О компании NANOWORLD®
Нанотехнологии - это наша область. Точность - это наша традиция.
Новаторство - это наш основной инструмент.
Поэтому мы находимся в Швейцарии, одном из самых сильных и новаторских регионовЕвропы.
Используя наши знания, также как и наши высокоточныe СЗМ и АСМ зонды, наши клиенты
могут получить самые лучшие результаты в Сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) иособенно в Атомной силовой микроскопии (АСМ).

POINTPROBE®

ARROW™

Основные особенности• Наиболее широко используемыеОсновные особенности• оптимизированная расстановка

Основные особенности
• Кремниево-нитридные• Кремниевые СЗМ и АСМ зонды

• Трёхсторонная игла,• Чип из стекла „Пирекс”• Разработанный для различных

• Канавки выравнивания на задней

• Игла на самом конце кантилевера• Оксидированные заточенные• Радиус иглы типично < 10 nmпирамидальные иглы зондов• Гарантировано < 15 nm• Радиус иглы типично < 10 nm• Предлагаются с трехугольнымии широко известные СЗМ и АСМзонды в миредля отображения с очень
высоким разрешениемстороне чипа• Радиус иглы типично < 8 nm
• Гарантировано < 12 nm• Предлагаются разные формы иглчерез максимизированнуювидимость иглыопределённая от плоскостей изреального кристалла

PYREX-NITRIDE(Пирекс-нитрид)кантилеверы и наконечникиприложений отображения вконтактном и динамическомрежимеили прямоугольнымикантилеверами

Кремниевые АСМ зондыPOINTPROBE®

Наиболее широко используемые и широко известныеСЗМ и АСМ зонды высшего качество в миреPointprobe® игла (Стандартная)Стандартная игла Pointprobe® имеет форму пирамиды, у которой основаниемногоугольник.
Ее макроскопический угол полуконуса – от 20° до 25° если смотреть вдоль осикантилевера, от 25° до 30° если смотреть со стороны, и практически ноль насамом конце острия.
Игла Pointprobe® имеет высоту в 10 - 15 µm, а радиус иглы типично лучше чем8 nm (меньше чем 12 nm гарантировано).
Игла Pointprobe®

Основное• СЗМ и АСМ зонды для отображения с очень высоким разрешением
• подходит ко всем известным промышленным СЗМ и АСМ• Монокристаллический кремниевый чип (монолитный дизайн)поддерживает кантилевер и иглуОсобенности материала• Высоко легированый монокристаллический кремний (удельное
сопротивление 0.01 - 0.025 Ohm•cm)• Без внутреннего напряжения и с абсолютно прямыми кантилеверами
• Химически инертный кремний для приложения в текучих средах илиэлектрохимических клеткахPointprobe® вид сбоку

Кантилевер
• прямоугольный кантилевер с трапециевидным поперечным сечением
• широкая сторона датчика для удобного регулирования лазерного луча• маленькая ширина со стороны иглы уменьшает демпфированиеЧип
• Кантилевер интегрирован в кремниевый чип• Размеры чипа - легко воспроизводимы (1.6 mm x 3.4 mm)• Канавки выравнивания на задной стороне кремниего чипа. Замена зондов беззначительной настройки лазерного луча если используется в соединении счипом выравнивания.

Pointprobe® трехмерный видУпаковочные размеры• маленькие упаковки по 10, 20 или 50 сканирующих зондов• полная подложка с 380 до 388 сканирующих зондов, в зависимости от продуктаНаличные покрытияОтражательное покрытиеМягкое и твердое магнитное покрытие

• 30 nm алюминиевое покрытие• Твердое магнитное покрытие:• увеличивает с фактором• Мягкое магнитное покрытие: мягкоена задней стороне кантилевера2.5 коэффициент
отражения лазерного луча• препятствует светуинтерферироваться в пределахкантилевера

кобальтовый сплав на стороне иглымагнитное покрытие на стороне
иглы (коэрцитивность около 0.75 Oe,остаточная намагниченность около225 emu/cm3)

Игла SuperSharpSilicon™ Tip (SSS)Для улучшенного разрешения микро-неровностей и наноструктур мы разработали
передовой процесс производства иглы, приводящий к дальнейшему усовершенствованию
заостренности иглы с радиусами игл всего в 2 nm. С этими АСМ иглы мы раздвинули
границы технологии.

Игла SuperSharpSiliconTM (SSS)Особености иглыВысота иглы - 10 -15 µm, а типичный радиус иглы SuperSharpSilicon™ - около 2 nm.
Мы гарантируем радиус иглы меньше чем 5 nm (гарантируемый результат: 80 %).Угол
полуконуса - меньше чем 10 ° в последних 200 nm острия.

Игла High Aspect Ratio (AR5 / AR5T)Игла High Aspect Ratio (AR5)Для измерения на образцах с углами боковой стены, приближающимися к 90 °, напримеризмерения глубоких углублений или других полупроводниковых приложении, мыпредлагаем два различных типа игл с высоким коэффициентом пропорциональности
показанным около вертикальных боковых стен.
Эти иглы имеют полную высоту 10 - 15 µm, которая позволяет измерение на сильно
волнистых образцах. В последних несколько микрометрах иглы есть часть с высоким
коэффициентом пропорциональности, которая является симметрической если смотретьот стороны, так же как по оси кантилевера. Радиус иглы - обычно 10 nm (меньше чемгарантировано 15 nm).
Особености иглыЧасть иглы с высоким коэффициентом пропорциональности AR5 /AR5T больше чем 2 µm
и показывает формат изображения типично 7:1 (минимальный формат изображения 5:1гарантировано).Следовательно половина угла конуса части с высоким коэффициентом
пропорциональности – типично меньше чем 5 °.
Кроме того, часть с высоким коэффициентом пропорциональности варианта AR5Tнаклонена на 13 ° относительно оси центра кончика, позволяющее абсолютносимметрическое отображение.

Tilt compensated AR5TИгла Diamond Coated (DT), игла Conductive Diamond Coated (CDT)Для СЗМ и АСМ приложений, которые требуют твердого контакта между зондом иобразцом мы рекомендуем наш Diamond Coated Tip (DT). Некоторые типичные
приложения – измерение силы трения, измерение эластичных свойств образцов, так жекак и измерение изнашивания или наноструктурирования. Conductive Diamond CoatedTip (CDT) дополнительно предлагает проводящее, непассивированное покрытие.

Игла Diamond Coated (DT, CDT)Особенности иглы и покрытияНастоящее поликристаллическое алмазное покрытие на стороне иглы кантилевера снепревзойденной твердостью алмаза.Высота иглы - 10 - 15 µm, а толщина алмазного
слоя - приблизительно 100 nm. Макроскопический радиус острия находится в диапазоне
100 - 200 nm,но игла часто показывает нано- неровности в режиме 10 nm.В случае CDTпроводимость находится в диапазоне 0.003 - 0.005 Ohm•cm.

Алмазное покрытие

PtIr5 покрытие

Золотое покрытие (по желанию)• 100 nm покрытие из• 25 nm покрытие из хрома/платины иридий5• 70 nm покрытие из хрома/• непревзойденная твердость

• Устойчивое на напряжение и на изнашивание• покрытие на задней стороне кантилевера

• 70 nm покрытие из хрома/ золот

поликристаллического
алмаза на стороне иглыиглыс обеих сторон сканирующего зонда

увеличивает с фактором 2 коэффициент
отражения лазерного луча• позволяет электрические измерениязолотана задней сторонекантилеверас обеих сторон зонда

ARROW™
Кремниевые АСМ зондыоптимизированная расстановка черезмаксимизированную видимость иглыОсновное
• СЗМ и АСМ зонды для отображения с очень высоким разрешением
• подходит ко всем известным промышленным СЗМ и АСМ• Монокристаллический кремниевый чип (монолитный дизайн) поддерживаеткантилевер и иглуArrowTM вид сверхуОсобенности материала• высоко легированный монокристаллический кремний (удельное сопротивление0.01 - 0.025 Ohm•cm)• Без внутреннего напряжения и с абсолютно прямыми кантилеверами
• Химически инертный кремний для приложения в текучих средах илиэлектрохимических клеткахКантилевер

• Прямоугольный кантилевер с треугольным свободным концом
• удобное расположение кончика в области интереса благодаря форме Arrow™
• стабильное расстояние между иглой и концом кантилевера
• трапециевидное поперечное сечение с широкой задней стороны для удобного
регулирования лазера

ArrowTM вид спередиЧип• Размеры чипа - легко воспроизводимые (1.6 mm x 3.4 mm)• травлёные углы чипа исключают контакта между чипом и образцомИгла

• высота иглы 10 - 15 µm, а радиус кривизны типично <10 nm(<15 nm гарантировано)• Mакроскопическиe углы полуконуса
ArrowTM вид со стороны- От 30° до 35°, если смотреть вдоль оси кантилевера,- От 20° до 25°, если смотреть со стороныУпаковочные размеры• маленькие упаковки по 10, 20 или 50 сканирующих зондов• полная подложка с 380 сканирующих зондовНаличные покрытияОтражательное покрытиеPtIr5 покрытие

• 30 nm алюминиевое покрытие

• 25 nm двойное покрытие из хромана задней стороне кантилевера

• увеличивает с фактором 2.5
коэффициент отражениялазерного лучаи платины иридий5 с обеих сторон
сканирующего зонда• позволяет электрические измерения• Предлагаются другие покрытия по желанию

A R R O W ™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)A R R O W ™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)

35 µm

ArrowTM UHF

Arrow™ UHF

Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) - кремниевый СЗМ и АСМ зонд с четырёхгранным
острием и треугольным кантилевером, способный к резонированию с ультравысокойчастотой до 2.0 МГц.
Кантилевер Arrow™ UHF имеет длину 35 µm и ширину базы 42 µm. Возможна толщинакантилевера между 0.6 µm и 1.0 µm. Высота иглы - 3 µm.
По заявке, определенные толщины кантилевера подбираются в пределах очень узкогодопуска, за дополнительную плату за выбор.

Arrow™ TL (Кантилеверы без иглы для специальных приложений)Arrow™ UHF трехмерный видУ СЗМ и АСМ зондов Arrow™ TL есть кантилеверы без иглы для специальных приложений.
Они могут, например, использоваться для того, чтобы прикреплять сферы и другиеобъекты к свободному концу кантилевера, или для приложения функционализирования ичувствительных приложений.
Все сканирующие зонды серии Arrow™ сделаны из монолитного кремния, который высоколегирован, чтобы рассеивать электростатический заряд, и химически инертен.
Продукты серии ArrowTM без иглы (ArrowTM TL) предлагаются или с 1 кантилеверомили с комплектом кантилеверов, состоящий из 2 или 8 прямоугольных кантилеверов стреугольным свободным концом.
Arrow™ TL предлагаются по выбору с покрытием на верхней стороны из 5 nm титана/ 30 nmзолота.
Кантилевер

Величина

Диапазон

Толщина

1.0 µm

0.5 - 2.5 µm

Ширина(прямоугольная часть)100 µm95 - 105 µm

Длина

500 µm495 - 505 µm

Силовая константа

0.03 N/m

0.04 - 0.54 N/mРезонансная частота

6 kHz

3 - 14 kHz

Arrow™ TL1

Кантилевер без иглы, однабалка кантилевера накремниевом чипеArrow™ TL2

Комплект кантилеверов безиглы, двое балок кантилеверана монокристаллическомкремниевом чипеArrow™ TL8Комплект кантилеверов без иглы,восемь балок кантилевера намонокристаллическом кремниевомчипе

PYREX NITRIDE AFM PROBESПередовой уровень в точности истойкостиОсновное• СЗМ и АСМ зонды для широкого диапазона приложений
• подходит ко всем известным промышленным СЗМ и АСМ• Кремниево-нитридные кантилеверы и иглы• Чип из стекла „Пирекс” поддерживает кантилевер
• поставляется как разделенные самостоятельные чипы для удобного
оперированияАСМ зонд Pyrex-Nitride крупныйплан

Особенности материала• Азотистый кремний низкого напряжения для наименьшего изгиба кантилевера
• превосходная твердость для обеспечения износостойкости и удлиненнойдолговечности
Кантилеверы• Мульти-консольный дизайн или с четырьмя прямоугольными консолями или счетырьмя треугольными консолями
• отражательное покрытие из хрома/золота на задней стороне кантилеверов
• Устойчив на напряжение на изгиб ниже 2°АСМ зонд Pyrex-Nitride треугольные консоли трехмерныйэскиз

Чип• Чипы сделанны из стекла „Пирекс” (3.4 mm x 1.6 mm x 0.5 mm)• Удобное оперирование благодаря единичности чиповИглы
• Оксидированные заточенные пирамидальные наконечники зондов
• высота иглы 3.5 µm, а радиус кривизны типично <10 nm• Макроскопические углы полуконуса - 35°
Упаковочные размеры• маленькие упаковки по 20 или 50 сканирующих зондовАСМ зонд Pyrex-Nitride прямоугольные консоли (похожина трамплин для прыжков воду)трехмерный эскизНаличные покрытияЗолотое покрытие

• 65 nm покрытие из хрома/золота назадней стороне кантилеверов

• Увеличивает коэффициент отражениялазерного луча• 35 nm покрытие из хрома/ золота собеих сторон сканирующего зонда

Pyrex Nitride AFM ProbesТреугольные кантилеверы (PNP-TR)Прямоугольные кантилеверы (PNP-DB)Треугольные кантилеверы (PNP-TR)Прямоугольные кантилеверы (PNP-DB)• Кантилеверы в форме треугольника
• Мульти-консольный дизайн
• 4 консоли на чип, 2 длинные и 2 короткие консоли
• отражательное покрытие из хрома/золота на задней

• прямоугольные (похожих на трамплин для прыжковводу) кантилеверы• Мульти-консольный дизайн
•4 консоли на чип, 2 длинные и 2 короткие консоли• отражательное покрытие из хрома/золота настороне кантилеверов

задней стороне кантилеверов• Предлагается с покрытием из хрома/ золота с обеих
сторон сканирующего зонда• Предлагается модель без иглы с отражательным
покрытием из хрома/золота на задней стороне
кантилеверов

• Предлагается модель без иглы с покрытием из хрома/золота с обеих сторон сканирующего зонда

Кантилевер #1ФормаТреугольная

2Общая толщина*600 nm

600 nmОбщая толщина*600 nm

600 nmДлина

100 µm200 µmДлина

100 µm200 µmШирина

2 x 13.5 µm 2 x 28 µmШирина

40 µm

40 µm

Силовая константа

0.32 N/m

0.08 N/mСиловая константа

0.48 N/m

0.06 N/mРезонансная частота67 kHz

17 kHzРезонансная частота

67 kHz

17 kHzКантилевер#1Формапрямоугольная

2*Общая толщина кантилевера, включая покрытие.

*Общая толщина кантилевера, включая покрытие.

Пожалуйста обратите внимание: Вышеупомянутые механические
свойства - типичные величины.

Пожалуйста обратите внимание: Вышеупомянутые механические
свойства - типичные величины.

Pyrex-Nitride AFM Probe
Triangular Tipless Cantilevers

Pyrex-Nitride AFM Probe
Triangular Tipless Long Cantilever
Close-up

Pyrex-Nitride AFM Probe
Triangular Tipless Short Cantilever
Close-upТаблица быстрого выбора		Kонтактный режимKонтактный режимKонтактный режим (короткийкантилевер)Kонтактный режим илиПолуконтактный режимТип

Покрытиепередней
стороны

-Arrow™

0.2 N/m-Pointprobe®

0.2 N/m

13 kHzArrow CONTR-

Reflex (Al)Arrow™

0.2 N/m

14 kHz

CONTR-

Reflex (Al)Pointprobe®

0.2 N/m

13 kHzArrow CONTPt

PtIr5

PtIr5

Arrow™

0.2 N/m

14 kHz

CONTPtPtIr5PtIr5

Pointprobe®

0.2 N/m

13 kHzCONTSC--CONTSCR-Reflex (Al)Pointprobe®

0.2 N/m

25 kHzPNP-TR (Треугольные Кантилевер 1кантилеверы)Кантилевер 2-

Reflex(Cr/Au)

Cr/Au

Cr/Au-

Reflex(Cr/Au)PNP-TR-Au(Треугольныекантилеверы)Кантилевер 1

PNP-DB(Прямоугольныекантилеверы)Кантилевер 1Кантилевер 2Кантилевер 2Бесконтактный режим/Полуконтактный режим

0.32 N/m

67 kHz0.08 N/m

17 kHz0.48 N/m

67 kHz0.06 N/m

17 kHz285 kHz-

Arrow™

42 N/m-Pointprobe®

42 N/m

330 kHz

Arrow NCR

-Reflex (Al)Arrow™

42 N/m285 kHz

NCHR-Reflex (Al)Pointprobe®

42 N/m330 kHz

Arrow NCPt

PtIr5

PtIr5

Arrow™

42 N/m285 kHz

NCHPt

PtIr5

PtIr5

Pointprobe®

SSS-NCH--SuperSharpSilicon™

AR5-NCHR-Reflex (Al)Высокий коэффициент
пропорциональности (5:1)

AR5T-NCHR (Kомпенсация наклона)-Reflex (Al)Высокий коэффициент
пропорциональности (5:1)

42 N/m

330 kHz

AR10-NCHR-

Reflex (Al)Высокий коэффициент
пропорциональности (10:1

7.4 N/m

160 kHz

48 N/m190 kHz

15 N/m130 kHz-up to2.0 MHz

2.8 N/m

75 kHz2.8 N/m

75 kHz2.8 N/m

75 kHzНитридно-кремниевый,NanoWorldAG
0.03 N/mбез иглыHeadquarters

6 kHz

Diamond

Reflex (Al)АлмазNCST--

Pointprobe®

NCSTR

-

Reflex (Al)Pointprobe®

---

Reflex (Al)

NCLPt

PtIr5

Ptlr5

SSS-NCL--

SuperSharpSilicon™

AR5-NCLR-

Reflex (Al)Высокий коэффициент
пропорциональности (5:1)

Diamond

Reflex (Al)Алмаз-

Reflex (Al)Pointprobe®

--

SuperSharpSilicon™

-

Reflex (Al)Arrow™

CDT-NCLRБесконтактный / Полуконтактный
Arrow UHFрежим(УВЧ)

Pointprobe®

Arrow FM--

Arrow™

FM--

Pointprobe®

Arrow FMR-

Reflex (Al)Arrow™

FMR-

Reflex (Al)Pointprobe®

Diamond

Reflex (Al)Diamond

DT-FMR
CDT-FMRДругие приложения

67 kHz
17 kHz-Бесконтактный / Полуконтактный SEIHRрежим(бесконтактный режимSSS-SEIH
Сейко

Arrow EFM

PtIr5

Ptlr5

Arrow™

EFM

PtIr5

Ptlr5

Pointprobe®

MFMRТвердоемагнитноеReflex (Al)S-MFMRМягкоемагнитное

Reflex (Al)Arrow TL1 (1 кантилевер)--Arrow TL1-Au (1 кантилевер)Ti/Au-

Arrow TL2 (2 кантилевера)--Arrow TL2-Au (2 кантилевера)

Ti/Au

-

Arrow TL8 (комплект из 8 кантилеверов)--Arrow TL8-Au (комплект из 8 кантилеверов)Ti/Au--

Reflex(Cr/Au)

Cr/Au

Cr/AuКантилевер 1
PNP-TR-TL

Кантилевер 2Кантилевер 1

PNP-TR-TL-Au

NanoWorld AG - Headquarters
Rue Jaquet-Droz 1, C.P. 216
2002 Neuchâtel, SwitzerlandСделанный из нитридакремния

0.32 N/m
0.08 N/m-DT-NCLR

Кантилевер без иглы(Треугольные кантилеверы)14 kHz-Бесконтактный / Полуконтактный NCL
режим (длинный кантилевер)NCLRМагнитная силовая микроскопия

Резонансная
частота

-CDT-NCHR

Электростатическая силоваямикроскопия

Силоваяконстанта

Arrow CONT

DT-NCHRРежим модуляции силыФорма иглыCONTБесконтактный / Полуконтактный Arrow NC
режим
NCH

Бесконтактный/ Мягкийполуконтактный режимПокрытие
заднейстороны

Кантилевер 2

Тел.: +41 (0) 32 720 5325
Факс: +41 (0) 32 720 5775

Email: info@nanoworld.com
www.nanoworld.com

Pointprobe®

Rue Jaquet-Droz 1
2007 Neuchatel , Switzerland
0.32 N/m

67 kHz0.08 N/m

17 kHzPhone: +41 (0)32 720 53250.08N/m 720 5775
17 kHzFax: +41(0)32Нитридно-кремниевый,без иглы
Email: info@nanoworld.com
0.32 N/m67 kHz
www.nanoworld.com

Для больше информации, пожалуйста посетитенаш вебсайт www.nanoworld.com

NanoWorld® and Pointprobe® являются регистрированными торговыми марками NanoWorld AG.
All data are subject to change. 20100729-NW-ruПриложение