プラズマエレクトロニクス分科会会報 No. 67
2017 年（平成 29 年）12 月発行
前原、内藤、山家、三好
目次

巻頭言
プロセスプラズマのこれまでとこれから

辰巳 哲也

1

京都工芸繊維大学

三瓶 明希夫

3大阪府立大学松浦 寛人

5

愛媛大学理学部

前原 常弘

10Max-Planck Institute

清水 鉄司

13

16

ソニーセミコンダクタ
ソリューションズ（株）

研究紹介
限定視野下での微粒子プラズマ三次元計測システ
ムの開発
研究室紹介
放射線研究センター放射線安全管理学グループ
研究室紹介
愛媛大学理学部 前原研究室
海外の研究事情
ドイツ ガルヒン・ミュンヘン滞在記

forextraterrestrial

physics /terraplasma GmbH
産業技術総合研究所
学生のためのページ
プラズマ誘起液中化学反応場における液中化学種

大阪大学

北野 勝久

の診断

神戸大学

谷 篤史

大阪産業技術研究所

井川 聡
中島 陽一

応用物理学会講演奨励賞
Ar 誘導熱プラズマへの Ti 原料投入時におけるトー
チ内の Ti 励起温度分布および Ti 蒸気混入率の二次元分布の推定

ⅰ

金沢大学

兒玉 直人

23

国際会議報告
The 23rd International Symposium on Plasma

東京工業大学

野崎 智洋

26

九州大学

白谷 正治

27

名古屋大学

堀 勝

28

九州大学

白谷 正治

30

九州大学

古閑 一憲

31

北海道大学

佐々木 浩一

32

日立製作所

松井 都

33

東北大学

加藤 俊顕

35

岩手大学

高橋 克幸

36

東京大学

神原 淳

38

Chemistry
XXXIII International Conference on Phenomena
in Ionized Gases (ICPIG 2017)
The 11th Asian-European International
Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE 2017)
1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
AAPPS DPP
AVS 64th International Symposium & exhibition(AVS64)
AVS 第 64 回国際シンポジウム&展示会
70th Annual Gaseous Electronics Conference(GEC70)
第 70 回気体エレクトロニクス会議
39th International Symposium on Dry Process(DPS 2017)
第 39 回ドライプロセス国際シンポジウム
国内会議報告第 11 回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール2017 年第 78 回応用物理学会秋季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科会シンポジウム「先進農業に向けたプラズマ応用最前線～新たな植物生育環境の開発・制御～」
2017 年第 78 回応用物理学会秋季学術講演会
第 17 回分科内招待講演報告ⅱ

2017 年第 78 回応用物理学会秋季学術講演会

東北大学

加藤 俊顕

プラズマエレクトロニクス分科内海外招待講演報

東京大学

神原 淳

名城大学

平松 美根男

40

東京大学

神原 淳

42

第 26 回および 27 回プラズマ新領域研究会

名城大学

平松 美根男44

10th International Symposium on Advanced

名城大学

平松 美根男

45

名城大学

太田 貴之

47

39

告
Plasma Conference 2017
(第 35 回プラズマプロセシング研究会)
行事案内2018 年第 65 回応用物理学会春季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科会企画

Plasma Science and its Applications for Nitrides
andNanomaterials

Conference

on

/

11th

Plasma-Nano

International
Technology&

Science (ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018)
2nd

International

WorkshopOn

PlasmaAgriculture

伊藤 昌文

7th International Conference on Plasma Medicine

大阪大学

浜口 智志

48

室蘭工業大学佐藤 孝紀

49

首都大学東京杤久保 文嘉50(ICPM-7)
第 7 回プラズマ医療国際会議
22nd International Conference on Gas Discharges
and Their Applications／
第 22 回気体放電とその応用に関する国際会議
掲示板
第 16 回プラズマエレクトロニクス賞
受賞候補論文の募集
平成 29 年度プラズマエレクトロニクス分科会

52

幹事名簿
平成 29 年度分科会幹事役割分担54

平成 29 年度分科会関連の各種世話人・委員

55

ⅲ

活動報告

57

プラズマエレクトロニクス関連会議日程

59

広告掲載企業一覧

62

編集後記

63

ⅳ

巻頭言

プロセスプラズマのこれまでとこれから
ソニーセミコンダクタソリューションズ（株）研究部門
辰巳 哲也
大変僭越ながら巻頭に文章を記す機会を頂きまご指導には（当時は怖かったですが）今でも感謝したので、これまでの自身のプラズマ関連の研究をしています。こうした組織を超えた育成や鍛錬開発の経験を振り返りつつ、産官学それぞれの立の場としての役割が学会そのものに重みを与えて場から応物あるいはプラエレ分科会と関わり、感いるように感じていました。

じてきたこと、今後に向けて望むことをまとめて2000 年に近づくと半導体デバイス開発を取りみたいと思います。

巻く環境は少しずつ変化しはじめ、微細化に加え筆者がプラズマプロセスと初めて出会ったのはてダメージやバラつきまで含めたより緻密で精密

学生時代（1980 年代の後半）、早稲田大学の加藤

なプラズマプロセスの制御が必要となってきまし勇先生にプラズマを基礎からご指導を頂きました。 た。旧通産省（現在の経産省）の主導で設立され当時は“サンシャインプロジェクト”の先導もあた ASET（技術研究組合超先端電子技術開発機構）

り、太陽電池向けのプラズマ研究が盛んな頃では、当時 10 社もあった国内半導体デバイスメー

SiH4 ガスの解離や表面反応についての議論が活カから各 1 名ずつの研究者が派遣された集中研究

発に行われ、応物の非晶質のセッションは大きな方式のコンソーシアムで、筆者もその一員として盛り上がりをみせていたと記憶しています。その派遣されました。通産省の担当官からの与えられ後、企業（ソニー）に入社してからは微細加工にたミッションは「経験に頼ることの多いプラズマ

用いられるプラズマプロセスであるドライエッチ

プロセスにサイエンスの背骨を入れること」。
複数

ング技術を担当する部署に配属となり、いわゆる台の最新のエッチングチャンバーが国内の装置メ

ムーアの法則に従って進む微細化と共に必要となーカより導入され、大学が有する世界最先端のプるトランジスターのゲート電極加工をテーマに各

ラズマ/表面の計測技術を駆使して「何がプロセス

種のデバイス開発に参画することとなりました。

特性の本質を決めるか？」をデバイスメーカのエ1990 年代は日本の半導体産業が最も活力を持っンジニアが目指す、産官学共同の研究の場が構築て発展した時代。種々の新しい高密度プラズマ源

されました。この官が主導したコンソーシアムはの開発や高選択比プロセスに関する議論が進めら

産学間や企業間の意識・技術の乖離を埋めて、それ、応物やドライプロセスシンポジウムは各社のれぞれの優れた知見を融合することで、先進性と毎年の成果発表のまさに主戦場となっていました。 実用性のバランスをもったプラズマ反応制御モデ
若手の研究者は講演会場の前方に陣取る重鎮の皆ルを生み出しました。企業や大学などの所属組織さんからの大変厳しい質問やコメントに一喜一憂のしがらみから離れた非競争領域の研究成果は応しつつ鍛えられていったものです。所属を問わず物等を通じて広く公開され、また出向者はそれぞ

若手を成長させようとして下さっていた先輩方のれの出身企業に知見を持ち帰り、自社のデバイス

1

の改善に活用・貢献し今に至っています。大きなーズは拡大の一途をたどります。そうした中で過課題と期待を前に組織の枠を超えて「これを解決去に培ったプラズマを応用したモノづくり技術がする技術は皆で作る」といった知の共有を行う文不要になることは決して無く、むしろより精度の化は今でも我々のコミュニティの強みの一つにな

高いプロセス開発のために、原子レベルでの反応っているのではないでしょうか。

の理解や制御プロセス改善が求められるようになると思われます。定量的なプラズマ計測やモデリ

その後、筆者はデバイスメーカに帰任し、再びング、シミュレーション技術、変動の予兆管理技

先端 CMOS、半導体レーザ、ディスプレイ等のデ術などは、今こそ本当の意味での発展が求められバイスの実現に向けてのプラズマプロセス開発にるようになってきているのではないでしょうか？

従事しました。またこれらと並行して慶応義塾大

昨今の ALE（原子層エッチング）の議論の盛り上学に出向し真壁利明先生のご指導のもと、講義やがりをみても、そうした研究の加速が次の社会を研究室の論文指導を経験し、教員という立場で改めて学会や研究の現場を見渡す機会を頂きました。
企業では限られた予算や時間を言い訳（？）にメ

作る力となってゆくことは想像に難くありません。
ここまで述べてきたように、技術は学会等の公の場で継続的に揉まれてはじめて精度の高いもの

カニズム検討を置き去りにしてしまうことも実はになってゆきます（こればかりはネットや SNS

少なくありませんが、大学では当然それは許されの中だけでは熟成しえないと思います）。
ですから、ません。然るべき境界条件の元で粛々と研究を押

本稿を目にする大学、学生の皆さんには、ユーザ

し進める正しさとその重要性を再認識し、それま側の視点を頭の片隅におきつつ、期待と自信をもで以上に産学連携と知の共有の重要性を意識するって研究を進め学会の場にてご活躍頂きたいと思きっかけとなったという意味で、筆者にとってはっています。企業の皆さんには社外との建設的な

非常に新鮮な体験となりました。また、ネットを議論を通じた Win-Win の関係づくりを自らの武通じた玉石混交の情報の海を前に、検索はできて器として、企業としての研究とは何か？を改めてもその結果を消化しきれない結果として、他者と考えていって欲しいと思います。またプラズマプ

同じではないことに漠然とした不安を持ち自身のロセスの本質はまだまだ現場の技術者の頭の中や言葉を発することをためらう学生さんの姿も多く肌感覚の中にいわゆる“暗黙知”のままであるこ目にしました。こうしたことより、今後、技術課とも多いと思います。経験豊富な中堅・シニアの題とは別の次元で技術共有やコミュニケーション

皆さんにも是非とも会場に足を運び若手やコミュについても考えてゆく必要性があるとの考えにもニティに対してのご指導を頂けますと幸いです。

至りました。

これからも社会環境や研究者のマインドは常に変2010 年を過ぎた頃からは微細化の勢いにも陰化してゆくかもしれませんが、プラエレ分科会のりが見え始め、半導体業界には漠然とした閉塞感

基本的な役割は変わりません。
「学ぶ場」から「試が感じられるようになってきています。しかしなす場」へ、「試す場」から「伝える場」へと研究者

がら、実は中長期的な目線では世界全体としてのライフサイクルと合わせて皆で学び、発展してIoT やアンビエントエレクトロニクスと呼ばれるゆくことを期待し、応用物理学会及びプラエレ分

新しい技術が支える新しい時代の到来に向けて、科会の皆様へのメッセージとさせて頂きます。

信号処理やセンシングに必要な半導体デバイスニ

2

研究紹介

限定視野下での微粒子プラズマ三次元計測システムの開発
京都工芸繊維大学 三瓶 明希夫
はじめに

市販のリフォーカスカメラの利用が試みられてい外部からの透過光，あるいは対象自身の発光をる[2,3]。本研究では，インテグラルフォトグラフ

限定された視野から観測し，その結果から三次元

ィ技術を利用して，微粒子プラズマに最適化され構造を再構成する技術が求められている。
一般に，た三次元計測システムの開発を行った。

Computed Tomography(CT)として知られる再構
研究内容

成技術には，全ての角度からの視線情報が存在するという「完全条件」が必要であるが，現実には

図 1 に撮像と再構成の概念図を示す。微粒子か完全条件を満たせない状況が多数存在する。プラ

らの散乱光はマルチレンズアレイを通して，視差ズマからの放射光を計測して三次元構造を同定しを持つ二次元イメージアレイとして計測される。

ようとする場合は，真空容器に開いたポートによ

PC 上で仮想的に再びレンズアレイを通し，ライ

る著しい視野制限が存在する。低温プラズマであトフィールドを計算することで，三次元構造を再る微粒子プラズマでは，クーロン結晶や湯川ボー構成する[4,5]。

ルの形成・相転移のような基礎物理の研究と，効率の良いナノ材料や超微粒子の作成といった応用への観点から，三次元構造の計測技術が発展してきた。一方向からの計測によって三次元構造を類推する方法として，シート状のレーザーをスキャ
図 1 撮像と再構成の概念図ンさせて得られた二次元像を重ねたり，カメラの距離やピントを変化させる事などが行われている。
しかし，短い時間で空間的に変化する現象に対し撮像体には，市販のディジタル一眼レフカメラてはこの方法は使えないため，一定の領域中にあD810 に内蔵されている CMOS イメージセンサ

る微粒子の三次元構造を同時に把握できる技術が（36M Pixel，36 mm×24 mm）を利用した。イ必要である。

メージセンサ内の有効画素を最大限に利用するた

インテグラルフォトグラフィは裸眼 3D ディス

め，被写体（微粒子），レンズアレイ，イメージセ

プレイやリフォーカスカメラの原理として知られンサの間の距離とレンズの焦点距離を最適化したている[1]。被写体とイメージセンサなどの撮像体[5]。レンズアレイには，焦点距離 35 mm，大きとの間にマイクロレンズアレイを設置して多眼カ

さ 2.2 mm 角の凸レンズが横(x 方向)9 個×縦(y 方メラを作り，その映像からライトフィールドを作向)6 個で配置されたものを制作した。光軸の方向成することで限定視野下において被写体の三次元を z 軸とすると，この系によって撮影可能な範囲

情報を記録することが可能である。そのため，近は，z 軸方向はレンズアレイから 55~143 mm，x-y

年は微粒子プラズマの三次元形状計測手法として

平面は面積で 24 mm2 である。座標が既知の点光3源に対して試験的に行った実験および計算の結果
からは，x および z 方向の測定誤差はそれぞれ，
10 µm 以下，100 µm 程度であった。
微粒子プラズマの実験装置には，平行平板型のRF プラズマ装置を用いた[6]。圧力 80 Pa 窒素放電プラズマ中に，直径 6.5 µm の球形単分散のポ
リマー微粒子を捕捉させた。微粒子を観測するための光散乱光源には，
波長 532 nm，
出力約 10 mW，ビーム径 4 mm の小型レーザーを用いた。プラズ（一部を拡大。背景を差分済み）

マ中に微粒子が浮遊している様子を撮影した画像

図 3 再構成された微粒子の三次元位置の一部を図 2 に示す。図の中心付近には，あるマ(a) 鳥瞰図，(b) x-z 平面，(c) x-y 平面[5]イクロレンズを通ってイメージセンサ上に結像した 5 個の光点が存在する。図の周辺部には，他のおわりにマイクロレンズに対応した像が認められる。図 2

インテグルフォトグラフィを用いて，一方向かの結果からライトフィールドを計算し，輝度がピらプラズマ中の微粒子の位置を三次元的に解析すークを取る座標が点光源の位置と見なせる[4]。微る方法を開発した。今後は，本技術を微粒子プラ

粒子の三次元座標を求めた結果を図 3 に示す。zズマにおける種々の物理現象の三次元空間での解軸の値はレンズアレイからの距離を表している。

析に応用することが期待される。

平均粒子間距離は 780 µm 程度であり，他の計測と矛盾ない結果が得られている。

参考文献[1] G. Lippmann; C. R. Acad. Sci. vol.146 (1908)
446.
[2] P. Hartmann, I. Donk´o and Z. Donk´o; Rev.
Sci. Instrum. vol.84 (2013) 023501.
[3] M. Jambor, V. Nosenko, S. K. Zhdanov, andH. M. Thomas; Rev. Sci. Instrum. vol.87, (2016)
033505.
[4] A. Sanpei, N. Takao, Y. Kato and Y. Hayashi;
IEEE Trans. Plasma Sci. vol.44 (2016) 508.
[5] A. Sanpei, K. Tokunaga and Y. Hayashi; Jpn.
J. Appl. Phys. vol.56 (2017) 080305.
[6] Y. Hayashi, Physica Scripta vol.T89 (2001)
112.

図 2 レンズアレイを通して撮影された微粒子4

研究室紹介

放射線研究センター放射線安全管理学グループ
大阪府立大学研究推進機構放射線研究センター
松浦 寛人
はじめに

院工学研究科の量子放射線系専攻の教育もセンタ

このたび、私の研究グループ紹介の機会を与え

ー教員が担当することになったため、最近では学てくださいましたプラズマエレクトロニクス分科生も参加した研究活動も進められています。安全会幹事の皆様には深く感謝いたします。グループ

管理学グループはしばらく専任スタッフが不在で名を見るとプラズマとの関連があまり見えないとしたが、平成 27 年度に秋吉准教授が採用され、思いますので、はじめに私の所属について、簡単

翌年、
私が量子線材料研究グループより移動して、に紹介させていただきます。

改めて研究グループの再立ち上げを始めています。

現在の大阪府立大学は、平成 17 年度に府立の 3大学が統合して設立され、平成 24 年度より学域
制を学士課程に導入しております。特に工学域は中期日程という独特な入試日程で関西圏では広く知られています。府立大学のルーツは、明治 16年設置の獣医学講習所での軍用馬の獣医教育までさかのぼることができ、平成 25 年には創基 130
年を祝いました。放射線研究センターは、昭和 34
年に設置された大阪府立放射線中央研究所が母体

図 1 コバルト 60 ガンマ線照射プールとであり、平成 2 年に法人化前の旧大阪府立大学に水中線源からのチェレンコフ光

統合されています。平成 29 年度の改組より、研究推進機構の 1 センターとして学内利用および学外利用に供されています。

安全管理業務

このような歴史的背景から、放射線研究センタ

研究グループの名称にもなっている放射線安全

ーは地方大学にはありえないほどの大規模放射線

管理学は放射線源や加速器を対象とした安全シス

照射施設を有し、センター教員は施設管理のため

テムの構築のみならず、環境計測、 安全教育等多の 5 つの研究グループ(部門)に配置されています。

岐にわたっており、未だ体系的な学問として確立

例えば、コバルト 60 ガンマ線照射施設は 4 つのしておりません。我々もセンター施設の安全管理、照射室と独特な照射プール(図 1)からなり、線源強放射線作業従事者の被ばく記録の管理、学内外か度は 1.8 PBqで、最大照射線量率は 50 kGy/hに達らの共同研究の受け入れ、一般公衆への正しい知します[1]。そのため、センターの研究グループは、

識普及活動などを通じてこの研究分野の形成に寄

通常の大学の講座とは成り立ちが違い、管理部門

与したいと考えております。

的扱いでしたが、平成 25 年度に新設された大学

5

放射線研究センターの重要な業務には、所有すの制御が世界的にも重要な研究テーマとなっている機器の管理、利用受け入れに加えて、キャンパ

ます。ダイバーターは、核融合プラズマ装置の周

ス内の放射線作業従者登録された教員や学生の被辺部にあり、プラズマが開いた磁力線に沿って固ばく記録の保管管理があります。この記録は本人

体と直接相互作用する部分の名称です。現在、最の在学の有無はおろか、死後であっても永久保管

有力の熱流束低減法は、放射損失によりプラズマ

することが、国の法体系で求められており、本学

温度を下げ、再結合状態のプラズマ(非接触プラズ

教員や学生の高エネルギー研や量研機構での共同

マ）を安定に維持することと考えられています。

研究の際には、必ず提出を求められます。個人のそのため、中性粒子の挙動やプラズマ対抗材料内

被ばく管理記録がないと、研究分野によらず、共での水素挙動を正確に再現するシミュレーション

同研究の遂行に支障がでますので、その管理は重モデルの改良[2]と、小型の直流放電プラズマを用

要な業務になっています。

いた模擬実験が推し進められており、学外の研究

知識普及活動としては、中高生を対象としたオ

者たちと共同研究を進めています。図 3 は、東京

ープンスクール活動や、学内行事と連動した施設

大学(当時)のダイバーター模擬装置 MAP-II で生公開の他、文科省や堺市に申請採択された人材教成された非接触プラズマの写真です。熱流のバイ

育プロジェクトに積極的に寄与しています。中でアス電圧依存性からイオン温度を評価するためにも、関西の様々な団体と共済している「みんなの開発されたサーマルプローブも写っています。

くらしと放射線展」は、本年、第 34 回を数え、のべ 50 万人の参加者を集めています。(図２)

図 3 非接触プラズマとサーマルプローブ

図 2 みんなのくらしと放射線展

プラズマから固体への熱流束とその時間変化の研究テーマ

評価は基本的な計測でありながら未だ確立された

私が学生時代から遂行している研究テーマはダ

技術にはなっていません。熱流束の値は、プラズ

イバータープラズマの制御と関連する炉工学、プマ内の様々な原子分子過程のみならず、固体表面

ラズマ計測です。21 世紀のエネルギーとして原型状態にも依存するため、固体の特定点での温度測

炉の工学設計が進められている磁気閉じ込め核融合炉では 10定データを再現する様に逆熱伝導モデルを解く必MW/m2 を越える熱流束を持つプラ

要があります。我々は低圧の直流グロープラズマ

ズマが固体装置壁と相互作用すると予想され，そや上記のダイバーター模擬プラズマのみならず、

6

共同研究を通して、様々な核融合実験装置での熱ミック材料ではフォノン伝導が主要な熱伝導過程

流束計測法の開発を進めています。この過程で開ですが、中性子照射により欠陥が導入されると、発したプラズマ熱流束評価法[3]は、プラズマ加熱

これは大幅に阻害されます[4]。核融合炉のプラズ用ビームの熱流束評価にも応用されています。図マ対向材料と想定されているタングステンもフォ

4 は、核融合科学研究所の大型ヘリカル装置のプ

ノン伝導の寄与が大きく、秋吉准教授は日米プロ

ラズマを透過した加熱用中性粒子ビームパワーのジェクトをはじめとして 国内外の研究者との交時間変化を示しています。プラズマの密度増加に流を深め、ダイバーター材料の熱負荷試験に関す伴うビーム透過量のゆっくりした減少のほかに、る研究を進めています。特に、中性子を模擬した

プラズマ中に誘起された不安定性による透過量のイオンビーム照射を受けたサンプルは、そのサイ変動が観測され、熱流束評価がプラズマそのもの

ズが小さいため、格子欠陥を調べる陽電子消滅法の不安定性計測に応用できうることを提案していや熱物性値を調べるレーザーブローオフ法を微小ます。最近では、生体物質を標的とした大気圧プ

サンプルに適用できるよう改良を進めています。

ラズマからの熱流束も評価し、プラズマプロセッ
シング過程に熱の影響が無視しうることやヘリウ

私がプラズマエレクトロニクス分科会とかかわムガス流による水の蒸発促進が自然対流を誘起す

りを持ち始めた頃から、大気圧放電非平衡プラズ

ることを検証しています。

マの生成とその応用が研究テーマに加わりました。
生体物質に対してその場で滅菌を行うためには、
大気圧環境でプラズマを生成することが好ましい
ことはよく知られています。直流放電の理論からは、圧力が上がると放電電極の熱電子放出をベースにした熱プラズマが生成されると予想されます
が、電極間に誘電体を設置し交流電圧を印加する
ことにより
「冷たい」
プラズマの生成が可能です。
その中でも Engemann らの提唱した誘電体バリ
ア放電(DBD)プラズマジェットは、装置の簡便さと生成されるプラズマの美しさから、世界中で広く基礎研究や応用に用いられています。我々のグ

図 4 加熱ビーム通過パワー(赤線)とループにおいても、DBD プラズマジェットを生プラズマ圧力(緑色)の時間変化

成し、その基礎特性の計測や有害化学物質の分解、放電装置の改良、生体物質への適用が行われてきています。バイオディーゼル燃料に用いられる南上記の様な熱伝導解析で最も重要なパラメータ

洋油桐(Jatorpha Curcus)の種子に含まれる発がーは固体ターゲット(液体の場合もあります)材料

ん性のフォルボールエステルの分解については、の熱伝導率や熱拡散率といった物性値です。しか成書[5]で紹介されています。また、最近はヨウ化

し、原子力分野(核融合炉のダイバーター、高温ガ

カリウム・デンプン混合液が活性酸素ラジカルのス炉の燃料被覆材など)では、中性子照射損傷によ存在下で青紫色を呈することを利用した、ラジカる熱特性の著しい低下が報告されています。セラ7

ルの生成過程や輸送過程の研究も開始しています。
図 5 ではプラズマ照射された液中のどこでラジカルが生成されたか、液中での輸送速度がどのように違うかを示しています。

図 5 液面に照射されたプラズマで生成され

図 6 ペルチェ冷却式高性能霧箱

たラジカルの可視化実験

最後に、放射線教育プログラムに関係した研究を 1 例紹介します。放射線の電離作用で空気中に学生募集作られる陰陽のイオンは、過飽和アルコール雰囲

我々の研究グループの学生は、工学研究科量子気中で微小水滴形成の核になります。この原理を放射線系専攻に属していますが、量子放射線関連利用した放射線検出器が霧箱と呼ばれるもので、の学士課程が大阪府立大学にないため、毎年、学これを用いた放射線(主にアルファ線)の軌跡の観内での説明会のほかに近隣の大学や高専にもリク

察は目で見て直感的に放射線の存在を知ることがルート活動を行っています。現在の学生諸君もほ出来るため、教育的効果が大変大きく、様々な教

とんどが入学と同時に、新しい研究テーマを立ち育者により改良が成されて来ました。我々は、上げると同時に、放射線取扱主任の国家試験を受-20℃以下の低温をドライアイス等の寒剤の準備

験するという、充実した学生生活を送ってくれて無しにいつでも確実に得る手段として、ペルチェいます。

素子を使用した霧箱を開発し、希望者に実費配布

今年度 10 月からは、新たに博士前期課程と後しています。さらに、コッククロフト・ウォルト期課程に 1 名ずつの留学生が加わることになりま

ン回路を用いた高電圧により雑イオン除去を行うした。母国での環境汚染をプラズマ(および放射機能を付加し、アルファ線のみならずベータ線や線)で解決したいという大志を抱いた彼らの加入

ガンマ線の軌跡の観測も可能としています。この高性能霧箱を利用した放射線教育プログラムでは、
放射線の種類による生物学的影響の違いの理解も可能なものとしています。我々はこの霧箱を商品化し、組み立てキットを実費で販売しています。

8

は研究室をさらに活性化させてくれると期待して
います。

参考文献
[1] S. Okuda et al.: Proc. ISSI 2011, Hefei(China), 101-103.
[2] H. Matsuura et al.: Plasma Fusion Res.,
6(2011) 2401104.
[3] H. Matsuura et al.: Contrib. Plasma Phys.
54 (2014) 285-290.
[4] M. Akiyoshi et al.: Journal of Nuclear
Materials, 386-388 (2009) 303-306.
[5] 大久保雅章; “プラズマ産業応用技術”, (シーエ

図 7 留学生歓迎会

ムシー出版, 2017 年)

9研究室紹介愛媛大学理学部

前原研究室

愛媛大学理学部 前原 常弘
1. はじめに学生が多かったために、必然的に卒業生の数も多この研究室紹介の依頼があったとき、受けよう

くなっていて、結婚式に招待されることも多く（招かどうしようか、迷ったのが正直なところです。

待してもらうこと自体はとてもうれしいのですというのも、最近、管理・運営の仕事が忙しく（なが）、私の懐を悩ませています（図１）。

ぜか、今年度から副学部長なのです）、研究に費や

教員が酒飲みであることも手伝って、研究室です時間が激減していて、「研究室」と名乗るのも恥は定期的にイベントが行われます。新歓・BBQ・

ずかしいレベルだからです。まあ、そうは言って忘年会・卒論修論打ち上げ・追いコンといった具も細々と研究は続けていて、今回はその「細々」合です（図２に BBQ の時の写真を挙げます）。従を紹介したいと思います。主な研究は液中プラズ

来は、これらのイベントに加えて、研究室内で鍋マで、その他に、神野雅文先生の研究室にお邪魔パーティーやピザパーティーなどを不定期に開催

して、遺伝子導入の研究にも参加しています[1]。

していたのですが、建物内での煮炊き禁止が言い

ここでは、研究室の様子と水中プラズマの研究結

渡され、自粛しているところです。

果について簡単に触れたいと思います。

図 2 BBQ の様子（2016 年 7 月）
。今年も BBQ
図 1 2016 年 9 月卒業生カップルの結婚式。

をしたのですが、写真を撮り忘れました。

研究室には教員が私一人に対して、今年度の学

２．水中プラズマの発生と応用

生数は M2・1 人、M1・3 人、B4・5 人の合計 9

さて、研究の話ですが、その前に「工作室」を人となっています。これは希望者が多いため、つ紹介したいと思います。この工作室には旋盤やフいつい多めに受け入れてしまうことが原因です。

ライス盤、ノコ盤、ボール盤が備え付けられ、金目が行き届いておらず、学生たちにはパラダイス

属加工や樹脂加工が可能です。
実験装置の多くは、となってしまっているようです。また、従来から手作りであるため、研究室に配属された学生は、

10

まず、
工作機械の取り扱いを学ぶことになります。

図５はそのようにして、作られた金ナノワイヤ技官の奥村秀彦氏から指導を受け、図面通りに仕ーの例です。三角形を中心とする多角形の金ナノ上がると、男女に関係なく、楽しいようです（図粒子の生成は水中放電の利用例としてよく知られ３）。

るところですが、このように細長いナノワイヤーができるのは面白いと思っています。論文にまとめないといけないなぁと思っているのですが、手付かずのまま時間だけが過ぎてしまい、現時点では、観察に必須の透過型電子顕微鏡（TEM）を使える学生がいなくなり、途方に暮れています。

図 3 先輩の指導を受けて、旋盤を扱う様子。奥にわずかに見えているのが奥村氏。
そのようにしてできた装置の一つを図４(a)に示します（説明のためのポンチ絵を図４(b)に示します）。
ガラス容器以外は旋盤を使って自前で作っ図 5 a)金ナノロッドと b)金ナノワイヤーたものです。ガラス容器には水が入れられ、下側から挿入された電極に高周波（13.56 MHz）が加えられます。電極の直上に気泡が形成されて、そ図４の水中プラズマでは、水中に挿入された電の中にプラズマが発生します（初期の結果は文献

極に接する形でプラズマが発生する訳ですが、そ[2]）。水中プラズマが作る OH ラジカルによって、の場合は少なからず電極のスパッタリングが起こ

水中の有機物の分解が期待できるほか、ナノ粒子

り、場合によっては水が汚染されることになりまの生成も可能です。

す。このようなことを避ける意味から、電極から離れた位置で発生させた水中プラズマを図６に示します。ここでは、2 つの電極間を水（主に食塩水）で満たし、貫通孔を有する絶縁板で仕切るというものです。電極間に高周波を加えることで、貫通孔においてジュール損失が起こり、気泡が発生、その中にプラズマが発生します[3]。当初は、プラズマが発生する貫通孔部は熱に強い素材（セラミックや石英）が不可欠と考えていたのですが、

図 4 (a)実験装置の写真と(b)ポンチ絵

いろいろ試した結果、貫通孔と気泡の間に水の膜が維持されており、樹脂板に穴をあけたもので十11分であることが分かりました。透明のアクリル板

く中、周りの先生方に助けられながら、何とか研を絶縁版として採用することで、絶縁板を横切っ究を続けています。今後も事態は改善されないのて、気泡とプラズマの両方を撮影することが可能でしょうが、細々ながら、何とか頑張っていきまとなりました。その結果、観測事実に基づき、有すので、図７のようなバンダナを巻いたスキンヘ限要素法を利用して電場分布を議論し、プラズマッドの人物を見たら、温かく見守ってください。

の発生機構を明らかにしようと試みています（この有限要素法を使った電場分布の見積もりは、新居浜高専の松友真哉先生[4]に教わっています）。

図 7 学生による似顔絵

参考文献[1] 神野雅文: プラズマエレクトロニクス分科会
図 6 電極から離れた位置での水中プラズマ。

会報 No.63 (2015) pp.5-7

気泡が膨らんだ部分で電場が強くなり、[2] T. Maehara et al.: Jpn. J. Appl. Phys, Vol. 45

プラズマが円環状に維持されている。

(2006) 8864-8868[3] T. Amano et al: Jpn. J. Appl. Phys, Vol.51(2012) 108005[4] 松友真哉: プラズマエレクトロニクス分科会

３．おわりに

会報 No.65 (2016) pp.20-25

地方大学で教員数が削減され、校費も減ってい12

海外の研究事情

ドイツ

ガルヒン・ミュンヘン滞在記

Max-Planck Institute for extraterrestrial physics/terraplasma GmbH
産業技術総合研究所 電子光技術研究部門

清水 鉄司

ミュンヘンは、人口が約 145 万人に達する、ベ

はじめに
私は、2001 年 8 月から 2017 年 3 月まで、結果

ルリン、ハンブルグに次ぐドイツ第 3 の都市で、的に 16 年弱の間縁があり、ドイツバイエルン州

ドイツの中で最も人気のある都市です。夏季など

ミュンヘンの郊外にあるガルヒン市（Garching）の休暇シーズンには、ドイツ国内外からたくさんに滞在しました。その間、マックスプランク地球の観光客が訪れます。30 万人を超えるドイツ以外

外 物 理 学 研 究 所 （ Max-Planck Institute fürの国籍保持者が在住しているため国際色豊かで、

extraterrestrische Physik ） [1] と terraplasma

日本人も多く滞在しており、日本食スーパーやレGmbH [2] に所属し、研究活動などを行ってきま

ストランも多くあります。ミュンヘンは、した。本稿では、私の滞在したガルヒンとミュン

Pinakothek に 代 表 さ れ る 多 数 の 美 術 館 、ヘンの紹介、マックスプランク研究所で行った大Deutsches Muesum をはじめとする博物館、バイ

気圧低温プラズマを用いた殺菌技術に関する研究、 エルン州立歌劇場などがある芸術・文化の都としまた滞在中の経験や思ったところを記していきたての顔のほか、BMW やジーメンスの本部がある

いと思います。ご存知の方々におきましては、当強力な経済都市の一面もあります。また、多数のたり前と感じることも多々あると思いますが、海ビール醸造所があり、9 月中旬から 10 月初めに行

外における滞在及び研究に興味のある方々に参考

われる Oktoberfest は、世界最大のビール祭りで、になればと記しますので、ご容赦ください。

老若男女問わず１Mass（1 リットル）のジョッキを片手にみなで盛り上がります。サッカーの強豪である Bayern München の本拠地でもあるため、ガルヒンとミュンヘン
私が住み働いてきたガルヒン市は、ドイツ南部

試合のある日はとてもにぎわいます。

のバイエルン州の州都であるミュンヘン中心から

このような街で生活をして気づくのは、多くの北に 15 ㎞のところに位置する、人口 1 万 6 千人

ドイツ人が、「仕事をすること」と「さまざまな文

位の小さな町です。市内には 4 つのマックスプラ

化を通じて生活を楽しむ」ことのバランスを、大ンク研究所とミュンヘン工科大学（Technische

事に考えていることです。日々の生活でも、夕方

Universität München）のほかヨーロッパ南天文には家路について、ゆっくりと夜を楽しむ文化が台（European Southern Observatory）などが運根付いています。スーパーマーケットなども、夜営されており、ガルヒンは学術都市、大学都市と8 時に閉店で、余暇を楽しむことが生活のリズム

しての性格が強い町です。市内には、スーパーやに溶け込んでいる感を受けました。

郵便局、ビアホールなど必要なものは全てあり、ほかにドイツで気づくのは、ドイツ人は比較的またミュンヘンまで地下鉄で 30 分程度と、とて几帳面なことです。そして、家の中から街の外観も恵まれた環境で生活を楽しむことができます。

まで清潔に保つことに、とても積極的です。ミュ13

ンヘンの街並みは、高いビルもなく清潔に保たれプラズマ源の開発とそのプラズマの基礎的性質のていて、それに誇りを持っていることがうかがえ

診断および初期バイオ実験の責任者を担当しまします。また、アパートに住んでいると、大家さん

た[3]。

から部屋の使い方について様々な忠告を受けるこ

はじめに、低温大気圧プラズマ照射の対象としともあります。特にキッチンをきれいに保つことて、主に下肢にみられる感染慢性創傷に対する処には多大な努力を払います。

置を考えました。創傷上に細菌が定着・感染してそのほかに、ルールを守ることを好むのもドイいる場合、創傷の治癒過程が遅延しえることが広ツ人の特徴だと思います。たとえば、地下鉄やバく知られています。そのため、一般的な処方とし

スは改札もなく検札もまれですが、ドイツ人の大て、抗生物質などの薬剤投与が行われます。しか部分はきちんと切符を購入しています。時々、こしながら、糖尿病などの持病やアレルギー反応、のようなシステムが、日本を含むほかの国で運用

また近年における高コストゆえの抗生物質開発のできるか、と考えることもありました。ただその低下、および MRSA（メチシリン耐性黄色ブドウ几帳面さゆえに、役所での杓子定規な対応になり

球菌）に代表される耐性菌の出現などの問題があがちで、たびたび閉口することもありました。

り、抗生物質以外の細菌に対する処置法が期待されています。私たちのグループでは、私が中心と

マックスプランク研究所における研究内容

なり開発・診断したプラズマ源を用い、世界で初―抗生物質によらない創傷上の細菌コントロー

めて低温大気圧プラズマを用いた臨床試験を行い

ル法の開発―ました。プラズマ照射の結果、創傷上の細菌数のマックスプランク研究所の私の所属していたグ低下を観察することができました。臨床試験はループでは、Director の Gregor Morfill 教授を中2013 年末に終了したが、試験中に副作用の報告も心としてマイクロメータサイズの微粒子とプラズなく、またプラズマ処置は患部と機械的接触がな

マとの相互作用を研究しており（微粒子プラズマ）、 く痛みを伴わないため、感染コントロールの一方
国際宇宙ステーションで実験を実施するなど世界

法 と し て プラ ズ マの 適用 は 期 待 され て いま す的にこの分野をリードしていました。

[4,5]。

そのなかで、細菌のサイズは微粒子プラズマ中

ま た 、 他 の 皮 膚 疾 患 、 例 え ば 痒 症 [6] やの微粒子とほぼ同じであることに着目し、今まで

Heiley-Heiley 病[7]、帯状疱疹[8]に対してもプラに理解してきたプラズマと微小サイズの粒子間のズマ処置を適用しました。さらに、プラズマによ

物理・化学プロセスをさらに応用展開するため、る創傷そのものの治癒効果を検証するため、皮膚2004 年から低温大気圧プラズマを用いた医療応

移植する際の非感染状態の創傷に対してもプラズ

用に関するプロジェクトを開始しました。低温大マ照射を適用しました[9]。低温大気圧プラズマ照

気圧プラズマは、ほぼ室温下で荷電粒子や紫外光

射は殺菌効果だけではなく、創傷の治癒過程にもなどによる機械的な刺激を対象に与えることがで有意な効果があることを実証することができましき、またそれと同時に殺菌などの生化学反応に対た。なお、この臨床研究を通じて、プラズマ装置

し適切な活性種を生成・供与することが可能であは 現 在 Adtec Europe Limited か ら 商 品 名り、ほかの媒体にはないとてもユニークな特徴をSteriPlas として市販されていますので、興味の持っています。本研究において、私は低温大気圧ある方はホームページをご覧ください[10]。

14ドイツ（人）について思うことを持ち、アイデアや意見を普段から大事に温めて、

私は、ドイツ滞在中、マックスプランク研究所

プレゼンしていくことの重要性を学べた気がしてのほか、2014 年 1 月から 2017 年 3 月までいます。

Max-Planck Society からのスタートアップ企業
である terraplasma GmbH に在籍しました。そ最後にの間、基礎学理を追求する研究から、製品開発・

こ の 滞在 記を 終え るにあ た り、 Max-Planck

実用化へとつなげる開発アプローチを経験するこInstitute と terraplasma GmbH で常に討論に応とができました。

じていただき、また激励していただいた Gregor

その間に、多くのドイツ人の同僚といろいろな

Morfill 教授、また研究の議論から日常のドイツトピックで話をしてきて思うことの一つに、ドイについてのお話までお世話になりました Julia

ツ人科学者の視点の長さがあります。私が所属しZimmermann さん、臨床試験からサッカー、日ていたのが、マックスプランク研究所とそこから

本 食 ま で さま ざ まに お話 を さ せ てい た だい たのスタートアップ企業であったこともあるとは思Georg Isbary さん、ほか一緒に研究をおこないビ

いますが、私の周りの多くの人が 50 年先位を見ールを楽しんだ方々に心より感謝いたします。そ据えている感がありました。そして、どちらかとして、ドイツに研究する機会を与えていただいた、

いえば、自分の専門でない分野にも興味を持って東北大学名誉教授佐藤徳芳先生に深く感謝いたしいるようです。技術発展が速く、分野が多岐にわます。

たり、とかく自分の専門の近い未来のみを見がちですが、ドイツ人は学際的に基盤を構築していく

参考文献

ことを大事にする価値観を持っているように見受[1] http://www.mpe.mpg.de/2169/en

けます。多種多様な課題に対して考えていく必要[2] http://terraplasma.com/

がある現在では、バランスよく、近い将来から遠[3] T. Shimizu, et al.; Plasma Process. Polym., 5,

くまで、またさまざまな分野を視る能力が求めら(2008), 588-82.

れますが、一つのあり方を見ることができたので[4] G. Isbary, et al.; Br. J. Dermatol., 163, (2010),はないかと思っています。

78-82.
[5] G. Isbary, et al.; Br. J. Dermatol., 167, (2012),

また、ほかのヨーロッパ諸国と同様に、ドイツ人は議論をすることを好みます。トピックは多岐

404-10.

にわたり、科学のことから政治、歴史などはもち[6] J. Heinlin, et al.; J. Eur. Acad. Dermatol., 27,

ろんのこと、食事やサッカー、テレビ番組の話ま(2013), 324-31.

で、なんでも「議論」したいように思います。滞[7] G. Isbary, et al.; Arch. Dermatol., 147, (2011),

在当初は、議論の輪に入れなかったと時に、正直、

388-90.

語学力の問題と考えることが多かったです。しか[8] G. Isbary, et al.; Clin. Plasma Med., 2, (2014),

しながら、のちに語学力はそれほど重要なファク

50-5.

タではなく、どちらかというと相手を振り向かせ[9] J. Heinlin, et al.; Wound Repair Regen., 21,

る力のほうが大事なことだと思うようになりまし(2013), 800-7.

た。月並みですが、やはりいろいろなことに興味[10] http://www.adtecplasma.com/

15

学生のためのページ

プラズマ誘起液中化学反応場における液中化学種の診断
大阪大学 北野 勝久、神戸大学 谷 篤史
大阪産業技術研究所 井川 聡、中島 陽一
1. プラズマ誘起液中化学反応のバイオ応用

2.

溶液の分析手法の基本

大気圧低温プラズマを用いた医療、農業、バイ

液中の化学種の診断は分析化学的な手法に基づ

オマテリアルなど幅広い応用研究が着目されていき多種多様な方法があるが[11, 12]、プラズマ分野

る[1-7]。それらの多くは濡れ環境での利用であるで比較的よく使われている手法を簡単に紹介する。

ために、プラズマによって液中に形成された化学

2-1

反応場の理解は重要である。溶液中の反応は溶液

光と物質の相互作用を利用することで、様々な中の化学種によってもたらされるために、発光分

定性・定量分析が可能である。溶液中の化学種は

光分析や質量分析などの気相中のプラズマ診断だ

紫外～可視域に特有の吸収スペクトルを持つ場合

けでは不十分であり、反応素過程の理解のためにが多く、分光器を用いて透過光の光吸収を測定す

は液中化学種の診断が必要となってくる。

ることで化学種の推定が可能である。入射光、出吸収分光法

射光の強度をそれぞれ I0、I とすると、吸光度 A

プラズマは化学種の供給ツールであると言えるは下記の様に定義される。

が、被対象物を含む溶液に対してプラズマを直接A = log10 (I0 / I)

作用させる方式と、事前にプラズマを水に照射したプラズマ処理水（PTW: plasma-treated water）

吸光度 A は無次元量であるが、ランベルト・ベーを利用する間接的な方式がある。供給された化学

ルの法則から、目的物質のモル吸光係数 ε、モル

種のうち寿命の長いもの、もしくは二次的に生成

濃度 Cn、光路長 L を用いて下記の様に示される。

されるものを利用するのが PTW と考えると良い。

A = ε Cn L

医療応用では細胞への作用が中心であるが、そ光の透過率（%）ではなく、吸光度を用いることの素過程は生理活性を有しているタンパク質の化

で、濃度ならび光路長に比例した値が得られ、使学修飾である場合が多く、さらに化学反応性が高

い勝手が良い。液中の化学種の吸収スペクトルはく酸化されやすいアミノ酸残基が立体構造的にど比較的ブロードで重なる場合が多く、溶存ガスもの部位にあるかなど、よりミクロな生化学反応を考慮しながら慎重に波長分離を行う必要があるが、検討する必要もある[8-10]。

波長分離だけでは想定外の化学種の存在を見過ごすことがある点には注意が必要である。

このようなプラズマ誘起液中化学反応場を理解し価値のある応用をするためには、液中化学種の2-2測定は必須であり、正しい診断を行わなければそ

電気化学的な反応を利用することで、液中の化の応用が真に新規な研究であるかの判断はつかな

学種の測定が可能である。作用電極、参照電極、い。当該分野の研究を始める（行っている）学生

カウンター電極の 3 つ電極を用いる場合が多く、に向けて、本稿では基礎的ないくつかのトピック

電位差を測定する方法と電流を測定する方法の二スにしぼり解説を行うこととする。

つに大別される。いくつかの化学種の計測に用い

16

電気化学測定ることが可能であるが、最も有名なのは pH メーいる[13]。ペーパーストリップタイプのケミカルターである。pH は[H+]の負の対数に等しいと定インジケーターも市販されているが、これらはあ義されているが、様々な化学反応に関係する重要

くまで簡易分析手法であるため、注意を要する。

なパラメーターである。一般的な pH メーターは発光タイプのものは、化学反応によって発光物

H+ イオン選択性のきわめて高いガラス電極を用

質が励起状態となり、基底状態に戻る時に発する

いて[H+]の電気化学測定を行っている。校正さえ光を観測することで計測を行う。化学種の定量分正しく行えば信頼性の高い測定器である。

析には適しておらず、発光体でもあるプラズマが2-3

化学プローブ法近傍に有る場合は使いにくいので、あまり使われ化学プローブと呼ばれるプローブ分子と溶液中ることはない。

の化学種とが化学反応した生成物を発色、発光、蛍光タイプのものは、化学反応によって蛍光を蛍光により間接的に計測することで元の化学種を発する物質に変化することを利用し、蛍光光度計

推定する方法である。液中で不安定（短寿命）な等で励起光により生じる蛍光強度から測定を行う

化学種を、化学プローブを用いて安定化すること方法である。生命科学分野で古くから使われておで事後に計測する場合も多い。利用する化学反応

り、多種多様なプローブが市販されている。励起には様々なタイプがあり、単に酸化力を評価する

光と異なる波長での蛍光を測定することで、S/Nだけのものから、特定の化学種に特異的に反応すが非常に良い測定が可能となる。

る選択的な化学プローブもあり、目的の化学種に2-4

応じて使い分ける。選択性があると言っても必ず

液体クロマトグラフの一つであるイオンクロマ

しも特定の化学種のみが反応するというわけではトグラフでは、試料溶液中のイオンをイオン交換

なく、特定の化学種への反応速度が大きいというカラムにより分離し、電気伝導度検出器や光吸収特性を利用しているだけであり、それぞれの化学

分光器などで測定する[14]。化学種を分離してか種の濃度と捕捉率の積算が測定結果として得られら計測するクロマトグラフ法の一つであり定量性る。
多くのプローブでは化学種により新しく発色、が高い。陽イオン、陰イオンを含めて無機イオン

発光、蛍光が生じるが、プローブによっては波長の定量分析では極めて有用であり、サプレッサー

シフトや失活などを利用することもあり、基本的を利用することで ppb 程度の高感度を実現する。
2-5な原理を下記で説明する。

イオンクロマトグラフ法

電子スピン共鳴法

発色タイプのものは、肉眼で観察できるものも

電子スピン共鳴（ESR: Electron Spin Resona

多く、測定も比較的簡単であることから多用されnce もしくは EPR: Electron Paramagnetic Res

る。KI 法は I-が酸化されて生じる I2 が、さらにonance）を利用した測定法は、不対電子を検出す

I-と反応して生じる I3-の吸収分光を行う事で酸化る磁気分光法の一つである[15, 16]。不対電子を性化学種の測定を行う。さらにデンプンを混ぜて持つ試料が磁場中に置かれるとゼーマン分裂によおくことで、高感度な計測も可能である。共立理

りエネルギーの異なる二つの状態が現れる。磁場

化学研究所から発売されているパックテストは有を掃引しながら、特定周波数のマイクロ波の吸収名であり使われている方も多いかと思うが、目的を測定し、そのスペクトル形状から化学種を同定

化学種に対して感度と選択性のある発色試薬が事することができ、信号強度から化学種の絶対量を前に粉末状に混合された様々なものが市販されて求める事も可能である。半導体分野ではダングリ

17ングボンドの測定にも用いられるが、化学種の測

種は試薬として市販されている場合が多く、コス定方法としてラジカル（化学的反応性が高いとい

ト面から直接的な利用にはあまり価値が無い。

う意味ではなく不対電子を有するという意味）の

単一の化学種のみが界面から供給される系の理みに選択的な感度を有するという特徴があり、比解は比較的容易であるが、実際の液中の化学反応

較的、高感度な計測が可能である。

は複雑である。例えば、O3 は水の電離平衡によりプラズマにより液中に生成されたラジカルを計

濃度が決まる OH-と反応して HOO・が生成され、測するのに、スピントラップ法が併用される場合

さらに O3 と反応することで OH・が生成される。

が多い[17, 18]。多くの液中ラジカルは不安定であこのように液中の活性酸素種は反応ループによっるため、スピントラップ剤で化学種を捕捉するこて他の活性酸素の形態へと変化するが、さらに活とで、スピンアダクトという比較的安定なラジカ

性窒素種まで含めると非常に複雑となる。理解を（HOO・）
ルに変換して間接的に計測を行う。O2-・

高めるには専門書を参考にすると良い[20, 21]。

や OH・の測定に用いられる場合が多いが、化学

プラズマからは、複数の化学種が同時に供給さプローブ法の一つとも言える。

れ、それらが互いに化学反応しながら拡散してい非ラジカルの測定にも用いられる事もあり、修くため、実際の反応場の構造はより複雑なものと飾された化学プローブがラジカル化することを利なる。特に、多くの短寿命化学種が存在する気液

用するスピン酸化法により 1O2 を測定することも界面近傍（例えば 1 µm 以内）では多種多様な化可能である[19]。

学反応が関与しており、著しい濃度勾配のため反3. プラズマにより誘起された液中反応場

応律速が化学反応速度なのか、拡散速度であるのプラズマにより液中に誘起される反応場がどのかなど、実験的なアプローチでは理解が困難なのようになっているのかを液体側から考えると、気が現実である。

液界面が供給源となり活性酸素種や活性窒素種な

そのような気液界面近傍の検討に、計算機シミ

どの化学種が同時に供給される反応場と言える。

ュレーションによる液中化学種の空間分布を計算

供給される化学種の多くは寿命が短く、気液界面するというアプローチも行われている。気相からから深さ方向にどの程度浸透できるかは化学種の供給される化学種のフラックス量の実測は困難で種類により異なる。浸透距離は、その化学種が関あり、また、必要な化学反応の速度定数が必ずし係する化学反応で決まる場合が多く、例えば、液も判明しているとは言えず、一定の考察にとどま

中の OH・は、OH・どうしの反応により H2O2 にる。例えば、気液界面では温度が必ずしもバルク

変化するが、二次反応であるため半減時間は濃度の液温と一致していないが、反応速度定数の温度に依存し、例えば 1 µM のときは寿命が約 200 µs

依存（活性化エネルギーと衝突頻度係数）まで十となるが、基質との反応性が高いために、最初に分なデータベースが利用出来るわけでもない。さ出くわした分子と反応する拡散律速で決まる反応

らに、電子化学反応、溶存ガスの影響、電気化学系になる。

反応、液体の流動なども考える必要があり、量子長寿命な安定化学種も供給（もしくは液中で二化学計算も考慮した今後の展開に期待する。

次的に生成）され、プラズマ照射時には気液界面

プラズマ照射中の話を中心に記述したが、液中で高濃度に存在するが、時間とともに拡散して溶に供給された化学種がプラズマ照射を終わった後

液中で均一な濃度となる。ただし、その様な化学（ポストディスチャージ）にも化学反応し、さら18なる化学種が二次的に生成されるという反応経路

生成物を間接的に測定する方法に大別できる。前も重要である。チェコの Petr Lukes 博士は、PTW

者は、吸光光度測定の様に反応場を非侵襲で測定中に残留する亜硝酸と過酸化水素からペルオキシ可能であるのだが、後者は化学種を化学プローブ

ナイトライト（ONOOH）が数時間オーダーで生により捕捉する侵襲的な計測を行っているため、成され続け、速やかに分解するが、その時に生成化学種のスカベンジャーとして働く場合が大半でされる OH・によって殺菌が進むというモデルをある。その様な場合、そもそもの化学種の空間分

提唱している[22]。三次反応まで考慮した化学反布が化学プローブにより変化してしまうため、空応速度論に基づくモデルを構築しており、分析化

間分布の計測は基本的に不可能である。さらに、学的手法を用いて PTW の成分分析を行った結果

化学反応経路の一部を停止させてしまうことから、を利用して、同濃度の化学種を含有するモデル液

二次的に生成される化学種が計測できないという体の実験でも一致した実験結果が得られている。

問題点もある。例えば、OH・から生成された H2O2ペルオキシナイトライトケミストリーと呼ばれ、が 、 別 経 路 で 供 給 さ れ た HNO2 と 反 応 し て

PTW のポストディスチャージ反応を理解する上HOONO が生成され、さらに分解するときに生成で非常に参考となる研究である。

される OH・などである。

また、被照射物という観点から考えると、多く

一般的に、化学プローブ法でより定量性のあるの場合、気液界面よりも一定距離離れたところで測定を行うためには、測定対象となる化学種を捕の化学反応が重要となる。例えば、プラズマバイ

捉するために化学プローブの濃度を十分に高くしオの研究分野では、動物細胞や細菌などを含有すて、擬一次反応とする必要がある。しかしながら、る液体に対してプラズマ照射が行われるが、確率プラズマにより供給される反応性の高い化学種の的に気液界面近傍（例えば 1 µm）に位置してい場合、そもそも捕捉率が 100 %ではない。
さらに、る可能性は非常に低く、気液界面より数 mm 深い

化学プローブが活性種と反応する捕捉が行われる

領域に到達できる化学種が主たる反応化学種とな

気液界面では、化学種の極端な局所的濃度上昇をる。さらに生体へのプラズマ照射を考えると、細伴うために、その様な極限的な状況下では化学プ

胞の周囲を取り囲んで存在する細胞外マトリック

ローブの濃度が足りない二次反応となっている可スには活性化学種との反応性の高い生体分子が多能性も高く、捕捉率を決定するのは困難である。

く含まれており、細胞へ影響を与えるのはプラズ

絶対濃度の測定に用いるのは少し難があるが、相マにより生成された化学種のみならず、それらの対評価が可能な場合は多いと考えられる。

反応で生じた二次的な反応生成物（アミノ酸等のプラズマ処理中の溶液中の底部に化学プローブ

生体高分子の酸化物など）である可能性もある。

を混合したゲルを配置することで、PTW 中の化

4. 溶液の分析手法の注意点

学種分布を計測する試みがなされる場合もあるが、溶液中の化学種測定法ならびプラズマ誘起液中

単なる濃度拡散のみならず、イオン風、熱対流、化学反応に関する基本的な事を上記で示したが、電気浸透流などによる流体の流れが伴う場合は注

以下では、それらを考慮した液中化学種の実際の意が必要である[23]。液中化学種が化学プローブ

測定に関する具体的な注意点を記述する。

と反応することで液中濃度が低下する可能性があ

様々な計測方法を示したが、化学種をそのままるため、流体が最初に接触した部位近傍が高濃度計測する方法と、目的とする化学種との化学反応であると判断してしまう可能性もある。

19

妨害物質の影響も考慮する必要がある。複数の方法もある。軌道角運動量を有するため直接は測化学種が供給されているために、必ずしも目的と定が不可能な溶液中の O2-・は冷凍することで測する化学種が測定できているとは限らない。pH定が可能になるが、OH・と同様に冷凍するまで

により化学プローブの捕捉率が異なる事はよく知に失活してしまうために測定が困難である。高ア

られているが、想定外の別の酸化性化学種と反応

ルカリ条件にすることで O2-・の不均化反応を抑してしまっている可能性もある。例えば PTW のえて半減時間を劇的に延ばすアルカリトラッピン

分析でよく用いられているパックテストでは、測グ法もあるが、その様な高アルカリ条件ではプラ

定時の pH が指定されているが、PTW はそれよりズマ照射時に OH・経由で生成される H2O2 からも酸性になっている場合も多く、さらにプラズマ

O2-・が生成されてしまうために分離が困難である。

照射によって生成される次亜塩素酸やオゾンと反5.

液中化学種の診断を用いた実際の研究事例
著者のグループでは、様々な分析手法を用いる

応して発色する場合もある。

プラズマ照射時に化学プローブを用いる場合も、 事 で プ ラ ズ マ 照 射 時 に 生 成 さ れ た 過 硝 酸
上記の様に pH による捕捉率が変化する可能性も（HOONO2）が PTW 中に保存され殺菌力を発揮

あり、目的とする化学種が同じフラックスで供給することを世界で初めて明らかにしたが[26]、化されたとしても、同時に供給される HNO3 の量が学種の診断と化学反応速度論の観点から解明過程

異なり気液界面の pH が変わってしまうと、目的を解説すると面白いのでこの場を借りて紹介する。

化学種の供給量が変わった様に見えてしまう。

菌液に対するプラズマの直接照射時に、pH を

電子スピン共鳴法では DMPO[24]というスピ

4.8 以下にすることで中性条件より殺菌力が 100

ントラップ剤が用いられる場合があり、古くから倍程度高まる低 pH 法を開発したが[27]、O2-・の使われており参考文献も多いが、複数の化学種が酸解離平衡の pKa は 4.8 であり、化学平衡モデル

供給される場合には注意が必要である。例えば、から計算される[HOO・]と殺菌力が比例しており、OH・と反応して生成した DMPO-OH の半減時間

O2-・が関与していることが判明した[28]。

は約 15 分と測定時間より十分に長いとは言えな

PTW でも同様に低 pH 法が有効であることが- と反応して生成される DMPO-OOH
い。
また、O2・

分かったが、液温を低温にすることで殺菌活性がの半減時間は約 1 分であり、測定を行い始めるま保存（活性化エネルギー109 kJ/mol）された。電で、もしくは測定中に失活物となるのみならず、- の測定を
子スピン共鳴法を用いて PTW 中の O2・その一部は DMPO-OH と変化してしまうため、試みたところ、直接冷凍法では O2-・信号が得ら

例えば、O2-・のみしか供給されない反応系であっれなかったが、スピントラップ法を併用することても、DMPO-OH の信号が観測される。また溶存で O2-・信号のみが得られ、その活性化エネルギ

酸素とも反応するという報告もある。様々なスピーは殺菌実験とほぼ同じ値であった。これらから、

ントラップ剤を試したが、スピンアダクトの寿命

PTW 中に何らかの O2-・の前駆体が存在しているが約 1 時間と比較的長く、アダクトの別種への変と示唆された。さらに PTW の失活後に HNO3 の化が少ない CYPMPO[25]を用いるのが良いと考濃度が上昇することがイオンクロマトグラフ法にえているが、上述した様に pH 依存性、濃度定量より判明したため、PTW 中のキー化学種は活性性、温度依存性などの問題点は避けられない。

窒素種であると推定された。低温でのみ活性が保持 さ れ る こと か ら、 一般 的 に は カラ ム 温度 がスピントラップ法を使わずに直接計測を試みる

20

40 ℃程度で保持されるイオンクロマトグラフをために、化学反応速度論を用いた手法は非常に有改造して、カラムを氷冷することで PTW 中の化効である。診断結果（測定された化学種量など）

学種を分離した[29]。フラクションコレクターでと実験結果（殺菌実験など）の間に相関関係があ

各成分を分画することで有効殺菌化学種の同定・るからと言って必ずしも因果関係があるとは限ら精製に成功したが、吸収分光測定を行ったところ、ない。極端な例を挙げると、プラズマ照射に伴っ過酸化物に特有の吸収スペクトルを有していた。

て液温が 0.1 ℃上昇する度に、生菌数が 1 桁下がこれらから、殺菌有効成分としていくつかの候補るからと言って、因果関係があると考える人は少物質が挙がったが、化学合成した過硝酸溶液をポないだろうが、化学プローブで計測された OH・

ジティブコントロールとしてイオンクロマトグラ

量と殺菌力が比例していた場合、殺菌因子である

フにより分析したところリテンションタイムと殺と単純に解釈してしまう場合が多い。

菌特性が一致しており、過硝酸が PTW 中の有効

因果関係があるのかを判断する一つの方法とし残留成分であると同定した。

て、その測定系ならび実験系でポジティブコント

PTW の研究を通じて、過硝酸による殺菌法をロールとネガティブコントロールを正しく取る事発見したが、これは過去に報告の無い全く新規なが挙げられる。一例ではあるが、O2-・の測定時に手法であり[30]、化学合成により低コストで製造

SOD という O2-・のスカベンジャーを混合するこ

可能なことから産業的にも利用価値が高い。プラとで化学プローブが正しく反応しているのか判断

ズマによる液中殺菌の研究を深めることで、このする場合があるが、化学プローブとスカベンジャ

ような新規な殺菌剤を発見できたのは幸運ではあーとの競合反応であるために、それぞれの濃度をるものの、綿密な化学種診断を行うことでこそ発変更した実験は必須である。SOD はタンパク質で見することが出来たと言えるであろう。

あるために、O2-・以外との化学種と反応する可能

6. 終わりに性もあり、熱失活させた SOD や、特異な化学反応性を有しないタンパク質として BSA などを混

いくつかの例を取り上げたが、複数の化学種が濃度勾配を有する反応場の計測はいかに困難であ合した比較実験も必要である[17]。

るかが理解していただけたのではないでしょうか。

プラズマにより生成された化学種の診断を 10

分析化学の文献で紹介されている分析手法は基本

年以上にわたりトライしてきたが、さらなる研究

的に単一の化学種が均一濃度で存在しているといが必要であると痛感している。
道半ばではあるが、うのを前提としており、その手法が必ずしもプラ

液中の化学種の診断を通じて液中化学反応に関す

ズマ誘起液中反応場の診断にそのまま利用できるる多くのヒントが得られており、現実のバイオ応

わけではない。さらに、プラズマにより供給され用の反応素過程の理解を深めようと試みている。

た化学種同士の反応は非常に複雑である。それぞ

液中診断のためにはプラズマ研究者があまり得意

れの化学プローブで測定原理（化学反応）が異なとはしない化学反応が重要であり、その手の研究るために、分析化学ならび物理化学の専門家と協者との連携は必須である。これまでに多くの経験

力して正しく理解して使う必要があり、複数の測（失敗経験が重要だったりする）を有しており、定方法を併用して研究を進めるのが好ましい。

特定の場合における診断は一定の目処が立ってい分析手法の正当性を評価するだけでなく、キーる。液中化学種の診断を行うときは相談に乗れるとなる化学種の同定など因果関係を明らかにするかもしれませんので、ご連絡頂ければ幸いです。

21

参考文献

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国特許第 6,087,029 号、（2017/2/10）.

22

実験技術とそ

活性酸素種

応用物理学会講演奨励賞

Ar 誘導熱プラズマへの Ti 原料投入時におけるトーチ内のTi 励起温度分布および Ti 蒸気混入率の二次元分布の推定
金沢大学 自然科学研究科

兒玉 直人

果から，2-D OES は熱プラズマプロセスの検討に

はじめに
現在，熱プラズマを用いたプロセスはナノ粒子

対して非常に有用であることを示した[2]。

合成や成膜処理を始めとした非常に様々な分野へ本報では，Ar ICTP への Ti 原料粉体投入時に応用されている。これらのプロセスでは，熱プラ

おける熱プラズマトーチ部に対する 2-D OES をズマに対して原料を投入し，熱プラズマの高エン行った。二つの異なる波長の Ti I スペクトル線の

タルピを利用することで原料を瞬間的に分解およ

分光観測結果から，ICTP トーチ内の Ti 励起温度

び蒸発させる。分解および蒸発された原料は熱プ

Ti)の二次元分布を推定した。さらに，Ar I およ(𝑇𝑇ex

ラズマと混合した状態になる。この原料蒸気のプ

び Ti I の放射強度比および，局所熱平衡かつ圧力

ラズマへの混入は，導電率などの熱プラズマの特一定を仮定した理論計算からそれらのスペクトル性を大きく変化させる。例えば，Ar-O2 熱プラズ

線の放射係数比を求めた。求められた温度におけマに対して 1 mol%の Ti 蒸気が混入することで，る放射強度比および放射係数比を比較することで，温度 5000 K 以下での導電率が 3 桁程度上昇する[1]。これは，金属原子が低い電離電圧を有するた

観測点の Ti 蒸気混入率(𝑋𝑋Ti)を推定した。

めである。導電率などの熱プラズマの特性の変化

実験条件および Ti 蒸気混入率の推定方法

は熱プラズマの安定性にも大きな影響を与える。

図 1 に，実験に用いた ICTP トーチおよび二次以上のことから，熱プラズマを用いたプロセス中

元分光器の概略図を示す。本実験では投入電力がにおける金属蒸気混入率分布の検討は，原料蒸気20 kW で生成された Ar ICTP に対して原料 Ti 粉の混入による熱プラズマの性状の変化やより効率

体を連続的に導入した。Ar シースガス流量を 90

的なプロセス手法の検討のために非常に重要であslpm に設定した。原料粉体の輸送ガスとして Arる。しかしながら，プロセス中の熱プラズマに対ガスを 4 slpm 導入した。チャンバ内圧力を 300する実験的な熱プラズマの計測から原料蒸気混入

torr に設定した。二次元分光観測の領域をコイル

率分布を検討した例は非常に少ない。

終端下の領域に設定した。本領域における二本の筆者らはこれまでに誘導熱プラズマ(ICTP)を

Ti I スペクトルとして波長(λ)=453.32 nm および用いた酸化チタン(TiO2)ナノ粒子生成中の熱プラ

λ=521.04 nm のスペクトルを観測した。Ar I スペ

ズマトーチに対する二次元分光観測(2-D OES)をクトルとしてλ=811.53 nm のスペクトルを観測し行ってきた。そして，二次元的に得られた原子おた。観測された二本の Ti I 放射強度分布に対してよび分子スペクトル放射強度分布から，原料 Ti

Tiの二次元分布を二線強度比法を用いることで，𝑇𝑇ex

や前駆体 TiO の蒸気分布やトーチ内の温度分布を

推 定 し た 。 次 に Ti I (λ =521.04 nm) と Ar I

検討してきた。さらに，トーチ内における粒子核(λ=811.53 nm)の放射強度比𝐼𝐼Ti@521 / 𝐼𝐼Ar@811 を推定した。さらに，圧力一定かつ局所熱平衡の仮定

発生の可能性についても検討してきた。以上の結23

FeedstockCoil~55 mm~44 mm

10 mm

Sheathgas
Quartztube

High-speed
video camera Imaging spectrometer
Objective lensCoil(a) Ti I (λ=453.32 nm)(b) Ti I (λ=521.04 nm)

図 1 実験装置および分光観測領域
2

εTi@521 / εAr@811 [-]10⋯ ⋯ 0.1mol%XTi

10-9mol%XTi

High

⋯⋯

101
100
10-1

(c) Ar I (λ=811.53 nm)

Low

図 3 Ar I および Ti I に対する 2-D OES の結果

10-2

2

3

った場合，その観測点の𝑋𝑋Tiは約 0.1 mol%と推定

4

5
6
7
8
9 10
Temperature [kK]
図 2 Ti I および Ar I の放射係数比の温度される。

および Ti 蒸気混入率依存性

結果および考察の下で Ti I (λ=521.04 nm)と Ar I (λ=811.53 nm)

図 3 に，2-D OES から得られた Ti I スペクトの放射係数比(𝜀𝜀Ti@521 / 𝜀𝜀Ar@811 )を計算した。これ

ルおよび Ar I スペクトルの二次元放射強度分布

らの結果から，𝑋𝑋Tiの二次元分布を推定した。図 2を示す．径方向位置 Ti I スペクトルはトーチの中

𝜀𝜀Ti@521 / 𝜀𝜀Ar@811 である。𝑋𝑋Ti は Eq.(1)に示す様に

一方で，Ar I スペクトルはトーチ内の広い領域でここで𝑀𝑀Ti ，𝑀𝑀Ti+ およびは𝑀𝑀Ti2+ それぞれ Ti 原子，
Ti+イオンおよび Ti2+イオンのモル分率である。

Ti
および𝑋𝑋Tiの推定結果であを推定した。図 4 は𝑇𝑇ex

図 3 から，推定された放射強度比および温度を用

比較的低く，その周囲(off-axis)の領域で高く推定いることで𝑋𝑋Tiを導出することが可能である。例えされた。実験条件で示したように，本実験では原K であり放射強度比𝐼𝐼Ti@521 / 𝐼𝐼Ar@811が約 2.0 であトーチ内に導入している。この低い温度のキャリ

は ， 𝑋𝑋Ti お よ び 温 度 の 関 数 と し て 計 算 さ れ た

心軸上(on-axis)領域で放射強度が高く検出された。

Ti を含む粒子のモル分率の合計として定義した。
𝑋𝑋Ti = (𝑀𝑀Ti+𝑀𝑀Ti+ +𝑀𝑀Ti2+ ) 100 [mol%](1)

Tiが約 7000
ば，観測点において推定された温度𝑇𝑇ex

放射強度が高く検出された。これらの放射強度分
Tiおよび𝑋𝑋Ti の二次元分布
布を用いてトーチ内の𝑇𝑇exる。トーチ内の温度は，on-axis の領域において

料粉体と共に Ar のキャリアガス(温度~300 K)を

24

では非常に低く推定され，トーチ下流では比較的高く推定された。これは，トーチ内に投入されたTi 原料がガス流により下流へと輸送されつつ徐々に蒸発をすることで，トーチ内の𝑋𝑋Tiが徐々に上昇したことを示している。さらに，off-axis 領
域で特に高く推定された。本結果から，on-axis
領域に投入された Ti 原料はトーチ下流への輸送と 共 に ト ーチ 径 方向 へと 拡 散 し ，温 度 が高 い
off-axis 領域で主に蒸発をしたことが考えらえる。
本手法により推定された𝑋𝑋Ti はトーチ内に投入された Ti 原料の蒸発率に強く依存する。よって，本(a) Ti励起温度

手法により推定された𝑋𝑋Tiを用いることで，効率的な原料の蒸発方法を検討することも可能である。
おわりに本報では，Ar ICTP に対して Ti 原料投入時のトーチ部の二次元分光観測の結果からトーチ内の温度分布および Ti 蒸気混入率を推定した結果を述べた。この様にして推定された温度および Ti
蒸気混入率を用いることで，電子や Ti 原子に対する粒子密度や導電率などの輸送特性に対する分布も推定することが可能である。
(b) Ti蒸気混入率

謝辞

図 4 Ti 励起温度および Ti 蒸気混入率分布

この度は 2017 年春季応用物理学会における発の推定結果表に対して講演奨励賞を賜りましたこと，大変光

アガス導入による on-axis 領域の冷却や原料蒸発

栄に思います。御支持頂きました審査員の先生方に よ る エ ネル ギ ー消 費が 原 因 と なる こ とで ，にこの場を借りて深く御礼申し上げます。

on-axis 領域の温度は低下すると考えられる。
ICTP ではコイルに導入された高周波電流により， 参考文献
トーチ管内に周回方向の誘導電界が生成される。
[1] N. Kodama, et al.; J. Phys. D, Appl. Phys. 49,
トーチの off-axis 領域ではこの誘導電界により生(2016), 305501.

じるジュール加熱の影響を強く受けることから，[2] N. Kodama, et al.; Plasma Sources Sci.

温度が比較的高く推定されたと考えられる。同図

Technol. 26, (2017), 075008.

(b)は(a)の温度分布を用いて推定されたトーチ内の𝑋𝑋Ti 分布である。同図(b)から，コイル終端直下
25

国際会議報告

The 23rd International Symposium on Plasma Chemistry
東京工業大学 野崎 智洋
2017 年 7 月 30 日‐8 月 4 日の日程で，The 23rd
International

Symposiumon

賢夏氏（産総研）が選出されました。組織運営でPlasmaも日本人研究者が高く評価されていることが分か

Chemistry (ISPC-23) がモントリオール・カナダ

ります。

で 開 催 さ れ ま し た （ Chair, Prof. Sylvain

若手研究者を対象にした Young Investigator

Coulombe, McGill University）。シンポジウムにAward，Oral Presentation Award，Poster Award

先立ち，二日間の日程で若手研究者を対象にしたでは，日本人参加者数に反して，日本人受賞者はサマースクールも開催されました。プログラムな皆無でした。ISPC-24 は 2019 年 6 月 9 日‐14 日

ど会議の詳細はホームページを参照ください[1]。

の予定でイタリア・ナポリにて開催されます

ISPC は International Plasma Chemistry（Chair, Prof. Vittorio Colombo, Università diSociety (IPCS) [2] が母体となり運営される国際

Bologna）。有名な観光地であり，多くの参加者が会議で，Gordon Research Conference (GRC) と予想されますが，若手研究者，大学院生には，さ交互に隔年で開催されています。プラズマケミス

らに本会での活躍も大いに期待するところです。

トリーに関する基礎・応用研究を広くカバーして冒頭で述べたように，ISPC は GRC と交互に隔いるのが特徴で，この分野では最大規模の国際会

年で開催されています。ISPC と打って変わり，

議の一つです。基調講演は 5 件で，そのうち日本

GRC における日本人参加者は回を重ねるごとにから堀勝教授（名古屋大），
田中康規教授（金沢大）減少しています。プラズマケミストリー 分野におが招聘されました。招待講演は 22 件のうち王斗ける日本人研究者の活躍は国際的に高く評価され

艶准教授（熊本大），占部継一郎氏（エア・リキーています。このような活動を継続し，次の世代にド・ラボラトリーズ）の 2 名が招聘され，日本の上手にバトンタッチできるよう，ISPC のみなら研究が高く評価されていることが分かります。

ず GRC においても質の高い研究成果の発表と，全参加者は約 425 名で，日本からの参加者はカ

若手研究者・大学院学生の存在感を国際的に一流

ナダ，アメリカに次いで 3 番目に多く約 50 名での会議でアピールすることが望まれます。GRC にした。10 人に 1 人が日本人という感覚でしょうか。 関する情報は，既にホームページで公開されています[3]。プログラムは 2017 年 11 月頃に掲載予参考までに，韓国は 25 名，中国は 15 名です。中

国人参加者はもっと多かったように感じましたが， 定です。下記 URL を直接打ち込んでいただくか，
海外在住の PD・研究者は中国出身としてカウン"GRC Plasma"で検索すると過去の会議も含めてトされてない可能性があります。

GRC に関する情報を入手できます。
[1]http://ispc23.com/

会期中，IPCS Board of Director の選挙が行わ
れ，Africa, Asia and Oceania 地区（席数４名）[2]http://www.ispc-conference.org

から，Tony Murphy（CSIRO, AU），浜口智志教[3]https://www.grc.org/plasma-processing-science-conference/2018/

授（大阪大），渡辺隆行教授（九州大），小職（野崎・東工大）に加え，co-opted メンバーとして金26

国際会議報告XXXIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
ICPIG 2017
九州大学 白谷 正治
本会議は、IUPAP(The International Union ofが行われました。最終日には、独ルール大学のPure and Applied Physics, 国際純粋・応用物理

Czarnetzki 教授に Von Engel&Franklin Prize が学連合)が永年にわたって後援し続けている唯一授与され、同教授が Distribution functions inの低温プラズマに関する国際会議です。1953 年に

non-equilibrium plasmas という題目で受賞記念創設され隔年で開催されている低温プラズマ分野

講演を行いました。40 件程度の論文が PSST の通では最も権威有る国際会議です。33 回目となる常号として出版予定です。詳しい研究分内容はこ

ICPIG2017 は、2017 年 7 月 9 日−14 日にポルト

ちらを御参照頂ければと思います。

ガルのリスボンに近いエストリールで開催されま

次回の ICPIG2019 は、ICRP と合同で 7 月 14した。第二次世界大戦中にポルトガルは中立国で日〜19 日に札幌で開催することが決定しておりあったため、戦火を逃れてヨーロッパの王侯貴族ます。現地実行委員長を北大の佐々木先生が務めや富裕層が滞在すると共に、スパイが暗躍した地られます。
皆様の参加・講演を御願いすると共に、としてエストリールは知られています。また、ス

国内外の関係者に参加をお勧め頂きますようお願

パイ小説の 007、”Casino Royale”の舞台で、007い申し上げます。

の映画”On Her Majesty’s Secret Service”の撮影

また、ICPIG に関連の深い会議である 24thが行われた場所でもあります。ビーチサイドの風

ESCANPIG が 7 月 17 日〜22 日に英国グラスゴ

光明媚の素晴らしい場所に、会場である国際会議

ーで開催されます。ご存じのように、スコッチの場がありました。

有力銘柄、バランタイン、ティーチャーズ、ジョ

今年の会議には、36 ヶ国から 420 名が参加し、ニー・ウォーカー、カティサーク、シバス・リー

General Lecture が 6 件、Topical Lecture が 29

ガル、デュワーズ、グランツ等々はグラスゴーや件、口頭講演 36 件、モデリングに関する特別セ

その近郊で生産されていて、グラスゴーは“ブレッション講演 6 件、ポスター講演 383 件、合計

ンデッド・ウイスキーの首都"と呼ばれています。

460 件の発表がありました。国別の参加者割合は、

スコットランドの都市、グラスゴーはチャール

仏 15%、日本 14%、露 9%、独 8%、葡 8%、チェズ・レニー・マッキントッシュの生まれ故郷であコ 5%、韓国 5%でした。伝統的にこの会議は、原り、街中にはマッキントッシュがデザインしたも子分子過程・放電プラズマの基礎などを主要トピのが多くあります。また、グラスゴーには美術館ックとして発展してきましたが、近年は半導体プや博物館が多く、見所満載の観光スポットがたく

ロセスや大気圧放電のライフサイエンス応用など

さんあります。こちらにも、日本から是非多くのの分野も取り入れつつあります。

方々に参加頂きたいと思います。御協力頂きます

ポスター講演も含め、多くの講演で活発な議論

よう、何卒、よろしくお願い申し上げます。

27

国際会議報告

The 11th Asian-European International Conferenceon Plasma Surface Engineering(AEPSE 2017)名古屋大学 堀 勝
第 11 回アジア-欧州プラズマ表面工学国際会議

Nanoparticles and Low Pressure Plasma」
、古閑

（以下、
「AEPSE 2017」と略記）が 2017 年 9 月

一憲先生（九州大学）「Hysteresis in Plasma

11 日（月）から 15 日（金）まで、韓国済州島、

CVD: a new path for high quality film

国際コンベンションセンターにて開催された。今deposition 」、 竹 田 圭 吾 先 生 （ 名 城 大 学 ）回は、上記国際会議と同時に、第 1 回国際プラズ「Measurements of reactive species and VUV

マライフフェア（The 1st Global Life Fair）も開

radiators generated by AC excited atmospheric

催された。

pressure Ar plasma jet in open air」
、江部明憲氏AEPSE は、韓国済州島にて隔年で開催される（株式会社

イー・エム・ディー）「Advanced

国際会議で、今回で 22 年目を迎える。
「プラズマ

ICP-Enhanced

PlasmaSourcesforと材料との相互作用」に関する科学とその応用にMeters-Scale Large-Area Processes」、上坂裕之

ついて議論がなされ、最近では、表面処理分野の先 生 （ 岐 阜 大 学 ）「 Microwave-assisted

みならず、エッチング、堆積、バイオ・医療応用

ultra-high-speed coating of DLC for 1-by-1に至るまで、
幅広いプラズマの応用分野について、

coating」、Seong-Woo Kim 氏（九州大学）「High

積極的な意見交換がなされている。

Efficiency Surface Planarization of Single

今回も、約 400 名以上の参加者を迎えて、多彩

Crystal Diamond Substrate by Plasma Fusion

なイベントとともに、参加者にとって有意義な国

Chemical Mechanical Polishing」、渡辺隆行先生

際会議であった。また、第 1 回国際プラズマライ（九州大学）「Thermal Plasma Characterization

フフェアにおいて、青少年へのプラズマ教育を兼for Environment Application-Characteristics of

ねた展示会や教育のイベントが企画された。しかwater thermal plasmas for environmental

しながら、生憎の台風の接近と重なり、機材の一

application」、神原淳先生（東京大学）「Enhanced

部が会場に届くのが遅れたため、十二分にその活

cyclability

動を展開することができずに幕を閉じることにな

nanocomposite anode for lithium ion batteries」、

り、非常に残念であった。

神野雅文先生（愛媛大学）「Endocytosis : the

日本からは、東京エレクトロン（株）より、dominantwithplasmaprocessesinsprayedplasmaSi-M

gene「Plasma technology for sub-10nm patterning」

transfection」がなされた。いずれの講演においと題して基調講演がなされた。最先端の超微細加ても、非常に高いレベルの研究成果が披露され、工技術の基礎から最前線までが丁寧に解説され、多くの参加者の関心を引いた。その他、チュート

多くの参加者にとって有意義な情報を与える、素リアルに加えて、4 つのワークショップとして、晴らしい内容であった。

1)HiPIMS の最近の進展と産業応用、2)ドライとまた、招待講演では、白谷正治先生（九州大学）

ウエットのハイブリッドプロセスによる最先端表「 Spatial Structure of Interactions between

面工学、3)プラズマ農場、4)フレキシブルエレク

28

トロニクスの最近の進展が開催された。これらのワークショップにおいても多くの日本人やプラズ
マエレクトロニクス分科会の会員による招待講演や一般講演がなされ、非常にホットな議論が繰り広げられた。
本国際会議では、学術講演に加えて、企業展示がなされた。
特に目を引いたのは、韓国やタイで、低温大気圧プラズマ装置の生活や環境応用へのビジネスが進展している点にある。いくつかのプラ
ズマベンチャー企業が生まれ、すでに滅菌・殺菌などの生活への応用展開を推進し、数百台の販売

図 1 国際会議場の概観（済州島、韓国）

実績を誇る企業があった。低温大気圧プラズマ装置の処理効率の議論の欠如や安全面での不安はあるものの、ベンチャー企業が積極的にプラズマを取り入れて、ビジネスへの展開を図るという、海外企業の熱気を強く感じた。
前述したように、青少年へのプラズマ教育を意図した第 1 回国際プラズマライフフェアは、悪天候で成功には至らなかったものの、小中、高校生を対象にして、プラズマ科学技術の啓蒙を図るという試みが、国際会議とリンクしてなされたことは、今後の国際会議の在り方を議論する上で重要である。

図 2 会議場近くのイベント会場からの風景

その他、日本や海外から多数の優れた発表があったが、日本の学生が海外の発表に対して積極的に質問をするという場面を目にすることができた。
このような国際会議を通して、多くの学生が世界を先導するように成長していく姿を見ることができ、非常に嬉しかった。また、懇親会のみならず、参加者が一堂に会して夕食やイベントを楽しむ機会が設けられ、非常にユニークな学会であると同時に参加者のコミュニケーションを効率的に図ることができる、優れた国際会議であった。
次回は、2 年後（2019 年）9 月に韓国にて開催される予定であり、白谷正治先生（九州大学）が組織委員長を務める。多くの会員が参加されるこ

図 3 参加者と国際会議場のエントランスとを期待している。

29

国際会議報告

1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
AAPPS DPP
九州大学 白谷 正治
表記の国際会議が 2017 年 9 月 18 日から 23 日

Physics に概要をまとめた Review Paper が領域まで中国の成都で開催されました。この国際会議別に掲載予定です。会議の具体的内容は、これらは APS-DPP, EPS-DPP のアジア太平洋版であり、 を参照されるように御願いします。
今後、毎年開催される予定です。会議のトッピッ

会議では、中国の大学に最新の研究機器がふんクスは、プラズマ物理が関係する全ての領域を対だんに導入され、欧米の大学との共同研究を通し象としています。具体的には、1) Fundamental, 2)て、急速にレベルアップを図っている様子がうか

Basic, 3) Applied, 4) Laser, 5) Space, 6)がえました。大まかに言えば、予算･学生数などがSolar/Astro, 7) Magnetic Fusion です。会議は、それぞれ 10 倍程度、日本より多い感触です。こ

午前中にプレナリー講演、
昼食時にポスター講演、のことが、中国の論文数の急増に繫がっているよ

午後に、領域毎の講演というプログラムで実施さうです。日本も様々な工夫をして研究を進める必れました。最終日には、各領域のサマリー講演も要を感じます。

行われ、参加出来なかった領域の概要も把握出来

AAPPS には、応用物理学会・日本物理学会がるように工夫されました。講演件数は、プレナリ

学会レベルで参画しています。アジア太平洋地域

ー講演 39、招待講演 226、一般口頭講演 79、ポのプラズマ物理に関する研究者人口は、インド・スター講演 100 でした。
参加者数は 500 名であり、

中国・日本がそれぞれ 1000 人、韓国・オースト

内訳は中国 250、日本 80、韓国 30、インド 30、ラリアが各 500 人、それ以外の国が合わせて 500

EU30、米国 30、その他 50 でした。

人で、総勢 4000 人規模です。これらの研究者とApplied のセッションでは、高度な電子エネルの情報交換を行う組織として AAPPS-DPP(アジギー分布・イオンエネルギー分布の制御を任意波

ア太平洋物理学連合プラズマ物理分科会)は設立

形印加やパルス電圧重畳などで実現する研究、プされました。
AAPPS-DPP は会費無料の組織です。

ラズマプロセスが実現する非平衡材料形成の特長

入会頂けると関連情報がメールで配信されるだけを活かした、ナノ触媒の作製とその応用に関するで無く、Reviews of Modern Plasma Physics の研究、プラズマプロセス揺らぎの原因を追求する

論文を無料で読むことが出来ます。是非、ご入会

研究、プラズマのライフサイエンス応用に関するください。

研究、金属のプラズマ窒化に関する研究、さらに次回は、金沢大学の上杉先生のお世話で、2018

はシミュレーション研究や計測を主体とする研究

年 11 月 12 日から 16 日に、金沢市内に近接してに関する報告などが行われました。サマリー講演

存在する商工会議所会館と文教会館を会場としてのプレゼンファイルは AAPPS の web に掲載され開催いたします。分野を超えた研究内容を一望にています。http://aappsdpp.org/AAPPSDPPF/

出来るため、新しい発想や刺激が得られる会だとを御覧下さい。また、Reviews of Modern Plasma

思います。積極的な投稿・参加をお願いします。

30

国際会議報告

AVS 64th International Symposium ＆ exhibition (AVS64)
AVS 第 64 回国際シンポジウム＆展示会
九州大学 古閑 一憲
AVS 第 64 回国際シンポジウム＆展示会（以下ビジネスミーティングでは 2016 年におけるAVS シンポジウムと呼ぶ）が、2017 年 10 月 29

PSTD の学生参加者数について、その国別参加数

日（土）から 11 月 3 日（金）までの 6 日間、アが報告されていたが、米国 24 名を筆頭に、日本、メリカ合衆国フロリダ州タンパのタンパコンベン

フランス、韓国が 3 名、オランダ、ベルギー、台ションセンターで開催された。AVS シンポジウム

湾が 2 名という構成であった。PSTD では学生に

では、12 のトピックの他に Focus Topic と呼ばれ対して、Coburn and Winters student award

る臨時のトピックが設けられて真空技術からバイ（C&W award）表彰や旅費サポートなどが行わ

オ技術まで幅広い分野の成果が議論される、日本れている。今回の C&W Award では 4 名の学生がの応用物理学会に相当する会議である。以前は米Finalist として選出されその中から Winner が選

国真空学会(American Vacuum Society)と学会名

ば れ た 。 Winner は 韓 国 ソ ウ ル 国 立 大 学 のを名乗っていいたが、大気圧プラズマを筆頭に真Hyun-Joon Roh であり、プラズマ CVD における空とは程遠い技術に関しても議論されることが多製膜予測に関する研究で受賞した。
内容としては、

くなり、単に AVS と名乗っているようである。

インピーダンスなどの計測が容易なパラメータ以

12 のトピックの中で本プラズマエレクトロニク

外に窓から透過する発光強度から壁の膜堆積状況

ス分科会に相当するのが、Plasma Science andをモニターし、膜堆積状況を正確に推定できるとTechnology Division (PSTD)である。

いうもので個人的にも非常に面白い研究だと思っ

PSTD では、会期中の火曜日夕方に Businessた。その他の学生の発表も優れたものが多かった

Meeting が開催され昨年の参加状況や会計報告なが、PE 分科会で発表される若手発表は、C＆W

どが報告される。応物における PE 分科会インフ

award の Finalist に挙げられてもおかしくないもォーマルミーティングに対応するものである。各のも多いと感じているので、ぜひ積極的に応募しセッションの活動を見る指標として、各トピックてもらいたいと思う。Finalist は 500 ドル、で開催されるセッションへの平均参加者数を見る

Winner は 1000 ドル貰え、別途旅費サポートを受のであるが、PSTD 以外の 11 のトピックが軒並ける権利も貰えるのでなかなか良いと思う。

み参加者数を減少させているのに対して、PSTD

PE 分科会に関係深い大阪大学教授の浜口智志のセッション平均参加者数は 58 であり、すべて先生が PSTD の Lifetime Achievement Award とのトピックの中で最大数を誇り 2002 年からほぼして 2016 年 Plasma Prize を受賞され水曜日に講50 名を維持している優秀な分科である。この原因演された。この場を借りてお祝い申し上げたい。

の一つとしてアメリカの主要デバイスメーカーや2018 年は 10 月 21 日から 26 日までロングビー

装置メーカーの研究者がこのトピックに参加してチで開催される。日本からの積極的な参加をお願

最新の成果を発表し今後の展開について議論する

いしたい。

場となっていることも大きいと考えている。

31

国際会議報告70th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC70)
第 70 回気体エレクトロニクス会議
北海道大学 佐々木 浩一
2017 年 の Gaseous Electronics Conference

今回の GEC においてユニークであったのは，(GEC)は， 11 月 6 日から 10 日に，米国ペンシル

Mark Kushner のアレンジにより，米国におけるバニア州ピッツバーグ市において開催されました。 プラズマ分野の予算元である DOE と NSF から講発表論文数は 370 件であり，そのうちの 32 件が師が招かれ，研究予算の動向に関する講演がなさ

招待講演でした。2015 年にホノルルで開催されたれたことでした。また，Kushner は，自身のアレ

GEC68 (ICRP との合同開催)には日本から多数のンジにより NSF で開催した低温プラズマに関す

参加者があり，2016 年にドイツのボッフムで開催

るワークショップのサマリーについて報告していされた GEC69 にはドイツを中心とする欧州からました。低温プラズマ分野のポテンシャルを予算

多数の参加者がありましたので，
最近 2 回の GEC

元に理解させようとする努力の現れだと思います。

は規模が大きくなっていましたが，2017 年のこのワークショップには，我が国からは産総研のGEC は 2 年ぶりに米国本土に戻り，従来どおり

金賢夏さんが出席されており，その詳細をの規模に戻った感があります。参加者の総数はhttp://mipse.umich.edu/nsfworkshop/details.html

350 名であり，内訳は，米国 175 名，日本 35 名，から知ることができます。

韓国 27 名，フランス 25 名，ドイツ 24 名，中国

GEC における研究発表の動向としては，昨年に16 名，ロシア 12 名となっていました。韓国から引き続き，大気圧プラズマや液体と接するプラズの参加者が年々増加しており，日本からの参加者

マ現象に興味が集まり，従来の主力であったプラに肉薄しています。特に，今年の GEC では会期

ズマエッチングやプラズマ CVD の発表には聴衆

途中で帰国された日本人参加者が多かったためか， が集まりにくくなっているようでした。この傾向
はまだしばらく続くでしょう。

バンケットにおいては韓国人参加者が日本人参加

2018 年の GEC は，オレゴン州ポートランド市

者を上回っていたように感じました。
2016 年の GEC69 において，Klaus Bartschat

において，11 月 5 日から 9 日の日程で開催される(Drake 大学)の Will Allis Prize 受賞がアナウンス

予定になっています。これは，米国物理学会プラされていましたが，今年の GEC70 において受賞

ズマ物理分科会(APS-DPP)と同会場開催となる記念講演が執り行われました。衝突物理学の研究

予定で，GEC と APS-DPP との相互交流のための者でありながらプラズマ研究者からも多大の尊敬

合同企画についても検討されています。我が国かを集める Klaus Bartschat の講演は大変に迫力がら多くの方が参加されることを期待いたします。

ありました。彼が若いとき，GEC において，シニ

なお，
筆者は 2 年間にわたり GEC の Executive

アな研究者から「何故役に立つことをやろうとしCommittee を担当してきましたが，今回をもってないんだ？」と言われたことが転機になったとの退任し，首都大学東京の杤久保先生にバトンタッ

エピソードは印象的でした。

チしましたことを申し添えます。

32

国際会議報告39th International Symposium on Dry Process (DPS 2017)
第 39 回ドライプロセス国際シンポジウム
株式会社 日立製作所

松井 都

第 39 回ドライプロセス国際シンポジウムがhaving High-aspect-ratio of 50 or more」と題し2017 年 11 月 16～17 日の両日、東京工業大学のて講演募集を行った。この結果、多数の投稿があ蔵前会館にて開催された。本シンポジウムはプラり、招待講演 6 件、口頭発表 20 件、ポスター発

ズマ、及び、ドライエッチングの分野において、

表 71 件が採択され、8 つのセッションを通じて活39 年の長い歴史を持ち、産官学から最先端の研究発な議論が交わされた。さらに、本シンポジウム

成果が報告され、積極的な意見交換がなされる重を創始された西澤潤一先生の名を冠する賞であり、要な学会である。また、プラズマエッチングのみ

ドライプロセスの発展に大きく貢献されて本学会ならず、プラズマ CVD 等、大規模集積回路の微の 歴 史 に 名を 連 ねて 来ら れ た 方 々に 贈 られ る

細化プロセス技術の分野において、世界をリード

Nishizawa Award として、本年は Prof. Davidする国際会議である。今年は、益々伸展する半導

Barry Graves (UC, Berkeley)、真壁利明 名誉教体デバイスの三次元化や IoT/AI 技術に牽引され授（慶応大学）、米田昌弘氏（Ulvac, Inc. フェロ

た新たな技術開発の潮流を受けた内容が多く報告

ー）の 3 名が受賞され、受賞記念講演が行われた。

され、国内外の大学や企業等から、294 名（海外

一つ目のアレンジセッションである「Surface

76 名、国内 218 名）の参加者を迎えて、盛況のReactions

うちに幕を閉じたので概況を報告する。

Processes」のうち、ALD/CVD 等の成膜関連の報

forAtomicLayer

Controlled

本年は Keynote として、imec の Dan Mocuta

告では、Univ. College Cork の S. Elliott 氏から、氏をお招きし、「Is there still plenty of room at

Al2O3 を始めとする各種酸化物の Self-limiting

the bottom? A perspective on technology scaling」 ALD に関して、表面のメチル基と水酸基の吸着脱と題して、今後のロジックデバイスのスケーリン

離メカニズムに関して、シミュレーション解析さグの方向性や新デバイスの構造や材料に関する展れた結果が紹介された。続いて、Lam Research

望についてご講演頂いた。

の D. Hausmann 氏から、14nm-node 以降の Si

また、二つのアレンジセッションを企画した。

半導体プロセスに向けた SiO2, Si3N4 を始めとす一つ目は、近年 Atomic layer etching (ALE)やる各種 Si ベース材料の ALD について講演され、Atomic layer deposition (ALD)を始めとする原子Conformal な成膜手法について議論された。

層レベルの微細加工技術が注目されているのを受

同アレンジセッションの ALE 等のエッチング

け て 、「 Surface Reactions for Atomic Layer

関連の報告では、Sony の平田氏から、H2 プラズ

Controlled Processes」と題して、講演を募集し

マで ITO 表面に modified-layer を形成し、Ar プ

た。二つ目として、三次元デバイスを中心に更なラズマで除去するサイクルエッチングと反応メカ

る高アスペクト加工技術が要求されているのを受ニズムに関して示された。日立の松井からは、

けて、「Etching Technologies for Latest Devices

SiO2/Si3N4 エッチングの新しいガスケミストリと33

して BCl3 ガスを用いたサイクルエッチングを報適化技術に関する報告がなされ、エッチング技術

告し、東京エレクトロンの熊倉氏からは、への新しい取り組みも示された。Damage のセッ

Quasi-ALE を用いたウエハ面内均一性向上の報ションでは、名古屋大学の石川氏より、GaN のド告がなされ、本セッションではメカニズム解析に

ライエッチングにおけるイオン、UV 光、ラジカ

基づいた実用技術への取り組みが多く報告された。 ル照射によるダメージを温度の影響も考慮して系
二つ目のアレンジセッションである「Etching
Technologies

forLatestDevices

統的に解析した結果が示され、学術的にも深い議

having論が行われた。

High-aspect-ratio of 50 or more (HAR)」では、

半導体デバイスの三次元化に伴って、薄膜形成

Samsung の Y. Kim 氏から、DRAM を凌いで更プロセスとエッチングプロセスを用いた技術の微に高アスペクト化が進む VNAND の加工プロセ

細化、及び、高度化が進み、ドライプロセスの重スにおける課題とソリューションについて、主に要性が益々高まっている。今年は特に、高アスペ

HAR 加工時のイオンの制御とラジカル供給の観クト加工について、プロセスとモデリングの双方点から事例を交えて述べられた。さらなる高アスからの議論が交わされる貴重な機会となった。ま

ペクト比化のためには、新マスク材料等も含めた

た、原子層レベルの精密な加工を実現可能なプロ

新しい取り組みが必要のことで締め括られた。続セスとして、今年も ALD/ALE が注目を集め、理いて、Micron Tech. Inc.の A. Wilson 氏より、高想的な ALD/ALE から、実用を目指したプロセス

ア ス ペ ク ト 加 工 へ の 課 題 と し て 、 主 に CD

まで、技術の拡大を感じられる場となった。さらuniformity と選択性確保の重要性がレビューさに、AI 適用やバイオ応用、センサー応用の発表等れた。イオンの制御法としては、ウエハバイアス

も見られ、今後のドライプロセス技術応用の新展の Harmonic control について紹介された。また、開を期待させられた。今後も、ドライプロセスに異なる層へコンタクトを形成する 3 次元コンタク

関する分野が発展すると共に、本シンポジウムがト形成時の課題やチャージ制御の重要性について

これらの発展に貢献できることを期待している。

も述べられた。さらに、Univ. of Michigan の M. J.

本シンポジウム開催にあたり、応用物理学会を

Kushner 氏からは、Hybrid Plasma Equipment

始め、多くの方々からのご支援、ご協力を頂き、Model と Monte Carlo Feature Profile Model を

感謝申し上げます。来年は記念すべき 40 周年を用いた高アスペクトホール加工時の 3 次元シミュ

迎えるにあたり、記念イベント開催を予定しておレーション結果が示され、さらに進化を続ける高ります。多くの皆様のご参加をお待ち致します。

アスペクト比加工の最新技術と今後の課題について、プロセスからの観点とモデリングからの観点
から、活発な議論が交わされた。
また、東芝の市川氏からは、高アスペクト比の3 次元パターンの加工シミュレーション結果から、リソグラフィーパターンを修正することによって
加 工 形 状 を 制 御 す る 手 法 が 示 さ れ 、 Etching
Technologies のセッションでは、日立の大森氏より、Machine leaning を用いたプロセスレシピ最34

国内会議報告

第１１回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
東北大学 加藤 俊顕
国立中央青少年交流の家（静岡県御殿場市）に

レクトロニクス研究に携わって伝えたいこと～」

おいて、平成２９年８月２４日（木）～２６日（土）永津雅章（静岡大）にプラズマエレクトロニクスインキュベーション＜専門講座＞

ホールを開催しました。本企画は、プラズマを利「プラズマ生成の基礎とプラズマ制御」

用した研究開発に取り組もうとしているプラズマ

内田儀一郎（大阪大）

エレクトロニクス分野の初学者（学生、若手研究「プラズマ診断・計測」

者、社会人技術者）を対象とし、プラズマプロセ

竹田圭吾（名城大）

スに関する入門から最先端の動向までの理解を深「プラズマ CVD の基礎と応用」

めていただくために一流の講師陣を招いて実施す八田章光（高知工科大）る講習会で、「プラズマエレクトロニクスインキ「プラズマエッチングプロセス技術」

ュベーションホール」となってから１１回目の開本田昌伸（東京エレクトロン宮城）「低温大気圧プラズマの臨床応用」

催となりました。今回の受講者は４６名で、うち清水鉄司（産総研）

女性２名、企業からの参加は１名でした。

＜英語講座＞

永津雅章先生による特別講座、ならびに５名の講師によるプラズマの基礎からプラズマエレクト「国際交流のための英語」

ロニクスの最前線までの講座に加え、呉準席先生

呉準席（名城大学）

による英語講座も実施しました。参加者間の交流が深まるよう、２日目には晴天のもとでウォークラリーを実施しました。また、同日夕刻にはポス
ターセッションを設け、講師、幹事、ならびに受講者による評価得点により４名が優秀ポスター賞に選出されました。
ポスター賞受賞者（敬称略）
小池洋右（名古屋大）、二瓶健司（東北大）、山口担当幹事（敬称略）

慶樹（東北大）、吉谷友希（大阪大）

校長：平松美根男（名城大）
講座内容（講師名敬称略）

幹事：加藤俊顕（東北大）、荻野明久（静岡大）、＜特別講座＞

茂田正哉（大阪大）、小田昭紀（千葉工業大）、高「プラズマ科学の医療・バイオ分野から環境分

橋克幸（岩手大）、針谷達（豊橋技科大）、太田貴

野への応用を目指して ～２２年間のプラズマエ之（名城大）、篠原正典（佐世保工高）35

国内会議報告2017 年第 78 回応用物理学会秋季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科会シンポジウム「先進農業に向けた
プラズマ応用最前線～新たな植物生育環境の開発・制御～」
岩手大学 高橋 克幸
1.はじめに基礎知識とともに，日本の農業の現状と課題を丁第 78 回応用物理学会秋季学術講演会(2017 年 9

寧にご説明いただきました。そして，現状と課題

月 5 日～8 日，福岡国際会議場)の 2 日目の午後を踏まえ，現在の広く行われている，プラズマの(13:30~17:40)に，本分科会のシンポジウム「S.8農業応用研究における対象や全体像についてのご

先進農業に向けたプラズマ応用最前線～新たな植紹介がありました。

物生育環境の開発・制御～」が，S22 会場(福岡産

続いて，九州大学・内野敏剛先生より「農業へパレスホテル)にて開催されました。

のプラズマ応用のこれまでと今後」の題目でご講

現在，地球人口の増加や，農業従事者の高齢化

演いただきました。内野先生は，農学を専門にさならびに人口減に伴い，食糧問題が深刻な問題とれながら，プラズマを先駆けて農業に応用されてなっています。その解決のためには，新しい技術

います。そのお立場から，日本の農業における，導入による生産性の飛躍的向上が喫緊の課題とな

農作業および農業技術，政府の施策などの最新のっています。特に，プラズマの農業応用研究が日動向とともに，プラズマが農業の発展への貢献が本の研究者を中心に現在精力的に進められていま期待できる技術や，応用にあたっての課題についす。本シンポジウムでは，数あるプラズマの農業てご紹介いただきました。

応用のうち，プラズマによる植物生育環境の改善

続いて，九州大学・林信哉先生より「プラズマとその技術開発に焦点を絞った，6 件の招待講演

中の活性種が誘導する植物の発芽・成長促進」のと，2 件の一般講演がありました。これらの講演

題目でご講演いただきました。プラズマから供給

では，それぞれの研究グループの研究成果の報される活性酸素による，植物発芽率の増加や生体

告・紹介とともに，プラズマの農業応用を行うう成長促進の効果および，その継代メカニズムに関えでの課題や今後の展望について議論がなされましてその作用機序と要因を，チオールの定量や，した。

マイクロアレイとアレイスキャナーを用いた発現遺伝子の解析により明らかにした結果についてご

2.講演の概略

紹介いただきました。

シンポジウムの冒頭に，岩手大学・高木浩一先次に，東北大学・金子俊郎先生より「空気プラ

生より「趣旨説明；先進農業に向けたプラズマ応

ズマ照射による植物免疫システムの活性化」の題

用最前線」として，本シンポジウムの趣旨の説明

目でご講演いただきました。水を添加した空気をとご講演をいただきました。講演では，本シンポ用いたプラズマジェットにより生成される活性種

ジウムの導入として，農学や植物生理，生化学のによる，植物免疫システムの活性効果について，

36

そのメカニズムを，イネの幼苗を対象として，胚御システムとともに，植物工場におけるレタスのに生成される過酸化水素や，防除関連遺伝子の発成長促進に関して，その効果と，光合成に着目し現の評価により検証された結果をご紹介いただきて生化学的に評価を行った結果についてご紹介いました。

ただきました。

次に，一般講演として，農研機構・柳川由紀様
3.おわりにより「マルチガスプラズマジェットを用いた植物
細胞への生体高分子導入」の題目でご講演いただ

本シンポジウムでは，本分科会で近年注目されきました。品種改良や開花制御などによる農業貢ている農業応用において，特に，植物生育環境の献を目的とした，プラズマジェットを用いた植物改善や応用に焦点を当てたご講演を主にいただき細胞への生体高分子技術について，タンパク質だました。会場は，写真 1,2 に示すように，終始立けではなく，DNA の導入の可能性について示さ

ち見ができるほど(200 名以上)の盛況ぶりであり，れた結果についてご紹介いただきました。

活発な質疑応答がなされていました。特に，プラ

引き続き一般講演として，名城大学・田中優太

ズマはもちろんですが，農学，植物生理などをご様より「酸素ラジカル照射を用いて不活性化され専門とされている多くの先生方がお越しになってたカビ胞子の蛍光染色評価と電子顕微鏡解析」とおり，プラズマと植物生理との相互関係について，してご講演いただきました。プラズマにより生成

長時間にわたり深い議論がなされていました。本

した酸素ラジカルによって，感染症であるアスペ

シンポジウムは，参加者全員の研究活動の発展やルギルス症を誘発するコウジカビ胞子を不活化す

学理進化につながるたいへん有意義であったと感る効果や，胞子細胞膜機能への影響について，蛍じます。

光顕微鏡，SEM，TEM などによる検証結果とともにご紹介いただきました。
休憩後，再び招待講演として，東北大学・立川
正憲先生より「網羅的定量プロテオミクスと薬動
力学に基づくプラズマバイオロジー・ファーマコ
ロジーの学術的基盤の構築」としてご講演いただ
きました。立川先生は，薬理学・薬動力学，特に
写真 1

薬物送達学分野をご専門とされています。その視点から，細胞の単位であるタンパク質に対して，
プラズマから発生する活性種が，どこに，いつ効
くか時空間的特異性を調べるため，2~3 万個におよぶタンパク質を網羅的に定量評価し，それらがどのように細胞および生体に対して影響を与えるか，
検証されている成果をご紹介いただきました。
最後に，熊本大学・王斗艶先生より「パルスパワー電界を用いた水耕レタスの生育制御」として

写真 2

ご講演いただきました。パルスパワーの発生・制37

国内会議報告2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会
第17回分科内招待講演報告
東京大学

神原 淳

第78回応用物理学会秋季学術講演会（2017年9ず多くの電池で電極製造等にプラズマが利用され月13日〜16日，福岡，国際会議場）の2日目に，ている現状が説明されました．薄膜 Si 技術では，分科内招待講演が開催されました。第17回目を迎

高圧枯渇法やフィルム上への低温成膜など優れたえる今回は，産業技術総合研究所 福島再生可能技術開発が進んだものの，薄膜市場拡大には，薄エネルギー研究所の上席イノベーションコーディ

膜だから安いという戦略は通用せず，薄膜の効率

ネータの近藤 道雄氏をお招きして「太陽光発電に

スループット 0.3〜0.02 W/s を結晶 Si の W/s に匹プラズマプロセスが果たした役割と将来への期待」

敵するまで上げなければならない一つの指針が示と題してご講演を頂きました。

されました。一方で，BIPV（建材一体型太陽光発

前半は，日本を中心とした再生可能エネルギー

電）を始めとする様々な形での太陽電池利用を例の市場動向について説明され，パリ協定以降の二に，デザインを工夫して付加価値を高めることが酸化炭素削減に向けた取り組みの成果として，求められていること，また IOT 用電源としては省2016 年では風力で 433 GW，太陽光で 300 GW の電力化が進み大きさが必要とされなくなる傾向と，発電量に達し，水力発電 1064 GW に迫るまでに

IOT デバイス寿命からも a-Si 薄膜も選択肢となる導入が進んでいること，発電コストも大幅に下がポテンシャルがあるとのことでした。太陽光に限り再エネが最も安い電力となっていることが紹介

らず，アンモニア合成や CO2 還元等の他の再生エされました。経済効果についても，日本では 40

ネルギー技術にもプラズマが利用できる可能性も万人（中国では 400 万人）の雇用を生み出し，2012

高いように，エネルギーミックスを変えうる程度

以降は Feed-in-tariff 制度によるメガソーラー大の大量導入が目指される様々な再生エネルギーで量導入による市場拡大の実績が示されました。しプラズマに期待されている研究動向を説明頂き，かし，現在は固定価格の限界から新興国からの輸ご講演をまとめられました。

入も増加し市場は減退気味であり，また世界の太改めて、大変に感銘深いご講演を頂きました近

陽光発電関連企業の上位を中国系が占め，2016 年

藤先生に御礼申し上げると共に，多くの聴講者にでは 6 位の企業でも 5 GW の発電量と日系の 3GW

ご参集いただきましたことに感謝いたします。

を大きく上回る状況のようです。それでも半導体製造企業の中国シェアは 15 %と，高い技術が必要とされる分野ではまだ中国以外も競争力は高く，日本の技術力による躍進に期待される旨が説明されました。
後半では，太陽光発電関連技術におけるプラズ
マの役割を再考することで，将来の方向性について示されました。現行の太陽電池を方式，材料，プロセスの観点から俯瞰すれば，薄膜堆積に限ら
38

国内会議報告2017 年第 78 回応用物理学会秋季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科内 海外招待講演報告
東北大学 加藤 俊顕

東京大学 神原 淳

第 78 回応用物理学会秋季学術講演会（2017 年

chemical vapor deposition」と題して，主に窒化物を

9 月 5 日〜8 日、福岡；国際会議場）の１日目午後対象とした様々な応用デバイスに向けた薄膜･コ（13:00〜14:30）に、本分科会企画海外招待講演

ーティング CVD プロセスについて講演を頂いた。

が開催された。

初めに合成方法に関して、市場が求めるプロセス

1 件目の招待講演は、Vytautas Magnus University

要件の観点から、熱 CVD, プラズマ CVD, ALD,

( リ ト ア ニ ア ) の Vida Mildaziene 先 生 に 「 The

MOCVD, MBE を比較し、CVD の長短所が説明さ

response of perennial plants to pre-sowing seed

れた。AlN の大面積と高速堆積速度が同時に求め

treatment with low temperature plasma: results of

られ CVD が適用される実例として，メートル級大long-term observations」と題してご講演を頂いた。

型反応器内で成膜される航空機用ブレーキ材、初めに様々な刺激を与えた種子に対して長期間栽

800℃超の吸熱に対応できる太陽熱発電の吸熱レ培を行い、各成長段階に応じた刺激の効果に関し

シーバー、紫外 LED 応用向け厚膜 AlN、圧電素子て報告された。未処理、真空処理、プラズマ処理、応用に向けた AlN の三次元パターンニング成長技

及び電磁場処理を種子に施し、発芽率への効果を術等が紹介された。
一方，薄膜の AlN 技術として，比較したところ、種子の種類によって程度は異な

従来 ALD とプラズマ支援 ALD の比較から、H2 プるがプラズマ照射と電磁場照射体は未照射のもの

ラズマ利用による低温成膜と高品質が進められるに比べ優位な差の得られることが示された。一方

特徴が示され、その実例として布への低温大面積で、刺激を与えた種子を長期栽培し、生育状況と成膜が紹介された．今後の展望として、熱 CVD

刺激との相関を調査した結果、プラズマ照射種子

では困難な六方晶窒化ホウ素シートの合成等に向は発芽から 17 か月後の生育状況に他処理に比べけた、プラズマ薄膜合成技術に対する発展の期待て顕著な促進効果が確認されたこと、プラズマ照が示された。

射が種子に対して与える効果として、種子内の過2件の海外

酸化水素生成効率に大きな影響を与えている可能

招待講演とも性が報告された。最後に、薬草に対しては、プラに活発な議論

ズマ照射によりビタミン C の割合が増加することも交わされてを示され、これが植物の持つラジカルのスカベン

盛況なセッシジ能力にプラズマが何らかの影響を与えた可能性

ョンであった。

によるものと説明された。
2 件目の招待講演は、フランス国立研究所（SIMaP Grenoble INP, CNRS）の Michel Pons 先生
より「Advances in nitride film and coating growth by

39

国内会議報告

Plasma Conference 2017
（第 35 回プラズマプロセシング研究会）
名城大学 平松 美根男2017 年 11 月 20−24 日に、姫路商工会議所（姫電気学会、日本セラミックス協会、日本金属学会、

路市）において Plasma Conference 2017 が開催

日本鉄鋼協会、フォトポリマー懇話会、日本真空され、千人近い参加者が集まり活発な議論が行わ

学会、放電学会、日本天文学会、地球電磁気・地れた。本会議は、応用物理学会プラズマエレクト

球惑星圏学会などのプラズマ関連学協会を協賛学

ロニクス分科会、プラズマ・核融合学会、日本物協会とする連合組織で、我が国の各学協会におい理学会（領域 2）、日本学術振興会プラズマ材料科て、基礎から産業応用まで幅広い分野に分散・展

学第 153 委員会が合同で開催するものであり、我開されているプラズマ科学・工学の研究活動を総が国のプラズマ関連学会が一堂に会して、幅広い合的に把握し、21 世紀におけるプラズマ科学・工プラズマ分野の研究を基礎から応用・実用化まで学の新たな発展を図るとともに、各学協会等にお一貫して網羅することで、学会間の連携を深めてけるこれらの研究活動を推進することを目的とし日本のプラズマコミュニティを発展させ、産学官て 2000 年に設立された。本会議の前身となるプ

連携を推進するとともに、大学院生、若手研究者

ラズマ科学シンポジウムは、2001 年から 10 年間の交流を促し、育成に活かすことが期待される。

で 3 回開催された。この実績を踏まえ、国内のプ本分科会としての位置付けは第 35 回プラズマプ

ラズマ関連学会の共同開催により日本のプラズマ

ロセシング研究会であるが、加えて、プラズマ・

コミュニティを発展させることを目的として、我核融合学会第 34 回年会、日本物理学会（領域 2）が国のプラズマ関連の基礎から応用まで全てを網2017 年秋季大会、ならびに、第 30 回プラズマ材

羅する Plasma Conference を開催することとな

料科学シンポジウムの合同会議であり、それぞれり、金沢で開催された Plasma Conference 2011、の学会の特色あるセッションだけでなく、複数の新潟で開催された Plasma Conference 2014 に続学会からの共同提案によるシンポジウムや融合セ

き、今回、本分科会が幹事学会となり、姫路におッションを数多く取り入れたプログラムとなるよ

いて Plasma Conference 2017 を開催する運びとう工夫がなされていた。

なった。

この会議の母体となるプラズマ科学連合は、プ

11 月 20 日午後にはチュートリアルが行われ、ラズマ・核融合学会、応用物理学会プラズマエレ

核融合に関する 2 件の講演に続いて、野崎智洋先

クトロニクス分科会、日本物理学会領域 2 を主な生（東工大）により「大気圧プラズマと触媒反応」

幹事学会とし、核融合エネルギーフォーラム、電と題して講演が行われた。またパラレルで、白谷気学会プラズマ技術委員会・パルス電磁エネルギ

正治先生（九州大）企画のワークショップ『プラー技術委員会・放電技術委員会、日本学術振興会

ズマによるナノ材料・ナノデバイス創成の深化』

プラズマ材料科学第 153 委員会、表面技術協会材が行われた。

料機能ドライプロセス部会、日本 MRS 学会、静海部宜男先生（国立天文台名誉教授）より「学40

術の大型計画 −天文学からマスタープラン・ロー

るセッションに加えて、複数の学会の融合セッシ

ドマップ」の題目で特別講演が行われた。基礎科

ョンが数多く取り入れられていた。また、686 件

学政策において、マスタープランとロードマップのポスター発表があり、4 日間にわたって行われの取り組みと意義、重要性を力強く説かれた。またポスターセッションは常に熱気に満ちあふれてた、プラズマコミュニティが一堂に会する本会議いた。

の意義を讃えていただいたのは印象的であった。
基調講演 4 件のうち 2 件が本分科会に関わりの深いものであった。オープニングセレモニーに続いて「半導体デバイスにおける原子レベル制御とプラズマプロセスの展望」と題して伊澤勝氏（日立ハイテクノロジーズ）の講演が行われた。また最終日には、池原譲先生（産総研）により「低温大気圧プラズマを利用した低侵襲止血の開発 —組
織・細胞、生体分子を加工対象とするプロセス科学の確立をめざして—」と題して講演が行われた。
Plasma Conference の特徴はシンポジウムであ

写真 活気に満ちあふれたポスターセッション

り、複数の学会による共同企画が多く採用されている。今回は 12 の魅力的なシンポジウムが企画

クロージングに先立って、本分科会、プラズマ・され、81 件の講演が行われた。関連する分野の第核融合学会、および日本物理学会のそれぞれの学一線で活躍する研究者による講演で構成されてお会で選定された若手優秀発表賞等の受賞者の発表

り、いずれも盛況であった。この内、本分科会にがあった。本分科会では、プラズマプロセシング

関わりのあるシンポジウムと企画者を以下に示す。 研究会講演奨励賞として、菅野杜之君（東京大）• 半導体製造と Carbon：今村 巽氏（東芝メモリ）と土谷拓光君（金沢大）が選ばれた。

• プラズマ研究の歩みと今後進むべき道を考え
Plasma Conference の今後についてる：金子俊郎先生（東北大）• 農業・食品分野へのプラズマなど電気処理技術

2011 年に最初の Plasma Conference が開催さの適用とその展開および国際連携：高木浩一先れてから、幹事学会が一回りした。当初の予定か

生（岩手大）

ら、一周したところで、実施の是非や開催方法・• 未踏技術に挑戦する先進プラズマ材料科学の時期についてプラズマ科学連合運営委員会で検討

最新研究と今後の展望：永津雅章先生（静岡大）し直すことになっている。プラズマ・核融合学会• 気液界面液中プラズマにおける物理的化学的は、年次大会を Plasma Conference としては実施

反応プロセスの解明を目指して：伊藤昌文先生

しないと表明しており、次回以降の実施について（名城大）

は白紙の状態であるが、プラズマの分野で結集し招待講演 20 件と一般口頭発表 153 件はパラレて行う会議の意義は多くが認めており、何らかの形で本会議が継続されることが望まれる。

ルセッションで行われ、それぞれの学会の特色あ

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行事案内
2018 年 第 65 回応用物理学会春季学術講演会

プラズマエレクトロニクス分科会企画
東京大学 神原 淳

日程：3 月 18 日（日）11:00〜11:30（予定）■ はじめに2018 年 3 月 17 日（土）〜20 日（火）に早稲田

会場：未定

大学 西早稲田キャンパス（東京都新宿区）にて第ご講演者：伊澤 勝 氏（日立ハイテクノロジーズ）

65 回応用物理学会春季学術講演会が開催されます。

講演題目：「IoT 時代のプラズマ微細加工技術（仮）」本稿では、プラズマエレクトロニクス分科会企画の■（第２日）プラズマエレクトロニクス賞受賞式

概要とスケジュールを紹介いたします。脱稿時点で未定の部分も含まれるため、詳細につきましては応

講演会 2 日目には，第 16 回プラズマエレクトロ

用物理学会の HP でご確認をお願いいたします。

ニクス賞の受賞式を予定しています。今回の受賞候
補論文の推薦締め切りは 2017 年 12 月 22 日（金）ですので、この記事が皆様に届いた時点ではまだ募■（第１日）チュートリアル講演
今春季講演会も、講演会初日に、チュートリアル

集中かと思われます。
自薦、他薦は問いませんので、講演を企画致しました。第 7 回を迎える今回は、日是非とも奮って推薦下さいますようお願い致します。

立製作所の栗原 優 先生より、プラズマ微細加工に

詳細は、下記の HP をご確認ください。

関して基礎から最先端技術までをご講義を賜ります。 (https://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/pe_award.html)
チュートリアル講演は事前予約制となっています。
定員がありますので、お早めにご予約頂きますよう

日程：3 月 18 日（日）13:15〜13:30（予定）

お願い致します。

場所：分科会企画シンポジウムと同一会場の予定

日程：3 月 17 日（土）9:00〜12:00（予定）■（第２日）分科会企画シンポジウム

会場：未定

学会2日目の18日（日）に、分科会企画シンポジウム

講師：栗原 優 氏（日立製作所）
講演題目：「プラズマ微細加工技術の基礎と応用「二次元シート合成とプラズマプロセス〜超薄膜か〜エッチング基礎から原子層エッチングまで〜」

ら原子層まで〜」を開催いたします。カーボンナノ
チューブ、グラフェンはじめ、二次元シート材料は従来物質を大きく凌駕する優れた物性を持ち、様々■（第２日）分科内招待講演
第 20 回目となる次回の分科内招待講演では、日な分野への応用展開が期待されています。これら次

立ハイテクノロジーズの伊澤 勝 様よりご講演を賜

世代薄膜材料の物性を最大限活用した産業応用の実ることとなりました。是非とも会場まで足をお運び

現には、高品質な薄膜合成技術が必要不可欠です。

頂きますよう、お願い申し上げます。

本シンポジウムでは、第一線で活躍されている研究者をお招きして、原子層物質・超薄膜合成分野にお42

ける現状と課題、及び現在の半導体産業を支えているプラズマプロセスの当該分野における今後の展望□ 講演奨励賞 受賞記念講演に関して議論される予定です。是非とも奮ってご参

日程・会場：未定（プログラムをご確認ください）

加ください。

受賞者：川口 悟 氏（室蘭工業大学/学振特別研究員）
選考対象発表：N2ガスの電子衝突断面積

日程：3 月 18 日（日）13:30～18:00（予定）

受賞者：高橋 一弘 氏（室蘭工業大学）

会場：未定
１．はじめに選考対象発表：パルス放電照射による液中生成種の加藤俊顕（東北大）

レート方程式解析（２）２．カーボンナノチューブの合成と応用
本間芳和（理科大）■ English Session

３．高品質グラフェン合成と産業化

今回もプラズマエレクトロニクス分野を横断するトピッ

吾郷浩樹（九州大）

クスで「8.0 Plasma Electronics English Session」と題した

４．カーボンナノウォールのプラズマ合成とバイオ応
用近藤博基（名古屋大）

５．MoS2 のスパッタ合成とトランジスタ応用

English Session を予定しています。留学生の方に限らず、日本人学生の方も是非とも奮って参加頂ければと思います。なお、今回は海外招待講演を予定しており

若林整（東工大）ません。

６．高品質 h-BN の合成と応用
渡邊賢司（物材機構）■ おわりに７．単結晶 ZnO 薄膜のプラズマ合成と応用

本案内執筆の時点では、プログラムの詳細は未定

板垣奈穂（九州大）

ですが、学会初日の 3 月 17 日（土）には、チュー

８．高移動度 IGZO 薄膜のプラズマ合成とトランジスタ
応用

節原裕一（大阪大）

９．おわりに

長谷川雅考(産総研)

トリアル講演、学会 2 日目には分科内招待講演，とシンポジウムを始めとする分科会企画を実施予定です。最終プログラムを確認の上で会場までお越しください。また，3 月 18 日（日）の昼には、PE 分科■ 講演奨励賞授業記念講演

会のインフォーマルミーティング、同日夕刻には恒第43回（2017年秋季）学術講演会での講演奨励賞

例の PE 分科会懇親会も企画される予定です。詳細

の受賞者が応物HPにて発表され、川口 悟 氏（室蘭は担当幹事から改めて案内があると思いますが、是

工業大学/学振特別研究員）と高橋 一弘 氏（室蘭工非、スケジュールに加えておいて下さい。不明な点

業大学）が受賞されました。栄誉ある本賞を受賞さがございましたら、お気軽にお問合せください。

れた皆様には、この紙面を借りてお祝い申し上げます。受賞記念講演の日程/会場はまだ未定ですが、プ
ログラムをご確認の上、会場まで是非とも足をお運

連絡先：神原 淳（東京大学）

びください。過去の講演奨励賞受賞者につきましてmkambara@plasma.t.u-tokyo.ac.jp

も下記のHPよりご確認頂けます。
(https://www.jsap.or.jp/activities/award/lecture/index.html)

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行事案内

第 26 回および 27 回プラズマ新領域研究会
名城大学 平松 美根男
プラズマの応用分野は、エネルギー分野から半連成シミュレーション」 荻野陽輔（大阪大）

導体、グリーン・バイオなど多様な範囲に及びま「熱プラズマ流動構造解明に向けた数値計算手法

す。これらに対応すべく、本分科会では 2008 年の開発」 茂田正哉（大阪大）

より新領域研究会を開始しました。2017 年度につ担当幹事：茂田正哉（大阪大 接合科学研究所）

いても、新しい視点に立ったプラズマ技術の新展
第 27 回プラズマ新領域研究会

開に関する研究会を開催し、異分野の研究者との交流を引き続き深めていくことを計画しています。 『プラズマプロセスと表面/界面モニタリング』
日時：2018 年 2 月 9 日（金）13:00~17:30

参加費は無料です。奮ってご参加下さい。

場所：会議室シェアミィ（東京都千代田区神田鍛第 26 回プラズマ新領域研究会

冶町 3-3、神田駅徒歩 1 分）

『熱プラズマの電磁熱流体構造を開拓する』

概要：プラズマと固体･液体が接する表面/界面の

日時：2018 年 1 月 27 日（土）13:00—17:00

モニタリングは表面を取り扱う困難から未だ不明

場所：大阪大学 接合科学研究所荒田記念館（大阪な点が多く残されている。従来からの光学的手法

府茨木市美穂ヶ丘 11-1）に加え、プロセスの微細化に従うナノスケールの概要：熱プラズマは研究の困難さから，その内部評価や、気液界面への領域発展など劇的な環境変構造はほとんど不明のまま熱源ツールとして工業化がある。
本研究会では先進的な光学的手法から、的に応用されてきたが，最近の計測機器や計算機

XPS、AFM の利用等の現状を解説し、プラズマプロの性能向上により，ここ数年で劇的に解明が進ん

セス中の表面/界面の現象解明と技術発展へ向けでいる。本研究会では，新規的・独創的なアプロた展開について討論する。

ーチによって熱プラズマの電磁熱流体的な内部構

講演内容：造の解明に取り組んでいる最近の研究に関する講「シリコン PECVD 中の膜評価」

演を通じて，新たな熱プラズマプロセッシングの布村正太（産総研）「プラズマ照射表面の ATR 分光」

開拓に向けた議論を行う。
講演内容：

篠原正典（佐世保高専）「熱プラズマ流の可視化計測」渡辺隆行（九州大）「ガス吹付け減衰アークの反応論的非平衡数値解「大気圧プラズマ-液体界面の分光測定」
伊藤剛仁（東京大）析 −レーザトムソン散乱電子密度計測値との「プラズマを用いた原子層レベルエッチングとそ比較−」 田中康規（金沢大）の表面分析」 篠田和典（日立製作所）「プラズマ照射表面ナノ構造の XPS、AFM 測定」「三次元発光分光法による非軸対称溶接アークの可視化」 野村和史（大阪大）

北嶋 武（防衛大）「アーク溶接におけるプラズマ-溶滴輸送現象の担当幹事：北嶋 武（防衛大）

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行事案内

10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its
Applications for Nitrides and Nanomaterials / 11th International
Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018)
名城大学 平松 美根男
ISPlasma は、東海広域ナノテクものづくりク

ズマ、エッチングプロセス、薄膜成膜プロセス、

ラスター事業の一環として、当地域に国際競争力

フレキシブルエレクトロニクス、バイオ／医療用を有する先進プラズマナノ科学研究拠点を形成す

プラズマ、クリーンエネルギー用プラズマ、ナノるために 2009 年から毎年開催されている国際会

テクノロジープラズマ、プラズマ農業

議で、今回は 10 回目となる。

◆窒化物半導体：GaN および関連材料の結晶成長、窒化物 MBE 成長、評価技術、デバイスプロセス、

一方、IC-PLANTS は、本邦唯一の産業応用プ
ラズマセンターである名古屋大学工学研究科附属光デバイス、電子デバイス、パワーデバイス

プラズマナノ工学研究センターの主催の国際会議◆ナノ材料：ナノパーティクル／ナノチューブ／として 2008 年から毎年開催されている。

ナノワイア／ナノロッド／2 次元ナノ材料、ポー2014 年より、この２つの国際会議を合同し、先

ラス材料／メンブレン、コンポジット／傾斜機能

進プラズマナノ科学、およびナノ材料、窒化物半材料、ソフトナノ材料、表面改質／表面機能化、導体研究に加え、振興著しいプラズマバイオ分野

エネルギー応用／環境応用／ナノメディシン／セまでも包括的に対象分野として開催する。本会議

ンシング応用では、プラズマ分野で長い歴史と研究実績を有す◆バイオセンシング：検出技術、バイオイメージ

る東海地域に世界中から優れた研究者が集い、先ング、電気化学デバイス、バイオセンサ、バイオ進プラズマ科学、窒化物半導体とナノ・バイオ材

マーカ、バイオ材料、バイオデバイス／µTAS／

料への応用について広く議論するとともに、最新

Lab-on-a-Chipの研究成果を発表および討議する。
＜特別講演者＞＜日程＞ 2018 年 3 月 4 日（日）～3 月 8 日（木）赤﨑 勇（名城大学）
飯島 澄男（名城大学）＜場所＞ 名城大学ナゴヤドーム前キャンパス＜基調講演者＞（愛知県名古屋市東区矢田南 4-102-9）

Uwe Czarnetzki (Germany)
Jeon G. Han (Korea)＜関連分野＞＜チュートリアル講演者＞◆プラズマ科学：プラズマ源、先進プラズマ計測

Pascal Chabert (France)

技術、モデリングとシミュレーション、液中プラ

Pietro Favia (Italy)45名西 憓之（立命館大学）

Yi-Chia Chou (Taiwan)

齋藤 弥八（名古屋大学）

Gheorghe Dinescu (Romania)

榊田 創（産業技術総合研究所）

福澤 健二 (名古屋大学)＜招待講演者＞

松田 一成 (京都大学)

トピカルセッション (エネルギーナノ材料)

長汐 晃輔 (東京大学)

野崎 智洋 (東京工業大学)

Ta-Chin Wei (Taiwan)

白谷 正治 (九州大学)

バイオ応用

菅谷 武芳 (産業技術総合研究所)

Matteo Gherardi (Italy)

Chen-Hao Wang (Taiwan)

加納 英明 (筑波大学)

トピカルセッション (GaN プラズマプロセス）

Juergen F. Kolb (Germany)

Srabanti Chowdhury (U.S.A)

Emilio Martines (Italy)

Romualdo A. Ferreyra (京都工芸繊維大学)

永津 雅章 (静岡大学)

野尻 一男 (ラムリサーチ)

中津 可道 (九州大学)

渡部 平司 (大阪大学)

中里 和郎 (名古屋大学)

トピカルセッション (プラズマ・バイオ応用)
Alexander Fridman (USA)＜参加費：メインシンポジウム＞

Klaus-Dieter Weltmann (Germany)

早期登録

事前登録

当日登録

(~2018/1/31) (~2018/3/3) (2018/3/4)

プラズマ科学James W. Bradley (U.K)

一般： 45,000 円

50,000 円

50,000 円

Wei-Hung Chiang (Taiwan)

学生： 15,000 円

20,000 円

20,000 円

Rémi Dussart (France)※ バンケット(３月６日)
一般： 6,000 円、学生： 3,000 円

Sergey Gortschakow (Germany)
Ju-Liang He (Taiwan)
Dmytro Rafalsky (France)＜チュートリアル参加費＞

杤久保 文嘉 (首都大学東京)

・メインシンポジウム参加者
一般： 1,000 円、学生： 1,000 円

Juan Pablo Trelles (U.S.A)

・チュートリアルのみ参加者

窒化物半導体一般： 10,000 円、学生： 5,000 円

Daniel Feezell (U.S.A)
Satcia Keller (U.S.A)
Stanislaw Krukowski (Poland)＜問合せ先＞

王 学論 (産業技術総合研究所)

ISPlasma2018 / IC-PLANTS2018 事務局

Nelson Tansu (U.S.A)

株式会社インターグループ

山村 和也 (大阪大学)

TEL: 052-581-3241／ FAX: 052-581-5585
E-mail: isplasma2018@intergroup.co.jp

ナノ材料

Website: http://www.isplasma.jp/index.html

Hee Yeop Chae (Korea)

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行事案内

2nd International Workshop On Plasma Agriculture
名城大学 太田 貴之、伊藤 昌文
2018 年 3 月 9 日 － 11 日 の 日 程 で 、 2nd【主な招待講演者（敬称略）】

International Workshop On Plasma Agriculture

Alexander Fridman(IWOPA2) が高山市民文化会館で開催されます

Gregory Fridman (Drexel University)、Eun Ha

(下記)。

Choi

(Kwangwoon(Drexel University) 、University) 、 Matteo

近年、
低温大気圧プラズマの開発が契機となり、Gherardi (Università di Bologna)、Juergen F.

プラズマによる農産物の殺菌・洗浄だけでなく、

Kolb (INP Greifswald e.V.) 、 Miran Mozetič

植物の生長促進などが報告され、プラズマのバイ(Jožef Stefan Institute)、Uroš Cvelbar (Jožef

オ応用の一つとして大きな注目を浴びています。

Stefan Institute)、Vida Mildaziene (Vytautas

このような分野の進展を受け、2016 年 5 月 15 日

Magnus University)、Kazuyuki Kuchitsu (Tokyo～20 日に米国ニュージャージー州の Drexel 大学

University

プラズマ研究所で、第１回 IWOPA が開催され、(University of Belgrade)、Masashi Kato (Meijo

発 表 論 文 の 一 部 が 特 集 号 (Plasma Medicine,

University)、Kiyoshi Yoshikawa (Rajamangala

Vol.6, Issue 3-4)として 2017 年 6 月に Web 公開

University)、Tetsuhito Fuse (JAXA)、Masataka

されました。

Hashimoto (JAXA)

of

Science) 、 Nevena

Puac

本国際ワークショップは、プラズマの農水産業への応用とそれを支えるプラズマとバイオ試料と記の相互作用に関する科学・技術を対象分野として【会期】2018 年 3 月 9 日～11 日おります。これらの各分野の研究への貢献と、異【会場】岐阜県 高山市民文化会館

分野融合による新たな価値創造、より高度な研究【Webpage】http:// http://www.iwopa2.org/

者ネットワークの構築を目指しており、将来的に【参加費】

は本ワークショップにかかわる研究の進展及び技

早期参加登録（– 12/31)

術革新がイノベーションの源泉となり、社会生活

一般 40,000 円 学生 20,000 円の維持向上と発展、食料の安全安心・確保等に資

通常参加登録（2018/1/1 以降）することを目的としています。

一般 45,000 円 学生 25,000 円

プラズマの農水応用に関する海外の研究者がこ【投稿締切】

こ日本で一同に会する機会は少なく、本分野の世

12/31

界最先端の研究に触れる絶好の機会です。エクス【問合せ】

カーションは白川郷を予定しており、雪の古都高

IWOPA-2 事務局

山で、本分野の議論や国際・異分野交流を深める

名城大学 伊藤昌文 (組織委員長)

ことができると思います。多数のご参加をお待ち

名城大学 太田貴之 (現地実行委員長)

申し上げます。

E-mail: IWOPA2nd@gmail.com

47

行事案内

7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-7)
第 7 回プラズマ医療国際会議
大阪大学工学研究科 浜口 智志「第 7 回プラズマ医療国際会議」（以下、
ICPM-7長の Fridman 教授により主催された。前回のと略記）が、2018 年 6 月 17 日（日）から 22 日

ICPM-6 は 2016 年にスロバキア首都ブラティス（金）までの６日間の予定で、米国ペンシルバニ

ラバで、その前の ICPM-5 は、2014 年に奈良でア州フィラデルフィア市内のドレクセル大学構内開催された。今後も、米国・アジア・欧州を巡っで開催される（下記）。主催は、プラズマ医療国際て２年おきに開催することが計画されている。

学 会 (International

Societyfor

Plasma「プラズマ医療夏の学校」は、前回の ICPM-6

Medicine)、現地実行委員長は、ドレクセル大学

から始まった行事で、この分野を始めて学ぶ学生の Alexander Fridman 教 授 で あ る 。 ま た 、や研究者が、受講生として想定されている。第２

ICPM-7 開催直前の 6 月 15 日
（金）
から 17 日（日）回目となる今回のスクール・プログラムの詳細はにかけて、「プラズマ医療夏の学校（Summer

これから決定されるが、前回より多くの生物・医School on Plasma Medicine）」が開催される。

学系専門家を講師として招き、専門が物理科学系

プラズマ医療とは、気体放電（プラズマ）を医の受講者にも、プラズマ医療分野における生物・

療や健康産業分野に活用する科学技術をさし、低医学の基礎を十分に教育するプログラム作りが行

温大気圧プラズマを生体に直接照射する治療法のわれている。もちろん、生物・医学を専門とする開発から、プラズマによる滅菌、プラズマによる受講生には、大気圧プラズマ等に関する物理・化

医療材料の表面プロセスまで、幅広い領域をカバ学の概要が十分に理解できるプログラムにもなっーする。基礎的な物理科学としても、大気圧非平ている。サマースクールも含めて、日本からも、衡プラズマと液体の相互作用など、過去のプラズ

前回以上に多くの参加者のあることを期待したい。

マ物理学ではあまり取り扱われなかった新しいテーマが研究対象となっている。また、近年では、

記

プラズマの医療応用を越え、プラズマ放電と生物

会議名：7th International Conference on Plasma

一般との相互作用に関する研究が広がっている。

Medicine

例えば、プラズマの農業分野への応用（プラズマ

日時：2018 年 6 月 17 日(日)から 22 日（金）農 業 ） は 、学 界 の大 きな 注 目 を 集め て おり 、（サマースクール：2018 年 6 月 15 日（金）から

ICPM-7 でも、学術的な関連性から、プラズマ農

17 日（日））業分野の発表も積極的に募集している。

場所：ドレクセル大学（米国ペンシルバニア州フ

プラズマ医療国際会議（ICPM）は、プラズマィラデルフィア市）

医療を専門とする国際会議としては、最も歴史の主催：International Society for Plasma Medicine

古い会議で、第一回の会議は 2007 年に米国テキ

詳細情報：https://icpm7.plasmainstitute.org/

サス州コーパスクリティで、今回の現地実行委員

48

行事案内

22nd International Conference on Gas Discharges and Their
Applications／第 22 回気体放電とその応用に関する国際会議
2018 年 9 月 2 日(日)～9 月 7 日(金) ノヴィ・サード (セルビア)
http://gd2018.ipb.ac.rs/
室蘭工業大学 佐藤 孝紀
22ndInternational

Conference

on

Gas

H. Light Sources

Discharges and Their Applications (第 22 回気体J.

放電とその応用に関する国際会議：GD2018) が、

K. Test Techniques and Diagnostics

2018 年 9 月 2 日 ～ 7 日 の 期 間 で セ ル ビ ア

L.

(Serbia) ノ ヴ ィ ・ サ ー ド (Novi Sad) 市 の

M. Emerging and Topical Applications of Gas

Master Congress Center で開催されます。このLightning
Fundamental Processes and Cross sections
Discharges

N. Measurement Techniques

会議は、プラズマ科学と放電物理分野の情報交換と相互発展の促進のため、連合王国リバープール
大学 M. Meek 教授が中心となって 1962 年にス

論文投稿等に関する締め切りは以下の通りです。

タートさせたもので、2 年毎にヨーロッパの国々

1 ページのアブストラクトの締め切りが今年の 12を中心に開催されています。昨今の国際会議では

月 31 日となっておりますのでご注意願います。

ポスタープレゼンテーションが増える傾向にある

Deadlines

中、この会議ではすべての発表がオーラルプレゼ

31st December 2017

Abstract submission

ンテーションという伝統が守られていることも特30th March 2018

Four-page-paper
submission

徴の一つです。
この会議の Scientific Topics は以下の A～N で30th June 2018

Early Registration

あり、放電に関するほとんどの分野をカバーしています。また、Proceedings paper が 4 ページで会場となる Congress Center はノヴィ・サード

あり、研究成果をしっかりと記述できることも特

中心街から徒歩で 15 分程度、周囲に多くの宿泊徴です。

施設もある便利な場所と伺っています。多くの

A.

Arcs

方々がご参加下さいます様、国際科学委員の一人

B.

Corona, Barrier and Surface Discharges

としてお願い申し上げます。

C.

Glows and Breakdown

D. High Pressure Plasmas and ApplicationsE.

Low Pressure Plasmas and Applications

F.

Environmental and Medical Applications

G. Pulsed-Power Applications

Master Congress Center in Novi Sad49

第 16 回プラズマエレクトロニクス賞受賞候補論文の募集
首都大学東京 杤久保 文嘉
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

 候補論文別刷（コピーでも可、第１ページに候では、毎年、プラズマエレクトロニクスに関する補論文と朱書すること。関連論文があれば２件学術的あるいは工業的に価値のある優秀な論文を以内の別刷またはコピーを添付。）

対象とし、その著作者に「プラズマエレクトロニ

 当該論文の内容が発表されたプラズマエレク

クス賞」を贈り表彰を行っています。候補論文はトロニクス分科会が主催する研究会、国際会議

自薦・他薦を問いません。下記の要領により、奮等の会議録等のコピー（2 件以内）
 著者全員について和文で以下を記入した書類。

ってご応募下さい。
http://annex.jsap.or.jp/plasma/

氏名、会員番号、勤務先（連絡先）
 推薦書（自薦、他薦を問わず、論文の特徴、優れた点などを 400 字程度わかりやすく記すこ 授賞対象論文
プラズマエレクトロニクス分科会が主催する研と。
）

究会、国際会議等で発表され、かつ 2015、2016、2017 年の発行の国際的な学術刊行物（JJAP など）

 表彰に掲載された原著論文。受賞者は、表彰の時点に2018 年応用物理学会春季学術講演会期間中においてプラズマエレクトロニクス分科会会員ある行います。受賞者には賞状および記念品を贈呈い

いは応用物理学会会員とする。

たします。また 2018 年秋季学術講演会期間中（例年では会期 2 日目）での記念講演を依頼する予定

プラズマエレクトロニクス賞はプラズマエレク
トロニクス分野の優秀な論文の著者に授与されるです。

論文賞ですが、プラズマエレクトロニクス分科会
 書類提出期限が強く関与する会議等（直接に主催する会議、応物学会学術講演会の大分類 8. プラズマエレクト2017 年 12 月 22 日（金）当日消印有効ロニクス等）での発表や議論を通じて生み出され 書類提出先た優れた論文を表彰したいという考えに基づき、賞規定に“プラズマエレクトロニクス分科会が主〒113-0031 東京都文京区根津 1-21-5

催する研究会、国際会議等で発表され”という要

応物会館件が付与されています。

公益社団法人応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科会幹事長

 提出書類（封筒表に「プラズマエレクトロニクス賞応募」

以下の書類各１部、および、それらの電子ファと朱書のこと。）

イル（PDF ファイル）一式

なお以下の賞規定もご参照下さい。

50

プラズマエレクトロニクス賞規定
1.

この規定はプラズマエレクトロニクスに関て行う。

する学術的あるいは工業的に価値のある優10. プラズマエレクトロニクス分科会幹事会は、秀な論文を表彰の対象論文とし、その著作者

毎年 11 月までに授賞候補者募集要項を「プにたいして公益社団法人応用物理学会プラ

ラズマエレクトロニクス分科会会報」および

ズマエレクトロニクス分科会（以後プラズマ

応用物理学会機関誌「応用物理」誌上に公表

エレクトロニクス分科会と言う）が行う表彰

し、広く募集する。
11. 受賞者の選考はプラズマエレクトロニクスについて定める。
2.
3.

この表彰を「プラズマエレクトロニクス賞」

分科会幹事長が委嘱した「プラズマエレクトという。

ロニクス賞」選考委員会が行う。

表彰の対象論文は、原則として、プラズマエ

12. 受賞者が決定したときは、「プラズマエレク

レクトロニクス分科会が主催する研究会、国トロニクス賞」選考委員会委員長が、プラズ

際会議等で発表され、且つ募集期間から過去

マエレクトロニクス分科会幹事会に選考の３年の間に国際的な学術刊行物に掲載され経過および結果を報告する。
13. プラズマエレクトロニクス分科会幹事長は、た原著論文とする。
4.
5.
6.

受賞者はプラズマエレクトロニクス分科会

選考の経過および結果を応用物理学会理事

会員あるいは応用物理学会会員とする。

会に報告する。
14. この賞の実施に関する必要な事項の審議お受賞者は公募に応じた自薦および他薦候補者から選考する。

よび決定はプラズマエレクトロニクス分科

すでに公に顕著な賞を受けた論文は、プラズ

会幹事会が行う。

マエレクトロニクス賞の対象論文としない。

15. 本規定は、理事会の承認を経て改訂すること

7.

表彰は原則として毎年２件以内とする。

8.

表彰は賞状授与および記念品贈呈とする。

付則：この規定は、平成 14 年 4 月 1 日より施行

9.

表彰は毎年応用物理学会春季講演会におい

する。

ができる。

51

2017(平成 29)年度プラズマエレクトロニクス分科会幹事名簿
氏名

所属

幹事長

杤久保 文嘉

首都大学東京理工学研究科
電気電子工学専攻

住所・電話

副幹事長

平松 美根男

名城大学
理工学部
電気電子工学科

副幹事長

神原 淳

東京大学
大学院工学系研究科
マテリアル工学専攻

副幹事長

林 久貴

東芝メモリ株式会社
プロセス技術開発センター

幹事
任期2018 年 3 月

今村 翼

東芝メモリ株式会社
プロセス技術研究開発センター

〃

大森 健史

日立製作所
研究開発グループ
エレクトロニクスイノベーションセンタ

〃

荻野 明久

静岡大学大学院
総合科学技術研究科
工学専攻

〃

小田 昭紀

千葉工業大学
工学部
電気電子情報工学科

〃

加藤 俊顕

東北大学大学院
工学研究科
電子工学専攻

〃

北嶋 武

防衛大学校
電気情報学群
電気電子工学科

〃

茂田 正哉

大阪大学
接合科学研究所

〃

竹中 弘祐

大阪大学
接合科学研究所〃

平田 孝道

東京都市大学工学部 医用工学科 /大学院工学研究科 生体医工学専攻

〃

前原 常弘

愛媛大学大学院
理工学研究科
数理物質科学専攻〃

三好 康史

ソニーセミコンダクタソリューションズ
株式会社
研究部門

〃

山澤 陽平

東京エレクトロン宮城株式会社
開発部門
Z プロジェクト 要素開発 Gr.

〒192-0397
東京都八王子市南大沢 1-1
TEL: 042-677-2744
FAX: 042-677-2756〒468-8502
名古屋市天白区塩釜口 1-501
TEL: 052-838-2298
FAX: 052-832-1235〒113-8656
東京都文京区本郷7-3-1
TEL: 03-5841-7099
FAX: 03-5841-7099〒512-8550
三重県四日市市山之一色町800
TEL: 059-390-7484
FAX: 059-330-1184〒512-8550
三重県四日市市山之一色町800
TEL: 059-390-7444
FAX: 059-330-1184〒185-8601
東京都国分寺市東恋ヶ窪1-280
TEL: 050-3159-9219〒432-8561
浜松市中区城北3-5-1
TEL: 053-478-1616
FAX: 053-478-1616〒275-0016
千葉県習志野市津田沼2-17-1
TEL: 047-478-0368
FAX: 047-478-0368〒980-8579
仙台市青葉区荒巻青葉6-6-05
TEL: 022-795-7046

52〒239-8686
神奈川県横須賀市走水1-10-20
TEL: 046-841-3810
FAX: 046-844-5903〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘11-1
TEL: 06-6879-8648
FAX: 06-6879-8648〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘11-1
TEL: 06-6879-8661
FAX: 06-6879-8661〒158-8557
東京都世田谷区玉堤 1-28-1
TEL: 03-5707-0104 / 03-5707-2183
FAX: 03-5707-2183〒790-857
松山市文京町2-5
TEL: 089-927-9607
FAX: 089-927-9607〒243-0014
神奈川県厚木市旭町4-14-1 厚木
TEC
TEL: 050-3141-4366
FAX: 050-3809-1413〒407-0192
山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢650
TEL: 0551-23-2327
FAX: 0551-23-4462

メールアドレスtochi@tmu.ac.jp

mnhrmt@meijo-u.ac.jp

mkambara@plasma.t.u-tokyo.ac.jphisataka.hayashi@toshiba.co.jp

tsubasa.imamura@toshiba.co.jp

takeshi.ohmori.kb@hitachi.com

taogino@ipc.shizuoka.ac.jp

akinori.oda@it-chiba.ac.jp

kato12@ecei.tohoku.ac.jp

kitajima@nda.ac.jp

shigeta@jwri.osaka-u.ac.jp

k_takenaka@jwri.osaka-u.ac.jp

hirata@bme.tcu.ac.jp

maehara.tsunehiro.mg@ehime-u.
ac.jp

Yasufumi.Miyoshi@sony.com

yohei.yamazawa@tel.com

氏名

所属

住所・電話

幹事
任期
2018 年 3 月

王 斗艶

熊本大学
パルスパワー科学研究所幹事
任期2019 年 3 月

赤塚 洋

東京工業大学
科学技術創成研究院 先導原子力研究所

〃

大澤 直樹

金沢工業大学工学部 電気電子工学科

〃

太田 貴之

名城大学
理工学部 電気電子工学科

〃

黒木 智之

大阪府立大学
大学院工学研究科 機械系専攻

〃

篠原 正典

佐世保工業高等専門学校
電気電子工学科〃

白井 直機

北海道大学大学院
工学研究院 量子理工学部門

〃

高橋 克幸

岩手大学理工学部
システム創成工学科
電気電子通信コース〃

田中 学

九州大学大学院
工学研究院 化学工学部門

〃

内藤 皓貴

三菱電機(株)
先端技術総合研究所
環境システム技術部 放電応用グループ

〃

針谷 達

豊橋技術科学大学
電気・電子情報工学系
プラズマエネルギーシステム研究室

〃

柳生 義人

佐世保工業高等専門学校
電気電子工学科〃

山家 清之

新潟大学大学院
自然科学研究科〃

吉元 諒

サンディスク株式会社

53〒860-0862
熊本市中央区黒髪2-39-2
TEL: 096-342-3945
FAX: 096-342-3945〒152-8550
東京都目黒区大岡山2-12-1-N1-10
TEL: 03-5734-3379
FAX: 03-5734-3379〒921-8501
石川県野々市市扇が丘7-1
TEL: 076-248-9907
FAX: 076-294-6798〒468-850
愛知県名古屋市天白区塩釜口
1-501
TEL: 052-838-2565〒599-8531
堺市中区学園町1-1
TEL: 072-254-9233
FAX: 072-254-9233〒857-1193
長崎県佐世保市沖新町1-1
TEL: 0956-34-8478
FAX: 0956-34-8478〒060-8628
札幌市北区北13条西8TEL: 011-706-6659
FAX: 011-706-7128〒020-8551
岩手県盛岡市上田4-3-5
TEL: 019-621-6460
FAX: 019-621-6941〒819-0395
福岡市西区元岡744
TEL: 092-802-2765
FAX: 092-802-2765〒661-8661
尼崎市塚口本町8-1-1
TEL: 06-6497-7069
FAX: 06-6497-7285〒441-8580
愛知県豊橋市天伯町雲雀ヶ丘1-1
TEL: 0532-44-6728
FAX: 0532-44-6728〒857-1193
長崎県佐世保市沖新町1-1
TEL: 0956-34-8478
FAX: 0956-34-8478〒950-2181
新潟市西区五十嵐二の町8050
TEL: 025-262-6140
FAX: 025-262-6730〒512-8550
三重県四日市市山之一色町800
TEL: 059-330-3816 ext.8817
FAX: 059-330-1117

メールアドレスdouyan@cs.kumamoto-u.ac.jp

hakatsuk@nr.titech.ac.jp

n.osawa@neptune.kanazawa-it.ac.jp

tohta@meijo-u.ac.jp

kuroki@me.osakafu-u.ac.jp

sinohara@sasebo.ac.jp

nshirai@qe.eng.hokudai.ac.jp

ktaka@iwate-u.ac.jp

mtanaka@chem-eng.kyushu-u.ac.jp

Naito.Teruki@bc.mitsubishielectric.
co.jp

harigai@ee.tut.ac.jp

yyagyu@sasebo.ac.jp

yambe@eng.niigata-u.ac.jp

ryo.yoshimoto@sandisk.com

2017(平成 29)年度分科会幹事役割分担
役割分担

新任

留任

幹事長

杤久保 文嘉

首都大学東京副幹事長

平松 美根男

名城大学

神原 淳

東京大学

1. 庶務・分科会ミーティング

林 久貴(株)東芝メモリ

高橋 克幸

岩手大学

竹中 弘祐

大阪大学

神原 淳

東京大学

シンポジウム・海外招待講演

赤塚 洋

東京工業大学小田 昭紀

千葉工業大学

分科内招待講演

太田 貴之

名城大学

加藤 俊顕

東北大学

チュートリアル講義

柳生 義人

佐世保工業高等専門学校

平田 孝道

東京都市大学吉元 諒

SanDisk 株式会社

大森 健史(株)日立製作所

平松 美根男名城大学

2. 春秋講演会シンポジウム

3. プラズマプロセシング研究会
大澤 直樹

金沢工業大学

王 斗艶

熊本大学

黒木 智之

大阪府立大学

荻野 明久

静岡大学

H29 年度：Plasma Conference

篠原 正典

佐世保工業高等専門学校

竹中 弘祐

大阪大学

H30 年度：SPP

白井 直機

北海道大学

平田 孝道

東京都市大学

田中 学

九州大学

今村 翼

(株)東芝メモリ

4. 光源物性とその応用研究会

小田 昭紀

千葉工業大学

5. プラズマ新領域研究会

平松 美根男

名城大学

白井 直機

北海道大学

北嶋 武

防衛大学校

篠原 正典

佐世保工業高等専門学校

茂田 正哉

大阪大学

山家 清之

新潟大学

前原 常弘

愛媛大学

平松 美根男名城大学

6. インキュベーションホール
太田 貴之

名城大学

荻野 明久

静岡大学

篠原 正典

佐世保工業高等専門学校

小田 昭紀

千葉工業大学

高橋 克幸

岩手大学

加藤 俊顕

東北大学

針谷 達

豊橋技術科学大学

茂田 正哉

大阪大学

林 久貴

(株)東芝メモリ

赤塚 洋

東京工業大学今村 翼(株)東芝メモリ

大澤 直樹

金沢工業大学大森 健史(株)日立製作所

内藤 皓貴

三菱電機(株)三好 康史

7. プラズマエレクトロニクス講習会(株)ソニーセミコンダクタ
ソリューションズ

8. 会誌編集・書記

吉元 諒

サンディスク株式会社

山澤 陽平(株)東京エレクトロン宮城内藤 皓貴

三菱電機(株)

前原 常弘

愛媛大学

山家 清之

新潟大学

三好 康史

(株)ソニーセミコンダクタ
ソリューションズ

9. ホームページ

白井 直機

北海道大学

北嶋 武

防衛大学校

10. 会計黒木 智之

大阪府立大学

王 斗艶

熊本大学

11. プラズマエレクトロニクス賞

杤久保 文嘉

首都大学東京12. アカデミックロードマップ

神原 淳

東京大学

杤久保 文嘉

首都大学東京（戦略企画室）13. PE 懇親会

田中 学

九州大学

北嶋 武

防衛大学校

秋：福岡, 春：東京

針谷 達

豊橋技術科学大学

山澤 陽平(株)東京エレクトロン宮城

GEC 委員（オブザーバー）

杤久保 文嘉

首都大学東京佐々木 浩一北海道大学(2017 年 11 月より)(2017 年 10 月まで)

542017（平成 29）年度分科会関連の各種世話人・委員
１．応用物理学会講演会プログラム編集委員
8

大分類代表

8.1
8.2
8.3
8.4
8.5
8.6
8.7
8.8

酒井 道

（滋賀県立大）プラズマ生成・制御

柳生 義人（佐世保高専）プラズマ診断・計測

伊藤 剛仁

（東大）

プラズマ成膜・表面処理

太田 貴之

（名城大）

プラズマエッチング

三宅 賢稔

（日立）

プラズマナノテクノロジー

古閑 一憲

（九大）

プラズマライフサイエンス

神野 雅文

（愛媛大）

プラズマ現象・新応用・融合分野

白井 直機

（北大）

Plasma Electronics English Session

酒井 道（滋賀県立大）２．応用物理学会理事

辰巳 哲也（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）３．応用物理学会代議員

板垣 奈穂

（九大）

（分科会推薦，各支部推薦等）

４．GEC 組織委員会委員

伊藤 雅文

（名城大）

神原 淳

（東大）

古閑 一憲

（九大）

作道 章一

（琉大）

霜垣 幸浩

（東大）

辰巳 哲也

（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）

本村 英樹

（愛媛大）

佐々木 浩一（10 月まで） （北大）
杤久保 文嘉（11 月より） （首都大）５．応用物理学会本部委員会
会員サービス委員会

高井 まどか（東大）

機関誌企画・編集委員会

伊藤 剛仁

（東大）

論文誌企画・編集委員会

木下 啓藏

（PETRA）

栗原 彰（東芝研究開発センター）

伊藤 剛仁

（東大）

講演会企画・運営委員会

酒井 道（滋賀県立大）教育企画委員会

平松 美根男

（名城大）

大森 達夫

（三菱電機）

６．フェロー（受賞時の所属で記載。元分科会会員を含む。）

岡本 幸雄

（東洋大）

小田 俊理

（東工大）

斧 高一

（京大）

河野 明廣

（名大）

近藤 道雄

（産総研）

寒川 誠二

（東北大）

白谷 正治

（九大）

菅井 秀郎

（名大）

橘 邦英

（京大）

辰巳 哲也

（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）

寺嶋 和夫

（東大）

永津 雅章

（静大）

中山 喜萬

（阪大）

55

庭野 道夫

（東北大）

畠山 力三

（東北大）

藤山 寬

（長崎大）

堀 勝

（名大）

真壁 利明

（慶大）

渡辺 征夫

（九州電気専門学校）

平松 美根男

（名城大）

木下 啓藏

（PETRA）

本リストは、応用物理学会の各種委員会等で活躍されている PE 分科会会員を記したものですが、一部を除き、分科会が直接に委員推薦等に関与しているわけではないため、記載漏れがあるかもしれません。記載漏れにお気付きの場合は、会誌担当幹事までお知らせ頂けますと幸いです。

56

活動報告
2017 年度 第 2 回プラズマエレクトロニクス分科

ICRP に設けるために、2019 年の ICRP で実会幹事会 議事録

施できるように準備を進める提案がなされた。

開催日時：2017 年 9 月 6 日(水) 12:15～13:15
開催場所：福岡国際会議場 S22 会場

5. プラズマエレクトロニクス分科会の会費改訂について（栃久保先生）
正会員の大学院生・学生の年会費を 1,000

大分類意見交換会に引き続いて実施された。

円に下げることが提案され承認された。また、
1. 応用物理学会（早稲田大学・2018.3）シンポ分科会運営への影響はないことも検討された。

ジウムなどの状況（神原先生）

新しい会費は次年度より適応される。

シンポジウム案として「二次元シート合成と6. プラズマエレクトロニクス分科会のロゴの作

プラズマプロセス～超薄膜から原子層まで～成について（栃久保先生）（仮称）」が提案され承認された。チュートリ
アル案として「プラズマ微細加工技術の基礎と他団体等の会合に協賛等する際にロゴの送応用～プラズマ基礎から ALE まで～（案）」

付を依頼されるが、作っていないため、分科会が提案され承認された。幹事会後、同じ会場ロゴを作成することが提案され承認された。

（S22）にて「先進農業に向けたプラズマ応用
7. 次回以降の Plasma Conference について（栃最前線〜新たな植物生育環境の開発･制御〜」と題して 8 人が講演する旨、報告と案内があ久保先生、平松先生）
11 月 20 日から 24 日に開催される Plasma

った。

Conference の状況について報告された。10 月
2. プラズマエレクトロニクス講習会の進歩状況

中にプラズマ科学連合の会合があるため、次回以降の Plasma Conference の運営について、（林先生）「プラズマプロセスの基礎と先端分野への分科会からの要望や立ち位置等が話し合われ応用」（2017 年 11 月 15 日実施）が提案された。

承認された。
8. 研究会などの報告（加藤先生、平松先生）
第 11 回 PE インキュベーションホールの実

3. 12 月分科会報の編集状況（山家）
目次案が提案され、国際会議報告を 1 件、施（8 月 24 日から 26 日）が報告された。

行事案内を 1 件追加し、承認された。

プラズマ新領域研究会について、12 月以降に予定されている研究会について報告された。

4. ICRP における賞の制定について（栃久保先生）
ICPIG、ISPC、GEC などの伝統ある会議で9. 関連会議について
各先生方から、
今後予定されている国際会議

は賞を設け、会期中に賞の授与、記念講演を行について説明がなされた。

っている。長年の功績に対する国際的な賞を57

2017 年度第 3 回目の幹事会は 3 月の応用物
10. その他

理学会(2018.3.17-20 早稲田大学)会期中のイ

栃久保先生より第 16 回プラズマエレクトロ

ンフォーマルミーティング内で執り行う。

ニクス賞の候補論文募集について説明がなされた。また、次年度の分科会新幹事の提案につ（書記： 山家 清之（新潟大学））

いて説明がなされた。

58

プラズマエレクトロニクス関連会議日程(国際会議)
2018. 1. 22-24
11th International Conference on Plasma Assisted Technologies
Abu Dhabi, UAE
http://www.plasmacombustion.com/iwepac.html
2018. 3. 4-8
10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides andNanomaterials /11th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma 2018,
IC-PLANTS 2018)
Nagoa, Japan
http://www.isplasma.jp/
2018. 3. 9-11
2nd International Workshop On Plasma Agriculture
Takayama, Japan
http://www.iwopa2.org/
2018. 6. 4-8
19th International Congress on Plasma Physics (ICPP2018)
Vancouver, Canada
http://icppvancouver2018.ca/
2018. 6. 17-22
7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM7)
Philadelphia, USA

http://icpm7.plasmainstitute.org/

2018. 6. 18-21
28th Symposium on Plasma Physics and Technology

Prague, Czech
http://www.plasmaconference.cz/

2018. 6.24-28
The 45th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS 2018)
Denver, USA

http://www.icops2018.org/

2018. 7. 1-6
EPS 45th Conference on Plasma Physics 2018

Prague, Czech
https://www.eli-beams.eu/en/media/events/eps-conference-plasma-physics-2018/2018. 7. 17-21
24th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG)

Glasgow, UK

59

2018. 8. 5-10
2018 Gordon Research Conference on Plasma Processing Science
Smithfield, USA

https://www.grc.org/plasma-processing-science-conference/2018/2018. 9. 2-7
22nd International Conference on Gas Discharges and their Applications (GD2018)
Novi Sad, Serbia

http://gd2018.ipb.ac.rs/

2018. 9. 2-7
The 16th International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry(HaKone XVI)
Beijing, China

http://hakone.csp.escience.cn

2018. 10. 21-26
AVS 65th International Symposium & Exhibition
Long Beach, USA

https://www.avs.org/Symposium

2018. 11. 5-960th Annual Meeting of the APS Division of Plasma Physics Co-Located with the 71st Annual Gaseous
Electronics Conference
Portland, USA

https://www.aps.org/meetings/meeting.cfm?name=DPPGEC18

2018. 11. 11-16
2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP 2018)
Kanazawa, Japan
http://aappsdpp.org/AAPPSDPPF/
2018. 11. 13-15
The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)
Nagoya, Japan
2019. 2. 3-8
European Winter Conference on Plasma Spectrochemistry 2019
Pau, France

http://www.winterplasma2019.com/index.php(国内会議・会合)

2018. 1. 19
プラズマ･核融合学会 第 30 回専門講習会「プロセスプラズマ診断の基礎」
名古屋大学 東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリー、愛知県
http://www.jspf.or.jp/30senmon/
2018. 1. 27
第 26 回プラズマ新領域研究会 『熱プラズマの電磁熱流体構造を開拓する』
大阪大学 接合科学研究所荒田記念館、大阪府602018. 2. 9
第 27 回プラズマ新領域研究会 『プラズマプロセスと表面/界面モニタリング』
SHAREmee シェアミィ、東京都
2018. 2. 22
日本学術振興会プラズマ材料科学第 153 委員会 スクール 『異種材料間の接着・接合技術の基礎と応用』
名古屋大学 東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリー、愛知県
http://plasma153.org/meetings/data/180222.html
2018. 3. 14-16
平成 30 年電気学会全国大会
九州大学 伊都キャンパス、福岡県

http://www.iee.jp/
2018. 3. 17-20
第 65 回応用物理学会春季学術講演会
早稲田大学 西早稲田キャンパス、東京都

https://www.jsap.or.jp/index.html
2018. 3. 22-25
日本物理学会第 73 回年次大会
東京理科大学 野田キャンパス、千葉県

http://www.jps.or.jp/activities/meetings/index.php
2018. 9. 4-5
電気学会 平成 30 年基礎・材料・共通部門大会
イーグレひめじ、兵庫県

http://www.iee.jp/fms/
2018. 9. 9-12
日本物理学会第 73 回秋季大会
同志社大学 京田辺キャンパス、京都府

http://www.jps.or.jp/activities/meetings/index.php
2018. 9. 18-21
第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
名古屋国際会議場、愛知県

https://www.jsap.or.jp/index.html

61広告掲載企業一覧
プラズマエレクトロニクス分科会会報 No. 67
3. 入稿

への広告掲載を頂いた企業は下記の通りです。幣

原稿は A4 版ネガ、もしくは電子ファイル（pdf）

分科会会員への最新情報ご提供に厚く感謝の意をとします。これ以外の場合、かかる費用を別途請表します。

求させて頂く場合があります。
1．株式会社 エナック
4. 広告掲載料
掲載料は下表の通りとします。なお、年間契約
当会報への広告掲載についての場合も申し込み時点で一括請求とさせて頂き

応用物理学会 プラズマエレクトロニス分科会

ます。

では、分科会会員への情報提供を旨とし、会報へ(A) 年間契約(B) 単号契約の広告出展を募集しております。広告の掲載にあ

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是非ご検討の程よろしくお願い申上げます。
1 ページ
1. 契約の種類(A) 年間契約コース

す。掲載号ごとに新規原稿に差替えできます。

※カッコ内は賛助会員企業(B) 単号契約コース
特定の号のみの掲載。

5. 問い合わせ先〒113-0031 東京都文区根津 1-21-5
応物会館 2 階

2. 掲載位置
掲載位置は編集後記の後になります。基本五十公益社団法人 応用物理学会

音順の掲載になりますが、レイアウト等の都合でTEL: 03-3828-7723

適宜変更になる可能性があります。何卒ご了承く

FAX: 03-3823-1810

ださい。また裏表紙への依頼がない場合には年間

Email: division@jsap.or.jp

契約の中からまわす場合があります。不都合があ

HP: http://annex.jsap.or.jp/plasma/

る場合にはご相談ください。

62

編集後記
この度、プラズマエレクトロニクス分科会会報

学生のためのページでは大阪大学の北野勝久先

No.67 を発行することが出来ました。ご多忙の中、生より『プラズマ誘起液中化学反応場における液原稿をご執筆いただいた方々にこの場を借りて厚中化学種の診断』と題して、液中における化学種

く御礼申し上げます。

の計測手法において、物理化学、生化学、分子生

本号の巻頭言では、
応用物理学会理事 ソニーセ

物学などの観点から反応過程から基礎原理に関し

ミコンダクタソリューションズ 辰巳哲也様よりて初学的内容を分かり易く紹介して頂きました。

『プロセスプラズマのこれまでとこれから』とい近年、プラズマエレクトロニクス分科会の領域はう題目で寄稿頂きました。巻頭言の中ではこれま

気液界面における現象を対象とした研究が広がりでの研究の来歴をご紹介頂き、応用物理学会からを見せており、学生の方がこの記事を読み計測手

プラズマエレクトロニクス分科会に期待すること法に興味を持っていただければ幸いです。

など研究者の方々に向けての提言として頂きまし

優れた研究を紹介する欄では、応用物理学会講た。

演奨励賞を受賞された金沢大学の兒玉直人様に受研究紹介コーナーでは京都工芸繊維大学の三瓶賞対象研究の解説をして頂きました。

明希夫先生に微粒子プラズマにおける研究を紹介

最後に、本号の原稿執筆を快く引き受けてくだ頂きました。

さいました著者の皆様、幹事長、副幹事長をはじ

研究室紹介コーナーでは大阪府立大学の松浦寛めとする分科会会員の皆様及び応用物理学会事務人先生及び愛媛大学の前原常弘先生に研究室の様

局分科会担当の小田様にこの場をお借りして感謝

子を紹介頂きました。大学・研究室の雰囲気及びの意を表します。本号を発行することができまし

研究内容について分かり易く紹介されており、興たもの、ひとえに皆様のお力添えが有ってのこと

味深く読んでいただけるのではないでしょうか。

と存じます。心より御礼申し上げます。分科会会

海外の研究事情では、産業技術総合研究所の清報では、各種報告や行事案内を随時募集しており

水鉄司先生にドイツ ガルヒン・ミュンヘン滞在ます。今後ともプラズマエレクトロニクス分科会記として、研究活動をされていたドイツでの生活

会報をどうぞ宜しくお願いいたします。

や研究内容について、ご紹介頂きました。また、（平成 29 年度会報編集担当：

海外での研究活動に興味がある方には大変面白い
内容かと思います。

前原、内藤、山家、三好）63

プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.67
2017年 12月15日 発行
編集：公益社団法人応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科会
幹事長 杤久保 文嘉
発行：公益社団法人応用物理学会〒113-0031 東京都文京区根津一丁目 21 番 5 号
応物会館（©2017 無断転載を禁ず）

64