超高真空 L 型オールメタルバルブ

951-7152951-7150

951-7148■概要
本バルブは 10 − 8Pa 以下まで使用できる、全金属製の超高ンジ同様の、信頼性の高い Capturing シール構造を採用し真空 L 型バルブです。バルブボディにはオーステナイト系スており、400℃または 450℃までベークアウトができ、ハーテンレス鋼を、また軸シールにもオーステナイト系ステンレスドベークを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。

鋼製ベローズを使用し、全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、弁封止構造は ICF フラ■特長
1. 超高真空領域用
10 − 8Pa 以下の超高真空領域まで使用できる全金属製バ弁封止用銅合金ガスケットの交換ができます。
5. 並列配管接続可能ルブです。

（951-7148ミニメタルバルブを除く）

2. Capturing シール構造
弁 封止 構 造 は ICF フランジ 同 様 の 信 頼 性 の高 い

3 ポートタイプですので、サイドポート側を並列に配管接

Capturing シール構造を採用しています。
（第 1 図参照）

続することもできます。
6．容易なメンテナンス

3. 優れた許容加熱性
400℃または 450℃までのベークアウトができます。

ガスケット等の交換および大気側潤滑剤の再塗布等のメンテナンスが容易です。

4. 容易なガスケット交換
付属のハンドルまたはガスケット取外し治具を使用して、シールエッジ

銅合金ガスケット第 1 図 弁封止構造

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1■仕様
型
使用

リ

真空ー領ク

名

951-7148域

大気圧〜 10 − 8Pa 以下

量

6.7 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下

全 開 時 コ ン ダクタンス
許容

加熱温4L/sec度

400℃

初 期 封 止 ト ル ク

約 15.7N・m

最 大 封 止 ト ル ク

23.5N・m

主要接

続部

フ材

質

ン

ジラ質
外形

寸

ボディ
ベローズ
弁封止用ガスケット
ボンネットガスケット

φ 34ICF フランジ量0.7kg

法第 2 図参照
460 Ｆ（角ドライブ寸法□ 9.53mm）（JIS B4650 プレート形呼び 450 相当）

適 用 ト ル ク レ ン チ（オプション）

添付：SUS-304：SUS-304：銅合金：SUS-321 銀メッキメタル
中空“O”リング

ガスケット取外し治具
ハンドル
呼び 2.5 六角棒スパナ
呼び 4 六角棒スパナ
ワイヤブラシ
予備ワッシャ
予備ガスケット品：1S：1 個：1 本：1 本：1 個：大、小各 1 個 計 2 個：1 個※バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。

■外形寸法図（□ 9.7）

（φ46）
（φ16）

38±1（φ19.2）（φ36）

全開126±3
全閉110±3φ34 ICF回転フランジ（φ19.2）38±1

φ34 ICF回転フランジ

第 2 図 951-7148 ミニメタルバルブ

2

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■仕様型

名

使

用 真 空

リー領

ク

951-7150

951-7152域

大気圧〜 10 − 8Pa 以下

量

6.7 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下

全 開 時 コン ダクタンス

30L/sec

100L/sec※ 許 容 加 熱 温 度

450℃

初 期 封 止 ト ル ク

29.4 〜 34.3N・m

78.4 〜 127.4N・m

最 大 封 止 ト ル ク

127.4N・m

225.4N・m

主要接続部

材

質

フ ラ ン

ジ

φ70ICF フランジ

φ114ICF フランジ量1.6kg

7kg

質外形

寸法

適 用ト ル ク レ ン チ

添

ボディ：SUS-304
ベローズ：SUS-304
弁封止用ガスケット ：銅合金付品

第 3 図参照

第 4 図参照

1300F（角ドライブ寸法□ 12.7mm）

2800F（角ドライブ寸法□ 19.05mm）（JIS B4650 プレート形呼び 1300 相当）（JIS B4650 プレート形呼び 2800 相当）

ハンドル
呼び 2.5 六角棒スパナ
呼び 6 六角棒スパナ
ワイヤブラシ
予備ワッシャ
予備ガスケット：1 個：1 本：1 本：1 個：大、小各 1 個 計 2 個：1 個

ハンドル：1 個
呼び 10 六角棒スパナ ：1 本
BS ボールポイントドライバ：1 本
ワイヤブラシ：1 個
予備ワッシャ
：大、小各 1 個 計 2 個
予備ガスケット：1 個※バルブ内部を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。

■外形寸法図（□ 12.9）（φ23）

62±1（φ38）

（φ38）

（φ50）

全開167±3
全閉142±3φ70 ICF回転フランジ

φ70 ICF固定フランジ（φ38）

リーク溝位置62±162±1

φ70 ICF回転フランジ

第 3 図 951-7150 φ 38 メタルバルブ

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3■外形寸法図（□19.2）

（φ84）
（φ35）

六角部

（77）

φ114 ICF

固定フランジ（φ63.5）（75）（φ63.5）（φ63.5）100±2φ114 ICF

（76）

（90）

回転フランジ

247±5（バルブ全閉時）

297±5（バルブ全開時）（ストローク）
（50）

（50）

200±4

φ114 ICF 回転フランジ

第 4 図 951-7152 2.5″メタルバルブ

100±2

リーク溝位置■オプション（保守・消耗部品）下記部品は保守・消耗部品となっていますので、寿命になり剤の再塗布が必要です。再塗布を怠りますと潤滑効果ました際は交換願います。

が無くなり、噛み付きの原因となることがあります。な型

名呼び径 3/4″ 呼び径 1.5″ 呼び径 2.5″
951-7152

名 称

1 台につきの数量

ガスケット

1（弁座シール用）

951-7148

951-9150

951-7148

951-9150

951-7152

ワッシャ（1）

1

951-7148

951-7150

951-7152

ワッシャ（2）

1

お、潤滑剤は別途ご用命ください。
（名称：スリーボン
ド 1901 潤滑剤）。
② ベーキングはバルブ内部に大気や活性ガス等を入れて行わないでください。そのようなことを行いますと、シール部が酸化し修理不能となることがあります。し●使用上の注意事項

たがって、ベーキングはバルブ内部を真空または Ar

1. 本バルブをベーキングされる場合は、下記事項にご注意

ガス等の不活性ガスで置換した状態で行ってください。
2. バルブ内部にゴミや金属粉等が入らないようご注意願い願います。
① ベーキング温度と時間により、大気側駆動部に潤滑ます。

■オーダリングインフォメーション
製品コード

商 品 名型 名

30010

951-7150

φ 38 メタルバルブ

φ70ICF 付、450℃耐熱

30020

951-7152

2.5 ″メタルバルブ

φ114ICF 付、450℃耐熱

30030

951-7148

ミニメタルバルブ

φ 34ICF 付、400℃耐熱

39730

4

備 考品 名スリーボンド 1901 潤滑剤（500g 缶入）

951-7148/7150/7152 用

30800

951-9150

ワッシャ（1）

951-7150 用、保守部品

30801

951-9150

ワッシャ（2）951-7150 用、保守部品

30802

951-9150

ガスケット

951-7150 弁座シール用、保守部品

30803

951-7152

ワッシャ（1）

951-7152 用、保守部品

30804

951-7152

ワッシャ（2）951-7152 用、保守部品

30805

951-7152

ガスケット

951-7152 弁座シール用、保守部品

30814

951-7148

ワッシャ（1）

951-7148 用、保守部品

30815

951-7148

ワッシャ（2）951-7148 用、保守部品

30816

951-7148

ガスケット

951-7148 弁座シール用、保守部品

460Fトルクレンチ

951-7148 用（ミニメタルバルブ用）

38634

1300Fトルクレンチ

951-7150 用（φ 38 メタルバルブ用）

38635

2800Fトルクレンチ

951-7152 用（2.5 ″メタルバルブ用）

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2011年9月作成

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本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/