特集

半導体の進化と共に成長する
ソリッドSiC製品
世界の半導体デバイス・装置メーカーから高い評価を得ている、ソリッドSiC製フォーカスリングは、高性能半導体の旺盛な需要を受け、成長期を迎えています。

01

ソリッドSiC製フォーカスリングが成長期入り

半導体の性能を高める高集積化は、2次元での微細化す。シリコンウェハの外側に配置され、プラズマをウェハにに加え、立体的に回路を積み上げる3D 化（積層化）の方集中させ、均一な処理を行うために必要な重要部材です。

向に加速しています。これに伴って、ソリッド SiC 製フォー

従来は、金属シリコンや石英ガラス製のフォーカスリング

カスリングの需要も急速に高まっています。

が主流でしたが、半導体の3D 化に伴い、エッチング回数

フォーカスリングは、プラズマ化されたガスで半導体回の増加とプラズマの高出力化が進むことにより、耐プラズ

路の溝を掘るエッチング工程において使用される部品でマ性に優れたソリッド SiC 製への切り替えが進んでいます。

フォーカスリング用素材の変遷
半導体デバイスの微細化に伴い強度と耐熱性に優れたSiC製品への切り替えが進展

SiC

シリコン・石英
グラッシー
カーボン

1990年

20

東海カーボン 統合報告書 2020

2000年

2010年

2020年 現在

価値創造のための戦略

東海カーボンの価値創造

INTRODUCTION

企業価値を支える基盤

財務セクション・コーポレートデータ

ソリッド SiCとは
当社グループ独自の CVD ※法により、通常は約100ミクロン（0.1㎜）の SiC コーティングを厚くすることで、

CVD-SiC のみで構成された、超高純度 SiC を特徴とする製品です。
強度・耐食性にも優れた材料として、半導体製造装置用の部材として最適な材料となっています。
※ CVD（Chemical Vapor Deposition）：反応管内で加熱した基盤材の表面に、目的とする薄膜の成分を含む原料ガスを供給し、化学反応により膜を堆積する方法。

02

ソリッドSiC製品でトップサプライヤーの地位を獲得

当社グループは、2002年 Tokai Carbon Korea 社（TCK）に CVD 炉を設置、2006 年からソリッド SiC 製フォーカス

韓国東海カーボン（TCK社）の業績推移（単位：百万Won）

リングの開発に着手し、2013年に商品化に成功しました。
ソリッド SiC 製フォーカスリングは、厳しい使用条件におい

250,000
売上
営業利益

200,000

6.5倍にてその真価を発揮、需要の増加に伴い販売を順調に伸ばしてきました。当社グループはソリッド SiC 製フォーカスリ
ングのパイオニアとして、品質面でも半導体デバイス・装置
メーカーから高い評価を頂いており、現在、世界シェアの150,000

2013年
Solid SiC製
フォーカスリングの商用化を開始100,000

8割を占めるトップサプライヤーとなっています。

20倍に50,000

0
2013年

2020年

Column半導体製造装置市場の推移と見通し
半導体市場は、データ流通量の急増とビッグデータ分析・クラウドサービスの定着、5G 通信網の普及、そして自動車業界における CASE 進展などから、今後も高い成長が見込まれます。半導体需要の増加に応えるべく、高性能品から汎用品まで幅広い範囲にわたって半導体製造装置への設備投資が今後も続くとみられ、当該市場は年率5〜7％程度での成長が期待できます。
ドライエッチング 装置断面図

100,000

75,00050,00025,000フロンガス
プラズマ（単位：百万ドル）

冷却水

排気

0
2015

2020 2021

2025（年）（21年4月時点。業界予測をもとに当社にて推定）
ソリッドSiCフォーカスリング

冷却水
ウェハー

東海カーボン 統合報告書 202021

GRAPHITEELECTRODES

事業概況

黒鉛電極事業

高品質電極需要の好転を見込み
安定収益の創出を目指します
2020年業績サマリー

悪化に伴う棚卸資産の評価損失（簿価切り下げ）36.6億円を計上した結果、57.7億円の営業損失となりました。

いち早くコロナ禍から脱した中国市場が牽引し、2020（百万円）

年の世界粗鋼生産は前年並みを維持したものの、黒鉛電極需要に直接影響する電炉鋼生産は、中国市場を除くと

2019年

5% 落ち込みました。加えて、黒鉛電極の市中在庫消化が遅れ、新規引き合いが減少したこともあり、当事業の売上高は前期比58.5% の大幅な減少となりました。また、市況

22

売上高

東海カーボン 統合報告書 2020

営業利益

ROS

91,31739,388

43.1%

2020年

37,879-5,766-15.2%

2021年計画40,900

1,300

3.2%

2023年参考値

82,40023,3302.8%

INTRODUCTION

価値創造のための戦略

東海カーボンの価値創造

企業価値を支える基盤

財務セクション・コーポレートデータ

中期経営計画と業績見通し
各国の財政出動の効果により、2021年は粗鋼生産に加え、電炉鋼生産も2019年水準まで戻ると見ています。また、
市中在庫の消化が進み、黒鉛電極の実需要も前年に比べて大幅に増えるものと見込んでおり、2021 年は当事業の黒字転換を図り、さらには、安定生産・供給のための再投資が可能な適正収益の確保を目指します。
中期経営計画「T-2023」の3 年間に視野を広げますと、
事業環境はより好転すると予想されます。というのも、CO2を大量に排出する高炉製法の粗鋼生産から排出量の少な
執行役員

い電炉製法へのシフトが世界で進むと考えられるからです。

えのきだに け ん じ

電極事業部 事業部長

実際、いくつかの大型電炉新設の計画が発表されています榎 谷 謙士し、中国においても高炉から電炉へのシフトが急速に進むと見られ、電炉製法に欠かせない黒鉛電極の需要は大幅な増加が想定されます。こうした需要好転予測のもと、欧州、認識されればされるほど、黒鉛電極の重要性が高まります。

アジア、北米に生産拠点を持ち、世界市場をカバーできる

そうした潮目の変化を捉え、しっかりと供給責任を果たし、当社の強みを生かし、高品質の電極を電炉メーカーに安ひいては地球環境問題解決に貢献したいと考えています。

定供給することにより、顧客との長期にわたる信頼関係を「T-2023」では電極市場拡大の機を逃すことなく事業基より強固にしたいと考えています。

盤を強化し、安定収益を創出する3年間にしたいと考えて2020年の黒鉛電極事業の業績は、コロナ禍で大きく下います。

振れしましたが、地球環境問題が世界共通の課題として電炉鋼生産へのシフト• 環境規制強化（CO2排出抑制）

長期安定供給関係の構築
輸送・物理リスク軽減• スクラップのリサイクル需要増

高品質電極需要の拡大
欧米鉄鋼生産増加の兆し• 欧州国境炭素税• アメリカのインフラ投資① 地産地消型の原料調達と供給
当社対応② 新・高機能電極③ 生産性高める技術サービス

電炉の技術革新• 電炉での高級鋼生産• 電炉の大型化

世界粗鋼生産の伸び• GDP急回復と成長• アジア鉄鋼需要拡大

高負荷操業の生産性を高める
原単位10%改善品（当社比）
大型電炉用電極のパイオニアとしての知見
操業条件最適化サポート

東海カーボン 統合報告書 2020

23

事業概況

カーボンブラック事業

適正マージンを確保しつつ市場成長に沿った生産対応を推進します
2020年業績サマリー

中期経営計画と業績見通し

米中貿易摩擦にコロナ禍が重なり、主要納入先であるタ

自動車生産の回復を受け、2021 年の販売数量は前年

イヤメーカーの生産が上期に大きく停滞したことから、売を上回る見通しです。半面、原料油価格の上昇による大上高は前期比30.5% の減少となりました。また、販売価格

幅なコスト増が、自助努力だけでは吸収できない水準に達の下落と稼働率の低下で原価率が上昇し、営業利益はしており、値上げに踏み切ることで収益率の改善を目指し

62.5% の減少となりました。しかしながら、下期の販売数ます。

量は、自動車生産の急回復に伴って上期比30% の増加とタイヤの生産量は世界経済の成長率に比例すると言われ、なっており、2020 年はコロナ禍での変化の激しい市況に

中期経営計画「T-2023」の期間中、これまでの落ち込みの翻弄された1年でした。

反動も含め年率7% の伸びが予想されます。そうしたなか、
（百万円）

売上高

営業利益

ROS

当社のカーボンブラックはタイヤ向けが8割を占めており、市場成長に沿った生産対応で高稼働率維持を見込んでい2019年

101,751

8,512

8.4%

ます。販売価格の引き上げについては、原料価格上昇に

2020年

70,754

3,192

4.5%

加え、環境投資を含む設備投資コストの価格転嫁を容認

2021年計画78,000

5,400

6.9%

2023年参考値

100,600

9,900

9.3%

いただき、適正マージンの確保に努めます。一方で、タイヤをより長寿命にする次世代製品や、タイヤ向け以外でも素材特性を生かした高付加価値商品の比率アップを図ります。
また、2018年に子会社化した Tokai Carbon CB 社を含め世界5カ国の生産体制で、原料コスト低減策や生産技術・ノウハウの共有によるシナジー効果の創出を進めていきます。
加えて、環境貢献にも注力します。廃タイヤを再利用してカーボンブラックを生産する取り組みを推進するほか、石油・石炭等の化石燃料ではなく植物油を原料としたカー
ボンブラックの生産も研究しています。また、生産過程で発生する CO2を回収し、再利用する先進技術の開発も進めていく方針です。

取締役 執行役員
カーボンブラック事業部 事業部長

24

東海カーボン 統合報告書 2020

ま す だ ひろふみ

増田 浩文

価値創造のための戦略

東海カーボンの価値創造

INTRODUCTION

企業価値を支える基盤

財務セクション・コーポレートデータ

CARBON
BLACK

世界のタイヤ生産量

T-2023期間中の取り組み

年率7%*の成長を維持する見込みです

1. 市場成長に沿った生産対応と高稼働維持

（百万本）

3,000
2,500

2. 適正マージン確保• 原材料価格変動や設備投資コストを売価に反映

2,000

3. 高付加価値商品の比率アップ（継続取り組み）

1,500• 開発品の認定を進め、高付加価値品販売比率増やす

1,000

4. サステナビリティへの取り組み

500
0• 廃タイヤのリサイクル
2009

2014

2019

実績

2024
予想

2029

• 植物油を原料としたカーボンブラックの生産• CO2回収・再利用技術の研究※ 自動車市場予測、調査会社レポートからの当社推定値*T-2023期間中は7%成長、2024年以降は3〜5%成長の見通し

東海カーボン 統合報告書 2020

25

事業概況

ファインカーボン事業

半導体市場の力強い成長を捉え
CVD SiC製品の生産能力増強を推進します
2020年業績サマリー
コロナ禍の影響で、一般産業用途向け売上は減少しま
したが、5G、IoT、DX（デジタルトランスフォーメーション）ており、半導体需要の拡大に加えて、半導体デバイスの微細化・多層化により、従来のシリコン製や石英製のフォーカスリングから耐久性に優れた SiC 製への切り替えが追い風となりました。

などの市場拡大を受け、半導体装置向けの製品出荷が年間を通じて好調であったことに加え、太陽光発電用途の（百万円）

出荷も堅調に推移しました。その結果、当事業の売上高は前期比4.6% 増、営業利益は8.8% 増と年初の想定を上

営業利益

ROS

回りました。特に、半導体製造のエッチング工程で使用さ

2019年

30,369

6,107

20.1%

2020年

31,775

6,647

20.9%

れるソリッド SiC 製フォーカスリングが、販売数量を大きく

2021年計画33,700

5,700

16.9%

伸ばしました。当社はこの製品で世界シェア約8割を有し2023年参考値

41,900

8,700

20.8%

FINE
CARBON26

売上高

東海カーボン 統合報告書2020

東海カーボンの価値創造

INTRODUCTION

価値創造のための戦略

企業価値を支える基盤

財務セクション・コーポレートデータ

中期経営計画と業績見通し
2021 年は、現在進めている生産能力増強を完成させ、さらなる売上拡大を目指します。ファインカーボンの黒鉛材を生産する田ノ浦工場は、2020年7月に豪雨被害を受けましたが、グループ拠点にある熱処理設備を有効活用するなどして、現在は復旧してフル生産の状態にあります。また、今後も想定される自然災害への備えをあらためて強化しているところです。
中期経営計画「T-2023」においては、半導体製造装置
市場が年率5〜7% 伸び、また、世界的な再生可能エネル
ギーへの転換の動きから、太陽光発電向け需要も年率

しん

ファインカーボン事業部 事業部長

ひ で お

進 英雄

10% 前後の成長を見込んでいます。こうしたなか、当事業では、等方性黒鉛材の生産能力を増強するとともに、2021年中に、韓国でのソリッド SiC 製フォーカスリングの生産能力を2019年比で50% 増にする予定です。また、日本や中国でも高純度処理炉や最新鋭の CVD-SiC 炉の新生産効率を向上させます。加えて、サプライチェーンでの設を進めており、高付加価値製品の比率を高め、数量効

CO2排出抑制に努めつつ、省エネに有効なパワー半導体

果を上回る売上拡大を目指します。

や太陽光発電装置の製造に不可欠な、高品質のファイン

一方、2020 年にグループに加わったフランスの Tokai

COBEX Savoie 社に、押出成形黒鉛材の生産を集約する

カーボン製品を生産供給することで、環境負荷低減に貢献していきます。

など、事業部を横断した再編も進め、コスト競争力および

事業環境
半導体、
PV市場活況、拡大の見通し

戦略

1. 市場成長に沿った規模拡大• 等方性黒鉛素材の生産能力増強

半導体供給不足。製造装置市場は今後も成長を継続する見通し
半導体（年率5−7%成長）
世界的な再生可能エネルギーへの転換の動きに伴い需要は拡大する見通し

太陽光発電
（PV）

（年率10%成長）

出典：半導体はWSTS、Gartner他を参考に当社推定、PVは資源総合システム他を参考に当社推定

2. 高付加価値品市場への注力• SiCリング生産能力増強（韓国：2021年下期）• 最新鋭CVD-SiC炉導入（日本：2021年上期）• 高純度炉新設（中国：2021年上期）
3. 全体最適• 押出材生産をフランス拠点（Tokai COBEX）
へ集約• グループ内熱処理設備の有効活用• 欧州加工拠点再編によるコスト削減

東海カーボン 統合報告書 2020

27

事業概況

精錬ライニング事業

TCXとTCSの統合効果により販売力と生産性を大幅に強化します
2020年業績サマリー

事業の売上高は前期のほぼ1.5倍に拡大しました。また、

M&A に伴う償却費等で96.9億円を計上しましたが、営業2019 年 7月に子会社化したドイツの Tokai COBEX 社

利益は11.6億円を確保しました。

（TCX）が年間を通じて連結決算に寄与し、さらに2020
年7月にフランスの Tokai COBEX Savoie 社（TCS）
を加えて、アルミ精錬用カソードの事業規模を拡大させました。

中期経営計画と業績見通し

アルミ市況は、コロナ禍による世界的な景気後退を受け、EV 等の軽量化ニーズや新興国における都市型住宅需

上期こそ低調に推移しましたが、下期には自動車生産等

要増から、自動車業界をはじめとして世界的にアルミ需要の回復により好転し、出荷を伸ばしました。また、高炉のが高まるなか、インドを中心に精錬効率に優れた黒鉛化カ

内張り用ライニング材となる高炉用ブロックも、中国の旺

ソードの需要も拡大しており、また、2021年は TCS が年間

盛な巻き替え（更新）
需要により高水準の出荷となりました。

を通じて連結決算に寄与することもあり、25% の売上増加

コロナ禍で一部物流遅延が生じたものの、精錬ライニングを見込んでいます。しかしながら M&A に伴う償却費負担
により、ROS は4.8% への改善にとどまります。現在、TCX

（百万円）

売上高

営業利益

ROS

とTCS の販売・生産・技術・人事等の組織統合を進めており、今後、収益性の改善を図っていきます。

2019年

14,662-1,600-10.9%

中期経営計画「T-2023」では、第一に TCX と TCS の統

2020年

36,421

1,161

3.2%

合効果により販売力と生産性の大幅な強化を図ります。

2021年計画45,600

2,200

4.8%

2023年参考値

61,20010,10016.5%

具体的には、TCX に高強度黒鉛化カソードを、TCS にペー
ストやサイドウォール等をそれぞれ集約します。さらにグルー
プ全体のシナジー効果創出の一環として、ファインカーボ
ン事業の押出材の生産を TCS で行うほか、EV 市場の急拡大が見込まれる欧州に向け、日本で生産している負極材の TCS への移管も検討しています。
第二に、イノベーション製品である RuC（Ready-to-Use

Cathode）
による市場開拓を加速します。電力消費の大きいアルミ精錬炉では生産効率を追求する過程で、高電流に耐えうる黒鉛化カソードへの切り替えが進んでいますが、さらなる環境負荷低減商品として、カソードに銅のバーを装着した RuC を開発しました。加えて脱炭素社会の実現に向け、TCS では水力発電を利用し、TCX のポーランド工場においても再生可能エネルギーで電力を賄うこととして
執行役員
精錬ライニング事業部 事業部長

28

東海カーボン 統合報告書 2020

ま さ き

た か し

真先 隆史

います。

価値創造のための戦略

東海カーボンの価値創造

INTRODUCTION

イノベーション型カソードの提案

フランス2工場（旧サボワ社）
フランス
ヴェニシュー工場

RuC®

財務セクション・コーポレートデータ

ポーランド2工場（旧コベックス社）

フランス
ノートルダム・ド・ブリアンソン工場

ポーランド
ノビソンチ工場

ポーランド
ラチブシュ工場

2021年より名実ともに統合

Ready to Use Cathode• エネルギー原単位低減（約5%）によるCO2排出削減に貢献• カソードのライフを1−3年延長• 顧客での導電バーの鋳鉄作業不要

企業価値を支える基盤“TOKAI COBEX” として一体化
販売面• 販売ブランド名を統一• 課題解決提案力の向上• 顧客データベース一元化

生産技術面

管理面

• 100年間の技術的知見融合• シックスシグマによるコスト
削減アプローチ• ERPシステム統合により同一
データベースでの生産・販売・会計管理（2023年1月）

Smeltingand Lining
東海カーボン 統合報告書 202029

Industrial
Furnace andRelatedProducts

事業概況

工業炉および関連製品事業

次世代炉の開発に注力し継続的な高収益を目指します
2020年業績サマリー

注獲得に注力します。特に、顧客の次世代製品への迅速な対応を図るとともに、省エネや排熱回収システムを導入

5G 基地局の増加や自動車の電装化を背景に、主要取した工業炉の開発を推進します。また、消耗品であるエレ

引先となっている MLCC（積層セラミックコンデンサ）業界

マ発熱体についても、環境対応型製品の開発・投入によりの堅調な設備投資を受け、主力の工業炉の売上が拡大し差異化し、需要回復をにらみながら段階的に生産能力をました。エレマ発熱体その他製品の販売は、コロナ禍の影増強していきます。一方で将来を見据え、技術系人材の響を受けて減少しましたが、事業全体の売上高は前期比確保も重要課題として取り組みます。

9.8% 増、営業利益は16.6% 増と過去最高を記録しました。
（百万円）

売上高

2019年

12,641

営業利益

3,227

ROS

25.5%

2020年

13,873

3,765

27.1%

2021年計画18,300

4,400

24.0%

2023年参考値

19,800

5,100

25.8%

中期経営計画と業績見通し
2021年も工業炉の順調な受注に支えられ、増収増益を見込んでいます。対面業界である MLCC 市場は年率 5 〜

10%、さらにリチウムイオン電池市場は20〜30% の伸びが見込まれ、中期経営計画「T-2023」では、こうした成長市場に集中し、実績・ノウハウ・開発力を強みとして新たな受30

東海カーボン 統合報告書 2020

東海高熱工業株式会社
代表取締役社長

さ と う あきひこ

佐藤 明彦

価値創造のための戦略

東海カーボンの価値創造

INTRODUCTION

企業価値を支える基盤

財務セクション・コーポレートデータ

Other
Businesses(Friction materials,
Anode materials)

事業概況

その他事業（摩擦材・負極材等）

自動化を進め
収益改善を目指します
2020年業績サマリー

びており、2021年のその他事業は増収増益の見通しです。
しかしながら、新興勢の台頭により価格競争が激しくなっ摩擦材の売上高は、四輪市販向け市場から撤退した影ており、中期経営計画「T-2023」では収益性の改善を重響と、コロナ禍による建設用機械、農業用機械、二輪向け

要課題として、棚卸資産の削減を徹底するとともに、労働市場の低迷で、前期比13.0% の減少となりました。半面、集約型の生産体制から段階的に自動化を進めていく方針

負極材の売上高は、欧州を中心に EV 向け販売数量が増です。一方で強みである素材技術を生かし、品質向上と加し、14.3% 増となりました。不動産賃貸等その他の売上

次世代品開発に注力します。

高は2.6% 減となりました。その結果、事業全体の売上高は前期比4.0% 減となりましたが、営業利益は黒字に回帰
しました。
（百万円）

売上高

2019年

11,286

営業利益

-21

ROS

-0.2%

2020年

10,837298

2.8%

2021年計画11,400500

4.4%

2023年参考値

14,100

1,400

9.9%

中期経営計画と業績見通し
足元では摩擦材も、中国において建設用機械、農業用
機械、産業用ロボット向け等が盛り返しているほか、欧州においてツーリングやスポーツ仕様の二輪向け販売が伸

たちばな よしはる

摩擦材事業部 事業部長

立花 善治

東海カーボン 統合報告書 202031