発行

No.77

Industrial Research Center of Shiga Prefecture
http：//www.shiga-irc.go.jp/content

2004/2滋賀県工業技術総合センター

トピックス ........... ものづくりIT 研究会
寄稿 ................... ネットワーク社会における経営資源としてのデザインの活用
テクノレヴュー... シンクロトロン放射光の透明導電膜作製技

術への応用
おしらせ ............. 第225期技術研修受講者募集（食品／医薬品／化粧品技術者のための食品衛生管理技術講座）

Topics

産学官連携による、9分野の研究交流活動のひとつ

ものづくりIT研究会

工業技術総合センターでは、産学官④滋賀県酒造技術研究会

化による生産性向上など、ものづくり連携による研究交流活動として、次の⑤滋賀バイオ技術フォーラムの形態を大きく変えようとしています。

9分野の研究会を組織して積極的な活⑥ものづくりＩ
Ｔ研究会

そこで、設計から製造までのIT化、そ動を行っています。その中で、今回は⑦環境効率向上フォーラム

れを支えるネットワーク化などを取り「ものづくりIT研究会」
について紹介し⑧屋上緑化用陶製品開発研究会

上げ、事例紹介やIT要素技術およびシます。

⑨電子・情報技術交流フォーラム

ステム技術などの情報交換、技術交流、研究交流、講習などを行い、製造分野①滋賀ファインセラミックスフォーラム②滋賀県品質工学研究会③デザインフォーラムSHIGA

ものづくりIT研究会の目的へのITの導入を推進し、滋賀県製造業

情報通信技術（IT）が世の中の仕組みを劇的に変え、製造業においても、ITの競争力を向上させることを目的としています。
（次頁に続く）

問合せ・連絡先工業技術総合センター内 ものづくりＩＴ研究会事務局
TEL: 077-558-1500−1−

担当：月瀬、小川、深尾E-mail：it-kenkyukai-jim@shiga-irc.go.jp

トピックス

産学官連携による研究交流活動

ものづくりIT研究会の取り組みについて
活動内容

NAB）
」という勉強会を行っ「設計から製造までのIT化のために」をています。オフライン会合

キャッチフレーズとして活動を行ってとして実習を主体とした活います。

動を行っており、講師は参① 講演会

加者が相互に行いながら運技術動向やIT化の事例紹介、IT要営しています。

素技術紹介などの講演会を年4回開催

第1回目は、昨年8月21日

しています。これまでの主な講演内に開催し、Linuxインストー

容は次のとおりです。

ル、サーバ構築実習などを● 中堅・中小製造業のものづくりのIT化・ネット化・行いました。
（参加15名）ナレッジ化● 中堅・中小製造業におけるIT活用のポイント● ものづくりを再び−日本経済の再生をめざして● ネットワークセキュリティの現状と動向● 変わりゆく産業・社会と製造業のゆくえを考える

④ 見学会

講演会風景

IT化の実例に学ぶために工場見学会を行っています。

産学官連携● 身近になったITの最新動向と活用例

平成14年度は、東大阪市のIT化への先● 中小企業への経営に役立つ戦略的IT投資の進的取り組みを行っている中小企業2

研究会の主目的の一つは、大学と企社とNTTのショールームの見学を行い業、センターなどの行政関係者相互のました。15年度は、彦根市の大日本ス情報交換・研究交流です。15年度には、クリーン製造株式会社彦根地区事業所研究会会長の滋賀県立大学沖野教授がにお伺いし、「半導体洗浄技術と工場研究プロジェクトリーダーとして、研運営」
についてご講演いただき、その究会会員を主体とした研究プロジェク

後最新鋭の半導体洗浄装置組み立て工トを構築し、県の提案公募型産学官新実際の企業をモデルとして、現状分場を見学しました。

技術開発事業に提案・採択され共同研

析、課題の抽出、IT化計画の策定、IT⑤ IT化ツール展示会

究を実施しています。

課題● 3次元CADを活用した自動設計・製図・加工システム● WebサービスとものづくりIT● 京都試作ネット 企業ネットワークの取り組み● PLM−製品ライフサイクル管理のコンセプトおよび効果② IT化事例研究化対応策の実施などの過程を、コンサベンダー各社の協力を得て中小企

ルティングの専門家の指導を得ながら業向けERP／CRM／SCMパッケージ

会員も議論に参加しIT化実施過程を体製品等の展示と、会員企業による自験していく事業です。モデルとなる企社IT関連製品の展示を行いました。

業は会員企業から選定し、モデル企業自社のIT化を検討する際の各社の製研究会会長は滋賀県立大学工学部のにとっては自社の経営状況がある程度品を比較検討する機会の提供と、会沖野教郎教授、副会長は草津電機株式オープンにされるというリスクはあり員企業を知ることによる相互理解の会社の代表取締役会長北村辰雄氏と当ますが、自社のIT化がコンサルティン場の提供を目的としています。14年

センター所長の奥山博信です。

グの専門家の指導も含め多方面からの度10社の出展を頂き2日間に渡って開検討を得ながら進められるというメリッ催しました。また、4社には出展製品トがあります。の機能紹介などのプレゼンテーショ

平成14年度は2社の取り組みを行い、15年度は1社が事例研究取組中です。
③ 勉強会

会

員

会員は、現在法人会員35社、特別会員（大学の先生等）35名です。

ものづくりＩＴ研究会の略称
研究会略称を、M-SITE としていまンをしていただきました。

す。ものづくりIT研究会：Monozukuri⑥ その他(or Manufacturers ) Society for

研究会の事業を企画する運営委員

Information TEchnologyの頭文字からIT技術やものづくり効率化のための会や研究会総会および会員相互の親命名しました。SITEは単に位置をあら技術を身につけるために、技術体験や睦を深めるための懇親会なども開催

わす他、最近ではウェブサイトなどの技術視野を広げることを目的として「ネッしています。

言葉にあるように、情報の集積地としトワークアプリケーション分科会（略称：−2−ての意味を持ちます。このことから、「ものづくりの集積地」としての意味を込めて、M-SITEといました。

入会のご案内研究会ホームページ（URL : http:/M-SITEのマーク/m-site.shiga-irc.go.jp/）の入会のご案
内をご覧いただくか下記事務局までご問合せ・連絡先連絡下さい。なお、会費は1社年額

工業技術総合センター内 ものづくりＩＴ研究会事務局30,000円です。

TEL: 077-558-1500

担当：月瀬、小川、深尾E-mail：it-kenkyukai-jim@shiga-irc.go.jp

寄稿
京都工芸繊維大学 工芸学部 造形工学科
ネットワーク社会における教授 福田 民郎 氏
経営資源としてのデザインの活用
たみお

パラダイムシフト

命、資本主義、大量生産のための近代サービス、情緒などへの消費者の価値

日本の戦後に本格的なデザインとい的な経営組織、そして株式システムを基準の変化、流通面における貨幣中心う領域が製造業を中心として生まれて生み出した。20世紀末の大きな波は第の経済から電子マネーへの移行など多以来、50年余りを過ぎようとしている。

3次産業革命、情報通信革命、IT（情報面的でかつ多重的な変化が激しく進行

この間、復興、高度成長、バブルの崩技術）革命、ネット時代の出現などと呼しつつある。農業中心の経済社会が第壊と経済の停滞といった激しい変化をばれ、ITを基盤として、あらゆる場面1次産業革命により終止符を打たれたよ

そこに見ることができるが、その中でで世界的な変化を激しく起こしつつあうに、貨幣中心の経済が情報通信によ500兆円以上というGDP（国内総生産）をる。それは前の2回の産業革命に匹敵すり終焉を迎えそうな勢いである。

あげるまでになった日本経済を中心的る規模と影響力をもった社会革命、経日本は第2次世界戦後、第2次産業革に牽引してきた製造業におけるデザイ済革命として歴史に残ることが容易に命の経済競争における勝者になったが、ンは、世界の市場で一定の評価を得る予想できる。すなわち、社会基盤としその基盤は今、大きく揺らいでいる。

ところまで成長した。しかしながら、ては、工業社会から情報知識社会への80年代に4％だった経済成長率が90年代世紀末から始まった激しいパラダイムシフト、生産形態は大量生産からポスに0.4％まで低下したのもその証左の一シフトの中で、再び経営資源としてのトフォーディズムへの移行、経営感覚つである。先進国に追いつくことは成デザインのあり方、商品開発マネージは土地や資金を資源としたものから、功したが、大量の生産と消費、その後メントの再構築が今、求められている知識や環境を意識したものへの変革、の廃棄問題に今は直面し、戦後の考えといえる。

市場は大量生産品のためのマスマーケッ方や政策を含む国全体の基本的な戦略

世界的な規模で大きなパラダイムシ

トからITを利用したパーソナルマーケッの変革が求められていると言えるが、フトは、21世紀に入ってからも継続しトとも呼ぶことができるものへの変化、とりわけ戦後の発展を牽引してきた製ている。18世紀末に始まった第１次産

メディアはアナログのマスメディアか造業の企業経営が変革を求められてい業革命は機械化による動力革命であり、らデジタル・ネットワークメディアへる。大量生産、大量消費、大量廃棄の19世紀末の第2次産業革命は、生産革の移行、また、物質的価値から知識、産業社会が変化しつつある中、今世紀−3−

てない状況である。大量生産、大量消費の時代での手法が破綻し、次の時代に対する有効な策の構築は今のところ見えない。日本の本格的な製品デザインの歴史は戦後たかだか50年しか経験していないが、成功の後の次世紀に向かう、あるいは21世紀への戦略の構築が今こそ最優先で考えなければならないことである。組織とマネージメントは切り離して論ずることは出来ず、その観点からすると、ITを基盤とした社会の中で、経営も当然その方向に向かい、消費社会のあり方も大きく変化す
るなら、近代を支えてきた従来の経営組織も例外なく変化をし、モノ作りの位相もプロセスも変革を当然余儀なくされる。変化のパラダイムシフトをこ［ 図1 ］のように理解し、大量生産時代に有効における有効な経営基盤や体制の構築

経営資源の変化と一致していることはであった手段や方法にとらわれることが強く求められている。経営戦略と密非常に興味深い。すなわち、70年代まなく、新しいコンセプトや戦略などが接な関係を持つデザインにとっては、ではプロセス上のテクニック重視やス求められているといえる。それはデザそれは同時に製品デザインの問題でもタイリング中心で、80年代に入るとインという資源を経営資源の強力なひある。日本の製品デザインを取り巻くCAD、方法論、システムデザイン、デとつとして捉え、これを上手く活用す環境の変化は、大量消費社会におけるザインマネージメント概念などの導入、ることに他ならない。デザイン部門を画一的なマス市場の崩壊の兆し、エネ

90年代は感性工学、エコデザイン、イ持たない企業もすでに持っている企業

ルギーと環境問題の顕在化、横並びかンターフェイス、ユニバーサルデザイも、ネットワーク時代におけるデザイら個性の主張へ移るユーザーの意識、ンなど、そして次世紀はヴァーチャルンの活用、デザインの経営資源化を新インターフェイスに代表されるデジタデザイン、アートへの回帰、あるいはたに構築することが重要になってくる。

ル化への対応、本来のインダストリア強い作品性といったことなどが予想で今までの組織におけるデザイン部門

ルデザインの原点（多くの経営者や消費きる。時代の経営資源と製品デザインの位置は、近代経営組織が強固なヒエ者は、単なるスタイリングをデザイン界の動きが、内容的に奇妙に一致してラルキーを構築するなかで、やはりそであると誤解している）
でもあるユニバー

いるこの現象は、製品デザインが真のの一部に組込まれていた。外部の独立サルデザインの重要性の再認識などが意味で経営資源の中心になり得なかっ系のデザイン事務所への発注形態も、叫ばれ、大きく確実な変化を示しつつたことでもあり、常に経営資源の後追その発注元との関係は内部発注と形式ある。

いでもあったことを意味している［図上は同様である。組織もマネージメン

１］。勿論、戦後から現在に至るまでのトもその状況の中で最大効率に向けてキャッチアップの時代における製品デ努力してきた。しかし、90年代後半に製造業における経営資源の変遷は、ザインの役割は、世界市場での日本製入り、ITの積極利用によるハイブリッ

70年代までは土地、設備、資金、導入品の品質とデザインに対する高い評価ドな形態を採る企業が出てくる。社内技術など目に見えるもの、80年代は生から理解できるように、大きな貢献が外の日々の運営、デザイン部門の社内産技術を中心とした完成された技術力、あったことは決して否定できない事実

位置、グローバルな開発体制などに関90年代は一部革新的技術の発展とソフではあるが。

して、ITによる環境の再構築によって、経営資源の変遷とデザイントウェアであった。そして21世紀は情

このような変革の波の中で、デザイ

今までの場所と時間という縛られた条

報通信の技術と知的所有権が経営資源ン部門を持つ中規模以上の企業では、件から開放された新しいマネージメンの中心的役割を担うといわれている。

未だ21世紀での有効なコンセプトや手トとデザインプロセスの萌芽と理解でこの戦後の経営資源の変遷を製品デザ段を獲得できずにいると言える。あまきる。このように、本格的にネット社

インの分野における変化と比較すると、りにも早い変化に対して有効な手が打会が進行する中では製品デザインのマ−4−ネージメントとプロセスは根本的に変のプロジェクトが一つの作品を生む映とは、組織形態においては決して前世革せざるを得ない。例えば、組織面で画制作において、ハリウッドは圧倒的紀の階層モデルではなく、フラットなは固有部門としてのデザイン室の消滅、に成功を収め、アメリカ文化を世界的ネットワークモデルになり、商品開発大デザインセンター組織の解体など、に流布しているが、例えばそのようなプロセスはプロジェクトベースが有効

そしてプロセス面では、細分化されたプロジェクトベースを基本としてネッな戦略となる。デザイン部門を内部に生産工程という連続体の一部に組込まト社会の有利な点を戦略的に利用した保有する、保有しないにかかかわらずれたデザインではなく、今までのデザ活動形態が今世紀の主流になると確信

それらを執行できる人材の確保が、企イン部門にとっての上流の商品企画やできる。

業の今世紀における競争優位を決定す

下流の機構設計、金型、流通までも含んだ早期の開発体制、あるいは初期の段階で異分野、多分野の人員による製る。それは多人数である必要もなく一デザインの本来の目標は文化になりうるデザインの創出

人でも可能のことであり、また常に保有する必要もない。また、なければプ品創造体制などである。これらに関わ創造活動の目標は文化の創造である

ロジェクトが要求する期間、コンサルる組織やネットワークの構築がマネーとするならば、デザインから創出されティングなど外部の人材の採用もネッジメントの中心になり、創造プロセスる成果物、製造業ではとりもなおさずトワーク社会では可能である。多くのは、最小の資源、最短の時間で最大効製品であるが、それらのモノによる文企業の業種、業態、規模などで当然差率を生む形態が模索される［図2］。

化の創造に他ならない。企業における異はあるが、このようにプロジェクトデザインという資源を活用した商品開が必要とする期間で、ネットワークを創造的組織の構築とプロセスの革新

発活動は企業文化の創造であり、その利用して構築するという手腕やマネー

90年代後半に入り、創造にかかわる活動が価値を生み、社会貢献になり、ジメント力が経営側に問われている問組織においては、ITの積極利用による結果的にそれらを生んだ企業の利益を題であり、またデザイン側にもそのよハイブリッドな形態を採る企業が出て生み、さらにそれが新たな活動への再うな執行力を持つデザイナー、あるいくる。社内外の日々の運営、デザイン投資、好循環というサイクルに繋がる。

はデザインの真の意味を理解している部門の社内位置、グローバルな開発体

そのように考えると、製造業における人材の存在が不可欠である。経営とデ制などに関して、ITによる環境の再構

経営マネージメントにおいて、デザイザインにおけるこのような組合せがシ築によって、場所と時間という縛られンの活用は非常に重要な要素のひとつ

ナジー効果を挙げた場合に、創造活動た条件から開放された新しい創造プロとなる。ネット社会における最小資源は文化となり、デザイン資源が真の経セスの萌芽と理解できる。このように、でかつ有効な商品創造マネージメント営資源となる。

本格的にネット社会が進行する中では製品デザインのマネージメントとプロセスは本格的に変革の時期を迎えていると判断できる。例えば、組織面では固有部門としてのデザイン室の消滅、大デザインセンター組織の解体など、そしてプロセス面では細分化された生産工程という連続体の一部に組込まれたデザインではなく、今までのデザイン部門にとっての上流の商品企画や下流の機構設計、金型、流通までも含んだ早期の開発体制、あるいは初期の段階で異分野、多分野の人員による製品創造体制などである。これらに関わる組織やネットワークの構築とプロジェクトの設定がマネージメントの中心になる。ハリウッドビジネスにおける映画製作、イタリアのインパナトーレやコンバーター、あるいは古くは京都の悉皆制度などがその形態に近い。一つ［ 図2 ］−5−テクノレヴュー

シンクロトロン放射光の透明導電膜作製技術への応用
むねお

機能材料担当 佐々木宗生

1．はじめに事件における分析があげられます。世

現在、液晶ディスプレイを初めとす界で最もエネルギーが高いSpring-8（兵るフラットパネルディスプレイには、庫県）を用いて毒物（アジ化ナトリウム）

インジウム･スズ酸化物（Tin-dopedの分析が行われました。またマイクロIndium Oxide , ITO）という材料が用マシンを作製する技術もこのSRを用いいられています。ITOは図１に示すよて盛んに開発されており、SRを用いたうな結晶構造を有します。酸素の欠陥

マイクロマシニング技術によるベンと不純物であるスズ（Sn）のIn原子位置

チャー企業も活動を始めています。との置換によるキャリア（電子）の放出

このSRと物質の間では、日常的な化のために、酸化物でありながら、電気学反応とは異なる興味深い反応を得るを通すという性質を持っています。そことができます。SRの材料科学に対すのため、この材料は図２に示します液

る大きな特徴として、電磁波が物質中

図2 ＴＦＴ液晶ディスプレイの構造

晶ディスプレイ中では、液晶を駆動さの内殻電子と最も効果的に相互作用をせる透明な電極として用いられていま起こす真空紫外から軟Ｘ線領域で強力

ＴＦＴと液晶およびカラーレジストと液晶の間に透明導電膜としてITO膜が用いられている。

す。しかし、十分な低抵抗・高透過率な光が得られることがあげられます。

を示すためには、作製時に基板温度をこの光は、内殻電子に直接作用する（内高温にし、プラズマ中でITOを薄膜化

殻励起反応、図４）ため、通常の光や熱する必要があります。このため、熱にで起こる反応と異なる、熱的に非平衡弱いカラーレジストと呼ばれる有機材な反応を起こすことが可能となります。

料やディスプレイの軽量化のために用

そのため、放射光を物質に照射するこいられるプラスチック材料への成膜は、とにより、通常では起こらない物質の非常に困難とされてきました。

結晶化や特定の結合を選択的に切断す今回ご紹介する技術は、有機物などの低耐熱性材料へITO膜を生成するたる脱離現象などが確認され、新規材料の開発が期待されています。

めの技術です。この技術ではシンクロ

本技術では、このSRと物質との相互トロン放射光と呼ばれる光を用いるこ作用（内殻励起反応）
を用いて、ITO透とにより、通常のITO膜作製法である

明導電膜の低抵抗化を行いました。

図1

ITOの結晶構造 大きい●がInおよびSn原子、小さい●がO原子を示す。

液晶駆動用

図3 SRのスペクトル（立命館大学Rits SR）立命館大学Rits SRのビームライン14のスペクト
ル。◆は試料照射位置でのスペクトル、◇はBe窓を通したときの試料照射位置のスペクトルを示す。
幅広い波長域で輝度の高い光が得られることがわかる。

スパッタリング法よりも低温で、低抵抗のITO膜を作製することができます。
この技術は、立命館大学との共同研究により開発しました。

3 ．シンクロトロン放 射 光 による
ITO透明導電膜の低抵抗化今回用いたITO膜は、RF-マグネトロンスパッタリング装置を用い、基板温2 ．シンクロトロン放射光（S R ）と物質の反応度約20℃で作製しました。スパッタリ

シンクロトロン放射光（SR）は、電子起こし、酸素ガスを反応性ガスとしてを円形加速器中で光速近くまで加速す導入しました。通常のITOスパッタリ

図4 内殻励起反応で発生するオージエ過程の模ることにより発生する光で、赤外線かングで導入する酸素ガスは1%未満です

式図 光によって内殻励起が引き起こされた後のオージエ過程の概略を示す。(a)は内殻イオン化でらＸ線の広い波長範囲で、非常に指向が、本技術では、SR照射による酸素脱性が強く、明るいという性質を持って離が起こることを考え、4%としまし

内殻電子は光電子として外部に放出される。(b)、(c)は内殻共鳴励起で内殻電子は外殻の非占有軌います（図３）。SRの利用としては、身た。このため照射前のITO膜は、少し道にとどまる。オージエ過程を経て、(a)は２価のイオン、(b)、(c)は１価のイオンとなる。本技術では、放近な話題として、和歌山のカレーヒ素

歪んだ膜になっています。ITO膜の厚ングでは、アルゴンガスでプラズマを−6−

射光照射により酸素がイオン化され、脱離し、SnがIn原子位置に置換する。

さは160nmとしました。

す。以上のように、SR照射は、ITO透スパッタリングで作製したITO膜に、明導電膜の低抵抗化に有効であり、照立命館大学SRセンターの放射光施設を射条件により、低抵抗ITO透明導電膜利用してSR照射を行いました。図５にを低温で作製する技術を開発しました。

立命館大学SRセンターのBeam line 14

ITO膜以外にも、窒化炭素膜や強誘（BL-14）の概略図を示します。SR光源

電体材料などさまざまな材料についてからは、分光されていない白色光が放も、SR照射による内殻励起反応を用い射されます。この白色光を、ミラー（シた興味深い結果が得られており、今後リンドリカルミラー）で集光し、ITO膜のSR照射による材料開発技術の発展がに照射しました。

期待されます。

図5

立命館大学ＳＲセンター BL-14の概略

図 光源から試料照射部までの距離は3.7m、シリンドリカルミラー及びトロイダルミラーを設置している。試料に照射されるSRは白色光。

図６にITO膜の電気特性のSR照射量依存性を示します。SR照射量が増加す−2−44．最後にるに従い、10 Ω.cm台から10 Ω・cm

本技術は、立命館大学との共同研究台へと約2桁、抵抗率が減少しているこで開発しました。ともに研究を進めてとがわかります。SR照射時のITO膜のいただきました立命館大学の方々に感表面温度は約160℃であり、通常の作製謝の意を表します。シンクロトロン放法での温度（250℃から300℃）に比べて、射光施設は、非常に高価で特殊な設備低温での処理が可能となりました。比です。企業や研究機関などが単独で所較のため、市販されているITO膜の抵有することは、なかなか困難です。しを図６に示しま抗率（1.5×10−4Ω・cm）

かし、立命館大学のような外部に開放した。低温での処理にもかかわらず、されている設備を有効に利用すること市販のITO膜と同等の抵抗率をもつITOにより、今後も放射光を利用した新し膜が形成されていることがわかります。

い技術の開発や産業の創出が期待され熱処理と比較した結果、SR照射では、ます。また、特殊な光（SR）
からより一ホール移動度は大きく減少せず、約般的な光（レーザーやX線、紫外線など）40cm2V/sという大きい移動度を維持しへSR利用技術をフィードバックするこ続けることが明らかになりました。SRとによる既存技術の新たなる展開も期照射による効果は、熱的な影響が少な待できます。

く、内殻励起反応によるイオン化をと参考文献：菅野暁、藤森淳、吉田博編、 新しいもなった脱離現象が電気特性の向上に

放射光の科学 講談社サイエンティフィク（2000

関与していることがわかりました。こ年）の反応では、酸素が脱離し、不純物と本技術開発の成果により、「酸化物透して添加しているSnがITO膜中で図７明導電膜の物性・構造変化の機構に関に示しますInの原子位置と置換するこする研究」の題で、2003年9月に立命館とにより活性化し、酸素欠陥とSn活性大学より博士号を授与されました。ご化による電子放出のために、キャリア指導いただきました諸先生方に感謝いである電子が増加し、抵抗率が低下したします。

図6 ＳＲ照射によるITO膜の電気特性の照射量依存性 縦軸に、抵抗率、キャリア濃度、ホール移動度、横軸にＳＲ照射量を示す。横軸の照射量は、ＳＲ照射中の放射光源蓄積電流の積算値で照射量を示す。

図7 ITOにおけるSn原子のInサイトへの置換
固溶位置 ●はSnイオン、○はOイオン、○は準陰イオンサイトである空孔を示す。酸素6配位のbサイトとdサイトはドナーとしてSnは働くことができるが、7配位・8配位のサイトはドナーとなれず中性不純物散乱の中心となり、移動度を低下させる原因となる。ていることがわかりました。また、SR照射により、ITOの結晶子が成長していることが図８の透過電子顕微鏡写真からもわかります。SR照射による結晶性の向上と結晶中の過多酸素の脱離による歪みの減少（X線回折による評価より）のため、キャリアの移動がスムーズに行われ、その結果、キャリアの増加にもかかわらず移動度が低下しないことが、低抵抗率化の要因と考えられま

（ａ）

（b）

図8 ITO膜の透過型電子顕微鏡写真 （ａ）
はＳＲ照射前の電子顕微鏡写真、(b)は積算照射量3.50mA・hrのＳＲを照射したときの電子顕微鏡写真を示す。

−7−

おしらせ
受講者募集（第225期技術研修

食品／医薬品／化粧品技術者のための食品衛生管理技術講座）

食品の安全性を守る衛生管理システムの構築に向けて食品業界では安全で高品質の食品を生産し、供給するのが社会に対する大きな責務であり、生き残る条件です。本講座では、安全で高品質な食品を製造するために不可欠な「衛生管理方法の基礎から実際例まで」を実務者向けにやさしく解説します。
またSSOP(衛生標準作業手順書)の作成・手順・手法について解説します。
研修期間 .................. 2004年2月25日
（水）
、26日
（木）
、27日
（金）
3日間 18時間
研修場所 .................. 工業技術振興会館3F研修室（滋賀県工業技術総合センター別館）
募集定員 .................. 15名（定員になり次第締切らせていただきます。受講者が少ない場合は、開講を中止することがあります。）
研修カリキュラム受講対象者 .............. 食品・化粧品・医薬品の衛生管理、品質管理に携わっている方食品関連設備・施設に関連する方
受講料 ........................ 29,000円（消費税込）
問合せ先

滋賀県産業支援プラザ 技術支援課
TEL: 077-558-1530

No.77
平成16年2月13日発行

ご意見・ご要望などございましたら、工業技術総合センター嶋まで、お気軽にお寄せ下さい。

滋賀県工業技術総合センター

信楽窯業技術試験場

520-3004 栗東市上砥山232
TEL 077-558-1500 FAX 077-558-1373 http：//www.shiga-irc.go.jp/529-1804 甲賀郡信楽町長野498
TEL 0748-82-1155 FAX 0748-82-1156

この冊子は再生紙を使用しています−8−