半導体工場ハンドブック 2022

 リソグラフィー装置

21年は 470 台規模にKrFの好調続く

2021 年の半導体露光装置市場は前ばしている。i線の場合は主要デバイス年から大幅に台数を伸ばし、470 台規の投資が活況なことに加え、アプリケ模となる見通し。先端プロセス向けにーションの拡大が牽引材料とされてい加え、世界的な半導体需要の高まりをる。

■ 各社の動向【ASML】
21 年第 2 四半期（4 ～ 6 月）業績の発受けて、i 線や KrF などのレガシープロ

EUVはロジック7nm世代から量産工表にあわせて、21 年通年の売上高見通セス向けの出荷も好調だった。先端プ程での導入が始まり、5nm で適用レイしを再度上方修正した。最先端向けのロセス向けではEUVの出荷が順調に拡ヤーが増えたことで、フォトマスクやEUV リソグラフィー向けに加え、レガ大しているほか、今後は高NA対応の製レジストなど関連市場含めて市場拡大

シーノードを中心に既存の DUV 製品品も登場してくる見通しだ。

が順調に進んでいる。

の好調が主な修正理由。

光源別の内訳は ArF 液浸が 86 台（前ASML は中期目標で、売上高は最大

同社は 21 年初段階で前年比 10％強

年実績 79 台）、ArF ドライが 25 台（同で 300 億ユーロを計画。装置出荷のうのプラス成長を見込んでいたが、21 年33 台）、KrF が 167 台（同 130 台）、i 線

ち、EUV は最大で 75 台を見込んでおり、 第 1 四半期（1 ～ 3 月）決算にあわせて、が 150 台（同 140 台）と予想する。最うち高NA製品は5台になると予想してこれを30％成長に修正。引き続き、ArF

先端プロセス向けのEUVの販売台数はいる。

液浸などの DUV 関連製品が予想以上40 台強が見込まれている。

今後はロジックに加えて、DRAM でに好調なことから、第 2 四半期決算に液浸は過去ピークには及ばないものの適用も進む。21年から25年にかけてあわせて、これを 35％成長に引き上げの、年間 80 ～ 90 台の安定した台数をEUV プロセスを使ったレイヤー数は 2た。

キープしている。ロジックの最先端レ倍以上に拡大すると予想。うち、DRAM売上高成長率の見通しをもとに、21イヤーに EUV が用いられたことで、一を中心とするメモリーが占める割合

年通年売上高は190億ユーロ前後とな部では需要が減退しているが、40 ～は約 3 割となる見込み。同社によれば、 るもよう。アプリケーション別ではロ16nm クラスのロジック投資も堅実にDRAMの量産にEUVを適用することで、 ジック向けが前年比 35％増、メモリー伸びており、需要を下支えしている。

クリティカルレイヤーのマスク枚数をが同60％増、サービス関連が同15％増

KrF は近年、その市場規模を大きく4割強、プロセスステップも2割強削減とすべてのセグメントにおいて、前回拡大させている。半導体各社のキャパできるほか、デフェクトの低減にもつ見通しから上方修正された。

シティー増強投資に加え、3D-NAND のながるとしている。

EUV の 21 年通年売上高見通しは、全多層化投資が需要拡大につながってい

高 NA 製品については、23 年初頭か社ベース同様に前年比 35％増を見込る。同様に、i線も販売台数を大きく伸ら ASML の サ イ ト 内 に 設 置 さ れ て 顧む。製品展開においては21年第2四半客の評価用途に稼働が期に高生産性の「NXE：3600D」の初号

開 始 さ れ る 見 通 し。 最機を出荷。21年下期に出荷されるEUV

初 の 高 NA 製 品 と な るの大半は3600Dとなる見通し。3600D「NXE:5000」は、重ね合は 3400C と 比 較 し て 生 産 性 が 15 ～わせ精度が 1.1nm 以下、20％上昇、オーバーレイが約30％改善

KrF

スループットは時間あされている。なお、EUV の生産能力はた り 150 枚 と な る 見 込22 年に約 55 台体制とするほか、23 年

i-Lineみ。量産ラインへの適用には 60 台超に引き上げる方針を示しは 25 ～ 26 年ごろを想定ている。

別半導体台

500450400350300250200150100500374
294'17'18装置の販売台数

333'19413'20470

EUV

ArF-i
ArF-D

'21(予)

発表資料をもとに電子デバイス産業新聞作成（一部推定含む）

56する。

21 年第 2 四半期業績のうち、受注高

第 4 部 工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー

工場ルポ

新電元工業

朝霞事業所

大手町と飯能工場の機能集約
業務効率化に大きく寄与

新電元工業㈱（東京都千代田区大手線 LAN などの ICT 環境を整備した。さ産体制についても見直しを図っており、町 2-2-1、Tel.03-3279-4431）は、2021らにフリーアドレス制や個人の集中ブ

飯能工場のクリーンルーム（CR）を閉

年 4 月に朝霞事業所（埼玉県）を開所し、 ースを設置するなど、働きやすさを追鎖したほか、東根新電元（山形県東根本格的に業務を開始した。これまで大市）の CR1 棟も閉鎖を決めた。同時に求している。

手町オフィスならびに、飯能工場（埼また、消費エネルギー量 52％を削減

東根新電元と秋田新電元（秋田県由利玉県）に分散していた本社業務ならびし、「ZEB Ready」も取得している。ZEB本荘市）のウエハーの大口径化も進めに開発機能を集約することにより、事とは Net Zero Energy Building の略称ており、グループにおける前工程の生業運営のさらなる効率化を図っていで、快適な室内環境を実現しながら建産性を 30％程度高める取り組みを進る。

物で消費する年間の一次エネルギーのめている。これら生産面での取り組み収支をゼロにすることを目指した建物

は 21 年度上期中に完了する予定となを指す。っている。

研究開発機能などを担っていた飯能
工場は、老朽化が進んでいたこともあり、新たに埼玉県朝霞市に事業所を新ZEB Ready は ZEB を見据えた先進建

また、秋田新電元に設置されていた設し、大手町オフィスが担っていた機築物として、外皮の高断熱化および高パワーモジュールの生産ラインの一部能も集約した。もともと大手町オフィ

効率な省エネルギー設備を備えた建築をタイのランプーン新電元の IoT を導スには約 150 人、飯能工場には約 800物であり、かつ再生可能エネルギーを入した生産性の高いラインに統合する。人の従業員が在籍しており、朝霞事業除き、基準一次エネルギー消費量から秋田新電元は次世代パワーモジュール所は 1000 人近い体制となっている。

50％以上の一次エネルギー消費量削製品の生産ラインを構築し、モビリテ

朝霞事業所の敷地面積は、約 2 万減に適合した建築物が認証対象となっィー・産業機器市場向けにパワーモジている。

ュール事業のさらなる成長を目指す。

9600m 、延べ床面積は約 2 万 8500m
22の規模。高い水準の開発環境を構築す

朝霞事業所の開業は、22 年度（23 年

べく、事業部の枠を超えたシナジーを3 月期）を最終年度とする 3 カ年の中すでに対象製品の約 6 割で対応が完了生み出す空間を目指しており、全館無期経営計画の事業構造改革の一環。生しているという。人員の適正化につい不採算製品の整理にも着手しており、ても、希望退職を含む合理化を実施しており、非正規従業員含め国内従業員11％の削減をすでに終えている。
デバイス事業の事業・製品戦略においては、ダイオードとパワーモジュールの二本柱をベースにモビリティーおよび産業機器市場を中心に競争力の強化を図っていく。パワーモジュールは24 年度に売上比率 20％の達成を目指す。
なお、21 年度の業績は全社ベースで売上高が前年度比9％増の879億円、営業利益41億円（前年度実績は11億円の赤字）の黒字転換を予想している。半
オープンスペースで会議やミーティングが行える朝霞事業所のアトリウム

導体で構成されるデバイス事業は、売129

第 4 部 工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー

半導体工場

・・■ 北海道 ■【三笠市】△ 北海道オリジン㈱【千歳市】△ ㈱デンソー北海道▲ ミネベアミツミ㈱ 千歳事業所【恵庭市】▲ ㈱京都セミコンダクター 恵庭事業所【亀田郡七飯町】△ ㈱アムコー・テクノロジー・ジャパン 函館地区

北海道

■ 青森県 ■

【五所川原市】▲ 富士電機津軽セミコンダクタ㈱【北津軽郡鶴田町】△ ハイコンポーネンツ青森㈱

青森県

秋田
県

岩手
県

■ 岩手県 ■【北上市】
▲ キオクシア岩手㈱▲ ㈱ジャパンセミコンダクター 岩手事業所△ ㈱ミスズ工業 岩手工場
【奥州市】
△ ㈱ミズサワセミコンダクタ【胆沢郡金ケ崎町】▲ ㈱デンソー岩手■ 秋田県 ■

【由利本荘市】▲ ㈱秋田新電元 飛鳥工場
△ ㈱秋田新電元 本社大浦工場【大仙市】△ エイブリック㈱ 秋田事業所◎▲△
◇一 工場
前工程工場
後工程工場
研究所・研究開発工場
デザインセンター
☆ 計画中
※ その他

135

書 名 ..................半導体工場ハンドブック 2022
体裁・頁数 ...........A4 変形判 オフセット刷り 160 頁
定 価 ..................11,000 円（税込）
発刊日 ..................2021 年 12 月 6 日

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