岩田・金山・井上・今若・仁宮・田中・玉木・曽田・石飛：プリンテッドエレクトロニクスを志向したスクリーン印刷工法におけるコンタクト方式および版離れ機構の検討

報

文

プリンテッドエレクトロニクスを志向した
スクリーン印刷工法におけるコンタクト方式および版離れ機構の検討
Study of the contact and snap-off mechanism for improvement of
the screen printing method in printed electronics
仁宮

岩田 史郎*・金山 真宏*・井上 淳*・今若 直人*
敏行**・田中 晴之**・玉木 健吾**・曽田 大輔**・石飛浩一**

プリンテッドエレクトロニクス分野への技術展開を志向したスクリーン印刷工法の高度化を目的とし，印刷面における位置精度やインク塗布量の均一性への悪影響が懸念されるコンタクト方式および版離れ機構について検討を行った．スクリーン版と被印刷物の間に間隙を設けないオンコンタクト方式，および印刷面内に回転軸を置いた傾斜式版離れ機構を採用することで，スクリーン印刷において均一なスキージ荷重，円滑な版離れ動作，印刷動作時に生じるスクリーン版の歪みの抑制，およびインク塗布動作と版離れ動作の分割化が可能となった．本報告で検討した方式を用いたスクリーン印刷工法は，従来のオンコンタクト方式と同等の印刷形状を保ちつつ，面内位置精度の向上と，インク塗布量の増加および均一化，さらに設計描画線幅に依存しない安定したインク塗布厚が実現できることから，大面積印刷などによる省コスト化や，機能性イ
ンクを用いた複層構造形成，また高精細かつ均一なパターン描画が要求されるプリンテッドエレクトロニク
ス分野において好適な印刷工法と考えられる．
めている．

1．はじめにプリンテッドエレクトロニクス向けの印刷法として，ス

プリンテッドエレクトロニクスは，電子部品や電子回路

クリーン印刷，グラビアオフセット印刷，フレキソ印刷，を印刷工法により製造するための生産技術，および製造

反転転写印刷，マイクロコンタクト印刷，インクジェット

された電子部品もしくは電子回路そのものを指す技術用

印刷，3 D 印刷など多種多様な印刷法が検討されている．

1）

語として一般に知られている ．生産技術としてのプリン

その内，スクリーン印刷法は，簡便な工程，大面積化が容テッドエレクトロニクスのメリットには，廃棄材料の削易，機器導入や製版に掛かる費用が安価といった特長を減，低導入コスト，低使用電力による省コスト性ととも持っており，さらに他の印刷法に比べて厚い塗布膜が印刷に，大面積化，ロール to ロール工法対応による高生産性，できること，重ね刷りによる高アスペクト膜の実現や機能

さらに可撓性基板，伸縮性基板，非平坦面上への印刷によ

性インクによる複層構造が可能であること，また既に電子る多機能性が挙げられる．

部品等の製造工程での使用実績があることから，最も成熟した印刷法といわれている 9）．

プリンテッドエレクトロニクスは，これまでにメンブレ
ンスイッチやセラミックコンデンサーの電極，太陽電池のスクリーン印刷の主な構成を図 1 に示す．スクリーン印

集電線，液晶に使われるカラーフィルタのマスク，色素増

刷は，被印刷物が固定されるステージ，対象となる印刷形

感太陽電池セルなどの製造に用いられてきた 1），2）．また近状がパターニングされたスクリーン版，インクを摺るため

年では，有機発光素子照明

3）
，4）

5）

，近接センサー ，圧力セのスキージバーで構成される．一般的なスクリーン印刷法

ンサー 6），RF タグ用アンテナ 7），生体調和センサー 8）などの印刷原理は，スクリーン版をステージ上の被印刷物の最の製造方法として研究が進められており，従来の電子部上面に対して間隙を設けて平行に固定し，X 軸に平行に配品・電子回路の製造業界あるいは印刷業種だけでなく，装置された樹脂製のスキージバーを－ Z 方向に押し込みな置メーカー，材料メーカー，センサーデバイスメーカー，

がら＋ Y 方向に摺動することで，スクリーン版上のイン自動車部品メーカー，情報通信業，ヘルスケア業界，介クがパターニングされた開口部を通じて被印刷物に塗布

護・保育・障がい者福祉業界など幅広い分野から注目を集されるというものである．
またスクリーン版は，金属製の外枠と，ステンレス材や＊有機フレキシブルエレクトロニクス技術開発プロジェクトチーム
株式会社曽田鐵工

ポリエステル材などによるスクリーンメッシュ，さらに開

＊＊

─1─

島根県産業技術センター研究報告第53号 （2017）

図 22図 スキージ荷重の均一性評価
スキージ荷重の均一性評価
2 スキージ荷重の均一性評価
図の設定スキージ圧はの設定スキージ圧は200kPa200kPaとした．
とした．
間隙幅を過度に設けるとスクリーン版を破損させる恐スキージバーにはマイクロテック社製のマイクロスキー
スキージバーにはマイクロテック社製のマイクロスキーれがあるため，間隙幅の最大値は3.0mm とした．また試

図図
1図1スクリーン印刷法の概略図
1 スクリーン印刷法の概略図
スクリーン印刷法の概略図

ジジ
B70(270mm
B70(270mm長)を，スクリーン版には中沼アートスクリ長)を，スクリーン版には中沼アートスクリ
験時の設定スキージ圧は200kPa とした．
＋Y口部を設けた感光性乳剤により構成される．外枠に紗張＋Y方向への摺動の際，－Z方向への摺動の際，－Z方向に押し込められたメッシ
方向に押し込められたメッシ ーン社製のステンレスメッシュスクリーン版(内寸ーン社製のステンレスメッシュスクリーン版(内寸
490mm
490mm
スキージバーにはマイクロテック社製のマイクロス
ュはスキージの通過後に元に戻り，被印刷物とスクリーン
ュはスキージの通過後に元に戻り，被印刷物とスクリーン □)をそれぞれ用いた．スキージ荷重の測定には，ニューロ□)をそれぞれ用いた．スキージ荷重の測定には，ニューロ
キージ
B70（270mm 長）を，スクリーン版には中沼アーりされるメッシュは張力を有しているため，スキージバー
版は自発的に乖離(版離れ)する．
版は自発的に乖離(版離れ)する．
ング精密工業社製のシート型スキージバランス測定器
ング精密工業社製のシート型スキージバランス測定器
SB SB
トスクリーン社製のステンレスメッシュスクリーン版（内の＋Y 方向への摺動の際，－ Z 方向に押し込められたメッスクリーン印刷の一般的な技術課題として，比較的インスクリーン印刷の一般的な技術課題として，比較的イン メジャーBM-01
を使用した．
を使用した．
寸 メジャーBM-01
490mm □）をそれぞれ用いた．スキージ荷重の測定に
シュはスキージの通過後に元に戻り，被印刷物とスクリー
クの粘度が高いことから印刷された構造体の表面平坦性が
クの粘度が高いことから印刷された構造体の表面平坦性が 2.2
2.2
テストパターンの形状観察
テストパターンの形状観察
は，ニューロング精密工業社製のシート型スキージバラン
ン版は自発的に乖離（版離れ）する．
劣ること，インク滲みを抑制するために被印刷物の臨界表
劣ること，インク滲みを抑制するために被印刷物の臨界表
スクリーン印刷の一般的な技術課題として，比較的インコンタクト方式および版離れ機構が印刷形状に与える影コンタクト方式および版離れ機構が印刷形状に与える影ス測定器
SB メジャー BM-01 を使用した．

面張力に対して比較的表面張力の低い溶剤を用いたインク
面張力に対して比較的表面張力の低い溶剤を用いたインク 響について評価するため，
テストパターンを印刷し，テストパターンを印刷し，その形
その形
2.2響について評価するため，
テストパターンの形状観察
クの粘度が高いことから印刷された構造体の表面平坦性を選択する必要があること，輪転印刷に比べて製造動作時を選択する必要があること，輪転印刷に比べて製造動作時 状を観察した．図状を観察した．図3 に評価に用いたコンタクト方式および3 に評価に用いたコンタクト方式およびコンタクト方式および版離れ機構が印刷形状に与えるが劣ること，インク滲みを抑制するために被印刷物の臨界間が長いこと，印刷時のインクの乾燥や溶剤の大気暴露が間が長いこと，印刷時のインクの乾燥や溶剤の大気暴露が 版離れ機構の概略図を示す．
版離れ機構の概略図を示す．
影響について評価するため，テストパターンを印刷し，そ表面張力に対して比較的表面張力の低い溶剤を用いたイ1), 9),
1),10)
9), 10)
ンクを選択する必要があること，輪転印刷に比べて製造動．また前述したス．また前述したス懸念されることなどが挙げられる
懸念されることなどが挙げられるの形状を観察した．図3 に評価に用いたコンタクト方式
図 図3(a)に示すオフコンタクト方式での間隙幅は3(a)に示すオフコンタクト方式での間隙幅は3.1 3.1
項で項でおよび版離れ機構の概略図を示す．
作時間が長いこと，印刷時のインクの乾燥や溶剤の大気暴
クリーン版と被印刷物の間に間隙を設ける方式(オフコン
クリーン版と被印刷物の間に間隙を設ける方式(オフコン 後述するスキージ荷重の測定結果から後述するスキージ荷重の測定結果から
2.0mm
2.0mm
とした．
とした．
一方，
一方，
1）
，9）
，10）
．また前述
3（a）に示すオフコンタクト方式での間隙幅は3.1 項
露が懸念されることなどが挙げられる
タクト方式)においては，印刷時の版の撓みや張力が，印刷
タクト方式)においては，印刷時の版の撓みや張力が，印刷
図図
図3(b)および(c)のオンコンタクト方式では，印刷時の間隙
3(b)および(c)のオンコンタクト方式では，印刷時の間隙したスクリーン版と被印刷物の間に間隙を設ける方式（オで後述するスキージ荷重の測定結果から
2.0mm とした．
位置精度や塗布量の均一性の阻害要素となりうるため，微位置精度や塗布量の均一性の阻害要素となりうるため，微 幅を
幅を0.0mm，機械的版離れ動作後の間隙幅を同じく0.0mm，機械的版離れ動作後の間隙幅を同じく
2.0mm
2.0mm
フコンタクト方式）においては，印刷時の版の撓みや張力
一方，図3（b）および（c）のオンコンタクト方式では，
細パターンの描画や均一なインク塗布量が求められる際に細パターンの描画や均一なインク塗布量が求められる際に とした．機械的版離れ動作は垂直式もしくは傾斜式にて試とした．機械的版離れ動作は垂直式もしくは傾斜式にて試が，印刷位置精度や塗布量の均一性の阻害要素となりうる
印刷時の間隙幅を0.0mm，機械的版離れ動作後の間隙幅は留意を要する．
は留意を要する．
験を実施し，
験を実施し，
傾斜式版離れ動作においては，
傾斜式版離れ動作においては，その回転動作のその回転動作のため，微細パターンの描画や均一なインク塗布量が求めら
を同じく
2.0mm
とした．機械的版離れ動作は垂直式もし本報では，プリンテッドエレクトロニクス分野への技術
本報では，プリンテッドエレクトロニクス分野への技術 軸を印刷面内に配置した場合（図軸を印刷面内に配置した場合（図3(c-1)）と，印刷面から上
3(c-1)）と，印刷面から上れる際には留意を要する．
くは傾斜式にて試験を実施し，傾斜式版離れ動作におい展開を志向したスクリーン印刷技術の高度化を念頭に，従展開を志向したスクリーン印刷技術の高度化を念頭に，従 方
方
80mm
80mm
に配置した場合（図に配置した場合（図3(c-2)）について評価を行っ
3(c-2)）について評価を行っ本報では，プリンテッドエレクトロニクス分野への技ては，その回転動作の軸を印刷面内に配置した場合（図3
来のオフコンタクト方式と，版と被印刷物の間に間隙を設
来のオフコンタクト方式と，版と被印刷物の間に間隙を設た．
た．
垂直式版離れ動作における版離れ後の間隙幅は，
垂直式版離れ動作における版離れ後の間隙幅は，
スクリ
スクリ
術展開を志向したスクリーン印刷技術の高度化を念頭に，）と，印刷面から上方80mmに配置した場合（図 3
けないオンコンタクト方式との比較検討を行った．またオ
けないオンコンタクト方式との比較検討を行った．またオ （c-1）
ーン版全面においてーン版全面において
2.0mm
2.0mm
となるが，傾斜式版離れ動作でとなるが，傾斜式版離れ動作で従来のオフコンタクト方式と，版と被印刷物の間に間隙を）について評価を行った．垂直式版離れ動作におけ
ンコンタクト方式では自発的な版離れ動作が得られないた
ンコンタクト方式では自発的な版離れ動作が得られないた （c-2）
は，スクリーン版の回転軸側では，スクリーン版の回転軸側で0.0mm，回転軸の反対側で0.0mm，回転軸の反対側でる版離れ後の間隙幅は，
スクリーン版全面において2.0mm
設けないオンコンタクト方式との比較検討を行った．まため，新たに付与する必要がある機械的な版離れ機構についめ，新たに付与する必要がある機械的な版離れ機構につい 2.0mm
2.0mmと連続的に変化することとなる．印刷試験時の設定と連続的に変化することとなる．印刷試験時の設定となるが，傾斜式版離れ動作では，スクリーン版の回転オンコンタクト方式では自発的な版離れ動作が得られなて検討を行った．さらにこの間隙がスキージ荷重の均一性て検討を行った．さらにこの間隙がスキージ荷重の均一性 スキージ圧はスキージ圧は160kPa，スキージ速度は160kPa，スキージ速度は55mm/s55mm/sとした．
とした．

いため，新たに付与する必要がある機械的な版離れ機構に0.0mm，回転軸の反対側で2.0mmと連続的に変化に与える影響，コンタクト方式および版離れ機構が印刷形に与える影響，コンタクト方式および版離れ機構が印刷形 軸側で
インク
インク
はアサ
はアサ
ヒ化
ヒ化
学研
学研
究所社
究所社
製の
製の
低温焼
低温焼
成銀
成銀
ペー
ペー
スト
スト
することとなる．印刷試験時の設定スキージ圧は160kPa，
ついて検討を行った．さらにこの間隙がスキージ荷重の均状，状，印刷位置精度，印刷位置精度，およびインク塗布量の均一性に与える影
およびインク塗布量の均一性に与える影 LS-460H-1，
LS-460H-1，
被印刷物は
被印刷物は
folex
folex
社製ポリエステルフィルム
社製ポリエステルフィルム
FX-FXスキージ速度は55mm/sとした．
一性に与える影響，コンタクト方式および版離れ機構が印響についてそれぞれ評価し，スクリーン印刷法のプリンテ
響についてそれぞれ評価し，スクリーン印刷法のプリンテ 100(297mmL×420mmW×100mt)，機械的版離れ機構は曽田100(297mmL×420mmW×100mt)，機械的版離れ機構は曽田
刷形状，印刷位置精度，およびインク塗布量の均一性に与インクはアサヒ化学研究所社製の低温硬化銀ペースト
ッドエレクトロニクス分野への好適性について総合的に考ッドエレクトロニクス分野への好適性について総合的に考 鐵工社製の機械的版離れ機構をそれぞれ用いた．またスキ鐵工社製の機械的版離れ機構をそれぞれ用いた．またスキLS-460H-1，被印刷物は folex 社製ポリエステルフィルム
える影響についてそれぞれ評価し，スクリーン印刷法のプ察を行った．
察を行った．
ージバーとスクリーン版はージバーとスクリーン版は2.1 2.1
項と同じもの用いた．
項と同じもの用いた．
テスト
テスト
リンテッドエレクトロニクス分野への好適性について総FX-100（297mmL × 420mmW × 100μmt）， 機 械 的 版 離パターンの形状観察には，ニコン社製のパターンの形状観察には，ニコン社製の
CNC
CNC
画像測定シス
画像測定シス
2. 2.試料および方法
試料および方法合的に考察を行った．
れ機構は曽田鐵工社製の機械的版離れ機構をそれぞれ用
テム
テム
NEXIV
NEXIV
VM-500N
VM-500Nを使用した．
を使用した．
いた．またスキージバーとスクリーン版は 2.1 項と同じも
2.1 2.1
スキージ荷重の測定
スキージ荷重の測定
2.3 2.3
印刷位置精度の評価
印刷位置精度の評価
2．試料および方法の用いた．テストパターンの形状観察には，ニコン社製のスクリーン版と被印刷物の間の間隙を変化させたときのスクリーン版と被印刷物の間の間隙を変化させたときのオフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離オフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離CNC 画像測定システム NEXIV VM-500N を使用した．
2.1 スキージ荷重の測定
スキージ荷重の均一性について評価するため，スキージバ
スキージ荷重の均一性について評価するため，スキージバ れ：印刷面内回転軸配置)が，印刷位置精度に与える影響にれ：印刷面内回転軸配置)が，印刷位置精度に与える影響にスクリーン版と被印刷物の間の間隙を変化させたとき
2.3 印刷位置精度の評価
ーとスクリーン版を用いて，スキージバー中央部と端部にーとスクリーン版を用いて，スキージバー中央部と端部に ついて評価を行った．図
ついて評価を行った．図4 に評価に用いた印刷パターンの4 に評価に用いた印刷パターンののスキージ荷重の均一性について評価するため，スキージ
オフコンタクト方式とオンコンタクト方式（傾斜式版離掛かる単位長さあたりの荷重の測定を行った．図
掛かる単位長さあたりの荷重の測定を行った．図2 に測定
2 に測定 例を示す．
例を示す．
バーとスクリーン版を用いて，スキージバー中央部と端部
れ：印刷面内回転軸配置）が，印刷位置精度に与える影
概要を示す．
概要を示す．
内寸サイズ
内寸サイズ
370mm□のスクリーン版に対して，印刷領域
370mm□のスクリーン版に対して，印刷領域に掛かる単位長さあたりの荷重の測定を行った．図 2 に測響について評価を行った．図 4 に評価に用いた印刷パター
間隙幅を過度に設けるとスクリーン版を破損させる恐れ
間隙幅を過度に設けるとスクリーン版を破損させる恐れ を 80mm□(版枠利用率
を 80mm□(版枠利用率
21.6%，
21.6%，
印刷点数
印刷点数
81 点)から，
81 点)から，
260mm
260mm
定概要を示す．
ンの例を示す．
があるため，間隙幅の最大値はがあるため，間隙幅の最大値は
3.0mm
3.0mm
とした．また試験時とした．また試験時 □(版枠利用率□(版枠利用率
70.2%，印刷点数70.2%，印刷点数
729729点)まで変化させ，それ点)まで変化させ，それ─2─岩田・金山・井上・今若・仁宮・田中・玉木・曽田・石飛：プリンテッドエレクトロニクスを志向したスクリーン印刷工法におけるコンタクト方式および版離れ機構の検討

図図
3 図3コンタクト方式と版離れ機構
3 コンタクト方式と版離れ機構
コンタクト方式と版離れ機構（a）オフコンタクト方式(a)オフコンタクト方式(a)オフコンタクト方式（b）オンコンタクト方式（垂直式版離れ）(b)オンコンタクト方式(垂直式版離れ)(b)オンコンタクト方式(垂直式版離れ)（c-1）オンコンタクト方式（傾斜式版離れ: 印刷面内回転軸配置）(c-1)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ:印刷面内回転軸配置)(c-1)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ:印刷面内回転軸配置)（c-2）オンコンタクト方式（傾斜式版離れ: 印刷面上方回転軸配置）(c-2)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ:印刷面上方回転軸配置)(c-2)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ:印刷面上方回転軸配置)

ぞれの印刷領域(版枠利用率)における面内印刷誤差をパタぞれの印刷領域(版枠利用率)における面内印刷誤差をパタ
内寸サイズ 370mm □のスクリーン版に対して，印刷領
ーン基準点と印刷点の距離として定義し，誤差発生頻度のーン基準点と印刷点の距離として定義し，誤差発生頻度の域を 80mm □（版枠利用率 21.6％，印刷点数 81 点）から，評価を行った．印刷試験時の設定スキージ圧は評価を行った．印刷試験時の設定スキージ圧は160kPa，ス
160kPa，ス
260mm □（版枠利用率 70.2％，印刷点数 729 点）まで変キージ速度はキージ速度は55mm/s55mm/sとした．
とした．
化させ，それぞれの印刷領域（版枠利用率）における面内
スクリーン版には中沼アートスクリーン社製のステンレ
スクリーン版には中沼アートスクリーン社製のステンレ
図 4 図印刷領域と印刷位置精度評価用の印刷パターン
4 印刷領域と印刷位置精度評価用の印刷パターン
印刷誤差をパターン基準点と印刷点の距離として定義し，
図 4 印刷領域と印刷位置精度評価用の印刷パターン
スメッシュ版(370mm□)を用いた．またインク，被印刷物，
スメッシュ版(370mm□)を用いた．またインク，被印刷物，
誤差発生頻度の評価を行った．印刷試験時の設定スキージ
スキージバーおよび機械的版離れ機構はスキージバーおよび機械的版離れ機構は2.2 2.2
項と同じもの項と同じもの圧は 160kPa，スキージ速度は 55mm/s とした．
ジバー，スクリーン版，インク，および機械的版離れ機構
3. 3.
結果と考察
結果と考察
を用いた．スクリーン版のパターン基準点および印刷点のを用いた．スクリーン版のパターン基準点および印刷点のスクリーン版には中沼アートスクリーン社製のステンは 2.2 項と同じものを用い，印刷物の熱処理条件は 130℃，
スキージ荷重の測定
スキージ荷重の測定
位置計測には，2.2
位置計測には，2.2
項と同様
項と同様
CNCCNC
画像測定システムを使用
画像測定システムを使用 3.1 3.1
レスメッシュ版（370mm □）を用いた．またインク，被30 分間とした．電流−電圧特性評価には，Keithley 社製
スクリーン版と被印刷物の間の間隙をスクリーン版と被印刷物の間の間隙を
0.0mm
0.0mm
からから
3.0mm
3.0mm
した．
した．
印刷物，スキージバーおよび機械的版離れ機構は 2.2 項とSource Meter 2400 を用いた．
まで変化させたときのスキージ荷重の均一性について評価まで変化させたときのスキージ荷重の均一性について評価
2.4 2.4
導線パターンの電気抵抗値評価
導線パターンの電気抵抗値評価
同じものを用いた．スクリーン版のパターン基準点および3．結果と考察を行った．スキージバーの中央部および端部におけるスキ
オフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離オフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離 を行った．スキージバーの中央部および端部におけるスキ印刷点の位置計測には，2.2 項と同様 CNC 画像測定シス
ージ荷重の間隙依存性を図5 に示す．
5 に示す．
れ：印刷面内回転軸配置)が，インク塗布量に与える影響にれ：印刷面内回転軸配置)が，インク塗布量に与える影響に ージ荷重の間隙依存性を図
テムを使用した．
3.1 スキージ荷重の測定
図 5図より，間隙の増加に伴い，中央部と端部ともスキー
5 より，間隙の増加に伴い，中央部と端部ともスキー
ついて評価するため，印刷した導電線パターンの電気抵抗ついて評価するため，印刷した導電線パターンの電気抵抗2.4 導線パターンの電気抵抗値評価
ス ク リ ー ン 版 と 被 印 刷 物 の 間 の 間 隙 を 0.0mm か ら
ジ荷重が低下し，また二つの値が徐々に乖離していくこと
ジ荷重が低下し，また二つの値が徐々に乖離していくこと
値測定を行った．
値測定を行った．
オフコンタクト方式とオンコンタクト方式（傾斜式版離3.0mm まで変化させたときのスキージ荷重の均一性につが分かった．この傾向はスキージバーに対して－Z
方向に方向に
導電線パターンの設計線幅は，30m，50m，100m
導電線パターンの設計線幅は，30m，50m，100mとしとし が分かった．この傾向はスキージバーに対して－Z
れ：印刷面内回転軸配置）が，インク塗布量に与える影響
いて評価を行った．スキージバーの中央部および端部にお掛かるスキージ荷重に対し，＋Z方向に生じるスクリーン方向に生じるスクリーン
た．また描画線長はた．また描画線長は10mm
10mmとした．印刷した導電線パターとした．印刷した導電線パター 掛かるスキージ荷重に対し，＋Zについて評価するため，印刷した導電線パターンの電気抵
けるスキージ荷重の間隙依存性を図5 に示す．

版からの反張力による影響と考えられる．
ンの電気抵抗値測定は，電流‐電圧特性評価より算出した．
ンの電気抵抗値測定は，電流‐電圧特性評価より算出した． 版からの反張力による影響と考えられる．
抗値測定を行った．
図5 より，間隙の増加に伴い，中央部と端部ともスキー
スクリーン印刷においてインクを一様に塗布するには，
スクリーン印刷においてインクを一様に塗布するには，
印刷試験時の設定スキージ圧は印刷試験時の設定スキージ圧は160kPa，スキージ速度は160kPa，スキージ速度は
導電線パターンの設計線幅は，30μm，50μm，100μm
ジ荷重が低下し，また二つの値が徐々に乖離していくこと

印刷面内で均一なスキージ荷重が求められるため，一様で印刷面内で均一なスキージ荷重が求められるため，一様で55mm/s55mm/sとした．
とした．
とした．また描画線長は10mm とした．印刷した導電線が分かった．この傾向はスキージバーに対して－
Z 方向
均一なスキージ荷重を得るには，間隙幅均一なスキージ荷重を得るには，間隙幅
2.0mm
2.0mm
程度以下が
程度以下が
被印刷物は，帝人デュポンフィルム社製ポリエチレンナ
被印刷物は，帝人デュポンフィルム社製ポリエチレンナ
パターンの電気抵抗値測定は，電流−電圧特性評価より算に掛かるスキージ荷重に対し，＋ Z 方向に生じるスクリー
好ましいことが示唆された．
好ましいことが示唆された．
フタレートネオテックス
フタレートネオテックス
Q51(210mmH×297mmW×100mt，
Q51(210mmH×297mmW×100mt，出した．印刷試験時の設定スキージ圧は160kPa，スキーン版からの張力による影響と考えられる．
3.2
テストパターンの形状観察
テストパターンの形状観察
ガラス転移温度
ガラス転移温度
155ºC)を用いた．またスキージバー，スク
155ºC)を用いた．またスキージバー，スク 3.2 スクリーン印刷においてインクを一様に塗布するには，
ジ速度は55mm/sとした．

図 3図に示したそれぞれのコンタクト方式および版離れ機
3 に示したそれぞれのコンタクト方式および版離れ機
リーン版，
リーン版，
インク，および機械的版離れ機構はインク，および機械的版離れ機構は2.2 項と同じ
2.2 項と同じ 印刷面内で均一なスキージ荷重が求められるため，一様で
被印刷物は，帝人デュポンフィルム社製ポリエチレン
構が印刷形状に与える影響について，テストパターンを印
構が印刷形状に与える影響について，テストパターンを印ものを用い，
ものを用い，
印刷物の熱処理条件は印刷物の熱処理条件は130ºC，
130ºC，
30×分間とした．
30
分間とした．
ナフタレートネオテックス
Q51（210mmH
297mmW×
均一なスキージ荷重を得るには，間隙幅2.0mm 程度以下
刷し，その形状観察により評価した．
その形状観察により評価した．
各条件で印刷したテス
各条件で印刷したテス
電流‐電圧特性評価には，
電流‐電圧特性評価には，
Keithley
Keithley社製社製
SourceSourceMeter2400
Meter2400
を を 刷し，100μmt，ガラス転移温度155℃）を用いた．またスキーが好ましいことが示唆された．
トパターン像を図
トパターン像を図6 に示す．
6 に示す．
用いた．
用いた．
─3─

島根県産業技術センター研究報告

構が印刷形状に与える影響について，テストパターンを印0.55
刷し，その形状観察により評価した．各条件で印刷したテ
0.50

ストパターン像を図 6 に示す．
0.45
図6（a）のオフコンタクト方式では，滲み無く鮮明なテストパターンが観察された．一方，図6（b）の垂直式
0.40

版離れ動作によるオンコンタクト方式では，テストパター
0.35

ンの周囲にインク滴の飛散が観察された．また傾斜式版離
0.30
れ動作の場合では，（c-1）印刷面内に回転軸が配置された
0.0

0.5

1.0

1.5

2.0

2.5

3.0

3.5

ときには，オフコンタクト方式と同様に滲みの無い印刷形
Clearance [mm]状が観察されるものの，（c-2）印刷面から上方 80mm に回
図 5 スクリーン版－ステージの間隙幅とスキージ荷重
転軸が配置されたときには，－ Y 方向にパターンが引きずられたような印刷形状が観察された．
図 6（b）の垂直式版離れ動作におけるインク飛散は，
高粘度インクによって接着していたスクリーン版と被印刷物の割裂様の急激な版離れ挙動によるものと考えられる．

Sqeegee
Sqeegeeload
load[kgf/cm][kgf/cm]

0.65
0.65
0.60
0.60

CenterCenter
Edge
Edge

0.55
0.55
0.50
0.50
0.45
0.45
0.40
0.40
0.35
0.35
0.30
図 6 版離れ機構とテスト印刷パターンの外観
0.30
0.0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0

3.5

(a)オフコンタクト方式
0.0
0.5
1.0 Clearance
1.5
2.0
3.0
3.5
[mm] 2.5(b)オンコンタクト方式(垂直式版離れ)Clearance [mm](c-1)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面内回転軸配置)
図 5 スクリーン版－ステージの間隙幅とスキージ荷重
図
図55 スクリーン版－ステージの間隙幅とスキージ荷重
スクリーン版－ステージの間隙幅とスキージ荷重(c-2)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面上方回転軸配置)

図 6(a)のオフコンタクト方式では，滲み無く鮮明なテス
トパターンが観察された．一方，図 6(b)の垂直式版離れ動作によるオンコンタクト方式では，テストパターンの周囲にインク滴の飛散が観察された．また傾斜式版離れ動作の場
合では，(c-1)印刷面内に回転軸が配置されたときには，オフコンタクト方式と同様に滲みの無い印刷形状が観察されるものの，(c-2)印刷面から上方 80mm に回転軸が配置された
ときには，－Y 方向にパターンが引きずられたような印刷形状が観察された．
図 6(b)の垂直式版離れ動作におけるインク飛散は，高粘度インクによって接着していたスクリーン版と被印刷物の割裂様の急激な版離れ挙動によるものと考えられる．
また図 6(c-2)の印刷面から上方 80mm に回転軸を配置した傾斜式版離れ動作における引きずりパターン形状から，
図66 版離れ機構とテスト印刷パターンの外観
版離れ機構とテスト印刷パターンの外観
図

図 6 版離れ機構とテスト印刷パターンの外観
印刷面上方回転軸配置時の版離れ動作は，単純な＋Z
軸方（a）オフコンタクト方式(a)オフコンタクト方式(a)オフコンタクト方式（b）オンコンタクト方式（垂直式版離れ）(b)オンコンタクト方式(垂直式版離れ)向の垂直動作だけでなく，－Y
方向への平行動作を含有し(b)オンコンタクト方式(垂直式版離れ)（c-1）オンコンタクト方式（傾斜式版離れ：印刷面内回転軸配置）(c-1)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面内回転軸配置)(c-1)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面内回転軸配置)（c-2）オンコンタクト方式（傾斜式版離れ：印刷面上方回転軸配置）(c-2)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面上方回転軸配置)
た複合動作であることが示唆された．一方，図6(c-1)の印刷(c-2)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面上方回転軸配置)

置した傾斜式版離れ動作における引きずりパターン形状
動作を抑制することができ，円滑な版離れ動作による良好から，印刷面上方回転軸配置時の版離れ動作は，単純な＋な印刷形状が得られた．
Z 軸方向の垂直動作だけでなく，－
Y 方向への平行動作
3.3
印刷位置精度の評価を含有した複合動作であることが示唆された．一方，図6
オフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離（c-1）の印刷面内に回転軸を配置した傾斜式版離れ動作でれ：印刷面内回転軸配置)が，印刷位置精度に与える影響には，動作の回転軸をステージ面内に配置することで，－ Y
ついて評価を行った．図 7 に各印刷領域における面内印刷
方向への平行動作を抑制することができ，円滑な版離れ動
誤差量の発生頻度を累計度数解析した結果を示す．
作による良好な印刷形状が得られた．
図 7 より，印刷領域が 80mm□(版枠利用率 21.6%)のとき，
3.3 印刷位置精度の評価
面内印刷誤差量の発生頻度にコンタクト方式間の差異はみオフコンタクト方式とオンコンタクト方式（傾斜式版離られず，ともに誤差量 10m 以下に 90%以上の印刷点が分れ：印刷面内回転軸配置）が，印刷位置精度に与える影響
布していることが分かった．しかしながら印刷領域を拡大について評価を行った．図 7 に各印刷領域における面内印させるにしたがい印刷誤差精度は徐々に低下し，印刷領域
刷誤差量の発生頻度を累計度数解析した結果を示す．
260mm□(版枠利用率 70.2%)における誤差量 10m 以下の印
図 7 より，印刷領域が 80mm □（版枠利用率 21.6％）
刷点の発生頻度は，オフコンタクト方式では約 40%，オンのとき，面内印刷誤差量の発生頻度にコンタクト方式間のコンタクト方式では 80%弱にまで低下した．またその時の差異はみられず，ともに誤差量 10μm 以下に 90％以上の面内印刷誤差の最大量は，オフコンタクト方式では 50～
面内に回転軸を配置した傾斜式版離れ動作では，動作の回
印刷点が分布していることが分かった．しかしながら印刷
面内に回転軸を配置した傾斜式版離れ動作では，動作の回
60m，オンコンタクト方式では20～30m であった．
転軸をステージ面内に配置することで，－Y 方向への平行領域を拡大させるにしたがい印刷位置精度は徐々に低下
転軸をステージ面内に配置することで，－Y方向への平行
印刷領域の拡大に伴う印刷位置精度の低下は，オフコン
動作を抑制することができ，円滑な版離れ動作による良好
し，印刷領域260mm □（版枠利用率 70.2％）における誤動作を抑制することができ，円滑な版離れ動作による良好
タクト方式による印刷時のスクリーン版の歪みに起因するな印刷形状が得られた．
差量10μm 以下の印刷点の発生頻度は，オフコンタクト
な印刷形状が得られた．
ものと考えられる．印刷領域の拡大と高い印刷位置精度を
3.3 印刷位置精度の評価
方式では約40％，オンコンタクト方式では 80％弱にまで
3.3 印刷位置精度の評価両立させたスクリーン印刷には，傾斜式版離れのオンコン
オフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離オフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面内回転軸配置)が，印刷位置精度に与える影響にれ：印刷面内回転軸配置)が，印刷位置精度に与える影響に100
ついて評価を行った．図 7 に各印刷領域における面内印刷
ついて評価を行った．図
7 に各印刷領域における面内印刷
Print area
90
誤差量の発生頻度を累計度数解析した結果を示す．
80mm□
誤差量の発生頻度を累計度数解析した結果を示す．
807 より，
図
印刷領域が 80mm□(版枠利用率
21.6%)のとき，120mm□
図 7 より，印刷領域が 80mm□(版枠利用率 21.6%)のとき，160mm□
面内印刷誤差量の発生頻度にコンタクト方式間の差異はみ
70
面内印刷誤差量の発生頻度にコンタクト方式間の差異はみ180mm□られず，ともに誤差量
10m 以下に 90%以上の印刷点が分60
られず，ともに誤差量
10m 以下に 90%以上の印刷点が分220mm□
布していることが分かった．しかしながら印刷領域を拡大
50布していることが分かった．しかしながら印刷領域を拡大
240mm□させるにしたがい印刷誤差精度は徐々に低下し，印刷領域
260mm□させるにしたがい印刷誤差精度は徐々に低下し，印刷領域
40260mm□(版枠利用率 70.2%)における誤差量 10m(a) 以下の印
260mm□(版枠利用率 70.2%)における誤差量 10m以下の印
30
刷点の発生頻度は，オフコンタクト方式では約 40%，オン
0-10 10-20 20-30 30-40 40-50 50-60 60-70 70-80
刷点の発生頻度は，オフコンタクト方式では約40%，オンコンタクト方式では80%弱にまで低下した．またその時のDistance froma reference position [m]コンタクト方式では80%弱にまで低下した．またその時のCumulative freqency [%]Sqeegee load [kgf/cm]

Center0.60
Edge
図3 に示したそれぞれのコンタクト方式および版離れ機

面内に回転軸を配置した傾斜式版離れ動作では，動作の回
また図 6（c-2）の印刷面から上方 80mm に回転軸を配転軸をステージ面内に配置することで，－Y方向への平行

面内印刷誤差の最大量は，オフコンタクト方式では 50～
面内印刷誤差の最大量は，オフコンタクト方式では
50～100
60m，オンコンタクト方式では 20～30m であった．
60m，オンコンタクト方式では20～30m
Print areaであった．
90
印刷領域の拡大に伴う印刷位置精度の低下は，オフコン
印刷領域の拡大に伴う印刷位置精度の低下は，オフコン
80mm□
80
タクト方式による印刷時のスクリーン版の歪みに起因する
120mm□
タクト方式による印刷時のスクリーン版の歪みに起因するものと考えられる．印刷領域の拡大と高い印刷位置精度を
70
160mm□
ものと考えられる．印刷領域の拡大と高い印刷位置精度を
180mm□
両立させたスクリーン印刷には，傾斜式版離れのオンコン60両立させたスクリーン印刷には，傾斜式版離れのオンコン
220mm□
50
240mm□
100
260mm□
100
40
Print area (b)90Print area
90
80mm□
30
80mm□
80 0-10 10-20 20-30 30-40 40-50 50-60 60-70
70-80
120mm□
80
Distance from a reference position120mm□[m]
160mm□
70
160mm□
70
180mm□
図77 印刷領域と印刷位置誤差量の発生頻度累計度数
図60
印刷領域と印刷位置誤差量の発生頻度累計度数
180mm□(a)オフコンタクト方式
220mm□
60（a）オフコンタクト方式
220mm□(b)オンコンタクト方式(傾斜式版離れ：印刷面内回転軸配置)（b）オンコンタクト方式（傾斜式版離れ：印刷面内回転軸配置）
50240mm□
50
240mm□
260mm□
40
260mm□

図 6(a)のオフコンタクト方式では，滲み無く鮮明なテス
図 6(a)のオフコンタクト方式では，滲み無く鮮明なテス
─4─
トパターンが観察された．一方，図 6(b)の垂直式版離れ動作
トパターンが観察された．一方，図 6(b)の垂直式版離れ動作によるオンコンタクト方式では，テストパターンの周囲にによるオンコンタクト方式では，テストパターンの周囲に

Cumulative frequency [%]テストパターンの形状観察

Cumulative
Cumulativefreqency
freqency[%]
[%]

0.65

3.2

第53号 （2017）

40
30
30

(a)
(a)

0-10 10-20 20-30 30-40 40-50 50-60 60-70 70-80
0-10 10-20 20-30 30-40 40-50 50-60 60-70 70-80

Distance from a reference position [m]

岩田・金山・井上・今若・仁宮・田中・玉木・曽田・石飛：プリンテッドエレクトロニクスを志向したスクリーン印刷工法におけるコンタクト方式および版離れ機構の検討

4.

タクト方式が適していることが示唆された．
低下した．またその時の面内印刷誤差の最大量は，オフコ
3.4
導線パターンの電気抵抗値評価
ンタクト方式では
50 ～ 60μm，オンコンタクト方式ではオフコンタクト方式とオンコンタクト方式(傾斜式版離
20
～
30μm
であった．
れ：印刷面内回転軸配置)が，インク塗布量に与える影響に
印刷領域の拡大に伴う印刷位置精度の低下は，オフコン
ついて評価するため，印刷した導電線パターンの電気抵抗
タクト方式による印刷時のスクリーン版の歪みに起因す
値測定を行った．図
8 に設計線幅の逆数と単位長さ当たりるものと考えられる．印刷領域の拡大と高い印刷位置精度の電気抵抗値を示す．
を両立させたスクリーン印刷には，傾斜式版離れのオンコ
図 8 より，すべての設計線幅において，オンコンタクト

ンタクト方式が適していることが示唆された．
方式で印刷した導電線の方がオフコンタクト方式に比べて，3.4 導線パターンの電気抵抗値評価
電気抵抗値が低く，かつ各測定値(測定数n=20)のバラつき

オフコンタクト方式とオンコンタクト方式（傾斜式版離が小さいことが分かった．またオンコンタクト方式で印刷
れ：印刷面内回転軸配置）が，インク塗布量に与える影響
した導電線の電気抵抗値の方が，設計線幅の逆数に対して，について評価するため，印刷した導電線パターンの電気抵より線形的な傾向を示した．
抗値測定を行った．図 8 に設計線幅の逆数に対する単位長
R=・L/(W×t) ・・・・・・・・・・・(1)さ当たりの電気抵抗値を示す．
導電線の電気抵抗値 R は式(1)で示される．ここでは導
図 8 より，すべての設計線幅において，オンコンタクト
電材料の比抵抗率，L は導電線の長さ，W は導電線の幅，t方式で印刷した導電線の方がオフコンタクト方式に比べは導電線の厚みである．図 8 において，導電線の電気抵抗て，電気抵抗値が低く，かつ各測定値（測定数 n=20）の値が設計線幅の逆数に対し線形であるということは，すな
バラつきが小さいことが分かった．またオンコンタクト方
わちインク塗布厚が設計線幅に依存せず均一であることを式で印刷した導電線の電気抵抗値の方が，設計線幅の逆数示している．
に対して，より線形的な傾向を示した．
図 8 の結果は，二つのコンタクト方式におけるスキージ
R=ρ・L/（W × t）・・・・・・・・・・・（1）荷重の均一性の違いだけでなく，被印刷物へのインクの塗
導電線の電気抵抗値 R は式（1）で示される．ここでρ
布工程の差異が起因していると考えられる．オフコンタク
は導電材料の比抵抗率，L は導電線の長さ，W は導電線
ト方式では被印刷物へのインク塗布動作と版離れ動作がほの幅，t は導電線の厚みである．図 8 において，導電線のぼ同時に行われるのに対し，オンコンタクト方式ではイン電気抵抗値が設計線幅の逆数に対し線形であるというこ
ク塗布動作と版離れ動作が分離して行われる．すなわち，オとは，すなわちインク塗布厚が設計線幅に依存せず均一でフコンタクト方式では，インクが被印刷物に接触すると，直あることを示している．
後に被印刷物上とスクリーン版の乳剤上にインクが分離さ
図 8 の結果は，二つのコンタクト方式におけるスキージれるのに対し，オンコンタクト方式では，いったん被印刷物
荷重の均一性の違いだけでなく，被印刷物へのインクの塗上にインクが定着し，暫時経過後に次の工程として機械的布工程の差異が起因していると考えられる．オフコンタク
版離れ動作によるインクの穏やかな剥離破壊が起きる．こト方式では被印刷物へのインク塗布動作と版離れ動作が
れら塗布工程におけるインク定着プロセスの違いが，設計
ほぼ同時に行われるのに対し，オンコンタクト方式ではイ
線幅に対するインク塗布厚の均一性の違いとなって表れた
ンク塗布動作と版離れ動作が分離して行われる．すなわと考えられる．
ち，オフコンタクト方式では，インクが被印刷物に接触す
35

Resistance [/cm]

30
25
20

れるコンタクト方式および版離れ機構について検討を行っが起きる．これら塗布工程におけるインク定着プロセスのた．
違いが，設計線幅に対するインク塗布厚の均一性の違いとスキージバーの荷重測定より，均一なスキージ荷重を得なって表れたと考えられる．
るにはスクリーン版と被印刷物の間の間隙は 2.0mm 以下が4．まとめ
好ましいことが示唆された．また回転軸を印刷面内においた傾斜式版離れ機構を採用したオフコンタクト方式のスク
プリンテッドエレクトロニクス分野への展開を志向し
リーン印刷では，従来のオフコンタクト方式スクリーン印
たスクリーン印刷工法の高度化を念頭におき，印刷面にお刷と同等の良好な印刷形状を保ちつつ，それより優位な点
ける位置精度やインク塗布量の均一性への悪影響が懸念
として版枠内寸に対する印刷利用率を 70%程度にまで拡大されるコンタクト方式および版離れ機構について検討をした際にも高い面内位置精度を維持し，また導電線の抵抗行った．
値評価よりインク塗布量の増加および均一化，さらに設計
スキージバーの荷重測定より，均一なスキージ荷重を得
描画線幅に依存しない安定したインク塗布厚が実現できた．
るにはスクリーン版と被印刷物の間の間隙は2.0mm 以下
これらの結果は，円滑な版離れ動作，印刷時に生じるスクリが好ましいことが示唆された．また回転軸を印刷面内におーン版の歪みの抑制，およびインク塗布動作と版離れ動作
いた傾斜式版離れ機構を採用したオフコンタクト方式のの分割化に起因するものと考えられる．
スクリーン印刷では，従来のオフコンタクト方式スクリー
プリンテッドエレクトロニクスは，そのメリットであるン印刷と同等の良好な印刷形状を保ちつつ，それより優位
省コスト性，高生産性および多機能性の観点から，印刷領域な点として版枠内寸に対する印刷利用率を70％程度にまで拡大した際にも高い面内位置精度を維持し，また導電線の拡大，微細パターンの描画，重ね刷りによる高アスペクトの抵抗値評価よりインク塗布量の増加および均一化，さら描画，機能性インクを用いた複層構造形成，設計パターンにに設計描画線幅に依存しない安定したインク塗布厚が実依存しない均一なインク塗布厚などが要求される．本報で現できた．これらの結果は，円滑な版離れ動作，印刷時に検討したコンタクト方式および版離れ機構を採用したスク
生じるスクリーン版の歪みの抑制，およびインク塗布動作
リーン印刷法は，プリンテッドエレクトロニクス分野におと版離れ動作の分割化に起因するものと考えられる．
いて好適な印刷工法であるといえる．
プリンテッドエレクトロニクスは，そのメリットである

5.

文

献

省コスト性，高生産性および多機能性の観点から，印刷領域の拡大，微細パターンの描画，重ね刷りによる高アスペ
1) Sano, Y. Screen Printing & Printed Electronics Session 1
クト描画，機能性インクを用いた複層構造形成，設計パ
Why Screen Printing?. Convertech & e-Print. 2012, vol.2,
ターンに依存しない均一なインク塗布厚などが要求されno.4, p.54-58.
る．本報で検討したコンタクト方式および版離れ機構を採2) Imawaka, N.; Kanayama, M.; Iwata, S.; Matsubayashi, K.;
用したスクリーン印刷法は，プリンテッドエレクトロニク
Furuta, H.; Shibakawa, S.; Sakamoto, R.; Kodama, Y.;
ス分野において好適な印刷工法であると考えられる．
Yoshino, K. Development of dye-sensitized solar cell and its

element materials
and excellent
５. with
文 high performance献

Off-contact printing

durability. -Design, fabrication, characterization and new1 ）Sano, Y. Screen Printing & Printed Electronics Session 1 Why

On-contact printing,
inclined snap-off

fields application of colorful and designable solar cells-.

Screen Printing?. Convertech & e-Print. 2012, vol.2, no.4, p.54-

Journal of the Society of Electrical Materials Engineering.

58.

2014, vol.23,
p.5-23. M.; Iwata, S.; Matsubayashi, K.;2 ）I mawaka,N.; Kanayama,

153) Furuta,
Pardo,H.;
D.Shibakawa,A.; Jabbour,
E.; Peyghambarian,N. Yoshino,ApplicationS.; G.
Sakamoto,
R.; Kodama, Y.;
K.ofDevelopmentof dye-sensitizedsolar cellofand
its element
Screen Printing
in the Fabrication
Organic
Light ‐

10
5

まとめると，直後に被印刷物上とスクリーン版の乳剤上にイン
プリンテッドエレクトロニクス分野への展開を志向した
クが分離されるのに対し，オンコンタクト方式では，いっスクリーン印刷工法の高度化を念頭におき，印刷面におけ
たん被印刷物上にインクが定着し，暫時経過後に次工程とる位置精度やインク塗布量の均一性への阻害要素が懸念さして機械的版離れ動作によるインクの穏やかな剥離破壊

100m

materials
high Advanced
performanceand excellent
Emittingwith
Devices.
Materials.
2000, durability.
vol.12, no.17,

30m-Design, fabrication, characterization and new fields application

50m

p.1249-1252.

00.000 0.005 0.010 0.015 0.020 0.025 0.030 0.035 0.040

4)Inverse of a designed linewidth [m-1]

of colorful and designable solar cells-. Journal of the Society ofOhmori, Y.; Ohtomo, T.; Hashimoto, K.; Tanaka, H.; Hiraoka,

Electrical Materials Engineering. 2014, vol.23, p.5-23.

Yoshino.
K.;Peyghambarian,Cook. A.; Zakhidov.
A. A.; ofKajii,
3 ）PK.;ardo,Iwata,
D. A.; S.;
Jabbour,G. E.;
N. Application

図
図88 導電線の設計線幅と電気抵抗値
導電線の設計線幅と電気抵抗値

H. Printable
Organic
Light-Emitting
Devices
ScreenPrinting in the
Fabricationof Organic Light ‐Emitting and─5─島根県産業技術センター研究報告
Devices. Advanced Materials. 2000, vol.12, no.17, p.1249-1252.

第53号 （2017）7 ）Jung, M; Kim, K; Noh, J; Lim, N; Lim, C; Lee, G; Kim, J; Kang,4 ）Ohmori, Y.; Ohtomo, T.; Hashimoto, K.; Tanaka, H.; Hiraoka,

H; Jung, K; Leonard, A. D.; Tour, J. M.; Cho G. All-

K.; Iwata, S.; Yoshino. K.; Cook. A.; Zakhidov. A. A.; Kajii, H.

Printed and Roll-to-Roll-Printable 13.56-MHz -Operated 1-bit RF

Printable Organic Light-Emitting Devices and Application

Tag on Plastic Foils. IEEE Tansactions on Electron Devices.

for Optical Signal Transmission. Journal of Nanoscience and2010, vol.57, no.3, p.571-580.

Nanotechnology. 2016, vol.6, no.4, p.3228-3234.

8 ）Someya, T.; Sekitani, T. Printed skin-like large-area flexible5 ）Nomura, K.; Kaji, R.; Iwata, S.; Otao, S.; Imawaka, N.; Yoshino,sensors and actuators. Procedia Chemistry. 2009, vol.1, no.1,

K.; Mitsui, R.; Sato, J.; Takahashi, S.; Nakajima, S.; Ushijima, H.

p.9-12.

A flexible proximity sensor formed by duplex screen/screen-9 ）Khan, S.; Lorenzelli, L.; Dahiya, R. S. Technologies for Printing

offset printing and its application to non-contact detection of

Sensors and Electronics Over Large Flexible Substrates: A

human breathing. Scientific Reports. 2016, vol.6, p.19947-1 19947-12.

Review. IEEE Sensor Journal. 2015, vol.15, no.6, p.3164-3185.
10）Liang, T.-X.; Sun, W. Z.; Wang, L,-D.; Wang, Y. H.; Li, H.-D.

6 ）W atanabe, Y.; Uemura, S.; Hoshino, S. Printed pressure

Effect of Surface Energies on Screen Printing Resolution. IEEEsensor array sheets fabricated using poly(amino acid)-based

Transactions on Components, Packaging and Manufacturing

piezoelectric elements. Japanese Journal of Applied Physics.

Technology-B. 1996, vol.19, no.2, p.423-426.

2014, vol.53, no.5S3, 05HB15.

─6─