TH-1500HQ
高品位形サーマルフローメータ検出器
F-H-28-3

取扱説明書

4 版 2019 06 E
2 版 1999 01

この度は弊社高品位サーマルフローメータをお買い求め頂きましてありがとうございます。
この取扱説明書には、本機の標準仕様・設置方法・取り扱い上の注意事項等を記載しております。
本機を安全に正しくご使用頂くために必ずご一読願います。
また、本機をご使用になる前に組み合わせ変換器の取扱説明書も併せて必ずご一読願います。
変換器形式

該当取扱説明書番号

TRX-600

F-H-45

TRX-700

F-H-46

TRX-900

F-H-47

検出器と変換器および付帯機器との結線は弊社工番（銘板に記載のMFG. No.）ごとに行ってください。
この検出器と組み合わせが可能な変換器は、TRX-600、TRX-700、TRX-900です。

＜目次＞

TH-1500HQ
高品位形サーマルフローメータ検出器

目次

1. 本書の表記上のルール

1

2. 使用上のご注意13. 取扱い上の注意事項

23.1 形式と仕様確認

23.2 運搬についての注意事項

23.3 保管についての注意事項

23.4 設置場所

33.5 安全上のご注意

34. 概要44.1 概要

44.2 特長

44.3 標準仕様

44.4 検出器コード表

74.5 システム構成

75. 設置85.1 配管85.2 必要直管長さについて

85.3 サーマルフローメータの設置

96. 配線

96.1 検出器〜変換器間使用電線96.2 配線について

97. 運転98. 保守108.1 保守用機器

108.2 検出器抵抗チェック108.3 検出器抵抗異常時の故障内容について

108.4 検出器洗浄109. 測定原理

1110.流速・流量精度について

1211. 組み合わせ変換器形式コード一覧

13

11. 本書の表記上のルール
安全に関する表記
本書では安全に関する注意事項を次の表示によって区分しています。

本製品は工業計器としての用途にのみ使用し、その他の用途には使用しないでください。
材質についてこの表示を無視して誤った取扱いをすると、使用者が死亡または重傷を負う可能性が想定される内容を示しています。

この表示を無視して誤った取扱いをすると、本装置の破損または付帯設備等の物的損害の発生が想定される内容を示します。
一般情報に関する表記
本書では一般情報に関する注意事項を次の表示によって区分しています。

この表示は製品の取扱い上、必要不可欠な操作や情報を示しています。

この表示は本製品を安全・快適に使うために是非理解していただきたい内容を示しています。

（→P.○○）

注意事項とは別に参照していただきたいページがある場合に表示します。

2. 使用上のご注意
一般的注意事項

本製品は工業用計器として最善の品質管理のもとに製造、調整、検査を行い納入いたしております。みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、不適合や事故の原因となります。
改造や変更は行わないでください。
改造や変更の必要がある場合は当社までご連絡ください。

本製品の材質については納入仕様書に記載されています。
当社でもお客様の仕様をお伺いし最適な材質選定に努めておりますが、実際のプロセスにおいては混入物などもある場合があり、万全でないこともあります。最終的な耐食性、適合性のご確認はお客様の責任でお願いいたします。
保守、点検について

本製品を保守、点検などのためにプロセスから取り外す際は、測定対象物の計器内への残留に注意してください。測定対象物に腐食性や毒性がある場合は、作業者に危険がおよびます。

本製品の保守、点検については使用条件などによりその周期、内容が異なります。取扱説明書を参照するか、お客様が実際の運転状況を確認してご判断願います。
制御の安全性について

本製品は工業計器として最善の品質管理のもとに製造、調査、検査を行い納入いたしておりますが、各種の原因で不測の故障が発生する可能性もあります。安全上の重大な問題が発生する可能性のあるプロセスコントロールなどにおいて本製品を使用する場合は、万一に備えて本製品に加えて同様な機能を果たす機器を併設し、二重化を行うことにより一層の安全性を確保してください。

納入仕様書に記載された仕様、流体圧力、温度の範囲内での使用を厳守してください。この範囲を超えた条件での使用は故障、破損の原因となります。

運搬、保管の際に破損、故障のないよう、また水、ゴミ、砂などの混入のないようにご注意ください。

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23. 取扱い上の注意事項
高品位サーマルフローメータTH–1500HQシリーズ検出器
は、弊社が多くの実績をもつTHシリーズ熱式質量流量計をベースに開発した質量流量計です。本機は工場にて十分な検査を実施した後出荷しておりますが、念のため本機がお手元に届きましたら、まず始めに外観チェックを行い有害な損傷がないことをご確認ください。
本書は、高品位サーマルフローメータTH–1500HQシリー
ズ検出器の正しい取り扱い方法および使用上の注意事項について説明しております。実際にご使用になる前に必ずご一読のうえ、本流量計を正しく取り扱いください。また、本書はお読みいただいた後も大切に保管しておいてください。 尚、お問い合わせ事項等がありましたら、お買い求め先あるいは本書最終頁に記載の最寄り弊社営業所までご連絡願います。

3.1 形式と仕様確認
検出器本体側面のPICKUP銘板（図3.1 参照）に記載されております形式および工番（MFG. No.）と別送の納入仕様書仕様欄を対応させ、ご注文通りであることをご確認ください。
尚、お問い合わせの際は、このPICKUP銘板または納入仕様書に記載されております工番（MFG.No.）および形式（TYPE）をご連絡願います。
（＊工番は弊社受注製品の管理番号です。
）

FLOWMETERTAG NO.
MODEL
MFG. NO.
DATETOKYO KEISO CO., LTD
MADE IN JAPANPICKUP3.2 運搬についての注意事項
本製品は精密機器につき、運搬等における取り扱いには十分注意願います。運搬中の事故による損傷および検出器の汚染防止のため、なるべく弊社出荷時梱包状態のまま設置場所まで運搬願います。

3.3 保管についての注意事項
本機のような精密機器の場合、お手元に届いてから設置するまでの期間が長くなると、思いがけないことから腐食や電気系統の絶縁劣化等長期保管による不具合が発生することが考えられます。あらかじめ長期の保管が予測される場
合には、下記項目に配慮願います。
１） 流量計および付属ケーブル類はなるべく弊社出荷時の梱包状態にて保管してください。
２） 保管場所は、下記条件を満足するような場所を選定してください。
・雨や水のかからない場所
・振動や衝撃の少ない場所
・周囲温度：0〜60℃（急激な温度変化のない場所）
・湿度：80%RH以下
尚 、保管場所の温度・湿度は、できるだけ常温・常湿度（25℃、65%RH程度）にて保管願います。
３） 一度使用した流量計を保管する場合下記事項にご注意願います。
・検出器の汚染防止のため、なるべくクリーンルームまたはクリーンブース内にて梱包作業願います。
・センサー部の損傷を防ぐため、盲キャップ等でセンサー部を保護した後真空梱包等を行ってください。
また、検出器外周部は損傷を防ぐためエアーキャップ等の梱包材で保護願います。
（弊社出荷時の梱包状態に近い状態で保管願います。
）

TAG NO.
MODEL
MFG. NO.
TOKYO KEISO CO., LTD
MADE IN JAPAN図3.1 銘板の例

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33.4 設置場所

3.5 安全上のご注意

高品位サーマルフローメータは、厳しい環境条件下においても正常動作するように設計されておりますが日常点検および保守作業の容易な場所を選定して設置してください。
また、高精度かつ長期間安定してご使用頂くために下記事項を考慮して設置場所を決めてください。

１） サーマルフローメータのご使用中に煙が出たり、変なにおいや音がするなどの異常状態となった場合、直ちにAC電源を切り最寄りの弊社営業所にご連絡願います。異常状態のままご使用になりますと火災や感電の危険があります。また、お客様による修理は危険です
ので絶対にお止めください。

１） 周囲温度（周囲温度範囲：0℃〜60℃）
温度勾配や温度変化の大きい場所に設置することはできるだけ避けてください。プラントから放射熱や輻射熱などを受ける場合は、断熱処理を施したり風通しのよい場所選んで設置してください。
２） 雰囲気条件
腐食性雰囲気に設置することはできるだけ避けてください。尚、腐食性雰囲気中にて使用する場合は、風通しの良い場所やパージ環境の中でご使用ください。また、腐食性ガスが滞留するような場所においてご使用の場合には、長時間のご使用を避け、計測完了後速やかに腐食性雰囲気外の場所に移動させてください。

２） 検出器の分解および改造は、検出器の故障原因になりますので絶対しないでください。
３） 検出器の電気配線部に雨水が浸入しないように注意願います。感電や故障の原因になります。
４） サーマルフローメータのご使用中（電源ON状態）にセンサーパイプに手で触れたり、金物で触れたりしないでください。感電や故障の原因になります。
５） 検出器は重量物ですので、配管接続後、本体下部にある検出器固定用ネジ穴を用いてしっかり固定してください。

３） 衝撃・振動検出器は、衝撃や振動に対して強い構造に設計されていますが、できるだけ衝撃や振動の少ない場所に設置してください。
４） ノイズ
検出器をコンプレッサー、高圧電線、インバータ等のノイズ発生源の近くに設置することはできるだけ避けてください。サーマルフローメータ専用検出器〜変換器間ケーブルは二重シールド線を使用するなどノイズ対策を十分行っておりますがケーブルが長いとノイズの侵入する恐れがあります。
５） その他
本機の上に乗ったり、重量物を乗せたりしないでください。また、不安定な場所に設置しないでください。

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44. 概要
4.1 概要

近年、半導体製造技術の急速な発展に伴い、この分野に使用されるガス供給ラインの構成機器および部品（配管、継手、バルブ、計測機器等）は、非常に厳しい仕様および品質管理の要求が出されております。
高品位サーマルフローメータTH-1500HQシリーズは、このような半導体製造技術上の要求に応えるため弊社が多くの実績をもつTHシリーズ熱式質量流量計をベースに開発した気体用質量流量計です。高耐久性、低圧損、質量流量計測など従来の特長に加え、センサーシール部にハーメチックシールおよびメタルシール構造を採用し低リーク化を実現致しました。また、超高密度LSI製造工程において問題となるパーティクル・金属イオンおよびアウトガスを徹底的に取り除くため、接ガス部金属表面を綿密かつ均一な複合電解研磨処理および超精密洗浄を施しました。

4.2 特長１） ハーメチックシールおよびメタルシール構造の採用にを実現しま
より、低リーク（1×10‒9 atm cc/sec at He）した。
２） 一般的な分流型マスフローメータなどと異なりガス流路にバイパス部がなく全量通過構造となっているためデットスペースが小さく装置組み込み後でもN2 パージによる洗浄が可能です。
３） 検出器の構造が簡単なため、一般の配管と同じように複合電解研磨処理を行うことができ、均一でより綿密な内面処理をすることができます。また、特殊冶具などを使用して複合電解研磨処理を行う必要性がないため、一般のマスフローメータなどに比べ研磨コストが安価です。
４） Ｕ字センサーパイプ構造の採用により圧力損失は、検出器相当長さのパイプと同等の低圧力損失です。
（10mmAq）
以下。
５） 検出器は可動部がなく高耐久性です。また、接ガス部の表面粗度・部品洗浄・組立作業等に留意しパーティクルの発生を極小に抑えております。

4.3 標準仕様
標準仕様以外については、納入仕様書を参照願います。
《検出器仕様》
・対象測定ガス
Air、N2、O2、Ar、He、H2＊その他のガスについては弊社営業にお問い合
わせください。
・製作口径
15A、20A、25A
・流体温度	0℃〜120℃（検出器周囲温度0℃〜60℃）
・流体圧力
真空（13.3kPa）〜0.98MPa・圧力損失
10 mmAq以下
・材質 センサー部	アルミナセラミック（Al2O3）、コバール（Fe、Ni、Co合金：Niメッキ処理）
SUS316（センサーパイプ）本体
SUS316L（鍛造品）
・Heリーク値
1×10‒9 atm cc/sec at He
・シール方式
センサー：ハーメチックシール（BAu-4V真空機器用金ロー使用）	センサー／本体：テフロンコーティ
ングメタルＯリング
・接ガス部表面処理	センサー部以外の（センサーパイプ、セラミック、コバール部品を除く）
接ガス部をEP：複合電解研磨処理致します。
表面粗度：Rmax.≦0.7μｍ
・構造
防水密閉構造（IP65相当）
・接続規格	標準接続Ｉ開先（突き合わせ溶接タイプ）＊フランジ・VCR継手等その他の接続について
は納入仕様書を参照願います。
・精度	±2.0% F.S.
（TRX-600シリーズ変換器と組み合わせてご使用の場合）		±1.0％ F.S.
（TRX-700、TRX-900シリーズ変換器と組み合わせてご使用の場合）
・必要直管長	『5.２必要直管長さについて』
を参照願
います。
・組み合わせ変換器	TRX-600、TRX-700、TRX-900シリーズ変換器＊変換器詳細仕様にいては、組み合わせ変換器の取扱説明書およびテクニカルガイダンス等を参照願います。

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５０φ１００

項 目４０

ネジ深サ６③流れ方向は検出器本体側面に明示致します。

注記事項①検出器本体接ガス部は電解研磨処理致します。
（②変換器〜検出器間ケーブルは弊社所掌。

流れ方向

３０呼び口径×肉厚※検出器固定用ネジ穴位置

□□

式

２０２０□

９５１１５型処理：Ｒ０ ７μ以下）

１７５３５０※式
名番

ＴＨ−１５□□−１ＨＱ
検 出 器 外 形 図

東 京 計 装 株 式 会 社型品
図5F-H-28-3

型

１７８９２３４５６質μｍ以下）

式
名番

１１１１１１８４１１１２１ＴＨ−１５□□−１ＨＱ
検 出 器 構 造 図ＳＵＳ３１６ＳＵＳＦ３１６Ｌ

２個 数

東 京 計 装 株 式 会 社型品
図

本体
センサーパイプ

材
ＳＵＳ３１６Ｌ

センサー固定台（注記①参照）
メタルＯリング（注記②参照）
バックアップリング テフロン本体フランジ
ＳＵＳ３１６ＬＯリング押サエ
ＳＵＳ３０４Ｏリング（） フッ素ゴム
六角穴付ボルト
ＳＵＳ３０４六角穴付ボルト
ＳＵＳ３０４コネクター
ＺＤＣＯリング（） フッ素ゴム
コネクター固定台 ＳＵＳ３０４称

４５６７８９名

３品

２部
測定管ｔ

符 号ｔ目
１項ｔ

呼び口径×肉厚記①アルミナセラミック＋コバール（Ｎｉメッキ）の金・Ｎｉロー付け品。
②ＳＵＳ３２１（テフロンコーティング付き）③検出器本体接ガス部は電解研磨処理致します。（ＥＰ処理：．

注式

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74.4 検出器コード表
形式コード
TH−15ー
1
呼び口径
231
材質
F
接続規格

H Q

1F

内 容15A
20A25A＊標準その他
1開先その他＊標準材質は 4.3 標準仕様の材質欄を参照願います。

注）変換器形式コードおよび仕様については、組み合わせ変換器取扱説明書または、『11. 変換器形式コード表を参照願います。
』

4.5 システム構成

検出器

変換器

TH‒1500HQ

TRX‒600

専用ケーブル
最長 50m・ 瞬時流量表示
・ 積算流量表示
・ DC4〜20mA出力・ 積算パルス出力
・ RS-485デジタル出力
・ 温度補正用温度入力信号

TH‒1500HQ

TRX‒700（900）専用ケーブル
最長 100m・ 温度補正用
温度入力信号
・ 圧力補正用
圧力入力信号

・ 瞬時流量表示
・ 積算流量表示
・ DC4〜20mA出力（選択）・ 積算パルス出力
・ 流Hi、Lo警報（選択）・ 流量、異常警報（選択）・ RS-232Cシリアル出力
・ RS-485デジタル出力

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8

5. 設置
サーマルフローメータを設置する場合、3.4項『設置場所についての注意事項』
を参照願います。

5.1 配管１） サーマルフローメータの必要上下流直管長については、『5. 2 必要直管長さについて』を参照願います。
２） 管路の上流側にバルブを設置することはできるだけ避けてください。やむを得ずバルブを設置する場合はボールバルブやゲートバルブ等全開状態においてご使用願います。
３） 外気と配管内流体との温度差が大きい場合、配管内のガス自然対流の影響を受けやすくなるため、なるべく水平配管に設置してください。

5.2 必要直管長さについて配管にエルボ・バルブ・レジューサ等が取り付けられていると、管内の流れは管軸に対して非対称な流速分布になったり、二次流れが生じたりします。一般的な流量計の精度保証条件は、管路内の流速分布が完全に発達した乱流流速分布または層流流速分布を前提にしております。したがって、管内の流速分布が完全に発達した乱流流速分布または層流流速分布と異なる場合、精度の良い流量計を用いても大きな流量誤差を生ずる可能性があります。一般に配管形状によって生じた流れの変化は、配管の直径に換算して50〜100倍の長さを経てもまだ完全に除去されないといわれています。
尚、サーマルフローメータでは、流量校正時に上下流配管の影響を受けないよう上流側に整流器＋直管20Ｄ以上、下流側直管5D以上の直管部を設けて校正・検定を行っております。従って、サーマルフローメータを精度良くお使いいただくた
めに必要な最小上下流直管は、次の表に示すとおりです。
必要直管長90°ベント又はティー １ つ同一平面上にある２つ以上の90°ベント

同一平面上にない
２つ以上の90°ベント

収縮管
拡大管

玉形弁
全開

仕切弁
全開

20D

25D

40D

15D

22D

14D

注１）上記Lを流量計上流側必要直管長とし、管径Dの倍数で表す。
注２）流量計下流側必要直管長は、上記すべての継手類に対して、5Dとする。
注３）整流器付の場合には上・下流ともに3D以上の直管部を設けることを推奨致します。
但し、上流側にレジューサやバルブがある場合には上流側5D、下流側3D以上の直管部を設けてください。

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95.3 サーマルフローメータの設置
検出器を配管に接続する場合、下記項目にご注意願います。また、設置場所については、『3.4 設置場所』
を参照願います。
１） 検出器を突き合わせ溶接にて配管に接続する場合、必ず付属の溶接テストピースにて溶接条件のパラメータを出してから溶接してください。
２） 突き合わせ溶接に使用するアークガスおよびバックシールドガスは露点等が管理された超高純度ガスを使用し、シールドガスによる汚染および溶接部の酸化を防いでください。
３） 溶接時、検出器センサー部にあまり熱が加わらないように注意願います。必要に応じて検出器センサー部を冷却しながら溶接願います。
４） 標準の突き合わせ溶接タイプ以外の継手配管の場合、納入仕様書の接続欄にて継手の型式および呼び口径を確認してから配管ください。尚、メタルシールタイプの継手の場合、各継手メーカの接続要領書に従って配管してください。

6. 配線

6.1 検出器〜変換器間使用電線
変換器〜検出器間に使用しておりますケーブルは、弊社所掌の特殊専用ケーブルです。ご注文のケーブル長につきましては納入仕様書を参照願います。尚、ケーブル構造については下図に示します。

ෆ㒊ྠ㍈⥺㸦㯮㸧㸦ⰺ⥺PP㸧ྠ㍈እ㒊⦅⤌⥺PP㸦ⓑ㸧PP㸦㟷㸧PP㸦㉥㸧ࢣ࣮ࣈࣝࢩ࣮ࢫ㸦⅊㸧

PP㸦㏱᫂㸧እഃࢩ࣮ࣝࢻ⦅⤌⥺図6.1 ケーブル構造

6.2 配線について
１） 検出器の配線は防水構造の7Pコネクター接続となります。
（防水コネクターは、サーマルフローメータ付属品の専用ケーブルに接続されています。
）
尚、変換器側配線につきましては組み合わせる変換器により異なりますので、組み合わせ変換器取扱説明書を参照願
います。
２） 検出器コネクターは防水構造となっておりますが、オス／メスコネクターカップリング状態で防水仕様になります。従って、検出器屋外設置の場合は、検出器に専用ケーブルを接続しないまま放置しないでください。万一、コネクター内部に雨水などが浸入いたしますとケーブルまたはコネクターピンの腐食原因になります。もし、検出器設置後配線までに時間がかかるようでしたら、付属の盲キャップまたはビニール袋などで雨水などから検出器を保護願います。

7. 運転
高品位サーマルフローメータの運転については、組み合わせる変換器取扱説明書を参照願います。
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8. 保守
初期運転ならびに運転再開時における、サーマルフローメータ検出器の簡単なチェック方法について記載いたします。尚、変換器の結線およびチェック方法については、組み合わせ変換器の取扱説明書および納入仕様書を参照願います。また、以下のチェックにおいて異常が発見された場合、御面倒でも最寄りの弊社営業所または代理店までお問い合わせ願います。

8.1 保守用機器
本機の保守には、検出器抵抗測定用デジタルマルチメータなどの測定器が必要となります。尚、保守に用いる測定器については、機器性能を維持管理されたものをご使用ください。

8.2 検出器抵抗チェック
１） サーマルフローメータをすでにお使いの場合は、電源を切ってください。
＊電源を入れた状態で結線を取り外しますと変換器の故障原因になる恐れがありますので、結線を取り外す場合は必ず電源を切ってください。
２） 検出器より検出器〜変換器間専用ケーブルのコネクターを取り外します。
３） 下記検出器コネクターピン番号間の抵抗をデジタルマルチメータまたはテスターにて測定します。
＊検出器の抵抗チェックを行う場合、なるべく検出器単体にてチェック願います。
（専用ケーブルの抵抗を含まないようにしてください。
）
４） チェック終了後、コネクターを接続し電源を投入いたします。
（チェック完了）＊屋外で検出器のチェックを行う場合、検出器コネクター部に雨水などがかからないように注意してください。コネク
ターは防水仕様（オス／メスコネクターカップリング状態で防水仕様になります）
ですが、コネクター内部に雨水などが浸入いたしますとケーブルまたはコネクターピンの腐食原因になります。
・検出器コネクターピン間概略抵抗値

コネクターピン番号

コネクターピン番号
2－5
1－7

抵抗値
（Ω）
40±10※
0.4±0.2※

備考クロメル／アルメル熱電対抵抗
細管抵抗

2－1

106 以上細管〜熱電対間絶縁抵抗

1－検出器本体

610 以上細管〜検出器本体絶縁抵抗2－検出器本体

106 以上

熱電対〜検出器本体絶縁抵抗※印抵抗は、検出器呼び口径によって多少抵抗値が異なる場合があります。

8.3 検出器抵抗異常時の故障内容について①コネクターピン番2‒5の抵抗が∽の場合、熱電対断線または内部配線不良。
②コネクターピン番1‒7の抵抗が∽の場合、センサーパイプ破損または内部配線不良。
③コネクターピン番1‒2、1‒検出器本体および2-検出器本体間の抵抗値が1ＭΩ以下の場合、熱電対とセンサーパイプ間および内部配線の絶縁不良。
注）本
 機が変換器と組み合わせ使用中にトラブルが発生した場合は、上記検出器抵抗チェックおよび組み合わせ変換器の故障探索に従ってください。

8.4 検出器洗浄
本機は半導体製造ライン用流量計であるため、洗浄に対しては十分留意して実施しておりまが、万一検出器が汚染された
場合は、高純度不活性ガスパージによる洗浄を行ってください。尚、超純水による超精密洗浄を行いますとセンサーパイプが変形し流量特性が変わることがありますので絶対に行わないでください。
（センサーパイプが変形し流量特性が変わった場合は、再校正が必要となります。
）

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119. 測定原理
１）
測定原理
サーマルフローメータの原理構成を下図に示します。
流速検出部は2本の薄肉U字形状細管と熱電対で構成され、熱電対は細管（U字細管）の中心に挿入されています。
この流速検出用細管の一方に電流を流しジュール熱で加熱し、他方は加熱せずに流体温度と同じ温度条件にします。
この流速検出部を気流中に設置した時、気流の流速は加熱された細管より流体が奪っていく熱量の関数となります。
従って、発熱量と放熱量が等しいことから加熱・非加熱細管との温度差を熱電対で計測し、一定の温度差になるよう加熱電力を制御すれば、電力量より気体の流速を求めることができます。
（この計測方法は一般に定温度差法と呼ばれております。
）
尚、理論の詳細につきましては２）サーマルフローメータの理論式を参照願います。
ᗘᕪǼ7２）
動作原理
加熱した金属細管を気体中に置くとき、単位時間に金属細管が失う熱量Hは流速Uと加熱された金属細管と気体の温度差∆Tの関数となります。
H ＝（f U・∆T）
一方、金属細管がジュール熱により発生する熱量Wは金属細管電圧V、電流Iの積の関数です。
W ＝（f V・I）
金属細管が熱的に平衡状態にあるとき、発熱量と流体により持ち去られる熱量は等しいので、∆Tをサーボアンプにより一定となるようにすれば流速Uは電圧V、電流Iより求められます。
U=f（V・I）
流速Qは配管またはダクトの断面積をAとし、平均流速をUとすれば
Q=U・Aຍ⇕㟁ὶ㹇㸦3:0㸧となります。
ࢡ࣓ࣟࣝ⇕㟁ᑐ㠀ຍ⇕⣽࢔࣓ࣝࣝ⇕㟁ᑐ
ຍ⇕⣽⟶

ὶ㏿⇕㟁ᑐ

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1210. 流速・流量精度について（1）
サーマルフローメータ理論式
１）
流速（m/s）の場合
ν）・R2I4
U=A（∆T2・λ2・Pr2/3⑴（2）
流速・流量精度について
１）
流速（m/s）の場合
流体温度・圧力・成分に依存する物性値影響項は
ν222/3（ ∆T ・λ ・Pr ）となり、流体温度・圧力・成分変動の⑵際は精度に影響します。
また、上記項を流体温度・圧力影響項に分離すると次のようになります。

3２）
体積流量（m /h）の場合
ν）・R2I4
Q=B・K・（2∆T ・λ2・Pr2/3３）
体積流量（m3/h（nor））の場合µ）・R2I4
QNR=C・K・（∆T2・λ2・Pr2/30.10133⑶４）
重量流量（Kg/h）の場合
Q 重 =D・K・（µ）・R2I4
∆T2・λ2・Pr2/3[{ 0.10133+P }・{ ∆T ・l ・Pr ・r ・ 273 }]⑷

ただし、A, B, C, D ：定数
K ：	U M ＝K・U C すなわち配管中心
流速U C 〜管内平均流速U M 間の係数
ν ：動粘性係数µ ：粘性係数∆T ：設定温度差
l ：熱伝導率
Pr ：プラントル数
R ：細管抵抗I ：加熱電流ただし22µ2/3273+t0

P ：気体圧力（MPa）
t ：気体温度（℃）
r0 ：0℃、1atm 状態の密度２）
体積流量（m3/h）の場合
物性値影響項は前記１）と同様となります。なお流量指示の場合、サーマルフローメータが配管内部分流速検出形の流量計であるため、流速分布影響項（K）が精度に影響します。上記流速分布影響項（K）
は十分直管長がある場合、理論上配管内Re数に依存し、直管長が十分ない場合、サーマルフローメータ取り付け前後の配管状況に依存します。
ただし、サーマルフローメータは流量校正時に上記流速分布影響項（K）を考慮した校正方法を採用しているため十分直管長があれば流速分布影響項（K）を考慮する必要がありません。
（nor））の場合
３）
体積流量（m3/hµ物性値影響項は（ ∆T2・λ2・Pr2/3 ）となり、流体圧力影響は無視でき、流体温度・成分変動の際は精度に影響します。
流速分布影響項（K）については上記２）と同様です。
４）
重量流量（kg/h）の場合
上記３）と同様です。

F-H-28-3

1311. 組み合わせ変換器形式コード一覧
本機と組み合わせ可能な変換器形式コード一覧表を下記に示します。
TRX-600
TRX-6
温度補正（入力信号）

電源

形式コード−
0123123456

ケーブル長−

12345678Ｆ

配線接続口

1Ｆ

2Ｂパイプ取付金具
パージ制御入力
オプション基板（注）オプション機能が無い場合は空欄

パージ出力
接点出力

0Ｆ

内 容補正なし
Pt100Ω測温抵抗体
DC4~20mA温度信号
DC1〜5V温度信号
AC100V±10%
AC110V±10%
AC115V±10%
AC200V±10%
AC220V±10%
AC240V±10%5m10m15m20m25m30m40m50m
その他
G1/2
その他なし
あり
0パージ制御なし1オープンコレクタ
（標準）
2接点入力
0パージ制御なし
1O.C.＋接点出力
2O.C.＋AC電源出力
1 フロースイッチ2 異常警報出力（注）O.C.＝オープンコレクタ
TRX-700／TRX-900
形式コード
TRX− ① ② ③7①タイプ
90②温度・圧力補正14123456③ケーブル長
789Ａ
Ｆ

内 容
DIN96×96 パネルマウント
防水ハウジング、フィールド設置形
補正なし
温度補正
温度補正＋圧力補正
5m
10m
15m
20m
25m
30m
35m
40m
45m
50m
50m〜100m ※ケーブル長ご指示ください。

F-H-28-3

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