Environmental Report

事業所における環境への取り組み
東京エレクトロングループは、全社的なEHSマネジメント体制のもと、すべての製造系事業所、事務所系事業所において環境負荷低減の取り組みを推進しています。

廃棄物削減、リサイクルの考え方

ゼロエミッション「廃棄物は出さない。出してしまった廃棄物はリサイク

当社グループでは、廃棄物の削減とリサイクルを推進し、ルする。リサイクルできない廃棄物は適正に処理する」。

目標とする指標を達成した事業所を「ゼロエミッション事

東京エレクトロングループではこの考え方を基本に、廃業所」としています。具体的には、単純な焼却処理や埋め棄物削減に取り組んでいます。最近では最終処分場の不立て処分を行う廃棄物量を2％未満とした事業所をゼロ足や埋め立て処理コストの上昇などで、廃棄物削減は環エミッション事業所と定め、ゼロエミッション活動を推進

境負荷を減らすと同時に、製造コスト削減にも結びつきしてきました。その結果、2003年度には東京エレクトロます。具体的な活動として廃棄物の分別回収、リサイクルン九州の4事業所（佐賀、熊本、合志、大津）でゼロエミッ業者の開拓、廃棄物処理委託業者の認定管理、最終処分ションを達成しました。

状況の定期的な確認、廃棄物が発生しない工程への変更

当社グループでは、2005年度までにすべての国内のなどを行っています。また、海外からのお客様、グループ製造系事業所でゼロエミッションを達成することを目標

会社社員も廃棄物を分別に掲げ、活動を推進しています。

できるように回収容器に4カ国語表示を行っています。
こうした活動を通して、環TOPICS境負荷低減を進めています。

穂坂事業所での廃液処理設備の導入
当社グループの穂坂事業所からウェーハや石英洗浄後4カ国語の分別表示の廃液として排出される高濃度のフッ酸廃液は、既存設備で処理ができません。従来は、発生の都度事業所内の廃液廃棄物量とリサイクル率タンクにため、外部の業者にタンクローリーにて運搬、処理

当社グループ全体で最終処分した廃棄物量とリサイク委託していました。2003年6月よりこの廃液を処理することル率をグラフで表しました。資源の有効利用に努めてきができるフッ酸処理設備を導入しました。その結果、穂坂事た結果、リサイクル率は年々上がっています。

業所より排出されていた約300トン/月の廃液を自社内で処理することが可能になり、廃液としての廃棄物を大幅に削減

当初の計画では、2005年度までに全体のリサイクルできる体制が整いまし

率を90％以上にするよう進めていましたが、2003年度た。また、委託処理金のリサイクル率は93％となり、目標を事前に達成しました。

額や廃棄物運搬によるそこで、新たに「2005年までにリサイクル率95%以上」

環 境 負荷も大 幅に削減することができました。

として再設定しました。

廃液処理設備■リサイクル率、廃棄物量（%）

リサイクル率

廃棄物量（焼却および埋め立て量）（t）■穂坂事業所の四半期ごとの廃棄物量推移
93.1%

廃液類

（t）

リサイクル率95％（2005年度目標）

その他の廃棄物

93
77.4%

69.7%
59.9%
40.9%

55.2%
49.7%

700
114

15.3%
004,238 4,772 3,189 3,179 3,657 3,938 3,268969798

9900

010284703

第1四半期（4〜6月）

104
第3四半期（10〜12月）

125
73
第4四半期
（1〜3月）
2003年度

0

TOKYO ELECTRON

78
第2四半期
（7〜9月）

127

20

環境社会報告書2004

■電力使用量推移

地球温暖化防止に対する考え方（10万kWh）

当社グループでは、エネルギー使用量の低減を通じて

国内■重油使用量推移（kl）

海外
148 160 150

地球温暖化防止に努めています。

2,430

101
1,916
1,652

2,181
2,191
2,151
1,858
1,501
1,212
1,206

各製造系事業所の大半は、エネルギー使用の合理化に関する「省エネ法」により、第1種エネルギー管理指定工場となっており、この法律に従い「判断基準に基づいた管1,881
1,828
1,631958

理標準の作成、遵守」「エネルギー管理員の設置、管理組0織の整備」などを行っています。また、各事業所では照明やOA機器の節電、空調の温度設定管理などの目標を掲げ、

9798

9900

010203■灯油使用量推移

98

9900010203■ガス使用量推移
LPG

都市ガス
716

1,062996

開発にかかわる施設では、連休時の計画的設備停止や各97（千m3）（kl）積極的に省エネルギー活動に取り組んでいます。製造・0990 990
608

908

作業の効率化を図り、エネルギー使用量の低減に努めて132います。
403 389

エネルギー使用量0

2003年度は、下期から製造拠点の稼働率が高まり、

97

98

9900

0102030120

129

115 1246065704958 545 658

72555966

666358

97

98

9900

010203（国内および海外事業所）

生産量・売上高は2002年度より増加しました。これに対して、CO2換算したエネルギー使用量はほぼ横ばいとなり、売上高あたりの原単位は2002年度と比較して87％とTOPICSなり、目標である1％削減を超えて、大幅な改善を達成しまクリーンルームの省エネルギーした。しかしながら、1997年度を基準とした売上高原単半導体／FPD製造装置の製造・組み立てを行うクリーン位比では、168％と大きく基準年度を上回ってしまっていルームでは、清浄度を保つために、空気中の微量のゴミを排除する空気浄化のシステムが、終日運転されています。このます。今後とも継続的に省エネルギー活動を推進して、消使用電力量が、事業所の電力量の半分以上というデータも費エネルギーの低減を通じた地球温暖化防止に努めます。

あります。合志事業所では、クリーンルームの清浄度に問題がない範囲で作業時間外の換気回数の見直しや排気・循■総エネルギー使用量（CO2換算＊1 ）の推移
（t-CO2）環ファンの間欠運転など、きめ細かな電力管理を行うことに（%）

CO2排出量原単位＊2
前年比＊3

よりクリーンルームの省エネルギー化を図っています。また、
208.0%

無駄な工場用力の削減、不在時の消灯などで、年間約240

193.1%

万kWh（約1,500万円分）の電力使用量を削減しました。

168.2%
150.9%

104.4%

150.8%

95.8% 100.0%

134.7%
105.6%

89.4%■クリーンルームの省エネルギー
197.0%

外気取り入れファン

92.8%
78.4%

87.1%

排気量見直し外気取り入れファンの運転を削減
HEPAフィルター

45,922 50,488 52,456 65,817 84,761 94,009 95,486 95,487
096

97

98

9900

01

02

030

クリーンルーム＊1 ＣＯ2換算は、環境省作成の「環境活動評価プログラム」を参照＊2 原単位＝エネルギー使用量／売上高（1997年度＝100％）＊3 前年比＝当年度原単位／前年度原単位（国内および海外事業所）

TOKYO ELECTRON

21

環境社会報告書2004

使夜
用間を・
半休
減日の循
環
循環ファン
ファ
ン

Environmental Report

事業所における環境への取り組み

省資源に対する考え方

水使用量削減への取り組み

東京エレクトロングループでは、環境に配慮した資源製造系事業所では、水の使用量を削減するために、様々調達を行い、使用する資源の量を必要最低限にしていまな活動を展開しています。製造・開発・試験・出荷検査をす。コピー用紙、文房具などの使用量・購入量削減、グリ含むあらゆる工程で使用されている冷却用などの工業ーン製品・エコ製品の購入やオフィス文具メーカーによ用水を、循環装置を使って再利用することで使用量を削る廃品回収への協力などを積極的に推進しています。

減しています。また、各事業所ではトイレ・手洗いなどに自動水洗を導入し、水の止め忘れや無駄使いを減らして節水に努めています。

紙使用量削減への取り組み
当社グループ全体で紙の使用量削減に取り組んでい■水使用量の推移ます。例えば、コピー用紙の両面使用、縮小コピーの励行、

3（千m ）

海外使用量

工業水

さらに紙を使わない情報の共有化や回覧書類の電子化

上水972などを行っています。その結果、2003年度はコピー用

817

紙の使用量が2002年度比約9％、約800万枚を削減

770693しました。特殊な用途を除いて再生紙の使用を進めると

146

1,004

1,039
6211989388527

ともに、引き続き業務を見直して、必要最小限の記録・帳

812

地下水

474

1,01464486

436
445391290

325332390

9798

9900521

票類に集約することで、紙使用量を削減します。さらに、木材繊維に替わる新し

172
0

い非木材資源であるケ

96

430

4153576701

880210703（国内および海外事業所）

ナフ材を使用した紙コップを導入するなど、森林資源の保全につながTOPICSる活動も行っています。

啓発ポスター

事務所系事業所での取り組み
東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ札幌事業所
では、省資源活動の一環として、従来の使い捨てプラスチッ■コピー用紙使用量（千枚）

ク製カップの利用を止め、従業員が個々に「マイカップ」を製造系事業所

事務所系事業所持参して使用するようにしました。また、裏紙などの利用を勧

131,500

めてコピー用紙の削減にも努めています。

19,350

省資源活動のさらなる推進のため、顕著な活動を行った

107,367
18,300

社員やグループに対し表彰を行っています。2003年度は個

95,785
18,617

87,634

人賞として2名、チーム賞として1グループ、フロア賞として118,184

フロアの表彰を行いました。

112,150
89,067000

01

77,16802

69,45003（国内事業所）表彰状
マイカップの使用を推奨

TOKYO ELECTRON

22

環境報告書2004化学物質の管理

環境リスクマネジメントに対する考え方
製品の評価時に使用するガスや薬液などの化学物質

当社グループでは、法で定められた化学物質の管理をを新規に使用する場合、使用前にリスクアセスメントを行徹底し、継続して把握しています。また、PCBを含む廃い、必要な対策を実施しています。

棄物の保管状況は、トランス2台、コンデンサー4台であ

また、昨今の他社の事故事例に基づき、防災体制の監り、これらを厳重に管理しています。

査を2003年度に実施し、防災組織、防災設備・備品、緊■PRTR＊法

急連絡網の整備状況や工事業者の管理監督状況などを第一種指定化学物質使用量

法令で定めた番号

第一種指定化学物質名（単位：kg）
合計

各地区で確認しました。この監査で発見された不備は、

43

エチレングリコール

必要なものを予算化し、購入・改善しました。

172

N,N-ジメチルホルムアミド

309

283

ふっ化水素及びその水溶性塩

4,558

311

マンガン及びその化合物

法令の遵守状況について

合

環境法令や排出基準などの法規制を確認し、一部では

9,144

450

計

14,461＊PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）：人体や生態系に害を与える恐れのある化学物質について、その使用量と環境への排出量、廃棄物に含まれて事業所外に移動した量を把握・集計し、公表する仕組み。

自主基準を設け、法規制遵守に努めています。しかし、2003年12月2日、宮城事業所の立ち入り検査（水質分析）にて、排水のBOD値が基準値を超え、改善勧告を受地球温暖化物質の使用けました。原因は、週末の出勤者増加による、微生物処

当社グループでは、エネルギー使用でCO2を排出する理の不具合と推定しております。曝気ブロワーを勤務状ほか、ドライエッチングや洗浄などのプロセスで、温室効況に合った運転に変更し、2004年1月6日に改善報告

果ガスの一種であるPFC類やSF6を使用しています。こを行いました。また、山梨地区において補修工事に伴うれらの使用量の合計は、CO 2に換算して年間約1万トン有機溶剤局所排気、および食堂の雑排槽からの異臭に関でした。今後も継続して使用量の管理と削減に取り組んする苦情を受理しました。これらについても適時対応をでいきます。

行い、改善しました。そのほかの環境関連の事故・違反・■温室効果ガス使用量

罰金・苦情、これらにかかわる訴訟、土壌の汚染、また政府による経済的制裁・奨励の実績はありませんでした。

（単位：t-CO2）

HFC類

PFC類

SF6その他

合計

1,1401,2846,682569,162●当社グループのインプット、アウトプット
当社グループの物質フローは右図のよ■東京エレクトロンの物質フローうになります。各数値は各製造系事業所と事務所系事業所との総計です。当社グループの特徴は、装置評価時の環境負荷が大きいことです。これは電力および様々なガス、薬品などを使用し、半導体製造工程と同様のプロセスで装置を評価している

Input

Output●電力

23,310万kWh●

ガス715km3●

燃料

2,890kl●

水1,014km3

●

化学物質

14.5t

（PRTR法第一種指定化学物質）●

紙（コピー用紙）

351t

ためです。

TOKYO ELECTRON

23

環境報告書2004●

CO298,896t

●

NOx

11.1t

東京エレクトロン
グループ●

排水（河川、下水）1,004km3●

廃棄物総量12,210t（国内および●

再資源化量

11,363t●

焼却・埋め立て処分量

TEL海外事業所）

847t