Linear Actuator

リニアアクチュエータ■ 一般環境用 for General Use■ 真空対応品

for Vacuum■ クリーンルーム対応品 for Clean Room
■ 発ガス対策品 for Low Outgas

http://ccj.citizen.co.jp/

超小型
リニアアクチュエータ
Ultra Miniaturized Linear Actuator

概

超小型

ストローク

Ultra Compact

StrokeRated ThrustHigh Resolution

φ16〜28 mm

6〜30 mm

1.5〜6 kgf

0.24〜0.625 μm

高分解能

定格推力

一方向繰り返し精度

両方向繰り返し精度

両方向位置決め精度

Unidirectional Repeatable Accuracy

Bidirectional Repeatable Accuracy

Bidirectional Positioning Accuracy

3〜20 μm

5〜25 μm

10〜50 μm

Special Features

要

超小型 AC サーボリニアアクチュエータは、
小型、軽量化を追求し、高精度な位置決めを可能にした直進式アクチュエータです。
モータ部には中空構造の AC サーボモータを、エンコーダ部には
超小型・高分解能の光学式ロータリーエンコーダを採用しており、ギアなどを使用しないダイレクトな設計となっているため、精密で高分解能な位置決めが可能です。
MAB シリーズ及び、MALB シリーズは、上記特長に加え、ボールネジを採用し高速、長寿命を実現しております。
MALS シリーズ及び、MALB シリーズは、高位置決め精度を維持
しつつ大幅なコストダウンを実現した、コストパフォーマンスに優れたモデルです。
AC サーボリニアアクチュエータを駆動させるドライバは、専用に開発された小型、軽量な多機能ドライバです。正弦波通電、ゲイン
LOW を有するため、リニアアクチュエータの動作で最も必要ななめ
らかな動作、位置決め時の振動ゼロを実現しました。
真空・クリーンルームなども比較的容易に対応でき、光学、半導体などの生産関連機器、測定機器、実験用機器など幅広い分野にご使用
いただけます。

Ultra miniaturized AC servo linear actuators are the compact and light linear
actuators, which enable precision positioning.
The motor section adapts an AC servo motor of hollow structure and theencoder section adopts an optical rotary encoder with ultra miniaturizationand high resolution. Together with these devices, the direct design without
gearhead achieves the precision positioning of high resolution.
MAB and MALB series utilizes ball screw to accomplish high speed andlong life. MALS and MALB series are cost-effective models, which largely
reduce the prices, but maintain the high precision positioning.
The compact and light multifunctional driver was specially developed forthis AC servo linier actuator. With the sinusoidal wave and gain low, thisactuator has a smooth motion and positions itself without vibration, themost crucial for the linear actuator.
The actuator is easily adaptable to be used in vacuum chambers or
clean rooms, and can also be applied to a wide range of applications,such as production, inspection and experimental equipment in optical andsemiconductor industries.

目 次 Contents■ 型式説明・アクチュエータの固定図・システム構成図■ リニアアクチュエータ● 一般環境用… p.2

Linear Actuator
for General Environment●

MALS-D18 series

スタンダードタイプ ( ローコストモデル )MALS-D18 series Standard type(Cost-effective Model)●

MAS-D16 series

スタンダードタイプ

MAS-D16 series●

MALS-D23 series

スタンダードタイプ ( ローコストモデル )MALS-D23 series Standard Type(Cost-effective Model)●

MAS-D23 series

スタンダードタイプ

MAS-D23 series

Standard Type●

MALB-D28 series

高速・長寿命タイプ ( ローコストモデル )MAS-D23 seriesHigh Speed / Long Life Type(Cost-effective Model)●

MAB-D28 series

高速・長寿命タイプ

MAB-D28 seriesHigh Speed / Long Life Type● 特殊環境対応型………………… p.3……………………………………… p.4

Standard Type………………… p.5…………………………………… p.6…… p.7……………………… p.8

Models for Special Environments●

MASC-D16 series

発塵対策品

MASC-D16 series Linear Actuator for Clean Room………………… p.9●

MASC-D23 series

発塵対策品

MASC-D23 series Linear Actuator for Clean Room………………… p.10●

MASG-D23 series ケミカル・発ガス対策品

MASG-D23 series Chemical Cleanliness■ 製品取り扱い上のご注意

Cautions for Handling Products■ ドライバControl Driver●

1

Reference to Model No.・Drawing of Actuator Fixing・System Configuration

LAD-01 series

LAD-01 series………………………… p.11……………………………… p.12……………………………………………… p.13 〜 14…………………………………………………… p.15 〜 16

■ 接続ケーブル

Cable■ 用語説明Term Definition■ 精度についてAccuracy Measurement………………………………………………… p.17………………………………… p.17 〜 18

型式説明Model No.

MAS - D23 H 25 - 03
機

種

Type

S : スタンダードタイプ
LS : スタンダードタイプ(ローコストモデル)
B : ボールネジタイプ
LB : ボールネジタイプ(ローコストモデル)
SC : クリーンルームタイプ
SG : ケミカル・発ガスタイプ

外 径 (mm)
Outer diameter

S : Standard type
LS : Standard type(Cost-effective Model)
B : Ball screw type
LB : Ball screw type(Cost-effective Model)
SC : for clean roo
SG : for chemical cleanliness

Use an accompanying screw nut to fix theactuator to a locking plate.

未記載の場合標準の2mとなります。

03: cable length is 200mm
Standard cable length is 2m when nocode is written at this position.

ストローク(mm)Stroke
先端子形状

H：平先
R ：球面先N：先端ネジ穴タイプ (MAB、MALB、MALSのみ対応)

Tip shape

H : Tip with flat point
R : Tip with spherical point
N : Tip with tapped hole (For MAB, MALB and MALS only)

アクチュエータの固定図● 付属されているナットを使用して固定板を挟み込んで固定してください。

ケーブル200mm選定時記載

Drawing of Actuator Fixing
0.05

A

A

アクチュエータ固定板
付属品

Locking Plate

アクチュエータ固定用ナット
Accompanying screw nut
for fixing the actuator

0.02(注1) 装置に取り付ける際には付属のナットをご利用ください。
リニアアクチュエータのボディを締め付けるような取り付けをすると、精度を満足できない場合があります。

Note 1) Use the accompanying screw nut to fix the actuator to yourequipment.
Desired accuracy may not be obtained when the actuator housing
is clenched for fixing.

(注2) アクチュエータ固定板の変形が著しい場合にナットを強く締めると摺動部が変形し、動作不良を起こす場合があります。

Note 2) The malfunction of shaft slide is concerned when the hardnessof locking plate is insufficient and the screw nut is tightened toostrongly.

位置決め
コントローラー
Positioning Controller

システム構成図

System Configuration

ドライバ

接続ケーブル

ACサーボ
リニアアクチュエータ

DriverCable

AC Servo Linear Actuator

DC24V 電源DC24V Power= 当社製品Products of our company

2

スタンダードタイプ

Standard TypeMALS-D18 series

ローコストモデル

Cost-Effective Model● ストローク：6/ 10/ 20 mm● 定 格 推 力 ： 1.5 kgf

Stroke● 分解能：0.5 μ m

Rated thrust

Resolution

SFチューブSF Tube

200

φ4

φ14

0

φ18

φ9.5 -0.009

2,000

平先
Flat tip
M9.5×0.5

4
ナット
Nut

2.6
15.4

5.5

● ケーブルの長さ 200mm の

5.5 9.5
ストローク
StrokeL

ご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。

原点(リミット検出)位置 ±0.5
Original position

Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

先端ネジ穴タイプは 1.5mmとなります。
with tapped hole type : 1.5 mm■ 仕 様 Specification型
項

Parameter

目

単位
Unit

ク

Stroke力

Rated thrustkgf

能Resolutionμm

度

Max speed

mm/s

ド

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ス

ト

定

ロ

格

分

推
解

最
ネ

ー

大
ジ

均

速
リ

反

ー

転

誤

差

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

MALS-D18H10
MALS-D18R10
MALS-D18N10

MALS-D18H20
MALS-D18R20
MALS-D18N20

6
1.5
0.5
4
0.4
10
15
30
10

10
1.5
0.5
4
0.4
12
17
35
10

20
1.5
0.5
4
0.4
15
20
50
15

注1）装置に取り付ける際には付属のナットをご使用ください。
ボディをしめつけるような取り付け方をしますと精度が満足できないことがあります。
注2）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。ただし組み付けの際には、引っ張り方向には定格推力を超える負荷をかけないようにご注意ください。
注3）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。
注4）本製品のエンコーダ仕様は2chでありZ相は搭載しておりません。
注5）原点位置については、用語説明のページをご参照ください。
注6）ネジ穴付きのNタイプにネジを取り付ける際、アクチュエータロッド部にかけるトルク
は1Nm以下としてください。1Nmを超えるトルクがかかった場合、アクチュエータの精度が悪化する恐れがあります。

3

Flat tip : H type

MALS-D18H06
MALS-D18R06
MALS-D18N06

mm

リ ミ ッ ト セ ン サ● 平 先：Hタイプ

Model

式

ホールセンサ

63
165
φ 18

● 球面先：Rタイプ

Spherical tip : R type

SR3
● ネジ穴付：Nタイプ

Tapped hole : N type

中心にM2深さ4 (注6)
M2 with depth of 4(Note 6)

Hall sensor

67
170
φ 18

77
175
φ 18

Note 1) Use the accompanying screw nut to fix the actuator to your equipment.
Desired accuracy may not be obtained when the actuator housing is clenched for
fixing.
Note 2) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection. Please be careful not to place more than a rated trust
in a forward thrust direction at a time of installation.
Note 3) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.
Note 4) The encoders of these models have 2 channels only and have no Z phase.
Note 5) As to the original position, refer to the page of term definition.
Note 6) Torque loaded on a rod of actuator need to be less than 1 Nm when installinga screw to a hole in the tip of N type. Torque of over 1 Nm may cause adeterioration of actuator’s precision.

● 安全機構付きストローク前進端にはダンパー機構があり、後退端には原点検出用
センサ兼用のエンドリミットセンサがあります。

● Safety Mechanism● 互換性
取付部が手動式マイクロメータヘッドと互換性があります。

● Compatibility

The damper system is set at the front end of stroke and limit sensor
is installed at the rear end.
The mounting section of this linear actuator is compatible withmanual micrometer.

● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。

● Special Driver● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

● Extension Cable

Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.

スタンダードタイプ（極細） Standard Type (Extra Fine)

MAS-D16 series● ストローク：6/ 10/ 20 mm

Stroke● 定 格 推 力 ： 2 kgf● 分解能：0.25 μ m

Rated thrust

Resolution

SFチューブSF Tubeφ9.5 -0.009

球面先Spherical tip
φ16

2,000
200

φ4

φ14

0

SR3

平先
Flat tip

4

5.5

M9.5×0.5

ナット
Nut

5.5
9.5

20.7
● ケーブルの長さ 200mm のL

ご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。

ストローク 5.5
原点位置 ±0.5
StrokeOriginal position

Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

■ 仕 様 Specification
型
項
ス

ト

定

ロ

ー

格

分

Parameter

目

推
解

最

大

速

単位
Unit

ク

Strokemm

力

Rated thrustkgf

能Resolutionμm

度

Max speed

mm/s

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ネ

ジ

均

リ

反

ー

転

誤

ド

差

リ ミ ッ ト セ ン サ

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

注1）装置に取り付ける際には付属のナットをご使用ください。
ボディをしめつけるような取り付け方をしますと精度が満足できないことがあります。
注2）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。ただし組み付けの際には、引っ張り方向には定格推力を超える負荷をかけないようにご注意ください。
注3）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。

Model

式

MAS-D16H06
MAS-D16R06

MAS-D16H10
MAS-D16R10

MAS-D16H20
MAS-D16R20

6
2
0.25
4
0.4
3
5
10
3

10
2
0.25
4
0.4
3
5
10
3

20
2
0.25
4
0.4
3
8
16
5

ホールセンサ

68
150
φ 16

72
155
φ 16

Hall sensor

82
160
φ 16

Note 1) Use the accompanying screw nut to fix the actuator to your equipment.
Desired accuracy may not be obtained when the actuator housing is clenched for
fixing.
Note 2) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection. Please be careful not to place more than a rated trust
in a forward thrust direction at a time of installation.
Note 3) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.

● 安全機構付きストローク前進端にはダンパー機構があり、後退端には原点検出用
センサ兼用のエンドリミットセンサがあります。

● Safety Mechanism● 互換性
取付部が手動式マイクロメータヘッドと互換性があります。

● Compatibility

The damper system is set at the front end of stroke and limit sensor
is installed at the rear end.
The mounting section of this linear actuator is compatible withmanual micrometer.

● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。

● Special Driver● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

● Extension Cable

Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.

4

スタンダードタイプ

Standard TypeMALS-D23 series

ローコストモデル

Cost-Effective Model● ストローク：10/ 15/ 25 mm

Stroke● 定 格 推 力 ： 4 kgf

Rated thrust● 分解能：0.5 μ m

Resolution

SFチューブSF Tube

200

φ6

φ14

0

φ23

φ9.5 -0.009

2,000

平先
Flat tip
M9.5×0.5

4
ナット
Nut

3.4
16.2

5.5
5.5 9.5
ストローク
Stroke● ケーブルの長さ 200mm のご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。

L

原点(リミット検出)位置 ±0.5
Original position

Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

先端ネジ穴タイプは 1.5mmとなります。
with tapped hole type : 1.5 mm■ 仕 様 Specification型
項

Parameter

目

単位
Unit

ク

Stroke力

Rated thrustkgf

能Resolutionμm

度

Max speed

mm/s

ド

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ス

ト

定

ロ

格

分

推
解

最
ネ

ー

大
ジ

均

速
リ

反

ー

転

誤

差

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

MALS-D23H15
MALS-D23R15
MALS-D23N15

MALS-D23H25
MALS-D23R25
MALS-D23N25

10
4
0.5
5
0.5
10
15
30
10

15
4
0.5
5
0.5
12
17
35
10

25
4
0.5
5
0.5
15
20
50
15

注1）装置に取り付ける際には付属のナットをご使用ください。
ボディをしめつけるような取り付け方をしますと精度が満足できないことがあります。
注2）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。
注3）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。
注4）本製品のエンコーダ仕様は2chでありZ相は搭載しておりません。
注5）原点位置については、用語説明のページをご参照ください。
注6）ネジ穴付きのNタイプにネジを取り付ける際、アクチュエータロッド部にかけるトルク
は1Nm以下としてください。1Nmを超えるトルクがかかった場合、アクチュエータの精度が悪化する恐れがあります。

5

Flat tip : H type

MALS-D23H10
MALS-D23R10
MALS-D23N10mm

リ ミ ッ ト セ ン サ● 平 先：Hタイプ

Model

式

ホールセンサ

69
220
φ 23

● 球面先：Rタイプ

Spherical tip : R type

SR4
● ネジ穴付：Nタイプ

Tapped hole : N type

中心にM3深さ5 (注6)
M3 with depth of 5
(Note 6)

Hall sensor

74
225
φ 23

84
230
φ 23

Note 1) Use the accompanying screw nut to fix the actuator to your equipment.
Desired accuracy may not be obtained when the actuator housing is clenched for
fixing.
Note 2) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection.
Note 3) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.
Note 4) The encoders of these models have 2 channels only and have no Z phase.
Note 5) As to the original position, refer to the page of term definition.
Note 6) Torque loaded on a rod of actuator need to be less than 1 Nm when installinga screw to a hole in the tip of N type. Torque of over 1 Nm may cause adeterioration of actuator’s precision.

● 安全機構付きストローク前進端にはダンパー機構があり、後退端には原点検出用
センサ兼用のエンドリミットセンサがあります。

● Safety Mechanism● 互換性
取付部が手動式マイクロメータヘッドと互換性があります。

● Compatibility

The damper system is set at the front end of stroke and limit sensor
is installed at the rear end.
The mounting section of this linear actuator is compatible withmanual micrometer.

● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。

● Special Driver● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

● Extension Cable

Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.

MAS-D23 series● ストローク：10/ 15/ 25 mm

Stroke● 定 格 推 力 ： 6 kgf● 分解能：0.25 μ m

Rated thrust

Resolution

球面先Spherical tip

200

0

φ6

φ14

2,000

φ23

φ9.5 -0.009

SR4

平先Flat tip
M9.5×0.5

4
ナット
Nut

5.5

18.8

9.5
ストローク 5.5
Stroke● ケーブルの長さ 200mm のL

ご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。

原点位置 ±0.5
Original position

Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

■ 仕 様 Specification
型
項
ス

ト

定

ロ

ー

格

分

Parameter

目

推
解

最

大

速

単位
Unit

ク

Strokemm

力

Rated thrustkgf

能Resolutionμm

度

Max speed

mm/s

ド

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ネ

ジ

均

リ

反

ー

転

誤

差

リ ミ ッ ト セ ン サ

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

注1）装置に取り付ける際には付属のナットをご使用ください。
ボディをしめつけるような取り付け方をしますと精度が満足できないことがあります。
注2）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。
注3）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。

Model

式

MAS-D23H10
MAS-D23R10

MAS-D23H15
MAS-D23R15

MAS-D23H25
MAS-D23R25

10
6
0.25
5
0.5
3
5
10
3

15
6
0.25
5
0.5
3
8
13
4

25
6
0.25
5
0.5
3
8
20
5

ホールセンサ

72
265
φ 23

Hall sensor

77
270
φ 23

87
280
φ 23

Note 1) Use the accompanying screw nut to fix the actuator to your equipment.
Desired accuracy may not be obtained when the actuator housing is clenched for
fixing.
Note 2) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection.
Note 3) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.

● 安全機構付きストローク前進端にはダンパー機構があり、後退端には原点検出用
センサ兼用のエンドリミットセンサがあります。

● Safety Mechanism● 互換性
取付部が手動式マイクロメータヘッドと互換性があります。

● Compatibility

The damper system is set at the front end of stroke and limit sensor
is installed at the rear end.
The mounting section of this linear actuator is compatible withmanual micrometer.

● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。

● Special Driver● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

● Extension Cable

Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.

6

High Speed/ Long Life Type

MALB-D28 series

ローコストモデル

Cost-Effective Model● ストローク：10/ 30 mm

Stroke● 定 格 推 力 ： 5 kgf

Rated thrust● 分解能：0.625 μ m

Resolution

SFチューブSF Tubeφ18 -0.01

with tapped hole
（先端ネジ穴タイプのみ）
M3深さ5
M3 with depth of 5

200

φ6

φ26

0

2,000
φ28

高速・長寿命タイプ

平先
Flat tip

5
ナット
Nut

3-M3 with depth of 4
3-M3深さ4φ24円周上onφ24circumference

9

3.5

M18×0.5

16.8
5.5 16ストローク
StrokeL

原点(リミット検出)位置 ±0.5
Original position

先端ネジ穴タイプは 1.5mmとなります。
with tapped hole type : 1.5 mm● ケーブルの長さ 200mm のご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。
Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

■ 仕 様 Specification
型
項

ス

ト

Parameter

目

ロ

ー

単位
Unit

ク

Strokemm

力

Rated thrust

kgf

短 時 間 最 大 推 力

Short time max thrust

kgf

分

定

格

推
解

最

大

速

能

Resolutionμm

度

Max speed

mm/s

ド

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ネ

ジ

均

リ

反

ー

転

誤

差

リ ミ ッ ト セ ン サ

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

注1） 装置に取り付ける際には付属のナットをご利用ください。

ボディをしめつけるような取り付け方をしますと精度が満足できないことがあります。
注2） アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。
注3） アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。
注4） M3取り付けネジ穴とケーブルとの位置関係は、任意。

式● 平 先：Hタイプ

Model

Flat tip : H type

MALB-D28H10
MALB-D28R10
MALB-D28N10

MALB-D28H30
MALB-D28R30
MALB-D28N30

10
5
8
0.625
40
1.0
10
15
30
10

30
5
8
0.625
40
1.0
20
25
40
20

ホールセンサ● 球面先：Rタイプ

Spherical tip : R type

SR4
● ネジ穴付：Nタイプ

Tapped hole : N type

中心にM3深さ5M3 with depth of 5

Hall sensor

92
400
φ 28

112
450
φ 28

Note 1) Use the accompanying screw nut to fix the actuator to your equipment.
Desired accuracy may not be obtained when the actuator housing is clenched for
fixing.
Note 2) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection.
Note 3) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.

注5）本製品のエンコーダ仕様は2chでありZ相は搭載しておりません。

Note 4) The relative position between the tapped hole for M3 set-screw and the cable isarbitrary.

注6）原点位置については、用語説明のページをご参照ください。

Note 5) The encoders of these models have 2 channels only and have no Z phase.
Note 6) As to the original position, refer to the page of term definition.

● 安全機構付きストロークの両端にはダンパー機構があります。ストローク後退
端にはリミットセンサも内蔵されています。
なお、ブレーキ機構は内蔵しておりませんので、モータ無通電時には、スピンドル部分に負荷がかかりますとスピンドルは動きます。従って、お客様の装置等にも安全対策が必要になる場合があります。
● 高速・長寿命
ボールネジを採用して、高速、長寿命を実現しております。
● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。
● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

7● Safety Mechanism

The damper systems are set at the both ends of stroke and limit
sensor is installed at the rear end.
The actuator shaft may move when a load is applied to it under
the condition of no current since the actuator is unequipped witha built-in brake mechanism. Therefore, the customer may needsafety measures to protect the equipment.
● High speed and long life
High speed and long life operation is realized by the application ofball screw.
● Special Driver
Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
● Extension Cable
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.

with tapped hole
（先端ネジ穴タイプのみ）
M3深さ5
M3 with depth of 5

● 定 格 推 力 ： 5 kgf

Rated thrust

Resolution

2,000

0

200

φ6

φ26

3-M3 with depth of 4
3-M3深さ4φ24円周上onφ24circumference● 分解能：0.5 μ m±0.1

Strokeφ28● ストローク：10/ 30 mm

φ18 -0.01

MAB-D28 series

平先Flat tip

5
ナット
Nut

19.4

9

M18×0.5
10 14
ストローク
StrokeL● ケーブルの長さ 200mm の原点位置 ±0.5
Original position

ご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。
Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

先端ネジ穴タイプは6mmとなります。
with tapped hole type: 6mm■ 仕 様 Specification
型
項

ス

ト

Parameter

目

ロ

ー

単位
Unit

ク

Strokemm

力

Rated thrust

kgf

短 時 間 最 大 推 力

Short time max thrust

kgf

分

能

Resolutionμm

度

Max speed

mm/s

ド

定

格

推
解

最

大

速

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ネ

ジ

均

リ

反

ー

転

誤

差

リ ミ ッ ト セ ン サ

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

注1）装置に取り付ける際には付属のナットをご利用ください。
ボディをしめつけるような取り付け方をしますと精度が満足できないことがあります。
注2）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。
注3）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。
注4）M3取り付けネジ穴とケーブルとの位置関係は、任意。

式● 平 先：Hタイプ

Model

Flat tip : H type

MAB-D28H10
MAB-D28R10
MAB-D28N10

MAB-D28H30
MAB-D28R30
MAB-D28N30

10
5
10
0.5
50
1
3
5
10
3

30
5
10
0.5
50
1
3
8
20
5

ホールセンサ● 球面先：Rタイプ

Spherical tip : R type

SR4
● ネジ穴付：Nタイプ

Tapped hole : N type

中心にM3深さ5M3 with depth of 5

Hall sensor

95
430
φ 28

115
480
φ 28

Note 1) Use the accompanying screw nut to fix the actuator to your equipment.
Desired accuracy may not be obtained when the actuator housing is clenched for
fixing.
Note 2) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection.
Note 3) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.
Note 4) The relative position between the tapped hole for M3 set-screw and the cable isarbitrary.

● 安全機構付きストロークの両端にはダンパー機構があります。ストローク後退
端にはリミットセンサも内蔵されています。
なお、ブレーキ機構は内蔵しておりませんので、モータ無通電時には、スピンドル部分に負荷がかかりますとスピンドルは動きます。従って、お客様の装置等にも安全対策が必要になる場合があります。
● 高速・長寿命
ボールネジを採用して、高速、長寿命を実現しております。
● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。
● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

● Safety Mechanism

The damper systems are set at the both ends of stroke and limit
sensor is installed at the rear end.
The actuator shaft may move when a load is applied to it under
the condition of no current since the actuator is unequipped witha built-in brake mechanism. Therefore, the customer may needsafety measures to protect the equipment.
● High speed and long life
High speed and long life operation is realized by the application ofball screw.
● Special Driver
Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
● Extension Cable
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.
8Models for Special Environments

特殊環境対応シリーズ

Linear Actuator for Clean Room

● 発塵対策品

MASC-D16 series

クリーン度クラス 100 対応

Clean

クリーン

● ストローク：6/ 10/ 20 mm● 定 格 推 力 ： 1.5 kgf

Stroke● 分解能：0.25 μ m

Rated thrust

Resolution

SFチューブSF Tubeφ9.5 -0.009

球面先Spherical tip
φ16

2,000

0

SR3

200

φ4

φ14

Applicable to Clean Class 100

平先Flat tip

4

5.5

M9.5×0.5

ナット
Nut

5.5

20.7

9.5

● ケーブルの長さ 200mm のご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。

L

ストローク 5.5
原点位置 ±0.5
StrokeOriginal position

Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

■ 仕 様 Specification
型
項
ス

ト

定

大

Unit

ク

Strokemm

力

Rated thrustkgf

能Resolution

μm

速

度

Max speed

mm/s

ド

ー

解

最

単位

推

ロ

格

分

Parameter目

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ネ

ジ

均

リ

反

ー

転

誤

差

リ ミ ッ ト セ ン サ

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

MASC-D16H06
MASC-D16R06

MASC-D16H10
MASC-D16R10

MASC-D16H20
MASC-D16R20

6
1.5
0.25
4
0.4
3
5
10
3

10
1.5
0.25
4
0.4
3
5
10
3

20
1.5
0.25
4
0.4
3
8
16
5

ホールセンサ

68
150
φ 16

Hall sensor

72
155
φ 16

82
160
φ 16

注1）モータがCW方向に回転の時、矢印方向に移動。

Note 1) The shaft moves in the direction of the arrow when the motor rotates in CW direction.

注2）リミットスイッチは必ずご使用ください。使用しない場合ロッドが奥に入り込んで復帰できない場合があります。

Note 2) Always use the limit switch. If not, the shaft may retrieve too deeply and nevercome out.

注3）リミットスイッチの論理はノーマリークローズです。リミットスイッチは上位のコントローラに接続してスイッチがONしたらパルス出力を停止するような処理を行ってください。

Note 3) The Logic of the limit switch is normally " Close ".
Please connect the limit switch to the higher rank controller and adjust the switch
so as to stop the pulse output when the signal is ON.

注4）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。ただし組み付けの際には、引っ張り方向には定格推力を超える負荷をかけないようにご注意ください。
注5）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。

9

Model

式

Note 4) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection. Please be careful not to place more than a rated trust
in a forward thrust direction at a time of installation.
Note 5) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.

● 安全機構付きストローク前進端にはダンパー機構があり、後退端には原点検出用
センサ兼用のエンドリミットセンサがあります。

● Safety Mechanism● 互換性
取付部が手動式マイクロメータヘッドと互換性があります。

● Compatibility

The damper system is set at the front end of stroke and limit sensor
is installed at the rear end.
The mounting section of this linear actuator is compatible withmanual micrometer.

● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。

● Special Driver● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012 とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

● Extension Cable

Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.

Linear Actuator for Clean Room

● 発塵対策品

MASC-D23 series

クリーン度クラス 100 対応

Clean

クリーン

● ストローク：10/ 15/ 25 mm

Stroke● 定 格 推 力 ： 3 kgf

Applicable to Clean Class 100● 分解能：0.25 μ m

Rated thrust

Resolution

φ23

2,000
200

φ6

φ14

0

SR4

φ9.5 -0.009

球面先Spherical tip

平先Flat tip
M9.5×0.5

4
ナット
Nut

5.5

18.8

9.5
ストローク 5.5
Stroke● ケーブルの長さ 200mm のL

ご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。

原点位置 ±0.5
Original position

Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

■ 仕 様 Specification
型
項
ス

ト

定

ロ

ー

格

分

Parameter

目

推
解

最

大

速

単位
Unit

ク

Strokemm

力

Rated thrustkgf

能Resolutionμm

度

Max speed

mm/s

ド

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ネ

ジ

均

リ

反

ー

転

誤

差

リ ミ ッ ト セ ン サ

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

Model

式

MASC-D23H10
MASC-D23R10

MASC-D23H15
MASC-D23R15

MASC-D23H25
MASC-D23R25

10
3
0.25
5
0.5
3
5
10
3

15
3
0.25
5
0.5
3
8
13
4

25
3
0.25
5
0.5
3
8
20
5

ホールセンサ

72
265
φ 23

Hall sensor

77
270
φ 23

87
280
φ 23

注1）モータがCW方向に回転の時、矢印方向に移動。

Note 1) The shaft moves in the direction of the arrow when the motor rotates in CW direction.

注2）リミットスイッチは必ずご使用ください。使用しない場合ロッドが奥に入り込んで復帰できない場合があります。

Note 2) Always use the limit switch. If not, the shaft may retrieve too deeply and nevercome out.

注3）リミットスイッチの論理はノーマリークローズです。リミットスイッチは上位のコントローラに接続してスイッチがONしたらパルス出力を停止するような処理を行ってください。
注4）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。
注5）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。

Note 3) The Logic of the limit switch is normally " Close ".
Please connect the limit switch to the higher rank controller and adjust the switch
so as to stop the pulse output when the signal is ON.
Note 4) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection.
Note 5) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.

● 安全機構付きストローク前進端にはダンパー機構があり、後退端には原点検出用
センサ兼用のエンドリミットセンサがあります。

● Safety Mechanism● 互換性
取付部が手動式マイクロメータヘッドと互換性があります。

● Compatibility

The damper system is set at the front end of stroke and limit sensor
is installed at the rear end.
The mounting section of this linear actuator is compatible withmanual micrometer.

● 専用ドライバ
駆動には専用ドライバ LAD-01シリーズ(推奨)が必要です。

● Special Driver● 延長ケーブル
エンコーダは、オープンコレクタ出力ですが、ラインドライバ対応のドライバ LAD-01D-012とラインドライバ付き延長ケーブルを併用することにより、伝送距離を長くとることができます。

● Extension Cable

Please use the driver LAD-01 series (Recommend) was speciallydeveloped for this actuator.
The encoder is open collector type. The transmission distance may
be extended by the use of LAD-01D-012 (good for line driver type)with an extension cable.

10Models for Special Environments

特殊環境対応シリーズ● ケミカル・発ガス対策品

Chemical Cleanliness

MASG-D23 series

ケミカル・発ガス

Chemical Cleanliness● ストローク：10/ 15/ 25 mm

Stroke● 定 格 推 力 ： 3 kgf

Rated thrust● 分解能：0.25 μ m

Resolution

球面先Spherical tip
0

φ23

φ9.5 -0.009

2,000
200

φ6

φ14

SR4

平先
Flat tip

4
ナット
Nut

5

M9.5×0.5

5.5
5.5 9.5
ストローク
Stroke● ケーブルの長さ 200mm の

23.3

ご注文時は型式の最後にー 03 を付けてください。

L

Add -03 at the last part ofmodel number with orderwhen 200 mm cable length
is required.

原点位置 ±0.5
Original position■ 仕 様 Specification
型
項
ス

ト

定

大

Unit

ク

Strokemm

力

Rated thrustkgf

能Resolution

μm

速

度

Max speed

mm/s

ド

ー

解

最

単位

推

ロ

格

分

Parameter目

Screw leadmm

一方向繰り返し精度

Unidirectional repeatable accuracyμm

両方向繰り返し精度

Bidirectional repeatable accuracyμm

両方向位置決め精度

Bidirectional positioning accuracyμm

平

Average reversal error

μm

ネ

ジ

均

リ

反

ー

転

誤

差

リ ミ ッ ト セ ン サ

Limit sensor

−

寸

L

Lengthmm

量Weightg

径Diameter

mm

法

重
製

品

MASG-D23H10
MASG-D23R10

MASG-D23H15
MASG-D23R15

MASG-D23H25
MASG-D23R25

10
3
0.25
5
0.5
3
5
10
3

15
3
0.25
5
0.5
3
8
13
4

25
3
0.25
5
0.5
3
8
20
5

ホールセンサ

77
285
φ 23

Hall sensor

82
290
φ 23

92
300
φ 23

注1）モータがCW方向に回転の時、矢印方向に移動。

Note 1) The shaft moves in the direction of the arrow when the motor rotates in CW direction.

注2）リミットスイッチは必ずご使用ください。使用しない場合ロッドが奥に入り込んで復帰できない場合があります。

Note 2) Always use the limit switch. If not, the shaft may retrieve too deeply and nevercome out.

注3）リミットスイッチの論理はノーマリークローズです。リミットスイッチは上位のコントローラに接続してスイッチがONしたらパルス出力を停止するような処理を行ってください。
注4）アクチュエータは押し込み方向と引っ張り方向の両方の荷重を受けられます。ご使用の際にはどちらか一方向のみ荷重がかかるようにバネ等で予圧荷重をかけるようにしてください。予圧荷重をかけない場合、バックラッシュが発生し、精度が満足できない場合があります。なお、当社出荷時の検査では、押し込み方向に予圧荷重800gfを作用させ、精度測定を実施しております。
注5）アクチュエータケーブルは耐屈曲性のケーブルは使用しておりません。繰り返しの曲げ応力が加わるような場合には弊社までご連絡ください。

11

Model

式

Note 3) The Logic of the limit switch is normally " Close ".
Please connect the limit switch to the higher rank controller and adjust the switch
so as to stop the pulse output when the signal is ON.
Note 4) The actuator shaft can receive a load in the both of forward and backward thrust
directions. Use springs or something similar to apply pre-load to the shaft in either
one direction at the operation. Backlash is concerned and desired accuracy may
not be obtained when no pre-load is applied to the shaft. We perform the accuracy
measurements by applying the pre-load of 800gf in the backward thrust direction
at our shipping inspection.
Note 5) The actuator cable is not designed to withstand repeated bending stress. Pleasecontact us if the cable receives repeated bending stress.

製品取り扱い上のご注意
Cautions for Handling Products

製品およびその付属品は精密機器製品であり、取扱い・保管上の注意など、ここに記載した事項は全て正しく理解され、取り扱われることを前提としております。
ご使用にあたり、製品知識の習熟と安全に対する確認をいただいてからご使用願います。
安全上、最小限の注意内容は下記のとおりです。
開梱時● 製品受領後、外観に異常が無いか、ご注文通りの製品であるかを確認してください。

取扱い上の注意● 電源投入前に、必ず配線の確認をしてください。

誤配線は異常動作および故障の原因となります。
● リニアアクチュエータのケーブル（リード線）を持って、引張ったり、根元から折り曲げたりしないでください。故障の原因になります。
● リニアアクチュエータにはアース端子がありません。アースを取る必要がある場合は筐体で取ってください。
● 軸への衝撃や、ラジアル荷重を加えないでください。また規定を超えるスラスト荷重を加えないでください。故障、動作不良の原因になります。
● リニアアクチュエータの取り付けは、p.2 の『アクチュエータの固定』を参考にしてください。
● ドライバ、その他オプション品の取り付けは外形図の規格に沿ったネジをご使用ください。特にドライバ固定用のネジが長すぎると基板を傷つけ、誤動作、ショート、火災の原因になります。
● リニアアクチュエータおよびその付属製品の寿命は、負荷条件・動作モード・使用環境によって大きく異なりますので実機動作確認を十分に行ってください。
● 腐食性ガス・有害なガスなどを発生する物質が存在する環境下での使用、及び保管は行わないでください。また、ホコリ、

水滴または油が製品内部に入らないようにしてください。
● 発煙、
異常発熱、
異臭、
異常音、
異常振動などが発生した場合、直ちに運転を停止し、電源を切って、弊社までご連絡ください。

その他の注意● 不具合などがございましたら、分解などはせずにそのままの状態を保ち、ご一報の上ご返送ください。製品は弊社へご返送いただくか、お持ち込みいただいた場合のみ調査・修理致します。

Products and other accompanying items are high precision products. All the cautions andwarnings listed below should be properly understood and observed.
Use the products after fully acquiring the product knowledge and confirming the safety
handlings.
Minimal cautions for safety use are followings.
Caution at unpacking● Perform visual inspection and confirm the model number when receiving the products.
Cautions for handling● Check the wire connection firstly.
Faulty wiring shall cause malfunctions and defects.
● Do not pull the actuator cable and bend the root of cable. It may cause defects.
● Our actuator does not have ground terminals. Use the motor housing for the earth ground.
● Do not hit or add radial overload to the shaft. Do not add impermissible thrust overload to the shaft. It shall damage
the products.
● Refer to『Actuator Fixing』on P. 2 for the method.
● Use the screws, which are prescribed in the drawings, for driver and accompanying items. It shall damage theboards and cause malfunction, electric leakage and ignition, especially when excessively long screws are used forthe driver.
● The life of actuator and accompanying items shall be affected by the load condition, operation mode and use
environment. Fully perform the machine operation test.
● Do not use and store the products under the environment, which stores the materials of corrosive or poisonousgas. Avoid the intrusion of dust, droplet and oil into the products.
● Stop the operation and turn off the power when smoke, excess heat, abnormal smell, abnormal sound andabnormal vibration are perceived.
Additional Caution● Do not disassemble the products, but report it and return them when you find troubles.
We perform the investigation and repair only when the products are returned properly.

12リニアアクチュエータ対応ドライバ

For Linear Actuator, Control Driver

LAD-01 series
LAD-01 Series
LAD-01C-012
LAD-01D-012

オープンコレクタ対応 for Open Collector
ラインドライバ対応

for Line Driver

USBケーブルによるシリアル通信機能によるパラメータ・ゲイン
設定が可能です。

Parameters and gains can be set by serial communication
through USB cable.

■特長■ 外形図・取り付け寸法 ( 単位：mm)
Outside Configuration, Install Dimension (Unit: mm)● 本製品は３相正弦波PWM駆動のドライバです。
● 当社製超小型リニアアクチュエータ専用ドライバです。

44
32● 予めパラメータ設定された２通りのゲイン設定を入力

信号により切替可能。

7■ Special Features

29.5

5

81.5

8

● This motor driver is designed with a PWM control method

to output 3 phase sine wave.
フレーム
グラウンド用M3タップ● This motor driver is designed for exclusive use of ourultra miniaturized linear actuators.
switched by input signal.

M3 Tap fora frame ground.

120

125

● Two types of preprogrammed gain setting can be

CN1

金属製カバー
Metal cover
4-φ4穴
4-φ4 hole
アルミ製基板取付シャージ

2

Aluminum chassis to hold a circuit board■ 制御ブロック図 Circuit Configuration

DC/DC
CONV.

モータ駆動用電源

24 V

Power-supply to drive motor

0V
USB MINI-Bコネクタ
USB MINI-B Connector

E2PROMUSB
トラン
シーバ USB
Transceiver前進

Forward

マイクロコントローラ

シリアル
I/O
Serial I/ O

Pulse
パルス Counter
カウンタ

Micro Controller

パラメータ Process to set up
設定処理 parameters

後退

Backward

/SVON
/GLOW

入出力 Input/ output
I / O制御 control/RES

d-q/ 3-phasea.c.ordinate
converter

id

3相交流/
d-q座標
変換器

iq

/CLR
/GAIN
/TRQ

IO
Port

/LSF
/LSR
/READY

Positioncommand
位置指令θ*

id*=0
位 置
制御器
Positioncontroller

/ALM

ω*

速 度
制御器
Speed
controller

iu convertersinθ
Current
controller

/ORZ
EMG

Linear Actuator

変換器

Circuit to detectcurrent of motor

cosθ

cos
sin

IO
ポート

リニアアクチュエータ
iv 12bit A/D

iq*

3相モータ
駆動回路

電 流 vd*制御器

d-q/ 3相
交流座標
変換器

vu*

v *
電 流 q
制御器
Current
controller

3-phasea.c./d-q
ordinateconverter

vw*

vv*

モータ電流
検出回路

PWM
出力
PWM
outputCircuit to drive
3-phase motor

/INP
/ORGF
/LSFM
/LSRM
RS-422A
Line Driver
EAM
EBM
EZM

13

RS-422Aライン
ドライバ

Speed 速度 ωθmechanical angle 機械角 θ

速度・位置
信号処理器

パルス
カウンタ

θelectric angle 電気角 θ

Speed /
position signal
processor

Pulse
Counter

エンコーダ
Encoder■ 仕 様 Specification
型

LAD-01 シリーズ

式

LAD-01 SeriesModel

入 力 電 源 電 圧 DC24V

Input Power Supply

連続定格出力電流 3 Arms

Continuous Rated Output Current 3 Arms

最大定格出力電流 10 A peak

Max Rated Output Current

10 A peak制Control System

Positioning Control

エ ン コ ー ダ 入 力 φA、φB、φZ (MALS / MALBシリーズにはZ相はありません。)

Encoder Input

φ A, φ B, φ Z (MALS / MALB series has no Z phase.)

ホ ー ル セ ン サ φU、φV、φW (ホールIC)Hall sensor

φ U, φ V, φ W (Hall IC)

御方式 位置制御入力最大周波数

DC 24V

MAS-D16

16kHz

MAB-D28100kHzMAS-D16

16kHz

MAB-D28

MASC-D16

16kHz

MALS-D18

8kHz

MASC-D16

16kHz

MALS-D18

8kHz

MAS-D23

20kHz

MALS-D23

10kHz

MAS-D23

20kHz

MALS-D23

10kHz

MASC-D23

20kHz

MALB-D28

64kHz

MASC-D23

20kHz

MALB-D28

64kHz

Input Max Frequency

位 置 決 め 精 度 エンコーダ分解能の±1パルス

Positioning Accuracy± 1 pulse of encoder resolution

エンコーダ逓倍機能 ×4逓倍

Multiplication function of encoder× 4 multiplication function

指 令 逓 倍 機 能 2パルス方式のみ×4逓倍固定

他は×1逓倍100kHzControl multiplication function

2 pulse systems: fixed 4 multiplications, others: 1 multiplication.

Operating temperature

0 〜 50 ℃

動作

温度 0 〜 50℃

動作

湿

度 85%RH以下

但し結露なきこと

Operating humidity

Below 85%RH without bedewing

保

存

温

度 -20 〜 85℃

但し結露なきこと

Storage temperature-20 to 85℃

without bedewing● Input Signals●入力信号[ パラメータ設定で選択 ]1.（2パルス方式）CW、CCWパルス方式
パ ル ス 入 力 信 号 2.（1パルス方式）パルス、方向方式
3. 2相パルス方式(入力はフォトカプラにてアイソレーションされる)

Pulse input system

Selectable with parameter setting
1.（2 pulse system）CW or CCW pulse system
2.（1 pulse system）Pulse, Direction, Input
3. 2-phase pulse system(Input is isolated by photo coupler)

リ セ ッ ト 入 力 アラーム出力リセット及び残留パルスリセット 論理はLowアクティブ

Reset input

Alarm output reset, Residual pulse reset, Low active logic.

リミットセンサ入力 LSF (CW禁止)、LSR (CCW禁止)

Limit sensor input

LSF (CW prohibition), LSR (CCW prohibition)( モータフリー入力 ) なし

(motor-free input)

Not available

G-Low input

Low active is the logic of Gain Low(gain lowering due to the reduction of vibration at stoppage)

G-Low

入

力 ゲインロウ(停止時の振動低減の為のゲイン低下)論理はLowアクティブ

Low アクティブ

Deviation clear

Reset residual pulse, Low active

ゲ イ ン 切 替 予め設定された２組のゲイン設定を切替可能 Low アクティブ

Gain switching

Switchable to 2 types of preprogrammed gain setting, Low active

原 点 出 し 開 始 予め設定したモードで原点サーチを実行する Lowアクティブ

Start of retrieving original point

Execute searching of an original point with a preprogrammed mode, Low active●出力信号● Output Signals

偏 差 ク リ ア 残留パルスリセット

I N P

出

力

インポジション出力、パラメータ設定にて0 〜±15パルスの範囲で設定可能

論理はLowアクティブ

INP Output

エンコーダ断線、フルトルク、フルカウント、オーバーヒートの何れか
ア ラ ー ム 出 力 のアラームの時出力されます。(エンコーダ断線はラインドライバタイプのみ)

Alarm output

エラー時のアラーム内容はLEDの点滅回数で表現されます。

エンコーダ出力

φA、φB、φZ

RS-422相当出力

Encoder output

In-position output can be set within a range from 0 to ± 15 pulse,
Low active
It is output when encoder disconnection or full torque or full count oroverheat occurs. (Encoder disconnection alarm is available only for aline driver type.)
Cause of alarm is expressed by a number of times of flushing
φ A, φ B, φ Z

Equivalent to RS-422 output

リ ミ ッ ト 出 力 前記リミットセンサ（LSF、LSR）の入力をフォトカプラで出力

Limit output

Input from limit sensor is output by photo coupler

原 点 出 し 完 了 原点出し開始入力信号による原点サーチが完了した場合出力

Completion of searchingan original point

It is output when a search of original point is completed by a startsignal to retrieve an original point.

Ready

It is output when command pulse is ready to be input with the servo activated.

レディ サーボONし、指令パルスが入力可能状態で出力●調整機能● Control Functions

電 源 ゲ イ ン

Power supply gain

速度比例ゲインパラメータ設定により調整可能

Speed proportionate gain

速度積分ゲインSpeed integration gain

位 置 ゲ イ ン

Positional gain

Adjustable by parameter setting● Display Functions

●表示機能

PWR

電源（＋24V）入力時点灯

PWR

Power ( ＋ 24V)

SV

サーボON時点灯

SVLight up at the time of servo activation

ALM

アラーム発生時点灯

ALM

Light up at the time of alarm occurrence.

INP

偏差残量インポジション設定値以内に入っているとき点灯

INP

Residual deviation is within in-position setting point

ORZ

原点出し開始入力信号による原点サーチを実行して完了した場合に点灯

ORZ

Light up when a search of original point is completed by a startsignal to retrieve an original point.

14

接続ケーブル

Cable

MA-111-003

熱収縮チューブ
Thermal contraction tube

● コネクタ変換ケーブル

50

オープンコレクタで使用する際のケーブルです。

Actuator connection cableThis cable is used for open collector type.

アクチュエータ側
To actuator

ドライバ側
To driver300±20※ アクチュエータ、ドライバに受け側コネクタは添付されていますので、お客様で製作することも可能です。(コネクタ形状は異なります。)
Connectors for cable are accompanied with actuator and driver so that you can make your own cable by yourself (The shapes of connectors are different fromthe drawing).

MA-321-XXX

40

熱収縮チューブ
Thermal contraction tube
35

● ラインドライバ Box 付き延長ケーブル
ラインドライバ対応ドライバへの直結タイプ

50

54

Direct connection type to driver for line driver.

ドライバ側
To driverL
25

3

Extension cable with line driver box

2−φ3.2MA-321-030（L=3m ± 50mm）
MA-321-050（L=5m ± 70mm）
MA-321-100（L=10m ± 100mm）

325

1. MRP-25F01 (本多通信工業 HONDA TSUSHIN KOGYO CO., LTD.)
2. DF1B-24DS-2.5RC (ヒロセ電機 HIROSE ELECTRIC CO., LTD.)
3. H4P-SHF-AA (日本圧着端子 J.S.T. Mfg. Co., Ltd.)

MA-322-XXX● ラインドライバ Box 付き延長ケーブル

付属コネクタAttached connector

40

1

2

3

35

MA-322-XXX のコネクタをお客様装置のパネルに固定して使用される場合。ドライバとは直結できません。

54

When MA-322-XXX connector is fixed to your panel unit.
This cannot be directly connected to the driver.

50

L
25

3

Extension cable with line driver box

MA-322-030（L=3m ± 50mm）
MA-322-050（L=5m ± 70mm）
MA-322-100（L=10m ± 100mm）

2532−φ3.2MA-171-020● ロボットケーブル
オープンコレクタドライバ直結タイプ
リニアアクチュエータケーブル長さ200mmタイプのみで使用可能です。

熱収縮チューブ
Thermal contraction tube

熱収縮チューブ
Thermal contraction tube

Robot cableThis cable is connected directly to the open collector type driver.
This cable can be used only when the actuator, whose cable
length is 200mm, is selected.

アクチュエータ側
To actuator

2000±50※ オープンコレクタ状態で保証できる長さは、2.5m迄です。オープンコレクタ仕様アクチュエータをご使用でMA-171-020を選定される場合は、アクチュエータ型番の末尾に(03)をつけたアクチュエータケーブル長さ200mm仕様をご指定ください。
The prompt transmission of electric current and signals is guaranteed only when the total cable length is within 2.5m for Open Collector.
Please add -03 (actuator cable length:200mm) at the last part of Open Collector model type with MA-171-020.

MA-175-020● ロボットケーブル
リニアアクチュエータケーブル長さ 200mm
タイプのみで使用可能です。

熱収縮チューブ
Thermal contraction tube

熱収縮チューブ
Thermal contraction tube

Robot cableThis cable can be used only when the actuator,
whose cable length is 200mm, is selected.

アクチュエータ側
To actuator

2000±50※ オープンコレクタ状態で保証できる長さは、2.5m迄です。オープンコレクタ仕様アクチュエータをご使用でMA-175-020を選定される場合は、アクチュエータ型番の末尾に(03)をつけたアクチュエータケーブル長さ200mm仕様をご指定ください。
The prompt transmission of electric current and signals is guaranteed only when the total cable length is within 2.5m for Open Collector.
Please add -03 (actuator cable length:200mm) at the last part of Open Collector model type with MA-175-020.

15

ドライバ側
To driverケーブル組合せ参考図

Reference Drawing of Combination with Cables
ラインドライバ対応
ドライバ
Driver for Line
Driver

オープンコレクタ
ドライバ
Open Collector
Type Driver

MAS / MALS
MAB / MALB
MASC / MASG

MA-111-003

MA-321-XXX

お客様配線

MA-322-XXX

Wiring by yourself

お客様配線
Wiring by yourself

例 ) MA-322-XXX のコネクタを、お客様装置のパネルに固定して使用される場合。

例 ) リニアアクチュエータのコネクタを、
お客様装置のパネルに固定して使用される場合。

e.g. When MA-322-XXX connector is fixed toyour panel unit.

e.g. When Linear Actuator connector isfixed to your panel unit.

-03：アクチュエータ型番末尾
The last code of Linear Actuator

LAD-01C-012
MA-171-020(Robot cable)※ -03

LAD-01D-012

MA-321-XXX(200mm)MA-111-003
お客様配線
Wiring by yourself※

MA-175-020

MA-322-XXX※※(Robot cable)

MA-175-020(Robot cable)

MA-175-020(Robot cable)

お客様配線
Wiring by yourself

MA-321-XXX例 ) リニアアクチュエータのコネクタを、
お客様装置のパネルに固定して使用さ
れる場合。

※

e.g. When Linear Actuator connector isfixed to your panel unit.

例 ) MA-322-XXX のコネクタを、お客様装置のパネルに固定して使用される場合。

MA-175-020(Robot cable)

MA-322-XXX

お客様配線
Wiring by yourself

e.g. When MA-322-XXX connector is fixed toyour panel unit.

※ MA-175-020: (03) 仕様アクチュエータに接続する事により、延長ケーブルとしてお使い頂けます。
MA-175-020: It can be used as an extension cable by connecting to -03 Actuator.

ケーブル長さ合計：2.5m 以下

ケーブル長さ合計：12.5m 以下

Total Cable Length: Shorter than 2.5m

Total Cable Length: Shorter than 12.5m

16

用語説明

Term Definition● ストローク●

Stroke●Rated Thrust●

Resolution

Traveling range of linear actuator shaft at forward and backward movements

リニアアクチュエータのロッド（可動軸）を前進、後退できる移動範囲● 定格推力Max thrust power including pre-load amount at the max speed of linear actuator

リニアアクチュエータを最大速度で運転可能な、予圧量を含めた最大推力● 分解能

This is a minimum traveling distance per 1 pulse transmitted from the driver, which
is logically attained for the position control. It is calculated by the pulse train
number of encoder, multiplying rate of driver and lead length of screw.

リニアアクチュエータ内のロータリエンコーダパルス数、駆動ドライバのエンコーダ
逓倍数、及びネジリードから算出される、理論上の位置決め可能な最小値で、コント
ローラからの指令パルス 1 パルスあたりの移動量

L
×10-3
P× m
L: Screw Lead (mm), P: Encoder pulse train (Pulse), m: Multiplication

L
×10-3
P×m
L：ねじリード [mm]、P：エンコーダパルス数 [Pulse]、m：逓倍数

Resolution [μm] ＝分解能 [μm] ＝

●

●予 圧

Load toward the thrust (backward) direction to reduce the gaps in lead screw andball screw of shaft.

送りねじ、あるいはボールねじの軸方向スキマを低減させるための荷重● 原点位置●当社では、下記の通り機種により原点位置の定義が異なります。

定義 A

Pre-load

Original Position
Our company defines two ways of original position settings as followings.

定義 B

後退

Definition A

後退

Definition B

Backward

Backward

前進①. リミットセンサが ON する位置までリニア
アクチュエータを最大速度で後退、停止さ前進せる。
Forward②. リミットセンサが OFF し、かつ、リニアア
クチュエータ内のロータリエンコーダ Z 相の立ち上がりを検出するまで、最大速度の10% の速度で前進、停止させる。

前進

Forward

リニア
アクチュエータ
LinearActuator

Forward

LinearActuator②の停止位置が原点位置。

リミットセンサ ON
Limit Sensor ON
リミットセンサ OFF
Limit Sensor OFF
エンコーダ Z 相
Encoder Z phase

原点位置
Original Position①. リミットセンサが ON する位置までリニアア
クチュエータを最大速度で後退、停止させる。
②. リミットセンサが OFF するまで最大速度の10% の速度で前進、停止させる。

リニア
アクチュエータ①. You move the shaft toward the backward
direction and stop it when the alarm of limit
sensor is activated.
②. You move the shaft at 10% of max speed
toward the forward direction to deactivate thealarm and stop it when the first Z phase isdetected.

② の停止位置が原点位置。

リミットセンサ ON
Limit Sensor ON
リミットセンサ OFF
Limit Sensor OFF

The above point is regarded as the original position.
原点位置

The above point is regarded as an original position.

原点位置の定義①. You move the shaft toward the backward
direction and stop it when the alarm of limit
sensor is activated.
Youmove the shaft at 10% of max speed②.
toward the forward direction, and stop it when
the alarm is deactivated.

Original Position

Definition

対 応 機 種Model

A

MAS Series、 MAB Series、 MAR Series、 MASC Series、 MASG Series

B

MALS Series、MALB Series● 位置決め精度●

Positioning Accuracy
This indicates an absolute error at the position where the shaft stops at the target
position. It is synonymous with absolute accuracy including repeatable accuracy.

目標位置に対する実際に停止した位置の絶対誤差のこと。
繰返し精度も含まれた絶対精度です。
● 繰返し精度●

Repeatable Accuracy●

Average Reversal Error

This means repeatability when you perform the positioning repeatedly.

任意の位置に繰返し位置決めを行った時の位置の再現性です。
● 平均反転誤差

This is an average difference of stop positions when you operate the positioning to
the target position from the forward and backward directions.

各目標位置に正（前進）と負（後退）方向から位置決めを行った時の、正方向からの停止位置と負方向からの停止位置の差（反転誤差）を平均したものです。

精度についてAccuracy Measurement
In accordance with “JIS B 6201” (Machine Tool - General Rule of Test
Method), CITIZEN CHIBA PRECISION performs the accuracy
measurement and defines the accuracy.

シ チ ズ ン 千 葉 精 密 で は、精 度 測 定 方 法 と 精 度 に 関 す る 定 義 を
JIS B 6201( 工作機械 - 試験方法通則 ) に準拠し、下記の通り
実施しております。

■ Accuracy Measurement■ 精度測定方法
図 -1 に示す試験サイクルに従って、あらかじめ設定した目標位置に正 ( 前進方向 ) 及び負（後退方向 ) の向きから順次 5 回位置決めを行い、それぞれの目標位置において実際に停止した位置との誤差（偏差）を求め、一方向繰返し精度、両方向繰返し精度、両方向
位置決め精度、平均反転誤差の 4 項目を算出し、評価する。
なお、P0 〜 P8 までの 1 ステップ量は、下記の計算式により決定する。
1 ステップ量 ＝stroke - 0.25mm
8stroke ‒（1 ステップ量 × 8）

stroke後退
Backward

Linear Actuator( 原点 )
位置決め
回数
Number of
Positioning

Original Position

移動方向
MovingDirection

P0

P1

P2

P3

1

P5

P6

P7

P8

P9

As indicated in “ Drawing 1 ” , we operate thepositioning to the target positions from theforward and backward directions five times.
By investigating the difference (deviation) oftarget and actual stop positions, we calculate“ Unidirectional Repeatable Accuracy ” ,“ Bidirectional Repeatable Accuracy ” ,“ Bidirectional Positioning Accuracy ” and“ Average Reversal Error ” .

1

The following formula calculates the
distance of 1 step from P.0~8.

[mm]
Distance of 1 step ＝●●

1 ステップ1 Step●55

図1
Drawing 1

17

P4

2

1 ステップ量に相当する位置指令パルス数
において、100 パルス未満は切り捨て、
P8⇔P9 間のステップ量は

とする。

前進
Forward

リニア
アクチュエータ

stroke - 0.25mm
8[mm]

We truncate less than 100 pulses from thenumber of pulse trains, which is transmitted
from the amount of 1 step.
The following is the amount between P8~P9;
stroke – (amount of 1 step × 8)

目標位置と実際に停止した位置の誤差（偏差）から、表 -1 に規定する計算式に従い、一方向繰返し精度、両方向繰返し精度、両方向位置決め精度、平均反転誤差を求める。

表1

Table-1

In accordance with the above formula in the Drawing 1 and the difference (deviation) of target andactual stop positions, we calculate “ Unidirectional Repeatable Accuracy ” , “ Birectional
Repeatable Accuracy ” , “ Bidirectional Positioning Accuracy ” and “ Average Reversal Error ” .
定義式

番号

定義

NumberDefinitional Identity

記号Definition

Code

負の向きの位置決め↓
Positioning from Backward Direction

1

位置決め目標位置の番号2

j 番目の目標位置“ j ” th target position3

j における i 回目の位置決め時の正または負の向きの停止位置

Actual stop point to the target position“ j ” on “ i ” th positionings from forward
or backward direction

Pji↑
Pji↑
or
Pji↓

4

Pj における i 回目の正又は負の向きの停止位置と目標位置との偏差

Deviation between actual and target stop
positions at “ Pj ” point on “ i ” th positionings
from forward or backward direction

x ji↑
or
x ji↓
−
x j↑

5

Pj への 5 回の位置決めの停止位置の Average deviation of actual stop positionsorto “ Pj ” point on 5 positionings
平均偏差
−
x j↓

6

Pj における反転誤差

7

Pj における一方向位置
決め時の標準偏差の推定値

における位置決め精度

運動軸の位置決め精度

Positioning accuracy at “ Pj ” point Positioning accuracy of kinetic axis

Pj

8

Number of Target Stop Position

正の向きの位置決め↑
Positioning from Forward Direction

Reversal error at “ Pj ” point

一方向位置決め位置の
限界

計算式に
よる方法
幅による
方法
上限値

Estimate of average
deviation at “ Pj ” point on
unidierctional positioning

Limit of unidirectional
positioning accuracy

下限値jj＝1, 2, 3, ‥‥, n

Pj

Pj

Bj
Calculating
Formula

sj↑
or
sj↓

Calcurationfrom width

x ji↑＝Pji↑−Pjx ji↓＝Pji↓−Pj

15−x j↑＝−
ji↑
5 Σx
i＝1

15
−
x j↓＝−
ji↓
5 Σx
i＝1

−j↑−x
−j↓
Bj＝x
1 5
−
2
sj↑＝ −4 Σ(x ji↑−x j↑)
i＝1

sj↑＝

Upper Limit
Lower LimitPji↓x ji↑ max−x ji↑ min
2.326−j↓＋3sj↓
Pju ＝xPjl−j↓−3sj↓
Pjl＝x

Rj↑＝6sj↑

Rj↓＝6sj↓

Rj↑
or
Rj↓

10

両方向繰り返し精度

Bidirectional Repeatable Accuracy

Rj

11( 軸の ) 一方向繰り返し精度

Unidirectional Repeatable Accuracy(of Kinetic Axis)

R↑
or
R↓

R↑＝(Rj↑) max

12( 軸の ) 両方向繰り返し精度

Bidirectional Repeatable Accuracy (of Kinetic Axis)

R

R＝(Rj) m a x

13( 軸の ) 両方向位置決め精度

Bidirectional Positioning Accuracy (of Kinetic Axis)

A

A＝(Pju ) m a x −(Pjl) m a x

14

平均反転誤差Average Reversal Error

−
B

− 1 n
B＝−
n ΣBj
j＝1

P5

Rj↑、Rj↓、 又は 3sj↑＋3sj↓＋ ┃Bj┃ のうち最大値
Maximum value of Rj↑, Rj↓ or 3sj↑+3sj↓+ ┃Bj┃

R↓＝(Rj↓) max

The drawing -2 is the graph, which is calculated from /xj, Pju, Pjl, Rj of Table-1.
Rj is a figure, which is calculated from 3sj↑+3sj↓+ l B l in the graph表 -1 から算出された /xj、Pju、Pjl、Rj をグラフにすると図 -2 となる。
ただし、グラフ中の Rj は、3sj↑+3sj↓+ ┃B┃の算出結果である。
P4x ji↓ max−xji↓ min
2.32 6−j↑−3sj↑
Pjl＝xBidirectional Positioning Accuracy

P3

sj↓＝

−j↑＋3sj↑
Pju ＝x一方向位置決め精度

P2

i＝1

Pju

9

P1

1 5
−
2
sj↓＝ −4 Σ(x ji↓− xj↓ )

P6

P7

P8

4

Rj max

3

Pju ↑

Pjl ↑

/ x j↓

Pju ↓

Pjl ↓

Rj

1
0

A

誤差 [μm]error

2/ x j↑-3

Rj↓max-2

Rj↑max-1

図2
Drawing 2-4■ 精度に関する定義① 一方向繰返し精度
正（前進）方向又は負（後退）より位置決めを繰返し行った時の位置の再現性。
図 -2 中の Rj↑及び Rj↓の各最大値を一方向繰返し精度とする。
② 両方向繰返し精度
図 -2 中の Rj↑、Rj↓又は Rjmax のうち、最大値を両方向繰返し精度とする。
③ 両方向位置決め精度
両方向繰返し精度を含めた目標位置と実際の位置の最大誤差精度。
図 -2 中の A を両方向位置決め精度とする。
④ 平均反転誤差
反転誤差 Bj の平均。
①〜④の項目は、出荷検査にて全数検査を行う。

■ Accuracy Definition① Unidirectional Repeatable Accuracy
This indicates the repeatability, which is attained by positioning from the forward
or backward direction.
We define the maximum value of Rj↑or Rj↓in Table -2 as unidirectional
repeatable accuracy.
② Bidirectional Repeatable Accuracy
We define the maximum value of Rj↑and Rj↓or Rjmax in Table -2 asbidirectional repeatable accuracy③ Bidirectional Positioning Accuracy
This is the maximum difference between the target and actual stop positions andit includes bidirectional repeatable accuracy
We define A in Table-2 as bidirectional positioning accuracy.
④ Average Reversal Error
The average value of reversal error “ Bj ”
Regarding the above definitions ①〜④, we investigate all the products at the
shipping inspection.

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■ 製品ラインアップ
Product Lineup

コアレス DC モータ
Coreless DC motors

ブラシレスモータ

Brushless motors

AC サーボモータ
AC servomotors

リニアアクチュエータ

Linear actuators

ガルバノ光学スキャナ

Galvanometer optical scanners

ギアヘッド

Gearheads

エンコーダ・タコメータ

Encoders/ Tachometer■ 事例集
Examples of Application● 詳しい事例集は、下記のアドレスよりご覧いただけます。
A detailed examples of application can be viewed from the following address.

http://ccj.citizen.co.jp/case■ 半導体関連： 露光装置、ウェーハ欠陥検査装置、ターボ分子ポンプ、ウェーハダイシングマシン、

半導体工場向け搬送システム■ 医療・臨床： 義歯加工機、電動ファン付マスク、OCT、レンズエッジャー、超音波診断装置、ガン治療機、オートクレーブ対応医療機器、パワーアシストスーツ： ネイルアート用ハンドピース■ 計測・分析： LiDAR、電子顕微鏡、共焦点顕微鏡、鉄道軌道測定装置、表面粗さ計■ FA： レーザマーカ、ロボット用モータ、加工用スピンドル、光ディスク関連■ 美容■ Semiconductor Equipment:

Lithography Systems, Wafer Inspection Systems, Turbo Molecular Pumps, Wafer Dicing Machines,
Conveyance System for Semiconductor Factories■ Medical and Clinical Equipment:
Denture Processing Machines, Down Flow Masks for Virus Protection, OCT, Lens Edgers, Ultrasonic Diagnostic Systems,
Cancer Treatments, Autoclavable Medical Equipment, Robotic Exoskeletons■ Beauty and Cosmetic Equipment:
Handpieces for Nail Art■ Measuring and Analyzing Equipment:
LiDAR, Electron Microscopes, Confocal Microscopes, Railway Track Measuring Devices, Surface Roughness Testers■ Factory Automation and Robots:
Laser Marking Machines, Motors for Robots, Grinding Machines, Optical Disk Equipment※ 記載の製品内容は予告なく変更することがあります。ご不明な点がありましたらご連絡ください。
Technical data and products are subject to change without notice. For further information, pleasecontact us or our authorized agent at any time.

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2018.07