MPI プローブ・セレクションガイド

MPI社はRF測定で要求される多くのチャレンジを満足するRFプローブを開発しました。それがTITANTMシリー
ズRFプローブで、お客様の先進的なご要求を完全に満足するように設計されています。
TITANTMプローブは最新のテクノロジーと最先端製造技術により、開発・製造されています。TITANTMプローブ
はAllstron社を買収することにより基本技術を取得して、MPI社の持つ優れたRFプローブ技術及びMEMS製造技術により大幅な改良が加えられました。
優れた機械精度で作成されたTITANTMプローブは、正確な50Ω特性を持つ接触チップを実現し、広い周波数範囲で今までにない高精度RF校正を可能にしました。特許を取得している突起型チップを使用することにより、小さなパッシベーション・ウインドウを持つデバイスでも容易に測定できます。小さなスケート量でも良好なコンタクトが取れ、正確で再現性のあるRF測定を実現しました。TITANTMプローブが持つこれらの特長をお求めやすい価格で提供可能です。
TITANTMプローブ・シリーズではシングルエンド型およびデュアル型の両方が用意されており、DC-110GHzの周波数範囲をカバーします。プローブ先端のピッチは50マイクロンから1250マイクロンの広い範囲で用意されています。TITANTMプローブはRFおよびmm波帯においてウエハ上でのSパラメータ測定に最適なプローブです。
また、RF帯で10W(RF連続波)の測定が可能なハイパワープローブも用意しております。今までになかった優れた製品寿命そして、お求めやすい価格は魅力的です。

プローブコンタク

TITANTMシリーズ・プローブのユニークなMEMS
コプラナーコンタクト

プローブを上げた状態

DC針のような見やすいプローブ・チップおよびパッド損傷を最小にするチップ
設計

SELECTION GUIDE - Probes, QMS-C-AS-059-03, 07-2023 © MPI Corporation 2023 - 仕様は予告なく変更することがあります。

1

クロストーク特性
ショートのクロストーク特性(マルチラインTRL校正)
Crosstalkon Short. Multiline TRL Calibration.

0T110
Probe (b)Probe (a)Probe (c)-20
振幅 (S)21)
Mag(S(dB)
21(dB)

振幅 (S21)
Mag(S) (dB)
21(dB)

Probe (a)Probe (c)T110
Probe (b)-20-40-40-60-60-80

オープンのクロストーク特性(マルチラインTRL校正)
Crosstalkon Open. Multiline TRL Calibration.

0020406080

100-80120020

周波数 (GHz)
Frequency(GHz)406080100120

周波数 (GHz)
Frequency(GHz)

TITANTMプローブの”ショート”および“オープン”のクロストーク特性と従来のRFプローブのクロストーク特性を比較したもの。使用プローブはGSG, 100 µmピッチ。
2つのプローブを150 µm離して、セラミック上の”ショート”および”オープン”を測定。校正はマルチラインTRLを使用。

機械特性
TITANTMプローブのもう一つの特長は優れたコンタクト再現性にあります。金パッドを使用して、セミオートマチッ
ク・プローバーを用いて再現性を測定した場合、その値はシステムのトレース雑音とほぼ同様な値になります。
AC2-2スルーのS11Thru S11 Repeatability.
Semi-Automated System.
AC2-2
再現性(セミオート・プローバ使用)
00MaxRepeatability Error
最大再現性誤差Max
Trace Noise Error
最大トレース雑音-20
S 21 Error
Magnitude (dB)
S21振幅誤差(dB)

Max Repeatability Error
最大再現性誤差-40-60

11S 11SError
Magnitude (dB)
振幅誤差(dB)-20-80-100

020406080

AC2-2 スルーのS21Thru S21 Repeatability.
Manual TS50 System.
AC2-2
再現性(マニュアルTS50使用)

100-40-60-80-100120Frequency(GHz)
周波数 (GHz)

01020304050

周波数 (GHz)
Frequency(GHz)

T110プローブにてAC2-2校正基板上の”スルー”のS11測定の再現性特性。セミオート・プローバ使用。10回測定。

T50プローブにてAC2-2校正基板上の”スルー”のS21測定の再現性特性。マニュアル・プローバ、TS50使用。

機械特性
カンチレバー針材質

ニッケル合金

本体材質

アルミ合金

コンタクト圧 @50 µm OT

20 g

プローブチップ寿命, TD> 1,000,000

GND-SIGアライメント誤差[1]± 3 µm[1]プラナリティ誤差[1]± 3 µm[1]接触幅< 30 µm

金パッド時の接触抵抗< 3 mΩ

使用温度範囲-60 to 175 °C

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2

RFワイヤレス用26 GHzプローブ
RFワイヤレス製品の開発や製造のコストを下げたいお客様に最適なのがT26プローブです。SMAコネクタを使用してコストを下げ、優れたRF特性を持つ設計は26GHzまでのRFワイアレス・アプリケーションに最適なRFプローブです。50マイクロンから1250マイクロンの幅広いプローブ・ピッチでGS/SG、GSGのチップ構成で用意されています。
TITANTM 26GHzプローブはWiFi、Bluetoothおよび3G/4G等の携帯電話用の部品の開発や製造に有効にお使いいただけます。
また、大学等の学校での使用にも最適なRFプローブです。

26 GHz RFプローブ: モデルT26
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC to 26 GHz1< 0.4 dB

リターンロス(GSG構成)> 16 dB

挿入損失(GSG構成)

1

DC電流

≤1A

DC電圧

≤ 100 V

RF電力 @10 GHz≤5W

T26 プローブ, A スタイル

機械特性コネクタ

SMA

ピッチ範囲

50 to 1250 µm

標準ピッチ幅50 to 400 µm
400 to 1250 µm

25 µm
50 µm

RFチップ構成

GSG, GS, SG

コネクタ角度V スタイル: 90°A スタイル: 45°

代表的電気的特性: 26 GHz GSG プローブ, 250 µm ピッチ

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3110 GHzまでのデバイスおよびIC 評価に最適なRFプローブ
TITANTMプローブはマイクロ同軸ケーブルに基づくプローブ技術とMEMS技術を用いたプローブチップの組み合わせで実現されたものです。コプラナ型プローブチップは完全に特性インピーダンスに整合が取れており、被測定物のパッドまで最適化された信号伝送技術により、TITAN TMプローブは優れたRF特性を持っています。
これらに加えて、独特なプローブチップ設計により、どのようなパッド材料の上でもスケート量を最小限に抑えることが可能です。これらによりTITANTMプローブは110GHzまでの周波数範囲において、正確で再現性の良い測定を実現させました。TITANTMプローブは長い製品寿命と魅力的な価格で小さなパッドのプロービングを可能にしました。
TITANTMプローブにはRF帯の設計デバグ向けにデュアル型プローブが用意されております。110GHzまでのSパラメータを正確に測定できる高性能RF/mmWプローブがあります。

40 GHz RFプローブ： モデルT40
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC - 40 GHz
1< 0.6 dB

リターンロス(GSG構成)> 18 dB

挿入損失(GSG構成)

1

DC電流

≤1A

DC電圧

≤ 100 V

RF電力 @10 GHz≤5W

T40 プローブ, A スタイル

機械特性
コネクタ

K (2.92 mm)

ピッチ範囲

50 to 500 µm

標準ピッチ幅50 to 400 µm
400 to 500 µm

25 µm
50 µm

RFチップ構成

GSG, GS, SG

コネクタ角度V スタイル: 90°
A スタイル: 45°

代表的電気特性： 40 GHz GSGプローブ、150 µm ピッチ

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4

50 GHz プローブ： モデルT50
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC to 50 GHz
1< 0.6 dB

リターンロス(GSG構成)> 17 dB

挿入損失(GSG構成)

1

DC電流

≤1A

DC電圧

≤ 100 V

RF電力 @10 GHz≤5W

T50 プローブ, A スタイル

機械特性コネクタ

Q (2.4 mm)

ピッチ範囲

50 to 250 µm

標準ピッチ幅

25 µm

RFチップ構成

GSG, GS, SG

コネクタ角度V スタイル: 90°
A スタイル: 45°

代表的電気特性： 50 GHz GSGプローブ、150 µm ピッチ

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5

67 GHzプローブ： モデルT67
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC to 67 GHz
1< 0.8 dB

リターンロス(GSG構成)> 16 dB

挿入損失(GSG構成)

1DC電流

≤1A

DC電圧

≤ 100 V

RF電力 @10 GHz≤5W

T67 プローブ, A スタイル

機械特性
コネクタV (1.85 mm)

ピッチ範囲

50 to 250 µm

標準ピッチ幅

25 µm

RFチップ構成

GSG

コネクタ角度V スタイル: 90°
A スタイル: 45°

代表的電気特性： 67 GHzプローブ、100 µm ピッチ

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6110 GHz プローブ： モデルT110
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC to 110 GHz
1< 1.2 dB

リターンロス(GSG構成)> 14 dB

挿入損失(GSG構成)

1DC電流

≤1A

DC電圧

≤ 100 V

RF電力 @10 GHz≤5W

T110 プローブ, A スタイル

機械特性
コネクタ

A (1 mm)

ピッチ範囲

50 to 250 µm

標準ピッチ幅

25 µm

RFチップ構成

GSG

コネクタ角度A スタイル: 45°

代表的電気特性： 100 GHz GSGプローブ、100 µm ピッチ

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7

220 GHz プローブ： モデルT220
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC to 220 GHz

挿入損失 (GSG構成)< 5 dB1

コネクタ端でのリターンロス (GSG構成)> 9 dB

チップ端でのリターンロス (GSG構成)> 13 dB

11DC電流≤ 1.5 A

DC電圧

≤ 50 V

T220 プローブ, 広帯域インターフェース

機械特性
コネクタ

広帯域インターフェース

ピッチ範囲

50, 75, 100 and125 µm

使用温度範囲

-40 ~ 150 ºC

コンタクト幅15 µm

クオドラント・コンパチブル(コーナのパッド設定可能)

可推奨パッドサイズ

20 µm x 20 µm

推奨OT (オーバトラベル)15 µm

接触抵抗(Al、20 ºC、15 μm OT)< 45 mΩ

プローブチップ寿命、TD(Al、20 ºC、15 μm OT)> 200,000

代表的電気特性(20 ºC において、100 μm ピッチ)
00

S11S22-20-30-40-50-10

S parameter(dB)S parameter (dB)S Sparameter(dB)parameter (dB)-10

S21-20-30-40-50

050

100150frequency (GHz)
Frequency
(GHz)

200

250

050

100

150

200250frequency (GHz)
Frequency(GHz)

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8プローブ本体寸法図

4.24

10.72

10.16

23.59

28.3

6.28

10.16

シングルエンド型A スタイル

4.

5835.98

10.16

12.55

5.65

27.73

28.32

10.16

シングルエンド型V スタイル

437.45844.81220 GHz プローブ

45°
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9RF校正基板
ACシリーズRF校正基板には最大26セットの標準器が用意されています。これにより、GS/SG、GSGプローブのSOLT、LRM RF校正が可能です。5本のコプラナラインが用意されており、広帯域にわたるマルチラインTRL校正が可能です。また、従来の校正法の精度の検証にも使用できます。SOLR校正が可能なように直角レシプロ型スルーも用意してあります。また、大きなピッチ幅用の校正基板も用意しています。

材質

アルミナ

エレメント設計

コプラナ

サポートされているRF校正法

SOLT、LRM、SOLR、TRL マルチライン TRL

厚さ635 µm

大きさAC2-2 : 16.5 x 12.5 mm
AC3 : 16.5 x 12.5 mm
AC5 : 22.5 x 15 mm

実効速度係数 @20 GHz

0.45

公称特性インピーダンス @20 GHz

50 Ω

公称ロード抵抗値

50 Ω

トリミング精度(代表値)± 0.3 %

オープン標準器

基板上に金パッド

校正検証エレメント

有定規目盛り0 to 3 mm

定規目盛りステップ

100 µm

RF校正基板 AC2-2
プローブ構成GSG

サポートされてるプローブ・ピッチ

100 to 250 µm

SOLT標準器セット数

26

校正、検証用ライン数

5

RF校正基板 AC-3
プローブ構成GS/SG

サポートされてるプローブ・ピッチ

50 to 250 µm

SOLT標準器セット数

26校正、検証用ライン数

5SELECTION GUIDE - Probes, QMS-C-AS-059-03, 07-2023 © MPI Corporation 2023 - 仕様は予告なく変更することがあります。

10RF校正基板 AC-5
プローブ構成GSG, GS/SG

サポートされてるプローブ・ピッチ

250 to 1250 µm

SOLT標準器セット数

GSG : 7
GS : 7
SG : 7

オープン標準器

セラミック基板上

校正、検証用ライン数

GSG : 2
GS : 1

代表的電気特性AC2-2 W#006 and T110A-GSG100

8Relative Phase Constant
相対位相定数

減衰定数
Attenuation Constant2.28

β/βо (unitless)α (dB/cm)

64

20020

406080AC2-2 W#006 and T110A-GSG100

2.30

100

2.26
2.24
2.22
2.20

120020Frequency
周波数 (GHz)(GHz)

100120Line Z 0550虚部(Z0)) (( ΩΩ ))Imag(Z0Real(Z実部(Z00)) ( ΩΩ ))80

AC2-2 W#006 and T110A-GSG100

2Line Z 050454060

Frequency(GHz)
周波数 (GHz)

AC2-2 W#006 and T110A-GSG100

6040020406080

Frequency(GHz)
周波数 (GHz)

100120-2-4-6020406080

100120Frequency(GHz)
周波数 (GHz)

AC2-2校正基板のコプラナラインの代表的電気特性はT110-GSG100プローブを用いて測定されています。測定法はNISTの推奨に基づいています[2, 3]。

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11

MPI QAlibria® RF 校正ソフトウエア
MPI QAlibra® RF校正ソフトウエアはRF校正における複雑で面倒な校正を簡単に実行できるように考えられたソフトウエアです。段階的開示方式とタッチ・オペレーションを実現したことにより、よりわかりやすく、はっきりしたかたちでRF校正の手順が用意されました。また、構成ミスを少なくして、正確な測定結果が迅速に得られるようになりました。これらに加えて、マルチプルGUI概念により、構成したすべてのセットアップにアクセスでき、それらを微調してアドバンスユーザ向けに構成することも可能です。QAlibria®は業界標準および先進的なRF校正に対応できます。さらにNIST StatistiCal校正が組み込まれており、NISTのマルチラインTRL校正および不確定解析を可能にします。MPI Qalibra®には多言語GUIが用意されており、オペレータのミスを最小限にすることができます。

仕様
サポートされているVNA
Rohde & Schwarz
ZV series

ZVA FW 3.12

ZN seriesZNB FW 2.3, ZND FW 2.3, ZNA FW 1.65(1.71)

Anritsu
VectorStar series

MS464x FW 2.2.0

ShockLine series

MS4652x FW 3.4.02

Keysight
PNA-X series

N5247A FW A.10.40.12, N5242B FW A.15.60.10

PNA series

N5227A FW A.09.80.20, N5227B FW A.12.70.07,
E8364B FW A.12.70.07, E8363B FW A.07.50.67,
E8361C FW A.08.04.07

PNA-L series

N5232A FW A.10.45.03, N5230C FW A.09.42.22,
N5235A FW A.10.40.12

E507xx series

E5071B FW A.09.10, E5071C FW B.12.04

E508xx seriesE5080B FW A.13.70.02

PXI series

M9803A

Copper Mountain
Cobalt series

C1209 FW 20.3.1, C2420 FW 22.2.2

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12

VNA インターフェース

NI VISA ver 5.0 以上. GPIB, TCPIP

RF校正法• 1-Port SOL (OSM)• 2-Port SOLT (TOSM)• 2-Port NIST マルチライン
TRL (NIST StatisctiCal™
Plusを組込)• 2-Port SOLR
• 2-Port TMR (LRM)

NIST StatistiCal™ Plus内蔵

オンラインおよびオフライン• 2-Port TMRR
• 2-Port TRL• 4-Port SOLT (TOSM)• 4-Port TMR (LRM)• 4-Port TMRR
• 4-Port SOLR

コンピュータ			OS

Windows 7 / Windows 10プロセッサIntel Core i3以上

メモリ

2GB以上

必要HDD 容量(QAlibria )
®

1GB以上

ディスプレイ
推奨分解能

1366 X 768, 13’’(ラップトップ)
1920 X 1080, 21’’(デスクトップ)

マルチタッチ・タッチスクリーン

推奨GUI言語

英語、中国語、日本語、ロシア語、ドイツ語

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RFおよびマイクロ波ケーブル
MPIは優れたRFケーブルおよびアクセサリーを用意してRFおよびmm波帯における測定を完全サポートいたします。
ケーブル
26 GHzまでの周波数範囲において高精度および低いコストでのRF測定を実現するために3.5mm SMAコネクタをベースにしたケーブルを用意しております。
安定した位相特性を持つ、高性能2.92、2.4、1.85および1mmコネクタ付きケーブルは高安定、正確そして再現性の高い校正を実現し、DCから110GHzにおいての測定を可能にいたします。
MPIは120 cmおよび80 cmの2つのケーブルを用意しています。測定セットアップにあったケーブルをお選びくだ
さい。
ケーブルオーダー情報
MRC-18SMA-MF-800

18 GHz SMA フレキシブル SMA (オス) - SMA (メス), 80 cm

MRC-18SMA-MF-1200

18 GHz SMA フレキシブル SMA (オス) - SMA (メス), 120 cm

MRC-26SMA-MF-800

26 GHz SMA フレキシブル SMA( オス) - SMA (メス), 80 cm

MRC-26SMA-MF-1200

26 GHz SMA フレキシブルSMA (オス) - SMA (メス), 120 cm

MRC-40K-MF-800

40 GHz フレキシブル 2.92 mm (K) コネクタ, オス-メス, 80 cm

MRC-40K-MF-1200

40 GHz フレキシブル 2.92 mm (K) コネクタ, オスーメス, 120 cmMRC-50Q-MF-800

50 GHz フレキシブル 2.4 mm (Q) コネクタ, オスーメス, 80 cm

MRC-50Q-MF-1200

50 GHz フレキシブル 2.4 mm (Q) コネクタ, オス‐メス , 120 cm

MRC-67V-MF-800

67 GHz フレキシブル 1.85 mm (V) コネクタ, オス‐メス, 80 cm

MRC-67V-MF-1200

67 GHz フレキシブル 1.85 mm (V) コネクタ, オス-メス, 120 cm

MMC-40K-MF-800

40 GHz 精密フレキシブル 2.92 mm (K) コネクタ, オス‐メス, 80 cm

MMC-40K-MF-1200

40 GHz 精密フレキシブル 2.92 mm (K) コネクタ、オス‐メス120 cm

MMC-50Q-MF-800

50 GHz 精密フレキシブル 2.4 mm (Q) コネクタ、 オス‐メス, 80 cm

MMC-50Q-MF-1200

50 GHz 精密フレキシブル 2.4 mm (Q) コネクタ,オス‐メス, 120 cm

MMC-67V-MF-800

67 GHz 精密フレキシブル 1.85 mm (V) コネクタ, オス‐メス, 80 cm

MMC-67V-MF-1200

67 GHz 精密フレキシブル 1.85 mm (V) コネクタ, オス‐メス, 120 cm

MMC-110A-MF-250

110 GHz 精密フレキシブル 1 mm (A) コネクタ, オス‐メス, 25 cm

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14

アダプタ
RFおよびmm波帯においていろいろな測定システムを容易に構成できるようにMPIでは各種のアダプタを用意しています。
MRA-NM-350F

RF 11 GHz アダプタ N(オス) - 3.5 mm(オス), ストレート

MRA-NM-350M

RF 11 GHz アダプタ N(オス) - 3.5 mm(メス), ストレート

MPA-350M-350F

精密型 26 GHz アダプタ 3.5 mm (オス) - 3.5 mm (メス), ストレート

MPA-350F-350F

精密型 26 GHz アダプタ 3.5 mm (メス) - 3.5 mm (メス), ストレート

MPA-350M-350M

精密型 26 GHz アダプタ 3.5 mm (オス) - 3.5 mm (オス), ストレート

MPA-292M-240F

精密型 40 GHz アダプタ 2.92 mm (オス) - 2.4 mm (メス), ストレート

MPA-292F-240M

精密型 40 GHz アダプタ 2.92 mm (メス) - 2.4 mm (オス), ストレート

MPA-292M-292F

精密型 40 GHz アダプタ 2.92 mm (オス) - 2.92 mm (メス), ストレート

MPA-292F-292F

精密型 40 GHz アダプタ 2.92 mm (メス) - 2.92 mm (メス), ストレート

MPA-292M-292M

精密型 40 GHz アダプタ 2.92 mm (オス) - 2.92 mm (オス), ストレート

MPA-240M-240F

精密型 50 GHz アダプタ 2.4 mm (オス) - 2.4 mm (メス), ストレート

MPA-240F-240F

精密型 50 GHz アダプタ 2.4 mm (メス) - 2.4 mm (メス), ストレート

MPA-240M-240M

精密型 50 GHz アダプタ 2.4 mm (オス) - 2.4 mm (オス), ストレート

MPA-185M-185F

精密型 67 GHz アダプタ 1.85 mm (オス) -1.85 mm (メス), ストレート

MPA-185F-185F

精密型 67 GHz アダプタ 1.85 mm (メス) -1.85 mm (メス), ストレート

MPA-185M-185M

精密型 67 GHz アダプタ 1.85 mm (オス) -1.85 mm (オス), ストレート

MPA-185M-100F

精密型 67 GHz アダプタ 1.85 mm (オス) -1.00 mm (メス), ストレート

参考文献[1] パラメータはチップおよびピッチ幅により変わる場合があります。
[2] R. B. Marks and D. F. Williams, "Characteristic impedance determination using propagation
constant measurement," IEEE Microwave and Guided Wave Letters, vol. 1, pp. 141-143,
June 1991.
[3] D. F. Williams and R. B. Marks, "Transmission line capacitance measurement," Microwaveand Guided Wave Letters, IEEE, vol. 1, pp. 243-245, 1991.

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