クレジントン社製 108 シリーズ
卓上 SEM スパッタコーター
コンパクト、簡単操作、SEM アプリケーション用の実用的スパッタコーター

クレジントン社製 108 シリーズの卓上スパッタコーターは、非導電性の SEM サンプルに貴金属の薄いコーティングで素早く導電性を持たせるように設計されています。独自の定電流コントローラ、低電圧スパッタ電源、および超低温スパッタヘッドを組み込んでいます。 これにより、サンプル表面を加熱することなく、非導電性 SEM サンプルの高品質コーティングが可能になります。 効率的な真空システムを備えたコンパクトなデザインで、小さな設置面積で短いコーティングサイクルが可能になります。 標準的なタングステン SEM および卓上 SEM の細粒コーティングを提供します。
最も広く使用されているターゲット材は金および金/パラジウムです。 オプションの利用可能なターゲット材はプラチナ、プラチナ/パラジウムを用意しています。
EDS、CL および BSED アプリケーション用に、姉妹品の 108 カーボンコーターを用意しています。
個別の専用カーボンコーターにより、汚染の問題を回避し、高品質で高純度のサンプルコーティングが行えます。

クレジントン社製 108 スパッタコーターシリーズには次の 3 種類が用意されています。
• Cressington 108 マニュアルスパッタコーター

最もシンプルなスパッタコーター• Cressington 108 auto オートスパッタコーター

デジタルコントロールおよび標準チェンバー• Cressington 108 auto/SE オートスパッタコーター デジタルコントロールおよびラージチェンバー

108auto は、最も人気のあるスパッタコーターで、多くの SEM ユーザーに使われています。

108 シリーズ SEM スパッタコーター仕様
スパッタコーター

108 マニュアル

108auto108auto/SE

パーツ番号

19-010100

19-010200

19-010300

コントロールマニュアル

マニュアル / 自動マニュアル / 自動電流0-40mA

10/20/30/40mA

10/20/30/40mA

デジタルタイマー5-300sec

5-300sec

5-300sec

精密ニードルバルブ

有有有ガスコントロールマニュアル

自動自動ベント

マニュアル

自動

自動

処理室サイズØ120 x 120mm

Ø120 x 120mm

Ø150 x 165mm

試料高さ調整60mm

60mm60mm

試料テーブルサイズ

Ø60mm

Ø60mm

Ø60mm

シャッター--

有ターゲットサイズ

Ø57 x 0.1mm

Ø57 x 0.1mm

Ø57 x 0.1mm

ターゲット材Au, Au/Pd, Ag

Au, Au/Pd, Ag, Pt,

Au, Au/Pd, Ag, Pt,

Pt/Pd

Pt/Pd

ガス種 / 真空度

Ar/0.4 bar 4x104Pa

Ar/0.4 bar 4x104Pa

Ar/0.4 bar 4x104Pa

Gas 配管

Ø6mm

Ø6mm

Ø6mm

108 排気システム

2.5m3/hr 2 段ステージ

2.5m3/hr 2 段ステージ

2.5m3/hr 2 段ステージ

膜厚計（オプション）

MTM-10（オプション）

MTM-10（オプション）

MTM-10（オプション）

膜厚計（オプション）-MTM-20（オプション）

MTM-20（オプション）

R-T / RPT ステージ

オプション / -オプション / -オプション /オプション

電源

100V

100V

100V

2A

2A

2A

108 マニュアル SEM スパッタコーター

108 マニュアルスパッタコーターは、非導電性 SEM サンプルを貴金属の薄層でコーティングするために設計されたコンパクトな手動スパッタコーターです。 少量のサンプル処理用のエコノミータイプの卓上スパッタコーティングを目的としています。 電源、ニードルバルブコントロール、タイマー、スパッタ開始/停止のすべてのコントロールはフロントパネルに配置されています。
マイクロプロセッサ制御の電源を搭載した革新的で効率的なスパッタヘッド設計が含まれています。 ヘッド部にダークスペースシールドを備えた低電圧、超低温、平面スパッタヘッドは、通常のスパッタ操作中のサンプルの加熱によるダメージを回避します。 ユニークな真空に依存しない定電流制御を備え、細粒コーティングを可能にします。 排気システムは、防振トレイを備えたコンパ
クトな排気速度 2.5m3/hr の 2 段ステージロータリーポンプを採用しています。.
オプションで、コーティングの厚さを正確に測定するための MTM10 膜厚計を用意しています。
••••マニュアルコントロール
コンパクトなデスクトップシステム
短いコーティングサイクル
ご予算に応じやすい低価格設定

パーツ番号

数量

内容
108 マニュアル SEM スパッタコーター

19-010100

1台

排気システムおよびターゲットは含まれておりません。

価格￥540,000

108auto SEM スパッタコーター

R-T ロータリー・チルトステージ（面内回転・軸回転ステージ）
108auto スパッタコーターは、高度でコンパクトな全自動ベンチトップ SEM スパッタコーターです。
標準的な SEM のアプリケーションに細粒コーティングを提供します。 自動ガス調整および自動コーティングサイクルにより、大量のサンプルコーティング処理、再現性のあるコーティング および、Pt または Pt/Pd によるコーティングに特に適しており、さらに微細な粒径のコーティングを実現します。 フロントパネルの操作で全自動コーティングサイクルの設定ができます。 また、コーティングプロセスをマニュアルで設定することもできます。 フロントパネルの操作はコーティングの各ステップの状態を表示します。 108auto は、通常のスパッタ動作中の試料の加熱を回避するために、独自のダークスペースシールドを備えた効率的で、超低温の低電圧平面スパッタヘッドを組み込んでいます。 これにより、細粒コーティングを可能にし、真空に依存しない定電流制御を行なうことができます。 真空は防振トレイを備えたコンパクトな 2.5m3/hr の二段ステージロータリーポ
ンプ付きの 108 ポンプシステムにより排気します。 粗いサンプルの均一性を向上させるために、オプションの R-T108 回転傾斜ステージをお勧めします。
••
•
•
•

完全に自動化されたコーティング手順
簡単な操作
短いコーティングサイクル
オプションの MTM10/ MTM 20 膜厚計コントローラ
高いコストパフォーマンス

数量

内容

価格

19-010200

1台

108auto SEM スパッタコーター
排気システムおよびターゲットは含まれておりません。

￥673,000

パーツ番号

数量

内容

価格

パーツ番号

108 ロータリーチルト（R-T）ステージ
19-010220

1台(Ø120mm)付 108auto スパッタコーター用
44mm ショートグラスチェンバー付￥295,000108auto/SE SEM スパッタコーター

R-T ステージ

R-P-T ステージ

108auto/SE SEM スパッタコーター用 ラージチェンバー（150 ㎜径）108auto/SE 用 R-P-T ステージ108auto/SE スパッタコーターは、108auto をベースに作られています。 108auto のすべてのメリットを引き継ぎ、より大きな Ø150 x 165mm のグラスチェンバーと追加のシャッターがターゲットの前に設置されています。 さらに、108auto/SE には、オプションのロータリー傾斜（R-T）ステージまたはオプションのロータリープラネタリー傾斜（R-P-T）ステージが装備できます。 108auto/SE は 4つのサンプルホルダーを備えた R-P-T ステージで、より大きなサンプルまたは複数のサンプルに対応できます R-P-T ステージにより、さらに高度な均一性が実現できます。 ターゲットシャッターを使用すると、ターゲットをコーティング前にクリーニングすることができます。 オプションの R-T
または R-P-T ステージを使用すると、チェンバーの高さを 165 mm～250 mm に変更できます。
天板は伸縮する支柱に取付けられています。
••••

大きなサンプルチェンバー Ø150mm
オプションの R-T および R-P-T ステージ
コーティングの均一性の向上
オプションの MTM20 膜厚計コントローラ

パーツ番号

価格

数量

内容

19-010300

1台

108auto/SE SEM スパッタコーター
排気システムおよびターゲットは含まれておりません。

パーツ番号

数量

内容

価格

19-012050

1台

R-T stage for 108/SE スパッタコーター用￥295,000

パーツ番号

数量

内容

価格

19-012080

1台

R-P-T stage for 108/SE スパッタコーター用
Ø150mm 65mm ショートグラスチェンバー￥507,000￥852,000

Ø150mm 65mm ショートグラスチェンバー

MTM-10/ MTM-20 膜厚計

MTM-10 膜厚計

MTM-20 膜厚および制御
数量

19-012050

1台

パーツ番号

数量

内容

1台

MTM-200.1nm の分解能で膜厚測定およびプログラムにより、膜厚のコントロール(0.1 – 999.9nm)
設定膜厚に達するとコーティングを停止します。

パーツ番号

数量

内容価格

ターゲット－Au、Pt、Au/Pd、Pt/Pd ターゲットをご用意しております。 価格は別途お問い合わせください。

P．O．A

19-012080

内容価格

パーツ番号

MTM-10 膜厚計
0.1nm の分解能で膜厚測定が行えます。

￥224,000

価格￥306,000

ターゲット

108 真空ポンプシステム
108 真空ポンプシステムはコンパクトで効率的なデスクトップの排気システムです。 排気効率の高い二段ステージロータリーポンプ、防振トレイおよび金属製の接続部品で構成されています。ポンプシステムは、コーターの直後に配置され、0.1mbar まで、30 秒程度の非常に速い速度で到達します。 コーティングのサイクル時間が短かく、優れたコーティング能力を発揮致します。
次の 2 種類の排気システムを用意いたしました。

108 排気システム 230V / 50Hz••

108 シリーズ用デュアル排気システム

108 シリーズスパッタコーター用 108 排気システム
108 シリーズスパッタコーター2 台用 デュアル排気システム
108 排気システム仕様
ロータリーポンプタイプ

直結二段ステージロータリーポンプ

排気スピード2.5m3/hr到達真空度

3 x 10-3mbar / 3 x 10-3hPa

真空接続フランジ

DN16KF

操作環境（室温）

12-40℃

サウンドレベル @ 50Hz

<53 dB(A)

ポンプオイルタイプ

P3

オイル充填量

0.4 ℓ

防振トレイ

付属

寸法 LxBxH

33 x 28 x 30cm フィルター付

真空カップリング

メタル クイックリリース DN16KF

仕様電圧

100V

3A

パーツ番号

数量

19-010410

1台

パーツ番号

数量

19-010420

1台

価格

内容
108 排気システム￥308,000
価格

内容
108 シリーズスパッタコーター2 台用
デュアル排気システム￥434,000

備考：本カタログの写真および内容は予告なしに変更されることがございます。
価格には消費税は含まれておりません。

〒124-0012 東京都葛飾区立石 3-15-4
TEL：03-6379-4105 FAX：03-6379-4106
www.elminet.co.jp

108SC 2020 A