Pirani Capacitance Diaphragm
Gauge
PCG550PCG552
PCG554

Gebrauchsanleitung

inkl. EU-Konformitätserklärung

tina56d1-i(2023-01)

1

Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes
erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

2

tina56d1-i(2023-01)

Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe PCG55x.
Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte angeführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und unterscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter(z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung).

tina56d1-i(2023-01)

3

*)
**)

ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0 (→  [7])ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 (→  [8])

***)
****)

Halbleiterrelais
Mechanische Relais

Markante Unterschiede zwischen den beiden ETG-Normen:• PDO-Struktur,• Fehler- und Warnung-Bits.

Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF und Anzeige. Sie gelten sinngemäß auch für die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.

4

tina56d1-i(2023-01)

Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die Pirani Capacitance Diaphragm Gauge PCG55x erlaubt die
Vakuummessung von Gasen im Bereich von
5×10-5 … 1500 mbar.
Sie darf nicht für die Messung von leicht entzündbaren oderbrennbaren Gasen, die mit Luft reagieren, verwendet werden.
Die Messröhre kann mit einem INFICON Messgerät 1) der
VGC40x- und VGC50x-Serien oder mit einem kundeneigenen
Auswertegerät betrieben werden.

Funktion
Die PCG Messröhre ist eine Kombinationsmessröhre bestehend
aus einem Pirani- und einem kapazitiven Membran-Sensor. Beide Sensoren sind ständig aktiv.
Bei tiefen Drücken wird ausschließlich das Signal des PiraniSensors zur Druckmessung verwendet, bei hohen Drücken ausschließlich das Signal des kapazitiven Membran-Sensors. Im
Mischbereich werden beide Signale druckproportional gewichtet
und so das Ausgangssignal ermittelt.

Marke
VCR®

Swagelok Marketing Co.

PatenteEP 0689669 B1, 0689670 B1, 0658755 B1
US Patente 5608168, 4031997, 5583297

1)

tina56d1-i

Nur Messröhren mit Messsignal 0.61 … 10.23 V (dc).
(2023-01)5

Lieferumfang
1× Messröhre
1× Taststift
1× Gebrauchsanleitung6

tina56d1-i(2023-01)

Inhalt

tina56d1-i

Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Funktion
Marke
PatenteLieferumfang

2
3
5
5
5
5
6

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

9
9
9
10
10

2 Technische Daten
2.1 Beziehung Messsignal – Druck
2.2 Gasartabhängigkeit

11
21
26

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig
3.2.3 Stecker D-Sub HD, 15-polig
3.2.4 Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF
3.2.5 Stecker DeviceNet
3.2.6 Stecker Profibus
3.2.7 Stecker EtherCAT
3.2.8 Stecker Profinet

27
28
31
32
33
34
35
36
37
38
39

4 Betrieb
4.1 Anzeigen
4.2 Gasartabhängigkeit
4.3 Schaltfunktionen SP1, SP2
4.4 ATM-Schaltpunkt
4.5 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)
4.6 DeviceNet-Betrieb
4.7 Profibus-Betrieb
4.8 EtherCAT-Betrieb
4.9 Profinet-Betrieb

40
40
44
44
51
53
54
57
59
60

(2023-01)

7

5

Ausbau61

6 Instandhaltung, Instandsetzung
6.1 Messröhre abgleichen
6.2 Atmosphärendrucksensor abgleichen
6.3 Verhalten bei Störung
6.4 Sensor austauschen

63
63
65
65
68

7

Produkt zurücksenden

69

8

Produkt entsorgen

70

9

Zubehör

71

10Ersatzteile

72

Weitere Informationen

75

ETL-Zertifizierung

77

EU-Konformitätserklärung

78

UKCA-Konformitätserklärung

79

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf weitere, unter "Weitere Informationen" aufgelistete, Dokumente das Symbol (→  [Z]).

8tina56d1-i(2023-01)

1

Sicherheit

1.1

Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten
kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen.
Hinweis<…>1.2

Beschriftung

Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur
durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind.

tina56d1-i(2023-01)

91.3

Grundlegende Sicherheitsvermerke• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die
Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen (z. B. Explosion)der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des Produkts.
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen
Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.

1.4

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B.
Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.

10

tina56d1-i(2023-01)

2

Technische Daten
Weitere technische Daten für Messröhren mit serieller
Schnittstelle →  [4], [5], [6], [7], [8], [9].
Messbereich
Messprinzip
10 mbar … 1500 mbar
1 … 10 mbar
5×10-5 … 1 mbar
Genauigkeit (N2)5×10-4 … 1×10-3 mbar
1×10-3 … 100 mbar
100 … 950 mbar
950 … 1050 mbar
Wiederholbarkeit (N2)
1×10-3 … 1100 mbar
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
3PCx-0xx-xxx0
3PCx-0xx-xxx1
3PCx-0xx-xxx2
3PCx-0xx-xxx3
Messbereich
3PCx-0xx-xxx0
3PCx-0xx-xxx1
3PCx-0xx-xxx2
3PCx-0xx-xxx3
Fehlersignal

tina56d1-i(2023-01)

5×10-5 … 1500 mbar
Kapazitiver MembranSensor
Mischbereich
Wärmeleitung nach Pirani
±50%
±15%
±5%
±2.5%

des Messwertes
des Messwertes
des Messwertes
des Messwertes±2%

des Messwertes

0 … +10.23 V
0 … +8.68 V
0 … +5.659 V
0 … +9.05 V+0.61 … +10.23 V+1.2 … +8.68 V+0.375 … +5.659 V+1.57 … +9.05 V
0 V (ab Werk)

11

Beziehung Spannung-Druck
3PCx-0xx-xxx0
3PCx-0xx-xxx1
3PCx-0xx-xxx3
3PCx-0xx-xxx2→  23Ausgangsimpedanz

2 × 4.7 Ω, kurzschlussfest

Lastimpedanz
Ansprechzeit>10 kΩ<30 ms

Messröhrenidentifikation
FCC 68 (+0.61 … +10.23 V)

71.5 kΩ

HV-Messröhrenabgleich
ATM-Messröhrenabgleichbei <10-5 mbar
bei >100 mbar

Halbleiterrelais
Einstellbereich (N2)
Hysterese 2)
Schaltverhalten 2)
Kontaktbelastung

Schaltpunkte SP1/2, ATM
5.0×10-5 … 1500 mbar
10% des Schwellwertes
Low Trip Point<30 V (ac) / (dc), ≤0.3 A
ohmschLED leuchtet
LED aus<30 msgeschlossen
offen
Schaltzeit

2)121.286 V/Dekade,logarithmisch
1 V/Dekade, logarithmisch
1 V/Dekade, logarithmisch

Hysterese und Schaltverhalten können über die serielle Schnittstelle oder über den Diagnostik-Port umprogrammiert werden.
tina56d1-i(2023-01)

Mechanische Relais
Einstellbereich (N2)
Hysterese 2)
Schaltverhalten 2)
Ausführung
Kontaktbelastunggeschlossen
offen
Schaltzeit
Diagnostik-Port, Anschluss

Schaltpunkte SP1/2, ATM
5.0×10-5 … 1500 mbar
10% des Schwellwertes
Low Trip Point
1 potentialfreier Schließer
pro Schaltfunktion<30 V (ac) / (dc), ≤1 A
ohmschLED leuchtet
LED aus<30 ms
Klinkenstecker 2.5 mm,
3-polig

Speisung

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern. 3)
Versorgungsspannung
an der Messröhre
RippleLeistungsaufnahmeohne Feldbus
DeviceNet, Profibus
EtherCAT, Profinet
Sicherung vorzuschalten 3)

3)

tina56d1-i

Klasse 2 / LPS+15 … +30 V (dc)
≤1 Vpp≤2.5 W≤3 W≤4.5 W
1 AT

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
(2023-01)

13

Anschluss elektrisch
3PCx-0xx-x0xx
3PCx-0xx-x1xx
3PCx-0xx-x2xx
3PCx-0xx-x4xx

Kabellänge
RS232C-Betrieb

FCC 68
D-Sub 9-polig, Stifte
D-Sub HD 15-polig, Stifte
D-Sub HD 15-polig,
RS485 INF, Stifte
abgeschirmt,
0.14 mm2/Ader≤100 m≤30 m

Erdkonzept→ "Elektrischer Anschluss"

Messkabel

Vakuumanschluss und Signalerdeverbunden über 10 kΩ

RS232C / RS485C-SchnittstelleÜbertragungsrate
Datenformat

57600 Baud (ab Werk)
binär
8 Daten-Bits
ein Stop-Bit
kein Parity-Bit
kein Handshake→ "Elektrischer Anschluss"
Weitere Informationen zu der RS232C / RS485C-Schnittstelle→  [4].

14

tina56d1-i(2023-01)

DeviceNet-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll
Schnittstelle physikalischÜbertragungsrate (mit Schalter<RATE> einstellbar)

Knotenadresse (MAC ID)(mit Schalter <ADDRESS>,<MAD>, <LSD> einstellbar)
DeviceNet-Anschluss
Kabel
Kabellänge, Systemverdrahtung→  [10]
CAN-Bus125 kBaud
250 kBaud
500 kBaud (ab Werk)<P> (programmierbar 125 /
250 / 500 kBaud überDeviceNet, →  [5])0 … 63dec (63dec ab Werk)<P> (programmierbar
0 … 63 über DeviceNet,→  [5])Micro-Style, 5-polig, Stifte
5-poliges, abgeschirmtes
DeviceNet-Spezialkabel,→  36, →  [11]gemäß DeviceNet-Spezifikationen, →  [10], [11]Weitere Informationen zur DeviceNet-Schnittstelle →  [5].
EtherCAT-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll
3PCx-0xx-xxGx
3PCx-0xx-xx8x→  [16], [17]→  [14], [15]Übertragungsrate
Knotenadresse

100 Mbps
eindeutige Identifizierung

EtherCAT-Anschluss

2×RJ45, 8-polig, Dose
Ein- und Ausgang
8-poliges, abgeschirmtes
Ethernet Patchkabel (Qualität CAT5e oder höher)≤100 m

Kabel
Länge

Weitere Informationen zur EtherCAT-Schnittstelle →  [7], [8].

tina56d1-i(2023-01)

15

Profibus-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll
Schnittstelle physikalisch→  [12]
RS485Übertragungsrate≤12 Mbaud (→  [6])Geräteadresse
lokal (mit hexadezimalen
Schaltern <ADDRESS>,<MAD>, <LSD> einstellbar)
ab Werküber Profibus("ADDRESS" Schalter auf>7Dhex (>125dec)

00 … 7Dhex (0 … 125dec)
01hex

Profibus-Anschluss
Kabel

Kabellänge, Systemverdrahtung

00 … 7Dhex (0 … 125dec)
D-Sub, 9-polig, Buchsen
abgeschirmtes ProfibusSpezialkabel, →  37,→  [13]
gemäß Profibus-Spezifikationen, →  [12], [13]Weitere Informationen zur Profibus-Schnittstelle →  [6].
Profinet-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll→  [14]Übertragungsrate
Knotenadresse

100 Mbps
eindeutige Identifizierung

Profinet-Anschluss

2×RJ45, 8-polig, Dose
Ein- und Ausgang
8-poliges, abgeschirmtes
Ethernet Patchkabel (Qualität CAT5e oder höher)≤100 m

Kabel
Länge

Weitere Informationen zur Profinet-Schnittstelle →  [9].

16tina56d1-i(2023-01)

Werkstoffe gegen Vakuum
Vakuumanschluss
Heizfaden
3PC1 / 6-0xx-xxxx
3PC2 / 7-0xx-xxxx
3PC3 / 8-0xx-xxxx
Vakuumdurchführung
Blende 4)
MembranWeitere Werkstoffe

W
Ni
Keramik beschichtet
Glas
Edelstahl
Keramik
Ni, NiFe, Edelstahl 1.4301,
SnAg

Inneres Volumen
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF, langes Rohr
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R, langes Rohr
DN 25 ISO-KF
4 VCR® weiblich
8 VCR® weiblich
1/8" NPT
Flansch 29×29 mm
4 VCR® 90°, weiblich
7/16-20 UNF

4.7 cm3
14.5 cm38 cm314 cm35.5 cm3
5.5 cm3
7 cm3
5.2 cm3
4.9 cm3
7.9 cm3
5.2 cm3

Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)≤5 bar
10 bar4)

tina56d1-i

Edelstahl 1.4435

Nur bei DN 16 ISO-KF und DN 16 CF-F.
(2023-01)

17

Zulässige Temperaturen
Betrieb
Vakuumanschluss 5)
langes Rohr 5)
Heizfaden
Lagerung
Relative Feuchte
Jahresmittel
an 60 Tagen
Einbaulage
Verwendung
Verschmutzungsgrad
Schutzart≤65% (nicht kondensierend)≤85% (nicht kondensierend)
beliebignur in Innenräumen,
Höhe bis zu 2000 m NN
2
IP 40

Gewichtohne Feldbus-Schnittstelle
mit Feldbus-Schnittstelle

115 g …130 g
230 g … 250 g

5)

18+10 °C … +50 °C≤80 °C≤250 °C<160 °C–20 °C … +65 °C

Bei waagrechtem Einbau. Beim Ausheizen können die technischen Daten von Messbereich, Genauigkeit und Wiederholbarkeit
abweichen.
tina56d1-i(2023-01)

≈65

Abmessungen [mm]

46.3

42.7

DN 25 ISO-KF

36

21.5

28

79.5

45

1/8" NPT

34

4 VCR

8 VCR

130.2

DN 16 CF-R lang

DN 16 CF-F

30.9
130.8

DN 16 ISO-KF lang

31.5

7/16-20 UNF

DN 16 ISO-KF

36.5

14.5

29.2×29.2 mm

24.4
4-VCR 90°
tina56d1-i(2023-01)

19

DeviceNet

Profibus

BUS

ADDRESS
2 4 6 2 4 6
080
8ECA ECA
MSD

67

LSD

56

10.8

67

I/O
ST
DIA

SP2

SP1
ADJ

ADDRESS

BUS

RATE STATUS

NET MOD
LSD

56

MSD

I/O
ST
DIA

SP2

SP1
ADJ

EtherCAT

RS485
67

MSD
LSD RATE
SP2 2
6
6 2
6 2
E

A E

A E

ST

A
ADJ

56

ADDRESSSP1

3 2 1 ON

DIA
BUS

Profinet

20

tina56d1-i(2023-01)

2.1

Beziehung Messsignal – Druck
Messbereich 0.61 … 10.23 V
Druck p
1E+06
1E+05

Pa

1E+04

mbar

1E+03

Torr

1E+01
1E+00

Fehler

1E+02

1E–01

O

1E–02
1E–03
1E–04
1E–05

0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
0.61

Messsignal U [V]p = 100.778(U-c)
gültig im BereichU = c +1.286log10 p

5×10 mbar <p< 1500 mbar

U

p

c

U

p

c

[V]
[V]
[V]
[V]

[mbar][µbar][Torr][mTorr]

6.143
2.287
6.304
2.448

[V]
[V]
[V]

[micron]
[Pa]
[kPa]

2.448
3.572
7.429

wobei

tina56d1-i⇔-5p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)(2023-01)

21

Messbereich 1.2 … 8.68 V
Druck p
1E+05
1E+04

Pa

1E+03

mbar
Torr

1E+01
1E+00

Fehler

1E+02

1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0
8.68
1.2

Messsignal U [V]p = 10(U-c)

5×10-5 mbar <p< 1500 mbar

gültig im Bereich
U

p

c

U

p

c

[V]
[V]
[V]
[V]

[mbar][µbar][Torr][mTorr]

5.5
2.5
5.625
2.625

[V]
[V]
[V]

[micron]
[Pa]
[kPa]

2.625
3.5
6.5

wobei

22

U = c + log10 p⇔

p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)

tina56d1-i(2023-01)

Messbereich 0.375 … 5.659 V
Messsignal U
[V]
0.375
0.376
0.377
0.379
0.384
0.392
0.417
0.455
0.523
0.682
0.876
1.155
1.683
2.217
2.842
3.675
4.206
4.577
4.846
4.945
5.019
5.111
5.224
5.329
5.419
5.495
5.534
5.558
5.614
5.659
tina56d1-i(2023-01)[mbar]<5×10-50.000133322
0.000266645
0.000666612
0.001333224
0.002666447
0.006666118
0.013332237
0.026664474
0.066661184
0.133322368
0.266644736
0.66661184
1.33322368
2.66644736
6.6661184
13.3322368
26.6644736
66.661184
133.322368
266.644736
399.967104
533.289472
666.61184
799.934208
933.256576
1013.249997
1066.578944
1199.901312
1333.22368

Druck p[Pa]
<6.65×10-3
0.013332237
0.026664474
0.066661184
0.133322368
0.266644736
0.66661184
1.33322368
2.66644736
6.6661184
13.3322368
26.6644736
66.661184
133.322368
266.644736
666.61184
1333.22368
2666.44736
6666.1184
13332.2368
26664.4736
39996.7104
53328.9472
66661.184
79993.4208
93325.6576
101324.9997
106657.8944
119990.1312
133322.368[Torr]<5×10-50.00010.00020.00050.00100.00200.00500.01000.02000.05000.10000.20000.50001.00002.00005.000010.0000
20.0000
50.0000
100.0000
200.0000
300.0000
400.0000
500.0000
600.0000
700.0000
760.0000
800.0000
900.0000
1000.0000
23

Gültig im Bereich 0.375 … 2.842 V

p = a + bU + cU2 + dU3 + eU4 + fU5
a–0.02585c

0.04563e–0.04158b

0.03767d0.1151f

0.008737a, b, c, d, e, f

Konstante

wobei

p Druck in Torr
U Messsignal

Gültig im Bereich 2.842 … 4.945 Vp=a + cU + eU2
1 + bU + dU2 + fU3

a0.1031c–0.02322e

0.07229b–0.3986d0.07438f–0.006866a, b, c, d, e, f

Konstante

wobei

p Druck in Torr
U Messsignal

Gültig im Bereich 4.945 … 5.659 Vp=

1 + bU + dU2

a100.624c–20.5623b–0.37679d0.0348656

wobei

24

a + cUp Druck in Torr
U Messsignal

a, b, c, dKonstante

tina56d1-i(2023-01)

Messbereich 1.57 … 9.05 V
Druck p
1E+05

Pa

1E+03

mbar

1E+02

Torr

1E+01
1E+00

Fehler

1E+04

1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5
1.57
9.05

Messsignal U [V]p = 10(U-c)

5×10-5 mbar <p< 1500 mbar

gültig im Bereich
U

p

c

U

p

c

[V]
[V]
[V]
[V]

[mbar][µbar][Torr][mTorr]5.87512.8751
6
3

[V]
[V]
[V]

[micron]
[Pa]
[kPa]

3
3.8751
6.8751wobei

tina56d1-i

U = c + log10 p⇔

p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)(2023-01)

25

2.2

Gasartabhängigkeit
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)p [mbar]
4
2

103

Piranisensor

8
6
4

Kapazitiver
MembranSensor

Mischbereich

2

102
8
6
4
2

101
8
6
4
2

100
8
6
4
2

Luft, O2, CO, N2
He
Ar

10–1
8
6
4
2

10–2
8
6
4
2

10–3
8
6
4
2

10–4
10–4 24 6 10–3 2

4 6 10–2 2

4 6 10–1 2

4 6 100 2

4 6

101 2

4 6 102 2

4 6

103 2

peff [mbar]

Kalibrierfaktoren
gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar

peff = C × angezeigter Druck

26

GasartKalibrierfaktor C

GasartKalibrierfaktor C

He
Ne
Ar
Kr
Xe

0.8
1.4
1.7
2.4
3.0

H2
Luft, O2, CO, N2
CO2
Wasserdampf
Freon 12

0.5
1.0
0.9
0.5
0.7

tina56d1-i(2023-01)

3

EinbauWARNUNG
Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

GEFAHR
Ausströmendes Prozessmedium
Starke mechanische, chemische oder thermische
Beanspruchung kann Lecks im Messsensor verursachen. Dies kann bei Überdruck im Vakuumsystem zu Gefahren durch ausströmende Prozessmedien führen.
• Starke mechanische, chemische oder thermische Beanspruchung und Überdruck im Vakuumsystem vermeiden.
• Durch geeignete Maßnahmen (z.B. Gaszufuhr
unterbrechen, Absaugung, Lecktest) sicherstellen, dass durch ausströmende Prozessmedien
keine Gefahren oder Schäden entstehen.

tina56d1-i(2023-01)

27

3.1

Vakuumanschluss
GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.

GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

28

tina56d1-i(2023-01)

GEFAHR
Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindungmuss den Anforderungen einer Schutzverbindungnach EN 61010 entsprechen:• CF-, NPT-, UNF- und VCR- Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.
• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.
• Beim ½"-Rohr und beim 29×29 mm Flansch istdiese Anforderung durch geeignete Maßnahmen
zu erfüllen.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

tina56d1-i(2023-01)

29

Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel
nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechtebis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuelleine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden.
Für einen manuellen Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern
mit einem Stift zu gewährleisten.
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen.

Dichtung mit Zentrierring
Spannelement

oder
Schutzkappe
Dichtung mit Zentrierring
und Filter

Schutzkappe aufbewahren.

30

tina56d1-i(2023-01)

3.2

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuumapparatur angeschlossen sein (→  27).

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern. 6)

Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können
das Messsignal beeinflussen. Für beste Signalqualität
beachten Sie bitte die folgenden Einbauhinweise:• Den Kabelschirm nur einseitig über das Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere Schirmende offen lassen.
• Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutzerde verbinden.
• Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte
Signal- und Speisungserde).
• Potentialdifferenz zwischen Speisungserde undGehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz)

6)

tina56d1-i

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
(2023-01)31

3.2.1

Stecker FCC 68, 8-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.

SP2
Speisungserde
Messsignal

SP1

4.7Ω
4.7Ω

10k

+24V

Ident

1
2

+
–

+
–

18V

Elektrischer Anschluss
Pin 1
Speisung
Pin 2
Speisungserde, GND
Pin 3
Messsignal oder
Schwellwerte SP1, SP2
Pin 4
Messröhrenidentifikation
Pin 5
SignalerdePin 6, 8 Relais SP2, Schließer
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 7, 8 Relais SP1, Schließer
Gemeinsamer Kontakt (com)

32

4
6
8
7
3
5

1
8

FCC 688-polig
Steckertina56d1-i(2023-01)

3.2.2

Stecker D-Sub, 9-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.

SP1
SP2
4.7Ω

Messsignal

4.7Ω

10k

+24V

(2023-01)

+
–

3
4

+
–

18V

Elektrischer Anschluss
Pin 1 Relais SP1, Schließer
Pin 2 n.c.
Pin 3 Speisung
Pin 4 Speisungserde, GND
Pin 5 Messsignal oder
Schwellwerte SP1, SP2
Pin 6 Relais SP1
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 7 Relais SP2
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 8 SignalerdePin 9 Relais SP2, Schließer

tina56d1-i

1
6
7
9
5
8

5

9

1

6

D-Sub
9-polig
Buchsenlötseitig

33

3.2.3

Stecker D-Sub HD, 15-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.
TxD
RxD
SP2
SP1
Messsignal

4.7Ω
4.7Ω

10k

+24V

13
14
12
11
15
10
5
6

+
–

3
4

+
–

18V

Elektrischer Anschluss
Pin 1, 2n.c.
Pin 3Speisung
Pin 4
Speisungserde, GND
Pin 5Signalausgang (Messsignal)
Pin 6
Signalerde Relais SP1
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 7, 8, 9 n.c.
Pin 10Relais SP1 (NO)Pin 11
Relais SP2 (NO)Pin 12
Relais SP2
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 13
RS232, TxD
Pin 14
RS232, RxD
Pin 15
Relais SP1,
Gemeinsamer Kontakt (com)

34

10
15

5
1

11
6

D-Sub HD
15-polig
Buchsenlötseitig

tina56d1-i(2023-01)

3.2.4

Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.

470Ω

+5V
10Ω

RS-485

1 Fail safe bias
2 Termination

470Ω

120Ω

3 Fail safe
bias

SP2
Messsignal

SP1
4.7Ω
4.7Ω

10k

+24V

(2023-01)

+
–

3
4

+
–

18V

Elektrischer Anschluss
Pin 1
RS485 B+
Pin 2
RS485 A–
Pin 3
Speisung
Pin 4
Speisungserde, GND
Pin 5Signalausgang (Messsignal)
Pin 6
SignalerdePin 7, 9 Reserviert
Pin 8
RS485 GND
Pin 10 Relais SP1 (NO)Pin 11 Relais SP2 (NO)Pin 12 Relais SP2
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 13 Relais SP2 (NC)Pin 14 Relais SP1 (NC)Pin 15 Relais SP1,
Gemeinsamer Kontakt (com)tina56d1-i

1
2
8
13
14
12
11
15
10
5
6

5
1

10
15
11
6

D-Sub HD
15-polig
Buchsenlötseitig

35

3.2.5

Stecker DeviceNet
Falls kein DeviceNet-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. DeviceNet-Kabel anschließen.
1
2

4
3

Pin 1
Pin 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5

Micro-Style, 5-polig,(DeviceNet) Buchsen, lötseitig

5

Drain
Speisung
Speisungserde
CAN_H
CAN_L

+15 … +30 V (dc)
GND

DeviceNet Kabel

36

tina56d1-i(2023-01)

3.2.6

Stecker Profibus
Falls kein Profibus-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Profibus-Kabel anschließen.
1

5

D-Sub, 9-polig, Stifte, lötseitig
6

Pin 1, 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5
1)
2)

9

nicht anschließen
RxD/TxD-P
CNTR-P 1)
DGND 2)VP 2)nicht belegt
RxD/TxD-N

Wird nur bei Verwendung von optical link-Modulen angeschlossen.
Wird nur bei Endgeräten im Profibussystem zum Leitungsabschluss
benötigt (→  [13]).

Profibus Kabel

tina56d1-i

Pin 6
Pin 7, 9Pin 8(2023-01)

Sensor Kabel

37

3.2.7

Stecker EtherCAT
Falls keine EtherCAT-Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. EtherCAT-Kabel anschließen.
FCC68, 8-polig, lötseitig
8

1

Pin 1
TD+
Sendedaten +Pin 2
TDSendedaten Pin 3
RD+
Empfangsdaten +Empfangsdaten Pin 6
RDPin 4, 5, 7 und 8: nicht belegt

38

tina56d1-i(2023-01)

3.2.8

Stecker Profinet
Falls keine Profinet-Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Profinet-Kabel anschließen.
FCC68, 8-polig, lötseitig
8

1

Pin 1
TD+
Sendedaten +Pin 2
TDSendedaten Pin 3
RD+
Empfangsdaten +Empfangsdaten Pin 6
RDPin 4, 5, 7 und 8: nicht belegt

tina56d1-i(2023-01)

39

4

Betrieb
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht am elektrischen
Anschluss das Messsignal zur Verfügung (→ "Elektrischer
Anschluss").
Eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten ist zu beachten. Die Messröhre sollte unabhängig vom anliegenden
Druck immer eingeschaltet bleiben.
Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und
Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen
und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern. Zusätzlich
empfehlen wir, nach jedem Wiedereinbau einen Nullpunkt- und
ATM-Abgleich durchzuführen (Messröhre abgleichen →  63).

4.1

Anzeigen
Leuchtdioden (LEDs)ST
DIA SP2

Status

ADJ

LED

Zustand

Bedeutung

<ST>

aus
leuchtet grün
leuchtet oder
blinkt rot
leuchtet grün
ausleuchtet grün
ausKeine Versorgungsspannung
Messmodus

<SP1>
<SP2>

40

SP1

Fehler (→  65)
Relais SP1 geschlossen
Relais SP1 offen
Relais SP2 geschlossen
Relais SP2 offen
tina56d1-i(2023-01)

Flüssigkristallanzeige (LCD)

LCD

Bedeutungausleuchtet grün
leuchtet rot

Keine Versorgungsspannung
Mess- / Parametermodus
Fehler

Die Anzeige kann über den Diagnostik-Port um 180 °gedreht werden.
In Betrieb nehmen

Nach dem Anlegen der Speisespannung erscheint kurz die Softwareversion.

tina56d1-i(2023-01)

41

Messmodus
Relais 2

Schaltpunkt
ATM-Schaltpunkt

Zustand Relais 2

Relais 1

offen
geschlossen
ATM-Schaltpunkt
Schaltpunkt

Zustand Relais 1

Messprinzip

offen
geschlossen
PiraniKapazitiv
Pirani / Kapazitiv

Messwert

EinheitMillibar
Torr
PascalMicronkeine Anzeige Counts

Underrange
Overrangekeine Anzeige Im Messreich

42

tina56d1-i(2023-01)

Parametermodus

Schaltfunktionen <S>
Nach Drücken des Tasters <SP1>
oder <SP2> wird der entsprechende
Schwellwert angezeigt. Die jeweilige
Relais-Anzeige blinkt.

Schwellwert
Fehleranzeige (Fehlerbehebung →  65)

Pirani-Sensorfehler

Membran-Sensorfehler

Atmosphärendruck-Sensorfehler

tina56d1-i(2023-01)

43

EEPROM-Fehler

Sensor-Fehler

4.2

Gasartabhängigkeit
Druckbereich
10 … 1500 mbar

1 … 10 mbar
5×10-5 … 1 mbar

4.3

Messprinzip

Gasartabhängigkeit

Kapazitiver
Membran-Sensor

gasartunabhängig,
keine Korrektur erforderlich

Kapazitiver
Membran-Sensor
und Pirani-Sensor
Pirani-Sensor

Mischbereich
proportional zum
Druck 7)

Schaltfunktionen SP1, SP2
Die zwei Schaltpunkte sind auf einen beliebigen Druck im ganzen Messbereich der Messröhre einstellbar. Für jeden Schaltpunkt steht ein Relais zur Verfügung.

7)

44

Der angezeigte Messwert gilt für trockene Luft, O2, CO und N2. Fürandere Gase ist er umzurechnen (Kalibrierfaktoren (→  24).
tina56d1-i(2023-01)

Der jeweils aktuelle Schwellwert• kann über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben
werden• steht nach Drücken des Tasters <SP1> oder <SP2> am
Messsignalausgang an Stelle des Drucksignals zur Verfügung, kann mit Hilfe eines Voltmeters gemessen werden undwird im LCD angezeigt• kann über die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle gelesen und geschrieben werden.

Schaltverhalten und Hysterese
Das Schaltverhalten und die Hysterese des jeweiligen Schaltpunktes können programmiert werden (→  48).
Low Trip Point (ab Werk)
Ist der Druck im Vakuumsystem niedriger als der eingestellte
Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>)
und das entsprechende Relais ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

ert
Messw

Schaltpunkt

Hysterese(10% des Schwellwertes)
Schwellwert

Zeit t
Aus

Ein

Aus

Die Schaltpunkte SP1 und SP2 sind ab Werk an der unteren
Messbereichsgrenze eingestellt, sodass sie nicht schalten.

tina56d1-i(2023-01)45

High Trip Point
Ist der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte
Schwellwert, leuchtet das jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>)
und das entsprechende Relais ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

Schwellwert

Schaltpunkt

Hysterese(10% des Schwellwertes)

Messw
e rt
Zeit t
Aus

46

Ein

Aus

tina56d1-i(2023-01)

High & Low Trip Point
Dem jeweiligen Schaltpunkt ist gleichzeitig ein High Trip Point
und ein Low Trip Point zugeordnet. Ist beim High Trip Point der
Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert,
leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende Relais ist geschlossen. Ist beim Low Trip Point der
Druck niedriger als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende Relais
ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

Schwellwert
Hysterese(10% des Schwellwertes)

Schaltpunkt

High Trip Point

Hysterese(10% des Schwellwertes)
Schwellwert

Schaltpunkt
Low Trip Point

Zeit t
Aus

Ein

Aus

Ein

Aus

Der jeweilige Schwellwert kann nur programmiert
werden über• den Diagnostik-Port (→  [4])• die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle (→  [4], [5], [6], [7], [8], [9]).

tina56d1-i(2023-01)47

4.3.1

Einstellen der Schwellwerte SP1, SP2
Das Schaltverhalten und die Hysterese des jeweiligen
Schaltpunktes können nur programmiert werden über• den Diagnostik-Port (→  [4])• die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle (→  [4], [5], [6], [7], [8], [9]).
Der Schwellwert des jeweiligen Schaltpunktes kanneingestellt werden über• den jeweiligen Taster an der Messröhre• den Diagnostik-Port (→  [4])• die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle (→  [4], [5], [6], [7], [8], [9]).
Ist einem Schaltpunkt gleichzeitig ein High Trip Point
und ein Low Trip Point zugeordnet, kann nur der Low
Trip Point mit dem jeweiligen Taster eingestellt werden.

GEFAHR
Fehlfunktion
Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert
werden, ist zu beachten, dass durch Drücken eines
Tasters <SP> das Messsignal unterbrochen und
am Messsignalausgang statt dessen der entsprechende Schwellwert ausgegeben wird. Dies kannzu Fehlfunktionen führen.
Taster <SP> nur drücken, wenn gewährleistet ist,
dass keine Fehlfunktion ausgelöst wird.
Schwellwert SP1 mit Taster einstellen Taster <SP1> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken undhalten: Die Messröhre wechselt in den Schaltfunktionsmodus und gibt am Messsignalausgang bzw. auf dem LCD
während 5 s den aktuellen Schwellwert aus und das jeweilige <S> in der Anzeige blinkt.

48

tina56d1-i(2023-01)

Danach ändert sich die Schwellwerteinstellung Richtung
obere Einstellgrenze, bis der Taster losgelassen wird oder
die Einstellgrenze erreicht ist.

Taster gedrückt halten

 Taster <SP1> erneut drücken:
Feineinstellung
innerhalb 0...1 s:

Schwellwert ändert um eine Einheit

Richtungswechsel
innerhalb 2...3 s:

Schwellwerteinstellung ändert ihre
Richtung Taster <SP1> länger als 5 s nicht mehr drücken: Der

Schwellwert wird gespeichert und die Messröhre kehrt inden Messmodus zurück.
Der obere Schwellwert liegt ab Werk beim Low Trip
Point um 10% höher, beim High Trip Point um 10%
tiefer (Hysterese).
Wird nach dem Umprogrammieren der Hysterese derjeweilige Taster <SP1> oder <SP2> gedrückt, wird die
entsprechende Hysterese auf Werkseinstellung (10%)
zurückgestellt.

tina56d1-i(2023-01)

49

Schwellwert SP1 programmieren
Programmierbare Parameter:(→  [4], [5], [6], [7], [8], [9])Low Trip Point
Low Trip Enable
Low Trip Point Hysteresis
High Trip Point
High Trip Enable
High Trip Point Hysteresis
Setpoint Mode

Schwellwert SP2 einstellen
Der Einstellvorgang für SP2 entspricht demjenigen von SP1.

50

tina56d1-i(2023-01)

4.4

ATM-Schaltpunkt
Bei Messröhren mit separatem Atmosphärendrucksensor 8)
können die Schaltpunkte SP1 und SP2 über den Diagnostik-Portoder über die serielle Schnittstelle auf Atmosphärendruckschaltpunkt (ATM-Schaltpunkt) umprogrammiert werden.
Der ATM-Schaltpunkt wird als Faktor des aktuellen Atmosphärendrucks programmiert und kann auf einen beliebigen Druck imganzen Messbereich der Messröhre eingestellt werden. Das
Relais schaltet, wenn der Druck im Vakuumsystem den programmierten Wert erreicht hat.
Beispiel: ATM-Schaltpunkt: 110% des Atmosphärendrucks(= Faktor 1.1).
Schaltverhalten: High Trip Point
Hysterese: 10 mbar.
Messsignal(Druck p)

ATM-Schaltpunkt 110%(= Faktor 1.1)
Schwellwert
1078 mbar

Hysterese (10 mbar)
Atmosphärendruck(Umgebung)

980 mbarMesswertAus

8)

tina56d1-i

Ein

Aus

Der Atmosphärendrucksensor misst den Atmosphärendruck(Druck außerhalb des Vakuumsystems) und kann mit dem kapazitiven Membransensor abgeglichen werden (→  60).
(2023-01)51

Der aktuell programmierte ATM-Schwellwert• kann über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben
werden• steht nach Drücken des entsprechenden Tasters (<SP1>,<SP2>) am Messsignalausgang an Stelle des Drucksignals
zur Verfügung, kann mit Hilfe eines Voltmeters gemessen
werden und wird im LCD angezeigt• kann über die serielle Schnittstelle gelesen und geschrieben
werden.

GEFAHR
Fehlfunktion
Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert
werden, ist zu beachten, dass durch Drücken eines
Tasters <SP> das Messsignal unterbrochen und
am Messsignalausgang statt dessen der entsprechende Schwellwert ausgegeben wird. Dies kannzu Fehlfunktionen führen.
Taster <SP> nur drücken, wenn gewährleistet ist,
dass keine Fehlfunktion ausgelöst wird.

ATM-Schaltpunkt programmieren
Programmierbare Parameter:(→  [4], [5], [6], [7], [8], [9])Factor of ATM
Low Trip Enable
Low Trip Point Hysteresis
High Trip Enable
High Trip Point Hysteresis
Setpoint Mode

Schaltverhalten der Schaltpunkte →  45.
Diagnostik-Port →  [4].

52

tina56d1-i(2023-01)

4.5

Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)Über den Diagnostik-Port <DIA> können parallel der Messwert
und alle Statusinformationen ausgelesen sowie alle Einstellfunktionen vorgenommen werden (→  [4]).
→ "Zubehör"

tina56d1-i(2023-01)

53

4.6

DeviceNet-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die DeviceNet-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Die Messröhre muss vor der Inbetriebnahme im DeviceNet konfiguriert werden. Dies geschieht mit einem Konfigurations-Toolund der gerätespezifischen "EDS-Datei" (Electronic Data Sheet)
im Integer- oder Real-Format. Diese Software kann von unserer
Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).
ProduktCode

Produkt
PCG55x ohne ATM-Sensor

19

PCG55x mit ATM-Sensor

20

EDS-Datei
PCGX-PC19 Int.eds
PCGX-PC19 Real.eds
PCGX-PC20 Int.eds
PCGX-PC20 Real.eds

Knotenadresse einstellen (ab Werk 63dec)
Die Knotenadresse (0 … 63dec) muss mit den
Schaltern <ADDRESS>, <MSD> und <LSD>
eingestellt werden. Dieser Wert wird bei der Initialisierung der Messröhre von der Firmware abgefragt. Weicht dieser Wert von dem gespeicherten Wert ab, wird der neue Wert im NVRAM
gespeichert. Falls eine Adresse größer als 63
eingestellt wurde, gilt der bereits gespeicherte
Wert als Adresse.
In Position <P> ist die Knotenadresse überDeviceNet programmierbar (→  [5]).
54tina56d1-i(2023-01)

2

Beispiel: Knotenadresse = 63:

6
P
MSD

4

LSD

Übertragungsrate einstellen
Die Übertragungsrate lässt sich mit dem Schalter<RATE> auf 125 (<1>), 250 (<2>) oder 500 kBaud(<5>) einstellen (ab Werk 500 kBaud).
In der Position <P> ist die Übertragungsrate überDeviceNet programmierbar (→  [5]).
RATE
2Beispiel: Übertragungsrate = 250 kBaud:

Messwerte übertragen
Gemäß verwendetem Feldbus-Standard darf die Messröhre erst
dann Messwerte übertragen, wenn sie vom Master dazu autorisiert wurde.
Nach der Inbetriebnahme gelangt die Messröhre in den Status
IDLE (falls kein Fehler vorliegt) und an Stelle des Messwertes
wird der im Safe State festgelegte Wert übertragen.
Messwerte werden im Status EXECUTING übertragen. Um vom
IDLE in den EXECUTING Status zu gelangen, muss im IDLE
Status ein Start-Befehl ausgeführt oder der I/O-Poll Betrieb gestartet werden.

Status-LED
Zwei LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung
des Röhrenzustandes und des aktuellen DeviceNet-Status.

tina56d1-i(2023-01)

55

"STATUS MOD"(Messröhren-Status):
LED

Bedeutungaus
blinkt grün-rot
leuchtet grün
leuchtet rot
blinkt rot

Keine Versorgungsspannung
Selbsttest
Betrieb
Nicht korrigierbarer Fehler
Korrigierbarer Fehler(z. B. fehlende DeviceNet-Speisung)<STATUS NET> (Netzwerk-Status):LED
aus

BedeutungMessröhre ist nicht online:• Selbsttest ist noch nicht abgeschlossen

blinkt grün

leuchtet grün
blinkt rot
leuchtet rot

56• Keine Speisung, → "Status MOD"
Messröhre ist online, hat aber keine Verbindung:• Messröhre hat den Selbsttest beendet,
ist online, hat aber keine Verbindung zu
anderen Knoten• Messröhre ist keinem Master zugewiesen
Messröhre ist online und die notwendigen
Verbindungen bestehen
Eine oder mehrere Ein-/ Ausgabeverbindungen sind im "Time-Out"-Status
Kommunikationsfehler. Die Messröhre hat
einen Fehler entdeckt, der eine Kommunikation über das Netzwerk nicht zulässt(z. B. eine Knotenadresse (MAC ID) zweimal vorhanden, oder "Bus-off")

tina56d1-i(2023-01)

4.7

Profibus-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Profibus-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Der Betrieb der Messröhre am Profibus erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre
spezifischen Stammdatei (GSD-Datei). Diese Datei kann vonunserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).

Gerätedresse einstellen (ab Werk 01hex)
Die eindeutige Identifikation der Messröhre am Profibus erfordert
die Zuweisung einer Geräteadresse.
ADDRESS
2 4 6 2 4 6
080
8ECA ECA
MSD

LSD

Geräteadresse 0 … 125dec

Diese wird in hexadezimaler Form (00 … 7Dhex)
mit den Schaltern <MSD> und <LSD> eingestellt. Sie kann nicht über Profibus geändert
werden.

68EBeispiel: Geräteadresse = 7Dhex:

tina56d1-i(2023-01)

MSD

C
LSD

57

Geräteadresse >7Dhex (>125dec)

Die Messröhre startet mit der Adresse 126dec. Sie kann überProfibus geändert werden ("Set slave address", →  [6]).
Zusätzlich kann mit dem Attribut "NO_ADD_CHG" festgelegt
werden, ob über Profibus weitere Adressänderungen zulässigsind.
Die Adresse und das Attribut werden nichtflüchtig gespeichert.
Will man diese ändern, muss die Messröhre zuerst mit einer
Adresseinstellung <126dec gestartet werden. Dabei werden die
gespeicherte Adresse und das Attribut gelöscht.

Messwerte übertragen
Gemäß verwendetem Feldbus-Standard darf die Messröhre erst
dann Messwerte übertragen, wenn sie vom Master dazu autorisiert wurde.
Nach der Inbetriebnahme gelangt die Messröhre in den Status
IDLE (falls kein Fehler vorliegt) und an Stelle des Messwertes
wird der im Safe State festgelegte Wert übertragen.
Messwerte werden im Status EXECUTING übertragen. Um vom
IDLE in den EXECUTING Status zu gelangen, muss im IDLE
Status ein Start-Befehl ausgeführt oder der zyklische Datenaustausch gestartet werden.

58

tina56d1-i(2023-01)

4.8

EtherCAT-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die EtherCAT-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre
spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei kann vonunserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).

Spezifische Gerätedresse ändern (ab Werk 00hex)
Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am
Gerät eingestellte Adresse. Diese Adresse wird als spezifische
Geräteidentifikation an den Master übertragen.
24 6 24 6 24 6
8
80
0
80
E A E A E A

Die Spezifische Gerätedresse wird inhexadezimaler Form (00 … FFFhex) mit
den Schaltern <x100>, <x10> und <x1>
eingestellt.

Beispiel: Geräteadresse = 0xDDD (dec 3549):
0x100 * 0xD (dec 3328) + 0x10 * 0xD (dec 208) + 0x1 * 0xD(dec 13)

tina56d1-i(2023-01)

59

Status-LED
LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung desRöhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status (→  [7],
[8]).

4.9

Profinet-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Profinet-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Der Betrieb der Messröhre mit Profinet erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre
spezifischen Stammdatei (GSDML-Datei). Diese Datei kann vonunserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).

Status-LED
LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung desRöhrenzustandes und des aktuellen Profinet-Status (→  [9]).

Gerätename
Um mit einem Profinet-Gerät kommunizieren zu können, mussdem Gerät zuerst ein Name zugewiesen werden.

60

tina56d1-i(2023-01)

5

AusbauWARNUNG
Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmeneinhalten.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

tina56d1-i(2023-01)

61

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

 Vakuumsystem belüften.
 Messröhre außer Betrieb setzen.
 Arretierungsschraube(n) lösen und Messkabel ausziehen.
 Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzkappe aufsetzen.

Schutzkappe62

tina56d1-i(2023-01)

6

Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzungoder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B. Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.

6.1

Messröhre abgleichen
Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und
Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen
und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern. Zusätzlich
empfehlen wir, nach jedem Wiedereinbau einen Nullpunkt- undeinen ATM-Abgleich durchzuführen.
Nullpunkteinstellung bei den gleichen, konstanten Umgebungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei derdie Messröhre normalerweise verwendet wird.
Die Messröhre wird auf Standardwerte abgeglichen, kann aberauch auf andere Druckwerte eingestellt werden. Dies bedingt
jedoch, den exakten Druckwert zu kennen (Referenzmessung).

 Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter
auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen(→ "Ausbau").

 Messröhre in Betrieb nehmen und mindestens 10 Minuten
bei Atmosphärendruck betreiben.

tina56d1-i(2023-01)63

 Für den ATM-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift (max.
ø1.1 mm) kurz drücken: Der Pirani-Sensor gleicht auf
1000 mbar (standard) ab.

ATM
HV Vakuumsystem auf p <<10 mbar evakuieren, anschlie-5ßend mind. 2 Minuten warten.

 Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift drü-cken: Die Messröhre gleicht auf 5×10-5 mbar (standard) ab.
HV-Abgleich auf anderen Druck →  [4].
Wird am Messsignalausgang oder im LCD der Druck
4.99×10-5 mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich.
Andernfalls den Abgleich wiederholen.

64

tina56d1-i(2023-01)

6.2

Atmosphärendrucksensor abgleichen
Der Umgebungsdruck der Messröhre (Atmosphärendruck) wird
in der Elektronikeinheit der Messröhre durch einen separaten
Atmosphärendrucksensor gemessen.
Der Atmosphärendrucksensor kann mit dem kapazitiven Membransensor geeicht werden. Dabei vergleicht die Elektronik bei
belüftetem Vakuumsystem die Ausgangssignale dieser beiden
Sensoren und führt die entsprechenden Korrekturen des Atmosphärendrucksensor-Signals aus.
Der Abgleich des Atmosphärendrucksensors kannerfolgen über• den Diagnostik-Port (→  [4])• DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle (→  [4], [5], [6], [7], [8], [9]).

6.3

Verhalten bei Störung
Im Falle einer Störung oder eines totalen Messsignalausfalles
lassen sich einige Untersuchungen an der Messröhre mit kleinem Aufwand durchführen.

Benötigtes Werkzeug / Material• Volt-/ Ohmmeter• Innensechskantschlüssel SW 2
• Ersatz-Sensor (nach Befund)tina56d1-i(2023-01)

65

Fehlerdiagnose an der Messröhre
Das Messsignal steht am Messkabelstecker zur Verfügung.
Ist ein Fehler aufgetreten, empfehlen wir, die Versorgungsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder
einzuschalten.
StörungMögliche Ursache

Behebung

Messsignal
dauernd ≈0 V
<ST> leuchtet rot

Messkabel defekt oder nicht
korrekt angeschlossen

Messkabel prüfen

Speisung fehlt

Speisung einschalten

FehlerFehler beheben

Messröhre in undefiniertem
ZustandMessröhre ausschalten undnach 5 s wieder einschalten

Pirani-Sensor defekt

Sensor austauschen(→  68)

Elektronikeinheit nicht korrekt
auf Sensor aufgesetzt

Verbindung Elektronikeinheit - Sensor prüfen

Membransensor defekt

Sensor austauschen(→  68)

Elektronikeinheit nicht korrekt
auf Sensor aufgesetzt

Verbindung Elektronikeinheit - Sensor prüfen

FAIL ATM1<ST> leuchtet rot

Atmosphärendrucksensor
defektMessröhre austauschen

FAIL EEPROM

EEPROM-Fehler

Messröhre ausschalten undnach 5 s wieder einschalten

FAIL SENSOR

Elektronikeinheit mit Sensor
inkompatibel

FAIL PIR1<ST> leuchtet rot

FAIL CAP1<ST> leuchtet rot<ST> blinkt rot

Messröhre austauschen<ST> leuchtet rot

Sensor austauschen(→  68)
Messröhre austauschen

66

tina56d1-i(2023-01)

Fehlerdiagnose am Sensor (Pirani Heizfaden)
Wird die Ursache einer Störung im Sensor selber vermutet, lässt
sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe Diagnosedurchführen.
Der Sensor muss für den Test von der Elektronikeinheit getrennt
werden (→  68).
Mittels Ohmmeter kann nun folgende Messung an den Kontaktstiften des Sensors durchgeführt werden.

Mögliche Ursache

Sensor
PCG550 (W)PCG554 (W)

40 ± 1 [Ω]>>40 Ω

Verschmutzung<<40 Ω

Verschmutzung∞
PCG552 (Ni)

35 ± 1 [Ω]Fadenbruch>>35 Ω

Verschmutzung<<35 Ω

Verschmutzung∞

Fadenbruch

Behebung
Alle nach der obigen Methode festgestellten Sensor-Fehler erfordern den Austausch des Sensors (→  68).

tina56d1-i(2023-01)

67

6.4

Sensor austauschen
Voraussetzung
Messröhre ausgebaut (→  61).

 Innensechskantschrauben herausschrauben und Sensor
ohne Drehbewegung entfernen.

2 mm

 Ersatzsensor ohne Drehbewegung aufsetzen und festschrauben.

68

tina56d1-i(2023-01)

7

Produkt zurücksenden
WARNUNG
Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z. B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können
Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei
von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung *) beilegen.
*)

Formular unter www.inficon.com

Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte
werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

tina56d1-i(2023-01)

69

8

Produkt entsorgen
GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

WARNUNG
Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen
Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialartgetrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
und der Wiederverwertung zuzuführen.

70

tina56d1-i(2023-01)

9

Zubehör
Bestellnummer
Zentrierring mit Feinfilter DN 16 ISO-KF
Kommunikationsadapter (2 m) 9)9)

tina56d1-i

211-097
303-333

Die Diagnose-Software (Windows NT, XP) kann von unserer
Website herunter geladen werden.
(2023-01)7110Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit:
• allen Angaben gemäß Typenschild• Beschreibung und Artikelnummer
Sensor für Messröhre mit Wolfram-Heizfaden
3PC1-0x1-xxxx
3PC6-0x1-xxxx
3PC1-0x2-xxxx
3PC6-0x2-xxxx
3PC1-0x4-xxxx
3PC6-0x4-xxxx
3PC1-0x5-xxxx

PCG550

3PC6-0x5-xxxx
3PC1-0x6-xxxx
3PC6-0x6-xxxx
3PC1-0xD-xxxx
3PC6-0xD-xxxx
3PC1-0xE-xxxx
3PC6-0xE-xxxx
3PC1-0xF-xxxx
3PC6-0xF-xxxx
3PC1-0xK-xxxx
3PC6-0xK-xxxx
3PC1-0xM-xxxx
3PC6-0xM-xxxx
3PC1-0xN-xxxx
3PC6-0xN-xxxx

72

Bestellnummer

DN 16 ISO-KF

357-925

DN 16 ISO-KF, langes Rohr

357-926

DN 16 CF-F

357-927

DN 16 CF-R, langes Rohr

357-928

DN 25 ISO-KF

357-929

4 VCR weiblich

357-932

8 VCR weiblich

357-931

1/8" NPT

357-930

29×29 mm357-934

4 VCR 90° weiblich

357-935

7/16-20 UNF männlich

357-933

tina56d1-i(2023-01)

Sensor für Messröhre mit Nickel-Heizfaden
3PC2-0x1-xxxx
3PC7-0x1-xxxx
3PC2-0x2-xxxx
3PC7-0x2-xxxx
3PC2-0x4-xxxx
3PC7-0x4-xxxx
3PC2-0x5-xxxx
3PC7-0x5-xxxx

PCG552

3PC2-0x6-xxxx
3PC7-0x6-xxxx
3PC2-0xD-xxxx
3PC7-0xD-xxxx
3PC2-0xE-xxxx
3PC7-0xE-xxxx
3PC2-0xF-xxxx
3PC7-0xF-xxxx
3PC2-0xK-xxxx
3PC7-0xK-xxxx
3PC2-0xM-xxxx
3PC7-0xM-xxxx
3PC2-0xN-xxxx
3PC7-0xN-xxxx

tina56d1-i(2023-01)

Bestellnummer

DN 16 ISO-KF

357-936

DN 16 ISO-KF, langes Rohr

357-937

DN 16 CF-F

357-938

DN 16 CF-R, langes Rohr

357-939

DN 25 ISO-KF

357-940

4 VCR weiblich

357-943

8 VCR weiblich

357-942

1/8" NPT

357-941

29×29 mm357-945

4 VCR 90° weiblich

357-946

7/16-20 UNF männlich

357-94473

Sensor für Messröhre mit Al2O3 beschichtetem
Heizfaden
3PC3-0x1-xxxx
3PC8-0x1-xxxx
3PC3-0x2-xxxx
3PC8-0x2-xxxx
3PC3-0x4-xxxx
3PC8-0x4-xxxx
3PC3-0x5-xxxx
3PC8-0x5-xxxx

PCG554

3PC3-0x6-xxxx
3PC8-0x6-xxxx
3PC3-0xD-xxxx
3PC8-0xD-xxxx
3PC3-0xE-xxxx
3PC8-0xE-xxxx
3PC3-0xF-xxxx
3PC8-0xF-xxxx
3PC3-0xK-xxxx
3PC8-0xK-xxxx
3PC3-0xM-xxxx
3PC8-0xM-xxxx
3PC3-0xN-xxxx
3PC8-0xN-xxxx

74

Bestellnummer

DN 16 ISO-KF

357-947

DN 16 ISO-KF, langes Rohr

357-948

DN 16 CF-F

357-949

DN 16 CF-R, langes Rohr

357-950

DN 25 ISO-KF

357-951

4 VCR weiblich

357-954

8 VCR weiblich

357-953

1/8" NPT

357-952

29×29 mm357-956

4 VCR 90° weiblich

357-957

7/16-20 UNF männlich

357-955

tina56d1-i(2023-01)

Weitere Informationen

tina56d1-i

 [1]www.inficon.com
Gebrauchsanleitung
Einkanal-Messgerät VGC401
tinb01d1 deutsch
tinb01e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [2]www.inficon.com
Gebrauchsanleitung
Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC402, VGC403
tinb07d1 deutsch
tinb07e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [3]www.inficon.com
Gebrauchsanleitung
Ein-, Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC501, VGC502,
VGC503
tina96d1 deutsch
tina96e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [4]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
Serielle Schnittstelle RS232C, RS485C
PCG55x, PSG55x
tira59d1 deutsch
tira59e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [5]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
DeviceNet™ PCG55x, PSG55x
tira58e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [6]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
Profibus PCG55x, PSG55x
tira56e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein(2023-01)75

 [7]

www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
EtherCAT® PCG55x, PSG55x (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0)
tira85e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [8]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
EtherCAT® PCG55x, PSG55x (ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0)
tirb51e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [9]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
Profinet PCG55x, PSG55x
tirb72e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [10] Common Industrial Protocol (CIP™) Ed. 3.5 andDeviceNet™ Adaption of CIP Ed. 1.6 (Open DeviceNet
Vendor Association)

 [11] www.odva.org

Open DeviceNet Vendor Association, Inc. DeviceNet™
Specifications

 [12] IEC 61158 Type 3 elements: Industrial communication

networks – Fieldbus specifications
IEC 61784: Industrial communication networks –Fieldbus profiles

 [13] www.profibus.com

Profibus user organization

 [14] ETG.5003.1 S (R) V1.0.0: Semiconductor Device profile– Part 1: Common Device Profile (CDP) [15] ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0: Semiconductor Device

profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP):
Vacuum Pressure Gauge [16] ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Semiconductor Device profile– Part 1: Common Device Profile (CDP) [17] ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Semiconductor Device

profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP):
Vacuum Pressure Gauge76

tina56d1-i(2023-01)

ETL-Zertifizierung
RECOGNIZEDCOMPONENTETL LISTED
The products PCG550, PCG552 and PCG554• conform to the UL Standard UL 61010-1• are certified to the CAN/CSA Standard
CSA C22.2 No. 61010-1-12

3103457

tina56d1-i(2023-01)

77

EU-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für die nachfolgenden Produkte
die Konformität zu folgenden Richtlinien:• 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014(EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit)• 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011(RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten)Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
PCG550, PCG552, PCG554
NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC2019(Sicherheitsbestimmungen für Elektrische Mess- und Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B (EMV-Anforderungen fürElektrische Mess- und Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

78

18. Januar 2023

18. Januar 2023

Dr. Christian Riesch
Head of Development

Marco Kern
Product Manager

tina56d1-i(2023-01)

UKCA-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für die nachfolgenden Produkte
die Konformität zu folgenden Verordnungen:• S.I. 2016/1091, 11.2016(EMV-Verordnung, Verordnung über die elektromagnetische Verträglichkeit)• 2012/3032, 12.2012(RoHS-Verordnung, Verordnung zur Beschränkung der Verwendung
bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten)Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
PCG550, PCG552, PCG554
NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC2019(Sicherheitsbestimmungen für Elektrische Mess- und Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B (EMV-Anforderungen fürElektrische Mess- und Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

tina56d1-i

9. Januar 2023

9. Januar 2023

Dr. Christian Riesch
Head of Development

Marco Kern
Product Manager(2023-01)

79Original: Deutsch

LI–9496 Balzers
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