Offene Längenmessgeräte

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09/2024

Offene Längenmessgeräte

Längenmessgeräte erfassen die Position
von Linearachsen ohne zusätzliche mechanische Übertragungselemente. Dadurchwerden eine Reihe von möglichen Fehler­quellen ausgeschlossen:• Positionierfehler aufgrund der Erwärmung
der Kugelumlaufspindel• Umkehrfehler• kinematischer Fehler durch Steigungsfehler der Kugelumlaufspindel
Für Maschinen mit hohen Anforderungen
an die Positioniergenauigkeit und an die
Bearbeitungsgeschwindigkeit sind deshalb Längenmessgeräte unerlässlich.

Offene Längenmessgeräte kommen an
Maschinen und Anlagen zum Einsatz, dieeine hohe Genauigkeit des angezeigten
Messwerts erfordern. Typische Einsatz­gebiete sind:• Fertigungs- und Messeinrichtungen derHalbleiterindustrie• Bestückungsautomaten• Ultrapräzisionsmaschinen und -apparaturen z. B. Diamantdrehmaschinen für optische Bauteile, Plandrehmaschinen fürMagnetspeicherplatten, Schleifmaschinen
für Ferrit-Teile etc.
• hochgenaue Werkzeugmaschinen• Messmaschinen und Komparatoren,
Messmikroskope und andere Präzisionsgeräte der Messtechnik• Direktantriebe

InhaltMechanischer Aufbau
Offene Längenmessgeräte bestehen aus
einem Maßstab bzw. Maßband und einem
Abtastkopf und arbeiten berührungslos.
Bei offenen Längenmessgeräten wird derMaßstab auf einer Montagefläche befestigt. Eine hohe Ebenheit der Montagefläche ist daher eine notwendige Voraussetzung für hohe Genauigkeiten des
Längenmessgerätes.

Übersicht
Offene Längenmessgeräte

2

Auswahlhilfe

4

Messprinzipien

8

Zuverlässigkeit

12

Messgenauigkeit

14

Mechanische Geräte-Ausführungen und Anbau

17

Allgemeine mechanische Hinweise

21

Funktionale Sicherheit

22

LIC 4113, LIC 4193

24

LIC 4115, LIC 4195

26

LIC 4117, LIC 4197

28

LIC 4119, LIC 4199

30

LIC 4119FS

32

LIC 3117, LIC 3197

34

LIC 3119, LIC 3199

36

LIC 2117, LIC 2197

38

LIC 2119, LIC 2199

40

LIP 38242

LIP 211, LIP 281, LIP 291

44

LIP 6071, LIP 6081

46

LIF 471, LIF 481

48

LIDA 473, LIDA 483

50

LIDA 475, LIDA 485

52

LIDA 477, LIDA 487

54

LIDA 479, LIDA 489

56

LIDA 277, LIDA 287

58

LIDA 279, LIDA 289

60

PP 281 R

62

Schnittstellen

64Diagnose, Prüf- und Testgeräte

71

Signalkonverter

73

Technische Eigenschaften

Technische Daten
für absolute Positionserfassung

für hohe Genauigkeit

für hohe Verfahrgeschwindigkeit

Informationen über• Winkelmessgeräte mit Eigenlagerung• Modulare Winkelmessgeräte mit­optischer Abtastung• Modulare Winkelmessgeräte mit­magnetischer Abtastung• Drehgeber• Messgeräte für elektrische Antriebe• Längenmessgeräte für gesteuerte­Werkzeugmaschinen• Interface-Elektroniken• HEIDENHAIN-Steuerungenerhalten Sie auf Anfrage oder finden Sie im
Internet unter www.heidenhain.de

Weitere Informationen:
Mit Erscheinen dieses Prospekts verlieren
alle vorherigen Ausgaben ihre Gültigkeit.
Für die Bestellung bei HEIDENHAIN
maßgebend ist immer die zum Vertragsabschluss aktuelle Fassung des Prospekts.

Ausführliche Beschreibungen zu allen
verfügbaren Schnittstellen sowie all­gemeine elektrische Hinweise finden
Sie im Prospekt Schnittstellen von­HEIDENHAIN-Messgeräten
ID 1078628-xx.

Normen (EN, ISO, etc.) gelten nur, wenn
sie ausdrücklich im Prospekt aufgeführt
sind.

Die erforderlichen Anschlusskabel­finden Sie im Prospekt Kabel und­Steckverbinder ID 1206103-xx.

für Zwei-Koordinaten-Messung
Elektrischer AnschlussAuswahlhilfe
Absolute Messgeräte

Absolute Positionserfassung
Die offenen Längenmessgeräte LIC ermöglichen eine absolute Positionserfassungüber große Verfahrwege bis 28 m bei ebenfalls hoher Verfahrgeschwindigkeit.
Messgeräte zum Einsatz im Vakuum
Im Grob- und Feinvakuum können die Standardmessgeräte von HEIDENHAIN eingesetzt werden. Im Hoch- und Ultrahochvakuum werden spezielle Anforderungen an
die Messgeräte gestellt. Design und verwendete Materialien müssen speziell darauf abgestimmt sein. Weitere Informationen sind in der Technischen Information
Längenmessgeräte zum Einsatz im Vakuum zusammengefasst.

Basisabweichung

Teilungsträger und Montage

Genauigkeits­ im Intervall
klasseLIC 4100
für höchste Genauigkeit

Die Längenmessgeräte LIC 4113 V und
LIC 4193 V sind speziell für den Einsatz im
Hochvakuum angepasst. Nähere Informa­tionen sind in der entsprechenden Produkt­
information enthalten.

LIC 3100
für hohe Genauigkeit

Interpolations- Messlänge
abweichung

Schnitt­stelle

Typ

Seite

EnDat 2.2

LIC 4113
LIC 4113 V

244)

LIC 4193
LIC 4193 V

EnDat 2.2

LIC 41154)

LIC 4195

240 mm bis
6040 mm

EnDat 2.2

LIC 41174)

LIC 4197

70 mm bis1020 mm

EnDat 2.2

LIC 41194)

LIC 4199

70 mm bis1820 mm

EnDat 2.2

LIC 411932

bis 10 000 mm

EnDat 2.2

LIC 3117

34

4)

LIC 3197

EnDat 2.2

LIC 31194)

LIC 3199

120 mm bis3020 mm

EnDat 2.2

LIC 2117

4)

LIC 2197

120 mm bis3020 mm

EnDat 2.2

LIC 21194)

LIC 2199±1 µm1)
±3 µm
±5 µm

≤ ±0,275 µm/ Maßstab aus Glaskeramik oder
10 mm
Glas, auf Montagefläche geklebt
oder mit Spannpratzen befestigt±20 nm±5 µm≤ ±0,750 µm/ Stahlmaßband, in Aluminium-­
50 mm (typ.) Profile eingezogen und gespannt±20 nm±3 µm±5 µm2)±15 µm3)≤ ±0,750 µm/ Stahlmaßband, in Aluminium-­
50 mm (typ.) Profile eingezogen und fixiert±20 nm±3 µm
±15 µm3)≤ ±0,750 µm/ Stahlmaßband, auf Montagefläche
50 mm (typ.) geklebt±20 nm±15 µm3)≤ ±0,750 µm/ Stahlmaßband, in Aluminiumprofi50 mm (typ.) le eingezogen und mittig fixiert±100 nm

240 mm bis3040 mm

140 mm bis
28 440 mm

Stahlmaßband, auf
Montageflache geklebt
LIC 2100für einfachen Anbau±15 µm±15 µm––Stahlmaßband, in Aluminium-­
Profile eingezogen und fixiert±2 µm

Stahlmaßband, auf Montagefläche
geklebt±2 µm

LIC 41x3

26
LIC 41x5

28

30

38

LIC 41x7

LIC 31x9

LIC 21x7

40
LIC 21x9

1)

Bis Messlänge ML = 1640 mm
Ab Messlänge ML = 1240 mm
3)±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
4)
Fanuc Þi, Mitsubishi, Panasonic, Yaskawa
2)

4

5

Auswahlhilfe
Inkrementale Messgeräte

Höchste Genauigkeit
Die offenen Längenmessgeräte LIP zeichnensich durch kleinste Messschritte bei gleichzeitig höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit aus. Sie arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip und besitzen als
Maßverkörperung ein OPTODUR-Phasengitter. Die Längenmessgeräte LIP 211 und
LIP 291 geben die Positionsinformationen
als Positionswert aus. Hierzu werden im
Abtastkopf die sinusförmigen Abtastsignale
hoch interpoliert und über die integrierte
Zählerfunktion in einen Positionswert gewandelt. Der absolute Bezug erfolgt, wie
bei allen inkrementalen Messgeräten, mit
Hilfe von Referenzmarken.
Hohe Genauigkeit
Die offenen Längenmessgeräte LIF verfügenüber eine im SUPRADUR-Verfahren hergestellte Maßverkörperung und arbeiten nachdem interferentiellen Abtastprinzip. Sie besitzen eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, lassen sich besonders einfach
montieren und verfügen über Limit-Schalterund Homing-Spur. Die spezielle Version
LIF 481V kann im Hochvakuum eingesetzt
werden (siehe separate Produktinforma­tion).
Hohe Verfahrgeschwindigkeiten
Die offenen Längenmessgeräte LIDA
­eignen sich besonders für hohe Verfahr­geschwindigkeiten bis 10 m/s. Sie sinddurch die verschiedenen Montagemöglichkeiten besonders flexibel einsetzbar. Je
nach Version dienen Stahlmaßbänder,
Glas oder Glaskeramik als Träger für­METALLUR-Gitterteilungen. Sie verfügenüber Limit-Schalter.

Basisabweichung
Genauigkeits- im Intervall
klasse1)LIP
für höchste Genauigkeit

LIF
für hohe Genauigkeit

LIDA
für hohe Verfahr­geschwindigkeiten undgroße Messlängen

Zwei-Koordinaten-Messung
Das Zwei-Koordinaten-Messgerät PP besitzt als Maßverkörperung eine im DIADURVerfahren hergestellte flächige Phasengitterstruktur, die interferentiell abgetastet wird.
Dadurch ist die Positions­erfassung in derEbene möglich.

Messtechnik fürmehrere FreiheitsgradePP
für Zwei-Koordinaten-­
Messung

Interpolations- Signal­
abweichungperiodeMesslänge

Schnitt­
stelleTyp

Seite±0,5 µm3)≤ ±0,075 µm/ Zerodur-Glaskeramik eingebettet
5 mm
in anschraubbarem Invarträger±0,01 nm0,128 µm 70 mm bis
270 mm» 1 VSSLIP 38242±1 µm2)±3 µm≤ ±0,125 µm/ Maßstab aus Zerodur-Glaskeramik,
5 mm
mit Spannpratzen befestigt±0,4 nm7)

0,512 µm 20 mm bis3040 mm

EnDat 2.2

LIP 21144» 1 VSSLIP 281

Fanuc ÞiMitsubishi

LIP 291« TTL

LIP 6071» 1 VSSLIP 6081« TTL

LIF 171» 1 VSSLIF 181« TTL

LIF 471
LIF 471 V±1 µm5)±3 µm≤ ±0,175 µm/ Maßstab aus Zerodur-Glaskeramik
5 mmoder Glas, geklebt oder mit­Spannpratzen befestigt±1 µm8)±3 µm≤ ±0,175 µm/ Maßstab aus Zerodur-Glaskeramik
5 mmoder Glas, geklebt oder mit­Spannpratzen befestigt±1 µm5)±3 µm≤ ±0,225 µm/ Maßstab aus Zerodur-­Glaskeramik
5 mmoder Glas, mit Montagefilm­PRECIMET geklebt±1 µm9)
±3 µm
±5 µm

≤ ±0,275 µm/ Maßstab aus Glaskeramik oder
10 mm
Glas, auf Montagefläche geklebt±5 µm≤ ±0,750 µm/ Stahlmaßband, in Aluminium-­
50 mm (typ.) Profile eingezogen und gespannt±3 µm2)±5 µm±15 µm6)≤ ±0,750 µm/ Stahlmaßband, in Aluminium-­
50 mm (typ.) Profile eingezogen und fixiert±3 µm2)±15 µm6)≤ ±0,750 µm/ Stahlmaßband, auf Montagefläche
50 mm (typ.) geklebt±15 µm–±15 µmMULTI-DOF

Teilungsträger und Montage

±2 µm

–

–

Stahlmaßband, in Aluminium-­
Profile eingezogen und fixiert
Stahlmaßband, auf Montagefläche
geklebt

Teilungsplatte aus Glas, flächig
­geklebt

–

4 µm

±4 nm
–

4 µm

±12 nm–

4 µm

20 mm bis3040 mm
70 mm bis3040 mm4)
70 mm bis
1640 mm±12 nm–» 1 VSS

20 µm±45 nm–20 µm±45 nm–20 µm±45 nm–20 µm±45 nm–200 µm±2 µm
–200 µm±2 µm±12 nm7)

4 µm

240 mm bis3040 mm
140 mm bis
30040 mm
240 mm bis
6040 mmbis
6000 mm4)bis
10000 mm4)bis
10000 mm4)

46

LIP 281

Produktinfo
48

LIP 6081

ProduktLIF 481
info
LIF 481 V
LIF 481 U« TTL

LIDA 473 50» 1 VSS

LIDA 483« TTL

LIDA 475 52» 1 VSS

LIDA 485« TTL

LIDA 477 54» 1 VSS

LIDA 487« TTL

LIDA 479 56» 1 VSS

LIDA 489« TTL

LIDA 277 58» 1 VSS

LIDA 287« TTL

LIDA 279 60» 1 VSS

LIDA 289

Messbereich » 1 VSS
68 x 68 mm4)

LIP 382

PP 281

LIF 481

LIDA 489

LIDA 28762

12/20221)

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zur Messtechnik für mehrere Freiheitsgrade­finden Sie im Prospekt MULTI-DOF.

6

Im Intervall 1 m oder der Messlänge < 1 m (Genauigkeitsklasse)
Bis Messlängen 1020 mm bzw. 1040 mm
3)
Höhere Genauigkeitsklassen auf Anfrage
4)
Andere Messlängen/Messbereiche auf Anfrage
5)
Nur für Zerodur-Glaskeramik bis Messlänge 1020 mm2)6)

	±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in dernachfolgenden Elektronik
7)
Mit HEIDENHAIN-Interface-Elektronik
8)
Bis Messlänge 1640 mm
9)
Nur für Robax-Glaskeramik bis Messlänge 1640 mm

PP 281

7

Messprinzipien
Maßverkörperung

HEIDENHAIN-Messgeräte mit optischer
Abtastung benutzen Maßverkörperungenaus regelmäßigen Strukturen – sogenannte
Teilungen.
Als Trägermaterial für diese Teilungen dienen Glas- oder Stahlsubstrate. Bei Mess­
geräten für große Messlängen dient ein
Stahlband als Teilungsträger.
Die feinen Teilungen stellt HEIDENHAIN
durch speziell entwickelte, fotolithografische Verfahren her:
• METALLUR: verschmutzungsunempfindliche Teilung aus metallischen Strichen
auf Gold; typische Teilungsperiode 20 μm• SUPRADUR-Phasengitter: optisch drei­
dimensional wirkende, planare Struktur;
besonders verschmutzungsunempfindlich; typische Teilungsperiode 8 μm undkleiner• OPTODUR-Phasengitter: optisch drei­
dimensional wirkende, planare Struktur
mit besonders hoher Reflexion; typische
Teilungsperiode 2 µm und kleiner• TITANID-Phasengitter: Äußerst widerstandsfähige, optisch dreidimensional
wirkende Struktur mit hohem Reflexionsgrad; typische Teilungsperiode 8 µm

Absolutes Messverfahren

Inkrementales Messverfahren

Beim absoluten Messverfahren steht der
Positionswert unmittelbar nach dem Einschalten des Messgeräts zur Verfügung
und kann jederzeit von der nachfolgenden
Elektronik abgerufen werden. Ein Verfahrender Achsen zum Ermitteln der Bezugsposition ist nicht notwendig. Diese absolute
Positionsinformation wird aus der Teilung
der Maßverkörperung ermittelt, die als
serielle Codestruktur aufgebaut ist. Eine
separate Inkrementalspur wird für den­Positionswert interpoliert und – je nachSchnittstellenversion – gleichzeitig zum­Erzeugen eines optionalen Inkremental­
signals verwendet.

Beim inkrementalen Messverfahren besteht
die Teilung aus einer regelmäßigen Gitterstruktur. Die Positionsinformation wird durch
Zählen der einzelnen Inkremente (Messschritte) von einem beliebig gesetzten Nullpunkt aus gewonnen. Da zum Bestimmen
von Positionen ein absoluter Bezug erforderlich ist, verfügt die Maßverkörperungüber eine weitere Spur, die eine Referenzmarke trägt. Die mit der Referenzmarke
festgelegte absolute Position des Maßstabs ist genau einer Signalperiode zugeordnet.
Bevor also ein absoluter Bezug hergestelltoder der zuletzt gewählte Bezugspunkt
wiedergefunden wird, muss die Referenzmarke überfahren werden.

Im ungünstigen Fall sind Maschinenbewegungen über große Teile des Messbereichs
notwendig. Um dieses „ReferenzpunktFahren“ zu erleichtern, verfügen viele­HEIDENHAIN-Messgeräte über abstandscodierte Referenzmarken: die Referenzmarkenspur enthält mehrere Referenz­marken mit definiert unterschiedlichen
Abständen. Die Folge-Elektronik ermittelt
bereits beim Überfahren von zwei benachbarten Referenzmarken – also nach wenigen Millimetern Verfahrweg (siehe Tabelle)– den absoluten Bezug.
Messgeräte mit abstandscodierten Referenzmarken sind mit dem Buchstaben „C“ hinter der Typenbezeichnung gekennzeichnet(z. B. LIF 181 C).
Der absolute Bezug B wird bei abstands-­
codierten Referenzmarken durch Zählen
der Inkremente zwischen zwei Referenzmarken ermittelt und nach folgender­Formel berechnet:
P1 = (abs B–sgn B–1) x G + (sgn B–sgn V) x abs MRR
2
2
wobei:
B = 2 x MRR–G

Neben den feinen Teilungsperioden ermöglichen diese Verfahren eine hohe Kantenschärfe und eine gute Homogenität der­Teilung. Zusammen mit dem fotoelektrischen Abtastverfahren ist dies maßgebend
für die hohe Güte der Ausgangssignale.

Es bedeuten:
P1 =	Position der zuerst überfahrenen
Referenzmarke in Signalperioden
abs = Absolutbetrag

Die Originalteilungen fertigt HEIDENHAIN
auf eigens dafür hergestellten hochpräzisen Teilmaschinen.

sgn =	Signum-Funktion (Vorzeichen-Funktion = „+1“ oder „–1“)G=	Grundabstand zwischen zwei
­festen Referenzmarken in Signal­
perioden (siehe Tabelle)

V=	Verfahrrichtung (+1 oder –1)­Verfahren der Abtasteinheit nach
rechts (Anbau gemäß Anschlussmaße) ergibt „+1“MRR =	Anzahl der Signalperioden zwischenden überfahrenen Referenzmarken

Teilung absoluter Längenmessgeräte

Schematische Darstellung einer Codestruktur mit zusätzlicher Inkrementalspur (Beispiel für LIC 411x)

8

Teilungen inkrementaler Längenmessgeräte

Signal­periodeGrundabstand G max.
in Signalperioden ­Verfahrstrecke

LIF 1x1 C

4 µm

5000

20 mm

LIDA 4x3 C

20 µm

1000

20 mm

Schematische Darstellung einer inkrementalen Teilung mit abstandscodierten
Referenzmarken (Beispiel für LIDA 4x3 C)

9Fotoelektrische Abtastung

Die meisten HEIDENHAIN-Messgeräte­arbeiten nach dem Prinzip der fotoelektrischen Abtastung. Die fotoelektrische­Abtastung erfolgt berührungslos und damit
verschleißfrei. Sie detektiert selbst feinste
Teilungsstriche von wenigen Mikrometern
Breite und erzeugt Ausgangssignale mit
sehr kleinen Signalperioden.
Je feiner die Teilungsperiode einer Maß­verkörperung, umso mehr beeinflussen
Beugungserscheinungen die fotoelektrische Abtastung. HEIDENHAIN verwendet
bei Längenmessgeräten zwei Abtast­prinzipien:• das abbildende Messprinzip bei­Teilungsperioden von 10 µm bis 200 µm.
• das interferentielle Messprinzip fürsehr kleine Teilungsperioden vonz.B. 4 µm und kleiner.

Abbildendes Messprinzip
Das abbildende Messprinzip arbeitet – vereinfacht beschrieben – mit schattenoptischer Signalerzeugung: Zwei Strichgitter
mit beispielsweise gleicher oder ähnlicher
Teilungsperiode – Maßstab und Abtastplatte– werden zueinander bewegt. Das Trägermaterial der Abtastplatte ist lichtdurchlässig,
die Teilung der Maßverkörperung kannebenfalls auf lichtdurchlässigem oder auf
reflektierendem Material aufgebracht sein.

Signalperiode
360° el.

Fällt paralleles Licht durch eine Gitterstruktur, werden in einem bestimmten AbstandHell-/Dunkel-Felder abgebildet. Hier befindet sich ein Gegengitter mit gleicher oderähnlicher Teilungsperiode. Bei einer Relativbewegung der beiden Gitter zueinander
wird das durchfallende Licht moduliert:­Stehen die Lücken übereinander, fällt Licht
durch, befinden sich die Striche über den
Lücken, herrscht Schatten. Fotoelemente
wandeln diese Lichtänderungen in elektrische Signale um. Die speziell strukturierte
Teilung der Abtastplatte filtert dabei den
Lichtstrom so, dass annähernd sinusförmige Ausgangssignale entstehen. Je kleiner
die Teilungsperiode der Gitterstruktur,
umso geringer und enger toleriert ist der
Abstand zwischen Abtastplatte und Maßstab. Praktikable Anbautoleranzen ­eines
Messgeräts mit abbildendem Messprinzip
werden bei Teilungsperioden von 10 µm
und größer erzielt.

Der Sensor generiert vier annähernd­sinusförmige Stromsignale (I0°, I90°,
I180° und I270°), die um 90° el. zueinander phasenverschoben sind. Diese­Abtastsignale liegen zunächst nicht
symmetrisch zur Nulllinie. Die Foto­elemente sind daher antiparallel­geschaltet, so dass zwei um 90° el.
­verschobene, um die Nulllinie symmetrische Ausgangssignale I1 und I2­entstehen.
In der XY-Darstellung am Oszilloskop­ergeben die Signale eine Lissajous-­
Figur. Bei idealen Ausgangssignalen
entsteht ein Kreis in mittiger Position.
Abweichungen in Kreisform und Lageverursachen Positionsabweichungenund gehen somit direkt in das Mess­ergebnis ein. Die Größe des Kreises – er
entspricht der Amplitude der Ausgangssignale – darf innerhalb bestimmter
Grenzen variieren, ohne die Messgenauigkeit zu beeinflussen.

Interferentielles Messprinzip
Das interferentielle Messprinzip nutzt die
Beugung und die Interferenz des Lichts an
fein geteilten Gittern, um Signale zu erzeugen, aus denen sich die Bewegung ermitteln lässt.
Als Maßverkörperung dient ein Stufen­
gitter: Auf einer ebenen, reflektierenden
Oberfläche sind reflektierende Striche mit
0,2 µm Höhe aufgebracht. Davor befindet
sich als Abtastplatte ein lichtdurchlässiges
Phasengitter mit der gleichen Teilungs­
periode wie der Maßstab.
Fällt eine ebene Lichtwelle auf die Abtastplatte, wird sie durch Beugung in drei Teilwellen der 1., 0. und –1. Ordnung mit­annähernd gleicher Lichtintensität aufgespalten. Sie werden auf dem PhasengitterMaßstab so gebeugt, dass der Großteil der
Lichtintensität in der reflektierten 1. und –1.
Beugungsordnung steckt. Diese Teilwellen
treffen am Phasengitter der Abtastplatte
wieder aufeinander, werden erneut gebeugt
und interferieren. Dabei entstehen im­Wesentlichen drei Wellenzüge, welche die
Abtastplatte unter verschiedenen Winkeln
verlassen. Fotoelemente wandeln dieseLichtintensitäten in elektrische Signale um.

Bei einer Relativbewegung zwischen Maßstab und Abtastplatte erfahren die gebeugten
Wellenfronten eine Phasenverschiebung:
Die Bewegung um eine Teilungsperiode
verschiebt die Wellenfront der 1. Beugungsordnung um eine Wellenlänge nach Plus,
die Wellenfront der –1. Beugungsordnungum eine Wellenlänge nach Minus. Da diesebeiden Wellen am Austritt aus dem Phasengitter miteinander interferieren, verschieben sich diese Wellen zueinander um zwei
Wellenlängen. Man erhält also zwei Signalperioden bei einer Relativbewegung um
eine Teilungsperiode.
Interferentielle Messgeräte arbeiten mit
Teilungsperioden von z.B. 8 µm, 4 µm oderfeiner. Ihre Abtastsignale sind weitgehendfrei von Oberwellen und können hoch interpoliert werden. Sie eignen sich daher besonders für kleine Messschritte und hohe
Genauigkeit. Trotzdem zeichnen sie praxisgerechte Anbautoleranzen aus.
Nach dem interferentiellen Messprinzip­arbeiten die Längenmessgeräte der Produktfamilien LIP, LIF und PP.

Nach dem abbildenden Messprinzip arbeiten die Längenmessgeräte LIC und LIDA.
90° el.

Phasenversatz
XY-Darstellung der Ausgangssignale

MaßstabFenster

Strukturierter
Detektor

Maßstab

Beugungsordnungen–1. 0. +1.

Maßstabteilung
DIADUR-Phasengitter
Kondensor

Lichtquelle
LED

Abtastplatte
Kondensor
Teilungsperiode
Abtastgitter

Lichtquelle LED

10

Fotoelektrische Abtastung nach dem abbildenden Messprinzip mit Stahlmaßstab und Einfeld-­
Abtastung (LIDA 400)

Abtastplatte:transparentes Phasengitter

Foto­
elemente

Fotoelektrische Abtastung nach dem interferentiellen Messprinzip mit Einfeld-Abtastung11

Zuverlässigkeit

Geringe Verschmutzungsempfindlichkeit
Neben der hohen Qualität der Gitterteilung
ist das Abtastverfahren mit verantwortlich
für Genauigkeit und Zuverlässigkeit der
Längenmessgeräte. Die offenen Längenmessgeräte von HEIDENHAIN arbeiten mit
einer Einfeld-Abtastung. Dabei wird ein
großes Abtastfeld zur Erzeugung der Abtastsignale verwendet. Lokale Verschmutzungen auf der Maßverkörperung (z. B. Fingerabdrücke während der Montage oderÖlablagerungen aus Führungen u. a.) beeinflussen die Lichtintensität der Signalkomponenten und somit die Abtastsignale nur
gering. Die Ausgangssignale ändern sichdadurch zwar in ihrer Amplitude, jedoch nicht
in Offset und Phasenlage. Sie sind nachwie vor hoch interpolierbar, die Positionsabweichungen innerhalb einer Signalperiode
bleiben gering.

Beim OPTODUR- und beim SUPRADURVerfahren befindet sich über der reflektierenden Grundschicht zuerst eine transparente
Schicht. Darauf wird zur Erzeugung eines optisch dreidimensionalen Phasengitters eine
extrem dünne, nur wenige Nanometer dicke
Hartchromschicht aufgebracht. Ganz ähnlich
aufgebaut sind die nach dem METALLURVerfahren hergestellten Teilungen für das
abbildende Messprinzip. Eine reflektierendeGoldschicht ist mit einer dünnen Abstandsschicht aus Glas versehen. Darauf befinden sich die als Absorber wirkenden, nur
wenige Nanometer dicken und daher
teildurchläs­sigen Chromstriche. Maßverkörperungen mit OPTODUR-, SUPRADUR- und
METALLUR-Teilung erweisen sich als­besonders robust und unempfindlich gegen
Verschmutzungen, da die geringen Strukturhöhen praktisch keine Angriffsflächen fürStaub-, Schmutz- oder Feuchtigkeitspartikelbieten.

Die Messgeräte LIDA, LIF und LIP 6000 sind
mit dem HEIDENHAIN-Signal-ProzessorASIC HSP 1.0 ausgestattet. Der ASIC überwacht permanent das Abtastsignal undgleicht Schwankungen der Signalamplitude
nahezu vollständig aus. Nimmt die Signal­
amplitude aufgrund von Verschmutzungender Abtastplatte oder Maßverkörperung ab,
regelt der ASIC diese durch Anheben desLED-Stromes nach. Durch die damit verbundene Erhöhung der Lichtintensität der
LED wird der Rauschanteil selbst bei starkem Eingriff der Signalstabilisierung kaum
erhöht. Dadurch ist der Einfluss von Verschmutzungen auf die Interpolationsabweichungen und das Positionsrauschen sehrgering.

Signal in VSS 

Öl1)

Draht

Öl2)

1.2
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0
0

Interpolationsabweichungund Rauschen in μm 

Das große Abtastfeld reduziert die Verschmutzungsempfindlichkeit zusätzlich.
Je nach Verunreinigung kann auch ein Ausfall des Messgeräts vermieden werden.
Besonders deutlich zeigt sich dies bei
LIDA 400 und LIF 400 mit einer im Vergleich
zur Teilungsperiode sehr großen Abtastfläche
von 14,5 mm2, sowie beim LIC 4100 mit
15,5 mm2 Abtastfläche. Selbst bei Verunreinigungen durch Druckerschwärze, Platinenstaub, Wasser- oder Öltropfen mit bis zu
3 mm Durchmesser liefern die Gerätehochwertige Messsignale. Die Positions­abweichungen bleiben weit unter den als
Genauigkeitsklasse des Maßstabs spezifizierten Werten.

Fingerabdruck

40

60

80

100
120
Position in mm 

10
–1
100 nm50 nm
0–50 nm–100 nmmit Signal-Processing-ASIC HSP 1.0
ohne Signal-Processing-ASIC HSP 1.0
1), 2) = Öltropfen ¬ 2 mm – Inkrementalspur halb1) bzw. ganz2) bedeckt.

Praxisgerechte Anbautoleranzen
Mit sehr kleinen Signalperioden sind normalerweise sehr enge Anbautoleranzen fürden Abstand zwischen Abtastkopf undMaßband verbunden. Ursache dafür sindBeugungseigenschaften der Gitterstrukturen. Sie können zu einem Signalabfall von
50 % bei nur ±0,1 mm Abstandsänderung
führen. Das interferentielle Abtastprinzip
sowie neuartige Abtastgitter bei den Messgeräten mit abbildendem Messprinzip ermöglichen praxisgerechte Anbautoleranzen
trotz kleiner Signalperioden.
Die Anbautoleranzen der offenen Längenmessgeräte von HEIDENHAIN beeinflussen
die Ausgangssignale nur in geringem Maß.
Insbesondere die angegebene Abstands­
toleranz zwischen Maßstab und Abtastkopf(Arbeitsabstand) verändert die Signalamplitude nur unwesentlich. Im Betrieb wird die
Zuverlässigkeit und Stabilität der Signale zusätzlich durch den HSP 1.0 verbessert. Fürdie Geräte der Baureihen LIDA 400 und
LIF 400 ist der Zusammenhang zwischen
Arbeitsabstand und Signalgröße in den­beiden Diagrammen exemplarisch dar­gestellt.

OPTODUR
SUPRADUR
Reflektierende
Schicht
Transparente
Schicht

Reflektierende
Grundschicht

Substrat

METALLUR
Teildurchlässige
Schicht
Transparente
Schicht

Reflektierende
Grundschicht

Signalgröße in % 

Widerstandsfähige Maßverkörperungen
Bei offenen Längenmessgeräten ist die
Maßverkörperung naturgemäß einer­erhöhten Belastung ausgesetzt. Deshalb
verwendet HEIDENHAIN generell robuste
Teilungen, die in speziellen Verfahren hergestellt werden.

Anbautoleranzz.B. LIDA 403/409= ohne HSP 1.0= mit HSP 1.0

Signalgröße in % 

Die offenen Längenmessgeräte von­HEIDENHAIN sind optimiert für den Einsatz an präzisen und schnellen Maschinen.
Trotz der offenen Bauform weisen sie eine
geringe Verschmutzungsempfindlichkeit
auf, gewährleisten hohe Langzeitstabilität
und sind schnell und einfach zu montieren.

Anbautoleranz
LIF 400

Maßverkörperung mit Verschmutzungen und die dazugehörenden Signalamplituden bei herkömmlicher Abtastung und Abtastung mit dem Signal-Processing-ASIC HSP 1.0= ohne HSP 1.0= mit HSP 1.0

12Arbeitsabstand in mm 

Arbeitsabstand in mm 

13

Messgenauigkeit

Zu den messgerätspezifischen Positions­abweichungen zählen:• Genauigkeit der Maßverkörperung• Genauigkeit der Interpolation• Positionsrauschen
Genauigkeit der Maßverkörperung
Die Genauigkeit der Maßverkörperung
beinhaltet im Wesentlichen:• die Homogenität und Periodenschärfe
der Teilung• die Ausrichtung der Teilung auf dem
Teilungsträger• die Stabilität des Teilungsträgers
Die Genauigkeit der Maßverkörperung wird
durch den unkorrigierten maximalen Wert
der Basisabweichung angegeben. Siewird unter idealen Bedingungen ermittelt,
indem mit einem Serien-Abtastkopf die­Positionsabweichungen gemessen werden.
Der Abstand der Messpunkte entspricht
dem ganzzahligen Vielfachen der Signal­
periode, dadurch haben Interpolations­abweichungen keinen Einfluss.
Die Genauigkeitsklasse a definiert die
Obergrenze der Basisabweichung innerhalb eines beliebigen, maximal 1 m langen
Abschnitts. Für besondere Messgeräte
wird zusätzlich eine Basisabweichung fürdefinierte Intervalle der Maßverkörperung
angegeben.

Die Genauigkeit der Interpolation wird mit
einer Serienmaßverkörperung ermittelt unddurch einen typischen maximalen Wert u
der Interpolationsabweichung angegeben.
Geräte mit analoger Schnittstelle werden
mit einer HEIDENHAIN-Elektronik (z. B.
EIB 741) geprüft. Die maximalen Werte­beinhalten kein Positionsrauschen und­werden in den technischen Daten angegeben.

Positionsrauschen
Als Positionsrauschen wird ein Zufalls­
prozess bezeichnet, der zu nicht vorher­sagbaren Positionsabweichungen führt.
Dabei gruppieren sich Positionswerte inForm einer Häufigkeitsverteilung um einen
Erwartungswert.
Das Positionsrauschen hängt von den zur
Bildung der Positionswerte erforderlichen
Bandbreiten in der Signalverarbeitung ab.
Es wird innerhalb eines definierten Zeit­
intervalls ermittelt und produktspezifischals RMS-Wert angegeben.
Das Positionsrauschen beeinflusst im­Geschwindigkeitsregelkreis das Gleichlaufverhalten bei niedriger Verfahrgeschwindigkeit.

PositionsabweichungBasisabweichung0

ML
PositionAnwendungsabhängige­Positionsabweichungen

Bei Messgeräten ohne Eigenlagerung hat
der Einbau des Messgeräts in die Maschine zusätzlich zu den angegebenen
messgerätspezifischen Positionsabweichungen maßgeblichen Einfluss auf die­erzielbare Gesamtgenauigkeit. Zur Beurteilung der Gesamtgenauigkeit müssen die
anwendungsabhängigen Abweichungeneinzeln ermittelt und berücksichtigt werden.
Verformung der Teilung
Nicht zu vernachlässigen sind Abweichungen aufgrund einer Verformung der Teilung.
Sie entstehen, wenn die Maßverkörperung
auf einer unebenen, z. B. gewölbten Anbaufläche montiert wird.

Vibration
Für einen einwandfreien Betrieb darf das
Messgerät nicht ständig hohen Vibrationen
ausgesetzt sein. Als Anbauflächen kommen
daher die massiven Maschinenelemente inFrage; der Anbau an Hohlkörper sollte vermieden werden, ebenso der Anbau überKlötze etc.
Temperatureinfluss
Die Längenmessgeräte sollen nicht in derNähe von Wärmequellen befestigt werden,um Temperatureinflüsse zu vermeiden.

Anbauort
Bei ungünstigem Anbau der Längenmessgeräte können insbesondere Führungsfehler die Positionswerte stark beeinflussen.
Um den daraus resultierenden Abbé-Fehler
sehr klein zu halten, sollte der Maßstab
möglichst in Tischhöhe am Maschinenschlitten befestigt werden. Bei der Anbaufläche ist grundsätzlich auf die Parallelität
zur Maschinenführung zu achten.

Die Interpolationsabweichung wirkt sichschon bei sehr kleinen Verfahrgeschwindigkeiten und bei Wiederholmessungen aus.
Insbesondere im Geschwindigkeitsregelkreis führt sie zu Schwankungen der Verfahrgeschwindigkeit.

Genauigkeit der Interpolation

SignalpegelPositionsabweichung

Genauigkeit der Maßverkörperung

Genauigkeit der Interpolation
Die Genauigkeit der Interpolation wird im
Wesentlichen bestimmt durch:• die Feinheit der Signalperiode• die Homogenität und Periodenschärfe
der Teilung• die Güte der Filterstrukturen der­Abtastung• die Charakteristik der Sensoren• die Güte der Signalverarbeitung

Positionsrauschen

Interpolations­abweichungSignalperiode
360° el.

RMS

Diese Einflussgrößen teilen sich auf in messgerätespezifische Positionsabweichungen
und anwendungsabhängige Faktoren. Zur
Beurteilung der erzielbaren Gesamtgenauigkeit müssen alle einzelnen Einflussgrößen
berücksichtigt werden.

Messgerätspezifische­PositionsabweichungenPositionsabweichung 

Die Genauigkeit der Längenmessung wird
im Wesentlichen beeinflusst durch:• die Güte der Teilung• die Qualität des Teilungsträgers
• die Güte der Abtastung• die Güte der Signalverarbeitungs-­
Elektronik• den Einbau des Messgeräts in der­Maschine

Zeit 

Häufigkeitsdichte

Position

1415

Mechanische Geräte-Ausführungen und Anbau
Maßstäbe

Messprotokoll

Die offenen Längenmessgeräte bestehen
aus den separaten Komponenten Abtastkopf und Maßstab bzw. Maßband. Sie werden ausschließlich über die Maschinenführung zueinander geführt. Dadurch sindbereits bei der Konstruktion der Maschine
gewisse konstruktive Voraussetzungen zu
berücksichtigen:• Die Maschinenführung ist so auszulegen,dass die Abstandstoleranzen am Einbauort des Messgeräts (siehe Technische
Daten) eingehalten werden• Die Montagefläche des Maßstabesmuss den Ebenheitsanforderungenentsprechen• Um die Justage des Abtastkopfes zum
Maßstab zu erleichtern, sollte er über­einen Montagewinkel befestigt werden

Alle Längenmessgeräte von HEIDENHAIN
werden vor der Auslieferung auf ihre Funktion geprüft und die Genauigkeit vermessen.
Die Genauigkeit der Längenmessgeräte
wird beim Verfahren in beiden Richtungenermittelt. Die Anzahl der Messpositionen
ist dabei so gewählt, dass nicht nur die
langwelligen Abweichungen, sondern auchdie Positionsabweichungen innerhalb einer­Signalperiode sehr genau erfasst werden.
DIe Qualitätsprüfbescheinigung bestätigt
die angegebene Genauigkeitsklassen jedes
Messgeräts. Die ebenfalls aufgelisteten
Kalibriernormale gewährleisten – wie in
EN ISO 9001 gefordert – den Anschluss ananerkannte nationale oder internationale
Normale.
Für die Baureihen LIP und PP dokumentiert
zusätzlich ein Messprotokoll die ermittelten
Positionsabweichungen über die Messlänge. Ebenso angegeben sind die Mess­parameter und die Unsicherheit der Messung.
Temperaturbereich
Die Längenmessgeräte werden bei einer
Bezugstemperatur von 20 °C vermessen.
Bei dieser Temperatur gilt die im Messprotokoll dokumentierte Positionsabweichung.

Qualitätsprüfbescheinigung

Quality Inspection Document

LIP 201R

ID 631000-06
SN 644332486

Positionsabweichung F [µm]Position error F [µm]

3,0
2,0
1,0
0,0
-1,0
-2,0
-3,0

0

80

160

240

Die Messkurve zeigt die Mittelwerte der Positionsabweichungen
aus Vorwärts- und Rückwärtsmessung.

The error curve shows the mean values of the position errors frommeasurements in forward and backward direction.

Positionsabweichung F des Maßstabs: F= PosM - PosE
PosM = Messposition der Messmaschine
PosE = Messposition des Maßstabs

Position error F of the scale: F= PosM - PosE
PosM = position measured by the measuring machine
PosE = position measured by the scale

Maximale Positionsabweichung der Messkurve
innerhalb 320 mm

320

Messposition PosE [mm]Measured position PosE [mm]Unsicherheit der Messmaschine

within 320 mm± 0.14 µm

Uncertainty of the measuring machine

U95% = 0,04 µm + 0,40 · 10-6·L (L=Länge Messintervall)

U95% = 0.04 µm + 0.40 · 10-6·L (L=measurement interval length)

Messparameter

Measurement parameters

Messschritt

1000 µm

Measurement step

Erster Referenzimpuls bei Messposition

160,0 mmFirst reference pulse at measured position

160.0 mm

Relative Luftfeuchtigkeit

max. 50%

Relative humidity

max. 50%1000 µm

Dieser Maßstab wurde unter strengen
HEIDENHAIN-Qualitätsnormen hergestellt und geprüft.
Die Positionsabweichung liegt bei einer Bezugstemperatur
von 20 0C innerhalb der Genauigkeitsklasse ± 1,0 µm.

This scale has been manufactured and inspected inaccordance with the stringent quality standards of HEIDENHAIN.
The position error at a reference temperature of 20 0C lies within
the accuracy grade ± 1.0 µm.

In der Applikation entstehen zusätzliche Positionsabweichungen.
Beachten Sie hierzu die Angaben im Prospekt.

Additional position errors arise in the application. Please note the information
about this in the brochure.

Kalibriernormale

Kalibrierzeichen

Jod-stabilisierter He-Ne Laser*
Wasser-Tripelpunktzelle
Gallium-Schmelzpunktzelle
Barometer
Luftfeuchtemessgerät

40071 PTB 21
74038 PTB 22
74058 PTB 21
05937704 D-K-15105 2022-02
0352 D-K-19342 2022-03

Calibration standards
Calibration marks
40071 PTB 21
Iodine-stabilized He-Ne Laser*
74038 PTB 22
Water triple point cell
74058 PTB 21
Gallium melting point cell05937704 D-K-15105 2022-02
Pressure gauge0352 D-K-19342 2022-03
Hygrometer* The frequency of the iodine-stabilized laser is externally calibrated on aregular basis. Between these calibrations, frequency monitoring is also
performed internally at HEIDENHAIN by means of an atomic clock (cesium
frequency standard) and a frequency comb.

* Die Frequenz des Jod-stabilisierten Lasers wird regelmäßig extern kalibriert.
Zwischen den Kalibrierzeitpunkten findet HEIDENHAIN-intern zusätzlich eine
Frequenzüberwachung mittels Atomuhr (Cäsium-Frequenzstandard) und
Frequenzkamm statt.

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH . 83301 Traunreut . www.heidenhain.de . Telefon: +49 8669 31-0 . Fax: +49 8669 32-5061

04.03.2024

Prüfer/Inspected by

Maßstab
LIP 6001
LIC 4003

Maßstabversionen
HEIDENHAIN liefert für die verschiedenen
Einsatzmöglichkeiten und Genauigkeits­
anforderungen die passende Maßstab­
ausführung.
LIP 201
LIP 6001
LIC 4003
Die Teilungsträger werden mit Spannpratzen
direkt auf die Montagefläche geklemmt.
Mit einem Halter wird der thermische­Fixpunkt festgelegt.

Maximum position error of the error curve± 0,14 µm

MaßstabLIP 201

Zubehör für LIC 41x3 und LIP 60x1:
Spannpratzen
ID 1176458-01
Halter thermischer
Fixpunkt
ID 1176475-01
Abstandsfolien
ID 1176441-01
Klebstoff*
ID 1180444-01
Doppelkartuschenpresse
ID 1180450-01
Dosiernadeln undMischrohre
ID 1176444-01

Maßstab
LIF 101 C

Maßstab
LIP 6001
LIF 401
LIDA 403
LIC 4003

M. Holzapfel

LIP 6001
LIF 401
LIDA 403
LIC 4003
Die Teilungsträger werden mit Hilfe desMontagefilms PRECIMET direkt auf die
Montagefläche geklebt und mit einem­Roller gleichmäßig angedrückt. Mit einer
Epoxidklebestelle kann ein thermischer­Fixpunkt festgelegt werden.
Zubehör
RollerID 276885-01* Achtung: Kein Lufttransport (Gefahrgut)
Handelsbezeichnung: 3M Scotch-Weld
Epoxy Adhesive DP-460 EG

16

17

Mechanische Geräte-Ausführungen und Anbau
Abtastköpfe

LIC 41x5
LIDA 4x5
Die Messgeräte der Baureihen LIC 41x5
und LIDA 4x5 eignen sich besonders für
große Messlängen. Zur Montage werden
Maßbandträger-Teilstücke auf die Montagefläche geschraubt oder mit dem Montagefilm PRECIMET geklebt. Anschließend wird
das einteilige Stahlmaßband eingezogen,definiert gespannt und an den Endenzum Maschinenbett fixiert. LIC 41x5 und
LIDA 4x5 verhalten sich daher thermisch
wie die Montagefläche.
LIC 21x7
LIC 31x7
LIC 41x7
LIDA 2x7
LIDA 4x7
Die Geräte dieser Baureihen sind ebenfalls
für größere Messlängen ausgelegt. Die
Maßbandträger-Teilstücke werden mit dem
Montagefilm PRECIMET auf die Auflage­
fläche geklebt, das einteilige Maßband eingezogen und mittig zum Maschinenbett­fixiert. Durch diese Befestigung kann sichdas Maßband nach beiden Enden frei ausdehnen und gewährleistet ein definiertes
thermisches Verhalten.

Maßband LIC 4005, LIDA 405

Anbau LIP 2x1
LIP 2x kann von der Seite sowie von oben
befestigt werden. Der Gehäusedeckel verfügt oben über eine erhöhte Kontaktfläche
zur thermischen Anbindung für eine optimale Wärmeabfuhr. Diese wird bei Montage an das Montage-Element angefedert.

Maßband LIC 4007, LIC 3107, LIC 2107, LIDA 207/407

Anbau LIC/LIDA
Zur Montage des Abtastkopfs stehen drei
Anbaumöglichkeiten zur Verfügung (siehe
Anschlussmaße). Der Abstand zum Maßstab bzw. Maßband wird einfach über eine
Abstandsfolie eingestellt. Vorteilhaft ist die
Befestigung des Abtastkopfs von hintenüber einen Montagewinkel. Der Abtastkopf
kann dann durch eine Bohrung im Montage­
winkel mit Hilfe eines Werkzeugs sehr feinfühlig verdreht werden.

Montagehilfe(für LIC 41x7, LIDA 4x7)

Zubehör für Ausführungen mit PRECIMET
RollerID 276885-01
Montagehilfe LIDA 2x9
ID 1070307-01
Montagehilfe LIC 21x9
ID 1070853-01

18

Maßband LIC 4009, LIC 3109, LIC 2109, LIDA 209/409

LIP 200

Abstandsfolie

LIP 6000

Anbau LIP 60x1
LIP 60x kann von der Seite sowie von oben
befestigt werden. Bei der Montage vonoben ist es zusätzlich möglich, durch das
Setzen eines Passstiftes von wahlweise¬ 2 mm oder ¬ 3 mm einen festen Drehpunkt zu definieren. Damit kann der Abtastkopf einfach parallel zum Maßstab ausgerichtet werden. Nach der Montage kann
der Passstift wieder entfernt werden.
Anbau LIF
Der Abtastkopf verfügt über einen Zentrierbund, über den er in der Aufnahmebohrung
des Montagewinkels verdreht und so parallel zum Maßstab ausgerichtet werden kann.

Zubehör für LIC 41x7, LIDA 4x7
MontagehilfeID 373990-01

LIC 21x9
LIC 31x1
LIC 41x9
LIDA 2x9
LIDA 4x9
Das Stahlmaßband mit der Teilung wird mit
Hilfe des Montagefilms PRECIMET direkt
auf die Montagefläche geklebt und mit einem Roller gleichmäßig angedrückt. Zur
seitlichen Ausrichtung des Maßbandes ist
ein Absatz oder eine Anschlagleiste mit
0,3 mm Höhe vorzusehen.

Da die offenen Längenmessgeräte an derMaschine aufgebaut werden, ist nach derMontage ein exakter Abgleich notwendig,
der die endgültige Genauigkeit des Messgeräts entscheidend bestimmt. Es ist deshalb zweckmäßig, durch die Konstruktion
der Maschine die Justage einerseits so einfach und praktikabel wie möglich zu gestalten, andererseits auf möglichst stabilen
Aufbau zu gewährleisten.

Abstandsfolie

Option 1
Option 2

LIF 400
Abstandsfolie

LIC/LIDA
Abstandsfolie

Justage
Der Arbeitsabstand zwischen Maßstab und
Abtastkopf wird einfach mit Hilfe der Abstandfolie eingestellt.
Der Abgleich der Signale erfolgt bei LIC,
LIP 6000 und LIP 200 schnell und einfach
mit Hilfe des Justage- und Prüfpaketes
PWM 20/21. Bei allen anderen offenen Längenmessgeräten werden Inkremental- undReferenzmarkensignale durch geringes
Drehen des Abtastkopfes eingestellt (beiLIDA 400 mit Hilfe eines Werkzeugs möglich).
Zur Unterstützung des Abgleichs liefert
HEIDENHAIN die entsprechenden Messmittel (siehe Diagnose und Prüfmittel).

3) nur bei LIDA 400

19

Allgemeine mechanische Hinweise

Funktionsanzeige

Temperaturbereich
Der Arbeitstemperaturbereich gibt an,­zwischen welchen Temperaturgrenzen der
Umgebung die technischen Daten der­Längenmessgeräte eingehalten werden.
Der Lagertemperaturbereich von –20 °C
bis 70 °C gilt für das Gerät in der Ver­packung.

Die Längenmessgeräte LIDA, LIF und
LIP 6071 verfügen über eine integrierte
Funktionsanzeige mittels Mehrfarben-LED.
Damit kann während des Betriebs die­Signalqualität schnell und einfach überprüft
werden.
Die Funktionsanzeige bietet eine Reihe vonVorteilen:• Anzeige der Qualität der Abtastsignale
durch eine mehrfarbige LED• Permanente Kontrolle der Inkremental­
signale über die gesamte Messlänge• Funktionsanzeige des Referenzmarken­
signals• Schnelle Funktionskontrolle im Feld ohne
Hilfsmittel

LIDA: Funktionsanzeige im Abtastkopf

Die integrierte Funktionsanzeige erlaubt­sowohl eine qualifizierende Beurteilung derInkrementalsignale als auch eine Kontrolle
des Referenzmarkensignals. Die Qualität
der Inkrementalsignale wird durch farbliche Abstufungen verdeutlicht. Dadurch
wird eine recht detaillierte Abstufung der
Signalqualität möglich. Die Toleranzhaltigkeit des Referenzmarkensignals wirdüber eine Gut-/Schlecht-Anzeige dargestellt.

Die Teilungsträger der HEIDENHAIN-­
Längenmessgeräte (siehe Technische­Daten) haben unterschiedliche thermische
Längenausdehnungs-Koeffizienten. Dadurch
kann das für die jeweilige Mess­aufgabe
vom thermischen Verhalten ge­eignete­Längenmessgerät ausgewählt werden.

LED-Anzeige Inkrementalsignale
LED Farbe

Qualität der­Abtastsignale

optimal

gut

akzeptabel

unzureichend

Thermisches Verhalten
Das Temperaturverhalten des Längenmessgeräts ist ein wesentliches Kriterium für die
Arbeitsgenauigkeit der Maschine. Im Allgemeinen sollte das thermische Verhalten
des Längenmessgeräts mit demjenigen
des Werkstückes bzw. Messobjektes übereinstimmen. Bei Temperaturänderungensollte sich das Längenmessgerät definiert
und reproduzierbar ausdehnen oder verkürzen.

LIF, LIP 6071: Funktionsanzeige in der Anpass­elektronik

Verschleißteile
Messgeräte von HEIDENHAIN sind füreine lange Lebensdauer konzipiert. Eine
vorbeugende Wartung ist nicht erforderlich.
Sie enthalten jedoch Komponenten, die­einem von Anwendung und Handhabung
abhängenden Verschleiß unterliegen. Dabei
handelt es sich insbesondere um Kabel inWechselbiegung.
Bei Messgeräten mit Eigenlagerung kommen Lager, Wellendichtringe bei Drehgebern und Winkelmessgeräten sowie Dichtlippen bei gekapselten Längenmessgeräten
hinzu.

Schutzart (EN 60529)
Die Abtastköpfe der offenen Längenmessgeräte weisen folgende Schutzart auf:
Abtastkopf

Schutzart

LIC

IP67

LIDA

IP40

LIF

IP50

LIP 200

IP40

LIP 300
LIP 6000

IP50

PP

IP50

Die Maßstäbe haben keinen besonderen
Schutz. Sind sie einer Verschmutzung ausgesetzt, müssen entsprechende Schutzmaßnahmen getroffen werden.
Beschleunigungen
Im Betrieb und während der Montage sind
Längenmessgeräte verschiedenen Artenvon Beschleunigungen ausgesetzt.
• Die genannten Höchstwerte für die Vibrationsfestigkeit gelten bei Frequen­zen
von 55 Hz bis 2000 Hz (EN 60068-2-6).
Werden z. B. bei Resonanzen, abhängig
von der Anwendung und dem Anbau,
die zulässigen Beschleunigungswerteüberschritten, kann das Messgerät­beschädigt werden. Es sind deshalb­ausführliche Tests des kompletten­Systems erforderlich• Die Höchstwerte der zulässigen Beschleunigung (halbsinusförmiger Stoß)zur Schock- bzw. Stoßbelastung gelten
bei 11 ms bzw. 6 ms (EN 60068-2-27).
Schläge bzw. Stöße mit einem Hammero. ä., beispielsweise zum Ausrichten desGeräts, sind auf alle Fälle zu vermeiden

Systemtests
Messgeräte von HEIDENHAIN werden inaller Regel als Komponenten in Gesamtsysteme integriert. In diesen Fällen sindunabhängig von den Spezifikationen desMessgeräts ausführliche Tests deskompletten Systems erforderlich.
Die im Prospekt angegebenen technischen Daten gelten insbesondere fürdas Messgerät, nicht für das Komplettsystem. Ein Einsatz des Messgeräts­außerhalb des spezifizierten Bereichsoder der bestimmungsgemäßen Verwendung geschieht auf eigene Verantwortung.
Bei sicherheitsgerichteten Systemenmuss nach dem Einschalten das über­geordnete System den Positionswert
des Messgeräts überprüfen.

Montage
Für die bei der Montage zu beachtenden
Arbeitsschritte und Maße gilt alleine die
mit dem Gerät ausgelieferte Montage­anleitung. Alle montagebezogenen An­
gaben in diesem Prospekt sind entsprechend nur vorläufig und unverbindlich;
sie werden nicht Vertragsinhalt.

LED-Anzeige Referenzmarkensignal(Funktionskontrolle)
Beim Überfahren der Referenzmarke schaltet die LED kurze Zeit auf Blau bzw. Rot
 ausser Toleranz in Toleranz
LED-Anzeige Regelreserve
Wenn die LED blinkt (alle 2,5 s kurzzeitig
dunkel) ist die Regelreserve des AbtastASICs nahezu ausgeschöpft. Reinigen Sie
die Maßverkörperung und das Abtastfenster des Abtastkopfs. Beachten Sie hierzu
die Hinweise in der Montageanleitung.
Überprüfen Sie ggf. auch den Anbau desMessgeräts.

20

SUPRADUR, METALLUR und OPTODUR sindeingetragene Marken der DR. JOHANNES­HEIDENHAIN GmbH, ­Traunreut.
Zerodur ist eine eingetragene Marke der­Schott-Glaswerke, Mainz.

21Funktionale Sicherheit

Mit dem absoluten Längenmessgerät der
Baureihe LIC 4100 bietet HEIDENHAIN
eine ideale Lösung zur Positionsermittlungan linearen Achsen in sicherheitsgerichteten Applikationen. In Verbindung mit einer
sicheren Steuerung können die Messgeräte
als Ein-Geber-Systeme in Anwendungenmit Steuerungskategorie SIL 2 (nachEN 61508) bzw. Performance Level „d“(nach EN ISO 13849) eingesetzt werden.

Fehlerausschluss für das Lösen der­mechanischen Verbindung
Die Dimensionierung von mechanischen
Verbindungen in einem Antriebssystem obliegt dem Maschinenhersteller. Idealerweiseorientiert sich der OEM bei der Auslegung
der Mechanik an den Bedingungen der­Applikation. Der Nachweis einer sicheren
Verbindung ist jedoch aufwendig.
Aus diesem Grund hat HEIDENHAIN für die
Baureihe LIC 4100 einen mechanischen
Fehlerausschluss entwickelt und über eine
Baumusterprüfung bestätigt.

Basis für die sichere Übertragung der Position sind zwei voneinander unabhängig
­gebildete, absolute Positionswerte sowie
Fehlerbits, die der sicheren Steuerung­bereitgestellt werden. Dabei können die
Funktionen des Messgeräts für zahlreiche
Sicherheitsfunktionen des Gesamtsystems
nach EN 61800-5-2 genutzt werden.
Das Längenmessgerät LIC 4100 stellt zu
jeder Zeit – z.B. auch unmittelbar nach dem
Einschalten – einen sicheren absoluten Positionswert bereit. Die rein serielle Datenübertragung erfolgt über die bidirektionale
EnDat- 2.2-Schnittstelle.

Neben der Datenschnittstelle ist auch diemechanische Anbindung des Messgeräts
an den Antrieb sicherheitsrelevant. In derNorm für elektrische Antriebe EN 61800-5-2,
Tabelle D8, ist das Lösen der mechanischen
Verbindung zwischen Messgerät und Antrieb
als zu betrachtender Fehlerfall aufgeführt.
Da die Steuerung derartige Fehler nicht
zwingend aufdecken kann, wird in vielen
Fällen ein Fehlerausschluss für das Lösen
der mechanischen Verbindung benötigt.
Wenn nicht anders spezifiziert, sind HEIDENHAIN-Messgeräte auf eine Gebrauchsdauer
von 20 Jahren (nach ISO 13849) ausgelegt.

Betriebs- und Anbaubedingungen
Die Qualifizierung des mechanischen Fehlerausschlusses erfolgte für einen breiten
Einsatzbereich der Messgeräte. Das heißt,
dass der Fehlerausschluss unter den nachfolgend aufgelisteten Betriebsbedingungensichergestellt ist.

Befestigung

Sichere Position für­mechanische Ankopplung

Eingeschränkte Kennwerte3)

MaßstabSchraubenverbindung1) 2)±0,0 mm

Abtastkopf

Montageart I und II:
Schraubenverbindung:2)
Schrauben M2x25 ISO 4762 8.8

Siehe Technische Daten:• Vibration• Schock1)

Siehe Montage:• Verwendbare Materialien• Montagebedingungen

Für die Schraubverbindungen des Maßstabs ist eine stoffschlüssige Losdrehsicherung zu verwenden (Montage/Service)
Reibungsklasse B nach VDI 2230
3)
Gegenüber LIC 4100 ohne Funktionale Sicherheit
2)Montagetemperatur
Alle Angaben zu Schraubverbindungen­beziehen sich auf eine Montagetemperatur
von 15 °C bis 35 °C.
Messlänge
Aufgrund der unterschiedlichen Materialienvon Maßband und Montagefläche ergebensich bei Temperaturänderung unterschied­liche Wärmeausdehnungen. Die lokale Verschiebung aufgrund unterschiedlicher Wärmeausdehnungen zwischen Maßband undMontagefläche (Scherung des Montagefilms) darf den Wert von 0,75 mm nichtüberschreiten. Daraus resultieren die angegebenen Messlängen. Größere Messlängen können im Einzelfall möglich sein. Dies
ist für die jeweilige Kundenapplikation gesondert zu prüfen.

Befestigungswinkel
Abtastkopf

Montagefläche
Maßverkörperung

Material

Stahl

Aluminium

Stahl, Aluminium

Zugfestigkeit Rm≥ 600 N/mm2≥ 220 N/mm2

nicht relevant

Scherfestigkeit τB≥ 390 N/mm2≥ 130 N/mm2

nicht relevant

Elastizitäts­
modul E≥ 200 000 N/mm2
bis 215 000 N/mm2≥ 70 000 N/mm2
bis 75 000 N/mm2

nicht relevant

WärmeausdehnungskoeffizientÞtherm10 · 10–6 K–1 bis
17 · 10–6 K–1

25 · 10–6 K–1

10 · 10–6 K–1 bis
25 · 10–6 K–1

Montage des Abtastkopfs
Für den mechanischen Fehlerausschlusssind M2-Schrauben nach ISO 4762 8.8 zu
verwenden (im Lieferumfang enthalten).
Abschließend wird mit einem PWM20/21
und dem Anbauassistenten in der ATS-Software der Anbau überprüft und optimiert.

Mechanische­AnkopplungMontageart III:
Schraubenverbindung:2)
Schrauben M2x16 ISO 4762 8.8

Material
Für die Anbauflächen von Abtastkopf undMaßverkörperung ist der Werkstoff entsprechend den Angaben in der Tabelle zu
verwenden.

Montage des Maßbands
Das Stahlmaßband mit der Teilung wird mit
Hilfe des Montagefilms PRECIMET direkt
auf die Montagefläche geklebt und mit­einem Roller gleichmäßig aufgedrückt.
Das Maßband wird zusätzlich durch eine
Schraube gesichert (Stanzung im Maßband). Die Montagehilfe (im Lieferumfang
enthalten) erleichtert die symmetrische
Ausrichtung der Stanzung zur Schraube.
Hinweis:Der Abtastkopf darf nur innerhalb der zulässigen Anbautoleranzen und Messlänge derMaßverkörperung betrieben werden.
Lieferumfang:
Abtastkopf• Befestigungssatz
ID 1233536-01(2 x Schraube M2x16)• Befestigungssatz
ID 1233536-02(2 x Schraube M2x25)• Abstandsfolie
ID 578983-06
Maßstab• 1 x Schraube• Montagehilfe

ID 1233558-02
ID 1244387-02

Zubehör:• Anbauassistent in ATS-Software• Roller
ID 276885-01

22

23

LIC 4113, LIC 4133, LIC 4193
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 3 m• Messschritte bis 1 nm
• Maßverkörperung aus Glas oder Glaskeramik• Maßverkörperung wird mit Montagefilm geklebt oder mit Spannpratzen befestigt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf (mit geradem oder gewinkeltem Kabelausgang)• Ausführung für Hochvakuum verfügbar (siehe Produktinformation)
Maßstab gepratzt

Maßstab

33.2

Maßverkörperung
METALLUR-Gitterteilung auf Glaskeramik oder Glas
Längenausdehnungs­koeffizient* Þtherm ≈ 8 · 10–6 K–1 (Glas)Þtherm = (0±0,5) · 10–6 K–1 (Robax-Glaskeramik)

Maßstab geklebt



d

0.05

R

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes(Darstellung ohne Spannpratzen)
7.15±0.1 gepratzt
7.28±0.1 geklebt

0.75 +0.25−0.20 gepratzt
0.75 ±0.25 geklebt

0.75 +0.25−0.20 gepratzt
0.75 ±0.25 geklebt

0.75 +0.25−0.20±1 µm (nur für Robax-Glaskeramik), ±3 µm, ±5 µm

Basisabweichung≤ ±0,275 µm/10 mm

Messlänge ML* in mm

240	 340	 440	 640	 840 1040 1240 1440 1640
2640 2840 3040 (Robax-Glaskeramik bis max. ML 1640)

Masse

3 g + 110 g/m Messlänge

Abtastkopf

LIC 411

LIC 413

LIC 419 F

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419Y

Schnittstelle

EnDat 2.2

EnDat 3

Fanuc Serial Mitsubishi high speed
Interface Þi ­Interface

Panasonic
Serial­Interface

Yaskawa­Serial­Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

E30-RB
E30-R4

Fanuc05

Pana02

YEC07

Messschritt*1)

10 nm, 5 nm,
1 nm

1 nm

10 nm, 5 nm, 1 nm

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz–

Verfahrgeschwindigkeit2)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±20 nmElektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker Sub-D, Stift, 15-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker MINI-SNAP, Stift, 4-polig (EnDat 3: E30-R4)

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme2) (max.)

bei 3,6 V:≤ 700 mWbei 14 V:≤ 800 mWbei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA(ohne Last)bei 12 V: 35 mA bei 5 V: 95 mA (ohne Last)(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: Kupplung M12 und Stecker Sub-D: 20 g/m; Stecker MINI-SNAP: 15 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g; MINI-SNAP: 8 g

gepratzt

0.75 ±0.25 geklebt

15.65 gepratzt
15.78 geklebt

7.15±0.1 gepratzt
7.28±0.1 geklebt

F = Maschinenführung* = Anbaufehler plus dynamischen FührungsfehlerⓈ = Beginn der Messlänge MLⒸ = Codestartwert: ≥ 100±1 mmⓁ = MaßstablängeⒼ = Fixpunktelement zur Definition des thermischen Fixpunktes
1 = Abstand wird bei Montage mit Abstandsfolie eingestellt
2 = Abhängig von Messlänge ML, zusätzliches Spannpratzenpaar verwenden
3 = Klebstoff
4 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßstab
5 = Optische Mittellinie
6 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

24

Genauigkeitsklasse*dR

LIC 4003

d
PUR
VacuumPUR

 3.7 mm
 3.5 mm
 2.9 mmR
> 8 mm> 10 mm> 6 mm≥ 40 mm≥ 50 mm≥ 30 mm≤ 50 m

Mit03-4

1840

Mit03-2≤ 30 m2040 2240 2440

≤ 50 m* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Mitsubishi: Messlänge ≤ 2040 mm/Yaskawa: Messlänge ≤ 1840 mm
2)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten
Robax ist eine eingetragene Marke der Schott-Glaswerke, Mainz

25

LIC 4115, LIC 4135, LIC 4195
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 28 m
• Für Messschritte bis 1 nm
• Stahlmaßband wird in Aluminiumprofile eingezogen und gespannt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf (mit geradem oder gewinkeltem Kabelausgang)
Maßstab126.23±0.1
2.5

6.1±0.1

3

0.55/50 *LIC 4005

Maßverkörperung
Stahlmaßband mit METALLUR-Absolut- und Inkrementalspur
Längenausdehnungskoeffizient* abhängig von der Montagefläche
Genauigkeitsklasse*±5 µm

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Messlänge ML* in mm

140	  240	  340	  440	  540	  640	  740	  840	  940 1040
1540 1640 1740 1840 1940 2040

1140

1240

1340

1440

M3x7

16.5 

R

Masse

Maßband: 31 g/m; Teilesatz: 80 g + n1) · 27 g; Maßbandträger: 187 g/m

Abtastkopf

LIC 411

LIC 413

LIC 419 F

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419Y

Schnittstelle

EnDat 2.2

EnDat 3

Fanuc Serial Mitsubishi high speed
Interface Þi ­Interface

Panasonic
Serial­Interface

Yaskawa­Serial­Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

E30-RB
E30-R4

Fanuc05

Pana02

YEC07

Messschritt*2)

10 nm, 5 nm,
1 nm

1 nm

10 nm, 5 nm, 1 nm

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz–

Verfahrgeschwindigkeit3)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±20 nmElektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker Sub-D, Stift, 15-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker MINI-SNAP, Stift, 4-polig (EnDat 3: E30-R4)

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme3) (max.)

bei 3,6 V:≤ 700 mWbei 14 V:≤ 800 mWbei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA(ohne Last)bei 12 V: 35 mA bei 5 V: 95 mA (ohne Last)(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: Kupplung M12 und Stecker Sub-D: 20 g/m; Stecker MINI-SNAP: 15 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g; MINI-SNAP: 8 g

d

3.5

7.3

größere Messlängen bis 28 440 mit einteiligem Band und einzelnen Maßbandträger-Teilstücken


830±0.1>8ML > 2040 (z.B. 5040)

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes②

9.6±0.1②

18.1±0.1
9.6±0.1

Ô = Maßbandträger-Teilstücke geschraubtÕ =	Maßbandträger-Teilstücke
mit PRECIMET geklebt
F = Maschinenführung
P = Messpunkte zum Ausrichten* =	Anbaufehler plus dynamischen­FührungsfehlerⒸ = Codestartwert: ≥ 100 mm

26②

18.23±0.1dⓈ = Beginn der Messlänge MLⓏ = Zwischenstück ab Messlänge 3040 mmⓉ = Träger-LängeⓂ = Montagefläche für Abtastkopf
1 = Optische Mittellinie
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Profil
3 =	Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für
steigende Positionswerte

 3.7 mm
 2.9 mmR
> 8 mm> 6 mm≥ 40 mm≥ 30 mm≤ 50 m

Mit03-4≤ 30 m

Mit03-2≤ 50 m* Bei Bestellung bitte auswählen         1) n = 1 bei ML 3140 mm bis 5040 mm; n = 2 bei ML 5140 mm bis 7040 mm; usw.*
2)
Mitsubishi: 1 nm: Messlänge ≤ 2040 mm;
5 nm: Messlänge ≤ 10 040 mm;
10 nm: Messlänge ≤ 20 040 mm
Yaskawa: 1 nm: Messlänge ≤ 1840 mm;
5 nm: Messlänge ≤ 9040 mm;
10 nm: Messlänge ≤ 18 040 mm
3)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten

27

LIC 4117, LIC 4137, LIC 4197
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 6 m• Für Messschritte bis 1 nm
• Stahlmaßband wird in Aluminiumprofile eingezogen und mittig fixiert• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf (mit geradem oder gewinkeltem Kabelausgang)
Maßstab

LIC 4007

Maßverkörperung
Stahlmaßband mit METALLUR-Absolut- und Inkrementalspur
Längenausdehnungs­koeffizient* Þtherm ≈ 10 · 10–6 K–1①

0.55/50 *③

RMontagemöglichkeiten des Abtastkopfes②

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Messlänge ML* in mm

240	 440	 640	 8401840 2040 2240 2440
3440 3640 3840 4040
5040 5240 5440 5640

Masse

Maßband: 31 g/m; Teilesatz: 20 g; Maßbandträger: 68 g/m

Abtastkopf

LIC 411

LIC 413

LIC 419 F

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419 Y

Schnittstelle

EnDat 2.2

EnDat 3

Fanuc Serial Mitsubishi high speed
Interface Þi ­Interface

Panasonic
Serial­Interface

Yaskawa­Serial­Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

E30-RB
E30-R4

Fanuc05

Pana02

YEC07

Messschritt*2)

10 nm, 5 nm,
1 nm

1 nm

10 nm, 5 nm, 1 nm

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz–

Verfahrgeschwindigkeit3)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±20 nmElektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker Sub-D, Stift, 15-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker MINI-SNAP, Stift, 4-polig (EnDat 3: E30-R4)

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme3) (max.)

bei 3,6 V:≤ 700 mWbei 14 V:≤ 800 mWbei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA(ohne Last)bei 12 V: 35 mA bei 5 V: 95 mA (ohne Last)(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: Kupplung M12 und Stecker Sub-D: 20 g/m; Stecker MINI-SNAP: 15 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g; MINI-SNAP: 8 g②②

F = Maschinenführungd
P = Messpunkte zum Ausrichten* = Anbaufehler plus dynamischen Führungsfehler 3.7 mm
Ⓒ = Codestartwert: ≥ 100 mm
 2.9 mm
Ⓢ = Beginn der Messlänge MLⓉ = Träger-Länge
1 = Optische Mittellinie
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Profil
3 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

28±3 µm (bis ML 1040 mm), ±5 µm (ab ML 1240), ±15 µm1)

1040
2640
4240
5840

1240 1440 1640
2840 3040 3240
4440 4640 4840
6040

Maßband von der Rolle*: 2 m, 4 m, 6 m

d②

Genauigkeitsklasse*R> 8 mm> 6 mm≥ 40 mm≥ 30 mm≤ 50 m

Mit03-4

Mit03-2≤ 30 m≤ 50 m* Bei Bestellung bitte auswählen
1)±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
2)
Mitsubishi: Messlänge ≤ 2040 mm/Yaskawa: Messlänge ≤ 1840 mm
3)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten

29

LIC 4119, LIC 4139, LIC 4199
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 1 m• Für Messschritte bis 1 nm
• Stahlmaßband wird auf Montagefläche geklebt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf (mit geradem oder gewinkeltem Kabelausgang)

Maßstab

LIC 4009dMaßverkörperung
Stahlmaßband mit METALLUR-Absolut- und Inkrementalspur
Längenausdehnungs­koeffizient* Þtherm ≈ 10 · 10–6 K–1
Genauigkeitsklasse*±3 µm, ±15 µm1)

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Messlänge ML* in mm

70
520

Masse

31 g/mAbtastkopf

LIC 411

LIC 413

LIC 419 F

Schnittstelle

EnDat 2.2

Bestellbezeichnung*

120
620

170
720

220
820

270
920

320
1020

370

420

Maßband von der Rolle*: 2 m, 4 m, 6 m

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419Y

EnDat 3

Fanuc Serial Mitsubishi high speed
Interface Þi ­Interface

Panasonic
Serial­Interface

Yaskawa­Serial­Interface

EnDat22

E30-RB
E30-R4

Fanuc05

Pana02

YEC07

Messschritt*2)

10 nm, 5 nm,
1 nm

1 nm

10 nm, 5 nm, 1 nm

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz–

Verfahrgeschwindigkeit3)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±20 nmElektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker Sub-D, Stift, 15-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker MINI-SNAP, Stift, 4-polig (EnDat 3: E30-R4)

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 m4)

Versorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme3) (max.)

bei 3,6 V:≤ 700 mWbei 14 V:≤ 800 mWbei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA(ohne Last)bei 12 V: 35 mA bei 5 V: 95 mA (ohne Last)(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: Kupplung M12 und Stecker Sub-D: 20 g/m; Stecker MINI-SNAP: 15 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g; MINI-SNAP: 8 g

0.60/50 *R

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes
0.425/25

0.30/25

0.30/25d 3.7 mm
 2.9 mmR
> 8 mm> 6 mmF = Maschinenführung* = Anbaufehler plus dynamischen FührungsfehlerⒸ = Codestartwert: ≥ 100 mmⓈ = Beginn der Messlänge MLⓁ = Maßbandlänge
1 = Optische Mittellinie
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßstab
3 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte30≥ 40 mm≥ 30 mm≤ 50 m

Mit03-4

Mit03-2≤ 30 m≤ 50 m* Bei Bestellung bitte auswählen
1)±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
2)
Mitsubishi: Messlänge ≤ 2040 mm/Yaskawa: Messlänge ≤ 1840 mm
3)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten
4)
Mit Abtastkopf LIC 411 FS: Taktfrequenz 8 MHz

31

LIC 4119
Absolutes Längenmessgerät hoher Genauigkeit für sicherheitsgerichtete Anwendungen• Für Messschritte bis 1 nm
• Stahlmaßband wird auf Montagefläche (Aluminium oder Stahl) geklebt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf• Fehlerausschluss für das Lösen der mechanischen Verbindung

2.5

5.5

L
ML





B

C

A

A

0.1
 F

7.3
0.55

14

13.14

14.5

19

12

2.5

1.18

Maßstab3

B

0.55/ 50 *



C

46

B-B

A-A

C-C





8

30

>8

M3 - 6H

Rz 16
0.05
0.1 F

 50 

0.1

0.93



Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

Rz 16
0.25/ 25 A

A

B

4.8

4.8
M2

A
4:1
0.4

A



6

M2x25 (2x) 0.4
B
4:1
M2

, ,
 = Montagemöglichkeiten
F = Maschinenführung* = Anbaufehler plus dynamische FührungsfehlerⒸ = Codestartwert: ≥ 100 mm
ML = Messlänge
L = Maßbandlänge (L = ML+38)
1 = Beginn der Messlänge
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßband
3 = Optische Mittellinie
4 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für Ausgangssignale gemäß Schnittstellenbeschreibung
5 =	Biegeradius R des Kabels:– Kabel fest verlegt ≥ 8 mm
– Wechselbiegung ≥ 40 mm
6 = Kabelabstützung
7 =	Schraube (symmetrische Ausrichtung zur Stanzung) , Innensechsrund ISO 10664 - 10
stoffschlüssige Schraubenlosdrehsicherung erforderlich
Anzugsmoment = 40 ±2.4 Ncm
8 = M2x16 ISO 4762 - 8.8 + ISO 7089 - 2 - 200HV
9 = M2x25 ISO 4762 - 8.8 + ISO 7089 - 2 - 200HV
10 = Befestigungswinkel Abtastkopf
11 = Montagefläche Maßverkörperung32

M2x16 (2x)  0.75
CRz 16
  3.1

Rz 16
0.25/ 25 A

M2x25 (2x) 

0.9  18.1

A

14

0.75 





A

13.3
 2.4  





Rz 16
0.25/ 25 A

2.4



0.75 

6

4.2

1.6  

Maßverkörperung
Stahlmaßband mit METALLUR-Absolut- und Inkrementalspur
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm ≈ 10 · 10–6 K–1
Genauigkeitsklasse*
Basisabweichung±3 µm1), ±15 µm2)
≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Messlänge ML* in mm(bei Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C)   70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  520	  620	  720	  820	  9201020 1220 1420 1620 1820 2020 22203) 24203) 26203) 28203) 30203) 32203) 34203)
36203) 38203) 40203) 42203) 44203) 46203)

Messlänge ML* in mm(bei Arbeitstemperatur–10 °C bis 50 °C)   70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  520	  620	  720	  820	  9201020 1220 1420 1620 1820 2020 2220 2420 2620 2820 3020 3220 34203)
36203) 38203) 40203) 42203) 44203) 46203) 48203) 50203) 52203) 54203) 56203) 58203) 60203)

Masse

Maßband: 31 g/m; Schraube: < 1 g

Abtastkopf

LIC 411

Schnittstelle

EnDat 2.2 (Bestellbezeichnung: EnDat22)

Messschritt*

0,01 µm (10 nm); 0,005 µm (5 nm); 0,001 µm (1 nm)

Rechenzeit tcal/Taktfrequenz≤ 5 µs/≤ 16 MHz

Funktionale Sicherheit
für Anwendungen bis• SIL 2 nach EN 61508 (weitere Prüfgrundlage: IEC 61800-5-3)• Kategorie 3, PL "d" nach EN ISO 13849-1:2015

PFH≤ 20 · 10–9 (bis 6000 m über NN)

Sichere Position4)

Gerät ±550 µm (sicherheitsrelevanter Messschritt: SM = 220 µm); mechanische Ankopplung:­Fehlerausschlüsse für das Lösen von Abtastkopf und Maßstab (Siehe Funktionale Sicherheit)

Verfahrgeschwindigkeit5)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±20 nmElektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig oder Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge6)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme (max.)

bei 3,6 V: ≤ 700 mW; bei 14 V: ≤ 800 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA (ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Relative Luftfeuchtigkeit≤ 93 % (bei 40 °C/4d gemäß EN 60068-2-78); Kondensation ausgeschlossen

Masse

Abtastkopf: ≤ 18 g (ohne Kabel); Kabel: 20 g/m; Stecker: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g

1.70.05

 5  

R

16.5

9

3.7



3.5

0.75

(L-9)  

LIC 4009

C
4:1



* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Bis Messlänge 1020 mm
2)±5 μm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
3)
Zusätzliche Messlänge nur bei Montagefläche Stahl
4)	Nach Positionswertvergleich können in der nachfolgenden Elektronik weitere Toleranzen auftreten (Hersteller der nachfolgenden­Elektronik kontaktieren)5)Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten
6)
Mit HEIDENHAIN-Kabel; Taktfrequenz ≤ 8 MHz

33

LIC 3117, LIC 3137, LIC 3197
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 10 m
• Für Messschritte bis 10 nm• Stahlmaßband wird in Aluminiumprofile eingezogen und mittig fixiert• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf

Maßstab

LIC 3107

Maßverkörperung
Stahlmaßband mit Absolut- und Inkrementalspur
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm ≈ 10 · 10–6 K–1

①

d

②

0.60/50 *③Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

R

Genauigkeitsklasse±15 µm1)

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Maßband von der Rolle*

3 m, 5 m, 10 m

Masse

Maßband:
Teilesatz:
Maßbandträger:Abtastkopf

LIC 311

LIC 313

LIC 319 F

LIC 319 M

LIC 319 P

LIC 319Y

Schnittstelle

EnDat 2.2

EnDat 3

Fanuc SerialInterface Þi

Mitsubishi high speed­Interface

Panasonic
Serial­Interface

Yaskawa­Serial­Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

E30-RB
E30-R4

Fanuc05

Mit03-4

Pana02

YEC07

Messschritt

10 nm

8 nm

10 nm

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz–

Verfahrgeschwindigkeit2)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±100 nmElektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
­Stecker Sub-D, Stift, 15-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker MINI-SNAP, Stift, 4-polig (EnDat 3: E30-R4)

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme2) (max.)

bei 3,6 V:≤ 700 mWbei 14 V:≤ 800 mWbei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V:
75 mA(ohne Last)bei 12 V:
35 mA(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: Kupplung M12 und Stecker Sub-D: 20 g/m; Stecker MINI-SNAP: 15 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g; MINI-SNAP: 8 g

0.425/25②②

0.30/25

0.30/25②

F = Maschinenführungd
P = Messpunkte zum Ausrichten* = Anbaufehler plus dynamischen Führungsfehler 3.7 mm
Ⓢ = Beginn der Messlänge ML 2.9 mm
Ⓣ = Träger-Länge
1 = Optische Mittellinie
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Profil
3 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

34R> 8 mm> 6 mm≥ 40 mm≥ 30 mm

31 g/m20 g
68 g/m≤ 50 m

Mit03-2≤ 30 m≤ 50 mbei 5 V: 95 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
2)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten

35

LIC 3119, LIC 3139, LIC 3199
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 10 m
• Für Messschritte bis 10 nm• Stahlmaßband wird auf Montagefläche geklebt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf



Maßstab

LIC 3109

Maßverkörperung
Stahlmaßband mit Absolut- und Inkrementalspur
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm ≈ 10 · 10–6 K–1±15 µm1)

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Maßband von der Rolle*

3 m, 5 m, 10 m

Masse

31 g/mAbtastkopf

LIC 311

LIC 313

LIC 319 F

LIC 319 M

LIC 319 P

LIC 319Y

Schnittstelle

EnDat 2.2

EnDat 3

Fanuc SerialInterface Þi

Mitsubishi high speed­Interface

Panasonic
Serial­Interface

Yaskawa­Serial­Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

E30-RB
E30-R4

Fanuc05

Mit03-4

Pana02

YEC07

Messschritt

10 nm

8 nm

10 nm

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz–

Verfahrgeschwindigkeit2)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±100 nmElektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
­Stecker Sub-D, Stift, 15-polig (für alle Schnittstellen; EnDat 3: E30-RB) oder
Stecker MINI-SNAP, Stift, 4-polig (EnDat 3: E30-R4)

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme2) (max.)

bei 3,6 V:≤ 700 mWbei 14 V:≤ 800 mWbei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V:
75 mA(ohne Last)bei 12 V:
35 mA(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: Kupplung M12 und Stecker Sub-D: 20 g/m; Stecker MINI-SNAP: 15 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g; MINI-SNAP: 8 g

dGenauigkeitsklasse

0.60/50 *R

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes
0.425/25

0.30/25

0.30/25d 3.7 mmR
> 8 mm 2.9 mm > 6 mm
F = Maschinenführung* = Anbaufehler plus dynamischen FührungsfehlerⓈ = Beginn der Messlänge MLⓁ = Maßbandlänge
1 = Optische Mittellinie
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßstab
3 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte36≥ 40 mm≥ 30 mm≤ 50 m

Mit03-2≤ 30 m≤ 50 mbei 5 V: 95 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
2)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten

37

LIC 2117, LIC 2197
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 3 m• Messschritt 100 nm oder 50 nm• Stahlmaßband wird in Aluminiumprofile eingezogen und mittig fixiert• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf
Maßstab

LIC 2107

Maßverkörperung
Stahlmaßband mit Absolutspur
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm ≈ 10 · 10–6 K–1

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

Genauigkeitsklasse±15 µmMaßband von der Rolle*

3 m, 5 m, 10 m

Masse

Maßband:
Maßbandträger:Abtastkopf

LIC 211

LIC 219 F

LIC 219 M

LIC 219 P

LIC 219 Y

Schnittstelle

EnDat 2.2

Fanuc Serial­Interface Þi

Mitsubishi highspeed Interface

Panasonic Serial­Interface

Yaskawa Serial­Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

Fanuc05

Mit03-4

Pana02

YEC07

Messschritt*

100 nm, 50 nm

Bitbreite

32 bitRechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz

Verfahrgeschwindigkeit1)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±2 µm

Elektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig oder Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme1) (max.)

bei 3,6 V: ≤ 700 mW bei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 800 mW bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: 20 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g

20 g/m70 g/m

Mit03-2––≤ 50 m≤ 30 m≤ 50 mbei 5 V: 95 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten

F = Maschinenführung* = Max. Änderung bei BetriebⒸ = Codestartwert: ≥ 100 mmⓈ = Beginn der Messlänge MLⓉ = Träger-Länge
1 = Optische Mittellinie
2 = Gewindebohrung kundenseitig M3, 5 mm tief
3 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßband
4 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

38

39

LIC 2119, LIC 2199
Absolute Längenmessgeräte für Messlängen bis 3 m• Messschritt 100 nm oder 50 nm• Stahlmaßband wird auf Montagefläche geklebt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf
Maßstab

LIC 2109

Maßverkörperung
Stahlmaßband mit Absolutspur
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm  10 · 10–6 K–1

②

①

③

R

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes②

Genauigkeitsklasse±15 µmMaßband von der Rolle*

3 m, 5 m, 10 m

Masse

20 g/mAbtastkopf

LIC 211

LIC 219 F

LIC 219 M

LIC 219 P

LIC 219 Y

Schnittstelle

EnDat 2.2

Fanuc Serial­Interface Þi

Mitsubishi highspeed Interface

Panasonic Serial­Interface

Yaskawa Serial­Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

Fanuc05

Mit03-4

Pana02

YEC07

Messschritt*

100 nm, 50 nm

Bitbreite

32 bitRechenzeit tcal
Taktfrequenz≤ 5 µs≤ 16 MHz

Verfahrgeschwindigkeit1)≤ 600 m/min

Interpolationsabweichung±2 µm

Elektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Kupplung M12, Stift, 8-polig oder Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel)≤ 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

Leistungsaufnahme1) (max.)

bei 3,6 V: ≤ 700 mW bei 3,6 V: ≤ 850 mW
bei 14 V: ≤ 800 mW bei 14 V: ≤ 950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≤ 18 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: 20 g/m
Steckverbinder: Kupplung M12: 15 g; Stecker Sub-D: 32 g②②

Mit03-2––≤ 50 m≤ 30 m≤ 50 mbei 5 V: 95 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten

F = Maschinenführung* = Max. Änderung bei BetriebⒸ = Codestartwert: ≥ 100 mmⓈ = Beginn der Messlänge MLⓁ = Maßbandlänge
1 = Optische Mittellinie
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßband
3 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

40

41LIP 382

Inkrementale Längenmessgeräte sehr hoher Genauigkeit• Messschritte < 1 nm
• Maßverkörperung wird angeschraubt

LIP 382
Maßverkörperung
DIADUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik; Teilungsperiode 0,512 µm
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm = (0±0,1) · 10–6 K–1①

Genauigkeitsklasse±0,5 µm (höhere Genauigkeitsklassen auf Anfrage)

Basisabweichung≤ ±0,075 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm

70

Referenzmarken

keine

Schnittstelle» 1 VSS

integrierte Interpolation
Signalperiode–
0,128 µm

Grenzfrequenz		≥ 1 MHz

–3 dB

120

150

170

220

270

Abtastfrequenz*
Flankenabstand a–

Verfahrgeschwindigkeit≤ 7,6 m/min

InterpolationsabweichungPositionsrauschen RMS±0,01 nm0,06 nm (1 MHz1))

Laser

Abtastkopf und Maßstab angebaut: Klasse 1
Abtastkopf nicht angebaut: Klasse 3B
Verwendete Laser-Diode: Klasse 3B

Elektrischer Anschluss

Kabel 0,5 m zur Anpass-Elektronik (APE), sep. Adapterkabel (1 m/3 m/6 m/9 m) an APE steckbar

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch ≤ 30 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 V

Stromaufnahme< 190 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 4 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 50 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 40 °C

Masse

Abtastkopf:
150 g
Anpass-Elektronik: 100 g
Maßstab:
ML 70 mm: 260 g, ML ≥ 150 mm: 700 g
Anschlusskabel: 38 g/m

VISIBLE LASER RADIATION
IEC60825-1:2007
Pmax = 5 mW
λ= 670 nm* = Max. Änderung bei Betrieb
F = MaschinenführungⓈ = Beginn der Messlänge MLⓂ = Montagefläche für Abtastkopf
1 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

42* Bei Bestellung bitte auswählen
1)–3 dB Grenzfrequenz der nachfolgenden Elektronik

CLASS 3B LASER PRODUCT43

LIP 211, LIP 281, LIP 291

MaßstabISO 7984-M3x6+ ISO 7092-3
Md = 1.15 Nm

15 ± 0.1

3.3

100

≥ 60



100

 (ML + 10) ± 0.5



0.13 ± 0.01





r



0.02/100 F

0.02 ALE

22.9/ 23.03

7 ± 0.2

ISO 4762 M2.5 x (a+3.5) - A2
Md = 0.65 Nm

76.5 ± 0.5

3

20

2





14.5

12.5



(23.03)2.9 ± 0.1

2.7

31

(22.9)
0.01/10 F

Maßstab geklebt

7.5 ± 1

18

< 60



100
10 ± 20.02 A
LE

14

24

15
0.1
(4)



16.6 ± 0.5



M3

0.1

28 ± 0.1

33.2

ISO 7984 – M3x6
Md = 1.15 Nm

23 ± 0.1

(4)

8

31

Maßstab gepratzt

23 ± 0.1

Inkrementale Längenmessgeräte sehr hoher Genauigkeit und hoher Positionsstabilität• Für Messschritte von 1 nm und kleiner• Für hohe Verfahrgeschwindigkeiten und große Messlängen
• Maßverkörperung wird mit Spannpratzen befestigt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf

27
3.5 mrad B

2 ± 0.1



a
 3.7



2

2

2.5

0.1

7 ± 0.2


10.5



ISO 4762 M3 x (a+3.5) - A2
Md = 1.15 Nma17.5
0.02 A

Maßverkörperung
OPTODUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik; Teilungsperiode 2,048 µm
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm = (0±0,1) · 10–6 K–1
Genauigkeitsklasse*±1 µm

Basisabweichung≤ ±0,125 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm  20	  30	  50	  70	 120	 170	 220270	 320	 370	 420	 470	 520	 570620	  670	  720	  770	  820	  870	  920970 1020

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Masse

1,1 g + 0,11 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIP 21

LIP 29 F

LIP 29 M

LIP 28Schnittstelle

EnDat 2.21)

Fanuc Serial Interface1)

Mitsubishi high speed1)» 1 VSSBestellbezeichnung

EnDat22

Fanuc02

Mit02-4–

Integrierte Interpolation

16384fach (14 bit)

Taktfrequenz≤ 16 MHz––

Rechenzeit tcal

≤ 5 µs––Messschritt

0,03125 nm (31,25 pm)–

Signalperiode–

0,512 µm–

≥ 3 MHz

Verfahrgeschwindigkeit≤ 120 m/min≤ 90 m/min

InterpolationsabweichungPositionsrauschen RMS±0,4 nm4)
0,12 nm±0,4 nm4)
0,12 nm (3 MHz3))

Elektrischer Anschluss*

Kabel 0,5 m oder 1 m (2 m und 3 m bei 1 VSS) mit Schnittstellen-Elektronik im Stecker (Sub-D, Stift, 15-polig)

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch ≤ 15 m (≤ 30 m bei 1 VSS) mit HEIDENHAIN-Kabel
während des Signal-Abgleichs mit PWM 21: ≤ 3 m

Versorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V

DC 5 V ±0,25 V

Leistungsaufnahme2) (max.)

bei 14 V: 2500 mW; bei 3,6 V: 2600 mW–

Stromaufnahme

bei 5 V: 300 mA (ohne Last, typisch)≤ 390 mA

Laser

Abtastkopf und Maßstab angebaut: Klasse 1; Abtastkopf nicht angebaut: Klasse 3B

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)≤ 400 m/s2 (IEC 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 50 °C

Masse

Abtastkopf: 59 g; Stecker: 140 g; Anschlusskabel: 22 g/m

Grenzfrequenz		

 3.5



ML+10
0.72 x (ML+10)

LIP 201–3 dB

ML ≤ 2040
0.05
0.1 F

3
ML+10
0.56 x (ML+10)

F = Maschinenführung
ML > 2040Ⓡ = Referenzmarken-LageⓁ = Maßstablänge
0.01 x (ML+10)Ⓢ = Beginn der Messlänge MLⒼ = Klebstoff gemäß Montageanleitung
1 = Optische Mitte
2 = Überstand Schraubenkopf max. 0,5 mm
3 = Anschlagfläche Maßstab
4 = Montagefläche
5 = Bewegungsrichtung des Abtastkopfs für Ausgangssignale gemäß Schnittstellen-Beschreibung
6 = Fixpunkt zur Definition des thermischen Fixpunktes
7 = Klebeband (nur bei Maßstab geklebt)
8 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßstab; wird bei Montage mit Abstandsfolie eingestellt

44

0.05
0.1 F

3

0.01 x (ML+10)
INVISIBLE LASER RADIATION
IEC60825-1:2007
Pmax = 4 mW
λ= 850 nm
CLASS 3B LASER PRODUCT±3 µm (höhere Genauigkeitsklassen auf Anfrage)370	 420	 470	 520	 570	 620	 670720	  770	  820	  870	  920	  970 1020
1140 1240 1340 1440 1540 1640 1840
2040 2240 2440 2640 2840 3040–

* Bei Bestellung bitte auswählen; Für Messlängen < 70 mm wird Befestigungsart „geklebt“ empfohlen
1)Absoluter Positionswert nach Überfahren der Referenzmarke in „Positionswert 2“2)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten
3)4)–3 dB Grenzfrequenz der nachfolgenden Elektronik		
Mit HEIDENHAIN-Interface-Elektronik

45

LIP 6071, LIP 6081

Inkrementale Längenmessgeräte mit sehr hoher Genauigkeit• Für beengte Einbauverhältnisse• Für Messschritte bis 1 nm
• Für hohe Verfahrgeschwindigkeiten und große Messlängen
• Lage-Erkennung durch Homing-Spur und Limit-Schalter• Maßverkörperung wird geklebt oder mit Spannpratzen befestigt
Maßstab gepratzt

Maßstab15±0.1(ML+10)±0.5

Maßverkörperung*
OPTODUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik oder Glas; Teilungsperiode 8 µm
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm = (0±0,1) · 10–6 K–1 (Zerodur-Glaskeramik); Þtherm ≈ 8 · 10–6 K–1 (Glas)10

ISO 7984–M3x6

16



5











(ML+10)/2

LIP 6001

Genauigkeitsklasse*±1 µm (nur für Zerodur-Glaskeramik bis Messlänge 1020 mm); ±3 µm

Basisabweichung≤ ±0,175 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm  20	  30	  50	  70	 120	 170	 220	 270	 320	 370	 420	 470	 520	 570620	  670	  720	  770	  820	  870	  920	  970 1020 1140 1240 1340 1440 1540
1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040

Referenzmarkeeine in der Mitte der Messlänge

Masse

1,1 g + 0,11 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIP 608

LIP 607

Schnittstelle» 1 VSS

TTL1)

Integrierte Interpolation*
Signalperiode

–
4 µm

5fach
0,8 µm10fach0,4 µmGrenzfrequenz		≥ 1 MHz(ML+10)±0.5

Maßstab geklebt



10±2

16









1.15



6.85

14.85

9

ISO 7092–3–3 dB

0.03 A IKS
0.02 A RI*

0.75±0.2±0.1 RI*
6.8±0.03(10.45) gepratzt(10.58) geklebt

F = Maschinenführung* = Maximale Änderung im Betrieb
IKS = Inkrementalspur
RI = ReferenzmarkenspurⓂ = MontageflächeⓁ = MaßstablängeⓈ = Beginn der Messlänge MLⒼ = Fixpunkt zur Definition des thermischen FixpunktesⓇ = Referenzmarken-Lage
1 = Optische Mitte
2 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßstab; wird bei Montage mit Abstandsfolie eingestellt
3 = Anschlagfläche Maßstab
4 = Abhängig von Messlänge ML, zusätzliches Spannpratzenpaar verwenden
5 = Klebstoff
6 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte
7 = Moiré-Justage Option 1: Passstift ¬ 3m6, nur bei Montagemöglichkeit  möglich
8 = Moiré-Justage Option 2: Passstift ¬ 2m6
9 = Empfehlung: ¬ 3
10 = Klebeband (nur bei Maßstab geklebt)

100fach0,04 µm≤ 125 kHz≤ 62,5 kHz≤ 62,5 kHz ≤ 31,25 kHz≤ 31,25 kHz ≤ 15,63 kHz

500fach0,008 µm––
≤ 312,5 kHz–≤ 250 kHz≤ 312,5 kHz ≤ 125 kHz≤ 156,25 kHz ≤ 62,5 kHz≤ 12,5 kHz≤ 6,25 kHz≤ 3,13 kHz

Flankenabstand a–––≥ 0,135 µs–≥ 0,07 µs≥ 0,135 µs≥ 0,03 µs≥ 0,07 µs≥ 0,135 µs

Verfahrgeschwindigkeit2)≤ 240 m/min -–≤ 75 m/min–≤ 75 m/min≤ 37 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min

InterpolationsabweichungPositionsrauschen RMS±4 nm
0,4 nm
(1 MHZ3))

Elektrischer Anschluss*

Kabelabgang links, rechts, gerade oder gewinkelt
1 VSS: Kabel 0,5 m/1 m/3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig
TTL: Kabel 0,5 m oder 1 m mit Schnittstellen-Elektronik im Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge

mit HEIDENHAIN-Kabel: Homing, Limit: ≤ 10 m; nur Inkremental: ≤ 20 m;
während des Signal-Abgleichs mit PWM 21: ≤ 3 m

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,5 V

Stromaufnahme≤ 150 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:≈ 5 g (ohne Anschlusskabel)
Stecker:
AK LIP 608: ≈ 71 g; AK LIP 607: ≈ 74 g
Anschlusskabel: ≈ 24 g/m≤ 30 m/min ≤ 15 m/min ≤ 3 m/min≤ 15 m/min ≤ 7,5 m/min ≤ 1,5 m/min≤ 7,5 m/min ≤ 3,7 m/min ≤ 0,75 m/min–a

ISO 4762–M3x (a+6) - 8.8

50fach0,08 µm–

ISO 4762–M2.5x (a+4.9) - 8.8
ISO 7092–2.5

25fach0,16 µm

Abtastfrequenz

17


a

0±0.2
±0.1 RI*

LE
0.06 A IKS
0.04 A RI*±0.1 RI*



7.5

3



LE
0.13 A IKS
0.08 A RI*

 0.75±0.2

46



0.05

4.9±0.1

Montagemöglichkeiten
des Abtastkopfes(Darstellung ohne Spannpratzen)

>3.4

M3



12.7

26

20.8±0.05

7.5

1.15

2.9±0.1

12.7
>R8

2.7

20.8

2.6±0.05

Option: Kabelausgang links

0±0.2±0.1 RI*103.4

0.13±0.01

M2.5x52.6

0.05 B
0.01 B

IKS
RI*

Abtastkopf und Maßstab gepratzt/geklebt

10

2.6±0.05

(ML+10)/2

15±0.156.8±0.03(10.45) gepratzt(10.58) geklebt≤ 300 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen; Für Messlängen < 70 mm wird Befestigungsart „geklebt“ empfohlen
1)
2)
Auf Anfrage TTLx1 ungetaktet möglich		
Bei TTL: Maximale Verfahrgeschwindigkeit bei Referenzierung 16,8 m/min (70 kHz)3)–3dB Grenzfrequenz der nachfolgenden Elektronik

47

LIF 471, LIF 481

Inkrementale Längenmessgeräte für einfache Montage• Für Messschritte bis 2 nm
• Lage-Erkennung durch Homing-Spur und Limit-Schalter• Maßverkörperung wird mit Montagefilm geklebt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf• Ausführungen für Hochvakuum verfügbar (siehe Produktinformation)• Im Stecker integrierte Anpasselektronik

4.1±0.1


L = (ML + 10) ±0.5

 3.3

Genauigkeitsklasse*±1 µm (nur für Zerodur-Glaskeramik bis Messlänge 1020 mm), ±3 µm

Basisabweichung≤ ±0,225 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm  70	 120	 170	 220	 270	 320	 370	 420	 470	 520	 570	 620	 670720	  770	  820	  870	  920	  970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Masse

0,8 g + 0,08 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIF 48

LIF 47

Schnittstelle» 1 VSS TTL

integrierte Interpolation*
Signalperiode

–
4 µm

5fach
0,8 µmGrenzfrequenz		≥ 1 MHz–

Abtastfrequenz*–

Flankenabstand a
0.1mrad*

8



0.1
F
0.01/250

10

3.5

16

10

1±0.1

20
0.06 A 4.5

0.04 X

10fach0,4 µm20fach0,2 µm50fach0,08 µm

100fach0,04 µm≤ 500 kHz≤ 250 kHz≤ 125 kHz≤ 250 kHz≤ 125 kHz≤ 62,5 kHz≤ 250 kHz≤ 125 kHz≤ 62,5 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz–≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,040 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,040 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,040 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs

Verfahrgeschwindigkeit1)≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 24 m/min≤ 12 m/min≤ 6 m/min≤ 12 m/min≤ 6 m/min≤ 3 m/minInterpolationsabweichungPositionsrauschen RMS±12 nm–0,6 nm (1 MHz2))

Elektrischer Anschluss*

Kabel 0,5 m/1 m/3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch
Inkremental: ≤ 30 m; Homing, Limit: ≤ 10 m; (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 V

Leistungsaufnahme (max.)

Abtastkopf: 130 mW; Stecker LIF 48: 640 mW; Stecker LIF 47: 720 mW (ohne Last)

Stromaufnahme< 150 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 400 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 50 °C

Masse

Abtastkopf*:

–3 dB

16

26

40.1

33.3

3.05±0.1

13(12.4)

8.5

16.5(1±0.1)

 12 –0.02–0.10

UNC 4/40

0.01/10 F
0.1 F

5±0.1

10

10

5

8

LIF 401 R

Maßverkörperung*
SUPRADUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik oder Glas; Teilungsperiode 8 µm
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm = (0±0,1) · 10–6 K–1 (Zerodur-Glaskeramik)Þtherm ≈ 8 · 10–6 K–1 (Glas)≤ 11.2(20.55)(ML + 10) /2

Maßstab

≥ 0.5



5

50

F = Maschinenführung* = max. Änderung bei Betrieb
ML = Messlänge
r = Referenzmarkenlages = Beginn der Messlänge
e = Epoxy bei ML < 170
1 = Maße Limitblende
2 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

Hinweis:Produktinformation

LIF 471 V
LIF 481 V
LIF 481 U
Offenes Längenmessgerät
zum Einsatz im Hochvakuum
und Ultrahochvakuum

03/2024

Weitere Informationen zu Vakuum-­
Ausführungen siehe Produktinformation
LIF 471 V, LIF 481 V, LIF 481 U.

Hinweis:Produktinformation

LIF 171
LIF 181
Inkrementale
Längenmessgeräte

07/2018

Abstandscodierte Referenzmarken bzw.
­größere Messlängen siehe Produkt­
information LIF 171, LIF 181.

< 165 mA (ohne Last)für Maßstab aus Zerodur-Glaskeramik: 25 g
für Maßstab aus Glas: 9 g
Anschlusskabel: 38 g/m
Stecker:
75 g* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Bei TTL: Max. Verfahrgeschwindigkeit bei Referenzierung 9,6 m/min (40 kHz)2)
–3 dB Grenzfrequenz der nachfolgenden Elektronik

48

49

LIDA 473, LIDA 483

Inkrementale Längenmessgeräte mit Limit-Schalter• Für Messschritte bis 10 nm• Maßverkörperung aus Glas oder Glaskeramik• Maßverkörperung wird mit Montagefilm geklebt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf
MaßstabLIDA 403

Maßverkörperung
METALLUR-Gitterteilung auf Glaskeramik oder Glas; Teilungsperiode 20 µm
Längenausdehnungskoeffizient* Þtherm ≈ 8 · 10–6 K–1 (Glas)Þtherm = (0±0,5) · 10–6 K–1 (Robax-Glaskeramik)
Genauigkeitsklasse*±1 µm (nur für Robax-Glaskeramik), ±3 µm, ±5 µm

Basisabweichung≤ ±0,275 µm/10 mm

Messlänge ML* in mm

240	 340	 440	 640	 840 1040 1240 1440 1640
2640 2840 3040 (Robax-Glaskeramik bis max. ML 1640)

Referenzmarken*

LIDA 4x3: eine in der Mitte der Messlänge; LIDA 4x3 C: abstandscodiertMasse

3 g + 0,11 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIDA 48

LIDA 47

Schnittstelle» 1 VSS TTL

integrierte Interpolation*
Signalperiode

–
20 µm

5fach
4 µm

Grenzfrequenz		≥ 500 kHz–

Abtastfrequenz*–

Flankenabstand a1)

2040 2240 2440

10fach2 µm

50fach0,4 µm100fach0,2 µm≤ 400 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 6,25 kHz–≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs

Verfahrgeschwindigkeit1)≤ 600 m/min≤ 480 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 7,5 m/min

Interpolationsabweichung±45 nm–Limit-Schalter

L1/L2 mit zwei unterschiedlichen Magneten; Ausgangssignale: TTL (ohne Kabeltreiber)

Elektrischer Anschluss

Kabel 0,5 m/1 m/3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch Limit: ≤ 20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,5 V

Stromaufnahme< 130 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:
20 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: 22 g/m
Stecker:
32 g

–3 dB

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

F = Maschinenführung* =	Max. Änderung bei Betrieb(IKS: Inkrementalspur, RI: Referenzmarkenspur)Ⓢ = Beginn der Messlänge MLⓇ = Referenzmarken-Lage LIDA 4x3Ⓒ = Referenzmarken-Lage LIDA 4x3 CⓁ = MaßstablängeⒶ = Auslesemagnet für Limit-SchalterⓂ = Montagefläche für Abtastkopf
1 = Funktionsanzeige
2 = Abstastspalt
3 = Anschlagfläche Maßstab
4 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

1840< 150 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Bei entsprechender Grenz- bzw. Abtastfrequenz
Robax ist eine eingetragene Marke der Schott-Glaswerke, Mainz

50

51

LIDA 475, LIDA 485

Inkrementale Längenmessgeräte für Messlängen bis 30 m
• Für Messschritte bis 10 nm• Limit-Schalter• Stahlmaßband wird in Aluminiumprofile eingezogen und gespannt• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf
ML ≤ 2040

MaßstabLIDA 405

Maßverkörperung
Längenausdehnungskoeffizient

Stahlmaßband mit METALLUR-Gitterteilung; Teilungsperiode 20 µm
abhängig von der Montagefläche

Genauigkeitsklasse±5 µm

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Messlänge ML* in mm

140	  240	  340	  440	  540	  640	  740	  840	  940 1040
1540 1640 1740 1840 1940 2040

1140

1240

1340

1440

größere Messlängen bis 30040 mm mit einteiligem Band und einzelnen Maßbandträger-Teilstücken

ML > 2040 (z.B. 5040)

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

52

Ô = Maßbandträger-Teilstücke geschraubtÕ =	Maßbandträger-Teilstücke
mit PRECIMET geklebt
F = Maschinenführung* =	Max. Änderung bei Betrieb(IKS: Inkrementalspur,
RI: Referenzmarkenspur)
P = Messpunkte zum AusrichtenⓈ = Beginn der Messlänge MLⓇ = Referenzmarken-LageⒶ = Auslesemagnet für Limit-SchalterⓉ = Träger-LängeⓏ = Zwischenstück ab Messlänge 3040 mmⓂ = Montagefläche für Abtastkopf
1 = Funktionsanzeige
2 = Abtastspalt
3 = Anschlagfläche Träger
4 =	Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für
steigende Positionswerte

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Masse

115 g + 0,25 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIDA 48

LIDA 47

Schnittstelle» 1 VSS TTL

integrierte Interpolation*
Signalperiode

–
20 µm

5fach
4 µm

Grenzfrequenz		≥ 500 kHz–

Abtastfrequenz*–

Flankenabstand a1)

10fach2 µm

50fach0,4 µm100fach0,2 µm≤ 400 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 6,25 kHz–≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs

Verfahrgeschwindigkeit1)≤ 600 m/min≤ 480 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 7,5 m/min

Interpolationsabweichung±45 nm–Limit-Schalter

L1/L2 mit zwei unterschiedlichen Magneten; Ausgangssignale: TTL (ohne Kabeltreiber)

Elektrischer Anschluss

Kabel 0,5 m/1 m/3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch Limit: ≤ 20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,5 V

Stromaufnahme< 130 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:
20 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: 22 g/m
Stecker:
32 g

–3 dB

< 150 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Bei entsprechender Grenz- bzw. Abtastfrequenz

53

LIDA 477, LIDA 487

Inkrementale Längenmessgeräte für Messwege bis 6 m• Für Messschritte bis 10 nm• Limit-Schalter• Stahlmaßband wird in aufklebbare Aluminiumprofile eingezogen und mittig fixiert• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf

ML ≤ 2040(z.B. 840)

ML > 2040(z.B. 5040)

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

F = Maschinenführung* =	Max. Änderung bei Betrieb(IKS: Inkrementalspur,
RI: Referenzmarkenspur)
P = Messpunkte zum AusrichtenⓈ = Beginn der Messlänge MLⓇ = Referenzmarken-LageⒶ = Auslesemagnet für Limit-Schalter

54Ⓣ = Träger-LängeⓂ = Montagefläche für Abtastkopf
1 = Funktionsanzeige
2 = Abtastspalt
3 = Anschlagfläche Träger
4 =	Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für
steigende Positionswerte

MaßstabLIDA 407

Maßverkörperung
Längenausdehnungskoeffizient

Stahlmaßband mit METALLUR-Gitterteilung; Teilungsperiode 20 µmÞtherm ≈ 10 · 10–6 K–1

Genauigkeitsklasse*±3 µm (bis ML 1040); ±5 µm (ab ML 1240); ±15 µm1)

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Messlänge ML* in mm

240	 440	 640	 8401840 2040 2240 2440
3440 3640 3840 4040
5040 5240 5440 5640

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Masse

25 g + 0,1 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIDA 48

LIDA 47

Schnittstelle» 1 VSS TTL

integrierte Interpolation*
Signalperiode

–
20 µm

5fach
4 µm

Grenzfrequenz		≥ 500 kHz–

Abtastfrequenz*–

Flankenabstand a2)

1040
2640
4240
5840

1240 1440 1640
2840 3040 3240
4440 4640 4840
6040

Maßband von der Rolle*: 2 m, 4 m, 6 m

alle 50 mm3)

10fach2 µm

50fach0,4 µm100fach0,2 µm≤ 400 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 6,25 kHz–≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs

Verfahrgeschwindigkeit2)≤ 600 m/min≤ 480 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 7,5 m/min

Interpolationsabweichung±45 nm–Limit-Schalter

L1/L2 mit zwei unterschiedlichen Magneten; Ausgangssignale: TTL (ohne Kabeltreiber)

Elektrischer Anschluss

Kabel 0,5 m/1 m/3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch Limit: ≤ 20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,5 V

Stromaufnahme< 130 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf: 20 g (ohne Anschlusskabel); Anschlusskabel: 22 g/m; Stecker: 32 g

–3 dB

< 150 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
2)
Bei entsprechender Grenz- bzw. Abtastfrequenz
3)
Im Betrieb darf nur eine Referenzmarke verwendet werden. Empfehlung: Sonderabtastkopf LIDA 4xR verwenden

55

LIDA 479, LIDA 489

Inkrementale Längenmessgeräte für Messwege bis 6 m• Für Messschritte bis 10 nm• Limit-Schalter• Stahlmaßband wird auf Montagefläche geklebt• Bestehend aus Maßband und Abtastkopf

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

F = Maschinenführung* =	Max. Änderung bei Betrieb(IKS: Inkrementalspur, RI: Referenzmarkenspur)Ⓢ = Beginn der Messlänge MLⓇ = Referenzmarken-LageⓁ = MaßbandlängeⒶ = Auslesemagnet für Limit-SchalterⓂ = Montagefläche für Abtastkopf
1 = Funktionsanzeige
2 = Abtastspalt
3 = Anschlagfläche Maßband
4 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

MaßstabLIDA 409

Maßverkörperung
Längenausdehnungskoeffizient

Stahlmaßband mit METALLUR-Gitterteilung; Teilungsperiode 20 µmÞtherm ≈ 10 · 10–6 K–1

Genauigkeitsklasse*±3 µm, ±15 µm1)

Basisabweichung≤ ±0,750 µm/50 mm (typ.)Messlänge ML* in mm

70
420

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Masse

31 g/mAbtastkopf

LIDA 48

LIDA 47

Schnittstelle» 1 VSS TTL

integrierte Interpolation*
Signalperiode

–
20 µm

5fach
4 µm

Grenzfrequenz		≥ 500 kHz–

Abtastfrequenz*–

Flankenabstand a2)

120
520

170
620

220
720

270
820

320	 
370
920
1020

Maßband von der Rolle*: 2 m, 4 m, 6 m
alle 50 mm3)

10fach2 µm

50fach0,4 µm100fach0,2 µm≤ 400 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 200 kHz≤ 100 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 50 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 25 kHz≤ 12,5 kHz≤ 6,25 kHz–≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,100 µs≥ 0,220 µs≥ 0,465 µs≥ 0,950 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs≥ 0,080 µs≥ 0,175 µs≥ 0,370 µs

Verfahrgeschwindigkeit2)≤ 600 m/min≤ 480 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 240 m/min≤ 120 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 60 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 30 m/min≤ 15 m/min≤ 7,5 m/min

Interpolationsabweichung±45 nm–Limit-Schalter

L1/L2 mit zwei unterschiedlichen Magneten; Ausgangssignale: TTL (ohne Kabeltreiber)

Elektrischer Anschluss

Kabel 0,5 m/1 m/3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch Limit: ≤ 20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,5 V

Stromaufnahme< 130 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:
20 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: 22 g/m
Stecker:
32 g

–3 dB

< 150 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen
1)±5 µm nach linearer Längenfehler-Kompensation in der nachfolgenden Elektronik
2)
Bei entsprechender Grenz- bzw. Abtastfrequenz
3)
Im Betrieb darf nur eine Referenzmarke verwendet werden. Empfehlung: Sonderabtastkopf LIDA 4xR verwenden

5657

LIDA 277, LIDA 287

Inkrementales Längenmessgerät mit großer Anbautoleranz• Für Messschritte bis 100 nm• Maßband von der Rolle• Stahlmaßband wird in aufklebbare Aluminiumprofile eingezogen und fixiert• Integrierte Funktionsanzeige mittels dreifarbiger LED• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf
MaßstabLIDA 207

Maßverkörperung
Stahlmaßband; Teilungsperiode 200 µm
Längenausdehnungskoeffizient therm ≈ 10 · 10–6 K–1

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

Genauigkeitsklasse±15 µmMaßband von der Rolle*

3 m, 5 m, 10 m

Referenzmarken

auswählbar alle 100 mm

Masse

Maßband:
Maßbandträger:Abtastkopf

LIDA 28

LIDA 27

Schnittstelle» 1 VSS« TTL

Integr. Interpolation*
Signalperiode–
200 µm10fach20 µm

50fach4 µm

100fach
2 µm

Grenzfrequenz
Abtastfrequenz
Flankenabstand a≥ 50 kHz–––≤ 50 kHz≥ 0,465 µs–≤ 25 kHz≥ 0,175 µs–≤ 12,5 kHz≥ 0,175 µs

Verfahrgeschwindigkeit≤ 600 m/min≤ 300 m/min≤ 150 m/min

Interpolationsabweichung±2 µm

Elektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch ≤ 30 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 V

Stromaufnahme< 155 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:
20 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: 30 g/m
Stecker:
32 g

20 g/m70 g/m–< 140 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen

* = Max. Änderung bei Betrieb
F = MaschinenführungⓇ = ReferenzmarkeⓁ = MaßbandlängeⓈ = Beginn der Messlänge ML
1 = LED (integrierte Anbaukontrolle)
2 = Gewinde beidseitig vorhanden
3 = Referenzmarke Abtastkopf
4 = Montageabstand Maßband zu Abtastkopf
5 = Gewindebohrung kundenseitig M3, 5 mm tief
6 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte
Referenzmarke:k = Beliebige Position der ausgewählten Referenzmarke vom Beginn der Messlänge(abhängig von Zuschnitt)

58

59

LIDA 279, LIDA 289

Inkrementales Längenmessgerät mit großer Anbautoleranz• Für Messschritte bis 100 nm• Maßband von der Rolle• Stahlmaßband wird auf Montagefläche geklebt• Integrierte Funktionsanzeige mittels dreifarbiger LED• Bestehend aus Maßstab und Abtastkopf
MaßstabLIDA 209

Maßverkörperung
Stahlmaßband; Teilungsperiode 200 µm
Längenausdehnungskoeffizient therm ≈ 10 · 10–6 K–1

Montagemöglichkeiten des Abtastkopfes

Genauigkeitsklasse±15 µmMaßband von der Rolle*

3 m, 5 m, 10 m

Referenzmarken

auswählbar alle 100 mm

Masse

20 g/mAbtastkopf

LIDA 28

LIDA 27

Schnittstelle» 1 VSS« TTL

Integr. Interpolation*
Signalperiode–
200 µm10fach20 µm

50fach4 µm

100fach
2 µm

Grenzfrequenz
Abtastfrequenz
Flankenabstand a≥ 50 kHz–––≤ 50 kHz≥ 0,465 µs–≤ 25 kHz≥ 0,175 µs–≤ 12,5 kHz≥ 0,175 µs

Verfahrgeschwindigkeit≤ 600 m/min≤ 300 m/min≤ 150 m/min

Interpolationsabweichung±2 µm

Elektrischer Anschluss*

Kabel 1 m oder 3 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch ≤ 30 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 V

Stromaufnahme< 155 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 70 °C

Masse

Abtastkopf:
20 g (ohne Anschlusskabel)Anschlusskabel: 30 g/m
Stecker:
32 g–< 140 mA (ohne Last)* Bei Bestellung bitte auswählen

* = Max. Änderung bei Betrieb
F = MaschinenführungⓇ = ReferenzmarkeⓁ = MaßbandlängeⓈ = Beginn der Messlänge ML
1 = LED (integrierte Anbaukontrolle)
2 = Gewinde beidseitig vorhanden
3 = Referenzmarke Abtastkopf
4 = Klebeband
5 = Stahlmaßband
6 = Montageabstand Maßband zu Abtastkopf
7 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte
Referenzmarke:k = Beliebige Position der ausgewählten Referenzmarke vom Beginn der Messlänge(abhängig von Zuschnitt)
j = Zusätzliche Referenzmarken im Abstand von n x 100 mm

60

61

PP 281 R③

Inkrementales Zwei-Koordinaten-Messgerät• Für Messschritte von 1 µm bis 0,05 µm③①



③③



②
PP 281 R
Maßverkörperung
Zwei-Koordinaten TITANID-Phasengitter-Teilung auf Glas; Teilungsperiode 8 µm
Längenausdehnungskoeffizient Þtherm ≈ 8 · 10–6 K–1
Genauigkeitsklasse±2 µm

Messbereich

68 mm x 68 mm, andere Messbereiche auf Anfrage

Referenzmarken1)

je eine Referenzmarke 3 mm nach Messbeginn

Schnittstelle» 1 VSS

Signalperiode

4 µm

Grenzfrequenz		

* = Max. Änderung bei Betrieb
F = MaschinenführungⓇ = Referenzmarken-Lage von der dargestellten Mittellage
1 = Bei Montage justiert
2 = Teilungsseite
3 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte–3 dB≥ 300 kHz

Verfahrgeschwindigkeit≤ 72 m/min

InterpolationsabweichungPositionsrauschen RMS±12 nm3)
2 nm (450 kHz2))

Elektrischer Anschluss

Kabel 0,5 m mit Stecker Sub-D, Stift, 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch ≤ 30 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

DC 5 V ±0,25 V

Stromaufnahme< 185 mA pro Achse

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms≤ 80 m/s2 (EN 60068-2-6)≤ 100 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 50 °C

Masse

Abtastkopf:
Messplatte:
Anschlusskabel:
Stecker:

170 g (ohne Anschlusskabel)
75 g
37 g/m140 g

1)

Das Referenzmarkensignal weicht in seinen Nulldurchgängen K, L von der Schnittstellenspezifikation ab (siehe Montageanleitung)–3 dB Grenzfrequenz der nachfolgenden Elektronik
3)
Mit HEIDENHAIN-Interface-Elektronik, z. B. EIB 741
2)

62

63

Schnittstellen
Inkrementalsignale » 1 VSS

HEIDENHAIN-Messgeräte mit » 1-VSSSchnittstelle geben Spannungssignale aus,
die hoch interpolierbar sind.

Limit-Schalter

Die LIDA 400 sind mit zwei integrierten­Limit-Schaltern ausgestattet, die eine Endlagen-Erkennung oder den Aufbau einer
Homing-Spur ermöglichen. Die Limit-Schalterwerden durch unterschiedliche aufklebbare
Magnete betätigt, damit wird ein gezieltes
Schalten des rechten oder linken Limit-Schalters möglich. Durch Aneinanderreihen vonMagneten lassen sich auch Homing-Spuren
aufbauen. Die Limit-­Schalter-Signale L1
und L2 werden über separate Leitungenausgegeben und sind so direkt verfügbar.
Trotzdem ist das Kabel mit einem Durchmesser von 3,7 mm besonders dünn ausgeführt, um die Kräfte auf bewegte Maschinenelemente klein zu halten.

Signalperiode
360° el.

Die sinusförmigen Inkrementalsignale A
und B sind um 90° el. phasenverschoben
und haben eine Signalgröße von typisch
1 VSS. Die dargestellte Folge der Ausgangssignale – B nacheilend zu A – gilt für die inder Anschlussmaßzeichnung angegebene
Bewegungsrichtung.
Das Referenzmarkensignal R besitzt eine
eindeutige Zuordnung zu den Inkrementalsignalen. Neben der Referenzmarke kanndas Ausgangssignal abgesenkt sein.

alternative­Signalform(Nennwert)

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu allen
verfügbaren Schnittstellen sowie all­gemeine elektrische Hinweise finden
Sie im Prospekt Schnittstellen von­HEIDENHAIN-Messgeräten.

Die Inkrementalsignale entsprechen den
Schnittstellen 1 VSS bzw. TTL.

A, B, R gemessen mit Oszilloskop in Differenzbetrieb

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu allen
verfügbaren Schnittstellen sowie all­gemeine elektrische Hinweise finden
Sie im Prospekt Schnittstellen von­HEIDENHAIN-Messgeräten.

Lage-Erkennung

Inkrementalsignale « TTL

HEIDENHAIN-Messgeräte mit « TTLSchnittstelle enthalten Elektroniken, welche
die sinusförmigen Abtastsignale ohne odermit Interpolation digitalisieren.
Die Inkrementalsignale werden als Rechteckimpulsfolgen Ua1 und Ua2 mit 90° el.
Phasenversatz ausgegeben. Das Referenzmarkensignal besteht aus einem odermehreren Referenzimpulsen Ua0, die mit
den Inkrementalsignalen verknüpft sind.
Die integrierte Elektronik erzeugt zusätzlichderen inverse Signale ¢, £ und ¤ füreine störsichere Übertragung. Die dargestellte Folge der Ausgangssignale – Ua2
nacheilend zu Ua1 – gilt für die in der Anschlussmaßzeichnung angegebene Bewegungsrichtung.

Messschritt nach
4fach-Auswertung

die inversen Signale ¢, £, ¤ sind nicht dargestellt

Das Störungssignal ¥ zeigt Fehlfunktionen an, wie z.B. Bruch der Versorgungs­
leitungen, Ausfall der Lichtquelle etc.
Der Messschritt ergibt sich aus dem Abstand zwischen zwei Flanken der Inkrementalsignale Ua1 und Ua2 durch 1fach-,
2fach- oder 4fach-Auswertung.

64

StörungSignalperiode 360° el.

Die Messgeräte LIF 4x1 und LIP 60x1 verfügen neben der Inkrementalteilung übereine Homing-Spur und Limit-Schalter zur
Endlagenerkennung.
Die Signale zur Lage-Erkennung H und L
werden im TTL-Pegel über separate Leitungen H und L ausgegeben und sind so direkt
verfügbar. Trotzdem ist das Kabel mit einem
Durchmesser von 4,5 mm (LIF 4x1) bzw.
3,7 mm (LIP 60x1) besonders dünn ausgeführt, um die Kräfte auf bewegte Maschinen­
elemente klein zu halten.

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu allen
verfügbaren Schnittstellen sowie all­gemeine elektrische Hinweise finden
Sie im Prospekt Schnittstellen von­HEIDENHAIN-Messgeräten.

Die Inkrementalsignale entsprechen den
Schnittstellen 1 VSS bzw. TTL.

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu allen
verfügbaren Schnittstellen sowie all­gemeine elektrische Hinweise finden
Sie im Prospekt Schnittstellen von­HEIDENHAIN-Messgeräten.

65

Schnittstellen
Anschlussbelegungen (1 VSS/TTL)

LIDA

LIP 281 und PP 281 R

Stecker Sub-D, 15-polig

Stecker Sub-D, 15-polig

Spannungsversorgung« TTL

sonstige Signale

Spannungsversorgung

4

12

2

10

1

9

3

11

14

7

13

8

6

15

5

UP

Sensor4)
5V

0V

Sensor4)
0V

Ua1

¢

Ua2

£

Ua0



¥

L13)

L23)

PWT1)

frei

A+

A–

B+

B–

R+

R–

belegtbelegt

frei

blau

weiß/
grün

weiß

braun

grün

grau

rosa

rot

schwarz violett

grün/
gelb/
gelb
schwarz schwarz/» 1 VSS
2)

Inkrementalsignalebraun/
grün

Umschaltung TTL/11 µASS für PWT
2)
Farbbelegung des Verbindungskabels
3)
Nur gültig für LIDA 400
4)
LIDA 200: frei

12

2

10

1

9

3

11

14

7

» 1 VSSUP

Sensor5V

0V

Sensor
0V

A+

A–

B+

B–

R+

R–

2)

braun/
grün

blau

weiß/
grün

weiß

braun

grün

grau

rosa

rot

LIF 400 und LIP 6000

Alternativ: LIDA 400

Stecker Sub-D, 15-polig

Kupplung M23, 12-polig

Spannungsversorgung« TTL

sonstige Signale

12

2

10

1

9

3

11

14

7

13

8

6

15

5

UP

Sensor5V

0V

Sensor
0V

Ua1

¢

Ua2

£

Ua0



¥

H3)

L3)

PWT1)

frei

« TTL

A+

A–

B+

B–

R+

R–

belegtbelegtfrei» 1 VSS

braun

grün

grau

rosa

rot

gelb

/

2)

braun/
grün

weiß/
grün

Kabelschirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen­Spannungsversorgung verbunden
Nicht verwendete Adern und Pins dürfen nicht belegt werden.

schwarz violett

weiß

blau

1)

Umschaltung TTL/11 µASS für PWT
Farbbelegung des Anschlusskabels
3)
Nur gültig für LIP 6000/LIF 400 mit­Homing-Spur und Limit-Schalter
2)

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu Kabelnfinden Sie im Prospekt Kabel und Steckverbinder.

66

13

5

6/8

15

/

belegt1)
frei3)/

gelb

belegt1) belegt1)
frei3)
frei3)

schwarz violettrot/
schwarz1)

 ur für Abgleichzwecke, im Normalbetrieb nichtNbelegen2)
Farbbelegung des Verbindungskabels
3)
PP 281 R

Stecker M23, 12-polig

Spannungsversorgung

4» 1 VSS
2)

Inkrementalsignale

sonstige Signale

4

Kabelschirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen­Spannungsversorgung verbunden
Nicht verwendete Adern und Pins dürfen nicht belegt werden.

1)

Kabelschirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen­Spannungsversorgung verbunden
Nicht verwendete Adern und Pins dürfen nicht belegt werden.

Inkrementalsignale

Inkrementalsignale

sonstige Signale

12

2

10

11

5

6

8

1

3

4

7

9

UP

SensorUP

0V

Sensor
0V

Ua1

¢

Ua2

£

Ua0



¥

PWT1)

A+

A–

B+

B–

R+

R–

L1

L2

blau

weiß/
grün

weiß

braun

grün

grau

rosa

rot

schwarz

violettgelbbraun/
grün

Kabelschirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen­Spannungsversorgung verbunden
Nicht verwendete Adern und Pins dürfen nicht belegt werden.

1)
2)

Umschaltung TTL/11 µASS für PWT
Farbbelegung des Verbindungskabels

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu Kabelnfinden Sie im Prospekt Kabel und Steckverbinder.

67

Schnittstellen
Positionswerte

Anschlussbelegung Fanuc und Mitsubishi

Bestellbezeichnung

Befehlssatz

Inkremental­signale

EnDat01

EnDat 2.1 oder EnDat 2.2

mit

EnDat21
EnDat02

EnDat 2.2

mit

EnDat22

EnDat 2.2

ohne

Kupplung M12, 8-polig

Ausführliche Beschreibungen zu Kabelnfinden Sie im Prospekt Kabel und Steckverbinder.

Stecker Sub-D, 15-polig

Folge-Elektronik
Inkremental­
signale*Betriebs­
parameter

Betriebs­
zustand» 1 VSS A*

Parameter des­Messgeräteherstellers fürParameter
des OEM

EnDat 2.1

Kupplung M12, 8-polig

serielle Datenübertragung

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

SensorUP

0V

Sensor0V

Serial Data

Serial Data

RequestRequestbraun/grün

blau

weiß/grün

weiß

grau

rosa

violettgelb* geräteabhängig

Kabelschirm mit Gehäuse verbunden; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden.
Nicht verwendete Pins oder Adern dürfen nicht belegt werden!

EnDat 2.2

Anschlussbelegung Mitsubishi
HEIDENHAIN-Messgeräte mit dem Kennbuchstaben M hinter der Typenbezeichnung sind geeignet zum Anschluss an
Steuerungs- und Antriebssysteme von Mitsubishi.

Stecker Sub-D, 15-polig

Spannungsversorgung

Spannungsversorgung» 1 VSS B*

Anschlussbelegung EnDat

Mitsubishi high speed interface• Bestellbezeichnung Mitsu01
two-pair transmission• Bestellbezeichnung Mit02-4
Generation 1, two-pair transmission

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

SensorUP

0V

Sensor
0V

DATA

DATA

CLOCK

CLOCK

blau

weiß/grün

weiß

grau

Kupplung M12, 8-polig

Stecker Sub-D, 15-polig

Spannungsversorgungrosa• Bestellbezeichnung Mit02-2
Generation 1, one-pair transmission• Bestellbezeichnung Mit03-4
Generation 2, two-pair transmission

Anschlussbelegung Mitsubishi

serielle Datenübertragung

violettgelb

Kabelschirm mit Gehäuse verbunden; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden.
Nicht verwendete Pins oder Adern dürfen nicht belegt werden!

Mit03-4

serielle Datenübertragung

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

SensorUP

0V

Sensor0V

Serial Data

Serial Data

RequestFrame

Request
Frame

frei

frei

Request/
Data

Request/
Data

grau

rosa

violettgelb

Mit03-2
Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu Kabelnfinden Sie im Prospekt Kabel und Steckverbinder.

68

Weitere Informationen:Anschlussbelegung Fanuc

Absolutes Messgerät

Weitere Informationen:

braun/grün

Fanuc Serial Interface – i Interface
Bestellbezeichnung Fanuc05: high speed,
one-pair transmission beinhaltet Þ Interface(normal and high speed, two-pair transmission)

Versionen der EnDat-Schnittstelle

Absoluter­Positionswert

Ausführliche Beschreibungen zu allen
verfügbaren Schnittstellen sowie all­gemeine elektrische Hinweise finden
Sie im Prospekt Schnittstellen von­HEIDENHAIN-Messgeräten.

Anschlussbelegung Fanuc
HEIDENHAIN-Messgeräte mit dem Kennbuchstaben F hinter der Typenbezeichnungsind geeignet zum Anschluss an Steuerungs- und Antriebssysteme von Fanuc.

ohne

EnDat-Schnittstelle

Das EnDat-Interface ist eine digitale, bi­
direktionale Schnittstelle für Messgeräte.
Sie ist in der Lage, sowohl Positionswerte
auszugeben, als auch im Messgerät gespeicherte Informationen auszulesen, zu
aktualisieren oder neue Informationen abzulegen. Aufgrund der seriellen Datenübertragung sind 4 Signalleitungen ausreichend. Die Daten DATA werden synchron
zu dem von der Folge-Elektronik vorgegebenen Taktsignal CLOCK übertragen. Die
Auswahl der Übertragungsart (Positionswerte, Parameter, Diagnose ...) erfolgt mit
Mode-Befehlen, welche die Folge-Elektronik an das Messgerät sendet. Bestimmte
Funktionen sind nur mit EnDat 2.2-ModeBefehlen verfügbar.

braun/grün

blau

weiß/grün

weiß

Kabelschirm mit Gehäuse verbunden; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden.
Nicht verwendete Pins oder Adern dürfen nicht belegt werden!

69

Diagnose, Prüf- und Testgeräte

Anschlussbelegung Panasonic und Yaskawa

Anschlussbelegung Panasonic
HEIDENHAIN-Messgeräte mit dem Kennbuchstaben P hinter der Typenbezeichnungsind geeignet zum Anschluss an Steuerungs- und Antriebssysteme von Panasonic.

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu Kabelnfinden Sie im Prospekt Kabel und Steckverbinder.

• Bestellbezeichnung Pana02

Anschlussbelegung Panasonic
Kupplung M12, 8-polig

Stecker Sub-D, 15-polig

Spannungsversorgung

serielle Datenübertragung

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

SensorUP

0V

Sensor0V

frei1)

frei1)

Request
Data

RequestDatabraun/grün

blau

weiß/grün

weiß

grau

rosa

violettgelb

Kabelschirm mit Gehäuse verbunden; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden.
Nicht verwendete Pins oder Adern dürfen nicht belegt werden!
1)
Notwendig für Justage/Überprüfung mit PWM 21

Anschlussbelegung Yaskawa
HEIDENHAIN-Messgeräte mit dem Kennbuchstaben Y hinter der Typenbezeichnungsind geeignet zum Anschluss an Steuerungs- und Antriebssysteme von Yaskawa.

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu Kabelnfinden Sie im Prospekt Kabel und Steckverbinder.

• Bestellbezeichnung YEC07

Anschlussbelegung Yaskawa
Kupplung M12, 8-polig

Stecker Sub-D, 15-polig

Spannungsversorgung

serielle Datenübertragung

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

SensorUP

0V

Sensor0V

frei1)

frei1)

Data

Data

braun/grün

blau

weiß/grün

weiß

grau

rosa

violettgelb

Kabelschirm mit Gehäuse verbunden; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden.
Nicht verwendete Pins oder Adern dürfen nicht belegt werden!
1)
Notwendig für Justage/Überprüfung mit PWM 21

70

HEIDENHAIN-Messgeräte liefern alle zur
Inbetriebnahme, Überwachung und Diagnose notwendigen Informationen. Die Art
der verfügbaren Informationen hängt davonab, ob es sich um ein inkrementales oderabsolutes Messgerät handelt und welche
Schnittstelle verwendet wird.
Inkrementale Messgeräte besitzen vorzugweise 1-VSS-, TTL- oder HTL-Schnittstellen.
TTL- und HTL-Messgeräte überwachen geräteintern die Signalamplituden und generieren daraus ein einfaches Störungssignal.
Bei 1-VSS-Signalen ist eine Analyse der Ausgangssignale nur mit externen Prüfgeräten
bzw. mit Rechenaufwand in der nachfolgenden Elektronik möglich (analoge Diagnoseschnittstelle).
Absolute Messgeräte arbeiten mit serieller
Datenübertragung. Abhängig von derSchnittstelle werden zusätzlich 1-VSS-Inkrementalsignale ausgegeben. Die Signale
werden geräteintern umfangreich überwacht. Das Überwachungsergebnis (speziell bei Bewertungszahlen) kann neben den
Positionswerten über die serielle Schnittstelle zur nachfolgenden Elektronik übertragen werden (digitale Diagnoseschnittstelle). Es gibt folgende Informationen:• Fehlermeldung: Positionswert ist nicht
zuverlässig
• Warnmeldung: eine interne Funktionsgrenze des Messgerätes ist erreicht• Bewertungszahlen:– detaillierte Informationen zur Funk­tionsreserve des Messgerätes– identische Skalierung für alle
­HEIDENHAIN-Messgeräte– zyklisches Auslesen möglich
Die nachfolgende Elektronik kann damit
ohne großen Aufwand den aktuellen Zustand des Messgerätes auch im geschlossenen Regelbetrieb bewerten.
Zur Analyse der Messgeräte bietet­HEIDENHAIN die passenden Prüfgeräte
PWM und Testgeräte PWT an. Abhängig
davon, wie sie eingebunden werden,­unterscheidet man:• Messgeräte-Diagnose: Das Messgerät
ist direkt an das Prüf- bzw. Testgerät angeschlossen. Damit ist eine ausführliche
Analyse der Messgerätefunktionen möglich.
• Monitoring-Betrieb: Das Prüfgerät PWM
wird in den geschlossenen Regelkreis
eingeschleift (ggf. über geeignete Prüf­
adapter). Damit ist eine Echtzeit-Diagnose
der Maschine bzw. Anlage während desBetriebs möglich. Die Funktionen sindabhängig von der Schnittstelle.

Diagnose über PWM 21 und ATS-Software

Inbetriebnahme über PWM 21 und ATS-Software

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen zu
Diagnose, Prüf- und Testgeräten finden
Sie im Prospekt Schnittstellen von
HEIDENHAIN-Messgeräten.

71

Signalkonverter

PWT 101
Das PWT 101 ist ein Testgerät zur Funktionskontrolle sowie Justage von inkrementalen
und absoluten HEIDENHAIN-Messgeräten.
Dank der kompakten Abmessungen unddes robusten Designs ist das PWT 101 besonders für den mobilen Einsatz geeignet.

PWT 101
Messgerät-Eingang
nur für HEIDENHAIN-­
Messgeräte• EnDat• Fanuc Serial Interface• Mitsubishi high speed interface• Panasonic Serial Interface• Yaskawa Serial Interface• 1 VSS• 11 µASS• TTL

Anzeige4,3” Farb-Flachbildschirm (Touchscreen)

Versorgungsspannung

DC 24 V
Leistungsaufnahme max. 15 W

Arbeitstemperatur

0 °C bis 40 °C

Schutzart EN 60529

IP20

Abmessungen≈ 145 mm × 85 mm × 35 mm

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen finden Siein der Produktinformation PWT 101.

PWM 21
Das Phasenwinkel-Messgerät PWM 21
dient zusammen mit der im Lieferumfang
enthaltenen Justage- und Prüf-Software ATS
als Justage- und Prüfpaket zur Diagnose
und Justage von HEIDENHAIN-Mess­
geräten.

PWM 21
Messgeräte-Eingang• EnDat 2.1, EnDat 2.2 oder EnDat 3 (Absolutwert mit
bzw. ohne Inkrementalsignale)• DRIVE-CLiQ• Fanuc Serial Interface• Mitsubishi high speed interface• Yaskawa Serial Interface• Panasonic serial interface• SSI• 1 VSS/TTL/11 µASS
• HTL (über Signaladapter)

Schnittstelle

USB 2.0

Versorgungsspannung

AC 100 V bis 240 V oder DC 24 V

Abmessungen

258 mm × 154 mm × 55 mm

Die Signalkonverter von HEIDENHAIN­passen die Messgerätesignale an die
Schnittstelle der nachfolgenden Elektronikan. Sie werden dann eingesetzt, wenn die
nachfolgende Elektronik die Ausgangs­
signale der HEIDENHAIN-Messgeräte
nicht direkt verarbeiten kann oder wenneine ­zusätzliche Interpolation der Signale
notwendig ist.

Eingangssignale der Signalkonverter
HEIDENHAIN-Signalkonverter können an
Messgeräten mit sinusförmigen Signalen
1 VSS (Spannungssignale) oder 11 µASS(Stromsignale) angeschlossen werden. An
verschiedenen Signalkonverter sind auch
Messgeräte mit den seriellen Schnittstellen EnDat oder SSI anschließbar.
Ausgangssignale der Signalkonverter
Die Signalkonverter gibt es mit folgenden
Schnittstellen zur nachfolgenden Elektronik:• TTL – Rechteckimpulsfolgen• EnDat 2.2• DRIVE-CLiQ• Fanuc Serial Interface• Mitsubishi high speed interface• Yaskawa Serial Interface• Profibus
Interpolation der sinusförmigen­Eingangssignale
Zusätzlich zur Signalwandlung werden die
sinusförmigen Messgerätesignale im Signalkonverter interpoliert. Dadurch werden­feinere Messschritte und damit eine höhere
Regelgüte und ein besseres Positionier­verhalten erreicht.

Gehäuse-Bauform

Steckerbauform

Kabelbauform

Bildung eines Positionswerts
Verschiedene Signalkonverter verfügen übereine integrierte Zählerfunktion. Ausgehendvom zuletzt gesetzten Bezugspunkt wird
mit Überfahren der Referenzmarke ein absoluter Positionswert gebildet und an die
nachfolgende Elektronik ausgegeben.

Hutschienen-Bauform

ATS

Weitere Informationen:
Ausführliche Beschreibungen finden Siein der Produktinformation PWM 21/
ATS-Software.

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SprachenDeutsch und Englisch wählbar

Funktionen• Positionsanzeige• Verbindungsdialog• Diagnose• Anbauassistent für EBI/ECI/EQI, ERP 1000, ERO 2000
und weitere• Zusatzfunktionen (sofern vom Messgerät unterstützt)• Speicherinhalte

Systemvoraussetzungenbzw. -empfehlungen

PC (Dual-Core-Prozessor; > 2 GHz)
Arbeitsspeicher > 2 GByte
Betriebssystem Windows 7, 8 und 10 (32 bit/64 bit)
500 MByte frei auf Festplatte

DRIVE-CLiQ ist eine geschützte Marke der Siemens Aktiengesellschaft.

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Ausgänge

Bauform – Schutzart

Interpolation1) bzw.
­Unterteilung

Typ

Gehäusebauform – IP65

5/10fach

IBV 101

20/25/50/100fach

IBV 102ohne Interpolation

IBV 600

25/50/100/200/400fach

IBV 660 B

5/10fach

IBV 317120/25/50/100fach

IBV 3271

5/10fach

EXE 101

20/25/50/100fach

EXE 1022fach

IBV 6072

5/10fach

IBV 6172

5/10fach und
20/25/50/100fach

IBV 6272

Gehäusebauform – IP65

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 192

Steckerbauform – IP40

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 3922

Gehäusebauform – IP65

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 15121

Gehäusebauform – IP65–

EIB 2391 S

Kabelbauform – IP65–

EIB 3392 S

Gehäusebauform – IP65

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 192 F

Steckerbauform – IP40

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 392 F

2

Gehäusebauform – IP65

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 1592 F

1Gehäusebauform – IP65

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 192 M

Steckerbauform – IP40

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 392 M

2

Gehäusebauform – IP65

≤ 16 384fach Unterteilung

EIB 1592 M

Eingänge

Schnittstelle

AnzahlSchnittstelle

Anzahl« TTL

1» 1 VSS

1

Steckerbauform – IP40

» 11 µASS« TTL/» 1 VSSeinstellbar

EnDat 2.2

DRIVE-CLiQ

Fanuc Serial­Interface

Mitsubishi
high speed interface

2

1

1

1

1

» 1 VSS» 1 VSS

EnDat 2.2

» 1 VSS» 1 VSS

1

1

1

1

Gehäusebauform – IP65

Gehäusebauform – IP65

1

EnDat 2.2

1

Steckerbauform – IP40–

EIB 3391Y

PROFIBUS-DP 1

EnDat 2.2

1

Hutschienen-Bauform–

PROFIBUSGateway

PROFINET IO

EnDat 2.2

1

Hutschienen-Bauform–

PROFINETGateway

Yaskawa SerialInterface1)

Umschaltbar

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1

Mastering
Nanometer nanometer
beherrschbaraccuracymachenDR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH
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