SEC-06D/SEC-08C
小型真空蒸着装置

Small vacuum deposition equipment

金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル
Compact model of metal thin ﬁlm deposition device

研究開発用から少量生産に最適
Ideal for from research anddevelopment to small volume production【概要】

１．本装置は、抵抗加熱式蒸発源を使用して金属材料を蒸発させ、基板上に薄膜を形成するための真空蒸着装置です。
２．装置はバッチ式で、自転式治具を搭載し、付き回りの良い成膜を行います。
３．膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。
４．操作制御系は全自動式になっています。
５．用途に応じて、自転式以外にドーム式や自公転式への対応も可能です。

【特長】

１．全自動式による容易な操作性
２．研究開発用から少量生産に最適
３．真空槽はメンテナンス性が高いフロントドアータイプ
４．操作制御系一体型によるコンパクトなデザイン[Features]
1. Easy operation by fully automatic method
2. Ideal for from research and development to small volume production
3. Vacuum chamber is a front door type with high maintainability
4. Compact design integrating operation and control system

６．ローコストでリーズナブルに研究開発・小ロット生産をスタートさせることが可能です。
７．ロードロック式へのカスタマイズも可能です。

【オプション】
公転ドーム式治具／自公転式治具／加熱機構／ロードロック対応[General Outline]
1. This device is a vacuum deposition device for evaporating metal materials using aresistance heating evaporation source to form a thin ﬁlm on a substrate.

[Options]
Revolving dome type jig / Planetary centrifugal jig / Heating system / Load lock compatible

2. The device is a batch type, equipped with a rotating jig, and performs ﬁlm
formation with good covering power.
3. The ﬁlm thickness is controlled by a crystal oscillation type ﬁlm thickness meter.
4. The operation control system is fully automatic.
5. Depending on the application, it is possible to support not only the rotation typebut also the dome type & the rotation and revolution type.

【用途・応用例】
金属装飾部品／アンダーコート・トップコートなどの塗料評価用

6. It is possible to start research and development and small lot production at a low
cost and at a reasonable price.
7. Customization to load lock type is also possible.

[Applications]
Metal decorative parts / For paint evaluation such as undercoat and top coat

SEC-06D/SEC-08C

小型真空蒸着装置
Small vacuum deposition equipment

金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル
Compact model of metal thin ﬁlm deposition device

真空槽内部（シャッター開）

真空槽内部（シャッター閉）

Inside the vacuum chamber (shutter open)

Inside the vacuum chamber (shutter closed)

仕様

Speciﬁcations

到達圧力10-4Pa台

Ultimate Pressure

10-4Pa level

排気速度

大気圧より6.7×10-3Pa迄20分以内

Exhaust Speed

Within 20 minutes from atmospheric pressure to 6.7 x 10-3 Pa

基板加熱

MAX150℃

Substrate Heating

MAX 150℃

基板回転2〜14rpm

Board Rotation

2-14 rpm

蒸発源系

抵抗加熱式蒸発源

Evaporation Source System

resistance heating type evaporation source: 4 pcs
switching type (2 evaporation power supplies)

排気系

拡散ポンプ、油回転ポンプ （SEC-06D）

Pumping System

Diﬀusion pump, Oil rotary pump (SEC-06D)

ご質問・詳細につきましては、営業部までお気軽にお問合せください。
お問合せ先【営業部】

4式、切替式（蒸発電源2台）

クライオポンプ、ドライポンプ （SEC-08C）

本社・相模原工場〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10

TEL. 042-764-0370
FAX. 042-764-0377

E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp

Cryopump, Dry pump (SEC-08C)

https://www.showashinku.co.jp/

真空槽

W500㎜×D500㎜×H600㎜

昭和真空Vacuum Chamber

W500㎜×D500㎜×H600㎜

フットプリントW1,240 mm x D1,300 mm x H2,000 mm

Footprint

W1,240 mm x D1,300 mm x H2,000 mm

装置重量500kg

Equipment Weight

500kg

検索

Inquiry [Sales Dep.]
HQ and Sagamihara Plant
3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan
TEL:+81-42-764-0370

FAX：+81-42-764-0377

本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略所要諸元

Required Speciﬁcations

電源容量AC200V (3φ) / 9.8kVA (28A)

Power CapacityAC200V (3φ) / 9.8kVA (28A)

所要水量0.2MPa以上（差圧）、0.75㎥/h、20〜25℃

Required Water Volume0.2MPa or more (diﬀerential pressure), 0.75㎥/h, 20-25℃

物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials
which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly
when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary
action such as application of an export permit to the Government of Japan.

※冷却水入口の最大圧は0.4MPa以下、水質は市水相当* The maximum pressure at the cooling water inlet is 0.4MPa or less, and the water quality is equivalent to city water.

所要圧空0.5MPa以上、接続口径、8A(Rp3/4)

Required Compressed Air

0.5MPa or more, connection diameter, 8A (Rp3/4)

Web site

製品情報ページ

真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。

※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承下さい。
* For the improvement of the product, please understand in advance that the speciﬁcations and external views are subject to change without prior notice.

https://www.showashinku.co.jp/product/11-14701-JEZ2102