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PRISMAPRO

最新世代のコンパクト質量分析計。
モジュラーデザイン。高性能なソフトウェア。最高クラスの検出限界。

PRISMAPRO®

最新世代のコンパクト質量分析計。

高感度・高安定性・インテリジェントな操作性を兼ね備えた
PrismaPro は、質量分析に最適なソリューションを提供します。
汎用性

モジュラーデザインにより、産業・環境分析・研究開発・半導体生産・コーティング技術等の分野へ、多彩なオプションでアプリケーション選択肢の幅が広がります。
PrismaPro は、品質保証・リーク検出・残留ガス分析から複雑な定量分析タスクまで、幅広いアプリケーションに最適なソリューションです。

最新世代のソフトウェア

新開発の PV MassSpec ソフトウェアがさらに追加されています。操作しやすいだけでなく、すべての測定データを容易に転送するプラットフォームとしても機能します。

オープンなプログラミング
インターフェイス

PV MassSpec ソフトウェアだけでなく、JSON プログラミングイン
ターフェイスを通して PrismaPro に直接アクセスすることも可能です。加えて、デジタルおよびアナログ入出力、イーサネットなどの幅広いインターフェイスにより、システムへの統合も簡単に行えます。
Pfeiffer Vacuum 社製品とその技術の専門家が、世界中でお客様のアプリケーションに合わせた PrismaPro の活用を支援します。長年にわたるお客様との信頼関係と豊富なアプリケーション経験を持つ Pfeiffer
Vacuum 社は、お客様にとって理想のパートナーです。

注）JSON API の開示には別途ファイファーバキューム社とのライセンス契約が必要です。

コーティング
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製品概要■ モジュール設計による最適な適応性■ コンパクトかつハイパフォーマンス
■ 多様なインターフェイスによるシンプ
ルなシステム統合■ イーサネットによるネットワーク対応■ 高速測定、高安定性、高分解能■ 交換可能な分析管と電子制御部による柔軟な運用■ 2 本のフィラメントで稼働時間を最大化■ 最小検出可能分圧 3・10-13Pa■ 直接接続可能な真空計により容易な全圧計測■ PV MassSpec ソフトウェアの直観的な操作で時間を節約■ 世界トップクラスのサポートと世界中で提供されるオンサイトサービス■ JSON プログラミングインターフェイスにより容易なシステム統合

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PV MassSpec – PrismaPro®の為の新しいソフトウェア

PV MassSpec は、PrismaPro の為に開発されたソフトウェアで、測定データや設定パラメータを取り込み、読みやすく表示する使いやすいプラットフォームを提供します。 全体の測定手順をシーケンスプログラミングすることも可能です。

PV MassSpec の測定画面■ 使いやすく、直観的な操作■ 付属のシーケンスプログラミングによる測定ルーチンの自動化■ ワンクリックでリーク検出と真空診断が可能■ 自動校正と自動チューニング機能■ シンプルな測定レシピの設定■ 質量分析計のデータを外部信号と連携可能■ PrismaPlus にも対応

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技術の概要

バイアスされたイオン化室

バイアスされたイオン化室により、極めて低いバックグラウンド信号を実現します。電子放射用のフィラメントが、グラウンドに対してプラスにバイアスされている設計により、チャンバー壁面からの気体粒子の脱離を防ぎ、電子衝撃脱離による不要なバックグラウンド信号の生成を防ぎます。

イオン化フィラメント

フィールドアクシス技術

質量分析計の性能における最も重要な要素のひとつは、イオンソースからマスフィルターへのイオンの引き込みです。フィールドアクシス技術により、イオンが大きな相互作用を受けることなくマスフィル
ターへの入り口を通過できます。この方式により、プレフィルターやポストフィルターが不要で高い感度（A/Pa）を実現できます。

マスフィルターイオン
イオン（10eV のエネルギー）

イオン化150eV のエネルギー+150 V+140 V

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寸法QMG 250 F 0
（ファラデー）QMG 250 M 0
（C-SEM／ファラデー）注）上記寸法はオープンイオンソースの場合

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コネクションオプション

標準 I/O コネクション

標準 I/O コネクター（D-Sub 15 ピンコネクタ）：
1 アナログ入力
2 デジタル入力
1 リレー
イーサネット電源：
外部電源アダプタ SP 250
90〜260V AC、50/60Hz

拡張 I/O コネクター（D-Sub 62 ピンコネクタ）：
8 アナログ出力
8 アナログ入力
10 デジタル出力
5 デジタル入力

拡張 I/O コネクション

全圧真空計用コネクター
ActiveLine または DegiLine 真空計用のアナログリレーオプション（AR）
例）質量分析計を偶発的な圧力上昇からの保護

I/O オプション

アナログ出力アナログ入力デジタル出力デジタル入力数88105仕様

0〜10V-10〜+10V

Vout = 24V

Vin = 24 V

分解能16 ビット

16 ビット‒‒アプリケーション例

 測定値、
例：イオン電流外部入力値の読み取り スイッチポイントの自由 外部信号を使用した測定タスク
な割り当ての開始または終了 比（濃度） 上位システムへのデー
タ転送

例：圧力、温度、気体流量

 バルブ作動

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技術データおよびアクセサリ

技術データ
PrismaPro

QMG 250 F1

ディテクター（検出器）

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

1〜300amu

1〜100amu

1〜200amu

最小検出限界、C-SEM
Ar 感度、ファラデー

1〜200amu

1〜300amu

4 • 10-13Pa

5 • 10-13Pa

6mm / 125mmロッドシステム（直径／長さ）
最小検出限界、ファラデー

QMG 250 M3C-SEM／ファラデー（M）

ファラデー（F）
1〜100amu

マスレンジ

QMG 250 M21)2)-111)2)

3)-11-114 • 10 Pa

5 • 10 Pa

7 • 10 Pa‒‒‒-65 • 10 A/Pa

-64 • 10 A/Pa

3 • 10-13Pa-6-6

3 • 10 A/Pa

5 • 10 A/Pa

-64 • 10 A/Pa

3 • 10-6A/Pa

5 • 10-2Pa

最大許容圧力、ファラデー
最大許容圧力、C-SEM

‒

‒

-

5 • 10-3Pa

5 • 10-3Pa

5 • 10-3Pa

隣接マスピークへの寄与（40/41）1)<10ppm<20ppm<50ppm<10ppm<20ppm<50ppm

200C（SEM 動作時は最大 150C）

動作温度、分析管
動作温度、電子制御部

5〜50C

ベーキング温度、分析管

300C接続フランジ

DN 40 CF-F

分解能（10%ピーク高さ）

0.5〜2.5amu

滞在時間

1ms〜16s/amu

ピーク比の再現性±0.5%

インターフェイス

イーサネット100〜240V AC、50/60Hz

供給電圧1)
2)
3)

オープンイオンソース時
滞在時間（Dwell Time）設定 4 秒
Faraday と比較した場合 C-SEM 動作時の方が高感度アクセサリ 2)
注文番号
ActiveLine、PKR 360、1 • 10-7〜100,000Pa

PT T02 350 010-7

PT T03 350 010-8ActiveLine、PBR 260、5 • 10 〜100,000Pa

PT R27 000

ActiveLine、TPR 280、5 • 10-2〜100,000Pa

PT R26 950

接続ケーブル、ActiveLine ゲージ‒QMG 250、0.6m

PT 448 249 -T

ActiveLine、PKR 361、1 • 10 〜100,000Pa-2

DigiLine、PPT 200 AR、1 • 10 〜100,000Pa-8PT R38 131

DigiLine、HPT 200 AR、5 • 10 〜100,000Pa

PT R39 351

DigiLine、MPT 200 AR、5 • 10-7〜100,000hPa

PT R40 351

接続ケーブル、DigiLine ゲージ‒QMG 250、3m

PT 348 250 -T2)

拡張 I/O コネクションでのみ使用可能

その他
注文番号
チャンバーおよびガス導入部品

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別途ご相談

PrismaPro®オーダーマトリックス

注文番号

PT M1a bcd 21g
ディテクター（検出器）
ファラデー1)
リーク検出および高真空残留ガス分析向け

a
5

C-SEM／ファラデー
C-SEM = 連続二次電子増倍管、

6

高速・高感度 UHV 残留ガス分析、分析アプリケーション、リーク検出

マスレンジ

b

1〜100amu

1

1〜200amu

2

1〜300amu

3

イオンソースc

オープンイオンソース
高真空残留ガス分析、高感度および優れたリニアリティー

1

クロスビーム型イオンソース
分子ビーム、イオンソースの壁面との低相互作用

30〜100eV の範囲で電子エネルギーを調整可能
グリッド型イオンソース 2)
UHV 残留ガス分析、低ガス放出および低脱離レート

フィラメントタングステン
UHV アプリケーション向け
イットリアコートイリジウム
低フィラメント温度、大気突入に対する優れた耐久性

4d
12I/O コネクション 3)

g

標準0拡張
アナログおよびデジタル入出力による制御および信号中継、全圧真空計への接続

1

1)

オープンイオンソースのみ
タングステンフィラメント付きイオンソースのみ
3)
7 ページを参照
2)

9シングルソースによる真空ソリューション
Pfeiffer Vacuum 社は世界中の革新的なカスタム真空ソリューションに、完成された技術、有益なアドバイス、信頼できるサービスを提供しています。

広範囲な製品提供
シンプルな部品から複雑なシステムまで、Pfeiffer Vacuum 社はあらゆる製品の組み合わせを提供可能な唯一の真空技術サプライヤです。

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TEL 0463-96-2005：http://www.hakuto-vacuum.jp/

すべてのデータは予告なしに変更されることがあります。PK 0115 PEN（2017/20-11）

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