ﾃﾗｵｰﾑ ﾌﾞﾘｯｼﾞ-ﾒｰﾀｰ6530 TeraOhm
Bridge-Meters
Dual
Mode, Ultra Accurate, High Resistance Measurement Standards
デュアルモード、高精度、高抵抗計測標準器
ギルドライン
6530テラオームブリッジ-メーターシリーズ
Guildline
Instruments
6530 TeraOhm Bridge-Meter
は高抵抗、超高抵抗計測における最先端の革新的な製品
Seriesis the latest innovation in High Resistance andです。これらのブリッジメーターは高抵抗計測のためのUltra-High
Resistance Measurements. These Bridge最新技術を取り入れているので、市販のデュアルソース
Metersincorporate the latest technology for high
ブリッジより優れた計測結果を得る事ができます。６５
resistancemeasurements providing Metrologists with
３０シリーズは２０PΩ（２０measurement results superiorE15to）までブリッジレシオ
that of commercially
計測の他にダイレクト抵抗値計測もでき、市販の１GΩ
available Dual Source Bridges. The 6530 Series allows
以上の抵抗値計測器の中でもっとも良い不確かさが得ら
users
to make Direct Resistance Measurements as wellれます。
asBridge Ratio Measurements up to 20 PΩ (20E15) withthe best uncertainties of any commercially available
resistance measurement instrument above 1 GΩ.

6530 Sシリーズの特長
ERIES FEATURES
ブリッジモード及びダイレクト計測♦ Bridge
Mode and Direct Measurement Modeof
Operation
モードでのオペレーション♦ ResistanceRange100k
100 kΩΩから10PΩ超to Over 10 PΩ
抵抗値レンジ♦ Bridge
Mode Multi-Ratios
up to 1000:1
ﾌﾞﾘｯｼﾞﾓｰﾄﾞ
ﾏﾙﾁﾚｼｵ1000:1まで♦ TestVoltages 11テ1000V
to 1000 volts
テスト電圧-5AD10A-13♦ DC電流計測レンジ
DC Current Measurement 10
Range
10-5 Amps to 10-13 Amps

♦ Existing6520’s can be Upgraded to any
既存の6520を新6530のどのモデルにof the four NEW 6530 Models
もアップグレード可♦ Automatic
Ranging for Resistance ,
抵抗値、積分時間、スレッシュ
Integration
Time and Threshold Voltage
ホールド電圧の自動レンジ調節♦ Better
Performance & More Functionality than
市販のデュアルソースブリッジよりCommercially
Available Dual Source Bridges
パフォーマンスが良く、多機能♦ Surfaceand Volume Resistivity Measurements
65221テスト治具を用いた表面及びwith 65221 Test Fixture

体積抵抗率計測♦ 65220センサーによる環境モニター
Environmental Monitoring with 65220
Sensors

ロギング、グラフィックディスプレイ
♦ Logging,
Graphical Display and Analysis of
Measurements
及び計測データ分析
Sofcalによるオンボードインテリジェ♦ Sofcal™
for On-Board Intelligence and Front
Panel
Calibration
ンスとフロントパネル校正♦ Automationof Multiple Measurements with
ギルドラインの新抵抗スキャナー
NEW
Guildline
6564 Resistance Scanner6564を用いた自動複数計測♦ TeraCal™
Data Acquisition Software
TeraCalデータ収集ソフトウェア
Automates
Operationによる自動オペレーション♦ SCPI
compliantIEEE-488.2 and RS232C Built-In
SCPI準拠IEEE-488.2とRS232Cを
asStandard
標準装備♦ RearInput Option
リアインプットのオプション

With the NEW 6530 Series of TeraOhm Bridge-Meters,
新シリーズの６５３０テラオームブリッジ-メーター
the choice and selection are uniquely tailored to
は、ユーザーの計測ニーズと作業負荷に応じてコンポー
customers’ measurement and workload requirements.
ネントをユニークに選択できます。６５３０シリーズは
The 6530 Series has four models providing customer
４つのモデルがあり、計測抵抗値と不確かさを、個々の必要性に合わせ選択できます。
selection
for resistance measurements anduncertainties based on individual requirements.

GUILDINE’S NEW 6530-XP & XPR MODELS ACHIEVE THE
ギルドラインの新モデル、６５３０－XPとXPRは、
HIGHEST ACCURACY, LOWEST UNCERTAINTIES, AND
今日市販の高抵抗計測器の中で最も正確な、不確か
WIDEST RESISTANCE MEASUREMENT RANGES OF ANY
さが最も小さい、計測抵抗値レンジが最も広い高抵
COMMERCIALLYAVAILABLEHIGH
RESISTANCE
抗計測器です！
MEASUREMENT INSTRUMENT TODAY!
Equallyimportant, upgrade paths are provided
同様に重要な特徴として、アップグレードが可能なので、ユーザーの投資を全く無駄にしません。更に、既存
allowing
complete user investment protection. Inのギルドライン６５２０テラオメータ－を６５３０テラ
addition,existing Guildline 6520 Teraohmmeter
オームブリッジ-メーターの４つのどのモデルにもアッ
customers
can upgrade to any of the four 6530
TMソフトウェア
プグレードする事もできます。TeraCal
TeraOhm
Bridge-Meter models. A complete
softwareTM,の完全なパッケージがどのモデルにも備わっています。
package
TeraCalis supplied with every system.
自動システムの中で使用する場合でも、スタンドアロー
Whetherused in automated solutions or in standンのアプリケーションで使用する場合でも、６５３０シ
alongapplications, the 6530 Series now provides a
リーズは高抵抗あるいは超高抵抗値の校正に自動化の手
fully
automated method for calibrating both high and段を提供し、表面及び体積抵抗率を直接計測できます。
ultra-highresistance values and allows for direct
Surface and Volume Resistivity measurements.
When
combined with Guildline’s new 6564 High
ギルドラインの新６５６４高抵抗スキャナーと組み合わせて使用すると、１０PΩ（１０）、１０００VdcまResistance
Scanner, fully E15
automated
multiple
での複数の計測を自動化できます。この新スキャナーのmeasurements
can be made for values all the way to
能力はギルドラインだけが提供できます。新６５６４ス
10
PΩ’s (10E15) and with voltages to 1000 Vdc. This
キャナーは、単一あるいは複数の抵抗値の計測を容易か
scannercapability is only available from Guildline. The
つ素早く自動化できるので、高抵抗と超高抵抗の計測とnew6564 Scanner greatly improves measurement and
校正のスループットを大幅に改善します。この自動化のcalibration
throughput for high and ultra-high ohm
能力は、デュアルソースブリッジあるいは他の高抵抗計
resistors since laboratories can easily and quickly
測器にはありません。
automatemeasurements for single or multiple
resistance values. This automation capability is notavailable with dual source bridges, or with other highresistance measurement instruments.

Bridge--Meterｼﾘｰｽﾞ
6530 TeraOhm
BridgeSeriesﾃﾗｵｰﾑ ﾌﾞﾘｯｼﾞ-ﾒｰﾀｰ
モジュール方式とアップグレード
Modularity and Upgradeabilityモ– 初期投資を無駄にしない
Investment Protection(6520ユーザーにとっても)！
(even for 6520 Users)!

Like
our highly successful 6622A Series of Direct Current Comparator
好評の６６２２Aシリーズ（ダイレクト電流コンパレータブリッジ）と同様
Bridges,the 6530 TeraOhm Bridge-Meter is a complete series with modelsに、６５３０テラオームブリッジ-メーターは抵抗値レンジ、機能、不確か
providingcustomer choices in Resistance Ranges, Functions as well as
さを選択できる完全なシリーズです。
Uncertainties.
Allmodels have the same unique design and engineering features described, however not all users require the same
全てのモデルは共通のユニークなデザインと機能を備えていますが、全てのユーザーが個々のラボで同じ抵抗値レン
resistance
ranges, functions or uncertainties for their individual laboratories.
ジ、機能あるいは不確かさを必要としている訳ではありません。
There
are four models available in the 6530 Series. Each model can be upgraded if future workload requirements
６５３０シリーズには４つのモデルがあります。各モデルは、将来追加の作業負荷が必要になった場合には、アップグ
dictateadditional capability. An optional current measurement function is also available for all models.
レードする事ができます。オプションの電流計測機能も全てのモデルで利用できます。
6530- BASE MODEL

6530 B ► Range: 1 MΩ to 100 TΩ
Best Bridge Mode Uncertainty: 25 ppm
Best Direct Measurement Uncertainty: 150 ppm

6530 - EXTENDED PERFORMANCE

6530 XP ► Range: 1MΩ to 100TΩ
Best Bridge Mode Uncertainty: 8 ppm
Best Direct Measurement Uncertainty: 80 ppm

6530 - EXTENDED RANGE

6530 XR ► Range: 100 kΩ to 20 PΩ
Best Bridge Mode Uncertainty: 15 ppm
Best Direct Measurement Uncertainty: 100 ppm

6530 - EXTENDED PERFORMANCE & RANGE

6530 XPR ► Range: 100 kΩ to 20 PΩ
Best Bridge Mode Uncertainty: 8 ppm
Best Direct Measurement Uncertainty: 80 ppm

革新的な技術とデザインを導入
Incorporating
Innovation in Engineering and Design
ギルドラインの６５３０テラオームブリッジ-メーターを注意して見ると、この改良されたパフォーマンスを実現するため
Take a look at the new Guildline 6530 TeraOhm Bridge-Meter Series and you will find it has been completely reに、６５３０は完全に設計し直された製品である事が分かります。入力とソース端子の後ろ側にあるユニークな温度管理
engineered to provide this improved performance. The unique temperature controlled measurement chamber
された計測チャンバーがその内部での全ての計測を
behind the input and source terminals keeps all
常に同じ温度条件に保ちます。チャンバーはノイズ
internal measurements at the same temperature.
から保護するために厳重にシールドされています。
This chamber is also heavily shielded for protection
この為に、６５３０シリーズは２３±２℃に保た
against noise. Thus the 6530 Series is not affected
れ、温度変化の影響を受けません。冷却効果が最大
by changes in temperature from 23 +/- 2 °C. Airに発揮される様に、但し計測回路には影響を及ぼさflow is also directed to maximize cooling efficiency
ない様に、空気の流れも計算されています。
while keep any air movement away from themeasurement circuitry.
この温度管理され、シールドで保護されたチャンバー
This controlled, shielded chamber provides clear
は、市販のデュアルソースブリッジと比較して、明ら
advantages when compared to commercially
かな優位点をもたらします。
available dual source bridges that typically have atemperature coefficient of 10 ppm / °C, which can more than triple their reported uncertainties in a normal laboratory
典型的なデュアルソースブリッジの温度係数は１０ppm/℃であり、通常のラボ環境で使用すると公称の不確かさは３倍
environment. Additionally, since the 6530 is not a potentiometer based measurement, it provides better EMI
以上悪化させます。更に、６５３０はポテンショメータベースの計測ではないので、EMIシールドに優れ、外部環境要因
shielding and is not affected by outside environment factors. In contrast dual source bridge measurements are veryに影響されません。対照的に、デュアルソースブリッジでの計測は環境に非常に敏感なために、計測時のオペレーターのenvironmental sensitive and even having an operator present while measurements are made will affect the results!
存在でさえ計測結果に影響を与えます！

Bridgeidge--Meter Series
6530 TeraOhm Br
idge
計測データ収集計 計測結果だけを収集するだけではもはや十分ではありません。計測に影響する変数を特定し分析すMeasurement Collection– It’s not enough anymore to just collect the measurements. Variables that affect the
る必要があります。
measurement must be identified and analyzed. The 6530 Series provides the ability to collect, store and time stamp
６５３０シリーズは温度、相対湿度、気圧のデータをタイム
temperature, relative humidity and barometric pressure.
スタンプを付けて収集、保存できます。これらの全ての変数
All variables that adversely impact high resistance
は高抵抗計測に悪影響を与えます。

measurements!

フロントパネルは計測中の計測値をグラフィック表示でき、
The Front Panel provides all measured values and can
環境条件を含めた全ての計測値を表示できます。
graphically display on-going measurements as well as

environmental conditions. This provides an easy method of determining the settling time of a measurement and the
この為に、計測時間の設定や抵抗の安定性を決定するのが容易になります。また、システムが最小値、最大値、平均値、
標準偏差値を内部で計算するので計測結果の分析がコンピュータ無しでできます。実際に、計測結果を台無しにする様なstability of a resistor. The system can also internally calculate and display Min, Max, Average, and Standard Deviation
変数を使用しようとすると、６５３０はいつでもディスプレイの右側に警告を表示します。
values that allow analysis of measurements, all without the need for a computer. In fact, the 6530 displays a warning
right on the display anytime you are trying to use parameters that would invalidate the measurement results!

計測セットアップ
計 ６５３０シリーズでは、メーカーではなくユーザーが計測サンプルやテストパラメーターを定Measurements
Setups– The 6530 Series allows the user, not the manufacture, to define the measurement sample
義する事ができます。ギルドラインでも推奨セットアップを提供しますが、全てのテスト設定は容易に変更でき、３６
andtest parameters. While Guildline provides recommended setups, all test configurations can be easily changed
通りのユーザープロファイルとして保存ができるので素早くしかもユーザーに適したセットアップが可能です。
andeven saved into one of 36 user profiles for fast and controlled measurement setups.

For
both automated and manual operation users have control over important test parameters such as Integration
自動オペレーション、手動オペレーションのどちらのユーザーも、インテグレーション時間、スレッショルドとテスト
電圧、電圧反転レートなどの重要なテストパラメータの管理ができます。しかしながら、自動モードの場合、どの計測
Times,
Threshold and Test Voltages, and Voltage Reversal Rates. However, an Auto mode allows the 6530 Series toの場合でも、適切な抵抗値レンジ、インテグレーション時間と適用される電圧を６５３０シリーズが決めてくれます。
determine
appropriate resistance range, integration time and applied voltage for any measurement. A combination
選択したインテグレーション時間（５ｍ秒～１０００秒）と選択したテスト電圧（１Ｖ～１０００Ｖ）の組合せで抵抗
of selected integration times (5 mSec to 1000 Sec) and selected test voltages (1V to 1000V) also allow the user to率と抵抗値計測の電圧係数が計測できます。
measure voltage coefficients for resistivity and resistance measurements.

Measurement– The 6530 Series provides the capability to fully analyze all measurements without having
計測分析－ Analysis
６５３０シリーズはコンピュータを使う事なく、計測結果を完全に分析する能力を備えていto use a computer. Important information is available
ます。計測値の平均値、標準偏差値、計測サンプルのサ
on the instrument display, such as calculated average
イズ、最小及び最大値等の重要な情報はボタンを一つ押
reading, standard deviations of the measurements,
すだけで装置のディスプレイに表示されます。

measurement sample size, minimum and maximum
readings achieved, etc. – all there at the push of abutton and more….

計測値の傾向－ 計測値の傾向を見れる機能は計測サイクルを観察する比類のない能力です。例えば電圧極性、イ
Trending Measurements– The ability to see measurement trends allows users an unparalleled look at the
ンテグレーション時間あるいはキャパシタンス値などの設定変数を変えた場合の計測に与える影響を眼で見て確認できまmeasurement cycle. Visually see the measurement affects when changing setup variables such as voltage polarities,
す。また、温度、気圧あるいは湿度の変化が計測値に与える影響も見れます。６５３０シリーズは、これまで見逃していintegration times or capacitance values. Also see the measurement affects due to temperature, pressure or humidity
た、全ての、あるいは直接の計測プロセスを都合の良い時に見る事ができます。

changes. The 6530 Series allows you to see the complete or immediate measurement processes at your leisure, notours. See what you have been missing!

The 6530 Series utilizes internal firmware menus
６５３０シリーズは、標準装備のIEEE-488.2とRS232C
インターフェイスの設定に内部のファームウェアメ(Sofcal™) to configure the IEEE-488.2 and the RS232CTM)を使います。SofcalTMは更に、供給電圧
ニュー(Sofcal
interfaces thatcome standard. In addition, Sofcal™
と基準電圧の診断、保護抵抗の補正、インテグレータのprovides supply and reference voltage diagnostics,
リニアリティ－チェック、フロントパネルでの標準校正
protection resistor compensation, integrator linearityの機能を備えています。アーティファクト校正は、単純
check and standard calibration from the front panel.
に既知の標準抵抗を入力端子（アクセサリー
An Artifact calibration is simply achieved by9336-100M）に接続し、アーティファクト校正手順を始
connecting a known reference resistor to the input connectors(accessory 9336-100M) and starting the Artifact
める事で行えます。内蔵のファームウェアは自己テス
calibration procedure. The on-board firmware also provides selfト、自己診断ヘルプ機能を備えています。
test and diagnostic help features.

Bridge--Meter Series
6530 TeraOhm Bridge
６５３０シリーズデュアルモードオペレーション
6530 Series Dual Modes of Operations

Direct Measurement Mode

Direct Measurement Mode－– The
direct measurement
ダイレクト計測モード
ダイレクト計測モードはmode is just as the name implies – a direct measurement
名前が示す様に端子に接続された標準を直接計測するモーof a Standard connected to the terminals. This is the
ドです。これは最も操作が容易なモードです。単に標準を
easiest mode to operate. Simply connect a Standard to端子に接続し、ＡＵＴOボタンを押すだけです。６５３０は
the terminals and press AUTO. The 6530 will find the optimum
最適な計測変数を自動的に設定し、この最も単純な操作設定で、可能な限り最適な計測結果を提供します。
measurement variables to provide the best possible measurement result with the simplest ofoperational setups required.

1 MΩ
STD

Feel
free to monitor the measurement while it is running with the Graphical Interface. Examine theグラフィカルインターフェイスで計測を実行している最中はいつでも計測をモニターできます。計測
intermediateand summary results without ever having to stop the process. Easy to use, Easy to
処理を停止する事なく計測途中の結果と最終結果を比較できます。デュアルソースブリッジと異なり、操作は容易で、モニターも簡単、標準抵抗やコンピュータも使わず、マニュアル操作で計測は完
monitorand unlike a Dual Source Bridge, can be completed manually without having to connect a
了します。
PCand without the need of a reference resistance standard.

BridgeMeasurement Mode
Bridge Measurement Mode design provides the best possible uncertainties, while
ブリッジ計測モード－– The
ブリッジ計測モードでは、最も幅広いレンジでの高抵抗計測を行うのに最小数の標準抵
at
the
same
time
allowingfortheminimum
number of standards used to cover the broadest possible range of High
抗ですみ、しかも最良の不確かさが得られます。このモードでは標準抵抗値の１０００倍以上のレシオでの抵抗値の計
Resistance
Measurements.
Thismeasurementmode has the capability to ratio up to measure values as high as 1000x測を行う事ができます。処理は単純で完全に自動的に実行されます。レシオアップしようとする標準抵抗（例えば１Ｍ
more
than the Reference Resistance Standard. The process is simple and completely automated. Just connect theΩ）を接続します。レシオエラーの特性を得る為のソフトウェアプログラムを実行すればブリッジモードの不確かさがReference
Resistance Standard you wish to ratio up from (such as a 1MΩ). Run the Software program to characterize
得られます。
the ratio errors and now for measurements you have the Bridge Mode uncertainties you can use for the day.
デュアルソースTeraΩBridgeの様な制限はないので、レシオアップは、例えば、１ＭΩの標準抵抗の非常に低い不確かNot limited like a Dual Source TeraΩBridge, this laddering will allow for example, a 1 MΩ Resistor to calibrate and
さで、校正、検証し、それを100:1のレシオで１００ＭΩまでの抵抗値計測に適用できます。図に示す様に最大１ＧΩまverify Resistance standards to very low uncertainties up to 100:1 Ratios which would allow the measurement of up toでの計測ができます。
100 MΩ Resistance Values, and can go all the way to a maximum of 1 GΩ Values as shown. The advantages of thismulti-ratio (eg 1:1, 10:1,
このマルチレシオ方式（例え100:1 and 1000:1) ladder
ば、1:1、10:1、100:1、
are many. The number of
1000:1）の利点は沢山あり
Resistance Standards that
ます。幅広いレンジの抵抗値の校正のために必要な標準抵
a customer has to
抗を最小限に抑える事がで
maintain to calibrate a
き、不確かさはデュアルソー
wide range of Resistance
スブリッジよりも良い。
Values is minimized, andBridge Measurement Modeat
uncertainties better than a Dual Source
桁毎の標準抵抗を揃えて不確かさを向上させる
Bridge.
You can either have standards
為に相互参照する方法も、あるいは少ない標準
available
for every decade and cross reference
抵抗で幅広いレンジの高抵抗を校正する方法も取れます。もちろん、ダイレクト計測モードを
toenhance uncertainty or you can simply use
選べば標準抵抗は全く不要です。
fewerStandards to calibrate a wide Range ofHigh Value Resistance Values (UUTs). And ofcourse in Direct Measurement Mode you do
not need any Reference Standards.

1 MΩ
STD

1:1

1 MΩ
UUT

10:1

10 MΩ
UUT

100:1

100 MΩ
UUT

1000:1

1 GΩ
UUT

This
process is completely automated with the TeraCal software that is provided. Add a
付属のTeraCalソフトウェアで処理は完全に自動で実行する事ができます。６５６４スキャ
6564
Scanner, and now you are talking about true automation and the cross-verification
ナーを加えれば、完全な自動化と計測結果の相互検証も図れます。
of results.
Production
line testing, calibration of electrometers, semiconductor testing, capacitance leakage measurement, film
製造ラインのテスト、電子メーターの校正、半導体のテスト、キャパシタンスリーク計測、フィルムの表面と体積の抵
surfaceand volume resistivity measurement, and other applications (performed in the past by previous
抗率計測、その他の応用（これまでテラオメータを使用していた応用など）は全て６５３０シリーズを使用すれば自動化できます。ギルドラインの新スキャナー、６５６４は１０ＰΩ（絶縁抵抗＞１０）までの複数の自動計測が行えまTeraohmmeters)
can all be automated by using the 6530 Series. Guildline’s15new
6564 Scanner allows multiple
す。電流モードでは、６５３０シリーズを化学反応レート、光電効果及びイオン化効果の計測に使用する事もできま
automatedmeasurements to be made up to 10 PΩ’s with isolation >1015. In the current mode, the 6530 Series can
す。この様な幅広い範囲の応用は他のどんな高抵抗計器より優っています。
also
be used to measure chemical reaction rates, photo-electric effects and ionization effects. This is the widest rangeof supported applications available from any high resistance instrument.

Bridge--Meter Series
6530 TeraOhm Bridge
TeraCal™ Software
ソフトウェアA
6530 can be remotely controlled and automated via Guildline’s TeraCal™TMsoftwareby using the IEEE-488.2 interface.
６５３０はIEEE-488.2インターフェイスを使って、ギルドラインのTeraCal
によりリモートコントロールし、自動化
TM@する事ができます。TeraCal
はWindows
TeraCal™
is a convenient Windows-basedベースの便利なソフトウェアで、ナショナルインスツルメントのLabVIEW
software program, developed using the National Instruments LabVIEW
TMのプラットフォームを使用して開発され、特に計測時術者用に設計されました。TeraCalTMの最新版は６５３０テラ
platformand designed specifically for Metrologists. The latest version of the TeraCal™ software provides full SCPI
オームブリッジメーターのSCPIベースのGPIBフルコントロールを備えています。データストレージ、レポート・証明書
based
GPIB control of the 6530TeraOhm Bridge-Meter. It provides data storage, report/certificate generation, and
発行機能とその他の様々な抵抗値特性の計測でのユーティリティ－を備えています。データはマイクロソフトのエクセル
utilities
to allow a variety of other resistance characteristics to be measured. Data can also be easily exported toに容易にエクスポートできます。TeraCalTMは不確かさを、ISO/IEC 17025:2005の条件に基づいた拡張不確かさ、あるMicrosoft Excel. TeraCal™ calculates uncertainty by either using expanded uncertainties in accordance with ISO/IEC
いは等差級数的に合計する方法のいずれかで算出します。
17025:2005 requirements or alternatively uncertainties can be arithmetically summed.

TeraCalの主な特色
Featuresof TeraCal include










計測の自動化Measurement Automation
表面/体積抵抗率
Surface/Volume Resistivity
Voltage Coefficient Measurements
電圧係数計測Export to Excel, Crystal, and HTML
エクセル/クリスタル/ＨＴＭLへのエクスポート
Data and Trend Analysis
データと傾向分析
Uncertainty Calculation
不確かさ算出Data Logger Acquisition
データロガー収集
Device Profiling
デバイス分析
New 3D Graphical Look
新３Ｄグラフィック表示

TeraCalTMprovides
はコントロール、データ保存、レポート作成が容易にでき、様々な抵抗値計測を行うためのユーティリティを
TeraCal™
easy to use controls, data storage, report generation and utilities for the performance of a variety
備えています。６５２２１テスト装置と共に使用すると表面・体積抵抗率も計測できます。オプションの６５２２０環境
ofresistance measurements. When used with the 65221 test fixture, this includes surface and volume resistivity.
センサーがインストールされていれば環境温度、湿度及び気圧も記録できます。
When
the optional 65220 environmental sensors are installed, the ambient temperature, humidity and pressure canbe recorded.

Utilities
locatedwithin TeraCal™ make test setups easy to do, and the reports allow powerful analysis of the data.
TeraCalTMに備わっているユーティリティを利用するとテストの設定が容易で、強力なデータ分析を可能にするレポートも作成できます。ユーティリティは標準装備のユニークな自動計測機能の利点をフルに活用しています。複数計測の為に
Utilities
take full advantage of the unique automation feature that Guildline Standards provide. Whether you want to
６５６４スキャナーを使用する、ブリッジモードの使用を容易にする、電圧係数の算出あるいはチェック、標準高抵抗のuse
the 6564 Scanners for multiple measurements or for the ease of Bridge Mode measurements, or to calculate or
温度係数を検証する、いずれの場合でも他社の追従を許さない自動化のソリューションを提供します。
check
Voltage Coefficients, or verify important temperature coefficients for High Value Resistance Standards, Guildline
has an automated solution for you! Solutions that no-one else can provide.

Bridge--Meter
6530 TeraOhm Bridge
Now a Complete High Resistance Automated Solution
自動高抵抗計測の完全なソリューション
Looking for Complete Automation of
標準高抵抗計測の完全自動化を求めてHigh ResistanceStandards? Guildline
いますか？
ギルドラインがユニーク
Offers a Unique Solution.
なソリューションを提供します。
６５３０はユニークな６６３６シリーズの温度
The 6530 becomes even more powerful when
安定標準高抵抗と新シリーズの６５５４高抵抗
used with our unique 6636 Series of High
スキャナー（両方とも左の写真にあります）とResistance Temperature Stabilized Resistance
共に使用すると更に強力な計測システムになりStandards and our NEW 6564 Series of Highます。
Resistance Scanners (both shown at left).

The 6636 Resistance Standards provides up to
６６３６標準抵抗は１００ｋΩ～１００ＴΩ間eight values from 100 kΩ to 100 TΩ that are inの温度を安定させ、シールドを施した容器に入れた最大８個までの抵抗値を提供できるので、
their own temperature stabilized and±５℃以内のラボ環境で使用する場合、温度と
shielded environment; and when used within
ノイズからの影響を完全に最小限に留めます。
a 5°C laboratory environment, absolutely
例えば、６６３６の１００ＧΩ抵抗の温度係数
minimizes any affect from temperature or
は５℃の温度変化でたったの１０ppmですが、
noise.
For example, the temperature
それに対して最良の１００ＧΩ気中標準抵抗でcoefficient on a 100 GΩ resistor is just 10 ppm
は１度当たり２５０ppｍです。
for a 5°C temperature change vs 250 ppm PER
degree for our best Air Stabilized 100GΩ
Resistance Standard.
TMソフトウェアでバッチ
Complete the system with either our 8 or 16 channel 6564 High Resistance Scanner and thensimply run a batch
８チャンネルあるいは１６チャンネルの６５６４高抵抗スキャナーをシステムに加え、TeraCal
measurement from the TeraCal™ Software and you can easily address multiple and difficult high resistance
計測を実行すると、複数の難しい高抵抗計測が容易にでき、費用と時間を節約できます。例えば、１００ｋΩから１００
measurements with a cost effective and time saving solution. For example a complete range of resistance standards
ＴΩまでの完全なレンジの標準抵抗をオペレーターの介入なしに１日で校正する事ができます。６５６４スキャナーは６
５３０シリーズの高電圧出力（１０００Ｖ）を扱う事ができ、６６３６標準抵抗の全てのレンジに対応し、１００ＴΩ以
from 100 kΩ to 100 TΩ can be calibrated in a single day without operator intervention. The 6564 Scanner can handle
下の計測を最小限の不確かさで行えます。
the high output (1000V) voltage of the 6530 Series and the entire range of the 6636 Resistance Standard, while adding
minimaluncertainty for measurements less than 100 TΩ’s. Guildline is
この様な機能を完全なソリューションとしてコンパクトに提供できるの5032 Programmable Air Baththe
only company that can offer so much in such a compact andはギルドラインだけです。

complete solution.
And
we have the other side covered too! Not only do we provide theギルドラインが提供するのは計測器だけではありません。校正される抵
beston the measurement side, but can uniquely address the Resistors
抗器に対してもユニークな取り組みをしています。抵抗器に影響を与える、ノイズ、温度、その他の変数はどうでしょうか？
youare calibrating! What about the effects of Noise, Temperature andother variables that also affect these devices?
Take
a look at the 5030 Series of Programmable Temperature Air Baths.
５０３０シリーズのプログラマブル温度エアパスに注目して下さい。ス
TheseStainless steel, double-walled, dual fan, 1 mK settable resolution
テンレス製の２重壁、デュアルファンを備えた、設定分解能1mKのエア
Air
Baths will not only provide excellent temperature control, but also
パスは優れた温度コントロールができるだけではなく、優れたシールド
provideprotection against affects such as Noise or EMI due to theとグランディングにより、ノイズやＥＭＩの影響に対して十分な保護機
excellentshielding and grounding these Air Baths provide!
能を備えています。
Like the 6530, this Air Bath is fully programmable via the Standard IEEE
６５３０と同様に、このエアバスは標準IEEE488.2インターフェイス経
488.2 bus with optional drivers already in the TeraCal™ Software or
由でプログラムによりコントロールでき、オプションのドライバーは既TMソフトウェアに含まれていますが、フロントパネルのメ
you can program
this Air Bath right from the front panel with a fullにTeraCalmenu system!
ニューシステムを使ってプログラムする事もできます。

Bridge--Meter Series
6530 TeraOhm Bridge
6530 Additional
Options
追加オプション

65220 Environmental Monitors

幅広い選択オプションが揃っているので６５３０シリーズの能力は更に大幅に増加します。
With a wide selection of options available, the power of the 6530 Series is greatly

increased.
Added features include the ability to automatically record the ambient temperature,
追加機能には、６５２２０環境オプションあるいはユーザーが準備する装置により環境温
humidity and pressure via the 65220 environmental option or via user provided
度、湿度、気圧を自動的に記録する機能も含まれています。この環境情報はタイムスタンプ
されて記録されるので、計測に与える影響と環境条件の変化の関係を容易に把握できます。
equipment. The information is logged and time stamped so a change in any of these
conditions, which may have affected the measurement, is readily available.
Environmental Monitor (65220 Option)

Temperature
Humidity:
Atmospheric Pressure:

Range
o

12 Month Uncertaintyo-50 C to 100 C
0% to 100% RH
15 to 115 kPa±0.3% (+ sensor error)±0.3% (+ sensor error)±0.3% (+ sensor error)

その他のオプションとして、シールド及び耐環境容器、表面及び体積低効率テスト装置、校正キット、リードキットなど
Other options including Shielded and Environmental enclosures, Surface and Volume Resistivity fixtures, Calibrationがあり、６５３０を使用する計測技術者をサポートします。これらのオプションについては６５２０シリーズオプション
Kits, and Lead Kits allow Metrologists to support their own 6530. Refer to the 6520 Series option datasheet for a
データシートを参照して下さい。これらのオプションは全て新しい６５３０テラオームブリッジメーターと一緒に使用でdescriptionof available options – all of which work with the new 6530 TeraOhm Bridge-Meter.
きます。

And
an important option for existing 6520 customers is to upgrade to any of the four 6530 Models to provide better
そして既存の６５２０ユーザーにとっと重要な情報ですが、４種類のどの６５３０モデルにでもアップグレード（パperformanceand uncertainties.
フォーマンスと不確かさの向上）できるオプションがあります。

ライフサイクルサポート
Life
Cycle Support
６５３０シリーズのサポートが容易になりました。ユーザーは次の校正方法を選ぶ事ができます。
User
support of the 6530 Series has never been easier. Users have choices in Calibration Philosophies.
簡単な検証法としてユーザーはアーティファクト校正を実行する事ができます。アーティファクト校正は１７０２５のFor
easy verification, users can perform an Artifact Calibration. Though Artifact calibration is not accepted for 17025
認証としては認められませんが、この検証は、装置が仕様範囲内で動作していると十分信頼でき、また装置の調整用のaccreditation
calibration, this verification provides a high degree of confidence that the instrument is working within
ツールとしても利用できます。検証は、一つの１００ＭΩ標準抵抗をフロントあるいはオプションのリア端子に接続
specifications
and is also a tool for adjusting the instrument. This verification is achieved by the use of a single 100
し、行います。
Mohm standard resistor connected to the front or optional rear
TMがこの１００ＭΩ標準抵抗を使用し後は内蔵プログラムのSofcal
terminals. An internal program("SofCalTM) then uses this resistor toて、他のアーティファクト校正ルーティンと同様な技術で自動的に処
perform an automated procedure similar to techniques used in other
理を行います。
manufacturer’s artifact calibration routines.

When a full calibration and verification is performed, the 6530 Series
完全な校正と検証を実施すると、６５３０シリーズは今日最も進化し、
is the most advanced and accurate high resistance measurement
高精度な標準高抵抗です。完全な校正は、最初にアーティファクト校正
standard today. A full calibration is achieved by first performing an
を行い、次に、ラボで必要とされるその他のレンジについて一連の精密Artifact calibration, then using a series of precision high resistance
な標準高抵抗を使用して検証します。
standards
to verify the remaining ranges required by the laboratory. Software constants are then programmed into
今日利用できる最も良い不確かさを得るためにソフトウェアの定数がブリッジメーターにプログラムされます。ギルド
theBridge-Meter allowing for lowest available uncertainties today. At Guildline, every 6530 range is verified by a
ラインでは全ての６５３０のレンジがＮＭＩで校正された標準抵抗を使用して検証されます。
Resistance Standard that has been calibrated by a National Measurement Institute (NMI).
Additionally the 6530 Series allows Calibration Laboratories to use their own set of standard resistors for verifying
更に、６５３０シリーズは、校正ラボがリニアリティとドリフト履歴を作成するために自身の標準抵抗セットを使う事もlinearity and producing drift history. Guildline also produces standard "AIR" and temperature stabilized resistors,
できます。また、ギルドラインはこの検証に使用できる１０ペタΩまでの温度安定標準気中抵抗、モデル６６３６、９３
models 6636, 9336 and 9337, with values up to 10 Peta Ohm capable of performing this verification. These resistance
３６、９３３７も製造しています。これらの標準抵抗は６５３０シリーズのブリッジモードで使用すると、市販製品では
standards can also be used with the 6530 Series in Bridge Mode to achieve the best commercially available
最も良い不確かさが得られます。
uncertainties.
An
optional current calibration is available if 6530 Users require current measurement capabilities. This calibration
６５３０のユーザーが電流計測機能を必要とする場合には電流校正のオプションも利用できます。このオプションで
６５３０で低電流計測が出来る様になります。
provides6530 users with another resource for low current measurements.

Bridge--Meter Series
6530 TeraOhm Bridge
6530 Series
eries Bridge
Mode Specifications
S
シリーズ
ブリッジモード仕様
Measurement
Range1(Ohms)

Applied Voltage2
Threshold

90k to 200k

24 Hour Bridge Mode 1:1 and 10:1 (± ppm of Reading3)
23°°C ± 2°°C
Base4

XR4

XP4

XPR4

1V

NA

50

NA

40

200k to 2M

1V

NA

15

NA

8

2M to 20M

1V

25

15

8

8

20M to 200M

1V to 10V

25

15

8

8

200M to 2G

1V to 100V

25

15

8

8

2G to 20G

1V to 1000V

25

20

10

10

20G to 200G

10V to 1000V

25

20

15

15

200G to 2T

100V to 1000V

80

70

50

50

2T to 20T

1000V

500

200

120

120

20T to 200T

1000V

700

500

200

200

200T to 2P

1000V

NA

1500

NA

800

2P to 20P

1000V

NA

3500

NA

2000

6530 Series
DirectMode Measurement Specifications
シリーズ
ダイレクトモード計測仕様
Measurement
Range1(Ohms)

Applied Voltage2
Threshold

90k to 200k

12 Month Uncertainty Direct Measurement Mode3(± ppm of Reading3 ) 23°°C ± 2°°C
Base

XR

XP

XPR

1V

NA

200

NA

150

200k to 2M

1V

NA

200

NA

150

2M to 20M

1V

250

200

150

150

20M to 200M

1V to 10V

150

100

80

80

200M to 2G

1V to 100V

200

150

150

150

2G to 20G

1V to 1000V

600

500

400

400

20G to 200G

10V to 1000V

800

700

600

600

200G to 2T

100V to 1000V

1200

1100

1000

1000

2T to 20T

1000V

3500

3000

2500

2500

20T to 200T

1000V

6000

5000

4000

4000

200T to 2P

1000V

NA

20,000NA

15,000

2P to 20P

1000V

NA

250,000NA

200,000

1. レンジは自動的に選択、あるいは手動で選択できます。
Ranges are automatically selected or may be chosen manually.
2. 最大テスト電圧は選択可。自動レンジでは電圧は６５３０テラオームブリッジメーターにより設定されます。
The maximum test voltage is selectable. In Auto Range, Voltage is set by 6530 TeraOhm Bridge-Meter.
3. １２ヶ月仕様は、自動モードで、１ＴΩまではソーク時間５秒間、１ＴΩ以上では５秒間以上、未知抵抗に流れる電流は少なく
12 Month Specification applies after 6530 hour warm up, with operating in Auto mode to 1T ohms and with a soak time of 5 seconds ormore above 1T Ohm and when the current is no less than one picoampere through the unknown resistor.
とも１ピコＡ、で１時間以上のウォームアップの条件に適用されます。
4. ブリッジモードは仲介標準抵抗あるいはテスト抵抗値の不安定要因（例えば誘電効果、電圧係数等）を含んでいません。
Bridge Mode does not include instabilities of the Transfer Resistance Standard or the test resistance (e.g. dielectric effects, Voltage
coefficient, etc)

TeraOhm
Bridge--Meter
6530 Tera
Ohm Bridge
６５３０オプション
電流計測仕様Optional
6530 Current
Measurement Specifications
Range (A)±% of reading/°°C

0.1

0.005

10-6 ≤ I <10-5-7Temperature1
Coefficient

1 Year Uncertainty±% of reading@ 23°°C ± 2°°C

-610 ≤ I <10
10-8 ≤ I <10-7

0.1

0.005

0.2

0.03

Range (A)±% of reading/°°C

2.0

0.2

10.0

1

10-12 ≤ I < 10-11-13

10Temperature1
Coefficient

1 Year Uncertainty±% of reading@ 23°°C ± 2°°C

-12

≤ I < 10

1. Thetemperature coefficient only needs to be used when the laboratory operating environment is outside the 23°C + /2°C.
温度係数はラボの稼動環境温度が２３℃±２℃の範囲外になった場合にのみ必要となります。
9334A’s,
9336's and 9337's Resistance Standards are calibrated at one recommended and specified current or voltage. Guildline can calibrate at
標準抵抗9334A、9336、9337は一つの特定の電流あるいは電圧で校正されています。追加の電圧あるいは電流での校正もわずかな料
additional
voltages or currents for a nominal fee. To calculate error due to voltage coefficients, simply look at the voltage the unit was calibrated
金で提供致します。電圧係数による誤差を算出するには、校正時の電圧と抵抗が使用される時の電圧を調べます。例えば、100MΩのwith and the voltage the resistor is being used at. For example, if a 100MOhm resistor was calibrated at 100 Volts, but being used at a 50 Volt
抵抗が100Vで校正され、使用時の電圧は50Vだとすると、電圧係数の不確かさは（100V抵50V）x 0.2ppm/V = 10ppm と算出できま
level, than the voltage coefficient uncertainty can be calculated by (100V - 50V = 50V). 50V x 0.2 ppm/V = 10 ppm uncertainty error contributed
す。ギルドラインの１ＭΩ以上の標準抵抗には電圧係数が提供されています。
to voltage differences. Voltage Coefficients are provided for all Guildline Standard Resistors above 1 MOhm.

6520
Customers – Investment
protection as well for our 6520 Customers! You can upgrade to any of the 6530
６５２０のユーザーへ：
既存の６５２０ユーザーの投資も無駄にしません。このデータシートに記載のどの６５３０モデルにもアップグレードする事ができます。また、６５２０用に購入した全てのアクセサリーは、６５３０と共に続Modelslisted in this datasheet. In fact, all the accessories you have bought for your 6520 will continue to work with
けて使用できます。アップグレードの詳細についてはギルドラインに問合せ下さい。
the6530. For more information about this upgrade, please contact sales@guildline.com.

一般仕様 Specifications
GeneralMeasurement Ranges
Resistance Mode
Current Mode

5

16

-5

-13

Front Panel Connections

10 to 10 ohms

Input Connector:

3 lug Triax

Source connector:

High Voltage BNC

User Profiles

36 Programmable

100 k ohms

Display Resolution:

4 to 8 Digits (Selectable)

100 kohms, 100 Ohms above 10 µA

Measurement time:

5ms to > 1000 seconds

10 to 10amps

Input Impedance
Resistance Mode
Current Mode

Power (50 VA)
50 or 60 Hz (± 5%)Standard Interfaces

100, 120, 220 and 240 VAC (± 10%)

Available Test Voltages

RS232

1, 3 , 10, 30, 100, 300, and 1000 Vdc
OperatingTemperatureoo

15 C to 30 C

Humidity (non-condensing)
Dimensions

IEEE 488.2

Storage
59°F to 86°Foo

-30 C to 70 C

20% to 50% RH-22°F to 158°F

15% to 80% RH

HeightLengthWidth

WeightMetric

89 mm

500 mm

444 mmInstrument

25 lbs

11.4 kg

US

3.5”

19.7”

17.5”

Shipping

40 lbs18.2 kg

Bridge--Meter Series
6530 TeraOhm Bridge
比類のないサポート
Unparalleled Support
Guildline Instruments provides an industry leading two year warranty on every 6530 TeraOhm Bridge-Meter and all
全ての６５３０テラオームブリッジメーターと関連の標準抵抗に対して、ギルドラインは業界をリードする２年間の保証
associated resistance standards. We know that the 6530 will work for you out of the box and in the future…
and weを致します。６５３０は梱包箱から取り出して直ぐ、そしてその後も正常に稼動する事を保証します。
・・・そしてバックアップも致します。
back it up.
Certifiedby A2LA’s Accreditation Program , Guildline can provide some of the best uncertainties you will find from any
A2LA認証プログラムで証明された、もっとも優れた不確かさをギルドラインは提供できます。１μΩ（マイクロオー
manufacturer.
With an Accredited Range from 1 uΩ (micro ohm) to 10 PΩ (Peta Ohm's), Guildline can calibrate notム）～１０ＰΩ（ペタオーム）の認証されたレンジで、ギルドラインは自社の標準抵抗のみならず他社の製品も校正でonly
our own standards, but other manufacturer’s as well. Call us today for pricing and turn-around times.
きます。料金と納期はお問合わせ下さい。
For
Nuclear Customers, Guildline has passed a NUPIC audit.
原子力関係の応用の為に、ギルドラインはＮＵＰICの監査に合格しています。

ORDERING INFORMATION
6530-B

TeraOhm Meter-Bridge Base Model

6530-XR

Extended Range TeraOhm Bridge-Meter

6530-XPeXtended Performance TeraOhm Meter-Bridge

6530-XPR/CC

eXtended Performance & Range TeraOhm Meter-Bridge
Data Acquisition software (included) Requires optional computer
and NI IEEE-488.2 Card
Calibration Certificate included.

/RC

Report of Calibration Available at Additional Charge/Amp

Current Calibration Available at Additional Charge

TeraCal™

/TM6530

GUILDLINE IS DISTRIBUTED BY:

Technical Manual included.

6564 Series

8 or 16 Channel, 1000 Volt High Resistance Scanners

9336-100M

100 MOhm Artifact Calibration Resistor

9336/9337

See 9336/9337 Resistance Standards Data Sheet For More
Information

6636

See 6636 Resistance Standards Data Sheet For More Information

5030 Series

See 5030 Series Programmable Precision Temperature Air Baths(EMI Shielded) for More Information

6530 OPTIONS (See 6520A Series Options datasheet for more information)
65201

Penn Airborne Adapter

Guildline Instruments Limited

65220

Environmental Monitor

21 Gilroy Street, PO Box 99

65221

Surface/Volume Resistivity Test Fixture

65222

Large Shielded Sample Enclosure

Canada K7A 4S965223

Small Shielded Sample Enclosure

Phone: (613) 283-3000

65224

Zero Link

Fax: (613) 283-6082

65225

Lead Set

Web: www.guildline.com

65226

Calibration Kit (Includes 65224 & 9336-100M)

31208-00-85 Rev. A. Copyright © 2011.03.09 Guildline Instruments Limited. All rights reserved. Subject to change without notice.

Smiths Falls, Ontario

Email: sales@guildline.com