Galvanometer Optical Scanner

ガルバノ光学スキャナ● GVM-0930S● GVM-2260

https://ccj.citizen.co.jp/

GVM-0930L ● GVM-1445S● GVM-2280● GVM-2510

GVM-1445L

ガルバノ光学スキャナ&ドライバ
Galvanometer Optical Scanner & Driver■特長■ Special Features
Fast response/ Low inertia / High torqueHigh linearity and positioning accuracy● Superior temperature characteristics and minimal
humidity effect● 高速応答、低イナーシャ、高トルク●● 高精度なリニアリティー、位置精度●● 湿度の影響が少なく、優れた温度特性■用途■ Examples of application
Laser Marking
Laser Microscope● Image capturing● Laser drilling, trimming and cutting● Non-contact sensoring and measuring● High speed printing● レーザマーカ●● レーザ顕微鏡●● 光造形装置● トリミング、ドリリングなどのレーザ加工● 各種レーザ応用の形状認識検査、測定装置● 高速度プリンタ目

次Contents
特長・用途
Special Features・Examples of Application ..........................................................................
選定、型式説明
スキャナ
Scanner: Selection・Model Type and Serial Number ...........................................................................
......................................................................................................................................................
GVM-0930S......................................................................................................................................................
GVM-0930L......................................................................................................................................................
GVM-1445S......................................................................................................................................................
GVM-1445L......................................................................................................................................................
GVM-2260......................................................................................................................................................
GVM-2280......................................................................................................................................................
GVM-2510
GVM-2260/ GVM-2280/ GVM-2510 コネクタピン配列 Connector Pin Sequence ..............................................................
GVM-0930/ GVM-1445 専用接続ケーブル Connection Cable ...........................................................................................
選定、型式説明
Mirror: Mirror Selection・ Model Type and Serial Number ......................................................................
ミラー
ミラー / 材質 / コーティング一覧、ミラー Assy・反射率データ図面 Mirror/ Substrate/ Coating, Mirror Assembly・Reflectance Data ................
Mirror Assembly Drawing ......................................................................................................
ミラー Assy 図面
Mirror Mounting Angle ..........................................................................................................
ミラー取付角度
GVD0/ GVD1/ GVD2 仕様、外形寸法 Driver: Specification・External Dimension ...............................................................
ドライバ
Model Type and Serial Number ...............................................................................
ドライバ型式説明
Terms and Definitions ..............................................................................................................
用語説明......................................................................................................................................................
Memo
1

p.1
p.2
p.3
p.4
p.5
p.6
p.7
p.8
p.9
p.10
p.10
p.11
p.12
p.13
p.14
p.15
p.18
p.19
p.20

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ

Scanner■ スキャナ選定 Scanner Selection
レーザ径 (mm)Laser Beam Diameter (mm)

型 式
Model

φ3

GVM-0930S●

GVM-0930L●

GVM-1445S

φ5

φ 7.5

φ 10

φ 15

ミラー取付方法
φ 20

φ 30

シャフト接着固定
Fixed to shaft by adhesive●

GVM-1445L

Method to Fix a Mirror●

GVM-2260●

GVM-2280

ホルダ Assy ネジ固定
Fixed to mirror holder by screw●

GVM-2510●● 推奨 Recommended ○ 対応可能 Available■ スキャナ型式説明 Scanner Model Type and Serial Number

GVM -1445S - 0 0 0 0 M - ＊＊スキャナ種類Scanner Typeカスタム登録番号
Registered Custom Number

0930S、0930L
1445S、1445L
2260、2280、2510

振れ角 ( 機械角 )Mechanical Angle
0：±10°
1：±15°
2：±20°
C：カスタムBumpers set for ±10°scanning
Bumpers set for ±15°scanning
Bumpers set for ±20°scanning
Bumpers set for customized angle

ケーブル長
Cable Length
0：コネクタ出力 (GVM-0930、GVM-1445)
GVM-0930, GVM-1445 on board connector
500mm/ signal power cables
1：500mm2：1000mm 1000mm/ signal power cables
C：カスタム Customized cable Iength

出力軸形状
Spindle Type

無記号：標準ラインアップ品

Only used for customized
products

ミラー有無With or Without Mirror
0 ：ミラー無し without mirror
M：ミラー付き with mirror

ケーブル出口に対するミラー角度
Mirror Angle Against Cable
0：0°( ミラー無しの場合も 0 )Without mirror or aligned with connector＋45°to connector
1：＋45°−45°to connector
2：−45°−90°to connector
3：−90°＋90°to connector
4：＋90°
5：＋180° ＋180°to connector−135°to connector
6：−135°
7：＋135° ＋135°to connector
C：カスタム Customized spindle( p.14 をご参照ください。please see page 14 for more details. )0：ストレート軸 (GVM-2260、GVM-2280、GVM-2510 は全て 0）Normal spindle (GVM-2260, GVM-2280 and GVM-2510）
1：ミラーホルダ形状 (GVM-0930、GVM-1445）
Integrated holder for GVM-0930, GVM-1445 mirror
C：カスタム Customized spindle2

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ■ GVM-0930S

Scanner■ 図面は GM7 ミラー Assy との組み合わせによるものです。

Scanner drawing with GM7 mirror assembly.

（Unit：mm）

Ａ

1

X 軸

5mRAD Ａ

3.7

6

Spot Center25

スポット中心

170

φ16

φ9.5 -0.02

16

反射面● 専用の接続ケーブルがあります。

3.8

Reflective Surface（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )

（0.5）

12

（0.5）

1

SM10B-ZPDSS-TF (JST)Pin No.

12
27

Ａ

Y 軸

■ コネクタピン配列
Connector Pin Sequence

15

5.8

5mRAD Ａ

16

25

17

10.8

Spot Center

φ16

0

スポット中心5.2

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

φ9.5 -0.02

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

反射面
● 専用の接続ケーブルがあります。

Reflective Surface（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )

7.35
12.9

15
27

■ スキャナ仕様 Scanner Specifications
項

Items

目

最大振れ角（機械角）

Maximum Scan Angle

慣性モーメント

Rotor Inertia

コイル抵抗

単 位 Unit

GVM-0930S

deg mech.

± 20

g・cm

0.013

2

Coil ResistanceΩ

2.5 ± 10%

コイルインダクタンス

Coil InductancemH

0.054 ± 10%

トルク定数Torque ConstantmN・m/ A

1.28 ± 10%

逆起電圧定数

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.0224 ± 10%

最大ピーク電流Peak Current

A (Max.)9

最大コイル許容温度

Maximum Coil Temperature

˚C

110

重

Weightg

15

単 位 Unit

GVM-0930S

量■ 動作性能 Dynamic Specifications
項

Items

目

再現性

Repeatability

8%0.1 (Max.)
10 (Max.)

非直線性（± 10°）
オフセットドリフト typ./ max.

Offset Driftμ rad/ ˚C

ゲインドリフト typ./ max.

Gain Driftppm/ ˚C

50 (Max.)

ステップ応答時間

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

出力信号
入力信号

同相信号

Output Signal (Common Mode)μA

421 ± 10%

差動信号

Output Signal (Differential Mode)μ A/ deg

14.1 ± 10%mA

30 ± 10%

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーとの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナとの組み合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能ですので、詳細についてはお問合わせください。
（一部の組み合わせでは対応できない場合もございます。）

3

μ rad

Non-Linearity（± 10°）* All those specifications are assured by using Citizen servo driver and mirror.
* All angles are in mechanical degrees.
* The data including step response time can be provided by preferred combination of
mirror size and scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(It may not be provided depending on the combination.)

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ■ GVM-0930L

Scanner■ 図面は GM7 ミラー Assy との組み合わせによるものです。

Scanner drawing with GM7 mirror assembly.

（Unit：mm）

Ａ

1

X 軸

3.7

6

Spot Center25

スポット中心

170

φ16

φ9.5 -0.02

5mRAD Ａ16

反射面
（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )

33.9

12

（0.5）

1

25

17

10.8

Spot Center

φ160

φ9.5-0.02

スポット中心5.2

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

（0.5）

16

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

12

5mRAD Ａ

SM10B-ZPDSS-TF (JST)Pin No.

21.9

Ａ

Y 軸

■ コネクタピン配列
Connector Pin Sequence

3.8
5.8

Reflective Surface● 専用の接続ケーブルがあります。

反射面● 専用の接続ケーブルがあります。

7.35

Reflective Surface

12.9（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )

21.9
33.9

■ スキャナ仕様 Scanner Specifications
項

Items

目

単 位 Unit

GVM-0930L

deg mech.

± 20

g・cm

0.018

最大振れ角（機械角）

Maximum Scan Angle

慣性モーメント

Rotor Inertia

コイル抵抗

Coil ResistanceΩ

1.9 ± 10%

コイルインダクタンス

Coil InductancemH

0.052 ± 10%

トルク定数Torque ConstantmN・m/ A

1.9 ± 10%

逆起電圧定数

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.0338 ± 10%

最大ピーク電流Peak Current

A (Max.)10

最大コイル許容温度

Maximum Coil Temperature

˚C

110

重

Weightg

18

単 位 Unit

GVM-0930L

量2■ 動作性能 Dynamic Specifications
項

Items

目

再現性

Repeatability

μ rad

8

%

0.1 (Max.)
10 (Max.)

非直線性（± 10°）

Non-Linearity（± 10°）

オフセットドリフト typ./ max.

Offset Driftμ rad/ ˚C

ゲインドリフト typ.b/ max.

Gain Driftppm/ ˚C

50 (Max.)

ステップ応答時間

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

出力信号
入力信号

同相信号

Output Signal (Common Mode)μA

421 ± 10%

差動信号

Output Signal (Differential Mode)μ A/ deg

14.1 ± 10%mA

30 ± 10%

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーとの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナとの組み合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能ですので、詳細についてはお問合わせください。
（一部の組み合わせでは対応できない場合もございます。）* All those specifications are assured by using Citizen servo driver and mirror.
* All angles are in mechanical degrees.
* The data including step response time can be provided by preferred combination of
mirror size and scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(It may not be provided depending on the combination.)

4

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ■ 図面は GM0 ミラー Assy との組み合わせによるものです。

Scanner drawing with GM0 mirror assembly.

X 軸

Ａ（Unit：mm）

0.9■ GVM-1445S

Scanner

5mRAD Ａ

17

10

25

6.3

φ16

Spot Center0

スポット中心φ14 -0.05

16

反射面

0.5
7.15

Reflective Surface● 専用の接続ケーブルがあります。

（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )

12

（0.5）

0.9

17
25

Spot Center

φ16

0

11

スポット中心8.2

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING（0.5）

5mRAD Ａ

16

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

Ａ

12
32.2

φ14 -0.05

SM10B-ZPDSS-TF (JST)Pin No.

10.8

Y 軸■ コネクタピン配列
Connector Pin Sequence

20.2

反射面

0.5
9.8

Reflective Surface● 専用の接続ケーブルがあります。

（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )

15.8

20.2
32.2

■ スキャナ仕様 Scanner Specifications
項

Items

目

単 位 Unit

GVM-1445S

deg mech.

± 20

g・cm

0.07

最大振れ角（機械角）

Maximum Scan Angle

慣性モーメント

Rotor Inertia

コイル抵抗

Coil ResistanceΩ

1.8 ± 10%

コイルインダクタンス

Coil InductancemH

0.057 ± 10%

トルク定数Torque ConstantmN・m/ A

2.8 ± 10%

逆起電圧定数

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.049 ± 10%

最大ピーク電流Peak Current

A (Max.)12

最大コイル許容温度

Maximum Coil Temperature

˚C

110

重

Weightg

28

単 位 Unit

GVM-1445S

量2■ 動作性能 Dynamic Specifications
項

Items

目

再現性

Repeatability

8%0.1 (Max.)
10 (Max.)

非直線性（± 10°）
オフセットドリフト typ./ max.

Offset Driftμ rad/ ˚C

ゲインドリフト typ./ max.

Gain Driftppm/ ˚C

50 (Max.)

ステップ応答時間

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

出力信号
入力信号

同相信号

Output Signal (Common Mode)μA

421 ± 10%

差動信号

Output Signal (Differential Mode)μ A/ deg

14.1 ± 10%mA

30 ± 10%

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーとの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナとの組み合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能ですので、詳細についてはお問合わせください。
（一部の組み合わせでは対応できない場合もございます。）

5

μ rad

Non-Linearity（± 10°）* All those specifications are assured by using Citizen servo driver and mirror.
* All angles are in mechanical degrees.
* The data including step response time can be provided by preferred combination of
mirror size and scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(It may not be provided depending on the combination.)

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ■ 図面は GM1 ミラー Assy との組み合わせによるものです。

Scanner drawing with GM1 mirror assembly.

X 軸

Ａ（Unit：mm）

1.5■ GVM-1445L

Scanner

5mRAD Ａ

0

14.5

25

17

9

Spot Center

φ16

スポット中心φ14 -0.05

16

0.5
9.75

反射面
● 専用の接続ケーブルがあります。

Reflective Surface（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )φ14 -0.05

12

（0.5）

17

0.4

25

Spot Center

φ16

0

16.8

スポット中心12.6

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

43.8

16

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

（0.5）

1.5

Ａ

12

5mRAD Ａ

SM10B-ZPDSS-TF (JST)Pin No.

14.7

Y 軸■ コネクタピン配列
Connector Pin Sequence

31.8

反射面

0.5
13.7

Reflective Surface● 専用の接続ケーブルがあります。

（p.10 をご参照ください。）
Special connection cable is required.
( please see page10 for more details )

22.6

31.8
43.8

■ スキャナ仕様 Scanner Specifications
項

Items

目

単 位 Unit

GVM-1445L

deg mech.

± 20

g・cm

0.11

最大振れ角（機械角）

Maximum Scan Angle

慣性モーメント

Rotor Inertia

コイル抵抗

Coil ResistanceΩ

1.6 ± 10%

コイルインダクタンス

Coil InductancemH

0.1 ± 10%

トルク定数

Torque ConstantmN・m/ A

5.04 ± 10%

逆起電圧定数

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.088 ± 10%

最大ピーク電流Peak Current

A (Max.)12

最大コイル許容温度

Maximum Coil Temperature

˚C

110

重

Weightg40

単 位 Unit

GVM-1445L

量2■ 動作性能 Dynamic Specifications
項

Items

目

再現性

Repeatability

μ rad

8

%

0.1 (Max.)
10 (Max.)

非直線性（± 10°）

Non-Linearity（± 10°）

オフセットドリフト typ./ max.

Offset Driftμ rad/ ˚C

ゲインドリフト typ.b/ max.

Gain Driftppm/ ˚C

50 (Max.)

ステップ応答時間

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

出力信号
入力信号

同相信号

Output Signal (Common Mode)μA

421 ± 10%

差動信号

Output Signal (Differential Mode)μ A/ deg

14.1 ± 10%mA

30 ± 10%

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーとの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナとの組み合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能ですので、詳細についてはお問合わせください。
（一部の組み合わせでは対応できない場合もございます。）* All those specifications are assured by using Citizen servo driver and mirror.
* All angles are in mechanical degrees.
* The data including step response time can be provided by preferred combination of
mirror size and scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(It may not be provided depending on the combination.)

6

Galvanometer Optical Scanner
Scannerスキャナ■ GVM-2260（Unit：mm）①センサコネクタ
ケーブル長 500mm

Sensor Connector

Cable Length

φ30

-0.01

φ4 -0.02

180

φ22 -0.05

19.8

5.8

②モータコネクタ
Motor Connector

4216① DF1B-10DS-2.5RC ( ヒロセ電機 )Made by HIROSE ELECTRIC CO., LTD.

58

② VHR-3N (JST)Made by JST Mfg. Co., Ltd.

■ 図面は GM2 ミラー Assy との組み合わせによるものです。

■ ミラー + スキャナ Mirror + Scanner

Scanner drawing with GM2 mirror assembly.

X 軸

Y 軸
10.7

スポット中心反射面

24

スポット中心Reflective Surface

反射面

Spot Center

Reflective Surface

16.4

19.6

Spot Center

15.65

22.3

21.5

34.8

58

58

■ スキャナ仕様 Scanner Specifications
項

Items

目

単 位 Unit

GVM-2260deg mech.

± 20

g・cm

0.47

最大振れ角（機械角）

Maximum Scan Angle

慣性モーメント

Rotor Inertia

コイル抵抗

Coil ResistanceΩ

1.1 ± 10%

コイルインダクタンス

Coil InductancemH

0.1 ± 10%

トルク定数

Torque ConstantmN・m/ A

8 ± 10%逆起電圧定数

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.14 ± 10%

最大ピーク電流Peak Current

A (Max.)21.8

最大コイル許容温度

Maximum Coil Temperature

˚C

110

重

Weightg

155

単 位 Unit

GVM-2260量2■ 動作性能 Dynamic Specifications
項

Items

目

再現性

Repeatability

8%0.1 (Max.)
10 (Max.)

非直線性（± 10°）
オフセットドリフト typ./ max.

Offset Driftμ rad/ ˚C

ゲインドリフト typ./ max.

Gain Driftppm/ ˚C

50 (Max.)

ステップ応答時間

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

出力信号
入力信号

同相信号

Output Signal (Common Mode)μA

421 ± 10%

差動信号

Output Signal (Differential Mode)μ A/ deg

14.1 ± 10%mA

30 ± 10%

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーとの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナとの組み合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能ですので、詳細についてはお問合わせください。
（一部の組み合わせでは対応できない場合もございます。）

7

μ rad

Non-Linearity（± 10°）* All those specifications are assured by using Citizen servo driver and mirror.
* All angles are in mechanical degrees.
* The data including step response time can be provided by preferred combination of
mirror size and scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(It may not be provided depending on the combination.)

Galvanometer Optical Scanner
Scannerスキャナ■ GVM-2280（Unit：mm）①センサコネクタ
ケーブル長 500mm

Sensor Connector

Cable Length

φ30

-0.01

φ5 -0.02

180

φ22-0.05

19.8

5.8

②モータコネクタ
Motor Connector

4216① DF1B-10DS-2.5RC ( ヒロセ電機 )Made by HIROSE ELECTRIC CO., LTD.

58

② VHR-3N (JST)Made by JST Mfg. Co., Ltd.

■ 図面は GM4 ミラー Assy との組み合わせによるものです。

■ ミラー + スキャナ Mirror + Scanner

Scanner drawing with GM4 mirror assembly.

X 軸

Y 軸
反射面

32

スポット中心Reflective Surface

反射面

Spot Center

25.7

23.7

Spot Center

Reflective Surface

0.81

15.1

スポット中心

17.85

26.3

25.9

42.8

58

58

■ スキャナ仕様 Scanner Specifications
項

Items

目

単 位 Unit

GVM-2280

deg mech.

± 20

g・cm

1.2

最大振れ角（機械角）

Maximum Scan Angle

慣性モーメント

Rotor Inertia

コイル抵抗

Coil ResistanceΩ

1.2 ± 10%

コイルインダクタンス

Coil InductancemH

0.19 ± 10%

トルク定数Torque ConstantmN・m/ A

15 ± 10%

逆起電圧定数

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.25 ± 10%

最大ピーク電流Peak Current

A (Max.)20

最大コイル許容温度

Maximum Coil Temperature

˚C

110

重

Weightg

170

単 位 Unit

GVM-2280量2■ 動作性能 Dynamic Specifications
項

Items

目

再現性

Repeatability

μ rad

8

%

0.1 (Max.)
10 (Max.)

非直線性（± 10°）

Non-Linearity（± 10°）

オフセットドリフト typ./ max.

Offset Driftμ rad/ ˚C

ゲインドリフト typ./ max.

Gain Driftppm/ ˚C

50 (Max.)

ステップ応答時間

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

出力信号
入力信号

同相信号

Output Signal (Common Mode)μA

421 ± 10%

差動信号

Output Signal (Differential Mode)μ A/ deg

14.1 ± 10%mA

30 ± 10%

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーとの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナとの組み合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能ですので、詳細についてはお問合わせください。
（一部の組み合わせでは対応できない場合もございます。）* All those specifications are assured by using Citizen servo driver and mirror.
* All angles are in mechanical degrees.
* The data including step response time can be provided by preferred combination of
mirror size and scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(It may not be provided depending on the combination.)

8

Galvanometer Optical Scanner
Scannerスキャナ■ GVM-2510（Unit：mm）①センサコネクタ
Sensor Connector

ケーブル長 500mm
Cable Length

φ30

-0.01

7.2

0

φ25.4 -0.05

19.8

φ6 -0.0218②モータコネクタ
Motor Connector

49① DF1B-10DS-2.5RC ( ヒロセ電機 )19

Made by HIROSE ELECTRIC CO., LTD.

68

Scanner drawing with GM5 mirror assembly.

X 軸

Y 軸
21.5

Spot Center

Made by JST Mfg. Co., Ltd.

■ 図面は GM5 ミラー Assy との組み合わせによるものです。

■ ミラー + スキャナ Mirror + Scanner

スポット中心② VHR-3N (JST)43

スポット中心反射面

Spot Center

反射面
Reflective Surface

37.4

Reflective Surface

33.2

22.45
33.7

55.2

68

68

■ スキャナ仕様 Scanner Specifications
項

Items

目

単 位 Unit

GVM-2510

deg mech.

± 20

g・cm

5.6

最大振れ角（機械角）

Maximum Scan Angle

慣性モーメント

Rotor Inertia

コイル抵抗

Coil ResistanceΩ

1.0 ± 10%

コイルインダクタンス

Coil InductancemH

0.3 ± 10%

トルク定数

Torque ConstantmN・m/ A

32 ± 10%

逆起電圧定数

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.56 ± 10%

最大ピーク電流Peak Current

A (Max.)18.4

最大コイル許容温度

Maximum Coil Temperature

˚C

110

重

Weightg

220

単 位 Unit

GVM-2510

量2■ 動作性能 Dynamic Specifications
項

Items

目

再現性

Repeatability

8%0.1 (MAX.)
10 (MAX.)

非直線性（± 10°）
オフセットドリフト typ./ max.

Offset Driftμ rad/ ˚C

ゲインドリフト typ./ max.

Gain Driftppm/ ˚C

50 (MAX.)

ステップ応答時間

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

出力信号
入力信号

同相信号

Output Signal (Common Mode)μA

421 ± 10%

差動信号

Output Signal (Differential Mode)μ A/ deg

14.1 ± 10%mA

30 ± 10%

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーとの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナとの組み合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能ですので、詳細についてはお問合わせください。
（一部の組み合わせでは対応できない場合もございます。）

9

μ rad

Non-Linearity（± 10°）* All those specifications are assured by using Citizen servo driver and mirror.
* All angles are in mechanical degrees.
* The data including step response time can be provided by preferred combination of
mirror size and scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(It may not be provided depending on the combination.)

Galvanometer Optical Scanner

GVM-2260/ GVM-2280/ GVM-2510 コネクタピン配列 Connector Pin Sequence■センサコネクタ
Sensor Connector■モータコネクタ
Motor Connector

DF1B-10DS-2.5RC ( ヒロセ電機 )Pin No.

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

A
B
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELDSHIELD
NC
NC

VHR-3N ( JST )Pin No.

機 能 Function

1

フレームグラウンド2

ガルバノスキャナ −極3

ガルバノスキャナ ＋極Frame ground− Motor Winding＋ Motor Winding

GVM-0930/ GVM-1445 専用接続ケーブル Special connection cable■ ケーブル型式 Cable Model Type and Serial Number

GC 0 0 - ＊＊Cable Length
0：250mm
1：300mm2：500mm3：1000mm
4：3000mm
5：2000mm
C：カスタムケーブル長

カスタム登録番号

Registered Custom Number

無記号：標準ラインアップ品

Only used for customized products

Connector
Standard
0：標準
C：カスタム Customized connector

コネクタ

Customized cable length■ ケーブル図 Cable Drawing（Unit：mm）

ZPDR-10V-S( JST )

DF1B-10DS-2.5RC( ヒロセ電機 )( HIROSE ELECTRIC CO., LTD.)

スキャナ側

ドライバ側

To Scanner

To Driver

L

型式

Model

寸 法 Length L (mm)■ コネクタピン配列
Connector Pin Sequence

GC00

250

GC10

300

DF1B-10DS-2.5RC ( ヒロセ電機 )

GC20

500

Pin No.

GC30

1000

GC40

3000

GC50

2000

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

機 能 Function
A
B
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

10

Galvanometer Optical Scannerミラー■ ミラー選定 Mirror Selection

Mirror

ミラー材質：シリコン Mirror Substrate：Si (Silicon)

ミラー型番
Mirror model

GM0

GM1

GM2

GM4

GM5

GM6

GM7

レーザ径 (mm)Laser beam diameter (mm)

φ5

φ 7.5

φ 10

φ 15

φ 20

φ 30

φ3

GVM-0930S●

GVM-0930L●

GVM-1445S
対応スキャナScanner●

GVM-1445L●

GVM-2260●

GVM-2280●

GVM-2510●

接着固定
Fixed to shaft by adhesive

ホルダタイプ
Holder type

■

※

■

ネジ固定
Fixed to mirror holder by screw

Mirror Assembly
Weight (g)● 推奨 Recommended

■
■

■

■

■

X軸

0.39

0.76

2.45

3.93

9.17

21.78

0.17

Y軸

0.49

1.04

3.13

5.89

13.39

35.24

0.16

対応可能 Available ※GVM-1445L とφ 10 ミラーの組み合わせの場合、接着固定になります。

If combining GVM-1445L with φ10 mirror, the mirror holder will be fixed to shaft
by adhesive.

■ ミラー型式説明 Mirror Model Type and Serial Number

G M 0 X 0 0 - ＊＊レーザビーム径 Laser Beam Diameter
0：φ5mm
1：φ7.5mm
2：φ10mm
3： ー
4：φ15mm
5：φ20mm
6：φ30mm
7：φ3mmC：カスタム Customized mirror

カスタム登録番号

Only used for customized products

コーティング種類

Coating

0：Au ( 金 ) コーティング(10.6μm 用 )1：Ag ( 銀 ) コーティング(1064nm & 532nm 用 )2：誘電体多層膜(1064nm 用 )ミラー形状

Mirror Shape

X：横長ミラー
Y：縦長ミラー
C：カスタムミラー材質

X or first mirror
Y or second mirror
Customized mirror

Mirror Substrate

0：Si
1：ー
2：SiO2
C：カスタム11

Si Silicon
SiO2 Quartz ( 石英 )Customized substrate

Registered Custom Number

無記号：標準ラインアップ品

C：カスタムAu (Gold) coating(10.6μm)
Ag (Silver) coating(1064nm or 532nm)
Dielectric coating(1064nm)
Customized coating

Galvanometer Optical Scannerミラー

Mirror■ ミラー材質・推奨コーティング Mirror Substrate/ Recommended Coating
ミラー型番
Mirror model

レーザ径
Laser beam diameter

ミラー材質
Mirror Substrate

推奨コーティング
Recommended coating

GM0

φ5

Si (Silicon)

銀

GM1

φ 7.5

Si (Silicon)

金／銀

Au (Gold)/ Ag (Silver) coating

GM2

φ 10

Si (Silicon)

金／銀

Au (Gold)/ Ag (Silver) coating

SiO2 ( 石英 Quartz)

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric coating (For YMG1064nm)

GM4

φ 15

Si (Silicon)

金／銀SiO2 ( 石英 Quartz)

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric coating (For YMG1064nm)

GM5

φ 20

Si (Silicon)

金SiO2 ( 石英 Quartz)

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric coating (For YMG1064nm)

GM6

φ 30

Si (Silicon)

金SiO2 ( 石英 Quartz)

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric coating (For YMG1064nm)

GM7

φ3

SiO2 ( 石英 Quartz)

銀■ レーザ仕様によりコーティングを使い分けます。
・金：主に CO2 レーザ用（波長 10.6 μ m）
・銀：主に可視光レーザ用（波長 532nm、1064nm など）
・誘電体多層膜：主に YAG レーザにて最高反射率用（波長 1064nm など）( 誘電体多層膜コーティングは、使用波長でコーティング層が異なります。)

Ag (Silver) coating

Au (Gold)/ Ag (Silver) coating

Au (Gold) coating

Au (Gold) coating

Ag (Silver) coating■ We apply different coating depending on laser specification.

・Au (Gold) coating： Mainly for CO2 laser (wavelength 10.6 μ m)
・Ag (Silver) coating： Mainly for visible ray laser (wavelength 532nm, 1064nm etc.)
・Dielectric coating ： Mainly for maximum reflectance of YAG laser(wavelength 1064nm etc.)(Dielectric coating has different coating depending on wavelength)■ ミラー Assy- 反射率データ ( 入射角 45°) Mirror Assembly-Reflectance Data (Incident Angle 45°)
Au ( 金 ) コーティング
Au (Gold) coating

100.0
90.0

Reflectance (%)

80.0

60.0

40.0

Au(金) Gold-Coating
Ag(銀) Silver-Coating

20.0

誘電体 Dielectric-Coating

0.0
360 400

500

600

700

800

900

1000

1100

1200

3000

5000

10000

15000

Wavelength (nm)

Ag ( 銀 ) コーティング Ag (Silver) coating

誘電体多層膜100.0

Dielectric coating

100.0

90.0
80.0

Reflectance (%)

Reflectance (%)

80.0

60.0

40.0

20.0

0.0
360

60.0

40.0

20.0

450

540

630

720
810
Wavelength (nm)

900

990

1080

1170

0.0
900

950

1000

1050
1100
Wavelength (nm)

1150

1200

12

Galvanometer Optical Scanner
Mirrorミラー■ ミラー Assy 図面 Mirror Assembly Drawing

X軸

Y軸

14.7

GM4

1.5

スポット中心Spot Center

15.35

6.5

Y軸
19.1

GM5

32

3mRAD Ａ

6.5
17.54

スポット中心Spot Center

2.2

X軸

スポット中心Spot Center

26

Y軸
25.5

3mRAD Ａ

6.5

21.5

反射面
Reflective
Surface47
3mRAD Ａ

ネジ締結
Entered into
Screw

18.7

ネジ締結
Entered into
Screw

29.4

Ａ

スポット中心Spot Center

7.9

3

22.15

3

●

φ6深サ6.9Depth

φ6深サ6.9
Depth

37.4

Ａ

反射面
Reflective
Surface4314.7

レーザ径 φ 20
Laser beam
diameter

反射面
Reflective
Surface

0.81

Ａ

φ5深サ5.5Depth

φ5深サ5.5
Depth

2.2

●

12.85

Ａ

36

ネジ締結
反射面
Entered into
Screw
Reflective Surface

15.1

3mRAD Ａ

25.7

ネジ締結
Entered into
Screw

スポット中心Spot Center

22

X軸

レーザ径 φ 15
Laser beam
diameter

反射面
Reflective
Surface

11.85

●

6.5

24

3mRAD Ａ Ａ

23.7

φ4深サ5.5
Depth

9.8

Ａ

1.5

28

ネジ締結
反射面
Entered into
Screw
Reflective Surface

10.7

3mRAD Ａ

8.2

ネジ締結
Entered intoScrew

φ4深サ5.5
Depth

レーザ径 φ 10
Laser beam
diameter

16.4

GM2

19.6

●

GM6

Y軸
36.5
32.5

3mRAD Ａ

反射面
Reflective
Surface68
3mRAD Ａ

ネジ締結
Entered into
Screw

反射面
Reflective
Surface

64

4.5

13

44

55.4

Ａ

φ6深サ6.9Depth

φ6深サ6.9
Depth

Ａ

22

27.7

ネジ締結
Entered into
Screw

スポット中心Spot Center

32.9

X軸

レーザ径 φ 30
Laser beam
diameter

7.9

スポット中心Spot Center

7.9
27.65

4.5

7.9

43.4

スポット中心Spot Center

Galvanometer Optical Scannerミラー
Mirror Mounting Angle

GVM-0930 ／ GVM-1445

GVM-2260 ／ GVM-2280 ／ GVM-2510

0: 0° 5: +180°

0: 0° 5: +180°
コネクタ Connector

反射面 Reflective Surface
ミラー角度型式：5Mirror Angle No : 5( +180°)Mirror Angle No : 5( +180°)0°0°

反射面 Reflective Surface

反射面 Reflective Surface

ミラー角度型式：0ミラー角度型式：0Mirror Angle No : 0( 0°)

Mirror Angle No : 0( 0°)

1: +45° 6: -135°

1: +45° 6: -135°

反射面 Reflective Surface
ミラー角度型式：65°＋4

反射面 Reflective Surface

反射面 Reflective Surface
ミラー角度型式：6Mirror Angle No : 6( -135°)Mirror Angle No : 6( -135°)

反射面 Reflective Surface

ミラー角度型式：1

ミラー角度型式：1

Mirror Angle No : 1( +45°)

Mirror Angle No : 1( +45°)

2: -45° 7: +135°

2: -45° 7: +135°°

ミラー角度型式：7-45

反射面 Reflective Surface

ミラー角度型式：7°-45

反射面 Reflective Surface
Mirror Angle No : 7( +135°)Mirror Angle No : 7( +135°)

反射面 Reflective Surface

反射面 Reflective Surface

ミラー角度型式：2

ミラー角度型式：2
Mirror Angle No : 2( -45°)

Mirror Angle No : 2( -45°)

3: -90° 4: +90°

3: -90° 4: +90°
反射面 Reflective Surface°

ミラー角度型式：4

°

0
-9

0
-9

反射面 Reflective Surface

ミラー角度型式：4Mirror Angle No : 4( +90°)

Mirror Angle No : 4( +90°)

0°

反射面 Reflective Surface

反射面 Reflective Surface

ミラー角度型式：3

ミラー角度型式：3Mirror Angle No : 3( -90°)

Mirror Angle No : 3( -90°)

GVM -1445S - 0 0 0 0 M - ＊＊スキャナ種類 Scanner Type

振れ角 ( 機械角 ) Mechanical Angle

Bumpers set for ±10°scanning
Bumpers set for ±15°scanning
Bumpers set for ±20°scanning※ 上記ミラーは各レーザ径にて +/-10°機械角で設計されています。
+/-10°を超える角度での使用を希望される場合はお問合わせください。
All mirrors are designed as a mechanical angle +/-10°of laser

beam diameter respectively. If you wish to use a mechanicalangle more than +/-10°, please contact us.

カスタム登録番号 Registered Custom Number

0930S、0930L
1445S、1445L
2260、2280、2510

0：±10°
1：±15°
2：±20°
C：カスタムケーブル Cable

反射面 Reflective Surface
ミラー角度型式：5+45°■ ミラー取付角度

Mirror

無記号：標準ラインアップ品
Only used for customized products

ミラー有無 With or Without Mirror

0 ：ミラー無し without mirror
M：ミラー付き with mirror

Bumpers set for customized angle

ケーブル長 Cable Length

ケーブル出口に対するミラー角度 Mirror Angle Against Cable

0：コネクタ出力 (GVM-0930、GVM-1445)

0：0°( ミラー無しの場合も 0 ）1：500mm2：1000mm
C：カスタム1：＋45°
2：-45°
3：-90°
4：＋90°
5：＋180°
6：-135°
7：＋135°
C：カスタム

GVM-0930, GVM-1445 on board connector
500mm/ signal power cables
1000mm/ signal power cables
Customized cable Iength

出力軸形状 Spindle Type

0：ストレート軸 (GVM-2260、GVM-2280、GVM-2510 は全て 0）Normal spindle (GVM-2260, GVM-2280 and GVM-2510）

without mirror or aligned with connector＋45°to connector-45°to connector-90°to connector＋90°to connector＋180°to connector-135°to connector＋135°to connector
Customized spindle

1：ミラーホルダ形状 (GVM-0930、GVM-1445）

Integrated holder for GVM-0930, GVM-1445 mirror

C：カスタム Customized spindle

14

Galvanometer Optical Scanner

ドライバ

Driver■ GVD0■ 外形寸法図 External Layout Drawing

58

3（Unit：mm）

4

4

2×φ3

4

78
86
78

2×φ3.5

（6）

26

5

5

4

（6.5）

■ Driver Specifications■ ドライバ仕様型

電源

指令信号入力モニター出力機

GVD0 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊

式
電

源

電

圧

GVD0 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊Power Voltage± 15V or ± 24V

Max. Operating Current

2.5A RMS

Maximum Output

10A

最大動作電流2.5A RMS

瞬間最大電流10A

電圧範囲 ( 差動 )± 3V ／± 5V ／± 10V

入力インピーダンス

20k Ω ( 差動入力時 )Command Voltage(Differential)
Signal Input Input Impedance

20k Ω (At differential input)

Monitor Output Position Output± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

Power

位

置

出

力

± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

入

力

信

号

サーボ ON

Input Signal

出

力

信

号

レディー

Output Signal

ドライバ過熱

能
保

護

機

能

使 用 温 度 範 囲± 3V ／± 5V ／± 10V

Servo ON
Ready
Over heating

Function

オーバーポジション

Protection

Over positioning

過電流

Over current

センサ異常

Sensor error

0 〜＋ 50℃

寸法

93 x 57.5 x 31 mm

重量

約 60g ( ヒートシンク込み )P 制御と PI 制御の違いについて
ガルバノスキャナサーボドライバ GVD シリーズには P 制御と PI 制御があります。
使用される用途に応じて下記を参考に選択してください。

・P 制御

Ambient Temperature Range

0℃ to ＋ 50℃

Dimension

93 x 57.5 x 31 mm

Weight60g (with heat sink)

Our galvanometer optical scanner (GVD) series have either P or PI
control systems.
Please read the following information before placing an order.

P Control

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーに比例した信号を出力します。
時間積分しないためサーボクローズドループ帯域が高くなります。
従ってスキャナは高速に応答し、速やかに整定します。
歪みやフリクションが生じた場合、指令に対して位置誤差が発生します。

This control compares position feed back signal and command signal to output either signal
which is proportional to the differential.
The closed-loop band will be high because it will not integrate the time and therefore thescanner responds quickly and sets position promptly.
In case of distortion or friction, position error may occur against command.

・PI 制御PI Control

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーを時間積分し出力します。
このため歪みやフリクションに関係なく定常状態 ( 非常に小さい位置誤差の状態 ) を保つことができます。この積分によって非常に高い位置再現性が得られます。

This control compares position feed back signal and command signal to output thedifferential which is time-integrated.
It will keep in the steady-state (or the state with extremely small position error) regardless of
distortion or friction.
Remarkably high position repeatability can be obtained by the time-integration .

整定時間の高速性を重視する場合は P 制御を、位置再現性を重視する場合は PI 制御
を選択してください。

15

Model

± 15V 又は ± 24V

Please select P Control if considering for the speed of stabilization time, or PI Control if
considering for the position repeatability.

Galvanometer Optical Scanner
Driver

ドライバ■ GVD1■ 外形寸法図 External Layout Drawing

3.8

66.5

3

（Unit：mm）

21.6

3.8

94
101.6

43.8
6

■ Driver Specifications■ ドライバ仕様型

電源

指令信号入力モニター出力GVD1 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊

式
電

29.6

26

12.3

12.3

4.7

97.2

源

電

圧

Model

± 15V 又は ± 18V 〜± 30V± 15V or ± 18V to ± 30V

Max. Operating Current

5.0A RMS

Maximum Output

11.5A

最大動作電流5.0A RMS

瞬間最大電流11.5A

電圧範囲 ( 差動 )± 3V ／± 5V ／± 10V

入力インピーダンス

20k Ω ( 差動入力時 )Command Voltage(Differential)
Signal Input Input Impedance

20k Ω (At differential input)

Monitor Output Position Output± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

Power± 3V ／± 5V ／± 10V

位

置

出

力

± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

入

力

信

号

サーボ OFF

Input Signal

Servo OFF

出

力

信

号

位置、速度、電流、位置偏差、
アラーム、90% 負荷警告

Output Signal

Position, Speed, Current, Position error,
Alarm, 90% Load Warning
Over heating

ドライバ過熱機

GVD1 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊Power Voltage

能オーバーポジション
保

護

機

能

Function

Over positioning
Protection

過電流Power Source Voltage

電源電圧低下使 用 温 度 範 囲

0 〜＋ 50℃

Ambient Temperature Range

寸法101.6 x 66.5 x 30.8 mm

Dimension

重量

約 90g ( ヒートシンク込み )WeightP 制御と PI 制御の違いについて
ガルバノスキャナサーボドライバ GVD シリーズには P 制御と PI 制御があります。
使用される用途に応じて下記を参考に選択してください。

・P 制御

Over current
Sensor error

センサ異常

0℃ to ＋ 50℃
101.6 x 66.5 x 30.8 mm
90g (with heat sink)

Our galvanometer optical scanner (GVD) series have either P or PI
control systems.
Please read the following information before placing an order.

P Control

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーに比例した信号を出力します。
時間積分しないためサーボクローズドループ帯域が高くなります。
従ってスキャナは高速に応答し、速やかに整定します。
歪みやフリクションが生じた場合、指令に対して位置誤差が発生します。

This control compares position feed back signal and command signal to output either signal
which is proportional to the differential.
The closed-loop band will be high because it will not integrate the time and therefore thescanner responds quickly and sets position promptly.
In case of distortion or friction, position error may occur against command.

・PI 制御PI Control

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーを時間積分し出力します。
このため歪みやフリクションに関係なく定常状態 ( 非常に小さい位置誤差の状態 ) を保つことができます。この積分によって非常に高い位置再現性が得られます。

This control compares position feed back signal and command signal to output thedifferential which is time-integrated.
It will keep in the steady-state (or the state with extremely small position error) regardless of
distortion or friction.
Remarkably high position repeatability can be obtained by the time-integration .

整定時間の高速性を重視する場合は P 制御を、位置再現性を重視する場合は PI 制御
を選択してください。

Please select P Control if considering for the speed of stabilization time, or PI Control if
considering for the position repeatability.

16

Galvanometer Optical Scanner

ドライバ

Driver■ GVD2■ 外形寸法図 External Layout Drawing（Unit：mm）

3.2

2×φ3.2

58.6

6

48.6

2.7

2.9

54
48.2

2.9

21.6

26.6

6.2

6.2

2.7

2×φ3.2■ Driver Specifications■ ドライバ仕様型

電源

指令信号入力モニター出力機

GVD2 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊

式
電

源

電

圧

Model

± 15V 又は ± 30V± 15V or ± 30V

Max. Operating Current

2.5A RMS

Maximum Output

10A

最大動作電流2.5A RMS

瞬間最大電流10A

電圧範囲 ( 差動 )± 3V ／± 5V ／± 10V

入力インピーダンス

20k Ω ( 差動入力時 )Command Voltage(Differential)
Signal Input Input Impedance

20k Ω (At differential input)

Monitor Output Position Output± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

Power± 3V ／± 5V ／± 10V

位

置

出

力

± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

入

力

信

号

サーボ OFF

Input Signal

Servo OFF

出

力

信

号

位置、速度、電流、位置偏差、レディー

Output Signal

Position, Speed, Current, Ready,
Position error

能ドライバ過熱保護機能Over heating

Function

オーバーポジション

Protection

過電流0 〜＋ 50℃

Ambient Temperature Range

寸法58.6 x 54 x 31.6 mm

Dimension

重量約 55g ( ヒートシンク込み )WeightP 制御と PI 制御の違いについて
ガルバノスキャナサーボドライバ GVD シリーズには P 制御と PI 制御があります。
使用される用途に応じて下記を参考に選択してください。

・P 制御

Over positioning
Over current
Sensor error

センサ異常
使 用 温 度 範 囲

0℃ to ＋ 50℃
58.6 x 54 x 31.6 mm
55g (with heat sink)

Our galvanometer optical scanner (GVD) series have either P or PI
control systems.
Please read the following information before placing an order.

P Control

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーに比例した信号を出力します。
時間積分しないためサーボクローズドループ帯域が高くなります。
従ってスキャナは高速に応答し、速やかに整定します。
歪みやフリクションが生じた場合、指令に対して位置誤差が発生します。

This control compares position feed back signal and command signal to output either signal
which is proportional to the differential.
The closed-loop band will be high because it will not integrate the time and therefore thescanner responds quickly and sets position promptly.
In case of distortion or friction, position error may occur against command.

・PI 制御PI Control

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーを時間積分し出力します。
このため歪みやフリクションに関係なく定常状態 ( 非常に小さい位置誤差の状態 ) を保つことができます。この積分によって非常に高い位置再現性が得られます。

This control compares position feed back signal and command signal to output thedifferential which is time-integrated.
It will keep in the steady-state (or the state with extremely small position error) regardless of
distortion or friction.
Remarkably high position repeatability can be obtained by the time-integration .

整定時間の高速性を重視する場合は P 制御を、位置再現性を重視する場合は PI 制御
を選択してください。

17

GVD2 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊Power Voltage

Please select P Control if considering for the speed of stabilization time, or PI Control if
considering for the position repeatability.

Galvanometer Optical Scanner

ドライバ

Driver■ ドライバ型式説明 Driver Model Type and Serial Number

GVD0 /1/2- 0 0 0 0 0 0 - ＊＊電源電圧
Power Voltage

カスタム登録番号
Registered Custom Number

0：±15V
1：±24V

制御方式
Control System
0：P 制御 P Control
1：PI 制御 PI Control

指令電圧Command Voltage
0：±10V
1：±3V
2：±5V
C：カスタム Customized voltage

振れ角 ( 機械角 )Mechanical Angle
0：±10°
1：±5°
2：±7.5°
3：±12.5°
4：±15°
5：±20°
C：カスタムBumpers set for ±10°scanning
Bumpers set for ±5°scanning
Bumpers set for ±7.5°scanning
Bumpers set for ±12.5°scanning
Bumpers set for ±15°scanning
Bumpers set for ±20°scanning
Bumpers set for customized angle

無記号：標準ラインアップ品
Only used for customized products

ビーム径（ミラーサイズ）
Beam Diameter (Mirror size)
0：φ3mm1：φ5 mm2：φ7.5mm
3：φ10mm
4：φ12.5mm
5：φ15mm
6：φ20 mm
7：φ30 mm
C：カスタム Customized size

スキャナ種類Scanner Type
0：0930S
1：0930L
2：1445S
3：1445L
4：22605：22806：251018

Galvanometer Optical Scanner

用語説明
非直線性 ( 図 1)

理想走査角度からの誤差の比率。
各指令間の角度を測定して直線近似し、近似値のフルスケール値を分母とし、近似値からの誤差のピーク値を分子とし計算します。
●

走査角度
Scan angle●

Terms and Definitions( 図 1)(Figure 1)

Non-Linearity (Figure 1)

Δθ1This is a ratio of error against ideal scan angle. Measure the angle between
each command and find the linear approximation at first. Then calculate nonlinearity by setting approximation of full-scale value as the denominator anddifference of peak value from approximation as the numerator.

θFS
位置指令
Positional commandΔθ2┃Δθ1┃＋┃Δθ2┃

θFS

Non-Linearity●

×100 (%)

オフセットドリフト ( 図 2)

●

●

●

ゲインドリフト ( 図 3)
温度によるゲインの変化量。
最大走査角 ±n°にて周囲温度を 10 〜 50℃で変化させた時の位置変化量を測定し算出します。

●●

温度ドリフト ( 図 4)

Thermal drift (Figure 4)
This is the maximum amount of positional change which is the sum of offset
drift and gain drift.

●

ステップ応答時間 ( 図 5)

Step response time (Figure 5)
This is the time measured from the input of position command signal to startscanning until the mirror is settled to the final position.

位置指令信号を入れ、スキャナの動作開始から最終位置に整定するまでの時間。

* In this catalogue, response time is determined as when the mirror is settled within±0.01° difference in width by scanning angle ±0.1° in final position.

走査角度
Scan angle※カタログ値は振れ角 ±0.1°、整定幅 ±0.01°に収まるまでの応答時間と規定します。

( 図 2)(Figure 2)

Gain drift (Figure 3)
This is an amount of gain (positional scale) which changes by ambient
temperature. Measure the amount of positional change by changing ambient
temperature from 10°C to 50°C at maximum scan angle ±n°.

オフセットドリフトとゲインドリフトを合わせた最大位置変化量。
●

Offset drift (Figure 2)
This is an amount of offset (position) which changes by ambient temperature.
Fix the scan angle to 0° then calculate the amount of positional change bychanging ambient temperature from 10°C to 50°C.

温度によるオフセットの変化量。
振れ角 O°に固定し、周囲温度を 10 〜 50°
C で変化させた時の位置変化量を測定し算出します。

＋n ( °)( 図 3)(Figure 3)

走査角度Scan angle

非直線性＝

位置指令
Positionalcommand

位置指令
Positional command−n ( °)

ゲインドリフト

Offset drift

Gain drift( 図 5)(Figure 5)＋n ( °)
走査角度
Scan angle

走査角度Scan angle( 図 4)(Figure 4)

オフセットドリフト

位置指令信号 ( 振れ角 ±0.1°)
Positional command signal (scan angle ±0.1°)

整定幅 (±0.01°)
Settling width (±0.01°)
位置指令
Positionalcommand

位置信号
Positional signal−n ( °)
応答時間
Response time

19

温度ドリフト ( オフセットドリフト＋ゲインドリフト )ステップ応答時間

Thermal drift (Offset drift + Gain drift)

Step response time

時間
Time

Memo

20

Memo

21

Memo

22

■ 製品ラインアップ
Product Lineup

コアレス DC モータ
Coreless DC motors

ブラシレスモータ

Brushless motors

AC サーボモータ
AC servomotors

リニアアクチュエータ

Linear actuators

ガルバノ光学スキャナ

Galvanometer optical scanners

ギヤヘッド

Gearheads

エンコーダ・タコメータ

Encoders/ Tachometer■ 事例集
Application for Solution● 詳しい事例集は、下記のアドレスよりご覧いただけます。

Please visit our website for more details.

https://ccj.citizen.co.jp/case■ 半導体関連： 露光装置、ウェーハ欠陥検査装置、ターボ分子ポンプ、ウェーハダイシングマシン、

半導体工場向け搬送システム■ 医療・臨床： 義歯加工機、電動ファン付マスク、OCT、レンズエッジャー、超音波診断装置、ガン治療機、オートクレーブ対応医療機器、パワーアシストスーツ： ネイルアート用ハンドピース■ 計測・分析： LiDAR、電子顕微鏡、共焦点顕微鏡、鉄道軌道測定装置、表面粗さ計■ FA： レーザマーカ、ロボット用モータ、加工用スピンドル、光ディスク関連■ 美容■ Semiconductor Equipment:

Lithography Machines, Wafer Inspection Systems, Turbo Molecular Pumps, Wafer Dicing Machines,
Conveyance System for Semiconductor Factories■ Medical and Clinical Equipment:
Denture Processing Machines, Down Flow Masks for Virus Protection, OCT, Lens Edgers, Ultrasonic Diagnostic Systems,
Cancer Treatments, Autoclavable Medical Equipment, Robotic Exoskeletons■ Beauty and Cosmetic Equipment:
Handpieces for Nail Art■ Measuring and Analyzing Equipment:
LiDAR, Electron Microscopes, Confocal Microscopes, Railway Track Measuring Devices, Surface Roughness Testers■ Factory Automation and Robots:
Laser Marking Machines, Motors for Robots, Grinding Machines, Optical Disk Equipment※ 記載の製品内容は予告なく変更することがあります。ご不明な点がありましたらご連絡ください。
Technical data and products are subject to change without prior notice. For further information,please contact our sales representatives or our authorized agents.

〒276-0047 千葉県八千代市吉橋1811 - 3
TEL.047(458)7935 FAX.047(458)7962

E-mail: info@ccj.citizen.co.jp / https://ccj.citizen.co.jp/

1811-3, Yoshihashi, Yachiyo, Chiba 276-0047, Japan
Telephone : +81-47-458-7935 / Facsimile : +81-47-458-7962
E-mail: info@ccj.citizen.co.jp / https://ccj.citizen.co.jp/
2019.05