质量流量控制器
精确的流量控制，可通过代理采购

高性能气体流量控制

Sensirion在工业自动化和医疗科技方面具有多年经验，可为您的设备、机器和流程提供所需解决方案。我们的质量流量控制器适用于不同领域，产品特色如下：• 良好的可重复性（0.1%设定值）• 零漂移，无需现场重新校准• 超宽控制范围（高于1000:1）• 多气体/多范围可选• 超高精度（0.8%设定值）• 超快稳定时间（低至50毫秒）• 平均故障间隔时间 (MTBF) 169年
• 外型紧凑，质量轻巧更多信息，请访问: www.sensirion.com/massflowcontroller

CMOSens®技术加热器Sensirion质量流量控制器的特点是在宽动态量程内实现快
速精准的流量控制。其核心热式微传感器 (MEMS)，利用开创性CMOSens® 技术将热式微传感器与整个信号调节器集气流

成到单个芯片上，基于热式测量原理（见图1）进行流量测量，同时通过电子控制电路实现有效控制。得益于独特的集成技术方法，Sensirion质量流量控制器性能出色、可靠持久，成本极具吸引力，且安装后无需在现场重新校准。

Sensirion的质量 流 量 控 制器 稳 定时间低 至50毫秒（见图2）、动态范围超宽，量程比超过1000:1，超宽的控制范围非常适合流量范围广的应用。单个SFC5xxx设备即可有效覆

温度传感器

硅芯片

1 mm

图1

盖多个数量级的流量范围，无需针对高/低流量范围使用两
Sensirion质量流量控制器支持多气体校准，用户可切换设备内存中的气体校准。该设备还可检测已激活的气体校准是否与流动气体相匹配。另外，仅用一台设备即可针对多个
流量范围进行校准，保证了在最大量程内实现超高精度。

100

达到设定值x%所需稳定时间个设备。

806040质量流量控制器典型常规响应速度：一秒内(T98)

200

图2

Sensirion CMOSens ®

100

200

300

400500时间（ms）

系列产品

SFC5500用于快速评估

SFC5400/5460 高性能 多功能SFC5300/5330 大批量应用SFC6000 最佳性价比• 可通过线上分销渠道购买• 高精度、可重复性强• 外型紧凑、质量轻巧、是精简版SFC5400• 外型紧凑，质量轻巧• 多种气体校准，可更换配件• 多个通信接口和机械接口

• 数字式和底部安装• 可通过线上分销渠道购买• 数字预配置特别版SFC5400• 超宽控制范围，超快稳定时间• 尤其适用于成本敏感的OEM项目• 高度整合最强大的供应链

参数概览（更多细节信息，请查看相应技术手册）产品线型号

流量范围 1, 4

0.01 % FS

0.02 % FS

0.01 % FS

0.08 % FS

0.1 % FS

0.08 % FS

精度（满量程³）

0.2 % FS

控制范围5
通信接口校准气体

安装、气体连接最大工作压

外部泄漏率关闭阀门时的泄漏率
标称电源

运行温度

2, 3
520, 50, 100 slm

0.02 % FS典型稳定时间

450, 100, 200 sccm;
0.5, 1, 2, 5, 10 slm

可重复性（满量程²）

slm = 标准升每分钟，sccm = 标准立方厘米每分钟
取较大值，s.p.= 设定值 (s.p.) %= 测量值 (m.v.) %= 速率%= 读数%，FS = 满量程按需降低范围
按需提供

0.2 % s.p.
2 % s.p.

SFC5400/SFC5460

OEM线

200 slm

0.5, 2, 10 slm

精度（%读数³）

1

SFC5500

50 sccm可重复性（%读数²）

性能线

0.1 % s.p.

0.2 % s.p.

0.8 % s.p.

1 % s.p.

100 ms

RS485、DeviceNet、Analog Voltage

空气/N2、O 2、H2、He、CH4 、N2O、Ar、CO 2

Legris, G ¼" Thread

9 × 10 –9 mbar l/s (氦)

0.1 % s.p.

空气/N2, O 2

9 × 10 –6 mbar l/s (氦)0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 slm

0.02 % FS

0.02 % FS

0.02 % FS

0.1 % FS

0.2 % FS

0.2 % FS

1 % s.p.

100 ms (50 ms，可根据要求提供)

1000:1

SFC6000

50, 100, 200 sccm;
0.5, 1, 2, 5 slm

0.2 % s.p.

0.8 % s.p.

SFC5300/SFC5330

基准线

0.2 % s.p.
2 % s.p.

0.2 % s.p.
2 % s.p.
100 ms
500:1

RS485、DeviceNet、模拟电压、模拟电流（根据要求提供 IO-Link）

RS485

RS485、I²C、模拟电压 5、（Profibus 总线 5）

Downmount, Swagelok, VCR, VCO, UNF Thread

Downmount

Push-in, Downmount

Air/N2、O2,、H2、He、CH4、N2O、Ar、CO2 (SF6、CF4、C4F8、NH3、CO、CH3F、Xe、Ne、Kr 和其他要求的气体)
10 bar (145 psig)

9 × 10 –9 mbar l/s (氦)1 × 10 –6 mbar l/s (氦)14.0 to 26.0 VDC

0 to 50 °C (32 to 122 °F)

9 × 10 –6 mbar l/s (氦)

9 × 10 –9 mbar l/s (氦)空气/N2、O 2、N2O、Ar、
CO 2和其他要求的气体2 sccm
22.9 to 25.2 VDC

5 to 50 °C (41 to 122 °F)

质量流量计量我们的所有质量流量控制器均可作为质量流量计使用 - 不带阀门。这些流量计是我们性能最高的流量计，具有最佳精度和耐高压性。它们具有与 MFC 变体相同的性能和可配置性。

评估套件我们的评估套件 EK-F5X 可用于简单快速地评估我们的质

量流量控制器和质量流量计。该套件使用方便，可用于快速、简单的精确测量测试目的。该套件配有RS485-to-USB适配

器，一个100/24V交流适配器，一个M8接头及适配器和一份快速入门指南。

定制化解决方案作为解决方案供应商，我们不仅有先进的传感器技术，还有丰富的实践经验，可提供定制传感器和控制器，为客户打造高性
能气体流量控制系统。我们的目标是在深入了解客户需求的基础上形成定制解决方案。我们出色的技术可为客户带来以下优势：

高速流量控制高灵活性、高性价比遥领先于质量流量控制器市场。

重性能或性价比。

集成在CMOS芯片上的MEMS传感器搭载Sensirion微型热
式质量传感器，可实现超快响应，稳定时间不到50毫秒，遥可测量低速流量

得益于Sensirion在流体动力学和流道设计方面的经验和专业知识，我们的质量流量控制器能够控制极低范围内的气体流量，低至零点几毫升/每分钟。

Sensirion凭借其出色技术，可灵活满足客户要求，确保定制的传感器解决方案性能与性价比兼具。并能根据应用场景侧轻巧紧凑

高度集成技术使紧凑轻巧的设计成为可能。应用不同机身
材料可将重量减至最小。

技术为本
心怀未来

www.sensirion.com