敞开式直线光栅尺

06/2021敞开式直线光栅尺

直线光栅尺测量直线轴位置，无需任何其它机械传动件。有效避免多个潜在误差源的影响：•• 滚珠丝杠发热导致的定位误差
•• 反向误差
•• 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差
因此，直线光栅尺是高精度定位和高速加工机床不可或缺的基础技术手段。

我们还提供以下产品的详细信息，欢迎•向我们索取或访问海德汉官网•www.heidenhain.com.cn：•• 内置轴承角度编码器
•• 光学扫描的模块型角度编码器•• 磁电扫描的模块型角度编码器•• 旋转编码器
•• 伺服驱动编码器•• 直线光栅尺用于NC数控机床•• 接口电子电路•• 海德汉数控系统

敞开式直线光栅尺广泛用于需要极高测量
精度的机器设备。典型应用包括：•• 半导体工业的测量和生产设备•• PCB电路板组装机•• 超精密机床和设备，例如加工光学器件
的金刚石刀具，加工磁盘的端面车床和
加工铁氧体元件的磨床•• 高精度机床•• 测量机和比较仪、测量显微镜和其它•
精密测量设备
•• 直驱电机的位置和速度测量机械结构敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢尺带和读数头，光栅尺和读数头间无机械接触。
敞开式直线光栅尺的尺带固定在安装面上。因此，为确保直线光栅尺的高精度，
必须确保安装面平面度达到高标准。

更多信息：

本样本是以前样本的替代版，所有以前
版本均不再有效。
订购海德汉公司的产品仅以订购时有效的样本为准。

有关产品所遵循的标准（ISO，EN等）
仅以样本中的标注为准。

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一般电气信息，请参见海德汉编码器接口样本（ID 1078628-xx）。
有关电缆要求，请参见电缆和接头样本（ID 1206103-xx）。

目录概要敞开式直线光栅尺

2

测量原理

8

选型指南

技术特点

可靠性

12

机械结构类型和装配

17

测量精度

一般机械信息功能安全特性技术参数绝对式位置测量

28

LIC 3119，LIC 3199
LIC 2117，LIC 2197
LIC 2119，LIC 2199

LIP 382

LIP 211，LIP 281，LIP 291
LIP 6071，LIP 6081
LIF 471，LIF 481

LIDA 473，LIDA 483

LIDA 475，LIDA 485
LIDA 477，LIDA 487
LIDA 479，LIDA 489
LIDA 277，LIDA 287

电气连接

22

LIC 4117，LIC 4197

LIC 4115，LIC 4195

LIC 3117，LIC 3197

二维坐标测量2124

LIC 4119FS

高运动速度

14

LIC 4113，LIC 4193

LIC 4119，LIC 4199

高精度

4

LIDA 279，LIDA 289

PP 281 R

26
30
32
34
36
38
40
42
44
46
48
50
52
54
56
58
60
62

接口

64

接口电子电路73调试和诊断设备

71选型指南绝对式编码器绝对式位置测量
LIC敞开式直线光栅尺为绝对式位置测量的光栅尺，最大测量范围达28 m并允许•
高速运动。
用在真空环境中的光栅尺海德汉的标准光栅尺适用于一般或中等真空应用。如果用于高真空和超高真空环境
中，光栅尺必须满足特殊要求。在选择光栅尺的结构设计和材质中，必须特别满足这些条件的要求。更多信息，请参见真空应用的直线光栅尺“技术信息”资料。

基线误差

LIC 4100
超高精度

LIC 4113 V和LIC 4193 V直线光栅尺特别适用于高真空度应用。更多信息，请参见相应的“产品信息”资料。

间隔宽度

 ±0.275 µm/
10 mm

玻璃或玻璃陶瓷光栅尺，粘结•在安装面上或用安装架固定±5 µm

 ±0.750 µm/
50 mm•（典型值）将钢尺带穿入铝壳中并拉紧±1 µm1)
±3 µm
±5 µm

 ±0.750 µm/
50 mm•（典型值）将钢尺带穿入铝壳中并固定

 ±0.750 µm/
50 mm•（典型值）钢尺带，粘结在安装面上

 ±0.750 µm/
50 mm•（典型值）将钢尺带穿入铝壳中并在•中心固定±15 µm–将钢尺带穿入铝壳中并固定±15 µm–钢尺带，粘结在安装面上±3 µm±15 µm3)

LIC 2100
易于安装

1)
2)

4

精度等级

±3 µm
±5 µm2)±15 µm2)

LIC 3100
高精度

基体和安装方式±15 µm3)

测量长度（ML）达1640 mm
测量长度（ML）为1240 mm或更长钢尺带，粘结在安装面上

细分误差

测量长度

接口

型号

页码

±20 nm

240 mm至3040 mm

EnDat 2.2

LIC 4113
LIC 4113 V

245)

LIC 4193
LIC 4193 V±20 nm

140 mm至28 440 mm

EnDat 2.2

LIC 4115

26±20 nm

240 mm至6040 mm

EnDat 2.2

LIC 4117

28±20 nm

70 mm至•1020 mm

EnDat 2.2

LIC 411930

70 mm至•1820 mm

EnDat 2.2

LIC 411932

EnDat 2.2

LIC 3117

34

EnDat 2.2

LIC 3119±100 nm

至•10 000 mm

5)

5)

5)

5)

5)

LIC 4195
LIC 4197
LIC 4199

LIC 3197
LIC 3199±2 µm

120 mm至3020 mm

EnDat 2.2

LIC 2117

38

±2 µm

120 mm至3020 mm

EnDat 2.2

LIC 2119

40

3)

5)

5)

LIC 2197
LIC 2199

在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm) 带海德汉接口电子电路
5)发那科Þi，三菱，松下，安川4

LIC 41x3

LIC 41x5

LIC 41x7

LIC 31x9

LIC 21x7

LIC 21x95选型指南增量式编码器超高精度
LIP敞开式直线光栅尺的突出特点是极小测量步距、高精度和高重复精度。扫描方
式为干涉扫描，测量基准为OPTODUR相位光栅。LIP 211和LIP 291直线光栅尺输
出位置值信息。为此，正弦扫描信号在读
数头内被高倍频地细分，其计数功能将细
分的信号转换成位置值。与所有增量式光
栅尺一样，借助参考点确定绝对原点。

高精度LIF敞开式直线光栅尺采用干涉扫描原理，测量基准为SUPRADUR光栅。其特点是高
精度和高重复精度，特别易于安装，并带
限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V
可用于真空度达10–7毫巴的高真空度应用
（参见其单独的“产品信息”资料）。
高运动速度
LIDA敞开式直线光栅尺设计用于高速运动，最高速度达10 m/s。多种安装方式使
其特别易于灵活地部署。多种版本可供选择，例如钢尺带、玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅。也可带限位开关。

二维光栅尺PP二维光栅尺的测量基准为干涉扫描的、
由DIADUR工艺制造的平面二维光栅。•
因此，可测量平面中的位置。

基线误差
LIP
超高精度

LIF
高精度

LIDA
用于高运动速度和•
大测量长度

精度等级1)

间隔宽度±1 µm2)±3 µm

 ±0.125 µm/ Zerodur玻璃陶瓷光栅尺，•
5 mm
用安装架安装±1 µm5)±3 µm

 ±0.175 µm/ Zerodur玻璃陶瓷或玻璃光栅尺，
5 mm
粘结固定或用安装架固定±1 µm8)±3 µm

 ±0.175 µm/ Zerodur玻璃陶瓷或玻璃光栅尺，
5 mm
粘结固定或用安装架固定±1 µm5)±3 µm

 ±0.225 µm/ Zerodur玻璃陶瓷或玻璃光栅尺，
5 mm
用PRECIMET粘膜粘结固定±0.5 µm3)9)1)

 ±0.075 µm/ Zerodur玻璃陶瓷基体，用螺栓•5 mm
固定在不胀的钢基座上

±1 µm
±3 µm
±5 µm

 ±0.275 µm/ 玻璃陶瓷或玻璃光栅尺，•10 mm
粘结在安装面上±3 µm2)±5 µm±15 µm6)

 ±0.750 µm/ 将钢尺带穿入铝壳中并固定
50 mm•
（典型值）

±5 µm

±3 µm2)±15 µm6)

PP二维坐标测量 ±0.750 µm/ 将钢尺带穿入铝壳中并拉紧
50 mm•（典型值）

 ±0.750 µm/ 钢尺带，粘结在安装面上50 mm•（典型值）±15 µm–将钢尺带穿入铝壳中并固定±15 µm–钢尺带，粘结在安装面上

±2 µm

–

玻璃栅盘，全表面粘结固定

1 m的间隔尺寸或测量长度 < 1 m（精度等级）测量长度达1020 mm或1040 mm
3)
如需更高精度等级，可按要求提供
4)
如需其它测量长度/测量范围，可按要求提供
2)

6

基体和安装方式

细分误差

信号周期 测量长度

接口

型号

页码

±0.01 nm0.128 µm 70 mm至
270 mm» 1 VPPLIP 382

42

EnDat 2.2

LIP 21144发那科i•
三菱

LIP 291±0.4 nm7)0.512 µm 20 mm至3040 mm–

4 µm

20 mm至3040 mm–

4 µm

70 mm至3040 mm4)–

4 µm

70 mm至1640 mm–

20 µm

240 mm至3040 mm–

20 µm

140 mm至30 040 mm

–

20 µm

240 mm至6040 mm

–

20 µm

至•
6000 mm4)–

200 µm±4 nm±12 nm±12 nm±45 nm±45 nm±45 nm±45 nm±2 µm
–200 µm±12 nm7)

4 µm

±2 µm

5)

» 1 VPPLIP 281« TTL

LIP 6071 46« TTL

LIF 171

产品
信息

« TTL

LIF 47148« TTL

LIDA 473 50« TTL

LIDA 475 52« TTL

LIDA 477 54« TTL

LIDA 479 56

至•
« TTL
10 000 mm4)
» 1 VPPLIDA 277 58» 1 VPP» 1 VPP» 1 VPP» 1 VPP» 1 VPP» 1 VPP» 1 VPPLIP 6081
LIF 181

LIF 481
LIF 481 V

LIDA 483

LIP 382

LIP 281

LIP 6081

LIF 481

LIDA 485
LIDA 487

LIDA 489

LIDA 489
LIDA 287

至•« TTL
10 000 mm4)
» 1 VPPLIDA 279 60

测量范围：• » 1 VPP
68 x 68 mm4)

PP 281

LIDA 287

LIDA 289

62

仅限Zerodur玻璃陶瓷，测量长度达1020 mm
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm
7)带海德汉接口电子电路
8)测量长度达1640 mm
9)仅限Robax玻璃陶瓷，测量长度达1640 mm
6)

PP 281

7

测量原理
测量基准
海德汉光学扫描的光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线，也即光栅。这些光栅
刻在玻璃或钢材基体上。对于大长度的光
栅尺，用钢带作为光栅尺基体。

海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺制
造精密光栅。
•• METALLUR：抗污染的镀金层金属栅线；典型栅距：20 μm•• SUPRADUR相位光栅：光学三维平面格
栅；超强抗污能力；典型栅距：不超过
8 μm•• OPTODUR相位光栅：光学三维平面格栅，超高反光性能；典型栅距：不超过
2 μm•• TITANID相位光栅：超高耐用性，光学三维栅状结构和高反光性能；典型栅距：•
8 µm

绝对测量法
绝对测量法是指光栅尺或编码器在通电时
立即提供位置值并随时供后续信号处理电子电路读取。无需移动轴执行参考点回零操作。绝对位置信息由测量基准上的光栅读取，它由系列绝对式编码组成。将单独的增量刻轨信号进行细分生成位置值，并
根据接口版本，还生成可选的增量信号。

除极小栅距外，由该工艺刻制的光栅拥有优异的边缘清晰度和均匀性。获得高质量输出信号的关键是将高质量光栅与光电扫
描法一起使用。
母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线
机制造。

绝对式直线光栅尺的光栅8图示为带附加增量刻轨的编码光栅（例如LIC 411x）增量测量法
增量测量法的光栅由周期性栅线组成。通过计算自某点开始的增量数（测量步距数）获得位置信息。由于必须用绝对参考点确定位置值，因此，测量基准栅尺另外提供一个参考点刻轨。在光栅尺上，由参
考点确定的绝对位置是在一个信号周期分配的。因此，在建立绝对参考点前或重新找到最新选择的参考点前，必须首先进行
参考点回零。

在最不理想的情况下，可能需要运动机床测量范围的相当大部分。为加快和简化•“参考点回零”操作，许多海德汉光栅尺或编码器带距离编码参考点，参考点间的
间距由数学算法确定。因此只需运动数毫
米，一旦移过两个相邻参考点后，后续电子电路就能找到绝对参考点位置（见下表）。
对于距离编码参考点的光栅尺，其型号后均带字母“C”（例如LIF 181 C）。

对于距离编码参考点，绝对参考点R的位置由两个参考点间的步距数和以下公式计
算：P1 = (abs R–sgn R–1) x N + (sgn R–sgn D) x abs MRR2
2

和R = 2 x MRR–N

其中：
P1 =	第一个移过的参考点位置，信号周
期数

abs = 绝对值sgn =	代数符号（“+1”或“–1”）ND=	两个固定参考点间的名义增量值，
信号周期数（见下表）=	运动方向（+1或–1）。读数头向•
右运动（正确安装时）等于+1

MRR =	移过的两个参考点间的信号周期数增量式直线光栅尺的光栅

信号周期
LIF 1x1 C

LIDA 4x3 C图示为带距离编码参考点的增量式光栅（例如LIDA 4x3 C）

4 µm

20 µm

名义增量数N，
单位为信号周期数

最大运动
距离

1000

20 mm

5000

20 mm

9

光电扫描
海德汉的大多数光栅尺采用光电扫描原理。
光电扫描为非接触式扫描，因此无磨损。光电扫描可以检测到非常精细的光栅，栅线宽
度仅数微米，生成的输出信号的信号周期非常细小。
测量基准的栅距越小，光电扫描的衍射现象越严重。海德汉直线光栅尺采用两种扫
描原理：•• 成像扫描原理用于10 µm至200 µm的栅
距•• 干涉扫描原理用于栅距4 µm甚至更小栅
距的光栅

成像扫描原理简单地说成像扫描原理是用透射光生成信
号：两个栅距相同或相近的光栅与扫描掩
膜彼此相对运动。扫描掩膜的基体为透明
色，而作为测量基准的光栅材料可为透明
材料也可以为反光材料。

信号周期360°电子角

当平行光穿过光栅时，投影形成一定的间
隔的明/暗光影区。在该处设有栅距相同或相近的扫描光栅。当两个光栅相对运动时，
入射光进行调制：在狭缝对齐时，光线通过。如果一条光栅的栅线与另一条光栅上
的狭缝对齐，光线无法通过。光电池将这些光强变化转化成电信号。特殊结构的扫
描掩膜将光强调制为近正弦输出信号。光栅条纹的栅距越小，扫描掩膜与光栅尺间的间距越小，公差越严。采用成像扫描原
理的编码器可用较大的安装公差，最小栅距可达10 μm。
LIC和LIDA系列直线光栅尺为成像扫描原
理。

90°•
电子角

光栅尺

扫描掩膜

窗口

相位差

栅状传感器

聚光镜

扫描光栅
LED光源

10

钢尺带和单场成像扫描原理的光电扫描（LIDA 400）

传感器生成四路近正弦电流信号（I0°，•
I90°，I180°和I270°），相互间的相位差
为90°电子角。这些扫描信号开始时并不对称于零线。因此，将光电池反向平
行地连接，生成两路相位差90°电子角
的输出信号I1和I2，这两路信号都对称于零线。
在示波器的X/Y坐标图中，这两路信号形成李萨如图。理想输出信号显示为中心圆。偏离正圆形和偏离位置的原因是
位置误差所致，因此直接影响测量结果。圆的大小对应于输出信号幅值，它
可在一定限度内变化，不影响测量精度。

干涉扫描原理干涉扫描原理是利用精细光栅的光衍射和光干涉生成位移测量的信号。

阶梯光栅作为测量基准：在平整反光表面
上刻有高度为0.2 µm的反光线。其前方是扫描掩膜，其栅距与光栅尺的栅距相同，
是透射相位光栅。

光波穿过扫描掩膜时，将光波衍射为光强
近似的三束光：+1、0和-1。光栅尺所衍
射的光波是反射的衍射光+1和–1中光强最强的光束。这两束光在扫描掩膜的相位光栅处再次相遇，再一次被衍射和干涉。也形成三束光，并以不同的角度离开扫描掩膜。光电池将这些交变的光强转化成电信号。

当光栅与扫描掩膜之间有相对运动时，衍射波面产生相位移：移过一个栅距时将正一级衍射波面在正方向上偏移一个光波波长，而负一级衍射光波面在负方向上偏移
一个光波波长。由于这两束光离开相位光栅时相互发生干涉，这两束光彼此相对位
移两个光波波长。也就是说，相对运动一个栅距可以得到两个信号周期。

干涉光栅尺的栅距较小，例如8 µm、4 µm
甚至更小。其扫描信号基本没有高次谐波，能进行高倍频细分。因此，这些光栅尺特别适用于小测量步距和高精度应用。当然
都满足实用的安装公差要求。
LIP、LIF和PP直线光栅尺采用干涉扫描•原理。

输出信号X/Y图光栅尺衍射序列–1    0      +1DIADUR相位光栅的•
光栅尺
聚光镜

LED光源

栅距

扫描掩码：•
透明相位光栅
干涉测量原理与光电扫描和单场扫描一致

光电池

11

可靠性

海德汉公司的敞开式直线光栅尺特别适用于高速和精密机床。尽管机械结构是敞开
式的，但这些光栅尺拥有较强抗污能力，能确保优异的长期稳定性，而且安装简单
快捷。
抗污染能力强
高质量的光栅和扫描方式是直线光栅尺高
精度和可靠工作的保证。海德汉敞开式直线光栅尺采用单场扫描原理，由单一的大型扫描场生成扫描信号。测量基准上的局
部污染（例如安装过程中的手指印或导轨的油滴污染）只影响信号分量光强，因此等量地影响扫描信号。尽管这样的污染造
成输出信号幅值改变，但其偏移和相位不受影响。这些信号仍可以高倍频地细分，
单信号周期内位置误差仍然极小。

油滴1)

丝线

油滴2)

1.2
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0

细分误差和噪音，单位µm 

LIDA、LIF和LIP 6000直线光栅尺配海德汉HSP 1.0信号处理的专用ASIC处理器。•
ASIC连续监测扫描信号并几乎完全地补偿
信号幅值的波动。如果扫描掩膜或测量基准污染导致信号幅值减小，ASIC提高LED
电流进行响应。即使在高稳定性的信号情况下，随着LED光强的增加也几乎不会提高噪音水平。因此，污染对细分误差和位
置噪音的影响极小。

手指印
信号电压，VPP 而且，大面积扫描场还能降低对污染的敏感性。根据污染性质，该功能甚至可以避免光栅尺失效。LIDA 400和LIF 400尤其如
此，这两款光栅尺相对其栅距都拥有较大的扫描场（14.5 mm2）。LIC 4100同样如
此，其扫描面积达15.5 mm2。即使打印
机墨粉、印刷电路板粉尘、或直径3 mm
以内的水滴或油滴污染了这些光栅尺，该光栅尺仍能提供高质量信号。位置误差远远低于光栅尺精度等级对应的误差值。

0

40

60

80

1

100
120
位置，mm 0–1
100 nm50 nm
0–50 nm–100 nm带HSP 1.0信号处理ASIC无HSP 1.0信号处理ASIC1), 2) = 油滴¬ 2 mm占增量式刻轨的一半1)或全部2)污染的测量基准与相应的信号幅值，传统扫描方式与用HSP 1.0信号处理ASIC芯片扫描方式的比较12实用的安装公差
信号周期越小一般也要求读数头与钢带光栅尺间的安装公差越小。这是光栅的衍射
作用造成的。如果间隙仅变化±0.1 mm，衍射将导致信号衰减50%。但由于光栅尺
采用干涉扫描原理和在成像扫描原理的光栅尺上采用创新的扫描掩膜技术，尽管信
号周期很小，也允许实用的安装公差。
海德汉公司的敞开式直线光栅尺的安装误
差只对输出信号有轻微影响。特别是光栅尺与读数头间定义的间隙误差（扫描间隙）对信号幅值的影响十分轻微。工作期
间，HSP 1.0进一步提高信号的可靠性和稳定性。通过这两幅图可看出LIDA 400和
LIF 400系列光栅尺扫描间隙与信号幅值间
关系。

反光层
透光层

主反光层

基体
METALLUR

半透明层
透光层

主反光层

信号幅值，% 

OPTODUR和SUPRADUR工艺中，为主反光层上增加透光层。为制作光学三维相位光栅，表层的高硬度镀铬层的厚度极薄，仅数纳米。成像扫描原理的光栅的设计与其类似并用METALLUR工艺制造。在反光的金层上覆盖薄薄一层玻璃。玻璃上的铬线吸光。由于厚度仅数纳米，这些铬线是半
透明线。实践证明OPTODUR、SUPRADUR•
或METALLUR光栅测量基准的抗污能力非常强，由于其刻线很薄，灰尘、污物或水
滴难以留在其表面上，因此抗污染能力非
常出众。

OPTODUR
SUPRADUR

安装公差（例如LIDA 403/409）= 安装期间（未用HSP 1.0）
= 工作期间（用HSP 1.0）

信号幅值，% 坚固耐磨的测量基准敞开式直线光栅尺由于其结构特点，测量
基准的抗环境污染能力较低。为此，海德汉公司全部采用独特工艺生产极其坚固耐磨的栅线。

扫描间隙，单位mm 

安装公差
LIF 400= 安装期间（未用HSP 1.0）
= 工作期间（用HSP 1.0）

扫描间隙，单位mm 

13

测量精度

直线测量精度主要取决于•• 光栅质量，•• 光栅基体质量，•• 扫描质量，•• 信号处理电子电路质量和•• 光栅尺在机床内的安装情况。

可将这些因素细分为特定编码器的位置误
差和应用相关的因素。为评估可获得的系
统精度，必须综合考虑各项因素中的每一项。

特定光栅尺位置误差
特定光栅尺位置误差包括•• 测量基准的精度，•• 细分精度，和•• 位置信号噪音。

测量基准的精度测量基准精度主要取决于•• 光栅的一致性和栅距定义，•• 光栅与其基体找正的情况，和•• 光栅基体的稳定性。

测量基准的精度由未补偿的基线误差最大
值表示。在理想条件下，用批量生产的读
数头测量位置误差，用于确定该精度。测
量点之间的距离等于信号周期的整数倍。
因此，细分误差无影响。

位置误差 

基线误差

位置

14

细分精度由大批量生产的测量基准确定，并用细分误差的最大典型值u表示。带模
拟接口的光栅尺用海德汉电子设备（例如EIB 741）测试。该最大值不含位置信号•
噪音，并将其标注在技术参数中。
在极慢运动速度和重复测量中，细分误差影响较大。该误差造成运动速度波动，•在速度控制环中的表现尤其明显。

细分精度

测量基准的精度信号电平 

位置误差

精度等级a决定不超过一米的长度范围内基线误差的上限。对于特殊光栅尺，还提
供已定义的测量基准间距的基线误差。

细分精度
细分精度主要受以下因素影响
•• 信号周期大小，•• 光栅的一致性和栅距定义，•• 扫描掩膜质量，•• 传感器特性，及•• 信号处理质量。

细分误差

信号周期
360º电子角位置位置信号噪声
位置信号噪音是一种随机工况，将导致不
可预测的位置误差。将位置值分组，按照位置围绕预期值的一定频率分布分为多组。
位置信号噪音大小取决于位置值形成所需的信号处理带宽。它在一定的时间间隔内确定，并用特定产品的RMS值表示。
在速度控制环中，位置信号噪音影响低速运动时的速度稳定性。

与应用相关的位置误差

对于无内置轴承的编码器，将编码器安装
在机床内严重影响可获得的整体精度，使其超出为特定编码器指定的位置误差。为
评估整体精度，必须测量和考虑各应用相
关的误差。
光栅变形
不能忽略光栅变形造成的误差。如果将测
量基准安装在不平整的表面上，可能发生变形（例如，安装在外凸表面上）。

振动为保证直线光栅尺工作正常，不允许直线光栅尺承受持续的强烈振动。因此，最好的安装面是机床上坚固、稳定的机床部件。直线光栅尺不允许安装在空心零件或适配件处等。
温度的影响
为避免温度影响，不能将直线光栅尺安装在靠近热源附近。

安装位置
如果直线光栅尺安装质量差将对测量精度
的方向误差产生严重影响。为尽可能减小阿贝误差，光栅尺最好安装在机床滑座上
并在工作台高度位置。必须确保安装面平行于机床导轨。

RMS

位置误差 

位置信号噪声

时间 

频率密度

15

检定记录图
海德汉直线光栅尺在发运前全部进行精度
和功能检测。
在双向运动中确定直线光栅尺的精度。选
定的测量位置数不仅能非常准确地确定大长度范围的误差，也能确定单信号周期内
的位置误差。
质量检验合格证是每个光栅尺或编码器符合系统精度等级要求的证明。校准标准确保满足国家或国际公认标准对可追溯性的要求，例如EN ISO 9001的要求。
LIP和PP直线光栅尺还在检定图中记录测量范围上的位置误差。也确定测量参数和测量不确定性。

LIP 201 R
ID 631000-13
SN 44408260

Quality Inspection Certificate

Qualitätsprüf-Zertifikat
DIN 55 350-18-4.2.2

DIN 55 350-18-4.2.2

Positionsabweichung F [µm]Position error F [µm]温度范围检定直线光栅尺时的标准温度为20 °C。检定图中记录的位置误差仅适用于该温度。

Messposition PosE [mm] / Measured position PosE [mm]Die Messkurve zeigt die Mittelwerte der Positionsabweichungen
aus Vorwärts- und Rückwärtsmessung.

The error curve shows the mean values of the position errors frommeasurements in forward and backward direction.

Positionsabweichung F des Maßstab: F = PosM – PosE
PosM = Messposition der Messmaschine
PosE = Messposition des Maßstab

Position error F of the scale: F = PosM – PosE
PosM = position measured by the measuring machine
PosE = position measured by the scale

Maximale Positionsabweichung der Messkurve
innerhalb 670 mm

Maximum position error of the error curve± 0,30 µm

within 670 mm± 0.30 µm

Unsicherheit der Messmaschine

Uncertainty of measuring machine

U95% = 0,040 µm + 0,400 ·10–6 · L (L = Länge des Messintervalls)

U95% = 0.040 µm + 0.400 ·10–6 · L (L = measurement interval length)

Messparameter

Measurement parameters

Messschritt

1000 µm

Measurement step

1000 µm

Erster Referenzimpuls bei Messposition

335,0 mmFirst reference pulse at measured position

335.0 mm

Relative Luftfeuchtigkeit

max. 50 %Relative humidity

max. 50 %Dieser Maßstab wurde unter den strengen
HEIDENHAIN-Qualitätsnormen hergestellt und geprüft.
Die Positionsabweichung liegt bei einer Bezugstemperatur
von 20 °C innerhalb der Genauigkeitsklasse ± 1,0 µm.

This scale has been manufactured and inspected in accordance withthe stringent quality standards of HEIDENHAIN.
The position error at a reference temperature of 20 °C lies within
the accuracy grade ± 1.0 µm.

Kalibriernormale

Kalibrierzeichen

Calibration standards

Calibration references

Jod-stabilisierter He-Ne Laser
Wasser-Tripelpunktzelle
Gallium-Schmelzpunktzelle
Barometer
Luftfeuchtemessgerät

40151 PTB 11
61 PTB 10
62 PTB 10
A6590 D-K-15092-01-00 2012-120230 DKD-K-30601 2012-11

Iodine-stabilized He-Ne Laser
Water triple point cell
Gallium melting point cellPressure gauge
Hygrometer

40151 PTB 11
61 PTB 10
62 PTB 10
A6590 D-K-15092-01-00 2012-120230 DKD-K-30601 2012-11

28.01.2014
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH · 83301 Traunreut, Germany · www.heidenhain.de · Telefon: +49 8669 31-0 · Fax: +49 8669 5061

16

Prüfer/Inspected by

K. Sommerauer

机械结构类型和装配直线光栅尺敞开式直线光栅尺由两部分组成：读数头和直线光栅尺或尺带，其仅在机床导轨上
才将其结合在一起。因此，机床从设计之初就必须满足以下要求：•• 机床导轨的设计必须确保光栅尺的安装
位置满足扫描间隙公差的要求•（参见技术参数）•• 光栅尺的安装面必须满足平面度要求•• 为方便调整读数头与光栅尺，必须用•
安装架固定

光栅尺
LIP 201光栅尺版本海德汉公司为适应不同应用环境和精度•
要求提供相应版本的光栅尺。

LIP 201
LIP 6001
LIC 4003
光栅基体用安装架直接固定在安装面上。
用安装座定义热中性点。

LIC 41x3和LIP 60x1的辅件：
安装架
ID 1176458-01
热中性点的安装座
ID 1176475-01
间隔片
ID 1176441-01
粘合剂*
ID 1180444-01
双筒枪
ID 1180450-01
出料嘴和混合管ID 1176444-01

LIP 6001
LIF 401
LIDA 403
LIC 4003
光栅尺尺座用PRECIMET背胶直接粘结在
安装面上并用磙子均匀地碾压。热中性点位于环氧树脂胶处。

辅件磙子

ID 276885-01

光栅尺
LIP 6001
LIC 4003

光栅尺
LIF 101 C

光栅尺
LIP 6001
LIF 401
LIDA 403
LIC 4003* 小心：不可空运（危险品）•品名：3M Scotch-Weld•环氧树脂胶DP-460 EG

17

LIC 41x5
LIDA 4x5
LIC 41x5和LIDA 4x5系列直线光栅尺特别适用于大长度测量应用。这些光栅尺安装
在尺座中，用螺栓将多段尺座固定在安装
面上或用PRECIMET背胶粘结固定。然后，将单体钢尺带拉入尺座中，按照要求张紧并在两端固定至机床床身上。因此，LIC
41x5和LIDA 4x5光栅尺与安装面的温度特性相同。

LIC 4005、LIDA 405的光栅尺

LIC 21x7
LIC 31x7
LIC 41x7
LIDA 2x7
LIDA 4x7
这些系列的光栅尺也用于大长度测量。尺
座段用PRECIMET背胶粘结固定在安装面
上；将单体钢尺带穿入尺座中，在中间点
位置固定至机床床身上。这种安装方式允许尺带的两端自由膨胀，确保具有可定义
的温度特性。

辅件，LIC 41x7，LIDA 4x7
安装工具
ID 373990-01

LIC 4007、LIC 2107、LIDA 207/407的光栅尺

安装工具•（LIC 41x7，LIDA 4x7）

LIC 21x9
LIC 31x1
LIC 41x9
LIDA 2x9
LIDA 4x9
钢尺带用PRECIMET背胶直接粘结固定在安装面上并用磙子均匀地碾压。必须用•0.3 mm高的凸棱或找正轨将钢尺带水平
对齐。

PRECIMET版的辅件磙子
安装工具，LIDA 2x9
安装工具，LIC 21x9

18

ID 276885-01
ID 1070307-01
ID 1070853-01

LIC 4009、LIC 2109、LIDA 209/409的尺带

机械结构类型和装配读数头由于敞开式直线光栅尺将安装在机床上，
安装后必须进行精确调整。这项调整将决
定光栅尺最终精度。因此，建议在机床设
计中尽可能允许轻松和简便地进行这项调整，同时确保最大限度的安装稳定性。

LIP 200
间隔片

安装LIP 2x1
LIP 2x可从侧面也可从上方固定。尺壳盖带一个突起的接触面，用于传热，确保良好散热。在安装时，该接触面被压在安装零件上。

安装LIP 60x1
LIP 60x可从侧面也可从上方固定。如果从
上方安装，还可以插入¬ 2 mm或¬ 3 mm
定位销，以确定不变的旋转中心。也易于调整读数头使其与光栅尺平行。安装完成
后，可拆下定位销。

LIP 6000

安装LIF系列读数头带一个定心环，定心环使读数头可在角架的孔中转动，调整读数头使其平行于光栅尺。
安装LIC/LIDA
可用三种安装方式安装读数头（参见“尺寸”）。用间隔片可快速设置读数头与光栅尺或钢尺带间的间隙。方便从后方用安
装架固定读数头。借助安装辅件通过安装
架的孔可以精确地调整读数头。
调整如果用间隔片调整光栅尺与读数头间的间隙，调整非常容易。

间隔片
选装项1

选装项2

LIF 400

间隔片

用PWM 20/21调整和测试工具可以快速和轻松地调整LIC、LIP 6000和LIP 200信号。•
对于所有其他敞开式直线光栅尺，通过轻
微转动读数头调整增量信号和参考点信号（对于LIDA 400，可借助工具）。
海德汉提供适当的测量和测试设备，其辅
助调整（参见测试设备和诊断部分）。

LIC/LIDA

间隔片3) 只限LIDA 400

19信号质量指示灯
LIDA、LIF和LIP 6071直线光栅尺自带多色
LED信号质量指示灯，可在工作期间快速
和轻松地检查信号质量。
优点包括：•• 用多色LED指示灯直观显示扫描信号•
质量•• 在整个测量长度上连续监测增量信号•• 指示参考点信号情况•• 在现场快速检查信号质量，无需使用其它辅助设备

用自带的信号质量指示灯不仅可以可靠地评估增量信号质量，还能检测参考点信
号。增量信号质量由不同颜色代表，详细
地区分信号质量。合格/不合格指示灯清晰
地显示参考点信号是否符合公差要求。

LIDA：读数头的信号质量指示灯增量信号的LED指示灯
LED灯颜色扫描信号质量
理想
合格

可接受
不合格

参考点信号的LED指示灯（工作检查）
移过参考点时，LED指示灯红色或蓝色•闪亮：	 超出公差	 在公差内
控制裕度的LED指示灯
闪亮的LED指示灯每2.5秒钟变为不亮表示
信号扫描ASIC电路的控制裕度几乎达到极限。如为该情况，应按照安装说明中的相应要求，清洁测量基准和读数头上的扫描窗。可能还需要检查光栅尺的安装是否正确。

20

LIF，LIP 6071：接口电子电路的信号质量指示灯

一般机械信息温度范围
工作温度范围是指环境温度范围，在该范围内能保证直线光栅尺技术参数中的性能。
而-20°C至+70°C的存放温度范围适用于该产品在包装状态下。
热特性直线光栅尺的热特性直接关系到机器设备
的工作精度。通常，直线光栅尺的温度特性需与工件或被测对象的温度特性一致。
温度变化时，直线编码器的膨胀或收缩特性必须有确定性和可重复。

海德汉公司的直线光栅尺基体热膨胀系数
不完全一样（参见技术参数）。因此，用户可以选择最适合于应用热特性的直线光栅尺。

损耗件海德汉光栅尺或编码器可长期工作。不需要进行预防性维护。但是根据应用和部署方式，海德汉公司的光栅尺或编码器不可
避免地含磨损件。特别是频繁弯曲的电缆。
其它磨损件还包括内置轴承编码器的轴
承、旋转编码器和角度编码器的径向轴密
封圈以及封闭式直线光栅尺的密封条。

防护等级（EN 60529）
敞开式直线光栅尺的读数头提供以下保护：
读数头

防护等级

LIDA

IP40

LIC
LIF

LIP 200

LIP 300
LIP 6000
PP

IP67
IP50
IP40
IP50

系统测试
海德汉公司的光栅尺或编码器通常是整个系统的一部分。对于任何直线光栅尺的技术参数，如果将光栅尺用在整个系统中，必须对整个系统进行综合测试。
本样本中的技术参数仅适用于光栅尺或编码器，而非整个系统。如果光栅尺或编码器超出指定范围使用，或将其非正
常使用，其风险由用户承担。
在高安全性系统中，必须由高一级的系
统在开机启动后测试编码器的位置值。

IP50

光栅尺无需特别防护。如果光栅尺可能被污染，必须采取防护措施。

加速度
直线光栅尺在安装和工作时会承受不同类
型的加速度作用。
•• 所示的振动最大值是指55至2000 Hz的频率（EN 60068-2-6）。根据应用和安
装方式，如果超过允许的加速度值（例如共振时），可能损坏光栅尺。因此，必须对整个系统进行综合测试•• 冲击和振动负载的最大允许加速度值•（半正弦冲击）为11 ms或6 ms•（EN 60068-2-27）。任何情况下都不允许用锤子或类似工具敲击用以调整和
定位编码器

组装
安装期间必须执行的操作步骤和需要的
尺寸，请见随设备一起提供的安装说明。
因此，本样本提供的安装信息仅供参考，不具约束力，也不构成合同内容。

SUPRADUR、METALLUR和OPTODUR是位于
德国Traunreut的DR. JOHANNESHEIDENHAIN GmbH的注册商标。
Zerodur是位于德国Mainz的Schott-Glaswerke
公司的注册商标。

21

功能安全特性海德汉公司的LIC 4100系列绝对式直线光栅尺是高安全性应用中直线轴位置测量的
理想解决方案。结合安全控制系统，该光栅尺可组成单编码器系统，满足控制级别
SIL 2（EN 61508标准）和性能等级“d”（EN ISO 13849标准）的应用要求。

机械连接的防松保护
机器制造商负责驱动系统的机械连接尺寸。在机械设计阶段，OEM厂商最好考虑应用中的条件。然而，验证安全连接需要花费大量的成本和时间。
为此，海德汉为LIC 4100系列光栅尺开发了已通过型号审定的机械防松保护装置。

可靠的位置值传输是基于为安全控制系统
提供两路独立生成的绝对位置值和错误码。光栅尺的这些功能可用于EN 618005-2标准有关整套系统内多个安全功能的要求。

LIC 4100直线光栅尺随时提供安全的绝对位置值，包括开机后立即提供绝对位置。
纯串行数据传输采用双向EnDat 2.2接口。

固定

读数头

安装方式I和II：
螺栓连接：2)M2x25 ISO 4762 8.8螺栓

1)

1) 2)

螺栓连接

安装方式III：
2)螺栓连接：M2x16 ISO 4762 8.8螺栓

用于光栅尺连接螺栓的防松固定剂（安装/服务）B级摩擦，基于VDI 2230标准
3)
相比无功能安全特性的LIC 4100
2)

22

除非另有规定，海德汉光栅尺的设计使用
寿命为20年（根据ISO 13849标准）。

安装和工作条件
其防松保护方式适用于光栅尺或编码器广泛的应用范围，并满足以下工作条件要
求。

机械连接
光栅尺

除数据接口外，该光栅尺与驱动电机间的
机械连接也关系到安全性。在EN 618005-2电机驱动标准的表D8中定义了光栅尺
与电机间需考虑的机械连接松动的故障情况。由于无法确保控制系统能检测到这类
故障，多数情况下需要对机械连接松动提
供故障防护。

机械联轴器安全位置±0.0 mm

受限参数3)参见技术参数：•• 振动•• 冲击
更多安装信息：•• 可用材料•• 安装条件

材料
在读数头和测量基准的安装面上使用的材
质必须满足表中的技术参数要求。
安装温度
有关螺栓连接的全部信息均基于15 °C至35 °C的安装温度。

安装读数头机械防松保护需使用ISO 4762 8.8标准的
M2螺栓（随产品提供）。然后用PWM20/21
和ATS软件的安装向导检查和优化安装。

安装钢尺带
钢尺带用PRECIMET背胶直接粘结固定在安装面上并用磙子均匀地碾压。再用螺栓
牢固地固定尺带（尺带上的冲压孔）。用
安装工具（随产品提供）方便地对正螺栓，
以使其对称于冲压孔。

读数头角架
钢

铝

抗拉强度Rm 600 N/mm2

 220 N/mm2

弹性模量E

 200 000 N/mm2 •至215 000 N/mm2

 70 000 N/mm2 •至75 000 N/mm2

材料剪切强度τB热膨胀
系数Þtherm

 390 N/mm2

10 · 10–6 K–1 至•17 · 10–6 K–1

 130 N/mm2

25 · 10–6 K–1

测量基准的安装面

钢，•
铝

不适用
不适用
不适用

10 · 10–6 K–1 至
25 · 10–6 K–1

注意：读数头可能只在允许的安装公差内和测量
基准的测量长度内才能工作。
随产品提供：读数头•• 紧固套件		（2个M2x16螺栓）•• 紧固套件		（2个M2x25螺栓）•• 间隔片		光栅尺•• 一套螺栓•• 安装工具辅件：•• ATS软件的安装向导•• 磙子 ID 276885-01

ID 1233536-01•
ID 1233536-02•
ID 578983-06

ID 1233558-01
D 1244387-02

23

LIC 4113，LIC 4193

绝对式直线光栅尺，测量长度达3 m•• 最小测量步距达1 nm•• 玻璃或玻璃陶瓷测量基准•• 用粘膜或安装架固定测量基准•• 含直线光栅尺和读数头（直线或直角方向出线）•• 可提供高真空版（参见“产品信息”资料）33.2

光栅尺，机械固定光栅尺，粘结固定

0.05

读数头的安装方式（图示中无安装架）
7.15±0.1 机械固定
7.28±0.1 粘结固定0.75 +0.25−0.20 机械固定
0.75 ±0.25 粘结固定0.75 +0.25−0.20 机械固定
0.75 ±0.25 粘结固定

F
*
Ⓢ
Ⓒ
Ⓛ
Ⓖ
1
2

24

= 机床导轨
= 安装误差和动态导向误差= 测量长度（ML）的起点= 绝对式刻轨的起始值：100±1 mm= 光栅尺长度
= 确定温度中性点的固定件= 在安装中，用间隔片调整间隙=	根据测量长度（ML），用另一对安装架0.75 +0.25−0.20 机械固定
0.75 ±0.25 粘结固定15.65 机械固定
15.78 粘结固定7.15±0.1 机械固定
7.28±0.1 粘结固定

3
4
5
6

= 胶带
= 读数头与直线光栅尺间的安装间隙= 光学中心线= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致直线光栅尺LIC 4003

精度等级*± 1 µm（仅限Robax玻璃陶瓷），±3 µm，±5 µm

测量长度（ML）*，mm

240	  340	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440
2640，2840，3040（Robax玻璃陶瓷的最大测量长度为1640）

测量基准线性膨胀系数*基线误差玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅Þtherm  8 · 10–6 K–1（玻璃）Þtherm = (0 ±0.5) · 10–6 K–1（Robax玻璃陶瓷）

 ±0.275 µm/10 mm

3 g + 0.11 g/mm测量长度

重量读数头

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 M

Fanuc05

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

接口EnDat 2.2

测量步距*

10 nm，5 nm，1 nm1)

订购标识*

位宽

计算时间tcal
时钟频率
运动速度

2)

细分误差

电气连接*

电缆长度•
（海德汉电缆）EnDat2236 bit 5 µs 16 MHz 100 m5 V时： 75 mA •
（空载）

重量

读数头
电缆
连接件

YEC07

–
–

电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式）电流消耗（典型值）工作温度

安川串行接口±20 nm

DC 3.6 V至14 V

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms

松下串行接口LIC 419 Y

 600 m/min

供电电压

功率消耗2)（最大）发那科串行接口Þi 三菱高速接口

LIC 419 P

 50 m 30 m 50 m

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
三菱： 测量长度 2040 mm
安川： 测量长度 1840 mm
2)参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息

Robax是位于德国Mainz的Schott-Glaswerke的注册商标25

LIC 4115，LIC 4195

绝对式直线光栅尺，测量长度达28 m•• 测量步距达1 nm•• 将钢尺带穿入铝壳中并拉紧•• 含直线光栅尺和读数头（直线或直角方向出线）126.23±0.1
2.5

6.1±0.1

3

0.55/50 *16.5 1

8

3.7

3.5

7.3

M3x7

R>

3
8

30±0.1>8ML > 2040（例如5040）

读数头的安装方式②

9.6±0.1②

26②

18.1±0.1
18.23±0.1

9.6±0.1

Ô
Õ
F
P
*
Ⓒ
Ⓢ

= 光栅尺尺座用螺栓固定=	光栅尺尺座用PRECIMET固定= 机床导轨
= 找正的测量点
= 安装误差和动态导向误差= 绝对式刻轨的起始值：100 mm= 测量长度（ML）的起点

Ⓩ
Ⓣ
Ⓜ
1
2
3

= 3040 mm或更大测量长度的间隔片= 尺座长度= 读数头的安装面= 光学中心线=	读数头与尺座间的安装间隙=	读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

光栅尺

LIC 4005

精度等级

±5 µm

测量基准
线性膨胀系数基线误差测量长度（ML）*，•
mm
尺带
零部件
尺座

重量

读数头

有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带取决于安装面
 ±0.750 µm/50 mm（典型值）

140	  240	  340	  440	  540	  640	  740	  840	  940 1040 1140 1240 1340 1440
1540 1640 1740 1840 1940 2040
用单段尺带和多个尺座可达到更大测量长度（至28 440 mm）

31 g/m80 g + n1) · 27 g
187 g/m
LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 M

Fanuc05

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

接口EnDat 2.2

测量步距* 2)10 nm，5 nm，1 nm

计算时间tcal
时钟频率 5 µs 16 MHz细分误差±20 nm

订购标识*

位宽

运动速度

3)

电气连接*

电缆长度•
（海德汉电缆）EnDat2236 bit 100 m电流消耗（典型值）

5 V时： 75 mA •（空载）

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms
工作温度
重量

读数头
电缆
连接件

安川串行接口

YEC07

–

–

电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式）DC 3.6 V至14 V3)

松下串行接口LIC 419 Y

 600 m/min

供电电压

功率消耗 （最大）发那科串行接口Þi 三菱高速接口

LIC 419 P

 50 m 30 m 50 m

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
ML 3140 mm至5040 mm为n = 1；ML 5140 mm至7040 mm为n = 2；以此类推*
2)
三菱：
1 nm：测量长度 2040 mm；
5 nm：测量长度 10 040 mm；
安川：
1 nm：测量长度 1840 mm；
5 nm；测量长度   9040 mm；
3)参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息

10 nm：测量长度 20 040 mm
10 nm：测量长度 18 040 mm

27

LIC 4117，LIC 4197

绝对式直线光栅尺，测量长度达6 m•• 测量步距达1 nm•• 将钢尺带穿入铝壳中并在中心固定•• 含直线光栅尺和读数头（直线或直角方向出线）②①0.55/50 *③

读数头的安装方式

②

②

28

F
P
*
Ⓒ
Ⓢ
Ⓣ
1
2
3

= 机床导轨
= 找正的测量点
= 安装误差和动态导向误差= 绝对式刻轨的起始值：100 mm= 测量长度（ML）的起点= 尺座长度= 光学中心线= 读数头与尺座间的安装间隙= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

②

光栅尺

LIC 4007

精度等级*±3 µm（至ML 1040），±5 µm（ML 1240或更大测量长度），±15 µm1)

测量基准线性膨胀系数基线误差测量长度（ML）*，mm
尺带
零部件
尺座

重量

读数头

有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带Þtherm  10 · 10–6 K–1
 ±0.750 µm/50 mm（典型值）

240	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840
3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 4440 4640 4840 5040 5240 5440 5640
5840 6040
31 g/m20 g
68 g/m

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 M

Fanuc05

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

接口EnDat 2.2

测量步距*

10 nm，5 nm，1 nm2)

订购标识*

位宽

计算时间tcal
时钟频率
运动速度

3)

细分误差

电气连接*

电缆长度•
（海德汉电缆）EnDat2236 bit 5 µs 16 MHz 100 m5 V时： 75 mA •
（空载）

工作温度
重量

读数头
电缆
连接件

YEC07

–
–

电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式）电流消耗（典型值）振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms

安川串行接口±20 nm

DC 3.6 V至14 V3)

松下串行接口LIC 419 Y

 600 m/min

供电电压

功率消耗 （最大）发那科串行接口Þi 三菱高速接口

LIC 419 P

 50 m 30 m 50 m

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm
2)
三菱： 测量长度 2040 mm
安川： 测量长度 1840 mm
3)参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息

29

LIC 4119，LIC 4199

绝对式直线光栅尺，测量长度达1 m•• 测量步距达1 nm•• 钢尺带粘结在安装面上•• 含直线光栅尺和读数头（直线或直角方向出线）0.60/50 *读数头的安装方式

0.425/25

0.30/25

0.30/25

F
*
Ⓒ
Ⓢ
Ⓛ
1
2
3

30

= 机床导轨
= 安装误差和动态导向误差= 绝对式刻轨的起始值：100 mm= 测量长度（ML）的起点= 尺带长度= 光学中心线= 读数头与直线光栅尺间的安装间隙= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

光栅尺

LIC 4009

精度等级*±3 µm，±15 µm1)

测量基准线性膨胀系数基线误差测量长度（ML）*，mm
重量读数头 ±0.750 µm/50 mm（典型值）70

120

31 g/m170

LIC 411

接口

订购标识*

测量步距*

位宽

计算时间tcal
时钟频率运动速度有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带Þtherm  10 · 10–6 K–1

3)

细分误差

电气连接*

电缆长度•
（海德汉电缆）EnDat 2.2

36 bit– 5 µs 16 MHz

读数头
电缆
连接件

370

420

LIC 419 M

三菱高速接口

520

620

720

LIC 419 P

松下串行接口

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

820

920

1020

LIC 419 Y

安川串行接口

YEC07–

 600 m/min±20 nm电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式） 100 m4)

5 V时： 75 mA •
（空载）

重量

发那科串行接口Þi

10 nm，5 nm，1 nm2)

电流消耗（典型值）

工作温度

320

LIC 419 F

Fanuc05

DC 3.6 V至14 V

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms270

EnDat22

供电电压

功率消耗3)（最大）220

 50 m 30 m 50 m

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm
2)
三菱： 测量长度 2040 mm
安川： 测量长度 1840 mm
3)参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息
4)
 	LIC 411 FS读数头：时钟频率：8 MHz

31

LIC 4119

高安全性应用的高精度绝对式直线光栅尺•• 测量步距达1 nm•• 钢尺带粘结在安装面上•• 含直线光栅尺和读数头•• 机械连接的防松保护

5.5

L
ML





B

2.5

12

C

A

A

0.1
 F

7.3
0.43

14

13.14

14.5

19




2.5

1.18

3

B

0.55/ 50 *



C

46

B-B

A-A

C-C







Rz 16
0.25/ 25 A

M2x25 (2x) 

0.9  18.1

M3 - 6H

0.75 



A

Rz 16
0.25/ 25 A

A

B

A

4.68
M2

A
4:1
0.4

I, II, III = 安装方式
F = 机床导轨* = 安装误差和动态导向误差C = 绝对式刻轨的起始值：100 mm
ML = 测量长度
L = 尺带长度（L = ML+38）
1 = 测量长度起点
2 = 读数头与尺带间的安装间隙
3 = 光学中心线
4 = 读数头的运动方向与位置值增加的方向一致
5 = 电缆弯曲半径R：•– 固定敷设的电缆 8 mm•– 频繁弯曲的电缆 40 mm
6 = 电缆支撑
7 = 螺栓（对称于冲压孔），•ISO 10664-10内六角；需要使用螺纹固定剂；•紧固扭矩 = 40 Ncm±2.4 Ncm
8 = M2x16 ISO 4762 - 8.8 + ISO 7089 - 2 - 200HV
9 = M2x25 ISO 4762 - 8.8 + ISO 7089 - 2 - 200HV
10 = 读数头角架
11 = 测量基准的安装面

0.4
B
4:1
M2



6

M2x25 (2x) 

4.68

32

 5  4.2





Rz 16
0.25/ 25 A

M2x16 (2x)  0.75



C

Rz 16
  3.1
0.75 

0.81



14

读数头的安装方式

 50 

A

13.18
 2.4  30



0.1

2.4

8>8

1.70.05

1.6  



Rz 16
0.05
0.1 F

3.7

R

16.5

9

6



3.5

0.75

(L-9)  

C
4:1



光栅尺

LIC 4009

精度等级*
基线误差

±3 µm1)，±15 µm2)
 ±0.750 µm/50 mm（典型值）测量基准线性膨胀系数

测量长度（ML）*，mm

重量

尺带
螺栓

防护等级 4)有绝对和增量METALLUR光栅刻轨的钢尺带Þtherm  10 · 10–6 K–1

70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  520	  620	  720	  820
3)
3)
3)
3)
3)
3)
920 1020 1220 1420 1620 1820

31 g/m
<1g
IP00

读数头5)

LIC 411订购标识

EnDat22

EnDat 2.2

接口

测量步距*
位宽

10 nm，5 nm，1 nm
36 bit计算时间tcal
时钟频率 5 µs 16 MHzPFH

 20 · 10–9（海拔高度可达6000 m）

功能安全特性适用于
安全位置6)
运动速度7)

细分误差•• SIL 2，基于EN 61508标准（更多测试基础：EN 61800-5-2）•• 3级，PL “d”，EN ISO 13849-1:2015标准
编码器：±550 µm（安全测量步距：SM = 220 µm）；•
机械连接：读数头与栅尺间防松保护（参见功能安全特性）
 600 m/min±20 nm

振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms

 200 m/s2（EN 60068-2-6）
 200 m/s2（EN 60068-2-27）

相对湿度 93 %（40°C/4d，基于EN 60068-2-78）；不允许结露

工作温度

防护等级EN 605294)
重量

读数头
电缆
接头

–10 °C至70 °C
IP67

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
测量长度达1020 mm
2)
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后±5 µm
3)其它测量长度仅限钢质安装面
4)
	在应用中，必须保护该设备，避免被固体和液体污染。根据需要，使用含密封垫和密封空气的适当防护罩。
5)有关电气连接，请参见无功能安全特性的LIC 411
6)位置值比较后在后续电子电路中可能还有其他误差（请联系后续电子电路制造商）7)参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息

33

LIC 3117，LIC 3197
绝对式直线光栅尺，测量长度达10 m•• 测量步距达10 nm•• 将钢尺带穿入铝壳中并在中心固定•• 含直线光栅尺和读数头②①
0.60/50 *③

读数头的安装方式

0.425/25②
0.30/25

0.30/25

②

34

F
P
*
Ⓢ
Ⓣ
1
2
3

= 机床导轨
= 找正的测量点
= 安装误差和动态导向误差= 测量长度（ML）的起点= 尺座长度= 光学中心线= 读数头与尺座间的安装间隙= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

②

光栅尺

LIC 3107

精度等级

±15 µm1)

测量基准线性膨胀系数基线误差尺带长度可自由裁剪*
尺带
零部件
尺座

重量

读数头

绝对式刻轨和增量式刻轨的钢尺带Þtherm  10 · 10–6 K–1
 ±0.750 µm/50 mm（典型值）
3 m，5 m，10 m
31 g/m20 g
68 g/m

LIC 311

接口EnDat 2.2

测量步距

0.01 µm（10 nm）

订购标识*计算时间 tcal
时钟频率

运动速度

2)

细分误差

电气连接*

电缆长度•
（海德汉电缆）EnDat22

 5 µs 16 MHz 100 m5 V时： 75 mA •
（空载）

工作温度
重量

读数头
电缆
连接件

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

松下串行接口LIC 319 Y

安川串行接口YEC07–

电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式）电流消耗（典型值）振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms

Fanuc05发那科串行接口Þi 三菱高速接口

LIC 319 P±100 nmDC 3.6 V至14 V2)

LIC 319 M

 600 m/min

供电电压

功率消耗 （最大）LIC 319 F

 50 m 30 m 50 m

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm
2)参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息

35

LIC 3119，LIC 3199
绝对式直线光栅尺，测量长度达10 m•• 测量步距达10 nm•• 钢尺带粘结在安装面上•• 含直线光栅尺和读数头0.60/50 *读数头的安装方式

0.425/25

0.30/25

0.30/25

F
*
Ⓢ
Ⓛ
1
2
3

36

= 机床导轨
= 安装误差和动态导向误差= 测量长度（ML）的起点= 尺带长度= 光学中心线= 读数头与直线光栅尺间的安装间隙= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

光栅尺

LIC 3109精度等级

±15 µm1)

测量基准线性膨胀系数基线误差尺带长度可自由裁剪*重量读数头

绝对式刻轨和增量式刻轨的钢尺带Þtherm  10 · 10–6 K–1
 ±0.750 µm/50 mm（典型值）
3 m，5 m，10 m
31 g/m

LIC 311

接口EnDat 2.2

测量步距

0.01 µm（10 nm）

订购标识*计算时间 tcal
时钟频率

运动速度

2)

细分误差

电气连接*

电缆长度•
（海德汉电缆）EnDat22

 5 µs 16 MHz 100 m5 V时： 75 mA •
（空载）

工作温度
重量

读数头
电缆
连接件

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

松下串行接口LIC 319 Y

安川串行接口YEC07–

电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式）电流消耗（典型值）振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms

Fanuc05发那科串行接口Þi 三菱高速接口

LIC 319 P±100 nmDC 3.6 V至14 V2)

LIC 319 M

 600 m/min

供电电压

功率消耗 （最大）LIC 319 F

 50 m 30 m 50 m

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm
2)参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息37

LIC 2117，LIC 2197
绝对式直线光栅尺，测量长度达3 m•• 测量步距：100 nm或50 nm•• 将钢尺带穿入铝壳中并在中心固定•• 含直线光栅尺和读数头读数头的安装方式

38

F
*
Ⓒ
Ⓢ
Ⓣ
1
2
3
4

= 机床导轨
= 工作期间的最大变化= 绝对式刻轨的起始值：100 mm= 测量长度（ML）的起点= 尺座长度= 光学中心线= M3螺纹配合孔；深度：5 mm= 读数头与尺带间的安装间隙= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

光栅尺

LIC 2107

精度等级

±15 µm测量基准线性膨胀系数
测量长度（ML）*，mm
重量

尺带
尺座

读数头

带绝对式刻轨的钢尺带Þtherm  10 · 10–6 K–1
120 320 520 770 1020 1220 1520 2020 2420 3020
（如果需要更大测量长度（达6020 mm），可按要求提供）
20 g/m70 g/m

LIC 211

接口EnDat 2.2

测量步距*

100 nm，50 nm

计算时间tcal
时钟频率 5 µs 16 MHz

细分误差

±2 µm

订购标识*

位宽

运动速度1)
电气连接*电缆长度•（海德汉电缆）供电电压

功率消耗1)（最大）电流消耗（典型值）振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms
工作温度
重量

读数头
电缆
连接件

EnDat2232 bit 600 m/min

LIC 219 F

LIC 219 M

Fanuc05

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

发那科串行接口Þi 三菱高速接口

LIC 219 P

松下串行接口LIC 219 Y

安川串行接口YEC07––

电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式） 100 m 50 m 30 m 50 m

DC 3.6 V至14 V

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 75 mA •（空载）

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息

39

LIC 2119，LIC 2199
绝对式直线光栅尺，测量长度达3 m•• 测量步距：100 nm或50 nm•• 钢尺带粘结在安装面上•• 含直线光栅尺和读数头

②

①

③

R

读数头的安装方式

②

②

F
*
Ⓒ
Ⓢ
Ⓛ
1
2
3

40

= 机床导轨
= 工作期间的最大变化= 绝对式刻轨的起始值：100 mm= 测量长度（ML）的起点= 尺带长度= 光学中心线= 读数头与尺带间的安装间隙= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

②

光栅尺

LIC 2109精度等级

±15 µm测量基准线性膨胀系数
测量长度（ML）*，mm

带绝对式刻轨的钢尺带Þtherm  10 · 10–6 K–1
120 320 520 770 1020 1220 1520 2020 2420 3020
（如果需要更大测量长度（达6020 mm），可按要求提供）
20 g/m重量读数头

LIC 211

接口EnDat 2.2

测量步距*

100 nm，50 nm

计算时间tcal
时钟频率 5 µs 16 MHz

细分误差

±2 µm

订购标识*

位宽

运动速度1)
电气连接*电缆长度•（海德汉电缆）EnDat2232 bit 600 m/min

 100 mDC 3.6 V至14 V电流消耗（典型值）

5 V时： 75 mA •（空载）

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms
工作温度
重量

读数头
电缆
连接件

LIC 219 M

Fanuc05

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

发那科串行接口Þi 三菱高速接口

LIC 219 P

松下串行接口LIC 219 Y

安川串行接口YEC07––

电缆（1 m或3 m）带8针M12连接器（针式）或15针D-sub接头（针式）供电电压

功率消耗1)（最大）LIC 219 F

 50 m 30 m 50 m

3.6 V时：  700 mW 3.6 V时：  850 mW
14 V时：  800 mW 14 V时：  950 mW

5 V时： 95 mA（空载）2 500 m/s （EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 18 g（无电缆）20 g/mM12连接器：15 g；D-sub接头：32 g* 请订购时选择
1)
参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息

41

LIP 382

超高精度增量式直线光栅尺•• 测量步距 < 1 nm•• 用螺栓固定测量基准①

VISIBLE LASER RADIATION

*
F
Ⓢ
Ⓜ
1

42

= 工作期间的最大变化= 机床导轨
= 测量长度（ML）的起点= 读数头的安装面= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

IEC60825-1:2007
Pmax = 5 mW
λ= 670 nm
CLASS 3B LASER PRODUCTLIP 382

Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅；栅距0.512 µm •Þtherm = (0 ±0.1) · 10–6 K–1

测量基准线性膨胀系数精度等级

± 0.5 μm（如需更高精度等级，可按要求提供）

测量长度（ML）*，mm

70

基线误差
参考点

截止频率

扫描频率*
边缘间距a

无

120

150

170

220

–3 dB

–
0.128 µm
 1 MHz–运动速度

 7.6 m/min

激光已安装的读数头和光栅尺：1级
非安装的读数头：3B级
使用的激光二极管：3B级

细分误差RMS位置信号噪音电缆长度

参见“接口”说明；然而 30 m（海德汉电缆）供电电压

DC 5 V ±0.25 V电流消耗振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms

重量±0.01 nm0.06 nm（1 MHz1)）电缆（0.5 m），连接接口电子电路（APE），用独立适配电缆（1 m/3 m/6 m/9 m）可连接APE

电气连接

工作温度

270

» 1 VPP

接口内部细分倍数信号周期

 ±0.075 µm/5 mm

读数头接口电子电路光栅尺电缆< 190 mA

   4 m/s2（EN 60068-2-6）
 50 m/s2（EN 60068-2-27）
0 °C至40 °C

150 g
100 g
ML 70 mm：260 g，ML  150 mm: 700 g
38 g/m* 请订购时选择
1)后续电子电路的截止频率为–3 dB

43

LIP 211，LIP 281，LIP 291
超高精度和优异位置稳定性的增量式直线光栅尺•• 测量步距达1 nm或更小•• 用于高运动速度和大测量长度•• 用安装架固定测量基准•• 含直线光栅尺和读数头




14.5



12.5

ISO 7984 – M3x6 ISO 7984 – M3x6
ISO 7092 – 3










距离r取决于尺带型号（标准：r= ML/2）


安装架对数n：（两端固定）成对安装架间的距离d：读数头的安装方式










F
Ⓡ
Ⓛ
Ⓢ
Ⓔ
Ⓐ
1
2
3
4

44

= 机床导轨
= 参考点位置= 光栅尺长度
= 测量长度（ML）的起点= 按照安装说明的要求粘结固定= 安装面= 硬性粘结剂的安装件，以定义热中性点= 螺栓头最大伸出量：0.5 mm= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致= 光学中心线

INVISIBLE LASER RADIATION
IEC60825-1:2007
Pmax = 4 mW
λ= 850 nm
CLASS 3B LASER PRODUCT光栅尺

LIP 201

精度等级*

±1 µm

Zerodur玻璃陶瓷基体的OPTODUR相位光栅；栅距2.048 µm
Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1

测量基准线性膨胀系数基线误差测量长度（ML）*，mm

参考点± 3 μm（如需更高精度等级，可按要求提供）

 ±0.125 µm/5 mm   20	   30	   50	   70	  120	  170	  220• 370	  420	  470	  520	  570	  620	  670270	  320	  370	  420	  470	  520	  570• 720	  770	  820	  870	  920	  970 1020
620	  670	  720	  770	  820	  870	  920• 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1840
970 1020
2040 2240 2440 2640 2840 3040
一个，在测量长度的中点位置
1.1 g + 0.11 g/mm测量长度

重量

读数头

LIP 21

LIP 29 F

LIP 29 M

LIP 28订购标识

EnDat22

Fanuc02

Mit02-4–

时钟频率 16 MHz–EnDat 2.21)

接口内部细分倍数

16384倍（14 bit）

计算时间tcal 5 µs

测量步距

信号周期
截止频率
运动速度

发那科串行接口1)

三菱高速接口1)–0.03125 nm（31.25 pm）

–3 dB

细分误差
RMS位置信号噪音–– 120 m/min±0.4 nm4)0.12 nm» 1 VPP––––

0.512 µm
 3 MHz 90 m/min
4)±0.4 nm0.12 nm（3 MHz3)）电气连接*电缆（0.5 m或1 m；1 VPP为2 m或3 m），接口电子电路在接头内（15针D-sub（针式））供电电压

DC 3.6 V至14 V

DC 5 V ±0.25 V

5 V时： 300 mA（空载，典型值） 390 mA

电缆长度

功率消耗2)（最大）电流消耗
激光参见接口说明；然而海德汉电缆为 15 m（1 VPP信号为 30 m)；
用PWM 21调整信号时：≤ 3 m

14 V时： 2500 mW；3.6 V时： 2600 mW已安装读数头和光栅尺：1级；未安装读数头：3B级

振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms

 200 m/s2（IEC 60068-2-6）
 400 m/s2（IEC 60068-2-27）

重量读数头：59 g；接头：140 g；电缆： 22 g/m

工作温度

–

0 °C至50 °C* 请订购时选择；测量长度< 70 mm时，建议采用“粘结式”固定
1)
在“位置值2”移过参考点后的绝对位置值2)
参见海德汉编码器接口样本中的一般电气信息
3)
4)后续电子电路的截止频率为–3 dB		海德汉接口电子电路

45

LIP 6071，LIP 6081
超高精度增量式直线光栅尺•• 用于有限安装空间应用•• 测量步距达1 nm•• 用于高运动速度和大测量长度•• 自带回零轨和限位开关检测位置•• 用粘膜或安装架固定测量基准光栅尺，机械固定

15±0.1(ML+10)±0.5

ISO 7984–M3x6

10





16



5







(ML+10)/2光栅尺，粘结固定

(ML+10)±0.5



10±2

16







1.15

可选：在电缆左侧出线

3



0.05



LE
0.13 A IKS
0.08 A RI*





6.85

17



ISO 7092–3

0.03 A IKS
0.02 A RI*

0.75±0.2±0.1 RI*

ISO 4762–M2.5x (a+4.9) - 8.8
ISO 7092–2.5


6.8±0.03(10.45) 机械固定(10.58) 粘结固定a

ISO 4762–M3x (a+6) - 8.8
4.9±0.1

0±0.2±0.1 RI*F = 机床导轨* = 工作期间的最大变化
IKS = 增量刻轨
RI = 参考点刻轨Ⓜ = 安装面Ⓛ = 光栅尺长度Ⓢ = 测量长度（ML）的起点Ⓖ = 定义热中性点的固定点Ⓡ = 参考点位置
1 = 光学中心线
2 = 读数头与光栅尺间的安装间隙；用间隔片调整
3 = 光栅尺限位面
4 = 根据测量长度（ML）使用另外一对安装架
5 = 胶带
6 = 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致
7 = 摩尔调整方式1：定位销，¬ 3m6，仅限安装方式Ⓘ
8 = 摩尔调整方式2：定位销，¬ 2m6
9 = 推荐：¬ 3
10 = 胶带（仅限粘结固定的光栅尺）

14.85

9

a
±0.1 RI*







LE
0.06 A IKS
0.04 A RI*

 0.75±0.2

46

M3



12.7

读数头的安装方式（图示中无安装架）>3.4

20.8±0.05

0±0.2±0.1 RI*26>R8

2.6±0.05

7.5

1.15

2.9±0.1

12.7

10

20.8

2.7

3.4

0.13±0.01

M2.5x52.6

0.05 B
0.01 B

IKS
RI*

7.5

读数头和光栅尺已机械固定/粘结固定10

2.6±0.05

(ML+10)/2

15±0.156.8±0.03(10.45) 机械固定(10.58) 粘结固定光栅尺

LIP 6001

精度等级*± 1 µm（仅适用于测量长度最大达1020 mm的Zerodur玻璃陶瓷光栅尺）；± 3 µm

测量长度（ML）*，mm   20	   30	   50	   70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  470	  520	  570•
620	  670	  720	  770	  820	  870	  920	  970 1020 1140 1240 1340 1440 1540
1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040

Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体的OPTODUR相位光栅；栅距：8 µm
Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1（Zerodur玻璃陶瓷）；Þtherm  8 · 10–6 K–1（玻璃）测量基准*线性膨胀系数基线误差

参考点

 ±0.175 µm/5 mm

一个，在测量长度的中点位置
1.1 g + 0.11 g/mm测量长度

重量

读数头

LIP 608

内部细分* •
信号周期

–
4 µm

扫描频率

TTL1)

» 1 VPP接口截止频率

LIP 607–3 dB

5倍
0.8 µm 1 MHz–10倍
0.4 µm25倍0.16 µm–

运动速度2)

 240 m/min -– 60 m/min–
   75 m/min  30 m/min
   75 m/min    37 m/min  15 m/min

电缆长度

–
–
 0.135 µs–
 0.07 µs
 0.135 µs±4 nm–
0.4 nm•（1 MHz3)）

 0.03 µs
 0.07 µs
 0.135 µs

 30 m/min  15 m/min  3 m/min
 15 m/min    7.5 m/min  1.5 m/min
   7.5 m/min    3.7 m/min  0.75 m/min

海德汉电缆：回零，限位：≤ 10 m；仅限增量式：≤ 20 m；•
用PWM 21调整信号时：≤ 3 m

供电电压

DC 5 V ±0.5 V电流消耗

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms

重量500倍
0.008 µm电缆在左侧或右侧出线，和直线或直角方向出线
1 VPP： 电缆（0.5 m/1 m/3 m）带15针D-sub接头（针式）TTL： 电缆（0.5 m或1 m），接口电子电路在15针D-sub接头（针式）接头内

电气连接*

工作温度

100倍
0.04 µm––≤ 250 kHz ≤ 125 kHz ≤ 62.5 kHz ≤ 12.5 kHz–≤ 312.5 kHz ≤ 125 kHz ≤   62.5 kHz ≤ 31.25 kHz ≤   6.25 kHz
 312.5 kHz ≤ 156.25 kHz ≤   62.5 kHz ≤   31.25 kHz ≤ 15.63 kHz ≤   3.13 kHz

边缘间距a

细分误差
RMS位置信号噪音

50倍
0.08 µm读数头
接头电缆 150 mA

2

 300 mA（空载）   500 m/s （IEC 60068-2-6）
 1000 m/s2（IEC 60068-2-27）–10 °C至70 °C

 5 g（无电缆）AK LIP 608  71 g；AK LIP 607  74 g
 24 g/m* 请订购时选择；测量长度< 70 mm时，建议采用“粘结式”固定
如果需要未锁的TTLx1，可按要求提供		 2) TTL：参考点回零期间的最高运动速度：16.8 m/min（70 kHz）
3)
后续电子电路的截止频率为–3dB
1)47

LIF 471，LIF 481

安装简单的增量式直线光栅尺•• 测量步距达2 nm•• 自带回零轨和限位开关检测位置•• 易于安装，粘结固定•• 含直线光栅尺和读数头•• 可提供高真空度版（参见产品信息文档）•• 接口电子电路在接头内

①

 4.5

40.1

33.3

UNC 4/40②

50* = 工作期间的最大变化F = 机床导轨
ML = 测量长度Ⓔ = 环氧胶，ML < 170
1 = 限位板尺寸
2 = 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

注意：

Produktinformation

LIF 471 V/481 V
Offenes Längenmessgerät
zum Einsatz im Hochvakuum

02/202148

有关真空版的更多信息，参见LIF
471 V/481 V“产品信息”文档。

注意：

Produktinformation

LIF 171
LIF 181
Inkrementale
Längenmessgeräte

07/2018有关距离编码参考点或更大测量长度，
参见LIF 171，LIF 181“产品信息”•
文档。

光栅尺

LIF 401 R

精度等级*± 1 µm（仅适用于测量长度最大1020 mm的Zerodur玻璃陶瓷光栅尺），± 3 µm

测量长度（ML）*，mm   70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  470	  520	  570	  620	  670720	  770	  820	  870	  920	  970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640

Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体的SUPRADUR相位光栅；栅距：8 µm
Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1（Zerodur玻璃陶瓷）Þtherm  8 · 10–6 K–1（玻璃）测量基准*线性膨胀系数基线误差

参考点

 ±0.225 µm/5 mm

一个，在测量长度的中点位置
0.8 g + 0.08 g/mm测量长度

重量

读数头

LIF 48

内部细分*
信号周期

–
4 µm

接口

截止频率

扫描频率*

–3 dB

LIF 47» 1 VPP

 TTL

 1 MHz––5倍
0.8 µm10倍0.4 µm20倍
0.2 µm50倍
0.08 µm

100倍0.04 µm

 500 kHz 250 kHz 125 kHz 250 kHz 125 kHz 62.5 kHz

 250 kHz 125 kHz 62.5 kHz

 100 kHz 50 kHz 25 kHz 50 kHz 25 kHz 12.5 kHz

边缘间距a

–

运动速度1)

 240 m/min

细分误差RMS位置信号噪音±12 nm–
0.6 nm (1 MHz2))

电气连接*
电缆长度

电流消耗

< 150 mA

工作温度
重量

读数头*
电缆
接头

 60 m/min
 30 m/min
 15 m/min

 0.040 µs
 0.080 µs
 0.175 µs

 60 m/min
 30 m/min
 15 m/min

 0.040 µs
 0.080 µs
 0.175 µs

 24 m/min
 12 m/min
 6 m/min

 0.040 µs
 0.080 µs
 0.175 µs

 12 m/min
 6 m/min
 3 m/min

详见接口描述，然而，•增量式：  30 m；带回零和限位专线：  10 m；（海德汉电缆）DC 5 V ±0.25 V

振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms

 120 m/min
 60 m/min
 30 m/min

 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

电缆（0.5 m/1 m/3 m）带15针D-sub接头（针式）；接口电子电路在接头内供电电压

功率消耗（最高） 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

读数头：130 mW；LIF 48接头：640 mW；LIF 47接头：720 mW（空载）< 165 mA（空载） 400 m/s2（EN 60068-2-6）
 500 m/s2（EN 60068-2-27）
0 °C至50 °C

Zerodur玻璃陶瓷光栅尺： 25 g
玻璃光栅尺： 9 g
38 g/m75 g* 请订购时选择
1)
TTL：回零期间的最高运动速度：9.6 m/min（40 kHz）
2)后续电子电路的截止频率为–3 dB

49

LIDA 473，LIDA 483
带限位开关的增量式直线光栅尺•• 测量步距达10 nm•• 玻璃或玻璃陶瓷测量基准•• 易于安装，粘结固定•• 含直线光栅尺和读数头读数头的安装方式

F
*

50

Ⓢ
Ⓡ
Ⓒ
Ⓛ
Ⓐ
Ⓜ
1
2
3
4

= 机床导轨
=	工作期间最大变化•（IKS：增量刻轨，RI：参考点刻轨）= 测量长度（ML）的起点= LIDA 4x3的参考点位置= LIDA 4x3 C的参考点位置= 光栅尺长度
= 限位开关的选择磁条= 读数头的安装面= 信号质量指示灯= 扫描间隙= 光栅尺限位面= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

光栅尺

LIDA 403

精度等级*± 1 µm（仅限Robax玻璃陶瓷），±3 µm，±5 µm

测量长度（ML）*，mm

240	  340	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440
2640，2840，3040（Robax玻璃陶瓷的最大测量长度为1640）

玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅；栅距：20 µmÞtherm  8 · 10–6 K–1（玻璃）Þtherm = (0 ±0.5) · 10–6 K–1（Robax玻璃陶瓷）

测量基准线性膨胀系数*基线误差 ±0.275 µm/10 mm

LIDA 4x3：一个位于测量长度的中点位置；LIDA 4x3 C：距离编码

参考点*

重量

3 g + 0.11 g/mm测量长度读数头LIDA 48

LIDA 47

–
20 µm

5倍
4 µm

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm 400 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 25 kHz 50 kHz 25 kHz 12.5 kHz

 25 kHz 12.5 kHz
 6.25 kHz 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 480 m/min
 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min

 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min
 30 m/min

 60 m/min
 30 m/min
 15 m/min

 30 m/min
 15 m/min
 7.5 m/min» 1 VPP

接口

内部细分*
信号周期

截止频率

扫描频率*

–3 dB

边缘间距a1)

运动速度

1)

 500 kHz–– 600 m/min±45 nm

细分误差

 TTL

–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs

限位开关

L1/L2带两个不同磁条；输出信号：TTL（无线性驱动器）电缆长度参见接口说明；然而，限制：  20 m（海德汉电缆）

电缆（0.5 m/1 m/3 m）带15针D-sub接头（针式）

电气连接
供电电压

DC 5 V ±0.5 V电流消耗

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms
工作温度
重量

读数头
电缆
接头

< 130 mA

< 150 mA（空载） 500 m/s2（EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

20 g（不含电缆）
22 g/m32 g* 请订购时选择
1)
相应截止频率或扫描频率时
Robax是位于德国Mainz的Schott-Glaswerke的注册商标51

LIDA 475，LIDA 485
增量式直线光栅尺，测量长度长达30 m•• 测量步距达10 nm•• 限位开关
•• 将钢尺带穿入铝壳中并拉紧•• 含直线光栅尺和读数头ML  2040

ML > 2040（例如5040）

读数头的安装方式= 光栅尺尺座用螺栓固定=	光栅尺尺座用PRECIMET固定= 机床导轨
=	工作期间最大变化•（IKS：增量刻轨，RI：参考点刻轨）P = 找正的测量点Ⓢ = 测量长度（ML）的起点Ⓡ = 参考点位置

Ô
Õ
F
*

52

Ⓐ
Ⓣ
Ⓩ
Ⓜ
1
2
3
4

= 限位开关的选择磁条= 尺座长度=	3040 mm或更大测量长度的间隔片= 读数头的安装面= 信号质量指示灯= 扫描间隙= 光栅尺限位面=	读数头的移动方向与位置值增加的•
方向一致

光栅尺

LIDA 405

精度等级

±5 µm

METALLUR光栅的钢带光栅尺；栅距：20 µm
取决于安装面测量基准线性膨胀系数基线误差测量长度（ML）*，mm140	  240	  340	  440	  540	  640	  740	  840	  940 1040 1140 1240 1340 1440
1540 1640 1740 1840 1940 2040
用单条尺带和各尺座可达更大测量长度（至30 040 mm）

参考点

一个，在测量长度的中点位置
115 g + 0.25 g/mm测量长度

重量

读数头

LIDA 48» 1 VPP

接口

内部细分*
信号周期

截止频率

扫描频率*

–3 dB

边缘间距a1)

运动速度

 ±0.750 µm/50 mm（典型值）

1)

–
20 µm

 500 kHz–– 600 m/min±45 nm细分误差

LIDA 47

 TTL

5倍
4 µm

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm 400 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 25 kHz 50 kHz 25 kHz 12.5 kHz

 25 kHz 12.5 kHz
 6.25 kHz 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 480 m/min
 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min

 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min
 30 m/min

 60 m/min
 30 m/min
 15 m/min

 30 m/min
 15 m/min
 7.5 m/min–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs

限位开关

L1/L2带两个不同磁条；输出信号：TTL（无线性驱动器）电缆长度参见接口说明；然而，限制：  20 m（海德汉电缆）

电缆（0.5 m/1 m/3 m）带15针D-sub接头（针式）

电气连接
供电电压

DC 5 V ±0.5 V电流消耗

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms
工作温度
重量

读数头
电缆
接头

* 请订购时选择
1)
相应截止频率或扫描频率时< 130 mA

< 150 mA（空载） 500 m/s2（EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

20 g（不含电缆）
22 g/m32 g

53

LIDA 477，LIDA 487
增量式直线光栅尺，测量范围可达6 m•• 测量步距达10 nm•• 限位开关
•• 将钢尺带穿入粘性铝壳中并在中心固定•• 含直线光栅尺和读数头ML  2040（例如，840）

ML > 2040（例如，5040）

读数头的安装方式

F*

54= 机床导轨
=	工作期间最大变化•（IKS：增量刻轨，RI：参考点刻轨）P = 找正的测量点Ⓢ = 测量长度（ML）的起点Ⓡ = 参考点位置Ⓐ = 限位开关的选择磁条

Ⓣ
Ⓜ
1
2
3
4

= 尺座长度= 读数头的安装面= 信号质量指示灯= 扫描间隙= 光栅尺限位面=	读数头的移动方向与位置值•增加的方向一致光栅尺

LIDA 407

精度等级*±3 µm（至ML 1040）；±5 µm（ML 1240或更大测量长度），±15 µm1)

METALLUR光栅的钢带光栅尺；栅距：20 µmÞtherm  10 · 10–6 K–1

测量基准线性膨胀系数基线误差测量长度（ML）*，mm
参考点240	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840
3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 4440 4640 4840 5040 5240 5440 5640
5840 6040
一个，在测量长度的中点位置
25 g + 0.1 g/mm测量长度

重量

读数头

LIDA 48» 1 VPP

接口

内部细分*
信号周期

截止频率

扫描频率*

边缘间距a2)

运动速度

 ±0.750 µm/50 mm（典型值）

2)

–3 dB

–
20 µm

 500 kHz–– 600 m/min±45 nm细分误差

LIDA 47

 TTL

5倍
4 µm

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm 400 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 25 kHz 50 kHz 25 kHz 12.5 kHz

 25 kHz 12.5 kHz
 6.25 kHz 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 480 m/min
 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min

 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min
 30 m/min

 60 m/min
 30 m/min
 15 m/min

 30 m/min
 15 m/min
 7.5 m/min–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs

限位开关

L1/L2带两个不同磁条；输出信号：TTL（无线性驱动器）电缆长度参见接口说明；然而，限制：  20 m（海德汉电缆）

电缆（0.5 m/1 m/3 m）带15针D-sub接头（针式）

电气连接
供电电压

DC 5 V ±0.5 V电流消耗

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms
工作温度
重量

读数头
电缆
接头

< 130 mA

< 150 mA（空载） 500 m/s2（EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

20 g（不含电缆）
22 g/m32 g* 请订购时选择
1)
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm
2)相应截止频率或扫描频率时55

LIDA 479，LIDA 489
增量式直线光栅尺，测量范围可达6 m•• 测量步距达10 nm•• 限位开关
•• 钢尺带粘结在安装面上•• 含尺带和读数头

读数头的安装方式

F
*

Ⓢ
Ⓡ
Ⓛ
Ⓐ
Ⓜ
1
2
3
4

56

= 机床导轨
=	工作期间最大变化•（IKS：增量刻轨，RI：参考点刻轨）= 测量长度（ML）的起点= 参考点位置= 尺带长度= 限位开关的选择磁条= 读数头的安装面= 信号质量指示灯= 扫描间隙= 尺带限位面= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

光栅尺

LIDA 409

精度等级*±3 µm，±15 µm1)

METALLUR光栅的钢带光栅尺；栅距：20 µmÞtherm  10 · 10–6 K–1

测量基准线性膨胀系数基线误差测量长度（ML）*，mm
参考点

 ±0.750 µm/50 mm（典型值）
70
420

120
520

170
620

220
720

270
820

320	  370• 尺带长度可自由裁剪：2 m，4 m，6 m
920 1020
每50 mm3)

一个，在测量长度的中点位置

重量31 g/m读数头

LIDA 48

LIDA 47

–
20 µm

5倍
4 µm

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm 400 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 200 kHz 100 kHz 50 kHz 25 kHz 50 kHz 25 kHz 12.5 kHz

 25 kHz 12.5 kHz
 6.25 kHz 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 0.080 µs
 0.175 µs
 0.370 µs

 480 m/min
 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min

 240 m/min
 120 m/min
 60 m/min
 30 m/min

 60 m/min
 30 m/min
 15 m/min

 30 m/min
 15 m/min
 7.5 m/min» 1 VPP

接口

内部细分*
信号周期

截止频率

扫描频率*

边缘间距a2)

运动速度

2)

–3 dB

 500 kHz–– 600 m/min±45 nm

细分误差

 TTL

–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs–

 0.100 µs
 0.220 µs
 0.465 µs
 0.950 µs

限位开关

L1/L2带两个不同磁条；输出信号：TTL（无线性驱动器）电缆长度参见接口说明；然而，限制：  20 m（海德汉电缆）

电缆（0.5 m/1 m/3 m）带15针D-sub接头（针式）

电气连接
供电电压

DC 5 V ±0.5 V电流消耗

振动55 Hz至2000 Hz
冲击6 ms
工作温度
重量

读数头
电缆
接头

< 130 mA

< 150 mA（空载） 500 m/s2（EN 60068-2-6）
 1000 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

20 g（不含电缆）
22 g/m32 g* 请订购时选择
1)
在后续电子电路中进行线性长度误差补偿后为±5 µm
2)相应截止频率或扫描频率时3)
工作期间只能使用一个参考点。推荐：选用LIDA 4xR专用读数头

57

LIDA 277，LIDA 287
允许较大安装公差的增量式直线光栅尺•• 测量步距达100 nm•• 尺带长度可自由裁剪
•• 将钢尺带穿入粘性铝壳中并固定•• 自带三色LED信号质量指示灯•• 含直线光栅尺和读数头读数头的安装方式

*
F
Ⓡ
Ⓛ
Ⓢ
1
2
3
4
5
6

= 工作期间的最大变化= 机床导轨
= 参考点= 尺带长度= 测量长度（ML）的起点= LED（带安装情况检查功能）= 两端螺纹
= 相对读数头参考点的位置= 尺带与读数头间的安装间隙= M3螺纹配合孔；深度：5 mm= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

参考点：
k = 所选参考点距测量长度起点的任何位置（取决于裁剪长度）

58

光栅尺

LIDA 207精度等级

±15 µm测量基准线性膨胀系数尺带长度可自由裁剪*
参考点
重量

尺带
尺座

钢尺带；栅距：200 µm
therm  10 · 10–6 K–1
3 m，5 m，10 m
每100 mm可选
20 g/m70 g/m读数头

LIDA 28

LIDA 27

内部细分*
信号周期

–
200 µm

10倍
20 µm

接口

截止频率
扫描频率
边缘间距a

运动速度

细分误差

电气连接*
电缆长度
供电电压
振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms

重量 50 kHz–– 600 m/min
±2 µm

读数头
电缆
接头

* 请订购时选择

« TTL–
 50 kHz 0.465 µs
–

50倍
4 µm

100倍
2 µm

 300 m/min

 150 m/min–
 25 kHz 0.175 µs–
 12.5 kHz 0.175 µs

电缆（1 m或3 m）带15针D-sub接头（针式）参见“接口”说明；然而 30 m（海德汉电缆）DC 5 V ±0.25 V

电流消耗

工作温度

» 1 VPP< 155 mA

< 140 mA（空载） 200 m/s2（EN 60068-2-6）
 500 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

20 g（不含电缆）
30 g/m32 g

59

LIDA 279，LIDA 289
允许较大安装公差的增量式直线光栅尺•• 测量步距达100 nm•• 尺带长度可自由裁剪
•• 钢尺带粘结在安装面上•• 自带三色LED信号质量指示灯•• 含直线光栅尺和读数头读数头的安装方式

*
F
Ⓡ
Ⓛ
Ⓢ
1
2
3
4
5
6
7

= 工作期间的最大变化= 机床导轨
= 参考点= 尺带长度= 测量长度（ML）的起点= LED（带安装情况检查功能）= 两端螺纹
= 相对读数头参考点的位置
= 胶带
= 钢尺带
= 尺带与读数头间的安装间隙= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致

参考点：
k = 所选参考点距测量长度起点的任何位置（取决于裁剪长度）j = 其它参考点之间相距n x 100 mm

60

光栅尺

LIDA 209精度等级

±15 µm测量基准线性膨胀系数尺带长度可自由裁剪*
参考点

钢尺带；栅距：200 µm
therm  10 · 10–6 K–1
3 m，5 m，10 m
每100 mm可选
20 g/m

重量读数头

LIDA 28

LIDA 27

内部细分*
信号周期

–
200 µm

10倍
20 µm

接口

截止频率
扫描频率
边缘间距a

运动速度

细分误差

电气连接*
电缆长度
供电电压
振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms

重量 50 kHz–– 600 m/min
±2 µm

读数头
电缆
接头

* 请订购时选择

« TTL–
 50 kHz 0.465 µs
–

50倍
4 µm

100倍
2 µm

 300 m/min

 150 m/min–
 25 kHz 0.175 µs–
 12.5 kHz 0.175 µs

电缆（1 m或3 m）带15针D-sub接头（针式）参见“接口”说明；然而 30 m（海德汉电缆）DC 5 V ±0.25 V

电流消耗

工作温度

» 1 VPP< 155 mA

< 140 mA（空载） 200 m/s2（EN 60068-2-6）
 500 m/s2（EN 60068-2-27）–10 °C至70 °C

20 g（不含电缆）
30 g/m32 g

61

PP 281 R

二维增量式编码器
•• 测量步距1 µm至0.05 µm

①

③

③

*
F
Ⓡ
1
2
3

62

= 工作期间的最大变化= 机床导轨
= 相对图中中心位置的参考点位置= 安装时的调整= 光栅端= 读数头的移动方向与位置值增加的方向一致



②

PP 281 R

玻璃基体的二维TITANID相位光栅；栅距：8 µm
Þtherm  8 · 10–6 K–1

测量基准线性膨胀系数

精度等级

±2 µm

参考点1)

每轴一个参考点，位于测量长度起点位置后的3 mm处

68 mm x 68 mm，
如果需要其它测量区尺寸，可按要求提供测量区» 1 VPP

接口

信号周期
截止频率

–3 dB

运动速度

细分误差
RMS位置信号噪音4 µm

 300 kHz 72 m/min±12 nm3)
2 nm（450 kHz2)）电气连接电缆（0.5 m）带15针D-sub接头（针式）；接口电子电路在接头内供电电压DC 5 V ±0.25 V电缆长度

参见“接口”说明；然而 30 m（海德汉电缆）电流消耗

振动55 Hz至2000 Hz
冲击11 ms
工作温度
重量

1)

读数头
二维栅盘
电缆
接头

<185 mA，每轴

   80 m/s2（EN 60068-2-6）
 100 m/s2（EN 60068-2-27）
0 °C至50 °C

170 g（不含电缆）
75 g
37 g/m
140 g

参考点信号偏离接口技术参数中的零点宽度K、L（参见安装说明）
后续电子电路的截止频率为–3 dB
3)带海德汉接口电子电路（例如EIB 741）
2)

63

接口
» 1 VPP增量信号» 1 VPP输出信号的海德汉编码器提供
可高倍频细分的电压信号。

正弦增量信号A与B之间的相位差为90°电
子角，典型幅值为1 VPP。图示的输出信号
顺序－信号B滞后A－适用于图示的运动方向。

信号周期360°电子角

参考点信号R唯一地确定增量信号位置。
输出信号可能略低于参考点信号。

其它信号波形（额定值）
A、B、R测量值为示波器用差分测量的结果

更多信息：

有关所有可用接口的详细说明和一般•
电气信息，请参见海德汉编码器接口•样本。

« TTL增量信号« TTL输出信号的海德汉编码器自带正
弦扫描信号的数字化电子电路，分为带和不带细分电路两大类。

故障

信号周期360º电子角增量信号以相位差为90º电子角的系列方波脉冲信号Ua1和Ua2进行传输。参考点信号包括一个或多个参考脉冲Ua0，它由增
量信号触发。此外，内置的电子电路还生
成其反相信号¢，£和¤，实现无噪
声信号传输。图示的输出信号顺序－信号
Ua2滞后Ua1－适用于图示运动方向。

4倍频处理后的测量步距

反相信号¢，£，¤未图示

故障检测信号¥代表故障状态，如电源断线或光源失效等。

增量信号Ua1和Ua2的两个相邻沿间的距离
通过1倍频、2倍频或4倍频处理后得到一个测量步距。

64

更多信息：

有关所有可用接口的详细说明和一般•
电气信息，请参见海德汉编码器接口•
样本。

限位开关
LIDA 400系列光栅尺均配有两个用于检测
行程终点位置和确认回零路径的限位开关。
限位开关由不同的粘性磁条触发，可以精确地切换左限位开关或右限位开关。可成
串地配置磁条使其成为回零轨。限位开关
L1和L2的信号均通过单独导线传输，因此，可被后续电子电路直接读取和使用。
而且，电缆直径很小，只有3.7 mm，可以最大限度减小移动部件的受力。

更多信息：

有关所有可用接口的详细说明和一般电气信息，请参见海德汉编码器接口样本。

增量信号均符合1 VPP或TTL接口要求。

位置检测LIF 4x1和LIP 60x1编码器不仅含增量式
光栅，还提供回零轨和限位检测的限位开关。

位置检测H（高）和L（低）的信号在单独
的H和L导线中用TTL电平传输，因此，可被后续电子电路直接读取和使用。电缆直
径很小，只有4.5 mm（LIF 4x1）或3.7 mm•（LIP 60x1），最大限度地减小机床运动
部件的受力。

更多信息：

有关所有可用接口的详细说明和一般•
电气信息，请参见海德汉编码器接口•样本。

增量信号均符合1 VPP或TTL接口要求。

65

接口针脚编号（1 VPP/TTL）
LIDA

15针D-sub接头

4

« TTL
» 1 VPP
2)

UP
棕色/•
绿色

12

电源

传感
器4)
5V

蓝色

2

0V
白色/•
绿色

10

传感
4)
器
0V

白色

1

9

Ua1

¢

棕色

绿色

A+

A–

增量信号

3

11

Ua2

£

灰色

粉色

B+

B–

14

Ua0

7

13



¥

红色

R–

黑色

分配

R+

8

紫色

1)

其它信号
6

15

L13)

L23)

PWT1)

绿色/•
黑色

黄色/•
黑色

黄色

5

空

分配

空

15

5

/

为PWT转换TTL/11 µAPP连接电缆的颜色定义3)
仅适用于LIDA 400
4)
LIDA 200：空电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。

2)

LIF和LIP 6000
15针D-sub接头« TTL» 1 VPP
2)

4

12

电源

2

10

1

9

UP

传感器
5V

0V

传感器
0V

Ua1

¢

棕色/•
绿色

蓝色

白色/•
绿色

白色

棕色

绿色

A+

电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。

A–

增量信号

3

11

Ua2

£

灰色

粉色

B+

B–

14

Ua0

7

13



¥

红色

R–

黑色

分配

R+

1)

8

紫色

其它信号
6

H3)

L3)

PWT1)

绿色/•
黑色

黄色/•
黑色

黄色

分配

空

空
/

为PWT转换TTL/11 µAPP连接电缆的颜色定义3)
仅适用于LIP 6000/LIF 400
2)

更多信息：

有关电缆的更多信息，请参见电缆和•
接头样本。

66

LIP 281和PP 281 R
15针D-sub接头» 1 VPP
2)

4

12

电源

2

10

1

9

增量信号

3

11

7

13

UP

传感器
5V

0V

传感器
0V

A+

A–

B+

B–

R+

R–

棕色/•
绿色

蓝色

白色/•
绿色

白色

棕色

绿色

灰色

粉色

红色

黑色

5

6/8

红色/•
黑色

/

已
分配1)
空3)

紫色

/

15

已
分配1)
空3)
黄色

仅适用于调试；严禁用于正常工作连接电缆的颜色定义3)
PP 281 R
2)可选配置：LIDA 400
12针M23连接器

12

已
分配1)
空3)

1)

电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。

12针M23接头

2

电源

10

11

5

6

« TTL

UP

传感器
UP

0V

传感器
0V

Ua1

¢

2)

棕色/•
绿色

蓝色

白色/•
绿色

白色

棕色

绿色

» 1 VPP

14

其它信号

电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。

A+

A–

增量信号

8

1

Ua2

£

灰色

粉色

B+

B–

1)

2)

3

其它信号

Ua0

4

7



¥

红色

R–

黑色

L1

R+

紫色

9

PWT1)
L2

黄色

为PWT转换TTL/11 µAPP连接电缆的颜色定义

更多信息：

有关电缆的更多信息，请参见电缆和•
接头样本。

67

接口
位置值
订购标识

指令集

EnDat 2.1或EnDat 2.2

EnDat01
EnDat21
EnDat02

EnDat 2.2

EnDat接口的版本

绝对式编码器无后续电子电路» 1 VPP A*» 1 VPP B*

绝对位置值

工作参数

工作状态

EnDat针脚编号
8针M12连接器

无

增量信号*

更多信息：

有关所有可用接口的详细说明和一般•
电气信息，请参见海德汉编码器接口•
样本。

有

有

EnDat 2.2

EnDat22

增量信号

EnDat接口EnDat接口是一种用于编码器数字式的全双向同步串行接口。它被用于传输位置
值，读取和更新保存在编码器中的信息，或在编码器中保存新信息。由于采用串行
数据传输方式，它仅需四条信号线。数据（DATA）与后续电子电路的CLOCK时钟
信号同步传输。传输的数据类型（位置值、参数或诊断信息等）由后续电子电路发至编码器的模式指令选择。有些功能仅用于EnDat 2.2模式指令。

编码器制造商参数

OEM厂商•
参数

EnDat 2.1*) 取决于设备

EnDat 2.2

15针D-sub接头

8

4

UP
棕色/绿色

2

电源

12

传感器
UP
蓝色

电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。

5

2

0V
白色/绿色

1

3

传感器
0V

10

白色

串行数据传输

4

7

DATA

DATA

CLOCK

CLOCK

灰色

粉色

紫色

黄色

5

13

8

更多信息：

6

15

有关电缆的更多信息，请参见电缆和•
接头样本。

68

发那科和三菱针脚编号发那科针脚编号
型号标识后面有字母F的海德汉编码器•
表示用于连接发那科控制和驱动系统。

发那科串行接口 – i接口订购标识：Fanuc05高速，一对传输•
含Þ接口（正常速度和高速，两对传输）发那科针脚编号
8针M12连接器

有关电缆的更多信息，请参见电缆和•接头样本。

15针D-sub接头

8

4

UP
棕色/绿色

2

电源

12

传感器
UP

0V

蓝色

三菱针脚编号型号标识后面有字母M的海德汉编码器表
示用于连接三菱控制和驱动系统。

52电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。

白色/绿色

1

10

传感器
0V
白色

8针M12连接器

串行数据传输

3

4

5

13

灰色

粉色

Serial Data Serial Data

7

8

6

15

RequestRequest紫色

黄色•• 订购标识：Mit02-2•
第1代，两线传输
•• 订购标识：Mit03-4•
第2代，四线传输

三菱高速接口•• 订购标识：Mitsu 01•四线传输•• 订购标识：Mit02-4•
第1代，四线传输

三菱针脚编号

15针D-sub接头8Mit03-4

更多信息：

4

UP

Mit02-2
棕色/绿色

2

电源

12

5

2

传感器
UP

0V

蓝色

白色/绿色

电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。

1

10

传感器
0V

白色

3

串行数据传输

4

5

13

空

空

灰色

粉色

Serial Data Serial Data

7

8

RequestFrame

Request/
Data
紫色

6

15

RequestFrame

Request/
Data
黄色

69

松下和安川针脚编号
松下针脚编号
如果在海德汉编码器型号标识后含字母P，表示该产品用于连接松下控制和驱动
系统。

更多信息：

有关电缆的更多信息，请参见电缆和•接头样本。

•• 订购标识：Pana01

松下针脚编号
8针M12连接器

15针D-sub接头

8
4

UP
棕色/绿色

2

电源

12

5

2

传感器
UP

0V

蓝色

电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。
1)
PWM 21调整/测试所需

白色/绿色

1

3

传感器
0V

10

白色

4

7

空1)

空1)

灰色

粉色

RequestData

5安川针脚编号
在海德汉编码器型号标识后，字母Y表示
用于连接安川控制和驱动系统。

13

8

紫色

6

15

Request
Data
黄色

更多信息：

有关电缆的更多信息，请参见电缆和•接头样本。

•• 订购标识：YEC07

安川针脚编号
8针M12连接器

15针D-sub接头

8
4

UP
棕色/绿色

2

电源

12

传感器
UP
蓝色

电缆屏蔽层连接外壳；UP = 电源电压传感器：传感线在编码器内连接相应的电源线。
禁止使用空针脚或空线。
1)
PWM 21调整/测试所需70

串行数据传输

5

2

0V
白色/绿色

1

3

传感器
0V

10

白色

串行数据传输

4

7

空1)

空1)

Data

Data

灰色

粉色

紫色

黄色

5

13

8

6

15

调试和诊断设备海德汉编码器提供全部信息，满足编码器
调试、监测和诊断要求。提供的信息类型
取决于增量式或绝对式编码器以及所用的接口。

增量式编码器主要使用1 VPP、TTL或HTL
接口。TTL和HTL信号的编码器在内部监
测信号幅值并生成简单的故障检测信号。
对于1 VPP信号，只能用外部测试设备或在后续电子电路（模拟诊断接口）中通过计
算分析输出信号。
绝对式编码器用串行方式传输数据。根据接口类型，可输出1 VPP的附加增量信号。
在编码器内广泛地监测这些信号。监测结
果（特别是有效数据）与位置值一起通过
串行接口（数字诊断接口）传输给后续电子电路。提供以下信息：•• 出错信息：位置值不可靠•• 警告：已达到编码器的内部功能极限•• 有效数据：–– 有关编码器功能冗余的详细信息–– 所有海德汉编码器的统一标度–– 可周期地读取
后续电子电路只需极少资源就能评估编码
器的当前状态，包括在闭环工作中。

用PWM 21和ATS软件诊断为分析这些编码器，海德汉提供相应的
PWM检测仪和PWT测试设备。根据这些设备的连接方式，可进行两种类型的诊断：•• 编码器诊断：直接将编码器连接检测和测试仪，因此，可以详细地分析编码器功能。
•• 在控制环中诊断：将PWM测试仪接入闭
环控制系统中（例如通过适当的测试适配接头）。因此能在工作中实时诊断机
床或系统。可用的功能范围取决于接口。

用PWM 21和ATS软件调试

71调试和诊断设备PWM 21
PWM 21相位角测量仪和所含的ATS调试和测试软件是一套调试和测试套件，•可诊断和调试海德汉编码器。

编码器输入

PWM 21•• EnDat 2.1或EnDat 2.2（带或不带增量信号的绝对值）•• DRIVE-CLiQ•• 发那科串行接口•• 三菱高速接口•• 安川串行接口•• SSI•• 1 VPP/TTL/11 µAPP

接口

USB 2.0

尺寸

258 mm x 154 mm x 55 mm

供电电压

语言
功能
更多信息，参见PWM 21/ATS软件产品•
信息文档。
系统要求和建议AC 100 V至240 V或DC 24 VATS德语或英语（可选）•• 位置显示
•• 连接对话
•• 诊断•• EBI/ECI/EQI、LIP 200、LIC 4100等其它编码器的•安装向导•• 其它功能（如果编码器支持）•• 存储器内容

PC（双核处理器 > 2 GHz）
RAM > 2 GB
操作系统：Windows XP、Vista、7（32-bit/64-bit）、•
8、10
200 MB以上可用硬盘空间

DRIVE-CLiQ是西门子公司的注册商标PWT 101
PWT 101是测试设备，用于测试和调试海德汉增量式和绝对式编码器的功能。PWT101结构紧凑、坚固耐用，是便携式应用的理想选择。

编码器输入仅限海德汉编码器

显示屏

供电电压
工作温度

防护等级EN 60529
尺寸72

PWT 101•• EnDat•• 发那科串行接口•• 三菱高速接口•• 松下串行接口•• 安川串行接口•• 1 VPP（带Z1刻轨）•• 1 VPP•• 11 µAPP•• TTL
4.3英寸触控屏DC 24 V
功率消耗：最大15 W
0 °C至40 °C
IP20

约145 mm x 85 mm x 35 mm

接口电子电路

海德汉公司的接口电子电路将编码器信号调整为可连接后续电子电路接口的信号。
用于后续电子电路不能直接处理海德汉编码器的输出信号或另外需要细分信号时。

接口电子电路的输入信号
海德汉接口电子电路可连接以下正弦信号
的编码器：1 VPP（电压信号）或11 µAPP•（电流信号）。EnDat或SSI串行接口的编
码器也能连接不同的接口电子电路。
接口电子电路输出信号
接口电子电路为后续电子电路提供以下接口：•• TTL方波脉冲信号•• EnDat 2.2•• DRIVE-CLiQ•• 发那科串行接口•• 三菱高速接口•• 安川串行接口•• PROFIBUS

盒式

接头式

正弦输入信号的细分
接口电子电路进行信号转换和细分编码器
的正弦信号。因此，可以细分测量步距和
提高控制质量和优化定位特性。
位置值的形成部分接口电子电路带计数功能。从最后一个设定参考点开始，每当读数头通过参考点时，就会生成一个绝对位置值并输出给后续电子电路。

集成板卡

顶盖安装轨

73

输出

接口

« TTL

数量

1

输入

接口

» 1 VPP数量1

结构 – 防护等级IP

插补1)或细分

型号

盒式 – IP65

5/10倍

IBV 101

无细分

IBV 600

插头式 – IP40

集成板卡 – IP00
» 11 µAPP« TTL/•» 1 VPP（可调）

2

EnDat 2.2

1

DRIVE-CLiQ
发那科串行•
接口

三菱高速接口安川串行接口1
1

1

1

PROFIBUS DP 1
1)2)

» 1 VPP» 1 VPPEnDat 2.2

» 1 VPP» 1 VPPEnDat 2.22)

11

盒式 – IP65
集成板卡 – IP00
盒式 – IP651盒式 – IP652盒式 – IP65

1

1
2
1
2
1

EnDat 2.1； EnDat 2.2 1

插头式 – IP40

25/50/100/200/400倍

5/10/20/25/50/100倍
5/10倍

20/25/50/100倍
5/10倍

20/25/50/100倍
5倍
2件

5/10倍

5/10倍和•20/25/50/100倍

IBV 102
IBV 660 B
APE 371
IDP 181
IDP 182

EXE 101
EXE 102
IDP 101

IBV 6072
IBV 6172
IBV 6272

 16384倍细分

EIB 192

 16384倍细分

EIB 1512

 16384倍细分

EIB 392

盒式 – IP65–

EIB 2391 S

插头式 – IP40

 16384倍细分

EIB 392 F

盒式 – IP65

 16384倍细分盒式 – IP65
盒式 – IP65

 16384倍细分
 16384倍细分插头式 – IP40

 16384倍细分插头式 – IP40–

盒式 – IP65
顶盖安装轨

可切换
仅适用于测量步距为5 nm的LIC 4100，或者测量步距为50 nm或100 nm的LIC 2100

74

20/25/50/100倍

 16384倍细分
–EIB 192 F

EIB 1592 F
EIB 192 M
EIB 392 M

EIB 1592 M
EIB 3391 Y

PROFIBUS
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