半導体工場ハンドブック 2023

リソグラフィー装置

リソグラフ

ーは半導体産業のドライバーといえる「化」を実現す

るうえで最も重要な工の1。最先端プロセスで導入が進Eも市場拡大が順調に進んでいるほか、レードの要拡大で 線や要を下

長線はレがげてい

れが 22 年通年で約 10ー半導体投資

き台数をし、500 台をになるとられる。先端プロえる

セス向けの E線やおなどレ拡大。その露光装置がとりわけ調にの年実8 台）、2 台）、は通しをき下げた。最先端プロセス向業

調で、生産体制化の動きがけの E

装置は 22 年に 55 台のがはするでは 50 台以上を通しだが、度にとどまるにのでは 40 台通し。 SM が22年るで、検りもれている。

S」

にとどまる
スをりは 台を22 年第 2ける受半期（4 ～ 月）業は、前半期比21半期54の54する。最22 年の台数はの前年比 20のはークにはした。
ないもの

上キープ。ロジックの最先端レイEーにが用いられたことで、一部ではスのロジック投資も堅実に長率にから 10前に下方制約を受けており、3 割をにため。

同社はびており、 21 年から「半導体装置の受上高は同ユーロで、うち装置単体ユーロ。アプリーシ

では台り上げの期ずれが発生めた。

【キ ノン】力の 線露光装置は市場制約に対する決として、 大中。高シェアを中長期で拡大がS」とれるを採用して検装置のび実

同社にが台数で、生産めて業体制

通しは 180 台（前年140 台）を計画。うち、 線は 132、を実施するもの。 台（同 102 台）

検める

22年度
（22年12月期）の半導体露光客

お台数も化を進めている。

の一部を同社工場
検が拡ースに能力のさらなる拡充をのでは実施せずに、サイトで最めが 4 割、 国がにいる。同プロセスは一の85

ではロジックが全体の 割をする。

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電 デ イス 業新ン

たほか、が 23 年にずれを中上高は41いて、従来幹部品の一部でサプライチェーンのの、年間 0 ～ 80 台の安定した台数をしているが、40 ～ 1上高におースでユーロとなった。

まれている。

発えるかたちとなる。

は 54

40 台が要がんでいた

ドライが 2 台（同】は 40 台通し。もともと同プロセったが、これが 15 台にイミングが従来S上。うち、E先端プロセス向けのE

54に最高を【を定どおり計画しているが、が 9 台（前が 194 台（同 145 台）と上高に移していが 180 台（同 1 5 台）、 線ユーロに通年のユーロとなり、光ユーロをンをる。

Eでの戦場とするキEシープロセス向けの上定していたが、これが 28が1 5倍以上に拡大。同以上に、 から導入している「びる分野を2022 年の半導体露光装置市場は
きび目立っている。

る。

できるという。

従来は同プロセスにになっている。ともに4年で市場などのには早期にシープロセスのロジック投資、おシー技術を用いた市場も拡大をえしている。

は 48 台（同 38 台）、な検を。線はセンサーやするまで上イス、メリー、電部品関連など要がびているほか、れがれることになるが、 い用客での生産能力はメでリーやセンサー向けを中ーデバに第 4 部 工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー

工場ルポ

甲府共和電業

ミニマルラボが始動

MEMSセンサーを研究開発甲府駅から 358 号線を南に車で 20

一方、同社ではひずみセンサーのさシステムはまさにこれだと感銘を受け分ほど走り、下曾根橋を渡ってすぐのらなる小型化、高精度化、省エネルギーた。プロジェクトを統括されている産ところに位置する㈱甲府共和電業。㈱化などに向け、以前から MEMS センサ

業技術総合研究所の原様に早速ご連絡

共和電業（東京都調布市調布ヶ丘 3-5-ーの開発・製品化の検討を進めてきたさせていただいた」と振り返る。

1）グループの一翼として、動ひずみ測が、「MEMS の生産設備・生産体制を構

同社は、NEDO（新エネルギー・産業定器や静ひずみ測定器、装置計器など、 築するためには莫大な設備投資が必要技術総合開発機構）の 19 年度戦略的エ測定器の一括生産拠点として重要な役となる。
さらに、当社のひずみ計測機器ネルギー技術革新プログラムに採用さ割を担う。2020 年 8 月には、現在の新は、研究開発向けがメーンであるため、 れた「多品種少量生産に適した半導体工場（延べ床面積は従来比約 2 倍）へ移

各お客様のニーズに合わせて多品種少デバイス製造ファブの実現」（19 ～ 21

転し、生産品目のさらなる拡充、生産の量の開発対応が求められ、センサーの年度）に委託先の1社として参画。ユー効率化を図っている。

製品数は 1000 種類以上に上る。また、 ザーとしての立場から、厳しい目線で1949年創業の共和電業は、ひずみゲファンドリーを利用した製品開発でも、 各ミニマル装置の評価を行い、一連でージの国産化第 1 号企業として知られ、 仕様・期間・コストで課題があり、自前機能を発揮するファクトリーシステム

センサーやアンプ、ソフトウエアなどの技術・プロセス開発が行える自社ラとして仕上げる役割を担っている。

関連する技術全般を展開する応力計測ボが欲しいと考えていた」と共和電業

さらに同社では、自社にミニマル装の総合メーカーだ。ひずみ計測は、産技術本部副本部長の施村偉氏は語る。

置を揃えたラボの立ち上げを決定。19機・ロボットなどの工業計測分野から、そこで、同社が着目したのが、クリー

年度から順次装置を導入するとともに、衝突安全や耐久性のテストを行う自動ンルームが不要で、ハーフインチウエ

21 年 12 月には「ミニマルファブ 研究

車試験分野、鉄道・高速道路などの交通ハーを用いて、デバイス 1 個から約 10開発ラボ」（ミニマルラボ）を甲府共和インフラ分野、風力発電やダムなどの個単位の究極にフレキシブルな試作・電業に開設した。

エネルギー分野はもちろん、最先端の生産を可能とするミニマルファブであ床面積が約 100m2 の同ラボには、露航空・宇宙分野まで、実に多種多様な分る。施村氏は「初めてそのコンセプト

光装置やシリコンの深掘りエッチング

野において、信頼性・安全性の根幹を担に触れた際には、中堅企業でもお客様装置、レーザー加熱装置など計 11 台のうセンシング技術として用いられていのニーズに沿った柔軟・迅速な製品開ミニマル装置が並び、“共和電業オリジる。

発を行うことができる、当社が求めるナル”の MEMS センサーの研究・開発体

センサーの開発ミ137

第 4 部 工場ルポ／半導体工場分布図・ディレクトリー

半導体工場分布図・北海道・北東北■ 北海道 ■

【三笠市】
△ 北海道オリジン㈱【千歳市】△ ㈱デンソー北海道▲ ミネベアミツミ㈱ 千歳事業所【恵庭市】▲ ㈱京都セミコンダクター 恵庭事業所【亀田郡七飯町】△ ㈱アムコー・テクノロジー・ジャパン 函館地区

北海道

■ 青森県 ■

【五所川原市】▲ 富士電機津軽セミコンダクタ㈱【北津軽郡鶴田町】△ ハイコンポーネンツ青森㈱

青森県

秋田
県

岩手
県

■ 岩手県 ■【北上市】
▲ キオクシア岩手㈱▲ ㈱ジャパンセミコンダクター 岩手事業所△ ㈱ミスズ工業 岩手工場
【奥州市】
△ ㈱ミズサワセミコンダクタ【胆沢郡金ケ崎町】▲ ㈱デンソー岩手■ 秋田県 ■

【由利本荘市】▲ ㈱秋田新電元 飛鳥工場
△ ㈱秋田新電元 本社大浦工場【大仙市】△ エイブリック㈱ 秋田事業所

◎▲△
◇一貫工場
前工程工場
後工程工場
研究所・研究開発工場
デザインセンター☆ 計画中※ その他143

書 名 ..................半導体工場ハンドブック 2023
体裁・頁数 ...........A4 変形判 オフセット刷り 168 頁
定 価 ..................13,200 円（税込）
発刊日 ..................2022 年 12 月 5 日

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