総合カタログ
リニアエンコーダ
長さゲージ
角度エンコーダ
ロータリエンコーダ
タッチプローブ
データ処理ユニット
デジタル表示カウンタ

09/2023

目次

ドクターヨハネスハイデンハイン社はリニアエン
コーダ、角度エンコーダ、ロータリエンコーダ、
長さゲージ、デジタル表示カウンタおよびデー
タ処理ユニットを開発・製造しています。ハイデ
ンハインは、オートメーションシステムや工作機
械メーカー、半導体製造・電子機器製造メー
カーに製品を供給しています。

ハイデンハインは世界50ヶ国に営業販売・サービス拠点があります。そのほとんどが完全子会社です。セールスエンジニアとサービス技術者
が、技術的情報とサービス対応にてお客様をサポートしています。

基礎技術と生産工程

4

精密目盛: 高精度のための基礎技術

5

長さ測定

6

シールドタイプリニアエンコーダ
オープンタイプリニアエンコーダ
長さゲージ

角度測定

18

シールドタイプ角度エンコーダ
角度エンコーダモジュール
組込み型角度エンコーダ
ロータリエンコーダ

工具とワークの段取りおよび測定

44

ワーク用タッチプロ－ブ
工具測長器

測定値の取得と表示
マニュアル操作式工作機械用デジタル表示カウンタ
計測アプリケーション用データ処理ユニット
診断・検査機器
信号変換器

2

48

基礎技術と生産工程

精密目盛: 高精度のための基礎技術

ハイデンハイン製品が高品質なのは、特別な生産設備と測定装置を使用しているためです。
目盛板製造時に使用するマスターとサブマス
ターは、温度を一定に保ち、防振対策のとられた特別なクリーンルームで作られます。リニ
アエンコーダ・角度エンコーダの目盛を製造・検査するのに必要な目盛複写機などの設備
もハイデンハインが開発・製造しています。

ハイデンハインエンコーダの心臓部は目盛本体であり、通常0.25 µmから10 µmの線幅の目盛形状になっています。これらの精密目盛は、ハイデンハインが開発した製造プロセス(例えば DIADURやMETALLUR)で作られ、エンコーダの性能と精度を決定づけます。目盛は、非常に正確な間隔で刻線され、極めて鮮明なエッジ構造をしています。物理的・化学的な耐久性に優れている上に、振動や衝撃に対する耐久性もあります。全ての目盛で熱特性を定義しています。

位相格子目盛 高さ約 0.25 µm

DIADURDIADUR 精密目盛は本体(ガラスやガラスセ
ラミック)の表面に極薄のクロム膜を形成しています。目盛の精度は、マイクロメートルからサブ
マイクロメートルの範囲となっています。

長さ30 mのスケールテープ測定装置

クロム膜コーティング用クリーンルーム設備

長さと角度測定におけるその高い能力は、多くのユーザーに対し提供しているソリューション
により実証されています。これらの事例には、各国の計量研究所用に開発・製造した計測・検査装置や、大型望遠鏡や人工衛星追跡アンテナ用の角度エンコーダも含まれます。そして、そこから得た知識と経験をハイデンハインの全製品に生かされています。

角度コンパレータ、測定分解能約0.001”

4

アルマ望遠鏡、チャナントール、チリ (写真はESOのご好意による)

METALLUR
金の反射層の特殊な光学構造により、
METALLUR目盛はほぼ平面的な構造をしています。そのため、特に汚れに強くなっています。

位相格子目盛
特殊な製造工程によって、定義された光学特性を持つ三次元的な目盛構造を作り出すことを可能にします。その目盛構造の線幅は数
マイクロメートルから最小のものでは1/4マイクロメートルまでの範囲となります。
SUPRADUR
SUPRADURプロセスによって製造された目盛は、三次元の位相格子と同じ光学特性を持ちながら、平面的な構造をしているため汚れの影響を受けにくくなっています。

OPTODUR
OPTODUR製法により、特に反射率の高い目
盛構造を実現しています。三次元の光学特性を持ちながら、SUPRADURと同じように平面的な構造をしています。
MAGNODUR
マイクロメートル単位の薄さの磁気層は、非常に微細な磁化目盛を構成します。

各種材質で製造されたDIADURとMETALLUR目盛

5

長さ測定

長さゲージ
ハイデンハインの長さゲージは、プランジャー用のガイドが組み込まれていることが特徴です。
これらは、工業計測における測定機器の監視や、位置決め装置としても使用できます。
• 精度等級: ～± 0.1 µm• 測定分解能: ～ 0.005 μm (5 nm)• 最大測定長: 100 mm• 高い測定精度• プランジャーの自動駆動が可能• 取付けが簡単

オープンタイプリニアエンコーダ
ハイデンハインのオープンタイプリニアエンコー
ダは、走査ヘッドとスケールもしくはスケール
テープの間で機械的接触がない状態で動作します。このリニアエンコーダの代表的な用途
は、計測機械、コンパレータ、測長システム用
精密機器、半導体製造用検査装置および製造装置等です。
• 精度等級: ～± 0.5 µm• 測定分解能: ～ 0.001 μm (1 nm)• 最大測定長: 30 m
• 走査ヘッドとスケールが非接触• 小型、軽量• 高速対応シールドタイプリニアエンコーダ
ハイデンハインのシールドタイプリニアエンコー
ダは、切屑、ダスト、飛沫などから保護されています。とりわけ、工作機械への使用に適しています。
• 精度等級: ～± 2 µm
• 測定分解能: ～ 0.001 µm• 最大測定長: 72 m
• 取付けが迅速かつ簡単• 取付け公差が大きい• 耐加速度性大• 耐環境性

インクリメンタルリニアエンコーダは、基準点からの測定ステップ数をカウントしたり、信号周
期を内挿分割しカウントすることによって、現在の位置を決定することができます。ハイデン
ハインのインクリメンタルリニアエンコーダには原点があり、電源投入後に基準点を再確立するために、この原点上を走査する必要があります。絶対番地化原点方式では、この処理をすばやく、簡単に行うことができます。
ハイデンハインのアブソリュートリニアエンコー
ダでは、現在の位置値を得るのに原点復帰をする必要がありません。アブソリュート値の伝送
は、EnDatインターフェースやその他のシリア
ルインターフェースを用いて行います。

推奨分解能は主に位置測定について延べています。正弦波出力信号の内挿倍率を大きくして分解能を小さくすると、たとえばトルクモー
タなど回転速度制御が必要な用途に役立ちます。
機能安全のもとで、ハイデンハインは安全位置計測システム用シングルエンコーダシステム
としてピュアシリアルデータ伝送搭載のエンコー
ダ製品を用意しています。エンコーダ内部で二つの測定値をそれぞれ独立して形成し、EnDat
インターフェース経由で安全制御装置へ伝送します。

シールドタイプリニアエンコーダには以下種類があります。
• 標準型スケールハウジングタイプ– 耐振動衝撃性大– 測定長72 mまで対応可能• 小型スケールハウジングタイプ– 限られた設置スペース用– 測定長2040 mmまで対応可能(1240 mmを超える場合は、マウンティン
グスパーもしくはクランプが必要)
ハイデンハインのシールドタイプリニアエンコー
ダでは、アルミニウムのハウジングが、スケール、
走査キャリッジおよびそのガイドを切屑、ダスト、
飛沫などから保護しています。下向きに配置
された弾力性のあるシーリングリップが、ハウジングの開口部をふさいでいます。走査キャリッジは、スケールユニット内ではほとんど摩擦な
く移動します。カップリングが、走査キャリッジ
を外部の取付けブロックと連結し、スケールとマシンガイドの間での避けられないミスアライメ
ントを補正する働きをします。
走査キャリッジ

シールドタイプリニアエンコーダ

DIADUR
スケール

6

取付けブロック

ページ

標準型スケールハウジング

アブソリュート位置測定
長尺用アブソリュート位置測定
インクリメンタル位置測定
非常に高い繰り返し精度マニュアル操作機械用
長尺測定

LC 100LC 200LS 100
LF 100LS 600
LB 3008

小型スケールハウジング

アブソリュート位置測定
インクリメンタル位置測定
非常に高い繰り返し精度マニュアル操作機械用

LC 400LS 400
LF 400LS 30010

オープンタイプリニアエンコーダ

超高精度
2軸座標測定エンコーダ
高速制御および長尺軸測定用
アブソリュート位置測定

LIP、LIF
PP
LIDA
LIC

12
13
14

長さゲージ

測定ステーションおよびマルチポイント検査装置用

AT、CT、MT、ST

16

光源

受光素子
シーリングリップシリーズ

7

シールドタイプリニアエンコーダ LC、LF、LS、LB
標準型スケールハウジング

標準型スケールハウジングタイプのリニアエ
ンコーダは特に耐振動性に優れていることを特徴としています。
アブソリュートリニアエンコーダLC 100およびLC 200シリーズは、絶対位置値を出力するため原点復帰動作を必要としません。また、同時にインクリメンタル信号を出力することもできるバージョンもあります。LC 100シリーズは、インクリメンタルリニアエンコーダLS 100シリーズと取付け寸法が同じで、機械設計も同じです。
LC 100シリーズおよびLS 100シリーズは、その高い精度と明確な熱特性により、特にNC制御工作機械での使用に適しています。

アブソリュート位置測定

インクリメンタル位置測定

LC 100 シリーズ
• アブソリュート位置測定• 明確な熱特性• 優れた耐振動性• 2種類の取付け姿勢• シングルフィールド走査方式

LS 100 シリーズ
• インクリメンタル位置測定• 明確な熱特性• 優れた耐振動性• 2種類の取付け姿勢• シングルフィールド走査方式

LF 185• インクリメンタル位置測定• 非常に高い繰り返し精度• 熱特性はスチールもしくは鋳鉄と同等• 優れた耐振動性• 2種類の取付け姿勢• シングルフィールド走査方式

LFタイプのインクリメンタルリニアエンコーダは、目盛間隔が比較的微細であることが特徴です。
このため高い繰り返し精度を要求されるようなアプリケーションに適しています。
インクリメンタルリニアエンコーダLS 600シリー
ズは、位置決めだけの単純な使用方法、例えばマニュアル操作の工作機械に使用されます。
LC 200(アブソリュート)およびLB(インクリメンタル)は、長尺軸での使用を想定しています。
これらの目盛本体は、つなぎ目のない1本もの
METALLUR目盛スチールテープで納品され、ハウジングセクションを取付けた後にハウジン
グに引き込み、規定のテンションをかけた上で、両端を機械側にしっかりと固定します。

LC 100

LF 185

LB 383• インクリメンタル位置測定• 最長72 mの長尺測定用• 明確な熱特性• 優れた耐振動性• 2種類の取付け姿勢• シングルフィールド走査方式

LC 200 シリーズ
• アブソリュート位置測定• 最長28 m4)の長尺測定用• 明確な熱特性• 優れた耐振動性• 2種類の取付け姿勢• シングルフィールド走査方式

LC 200LS 600 シリーズ
• インクリメンタル位置測定• マニュアル操作機械用• 取付けが簡単

LS 600

目盛本体
目盛間隔
インターフェース

アブソリュートLC 1151)/LC 185
LC 195 F/M/P/S1)
LC 116/LC 196 F/M

LC 211/LC 281
LC 291 F/M

DIADUR
ガラススケール
20 µm

METALLUR
スチールスケールテープ
40 µm

LC 115/LC 116: EnDat 2.2
LC 211: EnDat 2.2
LC 185: EnDat 2.2 (» 1 VPP 付) LC 281: EnDat 2.2(» 1 VPP 付)
LC 195: ファナックÞiインタフェース/
LC 291: ファナックÞi
三菱/パナソニック/
DRIVE-CLiQ

インクリメンタル
LF 185LS 187LS 177

LS 683 C
LS 673 C

LB 383

SUPRADUR位相格子付
スチールスケール
8 µm

DIADUR
ガラススケール
20 µm

DIADUR
ガラススケール
20 µm

METALLUR
スチールスケールテープ
40 µm» 1 VPPLS 187: » 1 VPP
LS 177: « TTL2)

LS 688 C: » 1 VPP
LS 628 C: « TTL» 1 VPP

インタフェース/
三菱

LC 196: ファナックÞiインタフェース/
三菱

1)

機能安全はお問い合わせください
5/10/20逓倍回路内蔵
3)
測定長ML 3040 mmまで
4)
	これ以上の測定長については、TNC 640(国内非売品)と接続し使用する場合のみ
お問い合わせください

信号周期

LC 185: 20 µm

LC 281: 40 µm

4 µm

LS 187: 20 µm

LS 688 C: 20 µm

40 µm

精度等級

± 5 µm、 ± 3 µm3)

±5 µm

± 3 µm、± 2 µm

± 5 µm、± 3 µm

±5 µm

±5 µm

測定長(ML)

最長 4240 mm

最長 28 040 mm4)

最長 3040 mm

最長 3040 mm

DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録
商標です。

原点

–

2)

8

最長 72 040 mm

1個もしくは絶対番地化原点、LS 6xx C: 絶対番地化原点のみ

9

シールドタイプリニアエンコーダ LC、LF、LS
小型スケールハウジング

アブソリュート位置測定

小型スケールハウジングのシールドタイプリ
ニアエンコーダは、主に設置スペースが限られた場合に使用されます。

LC 400 シリーズ
• アブソリュート位置測定• 明確な熱特性• シングルフィールド走査方式

アブソリュートリニアエンコーダLC 400シリーズ
は、絶対位置値を出力するため原点復帰動作を必要としません。インクリメンタルリニアエ
ンコーダLS 400シリーズのように、高いシステ
ム精度と明確な熱特性により、特にNC工作
機械での使用に適しています。

LC 400インクリメンタル位置測定
LS 400 シリーズ
• インクリメンタル位置測定• 明確な熱特性• シングルフィールド走査方式

LFタイプのインクリメンタルリニアエンコーダ
は、目盛間隔が比較的微細であることが特徴です。このため高い繰り返し精度を要求されるようなアプリケーションに適しています。
インクリメンタルリニアエンコーダLS 300シリー
ズは、位置決めだけの単純な使用方法、例
えばマニュアル操作の工作機械に使用されます。

LS 400

LF 485• インクリメンタル位置測定• 非常に高い繰り返し精度• 熱特性はスチールまたは鋳鉄と同等• シングルフィールド走査方式

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LS 300 シリーズ
• インクリメンタル位置測定• マニュアル操作機械用
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LF 485LS 300マウンティングスパーにより取付けが簡単
小型スケールハウジングタイプの取付けには、マウンティングスパーを使用するのが非常に有効です。これは機械本体の組立て工程時に取り付けることができるため、機械の組立て完了後にエンコーダをマウンティングスパーに装着するだけです。修理時の交換も簡単です。さらにマウンティングスパーを使用することによりエンコーダの加速特性を大幅に改善し
ます。

目盛本体
目盛間隔

固定用クランプ

DIADUR
ガラススケール
20 µm

SUPRADUR位相格子付 DIADUR
ガラススケール
スチールスケール
20 µm
8 µm

LS 487LS 477LS 383 C
LS 373 C
ガラススケール
20 µm

LC 415/LC 416: EnDat 2.2» 1 VPPLC 485: E nDat 2.2 (» 1 VPP 付)
LC 495: ファナックÞiインタフェース/
三菱/パナソニック/
DRIVE-CLiQ
LC 496: ファナックÞiインタフェース/
三菱

LS 487: » 1 VPP
LS 477: « TTL2)

LS 383 C: » 1 VPP
LS 373 C: « TTL

信号周期

LC 485: 20 µm

4 µm

LS 487: 20 µm

20 µm

精度等級

± 5 µm、± 3 µm

± 5 µm、± 3 µm

測定長(ML)

最長 2040 mm3)

最長 1220 mm

原点–

1個もしくは絶対番地化原点

スケールハウジング

取付けブロック

インクリメンタル
LF 485

インターフェース

ストッパー

マウンティングスパー

アブソリュートLC 4151)/LC 485
LC 495 F/M/P/S1)
LC 416/LC 496 F/M±5 µm
最長 2040 mm3)1)

機能安全はお問い合わせください
5/10/20逓倍回路内蔵
3)
ML 1240 mmを超える場合は、マウンティングスパーもしくはクランプが必要
2)

10DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です11

オープンタイプリニアエンコーダLIP、LIF
超高精度測定用

オープンタイプリニアエンコーダLIPおよびLIF
シリーズは、高分解能・高精度が特徴です。
目盛本体は、ガラスもしくはガラスセラミックス
上に位相格子を適用しています。
LIPおよびLIF の主な用途は、• 計測機械、コンパレータ• 測定顕微鏡• 光学部品用ダイアモンド旋盤などの超精密加工機械、磁気記憶ディスク用正面旋盤、
フェライト部品用研削盤• 半導体産業用計測装置および製造装置• エレクトロニクス産業用計測および製造装置
特別に高真空用製品として、
LIF 481 VとLIP 481 V(高真空用、～10–5 Pa)
そしてLIP 481 U(超高真空用、～10–9 Pa)を用意しています。

オープンタイプリニアエンコーダPP
2軸座標測定エンコーダ

2軸座標測定エンコーダPPの特徴は、目盛本体として二次元位相格子付のガラス基板を使用している点です。そのため、同時に平面2軸の位置検出が可能です。

インクリメンタル位置測定
LIP 300シリーズ• 超高分解能 < 1 nm
• 非常に細かい信号周期による高い繰り返し精度• Zerodurガラスセラミックの目盛本体により熱特性が明確

応用例としては次のものがあります。
• 半導体産業用計測装置および製造装置• エレクトロニクス産業用計測および製造装置• 超高速のXYテーブル• 計測機械、コンパレータ• 測定顕微鏡

ML = 120 mm

ML = 70 mm

LIP 200シリーズ• コンパクト形状で極めて高い繰り返し精度• 最大測定長 3040 mm• 推奨分解能 <1 nm• Zerodurガラスセラミックの目盛本体により熱特性が明確

LIP 6000シリーズ• 動的特性の高い用途向け• 限られた設置スペース用• 推奨分解能 1 nm以下
• リミットスイッチとホーミングトラックを利用した位置検出が可能

LIF 400シリーズ• 接着フイルムPRECIMETによりスケールホルダの取付けが迅速かつ簡単• SUPRADUR目盛による優れた耐環境性• リミットスイッチとホーミングトラックを利用した位置検出が可能

インクリメンタル
LIP 382

インクリメンタル
PP 281

LIP 281
LIP 211

LIP 6081
LIP 6071

LIF 481シリーズ
LIF 471シリーズ

目盛間隔

DIADUR位相格子付き
Zerodurガラスセラミック
0.512 µm

OPTODUR位相格子付き
Zerodurガラスセラミック
2.048 µm

OPTODUR位相格子付ガラス
もしくはZerodurガラスセラミック
8 µm

SUPRADUR位相格子付ガラスもしくはZerodurガラスセラミック
8 µm

インターフェース

» 1 VPPLIP 281: » 1 VPP
LIP 211: EnDat 2.21)

LIP 6081: » 1 VPP
LIP 6071: « TTL

LIF 481: » 1 VPP
LIF 471: « TTL
LIF 481: 4 µm

目盛本体

信号周期

0.128 µm

LIP 281: 0.512 µm

LIP 6081: 4 µm

精度等級±0.5 µm

±1 µm

±1 µm

±3 µm

(Zerodurガラスセラ
ミックのみ)

±3 µm

±1 µm

(Zerodurガラスセラ
ミックのみ)±3 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.075 µm/5 mm≦ ±0.125 µm/5 mm≦ ±0.175 µm/5 mm≦ ±0.225 µm/5 mm

内挿精度2)±0.01 nm±0.4 nm±4 nm±12 nm

測定長(ML)

70 mm ～ 270 mm

20 mm ～
1020 mm

原点

なし

1個

1)

原点通過後に絶対位置値を確立

122)370 mm ～3040 mm

1 VPP もしくはEnDat 2.2インターフェースのエンコーダのみ

20 mm ～
1020 mm
1個

20 mm ～
3040 mm

70 mm ～
1020 mm

目盛本体
目盛間隔

DIADUR位相格子付ガラス
8 µm

インターフェース

» 1 VPP

信号周期

4 µm

精度等級

±2 µm

内挿精度

±12 nm

測定範囲

68 mm x 68 mm(他の測定範囲についてはお問い合わせください)

原点

座標軸ごとに1個

70 mm ～
1640 mm

1個

13

オープンタイプリニアエンコーダ LIC、LIDA
高速制御および長尺軸測定用

高真空用製品としてLIC 4113 VとLIC 4193 Vを用意しています(高真空10-5Paまで)。
LICとLIDAは、通常、METALLUR目盛が形成されたスチールテープを使用しています。ガラスもしくはガラスセラミックを使用したLIC 41x3やLIDA 4x3では、低熱膨張係数のスケールを選択可能です。
オープンタイプリニアエンコーダLICとLIDAの代表的な用途は次の通りです。
• CMM測定機• 検査装置• プリント基板実装機• プリント基板用穴あけ加工機• 精密な部品ハンドリング装置• リニアモータの位置と速度測定

LIC 41x3、LIDA 4x3• ガラスもしくはガラスセラミックスケールを直接取付け面に両面テープにより接着します。
LIC 41x5、LIDA 4x5• アルミホルダに1本のスチールスケールテー
プを入れ、テンションをかけて両端で固定• アルミホルダは取付け面にねじ留めもしくは
両面テープにより接着します。
LIC 41x7、LIC 31x7、LIC 21x7、
LIDA 4x7、LIDA 2x7• アルミホルダに1本のスチールスケールテー
プを入れ、中心を固定• アルミホルダは取付け面にねじ留めもしくは
両面テープにより接着します。
LIC 41x9、LIC 31x9、LIC 21x9、
LIDA 4x9、LIDA 2x9• 1本のスチールスケールテープを直接取付
け面に両面テープにより接着します。
• 機能安全はお問い合わせください(LIC 4119)

アブソリュート位置測定
LIC 4100シリーズ• 超高精度および長尺測定用• 各種取付け方法が選択可能• スチールスケールテープ、ガラスもしくはガラスセラミック• 機能安全対応

LIC 4113

2.83

LIC 3100シリーズ• 高精度および長尺測定用• 各種取付け方法が選択可能• ロールテープによる供給

ML + 3019

LICは最長28 mまでの絶対位置測定が可能
で、形状寸法においてインクリメンタルリニアエ
ンコーダLIDA 400やLIDA 200とそれぞれ対応しています。

LICとLIDAには、様々な取付け方法があり、簡単に取付けることができます。

16

オープンタイプリニアエンコーダLICとLIDAは、
10 m/sまでの高速制御用および最長30 m
までの長尺測定用として設計されています。

12

LIC 3119

LIC 2100シリーズ• 大きな取付け公差• 簡単な位置決め用途用
LIC 2117

インクリメンタル位置測定
LIDA 400シリーズ• 最長30 mの長尺測定• 各種取付け方法が選択可能• リミットスイッチ
LIDA 485

LIDA 200シリーズ• ロールテープによる供給• 大きな取付け公差• 簡単な位置決め用途用• ステータスLEDによる簡単な取付け

LIDA 279

アブソリュート
LIC 4113
LIC 4193
目盛本体
目盛間隔

METALLUR目盛付ガラス
もしくはガラスセラミック
40 µm

LIC 4115
LIC 4195

LIC 4117
LIC 4197

LIC 41191)
LIC 4199

LIC 3117
LIC 3197

LIC 3119
LIC 3199

LIC 2117
LIC 2197

METALLURスチールスケールテープ

スチール製スケールテープ

40 µm

80 µm

220 µm

LIC 2119
LIC 2199

スチールスケールテープ(アブソリュートとインクリメンタルトラック付)

インクリメンタル
LIDA 483
LIDA 473
METALLUR目盛付ガラス
もしくはガラスセラミック
20 µm

LIDA 485
LIDA 475

LIDA 487
LIDA 477

LIDA 489
LIDA 479

LIDA 287
LIDA 277

LIDA 289
LIDA 279

METALLURスチールスケールテープ

スチールスケールテープ

20 µm

200 µmインターフェース

LIC 411x: EnDat 2.2
LIC 419x: ファナックÞiインタフェース/三菱/パナソニック/安川LIC 311x: EnDat 2.2
LIC 319x: ファナックÞi
インタフェース/
三菱/パナソニック/
安川

LIC 211x: EnDat 2.2
LIC 219x: ファナックÞi
インタフェース/
三菱/パナソニック/
安川

LIDA 48x: » 1 VPP
LIDA 47x: « TTL2)

LIDA 28x: » 1 VPP
LIDA 27x: « TTL2)

信号周期

–

–

–

LIDA 48x: 20 µm

LIDA 28x: 200 µm

精度等級±3 µm、
±5 µm

±5 µm

±15 µm6)±15 µm±1 µm4)、±3 µm、
±5 µm

±5 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.275 µm/10 mm≦ ±0.750 µm/50 mm≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)–≦ ±0.275 µm/10 mm≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)–

内挿精度5)±20 nm±20 nm±100 nm±1 µm±45 nm±45 nm±2 µm

測定長(ML)

240 mm ～ 3040 mm

140 mm ～ 240 mm ～ 70 mm ～28 440 mm 6040 mm
1020 mm

ロールテープによる供給
3 m/5 m/10 m

ロールテープによる供給
3 m/5 m/10 m

240 mm ～ 3040 mm

140 mm ～30 040 mm

原点

–

–

–

1個もしくは絶対番地化原点 1個±3 µm3)、±5 µm3)、±15 µm±3 µm、±15 µm

1)

4)

2)

5)

機能安全はお問い合わせください
最大100逓倍回路内蔵 (LIDA 47xは5逓倍回路も内蔵)
3)
測定長1020 mm もしくは 1040 mmまで

14

±3 µm3)、±5 µm3)、±15 µm±3 µm、±15 µm

240 mm ～ 6040 mm±15 µm

ロールテープによる供給
3 m/5 m/10 m
100 mm毎に選択可能

Robaxガラスセラミックの場合のみ測定長1640 mmまで
1 VPP もしくは EnDat 2.2インターフェースのエンコーダのみ
6)±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後

15

長さゲージ AT、CT、MT、ST
測定ステーションおよびマルチポイント検査装置用

ハイデンハインの長さゲージは、最長100 mmの測定長で高精度であることを特徴としています。ベアリング内蔵のプランジャーを搭載することにより、コンパクトな測長器として使用できます。
長さゲージHEIDENHAIN-CERTO、CTシリー
ズは、精密部品の製造品質管理や標準器の精度確認および校正用途に使用されます。
長さゲージHEIDENHAIN-METRO、MT 1200とMT 2500シリーズは、精密測定
ステーションや検査装置用製品です。ボール
ブッシュガイド付きのプランジャーを備えているので、高いラジアル荷重に耐えられます。

プランジャー駆動方式
モータ駆動によってプランジャーを駆動させる長さゲージでは、内蔵モータによってプランジャーを伸ばしたり引き込んだりします。専用のスイッチボックスによって操作することができます。
カップリングを使用する長さゲージでは、プラン
ジャー駆動機能がありません。自由に移動できるプランジャーは、専用のカップリングによって機械の可動部分に接続されます。
測定物もしくはケーブルレリーズによりプランジャーを駆動させる長さゲージでは、伸びきった位置で静止するスプリング駆動式のプラン
ジャーを特徴としています。

MT 60とMT 101は、受け入れ検査、工程寸法監視、品質管理などに適した製品です。その他、たとえばスライドテーブルやXYテーブル用の高精度位置測定エンコーダとして、簡単に取付けることもできます。

長さゲージMT 1281とST 1288は各種測定力のタイプを用意しています。特に破損しやすい
材質において、ひずみを生じずに測定することが可能です。

HEIDENHAIN-ACANTO ATシリーズとHEIDENHAIN-SPECTO STシリーズは寸法
形状が非常に小さいため、マルチポイントでの検査装置や試験装置用途に最適です。

空気圧駆動の長さゲージでは、プランジャー
は内蔵スプリングによってその静止位置へ引き込められ、圧縮空気により測定位置へ伸ばされます。

HEIDENHAIN-ACANTO• オンライン診断機能• 保護等級 IP67まで• アブソリュート位置測定
HEIDENHAIN-CERTO• 超高精度用• 低熱膨張材料を使用• 高精度ボールベアリングガイド
HEIDENHAIN-METRO
MT 1200 と MT 2500
• 高い繰り返し精度• 様々な測定圧に対応• 各種プランジャー駆動方式を用意
HEIDENHAIN-METRO
MT 60 と MT 101• 広い測定範囲• モータもしくはカップリングによるプランジャー駆動• ボールブッシュガイドプランジャー
HEIDENHAIN-SPECTO• コンパクトな形状• 保護等級 IP67まで• 耐久性に優れたボールブッシュガイド• 過酷な環境に対応する製品も用意

MT 101 M

アブソリュート
AT 1218
AT 1217

AT 3018
AT 3017

インクリメンタル
CT 2501
CT 6001
CT 2502
CT 6002

MT 1281
MT 1287

MT 1271

MT 2581
MT 2587

MT 2571

CT 6001

MT 60 M
MT 60 KMT 2581

MT 101 M
MT 101 K

ST 1288
ST 1287

AT 3018

ST 1278
ST 1277

目盛本体

DIADURガラススケール

DIADUR位相格子付きZerodurガラスセラミック
熱膨張係数: Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1

DIADUR目盛付ガラスセラミック

DIADURガラススケール

目盛間隔

188.4 µm

4 µm

4 µm

10 µm

20 µm

インターフェース

EnDat 2.2

» 11 µAPP» 1 VPP

信号周期

–

2 µm

システム精度

±1 µm

±2 µm

±0.1 µm1)±0.03 µm2)

±0.1 µm1)±0.05 µm2)

繰り返し精度

0.4 µm

0.8 µm

0.02 µm

0.03 µm

測定範囲

12 mm

30 mm

25 mm

60 mm

プランジャー駆動方式

AT xx18: 内蔵スプリングによる
AT xx17: 空気圧によるCT xx01: モータ駆動
CT xx02: カップリング使用

ST 3088

ST 3088
ST 3087

ST 3078
ST 3077« TTL3)» 1 VPP« TTL3)» 11 µAPP» 1 VPP« TTL3)» 1 VPP« TTL3)

–

2 µm

–

10 µm

20 µm

–

20 µm

–

±0.2 µm

12 mm
MT xxx1: ケーブルレリーズ
もしくは内蔵スプリング
MT xx87: 空気圧による±0.5 µm

±1 µm

±1 µm

0.09 µm

0.06 µm0.04 µm0.25 µm

0.7 µm

25 mm

60 mm

100 mm

12 mm

30 mm

MT xx M: モータ駆動
MT xx K: カップリング使用

ST xxx8: 内蔵スプリングによるST xxx7: 空気圧による

1)

19 °C ～ 21 °Cにおいて、測定中の温度変化を±0.1 Kとする
データ処理ユニットにおいて直線誤差補正をした場合
3)
5/10逓倍回路内蔵
2)

16

17

角度測定

角度エンコーダ
ハイデンハイン製角度エンコーダには、1角度秒以内での高精度測定ができるという特徴があります。これらの製品の用途としては、ロータ
リーテーブル、工作機械のスイベルヘッド、角度割出し装置、精密角度測定テーブル、精密
角度測定器、アンテナ、大型望遠鏡などです。
• 目盛線本数: 9000本～180000本• システム精度: ± 5“ ～ ± 0.4“
• 分解能:	0.000 01°もしくは0.036”(インクリメンタル) もしくは
29 ビット、すなわち1回転あたりの位置値536,000,000(アブソリュート)

ロータリエンコーダ
ハイデンハイン製ロータリエンコーダは、回転運
動量、および回転速度を検出するセンサとして使用されるほか、送りネジ（ボールねじ）のよ
うな機械的位置の測定標準器と共に使用することで、直線運動量の検出センサとして使用できます。製品の用途としては、電動モータ、
工作機械、印刷機械、木工機械、紡績機、ロボット、エレベータ、搬送装置、および各種計
測、試験・検査装置です。
• 目盛線本数: 50本～5000本• システム精度: ± 10”(目盛線本数による。目盛間隔の± 1/20に相当。)• 分解能:
0.000 01°
とりわけ、光学式ロータリエンコーダにおける高品質の正弦波インクリメンタル信号は、デジタル速度制御用に高い内挿分割が可能です。

アブソリュートの角度・ロータリエンコーダは、
原点復帰動作を行わずに、現在の位置を検出します。シングルターン・エンコーダは、1回転内での角度位置データを与えられますが、マルチターン・エンコーダでは、回転回数の検出も行います。その位置データは、例えば、ピュアシリアルで双方向通信が可能なEnDat
インターフェースによって伝送されます。高度な電子制御による自動的な動作環境設定、監視機能および自己診断機能が可能です。

取付け方法
角度エンコーダとロータリエンコーダのうち、ベアリングを内蔵し、ステータカップリング付きのものは、エンコーダの目盛ディスクを測定側シャフトに直接取付けます。走査ユニットはベアリングを介してシャフトの外周上に配置され、ステータカップリングにて支持されます。したがって、シャフトに回転加速度が加わっている
間、ベアリング内部から摩擦トルクのみをス
テータカップリングによって緩和すれば良いので、静止時と動作時での角度測定誤差を最小限に抑えることができます。さらに、ステータ側に取付けられたカップリングが、駆動シャフトのアキシャル方向の振れを抑えます。
ステータカップリング使用によるその他のメリットは、以下のとおりです。
• 取付けが簡単• 厚みが抑えられる• カップリングによる固有振動周波数が高い• 貫通型中空シャフトが可能

機能安全のもとで、ハイデンハインは安全位置計測システム用シングルエンコーダシステムとしてピュアシリアルデータ伝送搭載のエンコーダ
製品を用意しています。エンコーダ内部で二つの測定値をそれぞれ独立して形成し、データ
インターフェース経由で安全制御装置へ伝送します。
インクリメンタルの角度・ロータリエンコーダの位置データは、基準点からカウントした測定
分解能、あるいは内挿分割と信号周期をカウントすることによって求められます。ハイデンハ
イン製のインクリメンタル角度・ロータリエンコー
ダには原点があり、電源投入後にデータ基準
点を再現するために、原点を走査する必要があります。

角度エンコーダとロータリエンコーダのうち、ベアリングを内蔵し、カップリング外付けのもの
は、ソリッドシャフトがついています。推奨カップ
リングで取付けた測定側シャフトは、ラジアル
方向とアキシャル方向の取付け寸法公差を補正します。カップリング外付け型角度エンコー
ダは、より高速回転での使用が可能です。

磁極検出信号付のインクリメンタル・ロータリ
エンコーダは、原点出し動作を行わずに、三相モータ内の永久磁石が発生させる回転磁界の位相制御を正しく行うためのシャフト停止
位置データを十分な精度にて与えてくれます。

角度エンコーダとロータリエンコーダのうち、ベアリングを内蔵しないものは、摩擦抵抗がありません。走査ヘッドと、目盛ディスク、スケー
ルドラムあるいはスケールテープテープといった、二つの構成部品どうしの位置調整は組立時に行います。このエンコーダを使用することのメリットは、以下のとおりです。
• 限られた設置スペースに対応• 中空シャフト径が大きい• シャフトを高回転で駆動可能• 始動トルクが一切なし

シールドタイプ角度エンコーダ

シリーズ

ページ

ベアリング内蔵およびステータカップリング付

アブソリュート(シングルターン)/インクリメンタル

RCN、RON、RPN

20

ベアリング内蔵アブソリュート(シングルターン)/インクリメンタル

ROC、ROD

22

高精度ベアリング

MRP、SRP24

角度エンコーダモジュール
組込み型角度エンコーダ

26

ベアリングを内蔵しない、光学走査方式

アブソリュート(シングルターン)/インクリメンタル ECA、ERA、ERO、ERP

ベアリングを内蔵しない、磁気走査方式

アブソリュート(シングルターン)/インクリメンタル

ECM、ERM

32

ベアリング内蔵およびステータカップリング付

アブソリュート (シングルターン/マルチターン)
インクリメンタル

ECN、EQN
ERN

34

ベアリング内蔵、カップリング外付けタイプ

アブソリュート (シングルターン/マルチターン)
インクリメンタル

ROC、ROQ
ROD

38

ベアリングを内蔵しない

アブソリュート (シングルターン/マルチターン)
インクリメンタル

ECI、EQI、EBI
ERO

40

ロータリエンコーダ

18

19

シールドタイプ角度エンコーダ RCN、RON、RPN
ベアリング内蔵およびステータカップリング付

ベアリング、ステータカップリング内蔵の角度
エンコーダRCN、RON、RPNは、静的および動的な高い精度特性をもち、ロータリーテーブ
ル、チルト軸などの精度の必要な場所への組込みに適しています。目盛ディスクには通常
DIADUR目盛を使用しています。ステータカッ
プリング内蔵機種の精度にはカップリングによって引き起こされる測定誤差も含まれています。
カップリング外付けの機種では、カップリングの誤差分を加える必要があります。

アブソリュート
RCN 25111) RCN 2581
RCN 23111) RCN 2381
RCN 210
RCN 280

RCN 2001、RCN 200およびRON 200シリーズ• コンパクトな形状• 堅牢な機構設計• ロータリーテーブル、ターンテーブル、傾斜
テーブルの角度割出しおよび速度制御用

RCN 8001、RON 700
および RON/RPN 800シリーズ• 最大径 ¬ 100 mmの大口径中空シャフト
径対応• システム精度: ±2” と ±1”• ロータリーテーブル、角度測定装置、角度割出し装置、計測装置、画像スキャナー等で使用
RCN 8001
D = 60 mm もしくは 100 mm
RON 786/886、RPN 886
D = 60 mm

RCN 6000 シリーズ
• 大口径中空シャフト• システム精度: ±2”• ロータリーテーブル、傾斜テーブル、
トルクモータで使用

位置値/回転RCN 25x1: 268 435 456 (28 ビット)、RCN 23x1: 67 108 864 (26 ビット)
RCN 2x0: 33 554 432 (25 ビット)–

1回転あたりの信号周期

RCN 2xx1: 16 384、RCN 2x0: 2048

90 000/180 0002) 18 000システム精度RCN 25x1: ±2”、RCN 23x1: ±4”、RCN 2x0: ±6”±5”

機械的許容回転数3)≦ 3000 rpm RCN 2x81: ≦ 1500 rpm
RCN 280: ≦ 3000 rpm≦ 3000 rpm

ファナックÞi
三菱
インタフェース≦ 3000 rpm

RCN 5581
RCN 5381

RCN 5591 M
RCN 5391 M

ファナックÞi
インタフェース

三菱

EnDat 2.2

位置値/回転RCN 55x1: 268 435 456 (28 ビット)、RCN 53x1: 67 108 864 (26 ビット)

信号周期/回転

16 384システム精度RCN 55x1: ±2”、RCN 53x1: ±4”

機械的許容回転数3)≦ 2000 rpm

RCN 8581
RCN 8381

RCN 8591 F
RCN 8391 F≦ 2000 rpm

インクリメンタル
RCN 8591 M RON 786
RON 886
RCN 8391 M

インターフェース

EnDat 2.2

位置値/回転536 870 912 (29 ビット)–

信号周期/回転32 76818 00036 00036 000システム精度

RCN 85x1: ±1”、RCN 83x1: ±2”

±2”

±1”

機械的許容回転数3)≦ 1500 rpm4) ≦ 750 rpm≦ 1000 rpm

ファナックÞi
三菱
インタフェース≦ 1500 rpm4)±5”、±2.5”

RCN 5591 F
RCN 5391 F

インターフェース

≦ 1500 rpm (使用温度 ≦ 50 °C)≦ 1200 rpm (使用温度 > 50 °C)» 1 VPPRPN 886» 1 VPP

180 000

アブソリュート
RCN 63101)
インターフェース

EnDat 2.2

位置値/回転268 435 456 (28 ビット)システム精度±2.0”

機械的許容回転数≦ 200 rpm5)1)

機能安全はお問い合わせください
5/10逓倍回路内蔵
3)
カタログベアリング内蔵角度エンコーダの速度を参照してください

2)

44

20

« TTL

RON 285
RON 287

EnDat 2.2

アブソリュート
RCN 85111)
RCN 83111)

Ø 292

角度エンコーダRCN 2001、RCN 5001
およびRCN 8001シリーズの特徴• 大きな取付け公差を保ちながら、1回転あたりの位置誤差や1信号周期内の位置誤差、
そしてカップリングによる誤差を考慮した高いシステム精度を実現• 液体汚れや結露による水滴が信号品質とモータ制御にほとんど影響を与えない最適化された走査方式• DDモータ内の巻線温度を評価することによりDDモータの温度を簡単に測定• ピュアシリアルインターフェースによる高い許容回転速度: 最高3000 rpm• エンコーダとモータ間での機械的接続の緩み対策

インクリメンタル
RCN 2591 M RON 275
RCN 2391 M
RCN 290 M

インターフェース

アブソリュート
RCN 55111)
RCN 53111)

RCN 5001 シリーズ
• 狭い設置スペースに対応する
大口径中空シャフト• RCN 2001 および RON 200と同じ取付け
面積のステータカップリング

RCN 2591 F
RCN 2391 F
RCN 290 F

Ø 180

4)

	中空シャフト径60 mmの場合、
中空シャフト径100 mmの場合: ≦ 1200 rpm
5)
使用温度により異なりますが、これより高速回転にも対応可能

21

シールドタイプ角度エンコーダ ROC、ROD
ベアリング内蔵

シャフトにカップリングを取付けるタイプの角度
エンコーダROCおよびRODは、高速回転のア
プリケーションや、取付け公差を大きく取る必要があるアプリケーションに適しています。精密カップリングを使用することで、アキシャル方向
ずれは±1 mmまでとすることができます。

カップリング外付け型:
ROC 2000およびROD 200• コンパクトな形状• 堅牢な機構設計• ロータリテーブルや傾斜テーブルの角度割り出しや同期監視で使用

アブソリュート
ROC 2310

角度エンコーダROCおよびRODは、DIADUR
目盛ディスクを特徴としています。カップリング
外付けの角度エンコーダでは、カップリングが原因で発生する角度測定誤差を考慮する必要があります。

インターフェース

EnDat 2.24)

信号周期/回転

16 384システム精度1)±5”

機械的許容回転数≦ 3000 rpm

ROC 2380

ROC 2390 F

ROC 2390 M

インクリメンタル
ROD 270
ROD 280

EnDat 2.24)» 1 VPP

ファナックÞi
インタフェース

三菱« TTL» 1 VPP

180 0003)

18 000≦ 10 000 rpm

1)

シャフトカップリングなし
2逓倍回路内蔵3)10逓倍回路内蔵
4)DRIVE-CLiQへの接続はEIB経由
2)

カップリング外付け型:
ROC 7000、ROD 780およびROD 880• 高いシステム精度
ROC 7000、ROD 780: ±2”±1”
ROD 880:• 高精度ロータリーテーブル、割出し装置や計測装置における角度測定に最適

アブソリュート
ROC 7310

ROC 7390 M

インクリメンタル
ROD 780
ROD 880

EnDat 2.22)» 1 VPP

ファナックÞi
インタフェース三菱» 1 VPPEnDat 2.22)

信号周期/回転

16 38418 000 36 000

36 000システム精度1)

±2”

±2”

±1”

機械的許容回転数≦ 3000 rpm≦ 1000 rpm

2)22

ROC 7390 F

インターフェース

1)

ROD 780, ROD 880

ROC 7380

シャフトカップリングなし
DRIVE-CLiQへの接続はEIB経由

ROC 7000

DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。

23

角度エンコーダモジュール MRP、SRP
高精度回転軸への組込みに適した構造

角度エンコーダモジュールMRP:
角度エンコーダとベアリングの組み合わせ
ハイデンハインの角度エンコーダモジュールは、
角度エンコーダと高精度ベアリングを最適に調整し組み合わせた製品です。低始動トルク
による滑らかな動きはもちろん、測定精度およびベアリング精度が高精度であること、極めて高い分解能であること、そして最高クラスの繰
り返し精度であることが本製品の特徴です。
構成部品に関して十分に仕様設計と試験を行っているため、取り扱いと組込みがとても簡単です。

取付け方法 1

MRP 2000 シリーズ
エンコーダとベアリングを一体化した
角度エンコーダモジュール• 超小型形状• 高い測定精度とベアリング精度• 中空シャフト径: 10 mm

MRP 5000 シリーズ
エンコーダとベアリングを一体化した
角度エンコーダモジュール• コンパクトな形状• 高い測定精度とベアリング精度• 中空シャフト径: 35 mm

MRP 2010

MRP 5010

インクリメンタル
MRP 2080

アブソリュート
MRP 2010

インターフェース

» 1 VPPEnDat 2.2

信号周期/回転2048

システム精度±7”

最大許容アキシャル荷重

50 N (中心荷重、付加的な振動や衝撃のない静的荷重において)ラジアルガイド精度≦ 0.60 μm

軸のふらつき2.5”

インクリメンタル
MRP 5080

アブソリュート
MRP 5010

インターフェース

» 1 VPPEnDat 2.2

信号周期/回転30 00016 384システム精度±2.5” もしくは ±5”

最大許容アキシャル荷重

200 N (中心荷重、付加的な振動や衝撃のない静的荷重において)ラジアルガイド精度≦ 0.20 μm

軸のふらつき0.7”

取付け方法 2

MRP 8000 / MRP 8100 シリーズ
エンコーダとベアリングを一体化した
角度エンコーダモジュール• コンパクトな形状• 高い測定精度とベアリング精度• MRP 8000: 中空シャフト径 100 mm
MRP 8100: 中空シャフト径 80 mm• MRP 8100: 最大アキシャル荷重1500 N

角度エンコーダモジュールSRP:
角度エンコーダ、ベアリングとモータの組み合わせ
角度エンコーダモジュールSRPはDDモータを搭載しています。モータ、高精度ベアリングおよび高精度エンコーダを一体化したコンパクトなシステムです。低コギングのDDモータにより、非常にスムーズなモーション制御を実現します。コギングやラジアル振れによりベアリングの高いガイド精度を損なうことはありません。

24

SRP 5000 シリーズ
エンコーダ、ベアリングとDDモータを組み合わせた角度エンコーダモジュール• コンパクトな形状• 低コギングのDDモータ• 瞬時最大トルク: 2.70 Nm• 定格トルク:
0.385 Nm

MRP 8010

SRP 5000

インクリメンタル
MRP 8080

MRP 8081 Dplus MRP 8180

アブソリュート
MRP 8010

インターフェース

» 1 VPP4X» 1 VPP

EnDat 2.2

信号周期/回転63 000システム精度±1” もしくは ±2”

最大許容アキシャル荷重

300 N

1500 N

300 N

1500 N

ラジアルガイド精度≦ 0.15 μm≦ 0.25 μm≦ 0.15 μm≦ 0.25 μm

軸のふらつき

0.5”

0.7”

0.5”

0.7”

» 1 VPPMRP 8110

32 768±0.4”±1” もしくは ±2”

インクリメンタル
SRP 5080

アブソリュート
SRP 5010

インターフェース

» 1 VPPEnDat 2.2

信号周期/回転30 00016 384システム精度±2.5” もしくは ±5”

最大許容アキシャル荷重

200 N (中心荷重、付加的な振動や衝撃のない静的荷重において)ラジアルガイド精度≦ 0.20 μm

軸のふらつき

0.7”

25

組込み型角度エンコーダ ERP、ERO
ベアリングを内蔵しない、光学走査方式

ハイデンハイン製ベアリングを内蔵しない角度
エンコーダERPおよびEROは、摩擦抵抗がな
く、ガラス製目盛ディスクとハブで構成されています。軽量かつコンパクトな形状が特徴です。
高精度が可能で、機械要素や構成部品への組込みを考慮しています。

ERP 1000 シリーズ
• 高分解能および高精度• 低質量、低慣性モーメント• 平面形状• 全周測定と部分角測定の両タイプあり

インクリメンタル
ERP 1070
ERP 1080
ERP 1010

得られるシステム精度は、駆動シャフトの軸受けに対する目盛本体の偏心度と、ラジアル振れや揺動によって異なります。

EROは各種計測装置、小型ロータリーテーブ
ル、そして高精度で動特性の高いモータに使用されます。

ERO 2000 シリーズ
• コンパクトな形状• 低質量、低慣性モーメント• 動的特性の高い用途向け

26

ERP 1070: « TTL、
ERP 1080: » 1 VPP、
ERP 1010: EnDat 2.2

信号周期/回転

23 00030 00050 00063 000

目盛精度

±4”

±3”

±1.8”

±1.5”、±0.9”

内径 D1

13 mm

32 mm

62 mm

104 mm

外径 D2

57 mm

75 mm

109 mm

151 mm

機械的許容回転数≦ 2600 rpm≦ 2000 rpm≦ 1200 rpm≦ 950 rpm 

干渉走査方式によりERPの高い精度が可能になります。そのため、特に精密角度測定テーブルおよび角度計測用途の精密機器に適しています。さらに信号安定化機能HSP 1.0を搭載しているため、エンコーダは耐環境に優れています。

インターフェース

 

インクリメンタル
ERO 2080

TKN ERO 2000 (全周)26

インターフェース

» 1 VPP

信号周期/回転

4096

2500

目盛精度

±8”

±10”

内径 D1

5 mm

–

外径 D2

30 mm

18.6 mm

機械的許容回転数≦ 14 000 rpm≦ 24 000 rpm

TKN ERO 2002 (部分角)27組込み型角度エンコーダ ECA、ERA
ベアリングを内蔵しない、光学走査方式

ハイデンハインのスケールドラムを用いたベアリングを内蔵しない角度エンコーダECA、ERA
は、機械要素や構成部品への組込みを考慮しています。得られるシステム精度は、駆動シャフトの軸受けに対する目盛本体の偏心度と、ラジアル振れや揺動によって異なります。

ECA 4400 シリーズ
• 高精度
• METALLUR目盛付きスチールドラムを使用した堅牢な設計• ドラムの種類が選択できる
ECA 4xx0: 芯出しカラー付
ECA 4xx2: 三点芯出し

角度エンコーダECAとERAは、堅牢なスチー
ルスケールドラムを使用していることが特徴です。20000 rpmまでの高速回転に適しています。高速スピンドル、ロータリテーブルやチルト
軸に使用されます。
高真空用製品として角度エンコーダECA 4000Vを用意しています(高真空10-5 Paまで)。

アブソリュート
ECA 44101)
ECA 4490 F
ECA 4490 M
ECA 4490 P
ECA 4490 Y
インターフェース

ECA 4410: EnDat 2.2、ECA 4490 F: ファナック Þiインタフェース、 ECA 4490 M: 三菱、ECA 4490 P: パナソニック、ECA 4490 Y: 安川

信号周期/回転8195

10 01011 61614 00316 37919 99825 99337 99444 000

目盛精度

±3”

±2.5”

±2.8”

±2”

±1.9”

±1.8”

±1.7”

±1.5”

±1.5”

内径 D1

70 mm

80 mm

120 mm

120 mm

150/185 mm 180/210 mm 270 mm

425 mm

512 mm

外径 D2104.63 mm

127.64 mm

148.2 mm

178.55 mm

208.89 mm

484.07 mm

560.46 mm

機械的許容回転数≦ 8500 rpm ≦ 6250 rpm ≦ 5250 rpm ≦ 4500 rpm ≦ 4250 rpm ≦ 3250 rpm ≦ 2500 rpm ≦ 1800 rpm ≦ 1500 rpm
1)254.93 mm

331.31 mm

機能安全はお問い合わせください

スペーサ

保護カバー

圧縮空気
注入口

スペーサ

ERA 4000
保護カバー付

ERA 4000 シリーズ
• 20 000 rpm までの高速回転• METALLUR目盛付きスチールドラムを使用した堅牢な設計• 許容アキシャル方向変位量: ± 0.5 mmまで
• ERA 4480 Cは、さらに大きな径、もしくは保護カバー付きが可能。
• ドラムの種類が選択できる
ERA 4xx0: 芯出しカラー付
ERA 4xx2: 三点芯出し

インクリメンタル
ERA 4280 C1) 信号周期: 20 µm
ERA 4480 C 信号周期: 40 µm
ERA 4880 C 信号周期: 80 µm
インターフェース

» 1 VPP

信号周期/回転		 ERA 4280 C
		 ERA 4480 C
		 ERA 4880 C

12 0006 000
3 000

16 3848 192
4 096

20 000
10 0005 000

28 000
14 000
7 000

目盛精度

±5”

±3.7”

±3”

±2.5”

内径 D1

40 mm

70 mm

80 mm

120 mm

150 mm

180 mm

270 mm

425 mm

512 mm

外径 D276.75 mm

104.63 mm

127.64 mm

178.55 mm

208.89 mm

254.93 mm

331.31 mm

484.07 mm

560.46 mm

機械的許容回転数≦ 20 000rpm≦ 15 000rpm≦ 12 250rpm≦ 8750 rpm ≦ 7500 rpm ≦ 6250 rpm ≦ 4750 rpm ≦ 3250 rpm ≦ 2750 rpm

1)28

32 76816 3848 192

40 000
20 000
10 00052 00026 000
13 000–38 000––44 000–±2”

上記以外のドラム径については、カタログ組込み型角度エンコーダ スケールドラム・スケールテープタイプ を参照してください

29組込み型角度エンコーダ ERA
ベアリングを内蔵しない、光学走査方式

ハイデンハインのスチールスケールテープを用いたベアリングを内蔵しない角度エンコーダ
ERAは、機械要素や構成部品への組込みを考慮し、以下要求を満たすように設計されています。
• 最大径10 mの大口径中空シャフト径対応• ロータリシャフトシールにより余分な始動トルクなし

ERA 7000 および ERA 8000 シリーズ
• 最大径10 mの大口径対応• METALLURスチールスケールテープ
ERA 7000 シリーズ
スケールテープを機械の内側に設けた内溝に差込み固定します。
• ERA 7400 C: 全円周測定用• ERA 7401 C: 部分角測定用得られるシステム精度は、スケールテープ本
体の加工精度、ラジアル振れや揺動によって異なります。

インクリメンタル
ERA 7400 C
インターフェース

» 1 VPP、信号周期 40 µm (円周で)信号周期/回転36 00045 00090 000

目盛精度

±3.9”

±3.2”

±1.6”

目盛精度

±3 µm/m (スケールテープ全長において)

径 D1

458.62 mm

機械的許容回転数≦ 250 rpm

573.20 mm

1146.10 mm≦ 220 rpm

ERA 7481 C

スペーサ

ERA 7400 C

ERA 8000 シリーズ
スケールテープを機械の外周に固定します。
• ERA 8400 C:	全円周測定用• ERA 8401 C:	部分角測定用、テンション金具を用いてスケールテープを固定• ERA 8402 C:	部分角測定用、テンション金具を用いずにスケールテープを固定
ERA 8400 C

インクリメンタル
ERA 8400 C
インターフェース

» 1 VPP; 信号周期 40 µm (円周で)信号周期/回転36 00045 00090 000

目盛精度

±4.7”

±3.9”

±1.9”

目盛精度

±3 µm/m (スケールテープ全長において)

径 D1

458.04 mm

機械的許容回転数≦ 50 rpm

572.63 mm

1145.73 mm≦ 45 rpm

ERA 8480 C

30

31

組込み型角度エンコーダ ECM、ERM
ベアリングを内蔵しない、磁気走査方式

ハイデンハインの磁気走査方式組込み型エンコーダECMとERMは、磁化したスケールドラ
ムと走査ユニットで構成されています。
MAGNODUR目盛本体と磁気抵抗センサにより特に耐コンタミ性に優れています。

アブソリュート位置測定

アブソリュートECM 24101)
ECM 2490 F
ECM 2490 M

ECM 2400 シリーズ
• スケールドラムを軸に挿入し、ねじ固定• 機能安全対応 (ECM 2410)

得られるシステム精度は、駆動シャフトの軸受けに対する目盛本体の偏心度と、ラジアル振れや揺動によって異なります。
一般的な使用例としては、粉じんが多く、水しぶきがかかる環境での、旋盤もしくはフライス
盤のスピンドルのような中空シャフト径が大きな機械または装置などで、あまり高い精度を要求されない用途向けです。
• ERM 2280、ECM 2400:
回転軸やチルト軸用• ERM 2410、ERM 2420、ERM 2480:
旋盤のC軸• ERM 2484、ERM 2485、ERM 2984:
フライス盤の主軸用

インターフェース

ECM 2410: EnDat 2.2、ECM 2490 F: ファナックÞiインタフェース、ECM 2490 M: 三菱

信号周期/回転

900

1024

1200

1400

1696

2048

2600

目盛精度

±8”

±7”

±6”

±5.5”

±4.5”

±4”

±3.5”

内径 D1

70 mm

80 mm

105 mm

130 mm

160 mm

180 mm

260 mm

外径 D2

113.16 mm

128.75 mm

150.88 mm

176.03 mm

213.24 mm

257.5 mm326.9 mm

機械的許容回転数≦ 14 500 rpm ≦ 13 000 rpm ≦ 10 500 rpm ≦ 9000 rpm ≦ 7000 rpm ≦ 6000 rpm ≦ 4500 rpm

インクリメンタル
ERM 2410 (目盛間隔  400 µm)
ERM 2420
ERM 2480
ERM 2280 (目盛間隔  200 µm)
ERM 2283

インクリメンタル位置測定

スケールドラム
ERM 2200
ERM 2400
ECM 2400

ERM 2200シリーズ• 高い目盛精度• 絶対番地化原点• スケールドラムを軸に挿入し、ねじ固定• ERM 2283: 内挿精度が小さい、
反転誤差なしインターフェース

ERM 2410: EnDat 2.22)、ERM 2420:  TTL、ERM 2480/ERM2280/ERM 2283: » 1 VPP

信号周期/回転

600

720

900

1024

1200

1400

2048

2600

3600

1200

1440

1800

2048

2400

2800

4096

5200

7200

±11”

±10”

±8”

±7”

±6”

±5.5”

±4”

±3.5”

±3”

ERM 2280

±10”

±8.5”

±7”

±6”

±5.5”

±5”

±3.5”

±3”

±2.5”

ERM 2283

±6.5”

±5.5”

±4.5”

±4”

±3.5”

±3”

±2”

±1.5”

–

内径 D1

40 mm

55 mm

70 mm

80 mm

105 mm

130 mm

180 mm

260 mm

380 mm

外径 D2

75.44
mm

90.53
mm

113.16mm

128.75mm

150.88mm

176.03
mm

257.5
mm

326.9
mm

452.64mm

機械的許容回転数≦ 19 000 ≦ 18 500 ≦ 14 500 ≦ 13 000 ≦ 10 500 ≦ 9000
rpm
rpm
rpm
rpm
rpm
rpm

≦ 6000rpm≦ 4500rpm≦ 3000
rpm

ERM 2200
目盛精度

ERM 2400シリーズ• 絶対番地化原点• スケールドラムを軸に挿入し、ねじ固定• 豊富な種類のドラム径を用意

スケールドラム
ERM 2404
ERM 2904

インクリメンタル
ERM 2484 (目盛間隔  400 µm)
ERM 2484 および ERM 2984 シリーズ
• 限られた設置スペースに適したコンパクト形状• 高速回転対応のためスピンドル用途に最適• スケールドラムを軸方向に挿入し締付けて固定ERM 2984 (目盛間隔  1000 µm)

インターフェース

» 1 VPP

信号周期/回転

512

600

900

1024

192

256

300

400

目盛精度

±17”

±14”

±10”

±9”

±68”

±51”

±44”

±33”

内径 D1

40 mm

55 mm

80 mm

100 mm

40 mm

55 mm

60 mm

100 mm

外径 D264.37 mm75.44 mm

113.16 mm 128.75 mm 58.06 mm

77.41 mm90.72 mm

120.96 mm

機械的許容回転数≦ 42 000rpm

≦ 36 000rpm

≦ 22 000rpm

≦ 35 000rpm

≦ 29 000rpm

≦ 16 000
rpm

1)
2)

≦ 20 000rpm

≦ 47 000rpm

機能安全はお問い合わせください
2つの原点を通過した後、内蔵カウンタ機能により確立

上記以外のドラム径については、カタログ組込み型角度エンコーダ スケールドラム・スケールテープタイプ を参照してください32

33

ロータリエンコーダ ECN、EQN、ERN
ベアリング内蔵/ステータカップリング組込型
保護等級 IP 64
ハイデンハインのベアリング内蔵/ステータカッ
プリング組込型ロータリエンコーダECN、EQN、
ERNは、光電走査方式です。これらは取付けが簡単で、全長が短いことが特徴です。その用途範囲はサーボドライブにおける簡単な測
定から位置制御および速度制御まで行います。
中空シャフトのエンコーダは、測定側のシャフトに直接固定されます。ステータカップリングは加減速中のベアリングの摩擦によって生じるトルクを吸収します。そのため、ステータカップ
リング組込型のロータリエンコーダは優れた動的性能と高い共振周波数をもたらします。

ECN/EQN/ERN 1000 シリーズ
• 小型タイプ• 内径6mmの片側中空シャフト• ハウジング外形寸法: 35 mm• エンコーダのカップリングの共振周波数(標準値) fN: 1500 Hz• 機械的許容回転数:≦ 12 000 rpm

ECN/EQN/ERN 400 シリーズ
• コンパクトな形状• 内径8 mm、10 mmもしくは12 mmの片側中空シャフトまたは中空シャフト• ハウジング外形寸法: 58 mm• 保護等級: ハウジング側でIP 67(中空シャフトでIP 66)
シャフト引込み口でIP 64(IP 66についてはお問い合わせください)• エンコーダのカップリングの共振周波数(標準値) fN:	1550 Hz

アブソリュート
ECN 1013

インクリメンタル
ERN 1020
ERN 1030

ERN 1070

ERN 1080

EnDat 2.21)« TTL« TTL2)» 1 VPP

8 388 608 (23 ビット)–EQN 1025

ECN 1023

インターフェース

EnDat 2.21) (» 1 VPP 付)

位置値/回転8192 (13 ビット)

回転数

–

目盛線本数

512

–

100 ～ 3600

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 5 V

アブソリュートECN 4134096 (12 ビット) –EQN 1035

4096 (12 ビット) –ECN/EQN/ERN 1000
ECN/EQN/ERN 400

ECN/ERN 100

ECN/ERN 100 シリーズ
• 大きなシャフト径用• 中空シャフトの内径D: 20 mm、25 mm、38 mm、50 mm• ハウジング外形寸法: 87 mm• エンコーダのカップリングの共振周波数(標準値) fN: 1000 Hz• 機械的許容回転数:
D ≦ 30 mm: ≦ 6000 rpm
D > 30 mm: ≦ 4000 rpm

1000/2500/3600 100 ～ 3600
DC 10 V ～ 30 V

ECN 4253)
EQN 4373)
ECN 425 F EQN 437 F
ECN 424 S3) EQN 436 S3)

EQN 425

DC 5 V

インクリメンタル
ERN 420
ERN 430
ERN 460

ERN 480

インターフェース

EnDat 2.21)(» 1 VPP 付)、 EnDat 2.21) (» 1 VPP 付)、 EnDat 2.21)、
SSI
SSI
ファナックÞiインタフェース、
DRIVE-CLiQ

位置値/回転8192 (13 ビット)

8192 (13 ビット)

ECN 425、EQN 437:
33 554 432 (25 ビット)
ECN 424 S、EQN 436 S:
16 777 216 (24 ビット)

回転数–

4096 (12 ビット)

–

目盛線本数

512もしくは2048512もしくは2048–

250 ～ 5000

供給電圧

3.6 V ～ 14 V、4.75 V ～ 30 V

3.6 V ～ 14 V、4.75 V ～ 30 V

3.6 V ～ 14 V、
10 V ～ 28.8 V

5 V、
10 V ～ 30 V 5 V
10 V ～ 30 V

(ケーブルバージョン)• 機械的許容回転数: ≦ 12 000 rpm• カップリングの緩み対策(機能安全対応)« HTL

アブソリュート
ECN 113« TTL、
« TTL

« HTL

» 1 VPP–4096 (12 ビット) –1000 ～
5000

ECN 125

インクリメンタル
ERN 120

ERN 130

ERN 180

« TTL

« HTL

» 1 VPPDC 10 V ～ 30 V

DC 5 V

インターフェース

EnDat 2.21)(» 1 VPP 付)

EnDat 2.21)

位置値/回転8192 (13 ビット)

33554432 (25 ビット) –

目盛線本数

2048

–

1000 ～ 5000

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 5 V

1)

EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS DPへの接続はゲートウェイ経由。
5/10逓倍回路内蔵
3)機能安全はお問い合わせください
2)

34

DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。

35

ロータリエンコーダ ECN、EQN、ERN
ベアリング内蔵/ステータカップリング組込型
保護等級 IP 40
ハイデンハインの光学式ロータリエンコーダECN、
EQN、ERNは保護等級IP 40でモータの組込みに適しています。このロータリエンコーダは、
ベアリングを内蔵しステータ側にカップリングが組込まれています。同期モータ用にはアブソ
リュートロータリエンコーダや、磁極検出位置信号トラック付のタイプも用意しています。テーパ
シャフト、もしくは片側中空シャフトのエンコーダ
は、測定側のシャフトに直接固定されます。それにより高い結合性が得られ、駆動の動的性能が非常に高くなります。ステータカップリング
は、平たい取付け面もしくは位置決め穴に固定されるように設計されており、迅速かつ簡単に取付けが可能です。

ECN/EQN 1100 シリーズ
• 小型タイプ• 内径6 mmの片側中空シャフト、
調整治具付• ハウジング外形寸法: 35 mm• エンコーダのカップリングの共振周波数(標準値) fN: 1000 Hz• 機械的許容回転数:
12 000 rpm• カップリングの緩み対策(機能安全対応)

アブソリュート
ECN 1113

ERN 1123• 片側中空シャフト径: 8 mm
• ハウジング外形寸法: 35 mm• 取付ボルト穴径¬ 40 mmのステータカップリング• エンコーダのカップリングの共振周波数(標準値) fN: 1000 Hz• 機械的許容回転数:
6000 rpm• 保護等級 IP00

インクリメンタル
ERN 1123

EQN 1125

ECN 11232)

インターフェース

EnDat 2.21) (» 1 VPP 付)

EnDat 2.21)« TTL

位置値/回転8192 (13 ビット)

8 388 608 (23 ビット)

–

回転数

–

目盛線本数

512

磁極検出位置信号–

磁極検出位置信号3)

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 5 V

使用温度≦ 115 °C

≦ 90 °C

4096 (12 ビット)EQN 11352)––

4096 (12 ビット)–

500 ～ 8192

1)

EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS DPへの接続はゲートウェイ経由。
機能安全はお問い合わせください3)
機械的位相シフト90°、120°もしくは180°の3つの磁極検出位置信号(矩形波出力)
2)ECN/EQN 1100

ERN 1123

ECN/EQN/ERN 1300

ECN/EQN/ERN 1300 シリーズ
• コンパクトな形状• 堅牢結合用 1:10のテーパシャフト、径9.25 mm
• ハウジング外形寸法 56 mm
ステータカップリングは内径65 mmの接続穴に適合• エンコーダのカップリングの共振周波数(標準値) fN: 1800 Hz• 機械的許容回転数:
ERN/ECN: 15 000 rpm
12 000 rpm
EQN:• 保護等級 IP 40(取付時)• カップリングの緩み対策(機能安全対応)• 電源線と通信線の2線式ハイブリットモータ
ケーブルにも対応(E30-R2)

アブソリュート
ECN 1313 EQN 1325

ECN 13254) EQN 13374) ECN
1324 S4)

EQN1336 S4)

インクリメンタル
ERN 1321 ERN 1326 ERN 1381 ERN 1387

インターフェース

EnDat 2.21) (» 1 VPP 付) EnDat 2.21)、EnDat 3

DRIVE-CLiQ« TTL

位置値/回転8192 (13 ビット)

33 554 432 (25 ビット)

16 777 216 (24 ビット)

–

回転数

–

–

–

–

目盛線本数

512もしくは2048

磁極検出位置信号–

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V(EnDat2.2)、
DC 4 V ～ 14 V(EnDat 35)

DC 10 V ～ 28.8 V

DC 5 V

使用温度≦ 115 °C

≦ 100 °C

≦ 120 °C、4096本: ≦ 100 °C

4096(12 ビット)4096(12 ビット)4096(12 ビット)–» 1 VPP1024 2048 4096

–

512
2048
4096

磁極検出 –
位置信号2)

2048

Z1 トラック3)

1)

EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS DPへの接続はゲートウェイ経由。
機械的位相シフト90°もしくは120°の3つの磁極検出位置信号(矩形波出力)
3)1回転あたり1ピッチの正弦波/余弦波信号付
4)
機能安全はお問い合わせください5)
ハイブリッドモータケーブル使用
2)

DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。

36

37

ロータリエンコーダ ROC、ROQ、ROD
ベアリング内蔵、カップリング外付けタイプ
手動パルス発生器 HR
ハイデンハインの光学式エンコーダROC、ROQ、
RODは、ベアリング内蔵のシールドタイプです。
保護等級は、IP 64 ～ IP 66を用意しています。これらは頑丈でコンパクトな形状となっています。
駆動シャフトもしくはスピンドルに連結するには、ロータ側のカップリングを介して行います。このカップリングは、エンコーダシャフトと駆動シャフト間のアキシャル方向ずれやミスアライメントを補正する働きをします。

ROC/ROQ/ROD 1000シリーズ• 小型機器や限られた設置スペースに適する小型形状• シンクロフランジにて取付け• シャフト径: 4 mm

ERN 1000 シリーズ

手動パルス発生器 HR• コンパクトな形状• 堅牢な機構設計• 機械式クリックストップ付

アブソリュート
ROC 1013 ROQ 1025 ROC 1023

HR 1120

EnDat 2.21)(» 1 VPP 付)

EnDat 2.21)« TTL

位置値/回転8192 (13 ビット)

8 388 608 (23 ビット)

–

回転数

–

–

–

目盛線本数/信号
周期

512

–

100 ～ 3600

最大36 0002)

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 5 VDC 5 V2)

400 シリーズ
シンクロフランジ付

インクリメンタル
ROD 1020 ROD 1030 ROD 1070 ROD 1080 HR 1120

インターフェース

1)

ROC/ROQ/ROD 400シリーズ• 寸法および出力信号に関しては工業規格となっています。
• 保護等級IP 67 (ハウジング部)、IP 64(シャフト部、IP 66はお問い合わせください)• シンクロフランジもしくはクランプフランジにて取付け• シャフト径シンクロフランジ 6 mm
クランプフランジ 10 mm• 推奨タイプについては、カタログロータリエン
コーダを参照してください• カップリングの緩み対策(機能安全対応)

ROQ 1035

4096(12 ビット)4096(12 ビット)« HTL

DC 10 V～ 30 V« TTL2) » 1 VPP « TTL

100 ～
3600

100

EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS DPへの接続はゲートウェイ経由。
3600を超える信号周期は内蔵の5逓倍もしくは10逓倍回路で生成されます

400 シリーズ
クランプフランジ付

シンクロフランジ

シンクロフランジ

アブソリュート
ROC 413
ROQ 425

ROC 424 S1) ROQ 436 S1)

ROC 4251)
ROC 425 F

ROQ 4371)
ROQ 437 F

クランプフランジ

クランプフランジ

手動パルス発生器HRは、ベアリングを内蔵し、機械式クリックストップ機能があります。位置決め装置やオートメーション用途において、ポータブルリモコンやもしくは制御パネルに組み込んで使用することが可能です。

インクリメンタル
ROD 426

ROD 466

ROD 436

ROD 486

ROD 420–

ROD 430

ROD 480

« TTL

« HTL

» 1 VPP

インターフェース

EnDat 2.22) (» 1 VPP 付)、 DRIVE-CLiQ
SSI

EnDat 2.22)、ファナックiインタフェース« TTL

位置値/回転8192 (13 ビット)

16 777 216 (24 ビット)

33 554 432 (25 ビット)

–

回転数

–

–

–

目盛線本数/信号周期

512

2048

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V、DC 4.75 V ～ 30 V

DC 10 V ～ 28.8 V

4096(12 ビット)4096(12 ビット)DC 3.6 V ～ 14 V

4096 (12 ビット)–
50 ～ 5000
ROD 426/466: 最大 10 0003)

1000 ～ 5000

DC 5 VDC 5 VDC 10 V ～ 30 V

1)

機能安全はお問い合わせください
EnDat 2.1 コマンドセットを含む。PROFIBUS DPへの接続はゲートウェイ経由。
3)
5000を超える信号周期は内蔵の2逓倍回路で生成されます
2)

DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。

38

39

ロータリエンコーダ ECI、EQI、EBI
ベアリングを内蔵しない

インダクティブ方式ロータリエンコーダECI、EQI、
EBI 1100およびECI、EQI、EBI 1300は、光電式エンコーダExNと機械的互換性があります。シャフトは、中心ねじで取付けられます。
エンコーダのステータは、数本の締付ねじによって固定されます。

ECI/EQI/EBI 1100 シリーズ
• 小型形状• 調整治具を用いず簡単に取付けが可能• 片側中空シャフト径: 6 mm
• EBI 1135: バッテリーバックアップ式
マルチターン機能• ECI 1119/EQI 1131: 小型モータへの圧入取付け用トレランススリーブ付き• ECN/EQN 1100と取付け互換性あり• カップリングの緩み対策(機能安全対応)• シンクロフランジによる各種取付け

ハイデンハインの測定・検査装置のPWM 21
もしくはPWT 101を用いてベアリングを内蔵しないロータリエンコーダを正しく取付けることができます。

アブソリュート
ECI 11191)
ECI 13191) 3)
ECI 1118

22.25

36.83

ベアリングを内蔵しない光学走査方式ロータリ
エンコーダと比較して、インダクティブ方式ロー
タリエンコーダは特に頑丈で、大きな取付け公差が特徴です。

EQI 11311)
EQI 13311) 3)

EBI 1135
EBI 1335

インターフェース

EnDat 2.2、EnDat 3

EnDat 2.2

位置値/回転524 288 (19 ビット)
ECI 1118: 262 144 (18 ビット)

524 288 (19 ビット)
EBI 1135: 262 144 (18 ビット)

回転数–

4096 (12 ビット)

65 536 (16 ビット)2)

機械的許容回転数≦ 15 000 rpm≦ 12 000 rpm≦ 12 000 rpm

シャフト

片側中空シャフト

1)

機能安全はお問い合わせください
バッテリーバックアップマルチターン方式
3)
DRIVE-CLiQはお問い合わせください
2)

21.9

37.8

ECI/EQI/EBI 1100

トレランススリーブ付き
ECI/EQI 1100

ECI/EQI/EBI 1300

40

ECI/EQI/EBI 1300 シリーズ
• 調整治具を用いず簡単に取付けが可能• 片側中空シャフト• EBI 1335: バッテリーバックアップ式
マルチターン機能• テ―パシャフト付ECN/EQN 1300と取付け互換性あり(片側中空シャフトについてはお問い合わせください)。
• カップリングの緩み対策(機能安全対応)

41

ロータリエンコーダ ERO、ECI、EBI
ベアリングを内蔵しない

ハイデンハインの光電式組込型ロータリエン
コーダEROは、ハブ付目盛ディスクと走査ユニットから構成されます。これは、特に取付けスペースが限られている場所や、摩擦がゼ
ロでなければならない場所に適しています。

ERO 1200 シリーズ
• コンパクトな形状• ハブ内径 12 mmまで

インダクティブ方式ロータリエンコーダECI/EBI 100およびECI/EBI 4000は、小さな外径にもかかわらず大口径シャフトに対応します。
エンコーダはアキシャル方向の取付けが簡単です。

インクリメンタル
ERO 1225

ERO 1285

インターフェース« TTL» 1 VPP

目盛線本数1024 2048

機械的許容回転数≦ 25 000 rpm

ハブ内径 D

10 mm、12 mm

ハイデンハインの測定・検査装置のPWM 21
もしくはPWT 101を用いてベアリングを内蔵しないロータリエンコーダを正しく取付けることができます。

ERO 1200

ERO 1400 シリーズ
• 8 mm以下の測定軸用
小型組込型ロータリエンコーダ• 特殊な取付け補助具組込み• 保護キャップ付

ERO 1400

42

ERO 1470

ERO 1480

インターフェース« TTL« TTL1)» 1 VPP

目盛線本数/信号周期

512 1000 1024

最大 37 5001)

512 1000 1024

機械的許容回転数≦ 30 000 rpm

ハブ内径 D

4 mm、6 mm、8 mm

1)

ECI/EBI 100 シリーズ
• 平面形状• 貫通型中空シャフト¬: 30、38、50 mm• EBI 135: バッテリーバックアップ式
マルチターン機能

ECI/EBI 4000

インクリメンタル
ERO 1420

ECI/EBI 4000 シリーズ
• フラット形状• 中空シャフト径 ¬: 90、180 mm• EBI 4010: バッテリーバックアップ式
マルチターン機能

1500を超える信号周期は内蔵の5/10/20/25逓倍回路で生成されます

アブソリュート
ECI 119

EBI 135

EnDat 2.1
EnDat 2.2(» 1 VPP 付)

位置値/回転524 288 (19 ビット)

回転数

–

目盛線本数

32

機械的許容回転数≦ 6000 rpm

シャフト

貫通型中空シャフト¬: 30、38、50 mm

2)

機能安全はお問い合わせください
バッテリーバックアップマルチターン方式

EBI 40101)

ECI 4090 S1)
DRIVE-CLiQ

インターフェース

1)

ECI 40101)

1 048 576 (20 ビット)
65 536(16 ビット)2)–

65 536(16 ビット)2)––

中空シャフト径 ¬: 90、180 mm
DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録
商標です。

43

工具とワークの段取りおよび測定
ワーク測定用 タッチプローブ TS

ハイデンハインのワーク測定用タッチプローブ
TSは、工作機械上での、段取り、測定、そして検査作業を支援します。
タッチプローブTSのスタイラスは、ワーク面に接触すると変位を生じます。同時に、タッチプ
ローブがケーブルもしくは赤外線/無線経由にて制御装置にトリガ信号を送信します。
制御装置は、機械の各軸に設置されたエンコーダが測定した位置データを即座に記録します。保存されたデータは、その後の工程などに使用することができます。トリガ信号は、摩耗が発生せず信頼性の高い光学センサもしくは
圧電センサを用いて生成されます。
ハイデンハインは、様々なボール径と長さのスタイラスを用意しています。
ハイデンハインのタッチプローブTSと基準球
KKHを使用することで、機械の回転軸の校正や、機械の運動に付随して発生する測定誤差を最小にすることができます。こうした校正用の基準球はタッチプローブの三次元校正にも最適です。
ハイデンハインタッチプローブの長所• 高速測定による非生産時間の削減• 高精度測定により測定の繰り返し回数を削減• 測定前に切屑を除去し信頼性を向上する
ワーク洗浄• 送受信ユニットSE 661によりTNCを簡単に
操作• TS 460: オプションの衝突保護アダプタが接触による損傷を防ぎ、スピンドルによる熱の影響を緩和します。
• TS 260: イ ンターフェースを必要とせずに
後続電子部に直接接続可能

無線および赤外線通信式タッチプローブ
ATC搭載工作機械用• TS 460: ユニバーサルタッチプローブ
小型で省エネルギーモード対応。
オプションで衝突保護および熱影
響の緩和が可能。
• TS 760: 高精度タッチプローブ
非常に高いプローブ精度(方向特性)と繰り返し精度、低触圧が特徴
ケーブル通信式タッチプローブ
手動で工具交換を行う工作機械(研削盤、旋盤、フライス盤など)用• TS 750: 高精度タッチプローブ、ケーブル
接続方向は軸方向もしくは半径方向• TS 150/
TS 260: ケーブル通信式タッチプローブ、
ケーブル接続方向は軸方向もしくは半径方向
TS 460TS 460TS 760TS 760TS 260TS 260TS 150TS 150/TS 750

TS 750

用途

各種CNC工作機械(フライス盤、ボール盤、中ぐり盤、旋盤)

CNC研削盤もしくは旋盤

信号伝送

無線通信と赤外線通信

ケーブル

送受信ユニットSE 540: 赤外線通信
SE 640: 赤外線通信
SE 660: 無線通信/赤外線通信
SE 661: 無線通信/赤外線通信

–

供給電圧

充電式もしくは使い捨て式電池

DC 10 V ～ 30 V

on/offの切り替え

無線もしくは赤外線通信–

制御装置とのインターフェース
信号レベル

HTL、
もしくは送受信ユニットSE経由EnDat

HTL

繰り返し精度2 s ≦ 1 μm

2 s ≦ 0.25 μm

2 s ≦ 1 μm

2 s ≦ 0.25 μm

測定速度≦ 3 m/min≦1 m/min≦ 3 m/min≦1 m/min

保護等級 IEC 60529

IP68

1)

44

TS 642DC 10 V ～ 30 V1)

UTI 150経由

45

工具測長器TTと工具折損検出器TD

送受信ユニット SE

不良品発生数の削減、リワーク数の最小化、
非生産時間の削減、加工精度の向上:
ハイデンハインの工具測長器TTと工具折損検出器TDにより、安全かつ効率的に工具の測定と検査を行ないます。

ワイヤレス通信用に以下送受信ユニットを用意しています。

堅牢設計と高い保護等級により工作機械の加工エリアへ直接設置することができます。工具の検査は、加工前、2つの加工工程の間、加工後、いつでも行うことができます。

工具測長器
TT 160およびTT 460は、3次元で工具の測定と検査を行うことができます。TTのディスク型をした検出部は、工具に接触すると変位を生じます。この瞬間にTTはトリガ信号を生成、制御装置に伝送し、その後の工程で使用されます。トリガ信号は、摩耗が発生せず信頼性の高い光学センサを用いて生成されます。

• SE 540: 主軸への搭載用、赤外線通信のみ• SE 640: 赤外線通信• SE 660: TSとTTで共用可能、無線および赤外線通信の両方に対応• SE 661: TSとTTで共用可能、無線および赤外線通信の両方に対応、
EnDatインターフェース搭載

TT 160、TD 110
接続ケーブルにより制御装置に信号を送信します。

SE 661

ワイヤレス通信のため、ATC搭載機での使用に最適です。

TT 460• 無線および赤外線通信により送受信ユニットに信号を送信します。
• SE 660は、無線および赤外線通信のタッチプローブと工具測長器とで共用できる送受信ユニットです。

SE 660

送受信ユニットSE 661とタッチプローブTS 460
および工具測長器TT 460はEnDatインター
フェースに対応しています。ハイデンハインの
EnDatインターフェースは、トリガ信号の他に診断情報や付加情報を送信するデジタル双方
向インターフェースです。シリアル通信方式であるため多数の項目データを同時送信することができます。

SE 540

TD 110TT 160TT 460

TD 110
取り付け方法

取り付け穴

電気的接続

8ピンM12フランジソケット

TT 160TT 460

測定方法

接触式、
3次元方向 ±X、±Y、+Z

繰り返し精度2 s ≦ 1 µm
(測定速度: 1 m/minの場合)

供給電圧10 V ～ 30 V

出力信号

HTL
(スイッチング信号 S、S)
フローティングスイッチング信号(NC、NO)

検出ディスクの最大変位量≈ 5 mm (全方位に対して)供給電圧

DC 10 V ～ 30 V 充電式もしくは(NC側から)
使い捨て式電池

ケーブル長≦ 30 m

HTL

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 300 m/s2 (IEC 60068-2-27)制御装置とのインターフェース
信号レベル

使用温度

10 °C ～ 50 °C

保存温度-20 °C ～ 70 °C

SE 640:
赤外線通信
SE 660:
無線通信/
赤外線通信
SE 661:
無線通信/
赤外線通信

信号伝送

ケーブル経由保護等級

IP66/68

360°全方位の無線および赤外線通信

検出ディスク¬ 40 mm もしくは¬ 25 mm

保護等級 IEC 60529

IP68

46

SE 640SE 660SE 661

SE 540TS 460無線通信/赤外線通信

赤外線通信

TS 760無線通信/赤外線通信

赤外線通信

TT 460無線通信/赤外線通信

赤外線通信

SE 640信号伝送の種類とTS、TTおよびSEの組み合わせ47

測定値の取得と表示

デジタル表示カウンタ
ハイデンハインのマニュアル操作式工作機械
用デジタル表示カウンタの用途は万能です。
フライス盤、ボール盤、旋盤での標準作業に加えて、工作機械や特殊な機械装置など、送り軸を手動で操作するすべての装置に理想のソリューションも提供します。これにはラジアル
ボール盤も含まれます。
マニュアル操作式工作機械用デジタル表示カ
ウンタにより生産性を向上します。ユーザーフ
レンドリーな操作で作業時間を短縮し、ワークの加工精度を向上させます。
実践的な機能およびサイクルは様々な用途で使用可能です。グラフィック位置決め支援付
き残り距離表示機能により、表示値が0になるまで移動させるだけで、次の目標位置へ迅速かつ確実に到達できます。デジタル表示カウン
タは繰り返し加工シーケンスをプログラムとして保存できるため少量バッチ生産の時間を短縮します。

データ処理ユニット
ハイデンハインは、各種アプリケーションに適した計測用データ処理ユニットを用意しています。測定値の取得や統計処理などに多くの機能を搭載しています。自動化作業向けに、測定値はスイッチング機能を使用してさらに高度な処理をすることができます。防滴仕様のフロントパネルと頑丈な金属鋳型のハウジングにより作業現場での最も過酷な環境から本体を守ります。

ユーザーフレンドリー性
デジタル表示カウンタと表示機能搭載のデー
タ処理ユニットは、非常に使いやすい製品になっています。主な特徴としては、• 視認性に優れたフラットパネルディスプレイ
• タッチスクリーンもしくはキーボードによる直感的な操作(製品により異なります)• コンパクトなオールインワンデバイス• 堅牢なアルミ筐体• 絶対番地化および原点用判別機能• 取り付けおよびメンテナンスが簡単
• 経済性

信号変換器
ハイデンハインの信号変換器を使用することによりエンコーダ信号をアプリケーションの要件に柔軟に対応させることができます。アプリケー
ションにより異なりますが、他の信号(温度センサの信号など)とともにデータ処理し、後続電子機器に伝送することができます。

ハイデンハインのデータ処理ユニットおよびデ
ジタル表示カウンタは、測定値を上位装置にてデータ処理を行ったり、プリンタで印刷を行う
ためのデータインターフェースを搭載しています。

精密加工が簡単:
ハイデンハインのリニアエンコーダとの組み合
わせで、デジタル表示カウンタは直接軸上の移動を計測します。ボールねじやラックピニオ
ンなどの機械伝達部品によるバックラッシュの影響を受けません。

マニュアル操作式工作機械用のデジタル表示カウンタ:

シリーズ

ページ

POSITIP 8000
ND 7000
ND 5000

50

ND 287
GAGE-CHEK 2000

52

診断・検査機器PWM 21PWT 10153

信号変換器

EIB 700
IK 22054

位置決め装置、フライス盤、旋盤用計測アプリケーション用データ処理ユニット
計測と検査作業48

インターフェースの適合

54
EXE 100、IBV 100、IBV 600、
IBV 3000、IBV 6000、EIB 100、EIB 2000、EIB 3000

DDモータの温度測定

EIB 500055

角度測定の精度向上

EIB 150055PCを用いた測定値取得

EIB 700
IK 22055

49

マニュアル操作式工作機械用デジタル表示カウンタ

デジタル表示カウンタは以下のようなマニュア
ル操作式工作機械に使用されます。
• フライス盤• 穴あけ盤、中ぐり盤• 旋盤• ラジアルボール盤• 研削盤

POSITIP 8000

ハイデンハインは、それぞれの機械に適した
デジタル表示カウンタを用意しています。防滴仕様のフロントパネルと頑丈なアルミ筐体により作業現場での最も過酷な環境から本体を守ります。

POSITIP 8000

ND 7000

ND 5000

応用例

フライス、穴あけ、中ぐり、旋盤用

説明

12.1インチ マルチタッチスクリーン、
7インチ マルチタッチスクリーン、 7インチスクリーン、操作キー付
プログラムメモリ、
スイッチング入力/出力
スイッチング入力/出力(デジタルおよびアナログ) (デジタルおよびアナログ、バージョンにより異なる)

軸数

3
6、
このうち2軸はソフトウェアオプションにより有効

3

エンコーダ入力» 1 VPP、» 11 µAPP
もしくは EnDat 2.2

TTL

表示分解能

10 µm、5 µm、1 µm もしくは それ以上

5 µm (LS 673 C使用時)
1 µm (LS 373 C使用時)

基準点

100

10

ツールデータ100 ツール

16 ツール

プログラミング対応

機能• 手動およびMDI運転、グラフィック位置決め支援、位置値のフォントサイズ変更機能• ユーザ管理およびデータ管理

フライス/中ぐり用

ND 7000

未対応–• 穴あけ(円周上および直線上パターン)• ポケットの粗加工• 基準点プロービング機能• スイッチング機能• 円周上パターン、
直線上パターン• 対角および
円弧フライス加工
I/Oバージョン:
スピンドル速度の制御–

I/Oバージョン:
周速一定制御–• 半径/直径表示• Z および Z0の個別もしくは合算表示• バックオフ用の工具位置保存/テーパ計算• スイッチング機能
ACTIVEバージョン:
周速一定制御データインターフェース

ソフトウェアオプション• タッチプローブ接続
タッチプローブ接続• ACTIVEバージョン:
ソフトウェアオプションにより最大3軸(ポイント・
ツー・ポイント)のNC制御装置が制御可能• センタードライブ搭載機械のサポート

ACTIVEバージョン:
スピンドル速度の制御
旋盤用» 1 VPP、» 11 µAPP
もしくは EnDat 2.2

イーサネット、USB

USB

ND 5000

50

51

計測アプリケーション用データ処理ユニット
計測と検査作業

計測および検査作業用のデータ処理ユニット
は、以下用途に最適です。
• 計測機器• 調整および検査機器• 統計的工程管理(SPC)用検査ステーション• マルチポイント検査装置• 測定値の取得• 位置決め装置

診断・検査機器

データ処理ユニットは、表示ディスプレイと頑丈な筐体を備えたスタンドアロンな製品です。選別、最小/最大値の記録、そして連続測定デー
タの保存といった測定値の収集および統計処
理を行うことができるのが特徴です。これらのデータで平均値および標準偏差を計算して、ヒストグラムまたは管理図でグラフィカルに表示します。

ハイデンハインの診断・検査機器
ハイデンハイン製エンコーダは、調整、監視、診断に必要な全ての情報を出力します。ハイ
デンハインは、エンコーダの解析に適している診断機器PWMや検査機器PWTを用意しています。PWMは汎用的に使用することができます。測定公差が小さく、校正が可能です。PWTはPWMと比べて測定公差が大きく、機能も少なく、校正もできません。

ハイデンハインは様々なインターフェースに対応したエンコーダと信号変換器を提供しています。ハイデンハインの診断・検査機器は、各種インターフェースにも対応しており、高い柔軟性があります(PWM 21およびPWT 101の概要を参照してください)。

通常、直接もしくは信号変換器経由で、ハイデンハイン製エンコーダを様々な後続電子機器に接続することができます。

診断機器PWM 21とATSソフトウェア

モバイル用途に適した検査機器
PWT 101

ND 287

GAGE-CHEK 2000

エンコーダ入力

PWM 21PWT 101• 計測機器• 試験装置• 統計的工程管理(SPC)用検査ステーション• 位置決め装置• 測定設備EnDat 2.1



EnDat 2.2





軸数1)

1 (オプション: 2)

3

EnDat 3–

エンコーダ入力» 1 VPP, » 11 µAPP もしくは EnDat 2.2» 1 VPP、 » 11 µAPP、
EnDat 2.2 もしくは « TTL

DRIVE-CLiQ

ファナックシリアルインターフェース





表示

画面

7インチ マルチタッチスクリーン

三菱高速シリアルインターフェース





機能

• ソート
• 連続測定値の記録(最大・最小値の表示機能付)• 統計的工程管理(SPC)機能• 測定結果のグラフィック表示• 測定値の保存• 連続測定値の記録(最大・最小値の表示機能付)• レニショー社およびハイデンハイン製
タッチプローブとの接続• データ通信 (イーサネット もしくは RS-232経由)
手動
タッチプローブをトリガー
連続スイッチング機能をトリガー• ユーザー管理• マスタ部品の測定• 部品の管理• ダイヤルゲージによる測定値のグラフィカル表示• 直径/半径 表示• 比較測定• プロービング機能• リモートアクセス• 数式を用いた位置計算

安川シリアルインターフェース

パナソニックシリアルインターフェース





SSI



–

1 VPP / TTL / 11 µAPP

Z1トラック付1 VPP

HTL (信号アダプタ経由)





応用例

オプション:
和/差表示 もしくは温度補正

データインターフェース
1)
2)

USB、RS-232-C、オプション: イーサネット

バージョンにより異なります
USBポート経由でRS-232アダプタ接続可能

52

イーサネット、USB、RS-232-C2)DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。

53

信号変換器

ハイデンハインの信号変換器は各種形状の製品を用意しています。
• ボックスタイプ• コネクタタイプ• ケーブルタイプ• 組込み基板タイプ• DINレール取付けタイプ

ハイデンハインの信号変換器を使用することによりエンコーダ信号をアプリケーションの要件に柔軟に対応させることができます。アプリケー
ションにより異なりますが、他の信号(例えば温度センサの信号など)とともにデータ処理し、後続電子機器に伝送することができます。
• インターフェースの適合• 角度測定の精度向上• DDモータの温度測定• PCを用いた測定値取得
インクリメンタル信号» 1 VPP > « TTL» 11 µAPP > « TTL
インクリメンタル信号 > 位置値» 1 VPP > EnDat» 1 VPP >	ファナックシリアル
インターフェース
» 1 VPP >	
三菱高速シリアル
インターフェース
位置値
EnDat
EnDat
EnDat

> DRIVE-CLiQ> ファナック>	安川シリアル
インターフェース

インターフェースの適合
ハイデンハインの信号変換器は、エンコーダ信号を後続電子機器に中継することで互換性を高めることができます。信号変換器は信号を内挿分割し、ボックスタイプ、コネクタタイプ、
ケーブルタイプなどの様々なタイプから用途に応じたものを柔軟に選択することができます。

コネクタタイプ

IBV 600、IBV 100、IBV 3000、EXE 100 シリーズ
信号変換器内では、信号変換の他に正弦波
信号を内挿分割することも可能です。これにより高い分解能が達成できるため、位置決め精度の向上やより高い品質の制御が可能になります。

DDモータの温度測定
3本の巻線全てを監視することによりコスト効率の向上とDDモータの過負荷を防止します。最大3個の温度センサが温度計測を最適化し、さらに温度計測時の伝送タイミングを補正する
ことによりETEL製DDモータの制御を最適化します。

角度測定の精度向上
ハイデンハインのロータリエンコーダの走査ヘッド2個を用いて、制御ループに悪影響を与える
ことなくリアルタイムに位置計算を行うことができます。組込み型角度エンコーダの目盛本体取付け時の偏心や、シャフトのラジアル振れ等の偏差は、EIB 1500で補正可能です。

PCを用いた測定値取得
信号変換器を使用することで、エンコーダはPCを用いて測定値を取得し、同時に高分解能のエンコーダ信号と高速な測定値取得を必要とするアプリケーションに接続することができます。例えば、検査ステーションやマルチポイ
ント検査装置に最適です。

EIB 5000 シリーズ
• 必要なケーブル本数が少ない• DDモータの過負荷を防止• 過熱に対する応答速度を向上• コスト効率の向上

EIB 1500 シリーズ
• 入力信号:
2個の走査ヘッドを搭載した絶対番地化原点付きハイデンハイン製角度計測用エンコー
ダからのインクリメンタル信号(各走査ヘッドの位置間隔は180°±5°)• 出力信号:
EnDat 2.2、
ファナックシリアルインターフェース、
三菱高速シリアルインターフェース

EIB 700 シリーズ
• 高分解能のエンコーダ信号と高速な測定値の取得に適した信号変換器• イーサネット経由のデータ伝送により複数個のEIBを接続することや、無線LANでの使用も可能。
• エンコーダ入力:
1 VPP、11 µAPP、EnDat 2.1、EnDat 2.2
もしくはSSI• 最大4台のハイデンハイン製エンコーダを接続可能
IK 220 シリーズ
• 高分解能のエンコーダ信号と高速な測定値の取得に適した信号変換器• PCIカウンタカード• エンコーダ入力:
1 VPP、EnDat 2.1、EnDat 2.2 もしくは
11 µAPP• 最大2台のハイデンハイン製エンコーダを接続可能

EIB 100、EIB 3000 シリーズ
これらの信号変換器は入力信号を内挿分割することができ、カウント機能も搭載しています。
原点を通過するとただちに絶対位置値を生成し、後続電子部に出力します。

• 入力側インターフェース:
インクリメンタル信号 (1 VPPもしくは11 µAPP)• 出力側インターフェース:
インクリメンタル信号 (TTL)• 入力側インターフェース:
インクリメンタル信号 (1 VPP)
• 出力側インターフェース:
シリアルインターフェース(EnDat 2.2、ファナックシリアルインターフェース、
三菱高速シリアルインターフェース)

IBV 6000 シリーズ
• 入力側インターフェース:
インクリメンタル信号 (1 VPP)
• 出力側インターフェース:
複数出力 (1 VPP もしくは TTL)

EIB 2391 S、EIB 3392 S、EIB 3392 F、EIB 3391Y シリーズ
これらの信号変換器は、位置、温度、診断結果のようなエンコーダ情報を出力インターフェー
スのフォーマットに変換します。
• 入力側インターフェース:
シリアルインターフェース (EnDat 2.2)
• 出力側インターフェース:
シリアルインターフェース(DRIVE-CLiQ/ファナック/安川)

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