仕様
品名

走査型液中ナノパーティクルカウンター ScanningTPC

モデル番号9010

測定方式

独自ネブライザーと凝縮粒子カウンター(CPC)による測定

測定粒径10〜20 nmの間で5 nmごとの設定（10 nm以上、15 nm以上、20 nm以上）検出効率50%

チャンネル調整時間

2〜5分（粒径チャンネル変更時、安定するまでの時間）

測定範囲

10 3〜10 10 個/mL

検査体積率

1 μL/min〜10 μL/min(導入試料に対して実際に測定している液量)

総流量50〜280 mL/min

濃度変化応答時間

約30秒以内（濃度変化に対する応答時間）

試料水圧

200〜500 kPa (30〜70 psig)

圧縮空気/窒素流量/圧力

25std L/min CDAもしくは窒素、345〜414 kPa（ 50〜60 psi）

UPW不揮発残留物最大量 *

粒径チャネル10 nmで200 ppt、20 nmで1 ppb

接液部

PFA, PTFE, PEEK, サファイア、316Lステンレス鋼

CPC動作液試薬特級n-ブチルアルコール

CPC動作液消費量

約150 mL/日(付属の供給ボトルで約１週間)

CPC用真空源

内蔵ポンプもしくは、外部の真空源 流量１L/min、絶対圧400 mbar

動作環境

温度

15〜35℃

湿度

0〜85％ 結露無きこと

ScanningTPC

走査型液中ナノパーティクルカウンター
MO D EL 9 010

試料水温度

80℃以下

電源（ネブライザー）

海外対応 100-240 VAC, 50/60 Hz, 最大90 W

電源（検出器）

海外対応 100-240 VAC, 50/60 Hz, 最大210 W

出力Modbus 用RJ-45、USBフラッシュドライブ

内部記憶装置Micro SD

超純水インレット

1/4インチ(6.35 mm)PFA Flaretek®

排水アウトレット

1/2インチ(12.7 mm)SS Swagelok®

圧縮空気インレット

1/4インチ(6.35 mm)SS Swagelok®

検出バキューム

1/4インチ (6.35 mm)SS Swagelok®ポートディスプレイ

7インチTFTカラー、タッチパネル(縦87 mm×横154 mm)

外形寸法420(W)x430(D)×270(H)(ボトルを含む430) mm

質量16.1 kg* UPW 不揮発残留物（残渣）最大量 … 粒子を検出する上で影響を及ぼさない超純水中の不揮発性残留物の量。

430 mm

420 mm

270 mm

世界初の最小可測粒径10 nmを達成。
超純水の粒子汚染を高感度で常時モニタリング。
● 特許取得済みの独自ネブライザーと凝縮粒子カウンター(CPC)の高い技術力。
● 測定粒径は10〜20 nm間で5 nm毎に設定可能。
*●お問い合わせ、お求めは● 粒子の屈折率や形状に左右されない応答性。

日本カノマックス株式会社【本社 】 大阪府吹田市清水2-1（〒565-0805）

TEL：（06）6877-0444（代）【東京支社】 東京都港区浜松町2-6-2（〒105-0013）

TEL：（03）5733-6023【営業拠点】 ●東京営業所●名古屋営業所●大阪営業所TEL：（03）5733-6023
TEL：（052）241-0535
TEL：（06）6877-0447

http://www.kanomax.co.jp/※本カタログの記載内容は2017年12月現在のものです。
※本カタログの記載内容は、予告なく変更になる場合があります。

（

登録証番号 JQA-2790

ISO9001認証）（

本社にて取得登録証番号 JQA-EM1628● SEMIガイドラインに推奨測定方法として記述されている認定測定器。

）

ISO14001認証

製品に関するお問い合わせ● 測定場所を選ばない、手軽に持ち運びができる小型サイズ。

0120-009-750● 頑丈な作りで、最小限のメンテナンスで使用可能。

E-mail：environment@kanomax.co.jp* 例えばチャネル 10 nm を選択時、粒径 10 nm 以上の測定が可能です。（上限 100 nm 程度）

修理・校正サービスに関するお問い合わせ

0120-981-959

E-mail：service@kanomax.co.jp

E9010-5J

XAMONYAGKOLONHCTE
特許取得済みの独自のネブライザーと凝縮粒子カウンター(CPC)の高い技術力により、世界初の最小可測粒径10 nm を達成。

計測手法

凝縮粒子カウンター(CPC)

浮遊粒子噴霧大きな液滴の除去

粒径選択された粒子の凝縮成長蒸発

ScaningTPCは超純水におけるナノレベルのコンタミを検出する全く新しい液中パーティク

光学的検出ルカウンターです。微粒子の計測に関してはこれまで業界における最小可測粒径は20 nm（0.02 μm）が限界と言われていました。ScaningTPCはこれまで用いられていた微粒子にレーザー光を照射してその散乱光を検出する光学的な測定原理とは全く異なる新技術に超純水より、世界初の最小可測粒径10 nm（0.01 μm）を達成しました。
この技術は、サンプルの超純水を高精度に噴霧する特許取得の独創的なネブライザーと、凝縮粒子カウンター（CPC）

半導体製造の洗浄工程にを組み合わせるというKanomax FMT, Inc.とCT Associates社との共同開発により誕生したものです。CPC内の粒径選択（10 nm以上、15 nm以上、20 nm以上）を変更することで、様々な粒径の粒子をカウントすることができます。光散乱式と異なり、粒子の屈折率や形状に左インパクターによる大きな液滴除去右されない計測が可能です。
また、手軽に持ち運びができる小型サイズで、堅牢な設計に大きな液滴を除去することで、沈降不揮発性残留物（PNVR）粒子の形成を制限します。

より最小限のメンテナンスでご使用いただけます。
＊1 SEMI C79 “Guide to Evaluate the Eﬃcacy of Sub-15 nm Filters used in Ultrapure Water

ネブライザー技術

液中粒子と蒸発残渣粒子の分別方法

特許取得

液滴粒子粒子

加熱・乾燥液滴（粒子なし）(UPW) Distribution Systems.”SEMI C93 “Guide for Determining the Quality

残渣粒子of Ion Exchanged Resin used in Polish Applications of Ultrapure Water (UPW) Systems.”＊2 特許第8,272,253号及び第8,573,034号がCTAに交付され、Kanomaxにライセンスを供与されKanomaxは、ScanningTPCに含まれる技術について米国および国際特許を追加出願し加熱・乾燥特許第7,852,465号が交付された。

内部構造の概略図

粒径選択と累計粒子カウント

排水ポート（ベンチュリーエジェクタ）

チャンネル 1(10 nm 以上 )CPC排気

不揮発残留物真空ポンプ

粒径分布の粒子

乾燥器
蒸発器

凝縮粒子
カウンター(CPC)

インパクター2ガス
超純水（UPW）

水滴カウンター

UPW
圧力調整器

UPW背圧調整
パルブ流量計＞10 nm

6.E+07＞15 nm

5.E+07＞20 nm

エアロゾル
排水

粒径

チャンネル 3(20 nm 以上 )不揮発残留物

粒径分布の粒子
粒径

2.E+07
1.E+07
AM12:00

粒径
100%
検出

4.E+07
3.E+07

AM4:48

PM12:00

PM4:48

AM12:00（注意）複数の粒径チャネルを同時選択した連続モニタリングはできません。
・ コロイダルシリカ（欧州標準物質トレーサブル）粒子を使用して校正を行っています。

/ ml

インパクター
1

米国環境学会（IES）に投稿した論文に対してMaurice Simpson 賞を受賞。カノマックスのメンバーが、純水中不純物濃度と CPC 計数値とを関係づける解析解を導くアイデアを提案しました。
（1987 年 7 月）

粒径分布の粒子を計測します。

7.E+07

累計粒子数

UPW
圧力コントローラー

不揮発残留物滴に成長させ個数濃度大きさ以下になります。

8.E+07/ ml

蒸発残渣測定技術はカノマックスが世界で初めて実用化に成功

希釈
ベント

核としてアルコール液あればCPCで検出される

9.E+07

粒径チャンネル 2(15 nm 以上 )なサイズに汚染粒子をの大きさは、一定条件で10.E+07

累計粒子数

HEPA
フィルター

マニホールド(CPC)で個数測定可能

した後に残る残渣 粒子

時系列変化データ（24 時間）

粒径
100%
検出

凝 縮 粒 子 カ ウンター

れていない液 滴が 蒸 発/ ml

UPW
インレット
100〜280ml/min.

100%
検出

出荷用排水

測定 対 象の粒子が含ま

累計粒子数

ガスインレット

n-ブチル
アルコール

粒子

粒径

・ 凝縮粒子カウンター (CPC) の最少検出感度を変更することで選択粒径以上の微粒子濃度を測定。