Doc. No. SG21-288-001J

H920-P500

SURUGA SEIKI CO.,LTD.

1

Doc. No. SG21-288-001J

はじめに
この度は、弊社製品をご購入いただきありがとうございます。
製品を正しくお使いいただくために、ご使用前にこのユーザーズマニュアルをお読みください。
読んだ後も、いつでも見ることができるように、手に取りやすい安全な場所に保管してください。
注意- このマニュアルの内容は、性能や機能の改良にともなって、予告なく変更することがあります。
- 実際の画面に表示される内容は、このマニュアルで示す画面表示内容と異なることがあります。
- お尋ねやご質問があれば弊社光学機器事業部営業までお問い合わせください。
改訂履歴
版

Date

初版

2021/11/01

改訂履歴
新規作成

2

Doc. No. SG21-288-001J
内容物
製品をご使用される前に、下記部品が同梱されていることをご確認ください。

製品構成■Model : H920-P500(1) Sensor Head

H920-P500M

1台+LD connector

XW4B-06C1-H1

1個

HSP-3810

1台+ DC Power In(Terminal Block)

XW4B-02C1-H1

1個+ Analog connector

XW4B-07B1-H1

3個+ I/O connector IN

XW4B-10B1-H1

1個+ I/O connector OUT

XW4B-05B1-H1

1個(3) Sensor Head Cable

H900-CABLE1

1本(2) Signal processor

3Doc. No. SG21-288-001J

製品を安全にお使いいただくためにご使用前に、次の安全上の注意を必ずお読みください。

！

は禁止を表します。

注意

ここに表記する安全上の注意を必ず守ってください。守らない場合は、身体にケガや障害を負うおそれがあります。

- 安全上および使用上の注意


製品の設置および操作は、レーザ機器の安全に通じた担当者が行うようにしてください。



ノイズ環境下では、ノイズフィルター付テーブルタップを使用してください。



コントローラを必ず接地してください。接地しないと、感電するおそれがあります。

- 配線


ケーブルを接続したり外したりするときは、メインユニットの電源およびメインユニットに接続する装置の電源を切っておいてください。電源が入ったままですと、メインユニットが損傷するおそれがあります。



外部装置の制御ケーブルを接続するとき、外部装置の極性を確かめてください。極性を間違えると、外部装置が損傷するおそれがあります。

- 使用環境製品を以下の場所に設置してはいけません

粉塵が多いところ

温度変化が大きいところ



振動があるところ



傾斜した不安定なところ



腐食性ガスまたは可燃性ガスにさらされるところ

4

Doc. No. SG21-288-001J！

注意- 取扱いおよび保管
長期にわたって使用しないことを理由に製品を保管したい場合は、
24V 電源コネクタをはずしてください。
出火や感電など不測の事故から保護するためです。

- 電源
24V 直流電源を準備してください。

- 分解と改造
測定ヘッドおよびコントローラシャーシを分解したり、手を加えたり、不適切に修理してはいけません。
不具合が生じた場合は、弊社光学事業部営業までお問い合わせください。

- 修理依頼以下の場合は直ちに使用を中止して、弊社光学機器事業部営業に修理をご依頼ください。
中止せずにそのまま使い続けますと、出火、感電、または人身事故を招くおそれがあります。
・異音、異臭、または煙が発生した場合
・ケーブルが損傷した場合
・製品へ水が掛かったり、異物が浸入した場合・製品を落としたり、製品キャビネットが損傷した場合お問い合わせについては 68 ページをご覧ください。

5Doc. No. SG21-288-001J！

レーザに対する安全上の注意

レーザを扱う人や近くに潜在的な危険のある人に対する警告です。必ずお守りください。

注意：本マニュアルに記載されていない方法で制御、調節、実施を行った場合には、危険なレーザ照射にさらされるおそれがあります。

・いかなる場合でも、レーザ光を直接または光学的手段で見ないでください。レーザが直接目に入ると重大な障害を負うおそれがあります。レーザ光の直接光だけでなく、反射光からも障害を受けるおそれがあります。
・本製品を使用する国や地域の規格・法令に定められている、Class3R レーザ製品の使用者に要求される安全予防対策を必ず実施してください。
・レーザ照射対象物やその周辺からの不用意な反射による被ばくを防ぐため、レーザ放射範囲を囲うように、
適切な反射率と耐久性、耐熱性を備えた材質で保護囲いを設置してください。
・レーザ囲いに扉を設ける場合、扉を開くとレーザ放射を停止する機能などのインターロックシステムを構築することを推奨します。
・レーザを放射したまま放置しないでください。
・レーザを扱える人は、レーザ機器に精通した人に限ってください。未経験者や未訓練者が、レーザ装置を組み立てたり、操作したり、修理したりすることは絶対に避けてください。
・意図しない鏡面反射・拡散反射を防ぐように DUT ミラーを確実に位置決め固定してください。
・反射物体をレーザビームに当ててはいけません。反射面からの散乱レーザ光は、放射ビームと同じように有害です。指輪、時計バンド、金属製のペンや鉛筆などが危険な反射物体になります。
・レーザビームが目の高さにならないようにヘッドを組付けてください。
・レーザビームの光路の末端では、適切な非反射ビーム止めで終端を行ってください。
・レーザ放射が想定される場合は、光学濃度 3 超（＠650~665 nm）のレーザ保護メガネを必ず着用してください。
・本マニュアルに記載のない操作およびメンテナンスをしないでください。レーザ光による被ばくや感電のおそれがあります。

6Doc. No. SG21-288-001J

レーザ警告ラベルについて
以下に、本製品の警告ラベルの表示内容と、ラベルの製品貼付け位置を示します。

レーザ光
LASER RADIATIONAVOID EXPOSURE・ LASERRADIATION IS EMITTEDFROM THIS APERTURE

目への直接被ばくを避けること

AVOID DIRECT EYE EXPOSURE
Max.power:5mW
Medium:semiconductor

Pulse width:CW
Wabelength:658nm

CLASS 3R LASER PRODUCTIEC 60825-1 Edition 3.0(2014)

Class 3R Emission

This product complies with 21 CFR Chapter I, Subchapter J.
Complies with FDA performance standards for laser products
except for conformance with IEC 60825-1 Ed. 3., as
described in Laser Notice No. 56, dated May 8, 2019.

SURUGA SEIKI CO.,LTD.

505,Nanatsushinya,Shimizu-ku,
Shizuoka-shi,Shizuoka,424-8566,JAPAN
Serial No.
Manufactured date
MODEL︓H920-P500

00001234567-01
202010MADE IN JAPANレーザ光
LASER RADIATION
目への直接被ばくを避けること

AVOID DIRECT EYE EXPOSURE
Max.po wer:5mW
Med ium:semico nd ucto r

Pu lse width:CW
Wab elength:658nm

CLASS 3R LASER PRODUCTIEC 60825-1 Edition 3.0(2014)

AVOID EXPOSURE・ LASERRADIATION IS EMITTEDFROM THIS APERTURE

Class 3R Emission

7Doc. No. SG21-288-001J
INDEX

はじめに ...................................................................................................................................................2
注意 ..........................................................................................................................................................2
改訂履歴 ...................................................................................................................................................2
内容物 ......................................................................................................................................................3
製品を安全にお使いいただくために ........................................................................................................4. システム構成 .......................................................................................................................................10
1.1 H920-P500 システム構成図................................................................................................................... 10
1.2 H920-P500 製品構成 ............................................................................................................................. 10
2. 各部名称と機能 ................................................................................................................................. 11
2.1.1 H920-P500 センサーヘッド（外観） .................................................................................................. 11
2.1.2 H920-P500 センサーヘッド (リアパネル面)...................................................................................... 13
2.2 実装されているレーザ情報 ................................................................................................................... 14
2.2.1. レーザーインターロックシステムの構築例..........................................................................15
2.3 H920-P500 プロセッサ (各部名称と機能) ............................................................................................ 16
2.4 H920-P500 ケーブル接続図................................................................................................................... 17
2.5 システム性能......................................................................................................................................... 18
2.6 製品設置方法 ......................................................................................................................................... 20
3. 測定手順 ............................................................................................................................................223.1. 設定と測定フロー ................................................................................................................................ 22
3.2. 基本操作 ............................................................................................................................................... 23
3.2.1. スタートアップ画面 .............................................................................................................23
3.2.2. 初期画面 (電源投入後) .........................................................................................................24
3.2.3. Measurement 画面 ...............................................................................................................25
3.3.1. メニュー構成 ........................................................................................................................28
3.3.2 画面構成 ................................................................................................................................30
3.4.その他 .................................................................................................................................................... 39
3.4.1. リモートモードの設定 ..........................................................................................................39
3.4.2. リモートモードの解除 ..........................................................................................................39
4. 外部機器の接続 .................................................................................................................................40
4.1 I/O インターフェース(H920-P500) ........................................................................................................ 40
4.2.1. アナログインターフェース...................................................................................................43
4.2.2. 測定値と出力電圧との関係...................................................................................................45
4.3. シリアルインターフェース .................................................................................................................. 46
4-3-1 仕様 .......................................................................................................................................46
4.3.2. 制御コマンドリスト .............................................................................................................47
4.3.3. 制御コマンドフォーマット...................................................................................................48(1) ファイル読込み（R000） .......................................................................................................48(2) ファイル情報読出し（R001） ................................................................................................49(3) 設定値読出し（R002） ...........................................................................................................50(4) 移動平均点数読出し（R005） ................................................................................................51(5) Analog 極性反転設定読出し（R006） ...................................................................................52(6) 測定値読出し（R009） ...........................................................................................................53(7) LD モニタ読出し（R010） .....................................................................................................54(8) ファイル保存（W000） ..........................................................................................................54(9) ファイル情報設定（W001） ...................................................................................................55(10) 設定値設定（W002）............................................................................................................56(11) 設定値一括設定（W003）.....................................................................................................57(12) 移動平均点数設定（W005） .................................................................................................58(13) Analog 極性反転設定（W006） ...........................................................................................59(14) 測定停止（S000） ................................................................................................................60(15) 測定開始（S001） ................................................................................................................60(16) リモート解除（S002） .........................................................................................................60
8

Doc. No. SG21-288-001J(17) リモート要求（S003） .........................................................................................................61(18) LD 出力自動調整（S005） ...................................................................................................61
4.5. リモート制御........................................................................................................................................ 62
5. その他 ................................................................................................................................................63
5.1. エラー表示リスト ................................................................................................................................ 63
5.2. トラブルシューティング .........................................................................................................64
5.3 製品外観図 ............................................................................................................................................. 65
5.3.1 H920-P500 センサーヘッド外観図 ........................................................................................65
5.3.2 H920-P500 プロセッサ 外観図 .............................................................................................66
6. 保証とアフターサービス ...................................................................................................................679

Doc. No. SG21-288-001J. システム構成
1.1. H920-P500 システム構成図
システム構成は Sensor Head と 1 つの Signal Processor(Tilt)およびケーブル(Sensor Head Cable)から
なります。

Start
Setup

Analog out

Analog out

H920-P500◎

View
RemoteTx : 2’ 33
Ty :-1’ 19◎◎

プロセッサおよびユーザーPC などのユーザインターフェース部を配置する場合は通常の操作やメンテナンス中にレーザに曝されないようにご注意ください。

1.2 H920-P500 製品構成
上記構成に用いる品名と型式を示します。
品名

#

型式

数量

1

Sensor Head

H920-P500M

1台

2Signal Processor

HSP-3810

1台

3

Sensor Head Cable

H900-Cable1

1本

10Doc. No. SG21-288-001J

2. 各部名称と機能
2.1.1 H920-P500 センサーヘッド（外観）

#3

#2

#1

Fig.2-1-1. 外観図（フロントサイド）

No.

名称

詳細説明

#1

Tilt 測定用ビーム出射口

Tilt 測定用のビームの出射口です。
注意)#2Tilt 測定用ビーム入射口

Tilt 測定用のビームの入射口です。
注意)#3

センサーヘッド固定穴

覗き込んだり、直接素手で触らないで下さい。

直接素手で触らないで下さい。

センサーヘッド固定穴には添付のキャップボルト(M5x12)を 3 本使用します。
締付けトルク 460ｃN・m#4

レーザシール

出射位置表示注意) ケーブルを接続、もしくは外す前にコントローラの電源を必ずオフにしてください。

11Doc. No. SG21-288-001J

Fig.2-1-2. 外観図

12

Doc. No. SG21-288-001J

2.1.2 H920-P500 センサーヘッド (リアパネル面)

B
A

Fig. 2-1-3. 外観図 (リアパネル)
記号
A

名称

詳細説明
液晶モニター付きプロセッサへ接続します。

I/F Connector

SignalInterlock+

レーザ安全のためのインターロック（

InterlockB

LD connector

Function

Tilt LD Monitor+

Tilt-LD 電流モニタ
Tilt LD Monitor適用コネクタ: XW4B-06C1-H1 (made by Omron)<<Tilt LD Monitor diaglam>>Sensor Head

Tilt LD
Drive Block(～5mW)
Tilt LD
Drive Current
Monitor Block

Tilt LD Current Monitor(+)

Output Inpedance≒1KΩ

LD Current
(mA)
200
100

Tilt,LD
Current Monitor
Scaling Coefficient=100mA/V ±5%

Tilt LD Current Monitor(-)
GND

0
1
2
LD Current Monitor Voltage(V)13Doc. No. SG21-288-001J

2.2 実装されているレーザ情報
レーザシステムのパラメータの概要を下記に示します。Food and Drug Administration（FDA：食品医薬品局）の一部門である Center for Devices and Radiological Health（CDRH：医療機器・放射線保健センター）が定めるクラスに関する規程をご確認ください。
(1) メインレーザビーム
Medium
Optical Power :Wavelength :Duration :Beam divergence :Beam Diameter :Embedded Laser :半導体レーザ5 mW max. (開口)30 mW max. (内部光源)
658nm
CW
平行ビーム
1.0mm
HL6501MG (OCLARO)

14

Doc. No. SG21-288-001J
2.2.1. レーザインターロックシステムの構築例
本製品をご使用の際には、ミラーからの反射やその周辺物からの反射による被ばくを防ぐため、レーザ
放射範囲を囲う保護囲いを設けるとともに、インターロックシステムを構築してください。以下はインターロックシステムの構築例です。
レーザ放射を電気的に停止するには、インターロックコネクタを下図のように使用します。インターロッ
ク制御のために 2 つの端子を割り当て、両端子を接続することでレーザ放射が可能となり、接続を断つとレーザ放射は電気的に停止されます。
従って、アクセスドア開スイッチをこれらの端子に接続することによりインターロック制御が可能になります。

Smart W-LAC

Fig.2-2-2. レーザインターロック

15Doc. No. SG21-288-001J

2.3 H920-P500 プロセッサ (各部名称と機能)

Fig. 2-3-1. プロセッサ外観図

記号

名称

A

LCD Display (with touch panel)

詳細
タッチパネル式ディスプレイにより、操作と表示に使用します。
アナログ出力です。
SignalAnalog ch1+

Measurement Result Signal output*

Analog ch1-

- Analog output +/-10V

Analog ch2+
B

Function- Output impedance：50Ω
- Offset：+/-5mV or lessAnalog output (Tilt)

C

Reserved

Analog ch2-

D

Reserved

AGND- Gain : +/-0.05%
Analog GND
High Speed output (5VTTL Level)

HSOUT*Measurement error status digital output*L=Analog valid / H=Analog invalid

DGND

Digital GND*Analog singal recommendation: Differential signaling
汎用 I/O です。
SignalE

I/O terminal block(Input)F

I/O terminal block(output)

Function

IN1

Measurement Start

IN2

Measurement Stop

IN3

Data request

IN4

－

IN5

－

IN6

－

IN7

－

IN8-

－

HSIN

Not assign

DGND

Digital GND

OUT1Status(Busy)OUT2

GO/NG_Tilt

OUT3

GO/NG_Height

OUT4

GO/NG_Pos

DGND

Digital GND*IN1~HSIN : 5VTTL Level , OUT1~4 : Open collector(Rating voltage=30V)
G

Head I/F connector

センサーヘッドへ接続します。

H

Serial port (RS-232C)

Dsub 9-ピン コネクタで、クロスケーブルにて PC へ接続します。

I

Frame Ground

接地してください。

J

DC Power In (Terminal Block)

DC 電源用コネクタ（DC+24V +/-10%）16

Doc. No. SG21-288-001J

2.4 H920-P500 ケーブル接続図

Sensor head cable/length：2.0m

Sensor HeadLD connector
Type：XW4B-06C1-H1
Vendor：OMRON

Laser Remote
Interlock

Signal Processor

DC24V
1.2A
DC power connector
Type：XW4B-02C1-H1
Vendor：OMRON

Analog(Tx,Ty) connector
Type：XW4B-07B1-H1
Vendor：OMRONIO(Digital IN) connector
Type：XW4B-10B1-H1
Vendor：OMRONIO(Digital OUT) connector
Type：XW4B-05B1-H1
Vendor：OMRONTo Signal Processor

Fig. 2-4-1. ケーブル接続図

Laser Remote
InterlockTo Voltmeter

Fig. 2-4-2. バックパネル図

17

Doc. No. SG21-288-001J

2.5 システム性能<<測定性能(H920-P500)>>
機能

項目

Tilt

性能

Range

+/- 5 deg

Resolution

1 sec

Repeatability

20 sec (*1)

Linearity+/- 0.25%F.S. (= +/- 90 sec)

Sampling rate

200 kHz

+Z
+Y
+Ty
+X
+Tx

Fig. 2-5 軸方位の定義

18Doc. No. SG21-288-001J<<製品仕様(H920-P500)>>
部品
センサヘッド機能

性能

光源

赤色半導体レーザ

波長Tilt

655 +/- 10 nm

最大出力

Tilt

5 mW 以下 (Class 3R)

出射ビーム径Tilt

φ1.0 mm *コリメートビーム径

精度保証 WD

70 +/- 2 mm

電源

- (Supplied from Signal Processor)

寸法

W165 x H170 x D85 mm
突起部除く

プロセッサ

質量

2.0 kg

信号出力

アナログ出力+/-10V(Connector Terminal blocks)
Output impedance: 50Ω
offset +/-5mV or less
信号帯域幅40KHz *3dB cutoff frequency

通信ポート

RS-232C (D-SUB 9-pin)

パラレル I/O

非絶縁型 I/O

電源

DC24V+/-10%, 1.2A

寸法

W202 x H141 x D50.5 mm

入力 9 端子／出力 4 端子

突起部除く

共通

質量

1.0 kg動作環境

23+/-3℃/20~80%RH
23+/-1℃/20~80%RH *推奨環境

保存環境

10~40℃/20~80%RH

19

Doc. No. SG21-288-001J

2.6 製品設置方法
2.6.1 保護カバーを外す。
センサーヘッドに固定されている CapBolt M3×6（2 ヶ所）を外して保護カバーを取って下さい。

センサーヘッド

保護カバー

CapBolt M3×6

Fig. 2-6 センサーヘッドの納品時状態
2.6.2 センサーヘッドの設置方法（1）ベースにある Reference Plane（設置基準面）を当て付けて XYZ 方向の位置決めを行ってください。
（2）3-Φ5.5 の穴に付属品の CapBolt M5×12 を 3 個または、M4 ねじを使用して固定台等に取付けて下さい。
Reference Plane

M5 締結穴M4 タップ穴

Reference Plane

Fig. 2-7 センサーヘッドの Reference Plane
20

Doc. No. SG21-288-001J

2.6.2 プロセッサの設置方法（設置例）（1）タッチパネル面が触れるように設置する固定台等に開口部を設ける。
（参考：開口寸法 143×179）（2）設置する固定台等に M3 のネジ（4 ヶ所）を使って固定する。
（ネジはご用意下さい。）※付属品の Sensor Head Cable を使ってセンサーヘッドとプロセッサが接続できる範囲でプロセッサを固定して使用してください。

タッチパネル面

取付け台の開口部（参考）

Fig. 2-8 プロセッサの設置方法（設置例）21Doc. No. SG21-288-001J

3. 測定手順
3.1. 設定と測定フロー

電源 ON
P23

ｽﾀｰﾄｱｯﾌﾟ画面

P24

初期画面

No
現設定を使用P32

Yes

SetUp 画面"(5) System Setting 画面"参照

P30
LD power 調整

センサーヘッドの調整

START ボタンSTOP ボタン* I/ O インターフェースまたは通信コマンドによる外部制御を行うことができる。

(P40 参照)22

Doc. No. SG21-288-001J

3.2. 基本操作（基本操作）
3.2.1. スタートアップ画面（开始屏幕显示画面）
プロセッシングユニットの電源を投入すると、下記画面が起動します。

Now Configuration...

Smart W-LAC

SURUGA SEIKI CO.,LTD.

S/W V1.00
H/W V1.00(１)バージョン表示*（1）バージョン表示は起動して数秒後に表示されます。

1 行目: ソフトウェアバージョン
2 行目: ハードウェアバージョン23

Doc. No. SG21-288-001J

3.2.2. 初期画面 (電源投入後)コンフィグレーションが正常に終了すると下記画面が表示されます。

(1) 測定イメージ画面

Tilt

Tx:
Ty:

OK

Start
/Stop

(2)

SetUp

(3)

Setting
View(4)Remote(5)**'**.****'**.**(6)(1) 測定イメージを表示するエリアです。
(2) Start /Stop ボタン

P25 参照(3) SetUp ボタン
測定条件の設定変更を行うときに使用します。

P.28 参照(4) Setting /View ボタン
パスワードで保護された System Setting 内のパラメータ確認を行うときに使用します。 P.32 参照(5) Remote ボタン
I/O やコマンドを用いて操作するときに使用します。

P.39 参照(6) 受光量バー ボタン
LDPW 調整画面の AutoSet ボタンのショートカットボタンです。
*測定停止中のみ有効になるボタンです。

24

P.30 参照Doc. No. SG21-288-001J
3.2.3. Measurement 画面
測定中は[Start/Stop]ボタンが明るくなります。その他のボタンは灰色で表示されます。
測定停止中は全てのボタンが暗くなります。
A. 測定状態 1（①：初期画面）

Start
/Stop
(5)

SetUp

(5)

Setting
View(1)

Remote
(6)

Tilt
(2)
(1) Start/Stop ボタン(2) 受光量バー(3) 判定結果

OK

Tx:-13'52.00
Ty: 14'45.00

(3)

(4)

測定を開始もしくは終了します。

PSD 受光量が表示されます。
緑色：受光量が適正範囲内

赤色：受光量が適正範囲外
判定結果が OK もしくは NG で表示されます。
エラーが発生すると、ER が表示されます。

P.27 参照(4) 測定値

測定値が表示されます。

(5) Tilt

Tx は X 軸上に Tｙは Y 軸上に原点を中心に傾き量が直線で表示されます。
＋方向の傾きは赤線で、－方向の傾きは青線で表示されます。

(7) 測定画面表示

測定中に画面中央付近をタッチすると画面表示が①→②→③→①と切替ります。
①：初期画面②：Tilt の個別表示

P.26 参照③：測定値の拡大表示

P.26 参照25

Doc. No. SG21-288-001J
A. 測定状態 2

Start
/Stop
(10)

SetUp

(11)

Setting
View
RemoteTx:-13'52.00
Ty: 14'45.00(10)ポインタ

Tilt 軸のポインタは黒色のＸ字で表示されます。

(11)受光量バー

PSD の受光量が表示されます。

A. 測定状態 3（③測定値の拡大表示）

(12)

X:
170.000Y:-55.000
Z: -196.000
Tx:-13'52.00
Ty: 14'45.00
Position
HeightTilt（12）測定値

OK
OK
OK
測定値が拡大表示されます。

26

Start
/Stop
SetUp
Setting
View
RemoteDoc. No. SG21-288-001J
B. 測定エラー状態(2)

E1 Level Low

Start
/Stop
SetUp
Setting
View
Remote

(3)

Tilt

ER
(1)

Tx:
Ty:

(4)

**'**.****'**.**(5)(1) PSD 受光量をバーグラフで表示します。
緑色: 受光量が適正範囲内

赤色: 受光量が適正範囲外(2) エラーメッセージ(P.63 参照)

Tilt センサで発生しているエラーのうち、最も重篤な物を表示します。
エラーの状況により下記メッセージが表示され、上の物ほど重篤と判断します。
E1 Level Low: 受光量レベルが下限値を下回りました。

E2 Level Over

: 受光量レベルが上限値を上回りました。

E3 Area Out: 測定値が測定レンジを超えました。

E9 PW Set Error : LDPW が自動調整のとき、規定時間内に受光量が目標値に達しませんでした。
(3) 判定結果
エラーメッセージが表示されていると、判定値は ER と表示されます。
(4) 測定結果(测量结果)
エラーメッセージが表示されていると、測定値は***.***と表示されます。

27

Doc. No. SG21-288-001J

3.3. SetUp menu
3.3.1. メニュー構成
設定メニューの構成を下図に示します。
SetUp

(1)
ESC

(2)

MeasureSetting

Esc

(3)

0

LDPW

Up
Down

Auto Adjustment

AutoSet

ON
OFF

(4)

OFF

Average

4 Points
16 Points
64 Points
256 Points
1024 Points
4096 Points
9600

(5)

SystemSetting(6)Enter aPassword

(8)

COM

19200
ON

(7)

(9)
KeyWord

Analog

OFF
ON

(10)

Mirror

OFF(11)
PassWord

Enter a New Pass

(13)
(12)

Save

(14)
File

Load

(15)
Delete28

Doc. No. SG21-288-001J<<メニュー構成表>>
No.

Name of button

Description

Page

(1)

Esc

初期画面に移動します。

P.30

(2)

Measure Setting

測定パラメータの設定画面へ移動します。

P.30

(3)

LDPW

LD 光量の調整行います。

P.30

(4)

Average

測定値の平均化回数を設定します。

P.31

(5)

System Setting

システムの設定を行います。

P.32

(6)

Enter a Password

パスワードを入力します。

P.32※パスワード保護された設定項目を変更する場合に用います。
初期ユーザーパスワードは「1111」です。
(7)

KeyWord

パスワードを忘れた場合に使用します。

P.32

(8)

Com

シリアル通信速度を設定します。

P.34

(9)

Analogアナログ出力の極性を設定します。

P.34

(10)

Mirror

測定値の反転表示を設定します。

P.35

(11)

PassWord

パスワードを変更する時に使用します。

P.33

(12)

File

パラメータファイル操作の選択を行います。

P.36

(13)

Save

測定パラメータファイルを保存します。

P.36

(14)

Load

測定パラメータファイルを読込みます。

P.36

(15)

Delete

測定パラメータファイルを削除します。

P.36

29

Doc. No. SG21-288-001J
3.3.2 画面構成
(3) LDPW の設定画面 ※SetUp ボタンからの移行画面です。
(3) LDPW ボタン
LDPW 設定画面へ進みます。

LDPW(4) Average ボタン
Average 選択画面へ進みます。 P.31

Average(1) Esc ボタン
初期画面に戻ります。

Esc
MeasureSetting

LDPW Setting
Ti0

Height0

SystemSetting

File

Auto Adjustment
Ti

ON

OFF

HeightON

OFF(2) Measure Setting ボタン
LDPW の設定画面に進みます。
（(5) System Setting ボタン
パスワード入力画面に進みます。
P.32(13) File ボタン
File 画面へ進みます。

P.36(3.2) Auto Adjustment ボタン
機能を ON/OFF 選択できます。

(3.1) LDPW 数値 ボタン
LDPW 調整画面へ進みます。
*1

Auto Adjustment が ON 設定の場合は、測定開始時に LDPW の自動調整を行います。
(3.1) LDPW 調整画面
受光量が最適値になるように、手動でレーザパワーを調整します。
受光量が、エラーレベルより低下した場合や最大受光量を越えた場合は、レベルバーが赤色に変化します。
(3.3) Esc ボタン
LDPW 設定画面に戻ります。

EscUP(3.4) Up ボタン
LD 出力が上昇します。

Down(3.5) Down ボタン
LD 出力が低下します。

AutoSet
PSD： 85000
LDPW ： 1200LDMON ： 1200

(3.6) Auto Set ボタン
PSD 受光量
LD 出力の指示値(0～最大 4095)
LD 出力モニタ
最大受光レベル

受光量最適レベルライン
受光量エラーレベルライン

30

Doc. No. SG21-288-001J
項目
内容
備考
PSD
PSD_SUM 値を表示します。
LDPW
LD Power 出力の指示値を表示する。
LDMON
LD Power のモニタ値を表示する。
* 受光量はレベルバーが緑色の状態であれば測定可能ですが、最適値として受光量最適レベルライン前後に設定してください。
（上図参照）* AutoSet ボタンを押すと、レーザパワーを受光量レベルが受光量最適レベルラインになるように自動調整します。また、自動調整できない場合は、エラーメッセージを表示します。

ERROR
Tilt LDPW Set
Error
HeightLDPW Set Error
OK

CANCEL* エラーメッセージの W4、W5 が表示されていると、白色背景が黄色背景で表示されます。
(P.63 参照)

(4) Average 画面
測定値を指定回数で平均化します。

LDPW
Ti

Average

Esc
OFF

MeasureSetting

OFF

SystemSettingOFFFile(4.1) 平均化選択ボタン ※1
平均化の処理回数を選択します。

1 平均化選択ボタンのデフォルトは OFF が選択されています。
（OFF 是平均选择按钮的默认设置。）
平均化選択ボタンを押すと下記の様に平均化処理の回数が変更されます。
OFF → 4 Point → 16 Point → 64 Point→ 256 Point → 1024 Point → 4096 Point → OFF※

31

Doc. No. SG21-288-001J(5) System Setting 画面
管理者のために用意された、パスワード保護されたパラメータの変更画面に進む為の画面です。

Esc
Enter a Password

MeasureSetting

KeyWord

SystemSetting

File(7) KeyWord ボタン·*設定したパスワードを忘れたときに押してください。表示されたコードを駿河精機へ送付すると、設定されているパスワードを回答します。

INFORMATION(6) Password ボタン
パスワード入力画面に進みます。

38 08 38 08 38 08 38 08
38 25 38 25 38 25 38 25
OK

パスワード入力画面- 入力可能な文字：英数字，記号（アンダ

1111

ーバー，ドット，マイナス，プラス）- 入力可能な文字列：8 文字

A

B

C

D

E

F

BS

CL

ESC

ESC:入力をキャンセルし、Save 画面へ戻

G

H

I

J

K

L

7

8

9

ります。

M

N

O

P

Q

R

4

5

6

S

T

U

V

W

X

1

2

3

Y

Z

_

.

-

+

0

ENT

32

CL: 入力を消去します。
BS: 入力を右から消去します。
ENT: 入力内容を確定します。

Doc. No. SG21-288-001J※ 初期パスワードは「1111」です。パスワード設定画面で、初期パスワードを変更しないと、パスワー
ドで保護された画面内の操作はできません。

※ 初期パスワードの「1111」はパスワード変更後の再使用はできません。
(5.1) パスワード保護された画面
パスワード保護されたパラメータの変更を行う画面です。

(a) 初期パスワード「1111」で遷移してきた場合「＜」or「＞」ボタンを押して MENU2 を表示させて「PassWord」ボタンを選択する。
「Enter a New Pass」ボタンを押し、新規パスワードを設定後「Esc」で測定画面に一度抜けてください。
MENU2 に切換ります。
MENU1< COM Analog Mirror>
Mirror
9600

19200

Esc
MeasureSetting
SystemSetting

File

MENU1 に切換ります。（切换至 MENU1）

33

Doc. No. SG21-288-001J(12) PassWord ボタン
新規 PassWord 設定画面に進みます。

MENU2< ErroCorrect>

PassWorEsc
MeasureSettingEnter a New Pass

SystemSettingFile(12.1)Enter a New Pass ボタン
パスワード入力画面に進みます。
P32* 初期パスワードを変更しないとパラメータの変更はできません。

(b) PassWord を設定した後に、遷移してきた場合(8) COM ボタン
通信速度 9600 と 19200 の選択ができます。

< COM

>
Mirror
9600

19200

Esc
MeasureSetting
SystemSetting

File

34

Doc. No. SG21-288-001J(9) アナログ極性設定ボタン
アナログ出力の極性反転の有無を設定する画面です。

< COM Analog Mirror>
MirrorAnalog Setting Invention
Tx

ON

OFF

Ty

ON

OFF

ON

OFF

ON

OFF

ON

OFF

Esc
MeasureSetting
SystemSettingFile* アナログ出力については P.43 を参照してください。

(10) Mirror ボタン
画面表示の反転有無を設定する画面です。

>< COM Analog Mirror
MirrorMirror Setting Invention
Tx

ON

OFF

Ty

ON

OFF

ON

OFF

Esc
MeasureSetting
SystemSetting

File

OFF
ON

OFF

35

Doc. No. SG21-288-001J(13) Save 画面 ※(12) File ボタンからの移行画面です。
現在の測定パラメータをファイルへ保存します。（最大 5 個）
任意のボタンを押すと、ファイル名入力画面が開きます。
ファイル名を入力し、[ENT]キーを押すと現在の測定パラメータが保存されます。
(13) Save 画面に進みます。（File ボタンからの移行先になります。）(14) Load 画面に進みます。

P.37(15) Delete 画面に進みます。

Save Load Delete

P.38

Esc
MeasureSetting

Default

SystemSetting
SURUGA_A

File*最後に Save または Load したボタンが有効になります。

(13.1) Default ボタン※ 出荷設定が保存されていますのでファイル保存には使用できません。

(13.2) 測定パラメータ保存場所
ボタンを押すとファイル名入力画面へ進みます。

※ファイル名は重複できます。
*上書き保存時、下図の確認メッセージが表示されます。
上書き保存を行う場合は、ＯＫボタンを押下します。

WARNING
Write Over This File ?
OK

CANCEL

36

Doc. No. SG21-288-001J(13)-1 ファイル名入力画面- 入力可能な文字：英数字，記号（アンダーバー，ドット，マイナス，プラス）

SURUGA_G
A

B

C

D

E

F

BS

CL

ESC

G

H

I

J

K

L

7

8

9

M

N

O

P

Q

R

4

5

6

S

T

U

V

W

X

1

2

3

Y

Z

_

.

-

+

0

- 入力可能な文字列：8 文字
ESC:入力をキャンセルし、Save 画面へ戻ります。
CL: 入力を消去します。
BS: 入力を右から消去します。
ENT: 入力内容を確定します。

ENT(14) Load 画面
あらかじめ保存された測定パラメータファイルを読込みます。
※ 初回起動時は「Default」が選択されています。

Save Load Delete

Esc
MeasureSetting

Default

SystemSetting
SURUGA_A

File(14.1) 測定パラメータ保存場所
ボタンを押すと明るくなり、保存された
測定パラメータが有効になります。

*最後に Save または Load したボタンが有効になります。
*下図の確認メッセージ表示が表示されます。Load する場合は、ＯＫボタンを押下します。

WARNING
Load This File ?
OK

CANCEL(16) Delete 画面37

Doc. No. SG21-288-001J
測定パラメータファイルを消去します。
※ Default ファイルは消去できません。

Save Load Delete

Esc
MeasureSetting

Default

SystemSetting
SURUGA_A

File(16.1) 測定パラメータ保存場所
ボタンを押すと消去確認のメッセージが立ち上がります。

*最後に Save または Load したボタンが有効になります。

*下図の確認メッセージ表示が表示されます。消去する場合は、ＯＫボタンを押下します。

WARNING
Delete This File ?
OK

CANCEL

38

Doc. No. SG21-288-001J

3.4.その他
3.4.1. リモートモードの設定
測定画面の Remote ボタン押すと、リモート状態となり、I/O 入力または通信コマンド入力が有効となり、タッチパネルによる画面入力は一部を除き無効となります。
また、リモートモード状態は記憶されるため、次回電源投入時にリモートモードで起動します。

Start
/Esc

(3.4.2)Remote 解除ボタン
リモートモードを解除します。

SetUp
Setting
View
Remote(3.4.1)Remote ボタン(3.4.2)Remote
リモート状態になります。
リモートモード状態になります。

* リモートモード中でも測定画面の表示切替はできます。
3.4.2. リモートモードの解除
測定停止状態で、[Start/Esc]ボタンを 4 秒以上長押ししてください。

リモートモードで測定中の場合は[Start/Stop]ボタンを 4 秒以上長押しして測定を停止する事も出来ます。

Start
/Stop
SetUp
Setting
View
RemoteTilt

OK

Tx:-13'52.00
Ty: 14'45.00

0* リモートモードで測定中の場合はリモート解除コマンドを送信すると測定も一緒に解除されます。

39

Doc. No. SG21-288-001J

4. 外部機器の接続
4.1 I/O インターフェース(H920-P500)
脱着可能な端子台に，下表の制御入出力を用意しています．

配線にあたっては、P.42 のインターフェース回路図を参照してください。

Type

Pin
No
.

Signal Name

Description

IO
Input

1

IN1

Start
(Tilt/Height/Position)

2

IN2

3

IO
Outpu
t

測定停止=>測定中状態に遷移

Measur
ement
Start
State
－

Measur
ement
Stop
State
EnableStop(Tilt/Height/Position)

測定中=>測定停止状態に遷移

Enable－IN3

Serial_Output(Data Request)

本信号入力時の測定結果がシリアルデータ出力される

EnableEnable

4

IN4

－

－

－

－

5

IN5

－

－

－

－

6

IN6

－

－

－

－

7

IN7

－

－

－

－

8

IN8

－

－

－

－

9

HSIN

Not assign

－

－

－

10

DGND

Digital GND

－

－

－

1

OUT1

Status(Busy)"L"=Busy(測定中状態)"Open"=Ready(測定停止状態)

2

OUT2

GO/NG_Tilt"L"=Tilt判定NG/E1/E2/E3"Open"=Tilt判定OK※測定画面の判定表示内容に同期

Busy
State
OutputEnableReady
State
OutputEnable

3

OUT3

－

－

－

－

4

OUT4

－

－

－

－

5

DGND

Digital GND

－

－

－

※ Input 信号は、Remote Mode 時のみ実行可能※ 測定停止中の GO/NG 信号は、NG State を出力

40Doc. No. SG21-288-001J・制御入出力動作タイミングチャート(H920-P500)

41

Doc. No. SG21-288-001J・IO インターフェース回路(H920-P500)

Processor I/O Internal Circuit

5V 5V 5V 5V 5V 5V 5V 5V 5V
10KΩ
100Ω

IN1
IN2
IN3
IN4
IN5
IN6
IN7
IN8

HSIN
DGND

OUT1
OUT2
OUT3
OUT4
DGND

* IN1~HSINの入力をONさせるには、各入力端子とGND端子をスイッチ等の無電圧接点で短絡してください。
*OUT1~4の出力は、30V以下、50mA以下の電流負荷を接続してください。残留電圧は0.3V以下です。
*IN1～HSIN : 5VTTL Level，OUT1～4 : オープンコレクタ

42

Doc. No. SG21-288-001J

4.2. アナログ出力
4.2.1. アナログインターフェース
脱着可能な端子台に，下表のアナログ出力および高速出力を用意しています．
配線にあたっては、P.42 のインターフェース回路図を参照してください。

信号名

信号内容

説

DGND

デジタル GND

HSOUT

測定状態の高速出力

AGND

アナログ GND

Analog ch1+

ch1+(Tx 軸)のアナログ出力

Analog ch1-ch1-(Tx 軸)のアナログ出力・アナログ出力電圧 : +/-10V

Analog ch2+

ch2+(Ty 軸)のアナログ出力

・オフセット電圧 : +/-5mV

Analog ch2-ch2-(Ty 軸)のアナログ出力

明

HSOUT 用の GND
測定状態の高速デジタル出力（5VTTL Level）
L=アナログ出力有効／H=アナログ出力無効
アナログ出力用の GND

測定結果のアナログ出力
・出力インピーダンス : 50Ω
*アナログ信号の推奨取扱方法：差動信号

アナログ端子(ch1, ch2)より、測定値に比例したアナログ電圧が出力できます。
プロセッサの Tilt アナログ出力 ch1 および ch2 はそれぞれ Tx および Ty の測定値に相当します。

アナログ出力は測定中（［Start］）のみ出力され、測定停止中（［Stop］）は出力を保持します。

43

Doc. No. SG21-288-001J<推奨のアナログ信号配線>

Processor

Differential Type

Single-Ended TypeA/D Analog Input

A/D Analog Input

Tilt Analog Output(+)
50Ω

Analog
AMP(Tilt_X+)Ch1+
(-)

ch**
+
-

ch**

(+)
AnalogAMP

AGND(Tilt_X-)Ch150Ω

(Tilt_Y+)Ch2+(-)(Tilt_Y-)Ch2※5V TTL Level
AGND

+
-

AGND

(Analog_Invalid_Output)HSOUTInternal Short

DGND

44

AGND

Doc. No. SG21-288-001J
4.2.2. 測定値と出力電圧との関係
Analog Sign Inv.設定が全て OFF（Default）の場合を示します。
本設定変更は、P35 を参照してください。
4.2.2 Tilt プロセッサ(Analog Sigh Inv.設定 OFF 時)(1) Tx (Ch1)(2) Ty (Ch2)45

Doc. No. SG21-288-001J

4.3. シリアルインターフェース
4-3-1 仕様EIA and RS-232C 準拠
通信方式: 調歩同期式

伝送コード: ASCII 形式

データビット長: 8bitストップビット長: 1bitパリティチェック

: 無

ボーレート

: 9600, 19200 bit/sec selected

フロー制御

: 無

コネクタピン番号
Pin
numberSignal
name

1

NC

－

2

RXD

受信データ

3

TXD

送信データ

4

DTR

常時 ON

5

GND

－

6

NC

－

7

RTS

常時 ON

8

NC

－

9

NC

－

Remark* ＊ パソコンとの接続は、DSub９ピン（メス-メス）のクロスケーブルを使用してください。

46

Doc. No. SG21-288-001J
4.3.2. 制御コマンドリスト
ホスト機器から制御コマンドを送信することにより、測定結果，設定内容の読出しと設定内容の変更
等のリモート制御を行うことが出来ます。
※一部のコマンドを除き、リモート状態でのみ動作します。
リモート状態への切り替えはリモート要求コマンドを送信してください。
リモート状態の解除は Esc ボタンを長押しするか、リモート解除コマンドを送信してください。）#

Command nameContent of

Description

Command(1)

ファイル読込みR000

保存された設定ファイルを読出します(2)

ファイル情報読出し

R001

保存されているファイルの情報を読出します。

(3)

設定値読出しR002

現在の設定を読出します。

(4)

移動平均点数読出し

R005

移動平均処理のサンプリング点数を読出します。

(5)

Analog 極性反転設定読出し

R006

Analog 出力の極性反転設定を読出します。

(6)

測定値読出しR009

測定結果を読出します。

(7)

LD モニタ読出し

R010

LD モニタを読出します。

(8)

ファイル保存W000

現在の設定を保存します。

(9)

ファイル情報設定

W001

保存されているファイル情報を書き換えます。

(10)

設定値設定

W002

個別にパラメータ設定をを書き換えます。

(11)

設定値一括設定

W003

全てのパラメータ設定を書き換えます。

(12)

移動平均点数設定

W005

移動平均処理のサンプリング点数を設定します。

(13)

Analog 極性反転設定

W006

Analog 出力の極性反転を設定します。

(14)

測定停止

S000

測定を停止します。

(15)

測定開始

S001

測定を開始します。

(16)

リモート解除

S002

リモートモードを解除します。

(17)

リモート要求

S003

リモートモードに切替えます。

(18)

LD 出力自動調整

S005

LD 出力を適正値に調整します。

47

Doc. No. SG21-288-001J
4.3.3. 制御コマンドフォーマット
(1) ファイル読込み（R000）
コマンド

R000

コマンド名

ファイル読込み
ファイルから設定情報を読み込みます。

概要

指定したファイル名が存在する場合、該当するファイルから設定情報を読出します。
指定したファイル名が存在しない場合、エラーを返します。

送信フォーマット

R000,[1]No

送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

[1]

名称

文字数

下限値

-

上限値

小数部桁数

ファイル名

最大 8

-

0

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考
読み込むファイル名を指定します。
使用可能な文字は以下の 40 文字。
大文字アルファベット「A～Z」、
数字「0～9」、
記号「_」「.」「-」「+」

R000

48

備考

Doc. No. SG21-288-001J(2) ファイル情報読出し（R001）
コマンド

R001

コマンド名

ファイル名読出し

概要

ファイル名を読出します。

送信フォーマット

R001

送信パラメータ

受信フォーマット

受信パラメータ（接收参数）

No

名称

文
字
数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

[1]

-

-

-

-

-

-

備考

R001,[1],[2],[3],[4],[5],[6],[7]
No

名称

文
字
数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

起動時読出しファイル
番号

1

1

6

0

起動時に読み出されるファイルの番号を示します。
プロセッサ起動後に最後に読み出されたファイル番号が適用されます。

[2]

保存ファイル名 1

8

-

-

0

ファイル 1 に保存されているファイル名を出力します。（输
出保存在文件 1 中的文件名。）
ファイル 1 は基本設定である為、名称固定となっています。
「" DEFAULT"」[3]

保存ファイル名 2

8

-

-

0

ファイル 2 に保存されているファイル名を出力します。

[4]

保存ファイル名 3

8

-

-

0

ファイル 3 に保存されているファイル名を出力します。

[5]

保存ファイル名 4

8

-

-

0

ファイル 4 に保存されているファイル名を出力します。

[6]

保存ファイル名 5

8

-

-

0

ファイル 5 に保存されているファイル名を出力します。

[7]

保存ファイル名 6

8

-

-

0

ファイル 6 に保存されているファイル名を出力します。

49

Doc. No. SG21-288-001J(3) 設定値読出し（R002）
コマンド

R002

コマンド名

設定値読出し概要

測定に関するパラメータを読出します。

送信フォーマットR002,[1]送信パラメータ

受信フォーマット

受信パラメータ

No

名称

文字数

下限値

上限値

[1]

センサ種別

-

-

-

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

対象となるセンサ種別を指定します。
0：TiltR002,[1],[2],[3]
No

名称

小数部桁数

[1]

LD 出力

4

0

4095

0

[2]

自動調光

1

-

-

0

[3]

ミラー反転

1

-

-

0

センサ種別：Tilt

50

備考
LD 出力を読出します。
測定開始時の自動調光設定を読出します。
0：自動調光 OFF
1：自動調光 ON
ミラー反転の設定を読出します。
0：TxTy 軸のミラー反転 OFF
1：Tx 軸のミラー反転 ON
2：Ty 軸のミラー反転 ON
3：TxTy 軸のミラー反転 ON

Doc. No. SG21-288-001J(4) 移動平均点数読出し（R005）
コマンド

R005

コマンド名

移動平均点数読出し

概要

各センサ種別の移動平均点数を読出します。

送信フォーマット

R005

送信パラメータ

受信フォーマット

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

[1]

-

-

-

-

-

-

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

R005,[1]No

受信パラメータ[1]

名称

Tilt_移動平均点数

1

-

-

0

51

Tilt の移動平均サンプリング数を読出します。
0：移動平均処理無し
1：4 点移動平均
2：16 点移動平均
3：64 点移動平均
4：256 点移動平均
5：1024 点移動平均
6：4096 点移動平均

Doc. No. SG21-288-001J(5) Analog 極性反転設定読出し（R006）
コマンド

R006

コマンド名

Analog 極性反転設定読出し

概要

Analog 出力の極性反転設定を読出します。

送信フォーマット

R006

送信パラメータ

受信フォーマット

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

[1]

-

-

-

-

-

-

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

R006,[1],[2]
No

名称

[1]

Analog 極性反転設定_Tx 軸

1

-

-

0

[2]

Analog 極性反転設定_Ty 軸

1

-

-

0

Tx 軸の Analog 極性反転設定を読出します。

受信パラメータ

52

0：反転無し1：反転有りTy 軸の Analog 極性反転設定を読出します。
状態内容は[1]と同じ

Doc. No. SG21-288-001J(6) 測定値読出し（R009
コマンド

R009

コマンド名

測定値読出し概要

現在の測定結果を読出します。

送信フォーマット

R009

送信パラメータ

受信フォーマット

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

[1]

-

-

-

-

-

-

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

R009,[1],[2],[3],0,0,0,0,0
No

[1]

名称

Tilt_判定結果

1

-

-

0

Tilt に対する判定結果を読出します。
判定範囲の設定により出力が異なります。
<判定範囲：未設定>
エラー発生中：E
エラー未発生：*<判定範囲：設定中>
エラー発生中：E
判定範囲内 ：O
判定範囲外 ：N

受信パラメータ[2]

Tilt_現在値 Tx

6-1800018000

0Tx 軸の測定値を読出します。

[3]

Tilt_現在値 Ty

6-1800018000

0Ty 軸の測定値を読出します。

53

Doc. No. SG21-288-001J(7) LD モニタ読出し（R010）
コマンド

R010

コマンド名

LD モニタ読出し

概要

LD モニタの値を読出します。

送信フォーマット

R010

送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

No

名称

[1]

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

-

-

-

-

備考

R010,[1]
No

名称

[1]

Tilt_LD モニタ

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

4

0

4095

0

備考
Tilt の LD モニタ値を読出します。

(8) ファイル保存（W000）
コマンド

W000

コマンド名

ファイル保存
現在の設定情報をファイルに保存します。

概要

送信フォーマット

指定したファイル名が既に保存済みの場合、上書きします。
ファイル名が存在せず、未保存のファイル領域がある場合、新規に指定したファイル名で作成します。
ファイル名が存在せず、未保存のファイル領域が無い場合、エラーを返します。
ファイルは最大 5 つまで保存可能です。

W000,[1]No

送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

[1]

名称

文字数

下限値

-

上限値

小数部桁数

ファイル名

最大 8

-

0

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考
保存するファイル名を指定します。
使用可能な文字は以下の 40 文字。
大文字アルファベット「A～Z」、
数字「0～9」、
記号「_」「.」「-」「+」

W000

54

備考

Doc. No. SG21-288-001J(9) ファイル情報設定（W001）
コマンド

W001

コマンド名

ファイル情報設定

概要

ファイル情報を設定します。

送信フォーマット

W001,[1],[2]
No

[1]

名称

文字数

設定変更項目1

設定項目※[1]設定変更項目に「a」を指定し
た場合

1

下限値

-

上限値

小数部桁数

-

0

変更する設定を指定します。
a：起動時読出しファイル番号b：保存ファイル 2
c：保存ファイル 3
d：保存ファイル 4
e：保存ファイル 5
f：保存ファイル 6

0

起動時に読み出されるファイルの番号を示します。
ここで指定した番号のファイルが次回起動時に読み出されます。

0[1]で指定したファイルの名称を変更します。
使用可能な文字は以下の 40 文字。
大文字アルファベット「A～Z」、
数字「0～9」、
記号「_」「.」「-」「+」

送信パラメータ
1

6[2]

受信フォーマット
受信パラメータ

備考

設定項目※[1]設定変更項目に「a」以外を指
定した場合

最大 8

-

-

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

W001

55

備考
-

Doc. No. SG21-288-001J(10) 設定値設定（W002）
コマンド

W002

コマンド名

設定値設定

概要

測定に関するパラメータを設定します。

送信フォーマットW002,[1],[2],[3]
No

名称

[1]

センサ種別

[2]

No

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

1

-

-

0

対象となるセンサ種別を指定します。
0：Tilt

識別

1

-

-

0

変更するパラメータを指定します。
a：LD 出力を指定します。
b：自動調光を指定します。
c：ミラー表示を指定します。

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

LD 出力
※[1］に a を指定した場合

-

0

4095

0

LD 出力を設定します。

自動調光設定※[1］に b を指定した場合-

0

自動調光の設定を行います。
0：自動調光 OFF
1：自動調光 ON0

ミラー反転の設定を行います。
0：TxTy 軸のミラー反転 OFF
1：Tx 軸のミラー反転 ON
2：Ty 軸のミラー反転 ON
3：TxTy 軸のミラー反転 ON

送信パラメータ
共通部

送信パラメータ
センサ種別：Tilt

受信パラメータ

-

[3]
ミラー反転
※[1］に c を指定した場合

受信フォーマット

-

-

-

-

備考

W002
No

名称

文字数

下限値

上限値

[1]

-

-

-

-

56

小数部桁数
0

備考
-

Doc. No. SG21-288-001J(11) 設定値一括設定（W003）
コマンド

W003

コマンド名

設定値一括設定

概要

測定に関するパラメータを一括で設定します。

送信フォーマットW003,[1],[2],[3],[4]

送信パラメータ
共通部

送信パラメータ

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

センサ種別

-

-

-

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

[2]

LD 出力

-

0

4095

0

Tilt の LD 出力を設定します。

[3]

自動調光

-

-

-

0

[4]

ミラー反転

-

-

-

0

No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

対象となるセンサ種別を指定します。
0：Tilt

自動調光の設定を設定します。
0：自動調光 OFF
1：自動調光 ON
ミラー反転の設定を設定します。
0：TxTy 軸のミラー反転 OFF
1：Tx 軸のミラー反転 ON
2：Ty 軸のミラー反転 ON
3：TxTy 軸のミラー反転 ON

センサ種別：Tilt

受信フォーマット
受信パラメータ

備考

W003
備考
-

57

Doc. No. SG21-288-001J(12) 移動平均点数設定（W005）
コマンド

W005

コマンド名

移動平均点数設定

概要

各センサ種別の移動平均点数を設定します。

送信フォーマットW005,[1],[2]
No

名称

文字数

下限値

上限値

[1]

センサ種別

-

-

-

小数部桁数

0

対象となるセンサ種別を指定します。
0：Tilt0

移動平均点数を指定します。
0：移動平均処理無し
1：4 点移動平均
2：16 点移動平均
3：64 点移動平均
4：256 点移動平均
5：1024 点移動平均
6：4096 点移動平均

送信パラメータ[2]

受信フォーマット
受信パラメータ

移動平均点数

1

-

-

備考

W005
No

名称

[1]

-

文字数
1

下限値

上限値

小数部桁数

備考

-

-

-

-

58

Doc. No. SG21-288-001J(13) Analog 極性反転設定（W006）
コマンド

W006

コマンド名

Analog 極性反転設定

概要

Analog 出力の極性反転状態を設定します。

送信フォーマットW006,[1],[2]
No

名称

[1]

軸

[2]

Analog 極性反転設定

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

1

-

-

0

対象となる軸を指定します。
0：Tx 軸
1：Ty 軸1--0Analog 極性の反転設定を指定します。
0：反転無し1：反転有り送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

W006
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

備考

[1]

-

-

-

-

-

-

59

Doc. No. SG21-288-001J(14) 測定停止（S000）
コマンド

S000

コマンド名

測定停止
測定を停止します。

概要
測定停止中に実行した場合、エラーを返します。

送信フォーマット
送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

S000
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考

S000
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考

(15) 測定開始（S001）
コマンド

S001

コマンド名

測定開始
測定を開始します。

概要
測定中に実行した場合、エラーを返します。

送信フォーマッ
送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

S001
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考

S001
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考

(16) リモート解除（S002）
コマンド
コマンド名

S002
リモート解除リモート状態を解除します。

概要

送信フォーマット
送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

リモート解除中に実行した場合、エラーを返します。

S002
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考

S002
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

60

備考

Doc. No. SG21-288-001J(17) リモート要求（S003）
コマンド

S003

コマンド名

リモート要求リモート状態に切替えます。

概要

送信フォーマット
送信パラメータ

受信フォーマット
受信パラメータ

リモート状態中に実行した場合、エラーを返します。

S003
3

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考

S003
No

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

[1]

-

-

-

-

-

備考

(18) LD 出力自動調整（S005）
コマンド

S005

コマンド名

LD 出力自動調整

PSD 受光量が受光量目標値となるよう LD の自動調光を行います。
概要
測定中のみ有効のコマンドです。

送信フォーマット

送信パラメータ

S005,[1]
No

名称

[1]

センサ種別

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

-

-

-

備考
対象となるセンサ種別を指定します。

1

0：Tilt

受信フォーマット
受信パラメータ

S005
No
[1]

名称

文字数

下限値

上限値

小数部桁数

-

-

-

-

備考

＜測定値＞（応答データの測定値はプロセッサの種類によって異なります。
以下にプロセッサ毎の表示フォーマットを示します。

○チルトプロセッサ
画面に表示される測定値と異なるフォーマットとなります。
単位は秒であり、符号部分 1 桁、整数部分 5 桁となります。
表示例）-12345（秒）61Doc. No. SG21-288-001J

4.4．通信エラーについてコマンドを正常に受信出来なかった場合、または実行出来なかった場合は、本機から下記のフォーマッ
トでエラーコマンドを返送します。
時間

ホスト

･

S/R/W

CR LF

WR-LACE

R，※ CR LF

エラーコマンド内容
#

エラー名称

エラー内容

1

通信エラー

・”S”から LF までの受信文字数が 7 以上
・”R”から LF までの受信文字数が 16 以上
・”W”から LF までの受信文字数が 100 以上
・オーバーランまたはフレーミングエラー

2

設定データエラー

・設定範囲外の値を設定した。

3

フォーマットエラー

・”S”,”R”,”W”等の識別文字以外を設定した。
・規定コマンドのカンマ数不一致

4

実行エラー

・処理実行失敗（ゼロセット処理の光点異常 等）

5

状態エラー

・規定の状態以外でのコマンド受信した

6

タイムアウトエラー

・コマンド先頭文字を受信してから、１秒以内に LF を受信できない

7

ファイル数オーバーエラー

・ファイル新規保存において最大保存数を超えた。

8

出力データなしエラー

・測定結果なしで、結果出力コマンドを受信した。

9

ファイル名なしエラー

・ファイル保存または読込み時に、ファイル名なし

10

ファイル名不一致エラー

・ファイル読込み時に、一致するファイル名がない

2＊＊

設定データエラー（＊＊：項目番号 01～19）（＊＊：项目编号 01～19）

・設定値一括設定コマンドの何処かの項目で設定範囲外の値を設定した
項目番号は、設定値一括設定コマンド各モードの内容を参照

4.5. リモート制御
ホスト機器から通信コマンドを送信することにより、判定結果，設定内容の読出しと設定内容の変更等を行うことが出来ます。
（メイン画面の Remote ボタンを押下時のリモート状態のみ動作します。
リモート状態の解除は Esc ボタンを長押し（4 秒以上）もしくは、リモート解除コマンドを送信してく
ださい。）

62

Doc. No. SG21-288-001J

5. その他
5.1. エラー表示リスト
測定または設定時にエラーや警告となった場合に、コードを表示します。
主なエラーや警告内容を表示します。内容を確認して対策してください
状態

エラー

警告

コード

メッセージ

内容

E1

Level Low

受光量レベル低下エラー

E2

Level Over

受光量レベル超過エラー

E3

Area Out

光点領域外エラー

E5

Input Error

入力値範囲外エラー

E9

PW Set Error

LD パワー自動調整エラー

W2

Level Over

受光量レベル超過

W4

Level Over

受光量端飽和W5

LD HiOutput

LD 高出力状態63

Doc. No. SG21-288-001J
5.2. トラブルシューティング
症状

原因

対策

参照頁

電源コネクタが抜けている

24V 電源コネクタを差し込む

電源ケーブルが断線している

電源ケーブルを交換する

接続ケーブルが抜けている

プロセッサの電源が OFF の状態で、ケーブルを正しくP. 9, 17
接続してください（切断处理器电源后，正确接线）

計測対象物までの距離が長すぎる

計測対象物までの距離を 92±0.1mm 以内にしてください（请将测量物体置于距离在 92±0.1mm 以内）-

電源が入らない

計測レンジ内の変位を計測する。
モ ニ タ 上 に 光 点 ポ イ ン 計測レンジより大きな変位の物を計 <計測レンジ>
タが表示されない
測している
・Tilt :
-5.0 deg～+5.0 deg

レーザ出力が低い

設定メニューLDPW で、レーザ出力調整してください

レーザの寿命レーザ出力の変動が激しい、LDPW 設定でも出力が上がらないなどの場合、弊社までご連絡ください

計測対象物の反射率が低い

WA-LAC の測定対象物は正反射物になります

レーザ出力が低い
測定結果が不安定

I/O 入力に反応しない

I./O 出力を行わない-設定メニューLDPW で、レーザ出力調整してください

P. 30

-

P. 30

振動がある

反射率、レーザ出力が適切であることを確認し、振動要因を取り除いてください

外乱光がある

ヘッド周辺の外乱光を取り除いてください

IN1～3 と GND が正しく接続していIN1～3 と GND を正しく接続してください
ない

-

P. 42

プロセッサがリモート状態でない

メインメニューから Remote ボタンを押下してリモー
P. 39
ト状態にしてください

OUT1,2 と出力コモンが正しく接続していない

OUT1,2 と出力コモンを正しく接続してください

シリアルケーブルが接続されていな
シリアルケーブルを正しく接続してくださいいP. 16,17

P. 17

ストレートケーブルを使用している クロスケーブルを使用してください
コマンドに反応しない
ボーレートが一致していない

通信速度を合わせてください

プロセッサがリモート状態でない

メインメニューから Remote ボタンを押下してリモー
P. 39
ト状態にしてください

64

P. 34

Doc. No. SG21-288-001J

5.3 製品外観図
5.3.1 H920-P500 センサーヘッド外観図

Fig. 5-3-1. センサーヘッド 外観図

65

Doc. No. SG21-288-001J

5.3.2 H920-P500 プロセッサ 外観図

Fig. 5-3-2. プロセッサ 外観図

66

Doc. No. SG21-288-001J

6. 保証とアフターサービス（质保及售后）●保証についてお問い合わせ時は、製品のリアパネル面にあるシリアルナンバーをご連絡ください。
保証期間は、納入後 1 年間になります。
但し、次の場合は保証対象外となり、有償修理とさせていただきます。
－使用上の誤り及び弊社以外の者による改造、修理に起因する故障、損傷の場合－改ざん防止シールが剥がされていた場合。
－輸送、移動時の落下等、お取扱いが不適当なために生じた故障、損傷の場合－火災、塩害、ガス害、異常電圧及び地震、雷、風水害、その他の天災地変等による故障、損傷の場合－説明書記載方法及び注意書きに反するお取扱いによって生じた故障、損傷の場合●アフターサービスについて修理依頼の前に、P.64 の項目をチェックしてください。
ご不明な点等ございましたら、弊社光学機器事業部営業までお問い合わせください。
《保証期間中》取扱説明書の注意書きに従った正常な使用状態で故障した場合には、無償で修理いたします。
上記の保証対象外の故障につきましては、有償修理とさせていただきます。
《保証期間が過ぎた場合》修理によって機能が維持できる場合は、ご要望により有償修理いたします。

●修理可能期間について
本製品の補修用性能部品（機能を維持するために必要な部品）の最低保有期間は、製造打ち切り後１
年になります。この期間を修理可能期間とします。なお、部品の保有期間を過ぎた後でも修理可能な場合がありますので、弊社光学機器事業部営業までお問い合わせください。
*本製品に生じた故障に関し、弊社は本保証に基づく無償修理以外の責任を負いません。

67

Doc. No. SG21-288-001J

製品のお問い合わせは下記へご連絡ください。

光学機器事業部
TEL :
FAX :
URL :
E-mail :0１２０－７８９－４４６
0１２０－７８９－４４９https://jpn.surugaseiki.com/
info@suruga-g.co.jp

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