知的財産マッチング会
FSL技術シーズの御紹介
富士通セミコンダクター株式会社
2018年8月29日

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED

会社紹介
社名
富士通セミコンダクター株式会社
所在地
神奈川県横浜市港北区新横浜二丁目100番45（新横浜中央ビル）
資本金600億円
設立
2008年3月21日
事業内容 システムメモリ、ウェハファウンドリ、販売にかかる事業主要株主 富士通株式会社（持株比率100％）
従業員数 2990名 （FSL全グループ）
ホームページ http://www.fujitsu.com/jp/fsl/

開放特許 連絡先
知的財産部
安達 <sadachi@fujitsu.com>
丸岡 <maruoka@fujitsu.com>
蜂谷 <hachiya.noriko@fujitsu.com>
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED目次：開放特許
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流出孔を工夫したガス圧力センサー式液面検知装置

UVを利用するクリーニング方法及び装置

9特許5381607/特許5678671

液だまりを回避できる片面めっき装置
特許3886919

QCMガスセンサーを有する空気清浄装置の保守
方法

210
11

特許4571422

外部からの影響を受けにくいU字形状アンテナ素子
特許5040926

パッキング内にアンテナを配置した無線装置
特許4788623

特許4418151

光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置

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水素及び酸素トラップを有する熱処理装置
特許5304647

特許4447213/特許5126192/特許5532783

ブレーキ手段を備えた安全な入れ子状台車
特許5245693

圧力を加えると情報を表示するカード
特許3928082

温度センサー付き電子タグ
特許4214163

131415

商品への関心度情報を収集するシステム
特許5040661

異物の再付着を防止する洗浄方法
特許5834406

反応ガスの再析出を防止する排気手段
特許5834406

迷子検知システム
特許4781968
Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED1．UVを利用するクリーニング方法及び装置
日本特許第5,678,671号、第5,381,607号

UV照射により活性化されたガスにより、被処理部材にダメージを与えることなく炭素汚染を除去することが可能な装置
活性種ガス

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UV光源

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED1．UVを利用するクリーニング方法及び装置
日本特許第5,678,671号

UV照射により活性化されたガスにより、被処理部材にダメージを与えることなく炭素汚染を除去することが可能な装置■被処理部材に制限はない■励起ガスは酸素及びエチレ 酸素ガス
ンを使う
■ナノオーダの炭素コンタミを分解除去可能ランプ

エチレンガス

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED1．UVを利用するクリーニング方法及び装置
日本特許第5,678,671号<応用例>■電子線を用いる測定装置（TEM）のミラー、レンズに対するクリーニング■コンタクトレンズの炭素コンタミ（たんぱく質、脂質）を分解除去
・UVにより殺菌と洗浄を同時実行5

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED2．液だまりを回避できる片面めっき装置
日本特許第3,886,919号

めっき液の排出時に開口部に液溜まりを回避するため開口部壁面に排出溝を有する片面めっき装置
めっき槽

めっき対象物電極

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED2．液だまりを回避できる片面めっき装置
日本特許第3,886,919号

壁面に浸透性部材（ガラス繊維、カーボン繊維)を使用

めっき槽

電極

めっき対象物

排出溝
断面図
めっき液排出7

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED2．液だまりを回避できる片面めっき装置
日本特許第3,886,919号<応用例>■燃料電池用 or ２次電池用集電板■電磁波シールド材■導電性粘着テープなどのための片面メッキ装置への応用

排出溝

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED3．QCMガスセンサーを有する空気清浄装置の保守方法
日本特許第4,418,151号

QCMガスセンサーを用いることにより、フィルタの正確な交換の時期がわかる保守方法■ケミカルフィルタをモニタリングしてその受信データを分析することで、フィルター交換時期の予測や在庫管理など、IoT化を実現する保守方法。

ケミカルフィルタ

換気ファン

QCM；Quartz Crystal Microbalance の略で、水晶振動子をセンサ基板として微小重量変化を測定する方法
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED3．QCMガスセンサーを有する空気清浄装置の保守方法
日本特許第4,418,151号

QCMガスセンサーを用いることにより、フィルタの正確な交換の時期がわかる保守方法■ QCMガスセンサーに関して技術導入実績有

QCM；Quartz Crystal Microbalance の略で、水晶振動子をセンサ基板として微小重量変化を測定する方法
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED4．光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置
日本特許第4,447,213号、第5,126,192号、第5,532,783号

流体(気体又は液体)中の汚染物質を高効率に分解、吸着することにより除去する装置■分子量小さい有機物⇒光触媒 ■分子量大きい有機物⇒吸着剤フィルタ
Ex) C6H42,C6H10O,C6H5CH2CH3Ex) (CH3)CO2,CH3OH,C2H5OH,CH3COC2H5

光触媒ユニット

吸着剤フィルタ

光触媒(TiO2)
回転

被処理ガス

被処理ガス

バルブ制御部
UV光源
流体浄化装置(JP213,JP192)

光触媒ユニット(JP783)
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED4．光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置
日本特許第4,447,213号、第5,126,192号

HEPAフィルタで除去しにくい流体中の汚染物質(ガス、ミスト)を高効率に分解、吸着することにより除去する環境制御装置■分子量小さい有機物⇒光触媒 ■分子量大きい有機物⇒吸着剤フィルタ
Ex) C6H42,C6H10O,C6H5CH2CH3Ex) (CH3)CO2,CH3OH,C2H5OH,CH3COC2H5

光触媒ユニット

吸着剤フィルタ

被処理ガス

バルブ制御部■低分子量汚染物質を光触媒にて先に分解除去することで、低分子量汚染物質は吸着剤フィルタユニットに至ることがなくなるので、吸着剤フィルタの寿命を延ばせる

流体浄化装置(JP213,JP192)
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED4．光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置
日本特許第5,532,783号

流体中の汚染物質を高効率に分解、吸着することにより除去する装置■光触媒ユニット■UV光源が中心軸にある。
■円筒状光触媒は周囲に配置され、回転しながら除外処理
光触媒(TiO2)
回転

被処理ガス
被処理ガス

UV光源
光触媒ユニット(JP783)
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED5．ブレーキ手段を備えた安全な入れ子状台車
日本特許第5,245,693号

磁石と樹脂シートを用いたブレーキ手段を有する収納スペースを取らない入れ子状台車①所定以上の傾き若しくは手動で制動制御棒がリンク部材から外れる。

適用例

ブレーキ手段

断面図

磁石

樹脂シート
②樹脂シートが落下しキャスタに巻き込まれ台車が停止する。
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED5．ブレーキ手段を備えた安全な入れ子状台車
日本特許第5,245,693号

磁石と樹脂シートを用いたブレーキ手段を有する収納スペースを取らない入れ子状台車
入れ子状になるので、狭いスペースにも収納可能

使用したい台車のみを他の台車を移動することなく出し入れ可能

各取手同士を連結する連結部材を用いて複数台移動可能
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED6． 圧力を加えると情報を表示するカード
日本特許第3,928,082号

内部の圧電素子に圧力を加えると電圧が発生し、不揮発性メモリ内の情報を表示部に表示できるカード
ICカード(プリペイドカード等)

LSIチップ(不揮発性メモリで残高などの情報を記憶)

表示部

圧電素子(特殊セラミックなど)
湾曲や押圧することで、圧電素子が変形し発電
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED6． 圧力を加えると情報を表示するカード
日本特許第3,928,082号

内部の圧電素子に圧力を加えると電圧が発生し、不揮発性メモリ内の情報を表示部に表示できるカード【応用例:プリペイドカードでの残高表示】色による表示例)
残高5,000円以上
残高2,000円以下
残高1,000円以下

デジタルによる表示例)■交通系ICカードのように端末にタッチすることなく、その場で簡単にメモリ内の情報を表示可能
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7．温度センサー付き電子タグ
日本特許第4,214,163号

温度センサー付き電子タグ
例1) 温度センサー付き電子タグを生鮮食料品(ex.肉、海鮮)に付し、各流通過程での温度を計測・記録し記憶しておくことで、効率的に品質管理各流通過程を経て…

②スーパーでの温度を計測し、電子タグ内のメモリに記
憶

温度センサ付き
電子タグ③メモリに記憶されたこれまでの流通過程での温度情報を読み取り、鮮度を確認！

①倉庫での温度を計測し、電子タグ内のメモリに記憶
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7．温度センサー付き電子タグ
日本特許第4,214,163号

温度センサー付き電子タグ例2) 温度センサー付き電子タグを病院内の各病室やベッドごとに設けたり、あるいは、薬品庫に備えることで効率的な安全管理や品質管理を行える

病室やベッドにおける気温が適正かを定期的に計測

薬品庫の温度を計測し、薬品ごとに適正な温度が保たれているかを管理

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED8．迷子検知システム
日本特許第4,781,968号

電子タグを用いた位置情報追跡システム
例1）遊園地などで子供がはぐれたら園内に配置された電子タグリーダーで子供の存在情報を検知することでGPSなしで子供の位置を追跡把握可能
電子タグリーダー

親の端末①通常、親の端末で子供の存在情報を検知②もしも親とはぐれたら、電子タグリーダーで子供の存在情報を検知する方式に切り替え

子供の電子タグ
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED8．迷子検知システム
日本特許第4,781,968号

例2）患者が病室を離れ、病院内を移動している時には病院内に配置された
電子タグリーダーによりGPSなしで患者の位置を追跡把握可能②患者が病室を離れると、病院内各所に設置された電子タグリーダーにより、患者の位置を把握する方式に切り替え①通常、病室内の端末で患者の存在を確認
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9．流出孔を工夫したガス圧力センサー式液面検知装置
日本特許第4,571,422号

ガス圧力センサーによって液面を検知する装置において、流出孔を工夫することに依って液面が揺れるのを防止する■高温の強酸化剤のタンク■液面監視して空焚き防止■気泡は窒素を使用

ガス液面を検知気泡

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED

9．流出孔を工夫したガス圧力センサー式液面検知装置
日本特許第4,571,422号

ガス圧力センサーによって液面を検知する装置において、流出孔を工夫することに依って液面が揺れるのを防止する。

■気泡と気泡の間；液体を逃がす流出孔が空いている■流出孔の大きさを規定
気泡■流出孔の形状は限定なし

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ガス流出孔

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED10．外部からの影響を受けにくいＵ字形状アンテナ素子
日本特許第5,040,926号

U字形状で、そのU字の中に貫通孔を有するアンテナ素子
U字内に、基板の誘電率とは異なる誘電率の領域を設ける

グランド領域(基板裏面に設置)

アンテナの共振周波数帯域が拡がることで、アンテナが組込まれる無線機器の筐体や近傍の導体の影響を軽減

基板

U字アンテナ素子(基板表面に設置)

U字アンテナ素子(基板裏面に設置)
貫通孔 (基板の誘電率とは異なる誘電率の領域)
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED11．パッキング内にアンテナを配置した無線装置
日本特許第4,788,623号

パッキング内に電気的接続が容易なアンテナを配置した無線装置
開口筐体

無線装置本体L字ダイポールアンテナ

開口筐体に挟まれたパッキング内にアンテナを内蔵

無線装置外観図
開口筐体

パッキング
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED11．パッキング内にアンテナを配置した無線装置
日本特許第4,788,623号

パッキング内に電気的接続が容易なアンテナを配置した無線装置
L字アンテナコネクタ

スルーホール

プリント配線板(送受信回路)

L字アンテナのスルーホールをパッキング領域外とすることで、プリント配線板のコネクタとの電気的接続が容易となる

パッキング構造図

パッキング

フレキシブルプリント配線板
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED12．水素及び酸素トラップを有する熱処理装置
日本特許第5,304,647号

水素及び酸素の濃度を低減する雰囲気調整機構を有し、保護絶縁膜の劣化を防止することが可能な熱処理装置

酸素トラップ１１５
オキシゲントラップ

水素トラップ１１４
チタン系水素吸蔵合金

雰囲気調節機構１１２
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED12．水素及び酸素トラップを有する熱処理装置
日本特許第5,304,647号

水素及び酸素の濃度を低減する雰囲気調整機構を有し、保護絶縁膜の劣化を防止することが可能な熱処理装置■出荷前の電気的試験の際に温度保証範囲で正常に機能するかどうか調べるエージング処理を行う熱処理装置■大気より低減された酸素と水素濃度にて熱処理を行う。
■劣化しやすいノボラック樹脂でも、熱処理可能であり、選択できる樹脂の材質が増える。

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED12．水素及び酸素トラップを有する熱処理装置
日本特許第5,304,647号

水素及び酸素の濃度を低減する雰囲気調整機構を有し、保護絶縁膜の劣化を防止することが可能な熱処理装置■ノボラック樹脂は実施例であって、半導体基板であれば材料の限定はしていない。

<応用例>■LED基板■太陽光パネルなどのための脱水素、酸素；熱エージン
グ処理装置
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED13．商品への関心度情報を収集するシステム
日本特許第5,040,661号

商品に対応させて商品棚に配置されたＩＣタグへのデータアクセスに基づいて、潜在的な商品の価値を解析する、ＩＣタグの機能を利用した情報収集システム【問題点】
店舗の商品には売上の高い商品と売上の低い商品がある☞売上の低い商品の中で、・全く売れそうにない商品なのか？
or・もう少しで売れる商品なのか？
を判断するのは難しい。
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED13．商品への関心度情報を収集するシステム
日本特許第5,040,661号

商品に対応させて商品棚に配置されたＩＣタグへのデータアクセスに基づいて、潜在的な商品の価値を解析する、ＩＣタグの機能を利用した情報収集システム

ICリーダー①シャンプー売り場の商品リストを送信③商品Aのアクセスがあった旨を送信

サーバでアクセス数蓄積④顧客ポイント付与

シャンプーA
RFIDタグ【商品説明】○○を配合し、潤いが持続…

シャンプーA【価格】
800円 (税込)②顧客がリスト内の商品Aの詳細情報にアクセス
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商品Aのアクセス回数が売上個数より多ければ→消費者は商品Aに関心あり！
潜在需要を認識可

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED14．異物の再付着を防止する洗浄方法
日本特許第5,834,406号

対象物と処理室の内壁との間に温度勾配を設け、除去した異物の熱泳動を誘発し、異物の再付着を抑制する洗浄方法及び装置
処理室

気体噴射ノズル(気体噴射機構)

クーリングプレート

室温よりも高い温度のガス(冷却装置)
対象物

基板キャリア

多孔板①クーリングプレートで処理室内を冷却する。

②室温よりも高い温度のガスを対象物に噴射する。
③処理室内に温度勾配を設ける。

キャリア支持台(支持台)

フィルタ 真空ポンプ

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED14．異物の再付着を防止する洗浄方法
日本特許第5,834,406号

対象物に付着した異物を効率的に除去し、異物の再付着を抑制しうる洗浄方法及び洗浄装置を提供する処理室 気体噴射ノズル(気体噴射機構)

異物
クーリングプレート

室温よりも高い温度のガス(冷却装置)
対象物①異物が気体噴射ノズルから真空ポンプに向かう一方向の気流に乗って移動②熱泳動により、基板から除去された異物が処理室の内壁側へ移動③基板への再付着を抑制可能

異物が熱泳動により対象物から離れていくように、クーリングプレートを配置クーリングプレートを底部に設けてもよい。
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED15．反応ガスの再析出を防止する排気手段
日本特許第5,315,631号

真空ポンプの排気経路を加熱する手段であり、反応ガスの析出による障害の発生を防止する排気手段
電力供給配線

ジャケットヒータ固体化した反応ガス
真空ポンプ

反応装置

[問題点]

配管の連結部分の樹脂製のシール部材付近では、シール部材が樹脂であるため熱伝導性が悪く温度が下がりやすいため、反応ガスが析出しやすい。
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED15．反応ガスの再析出を防止する排気手段
日本特許第5,315,631号

排気経路の連結部を内側(シール部材)から加熱することにより、反応ガスの析出を防止する

ジャケットヒータ
抵抗発熱体19

シール部材

配線L4
温度センサ1635

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