超高真空バリアブルリークバルブ

951-7172■概要
本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とガス導入が可能です。

する真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量がまた、全金属製で 450℃までのベーキングが可能ですので、6.7 ×10

超高真空装置用に適しています。

Pa・m /sec 以下ときわめて微少流量領域からの−93

■特長

■仕様

1. 熱と外部衝撃に強いシール部
シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません。
2. 微少ガス流量を安定調節
調節可能最少リーク量が 6.7 × 10 − 9Pa・m3/sec 以下（Heガス導入、1 次側ゲージ圧力 0.2MPa 時）と、きわめて3. 優れた許容加熱性
全金属製で 450℃までのベーキングができます。
4. 広範囲ガス流量調節

大気圧〜 10 − 8Pa 程度
6.7 × 10 − 9Pa・m3/sec 以下
6.7 × 10 − 11Pa・m3/sec 以下
450℃（開閉いずれも可）ガ ス ケ ット の 寿 命

約 300 回シール（室温使用時）
約 30 回シール（ベーキングを伴う場合）（ガスケット交換可能）

構 成 部 品 材 料

本体：SUS-304
シール部：WC 系超硬合金
ガスケット：Cu 合金

接続フランジ

微少ガス流量の導入が可能です。

使 用 真 空 領 域※1
調 節 可 能最 少 リ ー ク 量
バ ル ブ 全 閉 時
リーク量※2
許容加熱温度ガ ス OUTLET 側
ガ ス INLET 側

広範囲にわたりガス流量の調節が可能です。
5. 超高真空接続可能

添付品

構成部品材料を吟味してありますので、超高真空装置に接続可能です。

質量φ70ICF 固定フランジ
φ 8 ×φ 6SUS-304 管 (951-7170)
φ 34ICF 固定フランジ付 (951-7172)
951-9160 ガスケット 2 個
951-9160 リ ン グ 2 個
951-9160 ス パ ナ 1 本
呼び 5 六角棒スパナ 1 本
呼び 8 六角棒スパナ 1 本
1.3kg

■用途
導入ガス流量の調節を必要とする真空装置。
スパッタ装置、ガス分析装置。
物理学実験・研究用装置等。

246※1. 圧力 0.2MPa の He ガスをガス導入側に接続しφ70ICF 側を真空に排気している状態での値です。
※ 2. ガス導入側およびφ70ICF 側を真空または Ar ガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。

キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社

1

●外形寸法図■保守・消耗部品
下記部品は保守・消耗部品となっていますので、寿命になり

型名
951-7170：導入側φ 8SUS 管付
951-7172：導入側φ 34ICF フランジ付ました際は交換願います。
型

名名称

1 台当りの数量

951-9160

ガスケット

1951-9160

リング

1951-9160

スプリングワッシャ

544±2

112±5

51±3
（951-7172）（φ70）
φ70 ICF固定フランジ

33±3（φ34）（12.7）

25±5

φ44.5±0.5（φ8）

50±2（951-7170）（7.5）

φ34 ICF固定フランジ

リーク溝位置■使用上の注意事項
1. 本バリアブルリークバルブをベーキングされる場合は下記事項にご注意願います。

で行ってください。
2. バルブ内部にゴミや金属粉等が入らないようご注意願い・  ベーキング温度と時間により、大気側駆動部に潤滑剤ます。の再塗布が必要です。再塗布を怠りますと潤滑効果

なお、1 次側導入ガスにそのような危険のある場合は、が無くなり噛み付きの原因となることがあります。なお、配管途中にフィルタを取り付けることをお薦めします。

潤滑剤は別途ご用命ください。
（名称：スリーボンド

3. バルブの熱影響にご注意願います。

1901 潤滑剤）

バルブの熱影響が著しく現われるのは、微少ガス流量・  ベーキングの際はバルブ内部（ガス導入側も含む）にを導入している時で、温度変化に伴い流量が変化しま大気や活性ガス等を入れて行わないでください。そのす。そのため、特に精密なガス流量の制御を行う場合は、ようなことを行いますと、シール部が酸化し修理不能となることがあります。

バルブを一定温度に保持願います。
4. 本バリアブルリークバルブは腐食性ガス導入用には使用したがって、ベーキングはガス導入側およびφ 70ICF 側できません。

を真空または Ar ガスなどの不活性ガスで置換した状態■オーダリングインフォメーション
製品コード

型 名

備 考

品 名

31000

951-7170

バリアブルリークバルブ

φ70ICF 付、インレット側φ 8SUS 管

31001

951-7172

バリアブルリークバルブ

φ70ICF 付、インレット側φ 34 ICF 管

30824

951-9160

ガスケット

951-7170/7172 用30825951-9160

リング

951-7170/7172 用

31802

951-9160

スプリングワッシャ

951-7170/7172 用

スリーボンド 1901 潤滑剤（500g 缶入）

951-7170/7172 用

39730

2

商 品 名

キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社

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2011年9月作成

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TEL 044-980-5155
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本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/