CAT.No.CBM210-3

気体用熱式質量流量計・コントローラ

MASFLO-OVALⅡ
供給システム／混合プロセス
半導体製造／パイロットプラント
水素／アンモニアの計測

マスフローメータ
（FHA）

非防爆形

マスフローコントローラ（FHB）

マスフローメータ
（FHC）

防爆形

［計測原理］
メータ内に導入されたガスは、ラミナーフローエレメントにより一定の比率でセンサ部に分流されます。センサ部は細管の中心部に加熱用ヒータ、その両側に温度センサが巻かれており、温度センサはブリッジ回路を構成しています。
センサ部を流れるガスが静止しているときは、加熱用ヒータから供給された熱量は両側の温度センサに等しく伝わるため、ブリッジ回路の平衡が保たれます。
しかし、ガスが流れ始めると温度センサに伝わる熱量に差が生じ、ブリッジ回路から質量流量に比例した出力が得られます。
ラミナーフローエレメントにおける分流比を可変させることにより、所望の流量範囲を得ることができます。

FHC用 コントロールバルブ（FHD）

流量出力信号
0〜5VDCなど
増幅回路
供給電源±15VDC

ブリッジ回路
センサ部流入方向

ラミナーフローエレメント（バイパス）

MASFLO-OVALⅡMODEL: FHA/FHB

非防爆形

気体の流量を質量ベースで正確に測定・コントロール
FHB

FHA

FHAは高精度・コンパクトな気体用流量計
FHBは、FHAにコントロールバルブ（電磁式）を一体化した流量コントローラ

5NCCM（mL/min [normal]）〜500NLM（L/min [normal）
までの広い流量範囲をカバー
ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調節が可能● 高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能● 優れた応答性● コントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式により、応答性がよく安全に使用可能● リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応
●
●

■標準仕様

■取り付け姿勢
FHA

構造

FHB
●

非防爆、屋内用
1/8″、1/4″、3/8″、6mm、12mm、1/2″接続チューブ外径

圧力が1MPa未満の場合

1/8″、1/4″、3/8″、6mm天精度（※1）（含む直線性） フルスケールの±1％（実ガス校正状態において）再現性

フルスケールの±0.2％

応答性地

1〜2秒（設定値の±2％以内。
但し、ゼロスタートアップ時を除く）

1〜3秒（時定数）

使用温度範囲−10〜＋70℃（結露無きこと）

温度影響

フルスケールの0.1％/℃

圧力影響

表わす量の0.1%/0.1MPa（N2）、表わす量の0.01%/0.1MPa（水素）圧力損失（空気）（※2） 3.5〜10.5 kPa
零点安定性
材料

長期間誤差：Max.1％/年●× 水平配管（変換器下）△ 垂直配管

× 水平配管（変換器下）

× 垂直配管圧力が1MPa以上の場合

温度ドリフト：0.05％/℃

本体

要部SUS316または相当材料

シール

フッ素ゴム（FKM）：標準、クロロプレンゴム（CR）、パーフルオロエラストマー（FFKM）

電源○ 水平配管（変換器上）天

地±15VDC※1：通常は、空気またはN2ガスによるコンバージョンファクタ補正による校正となります。
※2：マスフローメータ本体のみで継手圧損は除く。

○ 水平配管（変換器上）■流量レンジ・最高使用圧力
● FHA

● FHB

形式

フルスケール流量レンジ
NL/min（at Air）
最小 0.0001〜0.005
最大 0.00015〜0.0075
最小 0.00015〜0.0075
最大 0.3〜15

0.99MPa

9.8MPa

19.6MPa

39.2MPa

FHA00S

FHA10S

FHA20S

FHA30S

FHA01S

FHA11S

FHA21S

FHA31S

FHA12S

FHA22S

FHA32S

FHA13S

FHA23S

FHA33S

最小 0.3〜15
最大 2〜100
最小 2〜100
最大 10〜500

形式

フルスケール流量レンジ
NL/min（at Air）

最高使用圧力（※1）

最高使用圧力

最小 0.00015〜0.0075
最大 0.3〜15

Kv値

9.8MPa

19.6MPaFHB11SFHB21S
1.1×10−5〜6.6×10−2

最小 0.3〜15
最大 1.4〜70
水素、ヘリウムは100NL/minまで可FHB12S※：配管接続仕様やバルブKv値によっては、最高使用圧力が低くなる場合があります。
※：Kv値が4.3×10−3以上になる場合、最高使用圧力が10MPaに制限されます。

※1：配管接続仕様によっては、最高使用圧力が低くなる場合があります。

■外形寸法（単位：mm）
●FHA

●変換器

47

FHB
変換器

Dサブコネクタ47

Dサブコネクタ
MODEL
FHA00S/10S
FHA20S/30S

本体部

FHA01S/11S

C

C

H

本体部

H

バルブ

FHA
B

A

B

A

（L）

（L）

流入方向

流入方向

A

B

C

H

47

2525111

FHA21S/31S

W

W（取付用ねじ）

TU

2−M4深さ5（取付用ねじ）

TU

UW

37516475075759292

555555212328402121103

72 46 46 132 129
91 65 65 151 148
108 66 66 152 176
FHA13S
FHA23S/33S 135 101 101 187 202
FHB11S/21S 102 45 45 142 159
FHB12S117 46 46 143 174
FHA12S（注）L寸法は継手サイズにより異なります。
2−M4深さ5T

本体めねじ 質量サイズ
（kg）

98

FHA22S/32S

FHB

（L）

IN：G1/4
OUT：G1/8
G1/4
G1/2
G1/4

0.3

1.2
2.9
3.1
9.1
2.02.1

MASFLO-OVALⅡMODEL: FHC/FHD

防爆形

水素ガスにも適用可能な防爆構造
FHCは、汎用形気体用熱式質量流量計FHAの水素防爆構造モデルで、高圧ガス認定品の供給が可能

FHD

FHCFHDは、FHBのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたもので、FHCと組み合わせることで防爆形気体用熱式質量流量コントローラを構成
水素ガスにも適用可能なJIS防爆構造 d3aG4 タイプ
真空から最高39.2MPaまで、広範な使用圧力に対応● 5NCCM（mL/min [normal]）〜500NLM（L/min [normal）
までの広い流量範囲をカバー● ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調節が可能● 高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能● コントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式により、応答性がよく安全に使用可能● リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応
●
●

■標準仕様

■流量レンジ・最高使用圧力
FHC構造

FHD

1/8″、1/4″、3/8″、3/4″、6mm、12mm、1/2″接続チューブ外径

最大 0.00015〜0.0075
最小 0.00015〜0.0075

フルスケールの±0.2％

応答性

最大 0.3〜15最小 0.3〜15

1〜2秒（設定値の±2％以内。
但し、ゼロスタートアップ時を除く）

1〜3秒（時定数）

バルブKv値

最高使用圧力 39.2MPa

最小 0.0001〜0.005

1/8″、1/4″、3/8″、6mm、12mm、1/2″

精度（※1）（含む直線性） フルスケールの±1％（実ガス校正状態において）再現性

形式

フルスケール流量レンジ
NLM（at Air）

耐圧防爆（TIIS、KCs）

最大 2〜100
最小 2〜100

FHC30S

FHC30S + FHD30S

FHC31S

FHC31S + FHD31S

FHC32S

FHC32S + FHD32S

1.1×10−5〜6.6×10−2

FHC33S

使用温度範囲−10〜＋50℃（防爆構造上）（結露無きこと）

最大 10〜500

温度影響

フルスケールの0.1％/℃

圧力影響

表わす量の0.1%/0.1MPa（N2）、表わす量の0.01%/0.1MPa（H2）

圧力損失（空気）（※2）

3.5〜10.5 kPa

零点安定性

長期間誤差：Max.1％/年※：配管接続仕様やバルブKv値によっては、最高使用圧力が低くなる場合があります。
※：FHCシリーズは、高圧ガス認定品の供給が可能です。
（但し、認定範囲は本体部のみで、Wフェルールくい込み継手等の本体部から取り外し可能な部位は含まれません）※：FHDシリーズは、FHCシリーズと組み合わせることによってコントロールバルブとして機能します。FHDシリーズ単品ではご使用頂けません。
※：FHDシリーズは、フルスケール流量レンジ及びバルブKv値の両方を満足する場合に選定可能です。
※：バルブKv値が4.3×10−3〜6.6×10−2になる仕様においては、最高使用圧力が10MPaに制限されます。

材料

温度ドリフト：0.05％/℃

要部SUS316

本体
筐体

AC4C-T6

シール

フッ素ゴム（FKM）：標準、クロロプレンゴム（CR）、パーフルオロエラストマー（FFKM）

電源±15VDC※１：通常は、コンバージョンファクタ補正による空気またはN2ガスでの校正になります。
※２：マスフローメータ本体のみで、継手の圧力損失は除く。

■取り付け姿勢天地○ 水平配管（端子箱上）× 水平配管（端子箱下）

× 垂直配管

■外形寸法（単位：mm）
●FHC

●FHD
●

E：245
168

本体部

端子部

耐圧パッキン式
引込金具

E：222
144

寸法表（単位：mm）
MODEL

耐圧パッキン式
引込金具

端子部

ChI

H
Ch

I

G

H

GFHC

B

TIIS: G3/4
KCs: M25×1.5

T
U

A

W

FHD
A
流入方向

流入方向

4−M5深さ7（取付用ねじ）T

4−M5深さ7（取付用ねじ）

41

TIIS: G3/4
KCs: M25×1.5

W

B

CG

H

I

FHC30S

本体部

BA

82 82 30 153 139 68
FHC31S
FHC32S 119 82 67 190 176 105
FHC33S 138 100 100 223 209 138TUWh

本体質量めねじ（kg）
サイズ

60116015G1/4607011960903250

G1/2 8.4
G1/2 13.35.0

FHD30S
FHD31S707045109 132

6850

50 22.5 G1/43.8

FHD32S707045109 132

6850

50 22.5 G1/23.8注）1．
E寸法は、HPNシリーズ耐圧パッキン式引込金具方式によるおおよその寸法です。
2．
A寸法は、本体の面間寸法です。取り付けられる継手により実際の面間寸法は異なります。
3．
配管軸高さ（h寸法）は、マスフローメータとコントロールバルブで異なります。

リードアウトユニット MODEL: ROU28S、ROU28C

MASFLO-OVALⅡ用受信器

MODEL: ROU28S（0 〜 5VDC専用）

MODEL: ROU28C（4 〜 20mADC/0 〜 5VDC対応）

計測・制御に必要な基本機能をもつ小形、軽量な受信計器です。
流量値、積算流量値、流量設定値を切り換えて表示することができます。
フロントに流量設定器や外部入力切替スイッチを配置し、使いやすいレイアウトを実現しました。
標準仕様として、外部出力（アナログ、パルス）、外部コントロール入力機能を備えており、システム設計面に於ける自由度を向上させることができます。
MASFLO-OVAL Ⅱシリーズと結合し、容易に流体計測システムを構成することができます。
■リードアウトユニットとの結合
マスフローメータ（FHA）
リードアウトユニット（ROU28S）

専用ケーブルC1

システム機器／装置〈拡張機器〉

市販ケーブル（ROU28C）

マスフローコントローラ（FHB）

0‑5VDC/
4‑20mADC（※1）

100VAC
マスフローメータ（FHC）

リードアウトユニット（ROU28S）

コントロールバルブ
（FHD）

中継端子台

4‑20mADC（※1）

市販ケーブル専用ケーブルC1（10m以内推奨）〈拡張機器〉（ROU28C）

システム機器／装置0〜5VDC（ROUから30m以内）

0〜5VDC（ROUから30m以内）
4‑20mADC（※1）

危険場所※1：ROU28Cのみ対応可能

100VAC

非危険場所● 当カタログの仕様は令和6年9月現在のものです。記載内容は、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
● 本カタログの著作権は株式会社オーバルに帰属します。本カタログの全部または一部を当社の許可なく転写、複写、転載を禁じます。

製品の詳細については、web よりカタログ・一般仕様書をご参照ください。
■ 本社・東京営業

TEL.（03）3360-5141、5151 FAX.（03）3365-8601
代理店/販売店■ 北海道営業所 TEL.（011）555-3713■ 東 北 営 業 所 TEL.（022）263-0773■ 新 潟 営 業 所 TEL.（025）245-6912■ 北 陸 営 業 所 TEL.（076）456-2690■ 鹿 島 営 業 所 TEL.（0299）75-4490■ 北関東営業所 TEL.（027）333-1144■ 千 葉 営 業 所 TEL.（0436）62-6096■ 神奈川営業所 TEL.（045）785-7392■ 静 岡 営 業 所 TEL.（054）280-6270

FAX.（011）555-3714
FAX.（022）262-0469
FAX.（025）243-5634
FAX.（076）456-2695
FAX.（0299）75-4489
FAX.（027）333-1145
FAX.（0436）62-6079
FAX.（045）785-7393
FAX.（054）282-2230■ 名古屋営業所 TEL.（052）728-6860■ 四日市営業所 TEL.（059）356-8161■ 大 阪 営 業 所 TEL.（06）6190-6960■ 加古川営業所 TEL.（079）453-5115■ 岡 山 営 業 所 TEL.（086）456-2818■ 山 口 営 業 所 TEL.（0834）64-6221■ 九 州 営 業 所 TEL.（092）607-8855■ 大 分 営 業 所 TEL.（097）551-0500

FAX.（052）728-6861
FAX.（059）355-3123
FAX.（06）6190-6963
FAX.（079）453-5116
FAX.（086）456-2029
FAX.（0834）61-2205
FAX.（092）607-8900
FAX.（097）552-0435

2108 2409 --- - 2108S