E H S R E P O RT

製品における環境への取り組み
半導体製造装置のライフサイクルにおいて環境負荷が最も大きいのは、その使用時です。使用時の省エネルギー化や規制化学物質の削減などを進めています。

製品の環境負荷全体の低減について製品の環境負荷低減についての考え方

EHS REPORT

環境に配慮した設計を推進することは非常に重要と考え

近年、環境・健康・安全への持続的な改善について、各方面ており、新たな環境理念／方針でもこの考え方をさらに明確からの期待がさらに高まっており、製品の初期開発・設計段階にしました。特に装置の省エネルギー化や、装置に含有されでEHSのコンセプトを取り入れることがますます重要になっる規制化学物質の削減・代替は、優先的に取り組むべき課題ています。事業のグローバル化に伴い、各国の法規制に対しに位置付けています。ていっそうの注意を払う必要もあります。これからも継続して積極的に「Design For EHS（EHSに配慮した設計）」を推進

環境負荷低減の推進組織

20
製品における環境への取り組
みエネタスクフォース」を結成しました。

していきます。

装置EHS技術委員会の下部組織として、三つの関連部会を装置EHS推進組織体制設置しています。このうち、「装置安全ワーキンググループ」で装置EHS技術委員会は、装置の安全性を高める活動を行っています。
「化学物質対策チーム」は、装置を構成する部品やコンポーネントなどに含まれる規制化学物質の削減・代替を進めています。また、

装置安全WG

化学物質対策チーム

省エネタスクフォース

2005年10月には、装置のエネルギー効率を改善するため「省T O P I C S
既存装置の改造による省エネルギー化
東京エレクトロングループ環境・社会報告書2006のステークホルダーとの座談会においても課題とされた既存製品の省エます。これらの商品を用いることにより、従来のエネルギー使用量から約70%を削減することができる例もあります。

ネルギー化について、新規開発製品では省エネルギー化、省資源化によるコンセプトを盛り込み製造、設置していくことができますが、既に販売・設置した装置においては、当時の設計コ省エネルギー化による効果ンセプトでは対策が取られていなかった機能などがあります。
当社グループでは、これらを改善する商品を販売しています。

省エネポンプ

例えば、熱処理成膜装置のALPHA（α）-8SEでも様々な改真空配管ヒータ善する商品を用意しています。ここでは、その中の二つを紹約70%のエネルギー使用量削減介します。

1. 配管ヒータ断熱性の向上
一部の配管では内容物の付着などを防ぐため、温度を100℃〜200℃といった高温に保つ必要があります。この際、ヒーターを巻き配管内の熱を調整しますが、このヒーターの回りに断熱性の高い材質を用いることでヒーターにかかる電

従来変更後
ALPHA（α）- 8SE蜷

力量を40％から50％程度削減できます。

2. 省エネルギー型ポンプ
従来のポンプから高効率の省エネルギー型ポンプに交換することにより、電力消費量を約70％削減することができTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

このほか、水冷機構追加によるクリーンルームへの放熱量低減や窒素使用量の削減、さらには品質や生産性の向上を目的としたものも用意されています。

CLEAN TRACK獏 LITHIUS獏蜷地球温暖化防止の取り組み

製品の省エネルギー化の取り組み

ウェーハ単位面積あたりのエネルギー消費推移（1999年比）
1

装置使用時の省エネルギー対策として、漓装置本体のエ1

目標値

ネルギー使用量削減、滷周辺機器のエネルギー使用量削減、

0.80.8結果

0.8

澆装置の省エネルギー運用、潺クリーンルームのエネル

0.61

EHS REPORT

0.70.56

ギー使用量削減、潸クリーンルームの省エネルギー運用（計画運転、適正運用など）の5項目を検討しており、今後、技術開発に取り組んでいきます。
クリーンルームの省エネルギー運用に関しては、お客様や設備メーカーとの協力が不可欠なため、三者で密接に連携を0’99（基準年）

’02

’04

’06

’07

取りながら、装置使用時の省エネルギー化を進めていきます。
また、「SEMI S23※」を用いて装置で使用する電力、水、ドラガスパージ量の削減、排気の適正化、冷却水の最適化などのイエアー、冷却水や熱の排気の使用のほか、補機類（真空ポ取り組みにより、2006年度目標値0.8に対して0.56となり、ンプや冷却装置）の異なるエネルギーに係数をかけ、電力に目標値を達成しました。2007年度もさらなる冷却水最適化換算してエネルギー消費量把握し、対策を進めていきます。などを進めて継続してエネルギー消費量削減を進めます。

※SEMI S23：SEMIが作成した半導体製造装置に関する省エネルギーのガイ
ドライン、正式名は「半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティー、および材料の保全のためのガイド」

また、これらの取り組みをベースとして新製品であるCLEAN

TRACK獏 LITHIUS ProTMにおいてもエネルギー消費量削減を進める方針です。

装置の省エネルギー化に対するアプローチ⑤ クリーンルームの省エネルギー運用（計画運転、適正運用など）【テストシステム Precio®での取り組み】
テストシステム（ウェーハプローバ）は、ウェーハ上の半導④ クリーンルームのエネルギー削減

体の電極に対して針をあて、電気的検査を行う装置です。半
冷却装置② 周辺機器のエネルギー削減

真空ポンプ① 装置本体のエネルギー削減

導体の使用環境に近い環境で耐久性の試験を行うために加熱・冷却する機能を備えており、ドライエアーを使用します。

③ 装置の省エネルギー運用

当社グループでの算出においても、ウェーハプローバのエネ
ルギー使用量のうちドライエアーによる割合が多いとされて製品の省エネルギー化事例いました。今回、このエネルギー使用状況に着目し、各仕様

SEMI S23に基づき、電力、窒素、排気、純水の使用量なでの要求温度に対してのドライエアー流量を、装置本体に露どを電力に換算し総合的エネルギー消費を算出し、その値を点計を設置してモニターしながら調節する機能を追加するこ

ウェーハ単位面積あたりで算出した数値において装置ごととにより、最大で60%の流量を削減することができました。に目標値を定め、省エネルギー化を進めています。ここでは二つの装置の事例を紹介します。

ウェーハプローバでのドライエアー削減イメージ図
スピードコントローラ

ドライエアー流量センサー【塗布現像装置 CLEAN TRACK LITHIUS での取り組み】
塗布現像装置では、当社グループの基準年である1999年度に対してのウェーハ単位面積あたりのエネルギー消費目標値を掲げ活動を進めています。2006年度の主な取り組みとして、オートスタンバイ機能による待機時電力の削減、窒素流量を調節

流量をモニター

自動流量調節器

露点計
露点計で露点を常時測定TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

21製品における環
境への取り組み製品における環境への取り組み

化学物質管理の取り組み

装置に含有される規制化学物質削減への取り組み
近年、部品や材料に含まれる化学物質については、それループでは対応を完了しました。中国版RoHSの規制事項として主に次の二つを遵守することが必要となります。

による環境や生態系への影響懸念により、自動車や電気製

EHS REPORT22品などへの使用規制の動きが世界各国で活発になってきています。東京エレクトロングループでもこのような動きに対応し、 2006 年 7 月発効の欧州 RoHS 指令

規制物質を含有している場合、ラベルに対しては、を製品に添付し、環境使用期間を示

当社グループの半導体製造装置がLarge-scale Stationaryす必要があります。当社グループ製品

Industrial Toolに該当するため、適用除外と判断し、声明書は通常25年を表示しております。

を用意し対応しています。また、2007年3月発行の中国版※2製品における環
境への取り組み※1

1. 製品へのラベルの貼付

RoHS

2. 化学物質含有情報の開示に対しては、遺漏なく適合を達成しています。

規制対象物質の使用状況を、定められた書式により、取扱当社グループでは規制を先取りして対応すべく、製造部説明書または同等書類に中国語で開示することになって門の代表者で構成される化学物質対策チームを結成し、必います。当社グループでは、これに対応しています。

要な情報を共有しています。また、取引先にも積極的にご協力をいただき、含有物質の調査と非含有代替品への変更規制化学物質に対する体制を推進しています。 2006年度は RoHS指定 6物質の製品か

当社グループでは、製造子会社および本社スタッフ部門の代らの全廃スケジュールを策定しました。このスケジュール表者で構成される「化学物質対策チーム」を結成して必要な情では、RoHS指定6物質非含有製品の出荷を2008年10月よ報を共有し、取引先にも積極的に協力していただきながら、規り開始していく予定になっています。

制化学物質を含まない代替品への切り替えを推進しています。

※1 RoHS指令：Restriction of the use of certain Hazardous
Substances in Electrical and Electronic Equipment※2 中国版RoHS：正式名称は「

当社グループ内では、規制化学物質含有部品を「使用しな」という対策すべき含有化学物質

い」「購入しない」「販売しない」ことを基本方針として、各部品類の含有規制化学物質情報を登録、参照することが可能な化学物質管理システムを構築しています。このシステムにより、第一優先課題製品に使用される部品の規制物質含有の有無がわかり、規制カドミウム

顔料、安定剤、樹脂

六価クロム

クロムメッキ鉛

はんだ、塗料、電線被覆、快削金属となっています。この含有化学物質管理システムでは業界統

水銀電池、蛍光灯一のJGPSSIフォーマットを利用しています。

PBBs

樹脂部品

PBDEs

樹脂部品

化学物質を含有する製品の製造や出荷を阻止することが可能

今後の化学物質規制
第二優先課題JIG※レベルA指定物質（既に対策された物質がかなり含まれている）※ JIG（Joint Industry Guide）：日米欧の民間団体の協力で作成された対策が必要な化学物質に関するリスト。
レベルAとレベルBに分類されており、レベルAには16物質（カドミウム、六価クロム、鉛、水銀、PBBs、PBDEsを含む）がリストアップされ、レベルBには400を超える物質がリストアップされている。

欧州では、販売されるほぼすべての化学物質について安全性評価を義務付け、その情報を登録させるREACH※1 規制やと「予防原則」
PFOS※2規制が施行され、ますます「生産者責任」が徹底されていくと考えられます。当社グループでは、これらの規制に対しても開発・設計・製造・資材・品質保証・環境

中国版RoHS対応について2007年2月28日、中国において中国版RoHSが施行されました。この法律は、中国市場で販売される電子情報機器・パーツに含まれる化学物質の使用を規制しており、当社グTOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

安全などの各部門一丸となって取り組みを進めていきます。
※1 REACH：Registration, Evaluation, Authoriｚation and Restriction ofChemicals（化学物質の登録、評価、認可、制限に関する規則）※2 PFOS：パーフルオロオクタンスルホン酸。コーティングや難燃などの目的にて、撥水・防水・グリース・オイルなどに使用されている物質