プラズマエレクトロニクス分科会会報 No. 43
2005 年 12 月発行

目次
東京理科大学松田彰久

1

研究室紹介（その 33） 琉球大学 米須研究室

琉球大学

米須

章

2

海外の研究事情（その 18）「ミネソタ大学滞在記」

東京工業大学茂田正哉

5

海外の研究事情（その 19）「航空誕生の地で働く−NASA グレン研究所事情−」

オハイオ航空宇宙研究所

小嶋

潤

9

巻頭言

「プラズマエレクトロニクス分科会の活性化」

国際会議報告8th Int. Symp. Sputtering &Plasma Processes (ISSP2005)

名古屋大学

豊田浩孝

11

32th Int. Conference on Plasma Science (ICOPS2005)

長岡技科大

江

偉華

13

XXVII Int. Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG-27)

北海道大学

菅原広剛

14

12th Int. Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics (LAPD-12)

九州大学

山形幸彦

17

Gaseous Electronics Conference 2005 (GEC2005)

東京工業大学

野崎智洋

18

Light Source Workshop 2005 (LSW2005)

高知工科大学八田章光

2147th APS Division of Plasma Physics (DPP2005)

東北大学

市來龍大

22

52nd AVS Int. Symposium (AVS2005)

九州大学

古閑一憲

24

27th International Symposium on Dry Process（DPS2005）

中部大学

中村圭二

26

第 12 回プラズマエレクトロニクスサマースクール

産業総合研究所清水禎樹

292005 年秋季第 66 回応用物理学会学術講演会シンポジウム

高知工科大学八田章光

31

第 20 回光源物性とその応用研究会

高知工科大学八田章光

32

第 16 回プラズマエレクトロニクス講習会

防衛大学校

中野俊樹

33

6th Workshop on Fine Particle Plasmas

九州大学

白谷正治

34

日本 MRS 学術シンポジウム セッション H

大阪大学

節原裕一

35

第 6 回反応性プラズマ国際会議／第 23 回プラズマプロセシング研究会 (ICRP-6/SPP-23)

東北大学

畠山力三

36

13th Asian Conference on Electrical Discharge (ACED2006)

北海道大学

菅原広剛

38

第 6 回プラズマ応用技術の将来ビジョン研究会

防衛大学校

中野俊樹

39

2006 年春季第 53 回応用物理学関係連合講演会シンポジウム

名古屋大学

豊田浩孝

40

国内会議報告行事予定案内41

プラズマエレクトロニクス関連会議日程
掲示板
2005 年度プラズマエレクトロニクス分科会活動報告

43

編集後記

45

1

巻頭言

―――――――――――――――――――――――――――――
プラズマエレクトロニクス分科会の活性化
東京理科大学 松田彰久

プラズマ物理やプラズマ化学とエレクトロニク
ス分野がそれぞれの専門知識を持ち寄って、新たな領域を形成するため、いわば新学際領域を形成するために創設された。創設当初はせいぜ
い年に２〜３回しか研究者同士が顔を合わない
ことや、研究に打ち込むことができる研究者が多かったこともあって、この分野での研究報告
はいつも新鮮で、それぞれの研究の進捗についても毎回新たな研究成果が得られていた。さら
に、他分野からの厳しい意見も多く寄せられ、議論は白熱していたし、その議論に耐えられるようにと研究にも執念が感じられた。それが、毎月、ひどい場合には月に数回、同じようなメンバーが集う機会が増えてしまうと、新鮮さが失われるのも当然であろう。
このような分科会の状況に対し、何らかの手を打たねばならない時期に来ていると感ずるのは私だけではないであろう。
最近、プラズマ技術協議会（英名： Japanese
Association for Plasma Technology）なる組織が活動を開始した。この協議会の趣旨は「プラズマに関連する学理に基づく有用なプラズマ技術を確立するため、会員相互の知識・情報の交換を密にし、実用化の方策を模索・提案する」とあり、最新プラズマ関連技術の現状把握・討論のためのセミナー等の開催やプラズマ関連技術のコンサルタント事業を行うことになっている。
協議会会員は、プラズマ関連の分野で多くの経験を有し、輝かしい業績を挙げた研究者に限定されている。
プラズマエレクトロニクス分科会として、この協議会に何らかの協力を依頼してみることも現状打開へのひとつの試みとなるかもしれない。
この協議会の窓口（事務局）はプラズマエレク
トロニクス分科会においても会長を務められた
長崎大学の藤山寛教授（メールアドレス：
plasma@net.nagasaki-u.ac.jp）となっている。

大学や研究所が法人化の波を受け、「いかに研究予算を取ってくるか」が重要視されてきており、研究者の評価も研究予算の獲得によって成される傾向すら出てきている。 「いかに良い研究をするか」ではなくである。
過渡期であることを望むが、一度この風潮に馴染んでしまうと、研究者本来の能力が大幅に失われてしまう場合が多いため、非常に危惧される状況にあるといえよう。
特に、最も研究に打ち込まなければならない
若手といわれる研究者達までもがこの風潮に巻き込まれている傾向にあり、研究予算獲得のため、本来の研究に時間を割けなくなっている場
合も多々見受けられることに関しては、わが国の科学技術の将来に向けて危機感さえ感じる。
研究に時間が割けない原因として、予算獲得に直接絡んでいる各省庁やそれぞれに属する団体が主催する委員会などへの準備、出席、報告に多大な時間が割かれることが挙げられる。さらに、これは研究予算獲得のためだけではないであろうが、学会、支部会、シンポジウム、国際会議、ワークショップ等が多すぎる。このよ
うに種々の原因により、研究者の研究時間が取れなくなってきているのではないか。
そうなると、当然、研究成果は期待できず、多くの会議での発表に新しい結果が盛り込めな
くなってくるわけである。
さらに、このような委員会や学会等には同じようなメンバーが顔を合わせる機会が多くなってくることとなる。すると、お互いの研究内容の報告に新鮮さを感じなくなり、議論などする
魅力すら感じなくなってくるのは自然の成り行きと云えよう。
プラズマエレクトロニクスの分野での数多い学会、研究会、各種会議において、こういった現象が、まさに現実のものとして出てきている。
プラズマエレクトロニクス分科会は、本来、

2

研究室紹介―――――――――――――――――――――――――――――
琉球大学 米須研究室
琉球大学 米須 章

はじめに

電気電子工学科）に助手として赴任した時にス担当者からこの原稿の依頼をお引き受けした

タートしました。もともと琉球大学にはプラズ

後、改めて過去の記事を読み直してみたのです

マの研究をしている方はおらず、まさに何も無が、途端に気が重くなりました。今まで紹介さい 0 からのスタートでした。当初、学科から与れたいずれの研究室も充実した設備とスタッフえられたのは研究室立ち上げのための多少の予のもと、活発に独自の研究活動を行っており、

算と 1 スパンの実験室でした。そこで、とにか今さらながら筆者の研究室との差を感じてしま

くプラズマを生成することを当面の目標とし、いました。ただ、非常に小規模ながらもプラズ

学生の頃に慣れ親しんだＥＣＲプラズマの生成

マの研究に携わっている研究者もいることを知を目指しました。磁場コイルを作る予算がなくっていただくことも良いのではと自らに言い聞

替わりに永久磁石を使ったり、自宅の古い電子

かせ、本研究室の紹介をさせていただくことにレンジをマイクロ波発信器に改造したり、色々致します。

と苦労しましたが何とか研究室がスタートした
その年に琉球大学でプラズマを生成することが琉球大学についてできました。この時の喜びは今でも忘れられま琉球大学は 1950 年に米軍統治の下、現在の沖せん。

縄県のシンボルになっている首里城がある地に

その後、少しずつ必要な機器を買い足して行創設され、1972 年に沖縄の施政権が日本政府にき、研究室もスタートして今年ではや 17 年目に返還されるに伴い、国立大学となりました。創なり、時間がかかりましたが体裁が整いつつあ

立当初は、ミシガン州立大学から指導を受けてります。しかし、スタッフは創設当初のままで、おり、現在も米国の大学制度の良き伝統を保持

相変らず筆者一人で研究室を運営しています。

しています。その後、1978 年に現在の千原キャ

このため、いかに戦力になる学生を集めるかがンパス（西原町）へ移転し、国立大学では 5 本

研究室の重要な課題になっています。研究室にの指に入る敷地の広さが自慢となっています。

は、毎年、卒研生が 4 人程度配属され、そのう

ご存知のように琉球大学のある沖縄県は国内で唯一の亜熱帯地域として一年中温暖な気候に恵まれ、紺碧の空と白い砂浜やエメラルドグリー
ンの海に囲まれた南のリゾート地です。そのせいか、琉球大学で開催される学会や研究会では中央とは大分離れているにもかかわらず参加者
が例年よりも増加する傾向があるようです。
研究室のあゆみと現状
本研究室は、筆者が 1989 年に九州大学大学院
総合理工学研究科（河合研究室）を修了し、直写真 1

ちに地元の琉球大学工学部電気工学科（現在は3

平成 17 年度 研究室学生

ち 1〜2 名程度が修士課程に進学しています。現す。現在までに 2 種類の装置を考案し、試作し在所属している学部卒研生は 4 名、修士は 1 名ました。
一つ目の装置では、2 枚の円盤状の永久磁石をとなっています（写真 1）。
昨今の地方大学の厳しい財政状況の中で新し異極同士向かい合わせに配置して磁石間にミラい実験装置を購入することはなかなか困難なたー磁場を作り、そこへマイクロ波を照射してプめ、必然的に装置の大部分は学生の手作りとなラズマを生成します。さらに、向かい合う磁石っています。ただ、学生の様子を見ていると最の前面にターゲットを設置して（対向ターゲッ

初は戸惑いながらも慣れてくると自分で工夫しト）スパッタ蒸着を行います。コンパクトな装ながら楽しそうに工作を行っているようです。

置ながら 0.06mTorr の低ガス圧力下で 30nm/min

工学部の学生にとって最も重要な「ものつくり」の成膜速度が得られています。
もう一つの装置は、DC マグネトロンスパッタの楽しさを知ってもらうのには非常に効果があ法と ECR プラズマを組み合わせた蒸着装置です。

るようです。
こちらでの悩みはやはり中央から大分離れて磁場を強化した高速円筒型マグネトロンターゲいるためになかなか学生に学会などへ参加する

ットにマイクロ波を照射し、さらに DC 電圧を機会を与えることが困難であるということです。 印加することで DC マグネトロン放電と ECR 放
また、インターネットが整備されたおかげで離電が組み合わさった複合的な放電を起こし、プれていても情報の交換には不便を感じなくなっ

ラズマの生成・維持をおこないます。この装置ていますが、実験機器が故障した場合等は輸送では高い成膜速度を保ちながら、通常のマグネに時間がかかるため長期間実験がストップしてトロンスパッタ法よりも 2 桁近く低いガス圧力

しまいます。そのため機器のメンテナンスには下での蒸着が可能となります。さらに、最近は常に気を使っています。

この装置を用いた電離スパッタの研究を行なっています。予備的な実験では、本装置において0.4mTorr の低ガス圧力下でスパッタ粒子の電離研究設備・研究テーマについて

度が約 40%になることを確認しております。

本研究室では、マイクロ波を用いたプラズマ生成法の開発とプロセスへの応用を研究してい大気圧マイクロ波プラズマ生成装置

ます。特に(予算の関係上)低コストで、(手作りできるような)シンプルな構造、さらに（実験室

最近、大気圧下で生成された非平衡プラズマのスペースの都合上）コンパクトなプラズマ生が注目を集めています。その魅力は、何よりも成装置の開発を目指しています。以下に最近の高真空排気装置が必要なく低コストで生成でき研究内容について簡単に紹介します。

ることです。また、多くのラジカルを含むため
高速プロセスを実現できる可能性があります。

ＥＣＲスパッタ装置

本研究室でもマイクロ波を用いた大気圧プラズ

前述のように本研究室で最初に生成したプラ

マの生成を試みています。本研究室で開発したズマは ECR プラズマでした。その装置では永久装置は石英管にスリットの入ったアルミ管（ア磁石の磁場を利用するため、構造が簡単で低コンテナ）を被せ、その部分に向けてマイクロ波

ストで製作することができます。このプラズマを照射することにより石英管内にプラズマを生

源をスパッタ蒸着に利用する研究を行っていま成します。非常にシンプルな構造ながら、広いす。ECR プラズマは他のプラズマと比べより低圧力範囲でプラズマを維持することができ、大ガス圧力下で生成することができるため、スパ

気圧力下でもグロー放電のような管軸方向に伸ッタ蒸着用のプラズマ源として利用した場合、びた一様な分布をもつプラズマを生成すること

高品質の膜が作成できることが報告されていまができます（写真 2）。しかも、このプラズマは、4

も行っています。

電子温度に比べてガス温度が低い非平衡プラズ
マとなっています。用途としては、新材料の開

共同研究

発や難分解性の有害ガスの処理などに利用でき

琉球大学に赴任した直後から現在まで九州大ないか検討しています。
さらに現在は、マイクロ波電力をパルス変調

学の河合良信教授のご好意で共同研究をさせてすることにより、大気圧マイクロ波プラズマのいただいており、発光分光法を用いて、ECR プラ

電子温度とガス温度の非平衡度を制御する研究

ズマ中のイオン温度、ガス温度、窒素分子の解
離度、中性粒子の分布などの計測などを行なって来ました。
おわりに色々と不便な点はありますが、筆者にとって琉球大学での研究・教育の環境には満足しており、何より助手の頃から教授と全く対等な環境（研究費、教官室、実験室）が与えられ、全く自由に研究させていただいたのはこの上なく幸せであったと思います。これからも微力ながらプラズマエレクトロニクスの発展に貢献できる

写真 2

大気圧マイクロ波プラズマ

よう頑張っていきたいと思います。

5海外の研究事情―――――――――――――――――――――――――――――

ミネソタ大学滞在記
High Temperature and Plasma Laboratory,
Department of Mechanical Engineering, University of Minnesota
東京工業大学 大学院総合理工学研究科 化学環境学専攻 茂田正哉

気温マイナス 20 度（摂氏）のアメリカ合衆国

その制度を利用して，2005 年 5 月 1 日から 2006ミネソタ州ミネアポリスから滞在記を書かせて

年 1 月 31 日までミネソタ大学機械工学科 High

いただきます．まず…アメリカという国は人種

Temperature and Plasma Laboratory（以下 HTPL）の坩堝と言われるだけあり多種多様な人々と文において研究に従事させていただいております．

化が混在しています．それ故に「アメリカは…」

私が携わらせていただいている研究プロジェと一般化することは些か難しく，ここに記すこ

クトは「Hypersonic Plasma Particle Deposition」ととはあくまで私の近辺という極々局所的な事例呼ばれ，極音速に加速した熱プラズマ流の中でに過ぎない，ということ頭の片隅において目をナノ粒子を創製し加速，そのまま基板上に堆積通していただければ幸いと存じます．

し，超硬質のコーティングを作成する，またナ

ミネソタ州について，またミネソタ大学，所ノ粒子ビームを生成するというものです．現在

属 Laboratory の人員・構成等につきましては，

HTPL のみならずミネソタ大学機械工学科にと同会報 No.39, p.7-10 で野崎先生が詳しく述べてっての主要プロジェクトの一つで，私のおられますので，ここでは写真程度に留めさせSupervisor である HTPL の Prof. S. L. Girshick をていただき，以下では私が携わっている研究プ責任者として，HTPL の Prof. J. Heberlein と機械

ロジェクトとその他大学事情全般について，さ工学科 学科長の Prof. P. H. McMurry（Particle

らにいくつかの体験事例を主観と私見に基づいTechnology Lab.所属）という３人の教授によって記させていただきたいと思います．

て担われています．
担当している学生も 3 人で，全員が実験的研究を主としています．それぞれ

１．Hypersonic
Plasma Particle Deposition
１．

Ph.D 取得を目前としており，今まさに現場のクオリティが最も高い時期にあります．元々，私

私は日本学術振興会特別研究員（PD）として,は核生成理論で名高い Prof. Girshick の下でナノ粒子創製の理論的研究に携わりたいと思っていたのに加え，ちょうど理論分野を担当する学生がいなかったので，タイミング良く本プロジェ
クトのモデリングに従事させていただくことになりました．今現在もそれに取り組んでいる最中ですが，前述の通りの極限状況下での現象ですので，やはり一筋縄ではいきません．しかしその困難に立ち向かうにあたって，Prof. Girshick
図１との議論は実に現象の本質に迫るもので，的確大学から見たミネアポリス Down Town
6

なアドバイスをいただくことができます．また関係している学生達も実験的見地から良い意見をくれます．
２．大学事情全般
何よりもまず肌で感じることは時間の流れの違いです．日本に比べゆっくり流れていると感じるのはおそらく私だけではないでしょう．
基本的に週に一度，プロジェクト毎にミーティングが行われ，そこで学生やポスドクは研究の進捗状況を報告します．何も進んでいない・報告できることがない場合，彼等は正直にそれを言います．プロジェクトを掛け持ちしている学生が「先週はミーティングが多すぎて実験がで

図２ 機械工学科の玄関口

きませんでした．」というのを目の当たりにしたこともあります．教授達は決して無理強いしが時の流れを緩やかにし，じっくり腰を据えてて急かすような態度は取りません．代わりにプ

深く学問を追求していける環境を支えているのランを尋ね，建設的に助言してくれます．学生に余計なストレスを与えることは産性を下げるだと思います．裏をかえせば，ある水準に達し

逆に質と生

ないうちはどれだけ時間がかかっていても学位結果になることを知っているアを取得できないということになり，さらに裏をメリカ合理主義の象徴かもしれません．おそら

かえせば学位を取得した学生は大学が設けた確

くそれは，その根底にある日本の大学事情との大きな違いにあり，それに起因した生間の信頼関係

固たる教育水準に達していることが保障されて教官−学があるからです．それとは…

「学生のプロ意識」です．これもまた彼等と接いるということです．一般的にアメリカでは社会が大学教育を信頼していると言われる所

以はこのようなところにあるのかもしれません．

していて感じることですが，彼等は給料をもらって研究活動を行っているので，そこに研究者

３．英語コンプレックス

としてのプロ意識が発生します．またそれによ

日本人にとって大きな壁となって立ちはだかって生計を立てているので（既婚の学生もかな

るものはやはり英語です（あと食べ物）．日本

り多い），基本的にとても真面目に勉強・研究

で少しは英語ができる方だ，という程度ではネをしています．怠けているのが指導教官の目にイティブスピーカに到底太刀打ちできません．

余れば，あっさり解雇されることを知っている

日本の教材にあるような文法・発音・アクセン

からです．

トのしっかりした英語を話すアメリカ人は実際

またゆっくりした時間の流れの理由の一つに卒業に締切りがない

どれくらいいるものなのかと疑問に思ってしまことも挙げられると思うほど，人々が話す言葉は方言・イディオム・

います．ここは日本のように社会全体が３月締スラングに溢れています．また移住者がとてもめ・４月スタートというような仕組みではあり多いので，母国語と混ざった独自の英語を話すませんので，自分のタイミングで卒業を狙うこ

人々もたくさんいます（日本人もそう思われてとができ，それに合わせて個々が就職して行くいるでしょう）．結果として相手の言っている

ことができます．そういった社会全体の柔軟性
7

MASAYA SHIGEPA ・・・・ 651-OOO-OOOO
シゲパ？ （ナニジン？）
４．小事件 for 日本人
日本ではあまり体験しないであろうことについて触れさせていただきたいと思います．
図３(a) ある日バスに乗ると間違って逆方面に向か近所を行進するガチョウの群れってしまい，逆の終点に着いてしまいました．
ことはなかなか理解できず，自分の言っている

少し待てばそこから本来向かうべき方に再出発ことも通じない．英語に対する自信は簡単にコすると思いバスの中で様子を見ようと思った矢ンプレックスへと変化します．しかしそれに押先，バス内の電気は消され，運転手は私がまだされていては生きていけないのがアメリカ．とバス内にいるのをわかっていてそのまま外に出にかく頑張って話すしかありません．例えば渡て行きました．バス内から窓を叩いて訴えると米して早々に住むアパートを探し，契約を交わ「バスから出ろ」というジェスチャーをして走さなければなりません．電話をしてアポイント

り去ってしまいました．右も左もわからない状

メントを取り，現地に出向いて交渉し契約を．

況だったので困りましたが，別のバス（運転手

色々と説明されますが，聞き取れず聞き返すこ付）を見つけることが出来たので，無事戻ることもしばしば．こちらは言いたいことを適切なとができました．

言葉で言えず，動揺して文法も滅茶苦茶・・・(b) ミネソタの自動車免許を取るためにその日等々．しかしそんな経験を何回か重ねるうちに，は研究を早めに切り上げて，学科試験を受けにふと１つのことに気づきました・・・「英語がいきました．ここではコンピュータで個々に受下手でも彼等は真摯に話を聞いてくれる」．こけられるため，試験そのものには時間制限がな

こは移民の国．彼等は外から来た人に対する接く良く考えて回答することができます．またヘし方を知っています．これには感銘を受けましッドフォンが付いていて，問題文が読まれるのた．そしてそれに気づいてからはとても気が楽を聞きながら回答することができます．ところになりました．そのことをアメリカ生活の長いがここに落とし穴がありました．画面に出てい日本人の方に話したらる選択肢とヘッドフォンから聞こえる選択肢が「言葉が下手でもアメリカ人は決して笑わな

異なっています．ヘッドフォンに合わせてボタい」とのことでした．今でもあいかわらず下手ンを押したら見事に間違いました．そんなこんな英語ですが，間違っていても勢いで話す度胸

なで回答を続けること 30 問目を過ぎたあたりはつきました．ただし勢いに任せていたがゆえ（全部で 35 問程度），今度は突然コンピュータ（？）こんなことも起きました．電話回線を引がシャットダウンしました．頭の中が？マーク

いてもらう時のことです．まず電話会社に電話

で一杯のまま受付に行って事情を聞くと「ここをして契約を交わします．

４時半に閉めたいから４時２０分に全部切った．

了．数日後には

無事

滞りなく

契約完

開通．ホッと胸を撫で

明日の朝早く来い｣と．リアルなアメリカを感じ

下ろして１ヶ月・・・初の明細と電話帳が届きることができました・・・

ました．

(c) ミネソタ大学では年に一度インフルエンザの予防接種を無料で受けることができます．と8

いうわけで行きました．看護士さんの前で袖をミネアポリス・セイントポールの人口は合わ

捲ると彼女は「Are you ready ?」と聞いてきます．

せて約 65 万人．アメリカの大都市の中でも人口Yes と答えた次の瞬間…衝撃が走りました．注に対する犯罪率が最も低いランクに位置してい射器を投げて刺してきたのです．それはまさにます．それにも関わらず，ここ半年程度の間にダーツでした．驚いて唖然としている私に向か

目立ったものだけでも，これだけのことが起き

って一言…

ています．

「Not bad, huh ?」と・・・

アメリカは周知の通り，数多の素晴らしい環境を有している国ですが，同時にこのような側

５．大事件 for 日本人・中事件？ for アメリカ人面も現実として持ち合わせています．そのこと様々な形でアメリカに関わられている御方もを認識しながらアメリカにおける己のスタンス多いと思います．ここでは，少々おこがましいを見極め，振舞うことが大切だと感じています．

かもしれませんが，注意を促す意味でも敢えて６．おわりに

以下のような事実を書かせていただきます．これは自分が巻き込まれたものではありませんが，

今回「海外の研究事情」ということで筆を取

生活圏内で起きた事件です．

らせていただいたことを大変光栄に思っており(a) ここアメリカは何と言っても 銃社会 です．

ます．私見だらけの滞在記ではありますが，若酒に酔った人同士がケンカをすることは日本で僧の言うことと大目に見ていただければ幸いでもあることだと思いますが，そこで銃が登場しす．

てしまいます．そのせいで簡単に人が亡くなり本稿を記す機会を与えてくださいました 林

ます．そしてそれは簡単な報道で済まされてし信哉先生（佐賀大学）に御礼申し上げます．ままいます．

た，ミネソタ大学への研究留学にあたり，受入(b) これはさすがに大ニュースとして取り上げれてくださいました Prof. Steven L. Girshick（ミられましたが，市内で警察官が銃殺されました．

ネソタ大），渡航前から現在に至るまで多岐にある飲み屋での事件でした．犯人は逃走，自宅

渡 っ て サ ポ ー ト し て く だ さ っ て い る Prof.

に立てこもりましたが，警官隊が包囲．突入・

Joachim Heberlein（ミネソタ大），渡辺隆行先生

逮捕の瞬間がリアルタイムで報道されていまし（東工大），野崎智洋先生（東工大），岩尾徹

た．

先生（武蔵工大），根津篤氏（東工大），小松(c) 今年の夏頃，キャンパス近くで Decomposed

崎聡氏（東工大），飯田健次郎氏（ミネソタ大），

body が発見されました．敢えて日本語には致しおよび HTPL の皆様に深く御礼申し上げます．

ません．詳細は不明です．

最後に，日本学術振興会に感謝致します．

(d) これは最近一ヶ月くらいの話です．大学警察（大学が警察機関を持っています）から大学関係者全員にメールが発信されました，キャンパ
ス内で銃を使った強盗・恐喝事件が多発しているから十分注意するようにと．犯人はまだ逮捕されていません．

9

海外の研究事情―――――――――――――――――――――――――――――
航空誕生の地で働く−NASA グレン研究所事情−
オハイオ航空宇宙研究所 小嶋 潤
米国五大湖の一つ，オハイオ州が誇るエリー

宇 宙 研 究 所 （ Ohio Aerospace Institute; http://

湖と，カヤホガの川と森に囲まれた心地よい場

www.oai.org/）の研究主幹として，NASA グレン

所に，NASA Glenn Research Center があります．

に出向しています．ターボ機器システム部の燃

オハイオ州は，かの有名なライト兄弟の出身地

焼研究室（Combustion Branch）に所属しながら，であるばかりでなく，1969 年にアポロ 11 号で月

光学計測・診断の研究開発を行っています．テ

面着陸し，人類ではじめて月面に立ったアーム

ーマはプロジェクトによって変更することもストロング船長の出身地であるため， Birth of

度々ですが，現在は高圧燃焼場におけるレーザ

Aviation（航空誕生の地）と呼ばれています．

分光（主にラマン散乱）とデトネーション波面

夏は惜しみない日差しと風，そして適度な雨がのプラズマの電子温度・密度計測（トムソン散

降る素晴らしい場所です．しかし，冬は 12 月上乱など）に従事しています．約 5 人の科学者と旬で−10℃になることも多く，雪が膝まで積も数人のエンジニアからなる少人数チームで研究ることは珍しくありません．簡単に言えば，日をしています．これら実験結果は NASA グレン

本の東北の気候と似ています．

が開発している燃焼・パルスデトネーション計

1.4 平方キロメートルの敷地内には，大規模算コードの評価に応用される予定です．また，な超音速風洞や氷点下風洞を含む約 150 の建物

燃焼・プラズマからは離れますが，もつれ光子が並び，約 2000 人の職員とほぼ同数の契約社員を使った分光通信という新しい分野の研究をクが働いています．その約半数が科学者かエンジ

リーブランド州立大学と共同で進めています．

ニアです．1941 年に NACA として発足以来，一般的な研究の雰囲気について言えば，

NASA グレンは航空・宇宙推進技術，スペースNASA グレンは内部の研究者同士の横のつながシャトル開発実験，微小重力実験や高性能センりが盛んで，技術的な風通しが良いことが特徴

サーにおいて多くの重要な成果を残してきましです．例えば、最近私が関わっているデトネー

た．

ション・プラズマのプロジェクトも，1 人の研究

今年の春から，ブッシュ大統領に指名されたグリフィン博士が長官として NASA の指揮を執っています．新たな月・火星有人飛行計画を目指し，新しいスペースシャトルの開発（アポロロケット改良型）と宇宙ステーションの完成を掲げ，意気揚々としている一方で，これらの製造開発に経費が取られ，宇宙部門の基礎研究予算が大幅に削減されるという事態になっていることが波紋を呼んでいます．
さて，私が NASA グレンで働き始めてから今年で 5 年目になります．現在は，オハイオ航空

NASA Glenn Research Center, Ohio10

者が「こんな問題があるんやけど，光学計測でいので（ちなみに，NASA の研究員 1 人の昨年

何か見えへんか？」（関西弁でしゃべったわけの平均年間予算で計算すると、3 人雇うだけで約ではありません．神戸出身の私のイメージです．

1 億円！），給料や福利厚生以外に実際に研究者笑）と私に声をかけ，さらにそこから数人に話の手元で使える研究費は決して豊かではありまが広がり，2 週間以内に研究チームが発足したとせん．そのため内部の競争はかなり熾烈になりいう具合でした．たまたま，それを見ていた 1

ます．個人的には，NASA で働いていながら，人の上部が，「予算が何とかなるからそれでや

他の国家機関に予算申請をする必要性も出てきってみるか」という感じで実際に予算もついて，ました．

研究が 2 ヶ月後には始まりました．

一方，国家予算の一部である NASA の予算決

少し視点の違う話になりますが，新しい指揮

定には政治家が深く関わるため，NASA の本部官に代わってから，私の属する NASA 航空部門の思うように行かないこともあります．例えば，は，応用やデモ中心ではなく，学術的な基礎研

新しい NASA の長官が到着する前の話しですが，究を重視する傾向に動きつつあります．この追航空部門が NASA グレンが主とするジェットエ

い風のおかげで，私の行っているような基礎研

ンジンの基礎研究をすべて廃止する決定を下し究に今後も予算がつく可能性があるのは私にとました．ところが，ジェットエンジンの廃止はっては喜ばしいことです．航空部門の予算はグレンで働く多くの研究者の仕事を奪う（私をNASA 全体のたった 5％でありながら，それでも含む）ことが必至なため，経済向上を目指すオ

約 800 億円あります．800 億円と聞くと十分ではハイオ州の政治家が強力な圧力をかけ，国会議

ないかと思えるかもしれませんが，人件費が高事法案の中で NASA にジェットエンジンの研究を続けるよう指令が出るという展開になったことがありました．
最後に，私から見て NASA グレンで働く最大のメリットは，オハイオ州の比較的のんびりした風土を基に，家庭中心の生活をすることができることです．夕食を家族と囲まない日はほとんどありませんし，土日に職場に出向くことも滅多にありません．周りの同僚も同様のようです．仕事が最優先ではなく，それよりも大切なものがあると考え，まさにそのように日々行動

筆者：高圧燃焼器と光学測定系の前でできる自由と理解がこの土地にはあります．

11

国際会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
8th Int. Symp. Sputtering &Plasma Processes (ISSP2005)
名古屋大学 豊田浩孝

標記会議が 2005 年 6 月 8 日~10 日の日程で、

表２ 国別参加者数

金沢市の金沢国際ホテルにおいて開催された。
本会議はスパッタリングプロセスの基礎から応

参加国

参加者数

用まで幅広い範囲をカバーした会議として隔年

Japan

212

開催されており、1991 年に第 1 回会議が開催さ

Belgium

1

れてから今回が第 8 回となる。金沢の市街から

Taiwan6はやや離れた落ち着いた住宅街の中の環境といGermany8

うこともあって、参加者による熱心な討論がお

Korea

8

Liechtenstein1

本会議のひとつの特徴として、プログラム委Singapore1

員会が企業の研究者を中心に構成され、実用的

Sweden3

かつ応用志向をもつ研究に関する講演が非常にUK

3多いことがあげられる。表 1 に示すように講演

USA

10

分野としては薄膜およびスパッタプロセスに関

Total

253

こなわれた。

する発表が多く、研究機関と企業の割合という点でも、他の会議に比べると企業側の講演が非
表１
セッション

演、口頭講演を含めたすべての講演がポスター

分野別講演数一般講演

招待

発表をおこなうこととなっており、より充実し
Total

講演

Oral

PosterOpening

2

0

0

2

Thin Films

4

13

25

42

Plasma

2

2

5

9

Proc
Processes
Sputtering
Proc
Processes
Plasma Proc
Processes
Micro aandnd NanoTechnologies
Applications
Post Deadline
Presentations
Total

た議論ができるよう配慮されていることも特徴といえる。
今回の会議の国別参加者数を表 2 に示す。日本において開催される国際会議ということもあ

Fundamental of
Sputtering and常に多い印象をうけた。また、本会議は招待講り国内からの参加者が多く、ついでアメリカ、
韓国、ドイツとなっている。ドイツからは、主にスパッタプロセスの関係で多くの講演があった。Dresden の Fraunhofer−Institut のグループか

2

11

11

24

3

7

4

14

1

3

2

6

1

5

4

10

ッタシステム、ターゲット長 2m の大型 ITO ス

0

2

11

13

パッタ装置の紹介があった。コーティングなど

15

43

62

120

らは、数 10cm 四方において膜厚分布均一性が10-3 の 精 度 を 持 つ 光 学 コ ー テ ィ ン グ 法 が 、
Leybold Optics からは real time で膜厚を光学モニ
ターしながら高精度製膜をおこなう自動化スパにおけるドイツの工業用スパッタ技術は世界的に有名であり、今回の会議においても上記の光
12

学コーティング等、高精度をアピールする研究考えられる。次回会議では、参加者によりさらなどが発表されていた。

に新しい話題が提供されるものと期待される

韓国からは Sungkyunkwan 大学 CAPST(Center
for Advanced Plasma Surface Technology)の J.G.
Han 教授がマグネトロンスパッタリングによる機能性薄膜コーティングに関する講演をおこなった。このセンターは韓国のプラズマ研究の一大拠点であり、スパッタプロセスだけでなくプ
ラズマプロセス全般に幅広い研究をおこなっているセンターである。Han 教授は本会議だけでなく、プラズマ関連の多くの国際会議に出席しており、Samsung 等の韓国企業の躍進にともなう韓国の研究活動の活発化が改めて感じられる。
本プラズマエレクトロニクス分科会関係者の会場となった金沢国際ホテル

講演としては、プラズマプロセスのセッション(本会議 WebSite より)

では京都大学斧高一先生が high-k およびメタル
ゲート材料のエッチングについて、スパッタプ
ロセスの基礎のセッションにおいては豊田がス
パッタプラズマ中の高エネルギー粒子発生過程
について、それぞれ招待講演をおこなった。また、名古屋大学、京都大学、九州大学、中部大学など多くの本分科会関係者の方が講演をおこなった。
スパッタ製膜技術はプラズマプロセス技術の中では比較的成熟したものであるとはいえ、ディスプレイ関係の大面積高精度スパッタ製膜技
術や、半導体プロセス、新しいナノプロセスへ

講演会場の風景の応用など、さまざまな可能性を秘めていると(本会議 WebSite より)

13

国際会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
32nd International Conference on Plasma Science (ICOPS2005)
長岡技術科学大学

江 偉華

第 32 回 IEEE プラズマ科学国際会議（32ndッパとアジアでは、比較的独自性と実用性を重IEEE International Conference on Plasma Science）

視した研究が進められ、その結果新鮮な話題がは、2005 年 6 月 20~23 日、アメリカ合衆国カリ

数多く提供された。また、これまであまり見らフォルニア州モントレー市で開催された。6 年前れないアジアや中南米の国々の参加は、プラズと同様、パルスパワー国際会議（International

マに関する研究活動が世界中に広がっているこ

Pulsed Power Conference）と、同じ会場で週末をとを反映している。

挟んだ形で、二つの学会の緊密な関係を印象づけている。

今回は、主催者の努力で、従来に比べてソー
シャルイベントが充実された。前日のレセプシ

約 30 の国と地域から計 493 件の研究発表がエョンのほかに、１日目にミニコンサート、2 日目

ントリーされた。月曜日の朝から木曜日正午まにバンケット、3 日目にビーチパーティのように、での 3.5 日間を、プレナリー７セッション（計７

カリフォルニアの涼しい夜を楽しく過ごす環境

件）、一般口頭発表 29 セッション（4 会場同時と、会議時間外における出席者の間の交流を促

進行、計 200 件）、ポスター発表 3 セッション

進する機会をつくって頂いた。

（計 286 件）で 8:00~18:00 のハードなプログラ
ムが編成された。

数多くのロシアと中国の研究者が、米国の入国ビザの遅れにより、会議に参加できなかった。

プレナリー講演では、米国のローレンスリバ

その影響で、一般セッションとポスターセッシ

モーア国立研究所の NIF およびサンディア国立ョンともにキャンセルが目立った。中にはかな

研究所の Z ピンチによる慣性核融合関連研究がり注目される発表も含まれている。一方、韓国

相変わらず注目を集めると同時に、プラズマのは参加者数および発表件数ともにこれまでより

新たな産業応用が話題を呼んでいる。このよう（2003 年の韓国開催を除く）大幅に増加していな背景の中で、一般研究発表では、伝統的なセる。これに比べて、日本からの参加者は減少すッションに加えて、医療、バイオ、環境等のセる傾向があり、主催者からの期待の声が聞こえッションが大幅に充実され、聴衆の数からもこた。

れらの応用分野に対する注目度が認識できる。

次回（ICOPS2006）は、米国ミシガン州 Traverse

全体的に各国の研究の動向を見ると、主催国

City にて、2006 年 6 月 4~8 日の日程で、Michiganのアメリカでは大型プロジェクト主導の流れはState University の主催により開催される。会議の大きく変わっていないが、電磁波や X 線関連の

WEB サイトは http://www.icops2006.org/である。

テーマでは多様化を見せている。一方、ヨーロ

将来日本で開催されることを期待したい。

14

国際会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
第27回電離気体現象に関する国際会議
回電離気体現象に関する国際会議
XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
北海道大学大学院情報科学研究科 菅原 広剛

標記会議は2005年7月17日(日)～22日(金)の６加者によるポスター352件であった。資料としてポス

日間、オランダVeldhoven（ヴェルトホーヴェン）のホ

ター発表分野別件数を本稿末表１に示す。参加者

テルKoningshof（コーニングスホーフ）で開催された。

は39カ国から365人、参加者最多は日本であった。

Veldhovenは、アムステルダム・スヒポール国際空港

国際会議参加の機会が限られその報告が貴重

から鉄路で南へ、Utrecht（ユトレヒト）などの都市をな海外の最新動向情報であった頃とは異なり、

過ぎ１時間半程のくEindhoven（アイントホーヴェン）

誰もが容易に国際会議に参加しインターネット

か ら 、 更 に バ ス で 20 分 程 の 住 宅 街 で あ る 。

で情報収集できるようになった今日である。研Eindhovenは電器メーカーのフィリップス社の城下

究上の情報はもはや個人でも入手可能と思われ町で（写真１）、Technische Universiteit Eindhoven

るので、本稿では運営面で印象的に感じられたやフィリップス社の事業所が研究活動を展開してい点を主に記す。偶々同規模の国際会議の実行委る。会場のホテルは森の中に敷地を構え、各種娯員を務める関係で、迎える側として参考になり

楽施設や周囲5kmもの散策道を持つ滞在型総合リ

そうなことに関心が向いている点をお断りしてゾートであった。

おく。

発表は、Von Engel Prize受賞講演１件、General

レセプションで歓迎を受けた翌朝の開会式、現地招待講演９件、Topical招待講演24件、ワークショッ

オーガナイザ代表が挨拶に立つと、会期中はアットプ２テーマ（「過渡現象とパターン形成」、「Daniel

ホームな雰囲気をとやおらその壇上でネクタイを外Schram氏65歳誕生日記念」）15件、および一般参して見せた。これで参加者はくつろいだ雰囲気となった。
講演予稿はCD-ROMに収録されたPDFで提供された。大部の冊子体予稿集は姿を消し、重い思いをして予稿集を持ち歩くことが無くなった。印刷物と写真１．アイントホーヴェン駅前Philips博像
台座の銘「EINDHOVEN AAN DR. A. F. PHILIPS」(aanはオランダ語の前置詞でat/in/on/ofに相当)

写真２．大会プログラム冊子（ほぼ A6 判のポケットサイズ）

15

して配られたのは広告類の他は参加者名簿とA6判に配られ、いくらでも持ち帰ってくれとのことであっ程のプログラム（写真２）だけであった。会議シンボ

た。２人分の横幅のテーブルが並び、前向きに２人ルマーク（プログラム表紙中央）は、オランダ国旗が座る他、左右両脇にも前向きに椅子が配され、１（赤白青）とドイツ国旗（黒金赤）の色の帯で半周縁

卓で４人が着席しメモを取れるよう工夫されていた。

取りをした円内にオランダ国土をあしらったものであ

午前後半と夕方にはポスターセッションが行なわる。見方によっては北の湾が目、南の川が口と、顔れた。最大72件が同時掲出できた。パネルを四角を描いた三日月のように見える。開催地示す赤丸

柱状に組み、４側面に１件ずつ縦長のポスターが貼はちょうど頬の位置に当たりなんとなく愛らしいデザられた。会場の広さに負うところもあるが、掲示板がインである。

人の流れを遮ることが無く、見通しが良いレイアウト

大会中、主に午前前半と昼食後は口頭の招待講であった。

演が行なわれた。会場にはテーブルが並べられ、月曜のイブニングレクチャーでは「エキゾチック気

ホテルのロゴ入りノート・筆記具セットがセッション毎

体放電」と題した放電の実演が行なわれた。ガスの成分・圧力・電源周波数に応じて光り具合が変わる
放電、移動縞の制御、クネクネとのたうつ電弧、磁界による擾乱など、暗くした部屋で繰り広げられる
幻想的な放電ショーは印象的であった。
エクスカーションがまた意外であった。バス
を連ねて行く先は、欧州で五指に入る古さというエ
フテリン（Efteling）遊園地であった。研究者が持つべきは好奇心とばかりに、ひと時童心に帰って楽し
みましょうとの趣旨であった。３時間程の自由時間
後、晩餐会では中世の出で立ちの案内係に迎えられた。生バンドの演奏を聞きながらの食事であった。

写真３．エクスカーション訪問先
かやぶき屋根を思わせる遊園地入口

童話に出てくるお菓子の家に仕立てたケーキが披
露され、屋根のチョコ、壁のクッキー、庭のクリームと、皆好き好きに食べたい部分を分けてもらった。晩餐後、園内が貸切となり、人気のアトラクション３か所（立体映像系、遊覧系、トリック体験系）を待たずに巡らせてもらえた。
開催期間中を通じホテルの食事は朝昼夜３食ともブッフェ式であった。ランチは約15～20ユーロ、ディナーは約36ユーロ（毎食）と少々高いが、日本
人が参加国別で最多ということもあり、夜には寿司・刺身（わさびや醤油も）、味噌汁が出るというサービ
スぶりであった。ホテルの外に店は無い、とホテルの食事の予約を事前に熱心に勧められたが、ホテルの貸し自転車で町へ15～20分も走るとレストランもあったらしい。
全体として簡素化ともてなしとのバランスがとれた
会議運営で、快適に過ごせた６日間であった。

写真４．ホテルの料理（奥の皿は寿司）

なお大会プログラム等は次のURLに掲載されて16

い る （ http://www.icpig2005.nl/icpig.htm） 。 本 稿 執筆時点（2005年11月）ではまだ閲覧可能であった。
次回第28回会議は2007年7月、チェコ共和国プラハでの開催である（http://icpig2007.ipp.cas.cz/）。

表１．ポスター発表分野別件数
分野分類

数

1. キネティクス、熱力学、輸送現象

10

2. 素過程13

3. 低気圧グロー

23

4. コロナ、スパーク、沿面放電、高気圧グロー29

5. アーク放電

116. 高周波放電

25

7. 電離層、磁気圏、天体物理プラズマ

2

8. プラズマ診断法

43

9. プラズマ－器壁相互作用、電極・表面効果

13

10. プラズマ化学の物理的展開、表面プラズマプロ

40

セシング、薄膜技術
11. プラズマ流の発生と力学

412. 非理想プラズマ、クラスター、ダストプラズマ

19

13. 波動・不安定性、衝撃波

814. 非線形現象、自己組織化、カオス

10

15. 粒子ビーム／レーザビーム－プラズマ相互作用

716. 放射プラズマ源

15

17. 数値モデリング34

18. プラズマの環境応用

24

19. 高電離低気圧プラズマ（プラズマスラスター、イオ

9ン源、表面処理）20. 高気圧非熱プラズマ

13

計

352

付録（ICPIG2005国別参加者数資料）：日57、蘭56、
独50、露24、仏22、米19、韓14、ルーマニア14、
イラン12、チェコ12、ベルギー10、英9、伊7、葡7、
アイルランド5、豪5、イスラエル3、西3、スロベ
ニア3、セルビア3、ハンガリー3、白露3、ラトビ
ア3、ギリシア2、スウェーデン2、トルコ2、ノル
ウェー2、ポーランド2、ウクライナ1、エジプト1、エストニア1、オーストリア1、カザフスタン1、ク
ロアチア1、スイス1、デンマーク1、バングラデシ
ュ1、ブルガリア1、墨1、計365人。

17

国際会議報告――――――――――――――――――――――――――――
第12回レーザー応用プラズマ計測国際会議回レーザー応用プラズマ計測国際会議
12th Int. Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics
九州大学 山形幸彦
2005 年 9 月 25 日から 29 日まで，アメリカ合シング（弱電離）プラズマのレーザー計測関連

衆国ソルトレイクシティーの南東約 40 km には 15 件（レーザー誘起蛍光（LIF）法：6 件，

位置するスノーバード・コンファレンスセンタ

レーザー吸収法：3 件）で，同分野の研究が日ーで開催された第 12 回レーザー応用プラズマ

欧米で比較的活発であるのに対して，発表件数

計測国際会議（12th International Symposium on（参加者）の少なさが感じられた．いずれの場

Laser-Aided Plasma Diagnostics : LAPD-12）に出合も主な測定パラメータは電子温度・密度，電席する機会を得たので，その概要について報告

界強度，粒子密度等である．

する．

その他の目立ったトピックとして，極短紫外

LAPD 会議は，第 1 回が 1983 年に九州大学で光（EUV）の発生・制御が 2 件，PDP 放電の計行われた後，日欧米のまわり持ちで 2 年おきに測・解析関係が 2 件，マテリアルプロセシング開催されている．核融合プラズマやプロセシン

応用を目指したフェムト〜アト秒パルス幅のレ

グプラズマ等を測定対象とする，様々なレーザ

ーザーによる半導体キャリアの励起・緩和過程

ー計測関連の研究者が会し，言うなれば他分野の計測等があった．また，可変波長の高出力紫の研究内容やトレンド等の情報を交換できると外レーザー光源（特に水素原子 LIF 計測用）のころがユニークな点である．毎回，都市部より開発，弱電離プラズマ中の電界測定下限改善をはむしろ景勝地にある研修所やホテルが会議場目的としたシュタルク効果の理論計算なども印として選定され，60 名から 100 名程度の参加者

象的であった．
会場のスノーバードは，2002 年の冬季オリンで，活発な討論が集中的にできるようにアレンジされている．

ピックが開催されたソルトレーク近郊でも有数

今回の LAPD-12 会議には 11 カ国から約 60のスキー・リゾートであり，日本語の看板も見

名の参加者（おもにアメリカ，日本，オランダ，

られ，
日本スキー客にも人気が高いようである．

ドイツ）があり，そのうち日本からは 11 名が参会議中は紅葉が特に美しく，秀逸な環境下で過加した．LAPD 会議の提唱者で第 1 回委員長のごせた．ただ，会場付近は標高が 2360 m も有赤﨑正則氏の名を冠した“Akazaki Lecture”では，り，ホテルと会場間の僅かな坂道を息切れしな

ITER 国 際 チ ー ム の A. Costley 博 士 に よ り“Laser Based Plasma Diagnostics for ITER and
Beyond” と題した基調講演が行われた．その他

がら往復したのが印象に深い．また，会場からに，10 件の“General Lectures”，14 件の“Topical

イ片道券を渡されたのみだが）では，参加者がLectures”，11 件の口頭発表に加え，ポスター発

それぞれのペースでハイキングを楽しんでいた．

表 22 件の合計 58 件の講演が行われた．

中には，山頂まで 2 時間ほどで歩いて登る強者

講演内容の内訳としては，核融合プラズマの山頂（3353 m ）までを結ぶロープウェイがあり，エクスカーション（と言ってもロープウェ（日本人を含む）もいた．

レーザー計測関連が 22 件あり，その内 13 件が因みに，次回の LAPD-13 は，2007 年秋に日トムソン散乱法，7 件が干渉／ポーラリメトリ

本側が幹事となって飛騨・高山地方で開催されー法による研究報告であった．一方で，プロセることが決定された．

18

国際会議報告――――――――――――――――――――――――――――
Gaseous Electronics Conference 2005 (GEC2005)
東京工業大学 野崎智洋

米国物理学会（APS）原子分子光物理分科

われた（写真１）。Lieberman 教授といえば，（DAMOP）の Yearly Special Meeting である第名著「Principles of Plasma discharges and Materials

58 回 Gaseous Electronics Conference（GEC）が，Processing」を思い浮かべる方も少なくないはず

California - San Jose の Double Tree Hotel においである。難解な理論展開は避け，科学史的な観て 10 月 16 日−20 日に渡り開催された。例年同点からプラズマ物理の発展と応用についてユー

時期に開催される American Vacuum Society のモアを交えながら講演してくださった。

International Symposium とは対照的に，電子・分Foundation Talk での講演資料は，Lieberman 教授

子の衝突過程をはじめとする気体放電現象に関のホームページよりダウンロードできるので，る基礎研究が規約上の会議である。GEC は米国

興味のある方は下記を参照されたい

内の会議であるが海外からの参加者が多く，事（http://www.eecs. berkeley.edu/%7Elieber/）。

実上の国際会議として位置づけられている。982005 年の Arranged Session におけるテーマ（招年には本分科会が主催する反応性プラズマ国際待講演者 [所属]）は次の通りである（敬称略）。

会議（ICRP）と GEC が合同で開催されたこと(1) 定 圧 プ ラ ズ マ に お け る 材 料 合 成 （ Dもあり日本からの参加者は多い。

Hoffmann [Applied Materials]），(2) プラズマ−2005 年は，アメリカ，日本，ドイツ，フラン

表面相互作用（R V de Sanden [TU Einfdhoven]），スを主として合計 248 名の参加者（2004 年：265(3) ナノテクノロジーへのプラズマ応用（U名，2003 年：349 人）を得てほぼ例年どおりのKortshagen [Univ. of Minnesota]），(4) 高気圧プ規模で開催された。一方，講演件数は 253 件とラズマ（G Eden [Univ. of Illinois]，H Akashi

若干縮小気味で（2004 年：296 件，2003 年：337[National Defense Academy]），(5) バイオ新領域件），Bulletin も 69 ページと薄かった（2003 年：

へのプラズマ応用（V Grill [ LFU Innsbruck]，A89 ページ，2004 年：79 ページ）。例年，APS

Fridman [Drexel Univ.]），(6) プラズマ支援燃焼とは別に GEC のホームページを立ち上げて情（S Williams [Air Force Research Lab/PR]，S報を公開したり，申込締切り間近には電子メー

Macheret [Princeton Univ.] ， S Starikovskaia

ルで Reminder が届いているが，2005 年はこれ

[Mosow Inst. of Phys. and Technol.]），(7) CCP とらのサービスが無かったために申込締切りを逃

ICP（J K Lee [Pohang Univ.]，M J Kushner [Iowa

した人も多かったのではなかろうか。

State Univ.]），(8) プラズマ診断（E Barnat [Snadia

2005 年も Arranged Session と呼ばれる 23 の重national Lab]，F F Chen [Univ. of Califormnia]），

点領域セッションが設けられ 2 並列で進行され(9) 電離現象（J P Colgan [Los Alamos Nationalた。2 つのポスターセッション，１つのプレナ

Lab]，C Dimopoulou [Max-Planck-Institute]），(10)リーセッションを含めて，18 件の招待講演と負イオン（P Chaberts [Pascal Charberts Lab]），109 件の口頭発表，126 件のポスター発表が行わ(11) マ イ ク ロ プ ラ ズ マ 推 進 （ K Ono [Kyoto

れた。今年の GEC Foundation Talk は，2005 年

Univ.]），(12) 光源（J Jonkers [Philips]），(13) 電

APS Will Allis Prize を受賞した University of

子と原子の衝突（K Bartschat [ Drake Univ.]，G

California, Berkeley の Michael Lieberman 教授にChilders [California State Univ.]），(14) 電子と分Plasma, Sheaths, and Surfaces - The子の衝突（M Allan [Institute of Phys. Chem.]，A E

Discharge Science of Irving Langmuir”と題して行Orel [Univ. of California]），(15) 電子とイオンの

より，

19

衝 突 （ H Tanaka [Sophia Univ.] ， D Zajfman

2005 年は招待講演を含めて 253 件の発表があ[Weizmann Inst. of Science/Max-Planck- Institute]），った（2004 年：296 件，2003 年：337 件）。一(16) 電荷交換と解離（J B Mitchell [Univ de

般発表（口頭，ポスター）のおおよその分野とRennes]）。

件数を以下に示す：プラズマ推進・プラズマ燃

ここ数年，高気圧非熱平衡プラズマの基礎と焼 I，II（8 件），磁場を利用するプラズマ（8応用，ナノテクノロジー・バイオなど新領域へ件），解離・再結合・付着（6 件），ナノテクのプラズマ応用に関心が集まっている。日本かノジー（8 件），高気圧プラズマ I，II（26 件），

らは 3 名の招待講演が取り上げられた。

プラズマ‐表面相互作用（14 件），負性プラズ

Plasma assisted combustion では 3 名の研究者

マ（10 件），プラズマ診断 I，II（27 件），電が招聘された。高気圧プラズマの熱，非熱的な離（13 件），電子と分子の衝突（5 件），材料

性質が可燃性混合気体の着火，火炎伝播に及ぼ

プロセシング（15 件），グロー放電 I，II（25

す影響を詳細に論じたものであった。燃焼反応件），光源（8 件），アーク放電（5 件）シースは熱力学的にみて自発的に進行する反応である（5 件），電子‐陽電子相互作用（16 件），誘から，一般的な予混合火炎では火炎維持のため

導結合プラズマ（15 件），容量結合プラズマ（18に外部から断続的なエネルギー投入を必要とし件），プラズマのバイオ応用（4 件），エッチない（内燃機関のように間欠的な着火・燃焼過

ングのメカニズム（6 件）バイオ，新領域への程は別として）。火炎上流に電極を挿入するこ

プラズマ応用（9 件）シミュレーション手法(2とによる乱流促進効果がないならば，（ブラフ件)。

ボディー），熱バランスによって概ね着火遅れ

例年，指導教官により推薦された学生（口頭は決まる。非熱プラズマの役割として順安定励

発表）の中から，学生最優秀発表賞が選ばれる。

起種や高次振動励起種が関与する素過程を論じ2005 年の Student Award は以下の 7 名が受賞した点がユニークであるが，熱流動特性と練成した。

たより詳細なプラズマケミストリーの理解が更L Mangolini, University of Minnesota, “Synthesis ofphotoluminescent nanoparticles in a continuous flownon-thermal plasma reactor”
J Royal, University of California, “Dissociative
Recombination of the Rare Gases”
G Curley, Ecol Polytechnique, “Charged species'
densities and fluxes in a dual-frequency capacitive
plasma”
J Lopez, Stevens Inst. of Tech., “Time-Resolved
Studies of Pulsed Plasmas”[Ruhr-University
Bochem,T
Babkina,“Hyper-Thermal Hydrogen Atoms Produced by
Surface Neutralisation”
D Haxton, University of California - Berkely,“Dissociative Electron Attachment to H2O and H2S”
J Gao, University of Misssouri-Rolla, “An Elementary
Method for Averaging over Molecular orientations in
the Calculation of Electron-Impact Ionization of
Molecules”

なる発展には不可欠であろう。バイオテクノロ
ジーへのプラズマ応用は幾分トリッキーである。
細胞を培養するための高分子材料の合成や抗菌・滅菌へのプラズマ応用は，プラズマを用いることの意義が比較的明確であることが多い。
これに対して，生体細胞を直接非熱プラズマ処
理し，物理的・化学的に選択的を持たせた処理を行う場合，どのような素過程（電子照射，ラジカル，オゾン，光，衝撃波，電界，電磁波，etc）が重要で，どの過程を抑制すべきかについて明確な指針は得られておらず， nobody-knows-questionなどという言葉が質疑応答でも乱用されていた気がしてならない。他方，プラズマのバイオテクノロジー応用は異分野の研究者の相互乗り入れの場を提供するという意味でも重要な役割を果たしており，今後この分野の発展

7 名の受賞者の中で，ミネソタ大学のグルーに大きな期待が寄せられている。

プはシリコン量子ドットの合成に関する研究，

20

他の 6 グループがいわゆるプラズマの基礎に関

ラム編集にご尽力頂きましたことを付記しまする研究発表であった。Student Award の表彰はす。’06-‘07 の 2 年間は京都大学，斧高一教授が1998 年より始まった。受賞者数は年によって異実行委員として選出されたことを申し添えます。

なるようだが，その数は年々増加している傾向がある。日本の学生にも是非頑張ってもらいたい。
2006 年の第 59 回 GEC は，オハイオ州，Columbus にて 10 月 10 日-13 日の日程で開催される予定である。
（http://rclsgi.eng.ohio-state.edu/%7Egec2006/）
既にホームページも立ち上がっており，GEC 開催に向けた主催者の意気込みが感じられる。最後に，GEC を運営している実行委員には，日本から委員が加わることが恒例になっている。北海道大学，酒井洋輔教授におかれましては，

写真１ Dr. M Liberman（右）と Dr. M J Kushner'04-'05 の 2 年間にわたり会議の運営からプログ（左）(Chairman)

21

国際会議報告――――――――――――――――――――――――――――
Light Source Workshop 2005 (LSW2005)（於：愛媛大学総合情報メディアセンター）
高知工科大学 八田章光
2005 年 9 月 13 日（火）、14 日（水）の両日、明関連の企業など 11 件から協力を頂いた。

愛媛大学総合情報センターメディアホールに於

Devonshire 教授は予定していた航空便が天候不いて、Light Sources Workshop（LSW）が開催さ

順によって欠航となり、初日には間に合わなかれた。例年、光源物性とその応用研究会を共催ったものの、2 日目の朝には松山に到着され、している応用物理学会プラズマエレクトロニク

若干のプログラム変更によって無事に招待講演

ス分科会、照明学会の光の発生・関連システムを行うことができた。韓国からは Wonkwang 大研究専門部会、及び光放射の応用・関連計測研

学の Dae-Hee Park 教授、日本からは北海道大学

究専門部会の 3 つの専門部会に加え、電気学会の酒井 洋輔教授、名古屋大学の河野明廣教授らの新しい光源とモデリング・計測調査専門委員に招待講演をお願いした。

会、さらに韓国から The Research Committee ofLight Sources Science and Technology of the
Korean Institute of Electrical Engineering が共催し日本からは 7 名（うち学生 14 名）で、合計 78た。従前より韓国のグループが日韓での光源に名となり、従来の光源物性の規模を大きく上回

関するワークショップを打診してきていた。まる会議となった。発表件数は招待講演 7 件、一た、光源関係の国際的なイベントである Light

般講演が口頭発表 6 件、ポスター23 件の合計 36

参加者数はヨーロッパから 3 名（うち 2 名は
上記招待者）、韓国から 8 名（うち学生 2 名）、

Sources 11（LS11）が、2 年後の 2007 年に中国件であった。学生のポスター発表のうち、優秀の上海で開催される予定が決まったこともあり、 なポスター5 件にポスター賞を与えた。
日本、韓国に中国を加えて東アジア地域の光源
2 年後の LS11 を念頭に中国からの参加者
ワークショップを開催することを意図したものも期待したが、事前の打合せが不十分であったである。第 20 回の光源物性研究会を松山で開催

ため、中国国内の光源関係会議と日程が重なり、することがすでに決まっており、光源物性研究

結果的に参加を得られなかった。韓国のグルー会を母体にして開催することも検討したが、共プが次回（2006 年）に韓国での第 2 回の開催を催者が一部異なり、予算の区別も明確にする必希望している。韓国で開催する場合に、プラズ

要があるため、日程をつないで一体感を持ってマエレクトロニクス分科会を含む、日本の各専開催するものの、予算的には別の研究会として

門部会がどのように対応するのか、準備をしてそれぞれ独立に運営した。

おく必要がある。また、国内の光源物性研究会

ワークショップの目玉として、Light Sourcesとの関係づけも考える必要がある。

国際会議を中心となって運営にあたっている英

最後に LSW の企画、会場準備、開催にあた国シェフィールド大学の Robin Devonshire 教授、 った愛媛大学工学部電気電子工学科の神野雅文
前回の Light Sources 10 を主催したフランスト
助教授、本村英樹助手、他スタッフと学生の皆ゥールーズ大学の Georges Zissis 教授を招待しさんに心より御礼申し上げます。また、運営費た。招へいに必要な経費を捻出するためプロシを賄うためのプロシーディングス広告に協力しーディングスへの広告を掲載することとし、照ていただいた企業の皆様に感謝します。

22

国際会議報告――――――――――――――――――――――――――――
47th APS Division of Plasma Physics (DPP2005)
東北大学 市來龍大
米国物理学会プラズマ物理部門の第 47 回年会させて頂く．先ず参考に，招待講演のテーマをが 10 月 24 日〜28 日の日程で，米国コロラド州

表１に示す．会議全体を通してプラズマ基礎物の州都デンバーにて開催された．「マイル・ハ

理，核融合プラズマ，そして宇宙プラズマ関連

イ・シティー」の愛称を持つデンバーはロッキの話題が主であった．特に，講演のおそらく半ー山脈の麓に位置する海抜 1600m の高原都市で数もしくはそれ以上が核融合に関連するものであり，車を使えば 1，2 時間ほどで 3000m 級のあり，ITER から一度は手を引いたアメリカにお山々に行くことも出来る．アメリカ大陸を東といてこれほど核融合の研究が盛んになされてい西に分ける分水嶺もあり，足一歩の差でカリフるとは，この分野に疎い私には驚きだった．そォルニアを通って太平洋に流れるか，ミシシッの中でもレーザー核融合のトピックが多く，建ピ川となってメキシコ湾や大西洋に注ぎ込むか設が進んでいる国立点火施設（NIF: Nationalの分かれ目となっている．訪れた時期はすでにIgnition Facility）からの報告もなされた．

山々は雪模様であり，スキーを楽しんでいる人

レーザーに関連する分野で最も異彩を放ち注たちもいた．市街地においても気圧が海面気圧目を集めた講演として，児玉助教授（阪大）がの 83%しかなく，これは会議開催中苦しめられ発表された High Energy Plasma Photonics が挙続けた強烈な時差惚けの一因であったに違いなげられる．これはプラズマフォトニクスというい．日中の日差しは強いが砂漠性の乾燥気候の新たな学術領域についての講演であり，レーザ

ためカラッとしており不快感は少なく，ビール

ープラズマによる高強度光の制御，さらには高が非常に美味であったことが印象深い．ダウン

エネルギー密度粒子を光のように制御する画期

タウンの１６番通りは１マイルに渡りまるごと的なプラズマ応用の概念が紹介された．

歩行者優先のストリートモールになっており，

基礎物理の分野では，微粒子プラズマ及び非無料のシャトルバスが１〜２分おきに運行して中性プラズマ関連の話題，さらに乱流輸送や不いて快適なショッピングが楽しめた．ちなみに，に渡るため，注目を集めた講演及び私が個人的表 1. 招待講演のテーマ一覧
Space and Astrophysical Plasmas
Basic Plasma Physics
ICF Theory and Diagnostics
Transport Barrier Physics
The Road to Burning Plasmas
Plasma-Based Acceleration and Light Sources
MHD and Stability
Plasma Simulations
Turbulence and Transport
Education and OutreachIntense Beam Transport
Magnetic Plasma Technology
Wave and Particle Interactions
Z-PinchICF Ignitionに興味を抱いた講演に焦点を絞り簡単に紹介を

Innovative Confinement Concepts and High Beta

アメリカの都市にしては禁煙運動が盛んではな
いらしく，道行く人々は歩きたばこをしていた．
会議ではレビュー講演及びチュートリアルがそれぞれ 4 件ずつ，招待講演が 100 件，一般口頭発表が 290 件，ポスター発表に至っては 1200
件近くの講演があり，アメリカ一国の国内会議
でありながら，おそらくは世界一の規模を誇る
プラズマ物理学の会議であろう．従って参加者も非常に多く（人数は把握しておりません），
会場である巨大なアダムズ・マーク・ホテルの１フロアが世界各国から来たプラズマ物理学者
及び大学院生で埋め尽くされていた．
会議のテーマが「プラズマ物理学」と広範囲

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安定性に関する非線形物理学の話題が目立った． 代わりに電子／陽電子ビームを用い，その結果後者に属する多くの研究は，核融合プラズマの1GeV を超えるプラズマ電子の加速に成功した

制御及び閉じ込め改善を念頭に置いた研究であとの報告がなされた．

る．この分野においては我が国からは伊藤教授

ここまで期せずして高エネルギー領域のプラ

Review of Physics of Zonal

ズマを扱った講演ばかり紹介してしまったが，

Flows という題目でレビュー講演をされた．ト

一方でイオン温度がµK（マイクロケルビン）領

ロイダルプラズマ閉じ込めを改善すると予測さ域の Ultracold plasma

れている「帯状流」についての講演であるが，国立研）や，低温の反陽子・陽電子プラズマか

核融合の観点からのみならず純粋物理学及び宇ら低温の反水素を合成し閉じ込める研究（CERN

宙物理学に関連する一大トピックとして活発な

ATHENA プロジェクト）の講演も行われた．プ

議論が展開された．

ラズマ物理学が包括するエネルギー領域の広さ（核融合研）が宇宙プラズマの分野では，磁気再結合及びの研究（ロスアラモスを実感した次第である．

MHD ダイナモに関する講演が人気を博してい当年会では毎年優れたプラズマ研究者１名にたように記憶している．この分野で大変興味深

対し James Clerk Maxwell 賞が贈られる．今年はい講演だったのが，Wheeler 教授（テキサス大）高周波電流駆動に関する理論的研究の功績によに よ る Supernovae and Gamma-Ray Bursts:
Relativistic Plasma Physics in the Einstein
Centennial である．数十億光年彼方の深宇宙でり，Fisch 教授（プリンストン大）が受賞を果た

観測されるガンマ線バーストの正体は重力崩壊

どを参加者数名に贈呈する企画を催しており，型超新星に由来する宇宙ジェットであると考え初日に登録を行った人のみに番号札を配布し，られており，そのメカニズムを我々に馴染み深

最終日最終講演の直後に当選番号を発表する．

い MHD の観点から丁寧に説明して頂いたが，お察しの通り，これは会議の初日・最終日の参シミュレーション動画や CG による星々のイラ

加者人数を減らさないための企画であるが，驚ストなどが駆使されており，天体物理学に関しくほど功を奏しており，講演内容によってはガては門外漢の我々も非常に楽しめる講演であっラガラになる会場も当選番号発表の際はすずなた．講演の最後には，「ダークマターのシミュりであった．日本の学会でも同様の企画を試しレーションも行ったので動画を見て下さい．」てみてはいかがだろうか．

した．
ところで，当年会では音楽プレイヤーiPod なと言いながら一面黒塗りのスライドを提示して2006 年度の年会は，10 月 30 日〜11 月 3 日の笑いまで取っていた．宇宙・天文の研究者は聴日程でペンシルバニア州フィラデルフィアで開衆の心を掴むのが上手である．

催される予定である．

プラズマ応用に関しては，静電波動の研究者として興味を抱いた Katsouleas 教授（南カリフォルニア大）による講演

Plasma Accelerators

Race to 10 GeV and Beyond を紹介させて頂く．
プラズマ中に励起させた波動（航跡場）により荷電粒子を加速するという基本概念のもと，世界各国でプラズマによる粒子加速の研究が進められており，これが実用化されれば加速器の大幅な小型化及び低価格化が実現する．UCLA・南
カリフォルニア大学・スタンフォード線形加速器センターの共同研究では 10GeV までの電子加速を目指しているとのことであり，今回の講演
雄大なるロッキー山脈．

では，航跡場の励起に通常使われるレーザーの24国際会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
52nd AVS Int. Symposium (AVS2005)
九州大学 古閑一憲
はじめに2005 年 10 月 30 日から 11 月 4 日まで 6 日間，
米国マサチューセッツ州ボストンのヘインズコ
ンベンションセンターで開催された第５２回米国真空学会国際シンポジウム（AVS）に参加する
機会を得ましたので,報告いたします．AVS は，
毎年 11 月に開催される真空関係の最大の学会で，現在半導体製造プロセス関係では最も活発な学会の一つです．参加者数は 3000 名程度であり，その中で Plasma Science and Technology 分科
においては 173 件（内，口頭発表 118 件，ポス
ター発表 55 件）の発表があり，活発な議論が行われました．以下に本会議のトピックスを紹介いたします．
寒川先生，Executive
寒川先生，Executive Committee
Committee 就任
東北大学の寒川先生が日本人として初めて
Executive Committee に選出されました．寒川先生は，よりよい AVS 運営のために，プラズマエ
レクトロニクス分科会の皆様の御意見を広く求
めたいそうです．プラズマプロセスに関する日本の，そしてアジアの旗手として，一層の御活躍をお祈りいたしております.
Plasma Science and Technology 分科の概要
本分科では，半導体に関連するプロセスプラ
ズマから大気プラズマまで，またプラズマ診断法からバイオ応用まで，幅広いプラズマ研究分野を対象としています．１４の口頭発表と２つのポスターセッションが会期中に開催され，金属，半導体，low‑k・high‑k 材料のエッチング，
ポリマーに使われるプラズマ，プラズマを用いたデポジション，プラズマ源，プラズマ診断，プラズマのナノスケール応用やエッチングやデポジションにおけるプラズマ表面相互作用が議論されました．また，バイオサイエンスのセッ
ション後に，企業や大学からエキスパートを迎えてパネルディスカッションが開かれ，バイオ分野におけるプラズマの役割が議論されました．

また，本分科の発表全体のなかで，最大のトピックスは，Houston Univ.の Krunczi らによる，
回転する円筒壁を用いた，プラズマ中の酸素原子とアルミ壁の相互作用をリアルタイムに近い状態で計測する研究でした(PS‑TuP16)．これは，壁の回転周波数を変化させることで，酸素原子と壁の相互作用時間を制御することができるというものです．
月曜日
午前は，プラズマ計測の特別セッションが開か れ ま し た ． こ こ で は ， Wisconsin Univ. のHershkowiz 教授による，2004 年 Plasma 賞受賞
講演，と Sandia National Lab.の Barnat 氏による講演がトピックスとして挙げられます．両者
とも電場の測定に関する講演で，Hershkowiz 教
授の講演(PS‑MoM3)ではエミッシブプローブを用いた電位計測を，Barnat 氏の講演(PS‑MoM7)
では，laser‑induced dip fluorescence を用いたシース電位の時空間変化を計測した研究でした．午後は，誘電体エッチングとシリコンエッ
チングのセッションが同時に行われました．誘電体エッチングのセッションでは，Lam ResearchCo.の Hudson 氏らによる招待講演(PS‑MoA5)が行
われました.彼等はエッチング装置における，ポリマーの役割とその管理法に焦点を当てた研究を行った結果について報告しました．シリコン
エッチングのセッションでは，Applied Materialの Patterson 氏らによる招待講演(PS2‑MoA3)が行われました．この講演では，90nm 以降の世代のシリコンエッチプロセスにおける CD バイアス
コントロールとラインエッジラフネスの問題に

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の Korzec 氏により，大気圧プラズマプロセスのついて議論されました．またプラズマエッチン
グについてポスターセッションが行われました． 従来プロセスへの適用について議論されました．
また日本の Kyoto Univ.の Tachibana 氏により，大気圧におけるマイクロプラズマに関する包括火曜日的な研究が報告されました．
火午前は，プラズマを用いたバイオサイエン
スとプラズマ表面相互作用の 2 つのセッションが行われました．バイオサイエンスのセッショ
木曜日
午前は，プラズマ表面相互作用と，プラズマ
ン中，3 つの招待講演が行われ，セッションの最のモデリングのセッションが開かれました．モ
後にパネルディスカッションが行われました．
デリングのセッションでは，装置のモデリング，
Colorad State Univ.の Fisher 氏による招待講
表面反応のモデリングや low‑k 材料のプラズマ
演(PS+BI‑TuM3)では，ポリマーのプラズマ CVDに起因するダメージのモデリングなど，プラズのメカニズムについて講演が行われ,伊国
マプロセスに関する幅広い議論が行われました．
Europian Commission‑Joint Research Center
また，
日本の Tohoku Univ.の Nanbu 氏らにより，の Rossi 氏は(PS+BI‑TuM5)，プラズマによるポプラズマ減のモデリングのための，粒子シミュ
リマーの滅菌や機能化について，伊国 Bari Univ.
レーション法のレビュー講演が行われました．
の Lopez 氏ら(PS+BI‑TuM7)はプラズマで作製した材料の生物学的反応について議論されました． 午後は，新しいプラズマ応用セッションと，プ
ラズマ源と装置に関するセッションが行われま
プラズマ表面相互作用のセッションでは，UCBした．
の Winters 氏ら(PS‑TuM5)がアルゴンイオンとフッ素原子の表面反応の基礎をレビューしました．
午後は，誘電体エッチングのセッションが行わ
金曜日
午前中，本分科の最後のセッションとして，れました．ここでは，low‑k 膜プロセスに関するプラズマ表面相互作用のセッションが開催され報告が行われました.またポスターセッション
ました．このセッションでは，イオンエネルギ
ではプラズマを用いた堆積やプロセスに関するー・流束のリアルタイムモニタリング，ちっ化発表が行われました．
カーボンフィルムの堆積，ポリマーの表面処理，
有機エレクトロニクスにおけるプラズマの役割
水曜日について発表がありました．
午前は，プラズマ CVD と ALD セッションと，
高度なゲート作製セッションが開かれました．
最後にプラズマ CVD・ALD セッションでは，日本のAVS国際シンポジウムの会議内容について，日Mirai‑Asrc の Kinoshita 氏らによって，low‑k
をおって紹介させていただきました. また，セ膜堆積のためのプラズマ共重合の研究が報告さッションのほかに，会期中，PLASMA2010 (URL:
れました(PS+TF‑WeM1)．low‑k 材料の研究では，
http://www7.nationalacademies.org/bpa/PLS2
２，３世代後まで使用可能なスケーラブルな材料作製技術の開発が急務になっています．また， 010.html)というロードマップ策定についての報告会が開催されました．委員会メンバーはプ
Nocellus System Inc.の Leeser 氏によって，マラズマに関する著名人が名を連ねており，米国
イクロエレクトロニクスのための MetalALD に関における新しいプラズマのムーブメント（研究する報告が行われ(PS+TF‑WeM7)，プラズマ ALD
項目の再編）が起きそうであることを最後に報という新しい技術のの問題点と期待について議告してこの稿を締めたいと思います．最後に，論されました．高度なゲート作製セッションで私のような若輩に報告の機会をいただき，誠には，
台湾の Taiwan Semiconductor Manufacturing
ありがとうございました.
Co.の Chan 氏らにより，ゲートエッチの問題について発表が行われました(PS‑WeM3)．午後は大気圧プラズマとマイクロ放電のセッションが開かれました．エジプト，German Univ. in Cairo
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国際会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
27th International Symposium on Dry Process（（DPS2005））
中部大学工学部電気システム工学科 中村圭二
ドライプロセス国際シンポジウムが、大韓民ーでの発表であった。今回の日本からの発表件

国／済州島の Ramada Plaza Hotel Jeju にて１１数は全体の３２％にとどまり、それは昨年に比月２８日から１１月３０日にわたり開催された。 べて日本以外からの発表件数が大幅に増加、と本会議は国際会議に改変されて今回が５回目、りわけ今回の会議では韓国からの発表件数が多

通算で２７回目となり、日本においてはドライ

かった。また日本の企業からの報告は、割合こプロセス、特にプラズマエッチングに関しては

そ１０％程度と昨年よりも減少したが、件数自最も歴史のある会議となっている。

体は同程度であった。なお日本からの発表では、大学やコンソーシアムからの報告が６割近くあ

今年は昨年に比べて様々な変更点があった。

り、この分野を行っている研究機関が企業からまず、日本の東京都内での開催が通例であった

シフトしている傾向は、ここ数年と同じである。

のに対して、開催地が初めて日本以外の場所になった。それに伴って、日本とともに、開催地

本会議は、「Etching and Surface Treatment」、である韓国の各関係者が実務なども分担し、従「Plasma」、「Plasma Damage」、「Diagnostics of

来にも増して国際的な協力関係のもとに進めら

Plasma and Reaction Surface」、「CVD」、「High-k

れた会議となっていた。次にプロシーディングand Metal Gate Etching 」、「 New Dry Processの様式が、従来の英文６ページから英文２ペー

Concept」、「 MEMS 」、「Nano Technologies andジに大幅に簡素化される一方で、Post-Conference

Bio-applications」の各セッションと、「Low-k andPaper として学術雑誌「Thin Solid Films」に投稿

Dual Damascene Integration Arranged Session」、され、本会議の特集号として出版されることに「Float Panel Arranged Session」の２つのアレンなった。さらに、CVD、MEMS、ナノテクノロ

ジドセッションからなる口頭発表に加えて、２ジーなどの各分野を取り入れることによって、つのポスターセッションを加えられた形で進めエッチングの分野の活性化を図る従来の路線とられた。また会議の２日目に Banquet が催され、も相まって、今年の発表論文数は全部で２１０

2004 年の本シンポジウムの論文から選ばれた件程度と大幅に増加し、昨年度の６８件と比べYoung Researcher 賞の授賞式が行われ、京都大学て３倍以上に達した。また参加者も全体で３３の K. Takahashi 氏が、”Selective Etching of HfO2

９名にまで達し、昨年に比べて１００名以上増High-k Gate Material over Si in C4F8/Ar/H2

加した。なお日本からの参加者は約１３５名でplasmas”と題した論文で受賞された。

あり、それは１５６名が参加した開催国の韓国に次ぐものであった。その他には、米国、ベル

以下に主なセッションでの報告概要を述べる。

ギー、ブラジルなど、７カ国からの参加者があ最初の Opening Session では、Keynote 講演とった。そのような点で今年は、本会議にとってして、現在および今後のメモリー技術のトレン

画期的な記念すべき年となるものと考えられる。 ドに関するレビューが Chung 氏（Samsung）に
よ り 行 わ れ た の に 続 き 、 Etching and Surface
全ての論文のうち、招待講演は２３件、口頭Treatment のセッションで、ナノ世代におけるコ発表は招待講演を含めて５４件、残りはポスタ

ンタクトホールエッチングに向けた様々な試み
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（Hynix）が紹介された。またレジストのガラスセスに有効であることが示された（SELETE）。

転移温度の低下により、HBr を用いたプラズマ

さらに新しい Low-k 材の作成方法として、プラ

キュアが ArF レジストゲート電極における LWR

ズマ中で形成されるナノ微粒子を堆積することの改善に有効であるとともに（Sony）、sub-55nmが提案され、誘電率 1.3〜2.7 が得られたことがのパターンエッチングにおける Stacked マスク

報告された（Kyushu Univ.）。

プロセスの有効性と、有機膜のフッ化抑制がパ
Diagnostics of Plasma and Surface Reaction のセ

ターン劣化を防止するのに効果的である（Toshiba）ことが報告された。

ッションでは、まず表面がアルミナのリアクタ
壁面の組成分析が行われ、フッ化物が形成され

Plasma のセッションでは、二周波 CCP リアク

るため、フッ素ベースでのチャンバークリーニ

タでの荷電粒子やラジカルの挙動解明（Ecole

ングがプロセス再現性の改善するのにあまり効

Polytech）や、流体／粒子ハイブリッドコードを

果がないことが報告された。それの解決策とし用いた二周波 MERIE におけるイオン密度分布て壁面をカーボン系薄膜で覆うをことが提案さやイオンエネルギー分布などのシミュレーショ

れ、１０回以上のプロセスを行っても壁表面のン解析（Iowa State Univ.）などが報告された。

組 成 に 変 化 が な い こ と が 示 さ れ た （ CNRS,

Plasma Damage のセッションでは、65nm／45nm

Grenoble）。一方、プラズマリアクタにおける新ノードに向けたプラズマ誘起ダメージモニタ用

しいプラズマ密度モニタとして、器壁面からプ

テストストラクチャ（Spider Systems）とともに、ラズマ側に突起物が出ない周波数シフトプロー

スペーサエッチングにおける極浅接合に及ぼす

ブが提案され、適用できるプラズマ条件（圧力プラズマ損傷（Fujitsu）に関して報告された。

範囲、密度範囲、絶縁性薄膜の堆積）が広く、１％程度の密度変動に対しても十分感度を有し

Low-k and Dual Damascene Integration のアレンていることが示された（Nagoya Univ., Chubu

ジドセッションでは、まずデュアルダマシン構

Univ.）。さらに平面型表面波プラズマ源におけ造の形成に必要となるエッチングプロセスに関る電子加熱が、シース領域に局部的に存在するする報告があった。まず Si3N4 上の SiOC の選択共鳴領域での統計加熱により説明できることがエッチングでは窒素添加の C4F8 ケミストリーを、示された（Nagoya Univ.）。

そして SiOC 上の Si3N4 の選択エッチングでは水
素添加の CF4 ケミストリーを用い、精密なイオ

Flat Panel のアレンジドセッションでは、大面

ンエネルギー制御を行うことで高い選択比と良積のディスプレイパネルの作製に 100μm の巨

好なエッチング形状が得られることが示された

大グレイン Si の利用が試みられたり（Hyung Hee（Toshiba）。また、Low-k 材にポーラス MSQ

Univ.）、ガウシアン形状の電極を用いることにを用いた場合、アッシングプロセスでは窒素プ

よって、メータ級の均一プラズマに形成できるラズマを、またエッチングプロセスでは CF4 プ

ことが示された（EPFL）。また低温プロセスでラズマを用いると、Low-k 材のダメージを低減作製された TFT を用いるディスプレイパネルのされるとともに、レジストにおけるクロスリン

紹介があった（ALTEDEC）。

キングにより水素プラズマがレジスト劣化の抑制に有効であることが示された（Renesas）。一High-k and Metal Gate Etching のセッションで方、加熱されたタングステン触媒によって発生は、ハフニアにおけるエッチング特性が報告ささせた水素原子により、ポーラス MSQ 誘電率がれた一方（National Univ. Singapore）、Cl2/HBr

低減したことから、水素原子がアッシングプロ

ケミストリーで SiO2 マスクを用いた際のゲート
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スタックの表面特性に及ぼす影響が検討された。 バイオといった新規分野を取り入れる試みは、
徐々に定着しつつあるものの、一般講演の研究
その他の発表では、SiOCH 膜上のレジスト除内容を鑑みると、まだ十分とは言い難く、今後去に用いる表面波酸素プラズマへのクリプトン

もこのような取り組みを引き続き継続させるこ

添 加 効 果 と ラ ジ カ ル ／ イ オ ン 制 御 （ Nagoyaとが重要であろう。また企業での先端応用を重Univ.）や、分子動力学計算によるアモルファス

視した研究と、大学における基礎を踏まえた研SiO2 の形成や SiO2 のエッチイールドに及ぼす粒究との距離が、特に最近顕著となっているのが子の入射角度依存性に関するシミュレーション

気がかりであり、特にこの分野に携わる大学の（Kyoto Univ.）、さらには VHF と DC の重畳に研究者はその点を留意し、応用にインパクトをよるプラズマ中の高エネルギー粒子の制御与える本質的な基礎事項の研究を精力的に進め（Nagoya Univ.）といった気相や表面に関する基るべきであろう。一方、これまで本会議への参礎的な研究とともに、大気圧動作のプラズマジ

加者や論文数が伸び悩んでいたが、今回は日本

ェットと高速アニーリングへの応用（Hiroshima

以外で初めて開催され、特に韓国から多くの参Univ.）、水晶振動子やピエゾ素子の MEMS 加工

加者および投稿論文を得た点で、おおきな進展（Tohoku Univ.）、ナノピラーを用いたバイオデがあった。ただそれに伴って、これまでの高いバイス（Nagoya Univ., NIMS）など、新しい応用

クウォリティをどのように維持して、韓国をはに関する報告も多々あった。

じめとする各国の研究者とどのような協力関係を作っていくのか、が今後の新しい課題と言え、全体として、プラズマエッチングを中心としたドライプロセスの研究分野に加え、MEMS や今後の動向を注意深く見ていく必要があるであろう。

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国内会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
第12回プラズマエレクトロニクスサマースクール
回プラズマエレクトロニクスサマースクール
産業技術総合研究所 清水禎樹
平成 17 年 8 月 3 日〜5 日、名古屋市民おんたけ休暇村にて本分科会主催の第 12 回プラズマエ
レクトロニクス・サマースクールが開催されました。本サマースクールは、修士 1 年生レベルの大学院生および企業に入ってからプラズマを扱い始めた技術者等のプラズマエレクトロニク
ス初学者を主な対象とし、基礎から具体的な応用例に関する講義を行うことを目的としたものです。講師陣には各分野の第一線でご活躍されている先生方を招聘し、初学者に対して入門的な講義をしていただきました。また参加者には、所属機関で行っている研究内容をポスター形式で発表していただき、講師陣らとの発表内容に関する意見交換を通して、プラズマに関す知識をさらに深めていただくことができました。
本稿では、今回のサマースクールの概要、会計等に関してご報告申し上げます。
1．第 12 回 サマースクール概要
主催: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス
分科会
日時：2005 年 8 月 3 日(水)〜5 日(金)場所：名古屋市民おんたけ休暇村
長野県木曽郡王滝村 3159-25
一般

学生

プラズマエレクトロニクス分科会と応用物理学会の個人会員

40,000円

14,000円

参加費
応用物理学会個人会員

43,000円

17,000円

協賛学協会個人会員およびプラズマエレクトロニクス分科会の個人会員

48,000円

22,000円

その他

53,000円

27,000円

参加者数：64 名（社会人：16 名、学生：48 名）
講義（各 100 分）(1)「プラズマ生成の原理と実際」
節原 裕一（大阪大学）(2)「プラズマの素過程とモデリング」
赤塚 洋（東京工業大学）(3)「プラズマ計測の基礎と応用」
佐々木 浩一（名古屋大学）(4)「プラズマエッチング」
大森 達夫（三菱電機）(5)「プラズマ CVD の基礎と応用」
岡田 勝行（物質材料研究機構）
ショート講演（サマースクール担当幹事による
研究トピック紹介、各 20 分×5 件）(1)「マイクロプラズマによるオンサイトデポジシ
ョン技術」
清水禎樹（産総研）(2)「大気圧バリア放電と濃縮技術の併用による排ガスの高効率浄化法」
山形幸彦（九州大）(3)「気相・液相プラズマプロセスによる新機能性
ナノカーボン創製研究」 畠山力三（東北大）(4)「マグネトロンプラズマにおける高エネルギー
粒子の生成機構と計測」豊田浩孝（名古屋大）(5)「プラズマを用いた LSI の配線間絶縁材料生成」
木下啓藏（半導体 MIRAI プロジェクト）

その他：ポスターセッション（参加者による研究発表と討論）および懇親会を実施
昨年度同様、本年度も優秀なポスター発表に対して賞を贈呈いたしました。選考は、幹事、講師、参加者全員による投票にて行い、以下の 5
件の発表を、ポスターセッション優秀発表賞として選出し、賞状ならびに副賞（図書カード）を贈呈しました。
受賞者およびその題目
・崔 允起 (東京大学大学院新領域) 「Generationof dielectric barrier discharge microplasma(DBDMP) and its application to material
processing」
・岡安 隆文（名古屋大学工学研究科）「並列アンテナを用いた表面波プラズマ密度の均一化」
・川島 崇行（アネルバ株式会社）「プラズマダ
メージの低減を実現するラジカルシャワーCVD法」
・森尾 哲治（東北大学工学研究科）「ヘリコン波プラズマを用いたカーボンナノ物質の創製」
・櫻井 勝俊（静岡大学電子科学研究科）「白色発光素子用の軟質窒化炭素膜の作製」

30

2. 会計報告
収入の部

費目
参加費
活性化支援金分科会からの支援金
収入合計

金額
1,701,000円
200,000円
200,000円
2,101,000円

費目
テキスト印刷代担当幹事旅費・宿泊費、参加者宿泊費、食費
遠方学生交通費補助
諸謝金、講演料、講師旅費
雑費、通信料等
支出合計

金額
93,660円
1,365,876円
268,000円
249,132円
126,604円
2,103,272円

支出の部

応用物理学会からの援助にあたる「活性化支援金」を頂くことが出来ましたので、大幅な赤
字を出すことなく終了することができました。
しかしながら本年度も社会人参加者の割合が少なく、参加費からの収入がさほど得られなかったため、遠方からの参加学生への交通費補助を十分に行えませんでした。来年度以降は、より多くの社会人の参加を呼びかけるのは勿論のこと、遠方学生への旅費補助を主目的とした応用物理学会からの活性化支援金の補助を引き続き頂きたく思います。
3．参加者からの本スクールへの意見、感想本スクールでは、参加者へのアンケートを実施しました。ここでは、本スクールに寄せられた代表的な意見を記載させていただきます。
本年も、講義内容、宿泊施設、食事に関して、
概ね好評のアンケート結果を得ることができました。特に初心者を対象とした分かり易い講義
およびテキストは大変好評を得ることができました。しかしながら、本スクールのスケジュー
ルに関しまして、３件の講義と３件のショート
講演のスケジュールが組まれている２日目は、昼食以外は僅かな休憩時間があるのみであり、疲れて講義に集中できないとの意見が多数寄せられました。これは会場予約時間の都合上止むを得ないのですが、本スクールの主役である参加者の方々のためにも、今後改善を検討していかねばならない点かと思われました。
4. 終わりに初学者を対象とした本スクールでしたが、幹事として参加した私にとっても学ぶところが多々あり、基礎を見直す大切さを感じた３日間でした。本スクールのテキストは、今後プラズ
マエレクトロニクスの研究に携わっていく上では欠かせない参考書であり、今でも度々読み返しております。
ご多忙の中、無理を申し上げたにもかかわらず本スクールの講師を快諾していただき、テキストを執筆してくださった先生方には、この場をかりて改めて深く御礼を申し上げます。本ス
クールは、応用物理学会およびプラズマエレク
トロニクス分科会から、それぞれ２０万円の支援金を頂きました。ここに感謝いたします。
最後になりましたが、参加者の方々および学生･社員を派遣してくださった先生方に深く御礼申し上げます。今後とも引き続き、本スクールのご支援のほどを宜しく御願い申し上げます。
第 12 回プラズマエレクトロニクスサマースクー
ル校長：
畠山力三(東北大)
担当幹事：山形幸彦（九州大）
豊田浩孝（名古屋大）
木下啓藏 (半導体 MIRAI プロジェクト)
野崎智洋（東工大）
清水禎樹（産総研

参加者、講師、校長、幹事らの集合写真
31

国内会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
2005年秋季第年秋季第66回応用物理学会学術講演会
年秋季第 回応用物理学会学術講演会シンポジウム
回応用物理学会学術講演会シンポジウム『酸化物半導体・窒化物半導体のプラズマプロセス』報告高知工科大学 八田章光
窒化物・酸化物のワイドギャップ半導体は興味深い物性を示し、電子・光デバイスとしての応用が期待されて現在精力的に研究開発されているが、物性制御や加工技術には、まだ課題がある。そこで、窒化物・酸化物を合成・加工するためのプラズマプロセスの現状を把握し、プラズマ応用の観点から今後の研究開発課題を検討した。

日時：9 月 8 日（木）14:30-17:40
場所：徳島大学（2005 秋季応物会場）
1. イントロダクトリー・リモートプラズマによる ZnO 薄膜作製と発光デバイスへの応用（静岡大、天明 二郎）
2. ZnO 薄膜のプラズマプロセス（高知工大、平尾 孝）
3. 質量選択的運動量制御・磁場中酸素プラズマを用いた酸化物薄膜の合成（茨城大理工、佐藤 直幸）
4. イントロダクトリー・GaN、AlN 等の窒化物のスパッタ膜作製と膜中の内部応力評価（徳島大工、富永 喜久雄）
5. 電子ビーム励起プラズマによる窒化物薄膜
合成（豊田工大、原 民夫）
6. スパッタ及び CVD による cBN 薄膜堆積と電気伝導特性評価（東大工、野瀬 健二）
7. UHV スパッタリング法による III 族窒化物単結晶層のエピタキシャル成長（東京電機大、
篠田 宏之）
8. まとめ（名大工、豊田 浩孝）
酸化物を扱うには酸素系ガスのプラズマを、窒化物を扱うには窒素系ガスのプラズマを用いるのは当然である。これら空気の主成分である
ガス酸素と窒素は、放電ガスとしても非常にポピュラーではあるが、そのプラズマ制御は意外に難しい問題を抱えている。また現状で酸化物

半導体、窒化物半導体のプロセスにプラズマが広く用いられているとは言えない状況にある。
酸素プラズマ、窒素プラズマを発生、制御してプロセスに応用するにあたり何が課題なのか、
プラズマエレクトロニクスの研究者にとって、今後の研究のヒントになることを期待した企画である。
酸化物半導体といえば、今、酸化亜鉛（ZnO）
が非常に注目されている。イントロダクトリー
では ZnO の発光デバイス応用で、リモートプラ
ズマ処理によって特性が大きく向上したという最新の実験結果が紹介され、この分野でもまだプラズマの出番がくると期待される。続いて講演した高知工科大は高知県の地域結集プロジェ
クトとして ZnO の TFT 応用をすすめており、実際のデバイス試作に至る成果を挙げつつある。
当日、平尾 孝教授が都合で参加できず、代理の発表であったが、実際のデバイス試作が紹介され、実用化が近いことがアピールされた。今度はプラズマ側からのアプローチとして、プラズ
マの磁場制御によって酸化反応を高精度に制御しようとする試みが紹介された。残念ながらまだ実際のプロセス応用に至っていないが、興味深い。
徳大からは窒化物のスパッタ成膜についてこ
れまでの多くの経験が紹介された。会場となった徳島大学工学部は青色ダイオードで有名な日亜化学の地元とあって、大学を挙げて GaN など
窒化物半導体の研究が盛んである。
窒素分子は分解エネルギーが高く、通常のプラズマでは容易に分解できないことから、高エネルギー電子を多く含んだ電子ビームプラズマを用いることの意義が紹介された。また、若手の最近の成果として、cBN 薄膜合成、UHV スパ
ッタについて頼もしい発表を聞いた後、最後はプラズマ制御の観点からまとめを行った。
会場はほぼ満席で、この分野に関心が高まっていることが感じられた。

32

国内会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
第20回光源物性とその応用研究会
回光源物性とその応用研究会（於：愛媛大学総合情報メディアセンター）

高知工科大学 八田章光

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科
会と照明学会の光の発生・関連システム研究専
門部会、及び光放射の応用・関連計測研究専門部会の、3 つの専門部会が共催する「光源物性とその応用研究会」は、今回で第 20 回を迎えた。
1986 年の初回から 1998 年の第 13 回まで東京地域で開催されたようであるが、第 14 回滋賀の立命館、第 15、16 回が神奈川大、神奈川工大、第17 回北大、第 18 回神奈川大、第 19 回北大での開催と続いてきた。
第 13 回以降、開催時期が年末になっていたのを、開催地の気候も考慮して、昨年の第 19 回は10 月まで戻した。会告の掲載などの都合もあって、両学会の各専門部会幹事が、年度始めから手際よく作業をはじめないと、秋の開催はむずかしい。今年度は夏〜秋の開催をめざして準備を進め、また、初めて四国での開催を企画した。
秋の応物学会が同じ四国の徳島であることから、日程的にも応物に引き続いて開催するように調整した。
今年度は 2005 年 9 月 12 日（月）、愛媛大学の真新しい総合情報メディアセンターにあるメディアホールにおいて、発表者 5 名を含む、参加者 34 名を集めて開催した。昨年の参加者数 25名（うち発表者 10 名）と比べて少し増えたが、発表件数を集めることができなかった。これは翌日から 2 日間の日程で、同じ会場で企画したLight Source Workshop（LSW）に発表を譲ったた
めに、国内研究会の発表が減ったものである。
これまでも自主的講演申込だけではプログラム
がむずかしく、主催者側から関連する研究者に講演を依頼することが多かったのは確かである
が、今回は特に LSW への講演依頼を行ったため、本研究会への講演依頼は積極的に行わなかった。
次年度は昨年程度の発表件数（10 件）は確保できると期待する。今回は企画から企画から開催に至る経緯が異なるため、LSW とは別の研究会として開催したが、もし今後も LSW のような研究会が実施される場合には、光源物性研究会
そのものが母体として開催する方が望ましい。
今回の企画、会場準備、開催は、照明学会側
として、愛媛大学工学部電気電子工学科の神野雅文助教授が中心となってご尽力いただき、同研究室の本村英樹助手ほかスタッフ、神野研究室の多くの学生の協力によって開催できたことをここで感謝したい。

第 20 回 プログラム(1) 「一酸化炭素放電真空紫外光の自己吸収」
八田 章光、矢内 啓資（高知工科大学）(2) 「マイクロホローカソード放電のモデリング」
堀 真弥、明石治朗（防衛大学校）(3) 「磁気結合型無電極ランプに関する研究」
植月 唯夫、二又 里志（津山工業高等専門学校）
4) 「誘電体バリア放電を用いた無水銀光源の開発」
渡部 正志、谷内 秀文、本村 英樹、神野 雅文（愛媛大学）(5) 「ダブルヘリカル型外部電極を持つ無水銀光源（DHEL）の開発」
松田 達也、六車 裕介、田窪 修二、本村 英樹、
神野 雅文（愛媛大学33

国内会議報告――――――――――――――――――――――――――――――
第 16 回プラズマエレクトロニクス講習会（於：慶応義塾大学日吉キャンパス来往舎）
防衛大学校 中野俊樹

第 16 回プラズマエレクトロニクス講習会を平成

力頂きましたプラズマエレクトロニクス分科会

17 年 10 月 27 日、28 日に慶応義塾大学日吉キャ

関係者の方々ならびに会場の確保に御尽力頂き

ンパス来往舎にて開催しました。今回は「実践ました慶応義塾大学の中野誠彦先生にお礼申し的プラズマプロセス構築のための基礎と応用最上げます。

前線」というタイトルのもとに、プラズマの生

第 16 回プラズマエレクトロニクス講習会

成・制御、計測ならびに気相・表面反応などのプログラム

基礎的な内容から、カーボン配線技術、ULSI デ【10 月 27 日（木）10:00〜18:00】

バイスエッチングプロセス、MEMS 作製プロセ(1)「プラズマの計測・実践的発光分光」
白谷正治

スならびに大気圧プラズマ応用技術といったホットな応用分野まで幅広くカバーする講習会を先生(2)「プラズマの生成と制御方法」

企画し、これらの分野の第一線で御活躍されて板橋直志いる研究者の方々に御講義頂きました。また、(3)「カーボン配線技術」

これらの講義に加えて、前回の講習会で好評で

粟野祐二−

あったポスターセッションを企画し、プラズマ
プロセシングの最前線で活躍されている企業の研究者・技術者の方々に御発表頂きました。講習会の担当幹事団で心配していました受講者数も最終的には 61 名となり、盛況な講習会を開催することができました。御参考のため、講習会のプログラムや実際の講義の様子を示します。

（九州大）

先生

（日立製作所）先生（富士通）

ポスターセッション−「プラズマプロセシング最前線」【10 月 28 日（金）10:00〜17:00】(4)「反応性プラズマ中の気相・表面反応」
斧 高一

先生

（京都大）

(5)「プラズマ加工技術」
藤原伸夫

先生 （ルネサステクノロジ）(6)「プラズマ技術と光集積 MEMS」

今回の講習会に対する個人的な印象ですが、

佐々木 実

先生

（東北大）

様々な分野から受講者があったように思います。 (7)「大気圧プラズマ技術とその応用」
これは、プラズマ応用技術が益々多様化してい水野 彰 先生 （豊橋技科大）ることの現れではないかと感じています。しかしながら、個々のプラズマ技術の理解には、本講習会で脈々と受け継がれている基礎的な講義の知識が必要となるはずです。したがって、基礎と応用の内容を程よくバランスして構成される本講習会は、今後のプラズマエレクトロニク
ス分野の研究活動を活性化していく上で益々重要な役割を果たすと考えております。来年も同様の講習会が開催される予定ですので、分科会会員ならびに関係者各位の多数の御参加を期待しております。
最後になりましたが、本講習会の案内に御協

講習会風景
34

国内会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
6th Workshop on Fine Particle Plasmas
九州大学 白谷正治
１２月１５，１６日に核融合科学研究所で 6th

基礎実験について報告された．また，ロシアの Petrov

Workshop on Fine Particle Plasmas が開催された．この先生と横浜国立大学の石原先生の２つのグループか研究会の特長は，１）微粒子を含むプラズマに関連ら報告された液体ヘリウム温度でのクーロン結晶形

する様々な分野の研究者が一同に会して議論する点

成に関する研究が興味を引いた．
この温度領域では，と，２）質疑や休憩時間が十分あり，討論を徹底的

クーロン結晶を形成する微粒子の間隔が 10 m 程度に行える点にある．今回は，ロシアから４件，オーと極めて狭くなり，格子間隔の測定等の測定が難し

ストラリアと米国から各１件の講演を含め，招待講

いようではあるが，105-108cm-3 もの高微粒子密度の演５件，一般口頭講演９件，ポスター講演１４件，微粒子クーロン結晶を形成でき，新しい現象の発見

合計２８件の講演が行われた．海外からの参加者がにつながる可能性を秘めている．

増えたことから，
今回は全て英語での講演となった．

核融合関連では，核融合研の芦川先生から核融合

講演内容を分類すると，理論とシミュレーション

実験炉 LHD 装置から 1nm-10 m の広いサイズ分布

７件，基礎実験１１件，応用６件，核融合関連２件，の微粒子が採取されたこと，1 m 以下の小さなダス

宇宙物理・天体物理２件となる．プラズマエレクト

トは数密度が極めて高く，その主成分はカーボンでロニクス分科会の会員から見ると基礎的な内容が多あること等が紹介された．

いものの，応用研究に示唆を与える共通の物理・化学が多く含まれていた．

応用研究では，大気圧バリア放電を用いてディー
ゼルエンジンから排出される微粒子をCO2 等に直接京都大学の Kamaya 先生は，天体物理において，ガス化する研究や，プラズマ中に浮遊させた触媒微

微粒子は宇宙の構造形成に３つの重要な役割を果た

粒子にカーボンナノチューブを形成する研究，微粒していることが紹介した．すなわち，１）星間にお子分散薄膜を LSI の層間絶縁膜や太陽電池に応用す

いては微粒子を介した加熱が生じている，２）星をる研究の報告がなされた．

形成する際に必要なエネルギー損失を微粒子の放射

来年も１２月頃にこの研究会を開催する予定です

冷却が担っている，３）微粒子の凝集により惑星がので，多数の方に参加頂ければと思います．

形成される．また，愛媛大の横田先生は，月面上で研究会の代表世話人である京都工芸繊維大学の林先生に御連絡頂ければ，今回のアブストラクト集を送付頂けると思います．

の微粒子浮遊の模擬実験の結果を報告された．これ
らの研究は，空間スケールは大きく異なるものの，反応性プラズマ中の微粒子形成にも深く関わる話題でした．
基礎実験では，
米国の Ikezi 先生が液体ヘリウム上の表面波（ripplon）を用いたクーロン結晶に関する35

国内会議報告―――――――――――――――――――――――――――――
日本 MRS 学術シンポジウム
セッション H「先端プラズマ技術が拓くナノマテリアルズフロンティア」「先端プラズマ技術が拓くナノマテリアルズフロンティア」

The 16th Symposium of The Materials Research Society of Japan
Session H “Frontier of Nano-Materials Based on Advanced Plasma Technologies”
大阪大学 節原裕一
表記のシンポジウム（セッションＨ）が 2005 年

部のセッションで併設することとなり、他の２つの12 月 9 日〜12 日の 3 日間にわたって、東京・御茶ノセッションに加えて、本セッションでは初日に国際

水の日本大学理工学部・駿河台校舎 1 号館 CST ホー

シンポジウムを開催させて戴いた。（12 月 10 日〜

ルにて開催された。
日本MRS 学術シンポジウムは、

11 日の 2 日間は学術シンポジウムとして開催。）本

今回で第 16 回を数え、我々の先端プラズマに関する

年開催のセッション構成は下記の通りであり、招待

セッションの他に、磁性材料から分子性薄膜、自己講演、一般の口頭発表ならびにポスター

組織化、環境・医療材料、熱電変換材料、電子デバ

発表からなる延べ3日間の講演件数は総数で77件にイス、バイオインターフェイス、エコマテリアル、

及び、17 のセッションで最多であった。。

ソフトマテリアル、イオンビームプロセス、エアロ

今年のセッションを盛会で終えることができたのゾルデポジションといった多岐にわたる材料科学なは、連絡チェアを引き受けて戴いた白谷先生をはじらびにプロセス分野での最先端の話題を網羅した総め、セッションチェアをお務め戴いた堀先生、寺嶋

勢 17 のセッションから構成されている。

先生、河野先生、畠山先生、藤山先生、井上先生、

本セッションＨは、日本 MRS 会長をお務めの高知京先生に加え、多くの PE 分科会関係者の先生方

井 治先生（名大）の肝煎りで、代表チェアとしてのご協力とご尽力の賜であり、この場をお借りして堀先生にお世話を戴き、昨年度から開催している。

厚く御礼申し上げる次第である。また、次年度の開

特に、本セッションでは、「先端プラズマ技術が拓催に向けて、奮ってご参加戴き、この分野の議論をくナノマテリアルズフロンティア」をテーマに下記さらに発展していただけることを念願しております。

のスコープを掲げ、学会や他のシンポジウムとは異なる視点からプラズマ分野以外の方々にも広く参加【セッションＨ国際シンポジウム】

を呼びかけて、プラズマを用いたナノマテリアル創2005 年 12 月 9 日（金）成に焦点を絞り、徹底的に議論する場を創っていく

・Biomimetic Process and Biological Applications

ことを目的としている。

・Si Based Materials, Oxides and Nitrides【スコープ】本シンポジウムは、先端プラズマプロ

・Carbon Based Coatings and Nanostructures

セスにおけるサブサーフェス反応の計測・制御から、【セッションＨ学術シンポジウム】

新機能ナノ材料の合成、ナノ構造制御法、ナノ構造

2005 年 12 月 10 日（土）による新物性の発現にわたる最新の成果について、・ポスターセッション午前・午後

分野横断的あるいは学際的な立場で徹底的に議論す・エネルギー関連、シリコンプロセス

ることを意図して企画し、新しいナノ構造制御技術、

2005 年 12 月 11 日（日）

機能性ナノ材料の高速合成・局所堆積技術から、産・マイクロプラズマ業化を意識した量産ナノテクノロジーに至るナノマ

・分子凝集体、ナノ粒子プロセス

テリアルズのフロンティアを総括する。

・炭素系ナノ構造形成

第２回目となる今回のシンポジウムでは、日本・プロセス装置、計測診断技術

MRS では初めての試みとして、国際セッションを一36

行事予定案内―――――――――――――――――――――――――――――――――――

第 6 回反応性プラズマ国際会議／第 23 回プラズマプロセシング研究会
回プラズマプロセシング研究会
6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on
Plasma Processing (ICRP-6/SPP-23)
東北大学 畠山力三 （組織委員長）
第 6 回反応性プラズマ国際会議／第 23 回プラ

1. 反応性プラズマの発生・制御

ズマプロセシング研究会が，2006 年 1 月 24 日か

2. 反応性プラズマの診断・計測

ら 27 日まで日本三景の一つである宮城県松島海

3. 反応性プラズマ内の輸送現象と原子・分子素過程

岸で開催されます．
反応性プラズマ国際会議は，ナノテクノロジ

4. モデリングとシミュレーション

ー，バイオテクノロジー等に関わる基盤技術と5. パーティクル・ダストの発生と挙動してのプラズマプロセスに関連する諸現象を，

6. プラズマ・固体相互作用と表面改質等への物理・化学的観点から基礎的に解明するととも

応用に，複雑な反応性プラズマを制御する手法を学

7. エッチング術的に確立することを目的とし，これを基にし

8. デポジション

た最先端のプラズマ応用について国内外の第一

9. マイクロ，大気圧プラズマの応用

線の研究者による講演，研究発表，討議を行い

10. ナノテクノロジー，バイオテクノロジーへの応用

ます．
本国際会議は，
これまでに 1991 年に名古屋で，

11. 反応性プラズマの新展開

1994 年に横浜で，1997 年に奈良で，1998 年にハワイで(GEC: Gaseous Electronics Conference と合〔特別企画セッション〕

同会議），2002 年にはフランスで (ESCAMPIG:

1. 先端デバイスへの最新プラズマ技術応用

Europhysics Conference on Atomic & Molecular

2. MEMS プロセスの新展開

Physics of Ionized Gases と合同会議) 計５回開催

3. 大気圧／大面積プラズマ−材料プロセスへの新しいプラズマ

され，盛況を博しました．今回はその第６回目として準備が進められております．

4. プラズマ応用の新しい展開―新しい材料の革新的プロセシング

以下，会議の概要をお知らせいたします．本
分科会の主催行事として，多数の皆様のご参加をお待ちしております．

〔ナイトセッション：ホット トピックス〕-Plasma Processing for Bio/Nano Technologies-

記

パネルディスカッション

日時：2006 年 1 月 24 日（火）〜27 日（金）【招待講演者】

会場：ホテル大観荘（宮城県宮城郡松島海岸）(プレナリー)

主催：（社）応用物理学会

V. A. Godyak (Osram Sylvania)
A. Sekiya (National Inst. Advanced Industrial Sci.
Tech.)

共催：（財）名古屋産業科学研究所【主要題目】〔一般セッション〕(招待講演)
C. Charles (Australian National Univ.)37

U. Czarnetzki (Ruhr-Univ. Bochum)K. Becker (Steven Inst. Tech.)
G. P. Karwasz (Pomeranian Pedagogical Academy）

日本，アメリカ合衆国，カナダ，英，仏，独，伊，蘭，オーストラリア，韓国，中国，台湾，
インド，ロシア等．

S. J. Buckman (Australian National Univ.）
M. J. Kushner (Iowa State Univ.)
L. Boufendi (GREMI Univ. of Orléans)V. M. Donnelly (Univ. of Huston)
C.-J. Kang (Samsung)
P. R. Cabarrocas (Ecole Polytechnique)J. G. Eden (Univ. of Illinois)
K. P. Giapis (California Inst. Tech.)
P. Favia (Univ. of Bari)
K. Eriguchi (Kyoto Univ.)
M. Akizuki (Sanyo Electric)
T. Mukai (NEC)D. J. Economou (Univ. of Huston)
K. Baert (IMEC)
S. Farrens (EV Group)
K. Suu (ULVAC)
J. K. Lee (POSTECH)
J. A. Hopwood (Northeastern Univ.)
H. Sugai (Nagoya Univ.)
Y. Takeuchi (Mitsubishi Heavy Industries)
Y. Kuo (Texas A&M Univ.)
N. J. Mason (The Open Univ.)
M. Hangyo (Osaka Univ.)
E. S. Adamowicz (Eindhoven Univ. of Technol.)【登録料】
11 月 1 日以降：一般 35,000 円，学生 8,000 円
登録料には，参加費，プロシーディング，歓迎
レセプションが含まれます．登録は，末尾記載の会議専用 webpage でお願いします．
【宿泊】
宿泊については，会議場である「ホテル大観荘」
をお薦めします．複数人数で和室をご利用いた
だくと，割安にご利用いただけるようになっております．詳しくは，末尾記載の会議専用
webpage でご覧ください．
【締切日程等】
参加登録締切(online)

2006 年 1 月 10 日

ホテル予約

2006 年 1 月 10 日

ＪＪＡＰ特集号原稿

2006 年 1 月 24 日

なお，参加登録は会場での当日受付も行います．
【問合せ先】ICRP-6/SPP-23 組織委員長 畠山力三

【会議論文集等】
会議の Proceedings を発行します（会議当日，参加者に配布）．また，発表論文の一部を Japanese
Journal of Applied Physics (JJAP) の 特 集 号
Plasma Processing として 2006 年 7 月に刊行

〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉 6-6-05
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
電話：022-795-7045

FAX：022-263-9375

E-mail：ICRP6@plasma.ecei.tohoku.ac.jp
http://www.plasma.ecei.tohoku.ac.jp/ICRP6/する予定です．
【参加予定国】

38

行事予定案内―――――――――――――――――――――――――――――
13th Asian Conference on Electrical Discharge (ACED 2006)
北海道大学大学院情報科学研究科 菅原 広剛

13th Asian Conference on Electrical Discharge (ACED 2006)
October 16-18, 2006 Sapporo, JapanSUMMARY OF DEADLINES
Submission of abstracts: March 31, 2006
Notification to authors: May 31, 2006
Submission of papers: July 31, 2006
Early registration: August 31, 2006
TOPIC AREAS
A. Elementary processes and transport phenomena
B. Coronas, sparks, surface discharges, high-pressure glows,
and high-frequency discharges
C. Plasma chemistry, plasma processing of surfaces
and thin film technology
D. Plasma sources of radiation
E. Electrical discharge, plasma and their applications
F. Plasma for environmental issues
G. High voltage technology for insulation (Diagnostics,
on-line monitoring, measurements, testing techniques
and quality assurance)
H. Electromagnetic fields, measurement, and environmental effects
I. Intelligent systems in HV engineering:data mining and knowledge rules
J. Others

39

行事予定案内―――――――――――――――――――――――――――――
第 6 回プラズマ応用技術の将来ビジョン研究会のご案内
プラズマエレクトロニクスの将来研究」「プラズマエレクトロニクスの将来研究」
防衛大学校 中野 俊樹

プラズマ応用技術の将来ビジョン研究会（通称 ビジョン研究会 ）は 2000 年 11 月に第 1回目を開催して以来、これまで「半導体プロセ
ス・デバイス」「産学連携」「グローバル化」「ナノテクノロジー」をキーワードに従来の講演会、研究会での Scientific な議論ばかりでなく、
プラズマ応用技術の研究戦略、将来展望を議論する異分野交流のユニークな研究会として好評を博してきました。過去 5 回の研究会において様々な意見や提案がなされており、これらを集約して、プラズマエレクトロニクスの将来研究はどうあるべきかを総括する時期に来ていると思います。そこで、今回のビジョン研究会では、
社会科学的な視点による技術の評価や電子デバ
イス開発の現状と将来などの講演から、プラズ
マエレクトロニクスにおける戦略的な新技術開発はどうあるべきかについて議論します。さらに、今後、プラズマエレクトロニクス分科会を背負っていく若手研究者に現状で感じている問
題や今後の分科会・学会への要望を語ってもら
い、講演者と聴衆が一緒になって、プラズマプ
ラズマエレクトロニクスの将来研究のビジョンを探ることを狙いたいと思いますので、皆様の積極的なご参加をお願いいたします。
テーマ「プラズマエレクトロニクスの将来研究」
開催日時
平成１８年２月６日（月）13:30-17:30
会場
東京大学本郷キャンパス山上会館会議室 201・
202
参加費
応物非会員
応物会員
分科会会員

講演予定題目
13:30-14:30 「技術の評価 −ベンチャーファイ
ナンスの立場から−」 藤村修三 （東工大）
休憩（10 分間）
14:40-15:40 「電子デバイス開発の現状と将来−新材料（SiC）を中心に−」 大森達夫 （三菱電機）
休憩（10 分間）
15:50-16:30 「プラズマ科学の現状と将来 −プ
ラズマ基礎の立場から−」 小野 靖 （東大）
16:30-17:20 「プラズマエレクトロニクスへの要望と期待 −若手研究者からの声−」 富田健
太郎 （九大）、大竹浩人（日本電気）
17:20-17:30 「まとめ」 河野明廣 （名大）懇親会（17:30-19:00
会館会議室 001）

東大本郷キャンパス山上

問い合わせ先中野 俊樹
防衛大学校電気情報学群電気電子工学科
E-mail: tn@nda.ac.jp
TEL: 046-841-3810 内 2225
FAX: 046-844-5903
参加申込・最新情報
URL: http://annex.jsap.or.jp/plasma/
担当幹事
大森 達夫（三菱電機）
高橋 千春（NTT−ATN）
前田 賢治（日立）
木下 啓藏（MIRAI）
中石 雅文（富士通）
小田 昭紀（名工大）中野 俊樹（防衛大）５,０００円
４,０００円
２,０００円40

行事予定案内―――――――――――――――――――――――――――――
2006 年（平成 18 年）春季 第 53 回応用物理学関係連合講演会
シンポジウム案内名古屋大学 豊田浩孝

2005年 （ 平成18年）春季

第 53回応用物理学関係連合講演会シンポジウム

日程：3 月 23 日（木、大会 2 日目）（予定）
時間：13:30〜〜17:30 頃まで
題目：「メートル級大面積プラズマプロセスの現状と展望」

講演

講演題目

番号
1
2

イントロダクトリートーク
マルチ低インダクタンスアンテナによるメート
ル級大面積プラズマの生成と制御

講演時間

所属（略称）

講演者名

10 分

名大工

豊田浩孝

30 分

阪大接合研

節原裕一

3

VHF 大面積プラズマ源

30 分

APT

村田正義

4

マイクロ波放電による大面積プラズマ生成

30 分

名大工

菅井秀郎

30 分

NTT アフティ

斎藤國夫

5

5
6

大面積ＥＣＲプラズマ源の開発と低温プロセ
ス応用
休 憩

15 分

大面積大気圧プラズマ源

30 分

東大新領域

寺嶋和夫

30 分

カネカ

山本健治

薄膜シリコン太陽電池製造から見た大面積
プラズマプロセス

7

Aiplasma を用いた大面積クリーニング技術

30 分

松下電工

澤田康志

8

まとめ

10 分

三菱電機

大森達夫

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行事予定案内―――――――――――――――――――――――――――――
プラズマエレクトロニクス関連会議日程
2006.1.24-1.27
6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma
Processing(ICRP-6/SPP-23)(ホテル大観荘，宮城県松島 ）http://www.plasma.ecei.tohoku.ac.jp/ICRP6/
2006.2.9-2.10
レーザー学会第 26 回年次大会 (大宮ソニックシティ )レーザー学会 http://wwwsoc.nii.ac.jp/lsj/
2006.3.22-3.26
応用物理学会春季講演会 (武蔵工業大学，東京都世田谷区) )応用物理学会 Tel03-3508-1261
2006.3.27-3.30
日本物理学会第 61 回年次大会 (愛媛大学城北地区・松山大学 )日本物理学会 Tel03-3434-2671
2006.5.7-5.11
16th Topical Conf. High-Temperature Plasma Diagnostics(Williamsburg, Virginia）
http://meetings.lle.rochester.edu/HighTemp/
2006.5.9-5.11
3rd Int. Workshop on Microplasmas (IWM 2006)(Greifswald, Germany）
http://www.inp-greifswald.de/iwm2006.nsf/index?OpenPage
2006.5.22-5.26
13th International Congress on Plasma Physics(ICPP)(Kiev，UKRAINE）
http://icpp2006.kiev.ua/index.html
2006.6.4-6.8
IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2006)(Michigan USA)
http://www.icops2006.org/
2006.6.19-6.23
33rd European Physical Society Conference on Plasma Physics(Rome Italy)42

Contact : Jes Asmussen, asmussen@egr.msu.edu
2006.7.2-7.5
Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST)(Novotel Palm Cove Resort, Cairns, Australia)
http://wwwrsphysse.anu.edu.au/~mdl112/apcpst/
2006.8.29-9.1
応用物理学会 秋季講演会(立命館大学 びわこ・くさつキャンパス，草津市）
応用物理学会2006.9.25-9.29
Int. Symp. Discharges and Electrical Insulation in Vacuum(ISDEIV)(Matsue, Japan）
isdeiv2006office@eee.u-ryukyu.ac.jp
http://isdeiv.eee.u-ryukyu.ac.jp/
2006.10.9-10.12
59th Annual Gaseous Electronics Conference (59th GEC)
(Ohio USA)
Contact Walter Lempert lempert.1@osu.edu
2006.10.30-11.3
48th Annual Meeting of the APS Division of Plasma Physics(Pennsylvania,USA )2006.11.13-11.17
AVS 53rd International Symposium(California,USA ）http://www.avs.org/

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掲示板

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2005 年度（平成 17 年度）プラズマエレクトロニクス分科会活動報告

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編集後記

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年末も押し迫って，ようやくプラズマエレクト
ロニクス分科会会報 No.43 を発行するはこびとな

今年の科学ニュースの中でも，小惑星探査機「はやぶさ」はまだ記憶に新しいところかと思います．

りました．本誌にご寄稿いただきました皆様に御礼申し上げます．巻頭言で松田先生も述べられていますように学会・国際会議等で思うように時間が取れない中，大変興味深い記事をご執筆いただ

イオンエンジンで約 20 億 km の彼方の小惑星に到達した業績は宇宙開発の新しいページを開くものでした．2006 年もプラズマエレクトロニクス分野
が科学の新しいページを開き飛翔する年になるよき誠に有り難うございました．
原稿を集めて会報編集作業を行っておりますと，
一言でプラズマエレクトロニクスと言いましてもう願っております．
今後とも，プラズマエレクトロニクス分科会の活動および会報発行にご協力頂きますよう宜しく基礎から応用まで様々な原稿が寄せられ，改めてその分野の広さに気付かされた次第です．

お願い申し上げます．
（押鐘，真下，野崎，林）（文責 林）

プラズマエレクトロニクス分科会会報 No. 43
2005 年 12 月 24 日 発行
編集・発行：社団法人 応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科会
幹事長 河野 明廣〒102-0073 東京都千代田区九段北 1-12-3
井門九段北ビル 5 階（©2004 無断転載を禁ず）

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