PRIMET JOINT SYSTEM
プライメットジョイントシステム
Cylinder Connectors
シリンダーコネクター

TBW Fittings
TBW継手

Metal Seal Fittings
メタルシール継手Super Clean Seamless Stainless Steel PRIMET
スーパークリーンステンレス鋼 PRIMET

半導体設備、超高真空設備等の最先端技術分野では、製造装置部品の高品質化・清浄化が重要な課題となっています。素材
中の不純物成分を極力低減し、非金属介在物や GAS 成分を極限まで減少させた「PRIMET」によってシリンダーコネクタ

ーの各種グランドは製造されております。PRIMET 材は、従来の SUS316L 材に比べ、優れた材料特性を有する製品です。

■Features 特長

化学成分の厳密制御

非金属介在物の低減

高い清浄度

優れた溶接性■Guaranteed levels of chemical components 非金属成分保証値の比較 ( 指定：※表示ppm単位 )化学成分 :Wt%

PRIMET 製造保証値
PRIMET 製造実績値
PRIMET-VIM/VAR 保証値日本規格 JIS G3459 SUS316LTP
USA 規格 ASTM A269 TP316L■Comparison of nonmetallic inclusions 非金属介在物保証値の比較
測定方法 :ppm

介在物成分

PRIMET 製造保証値
PRIMET 製造実績値
SUS316L 分析代表例■Comparison of cleanliness of PRIMET and general Stainless Steel 316L
PRIMETと一般SUS316Lの清浄度の比較

鋼種

測定方法

■Weldability 溶接性の比較

JIS 法（TOTAL）：％

ATSM 法：数量Cylinder Connectors CGA
シリンダーコネクター CGA

CGA

Model specifications for the order request.
ご注文のための仕様型式

CGA 320 - SS - H
Specify CGA number.

CGA番号をご指定ください。

Plug material

Handle for gland/S-C1:Brass(Standard)

Blank:Without

SS:SUS316H:With

プラグ材質/S-C1：真鍮（標準）グランド用ハンドル
ブランク：ハンドル無し
H:ハンドル付属

SS：SUS316■Parts List - CGA 部品構成表 -CGA
CGA番号 タイプ

標準おす＆めすナット

ナット

ベアリング グランド ガスケット

プラグHandle

ハンドルHD-22(26)Cylinder Connectors JIS / CGA(DISS)
シリンダーコネクター JIS 規格 / CGA（DISS）規格JIS

Model specifications for the order request. ご注文のための仕様型式

JIS 21 - 14 - L - SS - H

Specify JIS number.

Screw thread

JIS番号をご指定ください。

Handle for gland

Plug material

ねじ山

プラグ材質

グランド用ハンドル

R：右ネジ仕様/S-C1：真鍮（標準）ブランク：ハンドル無し

SS：SUS316

H：ハンドル付属

R: Rigth Hand

/S-C1: Brass(Standard)

L : Left Hand

H: WithSS: SUS316

L：左ネジ仕様

Blank: Without■Parts List - JIS 部品構成表 -JIS
JIS番号タイプ

標準めすナット

ナット

ベアリング

グランド

ガスケット

プラグHandle
ハンドル

HD-22(26)

CGA(DISS)

Model specifications for the order request. ご注文のための仕様型式

CGA(DISS) 632 - C
Specify CGA(DISS) number.

Chain

チェーン

CGA（DISS）
番号をご指定ください。

Blank: Without

ブランク：無し

C: Chain

C：チェーン■Parts List - CGA(DISS) 部品構成表 -CGA（DISS）
CGA（DISS）番号 タイプ

標準めすナット

ナット

ベアリング

グランド

ガスケット

プラグ

SUSリング付き
PCTFE ガスケット※inch（インチ）以外は寸法は全て mm です。※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

Cylinder Connectors Gland / Bearing / Nut

シリンダーコネクター グランド / ベアリング / ナット

GLAND
BEARING
NUTCylinder Connectors Plug / Gasket / Handle

シリンダーコネクター プラグ / ガスケット / ハンドル

PLUG
※標準材質：真鍮→SUS316 をご希望の場合は部品番号（Part No.）先頭に”S”をつけて下さい。

※標準材質：真鍮→SUS316 をご希望の場合は部品番号（Part No.）先頭に”S”をつけて下さい。

※標準材質：SUS316

GASKET※ガスケット材質：PCTFE、リング材質：SUS316※ガスケット材質：PCTFE※ガスケット材質：PCTFE、リング材質：SUS304

HDG
DF

∅

B

()

A

Handle:SUS304※ハンドル材質 : SUS304

CE∅HANDLE

HandleNote:Dimensions are in mm except shown in inch and reference only. ※inch（インチ）以外は寸法は全て mm です。
Speciﬁcations are subject to change without prior notice.
※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

TBW Fittings
TBW 継手TBW Fittings■Features 特徴

We provide the TBW(Tube Butt Weld) typeof configuration for the welding section onfittings.

PJ 継手の溶接部形状は、TBW（TUBE BUTTWELD）に対応しています。

TBW Type TBW タイプ

This is the optimal configuration for butt
welding using an automatic TIG welding
machine, used in recent yeas for ultra highpurity piping.
近年の超高純度配管に採用されている自動 TIG 溶接機による突き合わせ溶接に最適の形状としました。

End of welding section 溶接部端面
A special polishing method is used to give a smooth surface and there is no beveling of the internal and external walls.
特殊研磨加工により、平滑で内外径に面取り部がありません。
Internal and External diameter tolerance 内外経公差Thanks to precision machining and thorough qualitycontrol, we provide products with extremely stableaccuracy in terms of metal thickness and roundness.
精密機械加工と徹底した品質管理により、極めて安定した制度の肉厚・真円度でお届けします。

Model specifications for the order request.
ご注文のための仕様型式

P

6

M 04

4C

Basic Configuration
内面研磨レベル

製品仕様

U
材質 Material

基本形状

製品材質

Material
Designations

3※PRIMET 材選定時のみ選択可能

Internal Surface Polishing Level

ProductSpectification

PJ Polishing + Electro Polishing +Precision Washing Rmax.≦0.7μm
Precision Machining + Pure Water Washing
Rmax.≦2.5μm

異径チューブサイズ（外径：レデューシング製品）

チューブサイズ（外径）Tube O.D. Designations

溶接部寸法（寸法表B寸法）

Welding Section Dimension(B Dimensions in Parts Chart)

Tube O.D. Designations for Different Size
(Reducing products)※異径サイズの場合のみ指定してください。

TBW Fittings
TBW 継手Micro TypeMicro TypeShort Type※inch（インチ）以外は寸法は全て mm です。※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

TBW Fittings
TBW 継手Short TypeLong Type

Long Type※inch（インチ）以外は寸法は全て mm です。※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

Metal Seal Fittings
メタルシール継手■Basic Composition of PJ metal seal fittings
メタルシール継手の基本構成

PJ metal seal fittings are made up of five basic components as shown below.

メタルシール継手は下記に示すように、5 種類の基本部品により構成されています。
めすナット

ロング・グランド-S

ガスケット

ロング・グランド-L

おすナット■Assembly example of metal seal fittings メタルシール継手の組立例
めすナット

グランド-S

ガスケット

グランド-L

リークテストポート

おすナット■Example of General Combination 一般的な組合せ例
溶接部寸法(inch)

※
※

めすナット

ロング・グランド-S

ガスケット

各部品の基本寸法は、04・08の2種類であり、部品番号の基本寸法コードに表示しています。
基本寸法コードの異なる部品は、組合せできませんのでご注意下さい。

ロング・グランド-L

おすナットModel specifications for the order request.
ご注文のための仕様型式

P LG 08

製品材質

06 S

C

異径チューブサイズコード（外径：レデューシング製品）※

Material Designations

Tube O.D. Designations
for Different Size
(Reducing products)

ガスケットのみU
材質※

Material※PRIMET 材選定時のみ選択可能※以下の製品は、SUS316 材（標準）となります。
その他の材質についても、ご要望により製作致します。

※異径サイズの場合のみ指定して下さい。

基本寸法コード

Basic Dimension Code

グランドの適合ナット指定コード※

Code Indication Nut Matched to the Gland
めすナット適合用グランド
おすナット適合用グランド※グランド類に限り指定します。

基本形状

Basic Configuration
めすナット

ダブルおすユニオン

ガスケット

ダブルめすユニオン

オスナット
キャップ
プラグ

ロンググランド

ショートグランド
マイクログランド

バルクヘッドユニオン
レデューシングアダプター
ユニオンエルボー
ユニオンティー

クローズカップリングGLAND※inch（インチ）以外は寸法は全て mm です。※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

内面研磨レベルInternal Surface Polishing Level
PJ Polishing + Electro Polishing +Precision Washing Rmax.≦0.7μm
Precision Machining + Pure Water Washing
Rmax.≦2.5μm

Metal Seal Fittings
メタルシール継手

GLAND
CAP / PLUG

NUT / GASKET- LT- LT※Nickel or SUS in available.

※Retainer material is made of 316L stainless steel.

FEMALE UNIONCOUPLING※inch（インチ）以外は寸法は全て mm です。※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

※Ni及びSUSの供給が可能です｡※リテイナー材質はSUS316Lです｡

Metal Seal Fittings
メタルシール継手

UNION
HR TYPE GLAND / BODY
ADAPTER※inch（インチ）以外は寸法は全て mm です。※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

Protection Filter PF Series(Gasket Type)プロテクションフィルター PF シリーズ（ガスケットタイプ）

Protection filter, PF series has two functions as a metal gasket and gas filter.This allows integration ofgas filter without adding length to gas system. 0.3μm or 1μm for particle retention and 316L stainlesssteel or Nickel gasket material are available. Those PF series protect gas components, such as valve,mass flow controllers and regulators from particle damage.
プロテクションフィルター PFシリーズは、メタルガスケットとフィルターが一体化したオールメタルガスフィルターです。

メタルシール継手部へガスケットとして設置でき、スペースの確保が必要ありません。濾過性能は 0.3μmと1μm から選択でき、ガスケットの材質もSUS316Lとニッケルから用途に合わせて選択することが可能です。

インラインフィルターのプレフィルターとして使用したり、バルブ、マスフローコントローラーなどの配管系部品の保護用フィルターとして設置いただけます。

■Features and advantage 特徴・利点❶Fits into a metal seal fitting as a gasket.

メタルシール継手部のガスケットとして単体で装着できます。

❷Extends the life time of high particle retention gas filterby the installation.
高性能フィルターのプレフィルターとして設置することにより、高性能フィルターの早期目詰まり防止ができます。

❸Saves the cost of maintenance for valve, MFC and Regulator.
バルブ、MFC、レギュレーターなどの保護用として設置すれば配管部品のメンテナンスコストが低減できます。

■Application アプリケーション
PF Series

PF Series

PFシリーズPFシリーズ

Valveバルブ

PF Series

PF Series

PFシリーズPFシリーズ

Mass Flow Controller
マスフローコントローラー■Specification 仕様
Filtration Accuracy 濾過精度

Material 材質

Protection Filter
プロテクションフィルター

Integrated Gas System
集積化ガスシステム※Available for other companyʼs gasket seal ﬁttings. 他社ガスケットシール継手にも使用可能です。

0.3μm、1μm
Gasket : 316L Stainless steel or Nickel

ガスケット部 : SUS316L 又はニッケル

Filter : 316L Stainless steel

フィルター部 : SUS316L

Max. Operating Pressure 最高使用圧力

0.98MPa

Fitting 対応継手形状

1/4”、3/8” (1/2” commom)

1/4” 、3/8”（1/2”共通）メタルシール継手に対応

■Flow Rate Characteristics 流量特性
＜Type 3/8” 、1/2”、Filtration Accuracy 0.3μm＞
Primary Pressure

0.4MPaNitrogen Gas Flow Rate

0.4MPa0.5MPa0.2MPa差圧（kpa）

0.3MPaDifferential Pressure

0.5MPa

一次圧：0.1MPa

0.2MPa差圧（kpa）

差圧（kpa）

0.3MPa0.3MPa0.5MPa0.4MPaNitrogen Gas Flow Rate

窒素ガス流量（SLM）（3/8”、1/2”タイプ、濾過精度1.0μm）

Primary Pressure

一次圧：0.1MPa

Differential Pressure

Differential Pressure

一次圧：0.1MPa＜Type 3/8” 、1/2”、Filtration Accuracy 1.0μm＞（1/4”タイプ、濾過精度1.0μm）

一次圧：0.1MPa

0.2MPa0.3MPa0.4MPaNitrogen Gas Flow Rate

窒素ガス流量（SLM）

Primary Pressure

差圧（kpa）

0.2MPaPrimary Pressure＜Type 1/4” 、Filtration Accuracy 1.0μm＞（3/8”、1/2”タイプ、濾過精度0.3μm）

Differential Pressure＜Type 1/4” 、Filtration Accuracy 0.3μm＞（1/4”タイプ、濾過精度0.3μm）

0.5MPaNitrogen Gas Flow Rate

窒素ガス流量（SLM）

窒素ガス流量（SLM）■Dimensions 外形寸法1/4”type
Modelモデル

口径1/4” タイプ用

1/4” type

3/8”type、1/2”type

Without Retainer

リテイナー無PFGS04-03

PFGN04-03

PFGS04-10

PFGN04-10

With Retainer

リテイナー有PFGS04-03R

PFGN04-03R

PFGS04-10R

PFGN04-10R

Filtration Accuracy

0.3μm濾過精度

1.0μm

MAX. Operating Pressure

最高使用圧力0.98Mpa

Filter Materials

フィルター材質

SUS316L

Gasket Materials

ガスケット材質

SUS316L

NICKELSUS316L

Note:Retainer material is made of 316L stainless steel.

3/8”or 1/2” (common)
Modelモデル

NICKEL※リテイナー材質は SUS316L です。

口径3/8” および1/2”タイプ用（共通）Without Retainer

リテイナー無PFGS08-03

PFGN08-03

PFGS08-10

PFGN08-10

With Retainer

リテイナー有PFGS08-03R

PFGN08-03R

PFGS08-10R

PFGN08-10R

Filtration Accuracy

0.3μm

濾過精度

1.0μm

MAX. Operating Pressure

最高使用圧力0.98Mpa

Filter Materials

フィルター材質

SUS316L

Gasket Materials

ガスケット材質

SUS316L

NICKELSUS316L

Note:Retainer material is made of 316L stainless steel.

PFGS

04 - 03

NICKEL※リテイナー材質は SUS316L です。

R●Filtration Accuracy●Gasket Type

ガスケットタイプ●Gasket Material

ガスケット材質コード

S：SUS316L
N：NICKEL●Fitting Sizing

基本寸法コード

濾過性能

03：0.3μm
10：1.0μm

04：1/4inch 6.35mm
08：3/8inch 9.53mm 1/2inch 12.70mm●Retainer with / without

リテイナー有無

R：with Retainer
R：有Blank：without Retainer ブランク：無Protection Filter PF Series(Corn Head Type)プロテクションフィルター PF シリーズ（コーンヘッドタイプ）

Protection filter, PF series has two functions as a metal gasket and gas filter.This allows integration ofgas filter without adding length to gas system. 0.3μm or 0.5μm for particle retention.
Those PF series protect gas components, such as valve, mass flow controllers and regulators fromparticle damage.
プロテクションフィルター PFシリーズは、メタルガスケットとフィルターが一体化したオールメタルガスフィルターです。

メタルシール継手部へガスケットとして設置でき、スペースの確保が必要ありません。濾過性能は 0.3μmと0.5μm から選択でき、用途に合わせて選択することが可能です。

インラインフィルターのプレフィルターとして使用したり、バルブ、マスフローコントローラーなどの配管系部品の保護用フィルターとして設置いただけます。

■Features and advantage 特徴・利点❶Fits into a metal seal fitting as a gasket.

メタルシール継手部のガスケットとして単体で装着できます。

❷Extends the life time of high particle retention gas filterby the installation.
高性能フィルターのプレフィルターとして設置することにより、高性能フィルターの早期目詰まり防止ができます。

❸Saves the cost of maintenance for valve, MFC and Regulator.
バルブ、MFC、レギュレーターなどの保護用として設置すれば配管部品のメンテナンスコストが低減できます。

■Application アプリケーション
PF Series

PF Series

PFシリーズPFシリーズ

Valveバルブ

PF Series

PF Series

PFシリーズPFシリーズ

Mass Flow Controller
マスフローコントローラー■Specification 仕様
Filtration Accuracy 濾過精度

Material 材質

Protection Filter
プロテクションフィルター

Integrated Gas System
集積化ガスシステム※Available for other companyʼs gasket seal ﬁttings. 他社ガスケットシール継手にも使用可能です。

0.3μm、0.5μm
Gasket : 316L Stainless steel

ガスケット部 : SUS316L

Filter : 316L Stainless steel

フィルター部 : SUS316L

Max. Operating Pressure 最高使用圧力

0.98MPa

Fitting 対応継手形状

1/4” VCR /UJR

1/4” 、VCR/UJR ガスケット継手に対応

■Flow Rate Characteristics 流量特性
PFTS04-03R

PFTS04-05R

0.2MPaPrimary Pressure

0.3MPa0.4MPa0.5MPa0.2MPaPrimary Pressure

0.3MPa

一次圧：0.1MPa

0.4MPa差圧（kpa）

Differential Pressure

差圧（kpa）

Differential Pressure

一次圧：0.1MPa

0.5MPaNitrogen Gas Flow Rate

Nitrogen Gas Flow Rate

窒素ガス流量（SLM）

1/4”type

窒素ガス流量（SLM）

口径1/4” タイプ用

Model (With Retainer)

モデル（リテイナー有）PFTS04-03R

PFTS04-05R

Filtration Accuracy

濾過精度

0.3μm

0.5μm

Allowable Differential Pressure

許容差圧MAX. Operating Temp.

最高使用温度

400℃

Materials

材質

SUS316L(Elements / Gasket / retainer) SUS316L（エレメント、ガスケット、リテイナー）

Fittings

対応継手形状Inside → outside 9.0MPa

内 → 外 9.0MPa

1/4” VCR / UJR GASKET

outside → Inside 6.5MPa 外 →内 6.5MPa

1/4” VCR / UJR ガスケット継手に対応■Dimensions 外形寸法(22)

基本フロー(φ3.7)

1.6φ12.77

φ1.

FLOW
Note:Speciﬁcation are subjected to change without prior notice.
※製品改良のため予告なく仕様を変更する場合があります。

PFTS04 - 03 R
●Filtration Accuracy

濾過性能

03：0.3μm
05：0.5μm

プライメット株式会社
PRIMET CO., LTD.

■本社・工場 ／ 〒970-1144 福島県いわき市好間工業団地14番地の5
TEL :0246-38-8114

FAX:0246-38-8378

Head Office & Factory:14-5, Yoshima Industrial Park,
Iwaki-shi, Fukushima, 970-1144 Japan■東京支社 営業部／〒110-0005 東京都台東区上野3-14-1
UENO CUBE EXECUTIVE 301
TEL :03-5812-4826 FAX:03-5812-4827
Tokyo Branch Sales Dept.: UENO CUBE EXECUTIVE 301, 3-14-1,Ueno, Taito-ku, Tokyo, 110-0005 Japan■韓国事務所 ／ 대한민국 서울특별시 강북구 도봉로 20가길 40
준타원(JUN TOWER) 506
TEL (Mobile):82-10-8977-4644 FAX:82-2-929-4644
Korea Agency : 506 unit Jun Building, 40 Dobong-ro 20Ga-gil,Gangbuk-gu, Seoul, 00164

URL:https:/ /www.primet.co.jp

202309-GC-JP