No.65
2001/2

発行

滋賀県工業技術総合センター
Industrial Research Center of Shiga Prefecture
http：//www.shiga-irc.go.jp/

contents
情報 .........「中小企業経営革新支援法」の概要「中小企業創造活動促進法」
による支援
研究 ......... ゾルーゲル法を用いた光機能材料の作製
機器 ......... 振動・騒音を計測する
おしらせ .... 産業支援情報メール配送サービス

地域産業技術セミナー「滋賀県産業技術立県会議」開催される
さる１
１月２
９日、大津プリンスホテルにおいて、滋賀県、（財）滋賀県産業支援プラザ、（財）
日本産業技術振興協会の３者主催により、「滋賀県産業技術立県会議」が開催されました。
会議には、梶村通商産業省工業技術院長、滋賀県知事ほか県内外から産業活動や技術開発にかかわる人々が幅広く参集し、「新世紀を拓く新たな技術開発を目指して」をテーマにこれからの技術開発や産学官連携のあり方についてともに考え、その大切さを再認識する場となりました。
最後に当日の会議の内容を受け、技術立県滋賀の確立とたくましい経済県の実現を目指し「技術立県滋賀宣言」が採択され閉幕しました。会議の概要は以下のとおりでした。
基調講演：「産業技術政策の今後の方向」
梶村皓二 通商産業省工業技術院長
最初に新産業の創出という観点を踏まえた産業技術政策の今後の方向についての話があり、１２年度以降の通産省の重点政策として、柔軟な事業・雇用環境の整備、ＩＴ革命への対応、技術革新の新しいあり方、制約要因の成長要因への転換の４つの具体的な政策の説明がありました。
次に、今後の技術革新の柱になると言われているナノテクノロジ

特別講演：「21世紀に向けた東レの技術戦略」
下川洋市 東レ株式会社代表取締役副社長
現在の日本企業特に製造業の置かれている現状について、経営資源コストの内外価格差、を例示しながら世界的視野に立って説明があり、このような中でこれからの製造業が取り組むべき課題として、技術革新による市場開拓、成長分野への経営資源の重点的な投入、そしてすべてのもととなる人材育成が重要であるとの認識が示されました。

パネルディスカッション「産学官の新しいパートナーシップが築く技術立県滋賀」をテーマに、産学官それぞれの分野からコーディネーターとパネリストを招いて行われました。その中で國松知事は、工業技術センター、レンタルラボ、レンタルファクトリーの充実など新しい県の取り組みを紹介するとともに「琵琶湖を中心とした滋賀県は自然と人間のあり方を考える大変よい場所であると思っている。癒しの効果のある湖の周りに、企業、大学が立地する滋賀県に、今日の会議の成果を生かして、皆さんー、つまり原子とか遺伝子の大きさの現象をあつかう技術について具とともに人と環境にやさしい産業を創っていきたい。」と体的事例を挙げて分かり易く解説がありました。

参加者の協力を求めました。

「技術立県滋賀宣言」
を発表する國松滋賀県知事

中小企業支援情報
滋賀県商工労働部の中小企業支援策「中小企業経営革新支援法」の概要「中小企業経営革新支援法」
は、経済環境の変化に即応して、創意ある向上発展に積極的に取り組む中小企業を重点的に支援するため、平成１１年７月に施行された新しい法律です。
中小企業や組合などが、所定の様式により「経営革新計画」を作成し、この計画について法に基づく知事の承認を受けますと、計画期間中、金融・税制・補助金など幅広い支援措置を利用することが可能となります。

【主な支援策】①経営革新支援対策費補助金
新商品新技術開発事業等に要する経費の一部補助②政府系金融機関による低利融資制度③高度化融資制度④課税の特例
設備の特別償却・欠損金の繰戻し還付等⑤中小企業信用保険法の特例
信用保証の別枠設定⑥中小企業投資育成株式会社法の特例承認を受けるには原則として、全業種の中小企業、そのグループ、組合等が申請できます。申請者の作成する経営計画が、「新たな事業活動を行うことにより相当程度の経営の向上を図る」内容であることが承認の要件となります。

承認の手続きは申「新たな事業活動」とは次のいずれかに当てはまる事業活動をいいます。
①新商品の開発または生産②新役務の開発または提供③商品の新たな生産または販売の方式の導入④役務の新たな提供の方式の導入その他の新たな事業活動

請者

申請受付窓口（県庁担当課）
工業案件：新産業振興課で担当商業案件：中小企業振興課で担当

承「相当程度の経営の向上」とは経営目標として、企業全体の「付加価値額」
または「従業者一人あたりの付加価値額」を指標として選択し、５年計画の場合、５年後の目標伸び率が１５％以上見込まれる内容である必要があります（３年間の場合は９％以上、４年間の場合は１２％以上の伸び率）
。

認

審

査

受付窓口（県庁担当課）
承認通知
調
査
指導助言申｝

実施状況報告

請

者

15％以上

100

115以上

直近期末の付加価値額

5年後の付加価値額

承認の状況は一昨年７月施行以来、昨年１２月末までに全国で３，３３４件が承認されており、滋賀県では、１２件を承認しています。業種別には、新商品開発などに取り組む製造業（７件）が半数以上を占めますが、新たな役務を提供する小売業（２件）、運輸業（２件）サービス業（１件）などの承認もあり、業種的な広がりをみせています。

※負荷価値額＝営業利益＋人件費＋減価償却費

支援措置は
経営革新支援法により承認された「経営革新計画」を実施する中小企業の方には、次のような支援措置が用意されています。
ただし、それぞれの支援措置の利用にあたっては、計画の承認を受けた後、各機関の審査を別途受けることとなりますので、経営革新計画の承認が、希望する支援措置を受けられることを保証するものではありません。

問合せ先
商工労働部新産業振興課地域産業係：井上（工業関係）
077−528−3796（直通）
商工労働部中小企業振興課振興担当：曽根（商業関係）
077−528−3731
（直通）
−2−

中小企業支援情報「中小企業創造活動促進法」
による支援
創業や研究開発・事業化を通じて新たな事業分野の開拓を行おうとする方に「中小企業創造活動促進法」
は、創造的事業活動を行う中小企業の方を支援するための法律です。
この「創造的事業活動」とは、創業や研究開発・事業化を通じて、新製品・サービス等を生み出そうとする取り組みのことを言います。
認定を受けるには研究開発を行おうとする中小企業者等は、研究開発等事業計画（研究開発、事業化、需要開拓等の内容）を作成し、知事からの計画の認定を受けることにより、下図のような支援が受けられます。
（支援策の利用を希望する場合には、知事による計画認定に加え、個別の支援策ごとに支援機関の審査や確認を受ける必要があります。）

中小企業創造活動促進法の体系図
中小企業者等

対象者：事業を営んでいない個人（これから創業する方）も対象

特定中
小企業
者

①製造業、印刷業、ソフトウェア業、情報処理サービス業に属する創業5年未満の者

設備投資減税②売上高に対する試験研究費の割合が3％を越える者

投資育成会社の投資制度の充実③売上高に対する試験研究費の割合が3％を越える創業5年未満の者、および5％を超える創業10年以内の者

個人資金の調達の促進（エンジェル税制等）

新たな技術に関する研究開発およびその事業化を行う中小企業者等

指定支援機関（ベンチャー財団）による直接金融支援

注1：特定中小企業者に該当する方も対象
注2：業種の限定なし

研究開発等事業計画の作成①滋賀の新しい産業づくり促進費補助金【滋賀県新産業振興課】②滋賀の新しい産業づくり促進資金【産業支援プラザ】③滋賀21ベンチャー創造事業【産業支援プラザ】④設備投資減税等関連税制【税務署】⑤リース事業者等のリース・割賦制度【中小企業総合事業団】⑥政府系金融機関の融資制度【中小企業金融公庫等】⑦中小企業投資育成（株）の投資制度【大阪中小企業投資育成㈱】⑧中小企業事業団の高度化融資制度【中小企業総合事業団】⑨エンジェル税制【近畿通産局新規事業課】⑩新株引受権（ストックオプション）の付与の特例

認定審査会（事業活動指針）

滋賀県知事の認定支援策実施機関の手続・審査

問合せ先

滋賀県商工労働部新産業振興課
077−528−3794
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研究紹介

ゾルーゲル法を用いた光機能材料の作製
工業技術総合センター 機能材料担当

前川 昭

ゾルーゲル法は、溶液から出発し、溶液−ゾル−ゲルの変す。出発溶液中に無機または金属微粒子の原料を入れてお化に基づいてゲル、ガラス、セラミックス、ナノコンポジットなき、
この加熱によって微粒子を析出させると微粒子が分散しどの材料を合成する方法です。粉末成形体の焼結によるセた機能材料が得られます。
また、この加熱により、粒子の焼結ラミックスの作製、粉末混合物の溶融によるガラスの製造なが起こって細孔がなくなり、ゲルは緻密な透明ガラスやセラどの高温加熱を必要とする方法に比べて著しく低い温度でミックスとなります。

材料が合成できるので低温合成法です。
また、真空蒸着、スこのようなゾルーゲル法を用いて、従来の方法では作製しパッタリング、化学気相蒸着などの気相法と違って液相法にくいといわれていました以下の光機能材料を立命館大学（湿式法）であり、どちらかといえば、化学反応に基礎を置く材

理工学部応用化学科小島教授との共同研究で作製しました料合成法です。

ので、その概要をご紹介します。

ゾ金ルーゲルプロセスとはまず、ゾルーゲルプロセスについて説明します。

属微粒子含有シリカガラスの作製

金属微粒子含有シリカガラスは光通信時代のフォトニクス

ゾルーゲル法のプロセスの概要を図−１に示します。

材料として光コンピュータなどのスウィッチング素子として期まず、出発溶液を調製します。
このためには、酸化物を作る待され、高い３次の光学非線形性を有している材料です。

場合、原料化合物として金属のアルコキシド、アセチルアセ

現在は、溶融法で作成されていますが、酸化還元反応の制御トナト、酢酸塩などと加水分解に必要な水、溶媒としてのアルや熱処理の処理条件の設定が難しいといわれています。

コール類、触媒としての酸または塩基、必要に応じてその他・金微粒子含有シリカガラスの作製の化合物を混合し、均質溶液とします。

金微粒子含有シリカガラスは図−２に示した方法で作製し調整溶液を加水分解と重縮合を起こさせると酸化物粒子ました。テトラエトキシシリコンの加水分解は２段階加水分解が分散して液体のゾルになり、さらに反応を進めると粒子が法を用い、第二加水分解時の触媒には塩基であるアンモニつながってゲルになります。ゲル化した時点でゲルが水や溶ア水を使用しました。
ゾルーゲル法で加水分解の触媒には、媒を含んでいるならばこれを蒸発させて乾燥ゲルとします。

酸と塩基がありますが、バルク体を作製する場合、酸より塩

乾燥ゲルはふつう多孔質です。

基の方が、細孔径が大きくなり乾燥時に割れにくくなるためこの乾燥ゲルを数百℃またはそれ以上の温度で加熱するアンモニア水を使用しました。
そのため作製した乾燥ゲルのと、ゲルはガラスやガラスに近い状態になって強度が増しま比表面積は１０００ｍ２／ｇという大きな値を持っています。
これ

各種原料
Si(OC2H5)4

混合溶液

First Hydrolysis(HCl)〈100℃以下〉

ゾル

Second Hydrolysis(NH4OH)〈100℃以下〉

NaAuCl4

湿潤ゲル
Gelling〈150℃以下〉

乾燥ゲル

Drying〈数百℃以下〉Gelled mass

加熱ゲル

Heating〈1200℃以下〉

Au-doped glass

ガラス･セラミックス
図−1 ゾル−ゲル法のプロセス

図−2

−4−

金微粒子含有シリカガラスの作製方法

が図−３に示すように熱処理により収縮し１０００℃で比表面積が１０ｍ２／ｇ以下になり緻密なガラスとなります。
また、比重の変化からも同様の挙動が見られ、１０００℃で熱処理したものは溶融法で作製した石英ガラスとほぼ同じ比重（２．
２）でした。
また、熱処理により図−４の光吸収スペクトルに示すように金微粒子特有のプラズモン吸収による金赤の発色が見られ、ガラス中に金微粒子が析出したことがわかります。
このガラスの３次の光学非線形性は溶融法で作製された金赤ガラスとおなじオーダーでした。
（χ３：３．
６×１０−１３e.s.u)
・銅微粒子含有シリカガラスの作製
銅微粒子含有シリカガラスは、図−５に示した方法で作製しました。骨格のシリカガラスは金微粒子含有シリカガラスと同様のテトラエトキシシランをアンモニア水を触媒として、加水分解して作製しました。銅微粒子は熱処理だけでは作製で図−4きないので、銅イオンを還元する必要があります。
この作製

熱処理によるゲルの吸収スペクトルの変化

物は、多孔質であるため内部までガスが進入できます。
このため、銅イオンを還元力の高い水素ガスで直接還元する方Si(OC2H5)4法を採用しました。

First Hydrolysis(HCl)

その結果、図−６の光吸収スペクトルに示すように銅微粒

Second Hydrolysis(NH4OH)

子のプラズモン吸収による銅赤の発色が見られ、ガラス中Cu(CH3COO)2･H2Oの銅イオンが水素により還元され、銅微粒子が析出したこと

Gellingがわかります。
また、
このガラスの３次の光学非線形性も前述

Dryingの先に作製した金微粒子含有シリカガラスと比べて二桁大Gelled mass

きい値を示しました。
（χ３：３．
０×１０−１１e.s.u）

Pre-Heating
H2-Reduction Heating

Cu-doped glass
図−5 銅微粒子含有シリカガラスの作製方法

図−3 加熱処理によるゲルの比表面積の変化

−5−

図−6

水素雰囲気下での加熱後の試料の光吸収スペクトルエ

ルビウム含有重元素酸化物膜の作製処理する事により、図−８、９のＸ線回折パターンからそれぞれの酸化物の結晶のピークが見いだされ、結晶が析出している

赤色の半導体レーザー光を緑や青色に変換させる方法にのが分かりました。
また、結晶が析出したいくつかの膜試料で希土類元素のエルビウムなどのアップコンバージョン蛍光＊

図−１０に示したように赤色レーザーの入射光に対して緑色アを利用する方法があります。ベースの材料に重元素の酸化物ップコンバージョン蛍光が観測されました。

を用いれば高いアップコンバージョン効率があると期待されます。
しかし、重元素の酸化物は高い融点のため、ほとんど研＊究が進んでいませんでした。そこで、ゾルーゲル法の特徴でギーより低いエネルギーの光が蛍光として放射されるのです

ある低温での合成が可能であることを利用して作製を試みが、入射光のエネルギーよりも高いエネルギーの光が放射さました。

れる蛍光をいう。

アップコンバージョン蛍光：一般に蛍光は、入射光のエネル・エルビウム含有タンタルおよびニオブ酸化物膜の作製
エルビウム含有重元素酸化物として融点の高い（約千数百

このように、ゾルーゲル法は金属微粒子含有ガラスや希℃）のタンタル及びニオブの酸化物膜の作製を試みました。

土類元素含有重元素膜などいままで作製しにくかった光機作製方法を図−７に示しました。
タンタルやニオブのアルコキ

能材料などの新しい材料が比較的容易に特別な装置を使用

シドは加水分解しやすいため、溶液中で酸化物の沈殿などしないで作製できる方法といえます。

が生じるため均質な溶液が得にくく、このため加水分解速度

なお、これらの研究の詳細は、滋賀県工業技術センター研を制御するために有機化合物をもちいて錯体を形成させ、加究報告（１９９３）〜（１９９７）を参照下さい。

水分解速度を緩やかにしました。今回は、いくつかの有機化また、現在は光触媒や他の機能を持った酸化物膜などの合物を検討し、ジ−ｉ−プロピルアミンを用いました。この結研究を進めています。

果、均質で透明な膜が作製できました。次に作製した膜を熱(i-C3H7)2NH

C2H5OH

M(OC2H5)5
M=Ta,Nbin dry N2

H2O/C2H5OH

図−9Er(C3H7O2)3･2H2O/C2H5OH

ニオブ酸化物のコーティング膜のX線回折パターンの熱処理による変化

Coating Solution
Dip CoatingDrying
HeatingFilm sample

図−7 エルビウム含有タンタルおよびニオブ酸化物膜の作製

図−8
タンタル酸化物のコーティング膜のX線回折パターンの熱処理による変化

−6−

図−10

Er3＋含有薄膜のアップコンバージョン蛍光機器紹介

振動・騒音を計測する
工業技術総合センター 機械電子担当

藤井利徳

最近の工業製品の傾向として、基本性能が高いだけでなく、環境に対する負荷が少ない製品に注目が集まっています。振動・騒音といった問題に関しても消費者の要求がきびしくなり、より振動の少ない製品、より静かな製品が求められるようになりました。そのような製品の開発には、製品の振動・騒音特性について試験をし、データを収集・解析するための計測機器が必要です。
今回は、当センターで所有している振動・騒音関係の計測機器を紹介します。

収集する振動・騒音データを振動を計測するためのセンサーには多くの種類があります。大きくは接触式と非接触式に分類されます。接触式センサーとして代表的なものに、圧電式加速度計があります。
圧電式加速度計の利点としては、取扱いが簡単で計測が容易であることがあげられます。
しかしながら、センサーを直接供試品に取り付けなければならず、センサーの重量が供試品の振動状態に影響を与えること
圧電式加速度計があります。
非接触式のセンサーとしては、レーザー変位計、レーザードップラー測定器、非接触振動解析システムなどがあります。
これらのなかでも非接触振動解析システム（OMETORON社、VPI RapidScan）
は、原理としてはレーザードップラー測定器ですが、内蔵されているミラーを制御してレーザーを走査させることにより多点の振動データを測定することができます。
この装置により、軽量物の振動モードが容易に測定できるようになります。
騒音を計測するための機器としては、騒音計やマイ非接触振動解析システム

クロフォンを所有しています。計測した振動・騒音デー
タはデータロガーなどを用いて、デジタルで記録でき、各種解析装置にデータを受け渡すことができます。

データロガー−7−おしらせ（機器紹介の続き）

産業支援情報メール配送サービスの登録受付中

滋賀県工業技術総合センターでは、平成１２年８月より、滋賀県東北部工業技術センター、滋賀県商工労働部商工観光政策課、中小企業振興課、新産業振興課、（財）
滋賀県産業支援プラザ、（社）
発明協会滋賀県支部と共同で、「産業支援情報メール配送サービス」の運用を開始いたしました。
従来より県内企業の皆様には、機関誌やダイレクトメール等によって各種情報をお届けしてまいりましたが、本サービスは、これまでのサービスと並行して、上記の各機関が提供する各種イベント（セミナー、研修、講習会など）の情報や産業振興施策に関する情報を、直接企業のご担当者の皆様のお手元まで電子メールによってタイムリーにお届けするものです。
登録のお申し込み手続きは簡単!! ホームページ（http://www.shiga-irc.go.jp/ircsnews/）にアクセスし、入力フォームへ必要事項を入力いただくだけで、いつでも自由にご登録いただけます。

FFTアナライザ解析する振動・騒音を収集した振動・騒音データを詳細に調べるために解析装置を用います。一般に振動のデータには発生源の特性や供試品の伝達特性に違いがあるため、いろいろな周波数成分の振動が含まれています。

海FFTアナライザは、収集したデータから周波数ごとに成分を取り出すための装置です。FFTアナライザを用いることで、「大橋ナタリアです。よろしくお願いします。」と、流暢に日本語を話す女性はアルゼンチンから滋賀県へ研修にやって来たプロダクトデザイナーです。平成１２年９月〜１３年３月までデザインの研修をしています。
当センターではコンピュータによるデザイン表現の手法を学習また滋賀県立大学へ出向いて、学生と一緒にストリートファニチャー（都市計画の一部）の企画提案等を行ってます。
時々アルゼンチンの友達とメール交換をしているのはご愛敬です。
仕事中は難しい顔をしていますが、話してみると関西のノリというか冗談がわかる海外研修生ですので、見かけた時には気軽に声をかけてください。

供試品の固有振動数や減衰率などを求めることができます。
さらに、A特性フィルタやC特性フィルタも内蔵しているので、マイクロフォンをつなげることで騒音測定も行えます。
モーダル解析装置を用いると、供試品の固有振動数や固有振動モード、減衰率を求めることができます。
コンピュータ上で作成した供試品のモデルと振動データを組み合わせることで、実稼働や周波数領域でのアニメーション表示も可能です。
また、コンピュータ上のモデルに形状の変更を加えることで振動状態の変化をシミュレーションで確かめることができます。
以上、紹介しました装置は、すべて設備使用機器として開放しているものです。機器の詳細について質問等ありました
らお気軽にお問い合わせください。
問合せ先工業技術総合センター
機械電子担当外技術研修生、「大橋ナタリアです。」

077−558−1500

Vol.65平成13年2月10日発行

ご意見・ご要望などございましたら、工業技術総合センター横江まで、お気軽にお寄せ下さい。

滋賀県工業技術総合センター

信楽窯業技術試験場

520-3004 栗太郡栗東町上砥山232
TEL 077-558-1500 FAX 077-558-1373 http：//www.shiga-irc.go.jp/529-1804 甲賀郡信楽町長野498
TEL 0748-82-1155 FAX 0748-82-1156

この冊子は古紙配合率４０％の再生紙を使用しています−8−