平成27年度熊谷記念真空科学論文賞，真空技術賞，真空進歩賞，真空会誌賞の審査経過と受賞業績紹介
表彰審査会

議長

間瀬一彦

日本真空学会では，真空科学・技術およびその関連分野の発展に寄与した顕著な業績に対し，毎年，熊谷記念真空科学論文賞，真空技術賞，真空進歩賞，真空会誌賞の表彰を行っています．本年度も会誌 Journalof the Vacuum Society of Japan の第 3 号で受賞候補業績（候補者）の公募を行い，会員の皆様より推薦をいただきました．
表彰審査会では 9 名の委員が推薦された業績の審査にあたりました．慎重に審議を重ねた結果，審査会は下記の業績を受賞候補として推薦することとし，理事会においてこれが承認され，各賞の表彰が決定されました．
なお，授賞式と受賞記念講演は2015年12月 2 日（水），第56回真空に関する連合講演会（つくば国際会議場）において行われます．

受賞業績，受賞者と推薦理由

第回

真空技術賞受賞者大南祐介（株式会社業日立ハイテクノロジーズ）

績大気圧走査電子顕微鏡の開発
1.

特許

大南祐介，伊東祐博，大瀧智久，「荷電粒子線装置」，特願201186904，出願日
2.

平成23年 4 月11日，特許第05699023号

Yusuke Ominami, Shinsuke Kawanishi, Tatsuo Ushiki and Sukehiro Ito, A novel approach to scanning electron
microscopy at ambient atmospheric pressure, Microscopy, 64 (2015) 97.

大南祐介

推薦理由
走査電子顕微鏡（SEM）は，電子銃から引き出した電子ビームを XY 二次元走査しながら試料表面の微小領域に照射し，このとき発生した二次電子や反射電子などを検出して拡大像を表示する装置である．焦点深度が深い像が得られることから，微小な表面構造を三次元的な画像で鮮明に観察できるという特徴があり，工学だけでなく，理学，生物学，医学などのさまざまな分野で広く利用されている．
しかし SEM には，「試料を真空に入れなければならない」という使用上の制約があった．気体分子の存在は，電子銃の劣化，電子線を散乱することによる輝度や分解能の著しい低下などの致命的な問題を引き起こすためである．通常 SEM 試料室の圧力は10－3～10－5 Pa であり，ソフト・バイオマテリアル（生物，食品，高分子，生体材料など）の直接観察は不可能である．このような試料に対しては，脱水，乾燥，コーティングなどの試料前処理を行って観察するため，本来の自然な三次元構造を保存しながら観察することは出来なかった．一方で成長著しいソフト・バイオマテリアル分野において，前処理の無い「生」の状態で観察したいとのニーズが急増しており，大気圧下，無処理でバルク体を直接観察できる大気圧 SEM が求められていた．これまでも開発・販売されている大気圧 SEM はあったが，金属染色などの前処理が必要である，観察可能な試料が限られかつ通常のバルク試料の観察が不可能であるなどの課題がありユーザーニーズを満足させるものではなかった．
Vol. 58, No. 11, 2015―( 13 )―

411

これに対し大南氏は，電子光学系と試料室間に大気と真空を隔離する隔膜を脱着可能に取付けることによって，バルク体試料を前処理無しで大気圧観察を可能とする SEM を開発した．本装置は，「試料を真空に入れなければならない」という SEMの欠点の克服したもので次の特徴がある．より生の状態で画像を観察可能とするため試料空間の気圧を制御（大気圧～減圧（104 Pa））できる機能を持つ．また，大気中での電子線散乱を補正する画質改善技術も合わせて開発し解像度の高い観察を可能とした．なお，大気と真空を分離する隔膜を外すことで真空でも観察が可能である．
本開発のもう一つの優れた点は，大掛かりな装置ではなく卓上レベルの SEM で大気圧観察を可能としたことである．
SEM をより身近なものにするために卓上サイズにこだわったユーザの視点の装置となっている．小型で使い勝手よく研究者が利用しやすいため，SEM 観察の応用範囲を広げるものでもある．
以上のように大南氏は，これまで不可能であった大気圧下，無処理でのバルク体直接観察を可能とする画期的な技術を，市販製品として研究開発しており，真空技術分野への貢献は極めて大きい．よって，本件を第40回真空技術賞候補として推薦する．
受賞者略歴
大南祐介（おおみなみゆうすけ）

2000年 3 月

北海道大学工学研究科原子工学科卒業

2002年 3 月

北海道大学工学研究科量子エネルギー工学専攻卒業

2002年 4 月

株式会社日立ハイテクノロジーズ入社

2004年10月

米国サンタクララ大学に訪問研究員

2009年 3 月

北海道大学大学院工学研究科量子理工学専攻学位取得（工学博士）

2015年 4 月

株式会社日立ハイテクノロジーズ主任技師

第回

現在に至る

真空進歩賞

受賞者笠嶋悠司（国立研究開発法人産業技術総合研究所）
業績プラズマプロセスにおける異常放電検出システムの開発
1.

笠嶋悠司，田原竜夫，小林由和，八坂三夫，阪本真悟，秋山守人，上杉文彦Thin Type Acoustic Emission
Sensor for Detection of Micro-arc Discharge, J. Vac. Soc. Jpn., 57巻 7 号（2014）272276.

笠嶋悠司

推薦理由
半導体デバイス製造プロセスの一つであるプラズマエッチングにおいて，突発的に発生する異常放電は，ウエハや電極にダメージを与えるだけでなく，プラズマ放電が不安定になるなど，デバイスの製造効率を著しく下げ得る厄介な現象であることが知られている．しかしながら，通常のプラズマエッチング装置は，異常放電を効率よく検知できる機能を装備しておらず，異常放電の発生やその発生源をその場で検出できるシステムの開発が望まれていた．笠嶋氏は，所属機関において開発された薄膜型アコースティックエミッション（Acoustic Emission, AE）センサーを内蔵した静電チャックウエハステージを作製し（笠嶋悠司他IEEE Trans. Semicond. Manuf., 52 (2013) 350他），プラズマプロセス条件下において，ウエハ近傍で発生した異常放電を検出することに成功した．本検出システムでは，ウエハ近傍で起きた異常放電による微細な弾性波を，ウエハステージに内蔵した AE センサーにより，ウエハ直下で高感度に検出することが特長である．比較のために装置の大気圧側に装着した従来型のセンサーによる同時計測では，異常放電に全く応答しない一方で，内蔵型 AE センサーは影響を受けない外部の振動や装置の真空バルブの開閉動作などによる雑音を信号として検出しており，笠嶋氏の検出システムの優位性が実証された．また，笠嶋氏は異常放電と強い関係性がある装置内の微粒子発生に関する研究も実施しており（笠嶋悠司他Jpn.
Appl. Phys., 52 (2013) 066201他），単なる異常放電検出システムの開発に留まっていない点も高く評価される．
412―( 14 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

J.

以上のように，プラズマプロセスの環境中で良好に動作する高感度な検出システムを開発した笠嶋氏の業績は，真空に関する科学技術の進歩に寄与するところ大であり，若手新進研究者として，日本真空学会ならびに真空科学技術の発展に対して大いなる貢献が期待できる．このような観点から，第24回真空進歩賞として笠嶋氏を推薦する．
受賞者略歴
笠嶋悠司（かさしまゆうじ）

2005年

東北大学工学部電子情報物理工学科卒業

2007年

東北大学大学院工学研究科電気・通信工学専攻修士課程修了

2010年

独立行政法人産業技術総合研究所入所

2015年

学位取得

第回

真空会誌賞

博士（工学)

現在に至る

受賞者小林正典（高エネルギー加速器研究機構
業名誉教授）

績[随想］うたかたの記[講座］電子ストレージリング真空系ハードウェア

うたかたの記1.

J. Vac. Soc. Jpn., 56巻 3 号（2013) 111114.

2.

J. Vac. Soc. Jpn., 56巻 5 号（2013) 191194.

3.

J. Vac. Soc. Jpn., 56巻 7 号（2013) 284289.

4.

J. Vac. Soc. Jpn., 56巻 9 号（2013) 389394.

5.

J. Vac. Soc. Jpn., 56巻12号（2013) 513519.

6.

J. Vac. Soc. Jpn., 57巻 2 号（2014) 7177.

7.

J. Vac. Soc. Jpn., 57巻 6 号（2014) 239246.

8.

J. Vac. Soc. Jpn., 57巻 7 号（2014) 285293.

9.

J. Vac. Soc. Jpn., 57巻12号（2014) 461465.

番外編

小林正典

推薦理由
小林氏は，超高真空・極高真空分野の第一人者であるのみならず，粒子加速器（放射光リング）の大型真空システム設計・構築に関する先駆者の一人でもある．本連載は，1964年頃の大学時代に初めて「真空」に触れてからその後の約半世紀にわたる真空科学・工学，そして粒子加速器の真空との関わりをまとめたものである．
過去 7 回連載された随想では，大学時代に真空を「科学する」ことの面白さに気付いたこと，重要性を当時の指導教官から学んだことが，その後の小林氏の丁寧で緻密で，かつ様々な現象に対して真摯な態度で向きあう研究姿勢の基盤となっていることがわかる．
高エネルギー加速器研究所（KEK）の放射光リング真空系の責任者となってからは，加速器の真空システムや放射光と真空表面との関係について広範囲の研究を重ねられた．この連載では加速器の真空特有の問題を詳しく，また加速器に馴染みのない読者にもわかりやすく解説している．講座となっている 2 回の「番外編」では特に放射光リング（電子加速器）の技術的な点をより詳細に記述している．
また，小林氏は研究に没頭するだけではなく，若い世代の教育にも熱心に取り組み，真空夏季大学の講師，さらに校長として長年にわたり若手育成に貢献されてきた．海外滞在時の経験から，日本と海外の文化についても比較・考察されていて，本連載全体にわたり，教育・文化に関する深い洞察や貴重な提言も多く述べている．
本連載は，過去の自身の研究成果を含め，各時代の苦労，失敗，感激などが随想という形式をとることにより非常に身近なVol. 58, No. 11, 2015―( 15 )―

413

ものとなり，読む人の興味を引くものとなっている．失敗談についてもざっくばらんに述べられており，今となっては笑えることもあろうが，当時の苦労が良くわかり共感する読者も多かったはずである．
本連載は，全体を通して，加速器真空システムに関わる研究者はもちろんのこと，一般の真空システムの設計・製作に関わる全ての人に有益な事柄が数多く述べられている．特に「番外編」は，放射光リングについて技術的な面から詳細に紹介されていて，加速器の真空に関わる者にとってはこれ以上ない教科書となろう．
以上のように，小林氏の一連の「うたかたの記」は，真空科学・工学の諸問題について自身の経験を含めて，読者目線でわかりやすく解説されており，真空会誌賞にふさわしい内容となっていることから，第 4 回真空会誌賞として推薦する．
受賞者略歴
小林正典（こばやしまさのり）

1964年 3 月

東京理科大学理学部物理学科

1969年 3 月

東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻修士課程終了

1969年 4 月

東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻博士課程入学

1969年 4 月

同大学院卒業

工学系研究科物理工学専攻博士課程中退，4 月

東京大学工学部物理工学科，助手
1973年 4 月

東京大学生産技術研究所へ配置換え

1979年 4 月

文部省

1989年10月

同研究所

1997年 4 月

組織改編にて，高エネルギー加速器研究機構

2004年 3 月

定年退官

2004年 4 月

高エネルギー物理学研究所へ配置換え，助教授
教授高エネルギー加速器研究機構

総合研究大学院大学退官
真空協会関連

1995年

教授

研究主幹

名誉教授

名誉教授

委員など

IVC13/ICSS9 (Yokohama）実行委員会総務委員長，国際プログラム委員会

1996～2003年

真空夏季大学校長

2005～2006年

日本真空協会

会長

第回

副委員長

真空会誌賞

受賞者越川孝範・鈴木雅彦・安江常夫・E. Bauer・中西

彊・金秀光・竹田美和（大阪電気通信大学・アリゾナ州立大学・名古屋大学・あいちシンクロトロン光センター）業績[解説］「スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡」
1.

J. Vac. Soc. Jpn., 57巻10号（2014) 382390.

越川孝範

鈴木雅彦

中西414

彊

安江常夫

金秀光

―( 16 )―

Ernst Bauer

竹田美和
J. Vac. Soc. Jpn.

推薦理由
スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡（spin-polarized low-energy electron microscopy, SPLEEM）は実時間で表面スピンイメージングが可能な画期的な表面顕微解析手法であり，著者の越川氏とそのグループ（越川氏，鈴木氏，安江氏），中西氏，竹田氏とそのグループ（竹田氏，金氏）が中心となって開発と高性能化に成功したものである．実際に開発した研究者自らの解説であり，いかにして困難な技術課題を解決してきたかが，読者にとっても手に取るように示してくれるリアル性が感じられる貴重な解説論文となっている．まず，SPLEEM のベースとなる LEEM についても主に携わった Bauer 氏の技術開発の歴史を詳しく紹介されている． Bauer グループが LEEM の実用機の開発を達成するまでに 24 年間もの長期間を費やしたこと，このような開発がもとになり，国家プロジェクトの支援を受け，高分解能化への様々な技術開発により，通常の10 nm から 2 nm 以下まで高分解能化が達成された歴史は興味深い．さらに困難な SPLEEM の実時間計測の実現に関しては，日本のスピン偏極電子源の技術開発が重要な貢献をしたことが示されている．超高輝度・高偏極・長寿命のスピン偏極電子源の開発
は上記 3 グループがそれぞれの専門性を遺憾なく発揮しつつ強力な連携の元に成され，それが SPLEEM として完成した．負の電子親和力（negative electron a‹nity, NEA）を有する NEA 表面を長時間維持するために極高真空が必要である．3 グループの技術開発により，カソードの NEA 表面の寿命は数時間レベルから 2 か月単位まで改良され，電子エネルギー幅が小さいことから，スピン偏極電子銃としてのみならず，高分解能電子銃としても利用が期待できる．さらに試作された SPLEEM によるスピントロニクス薄膜材料への興味深い応用事例が記載されており，磁性薄膜研究者にとっても表面磁性の研究者にとっても興味深いはずである．また，極高真空発生技術や表面計測手法の開発に携わる技術者や研究者にとっては，技術開発のノウハウが数多く示されており，わくわくするような解説になっている．
このように越川氏らの著した解説論文は，最先端の表面スピンイメージング計測手法として SPLEEM がいかにして開発されたか，当該分野の研究者にとって学術的に有益な知見を与えるのみならず，真空工学や表面科学に携わる一般の J.

Vac.

Soc. Jpn 誌読者にとっても知的な好奇心を満足させるものであり，まさに真空会誌賞にふさわしい内容であることから，第 4回真空会誌賞として推薦する．
受賞者略歴
越川孝範（こしかわたかのり）

1974年 3 月

大阪大学工学研究科応用物理学専攻

1975年 4 月

大阪電気通信大学工学部博士課程修了（工学博士）

講師

1879年 4 月1980年 3 月および1982年 7 月9 月

西ドイツフンボルト財団フェロー（クラウスタール工科大学物理学研究所）
1982年 4 月

大阪電気通信大学工学部教授

2014年 3 月

大阪電気通信大学工学部定年退職

2014年 4 月

大阪電気通信大学工学部名誉教授

2014年 4 月

大阪大学工学研究科

2014年10月

重慶大学

鈴木雅彦（すずき招聘教授客員教授（現在に至る）

まさひこ）

2000年 3 月

東京理科大学理学部物理学科

2002年 3 月

横浜市立大学大学院総合理学研究科修士課程

2005年 3 月

横浜市立大学大学院総合理学研究科博士後期課程

2005年 4 月

横浜市立大学国際総合科学部

2005年 4 月

横浜市立大学国際総合科学研究科

2006年 2 月

大阪電気通信大学

2006年 3 月

理学博士

安江常夫（やすえ卒業修了単位修得満期退学

非常勤講師
共同研究員

学術研究員（現在に至る）

つねお）

1985年 3 月

名古屋大学工学部応用物理学科

1990年 3 月

名古屋大学大学院工学研究科応用物理学専攻

1990年 4 月

大阪電気通信大学工学部講師

1993年 4 月

大阪電気通信大学工学部助教授

2002年 4 月

大阪電気通信大学工学部教授（現在に至る）

Ernst Bauer（エルンスト卒業
博士課程修了（工学博士）

バウアー）

1953年

M. S. in Physics, University Munich

1955年

PhD in Physics, University Munich

1955年1958年

Research Assistant, University Munich

1958年1969年

Head, Crystal Physics Branch, Michelson Laboratory, China Lake,

Vol. 58, No. 11, 2015―( 17 )―

415

California, USA
1969年1996年

Full Professor, Director of Physics Institute at the Technical University
Clausthal, Germany

1996年2010年

Distinguished Research Professor, Department of Physics, Arizona StateUniversity, Tempe, USA

2010年

Distinguished Research Professor Emeritus, Arizona State University（現在に至る）中西彊（なかにしつとむ）

1973年 3 月

名古屋大学理学研究科博士課程

1973年 8 月

名古屋大学理学研究科

助手

1987年12月

名古屋大学理学研究科

助教授

1995年 4 月

名古屋大学大学院理学研究科教授

2009年 3 月

名古屋大学大学院理学研究科定年退職

2009年 3 月

名古屋大学大学院理学研究科名誉教授

2013年12月

病気により死去

金秀光（きん満了しゅうこう）

2003年 8 月

中国西安交通大学（材料工学）卒業

2008年 3 月

名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻修士課程修了

2010年 3 月

名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻

博士課程修了（工学博士）

2010年 4 月

日本学術振興会特別研究員（PD）

2010年 7 月

名古屋大学高等研究院

2014年 4 月

高エネルギー加速器研究機構

竹田美和（たけだ特任助教
特別助教（現在に至る）

よしかず）

1977年 3 月

京都大学工学研究科

博士課程

満了

1977年 4 月

京都大学工学部助手

1986年 4 月

京都大学工学部講師

1990年 4 月

京都大学工学部助教授

1991年 4 月

名古屋大学工学部教授

2007年 4 月

名古屋大学シンクロトロン光研究センター

2012年 4 月

(公財)科学技術交流財団

センター長

あいちシンクロトロン光センター所長（現在に至る）平成年度
議

表彰審査会

審査員

長間瀬一彦（高エネルギー加速器研究機構）

株 日立ハイテクノロジーズ），末次祐介（高エネルギー加速器研究機構），審査員井上泰志（千葉工業大学），橘内浩之（田沼繁夫（物質・材料研究機構），中野武雄（成蹊大学），野中秀彦（産業技術総合研究所），長谷川修司（東京大学），藤田大介（物質・材料研究機構）

416―( 18 )―

J. Vac. Soc. Jpn.