モーター駆動直線回転導入機■ MD40(ICF70)/MD16(ICF34)直線回転導入機を電動化することで、確実で安全かつ正確な移動、位置決め、ハンドリングを実現します。
■ Ferrovac社製モーター駆動リニアロータリードライブは、微細なステップ分解能と頑丈な構造という必要な条件を備えています。
■ 異なるユーザーが操作する場合、自動化は特に有利であり、貴重な作業時間を節約することもできます。
■ 以下に示すのは、SHOMサンプルプレート用レセプタクルスタックを備えた、ICF70直線回転導入機用のステッピングモーター駆動リニアロータリードライブの断面図です。
■ モーター精密駆動ユニットにより、直線軸と回転軸を簡単に独立して操作できます。
直線回転導入機への実装方法:【製品コード】1) DRVMDMOTL-XXXX:MD40用モーター駆動リニアドライブ
2) DRVMDMOTL16-XXXXX:MD16用モーター駆動リニアドライブ
3) DRVMDMOTLR-XXXX:MD40用モーター駆動リニアロータリードライブ
4) DRVMDMOTLR16-XXXX:MD16用モーター駆動リニアロータリードライブ
5) MD40-DRVMDMOTL-XXXX-YYYY:MD40モーター駆動リニア/マニュアルロータリーマニピュレーター
6) MD40-DRVMDMOTLR-XXXX-YYYY:MD40モーター駆動リニアロータリーマニピュレーター
7) MD40-0200-0030-DRVMDMOTLR-RECOMSTACK(03H00S02H04S)H:MD40サンプルストレージスタック付モーター駆動リニアロータリーマニピュレーター

【使用例】
MD40(ICF70)

MD16(ICF34)

モーター駆動直線回転導入機
モーター駆動リニアドライブ

名称
MD40(ICF70)

MD16(ICF34)

外観図

概要

仕様

・(MD40)DRVMDMOTL/(MD16)DRVMDMOTL16は、1軸ステッパーモーター駆動ドライブで、高精度の電動スピンドルドライブが外側の磁石に結合されており、直線運動を制御します。回転運動は手動で行われます。
・2mmピッチのスピンドルでは、0.01mmの分解能が可能です。あるいは、1mmピッチのスピンドルでさらに高い分解能が得られます。
・直線軸は、Nanotec社ST2018L0804(2相)ステッパーモーターによって駆動されます。
・MD40/MD16直線回転導入機は、DRVMDMOTL/DRVMDMOTL16を装備し、シャフトを連続回転させるか、直線専用ドライブとして構成することができます。
・ベーキングのためにステッパーモーターを取り外す必要があります。

製品コード

MD40(ICF70):DRVMDMOTL-XXXX
MD16(ICF34):DRVMDMOTL16-XXXX

直線駆動ユニット

DRVMD:2mmピッチスピンドル駆動 (高分解能:1mmピッチ)

ステッパーモーターリニアドライブ
データシート

最大移動速度

25mm/s

直線分解能0.01mm＠2mmピッチスピンドル

電流/位相

1.4A

全⾧ (XXXX)

0 - 526mm (標準:0mm)

抵抗/位相2.3±10%Ω

直進力

30N

保持トルク

0.117Nm

トルク

0.5Nm

ステップ角

1.8°±5%

取付フランジ

ICF70/ICF34

許容加熱温度

200℃ (ステッパーモーターを取り外す)

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

電圧ST2818L1006-A
3.22VDC

発注コード例:・MD40-0200-0030の場合:
XXXX=全⾧=MD40直線移動量: 200mm + 226mm⇒発注コード:DRVMDMOTL-0426 (200mm+226mm)

モーター駆動直線回転導入機
モーター駆動リニアロータリードライブ

名称
MD40(ICF70)

MD16(ICF34)

外観図

概要

仕様

・(MD40)DRVMDMOTLR/(MD16)DRVMDMOTLR16は、ステッパーモーター駆動リニアロータリードライブです。 それは高精度の電動スピンドルドライブが外側の磁石に結合されており、直線運動を制御します。2mmピッチのスピンドルでは、0.01mmの分解能が可能です。あるいは、1mmピッチのスピンドルでさらに高い分解能が得られます。
・シャフトの回転は、第２のステッパーモーターからの運動を伝達する歯車を介して起動されます。
・Nanotec ST2018L0804(2相)ステッパーモーターが直線軸を駆動し、ギアボックス付きの2番目のステッパーモーターが回転軸を駆動します。
・MD40/MD16直線回転導入機は、DRVMDMOTLR/DRVMDMOTLR16を装備し、シャフトを連続回転させるか、リニア専用ドライブとして構成することができます。
・ベーキングのためにドライブを取り外す必要があります。

製品コード

MD40(ICF70):DRVMDMOTLR-XXXX
MD16(ICF34):DRVMDMOTLR16-XXXX

直線駆動ユニット

DRVMD:2mmピッチスピンドル駆動 (高分解能:1mmピッチ)

ステッパーモーター
データシート

ロータリードライブ

ST2818L1006-A

ST2018L0804-B

3.22VDC

4.8VDC

最大移動速度25mm/s

直線分解能0.01mm＠2mmピッチスピンドル

電流/位相

1.4A

0.8A

MD40:全⾧ (XXXX)≦ 836mm抵抗/位相2.3±10%Ω

6.0±15%Ω

MD16:全⾧ (XXXX)

236 – 526mmm (標準:0mm)

保持トルク0.117Nm

0.036Nm(ギアユニット無し)

直進力30N

ステップ角

1.8°±5%1.8°±5%

トルク0.5Nm

ギア減速ー25.2

取付フランジ

ICF70/ICF34

許容加熱温度

200℃ (ステッパーモーターを取り外す)

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

電圧

リニアドライブ

注文コード例:・MD40-0200-0030の場合:
XXXX=全⾧=MD40直線移動量: 200mm + 226mm⇒発注コード:DRVMDMOTLR-0426 (200mm+226mm)

モーター駆動直線回転導入機
名称

MD40モーター駆動リニア/マニュアルロータリーマニピュレーター
MD40(ICF70)

外観図

概要

製品コード

MD40-XXXX-YYYY-DRVMDMOTL

直線駆動ユニット

DRVMD:2mmピッチスピンドル駆動 (高分解能:1mmピッチ)

直線分解能仕様・MD40-DRVMDMOTLは、電動1軸ステッパーモーター駆動リニア/マニュアルロータリーマニピュレーターです。
・Nanotec ST2018L0804(2相)ステッパーモーター駆動の高精度スピンドルドライブは、外側のマグネットに連結されており、直線運動を制御します。
2mmピッチのスピンドルでは、0.05mmの読み取りが可能です。 あるいは、1mmピッチのスピンドルでさらに高い分解能が得られます。
・MD40-DRVMDMOTLは、シャフトを連続回転させるか、リニア専用ドライブとして構成することができます。
・ベーキングのためにドライブを取り外す必要があります。

0.01mm＠2mmピッチスピンドル

ステッパーモーターリニアドライブ
データシート

ST2818L1006-A

電圧

3.22VDC

ストローク⾧ (XXXX)

10 - 300mm

電流/位相

1.4A

リトラクト⾧ (YYYY)

11.8 – 250mm (標準:30mm)

抵抗/位相2.3±10%Ω

直進力

30N

保持トルク

0.117Nm

トルク

0.5Nm

ステップ角

1.8°±5%

取付フランジ

ICF70

許容加熱温度

200℃ (ステッパーモーターを取り外す)

注文コード例:・MD40-0100-0030-DRVMDMOTLの場合:
ストローク⾧(XXXX):100mm
リトラクト⾧(YYYY):30mm

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

モーター駆動直線回転導入機
MD40モーター駆動リニアロータリーマニピュレーター

名称

MD40(ICF70)

外観図

概要

製品コード

MD40-XXXX-YYYY-DRVMDMOTLR

直線駆動ユニット

DRVMD:2mmピッチスピンドル駆動 (高分解能:1mmピッチ)

直線分解能仕様・MD40-DRVMDMOTLRは、電動2軸精密スピンドル駆動を装備したMD40リニアロータリーマニピュレーターで、シャフトの自動かつ再現可能な伸縮と回転を実現します。
・Nanotec ST2018L0804(2相)ステッパーモーター駆動の高精度スピンドルドライブは、外側のマグネットに連結されており、直線運動を制御します。
2mmピッチのスピンドルでは、0.05mmの読み取りが可能です。 あるいは、1mmピッチのスピンドルでさらに高い分解能が得られます。
・シャフトの回転は、第2ステッピングモーターのギアボックスを介して作動します。

0.01mm＠2mmピッチスピンドル

ステッパーモーター
データシート電圧

リニアドライブロータリードライブ

ST2818L1006-A

ST2018L0804-B

3.22VDC4.8VDC

ストローク⾧ (XXXX)

10 - 300mm

電流/位相

1.4A

0.8A

リトラクト⾧ (YYYY)

11.8 – 250mm (標準:30mm)

抵抗/位相2.3±10%Ω

6.0±15%Ω

直進力

30N

保持トルク

0.117Nm

0.036Nm(ギアユニット無し)

トルク

0.5Nm

ステップ角

1.8°±5%1.8°±5%

取付フランジ

ICF70 (ICF34/ICF114)

ギア減速

ー

25.2

許容加熱温度

200℃ (ステッパーモーターを取り外す)

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

注文コード例:・MD40-0100-0030-DRVMDMOTLRの場合:ストローク⾧(XXXX):100mm
リトラクト⾧(YYYY):30mm

モーター駆動直線回転導入機
名称

MD40サンプルストレージスタック付モーター駆動リニアロータリーマニピュレーター
MD40(ICF70)

外観図

概要

製品コード

MD40-0200-0030-DRVMDMOTLR-RECOMSTACK(03H00S02H04S)H

直線駆動ユニット

DRVMD:2mmピッチスピンドル駆動 (高分解能:1mmピッチ)

ステッパーモーター
データシート

ロータリードライブ

ST2818L1006-A

ST2018L0804-B

3.22VDC

4.8VDC1mm

直線分解能

0.01mm＠2mmピッチスピンドル

電流/位相

1.4A

0.8A

100mm/150mm/200mm

抵抗/位相2.3±10%Ω

6.0±15%Ω

直進力

30N

保持トルク

0.117Nm

0.036Nm(ギアユニット無し)

トルク

0.5Nm

ステップ角

1.8°±5%1.8°±5%

取付フランジ

ICF70 (ICF34/ICF114)

ギア減速

ー25.2

許容加熱温度

200℃ (ステッパーモーターを取り外す)

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

電圧

リニアドライブスケール

最大直線移動距離 (XXXX)
仕様

・MD40-DRVMDMOTLRは、電動2軸精密スピンドル駆動を装備したMD40直線回転マニピュレーターで、シャフトの自動かつ再現可能な伸縮と回転を実現します。
・Nanotec ST2018L0804(2相)ステッパーモーター駆動の高精度スピンドルドライブは、外側のマグネットに連結されており、直線運動を制御します。
2mmピッチのスピンドルでは、0.05mm読み取りが可能です。 あるいは、1mmピッチのスピンドルでさらに高い分解能が得られます。
・シャフトの回転は、第2ステッピングモーターのギアボックスを介して作動します。