半導体工場ハンドブック 2021

 リソグラフィー装置

20 年は 420 台規模に
i 線、KrFの出荷好調

リソグラフィーは半導体産業の成長一時に比べて需要が低下している。ク拡大を後押しする要素として注目されドライバーといえる「微細化」を実現すリティカルレイヤーを EUV に置き換ている。ASML も DRAM での本格適用

るうえで最も重要な工程の 1 つ。最先えることで、マスクレイヤーの削減にを見込んでおり、21 年は 60 台の出荷端プロセスで導入が始まったEUVも市つながっているほか、KrF 工程が多いを計画している。

場拡大が順調に進んでいるほか、半導3D-NAND の台頭も液浸出荷のピーク

体アプリケーションの拡大に伴い、i線アウトの一因となっている。

や KrF などの既存技術を用いた市場もその KrF は 20 年に 100 台を超える拡大を遂げている。

販売が見込まれており、18 年に次ぐ■ 各社の動向【ASML】

2020 年の半導体露光装置市場は前水準となっている。半導体メーカー各21 年通年の EUV リソグラフィー装

年から大きく伸びて、420 台規模とな社のキャパシティー増強投資に加え、置の売上高が前年比で 2 割増加するとるもようだ。前年はメモリー投資の停3D-NAND の多層化投資が需要拡大にの見方を示した。台数ベースでのガイ滞により、販売・出荷が伸び悩んだが、つながっている。同様に、i 線も 20 年

ダンスはなかったものの、約 40 台程度

メモリー投資の回復に加え、CMOS イは販売台数を大きく伸ばしている。i線の出荷台数となる見通し。新システム

メージセンサーや電子部品など幅広いの場合は主要デバイスの投資が活況なも投入し、先端プロセスでのニーズ拡アプリケーションで積極的な設備投資ことに加え、アプリケーションの拡大大に備える。

が展開されたことで、i 線や KrF などのが牽引材料とされている。

好調が特に目立つ。

同社は第 3 四半期決算発表にあわせ

具体的には、CMOS イメージセンサて、21 年の業績見通しについて全社

光源別の内訳は ArF 液浸が 78 台（前ーやパワーデバイス、SAW フィルター

ベースでは 2 桁台前半の成長、EUV 向年実績 93 台）、ArF ドライが 33 台（同などの電子部品、さらには先端パッケけについては 2 割増加すると言及。2035 台）、KrF が 112 台（同 91 台）、i 線がージ工程など非先端領域を中心に力強年の出荷台数は当初、35 台を計画して161 台（同 114 台）と予想する。最先端

い成長を見せている。

いたが、顧客の装置受け入れ体制や微の EUV は ASML が公表しているとおり、

EUVはロジック7nm世代から量産工細化スケジュールの遅れなどから、数20 年は 35 台の販売を計画している。

程での導入が始まり、5nm で適用レイ台下ぶれる見込みだという。そのため、液浸は引き続き最先端プロセス向けヤーが増えたことで、フォトマスクや21 年は 40 台前後になる可能性が高そにメモリー、ロジック双方で用いられレジストなど関連市場含めて市場拡大うだ。

ているものの、最先端ロジックでは一が順調に進んでいる印象だ。今後の注生産能力については、21 年までに部 EUV の量産導入が始まったことで、目点は DRAM での適用。サムスン電子

年間 40 ～ 50 台に拡大する計画に変が 1Znm 世代で一部適用更はないとしている。また、「NXE：を開始したが、トライア3400C」に次ぐ、新システムとしてル的な要素が強く、次の「NXE：3600D」の最終仕様を今回発表

1α世代での本格導入がした。生産性が18％向上し、30mJ/cm2期待されている。ロジッで時間あたり 160 枚のウエハー処理クに比べて、適用レイヤを実現。他号機との重ね合わせ精度はー数はそれほど多くない1.1μm に向上させている。3600D はものの、処理ウエハー枚21 年半ばからの出荷を予定している。

数がロジックに比べて格20 年通年の売上高に関しては前年段に多いことから、市場比 13％増の 133 億ユーロを計画。20別半導体台

450400350300250200
150100500

装置の販売
374

259359

419

EUV

ArF-i
ArF-D

294

KrF
i-Line'16'17'18'19'20(予)発表資料をもとに電子デバイス産業新聞作成（一部推定含む）

62

第4部

工場ルポ

OKI エンジニアリング

工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー

EMC センター

高電圧対応で車載 EMC 強化オンライン立会試験を開始

沖エンジニアリング㈱（OEG、東京都

は、車載電子機器・装置に特化した第 1るが、車載部品の信頼性試験・評価ニー

練馬区氷川台 3-20-16、Tel.03-5920-／第 2 車載電波暗室を設置。以降、16ズが大きく増加している。

2300）は、自動車や産業・工作機械か年3月に10m法対応大型電波暗室など

また、電動車における充電時間の短ら情報機器、医療・宇宙・航空分野まで、 を備える第二 EMC センターを開設、
17縮や、充電ケーブルの発熱抑制、ケーブ

幅広い産業分野に対して、デバイスの年 4 月には同センターに隣接する建屋ルの軽量化などに向けて、電源電圧を特性評価や良品・故障解析、信頼性を保内に、車載電子機器・装置専用の電波現在の400V程度から800Vへ一気に倍証するための実装評価・各種環境試験、 暗室のほか、リバブレーションチャン増させる動きがある。

電磁波環境試験などの各種サービスをバー、大型塩水噴霧試験機、大型恒温

同社では、EMC センター カーエレク提供している。
「新型コロナウイルスの恒湿室、複合環境振動試験機などを備

トロニクス テストラボにある電波暗感染拡大により、2020 年 4 ～ 6 月期はえた「カーエレクトロニクス テストラ室（高圧電源対応の車載機器専用 EMC

厳しい事業環境にあったが、各社の開ボ」を開設した。

電波暗室として 19 年 10 月に増設）に、発スピードは依然として衰えていない。

さらに、19 年 10 月には群馬県伊勢「EV ／ HV 高電圧用遮へい電源システ

OKI エンジニアリングでは、きめ細か崎市に「群馬カーエレクトロニクス テム」（双方向高電圧 DC 電源：1000V ／なサービスの提供により、お客様のニストラボ」
を開設。IT の活用により、本±80A ／ 3kW、ノイズフィルター、シーズに柔軟に対応していく。また、20社ラボや本庄ラボなど遠隔からの試験ールドボックス、測定ソフト）を設置。

年度からスタートした中期経営計画に対象品の状態監視、試験設備の稼働状

800V 化に向けた PCU や制御系センサ

おいては、3 カ年で 20 億円の設備投資

況や測定データの取得・分析を実現し、 ーなどの試験ニーズに対応できる体制を計画。20 年度は 6 億円を投じて、さ自動車分野向けの環境試験事業の強化を整えた。
「HV と LV が組み合わされらなる設備の拡充を図っていく」と橋に取り組んでいる。

たシステムにも対応している。年間で本雅明社長は語る。

自動車分野は電動車（EV、PHV、HV1000万円の販売を目指していく」と橋

同社では、1999 年に EMC センターなど）の普及や、クルマの知能化・ネッを埼玉県本庄市に設立し、EMC 試験サ

トワーク化の進展に伴い、車載電子機

一方、同社では、電子機器・電子部品ービスを業界に提供している。12年に器が日々進化している。コロナ禍はあの環境試験において、インターネット本社長は語る。

会議システムと高解像度のカメラを活用した「オンライン立会試験・評価サービス」の提供を開始。機械環境試験で14種類、特殊環境試験で 27 種類、温湿度環境試験で 13 種類の計 54 種類でオンラインでの立ち会いを可能としている。
さらに同社では、－20℃～＋70℃でのサイクル試験に対応する、ascott 社製の「低温塩水サイクル試験装置」を新たに導入した。これにより、欧州市場向けの自動車などで設けられた試験規格に対応することが可能となった。
（電子デバイス産業新聞2020年8月27
EV ／ HV 向けの高電圧用遮へい電源システムを備えた電波暗室

日付第 2412 号掲載）

135

第4部

半導体工分

・

海工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー・■ 北海道 ■【函館市】
△ ㈱アムコー・テクノロジー・ジャパン 函館地区
【三笠市】△ 北海道オリジン㈱【千歳市】△ ㈱デンソー北海道▲ ミネベアミツミ㈱ 千歳事業所【恵庭市】▲ ㈱京都セミコンダクター 恵庭事業所

北海道■ 青森県 ■

【五所川原市】▲ 富士電機津軽セミコンダクタ㈱【北津軽郡鶴田町】△ ハイコンポーネンツ青森㈱

青森県

秋田
県岩手
県

■ 岩手県 ■【北上市】
△ ㈱アムコー・テクノロジー・ジャパン 北上地区
▲ キオクシア岩手㈱▲ ㈱ジャパンセミコンダクター 岩手事業所△ ㈱ミスズ工業 岩手工場
【奥州市】
△ ㈱ミズサワセミコンダクタ【胆沢郡金ケ崎町】▲ ㈱デンソー岩手■ 秋田県 ■【秋田市】
△ パワーテックテクノロジー秋田㈱【由利本荘市】▲ ㈱秋田新電元 飛鳥工場
△ ㈱秋田新電元 大浦工場
【大仙市】
△ エイブリック㈱ 秋田事業所◎▲△◇一貫工場
前工程工場後工程工場
研究所・研究開発工場
デザインセンター
計画中
※ その他

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書 名 ..................半導体工場ハンドブック 2021
体裁・頁数 ...........A4 変形判 オフセット刷り 168 頁
定 価 ..................10,000 円＋税
発刊日 ..................2020 年 12 月 7 日

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