取扱製品 カタログ・ ドライポンプ オーバーホール

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P.1

・ ターボポンプ オーバーホール

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P.2

・ クライオポンプ用パーツ

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P.3

・ 真空コンポーネント各種

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P.4

・ DIGMESA製 羽根車式流量計

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P.5

・ ウェハ移載機 IDリード付※動画も是非ご覧ください

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P.6

・ ステージリンカー

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P7, 8

ドライポンプKF トグルクランプ

ターボポンプ

ウェハ移載機DIGMESA 流量計

ステージリンカードライポンプオーバーホール
EDWARDS✓EDWARDS社製 ドライポンプ各種の再生を承ります
対象一覧
iHシリーズ

iH80

iH600

QDPシリーズ

iH1000iQDP80

再生フロー
受

入

QDP40
QMB ・EHシリーズ

iQDPシリーズ

iQDP40iH1800QMB・EHシリーズ（250 ・ 500 ・ 1200）
ドライポンプ（メインポンプ）取り付け図

分解洗浄乾燥

部品検査組立

各種検査
性能試験

梱包・出荷

EDWARDSのスペックを忠実に再現します。詳細はお問合せください。

✓ 詳しくはお近くの営業所までご相談下さい。

ターボポンプ 再生
ＢＯＣ ＥＤＷAＲＤＳ ＳＴＰ シリーズ
ポンプサイズ

対応一覧

再生フロー

コントローラのタイプ

STPモデル

P013

600
600C
1000C

P017

H600C

P019

H2000C
H2000KM

P020

2001C

P021

301
451

P023

H2001K H20001K1
H2001K1B

P027

H1301C
H1301L1

P028

H2002C

P033

H803C

H1303C

P034

H301C

H451C

P036

A803C

A1303CP039

603 603C
1003C

P041

A2203C-1000

H1000C

301C
451C

再生前

ポンプ受入
抵抗値チェック
分解

H2000K

パーツの洗浄・乾燥
301CVB

H1301C1
1301L1B

1003

再生後のパーツ

パーツの検査組立第1次テスト

第2次テストリークテスト
最終テスト
梱包・出荷

XA2703CV上記以外のモデルについてはお問合せください✓詳しくはお近くの営業所までお問い合わせ下さい

チューニングクライオポンプ用パーツ

サービスキット＆メジャーパーツ HELIX製（CTI) 他
HELIX、ULVACなどのクライオポンプパーツの供給が可能です
適応メーカー及び対象モデル
OB-8F

Torr8（CT-8)

Torr400（CT400）

HELIX製
Torr8（CT-8)
Torr8F（CT-8F)
Torr8E（CT-8FE）
Torr250F（CT-250F）
Torr10（CT-10）
Torr400（CT-400)

OB-8
OB-8F
OB-8FE
OB-250F
OB-10
OB-400内部ULVAC製
U12HSP
U16P
U16HSPU16HSPL

U6H
U8H
U8HL
U10HL
U12H

Torr8 80K Condensing Array

80K Radiation Shield

15K Condensing Array 8F

HELIX製ポンプ用サービスキット（リペアキット）のご提供承ります

M1020 サービスキット

M350 サービスキット対

Torr8(CT-8)
Torr8F（CT-8F)
Torr8E（CT-8FE)
Torr250F（CT-250F）
OB-8
OB-8F（M350 3φ）
OB-8FE
OB-250F象

モM1050 サービスキット
デTorr10（CT-10）
OB-10

ル

Torr400（CT-400）
OB-400※キットに含まれる各モデルの・１st Displacer Seal・2nd Displacer Seal・Tool, Seal Insertion
・インジウム箔(10㎝ｘ10㎝）のアイテムは単体購入が可能です

M350

1st Displacer Seal

2nd Displacer Seal

Tool, Seal Insertion
インジウム箔

M1020

その他、各型式のサービスキットおよびメジャーパーツを取り扱っております。
詳しくはお近くの営業所までお問い合わせ下さい。

Siダイオードセンサー（メジャーパーツ）

真空コンポーネント 各種
フランジ・配管類・クランプ・バルブ製品など
KFスプリング

KF トグルクランプ
KFスプリングクランプ

材料
本体：304S.S（ｽﾃﾝﾚｽｽﾁｰﾙ）
ボルト：304S.S.
ウィングナット：304S.S.
リークレイト：1x10-10mbar-l/sec
特長
軽量、低コスト、組み立てスペースの制限なし

KFトグルクランプ
毒ガスや腐食性ガスを使用している真空ポンプの配管で締め付けクランプがゆるみ、ガス漏れが発生すると、非常に危険です。
この KFトグルクランプは、ロックピンの挿入により ゆるみに大変強く、また設置作業もトグルレバーで誰でも容易に行うことができます。毒ガス・腐食性ガスの配管用クランプとして実績のある製品です。
材料
本体：アルミニウム
ピン：304S.S.
スプリングシート：304S.S.
リークレート：1x10-10 mbar-l / sec

特長
トグルレバーが誤って外れるのを防ぐために、ロックピンを挿入できる
迅速なインストールとアンインストールが簡単
手動で締めすぎない自動調整クランプ
トグルクランプ仕様
ゆるみに非常に強いトグルレバータイプのクランプ搭載
腐食を低減し、クリーニングが容易
ロックピン付のため、突発的にトグルレバーが外れることがない※その他、様々な真空部品の取扱いございます。

✓詳細は 営業担当 または 右記までお問合せください

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イス DIGMESA製 インペラ流量計（羽根車式）

シリーズ

FHKシリーズ

FHK・FHKU・FM 他 各種

FHKUシリーズ

FMシリーズ

FHK/FHKU LCDシリーズ

概要
DIGMESAの流量計は世界中のあらゆる産業（食品、化学、医学、半導体や研究所等）で使われています。飲料水や薬品など、どんな液体であろうとも、又はどんなアプリケーションであろうとも最適な解決策を提供いたします。
例えば、身近なものでは有名メーカーのコーヒーマシンで使われていますし、野球場やサッカー場で販売されているビールサーバーでも使用されています。コーラやジュースなどのドリンクのボトリング工場でも活躍しています。
DIGMESAは貴社の御用途に応じて数多くの品揃えの中から最適な流量計をお届けします。

FHKシリーズ
Flow Rate l/min

FHK・FHKUシリーズ
万能で最上級の流量計FHK 、FHKUは様々な分野 食物、化学薬品、工業用用途、半導体製造工程等に使用することができます。
この製品は接続部の異なる２つのタイプがあり、FHKタイプは接続部が隣合っていますが FHKUタイプは反対向きについています。この流量計は色々と異なる構造のものが製作でき、お客様の特注対応も可能です。最新のセラミックベアリングは昼夜を問わない連続使用に最適です。

FHK/FHKU LCDシリーズ

流量計FMシリーズは、ペットボトルや紙パックにジュース等を充填をしている工場、溶接ロボットやレーザー冷却装置で大流量を高速測定するのに、耐久性に優れており理想的です。
とても耐久性に優れた流量計（セラミックベアリングに交換可能）は長寿命化するため、羽根車の中心部分に堅牢な革新的部品を組み合わせています。また、マルチジェット測定技術により、広範囲の測定と低圧力損失、高精度を実現しています。

✓ 詳しくはお近くの営業所までご相談下さい。

MinMax

1.0㎜

0.03

0.60

1.2㎜

0.030.75

2.0㎜

0.102.30

2.5㎜

0.15

3.80

5.6㎜

0.188.30

FHKUシリーズ
Flow Rate l/min

FHK, FHKU LCDシリーズは流量を簡単に直接モニタリングできるディスプレイ（表示機能）付きのものです。このディスプレイは流量計の上部に組み込む一体型か、ケーブルにより接続するセパレート型があります。表示機能により、モニタリングすることが可能なこの流量計は、カウントダウン・カウントアップ・瞬間的な流量率の表示、または時間によるコントロール・データの保存といった多岐にわたる機能があり、 水フィルターのメンテナンスサイクルをチェックするには理想的です。

FMシリーズNozzleNozzle

MinMax

1.0㎜

0.04

0.60

1.2㎜

0.05

0.80

2.0㎜

0.10

2.40

2.5㎜

0.15

3.80

5.6㎜

0.30

9.30

7.0㎜

1.40

18.00

10.0㎜

3.00

30.00

FMシリーズ
Flow Rate l/min
Nozzle

MinMax8.0㎜（FM)

0.25

17.00

15.9㎜（FM15）

2.83

40.00

ウェハ移載機 IDリード付ポシブル製品（自社製品）

特長⚫ Ｃｕプロセス用の移載＆ノーマルプロセスの移載が可能になる設計です（汚染防止）⚫ ３種類（分割・統合・平行移載）の移載方式が可能です （下記図参照）⚫ 数種類のウェハ厚に応じた搬送が可能です⚫ ＩＤリードによるソート機能付です （リード機能なしの選択も可能）

移載方式

分割統合

平行移載

２５枚キャリアから１３枚キャリアへ

１３枚キャリアから２５枚キャリアへ

・２５枚キャリアから２５枚キャリアへ
・１３枚キャリアから１３枚キャリアへ※本製品はカスタム仕様となりますので、仕様打合せの上 製作させていただきます。

✓ 詳しくはお近くの営業所までご相談下さい。

POSSIBLE

Stage Linker
付属ソフトウェア MapLi【概要】
金属顕微鏡･実体顕微鏡のマニュアルステージに組み込んで、実際の顕微鏡の観察位置と、PC画面上のマッピング表示画面とをリンクして観察位置の特定ができます。また様々なアプリケーションを備えており観察したデータの解析・出力が容易に行えます。
半導体分野はもちろんのこと、その他様々な用途としてお使い頂けます。
✓ポイント

実際のステージの動きにリンクします!!

ステージプローブ
データ表示

トレイワーク表示【特長】
お手持ちの顕微鏡に直接改造ができます
比較的安価にできます
不良品の流出防止に対応します
チップ単位での良、不良のマーキングが管理できます
検査結果はエクセル出力が可能です
チップの座標位置が数値で表示されます
微小ワークなどの様々なサイズのワークに対応しています

簡単操作!!
分かり易い!!
充実のオプション内容!!

POSSIBLE

Stage Linker
MapLink

トライアルキット構成内容

基本キット

お客様にてご用意頂くもの

XYエンコーダユニット
USBカウンタユニット
専用ソフト“MapLink”＋

顕微鏡
XYステージ
CCDカメラ
パソコン（OS:Windows 2000以降、ノートまたはデスクトップ）
CCDカメラ、パソコンの最適品を弊社にて準備できます

オプション品
フットスイッチ（現在位置でのワークの判定などにカスタマイズできます）
LEDポインタ ※1（観察レンズ位置以外での目視判定位置をレンズ位置にオフセットできます）
自動ステージ（電動ステージ）への改造対応 ※2
他社製品（プローバ等）とのデータのインポート、エクスポート機能 ※3
その他アプリケーションのカスタマイズ※1
顕微鏡への改造が必要です※2・3 事前に調査が必要です

顕微鏡の新規商品も取り扱っております（OLYMPUS, Nikon, Mitutoyo）
注意事項：顕微鏡の種類によってはお取り付け出来ないものもございますので、予め弊社担当者へご連絡ください
不良品流出防止に役立てる専用ソフト“MapLink”のマージ機能単体でも販売可能です、お気軽にご相談ください【 使用用途 】
ウェハ及び角基板のチップ検査
トレイ上の配列ワークの検査
その他様々な分野に応用できます※このカタログは予告無く記載の内容を変更する場合があります

詳しくはお近くの営業所までお問合せください