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ラップ抵抗の測定に関する研究
木原米文*・友田進**・藤本隆士***Studies on the Measurement of Abrasive ForceYonefumi Kihara*, Susumu Tomoda** and Takashi Fujimoto***

表１ 実験条件

１．はじめにラッピングとは工作物をラップ（鋳鉄・銅・錫などの平板）に押しつけて，両者の間にラップ剤を加えて相対運動をさせて工作物表面から極微量の切りくずを取り去
り，寸法精度の高い滑らかな仕上げ面を得る方法をいう１）。しかし，最も簡単な精密加工法ではあるが，ラッピングには加工のメカニズムが明確にされていない欠点がある。それは，ラッピング中の砥粒単体が行う微小切削作用を可視化することが非常に困難なためである。
砥粒単体が行う切削作用を推測する方法として研磨抵抗の測定がしばしば行われる。研磨抵抗を測定すれば，ラッピング中に起こる砥粒の運動（ころがり運動や引っかき運動など）を知ることができる。たとえば，ラッピングが砥粒のころがり運動で進行している場合は，砥粒単体の先端が作用し始めると研磨抵抗が急に増大してある値になり，砥粒の回転とともに抵抗は徐々に減少して，最後には負の値を示すと言われている。また，引っかき運動では一般に研磨抵抗の変動は見られず，ほぼ一定値を示したままである２）。ところで，筆者らはラップ液に四級アンモニウム化合物水溶液を用いてガラスラップ上で銀をラッピングすると，銀がほとんど研磨されない現象をすでに見いだしている３）。この現象の発現のメカニズムを明確にすることで無摩耗ラップの開発や加工精度の向上などへの発展が期待できる。そこで，メカニズムの解明には上述した研磨抵抗の測定が有効であると考え，自作の試料取付アームと歪みゲージを用いて，研磨抵抗測定のための基礎的な実験を行った。また，測定した結果に基づいてラップ圧力とラップの回転速度が研磨抵抗に及ぼす影響を簡単に考察した。

試料

ラ砥ッ
粒銀プ

ガ ラ ス

材

質Al2O3（酸化アルミ）粒

径１５µmラ ッ プ の 回 転 数

１５rpm，３５rpm

ラ１０kPa，２０kPaップ

圧力

ラ ッ プ 剤 濃 度

砥粒（３g）＋水（１０cc）

図１ 試料取付アーム

銀（直径２０mm），ラップの材質はガラス，砥粒の材質は
Al2O3（酸化アルミ）である。研磨抵抗を測定するために試料取付アームを NC ワイヤカットを用いて精密に作成した。図１に試作した試料取付アームの概略図を示す。
アームには深い切り込みを入れることで，図中の記号 tで示した歪みゲージ取付部の厚さを調整した。表２に，このときに使用した NC プログラムを示す。使用した言語は FAPT 言語である。

２．実験方法
３．実験結果と考察
実験装置は市販のしゅう動式ラッピング装置（ムサシノ電子製）で試料（工作物）は回転するラップ上で自転をしながら研磨される。表１に実験条件を示す。試料は＊学生課実験実習第二係＊＊商船学科＊＊＊電子機械工学科

３．１ 歪みゲージ取付部の厚さ歪みゲージ取付部の厚さ t を厚くすれば試料取付アー
平成１３年９月２７日受理７６弓削商船高等専門学校 紀要 第２４号（平成１４年）

表２ NC ワイヤカット用プログラム
治具１PART，＠ JIGU１
MCHN，CUT，INC
P１＝２３，０S１＝２３X
P２＝２３，１０
P３＝７２，３２
P４＝１１５，１０
C１＝P２，P３，P４
P５＝３５，２１．
５
P６＝４９，３０
C２＝P５，P６，P３
S２＝１０YP７＝１９０，１０
S３＝P７，４５A
S４＝２００X
S５＝２３．
５Y
S６＝３６．
５Y
P８＝１７０，２３．
５
P９＝１６３．
５，３０
P１０＝１７０，３６．
５
C３＝P８，P９，P１０
P１１＝２００，４０
S７＝P１１，１３５A
S８＝５０YP１２＝１３０，５０
P１３＝１０４，２３．
５
P１４＝１００．
５，２５．
７
P１５＝１２５，５０
S９＝P１２，P１３
S１０＝P１３，P１４
S１１＝P１４，P１５
P１６＝８０，５０
P１７＝１４，３５
S１２＝P１６，P１７
P１８＝１４，１５

P１９＝１９，１０
S１３＝１４X
S１４＝P１８，P１９
FEED@%
FROM，P１@ G４２＠
S１，A
C１，CW，L
C２，CW，R
C１，CW，R
S２
S３
S４
S５
C３，CW
S６
S４
S７
S８
S９
S１０
S１１
S８
S１２
S１３
S１４
S２，ON，S１
P１，＠ G４０@ M３０@%
FEEDFINI
PEND

治具２PART，＠ JIGU２MCHN，CUT，INC
P１＝２０，０
S１＝２０X
P２＝２０，１６
P３＝２０，２４
P４＝２３，２６
P５＝４５，３０
S２＝P３，P４
S３＝P４，P５
S４＝３０YS５＝１８０X
S６＝２６．
５Y
P６＝１４６．
５，２６．
５
P７＝１４０，２０
P８＝１４６．
５，１３．
５
C１＝P６，P７，P８
S７＝１３．
５Y
S８＝１０YP９＝４５，１０
P１０＝２３，１４
S９＝P９，P１０
S１０＝P１０，P２
FEED@%
FROM，P１@ G４２＠
S１
S２
S３
S４
S５
S６
C１，CCWS７S５S８S９S１０，ON，S１
P１，＠ G４０@ M３０@%
FEEDFINI
PEND

ムの感度は悪くなり，薄くすれば感度はよくなるが振動特性が悪くなることが考えられる。これらを考慮して，歪み測定器（共和製）で試料取付アームの特性を調べて，実験に使用する歪みゲージ取付部の厚さ t を決定した。
図２に歪みゲージ取付部の厚さ t と感度の関係を示す。

図１の A 点を固定して B 点に２００g，２５５g，４００g の荷重を加えて，t＝１．
５mm，２．
０mm，２．
５mm のときの感度を測定した。図より，最も感度が良いのは t＝１．
５mm であり，３．
４１×１０−３V／g の歪み電圧が発生した。最も感度が悪いのは t＝２．
５mm であり，１．
３８×１０−３V／g の歪み電圧であった。従って，感度をよくするためには t をできるだけ薄くした方が良いということがわかった。図３に試料取付アームのステップ応答を示す。ステップ応答時の

図２ 歪みゲージ取付部厚さ t と感度の関係

図３ 試料取付アームのステップ応答

７７

ラップ抵抗の測定に関する研究（木原・友田・藤本）

B 点への入力（荷重）は２５５g とした。図より，全てのアームにおける固有振動はほとんど検出されないことがわかる。t＝１．
５mm では０．
０５V 程度のオーバーシュートが観察されたが，研磨抵抗測定時に及ぼす影響は少ないと判断した。以上の結果より，歪みゲージ取付部の厚さｔは感度がよくて固有振動による影響が少ないと考えられる t＝１．
５mm とした。
３．２ 研磨抵抗の測定
ガラスラップ上で銀を研磨するときの研磨抵抗を試作した試料取り付けアームを用いて測定した。ラップ剤は精製水（１０cc）とアルミナ砥粒（３g）の懸濁液である。
ラップ圧力は１０kPa と２０kPa，ラップの回転数は１５rpmと３５rpm として２０分間研磨した。図４，図５，図６，図７に実験結果を示す。これらの図より，研磨の初期では研磨抵抗が高く，その後，研磨抵抗は徐々に減少して約１５分で一定値に近づくことがわかる。研磨抵抗が減少する理由を次のように考えた。未使用砥粒は砥径が大きく切れ刃も鋭角であるが，研磨中に摩耗されて砥径が小さくなり形状が丸くなってくる。つまり，研磨抵抗は摩耗された砥粒のベアリング作用で減少するのであろう。なお，初期の研磨抵抗値から一定値への減少幅は約０．
２V であった。また，研磨抵抗曲線の振幅はラップの回転数が増加すると大きくなる傾向も認められた。表３にそれぞれのラッピング条件で一定値になった時の研磨抵抗を示す。表より，ラップ圧力を一定にして，ラップの回転数を１５rpm から３５rpm に増加させると，研磨抵抗はラップ圧力が１０kPa では０．
０２V（５．
９g），ラップ圧力が２０kPa で

図６ 研磨抵抗曲線（ ）

図７ 研磨抵抗曲線（ ）表３ ラップ圧力とラップの回転数変化と研磨抵抗変化の関係
ラップ圧力（kPa）

ラップの回転数（rpm）

ひずみ電圧（V）（研磨抵抗（g））

１５０．
７０（２０５）３５０．
７２（２１１）１５１．
０２（２９９）３５１．
２０（３５２）

１０２０

図４ 研磨抵抗曲線（ ）

図５ 研磨抵抗曲線（ ）は０．
１８V（５２．
８g）増加することがわかる。また，ラップの回転数を一定にして，ラップ圧力を１０kPa から２０kPaに 増 加 さ せ る と，ラ ッ プ の 回 転 数 が１５rpm で は０．
３２V（９３．
８g），３５rpm では０．
４８V（１４０．
８g）増加する。
以上のことからラップの回転数が高くなるほど，ラップ圧力が高くなるほど研磨抵抗は大きくなることがわかる。ただし，研磨抵抗はラップの回転数の変化に比べてラップ圧力に大きく影響される。研磨抵抗がラップ圧力変化に大きく影響される理由については不明である。今後の研究課題としたい。
３．３ 研磨抵抗と研磨量
ラッピングは単粒の行う微小切削作用と考えてよいか７８弓削商船高等専門学校 紀要 第２４号（平成１４年）

表４ 研磨抵抗と研磨量の関係
ラップ圧力（kPa）

回転数（rpm）

ひずみ電圧（V）（研磨抵抗（g））

研磨量
（mg）

１５０．
７０（２０５）４

３５０．
７２（２１１）６

１５１．
０２（２９９）９３５

１．
２０（３５２）

１８１０２０

図８ 研磨抵抗と研磨量の関係

ら研磨抵抗と研磨量の間には何らかの関係があると思われる。そこで，３．２で述べた研磨抵抗測定時に２０分間の研磨量もあわせて計測した。表４にこのときの研磨抵抗と研磨量の測定結果を示す。表より，ラップ圧力を一定にしてラップの回転数を１５rpm から３５rpm に増加させると研磨量は２mg（ラップ圧力：１０kPa）および９mg（ラップ圧力：２０kPa）増加することがわかる。一方，ラップの回転数を一定にしてラップ圧力を１０kPa から２０kPa に増加させると研磨量は５mg（ラップの回転数：１５rpm）および１２mg（ラップの回転数：３５rpm）増加することがわかる。したがって，ラップの回転数を一定にした場合，ラップ圧力を高くすると研磨抵抗は大きくなり研磨量が増大する。また，ラップ圧力を一定にした場合，ラップの回転数を高くすると研磨抵抗は大きくなり研磨量が増大するといえる。
上述したことに基づいて，研磨抵抗と研磨量の関係を示したのが図８である。図より，本実験のラッピング条件範囲では研磨抵抗が増加すれば研磨量もほぼ比例して増加することがわかった。
４．まとめ
研磨抵抗を測定する実験を行った結果，以下のことが明らかになった。
１）ラッピング中の研磨抵抗は試作した試料取付アームにより測定が可能である。
２）ラップ圧力とラップの回転数変化が研磨抵抗に及ぼす影響を検出できた。研磨抵抗はラップ圧力とラップの回転数を増加させると上昇する。
参考文献
１）Susumu Tomoda, Akira Sugawara : The Effect ofSurfactant Properties on Lapping Behavior ofMateriais, Int. J. Japan. Soc. Prec. Eng., Vol.
３１, No. １（Mar.１９９７）
２）今中，上口，大森；電試彙報，２５（１９６１）１
３）友田，菅原，小野；精密工学会誌，６７，５（２００１）
７９７．