Fine Purer GC / Fine Purer DC の配管例
①レギュレーター
パージパージ②配管

Fine Purer

2023.12
新発売

GC/DC/CC シリーズ
（脱酸素・脱水専用）

使用する機器・装置
⑤三方弁

⑩三方弁

③ストップバルブ

⑪コイル管
④流量計
⑥
Fine Purer DC⑨ラインフィルター

▼ユニット例①レギュレーター
0.5 MPaG 以下の圧力で使用します。

②配管
ガス透過性の無い、ステンレス管、銅管等をご使用ください。

③ストップバルブ④流量計⑦
Fine Purer GC●Fine Purer DC と Fine Purer GC を一体化した
Fine Purer CC の取付け方向も同じです。

⑧ストップバルブ●Fine Purer GC・Fine Purer DC の代わりに一体型の Fine Purer CC FPCC-X を使用しています。

-A4

FPDC

-70X

FPGC

⑤三方弁
ガスボンベの交換時に配管に入った空気のパージに使用します。

-L4

FPDC

-RP
FPGC

⑥Fine Purer DC⑦Fine Purer GC
左図の様に、Fine Purer DC、Fine Purer GC のガスは順に上から接続し、垂直に付けて、上から下に流します。(＊-1 参照 )⑧ストップバルブ

各部品は写真と異なることがあります。

新たに-SXC

-RX

FPDC

-SLX

FPCC

FPGC

-X

FPGC

⑨ライン フィルター

5 ミクロン程度のパーティクルが発生する場合があります。パーティクルカットにはラインフィルターをご使用ください。(＊-２参照 )⑩三方弁
精製器の交換時に配管に入った空気のパージに使用します。

交換時期が一目瞭然、低純度でもご使用可能
Fine Purer GC は茶褐色、Fine Purer FPDC-SXC は乳白色に変化⑪コイル管

脱着の際の精製器へのストレス低減のため、コイル管をご使用いただくことを推奨します。

＊-１ 精製器を垂直に取り付け、ガスを上から下に流す理由につきまして、精製器には、素剤（顆粒状・ペレット状）を隙間無く充填していますが、輸送中の振動等で多少の隙間が出来ます。
隙間が有る状態で精製器を横に取り付けると、隙間（または嵩密度が低い部分）が横にした精製器充填物の上に出来ますので、その部分のガスの流量が多くなり、不均一な吸着分布となります。また、隙間が有る状態で、下から上にガスを流すと素剤が浮き上がり、ガスの流れを止めると元に戻りますが、少し戻らない素剤が有る為、精製器の中で吸着した素剤が動く事になります。

再生可能

低価格

低コストで繰り返し使用可能

徹底したコスト管理＊-２ 弊社推奨品をご案内いたしますので、お問い合わせください。

〒541-0041

さらに高純度の製品をお求めの場合、「超高純度ファインピュアラー」をご使用ください

大阪市中央区北浜四丁目7番19号

住友ビルディング第 3 号館5 階

産業ガス営業部 営業チーム
TEL : 06-4706-2701 MAIL: inquiry-finepurer＠ml.liquidgas.co.jp
HP : https://www.liquidgas.co.jp/2023.12

Fine Purer

GC

Fine Purer

DC/CCシリーズ

超高性能脱酸素カラム

O2 吸着前Fine Purer GC は、配管の途中にセットするだけで処理ガスの酸素濃度にかかわらず、ガス中の酸素を瞬時に吸着し、出口側の酸素濃度を 2 ppb 以下にする超高性能脱酸素カラムです。

超高性能ドライヤー・脱水分と脱酸素
Fine Purer DC（DC シリーズ）は、各種ガス中の微量水分を吸着除去する高性能ドライヤーです。
※１ 入口露点−70 ℃、流量 0.4 L/min での出口側の到達露点は−100 ℃（13.8 nmol/mol）以下 ※1 になります。
水分濃度をキャビティーリング
FPDC-SXC は、水分を吸着すると乳白色に変色します。
ダウン分光法水分計（CRDS）
Fine Purer CC シリーズ「FPCC-X」は、Fine Purer DC と Fine Purer GC が一体化したものです。
で測定した値です。
最初に Fine Purer DC で微量水分を除去し、Fine Purer GC で酸素を除去します。

O2 吸着後酸素を吸着すると淡緑色から茶褐色に変色しますのでライフが一目で判ります。

シリーズ

外観

外観

FPGC-70X

タイプ

FPGC-RP

FPGC-RXFPGC-SLX

適用ガス

He / H2 / Ne / Ａr / Ｎ2 / Kr / Xe / D2 / CH4 / C2H6 / n-C4H10 / C3H6 / C4H6

不適用ガス

O2 / N2O / NO2 / CO / CI2 / Br2 / HCI / HBr /SiH4 / NH3 / SO2 / H2S / その他高反応性ガス

O2 吸着量50 mL

径 × 取付長さ

標準VCR®

φ42×60 mL

165 mm
204 mmφ25×200 mL

420 ｍｍ
463 ｍｍφ42×433 mm

φ60×

FPDC-A4

FPDC-L4

FPDC-SXCFPCC-X

用途

一般ガス用

大流量用

高湿度用

脱水分と脱酸素

水分1 % の水分吸収量 25 g
到達露点は−64 ℃以下

FPDC-A4 の 1/2 の性能
酸素は 100 ｍL 吸着390 mm
---

適合ガス

He / H2 / Ne / Ａr / O2 / Ｎ2 / Kr / Xe / CH4 / C2H6 / C3H8 / n-C4H10

不適合ガス

N2O / NO2 / CO / CO2 / CI2 / Br2 / HCI / HBr / SiH4 / NH3 / SO2 / H2S / D2 / C2H2 / C2H4 / C3H6 / C4H6

径 × 取付長さ

標準接続部

VCR®

最大流量5 NL/min※

5 NL/min10 NL/min※最大圧力接続部

VCR® 不可®

※10 NL/min※

0.5 MPaG

総重量220 g

精製器材質

260 g

水分1 ppm の処理量1000 m3 水分1 ppmの処理量4000 m3
到達露点は−100 ℃
到達露点は−100 ℃

性能

1500 mL

393 mmタイプ

最大流量

標準VCR®

φ34×352 mm
395 mm

610 ｍｍ

φ51×666 ｍｍ930 g

パイレックス管にアクリルパイプで保護---

393 mm

φ42×---

標準VCR®

®

®

10 NL/min※

40 NL/min※

VCR® 不可10 NL/min※

5 NL/min※

550 g

0.5 MPaG

最大圧力
500 g

405 mm

φ42×

総重量

500 g

1,900 g

630 g

精製器材質

SUS304

SUS304

パイレックス管にアクリルパイプで保護※NL とは 273.15 K（0 ℃）で 101.325 kPaG の状態を示します。

■用途

■再生可能

注 1： 使用前に取扱説明書を読み、安全データシート（SDS）をご参照願います。

1 熱処理炉、還元炉等各種雰囲気ガスの脱酸素や乾燥
2 溶接用アルゴンガスの脱酸素や乾燥
3 生合成
4 スパッタリング、CVD 用
5 酸素濃度計のゼロ点補正用

処理量を経過した精製器は、弊社にてお預かりし、再生可能です。
リークテストを行い、精製器の洗浄、内容物を交換して新品同様に再生します。
経過年数、精製器の状態、ガスの種類により再生出来ない場合がございますので、弊社までお問い合せください。

注 2： 本製品は日本国内向けの仕様です。海外でご使用の場合は保証期間内であっても保証対象外となります。

6 熱分析計用
7 その他半導体用キャリアガス
8 ガスクロ用キャリアガス
9 各種電球用充填ガスの脱酸素等
10 各種ガスの脱水

注 3： 標準継手の取付長さは、ユニオン内に配管を差込んだ先端部から反対側の先端部までの長さです（右図参照）。
● 各製品の寸法に関しましては、別紙寸法図をご参考ください。
注 4： VCR® は Swagelok 社の登録商標です。
注 5：FPGC-SLX は入口ガスの酸素濃度が高いと発熱を起こし危険なのでご注意ください。

標準継手 「取付長さ」イメージ
配管先端部
ロート
ユニオン

配管

標準継手の場合、ユニオン内に配管を差込んだ先端部から反対側の先端部までが「取付長さ」になります。

ここに 掲載された数値は実測に基づく代表値であり、規格値ではありません。なお、製本の改良等により予告無しで変更する場合があります。