システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動Zステージ / テーブルサイズ 70×70
Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 70×70

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage

(200)

4H8

Depth 4mm30

φ4H8 Depth 4mm

154.5

4-M4 Depth 8mm

裏面Back Side

8-M3 Depth 6mm

CW
CCW

(42)
(42.5)

回転Rotation(121)

4-for M4 screws
Shaft length 1mm

□60

(0.5)

ZZ

(191)

(2.5)

X・XY
X・XY

7060403040±2.5

自動精密ステージ
Motorized
Stage

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor(15)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

ZA07A-W2C02

(85)
70
60
4030

回転
Rotation

ZA07A-W2C02

低頭ネジ（付属品）での取り付けとなります。

Mounting by low head screw (attachment)

制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
SystemI-008

I.indd 8

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ / クロスローラガイド / クサビ / ボールネジ

システム
製品
SystemProductsAluminum Body / Cross-Roller Guide / Wedge / Ball Screw
型式
Model Number

ZA07A-W2C02

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA07A-W2C02-R

テーブル面
Table Size

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range±2.5mm

送り方式
Lead Mechanism

1/4-クサビ. ボールネジ, リード 1.0mm
1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

Z
Z

0.25μm/0.125μm
0.0125μm

最高速度
Maximum Speed

1.25mm/sec繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.2μm（AVE. ±0.05μm）

ロストモーション
Lost Motion≦0.3μm（AVE. 0.1μm）

垂直度
Verticality≦5μm/5mm（AVE. 1.55μm/5mm）

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

49N（5kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

1.15kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring TypeV3

センサ基板型式
Sensor Model

F-116(HOME,LIMIT) 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ZA07A-W2C02-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA07A-W2C02-V※1

産業用Industrial

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※2

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jpI.indd 9

I-009

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