T E C H N I S C H E S

H A N D B U C H

iina11d1-a (0604)

Katalog-Nr.
551-005

TC1000
Testkammer für hermetischgeschlossene Bauteile

0.1

Impressum
Technisches Handbuch

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50958 Köln
Germany

0.2

Zu dieser Anleitung
Diese Anleitung wendet sich an die Benutzer der TC1000.
Ziel der Anleitung ist, Ihnen einen schnellen Einstieg in die Montage und Bedienung
der Testkammer zu gewährleisten.
Der Aufbau der Anleitung ermöglicht Ihnen, die Anleitung von Anfang bis Ende zu
lesen oder aber, wenn Sie schon mit dem Gerät vertraut sind, nur die für Sie
wichtigen Teile zu lesen. Für diesen Fall steht Ihnen am Ende des Dokuments auchein Glossar zur Verfügung.

0-2

0.1
0.2
0.3
0.4

Impressum
Sicherheitshinweise
Zu dieser Anleitung
Inhaltsverzeichnis

0-2
0-2
0-2
0-2

1

Die Testkammer TC1000

1-1

1.1
1.2

Begriffs- und Zeichenerklärungen
Technische Daten

1-1
1-2

2

Der Aufbau der TC1000

2-1

2.1
2.2
2.3
2.4
2.5

Die Testkammer
Die Testkammer am Lecksucher
Der Testleckadapter
Lieferumfang
Zubehör

2-1
2-3
2-4
2-4
2-4

3

Der Betrieb der TC1000

3-1

3.1
3.1.1
3.1.2
3.1.2.1
3.1.2.2
3.1.2.3
3.1.2.4
3.1.2.5
3.1.2.6
3.1.2.7
3.1.2.8

Die TC1000 in Betrieb nehmen
Auspacken
In Betrieb nehmen
Die Testkammer montieren
Die Betriebsart Auto Leak Test einstellen
Die Testkammer für die Prüfung einstellen
Den Lecksucher kalibrieren
Messbetrieb
Den Messbetrieb abbrechen
Den Testbetrieb unterbrechen und wieder anfahren
Außer Betrieb setzen

3-1
3-1
3-1
3-1
3-2
3-3
3-4
3-4
3-5
3-5
3-6

(0604)

Inhaltsverzeichnis

iina11d1-a Kapitel 0.fm

0.3

Technisches Handbuch

Abmontieren
Verpacken
Einstellungen im Menü Auto Leak Test
Einstellen der Messzeit
Einstellen der Nachweisgrenze (Triggerlevel 1)
Serienfehlermeldung beim Prüfen
Geprüfte Bauteile zählen lassen
Den Helium-Untergrund reduzieren (Referenzmessung)
Wartungsplan
Fehlertabelle im UL1000 oder UL1000 Fab - anzeigen
und auslesen

3-6
3-6
3-6
3-7
3-8
3-8
3-9
3-9
3-9
3-10

4

Weitere Unterlagen

5-1

4.1
4.2

Ersatzteilliste
Dekontaminationserklärung

5-1
5-1

iina11d1-a Kapitel 0.fm

(0604)

3.1.3
3.1.4
3.2
3.2.1
3.2.2
3.2.3
3.2.4
3.2.5
3.3
3.4

0-3

0-4

iina11d1-a Kapitel 0.fm

(0604)

Technisches Handbuch

1

Die Testkammer TC1000

Technisches Handbuch

Die TC1000 ist eine kleine Vakuumkammer und ermöglicht Ihnen, Dichtheitsprüfungen an dicht verschlossenen, kleinen Festkörpern vorzunehmen. Darunter fallenz. B. Quarze, Relais, Sensoren, IC und LED.
Sie können die Testkammer leicht auf die Lecksucher UL1000 und UL1000 Fabmontieren. Durch ihren geringen Umfang nimmt sie nur wenig Raum ein.
Der Prüfvorgang der Testkammer ist, in Verbindung mit den INFICON-Lecksuchern
sehr einfach, die Prüfung der Bauteile läuft größtenteils automatisch ab.
Sie legen die Bauteile in die Testkammer und durch Schließen des Deckels wird derVorgang ausgelöst. Zwei große Leuchtdioden in rot und grün zeigen Ihnen das
Ergebnis der Prüfung an.
Das Verfahren der dynamischen Kalibrierung ermöglicht Ihnen eine schnelle undsichere Prüfung der Bauteile.

1.1

Begriffs- und Zeichenerklärungen
Auto Leak Test
Bezeichnet die Betriebsart des Lecksuchers UL1000 oder UL1000 Fab, durch diehermetisch geschlossene Bauteile auf Dichtheit geprüft werden können.

Dynamische Kalibrierung
Der Anstieg eines Leckratensignals wird mit dem Anstieg des Testlecksignals
verglichen. Dadurch lassen sich ansteigende Leckraten im Messbetrieb schneller
auswerten.
Die Kalibrierung und die Messung haben die gleiche Dauer. Dadurch können
Untergrundsignale, die durch Gasbelegung der Oberfläche der Testkammer
enstanden sind, besser unterdrückt werden.

ESD(0604)

Kurzform für electrostatic discharge, elektrostatische Entladung.

ESD-Matte

iina11d1-a Kapitel 1.fm

Eine ESD-Matte auf dem Lecksucher verhindert, dass sich die elektrostatische
Ladungen z. B. an abgelegten Bauteilen entladen. Die Ladung fließt über die Matteab.

(Kaffeetasse)
Weist auf die Taste für die Pausenfunktion hin.

Die Testkammer TC1000

1-1

Warndreieck

Technische Daten
Durchmesser

130 mm

Tiefe

40 mm

Volumenca. 430 cm³

Gewicht

2,7 kgAnschlussflansch

DN 25 KF

iina11d1-a Kapitel 1.fm

(0604)

1.2

Technisches Handbuch

Weist auf eine anstehende Warnmeldung hin, die Sie durch Drücken dernebenstehenden Taste anzeigen können.

1-2

Die Testkammer TC1000

Technisches Handbuch

2

Der Aufbau der TC1000

2.1

Die Testkammer

Pos.

Beschreibung

1

DeckelDer Deckel der Testkammer ist schwimmend
gelagert. So liegt er sicher auf dem
Dichtungsverschluss.

2

Anschlusskabel

Die elektrische Verbindung zum UL1000 oder
UL1000 Fab.

3

Leuchtdiode rot

Die rote Leuchtdiode leuchtet, wenn ein Lecknachgewiesen wurde, das größer ist als die
eingestellte Triggerschwelle.

4

Leuchtdiode grün

Die grüne Leuchtdiode leuchtet, wenn ein Lecknachgewiesen wurde, das kleiner ist als die
eingestellte Triggerschwelle.

5Anschluss ESD-Armband
rechte Seite derTestkammer

An diesem Druckknopf können Sie das ESDArmband anschließen.
Durch ein ESD-Armband wird eventuellestatische Ladung abgeleitet. Dadurch bleiben
die Bauteile, die Sie prüfen, unbeschädigt.

6

Griffbereich

Fassen Sie den Deckel zum öffnen undschließen hier an.

iina11d1-a Kapitel 2.fm

(0604)

Abb. 2-1 Die geschlossene Testkammer

Der Aufbau der TC1000

2-1

Technisches Handbuch

Beschreibung

1

Näherungsschalter

Wenn Sie den Deckel schließen, lösen Sie den
Abpumpvorgang über den Näherungsschalteraus.

2

O-RingDer Dichtungsring dichtet die Testkammer gegenden Deckel ab und kann leicht ausgetauscht
werden.

3

Sieb

Das Sieb verhindert, dass Bauteile in denAnschlussflansch fallen.

4

BohrungenSie können die Testkammer über diese
Bohrungen auf einem Arbeitstisch befestigen.

iina11d1-a Kapitel 2.fm

Pos.

(0604)

Abb. 2-2 Die offene Testkammer

2-2

Der Aufbau der TC1000

Technisches Handbuch

2.2

Die Testkammer am Lecksucher
Die Testkammer kann vorzugsweise an den INFICON Lecksuchern UL1000 oder
UL1000 Fab (ab Softwareversion 4.0) betrieben werden.
Im Folgenden beschreiben wir den Gebrauch der Testkammer an einem UL1000
Fab.

Abb. 2-3 Am Lecksucher montiert
Die Testkammer wird mit einem Spannring am Lecksucher montiert.

iina11d1-a Kapitel 2.fm

(0604)Die Anleitung dazu finden Sie unter Kapitel 3.1.2.1, Die Testkammer montieren.

Der Aufbau der TC1000

2-3

Der Testleckadapter
Technisches Handbuch

2.3

Abb. 2-4
Wenn Sie eine externe Kalibrierung durchführen, brauchen Sie dazu einen
Adapterdeckel und ein Testleck, z. B. Testleck TL7.
Wie Sie den Lecksucher kalibrieren, ist in Kapitel 3.1.2.4, Den Lecksucher kalibrieren
beschrieben.

2.4

Lieferumfang
Die Lieferung umfasst:
die Testkammer TC1000,•

ein ESD-Armband,•

die Gebrauchsanleitung zum Gerät (iina11d1)

Zubehör
(0604)

2.5

•

2-4

•

ESD-Matte

551-002•

Testleck-Adapter

200 00 1797•

Testleck TL 7 (Leckrate im Bereich 10-7mbar l/s)

14210

•

Testleck TL 8 (Leckrate im Bereich 10-8mbar l/s)

16557

•

Testleck TL 8 mit DKD Kalibrierung

15593

•

Testleck TL 9 (Leckrate im Bereich 10-9mbar l/s)

14408

Der Aufbau der TC1000

iina11d1-a Kapitel 2.fm

Katalog-Nummer

Technisches Handbuch

3

Der Betrieb der TC1000

3.1

Die TC1000 in Betrieb nehmen

3.1.1

Auspacken
1 Entfernen Sie die Kunststoffhüllen, in der die TC1000 und das Zubehör verpacktsind.

2 Prüfen Sie die Lieferung auf Vollständigkeit. Der Lieferumfang wird unter Kapitel 2.4
aufgeführt.

3 Heben Sie die Kunststoffhüllen und die Verpackung auf, um die Testkammer darin
zu lagern, für Zeiten in denen Sie die Testkammer nicht verwenden.

3.1.2

In Betrieb nehmen

3.1.2.1

Die Testkammer montieren

1 Setzen Sie die Testkammer wie abgebildet auf den Einlassflansch des Lecksuchers.

Pos.

Beschreibung

1

TC10002

Zentrierring

3

Flanschiina11d1-a Kapitel 3.fm

(0604)

Abb. 3-1

Der Betrieb der TC1000

3-1

2 Verbinden Sie die Testkammer mit dem Lecksucher, indem Sie einen Spannring

Technisches Handbuch

montieren.

Abb. 3-2
Die Testkammer ist auf das Gerät montiert. Sie können nun die Testkammer mit dem
Lecksucher elektrisch verbinden.

3 Verbinden Sie die Leitung mit der Buchse Accessories des Lecksuchers UL1000,
bzw. UL1000 Fab.

4 Rufen Sie das Untermenü AUTO LEAK TEST auf, um den automatischen Prüfablauf
anzufahren.

(0604)

Abb. 3-3

Weitere Informationen zur Betriebsart AUTO LEAK TEST finden Sie in Kapitel 3.1.2.2.

Die Betriebsart Auto Leak Test einstellen

1 Schalten Sie den Lecksucher an.
2 Drücken Sie die Menü-Taste.
Auf dem Bildschirm des Lecksuchers erscheint die Anzeige HAUPTMENÜ.

3-2

Der Betrieb der TC1000

iina11d1-a Kapitel 3.fm

3.1.2.2

Technisches Handbuch

Abb. 3-4

3 Drücken Sie der Reihe nach auf folgende Tasten um den Lecksucher für den Betrieb
der Testkammer vorzubereiten:
BETRIEBSART → AUTO LEAK TEST → OK
Beim ersten Einstellen der Betriebsart AUTO LEAK TEST verweist der Lecksucher Sie
auf das Menü AUTO LEAK TEST EINSTELLUNGEN.

4 Stellen Sie die Vorgaben ein (OK), werden Sie weiter zum Betrieb geführt. Brechen
Sie den Vorgang ab (Abbrechen), verlassen Sie an dieser Stelle den Betriebsmodus
wieder.

3.1.2.3

Die Testkammer für die Prüfung einstellen

1 Wenn der Lecksucher nicht in der Betriebsart AUTO LEAK TEST eingestellt ist,drücken Sie nacheinander die Tasten:MENÜ → EINSTELLUNGEN → VAKUUM EINSTELLUNGEN → AUTO LEAK TEST
EINSTELLUNGEN

2 Nun erscheint das Menü AUTO LEAK TEST EINSTELLUNGEN.

iina11d1-a Kapitel 3.fm

(0604)

Um im Messbetrieb arbeiten zu können, müssen Sie mindestens die Messzeit und
die Rückweisrate einstellen.

Abb. 3-5

Der Betrieb der TC1000

3-3

3 Stellen Sie nun die Messzeit und die Rückweisrate ein:

1 Drücken Sie auf die Taste Messzeit.
2 Stellen Sie die von Ihnen gewünschte Messzeit ein und bestätigen Sie sie mit OK.
Rückweisrate einstellen:

3 Drücken Sie die Taste Trigger Level
4 Stellen Sie die von Ihnen gewünschte Leckrate ein und bestätigen Sie sie mit OK.

Technisches Handbuch

Messzeit einstellen:

Weiterführende Informationen zum Einstellen der Testkammer für die Prüfung finden
Sie in Kapitel 3.2.

3.1.2.4

Den Lecksucher kalibrieren
Bitte kalibrieren Sie den Lecksucher von Zeit zu Zeit, vor allem wenn er längere Zeit
nicht betrieben wurde.
Wenn Sie die Messzeit einstellen oder ändern, fordert der Lecksucher Sie zu einer
Kalibrierung auf.
Kalibrieren mit dem internen Testleck:

1 Drücken Sie die Taste CAL.
Sie haben damit die Kalibrierung gestartet.

2 Folgen Sie den Anweisungen auf dem Display.
Kalibrieren mit dem externen Testleck:

1 Schließen Sie ein Testleck mit Handventil an den Adapterdeckel an.
Öffnen Sie dazu den Deckel der Testkammer und setzen Sie den Adapterdeckel
darauf.

2 Drücken Sie die Taste CAL.
Sie haben damit die Kalibrierung gestartet.

3.1.2.5(0604)

3 Folgen Sie den Anweisungen auf dem Display.
Messbetrieb

1 Legen Sie die Bauteile in die Testkammer.
2 Schließen Sie den Deckel der Testkammer.
Der Testbetrieb wird automatisch gestartet.
Hat das Gerät die Prüfung beendet, zeigt es an, ob die Bauteile den Test bestanden
haben (PASS) oder ob Undichtigkeiten an den Bauteilen vorliegen (FAIL) und die
Leckrate wird angezeigt.

3-4

Der Betrieb der TC1000

iina11d1-a Kapitel 3.fm

Das Gerät beendet die Prüfung nachdem die eingestellte Messzeit abgelaufen ist:Technisches Handbuch

Abb. 3-6 Triggerlevel eingestellt auf 1x10-9, keine Leckage gefundenAbb. 3-7 Triggerlevel eingestellt auf 1x10-9,, eine Leckage gefunden

3.1.2.6

Den Messbetrieb abbrechen

1 Drücken Sie die Taste STOP.
Der Lecksucher unterbricht den Messbetrieb.
Der Lecksucher zeigt kein Prüfergebnis an.

3.1.2.7

Den Testbetrieb unterbrechen und wieder anfahren

1 Drücken Sie die Taste neben dem Piktogramm der Kaffeetasse.
2 Drücken Sie die Taste Neustart.
Der Betrieb wird erneut angefahren.

iina11d1-a Kapitel 3.fm

(0604)

Der Lecksucher ist nun im Zustand der Bereitschaft.

Der Betrieb der TC1000

3-5

Außer Betrieb setzen

1 Belüften Sie die Testkammer und2 drücken Sie den Netzschalter.
Der Lecksucher ist somit ausgeschaltet.
Hinweis Wir empfehlen Ihnen die Testammer zu evakuieren bevor Sie den
Lecksucher ausschalten. So vermeiden Sie Verunreinigungen.

Technisches Handbuch

3.1.2.8

Soll nach dem Ausschalten des Lecksuchers die Testkammer unter Vakuum
bleiben:1 Drücken Sie die Taste Kaffeetasse.
2 Halten Sie sich an die Vorgaben auf dem Bildschirm.

3.1.3

Abmontieren
Sie können die Testkammer abmontieren, wenn Sie den Lecksucher abgeschaltet
haben.

1 Lösen Sie den Spannring.
2 Nehmen Sie die Testkammer vom Flansch und entfernen Sie den O-Ring.
Sie finden dazu Fotos, in umgekehrter Reihenfolge, in Kapitel 3.1.2.1, Die
Testkammer montieren.

3.1.4

Verpacken
1 Legen Sie den Karton mit dem Polsterpapier aus, das mit der Testkammer geliefert
wurde.

2 Packen Sie die TC1000 und das Zubehör in Kunststoffhüllen.
3 Legen Sie die TC1000 in den gepolsterten Karton.

Einstellungen im Menü Auto Leak Test
Sie können jederzeit aus dem Messbetrieb heraus in das Menü AUTO LEST TEAKEINSTELLUNGEN gelangen.

(0604)

3.2

iina11d1-a Kapitel 3.fm

HAUPTMENU → EINSTELLUNGEN → VAKUUMEINSTELLUNGEN → AUTO LEAK TEST
EINSTELLUNGEN

3-6

Der Betrieb der TC1000

Technisches Handbuch

Abb. 3-8
Es stehen Ihnen mehrere Einstellungen zur Wahl.
Pos.
1
2
3
4

Beschreibung
ZurückMesszeit
Triggerlevel 1
Serienfehlermeldung

Pos.
5
6

Beschreibung
Teilenummer
Referenzmessung

1 Wählen Sie die von Ihnen gewünschte Einstellung aus und bestätigen Sie sie mit
OK.
Die Anzeige springt dann zurück zu dem übergeordneten Menü.

3.2.1

Einstellen der Messzeit
1 Gehen Sie im Menü folgenden Weg, um die Messzeit einstellen zu können:
Hauptmenü → Einstellungen → Vakuumeinstellungen → Auto Leak Test
Einstellungen → Messzeit

2 Geben Sie die gewünschte Messzeit ein.
Eine Messung dauert zwischen 1 Sekunde und 30 Minuten, je nachdem, wie Sie den
Lecksucher vorher eingestellt haben.
Die Messzeit hängt von drei Faktoren ab: vom Volumen der Testkammer, vom
Volumen der Bauteile, die getestet werden und von der Rückweisleckrate(Triggerlevel).
(0604)

Längere Messzeiten erhöhen die Genauigkeit der Messergebnisse.
Wenn Sie die Messzeit ändern, wird das Gerät eine Kalibrierung anfordern.

iina11d1-a Kapitel 3.fm

Weitere Informationen finden Sie unter 3.1.2.4, Den Lecksucher kalibrieren.

Der Betrieb der TC1000

3-7

Zum Erstellen dieser Beispiele wurde die Testkammer von INFICON mit einem Inhalt
von 430 cm³ benutzt.
Rückweisrate

Messzeit (Richtwert)

10E-5

2 Sekunden

10E-6

2 Sekunden

10E-7

2 Sekunden

10E-8>5 Sekunden

10E-9>10 Sekunden*

Technisches Handbuch

Beispiele für Einstellungender Zeit* Wir empfehlen eine externe Kalibrierung mit
einem Testleck TL9 (10E-9).

Sie haben die die Messzeit festgelegt.

3.2.2

Einstellen der Nachweisgrenze (Triggerlevel 1)
1 Gehen Sie im Menü folgenden Weg, um die Nachweisgrenze einstellen zu können:
Hauptmenu → Einstellungen → Vakuumeinstellungen → Auto Leak Test
Einstellungen → Triggerlevel 1

2 Geben Sie nun die gewünschte Nachweisgrenze ein.
Um Bauteile zu prüfen, kann die Nachweisgrenze (Triggerlevel) von 10E-1 bis
10E-9 mbar l/s eingestellt werden.

3 Drücken Sie die Taste OK.
Sie haben die Nachweisgrenze festgelegt.

3.2.3

Serienfehlermeldung beim Prüfen
1 Gehen Sie im Menü folgenden Weg, um die Messgenauigkeit zu prüfen:Sie können festlegen, nach welcher Anzahl von undichten Bauteilen, die bei einer
Prüfung aufeinander folgen, der Lecksucher eine Serienfehlermeldung abgibt.

(0604)HAUPTMENU → EINSTELLUNGEN → VAKUUMEINSTELLUNGEN → AUTO LEAK TEST
EINSTELLUNGEN → SERIENFEHLERMELDUNG

2 Sie können wählen zwischen 1 bis 9 Messungen mit fehlerhaften Bauteilen, oder die
Funktion deaktivieren.
Sie geben beispielsweise die Zahl 3 ein.

3 Der Lecksucher fordert Sie auf, eine Referenzmessung durchzuführen.
Weiterführende Informationen finden Sie in Kapitel 3.2.5.

3-8

Der Betrieb der TC1000

iina11d1-a Kapitel 3.fm

Der Lecksucher weist bei den nachfolgenden Prüfungen 3 Bauteile nacheinander als
fehlerhaft aus.

3.2.4

Geprüfte Bauteile zählen lassen
1 Gehen Sie im Menü folgenden Weg, um die Bauteile, die Sie prüfen, zählen zu

Technisches Handbuch

lassen.
HAUPTMENU → EINSTELLUNGEN → VAKUUMEINSTELLUNGEN → AUTO LEAK TEST
EINSTELLUNGEN → TEILENUMMER

2 Geben Sie die Nummer des ersten Bauteils an, danach zählt das Gerät automatischdie Nummer der Teile hoch.
Das Gerät zählt dann die geprüften Bauteile und zeigt das Ergebnis an.

3.2.5

Den Helium-Untergrund reduzieren(Referenzmessung)Der Lecksucher reagiert auf Helium. Er soll das Helium nachweisen, dass ausÖffnungen an den Bauteilen tritt. Nach einer Reihe von Prüfungen befindet sichjedoch möglicherweise so viel Helium im Gerät, dass der Lecksucher darauf mit
einer Fehlermeldung reagiert. Er weist dann nicht das Helium nach, das aus dem
Bauteil austritt, sondern das Helium, das sich aus anderen Gründen im Gerät
befindet.

1 Gehen Sie im Menü folgenden Weg, um den Helium-Untergrund zu reduzieren:
HAUPTMENU → EINSTELLUNGEN → VAKUUMEINSTELLUNGEN → AUTO LEAK TEST
EINSTELLUNGEN → REFERENZPRÜFUNGNach einer Serienfehlermeldung können Sie die Referenzmessung aus dem StandBy-Display starten. Drücken Sie dazu die Taste Reference Measurement.

2 Folgen Sie den Anweisungen auf dem Display
3 und drücken Sie die Taste OK.
Der Lecksucher pumpt die Testkammer 3 Mal leer und belüftet sie anschließend
jedes Mal wieder. Das Gerät wird intern kalibiert.
Nach der Referenzprüfung misst der Lecksucher den Helium-Untergrund und zieht
den Wert von den Messungen ab, die im Folgenden durchgeführt werden.

Wartungsplan(0604)

3.3

Die Testkammer ist wartungsfrei.

O-Ringiina11d1-a Kapitel 3.fm

Überprüfen Sie gelegentlich, ob der O-Ring beschädigt ist, tauschen Sie ihn
gegebenenfalls aus.

Reinigung1 Reinigen Sie die Testkammer mit Alkohol.
2 Pumpen Sie die Kammer nach der Reinigung 3 bis 4 Mal ab. So entfernen Sie übrig
gebliebene Dämpfe von der Oberfläche.

Der Betrieb der TC1000

3-9

Fehlertabelle im UL1000 oder UL1000 Fab anzeigen und auslesen
Auf dem Display erscheint ein Warndreieck, wenn Störungen auftreten.
Möchten Sie die Störungsmeldung auslesen,

iina11d1-a Kapitel 3.fm

(0604)

1 drücken Sie die nebenstehende Taste.
2 Folgen Sie den Anweisungen, um die Fehler zu beheben.

Technisches Handbuch

3.4

3-10

Der Betrieb der TC1000

Technisches Handbuch

4

Weitere Unterlagen

4.1

Ersatzteilliste
Ersatzteil

4.2

Teilenummer

O-Ring (Satz zu 5 Stück)

200 00 1793

Näherungsschalter

200 00 1794

E-Box mit Näherungsschalter

200 00 1795

Scharnier- und Schutzgittersatz

200 00 1796

Dekontaminationserklärung
Senden Sie die Testkammer nur mit einer ausgefüllten Dekontaminationserklärung
an uns zurück. Eine Kopiervorlage finden Sie in der Dokumentenmappe.

Kontaminationserklärung
Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn einekorrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten.
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden.

Art des Produkts

Grund für die Einsendung

Typenbezeichnung
Artikelnummer
Seriennummer

Verwendete(s) Betriebsmittel (Vor dem Transport abzulassen.)

Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts
nein  1)

toxischDas Produkt ist frei vongesundheitsgefährdenden
Stoffenja jaätzendnein  1)ja 

mikrobiologischexplosiv

nein 
nein 

ja  2)ja  2)

radioaktiv

nein 

ja  2)sonstige Schadstoffenein  1)ja 1) oder so gering, dass vonden Schadstoffrückständen
keine Gefahr ausgeht

2) Derart kontaminierte
Produkte werden nur
bei Nachweis einer
vorschriftsmässigen
Dekonta minierung
entgegengenommen!

Schadstoffe und/oder Reaktionsprodukte
Schadstoffe oder prozessbedingte, gefährliche Reaktionsprodukte, mit denen das Produkt in Kontakt kam:Chemische Bezeichnung(evtl. auch Formel)

Massnahmen bei Freiwerden
der Schadstoffe

Erste Hilfe bei Unfällen

(0604)

Handels-/Produktname
Hersteller

Rechtsverbindliche Erklärung
Hiermit versichere(n) ich/wir, dass die Angaben korrekt und vollständig sind und ich/wir allfällige Folgekosten akzeptieren.
Der Versand des kontaminierten Produkts erfüllt die gesetzlichen Bestimmungen.
Firma/Institut
Strasse

PLZ, Ort

TelefonTelefax

E-MailName
Datum und rechtsverbindliche Unterschrift

iina11d1-a Kapitel 4.fm

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www.inficon.com leakdetection.service@inficon.com

zisa01d1-aAbb. 5-9

Weitere Unterlagen

5-1

INFICON GmbH, Bonner Strasse 498, D-50968 Cologne, Germany
Phone: +49 (0)221 347-40 Fax: +49 (0)221 347-41429 E-mail: leakdetection@inficon.com
UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOMVi s i t o ur w eb s i t e f o r c on ta c t i nf o rma t i on an d o t he r s al es of f i c e s w or l dwi de . w w w. i n fi c o n . com

Dokument: iina11d1-a (0604)

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