自動X・XYステージ / テーブルサイズ 70×70

システム
製品
SystemProducts

Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 70×70

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密
ステージManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

XA07F-R103

回転Rotation

YA07F-R103※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

XA07F-R103

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(185.5)(115.5)

(15)

X・XY
X・XY
（200）
Z
Z

4-M4 Depth 5mm
4-M3 Depth 5mm

4-M3 Depth 5mm
M4 Depth 4mm
CCW

回転Rotation

裏面
Back Side(10)21(42)(11)

4-for M4 screws
Shaft length 2.5mm(115.5)40
φ4H8 Depth 4mm(200.5)

204.5

4H8(15)（200）

Depth 4mm

70
604030モーター
コントローラ
Motor
Controller(115.5)M4 Depth 4mm
4-M3 Depth 5mm
4-M3 Depth 5mm
4-M4 Depth 5mm

裏面Back Side

（200）

モーター
ドライバ
Motor
Driver(42)

21(11)(63)

付録
Appendix21(10)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

アクセ
サリー
Accessories

Depth 4mm

(185.5)
70
60
4030

制御装置
Control
Electronics

アプリ
ケーション
Application

4.5

YA07F-R103

真空ステージ
Vacuum
Stage

ドライバ
ボックス
DriverBox

40

Home Position
CCW Limit Sensor□60

アライメントステージ
XYθ

φ4H8 Depth
4mm

CW

CW Limit Sensor

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

2030406070(85)自動精密ステージ
Motorized
Stage

4H87060
4030□60

4-for M4 screws
Shaft length 2.5mm

検査システムInspection
SystemH-018

H.indd 18

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:12

鉄 / クロスローラガイド / 研削ネジ

システム
製品
SystemProducts

Steel Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw
型式
Model Number
勝手違い型式※1
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
移動範囲
Motion Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積リード誤差
Accumulated Lead Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
水平Horizontal
真直度
Straightness
垂直Vertical
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重
Weight直交度
Perpendicularity
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number
※1

※2

産業用
Industrial

XA07F-R103

YA07F-R103

XA07F-R103-R

YA07F-R103-RRR

実験用
Experimental

70mm×70mm
手動精密ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide
±10mm

X・XY
X・XY

研削ネジ, リード 0.5mm
Ground Screw, Lead 0.5mm
0.5μm/0.25μm

ZZ

0.025μm
2.5mm/sec≦10μm/20mm（AVE. 1.69μm/20mm）≦10μm/20mm≦±0.3μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.3μm≦1μm（AVE. 0.2μm）≦1μm≦0.5μm/20mm（AVE. 0.15μm/20mm）≦0.5μm/20mm≦0.6μm/20mm（AVE. 0.26μm/20mm）≦0.6μm/20mm≦1μm（AVE. 0.26μm）≦1μm

0.05 arcsec/N・cm（AVE. 0.03 arcsec/N・cm）

0.15 arcsec/N・cm

98N（10kgf）

88.2N（9kgf）

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

鉄Steel
ニッケルメッキ仕上げ
Nickel Plating

回転Rotation

1.3kg

2.6kg

－

≦5μm/20mm

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK544PMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

アライメントステージ
XYθΦ5mm オプションハンドル：A type（参照ページO-008）
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

真空ステージ
VacuumStage

V3F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)XA07F-R103-C

YA07F-R103-C

XA07F-R103-V

YA07F-R103-V

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 19H-019

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