活動成果報告
技術部会
装置制御技術専門委員会
2020/6
株式会社アルバック 福川 幸司
Semiconductor Equipment Association of Japan
装置制御技術専門委員会

活動テーマ：半導体製造装置におけるIT技術適用動向の調査
同技術の方向性提言 装置制御技術専門委員会： 福川 幸司
活動ゴールと活動領域

活動期間と使用したリソース

 参加企業の競争力アップ
 半導体製造装置産業 再興

活動期間：2019年/6月～2020年/5月 8回
使用リソース：20名のべ254時間 現金出費 ¥147,725

今回活動内容（詳細）、達成基準

 活動内容1. 通信やセンシング、仮想計測、AIなど数年後を見据えたIoT技術の活用による高度な制御技術に関する調査
2. 故障予知など、装置品質・性能維持に関する現状と今後のニーズ調査
3. IT技術適用に関する装置周辺技術の調査、検討
4. 技術講演会を通じた装置メーカー機器メーカー間交流と課題検討を行い、個社のエコシステムの構築に貢献

活動成果
 個社の意見を集約し、半導体製造装置業界における本分野のキーテーマを決定 技術講演会：1件開催 45名の参加
半導体製造装置業界を取りまくAI/IoT技術trend(Hewlett Packard Enterprise様、INTEL様) リソグラフィ専門委員会コラボレーション
リソグラフィ専門委員会主催の技術講演会にて半導体・FPD装置業界のAI分野動向を講演

 報告書作成：2件

SEAJジャーナル寄稿
技術講演会報告書

 達成基準

1. 設定したキーテーマに沿った技術講演会(5件)、交流会(3件)の開催
2. 調査、研究結果の報告書作成と提言

1件（AEC/APCSymposium）
1件

自己評価、課題
コロナ渦の影響もあり、60%の進捗。今後、調査活動を継続しつつ、半導体製造装置へのIoT技術利用に関する提言をまとめる活動を行う。

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装置制御技術専門委員会

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キーテーマ（活動領域）の設定

装置制御技術専門委員会：

福川 幸司

SEAJ参加企業の意見の吸い上げ委員会参加企業に「半導体製造装置におけるIT技術適用動向の調査」に関するsurveyおよびWork Shopを実施。

決定キーテーマ1. 顧客向けソリューション
 データ処理：Big Dataの運用、共有、分析前加工
 リモート監視：Remote Accessの活用
 Edge/End Point：Sensing技術や装置Localでの分析
2. 自社向けソリューション DX：自社における様々な課題を解決
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装置制御技術専門委員会

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キーテーマ（活動領域）の設定

装置制御技術専門委員会：

福川 幸司

調査Theme、希望活動Image、委員会の成果物に関する調査

Survey委員会議論
Keyword抽出

Survey結果より、重要keyword Pick Up
各Item詳細議論（内容、背景、必要度）

Work Shop開催

これまでの議論を可視化

Key Theme決定Key Theme決定

データ収集、リモート監視、Edge/End Point、DX

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キーテーマ活動実績1

装置制御技術専門委員会：

最新技術調査キーテーマ：データ処理

技術講演会開催
Hewlett Packard Enterprise株式会社

HPE eIUM

福川 幸司

半導体装置業界のデータ処理に関する様々な課題
 散在したデータを収集する仕組みがない
 形式が違うデータ
 不要なデータを含む 膨大な量のBig Data

その前段階の効率的なデータ収集とデータ変換の仕組みの必要性を議論
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装置制御技術専門委員会

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キーテーマ活動実績2

装置制御技術専門委員会：

最新技術調査キーテーマ：Edge/End Point

技術講演会開催
Hewlett Packard Enterprise株式会社

aruba

福川 幸司

調査及び議論内容

 最新規格Wi-Fi6の特徴と現状
 工場ネットワークでの利用 Local5GとWi-Fi6の比較

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キーテーマ活動実績3

装置制御技術専門委員会：

福川 幸司

最新技術調査キーテーマ：データ処理、Edge/End Point
Symposium参加

AEC/APC Symposium Asia2019
 専門委員会より参加：全発表内容を委員で要約、委員会で共有

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リソ - 装置制御 専門委員会コラボレーション
装置制御技術専門委員会：

福川 幸司

リソグラフィ専門委員会主催 技術講演会（ディープラーニングの半導体装置技術への応用）にて

SEAJ装置制御技術専門委員会より講演を実施
講演名「半導体/FPD装置業界におけるAI技術 適用動向」
活動の調査結果から半導体製造装置業界のDeep Learningを代表とするAI/IoT技術の動向を紹介

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装置制御技術専門委員会

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今後の活動に関して

装置制御技術専門委員会：

福川 幸司•キーテーマ設定、調査項目検討、技術報告会開催
調査

現状議論

•委員会参加装置メーカ中心で各テーマに関する意見交換•委員会での調査内容整理•部品メーカやFA関連メーカ/他装置メーカからの意見/議論の集約•委員会内で確認できた現在の業界状況に対する方向性のまとめ
作業/検討

提言

•報告の形式の決定（提言の深さ/技術動向予測/ロードマップ）と整理•方向性(ソリューション)の提言 ＆ 調査報告
前委員会 SEAJ提出報告書実績：PowerPoint221ページ
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No.
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委員リスト(2019年度)
装置制御技術専門委員会：

会社名

氏名

委員長

㈱アルバック

福川 幸司

副委員長

芝浦メカトロニクス㈱古水戸 順介

副委員長

アズビル㈱

田中 雅人

副委員長

㈱荏原製作所

鳥越 恒男

副委員長

東京ｴﾚｸﾄﾛﾝﾃｸﾉﾛｼﾞｰｿﾘｭｰｼｮﾝ㈱守屋 剛

ウシオ電機㈱勝山 仁志

東京エレクトロン㈱中間 和久

ギガフォトン㈱

落合 秀幸

キヤノン㈱

田名網 英之住友重機械イオンテクノロジー(株)工藤 哲也

ヤマハモータロボテックスホールディング㈱手井 森介㈱SCREENｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ

西村 英司

オムロン㈱

渡川 裕之

㈱東京精密

長谷川 聡

㈱ニコン

加藤 勝弘

㈱フジキン

四方 出㈱堀場エステック

鹿島 利弘

三菱電機㈱

濱口 学

横河ソリューションサービス㈱井上 永博

Semiconductor Equipment Association of Japan
水戸工業（株）今井 基勝
装置制御技術専門委員会

福川 幸司

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End
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