半導体業界向け商品ダイジェスト
TSUBAKI PRODUCT DIGESTモノづくりから医療機器、社会インフラまで。

様々な現場を支えるつばきの商品。
つ ば き は 、長 年 培 って き た 技 術 力 と 豊 富 な 経 験 を も と に 、鉄 鋼・自 動 車・工 作 機 械・食 品 機 械・環 境 衛 生 設 備 な ど 、様 々 な 業 界・業 種 の お 客 様 に
ア フ タ ー マ ー ケ ット を 含 め た ソ リュー シ ョン を 提 供 して い ま す 。
モ ノ づ くり か ら 医 療 機 器 、社 会 イ ン フ ラ ま で 、お 客 様 の ニ ーズ に 合 わ せ てカ ス タ マイ ズ し た ソ リュー シ ョン・シ ス テム も 数 多 く 実 績 が あ り ま す 。
つ ば きにぜ ひご 相 談 くだ さ い 。

TSUBAKI ECOLINK
つばきエコリンク

つ ば き グ ル ープ は 、商 品 の 環 境 配 慮 内 容 の 信 頼 性 を 維 持 す る た め に
エ コ 評 価 基 準 を 設 定 し 、そ れ を ク リ ア し た 商 品 だ け を エ コ 商 品 に 認 定
して い ま す 。つ ば き エ コ リ ン ク は そ の 認 定 マ ー ク で す 。

E C O L I N K マー ク

低発塵性、高精度などが 要求される半導体製造装置に対する商品のご提案が 可能です。
1運ぶ

3回す・伝える● 研磨 機● ロボット● 検査機による搬 送● 天井搬送詳 しくは P2昇降

3

詳 しくは P

● 工程間 搬 送● 階層間移動

詳 しくは P

14 支持・案内・保護57● 洗浄装置● 露光機

詳 しくは P

9

半導体製造工程

イオン注入

ウエハテスト

薄膜形成

レジスト塗布露 光・現 像

ファイナルテスト

モールディング

ボンディング

ダイシング

エッチング

設 計・マ ス ク 作 成

半導体チップ完成

後工程

ウエハ製作

前工程

2

運ぶ

1

ロボットによる搬 送
ケーブルベヤⓇ
使用環境に応じた低発塵商品をご提案します

円弧に近い屈曲により、滑らかに、低振動走行します。

TKP 形 MW 仕 様

TKR 形

低発塵

清 浄度 ISO クラス 3

高汎 用性

静音 性

（社内試験結果）「高摺動性特殊材料」を使用することにより、ケーブル・チューブの保護性

つばき独自の屈曲機構により、向上および低発塵を実現した高機能ケーブルベヤです。

低発塵、低騒音、低振動を実現します。

パワーロックⓇ・カップリング

タイミングベルト＆プーリ

豊富なラインアップと確かな品質で、耐環境のニーズにマッチ

高精度・高強度を追求した伝動ベルト
高ステンレス仕 様 無電解ニッケルメッキ仕 様
クリーン

耐食性

HC 仕 様HY 仕 様高精度

高 速

高 精度・高強 度をさらに追 求した伝 動ベルトで、装 置の高汎用性コンパクト化に貢献します。
摩耗粉の飛散が極小でクリーンコです。さらに高強度・高剛性のHY仕様も用意しています。
でⓇ

ロックプーリ メッキ仕様
締 結ガタゼロ

簡単手配

キーレス締結具を一体化したタイミングプーリです。
各部品の表面処理により耐食性向上と潤滑油不要のドライ締結を実現しました。

C A SE

ウエハ搬 送ロボット

採用用途● ロボットアームの駆 動● ロボットの走行

走行時の高い停止位置精度、高速性、低発塵性が求められる用途に最適です。

3

搬送工程の効率化や自動化に貢献
クリーン搬 送・保管システム
床上軌道 走行台車 ロボウェイ Ⓡ
クリーンルームに対応した搬送機器

オートランバンガード Ⓡ
天井空間でクリーンな搬送を実現

集電 部からの発 塵ゼロ

集電 部からの発 塵ゼロ

高い停止精度

重量物搬送（最大200kg）

高い安 全 性重量物搬送（max.200kg）
集電部からの発 塵がゼロ

清 浄空間を維 持した高速（非接触給電）

軌道台車でグレーチングサ製 造 装 置へ の ダイレクト

イズに合わせたコンパクト搬送。

軌道が可能です。

クリーンユニット搭載によりワークに対し高いクリーン度を維持可能。

トランスキャリー
発塵部品を一掃し、収納効率にも優れたストッカ
集電 部からの発 塵ゼロ

クリーン

高い収 納 効率

工程内搬送と工程間搬送のワークの受け渡しおよび仕掛かり管理とストック用途に適しています。
周りの環境に左右されないスーパークリーンを実現し、自律走行方式の採用により発塵部品を一掃しています。
また、ライン直結バッファも可能です。

4

昇降

2

工程間搬 送・階層間移動

ジップチェーンシリーズ
ンシシリーズ
シリ ズ
特殊な形状をした2本のチェーンが互いにかみ合い、ジップ チェーン 機 構

高速・高頻度1本の強固な柱状となる構造です。
チェーンサイズは#25〜#120と幅広く、広い推力域を耐久性

扱いやすさカバーします。
ネジ 機 構スペースセービング

油・空圧機構

・ 形番
ZCA45M200EL040H60
停止精度

・ 空圧式シリンダ

静粛性

・ 油圧式シリンダ
コンパクト性パストローク 2,000mm

高 速・高 頻 度

1,000 mm/秒

耐久性

最大600万回往復

コンパクト性最大 90%低 床化

簡単メンテナンス

ストローク調整が容易

ジップチェーンアクチュエータ Ⓡ
狭いスペースでも設置OK、多彩に使える直線作動機
省スペースで、高速・高頻度運転に対応し、油・空圧シリンダと比べて使用電力量も大幅に削減可能です。
高精度な多点停止が可能で、取付方向も自由です。

C A SE

AMRによるフープ昇降

AGVやAMR上の昇降機構にジップチェーンアクチュエータを用いることで、低床化に貢献します。
スペースセービング

低 床 性

ジップマスタ Ⓡ
ジップチェーンを用いた置きポンで高速昇降可能な片持式リフタ置くだけで使える「置きポン形」設計で、高速・高頻度・高揚程だから様々な用途に使えます。

C A SE

AMR昇降

高精度
乗り移り時の段差を抑制

高速性
タクトタイムを短縮
リニアガイドH 形鋼
ジップチェーン

油圧リフタ、油圧リフタ
油圧リフタ、ワイヤ方式
ワイ

ボールネジ式

停止精度が低くリフタと停止精度が低くリ
床面の間に段差が生じる
床面の間に段差が長ストローク化が困難

ジップマスタが 解決します！

5高揚程
最大4mまで対応可能

高速・高頻 度運転で搬送や移動を効率化
片持式リフタリフトマスタ Ⓡ
高高精度な多段位置決めができる
ボールネジ/台形ネジを使った
ボ
片持式リフタ片C A SE「置きポン形」設計で、生産ラインを自由にレイアウト

ふた開閉機構設備のふたの昇降に用いられます。ふたがつられた設備のふたアームを手動で旋回可能な構造も提案可能です。

ででき取り扱いも簡単です。電動化により作業環境も据 付・操 作 性 が 簡 単改改善され、省エネにも貢献します。

油 漏 れ なく清 潔

内部構造

リニアガイドクリーン対応H 形鋼各部品からの発塵を低減させる対応が可能です。

ネジ● 特殊表面処理（ボールネジ・ガイド）● ステンレス製カバー● クリーングリス塗布（ボールネジ・ガイド）● 焼付塗装無給 油ドライブチェーン
ラムダチェーンⓇ

C A SE

フープ垂直循環搬 送

フープの階層間の搬送装置の昇降部に採用されています。外部からの給油が不要なので装置のメンテナンス工数の削減、油の飛散を抑えたクリーンな環境の実現に貢献

特殊含油ブシュを採用した無給油チェーン
自己潤滑機能を備えた特殊含油ブシュを採用しておりします。
メンテナンス 工 数 削 減

無給油・長寿命のご使用が可能です。

クリーンな 環 境 の 維 持
基本構造
内外プレート

特殊ニッケル
メッキピン

特殊含油ブシュローラ

6

回 す・伝 える

3

ジップチェーンアクチュエータⓇ 中・大形サイズ 新 発 売
狭いスペースでも設置可能な直線作動機
高速＆高頻度運転、優れた停止精度と制御性・コンパクト性を兼ね備えたつばき独自の直線作動機です。
推 力

MAX 38.2kN

C A SE

ストローク

MAX 5000 mm

速 度

MAX 1000 mm/秒

ウエハ研磨装置の駆動採用ポイント● 高伝 達 容量● コンパクト● 回 転ムラが小さい

定盤回転駆動用に回転ムラが小さくコンパクト性を有したトロイドライブの採用事例が多数あります。さらに駆動用のベルト&プーリ、ブラシ駆動用減速機なども採用されています。

トロイドライブ（ウォーム減 速機）
振動・騒音が少なく、高伝動能力・高効率なハイパフォーマンスウォーム減速機
高 伝 達 容 量で 薄 型コンパクト
限られた接地面積の中でも他社製汎用ウォーム減速機と比較して高伝達容量を得られます。

低振動
滑り接触で伝達するウォームギヤは、転がり伝達のヘリカル・ベベルギヤを使用する他の減速機と比較して低振動のため、最終製品の仕上がりを向上させます。

角 度 伝 達 誤 差（回 転ムラ）が小さい
ヘリカル・ベベル等の減速機構と比較して角度伝達誤差が約1/10のため、なめらかな回転が最終製品の仕上がりをを向上させます。

7高精度でコンパクト、確実な伝動DCブラシレスハイポイドモートル 新 発 売インバータ駆動とサーボモータのメリットを両立した信頼性のあるモータです。
温度センサ内蔵によりモータの焼損保護を実現しています。
優れた速度制御

広い可変速範囲

コンパクト

焼 損 防止機 構 独自機構

小形ギヤモータ

タイミングベルト＆プーリ

コンパクトで使いやすく、高効率な減速機です。用途に応じた最適なモータや軸配置（平行軸/直交軸）、出力軸形状（中実/中空）が提案可能です。

正確な位置決めや高い同期性が要求される用途に最適
つばきのタイミングベルトは、高頻度・高速運転が可能で長寿命。
高強度・高張力のPXベルトの能力を100%引き出す純正プーリと合わせてお使いください。

C A SE

検査装置の反転機構

採用ポイント● 高強 度＆軽 量・コンパクト● セルフロック性・静粛 性

プローバの反転機 構にトロイドライブが採 用されています。
さらにウエハステージ 稼 動 部にケーブルベヤ、ベルト＆プーリなども採 用されています。

TERUS シリーズ ®
+ウォームギヤ=ギヤモートル

ヘリカルウォームギヤ

ウォーム減速機にギヤモータを組み合わせることも可能です。ウォームギヤの特長である高強度、ギヤモータの特長である高効率を併せ持つ高機能ギヤモータです。装置のコンパクト化、部品点数の削減が図れます。

8支 持・案 内・保 護

4ケーブル の支 持 案内においてこのような課 題はありませんか？
ケーブルベヤ（相当品含む）
から

フラットケーブル・チューブから● 摩耗粉付着による製品不良を削減したい● 設置スペースを抑えたい● ケーブル・チューブの保護性を向上させたい● ケーブル・チューブのたわみを抑え たい● 跳 ね 上 がりを抑え たいⓇⓇ

クリーンベヤ ・フラットベヤ が様々な課題を解決します。

クリーンベヤⓇ

つばきケーブル・ホース支持案内装置の中で最も低発塵です。
ISOクラス1の清浄度を実現し、クリーンルーム内の使用に最適です。36dB(A)以下の低騒音と屈曲回数1000万回以上※と長寿命です。※社内試験の結果
低 発 塵
ケーブルやチューブ、サポートメンバをポッド内に収納することで摩耗粉の飛散を防止します。
ケーブル同士の摺動や干渉による断線リスクの対策にも有効です。

清浄度ISOクラス1

取付工 数削減
ポッド
ケーブル

専用のケーブルやチューブを組み込み、クランプを取りつけ提供します。装置へスムーズに取りつけることができます。

クランプ
チューブ

スペーサ

多段 構 造 対応
サポートメンバ

最大6段積みまで※対応可能です。※使用条件によります

フラットベヤⓇ

つばき独自の自立式フラットケーブルシステムです。

清浄度ISOクラス2

独自機構のサポートメンバを内蔵しており長ストロークでのサポートメンバ使用が可能です。使用条件に応じた専用のケーブルやチューブを組み込んで提供します。

低 発 塵

断線対策

製品の歩留まり向上に貢献します。

長ストロークケーブル同士の摺動を低減できるのでケーブルの延命対策としても有効です。

フラットベヤ® ZP 仕様
フラットベ

跳ね上がり抑 制

最大ストローク2.8mまで対応可能です。
（ZP仕様は最大1.8m）
フラットケーブル（他社製）

装置周辺部とケーブルの干渉を防ぎます
フラットケーブル（他社製）取り扱い性 向上
ケーブル・チューブの出し入れが容易で、部分交換が可能。屈曲性、耐久性、摺動性のよいつばき独自の開閉チューブを採用。
清浄度ISOクラス2相当を実現。
(当社社内試験結果より)フラットベヤ（つばき製）

9フラットベヤ（つばき製）

ケーブル・チューブの摩耗や切断からの保護に最適

C A SE

ステージの移動ステージの移動部分のケーブルの支持案内にフラットベヤが採用されています。
採用装置
採用ポイントC A SE

露光 機・ボンダー・マウンター など

● 低発塵

● 低振動

● 断線 対 策

ウエハカセットの移載薬液槽間の移載のケーブルの支持案内に採用されています。
薬液槽間のサポートメンバにより長ストローク化が実現できます。
採用装置

洗 浄 装置採用ポイント● 低発塵● 長ストローク

こちらもご 提 案できます
直線作動用途にⓇ

ピンギヤドライブユニット

扉の横行、ワークの昇降用途にジップチェーン
アクチュエータⓇ

ケーブルベヤ プラシリーズ PVDF仕様
特殊フッ素樹脂を使用することで、真空用途に真空雰囲気環境下のアウトガス対策に有効です。
また、優れた耐薬品性も有しています。

10

グループWEBサイト
産業用機械製品 情報サイト

ホームページ「つばき産業用機械製品 情報サイト」はドライブチェーンや減速機などの産業用機械製品を対象とした製品情報サイトです。

https://www.tsubakimoto.jp/

製品詳細情報、選定ソフト、使用実例、2D/3D CADデータや取扱説明書・各種データのダウンロードなど、お客様のエンジニアリングサポートにご活用ください。

https://tt-net.tsubakimoto.co.jp

業界納入事例サイト
二次電池業界をはじめとしたアプリケーション毎に使われるつばき製品を紹介したサイトです。

関 連 商 品カタログ＆サービ ス

ケーブルベヤ®クリーンシリーズ
製品紹介ページ

ジップチェーン
製品紹介ページ

タイミングベルト・プーリ
製品紹介ページ

DCブラシレス
ハイポイドモートル
製品紹介ページ

トロイドライブ
採用事例集〒530-0005 大阪市北区中之島3-3-3（中之島三井ビルディング）

つばきホームページ

https://www.tsubakimoto.jp

つばきエコリンクⓇは、つばきグループが設定したエコ評価基準をクリアした商品に付加されるマークです。
東 京（03）6703-8405

大 宮（048）648-1700

名古屋（052）571-8187

大 阪（06）6441-0309

広 島（082）568-0808 九 州（092）451-8881

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2022年12月1日発行Ⓒ株式会社 椿本チエイン