企業と共に歩む技術支援の拠点をめざします。
発行

滋賀県工業技術総合センター
http：//www.shiga-irc.go.jp/
content【トピックス】「年頭雑感」【テクノレビュー】
XAFS による非晶質材料の局所構造解析【研究会活動】
ものづくり I T 研究会、環境効率向上フォー
ラム、滋賀県品質工学研究会【機器紹介】
マイクロビッカース硬さ試験機【おしらせ】
利用目的達成度アンケート結果、機器使用料および依頼試験手数料全面改定、広告募
集

topics「年頭雑感」

所長 中村吉紀

あけましておめでとうございます。本年でと違う点は、1 つは世界的に同時進行し争力が試されるということでもあります。

も当センターをよろしくお願い申し上げます。

ていること、2 つ目はそのスピードが異常

滋賀県は全国的にみても、人口増加、交さて、昨年は百年に一度ともいわれる大であること、3 点目は自動車など牽引役の通アクセス、住みやすさ等に恵まれた好条

変動の年となりました。秋口の金融危機か産業が総崩れの状態にあることです。今回件のそろっている県です。企業の立地もこらわずか 2，3 ヶ月で景気と雇用が一気にの事態は、これまでの不況を乗り越えてき

こ数年間比較的順調でした。さらに、この悪化しました。今後、この状況がどこまでた日本にとっても更なる大きな試練といえ20 年間で大学の開設もあいつぎ、産学官広がるのか大変心配されるところです。企るでしょう。

連携の仕組みも大いに整備が進みました。

業の皆さんには、あまりの急変に非常にごしかし、過去幾多の苦難も克服してきた

これら有利な条件や資源、仕組みを活用し苦労されていることと思います。問題はこ国民です。経済や雇用の問題についても紆て、いかにして地域のイノベーションにつの景気後退がどこまで進むのか、対策をど

余曲折はあるものの、きっと新たな解決のなげられるかが、我々に課せられた大きなうするか、今後何に取り組むべきか、等々

糸口をつかむことができるものと信じてい責務といえるでしょう。地域が一体となり腐心されていることと思います。

ます。

それぞれが持つ資源の相互乗り入れ、相互県ではこの状況を受けて、昨年暮れに知

さて、滋賀県はとりもなおさず、製造業活用を進めることができれば、全国でもト事を本部長とする「滋賀県緊急生活・経済・の生産割合が全国平均の約 2 倍という全ップレベルのすばらしい県にすることがで

雇用対策本部」を立ち上げ、県の総力をあ国 1 のものづくり県です。今回の事態できると思います。

げて対応することになりました。

は、本県製造業の体質が問われることにな

そのためにも、当センターとしてはより

90 年代にはバブル経済の崩壊、またると思います。すなわち、これまでの比較

多くの企業の方々にご利用いただけるよう、

2000 年代初頭にはＩＴバブルの崩壊が的好調であった県内産業が、労働集約型でまた利用者皆様方の満足度をより高めるたあり、この 20 年のあいだだけでも日本ははなく技術集約的な構造であったかどうか

めに、県内企業のよきパートナーとして質・

2 度にわたって大きな景気後退を経験してが審判されるということです。当然、個々量の両面から技術支援の充実に努めてまいきました。ただ、今回の景気後退がこれまの企業や事業所についてもその技術力、競ります。

http://www.shiga-irc.go.jp/

テクノレビューXAFS による
非晶質材料の局所構造解析
解説

XAFS：X-ray Absorption Fine Structure

機能材料担当山本和弘--- はじめに複数の価数を持つ元素が物質中でどのよ

構造を理解しておくことは非常に重要と放射光施設の建設が日本各地で行われうな割合で存在するのか、また異なる配なります。

ており、代表的な日本の放射光施設とし位数を持つ場合などに有効な解析方法--- 測定を行うための装置ては兵庫県相生市にある Spring-8 が挙となります。EXAFS の領域は XANESXAFS 測定を行うための X 線源には、げられます。県内に目を向けると立命館より高エネルギー側の約 1 keV の範囲

単一エネルギーである特性 X 線ではな

大学では小型放射光施設が建設され運用を指し、吸収端よりも高エネルギー側でく、連続 X 線と呼ばれる広範囲の X 線が開始されています。放射光施設では目

X 線の吸収量に変動（振動）が観測されのエネルギーを放出できるものが必要的に応じて様々なビームラインが建設さます。この振動の振幅と周期は X 線吸です。そのための手段として、大きくれており、代表的なものに XAFS ビー

収元素に配位している元素の種類、数、二つの手段があります。加速器で光速

ムライン、光電子分光ビームライン、回距離などによって変化します。つまり、まで加速された電子を蓄積リングへ入折ビームライン、LIGA ビームラインな

この振動構造を解析することで配位元素射し蓄積リングから得られる連続 X 線

どが挙げられます。今回は XAFS の特の数、結合距離などの情報を得ることがを利用する（放射光施設）場合と、管球徴を述べ、解析例を挙げてその利点を紹できます [1]。

型の線源からの制動放射により得られる介します。

---XAFS の利点

連続 X 線を利用する場合（実験室）で---XAFS の成り立ち

XAFS は構造解析の手法として特徴す。日本での放射光施設の代表的なもの

今 回 紹 介 す る XAFS と は X-ray

的な利点を有しています。構造情報を得は上述した兵庫県の Spring-8 や茨城県

Absorption Fine Structure（X 線

るために一般的に使用される粉末 X 線の Photon Factory などがありますが、吸収微細構造）の頭文字をとったもの

回折法などは、結晶性の試料（原子レベ

県内でも立命館大学が小型放射光施設をで、測定されるエネルギー領域によって、

ルで長距離秩序を有する）に対して優れ運転しています。これら放射光施設を使

XANES（X-ray Absorption Near Edge

た測定法ですが、非晶質や液体などの試用する利点は、光源の強度が大きいため

Structure：X 線 吸 収 端 近 傍 構 造 ） と料（原子レベルで短・中距離秩序を有す

測定時間を短くできる、高強度線源を利EXAFS（Extended X-ray Absorptionる）に対しては回折法による解析方法を用した特殊な実験が可能、などを挙げる

Fine Structure：広域 X 線吸収微細構造）

適用することは困難であり、物質の状ことができますが、申請が必要、利用可に分けることができます。

態（固体・液体・気体）に大きく依存し能な時間の制約がある、装置が大型にな

横軸に試料に照射する X 線のエネル

ます。一方、XAFS ではこのような物るなど不利な点もあります。一方、管球

ギー、縦軸に試料に吸収されるＸ線量を質の状態を問わず構造情報を得ることが型の線源を備えている実験室用 XAFS

プロットすると（図１）、あるエネルギーできます。XAFS から得られる情報は、測定装置などを用いれば、分解能・測定で急激なＸ線量の増加が観測されます。

測定する元素周辺の配位状態に関する局にかかる時間は犠牲になりますが、時間

この立ち上がりは元素毎に決まったエネ

所構造情報です。具体的には測定元素か的な制約は少なくなります。

ルギーで観測され、K 殻吸収端や L 殻ら数百 pm の距離に配位する元素の種--- 測定例

吸収端などがあります。XANES 領域は類、配位している数（配位数）、結合距離、

XAFS 測定には透過法、蛍光法、電吸収端から 50 eV 程度までの範囲を指デバイ - ワラー因子（静的および動的な子収量法などがありますが、基本となし、基底状態にある電子が空軌道に遷移乱れを表す）などが挙げられます。つまる透過法（試料を透過する前後の X 線することで観測されます。この領域のス

り、狙った元素のみ（選択性が高い）に強度を測定する）により測定した測定

ペクトル形状やピークのエネルギー位置

対する局所構造情報を得ることが出来ま

データおよび解析例を以下に示します。

は X 線吸収元素の価数や配位原子の三す。非晶質材料などでは局所構造がそのXAFS の基本は透過法であり、測定が次元的な配置により変化します。よって、物質の物性に寄与することが多く、局所困難な場合（低濃度、薄膜試料など）に−2−テクノレビュー

図 1. GeO2 ゲルおよび標準試料の Ge
K 殻吸収端における XAFS スペクトル .

図 2. GeO2 ゲルおよび標準試料の GeK
殻吸収端における XANES スペクトル .

図 3. GeO2 ゲルおよび標準試料動径構
造関数（位相シフト補正なし）.

限り蛍光法や電子収量法による測定を行

トルを示します。標準試料の二つのス自乗法によるカーブフィッティングを行います。測定は実験室用 XAFS 測定装

ペクトルと比較すると作製した試料はいます。第一ピークを逆フーリエ変換し、置を用いて、条件によりますが一日に測

hexagonal に近い形状を示しており、フィッティングから得られた結果を表 1

定できる回数は 2 ～ 3 測定ほどです。

四配位に近い構造を持っていると推察でに示します。配位数、結合距離ともに

GeO2 ガラスは一般的なガラス成分できます。図 1 のスペクトルから配位原

hexagonal 標準試料とほぼ一致した値

ある SiO2 に比較して屈折率および赤外子が存在しない場合の Ge の X 線吸収であるため、作製した試料の Ge 元素局

光透過率が高く、光学材料などの成分とスペクトルを差し引き、光電子の波数ベ

所構造は酸素四配位の四面体構造である

して用いられていますが、単成分では融クトル空間に変換したものをフーリエと結論できます。ただし、XAFS から点が比較的高い（1000℃以上）ため、変換すると、図 3 に示す動径構造関数

得たデータには任意性が含まれるため、今回は低温合成が可能なゾルーゲル法で（F(r )）を得ます。この関数は X 線吸収他の測定（IR やラマンなどの振動分光

試料を作製し、その構造を調べました。

元素の周りに存在する元素の数や結合距法など）を行い相補的に解析を進めるこ

測定試料は GeO2 標準試料（hexagonal

離を反映しており、第一ピーク（150とが望ましいとされています。

は Ge 元素が酸素四配位、tetragonalpm 付 近 ） は Ge-O の 相 関 を 表 し、 標--- まとめは酸素六配位の結晶試料）と 70 ℃、準試料で観測される第二ピーク（280XAFS は非晶質材料、触媒表面、液640 ℃で処理した GeO2 ゲル（どちらpm 付近）は Ge-Ge の相関を表してい体試料などの構造解析手法として一般的も非晶質）およびゲルを高温熱処理してます（位相シフトの補正を行っていない

なものとなってきました。測定元素の構

結晶化させた GeO2 です。Ge 元素は酸ため、実際の結合距離よりも少し短いと造情報を直接得ることが可能であり、ま素四配位と六配位をとることが知られてころにピークは位置しています）。作製

た他の分析結果と組み合わせた多面的います [2]。

した試料では第二ピークの相関が観測さな構造解析を行うことが可能となりま得られたスペクトルからバックグラ

れておらず、この距離でのランダム性がす。実際に測定を行うには装置利用の申

ウンドを指し引いたものを図１に示し

増加していることを表しています。実際

請（放射光施設）を行うか、機器の購入

ま す。 図 2 に XANES 領 域 の ス ペ クの配位数や結合距離を得るためには最小（実験室用）が必要となります。県内においても放射光を利用できる大学があり

表１. カーブフィッティングから得られたゾル－ゲル法により作製した GeO2 ゲルおよます。相談などございましたら、問い合

び GeO2 標準結晶の Ge 元素の配位数（N Ge–O）、原子間距離（r Ge–O）およびデバイ - ワラー

わせください。

因子（σ Ge–O）（参考文献）

samplehexagonal
tetragonal
結晶化 GeO2
乾燥ゲル (70 ℃ )高温処理ゲル (640℃ )*：固定値

N Ge–O
4.0*
6.0*
3.6
3.9
3.7

r Ge–O / pm
174*
186* ♯
174 ± 1173 ± 1173 ± 1σ Ge–O / pm
4.2
4.7
4.6

：平均値

♯

−3−

[1] 宇 田 川 康 夫、X 線 吸 収 微 細 構 造（1993）1.
[2] M. K. Murthy and J. Ip, Nature,vol.201 (1964) 285.

研究会活動

ものづ
くり IT
研究会

● 12 月11日 講演会「工作機械のリモー
ト診断・操作支援について」、「眼底画像診断支援システムの開発」（栗東芸術文化
会館さきら）● 1 月 14 日 講演会（UFA 研究分科会
共催）「RFID を利用した工場の工程管理」、「確率的推論が拓く事象駆動型生産システ
ム診断の新展開」、「デンソーのものづく

本研究会は、本県のものづくりを担う企

環境効
率向上
フォー
ラム

り」
、交流会（千里ライフサイエンスセン

業、大学、行政関係者相互のネットワーク

ター）を形成し、製造分野への IT の導入を推進● 3 月18 日（予定）講演会「パッケージ

平成 16 年 6 月設立

し、本県製造業の競争力を向上させることデザインについて」、「感性工学のものづく

法人会員：28 社、個人会員：4 名、特別会員：を目的として平成 13 年度より活動を行っ

り応用について」、交流会（ライズヴィル

8 機関

ております

都賀山）

企業等の環境マネジメントの継続的改【見学会】

善を促進し環境効率を向上することによ

員 38 名であり、平成 20 年度は下記の● 7 月 4 日 企業見学会 株式会社ゴー

り、企業等の事業効率の向上や製品・サー事業を実施（計画）しております。

シュー、工業技術総合センター

ビスの環境配慮の推進を実現するととも

10 月 8 日 企業見学会 アイシンコムセに、地域の環境マネジメントのレベルの向平成 20 年度の事業

ンター、トヨタ自動車（株）

上をめざすことを目的とします。さまざま

【講演会】

【勉強会】

な活動において会員同士のネットワークが● 7 月 3 日 総会、講演会「ポリマー材● 11 月 19 日～ 20 日 「ネットワークの構築され、情報交換の場としても有効に活料マイクロ・ナノデバイス研究例の紹介」、

概論およびセキュリティの分類についての用いただけるかと思います。

公設試研究発表会、交流会（ピアザ淡海）講義」、「セキュリティ検出ツールの紹介と【活動内容】● 9 月 18 日 講演会「太陽光発電は普実習」

及から大量導入へ －今がビジネスチャ

入会・問合せ先

ンスか？」、「太陽光発電、その現状と将来」

ものづくりＩＴ 研究会事務局（フェリエ南草津）077-558-1500

現在会員は、法人会員 36 社、特別会

行事

概要

回/年

総会

年間行事の決定・ 1 回
招待講演

セミナー・ 環 境 Ｉ Ｓ Ｏ や 環 2 回
研修会
境関連法規に関する最近の動向について講演や意見交換を行い
ます。
環境ビジ
ネスメッ
セ同時開
催 セ ミ
ナー

環境に関して先 1 回
進的取り組みをされている企業の方や専門家による講演を開催します。

県 外 環 境 実際に企業など 1 回
関 連 施 設 の現場を訪問し、見学会
環境に対する取り組みを見学します。
平成 20 年度の事業【研修・セミナー】● 7 月 28 日

総会・講演会「もの作りのパートナーは環境のパートナー」（ライ
ズヴィル都賀山）
見学会

アイシンコムセンター−4−研究会活動● 9 月 18 日 LCA 導入研修（滋賀県工業技術総合センター）

滋賀県
品質工
学研究
会

法への理解を深めています。
本年度は、（財）滋賀県産業支援プラザの研修「品質工学概論講座」（平成 20 年
10 月）において当会幹事がその一部の講師を務めました。また、同年 10 月の第 6
回関西地区品質工学シンポジウム（関西・京都・滋賀研究会による合同シンポ）は、当会が当番県となり大津市打出浜の「コラボしが 21」にて開催しました。
（参加者：
約 105 人）
なお、次表に当研究会の主な活動内容を示しましたので、ご参考にしていただけ● 2 月 12 日 ISO セミナー（滋賀県工業技術総合センター）

平成 6 年 7 月 26 日設立ればと思います。研究会では年間を通じ個人会員 30 名（H20 年度）て新規会員も募集しておりますので、ご滋賀県品質工学研究会（SQRG）は、興味をお持ちの技術者の方は当センター【環境ビジネスメッセ同時開催セミナー】

コスト低減と品質向上を同時に実現する内にある滋賀県品質工学研究会事務局ま● 11 月 7 日

環境と経済活動の両立を

開発パラダイムである品質工学の適用にで連絡ください。

めざすマテリアルフローコスト会計（環境より、本質的な機能設計をめざす活動を【活動内容】

ビジネスメッセ：長浜ドーム）

行っています。毎月の定例会では、企業

1.定例会の実践例を検討し、また、技術開発上の事例研究

問題点を意識させるための個別指導（QE

2.品質工学相談室相談室）を定例会開催日の午前中に実施

個別相談指導

1回/月

3.研修

しております。技術開発上の研究課題に

品質工学手法の学習

対して、初心者と経験者がお互いの自由

1回/年

4.近府県連携な議論を通じて、会員一人一人が問題解

関西地区品質工学シンポジウム
1回/年

決のヒントを得るような運営を心がけています。定例会において、実施例の発表、他社事例の紹介を通した勉強、会員の率

1回/月

5.特別セミナ－他
随時開催

直な疑問の提出、実験計画の相談などを

入会・問合せ先中心とした会員相互の活発な議論によっ滋賀県品質工学研究会事務局て、技術開発における品質工学の適用方

077-558-1500【見学会】● 1 月 30 日 日本電気硝子株式会社 滋
賀高月事業場
入会・問合せ先
環境効率向上フォーラム事務局
077-558-1500
第 6 回関西地区品質工学シンポジウム−5−

平成 20 年 10 月 3 日

於コラボしが 21

機器紹介・おしらせ

財団法人 JKA

自転車等機械工業振興事業に関する補助事業

利用目的
達成度
アンケート
の集計結果

機器紹介

マイクロビッカース

硬さ試験機

当センターでは「企業に役立つ技術支援」
本機器は金属・セラミックス材料などの硬さ評価方法としてを目指し、実現に向けて努力しています。今広く普及しているビッカース硬さを測定する装置です。3 種回、試験機器の開放事業の質的な向上を図る

類の対物レンズを備えており微小領域の計測、および微小荷重ことを目的にアンケートを実施しました。

の試験力によって硬さ測定を行うことができます。微小荷重で95％以上の方から達成できたとの回答をいあるため、薄く柔らかい金属メッキの表面部分や表面処理を施ただきました。

した金属表面の硬さ評価、また X-Y 自動ステージを用いて金今後とも職員一同技術支援の向上に努めて属表面から内部方向への硬さの評価ができます。これら機能をいきます。ご協力ありがとうございました。

用いて、同一試料内での硬さ分布の自動測定も行えます。JIS
1．アンケートの方法

Z2244 および JIS Z2251 に準拠した測定を行えます。
■ 型式【アンケート対象者】

HM-221

試験機器利用のため来所された方々。

■ メーカー【アンケート期間】

株式会社ミツトヨ

平成 20 年 6 月 1 日から 8 月 31 日（3 ヶ月間）

■ 仕様

【アンケート項目】

最大試験荷重：19.61 N① 本日は来所の目的を達成されましたか。

最小試験荷重：0.4903 mN

4．達成できた

試験荷重切り替え：電磁力制御により任意に設定

3．ある程度達成できた対物レンズ：10 倍、50 倍、100 倍2．あまり達成できなかった

圧子：ビッカース、ヌープ

1．ほとんど達成できなかった

ステージサイズ：130 mm × 130 mm② その理由をお聞かせください

試料最大高さ：133 mm（バイスなどを使用すると変化します）③ センターへのご要望がありましたら

X-Y 自動ステージ、自動計測機能およびオートフォーカス

お書きください

機能付き

−6−

おしらせ

2．アンケートの結果【回答】ご要望や利用の頻度が高い機器を中心に、新規導入・
回答数

割合（%）

4：達成できた674

69.1

3：ある程度達成できた

259

26.5

2：あまり達成できなかった

34

3.5

1：達成できなかった

9

0.9

976

100.0

更新を検討し、企業の皆様のご期待に応えられるよう努力しています。ただ今回の経済危機の影響もあり、21 年度以降は大変厳しい状況が予想されます。
・・・・・・・・・・■ 試験機器や講習会等についての情報提供をしてほしい【回答】平成 20 年 10 月にホームページをリニューアルしま合計した。今後とも機器の詳細や技術情報の更なる充実に努めていきます。
また、「滋賀県産業支援情報メール配信サービス」に登録し26.5％ていただくことにより、当センターで開催している講習会や研3.5％

修の案内をはじめ、各種産業支援情報を得ることができます。

0.9％

ホームページ： http://www.shiga-irc.go.jp/
・・・・・・・・・・■ 機器やパソコンの修理をしてほしい【回答】緊急度や予算を勘案しながら順次修理、交換等を進め
ています。

69.1％

・・・・・・・・・・■ 試験機器の時間外使用を可能にしてほしい【主なご意見】【回答】耐久性試験等、安全が確保でき自動運転が可能な機器（1）「達成できた」、「ある程度達成できた」とご回答いただについては、連続運転が可能です。ただし、それ以外の機器

いた方々

については、人員配置や安全確保の観点から対応が難しいの・ 精度の高い装置で計測できた。

が現状です。

・ 予想したデータが得られた。

・・・・・・・・・・

・ 装置の操作において詳しい説明がなされスムーズに測■ 多様な精算方法に対応してほしい

定できた。

【回答】精算方法については、利用当日現金でのお支払いを原（2）「達成できなかった」、「あまり達成できなかった」とご回則とさせていただいています。ご協力をお願いします。

答いただいた方々・・・・・・・・・・

・ 測定における準備不足だった。

■ 図書室の開放を再開してほしい

・ 装置の想定外のトラブルやデータのばらつきがあった。

【回答】図書室は平成 20 年 4 月より開放を停止させていただ
いておりますが、技術相談の一環として利用していただくこ

3．センターへのご要望いただいた主なご要望と回答は以下のとおりです。

とは可能ですのでご相談ください。
・・・・・・・・・・■ 新しい機器の導入および現有機器の更新をしてほしい

−7−

おしらせ

【重要なお知らせ】
機器使用料および依頼試験
手数料全面改定のお知らせ

よる申請が必要です。
● 設備機器の使用には、事前に電話等で使用日時等の予約をしてください。

工業技術総合センターでは、平成 21 年 4 月 1 日から機器● 受付時間は、午前 9 時～ 12 時、午後 1 時～ 3 時です。

使用料と依頼試験手数料について、全面改定と一部機器の名称● 土曜日・日曜日、国民の祝日に関する法律に規定する休日、変更を行います。また、県外からの申請につきましては 2 倍

年末年始 (12 月 28 日～翌年 1 月 3 日 ) は業務を行っての使用料・手数料となります。改定内容につきましては、詳細いません。

が決まり次第工業技術総合センターホームページにてお知らせ● 機器の詳細情報はセンターまで（窯業関係は信楽窯業技術します。

試験場まで）お問い合わせください。一部はセンターホー● 設備機器の使用および依頼試験の申込には、所定の用紙にムページで紹介しています。

テクノネットワーク／ No.94 ／平成 21 年 2 月 9 日発行
ご意見・ご要望などございましたら、工業技術総合センター安井までお気軽にお寄せ下さい。
滋賀県工業技術総合センター／
信 楽 窯 業 技 術 試 験 場 ／520-3004 栗東市上砥山 232
529-1851 甲賀市信楽町長野 498

この冊子は再生紙を使用しています。

／ TEL 077-558-1500 ／ FAX 077-558-1373／ TEL 0748-82-1155 ／ FAX 0748-82-1156

広告募集中
工業技術総合センターが発行する広報誌「テクノネットワーク」におきまして、企業の皆様からの広告を掲載しています。広告の内容は、県内産業の育成、県産品の販売促進、その他滋賀県の産業の活性化に寄与するものとしています。

発行部数 2,500 部／回
主な
配布先

広告

二つ折り

8 ページ

縦56ｍｍ×横172ｍｍまたは縦120ｍｍ×横80ｍｍ
掲載位置は当センターが決定します。

広告料

10,000 円／回（消費税および地方消費税含む）
広告料は、当センターが発行する「納入通知書」により銀行にて納付してください（前金払い）。

留意事項 ・広告原稿については、当センターのデザイン担当職員が作成することもできます。ただし、デザイン指導料が別
途必要になります。
・広告に掲載する資料を申込書と同時に提出してください。
・掲載できる広告は、県内産業の育成、県産品の販売促進
その他滋賀県の産業の活性化に寄与するものとします。

発行回数 3 回／年（7 月、10 月、1 月に発行予定）
判型など A4 判

広告の大きさ

2 色刷り（黒、DIC235）

1．県内の製造業関連の事業所1,800 ～ 2,000社にメー
ル便で発送
2．当センター主催の講演会、セミナー、講習会など

連絡先

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