樹脂基板への成膜に最適！大量生産を高次元で実現
Ideal for ﬁlm formation on resin substrates! Realizes mass production at high levelのテクノロジーを盛り込みつつ
Sapio1300
コストパフォーマンスに優れたＡＲコート専用スタンダードマシン

AR-coating-speciﬁc standard machine,
incorporating all the technologies of Sapio 1300
while assuring enhanced cost performance

ＲＦイオンソース、光学モニター、反転パレットなど多彩な仕様選択が可能
Selectable from a variety of speciﬁcations such as; RF ion source,
Optical monitor and Inverting palletSGC-S1700 SERIES

光学薄膜用蒸着装置
Vapor Deposition Equipment for Optical Thin Films

樹脂基板への成膜に最適！大量生産を高次元で実現
Ideal for ﬁlm formation on resin substrates! Realizes mass production at high level【特長・オプション等】【用途・応用例】

1．高効率排気システムの採用により、φ1,300蒸着装置と比較し樹脂基板への反射防止膜形成

成膜処理時間は＋10％程度

光学ミラー

2．1バッチあたり基板収納数はφ1,300蒸着装置の2倍以上
3．設置面積の省スペース化、全高を抑えたコンパクト設計[Features/ Options][Applications]

1. Through the adoption of high eﬃciency exhaust system, compared with φ1, 300 vapor deposition

Anti-reﬂection ﬁlm formation on resin substrate
Optical mirror

equipment, the coating treatment time only increases by about 10%.
2. The number of stored substrates per batch is twice or more of φ1, 300 deposition equipment.
3. Space saving in the installation area, compact design with reduced overall height.

概略仕様

Speciﬁcations

処理方式

Processing method

排気ポンプ

バッチ式

Batch type

26インチDP×2＋RP＋MBP＋マイスナートラップ

Exhaust pump

26 inches DP x 2 + RP + MBP + Meissner trap

設置寸法

W4,800㎜×D7,600㎜×H3,100㎜

Installation dimensions

W4,800㎜×D7,600㎜×H3,100㎜

装置重量9,500kg

Equipment weight

9,500kg

電源容量AC200V（3φ） /Power supply capacity

真空槽サイズVacuum tank size

ご質問・詳細につきましては、営業部までお気軽にお問合せください。
お問合せ先【営業部】

約135kVA

本社・相模原工場

AC 200 V (3φ) / about 135 kVA〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10φ1,700㎜

TEL. 042-764-0370

φ1,700㎜

FAX. 042-764-0377

標準搭載

E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp

Standard installation

水晶モニター COÅT LEADER

高出力RFイオンソース ISGシリーズ

Crystal monitor COÅT LEADERHigh power RF ion source ISG series

https://www.showashinku.co.jp/
昭和真空検索広範囲で安定した放電を可能に

Inquiry [Sales Dep.]

し、光学フィルターのノンシフト

HQ and Sagamihara Plant

膜から樹脂基板への密着性改善まで様々な用途でご使用いただ

3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan
TEL:+81-42-764-0370

FAX：+81-42-764-0377

けます。
本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、当社が長年培ってきた水晶デバイス製造必要な手続きをお取りください。

装置の技術を生かし、ネットワークアナラ

This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials

イザによる周波数測定方式を採用するこ

which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly
when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessaryとで、高精度な膜厚監視、レート制御が可

action such as application of an export permit to the Government of Japan.

能となっております。
Taking advantage of the technology of quartz device manufacturing
equipment that has been cultivated for many years by our company,
the accuracy of this system has been signiﬁcantly improved comparedto the conventional measurement method by adopting the frequency
measurement method with a network analyzer.

A wide range of stable discharges is possible, and it can be used in a variety of applications from
non-shift ﬁlms of optical ﬁlters to adhesion improvement to resin substrates.

新しい成膜方法をお考えのお客様は、ぜひ当社へご相談ください！
※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承ください。
If you are looking for new ﬁlm coating technology, Please ask our company！

Web site

製品情報ページ真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。

https://www.showashinku.co.jp/product/* For the improvement of the product, please understand in advance that the speciﬁcations and external views are subject to change without prior notice.

OOJE13901-1912