サファイアガラス温度測定用

IN5/9+（8～9.7μm）
0～1500℃
Digital pyrometer for non-contact temperature measurement of Sapphire andSapphire Wafers between 0 and 1500 °C.

応答時間： 180msec
小スポット：φ1.7㎜/95㎜
高精度： 測定値の0.6％℃
ワイドレンジ：
最小50℃幅のスケーリング機能で従来機種

位置確認：
レーザーパイロットライトにより容易に位置確認
デジタル回路で高い精度と安定性
自由な温度範囲のスケーリング
別置変換器不要でDC4～20mA出力
RS232 又は RS485通信機能
最高値保持回路内蔵：移動物体の測定にφ50×115mmのコンパクト設計
本体材質はSUSを採用
標準添付の専用計測ソフトでデータの記録とパラメータ設定

アプリケーション
サファイアウェーハ
サファイアガラス本体でパラメータを設定する場合(OFFLINE設定）は、右の写真の通りです。

Emi:放射率補正
4/0mA：
アナログ出力切替
t90:応答時間

ONL/OFL：ONLINE/OFFLINE切替

仕様項目
温度範囲:
スケーリング:
検出波長:
検出器:
レンズ：
精度(不確定性）:

IN5/9+
0～1500℃
温度範囲内にて、任意設定可能、最小スケーリングレンジ
8 ～ 9.7μｍ
サーモパイルZnS

51℃(ε＝1、ｔ90＝1ｓ、Tu=23℃)

・周囲温度15～30℃の場合・周囲温度0～15℃/30～63℃の場合

ウォームアップ時間
分解能:
再現性:
応答時間
t90=最小値
本体
通信ｲﾝﾀｰﾌｪｰｽ経由

放射率補正 e:
光学系：

位置確認:
出力信号:
通信機能:
最小検出温度（σ＝１、T=23℃,ε＝1）
・350℃
・950℃
パラメータ:
放射率補正εスケーリング
応答時間：t90
0 ... 20ｍA/4 ... 20ｍA
ONLINE/OFFLINE
最大値保持解除: ｔCL

測定値の0.6％又は3℃
測定値の0.6％又は5℃
60分以上
0.1℃
測定値の0.3%又は0.6℃のいずれか大きい値
180msec
0.5ｓ,1ｓ、2ｓ、5ｓ
0.5ｓ,1ｓ、2ｓ、5ｓ、10ｓ、30ｓ
0.20～1.20（0.01ｽﾃｯﾌﾟで変更可）
固定焦点 以下から選択
Optics1 a=95
Optics2 a=112
Optics3 a=160
Optics4 a=280
Optics5 a=400
Optics6 a=620
レーザパイロットライト IEC608251-3-4（ IEC608251-3-4 ：レーザクラス2、最大出力＜1ｍW, 650nm）
DC4 ～ 20mA/DC0 ～ 20mA

RS232C又はRS485
t90=180msec
0.5℃
0.4℃

リニヤ出力（選択可）、負荷抵抗500Ω以下（DC24V時）(アドレス指定可)、半2重、ボーレート2400 ～ 19200
t90=1sec
0.2℃
0.1℃

本器（OFFLINE)
○－○
○
○
－

通信経由での設定 （ONLINE)
○○
○
○
－○
以下の要因で解除・インターバル時間設定による解除（off, 0.1s, 0.25s, 0.5ｓ, 1s, 5s, 25s）
・外部同期信号解除または通信経由による解除
・自動解除（次の測定対象物が来た時）

その他
計測ソフトウェア:－InfraWin 添付

ハウジング：
取り付け方向：
供給電源:
消費電力:
絶縁対策:
保護等級:
周囲温度:

ステンレス製
全方向
DC18～30V, 電圧リップル ＜0.5V
max. 70ｍA
電源回路・インターフェース・アナログ出力信号は互いに絶縁、本体とも絶縁
IP65 (DIN 40 050)
0 ～ 63℃ 但し、結露しないこと
放射温度計内部温度が50℃以上でレーザパイロットライト停止-20 ～ +70℃
410g
φ49.5×114.5mm、本体材質はSUS
電磁イミュニティに関するEU指令に適合

保管温度:
重量:
外形寸法：
CEマーク:°C / °F、アドレス、ボ-レート、ウェイト時間 ｔｗ（Windows PC上で動作）測定距離と面積
本器は、固定焦点を採用しています。固定焦点用のスポットサイズは、測定距離で決まります。
本温度計の光学系は、以下の図の通り、6種類あります。
焦点の位置以外でのスポット径は計算により求めることができます。

外形図

レーザパイロットボタン

レーザクラス2

ご注文についてIN5/9+
RS232
レーザパイロット付

optics a = 95 mm
optics a = 112 mm
optics a = 160 mm
optics a = 270 mm
optics a = 400 mm
optics a = 620 mm

3 871 800
3 871 810
3 871 820
3 871 830
3 871 840
3 871 860

本体、検査合格証、InfraWin計測ソフト、ユーザマニュアルを含みます。
接続用ケーブルは含みません。機器との接続には、ケーブル付専用電源BOXを用意しております。

アクセサリ
取付金具・パージ管・保護管・フランジ・冷却ジャケット・スキャナ

3834-210
L字型取付金具

3835-160
エアパージユニット

3837-370
パージ付冷却ジャケット
周囲温度：250℃

3846-620
真空炉用
CaF2窓付

3846-120
フランジ付セラミック保護管

5000-2001
JISフランジ（ご指定）・エアーパージ付

3843-500
スキャナ SCA5CaF2窓付

3820-330
ストレート型コネクタ付
接続ケーブル 5ｍ（DC24V電源
デジタル指示計3846-100
パージ保護管他に、10ｍ/15ｍ/20ｍ/25ｍ/30m )各種

計測ソフト:InfraWinV5

放射温度計専用電源BOX 5000-001+USB2
・ケーブルは全て付属
・コネクタ接続のため、配線作業が容易
・レーザパイロットライトスイッチ付
・ケースは、アルミダイキャスト製で、耐久性抜群！

標準添付、以下の機能が使用できます。
■パラメータの設定（放射率、応答時間、最高値保持など）■温度スケーリング(最小目盛51℃)■温度表示■グラフトレンド■データロギング■データリスト(Excelへの転記可)■本体内部温度表示■温度換算・測定距離／面積計算
・放射率補正計算のヘルプ機能
RS232C/USB変換

本社〒569-0835 大阪府高槻市三島江1丁目5番4号
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パイロメータ営業部〒221-0063 横浜市神奈川区立町6丁目1番 ANNI横浜EAST4Ｆ
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広島営業所
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大分営業所
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長崎工場

Tel : 03-3454-3691
Tel : 045-438-4566
Tel : 0562-57-2680
Tel : 079-444-1300
Tel : 086-448-5421
Tel : 082-568-5099
Tel : 093-671-5834
Tel : 097-558-3222
Tel : 095-871-0115
Tel : 072-678-1313
Tel : 095-871-0115

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Fax : 045-438-4568
Fax : 0562-57-2681
Fax : 079-444-1301
Fax : 086-444-9149
Fax : 082-568-5098
Fax : 093-662-3652
Fax : 097-552-3131
Fax : 095-871-1001
Fax : 072-679-2006
Fax : 095-871-1001