Lecture (Domestic)

Lead Author
種別/Type 対象/Area

代表者/Lead author

共著者/Co-Author

18th Mar., 2020

題名/Title

発表先/PublicationY

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

酒⾒俊之，⾼橋伸明，古林寛，牧野久雄，⼭本哲也

Factors limiting the generation of negative-oxygen-ions withafter-arc plasma

第36回 プラズマプロセシング研究会/第31回 プラズマ材料科学シンポジウム

2019

1 https://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/SPP36/

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

酒⾒俊之，⾼橋伸明，牧野久雄，⼭本哲也

アフターアークプラズマにおける酸素負イオン⽣成⽀配因⼦

負イオン研究会2018 「負イオンの基礎と実践の最前線」

2018

12 https://workshop.nifs.ac.jp/n-ion2018/

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

野本淳⼀，酒⾒俊之，牧野久雄，⻘⽊康，⼭本哲也

グローバルモデルによるアフタアークプラズマにおける酸素負イオン⽣成⽀配因⼦ 第65回応⽤物理学会春季学術講演会

2018

3 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2018s/subject/17p-C204-10/advanced

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

野本淳⼀，酒⾒俊之，牧野久雄，⻘⽊康，⼭本哲也

アフターアークプラズマにおける酸素負イオン⽣成機序の解析

2017

12 https://workshop.nifs.ac.jp/n-ion2017/

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

野本淳⼀，酒⾒俊之，牧野久雄，⻘⽊康，⼭本哲也

時間分解プローブ及び RF プローブ法によるアフターアークプラズマにおける酸素
第78回応⽤物理学会秋季学術講演会
負イオン⽣成機序の解明

2017

9 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2017a/subject/5a-A413-5/advanced

招待講演/Invited
Lecture国内/Domestic

北⾒尚久(招待講演)

反応性プラズマ蒸着装置の基礎と応⽤

先進コーティングアライアンス 第三回⾒学会 「⾼知⼯科⼤学 セミナー及び⾒学会」

2017

8 http://www.adcal.org/doc/ADCAL_kengakukai3rd_170822.pdf

招待講演/Invited
Lecture国内/Domestic

前原誠(招待講演)

反応性プラズマ蒸着装置による透明導電膜の成膜技術

⽇本学術振興会 薄膜第131委員会 第284回研究会

2017

4

講演
/Lecture

国内/Domestic

北⾒ 尚久

野本淳⼀，酒⾒俊之，牧野久雄，⻘⽊康，⼭本哲也

アフターアークプラズマ型酸素負イオン照射装置における時間分解プローブ測定第64回応⽤物理学会春季学術講演会

2017

3 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2017s/subject/15a-502-6/advanced

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

野本淳⼀，酒⾒俊之，牧野久雄，⻘⽊康，⼭本哲也

アフターアークプラズマにおける酸素負イオンの計測および酸化亜鉛膜への照射
平成28年度 負イオン研究会「負イオンとビーム／科学と技術の協奏」
効果

2016

12 https://workshop.nifs.ac.jp/n-ion2016/

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

アフターアークプラズマ型酸素負イオン照射装置の開発

第77回応⽤物理学会秋季学術講演会

2016

9 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2016a/subject/15a-A22-3/advanced

招待講演/Invited
Lecture国内/Domestic

北⾒尚久(招待講演)

反応性プラズマ蒸着法を⽤いた透明導電膜成膜および成膜解析技術

第63回 CVD 研究会「第27回夏期セミナー」

2016

8 http://cvd.jpn.org/history/cvd2016.html

招待講演/Invited
Lecture国内/Domestic

北⾒尚久(招待講演)

Reactive Plasma Deposition の基礎と応⽤透明酸化物光・電⼦材料 166 委員会 第72回研究会 講演会「チュートリアル︓スパッタリングの基礎と新しい製膜法」

2016

7 http://conf.msl.titech.ac.jp/Conference3/CPEOM166/Kenkyukai.html

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

酒⾒俊之，野本淳⼀，牧野久雄，⻘⽊康，加藤隆典， ⾶来粒⼦定量分析による反応性プラズマ蒸着 Ga 添加 ZnO 薄膜の成膜
⼭本哲也
因⼦の解明

第63回応⽤物理学会春季学術講演会

2016

3 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2016s/subject/20a-S222-1/advanced

招待講演/Invited
Lecture国内/Domestic

⽊下公男(招待講演)

前原誠，酒⾒俊之，北⾒尚久

反応性プラズマ蒸着 (RPD) 装置

第63回応⽤物理学会春季学術講演会

2016

3 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2016s/subject/21p-S222-5/advanced

招待講演/Invited
Lecture国内/Domestic

北⾒尚久(招待講演)

宮下⼤, 酒⾒俊之, ⻘⽊康, 加藤隆典

反応性プラズマ蒸着法における成膜粒⼦の⼊射エネルギーおよびイオン化率の第76回応⽤物理学会秋季学術講演会
定量分析

2015

9 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2015a/subject/14p-1B-7/advanced

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

酒⾒俊之, 野本淳⼀, 牧野久雄, ⻘⽊康, 加藤隆典, ⼭本 反応性プラズマ蒸着法におけるGa添加ZnO成膜粒⼦の⼊射エネルギーおよ哲也
びイオン化率計測

第76回応⽤物理学会秋季学術講演会

2015

9 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2015a/subject/16a-1B-3/advanced

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

宮下⼤, 酒⾒俊之, ⻘⽊康, 加藤隆典

反応性プラズマ蒸着装置における蒸着粒⼦のイオン化率およびエネルギー分布
第61回応⽤物理学会春季学術講演会の制御

2014

3 https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2014s/subject/17p-F3-16/advanced

講演/Lecture

国内/Domestic

北⾒尚久

宮下⼤, 酒⾒俊之, ⻘⽊康, 加藤隆典

反応性プラズマ蒸着装置における質量・エネルギー分析器とラングミュアプローブ
第61回質量分析総合討論会を⽤いた蒸着粒⼦のイオン化率定量分析の検討

2013

9 http://www.mssj.jp/en/Japanese/Conference/2013/

招待講演/Invited
Lecture国内/Domestic

酒⾒俊之(招待講演)

透明導電膜(ITO膜)の新しい成膜装置

透明酸化物光・電⼦材料 166 委員会 第6回研究会

1998

10 http://conf.msl.titech.ac.jp/Conference3/CPEOM166/Kenkyukai.html

講演/Lecture

国内/Domestic

酒⾒俊之

透明導電膜(ITO)の新しい成膜装置

⽇本真空協会関⻄⽀部 平成10年度第2回研究会

1998

7

負イオン研究会 2017 「負イオンの基礎と実践の最前線」

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