SG24-378-002J

ビームプロファイラ & オートコリメータ

Smart ProCo H650 シリーズ
ユーザーズマニュアル

このたびは、本製品をご購入いただきありがとうございます。
お使いになる前に、このマニュアルをよくお読みください。
お読みになった後は、必要なときにいつでも読めるように、大切に保管してください。

目次
はじめに .......................................................................................................... 60.

定義(用語・略語) .................................................................................... 7

1.

安全にご使用いただくために‐使用上の注意 ......................................... 8

1.1

本書で取り扱う警告ラベル ...................................................................................... 8

1.2

本製品の取り扱いについて ...................................................................................... 8

1.3

使用にあたっての注意 ............................................................................................. 9

1.3.1 使用周辺照度について ............................................................................................................... 9
1.3.2 電源 ............................................................................................................................................ 9
1.3.3 分解/改造 ................................................................................................................................... 9
1.3.4 ゴミ、ホコリの影響について .................................................................................................... 9
1.3.5 振動の影響について ................................................................................................................... 9
1.3.6 空気揺らぎの影響について ...................................................................................................... 10
1.3.7 防水・防爆 ............................................................................................................................... 10
1.3.8 異常時の処置............................................................................................................................ 10
1.3.9 修理対応 ................................................................................................................................... 10
1.3.10 本製品の破棄............................................................................................................................ 10
1.3.11 残留リスクについて ................................................................................................................. 11

1.4

レーザ製品を安全にご使用いただくために ............................................................ 11

1.4.1 本製品と対応するレーザクラスについて ................................................................................ 11
1.4.2 レーザクラスの識別ラベルと警告ラベルについて ................................................................. 122.

準備する ................................................................................................ 13

2.1

機能と特徴 ..............................................................................................................132.2

梱包物の確認...........................................................................................................15

2.3

本製品の仕様概要 ...................................................................................................15

2

2.4

本製品の外形図 .......................................................................................................16

2.5

本製品の各部の名称と機能 .....................................................................................17

2.6

システム構成例 .......................................................................................................182.7

構成に必要な部品 ...................................................................................................182.8

本製品の設置方法（例） .........................................................................................192.9

内部光源用電源の接続方法 .....................................................................................202.10

PC と接続する .....................................................................................................20

2.11

ソフトウェア‐

Suruga OptGauge のインストール ......................................212.11.1 ソフトウェア許諾 .................................................................................................................... 21
2.11.2 インストール PC の推奨動作環境 ........................................................................................... 22
2.11.3 本ソフトウェアをインストール .............................................................................................. 23

2.12電源を投入する ....................................................................................................29

設定する ................................................................................................ 30

3.
3.1

本製品の使用上の注意と設定（設置）方法 ............................................................30

3.1.1 反射角度測定をする場合 ......................................................................................................... 30
3.1.2 外部入射光を測定する場合 ...................................................................................................... 32

3.2

本ソフトウェア ‐メイン画面の各部名称と機能‐................................................33

3.2.1 メイン画面詳細 ........................................................................................................................ 34

3.3

機能の詳細（とパラメータの詳細設定） ................................................................38

3.3.1 Angle View ............................................................................................................................... 38
3.3.2 Profile View .............................................................................................................................. 58

3.4

オプション画面の各部名称と機能 ..........................................................................64

3.4.1 測定オプションの設定詳細 ...................................................................................................... 65

3

3.5

オプションリスト ...................................................................................................75

3.5.1 オプションリストの切り替え .................................................................................................. 75
3.5.2 オプションリストの登録 ......................................................................................................... 76
3.5.3 オプションリストの削除 ......................................................................................................... 77

測定する ................................................................................................ 784.
4.1

測定方法の概要 .......................................................................................................78

4.1.1 Angle ........................................................................................................................................ 78
4.1.2 Profile ....................................................................................................................................... 78

外部機器から制御する........................................................................... 79

5.
5.1

RS232C ...................................................................................................................79

5.1.1 通信仕様 ................................................................................................................................... 79
5.1.2 接続イメージ............................................................................................................................ 80
5.1.3 コマンド通信設定方法 ............................................................................................................. 81

5.2

TCP/IP ...................................................................................................................82

5.2.1 通信仕様 ................................................................................................................................... 82
5.2.2 接続イメージ............................................................................................................................ 83
5.2.3 コマンド通信設定方法 ............................................................................................................. 85

5.3

コマンド一覧...........................................................................................................90

5.3.1 読み出しコマンド一覧 ............................................................................................................. 90
5.3.2 書き込みコマンド一覧 ............................................................................................................. 94
5.3.3 実行コマンド一覧 .................................................................................................................... 98

5.4

読み出しコマンド ...................................................................................................98

5.4.1 コマンドフォーマット ............................................................................................................. 98

5.5

書き込みコマンド ................................................................................................. 119

5.5.1 コマンドフォーマット ........................................................................................................... 119

5.6

実行コマンド.........................................................................................................138

5.6.1 コマンドフォーマット ........................................................................................................... 138

4

5.7

6.

通信エラー ............................................................................................................138

システムログ ....................................................................................... 139

6.1

システムログ一覧 .................................................................................................139

6.2

エラーメッセージと対策 .......................................................................................140

7.

本製品とアクセサリの仕様詳細 .......................................................... 141

7.1

本製品の仕様.........................................................................................................1417.2

AC アダプタの電気仕様 ........................................................................................142

7.3

本製品とケーブルの電気仕様................................................................................1428.

故障かな？と思ったらよくある質問 ................................................ 143

症状と対処法 ..................................................................................................................1439.

保証について ― アフターサービス ................................................ 144

9.1

保証規定と範囲 .....................................................................................................144

9.2

アフターサービスについて ...................................................................................144

5

はじめに
本書は、H650 シリーズ（以下、「本製品」と表記）の「ユーザーズ マニュアル」です。
この「ユーザーズ マニュアル」（以下、「本書」と表記）では、本製品についての情報と基本的な操作方法を説明しています。本製品とは、駿河精機株式会社が販売する H650 の型式から始まるレーザ計測器の全ての型式を総称し、本書での説明では、特段の断りがない場合、本製品の仕様や機能、名称等の記述は、シリーズ全製品に共通するものとします。
本製品を有効かつ安全にご利用いただくため、本書をよくお読みになり、内容を十分理解した上でご使用ください。
COPYRIGHT【著作権】
Copyright © SURUGA SEIKI Co. Ltd. All rights reserved.
H650 シリーズ ユーザーズ マニュアル
発行日

2024 年 3 月

Guide Version

V.1.1.02023 年 12 月 14 日
改訂履歴

日付

改訂

内容

2024 年 2 月

V.1.0.0

初版

2024 年 3 月

V.1.1.0

Suruga OptGaugeVer.1.1.0 対応

告知
本書に記載されているあらゆる情報は、発行時点で正しいとみなされます。
駿河精機株式会社は、使用者に通知することなく、提供する製品の仕様を変更する権利を有します。
本書の最新版、ならびに、H650 シリーズ専用ソフトウェアの最新版は、弊社 WEB サイト（http://jpn.surugaseiki.com/）からダウンロードすることができます。

6

0. 定義(用語・略語)
用語/略語

定義
図1

反射角度測定内部光源を使用して対象物の反射光の角度を測定する測定方法。図 1 のように 2θを測定し、計算でθを測定結果としています。
図2

外部入射光角度測定

レーザや LED の光束を直接使用して角度を測定する測定方法。図 2 のように、外部入射光のθを測定結果とし
ています。

基準面

基準面

本製品の正面のベースプレートの面
本ソフトウェア

Suruga OptGauge（専用ソフトウェア）

本書

H650 シリーズ ユーザーズ マニュアル

センサカメラ

本製品に内臓されてるセンサカメラ

def.

「Default」の略語

7

1. 安全にご使用いただくために‐使用上の注意
1.1

本書で取り扱う警告ラベル

重症、機器の破損、その他重大な損害に至る可能性がある。

軽度の身体障害、機器の損害につながる可能性がある。

製品に安全な取り扱いを指示します。

1.2

本製品の取り扱いについて⚫

本製品はレーザを使用します。使用前にレーザクラスに適した安全対策を施した環境での使用を推
奨します。

⚫

仕様に示された規格以外での使用、または改造された製品については、機能および性能の保証はできかねますのでご注意ください。

⚫

本製品を他の機器と組み合わせて使用する場合、使用条件や環境などにより、機能および性能が満たされない場合があります。十分検討の上ご使用ください。

⚫

周辺機器を含め、機器に急激な温度変化を与えないでください。結露して機器が故障するおそれが
あります。

⚫

ぬれた雑巾、ベンジン、シンナーなどで拭かないでください。本製品の変色や、変形の原因になります。汚れがひどいときは、薄い中性洗剤をつけた布をよくしぼって汚れを拭き取り、柔らかい布でから拭きしてください。

⚫

製品が万一故障した場合、当社営業所までご連絡ください。

8

1.3

使用にあたっての注意

1.3.1 使用周辺照度について・

周囲急激な照度変化は測定に誤差が生じる原因になります。常に一定になるようにしてください。

・高い周波数で ON、OFF を繰り返す照明設備の近くでの使用はさけてください。避けられない場
合は、遮光板などで影響を受けないようにしてください。

1.3.2 電源・

本書で指定された正しい電源電圧でお使いください。火災・感電・故障の原因になります。

・

各種接続線の着脱時は、必ず本製品および本製品に接続している機器の電源を OFF にしてください。破損のおそれがあります。

・

項目を設定している途中に電源を OFF にしないでください。設定データの一部、または、すべてが失われるおそれがあります。

1.3.3 分解/改造

ユニットを分解・改造して使用しないでください。火災・感電の原因になります。
また、弊社が定める従業員、または、第三者以外の者が本製品を分解や改造した場合には、保証外とさせていただきます。

1.3.4 ゴミ、ホコリの影響について
以下の場合は、ごみやホコリ、あるいは水や油などの影響によって測定誤差を生じる場
合があります。
・

カバーガラス部へのごみやホコリの付着：カバーガラス部分の汚れは清浄なエアで吹き飛ばしてください。汚れがひどいときにはアルコールを浸した柔らかい布で拭き取ってください。

・

測定対象物表面への付着：清浄なエアで吹き飛ばすか、汚れを拭き取ってください。

・

光軸領域への浮遊による侵入あるいは飛沫による侵入：保護カバーの設置やエアパージなどの対策をしてください。

1.3.5 振動の影響について
本製品や測定対象物へ伝わる振動により、測定値が安定しないことがあります。このような場合
は、振動を抑える工夫や、測定値の平均化回数を多くするなどして、安定した測定結果を求めるよ
うにしてください。

9

1.3.6

空気揺らぎの影響について
ゆっくりとした空気のゆらぎの影響で測定値が安定しないことがあります。このような場合は、測定部を防風カバーで覆うなどの対策が効果的です。

1.3.7

・

防水・防爆

本製品は、防爆が必要なエリアでの使用を想定していません。可燃性ガス等の爆発性雰囲気がある
場所では使用しないでください。

・

本製品は、防水対策を施しておりません。液体が本製品に飛散する、または、流入する可能性のある場所では使用しないでください。

1.3.8 異常時の処置

以下の場合は、すぐに電源を OFF にしてください。異常な状態のまま使用すると、故障の原因になります。
•

異常な音がする、変な臭いがする、煙が出ている等の異常な場合。

•

電源コードが傷んだ場合。

•

本製品に水などの液体をこぼした場合。

1.3.9

修理対応

修理は当社営業所までご連絡ください。
・

本体内部に水や異物が入ったとき。

・

落下や外部からの衝撃で破損したとき。

・

発煙により、変なにおいがするとき。

1.3.10 本製品の破棄
本品を廃棄するときには、産業廃棄物として扱います。法令で定められた方法、または、その他の適切な方法にて廃棄してください。弊社による回収は行っておりません。
本品を梱包している全ての資材の破棄は、法令で定められた方法、または、その他の適切な方法にて廃棄してください。弊社による回収は行っておりません。

10

1.3.11 残留リスクについて

本書は本製品に関するすべてのリスクを開示していません。残留リスクや想定外のリスクに関しては、ISO12100、または、JIS9700-1/2 を規範とした機械類の安全設計を実施してください。

1.4

レーザ製品を安全にご使用いただくために

1.4.1

本製品と対応するレーザクラスについて

下記に、本製品におけるレーザクラスの危険性について記載しています。
レーザクラスに対する具体的な安全対策については、ユーザーの職業安全規則に従ってください。

レーザクラス

注意事項

通常、まばたきなど嫌悪反応により目は保護され、安全である。
Class 2

意図的にレーザ光を凝視すると一時的な視力障碍や嫌悪反応により二次災害のリ
スクがある

JIS C 6802：2018 レーザ製品の安全基準を参照

11

1.4.2 レーザクラスの識別ラベルと警告ラベルについて
レーザクラスの識別ラベルと警告ラベルの表記内容、それらの貼り付け位置を以下に示します。

レーザクラスの識別ラベルと警告ラベルの表記内容
レーザクラスの識別ラベル
Class2

背景色：黄色、文字色：黒色

警告ラベル

背景色：黄色、文字色：黒色

ラベルの表記方法と内容は、JIS C 6802:2014 を準拠

ラベルの貼り付け位置
本製品の正面から見て左側に警告ラベルとレーザクラスの識別ラベルが貼付されています。
警告ラベル

レーザクラスの識別ラベル12

2. 準備する
2.1

機能と特徴

本製品は、センサカメラに入射されるレーザ光から対象物の角度、ダイバージェンス、位置、ビーム径を求める複合測定機です。主に以下のような特長をもっています。
⚫ 角度測定（Φ3mm のビーム、外部入射光角度測定時）
測定レンジ：±1.5°(円形範囲)
直線性：0.45 % of F.S.（F.S.=3.0°、内部光源波長 660 nm±10 nm 測定時）
繰り返し再現性：1 秒（6σ、平均化回数=256 回で測定時）-「本製品とアクセサリの仕様詳細」参照⚫ ダイバージェンスの測定が可能
測定範囲：20 mrad 以下
直線性：5% of F.S.（F.S.=20 mrad）-「機能の詳細 “ダイバージェンス”」参照⚫ 位置測定（Φ3mm のビームを使用時）
視野：Φ6 mm
直線性：±0.5% of F.S. （F.S.=3 mm、内部光源波長 660nm±10 nm 測定時）
繰り返し再現性：1 μm（6σ、平均化回数=256 回で測定時）-「本製品とアクセサリの仕様詳細」参照⚫ ビーム径測定
測定 Spot サイズ：Φ60 μm – 6 mm（Auto Aperture 設定時は、視野の 1/2 以下の Spot 径測定を推奨）-「本製品とアクセサリの仕様詳細」参照⚫ 本製品を PC に接続して専用ソフトウェアで測定可能-「準備する “システム構成例”」参照⚫

複数光点の測定が可能 -「機能の詳細 “Multi Spot”」参照⚫ 反射角度測定と外部入射光角度測定が可能
反射角度測定をする場合は内部光源を使い、その反射光の角度を測定できます。
外部入射光角度測定をする場合は、レーザや LED の光束を直接測定して角度を算出できます。
-「機能の詳細 “Tilt Angle/Beam Angle”」参照

13

機能一覧表
機能
測定

便利機能

詳細
角度測定

「機能の詳細 “Tilt Angle/Beam Angle”」参照

ダイバージェンス測定「機能の詳細 “ダイバージェンス”」参照

位置測定「機能の詳細 “Beam Centroid”」参照

ビーム径測定「機能の詳細 “ビーム径”」参照

最大輝度値測定
トータル カウント測定
ビニング
ROI
Auto Aperture

表示「測定オプションの設定詳細 “Binning”」参照「機能の詳細 “Aperture”」参照

Adaptive Cal「機能の詳細 “Adaptive Cal”」参照

Denoising「測定オプションの設定詳細 “Denoising”」参照

測定結果保存「測定オプションの設定詳細 “LogFile”」参照

ゼロ点オフセット「機能の詳細 “Origin Offset”」参照

単位変換「測定オプションの設定詳細 “AngleUnit”」参照

回転表示
反転表示
表示画像拡大判定「本ソフトウェアメイン画面詳細 “Power”」参照「測定オプションの設定詳細 “CameraSettings”」参照「機能の詳細 “拡大表示”」参照

角度判定
Beam Divergence 判定
位置判定「機能の詳細 “Judgement”」参照

ビーム径判定最大輝度値判定
通信

RS232C「外部機器から制御する “RS232C”」参照

TCP/IP「外部機器から制御する “TCP/IP”」参照

14

2.2

梱包物の確認

お届けさせいていただく梱包箱には本体とは別に内部光源用の光量調整ドライバ、USB メモリが含まれ
ます。
1.

本体

2.

光量調整ドライバ3.

USB メモリ（記憶内容： Suruga OptGauge(専用ソフトウェア)、カメラドライバ、デバイ
ス認証ファイル、本書）
最新版は、弊社 WEB サイト（http://jpn.surugaseiki.com/）よりダウンロードしてください。

4.

内部光源専用電源 AC/DC アダプタ（12 V DC 出力）

2.3

本製品の仕様概要

本製品の共通仕様表
外形寸法

170 mm x 100 mm x 45 mm

本体重量

1.0 kg

主電源

DC12 V

消費電力

５ W 以下レーザクラスClass2

保護機能

短絡保護、極性逆接続保護

通信機能

USB3.0 規格

使用温度・湿度0～40 ℃、35%～85% RH（結露なきこと）

保存温度・湿度-10～60 ℃、35%～85% RH（結露なきこと）

雰囲気

直射日光が当たらない、腐食・可燃性ガス、液体、粉塵、その他有害物質なきこと

筐体

アルミ製

15

2.4

本製品の外形図

Front View

Right View

Top View

Bottom View

16

2.5

本製品の各部の名称と機能①

内部光源 ON/OFF スイッチ
ON にすると、スイッチがオレンジに点灯し、内部光源が点灯します。

②

USB コネクタ x 2
お客様の PC と本製品の本体を接続します。

③

内部光源光量調整ボリューム(以下、「調整ボリューム」と表記)
内部光源の光量を調節します。時計周りで光量が大きくなり、反時計周りで光量が小さくなります。
※光量調整には付属の光量調整ドライバを使用してください。
④

内部光源用の電源口
付属の内部光源専用の AC/DC アダプタ接続口です。

⑤

FG 端子
ノイズによる誤動作を防止します。
※接地してください。

⑥

レーザ出射口内部光源 ON の場合、レーザを照射します。

レーザ射出面（正面）
人体、目、肌、その他安全確認がされていない器物に照射しない。

17

2.6

システム構成例
USB3.0内部光源
ON/OFF スイッチ

USB3.0

Suruga OptGauge

内部光源用

調整ボリューム

DC12V 電源
FG 端子

2.7

構成に必要な部品

・ H650 本体
・ 内部光源専用電源（付属の AC/DC アダプタ）
・ 本体接続用の PC、PC モニター、PC キーボード（お客さま用意）・ 計測用ソフトウェア Suruga OptGauge（専用ソフトウェア）

18

2.8

本製品の設置方法（例）

本項では、本製品の固定方法例を紹介しています。
1. お客様自身で用意したプレートに本製品を置きます。
M4 の六角穴付きボルト（長さ：8～10 mm）をご使用ください。※※ 詳細は“本製品の外形図”を参照

M4 六角穴付きボルトｘ２
本製品用意したプレート(例)2. 基準位置は、本製品の正面、左側面のベースプレートです。図中の◯を平行ピンで押し当てるなどして、ボルトで締結してください。

19

2.9

内部光源用電源の接続方法

専用の AC アダプタを使用して下さい。
AC アダプタの AC 側をコンセントに差し込む前に、AC アダプタの DC 側のプラグを所定のソケットへ
差し込みます。FG 端子は接地してください。

光源用電源
差込口

AC アダプタの電源は、Suruga OptGauge のインストールが完了するまでは、投入しないでください。
FG 端子はノイズによる誤動作を防止するために接地してください。

2.10 PC と接続する
USB3.0 に対応した USB ポートと本体の USB3.0 ケーブルを接続します。
PC 側は必ず USB3.0 に対応したポートをご使用ください。

USB ケーブルは Suruga OptGauge 動作中に外さないでください。正常に動作しなくなります。
USB ケーブルが外れた場合は Suruga OptGauge を終了し、USB ケーブルを挿しなおしてから再度起動
してください。

20

2.11 ソフトウェア ‐Suruga OptGauge のインストール

2.11.1 ソフトウェア許諾
Suruga OptGauge（以下「本ソフトウェア」と表記）は、お客様が以下のソフトウェア使用許諾契約（以下「本契約」といいます）にご同意いただけることが、ご使用の条件となっております。
お客様が本ソフトウェアの全部または一部をコンピュータにインストールする、または複製する、またはコンピュータにインストールされた本ソフトウェアを使用した場合、本契約のすべての条項にご同意いただいたものとし、本契約は成立します。
第 1 条（許諾）
本ソフトウェアは無料で使用することができます。
本ソフトウェア、ならびに、ソフトウェアのマニュアル、その他本ソフトウェアに関する資料の著作権は駿河精機株式会社（以下「当社」と表記）に帰属します。利用者には、本ソフトウェアを使用す
る非独占的な権利が付与されます。
第 2 条（使用制限）
本ソフトウェアは、本製品の操作とデータ収集の目的でのみ使用が許可されます。それ以外の目的での使用は禁止されています。
第 3 条（複製と改ざん）
本ソフトウェアは本製品を使用する PC に限り、複製が許可されます。
ただし、改変、再配布、リバースエンジニアリングは禁止されています。
第 4 条（免責事項）
1. 利用者は、本ソフトウェアを自己の責任において使用するものとします。
2. 当社は、本ソフトウェアの使用、もしくは使用不能から生じる直接的、間接的、偶発的、特別、続発的、または懲罰的損害（データの喪失、業務の中断、利益の損失を含むがこれに限定されない）
に関して、一切の責任を負わないものとします。
3. また、本ソフトウェアにおけるバグ、エラー、ウィルス、第三者からの不正アクセスなどの不具合やセキュリティ上の問題から生じる損害に対して、当社は責任を持たないものとします。
4. ソフトウェアの改ざんを行った場合の損害については、一切の責任を負いません。
第 5 条（サポート）
当社は本ソフトウェアに関する技術サポートを提供します。ただし、当社の技術サポートによって、お客様の目的が達成されることを保証するものではありません。
第 6 条（契約の終了）
本使用許諾の条件に違反した場合、本ソフトウェアの使用権は即座に終了するものとします。

21

2.11.2 インストール PC の推奨動作環境
ハードウェア要件

対応 OS

Windows 10 Pro 64 bit

CPUIntel Core i5 – 10400 CPU 2.90 GHz 以上
6 コア 12 スレッド

ソフトウェア要件

RAM

8GB 以上ストレージ空き容量

1GB 以上ディスプレイ解像度

1920x1080

USB

USB3.0(Type A)ポート：3 個以上

フレームワーク.NET6.0※＊ご使用の PC に「.NET6.0」がインストールされていない場合、Microsoft の Web サイトから「.NET RunTime6.0.x.x」をインストールしてください22

2.11.3 本ソフトウェアをインストール
2.11.3.1 専用 USB ドライバをインストールする
1. 「... \CameraDriver」の「Basler_pylon_7.0.0.24651.exe」をダブル クリックしてインストールを開始します。

2. 確認画面でインストールに同意します。
3. インストール方法 (Profiles) を「Developer」にします。

4. センサカメラの接続方式 (Interfaces) を「USB」にします。以降はデフォルトのままにして、インストールを完了させます。

23

2.11.3.2 ダウンロードのみ
ダウンロード先弊社 WEB サイト（http://jpn.surugaseiki.com/）からダウンロードしてください。

2.11.3.3 本ソフトウェアのインストール
本ソフトウェアをインストールします。
1. 「... \Application」の「SurugaOptGaugeSetup_x.x.xx.msi」をダルクリックします。

2. 「Next>」をクリックします。

24

3. 「Next>」をクリックすると、インストールが開始されます。
インストールが完了したら「Close」をクリックします。
インストール開始

インストール中

インストール終了

4. デスクトップに「SurugaOptGauge」が作成されます。

以上で、インストール作業は完了です。

25

2.11.3.4 デバイス認証ファイルのコピー
注意：認証ファイルについて
本製品では、デバイスごとに校正値が決められているため、本ソフトウェアは個別の固有情報が記録された「デバイス認証ファイル(拡張子.suruga)」の読み込みを必須としています。
デバイス認証ファイルを、本ソフトウェアに読み込ませるため、「.. \AuthenticationFile」にある「xxx.suruga」ファイルを任意の場所にコピーします。

「xxx.suruga」ファイルを任意の場所へコピーする。

Note
お客様のセキュリティによりデバイス認証ファイルをお持ちの PC にコピーできない場合は、本体付属の USB メモリから直接読み出すこともできるため、本手順は不要です。

26

2.11.3.5 本ソフトウェアの起動/終了
起動方法
1. 「…\Desktop」の「SurugaOptGauge」をダブル クリックします。

2. 「Device Authentication File」の「デバイス認証ファイルのコピー」でコピーしたフォルダ内の拡張子「.suruga」を選択して開きます。
※お持ちの PC にデバイス認証ファイルをコピーできない場合は USB メモリから直接選択してくだ
さい。

3. “Result”が「OK」であることを確認して「Start」を押下します。

27

本ソフトウェアは TCP/IP の通信制御を搭載しているため、初回起動時にお使いの PC のセキュリティ
設定によっては以下警告が出る場合があります。
お客様の PC やネットワーク環境で TCP/IP 通信を許可できる場合は、全てチェックを入れて「アクセスを許可する」を押下してください。許可できない場合は「キャンセル」を押下してください。
(後日変更したい場合は「コントロール パネル\すべてのコントロール パネル項目\Windows
Defender ファイアウォール\許可されたアプリ」で変更できます。)

4. 本ソフトウェアが起動します。

28

終了方法
1. 「×」ボタンをクリックで終了します。

2.12 電源を投入する

本製品の設置、ならびに、本ソフトウェアのインストールが完了し、作業安全が管理責任者により確認できるまで、本製品の電源を入れないでください。
内部光源を点灯させる場合は、内部光源用 DC12V 電源アダプタをコンセントに接続して内部光源
ON/OFF スイッチを ON にします。
USB3.0内部光源
ON/OFF スイッチ

USB3.0

FG 端子

内部光源用
DC12V 電源

内部光源
光量調整ボリューム

29

3. 設定する⚫ 本ソフトウェアを用いた本製品の設定方法を説明します。

3.1

本製品の使用上の注意と設定（設置）方法

3.1.1

反射角度測定をする場合

1.

本ソフトウェアの内部光源を OFF にして基準面から測定対象物の距離を 200 mm 離します。

測定対象物
200 mm2.

設置が完了したら内部光源スイッチを ON にします。

内部光源スイッチ(オン点灯)

3.

本ソフトウェアを起動し、Option 画面を開きます。

30

4.

Option 画面の Angle タブの Angle Type*1 を“Tilt Angle”に設定します。

5.

Option 画面の Exposure Time*2 と調整ボリュームを光量調整ドライバで調整し、測定画面のPeak*3 を見ながら“3500～3800”(最適値)にします。

*1 測定オプションの設定詳細 “AngleType”を参照*2 測定オプションの設定詳細 “CameraSettings”を参照*3 本ソフトウェアメイン画面詳細 “Power”を参照
以上で設定は完了です。

31

3.1.2 外部入射光を測定する場合
1.

内部光源を OFF にして、基準面と測定対象のビーム位置との距離を 200 mm 離します。
外部光源

200 mm2.

本ソフトウェアを起動し、Option 画面を開きます。

3.

Option 画面の Angle タブの Angle Type*1 を“Beam Angle”に設定します。

4.

Option 画面の Exposure Time*2 と外部光源の光量を調整し、測定画面の Peak*3 を見ながら“3500～
3800”(最適値)にします。

*1 測定オプションの設定詳細 “AngleType”を参照*2 測定オプションの設定詳細 “CameraSettings”を参照*3 本ソフトウェアメイン画面詳細 “Power”を参照
以上で設定は完了です。

32

3.2

本ソフトウェア ‐メイン画面の各部名称と機能‐

本ソフトウェアのメイン画面① Option

オプションのダイアログボックスを開きます。

② Angle View

Angle 側のセンサカメラで撮影した画像の表示エリア③ Angle 測定結果表示

Angle の測定結果の表示エリア④ Angle Power

Angle 側のセンサカメラで測定したビーム強度の表示エリア⑤ Profile View

Profile 側のセンサカメラで撮影した画像の表示エリア⑥ Profile 測定結果表示

Profile の測定結果の表示エリア⑦ Profile Power

Profile センサカメラで測定したビーム強度の表示エリア⑧ Adaptive Cal

Adaptive Cal(ノイズ除去)を実行します。

⑨ Result Log

測定結果と測定画像を PC の指定ファイルフォルダへ出力します。

⑩ System Log

本ソフトウェアの操作ログの表示エリア

33

3.2.1 メイン画面詳細
3.2.1.1. Angle View

① 十字(赤)② Aperture(青、橙)③ 十字(白)ビーム光の重心位置を表示します
測定に関する計算対象領域を制限します** 機能の詳細 “Aperture”を参照
座標の中心位置を表示します④ Aperture(白)

角度測定範囲を表示します⑤ Profile

ビーム光の強度分布を表示します34

Option 設定の「Angle Type*」で測定モードが変化します* 機能の詳細 “Tilt(Beam)Angle”を参照⑥ Tilt(Beam)Angle

Angle X十字(白)の X 軸成分を中心とした角度 X を表示します

Angle Y十字(白)の Y 軸成分を中心とした角度 Y を表示します

Angle D十字(白)の中心からの角度を表示します

Option 設定の「D4Sigma*」で測定モードが変化します* 機能の詳細 “ダイバージェンス”を参照⑦ Beam Divergence

D4SigmaD4σダイバージェンスを半角で表示します

D4Sigma X(M)D4σX(M)ダイバージェンスを半角で表示します

D4Sigma Y(m)D4σY(m)ダイバージェンスを半角で表示します

D86

D86.5 ダイバージェンスを半角で表示します

Option 設定の「Orientation Enabled*」が“有効”の場合、機能します⑧ Beam Ellipticity* 機能の詳細 “Beam Ellipticity”を参照
Ellipticity m/M

D4σビーム幅の楕円率を表示します

Option 設定の「Judgement Settings」で判定したい測定データに機能し、⑨ Judgementを入れるとで判定基準を設定します** 機能の詳細 “Judgement”を参照
Tilt Angle (D)Beam Divergence
Beam Ellipticity

設定した判定基準を満たしていれば「OK」、満たしていなければ「NG」を表示します
複数点のビーム光を計測中に「⑥ Tilt(Beam)Angle」「⑦⑩ Main Spot

NumberBeam Divergence」「⑧ Beam Ellipticity」に表示するビームスポットを指定します⑪ Multi Spot
測定表示エリア⑫ XY 座標
Frame Rate

複数点のビーム光を検出した時にビームスポット分の測定結果が自動でリスト化されて表示します
マウスカーソルをあてると座標を表示します
画像データの取り込みから測定データの計算が完了するまでの 1 秒間あたりの
画像更新速度を表示します
Total Count(0～4,429,152,000)⑬ PowerPeak⑭ Adaptive Cal

ビーム光のトータルカウント値を表示します
ビーム光の最大輝度値を表示します(0～4095)

センサカメラが取り込んだ画像から全体のノイズを除去します** 機能の詳細 “Adaptive Cal”を参照

35

3.2.1.2. Profile View

① 十字(赤)② Aperture(青、橙)③ 十字(白)ビーム光の重心位置を表示します
測定に関する計算対象領域を制限します** 機能の詳細 “Aperture”を 参照
座標の中心位置を表示します④ Aperture(白)

角度測定範囲を表示します⑤ Profile

ビーム光の強度分布を表示します36

⑥ Beam Centroid

Centroid X

十字(白)の X 軸成分を中心とした重心 X を表示します

Centroid Y

十字(白)の Y 軸成分を中心とした重心 Y を表示します

Centroid D

十字(白)の中心からの重心を表示します

Option 設定の「D4Sigma」で測定モードが変化します** 機能の詳細 “ビーム径”を参照⑦ Beam Diameter

D4SigmaD4σビーム径を表示します

D4Sigma X(M)D4σX(M)ビーム幅を表示します

D4Sigma Y(m)D4σY(m)ビーム幅を表示します

D86

D86.5 ビーム径を表示します

Option 設定の「Orientation Enabled」が“有効”の場合、機能します*⑧ Beam Ellipticity* 機能の詳細 “Beam Ellipticity”を参照
Ellipticity m/M

D4σビーム幅の楕円率を表示します

Option 設定の「Judgement Settings」で判定したい測定データに機能し、⑨ Judgementを入れるとで判定基準を設定します** 機能の詳細 “Judgement”を参照
Beam Centroid (D)Beam Diameter
Beam Ellipticity

設定した判定基準を満たしていれば「OK」、満たしていなければ「NG」を表示します
複数点のビーム光を計測中に「⑤ Beam Centroid」「⑥⑩ Main Spot

NumberBeam Diameter」「⑦ Beam Ellipticity」に表示するビームスポットを指定します⑪ Multi Spot
測定表示エリア⑫ XY 座標
Frame Rate

複数点のビーム光を検出した時にビームスポット分の測定結果が自動でリスト化されて表示します
マウスカーソルをあてると座標を表示します
画像データの取り込みから測定データの計算が完了するまでの 1 秒間あたりの
画像更新速度を表示します
Total Count(0～4,429,152,000)⑬ PowerPeak⑭ Adaptive Cal

ビーム光のトータルカウント値を表示します
ビーム光の最大輝度値を表示します(0～4095)

センサカメラが取り込んだ画像から全体のノイズを除去ます** 機能の詳細 “Adaptive Cal”を参照

37

3.3

機能の詳細（とパラメータの詳細設定）

3.3.1 Angle View
3.3.1.1 Tilt Angle/Beam Angle
測定内容によって測定モードを切り替える必要があります。
反射角度測定をする場合は、「Tilt Angle」を指定してください。
外部入射光角度測定をする場合は、「Beam Angle」を指定してください。
反射角度測定をする場合
反射角度測定を開始します

オプション設定の“Angle Type”を[Tilt Angle]に設定してください

外部入射光角度測定をする場合
外部入射光角度測定を開始します

オプション設定を“Angle Type”を[Beam Angle]に設定してください38

3.3.1.2 ダイバージェンス
ダイバージェンスはビーム光が伝播するにつれてどれだけ角度を持って拡がるかを示します。
小さなダイバージェンスを持つビーム光は、長距離の伝播中に角度の拡がりが少ないことを意味し、反対に大きなダイバージェンスを持つビーム光は、短い距離で急速に増大します。本製品は、ダイバージ
ェンスをマイクロ ラジアン（mrad) 単位を用いて、半角にて表示します。また、測定にはモードが 2
種類存在します。
D4σビーム径(楕円形ビーム)の X 軸方向、Y 軸方向のダイバージェンスを測定したい場合「D4Sigma X」、「D4Sigma Y」でダイバージェンスを測定します

オプション設定の“Orientation Enabled”を[無効]に設定してくださいD4σビーム径(楕円形ビーム)の M(メジャー：長軸)、m(マイナー：短軸)のダイバージェンスを測定したい場合「D4Sigma M」、「D4Sigma m」でダイバージェンスを測定します

オプション設定の“Orientation Enabled”を[有効]に設定してください

39

3.3.1.3 Beam Centroid
光点の重心位置の求め方をオプション設定の“Beam Centroid”で面積重心(Area)、輝度重心(Intensity)から選択できます。測定対象物によって、“Beam Centroid”を切り替えることを推奨します。

面積重心(Area)
面積重心［Area］の場合、ノイズ除去の閾値“Threshold”より高い輝度の画素より面積重心位置を算出します。
“Threshold”を上げることでピークのプロファイルの裾野の影響を下げることが出来ます。
推奨する測定対象物は、ミラーの表面の様に表面が均一な対象物からの反射で光点にボケ、にじみ※が無い物です。
※ ボケ、にじみとは例えば正規分布の光点のプロファイルの裾が伸びたり、半値幅が大きくなり正規分布から外れたり、プロファイルに凹凸が有りスムーズで無い物を指します。
検出例

推奨測定対象物

ミラー

ガラス

40

輝度重心(Intensity)
輝度重心［Intensity］の場合、ノイズ除去の閾値“Threshold”より高い輝度の画素より輝度重心位置を求めます。
“Threshold”を下げることでボケ、にじみの光点の周辺領域を取り込んだ形の重心を得ることが出来ます。
推奨する測定対象物は、樹脂の表面の様に表面が均一でない対象物からの反射で、光点にボケ、にじみが有るものです。
検出例

推奨測定対象物41

3.3.1.4 Beam Ellipticity
Beam Ellipticity(楕円率)は、ビーム光の形状が円形からどれだけ楕円形に偏っていかを示します。
Beam Ellipticity = D4σm(マイナー)ビーム幅 / D4σM(メジャー)ビーム幅
以下で使用用途を説明します。

Beam Ellipticity の使用用途
Beam Ellipticity は 2 つ以上の測定対象物の平行度を測定したい場合に使用します。
1. 「測定対象物 1」と「測定対象物 2」のビームスポットが本製品に入射しており、それぞれの角度が測定できる状態です。ここでは、この 2 点のビームスポットを近づけて測定対象物 1 と測定対象物 2 を平行に近い状態にすることを目的とします。

2. 2 点のビームスポットを近づけていくと枠で囲んだような
1 点の楕円ビーム光として認識し始めます。
そのため、それぞれの角度が測定できながくなり、平行度が測定できなくなります。

42

3. 「2.」が起こった時に Beam Ellipticity の数値を確認しながら「4.」を行います。

4. 2 つのビーム光をさらに近づけます。Ellipticity(楕円率)が「1.000」に近いほど、2 つの測定対象物が” 平行に近い状態”ということがいえます。

楕円率を測定したい場合

オプション設定の“Orientation Enabled”を[有効]に設定してください

43

3.3.1.5 Judgement
測定値が目標範囲内に入ったどうかを直観的に理解できる形で表現するための判定機能があります。
Angle(D)と Peak を例に手順を記載します。

Angle(D)の場合
1. 角度調整を行い、測定結果の「Angle(D)」を 0.5000[deg]未満にすることを目標にします。
オプション設定の「Judgement Settings」で「Angle(D)」を“有効”にし、“0.5000[deg]”で設定します。

44

2. 角度を調整した結果、測定画面の Angle D の結果が“0.5000[deg]” 未満でないため(1)、「Judgement」の「Tilt Angle(D)」の判定結果は NG 表示(2)になります。

(1)

(2)

3. もう 1 度、角度を調整した結果、測定画面の Angle D の結果が“0.5000[deg]” 未満となったため(1)、「Judgement」の「Tilt Angle(D)」の判定結果は OK 表示(2)になります。

(1)

(2)

45

Peak の場合
1. 光量調整を行い、測定結果の「Peak」を 3500 未満にすることを目標にします。
オプション設定の「Judgement Settings」で「Peak」を“有効”にし、“3500.0”で設定します。

46

2. 光量調整した結果、測定画面の Peak の結果が“3500.0” 未満でないため(1)、判定結果は NG とな
り、Peak のバー表示が赤表示(2)になります。

(1)
(2)

3. もう 1 度、光量調整した結果、測定画面の Peak の結果が“3500.0” 未満となったため(1)、判定結果
は OK となり、Peak のバー表示が緑表示(2)になります。

(1)

(2)

47

3.3.1.6 Adaptive Cal
センサカメラが取得した画像データ全体から一定のノイズを除去し、ノイズによる測定誤差を減らす機能として「Adaptive Cal」があります。Adaptive Cal はベースライン補正値を算出してその分を各画素(pixel)データからオフセットする自動ノイズ除去機能です。
本ソフトウェア立ち上げ時、カメラ設定の露光時間を変更するたびに実行することを推奨します。
1. ビーム光を本製品に入射させない状態にします。
2. [Adaptive Cal]ボタンを押下します。

48

3. Adaptive Cal が実行されると、ボタンの色が変化します。
4. System Log に「Angle adaptive cal succeeded.」が表示されれば完了です。
5. 以降は本製品にビーム光を入射し、測定を開始してください。

Note
ビーム光が本製品に入射している状態や、外乱光の影響でノイズが大きいと Adaptive Cal は成功しません。センサカメラに光が入らない環境下で実行してください。

49

3.3.1.7 Aperture
ダイバージェンスの測定結果に外乱光などノイズの影響を含めないようにしたい場合、“Auto Apertureと”“ROI”の機能を利用することができます。
2 つの機能を使用することで外乱光などのノイズを除去した測定を行います。

Aperture 説明
ビーム光の位置、大きさ、形状、強度などが時間的に変動する可能性のある
Auto Aperture

動的なビーム光の測定を行う場合に適した機能です。
自動的に Aperture を調整します。
ビーム光の位置、大きさ、形状、強度などが時間的に変動することが少ない

ROI

ビーム光の測定を行う場合に適した機能です。
Aperture は手動で調整する必要があります。

Info
Auto Aperture と ROI を同時に使用することでビーム光の強度、形状、位置の重要な部分だけを強調することができ、ノイズや干渉を最小限に抑えることができるため測定の精度が向上します。
ビーム光の位置が変化しない状況では、両方を同時に使用することを推奨します。

50

設定方法
Auto Aperture を設定する場合

オプション設定の“Auto Aperture”を[有効]に設定してください

ROI を設定する場合
オプション設定の“ROI”を[有効]にして、ビームを囲む用に X,Y(設置位置)、Width,Height(大きさ)を設定してくださいAuto Aperture と ROI を設定する場合

オプション設定の“Auto Aperture”と“ROI”を[有効]にして、ビームを囲むように”ROI”の X と Y(設置位置)、
そして Width と Height(大きさ)を設定してください51

3.3.1.8 Origin Offset
Origin Offset は中心位置を工場出荷の位置から任意の位置にオフセットさせる機能です。
オフセット機能を利用することで、任意の位置を基準位置として位置合わせすることができます。
オフセットする方法は 2 通りあります。

設定方法
オプション画面から設定する場合例) X=0.5deg、Y=0.5deg で設定

オプション設定の“Origin Offset”を任意の値に設定してください

View 画面から設定する場合
1. オプション設定画面を開きます
2. View 画面の十字(白)カーソルをあてます
3. マウスのアイコンが変化したらドラッグ&ドロップします

4. “Origin Offset”が変化しているため、オプション設定内容を Save します52

3.3.1.9 拡大表示
View 画面にはビーム光の状態を観察するための拡大表示機能があります。
1. View 画面の上で左クリックします。
2. ポップアップ画面が表示されます。

3. 拡大表示したい部分をドラッグ&ドロップすると拡大表示が行われます。

53

4. 拡大表示をやめる場合は右クリックをします。

5. ポップアップ画面を閉じる場合は[×]ボタンを押下します。

54

3.3.1.10 Multi Spot
本製品はマルチスポット測定に対応しており、最大 100 点まで同時に測定できます。
Multi Spot 設定を使用すると測定結果画面に表示する「表示順」、「表示数」を設定することができます。
また、測定対象を絞るための「検出条件」も設定することができます。

例)複数ビーム光(4 点)検出の画面説明

55

設定方法
表示する測定点数を指定したい場合“Spot Count”を変更することで測定結果画面に表示する数を指定できます。

オプション設定の“Spot Count”を変更してください

56測定対象として検出するビーム光の条件(大きさ)を指定したい場合“Min Spot Area”を変更するとことで測定対象として検出するビーム光の条件を指定できます。

オプション設定の“Min Spot Area”を変更してくだ
さいInfo
ビーム条件(大きさ)は設定した値を面積(pixel)として捉えてください。
設定例だとカメラが受光したビーム光の面積が「200pixel」以上なら測定対象として検出します。

57

3.3.2 Profile View
3.3.2.1 Beam Centroid
Beam Centroid(以下、ビーム重心)を測定できます。
ビーム重心は、入光したビーム光の重心と座標の中心との距離を示します。
光点の重心位置の求め方をオプション設定の“Beam Centroid”で面積重心(Area)、輝度重心(Intensity)から選択できます。測定対象物によって“Beam Centroid”を切り替えることを推奨します。
面積重心（Area）及び、輝度重心（Intensity）の詳細は「機能の詳細 Angle View ->Beam Centroid」を参照してください。

58

3.3.2.2 ビーム径
ビーム光の径を測定できます。
ビーム径は Profile の本製品に入光したビーム光の大きさを「mm」または「μm」で示します。
また、測定にはモードが 2 種類存在します。
D4σビーム径(楕円形ビーム)の X 軸方向、Y 軸方向のビーム幅を測定したい場合「D4Sigma X」、「D4Sigma Y」でビーム幅を測定します

オプション設定の“Orientation Enabled”を[無効]に設定してくださいD4σビーム径(楕円形ビーム)の M(メジャー：長軸)、m(マイナー：短軸)のビーム幅を測定したい場合「D4Sigma M」、「D4Sigma m」でビーム幅を測定します

オプション設定の“Orientation Enabled”を[有効]に設定してください

59

3.3.2.3 Beam Ellipticity
Beam Ellipticity(以下、楕円率)は、ビーム光の形状が円形からどれだけ楕円形に偏っているかを示します。
楕円率を測定したい場合

オプション設定の“Orientation Enabled”を[有効]に設定してください3.3.2.4 Judgement
測定値が目標範囲内に入ったどうかを直観的に理解できる形で表現するための判定機能があります。
設定例は「機能の詳細 Angle View ->Judgement」を参照してください。

60

3.3.2.5 Adaptive Cal
センサカメラが取得した画像データ全体から一定のノイズを除去してノイズによる測定誤差を減らす機能として「Adaptive Cal」があります。Adaptive Cal はベースライン補正値を算出してその分を各画素(pixel)データからオフセットする自動ノイズ除去機能です。
本ソフトウェア立ち上げ時、カメラ設定の露光時間を変更するたびに実行することを推奨します。

1. Option の Adaptive Cal を Visible にチェックを入れます

2. ビーム光を本製品に入射させない状態にします
3. [Adaptive Cal]ボタンを押下します61

4. Adaptive Cal が実行されるとボタンの色が変化します
5. System Log に「Profile adaptive cal succeeded.」が表示されれば完了です
6. 以降は本製品にビーム光を入射し測定を開始してください

Note
ビーム光が本製品に入射している状態や、外乱光の影響でノイズが大きいと Adaptive Cal は成功しません。本製品に光が入らない環境下で実行してください。

62

3.3.2.6 Aperture
Beam Diameter の測定結果に外乱光などノイズの影響を含めないようにするため“Auto Aperture”、“ROI”の設定があります。
2 つの機能を使用することで外乱光などのノイズを除去した測定を行います。
詳細は「機能の詳細 Angle View ->Aperture」を参照してください。

3.3.2.7 Origin Offset
Origin Offset はセンサカメラの中心位置を工場出荷の位置から任意の位置にオフセットさせる機能です。
オフセット機能を利用することで、任意の位置を基準位置として位置合わせすることができます。
オフセットする方法は 2 通りあります。
詳細は「機能の詳細 Angle View ->Origin Offset」を参照してください。

3.3.2.8 拡大表示
View 画面にはビーム光の状態を観察するための拡大表示機能があります。
詳細は「機能の詳細 Angle View ->拡大表示」を参照してください。

3.3.2.9 Multi Spot
本製品はマルチスポット測定に対応しており、最大 100 点まで同時に測定できます。
Multi Spot 設定を使用すると測定結果画面に表示する「表示順」、「表示数」を設定することができます。また、測定対象を絞るための「検出条件」も設定することができます。
詳細は「機能の詳細 Angle View ->Multi Spot」を参照してください。

63

3.4

オプション画面の各部名称と機能

本ソフトウェアのオプション画面① オプションタブ

タブを選択することで各オプションを表示します。

② 各種設定測定条件を変更することができます。

③ Option Select

オプションリストを作成して、切り替えながら動作させることができます。(“オプションリスト”参照)④ Save/Cancel

オプション内容を変更するとボタンが有効になります
設定変更後に“Save”ボタンを押下すると変更内容が保存されます。
変更内容をキャンセルする場合は Cancel ボタンを押します。

64

3.4.1

測定オプションの設定詳細

3.4.1.1 Angle

⑤

①

⑪

⑥

⑰

⑫

⑦

⑬

②

⑭

⑧

⑱
③
⑮
⑯

⑨
⑩

④

① Camera Settings
Exposure Time
Frame Rate

センサカメラの露光時間を設定します (def.=1.0)
設定範囲：0.027～2000
センサカメラのフレームレートを設定します (def.=100)
設定範囲：0.1～100
画像の回転表示を設定します

Rotation

Mirroring

0 (def.)

回転表示しません

90

センサカメラの中心を原点にして右回りに 90°回転します180

センサカメラの中心を原点にして右回りに 180°回転します270

センサカメラの中心を原点にして右回りに 180°回転します

Horizontal

Vertical

画像の反転表示を設定します

無効(def.)無効(def.)

反転表示しません

有効無効

水平方向に反転表示します

無効

有効垂直方向に反転表示します

有効有効

水平方向と垂直方向に反転表示します

65座標の中心位置(十字(白))を Offset します**「機能の詳細“Origin Offset”」を参照
X

センサカメラの中心を「0.0000(.def)」として十字(白)の位置を X
方向に調整(Offset)します② Origin Offset

設定範囲：-10.0000～10.0000
Y

センサカメラの中心を「0.0000(def.)」として十字(白)の位置を Y方向に調整(Offset)します
設定範囲：-10.0000～10.0000③ Judgement Settings
Tilt Angle または Beam Angle->Angle(D)の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0000～10.0000(def.0.0000)
Angle*「機能の詳細“Judgement”」を参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にしますBeam Divergence->D4Sigma or D86 の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0000～1,000.0000(def.0.0000)
Divergence※「機能の詳細“Judgement”」を参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にしますD4Sigma

判定する“Divergence”を Beam Divergence->D4Sigma に設定しますRadius Type
D86判定する“Divergence”を Beam Divergence-> D86 に設定します

Beam Ellipticity->Ellipticity の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0000～1.0000(def.0.0000)
Ellipticity*「機能の詳細“Judgement”」を参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にしますPower->Peak の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0～4095.0 (def.4094.0)
Peak*「機能の詳細“Judgement”」を参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にします66

④ Log File
Output Once ボタンで行う測定結果出力(CSV)の保存先を指定します
有効Angle View の画像データ(PNG)を測定結果(CSV)と共に出力
します

Image
無効(.def)

Angle View の画像データ(PNG)を出力しません

有効Angle View の生画像データ(CSV)*を測定結果(CSV)と共に出力します *ピクセルごとの輝度値を出力しますRaw
無効(.def)

Angle View の生画像データ(CSV)を出力しません

ビーム強度分布の表示箇所を設定します⑤ Cross Section

Origin Cursor

座標の中心位置のビーム強度分布を表示します

Beam Cursor

Beam の重心のビーム強度分布を表示します

測定値の平均化処理(移動平均)を設定します⑥ Moving Average

設定範囲：2～262,144(def.=2)
有効平均化設定を有効にします

無効(def.)

平均化設定を無効にします

Auto Aperture を設定します**「機能の詳細“Aperture”」を参照⑦ Auto Aperture

有効Auto Aperture 設定を有効にします

無効(def.)Auto Aperture 設定を無効にします

Area

面積重心処理で算出した重心位置から Auto Aperture を設定しますIntensity(def.)

輝度の重み付き重心処理で算出した重心位置から Auto
Aperture を設定します

ROI を設定します。**「機能の詳細“Aperture”」を参照
有効

ROI 設定を有効にします。

無効(def.)

ROI 設定を無効にします。

X

ROI の X 方向の設置位置を設定します
範囲：-3,000～3,000(def.=-520)

⑧ ROI
Y

ROI の Y 方向の設置位置を設定します。
範囲：-3,000～3,000(def.=520)

Width

ROI の横幅を設定します
設定範囲：0～3,000(def.=1040)

HeightROI の縦幅を設定します
設定範囲：0～3,000(def.=1040)

67角度測定の対象を設定します⑨ Angle Type

Tilt Angle

反射角度測定の場合に設定します(def.)

入射したビーム光の角度の 1/2 を測定対象物の角度としますBeam Angle

外部光入射角度測定の場合に設定します
入射したビーム角度を測定対象物の角度にします

Threshold を設定します
有効にした場合、設定した値より高い画素値の画素を使用して測定値を求めます⑩ Denoising

設定範囲：1～4,095(def.= 100)
有効Denoising 設定を有効にします

無効

Denoising 設定を無効にします

光点の重心位置の算出方法を設定します⑪ Beam CentroidArea

面積重心処理によって重心位置を算出します

Intensity(def.)

輝度の重み付き重心処理によって重心位置を算出します⑫ D4Sigma“Beam Divergence”の測定内容と“Beam Ellipticity”の有効/無効を切り替えます有効・D4Sigma M(メジャー)、D4Sigma m(マイナー)のダイバージェンスを“Beam Divergence”に表示します

Orientation Enabled・Beam Ellipticity を有効にします
無効(def.)・D4Sigma X、D4SigmY のダイバージェンスを“BeamDivergence”に表示します・Beam Ellipticity を無効にします

測定値の角度表示単位を設定します⑬ Angle Unit

⑭ Multi Spot

Degree(def.)

度単位にしますDegMinSec

度分秒単位にしますMilliradian

ミリラジアン単位にします*「機能の詳細“Multi Spot”」を参照
複数のビーム光を検出する際、表示する測定結果リストのソートタイプを設定
します

Order

Spot CountMin Spot Area

Area(def.)

ビーム光の面積が大きい順にソートしますAngle

角度が小さい順にソートします

複数のビーム光を検出する際、測定結果画面に表示する数を設定します
設定範囲：1～100(def.=1)
ビーム光を検出する条件のビームの大きさを画素(pixel)の閾値を設定します
設定範囲：1～1023(def.=1)

68

センサカメラのビニング機能(2x2)を設定します
ビニングを“有効”にすると、隣接するピクセルを結合してカメラのノイズ感度を向上させます⑮ Binning

また、画像サイズが 1/4 になりデータ量が低減することでフレームレートが
向上します
有効

ビ二ング機能を有効にします

無効(.def)

ビニング機能を無効にします

Adaptive Cal ボタンの表示/非表示を設定します⑯ Adaptive Cal

有効Adaptive Cal ボタンを表示します

無効(.def)

Adaptive Cal ボタンを非表示にします

測定結果を出力*注する際の小数点以下桁数を指定します
設定範囲：0～8(def.=8)*注：測定結果の出力とは[Output Once]ボタンによる出力結果(CSV)と、外部機器から制御する通信による出力を指します⑰ Decimal Points

Angle X

測定結果出力 Angle X の小数点桁数を設定します

Angle Y

測定結果出力 Angle Y の小数点桁数を設定します

Angle D

測定結果出力 Angle D の小数点桁数を設定します

D4Sigma

測定結果出力 D4Sigma の小数点桁数を設定します

D4SigmaX(M)

測定結果出力 D4SigmaX(M)の小数点桁数を設定します

D4SigmaY(m)測定結果出力 D4SigmaY(m)の小数点桁数を設定します

D86

測定結果出力 D86.5 の小数点桁数を設定します

Ellipticity

測定結果出力 Ellipticity の小数点桁数を設定します⑱ Display
Angle View に表示するビーム番号の表示最大数を設定します
Spot Number

番号は「Multi Spot の” Order”」に従ってソートされます
設定範囲：0～100 (def.=0)69

3.4.1.2 Profile

⑤

⑪

⑥

⑫

①

⑦

⑯

⑬

②
⑧

⑭

③

⑰

⑮
⑨

④

⑩

① Camera Settings
Exposure Time
Frame Rate

センサカメラの露光時間を設定します (def.=1.0)
設定範囲：0.027～2000
センサカメラのフレームレートを設定します (def.=100)
設定範囲：0.1～100
画像の回転表示を設定します

Rotation

Mirroring

0 (def.)

回転表示しません

90

センサカメラの中心を原点にして右回りに 90°回転します180

センサカメラの中心を原点にして右回りに 180°回転します270

センサカメラの中心を原点にして右回りに 180°回転します

Horizontal

Vertical

画像の反転表示を設定します

無効(def.)無効(def.)

反転表示しません

有効無効

水平方向に反転表示します

無効

有効垂直方向に反転表示します

有効有効

水平方向と垂直方向に反転表示します

70座標の中心位置(十字(白))を Offset します**「機能の詳細“Origin Offset”」を参照
X

センサカメラの中心を「0.0000(.def)」として十字(白)の位置
を X 方向に調整(Offset)します② Origin Offset

設定範囲：-20.0000～20.0000
Y

センサカメラの中心を「0.0000(def.)」として十字(白)の位置
を Y 方向に調整(Offset)します
設定範囲：-20.0000～20.0000③ Judgement Settings
Beam Centroid->Beam Centroid(D)の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0000～20.0000(def.0.0000)
Beam
Centroid(D)*「機能の詳細“Judgement”」を参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にしますBeam Diameter ->D4Sigma の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0000～20.0000(def.0.0000)
Beam
Diameter*「機能の詳細“Judgement”」参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にしますBeam Ellipticity->Ellipticity の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0000～1.0000(def.0.0000)
Ellipticity*「機能の詳細“Judgement”」を参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にしますPower->Peak の OK/NG 判定を設定します*
設定範囲：0.0～4,095.0 (def.4,094.0)
Peak*「機能の詳細“Judgement”」を参照
有効

判定を有効にします

無効(def.)

判定を無効にします④ Log File
Output Once ボタンで行う測定結果出力(CSV)の保存先を指定します
有効Profile View の画像データ(PNG)を測定結果(CSV)と共に出力
します

Image
無効(.def)

Profile View の画像データ(PNG)を出力しません

71

有効

Profile View の生画像データ(CSV)*を測定結果(CSV)と共に出力します *ピクセルごとの輝度値を出力しますRaw
無効(.def)

Profile View の生画像データ(CSV)を出力しません

断面図の表示箇所を設定します⑤ Cross Section Origin Cursor
Beam Cursor

座標の中心位置の断面図を表示します
Beam の重心の断面図を表示します

測定値の平均化処理(移動平均)を設定します⑥ Moving
Average

設定範囲：2～262,144(def.=2)
有効平均化設定を有効にします

無効(def.)

平均化設定を無効にします

Auto Aperture を設定します**「機能の詳細“Aperture”」を参照⑦ Auto Aperture

有効Auto Aperture 設定を有効にします

無効(def.)Auto Aperture 設定を無効にします

ROI を設定します**「機能の詳細“Aperature”」を参照
有効

ROI 設定を有効にします

無効(def.)

ROI 設定を無効にします

X

ROI の X 方向の設置位置を設定します
範囲：-3,000～3,000(def.=-520)

⑧ ROI
Y

ROI の Y 方向の設置位置を設定します
範囲：-3,000～3,000(def.=520)

Width

ROI の横幅を設定します
設定範囲：0～3,000(def.=1040)

HeightROI の縦幅を設定します
設定範囲：0～3,000(def.=1040)

Threshold を設定します
有効にした場合、設定した値より高い画素値の画素を使用して測定値を求めま⑨ Denoising

す 設定範囲：1～4,095(def.= 100)
有効Denoising 設定を有効にします

無効

Denoising 設定を無効にします

光点の重心位置の算出方法を設定します⑩ BeamCentroidArea

面積重心処理によって重心位置を算出します

Intensity(def.)

輝度の重み付き重心処理によって重心位置を算出します72

⑪ D4Sigma“Beam Diameter”の測定内容と“Beam Ellipticity”の有効/無効を切り替えます有効・D4Sigma M(メジャー)、D4Sigma m(マイナー)のビー
ム径を“Beam Diameter”に表示します

Orientation

・Beam Ellipticity を有効にします

Enabled無効(def.)・D4Sigma X、D4SigmY のビーム径を“Beam Diameter”に表示します・Beam Ellipticity を無効にします

測定値の距離表示単位を設定します⑫ Length Unit

⑬ Multi Spot

Millimeter(def.)

mm 単位にします

Micrometer

μm 単位にします*「機能の詳細“Multi Spot”」参照
複数のビーム光を検出する際、表示する測定結果リストのソートタイプを設定
します

Order

Spot CountMin Spot Area

Area(def.)

ビーム光の面積が大きい順にソートしますCentroidCentroid が中心に近い順にソートします

複数のビーム光を検出する際、測定結果画面に表示する数を設定します
設定範囲：1～100(def.=1)
ビーム光を検出する条件のビームの大きさを画素(pixel)の閾値を設定します
設定範囲：1～1023(def.=1)
センサカメラのビニング機能(2x2)を設定します
ビニングを“有効”にすると、隣接するピクセルを結合してカメラのノイズ感度を向上させます。また、画像サイズが 1/4 になりデータ量が低減することでフ⑭ Binning

レームレートが向上します
有効

ビ二ング機能を有効にします

無効(.def)

ビニング機能を無効にします

Adaptive Cal ボタンの表示/非表示を設定します⑮ Adaptive Cal

有効Adaptive Cal ボタンを表示します

無効(.def)

Adaptive Cal ボタンを非表示にします73測定結果を出力*注する際の小数点以下桁数を指定します
設定範囲：0～8(def.=8)*注：測定結果の出力とは[Output Once]ボタンによる出力結果(CSV)と、外部機器から制御する通信による出力を指しますCentroid X

測定結果出力 Angle X の小数点桁数を設定します⑯ Decimal

Centroid Y

測定結果出力 Angle Y の小数点桁数を設定します

PointsCentroid D

測定結果出力 Angle D の小数点桁数を設定します

D4Sigma

測定結果出力 D4Sigma の小数点桁数を設定します

D4SigmaX(M)

測定結果出力 D4SigmaX(M)の小数点桁数を設定します

D4SigmaY(m)測定結果出力 D4SigmaY(m)の小数点桁数を設定します

D86

測定結果出力 D86.5 の小数点桁数を設定します

Ellipticity

測定結果出力 Ellipticity の小数点桁数を設定します⑰ Display
Profile View に表示するビーム番号の表示最大数を設定します
Spot Counter

番号は「Multi Spot の” Order”」に従ってソートされます
設定範囲：0～100 (def.=0)

74

3.5

オプションリスト

本ソフトウェアは複数のオプションリストを保有でき、切り替えることできます。
測定対象物や測定波長の違いにより異なる内容のオプション設定を適用したい場合、本ソフトウェア動
作中にオプションリストを切り替えることができます。
本章では、複数のオプションリストの切り替え方法、登録、削除方法を説明します。

3.5.1

オプションリストの切り替え

オプションリストの切り替え方法を説明します。
1. “Options Select”をプルダウンし、目的のオプションリスト名を選択します。
2. “Save”ボタンを押下します。

75

3.5.2

オプションリストの登録オプションリストの登録方法を説明します。オプションリストは 31 個まで登録できます。
1. [...]ボタンを押下します。
2. 任意のオプション名を入力して[Add]ボタンを押下します。

3. [×]ボタンを押下します。
4. [Save]ボタンを押下します。

5. “Options Select”に登録されているので選択します*1。
*1 操作方法は“オプションリストの切り替え”を参照

76

3.5.3

オプションリストの削除

オプションリストの削除方法について説明します。
1. 削除したいオプション名以外を選択した状態で[...]ボタンを押下します。
2. 削除したいオプション名を選択して[Remove]ボタンを押下します。

3. [×]ボタンを押下します。
4. [Save]ボタンを押下します。

77

4. 測定する
4.1

測定方法の概要

4.1.1

Angle

4.1.1.1 反射角度測定を利用した角度測定「機能詳細 “Tilt Angle/Beam Angle”」の反射角度測定をする場合を参照

4.1.1.2 外部入射光角度測定を利用した角度測定「機能詳細 “Tilt Angle/Beam Angle”」の外部入射光角度測定をする場合を参照

4.1.1.3 ダイバージェンスの測定「機能詳細 “ダイバージェンス”」を参照

4.1.1.4 Multi Spot 測定「機能詳細 “Multi Spot”」を参照

4.1.2

Profile4.1.2.1 ビーム径の測定「機能詳細 “ビーム径”」を参照

78

5. 外部機器から制御する
本製品は、シリアル通信(RS232C)または TCP/IP 通信により外部機器とコマンド通信を行いデータの送受信が可能となります。

5.1

RS232C

RS232C では大きく分けて 2 パターンの接続ができます。接続後はシリアル通信を使用して本ソフトウ
ェアとコマンドのやり取りを行うターミナルソフト※注などでデータの送受信を行います。
*注：ターミナルソフトはお客様ご自身でご用意ください。

5.1.1 通信仕様
項目

内容

同期方式

調歩同期式

伝送コード

UTF-8

データ調

8 bit

ストップビット

1 bit

パリティ

なし

フロー制御

なし

ボーレート

9600 bps/19200 bps/38400 bps/57600 bps/115200 bps

795.1.2 接続イメージ
外部機器を使用して通信を行う場合
1. PC を 2 台用意し、RS232C ケーブルを接続します。
2. 片方の PC には本製品を接続し、本ソフトウェアを起動して測定を開始します。
3. もう片方の PC にはターミナルソフトを用意します。
4. コマンドの通信設定を行い、通信を開始します。

同一 PC を使用して通信を行う場合
1. 1 台の PC に本製品を接続し RS2323C ケーブルを自身の PC に接続します。
2. 本ソフトウェアを起動して測定を開始します。
3. 同 PC にターミナルソフトを用意します。
4. コマンドの通信設定を行い、通信を開始します。

80

5.1.3 コマンド通信設定方法
コマンド通信を行うための本ソフトウェアとターミナルソフトの設定方法を記載します。
本ソフトウェア
1. オプション設定の[Communication]タブを選択します。
2. Communication Type の“Interface”を「COM」に設定します。
3. COM Settings の “Port” ※注と“Baud Rate”(任意)を設定します。
*注：“Port”は RS232C を接続していると自動で接続中の Port 候補を表示します。

ターミナルソフト
お客様ご自身でご用意いただくターミナルソフトでは以下の設定をお願いします。
1.

本ソフトウェアで設定した“Port”と対になる COM ポートを設定

2.

本ソフトウェアで設定した“Baud Rate”と同じボーレートを設定

3.

上記以外の設定は“通信仕様”を参照

81

5.2

TCP/IP

TCP/IP では大きく分けて 3 パターンの接続ができます。接続後は TCP/IP 通信を使用して本ソフトウ
ェアとコマンドのやり取りを行うターミナルソフト※注でデータの送受信を行います。
*注：ターミナルソフトはお客様ご自身でご用意ください。

5.2.1 通信仕様
項目

内容

プロトコル

TCP

IPv4 アドレス
サブネットマスク
デフォルトゲートウェイ“コマンド通信設定方法”参照

DNS サーバアドレス
ポート番号

プライベートポート（49152-65535）の範囲

82

5.2.2 接続イメージ
外部機器を使用して通信を行う場合 -Ethernet ケーブル1. PC を 2 台用意し、Ethernet ケーブルを接続します。
2. 片方の PC には本製品を接続し、本ソフトウェアを起動して測定を開始します。
3. もう片方にはターミナルソフトを用意します。
4. コマンドの通信設定を行い、通信を開始します。

外部機器を使用して通信を行う場合 -無線ルータ1. PC を 2 台用意し、無線ルータに接続します。
2. 片方の PC には本製品を接続し、本ソフトウェアを起動して測定を開始します。
3. もう片方にはコターミナルソフトを用意します。
4. コマンドの通信設定を行い、通信を開始します。

83

同一 PC を使用して通信を行う場合
1. 1 台の PC に本製品を接続します(ローカルホストアドレスを使用するため接続するものはありません)。
2. 本ソフトウェアを起動して測定を開始します。
3. 同 PC にターミナルソフトを用意します。
4. コマンドの通信設定を行い、通信を開始します。

84

5.2.3 コマンド通信設定方法
コマンド通信を行うための PC、本ソフトウェア、ターミナルソフトの設定方法を記載します。

～外部機器を使用して通信を行う場合～
PC 設定
1. 本製品を接続している PC の[スタートボタン]をクリックし、スタートメニュの[設定]を選択します。

2. [ネットワークとインターネット]をクリックし、[アダプタのオプション設定を変更する]を選択します。

85

3. 無線ルータを使用する場合は[Wi-Fi]を、選択し、Ethernet ケーブルを使用する場合は[イーサネッ
ト] を右クリックし、[プロパティ]を選択します。

4. インターネット プロトコル バージョン 4(TCP/iPv4)]をクリックし、[プロパティ]を選択します。

86

5. [次の IP アドレスを使う(S)：]を選択し、[IP アドレス(I)：]、[サブネット マスク(U)：]を入力します例) IP ドレス：192.168.1.100
サブネットマスク：255.255.255.0
デフォルトゲートウェイ：入力不要
6. [次の DNS サーバーのアドレスを使う(E)：]を選択します(入力は不要です)
7. [OK]をクリックします

本製品を接続している PC の設定は以上です8. もう一方の PC も本手順「1.」～「7.」を実施してください
ただし、手順「5.」の IP アドレスの設定は重複しないように以下をお守りください
例) IP ドレス：192.168.1.101(※末尾のみ変更すること)
サブネットマスク：255.255.255.0
デフォルトゲートウェイ：入力不要

87

本ソフトウェアの設定
1. オプション設定の[Communication]タブを選択します。
2. Communication Type の“Interface”を「TCP/IP」に設定します。
3. TCP/IP Settings の “Port” (任意)を設定します。

ターミナルソフト
お客様ご自身でご用意いただくターミナルソフトでは以下の設定をお願いします。
・ 「PC 設定 ～外部機器を使用して通信を行う場合～」で行った、本製品を接続している PC で設定した IP アドレスを接続先に指定
・ 本ソフトウェアで設定した“Port”と同じ TCP ポートを設定※TCP/IP 通信を使用してコマンド通信を行う最低限の設定となります。ネットワーク通信のため
セキュリティなど用途に応じた設定はお客様ご自身で考慮いただくようお願いします。

88

～同一 PC を使用して通信を行う場合～

本ソフトウェアの設定
1. オプション設定の[Communication]タブを選択します
2. Communication Type の“Interface”を「TCP/IP」に設定します
3. TCP/IP Settings の “Port” (任意)を設定します。

ターミナルソフト
お客様ご自身でご用意いただくターミナルソフトでは以下の設定をお願いします・ ローカルホストアドレス：127.0.0.1 を設定
・ 本ソフトウェアで設定した“Port”と同じ TCP ポートを設定

89

5.3

コマンド一覧

5.3.1 読み出しコマンド一覧
5.3.1.1 共通<読み出しコマンド>
CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

RD

コマンド内容VSバージョン情報の読み出し

OL

オプションリスト情報の読み出し

5.3.1.2 Angle<読み出しコマンド>
CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

AR

RD

AO

コマンド内容測定結果の読み出し

EXT

センサカメラの露光時間の読み出し

FRA

センサカメラのフレームレートの読み出し

ROT

Rotation 設定情報の読み出し

MHE

Mirroring Horizontal 設定情報の読み出し

MVE

Mirroring Vertical 設定情報の読み出し

MAV

平均化回数 設定情報の読み出し

MAE

平均化処理有効 設定情報の読み出し

CSP

Cross Section Point 設定情報の読み出し

OOX

OriginOffset X 値 設定情報の読み出し

OOY

OriginOffset Y 値 設定情報の読み出し

AAM

Auto Aperture Method 設定情報の読み出し

AAE

Auto Aperture 有効 設定情報の読み出し

ROE

ROI 有効 設定情報の読み出し

RAX

ROI X 値 設定情報の読み出し

RAY

ROI Y 値 設定情報の読み出し

RAW

ROI Width 設定情報の読み出し

RAH

ROI Height 設定情報の読み出し

ANT

Angle Type 設定情報の読み出し(次頁に続く)90

CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

RD

コマンド内容AJE

Judgement Angle 有効 設定情報の読み出し

AJV

Judgement Angle 判定値 設定情報の読み出し

DJE

Judgement Divergence 有効 設定情報の読み出し

DJV

Judgement Divergence 判定値 設定情報の読み出し

BRT

Judgement RadiusType 設定情報の読み出し

EJE

Judgement Ellipticity 有効 設定情報の読み出し

EJV

Judgement Ellipticity 判定値 設定情報の読み出し

PJE

Judgement Peak 有効 設定情報の読み出し

PJV

Judgement Peak 判定値 設定情報の読み出し

CNM

Beam Centroid 設定情報の読み出し

ANU

Angle Unit 設定情報の読み出し

DNE

Denoising 有効 設定情報の読み出し

DNT

Denoising 閾値 設定情報の読み出し

DAX

Angle X 小数点以下桁数 設定情報の読み出し

DAY

Angle Y 小数点以下桁数 設定情報の読み出し

DAD

Angle D 小数点以下桁数 設定情報の読み出し

AO
DDS

DDX

DDY

DD8
DEL
MSO

MSC

MSM

(Beam Divergence)
D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報の読み出し(Beam Divergence)
D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報の読み出し(Beam Divergence)
D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報の読み出し(Beam Divergence)
D86.5 小数点以下桁数 設定情報の読み出し
Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報の読み出し(Multi Spot)
Order 設定情報の読み出し(Multi Spot)
Spot Count 設定情報の読み出し(Multi Spot)Min Spot Area 設定情報の読み出し

ACE

Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報の読み出し

DOE

Orientation Enable 設定情報の読み出し91

(次頁に続く)
CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

RD

AO

コマンド内容BIE

Binning 有効 設定情報の読み出し

DSN

Display Spot Number 設定情報読み出し

5.3.1.3 Profile<読み出しコマンド>
CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

PR

RD

PO

コマンド内容測定結果の読み出し

EXT

センサカメラの露光時間の読み出し

FRA

センサカメラのフレームレートの読み出し

ROT

Rotation 設定情報の読み出し

MHE

Mirroring Horizontal 設定情報の読み出し

MVE

Mirroring Vertical 設定情報の読み出し

MAV

平均化回数 設定情報の読み出し

MAE

平均化処理有効 設定情報の読み出し

CSP

Cross Section Point 設定情報の読み出し

OOX

OriginOffset X 値 設定情報の読み出し

OOY

OriginOffset Y 値 設定情報の読み出し

AAM

Auto Aperture Method 設定情報の読み出し

AAE

Auto Aperture 有効 設定情報の読み出し

ROE

ROI 有効 設定情報の読み出し

RAX

ROI X 値 設定情報の読み出し

RAY

ROI Y 値 設定情報の読み出し

RAW

ROI Width 設定情報の読み出し

RAH

ROI Height 設定情報の読み出し

CJE

Judgement Centroid 有効 設定情報読み出し

CJVJudgement Centroid 判定値 設定情報読み出し

JDE

Judgement Diameter 有効 設定情報読み出し

DJV

Judgement Diameter 判定値 設定情報読み出し

DJT

Judgement Diameter Type 設定情報読み出し(次頁に続く)92

CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1
EJV

Judgement Ellipticity 有効 設定情報読み出し

EJE

Judgement Ellipticity 判定値 設定情報読み出し

PJE

Judgement Peak 有効 設定情報読み出し

PJVJudgement Peak 判定値 設定情報読み出し

CNM

Beam Centroid 設定情報読み出し

LNU

Length Unit 設定情報読み出し

DNE

Denoising 有効 設定情報読み出し

DNT

Denoising 閾値 設定情報読み出し

DCX

Centroid X 小数点以下桁数 設定情報読み出し

DCY

Centroid Y 小数点以下桁数 設定情報読み出し

DCD

Centroid D 小数点以下桁数 設定情報読み出し

DDS

DDX
RD

コマンド内容

PO
DDY

DD8
DEL
MSO

MSC

MSM

ACE

(Beam Diameter)
D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報読み出し(Beam Diameter)
D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報読み出し(Beam Diameter)
D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報読み出し(Beam Diameter)
D86.5 小数点以下桁数 設定情報読み出し
Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報読み出し(Multi Spot)
Order 設定情報読み出し(Multi Spot)
Spot Count 設定情報読み出し(Multi Spot)Min Spot Area 設定情報読み出し
Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報読み出
しDOE

Orientation Enable 設定情報読み出し

BIE

Binning 有効 設定情報読み出し

DSN

Display Spot Number 設定情報読み出し

93

5.3.2 書き込みコマンド一覧
5.3.2.1 Angle<書き込みコマンド>
CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

WR

AO

コマンド内容EXT

センサカメラの露光時間の書き込み

FRA

センサカメラのフレームレートの書き込み

ROT

Rotation 設定情報の書き込み

MHE

Mirroring Horizontal 設定情報の書き込み

MVE

Mirroring Vertical 設定情報の書き込み

MAV

平均化回数 設定情報の書き込み

MAE

平均化処理有効 設定情報の書き込み

CSP

Cross Section Point 設定情報の書き込み

OOX

OriginOffset X 値 設定情報の書き込み

OOY

OriginOffset Y 値 設定情報の書き込み

AAM

Auto Aperture Method 設定情報の書き込み

AAE

Auto Aperture 有効 設定情報の書き込み

ROE

ROI 有効 設定情報の書き込み

RAX

ROI X 値 設定情報の書き込み

RAY

ROI Y 値 設定情報の書き込み

RAW

ROI Width 設定情報の書き込み

RAH

ROI Height 設定情報の書き込み

ANT

Angle Type 設定情報の書き込み

AJE

Judgement Angle 有効 設定情報の書き込み

AJV

Judgement Angle 判定値 設定情報の書き込み

DJE

Judgement Divergence 有効 設定情報の書き込み

DJV

Judgement Divergence 判定値 設定情報の書き込み

BRT

Judgement RadiusType 設定情報の書き込み

EJE

Judgement Ellipticity 有効 設定情報の書き込み

EJV

Judgement Ellipticity 判定値 設定情報の書き込み

PJE

Judgement Peak 有効 設定情報の書き込み

PJV

Judgement Peak 判定値 設定情報の書き込み

CNM

Beam Centroid 設定情報の書き込み(次頁に続く)94

CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

コマンド内容

ANU

Angle Unit 設定情報の書き込み

DNE

Denoising 有効 設定情報の書き込み

DNT

Denoising 閾値 設定情報の書き込み

DAX

Angle X 小数点以下桁数 設定情報の書き込み

DAY

Angle Y 小数点以下桁数 設定情報の書き込み

DAD

Angle D 小数点以下桁数 設定情報の書き込み

DDS(Beam Divergence)
D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報の書き込み

DDX(Beam Divergence)
D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報の書き込み

DDY(Beam Divergence)
D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報の書き込み

WR

AO

DD8

(Beam Divergence)
D86.5 小数点以下桁数 設定情報の書き込み

DEL

Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報の書き込み

MSO(Multi Spot)
Order 設定情報の書き込み

MSC(Multi Spot)
Spot Count 設定情報の書き込み

MSM(Multi Spot)Min Spot Area 設定情報の書き込み

ACE

Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報の書き込み

DOE

Orientation Enable 設定情報の書き込み

BIE

Binning 有効 設定情報の書き込み

DSN

Display Spot Number 設定情報書き込み95

5.3.2.2 Profile<書き込みコマンド>
CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

WR

PO

コマンド内容EXT

センサカメラの露光時間書き込み

FRA

センサカメラのフレームレート書き込み

ROT

Rotation 設定情報書き込み

MHE

Mirroring Horizontal 設定情報書き込み

MVE

Mirroring Vertical 設定情報書き込み

MAV

平均化回数 設定情報書き込み

MAE

平均化処理有効 設定情報書き込み

CSP

Cross Section Point 設定情報書き込み

OOX

OriginOffset X 値 設定情報書き込み

OOY

OriginOffset Y 値 設定情報書き込み

AAM

Auto Aperture 設定情報書き込み

AAE

Auto Aperture 有効 設定情報書き込み

ROE

ROI 有効 設定情報書き込み

RAX

ROI X 値 設定情報書き込み

RAY

ROI Y 値 設定情報書き込み

RAW

ROI Width 設定情報書き込み

RAH

ROI Height 設定情報書き込み

CJE

Judgement Centroid 有効 設定情報書き込み

CJV

Judgement Centroid 判定値 設定情報書き込み

DJE

Judgement Diameter 有効 設定情報書き込み

DJV

Judgement Diameter 判定値 設定情報書き込み

BRT

Judgement Radius Type 設定情報書き込み

EJE

Judgement Ellipticity 有効 設定書き込み

EJV

Judgement Ellipticity 判定値 設定書き込み

PJE

Judgement Peak 有効 設定情報書き込み

PJV

Judgement Peak 判定値 設定情報書き込み

CNM

Beam Centroid 設定情報書き込み

LNU

Length Unit 設定情報書き込み(次頁に続く)96

CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

コマンド内容DNE

Denoising 有効 設定情報書き込み

DNT

Denoising 閾値 設定情報書き込み

DCX

Centroid X 小数点以下桁数 設定情報書き込み

DCY

Centroid Y 小数点以下桁数 設定情報書き込み

DCD

Centroid D 小数点以下桁数 設定情報書き込み

DDS(Beam Diameter)
D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報書き込み

DDX(Beam Diameter)
D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報書き込み

DDY(Beam Diameter)
D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報書き込み

WR

PO

DD8

(Beam Diameter)
D86.5 小数点以下桁数 設定情報書き込み

DEL

Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報書き込み

MSO(Multi Spot)
Order 設定情報書き込み

MSC(Multi Spot)
Spot Count 設定情報書き込み

MSM(Multi Spot)Min Spot Area 設定情報書き込み

ACE

Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報書き込み

DOE

Orientation Enable 設定情報書き込み

BIE

Binning 有効 設定情報書き込み

DSN

Display Spot Number 設定情報書き込み975.3.3 実行コマンド一覧<実行コマンド>
CommandCommandCommandType

Parameter

Parameter1

EX

SV

5.4

読み出しコマンドコマンド内容オプション保存 実行

5.4.1 コマンドフォーマット
5.4.1.1 共通<バージョン情報の読み出し>

1：メジャーナンバー※

2：マイナーナンバー※

3：ビルドナンバー※<オプションリスト情報の読み出し>

1：オプションリスト数※

2：オプション名(オプションリストの数だけオプション名が入り、“,”で区切られます)※

3：選択中のオプションを示すインデックス※

98

5.4.1.2 Angle<測定結果の読み出し>

1：Tilt Angle/Beam Angle：Angle X 測定値※

2：Tilt Angle/Beam Angle：Angle Y 測定値※

3：Tilt Angle/Beam Angle：Angle D 測定値※

4：Beam Divergence：D4Sigma 測定値※

5：Beam Divergence：D4Sigma X(M)測定値※

6：Beam Divergence：D4Sigma Y(m)測定値※

7：Beam Divergence：D86.5 測定値※

8：Beam Ellipticity 測定値※

9：ビーム：Total Count 値※

10：ビーム：Peak 値※

11：Judgement：Tilt Angle(D)判定結果(OK/NG)※

12：Judgement：Beam Divergence 判定結果(OK/NG)※

13：Judgement：Ellipticity 判定結果(OK/NG)※

14：Judgement：Peak 判定結果(OK/NG)※

15：角度単位(Degree/DegMinSec/Milliradian)※<センサカメラの露光時間の読み出し>

1：露光時間 (0.027～2000)※<センサカメラのフレームレートの読み出し>

1：フレームレート (0.1～100)※99

< Rotation 設定情報の読み出し>

1：回転表示 (“0”=OFF、“1”=右 90°回転、“2”=右 180°回転、“3”=右 270°回転)※< Mirroring Horizontal 設定情報の読み出し>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=水平方向反転)※< Mirroring Vertical 設定情報の読み出し>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=垂直方向反転)※<平均化回数 設定情報の読み出し>

1：平均化回数 (2～262,144)※<平均化処理有効 設定情報の読み出し>

1：平均化処理 (“0”=無効、“1”=有効)※100

< Cross Section Point 設定情報の読み出し>

1：Cross Section Point (“0”=Origin Cursror、“1”=Beam Cursor)※< OriginOffset X 値 設定情報の読み出し>

1：OriginOffset X (-20～20)※< OriginOffset Y 値 設定情報の読み出し>

1：OriginOffset Y (-20～20)※< Auto Aperture Method 設定情報の読み出し>

1：Auto Aperture Method (“0”= Area、“1”= Luminance)※< Auto Aperture 有効 設定情報の読み出し>

1：Auto Aperture (“0”=無効、“1”=有効)※101

< ROI 有効 設定情報の読み出し>

1：ROI (“0”=無効、“1”=有効)※< ROI X 値 設定情報の読み出し>

1：ROI X 値 (-3,000～3,000)※< ROI Y 値 設定情報の読み出し>

1：ROI Y 値 (-3,000～3,000)※< ROI Width 設定情報の読み出し>

1：ROI Width (0～3,000)※< ROI Height 設定情報の読み出し>

1：ROI Height (0～3,000)※102

< Angle Type 設定情報の読み出し>

1：Angle Type (“0”= Tilt Angle、“1”= Beam Angle)※< Judgement Angle 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Angle (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Angle 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Angle 判定値 (0～20)※< Judgement Divergence 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Divergence (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Divergence 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Divergence 判定値 (0.0000～1,000.0000)※

103

< Judgement RadiusType 設定情報の読み出し>

1：Judgement RadiusType (“0”= D4Sigma、“1”= D86)※

< Judgement Ellipticity 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Ellipticity (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Ellipticity 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Ellipticity 判定値 (0.0000～1.0000)※< Judgement Peak 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Peak (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Peak 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Peak 判定値 (0.0～4,095.0)※

104

< Beam Centroid 設定情報の読み出し>

1：Beam Centroid (“0”= Area、“1”= Intensity)※< Angle Unit 設定情報の読み出し>

1：角度表示単位 (“0”= Degree、“1”= DegMinSec、“2”= Milliradian)※< Denoising 有効 設定情報の読み出し>

1：Denoising 機能 (“0”=無効、“1”=有効)※< Denoising 閾値 設定情報の読み出し>

1：Denoising 閾値 (1～4,095)※< Angle X 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Angle X 小数点以下桁数 (0～8)※

105

< Angle Y 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Angle Y 小数点以下桁数 (0～8)※< Angle D 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Angle D 小数点以下桁数 (0～8)※< (Beam Divergence)D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D4Sigma 小数点以下桁数 (0～8)※<(Beam Divergence)D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D4Sigma X(M)小数点以下桁数 (0～8)※<(Beam Divergence)D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 (0～8)※

106

<(Beam Divergence)D86.5 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D86.5 小数点以下桁数 (0～8)※< Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Ellipticity 小数点以下桁数 (0～8)※<(Multi Spot)Order 設定情報の読み出し>

1：(Multi Spot)リストのソートタイプ (“0”= Area、“1”= Angle)※<(Multi Spot)Spot Count 設定情報の読み出し>

1：Spot Count (1～100)※<(Multi Spot)Min Spot Area 設定情報の読み出し>

1：Min Spot Area (1～1023)※

107

< Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報の読み出し>

1：Adaptive Cal 実行ボタン表示 (“0”=無効、“1”=有効)※< Orientation Enable 設定情報の読み出し>

1：Orientation Enable (“0”=無効、“1”=有効)※< Binning 有効 設定情報の読み出し>

1：Binning 設定 (“0”=無効、“1”=有効)※< Display Spot Number 設定情報の読み出し>

1：Display Spot Number 設定値 (0～100)※

108

5.4.1.3 Profile<測定結果の読み出し>

1：Beam Centroid：Centroid X 測定値※

2：Beam Centroid：Centroid Y 測定値※

3：Beam Centroid：Centroid D 測定値※

4：Beam Diameter：D4Sigma 測定値※

5：Beam Diameter：D4Sigma X(M)測定値※

6：Beam Diameter：D4Sigma Y(m)測定値※

7：Beam Diameter：D86.5 測定値※

8：Beam Ellipticity 測定値※

9：ビーム：Total Count 値※

10：ビーム：Peak 値※

11：Judgement：Centroid(D)判定結果(OK/NG)※

12：Judgement：Diameter 判定結果(OK/NG)※

13：Judgement：Ellipticity 判定結果(OK/NG)※

14：Judgement：Peak 判定結果(OK/NG)※

15：距離単位(Millimeter / Micrometer )※<センサカメラの露光時間の読み出し>

1：露光時間 (0.027～2000)※<センサカメラのフレームレートの読み出し>

1：フレームレート (0.1～100)※

109

< Rotation 設定情報の読み出し>

1：回転表示 (“0”=OFF、“1”=右 90°回転、“2”=右 180°回転、“3”=右 270°回転)※< Mirroring Horizontal 設定情報の読み出し>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=水平方向反転)※< Mirroring Vertical 設定情報の読み出し>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=垂直方向反転)※<平均化回数 設定情報の読み出し>

1：平均化回数 (2～262,144)※<平均化処理有効 設定情報の読み出し>

1：平均化処理 (“0”=無効、“1”=有効)※110< Cross Section Point 設定情報の読み出し>

1：Cross Section Point (“0”=Origin Cursror、“1”=Beam Cursor)※< OriginOffset X 値 設定情報の読み出し>

1：OriginOffset X (-20～20)※< OriginOffset Y 値 設定情報の読み出し>

1：OriginOffset Y (-20～20)※< Auto Aperture Method 設定情報の読み出し>

1：Auto Aperture Method (“0”= Area、“1”= Luminance)※< Auto Aperture 有効 設定情報の読み出し>

1：Auto Aperture (“0”=無効、“1”=有効)※111

< ROI 有効 設定情報の読み出し>

1：ROI (“0”=無効、“1”=有効)※< ROI X 値 設定情報の読み出し>

1：ROI X 値 (-3,000～3,000)※< ROI Y 値 設定情報の読み出し>

1：ROI Y 値 (-3,000～3,000)※< ROI Width 設定情報の読み出し>

1：ROI Width (0～3,000)※< ROI Height 設定情報の読み出し>

1：ROI Height (0～3,000)※

112

< Judgement Centroid 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Centroid(“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Centroid 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Centroid 判定値 (0～20)※< Judgement Diameter 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Diameter (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Diameter 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Diameter 判定値 (0～20)※

113

< Judgement Diameter Type 設定情報の読み出し>

1：Judgement Diameter Type (“0”= D4Sigma、“1”= D86)※

< Judgement Ellipticity 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Ellipticity (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Ellipticity 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Ellipticity 判定値 (0.0000～1.0000)※< Judgement Peak 有効 設定情報の読み出し>

1：Judgement Peak (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Peak 判定値 設定情報の読み出し>

1：Judgement Peak 判定値 (0.0～4,095.0)※

114

< Beam Centroid 設定情報の読み出し>

1：Beam Centroid (“0”= Area、“1”= Intensity)※< Length Unit 設定情報の読み出し>

1：距離表示単位 (“0”= Millimeter、“1”= Micrometer)※< Denoising 有効 設定情報の読み出し>

1：Denoising 機能 (“0”=無効、“1”=有効)※< Denoising 閾値 設定情報の読み出し>

1：Denoising 閾値 (1～4,095)※< Centroid X 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Centroid X 小数点以下桁数 (0～8)※

115

< Centroid Y 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Centroid Y 小数点以下桁数 (0～8)※< Centroid D 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Centroid D 小数点以下桁数 (0～8)※< (Beam Diameter)D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D4Sigma 小数点以下桁数 (0～8)※<(Beam Diameter)D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D4Sigma X(M)小数点以下桁数 (0～8)※<(Beam Diameter)D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 (0～8)※

116

<(Beam Diameter)D86.5 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：D86.5 小数点以下桁数 (0～8)※< Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報の読み出し>

1：Ellipticity 小数点以下桁数 (0～8)※<(Multi Spot)Order 設定情報の読み出し>

1：(Multi Spot)リストのソートタイプ (“0”= Area、“1”= Centroid)※<(Multi Spot)Spot Count 設定情報の読み出し>

1：Spot Count (1～100)※<(Multi Spot)Min Spot Area 設定情報の読み出し>

1：Min Spot Area (1～1023)※

117

< Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報の読み出し>

1：Adaptive Cal 実行ボタン表示 (“0”=無効、“1”=有効)※< Orientation Enable 設定情報の読み出し>

1：Orientation Enable (“0”=無効、“1”=有効)※< Binning 有効 設定情報の読み出し>

1：Binning 設定 (“0”=無効、“1”=有効)※< Display Spot Number 設定情報の読み出し>

1：Display Spot Number 設定値 (0～100)

※

118

5.5

書き込みコマンド5.5.1 コマンドフォーマット
5.5.1.1 Angle<センサカメラの露光時間の書き込み>

1：露光時間 (0.027～2000)※<センサカメラのフレームレートの書き込み>

1：フレームレート (0.1～100)※< Rotation 設定情報の書き込み>

1：回転表示 (“0”=OFF、“1”=右 90°回転、“2”=右 180°回転、“3”=右 270°回転)※< Mirroring Horizontal 設定情報の書き込み>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=水平方向反転)※

119

< Mirroring Vertical 設定情報の書き込み>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=垂直方向反転)<平均化回数 設定情報の書き込み>

1：平均化回数 (2～262,144)※<平均化処理有効 設定情報の書き込み>

1：平均化処理 (“0”=無効、“1”=有効)※< Cross Section Point 設定情報の書き込み>

1：Cross Section Point (“0”=Origin Cursror、“1”=Beam Cursor)※<OriginOffset X 値 設定情報の書き込み>

1：OriginOffset X (-20～20)※120

<OriginOffset Y 値 設定情報の書き込み>

1：OriginOffset Y (-20～20)※< Auto Aperture Method 設定情報の書き込み>

1：Auto Aperture Method (“0”= Area、“1”= Luminance)※<Auto Aperture 有効 設定情報の書き込み>

1：Auto Aperture (“0”=無効、“1”=有効)※<ROI 有効 設定情報の書き込み>

1：ROI (“0”=無効、“1”=有効)※<ROI X 値 設定情報の書き込み>

1：ROI X 値 (-3,000～3,000)※

121

<ROI Y 値 設定情報の書き込み>

1：ROI Y 値 (-3,000～3,000)※<ROI Width 設定情報の書き込み>

1：ROI Width (0～3,000)※<ROI Height 設定情報の書き込み><Angle Type 設定情報の書き込み>

1：Angle Type (“0”= Tilt Angle、“1”= Beam Angle)※<Judgement Angle 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Angle (“0”=無効、“1”=有効)※122

<Judgement Angle 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Angle 判定値 (0～20)※<Judgement Divergence 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Divergence (“0”=無効、“1”=有効)※<Judgement Divergence 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Divergence 判定値 (0.0000～1,000.0000)※< Judgement RadiusType 設定情報の書き込み>

1：Judgement RadiusType (“0”= D4Sigma、“1”= D86)※

< Judgement Ellipticity 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Ellipticity (“0”=無効、“1”=有効)※123

< Judgement Ellipticity 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Ellipticity 判定値 (0.0000～1.0000)※<Judgement Peak 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Peak (“0”=無効、“1”=有効)※<Judgement Peak 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Peak 判定値 (0.0～4,095.0)※<Beam Centroid 設定情報の書き込み>

1：Beam Centroid (“0”= Area、“1”= Intensity)※<Angle Unit 設定情報の書き込み>

1：角度表示単位 (“0”= Degree、“1”= DegMinSec、“2”= Milliradian)※124

<Denoising 有効 設定情報の書き込み>

1：Denoising 機能 (“0”=無効、“1”=有効)※<Denoising 閾値 設定情報の書き込み>

1：Denoising 閾値 (1～4,095)※<Angle X 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Angle X 小数点以下桁数 (0～8)※<Angle Y 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Angle Y 小数点以下桁数 (0～8)※<Angle D 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Angle D 小数点以下桁数 (0～8)※

125< (Beam Divergence)D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D4Sigma 小数点以下桁数 (0～8)※< (Beam Divergence)D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D4Sigma X(M)小数点以下桁数 (0～8)※< (Beam Divergence)D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 (0～8)※< (Beam Divergence)D86.5 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D86.5 小数点以下桁数 (0～8)※<Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Ellipticity 小数点以下桁数 (0～8)※

126< (Multi Spot)Order 設定情報の書き込み>

1：(Multi Spot)リストのソートタイプ (“0”= Area、“1”= Angle)※< (Multi Spot)Spot Count 設定情報の書き込み>

1：Spot Count (1～100)※< (Multi Spot)Min Spot Area 設定情報の書き込み>

1：Min Spot Area (1～1023)※<Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報の書き込み>

1：Adaptive Cal 実行ボタン表示 (“0”=無効、“1”=有効)※<Orientation Enable 設定情報の書き込み>

1：Orientation Enable (“0”=無効、“1”=有効)※127

<Binning 有効 設定情報の書き込み>

1：Binning 設定 (“0”=無効、“1”=有効)※<Display Spot Number 設定情報の書き込み>

1：Display Spot Number 設定値 (0～100)※128

5.5.1.2 Profile<センサカメラの露光時間の書き込み>

1：露光時間 (0.027～2000)※<センサカメラのフレームレートの書き込み>

1：フレームレート (0.1～100)※< Rotation 設定情報の書き込み>

1：回転表示 (“0”=OFF、“1”=右 90°回転、“2”=右 180°回転、“3”=右 270°回転)※< Mirroring Horizontal 設定情報の書き込み>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=水平方向反転)※< Mirroring Vertical 設定情報の書き込み>

1：反転表示 (“0”=OFF、“1”=垂直方向反転)※129

<平均化回数 設定情報の書き込み>

1：平均化回数 (2～262,144)※<平均化処理有効 設定情報の書き込み>

1：平均化処理 (“0”=無効、“1”=有効)※< Cross Section Point 設定情報の書き込み>

1：Cross Section Point (“0”=Origin Cursror、“1”=Beam Cursor)※< OriginOffset X 値 設定情報の書き込み>

1：OriginOffset X (-20～20)※< OriginOffset Y 値 設定情報の書き込み>

1：OriginOffset Y (-20～20)※

130< Auto Aperture Method 設定情報の書き込み>

1：Auto Aperture Method (“0”= Area、“1”= Luminance)※< Auto Aperture 有効 設定情報の書き込み>

1：Auto Aperture (“0”=無効、“1”=有効)※< ROI 有効 設定情報の書き込み>

1：ROI (“0”=無効、“1”=有効)※< ROI X 値 設定情報の書き込み>

1：ROI X 値 (-3,000～3,000)※< ROI Y 値 設定情報の書き込み>

1：ROI Y 値 (-3,000～3,000)※

131

< ROI Width 設定情報の書き込み>

1：ROI Width (0～3,000)※< ROI Height 設定情報の書き込み>

1：ROI Height (0～3,000)※< Judgement Centroid 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Centroid(“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Centroid 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Centroid 判定値 (0～20)※< Judgement Diameter 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Diameter (“0”=無効、“1”=有効)※132

< Judgement Diameter 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Diameter 判定値 (0～20)※< Judgement Diameter Type 設定情報の書き込み>

1：Judgement Diameter Type (“0”= D4Sigma、“1”= D86)※

< Judgement Ellipticity 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Ellipticity (“0”=無効、“1”=有効)※< Judgement Ellipticity 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Ellipticity 判定値 (0.0000～1.0000)※< Judgement Peak 有効 設定情報の書き込み>

1：Judgement Peak (“0”=無効、“1”=有効)※133

< Judgement Peak 判定値 設定情報の書き込み>

1：Judgement Peak 判定値 (0.0～4,095.0)※< Beam Centroid 設定情報の書き込み>

1：Beam Centroid (“0”= Area、“1”= Intensity)※< Length Unit 設定情報の書き込み>

1：距離表示単位 (“0”= Millimeter、“1”= Micrometer)※< Denoising 有効 設定情報の書き込み>

1：Denoising 機能 (“0”=無効、“1”=有効)※< Denoising 閾値 設定情報の書き込み>

1：Denoising 閾値 (1～4,095)※134

< Centroid X 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Centroid X 小数点以下桁数 (0～8)※< Centroid Y 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Centroid Y 小数点以下桁数 (0～8)※< Centroid D 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Centroid D 小数点以下桁数 (0～8)※< (Beam Diameter)D4Sigma 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D4Sigma 小数点以下桁数 (0～8)※<(Beam Diameter)D4Sigma X(M)小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D4Sigma X(M)小数点以下桁数 (0～8)※

135<(Beam Diameter)D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D4Sigma Y(m)小数点以下桁数 (0～8)※<(Beam Diameter)D86.5 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：D86.5 小数点以下桁数 (0～8)※< Ellipticity 小数点以下桁数 設定情報の書き込み>

1：Ellipticity 小数点以下桁数 (0～8)※<(Multi Spot)Order 設定情報の書き込み>

1：(Multi Spot)リストのソートタイプ (“0”= Area、“1”= Centroid)※<(Multi Spot)Spot Count 設定情報の書き込み>

1：Spot Count (1～100)※136

<(Multi Spot)Min Spot Area 設定情報の書き込み>

1：Min Spot Area (1～1023)※< Adaptive Cal 実行ボタン表示有効 設定情報の書き込み>

1：Adaptive Cal 実行ボタン表示 (“0”=無効、“1”=有効)※< Orientation Enable 設定情報の書き込み>

1：Orientation Enable (“0”=無効、“1”=有効)※< Binning 有効 設定情報の書き込み>

1：Binning 設定 (“0”=無効、“1”=有効)※< Display Spot Number 設定情報の書き込み>

1：Display Spot Number 設定値 (0～100)

※

137

5.6

実行コマンド

5.6.1 コマンドフォーマット
<オプション保存>

5.7

通信エラー

コマンドが正常受信または実行できなかった場合に、本製品から以下のようなフォーマットでエラー情報を返信します。

1 には以下のエラーコードが入ります。

※“2”：設定データエラー- 設定範囲外の値が設定された。
“3”：コマンドフォーマットエラー- ヘッダから〔CRLF〕までのカンマ数が合っていない。
- コマンド一覧にないコマンド、または数値文字でない。
- ヘッダ後の文字が、上記リスト以外の文字。
“5”：状態エラー- 設定範囲外の値が設定された。

138

6. システムログ
6.1

システムログ一覧

システムログ

内容

Angle view initialize succeeded.

Angle 画面の初期化が成功しました。正常に測定が開始できます。

Profile view initialize succeeded.

Profile 画面の初期化に失敗しました。正常に測定が開始できます。

Angle view initialize failed. Please check

Angle 画面の初期化に失敗しました。本製品と PC の接続

the connection with SurugaOptGauge.

をご確認ください。

Profile view initialize failed. Please check

Profile 画面の初期化に失敗しました。本製品と PC の接続

the connection with SurugaOptGauge.

をご確認ください。

Angle result output succeeded.

[Output Once]ボタンによる Angle 測定結果出力が成功しました。

Profile result output succeeded.

[Output Once]ボタンによる Profile 測定結果出力が成功しました。

Angle result output failed.

[Output Once]ボタンによる Angle 測定結果出力が失敗しました。

Profile result output failed.

[Output Once]ボタンによる Profile 測定結果出力が失敗しました。

Adaptive cal succeeded.

[Adaptive Cal]ボタンによる Adaptive Cal に成功しました。

Adaptive cal failed.

[Adaptive Cal]ボタンによる Adaptive Cal に失敗しました。

It is necessary to block the light.

Adaptive Cal 失敗：光を遮断する必要があります。

139

6.2

エラーメッセージと対策

エラーメッセージ

原因

対処方法

Angle view initialize failed.

本製品と PC が接続できてい本製品と PC が接続されていることをPlease check the connection

ない。

確認し、本ソフトウェアを再起動してwith SurugaOptGauge.

ください。

Profile view initialize failed.

このエラーが何度も発生する場合は、

Please check the connection

本製品内のカメラが故障している可能with SurugaOptGauge.

性があります。弊社光学機器事業部営
業までご連絡ください。

Angle result output failed.

Profile result output failed.

測定結果出力ファイル(CSV)

測定結果出力ファイル(CSV)を開いてが開かれている。

いる場合は閉じて測定結果出力を行っ

出力先のファイルパスまたはてください。

ファイルが見つからない。

出力先のファイルパスまたはファイルが存在していることをご確認ください。

Adaptive cal failed.

遮光していないため、本製品にビーム光が入射していないこ

It is necessary to block the

AdaptiveCal が実行できなとを確認してください。

light.

い。

また、不要な外部光や他のレーザ光源
からの光がセンサカメラに干渉しないようにして再度実施してください。

140

7. 本製品とアクセサリの仕様詳細
7.1

本製品の仕様項目

測定対象ビーム光

内臓光源

仕様
波長

VIS：400 - 700 nm

NIR：700 - 1000 nm

最大直径

6 mm

入射光量

0.05 - 1 mW

波長660 nm

直径

Φ3 mm

出射光量

１ｍW 以下（Class2）

出射位置

16 mm×25 mm（基準面からの距離）（「H650 シリーズの外形図」参照）

角度測定

ダイバージェンス測定

位置測定

ビーム径測定測定レンジ*1±1.5°（円形範囲）

直線性*2±0.45% of F.S.（F.S.=3.0°）

繰り返し再現性(6σ)*3

1 秒

測定範囲

20 mrad 以下

直線性

5% of F.S.（F.S.=20 mrad）

視野

Φ6 mm

直線性*2

±0.5% of F.S.（F.S.=3 mm）

繰り返し再現性(6σ) *3

1 μm

測定 Spot サイズ*4

Φ60 μm - 6 mm

作動距離200 mm ±4 mm

フレームレート

8～10 Hz （推奨 PC スペックにて）

環境条件

動作環境*5

0 - 40℃、35 - 85% RH

保存環境-10 - 60 ℃

耐振動

周波数範囲：10～500 Hz
最大加速度：2 G、X,Y,Z の 3 方向(10 回掃引)

質量

1kg

*1 直径 3mm の外部ビーム光で測定時*2 波長 660±10nm で測定時*3 平均化回数 256 回で測定時*4 Auto Aperture 設定時は、視野の 1/2 以下の Spot 径測定を推奨*5 出荷検査環境：22～24 ℃、35～85% RH

141

7.2

AC アダプタの電気仕様
AC アダプタの仕様概要
定格入力（AC）

AC100～240 V

定格出力（DC）

12 V/3.0 A

取得産業規格PSE、 BSMI、 cUL、FCC、 KC、 CE、 GS、
RCM、 CCC

7.3

保護機能

短絡保護、過電流保護、過電圧保護

RoHS

RoHS10AC 側プラグ形状

Type-A

本体寸法

99mm x 50mm x 33mm

DC コード長さ

1.5 m ±30 ㎜

DC プラグ極性

センタープラス

本製品とケーブルの電気仕様
本製品とケーブルの仕様概要
定格入力（消費電力）

DC12 V/３ A（5 W 以下）

ケーブルタイプUSB3.0（５ Gbps）規格対応の USB ケーブル

コネクタ

USB3.0 Type-A

ケーブル長さ

3.0 m

142

8. 故障かな？と思ったらよくある質問症状と対処法以下には、トラブル解決の助けとなる情報が記載されています。
発生したトラブルが以下の一覧に記載されているか確認してください。
症状

原因

対策

内部光源の電源がAC アダプタおよび電源コード

DC12V が供給されていない。

入らない。

が正しく接続されていない。
DC12 V が供給されていない。

DC12V 電源に正しく接続してください。

本ソフトウェアがUSB ケーブルが正しく接続されUSB ケーブルを USB3.0 ポートに接続してく

起動しない

ていない。

ださい。

デバイス認証ファイルを読み込購入した本製品に対応したデバイス認証ファ

んでいない。

イル(.suruga)を読み込んでください。

USB ケーブルの接続が外れた。

本ソフトウェアを終了して USB ケーブルを正本ソフトウェア起
動中に固まった

しく接続し、再度本ソフトウェアを起動してください。

画面にビーム光がExposure Time が早すぎる。

表示されないExposure Time を最適な速度へ調整してください。

測定対象物の傾きが大きい。

反射光が± 1.5°内へ入射されるように、測定対象物の傾きを調整してください。

測定対象の重心がノイズの影響が大きい

安定しない

Denoising 設定の Threshold を有効にし、閾値を調整してください。

RS232C 通信がで

RS232C ケーブルが正しく接続

RS232C ケーブルを正しく接続してくださきない

されていないい。

PC 側の通信条件が正しくPC 側の通信設定を正しく設定してくださ設定されていない。

い。

TCP/IP 通信がで

Ethernet ケーブルが正しく接続

Ethernet ケーブルを正しく接続してくださきない

されていない。

い。

PC 側の通信条件が正しくPC 側の通信設定を正しく設定してくださ設定されていない。

い。

143

9. 保証について― アフターサービス

9.1

保証規定と範囲・

お問い合わせ時は、製品のシリアルナンバーをご連絡ください。

・

保証期間は、納入後 1 年間になります。

・

但し、次の場合は保証対象外となり、有償修理とさせていただきます。
- 使用上の誤り及び弊社以外の者による改造、修理に起因する故障、損傷の場合- 輸送、移動時の落下等、お取扱いが不適当なために生じた故障、損傷の場合- 火災、塩害、ガス害、異常電圧及び地震、雷、風水害、その他の天災地変等による故障、損傷の場合- 説明書記載方法及び注意書きに反するお取扱いによって生じた故障、損傷の場合

当社は、本保証規約の改定、変更及び修正（以下「改定等」といいます）を行うことができるものとし、改定等を行った場合には速やかに本カタログ又は弊社 WEB サイト（http://jpn.surugaseiki.com/）に当該改定等後の本保証規定を掲載するものとします。かかる改定等以降、お客様が本製品を注文した
場合、お客様は改定等を承認したものとします。

9.2

アフターサービスについて修理依頼の前に、「8. 故障かな？と思ったら よくある質問」の項目をチェックしてください。
ご不明な点等ございましたら、弊社光学機器事業部営業までお問い合わせください。
《保証期間中》取扱説明書の注意書きに従った正常な使用状態で故障した場合には、無償で修理いたします。
上記の保証対象外の故障につきましては、有償修理とさせていただきます。
《保証期間が過ぎた場合》修理によって機能が維持できる場合は、ご要望により有償修理いたします。

光学機器事業部〒 424-8566
静岡県静岡市清水区 七ツ新屋 505
Tel：0120-789-446

Fax：0120-789-449

E-Mail： info@suruga-g.co.jp

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