oder brennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidationsmittel (z. B: Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen
verwendet werden.

BPG402-SD, BPG402-SE, BPG402-SP

Abmessungen [mm]DeviceNet-Kabelanschluss"STATUS MOD" (Messröhren-Status):

Bezeichnung
Gültige Spezifikation

Gehäuse- und Vakuumanschluss →  [1], [2], Messröhren
mit DeviceNet-Anschluss sind höher als die andern Versionen.

 Falls kein DeviceNet-Kabel vorhanden ist, ein entspre-

Lampe

Beschreibung

auskeine Speisung

rot-grün
blinkend

Selbsttest

grün

Normalbetrieb

rot

Nicht korrigierbarer Fehler

Kommunikationsprotokoll,
Datenformat

Bayard-Alpert Pirani Gauge
Bayard-Alpert Pirani Messröhre mit Doppelkatode
Mit Feldbus-Schnittstelle

Feldbusschnittstelle

Sicherheit
Verwendete Symbole
GEFAHR

Schnittstelle physikalischDeviceNet-ParameterÜbertragungsrate(mit Schalter "RATE" einstellbar)

Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher
Art.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden
führen.

Kurzanleitung

Personalqualifikation
tima47d1-c

Knotenadresse (MAC ID)(mit Schalter "ADDRESS,
MSD, LSD" einstellbar)

DeviceNet→  [10]→  [3], [10]CAN-BusKabellänge, Systemverdrahtung

125 kBaud
250 kBaud
500 kBaud"P" (programmierbar
125 kBaud, 250 kBaud,
500 kBaud überDeviceNet (→  [3])0 … 63dec"P" (programmierbar
0 … 63 über DeviceNet)

Micro-Style, 5-polig, Stifte
5-poliges, abgeschirmtes
DeviceNet-Spezialkabel(→  [8], [10])gemäß DeviceNet-Spezifikationen (→  [8], [10])(2019-01)
Fachpersonal

1

5
Pin 1
Pin 2
Pin 3

Gewicht
353-576353-577

Pin 4
Pin 5

≈490 g≈750 gZu diesem Dokument
Dieses Dokument enthält zusätzliche Informationen zur
standardmäßig der Basisausführung BPG402-S beiliegenden Kurzanleitung ( [1]) und ist in Kombination mit
dieser zu verwenden.
Das in diesem Text verwendete Symbol (→  [XY]) verweist auf Dokumente und Dateien, die im Abschnitt"Weitere Informationen" aufgeführt sind.

Grundlegende Sicherheitsvermerke

Der Leistungsbedarf der Messröhre BPG402-SD ist
höher als derjenige der Basisausführung BPG402-S(→  [1], [2]).
Versorgungsspannung am
Messkabel-Stecker Pin 8
Leistungsaufnahme

Messkabelanschluss

INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen

INFICON AG, LI-9496 Balzers

Model:PN:
SN:
V(Gültig für BPG402-SD, BPG402-SE und BPG402-SP)(
Schwellwerte+24 V (dc) (+20 … +28 V)
≤18 W

W

Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten
Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B.
Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.

Gültigkeit

BPG402-SP (Profibus, 2 Schaltfunktionen):353-574 (DN 25 ISO-KF)
353-575 (DN 40 CF-R)
BPG402-SE (EtherCAT, 2 Schaltfunktionen):
Neue EtherCAT-Version (ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0)
353-596 (DN 25 ISO-KF)
353-597 (DN 40 CF-R)
Alte EtherCAT-Version (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0)
353-590 (DN 25 ISO-KF)
353-591 (DN 40 CF-R)
Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen dem Vakuumanschluss DN 25 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auch für die
anderen Vakuumanschlüsse.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
Alle Maßangaben in mm.

Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die Messröhren vom Typ BPG402-SD, BPG402-SP und
BPG402-SE erlauben die Vakuummessung von Gasen und
Gasgemischen im Druckbereich von 5×10-10 ... 1000 mbar.
Sie dürfen nicht für die Messung von leicht entzündbaren

1)

SP A
SP B

3
6

BPG402-SD
Allgemein
Die Messröhre BPG402-SD besitzt eine Feldbusschnittstelle gemäß DeviceNet-Standard (→  [10]).
Über diese Schnittstelle werden u.a. folgende Messröhrendaten im standardisierten DeviceNet-Protokoll(→  [3], [10]) übertragen:

13

RxD

14

Degas

7

-

Die Messröhre darf nur an Speise-/Anzeigegeräte oder Controller angeschlossen werden, dieden Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern.

• Druckmesswert

Kabellänge, (Leiterquerschnitt
pro Ader)• Wahl der Druckeinheit (mbar, Torr, Pa)• Degasfunktion

Schaltfunktionen• Status- und Fehlermeldungen
Zusätzlich sind in der Messröhre zwei einstellbare Schaltfunktionen integriert. Die entsprechenden Relaiskontakte
stehen am Messkabelstecker zur Verfügung.
Messteil und Auswerteelektronik der Messröhre BPG402-SD
entsprechen der Basisausführung BPG402-S (→  [1], [2]).

Relaiskontaktbelastung
Spannung
Strom

D-Sub, 15-polig, StifteMax. 12-polig, abgeschirmt≤35 m (0.25 mm2)
≤50 m (0.34 mm2)≤100 m (1.0 mm2)2
Schaltpunkte mit Potenziometern einstellbar(Setpoint A und B), je ein
potenzialfreier Arbeitskontakt≤30 V (dc)≤0.5 A12+42 kΩ zwischen Pin 10
und Pin 5 (Messkabel)Erdkonzept→ "Elektrischer Anschluss"

Technische Daten
Allgemeine Technische Daten der Messröhre unddes Messteils →  [1], [2]grünMessröhre ist online und die notwendigen Verbindungen bestehenrotblinkend

Eine oder mehrere Ein-/Ausgabeverbindungensind im "Timed-Out"-Status

rot

Kommunikationsfehler. Die Messröhre hat einenFehler entdeckt, der eine Kommunikation überdas Netzwerk nicht zulässt (z.B. eine Knotenadresse (MAC ID) zweimal vorhanden, oder"Bus-off").

VS

15

8

42 kΩ

8
10

Ident.

- - 24V

D-Sub, 15 polig
Buchsen,lötseitig

Elektrischer Anschluss
Pin 1
Pin
Pin
Pin
Pin
Pin
Pin
Pin
Pin

2
3
4
5
6
7
8
9

Pin 10
Pin 11
Pin 12
Pin 13
Pin 14
Pin 15

BPG402-SE
Allgemein
Die Messröhre BPG402-SE besitzt eine Feldbusschnittstelle gemäß der EtherCAT Technology
Group (ETG) und dem EtherCAT Semiconductor
Device Profile Standard (→  [12], [13], [14],[15]).
Über diese Schnittstelle werden u.a. folgende
Messröhrendaten im standardisierten EtherCATProtokoll (→  [1], [2]) übertragen:

Knotenadresse einstellen

Erde (Gehäuse, Vakuumanschluss)

9

Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Messröhre gleichzeitig mit der
RS232-Schnittstelle und dem DeviceNet zu betreiben, kann zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung führen.
Ein gleichzeitiger Betrieb der Messröhre mit der
RS232-Schnittstelle und dem DeviceNet ist deshalb nicht zulässig.

• Druckmesswert-

Masse 24V-Speisung

1

Vorsicht

Degas

1.25 AT1)

Messröhrenidentifikation

Messröhre ist online, hat aber keine Verbindung:– Messröhre hat den Selbsttest beendet, ist
online, hat aber keine Verbindung zu
anderen Knoten– Messröhre ist keinem Master zugewiesen

Die Messröhre muss vor der Inbetriebnahme im DeviceNet
konfiguriert werden. Dies geschieht mit einem KonfigurationsTool und der gerätespezifischen "EDS-Datei" (Electronic
Data Sheet). Diese Software kann vom Internet heruntergeladen werden (→  [7]).

2

Messsignal

515Anschlussstecker
Kabel

grün
blinkend

Betriebssoftware

RS232

GEFAHR

Obwohl die Übertragung des Druckmesswertes bei
Feldbus-Messröhren normalerweise über die jeweilige Bus-Schnittstelle erfolgt, wird in diesem Dokument der Begriff "Messkabel" aus Kompatibilitätsgründen beibehalten.

Messröhre ist nicht online:– Selbsttest ist noch nicht abgeschlossen– keine Speisung, → "STATUS MOD"Lampe

1
11

TxD

Die DeviceNet-Schnittstelle erfordert eine zusätzliche, separate Speisung.

Versorgungsspannung am
DeviceNet-Stecker, Pin 2+24 V (dc) (+11 … +25 V)
Leistungsaufnahme≤2 W
Die Messröhre ist gegen Verpolung dieser Versorgungsspannung geschützt.

Beschreibung

aus

4

SP A

Messkabelanschluss

Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern:
BPG402-SD (DeviceNet, 2 Schaltfunktionen):353-576 (DN 25 ISO-KF)
353-577 (DN 40 CF-R))• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.

Lampe

GND

Betrieb

Die Messröhre muss ordnungsgemäß angeschlossen sein(→  [1], [2], "Vakuumanschluss").

SP B

Verantwortung und Gewährleistung+24 V (dc)

Elektrischer Anschluss

Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

Drain
Speisung(nur DeviceNet-Schnittstelle)
Speisungserde(nur DeviceNet-Schnittstelle)
CAN_H
CAN_L

Kabeldose verriegeln.

9

Alle Sicherheitsvermerke in  [1] und [2] gelten auch für die
in diesem Dokument beschriebenen Messröhrentypen.

"STATUS NET" (Netzwerk-Status):

 DeviceNet-Kabel an die Messröhre anschließen und Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel ge-

Speisung

Micro-Style, 5-polig,(DeviceNet)
Buchsen, lötseitig

3

mäß Schema herstellen.
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen
nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen
Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind.

42(→  [3])DeviceNet-Anschluss
Kabelchendes Kabel gemäß folgenden Angaben herstellen.

Relais Schaltfunktion A,
gemeinsamer Kontakt
Messsignalausgang
0 … +10 V
Schwellwert (Setpoint) A 1)
0 … +10 V
Relais Schaltfunktion A, Arbeitskontakt (NO)Speisung Masse
0V
Schwellwert (Setpoint) B 1)
0 … +10 V
Degas, aktiv high
0 V/+24 V
Speisung (Ub)
+24 V
Relais Schaltfunktion B,
gemeinsamer Kontakt
Messröhrenidentifikation
Relais Schaltfunktion B, Arbeitskontakt (NO)Messsignal Masse
RS232, TxD
RS232, RxD
nicht anschließen

Für den normalen Betrieb der Messröhre dürfen
Pin 3 und Pin 6 nicht angeschlossen werden. Diese
Anschlüsse dienen ausschließlich der Schwellwerteinstellung der Schaltfunktionen (→ "Schaltfunktionen einstellen").

Die Knotenadresse (0 … 63dec) muss mit
den Schaltern "ADDRESS" "MSD" und"LSD" eingestellt werden. Dieser Wert wird
bei der Initialisierung der Messröhre vonder Firmware abgefragt. Weicht dieser
Wert von dem gespeicherten Wert ab, wird
der neue Wert im NVRAM gespeichert.
Falls eine Adresse größer als 63 eingestellt
wurde, gilt der bereits gespeicherte Wert
als Adresse.
Die Werkseinstellung der Knotenadresse
ist 63dec.
In Position "P" ist die Knotenadresse überDeviceNet programmierbar (→  [3]).

• Wahl der Druckeinheit (mbar, Torr, Pa)• Degasfunktion• Status- und Fehlermeldungen
Zusätzlich sind in der Messröhre zwei einstellbare Schaltfunktionen integriert. Die entsprechenden Relaiskontakte
stehen am Messkabelstecker zur Verfügung.
Messteil und Auswerteelektronik der Messröhre BPG402-SE
entsprechen der Basisausführung BPG402-S (→  [1], [2]).

Technische Daten
Allgemeine Technische Daten der Messröhre unddes Messteils →  [1], [2].

Übertragungsrate einstellen
Die Übertragungsrate lässt sich mit dem Schalter"RATE" auf 125 ("1"), 250 ("2") oder 500 kBaud("5") einstellen.
Die Werkseinstellung der Übertragungsrate ist
500 kBaud.
In den Positionen "P" ist die Übertragungsrateüber DeviceNet programmierbar (→  [3]).
Die zulässige Übertragungsrate ist von mehreren
Faktoren abhängig (Systemparameter, Kabellängen
etc.) (→  [10]).

Messröhrenabgleich→ Abgleich und Einstellungen.

Schaltfunktionen einstellen

Feldbusschnittstelle
Bezeichnung
Gültige Spezifikation, Datenformat, Kommunikationsprotokoll
353-590, 353-591
353-596, 353-597
Übertragungsrate
Knotenadresse
Schnittstelle physikalischEtherCAT-Anschluss

Kabel

Kabellänge→ Abgleich und Einstellungen.

Status-Lampen

 Messkabel an die Messröhre anschließen und mit den
t i ma 4 7 d 1 - c

Arretierungsschrauben sichern.
Original: Deutsch

EtherCAT→  [12], [13]→  [14], [15]100 Mbps
eindeutige Identifizierung
100Base-Tx (IEEE 802.3)
2×RJ45, 8-polig, Buchsen<IN>: EtherCAT input<OUT>: EtherCAT output
8-poliges abgeschirmtes
Ethernet Patchkabel(Qualität CAT5e oderhöher)≤100 mSpeisungDer Leistungsbedarf der Messröhre BPG402-SE ist
höher als derjenige der Basisausführung BPG402-S.

Betriebssoftware

Messkabelanschluss

Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei derübergeordneten Steuerung die Installation der für dieseMessröhre spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei
kann vom Internet heruntergeladen werden.

→ "Technische Daten, Messkabelanschluss" BPG402-SD(identisch).

Geräteadresse einstellen
Die Geräteadresse (0 … 125dec) muss inhexadezimaler Form (00 … 7Dhex) mit den
Schaltern "ADDRESS", "MSD" und "LSD"eingestellt werden. Dieser Wert wird bei
der Initialisierung der Messröhre von der
Messröhren-Firmware abgefragt. Weicht er
vom bereits gespeicherten Wert ab, wird
der neue Wert im NVRAM gespeichert.
Falls eine Adresse >125dec (>7Dhex) eingestellt wurde, gilt weiterhin der bereits
gespeicherte Wert als Adresse, dieser
Wert kann jedoch über den Profibus
geändert werden ("Set slave address",→  [4]).
Die Werkseinstellung der Geräteadresse
ist 5Chex.

AbmessungenVersorgungsspannung am
Messkabelstecker Pin 8
Leistungsaufnahme+24 V (dc) (+20 … +28 V)≤21 W

Messkabelanschluss→ "Technische Daten, Messkabelanschluss" BPG402-SD(identisch).

Spezifische Geräteadresse ändern

Gehäuse- und Vakuumanschluss →  [1], [2]Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am
Gerät eingestellte Adresse. Diese Adresse wird als spezifische Geräteidentifikation an den Master übertragen.
Die spezifische Geräteadresse wird inx1
x10
hexadezimaler Form (00 … FFhex) mit den
24 6 24 6080
8Schaltern <x10> und <x1> eingestellt.

Gewicht
353-574353-575

E

A E≈490 g≈750 gA

Elektrischer Anschluss
Abmessungen
Gehäuse- und Vakuumanschluss →  [1], [2]Schaltfunktionen einstellen

mäß Schema und Steckerbelegung der Messröhre
BPG402-SD DeviceNet herstellen (identisch,→ "Elektrischer Anschluss, Messkabel").

→ "Abgleich und Einstellungen".

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß angeschlossen sein(→  [1], [2], "Vakuumanschluss").

 Messkabel an die Messröhre anschließen und mit den
Arretierungsschrauben sichern.

• Druckmesswert

 Falls keine Ethernet-Kabel vorhanden sind, zwei ent-

• Wahl der Druckeinheit (mbar, Torr, Pa)

RJ45, 8-polig, lötseitig

8
Pin 1
Pin 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5
Pin 6
Pin 7
Pin 8

TD+ Sendedaten +TDSendedaten RD+ Empfangsdaten +nicht belegt
nicht belegt
RDEmpfangsdaten nicht belegt
nicht belegt

 Ethernet-Kabel an die Messröhre anschließen: Den
Ausgang <OUT> des vorangehenden Gerätes mit dem
Eingang <IN> des BPG402-SE, und den Ausgang<OUT> des BPG402-SE mit dem Eingang <IN> desnachfolgenden Gerätes, verbinden.

FCC68 Kabel
Ausgang <OUT>
FCC68 Kabel
Eingang <IN>

• Degasfunktion• Status- und Fehlermeldungen
Zusätzlich sind in der Messröhre zwei einstellbare Schaltfunktionen integriert. Die entsprechenden Relaiskontakte
stehen am Messkabelstecker zur Verfügung.

Technische Daten
Allgemeine Technische Daten der Messröhre unddes Messteils →  [1], [2].

(Schaltpunkt A, B)

Bezeichnung
Gültige Spezifikation
Kommunikationsprotokoll
Datenformat

Profibus

Profibus-ParameterÜbertragungsrate
Geräteadresse
Profibus-Anschluss
Kabel

Kabellänge, Systemverdrahtung

Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Messröhre gleichzeitig mit der
RS232-Schnittstelle und EtherCAT zu betreiben,
kann zu fehlerhaften Daten und Störungen derDatenübertragung führen.
Ein gleichzeitiger Betrieb der Messröhre mit der
RS232-Schnittstelle und EtherCAT ist deshalb
nicht zulässig.

Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Durch Einsatz unter
anderen klimatischen Bedingungen, durch andere Einbaulage, durch Alterung oder Verschmutzung und nach Austausch des Sensors kann eine Verschiebung der Kennlinie
stattfinden und ein Nachabgleich notwendig werden. Dabei
kann nur der Pirani-Teil abgeglichen werden.

D-Sub, 9-polig,
Stifte, lötseitig

Pin 1
Pin 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5
Pin 6
Pin 7
Pin 8
Pin 9

9
nicht anschließen
nicht anschließen
RxD/TxD-P
CNTR-P
DGND
VP
nicht anschließen
RxD/TxD-N
nicht anschließen

1)
2)
2)

1)

Wird nur bei Verwendung von optical link-Modulenangeschlossen.

2)

Wird nur bei Endgeräten im Profibussystem zum Leitungsabschluss benötigt (→  [4], 15).

 Profibus-Kabel an die Messröhre anschließen und mit
den Arretierungsschrauben sichern.

≤12 MBaud (→  [4], 15)
00 … 7Dhex (0 … 125dec)
D-Sub, 9-polig, Buchsen
Abgeschirmtes ProfibusSpezialkabel(→  [9], 15)
gemäß Profibus Spezifikationen (→  [9], 15)

Speisung

Der Leistungsbedarf der Messröhre BPG402-SP ist
höher als derjenige der Basisausführung BPG402-S.
Versorgungsspannung am
Messkabelstecker Pin 8
Leistungsaufnahme

Betrieb+24 V (dc) (+20 … +28 V)
≤20 W

 [3]

www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
DeviceNet™ BPG402-SD
tira46e1 (Communication Protocol, nur englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [4]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
Profibus BPG402-SP
tira47d1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [5]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
EtherCAT BPG402-SE (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0)
tira93e1 (nur englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [6]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
EtherCAT BPG402-SE (ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0)
tirb53e1 (nur englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [7]www.inficon.com("Semiconductor and Vacuum coating processes,
Vacuum Gauges")
Produktbeschreibungen und Downloads
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [8]www.odva.org
Open DeviceNet Vendor Association, Inc.
Bezugsquelle für "DeviceNet™ Specifications" [9]www.profibus.com(Profibus-Anwenderorganisation)

Hysterese
10% USchwellwert

Schaltfunktion

Aus

Ein

Aus

Die Hysterese der Schaltfunktionen beträgt 10% des eingestellten Schwellwertes.
BPG402-SE: Die Schaltfunktionen lassen sich nur über die
EtherCAT-Schnittstelle einstellen.

Vorgehen

Atmosphärenabgleich
Dieser Abgleich geschieht per Tastendruck, wobei bei Atmosphärendruck der digitale Wert und damit auch der analoge
Ausgang elektronisch auf +10 V abgeglichen wird.
Ein Abgleich ist notwendig, wenn
• bei Atmosphärendruck die Ausgangsspannung <+10 V ist.
• bei Atmosphärendruck der digitale Wert an der RS232CSchnittstelle < Atmosphärendruck beträgt.
• bei Atmosphärendruck der digitale Wert am Controller der
Feldbus-Schnittstelle (DeviceNet oder Profibus sein Maximum erreicht bevor der Messdruck den Atmosphärendruck erreicht hat.
• beim Belüften der digitale Wert an der RS232C-Schnittstelle sein Maximum erreicht bevor der Messdruck den
Atmosphärendruck erreicht hat.

 Messröhre in Betrieb nehmen.
 Voltmeter (+ Leitung) am Schwellwert-Messpunkt der
gewählten Schaltfunktion anschließen ("Setpoint A"
Pin 3, "Setpoint B" Pin 6).
Voltmeter (– Leitung) an einem gut erreichbaren Erdpunkt (z.B. Mutter für die Verriegelungsschraube neben
dem Messkabelanschluss oder Vakuumanschluss) anschließen.
Die Schwellwertspannungen sind auf Erde
(Gehäuse) bezogen und nicht auf Pin 5 (Massepotential der Messröhrenspeisung).
Die Analogwerte der Schwellwertspannungenstellen nur einen Anhaltspunkt dar. Die volle
Messgenauigkeit lässt sich über die Feldbusschnittstellen erreichen (→  [3] und [4].

 [10] Europäische Norm EN 50325, DeviceNet-Standard
 [11] Europäische Norm EN 50170, Profibus-Standard
 [12] ETG.5003.1 S (R) V1.0.0: Semiconductor Device
Profile – Part 1: Common Device Profile (CDP) [13] ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0: Semiconductor
Device Profile – Part 2080: Specific Device Profile(SDP): Vacuum Pressure Gauge [14] ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Semiconductor Device
Profile – Part 1: Common Device Profile (CDP) [15] ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Semiconductor
Device Profile – Part 2080: Specific Device Profile(SDP): Vacuum Pressure Gauge

VorgehenVorsicht→  [4], 15
RS485

e rt

Messröhren BPG402-SD, BPG402-SP und BPG402-SE

Messröhrenabgleich5→  15

Sensor Kabel

Vorsicht

1

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Gebrauchsanleitung
Bayard-Alpert Pirani Gauge BPG402-S,
BPG402-SD, BPG402-SP, BPG402-SE
tina46d1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

Zeit tAbgleich und EinstellungenFeldbusschnittstelle

Schnittstelle physikalischBetriebchendes Kabel gemäss folgenden Angaben herstellen:

6

Messteil und Auswerteelektronik der Messröhre BPG402-SP
entsprechen der Basisausführung BPG402-S (→  [1], [2]).

1

Messw

USchwellwert

 Falls kein Profibus-Kabel vorhanden ist, ein entspre-

Die Messröhre BPG402-SP besitzt eine Feldbusschnittstelle gemäß dem Profibus DPV1-Standard(→  [4], 15).
Über diese Schnittstelle werden u.a. folgende
Messröhrendaten im standardisierten ProfibusProtokoll (→  [1], [2]) übertragen:EtherCAT-Kabelanschluss

sprechendes Kabel gemäß folgenden Angaben herstellen:c02-0.125

Profibus-Kabelanschluss

Allgemein [2]→ "Abgleich und Einstellungen".

Arretierungsschrauben sichern.

mäß Schema und Steckerbelegung der Messröhre
BPG402-SD DeviceNet herstellen (identisch,→ "Elektrischer Anschluss, Messkabel").

p[mbar][Pa][Torr]

Schaltfunktionen einstellen Messkabel an die Messröhre anschließen und mit den
BPG402-SP

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Kurzanleitung
Bayard-Alpert Pirani Gauge BPG402-S,
BPG402-SD, BPG402-SP, BPG402-SE
tima46d1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

Messsignal(Druck p)

Messkabelanschluss Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel ge-

p Druck
U Schwellwertspannung [V]c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)→ "Abgleich und Einstellungen".

 Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel ge- [1]USchwellwert = 0.75 × (log pSchaltpunkt – c) + 7.75
Wobei

Messröhrenabgleich
Messkabelanschluss≈490 g≈750 gWeitere Informationen

Die Messröhren BPG402-SD und BPG402-SP verfügen überzwei unabhängige, manuell einstellbare Schaltfunktion mit jeeinem Relais-Arbeitskontakt. Die Relaiskontakte sind auf
dem Messkabelstecker zugänglich (→ "Elektrischer Anschluss") Die Schwellwerte der Schaltfunktionen"SETPOINT A" und "SETPOINT B" können im Bereich von
1×10-9 mbar … 100 mbar mittels Potenziometern nach folgender Formel eingestellt werden.
Für die dazugehörigen Schwellwertspannungen USchwellwert gilt:

Die Messröhre muss ordnungsgemäß angeschlossen sein(→  [1], [2], "Vakuumanschluss").

Messröhrenabgleich→ "Abgleich und Einstellungen".

Gewicht
353-590, 353-596
353-591, 353-597

Schaltfunktionen einstellen

Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Messröhre gleichzeitig mit der
RS232-Schnittstelle und dem Profibus zu betreiben, kann zu fehlerhaften Daten und Störungender Datenübertragung führen.
Ein gleichzeitiger Betrieb der Messröhre mit der
RS232-Schnittstelle und dem Profibus ist deshalb nicht zulässig.

 Messröhre ca. 10 Minuten bei Atmosphärendruck be-

Schwellwert A, Pin 3
Schwellwert B, Pin 6()

treiben. Falls die Messröhre zuvor im Bayard-AlpertBereich betrieben wurde, muss mit einer Abkühlzeit vonca. 30 Minuten gerechnet werden.
(Messröhrentemperatur = Umgebungstemperatur).

 Taste mit einem Stift (max. ø1.3 mm) 1 s lang drücken.

max. ø2.5

Betriebssoftware
Der Betrieb der Messröhre am Profibus erfordert auf der
Masterseite (Anzeigegerät/Controller/SPS) die Installation
der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (GSDDatei). Diese Software kann vom Internet heruntergeladen
werden (→  [7]).

 Mit einem Schraubendreher (max. ø2.5 mm) die Spannung USchwellwert der gewählten Schaltfunktion(Setpoint A, B) auf den gewünschten Wert einstellen.

Nullpunktabgleich
Der Nullpunktabgleich erfolgt automatisch im Betrieb. Es ist
kein manueller Abgleichvorgang erforderlich.

Eine Funktionskontrolle der Schaltfunktionen(Ein/Aus) ist nur über die Feldbus-Schnittstelle(→  [3] für BPG402-SD, →  [4] für BPG402-SP,→  [5] oder [6] für BPG402-SE) möglich oderdurch Ausmessen der Relaiskontakte mit einem
Durchgangsprüfer / Ohmmeter (→ "Elektrischer Anschluss", Messkabelstecker).

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
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