（(社)応用物理学会）、28p-C-9、pp.836、2007 年 3 月。

1174(C)

吉田哲也、山崎浩輔、小瀬村大亮、掛村康人、小椋厚志、荒谷 崇、樋口正顕、須川成利、寺本章伸、大見忠弘、服部健雄、「UV ラマン分光法によるラジカル窒化 Si3N4/Si 界面の評価」、第 54 回応
用物理学関係連合講演会講演予稿集 No.2、（(社)応用物理学会）、28p-C-10、pp.836、2007 年 3月。

1175(F)

大見忠弘、白井泰雪、平山昌樹、森本明大、杉谷耕一、「大画面化が進む薄型ディスプレイ技術の現状と展望」、電子情報通信学会誌、Vol.90、No.5、（（社）電子情報通信学会）、pp.382-387、2007
年 5 月。

1176(W)

熊谷勇喜、寺本章伸、須川成利、諏訪智之、大見忠弘、「大規模アレイ TEG によるトンネル絶縁膜の微小・局所的ゲート電流の統計的評価」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.85、シリコン材料･デバイス、（（社）電子情報通信学会）、SDM2007-36、pp.27-32、2007 年 6 月。

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1177-1(W) 寺本章伸、荒谷 崇、樋口正顕、池永英司、野平博司、須川成利、大見忠弘、服部健雄、「プラズマ窒化膜/Si の界面構造、サブナイトライド、電子帯構造」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.85、シリコン材料･デバイス、（（社）電子情報通信学会）、SDM2007-39、pp.43-48、2007
年 6 月。
1177-2(C) 寺本章伸、荒谷 崇、樋口正顕、池永英司、野平博司、須川成利、大見忠弘、服部健雄、｢プラズマ窒化膜/Si の界面構造、サブナイトライド、価電子帯構造｣、シリコンテクノロジーNo.93、（（社）応用物
理学会シリコンテクノロジー分科会）、pp.2-7、2007 年 6 月。
1178(W)

永坂茂之、大見忠弘、白井泰雪、「減圧操作による膜蒸留法を用いた吸収液再生技術の検討」、
2007 日本建築学会大会、pp.1315-1316、2007 年 8 月。

1179(W)

永坂茂之、松本尚史、佐々木 央、植村 聡、菅原一彰、大見忠弘、白井泰雪、「吸収液除湿式空気調和方式によるクリーンルーム空調エネルギー削減の研究開発（第 1 報）研究概要と基礎実験」、
平成 19 年度 空気調和・衛生工学会大会、pp.1003-1006、2007 年 9 月。

1180(W)村川惠美、竹内政志、本田 稔、石塚修一、中西敏雄、廣田良浩、菅原卓也、田中義嗣、赤坂泰志、寺本章伸、須川成利、大見忠弘、「先端 DRAM での SiON ゲート絶縁膜における窒素プロファイルと素子特性について」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.245、シリコン材料･デバイス、(電子情報通信学会)、SDM2007－175、pp.11-14、2007 年 10 月。

1181(W)

石川 拓、野沢俊久、松岡孝明、寺本章伸、平山昌樹、伊藤隆司、大見忠弘、「低誘電率アモルファスハイドロカーボン（aCHx）膜の銅配線バリアー特性の検討」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.245、シリコン材料･デバイス、(電子情報通信学会)、SDM2007－183、pp.31-34、2007年 10 月。

1182(W)

鈴木克昌、石原良夫、迫田 薫、白井泰雪、寺本章伸、平山昌樹、大見忠弘、渡辺高行、「減圧雰囲気下でプラズマと Ca(OH)2/Cao を用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発」、電子情報通信学会技 術研究報告 、Vol.107 、No.245 、シリコン材料･デ バイス、(電 子情報通信 学会) 、SDM2007－184、pp.35-38、2007 年 10 月。

1183(W)

廣江昭彦、寺本章伸、大見忠弘、「マイクロ波 CVD を用いた高移動度ボトムゲート微結晶シリコンTFT の試作」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.245、シリコン材料･デバイス、(電子情報通信学会)、SDM2007－186、pp.41-44、2007 年 10 月。

1184(W)

諏訪智之、黒田理人、寺本章伸、大見忠弘、「シリコン表面の原子オーダー平坦化技術」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.245、シリコン材料･デバイス、(電子情報通信学会)、
SDM2007－190、pp.57-59、2007 年 10 月。

1185(W)

阿部健一、須川成利、黒田理人、渡部俊一、寺本章伸、大見忠弘、「大規模アレイ TEG を用いたランダム・テレグラフ・シグナルの統計的評価」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.245、シリコン材料･デバイス、(電子情報通信学会)、SDM2007－192、pp.65-68、2007 年 10 月。

1186(W)

渡部俊一、須川成利、阿部健一、藤澤孝文、宮本直人、寺本章伸、大見忠弘、「プラズマプロセスによる MOSFET 特性ばらつきの統計的評価」、電子情報通信学会技術研究報告、Vol.107、No.245、シリコン材料･デバイス、(電子情報通信学会)、SDM2007－193、pp.6９-72、2007 年 10 月。

1187(W)

大見忠弘、「産学官連携成功事例にみる連携の本質」、第 3 回中小企業産学官連携推進フォーラ
ム 事業化した 50 事例～中小企業に届く産学官連携～ 予稿集、中小企業基盤整備機構、pp.1－25-46、2007 年 10 月。

1188(F)

寺本章伸、荒谷 崇、樋口正顕、池永英司、平山昌樹、須川成利、服部健雄、大見忠弘、「マイクロ波励起プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の形成」、真空、Vol.50、No.11、（日本真空協会）、pp.659-664、2007 年 11 月。

1189(F)河瀬和雅、梅田浩司、井上真雄、諏訪智之、寺本章伸、服部健雄、大見忠弘、「ラジカル窒化シリコン酸窒化膜における窒素プロファイルのＸ線光電子分光分析による評価」、真空、Vol.50、No.11、（日本真空協会）、第 33 回熊谷記念真空科学論文賞、pp.672-677、2007 年 11 月。

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1190(W) 鈴木克昌、石原良夫、迫田薫、白井泰雪、寺本章伸、平山昌樹、大見忠弘、渡辺高行、伊藤隆司、「減圧雰囲気下でプラズマと Ca(OH)2/CaO を用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発」、第19 回マイクロエレクトロニクス研究会プロシーディング、pp.29-35、2007 年 11 月。
1191(W)

山下哲、日高敦志、石井秀和、北野真史、白井泰雪、大見忠弘、「各種樹脂材料の分解解離挙動」、第 19 回マイクロエレクトロニクス研究会プロシーディング、pp.36-42、2007 年 11 月。

1192(W)

阿部健一、須川成利、渡部俊一、黒田理人、藤澤孝文、寺本章伸、大見忠弘、「ULSI におけるMOSFET の電気的特性ばらつきと Random Telegraph Signal Noise の大規模統計解析」、第 19 回
マイクロエレクトロニクス研究会プロシーディング、pp.43-49、2007 年 11 月。

1193(W)

大見忠弘、「学問に基づいたシリコン半導体産業の創出」、第 19 回マイクロエレクトロニクス研究会
プロシーディング、pp.56-89、2007 年 11 月。

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