Produktinformation

LIF 471 V
LIF 481 V
LIF 481 U
Offenes Längenmessgerät
zum Einsatz im Hochvakuum
und Ultrahochvakuum

03/2024

LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U
Inkrementales Längenmessgerät zum Einsatz im Hochvakuum und Ultrahochvakuum• Spezielle vakuumtaugliche Ausführung• Für Messschritte bis 2 nm
• Lage-Erkennung durch Homing-Spur und Limit-Schalter
Darstellung ohne Limitblende
und Fixpunkt     

 60

  60













LIF 401 R

Maßverkörperung*SUPRADUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik oder Glas; Teilungsperiode 8 µm–6 –1–6 –1
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm = (0±0,1) · 10 K (Zerodur-Glaskeramik); Þtherm ≈ 8 · 10 K (Glas)




 



Maßstab





    


Genauigkeitsklasse±3 µm

Basisabweichung≤ ±0,225 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm   70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  470	  520	  570	  620	  670720	  770	  820	  870	  920	  970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Masse

0,8 g + 0,08 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIF 48 V/LIF 48 U

LIF 47VSchnittstelle» 1 VSS TTL

integrierte Interpolation*
Signalperiode

–
4 µm

5fach
0,8 µmGrenzfrequenz		 1 MHz–

Abtastfrequenz*–

Flankenabstand a–

 




Darstellung ohne Spannpratzen,Limitblenden und Fixpunkt  – 

20fach0,2 µm50fach0,08 µm

100fach0,04 µm≤ 500 kHz≤ 250 kHz≤ 125 kHz≤ 250 kHz≤ 125 kHz≤ 62,5 kHz≤ 250 kHz≤ 125 kHz≤ 62,5 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz–≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,040 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,040 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,040 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs

Verfahrgeschwindigkeit≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 24 m/min≤ 12 m/min≤ 6 m/min≤ 12 m/min≤ 6 m/min≤ 3 m/minInterpolationsabweichungPositionsrauschen RMS±12 nm0,6 nm (1 MHz2))–Elektrischer Anschluss*• Schnittstellen-Elektronik außerhalb des Vakuums:
Kabel 0,5 m, 1 m, 2 m oder 2,5 m bis Vakuum-Durchführung; Kabel 0,5 m bis Stecker Sub-D,15-polig, mit integrierter Schnittstellen-Elektronik• Schnittstellen-Elektronik im Hochvakuum:
Kabel 0,5 m, 1 m, 2 m oder 3 m mit Stecker Sub-D, 15-polig, Schnittstellen-Elektronik im Stecker­integriertKabellängesiehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch
Inkremental: ≤ 30 m; Homing, Limit: ≤ 10 m; (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 VStromaufnahme< 150 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 400 m/s (EN 60068-2-6)≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 50 °C

Ausheiztemperatur

100 °C (LIF 4x V); 120 °C (LIF 48 U)

Platinenmaterial

FR4–3 dB

10fach0,4 µm    1)  
Position der Anschlagstifte       

ML/2 ±0.5

ML/2 ±0.5   


L = Maßstablänge
F = Maschinenführung* = Max. Änderung bei Betrieb
ML = Messlänge
LI = Limitmarke, verstellbar
H = Schalter für Homingspur, Homing-Schaltflanken
Ho = Schaltpunkt Homing
R = Referenzmarken-Lage
S = Beginn der Messlänge
1 = Optische Mitte
2 = Abstand Abtastkopf/Maßstab
3 = Positive Messrichtung
4 = Abstand mit Folie einstellen
5 = Zusätzliches Spannpratzenpaar abhängig von ML6 = Vakuumkleber, Aushärtung bei Raumtemperatur in 24 h
7 = Montagefläche für Abtastkopf
8 = Fixpunktelement(12.5)

Ho(13.5)

1.2±0.322

LimitLI1 ±0.25

LI2 ±0.25

HomingMasse								< 165 mA (ohne Last)
2

Abtastkopf
9g
Anschlusskabel 38 g/m
Stecker75 g1)* Bei Bestellung bitte auswählen			 Bei TTL: Maximale Verfahrgeschwindigkeit bei Referenzierung 9,6 m/min (40 kHz)2)
–3 dB Grenzfrequenz der nachfolgenden Elektronik
Produktinformation LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024Produktinformation LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024

Messgeräte für den Einsatz im Vakuum

Elektrischer Anschluss

Die vakuumtauglichen Geräte zeichnensich durch folgende Merkmale aus:
• Entlüftungsbohrungen• Spezielle Reinigung und Verpackung• Kabel mit PTFE-Abschirmung mit­verzinntem Kupfergeflecht

Hochvakuum

10–10

 Kabellänge: 0.5 m ... 3 m




Schnittstellen-Elektronik im Hoch­vakuum:
Das Anschlusskabel des Abtastkopfs ist mit
einem Stecker Sub-D, 15-polig, versehen,der die Schnittstellen-Elektronik beinhaltet.
Als Zubehör sind Vakuumdurchführung,Stecker (Sub-D, 15-polig auf DN63CFFlansch) und Verlängerungskabel lieferbar.

10–9
Partialdruck in mbar

Restgasanalysen von HEIDENHAIN­Vakuumkomponenten
Mittels Restgasanalysen kann der Einflussvon Vakuumkomponenten auf die Qualität
des Vakuums bestimmt werden. Dazu wird
eine Probe in einer Vakuumkammer mindestens bis 10–6 mbar abgepumpt (Turbomolekularpumpe; Saugleistung 15 l/s bis200 l/s) und mit einem Massenspektrometer(Pfeiffer QMA 200) und einem Absolutdrucksensor (VACOM ATMION) die verbleibenden Restgase ermittelt. Werden dannnoch die typischen Restgase der leeren
Kammer abgezogen, kann auf das Ausgasverhalten der untersuchten Probe geschlossen werden. Die Menge der verbleibenden Restgase hängen nicht nur von derSauberkeit der Probe und der geprüften
Materialien ab, sondern auch vom verwendeten Pumpentyp und dessen Saugleistung. Je mehr Saugleistung für die Messung verwendet wird und je länger man
abpumpt, umso g­ eringer ist die Menge derverbleibenden Restgase.

Das LIF 471V/LIF 481V ist mit zwei verschiedenen Kabelausführungen verfügbar:

10–8

10–11

10–120102030

4050
Masse in u

60

70

180

190

200

Das Spektrum wurde mit drei Abtastköpfen bei einem Absolutdruck von 1,5–7 mbar und bei einer
Saugleistung von 92 l/s ermittelt.

Um niedrigste Ausgaswerte zu erreichen
empfiehlt HEIDENHAIN ein Ausheizen bei
100 °C für 48 Std. unter Hochvakuum­
bedingungen.

Schnittstellen-Elektronik­außerhalb des Hochvakuums:
Das Anschlusskabel des Abtastkopfs ist mit einem hochvakuumtauglichen Rund­stecker versehen.
Mit im Lieferumfang enthalten ist
eine entsprechende Hochvakuumdurchführung sowie das Adapter­kabel mit Stecker Sub-D, 15-polig,
in welchem die Schnittstellen-­
Elektronik integriert ist.

Vakuum Luft

Ultrahochvakuum

Das LIF 481 U ist mit folgender­Kabelausführung verfügbar:

Restgasanalyse
Folgendes Spektrum ergibt sich typischerweise für einen Abtastkopf LIF 48 V,LIF 47 V bzw. LIF 48 U mit einem Meter­Kabellänge und Anpasselektronik APE­(Stecker) nachdem es 24 Std. im Hoch­vakuum bei 100 °C ausgeheizt wurde.

Beim Einsatz im Ultra-Hochvakuum
darf das Messgerät keine Elektronikkomponenten wie z. B. Signalkon­
verter enthalten. Das LIF 481 U ist
mit einem Anschlusskabel und ultrahochvakuum-tauglichen Sub-D-­
Stecker ausgestattet. Im Liefer­umfang ist ein Adapterkabel mit
einem im Sub-D-Stecker integrierten
Signalkonverter enthalten. Als Zu­
behör sind Vakuumdurchführung(Sub-D-Stecker, 15-polig auf DN63CFFlansch) und Verlängerungskabel­lieferbar.

Ausführung LIF 481 U

Produktinformation LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024

Produktinformation LIF 471 V/LIF 481 V/LIF 481 U   03/2024

Vakuum Luft

Status LED

Die integrierte Funktionsanzeige erlaubt­sowohl eine qualifizierende Beurteilung derInkrementalsignale als auch eine Kontrolle
des Referenzmarkensignals. Die Qualität
der Inkrementalsignale wird durch farb­liche Abstufungen verdeutlicht. Dadurch
wird eine recht detaillierte Abstufung derSignalqualität möglich. Die Toleranzhaltigkeit des Referenzmarkensignals wirdüber eine Gut-/Schlecht-Anzeige dargestellt.

LED-Anzeige Inkrementalsignale
LED Farbe

Qualität der­Abtastsignale

optimal

gut

akzeptabel

unzureichend

Funktionsanzeige in der Anpasselektronik(bei Ausführungen in Luft)

LED-Anzeige Referenzmarkensignal(Funktionskontrolle)
Beim Überfahren der Referenzmarke schaltet die LED kurze Zeit auf Blau bzw. Rot
 ausser Toleranz in Toleranz

Anschlussbelegung
Stecker Sub-D, 15-polig

Spannungsversorgung« TTL

Inkrementalsignale

sonstige Signale4122101

9311147138615

5UP

Sensor
5V0V

Sensor
0V

Ua1¢

Ua2£

Ua0

¥HLPWT1)

frei

A+A–B+B–R+R–

belegtbelegt

frei

blau

weiß/
grün

weiß

braun

grün

grau

rosa

rot

schwarz violett

grün/
gelb/
gelb
schwarz schwarz/» 1 VSSbraun/
grün

Kabelschirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden
Nicht verwendete Adern und Pins dürfen nicht belegt werden.
1)
Umschaltung TTL/11 µASS für PWT

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH
Dr.-Johannes-Heidenhain-Straße 583301 Traunreut, Germany +49 8669 31-0
 +49 8669 32-5061
info@heidenhain.dewww.heidenhain.com

662692 · 03 · A · 01 · 03/2024 · PDF

Mit Erscheinen dieser Produktinformation verlieren alle vorherigen Ausgaben ihre
­Gültigkeit. Für Bestellungen bei HEIDENHAIN ist immer die zum Vertragsabschluss­aktuelle Fassung der Produktinformation maßgebend.

Weitere Informationen:
Zur bestimmungsgemäßen Verwendung sind die Angaben in folgenden Dokumenten
einzuhalten:• Prospekt Offene Längenmessgeräte
ID 208960-xx• Technische Information Längenmess­geräte zum Einsatz im Vakuum
ID 627568-xx