显微镜的纳米定位
快速、紧凑、纳米级

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精准定位是各种显微镜的关键要素高分辨率显微镜技术必须能够准确且可重复地定位成像元件或根据显微技术的横向和轴向分辨能力，双向定位必须在几

到4Pi Resolft 2光子超分辨率荧光显微镜对微小生物样本的精

在仅几纳米范围内保持精准（如超分辨率荧光显微镜）。

样本。应用范围从光学显微镜物镜在景深模式下精准z焦点定位

准定位。此外，在原子力显微镜(AFM)、电子显微镜（SEM和TEM）和相关显微镜中，PI的多功能纳米定位解决方案甚至可
以极大地支持苛刻的定位任务。

百纳米范围内保持精准（如常规的宽场光学显微镜）或者
在这里，PI的众多纳米定位解决方案就有用武之地了。
PI 提供基于压电柔性铰链、PiezoWalk®、压电粘滑或并联运动驱动技术的可靠精准定位解决方案。

本手册广泛概述了PI针对任何显微镜技术和应用所推荐

和提供的纳米定位技术和产品。提供的用例包括用于染色组织切片的常规宽场显微镜、几种超分辨率荧光显微
镜技术、AFM、SEM和工业显微镜检查。

PI的卓越纳米定位器和控制器可将样本或显微镜元件移动
到正确的位置 - 始终可靠精准。

2

在PI YouTube频道www.youtube.com/user/phyinst
上查看PI的显微镜解决方案

WWW.PI-CHINA.CN常规宽场显微镜
在载片上检查染色组织切片使用电动显微镜分析组织样本时，在景深模式下准确自动对焦对于获得可解释的图像至关重要。组织学载片、血涂片和妇科子宫颈抹片检查的可靠诊断结果直接取决于显微镜系统

的性能。PI可提供理想匹配的组件，用于在Z方向上定位物镜
以及在X和Y方向上定位样本。

任务

在Z方向定位物镜 – 用于自动对焦
在XY方向定位样本 – 用于样本扫描为了确保景深在大约115微米(4×)和大约800纳米(100×)之间，物镜z扫描仪需要定位在100和400微米之间的行程范围内，
双向位置重复精度为200纳米并且阶段稳定时间为20毫秒。

通常，横向显微镜分辨率在≥250纳米的范围内。因此，在XY
方向定位样本需要100到200纳米范围内的最小增量步长大小
和双向位置重复精度。

PI解决方案PIFOC®物镜扫描仪以纳米级精度在Z方向实现对焦和扫描>>第15页等

U-780 PILine®压电陶瓷超声平台系统
>>第26页
可根据要求提供垂直显微镜的样本定位定制解决方案。
3

运动

|

定位

科研显微镜下的生命细胞成像
荧光、宽场、激光扫描和双光子荧光显微镜

对活细胞的检查提供了对细胞间过程的基本见解，例如

在全内反射荧光显微镜(TIRFM)中，激光束的电磁场穿究代谢过程。为此目的使用不同的显微镜技术，例如荧米之间。因此，实现了更高的Z向分辨率，与其他显微有丝分裂或者蛋白质分子或膜组分的转运，并且能够研光、宽场或激光扫描。这些技术都受益于PI运动系统的纳米级精准定位。

对于Z向堆叠，沿Z向数百微米的行程内，需要在几纳米透样本体积并形成渐逝场，且穿透深度介于100至200纳
技术约500纳米的分辨率相比，其通常介于100-200纳
米之间。

的稳定区域中小于10毫秒的稳定时间。通常，沿XY方向定位样本需要在135毫米× 85毫米的行程范围内具有100纳米或更高的双向精度。

图片：GATTAquant/PI

任务

沿Z向定位物镜沿XY方向定位样本
沿Z向定位样本
耦合激光束，进行全内反射荧光(TIRF)显微镜检查PI解决方案PIFOC®物镜扫描仪以纳米级精度沿Z向实现对焦和扫描>>第15页等
U-780 PILine®压电陶瓷超声平台系统>>第26页

可根据要求提供垂直显微镜的样本定位定制解决方案。
P-736 PInano® Z向显微镜扫描仪>>第24页
P-737 PIFOC®样本Z向定位器>>第24页
Q-545 Q-Motion®精密线性平台
压电电机可实现强力和小巧设计宽度仅45毫米
具有位置分辨率的增量传感器
n 可提供真空兼容版本
n 推/拉力8牛n 不带接装板的XY组合可供选择>> www.pi.wsnn4

WWW.PI-CHINA.CN

多光子荧光显微镜用于深层组织检查

双光子（或多光子）激发显微镜适用于需要将激发光深
入穿透到活组织或完整动物标本中的实验。因此，能够以两倍的波长使用激光激发光，从而增加红外光穿透强
散射组织的深度。为此，需要具有更大行程的物镜定位系统。物镜或样本需要沿Z向定位，稳定时间<20毫秒，
稳定区域为±200纳米，行程为数毫米。

任务PI解决方案沿Z向定位物镜ND72Z2LAQ PIFOC®物镜扫描系统>>第17页

沿XY方向定位样本

U-780 PILine®压电陶瓷超声平台系统>>第26页

可根据要求提供定制的长行程音圈PIFOC®。

可根据要求提供垂直显微镜的样本定位定制解决方案。
P-545 PInano® XY(Z)压电系统>>第29页

沿Z向定位样本

M-545显微镜XY平台>>第25页
P-736 Pinano® Z向显微镜扫描仪>>第24页
P-737 PIFOC®样本Z向定位器>>第24页

P-545 PInano® XYZ压电系统>>第29页

5

运动

|

定位

光片荧光显微镜
用于实时成像的平面照明

图片：Shutterstock

光片荧光显微镜(LSFM)是一种用于在较长时间内对大标本进行三维和实时成像的技术。它采用独特的与观测方
向正交的平面照明方法，可较大限度地减少活体标本的为了检查琼脂糖凝胶中的斑马鱼等小型生物，请沿XY方向将样本定位为数毫米，且双向重复精度为100纳米。

光漂白和光毒性。

任务

沿Z向定位物镜沿XY方向定位样本

PI解决方案PIFOC®物镜扫描仪以纳米级精度沿Z向实现对焦和扫描>>第15页等
P-620 – P-629 PIHera 压电线性精密定位器>>第28页

6

WWW.PI-CHINA.CN超分辨率荧光显微镜
超越活体细胞成像的衍射极限许多超分辨率技术允许捕获分辨率高于光衍射极限的图像。诸如扫描近场光学显微镜(SNOM)、受激发射损耗显
微镜(STED)、4PI显微镜、随机光学重建显微镜(STORM)

和结构照明显微镜(SIM)等技术已经实现了低至数十纳米
的改善的横向(XY)分辨率。这些新方法为研究活细胞的结构和功能创造了前所未有的机会。

沿Z向的定位解决方案具有100微米至400微米的典型行程
值，在±1纳米的稳定区域中稳定时间小于10毫秒。样本
通常在三个轴上定位为200微米，双向重复性为1纳米。

图片：Shutterstock

任务

沿Z向定位物镜沿XY向定位物镜

PI解决方案PIFOC®物镜扫描仪以纳米级精度沿Z向实现对焦和扫描>>第15页等

P-612.2 XY压电陶瓷纳米级定位系统，设计紧凑、带孔径
100微米× 100微米闭环行程
通光孔径20毫米× 20毫米n 紧凑型：落地面积60毫米× 60毫米n	并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度>> www.pi.wsnn

沿XY方向定位样本

U-751带压电电机的XY位移平台 凑型设计：高度仅为32毫米，无丝杠管道或凸缘电机紧分辨率为100纳米的直接测量线性编码器n 自锁，静止状态下无热量产生，无伺服抖动n	
通光孔径为78毫米× 78毫米（最大位移时为65毫米× 65毫米）n 非接触式限位和参考点开关
>> www.pi.wsnn

沿Z向定位样本

P-541.Z/P-541.T压电Z向位移台/Z向位移台和偏摆台>>第28页
具有直流电机的M-227高分辨率线性促动器

最小位移0.05微米
不可旋转的尾端件n 带供选配的压电陶瓷驱动器，亚纳米级分辨率>> www.pi.wsnn

P-736 PInano® Z向显微镜扫描仪>>第24页
P-737 PIFOC®样本Z向定位器>>第24页

7

运动

|

定位

立体显微镜
检查全器官和生物

某些应用领域需要对全器官乃至生物进行成像。专为高
负载和数毫米行程而设计的物镜和样本定位器非常适合
于此用途。

物镜未包含在发货范围内。

任务PI解决方案沿Z向定位物镜带超声波驱动器的定制型自动对焦Z向扫描仪，可应要求提供更多信息。

沿六轴定位样本

H-811.I2 6轴小型六足位移台>>第27页

沿XY方向定位样本

U-780 PILine®压电陶瓷超声平台系统>>第26页

8

WWW.PI-CHINA.CN

数字载片扫描
数字化您的玻璃载片图片：gettyimages

数字载片扫描仪以高速数字化玻璃载片上的样本。例如，
数字样本可以让医疗保健、科研和教育方面的工作更快
速、更可靠、更高效。

根据插入的载片的数量和大小，需要沿X、Y方向快速定位样本，定位精度为100纳米且行程可变。

对于4倍物镜，高动态自动对焦需要115微米的最大景深，这意味着Z向的行程通常为100–400微米。物镜定位器的稳定时间在±200纳米的稳定区域内应小于10毫秒。

任务

沿Z向定位物镜沿XY方向定位样本

PI解决方案P-725.xDD PIFOC®高动态压电扫描仪>>第18页
P-726 PIFOC®高负载物镜扫描仪>>第18页

P-725KHDS PIFOC®高动态物镜扫描仪>>第18页
U-780 PILine®压电陶瓷超声平台系统
>>第26页

V-738 PIMag®高精度XY位移平台>>第25页

9

运动

|

定位

原子力显微镜(AFM)

与拉曼或扫描近场光学显微镜(SNOM)结合使用

原子力显微镜(AFM)提供矿物质、聚合物混合物、复合材

料或生物组织等样品的形貌信息。共聚焦拉曼成像识别化学成分。扫描近场光学显微镜(SNOM)用于分辨率超出衍

射极限的光学成像。得益于具有快速响应时间和高多轴精度的并联运动压电平台，所有这三种方法均可以组合在一
个系统（相关显微镜）中。在所有三个轴中，均要求定位
精度低至1纳米及以下。

图片：WITec

任务

沿XYZ方向定位样本
沿XY方向定位样本

PI解决方案
可根据要求提供定制解决方案。

P-517/P-527多轴压电扫描仪>>第29页

10

WWW.PI-CHINA.CN扫描电子显微镜(SEM)
超高真空环境下的检查电子显微镜允许以低至1纳米以下范围的超高横向分辨率进行研究。对定位系统的其他要求包括相应的分辨率，此外，平台必须是非磁性和超高真空兼容（10-7百帕）的。

依据这些特征，PI的定位解决方案还可以部署在聚焦离子束(FIB)系统和结合FIB/SEM的机器中。

图片：Reiner Ramlau博士，固体材料化学物理MPI任务

沿XY方向移动透镜或光圈PI解决方案U-751带压电电机的XY位移平台 凑型设计：高度仅为32毫米，无丝杠管道或凸缘电机紧分辨率为100纳米的直接测量线性编码器n 自锁，静止状态下无热量产生，无伺服抖动n	
通光孔径为78毫米× 78毫米（最大位移时为65毫米× 65毫米）n 非接触式限位和参考点开关
>> www.pi.wsnn

沿XY方向定位样本

P-752高精度纳米定位平台 程为35微米行分辨率为0.1纳米
n 
快速响应
n 
电容式传感器带来最高线性度>> www.pi.ws
n
n

11

运动

|

定位

工业检验

光学三维表面测量技术

表面检查的趋势正朝着必须以纳米级别精确地再现或分辨越来越小的结构发展。由于光学测量过程可以应用于
几乎所有材料并且还适用于敏感样本，因此在众多应用中大显身手。高精度共焦再现原理不仅可以定性地呈现样品形貌和粗糙结构，而且可以采用多种工业标准中描
述的一致的触觉测量方法定量地呈现这些特征。由于基于压电的定位系统可提供纳米级精度和高动态性，因此为这一领域提供了相当大的帮助。

图片：NanoFocus

图片：NanoFocus

任务

沿Z向定位物镜沿XYZ方向定位样本

PI解决方案PIFOC®物镜扫描仪以纳米级精度沿Z向实现对焦和扫描>>第15页等
P-620.1 – P-629.1 PIHera压电线性精密定位器>>第28页
P-541/P-517/P-561/P-562以超分辨率跟踪和扫描>>第28/29/30页

并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
行程达300 × 300 × 300微米
n 亚纳米级分辨率
n	
n

12

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三维表面检查
白光干涉

图片：Nikon通过采用非接触和无损检测方法，可以在皮米分辨率下实时分析表面的轮廓和粗糙度。为此，需要结合使用高分辨率照相系统和白光干涉测量法。

任务

沿Z向定位物镜沿XY方向定位样本
沿六轴定位样本

为了详细分析表面并将各个测量结果组合在一起以产生
有意义的图像，必须快速精确定位镜头。

仅当镜头位置与单个图像准确匹配的情况下，才能实现
高精度的三维表面检查。

PI解决方案PIFOC®物镜扫描仪以纳米级精度沿Z向实现对焦和扫描>>第15页等
L-731精密XY位移平台>>第25页
H-811.I2 6轴小型六足位移台>>第27页

13

运动

|

定位

找出压电Z向纳米定位器
带孔径

是

是

是否有任何
空间限制？

否

是否需要沿Z向
定位物镜或光学元件？

是是否允许小心地移动样本？

否

是否需要额外的XY向定位来沿Z向定位样本？

否

是否需要小于10毫秒的稳定时间？

否

是

P-545
>>第29页

需要多大行程？

应要求提供的定制解决方案是否

需要多大行程？

100微米

220微米

高达250微米

高达500微米

P-736>>第24页

PD73Z2xOW>>第24页

P-620.Z –P-622.Z
>>第28页

P-737>>第24页

需要多大行程？

100微米

400微米

2000微米

18微米

100微米

400微米

PD72Z1x>>第16页

PD72Z4x>>第16页

ND72Z2LAQ>>第17页

P-725.xDD>>第18页

P-726>>第18页

P-725KHDS>>第18页

14

WWW.PI-CHINA.CNPIFOC®物镜扫描仪以纳米级精度进行聚焦和Z向叠加扫描

PIFOC®系列的物镜扫描仪可在定位和扫描任务中实现高动态性。用于物镜Z向聚焦的极佳适用性解决方案既可以作为标准产品提供，也可作
为带控制器和软件的系统包提供。如同所有压电陶瓷系统，扫描仪也在交货前完成了校准，并且测量日志随产品交付。

P-725 PIFOC®物镜扫描仪，长行程高达400微米

系统包也可定购，包括QuickLock螺纹适配器、控制器和软件与步进电机或直流电机驱动器相比，具有明显n	

更快的响应和更长的使用寿命>>第16页。

纳米级精度和毫秒范围内的稳定时间

P-721 PIFOC®高精度物镜扫描仪，行程高达100微米n	结合电容式传感器，直接测量技术带来最高线系统包也可定购，包括QuickLock螺纹适配器、控制器和软件

n	

性度

>>第16页。

零游隙柔性铰链导向带来高导向精度n	

通光孔径直径高达29毫米n	

QuickLock螺纹适配器，易于安装>>第19页n	

可以在不使用PIFOC®的情况下在同一物镜n	

转换器中调整其他物镜的隔圈，请参见
>>第19页

物镜未包含在发货范围内。

可根据>>第19页等单独订购QuickLock螺纹适配器。
推荐电控>>第32页有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

技术：PICMA®多层压电陶瓷促动器

P I C MA ® 促动器利用间接压电效应并实现较大的力。它们只需要少量的安装空间。同时，PICMA®促动器动力十足，可以达到前所未有的精度。由于采用陶瓷绝缘材料，PICMA®
促动器具有高可靠性和耐气候性。

运动

|

定位

15

快速PIFOC®物镜扫描系统
高动态压电陶瓷驱动可实现亚纳米分辨率亚纳米级分辨率的物镜精密定位n	

采用电容式传感器的直接计量（取决于型号）

n	

与LabVIEW、µManager和MATLAB兼容n	

所有伺服控制参数均可在运行期间更改

n	

可提供直径为29毫米的大孔径型号n	

USB、RS-232、模拟接口n	

PD72Z1x PIFOC®物镜扫描系统，行程为100微米

PD72Z2x * PD72Z4x PIFOC®物镜扫描系统，行程为400微米

系统包括
n
n

PIFOC®物镜扫描仪
E-709数字控制器

用于大孔径PIFOC®的QuickLock螺纹适配器M25 × 0.75或M32 × 0.75>>第19页等

n	
n
n

16

PIMikroMove®软件

用于LabVIEW、Matlab、C++等的驱动程序物镜未包含在发货范围内。
关于可用的其他QuickLock螺纹适配器，请参见>>第19页等。
推荐电控>>第32页等。
有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

WWW.PI-CHINA.CN长行程PIFOC®物镜扫描系统
纳米级分辨率、快速步进和稳定

ND72Z2LAQ PIFOC®物镜扫描系统2000微米纳米级分辨率、快速步进和稳定

带数字式控制器、软件和M32 QuickLock螺纹适配器的整套系统n	

USB、RS-232n	传感器分辨率为0.5纳米n	

Z向堆叠的高动态步进和稳定n	

其他螺纹适配器作为选配件n	与µManager、LabVIEW和MATLAB兼容n	运行期间的参数更改n	

关于可用的其他QuickLock螺纹适配器，请参见>>第19页有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。
可根据要求提供其他电控和配件。

系统包括
n
n

PIFOC®物镜扫描仪

E-861数字伺服控制器
P-721.05Q QuickLock螺纹适配器M32 × 0.75

n	
n
n

PIMikroMove®软件

用于LabVIEW、Matlab、C++等的驱动程序

采用PiezoWalk®步进驱动实现纳米精度和大进给力数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk®步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允
许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。

运动

|

定位

17

高动态、高负载的PIFOC®物镜扫描仪用于较重物镜的纳米级分辨率P-725.xDD PIFOC®高动态压电扫描仪带显微镜物镜，行程为18微米，最短稳定时间小于5毫秒n	以亚纳米级的分辨率扫描和定位物镜

n	

平行柔性铰链导向，可实现最小物镜偏移n	

采用电容式传感器进行直接计量，可实现良好线性度n	

采用应变片传感器的经济实用型版本n	

与MATLAB、LabVIEW和µManager兼容n	

PICMA®压电陶瓷促动器带来超长使用寿命n	QuickLock适配器可实现便捷连接n	

P-726 PIFOC®高负载物镜扫描仪n用于较大物镜的高动态定位和扫描谐振频率1120赫兹，带210克的物镜质量时为560赫兹

n	
n
n

典型稳定时间约为6毫秒
行程为100微米

直接测量型电容式传感器，可实现良好线性度、稳定性和控制

n	

动态

n
n

分辨率0.3纳米实现更佳聚焦稳定性的零间隙、高精度柔性铰链导向系统

P-725KHDS PIFOC®高动态物镜扫描仪
行程为400微米n	负载为400克时，步进和稳定时间为20毫秒n	

负载为400克时，谐振频率为120赫兹n	

最高可达M32的QuickLock螺纹适配器

n	

18

可根据>>第19页等单独订购QuickLock螺纹适配器。
推荐电控>>第32页有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

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具有标准孔径的PIFOC®物镜扫描仪的配置图
孔径≥21毫米，取决于螺纹适配器

123

3步配置

含在发货范围内
需单独订购

2

1

用于带电容式传感器
的系统的电控带电容式传感器的
PIFOC®物镜扫描仪
P-725.1CD
100微米行程QUICKLOCK
螺纹适配器
P-721.11Q
M25 × 0.75
P-721.02Q
M26 × 0.75
P-721.03Q
M27 × 0.75

E-709.CRG

数字式压电控制器，

单轴，-30至130伏，电容式传感器，台式设备

P-721.CLQ
100微米行程P-725.4CD
400微米行程

用于高动态应用：P-725.4CL
400微米行程

数字式压电控制器，

E-709.CHG

单通道，-30至130伏，

P-721.05Q
M32 × 0.75
P-721.06Q
M26 × 1/36”

PD72Z4CAQ
400微米行程P-721.08Q
M19 × 0.75

具有成本效益：P-721.CDQ
100微米行程

带电容式传感器的
PIFOC®物镜扫描系统
PD72Z1CAQ
100微米行程P-721.04Q
M28 × 0.75

高输出功率，电容式传感器，台式设备可满足最高要求：E-754.1CD

用于电容式传感器的单通道数字高速压电

控制器，配备TCP/IP、
USB和RS-232接口

PD72Z4CA0
400微米行程

带电容式传感器的
PIFOC®高动态压电扫描仪
P-725.CDD
18微米行程用于带应变片传感器的系统的电控P-725KHDS
400微米行程
用于其他物镜的隔圈

P-721.91Q
12.5毫米，M25 × 0.75
P-721.92Q
12.5毫米，M26 × 0.75
P-721.93Q
12.5毫米，M27 × 0.75
P-721.94Q
12.5毫米，M28 × 0.75
P-721.95Q
12.5毫米，M32 × 0.75
P-721.96Q
12.5毫米，M26 × 1/36”
P-721.98Q
12.5毫米，M19 × 0.75

3E-709.SRG
数字式压电控制器，
单轴，–30至130伏，应变片传感器，台式设备

带应变片传感器的
PIFOC®物镜扫描仪
P-721.SL2
100微米行程

带应变片传感器的
PIFOC®物镜扫描系统
PD72Z1SAQ
100微米行程用于PIEZOWALK®
NEXACT系统的电控E-861
PiezoWalk® NEXACT®
控制器，单轴，台式
设备，线性编码器，
USB和RS-232接口，
I/O，操纵杆连接器带光学编码器的
PIFOC®物镜扫描系统
ND72Z2LAQ
2000微米行程

运动

19

|

定位

具有大孔径的PIFOC®物镜扫描仪的配置图孔径高达29毫米，取决于螺纹适配器

123

3步配置

含在发货范围内
需单独订购

21
带电容式传感器且通光孔径直径为29毫米的PIFOC®物镜扫描仪

用于通光孔径直径为29毫米的PIFOCS®
的QUICKLOCK螺纹适配器P-721.05A
M32 × 0.75
P-721.11A
M25 × 0.75

P-725.1CA
100微米行程P-721.CDA
100微米行程P-725.2CA
250微米行程P-721.04A
M28 × 0.75
P-721.06A
M26 × 1/36‘‘

用于带电容式传感器
的系统的电控具有成本效益：E-709.CRG
数字式压电控制器，
单轴，-30至130伏，电容式传感器，
台式设备
用于高动态应用：E-709.CHG 数字式压电控制器，单通道，
-30至130伏，电容式传感器，高输出功率，
台式设备

P-725.4CA
400微米行程P-721.02A
M26 × 0.75
P-721.03A
M27 × 0.753带电容式传感器且通光孔径直径为29毫米的PIFOC®物镜扫描系统
PD72Z1CAA
100微米行程PD72Z2CAA
250微米行程可满足最高要求：E-754.1CD
用于电容式传感器的单通道数字高速压电
控制器，配备TCP/IP、
USB和RS-232接口

PD72Z4CAA
400微米行程

带应变片传感器且通光孔径直径为29毫米的PIFOC®物镜扫描仪
P-721.SDA
100微米行程

带应变片传感器且通光孔径直径为29毫米的PIFOC®物镜扫描系统
PD72Z1SAA
100微米行程

20

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用于带应变片传感器的系统的电控E-709.SRG
数字式压电控制器，
单轴，-30至130伏，应变片传感器，台式设备

P-726 PIFOC®的配置图高负载物镜扫描器

123

2

1

需单独订购

3
用于带电容式传感器
的系统的电控带电容式传感器的
PIFOC®高负载物镜扫描仪
用于P-726 PIFOC®的QUICKLOCK螺纹适
配器

3步配置

用于高动态应用：E-709.CHG
数字式压电控制器，
单通道，-30至130伏，电容式传感器，高输出功率，
台式设备

P-726.1CD
100微米行程P-726.04
M28 × 0.75
P-726.05
M32 × 0.75

P-726.06
M26 × 1/36”
P-726.11
M25 × 0.75

显微镜转盘P-726.12
W0.8 × 1/36”

圆形旋环

转盘环

PIFOC

物镜环

带P-726 PIFOC的P-726 QuickLock适配器的
部件分解图（发货范围包含安装工具）。

物镜

21

运动

|

定位

多个轴中的样本定位产品选择器P-753 LISA
线性促动器和平台
超分辨率行程<1毫米

P-611.1线性压电陶
瓷定位系统

P-620 – P-629 PIHera压电精密定位器

P-541.2/P-542.2 XY
压电平台P-517/P-527多轴压电陶瓷扫描仪

不带孔径X轴
具有最高精度的N-565线性平台超分辨率行程>1毫米

不带孔径

P-733.2 XY压电纳米定位器

P-545 PInano®
XY压电系统

带孔径超分辨率行程<1毫米

P-620 – P-629 PIHera压电
精密定位器
不带孔径

XY轴
带孔径

超分辨率行程>1毫米

带控制器和操纵杆的
U-780 PILine® XY位移平台系统M-545显微镜XY
平台（手动操作）不带孔径

V-731/V-741
PIMag®高精度
XY位移平台

L-731/L-741精密
XY位移平台22

WWW.PI-CHINA.CN

V-738 PIMag®高精度
XY位移平台

L-738精密XY位移平台P-517/P-527多轴压电陶瓷扫描仪

P-733.3
XYZ压电陶瓷纳米
定位器

P-545
PInano® XYZ
压电系统

P-561/P-562/P-563
PIMars纳米定位平台

带孔径

XYZ轴

超分辨率行程<1毫米
不带孔径

P-616 NanoCube®
纳米定位器P-517/P-527多轴压电陶瓷扫描仪

XYθZ轴

超分辨率行程<1毫米

带孔径P-562.6CD PIMars
6轴压电平台系统

超分辨率行程
<1毫米

带孔径

XYZ
θXθYθZ轴超分辨率行程>1毫米

带孔径H-811.I2/I2V 6轴
小型六足位移台可根据要求提供超高真空兼容版本。

H-825 6轴
六足位移台

23

运动

|

定位

沿Z向定位样本
低外形和通光孔径

用于微量滴定板的PD73Z2xOW PInano® Z向显微镜扫描仪系统
大通光孔径、低外形、带数字式控制器
用于倒置的奥林巴斯显微镜

n	
n

快速步进和稳定

用于孔板的通光孔径、低外形易于集成n	n

行程为220微米

PICMA®压电陶瓷促动器带来超长使用寿命n	压阻式传感器实现更低成本n	电容式传感器实现更高稳定性n	

P-736 PInano®Z向显微镜扫描仪系统
价格便宜，低外形

整体高度仅为20毫米，易于集成

n	
n
n

行程为100微米或200微米
通光孔径93毫米× 65毫米E-709数字压电陶瓷伺服控制器包含在发货范围内

n	
n
n

USB、RS-232、模拟接口

与MATLAB、LabVIEW和µManager兼容系统包括

PInano® Z向压电扫描仪n	

E-709数字伺服压电控制器

n	

大量软件包

n	

P-737 PIFOC®标本Z向定位器
大孔径、低外形

行程达500微米n	

通光孔径为128.5毫米× 86.5毫米，可容纳孔板

n	
n
n

24

低外形为20毫米

与MATLAB、LabVIEW和µManager兼容

推荐电控>>第32页有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

WWW.PI-CHINA.CN宽场显微镜的样本定位
紧凑而快速具有最高精度的N-565线性平台具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器长行程：13毫米、26毫米或52毫米n	

超高精度：最小位移为2纳米，直接测量PIOne编码器，分辨率为0.5纳米n	n紧凑型设计：宽度为65毫米，高度为20毫米

U-521 PILine®线性平台带超声波压电电机的紧凑型线性平台
行程达25毫米× 25毫米n	

快速精密地定位小型负载：速度达200毫米/秒，最小位移达0.3微米n	节约空间：宽度仅为35毫米，高度仅为15毫米n	

M-545显微镜XY平台
紧凑、稳定、长行程

行程为25毫米× 25毫米n	

用于P-545 PInano®压电纳米定位系统的稳定平台n	30毫米的低外形、易于集成n	

使用千分尺螺丝手动操作，可选配带步进千分卡尺促动器的电动装置n	

用于Nikon、Zeiss、Leica和Olympus的倒置显微镜n	

V-731/V-741 PIMag®高精度XY位移平台
高运动精度和稳定性，磁力直接驱动

行程为205毫米× 205毫米（8英寸）或350毫米× 305毫米（12英寸）

n	

双向重复精度达±0.25微米

n	
n
n

速度达200毫米/秒

无铁芯三相线性电机分辨率为1纳米的增量线性编码器n	

V-738 PIMag®高精度XY位移平台
通光孔径，高运动精度和稳定性，磁力直接驱动*
行程为102毫米× 102毫米（4英寸）n	150毫米× 150毫米的开放式框架（在基准位置）n	

双向重复精度达±0.25微米n	

速度达500毫米/秒n	

三相线性电机n	分辨率为1纳米的增量线性编码器n	

*可提供主轴驱动版本（L-731、L-741、L-738）

推荐电控>>第32页等有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

运动

|

定位

25

宽场显微镜的样本定位紧凑而快速，纳米级分辨率

广泛的功能丰富，软件支持强大的宏指令语言 非易失宏存储，例如可利用自动运行宏实现独立操

作。数据记录器。ID芯片检测用于快速启动。PID控制器，操作中的

参数改变。广泛的软件支持，例如可用于LabVIEW、C、C++、
MATLAB、μManager。PIMikroMove用户软件。

具有控制器和操纵杆的U-780 PILine®XY位移平台系统
10微米/秒下的高速度稳定性n	

速度达120毫米/秒，双向重复精度为0.3微米n	

行程达135毫米× 85毫米（取决于型号类型）n	紧凑型扁平设计：无限接近样本n	适用于以下倒置显微镜：n	– 尼康Eclipse Ti-E/Ti-U/Ti-S– 奥林巴斯IX2– 莱卡DMI系统包括

PILine® XY位移平台n	

C-867.2U2压电电机控制器

n	

USB手柄

n	

大量软件包

n	

有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

PILine®超声波压电电机

作为PILine®超声波压电电机不可或缺的一部分，压电陶瓷促动器上被施加预载，通过一个耦合

元件抵住移动导向转子。在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下，压电陶瓷促动器被激励
以产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环；高频率带来高速度。在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器26

在静止状态下和关机时自锁。

WWW.PI-CHINA.CN宽场显微镜的样本定位并联运动设计，最多可在6个轴中进行定位

H-811.I2/I2V 6轴小型六足位移台
快速、紧凑、高精度
行程达±17毫米/±21度n	

负载能力达5千克n	重复精度达±0.06微米n	

速度达20毫米/秒n	

超长使用寿命n	

可提供真空兼容版本

n	

H-825 6轴六足位移台负载能力达30千克，自锁n	

行程达±27.5毫米，旋转范围达±11.5度

n	

促动器分辨率达8纳米n	

X、Y和Z向上的最小位移达0.25微米n	重复精度达±0.1微米/±2微弧度n	

无刷直流电机和绝对编码器n	

推荐的六足位移台运动控制器C-887.52x >>第33页有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

技术：并联运动六足位移台在并联运动六足位移台中，所有驱动器都作用于单个移动平台，这使得比堆叠系统的设计更加紧凑。与串行机器人相比，六足位移台的有效载荷与工作重量比要更高。由于只移动一个平台，所以整体运动质量较低，导致所有运动轴的动态性更高。串行运动和定位平台具有高模块化的优点，允许对每个运动轴进行单独设计。运动控制，尤其是归位程序更简单，无需进行坐标转换。另一方面，堆叠系统的组合定位误差会影响可达到的总体系统精度。六足位移台具有改进的路径精度，更高的重复精度和行程
平面度。

27

运动

|

定位

超分辨率方法的样本定位跟踪和扫描P-753 LISA线性促动器和平台动态且稳定的定位
行程达38微米n	nn

分辨率为0.05纳米

同时为平台和促动器提供导向

直接驱动可实现极为快速的响应行为n	n电容式传感器带来最高线性度

P-620 – P-629 PIHera压电精密定位器
多种行程和轴配置
行程为50至1800微米

n	
n
n
n
n

分辨率达0.1纳米

线性误差为0.02%

X、XY、Z版本；可提供XYZ组合
真空兼容版本达10–9百帕

P-541.Z/P-541.T压电陶瓷Z向位移台/Z向位移台和偏摆台P-541.2/P-542.2 XY压电平台

n	

n	

n	

n	

行程达150微米通光孔径为80毫米× 80毫米

行程达200微米× 200微米

通光孔径为80毫米× 80毫米

16.5毫米的低外形，易于集成

16.5毫米的低外形，易于集成

n	

n	

n	

n	

n	

n	

n	

n	

偏摆角达1.2毫弧度并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度并联运动实现更快的响应时间传感器技术：价格便宜的应变片传感器或电容式传感器可实现更
高性能

和更高的多轴精度

高动态直接驱动版本可与显微镜平台结合使用，实现更长行程

n	

28

推荐电控>>第32页等。
有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

WWW.PI-CHINA.CN超分辨率方法的样本定位跟踪和扫描

P-733 XY(Z)压电陶瓷纳米定位器

行程达100微米× 100微米，Z向达10微米n	电容式传感器带来0.1纳米的分辨率n	带直接驱动器的高速版本n	

可提供真空兼容和无磁性版本n	并联运动实现更高精度和动态n	P-517/P-527多轴压电陶瓷扫描仪高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描仪
行程达200微米

n	
n
n

亚纳米级分辨率

2轴和3轴版本（XY和XYθZ型）

P-545 PInano®压电XY(Z)系统

P-545.xC8S PInano® Cap XY(Z)压电系统

n	

n	

亚纳米级的分辨率，毫秒级的快速响应

nnn

行程达200微米× 200微米× 200微米电容式传感器带来最高线性度20毫米的低外形，易于集成n	

含E-727 USB控制器和软件
大量可选配配件>>第31页

P-545.3D8S PInano® Trak压电跟踪系统
行程达70微米× 70微米× 50微米n	

P-545.xR8S PInano® XY(Z)压电系统

行程达200微米× 200微米× 200微米n	压阻式传感器带来低廉的成本优化设计n	推荐电控>>第33页有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

通过柔性铰链接头实现优异的导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

运动

|

定位

29

超分辨率方法的样本定位跟踪和扫描

P-561/P-562/P-563 PIMars纳米级定位平台多达3轴的高精度纳米级定位系统
行程达300 × 300 × 300微米n	并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度n	

P-562.6CD PIMars 6轴压电平台系统

具有6个自由度的高精度纳米级定位系统

行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏摆角）

n	
n
n

通光孔径66毫米× 66毫米优异的扫描平面度

并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度n	

P-616 NanoCube®纳米定位器
行程达110 × 110 × 110微米n	超紧凑型：40毫米× 40毫米× 40毫米n	分辨率达0.3纳米n	

即使负载高达100克，高谐振频率也能实现高动态运动n	市场上独特的带ID芯片功能的纳米定位器

n	

30

推荐电控>>第33页有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

WWW.PI-CHINA.CN

样本定位平台的配件

M-545.2MN
用于尼康显微镜TI系列的XY位
移平台•

P-733.2xx
P-733.3xx
压电纳米级定位平台P-736.ZR1S
P-736.ZR2S
PInano® Z向压电载片扫描仪系统PD73Z2COW
PD73Z2ROW
PInano® Z向压电陶瓷扫
描仪系统

•

•

•

P-737.xxx
PIFOC®标本聚焦Z向位
移台

U-780.DLS
用于莱卡显微镜的PILine® XY位移平台系统•P-541.2xx/P-541.Txx
P-541.Zxx/P-542.2xx
压电纳米级定位平台U-780.DOS用于奥林巴斯显微镜的PILine® XY
位移平台系统

P-736.ZCN2S
P-736.ZRN2S
PInano® Z向压电陶瓷扫
描仪系统

U-780.DNS
用于尼康显微镜的PILine® XY位移平台系统P-545.xR8S
P-545.xC8S
P-545.3D8S
PInano®压电系统压电扫描仪与手动、电动和PILine® XY显微镜平台兼容

•

•

•

•

•

•

•

•*

•**

•

M-545.2MO
用于奥林巴斯显微镜IX2、IX3的XY位移平台

•

•*

•**

•

M-545.2ML
用于徕卡显微镜DMI系列的XY位
移平台

•

•*

•**

•

•

•*

•**

•

M-545.2MZ
用于蔡司显微镜Axio Observer的XY位移平台*带P-736.AP1接装板/**带P-733.AP1接装板

P-736.PDN

P-736.PDO

P-545.PD3

P-736.WPN

P-736.WPO

P-736.UHN*

M-687.AP1*

微量滴定板
支架
通用支架
通用托板

P-545.PP3

M-545.2MN
M-545.2MO
M-545.2ML
M-545.2MZ

P-545.PD3

U-780.DLS

P-545.SH3*

U-780.DOSP-736.SHO*

U-780.DNS

P-736.SHN*

P-737.AP1*

P-736.SHN*
P-736.SHO*

P-736.SHN*
P-736.SHO*

P-736.SHN*
P-736.SHO*

带M-545.
SHP的P-545.SH3*

P-542.PD1

P-737.AP2

P-736.PDN
P-736.PDO

P-736.PDN
P-736.PDO

P-736.PDN
P-736.PDO

带M-545.
SHP接装板的P-545.PD3

P-736.WPN
P-736.WPO

P-736.WPN
P-736.WPO

P-736.WPN
P-736.WPO

P-736.UHN*
M-687.AP1*

P-736.UHN*
M-687.AP1*

P-736.UHN*
M-687.AP1*

P-737.xxx

P-736.ZR1S
P-736.ZR2S

P-545.SH3*

P-541.2xx
P-541.Txx
P-541.Zxx
P-542.2xx

PD73Z2COW /PD73Z2ROW /培养皿支架P-736.ZCN2S
P-736.ZRN2S

显微镜
载片支架

P-545.xR8S
P-545.xC8S
P-545.3D8S

用于PI样本平台的嵌件

P-542.SH1*

带M-545.SHP
的P-545.PP3

P-545.PP3

M-545.SHP接装板* 也可提供：P-545.C18盖玻片夹持器（用于18毫米× 18毫米盖玻片），P-545.C22（用于22毫米× 22毫米盖玻片）和P-545.C25（用于25毫米× 25毫米盖玻片）有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

31

运动

|

定位

单通道数字控制器
大量软件包可实现即插即用

E-709紧凑型成本优化的数字式单通道压电控制器
线性误差达0.02%n	

全面的输入/输出功能n	

快速25兆比特/秒的串行接口USB，数字式RS-232，最高可达n	

25兆比特/秒的快速串行接口E-709.CHG数字式单通道压电控制器，用于高动态应用
输出功率高达50瓦n	线性误差达0.02%n	USB，RS-232n	

SPI：快速25兆比特/秒串行接口n	

全面的输入/输出功能n	

E-754数字式单通道压电控制器，可满足最高要求

新一代数字控制器提供更高的灵活性、精确度和速度n	模拟输入和输出

n	

将校准数据从平台ID芯片上自动载入，实现控制器和机械部件的

n	

互换性

数字式输入/输出线路，可实现任务触发n	

可根据要求提供其他兼容的电控（例如模拟控制器或OEM模块）。
有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

用于生产作业快速开始的大量软件

32

由于支持MATLAB和LabVIEW以及所有常见操作系统（Windows、Linux和macOS），几乎可以在任意环境下快速高效地成功实现集成。

复杂的编程示例和PIMikroMove等软件工具可以大大缩短生产作业的准备时间。

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多通道数字控制器
大量软件包可实现即插即用

E-727数字多通道压电控制器

用于带电容式传感器、压阻式传感器或应变片传感器的纳米定位系统
20千赫兹控制带宽n	

接口：以太网、USB、RS-232、SPIn	

数字输入和输出n	可选配模拟输入和输出n	从平台自动载入校准数据n	

ID芯片实现控制器与机械部件的互换性n	机械部件和电控的4阶多项式线性化n	

E-712数字式压电控制器用于多达6轴的模块化系统可实现最高精度
伺服更新率高达50千赫兹n	高度稳定的20位数模转换器n	实时操作系统可实现极好的轨迹控制n	

将校准数据从平台ID芯片上自动载入，实现控制器和机械部件的

n	

互换性

灵活的接口：TCP/IP、USB、RS-232；可选配宽带模拟输入和

n	

输出

大量软件包

n	

C-887.52x六足位移台运动控制器

用于控制六轴系统的紧凑型台式装置
采用矢量算法的复杂控制器n	

直角坐标系中的指令控制n	通过指令可轻松实现坐标系统的自定义n	可选配模拟接口和运动停止

n	

大量软件包

n	

可根据要求提供其他兼容的电控（例如模拟控制器或OEM模块）。
有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

33

运动

|

定位

多通道数字控制器
大量软件包可实现即插即用

C-867.2U2 PILine®运动控制器

用于带PILine®超声波压电电机的双轴定位平台
n
n
n
n
n

带动态频率控制的集成功率放大器

多功能编码器输入：A/B，正弦/余弦，BiSS
用于单机功能的宏编程

集成接口：USB、RS-232、TCP/IP、SPI、I/O、手柄菊花链形网络

用于一维或二维运动模式的轨迹支持n	­

SMC Hydra通用运动控制器用于电磁电机、直流伺服和无刷直流电机（BLDC）、线性和转矩电机（2/3相）、2相步进电机。
nn二维矢量运动

数字输入和输出

可选：基于编码器的触发输出，动态位置校正

n	
n

34

通过CAN总线进行手柄操作

可根据要求提供其他兼容的电控（例如模拟控制器或OEM模块）。
有关技术规格，请参阅www.pi.ws 上的数据表。

WWW.PI-CHINA.CN

PI集团
工业和科研的强大合作伙伴

核心技术

PI (Physik Instrumente)多年来一直是全球精密定位技术市场的领先者之一。PI集团的技术多样性在全世界都是独特的。PI独自完成其核心技术的开发、制造和质量合格认证。因此，PI无需依赖市售的组件即可为n凭借对垂直分工制造工艺的完全控制，可以灵活地对市场发展和全新需n

客户提供最先进的解决方案。

n

求作出响应。

n生产1件产品、小型系列产品或大量的OEM产品。通过收购ACS Motionnn

分形生产模型等现代化组织形式可确保各种批量规模的高效生产，例如压电元件和压电促动器的内部制造
磁性直接驱动器：线性电机和音圈空气轴承、磁性和柔性铰链导向全面的压电电机技术纳米计量传感器

用于六轴定位的并联运动系统（六足位移台）

n 运动控制技术

Control（全球领先的多轴驱动系统模块化运动控制器开发商和制造商）的大部分股份，PI还可以提供单一供应商的解决方案，以满足行业对精度n

和产量的日益增长的需求。

软件成为客户可靠且高质量的合作伙伴是PI的首要任务。

35

运动

|

定位

从单品到系列：
OEM客户从最大的灵活性中获益

PI同时服务于研究和工业市场。对设计和制造过程的完全控制为我们的客户提供了显著的竞争优势。优化的流

程使PI能够以低成本和准时的方式每年提供数量高达100,000台的定制产品。PI集团提供的OEM产品范围广泛，

从“裸”促动器和传感器到高度集成的并联运动定位系统。在开发过程中，包括对生产前运行样品、测试程序、生产过程和质量管理的评估。
服务
n
n
n
n
n
n
n
n

全球客户管理：凭借国际影响力与客户保持密切关系从设计到交付的风险评估根据任务：从驱动器到交钥匙系统
准确复制政策内部和外部认证准备在最短的时间内生产数万个单元的系列

可持续的备件服务从功能样品到大规模生产的制造和测试能力

标准化的性能控制，包括各个测量图表的完整文档

36

WWW.PI-CHINA.CN

全球服务和售后服务现场培训是优化和最大化新PI系统潜力的关键

启动、用户培训和终身支持契约式服务

部还承诺在客户拥有PI系统后，其各种需求都能得到满足。

到商定的服务水平。其中包括响应客户首次联系从最初的咨询一直到客户购买PI系统，PI始终致力于支持客户的权利。此外，PI服务订阅合同支持服务的客户将得到PI的承诺，以达并提供远程技术支持，以及PI专家抵达现场的响

全球覆盖PI在亚洲、中国、欧洲和美国的4个全球服务中心都拥有现场产品专家，可通过这一应时间，以及修理或更换故障件。

全球服务团队为所有技术和客户应用提供支持。

延长质保期

PI的标准现场服务后运行。将质保期延长数年既延长了客户的安心

大多数客户应用程序要求PI系统在标准保修期之安装和调试-对PI系统进行拆箱、安装和调试的现场支持感，也延续了PI对客户的承诺：产品不会因做工n	

不当或原材料不合格而导致系统出现故障。如果培训计划-软件和编程以及优化系统性能的用户培训n	维护系统健康检查-预防性维护，以延长运动设备的使用寿命n	

支持-持续的远程和现场支持，以最大限度地延长系统正常运行时间，并为任何系n	统的整个生命周期提供维护

客户的系统因上述原因出现故障，PI将免费进行
维修或更换。

37

运动

|

定位

PI集团的里程碑事件
成功案例

在使用压电或电机驱动器的标准及OEM产品的

展。PI集团遍布全球，除了在德国设有四个基地开发创新的驱动概念、产品和系统解决方案并拥服务分部。PI是一家健康发展的私营公司，在全开发和制造方面，PI拥有40年的历史。凭借持续有200多项技术专利，公司实现了日新月异的发

之外，在其他国家和地区还设立了十五个销售和球拥有1000多名员工。

PICMA®多层压电陶瓷促动器被引入市场

PILine®超声波压电电机被引入市场

PI Ceramic的成立
位于德国图林根州，
是纳米定位技术市场领导地位的基石

PI的成立时间

2002

2001

1998

1994

1992

1993

电容式位置传感器被引入市场，实现了基于压电的纳米定位系统

1991

1987

1970

引入市场
六轴并联运动定位系统
（六足位移台）数字控制电子元件被
引入市场
新分公司
位于美国

新分公司
位于日本

新分公司
位于英国
和法国

38

WWW.PI-CHINA.CN

新分公司
位于意大利

新分公司
位于中国

2 0 172018

引入市场磁性PIMag®直接驱动器

2014

空气轴承介绍

收购ACS运动
控制的大多数股份收购美国的Nelson Air集团

2011

2007

2004

PI Innovation的
成立

2016

收购多数股份
miCos GmbH，
德国埃施巴赫2015

NEXLINE®的高性能压电陶瓷线性驱动器被引入市场

PIRest有源垫
片压电技术

引入市场
Q-Motion®
和PiezoMikes

NEXACT®压电陶瓷线性驱动器被
引入市场

工程运动平台
新分公司
位于韩国和
新加坡

新分公司
位于中国台湾和
荷兰

39

运动

|

定位

pi_180755_BRO28E_mikroskopie_210x280_update_Chinese Simplified (People's Republic of China) - 副本.pdf 1 2019/8/20 14:31:27

pi_180755_BRO28E_mikroskopie_210x280_update_Chinese Simplified (People's Republic of China).pdf 1 2019/8/19 10:27:34

C

C

M

M

Y

Y

CM

CM

MY

MY

CY

CY

CMY

CMY

K

K

|

定位

总公司
德国

Physik Instrumente (PI)GmbH & Co. KG
Auf der Roemerstrasse 176228 Karlsruhe电话 +49 721 4846-0
传真 +49 721 4846-1019
info@pi.ws
www.pi.ws

ACS运动控制

PI分公司

以色列

美国（东部）和加拿大美国（西部）和墨西哥

美国（旧金山湾区）

英国和爱尔兰

意大利

荷兰

法国

西班牙

ACS Motion Control Ltd.
Ramat Gabriel Industrial Park
1 Hataasia St.
Migdal HaEmek, 2307037
POB 984
电话 +972-4-6546440
传真 +972-4-6546443
info@acsmotioncontrol.com
www.acsmotioncontrol.com

PI miCos GmbH
Freiburger Strasse 30
79427 Eschbach电话 +49 7634 5057-0
传真 +49 7634 5057-99
info@pimicos.com
www.pi.ws

PI France SAS
普罗旺斯地区艾克斯
www.pi.ws
日本

PI Japan Co., Ltd.
东京www.pi-japan.jp
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Lindenstrasse
07589 Lederhose电话 +49 36604 882-0
传真 +49 36604 882-4109
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www.piceramic.com

权利。

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Auburn, MA 01501
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上海
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中国台湾

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台北
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首尔
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Irvine, CA 92620
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PI (Physik Instrumente) Ltd.
克兰菲尔德，贝德福德
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PI Benelux B.V.
Sint-Oedenrode
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Micos Iberia S.L.
比拉诺瓦伊拉赫尔特鲁
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PI Japan Co., Ltd.
大阪
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普爱纳米位移技术（上海）有限公司
北京、深圳
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东南亚

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Singapore LLP
新加坡
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