Training Sign-off Sheet

6000 シリーズ オペレーション（ハーフカット仕様）（Rev. 1.00）

受講者氏名

受講期間

会社名

トレーナー

<6000 シリーズ オペレーション（Rev. 1.00）>
項目

日付

受講者 トレーナー·····················································································1 日目 ·····················································································
1. 機械の構成
1.1. タッチパネルの表示画面構成を理解する_____________________

1.2. ソフトウェアキーボードの配列を理解する_____________________

2.1. 機械の立ち上げを行う_____________________

2.2. システムイニシャルを実行する_____________________

2.3. 暖機運転を実行する_____________________

2.4. セットアップを実行する_____________________

2.5. 機械の終業作業を行う_____________________

3.1. フルオートメーション運転におけるワークの流れを理解する_____________________

3.2. カセットをセットする_____________________

3.3. デバイスデータリスト画面の操作を行う_____________________

3.4. フルオートメーション運転時の安全事項および作業の流れを理解する_____________________

3.5. デバイスデータの確認を行う_____________________

3.6. 単品種フルオートメーション運転を実行する_____________________

3.7. フルオートメーション運転の中止と再カットを実行する_____________________

3.8. 多品種フルオートメーション運転を実行する_____________________

3.9. インスペクション機能について理解する_____________________

3.10. オートインスペクションを実行する_____________________

3.11. 任意指定のインスペクションを実行する_____________________

3.12. インスペクション中ワークの取り除きを実行する_____________________

4.1. フルオートメーション運転中の補正作業項目を理解する_____________________

4.2. 光量／フォーカス調整を実行する_____________________

4.3. ヘアライン合わせ補正を実行する_____________________

2. 機械の立ち上げおよび終業

3. フルオートメーション運転

4. フルオートメーション運転中の補正

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4.4. カット位置補正を実行する_____________________

4.5. 送り速度変更を実行する_____________________

4.6. ブレードハイト補正を実行する_____________________

5.1. 各運転モードと作業内容を理解する_____________________

5.2. マニュアルワーク搬送の概要を理解する_____________________

5.3. ロードを実行する_____________________

5.4. チャックテーブル上ワークをスピンナテーブル上に移動する_____________________

5.5. クリーンを実行する_____________________

5.6. アンロードを実行する_____________________

5.7. 全ワークアンロードを実行する_____________________

5.8. マニュアルアライメントを実行する_____________________

5.9. オートアライメントを実行する_____________________

5.10. オートカットを実行する_____________________

5.11. セミオートカットを実行する_____________________

5. マニュアルオペレーション·····················································································2 日目 ·····················································································
6. デバイスデータ
6.1. デバイスデータのコピーを行う_____________________

6.2. デバイスデータの移動を行う_____________________

6.3. デバイスデータのリネームを行う_____________________

6.4. デバイスデータの削除を行う_____________________

6.5. デバイスデータを作成する_____________________

6.6. カット動作機能の詳細を理解する_____________________

6.7. プロセスコントロールテーブルの設定を行う_____________________

6.8. アライメントデータ設定内容を理解する_____________________

6.9. 洗浄データ設定内容について理解する_____________________

6.10. ウォータープログラムメンテナンス機能設定を理解する_____________________

6.11. オートダウン機能について理解する_____________________

6.12. オートセットアップの設定を行う_____________________

6.13. プリカット機能の目的とデータ設定を理解する_____________________

6.14. カーフチェック機能のデータ設定を行う_____________________

6.15. サブインデックスデータ使用方法を理解する_____________________

6.16. マルチインデックスワークのデバイスデータ設定を理解する_____________________

7.1. ブレードメンテナンス作業の流れを理解する_____________________

7.2. ブレードを交換する_____________________

7.3. 新規ブレードデータの設定を行う_____________________

7. ブレードメンテナンス

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7.4. 中古ブレードデータの設定を行う_____________________

7.5. ブレード破損検出器の調整を行う_____________________

7.6. セットアップ機能について理解する_____________________

7.7. セットアップデータの設定を行う_____________________

7.8. チャックテーブルセットアップを実行する_____________________

7.9. 非接触セットアップを実行する_____________________

7.10. センサ位置合わせセットアップを実行する_____________________

7.11. ブレードドレッシングを実行する_____________________

7.12. ヘアライン合わせ補正作業を実行する_____________________·····················································································3 日目 ·····················································································
8. アライメントティーチ
8.1. メジャー機能を使用する_____________________

8.2. アライメントティーチを実行する_____________________

8.3. アライメントターゲット選択の要点を理解する_____________________

8.4. プロセスコントロールの起動（カット以外）を実行する_____________________

9.1. （付録）搬送エラーを理解する_____________________

9.2. （付録）カット中のエラーを理解する_____________________

9.3. （付録）カバーによるインターロックエラーを理解する_____________________

9.4. （付録）セットアップ時のエラーを理解する_____________________

9.5. （付録）アライメント時のエラーを理解する_____________________9.6. （付録）スピンナ洗浄時のエラーを理解する_____________________

9.7. （付録）カーフチェック時のエラーを理解する_____________________

9.8. （付録）ブレード破損検出エラーを理解する_____________________

9.9. （付録）供給ユーティリティによるエラーを理解する_____________________

9.10. （付録）UV 照射時のエラーを理解する_____________________

9.11. （付録）その他のエラーを理解する_____________________

9. 付録

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Training CenterTraining Sign-off Sheet<DFD6361 オペレーション（ハーフカット仕様）（Rev. 1.00）>

項目日付

受講者 トレーナー

1. フルオートメーション運転 【ハーフカット仕様】
1.1. カセットをセットする【ハーフカット仕様】_____________________

1.2. 単品種フルオートメーション運転を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

1.3. フルオートメーション運転の中止と再カットを実行する【ハーフカット仕様】_____________________

1.4. 多品種フルオートメーション運転を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

2.1. フルオートメーション運転中の補正作業項目を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

2.2. 光量／フォーカス調整を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

2.3. ヘアライン合わせ補正を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

2.4. カット位置補正を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

2.5. 送り速度変更を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

2.6. 切り込み量補正を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

3.1. 切り込み量と切り残し量の違いについて理解する【ハーフカット仕様】_____________________

3.2. デバイスデータを作成する【ハーフカット仕様】_____________________

3.3. 非接触上面高さ位置測定器（NSD）測定データを確認する【ハーフカット仕様】_____________________

3.4. 非接触上面高さ位置測定器（NSD）メジャー機能を使用する【ハーフカット仕様】_____________________

3.5. プロセスコントロールテーブルの設定を行う【ハーフカット仕様】_____________________

3.6. 洗浄データ設定内容について理解する【ハーフカット仕様】_____________________

3.7. サブインデックスデータ使用方法を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

4.1. チョッパーカットセットアップ（CCS）を実行する【ハーフカット仕様】_____________________

4.2. チョッパーカットセットアップヘアライン合わせを実行する【ハーフカット仕様】_____________________

4.3. チョッパーカットセットアップ回数変更画面を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

4.4. サブチャックテーブル補正用シリコンチップ交換画面を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

4.5. チョッパーカットセットアップカーフ合わせを実行する【ハーフカット仕様】_____________________

2. フルオートメーション運転中の補正【ハーフカット仕様】

3. デバイスデータ 【ハーフカット仕様】

4. ブレードメンテナンス 【ハーフカット仕様】

DISCO CorporationTraining CenterTraining Sign-off Sheet
5. エラーリカバリー 【ハーフカット仕様】
5.1. チョッパーカットセットアップに関連するエラーのリカバリー方法を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

5.2. ワーク厚み測定に関連するエラーのリカバリー方法を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

5.3. チャックテーブル洗浄に関連するエラーのリカバリー方法を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

5.4. ベルヌーイ・ウェーハ保持に関連するエラーのリカバリー方法を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

5.5. FOUP に関連するエラーのリカバリー方法を理解する【ハーフカット仕様】_____________________

各コースの研修対象者および研修目標について

コース名研修対象者

研修目標

・ 該当装置を操作したことがない方
・ 装置のデータや機能設定を行う方

・ 操作に必要な用語を理解し、装置に設定済
みのデータを呼び出して製品を加工するス
キルを習得します・ 装置を稼動させるためのデータ作成および設定、機能設定するスキルを習得します

メンテナンス 1

・ オペレーションコースを修了した（または修了相当の装置オペレーションス
キルを習得済みの）方・ 装置の定期的な保守作業を行う方

装置付属のメンテナンスマニュアルに記載されている定期保守項目・消耗品交換項目を、確実かつ安全に実施するスキルを習得します

メンテナンス 2

・ メンテナンス 1 コースを修了した（または修了相当の装置メンテナンススキ
ルを習得済みの）方・ 装置付属のメンテナンスマニュアルに記載されていないレベルの保全作業を行う方

装置付属のメンテナンスマニュアルにないメンテナンス項目のうち、特殊な治工具を必要とせず、かつメーカーデータにアクセスする必要のない作業のスキルを習得します

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