Messtaster05/2021

Inhalt

Messtaster von HEIDENHAIN bieten
hohe Genauigkeit über einen großen
Messweg, sind mechanisch robust undin praxisgerechten Versionen lieferbar.
Ihr Einsatzgebiet ist breit: Sie eignen sichfür die Fertigungsmesstechnik und fürMehrstellen-Messplätze ebenso wie zur
Messmittelüberwachung und als Positionsmessgerät.

Messtaster – Anwendungen und Produkte
Einsatzgebiete

4

Messtaster von HEIDENHAIN

6

Messtasterübersicht

8Technische Eigenschaften und Anbauhinweise
Messprinzipien

10

Messgenauigkeit

12

Anbau

16

Aufbau17

Messkraft und Messbolzenbetätigung

19Technische Daten

Genauigkeit

Messweg

Absolute Messtaster

HEIDENHAIN-ACANTO

±1 µm
±2 µm

12 mm
30 mm

22

Inkrementale Messtaster

HEIDENHAIN-CERTO±0,1 µm; ±0,03 µm*±0,1 µm; ±0,05 µm*

25 mm
60 mm

24

HEIDENHAIN-METRO±0,2 µm

12 mm
25 mm

26

HEIDENHAIN-METRO±0,5 µm
±1 µm

60 mm
100 mm28

HEIDENHAIN-SPECTO

±1 µm

12 mm
30 mm

30

Messtaster mit niedrigen
Messkräften

±0,2 µm
±1 µm

12 mm

32

Zubehör

34

Messeinsätze, Steuergeräte, Kupplung
Messstative, Keramikauflage, Membranpumpefür HEIDENHAIN-CERTO

36

Drahtabheber, Messstative

für HEIDENHAIN-ACANTO, HEIDENHAIN-METRO
und HEIDENHAIN‑SPECTO

38

Weitere Informationen
Signalkonverter

40

Kalibrierung nach DAkkS

42

Weiterführende Dokumente

43

Weitere Informationen:
Mit Erscheinen dieses Prospekts verlieren
alle vorherigen Ausgaben ihre Gültigkeit.
Für die Bestellung bei HEIDENHAIN
maßgebend ist immer die zum Vertragsabschluss aktuelle Fassung des Prospekts.

2

Normen (EN, ISO, etc.) gelten nur, wenn
sie ausdrücklich im Prospekt aufgeführt
sind.

Ausführliche Beschreibungen zu allen verfügbaren Schnittstellen, Kabel und Steckverbinder sowie allgemeine elektrische
Hinweise finden Sie im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten
bzw. Prospekt Kabel und Steckverbinder.

* Nach linearer Längenfehlerkompensation in der Auswerte-Elektronik

Einsatzgebietein der Qualitätssicherung

in der Fertigungsmesstechnik

Messraum und Fertigungs­
kontrolle

Mehrstellen-Messplätze
Für Mehrstellen-Messplätze werden robuste Messtaster mit geringen Abmessungenbenötigt. Die Messtaster sollen darüber­hinaus größere Messwege von mehreren
Millimetern bei gleichbleibend linearer Genauigkeit aufweisen, so dass sich bei Prüfvorrichtungen einfachere Aufbauten – auchfür unterschiedliche Master – realisieren
lassen. Vorteilhaft wirkt sich der große
Messweg auch auf die Masterherstellung
aus, da einfachere Master verwendet werden können.

In der Wareneingangsprüfung, zur schnellen Maßkontrolle und für die statistische
Prozesskontrolle in der Fertigung oder inder Qualitätssicherung – kurz, überall dort,
wo Längen schnell, sicher und genau gemessen werden, kommen die Messtastervon HEIDENHAIN zum Einsatz. Besonders
vorteilhaft sind ihre großen Messwege:
Ob das Teil 5 oder 95 mm misst, es wird
­direkt und mit ein und demselben Mess­
taster erfasst.
Abhängig von der Genauigkeit gibt es fürjede Anforderung den geeigneten Mess­
taster. So bieten die HEIDENHAIN-CERTOMesstaster höchste Genauigkeiten von± 0,1 µm/± 0,05 µm*/± 0,03 µm* für hochpräzise Messungen. Die Messtaster aus
dem HEIDENHAIN-METRO-Programm haben Genauigkeiten bis ± 0,2 µm, während
die HEIDENHAIN-SPECTO-Messtastermit ± 1 µm Genauigkeit besonders kompakte Abmessungen aufweisen.

Prüfung von Werkstück

Prüfstation zur Ebenheitskontrolle

Toleranzmessung an Halbfabrikaten

Im Vergleich zu Induktivtastern sind Messungen mit HEIDENHAIN-Messtasternüber lange Zeiträume stabil, d. h. ein Nachkalibrieren erübrigt sich.

*N ach linearer Längenfehlerkompensationin der Auswerte-Elektronik

Endmaßkalibrierung und­MessmittelüberwachungPositionserfassung
Auch zur Positionserfassung an genauen
Verschiebeeinheiten oder Kreuztischen eignen sich die Messtaster von HEIDENHAIN.
Das Arbeiten z. B. an Messmikroskopen
vereinfacht sich durch die digitale Ablesung
und das beliebige Setzen des Bezugspunkts wesentlich.

Die vorgeschriebene regelmäßige Überwachung der Messmittel, insbesondere derEndmaße, erfordert bei Vergleichsmessung
mit Induktivtastern eine große Anzahl an
Bezugsnormalen. Ursache sind die geringen
Messwege der Induktivtaster: sie erfassen
lediglich Längendifferenzen von max. 10 µm.
Wesentlich vereinfacht wird die für die Rückführbarkeit notwendige Kalibrierung vonMessmitteln durch Messtaster mit großem
Messweg und gleichzeitig hoher Genauigkeit.

Je nach Verfahrweg kommen hier besonders die Messtaster mit großem Messweg
von 30 mm, 60 mm oder 100 mm bei gleich­zeitig hoher Genauigkeit von ±0,5 µm oder
± 1 µm aus dem HEIDENHAIN-METROund HEIDENHAIN-SPECTO-Programmzum Einsatz.

Besonders geeignet sind hierfür die Messtaster aus dem HEIDENHAIN-CERTO-­
Programm mit Messwegen von 25 mm bei± 0,1 µm/± 0,03 µm* Genauigkeit und
60 mm bei ± 0,1 µm/± 0,05 µm* Genauigkeit. Damit lässt sich die Anzahl der Bezugsnormale deutlich reduzieren, das Nachkalibrieren wird wesentlich einfacher.

Bei dieser Verwendung als Längenmessgerät ist die schnelle Montage der Messtasterüber Einspannschaft oder Planfläche direktnach dem Abbe´schen Messprinzip besonders vorteilhaft.
Kalibrieren von E­ ndmaßen

4

Prüfung von Taststiften

Aufgrund ihrer geringen Abmessungen sinddie absoluten Messtaster HEIDENHAINACANTO ebenso wie die inkrementalen
Messtaster HEIDENHAIN-SPECTO speziell
für Mehrstellen-Messplätze ausgelegt. Bei
Messwegen bis zu 30 mm verfügen sie überGenauigkeiten bis zu ±1 μm. Für höhere
Genauigkeitsanforderungen bis ±0,2 µm
lassen sich HEIDENHAIN-METRO-Mess­
taster ähnlich kompakt einsetzen.

Positionserfassung an einem X-/Y-Tisch zur Linsenmontage

5Messtaster von HEIDENHAIN

Messtaster von HEIDENHAIN zeichnensich durch hohe Genauigkeiten auch bei
großen Messwegen aus. Sie werden immer dann eingesetzt, wenn Längen
schnell, sicher und genau ­gemessen werden müssen.

Große Messwege

HEIDENHAIN-Messtaster gibt es mit
Messwegen von 12 mm, 25 mm, 30 mm,
60 mm oder 100 mm. Sie messen so die
unterschiedlichsten Teile in einem Messaufbau und vermeiden ein häufiges Umrüsten bzw. teuere Endmaße oder Master.

Hohe Genauigkeit

Die hohe Genauigkeit der HEIDENHAINMesstaster gilt über den gesamten Messweg. Ob der Prüfling 10 oder 100 mm
misst, sein Istmaß wird immer mit der gleichen hohen Güte erfasst. Bei Vergleichsmessungen, z. B. in der Serienfertigung,kommt die hohe Wiederholgenauigkeit der
HEIDENHAIN-Messtaster zum Tragen.
Insbesondere HEIDENHAIN-CERTO-Mess­
taster weisen eine hohe lineare Genauigkeit auf und bieten eine Auflösung im Nanometerbereich.

Robuster Aufbau

HEIDENHAIN-Messtaster sind robust aufgebaut. Sie verfügen über eine gleichbleibende Genauigkeit über einen langen Zeitraum und eine hohe thermische Stabilität.
Daher sind sie auch an Fertigungseinrichtungen und Maschinen einsetzbar.

6

Breites Anwendungsgebiet

HEIDENHAIN-Messtaster eignen sich fürviele Anwendungen. Automatisch arbeitende Prüfeinrichtungen, Handmessplätze
oder Positioniereinrichtungen – überall, wo
Längen, Abstände, Dicken, Höhen oder­lineare Bewegungen zu erfassen sind,­arbeiten HEIDENHAIN-Messtaster schnell,sicher und genau.

Absolute Positionserfassung

Die HEIDENHAIN-ACANTO-Messtaster arbeiten absolut und das über einen Messweg
von 12 mm bzw. 30 mm bei hoher Wiederholgenauigkeit. Besonders vorteilhaft: Die
Messwerte stehen unmittelbar nach dem
Einschalten zur Verfügung.

Kompetenz

Die Qualität der HEIDENHAIN-Messtasterist kein Zufall. So fertigt HEIDENHAIN
seit über 70 Jahren Maßstäbe mit hoher
Genauigkeit und entwickelt seit vielen­Jahren Mess- und Prüfgeräte zur Längenund Winkelmessung für die nationalen
Standardlabors. Dieses Know-How macht
HEIDENHAIN zu einem kompetenten­Partner für messtechnische Fragen.

Weltweite PräsenzHEIDENHAIN ist in allen wichtigen Industrienationen vertreten – meist mit eigenen
Niederlassungen. Vertriebs- und Service­techniker unterstützen den Anwender vor
Ort durch Beratung und Kundendienst in
der Landessprache.

7Messtasterübersicht

Genauigkeit

Messweg
Messbolzenbetätigung

12 mm

25 mm/30 mm

60 mm

100 mmSeite

Absolute Positionserfassung
±1 µm
±2 µm

22

HEIDENHAIN-ACANTO
durch Prüfling

AT 1218 EnDat

AT 3018 EnDat

pneumatischAT 1217 EnDat

AT 3017 EnDat

Inkrementale Längenmessung±0,1 µm*)±0,05 µm
±0,03 µm*)

±0,2 µm±0,5 µm
±1 µm

±1 µm

*)

MT 101

8

MT 60

CT 6000

24

HEIDENHAIN-CERTO
motorisch

CT 2501 » 11 µASS

CT 6001 » 11 µASS

extern über Kupplung

CT 2502 » 11 µASS

CT 6002 » 11 µASS

26

HEIDENHAIN-METROüber Drahtabheberoder Prüfling

MT 1271 « TTL
MT 1281 » 1 VSS

MT 2571 « TTL
MT 2581 » 1 VSS

pneumatischMT 1287 » 1 VSS

MT 2587 » 1 VSS

28

HEIDENHAIN-METRO
motorisch

MT 60 M » 11 µASS

MT 101 M » 11 µASS

extern über Kupplung

MT 60 K » 11 µASS

MT 101 K » 11 µASS

30HEIDENHAIN-SPECTO
durch Prüfling

ST 1278 « TTL
ST 1288 » 1 VSS

ST 3078 « TTL
ST 3088 » 1 VSS

pneumatischST 1277 « TTL
ST 1287 » 1 VSS

ST 3077 « TTL
ST 3087 » 1 VSS

 ach linearer LängenfehlerkompensationNin der Auswerte-Elektronik

CT 2500

MT 2500

MT 1200

ST 3000

ST 1200

AT 3000

AT 1200

9

Messprinzipien

Maßverkörperung

Messverfahren

Fotoelektrische Abtastung

HEIDENHAIN-Messtaster verfügen übereinen großen Messweg bei gleichzeitig­hoher Genauigkeit. Maßgebend dafür ist
das fotoelektrische Abtastprinzip.

Beim inkrementalen Messverfahren besteht die Teilung aus einer regelmäßigen
Gitterstruktur. Die Positionsinformation
wird durch Zählen der einzelnen Inkremente (Messschritte) von einem beliebig
gesetzten Nullpunkt aus gewonnen. Da
zum Bestimmen von Positionen ein absoluter Bezug erforderlich ist, verfügt die Maßverkörperung über eine weitere Spur, dieeine Referenzmarke trägt. Die mit der Referenzmarke festgelegte absolute Position
des Maßstabs ist genau einer Signalperiode
zugeordnet.
Bevor also ein absoluter Bezug hergestelltoder der zuletzt gewählte Bezugspunkt
wiedergefunden wird, muss die Referenzmarke überfahren werden.

Die meisten HEIDENHAIN-Messgeräte­arbeiten nach dem Prinzip der fotoelek­
trischen Abtastung. Die fotoelektrische Abtastung erfolgt berührungslos und damit
verschleißfrei. Sie detektiert selbst feinste
Teilungsstriche von wenigen Mikrometern
Breite und erzeugt Ausgangssignale mit
sehr kleinen Signalperioden.

Die HEIDENHAIN-Messtaster benutzenmaterielle Maßverkörperungen – d. h. absolute oder inkrementale Teilungen auf Trägerkörpern aus Glas oder Glaskeramik. Diese
Maßverkörperungen erlauben große Messwege, sind unempfindlich gegenüber Vibrations- und Schockbelastung und haben ein
definiertes thermisches Verhalten. Änderungen des Luftdrucks und der Feuchte haben keinen Einfluss auf die Genauigkeit derMaßverkörperung – Voraussetzung für die
hohe Langzeitstabilität der HEIDENHAIN-Messtaster.
Die feinen Teilungen stellt HEIDENHAIN
durch speziell entwickelte, fotolithografische Verfahren her.
• AURODUR: mattgeätzte Striche auf­einem vergoldeten Stahlband; typische
Teilungsperiode 40 μm• METALLUR: verschmutzungsunempfindliche Teilung aus metallischen Strichen
auf Gold; typische Teilungsperiode 20 μm• DIADUR: äußerst widerstandsfähige
Chromstriche (typische Teilungsperiode
20 μm) oder dreidimensionale Chromstrukturen (typische Teilungsperiode
8 μm) auf Glas
• SUPRADUR-Phasengitter: optisch drei­
dimensional wirkende, planare Struktur;
besonders verschmutzungsunempfindlich; typische Teilungsperiode 8 μm undkleiner• OPTODUR-Phasengitter: optisch drei­
dimensional wirkende, planare Struktur
mit besonders hoher Reflexion; typische
Teilungsperiode 2 µm und kleiner
Neben den feinen Teilungsperioden ermöglichen diese Verfahren eine hohe Kantenschärfe und eine gute Homogenität der­Teilung. Zusammen mit dem fotoelektrischen Abtastverfahren ist dies maßgebend
für die hohe Güte der Ausgangssignale.

Beim absoluten Messverfahren steht der
Positionswert unmittelbar nach dem Einschalten des Messgeräts zur Verfügung undkann jederzeit von der Folge-Elektronik abgerufen werden. Ein Verfahren der Achsen zum
Ermitteln der Bezugsposition ist nicht notwendig. Diese absolute Positionsinformation
wird aus der Teilung der Maßverkörperung
ermittelt, die als serielle Code-Struktur aufgebaut ist. Eine separate Inkrementalspur
wird für den Positionswert interpoliert und –je nach Schnittstellenversion – gleichzeitig
zum Erzeugen eines optionalen Inkrementalsignals verwendet.

DIADUR-Phasengitter-Teilung mit ca. 0,25 µm
Gitterhöhe

Je feiner die Teilungsperiode einer Maßverkörperung, umso mehr beeinflussen Beugungserscheinungen die fotoelektrische
Abtastung. HEIDENHAIN verwendet bei
Längenmessgeräten zwei Abtastprinzipien:• abbildendes Messprinzip bei Teilungsperioden von 20 µm und 40 µm• interferentielles Messprinzip bei sehrkleinen Teilungsperioden von z.B. 8 µm

Abbildendes Messprinzip
Das abbildende Messprinzip arbeitet – vereinfacht beschrieben – mit schattenoptischer
Signalerzeugung: Zwei Strichgitter mit gleicher oder ähnlicher Teilungsperiode – Maßstab und Abtastplatte – werden zueinander
bewegt. Das Trägermaterial der Abtastplatte
ist lichtdurchlässig, die Teilung der Maßverkörperung kann ebenfalls auf lichtdurchlässigem oder auf reflektierendem Material
aufgebracht sein.
Fällt paralleles Licht durch eine Gitterstruktur, werden in einem bestimmten AbstandHell-/Dunkelfelder abgebildet. Hier befindet
sich ein Gegengitter. Bei einer Relativbewegung der beiden Gitter zueinander wird das
durchfallende Licht moduliert: Stehen die
Lücken übereinander, fällt Licht durch, befinden sich die Striche über den Lücken,
herrscht Schatten. Ein Fotoelemente-Arraywandelt diese Lichtänderungen in elektrische Signale um. Die speziell strukturierte
Teilung der Abtastplatte filtert dabei den
Lichtstrom so, dass annähernd sinusförmige Ausgangssignale entstehen.
Je kleiner die Teilungsperiode der Gitterstruktur, umso geringer und enger toleriert
ist der Abstand zwischen Abtastplatte undMaßstab.

Interferentielles Messprinzip
Das interferentielle Messprinzip nutzt die
Beugung und die Interferenz des Lichts an
fein geteilten Gittern, um Signale zu erzeugen, aus denen sich die Bewegung ermitteln lässt.
Als Maßverkörperung dient ein Stufengitter;
auf einer ebenen, reflektierenden Oberfläche sind reflektierende Striche mit 0,2 µm
Höhe aufgebracht. Davor befindet sich als
Abtastplatte ein lichtdurchlässiges Phasengitter mit der gleichen Teilungsperiode wie
beim Maßstab.
Fällt eine ebene Lichtwelle auf die Abtastplatte, wird sie durch Beugung in drei Teilwellen der 1., 0. und –1. Ordnung mit annähernd gleicher Lichtintensität aufgespalten.
Sie werden auf dem Phasengitter-Maßstab
so gebeugt, dass der Großteil der Lichtintensität in der reflektierten 1. und –1. Beugungsordnung steckt. Diese Teilwellen­treffen am Phasengitter der Abtastplatte
wieder aufeinander, werden erneut gebeugt und interferieren. Dabei entstehen
im wesentlichen drei Wellenzüge, welche
die Abtastplatte unter verschiedenen Winkeln verlassen. Fotoelemente wandeln diese Lichtintensitäten in elektrische Signaleum.

Bei einer Relativbewegung zwischen­Maßstab und Abtastplatte erfahren die­gebeugten Wellenfronten eine Phasen­
verschiebung: Die Bewegung um eine Teilungsperiode verschiebt die Wellenfront der
1. Beugungsordnung um eine Wellenlänge
nach Plus, die Wellenfront der –1. Beugungsordnung um eine Wellenlänge nach
Minus. Da diese beiden Wellen am Austritt
aus dem Phasengitter miteinander interferieren, verschieben sich diese Wellen zueinander um zwei Wellenlängen. Man erhält
also zwei Signalperioden bei einer Relativbewegung um eine Teilungsperiode.
Interferentielle Messgeräte arbeiten mit
Teilungsperioden von z.B. 8 µm, 4 µm oderfeiner. Ihre Abtastsignale sind weitgehendfrei von Oberwellen und können hoch interpoliert werden. Sie eignen sich daher besonders für hohe Auflösung und hohe
­Genauigkeit.
Nach dem interferentiellem Messprinzip­arbeiten die Messtaster HEIDENHAINCERTO, sowie die HEIDENHAIN-METROMesstaster der Baureihen MT 1200 und
MT 2500.

Nach dem abbildenden Messprinzip arbeiten
die Messtaster HEIDENHAIN-ACANTO,HEIDENHAIN-SPECTO und die HEIDENHAIN-METRO-Messtaster der Baureihen
MT 60 und MT 100.

DIADUR-Teilung

5µmInterferentielles Messprinzip (Optikschema)
C Teilungsperiodey Phasenänderung der Lichtwelle beim Durchgang durch die Abtastplatte Phasenänderung der Lichtwelle durch die Bewegung X des Maßstabs

Abbildendes Messprinzip

Lichtquelle LED
Fotoelemente

Kondensor

Die Originalteilungen fertigt HEIDENHAIN
auf eigens dafür hergestellten hochpräzisen Teilmaschinen.

Lichtquelle
LED
Kondensor

Abtastplatte
Maßverkörperung

Abtastplatte
FotoelementeArray

Maßverkörperung1011Messgenauigkeit

Die Genauigkeit der Längenmessung wird
im Wesentlichen beeinflusst durch:• Güte der Teilung• Güte der Abtastung• Güte der Signalverarbeitungselektronik• Exzentrizität der Teilung zur Lagerung• Führungsabweichungen des Maßstabs
zur Abtasteinheit• Rechtwinkligkeit des Messtasters zur
Auflagefläche
Diese Einflussgrößen teilen sich auf inmessgerätespezifische Abweichungen undanwendungsabhängige Faktoren. Zur Beurteilung der erzielbaren Gesamtgenauigkeit müssen alle einzelnen Einflussgrößen
berücksichtigt werden.

Messgerätespezifische­Abweichungen
Die messgerätespezifische Abweichungensind in den Technischen Kennwerten als
Systemgenauigkeit angeben.
Die Extremwerte der Gesamtabweichungen F einer Position liegen bezogen auf ihren Mittelwert über den gesamten Messweg innerhalb der Systemgenauigkeit ±a.
Sie werden bei der Endprüfung ermittelt
und im Messprotokoll angegeben.
Die Systemgenauigkeit beinhaltet:• Homogenität und Periodenschärfe derTeilung• Ausrichtung der Teilung• Abweichungen der Lagerung• Positionsabweichungen innerhalb einer
Signalperiode
Interpolationsabweichungen innerhalb
einer Signalperiode
Die Interpolationsabweichungen innerhalb
einer Signalperiode wirken sich schon bei
sehr kleinen Bewegungen und bei Wiederholmessungen aus. Sie werden deshalb
gesondert betrachtet.
Die Interpolationsabweichungen innerhalb
einer Signalperiode ±u resultieren aus derGüte der Abtastung und – bei Messgeräten
mit integrierter Impulsformer- bzw. Zählerelektronik – der Güte der Signalverarbeitungselektronik.

Positionsabweichung 
Signalpegel Positionsabweichung Position 

Im Einzelnen beeinflussen folgende Faktoren das Ergebnis:• Feinheit der Signalperiode• Homogenität und Periodenschärfe derTeilung• Güte der Filterstrukturen der Abtastung• Charakteristik der Sensoren• Stabilität und Dynamik der Weiterverarbeitung der analogen Signale
In der Angabe der Interpolationsabweichungen innerhalb einer Signalperiode sinddiese Abweichungen berücksichtigt.
Die Interpolationsabweichungen innerhalb
einer Signalperiode ±u werden in Prozent
der Signalperiode angegeben. Für Mess­
taster ist ihr Wert typischerweise besser± 1% der Signalperiode. Die spezifischen
Werte finden Sie in den Technischen Kennwerten.
Nachbarschaftsgenauigkeit
Die Nachbarschaftsgenauigkeit beschreibt
eine Abweichung, die in einem Abstandvon ±100 µm neben einem Messpunkt auftritt. Darin enthalten sind elektronische undmechanische Einflüsse des Geräts auf das
Messergebnis. Typischerweise liegen die
Werte der Nachbarschaftsgenauigkeit unterden jeweils aufgeführten Werten.

Anwendungsabhängige­Abweichungen
Neben der Systemgenauigkeit des Mess­
tasters beeinflussen weitere Faktoren dieerzielbare Gesamtgenauigkeit der Messung.
Dazu zählen insbesondere die Umgebungstemperatur bzw. Temperaturschwankungenwährend der Messung sowie ein stabiler,
rechtwinkliger Messaufbau.
Alle im Messzirkel beteiligten Komponenten wie Prüflingsaufnahme, Messstativ mit
Messarm und der Messtaster selbst, nehmen Einfluss auf das Messergebnis. Ausdehnungen oder Verbiegungen des Messaufbaus durch mechanische oder thermische
Einflüsse gehen direkt als Fehler ein.

Rechtwinkliger Anbau
Der Messtaster ist so anzubauen, dasssein Messbolzen exakt rechtwinklig zum
Prüfling bzw. zur Auflagefläche des Prüflings steht. Abweichungen verursachen
Messfehler.
Bei den als Zubehör lieferbaren HEIDENHAIN-Stativen mit Aufnahme für 8 mmEinspannschaft ist der rechtwinklige Anbau vorgegeben. Messtaster mit planer
Anschraubfläche sind in der Richtung parallel zur Anschraubfläche (Y) rechtwinklig
zum Messtisch einzustellen. Dies geht
schnell und sicher mit Hilfe eines End­maßes bzw. einer Parallelleiste. Die Rechtwinkligkeit quer zum Messtisch (X) ist
wiederum durch das Stativ vorgegeben.

Mechanischer Aufbau
Auf einen entsprechend stabilen Messaufbau ist zu achten; lange seitliche Ausleger
sind zu vermeiden. HEIDENHAIN bietet als
Zubehör mechanisch stabile Messstativean. Die beim Messen auftretende Kraft darf
keine messbare Verbiegung des Messzirkels hervorrufen.
Die Messtaster von HEIDENHAIN arbeiten
mit geringen Messkräften und halten so ihrerseits den Einfluss auf den Messaufbau
klein.

Der Messzirkel: An der Messung beteiligte
Komponenten des Messaufbaus einschließlich
Messtaster

Genauigkeit der Interpolation

Positionsabweichung a über die Messlänge ML

Interpolations­abweichung­innerhalb einer­Signalperiode

Bei Messgeräten mit sinusförmigen Ausgangssignalen sind dagegen die Abweichungen der Signalverarbeitungselektronik
durch die Folge-Elektronik bestimmt.

Thermisches Verhalten
Temperaturschwankungen während der
Messung führen zu Längenänderungenbzw. einer Verbiegung des Messaufbaus.
So dehnt sich eine Stahlsäule mit 200 mm
Länge bei 5 K Temperaturänderung bereits
um 10 µm aus.
Längenänderungen bei konstanter Abweichung von der Bezugstemperatur lassensich weitgehend durch wiederholtes Bezugspunkt-Setzen auf dem Messtisch odereinem Meisterstück kompensieren: Lediglich die Ausdehnung des Maßstabs und
des Prüflings gehen in das Messergebnis
ein.
Temperaturänderungen während der Messung sind rechnerisch nicht zu erfassen.
HEIDENHAIN verwendet deshalb spezielle
Materialien mit niedrigen Temperaturkoeffizienten für temperaturkritische Komponenten, wie z. B. das HEIDENHAIN-CERTOMessstativ. Damit kann die hohe Genauigkeit
von HEIDENHAIN-CERTO auch bei Umgebungstemperaturen von 19 °C bis 21 °C
und ± 0,1 K während der Messung garantiert werden.
Für die volle Genauigkeit von Beginn der
Messung an sollte der Messtaster ca. 15 minvor der ersten Messung in Betrieb genommen werden.

Rechtwinkliger Anbau

Thermische Längenänderung: Ausdehnungsverhalten der Komponenten des Messzirkels bei
ErwärmungInterpolations­abweichungSignalperiode
360 °el.

Position

1213

Messprotokoll

Wiederholpräzision

Alle HEIDENHAIN-Messtaster werden vor
der Auslieferung auf ihre Funktion geprüft
und die Genauigkeit vermessen.

Während die Systemgenauigkeit über den
gesamten Messweg gilt, ist für manche
Anwendungsfälle die Wiederholpräzision
ein entscheidendes Kriterium. Sie hat fürwiederkehrende Messungen eine große
Bedeutung.

Die Genauigkeit der Messtaster wird bei
einfahrendem und ausfahrendem Mess­bolzen ermittelt. Die Anzahl der Messpositionen ist bei den HEIDENHAIN-CERTOMesstastern so gewählt, dass nicht nur die
langwellige Abweichung, sondern auch die
Positionsabweichungen innerhalb einer­Signalperiode sehr genau erfasst werden.

Die Wiederholpräzision ist in den Normen
DIN 32876 bzw. DKD-R 4-3 definiert undbeschreibt die Fähigkeit eines Messtasters
bei identischen Messgrößen und Bedingungen nahe beieinander liegende Messwerte zu liefern.

Das Qualitätsprüfzertifikat bestätigt die
angegebene Systemgenauigkeit jedes
Messtasters. Die ebenfalls aufgelisteten
Kalibriernormale gewährleisten – wie in
EN ISO 9001 gefordert – den Anschluss ananerkannte nationale oder internationale
Normale.
Für die Messtaster der Baureihen HEIDENHAIN-METRO und HEIDENHAIN-CERTO
dokumentiert ein Messprotokoll die Posi­
tionsabweichungen über den Messweg.
Darauf sind auch der Messschritt und die
Messunsicherheit der Messung angegeben.

HEIDENHAIN ermittelt die Wiederholpräzision der Messtaster durch 5 Messungen in
der Nähe des unteren Messbolzenanschlags.
Dabei wird der Messbolzen mit mittlerer
Geschwindigkeit jeweils komplett ein- undausgefahren. Davor war der Messtasterbereits mindestens 10 min in Betrieb undsomit in einem thermisch stabilen Zustand.

Baureihe

Wiederholpräzision< x + 2s

AT 1200

0,4 µm

AT 3000

0,8 µmCT 2500

0,02 µm

Typischerweise liegt die Wiederholpräzisionder Messtaster unter den in der Tabelle
aufgeführten Werten. Die charakteristische
statistische Verteilung ist am Beispiel desST 1200 im Diagramm dargestellt.

CT 6000

0,03 µm

MT 101

0,04 µm

MT 1200

0,03 µm

Die Wiederholpräzision ist abhängig von der:• Materialabstimmung der eingesetzten
Komponenten zueinander• eingebauten Elektronik• verwendeten Optomechanik• Lagerung des Messbolzens

MT 2500

0,09 µm

MT 60

0,06 µm

ST 1200

0,25 µm

ST 3000

0,7 µmBei HEIDENHAIN-METRO zeigt das Messprotokoll die Mittelwertskurve aus je einer
Vor- und Rückwärtsmessung.

Häufigkeit 

Im Messprotokoll HEIDENHAIN-CERTO ist
die Hüllkurve der gemessenen Abweichungen dargestellt. Den HEIDENHAIN-CERTOMesstastern liegen jeweils zwei Messprotokolle bei, die für verschiedene Betriebslagengelten.

0.25 µm

1
Betriebslage für Messprotokoll 1
Beispiel243Betriebslagen für Messprotokoll 2

14

Temperaturbereich
Die Prüfung der Messtaster wird bei einer
Bezugstemperatur von 20 °C durchgeführt. Bei dieser Temperatur gilt die im
Messprotokoll dokumentierte Positionsabweichung.
Der Arbeitstemperaturbereich gibt an,
zwischen welchen Temperaturgrenzen der
Umgebung die Messtaster funktionieren.
Als Lagertemperaturbereich gilt –20 °C
bis 60 °C für das Gerät in der Verpackung.

0
0

–2σ

–σ

x

σ

2σ
Wiederholpräzision 

ST 1200: statistische Verteilung der Wiederholpräzision

15

AnbauAufbauAbbe´sches Messprinzip
HEIDENHAIN-Messtaster ermöglichen das
Arbeiten nach dem Abbe`schen Messprinzip:
Messobjekt und Maßstab müssen miteinander fluchten, um zusätzliche Messfehler
zu vermeiden.

CT 6000
MT 60
MT 101

Befestigung
Die Messtaster CT 6000, MT 60 und
MT 101 werden mit zwei Schrauben an einer
Planfläche befestigt. Dies gewährleistet auchbei diesen großen Messtastern einen mechanisch stabilen Anbau. Zur Befestigung der
MT 60 und MT 101 an das HEIDENHAINMETRO-Messstativ MS 100 sind spezielle
Halter lieferbar (siehe Zubehör).

HEIDENHAIN-Messtaster arbeiten nachdem Abbe´schen Messprinzip d. h. Maßverkörperung und Messbolzen liegen exakt
in einer Linie. Alle im Messzirkel beteiligten Komponenten wie Maßverkörperung,Messbolzen, Halterung und Abtastkopf
sind in ihrer mechanischen und thermischen Stabilität auf die hohe Genauigkeit
der Messtaster ausgelegt.

CT 2500

Die Messbolzen der HEIDENHAIN-Mess­
taster sind gegen Verdrehen gesichert. Ihre
optimale runde Form bleibt dabei erhalten,
Stabilität und Wärmeleitfähigkeit bleiben
somit unbeeinträchtigt. Sie sind mit einem
M2,5-Gewinde zur Aufnahme von Mess­
einsätzen versehen (siehe Zubehör) 

–

Der Anbau der CT 2500 erfolgt über den
Einspannschaft mit Durchmesser 16h8. Zur
Befestigung am HEIDENHAIN-CERTOMessstativ dient ein Halter (siehe Zubehör).
 

Die Messtaster AT, ST, MT 1200 und
MT 2500 verfügen über einen Norm-Einspannschaft mit Durchmesser 8h6. Vorhandene Messvorrichtungen und Stative lassensich somit einfach mit diesen HEIDENHAINMesstastern bestücken.
Als Zubehör bietet HEIDENHAIN wahl­
weise eine spezielle Klemmhülse bzw.
Klemmbuchse mit jeweils einer Schraube an.
Diese erleichtern ein sicheres Befestigen
des Messtasters, ohne dass der Einspannschaft 8h6 überlastet oder die Kugelführung beschädigt wird. Die Klemmbuchse
ermöglicht zusätzlich ein breites Toleranzfeld beim Anzugsmoment bei gleichzeitig
verbesserter Befestigung.
Klemmhülse 		ID 386811-01
Klemmbuchse		
ID 1177968-02

 



Thermisches Verhalten
HEIDENHAIN-Messtaster besitzen ein definiertes thermisches Verhalten. Da Temperaturschwankungen während der Messung
zu Veränderungen des Messzirkels führen
können, verwendet HEIDENHAIN z. B. bei
den HEIDENHAIN-CERTO-Messtastern
spezielle Materialien mit niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten Þtherm für
die im Messzirkel beteiligten Komponenten. So besteht der Maßstab aus Zerodur(Þtherm  0 K–1), Messbolzen und Halterungsind aus Invar (Þtherm  1 · 10–6 K–1) gefertigt. Dadurch lässt sich die hohe Messgenauigkeit über einen relativ großen Temperaturbereich garantieren.

Während der Messungen sind jedoch
grundsätzlich Erschütterungen und Vibrationen aller Art zu vermeiden, um die hohe
Genauigkeit der Messung nicht zu beeinträchtigen. Die Höchstwerte für Schock
und Vibration in den Technischen Kennwerten gelten für Beschleunigungen, die vonaußen auf den Messtaster wirken. Sie beschreiben lediglich die mechanische Stabilität des Messtasters, bedeuten aber keine
Funktions- oder Genauigkeitsgarantie.
Im Messtaster selbst entstehen hohe Beschleunigungen, wenn der federbelasteteoder frei bewegliche Messbolzen ungebremst auf Prüfling oder Messtischoberfläche auftrifft. Verwenden Sie deshalb für die
Messtaster der Baureihen MT 1200 und
MT 2500 beim Einsatz im Messstativ möglichst den Drahtabheber (siehe Zubehör).
Dieser verfügt über eine einstellbare pneumatische Dämpfung und kann so die Ausfahrgeschwindigkeit auf einen unkritischen
Wert begrenzen.

Die Messbolzen der Messtaster HEIDENHAIN-ACANTO und HEIDENHAIN-SPECTO
ST 1200 schützt ein Faltenbalg vor Verschmutzung. Der Faltenbalg besitzt einehohe chemische und thermische Beständigkeit bei gleichzeitig geringer Steifigkeit.
Sein Einfluss auf das mechanischen Verhalten und somit auf die Messkraft ist daher
gering.



Befestigung mit Klemmhülse
Aufbau CT 6000
MT 60

Aufbau ST 1200

Anschlusskabel
Maßverkörperung(Maßstab)Abtasteinheit mit Lichtquelle
und Fotoelementen

HalterungBefestigung mit Klemmbuchse

Betriebslage für HEIDENHAIN-CERTO
Die Betriebslage für HEIDENHAIN-CERTO
ist grundsätzlich beliebig. Jedoch sollte die
Einbaulage mit liegendem Messtaster undnach oben zeigender Anschraubfläche vermieden werden, da dafür keine Genauigkeitsgarantie übernommen werden kann.

Beschleunigungen
Die Messtaster von HEIDENHAIN verfügenüber einen robusten Aufbau. Selbst hoheVibrationen und Schockbelastungen beeinträchtigen die Genauigkeit nicht.

Abtasteinheit mit Lichtquelle,
Fotoelementen und Abtastelektronik
Maßverkörperung
Kugelführung

Kugelführung
Messbolzen
Faltenbalg
Messeinsatz

Messbolzen

Messeinsatz

16

17

Messkraft – Messbolzenbetätigung

Messbolzenführung
HEIDENHAIN-Messtater gibt es mit unterschiedlichen Messbolzenführungen.
Die Messbolzen der HEIDENHAIN-ACANTOMesstaster arbeiten mit Gleitführungen.
Die Gleitführung zeichnet sich durch folgende
Eigenschaften aus:
• Robust aufgrund wenige bewegte Teile• Stoß- und erschütterungsunempfindlich• Hohe Messbolzengeschwindigkeiten undlange Lebensdauer durch hochwertige
Keramiklager• Unempfindlicher gegen unsachgemäßes
Einspannen

Mit einer Kugelführung ausgestattet sinddie Messtaster der Baureihen HEIDENHAINMETRO und HEIDENHAIN-CERTO, sowie
die HEIDENHAIN-SPECTO-Messtaster.
­Einige grundlegende Eigenschaften von­Kugelführungen bei HEIDENHAIN-Mess­
tastern sind:• Geringe Reibung, dadurch sind Mess­
tasterversionen mit reduzierter Messkraft
möglich• Sicheres Ein- bzw. Ausfahren des Messbolzens auch bei höherer Querkraft• Hohe Präzision des Messzirkels durch
spielfreie Führung (Lager und Messbolzen
werden in der Fertigung speziell eingepasst)

Verschleißteile
Messtaster von HEIDENHAIN enthalten
Komponenten, die einem von der Anwendung und Handhabung abhängenden Verschleiß unterliegen. Dabei handelt es sichinsbesondere um folgende Teile:• Führung (getestet für mind. 60 Millionen
Hübe*)• Seilzug bei CT, MT 60 und MT 101­(getestet für mind. 1 Million Hübe*)• Abstreifringe• Faltenbalg bei AT und ST 1200
* Bei CT, MT 60 M und MT 101 M nur mit
Betätigung über Steuergerät
HinweisDIADUR ist eine eingetragene Marke derDR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH,
Traunreut.
Zerodur ist eine eingetragene Marke derSchott Glaswerke, Mainz

Messkraft
Messkraft ist die Kraft, die der Messbolzen
auf den Prüfling ausübt. Zu große Messkräfte können Verformungen des Mess­einsatzes und des Prüflings verursachen,während bei zu geringen Messkräften der
Messbolzen wegen evtl. vorhandenem
Staub oder Schmutzfilm nicht sicher auf den
Prüfling aufsetzt. Die Messkraft ist abhängig von der Art der Messbolzenbetätigung.
Messbolzenbetätigung durch Feder
Bei den Messtastern AT 1218, AT 3018,
MT 12x1, MT 25x1, ST 12x8 und ST 30x8
fährt die eingebaute Feder den Messbolzen in die Messposition aus und baut die
Messkraft auf. Der Messbolzen ist in Ruhelage ausgefahren. Die Messkraft ist abhängig von:• Gebrauchslage• Messbolzenposition, d. h. die Messkraftändert sich über den Messweg• Messrichtung, d. h. ob mit ein- oder ausfahrendem Messbolzen gemessen wird

Die Messkräfte können hierbei in folgende
Klassen eingeteilt werden:• Reduziert MR: ca. halbe Messkraft derStandardvariante• Gering MW: Messkraft zu Beginn des
Messweges ca. 0,01 N• Federlos MG: konstante Messkraft überden gesamten Messweg
Um die Messkraft nicht zu beeinflussen,sind die Varianten ST 1288 MR und
ST 1288 MG ohne Faltenbalg ausgestattet.
Messbolzenbetätigung durch Prüfling
Der komplette Messtaster wird durch die
Messvorrichtung relativ gegen den Prüfling
bewegt. Die Messung erfolgt in der Regelmit einfahrendem Messbolzen.

In den Diagrammen ist die Messkraft überden Messweg jeweils bei einfahrendem
und bei ausfahrendem Messbolzen für horizontale Betriebslage dargestellt.

Kugelführung

Die eingebaute verstellbare pneumatische
Dämpfung reduziert die Ausfahrgeschwindigkeit und verhindert so ein Prellen des
Messbolzens, z. B. bei sehr harten Materialien. Dadurch werden Messfehler durchPrellen verhindert.

Die Messtaster MT 1281 und ST 1288 sind
mit unterschiedlichen Messkräften verfügbar. Gerade bei fragilen Werkstoffen ist es
damit möglich deformationsfrei zu messen.

Sondervarianten

Messtaster 12 mm Messweg
MT 12x1 ausfahrend
MT 12x1 einfahrend
ST 12x8 ausfahrend
ST 12x8 einfahrend
AT 1218 ausfahrend
AT 1218 einfahrend

ausfahrend
einfahrend
ausfahrend
einfahrend

0.35

Messkraft in N 

Messkraft in N 

MT 1281 MR
MT 1281 MR
ST 1288 MR
ST 1288 MR

0.30
0.25
0.20

Messtaster 25 mm/30 mm Messweg
MT 25x1 ausfahrend
MT 25x1 einfahrend
ST 30x8 ausfahrend
ST 30x8 einfahrend
AT 3018 ausfahrend
AT 3018 einfahrend

2.0

Messkraft in N 

Gleitführung

Messbolzenbetätigung über Draht­
abheber (MT 12x1, MT 25x1)
Über den Drahtauslöser wird der Mess­bolzen von Hand abgehoben und wieder
auf den Prüfling abgesenkt. Die Messung
erfolgt mit ausfahrendem Messbolzen.

1.8
1.6
1.4
1.2
1.0

0.15

0.8
0.10

0.6

0.05

0.4

0.00

0.2

Weg in mm 18

Weg in mm 

0

5

10

15

20

25

30

Weg in mm 

19

Pneumatische Messbolzenbetätigung
Bei den Messtastern AT 1217, AT 3017,
MT 1287, MT 2587, ST 12x7 und ST 30x7
mit pneumatischer Messbolzenbetätigung
fährt der Messbolzen durch Anlegen vonDruckluft aus. Bei entlüftetem Druckluftanschluss zieht die eingebaute Feder den
Messbolzen ein. Er befindet sich im Ruhezustand in einer geschützten Position.

Der Arbeitsdruck definiert den Druckbereich vom ersten kompletten Ausfahrendes Messbolzens bis zu dem maximal spezifizierten Bereich.

Die Messkraft lässt sich durch die Höhedes Luftdrucks der Messaufgabe anpassen. Bei konstantem Druck ist sie abhängig
von der Gebrauchslage und von der Messbolzenposition.
In den Diagrammen ist die Messkraft für
horizontale Betriebslage abhängig vom
angelegten Arbeitsdruck bei jeweils ganz
ein- und ganz ausgefahrenem Messbolzen
angeben. Dies sind Richtwerte, die toleranzbedingten Schwankungen unterliegenund vom Verschleiß der Dichtung abhängen.

Messtaster 12 mm Messweg(pneumatisch betätigt)

HEIDENHAIN bietet zur Reinigung derDruckluft die Druckluftanlage DA 400 an.
Die minimale Durchflussmenge beträgt
10 l/min.
Für weitere Informationen fordern Sie bitte
die Produktinformation DA 400 an.

Messtaster 25 mm/30 mm Messweg(pneumatisch betätigt)

Die Diagramme gelten jeweils bei horizontaler Betriebslage, ausgenommen Sondervarianten. Für andere Betriebslagen sindfolgende Korrekturwerte zu berücksichtigen:

MT 2587 eingefahren
MT 2587 ausgefahren
ST 30x7 eingefahren
ST 30x7 ausgefahren
AT 3017 eingefahren
AT 3017 ausgefahren

2.4

Messkraft in N 

Messkraft in N 

MT 12x7 eingefahren
MT 12x7 ausgefahren
ST 12x7 eingefahren
ST 12x7 ausgefahren
AT 1217 eingefahren
AT 1217 ausgefahren

Typ

0.8

–0,12 N
–0,18 N

+0,12 N
+0,18 NMT 12xx–0,13 NMT 1281 MR–
MT 25x1–0,17 NMT 2587–0,19 N

+0,13 N
+0,13 N
+0,17 N
+0,19 N

–0,07 N
–0,08 N
–0,11 N

+0,07 N
+0,08 N
+0,11 NST 12x7
ST 12x8
ST 30xx

0.4

0.0
0.4

20

unten

AT 121x
AT 301x

1.6

0.8

1.2

1.6

2.0

2.4

2.8

Druck in bar 

Betriebslage vertikal nach
oben

2.0

1.2

Druck in bar 

HinweisDie direkt in die Messtaster eingeleitete
Druckluft muss durch eine Druckluftaufbereitung gereinigt sein und folgenden Qualitätsklassen nach ISO 8573-1 (Ausgabe1995) entsprechen:• Feste Verunreinigungen: Klasse 1(max. Teilchengröße 0,1 µm und max.
Teilchendichte 0,1 mg/m3 bei 1 · 105 Pa)• Gesamtölgehalt: Klasse 1(max. Ölkonzentration 0,01 mg/m3
bei 1 · 105 Pa)• Max. Drucktaupunkt: Klasse 4,
jedoch bei Referenzbedingungen+3 °C bei 2 · 105 Pa

Motorische Messbolzenbetätigung
Die Messtaster CT 2501, CT 6001, MT 60 M
und MT 101 M verfügen über einen eingebauten Motor, der den Messbolzen bewegt.
Die Bedienung erfolgt über das Steuergerät
durch Drucktasten oder den Anschluss fürexterne Bedienung. Der Messbolzen der
Messtaster CT 2501, CT 6001 und MT 60 M
darf bei angeschlossenem Steuergerät
nicht von Hand bewegt werden.
Die Messkraft der motorischen MesstasterCT 2501, CT 6001 und MT 60 M ist überdas Steuergerät in drei Stufen einstellbar.
Sie bleibt über den Messweg konstant,hängt aber von der Gebrauchslage ab.
Der MT 101 M hat unabhängig von der Gebrauchslage – vertikal nach unten (mit Steuergerät SG 101V) oder horizontal messend(mit Steuergerät SG 101 H) – eine konstante
Messkraft.
CT 2501
CT 6001

MT 60 M

MT 101 M

Messkraft

durch Motordurch Motordurch Motorvertikal nach unten

0,85 N/1 N/1,45 N

1 N/1,25 N/1,75 N

0,7 N mit SG 101V

vertikal nach oben–/–/0,55 N–/–/0,85 N–

horizontal–/0,55 N/1 N–/0,8 N/1,3 N

0,7 N mit SG 101 H

Externe Messbolzenbetätigung überKupplung
Bei den Messtastern CT 2502, CT 6002,
MT 60 K, MT 101 K und Sonderausführungen„ohne Feder” der MT 1200, MT 2500 und
ST 1288 ist der Messbolzen frei beweglich.
Für Positionsmessungen wird der Messbolzen mit Hilfe einer Kupplung an ein bewegtes Maschinenelement ankoppelt. Die
Kraft, die notwendig ist, um den Messbolzen zu bewegen, wird als erforderliche
Vorschubkraft angegeben. Sie ist abhängig von der Gebrauchslage.

CT 2502
CT 6002

MT 60 KMT 101 K

MT 1271 « TTL
MT 1281 » 1 VSS

MT 2571 « TTL
MT 2581 » 1 VSS

ST 1288

Messkraft

Vorschubkraft1)

Vorschubkraft1)

Vorschubkraft1)

–

–

–

vertikal nach unten

0,45 N

0,4 N

1,7 N

0,13 N

0,17 N

0,2 N

vertikal nach oben

0,55 N

0,55 N

2N

–

–

–

horizontal

0,15 N

0,15 N

0,4 N

–

–

–

1)

Zur Bewegung des Messbolzens notwendige Vorschubkraft bzw. dessen Gewichtskraft

21

HEIDENHAIN-ACANTO
Absolute Messtaster mit EnDat-Interface• Online-Diagnose• Schutzart bis IP67
• Serielle Datenübertragung mit CRC

AT 1200

AT 3000

Mechanische Kennwerte

AT 1218

Messbolzenbetätigung
Messbolzenruhelage

durch Prüflingausgefahren

Maßverkörperung

DIADUR-Teilung auf Glas; Teilungsperiode 188,4 µm

Systemgenauigkeit±1 µm

Positionsabweichungen pro Signalperiode

 ±0,7 µm

Messweg

12 mm

Arbeitsdruck–

Mech. zul. Verfahrgeschwindigkeit

 80 m/min

Querkraft 0,5 N (mechanisch zulässig)

Befestigung

Einspannschaft ¬ 8h6

Betriebslage

beliebigVibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms

 100 m/s (EN 60068-2-6)
 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

10 °C bis 40 °C; Bezugstemperatur 20 °C

Schutzart EN 60529

IP67

Masse ohne Kabel

80 g

1)

Maß verändert sich bei Maximaldruck (1.8 bar)

ML = Messlänge
 = Klemmbereich = Luftanschluss für 2 mm Schlauch22

AT 3018

AT 1217

AT 3017

pneumatischeingefahren

±2 µm

±1 µm

±2 µm

30 mm

12 mm

30 mm

0,7 bar bis 1,8 bar

1,1 bar bis 1,8 bar

 80 m/min

 120 m/min

 120 m/min

2

1)

1)

IP64
IP67 auf Anfrage

IP64

100 g

80 g

100 g

368 nm23 nm

368 nm

IP67 mit Sperrluft

Elektrische Kennwerte

EnDat

Schnittstelle

EnDat 2.2

Bestellbezeichnung

EnDat 22

Messschritt

23 nm

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz 5 µs 8 MHz

Elektrischer Anschluss

Flanschdose M12, Stift, 8-polig

Kabellänge

 100 m mit HEIDENHAIN-Kabel

Versorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme (maximal)

3,6 V:  550 mW
14 V:  650 mW

Stromaufnahme (typisch)

5 V: 80 mA (ohne Last)

23

HEIDENHAIN-CERTO

Inkrementale Messtaster mit ±0,1 μm/±0,051) μm*/±0,03 μm1) Genauigkeit• Für höchste Genauigkeit• Geringe Wärmeausdehnung durch thermisch invariante Materialien• Hochpräzise Kugelführung

CT 2500

Mechanische Kennwerte

CT 2501

CT 6001

CT 2502

CT 6002

Messbolzenbetätigung

motorisch

Maßverkörperung

DIADUR-Phasengitter-Teilung auf Zerodur-Glaskeramik; Teilungsperiode 4 µm

Systemgenauigkeit
bei 19 °C bis 21 °C±0,1 µm,
1)±0,03 µm

Positionsabweichung pro Signalperiode

 ±0,02 µm

Nachbarschaftsgenauigkeit typ.

0,03 µm

Referenzmarkeeine, ca. 1,7 mm vor oberem Anschlag

Messweg

25 mm

Querkraft 0,5 N (mechanisch zulässig)

Befestigung

Einspannschaft¬ 16h8Betriebslage

beliebig (bevorzugte Betriebslage siehe Anbau)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms

2
 100 m/s (EN 60068-2-6)
2
 1000 m/s (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

10 °C bis 40 °C; Bezugstemperatur 20 °C

Schutzart EN 60529

IP50

Masse ohne Kabel

520 g

700 g

480 g

640 g

Elektrische Kennwerte

CT 2501

CT 6001

CT 2502

CT 6002

Schnittstelle» 11 µASS

Signalperiode

2 µm

Messgeschwindigkeit

 24 m/min (abhängig von der Folge-Elektronik) 12 m/min mit der Positionsanzeige ND 28x

Elektrischer Anschluss*• Kabel 1,5 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig• Kabel 1,5 m mit Stecker M23, Stift, 9-polig
Schnittstellenelektronik im Stecker integriert

Kabellänge 30 m

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 V/< 170 mA

DC 5 V ±0,25 V/< 120 mA

Erforderliches Zubehör*

für CT 2501

für CT 6001

Steuergerät

SG 25 M

SG 60 M

koppelbar an bewegtes Maschinenteil±0,1 μm,±0,05 μm1)

60 mm

Planfläche±0,1 µm,±0,03 µm1)

±0,1 μm,±0,05 μm1)

25 mm

60 mm

Einspannschaft¬ 16h8Planfläche

CT 6000* Bei Bestellung bitte auswählenNach linearer Längenfehlerkompensation in der Auswerte-Elektronik
2)
Zur Bewegung des Messbolzens notwendige Vorschubkraft bzw. dessen Gewichtskraft
1)

r=R
 eferenzmarkenlage

24

25

HEIDENHAIN-METRO
Inkrementale Messtaster mit ±0,2 μm Genauigkeit• Hohe Wiederholgenauigkeit• Unterschiedliche Messkraftvarianten• Verschiedene Möglichkeiten der Messbolzenbetätigung

MT 1200

MT 12x1

MT 1287

L1

18,5

22,0

L2

10,1

6,2

L3

8,1

4,2

MT 2500

MT 25x1

MT 2587

L1

37,0

41,0

L2

10,1

6,2

L3

8,1

4,2

MT 1287
MT 258726

r = Referenzmarkenlages = Beginn der Messlänge
À = KlemmbereichÁ = Luftanschluss für 2 mm Schlauch

MT 2571 « TTL
MT 2581 » 1 VSS

MT 1287 » 1 VSS

MT 2587 » 1 VSS

Mechanische Kennwerte

MT 1271 « TTL
MT 1281 » 1 VSS

Messbolzenbetätigung
Messbolzenruhelageüber Drahtabheber oder durch Prüflingausgefahren

Maßverkörperung

DIADUR-Phasengitter-Teilung auf Zerodur-Glaskeramik; Teilungsperiode 4 µm

Systemgenauigkeit±0,2 µm

Positionsabweichungen pro Signalperiode

 ±0,02 µm

Nachbarschaftsgenauigkeit typ.

0,03 µm

Referenzmarkeca. 1,7 mm vor oberem Anschlag

Messweg

12 mm

Arbeitsdruck–

Querkraft 0,8 N (mechanisch zulässig)

Befestigung

Einspannschaft ¬ 8h6

Betriebslage

beliebig; Ausführung „ohne Feder“ und „geringe Messkraft“: vertikal nach unten

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms

2
 100 m/s (EN 60068-2-6)
2
 1000 m/s (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

10 °C bis 40 °C; Bezugstemperatur 20 °C

Schutzart EN 60529

IP50

Masse ohne Kabel

100 g

Elektrische Kennwerte

MT 1271
MT 2571

MT 128xMT 258xSchnittstelle« TTL» 1 VSS

Integrierte Interpolation*

5fach

10fach–Signalperiode

0,4 µm0,2 µm2 µm

Mech. zul. Verfahrgeschwindigkeit

 30 m/min

Flankenabstand a bei Abtastfrequenz*/
1)
Verfahrgeschwindigkeit		
200 kHz  24 m/min		
100 kHz  12 m/min
		  50 kHz  6 m/min
		  25 kHz  3 m/min

 0,23 µs
 0,48 µs
 0,98 µs––
 0,23 µs
 0,48 µs
 0,98 µs–

0,04 µm

25 mm

pneumatischeingefahren

0,03 µm

0,04 µm

12 mm

25 mm

0,9 bar bis 1,4 bar

IP64 (mit Sperrluft)
180 g

Elektrischer Anschluss*(Schnittstellenelektronik
im Stecker integriert)

Kabel 1,5 m mit Stecker Sub-D, Stift,
15-polig

Kabellänge 30 m mit HEIDENHAIN-Kabel

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,5 V/< 160 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen    1) Bei entsprechender Grenz- bzw. Abtastfrequenz

110 g

190 g

Kabel 1,5 m mit• Stecker Sub-D, Stift, 15-polig• Stecker M23, Stift, 12-polig

DC 5 V ±0,25 V/< 130 mA

27

HEIDENHAIN-METRO
Inkrementale Messtaster mit ±0,5 μm/±1 μm Genauigkeit• Große Messwege• Messbolzenbetätigung motorisch oder gekoppelt• Kugelgeführter Messbolzen

MT 60 M

MT 101 M

MT 60

Mechanische Kennwerte

MT 60 M

MT 101 M

MT 60 KMT 101 K

Messbolzenbetätigung

motorisch

Maßverkörperung

DIADUR-Teilung auf Quarzglas; Teilungsperiode 10 µm

Systemgenauigkeit±0,5 µm

Positionsabweichungen pro Signalperiode

 ±0,1 µm

Referenzmarkeca. 1,7 mm von oben ca. 10 mm von oben

ca. 1,7 mm von oben ca. 10 mm von oben

Messweg

60 mm

100 mm

60 mm

100 mmQuerkraft mech. zulässig

 0,5 N

2N

 0,5 N

2N

Befestigung

Planfläche

Betriebslage

beliebigvertikal nach unten
mit SG 101V
horizontal mit
SG 101 H

beliebigVibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms

2
 100 m/s (EN 60068-2-6)
 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

10 °C bis 40 °C; Bezugstemperatur 20 °C

Schutzart EN 60529

IP50

Masse ohne Kabel

700 g

1400 g600 g1200 gElektrische Kennwerte

MT 60 M

MT 101 M

MT 60 KMT 101 K

Schnittstelle» 11 µASS

Signalperiode

10 µm

Messgeschwindigkeit

 18 m/min

 60 m/min

 18 m/min

 60 m/min

Elektrischer Anschluss*

Kabel 1,5 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig oder mit Stecker M23, Stift, 9-polig

Kabellänge 30 m mit HEIDENHAIN-Kabel

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 V

Stromaufnahme< 120 mA

Erforderliches Zubehör*

für MT 60 M

für MT 101 M

Steuergerät

SG 60 M

Betriebslage vertikal: SG 101V
Betriebslage horizontal: SG 101 H

Netzgerät–

notwendig (siehe Zubehör)

koppelbar an bewegtes Maschinenteil±1 µm±0,5 µm±1 µm

MT 101< 70 mA* Bei Bestellung bitte auswählen

28

r = Referenzmarkenlage

29

HEIDENHAIN-SPECTO
Inkrementale Messtaster mit ±1 μm Genauigkeit• Besonders kompakte Abmessungen• Schutzart bis IP67
• Besonders langlebige Kugelführung

ST 1200

ST 3000

ST 12x7
ST 30x7

ST 3078 « TTL
ST 3088 » 1 VSS

ST 1277 « TTL
ST 1287 » 1 VSS

Mechanische Kennwerte

ST 1278 « TTL
ST 1288 » 1 VSS

Messbolzenbetätigung
Messbolzenruhelage

durch Prüflingausgefahren

Maßverkörperung

DIADUR-Teilung auf Glas; Teilungsperiode 20 µm

Systemgenauigkeit±1 µm

Positionsabweichungen pro Signalperiode

 ±0,2 µm

Nachbarschaftsgenauigkeit typ.

0,3 µmReferenzmarkeca. 5 mm vor oberem Anschlag

Messweg

12 mm

Arbeitsdruck–

Querkraft 0,8 N (mechanisch zulässig)

Befestigung

Einspannschaft ¬ 8h6

Betriebslage

beliebigVibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms

2
 100 m/s (EN 60068-2-6)
 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

10 °C bis 40 °C; Bezugstemperatur 20 °C

Schutzart EN 60529

IP67/IP64

IP64

Masse ohne Kabel

40 g

50 g

Elektrische Kennwerte

ST 127x
ST 307xST 128xST 308xSchnittstelle« TTL» 1 VSS

Integrierte Interpolation*

5fach

10fach–Signalperiode

4 µm

2 µm

20 µm

Flankenabstand a bei Abtastfrequenz*/
2)
Verfahrgeschwindigkeit		
100 kHz  72 m/min1)
		  50 kHz  60 m/min
		  25 kHz  30 m/min

 0,48 µs
 0,98 µs
 1,98 µs

 0,23 µs
 0,48 µs
 0,98 µs–

ST 3077 « TTL
ST 3087 » 1 VSS

pneumatischeingefahren

30 mm

12 mm

30 mm

0,8 bar bis 2,5 bar

40 g

50 g





 – 













r = Referenzmarkenlages = Beginn der Messlänge
 = Klemmbereich = Luftanschluss für 2 mm Schlauch

30



Elektrischer Anschluss*

Kabel 1,5 m mit Stecker Sub-D, Stift,
15-polig (Schnittstellenelektronik integriert)

Kabelausgang*axial oder radial

Kabellänge 30 m mit HEIDENHAIN-Kabel

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,5 V

Stromaufnahme< 100 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen

1)

Mechanisch bedingt

Kabel 1,5 m mit• Stecker Sub-D, Stift, 15-polig• Stecker M23, Stift, 12-polig< 55 mA
2)

Bei entsprechender Grenz- bzw. Abtastfrequenz

31

HEIDENHAIN-Messtaster mit niedrigen Messkräften
Inkrementale Messtaster• Kugelgeführter Messbolzen• Gleiche Kennwerte wie Standardgeräte

MT 1200

MT 12x1

MT 1287

L1

18,5

22,0

L2

10,1

6,2

L3

8,1

4,2

Mechanische Kennwerte

MT 1281

ST 1288

Messbolzenbetätigungüber Drahtabheber oder durch Prüfling

durch Prüfling

Maßverkörperung

DIADUR-Phasengitter-Teilung auf Zerodur- DIADUR-Teilung auf Glas;
Glaskeramik; Teilungsperiode 4 µm
Teilungsperiode 20 µm

Systemgenauigkeit±0,2 µm±1 µm

Nachbarschaftsgenauigkeit typ.

0,03 µm

0,3 µmMessweg

12 mm

Befestigung

Einspannschaft ¬ 8h6

Schutzart EN 60529

IP50

Schnittstelle» 1 VSS

Signalperiode

2 µm

IP50

20 µm

1.20

Betriebslage horizontal
1.10

ST 1288 ausfahrend

1.00

ST 1288 einfahrend

Messkraft in N 

0.90

ST 12

Das Diagramm gilt jeweils bei horizontaler
Betriebslage, ausgenommen MT 1281 MW.
Korrekturwerte für andere Betriebslagensiehe Seite 20.

MT 1281 ausfahrend

0.80

MT 1281 einfahrend

0.70

ST 1288 MR ausfahrend
0.60

ST 1288 MR einfahrend
0.50

MT 1281 MR ausfahrend

0.40

MT 1281 MR einfahrend
Betriebslage vertikal
nach unten

0.30
0.20

MT 1281 MW ausfahrend

0.10
0.00

MT 1281 MW einfahrend
0

2

6

4

8

10

12

Weg in mm 

MT 1281

ST 1288

r = Referenzmarkenlages = Beginn der Messlänge
 = Klemmbereich

32

1)
2)

VersionMesskraft

Standard

0.75 N

beliebige Betriebslage

MR

0.25 N1)

vertikal nach unten und horizontal

MW

0 N1)

vertikal nach unten

MG

0.13 N2)

vertikal nach untenStandard

0.65 N

1)

beliebige Betriebslage

MR

0.4 N1)beliebige Betriebslage

MG

0.2 N2)

vertikal nach unten

1)

Bei fast ganz ausgefahrenem MessbolzenÜber den gesamten Messweg

Betriebslage

33

Zubehör
Messeinsätze

Steuergeräte, Kupplung

Messeinsatz kugelig

Messeinsatz kalottenförmig

Messeinsatz plan

Stahl			ID 202504-01
Hartmetall		ID 202504-02
Rubin			ID 202504-03

Hartmetall		

Stahl			ID 270922-01
Hartmetall		ID 202506-01

ID 229232-01

Steuergeräte für CT 2501, CT 6001,
MT 60 M, MT 101 M
Steuergeräte sind für die Messtaster mit
motorischer Messbolzenbetätigung notwendig. Die Messbolzenbewegung wirdüber zwei Drucktasten oder externe Signale
gesteuert. An den Steuergeräten SG 25 M
und SG 60 M ist die Messkraft in drei Stufen
einstellbar.
SG 25 M
ID 317436-01
SG 60 M
ID 317436-02
SG 101V1)
für vertikale Gebrauchslage des MT 101 M
ID 361140-01
SG 101 H1)
für horizontale Gebrauchslage des MT 101 M
ID 361140-02

Messeinsatz stiftförmig

Messeinsatz schneidenförmig

Stahl			ID 202505-01

Stahl			ID 202503-01

Stecker (Buchse) 3-polig
für externe Bedienung des Steuergeräts
ID 340646-05
1)

separates Netzgerät notwendig

81

41

Netzgerät für SG 101V/H
Die Spannungsversorgung des MT 101 M
erfolgt über ein Netzgerät, das an das Steuergerät anzuschließen ist.
Spannungsbereich
AC 100 V bis 240 V
Steckereinsatz wechselbar(Euro- und USA-Stecker im Lieferumfang
enthalten)
Messeinsatz justierbar, Hartmetall
für eine exakt parallele Ausrichtung zur Messtisch-Oberfläche

ballig			ID 202502-03
zylindrisch		
ID 202502-04

plan			ID 202507-01
schneidenförmig
ID 202508-01

ID 312426-13

31.5

Messrolle, Stahl
für eine reibungsarme Antastung bewegter Oberflächen

58

Kupplungzum Ankoppeln des Messbolzens der­Messtaster (speziell für MT 60 K, MT 101 K,
CT 2502 und CT 6002) an ein bewegtes
Maschinenelement
ID 206310-01

34

35

Zubehör für HEIDENHAIN-CERTO
Messstativ

Keramikauflage, Membranpumpe

Messstativ CS 200
für MesstasterCT 2501*				CT 6001

Keramikauflage
Verschleißfeste Arbeitsfläche mit hoher
Oberflächengüte speziell zur Endmaß­
prüfung

ID 221310-01
Gesamthöhe		
Messtisch		
Säule			Gewicht		

ID 223100-01

350 mm¬ 250 mm
¬ 58 mm
15 kg*) Mit spezieller Halterung

Die Endmaße (Klasse 1 oder 2) – oder­ähnliche Prüflinge mit planer Oberfläche –werden durch Unterdruck an die Keramik­
auflage angesaugt. Die Keramikauflage
wird ihrerseits durch Unterdruck auf dem
Messtisch lagestabil festgesaugt.

Die Ebenheit des CS 200 wird mit Hilfe­eines Fizeau-Interferometers bestimmt.

Im Lieferumfang enthalten sind folgende
Druckluftkomponenten zum Anschluss der
Keramikauflage an die Membranpumpe:
Druckluftschlauch 3 m
T-Stück
Anschlussstück
Membranpumpe
Unterdruckquelle zum Ansaugen von­Prüfling und Keramikauflage

Keine Ausbrüche und Fehlstellen

Halterung für CS 200
zum Anbau des CT 2501 mit¬ 16 mm Spannschaft

Leistungsaufnahme
Gewicht		Netzspannung		ID 754220-01

20 W
2,3 kgAC 230 V/50 Hz

Netzspannung		ID 754220-02

AC 115 V/60 Hz

ID 324391-01

36

37

Zubehör für HEIDENHAIN-ACANTO, HEIDENHAIN-METRO und
HEIDENHAIN-SPECTO
Drahtabheber, Messstative
Messstativ MS 45
für Messtaster

Drahtabheberzum handbedienten Abheben der Mess­bolzen von MT 1200 und MT 2500.
Die eingebaute pneumatischen Dämpfung
reduziert die Ausfahrgeschwindigkeit undverhindert so ein Prellen des Messbolzens
z.B. bei sehr harten Materialien.

ATST
MT 1200
MT 2500

ID 202162-02
Gesamthöhe		
Messtisch
Säule			Gewicht		

ID 257790-01

196,5 mm
¬ 49 mm¬ 22 mm2,2 kgMessstativ MS 200
für Messtaster
AT1)
ST1)
MT 12001)
MT 25001)
MT 60 M
MT 101 M

Messstativ MS 100
für Messtaster
ATST
MT 1200
MT 2500
MT 60 M1)
MT 101 M1)

ID 244154-01

ID 202164-02

Gesamthöhe		
Messtisch
Säule			Gewicht		
1)

346 mm¬ 250 mm
¬ 58 mm
18 kg

Gesamthöhe		
Messtisch		
Säule			Gewicht		

Mit spezieller Halterung

1)

385 mm
98 mm x 115 mm¬ 50 mm
18 kg

Mit spezieller Halterung

Halterung für MS 200
zum Anbau der Messtastermit ¬ 8 mm Spannschaft,z.B. AT, ST, MT 1200,
MT 2500
ID 324391-02

Klemmhülse und Klemmbuchse
für alle Messtaster mit ¬ 8 mm Spannschaft, z. B. AT, ST, MT 1200, MT 2500 zum
sicheren Befestigen des Messtasters ohne
den Einspannschaft 8h6 zu überlasten:

Halterung für MS 100
zum Anbau der Messtaster MT 60 M
ID 207479-01
zum Anbau der Messtaster MT 101 M
ID 206260-01

Klemmhülse mit Schraube
ID 386811-01 (1 Stück)
ID 386811-02 (10 Stück)
Klemmbuchse mit Schraube
ID 1177968-02
zusätzlicher Schutz vor Beschädigung derKugelführung und breites Toleranzfeld beim
Anzugsmoment

38¬ 14F8

Klemmbuchse mit Schraube(ID 1177968-02)39

Signalkonverter

Die Signalkonverter von HEIDENHAIN passen die Messgerätesignale an die Schnittstelle der Folge-Elektronik an. Sie werden
dann eingesetzt, wenn die Folge-Elektronik
die Ausgangssignale der HEIDENHAINMessgeräte nicht direkt verarbeiten kannoder wenn eine zusätzliche Interpolation
der Signale notwendig ist.

Eingangssignale der Interface-Elektronik
HEIDENHAIN-Signalkonverter können an
Messgeräte mit sinusförmigen Signalen
1 VSS (Spannungssignale) oder 11 µASS(Stromsignale) angeschlossen werden. An
verschiedenen Signalkonverter sind auch
Messgeräte mit den seriellen Schnittstellen
EnDat oder SSI anschließbar.
Ausgangssignale der Signalkonverter
Die Signalkonverter gibt es mit folgenden
Schnittstellen zur Folge-Elektronik:• TTL – Rechteckimpulsfolgen• EnDat 2.2• DRIVE-CLiQ• Fanuc Serial Interface• Mitsubishi high speed interface• Yaskawa Serial Interface• Profibus• Profinet
Interpolation der sinusförmigen­Eingangssignale
Zusätzlich zur Signalwandlung werden die
sinusförmigen Messgerätesignale in den
Signalkonvertern interpoliert. Dadurch werden feinere Messschritte und damit eine
höhere Regelgüte und ein besseres Positionierverhalten erreicht.

Gehäusebauform

Ausgänge

1)
Interpolation bzw.
­Unterteilung

Typ

Gehäuse-Bauform – IP65

5/10fach

IBV 101

20/25/50/100fach

IBV 102ohne Interpolation

IBV 600

25/50/100/200/400fach

IBV 660 B

Stecker-Bauform – IP40

5/10/20/25/50/100fach

APE 371

Einbauversion – IP00

5/10fach

IDP 181

20/25/50/100fach

IDP 182

5/10fach

EXE 101

20/25/50/100fach

EXE 102

Einbauversion – IP00

5fach

IDP 101

Gehäuse-Bauform – IP65

2fach

IBV 6072

5/10fach

IBV 6172

5/10fach und
20/25/50/100fach

IBV 6272

Gehäuse-Bauform – IP65

 16 384fach Unterteilung

EIB 192

Stecker-Bauform – IP40

 16 384fach Unterteilung

EIB 3922

Gehäuse-Bauform – IP65

 16 384fach Unterteilung

EIB 1512

Schnittstelle

AnzahlSchnittstelle

Anzahl« TTL

1» 1 VSS

1

Steckerbauform» 11 µASS« TTL/» 1 VSSeinstellbar

2» 1 VSS

1

1

Gehäuse-Bauform – IP65

Einbauversion

Bildung eines Positionswerts
Verschiedene Signalkonverter verfügenüber eine integrierte Zählerfunktion. Ausgehend vom zuletzt gesetzten Bezugspunkt
wird mit Überfahren der Referenzmarke ein
absoluter Positionswert gebildet und an die
Folge-Elektronik ausgegeben.

EnDat 2.2

Hutschienen-Bauform

DRIVE-CLiQ

1» 1 VSS

1

1

EnDat 2.2

1

Gehäuse-Bauform – IP65–

EIB 2391 S

Fanuc
1Serial Interface» 1 VSS

1

Gehäuse-Bauform – IP65

 16 384fach Unterteilung

EIB 192 F

Stecker-Bauform – IP40

 16 384fach Unterteilung

EIB 392 F

2

Gehäuse-Bauform – IP65

 16 384fach Unterteilung

EIB 1592 F

1Gehäuse-Bauform – IP65

 16 384fach Unterteilung

EIB 192 M

Stecker-Bauform – IP40

 16 384fach Unterteilung

EIB 392 M

2

Gehäuse-Bauform – IP65

 16 384fach Unterteilung

EIB 1592 M

Mitsubishi
high speed
interface1» 1 VSS

Yaskawa
1
Serial Interface

EnDat 2.22)

1

Stecker-Bauform – IP40–

EIB 3391Y

PROFIBUS-DP 1

EnDat 2.1; EnDat 2.2

1

Hutschienen-Bauform–

PROFIBUS-­
Gateway1)
2)

40

Bauform – Schutzart

Eingänge

Umschaltbar
Nur LIC 4100 Messschritt 5 nm, LIC 2100 Messschritt 50 nm und 100 nm

41Kalibrierung nach DAkkS

Im Rahmen der Qualitätsmanagementnorm ISO 9001 müssen qualitätsrelevantePrüfmittel einer regelmäßigen Überwachung unterliegen und auf einen nationalen
Standard in Übereinstimmung mit dem­Internationalen Einheitensystem (SI) rückführbar sein. HEIDENHAIN unterstützt seine Kunden bei dieser Aufgabe mit seinem
seit 1994 akkreditierten Kalibrierlabor für­digitale Längen- und Winkelmessgeräte.
Das HEIDENHAIN-Kalibrierlabor arbeitet
nach DIN EN ISO/IEC 17025 und ist vonder Deutschen Akkreditierungsstelle GmbH
(DAkkS) akkreditiert. HEIDENHAIN-Kalibrierscheine – ausgestellt vom akkredidiertem
Labor – dokumentieren die Rückführung
auf das Internationale Einheitensystem (SI).
Die DAkkS ist Unterzeichner der multila­
teralen Übereinkommen der European
co-operation for Accreditation (EA) und
der International Laboratory Accreditation
Cooperation (ILAC) zur gegenseitigen­Anerkennung der Kalibrierscheine.
HEIDENHAIN-Kalibrierscheine werden inden meisten Industrieländern anerkannt.

Der HEIDENHAIN-Kalibrierschein gibt dem
Anwender Gewissheit über die Genauigkeit des Messgeräts und bescheinigt die
für ISO 9001 notwendige Rückführung auf
das Internationale Einheitensystem (SI).
Das HEIDENHAIN-Kalibrierlabor ist für allegenauigkeitsrelevanten digitalen Längenund Winkelmessgeräte ausgelegt:• Messtaster AT, CT, MT, ST (auch zusammen mit Folge-Elektronik ND 28x bzw.
EXE oder IBV)
• Längenmessgeräte LC, LF, LIDA, LIP, LS• Winkelmessgeräte ECN, ROC, ROD,
RON

Weiterführende Dokumente

Messtaster von HEIDENHAIN können unabhängig von ihrer Schnittstelle kalibriert
werden. Befindet sich eine HEIDENHAINFolge-Elektronik mit in der Messkette, sokann auch diese in die Kalibrierung einbezogen werden.
Gemessen und zertifiziert werden• Abweichungsspanne bei einfahrendem
Bolzen• Abweichungsspanne in der Teilmessspanne• Wiederholbarkeit mit fünf Messungen(Messbolzen ausgefahren)

Messtaster

Kabel undSteckverbinder

Inhalt:Technische Eigenschaften, Kabelübersichten
und Kabellisten

Schnittstellenvon HEIDENHAINMessgeräten

04/2018

12/2017für messtechnische
AnwendungenInhalt:ND, GAGE-CHEK, EIB, IK

03/2021

Positionsanzeigen
Längenmessgeräte
für handbediente
Werkzeugmaschinen

01/2020

Inhalt:Positionsanzeigen
ND, POSITIP
Längenmessgeräte
LS

Weitere HEIDENHAIN-Produkte

Auszug Musterkalibrierschein
TNC 640
Die Bahnsteuerung fürBearbeitungszentren und
Fräs-Dreh-Maschinen

02/2019

Prospekte
Streckensteuerung TNC 128
Bahnsteuerung TNC 320
Bahnsteuerung iTNC 530
Bahnsteuerung TNC 620
Bahnsteuerung TNC 640
Inhalt:Informationen für den Anwender

ProspekteBahnsteuerung MANUALplus 620
Bahnsteuerung CNC PILOT 640
MANUALplus 620
Die Steuerung für Zyklenund CNC-Drehmaschinen

Messgeräte fürelektrische Antriebe

Inhalt:DrehgeberWinkelmessgeräte
Längenmessgeräte

Prospekt
Winkelmessgeräte mit Eigenlagerung

Winkelmessgeräte
mit Eigenlagerung

März 2015

11/2017

04/2019

Inhalt:Winkelmessmodule
MRP2000, MRP5000, MRP8000
Winkelmessmodule mit integriertem
Torquemotor SRP5000, AccurET

ModulareWinkelmessgeräte
mit optischer
Abtastungfür Werkzeugmaschinen

09/2017

Inhalt:Werkzeug-TastsystemeTT
Werkstück-Tastsysteme
TS

Inhalt:Inkrementale Winkelmessgeräte
ERP, ERO, ERA

09/2017

Prospekt
Messgeräte zur Abnahme und Kontrolle
von Werkzeugmaschinen

ProspektTastsysteme

Tastsysteme

Inhalt:Absolute Winkelmessgeräte
RCN, ECN
Inkrementale Winkelmessgeräte
RON, RPN, ROD
ProspektModulare ­Winkelmessgeräte
mit optischer ­Abtastung

Prospekt
Winkelmessmodule

Winkelmess­moduleInhalt:Informationen für den Anwender

Juli 2016

Prospekt
Messgeräte für elektrische Antriebe

42

Inhalt:Informationen zu seriellen Schnittstellen,
sinusförmigen Signalen, Rechtsecksignalen
und Kommutierungssignalen
Prospekt
Positionsanzeigen/Längenmessgeräte
für handbediente Werkzeugmaschinen

ProspektAuswerte-Elektroniken
für messtechnische Anwendungen
AuswerteElektroniken

Ͳ<ͲϭϵϬϱϳͲϬϭͲϬϬProspektSchnittstellen von HEIDENHAINMess­geräten

Prospekt
Kabel und Steckverbinder

Messgeräte
zur Abnahme und Kontrolle
von Werkzeugmaschinen

Inhalt:Inkrementale Längenmessgeräte
KGM, VM

09/201743

Mastering
Nanometer nanometer
beherrschbaraccuracymachenDR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH
Dr.-Johannes-Heidenhain-Straße 583301 Traunreut, Germany +49 8669 31-0
 +49 8669 32-5061
info@heidenhain.dewww.heidenhain.com
208945-1K · 5 · 05/2021 · H · Printed in Germany

HEIDENHAIN
worldwide