RR

Ormocer ：革新的テクノロジー

Ormocomp

硬化マテリアルの特性
熱安定性

Ormostamp

Ormocore

トランスペアレントスタンプ製造
・シリカスタンプに代わる高いコスト効率

重量減量< 5 %（270 ℃ (5 K min-1)まで）

・マスタースタンプの高度な忠実性

硬化マテリアルの特性・可視光に対して高度なトランスペアレンシー（最低350nmまで）

デュロメリック

・100nm未満のライン幅という高度な解像度

収縮（硬化中）容量で5 - 7 %

容量で3 – 5 %CTE (20 - 100 ℃)

6 0 p p m K -1

100 - 130 ppm K -1

・標準リソグラフィー装置による便利な処理
・機械的安定性

1.518
1.513

屈折率 @ 635 nm@ 800 nm・優れた熱安定性

Ormostampで作成したスタンプで複製されたマイクロ構造

・1ステップまたは2ステップでの生成が可能

1.553
1.543

接着促進剤

ガラス／水晶glass/ quartz

6μm硬化Ormocompのガラス基板

masterstamp
マスタースタンプ

UV光

1.基盤準備

2.スタンプ生成

Ormostamp

ガラス基板

A.Ormostamp沈着
B.Ormostampプロセス

吸光度

固着防止層

波長

光透過性Ormocomp

Ormocomp複製
10x10マイクロレンズアレイ

ウェハー基盤での複製ゾル・ゲル屈折マイクロレンズ（Avalon提供）

光格子（FSU-Jena提供）

ready to use
作業用スタンプの使用可能
working stamp

Ormocomp

直接プロトタイプ化およびマイクロパターン化 *テクノロジー：3Dの層別UV直接プロトタイプ化および2光子ポリメリゼーション

インプリント、モールド、従来リソグラフィー用UV硬化マテリアル
・最低350nmまでの高いトランスペアレンシー
・UVパターン化可能（リソグラフィー／モールド）・100nm以下のライン幅の高い解像度
・露光：i-line、h-line、広帯域・高速硬化・吸水度< 0.5 %・表面粗度2 – 4 nm
・6か月保存期間・270 ℃までの熱安定性
・無溶液

主用途
・ 成形格子・ マイクロレンズ
・ マイクロレンズアレイ
・ 光カプラーおよびコネクター
・ プリズムスタンプ

主要技術応用・ レーザ：355nm、20mW、100Mhz
・ スキャナ：100nm焦点距離、スキャニングエ
リア50x50mm
・ 解像度：10 μm

微小機械、マイクロセンサー、マイクロフルイディクス••

垂直5 μm側面・ 圧電アクチュエータでのポジショニング
UV

ビーム拡大器原理設定
3D層別UV直接
プロトタイプ化

減衰器
プロセスフロー UVモールド
不透明スタンプ

微小光学部品&マイクロシステム用ハイブリッド
ポリマー
・UVパターン化可能
・データコムおよびテレコム用波長での高度なトランスペアレンシー
・270 ℃までの熱安定性
・高速硬化・無溶剤

プロセスフロー UVモールド
トランスペアレントスタンプ

HRミラー @ 355 nm

Ormocore

直流スキャナ+焦点目標

スタンプ

主用途
・ 光センサーおよびセンサーシス
テム
・ ディスプレイ・ 光測定システム・ 単一エレメントまたはウェハー
スケール

2光子ポリメリゼーショ
ンで作成された光子クリスタル

2光子ポリメリゼーションで作成された光子クリスタル

3D層別UV直接プロタイプ
化で作成された微小アイ
テム（チェスタワー）

3D層別UV直接プロタイプ
化で作成された風車（歯車接続のフルイディクメ

AOモジュレータ

UV

樹脂処理チャンバ+ローラコースター

圧電アクチュエータ
準cwUVレーザ源@ 355 nm, 10 ps, 100 MHz* in collaboration with Laser Zentrum Hannover e. V.
2

モールドでインプリントされた
mr-UVCur06ナノ構造

3.固着防止層

www.microresist.com

Ormocers(Hybrid Polymers) for Micro Optics

微小光学用途のOrmocer(Courtesy of Laser Zentrum Hannover e.V.)3

Ormoclad

熱安定性

重量減量< 5 %（270 ℃ (5 K min-1)まで）

膜品質

優れた平坦化特性

吸水性< 0.5 %CTE (20 - 100 ℃)

100 - 130 ppm K -1

Rms粗度

2 - 4 nm
2 - 5 % by volume

収縮（硬化中）1 .5 3 4

シリコン上でのマルチモード導波路のアンダークラッ
ディング／コア（ACREO提供）

Gesellschaft für chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH

微小光学用Ormocer（ハイブリッドポリマー）
Ormocomp、Ormocore、Ormoclad、Ormostamp、ダイレクトプロトタイプ化用マテリアルの特徴
・ 優れたトランスペアレンシー
・ 優れた機械的特性
・ 高い化学的／物理的安定性
・ 優れたパターン転写忠実性・ すぐに使用可能なソルーション
・ 無溶剤

RR

1 .5 5 3

屈折率 @ 635 nm

複層光ファンアウト（FHG-OIF/Jena提供）®

Ormocore and Ormoclad
光パターン化可能な無機／有機ハイブリッドポリマー
・ UVパターン化可能（リソグラフィー／モールド） 主用途〒590-0023 大阪府堺市堺区南三国ケ丘町2-2-74・ 単一モード導波路

・ 調節可能屈折率（コア／クラッド）

・ マルチモード導波路

・ データコム波長での少ない光損失

日本総代理店

・ ビームスプリッタ

・ 270 ℃までの熱安定性

株式会社オーエステック

・ 熱光学スイッチ・ 6か月保存期間

1.555

Ormoclad
基盤

Ormocladのコーティング、プリベーク

1.550
1.545

Ormoclad

フラッド露光、禁止層のPEB除去

1.540

Ormocore

Ormocoreのコーティング、プリベーク

1.535
導波路パターン化、PEB

1.530

635 nm
830 nm1310 nm
1550 nm

1.525
1.520
0.0

Ormocore

0.2

生成

0.4

0.6

Ormocladの重量分立

0.8

1.0
Ormoclad

上位クラッディングのコーティン
グ、プリベーク、フラッド露光

PEB,禁止層の除去、ハードベーク

屈折率調節© micro resist technology GmbH | design by MANATEA mediendesign | 23 June 2008
Ormocer® - Registered trademark of the Fraunhofergesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung in Deutschland e. V.

TEL : 072-221-2778
FAX : 072-221-2779
http://www.ostech.co.jp
Mail : sales@ostech.co.jp

www.microresist.com

・ 露光：i-line、h-line、広帯域

光導波路用プロセスフロー

4s
Ormocer s (Hybrid Polymers) for Micro Optics

Ormocore

硬化ポリマーの特性

www.microresist.com

Ormocers(HybridPolymers) for Micro Optics®

®
平面光導波路用のOrmocer