MIDAS -M
TMガス監視システム

半導体プロセスや工業製造におけるガス検知に、新しい視認性、信頼性、使いやすさをもたらします。

Honeywell MidasTM-M ガス検知器は、信頼性の高いセンサ技術を使用して、35種類以上の主要な毒性ガス、周囲ガス、可燃性ガスを検出します。簡単、迅速、エラーな
くお使いいただける、費用対効果の高い製品です。
このデバイスは、特許技術を使用して流量を調整し、エラーのないガス検知を保証しながら、最大30メートル離れた場所をモニタリングします。

標準の電源および通信機能には、3つのオンボード・リレー(フォームC)、0mA～21mAのアナログ出力、およびModbus®/TCP Ethernetデジタル出力が含まれており、制御およびアラーム・システムのポートへの接続を容易にし、最適な接続性とサービスの相互作用を実現します。

柔軟性の高い機能とオプションにより、Midas-Mガス検知器は箱から取り出して直ぐにお使いいただける上、お客様のニーズに合わせて簡単に構成できます。各プラグアン
ドプレイセンサーカートリッジは事前にキャリブレーションされているため、簡単に準備完了します。つまり、センサが長く使え、交換が迅速かつ簡単になり、センサの誤りや消耗によるオペレーターのエラーが発生することはありません。Midas-Mガス検知器を使用すれば、顧客はセンサー校正期間の延長、特許取得済みの診断、および所有コストの低減が可能になります。

用途• 半導体加工• 軽工業製造• 大学研究室• 航空宇宙• 排水

特長と利点
クリアな視認性

Midas-Mガス検知器には、明るいLEDと直感的なインターフェースが装備されており、ガスの読み取り値またはアラームレベルに瞬時にアラートを提供します。

簡単なキャリブレーション
工場で校正されたセンサーは、頻繁なガステストの必要性を減らします。

簡単取り付けコンパクトなサイズのため、スペースが小さく、かつ複雑なプロセス環境に適しています。Midas-Mガス検知器は、プラグアンドプレイ機能を備えており、設置が簡単です。

PoE プロトコル

検知器には、革新的なPower overEthernet(PoE)プロトコルが含まれています。
これは、すべての電源、制御、および通信要件に対応する単一のイーサネット接続です。

一体型セキュリティ

Midas-Mガス検知器のインターフェースには、システムの完全性を維持するためにパスワードで保護されたメニューが含まれています。

MIDASTM-M 技術仕様
表1.

トランスミッター寸法

サイズ(カートリッジ付きユニット)
重量-トランスミッター
重量-カートリッジ

オプションのリレー寸法

サイズ
重量

POWER要件
動作電圧136mm(高さ)x83mm(幅)x152mm(奥行)1.3kg

0.17kg～0.22kg（センサの種類による）

137mm(高さ)x84mm(幅)x41mm(奥行)0.31kg
定格24VDC、-15～10%(20.4VDC～26.4VDC)

Power Over Ethernet(PoE)での動作
電圧

48 VDC PoE(IEEE802.3af準拠)

トランスミッター(正常状態)1

標準5W

消費電力

トランスミッター(全負荷状態)2
トランスミッター（リレー付き）

出力
視覚

リレー（トランスミッター）
リレー（オプションリレー）
アナログ

デジタル通信認定および仕様性能
輸送システム≤ 11.45 W≤ 12.9 W
アラーム、電源、障害LED、およびすべてのガス読値とイベントを含むLCD
LED:電源(緑)、警報1(赤)、警報2(赤)、故障(黄)(3) アラーム1、アラーム2およびフォルト用リレー、30Vdcまたは0.5A@125Vacで定格1.0A
Max 10 uA @ 10 mV minimum、ノーマルオープンまたはクローズ、ラッチまたはアンラッチとして設定可能
各チャネルのアラーム1およびアラーム2用リレー8個とコモンフォルト定格用リレー
1.0 A@30Vdcまたは0.5A@125Vac
Max 10 uA @ 10 mV minimum、ノーマルオープンまたはクローズ、ラッチまたはアンラッチとして設定可能
3線式シンク、3線式ソース、4線式絶縁、チャネルごとに0mA～21mA

Modbus/TCP Ethernet/Power over Ethernet(PoE)
CEマーク
EN50270:2015+AC:2016およびEN61000-6-4:2007+A1に適合
ETL認定UL61010-1:2012Ed.3、もしくはIEEE802.3af-2003
個々のセンサデータシートを参照

流量600mL/min

サンプルラインチューブ

3.18mm ID x6.35mm OD

輸送時間

チューブ長さエキゾーストラインチューブ
排気長さ

環境ポート

動作温度
配線要件
4-20 mA

デジタル

2秒～25秒（最大）
最大30m(100ft)FEPチューブ
4.76mm ID x6.35mm OD
最大30m(100フィート)

インラインエアフィルタが必要
0°C～40°C
2線、最大14AWG
CAT5ケーブルまたは同等品:RJ45コネクタ

MIDASTM-M 技術仕様
表 1.（続き）

ガス濃度表示とインターフェイス
計器

リモート

取り付け詳細取付け

4桁英数字表示、単位別、各チャンネルの濃度バーグラフと他のアイコン駆動インジケーター、4ボタンインターフェースキーパッド
イーサネット経由のインターネットブラウザアクセス
壁面取付用ネジ穴またはDINレール用オプション

材質

カバー：プラスチック(ポリカーボネート)、シャーシ/取付金具：亜鉛メッキ鋼製、赤フレーム：液体塗装アルミ

トランスミッター

工場出荷日から1年間保証

センサカートリッジ

工場出荷日から2年間

正常状態：(1)ガス警報なし、(2)チューブおよび圧力/真空なし² 全負荷状態：(1)4チャンネルすべてのガスアラームがオン、(2)最大チューブの長さと吸気/排気ラインの圧力/真空

1

MIDASTM-M スマートセンサ & カートリッジ
品名/検知ガスカートリッジ
ダミーセンサー
塩化水素（HCI)
三塩化ホウ素（BCl3)
ジク口口シラン（SiH2Cl2)
臭化水素（HBr）
シラン（SiH4)ジシラン（Si2H6)
水素（H2)
塩素（Cl2)
アンモニア（NH3)
一酸化炭素（CO)ホスフィン(PH3)
オゾン（03)酸素（02)
二酸化硫黄（SO2)フッ化水素（HF）
三フッ化ホウ素（BF3）
塩素（Cl2）低濃度※
二酸化炭素（CO2）IR ※水素（H2）LEL ※メタン（CH4）LEL ※ホスフィン（PH3）※
一酸化炭素（CO）

測定レンジ

0～8 ppm
0～8 ppm
0～8 ppm
0～8 ppm
0～20ppm
0～20ppm
0～1OOOppm
0～2 ppm
0～1OOppm
0～1OO ppm
0～1200 ppb
0～0.4 ppm
0～25%vol0～8 ppm
0～12 ppm
0～8 ppm
0～0.4ppm
0～2.0%vol0～100%LEL
0～100%LEL
0～1200ppb
0～100ppm

型番MM-CAT
MMS-00MMS-E2
MMS-E2
MMS-E2
MMS-E2
MMS-X2
MMS-X2MMS-G2
MMS-L2
MMS-A2
MMS-C2
MMS-R2
MMS-U2
MMS-D2
MMS-S2MMS-Z2MMS-Z2
MMS-Q2
MMS-TR
MMS-L2
MMS-L2
MMS-R3
MMS-C3

品名/検知ガス
六フッ化タングステン（WF6）
アルシン（A SH3 ）※三フッ化ホウ素（BF3）低濃度※
臭素（Br2）※二酸化炭素（CO2）※
二酸化塩素（CIO2）※
ジボラン（B2H6）※
エチレンオキシド（ETO）
ゲルマン（GeH4 ）※シアン化水素（HCN）※
フッ化水素（HF）低濃度※
セレン化水素（H2Se）※
硫化水素（H2S）
ー酸化窒素（NO）※
二酸化窒素（N02）
オルトケイ酸テトラ工チル(TEOS ）六フッ化タングステン（WF6）低濃度※

測定レンジ
0～12 ppm
0 - 0.2 ppm
0 - 2 ppm
0 - 0.4 ppm
0 - 2.0%vol
0 - 0.4 ppm
0 - 0.4 ppm
0 - 40 ppm
0 - 0.8 ppm
0 - 20 ppm
0 - 2 ppm
0 - 0.4 ppm
0 - 40 ppm
0 - 100 ppm
0 - 12 ppm
0 - 40 ppm
0 - 2 ppm

※ 順次発売予定です。詳しくは、お問い合わせください。

型番
MMS-Z2
MMS-K2MMS-Z4
MMS-Q2
MMS-T2
MMS-Q2
MMS-K2
MMS-ET
MMS-K2
MMS-Y2MMS-Z4
MMS-H4
MMS-V2
MMS-VN
MMS-ET
MMS-Z4

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