アニュアルレポート 2002
2002年3月期

日本語訳版

プロファイル

東京エレクトロン(TEL)は、1963年の設立以来、半導体製造装置の世界のリーディングサプライヤーとして、酸化拡散・LP-CVD装置、枚葉CVD装置、PVD装置、コータ/デベロッパ、SODコータ、エッチ
ング装置、洗浄装置、ウェーハプローバなど、幅広い製品分野の開発・製造・販売を行っています。
また、半導体製造装置の分野で蓄積した専門技術を生かして、フラットパネルディスプレイ（FPD）製造用のコータ/デベロッパおよびエッチング/アッシング装置の開発・製造・販売も行っています。これ
らの半導体製造装置およびFPD製造装置の多くは、世界のリーディン
グシェアを獲得しています。
さらに、世界の優れた半導体製造装置、ブロードバンドに対応した
SAN(Storage Area Network)関連製品、インターネットテクノロジ
ー関連製品、電子部品などを日本国内で販売する専門商社としても確固たる地位を築いています。
東京エレクトロンは、アメリカ、ヨーロッパ、アジア16カ国に広が将来見通しに関する注意事項
このアニュアルレポートで述べられている東るグローバル拠点網を通じ、優れた製品とサービスをお客さまに提供

京エレクトロンの将来の業績予測、経営戦略、するとともに、株主価値の最大化に取り組んでいます。

てなされた当社の判断に基づくものであり、確信などは、現時点で入手可能な情報に鑑みこれらの将来見通しの記述には、既知または未知のリスク、および不確実性などの要因が内在しています。従いまして、実際の業績、成果はここに述べられている見通しとは大きく異なる可能性があることをご承知おきくだ
さい。
東京エレクトロンの将来見通しに直接的・間接的に影響を与える要因としては次のようなものがあります。

目次●国内外の経済情勢、消費動向、為替相場の
大幅な変動

1
2
4
8
12
18
20
24
28
29
40
41

財務ハイライト東京エレクトロンのビジネス概要
株主の皆さまへ
東社長が語る市場環境とTEL
Generations Ahead
環境・健康・安全へのコミットメント
営業の概況
財務の概況
取締役・監査役及び業務執行責任者
財務セクション
TELグローバルネットワーク
株主メモ●半導体、ＦＰＤ市況の変化●半導体メーカー、ＦＰＤメーカー、電子機器メーカーなどの東京エレクトロンの顧客が生産または提供する製品とサービスに対する需要の変化●急速な技術革新、変化する顧客ニーズにタ
イムリーに対応する製品やサービスを東京エレクトロンが継続的に開発し提供してゆける能力
ただし、業績に影響を与えうる要因はこれらに限定されるものではありません。

財務ハイライト
東京エレクトロン株式会社及び連結子会社
2000年3月期、2001年3月期及び2002年3月期百万円（注1）

千米ドル（注1）

2002年

2001年

2000年

2002年

売上高

¥417,825¥723,880¥440,729$3,136,831

営業利益（損失）(18,310)

121,086

35,816(137,467)

税金等調整前当期純利益（損失）(22,919)

99,132

29,689(172,070)

当期純利益（損失）(19,938)

62,012

19,848(149,685)¥ (113.85)¥0353.76¥0113.53

1株当たり当期純利益（損失）（注2）:
1株当たり当期純利益（損失）$00(0.85)–344.75110.64

–

8.00

38.00

14.00

0.06

総資産

¥556,915¥729,511¥499,499$4,181,046

株主資本307,579

333,281273,6032,309,148

潜在株式調整後1株当たり当期純利益（注3）
1株当たり配当金

注： 1．米ドル表示は、円金額を期末日レートである1ドル=133.20円で換算したものです。1株当たりの数値については、円単位ならびにドル単位で表示しています。
2．1株当たり当期純利益は期中平均株式数に基づき計算しています。
3．2002年3月期は希薄化による影響はありません。

1998 1999 2000 2001 2002
3月期

1998 1999 2000 2001 2002
3月期

-113.85353.76113.5310.70

174.68

1株当たり当期純利益（単位：円）

–199

620

198

19

300

当期純利益
（単位：億円）

4,178

7,239

4,407

3,138

4,556

売上高
（単位：億円）1998 1999 2000 2001 2002
3月期

1

東京エレクトロンのビジネス概要

2002年3月期

半導体製造装置
当部門では、自社開発による最先端の半導体製造装置を幅広く取り揃えるとともに、他社の優れた製品も提供しています。

78.0%

リソセルグループ
コータ/デベロッパ
SODコータ

半導体製造装置部門（FPD製造装置の売上含む）

プラズマエッチング装置

シンフィルム＆クリーニンググループ
酸化/拡散・LP-CVD装置
枚葉式急速熱処理炉

コータ/デベロッパ
CLEAN TRACK ACT®12

プラズマエッチング装置
Telius®

酸化/拡散・LP-CVD装置
ALPHA-303i

枚葉CVD装置
Trias®

洗浄装置
UW300Z

全自動ウェーハプローバ
P-12XL

枚葉CVD装置
プラズマプロセス装置
PVD装置
洗浄装置
スクラバー
Cu ECMD System（NuTool Inc.）

テスト＆インテグレーティッド
プロセスコントロールグループ
全自動ウェーハプローバ
ウェーハレベル・バーンイン＆テスト装置
ＯＤＰ装置
FIB System (FEI Company)
Film Metrology Tool
(Rudolph Technologies, Inc.)
Yield Management Software(Yield Dynamics, Inc.)

FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置※
半導体製造装置事業で蓄積された技術は、ＦＰＤ製造装置の開発・製造に生かされ、強力な製品ラインア
ップを作り上げています。

● FPDコータ/デベロッパ● FPDプラズマエッチング/アッシング装置

FPDコータ/デベロッパ
CS800※LCD製造装置の呼称をFPD製造装置に変更いたしました。

2 TOKYO ELECTRONFPDプラズマエッチング/アッシング装置
SE12002002年3月期

4.1%

コンピュータ・ネットワーク
当部門では、ブロードバンド時代に対応するストレージ製品やインターネットテクノロジー関連製品など、世界の優れた商品を取り揃え、ユーザーニーズに応じた最適のシステムソリューションを提供しています。
インターネットソリューション
ネットワークセキュリティソリューション

コンピュータ・ネットワーク部門

SANソリューション
ブロードバンドソリューション
エアロスペース製品

Brocade Communications
Systems, Inc.
Fibre Channel Integrated
Fabric Switch

Extreme Networks, Inc.
Gigabit Ethernet Switch

Advanced Digital Information Corp.

Emulex Corporation（株）日立製作所

TimesTen Performance Software, Inc.

BAE SYSTEMS

Extreme Networks, Inc.

ITT Aerospace Controls Corp.

Tivoli Systems Inc.

Brocade Communications Systems, Inc.

F5 Networks, Inc.

LuxN, Inc.

VERITAS Software Corp.

Caw Networks, Inc.

Genroco, Inc.

nCipher Corporation Ltd.

Z Microsystems, Inc.

Ciprico, Inc.

Goodrich Corp.

Nishan Systems, Inc.

Conax Florida Corp.

H. Koch & Sons Co.

Silicon Graphics, Inc.

Cycomm International Inc.

Hewlett-Packard Co.

ソニー（株）

2002年3月期

17.6%

電子部品
当部門では、世界のトップクラスの各種電子部品を幅広く取り揃えるとともに、柔軟な技術サポートにより、
ユーザーニーズに応じた総合的なソリューションを提供しています。100%子会社 東京エレクトロンデバ
イス（株）が当ビジネスのオペレーションを行っています。
半導体製品

電子部品部門

ボード製品
ソフトウエア
一般電子部品

半導体製品

ボード製品

Advanced Micro Devices, Inc

Infineon Technologies AG

ON Semiconductor

Tundra Semiconductor Corp.

Agilent Technologies, Inc.

Intersil Corp.

Phoenix Technologies Ltd.

Valence Semiconductor, Inc.

Cavium Networks, Inc.

Intoto Inc.

Pixelworks, Inc.

VenturCom, Inc.

Conexant Systems, Inc.

Legerity, Inc.

Portwell, Inc.

WESTTEK, L. L. C.

コーセル（株）Linear Technology Corp.

Ramtron International Corp.

Winchester Electronics（株）デジタル

Metrowerks, Inc.

新光電気工業（株）

Woodhead Industries, Inc.

富士フィルムマイクロデバイス（株）

Microsoft Corp.

SiberCore Technologies Inc.

Xicor, Inc.

富士通（株）

Mindspeed Technologies

Silicon Wave, Inc.

Xilinx, Inc.

富士通メディアデバイス（株）

3M

Texas Instruments Inc.

Zarlink Semiconductor Inc.

富士通カンタムデバイス（株）

Motion Engineering, Inc.

東京エレクトロンデバイス（株）

Integrated Device Technology, Inc.

Motorola, Inc.

Trillium Digital Systems, Inc.

上記3部門の売上以外に「その他」の売上があります。2002年3月期は全体の0.3％でした。
本アニュアルレポートに記載された会社名および製品名は各社の商標または登録商標です。

3

株主の皆さまへ東哲郎

代表取締役社長

2002年3月期は、ITバブルの崩壊、米国経済の後退を契機として、世界のエレク
トロニクス産業、とりわけ半導体関連産業が過去にない深刻な不況を経験した年となりました。この極めて厳しい事業環境の中、東京エレクトロンも過去最高の売上・利益を達成した2001年3月期から一転して、急激に業績が悪化しました。収益改善のためにさまざまな対策を講じましたが、連結売上高前期比42.3%減の
4,178億円、営業損失183億円、当期純損失は199億円となりました。 損失を計
上いたしましたが、配当につきましては、株主還元を継続することとし、年間配当金8円とさせていただきました。
売上を部門別に見ると、主力の半導体製造装置部門においては、2001年初頭より半導体メーカー・LCDメーカーの設備投資が世界的に凍結され、市場が大幅に縮小した影響で、前期比47.4％減の3,257億円と大きく下降しました。電子部品部
門も国内市場の半導体需要が低迷し、最先端製品の拡販に努めたものの、前期比

4 TOKYO ELECTRON

17.4％減の737億円となりました。
このような中、コンピュータ・ネットワーク部門の売上高が前期比21.2％増の170億円と大きく伸長しました。強力なマーケティングにより、高成長分野である
インターネットテクノロジーやストレージ関連を中心とする商品ラインアップを構築したことが市場低迷の中でも高い成長を達成した大きな要因となりました。ブロードバンド時代の本格化を前に商品戦略の成功を確認できたことで、当部門のさらなる成長を確信いたしました。

中期的視点から進めたオペレーションの再編とコスト削減

当期の収益の改善のみならず、東京エレクトロンをさらに成長させるための中期的視点から、いくつかのオペレーションの整理統合および全社ベースでの固定費の圧縮を実施しました。
当社は生産の拡大・縮小に即応するために設計・製造ラインに多くの外注人員を採用していますが、期初人員3000人を期末までに70％減少させ、生産ラインの稼
働率低下に対応しました。
国内のオペレーションについては、熱処理装置ビジネスの開発・製造拠点である
東京エレクトロン東北を2拠点から1拠点に整理統合しました。当ビジネスにおいては、他の工場に先行して導入した最新の生産システムの有効性が実証されつつあり、
工場規模を縮小しても十分な生産能力を確保できるとの判断に基づきました。
米国においてもオペレーションの大幅な再構築を行いました。熱処理装置の製造
拠点東京エレクトロンオレゴンを閉鎖するとともに、東京エレクトロンフェニック
スを東京エレクトロンマサチューセッツに統合しました。また、フィールドエンジ
ニアリング体制を見直し、国内、米国、欧州の計5つのサービスステーションを閉鎖
いたしました。
これらの事業再編以外に、材料費低減、人件費低減、活動経費低減等を全社一丸となって行い、前期比300億円以上の固定費の削減を実行しました。当期純損失を回避することはできませんでしたが、次の上昇期にフルに回復を享受できる体制を整えつつあります。
なお、研究開発費については、次の市場の上昇期に備えて、当初の計画を貫き、前年度並みの最高水準を維持しました。

収益の源泉、強い製品の創出に向けてますます振幅を大きくする半導体関連産業、その中での中国市場の台頭、このような市場環境の中で、企業の存亡をかけた世界規模の競争は今後さらに激しくなるものと思われます。このグローバルメガコンペティションに打ち勝つために、半導体製造装置メーカーにつきつけられているものは「世界最高技術」と「極限の低コ5スト」の追求です。産業の振幅の影響を受けやすい装置メーカーにとっては大変難しい課題ではありますが、この両方を同時に世界レベルで達成しない限り真のワー
ルドクラス企業とはなりえません。
この認識に立ち、東京エレクトロンは今後も圧倒的に差別化された製品の市場投入と次世代コアテクノロジーの開発に最大の力を注いでまいります。これには開発の早い段階から世界の有力半導体メーカーとのコラボレーションを行い、顧客ニーズに基づく装置、テクノロジーをいち早く実現してゆくことが重要と考えています。
また、他のサプライヤーとの戦略的提携も今後積極的に進めてゆくことになります。
大変厳しい状況にあった当期も、当社は開発の手を緩めることなく、市場にいく
つかの新規製品を投入しました。その一つ、2001年末にリリースしたプラズマ処®

理装置 Trias SPAはダメージの少ないマイクロ波によるプラズマを使用してゲートの窒化処理をする装置ですが、短期間のうちにお客様の大きな注目を集めています。
今後はこの装置にできる窒化処理以外の様々なアプリケーションをお客様とともに考えてゆくことになります。フレクシブルロードを特徴とする新型ホットウォール®

システムTELFORMULA も開発が完了し、お客様の高い評価をいただいています。
®

TELFORMULA は今年から受注が本格化するものと思われます。
また、今まさにお客様においては300ミリ装置を中心とした次世代装置の選定が行われていますが、300ミリ時代への移行に伴い、当社のいくつかの装置が200ミ
リ装置を上回るシェアをあげているという嬉しい報告を受けています。

市場環境の急変にも対応できる企業へ − 企業体質改善の実行本部を設立

東京エレクトロンはここ数年のグローバリゼーションとテクノロジーリーダーシップにより、国際競争力が飛躍的に向上しました。しかし、グローバルなメガコン
ペティションに打ち勝つスピードと体力という点で、まだまだ弱い部分を内包していることを今回の市場環境の急変を通して認識いたしました。これからもこの市場のアップダウンがなくなるとは考えにくく、それには当社自身が市場の急変に対する柔軟性、即ち、どのような環境下でも高収益を上げることのできる体質を獲得しなければなりません。 今回、私を本部長とする体質改善実行本部を新たに設置し、改革に本腰を入れて取り組むこととなりました。
なかでも、目玉となるのは設計・製造のやり方をIT化により抜本的に変えるトー
タルコストダウンプロジェクトです。ITを駆使することで設計・製造のやり方を変え，受注から出荷までのリードタイムを半減させるのがこのプロジェクトの構想ですが、これが完了すれば、人的資源も含めて、より少ない資産で大変効率的な生産が可能になります。すでに試験的に導入された東京エレクトロン東北においてその効果も実証されつつあり、国内工場への全面的な導入を今後2年間で実施する予定です。また、製造原価の低減、管理間接部門における少数精鋭オペレーション等を図るための実行策も議論され、具体的なスキームが動き出そうとしています。

6 TOKYO ELECTRON

「コストを低減するためにしくみそのものを変える」―このような抜本的な改革にはある程度の時間が必要とされますが、東京エレクトロンでは、改革をスピードアップし、できる限りの早期実現を図ってゆきます。

新たな成長のスタートラインに立つ2003年3月期

事業の再構築、企業体質の改善など、さまざまな手を打った厳しい事業年度の終了とともに、装置市場には早くも回復の動きが出てきました。現状の設備投資再開
は大手半導体メーカーの戦略的な投資を中心としたものであり、本格的な回復まではまだまだ時間がかかると思われますが、これを受けて当社の半導体製造装置受注も上昇に転じています。加えて、FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置への投資もFPD市況の好転を受けて活発化しており、圧倒的なシェアを持つ当社の2種類のFPD製造装置の受注も大変好調に進んでいます。
東京エレクトロンの2003年3月期はこのように先行きへの明るい期待感とともに始まりましたが、同時に、社内は引き続き高収益体質獲得に向けての抜本的な変
革の真只中にあります。今期は、黒字化を目指したスリムな経営と中長期を見据えた成長戦略を同時に前進させる必要があり、バランスのとれたオペレーションが要求される年になると考えます。強い信念のもと、真の国際競争力をつけるべく、東京エレクトロンは強い製品の創出と高収益体質への変革に総力で挑んでまいります。
新しい成長のスタートラインに立った当社の今後にご期待いただき、引き続きご支援を賜りますようお願い申し上げます。

2002年6月
代表取締役社長

東哲郎

7

東社長が語る市場環境とＴＥＬ

2002年3月期を総括するとどのような年でしたか？

半導体製造装置業界は業界始まって以来の最大のダウンサイクルを経験しました。
過去にも何度かありましたが、今回のダウンサイクルはこれまでと比較して、規模・スピードの両面で業界の歴史始まって以来の大きなものでした。TELはこの衝撃を最小限にするために様々な対応をとりましたが、過去にない大変厳しい1年となりました。このダウンサイクルを経験することで、市場環境の急激な変化にもっと機敏に対応できる企業体質に変わらなければならないと強く認識しました。
しかし、暗い話しばかりではありませんでした。厳しい状況でしたが、注目を浴びる新製品を市場に投入しましたし、ちょうど移行期にある300ミリウェーハ対応
装置においても業界をリードしていることが確認されました。また、次世代のキー
テクノロジーの開発も順調に進んだ年だったと言えます。

業界の環境はどのように変化しているとの認識をお持ちですか？

潮流として見ますと、半導体業界は、主にPCが市場ドライバーだった時代からより広範な機器が市場を牽引してゆく時代に移行しつつあります。このような中、今、半導体製品におきていることは、一つはDRAMをはじめとする製品の低価格化が進んでいること、また一方、半導体が組み込まれている最終製品の短命化で、半導体自体のライフサイクルも短くなっているということがあります。特に、通信機能を持った多様な情報機器やデジタル家電といわれるものが次々登場してくることにより、この傾向はますます強くなります。
これは、半導体を作る製造装置側にも最高のテクノロジーを駆使しながらも最低のコストで半導体が作れる装置が求められているということを意味します。また、半導体のライフサイクルが短くなっていますから、立ち上がりが格段に早く、市場の動きにフレキシブルに対応できる装置が求められることになります。お客様の私たち装置メーカーに対する要求条件はますます厳しなってくると思います。

8 TOKYO ELECTRON

また、日米欧の半導体業界では、大きな戦略転換が行われ、自社にとってコアでないプロダクトは台湾などのアジア地域のファウンドリに製造委託する傾向が一層強まっています。流れとしては、半導体製造の分業化が進んでいるということなのですが、これは少なからず半導体製造装置メーカーの役割にも変化を起しており、プロセスの開発能力、プロセス統合能力、さらにはプロセス制御能力が要求されるなど、半導体メーカーとの境界領域にまで近接しています。

このような環境変化の中で、TELはどのような強みを事業展開に反映しようとしているのですか？

TELの強みは、まず、ワールドクラスの技術開発力と世界中のお客様のニーズを先取りする強いマーケティング力を持っていることがあげられます。マーケティン
グについては、その役割を担うマーケティング部門のみならず、営業部門、フィー
ルドエンジニアリング部門が一丸となって全員参加型のマーケティングを展開します。こうして捉えたお客様のニーズは個々の製品に展開され、今日の幅広く、しかも強い製品群が構築されています。
また、これからの半導体製造装置ビジネスでは、装置メーカーにプロセスインテ
グレーション能力があるかどうかが鍵になりますが、これは当社のように幅広い製品ラインアップがあってはじめて可能となるものです。
TELの製品はプロセスインテグレーションのコアとしての高い求心力を持っており、他の装置メーカーも巻き込んだ形で最適化されたソリューションを提供できる、
そういう柔軟性も当社は備えています。山梨にあるプロセステクノロジーセンター
は業界最先端の評価・研究施設として世界中のお客様の注目を集めていますが、インテグレーションを実現する一連の装置を装備しています。ここには個々のお客様の製品戦略の差別化を支援する万全の体制が整っています。

最近の製品開発における成果はいかがでしょうか？

300ミリウェーハ対応装置は製品ラインアップがほぼ済んでいますが、200ミリ用の装置と比較して市場シェアが上昇すると期待しています。すでに当社で量産に®

近いものの一つに、300ミリ用プラズマエッチング装置Telius があります。これは、200ミリ用の製品よりもサイズが小さく、しかもユニークな搬送系を持つ生産性の高い装置として非常にセンセーショナルなデビューとなりました。
®

新型の高速熱処理装置TELFORMULA は、フレキシブルバッチ対応（1〜25枚まで）で少量多品種生産に向く新しいコンセプトの装置で、これもまた独創的な製品です。製造サイクルタイムを短縮することで生産性を高めた、時代の要求に応える装置として、市場で脚光を浴びています。デジタルコンシューマー製品の普及にともなって今後どんどん出てくるSOC (System on Chip)の製造には最適の装置です。
また、良好なゲート窒化膜を形成するプラズマ窒化処理装置は、市場投入後まだ間もない装置ですが、フラッシュメモリ、ロジックチップを製造するお客様から好評を得ています。この装置ができるアプリケーションはもっと広がります。その意
味では、新たな市場を開拓できる有望な装置の一つです。

9もう少し将来の製品開発についてお聞かせ願えますか？

装置市場の拡大が予想される配線工程の中でも、層間絶縁膜形成は潜在的に大きな市場を有するキープロセスですが、TELは得意の技術でSODコーターを開発し市場に投入しました。この装置の市場拡大のタイミングは100ナノメートル（＝0.1
マイクロメートル＝10000分の1ミリ）世代からと予想していますが、それに向けてTEL，材料メーカー、お客様の三位一体でブレイクスルーを目指して開発を継続中です。
最先端プロセス制御技術（Advanced Process Control ＝APC）も強化していきます。その目的で昨年買収した米国Timbre Technologies
社の計測ソフトウェアOptical Digital ProfilometryをTEL製品に搭載する開発が進行中で、現在、お客様において評価段階に入っています。もちろん、APCというものの構想はもっと大きなものであって、まだその入り口に立ったばかりに過ぎませんが、装置メーカーの大きな差別化にもなるこの領域で大きな一歩が踏み出せたと考えています。
70ナノメートル以降のプロセス開発もすでに始まっています。これも2年ほど前に買収した米国Supercritical Systems社の超臨界洗浄技術を実用化する研究開発や、ステッパーメーカーとのアライアンスでF2光源に対応するリソグラフィ技術開発などに着手しています。

半導体需要の牽引役がPCに加え、デジタルコンシューマー製品に広がるようにな

TELの今後の課題は何だとお考えですか？

れば、お客様からの装置に対する価格プレッシャーがさらに強くなることが予想されます。そうなれば、テクノロジーのイノベーションとコストを下げてゆくという2つのことを同時に達成しなければならなくなります。言い換えれば、利益を追求するためには、テクノロジーが生み出す付加価値を最低のコストで達成することが絶対に必要になるということです。
半導体製造装置産業は今後も莫大な半導体需要と技術の進化に支えられる極めて将来性の高い産業であることに変わりはありませんが、深さはともかく今回のような谷間はまたやってくると思って間違いありません。市場環境がたとえ悪化しても、収益を上げ、常に最高水準の研究開発投資を行える企業体質への変革をどうしてもやり遂げる必要があります。
まず、ITを導入してもの作りのしくみを変え、効率的な生産を可能にする体制を作ります。このプロジェクトが国内全工場で完了するまでにあと2年ほどかかります
が、これが完了すれば、市場拡大時には需要を最大限に吸収できる生産体制が、市場縮小時には変化のインパクトを最小限にとどめる生産体制が実現し、いずれの局
面でも利益率の改善効果が期待できます。高収益体質への変革をスムーズに行うために、この6月には組織変更も行いました。また、管理間接部門の業務についても、小数精鋭で効率的なオペレーションができるしくみ作りや最適なグローバル資材調達を図ってゆくことなどを考えています。私たちは、生産性と生産効率を最大化す

10 TOKYO ELECTRON

ることでコスト削減を果たすというワンランク上の対策を講じていきます。

新たな展開としては、拡大が見込まれる中国市場の重要性を考慮して、2002年

グローバル展開の観点からはいかがでしょうか？

4月、上海にサービス拠点を設立し、中国でのダイレクトオペレーションを開始しました。ここを基点に中国のお客様に最高の技術サポートを提供していきます。中国・アジアのお客様にとっては、TELがすぐ近くの日本に大きな開発拠点を有するということが非常に魅力的であり、TELは貴重なサプライヤとして位置付けられています。
セールス・サービスの拠点の拡大という意味ではすでに一段落しており、TELはすでにグローバルサプライヤーとして世界中のお客様から認められています。これ
からはむしろ、世界のそれぞれの地域の持つ競争優位な資源をTELが吸収し、既存のTELの経営資源と融合していきたいと思います。ソフトウェア技術では世界のリーダーである米国にその関連の拠点を設けたことなどはこのいい例です。こうして取り入れた世界の強さを新たなTELの競争力とし、世界の中でのTELのアイデンテ
ィティを高めたいと思っています。

2002年中は今の旺盛な需要が続くと予想しています。FPD製造装置市場も、基FPD (Flat Panel Display)
製造装置市場が好調のようですね。

本的に半導体製造装置市場と同様に周期性があるため、一時的に市場が軟化する可能性はありますが、中長期的には大きな伸びが期待できる市場であることに変わりはありません。
現在の旺盛な需要は、液晶（LCD）パネル市場がPCのモニター向けに大きく成長していることが背景となっています。また、液晶パネルの材料基板となるマザーグ
ラスの大型化が進んでいますが、TELは大型化に対する早い対応ですでに大型基板対応装置の出荷も順調に進んでいます。また当社の提供する装置は、将来大きな市場となる有機ELの製造にも対応できます。エッチングと塗布現像の装置で持つ圧倒的な市場シェアを生かし、この市場から得られる事業機会も大きく取り込んでゆくことができます。

11

見えない 未来に込めた私達の夢

半導体デバイスの発明以来、人類の文明、社会、経済、生活はそれまでにない急激な進化を遂げてきました。コンピューティング、通信ネットワークもその恩恵を受け、急激な進化のドライバーとして大きな役割を果たしてきました。
コンピュータは世界に数台しか必要ないと言われた時代から、1人1台のPCとなり、携帯電話、PDA、ゲーム機、デジタルTV、自動車などいろいろな機器に高度な半導体技術が活用されるようになってきました。さらに、ブロードバンドネットワークで連動した情報処理機能が、私達を取り巻く環境のあらゆるモノに 見えない 形で埋め込まれていきます。いつでもどこでも、人々が情報やサービスを享受できるユビキタスコンピューティングの世界がそこにあります。
私達の遺伝子にコーディングされた 見えない 未来への夢は、新たな進化のステージへ私達を導こうとしているのです。

12 TOKYO ELECTRON

急速に規模と範囲を拡大する半導体の応用分野
見えない

未来の世界では、膨大な数のシリコンチップが使用されることになります。半

導体は、あらゆるモノに組み込まれ、大規模のメモリー空間と多数のプロセッサ群による超並列処理が、高度にインテリジェントな処理を可能とします。さらに多様なアプリケーションのそれぞれに特化したSOC (System on Chip)が要求されています。規模と多様性のビッグバンの時代に私達は突入しつつあります。

拡大する世界の半導体市場

540億ドル2,260億ドル

3,000〜3,500億ドル

1990

2000

2010
出所：Dataquest, TEL推定

集積化、高速化、低消費電力への要求
集積回路の微細化がナノスケールに向かって進行しています。半導体デバイスは見えない形であらゆるモノに埋め込まれ、究極の姿としてユビキタスコンピューティングが実現されます。そして、インテリジェントな処理のための複雑で大規模なアルゴリズムの実行が求められ、集積化と高速化への動きが加速します。しかし、集積化と高速化は、発熱の問題を深刻化させます。これらの問題に加え、消費電力を低下させることが重要な技術的課題となります。特に、アウトドアでの長時間の電池駆動が必要なモバイル機器に使用される半導体では、より一層の
低消費電力が求められています。これらの問題を解決するために、新しい技術の導入へのチャ
レンジが行われています。

13

プロセスイノベーションのキーとなる
東京エレクトロンの製品群
半導体チップの大規模な集積化、高速化、低消費電力化という3つの技術課題−これを解決

用語解説するのが微細化リソグラフィ、低抵抗の配線、低誘電率の層間絶縁膜、極薄のゲート絶縁膜で1．リソグラフィ
フォトマスクに描かれた回路パターンは、写真の技術を用いてウェーハ上に転写されます。コータ/デベロッパで感光剤を塗布し、露光装置（ステッパ/スキャナ）で回路パターンを焼き付けます。露光後に現像され、パターンが出来上がります。

す。

このために、今、チップ製造のプロセス（製造方法）や材料に大きな変化が起きています。東京エレクトロンは、こうした最先端テクノロジーの開発に取り組み、ワールドクラスの製品ラインアップで Best of Breed によるソリューションを世界の半導体メーカーに提供しています。

2．低誘電率の層間絶縁膜
配線が微細になり、間隔が狭くなるにしたがって、配線の中を移動する電子の移動スピー
ドが層間絶縁膜の寄生容量の影響を受けて遅くなります。この問題を解決するためには誘電率の低い絶縁膜の利用が有効です。

ゲート絶縁膜とゲート電極の形成
LSI（大規模集積回路）の中のトランジスタは、シリコン上に電極と絶縁膜を積層したゲートと不純物が注入されたソース/ドレインから構成されています。高速ロジックチップにおいては、
特にゲートの部分における電気信号の遅延時間が問題となっています。この問題に対処するた
めに、トランジスタ全体の微細化、ゲート電極の低抵抗化、ゲート絶縁膜の薄膜化、そして薄膜化の限界に対応する材料とプロセスの開発が進んでいます。

酸化・拡散/LP-CVD装置（バッチ処理）

枚葉式急速熱処理炉（枚葉処理）

TELFORMULA®

SRTF

高速の温度制御が可能な新開発のヒーターにより、酸化、減圧CVDのプロセ
スを連続処理する。１枚から25枚のウェーハに柔軟に対応。

処理室全体が加熱されるファーネス（炉）技術を使った枚葉処理装置で瞬間的にウェーハを加熱処理する。装置価格と消費電力の大幅な低減を実現した装置。

デザインルール=130nmコータ／デベロッパ

180nm

CoSi

CLEAN TRACK ACT® series

Poly-Silicon

露光装置に接続して利用され、ウェーハ表面に感光剤を塗布・現像する。圧倒的なシ
ェアに裏づけされた信頼性の高い装置。

SiON

SiO2

ソース

ドレイン

現在のゲート
次世代ゲート（ロジックデバイス）

洗浄装置

プラズマ処理装置

UW series

Trias® SPA

ウェーハの表面に付着したゴミや汚れを酸、オ
ゾン水などで洗浄する。省薬液、省スペース化
でオペレーションコストを低減する。

プラズマを利用してゲート絶縁膜の窒化を行う。ウェーハへのダメージが少ないプラ
ズマが、良質でリーク（電気の漏れ）の少ないゲート絶縁膜の成膜を可能にした。

14 TOKYO ELECTRON

3．ゲート絶縁膜の薄膜化
一般に半導体チップのトランジスタはスケー
リング則に従って、ゲートの長さ、幅、ゲー
ト絶縁膜の厚さなどの値が小さくなれば、電流、電圧、信号遅延時間等、半導体デバイスの性能を示す値が向上します。

銅配線と層間絶縁膜の形成
最先端の半導体は１つのチップ上に数千万個のトランジスタが作られるほど高集積化が進み、トランジスタをつなぐ配線も微細になり、配線と配線の間隔も狭くなっています。この結果、配線部分における電気信号の遅延が無視できない問題となってきています。この問題を解決するために、従来のアルミニウム配線と二酸化シリコン(SiO2)の絶縁膜に代わって、銅配線と低誘電率の層間絶縁膜材の採用が最先端の製造工程において進行しています。特に、多層配線技術が要となるロジックチップにおいては、これらのプロセス開発が活発に行われています。

銅メッキ装置NuTool® 2000 (米国 NuTool Inc.社製品)
銅配線用の電解メッキ成膜装置。独自技術
により成膜後の銅の研磨量の大幅な低減を可能にした。

SODコータ

CLEAN TRACK ACT® series
低誘電率の層間絶縁膜を塗布方式で成膜する装置。100ナノメートル世代から本格的な市場拡大が期待される。

アルミニウム配線 + SiO2

プラズマエッチング装置

Telius®
洗浄装置

プラズマを利用して絶縁膜を食刻する装置。
特にディープトレンチ（深溝）や選択的エッチングなどハイエンドアプリケーションに威力を発揮する。

PR series
エッチング後の残渣（ざんさ）を化学反応とスプレー技術で洗浄する。独自の二重チ
ャンバーが洗浄能力の高さと処理時間の短縮を達成。

銅配線 + 低誘電率の層間絶縁膜

枚葉CVD装置

Trias®
熱やプラズマを利用して金属膜や拡散防止膜を形成する。DRAM関連のアプリケーシ
ョンでは高いシェアを誇る。

15

リーディングサプライヤとしてさらなる価値を提供する

今後、デジタルエレクトロニクス機器が個人に普及すると、半導体の需要をドライブするのはますますライフサイクルの短い製品になります。また、アプリケーションの多様化も同時に進行することから、半導体メーカーは設計分野に注力し、製造プロセスに関しては装置メーカ
ーへの依存度を一層高めてゆく時代がきます。ファウンドリー（ＩＣの委託生産会社）においても、ファブレスメーカーの設計に対して製造プロセスを適合させるため、製造工程に関して
は装置メーカーに任せていく度合いを深めてゆくものとみられます。

What to make を指向する半導体メーカー、
How to make を担う装置メーカー
IC製造の黎明期において、半導体製造装置メーカーの役割はハードウェアの製造という分野に限られていました。時代を重ねるごとに、総合的なプロセスレシピの提供や隣り合った製造
工程間の最適化、さらに人間が何もしなくても装置が独自に最適化を図るシステムの創造など、チップ製造における装置メーカーの寄与度が次第に高まり、これが装置メーカーの付加価値となってきました。東京エレクトロンは幅広い製品ラインナップとワールドクラスの研究開発能力を背景に、お客様に提供できる新たな付加価値の創造に挑戦しています。

広がる半導体製造装置メーカーの役割

工場のマネジメント

製造技術

プロセスコントロール

プロセス
インテグレーション
プロセスレシピ

ハードウェア1970s

16 TOKYO ELECTRON

1980s

1990s

2000s

アドバンスト・プロセス・コントロール
アドバンスト・プロセス・コントロール（APC）とは、従来、人間が介在して工程の出来映
えやミスがないかをチェックしていたものを装置内や製造ライン内で自動的に行い、プロセスと歩留まりを安定させるためのものです。

重要な歩留まりの管理
半導体の製造には、物理・化学の領域における最先端の複合技術が駆使されますが、そのテクノロジーの複雑さゆえに、常に作られる半導体チップが良品とは限りません。しかしながら、チップの良品率は半導体メーカーにとっては死活問題の一つとも言え、歩留まりを上げることはコスト面、市場投入のスピードの観点から大きな課題となっています。ＡＰＣ技術は半導体メーカーの生産コスト低減に直接貢献するため、近い将来、製造装置の差別化のための大きなファクターとなります。

APCによる歩留まりの向上

100

100

チップの数

APCあり

チップの数

APCなし

0

0

良品の領域

APCにより良品の比率が向上

東京エレクトロンのＡＰＣへの取り組み
東京エレクトロンは2001年2月に米国Timbre Technology社を買収し、装置の中でプロセスの結果を測定するOptical Digital Profilometry（光を用いた表面解析技術）というソフ
トウェア技術を取得しました。従来の走査電子顕微鏡による検査に比べ、ＯＤＰは断面形状や膜厚を測定する時間を圧倒的に短縮します。東京エレクトロンはＡＰＣへの最初のアプローチ
として、当社の強みとするリソグラフィ工程の装置（コータ/デベロッパ・エッチング）にこのＯＤＰ技術を搭載し、ＡＰＣを装置レベルで実現する開発プログラムを進めています。

走査電子顕微鏡

ODP
550
500
450
400
350
300
250
200
150
100
50
0
-300 -200 -100

測定時間
約1時間

0

100

200

300

測定時間
2〜3秒

測定時間は、
ウェーハ上の一点の断面を測定したもの

17

環境・健康・安全へのコミットメント
東京エレクトロンは、人々の健康と安全を最優先し、地球環境の保全に配慮することを、事業活動を行う企業としての重要な使命と考えています。

これまでの「環境保全」に対する取り組み
東京エレクトロンは、1996年の東京エレクトロン環境委員会の設立を基点とし、1998年には「東京エレクトロングループの環境に関する基本理念／環境方針」を制定し、地球環境の保全を推進してきました。すでに環境マネジメントの国際規格であるISO14001認証を国内主要７事業所で取得し、これをベースとした環境パフォーマンスの継続的向上に積極的に取り組んでいます。具体的には次のような活動を継続的に推進し、成果をあげています。

●廃棄物の削減およびリサイクル率の向上●省エネルギー・省資源の推進●化学物質の適正管理●環境に配慮した製品開発の推進
Safety First!

製品における環境負荷低減の取り組みを強化
こうした環境保全への取り組みが順調に軌道に乗り成果をあげる中、特に2002年3月期以降は「環境負荷低減型の製品の開発」の強化を重点目標として取り組んでいます。以下はその活動の一部です。

●グリーン調達の実施
グリーン調達とは、従来の資材調達評価基準の「品質・コスト・納期」に加えて「環境配慮」がなされた部品を調達していくことです。東京エレクトロングループは「グリーン調達ガイドライン」を2001年1月に制定し、全国の取引先に配布し、約200社の取引先に対してグリーン調達の説明会を開催して協力をお願いしました。業界のリーダーとしてイニシアチブを取り、第一段階として取引先の環境活動への取り組み状況を調査・評価するベンダー調査、第2段階として調達部品の環境配慮について調査・評価する
部品調査を行っていきます。

これまでの調達基準

品

質

+

+

コスト

納

期

グリーン調達基準

品

質

+

コスト

+

納

期

+

環境配慮

●LCAの実施
LCA(Life Cycle Assessment)とは、製品の原材料から製造、製品運搬、製品使用、廃棄までのそれぞれの工程における環境影響を定量的に評価する手法です。環境影響を分析・評価し、環境に影響を大きく与える工程を重点的に改善することにより、製品の環境影響を低減することができます。前期は各ビジ
ネスユニットで地球温暖化についてLCAを実施しました。

18 TOKYO ELECTRON

環境会計の導入
東京エレクトロングループは、企業活動のうち環境保全に関わるコストを定量的に把握し企業活動の指針として活用するために、2001年3月期より「環境会計制度」を導入しています。2002年3月期の結果については、2002年秋に発行される「2002環境報告書」をご覧ください。

SEMI主催 Global CareTM (グローバルケア)プログラムでのリーダーシップ
半導体産業、FPD（フラットパネルディスプレイ）産業は今や世界レベルで注目を浴び、地球環境や人々の健康・安全への配慮についても、常に世界の最先端に位置付けられる活動を行うことが求められています。
環境・健康・安全は一企業の努力だけでは限界があり、サプライチェーンを横断した半導体、FPD業界
全体としての協力が必須となっています。東京エレクトロンは業界のリーダーとして、Semiconductor
Equipment & Materials International (SEMI)が主催するGlobal CareTM プログラムに参加し、様々な活動を行っています。

Global CareTM プログラムの５つの実践されるべき原則

東京エレクトロンはSEMIが主催するGlobal
CareTMプログラムへの賛同を宣言しています。

1. Workplace Health & Safety

健康で安全な職場の実現

2. Resource Conservation

資源保全

3. Product Stewardship

製品への責務4. Community Service

コミュニティーへの奉仕

5. Excellence

卓越性

安全への取り組み
会社の存立は社員・お客様をはじめ、ビジネスに関わる全ての人々が安全かつ健康であることにより初めて可能になります。そのことをよりわかりやすく確実にするために、2001年、「東京エレクトロング
ループの環境／安全／健康に関する基本理念／方針」を定めました。この中では、各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を常に念頭において行動する責務が従業員に課せられていることが明示されています。具体的には、人命および各種設備や機器の安全性を損なってまで、利益や納期を優先するようなことがあってはならないということが示されています。
また、東京エレクトロングループでは「Safety2000」と呼ばれる、グループ統一の安全教育を実施しています。国や文化の違いを超えて、グループの全員が同じ「安全第一」意識を身につけることによって、お客様との信頼をより一層向上させるために開発された教育です。

以上、東京エレクトロンの環境・健康・安全の活動の一端をご紹介しました。

より詳細な情報については当社発行の「環境報告書」をご覧ください。
http://www.tel.co.jp

19

営業の概況
半導体製造装置部門
1999年、2000年と活況が続いた半導体設備投資は、半導体市況の悪化により、2001年初頭から急激な冷え込みを見せはじめ、2001年の世界の半導体製造装置市場は大幅なマイナス成長を記録しました。半導体需要を牽引するPC、携帯電話の出荷が2000年の高い成長の後で伸び悩み、半導体の余剰在庫が世界的に積みあがったためです。これにより、半導体メーカーの設備稼働率は著しく低下し、新たな設備投資に急激なブレーキがかかりました。
2002年3月期の当社半導体製造装置部門の連結売上高は、この未曾有の半導体不況の影響で、前期比47.4％減の3,257億円となりました。当期の連結売上高に占める部門比率は、前期の85.5％から78.0％へと低下しました。当部門の売上高に含まれるFPD(Flat Panel Display)製造装置の売上高も、FPD市況の軟化の影響で設備投資が抑制され、前年比42.3%減の414億円となりました。部門受注高は、新規受注

半導体製造装置部門
地域別売上高（単位：億円）の減少に加えて受注キャンセルの影響もあり、前年比67.0％減の2,072億円でした。
なお、当期第4四半期には、一部大手半導体メーカーを中心に300ミリウェーハ対応および微細化

1,965（0.13μm）向けの設備投資が再開しており、当社受注も上昇に転じました。設備投資の本格回復までにはまだしばらく時間がかかると見られますが、半導体製造装置市場は新たな上昇サイクルへの転換点を迎えて

1,311

在、高水準で推移しています。

地域別概況
947

当期は全地域で前期比減収となりましたが、特に日本を含むアジア地域での減少幅が大きく、日本は50.8％減の967億円、韓国61.3％減の232億円、台湾％53.9減の605億円、その他アジアは45.5％減

605

599

の223億円でした。その他アジアの売上に含まれる中国の売上は、新規顧客向けの売上が貢献し、前年比で
223

232

283

409

505

967

1,402

いると観測されます。周期性のあるFPD製造装置の受注もFPD需給バランスの好転を受け、2002年春現増加しました。米国は32.4%減の947億円でしたが、全地域に占める構成比は前期の22.6％から29.1％に上昇しました。FPD製造装置を除く半導体製造装置の売上では米国が最大規模となりました。欧州は

日本

2001
3月期

北米

ヨーロッパ

韓国

台湾

その他

2002
3月期

注：日本の売上には他社製輸入品の売上が含まれています。

43.9%減の283億円でした。

装置別概況
当期、全製品カテゴリーで、売上が前年比減少となりました。しかし、200ミリウェーハ対応装置の売上が減る中、300ミリウェーハ対応装置の売上は順調な伸びを示しました。特にコータ/デベロッパ、エッチ
ング装置、ウェーハプローバは、300ミリへの第一移行期とも言えるこの時期において、200ミリ装置を上回る市場シェアを獲得したものと当社では推測しています。

研究開発費および新製品ハイライト
今、半導体製造技術においては3つの大きなテクノロジーの変化 ― 微細化、新材料への移行、ウェーハの300ミリ大口径化 ― が同時に起きています。厳しい事業環境でしたが、これらの技術変化に対応する独創的な製品の創出に過去最高の538億円の研究開発費を投じました。前期に買収した米国Timbre
Technologies社の測定技術を当社の装置に搭載した新型装置も評価段階に入っています。また、70nm時
代に向けた研究開発もすでにスタートしています。

20 TOKYO ELECTRON

当期より市場に投入した主な製品：●TELFORMULA®
2001年12月より正式に受注を開始した25枚ウェーハ対応フレキシブルロード型ホットウォールシステ
ムTELFORMULA®は、従来のバッチ式の課題を払拭した革新的な高速熱処理装置です。製造サイクルタイ
ムが大幅に短縮され、量産性とコストに優れる熱処理装置として今後の受注拡大が期待されます。

●Trias®SPA
2001年12月にリリースしたプラズマ処理装置Trias®SPAは、優れたプラズマ均一性によりゲート絶縁膜の窒化処理をする装置で、この装置の採用によりプラズマダメージによる結晶欠陥を回復させるアニール
半導体製造装置部門売上高（単位：億円）工程が不要になります。窒化以外にも、最先端ロジックチップ、DRAM，フラッシュメモリ製造のキープロ
セスへの展開が考えられる成長性の高い装置です。

3,257

6,190

3,551

2,422

3,802

●SRTF
2001年７月にリリースした枚葉式急速熱処理炉 SRTFは、ホットウォール式熱処理炉の優れた再現性と低コスト、そして枚葉式の柔軟な生産性を併せ持ち、極めて消費電力の低い画期的な熱処理装置です。200
ミリの製品化が終了し、300ミリの開発段階に入っています。

事業拠点の再編
事業体制を見直し、国内、海外において事業拠点の統廃合を行いました。特に日本および米国における開発・製造拠点に重点的に見直しをかけ、生産を集約して効率を上げる開発・製造体制に再編しました。詳し
くは本アニュアルレポート「株主の皆さまへ」をご一読ください。

拡大する中国市場に備えて東京エレクトロン上海を設立
今後大きな拡大が見込まれる中国の半導体市場を見据えて、当社の販売する半導体製造装置、FPD製造装1998 1999 2000 2001 2002
3月期

置に関する充実したサービスサポートを提供するために、中国上海市に東電半導体設備（上海）有限公司、英名Tokyo Electron (Shanghai) Limitedを設立し、2002年4月より業務を開始しました。中国では、すでに1996年より代理店方式で顧客サポートを行ってきましたが、より顧客サポートを強化し当社の中国でのプレゼンスをさらに高めるために直接サポート体制に切り替えました。今後は、中国における部材調達基地としての機能も充実させていく予定です。当初の人員は70名でスタートし、市場の状況に応じて増員を図っていきます。

21

コンピュータ・ネットワーク部門
通信のブロードバンド化の進展に伴い、インターネットを利用したサービスのさらなる高速化やセキュリ
ティの確保、また爆発的に増加するデータの保存や管理が企業の重要課題となってきました。早くからこれらの分野の商品開拓に取り組んでいるコンピュータ・ネットワーク部門は、これまでに蓄積した技術力をもとに、機器販売だけではなく業務に最適なソリューションとして提供しています。これらの商品戦略により、当期の連結売上高は前期比21.2%増の170億円となりました。
ネットワーク関連製品では、Extreme Networks社のGigabit Ethernetスイッチが前期に引き続き堅調に売上を伸ばしたほか、F5 Networks社のインターネットトラフィックマネージメント製品も、新技術を搭載したIPアプリケーションスイッチの投入も寄与し、前期の1.8倍の売上となりました。また、インターコンピュータ・ネットワーク
部門売上高（単位：億円）ネットビジネスの必須条件であるセキュリティの確保が特に注目度を増しており、nCipher社のセキュリテ
ィ製品が前期の3倍以上の売上となりました。当期より、構築したwebサイトへのアクセスをサービス開始

170

141

124

129

153

前により現実に近い環境でシミュレーションできるCaw Networks社の負荷検証装置をラインナップに加え、ミッションクリティカルな環境で問題なく稼動するサイト構築のためのソリューションの充実を図りました。
ブロードバンドによって大容量データが頻繁にネットワークを行きかうようになる中、ネットワークに負荷をかけずに膨大なデータを保管することができ、障害が起きても容易に復旧が可能なSAN（Storage
Area Network）の技術が実用段階に入ってきました。Brocade社のファイバーチャネルファブリックスイ
ッチはSAN構築時の要となる製品ですが、前期比1.6倍と順調に売上を伸ばしました。また、障害時に離れた場所で確実にデータを守るリモートバックアップへの関心が高まっており、IP（インターネットプロトコ
ル）を利用してSANを遠隔地に展開できるNishan Systems社のIPストレージスイッチの取り扱いを開始
してソリューションの幅を広げました。
ネットワークのブロードバンド化により、ネットワークで映像や音声データを配信したいという要望も高まっています。東京エレクトロンが独立行政法人通信総合研究所と共同で開発した高品位映像配信システム
1998 1999 2000 2001 2002
3月期

Ruff Systemsは、次世代インターネット環境であるIPv6に対応し、WindowsXP上で高品質映像を配信できる機能を追加しました。これに伴って売上は前期の4倍以上に伸長しました。
ネットワーク、SAN、映像配信技術というインターネットに欠かせない知識を網羅した技術力を活かし、最先端商品の開拓力を駆使して、IT時代に不可欠なソリューションを今後も提供していきます。

F5 Networks, Inc.
• Server Load Balancer

nCipher Corporation Ltd.
• Hardware Security Module• SSL Accelerator

Nishan Systems• IP Storage Switch

注：本アニュアルレポートに記載された会社名および製品名は各社の商標または登録商標です。

22 TOKYO ELECTRONSony Corp.
• High Performance Tape Library電子部品部門
半導体製品、ボード製品、ソフトウエア、一般電子部品を取扱う電子部品部門の当期連結売上高は、国内の半導体需要の低迷で、前期比17.4％減少の737億円となりました。
電子部品部門の売上の88％を占める半導体製品においては、電子機器の高性能化、短期サイクル化に適合して用途を拡大しているザイリンクス社のPLD（プログラマブルロジックデバイス）を主力とするセミカ
スタムIC、通信関連分野の特定用途向けICなど、今後成長が見込まれる情報通信関連分野の商品や技術サポートを要する高付加価値商品を商品ラインアップの中心においていますが、エレクトロニクスメーカーの業
績の悪化、設備投資の抑制などから、当期の売上高は前期比で大幅な減少となりました。ボード製品、ソフ
トウエア、一般電子部品についても、いずれも前期比で減少いたしました。このような厳しい状況の1年でしたが、明るいニュースとして、ソフトウエア売上高の87％を占めるマイクロソフト社から、 Windows

電子部品部門売上高（単位：億円）Embedded Partner of the Year として表彰を受けました。
737

892

721

577

601

当部門では、ブロードバンドの進展を背景とする情報通信関連市場や、民生機器のデジタル化が見込まれ
るデジタルコンシューマ市場にフォーカスした新規商品の開拓を行っています。当期は、世界的な半導体企
業のテキサス・インスツルメンツ社、インフィニオンテクノロジーズ社などのサプライヤーと新規に代理店契約を締結しました。
また、当部門の設計開発センターにて蓄積された豊富な経験を生かし、お客様のニーズに合わせたセミカ
スタムICの設計受託業務を中心とした開発ビジネスにも注力しています。当期には、設計・開発体制の再編・拡充を図る目的から仙台市に設計開発センターを開設しました。設計開発センターでは、通信インター
フェース技術やメモリの制御技術をベースとした自社製品の設計・開発も行っています。
今後も、新規サプライヤーの開拓や新商品の開拓を重点的に推進していくとともに、技術サポートを要す
る高付加価値商品の販売、技術力を背景としたセミカスタムICの設計・開発、自社製品の開発強化にも努め、技術商社としての基盤を確立していきます。

1998 1999 2000 2001 2002
3月期

注：本アニュアルレポートに記載された会社名および製品名は各社の商標または登録商標です。

23

財務の概況
売上及び利益前期比47.4％減の3,257億円となりました。コンピュータ・ネット

事業環境
当期2002年３月期の世界経済は、米国のＩＴバブル崩壊に端を発ワーク部門の売上高は、高速ネットワーク技術製品および各種サーバ

した景気減速による影響が、欧州、アジアへも普及し、世界同時不況

ー製品が売上げを伸ばし、前期比21.2%増の170億円となりました。

の様相を呈したまま推移しました。日本経済についても、企業収益が電子部品部門の売上高は17.4％減の737億円でした。（部門別売上悪化し、深刻な厳しい状況が続きました。

高の詳細については、P20〜23の「営業の概況」をご覧ください。）

当社の参画するエレクトロニクス業界においても、パソコン、携帯電話などの情報通信関連機器の需要が停滞し、これらの基幹部品である半導体の市況が急速に冷え込みました。これにより、半導体メーカ

また、その他の売上は、連結売上高の0.3%にあたる14億円となりました。
当期の連結受注高は、前期比59.8％減少し2,953億円となりました。期末の受注残高は前期比44.5％減の1,528億円でしたが、第4ー・LCDメーカーが大幅に設備投資を縮小しました。
しかし、2002年に入り、需給バランスの悪化していた半導体の在庫調整の進展により、半導体関連市場にも回復の兆しが見え始めまし

四半期には、半導体製造装置部門の受注が6四半期ぶりに上昇に転じ
ました。

た。

売上総利益、販売費および一般管理費、営業利益
売上原価は前期比34.1％減の3,023億円でしたが、売上原価の売

売上の状況
当期の連結売上高は、こうした世界的な事業環境悪化の影響を大き

上高に対する比率は前期の63.4％から72.3%に上昇しました。これ
は、工場稼働率の低下により製造固定比率が上昇したことと、在庫評

く受け、前期比42.3％減の4,178億円となりました。
地域別では、国内の売上高は前期比37.7％減の1,865億円に、海価減および在庫廃棄を併せて103億円計上したことが大きな要因で外売上高は45.5％減の2,313億円となりました。これにより、連結す。これにより、売上総利益率は前期比8.9ポイント低下し27.7％

売上高に占める海外売上高の比率は前期の58.7％から55.4％に低下となりました。
販売費及び一般管理費は主に人件費の減少によって前期比7.0％減しました。
部門別では、FPD製造装置を含む半導体製造装置部門の売上高が、の1,339億円となりました。販売費及び一般管理費に含まれる研究

4,178

7,239

4,407

3,138

4,556

4,178

7,239

売上高及び営業利益（単位：億円）

24 TOKYO ELECTRON

2,313

1998 1999
3月期

2000

日本

海外

2001

2002

1998
3月期

1,211
1999

売上高

2000

-183

358

64

638

1,865

2,993
1,840

1,498

2,306

1,640

2,567

2,250

4,246

4,407

3,138

4,556

国内及び海外売上高（単位：億円）

2001

営業利益

2002

開発費は、重要性の観点からコスト削減策の対象外とし、前期比

益は前期から1,221億円減少し229億円の損失となりました。

1.7％増の538億円と前期の過去最高水準を維持しました。研究開発

当期純利益は前期の620億円から当期は199億円の損失となり、費は、主に300ミリウェーハ対応装置開発を含む次世代技術開発や1株当たり当期純利益は前期の353.76円から当期は113.85円の損

新規分野に投じられました。営業利益は、販管費が減少したものの、失となりました。当期損失を計上しましたが株主還元を継続すること

売上総利益の減少による影響が大きく、前期から1,394億円減少しとし、1株当たり配当金は前期比30円減配の8円としました。

183億円の損失を計上しました。

外国為替の変動が収益に与える影響
その他収益（費用）及び当期純利益

当社の日本からの輸出売上は原則円建てで行われます。また、決済

その他費用純額は、国内外拠点の統廃合を行ったことにより、設備の方法としてドル建てを要求される場合は、受注時に個別に先物為替

廃棄、追加人件費等を含む事業構造改善費用27億円を特別損失とし予約を付し、為替変動のリスクをヘッジします。よって、外国為替のて計上しましたが、前期の退職給付会計基準変更に伴う差異の償却額

変動が収益に与える影響は軽微です。また、主に外貨建で取り引きさ160億円のような多額の損失がなかったため、前期から173億円改れる輸入仕入れについては、取り扱い比率が小さく、こちらも外国為

善し46億円の損失となりました。この結果、税金等調整前当期純利替の変動の影響は軽微です。

単位：百万円（売上高に占める割合）

単位：千米ドル

2002年

2001年

2000年

2002年

売上高

¥417,825 (100.0)¥723,880 (100.0)¥440,729 (100.0)$3,136,831

売上原価

302,270(72.3)

458,902(63.4)

303,839(68.9)

2,269,298

売上総利益

115,555(27.7)

264,978(36.6)

136,890(31.1)

867,533

販売費及び一般管理費

133,865(32.0)

143,892(19.9)

101,074(23.0)

1,005,000

営業利益（損失）(18,310)–

121,086(16.7)

35,816(8.1)(137,467)

その他収益（費用）(4,609)–(21,954)–(6,127)–(34,603)

税金等調整前当期純利益（損失）(22,919)–

99,132(13.7)

29,689(6.7)(172,070)

法人税等(2,990)–37,099

(5.1)

9,836

(2.2)

(22,447)

8

(0.0)

21

(0.0)

5

(0.0)

62

(19,938)–¥ 62,012(8.6)¥ 19,848(4.5)(149,685)

研究開発費（単位：億円）
538

30.00

2000

2001

2002

1998 1999
3月期

10.74

2000

2001

-7.02

12.35

17.34

112.14

8.00

529

12.00

371

1998 1999
3月期

268

268

配当金及び配当性向（単位：円/％）
38.00

当期純利益（損失）14.00

少数株主利益

2002

配当金
配当性向

25

財政状態及びキャッシュ・フロー
は、生産減に伴う仕入れの減少によって買掛金が減少したこと、短期財政状態
2002年3月期末の流動資産は、前期末比35.5％減少し3,534億

借入金及びコマーシャルペーパーが減少したこと、また、収益減少に円となりました。減少の主な内容としては、売上減少に伴う受取手形よる未払法人税の減少、従業員賞与引当金の減少によるものです。なおよび売掛金の減少、たな卸資産の減少があげられます。たな卸資産

お、運転資本は前期の3,098億円から2,439億円に減少しましたが、回転率は前期の5.27回から2.89回に、受取手形及び売掛金回転率は

流動比率は、前期の2.3対1から3.2対1に上昇しました。
長期負債は、第5回新株引受権付社債55億円の発行がありました

3.03回から1.77回にそれぞれ低下しました。

が、社債の一部流動負債への振替えと借入金の返済により、前期比

有形固定資産は、前期比7.8％増の1,345億円でした。なお、当期

11.4％減の1,398億円となりました。

の設備投資額は309億円でしたが、その内容としては、測定用機器

2002年3月期末の転換社債及びワラント債の残高は255億円となの購入と自社製装置の固定資産への振替が大部分を占めました。

りました。転換社債及びワラント債の潜在株式数は、期末発行済株式

投資その他の資産は、前期比22.0％増の690億円となりました。

数の3.3％でした。

これは主に、税務上の繰越欠損金に対する繰延税金資産が前期比で152億円増加したことによるものです。投資有価証券は前期末比で株主資本については、主に剰余金の減少により、前期比7.7％減の21億円減少しました。総資産は、主に流動資産の減少により、前期

3,076億円となりましたが、株主資本比率は、前期の45.7％から比23.7％減の5,569億円となりました。

55.2％に上昇しました。株主資本利益率（ROE）は過去最高だった
前期の20.4％から−6.2％になりました。

流動負債は前期比54.1％減の1,095億円となりました。主な要因

運転資本
流動比率

26 TOKYO ELECTRON

0.47

0.42

0.55

0.57

0.52

2,439

負債比率
（単位：倍）

1998 1999
3月期

2000

2001

2002

3.23

1998 1999
3月期

3,098

2002

2.30

2001

2,287

2,284

2000

2.56

309

2,217

494

1999

4.21

190

1998
3月期

2.58

169

運転資本及び流動比率（単位：億円/倍）

287

設備投資額
（単位：億円）

2000

2001

2002

て358億円となりました。有形固定資産の設備投資には、主に研究

キャッシュ･フロー開発用の機械装置の取得のために310億円が使われました。

営業活動によるキャッシュ・フローは、前期のマイナス294億円
から大幅に増加し776億円となりました。当期純利益（純損失）と財務活動から生じたキャッシュ･フローは、第５回新株引受権付社

減価償却費を合算した額は、前期の837億円から当期64億円へと大債55億円を発行しましたが、その他に社債の発行による資金調達がきく減少しましたが、売上高の大幅な減少に伴う売上債権の減少やたなく、一方でコマーャル・ペーパーの償還や借入金の返済を進めた結な卸資産の減少が運転資本を減少させたことが、営業キャッシュフロ

果、前期の772億円から一転してマイナス572億円となりました。

ー改善の要因となりました。

現金及び現金同等物の期末残高は、前期末の653億円から25.9％減の484億円となりました。

投資活動に使用したキャッシュ･フローは、前期の624億円に対し

単位：百万円（総資産に占める割合）

資産合計

単位：千米ドル

2002年

2001年

2002年

¥556,915 (100.0)¥729,511 (100.0)$4,181,046

現金及び預金48,409(8.7)

65,320(9.0)

363,433

受取手形及び売掛金

167,982(30.2)

302,953(41.5)

1,261,128

たな卸資産

127,352(22.9)

161,981(22.2)

956,099

投資その他の資産

68,981(12.4)

56,549(7.8)

517,875

有形固定資産134,511(24.2)

124,721(17.1)

1,009,842

負債合計

249,278(44.8)

396,172(54.3)

1,871,460

短期借入金

13,924(2.5)

48,462(6.6)

104,534

支払手形及び買掛金

41,053(7.4)

87,350(12.0)

308,202

未払法人税等

1,663

(0.3)

41,440(5.7)

12,486

長期借入金及び社債

105,452(18.9)

126,348(17.3)

791,680

株主資本¥307,579(55.2)¥333,281(45.7)$2,309,148

393

837

64

1998
3月期

198

2002

427

2001

3,076

2,610

2000

3,333

55.2

1999

ネットキャッシュフロー（単位：億円）

1998
3月期

1999

2000

2001

2002

-6.2

0.7

7.5

12.8

20.4

45.7

1998
3月期

2,736

54.8

2,577

62.1

株主資本及び
株主資本利益率 (ROE)（単位：億円/％）

52.9

株主資本比率（単位：％）

1999

2000

株主資本
株主資本利益率

2001

2002

ネットキャッシュフロー＝当期純利益＋減価償却費27取締役・監査役及び業務執行責任者(2002年6月21日現在)

竹渕裕樹
エッチングシステムＢＵ
ジェネラルマネージャー

井上芳徳
テストシステムＢＵ
ジェネラルマネージャー

栗木康之
サーマルプロセスシステムＢＵ
ジェネラルマネージャー

岩津春生
洗浄システムＢＵ
ジェネラルマネージャー

久保寺正男
技術開発グループ
グローバルジェネラルマネージャー

松岡孝明
マーケティンググループ
グローバルジェネラルマネージャー

児玉孝雄
ITセンター
グローバルジェネラルマネージャー

中村隆

人事・総務・環境安全担当
グローバルジェネラルマネージャー

久我宣之
左より、吉田光孝、東財務・経理・販売事務担当
グローバルジェネラルマネージャー

哲郎、常石哲男、田中健生

井田隆善

取締役

監査役

東

栗山敬一郎

哲郎

東京エレクトロン株式会社
代表取締役社長

東京エレクトロン株式会社
常勤監査役

業務執行責任者

営業推進グループ、国内担当
ジェネラルマネージャー（コーポレート・シニア・スタッフ：CSS)

春原

東

営業推進グループ、欧米担当
ジェネラルマネージャー

哲郎

代表取締役社長

常石哲男

清

佐藤博信

常石哲男

鈴木孝則

代表取締役専務

営業推進グループ、アジア担当
ジェネラルマネージャー

東京エレクトロン株式会社
代表取締役専務

東京エレクトロン株式会社
常勤監査役

田中健生

黒岩健吾
東京エレクトロン東北株式会社代表取締役社長

田中健生

木村富司雄

取締役
管理グループグローバルジェネラルマネージャー

吉田光孝

東京エレクトロンAT株式会社
代表取締役社長

1, 2

東京エレクトロン株式会社取締役

東京エレクトロン株式会社
常勤監査役

吉田光孝

前田

東京エレクトロン株式会社
取締役

三井安田法律事務所
弁護士

井上準一

博

1

護

信

常務理事
営業推進グループ
グローバルジェネラルマネージャー
常務理事
リソセルグループ
ジェネラルマネージャー

2, 3Gerald Thurgood

東京エレクトロン株式会社
取締役

原

溝口

小野里充

東京エレクトロンAT株式会社
取締役

石橋寛介

取締役
製造グループグローバルジェネラルマネージャー

常務理事
コーポレート戦略担当

石井浩介

2

テスト＆インテグレーティッドプロセスコン
トロールグループ
ジェネラルマネージャー

東京エレクトロンAT株式会社
代表取締役社長

小松原隆一

砂原幸雄

シンフィルム＆クリーニンググループ
ジェネラルマネージャー

株式会社東京放送
代表取締役社長

近藤俊之

富田

FPDシステムグループ
ジェネラルマネージャー

1

株式会社エスアールエル
代表取締役社長

28 TOKYO ELECTRON博(注)
1．報酬委員会委員
2．指名委員会委員
3．倫理担当取締役

佐藤潔

クリーントラックＢＵ
ジェネラルマネージャー

原

護

山城

恵

東京エレクトロン九州株式会社
代表取締役社長

勝山均

東京エレクトロンEE株式会社代表取締役社長

古垣圭一
東京エレクトロンFE株式会社代表取締役社長

砂川俊昭
東京エレクトロンデバイス株式会社
代表取締役社長

Barry R. Rapozo
Tokyo Electron America, Inc.
取締役社長

David BroughTokyo Electron Europe Limited
取締役社長

T. K. Kwak
Tokyo Electron Korea Limited
取締役社長

Archie Hwang
Tokyo Electron Taiwan Limited
取締役社長(注)ＢＵはビジネスユニットの略称です。

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

６年間の主要財務データ
東京エレクトロン株式会社及び連結子会社
1997年3月期から2002年3月期

この日本語版アニュアルレポートは、海外の読者向けに作成された英語版アニュアルレポートを翻訳したものです。従いまして、その財務諸表部分は、日本で公表されている財務諸表をもとに作成されていますが、表示上それとは異なる箇所があります。

千米ドル

百万円

2002年

2002年

2001年

2000年

1999年

1998年

1997年

売上高 ........................................................................ $3,136,831-¥417,825-¥723,880-¥440,729-¥313,820-¥455,585-¥432,785-

半導体製造装置1 ....................................................

2,445,309-

325,715-

619,001-

355,103-242,240-

380,184-

355,877-

コンピュータ・ネットワーク1 ..........................................

127,864-

17,031-

14,054-

12,357-

12,878-15,262-

14,40862,500-

電子部品 ...............................................................

552,986-

73,658-89,211-

72,051-

57,734-60,139-

その他....................................................................

10,672-

1,421-

1,614-

1,218-

968-

--

--

営業利益（損失） ..........................................................

(137,467)(18,310)

121,086-

35,816-

6,383-

63,296-

60,389-

税金等調整前当期純利益（損失）..................................

(172,070)(22,919)

99,132-

29,689-6,038-

62,834-60,487-

当期純利益（損失）.......................................................

(149,685)(19,938)

62,012-

19,848-1,866-

30,009-29,975-

国内売上高 .................................................................

1,400,277-

186,516-

299,272-

183,987-

149,838-

230,550-

256,808-

海外売上高 .................................................................

1,736,554-

231,309-424,608-

256,742-

163,982-

225,035-

175,977-

減価償却費 .................................................................

197,406-

26,294-

21,679-19,446-

17,921-

12,652-

10,167-

設備投資額2 ................................................................

232,327-

30,946-49,403-18,999-23,478-33,302-

18,456-

研究開発費 .................................................................

404,105-

53,827-52,911-37,135-

26,842-

26,813-

20,988-

総資産 ........................................................................

4,181,046-

556,915-

729,511-499,499-

414,903-493,600-

387,077-

株主資本.....................................................................

2,309,148-

307,579-

333,281-273,603-257,716-

261,009-

207,476-

10,171-

10,236-

8,946-

7,835-

7,287-

6,277-

従業員数（人）..............................................................
米ドル円

１株当たり当期純利益（損失）:3(0.85)¥ (113.85)¥ 353.76-¥ 113.53-

10.70-¥ 174.68-¥ 181.97-----

344.75-110.64---168.43-172.74-

１株当たり配当金 ...................................................

0.06-

8.00-

38.00-

14.00-

12.00-

30.00-

28.00-

株式分割調整後１株当たり配当金3..........................

0.06-

8.00-

38.00-

14.00-

12.00-

30.00-

25.45-

１株当たり当期純利益（損失）.................................. $潜在株式調整後１株当たり当期純利益4...................

¥

１株当たり配当金:

発行済株式総数（単位：千株） .......................................

175,691-

175,691-

175,660-

174,624-

174,569-

150,189-

株主総数（人）..............................................................

37,116-42,781-

7,147-

8,576-

9,562-

11,097-

株主資本当期純利益率................................................

(6.2)

20.4-

7.5-

0.7-

12.8-

15.4-

営業利益率 .................................................................

(4.4)

16.7-

8.1-

2.0-

13.9-

14.0-

%

株主資本比率..............................................................

55.2-

45.7-

54.8-

62.1-

52.9-

53.6-

総資産回転率（回）.......................................................

0.65-

1.18-

0.96-

0.69-

1.03-

1.10-

¥ 41,080-¥ 70,719-¥ 49,265-¥ 40,054-¥ 62,520-¥ 68,948-

米ドル
従業員１人当たり売上高.............................................. $ 308,409-

千円

1 1997 年 3 月期の組織変更により、 FPD (Flat Panel Display)部門を半導体製造装置部門に変更したことを反映して表示しています。
2000 年 4 月 1 日より、コンピュータ・システム部門はコンピュータ・ネットワーク部門に名称を変更しました。
2 1999 年 3 月期以前の設備投資額は、各年度の有形固定資産・無形固定資産・その他減価償却資産の増加分を示し、2000 年 3 月期以降の設備投資額は、有形固定資産の増加分を示しています。
3 1998 年 3 月期以前の 1 株当たり情報は、1 株を 1.1 株に株式分割したことを反映して表示しています。
4 1999 年 3 月期及び 2002 年 3 月期は、希薄化の影響はありません。

29

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

連結貸借対照表
東京エレクトロン株式会社及び連結子会社
2001年3月期及び2002年3月期

資産の部

百万円

千米ドル

2002年

2001年

2002年

現金及び預金（注記4） ............................................................................

\ 48,409-\ 65,320-$ 363,433-

有価証券（注記5） ...................................................................................

10-

--

75-

受取手形及び売掛金 ..............................................................................

167,982-

302,953-

1,261,128-

貸倒引当金 ............................................................................................

(620)(1,720)(4,656)

たな卸資産（注記6） ................................................................................

127,352-

161,981-956,099-

繰延税金資産（注記10） ..........................................................................

3,402-

12,659-25,539-

前払費用及びその他流動資産 ................................................................

6,888-

7,048-

51,711-

流動資産合計 ...................................................................................

353,423-548,241-

2,653,329-

投資有価証券（注記5） ............................................................................

9,535-

11,599-71,584-

繰延税金資産（注記10） ..........................................................................

22,591-

7,394-

169,605-

無形固定資産及びその他の資産 .............................................................

36,855-37,556-276,686-

投資その他の資産合計 ......................................................................

68,981-56,549-517,875-

土地 .......................................................................................................

19,908-

19,698-

149,456-

建物及び構築物 .....................................................................................

114,586-

106,753-

860,255-

機械装置・運搬具及び工具器具備品.......................................................

95,615-84,607-

717,832-

建設仮勘定 ............................................................................................

5,139-

853-

38,581-

合計..................................................................................................

235,248-

211,911-

1,766,124-

減価償却累計額 .....................................................................................

100,737-

87,190-756,282-

有形固定資産合計 ............................................................................

134,511-

124,721-1,009,842-

資産合計 .....................................................................................................

\556,915-\729,511-$4,181,046-

流動資産:

投資その他の資産:

有形固定資産:連結財務諸表注記参照

30

TOKYO ELECTRON

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

負債、少数株主持分及び資本の部

百万円

千米ドル

2002年

2001年

2002年

短期借入金（注記8）................................................................................

¥ 13,924-¥ 48,462-$ 104,534-

１年以内返済予定長期借入金及び社債（注記8） ....................................

26,387-2,970-

198,104-

コマーシャル・ペーパー ..............................................................................

10,000-30,000-75,075-

支払手形及び買掛金 ..............................................................................

41,053-87,350-308,202-

未払法人税等.........................................................................................

1,663-

41,440-12,486-

賞与引当金 ............................................................................................

2,463-

10,948-18,494-

未払費用及びその他流動負債 ................................................................

14,012-

17,271-

105,192-

流動負債合計 ...................................................................................

109,502-

238,441-

822,087-

長期借入金及び社債（注記8）.......................................................................

105,452-

126,348-

791,680-

退職給付引当金（注記9）..............................................................................

32,984-29,807-

247,625-

その他固定負債 ...........................................................................................

1,340-

1,576-

10,068-

負債合計...........................................................................................

249,278-

396,172-

1,871,460-

少数株主持分 ..............................................................................................

58-

58-

438-

47,214-47,213-354,458-

資本準備金（注記11）..............................................................................

70,276-70,275-527,596-

連結剰余金 ............................................................................................

190,195-

214,920-

1,427,892-

その他有価証券評価差額金....................................................................

1,171-

1,658-

8,790-

為替換算調整勘定 .................................................................................

3,738-

2,734-

28,061-

自己株式（注記12） .................................................................................

(5,015)(3,519)(37,649)

資本合計...........................................................................................

307,579-

333,281-2,309,148-

負債、少数株主持分及び資本合計................................................................

¥556,915-¥729,511-$4,181,046-

流動負債:

資本の部:
資本金、普通株式（注記11）.....................................................................
授権株式数: 300,000,000 株
発行済株式総数: 2002年3月31日現在 175,691,903 株
2001年3月31日現在 175,691,269 株

31af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

連結損益計算書
東京エレクトロン株式会社及び連結子会社
2000年3月期、2001年3月期及び2002年3月期

百万円

千米ドル

2002年

2001年

2000年

2002年

売上高 ....................................................................................

¥417,825-¥723,880-¥440,729- $3,136,831-

売上原価 ...........................................................................

302,270-

458,902-

303,839-2,269,298-

売上総利益 .......................................................................

115,555-

264,978-

136,890-

867,533-

販売費及び一般管理費 .....................................................

133,865-

143,892-

101,074-

1,005,000-

営業利益（損失）......................................................................

(18,310)

121,086-

35,816-(137,467)

受取利息及び受取配当金..................................................

351-

669-

276-

2,635-

支払利息 ...........................................................................

(1,960)(2,378)(1,960)(14,713)

過年度特許使用料 ............................................................

----(1,575)--

ゴルフ会員権評価損 ..........................................................

(75)

(35)

(1,253)(565)

投資有価証券評価損 .........................................................

(1,236)(1,552)--(9,278)

退職給付会計基準変更時差異償却額（注記9）...................

--(15,975)----

その他 ...............................................................................

(1,689)(2,683)(1,615)(12,682)

税金等調整前当期純利益（損失） ............................................

(22,919)

99,132-

29,689-(172,070)

法人税・住民税及び事業税 ................................................

2,612-

50,589-14,545-

19,610-

法人税等調整額 ................................................................

(5,602)(13,490)(4,709)(42,057)

少数株主利益 .........................................................................

8-

21-

5-

62-

当期純利益（損失） ..................................................................

¥ (19,938)¥ 62,012-

その他収益（費用）:

法人税等（注記10）:

１株当たり情報:円

米ドル

当期純利益（損失） ............................................................

¥ (113.85)¥ 353.76-¥ 113.53- $潜在株式調整後当期純利益（損失） ...................................

--

344.75-110.64---

配当金...............................................................................

8.00-

38.00-

14.00-

0.06-

連結財務諸表注記参照

32¥ 19,848- $ (149,685)

TOKYO ELECTRON(0.85)

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

連結株主持分計算書
東京エレクトロン株式会社及び連結子会社
2000年3月期、2001年3月期及び2002年3月期

百万円

千米ドル

2002 年

2001 年

2000 年

2002 年

期首残高 ...........................................................................

¥ 47,213-¥ 47,163-¥ 45,532- $ 354,450-

転換社債株式転換による増加（注記11） .............................

1-

50-

1,631-

8-

期末残高 ...........................................................................

47,214-47,213-47,163-354,458-

期首残高 ...........................................................................

70,275-70,225-68,594-

527,588-

転換社債株式転換による増加（注記11） .............................

1-

50-

1,631-

8-

期末残高 ...........................................................................

70,276-70,275-70,225-527,596-

期首残高 ...........................................................................

214,920-

157,876-

144,715-

1,613,516-

連結子会社増加に伴う増加（減少）額 .................................

----(7,309)--

過年度税効果調整額 .........................................................

----

2,717---

当期純利益（損失） ............................................................

(19,938)

62,012-

19,848-(149,685)

株主配当金 .......................................................................

(4,031)(4,734)(2,095)(30,260)

役員賞与 ...........................................................................

(756)

(234)

--

(5,679)期末残高 ...........................................................................

190,195-

214,920-

157,876-

1,427,892-

その他有価証券評価損益 ..................................................

1,171-

1,658---

8,790-

為替勘定調整勘定 ..................................................................

3,738-

2,734---

28,061-

自己株式（注記12）..................................................................

(5,015)(3,519)(1,661)(37,649)¥307,579-¥333,281-

資本金

資本準備金

連結剰余金

その他有価証券評価差額金（2000年: 303,761株; 2001年: 407,556株
2002年: 605,867株）
株主持分期末残高 ..................................................................

¥273,603- $2,309,148-

連結財務諸表注記参照

33

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

連結キャッシュ・フロー計算書
東京エレクトロン株式会社及び連結子会社
2001年3月期及び2002年3月期

百万円

営業活動によるキャッシュ・フロー:
税金等調整前当期純利益（損失）..................................................................
減価償却費 ..................................................................................................
退職給付引当金の増加額 .............................................................................
賞与引当金の増加（減少）額 .........................................................................
支払利息 ......................................................................................................
固定資産等除却損 .......................................................................................
投資有価証券評価損 ....................................................................................
ゴルフ会員権評価損 .....................................................................................
売上債権の減少（増加）額 .............................................................................
たな卸資産の減少（増加）額 ..........................................................................
仕入債務の増加（減少）額 .............................................................................
未収消費税の減少（増加）額 .........................................................................
その他 ..........................................................................................................
小計 .............................................................................................................
利息及び配当金の受取額 .............................................................................
利息の支払額 ...............................................................................................
法人税等の支払額 ........................................................................................
営業活動によるキャッシュ・フロー ...................................................................
投資活動によるキャッシュ・フロー:
有形固定資産の取得による支出 ....................................................................
無形固定資産の取得による支出 ....................................................................
新規連結子会社の取得による支出 ................................................................
その他 ..........................................................................................................
投資活動によるキャッシュ・フロー ...................................................................
財務活動によるキャッシュ・フロー:
短期借入金の純増加額（減少額） ..................................................................
コマーシャル・ペーパーの純増加額（減少額）....................................................
長期借入れによる収入 ..................................................................................
長期借入金による返済による支出..................................................................
社債の発行による収入 ..................................................................................
社債の償還による支出 ..................................................................................
自己株式の純増加額 ....................................................................................
配当金の支払額 ...........................................................................................
その他 ..........................................................................................................
財務活動によるキャッシュ・フロー ...................................................................
現金及び現金同等物に係る換算差額 .................................................................
現金及び現金同等物の増加額（減少額）.............................................................
現金及び現金同等物期首残高 ...........................................................................
現金及び現金同等物期末残高（注記4） ..............................................................

連結財務諸表注記参照

34

TOKYO ELECTRON

千米ドル

2002年

2001年

2002年

¥(22,919)
26,2943,164(8,501)
1,9808511,23675131,25128,359(34,166)
3,901(8,500)
123,025351(1,970)(43,848)
77,558-¥ 99,132- $(172,070)
21,679197,40618,22823,7563,482(63,820)
2,38114,8622,4926,3881,5529,27835565(121,669)
985,370(53,666)
212,9099,709(256,505)(4,859)29,29013,282(63,812)(8,222)
923,6176712,632(2,295)(14,790)(19,596)(329,189)(29,442)582,270-(31,006)(5,390)-607(35,789)(39,155)(4,568)(18,867)
231(62,359)(34,796)(20,000)
37(3,018)
6,095-(1,496)(4,030)(6)(57,214)(1,437)(16,882)
65,291¥ 48,409-

23,927(261,231)
30,000(150,150)
8,671281(3,757)(22,656)
54,93845,755(30,000)-(1,859)(11,228)(4,733)(30,260)(5)(44)
77,182(429,533)
391(10,785)(14,228)(126,737)
79,519490,170¥ 65,291- $ 363,433-(232,779)(40,468)-4,558(268,689)

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

連結財務諸表注記
東京エレクトロン株式会社及び連結子会社

1. 連結財務諸表作成の基本事項
添付の東京エレクトロン株式会社及びその連結子会社（以下「当社」）の
連結財務諸表は、わが国の一般に公正妥当と認められた会計基準に準拠し、証券取引法第24条第１項に基づく有価証券報告書に記載された連結財務
諸表に基づいて作成されました。
海外の連結子会社は、その子会社が所在する国における会計原則に準拠しています。
海外の読者のために、連結財務諸表の表示及び注記の記載について必要な調整を加えています。

(d) たな卸資産
たな卸資産は、主に個別法による原価法を採用しています。

(e) 有形固定資産
有形固定資産は、取得原価で表示されています。減価償却については、
親会社及び国内子会社では、各資産の耐用年数に基づき、定率法（1998
年4月1日以降取得の建物は定額法）で計算されます。海外子会社では、各資産の耐用年数に基づき、主に定額法で計算されています。

(f) 退職給付引当金
2. 重要な会計方針の要約(a) 連結基準
本連結財務諸表は、親会社及び30社すべての子会社を連結対象としています。
連結会社間の重要な債権債務・内部取引・未実現損益は全て消去されています。
また、連結子会社の事業年度は、１社を除き全て親会社の事業年度と一致しています。この１社の事業年度は12月31日で終了しますが、連結決算日までの３ヶ月間に重要な取引はありません。
米ドル金額は、読者の便宜のために、2002年3月期の期末日レートである
１ドル＝133.20円で換算しています。この換算は、円価がそのレートで米ドルに換金できることを意味していません。

親会社及び国内連結子会社は、従業員の退職給付に備えるため、当期末における退職給付債務及び年金資産の見込額に基づき計上しています。
数理計算上の差異は、その発生時の従業員の平均残存勤務期間以内の一定の年数（4年）による定額法により按分した額をそれぞれ発生の翌期から費用処理することとしています。
また親会社及び国内連結子会社は、役員の退職慰労金の支出に備える
ため、内規に基づく期末要支給額を計上しています。

(g) リース
リース物件の所有権が借主に移転すると認められるもの以外のファイナン
ス・リース取引については、通常の賃貸借取引に係る方法に準じた会計処理によっています。

(b) 外貨換算方法(h) 法人税等

2000年4月に実施された会計基準の変更により、外貨建債権債務は、連結決算日の取引レートにより日本円に換算しています。ただし、為替予約が付されている外貨建債権債務等については、振当処理を行っています。
収益並びに費用勘定は、おおむね取引発生日の取引レートによって日本
円に換算しています。
また、在外子会社の資産及び負債は、日本の外貨建取引等会計処理基
準により換算しています。
また、2000年4月に実施された規則の改正により、「資産の部」に計上されていた為替換算調整勘定は、「資本の部」ならびに「少数株主持分」に含めて表示しています。

財務会計上の資産・負債と税務上の資産・負債との一時差異につき、繰
延税金資産・負債を計上しています。

(c) 有価証券及び投資有価証券(i) デリバティブ
デリバティブは、時価法によっています。
利用しているデリバティブ取引は、為替変動によるリスクの回避を目的として、外貨建取引の成約高の範囲内に限られており、投機的な取引は行っていません。

(j) 連結子会社の資産及び負債
連結子会社の資産及び負債の評価については、全面時価法を採用しています。

2000年4月に実施された会計基準の変更により、その他有価証券に区分された時価のあるものについては、連結決算日の市場価格等に基づく時価法によっています。（評価差額は、全部資本直入法により処理し、売却原価は総平均法によっています。）また、時価のないものについては、総平均法による原価法によっています。

35

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分(k) 連結調整勘定の償却

6. たな卸資産

連結調整勘定の償却については、その個別案件ごとに判断し、20年以内で償却し、残高を「無形固定資産及びその他資産」に含めて表示しています。

2002年及び2001年3月31日現在のたな卸資産の内訳は、次のとおりです。

(l) １株当たり情報
１株当たり当期純利益は、各年の加重平均発行済株式数に基づき計算されています。
１株当たり配当金は、発生ベースで計算され、3月31日に終了する決算期以降に決議された、あるいは決議予定の配当金で、当期に対応するものを含みます。

3. 株式の取得による新規連結子会社
株式の取得により2001年3月期より新たに連結子会社となった
Supercritical Systems, Inc. と Timbre Technologies, Inc. の資産及び負債の内訳は、次のとおりです。
百万円
流動資産 ...........................................................................................
固定資産 ...........................................................................................

¥

千米ドル

百万円
製品......................................................

2002

2001

2002

¥ 63,730-¥ 58,878-$478,455-

仕掛品・原材料・貯蔵品.........................

63,622-

103,103-477,644-

合計......................................................

¥127,352-¥161,981-$956,099-

7. 担保提供資産
2002年及び2001年3月31日現在、担保に供している資産はありません。

8. 短期借入金・長期借入金及び社債
短期借入金の2002年及び2001年3月31日現在の平均利率はそれぞれ
1.12% 、1.08% です。2002年及び2001年3月31日現在の長期借入金及び社債の内訳は次のとおりです。
千米ドル

百万円

160622003年満期0.90%無担保転換社債........

2002

2001

2002

¥ 15,500-¥ 15,502-$116,366-

連結調整勘定 ....................................................................................
流動負債 ...........................................................................................

18,975(216)2002年満期2.00%無担保社債...............

20,000-20,000-150,150-

取得価額 ...........................................................................................
現金及び現金同等物 .........................................................................

18,981-

2004年満期1.39%無担保社債...............

20,000-20,000-150,150-(114)

2003年満期0.85%無担保社債...............

20,000-20,000-150,150-取得のための支出 ..............................................................................

¥18,867-

2005年満期1.30%無担保社債...............

30,000-30,000-225,225-

4. 現金及び現金同等物

2006年満期1.59%無担保
新株引受権付社債 ............................

4,500-

4,500-

33,785-

2002年及び2001年3月31日現在の現金及び現金同等物の期末残高と連結貸借対照表に掲記されている科目と金額との関係は、次のとおりです。

2007年満期0.86%無担保
新株引受権付社債 ............................

5,500---

41,291-

百万円

銀行借入金 ...........................................

16,339-19,316-

122,667-

千米ドル

1年以内返済分 .....................................

(26,387)(2,970)(198,104)

合計......................................................

¥105,452-¥126,348-$791,680-

2002

2001

2002

現金及び預金勘定 ................................
預入期間が3ヶ月を超える定期預金 .......

¥48,409-¥65,320---(29)$363,433--

現金及び現金同等物 ............................

¥48,409-¥65,291-$363,433-

発行総額..................................................................... 15,500 百万円

5. 有価証券及び投資有価証券
2002年及び2001年3月31日現在の有価証券の内訳は、次のとおりです。
千米ドル

百万円
2002
投資信託 ..............................................

2001¥10----¥ -----¥8,545-

発行する株式 .............................................................. 普通株式
転換価額..................................................................... 1株当たり 3,150円
この価額は特定の条件で調整されることがあります。

$75---転換期間.....................................................................

1994年6月1日より2003年9月29日まで

2001

2002

新株引受権付社債の概要は、次のとおりです。
2006年満期1.59%無担保新株引受権付社債¥10,577-$64,150-

発行総額..................................................................... 4,500百万円

千米ドル

百万円
2002

利率............................................................................ 0.90%

2002

2002年及び2001年3月31日現在の投資有価証券の内訳は、次のとおりです。

上場有価証券 .......................................

無担保転換社債の概要は、次のとおりです。
2003年満期0.90%無担保転換社債

利率............................................................................ 1.59%

投資信託 ..............................................

115-

113-

866-

その他 ...................................................

875-

909-

6,568-

発行する株式 .............................................................. 普通株式

合計......................................................

¥9,535-¥11,599-$71,584-

行使価額..................................................................... 14,070円
行使期間.....................................................................

36

TOKYO ELECTRON

2002年7月1日より2006年6月8日まで

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

退職給付債務等の計算の基礎に関する事項については、次のとおりです。

2007年満期0.86%無担保新株引受権付社債

2002

発行総額...................................................................... 5,500 百万円
利率............................................................................. 0.86%

退職給付見込額の期間按分方法 .................................

発行する株式 ............................................................... 普通株式
行使価額 ..................................................................... 9,608 円
行使期間 .....................................................................

2003 年 7 月 1 日より2007 年 6 月 7 日まで

割引率 .........................................................................

3.00%

3.50%

期待運用収益率...........................................................

3.00%

3.00%

過去勤務債務の額の処理年数 .....................................

--

数理計算上の差異の処理年数 .....................................

4 年

4 年

9. 退職給付引当金

会計基準変更時差異の処理年数 .................................

親会社及び国内連結子会社は、確定給付型の制度として、厚生年金基金制度及び退職一時金制度を設けています。また、一部の海外子会社でも確定給付型の制度を設けています。
退職給付債務に関する事項については、次のとおりです。

10. 法人税等

退職給付債務 ........................................

2001¥(59,125)¥(46,449)$(443,880)

18,021-

15,575-

135,292-

未積立退職給付債務 .............................

(41,104)(30,874)(308,588)

未認識数理計算上の差異 ......................

9,390-

2,175-

70,495-

連結貸借対照表計上額純額 ..................

¥(31,714)¥(28,699)$(238,093)

2001

2002

繰延税金資産¥17,100-¥2,447-$128,380-

退職給付引当金....................................

9,252-

8,180-

69,462-

たな卸資産に係る未実現利益................

1,931-

5,283-

14,496-

商品評価損 ...........................................

944-

--

7,084-

固定資産に係る未実現利益...................

738-

1,362-

5,544-

繰越外国税額控除 ................................

785-

--

5,896-

ゴルフ会員権評価損..............................

547-

527-

4,103-

千米ドル

未払事業税 ...........................................

--

3,912---

2002

賞与引当金 ...........................................

--

2,101---

退職給付費用に関する事項については、次のとおりです。
2001

2002
税務上の繰越欠損金.............................

注: 役員及び監査役に対する役員退職慰労引当金（2002年: 1,270百万円、2001年:1,108百万円）は含まれておりません。

2002

千米ドル

百万円

2002

年金資産................................................

百万円

2001 年 3 月期に一括費用処理しています。

2002年、2001年3月31日現在の当社の繰延税金資産・負債の主な内訳
は、次のとおりです。

千米ドル

百万円
2002

2001

期間定額基準勤務費用................................................

¥4,369-¥3,942-$32,797-

その他 ...................................................

3,702-

3,371-

27,792-

利息費用................................................

1,621-

1,418-

12,170-

繰延税金資産小計 ................................

34,999-27,183-

262,757-

期待運用収益 ........................................
数理計算上の差異の費用処理額............

(467)
544-

(419)
--

(3,508)4,087-

評価性引当額 .......................................

(3,979)(2,479)(29,874)繰延税金資産合計 ................................

31,020-24,704-

232,883(22,488)

会計基準変更時差異の費用処理額........

--

15,975---

退職給付費用 ........................................

¥6,067-¥20,916-$45,546-

繰延税金負債
在外子会社の留保利益 .........................

(2,995)(1,974)

その他有価証券評価差額金 ..................

(1,103)(1,455)(8,280)

特別償却準備金....................................

(754)

(884)

(5,663)

貸倒引当金修正....................................

--

(282)

--

その他 ...................................................

(217)

(130)

(1,625)

繰延税金負債合計 ................................

(5,069)(4,725)(38,056)繰延税金資産の純額.............................

¥25,951-¥19,979-$194,827-37

af9393_野村 IR 様_東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ様(和文)_ｱﾆｭｱﾙﾚﾎﾟｰﾄ.doc 02/7/22 14 時 11 分

11. 株主持分
親会社は、転換社債の転換により、2002年3月期に634株、2001年3月期に31,421株の普通株式を発行しました。
転換社債の転換時には、わが国の商法に基づき、転換価額の２分の１ずつを資本金と資本準備金に組入れています。

12. ストックオプション制度導入に伴う自己株式購入
1998年から2002年に開催された各定時株主総会において、企業価値最大化を目指し会社業績の向上を図るため、取締役及びCSS （コーポレート・
シニア・スタッフ)のインセンティブ高揚を目的としたストックオプション制度が承認されました。
ストックオプション制度の自己株式取得等の状況は、次のとおりです。
株式数

千米ドル

百万円

期首現在未行使残高 .............................

407,400-¥3,517-$26,404-

購入.......................................................

215,600-

1,565-

11,751-

権利行使 ...............................................

(20,000)

(91)

(682)

期末現在未行使残高 .............................

603,000-¥4,991-$37,473-

注: ストックオプション制度によるもの以外に、自己株式を 2,867株（2４百万円） 保有しています。

13. リース
リース物件の所有権が借主に移転すると認められるもの以外のファイナン
ス・リースの、2002年及び2001年3月31日現在の残高相当額は、次のとおりです。
連結貸借対照表に記載されないリース資産：
千米ドル

百万円
2002

2002

2001

取得価額相当額.....................................

¥876-

¥35-

減価償却累計額相当額..........................

69-

31-

524-

期末残高相当額.....................................

¥807-

¥ 4-

$6,058-$6,582-

未経過リース料期末残高相当額：
千米ドル

百万円
2002

2002

2001

１年以内 ...............................................

¥171-

¥ 4-

１年超 ...................................................

636-

--

4,773-

合計.......................................................

¥807-

¥ 4-

$6,058-38

TOKYO ELECTRON$1,285-

残存価額をゼロ、リース期間を耐用年数とする定額法によって計算した支払リース料及び減価償却費相当額は、2002年3月期で69百万円、2001年3月期で6百万円となっています。
オペレーティング・リース料支払額
百万円

千米ドル

2002

2001

2002

１年以内................................................

¥ 868-¥ 474-$ 6,520-

１年超 ...................................................

1,976-

1,503-

14,832-

合計.......................................................

¥2,844-¥1,977-$21,352-

14. セグメント情報
当社の企業活動は単一セグメントのため、事業の種類別セグメント情報は記載していません。

15. 偶発債務
2002年3月31日現在、偶発債務はありません。

公認会計士の監査報告

東京エレクトロン株式会社取締役会御中

私たちは、東京エレクトロン株式会社及びその連結子会社の、日本円で表示されている2002年及び2001
年3月31日現在の連結貸借対照表ならびに2002年3月期を含む3ヵ年の連結損益計算書、連結剰余金計算書、
2002年及び2001年3月期の連結キャッシュ・フロー計算書について監査を行いました。私たちの監査は、日本で一般に公正妥当と認められた監査基準に準拠して実施され、従って、状況に応じて私たちが必要と判断した会計記録の試査及びその他の監査手続を含んでいます。
私たちは、上記の連結財務諸表が、東京エレクトロン株式会社及びその連結子会社の、2002年及び2001
年3月31日現在における財政状態ならびに2002年3月期を含む3ヵ年の経営成績及び2002年及び2001年3月
31日現在のキャッシュ・フローの結果を、日本で一般に公正妥当と認められた会計基準に継続的に準拠して、適正に表示しているものと認めます。
米ドル金額への換算は注記2(a)に記載された方法によって行われています。

2002年6月21日

公認会計士

吉野

昌年

公認会計士

宮下

英次

公認会計士

杉浦

文彦

39

TELグローバルネットワーク(2002年6月21日現在)

国内

アメリカ

東京エレクトロン株式会社・本社

TOKYO ELECTRON AMERICA, INC.

〒107-8481 東京都港区赤坂5-3-6 TBS放送センター
Tel: 03-5561-7000
Fax: 03-5561-7400
http://www.tel.co.jp
事業所･営業所
府中テクノロジーセンター 関西テクノロジーセンター
大阪支社 九州支社 山梨事業所（藤井/穂坂）
東北事業所 名古屋営業所

2400 Grove Boulevard, Austin,
Texas 78741
Branch Offices
Albuquerque, Boise, Burlington, Colorado
Springs, Dallas, Eugene, Fishkill, Los Angeles,
Manassas, Marlborough, Orlando, Phoenix,
Portland(Oregon), Richmond, Santa ClaraTOKYO ELECTRON TEXAS, LLC.

東京エレクトロン東北株式会社

TOKYO ELECTRON MASSACHUSETTS, LLC.

東京エレクトロンAT株式会社
宮城事業所〒981-0203 宮城県宮城郡松島町根廻字猫迫1-1
藤井事業所〒407-8511 山梨県韮崎市藤井町北下条2381-1
穂坂事業所〒407-0192 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢650

123 Brimbal Avenue, Beverly
Massachusetts 01915

東京エレクトロン九州株式会社

SUPERCRITICAL SYSTEMS, INC.

佐賀事業所
〒841-0074 佐賀県鳥栖市西新町1375-41
熊本事業所〒869-1197 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655
大津事業所〒869-1232 熊本県菊池郡大津町高尾野272-4
合志事業所〒861-1116 熊本県菊池郡合志町福原1-1

4160-A technology Drive, Fremont
California 94538

TOKYO ELECTRON ARIZONA, INC.
2120 West Guadalupe Road, Gilbert
Arizona 85233-2805

TIMBRE TECHNOLOGIES, INC.
2953 Bunker Hill Lane, Suite 301
Santa Clara, CA 95054

ヨーロッパ

東京エレクトロンEE株式会社〒220-0101 神奈川県津久井郡城山町町屋1-2-41

TOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED
Premiere House, Betts Way, London Road
Crawley, West Sussex, RH10 9GB, England U.K.
Branch Offices
European Distribution Centre, Livingston

東京エレクトロン札幌株式会社〒060-0807 北海道札幌市北区北7条西1丁目
丸増ビルNo.18

東京エレクトロンFE株式会社〒183-8705 東京都府中市住吉町2-30-7
フィールド・エンジニアリング・ステーション
岩手 鶴岡 松島 会津若松 水戸 韮崎 富山 桑名
大阪 東広島 福山 西条 長崎 菊陽 大津 合志
大分

東京エレクトロンデバイス株式会社

TOKYO ELECTRON ITALIA S.p.A.
Centro Direzionale Colleoni, Palazzo Astrolabio
Via Cardano 2
20041 Agrate Brianza, Milan, Italy
Branch Offices
Avezzano, Catania

TOKYO ELECTRON DEUTSCHLAND GmbH
大阪

Carl-Zeiss-Ring 5, 85737, Ismaning, Germany
Branch Offices
Alsdorf, Dresden

東京エレクトロンリース株式会社

TOKYO ELECTRON SWITZERLAND LIMITED〒183-8705 東京都府中市住吉町2-30-7

Chemin de Buchaux 38, CH-2022
Bevaix, Switzerland

東京エレクトロンロジスティクス
株式会社〒183-8705 東京都府中市住吉町2-30-7

東京エレクトロンエージェンシー
株式会社〒183-8705 東京都府中市住吉町2-30-7

TOKYO ELECTRON NEDERLAND B.V.
Kerkenbos 10-15, Unit C
6546 BB Nijmegen, The Netherlands

TOKYO ELECTRON ESPAÑA S.L.
TOKYO ELECTRON IRELAND LIMITED
Collinstown Industrial Park, Leixlip, Co.
Kildare, Ireland

40 TOKYO ELECTRON

5 Habarzel St., Gat 2000 Industrial Zone
Kiryat Gat, Israel
Branch OfficeMigdal HaEmek

TOKYO ELECTRON FRANCE S.A.R.L.
Grenoble Office
Batiment Alicante 1, Chemin de la Dhuy
38240 Meylan, France
Branch Offices
Paris, Rousset

2500 Montopolis Drive, Austin
Texas 78741-6404

東北事業所〒023-1101 岩手県江刺市岩谷堂字松長根52〒224-0045 神奈川県横浜市都筑区東方町1
営業所
仙台 水戸 埼玉 立川 横浜 松本 名古屋
福岡 /東京オフィス

TOKYO ELECTRON ISRAEL LIMITED

アジア
TOKYO ELECTRON KOREA LIMITED
325-230 Dongchun-ri, Suji-up, Yongin-city
Kyonggi-do, 449-840 Korea
Branch Offices
Cheongju, Gumi, Icheon, Kiheung, Pucheon

TOKYO ELECTRON TAIWAN LIMITED
7FI, No.18, Pu-ding Road
Hsin-chu City, Taiwan 300, R.O.C.

TOKYO ELECTRON (SHANGHAI) LIMITED
30FI, No. 28, Xinjinquao Road
Pudong Shanghai, 201206, China
Branch Office
Tian Jin株主メモ(2002年3月31日現在)

社名：
東京エレクトロン株式会社

上場証券取引所：
東京証券取引所市場第一部（#8035）

設立：
1963年11月11日

株主名義書換代理人：
東京都港区芝三丁目33番1号
中央三井信託銀行株式会社

定時株主総会：
毎年6月（郵便物送付先・電話照会先）〒168-0063 東京都杉並区和泉二丁目8番4号
中央三井信託銀行株式会社証券代行部
証券代行事務センター
電話：03−3323−7111

株式の状況：
１単元の株式の数
100株
授権株式数
300,000,000株
発行済株式総数
175,691,903株
株主数： 37,116名
所有者別状況：金融機関・証券会社
85,089,371株(48.43%)

その他の法人15,646,079株(8.91%)

個人その他
15,838,277株(9.01%)

お問い合わせ先：
東京エレクトロン株式会社 IR室〒107-8481 東京都港区赤坂五丁目3番6号
TBS放送センター
電話：03−5561−7003
Fax：03−5561−7394
E-mail：ir@corp.tel.co.jp
http : //www.tel.co.jp

外国法人等
59,118,176株(33.65%)株価推移：(円)
22,00020,00018,00016,00014,00012,00010,000
8,000
6,000
4,000
2,000
0

1999年

2000年

2001年

2002年

41

東京エレクトロン株式会社

アニュアルレポト2002

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40AG-033