昭和47年10月19日第4種学術刊行物許可

平成30年11月15日発行（奇数月）

ISSN 1346－7719

フルードパワーシステム

日本フルードパワーシステム学会誌

フルードパワーシステム

Nov.2018 Vol.

49 No.6

特集「フルードパワーとサーボ技術」

一般社団法人 日本フルードパワーシステム学会

http://www.jfps.jp

LUID POWER SYSTEISSN 1346―7719

第49巻 第 6 号 2018年11月

日本フルードパワーシステム学会誌

フルードパワーシステム
目次

特集「フルードパワーとサーボ技術」【巻頭言】「フルードパワーとサーボ技術」発行にあたって

五嶋 裕之

264

田村 博久

265

油圧サーボ・比例弁駆動ドライバの技術

岩崎

章

271

デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる強磁界直動型高速サーボ弁

中川晋一朗

274

半導体製造装置における空気圧サーボ技術

涌井 伸二

277

水圧サーボ弁の新技術

鈴木 健児

281

小型スマート油圧アクチュエータ

西畑 教英

284

マイクロ流体制御バルブ

吉田 和弘

287

田中

豊

290

オーストラリア（ブリスベン）駐在日記

齋藤真二郎

293

学生さんへ，先輩が語る―空気圧機器メーカーに勤め始めて―

下川 一幸

296

Youは日本をどう思う？第６回：ベトナムから日本に留学してハー・フー・フン 299【総論】
サーボ弁・歴史と技術【解説】【会議報告】ROBOMECH2018におけるフルードパワー技術研究の動向【トピックス】【研究室紹介】慶應義塾大学 竹村研究室紹介

當麻 美友

301

桜井 康雄

304

【企画行事】
平成30年春季フルードパワーシステム講演会

共催・協賛行事のお知らせ

307

平成30年度ウインターセミナー 「フルードパワーシステムと1DCAE」


308

資料一覧

309

フルードパワーシステム第49巻総目次

313

その他

306，308，316■表紙デザイン：山本 博勝 ㈱豊島

一般社団法人 日本フルードパワーシステム学会〒 105-0011 東京都港区芝公園３―５―22 機械振興会館別館102
TEL：03―3433―8441 FAX：03―3433―8442
E-Mail：info@jfps.jp

LUID POWER SYSTE【会告】ISSN 1346―7719

Vol．49，No. 6

November 2018

JOURNAL OF THE JAPAN FLUID POWER SYSTEM SOCIETY

FLUID POWER SYSTEM
Contents
Special Issue “Fluid Power System and Servo Technology ”【Preface】

On the Special Issue“ Fluid Power System and Servo Technology”
Hiroyuki GOTO

264

Hirohisa TAMURA

265

Technique of Fluid Control Valve Driver
Akira IWASAKI
Direct-acting Servo Valve Driven by Strong Magnetic Field of Dual Halbach Magnet Array
Shinichiro NAKAGAWA
Air Servo Technology used in Semiconductor Manufacture Equipment 
Shinji WAKUINew Technology of a Water-Hydraulic Servo Valve
Kenji SUZUKI
Compact Smart Hydraulic Actuator
Michiteru NISHIHATA
Micro Fluid Control Valves
Kazuhiro YOSHIDA

271【Survey】

Servovalves－Brief history and Design

【Review】【Conference Report】

Research Trend of Fluid Power in ROBOMECH2018

274
277
281
284
287

Yutaka TANAKA

290

Residence Diary in Australia (Brisbane)
Shinjiro SAITO
Senior talks to students―Start working in a Pneumatic Product Manufacturer―
Kazuyuki SHIMOGAWA
What do you think of Japan? 6th：Study in Japan from Vietnam
HA HUU HUNG

293

【Topics】【Laboratory Tour】

Introduction of Takemura Laboratory in Keio University

【JFPS Activities】

Report on Spring Conference of Japan Fluid Power System Society 2018

【JFPS News】


296
299

Miyu TOMA

301

Yasuo SAKURAI

304

306, 307, 308, 309, 313, 316

The Japan Fluid Power System Society
c/o Kikaishinko Building
3―5―22 Shiba―koen, Minato-ku, Tokyo, 105―0011, Japan264

フルードパワーシステム

巻 頭 言「フルードパワーとサーボ技術」発行にあたって

続いて，「油圧サーボ・比例弁駆動ドライバの技術」と題して，電気油圧制御弁のコイル電流を駆動
ご
とう
ひろ
ゆき
するために必須なドライバ回路の特徴について，
五 嶋 裕 之AC駆動とDC駆動，定電流駆動回路，PWM駆動な株式会社 工苑 機器システム部
どについて平易に解説いただいた．
〒213－0032 神奈川県川崎市高津区久地4－26－41
E-mail：goto@koenn.co.jp
つぎに，「デュアル・ハルバッハ・マグネット・
1987年神奈川大学大学院工学研究科修士課程
アレーによる強磁界直動型高速サーボ弁」と題して，修了．日立製作所，機械振興協会，菊池製作所
を経て現在に至る．メカトロニクス，フルード
高磁束密度のマグネット・アレーを応用した，直動パワー制御の研究開発に従事．法政大学兼任講師．日本フルードパワーシステム学会，日本機型高速サーボ弁について解説いただいた．高サイク
械学会会員．博士（工学）（2010年 法政大学）．
ルタイム，高速で高推力が必要なアプリケーション
での活用が期待される．
フルードパワーを利用したサーボ機構，中でも油続いて，「半導体製造装置における空気圧サーボ
圧サーボ機構は，高剛性，高応答，電動に比べ軽量技術」と題して，半導体製造の中核である露光装置
で高い出力が得られるなどの特徴により航空機，船で使用される空気圧サーボ技術について解説いただ舶，試験装置，産業機械に幅広く使われている．そいた．除振台の制御では,多数個の空気ばねを平衡の中心となる技術は，電気信号を受けて任意に流量位置に支持し，かつ除振および制振の両機能を満たや圧力を制御する電気油圧サーボである．高性能なす事が必要であることが示され，その解決のためのサーボ弁の開発により，応答性能の優れた電気油圧
これまでの研究成果が示された．
サーボが実用化された．初期の油圧パルスモータやさらに，「水圧サーボ弁の新技術」と題して，水油圧サーボ機構により，製品化，実用化が進められ
圧制御弁の現状，水圧駆動システムの市場規模拡大
たNC工作機械や産業用ロボットも，現在は電動モーのため構造を単純化し低コスト化した，ロータリー
タによるデジタルサーボ機構に置き換えられている． 型サーボ弁の開発についてこれまでの研究成果をも近年，空圧，水圧といった流体を利用したサーボ機とに解説いただいた．
構も，その特徴を生かした分野で実用化が進んでいつぎに，「小型スマートアクチュエータ」と題しる．今後も，電動，油圧，空圧，水圧，機能性流体て，3D金属プリンタで成形された小型軽量ボディ
といった各フルードパワーシステムの特徴を生かしに，小型サーボ弁，油圧シリンダ，位置・圧力セン
た棲み分けが一層進むと考えられる．
サおよび通信機能を統合したスマートアクチュエー
本特集では，フルードパワーを利用したサーボ技
タの開発について解説いただいた．サービスロボッ
術開発の歴史を振り返るとともに，油圧，空圧，水トなど新たな応用分野への普及が期待される．
圧，機能性流体の各フルードパワーとサーボ技術に最後に，「マイクロ流体制御バルブ」と題して，ついて，最新のサーボ弁，周辺機器やアプリケー
マイクロサイズでも高パワー密度であるフルードパ
ション，新たな研究開発について第一戦で活躍中のワーの特徴を生かした，マイクロ流体制御バルブの技術者・研究者の皆様に解説記事を執筆いただいた． 研究開発について解説いただいた．圧電材料，電気
はじめに，本特集の総論として「サーボ弁・歴史
粘性流体などの機能性材料を用いると，高機能なデと技術」と題して，電気油圧サーボ弁の歴史と技術
バイスの実現できることが実証された．
開発について丁寧に解説いただいた．サーボ弁の基末筆ながら，非常にご多忙中のところ，大変に貴本構造は長年変化していないものの，油圧は瞬発力， 重で興味深い解説記事をご寄稿いただいた執筆者の空圧は人へのやさしさ，水圧は環境へのやさしさを皆様に心よりお礼申し上げます．
キーワードに流体応用サーボとしての広がりについ（原稿受付：2018年9月13日）て期待が述べられた．
著

者

紹

介

4

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

田村博久：サーボ弁・歴史と技術

265

総 論

サーボ弁・歴史と技術

著

者

紹

介
た

むら

田 村

ひろ

博

ひさ

久

田村技術士
〒259-0133 神奈川県中郡二宮町百合が丘３－16－５
E-mail : tamura-servo@mj.scn-net.ne.jp
1972年 早稲田大学理工学部機械工学科卒業．
東京精密測器㈱，日本ムーグ㈱を経て，2014年
田村技術士（事務所）設立，現在に至る．油圧制御，サーボ弁設計方法の調査研究に従事．日
本フルードパワーシステム学会，日本機械学会などの会員．技術士（機械部門）．

1．は じ め に
電気油圧サーボ弁が世に出て久しい.現代でも主流 の ノ ズ ル フ ラ ッ パ パ イ ロ ッ ト 駆 動 メ カ ニカ ル
フィードバック型サーボ弁（MFBと称す）とほと
んど同じ形状の特許が出願されたのは1959年である1）．現在に到るまで，どのような進化があったのであろうか．近年新製品が多く発表されている直動方式のサーボ弁と合わせて振り返ってみたい．直動方式とは主弁であるスプールを電気モータで直接駆動するタイプ（直動弁と称す）で，その一つである
トルクモータ型直動弁（TM型と称す）は1960年の
文献２）にもみられ，MFBと同様に歴史がある．
現在の代表的な直動弁は可動線輪型モータ（VCMと称す）駆動方式である．
サーボ弁の歴史を振り返ることは度々行われてきた．文献３）によれば最初にパイロット駆動型メカ
ニカルフィードバックタイプを特許申請したのはCarsonである．残念ながらこの構造は片ノズルであり，圧力や温度の変化に対するドリフトの恐れがあることは想像に難くない．その後，文献４）のジェットパイプパイロット型や，文献５）の対称的な構造のダブルノズル型へと続く経緯が示されていて興味深い．
近年は直動弁の開発が多いが，それはマグネット
や駆動アンプや制御の進歩の恩恵であろう．

に主弁の構造は４方弁型スプール弁である．スプー
ル変位に連動する４個の制御オリフィスがフルブ
リッジを構成して精度よく負荷を制御できる特徴がある．過去にはプレート型や回転型のサーボ弁も存在したが円筒形状スプール弁構造に収束している．
加工面（高精度が得やすい）や性能面でスプール型が有利である理由によると思われる．
また，図１や図２をパイロット弁としてメインス
プールを駆動する構造の大型サーボ弁も存在する．
サーボ弁の基本特性は指令対出力流量である．ス
プール変位xに対応する開口面積をA（x）とすると出力流量Qは式１で示される．
Q＝Cd×A（x）×（2ΔP/ρ）
……式１
スプール弁の円周方向の幅（Ｂ）が一定であればストロークxに対する開口面積A（x）は比例し，Qはストロークに比例（弁差圧ΔPが一定として）する．

図１

MFBの構造例

2．サーボ弁の構造と特徴
2.1 サーボ弁の構造と比較
MFBと直動弁の構造例を図１，２に示す．ともフルードパワーシステム

図２
第49巻

直動弁（VCM型）の構造例
第６号

2018年11月（平成30年）

5

266

フルードパワーシステム

Cdは流量係数であり0.7程度の一定値と考えてよい
が，低Re数の領域では層流効果によって等価的にCdが小さくなる．スプール弁の零点付近の特性を正確に評価する時はこれを考慮しなくてはならない．
MFBでも直動弁でも指令に対してスプールスト
ロークが比例し，弁差圧一定下で流量が比例することに違いはない．動的な特性と分けて図３のように表現するとわかりやすい．
MFBとVCM型直動型サーボ弁の比較を表１に示した．また，MFBと直動弁の特徴を次節に示す．

に導かれている左右のノズル背圧Pnに差を生じてスプール（質量M）を駆動し，フィードバックばねの反力トルク（Xp*KF）が指令トルク（T）と釣り合う位置でスプールを定位させる．図４は，力の外乱を明示できる形で指令 I からスプール変位Xpまでをブロック図化したものである．図中の ∂Pn/∂
Qn はノズルフラッパ機構の出力特性で，流量（Qn）
に対するノズル背圧の勾配である．また，Kpはフラッパ変位に対するノズル背圧ゲインである．

図４
図３
表１

サーボ弁の表現例

VCM型直動弁とMFBの比較

直動弁（VCM型） MFB
定格流量～ 80 [LPM]～ 230 [LPM]

応答性

高応答

中程度

小～中

大

40 ～ 100[N]200 ～ 1000[N]スプール駆動力

スプール弁の形状 流体力補償形状

一般形状

大

小

20 ～ 100[W]0.05 ～ 0.3[W]

大きさ

大

小

パイロット圧

不要

必要

組立熟練度

中

高

駆動電力

2.2 MFB（ノズルフラッパパイロット）の特徴
メカニカルフィードバック方式が発明される以前のノズルフラッパパイロット型はスプールがバネバ
ランスで定位される2）．図１の構成のフィードバッ
クばねが無く，スプールの両端に釣り合いばねの設置された構造である．このタイプは外乱（流体力や摩擦力など）の影響を受けやすいため，スプール位
置を機械的にフィードバックして性能の向上が図られ た． 一 つ は 電 磁 変 換 部 で あ る ト ル ク モ ー タ にフィードバックばねをつけてトルクフィードバック
する方法（図１のMFBの構造）である．他の方式
はフラッパ変位にスプールを追従させる位置フィー
ドバック方式であるが本稿では言及しない．
図１のMFBの動作原理1）は，コイルに指令電流 Iが入力されるとアマチュアに偶力（トルクT ）が働
き，それと一体構造のフラッパが変位（Xf ）して左右のノズルギャップを変え，スプール端室（面積Ad）6フルードパワーシステム

第49巻

第６号

MFBのブロック図

図中の外力は主にスプールに作用する流体力で，流速と流量の積に比例する．つまり，流す流量によって外力が変化することになり，本来一定である
べき指令対スプールストロークが一定でなくなる．
MFBはスプール駆動力が大きく，その影響は少ないことが特徴だが，大流量のMFBでは図５のように影響を受けてしまう．サーボ弁の定格流量Qrは
弁圧力降下７（MPa）で規定されており，任意の弁圧力降下Pvの時の出力流量は Qr*（Pv/7）と計算される．しかし，大きな弁圧力降下の時，図５のごと
くスプール変位が減少（スプールバックと称す）して計算値の出力流量が得られないことになる．極端な例では，弁圧力降下を増加しても出力流量がほとんど増加しないこともあるので注意すべきである．
改善する方法は制御ループの前向きゲインである（1/KS）*Kpを大きくすることや，波線で示したノズ
ル噴流の流体力項のゲイン（L*An）を小さくする
ことなどでスプールの位置決め剛性を大きくすることである．しかし，いずれもノズルサイズを小さくすることになり，パイロット流量が減少するので難図５

 流量MFBの指令対スプール変位例（弁差圧大別）

2018年11月（平成30年）

田村博久：サーボ弁・歴史と技術しいところである．
つぎに，パイロットであるノズルフラッパ弁（NF
弁と称す）の流量限界を説明する．比較的流量の大きなサーボ弁の周波数特性には振幅依存性がある（指令振幅大なるほど周波数特性が低下する）．これはパイロット流量が不足するためである．NF弁のノズルやオリフィスを大きくすれば流量を増加することが可能だが，流体的なノイズが発生してスプー
ル が 微 小 駆 動 し て 使 用 に 耐 え な く な る． 図 ６ はMFBをパイロットとして大型のメイン弁スプールを位置決め制御した時のスプール変位を記録したものである．高圧時にはメイン弁スプールが約１%変動している．MFB内に生じたキャビテーションに起因する出力流量ノイズが原因となっていることが推測できる．

表２

モータの種類
応答性
駆動力
ストローク

図７
図６

MFBによる変位制御例（左：低圧時,右：高圧時）

NF弁のキャビテーションはキャビテーション係
数 σ が小さく，レイノルズ数Reが大きいほど発生しやすい．つまり，サイズの大きなノズルやオリフィ
スはReが大きくなって不利である．また，σ は（出口圧力／差圧力）で近似されるので，上流にあるオ
リフィスよりも下流のノズルの方が小さい値になって不利である．設計に際して，オリフィスの差圧がノズルの差圧よりも大きくなるようにノズル系（直径とフラッパとのギャップ）とオリフィスのサイズ選定がされている．また，図１には示されていないが，ノズルの下流にドレンオリフィスを設置してノズル下流の圧力を高くして σ を大きくし，キャビ
テーションの発生を防止する構造が現在のMFBの主流である．MFBのカタログなどの断面構造で確認していただきたい．
2.3 直動弁の特徴
スプールを直接駆動するモータとして表２の３種類がある．可動線輪型（VCM）と可動鉄片型に大分類される．可動鉄片型はリニア型（LMと称す）と大型トルクモータ型（TMと称す）がある．それぞれの特徴を表２に示す．
VCM型サーボ弁の例として，1kHzで加振する高サイクル疲労試験の用途で図７のVCMパイロット
２段型サーボ弁が紹介6）されている．製造元のカタ
ログ7）によれば出力流量は1kHzで約26[LPM]（Pv=
7MPa時）である．我が国でも同構造で同等の応答性のものが開発されている．
TM型直動弁はMerritが指摘8）しているように①ストロークが小さくて十分な流量が得られない②安定267

直動型サーボ弁のモータと特徴

可動線輪

大 型 ト ル ク 可動鉄片型（VCM）

モータ（TM）

高

高

中

小

中

中

～ 100[Ｎ]～ 250[Ｎ]～ 300[Ｎ]

大

小

中

～２ｍｍ

約0.1ｍｍ～１ｍｍ（LM）

VCM型直動弁パイロットの2段型サーボ弁6）性に問題があるなどの欠点があるが，スプール軸方向の加速度に対する影響を少なくできる利点を活かして試験機用サーボ弁のパイロット弁として使用している図８の事例9）がある．
直動型は油圧パイロット型（MFB）に比較して高応答が得られるが，その応答性の限界について述べる．高応答を特徴とした直動弁は，速度フィードバッ
クループを有するスプール変位フィードバック制御
系（図２において変位検出器と速度検出器を搭載した構造）の構造であり，図９のブロック図で表せる．
この構成では，遅れ要素が無ければ，図のゲイン
K1はいくらでも大きくすることができる．すなわち，
図の速度フィードバックゲインKvを大きくしてい
けば，減衰係数 ζ を適正値に保ったままで，弁変位制御系の固有角速度ωnは限りなく大きくできる．
しかし，系には弁側の遅れ（渦電流などの影響）や

図８

フルードパワーシステム

TM型直動弁をパイロット弁とした例8）
第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

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フルードパワーシステム

アンプ系の遅れがあって限界がある．筆者の経験では，遅れを最小限になるように考慮しても速度制御
ループのループゲインKLが6000（1/s）程度になる
Kvが超高応答直動型サーボ弁の限界である．ここでKL は， 図 の 速 度 ル ー プ の 一 巡 ゲ イ ン の/m で示される．その上で，弁変位の（Ka*Kfm*Kv）
制御調整パラメータK1を調整してζ=0.5になるようにした場合，ωnはKLとなり，固有振動数fnは950Hzと計算される．この程度が実現可能な限界であると考えられる．
（図10の20％指令参照）

図９直動型サーボ弁のブロック図例

図９の変位フィードバックに用いられる変位検出
器には非接触で高応答である差動変圧器（LVDT）
や渦電流式変位検出器が用いられている．速度検出器もスプールに直結させて遅れの無い信号を検出する方法が高応答タイプに採用される．変位信号を微分して速度信号を作る方法もあるが，位相遅れを完全に排除することができないので超高応答型に適用するのは難しい．
固有振動数950Hz程度まで可能と記述したが，100％加振の限界周波数（Ffulと称す）には限界がある．駆動モータの定格推力をFm=100[N]，定格
スプール変位をYr=0.2mm，スプール系の質量を
m=0.05[Kg]で慣性力と推力をつり合わせると，
Fm=m*Yr*（2π*Fful）２ であるから，Ffulは計算上約500[Hz]になる．図10に示した100%指令の周波数特性例が限界であろう．

図10

VCM直動型サーボ弁の周波数特性例（大小指令）

可動鉄片型直動弁は応答性よりもパイロット圧力が不要である特徴を重視したモデルである．その一例は図11の超高圧70[MPa]サーボ弁である．MFB
でも70[MPa]のサーボ弁の実績はあるが，パイロッ
トであるノズルフラッパ弁のキャビテーション問題をクリアせねばならず，技術的に高難度である．

8

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

図11

可動鉄片型超高圧サーボ弁10）

MFBのスプールバックについて述べたが直動型
サーボ弁にも発生する．直動型は駆動力がMFBよ
りも小さいため流体力の影響を受けやすい．そのため流体力そのものを低減する流体力補償型のスプー
ルスリーブが適用される（たとえば文献11））.それに加えて，図９のフィードバック系のゲインK1の部
分に補償要素を加えることを行っている場合もある．
低域のみのゲインを大きくする（低域補償）ことにより，制御の安定性を損なわないでスプールバック
量を低減する方法である．

3．サーボ弁の静的な特性と関連技術
サーボ弁の弁差圧ΔP（１制御オリフィス当り）と流量の関係は式１で示した．ΔPをサーボ弁の弁
圧力降下Pv（=Ps－PL）に置き換え，負荷圧力PLに対する流量の関係を例示したものが図12a（負荷圧
力―流量特性）である．ここでPsは供給圧力，Pv
は負荷への流出，流入の両方の合計差圧（２制御オ
リフィス当り）である．
負荷圧力PLが一定であればスプール変位 x 対出力
流量Qはリニアである．負荷圧力が零，すなわち無負荷流量特性はxに対するQを図12aのY軸との交点を連続的にプロットしたものと同じである．負荷圧
力－流量特性のxの零点近傍を拡大したものが図12bであり，xに対するＸ軸との交点を連続的にプロットしたものがサーボ弁の圧力ゲイン特性に相当する．スプールとスリーブのクリアランスが小さいほど圧力ゲインが高くなるため，初期のサーボ弁は直径クリアランスが２～３[μm]と非常に小さいものが好まれた．しかし，耐ゴミ性が低い（シルティ
ングを生じる）欠点があるため，この２倍程度以上のクリアランスに設定しているものが増加してきている．シルティングとは微小ゴミがスプールとスリーブ間に堆積して想定外の摺動抵抗増加や特性変化を発生させる現象である．
また，小クリアランスは図12bの勾配（∂Q/∂
PL ）が零に近くなることを意味し，制御系（シリンダ－負荷慣性）の油柱共振を強くしてしまうことがある．これに対して，大クリアランスの場合はそれへの抑制効果が働くメリットがある．ただし，内2018年11月（平成30年）

田村博久：サーボ弁・歴史と技術

図12a

図12b

スプール弁の負荷圧力－流量特性例

269

Ｔ側のポート幅比をシリンダ面積比の平方根比に合わせると速度ゲインも共通になり，伸縮の定速度動
作時の定常速度偏差が同じにできる．これは面白い
技術（図14）だがシリンダに応じた専用のスプール弁が必要になり，実用には供されていないようである．片ロッドで高周波数加振するシステムの場合に有効な技術であるので敢えて紹介した．なお，シリンダ面積比 a の場合のスプール弁のポート幅 S の比を具体的に示せば式２である．
S1 : S2 : S3 : S4 = a : １ : a1/2 : a3/2
……式２

スプール弁の負荷圧力－流量特性（零点拡大）

部リーク量が増加するマイナスがある．

4．スプール弁の形状について
スプール弁の４つの制御オリフィスの流量ゲイン
は通常共通である．しかし，これを敢えて不均一にする技術がある．それは，非対称シリンダに適合させるためである．非対称シリンダが適用される代表
例は片ロッドタイプのフライトシミュレータである．
不均一にする理由は圧力の急変を無くすためである．
非対称シリンダでは無負荷であっても，図13のように速度の切り替わり点で圧力が急変する．その結果，異音を生じたり加速度歪を生じたりすることがあり問題となる．スプール弁の各端面の流量ゲイン（すなわちポート幅）をシリンダの面積比に一致させると理論的に圧力の急変が解消されるのでフライ
トシミュレータ用途では適用される12）．
付け加えれば，非対称シリンダの速度ゲインを伸縮で共通にするためには上記では不十分である．
ポート幅比をシリンダ面積比に合せた上で，Ｐ側と図13

片 ロッドシリンダ無負荷加振時の内圧変化13）（無負荷にも拘らず切返し点で内圧が急変する）

図14 全
 てのポート幅が異なる事例14）（シリンダ面積比a=2の場合の各ポート幅比）

スプールの外形の特徴として，ハイドロリック
ロックを防止するためにラビリンス溝（図14のス
プール外径の溝）が設けられている．ラビリンス溝の代わりに図15のテーパ形状の静圧軸受を設ける
場合がある．特に高周波数で加振する用途の場合や重量のある超大型スプール弁15）の場合の焼き付き防止のために採用される傾向にある．

図15

超大型サーボ弁スプールのテーパ型静圧軸受15）フルードパワーシステム

第49巻

第６号

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270

フルードパワーシステム

5．サーボ弁技術のトレンド
サーボ弁の基本構造は長年変化してないと述べたが機種の拡がりはある．特徴的なものを列記する．
超大型化：実物に近い模型での耐震実験用途で，防災 科 学 技 術 研 究 所 の Ｅ デ ィ フ ェ ン ス で は15000（LPM）のサーボ弁を３台並列に使用しているシリンダ軸がある．
超小型化：モータスポーツやモビリティロボット16）
統合化：制御アンプのサーボ弁への搭載化やサーボ弁とシリンダと制御の一体化16）
カートリッジ型化：一方向の高速度制御（ダイカス
トマシンなど）用途の大流量２方弁型サーボ弁
超高応答化：VCM型直動弁による応答性向上
新型モータの適用：ピエゾアクチエータや磁歪素子のサーボ弁への応用
超高圧化：定格圧力70[MPa]のサーボ弁（既述）6．サーボ弁のシミュレーションモデル
サーボ弁を使用した油圧サーボシステムの設計や性能評価を行う場合，まず線形化して得た伝達関数を用いて評価する．しかし，得られる波形を評価するためには非線形のままで取り扱う必要があり，そのためのシミュレーションツールも揃っているので活用すべきである．サーボ弁の周波数特性には振幅依存性があると述べたが，単なる二次系ではなく図16のような飽和要素付き（リミッタ付積分器の出力リミッタで置換える）二次系モデルで取り扱うことを推奨する．このモデルは小指令振幅と大指令振幅時の違いを実データに近い特性で表現できる．なお，図16の各パラメータはサーボ弁の仕様書やカタログで記載されている数値なので取得しやすい利点がある．
流量特性についてもスプール変位から流量の式１を線形化せず，平方根のままモデル化17）できること
が数値シミュレーションのメリットである．

図16

サーボ弁の動特性モデル（振幅依存性考慮）

技術について述べた．ここでは触れなかったが，特定用途向けの特殊なサーボ弁も存在してきたことが示すように，オールマイティ的なサーボ弁ですべてを対処しきれないところがこの分野である．新たなサーボ弁の適用分野を見つけることが新たなサーボ
弁を生み出すきっかけになるであろう．また，サーボ制御の可能なサーボ比例弁の進展も見逃せない．
本書では油圧サーボ弁を念頭において解説したが他の流体用のサーボ弁も基本的な構造は同じである
ので参考になると思う．空気圧や水圧は油圧に比較
して潤滑性に劣るのでそれに対応する構造，例えば
静圧軸受の採用などが特徴的であろう．
本特集には油圧のほかに，他の流体用のサーボ弁や新しい機械要素を適用した事例が紹介されている．
今後，油圧は瞬発力，空圧は人へのやさしさ，水圧は環境へのやさしさをキーワードに流体応用サーボ系として広がりを見せることを期待して終りとする．
参考文献
１ ）田村：サーボ弁の基礎的な仕組みと課題，油空圧技術
1994. 8２ ）Blackburn: Fluid Power Control, The M.I.T. Press p.
404, p. 407（1960）
３ ）Thayer: A Brief History of ElectrohydraulicServomechanisms （TECHNICAL BULLETIN 141,
MOOG）
４ ）U.S. Patent 2884907：Servomechanism, R.D. Atchley,
filed Aug. 1957
５ ）U.S. Patent 3023782: Mechanical feedback flow
control servo valve, A. Chaves filed Nov. 1959
６ ）Morgan: A １ KHz SERVOHYDRAULIC FATIGUETESTING SYSTEM, Proceeding of conference “High
Cycle Fatigue of Structural Materials” 1997, p 305-312
７ ）MTS社カタログ “Servovalves” 2012年
８ ）Merrit: HYDRAULIC CONTROL SYSTEMS, John
Wiley & Sons, Inc. p. 193（1967）
９ ）田村：試験機用サーボ弁，油空圧技術1992. 10，p. 2210）日本ムーグ社カタログ “ダイレクトドライブサーボバル
ブ_J634シリーズ” 2013年
11）佐々木他：サーボ弁・不思議現象―案内弁に働く流体力について，フルードパワーシステムVol. 30- ５12）田村：フライトシミュレータ用サーボバルブ開発秘話，
フルードパワーシステム Vol. 33- ５13）田村：フライトシミュレータ用サーボ弁，ＪＦＰＳ
平成13年春季講演会製品・技術紹介，p. 109
14）特開2001-132706
15）日垣：超大型試験機用サーボ弁の開発，機械設計Vol.
40-1116）北村：超小型サーボ弁と最新油圧技術の適用事例，油空圧技術2018. 2
17）例えば 真田：電気油圧サーボ弁のモデル，油空圧技術2007. 2

7．お わ り に
電気油圧サーボ弁の歴史と実際的な特性を含めた

10

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）（原稿受付：2018年 ８ 月15日）

岩崎

章：油圧サーボ・比例弁駆動ドライバの技術

271

解 説

油圧サーボ・比例弁駆動ドライバの技術

著

者

紹

介
いわ

さき

岩 崎

あきら

章

株式会社工苑開発部部長〒213-0032 神奈川県川崎市高津区久地４－26－41
E-mail：iwasaki@koenn.co.jp
1990年株式会社工苑入社，主に特機案件のシステム設計・電気設計・ソフト設計に従事

1．は じ め に
油空圧システムにおける制御の対象は作動油や圧縮空気等の流体である．その方向・流量・圧力を電気信号により制御するものが電磁弁，電磁比例弁，サーボ弁等の電気制御弁である．制御弁内にあるス
プールやポペット等の流体を制御する部品（弁）に
物理的な変位を与え，流路を変化させる事でさまざ
まな制御を実現している．弁を動かすための力はコ
イルに電流を流す事により発生する電磁力を鉄心等の磁性体に作用させる事で得ている．ここでは電気制御弁のコイルを電流駆動しているドライバ回路等について考えて行く．

2．電気制御弁の仕組み
電気制御弁はコイル，磁性体，スプリングで構成れており，スプリングの力で固定されている磁性体の位置をコイルへの通電により発生する吸引力で変位させている．単純な電磁弁はスプリングにより保持されている流路に対して通電の有無により弁を２値的に位置変化させている．単なる流量のON/OFF
だけでなく絞り弁と組み合わせる事で速度の切替えを行ったり，減圧弁と組合せて圧力を切り替えたりする事も可能である．一方，電磁比例弁やサーボ弁は通電する電流量に比例した連続的な位置変位を弁やフラッパに与える事で流体を比例的に制御している．シリンダや揺動モータ等のアクチュエータの速度制御，位置決め制御，荷重制御，圧力制御等に適用されている．

3．AC駆動とDC駆動
電磁弁はソレノイドの構造をしており，AC駆動
かDC駆動かの駆動（通電）方式により特徴が分かれる．ACソレノイドの場合，鉄心がコイルの外にある初期状態（起動時）にはインダクタンスが低い
ので突入電流が大きくなる．大きな電流が流れるので大きな推力が得られるため，大きなストロークが可能となる．鉄心を引き込んだ後は磁性体がコイルの中にある状態となり，インダクタンスが上昇する
ので，保持電流は低く済み省電力である．しかし作
動ストローク途中でロックされてしまうようなトラブルが発生すると大きな電流が流れ続けてしまい，
コイル焼損に至る事がある．AC200Vのコイルを間違ってAC100Vで駆動した場合も駆動力が不足して鉄心を動かす事ができず焼損を招く場合がある．
DCソレノイドの場合，DC駆動であり通電開始時や遮断時の過渡的な状態を除いてはインダクタンスの影響を受けないのでロック等が発生してもACソ
レノイドの様な過電流による焼損の心配はない．しかし駆動電流が一定のためACソレノイドよりはス
トロークは大きく取れない．
電磁比例弁やサーボ弁を扱う場合は指令信号に対してどれだけ追従するかの応答性や周波数特性を検討する必要がある．実質的にAC駆動と考えインダクタンスやその変化等も考慮しなければならない．
たとえばヒステリシスやスレッショルドの改善，またコンタミ対策としてディザ信号をコイルの駆動電流に加算する場合，駆動する電流は制御弁のコイル
インピーダンスに依存するため，周波数が高くなるとインダクタンスが大きく作用し，駆動電圧を高くしなければ所定の電流を流せない場合がある．たとえば図１のようにコイル抵抗20Ωのコイルは直流電流であれば，24Vで1.2A流す事ができるが，目標電流１Aで200Hz±200mAのディザ電流を加算したい場合は25V以上の駆動電源が必要となる．実際には駆動する電子素子のドロップ分を考慮する必要もある．

4．定電流駆動回路
単純な電磁弁はリレーや半導体により通電・非通電を制御すれば良いが，電磁比例弁やサーボ弁は定電流回路により，実駆動電流が指令した電流になる様に制御している．制御するためには駆動電流のフィードバックが必要であり，コイルの駆動回路に電流検出用の抵抗器を直列に接続している場合が多い．
検出抵抗器に発生する電圧を計測し，既知である
抵抗値から電流に換算して定電流回路のフィード

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

11

272

フルードパワーシステム

図１

インダクタンスの影響バックとしている．検出抵抗を挿入する位置より使用条件等が異なってくる．図２のようにコイル通電後に検出抵抗を配置した場合，検出電圧Vdの計測
は０V基準電圧からであり回路構成的にシンプルであり多用されている．図３のようにコイル通電前に検出抵抗を配置した場合は検出抵抗の両端電位差（Vo-Vd）を差動増幅器により計測する必要がある．
計測基準電圧となるVdがコイルに流れる電流により変化してしまうため，回路としての同相信号除去比（CMRR：Common Mode Rejection Ratio）の影響を受ける．Vdが増減した分の電圧値に同相利得が掛かり差動増幅の出力がシフトしてしまう現象である．ノズルフラッパ型サーボ弁のトルクモータ等を駆動する時のように数十ミリアンペアの電流を扱う場合はあまり問題にならないが，電磁比例弁や直動型サーボ弁は数アンペアの電流を扱うため，Vdの変化幅が大きくなるのでコイルのインピーダンス
や駆動条件により計測電流の補正が必要となる．
図４のような非反転増幅回路を適用したコイル通電前に検出抵抗を配置する事例もある．比較的シンプルな回路構築が可能だが，電流値を正確にモニタするには差動増幅器や別の検出抵抗が必要となる．

5．PWM 駆 動

図２

コイル通電後に検出抵抗を配置

図３12フルードパワーシステム

第49巻

100mA程度までの駆動であれば高出力型のオペア
ンプや，オペアンプの出力にトランジスタやFETによるブースト回路を追加する事で対応できるが，それ以上の電流を扱いたい場合は素子が負担する損失量が大きくなるので許容損失や放熱を十分考慮しないと出力素子を焼損させてしまう．そこで登場するのがパルス幅変調PWM（Pulse Width Modulation）によるチョッパ制御である．
一定の周期（キャリア周波数）の矩形波における通電ON/OFFの時間（デューティー比）を制御する事でコイルに流れる平均電流を制御している．
図５のように指令電圧（a）と内部生成した一定周波数のノコギリ波（b）とをコンパレータ回路で比コイル通電前に検出抵抗を配置（１）第６号

2018年11月（平成30年）

岩崎

章：油圧サーボ・比例弁駆動ドライバの技術

図６
図４

コイル通電前に検出抵抗を配置（２）較し，（a）が（b）以上の時をONとする事でPWM
制御信号を生成する事ができる．100％デューティー
指令は常時ONのMAX電流であり，50％では平均電流が丁度半分となり，０％は通電OFFと同等となる．

6．ドライバの付加機能
サーボ弁用のドライバは位置や荷重のサーボルー
プ迄を取り込んだサーボアンプやサーボコントロー
ラとして展開されているものが多い．電磁比例弁用のドライバには図６のように電流指令が急激に変化しても出力電流はスローアップ／スローダウンで出力させる事でアクチュエータのショックレス動作を図るものや，スプールの位置をLVDTのフィードバックで取り込む事で正確に制御し，電流指令に対する流量特性の補償を行っているものもある．

273

スローアップ・スローダウン

7．お わ り に
油圧応用においては長期使用に対する作動油のコンタミ管理の問題等もあり，ノズルフラッパ型より
リニアサーボやボイスコイル型の直動弁が好まれる傾向があったが，デュアルハルバッハ磁石配列を応用したより高速，高ストロークなものも登場し，より直動弁化が進んで来ている．油空圧の世界でもサーボ制御を含むコントローラのマイコン化は古くから行われてきたが，サーボモータやインバータ用のドライバに比べ電磁比例弁用のドライバ部のマイコン化は遅れていた．CPUの処理速度が向上し，さらにCANopenやEtherCAT等に代表されるネットワー
ク化の要望も高まり各社製品化が進んで来ている．

図７ ディジタルサーボアンプの例

マイコン化によりパラメータ等のディジタル設定が可能となり，アナログ式の電子回路アンプをトリマーポ
テンショで調整する作業に比べて設定の再現性が向上
するので調整作業の効率化が図れ，複数台への設定
がパラメータのコピー等で済むので省力化が可能である．モニタ機能も強化されているので調整時だけでな
くトラブル発生時の要因究明にも非常に役に立つ．さらにディジタル処理によりアナログ回路では難しかったノンリニアな補正や複雑なアルゴリズム処理等を組み込む事も可能であり，ますます進化する事だろう．
図５

PWM 信 号

フルードパワーシステム（原稿受付：2018年 ８ 月 ８ 日）

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

13

274

フルードパワーシステム

解 説

デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる強磁界直動型高速サーボ弁

著

者

紹

介
なか

がわ

中 川

しんいちろう晋一朗

サンテスト株式会社〒554-0024 大阪市此花区島屋４－２－51
E-mail：nakagawa@santest.co.jp
2002年京都大学大学院工学研究科修了．同年
サンテスト株式会社入社，2016年サンテスト株
式会社技術部長，現在に至る．産業用センサおよび油空圧制御製品の研究開発およびユーザへのサポートに従事．システム制御情報学会会員．

1．は じ め に
筆者は産業用センサおよびサーボ制御コントロー
ラの提供を通じて，多くの機械において油圧駆動から電気駆動に置き換わるケースを見てきた．しかしながら一旦電動化したが再び油圧駆動へ戻すケース，
どうしても電動機では解決できないケースもまた存在する．これらのケースに共通するキーワードは高サイクル，高推力，高速である．具体的に言えばサイクルタイムが重視されるプレス機や大推力で加振を行う試験機などが挙げられる．
言うまでもなく油圧システムは高推力，高速すな
わち高いパワー密度を発揮できる点において電動機に比べて有利である．この強みを活用するため，筆者らはデュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーを利用した高速サーボ弁を新たに開発した．

ハルバッハ・マグネット・アレーは1980年代にKlaus Halbachによって発明された永久磁石の配置方法である．この配列方法では，通常のN-S配列とは異なり磁界が磁石片側に集中する（図１）．ハル
バッハ・マグネット・アレーの集中磁界を向かい合わせて配置を行うと，N-S配列に比べおよそ２倍の磁束密度を得ることができる（図２）．
近年では，ハルバッハ・マグネット・アレーの磁束解析とこれを利用した高トルクコアレスモータの設計事例が報告されているが1），筆者らはこのアレーを直動型サーボ弁のボイスコイルに適用するこ
フルードパワーシステム

第49巻

第６号

図２

N-S配列（上）とハルバッハ配列（下） ュアル・ハルバッハ・マグネット・アデレーによる磁束分布図とを考え，課題であったアレーの製作の困難さを独自の方法で解決した．

2．ハルバッハ・マグネット・アレー

14

図１

3．高速サーボ弁の開発課題とその対処
図３は設計したサーボ弁断面図である．図中右側のボイスコイル界磁にデュアル・ハルバッハ・マグ
ネット・アレーを利用している．開発したマグネット・アレーは期待どおりの性能を持っていたが，高速のサーボ弁として成立させるにはなお一層の研究開発が必要であった．以下に種々の課題と達成状況を報告する．
①軽量ボイスコイルの製作
高速応答を達成するためボイスコイルは軽量かつ2018年11月（平成30年）

中川晋一朗：デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる強磁界直動型高速サーボ弁

図３

図４

サーボ弁断面図

写真１

開発したボイスコイルの推力

低インダクタンスでなくてはならない．また，推力発生時にコイル自体がボビン上でずれてはならない
ため，筆者らはアルミニウムボビンとアルミニウム
角断面ワイヤを採用した．
製作したボイスコイルの推力特性を得るためにボイスコイルに一定の電流を与えたときのロードセル
出力を測定した（図４）．グラフからわかるように
2.245kgf/Aを得ている．また，ボイスコイルの位置が定格である±１mm変動した場所においても同様に測定し比較を行ったが大きな推力の変動はなく，実際に磁界が一様に与えられていることを確認できた．
②スプール位置，速度センサの開発
直動型サーボ弁においてスプール変位を制御するにはスプール位置センサが必要となる．従来，ス
プール位置センサとしては差動トランスが使われてきたが，安定した位置出力を得るためには変換器におけるローパスフィルタが必須であり，それに伴う位相遅れは高速応答を目指すサーボ弁には無視できないほど大きい．
そこで筆者らはホール素子を利用した小型の位置センサを新たに開発した（写真１）．このセンサはスプール位置を示すコア部分に小さなマグネットを利用するもので，非接触，アブソリュート検出で±１mmのストロークに対して非線形性1.5％FS以下，

275

スプール位置/速度検出センサ－20℃～60℃全域に対する温度ドリフト１％FS以
下，単体でのステップ応答が２μ秒である．さらに検出コア同軸上にコイルを設け，電磁誘導現象によるスプール速度も得られるようにした．ボイスコイ
ルを駆動するドライバにはこれらの位置，速度信号に加えてボイスコイルに印加する電流（等価的加速度 ） も フ ィ ー ド バ ッ ク す る こ と で， 単 純 な 位 置
フィードバックのみの制御に比べて安定性が増し，
ループゲインを高く設定することが可能となった．
③フローフォースを抑えたスリーブ・スプールの設計
フローフォースは，スリーブとスプールで構成される可変オリフィスを流れるジェット噴流に起因し，軸方向へはポートを閉じる方向に力が発生する．これはスプール位置制御系にとってはバネ負荷に相当する外乱となる2）．結果としてスプール位置定常偏差やステップ応答でのハンチングの要因となるため，スリーブ・スプールの流体力補償形状を工夫し低減した．
④ボイスコイルの冷却
ボイスコイルに電流を流す必要があるのはスプー
ルの加減速を行うためと，フローフォースに対抗する反力発生のためである．本サーボ弁のように大推力のボイスコイルと流体力補償形状スプールを利用する場合には発熱が問題となるほどの電流は発生しない．
しかしながら試験機アプリケーションによく見られる正弦波駆動の場合ではスプールは常に加減速を行い，周波数が高くなるにつれ駆動電流による発熱が無視できなくなる．設計したボイスコイルでは±１mm変位を150Hz以上で駆動した場合には特別に冷却する必要性が生じる結果となった．これを解決するために筆者らは強制油冷を採用した．強制油冷
はPポートから供給される作動油をボイスコイルに循環させる手法である．これによって動作周波数１
kHzの場合においてもコイル温度上昇を40℃以下に

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

15

276

フルードパワーシステム

抑制することができた．強制油冷の油量は供給圧力７MPa時0.7L/min以下である．
以上述べた種々の課題を解決し写真２に示すような製品となった．アンプを内蔵したタイプと外置にしたそれぞれのデザインを用意している．

写真２

本サーボ弁のアンプ部はパワー部と制御部が電気的に絶縁されており，供給電源は24V/±15V/48Vのいずれでも接続可能であるが，高い電源電圧を接続すればより高速な応答を得ることができる．主にステップ応答が重視されるアプリケーションや難燃性作動液を利用する場合には強制油冷のないドライ
型を，150Hz以上の周波数で加振するようなアプ
リケーションでは強制油冷型をおすすめする．
図７に定格10L/minから80L/minまでの流量特性を示す．上位サーボコントローラとの組み合わせを想定してできる限り直線状の流量特性を目指した．
ループゲインを上げやすく，正弦波コマンドでの波形歪みを少なくできるからである．

 発した高速サーボ弁（左：アンプ内蔵型，
開
右：アンプ外置型）

4．性 能 評 価
図５および６に開発したサーボ弁のステップ応答と周波数特性を示す．いずれもA/Bポートを直結し定格流量を流した状態で測定した．ステップ応答に
お け る ス プ ー ル 位 置 偏 差 が 少 な い の は， フ ロ ー
フォースの影響が十分に低減できていることを示し
ている．

5．む

図５

ステップ応答（60L/minドライ型）

図７

無負荷流量特性（ΔP=７MPa）

すび

本稿ではデュアル・ハルバッハ・マグネット・ア
レーを利用した直動型サーボ弁の開発について報告した．より高速に高推力を発揮させるためのコン
ポーネントとして油圧システムの限界の突破に貢献
できればと考えている．
本サーボ弁をパイロット弁として活用していただくことも考え，本サーボ弁に利用したホール素子を主弁スプール用に設計したセンサなども開発中である．
参考文献
１ ）森下明平：永久磁石ハルバッハ配列界磁の特徴と電気機 器 へ の 応 用， ケ ミ カ ル エ ン ジ ニ ア リ ン グ，58/10，
26-31（2013）
２ ）Herbert E. Merritt: Hydraulic Control Systems, Wiley,
p 101-105（1967）


図６ 周波数特性（60L/min 強制油冷型48V供給）

16

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）（原稿受付：2018年 ７ 月23日）

涌井伸二：半導体製造装置における空気圧サーボ技術

277

解 説

半導体製造装置における空気圧サーボ技術

著

者

紹

介
わく

い

涌 井

しん

伸

じ

二

東京農工大学大学院工学研究院〒184-8588 東京都小金井市中町２－24－16
E-mail：wakui@cc.tuat.ac.jp
1979年信州大学大学院修士課程修了．同年第二精工舎勤務．1989キヤノン勤務．1993年博士（工学）金沢大学．2001年東京農工大学大学院教授，
現在に至る．モーションコントロール，振動制御の研究に従事．電気学会，日本機械学会などの会員．博士（工学）．

1．は じ め に

図１

半導体製造の中核である露光装置では，数種類の空圧機器が稼働している．そのなかでも，半導体ウエハを載置する精密ステージに振動を混入させない
空圧式除振装置での空気消費量が最大である．そして，過酷な動かされ方をしている．
本稿では，同装置の原理を解説する．さらに，除振台に搭載される精密ステージの加減速駆動が急峻であるという特殊事情に起因して，除振装置の設計と運用に際して留意すべきをことを解説する．

2．空圧式除振装置
2.1 構
造
図１に空圧式除振装置の構造と制御系を示す1）．
水平方向にプッシュ・プル構造の空気ばねと，この方位の位置と加速度を検出するセンサを備える．これらセンサの出力に基づくフィードバック（以降，FBと略記）によって，各空気ばねの空気供給量を連続的に調整する．鉛直方向も同様の構造となる．
2.2 制 御 系
図１を再び参照して，平衡位置に除振台を定位させる位置FB補償には，PI補償器が採用されている．
位置FBはサーボ剛性を生み出し，床の振動を除振台に伝えない機能の実現においては実は都合が悪い．
そのため，PI補償器の比例ゲインは小さく，積分時間は大きく設定している．ここで，制御系のループ構造では，位置FBがメインループとなる．しかし，空圧式除振装置の構造と制御系機能の観点では，除振台上に設置した加速度センサの出力に基づくFBがメインである．加速度信号はKPを介して電流ドライバに印加されている．電流ドライバ，サーボバルブ，そして空気ばねは，積分特性であるため，KPによって減衰操作が行える．いわゆる，スカイフックダンピングを発現させられる．
ほかに加速度信号を積分器KI /sを介して速度信号となし，これを積分特性に通してばね操作ができる．
スカイフックスプリングの実現である．微分器KD sのFBによっては質量操作が行える．しかし，除振装置にあっては実用に供されてはいない．主に，スカイフックダンピングの機能が用いられている．
2.3 除振装置を使用する二種の場面
図２は除振装置を使用する二種の場面を示す．同
図上段には，除振台上に静的な光学装置が搭載されており，床からの振動を光学系に与えない除振機能だけが求められる．一方，図２下段では，空気ばねで支える構造体にはステージが搭載されている．これが加減速駆動することによって，構造体には揺れが生じ，これを抑制する必要がある．したがって，
空気ばねを用いた除振装置には，床からの振動を精
密なステージに伝搬させない除振と，構造体の揺れを抑制する制振の両機能が求められる．
以降では，後者の立場で空圧式除振装置を設計・運用する際に留意すべき観点をまとめる．

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

17

278

フルードパワーシステム

気ばねで支えられる除振台上では精密ステージが加減速駆動されており，この繰り返しの駆動反力に抗するためNFSVは頻繁に弁開閉を行う．動作が遅い
電圧駆動を採用のとき，空圧式除振装置の性能指標の一つである除振率（除振台上の振動/床の振動）におけるロールオフ領域の特性の劣化を招く．したがって，電流駆動の電流ドライバを実装する必要がある．
3.2 NFSVのヒステリシス特性
図４はNFSVの入出力静特性である．具体的に，
コイルに流す電流に対する制御ポートの圧力の特性である．図示のようなヒステリシス特性をもつ．ただ１個のNFSVを使った空圧機器の場合には深刻な
図２

図３

3．留

除振装置を使用する場面

２種の駆動方式による周波数応答の差異

意点

3.1 電流ドライバ
空気ばねへの空気の給排気はノズルフラッパ形
サーボバルブ（以下，NFSVと略記）が担う．直流の電磁モータであり，電気的にはインダクタンスを負荷とする．電機子の回転角はコイル電流にほぼ比例する．これによりノズル内の背圧を線形性よく制御できる．ここで，コイル電流を流すには電流ドライバが必要であり，電圧駆動と電流駆動の２種がある．
電圧駆動とはコイル両端電圧を検出し，これをFBする回路形式である．一方，電流駆動とは，コイル電流を電流検出抵抗の電圧降下で検出し，これをFBする回路構造をとる．図３に，両者の周波数応答をNFSVに通電するコイル電流が100mAのとき
弁全開となるタイプの場合で示す2）．電流駆動の方が高周波数域まで応答性がのびている．いずれも，
OA機器などの電磁モータに採用される周知の回路であり，高速性を要しない場合，安価な電圧駆動を採用する．この考え方を踏襲すると，空気ばねで支えられる構造体の応答は緩慢である．したがって，
電圧駆動の採用でよしとしたくなる．ところが，空18

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

問題を招くことはないであろう．しかし，複数台の空気ばねによって除振台を支持し，これに搭載されるステージの駆動反力に応じてNFSVの給排気を頻繁に行わせる空圧式除振装置の場合，NSFVのヒス
テリシス特性のバラツキは構造体としての除振台を歪ませる．これを避けるためには，管理したもの，
例えば図４を参照してコイル電流50mAにおけるヒ
ステリシス幅が所定以下のものを製造するか，あるいはスクリーニングして使用する必要がある．
3.3 NFSVの高周波数の振動
再び，図３を参照して700 ～ 800Hz近傍のゲインおよび位相特性には乱れがある．これは，NFSV
それ自身の機械共振に起因する．具体的に，図５に示すように，ねじりばねでイナーシャを持つアーマ
チャの平衡位置を保つ構造であるため，ここが振動する．しかし，空気ばねで支持する除振台の固有振動数が例えば２Hzという値に対して高周波である．
そのため，NFSVの振動は除振台の性能には関与しないと考えられる．ところが，除振台上のステージ
を急加減速駆動させ，構造体の揺れを抑えるために除振装置の位置FBをハイゲイン化せざるをえない
場合，NFSVから「鳴き」が発生する．大質量の除2018年11月（平成30年）

図４

NFSVのヒステリシス特性涌井伸二：半導体製造装置における空気圧サーボ技術

図５

279

NSFVの高周波振動とその抑制

振台が700 ～ 800Hzの振動数で有意に動かされることはないが，NFSV取り付け部位の振動を誘起し，これが位置決め機器に伝搬する事態を招く．解決の試みとしての一例を図５に示す．ねじりばねの箇所に粘弾性体を挿入し，ダンピングを付与している．
空圧特性は損なわないように組み立てを行った．除振台上に伝達するNFSVの高周波数の振動は低減できている2）．
3.4 空気ばね推力のバラツキ
複数個の空気ばねを使って，平衡位置に除振台を定位させている．このとき，NFSVに流す電流が同一，すなわちNFSVの開度が同一でも，空気ばねの形状およびゴム厚のバラツキなどに起因して，発生する推力に違いが生じる．この差異は，本体構造体の変形を招く．すると，同構造体を機械的な基準としている計測機器があるため，これらの計測値に誤差がのる．そこで，個々の空気ばねの内圧を圧力センサで計測し，これをFBする圧力FBが文献３）では導入されている．図６がこの制御系である．電磁モータを使った位置制御では，同図下側のように，内側から外側に向かって，電流FB，速度FB，そして位置FBという３重のループが構成される．一番内側の電流FBの機能は，電磁モータの発生トルクの管理にある．初期の空圧式除振装置には，電磁モータの場合におけるトルク管理ループに相当するものはない．導入した圧力FBは電磁モータの位置制御におけるトルク管理ループと等価であり，空気ばねで発生させる推力管理ループと言える．
図７は，除振台上に搭載のステージが連続的に位置決めしたときにあって，構造体を変形させる力を複数箇所の空気ばねの内圧計測に基づいて計算した結果である．上段は圧力FBがない場合であり，構造体を変形させる力を生じさせている．一方，圧力FBを投入した図７下段では，構造体を柔に変形させる力の発生はない．したがって，構造体を機械的基準として取り付けたステージの位置決めのためのレーザ干渉計の計測値には，構造体の歪みによる影
響は入り込まない．そのため，位置ずれなしで半導体ウエハに焼き付けできる．

図６

図７

圧力フィードバックの制御系

圧力フィードバックの有無による構造体の変形力

7kpr = 0.25

図８3圧力制御系の周波数応答

3.5 配管共振
3.4節に記載の圧力FBの帯域を伸ばすことは，ステージの位置決めに応じて，除振台が傾斜する現象を緩和する傾斜補正制御4）にとっても都合がよい．
圧力制御系への指令に対する定位性を使って，除振台の傾斜が矯正されるからである．
図８は，圧力PI補償器の比例ゲインkprの上昇によって，帯域を拡げたときの周波数応答である．楕
円で囲む１Hz近傍の箇所は，空気ばね定数に起因する共振特性であり，帯域拡大にともないゲインの変動が抑えられる．一方，高域の40Hz近傍の共振
ピークは先鋭的になる．これは，NFSVと空気ばねをつなぐ配管長に起因した配管共振である．同共振を抑える補償法はあるが，大型除振台の四隅に配置される空気ばねへの配管は必然的に長くなり，かつ同一の配管長にはできない．このことを加味でき産
業応用に供せられる実用的な補償法はない．した

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

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19

280

フルードパワーシステム

がって，図８の特性において，圧力の帯域を保守的に設定して運用することになる．
3.6 加速度センサの周波数特性
図９はサーボ形加速度センサを実加振したときの周波数応答である．
「実加振」とは，加速度センサ
そのものを機械加振したという意味であり，実使用の状況下における応答となる．これに対して，加速度センサに内蔵する検定コイルに電流を通電し，振動子の重心に駆動力を与えたときの周波数応答をカタログに提示することがある．このとき，加速度センサのケースは固定されており，振動子が重心駆動されている．したがって，図９の①に生じるねじり
振動は誘起されず，きれいな周波数応答になる．加を含む加速度センサの出力を直接に，KPに接続している．
しかし，加速度センサを構造体に装着したとき，高感度であるため傾きによる直流信号が必ずでる．
この直流信号のFBによってもたらされる機能はな
い．さらに，加速度センサには低周波数の微小振動に対して高いSN比の検出感度を持つことも求められるが，1/fノイズに埋もれた信号品質ならば，加速度センサの低周波数域の信号を，真の振動としてFBすることはできない．そこで，加速度センサの出力に対して直流域をカットするフィルタ処理をした信号がFBとして使われる．この遮断周波数を低く設定できるほど，除振装置の除振・制振特性は良速度センサをFBで使用する除振台の開発者が，実加振の周波数応答では①の２次副振動や②の共振特性があり，内蔵する検定コイルに電流を通電して得られた綺麗な周波数応答とは異なるという認識が無い場合，除振装置の仕様を満たす調整においてトラブルを招きやすい．具体的に，図９の加速度センサ
を除振装置に装着したとき，検出信号の中には①が混入する．これが加速度センサのものという認識がない場合には，同センサの取り付け治工具あるいは局所的な機械振動の存在を疑って，無駄にこれら部位の高剛性化を図る．あるいは，加速度センサの出力にローパスフィルタリングの処理を施して，①，②のFB時における影響を排除する．この場合，加速度センサの検出帯域がのびているにも関わらず，
これをあえて狭めて使用することになり，空圧式除
振装置の除振および制振特性を確実に劣化させる．
最後に，図９で③と記載している箇所について説明する．③の領域は直流の加速度信号が検出できることを意味する．加速度センサは傾斜計としても使われる．したがって，直流から所与の周波数までの帯域にわたって傾斜に対して感度を有する．再び図１を参照して，加速度センサの出力に基づくメインのFBとして，比例ゲインKPを介して発現させるス
カイフックダンピングがある．図示では，直流信号

好になる．
従来，サーボ形の加速度センサの主な用途は観測用であった．そのため，FB用センサとしての仕様は設定されていなかった．現在，FB用途を狙って，
自己ノイズを抑えたのものが開発されている5）．

4．ま

と

め

空圧系はほぼ積分特性であり，ここに加速度FBを施すとダンピングを得る．半導体製造装置における除振台の制御では，このスカイフックダンピングを主に活用している．原理的に明らかになっていたことであるが，多数個の空気ばねで除振台を平衡位置に支持し，かつ除振および制振の両機能を満たすためには，アクチュエータであるNFSVの選定と，この駆動回路の構造に注意を払う必要がある．加えて，振動検出のための加速度センサの特性にも留意する必要がある．
参考文献
１ ）特許機器㈱：除振台の水平位置の維持と水平振動の除振方法並びにその回路，特許第2673321号（1997）
２ ）涌井伸二，渡辺智仁，高橋正人：空圧式除振装置に使用するノズルフラッパ形サーボバルブの振動抑制の定量化と除振台上の振動低減効果，日本機械学会論文集C，Vol. 75，No. 755，p. 1941-1949（2009）
３ ）キヤノン：能動的除振装置，特許第3286201号（2002）４ ）Wakui, S.：Incline Compensation Control using an
Air-spring Type Active Isolated Apparatus, Precision
Engineering, Vol. 27, No. 2, p. 170-174（2003）
５ ）日本航空電子：低ノイズ加速計の開発（JA-40GA）
https://www.jae.com/jp/gihou/gihou29/pdf/g_14.pdf（原稿受付：2018年 7 月30日）

図９20

加速度センサの周波数応答の一例

フルードパワーシステム

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鈴木健児：水圧サーボ弁の新技術

281

解 説

水圧サーボ弁の新技術

著

者

紹

介
すず

き

鈴 木

けん

健

じ

児

神奈川大学工学部〒221-8686 神奈川県横浜市神奈川区六角橋３－27－１
E-mail : suzuki@kanagawa-u.ac.jp
1995年神奈川大学大学院工学研究科博士前期課程修了．光洋精工株式会社，神奈川大学助手
を経て，2013年同大学工学部助教，現在に至る．
水圧駆動システム及びその構成要素の研究に従事．日本フルードパワーシステム学会，日本機械学会などの会員．博士（工学）．

1．は じ め に
現代の水圧駆動システムでは，一般に供給圧力は14MPa程度であり，クリーンで衛生的，環境保全
性に優れ，火災の危険性が無く，水中での使用や洗浄が容易作動流体の入手や廃棄が容易などの利点を活かす用途で使用されている1）．主な応用分野として，食品加工機，水門駆動装置，入浴施設内の水圧シリンダなどへの適用例が増えつつある2）．
水圧駆動システムの構成要素は，油空圧機器と比較して一般に高価である．水の粘度は油圧用の鉱物油と比べて1/30程度であり，機器内部のしゅう動部
を通る内部漏れ流量はすき間の３乗に比例するため，
水圧機器の内部漏れを油圧と同程度に抑制するためには，すき間の大きさを1/3程度にしなければならない．したがって，弁部品の真円度，円筒度，同軸度などを精度良く加工する必要がある．また，水圧機器の部品はほとんどが難削材であるステンレス鋼であることや，市場規模が小さく量産効果が小さいことなども，低コスト化を阻む要因となっている．
一方，機器を低圧仕様にすることでコストを削減
し，低圧を使用する安心・安全な水圧駆動システムも実現されている．高動力密度のシステムを目指すのではなく，安全かつ容易に使用できる一般ユーザー
向けの駆動システムとして，幅広い分野への応用が期待できる．その場合，システムの構成要素を単純化してコストを削減することは極めて重要である．
代表的な水圧用方向制御弁は，図１と２に示すようなサーボ弁と比例弁であり，どちらも円柱状のス
プール弁の直動運動によって流体を制御する．サー
ボ弁は，トルクモータとノズルフラッパ系によってスプール両端に圧力差を生じさせて，スプールを変位させる．スプール変位を機械的にフラッパ変位にフィードバックするものと，スプールに取り付けた変位計によってトルクモータへの入力電流をフィードバック制御するものがある．一方，水圧比例弁はソレノイドによって発生するスラスト力とばねによる力の平衡によってスプール変位を定める．ソレノ
イドへの入力電流と変位の関係は非線形性が強いため，スプール変位のフィードバック制御が必要となる．また，水は潤滑性に乏しいため，これらの水圧制御弁のスプールしゅう動部には静圧軸受が組み込まれている．これらにより，構造が複雑かつ部品の高精度加工が必要であり，製造コストが高騰する要因となっている．
そこで本稿では，低コストを志向して構造を単純化して設計製作した水圧用サーボ弁について，その構造的特徴と静特性の測定結果について紹介する．

フルードパワーシステム

図１

水圧サーボ弁の構造3）

図２

水圧比例弁の構造4）

第49巻

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21

282

フルードパワーシステム

ポート配置は，JIS B8355（油圧−サブプレート
取 付 形 ４ ポ ー ト 電 磁 切 換 弁 ） のD-02-01-0-05
2.1 全体構造の検討（ISOコード：4401-02-01-0-05）に準拠したポー
現代の水圧サーボ弁は，主たる弁作用をする部分
トに，サブプレートを介して取り付けるようにした．
にスプール弁を用いるが，低コスト化のためにはさ
2.2 ロータリー型制御弁
まざまな問題点がある．弁の開口部を構成するメー
四方弁形式のロータリー型制御弁の部品を図４にタリング・エッジが細長い円筒面上に並んでいるた示す．円形の弁板は弁体によって挟みこまれており，めに加工が難しく，特にスプールとスリーブとのエッ
弁板の上下面は弁体としゅう動している．弁板とそジを精確に合わせてラップ量を調整するには，高度の外側のハウジングの厚さは，平面研削盤によってな測定と加工の技術が必要であり，場合によっては高精度に加工できるため，すき間寸法の管理が容易
専用の加工機が必要となる．また，長期間の使用にである．また，摩耗時には再研磨することによって
よってエッジが摩耗してしまうと再生利用できない． 再生利用することができる．
さらに，構造が複雑であり手間と費用がかかる．
円板形の弁板形状と，弁本体にある４つのポート

2．弁 の 構 造

また，スプール弁の運動は直線運動であるため，スプールを直接駆動するにはソレノイドで駆動する
方法，リニアモータやボイスコイルモータで駆動する方法，回転型のモータとカム機構を組み合わせて直動運動を得る方法5）などがある．一般的には比例
ソレノイドとばねの力のつり合いによってスプール変位を定めるが，変位計の取り付けとスプール変位のフィードバック制御が必要である．
そこで，電気信号を機械的変位に変換する部分には小型の回転型サーボモータを使用し，その回転角度によって流体の方向と流量を制御するような，直動形のロータリー型サーボ弁とすることで上記問題の解消を目指した．油圧用では，三方弁形式のロー
タリーサーボ弁の研究例6）はあるが，水圧用では国
内外ともに見られないようである．
図３に，設計製作したロータリー型サーボ弁の外観を示す．上部に取り付けた小型のサーボモータによって，ロータリー型の流体制御弁を駆動する．
よって，動特性はサーボモータの性能で決まる．
弁全体の寸法は，幅64㎜×奥行40㎜×高さ110㎜
である．この弁の形式は四方弁であり，弁の下面にはピッチ円上にP, T, A, Bの各ポートがある．Pは供給ポート，Tは排出ポートである．A及びBは制御ポートであり，水圧シリンダ等のアクチュエータに接続される．

図３

22

ロータリー型水圧サーボ弁の全体構成

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

のピッチ円に沿った断面の概略図を図５に示す．円形の弁板のピッチ円上には，まゆ形のポートがある．
これが上下の弁体に加工された流路と重なることに
よって，流体が流れる．なお，内部漏れ低減のため，
弁は１degのオーバーラップとなっている．
弁板の上下面における圧力差が生じると，弁板にスラスト力が作用し，摩擦および摩耗を促進させる．
そこで，弁板のポート付近のしゅう動面にいくつかの貫通穴を設けた．これは，スプール弁の外周の圧力分布を均一化するために溝を設けることと同様の効果を狙ったものである．

図４

図５

ロータリー型制御弁の部品

ロータリー弁板のピッチ円に沿った断面の概略図

2018年11月（平成30年）

鈴木健児：水圧サーボ弁の新技術

283

図６⒜はロータリー弁板が中立位置の状態を示す．
⒝は弁板が回転し，PとAポート，BとTポートがそれぞれ接続された様子を示す．弁板の回転角度は，
物理的なストッパを設けることによって，±20
degの範囲内に限定されている．

図８

⒜

中立位置

図６

ロータリー弁板の回転による流路の接続

3．静

特

⒝

PとA，BとTの接続性

静特性の理論値計算のため，円板形の弁板と弁本体とのしゅう動部すき間の流れを，矩形流路としてモデル化した7）．静特性実験において，供給圧力は3.5MPaに設定した．流量はすべてタービン式の流量計で測定した．
弁の指令角度に対する無負荷流量の計算結果及び
実 験 結 果 を， 図 ７ に 示 す． 流 量 係 数 の 値 は， ±10degの範囲の実験値から求めた．弁の角度が大きくなると，線形性がやや失われる．これは，ロータ
リー弁内の流動抵抗が増加する構造によるものである．また，±2.5deg程度の不感帯と，１deg程度のヒステリシスが生じた．詳述はしないが，これは使用したサーボモータの特性による影響が大きい．
制御弁のA-Bポート間の負荷圧力（圧力差）に対する流量の計算結果および実験結果を，図８に示す．
パラメータθはサーボモータへの指令角度である．
A-Bポート間を閉じた状態での，弁の角度に対す
る内部漏れ流量を図９に示す．不感帯の両端付近を除き，定性的・定量的によく一致した．

図７

ロータリー型サーボ弁の負荷流量特性

ロータリー型サーボ弁の無負荷流量特性

図９

ロータリー型サーボ弁の内部漏れ流量特性

4．お わ り に
本稿では，水圧駆動システムの市場規模拡大のため，低コストを志向して構造を単純化して設計製作
した水圧用サーボ弁について，その構造的特徴と静特性の測定結果について紹介した．
参考文献
１ ）㈳日本フルードパワー工業会：アクアドライブシステ
ム―技術資料 ３ （2004），http://www.japan-fluid-power.
or.jp/pdf/adsg_3.pdf
２ ）鈴木健児：IFPEX2014における水圧分野の技術動向，
フルードパワーシステム，Vol. 46, No. 1, p. 14-15（2015）３ ）Urata, E., Miyakawa, S., Yamashina, C., Nakao, Y., Usami,Y., and Shinoda, M.：Development of a Water HydraulicServovalve, Jpn. Soc. Mech. Engrs, International Journal,
Ser.B, Vol. 41, No. 2, p. 286-294（1998）
４ ）Yoshida, F. and Miyakawa, S.：Characteristics of
Proportional Control Valve Using Tap Water, Proc.
Seventh International Fluid Power Conf., Group H,
Aachen, Germany, p. 445-456（2010）
５ ）Suzuki, K., Akazawa, S. and Nakao, Y.：Developmentof cam-drive type proportional valve for water
hydraulics, International Journal of Automation
Technology, Vol. 6, No. 4, p. 450-456（2012）
６ ）野上忠彦，中村一郎，貞森博之，下釜宏徳，佐藤博之：
直動形ロータリサーボ弁の開発（第 １ 報，ロータリサー
ボ弁の構造と特性），日本機械学会論文集C編，Vol. 61,
No. 584，p. 1431-1436（1995）
７ ）鈴木健児：低コストを志向した水圧用ロータリー型サー
ボ弁の静特性解析，日本フルードパワーシステム学会
平成27年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集（鹿児島市），p. 104-106（2015）


フルードパワーシステム（原稿受付：2018年10月 ４ 日）

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

23

284

フルードパワーシステム

解 説

小型スマート油圧アクチュエータ

著

者

紹

介
にし

はた

西 畑

みち

教

てる

英

日本ムーグ株式会社〒254-0019 神奈川県平塚市西真土１-８-37
E-mail：mnishihata@moog.com
2004年東海大学大学院工学研究科航空宇宙学
専攻博士課程後期単位取得満期退学．同年 日
本ムーグ株式会社に入社，現在に至る．サーボ弁，
サーボモータ，電動アクチュエータの設計・開発に従事．

1．は じ め にえた小型の油圧制御製品の需要が増加してきている．
そのような状況の中，数年前，イタリアの研究機
関から，４足モビリティロボットの足関節向けの「小型スマート油圧アクチュエータ」の開発の依頼を受け，金属プリンタで成形された小型軽量ボディに，小型サーボ弁，油圧シリンダ，位置・圧力セン
サ及び通信機能を持つ制御基板が１つになった電動
油圧式スマートアクチュエータ「ISA（インテグ
レーテッド・スマート・アクチュエータ）」（図２）を完成させた．
（直訳すると，「（多機能が）統合されたスマートなアクチュエータ」という意味である．）

1950年William C. Moog氏により開発されたノズ
ルフラッパタイプのサーボ弁（図１）は，その後現在のサーボ弁と同様な形となり，50年以上経った
現在でも基本的な原理は変わらず，さまざまな分野で活躍している．

図２

図１

1950年のサーボ弁とUS特許書類

過去20年ほどの間に電動モータ・電動アクチュ
エータの参入により，装置の中で油圧＝高出力・大型，電動＝低～中出力・小型というような棲み分けができた印象を受ける．
しかしながら，近年，さまざまな用途の自動化の中で，電動ではサイズに対する出力不足や，耐環境
性能の問題から，油圧のもつ「高パワー密度」，「耐環境性」および「しなやかな力・トルク特性」を備

24

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

インテグレーテッド・スマート・アクチュエータ

ISAの特長・ピストン径：21.5㎜
・ロッド径：12㎜
・ストローク長：100㎜
・最大出力：7,500N@21MPa
・最大速度@66%最大出力時：264㎜/sec
・全長（最縮時取付間長）：295㎜
・本体金属素材：チタン
・質量：1.6㎏
・通信：CANopenまたはEtherCAT「スマート」と呼ぶ最大の理由は，内蔵された位
置センサ，圧力センサおよび制御基板により，クローズドループ制御を内部で構築でき，さらにCAN
openまたはEtherCATによる上位コントローラとのリアルタイム通信機能を備えているからである．油

2018年11月（平成30年）

西畑教英：小型スマート油圧アクチュエータ

285

圧アクチュエータの制御システムに必要となるサー
ボ弁，油圧シリンダ，センサおよび制御装置を小型なボディにすべて内蔵し，上位コントローラとの通信により，アクチュエータの制御や内部パラメータの設定が可能な小型でスマートな油圧アクチュエー
タである．
本稿では，このような「小型スマート油圧アクチュエータ」が開発可能になった背景と現在の課題，
そして将来の展望を紹介する．

2．スマート油圧アクチュエータ誕生の背景
前述の「ISA（インテグレーテッド・スマート・
アクチュエータ）」のような小型スマート油圧アクチュエータが開発可能になるためには，構成部品の技術的な進歩が必要であった．それら主な構成部品
や技術的な要素は，サーボ弁，制御基板・センサ，
3D金属プリンタ加工技術および産業用イーサネッ
ト通信である（図３）．

図３

図４

F1用超小型サーボ弁

2.3 金属3Dプリンタ技術
もっとも重要な課題であった複雑な構造のアクチュエータ本体を製造する技術は，ここ数年で一般的になった金属3Dプリンタ技術があって初めて実現可能になった．
金型鋳造，溶接加工や削り出し加工では，これまでには絶対に製作不可能だった複雑な内部構造を持
つ製品も製造できるようになった．
こ の よ う な 加 工 法 を，Additive Manufacturing（付加製造）技術と呼ぶ（図５）．

プロトタイプの断面図

2.1 超小型油圧サーボ弁
サーボ弁が，航空宇宙業界での需要から，飛行機，ロケットおよび人工衛星に装備されるために，堅牢性・信頼性を保ちつつ，小型・軽量を求められるよ
うになり，小型の油圧サーボ弁が開発された．
その後，「地上の戦闘機」とも比喩されるF1カーに搭載されるために，さらなる小型軽量化に加え，エンドキャップを保持するねじが200℃の局部温度に耐えるようにアップグレードされた，耐高熱の超小型油圧サーボ弁が開発された（図４）．
2.2 制御基板・センサの小型化
半導体業界で有名な「ムーアの法則」に則って，半導体の微細化技術が急成長を遂げ，表面実装技術の進化により，ICチップの小型化，小型実装基板，
小型センサの製造が可能になった．
制御基板や各種センサは，スマホやウェアラブル
端末，車載部品の小型化のトレンドにより，小型部
品の選択肢が大きく広がり入手も容易になった．

図５

3D金属プリンタによるボディ形成

2.4 産業用イーサネット通信
2007年頃から産業用イーサネット通信規格が同時多発的に誕生した．イーサネットを使用することにより最高100mbpsの高速通信が可能となり，それらのオープンネットワーク通信規格が，10年以上経ち，多くのユーザに普及し一般化した．産業用
イーサネット通信により，センサからのフィード
バックやコマンド指令および軸間同期速度が，飛躍的に高速化し，上位コントローラからの多軸制御も容易になった．

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

25

286

フルードパワーシステム

3．現在の課題
長い間アナログ制御のイメージのあった油圧アクチュエータであったが，このように，市場や開発者の需要と構成部品の技術的進歩により，自立ロボットの駆動にも使用可能なほど「小型」で「スマート」な油圧アクチュエータが開発可能となった．
しかしながら，まだ誕生したばかりの新たな製品であるため，いくつかの課題が残されている．
3.1 ハード面の課題
スマート油圧アクチュエータを限られたスペースに搭載しなければならない場合，筐体の小型化のために3D金属プリンタを使用した付加製造が必要になる．現在の金属3Dプリンタ装置では，まだまだ量産に必要な生産能力の確保が難しい．さらに金属
3Dプリント加工できる筐体のサイズも300㎜以下というレベルになっている．
さらに，油圧アクチュエータは小型・スマートになったとしても，電源・ポンプ・タンクを含む油圧ポンプユニットの小型・スマート化が実現していな
い．これにより，小型スマート油圧アクチュエータ
製品を使用・評価したいと考える新規油圧ユーザの参入のハードルを上げている．
3.2 ソフト面の課題
前述した産業用イーサネット通信であるが，いく
つかのメジャーな通信規格があり，同じ通信規格を介して，他社製品と通信が可能となるはずである．
しかしながら，このような新しい製品の場合は，同一通信規格の他社スレーブ製品やマスターコント
ローラとの相互運用性（インターオペラビリティ）の確認が必要になる．
また，現在，電動制御を使用しているユーザが，電動アクチュエータではどうしてもカバーできない26

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

限られたサイズでの高密度パワーを求め，スマート
油圧アクチュエータのような製品を探しているが，そういった開発設計者達への，製品の認知度の向上と，油圧制御製品の選定・設置・操作方法の教育が必要とされる．

4．将来の展望まだまだ発展途上な製品カテゴリーである「小型スマート油圧アクチュエータ」だが，現在抱えているハード・ソフト面の課題は，近い将来，間違いな
くクリアされるだろう．
そして「小型スマート油圧アクチュエータ」が，ユーザーフレンドリーな製品になれば，新規ユーザ層の拡大が見込まれる．
ターゲット市場として，モビリティ，医療・介護，レスキューなどのロボットアプリケーション用途での需要が高まると予想する．
それらのロボット用途では，油圧制御のみではな
く，電動制御との同一システムでの同期制御も可能となるはずである．
そのような使用が可能になれば，独立したロボッ
ト用途だけではなく，現在の産業界の流れであるス
マートファクトリーやコネクテッド・インダスト
リーといった生産ラインや設備の中への利用も可能になると考える．

5．お わ り に
本稿で紹介したような油圧製品のトレンドが，新たな市場や用途を作り出し，油圧業界を発展させていくと期待している．


2018年11月（平成30年）（原稿受付：2018年 8 月22日）

吉田和弘：マイクロ流体制御バルブ

287

解 説

マイクロ流体制御バルブ

著

者

紹

介
よし

だ

吉 田

かず

和

ひろ

弘

東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所〒226-8503 横浜市緑区長津田町4259－R2－42
E-mail：yoshida@pi.titech.ac.jp

によるダイアフラムの変位を抑制している．直径
7.4㎜，厚さ0.76㎜の稼働部を有する試作バルブについて，変位のステップ応答を空気中で測定し，バンド幅が220Hz以上であることを確認している．

1989年東京工業大学大学院博士課程修了，同大学助手，助教授（准教授）を経て2015年４月
教 授．2008年10月 ～ 2009年 ３ 月 米 国UCSB客 員
研究員，2015年７月～９月米国MIT客員研究員．
流体マイクロロボット，機能性流体の研究に従事．JFPS，JSME，IEEEなどの会員．工学博士．

1．ま え が き
フルードパワーはマイクロサイズでも高パワー密度であり1），マイクロフルードパワーシステムは，細い管内などの狭隘な空間でパワーを要する作業を行うマイクロロボットなどに応用することができる．
マイクロフルードパワーシステムでサーボ機構を構築するためにはマイクロ流体制御バルブが必要であるが，大きな力を高応答で発生できる圧電材料，電界 で 粘 度 を 制 御 で き るERF（Electro-Rheological
Fluid．電気粘性流体）などの機能性材料を用いると，高機能なデバイスを実現することができる．
本稿では，マイクロ流体制御バルブの研究事例として，著者らのいくつかの研究を紹介する．

⒜

2．圧電バイモルフを応用したマイクロバルブ2）
圧電バイモルフは，電界印加で変位し大きな力を
高応答で発生できる圧電材料の薄板２枚を貼り合わせたもので，大きな屈曲変位を得ることができる．
著者らは，交流圧力源による往復流をマイクロバ
ルブで整流する構造で，配管が少ない複数マイクロ
アクチュエータシステムを提案しており2）3），その変位分解能を高めるため，円板形圧電バイモルフを用いた高応答マイクロバルブを提案，開発している2）．
図１に，提案するマイクロバルブの概要を示す．
円板形圧電バイモルフを接着したダイアフラムのたわみで弁の開閉を行うもので，円環形の弾性体によりポートの周囲を囲い，受圧面積を小さくし，圧力構造およびサイズ⒝

ステップ応答

図１

圧電バイモルフを用いたマイクロバルブ

図２

ネマティック液晶のER効果のメカニズム

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

27

288

フルードパワーシステム

⒜

⒝

構

⒜

造

試作したC-FERV

試作したERマイクロバルブ

⒝
図４

⒞
図３

静

特

性

シリコンERマイクロバルブ

3．ERFを応用したマイクロバルブ
3.1 シリコン製ERマイクロバルブ3）
図２に，均一系ERFの１種であるネマティック液
晶のER効果のメカニズムを示す．ネマティック液
晶は棒状の分子から成り，電界を印加したとき，液晶分子が配向して抵抗が増加し，見かけの粘度が上昇するER効果を生じる4）．
図２の電極対は，液晶の流れを電圧で制御するバルブとして機能する．このようなERバルブは可動部 の な い 非 常 に シ ン プ ル な 構 造 で あ り，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術で製作することができる．
図３⒜⒝に，交流圧力源システムのためMEMS技
術を用いて試作したERマイクロバルブを示す．流路は，長さ２㎜，幅0.1㎜，高さ（電極間隔）47㎛であり，異方性エッチングにより高精度に溝を形成したシリコン基板と，スパッタにより薄膜電極を形成したパイレックスガラスを陽極接合して製作している．図３⒞に静特性を示す．ERFは電圧無印加時

28

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

静

特

性

カンチレバー形フレキシブルERマイクロバルブ
（C-FERV）の基底粘度が103mPa·sと本稿の他のデバイスに比べ５倍以上高いものを使用している．電圧により粘度が3.3倍に上昇し，バルブとして機能することを確認している．バンド幅は10Hz以上である．
3.2 カンチレバー形フレキシブルERマイクロバル
5）ブ（C-FERV）
近年関心が高いソフトアクチュエータは流体駆動が多く，ERバルブの応用は有望である．しかし，ERバルブの流路幅が小さいと側面の摩擦力が相対的に大きいためER効果が低下し，流路高さが小さ
いと応答性が低下する4）．したがって，制御圧力の変化幅を大きくとるためには流路長が必要で，著者らはフレキシブルERマイクロバルブ（Flexibel ER
microValve．FERV）を提案している．
図４は，薄く長いカンチレバー構造と，フォトリ
ソグラフィに用いる樹脂材料SU-8を用いたカンチ
レ バ ー 形FERV（Cantilever type FERV：C-FERV）
を示す．電極をマスクとして用いたMEMSプロセス
を提案，開発し，長さ５㎜，幅0.6㎜，高さ（電極間隔）0.1㎜の流路２本を有するC-FERVの試作に成功している．図４⒝に示すように，真直および屈曲状態で圧力制御できることを確認している．
3.3 電極分割形フレキシブルERマイクロバルブ
6）（DE-FERV）
マイクロフィンガに組み込むため，図５⒜に示す
ように，電極を軸方向に分割して柔軟なチューブで接続した電極分割形FERV（Divided Electrode type
FERV：DE-FERV）を提案し，MEMS技術を用いて2018年11月（平成30年）

吉田和弘：マイクロ流体制御バルブ

⒜

⒝

構

⒜

造

試作したDE-FERV

試作したCP-FERV

⒝
図６

289

静

特

性

 電性高分子を用いたフレキシブルER
導
マイクロバルブ（CP-FERV）

御バルブとして，著者らの研究事例を紹介した．読者の参考になれば，幸いである．

⒞
図５

静

特

性

MEMS技術を用いたDE-FERV

開発している．流路は，長さ2.8㎜，幅0.8㎜，高さ（電極間隔）0.1㎜である．分割した厚い有効電極と薄い配線部を一体化した電極部品を製作するため，
フォトレジストを型とした電鋳加工を２回重ねるプ
ロセスを提案，開発し，図５⒝のようなデバイスの試作に成功している．図５⒞に示すように，電圧により有効電極において粘度が6.3倍上昇することを示し，十分な弁制御特性を確認している．
3.4 導電性高分子材料を用いたフレキシブルERマ
7）
イクロバルブ（CP-FERV）
図６⒜に示す導電性高分子PEDOT：PSSを電極材料とした導電性高分子形FERV（Conducive Polymer type
FERV：CP-FERV）を提案，開発している．流路は，長さ５㎜，幅0.35㎜，高さ（電極間隔）60㎛である．
UV硬化性PEDOT：PSSを電極材料，SU-8を構造材とし，フォトリソグラフィ技術で試作に成功している．
図６⒝に示すように，電圧による粘度変化5.4倍が得られることを示し，十分な弁制御特性を確認している．

4．あ と が き
本稿では，マイクロフルードパワーシステムでサーボ機構を構築するために必要なマイクロ流体制

参考文献
１ ）吉田和弘，横田眞一：流体パワーを用いたマイクロア
クチュエータに関する研究（第 １ 報 微小化に適したアクチュエータ方式の検討と管内走行機械への応用），
油圧と空気圧，Vol. 25，No. 2，p. 281-288（1994）
２ ）Yoshida, K., Yamamoto, S., Eom, S.I., Yokota, S.： A
Multiple-Microactuator System Using a HighFrequency Pressure Source, Sensors and Materials,
Vol. 27, No, 4, p. 317-328（2015）
３ ）Miyoshi, M., Yoshida, K., Kim, J.-W., Eom, S.I.,
Yokota, S.： An MEMS-Based Multiple ElectroRheological Bending Actuator System with an
Alternating Pressure Source, Sensors and Actuators A,
Vol. 245, p. 68-75（2016）
４ ）De Volder, M., Yoshida, K., Yokota, S., Reynaerts, D.：
The Use of Liquid Crystals as Electrorheological
Fluids in Microsystems： Model and Measurements, J.
of Micromechanics and Microengineering, Vol. 16, No.
3, p. 612-619（2006）
５ ）Kim, J.-W., Yoshida, K., Kouda, K., Yokota, S.： A
Flexible Electro-Rheological Microvalve （FERV）
B a s e d o n SU-8 C a n t i l e v e r S t r u c t u r e s a n d I ts
Application to Microactuators, Sensors and Actuators
A, Vol. 156, p. 366-372（2009）６ ）Yoshida, K., Tsukamoto, N., Kim, J.-W., Yokota, S.： A
Study on a Soft Microgripper Using MEMS-Based
Divided Electrode Type Flexible Electro-Rheological
Valves, Mechatronics, Vol. 29, p. 103-109（2014）
７ ）Sudhawiyangkul, T., Yoshida, K. Eom, S.I., Kim, J.-W.：
A Fabrication Process of Flexible Electro-Rheological
Microvalve（FERV）Using UV-Curable PEDOT： PSS
Electrodes, 機学第18回機素潤滑設計部門講演会講論集，
p. 181-182（2018）

フルードパワーシステム（原稿受付：2018年 ８ 月17日）

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

29

290

フルードパワーシステム

会議報告

ROBOMECH2018におけるフルードパワー技術研究の動向

著

者

紹

介
た

なか

田 中

ゆたか

豊

法政大学デザイン工学部〒162-0843 東京都新宿区市谷田町２－33
E-mail : y_tanaka@hosei.ac.jp
1985年東京工業大学大学院総合理工学研究科
修士課程修了，その後，東工大精密工学研究所
助手を経て，1991年法政大学講師，1992年同助教授，2002年同教授，現在に至る．法政大学情報メディア教育研究センター所長を兼務．工学博士（1991年東京工業大学）．

写真１
表１

ロボティクス・メカトロニクス講演会2018（2018
JSME Conference on Robotics and Mechatronics;
ROBOMECH2018 Kitakyushu）は日本機械学会のロ
ボティクス・メカトロニクス部門の主 催により，2018年６月２日（土）から６月５日（火）まで，北
九州市の北九州国際コンベンションゾーンを講演メ
イン会場にして開催された．本講演会はすべての発表がポスターセッションで行われる国内最大規模の講演会である．今回のテーマは「地方から創生する
ロボティクス・メカトロニクス」で，1,312件のポスター講演（講演論文）のほか，地域交流ワーク
ショップ「地域の課題への挑戦」など，ロボット産
業が主要産業の１つで国家戦略特区にも指定されている北九州市ならではのさまざまな行事が企画され，1,800名以上の参加者があったとのことである． 写
真１にポスターセッションの様子を示す．

2．研究発表の動向
表１に分野別のセッション数と代表的なオーガナ
イズド・セッション名を示す．フルードパワー・ロ
ボティクスのセッションをはじめ，13分野全体で78セッションが企画された．
手元の抄録集および講演論文が収録されたDVDを基にした著者の分析によれば，全体の講演の中で
油圧・空気圧などのフルードパワーに関連する発表として60件が確認された．表２にオーガナイズド・

30

フルードパワーシステム

 野別セッション数および代表的なオーガナイズド・
分
セッション名
分野名

1．は じ め に

第49巻

第６号

ポスターセッションの様子

セッション
数

代表的なセッション名

ロボメカにおける基盤制御技術

９

移動ロボット８

フルードパワーロボティクス
脚移動ロボット

人間および生物規範

８

バイオミメティクス・バイオメカトロニクス

人間協調・共存システム

８

ウェアラブルロボティクス

ロボメカ技術の応用システム

７

建設＆インフラ用ロボット・メカトロニクス

感覚と計測

７

ハプティクスインタフェース

屋外環境でのロボメカ技術

６

サーチ＆レスキューロボット・メカトロニクス

ナノ・マイクロシステム

６

マイクロロボット．マイクロマシン

医療・福祉システム

５

福祉ロボティクス・メカトロニクス

機構と制御

５

フレキシブル／ソフトロボティクス

ロボットシステムのための環境

４

ネットワークロボティクス

ストラテジックセッション

４

IｍPACTタフ・ロボティクス・チャレンジ

ロボメカを使った教育

２

ロボカップ・ロボットコンテスト

表２

フルードパワー関連のセッション名と論文数

オーガナイズド・セッション名
フルードパワーロボティクス
フレキシブル／ソフトロボティクス
アクチュエータの機構と制御
建設＆インフラ用ロボット・メカトロニクス
ImPACTタフ・ロボティクス・チャレンジ
ウェアラブルロボティクス
福祉ロボティクス・メカトロニクス
筋骨格モデリングとアプリケーション
スポーツ工学とロボティクス・メカトロニクス
エコ・グリーンメカトロニクス
サーチ＆レスキューロボット・メカトロニクス
アミューズメント・エンタティナーロボット
バイオミメティックス・バイオメカトロニクス
脚移動ロボット
ハプティックインタフェース
マイクロロボット・マイクロマシン
バイオマニピュレーション
合計

2018年11月（平成30年）

件数
11
10
８
６
６
４
３
２
２
１
１
１
１
１
１
１
１
60

田中

豊：ROBOMECH2018におけるフルードパワー技術研究の動向

291

セッション別の発表件数を示す．最近話題のソフト
ロボティクス関連のセッションにフルードパワー，
特に空気圧を用いた応用研究が多い．一方，建設機
械関連のセッションや災害関連タフロボティクスのセッションでは油圧関連の研究発表が多かった．

3．研究発表の紹介
ここでは，フルードパワーに関連したいくつかの興味ある発表論文を紹介する．
安原ら1）は，布製の柔軟な空気圧ソフトアクチュ
エータを利用した動作支援装置を開発し，上体の傾きによりアクチュエータのアシスト率を決定する簡易モデルを構築し，筋電位信号に基づく支援効果の検証結果について報告した．
篠崎ら2）は，ミミズやイソギンチャク等の生物に見られる水力学的骨格を利用した柔軟な全方向移動
ロボットの試作結果について報告している．図１に移動ロボットの原理図と試作結果を示す．提案試作したロボットは狭隘空間の移動に適し，動作実験では全方向移動とその場での旋回が可能であることが
示された．

図１

柔軟繊毛全方向移動ロボット

井 口 ら3）は，3Dプ リ ン タ で 製 作 し た 複 数 の モ
ジュールを組合わせた面状の柔軟変形移動体を試作
し，空気圧を用いて屈曲動作を周期的に行うことで進行波を形成し，任意の方向に移動可能な事を検証
実験により示した．
日原ら4）は，図２に示すベローズとワイヤ，スラ
イドする弁体で構成された関節機構により，柔軟な
三次元屈曲動作が可能なマニピュレータと推進機構を提案した．

図２

図３ バ
 イオアクチュエータ駆動ピストン型
マイクロポンプ

ミズをシリンダの代わりに駆動用バイオアクチュ
エータに用いて，流体駆動ができることを示した．
大塚ら6）は，内部の空気を排出すると身体に沿うように変形固化する柔軟な機械要素を提案試作し，この機械要素を用いた身体拘束具の開発結果とその特性を示している．
内閣府委託の革新的研究開発プログラム（ImPACT）のタフ・ロボティクス・チャレンジでは多くの油圧要素や油圧駆動ロボットシステムが開発され，その成果が報告された．吉灘ら7）は，図４に示す二重旋回複腕建設ロボットのプロトタイプ機によるフィールド評価実験結果を報告した．また荒木ら8）は，この建設機械モデルを対象に，各関節シリンダ圧に基づいて手先負荷衝撃力を推定し，操縦者側に力覚をフィードバックした実験結果を報告した．井出らは9）ImPACTで作業ロボットのエンドエ
フェクタとして開発された油圧多指ロボットハンド
を単腕建機ロボットのアームに装着し，さまざまな物体把持の評価実験結果について報告した．森田ら10）は，ImPACTで開発された油圧駆動マッキベン型人工筋を４本組合わせて配置して３自由度手首機構を構成し，理論モデルと測定結果を比較して，その特性を明らかにした．尾崎ら11）は，ImPACTで開発した圧電素子を用いた三方弁を試作し，振動周波数を変更することで２組の制御弁として駆動でき，印加電圧を変化させることで連続的に流量を変動させることができることを示した．
小林ら12）は，せん断速度の増加に伴ない粘性が増加するダイラタント流体の特性を用いて，図５に示す生物の水中推進機構を模した繊維複合粘弾性フィンを提案試作し，繊維の方向に依存する流体中の推流体駆動柔軟マニピュレータ豊田ら5）は，図３に示す構造を有するマイクロポンプを提案し，先端径が0.2 ㎜程度のヤマトヒメミ
フルードパワーシステム

図４

二重旋回・複腕建設ロボット

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

31

292

フルードパワーシステム

くのロボットやメカトロニクスシステムへの応用事
例を見ることができた．
来年のROBOMECH2019は2019年６月５日～８日
まで広島国際会議場で開催される予定である．

石井ら14）は，競泳のドルフィンキックの特性を詳細に検討するために，柔軟な脊椎と大きな関節トルクを持つ人サイズの空気圧駆動筋骨格ロボットを開発し，水中評価試験を行った結果について紹介した．

参考文献
１ ）安原，佐々木，他 ３ 名，布製空圧アクチュエータを用いた腰用ウェアラブル動作支援装置のセンサレス力制御，No. 18- ２ ロボティクス・メカトロニクス講演会
2018講演論文集（誌名は以下すべて同じ），１P１-C18.
２ ）篠崎，伊能，木村，水力学的骨格を利用した柔軟繊毛
全方向移動ロボット，１P１-G10
３ ）井口，岩谷，青木，空気圧を用いた柔軟変形移動体の開発，１P１-G12４ ）日原，伊達，大矢，曲率微分制御による流体駆動柔軟
マニピュレータ，１P１-H09
５ ）豊田，上杉，森嶋，チューブ型生物を用いたバイオア
クチュエータによるピストン型マイクロポンプの作製，
１P１-K12６ ）大塚，満田，真空圧により形状と剛性が変化する機械要素を用いた身体拘束具の開発，１P２-I07
７ ）吉灘，他 ５ 名，ImPACTタフ・ロボティクス・チャレ
ンジ（TRC）建設ロボット―二重旋回・複腕モデルによるフィールド評価実験―，２A１-J02
８ ）荒木，他 ６ 名，災害対応油圧駆動ロボットの高臨場感
遠隔操縦のための手先負荷推力推定，２A１-J05
９ ）井出，他 ４ 名，油圧タフ多指ロボットハンドの評価実験，
２P１-L01
10）森田，他 ３ 名，油圧人工筋による高トルク・可変コン
プライアンス ３ 自由度手首機構，２P１-L02
11）尾崎，他 ８ 名，単一の圧電振動子により駆動する微粒
子励振型三方弁の試作，２P１-M02
12）小林，杉山，ダイラタント流体を封入した繊維複合粘弾性フィンによる生物規範型水中推進機構―静止流体
中における推力特性―，２P１-F08
13）奥井，山田，中村，空気圧駆動ウェアラブルアシストシステムのためのハイブリッド型携帯空気圧源の開発，
２P１-H16
14）石井，他 ３ 名，ドルフィンキック研究のための空気圧
駆動筋骨格ヒューマノイドの開発，２P２-F09

4．お わ り に

図５

ダイラタント流体を封入した繊維複合粘弾性フィン

進力の違いを明らかにした．
奥井ら13）は，高圧小流量と低圧大流量の空気圧源を組合せ，必要に応じて両者を切り替えることで圧力供給を行うハイブリッド空気圧源を提案し，高圧空気圧源には液化二酸化炭素，低圧空気圧源にはジメチルエーテルの気液相変化を用いた図６に示す携
帯型空気圧源を試作し，空気圧駆動アシスト装置に適用した実験結果を報告した．

図６

ハイブリッド型携帯空気圧源

本講演会ではフルードパワーの特長を活かした多32

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）（原稿受付：2018年 ８ 月17日）

齋藤真二郎：オーストラリア（ブリスベン）駐在日記

293

トピックス

オーストラリア（ブリスベン）駐在日記

著

者

紹

介
さい

とう

齋 藤

しん じ ろう真二郎

Hitachi Construction Machinery Co.,LTD.
〒300-0013 茨城県土浦市神立町650
E-mail：s.saitou.ix@hitachi-kenki.com
2005年武蔵工業大学機械システム工学科博士前期課程修了，同年日立製作所機械研究所に入社，2012年日立建機へ異動，2013年同社オーストラリア支社に出向，2016年帰任，現在に至る．
鉱山用超大型ダンプトラックの自律走行開発に従事．日本自動車技術会会員．

するに「なんでもあり」を報じる不安定な時期もあるが，夏の夜は掛け布団一枚，冬は長袖一枚で一日中過ごせる快適さと抜けるような青い空は，筆舌に尽くしがたい．日本人はなぜあんな狭く暑苦しい，
寒いところに住んでいるのだろうと常々思うほどであった．ただ，日差しは強く，皮膚がんに対する国を挙げての取り組みは，TVCMでも頻繁にみられる
し，日焼け止めの商品も種類が多い．皮膚がんクリ
ニックは日本の歯科クリニックさながらに存在し，紫外線の強さを物語っている．

1．は じ め に2013年４月から３年半の間，オーストラリアは
ブリスベンに駐在していた（写真１）．知らない土地でのプロジェクト推進，海外赴任などいずれも初めてづくしであり，言葉の壁も含め当初は不安も少なくなかった．しかし得られた経験は私の人生においては間違いなく大きな財産となっている．

2．赴任地について
オーストラリアと言えば鉱業，農業の印象が強い．
鉱業においては，西は鉄鉱石，東は石炭，その他チタン，金などが採掘され，その国土の広さに比例して採掘現場も巨大である．農業においてはさらには牧畜，畜産，穀物などに分かれやはり日本とは比較にならないほど広大で，都市部から一時間も郊外に向かって走れば，地平線まで見える牧歌的な風景が広がる．私は，平日は都市部から300キロほど内陸にある鉱山で屈強なオージー（オーストラリア人の愛称）たちに囲まれて仕事し，週末になるとまたブ
リスベンに戻ってくる生活を送っていた．
ブリスベンは，日本から飛行機で９時間弱，シドニー，メルボルンに次いでオーストラリア第３の，人口は100万人ほどの都市である．中心部はブリス
ベン川河口付近の蛇行に囲まれ，こぢんまりとまと
まっており，都市部の端から端まで徒歩で移動できるほど．季節の境目では天気予報で「太陽マーク」「雨マーク」「曇りマーク」のすべてが重なった，要

写真１

ブリスベン都市部

3．オージーの人柄
典型的な自動車社会であり日本ではなかなか見られない海外の自動車も多い．日本車は信頼性が高い
せいか，また，全体的にセダンよりも大型車が好まれる傾向がある．週末やバカンス時には，SUVにキャンピングカーを括り付け，広い大地の中でビー
ルとバーベキュー（BBQ）に浸るのがオージーの決まった週末の過ごし方である．充電，給水施設が揃った原っぱが完備されている箇所も国中に点在しており，各地を旅する間に立ち寄って，一晩同じ趣味の人々と交流を深める．また，安定した気候が長く続くため，カフェやバーには必ずと言っていいほ
どテラス席があるし，広い公園の芝には，日光浴を楽しむ人も多い．

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

33

294

フルードパワーシステム

オージーを語る上で重要なのがBBQの存在である． 象徴的な橋）を見ながらエクササイズに励む人が多週末になれば家族や友人と火を囲んで自慢の料理をくみられる．このような日の当たる歩道や公園など
ふるまう．公園やアパート等にはコンロがついたでは，日本では考えられないような至近距離になかBBQエリアが併設されており，誰でも使うことがでなか大きい野生の動物を見る，いやむしろ触れ合う
きる．キャンプ，BBQ専門店は当たり前のように並ことができると言える．あまり警戒心がないのか，び，製品ラインナップも充実している．
こちらから手を差し出すと餌をくれるのかと近寄っ
私も負けじとジャパニーズBBQ（？）であるたこてくる（写真３）．これは普段からオージーたちが焼きをふるまった（写真２）．日本からたこ焼き器「隣人」に気を使っているからに他ならない．
を持参し，タネを作って，特徴的な焼き器に流し込
む．その後これまた特徴的な器具でひっくり返す．
うまく行くとどっと歓声が沸く．その一部始終を一緒に楽しんだ．タコは食材としてあまり一般的ではないため，見た目の時点でかなりの抵抗感を示した
が，ユニークな作り方とその味に興味を抱いてくれ
たことは間違いない．

写真３

4．食

写真２

焦げたたこ焼きに冷ややかな目線

日本では残業することになんら疑問を持っていな
かったが，ここではその働き方に驚かされる．平日
は19：00以降にオフィスに残っているのは日本人のみ，オージーは定刻で早々に帰宅し，その後は家族と時間を過ごす．一方朝は７：00前から働いている．これは数あるコーヒーショップや，スーパー
マーケットなどの商店の営業時間も例にもれず朝も夜も早い．金曜日にもなれば，午前中の会議で早々に切り上げ，昼には白ワイン片手に優雅なランチとしゃれこむビジネスマンも少なくなく，午後にはオ
フィスはもぬけの殻になる．日本では働き方改革が叫ばれる昨今，このような割り切りは見習うべきだ
ろう．
先に記載した通り，ブリスベンはブリスベン川が大きく蛇行した地域に展開した都市である．この川の周辺には歩道が整備され，しかも一部区間はまさに川の上に歩道がある．土日平日に関わらず，ストリーブリッジ（世界恐慌時の公共事業で建設された

34

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

生

逃げないゴアナ活

人口の比率としては印象として，都市部ではシドニーよりもアジア人の比率が低いが，郊外にはリト
ル上海，リトル東京，リトルホーチミンなどといったそれぞれの国々の方々が集中している地域が点在していた．日本におけるアジア料理よりも「より現地に近い」ものを堪能できる．
毎週休日になると，一般人が店を開くマーケットが都市部だけでなく郊外でも開かれる（写真４）．
大きいものになると数百店舗が立ち並ぶ．各家庭の手作りしたアクセサリや，家庭菜園の果物や野菜，
服，おもちゃ，帽子などといったものから，ご当地グルメを提供する出店などが立ち並び，ちょっとしたお祭りの雰囲気である．私は各地で開催されるマーケットそれぞれで必ず販売されている家庭の味であるジンジャーエールが好きだ．暑い中回って疲れたところに，炭酸が弱めだがしょうがの風味は抜
群，甘さ控えめのそれを乾いた喉に流し込む．格別である．
オーストラリアの食と言えば豊富な野菜や果物はもちろんだが，やっぱり「オージービーフ」であろう．スーパーマーケットに行くと，業務用さながらの肉の塊が販売されている．これが肉専門店にもなると，店全体が冷蔵庫になっており，入口でフリースのジャケットを配られ，それを羽織って入店，ところせましと並べられた肉を品定めできる．レジの方へ行くと野菜や，スパイス，ソースといった肉に

2018年11月（平成30年）

齋藤真二郎：オーストラリア（ブリスベン）駐在日記

ベストマッチする調味料，BBQ用品なども並べられている．個人的には量り売りしているビーフジャー
キーが好きだ．日本でよく見るような平たい形ではなく，扁平で肉厚，固いが噛むほどに強烈な肉のう
まみを感じられる．

写真４

295

毎週Pub Crawling，要するにハシゴをしていた．各
パブやバーでそこで作っているビールを数杯飲んでは次の店に行く．昼には各店舗開店するので，朝から待ち望んでいた最初の一杯を流し込む．日本ではラガー系をベースに食事に合わせて味や喉越しを楽しむが，オーストラリアではビールそのものを楽しむ．味や色，風味は千差万別であり，ある店では30個以上のタップが立ち並び毎週そのラインナッ
プが変わるところもあった．全ビールの種類を飲みつくすことは到底できなかったが，それでもその豊富な種類と味を，青い空と快適な気候の中で心行くまで堪能し，次週から仕事に打ち込むための充電ができた．
また飲んでいると陽気なオージーが話しかけてくる．普段より饒舌に英語を話せる自分にもびっくりするが，すぐに友達になり，その後も食事に誘ってくれたり，結婚式に呼んでくれたりと，そのオープンさは素晴らしい．これも雄大な大地と温暖な気候，
そして透き通るような青い空によるものだろうか．

マーケット

国内で有名なステーキレストランはブリスベンだけ
でも数か所ある．
「The Worst Vegetarian Restaurant」などといったキャッチフレーズはいかにもオージーらしい．牛肉にも旬があり（赴任後に初めて知った！）その時期には１㎏チャレンジを開催したり，Agedと言って熟成させたものを提供したりと，各店によって特徴が異なる．私も周囲のオージーに「Crazy!」と言われながら１㎏を完食，その賞として壁に名前が掘られている．

5．飲

生

活

写真５

私が住んでいたアパートは過去羊毛を船積みするための倉庫だったところを改装していた．ブリスベ
ン川を利用したフェリーのターミナルが目と鼻の先にあり，都市部への移動は全く問題にならなかった．
オーストラリアの大手であるスーパーマーケットもそばにあり，治安もよい閑静な住宅街だった．特徴的なのは，閑静な住宅街なのに，近くにビールの醸造所が数か所，バーも点在していたこと（写真５）．
これが私の人生を変えることになる．
オーストラリアでは主にビール，ワイン，ラム酒が飲まれており，それぞれ非常に有名な醸造所，蒸留所が点在する．中でもビールの味に心底ほれ込み，

6．最

飲み処●箇所（Google Mapより引用）

後に冒頭に記載したように非常に多くを経験でき，自分の糧とできたこの数年間の機会を与えてくださった関係者の方々に感謝の気持ちを伝えたい．
またみなさんにおいても，もしブリスベンへ行く
機会があったら，美しい世界遺産へ足を運ぶのも良
いが，街中を散歩して，現地を感じてみるのもいかがだろうか．


フルードパワーシステム（原稿受付：2018年 ８ 月31日）

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

35

296

フルードパワーシステム

トピックス

学生さんへ，先輩が語る―空気圧機器メーカーに勤め始めて―

著

者

紹

介
しも

がわ

下 川

かず

一

ゆき

幸

株式会社コガネイ〒184-8533 東京都小金井市緑町3－11－28
E-mail：shimogawa@koganei.co.jp
2012年香川高等専門学校卒業．2016年岡山大学大学院自然科学研究科博士前期課程修了．同
大学院で機械システム工学を専攻．同年株式会社コガネイに入社し，現在に至る．

1．は じ め に
1.1 自己紹介
私は香川県の小豆島で生まれ，香川高専，岡山大学・大学院で機械，制御系の工学を学んだ．大学・大学院で所属していた研究室で空気圧関係の研究があったことがきっかけで一昨年の４月からコガネイ
で働き始めた．
1.2 企業紹介
コガネイでは，主力製品である空気圧機器に空気圧＋エレクトロニクスの技術を用いて生産・物流ラ
インの自動化・省力化をバックアップし，労働力不足という日本が抱える問題に取り組んでいる．
1.3 職場でのおすすめスポット
現在，東京の小金井市にある本社に勤めている．
職場でのおすすめスポットを紹介する．入社当時驚いたのは，入り口の門をくぐると視界一面に桜が入ってくることだ．入社して３年目になるが，また春になって桜が見られるのが待ち遠しい（写真１）．
製品の大半を生産している工場がある長野県駒ヶ根市の事業所でも桜が社内でたくさん咲き誇る．駒ヶ根市ではアルプスが見られるため，アルプスを背景に桜を見ることもできる．弊社では桜の季節になると写真撮影している社員の方を見かける．入社後，社内を散策し，何があるのか探してみることを楽しんでいる（写真２）．

2．学生時代を振り返って
2.1 学生時代の活動
学生のころは，勉強とは別の何かをやり込みたい36

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

写真１

写真２

コガネイ本社の桜

コガネイ駒ヶ根事業所の桜と思い，高専在学中はロボットコンテストに取り組んだ．ロボット製作の経験は皆無の状態で始め，毎日四苦八苦していた．当時の同期，先輩や後輩と切磋琢磨し，地区大会で敗退が続いていたが何とか全国大会に出場することができた．当時の記憶は今でも残っている．
今，学生のころを振り返ると空気圧機器との出会
いはこのときから始まっていた．ロボットコンテス
トは大会によってルールが異なり，制約条件も多い．
ロボットの重量やバッテリーの容量，材料費などが限られる．制約条件がある中で，取扱いが容易かつ高出力で消費電力の少ない空気圧機器は使うことが多かった．特にエアシリンダとバルブは使用頻度が高かったことを覚えている．
課外活動に取り組む時間が多い学生生活だったが勉強も頑張り，高専から大学に編入することができ2018年11月（平成30年）

下川一幸：学生さんへ，先輩が語る

297

た．進学先の岡山大学・大学院の研究室ではゴムを使った低剛性で安全なデバイスの研究を行っており，その一部に空気圧を使っている．当時，機械に使われるものは高剛性であることが一般的だと思っていたため，ゴムや空気圧を使って柔軟性があるものを作ろうと考えたことがなく，とても感動した．
使い方次第で空気圧はもっと成長できると感じ，興味を持つようになった．大学の研究室での経験が現在，コガネイで働くきっかけになったことは間違いない．
2.2 学生時代に勉強しておくとよいこと学生だったころの話を述べてきたが，現在は社会人になり数年経過した．短い社会人経験だが，学生日々の業務で経験することを今後の製品開発のきっかけにできればと思う．
開発部門での１日のタイムスケジュールを大まかに説明する．毎朝，始業後に朝礼があり，職場全体
１日の予定を確認する．その際，職場内に出張や外出などで不在の方もいるため，自分の予定に加えて職場の方々の予定も把握しておく．社内，社外の方と連絡する際，メールは必ずと言っていいほど使うため，毎朝，昼，就業後は必ずメールの有無を確認する．返信が必要なものがあれば連絡を入れる．
確認することが終わり次第，その日に決めていた業務に取り掛かる．デスクで図面を作成したり，実験室で製品の性能測定を行ったりする．

のときに勉強しておくとよいこと，しておくべきだったと思ったことがある．学生さんたちの役に立てばと思い，話させていただく．
学生のころは自由な時間があり，遊びたい時期でもある．それでも学生のころから勉強はしっかり取り組むべきである．数学などの基礎学力をベースとして，専攻している分野の基礎科目は漏れなく勉強しておくべきだ．社会人になって改めて勉強すること，新しく勉強することはたくさんあるが，基礎学
力は技術者として働くための基礎になるため重要である．加えて得意な科目を２，３個作る．社会人になるまでに得意なことがあれば技術者として働く際の強みになる．
私自身，不足していたと感じることは日頃の言葉使い，電話の対応，メールの書き方など，マナーを身につけることだ．入社後，新人研修で学ぶが，急にできるものでなく，日頃から習慣にしておかないといざというときにできない．特に私は配属後の電話対応が不慣れだった．
昨今の人手不足により，新入社員に対する期待はどの企業でも大きいと思う．入社後，活躍できるよ
うになるには何が必要になるのか考えてみてはどうだろうか．

3.2 職務遂行で大切にしていること
仕事は始業から終業までの時間と決まっていることが学生のころとは大きく異なる．そのため，常に何をいつまでに終わらせる必要があるか計画することを大切にしている．大学の研究室に在籍していた
当時，いつも研究室にいてめりはりをつけられず，
だらだら活動してしまっていた．
現在は１日，１週間，１ヶ月といった異なる期間
で仕事をどのように進めていくか日程表を作り，計画している．計画通り取り組めるように日々努力し，仕事に遅れが出ないよう気をつけている．
3.3 職場でのコミュニケーション／人間関係
職場でのコミュニケーション，人間関係を良くすることは仕事する上でとても大切であると日々感じている．弊社は80年以上続いている企業であるため，経験豊富な先輩社員がたくさんいる．仕事で分からないことがあれば先輩方に相談し，豊富な知識や経験に基づいたアドバイスをいただいている（写真３）．

3．社会人の仕事紹介
3.1 現在の仕事内容／１日のタイムスケジュール
現在，私はコガネイの開発部門で働いている．主な仕事内容は製品開発である．製品開発といっても仕事の内容はさまざまである．新製品の開発から既に流通している製品の対応，特定ユーザー向けの製品開発などである．また，営業からの要望で展示会の準備に参加し，展示会の説明員として製品の説明を行ったこともある．
若手社員は仕事を通して色々な製品の知識や経験を積み，今後の製品開発に役立てる必要がある．

写真３

職場でのやりとり3.4 職場で使用するおすすめの道具
社会人になり，時間を気にするようになったため，
必ず腕時計をつけるようになった．学生のころは時間管理に気をつけていなかったため，時間はわざわ
ざ携帯で確認していた．社会人として働くにようになると移動が多く，時計がない場所にいることも多

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

37

298

フルードパワーシステム

いため，腕時計を見て時間厳守で行動している．
職場では文房具をよく使う．職場で提供される文房具もあるが，日頃の業務で必ず使うため使い慣れたものや使いやすいものを選ぶようにしている．私の場合，３色ボールペン，蛍光ペン，こすって消せるボールペンなどをよく使う．職場の上司に報告書や図面など資料を確認してもらうとき，１番見てもらいたい箇所にマーキングして，一目で分かるように心がけている．
職場のデスクには卓上カレンダーを置くようにしている．急な仕事が入ってきたときに予定を確認する際，カレンダーを見ながら予定を決める．使用頻度は多くないがあると便利だと感じることが多い．
使いやすい道具を持っていても使いたいときに見つからず探していると思いのほか時間を使ってしまう．そのため，よく使う文房具はデスクのペン立てに入れるようにしている．入社後は新人研修の機械加工で製作したものを現在も愛用中である（写真４）．

写真４

ペン立て（新入社員の研修で製作）

3.5 ライフワークバランス／リフレッシュ
社会人になると学生の頃に比べて，自由な時間は減った．土日が休みの場合，１日は家で過ごし，最低１日は出かけるようにしている．社会人になるタ
イミングで上京したため，関東について知らないことが多く，職場で教えてもらうことが多々ある．出かけるときは関東の旅雑誌から情報収集し，気になった場所に行くようにしている．
家では実家から届いた野菜でご飯を作り，気分転38

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

換している．また，地元の食材が欲しいときは都心のアンテナショップまで食材を買いに出かけることもある．最近では，地元で買ったオリーブの木を部屋の中で栽培している．毎朝の水やりが出勤前の日課である（写真５）．

写真５

4．ま

と

栽培中のオリーブめ

4.1 今後の抱負
入社して数年過ぎ，ようやく職場に慣れてきたと思う．エンジニアとして働いていく上で，私が考えたアイデア，製品でユーザーを満足させられるようになりたい．今は職場の先輩方に助けられることがたくさんある．今後も日々の仕事に精進し，エンジ
ニアとして成長することを心がけていく．
学会誌に記事を投稿することが今回初めてであった．また別の機会に本誌へ仕事の成果を発表できるようになれればと思う．
4.2 学生へのメッセージ
学生のときは社会人になって働くことがイメージしづらい．入社後は社会人として立ち振る舞いができず，大変だ．しかし，分からないことは職場の先輩方に教えてもらいながら慣れるしかないと私自身経験している．入社３年目になり，新人が入社してくると職場の方々はどんな人かと興味津々になることが分かるようになった．新入社員は大変だが，どんな人でも経験することだと割り切って，明るく元気に頑張って欲しい．


2018年11月（平成30年）（原稿受付：2018年 ８ 月31日）

HA HUU HUNG：What do you think of Japan?（Youは日本をどう思う？）第６回

ベトナムから日本に留学して

299

ベトナム
ハノイ

What do you think of Japan?
（Youは日本をどう思う？）
ベトナムから日本に留学して

第6回

著者
ハ ー

フ

ン

フ

紹介

ン

HA HUU HUNG

岐阜大学大学院自然科学技術研究科
知能理工学専攻知能機械領域修士課程２年〒501-1112 岐阜県岐阜市柳戸１－１
E-mail : huuhung2501@gmail.com
2015年３月ベトナムハノイ工科大学機械工学科中退，2015年４月
岐阜大学機械工学科知能機械コース編入，2017年３月岐阜大学機械工学科知能機械コース卒業，2017年４月岐阜大学大学院工学研究科
知能理工学専攻，知能機械領域博士前期課程に進学，現在に至る．
VRを利用した車椅子訓練シミュレータの開発について研究に従事．

きる訓練システムを開発した．卒業研究では，前後上下方向の移動やロール，ピッチ，ヨーの角度変化が可能な６軸揺動装置を導入し，前後方向の加速度を再現できるシステムを開発した．その結果，実際の車椅子の操作感覚に近い効果が得られた．博士前期課程では，最新のHMD（ヘッド・マウント・ディスプレイ）やUnity（2D／3Dゲームや仮想現実を作るためのソフトウェア）を活用し，より没入感の高いシステムの開発を行っている．これにより，訓練者はHMDを用いて，あたかも目の前に現実に近い仮想空間が感じられ，3D空間を自由に動き回ることによって，より多様な訓練が可能となる．

1．は じ め に
自己紹介：
私はベトナムの首都であるハノイで生まれ育った．
ハノイ工科大学における２年間でメカトロニクスに関連する専門科目と日本語を学んだ．その後，日本留学試験，編入試験，面接試験等に合格し，岐阜大学に３年次編入生として入学した．現在は岐阜大学
大 学 院 修 士 課 程 で 知 能 理 工 学 を 専 攻 し て お り，Virtual Reality（VR）を利用した車椅子訓練シミュ
レータの開発について研究を行っている．
来日の理由：
最先端科学技術や高度情報処理を活用した，人間の機能と活動を補助し，支援する介護機器に関連する研究を行いたかったことや，日本人の心や強い絆に大変関心があったため，日本で学習・研究することを決意した．
現在の所属機関とその研究／仕事内容：
現在，岐阜大学工学部機械工学科知能機械コースの山田宏尚研究室でVRを利用した車椅子訓練シミュ
レータの開発について研究を行っている（図１）．近年では，バリアフリー化が進められているが，いまだに十分とは言えず，段差や凸凹道等が車椅子での移動において大きな障害になっている．それらの障害を車椅子利用者が介助者無しで通過するためには，前輪を浮遊させながら移動する「キャスター上げ」
動作を行う必要がある．しかし，「キャスター上げ」の習得訓練には，失敗による転倒等の危険性や訓練の長時間化等が問題となっている．そこで，油圧機器やサーボモータ等から構成されるシミュレータと，VRの技術を利用することで，安全に短時間で習得で

図１

車椅子シミュレータの装置概要

2．日本の印象
2.1 来日直後の第一印象
来日直後の日本の第一印象は？：
来日直後は空気が非常に新鮮で，日本人は人懐っこいという第一印象を持った．また，日本は治安が良く，どこにでもハイテクな製品が整っており，伝統とモダニズムとの素晴らしい融合や調和のとれた環境に好印象を持った．
2.2 研究室に関して日本人の考え方や働き方で驚いたこと：山田宏尚研究室（写真１）に配属された際に，同級生や先輩方は非常に勤勉に研究や仕事等に取り組
むこと，何事にも要領が良く，取り掛かりが早いことに驚いた．

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

39

300

フルードパワーシステム

日本に滞在中に自分が最も変わった点は？：日本に憧れてきた色々な外国人留学生が数多く，彼らと一緒に国際交流活動に参加し，さまざまな国の風習や文化を理解し貴重な経験を積んだ．広い視野を養って，毎日勉強になり世界の広さをさらに悟った．

写真１

う（写真２）．具体的には，ほぼどこにでも24時間
営業のコンビニエンスストアがあり，食品以外でも日常生活で最低限必要なものも扱われているため，非常に便利である．交通機関も整っており，万一電
車等が遅れても，遅延証明書が発行されるため，安心である．
最も興味ある日本の文化：
日本の伝統文化に関する課外活動に積極的に参加
し，日本伝統の武芸である剣道や茶道等に触れることができた．特に，最も興味あるのは剣道である．日本の剣道においては，母国の戦闘手段である剣術とは違い，己の精神を鍛えることも目的であるということがわかった．これらの伝統的文化交流活動を通じて，日本の事をより深く学ぶことができ，母国ではあまり馴染みのない「和」の心を肌で感じることができた．

研究室全員（２列目の右から３番目が筆者）

2.3 生活に関して
日本の生活で困ったことは？：留学する以前には滅多に家事をやらなかった．何でもかんでも母に手伝ってもらい，自立性を持たなかったため，日本での一人暮らしに大変苦労した．
特に，料理を作ることが困難であった．最初の頃は学業が多忙で外食がほとんどであったが，出費が多
く貯金が減ったため，自炊を始めた．ところが，そもそも料理が苦手だったため，当時はとにかく手間がかかる料理を作らなかった．また，栄養バランスのとり方もわからなかったため，毎日同じものを食べていた．しかし最近になって，「健康が何より」ということを意識し始めたため，毎日栄養豊富な食事を心がけている．
日本の生活でよかったことは？：
日本での生活はとにかく便利で暮らしやすいと思

写真３

両親と研究室の友達と一緒にベトナム旅行
（左端が筆者）

3．抱負と日本の方々へのメッセージ
今後はどんな予定？ 出身国に戻るのはいつ？：
５月に日本での就職活動が終わり，修士課程修了
後は，日本の企業でしばらく働く予定である．帰国の時期は未定であるが，日本滞在中に色々なことに挑戦したい．日本で学んだことや蓄積した経験を活かし，日本とベトナムの架け橋となり，両国の親交を深めたいと考えている．
日本人へのメッセージ：
日本に３年以上在住して，仕事に励む日本人の勤
勉さや忍耐強さを肌で感じた．逆境を跳ね返す力を持った日本人は仕事に対して大きな成果を出し続け，
現在の日本を支えている．しかし，仕事に熱心なあまり，ワーク・ライフ・バランスが心配である．仕事は大事だと思うが，「健康が何より」ということを意識していただければと思う（写真３）．
写真２

40

東京ディズニーシーの記念撮影

フルードパワーシステム

第49巻

第６号


2018年11月（平成30年）（原稿受付：2018年 ８ 月10日）

當麻美友：慶應義塾大学

竹村研究室紹介

301

研究室紹介

慶應義塾大学著者

紹

竹村研究室紹介

介
とう

ま

當 麻

み

美

ゆ

友

慶應義塾大学大学院〒223-8522 神奈川県横浜市港北区日吉３－14－１
E-mail：paka-miyu@jkeio.jp
2017年慶應義塾大学理工学部機械工学科卒業，
同年同大学大学院理工学研究科開放環境科学専
攻応用力学・計算力学専修入学．研究室では，ヒトの触感のセンシングに関する研究に従事．

(a)

触覚班メンバー(b)細胞班メンバー

1．は じ め に慶應義塾大学理工学部の前身は1939年に創設された藤原工業大学です．当初，機械工学科，電気工学科，応用化学科の３学科でスタートした藤原工業
大学は1944年に慶應義塾に寄付され，慶應義塾大
学工学部が誕生しました．その後，1981年に理学系３学科を加えて理工学部となり，現在では11学科から構成されています．当研究室が所属する機械工学科は１学年140名程で，卒業後は７〜８割の学生が大学院へと進学しています．

2．研究室の概要
当研究室では超音波振動や機能性流体を利用したアクチュエータ技術を基盤とし，こうした技術の強みを生かしたアプリケーションを研究しています．
応用分野は多岐に渡りますが，生物や人との関わりを持った機械システムの研究に特に力を注いでいます．そのため，生体分野に精通する他研究室や他学部との連携を積極的に行い，分野の枠にとらわれない研究を行っていることも特徴のひとつです．学生
らは研究テーマに基づき触覚班，細胞班，メカトロ
班のいずれかに所属し，日々研究を行っています（図１）．10周年を迎えた平成30年度の研究室の構成メンバーは，大学院博士課程２年生：１名，大学
院修士課程２年生：７名，大学院修士課程１年生：４名，学部４年生：７名の計18名となっています．
学生らの定期的な研究報告の場として，毎週行われるゼミのほか，各々が所属する班ごとに行われる(c)
図１

メカトロ班メンバー

研究室のメンバー（平成30年度）

グループミーティングがあります（図２）．さらに
当研究室は学生らがいる部屋と竹村先生のいらっ
しゃる部屋が通り抜けられるようになっているため，研究内容についてすぐに先生に報告，相談ができる
隔たりの無い環境となっています．
学生らが企画し実施する研究室行事として主に，歓送迎会，BBQ（図３），OB会，夏の合宿，忘年会などがあります．これらの定期的な行事を通して学
年，立場を越えた，研究室内の親睦を深めています．

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

41

302

フルードパワーシステム

図２

図４

グループミーティングの様子

図３

BBQの様子

図５

触覚センサ

 ルーン型アクチュエータを用い
バ
たハンド

3．研究テーマについて先述したように，当研究室で扱っている研究テー
マは大きく触覚，細胞，メカトロニクスの３つに分けられます．以下に各分野について詳しく紹介します．
3.1 触覚「つるつる」「ざらざら」といった触覚情報はモノの価値を決める重要な指標の１つです．こうした触覚情報は，人の指腹部に存在する機械受容器と呼ばれる受容器が，モノを触察した際の振動を検出する
ことで知覚されると言われています．当研究室では，モノの触察時の振動情報を取得し，人の感性情報との関係を明らかにする研究を行っています．具体的には，図４に示すような振動情報を取得する触覚センサの設計製作をはじめ1），官能評価の実施や振動
情報，物理量に基づく感性の定量化などをテーマとして扱っています．また，スクイーズ効果と呼ばれる，超音波振動により摩擦が低減する現象を利用した触覚ディスプレイの開発も行っています．
3.2 細胞
再生医療に注目が集まる中，その実用化には細胞の培養，組織化といったさまざまなプロセスにおいて未だ多くの課題が残されています．当研究室では細胞培養の過程に着目し，超音波振動を用いた新たな培養技術の確立を目指しています2）．細胞培養には大きく「播種」→「培養」→「剥離」→「回収」の４プロセスがあるのですが，その中でも主に「培養」「剥離」に着目したデバイスの開発などを行っています．たとえば，超音波振動により生じる定在42

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

図６

マイクロロボットハンド

図７

シャクトリムシ型ロボット

波を利用した細胞塊の生成や，超音波を用いた細胞の除去といった細胞の活性を維持しながら，培養の効率化を図る研究を展開しています．
3.3 メカトロニクス
メカトロ班では主に，超音波モータと電界共役流体（以後ECF）を研究テーマとして扱っています．
超音波モータは電磁モータと比較して，軽量でかつ静粛性に優れています．こうした特性を生かし，超音波モータを用いた義手の開発や新たな超音波モータの開発を行っています．一方，ECFは液中に微小2018年11月（平成30年）

當麻美友：慶應義塾大学

な電極対を配置するだけで液圧源として利用できることから，マイクロアクチュエータなどの駆動源として応用されています．近年はソフトロボティクスと呼ばれる研究分野において注目を集めており，当研究室でも図５，６に示す小型ソフトロボットハン
ド，図７に示すシャクトリムシ型ロボットをはじめとするソフトロボットの製作3）-5）や，チップ上で生化学分析を行う小型デバイスµ-TASの設計開発6）なども行っています．

4．お わ り に
本稿では慶應義塾大学竹村研究室についてご紹介させていただきました．本原稿の執筆にあたりご協
力いただいた皆様に感謝申し上げます．
参考文献１ ）Lisako Nobuyama, Yuta Kurashina, Kei Kawauchi,
Koji Matsui, Kenjiro Takemura：Tactile Estimation of
Molded Plastic Plates Based on the EstimatedImpulse Responses of Mechanoreceptive Units,
Sensors, Vol. 18, Issue 5, 1588,（2018）

竹村研究室紹介

303

２ ）Yuta Kurashina, Makoto Hirano, Chikahiro Imashiro,
Kiichiro Totani, Jun Komotori, Kenjiro Takemura：E n z y m e ‐f r e e c e l l d e t a c h m e n t m e d i a t e d b yresonance vibration with temperature modulation,
Biotechnology and Bioengineering, Vol. 114, No.10,
pp. 2279-2288,（2017）３ ）Akihiro Yamaguchi, Kenjiro Takemura, Shinichi
Yokota, Kazuya Edamura：A robot hand using
electro-conjugate fluid：Grasping experiment withballoon actuators inducing a palm motion of robot
hand, Sensors and Actuators A：Physical, Vol. 174,
pp. 181-188（2012）４ ）上野将平，竹村研治郎，横田眞一：電界共役流体を用いたマイクロロボットハンド，フルードパワーシステ
ム講演会講演論文集，pp. 109-111，（2013）
５ ）Shohei Ueno, Kenjiro Takemura, Shinichi Yokota,
Kazuya Edamura：Micro inchworm robot using
electro-conjugate fluid, Sensors and Actuators A：
Physical, Vol. 216, pp. 36-42,（2014）６ ）Yoko Abe, Kenjiro Takemura, Katsunari Sato, Shinichi
Yokota, Kazuya Edamura：Droplet µTAS using
electro-conjugate fluid- Feedback position control ofmultiple droplets in flow channel matrix, Sensors andActuators A：Physical, Vol. 198, pp. 1-7,（2013）

フルードパワーシステム（原稿受付：2018年 ８ 月 ２ 日）

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

43

304

フルードパワーシステム

企画行事

平成30年春季フルードパワーシステム講演会

著

者

紹

介
さくら

い

桜 井

やす

康

お

雄

足利大学工学部〒326-8558 足利市大前町268－１
E-mail：ysakurai@ashitech.ac.jp
1986年上智大学大学院理工学研究科博士前期
課程機械工学専攻修了．富士重工業㈱，上智大学助手等を経て2000年足利工業大学講師，2001
年同大学助教授，2007年同大准教授，2009年同大教授，現在に至る．博士（工学）．

写真１

OS1

写真２

OS2

1．は じ め に
５月24日（木）の午前中に開催された春季講演会併設セミナーに引き続き，平成30年春季フルー
ドパワーシステム講演会が例年通り機械振興会館において24日（木）の午後から25日（金）までの２日間，112名の参加者を得て開催された．本講演会
では，一般講演，２つのオーガナイズドセッション（OS）および製品技術紹介セッションにおいて，合計37件の講演が行われ，25日の午後には特別講演が開催された．
ここでは，本講演会の概要を報告する．

2．各セッションの概要
2.1 O
 S1：機能性流体によるフルードパワーシス
テムの高機能化・高性能化
本OSは吉田和弘先生（東京工業大学），竹村研治郎先生（慶応大学），金俊完先生（東京工業大学）
により企画された．開催趣旨は,「機能性流体を用いたフルードパワーシステムでは，ポンプあるいはバルブといった流体駆動機器を使用する必要がありません．このため，マイクロフルードパワーシステ
ムの実現やフルードパワーシステムの高機能化への応用が期待されております．また，近年は機能性流体の原理を応用した機能性ソフトマテリアルなどの開発も進み，機能性流体関連の研究が活発化しています．本オーガナイズドセッションではこうした機
能性流体に関連する研究を広く募集し，機能性流体がフルードパワーシステムを高機能化・高性能化する可能性を議論します．」である．ここでは，機能

44

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

性流体を用いたアクチュエータ，ポンプ，およびMR流体に関する合計５件の講演が行われ，活発な質疑応答が行われた（写真１）．
2.2 OS2：フルードパワーのシミュレーション
本OSは，「コンピュータの性能向上に伴って，シミュレーション技術は機械の研究開発に不可欠なものとなりました．その役割は，従来から行われてきたような現象解析や性能予測に留まらず，それらを応用したシミュレーションベースの形状最適化なども行われるようになっています．本OSでは，油圧，空気圧，水圧，ER流体などのフルードパワーシス
テムについて，シミュレーション事例やその周辺技
術，新手法に関する研究成果を広く募集し，議論する場としたいと思います．」という主旨で企画された．オーガナイザーは藤田壽憲先生（東京電機大学），中尾光博先生（鹿児島大学）が務めた．ここでは，熱交換器，油圧制御弁，空気圧管路および制御弁に関する１Dから３Dまでのシミュレーションを用いた研究に関する幅広い講演が５件行われ，活発な質疑応答がなされた（写真２）．

2018年11月（平成30年）

桜井康雄：平成30年春季フルードパワーシステム講演会

写真３

写真５

眞田新会長の挨拶

写真６

技術懇談会の様子

305

製品・技術紹介セッション

写真４

特別講演

2.3 製品・技術紹介セッション
本セッションは，「企業関係の方々に製品に係る技術や検討課題などを学会主要行事の１つである講演会で発表していただき，会員間で問題意識を共有
し会員相互の研究・技術の促進を図ろうとするもの
です．
」という主旨で和田重伸企画委員会副委員長（CKD㈱）が中心となって企画したセッションである．本セッションでは４件（フエスト㈱，CKD㈱，日本ムーグ㈱，ボッシュ・レックスロス㈱）の講演が行われ，活発な質疑応答が行われた（写真３）．
2.4 一般セッション：液圧
液圧に関する講演は８件行われた．そのうち２件が水圧に関するものであった．基礎的な現象に関する研究から油圧システムを用いた２足ヒューマノイ
ドロボットの研究まで幅広い講演が行われた．
2.5 一般セッション：空気圧
空気圧に関する講演は11件行われた．空気圧機
器の流量特性試験法に関する基礎研究から空気圧を利用したリハビリシステムやロボットに関する応用研究まで幅広い講演が行われた．
2.6 一般セッション：機能性流体
機能性流体に関する研究は応用技術に関する研究に関する講演が４件行われた．なお，OSにおいても機能性流体に関する講演が行われており，合計す
ると機能性流体に関する講演は９件である．

３．特 別 講 演

師としてお迎えし，「MR流体とその先進フルードパ
ワーテクノロジー」という演題で実施された．この講演では，MR流体の基本的な特性や特徴，新規MR
流体の創製・評価，MR流体を応用した建築構造物の免震制振用ダンパ，超小型EV用車両用ブレーキ
等，MR流体を用いたフルードパワー技術とそのシステム化に関する最新技術が紹介され，会場はほぼ満席であった（写真４）．なお，本特別講演は学会の社会貢献の一環として無料で一般公開されている．

４．お わ り に
本稿では平成30年春季フルーパワーシステム講
演会の概要について報告した．
講演会２日目の25日（金）には，通常総会に引き続き技術懇談会が開催された．平成29年春季フ
ルードパワーシステム講演会の最優秀講演賞の受賞式が行われた後，眞田一志新会長（横浜国立大学）のご挨拶で懇談会が開催された（写真５）．
本講演会は講演数37件，参加者数112名で，講演数は前年度より２件多く参加者数は７名少なくほぼ前年度と同じであり，参加者各位のご協力で盛会裏に終えることができた．技術懇談会にも多数の参加があり活発な情報交換が行われていた（写真６）．
最後に，本講演会に参加ならびに協力いただいた
方々に深く感謝申し上げます．
（原稿受付：2018年 ８ 月 ３ 日）

特別講演は，中野政身先生（東北大学教授）を講
フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

45

306

フルードパワーシステム会

告〈理事会・委員会日程〉

平成30年度第２回企画委員会
９月４日 15：00 ～ 17：00
機械振興会館 地下３階 B3―９ （出席者12名）

8月29日 基盤強化委員会

１）平成30年度実施の事業に関する報告・審議事項

9月 4日 企画委員会⑴平成30年度オータムセミナー⑵平成30年秋季フルードパワーシステム講演会

9月20日 情報システム委員会⑶平成30年度ウインターセミナー

9月27日 理事会
10月 4日

⑷その他

編集委員会

２）平成31年度実施の事業に関する報告・審議事項⑴平成31年春季講演会併設セミナー〈理事会報告〉⑵平成31年春季フルードパワーシステム講演会・総会⑶平成31年秋季フルードパワーシステム講演会

９月27日 14：00 ～ 16：00

３）その他審議・確認事項

機械振興会館 地下３階 B3―６ （出席者16名）⑴学会50周年記念行事

１）国際シンポジウム函館2020の開催準備状況⑵その他

２）学会創立50周年記念事業
３）平成30年度フェロー推薦者募集

平成30年度第２回情報システム委員会

４）平成30年度学会賞各賞の選考

９月20日 15：00 ～ 17：00

５）平成30年秋季講演会の開催準備状況

東京工業大学田町CIC5階 （出席者８名）

６）会員の推移

１）HP更新状況

７）その他

２）プライバシーポリシーへの対応
３）会議報告〈委員会報告〉４）事務局の情報機器更新
５）その他

平成30年度第２回基盤強化委員会
８月29日 15：00 ～ 17：00

平成30年度第３回編集委員会

機械振興会館 地下３階 B3―７ （出席者11名）

10月４日 14：00 ～ 17：00

１）会員サービス，会員数増加策

東京工業大学田町CIC5階 （出席者13名）

２）外部への情報発信

１）会誌特集号の現状と企画

３）フルードパワー道場

・Vol. 49 No. 6「フルーパワーとサーボ技術」

４）フルードパワー・バーチャルミュージアム

・Vol. 50 No. 1「油圧ポンプの技術動向」

５）研究委員会・Vol. 50 No. 2「ロボティックスに役立つフルードパワー

６）その他の要素技術」
２）その他
・今後の特集・トピックス46

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

会告共催・協賛行事のお知らせ

会

307

告

共催・協賛行事のお知らせ
協賛行事
第61回 自動制御連合講演会
主催：システム制御情報学会（幹事），計測自動制御学会，日本機械学会，化学工学会，精密工学会，電気学会，
日本航空宇宙学会

開 催 日：2018年11月17日（土）～ 18日（日）会

場：南山大学名古屋キャンパス（愛知県名古屋市昭和区山里町18）

Ｕ Ｒ Ｌ：https://rengo61.iscie.or.jp/
No06-18 シンポジウム 動力伝達系の最新技術2018－快適性と環境性能を両立する最新の駆動系－
企

画：公益社団法人

自動車技術会

開 催 日：2018年11月20日（火）会

場：東京工業大学

大岡山キャンパス 西９号館

ディジタル多目的ホール（東京都目黒区大岡山2-12-1）

Ｕ Ｒ Ｌ：http://www.jsae.or.jp/sympo/2018/scdl.php
日本機械学会 第31回 計算力学講演会（CMD2018）
主催：一般社団法人日本機械学会

開 催 日：2018年11月23日（金）～ 25日（日）会場：徳島大学常三島キャンパス（徳島県徳島市常三島町2-1）

Ｕ Ｒ Ｌ：https://www.jsme.or.jp/cmd/conference/cmdconf18/
No18-118 講習会アクチュエータシステムの基礎と応用－モーションコントロールから生体・情報・感情制御への展開－
企

画：一般社団法人日本機械学会 機素潤滑設計部門

開 催 日：2018年11月26日（月）会

場：名古屋大学

ベンチャービジネスラボラトリーベンチャーホール（愛知県名古屋市千種区不老町B2-4）

エコデザイン・プロダクツ＆サービスシンポジウム（EcoDePS）2018
主催：エコデザイン学会連合

開 催 日：2018年12月５日（水）会

場：早稲田大学

西早稲田キャンパス63号館（東京都新宿区大久保3-4-1）

Ｕ Ｒ Ｌ：http://ecodenet.com/EcoDePS2018/
SICEセミナー「モデルベースト制御系設計～モデリングから制御系設計までを系統的に学ぶ～」2018
主催：公益社団法人

計測自動制御学会 制御部門

開 催 日：2018年12月10日（月）～11日（火）会

場：慶応義塾大学

矢上キャンパス16-A棟厚生棟３F大会議室（神奈川県横浜市港北区日吉3-14-1）

Ｕ Ｒ Ｌ：http://www.sice-ctrl.jp/jp/wiki/wiki.cgi/c/semi?page=design2018
第19回 計測自動制御学会システムインテクレーション部門講演会（SI2018）
主催：公益社団法人

計測自動制御学会システムインテグレーション部門

開 催 日：2018年12月13日（木）～15日（土）会

場：大阪工業大学

梅田キャンパス（大阪府大阪市北区茶屋町1-45）

Ｕ Ｒ Ｌ：http://www.sice-si.org/conf/si2018/
Grinding Technology Japan 2019
主催：日本工業出版㈱，フジサンケイビジネスアイ

開 催 日：2019年３月18日（月）～20日（水）会

場：幕張メッセ

展示２ホール（千葉市美浜区中瀬2-1）

Ｕ Ｒ Ｌ：http://grind-tech.jp/
第３回 安心・安全・環境に関する計算理工学国際会議（COMPSAFE2020）
主催：COMPSAFE2020実行委員会

開 催 日：2020年３月８日（日）～３月11日（水）会

場：神戸国際会議場（兵庫県神戸市中央区港島中町6-9-1）

Ｕ Ｒ Ｌ：https://compsafe2020.org/

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

47

308

フルードパワーシステム

会

告

会

会員の種類

員

移

動

正 会 員

海外会員

学生会員

賛助会員

926

16

135

130

＋３

±０

＋18

±０

会 員 数
（10月10日現在）
差引き増減

正会員の内訳 名誉員14名・シニア員43名・ジュニア員146名・その他正会員723名〈新入会員〉
正会員
大島 信生（大阪市立大学）

川瀬 利弘（東京医科歯科大学）

藤本 博司（株式会社テイサク）

脇元 修一（岡山大学）

学生会員
小川 草太（岡山大学）

井西 健太（香川大学）

大林 秀幸（岡山理科大学）

井上 椋太（岡山理科大学）

楠瀬 系知（岡山理科大学）

福川 展弘（岡山理科大学）

鈴木 善雄（岡山理科大学）

前川 哲志（奈良工業高等専門学校）

西村 祐希（信州大学）

永井 一輝（信州大学）

水上 英紀（早稲田大学）

林田 岳士（関西大学）

塩田 秀人（青山学院大学）

北澤 勇気（青山学院大学）

山ノ内祐太（鹿児島大学）

神代 拓見（鹿児島大学）

小野塚祐樹（中央大学）

原田 篤也（神奈川工科大学）

高見澤 諒（法政大学）

会

告

詳細は学会ホームページ（http:www.jfps.jp/）をご覧ください

平成30年度ウインターセミナー「フルードパワーシステムと1DCAE」

開催日時：平成31年２月22日（金）13：15 ～ 16：45
本学会では，フルードパワーシステムにおける1DCAE手法

フルードパワーシステムにおける1DCAE適用の現状と今後のとその活用状況の把握を目的として，「1DCAEによるフルー

展開を展望したいと思います．

ドパワーシステム設計に関する研究委員会」を設置して，継続

開催場所：機械振興会館本館６階6D-4

的な活動を行っています．本セミナーでは，この研究委員会の（東京都港区芝公園3-5-8）

活動内容から，注目すべきトレンド／トピックの紹介を行い，

48

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

詳細は学会ホームページに随時掲載いたします．

2018年11月（平成30年）

会告

資料一覧表

会

309

告

資料一覧表
価格は，
（一社）日本フルードパワーシステム学会事務局までお問い合わせください．
資

料

名

発行年月

平成元年春季油空圧講演会講演論文集

平成元年５月

平成元年秋季油空圧講演会講演論文集

平成元年11月

平成２年秋季油空圧講演会講演論文集

平成２年11月

平成３年秋季油空圧講演会講演論文集

平成３年11月

平成４年春季油空圧講演会講演論文集

平成４年５月

平成４年秋季油空圧講演会講演論文集

平成４年10月

平成５年春季油空圧講演会講演論文集

平成５年５月

平成５年秋季油空圧講演会講演論文集

平成５年11月

平成６年秋季油空圧講演会講演論文集

平成６年10月

平成７年秋季油空圧講演会講演論文集

平成７年11月

平成８年春季油空圧講演会講演論文集

平成８年５月

平成８年秋季油空圧講演会講演論文集

平成８年10月

平成９年春季油空圧講演会講演論文集

平成９年５月

平成９年秋季油空圧講演会講演論文集

平成９年５月

平成10年春季油空圧講演会講演論文集

平成10年５月

平成10年秋季フルイドパワーシステム講演会講演論文集

平成10年11月

平成11年春季フルイドパワーシステム講演会講演論文集

平成11年５月

平成12年春季フルイドパワーシステム講演会講演論文集

平成11年５月

平成12年秋季フルイドパワーシステム講演会講演論文集

平成12年10月

平成13年春季フルイドパワーシステム講演会講演論文集

平成13年５月

平成13年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成13年11月

平成14年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成14年５月

平成15年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成15年５月

平成16年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成16年５月

平成16年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成16年11月

平成17年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成17年５月

平成18年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成18年５月

平成18年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成18年11月

平成19年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成19年５月

平成19年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成19年11月

平成20年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成20年５月

平成21年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成21年６月

平成21年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成21年11月

平成22年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成22年５月

平成22年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成22年12月

平成23年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成23年５月

平成24年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成24年５月

平成24年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成24年11月

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

49

310

フルードパワーシステム

平成25年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成25年５月

平成25年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成25年11月

平成26年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成26年５月

平成27年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成27年５月

平成27年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成27年11月

平成28年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成28年５月

平成28年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成28年10月

平成29年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成29年５月

平成30年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成30年５月

平成30年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集

平成30年10月

平成11年IFPEXフルイドパワーシステム ワークショップ講演会講演論文集

平成11年10月

平成14年IFPEXフルイドパワーシステム ワークショップ講演会講演論文集

平成14年６月

平成17年IFPEXフルイドパワーシステム ワークショップ講演会講演論文集

平成17年８月

平成20年IFPEXフルイドパワーシステム ワークショップ講演会講演論文集

平成17年４月

平成23年IFPEXフルイドパワーシステム ワークショップ国際見本市論文集

平成23年７月

平成26年第24回IFPEXカレッジ研究発表展示コーナー論文集

平成26年９月

平成29年第25回IFPEXカレッジ研究発表展示コーナー論文集

平成29年９月

フォーラム'91「賢い電子油圧制御をいかに実現するか」

平成３年７月フォーラム'92「ここまできた電子油空圧制御システム」

平成４年７月フォーラム'94「油空圧駆動と電動駆動の現状と課題 その１」

平成６年７月フォーラム'95「油空圧駆動と電動駆動の現状と課題 その２」

平成７年７月フォーラム'96「油空圧技術を支えるトライボロジー」

平成８年７月フォーラム'97「21世紀を見つめた新技術開発」


平成９年７月フォーラム'98「オフロードビーグル用走行装置の動向」

平成10年７月

フォーラム'99「技術開発におけるトラブル事例」

平成11年７月

フォーラム2000「油空圧機器の省エネルギー化はこれだ！」

平成12年７月

フォーラム2001「自動車における最新油空圧技術の動向」

平成13年７月

フォーラム2002「電動かフルードか」

平成14年８月

フォーラム2003「電動かフルードかⅡ」

平成15年５月

フォーラム2003「最近の緩衝・制振・免振技術」

平成16年５月

オータムセミナー「油空圧のセンシング技術」


平成元年10月

オータムセミナー「メカトロニクス関連センサ」

平成２年10月

オータムセミナー「油空圧を支える解析技術」


平成４年10月

オータムセミナー「油圧機器・システムにおける振動をいかに克服するか」

平成５年10月

オータムセミナー「油空圧制御と高速インターフェース技術の融合」

平成６年11月

オータムセミナー「油空圧におけるシミュレーション技術の現状と課題」

平成７年10月

オータムセミナー「最新制御理論の超活用法（油空圧システムとロバスト制御の融合）」

平成８年９月オータムセミナー「環境適合技術の動向」


平成12年９月

オータムセミナー「フルイドパワーシステムに用いられる制御技術の動向」

平成13年９月

オータムセミナー「フルードパワーと環境・リサイクル」

平成15年10月

オータムセミナー「食品機械におけるフルードパワーの利用と課題」

平成16年10月

オータムセミナー「レスキューにおけるフルードパワーシステム」

平成17年10月

オータムセミナー「生活に密着したフルードパワー」

平成18年10月

オータムセミナー「鉄道におけるフルードパワー技術」資料は『油空圧技術』Vol.46 No.4

平成19年４月

オータムセミナー「フルードパワーシステムと環境・省エネルギー」

平成20年10月

オータムセミナー「フルードパワーシステムのためのlinux開催環境」

平成21年10月

オータムセミナー「BOPビジネスの可能性～ CSRとビジネスの両立～」

平成22年11月

50

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

会告

資料一覧表

311

オータムセミナー「パワートレインにおけるフルードパワー技術」

平成23年11月

オータムセミナー「フルードパワー技術を生かす油圧作動油の最新動向」

平成24年11月

オータムセミナー「鉄道車両とフルードワー技術」

平成25年10月

オータムセミナー「医療・福祉・介護分野でのフルードパワーを利用したロボティクス」

平成26年11月

オータムセミナー「アクアドライブシステムの産業利用の現状」

平成27年11月

オータムセミナー「生産技術に貢献するフルードパワー in トヨタ産業技術記念館」

平成27年11月

オータムセミナー「ロボティクス分野におけるフルードパワー活用の現状と今後について」

平成27年11月

ウインターセミナー「油空圧システムの低騒音化のために」

平成２年２月ウインターセミナー「知っておきたい新しいアクチュエータ」

平成３年２月ウインターセミナー「200X年における電子油空圧はどうあるべきか Part2」

平成４年２月ウインターセミナー「新素材の油空圧への応用」

平成５年２月ウインターセミナー「空気圧の新たな可能性を求めて」

平成６年２月ウインターセミナー「人と環境に優しい油空圧―油空圧機器･システムの低騒音化技術―」

平成７年２月ウインターセミナー「油圧システムの高圧化に関する現状と将来」

平成８年２月ウインターセミナー「フルイドパワーにおける流体の役割」

平成９年２月ウインターセミナー「ER流体の可能性とその油空圧技術への応用」

平成10年１月

ウインターセミナー「ユーザは語る･自動化機器における駆動方式の現状と将来像」

平成11年１月

ウインターセミナー「水圧システムの現状と応用事例・展望」

平成12年１月

ウインターセミナー「省エネ，環境のためのセンシング」

平成３年１月ウインターセミナー「油空圧機器・システムにおける省エネルギー化の方法」

平成14年１月

ウインターセミナー「油空圧機器に係わる加工技術～共存する油空圧機器と加工技術～」

平成15年１月

ウインターセミナー「メンテナンスエンジニアリング―ランニングコストを安く―」

平成16年１月

ウインターセミナー「医療・福祉におけるフルードパワーシステムの応用動向」

平成17年１月

ウインターセミナー「機械システムの安全性」


平成18年２月

ウインターセミナー「家庭の中のフルードパワー」

平成19年２月

ウインターセミナー「航空機とロケットへの応用」

平成20年２月

ウインターセミナー「海と船のフルードパワー」資料は『学会誌』Vol.39 No.5

平成21年２月

ウインターセミナー「フルードパワー機器・システムの小型化」資料は『学会誌』Vol.39 No.5

平成22年２月

ウインターセミナー「福祉・医療環境における空気圧応用の現状と問題」

平成23年２月

ウインターセミナー「圧縮空気エネルギーの有効利用技術」

平成24年２月

ウインターセミナー「アクアドライブシステム（新水駆動圧技術）の現状と将来」

平成25年２月

ウインターセミナー「大型機械と油圧技術」


平成26年２月

ウインターセミナー「大型機械・大型施設で活躍するフルードパワー」

平成27年２月

ウインターセミナー「フルードパワー技術を支える要素技術」

平成28年３月

ウインターセミナー「自動車の動力伝達機能を支える油圧技術」

平成29年２月

ウインターセミナー「フルードパワーに利用できるマイコン技術～機器の駆動に関わるマイコン技術～」

平成30年３月

教育講座「マイコン制御講座」（大学上級コース）

平成元年８月

教育講座「現代制御理論講座」（大学上級コース）

平成元年10月

教育講座「マイコン制御講座」（大学上級コース）

平成２年８月

教育講座「トライボロジー講座」（大学上級コース）

平成３年８月

教育講座「油空圧における鋳造技術講座」


平成５年10月

教育講座「空気圧システム入門」


平成10年９月

教育講座「空気圧システム入門」


平成11年６月

教育講座「空気圧システム入門」


平成13年６月

教育講座「トライボロジー講座」


平成14年９月

教育講座「空気圧システム入門」


平成15年５月

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

51

312

フルードパワーシステム

教育講座「空気圧システムの基礎」


平成15年５月

第１回油空圧国際シンポジウム論文集

平成２年１月

第２回油空圧国際シンポジウム論文集

平成５年９月

第３回油空圧国際シンポジウム論文集

平成８年11月

第４回油空圧国際シンポジウム論文集

平成11年11月

第５回油空圧国際シンポジウム論文集

平成14年11月

第６回JFPSフルードパワー国際シンポジウム論文集（CD-ROM）

平成17年11月

第７回JFPSフルードパワー国際シンポジウム論文集（冊子，CD-ROM）

平成20年９月

第８回JFPSフルードパワー国際シンポジウム論文集（冊子，CD-ROM）

平成23年10月

第９回JFPSフルードパワー国際シンポジウム論文集（冊子，CD-ROM）

平成６年10月

学会創立30周年記念出版「アドバンスドフルードパワー技術の基礎と応用」

平成15年４月

分冊販売

油圧駆動の世界―油圧ならこうする―
空気圧システム入門
水圧駆動テキストブック

日本フルードパワーシステム学会創立40周年出版
分冊販売

油圧システムのモデリングと解析手法
Webシミュレーション解説
アクアドライブ技術の進展

52

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

平成23年４月

会告フルードパワーシステム

フルードパワーシステム

副会長のご挨拶

会長就任にあたって

紀
一志
一雄
一志
豊
英彦

︱︱︱︱
︱ ︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱

特集「IFPEX2017」
IFPEX2017発刊にあたって…村松 久巳IFPEX2017に お け る 空 気 圧 分 野…吉満 俊拓の技術動向
IFPEX2017に お け る 油 圧 分 野 の…桜井 康雄技術動向
IFPEX2017に お け る 水 圧 分 野 の…伊藤 和寿
技術動向
鉄道車両におけるフルードパワー…鴨下 庄吾技術の応用
建設現場のIoT スマートコンス…小野寺昭則トラクション
液浸露光装置の技術動向…江頭 裕之ADSの更なる市場展開とその施策（ADS：Aqua Drive System 新 水…宮川 新平
圧技術）
新型ワイドレンジ副変速機付CVT…野武 久雄の油圧システムについて
IFPEX2017カレッジ研究発表…坂間 清子

号

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1

4

1

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裕

3

123

豊

3

125

康雄

3

128

俊拓

3

131

悠二

3

134

優悟

3

137

特集「モーターサイクルにみるフルードパワーの最新技術」「モーターサイクルにみるフルー
ドパワーの最新技術」発行にあ…栗林 直樹
4
166
たって
フルードパワーとモーターサイクル…香川 利春4167～ライダーから見た技術的魅力～
二輪車開発における流体基盤技術…坂川 佳司
4169
自動車用エンジンの熱効率向上・…小酒 英範4172
排気浄化技術
大型二輪車用過給エンジン開発に
…市
聡顕
4
177
おける流体技術
オートバイの音に関する音質評価～ライダーと非ライダーの評価の…岩宮眞一郎
4
180
違い～
モトクロス用軽量フロントフォー…野口 寛洋4
184
クの開発

特集「バイオミメティクスにみられるフルードパワー」「バイオミメティクスにみられる…上妻 文英5
フルードパワー」発行にあたって
タコの吸盤を参考とした臓器吸着…塚越 秀行
5
用ソフトフィンガー
空気圧人工筋肉を用いた腸管の山田 泰之
蠕動運動を模擬したポンプの開…
5
中村 太郎
発と応用
蝶型はばたきロボット開発のため…藤川 太郎5のCFD解析
フナムシを模倣したポンプレス微…石井 大佑5量液体輸送システム
サメ体表の微細構造に着目したバ
イオミメティックデザインとフ…宮崎真理子
5
ルードパワーへの応用
バイオミメティクスによる家電製…大塚 雅生5
品の価値創造航空機の機体形状に適用された生…菅野
剛
5
物模倣の事例

212
213
216
219
223
227
231
235

特集「フルードパワーとサーボ技術」「フルードパワーとサーボ技術」…五嶋 裕之発行にあたってサーボ弁・歴史と技術…田村 博久
油圧サーボ・比例弁駆動ドライバ
…岩崎
章
の技術
デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる強磁界直動型高…中川晋一朗
速サーボ弁
半導体製造装置における空気圧…涌井 伸二サーボ技術
水圧サーボ弁の新技術…鈴木 健児小型スマート油圧アクチュエータ…西畑 教英
マイクロ流体制御バルブ…吉田 和弘

6

277

6
6
6

281
284
287

【解説】
欧州建設事情視察団参加報告

5239

︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱



78

号





︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱ ︱︱︱︱︱

特集「JFPS国際シンポジウム2017」
第10回JFPSフルードパワー国際…眞田 一志
シンポジウムの実施報告
JFPS2017福岡における第10回記…加藤 友規念講演会
JFPS2017福岡における油圧分野…風間 俊治の研究動向
JFPS2017福岡における空気圧分…早川 恭弘野の研究動向JFPS2017福岡における機能性流…竹村研治郎体分野の研究動向
JFPS2017福岡における水圧分野…鈴木 健児の研究動向

56

JFPS2017福岡におけるロボティ…吉灘
クス分野の研究動向
JFPS2017福岡におけるポスター…田中
セッションの研究動向
JFPS2017福岡展示における概要 …桜井
最優秀論文賞・最優秀学生論文賞…吉満とGFPSアワードの贈呈
JFPS2017福 岡 GFPS Best Paper…宮木Award を受賞してJFPS2017福岡参加記
…古田

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特集「フルードパワーにおける設計技術のトレンド―品質向上と最適化を目指して―」「フルードパワーにおける設計技
術のトレンド―品質向上と最適化…成田
晋
2を目指して― 」発行にあたって
タグチメソッド・品質工学・ロバ…田口伸
2ストエンジニアリング
ロケット用ターボポンプのダイナ…川崎聡
2ミック設計手法
CAE解析技術の精度向上に対する…柴田 康之2取り組み
シリンダクッションの最適形状
田﨑 佳介～ AMESimを用いた品質工学的… 金丸 健二
2アプローチ～
飯谷 英史
深層学習を応用した油圧システ
横島 靖典
ム設計におけるテスト設計プロ…
2
中沢 俊彦
セス
オートマチックトランスミッショ…山口健
2ン開発における流体最適化事例
外付け式ソレノイド減衰力調整
上野 和生
ショックアブソーバーの応答性…
2
松下 雄介
改善
品質工学を用いたサスペンション…一野瀬昌則2
設定の最適化総目次（第49巻）︱︱︱︱︱ ︱︱ ︱︱ ︱︱︱︱︱ ︱︱︱︱︱ ︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱︱

年頭にあたって

…小山
眞田
…
肥田
…眞田
田中
…
嶋村


【挨拶】
年頭のご挨拶

313

総目次（第49巻）

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

…藤谷

秀次

6

264

6

265

6

271

6

274

2018年11月（平成30年）

53

314

フルードパワーシステム【会議報告】
日本機械学会MoViC2017における…桜井 康雄フルードパワー関連技術の研究動向
日本機械学会年次大会2017における…坂間 清子フルードパワー関連技術の研究動向
FLUCOME2017参加記…香川 利春
山梨講演会2017におけるフルード…吉田 和弘パワー技術研究
ICMT2017会議報告…嚴祥仁
計測自動制御学会・流体計測制御シ…川上 幸男
ンポジウムにおける研究動向
第11回IFK2018に お け る フ ル ー ド…田中
豊
パワー研究の動向
MSCS2018におけるフルードパワー…川上 幸男
技術研究動向ROBOMECH2018におけるフルード…田中豊
パワー技術研究の動向【トピックス】
特許文献を調べる・特許情報プラットフォーム…改良構想から分類を考…木原 和幸
える２
特許文献を調べる・特許情報プラットフォーム……まとめと国際分類の…木原 和幸
動向Youは日本をどう思う？第１回：イ…アシュリーダメートリー
ンドネシアから日本に留学してYouは日本をどう思う？第２回：オー…田瞳菲
ストラリアから日本で仕事をしてYouは日本をどう思う？第３回：フ…レア・ルコントランスから来日してYouは日本をどう思う？第４回：日…潘
剛毅
本で暮らしてYouは日本をどう思う？第５回：中…薛成華
国から来日してYouは日本をどう思う？第6回：ベ…ハー・フー・フン
トナムから日本に留学して上海駐在員日記…山本 哲也
米国駐在員日記…中野 智和オーストラリア（ブリスベン）駐在…齋藤真二郎
日記
学生さんへ，先輩が語る―建設機械…杦木 昭平メーカーで働き始めて―学生さんへ，先輩が語る－空気圧機…下川 一幸器メーカーに勤め始めて－

芝浦工業大学

伊藤研究室紹介 …

【研究室紹介】古田
伊藤福岡工業大学フルードパワーシステ…加藤ム研究室（加藤研究室）
立命館大学ヒューマノイドシステム…玄研究室の紹介神奈川工科大学創造工学部ロボット…吉満
メカトロニクス学科 吉満研究室
鹿児島大学 中尾研究室…中尾慶應義塾大学 竹村研究室紹介…當麻

平成30年度企画行事紹介…

【企画行事】

藤田桜井

平成29年度オータムセミナー開催
報告「ロボティクス分野におけるフ…名倉
ルードパワー活用の現状と今後について」
平成29年度ウインターセミナーの報告 「フルードパワーに利用でき…赤木るマイコン技術」
平成30年春季講演会併設セミナー「フルードパワーにおける設計技術…桜井のトレンド―品質向上と最適化を目
指して―

54

フルードパワーシステム

第49巻

1

33

1

36

2

85

3

139

3

141

4

187

4

190

5

243

6

290

1

39

3

143

1

43

2

90

3

148

4

196

5

248

6

299

2
4

87
193

6

293

5

245

6

296

優悟
和寿

1

45

友規

2

93

相昊

3

150

俊拓

4

198

光博
美友

5
6

250
301

壽憲
康雄

2

96

忍

3

153

徹也

4

201

康雄

第６号

5

253

平成30年春季フルードパワーシス
…桜井
テム講演会
【会告】
平成29年度 ウインターセミナーのお知らせ「フルードパワーに利用できるマイコン技術～機器の駆動に関わるマイコン技術～」
平成30年春季フルードパワーシス
テム講演会併設セミナー「フルード
パワーにおける設計技術のトレンド―品質向上と最適化を目指して―」日本フルードパワーシステム学会・
日本機械学会共催 平成30年春季
フルードパワーシステム講演会
平成30年春季フルードパワーシス
テム講演会併設企画「製品・技術紹介セッション」
共催・協賛行事のお知らせ
その他
共催・協賛行事のお知らせ
平成29年度ウインターセミナー「フルードパワーに利用できるマイコン
技術～機器の駆動に関わるマイコン
技術～」
平成30年春季フルードパワーシス
テム講演会併設セミナー「フルード
パワーにおける設計技術のトレンド―品質向上と最適化を目指して―」日本フルードパワーシステム学会・
日本機械学会共催 平成30年春季
フルードパワーシステム講演会
平成30年春季フルードパワーシス
テム講演会併設企画「製品・技術紹介セッション」
日中若手研究者交流事業 招聘者募
集のお知らせ日本フルードパワーシステム学会論
文集49巻（2018）１号発行のお知らせその他
日本フルードパワーシステム学会・
日本機械学会共催 平成30年春季
フルードパワーシステム講演会
平成30年春季フルードパワーシス
テム講演会併設企画「製品・技術紹介セッション」
特別協賛行事「空気圧システムの新展開 実習付き講演会」
日本フルードパワーシステム学会・
日本機械学会共催 平成30年秋季
フルードパワーシステム講演会
共催・協賛行事のお知らせ
その他
第37期 通常総会終了
平成30年度 特別教育講座「油圧機器・システムのモデリング入門：
市販ソフトを利用するときに知っておくことはこれだ！」
日本フルードパワーシステム学会・
日本機械学会共催 平成30年秋季
フルードパワーシステム講演会
共催・協賛行事のお知らせ
その他
日本フルードパワーシステム学会・
日本機械学会共催 平成30年秋季
フルードパワーシステム講演会
平成30年度オータムセミナー「知っておきたい空気圧システム設計技術の新常識」

2018年11月（平成30年）

康雄

6

304

1

49

1

49

1

49

1

49

1
50
1 16，48，51，52
2
99
2

100

2

100

2

100

2

100

2

101

2

101

2 98,101,102
3

156

3

156

3

156

3

156

3
157
3 155,158,159,160
4
204
4

205

4

205

4
206
4 203,207,208
5

257

5

257

会告

フルードパワーシステム

日本フルードパワーシステム学会論文集 49巻（2018）２号 発行のお知らせ
共催・協賛行事のお知らせ
その他
共催・協賛行事のお知らせ

5

257

5
258
5 226,256,259,260
6307

平 成30年 度 ウ イ ン タ ー セ ミ ナ ー「フルードパワーシステムと1DCAE」
資料一覧
フルードパワーシステム第49巻総目次
その他

フルードパワーシステム

第49巻

第６号

総目次（第49巻）

315

6

308

6

309

6

313

6 306,308,316

2018年11月（平成30年）

55

316

フルードパワーシステム

編 集 室

次号予告

――特集「油圧ポンプの関連技術動向」――〔挨拶〕会長の挨拶
副会長の挨拶〔巻頭言〕「油圧ポンプの関連技術動向」発行にあたって〔総 論〕油圧ポンプ素描
〔解 説〕油圧ポンプの根幹技術：非エロージョンノッチの開発
小曽戸
油圧ポンプの開発へのCAEの適用事例
自動車に用いられるベーンポンプの特徴と開発
小型アキシアルピストンポンプの球面弁板の特長と活用事例
高剛性作動油の特徴と効果
外接ギヤポンプの仕組みと低騒音技術の変遷
建機用油圧ポンプの搭載関連技術
〔会議報告〕日本機械学会2018年度年次大会におけるフルードパワー技術研究
FPMC（Bath/ASME）におけるフルードパワー関連技術の研究動向
〔トピックス〕学生さんへ，先輩が語る（大学編）―大学研究者の仕事―
Youは日本をどう思う？第７回：モンゴルから日本に留学して
〔研究室紹介〕神奈川大学工学部 機械工学科 中尾研究室

眞田 一志
豊，嶋村 英彦
丸田 和弘
風間 俊治
博，細井 耕平，真下 和昌
藤井 智幸
野田 智巳
樋口 雄一，辻井 喜勝
永井 利幸
村田 一真
宇佐美秀明
脇元 修一
加藤 友規
宮嵜 哲郎
バトバヤル ウラン ウルジ
中尾 陽一
田中

平成30年度「フルードパワーシステム」編集委員
委 員 長 塚副委員長 村
委
員 伊
上
内
加
北
栗
上
五
佐
妹
中

会

越
松
藤
野
堀
藤
村
林
妻
嶋
藤
尾
野

秀
久
雅
朝
晃
友
直
文
裕
恭
政

行（東京工業大学）
巳（沼津工業高等専門学校）
則（東京海洋大学）嗣（CKD㈱）彦（宇部工業高等専門学校）
規（福岡工業大学）
剛（油研工業㈱）樹（川崎重工業）
英（KYB㈱）之（㈱工苑）
一（横浜国立大学）
満（SMC㈱）身（東北大学）委員

中 山晃（日立建機㈱）藤 田 壽 憲（東京電機大学）
丸 田 和 弘（㈱コマツ）
矢 島 丈 夫（㈱コガネイ）
柳 田 秀 記（豊橋技術科学大学）
山 田 真の介（㈱TAIYO）
山 田 宏 尚（岐阜大学）
吉 満 俊 拓（神奈川工科大学）
担当理事 伊 藤 和 巳（KYB㈱）学会事務局 成 田晋
編集事務局 竹 内 留 美（勝美印刷㈱）（あいうえお告

複写される方へ本会は下記協会に複写に関する権利委託をしていますので，本誌に掲載された著作物を複写したい方は，同協会より許諾を受けて複写してください．ただし（公社）日本複写権センター（同協会より権利を再委託）と包括複写許諾契約を締結されている企業の社員による社内利用目的の複写はその必要はありません．したがって，社外頒布用の複写は許諾が必要です．
権利委託先：（一社）学術著作権協会〒107-0052 東京都港区赤坂９―６―41 乃木坂ビル
TEL：03-3475-5618 FAX：03-3475-5619
E-mail：info@jaacc.jp
なお，著作物の転載・翻訳のような，複写以外の許諾は，学術著作権協会では扱っていませんので，直接本会へご連絡ください．

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フルードパワーシステム

第49巻

第６号

2018年11月（平成30年）

順）

昭和47年10月19日第４種学術刊行物認可
平成30年11月15日発行（奇数月）

Vol.49 No.6
フルードパワーシステム

東京都港区芝公園三丁目五│二二 電話（〇三）三四三三│八四四一 ＦＡＸ（〇三）三四三三│八四四二
̶ 編集兼発行人 一般社団法人 日本フルードパワーシステム学会 振替口座 東京〇〇一一〇│三│一三三六九〇

〒105
0011

東京都文京区白山一│一三│七 アクア白山ビル五階
印刷所 勝美印刷株式会社