技術紹介

ナノフォトン株式会社

高速・高分解能なレーザー走査ラマン顕微鏡
高精細なラマンイメージングを，素速く簡単に齋 藤

広 大，青 木1 は じ め に

克仁，足立

真理子

水のスペクトルが低強度かつ狭帯域であるため，水分を含む試料でも目的とする成分を測定できる．（3）結晶光を用いた分析手法は数多く存在するが，ラマン分光性試料の場合，スペクトルの線幅が細いため，僅かな法はあらゆる状態（固体，液体，ゲル状，等）の試料にピーク位置の差やスペクトル形状の違いから，応力や結対して，特別な前処理を必要とせずに物質同定を行うこ晶多形の分析が可能である．（4）入射光の波長が任意とができる手法である．また光学顕微鏡とラマン分光装であり，可視光域（波長 400～800 nm）のレーザー光置を組み合わせたラマン顕微鏡は，ラマン分光法によっを使用した場合，光学顕微鏡と組み合わせたラマン顕微て同定された試料成分の空間分布を，サブミクロンに達鏡の空間分解能は，試料の面内・深さ方向共にサブミクする空間分解能で可視化（イメージング）する装置であロンに達する．この高い空間分解能は，ラマン分光法のる．ナノフォトン株式会社は，高速かつ高分解能なラマ最も魅力的な特徴の一つと言える．

ンイメージングを可能にするレーザー走査ラマン顕微鏡

その一方で，ラマン散乱光の散乱断面積は 10－30 cm2をいち早く開発し，幅広い分野に製品を提供してきた．

程度であり1），赤外吸収の吸収断面積2）～10－18 cm2 と比

本稿では，ナノフォトン㈱のレーザー走査ラマン顕微鏡

較して圧倒的に小さい．これはラマン散乱の光子が一つRAMANtouch の特徴と応用事例を紹介する．

発生するためには約 1030 個／cm2 もの入射光子密度が必2 ラマン分光法の特徴要なことを意味しており，ラマン散乱光は発生効率の低い極めて微弱な光と言える．そのため S/N 良くスペクご存知の方も多いと思われるが，まずラマン散乱につトルを測定するためには長時間の露光が必要であり，試いて簡単に説明する．物質にレーザー光を照射した際に料ステージを走査しながら多点のスペクトル測定が必要発生する散乱光の大部分は，入射光と同じ波長をもつレなラマンイメージングでは測定効率の向上が課題であっイリー散乱光である．しかし散乱光の中には，物質を構た．

成する分子や結晶格子の振動によって非弾性散乱され，入射光と異なる波長に変化する光も僅かに存在する．こ3 レーザー走査ラマン顕微鏡 RAMANtouch の誕生

れがラマン散乱光であり，入射光との波長の差が分子（格子）振動のエネルギーに対応する．このラマン散乱

上記の課題は，食品や生体細胞など経時変化しやすい光を，回折格子等を搭載した分光器で分光分析する手法

試料のラマンイメージングを行う場合，ボトルネックとがラマン分光法であり，横軸に入射光を基準とした波数なり得る．2000 年代初頭，ナノフォトン㈱が高速なラ（波長の逆数），縦軸に光強度をプロットしたスペクトル

マン顕微鏡の開発に乗り出したきっかけは，まさに生体をラマンスペクトルと呼ぶ．横軸はラマンシフト（単位細胞を生きたままラマンイメージングするためであっ－1は cm ）と表記されることが多く，高波数側ほどエネた．1990 年以降，細胞に対するラマン分析は徐々に増ルギーの高い分子振動であることを表す．分子振動のエ加し，ラマンイメージング事例も報告もされていたが，ネルギーは，分子構造特有のものであるため，ラマンス

それらの多くは細胞を薬剤等で固定した報告であっペクトルから物質が有する分子構造が分かり，物質同定

た3）4）．生きた細胞は動き回るため，測定効率を向上さが可能となる．

せない限り，ラマンイメージングをすることは難しい．

分子振動に対する分光法という点において，ラマン分ナノフォトン㈱と創業者の河田聡（当時は大阪大学教

光法は赤外分光法と類似した分析手法であり，比較され授）の研究グループは，測定効率を劇的に向上させるラることも多い．ラマン分光法の特徴としては，以下の点

マン顕微鏡を開発し，この課題を克服することに成功しが挙げられる．
（1）薄片化やすりつぶしといった前処た．

理が不要で，そのままの状態の試料を測定できる．（2）ぶんせき 2022 1

それまでのラマン顕微鏡は，試料表面に点状のレー35

いる．開発のきっかけこそ生きた細胞のラマンイメージングであったが，現在では半導体，高分子，電池，食品など多くの分野で RAMANtouch の高速イメージングは活躍している．次節から RAMANtouch を用いた数々の測定事例を紹介する．

4 RAMANtouch を用いた測定事例
4･1 高速イメージング事例
まず食品を例にとって，RAMANtouch の高速イメージングの魅力を紹介する．多くの食品は水分を含むため，水のスペクトルに妨害される赤外吸収分光法では成分分析が難しいが，ラマン分光法は水分を含んでいても，タンパク質，脂質，糖質など多岐にわたる成分を同定可能であるため，食品分野において有用な分析手法の一つである．しかし食品は，時間の経過とともに乾燥や環境温度により変性してしまうため，短時間での測定が

図1

ポイント照明とライン照明のラマン顕微鏡（a）従来のポイント照明のラマン顕微鏡では，試料ステージを走査しながら，各点のスペクトルを 1 本ずつ測定する．（b）ライン照明のレーザー走査ラマン顕微鏡では，ライン上の複数箇所のスペクトルを同時に測定しながら，レーザー光を走査する．

ザー光を集光し（以下，ポイント照明と呼ぶ），試料ステージをラスター走査しながら 1 点ずつスペクトルを取得することで，ラマンイメージングを行っていた（図1（a））．それに対し，ナノフォトン㈱と大阪大学が開発した手法では，試料表面にライン状のレーザー光を集光し，ライン上の複数箇所（典型的には 400 点）のスペクトルを同時に測定しながらレーザー光を走査することで，ラマンイメージングを行う（図 1（b））．ライン
照明と名付けたこの方式では，試料表面のライン状の領域と分光器スリットが共役になり，共焦点光学系の持つ高い空間分解能（面内・深さ方向）を維持しながら，従来（ポイント照明）方式の数百倍の速度でイメージングを行うことが可能となる．また溶液中の細胞は，ステージ走査の場合，振動などで移動してしまうことがあるが，レーザー走査方式の場合，その心配もない．これらの技術により，生きた細胞が分裂する様子をラマンイメージングで初めて観測することに成功した5）．この報
告は 2008 年になされたが，それに先立つ 2005 年にナノフォトン㈱から世界初のレーザー走査ラマン顕微鏡
RAMAN-11 を発表した．以降，改良や機能追加を行い，現在では RAMANtouch という名称で主力製品となって36

図23 種類のホイップクリームのラマンイメージ（a）～（c）は，それぞれクリーム A ～ C に対応し，脂肪分（赤），乳糖結晶（緑），水分（青），空気（黒）の分布を示している．励起波長：532 nm，対物レンズ：20倍（NA 0.45）を使用した．（d）クリーム A の各成分の代表的なラマンスペクトル．乳糖結晶と水分のラマンスペクトルは，脂肪分のラマンスペクトルとの差分である．
水分には糖が溶け込んでいることが分かる．（a）～（c）のラマンイメージは，矢印で示すピークを用いて作成した．
ぶんせき 2022 1

望まれる測定対象でもある．
このような試料をラマンイメージングする際，RAMANtouch のライン照明による高速イメージングは威力を発揮する．図 2（a）～（c）は，3 種類のホイップク

リーム A─C の 416.8 μm×100 μm の領域（スペクトル数：38400 点）を，各々わずか 18 分 17 秒で測定したラマンイメージである．画像は，脂肪分（赤），乳糖結晶（緑），水分（青）の分布を示しており，それぞれ2854 cm－1，358 cm－1，3150～3600 cm－1 付近のピークを用いて作成した．黒い部分は，周囲と比較して脂肪分のピーク強度が低く，明視野像において気泡状の部分に相当することから，空気と判断した．三つのラマンイ
メージを比較すると，各ホイップクリームの成分の混ざり具合が鮮明に分かる．クリーム A，B と比較して，Cは脂肪分と水分が細かく均一に混ざり合っており，また空気を多く含んでいるため，最も滑らかな食感のクリームであると言える．またクリーム A は，各成分の混ざり具合の均一性は低いが，唯一，乳糖結晶が水分中に観測された．クリーム A の原料には練乳が使用されており，練乳中の乳糖が析出したものと考えられる．このクリーム A で観測された各成分の代表的なラマンスペクトルを，図 2（d）に示す．水分が観測された箇所のスペクトルの指紋領域（1500 cm－1 以下）には，糖を示すピークも観測されており，水分箇所は，糖が溶け込んだ液糖であることが判明した．ピーク形状から，溶け込んだ糖はスクロースであると考えられる．クリーム B，C の水分箇所も液糖であることが判明したが，糖を示すピーク形状はスクロースとは異なり，麦芽糖を主原料とする水飴に近いものであった．このような僅かなピーク形状の差を議論するには露光時間を長くした S/N の良いスペクトル測定が必要であるため，従来のポイント照明によるイメージングでは，測定が長時間に及び，測定中にクリームの形状が変化する可能性がある．本事例
は，ライン照明を用いることで，スペクトルの S/N を高く保ったまま広範囲を高速にイメージングできる
RAMANtouch ならではの測定例と言える．

4･2 高分解能イメージング事例
続 い て，RAMANtouch の 高 い 空 間 分 解 能 を 示 す イ

図3

カーボンナノチューブを用いた電界効果型トランジスタ（CNT-FET）のラマンイメージ（試料提供：東京大学
丸山茂夫先生）．
（a）G バンド強度イメージ．約 350 nm の空間分解能で解像できている．（b）RBM のピーク位置 ωRBM を用いて，4 種類に色分けしたラマンイメージ．直径とカイラリティの異なる CNT が分布している様子が分かる．赤：ωRBM＝146 cm－1（半導体），マゼンタ：ωRBM＝179 cm－1（ 半 導 体 ）， 緑：ωRBM＝192 cm－1（ 半 導 体 ）， シ ア ン：
ωRBM＝232 cm－1（金属）．（c）中央付近の CNT バンド
ルの拡大図と，（d）八つの矩形領域（1 辺 400 nm）における平均ラマンスペクトル．（c）と（d）における番号は対応しており，カイラリティの異なる CNT が絡み合っていることが分かる．

メージング事例を二つ紹介する．図 3（a）は，カーボ
ンナノチューブを用いた電界効果型トランジスタ（CNT-FET）のラマンイメージであり，炭素六員環の－1面内振動に由来する G バンド強度（1590 cm（RBM：300 cm－1 以下）のピーク位置 ωRBM で 4 種類付近）に色分けした画像であり，直径やカイラリティの異なるをマッピングした画像である．電極間に合成された

CNT が分布している様子を示している．ωRBM（cm－1）

CNT バンドルが，約 350 nm の空間分解能で観測されと CNT の 直 径 d（nm） の 間 に は d＝248/ωRBM の 関 係ており，励起波長：532 nm，対物レンズ：100 倍（NAがあることが知られており6），ωRBM から CNT の直径を（a）のラマンイメーていることが分かる．図 3（b）は，吸収を伴う共鳴ラマン散乱であり，励起光エネルギーにジを動径方向の伸縮振動である Radial Breathing Mode

依存して特定の構造（直径，カイラリティ）の CNT か0.9）使用時に期待される回折限界の分解能で解像出来

ぶんせき 2022 1導くことが可能である．また CNT のラマン散乱は，光37

図 4（b）のラマンイメージは，100 倍（NA 0.9）の対物レンズを用いて，80 μm×60 μm の領域（スペクトル数：120000 点）を僅か 21 分強で測定したデータであり，RAMANtouch の高速・高分解能性を示す恰好の事例である．

4･3 深さ方向の測定
図4

窒化ガリウム（GaN）基板表面の応力イメージ（試料提供：大阪大学 谷川智之先生）（a）明視野像．（b）E2H モード（567 cm－1 付近）のピー
ク 位 置 を マ ッ ピ ン グ し た 応 力 イ メ ー ジ． 励 起 波 長：532 nm，対物レンズ：100 倍（NA 0.9）を使用した．
明視野像では平坦で滑らかに見えるが，局所応力が分布している様子が分かる．

ラマン顕微鏡の特徴の一つに，試料の面内（XY）方向だけでなく，非破壊で試料内部の深さ（Z）方向の測定ができることも挙げられる．これは図 1 に示したように，共焦点光学系を採用しているため，対物レンズの焦点が合う位置（焦点面）から生じたラマン散乱光のみが分光器スリットを通過することに由来する．本節では，深さ（Z）方向の測定事例を紹介する．
図 5 は，ポリマー多層フィルムを XZ 面内で測定した

7）

ら強くラマン散乱が生じる ．つまり励起波長と ωRBMラマンイメージであり，3 種類のポリマー材料（ポリエから，ある程度カイラリティを絞り込むことが可能であチレン，ポリプロピレン，ナイロン）の分布を示してい－1

り，図 3（b）では ωRBM＝232 cm （シアン）の CNTる．各ポリマーが，サブミクロンスケールで積層構造にのみが金属で，それ以外は半導体であることも分かる．

なっていることが明瞭に分かる．この測定は，共焦点性

図 3（c）は，（a）における中央付近の CNT バンドルのの高さが重要であり，100 倍の油浸対物レンズ（NA＝拡大図であり，このバンドルを八つの矩形領域に分け，各領域の平均スペクトルを示したものが図 3（d）である．矩形領域の 1 辺は 400 nm であり，回折限界とほ1.4）と，スリットではなく直径 20 μm のピンホールを用いて行った．RAMANtouch はライン照明が特徴であることを述べたが，ポイント照明とピンホールを用いたぼ等価な領域であるが，領域 1 番から 8 番にかけて，測定も可能であり，その切り替えはソフトウェア上で簡RBM ピークが変遷していることが明瞭に分かる．これ単に行うことができる．

いる様子を，回折限界に迫る分解能で明らかにした事例性等も含まれる．図 6 は，炭化シリコン（SiC）基板のと言える．

薄膜化の各過程における Z 方向の応力分布を示すためは，カイラリティの異なる CNT がバンドルを形成してラマン顕微鏡は，成分分布だけでなく，光学顕微像でZ 方向の分析対象には，組成だけでなく，応力や結晶に，6H-SiC の 789 cm－1（FTO（2/6）E2）のピーク位は見えない応力の分布を描き出すことも可能である．二置11）12）を XZ 面内で測定したものである．（a）は研削後，つ目の事例として，窒化ガリウム（GaN）基板表面の（b）は研削で発生した傷を除去するための研磨を行った

応力イメージングを紹介する．図 4（a），（b）は，それ後の XZ ラマンイメージである．（a）では，研削による－1

ぞれ GaN 基板表面の明視野像と，567 cm8）

H

付近 E2

傷の周囲には引張応力，二つの傷の間には圧縮応力がか

モード のピーク位置から作成したラマンイメージであかっていることが分かる．研磨後の（b）では，全体的る．結晶性試料の場合，ラマン散乱を引き起こす要因はに応力が低減されているが，残された傷周辺には依然と主に格子振動であるが，格子振動は結晶歪みによる応力して引張応力が発生していることが分かる．より詳細にでエネルギーが変化するため，ラマンピークの位置から応力を評価することが可能である．一般的にピーク位置は，引張応力によって低波数側，圧縮応力によっては高波数側にシフトすることが知られている．図 4（a）の明視野像では平坦で滑らかに見える GaN 基板も，（b）のラマンイメージではピークシフトした領域が分布しており，局所応力が発生していることが分かる．引張と圧縮それぞれの応力領域が隣り合っている箇所には，結晶転位（主に刃状転位や混合転位）が存在していると考えられる9）10）．このような結晶転位由来の僅かなピークシフト分布を描き出すためには，S/N の良いラマンスペクトルを高空間分解能で得る必要があるため，前節同様ライン照明による高速イメージングが有用である．実際，
38

図5

ポリマー多層フィルムの XZ ラマンイメージ
三種類のポリマーフィルムがサブミクロンスケールで積層している様子が分かる．
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5･1 平均ラマンスペクトル測定
ラマン顕微鏡は，その名の通り微視的に測定したラマン分光特性の空間分布を描き出す装置であるが，観察領域全体の平均値といった巨視的な特性を測定したい場合もある．このような場合，広範囲のラマンイメージングを行った後，すべてのスペクトルを平均化する方法もあるが，RAMANtouch は AreaFlash 測定という平均ラマンスペクトルを短時間に測定する機能を搭載している．
AreaFlash 測定は，スペクトルを取得するための露光時間中に，ライン照明をラインと垂直方向に高速走査し，レーザーが照射された XY 領域の平均ラマンスペクトルを測定する方法である．この方法は，レーザー走査方式である RAMANtouch だからこそ可能な機能であり，高い S/N の平均ラマンスペクトルを短時間に取得できることが特徴である．図 7 に，製造ロットの異なる 2 つのカーボン粉末 A，B を，AreaFlash 測定した事例を示す．測定領域は，それぞれ（a），（b）の明視野像に示す
サブミリメートルに及ぶ広い領域で，各 120000 点の平均ラマンスペクトルをわずか 5 秒で取得した結果が（c）である．1590 cm－1 付近の G バンド強度で規格化

すると，1350 cm－1 付近に現れる欠陥由来の D バンド
さ さい強度に僅かな差が観測されており，些細な品質の差を判別することができた．
AreaFlash 測定は，分析時間の短縮ができるため，加熱や冷却，延伸等に伴うスペクトルの経時変化のモニタ

図6

炭化シリコン（SiC）基板の XZ 応力イメージ（a）研削後，（b）研削＋研磨後の SiC 基板の明視野像と，FTO（2/6）E2 モード（789 cm－1）のピーク位置をマッピングした XZ 応力イメージ．励起波長：532 nm，対物レンズ：100 倍（NA 0.9）を使用した．明視野像に示した線上の深さ方向を測定した．矢印に示す研削傷の周辺では，引張応力が発生していることが分かる．（c）
研磨前後の応力の Z 方向ラインプロファイル．研磨により，応力が発生している領域は表面から 2 μm 程度にまで減少している．

解析するために，研磨前後の Z 方向の応力プロファイル（線分析）を（c）に示す．応力プロファイルは，抜粋拡大画像の点線の位置で評価した．研削による応力は，研削後では Z＝4 μm 程度まで生じているのに対し，研削＋研磨後では約 Z＝2 μm に低減されていることが分かる．

5 RAMANtouch 特有の測定方法
前章までは，RAMANtouch のラマン顕微鏡としての基 本 的 な 性 能 を 紹 介 し て き た． 本 章 で は，RAMANtouch が搭載する発展的な測定機能を二つ紹介する．
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図7

二つのカーボン粉末の平均ラマンスペクトル（AreaFlash）
測定事例（a）粉末 A，（b）粉末 B の平均ラマンスペクトルを測定したサブミリメートル領域の明視野像．（c）粉末 A，B
そ れ ぞ れ の 平 均 ラ マ ン ス ペ ク ト ル．G バ ン ド（1590 cm－1 付近）強度で規格化すると，欠陥由来の Dバンド（1350 cm－1 付近）に僅かな差が見受けられる．

39

リングにも適している．また，レーザーパワーを弱くしン照明に比べてイメージングの時間は長くなるが，1 回ても，通常の測定より短時間でスペクトルが取得できるのイメージングで，すべての測定箇所において試料表面上に，レーザーパワーを広範囲に分散させるので，熱のにフォーカスが一致したスペクトルを取得できる点は魅局所的な蓄積を低減できる．したがって，レーザーによ力である．

る熱ダメージを受けやすい試料でも，安心して測定できるメリットもある．

6 ラマンスペクトル測定のコツ：蛍光の回避
最後に，ラマンスペクトルを測定する際に遭遇するこ5･2 凹凸のある試料表面の測定とが多い蛍光を回避する方法を紹介する．蛍光は，発光ラマン顕微鏡は共焦点光学系を採用しているため，深（フォトルミネッセンス）の一種であり，光によって電さ（Z）方向の測定が可能であることを 4･3 節で述べ

子励起状態に遷移した分子が，振動緩和などを経た後，た．しかしこのことは，表面に凹凸があり観察領域内で電子基底状態に戻る際に発する光のことである．多くの焦点面が一定にならない試料に対しては，ラマン顕微鏡ラマン顕微鏡で採用されている波長 532 nm のレーザーによるイメージング測定は不向きであることを意味して光は，この電子遷移を引き起こすのに十分な光子エネルいる．すなわち焦点深度（焦点面の Z 方向の領域）のギーを持っている．蛍光を発する試料のラマンスペクト短い高倍率の対物レンズを使用すると，XY 面内の測定

ルを，波長 532 nm のレーザーで測定しようとすると，箇所を変えるたびに，試料表面に対物レンズのフォーカラマン散乱光と蛍光の波長域が重なり，圧倒的に強度がスを一致させる必要があり，反対に焦点深度の長い低倍

高くブロードな蛍光のピークに，ラマンピークが隠され率の対物レンズを使用すると，高い空間分解能を得るこてしまうことが多い．とが難しい．
このような凹凸のある試料表面を高分解能でラマンイメージングするために，RAMANtouch は ZTrack とい蛍光を回避する方法は，大きく三つある．一つ目は，共焦点性を高めることである．高倍率・高 NA の対物レンズを使用する，あるいは分光器スリット・ピンホーう機能を搭載している．ZTrack は，光学顕微鏡像からルの幅や径を小さくすることで，焦点面以外からの蛍光試料の表面形状を認識し，表面形状に沿って対物レンズの影響を低減させることができる．4･3 節でも述べたのフォーカスを自動的に調整しながらラマンイメージンが，RAMANtouch にはピンホールも搭載されており，グを行う機能である．図 8 に，リチウムイオン電池正スリットよりも高い共焦点性を持つピンホールを利用し極材を，ZTrack を用いてラマンイメージングした事例て，ラマンピークをより顕在化させることが可能であを示す．凹凸のある試料表面であっても，100 倍の対る．微小な測定対象物の周辺に蛍光物質が存在する状況

物レンズを用いた高分解能なラマンイメージを測定できであっても，空間分解能の高い RAMANtouch は，蛍光ることが分かる．ZTrack は表面形状に沿ってフォーカの影響を抑えて測定することができる．二つ目は，蛍光スを自動調整するため，ポイント照明を利用する．ライの性質を利用することである．まずレーザーを一定時間照射し続けると，蛍光は次第に輝度が低下していくことが知られている．これは蛍光退色と呼ばれ，先に述べた電子の励起／脱励起が繰り返される中で，分子の蛍光を発する一部の化学結合が破壊されることによって引き起こされる．しかし分子構造自体はほとんど変わらないため，蛍光退色させた後に，ラマンピークを観測できる場合がある．またレーザー強度を強くすることも効果的である．励起光の強度を強くしていくと，通常のラマン散
乱光の輝度は線形に増大するが，蛍光の輝度は飽和することが知られている13）．つまりラマンピークの強度を相対的に目立たせることが可能になる．この方法は，レーザーによって損傷しにくい試料の場合に有効である．三つ目は，レーザーの波長を変えることである．近

図840

ZTrack を用いて測定したリチウムイオン電池正極材のラマンイメージ
明視野像から解析した表面形状を 3D で表示し，ラマンイメージを重ね合わせている．ラマンイメージの測定領域は 40 μm×40 μm 程度．試料の凹凸は，フルスケールで 10 μm 程度あるが，電池材料の成分分布を高分解能で描き出すことができる．

赤外域に近い波長 785 nm のレーザーを利用すると，光子エネルギーが低くなり蛍光は抑制される．また波長405 nm や 457 nm といった紫外域に近いレーザーを利用すると，ラマン散乱光の波長域が蛍光よりも短波長側になるため，ラマンピークを蛍光ピークから分離すること が 可 能 に な る．RAMANtouch に は， 標 準 的 に 波 長
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532 nm と 785 nm のレーザーが搭載されており，蛍光回 避 の た め に 785 nm は よ く 利 用 さ れ る． 最 近 は400 nm 台のレーザーを追加搭載するケースも増えてきている．

7 お わ り に
本稿では，ナノフォトン㈱のレーザー走査ラマン顕微
鏡 RAMANtouch の特徴と代表的な測定事例を紹介した．
「ラマン顕微鏡は難しそうだし，イメージング測定に時間が掛かるらしいから敷居が高い…」と思われている方は，是非 RAMANtouch の高速イメージングを体感していただきたい．高精細なラマンイメージが，素速く，そAppl. Phys. Express, 11, 111001（2018）.
10）谷川智之，足立真理子，寺田陸斗，塚越真悠子，上向井正裕，片山竜二：第 68 回応用物理学会春季学術講演会，
17a-Z27-4（2021）.
11）S. Nakashima and H. Harima : Phys. Status Solidi（a）162,39（1997）.
12）N. Sugiyama, M. Yamada, Y. Urakami, M. Kobayashi, T.
Masuda, K. Nishikawa, F. Hirose, S. Onda : MRS OPL, 1693,107（2014）.
13）K. Fujita, M. Kobayashi, S. Kawano, M. Yamanaka, S. Kawata :Phys. Rev. Lett., 99, 228105（2007）.
●●齋藤広大（Kohta Saitoh）
ナ ノ フ ォ ト ン 株 式 会 社 R&D セ ン タ ー（〒 562 ─ 0036 大阪府箕面市船場西 3 ─ 1 ─7）．慶應義塾大学大学院理工学研究科基して簡単に測定できることに驚かれると思う．他にも

礎理工学専攻後期博士課程修了．博士（理ユーザービリティ―が高く，解析機能の充実したソフト学）．《現在の研究テーマ》ラマン顕微鏡

ウェアを標準的に搭載しており，またオプション製品として，加熱冷却ステージや電池材料用の不活性セル
LIBcell なども用意している．本稿をきっかけに，ラマン顕微鏡に少しでも興味を持っていただければ幸いであの機能強化，及び新製品開発．《主な著書》“Tip Enhanced Raman Microscopy”，Comprehensive Nanoscience and Nanotechnology, 2ndedition, Vol. 4, pp.13 ─ 32（2019）（，Elsevier）．

E-mail : kohta.saitoh@nanophoton.jp

る．
青木克仁（Katsuyoshi Aoki）
ナノフォトン株式会社東京ショールーム

文献1） 藤田克昌：顕微鏡，43, 268（2008）.
2） HITRAN online.〈https://hitran.org〉．
3） N. M. Sijtsema, S. D. Wouters, C. J. De Grauw, C. Otto, J.
Greve : Appl. Spectrosc., 52, 348（1998）.
4） H.-J. van Manen, Y. M. Kraan, D. Roos, C. Otto : J. Phys.
Chem. B, 108, 18762（2004）.
5） K. Hamada, K. Fujita, N. I. Smith, M. Kobayashi, Y. Inouye, S.
Kawata : J. Biomed. Opt., 13, 044027（2008）.
6） A. Jorio, R. Saito, J. H. Hafner, C. M. Lieber, M. Hunter, T.

McClure, G. Dresselhaus, M. S. Dresselhaus : Phys. Rev. Lett.,
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7） H. Kataura, Y. Kumazawa, Y. Maniwa, I. Umezu, S. Suzuki, Y.
Ohtsuka, Y. Achiba : Synth. Met., 103, 2555（1999）.
8） 播磨 弘：材料，51, 983（2002）.
9） N. Kokubo, Y. Tsunooka, F. Fujie, J. Ohara, K. Hara, S. Onda，
H. Yamada, M. Shimizu, S. Harada, M. Tagawa, T. Ujihara :（〒 105 ─ 0003 東京都港区西新橋 3 ─ 6 ─

10 マストライフ西新橋 403）．筑波大学
大学院数理物質科学研究科電子・物理工学専攻博士後期課程修了．博士（工学）．
《現在の研究テーマ》ラマン顕微鏡のアプリケーション開発．
E-mail : katsuyoshi.aoki@nanophoton.jp
足立真理子（Mariko Adachi）
ナノフォトン株式会社大阪ショールーム
（〒 562 ─ 0036 大阪府箕面市船場西 3 ─ 1 ─7）．金沢大学理学部化学科（現 理工学域）卒業．《現在の研究テーマ》ラマン顕
微鏡のアプリケーション開発．
《主な著書》“ウェーハ上の異物分析”，「異物の分析，検出 事例集」第 4 章，第 3 節（技術情報協会，2020 年）．
E-mail：mariko.adachi@nanophoton.jp

会社ホームページ URL：

https：//www.nanophoton.jp/

関連製品ページ URL：

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