UCUF / SFC4000
超音波流量計IM-F1077-2

取扱説明書

3 版 2019 03 E
初版 2017 09 E

＿＿目次

■ 本書で使用しているマークについて .................. 35.

■ 使用上の一般的注意事項 .................................... 3
1.

概要 .................................................................. 42.

製品内容 ........................................................... 43.

一般的注意事項 ................................................ 5

4.

3.1

電源............................................................ 53.2

測定可能流体 ............................................. 5

設置 .................................................................. 74.1

検出器の設置 ............................................. 7

4.1.1

設置場所 ............................................. 74.1.2

配管上の取付位置 .............................. 74.2

変換器の設置 ............................................. 8

4.2.1

SFC4000 外形図 ................................ 84.2.2

設置場所 ............................................. 8

4.2.3

パネルへの取付方法........................... 94.3

配線.......................................................... 10

4.3.1

使用ケーブル ................................... 10

4.3.2

コネクタ 1 の配線 ............................ 11

4.3.3

コネクタ 2 の配線 ............................ 12

4.3.4

コネクタ 3 の配線 ............................ 12

運転 ................................................................ 13
5.1

運転準備 .................................................. 13

5.2

通電 ......................................................... 13

5.3

ゼロ点調整 .............................................. 145.4

運転中の表示 ........................................... 14

5.4.1

流量表示 .......................................... 14

5.4.2

ステータス表示 ................................ 15

5.4.3

動作表示 .......................................... 15

5.4.4

エラー表示 ....................................... 165.4.5

通信設定表示 ................................... 16

5.4.6

LCD バックライト .......................... 165.5
6.

運転中のエラー ....................................... 17

変換器の操作 ................................................. 18
6.1

操作・表示箇所 ....................................... 18

6.2

キー操作の基本的な説明 ......................... 19

6.3

モードの切替 ........................................... 20

6.4

ゼロ点調整 .............................................. 21

6.4.1

ゼロ点調整方法 ................................ 21

6.4.2

ゼロ点調整時のエラー ..................... 22

6.5

パラメータの設定方法 ............................ 23

6.5.1

設定モードのパラメータ構成 .......... 23

6.5.2

設定項目の選択 ................................ 24

6.5.3

パラメータの確認・変更 ................. 25

6.5.4

パラメータ更新 ................................ 27

6.5.5

パラメータ設定時の排他処理 .......... 28

6.5.6

無操作時の自動復帰 ........................ 28

6.6

パラメータ一覧 SFC4000 ..................... 29

7.

機能説明 ......................................................... 33
7.1

8.

日常点検......................................................... 55
8.1

チューブ継手、接続部の点検 ................. 55（1.FLOW SETTING） ..................................... 33

8.2

接続配管の点検 ....................................... 55

7.2

8.3

防水性の点検 ........................................... 55

8.4

検出器の点検 ........................................... 55

基本項目の設定

上下限警報の設定（2.ALARM SETTING） .................................. 39
7.3

積算機能の設定（3.TOTALIZATION） ..................................... 41
7.3.1

積算出力機能・各設定値の計算 ...... 41

7.3.2

積算機能の設定 ................................ 43

7.4

積算プリセットの設定（4.TOTAL PRESET） ..................................... 44
7.5

出力機能の設定（5.ALM/PLS OUTPUT）................................. 45
7.6

マニュアルリニアライザの設定（6.LINEARIZER） .......................................... 49
7.7

RS-485 MODBUS 通信の設定（7.COM SETTING） ....................................... 51
7.8

LCD 表示の設定（8.DISPLAY） ................................................. 52
7.9

設定中のエラー ....................................... 53

9.

エラーメッセージ一覧 ................................... 56

10. トラブルシューティング................................ 58

■ 本書で使用しているマークについて
本書では、安全上絶対にしないでいただきたいことや注意していただきたいこと、また取扱い上守っていただきたいことの説明に次のようなマークを付けています。これらのマークの箇所は必ずお読みください。

警告

この表示を無視して誤った取扱いをすると、使用者が死亡または重傷を負う可能性が想定される内容を示しています。

注意

この表示を無視して誤った取り扱いをすると、使用者が傷害を負う可能性や製品の破損または付帯設備等の物的損害の発生が想定される内容を示します。

注記

この表示は製品の取り扱い上、必要不可欠な操作や情報を示しています。

■ 使用上の一般的注意事項

警告

警告

警告

改造等の禁止本製品は工業用計器として厳密な品
質管理のもとに製造・調整・検査を行い納入しております。
みだりに改造や変更を行うと本来の性能を発揮できないばかりか、作動不適合や事故の原因となります。改造や変更は行わないでください。
仕様変更の必要がある場合は当社までご連絡ください。

警告

警告

使用条件の厳守
納入仕様書あるいはテクニカルガイ
ダンスに記載された仕様、圧力、温度の範囲内での使用を厳守してください。
この範囲を超えた条件での使用は事
故、故障、破損などの原因となります。
保守・点検
本製品を保守、点検などのためにプロセスから取り外す際は、測定対象物の計器内への付着に注意してください。
測定対象物に腐食性や毒性がある場
合は、作業者に危険がおよびます。

注意

3

用途
本製品は計器としての用途にのみ使用し、その他の用途には使用しないでください。
制御上の安全性
本製品は工業計器として最善の品質管理のもとに製造、調査、検査を行い納入いたしておりますが、各種の原因で不測の故障が発生する可能性もあります。安全上の重大な問題が発生する可能性のあるプロセスコントロールなど
において本製品を使用する場合は、万一に備えて本製品に加えて同様な機能を果たす機器を併設し、二重化を行う
ことにより一層の安全性を確保してください。
材 質
本製品の材質については納入仕様書
あるいはテクニカルガイダンスに記載されています。当社でもお客様の仕様をお伺いし最適な材質選定に努めておりますが、実際のプロセスにおいては混入物などの影響があり、耐食性等が万全でないこともあります。
耐食性・適合性のご確認、最終的な材質の決定はお客様の責任でお願いいたします。

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1. 概要UCUF シリーズ超音波流量計は、超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。接液部はすべて特殊グレードの PFA 成形品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすい O リングなどの機械的シール部分もありません。理想的なクリーン構造で、半導体装置などの高度なクリーン度を要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC4000 は UCUF 形検出器用のパネルマウント形変換器です。デジタルシグナルプロセッサ（DSP）
等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。表示・設定機能と通信機能を搭載しており、表示器を使用しながら通信を用いた集中管理が可能です。

2. 製品内容
SFC4000 は以下の内容で納入されます。不足・破損などがあった場合は速やかにお買い求め先へご連絡ください。
番号
1
2
3
4
5
6
7
8

内容
SFC4000 本体
UCUF センサ（注 1）
着脱式コネクタ・プラグ
着脱式コネクタ・プラグ
着脱式コネクタ・プラグ
パラメータリスト
検査成績書（注 3）
取扱説明書（注 3）

7 極（注 2）
5 極（注 2）3 極（注 2）

数量
1
1
1
1
1
1
（注 3）
（注 3）

注 1：UCUF センサはセット購入した場合に付属します。
注 2：SFC4000 本体に取り付けています。
注 3：ご要望に合わせて添付します。

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3. 一般的注意事項
3.1 電源注記

接続する電源は下記内容にご注意ください。
1） 電圧
DC24V±10%の電源を使用してください。
2） 他の電源との共用
電源は必ず計装用電源を使用し、動力用電源との共用は避けてください。
3） ノイズ近傍にインバータなどのノイズ源がある場合は、ノイズフィルタにより発生源側でノイズを確実に除去してください。
4） 瞬時停電
瞬時停電の無いようご注意ください。

3.2 測定可能流体

注記

本器では液体全般を測定できますが、下記の制限があります。
1） 流量
UCUF 形検出器のサイズによって測定できる流量範囲が決まっております。下記の表をご参照ください。
また、設定したフルスケール流量以上の測定（100%を超える測定）は保証しておりません。ご注意ください。

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・ 適合検出器・流量範囲（L/minの場合）
形式
UCUF-04B
UCUF-04K
UCUF-06K
UCUF-04E
UCUF-06E
UCUF-04M
UCUF-06M
UCUF-10K
UCUF-15K
UCUF-20K
UCUF-10M
UCUF-15M
UCUF-20M

流量レンジ（L/min）
最小
最大0 ~ 0.1
0 ~ 3.0
0 ~ 0.05
0 ~ 3.0
0 ~ 0.4
0 ~ 8.0
0 ~ 0.05
0 ~ 3.0
0 ~ 0.4
0 ~ 8.0
0 ~ 0.05
0 ~ 2.0
0 ~ 0.4
0 ~ 8.00 ~ 1.00 ~ 20.0
0 ~ 3.00 ~ 50.0
0 ~ 4.00 ~ 80.0
0 ~ 1.00 ~ 20.0
0 ~ 3.00 ~ 50.0
0 ~ 4.00 ~ 80.0

接続チューブサイズ
3/8 インチ
3/8 インチ
3/8 インチ
3/8 インチ
3/8 インチ
1/4 インチ
3/8 インチ
1/2 インチ
3/4 インチ
1 インチ
1/2 インチ
3/4 インチ
1 インチ

2） 音速
測定可能な流体音速は 400 ~ 2500 m/s です。この範囲外の流体は測定できません。ご注意ください。
3） 動粘度
設定可能な動粘度範囲は 0.3 ~ 40 mm2/s となっております。この範囲外の流体では正しい測定結果を表示できません。ご注意ください。
4） 固形物、気泡
SFC4000 は耐気泡、耐スラリー性能が向上していますが、多量に含まれるものは測定に適しません。ご注意ください。

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4. 設置4.1 検出器の設置
正しい測定を行うため、検出器の設置は下記の条件を考慮してください。

4.1.1

設置場所

注記

設置場所は下記の条件を考慮してください。
1） 周囲温度が 10°C～60°C で、直射日光の当たらない場所。
2） 誘導障害を受ける恐れの無い場所。動力機器の近くなどは避けてください。
3） 水滴や、腐食性ガスのない所。
4） 保守点検が容易にできる場所。

4.1.2

配管上の取付位置

注記

正しい測定を行うために、次の項目について考慮して取付位置の選定および取付を行ってください。
1） 測定管内が常に流体で満たされていること。
水平、垂直、斜めの配管いずれにも取付できますが、気泡がたまりにくい取付姿勢をお薦めします。
また、堆積や沈殿しやすい液体の場合は、液抜けのしやすい取付姿勢にしてください。
2） 開放配管に取り付ける場合は配管の低い部分に設置してください。
配管の高い部分に設置した場合満液にならない場合があります。
3） 検出器には流れ方向が矢印で示してありますので、流れ方向は必ず矢印の向きに合うように取り付
けてください。
4） 配管内の圧力が、大気圧（正圧）以上になるような位置に取り付けてください。
5） 流量調整バルブは検出器の二次側に設置することをお薦めめします。
流量調整バルブを検出器の一次側に設置すると減圧により、気泡が発生する場合があります。測定
管路内の気泡は超音波信号の減衰要素であり、測定不能となる場合があります。
6） ゼロ点の確認や保守点検を容易にするため、バイパス配管を設置してください。
7） 検出器の固定では入口、出口側接続配管の応力影響が無いようにしてください。
8） チューブ継手の接続については各継手メーカーの施工要領書に従ってください。

7

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4.2 変換器の設置
正しい測定を行うため、変換器の設置は下記の条件を考慮してください。

4.2.1

SFC4000 外形図

背面図

4.2.2

設置場所

注記

設置場所は下記の条件を考慮してください。
1） 周囲温度が 0°C~50°C で、直射日光の当たらない場所。
2） 周囲湿度 30~80%RH 以内（結露しないこと）。
3） 誘導障害を受ける恐れのない場所。動力機器の近くなどは避けてください。
4） 水没する恐れのない場所。
5） 背面端子にアクセスできる場所。必要な時に配線を調整できるようにしてください。

8

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4.2.3

パネルへの取付方法

変換器はパネル設置型です。
1） 計器パネルの適切な位置に 92(0~+0.8)mm×45(0~+0.6)mm のパネルカットをしてください。
取付可能パネル厚さは、0.8~5mm です。
また、変換器を並べて取り付ける際には最低左右 120mm、上下 70mm の間隔を空けてください。
2） 固定金具を変換器より外します。
3） 変換器をパネル前面から差し込みます。
4） 固定金具を変換器側面の固定用ガイドに合わせます。
5） 変換器の後ろ側からプラスドライバで固定金具の固定用ネジを締め込みます。両方のネジを交互に締め、変換器のフェースフランジがパネル面にぴったりになるように固定してください。

パネルカット寸法

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4.3 配線
SFC4000 の背面にケーブル接続用の端子が配置されています。コネクタ 1～3 は着脱可能です。
・ 端子配置図

コネクタ 2
端子番号
1
2
3
4
5

端子名

BNC コネクタ
内容

PULSE OUT（+）
パルス出力
PULSE OUT（-）
ALARM1 OUT（AL1）COM
警報出力×2
ALARM2 OUT（AL2）

端子

極性

内容

IN
OUT

流入側
流出側

センサ信号入力

コネクタ 1
端子番号

端子名

1
2
3
4
5
6
7

+24V
0V
FG
FLOW OUT（+）
FLOW OUT（-）
RESET IN（+）
RESET IN（-）

4.3.1

コネクタ 3
内容
電源 DC24V
接地

端子番号

端子名

1
2
3

RS-485（+）
RS-485（-）
SG

内容
RS-485 通信

瞬時流量出力
積算リセット入力（コネクタ 1～3 は着脱可能）

使用ケーブル1） 検出器－変換器間ケーブル
検出器と変換器の接続は、付属の BNC コネクタ付き専用同軸ケーブルを使用します。
BNC コネクタは変換器の IN（上流側）に赤、あるいは IN 表記のものを、OUT（下流側）に黒、あるいは OUT 表記のものを接続してください。
また、BNC コネクタは確実にロックしてください。
2） 電源および入出力用信号ケーブル
端子台の配線に使用するケーブルは、線径が 0.2mm2～1.5mm2（AWG24~16）の線材を使用し、先端の被覆は約 7mm 剥いてください。
また、線心は、端子台の奥まで深く差し込んでネジ止めしてください。

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4.3.2コネクタ 1 の配線

コネクタ 1 の配線において電源の接続は必須ですが、瞬時流量出力・積算リセット入力機能を使用しない場合は配線しなくても流量計測を行います。接地端子は流量計測に必須ではありませんが、耐ノイズ性の観点から接続をお薦めします。
1） 電源の接続
電源はコネクタ 1 の 1（+24V）、2（0V）に接続してください。
注意

下記の点をご確認の上電源を接続してください。守られない場合流量計の動作に支障が出る可能性、破損の可能性があります。
・ 接続しようとする電源電圧が DC24V±10%であることを確認してください。電源仕様が合わない場合破損の可能性があります。
・ 電源は必ず計装用電源などを使用し、動力用電源と共有することは避けてください。
・ 変換器の立ち上げ時、200mA の電流を消費します。使用する台数分の電流を確保してください。
2） 接地端子の接続
接地端子はコネクタ 1 の 3 に接続してください。
本器は接地端子を接地することが CE 適応の条件です。
（D 種接地以上）

3） 瞬時流量出力の接続
瞬時流量出力機能を使用する場合、受信計器をコネクタ 1 の 4（+）、5（-）に接続してください。許容負荷抵抗は出力タイプで変わります。
・ 電流出力タイプ（4-20mA 出力）：許容負荷抵抗 500Ω以内
・ 電圧出力タイプ（0-10V・1-5V・0-5V 出力）：
許容負荷抵抗 1MΩ以上4） 積算リセット入力の接続
積算値を外部よりリセットする場合、コネクタ 1 の 6（+）、7（-）に接点（無電圧入力）を接続し短絡してください。
・ 接点が閉じたままの状態では正しくカウントされません。
・ リセット入力に電圧を加えると破損の可能性があります。

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4.3.3コネクタ 2 の配線

コネクタ 2 の出力機能はすべてオープンコレクタタイプで、接点定格は DC30V、20mA 以内です。機
能を使用しない場合は配線しなくても流量計測を行います。
注意

SFC4000 のオープンコレクタ出力は電流制限抵抗を内蔵していません。
受信計器を接続する際には必ず電流制限してください。
1） パルス出力（オープンコレクタ）の接続
受信計器を PULSE OUT の（+）、（-）に接続してください。
パルス出力の設定は「7.2

上下限警報の設定」、「7.3積算機能の設定」、「7.5 出力機能の設定」をご参照ください。

2） 警報出力 1（オープンコレクタ）の接続
受信計器を ALARM1 OUT の（AL1）、（COM）に接続してください。（COM）端子は警報出力 2 と共用になります。
警報出力 1 の設定は「7.2 上下限警報の設定」、「7.4 積算プリセ
ットの設定」、「7.5 出力機能の設定」をご参照ください。

3） 警報出力 2（オープンコレクタ）の接続
受信計器を ALARM2 OUT の（AL2）、（COM）に接続してください。（COM）端子は警報出力 1 と共用になります。
警報出力 2 の設定は「7.2 上下限警報の設定」、「7.4 積算プリセ
ットの設定」、「7.5 出力機能の設定」をご参照ください。

4.3.4

コネクタ 3 の配線

コネクタ 3 は RS-485 通信機能です。
機能を使用しない場合は配線しなくても動作します。
通信線を（+）、（-）、通信グラウンドを（SG）に接続してください。
通信の設定は「7.7 RS-485

MODBUS 通信の設定」をご参照ください。

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5. 運転本器は納入に先立ち、ご指定の仕様に基づいてデータ設定・調整がなされております。
取付および配線が完了した後、本章の手順に従って操作していただければ、流量表示と電流およびパルスの流量信号が得られます。万一、運転開始時に不具合が生じた場合は本章と「7. 機能説明」を参照の上、設定パラメータの確認を行ってください。
また、特にご指定のない機能については標準設定値に設定されておりますので、必要に応じて設定パラ
メータの変更を行ってください。

5.1 運転準備取付および配線が完了しましたら、電源投入前に次の点をいま一度必ず確認してください。
1） 配線

注意

・ 電源および出力端子の配線に誤りの無いこと。
・ ケーブルが確実に端子に接続されていること。
・ 接地が確実に行われていること。
・ 検出器と変換器が正しい組合せで接続されていること。
・ 電源電圧が仕様と合っていること。
2） 検出器の取付

注記

・ 流れ方向と流れ表示矢印が一致していること。
・ 配管との接続が確実にされていること。
3） 検出器通水

注記・ 検出器測定管路内を満液状態にして、流体を静止させてください。
・ この際、バルブにリークがなく、完全に流体が静止していることを確認してください。
・ また、気泡の発生や溜まり部がないことも確認してください。
・ 気泡が溜まっている場合はしばらくブローして、完全に気泡を除去してください。

5.2 通電1） 変換器に通電してください。
2） 規定の性能を満足させるため、通電後約 15 分間ウォームアップしてください。
パラメータの変更を行う場合は、本章と「7. 機能説明」を参照してください。

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5.3 ゼロ点調整

注記

SFC4000 は初めて計測を行う前に必ずゼロ点調整を実施する必要があります。ゼロ点調整を行うには、
フロントパネルの SHIFT / ●ZERO キーを 3 秒間長押ししてください。詳細は「6.4.ゼロ点調整」で説明します。
ゼロ点調整の前に下記の内容を満たしていることを確認してください。
・ 正しく超音波センサが設置されていること
・ 超音波センサが満液状態であること
・ 測定管路の流体が完全に静止していること

5.4 運転中の表示
SFC4000 は運転中、LCD に瞬時流量・積算流量と現在の状態を表示します。

5.4.1

流量表示

流体を流し、運転を開始すると下記のような表示になります。瞬時流量表示・瞬時流量／積算流量表示
は SHIFT キーを短押しすることで切り替えることができます。
・ 瞬時流量表示_____98.43%__1968.60mL/min

上段：瞬時流量の%FS 表示
下段：瞬時流量の実流量表示

・ 瞬時流量／積算流量表示__1968.60mL/min____4050 X10 L

上段：瞬時流量の実流量表示
下段：積算流量を表示

通水しているにも関わらず流量がゼロ表示のまま、あるいは流量表示に“－”が表示された場合は流れ方向が逆になっている可能性があります。以下の点について確認してください。
・ 検出器の取付方向（流れ方向マーク）が流体の流れ方向と一致していること。
・ 検出器のコネクタが変換器の接続位置（IN / OUT）と一致していること。

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5.4.2

ステータス表示LCD 表示左端にはステータス情報が表示されます。LED 表示および ALM1・ALM2 出力と合わせる

ことでどのステータスが働いているか確認することができます。
・ ステータス表示例

H____98.43%_____
A_1968.60mL/min

5.4.3

上段：ALM1 のステータス情報を表示
下段：ALM2 のステータス情報を表示

No.

ステータス情報

表示記号

1
2
3
4
5

上限警報
下限警報
積算プリセット A
積算プリセット B
なし／正常

H
L
A
B
空白

動作表示

流量測定が正常に行われている場合、LCD 表示画面右側に動作表示をさせることが出来ます。動作表示の設定は「7.8

LCD 表示の設定（8.DISPLAY）」をご参照ください。

・ 正常測定時の“＊”点滅_____98.43%____*__1968.60mL/min

正常測定時、右側上段に＊が点滅する。

・ 正常測定時の“－”スクロール_____98.43%______1968.60mL/min-

正常測定時、右側に－が下から上にスクロール表示する。

・ 正常測定時の動作表示無し_____98.43%______1968.60mL/min

右側に何も表示しない

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5.4.4

エラー表示

運転中に何らかのエラーが発生した場合は、LCD 表示にエラーメッセージを表示します。エラーの詳しい内容は「5.5.運転中のエラー」をご参照ください。
・ エラーメッセージ表示例

空検知エラーの場合__1968.60mL/min
SIGNAL LOSS

5.4.5

通信設定表示上段：流量情報を表示
下段：エラーメッセージを表示

注記

SFC4000 は運転中に UP キーと DOWN キーを同時に押下することで RS-485

MODBUS 通信の設定

内容を表示することが出来ます。通信のアドレス・速度などの設定方法は「7.7 RS-485 MODBUS 通信の設定（7.COM SETTING）」を、通信仕様は SFC4000 通信仕様書（別紙）をご覧ください。

・ 通信設定表示例[01]__Ver_1.0.0
57600_Even____00
上段左：アドレス、上段右：バージョン情報
下段左：通信速度、下段中：パリティ、下段右：サイレントインターバル

5.4.6

LCD バックライト

注記

SFC4000 には LCD バックライトセーバー機能が搭載されており、無操作で一定時間経過するとバックライトが自動消灯します。再点灯はフロントパネルのボタンいずれかを押下してください。
また、LCD バックライトの輝度調整も可能です。
LCD バックライトセーバー機能の使用・不使用、自動消灯する時間の設定、LCD バックライトの輝度調整を行う場合は「7.8 LCD 表示の設定（8.DISPLAY）」をご参照ください。

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IM-F1077-2

5.5 運転中のエラー
運転中何らかのエラーが発生した場合、LCD 表示器にエラーメッセージが表示されます。異常内容を確認後、それぞれのエラー対応方法を実施してください。
・ 運転中のエラーメッセージ
No.
1
2
3
4
5

6

7
8

9

エラー表示
（内容）
SIGNAL ABNORMAL（波形異常）FIT ABNORMAL（ゼロクロス取得異常）
SIGNAL SHIFT（一波ズレ発生）NO STABLY(RTN)

原因と対応方法

波形の取得が不安定です
・センサ管路内に気泡が混入・滞留している可能性があります→気泡が混入・滞留していないか確認してください
・薬液の物性・温度が測定範囲から外れている可能性があります→薬液の物性・温度が測定範囲内か確認してください
・センサ種類の設定が正しくない可能性があります→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・センサが劣化している可能性があります（波形探索時の波形が不安定）→センサを交換して動作を確認してください
NO ADJ(RTN)
超音波波形が検出できません（波形探索時に波形無し）
・センサが正しく接続されていない可能性があります
SIGNAL LOSS
→センサの接続を確認してください。
SIGNAL ERROR
・センサの管路が満液でない可能性があります→センサの管路が満液状態か確認してください
・センサの設定が正しくない可能性があります（波形無し）→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・センサが劣化している可能性があります
AGC ERROR→センサを交換して動作を確認してください
流量計の動作が不安定です（波形振幅範囲外）
・流量計が一時的に不安定になっている可能性があります。
HARD ERR ～→電源を入れ直してください（ハードウエアエラー）
それでもエラーが解消しない場合はご連絡ください
流量の計算結果が異常です
FLOW SPEED ERR
・センサ種類の設定が正しいか確認してください→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・流量計の動作が異常な可能性があります（流速異常）→電源を入れ直してください
それでもエラーが解消しない場合はご連絡ください

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6. 変換器の操作
本流量計は納入に先立ち、ご指定の仕様に基づいてデータ設定・調整を行っておりますが、特にご指定のない機能については標準設定値に設定されております。
流量レンジや流量計パラメータを変更する場合はこの章を参照して各種パラメータの調整を行ってください。

6.1 操作・表示箇所

1

2

No.

名称

①

表示器
ENTER キー②
●MENU キー
③

UP キー

④

DOWN キーSHIFT キー⑤
●ZERO キー⑥

警報動作表示ランプ

3

4

5

6

機能
測定モード：瞬時流量・積算流量・状態を表示
設定モード：設定パラメータの表示
測定モード：機能しない
設定モード：メニューの移行、決定
測定モード：3 秒長押しで動作。設定モードに移行する
設定モード・3 秒長押しで動作。測定モードに移行する
測定モード：機能しない
設定モード：パラメータの切り替え・数値増加
測定モード：機能しない
設定モード：パラメータの切り替え・数値減少
測定モード：瞬時流量%表示・積算流量表示の切り替え
設定モード：パラメータ変更位置の移動測定モード：3 秒長押しで動作。ゼロ点調整を実施する
設定モード：パラメータ変更位置の移動
警報出力時に点灯。点灯色：橙

注 1）逆流時の時流量表示はマイナス表示かゼロ（低流量カット機能を使用した場合）になります。
注 2）●のあるキーは 3 秒長押しで機能が変わります。

18

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6.2 キー操作の基本的な説明
本流量計は 4 つのキーと、●が書かれた 3 秒長押しで動作する 2 つのサブキーで設定を行います。ゼロ
点調整を行う場合は SHIFT / ●ZERO キーを長押し、パラメータを変更する場合は ENTER / ●MENU
キーを長押しすることでそれぞれのモードに切り替わります。
注記

ゼロ点調整に失敗した場合や設定値が正しくない場合はエラーメッセージが表示されます。エラー内容をご確認いただき再度調整を行ってください。
・ 各種キーの機能
キー名称
ENTER /●MENU キー

動作状態
測定モード

設定モード
短押し：パラメータ、数値の決定。パラメータ
メニューの移行3 秒長押し：設定の終了。測定モードに移行
SHIFT＋ENTER：上の階層に戻る。

3 秒長押し：設定モードに移行

UP キー
パラメータの切替
設定数値のアップ変更
DOWN キー

UP+DOWN：通信設定を表示
パラメータの切替
設定数値のダウン変更

SHIFT /
●ZERO キー 短押し：流量%FS 表示と積算表示の切り替え
3 秒長押し：ゼロ点調整モードに移行

19

数値変更位置の移動

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6.3 モードの切替
SFC4000 は通常時の「測定モード」、設定を確認・変更する「設定モード」、ゼロ点調整を行う「ゼロ点調整モード」の 3 つのモードがあり、キー操作でモードを切り替えられます。
自動終了

長押し
電源投入

測定モード

ゼロ点調整モード

前の設定で測定継続

設定モード
長押し

長押し

更新の確認
1） 測定モード
通常時の動作モードで、あらかじめ変換器に設定されたデータ（条件）により流量を測定し、その結果を表示・出力します。表示および出力内容は設定モードで変更できます。
2） ゼロ点調整モード
SHIFT / ●ZERO キーを 3 秒長押しすることでこのモードに切り替わります。
ゼロ点調整モードでは超音波測定の最適化と流量のゼロ点調整を行います。初めて計測を行う時、設置
場所を変えた時、測定対象を変えた時などはゼロ点調整を行ってください。ゼロ点調整モードは自動終了
し、更新の確認画面が表示されます。ゼロ点調整中の出力は通常時と異なります。設備側で出力を監視している場合などは異常検出されないようにした上でゼロ点調整を行ってください。
3） 設定モード
ENTER / ●MENU キーを 3 秒長押しすることでこのモードに切り替わります。
設定モードでは変換器の各種パラメータを確認・設定することが出来ます。設定モード内では更新前の設定で測定・出力を続けます。設定を終了・更新後に変更内容が測定・出力に反映されますので、設備側で出力を監視している場合などは異常検出されないようにした上で設定変更してください。
設定モード内のどこからでも ENTER / ●MENU キーを長押しすることで設定モードは終了し、更新の確認画面が表示されます。
4） 更新の確認
ゼロ点調整モード、設定モードの終了後に確認画面が表示されます。調整内容を更新する場合は“OK”を選択して ENTER / ●MENU キーを押してください。設定が書き換わり、パラメータ変更内容に応じた測定結果に切り替わります。
“CANCEL”を選択して ENTER / ●MENU キーを押した場合は以前の設定値のまま変更されません。

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6.4 ゼロ点調整

注記

SFC4000 では初めて計測を行う前に、必ずゼロ点調整を実施する必要があります。調整の前に下記の内容を満たしていることを確認してください。
・ 正しく超音波センサが設置されていること
・ 超音波センサが満液状態であること
・ 測定管路の流体が完全に静止していること

6.4.1

ゼロ点調整方法

・ ゼロ点調整開始
ゼロ点調整はフロントパネルの SHIFT / ●ZERO キーを 3 秒間長押
し し て く だ さ い 。 LCD 表 示 内 容 が 変 わ り 、 LCD 上 段 に “ ZERO

ZERO ADJUST ?
CANCELADJUST ?”、下段に“CANCEL”と表示されます。
ここで“CANCEL”のまま ENTER / ●MENU キーを押下すると、ゼロ点調整を中止し測定モードに戻ります。ゼロ点調整を実施する場合は UP キー・DOWN キーで“OK”を選択し、ENTER / ●MENU キーを押下してください。
・ ゼロ点調整中の表示
ゼロ点調整を開始すると LCD 上段に“Now Adjusting”と表示され、下段にはゼロ点調整の進捗に合わせて“*”が増加していきます。

Now Adjusting*****

・ ゼロ点調整の完了・更新の確認
ゼロ点調整に成功した時は更新の確認画面に替わり、LCD 上段に“DATA RENEWAL ?”、下段に“CANCEL”と表示されます。

DATA RENEWAL ?
CANCEL

ゼロ点調整結果を更新する場合は“OK”を選択、更新しない場合は“CANCEL”を選択して ENTER / ●MENU キーを押下してください。選択結果を反映して測定モードに戻ります。
・ ゼロ点調整の失敗
ゼロ点調整に失敗した場合は LCD 上段に“ADJUST ERROR”、下段にエラー原因が表示されます。ENTER / ●MENU キーを押下するとADJUST ERRORSIGNAL LOSS

ゼロ点調整結果は更新せずに測定モードに戻ります。「6.4.2 ゼロ点調
整時のエラー」でエラー内容と対応方法をご確認ください。

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6.4.2

ゼロ点調整時のエラー

ゼロ点調整中、超音波信号をうまく捕らえられない場合やセンサが外れている場合は、ゼロ点調整を中止し、LCD 上段に“ADJUST ERROR”、下段にエラー内容が表示されます。異常内容を確認後、それぞれのエラー対応方法を実施の上再度ゼロ点調整を行ってください。
・ ゼロ点調整エラー例：SIGNAL LOSS の場合

ADJUST ERRORSIGNAL LOSS

上段：“ADJUST ERROR”を表示
下段：エラー内容“SIGNAL LOSS”を表示

・ ゼロ点調整中のエラーメッセージ
No.
1
2
3
4
5

6

7
8

9

エラー表示
（内容）
SIGNAL ABNORMAL（波形異常）FIT ABNORMAL（ゼロクロス取得異常）
SIGNAL SHIFT（一波ズレ発生）NO STABLY(RTN)

原因と対応方法

波形の取得が不安定です
・センサ管路内に気泡が混入・滞留している可能性があります→気泡が混入・滞留していないか確認してください
・薬液の物性・温度が測定範囲から外れている可能性があります→薬液の物性・温度が測定範囲内か確認してください
・センサ種類の設定が正しくない可能性があります→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・センサが劣化している可能性があります（波形探索時の波形が不安定）→センサを交換して動作を確認してください
NO ADJ(RTN)
超音波波形が検出できません（波形探索時に波形無し）
・センサが正しく接続されていない可能性があります
SIGNAL LOSS
→センサの接続を確認してください。
SIGNAL ERROR
・センサの管路が満液でない可能性があります→センサの管路が満液状態か確認してください
・センサの設定が正しくない可能性があります（波形無し）→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・センサが劣化している可能性があります
AGC ERROR→センサを交換して動作を確認してください
流量計の動作が不安定です（波形振幅範囲外）
・流量計が一時的に不安定になっている可能性があります。
HARD ERR ～→電源を入れ直してください（ハードウエアエラー）
それでもエラーが解消しない場合はご連絡ください
流量の計算結果が異常です
FLOW SPEED ERR
・センサ種類の設定が正しいか確認してください→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・流量計の動作が異常な可能性があります（流速異常）→電源を入れ直してください
それでもエラーが解消しない場合はご連絡ください

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6.5 パラメータの設定方法
測定モードで ENTER / ●MENU キーを 3 秒間長押しすると設定モードに移行します。
注記

測定モードから設定モードに切り替わる際に、“PASSWORD CHECK”と表示される場合はパスワードロックがかけられています。設備管理者などにパスワード番号をお聞き願います。

6.5.1

PASSWORD CHECK####

設定モードのパラメータ構成

設定モード内のパラメータは階層化されており、設定項目の選択後、個々のパラメータの設定を確認・変更することが出来ます。
設定項目からパラメータ設定に移行するには ENTER / ●MENU キーを短押ししてください。逆にパラメータ設定から設定項目に戻る時は SHIFT キーを押しながら ENTER / ●MENU キーを短押しします。
また、設定モード内のどこからでも ENTER / ●MENU キーを 3 秒長押しすることで設定作業を終了で
きます。
測定モード
長押し
設定モード
短押し
パラメータの設定項目の選択

確認・変更
＋

短押し

長押し
更新の確認

測定モード

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6.5.2

設定項目の選択

パラメータ設定モードでは、始めに設定メニューの選択画面が表示されますので、設定したいメニュー
項目を UP・DOWN キーで選択し、ENTER / ●MENU キーを押下してください。パラメータ入力メニューに変わります。また、設定を終了したい場合は ENTER / ●MENU キーを長押ししてください。設
定更新メニューに移行します。

UP キー、DOWN キーを押して設定したいメ
ニュー項目を選択してください。メニュー項

CONFIGURATION
1.FLOW SETTING

目は循環表示するようになっています。
設定したいメニュー項目の選択後、ENTER /●MENU キーを短く押すことでパラメータの変更画面に移行します。

CONFIGURATION
2.ALARM SETTING

また、ENTER / ●MENU キーを長押しすることで更新の確認に移行します。

CONFIGURATION
3.TOTALIZATION
短押し

CONFIGURATION
4.TOTAL PRESETSENSOR SIZE
04K
パラメータ変更画面に移行する

CONFIGURATION
5.ALM/PLS OUTPUT
長押し

CONFIGURATION
6.LINEARIZER

DATA RENEWAL ?
CANCEL
更新の確認に移行する

CONFIGURATION
7.COM SETTING

CONFIGURATION
8.DISPLAY

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選択できる設定項目は次の 8 項目に分かれています。
1.FLOW SETTING
測定の基本的な設定を行います。
2.ALARM SETTING
上下限警報の設定を行います。
3.TOTALIZATION
積算機能の設定を行います。
4.TOTAL PRESET
積算プリセット機能の設定を行います。
5.ALM/PLS OUTPUT
アラーム出力端子・パルス出力端子から出力する内容を設定します。
6.LINEARIZER
流量の合わせこみを行います。
7.COM SETTING
通信仕様を設定します。
8.DISPLAY
LCD 表示の設定を行います。

6.5.3

パラメータの確認・変更

メニュー項目の変更後、パラメータの設定画面に移ります。ENTER / ●MENU キーで設定したいパラ
メータを選択し、UP・DOWN・SHIFT キーを使いパラメータを選択、又は数値を変更してください。
ENTER / ●MENU キーで次のパラメータに移ります。
パラメータの設定が終わり、別のメニュー項目を変更する際には SHIFT キーを押しながら ENTER / ●MENU キーを押してください。メニュー項目の選択画面に戻ります。
設定を終了したい場合は ENTER / ●MENU キーを長押ししてください。設定更新メニューに移行します。
パラメータ変更方法は 2 通りあり、パラメータを選択するものと、パラメータ値を入力するものがあります。

25

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1） パラメータを選択する場合例）ALM1 出力の設定〔ALM1 OUTPUT〕
UP キー、DOWN キーを押してパラメータを選択してください。
選択パラメータは循環します。所望のパラメータを選択して ENTER キーを押して設定

ALM1 OUTPUT
None

してください。ENTER キーを押すと次のパラメータ項目に移行します。
SHIFT キーを押しながら ENTER キーを押ALM1 OUTPUT
High

すことで設定メニュー選択画面に戻ります。
また、ENTER キーを長押しすることで設定を終了し、更新の確認に移行します。

ALM1 OUTPUT
Low＋

ALM1 OUTPUT
Total Preset A

短押し

CONFIGURATION
5.ALM/PLS OUTPUT
設定メニュー選択画面に移行する

短押し

長押し

ALM1 CONTACTNODATA RENEWAL ?
CANCEL

次のパラメータに移行する

更新の確認に移行する

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2） パラメータ値を入力する場合例）動粘度の設定〔KINEM VISCOSITY〕

KINEM VISCOSITY
01.000 mm2/s

KINEMKINEMVISCOSITY
KINEM
KINEM
KINEM
VISCOSITY
KINEM
KINEM
KINEM
VISCOSITY
VISCOSITYKINEM
VISCOSITY
VISCOSITY
VISCOSITY
VISCOSITYKINEM
VISCOSITY
VISCOSITY
11.00mm2/s
21.00mm2/s
31.00mm2/s
41.00mm2/s
51.00mm2/s
61.00mm2/s
71.00mm2/s
81.00mm2/s
91.00mm2/s
01.00mm2/s

KINEM VISCOSITY
01.000 mm2/s

カーソルが点滅している桁の数値を UP キー、DOWN
キーで変更します。
数値は UP キーで増加し、“9”まで行くと“0”に戻KINEM VISCOSITY
01.000 mm2/s

り、DOWN キーで減少し“0”から“9”に移ります。
カーソルは SHIFT キーを押すことで下の桁に移動し、最小桁で SHIFT キーを押すと最大桁に戻ります。

KINEM VISCOSITY
01.000 mm2/s

所望の数値に設定後、ENTER キーを押して設定してください。次のパラメータ項目に移ります。
SHIFT キーを押しながら ENTER キーを押すことで設
定メニュー選択画面に戻ります。また、ENTER キー

KINEM VISCOSITY
01.000 mm2/s

短押しを長押しすることで設定を終了し、更新の確認に移行
します。

＋

短押し

長押し

K_FACTOR
1.000

CONFIGURATION
5.ALM/PLS OUTPUTDATA RENEWAL ?
CANCEL

次のパラメータに移行する

設定メニュー選択画面に更新の確認に移行する

移行する

6.5.4

パラメータ更新

設定モード内のどこからでも ENTER / ●MENU キーを長押しすると パ ラ メ ー タ 更 新 の 確 認 画 面 に 移 行 し ま す 。 UP 、 DOWN キ ー でDATA RENEWAL ?
CANCEL“CANCEL”か“OK”を選択し、ENTER / ●MENU キーを押してください。
“CANCEL”を選択した場合は設定が更新されず、設定メニューに入る前の設定値に戻ります。
“OK”を選択した場合は設定が更新され、それに合わせた流量・出力等に切り替わります。

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6.5.5

パラメータ設定時の排他処理

SFC4000 は通信機能を用いても各種設定の確認・変更、測定状態の確認などを行えます。
設定の更新がパネル操作と通信機能で同時に行った場合パラメータの誤設定が生じるため、これを防止するために排他処理を行っています。
通信機能の使用中に SFC4000 のパネル操作で測定モードから設定モードに移行した場合には、通信機
能が使用中であるメッセージを表示します。

COM Connected
Read-Only mode

この状態での設定モードは読込み専用モードとなり、各種設定の確認は行えますが変更はできません。
設定の変更を行おうとすると、LCD 下段に“Read-Only mode”とエラーメッセージを表示します。
上段：確認中のパラメータ。例ではフルスケール設定

FULL SCALE
Read-Only mode

6.5.6

無操作時の自動復帰

下段：読み込み専用モードを示すエラー表示

注記

設定モードに移行した後、無操作状態が一定時間続くと測定モードに自動復帰します。この時設定中のパラメータは更新されず、以前の設定値に戻ります。
無操作時の自動復帰時間を調整する場合は「7.8

LCD 表示の設定（8.DISPLAY）」をご参照ください。

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6.6 パラメータ一覧

SFC4000

・ 設定メニュー
UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲：LCD 下段
基本項目の設定
1.FLOW SETTING
上下限警報の設定
2.ALARM SETTING
積算機能の設定
3.TOTALIZATION
積算プリセットの設定
4.TOTAL PRESET
出力機能の設定
5.ALM/PLS OUTPUT
マニュアルリニアライザの設定
6.LINEARIZER
RS-485 MODBUS 通信の設定
7.COM SETTINGLCD 表示の設定
8.DISPLAY

パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段

設定メニューの選択
CONFIGURATION

1.FLOW SETTING

基本項目の設定パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
検出器
SENSOR SIZE
フルスケール流量
FULL SCALE
動粘度
KINEM VISCOSITY
K ファクタ
K_FACTOR
時定数TIME CONSTANT
低流量カットオフの使用可否
LOW CUTOFF
低流量カットオフの設定
LOW CUTOFF

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段
04B,04K, 06K, ,10K,15K,20K
04E,06E, 04M,06M,10M-1, 15M,20M, 10M-2
00.001~65535（口径毎の制限あり）##.###, ###.##, ####.#, #####

m/s, mL/s, mL/min, mL/h,
L/s, L/min, L/h, m3/min, m3/h

00.30 ～ 40.00 mm2/s
0.450 ~ 2.200
00.0 ~ 25.0s
Yes, None00.0 ~ 25.0 %FS注）時定数を 0.00s に設定すると時定数演算せずに流量を出力しますが、流量計の更新周期分の応答遅れが生じます。

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2.ALARM SETTING

上下限警報の設定

パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
ALM1 上限警報の設定
ALM1 HighALM1 下限警報の設定
ALM1 Low
ALM2 上限警報の設定
ALM2 HighALM2 下限警報の設定
ALM2 Low
POUT 上限警報の設定
POUT HighPOUT 下限警報の設定
POUT Low
上限警報ヒステリシスの設定
High HYSTERESIS
下限警報ヒステリシスの設定
Low HYSTERESIS
3.TOTALIZATION

0.0 ~ 150.0 %FS
0.0 ~ 150.0 %FS
0.0 ~ 150.0 %FS
0.0 ~ 150.0 %FS
0.0 ~ 150.0 %FS
0.0 ~ 150.0 %FS
0.0 ~ 10.0 %FS
0.0 ~ 10.0 %FS

積算機能の設定パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
積算機能の使用可否の設定
TOTAL MODE
積算値の消去COUNTER RESET
積算値の消去（再確認）
COUNTER RESET ?
積算単位 / 乗数の設定
TOTAL VOL UNIT
積算出力パルス幅の設定
PULSE WIDTH
4.TOTAL PRESET

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段
Yes, None
Yes, None
CANCEL, OK (Re-Check)
X0.1mL, X1mL, X10mL, X100mL,
X0.1L, X1L, X10L, X100L, X0.1m3, X1m3, X10m3, X100m3
0.5ms(1000Hz), 50ms(10Hz), 100ms(5Hz)

積算プリセットの設定

パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
積算プリセット A の設定
TOTAL PRESET A
積算プリセット B の設定
TOTAL PRESET B

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段

000000 ~ 999999
000000 ~ 999999

30

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5.ALM/PLS OUTPUT

出力機能の設定パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
ALM1 出力の設定
ALM1 OUTPUT
ALM1 接点の設定
ALM1 CONTACT
ALM1 バーンアウト出力の設定
ALM1 BURNOUT
ALM2 出力の設定
ALM2 OUTPUT
ALM2 接点の設定
ALM2 CONTACT
ALM2 バーンアウト出力の設定
ALM2 BURNOUT
POUT 出力の設定
PULSE OUTPUT
POUT 接点の設定
POUT CONTACT
POUT バーンアウト出力の設定
POUT BURNOUT
アナログ出力バーンアウトの設定
ANALOG BURNOUT
バーンアウトまでの待ち時間設定
BURNOUT TIME

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段
High, Low, Total Preset A, None
NO, NC
On, Off, Hold
High, Low, Total Preset B, None
NO, NC
On, Off, Hold
High, Low, Fault, Total, Frequency, None
NO, NC
On, Off, Hold
0mA, 3.2mA, 21.6mA, 22mA, Last value hold
0.0 ~ 30.0 s

6.LINEARIZER マニュアルリニアライザの設定
パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
マニュアルリニアライザ使用可否
LINEARIZER
流量単位の選択
LINEARIZER UNIT
折れ点数の設定
FOLD POINT NO
リニアライザデータの設定
DATA **/** （流量単位）

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段
Yes, None
L/min, UNIT of F.S.
1 ~ 20O:0.0000 ~ 65535（実測流量）

31

I:0.0000 ~ 65535（表示流量）

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7.COM SETTING

RS-485MODBUS 通信の設定

パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
アドレスの設定
ADDRESS
ボーレートの設定
BAUD RATE
パリティの設定PARITY
サイレントインターバルの設定
SILENT INTERVAL
8.DISPLAY

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段
01 ~ 32
19200, 38400, 57600 (bps)
Even, Odd, None(StopBit2), None(StopBit1)
00 ~ 50 ms

LCD 表示の設定

パラメータメニュー〔表示〕：LCD 上段
バックライト輝度調整の設定
BRIGHTNESS
バックライトセーバー使用可否
BACKLIGHT SAVER
バックライト消灯時間設定
BACKLIGHT SAVER
動作表示
WORKING SIGN
自動復帰時間の設定
AUTO RETURN

UP、DOWN、SHIFT キーで選択される内容、設定範囲〔表示〕：LCD 下段
0~15（*の数で調整）
Yes, None0 ~ 60 minute
Blink(*), Scroll(-), None0 ~ 60 minute32

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7. 機能説明
7.1 基本項目の設定（1.FLOW SETTING）

この設定項目では流量測定の基本となるパラメータを設定します。
1） SENSOR SIZE（検出器のサイズ選択）
SFC4000 と組み合わされる検出器のサイズを選択します。
本流量計はお客様ご指定の内容に従い、変換器と検出器を組み合わせ

SENSOR SIZE
04Eて調整しております。
検出器の交換などの特別な事情が無い限り、本パラメータの変更は行
わないでください。
・ 対応検出器
画面表示
04B
04K
06K
10K
15K
20K
04E
06E
04M
06M
10M-1
15M
20M
10M-2

センサ名
UCUF-04B
UCUF-04K
UCUF-06K
UCUF-10K
UCUF-15K
UCUF-20K
UCUF-04E
UCUF-06E
UCUF-04M
UCUF-06M
UCUF-10M
UCUF-15M
UCUF-20M
UCUF-10M-2

センサ径
4mm
4mm
6mm
10mm
15mm
20mm
4mm
6mm
4mm
6mm
10mm
15mm
20mm
10mm

接続チューブサイズ
3/8 インチ
3/8 インチ
3/8 インチ
1/2 インチ
3/4 インチ
1 インチ
3/8 インチ
3/8 インチ
1/4 インチ
3/8 インチ
1/2 インチ
3/4 インチ
1 インチ
1/2 インチ

33

備考
保守対応品

IM-F1077-2

2） FULL SCALE（フルスケール流量の設定）
検出器サイズごとの設定可能流量範囲内で、フルスケール流量の設定ができます。また、ここで選択した流量単位と小数点位置は、測定モードでの流量表示に反映されます。
・ 適合検出器・流量設定範囲（1）（m/s・mL/s・mL/min・mL/h）
流量単位
m/s

センサ径
4mm
6mm
10mm
15mm
20mm

最小
0.023
0.235
0.212
0.282
0.212

mL/s
最大
5.609
6.625
6.366
7.074
6.367

最小
0.290
6.645
16.65149.834
66.61

最大
91.67
200.01499.981250.02000.2

mL/min最小
最大17.3425500.3398.67
12000
999.1
29999
2990.165535
3996.2
65535

mL/h
最小
1040.5
23921
59942
-

最大
65535
65535
65535
-

・ 適合検出器・流量設定範囲（2）（L/s・L/min・L/h）
L/s

センサ径
4mm
6mm
10mm
15mm
20mm

最小
0.001
0.007
0.017
0.050
0.067

最大
0.091
0.200
0.499
1.250
2.000

流量単位
L/min
最小
最大
0.018
5.500
0.399
12.0001.000
29.999
2.991
75.00
3.997
120.01

L/h
最小
1.041
23.92159.942179.41
239.77

最大330.01
720.0
1799.94500.27200

・ 適合検出器・流量設定範囲（3）（m3/s・m3/min・m3/h）
流量単位
センサ径
4mm
6mm
10mm
15mm
20mm

m3/min
最小
最大
0.001
0.005
0.001
0.012
0.029
0.001
0.075
0.003
0.120
0.004

m3/h
最小
0.002
0.024
0.060
0.180
0.240

最大
0.330
0.720
1.799
4.500
7.200

34

IM-F1077-2

フルスケール流量の設定は 3 つのパートに分かれています。それらの設定方法を説明します。
①

数値部分の入力

フルスケール流量の数値部分を入力します。現在表示している流量単位や小数点位置を考えず、UP、DOWN、SHIFT キーで 5 桁の数値を入FULL SCALE
10.000 L/min

力してください。
最小桁を入力後、SHIFT キーを押すと②流量単位の選択に移ります。
例）フルスケール流量を 100mL/min に設定したい場合、現在の小数点位置や単位を考えず“10000”、“01000”、“00100”と入力する。

FULL SCALE
10.000 L/min

FULL SCALE
01.000 L/min

FULL SCALE
00.100 L/min

フルスケール入力の例②

流量単位の選択

フルスケール流量の単位を UP、DOWN キーで選択します。正しく選択できたら SHIFT キーを押してください。③小数点位置の設定に移り

FULL SCALE
10.000 L/min

ます。
例）フルスケール流量を 100mL/min に設定したい場合、流量単位を“mL/min”に変更する。

FULL SCALE
10.000 mL/min③

FULL SCALE
01.000 mL/min

FULL SCALE
00.100 mL/min

小数点位置の設定

フルスケール流量の小数点位置を UP、DOWN キーで設定します。正
しく選択できたら SHIFT キーを押してください。①数値部分の入力にFULL SCALE
10.000 mL/min

戻ります。
例）フルスケール流量を 100mL/min に設定したい場合、小数点位置を“100.00”、“0100.0”、“0100”になるよう変更する。

FULL SCALE
100.00 mL/min

FULL SCALE
0100.0 mL/min

35

FULL SCALE
00100
mL/minIM-F1077-2

ここで設定した小数点位置は測定モードでの実流量表示に反映されます。
例えばフルスケール流量を“XXX.00”と設定した場合、測定モードの実流量表示は小数点第 2 位まで表示されます。一方“000XX”と設定した場合、流量自体は同じ値ですが小数点以下の流量は表示されません。小数点以下の流量変動が気になる時など必要に応じて小数点位置を選択してください。なお、流量%表示の小数点位置は変化しません。
・ 小数点第二位まで表示する場合

FULL SCALE
XXX.XX mL/min

XXX.XX %xxxx.xxmL/min

フルスケール設定

流量表示

・ 小数点以下の表示をしない場合

FULL SCALEXXXXX_ mL/min

XXX.XX %xxxxxx mL/min

フルスケール設定

流量表示

以上の操作により、フルスケール流量を正しく設定できたら ENTER / ●MENU キーを押下してください。設定が一時保存され、次のメニューに移ります。
3） KINEM VISCOSITY（動粘度の設定）
測定流体の動粘度を入力します。
本流量計はお客様ご指定の内容に従い動粘度のパラメータを設定し、KINEM VISCOSITY
01.000 mm2/s

その設定において調整しております。しかし、実際測定する流体の動粘度が異なる場合、このパラメータを調整することで自動的に出力リニアライズすることができます。
注記

本パラメータを変更した場合、出荷調整時と条件が変わりますので流量保証が出来かねます。ご了承く
ださい。

36

IM-F1077-2

4） K_FACTOR（検出器定数の設定）
本パラメータは検出器の個体差を調整するための機能で、調整を行った後納品しております。この値は検出器銘版で確認することができます。

K_FACTOR
1.000

流量計の測定ラインで精度の高い校正が可能な場合は、検出器定数（Kファクタ）を使用することで流量を合わせこむことが可能です。合わせこみはどの点でも可能ですので、
非ニュートン流体など偏差の大きい流体の流量を 1 点だけ合わせることも可能です。
検出器定数は掛算の係数で、表示、出力流量は次のようになります。
表示・出力流量 = 内部測定流量 × 検出器定数（K）
・ 検出器定数による表示、出力流量の変化

・検出器定数による一点合わせこみの例

5） TIME CONSTANT（時定数（63%応答）の設定）
流量変化に対する表示と出力の応答性（追従性）を設定します。
設定した数字が大きいほど、応答時間が長くなります。流量の変化がTIME CONSTANT
00.0____s

大きく、表示がふらついて見にくい時は、大きな値に変更してください。
また、吐出量の測定など流量の急変化を捉える必要がある場合は小さな値に変更してください。
・ 時定数変更による流量変化の減少

37

IM-F1077-2

6） LOW CUTOFF（低流量カットオフ機能の設定）
ゼロ点を安定させるため低流量カットオフを設定します。
設定したカットオフ値（%：フルスケールに対する割合）以下の流量は 0

LOW CUTOFF
Yesになります。
始めに確認メニューが表示されますので、低流量カットオフを使用するときは“Yes”を、使用しない場合は“None”を選択してください。
“None”を選択した場合次のメニューに移ります。

LOW CUTOFF
02.0___%FS“Yes”を選択した場合、カットオフ値の選択画面が表示されます。UP、
DOWN、および SHIFT キーで必要な値を入力してください。
・ 低流量カットオフ無し

・流量カットオフ有り

38

IM-F1077-2

7.2 上下限警報の設定（2.ALARM SETTING）

この設定項目では上限警報・下限警報およびそれぞれのヒステリシスを設定します。これらの値はフルスケール流量に対する%値で入力してください。
注）各出力端子が実際に出力する内容は「5.ALM/PLS OUTPUT（出力機能の設定）」で決定します。
使用の際はそちらもご確認ください。
・ 上下限警報の動作

上限警報の動作

下限警報の動作

1） ALM1 High（ALARM1 OUT 上限警報の設定）
ALARM1 出力端子の上限警報を設定します。UP、DOWN、および
SHIFT キーで上限警報が働く流量%を設定してください。

ALM1 HighXXX.X__%FS2） ALM1 Low（ALARM1 OUT 下限警報の設定）
ALARM1 出力端子の下限警報を設定します。UP、DOWN、および
SHIFT キーで下限警報が働く流量%を設定してください。

ALM1 Low
XXX.X__%FS3） ALM2 High（ALARM2 OUT 上限警報の設定）
ALARM2 出力端子の上限警報を設定します。UP、DOWN、および
SHIFT キーで上限警報が働く流量%を設定してください。

ALM2 HighXXX.X__%FS4） ALM1 Low（ALARM2 OUT 下限警報の設定）
ALARM2 出力端子の下限警報を設定します。UP、DOWN、および
SHIFT キーで下限警報が働く流量%を設定してください。

ALM2 Low
XXX.X__%FS5） POUT High（PULSE OUT 上限警報の設定）
PULSE 出力端子の上限警報を設定します。UP、DOWN、および
SHIFT キーで上限警報が働く流量%を設定してください。

39

POUT HighXXX.X__%FSIM-F1077-2

6） POUT Low（PULSE OUT 下限警報の設定）
PULSE 出力端子の下限警報を設定します。UP、DOWN、および
SHIFT キーで下限警報が働く流量%を設定してください。

POUT Low
XXX.X__%FS7） High HYSTERESIS（上限警報ヒステリシスの設定）
上限警報のヒステリシスを設定します。UP、DOWN、および SHIFT
キーで上限警報のヒステリシスを設定してください。

High HYSTERESISXX.X__ %この設定値は上限警報各種に共通で働きます。
8） Low HYSTERESIS（下限警報ヒステリシスの設定）
下限警報各種のヒステリシスを設定します。UP、DOWN、および
SHIFT キーで下限警報のヒステリシスを設定してください。

Low HYSTERESISXX.X__ %この設定値は下限警報各種に共通で働きます。

40

IM-F1077-2

7.3 積算機能の設定（3.TOTALIZATION）

この設定項目では測定流量の積算機能の設定を行います。

7.3.1

積算出力機能・各設定値の計算

積算出力の設定は、フルスケール流量・1 秒間あたりの出力パルス数・受信計器側の入力パルス幅仕様の組み合わせを考える必要があり、設定できない組み合わせを選ぶとエラーになります。下の表と計算式から設定可能な値を計算してください。
パルス幅
0.5ms
50ms
100ms

1 秒間当たりの最大出力パルス数 pps (PULSE/s)
1000
フルスケール流量時の出力パルス数を pps に換算した値で選択してください。
10（受信計器側の仕様に注意してください。）
5

流量単位
mL/s
mL/min
mL/h
L/s
L/min
L/h
m3/minm3/h

X0.1mL
0.1
6.0
360.0
0.1×10-3
6.0×10-3
360.0×10-3
6.0×10-6
360.0×10-6

1 パルスあたりの体積と換算係数（1）
X1mL
X10mL
1
10
60
600
3600
36000
1×10-3
10×10-3-3
60×10
600×10-3
3600×10-3
36000×10-3-6
60×10
600×10-6
3600×10-6
36000×10-6

X100mL
100
6000
360000100×10-3
6000×10-3
360000×10-3
6000×10-6
360000×10-6

X0.1L
0.1×103
6.0×103
360.0×103
0.1
6.0
360.0
6.×10-3
360.×10-3

1 パルスあたりの体積と換算係数（2）
X1L
X10L
3
1×10
10×10360×103600×1033
3600×1036000×103
1
10
60
600
3600
36000
60×10-3
600×10-3-33600×1036000×10-3

X100L
100×103
6000×103
360000×103
100
6000
3600006000×10-3
360000×10-3

流量単位
mL/s
mL/min
mL/h
L/s
L/min
L/h
m3/minm3/h

41

IM-F1077-2

流量単位
mL/s
mL/min
mL/h
L/s
L/min
L/h
m3/minm3/h

X0.1m3
0.1×106
6.0×106
360.0×106
0.1×103
6.0×103
360.0×103
6.0
360.0

1 パルスあたりの体積と換算係数（3）
X1m3
X10m3
1×106
10×1066
60×10
600×106
3600×106
36000×106
3
1×10
10×10360×103600×1033
3600×1036000×103
60
600
3600
36000

X100m3
100×106
6000×106
360000×106
100×103
6000×103
360000×103
6000
360000・ 出力パルス数計算式

出力パルス数 

フルスケール流量での1秒当たりの体積 フルスケール流量 換算係数
1パルス当たりの体積
1パルス当たりの体積・ 計算例：フルスケール流量が 3000mL/min で、受信計器側の入力パルス幅仕様が 50ms 以上の場合
前記の表から出力パルス数を計算します。流量単位が“mL/min”の欄に着目し、フルスケール流量を換算係数で割った値を計算すると、1 パルス当たりの体積が mL の場合は次のようになります。
出力パルス数流量単位
mL/s
mL/min
mL/h
L/s
L/min
L/h
m3/minm3/h

X0.1mL

X1mL

X10mL

X100mL

3000 / 6 = 500

3000 / 60 = 50

3000 / 600 = 53000 / 6000 = 0.5

同様に 1 パルス当たりの体積が L、m3 の場合も計算しまとめた結果が次の表です。受信計器の入力パルス幅仕様が 50ms 以上なので、出力パルス数が 10pps 以下であれば対応可能です。
出力パルス数

流量単位
mL/minX0.1mL

X1mL

X10mL

X100mL

500
X0.1L
0.5
X0.1m30.0005

50
X1L
0.05
X1m3
0.00005

5
X10L
0.005
X10m3
0.000005

0.5
X100L
0.0005
X100m30.0000005

42IM-F1077-2

・ 計算例：フルスケール流量が 50L/min で設定可能な値を求める
先の計算例と同様に、表から出力パルス数を計算します。
出力パルス数流量単位
L/min

X0.1mL

X1mL

X10mL

X100mL8333.33
X0.1L
8.33
X0.1m3~

833.33
X1L
0.83
X1m3
~

83.33
X10L
~
X10m3
~

8.33
X100L
~
X100m3~

この結果、積算体積 0.1mL：設定できない。パルス数限界超過
積算体積 1mL・10mL：パルス幅 0.5ms のみ設定可能
積算体積 100mL・0.1L：パルス幅 0.5 ms または 50ms を設定可能
積算体積 1L 以上：パルス幅 0.5ms・50ms・100ms のいずれかを設定可能であることがわかります。

7.3.2

積算機能の設定

1） TOTAL MODE（積算機能使用可否の設定）
積算機能を使用するか選択します。使用する場合は“Yes”を選択してください。“None”を選択した場合は積算機能が停止し、これ以降の

TOTAL MODE
Yes

設定は表示されなくなります。
2） COUNTER RESET（積算値の消去）
変換器に記録されている積算カウントをリセットするか選択します。
“Yes”を選択すると、再確認メニューが表示されますので、本当にリセットする場合再度“Yes”を選択してください。
確認、再確認メニューどちらでも、“None”,“CANCEL”を選択した
場合リセットは行いません。

COUNTER RESET
None
1 回目の確認

COUNTER RESET ?
CANCEL__Re-Check
2 回目の確認

3） TOTAL VOL UNIT（積算単位 / 乗数の設定）
積算に用いる流量単位・乗数を選択します。この単位はフルスケール
流量単位と異なっていてもかまいません。

TOTAL VOL UNIT
X0.1mL注）本項目の設定変更で積算カウントは自動的にリセットされます。

表示例

4） PULSE WIDTH（積算出力パルス幅の設定）
積算出力のパルス幅を選択します。

PULSE WIDTH
0.5ms(1000Hz)
表示例

43

IM-F1077-2

7.4 積算プリセットの設定（4.TOTAL PRESET）

この設定項目では積算プリセットの設定を行います。積算プリセットは積算カウントに対する警報で、
積算カウントがプリセット設置値以上になった時にプリセット出力が動作します。入力画面では現在設定している積算単位・乗数が表示されますので、プリセットの数値のみを入力してください。積算プリセッ
トは A・B 2 点ありますが大小関係などは無く、設定範囲内で自由に入力できます。
注）各出力端子が実際に出力する内容は 5.ALM/PLS OUTPUT（出力機能の設定）で決定します。使用の際はそちらもご確認ください。
・ 積算プリセットの動作

1） TOTAL PRESET A（積算プリセット A の設定）
積算プリセット A の設定を行います。UP、DOWN、および SHIFT
キーでプリセットが働く積算値を入力してください。左側にプリセット
設定値、右側に現在設定している積算単位・乗数が表示されます。

TOTAL PRESET AXXXXXX_X0.1mL
積算単位・乗数を x0.1mL に設定した場合2） TOTAL PRESET B（積算プリセット B の設定）
積算プリセット B の設定を行います。UP、DOWN、および SHIFT
キーでプリセットが働く積算値を入力してください。

TOTAL PRESET B
XXXXXX_X0.1mL
積算単位・乗数が x0.1mL の場合

44

IM-F1077-2

7.5 出力機能の設定（5.ALM/PLS OUTPUT）

この設定項目では各出力端子で出力の内容を設定します。上下限警報を使用する場合は 2.ALARM
SETTING（上下限警報の設定）、積算出力を使用する場合は 3.TOTALIZATION（積算機能の設定）、
積算プリセットを使用する場合は 4.TOTAL PRESET（積算プリセットの設定）の設定も行ってください。
出力内容

関連する設定項目

None（何もしない）
High（上限警報）
Low（下限警報）
Total Preset A（積算プリセット A）
Total Preset B（積算プリセット A）
Fault（未測定警報）－
2.ALARM SETTING
上下限警報の設定

Total（積算出力）

オープンコレクタ出力端子（CN2）ALARM1
ALARM2
POUT
〇
〇
〇
〇
〇
〇
〇
〇
〇

4.TOTAL PRESET
積算プリセットの設定）

3.TOTALIZATION
積算機能の設定

Frequency（流量%周波数出力）

〇

－

－

－

〇

－

－

－

〇

－

－

〇

－

－

〇

1） ALM1 OUTPUT（ALM1 出力端子の出力内容）
ALARM1 出力端子に出力する内容を設定します。UP、DOWN キーで出力したい内容を選択してください。

ALM1 OUTPUT
High

設定できる項目は次の 4 つです。
・ None：何も出力しません。
・ High：上限警報を出力します。警報設定は2.ALARM SETTINGで行ってください。
・ Low：下限警報を出力します。警報設定は2.ALARM SETTINGで行ってください。
・ Total Preset A：積算プリセットAを出力します。積算プリセットは4.TOTAL PRESETで行ってください。
2） ALM1 CONTACT（ALM1 出力端子の接点）
ALARM1 出力端子の接点状態を設定します。UP、DOWN キーで出力したい内容を選択してください。設定できる内容は次の 2 つです。

ALM1 CONTACT
NC

・ NO：ノーマルオープン（A接点）。通常時に出力端子が開となっています。
・ NC：ノーマルクローズ（B接点）。通常時に出力端子が閉となっています。

45

IM-F1077-2

3） ALM1 BURNOUT（ALM1 バーンアウト出力の設定）
SFC4000 が受波異常、流速異常によりバーンアウトとなった時、その間の ALARM1 出力端子を設定します。

ALM1 BURNOUT
On

設定できる項目は次の 3 つです。
・ On：ALARM1を警報が出力した状態にします。
・ Off：ALARM1を警報が停止した状態にします。
・ Hold：ALARM1の警報を直前値で保持します。
4） ALM2 OUTPUT（ALM2 出力端子の出力内容）
ALARM1 出力端子に出力する内容を設定します。UP、DOWN キーで出力したい内容を選択してください。

ALM2 OUTPUT
Low

設定できる項目は次の 4 つです。
・ None：何も出力しません。
・ High：上限警報を出力します。警報設定は2.ALARM SETTINGで行ってください。
・ Low：下限警報を出力します。警報設定は2.ALARM SETTINGで行ってください。
・ Total Preset B：積算プリセットBを出力します。積算プリセット値は4.TOTAL PRESETで行ってください。
5） ALM2 CONTACT（ALM2 出力端子の接点）
ALARM2 出力端子の接点状態を設定します。UP、DOWN キーで出力したい内容を選択してください。設定できる内容は次の 2 つです。

ALM2 CONTACT
NC

・ NO：ノーマルオープン（A接点）。通常時に出力端子が開となっています。
・ NC：ノーマルクローズ（B接点）。通常時に出力端子が閉となっています。
6） ALM2 BURNOUT（ALM2 バーンアウト出力の設定）
SFC4000 が受波異常、流速異常によりバーンアウトとなった時、その間の ALARM2 出力端子を設定します。

ALM2 BURNOUT
On

設定できる項目は次の 3 つです。
・ On：ALARM2を警報が出力した状態にします。
・ Off：ALARM2を警報が停止した状態にします。
・ Hold：ALARM2の警報を直前値で保持します。

46

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7） POUT OUTPUT（POUT 出力端子の出力内容）
POUT 出力端子に出力する内容を設定します。UP、DOWN キーで出力したい内容を選択してください。

POUT OUTPUT
Frequency

設定できる項目は次の 6 つです。
・ None：何も出力しません。
・ High：上限警報を出力します。警報設定は2.ALARM SETTINGで行ってください。
・ Low：下限警報を出力します。警報設定は2.ALARM SETTINGで行ってください。
・ Fault：空検知エラーを出力します。
・ Total：積算カウントを出力します。積算設定は3.TOTALAIZATIONで行ってください。
・ Frequency：流量%FSを周波数で出力します。出力は流量%FSを10倍した値で、100%FSで1000Hzとなります。
8） POUT CONTACT（POUT 出力端子の接点）
POUT 出力端子の接点状態を設定します。UP、DOWN キーで出力したい内容を選択してください。設定できる内容は次の 2 つです。

POUT CONTACT
NC

・ NO：ノーマルオープン（A接点）。通常時に出力端子が開となっています。
・ NC：ノーマルクローズ（B接点）。通常時に出力端子が閉となっています。
9） POUT BURNOUT（POUT バーンアウト出力の設定）
SFC4000 が受波異常、流速異常によりバーンアウトとなった時、その間の POUT 出力端子を設定します。

POUT BURNOUT
On

設定できる項目は次の 3 つです。
・ On：POUTを警報が出力した状態にします。
・ Off：POUTを警報が停止した状態にします。
・ Hold：POUTの警報を直前値で保持します。
10）ANALOG BURNOUT（アナログ出力バーンアウトの設定）
SFC4000 が受波異常、流速異常によりバーンアウトとなった時、その間のアナログ出力値を設定します。電流出力値で設定するので電圧出力

ANALOG BURNOUT
3.2mA

を用いている場合は抵抗値を乗じて読み替えてください。
設定できる項目は次の 5 つです。
・ Last value hold：エラー発生の直前値を維持します。
・ 0mA：0mAを出力します。
・ 3.2mA：3.2mAを出力します。
・ 21.6mA：21.6mAを出力します。
・ 22mA：22mAを出力します。

47

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11）BURNOUT TIME（バーンアウト時間の設定）
SFC4000 に受波異常、流速異常が発生してからバーンアウト出力になるまでの待ち時間を設定します。UP、DOWN、SHIFT キーで設定して

BURNOUT TIME
XX.X___sください。
・ バーンアウト設定と Fault 出力動作

48

IM-F1077-2

7.6 マニュアルリニアライザの設定（6.LINEARIZER）

SFC4000 には流体の動粘度に応じて、流体の流速と流量の関係を補正する自動リニアライザを内蔵しています。しかしこの機能は、常に動粘度が一定であるニュートン流体には有効ですが、非ニュートン流
体は動粘度が一定でないため自動リニアライザでは測定に誤差が生じます。また、流体仕様の変更などで生じた測定偏差を補正したい場合もあります。
これらの問題は、マニュアルリニアライザを使用することで解決できます。
・ マニュアルリニアライザの使用方法
マニュアルリニアライザの補正は折れ点近似方式で最大 20 点まで入力できます。入力は実測流量（O:####）と SFC4000 表示流量（I:####）を低い流量から順番に折れ点数分入力します。
最小入力値から下は、流量 0 まで直線的に近似します。また、最大入力値は必ずフルスケール流量値以下の値を入力してください。最小入力値以下と最大入力値付近は保証精度を外れる場合がありますので注意してください。
注記

マニュアルリニアライザで使用できる流量単位は下記のいずれかになります。
設定項目
L/min
UNIT of F.S.

内容
流量単位は L/min 固定です（初期値）
流量単位はフルスケール流量単位を用います

・ リニアライザ入力手順
次のような偏差を流量単位 L/min 指定で 7 点補正する場合の手順を示します。
フルスケール流量が 1000mL/min の場合

ポイント

実測流量
[mL/min]

①
②
③
④
⑤
⑥
⑦

100
200
300
400
500
800
（1000）

①

ポイント

実測流量
[L/min]

100

①
②
③
④
⑤
⑥
⑦

0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.8
（1.0）

⑦

1000

⑥

UCUF表示流量 [mL/min]

900

⑤

800
④

700

③

600
500

②

補正前

400

補正後

300
200
100
0
0

200

UCUF
表示流量
[mL/min]
200
400
600
700
800
900
（1000）

300

400

500

600

700

800

実測流量 [mL/min]

49

900 1000

UCUF
表示流量[L/min]
0.2
0.4
0.6
0.7
0.8
0.9
（1.0）

IM-F1077-2

1） LINEARIZER（マニュアルリニアライザの使用可否）
マニュアルリニアライザ機能を使用するか選択します。使用する場合
は“Yes”を選択してください。“None”を選択した場合はマニュアル

LINEARIZER
Yes

リニアライザ機能が停止し、これ以降の設定は表示されなくなります。
2） LINEARIZER UNIT（流量単位の選択）
使用したい流量単位を選択してください。

LINEARIZER UNIT
L/min

今回の例では“L/min”を選択します。
3） FOLD POINT NO（折れ点数の設定）使用したい折れ点数に合わせて数字を設定してください。
今回の例では“07”を入力します。

FOLD POINT NO
074） DATA 01/**（1 番目のリニアライザデータ設定）
リニアライザデータを左側：実測流量、右側：SFC4000 表示流量として 1 番目から順に入力します。
注）リニアライザデータの小数点位置は 1 番目の左側：実測流量の入力時に決定し、これ以降の入力中には変更できません。誤って次のリニ

DATA01/07 L/min
O:0.1000I:0.2000
1 番目の入力。小数点位置を
x.xxxx に設定した場合

アラアイザ設定に移動した場合は数字のみ最後まで入力した後、再度 1
番目のリニアライザデータ設定を行うか、最初から入力をやり直してください。
今回の例では左側：実測流量に 100mL/min を L/min に変換した“0.1000”、右側 SFC4000 表示流量も同じく変換した“0.2000”を入力します。
5） DATA **/**（2 番目以降のリニアライザデータ設定）
2 番目以降も左側：実流量、右側：SFC4000 表示流量として入力していきます。最後まで入力すると再度マニュアルリニアライザの使用可否

DATA02/07 L/min
O:0.2000I:0.4000が表示されます。

データ入力 2 番目。
以降順番に入力する

DATA07/07 L/min
O:1.0000I:1.0000
データ入力 7 番目。左右にフルスケール流量値を入力

50

IM-F1077-2

7.7 RS-485 MODBUS 通信の設定（7.COM SETTING）

この設定項目では RS-485 MODBUS 通信の通信設定を行います。SFC4000 は MODBUS 通信を用いたパラメータ設定も可能ですが、この設定項目だけは SFC4000 本体から操作する必要があります。
注記

通信設定の内容は測定モードでも UP キーと DOWN キーを同時に押下することで確認できます。
1） ADDRESS（アドレス設定）
スレーブアドレスを設定します。UP、DOWN。SHIFT キーで設定を行ってください。

ADDRESS
XX___s注）共通の通信ラインに同じアドレスの変換器が混在すると通信エラーが発生します。通信をお使いの場合は変換器個々のアドレスを別々のものに設定してください。
2） BAUD RATE（ボーレートの設定）
通信速度を設定します。UP、DOWN キーでホスト側の設定に応じた値に変更してください。

BAUD RATE
57600

設定できる項目は次の 3 つです。
・ 19200
・ 38400
・ 57600
3） PARITY（パリティの設定）
パリティを設定します。UP、DOWN キーでホスト側の設定に応じた値に変更してください。

PARITY
Even

設定できる項目は次の 4 つです。
・ Even：偶数パリティを選択します。
・ Odd：奇数パリティを選択します。
・ None（StopBit2）：パリティ無し、ストップビットを2ビットに設定します。
・ None（StopBit1）：パリティ無し、ストップビットを1ビットに設定します。
4） SILENT INTERVAL（サイレントインターバルの設定）
サイレントインターバルを設定します。UP、DOWN、SHIFT キーで設定してください。

51

SILENT INTERVAL
XX_____ms

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7.8 LCD 表示の設定（8.DISPLAY）

この設定項目では LCD バックライトの調光と自動消灯の設定、設定モードから測定モードへ自動復帰
する時間の設定を行います。
1） BRIGHTNESS（LCD バックライト輝度調整の設定）
LCD バックライトの輝度を調整します。UP、DOWN キーを押下すると LCD 下段に表示された“*”の数が増減すると共にバックライトの輝

BRIGHTNESS********

度も変化します。
輝度は 0（消灯）から 15（輝度最大）まで設定可能です。
2） BACKLIGHT SAVER（LCD バックライトセーバー機能の設定）
LCD バックライトセーバー機能の設定を行います。
始めに確認メニューが表示されますので、LCD バックライトセーバー

BACKLIGHT SAVER
Yes

機能を使用するときは“Yes”を、使用しない場合は“None”を選択してください。“None”を選択した場合次のメニューに移ります。
“Yes”を選択した場合、LCD バックライトが自動消灯する時間の入力画面が表示されます。UP、DOWN、および SHIFT キーで必要な値を入力

BACKLIGHT SAVER
XX_____minute

してください。
0 （minute）に設定した場合、LCD バックライトはフロントパネルのボタン押下時のみ点灯します。
3） WORKING SIGN（動作表示の設定）
流量測定が正常に行われている時の動作表示の内容を設定することが出来ます。

WORKING SIGN
Blink(*)

設定できる項目は次の 3 つです。
・ Blink(*)：LCD表示右上に＊が点滅します。
・ Scroll(-)：LCD表示右側に－がスクロール表示します。
・ None：動作表示を行いません。
4） AUTO RETURN（自動復帰時間の設定）
設定モードから測定モードに自動復帰する時間を設定します。自動復帰した場合は設定中のパラメータが更新されず、以前の設定値に戻りま

AUTO RETURN
XX_____minute

す。UP、DOWN、および SHIFT キーで必要な値を入力してください。
0 （minute）に設定した場合は自動復帰機能が停止します。

52

IM-F1077-2

7.9 設定中のエラー
設定したデータに誤りがあると、LCD 画面にエラーメッセージが表示されます。
パラメータに設定範囲外の数値を入力して ENTER / ●MENU キーを押すと、LCD 上段に“ERROR
CODE：XXXX”（XXXX は 4 桁のエラーコード）、下段にエラー内容が表示されます。再度 ENTER / ●MENU キーを押すと設定画面に戻りますので、パラメータを設定範囲内のデータに入力し直してください。
・ 設定範囲外エラーの場合
上段：4 桁のエラーコードを表示

ERROR CODE:XXXX
Out of Range

下段：エラー内容を表示

また、設定モードから ENTER / ●MENU キーの長押しで「更新の確認」画面に移行する際にもエラーメッセージが表示される場合があります。この時は LCD 上段に“SETTING ERROR”、下段にエラー内容が表示されます。これは組み合わせエラーで複数のパラメータで矛盾が生じています。エラー内容を確認の上修正してください。
・ 積算値組み合わせエラーの場合

SETTING ERROR
F.S. VS PULSE

フルスケールと積算パルスの設定に問題があります。
出力できる組み合わせに修正してください。

・ フルスケール組み合わせエラーの場合

SETTING ERROR
F.S./UNIT/POINT

検出器設定とフルスケールの値・単位・小数点位置の設定に問題があります。設定値を見直してください。

53

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・ 設定中のエラーメッセージ
No.

エラー表示

1

ERROR CODE：XXXX

2
3

SETTING ERROR
F.S. VS PULSE
SETTING ERROR
F.S./UNIT/POINT

内容
設定範囲外エラー
XXXX は 4 ケタのエラーコード
積算値組み合わせエラー
フルスケール組み合わせエラー

対応方法
設定範囲内に入力し直してください。
フルスケールと積算パルスの設定を見直してください
検出器とフルスケール流量の設定を見直してください。

・ エラーコード一覧表
エラーコード
0202
0203
0204
0205
0211
0212
0213
0214
0215
0216
0241
0251
0252
1253
0261
0262

内容

LCD 下段エラー表示

動粘度設定が設定範囲外
K ファクタ設定が設定範囲外
時定数設定が設定範囲外
ローカットオフ設定が設定範囲外
ALM1 上限警報の設定が設定範囲外
ALM1 下限警報の設定が設定範囲外
ALM2 上限警報の設定が設定範囲外
ALM2 下限警報の設定が設定範囲外
ヒステリシス(High)設定が設定範囲外
ヒステリシス(Low)設定が設定範囲外
バーンアウト時間設定が設定範囲外
ユーザリニアライザ折れ点数の設定が設定範囲外
ユーザリニアライザ設定が設定範囲外
ユーザリニアライザ設定が流量の少ない順に入力
していない
アドレス設定が設定範囲外
サイレントインターバル設定が設定範囲外

Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range

54

Sort Order Error
Out of Range
Out of Range

IM-F1077-2

8. 日常点検

注記

超音波流量計は可動部や消耗部品がなく、ほとんどメンテナンスフリーでご使用いただけますが、長期に渡って安定してご使用いただくために、以下の日常点検を実施することをお薦めします。

8.1 チューブ継手、接続部の点検
・ 液漏れ、浸透はないか。
・ ナットの緩みはないか。
・ テフロンの性質により、一度締め付けても時間が経つと緩むことがありますので定期的に増締めしてください。

8.2 接続配管の点検
・ 配管に曲がりが生じて検出部に過大な応力が加わっていないか。
・ 配管振動は大きくないか。

8.3 防水性の点検
・ 検出器ケーブル接続口のシールは完全か。

8.4 検出器の点検・ 継手接続部および測定管内に異物、または気泡だまりがないか、目視により確認する。

55

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9. エラーメッセージ一覧
運転中や設定中に何らかのエラーが出た場合は、LCD にエラーメッセージを表示します。内容に応じて対処してください。
・ 運転中／ゼロ点調整中のエラーメッセージ
No.
1
2
3
4
5

6

7
8

9

エラー表示
（内容）
SIGNAL ABNORMAL（波形異常）FIT ABNORMAL（ゼロクロス取得異常）
SIGNAL SHIFT（一波ズレ発生）NO STABLY(RTN)

原因と対応方法

波形の取得が不安定です
・センサ管路内に気泡が混入・滞留している可能性があります→気泡が混入・滞留していないか確認してください
・薬液の物性・温度が測定範囲から外れている可能性があります→薬液の物性・温度が測定範囲内か確認してください
・センサ種類の設定が正しくない可能性があります→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・センサが劣化している可能性があります（波形探索時の波形が不安定）→センサを交換して動作を確認してください
NO ADJ(RTN)
超音波波形が検出できません（波形探索時に波形無し）
・センサが正しく接続されていない可能性があります
SIGNAL LOSS
→センサの接続を確認してください。
SIGNAL ERROR
・センサの管路が満液でない可能性があります→センサの管路が満液状態か確認してください
・センサの設定が正しくない可能性があります（波形無し）→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・センサが劣化している可能性があります
AGC ERROR→センサを交換して動作を確認してください
流量計の動作が不安定です（波形振幅範囲外）
・流量計が一時的に不安定になっている可能性があります。
HARD ERR ～→電源を入れ直してください（ハードウエアエラー）
それでもエラーが解消しない場合はご連絡ください
流量の計算結果が異常です
FLOW SPEED ERR
・センサ種類の設定が正しいか確認してください→センサ種類の設定が正しいか確認してください
・流量計の動作が異常な可能性があります（流速異常）→電源を入れ直してください
それでもエラーが解消しない場合はご連絡ください

56

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・ 設定中のエラーメッセージ
No.

エラー表示
ERROR CODE：XXXXSETTING ERROR
F.S. VS PULSE
SETTING ERROR
F.S./UNIT/POINT

内容
設定範囲外エラー
XXXX は 4 ケタのエラーコード
積算値組み合わせエラー
フルスケール組み合わせエラー

対応方法
設定範囲内に入力し直してください。
フルスケールと積算パルスの設定を見直してください
検出器とフルスケール流量の設定を見直してください。

・ エラーコード一覧表
エラーコード
0202
0203
0204
0205
0211
0212
0213
0214
0215
0216
0241
0251
0252
1253
0261
0262

内容

LCD 下段エラー表示

動粘度設定が設定範囲外
K ファクタ設定が設定範囲外
時定数設定が設定範囲外
ローカットオフ設定が設定範囲外
ALM1 上限警報の設定が設定範囲外
ALM1 下限警報の設定が設定範囲外
ALM2 上限警報の設定が設定範囲外
ALM2 下限警報の設定が設定範囲外
ヒステリシス(High)設定が設定範囲外
ヒステリシス(Low)設定が設定範囲外
バーンアウト時間設定が設定範囲外
ユーザリニアライザ折れ点数の設定が設定範囲外
ユーザリニアライザ設定が設定範囲外
ユーザリニアライザ設定が流量の少ない順に入力
していない
アドレス設定が設定範囲外
サイレントインターバル設定が設定範囲外

Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range
Out of Range

57

Sort Order Error
Out of Range
Out of Range

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10. トラブルシューティング
超音波流量計のトラブルは配線や取付など設置に起因するもの、計器自体の故障など、さまざまな原因が考えられます。
原因探索にはトラブルの現象を正確に把握し、それぞれに応じた対応を取ることが近道です。
ここでは、一般的に考えられるトラブル現象別に、トラブルシューティングフローを記載しています。
トラブル現象を確認し、対応する項目を参照してください。
トラブルの現象
1 表示（液晶表示）が点灯しない
2 表示（液晶表示）が正常でない
3 表示がロックして変化しない
4 エラー表示が出る
5 キー操作を受け付けない、データ設定ができない
6 ゼロ点調整でエラー表示が出る
7 流体を流しても指示がゼロのままである
8 表示は出るが出力がでない
9 ゼロ点が不安定
10 ゼロ点で指示が出る、振り切れる
11 流体を流すと指示が不安定
12 実流と指示が合わない
13 実流と出力が合わない
14 流体を流すと指示が振り切れる

58

参照するトラブルシューティング項目

A：表示が出ないまたは表示が正常でない時

B：ゼロ点調整がうまくいかない時
C：流体を流しても指示が出ない時
D：ゼロ点が不安定な時
E：指示が不安定な時
F：実流と指示が合わない時

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A：表示が出ない、または表示が正常でない時
START A

Yes

液晶表示は
出ているか

液晶のバックライトは点灯しているかNo

No

電源が正しく供給されているか調べる

Yes

エラー表示は
出ているか

Yes
電源接続・電圧は
正しいか

No

No

電源を
正しく入れる

Yes
エラー表示を調べ、内容に従って調査する

Yes

基板の故障が考えられる

電源電圧は規定範囲内かサービスへNo
電源を一度切り、10秒以上待ってから再投入する

正常な表示は出るか電源を正しく供給する

No

Yes
データ設定
操作ができるかNo

Yes
設定データをチェックする

正常動作するか

No

Yes
END

サービスへ

59

IM-F1077-2

B：ゼロ点調整がうまくいかない時
START B

電源投入

SFC4000
Version X.X.X
と表示する

Yes

電源をいったん切
り 10 秒以上待ってから再投入する計測表示となるか
No

No

No

表示に
SIGNAL ～と出るか検出器の上側センサ隔壁に気泡が付着しているか

Yes

検出器が外れているかNo
No

検出器に気泡が混入しているか
Yes

Yes

検出器を正しく接続
30 秒以内に計測表示
になるか

No

No

検出器内の気泡を除去
30 秒以内に
計測表示になるか

Yes

No

Yes

ゼロ点調整を実施

ゼロ点調整後 LCD 上段にDATA RENEWAL ?
が表示され、
その後の選択で計測表示に
復帰するか

No

LCD 上段に
ADJUST ERRと表示されるか

Yes

No

Yes
END

60

IM-F1077-2

C：流体を流しても指示が出ない時
START C

液晶表示は正常に出るかYes

アナログ出力は出るか

No

Yes

No

受信計器の結線を外し、出力端子に直接電流計を接続する
ループチェックを行う

・配線断絶
・受信計器異常・入出力仕様のミスマッチ

正しいデータを設定する

Yes

アナログ出力は出るかNo

流れ方向および
電流出力関係の設定データは正しいか

No

Yes
出力回路故障流れ方向は合っているかNo

サービスへ

流れ方向を正しくする

Yes
No
設定データは正しいか（配管径、流量レンジ等）

正しいデータを設定する

Yes

配管内に液は充満しているかNo

液が充満して流れるよう
センサの設置位置を変更する

No

流れを止め、
正しくゼロ点調整を行う

Yes
ゼロ点は合っているか
Yes
1

61

IM-F1077-2

1

BNC コネクタの接続は確かかYes

コネクタを正しく接続し直す

No異物が付着しているか

Yes

異物を取り除く

No

検出部の点検をする

検出部は正常かYes

原因が特定できない時はサービスまでご連絡ください

No

電源をいったん切り、10 秒以上待って再投入してください。
その後 START からやり直して
ください。

62

IM-F1077-2

D：ゼロ点が不安定な時
START D

測定管内は完全に液で充満されているかNo

完全に充満するよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい。
上→下または水平配管の場合は要注意

Yes
バルブに
漏れがあるかYes

バルブの交換等を行い、漏れを止めるNo
ポンプ等による
圧力変動や振動はあるか
No
No

Yes

センサの下流側だけでなく上流側のバルブも閉め、液を完全に制止させる（特に小口径形の場合）液に気泡が含まれているかYes

フラッシング等により気泡を抜く
脱泡装置を取り付ける

Yes

誘導ノイズの影響がないか調べる
配線のシールド、隔離を行う

No
ポンプ・モータ・変圧器などの動力機器があるかNo
1
BNC コネクタの接続は確かかYes

コネクタを正しく接続し直す

No異物が付着しているか

Yes

異物を取り除く

No
検出部の点検をする

検出部は正常かYes

原因が特定できない時はサービスまでご連絡ください

No

電源をいったん切り、10 秒以上待って再投入してください。
その後 START からやり直して
ください。

63

IM-F1077-2

E：指示が不安定な時
START E

ゼロ点の指示は安定しているかNo

ゼロ点でも、流体を流しても指示が不安定な時は、最初に「D:ゼロ点が不安定な時」を参照して原因を調べる

No

完全に充満するよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい。
上→下または水平配管の場合は要注意

Yes

脈動をなくす脈動の影響のない場所に移設する応答性を要求しなければ、時定数を大きくする

Yes

測定管内を液が完全に充満して流れているか
Yes

流れに脈動があるか
No

Yes

液に気泡が
含まれているか

上流側に脱泡装置を取り付けるNo

スラリーが多量に混入しているかYes

時定数を大きく設定する(改善されない場合はご相談ください)Yes

キャビテーションにより指示が不安定になる場合がある
バルブを全開で使用するか、バルブの下流側に移設する

Yes

粘度、密度が不均一になると指示が不安定となるので上流側での異種液の注入は避け、下流側で行う混合の場合は充分攪拌する

No

アース端子から第 3 種接地(接地抵抗 100以下)を確実に行う

No

上流側に全開できない
バルブが設置されているかNo上流側で液の混合や異種液の注入を行っているかNo

接地は完全かYes

1

C:流体を流しても指示が出ない時を参照

64

IM-F1077-2

F：実流と指示が合わない時
START F

Yes

液晶表示は
正しいか

アナログ出力は正しいか

Yes

パルス出力は正しいか
No

No

No
流れを止めゼロ点のチェックをする

流量レンジの設定は正しいかNo「C：流体を流しても指示が出ない時」を参照して出力関係のチェックを行う

Yes
正しい流量レンジに設定する

No

ゼロ点は
合っているか

流体を満液状態で完全に静止させ、ゼロ点調整を行う

Yes
配管径、流量レンジ、K ファクタなどの設定データのチェックを行う

No

設定データは正しいか

正しいデータを設定する

Yes
接地は完全かNo

アース端子から第 3 種接地(接地抵抗 100以下)を確実に行う

No

完全に充満するよう配管上の取付位置を変更する
下→上の流れが望ましい。
上→下または水平配管の場合は要注意

Yes

混入した気泡の体積分、指示は大きめとなる
上流側に脱泡装置を取り付ける

Yes
測定管内を液が完全に充満して流れているか
Yes
液に気泡が
含まれているか
No
No

測定流体が
仕様と合っているか

流体仕様を確認する

Yes
流れに脈動があるか

Yes

脈動周期が短いと指示が低めになる場合がある
脈動をなくす脈動の影響のない場所に移設する

No
1

C:流体を流しても指示が出ない時を参照

65

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