2017年1月26日
第３４回無機材料に関する最近の研究成果発表会－材料研究に新しい風を－高品質な銅酸化物高温超伝導膜の新規低温製造プロセスの提案
島根大学 総合理工学研究科
物理・材料科学領域 助教
舩木 修平
REBa2Cu3Oy → RE123
REBa2Cu4O8 → RE124

発表のアウトライン
 背景
超伝導現象の発見，及び超伝導転移温度(Tc)の変遷
超伝導の3つの臨界，及び高性能化への指針
RE123, RE124超伝導体の特徴，及び現状と課題
目的・検討内容
KOH flux法

 研究成果大気中において作製したRE124膜の磁場中特性の向上
雰囲気制御によるRE123及びRE124膜の作製と，作製温度の低温下
後熱処理によるRE124 → RE123相変態と高特性化

超伝導現象の発見 ～1911年～
H. Kamerlingh-Onnes（オランダ、ライデン大学）

水銀を極低温(4.2 K)にすることで抵抗が消失する現象を発見

・超伝導の発見・液体ヘリウムの精製

この後、金属系及び合金系の超伝導体が数々発見される

超伝導転移温度(Tc)の変遷

出典： http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2016/160510/ (2016/12/9アクセス)超伝導の3つの臨界（Tc–Bc–Jc）
超伝導状態は、ある温度、磁場、電流密度以下（臨界面の内側）で存在

温度一定で使用高性能化への指針（磁束のピン止め）
ローレンツ力が発生
B：磁束磁束線の運動PF：ピン力FL：ローレンツ力(FL=J×B)
ピンニングセンター

J：電流（PC：常伝導体、Tc の低い領域）

磁束が速度vで移動するとき
E=B×v （誘導起電力が発生）
電気抵抗の発生

超伝導の消失Fig. 混合状態にある超伝導体。

磁束をピン止めする
ピンニングセンター(PC)が必要

各次元のピンニングセンター(PC)1D-APC

2D-APC

3D-APC◆転位◆結晶粒界◆析出物・異相

刃状転位、螺旋転位◆双晶境界

Cu-O相◆柱状欠陥◆弱超伝導部分BZO nanorods、イオン照射領域などの非超伝導相

RE / Ba置換したLow-Tc相

Fig. 超伝導体内に存在するピンニングセンターの概略図。

発表のアウトライン
 背景
超伝導現象の発見，及び超伝導転移温度(Tc)の変遷
超伝導の3つの臨界，及び高性能化への指針
RE123, RE124超伝導体の特徴，及び現状と課題
目的・検討内容
KOH flux法

 研究成果大気中において作製したRE124膜の磁場中特性の向上
雰囲気制御によるRE123及びRE124膜の作製と，作製温度の低温下
後熱処理によるRE124 → RE123相変態と高特性化

RE123, RE124超伝導体の特徴
REBa2Cu3Oy (RE123)
 Tc ~ 90 K

REBa2Cu4O8 (RE124)
 Tc < 80 K

 酸素量でTcが変化 酸素量が安定でTcが一定

 軽希土類で高TccbREBaCu 重希土類で高Tc

 RE/Ba置換によりTcが低下[1]RE123の結晶構造[1] M. Murakami et al., Supercond. Sci.
Technol. 9 (1996) 1015-1032

応用上の長所・短所○ 比較的薄膜化が容易✕ 酸素アニール処理が必要 RE/Ba置換を生じにくい
 Ca添加でTc = 90 K
RE124の結晶構造
応用上の長所・短所✕ 良質薄膜の合成難○ 酸素アニール処理が不要

液体窒素温度(77 K)下における応用が期待されているが，電気的異方性を有するため配向プロセスが必要

実用化の現状と課題
Coated Conductor方式
安定化層・金属テープ：機械的強度の確保

超伝導膜

バリア・配向層
金属テープ
Schematic image of Coated Conductor tape

金属原子などの不純物によるTcの低下

・配向層：粒界によるJc低下を抑える
・複数のバリア層：金属原子の拡散の防止
・安定化層：超伝導膜を保護

金属原子の拡散

現在主流の手法(PLD, MOD等)は800ºC前後の高温環境が必要

超伝導層

バリア層が必須

金属テープ

高温における合成に際しては金属原子の拡散防止が必要

低コスト化の妨げ研究目的，検討内容

低温かつ高速でRE124, RE123膜を成膜可能とする簡易的な手法の確立

大気中において作製したRE124膜の磁場中特性の向上

雰囲気制御によるRE123及びRE124膜の作製と，作製温度の低温下
後熱処理によるRE124 → RE123相変態と高特性化

KOHフラックスを用いたY124単結晶の低温合成
Table. RE124結晶の作製方法
Fabrication method

Temp. Pressure Time
[˚C]
[atm]
[h]

Solid state reaction [1]

800

1168

High-pressure synthesis [2]105010021Molten alkali hydroxide [3]700

1~4[1] S. Adachi et al., Physica C 175 (1991) 523[2] T. Miyatake et al., Nature 341 (1989) 41.
[3] Y. T. Song et al., J. Cryst. Growth 300 (2007) 263

Fig. Y124単結晶のSEM像 [3] 溶融させた水酸化アルカリを用いて低温でY124単結晶を作製
 CaをREサイトに置換させキャリア濃度を制御すること
でTcが91 Kまで上昇

Fig. Y1-xCaxBa2Cu4O8結晶における磁化率の温度依存性 [2]発表のアウトライン
 背景
超伝導現象の発見，及び超伝導転移温度(Tc)の変遷
超伝導の3つの臨界，及び高性能化への指針
RE123, RE124超伝導体の特徴，及び現状と課題
目的・検討内容
KOH flux法

 研究成果大気中において作製したRE124膜の磁場中特性の向上
雰囲気制御によるRE123及びRE124膜の作製と，作製温度の低温下
後熱処理によるRE124 → RE123相変態と高特性化

試料作製手順
Muffle furnace

InsulationmaterialKOH
NdGaO3 (001)
SubstrateRawmaterials

Heating temperature [ºC]

RE : Ca : Ba : Cu = 1–x : x : 2 : 4 (x = 0 ~ 0.15)

Film

Tf = 494 ~ 796ºC

Particle

12 h036912Time[h]1518496 ~ 796ºCで12 h加熱処理

KOH及びK2CO3除去のために、水、エタノールを加え超音波洗浄

Y124膜及びYCa124膜の配向性 (Tf = 641ºC): RE124 (00l)

YCa124(x=0.1)

(a)

Y124

(b)

Y124

Intensity [a. u. ]NGO (006)

NGO (004)

Intensity [a. u. ]using (108)

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
2q [degree]
Fig. Y124膜及びYCa124膜のXRD 2q-q パターン0

YCa124(x=0.1)
using (108)NGO sub.

NGO sub.

using (204)using (204)90 180 270 360
f [degree]
Fig. Y124膜及びYCa124膜のXRD 2qc-fパターン
90 180 270 360
f [degree]0

S. Funaki et al, Physics Procedia 27 (2012) 284

Y124膜及びYCa124膜の配向性 (Tf = 641ºC)
Y124: RE124 (00l)

YCa124(x=0.1)

(a)

(b)

Y124

YCa124(x=0.1)

Y124 [110] // NdGaO3 [100]100 mm
Y124
using (204)using (108)Intensity [a. u. ]NGO (006)

Intensity [a. u. ]NGO (004)

using (108)NGO sub.

Y124

NGOsub.
[110]

[001]

YCa124(x=0.1)

NdGaO3 using (204) [100][001]

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
2q [degree]
100 mm 2q-q パターン
Fig. Y124膜及びYCa124膜のXRD

090 180 270 360
f [degree]
Fig. Y124膜及びYCa124膜のXRD 2qc-fパターン
90 180 270 360
f [degree]

0S. Funaki et al, Physics Procedia 27 (2012) 284

641ºCという低温でも2軸配向したY124膜が得られた

Y124膜及びYCa124膜のTc
Y124
YCa124
Resistance [a. u. ]Resistance [a. u. ]Y124
YCa124708090

100 110 120 130 140 150
Temperature [K]78808284 86 88 90Temperature [K]92

Fig. Y124及びYCa124膜のR-T曲線
S. Funaki et al, Physics Procedia 27 (2012) 284

Y124膜にCaをドープすることで、Tczeroが8 K上昇

94

Y124, YCa124の低温成膜
measured by SQUID

Fig. Phase identification of Y-124, YCa-124 films

Fig. Tc of Y124, YCa124 films

 Y/Ca置換量x=0において， 595~697ºCで124相の強いc軸配向
 c軸配向領域及びhigh-Tc領域が x の増加に従って低温側に遷移

YCa124膜の不可逆磁場曲線

1010592˚C, x=0.05
641˚C, x=0.05
692˚C, x=0.05

6864

Birr [T]Birr [T]8641˚C, x=0641˚C, x=0.05641˚C, x=0.10
641˚C, x=0.15

224B//c04050B//c

60 70 80 90 100
Temperature [K]0405060 70 80 90 100
Temperature [K]Fig. Irreversibility lines of Y124, YCa124 film

作製温度による結晶粒径の変化

c595ºC, x=0.05

641ºC, x=0.05

50 mm

697ºC, x=0.05

50 mm

50 mm

作製温度：低，不可逆磁場：高 作製温度の低温化に従い結晶粒径が小さくなる傾向→粒界によるピンニング効果で不可逆磁場が向上

Caドープ量による結晶粒径の変化
641ºC, x=0.15

641ºC, x=0.05

641ºC, x=0c50 mm

Caドープ量：多，不可逆磁場：高50 mm

50 mm

641ºC, x=0.150 mm

YCa124膜のピンニングセンター
641ºC, x=0641ºC, x=0.1

c

c

20 mm

20 mm

10 mm

c10 mm Caドープにより多数のエッチピットが存在→転位によるピンニング効果で不可逆磁場が向上

c

YCa124膜のピンニングセンター
641ºC, x=0.15

CaとBaを含んだ
析出物
析出物の跡

25 mm

 CaとBaを含む多数の析出物が存在→余剰なCaによる析出物がピンニングセンターc

他の超伝導体の不可逆磁場との比較
10Ti-1223

641ºC, x=09

Y123

B//c

641ºC, x=0.1

8595ºC, x=0.1

Birr [T]7

Hg-1223

6La214

5

Nd123

43Bi-2223

2100.2

0.3

0.4

0.5

0.60.7
T / Tc0.8

0.9

1.0J. L. MacManus-Driscoll, Annu. Rev. Mater. Sci. 1998. 28:421–62
M. Suenaga et al., Supercond Sci. Techno1 5 (1992) S1-8

Fig. Irreversibility lines of various superconductor

発表のアウトライン
 背景
超伝導現象の発見，及び超伝導転移温度(Tc)の変遷
超伝導の3つの臨界，及び高性能化への指針
RE123, RE124超伝導体の特徴，及び現状と課題
目的・検討内容
KOH flux法

 研究成果大気中において作製したRE124膜の磁場中特性の向上
雰囲気制御によるRE123及びRE124膜の作製と，作製温度の低温下
後熱処理によるRE124 → RE123相変態と高特性化

YBCOの酸素圧力－温度相図
Y124

Y123

Fig. Y-Ba-Cu-OのP-T相図

酸素分圧を低くすることで，潜在的なTcが高い
RE123膜の作製が可能？

試料作製方法
Tube furnace
N2 flowN2 flow

Crucible

成膜
Tf

酸素アニール600@ pO2: ~1x10-4 atm
500 ~ 700˚C
KOH
SubstrateRawmaterials

Heating temperature [˚C]

Heating temperature [ºC]

Heater12 h0 3

15Time [h]@ O2 flow中450˚C

400

350˚C
12 h

5h

200

003

69 12
Time[h]1518

Y123膜のXRD測定結果::Y123::Cu
Y123(00l)(00l)
Cu22OO::Y211
Y211
NGO
NGO(004)(004)
NGO(002)(002) NGO::Ba-Cu-O
Ba-Cu-O ::Raw
Rawmaterialmaterial
NGONGO(006)(006)

Y123(103)
Y123(103)

650˚C
650˚C

600˚C
600˚C

550˚C
550˚C

Intensity [a. u. ]Intensity [a. u. ]

700˚C
700˚C

500˚C
500˚C
00 10
10 20
20 30
30 40
40 50
50 60
60 70
70 80
80 90
90 100100

22qq [degree][degree]

NdGaO33(204)
(204)
NdGaO

Fig.XRDXRD 222
pattern
ofof
Y123
films
Fig.
XRD
qqq
--qq-qpattern
Y123
films
Fig.
patternof
Y123
films
as aa function
function ofof heating
heating temperaturetemperatureas
as a function of heating temperature-45 00 45
45 90
90 135135 180
180 225
225 270
270 315315 360
360 405405-45

 550˚C以上でY123が2軸配向S. Funaki et al, Jpn. J. Appl. Phys. 55 (2016) 04EJ13[degree]ff [degree]

Fig. XRDXRD 22qc
qc--ffpatternpattern ((ff-scan)-scan) ofof Y124
Y124 films
films
Fig.
Fig. XRD 2qcand-andf pattern(f-scan)ofY123
films
NdGaO33 substrate
substrate
NdGaO

and NdGaO3 substrate

Y123膜の表面写真::Y123::Cu
Y123(00l)(00l)
Cu22OO::Y211
Y211
NGO
NGO(004)(004)
NGO(002)(002) NGO::Ba-Cu-O
Ba-Cu-O ::Raw
RawmaterialmaterialNGONGO(006)(006)

Y123(103)
Y123(103)

650˚C
650˚C

600˚C
600˚C

550˚C
550˚C

Intensity [a. u. ]Intensity [a. u. ]

700˚C
700˚C

500˚C
500˚C
00 10
10 20
20 30
30 40
40 50
50 60
60 70
70 80
80 90
90 100100

22qq [degree][degree]

NdGaO33(204)
(204)
NdGaO

Fig.XRDXRD 222
pattern
ofof
Y123
films
Fig.
XRD
qqq
--qq-qpattern
Y123
films
Fig.
patternof
Y123
films
as aa function
function ofof heating
heating temperaturetemperatureas
as a function of heating temperature

S. Funaki et al, Jpn. J. Appl. Phys. (submitted)-45 00 45
45 90
90 135135 180
180 225
225 270
270 315315 360
360 405405-45[degree]ff [degree] 高品質な結晶成長で見られるスパイラル成長を確認
550˚C以上でY123が2軸配向
Fig. XRDXRD 22qc
qc--ffpatternpattern ((ff-scan)-scan) ofof Y124
Y124 films
films
Fig.
Fig. XRD 2qcand-andf pattern(f-scan)ofY123
films
NdGaO33 substrate
substrate
NdGaO

and NdGaO3 substrate

Y123膜のr-Tカーブ及びTc
95
Fabrication temp. = 650˚C60

905085
Tc [K]

Resistivity [mWcm]

7040308075

2070

106506050100 150 200 250
Temperature [K]

300

onset
TconsetTc
zeroTczero
Tc

450
550
650750Fabrication temperature [˚C]
S. Funaki et al, Jpn. J. Appl. Phys. 55 (2016) 04EJ13650ºCという低温下で，高いTc = 90.4 Kを有するY123膜の作製に成功

RE123のTc及びRE/Ba置換
100YEuSm
Yb Er Dy Gd

Nd

La

11.81

100

11.75

Tc [K]

9692
J. M. Tarascon et al., Phys. Rev. B 36 (1987)
M. Murakami et al., Supercond. Sci. Technol. 9 (1996) 1015.
F. Tao et. al., Materials Letters 40 (1999) 222.

1.02

1.06
1.10
1.14
RE ionic radius [Å]2011.63
1.18Fig. REイオン半径とTc, c 軸長の相関・イオン半径のが大きくなるにつれTcが上昇
Y123: 92 K
La123: 96 K
・RE1+xBa2-xCu3Oyで表される固溶体を形成し，xの増加に伴い，c軸長が収縮，Tcが低下
Gd123: < 0.18
Eu123: < 0.39
Sm123: < 0.40
Nd123: < 0.52
La123: < 0.71
M. Murakami, et al., Supercond. Sci. Technol. 9 (1996) 1015

40400Lattice constant [Å]880.98

11.69

80
Tc [K]

c軸長c-axis length [Å]

Tc

3.90

3.85
00.1
0.20.3x in Nd1+xBa2-xCu3Oy0.4Fig. RE/Ba置換量 x とTc, c 軸長の関係
K. Takita et al., Jpn. J. Appl. Phys. 27 (1988) L57

KOHフラックス法によるNd123膜の低温成膜 @ air

Fig. XRD 2q–q patterns and R–T curves of Nd123 films

 BaCO3原料を用いたKOH法でNd123膜の低温作製に成功
S. Funaki et al, Physics Procedia 65 (2015) 125

KOHフラックス法によるNd123膜の低温成膜 @ air
BaCO3

Fig. XRD 2q–q patterns and R–T curves of Nd123 films
 作製温度の低下に伴いNd/Ba置換量が増加し，Tcが低下
S. Funaki et al, IEEE TAS 26 (2016) 7201404

発表のアウトライン
 背景
超伝導現象の発見，及び超伝導転移温度(Tc)の変遷
超伝導の3つの臨界，及び高性能化への指針
RE123, RE124超伝導体の特徴，及び現状と課題
目的・検討内容
KOH flux法

 研究成果大気中において作製したRE124膜の磁場中特性の向上
雰囲気制御によるRE123及びRE124膜の作製と，作製温度の低温下
後熱処理によるRE124 → RE123相変態と高特性化

RE123, RE124超伝導体の特徴
10RE124

2 : 4 : 7 + CuO

RE123
1

pO2 [atm]

REBa
Cu
Oc

1:2:4

10–1
1:2:3+CuO

10–2ab
10–3
600 700 800 900 1000
Fig. Crystal structure of RE123 and RE124

Temperature [˚C]

Fig. P–T diagram of Y–Ba–Cu–O
T. Wada et al, Jpn. J. Appl. Phys. 29 (1990) 915

組成Tc

安定温度領域

酸素量RE/Ba置換

RE123~ 96 K高い変動生じるRE124~ 80 K

低い一定生じないBa原料変更による生成相の制御
BaCO3Eu123 (00l)010BaO2Eu124 (00l)2030402q [degree]

50

Eu124 (00l)
500C500C475C475C450C450C

60

010203040
2q [degree]

50

Fig. XRD 2q–q patterns of Eu123 + Eu124 and Eu124 films prepared byusing BaCO3 and BaO2, respectively

60

Y. Miyachi et al, Physics Procedia 65 (2015) 129

実験方法 – 相変態によるEu123の形成
相変態熱処理条件
使用膜：Eu124/SrTiO3 (NaOH-KOH共晶溶液, BaO2使用, 475C 成膜)

熱処理温度：550~825C

熱処理時間：12時間

雰囲気： P(O2)＝0.2 atm, 10-3atm, 10-4 atm, 10-5 atm (N2-O2混合ガス)

成膜：溶融水酸化物法- Eu124/SrTiO3膜の成膜- 膜のカット

溶融塩+原料基板

相変態熱処理洗浄- Eu124→Eu123相変態熱処理
カット

酸素アニール処理- 酸素雰囲気下で450Cから徐冷XRD・直流四端子法
SEM観察- 合成相・Tc・面内の元素分布の評価

20

Sample holder(0016)

SrTiO3(200)(0012)(0010)(008)

SrTiO3(100)As-grown

405060相変態熱処理010(007)(007)

40

2q [degree](0016)(0010)

30(0012)(0022)

20(008)

(006)

(004)

(004)

Eu124

(0030)

(005)

(001)

Eu24750650C625C
600CRE123+CuO

10-3

Eu124

10-4

Eu247
Eu123

10-5
T. Wada et. al. (RE = Y)[1]

575C
60

(a) 成膜直後及び、(b)相変態熱処理後の膜のXRD 2q-qパターン

P(O2)= 10-4 atmのXRDの結果

•
•
•

RE124

10-2(005)

(001)

Eu123

RE247+1/2CuO

10-1

30(b)Eu123

100

P(O2) [atm]10(002)

Intensity [a.u.]0(004)(002)(a) Eu124(006)

相変態熱処理で得られた膜の相の同定

600C → Eu247 (00l)からの回折
625,650C → Eu123 (00l)からの回折
相変態熱処理後もc 軸配向を維持

500

600

700

800

9001000Temperature [C]
Eu124熱分解膜のP(O2)-T相図[1] Takahiro Wada et al., Appl. Phys. Lett, 57 (1990) 81-83

Eu124膜の熱分解によるP(O2)-T相図
100

Eu124熱分解膜のP(O2)-T相図

RE247+1/2CuO• 酸素分圧の低下に従って、相境界線が低温側に移動

10-1

P(O2) [atm]RE124• Y124と比較して、低い温度で相境界線が存在

RE123+
CuO

10-210-3• Yでは見られない低酸素分圧におけるEu247の生成

Eu124

10-4

Eu247
Eu123

10-5500

This work
T. Wada et. al. (RE = Y) [1]

600

700

800

900

Temperature [C]

Eu124熱分解膜のP(O2)-T相図

1000• P(O2) =10-4~10-5atmでは
600C前後の低い温度で相変態が可能

相変態熱処理膜のR-T測定
Eu123バルク体のTcの報告値

2.5

Annealed inP(O2)= 10-4 atm[1] S. Adachi et al., Phys. C 175 (1991) 523-528.

2.5
1.5

2.0

Eu247(600C)
1.0

Eu123(625C)

Eu124(as-grown)

0.5

Resistance [W]Resistance [W]2.0

Tczero = 93.7 K[1]Eu123(650C)

Eu123(650C)
1.5

Tczero=93.3 K
Tczero=93.0 K

1.0

Eu123(625C)
0.5

0.060

708090100110

Temperature [K]相変態熱処理前(as-grown)とP(O2)= 10-4 atmで熱処理後の膜の電気抵抗値の温度依存性••••1200.0909294

Temperature [K]9690 K付近の転移近傍の拡大図

Eu124(as-grown) → Tczero=69.0 K (典型的なEu124のTc)
Eu247(600C) → Tczero=85.0 K
Eu123(625C) → Tczero=93.0 K
Eu123(650C) → Tczero=93.3 K

相変態熱処理Eu123膜はバルク値に匹敵する高いTcを有する

98

相変態膜におけるEu/Ba置換
11.74
11.72

相変態Eu123膜

c-axis length[Å]

11.70
11.68
11.66
11.64

11.62
11.60

低温成膜Eu123

11.58
11.56
11.54
0.00

0.10

0.20

x in Eu(Ba1-xEux)2Cu3O7-δ0.30

Eu/Ba置換量とc 軸長の関係[1][1] Y. Xu et al, Phys. C 333(2000)195-206[2] Y. Miyachi et al, Phys. Proc. 65 (2015) 129-132• Eu124相変態Eu123膜→ Eu/Ba置換 ～0.03• 低温成膜されたEu123[2] → Eu/Ba置換 ～0.2
相変態前のEu124膜はEu/Ba置換量が少ない
相変態Eu123膜もEu/Ba置換が少なく、高いTcを示した

SEM-EDSによるCu析出挙動の観察
As-grown (Eu124)

SEI

Cu

Annealed in 625C 100 ppm O2 (Eu123+Cu)

SEI

Cu

・As-grown(Eu124)膜⇨ 各元素が均一に分布

・相変態Eu123+Cu膜⇨ 数μmのCuが析出Cu析出挙動は温度によって異なり、高温であるほど表面に析出Annealed in 650C 100 ppm O2 (Eu123+Cu)

SEICu

析出サイズ・場所を制御できれば、有効なピンニングセンターとなる？

結言
KOHフラックスを用いて，低温でRE124, RE123膜の作製を試み，以下の知見を得た

大気中・650˚Cにおいて，2軸配向したY124膜を作製することに成功した
CaをドープしたYCa124膜は高いTc ~ 90 Kを示した
Y124膜は600 ~ 700˚Cで強いc軸配向を示し，c軸配向領域及びhigh-Tc領域がY/Ca置換量の増加にともなって低温側に遷移した
Y/Ca置換量が多く，かつ低温であるほど高い不可逆磁場を示した
低酸素分圧にすることで，550˚C以上で2軸配向したY123膜の作製に成功した
低酸素分圧下・650˚Cで作製したY123膜は高いTczero = 90.4 Kを示した
大気中・425˚Cにおいて，2軸配向したNd123膜に作成に成功した
作製温度の低温下にともなって，Nd/Ba置換が促進されTcが低下した
RE124からの相変態熱処理を経ることで，全ての工程が600ºC程度で，高TcかつPCを含む高品質なRE123相を得ることに成功

謝辞
本研究を遂行するにあたり，研究費をご支援いただいた日本板硝子材料工学助成会に深く感謝申し上げます．
また，本研究で得られた成果を国際会議で発表するに際し，平成28年度の研究成果普及助成のご支援をいただきました．
重ねて深謝申し上げます．