グリッパー＆ピンサー【製品コード】◆1軸ウォブルスティック/1軸直線回転導入機
1) GRABSHOM7/8:SHOMプレート用グリッパー(ID7mm/8mm)※1軸1回転トランスファーロッドにも適用

8) PGWMSL(OMH):SHOMプレート用ロングピンサー(クリアランス縮小:±2°)
9) PGWMS(CUST):カスタマイズピンサー

2) GRABSHOMOD6L45:SHOMプレート用グラバーツール(ID6mm/L45mm)

10) PGWMS(OMUSLIMLTA):OmicronLT-AFM用ウルトラSLIMピンサー:

3) GRABSHAPS7:カメカアトムプローブパックスリム用グラバーツール

11) PGWMO(OM):SHOMプレート用直交ピンサー
12) PGHFWMWAF:ウエハーハンドリング高グリップ力ピンサー:WMG40(RT)専用

4) GRABSHDO7:ダブテールシャトル用グリッパー◆2軸ウォブルスティック/2軸直線回転導入機◆2軸1回転トランスファーロッド/2軸2回転トランスファーロッド

5) PGWMS(OM):SHOMプレート用ピンサー(±8°)13) PGRMWAF:ウエハーハンドリングピンサー

6) PGWMS(OMH):SHOMプレート用ピンサー(クリアランス縮小:±2°)

14) PGRMS(OMH):SHOMプレート用ピンサー

7) PGWMSL(OM):SHOMプレート用ロングピンサー(±8°)15) PGRMS(CUSTOM):カスタマイズジョー付ピンサー

1)

2)

3)

4)

9)

10)

11)

12)

1軸/2軸直線回転導入機

5)

13)

6)

7)

14)

1軸/2軸ウォブルスティック

8)

15)

グリッパー
グリッパー(ID7mm)
名称

ウォブルスティック用

グリッパー(ID8mm)
直線回転導入機用
トランスファーロッド用

カスタマイズ用グリッパー

グリッパー(ID6mm/L45mm)
ウォブルスティック用

カメカアトムプローブ
パックスリムバージョン用

グリッパー
ダブテールシャトル用

外観図

概要

製品コード

・グリッパーにはサンプルプレートのハンドル用のスリットが備えられています。
・グリッパーのスリットにサンプルプレートのハンドルを差し込んで左右いずれかの方向に90°回転させることで、サンプルプレートは所定の位置にカチッと収まり、内蔵されているバネ式ピストンで静かに保持されます。
・再び90°回転させることで、サンプルプレートを外すことができます。
・他メーカーの同様のグリッパーとは異なり、このグリッパーには固定リミットストッパーがありません。従って、サンプルプレートの比較的デリケートなハンドルをねじじったり、ひっくり返したりして壊してしまうようなことはありません。
・どちらの方向に回しても、1/4回転でサンプルプレートがロックされたりリリースされたりするので、ユーザーは回転方向に関係なく安全な回転操作ができます。
GRABSHOM7

GRABSHOM8GRABSHDO7

ステンレス鋼(1.4301/1.4310)
CuBe(2.1247)
PEEK

ステンレス鋼(1.4301/1.4310)
CuBe(2.1247)

200℃

許容加熱温度材料

GRABSHAPS7

安全な連続回転操作

特⾧仕様

GRABSHOMOD6L45

ステンレス(SUS304)
ベリリウム銅合金(CuBe2)
チタン(TI)

WM40 ウォブルスティックステンレス鋼(SUS304)
チタン(TI)

MD40 直線回転導入機

RM40 トランスファーロッド

ピンサー
名称

スタンダードグリップピンサー

スタンダードグリップ

ハードグリップピンサー

ハードグリップロングピンサー

ロングピンサー

外観図

概要

製品コード

・PGWMSピンサーファミリーは、フラ ・PGWMSピンサーファミリーは、フラ ・ピンサーの⾧いグリップバージョンは、 ・ピンサーの⾧いグリップバージョンは、
グスタイルのサンプルプレートを操作
グスタイルのサンプルプレートを操作
サンプルプレートを掴むためのスペー
サンプルプレートを掴むためのスぺーするために最も一般的に使用されます。
するために最も一般的に使用されます。
スが少ない場合に役立ちます。
スが少ない場合に役立ちます。
・ピンサーのグリップのポケットは、ピ・ピンサーのグリップのポケットは、ピ・ピンサーのグリップのポケットは、ピ・ピンサーのグリップのポケットは、ピンサーを閉じたままにしておくと脱落
ンサーを閉じたままにしておくと脱落
ンサーを閉じたままにしておくと脱落
ンサーを閉じたままにしておくと脱落しないようにサンプルプレートのハンしないようにサンプルプレートのハンしないようにサンプルプレートのハンしないようにサンプルプレートのハンドルを囲みます。
ドルを囲みます。
ドルを囲みます。
ドルを囲みます。
・意図的に、サンプルプレートは、操作
・OMHバージョンは、サンプルプレー
・サンプルプレートは、操作中の位置合・OMHバージョンは、サンプルプレー
中の位置合わせエラーを補正するためトをしっかりと掴むために遊びが少な
わせエラーを補正するために、ジョートしっかりと掴むために遊びが少なくに、ジョーで保持されている間、ぶらくなっています。
で保持されている間、ぶら下がっていなっています。
下がっています。
ます。
PGWMS(OM)

開口部角度
角度クリアランス(水平方向/垂直方向)仕様

PGWMS(OMH)

PGWMSL(OM)

35°
±8°

許容加熱温度

23°
±2°

±8°

±2°

200℃

【アプリケーション:2DOF】

ピンサー材料ステンレス (SUS304)

作動ピン材料

ベリリウム銅合金 (CuBe2)
PGWMS(OM)

PGWMSL(OMH)

PGWMS(OMH)

PGWMSL(OM)

PGWMSL(OMH)ピンサー
オミクロンLT-SPM用ハードグリップ

カスタマイズピンサー

直交ピンサー・PGWMS(CUST)は、アプリケーションにより特殊
または複雑なピンサーデザインにカスタマイズする
ためのピンサーモデルです。

・PGWMO(OM)は、STM1用OmicronSA02-1862
グリッパーおよび同様の直交操作サンプル交換メカ
ニズムと1:1の互換性があります。
・ピンサーグリップは、サンプルプレートをインラインおよび垂直に把持するための適切な溝で作られています。両方の溝は、サンプルプレートのぶら下がりを可能にするために必要なクリアランスを備えています。

・PGWMS(OMUSLIMLTA)は、オミクロンLT-SPMのAFMチップキャリアに取り付けられたAFMチップ
をつかんで解放するように特別に設計されています。
・PGWMS(OMUSLIMLTA)の狭いヘッドは、サンプ
ルプレートとAFMチップホルダーの視認性を向上させます。スリムなグリップはスペースの場所でも使用できるように設計されています。
・正確で安全な取り扱いのために、微調整カップリングを備えたWMG40(FC)2軸ウォブルスティックと組み合わせて使用することをお勧めします。

PGWMS(CUST)PGWMO(OM)

PGWMS(OMUSLIMLTA)

開口部角度

35°

8°

Max 23° / Min -2.3°

クリアランス(水平/垂直方向)

ー

±8°

±2°

名称

ウルトラスリムピンサー

外観図

概要

製品コード

仕様

200℃

許容加熱温度【アプリケーション:2DOF】
ステンレス (SUS304)

ピンサー材料
作動ピン材料

ベリリウム銅合金 (CuBe2)
PGWMS(CUST)PGWMO(OM)

PGWMS(OMUSLIMLTA)

ピンサー
名称

JT-SPM V3/V4用オフセットピンサー

ウエハーハンドリング高グリップ力ピンサー

・旧バージョンPGWMSJTAFM3及び最新バージョンPGWMSJTAFM4は、Specs TytoTM Precision STMヘッドのセンサーとサンプルプレートの両方を掴み交換するためにカスタムメイドされました。
・取り扱い易さを考慮して設計され、リリースされたセンサーを掴むための位置から180°ねじるだけで、サンプルプレートを取り出すのに適切な位置になります。
・正確で安全な取り扱いのために、WMG40(FC)-XXXX-YYYYファインア
ジャスター付2軸ウォブルスティックと組み合わせて使用することを推奨します。

・このピンサーは、WMG40(RT)2軸ウォブルティックに適合します。
・パーキングポジションまたはストレージスタックからウエハーを掴むことができます。
・ピンサーのグリップのFKMVITON® O-リングは、しっかりとした保持力を保証すると同時にウエハーが金属と接触するするのを防ぎます。
・ピンサーの開閉は、2軸ウォブルスティックの外側のマグネットを約4分の3
回転させて行います。

外観図

概要

製品コード

仕様

PGWMSJTAFM3

PGWMSJTAFM4

PGHFWMWAF

開口部角度

15.4°

35°

ー

角度クリアランス(水平方向/垂直方向)

10.6mm

6.85mmー
200℃

許容加熱温度
ピンサー/作動ピン材料

ステンレス (SUS304)【アプリケーション:2DOF】
ベリリウム銅合金(CuBe2)2軸ウォブルスティック:WMG40(FC)ステンレス (SUS304)
ベリリウム銅合金 (CuBe2)
PEEKおよびFKM

2軸ウォブルスティック:WMG40(RT)(ウエハーサイズ:2” – 6”)

ピンサー
名称

オミクロンピンサー

オミクロン直交ピンサー

オミクロンストレートピンサー

SA02-1862(STM1)用アダプター

GA02-1810/GA02-1119用アダプター

GA02-182用アダプター

外観図

概要

製品コード
仕様

・オミクロンの古い真空システムで使用されている従・オミクロンの古い真空システムで使用されている従・オミクロンの古い真空システムで使用されている従来のベローズシール付ウォブルスティックの寿命は、来のベローズシール付ウォブルスティックの寿命は、来のベローズシール付ウォブルスティックの寿命は、プッシュ/プル動作の回数によって制限されます。
プッシュ/プル動作の回数によって制限されます。
プッシュ/プル動作の回数によって制限されます。
・磁気結合のおかげで、Ferrovac2軸ウォブルティッ ・磁気結合のおかげで、Ferrovac2軸ウォブルティッ ・磁気結合のおかげで、Ferrovac2軸ウォブルスティ
クの寿命は⾧くなります。それらは、ほとんどフォクの寿命は⾧くなります。それらは、ほとんどフックの寿命は⾧くなります。それらは、ほとんど
ースフリーで動作し、機械的損傷の影響を受けにくォースフリーで動作し、機械的損傷の影響を受けにフォースフリーで動作し、機械的損傷の影響を受けくなっています。
くくなっています。
にくくなっています。
・オミクロンピンサーは、通常は良好な状態にあり、・オミクロン直交ピンサーは、通常は良好な状態であ・オミクロンストレートピンサーは、通常は良好な状
古いウォブルスティックから簡単に取り外せるので、り、古いウォブルスティックから簡単に取り外せる態であり、古いウォーブルスティックから簡単に取ADOMS/ADOMO/ADOMO2アダプターを使用しので、ADOMS/ADOMO/ADOMO2アダプターをり外せるので、ADOMS/ADOMO/ADOMO2アダて、WMG40 2軸ウォブルスティックに直接取り付使用して、WMG40 2軸ウォブルスティックに直接プターを使用して、WMG40 2軸ウォブルスティッ
けることができます。
取り付けることができます。
クに直接取り付けることができます。
ADOMO

ADOMO2アダプター材料

ステンレス (SUS304)

許容加熱温度

200℃

ADOMO

ADOMO2

ADOMS

ADOMS

ピンサー
ピンサー

カスタマイズピンサー

ウエハーハンドリングピンサー

・RMJ/RMD/RMJG/RMDG2軸トランスファーロッドに適合します。
・ピンサーの開閉は、トランスファーロッドの外側のマグネットアセンブリーを約1/4回転させることで行われます。

・RMJ/RMD/RMJG/RMDG2軸トランスファーロッドに適合します。
・様々なサンプルホルダーに対応できるようにカスタマイズしたピンサーにも対応できます。
・ピンサーの開閉は、トランスファーロッドの外側のマグネットアセンブリーを約1/4回転させることで行われます。
・上図は、SHOMサンプルプレートまたはマッシュルームタイプのサンプルホルダー(VGスタブ)のいずれかを掴むために使用できるハイブリッドバージョンです。

・すべての2軸トランスファーロッドと互換性のある
このピンサーは、パーキングポジションまたはストレージスタックからウエハーを直接掴むことができます。
・ピンサーの顎のFKMVITON®O-リングは、ウエハーが傷付くのを防ぐと同時にしっかりとした保持力を保証すると同時にウエハーが金属と接触するのを防ぎます。
・ピンサーの開閉は、2軸トランスファーロッドの外側のマグネットアセンブリーを約4分の3の回転させて行います。

PGRMS(OMH)

PGRMS(CUSTOM)PGRMWAF

開口部角度

39°

特注可能

ー

角度クリアランス(水平/垂直方向)

±2°

特注可能

ー

名称

外観図

概要

製品コード

仕様
材料

ステンレス (SUS304L)
ベリリウム銅合金 (CuBe2)
PEEKおよびFKM

ステンレス (SUS304)【アプリケーション:2DOF】
ベリリウム銅合金 (CuBe2)

許容加熱温度200℃
PGRMS(OMH)

PGRMS(CUSTOM)PGRMWAF

12

7

7

8

10

10
30

15.75

Oxygen-free copper shim for 7mm shafts
M4 grub screw - adjust depth in shaft toset spring tension as required(1:1)
M3 grub screws to secure grabberhead on shaft

Sample plate not included.

Material: All UHV compatible

Grabber Tool ID 7 and ID 8 for
SHOM Plates

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

6
30 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

2:1
Rev.

D

Drawn
Date
changedvon Gunten
21.09.2015
09.10.2020 MM

GRABSHOM

6

12
M3

8

45

30

35.2

4

4

10

8.2

15.7

Ra 0.8

Grabber Tool ID 8mm for SHOM
Plates, Outer Diammeter 6mm,
L=45mmCH-8050 Zurich

(

-0.1
-0.2

)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: 1.4301 & titanum

Ferrovac GmbH

+0.2
+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

2:1
Rev.

A

Drawn
Date
ChangedJ.Buechi28.07.2021............

GRABSHOMOD6L45
A4 sheet 1/1

( 18 )

Application Example
dove tail sample holder not incl.

35.8( 27 )

3.95

4.8

34

3

(6)

7

12

10

13.8

Ra 0.8

Grabber Tool ID 8mm for Dovetail
Sample Holder
GRABSHDO7
CH-8050 Zurich

(

-0.1
-0.2

)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac

+0.2
+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

2:1
Rev.

A

Drawn
Date
ChangedC.Strässle
19.04.2022............

A4 sheet 1/1

66

7

23

0

(5)

13.4

40

8

4

Ra 0.8

+0.2
+0.1
(

-0.1
-0.2

)

general tolerances ISO 2768-K
Material: all UHV compatible

8

9.6

20

13

Straight pincer grip for SHOM

Scale

PG

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich6
30 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1
Rev.

C

Drawn
Date
changedDenys Sutter
08.03.2011
08.04.2020 MFM

PGWMS(OM)
sheet 2/2

66
(5)

13.4

20

23

7

0

40

2

4

Ra 0.8

+0.2
+0.1
(

-0.1
-0.2

)

general tolerances ISO 2768-K
Material: all UHV compatible

2

9.6

13

Straight pincer grip long (hardgrip) for SHOM plates
PG

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

6
30 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

1:1
Rev.

C

Drawn
Date
changed

Rechtsteiner
09.09.2014
09.04.2020 MFM

PGWMSL (OMH)
sheet 2/2

48

13.4

5

20

7

13

0

4

(1:1)

Ra 1.6

+0.2
+0.1
(

-0.1
-0.2

)

general tolerances ISO 2768-K

35

9.6

22

Material: all UHV compatible

6
30 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Basis Straight Pincer
without Grooves

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

Scale
THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

2:1
(1:1)

Rev. B

Drawn
Date
RevisedDenys Sutter
08.03.2011DS
25.06.19 JB

PGWMS

4
R2

9.5

50

22

0.

5

2.5

3

R

3
6

+0.2
+0.1

trovalisiert
Ra 0.8
(

(2:1)

-0.1
-0.2

)

general tolerances ISO 2768-K

Material:

1.4301

nominaldimension

Base Pincer Arm without Groove

tolerance
Scale

PGWMS

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

5:1
(2:1)
Rev.

A

over
up to

1
6
0.05

6
30
0.1

Drawn
Date
Changed30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
J.Buechi25.06.2019............

24049
A4 page 2/2

closed18

opened

8

36

45

54

30

8

12

3

13.4

in line grip

7

orthogonal grip

8

8

8

4.4
+0.2
+0.1

SHOM sample plate
Ra 1.6

(

-0.1
-0.2

)

general tolerances ISO 2768-K

Material:

all UHV compatible

nominaldimension

Orthogonal pincer gripfor SHOM sample plates

tolerance
Scale

PG

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1

over
up to

1
6
0.05

Drawn
Date
Checked630
0.1

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
Denys Sutter
21.02.2011
Name

PGWMO(OM)

48

5

2.4

15

0.8

4.4

28

M3

23

0.6

1.2

+/-2°

3

9.6

2.3

3.5

4.4

Material: All UHV compatible(1:1)

Pincer grip Ultra SLIM LT Afm
for SHOM
PGWMS(OMUSLIMLTA)

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
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PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
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6
30 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Drawn
von Gunten
Scale

2:1
(1:1)

Rev.

A

Date
Revised19.11.2015.....

PGWMS(OMUSLIMLTA)

⌀ 25

5
14

M3
73

⌀7

2.5

10.6

18.95

⌀3

89.6

M3

Material:(1:1)

Nennmass überPincer Grip for JT-SPM V3
PGWMS-JTAFM-3-A001

Ferrovac GmbHCH-8050 Zürich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1
6
30 100 300 1000
6
30 100 300 1000 2000
Toleranz ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Massstab gezeichnet D.Rechsteinerbis

2:1
Rev. D

Datum
17.03.10
geändert 30.10.2020 MFM

PGWMS-JTAFM-3A001 1/4

4
15.
⌀ 25

5

(1:1)
14
73

⌀7

6.85

15.2

⌀3

89.6

7.25

Material:

Nennmass überGreifzange für JTSPM V4(1:1)

PGWMSJTAFM4

Ferrovac GmbHCH-8050 Zürich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1
6
30 100 300 1000
6
30 100 300 1000 2000
Toleranz ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Massstab gezeichnet von Guntenbis

2:1
Rev. C

Datum
02.10.2018
geändert 05.22.2020 MFM

PGWMSJTAFM4
1/3

83.58
additional Y = 62.6

0.6

7

adjustable limit stop forthe different wafer sizes

R 69
36

12.6

20

Ra 0.8Straight Pincer High Force
Version for Wafer
PGHFWMWAF
CH-8050 Zurich

(

-0.1
-0.2

)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac GmbH

+0.2
+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

1:1
Rev.

B

Drawn
Date
Changed

C.Weiss
03.05.2018
28.01.2020 CW

PGHFWMWAF
A4 sheet 1/1

"6 inch Wafer"4 inch Wafer"4.9 inch Wafer

67.4

42.4

0
R5

R

R

7

62

5

.5

54.9

6

5.

5.

75

2

"2 inch Wafer
17.4
R2
5

7.4

Ra 0.83

6Straight Pincer High Force
Version for Wafer
PGHFWMWAF
CH-8050 Zurich

(

-0.1
-0.2

)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac GmbH

+0.2
+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

1:1
Rev.

B

Drawn
Date
Changed

C.Weiss
03.05.2018
28.01.2020 CW

PGHFWMWAF
A4 sheet 1/1

33

22

19

15

0.6

26

54
78
adjustable limit stop forthe different wafer sizes

R6

9

17
10

36

( 67.4 )

3.5
35
100
116.6

Ra 0.8Straight Pincer High Force
Version for Wafer
PGHFWMWAF
CH-8050 Zurich

(

-0.1
-0.2

)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac GmbH

+0.2
+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

1:1
Rev.

A

Drawn
Date
Changed

C.Weiss
03.05.2018............

PGHFWMWAF
A4 sheet 1/1

"4 inch Wafer"4.9 inch Wafer"6 inch Wafer
67.4

42.4

54.9

R

6

62

0

R

5

5

R7

.5

5.

5.

75

2

"2 inch Wafer

7.4

17.4

Ra 0.83

Straight Pincer High Force
Version for Wafer)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

6

PGHFWMWAF
CH-8050 Zurich

(

-0.1
-0.2

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac GmbH

+0.2
+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1
Rev.

A

Drawn
Date
Changed

C.Weiss
03.05.2018............

PGHFWMWAF
A4 sheet 1/1