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共用設備一覧
加工・作製 Processing /Manufacturing
微細加工 Microfabrication
装置名

メーカー名

型番

電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]

日本電子(株)

JBX-8100FS

電子ビーム描画装置 [ELS-F125](株)エリオニクス

ELS-F125

電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100](株)エリオニクス

ELS-BODEN

レーザー描画装置 [DWL66+]

ハイデルベルグ・インストルメンツ(株)DWL66+

マスクレス露光装置 [DL-1000](株)ナノシステムソリューションズ

DL-1000

マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P](株)ナノシステムソリューションズ

DL-1000 / NC2P

マスクレス露光装置 [MLA150]

ハイデルベルグ・インストルメンツ(株)MLA150

マスクアライナー [MA-6]

ズース・マイクロテック

MA-6

水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]

サムコ(株)

AQ-500水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]

サムコ(株)

AQ-500

UVオゾンクリーナー [UV-1]

サムコ(株)

UV-1

スパッタ装置 [JSP-8000](株)アルバックJ sputter

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]

芝浦メカトロニクス(株)CFS-4EP-LL

スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]

芝浦メカトロニクス(株)CFS-4EP-LL

電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K](株)アールデック

RDEB-1206K

電子銃型蒸着装置 [ADS-E86](株)アールデック

ADS-E86

電子銃型蒸着装置 [MB-501010](株)エイコーエンジニアリング

MB-501010

電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS](株)アルバック

UEP-3000BS

原子層堆積装置 [SUNALE R-150]

アルテック(株)/Picosun

SUNALE R-150 ALD

原子層堆積装置 [AD-230LP]

サムコ(株)

AD-230LP

SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]

サムコ(株)

PD-220NL

SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]

サムコ(株)

PD-220NL

リフトオフ装置 [KLO-150CBU](株)カナメックス

KLO-150CBU

CCP-RIE装置 [RIE-200NL]

サムコ(株)

RIE-200NL

ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]

サムコ(株)

RIE-101iPH

ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]

住友精密工業(株)MUC-21 RV-APS-SE

ICP-RIE装置 [CE300I](株)アルバック

CE300I

シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]

住友精密工業(株)MUC-21 ASE-SRE

原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]

オックスフォード・インストゥルメンツ(株)赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]

アドバンス理工(株)PlasmaPro 100 Cobra 300
ALE
RTP-6

装置名

メーカー名

型番

赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]

アドバンス理工(株)RTP-6赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]

アドバンス理工(株)RTP-6

ダイシングソー [DAD322](株)ディスコDAD322

ダイシングソー [DAD3220](株)ディスコDAD3220

装置名

メーカー名

型番

鍛造設備（油圧プレス）

川崎油工(株)HFP2-300

70ton大型スウェージングマシーン(株)日本クロス圧延

15HP-DH4

18ton小型スウェージングマシーン(株)日本クロス圧延

USD-6000

熱間2段ロール圧延機

大野ロール(株)HOT-12

溝ロール圧延機

大野ロール(株)2RMG-400S

冷間4段ロール圧延機(株)日本クロス圧延

120DX270W-300DX250W

歪み速度制御圧延機

大野ロール(株)2RM-400S

鍛圧用加熱炉（max.1250℃）

日新化熱工業(株)ー鍛圧用移動式加熱炉（max.1200℃）

日新化熱工業(株)EBS-1(S)

溝圧用加熱炉（max1250℃）

光洋サーモシステム(株)SB-20232

熱処理炉（max1400℃）

日新化熱工業(株)EBS-10(S)

焼鈍用熱処理炉（max.850℃）

日新化熱工業(株)EB-5S

1500t鍛造シミュレータ

住友重機械工業(株)、他３社

ー

25t加工熱処理シミュレータ

富士電波工機(株)Thermecmaster Z

塑性加工 Plastic Working

素材作製 Metal working
装置名

メーカー名

水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備

富士電機(株)、NIMS-

5kg高周波誘導真空溶解設備

日新技研(株)

NEV-M5V

30キログラム高周波誘導真空溶解設備

日新技研(株)

NEV-M30

加圧式エレクトロスラグ再溶解設備

日本特殊機械(株)型番なし

金属箔圧延機(有)トップラントエンジー

マルチ冷却式真空熱処理炉

佐藤真空(株)ー電子ビーム溶接機

三菱電機(株)

EBW-35HB

ワイヤ放電加工機

ファナック(株)α-C400iA

リサイクル分取GPC

日本分析工業(株)LC-9201

グローブボックス

MBRAWN

Uni Lab生体分子分離装置群(超遠心機)

ベックマン・コールター(株)Optima-LE80K

材料調製装置群(スプレードライヤー)

Buchi

B-290

材料調製装置群(電気炉)(株)アドバンテック

FUH632DA

材料調製装置群(プラズマクリーナー)

ヤマト科学(株)PDC200

材料調製装置群(凍結乾燥機)

東京理化器械(株)FDU-2110

機械工作室 工作機械群ーー

試料作製室装置群

ーー

硝子工作室装置群ーー

材料創製共通設備群ーー

微細組織三次元マルチスケール解析装置(株)日立ハイテクサイエンス

SMF-1000

TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置

サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)ThermoFisher Scios2

TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(株)日立ハイテク

Ethos NX5000

FIB加工装置(JIB-4000)

日本電子(株)

JIB-4000

FIB加工装置(JEM-9310FIB)

日本電子(株)

JEM-9310FIB

FIB加工装置(JEM-9320FIB)

日本電子(株)

JEM-9320FIB

FIB/SEM精密微細加工装置

日本エフイー・アイ(株)Helios 650

デュアルビーム加工観察装置(NB5000)(株)日立ハイテクノロジーズ

NB5000清浄表面組織観察FIB-SEM装置

カールツァイス(株)ZEISS AurigaLaser

極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000)(株)日立ハイテクノロジーズ

SU8000電界放出形走査電子顕微鏡（S-5500)(株)日立ハイテクノロジーズ

S-5500電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F）

日本電子(株)JSM-6500F

走査電子顕微鏡（JSM-6510）

日本電子(株)JSM-6510

走査電子顕微鏡(JSM-7000F)

日本電子(株)JSM-7000F

走査型電子顕微鏡日本電子(株)JEOL JSM-7900F

ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡

日本電子(株)

JSM7001F

卓上電子顕微鏡(株)日立ハイテクノロジーズ

Miniscope TM3000

卓上電子顕微鏡 [TM3000](株)日立ハイテクノロジーズ

TM3000

卓上電子顕微鏡(TM4000PlusII)(株)日立ハイテクTM4000PlusII

FE-SEM [S-4800](株)日立ハイテクノロジーズ

S-4800

FE-SEM+EDX [S-4800](株)日立ハイテク / (株)堀場製作所

S4800 / X-MAX 80

FE-SEM+EDX [SU8000](株)日立ハイテク / Bruker

SU8000 / Quantax FQ5060

FE-SEM+EDX [SU8230](株)日立ハイテクノロジーズ

SU8230200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F1)

日本電子(株)

JEM-2100F1

200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F2)

日本電子(株)

JEM-2100F2

観察・評価 Observation/Evaluation
電子顕微鏡 Electron microscope200kV透過電子顕微鏡(JEM-2100)

日本電子(株)

JEM-2100

200kV透過電子顕微鏡(Talos F200X G2)

日本エフイー・アイ(株)Talos F200X G2

局所変形観察・解析電子顕微鏡（透過型電子顕微鏡）

日本電子(株)JEOL JEM-2800

300kV収差補正電子顕微鏡（Grand-ARM）

日本電子(株)JEM-ARM300F

2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー

DENSsolutions

Lightning

2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー

Gatan, Inc.

Gatan 636

単原子分析電子顕微鏡(FEI Titan Cubed)

日本エフイー・アイ(株)FEI Titan Cubed

実動環境対応物理分析電子顕微鏡(JEM-ARM200F-G)

日本電子(株)JEM-ARM200F-G

日本電子(株)JEM-ARM200F-B

広空間・高分解能分析電子顕微鏡

日本電子(株)JEOL JEM-ARM300F

ウルトラミクロトーム(Leica EM UC6)

ライカマイクロシステムズ(株)EM UC6

断面試料作製装置（SM-09020CP）

日本電子(株)SM-09020CP

ハイブリッドコーター(Q150RES)

クォーラムテクノロジーズ

Q150RES

オスミウムコーター

日本レーザー電子(株)NL-OPC80A

オスミウムコーター

日本レーザー電子(株)NL-OPC80A

カーボンコーター

日本電子(株)

JEC-560

金コーター

日本電子(株)

JFC-1500

白金コーター

日本電子(株)

JFC-1600

マルチコーター(株)真空デバイス

VES-30T

HRTEM解析システム

ーー

DPC解析システム(有)HREM

qDPC 64bit

電子線トモグラフィー解析システムーー

精密コーティングシステム

Gatan, Inc.

Model 682

精密イオン研磨装置(PIPS)

Gatan, Inc.

Model 691

精密イオン研磨装置(PIPS II)

Gatan, Inc.

Model 695

精密イオン研磨装置

Gatan, Inc.

695PIPS II

イオンスライサー

日本電子(株)EM-09100IS

ターボ式真空蒸着装置

サンユー電子(株)SVC-700

卓上SEM(株)日立ハイテク

TM4000PlusII

超音波ディスクカッター

Gatan, Inc.

Model 601

自動精密切断機（ISOMET)BEUHLER Ltd.

-楔形研磨装置

Allied High Tech Products, Inc.

-小型精密切断器

Technoorg Linda Co. Ltd.

MS2 MICROSAW

卓上研磨機(株)マルトーML-180 DoctorLap

ディンプルグラインダー

Gatan, Inc.

656 DimpleGrinder

ディンプルグラインダー

Gatan, Inc.

656 DimpleGrinder

ピックアップシステム

ーピックアップシステム

実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡(JEMARM200F-B)

無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置

フィッシオーネ

Model 1040 Nanomill

イオンスパッタ [E-1045](株)日立ハイテクノロジーズ

E-1045TEM試料作製補助装置群ーー

親水化処理装置

日本電子株式会社

DII-29020HD

装置名

メーカー名

型番

走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]

オックスフォード・インストゥルメンツ(株)Jupiter XR

走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]

SII ナノテクノロジー(株)L-Trace

走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]

ブルカージャパン(株)Nanoscope 5

走査プローブ顕微鏡

日本電子(株)JSPM-5200

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン(株)NanoWizard 4 XP

プローブ顕微鏡 Probe microscope

光学顕微鏡 ・評価 Optical Microscope/ Optical evaluation
装置名

メーカー名

型番

多角度光散乱検出器

ワイアット・テクノロジー

DAWN HELEOS

フーリエ変換赤外分光光度計(株)島津製作所

IRTracer-100

フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S）(株)島津製作所

IRAffinity-1S/AIM-9000

円二色性分散計

日本分光(株)J-725

プレートリーダー(株)パーキンエルマージャパン

EnSight

ラマン顕微鏡レニショー(株)inVia Reflex

レーザーマイクロダイセクションシステム

ライカマイクロシステムズ(株)LMD7000

レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]

オリンパス(株)LEXT OLS4000

レーザー顕微鏡 [VK-9700](株)キーエンス

VK9-9700G

共焦点顕微鏡SP5ライカマイクロシステムズ(株)SP5

デジタル顕微鏡

ハイロックス

RH-8800

分子材料分光分析装置群(分光光度計)(株)日立ハイテクノロジーズ

U-2900分子材料分光分析装置群(蛍光分光光度計)(株)日立ハイテクノロジーズ

F-7000

装置名

メーカー名

型番

触針式プロファイラー [Dektak XT-A]

ブルカージャパン(株)Dektak XT-A

触針式プロファイラー [Dektak 6M]

ブルカージャパン(株)DekTak 6M

高精度三次元座標測定機(株)ミツトヨCRYSTA-Apex S9106

形状評価 Profile evaluation

分析・計測 Analysis/Measurement

強磁場計測 High Magnetic Field Measurement
装置名

メーカー名

型番

NMR

日本電子(株)

ECS-400

500MHz固体汎用NMRシステム

日本電子(株)

ECA500500MHz固体高分解能NMRシステム

日本電子(株)

ECA500800MHzナローボア固体高分解能NMRシステム

日本電子(株)

ECA800800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム

日本電子(株)

ECZ800

大口径超伝導マグネット(株)東芝、NIMS－18T汎用超伝導マグネット装置

ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株)JSD-18T52

試料振動型磁化測定装置(VSM)

オックスフォード・インストゥルメンツ(株)Maglab VSM system

冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置

ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株)JMTD-12T100

大口径17Tマグネットジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株)F015

強磁場光学測定システム

クライオジェニック

－

装置名

メーカー名

型番

２波長CCD低温単結晶X線回折装置(株)リガクVariMax DW with Saturn

温度可変型粉末X線回折装置(株)リガク

高輝度・高感度型粉末X線回折装置(株)リガクSmartLab (9 kW)

高速・高感度型粉末X線回折装置(株)リガクSmartLab3

多環境場対応型X線単結晶構造解析装置(株)リガク

簡易型粉末X線回折装置(株)リガクMiniFlex600

簡易型粉末回折計-Cr(株)リガクMiniFlex600-Cr

簡易型粉末回折計-Cu_N1(株)リガクMiniFlex600-Cu

卓上型粉末回折計-Cu_N2(株)リガクMiniFlex600-Cu_N2

XRD（粉末）(株)リガクRINT-Ultima III

XRD（薄膜）(株)リガクSmartLab

X線回折 X-ray diffraction

SmartLab (9 kW) withcryostat/furnace

XtaLAB SynergyCustom
DW

元素分析 Elemental analysis
装置名
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置（JXA-8500F）
誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型)（720 ICPOES）
誘導結合プラズマ発光分析装置(高分解能型) (SPS3520UVDD)
誘導結合プラズマ発光分光分析装置(マルチ型・デュアルビ
ュー）

メーカー名

型番

日本電子(株)

JXA-8500F

アジレント・テクノロジー(株)720 ICP-OES(株)日立ハイテクサイエンス

SPS3520UV-DD

アジレント・テクノロジー(株)Agilent5800

微小部蛍光X線分析装置（ORBIS PC）

アメテック(株)ORBIS PC

走査型オージェ電子分光分析装置 (JAMP-9500F)

日本電子(株)JAMP-9500F

走査型硬X線光電子分光分析装置

アルバック・ファイ(株)Quantes

X線光電子分光分析装置(Quantera SXM)

アルバック・ファイ(株)Quantera SXM

酸素窒素水素分析装置(ONH836)、炭素硫黄分析装置(CS844)イオンクロマトグラフシステム

LECOジャパン(同）サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)ONH836、CS844
ICS1600

質量分析 Mass Spectrometry
装置名

メーカー名

型番

二重収束型ICP質量分析装置(ELEMENT XR)

サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)ELEMENT XR

飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)

アルバック・ファイ(株)PHI TRIFT V nanoTOF

マルチガス導入グロー放電質量分析システム(VG9000)

サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)VG9000四重極型ICP質量分析装置

アジレント・テクノロジー(株)Agilent7850

LC/MS/MS

AMR, Inc.

Zaplous

LC/MS/MS（Q-exactive）

サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)Q-Exactive Plus

装置名

メーカー名

型番

室温プローバー [MX-200/B]

ベクターセミコン(株), アジレント・テクノロジー(株)MX-200/B, B1500A

室温プローバー [HMP-400]

アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株)B1500A

電気計測 Electric measurement

低温プローバー [GRAIL-408-32-B]

液体窒素プローバー [SB-LN2]

Keithley Instruments, Inc.、ナガセテクノエンジニアリング(株)サーマルブロック
ケースレーインスツルメンツ

4200 SCS, Grail-408-32-B

SB-LN2PS, 4200-SCS

ワイヤーボンダー [7476D #1]

West·Bond

Model 7476D

ワイヤーボンダー [7476D #2]

ハイソル(株)(West·Bond)

7476D

装置名

メーカー名

型番

エリプソメーター [MARY-102FM]

ファイブラボ(株)MARY-102FM

分光エリプソメーター [M2000]

J.A.Woollam Co.

M-2000U

顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]

フィルメトリクス(株)F54-XY-200-UV

薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]

東朋テクノロジー(株)FLA-2000-A

熱分析装置(TG/DTA＋DSC)(株)日立ハイテクサイエンス

TG/DTA 6200, X-DSC7000

ゼータ電位＆粒径測定装置

大塚電子(株)ELSZ-2000ZS

紫外可視近赤外分光計V-770

日本分光(株)

V-770

蛍光分光計

日本分光(株)FP-8500DS

蛍光分光計（Fluorolog-3）(株)堀場製作所

Fluorolog-3

物性評価 Physical properties evaluation

高感度・走査型示差熱量計

ネッチ(株)

DSC200F

高分子相構造解析システム

大塚電子(株)

PP-1000

フーリエ変換赤外分光計

日本分光(株)

FT/IR-6700

分子材料分離分析装置群(GPC-1)(株)島津製作所Nexera 40

分子材料分離分析装置群(GPC-2)

昭和電工(株)

Shodex GPC-101

材料分析装置群(接触角測定装置)

AST products, Inc.

VCA Optima XE

材料分析装置群(強度物性測定器)

英弘精機(株)

TA-XT2i

ナノ材料分析装置群(パーティクルサイズアナライザー)(株)島津製作所

SALD-2100

ナノ材料分析装置群(動的光散乱計)

大塚電子(株)

DLS-8000HAL

ナノ材料分析装置群(レーザーゼータ電位計)

大塚電子(株)ELSZ-1000Z

バイオ Biological analysis
装置名

メーカー名

型番

リアルタイムPCR

ロシュ・ダイアグノスティックス(株)LightCycler 480 System II

マイクロアレイスキャナー

アジレント・テクノロジー(株)SureScan G4900DA

細胞分離分析システム

ソニー(株)

CO2インキュベーター

三洋電機(株)

MCO-40AIC

クリーンベンチ

ヤマト科学(株)ADS131RMUGZ

表面プラズモン解析装置

GEヘルスケア・ジャパン(株)Biacore-X100

安全キャビネット三洋電機(株)MH131AJ

Cell sorter SH800 / Cellanalyzer SP6800

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