フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）
取り組みの概要と方針 R&D Concept
産学連携によるフレキシブル有機エレクトロニクス実用技術開発
・企業における実用技術の製品化を産学連携でサポート
・事業貢献第一主義 （Business First!）
実用化（デバイスメーカーでの採用）

企業保有技術

デバイス適用視点での評価・技術改良
山形大学のデバイス作製装置＆技術を活用
山形大との
共同研究

コンソーシアムによる企業間連携・技術垂直統合
・事業化/事業発展に必要なさまざまな技術をコンソーシアムで開発⇒開発した企業の競争力、事業拡大に貢献
コンソ外メーカーへの技術紹介・技術提供※各参加企業のビジネス推進に貢献
事業活用

事業活用

Ｃ社
（部材）

事業活用

Ｄ社
（装置）
成果

Ｂ社
（材料）

成果 参加

参加

成果

参加

事業活用

山形大学

成果

E社
（ﾌﾟﾛｾｽ）

成果

参加

Ａ社
（基板）

事業活用

参加
山形大学コンソーシアム

事業活用

成果
参加

F社
（ﾃﾞﾊﾞｲｽ）

取り組み技術領域 R&D Field
フレキシブル封止
フレキシブル基板

Non-ITO 透明電極
超薄板ガラス

印刷技術/R2R技術
高機能ステンレス箔

バリアフィルム「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）

お問い合わせ先
山形大学
有機エレクトロニクスイノベーションセンター
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授

E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/
TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）
産学連携形態 Academic-Industry Collaboration
産学連携コンソーシアム◆有機薄膜デバイスコンソーシアム（経済産業省）
山形大学有機薄膜デバイスコンソーシアム（2013年4月～2016年3月）を立ち上げ、運営、推進致しました。（経済産業省「産学連携イノベーション促進事業」（2013年4月～2015年3月）の支援をいただきました。）◆山形大学フレキシブル有機エレクトロニクス実用化基盤技術コンソーシアム(YU-FOC)（2016年4月～2019年3月）を立ち上げ、運営、推進しております。
2013年度 2014年度 2015年度 2016年度

2017年度 2018年度 2019年度 2020年度『有機薄膜デバイスコンソーシアム』の活動を継続展開
有機薄膜デバイスコンソーシアム

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
実用化基盤技術ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FOC）

経産省より
サポート

基板からデバイスに発展
ITO代替透明電極
バリア膜/平坦化膜など
フレキシブル基板

異なる技術分野の企業が集結し、技術を垂直統合事業貢献第一主義（Business First!）

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ基板
封止樹脂

陰極
有機層
ITO代替透明電極

YU-FOC参加企業（2016年11月現在）
ＮＥＣライティング株式会社
株式会社 カネカ
信越化学工業株式会社
新日鐵住金株式会社
新日鉄住金マテリアルズ株式会社
株式会社 セリアエンジニアリング
帝人株式会社
東洋インキSCホールディングス株式会社
株式会社 日本製鋼所
日本電気硝子株式会社
株式会社 FEBACS

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機
ELﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機
EL照明
ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機
太陽電池

バリア膜/平坦化膜など
ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ基板

ITO代替電極付きフレキシブル基板

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽﾃﾞﾊﾞｲｽ

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙｾﾝｻ
等[*] YU-FOC: Yamagata University Flexible Organic Electronics Practical Key
Technology Consortium
5

個別共同研究
私どもの研究グループは、有機エレクトロニクス分野において、各企業様の実用化研究に貢献すべく、共同研究、学術指導研究などの個別連携を行っております。
【技術分野】 有機エレクトロニクス、印刷など【連携テーマなど】
有機ＥＬ技術 フレキシブル基板技術 水分バリア膜技術 封止技術 評価・解析技術
印刷技術 透明電極技術 ロールtoロール技術 新規アプリケーション検討 など

プロジェクト参画◆産学共創プラットフォーム（OPERA）（JST）[2016年度～2020年度]
国立研究開発法人「科学技術振興機構」（JST）の「研究成果展開事業 産学共創プラットフォーム共同研究推進プログラム（ＯＰＥＲＡ） 平成２８年度新規研究領域・共創コンソーシアム）に採択された「山形大学・有機材料の極限機能創出と社会システム化をする基盤技術の構築及びソフトマターロボティクスへの展開」に参画致します（2016年秋～2021年3月予定）。

◆NEDOプロジェクト[2015年度]
国立研究開発法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構」（NEDO）の「戦略的省エネルギー技術革新プログラム調査事業」に採択された「有機EL方式電子写真式プリンターヘッドの実用化に係る検討調査」（採択先：山形大学）を推進・完了致しました。

◆産学連携イノベーション促進事業（経済産業省）[2013年度～2014年度]
経済産業省「産学連携イノベーション促進事業」～「山形大学・有機デバイス産学コンソーシアム形成事業」（2013年4月～
2015年3月）に参画致しました。

◆地域イノベーション戦略支援プログラム（文部科学省） [2011年度～2015年度]
文部科学省「地域イノベーション戦略支援プログラム」（2011年～2016年3月）に参画致しました。

「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）

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フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）（開発成果１） フレキシブル基板技術 Flexible Substrates
超薄板ガラスを用いたフレキシブル有機EL照明パネル
Flexible OLED lighting on ultra-thin glass
 厚さ50μmの超薄板ガラス（日本電気硝子製）に、割れ防止用保護フィルム（ポリカーボネート/帝人製）を貼合し、フレキシブル有機EL照明パネルを試作
Flexible film
Barrier layer
Barrier resin

味の素ファインテクノ

CathodeOrganic layers(plural layers)
ITO
Ultra-thin glass (50mm)
Adhesive resin
Polycarbonate

日本電気硝子協立化学産業帝人

高機能ステンレス箔を用いた フレキシブル有機EL照明パネル
Flexible OLED lighting on stainless steel foil
 優れた表面平坦性（Ra=0.6nm）を有する高機能ステンレス箔（新日鉄住金グループ製/厚さ50μm）を用いてフレキシブル有機照明パネルを試作
Flexible film

味の素ファインテクノ

Barrier layer
Barrier resin
Semi-transparent cathodeOrganic layers(plural layers)
IZO
Ag alloy
IZO
Stainless steel foil (50mm)

新日鉄住金グループ

バリアフィルムを用いたフレキシブル有機ELパネル
Flexible OLED lighting on barrier film

Stainless steel foil (50mm)

500nm以下

Fill material
CathodeOrganic layers(plural Layers)
ITO
SiNx (CVD)
Al2O3 (ALD)
SiNx (CVD)
PEN

Sealant

Sealant

 CVD/ALDバリア膜（日本製鋼所）をPENフィルム（帝人製）上に形成し、フレキシブ
ル有機EL照明パネルを試作（NECライ
ティング）

新日鉄住金
グループ

日本製鋼所
帝人

パネル作製：NECライティング*UniversalPHOLEDⓇ Phosphorescent OLED Technology and Materials from Universal Display Corporation「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）

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フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）（開発成果２） フレキシブル封止技術 Flexible Encapsulation
ラミネート封止 Laminate encapsulation
 フィルムラミネート方式によるフレキシブル有機ＥＬ封止技術を開発中。

【フィルムラミネート封止（カネカ）】①接着剤塗布封止フィルム（バリアフィルム）②封止③接着剤硬化

ロールラミネート

UV照射

スリットコート

シンプルな封止プロセス

デバイス基板（フィルム基板）

Barrier film

カネカ

Barrier resin
CathodeOrganic layers(plural layers)
ITO
Barrier film

リンテック

関連外部資金：「研究成果展開事業 産学共創プラットフォーム共同研究推進プログラム（OPERA）」（JST）

薄膜封止 Thin Film Encapsulation (TFE) 無機膜（蒸着成膜）、有機膜（印刷成膜）を組み合わせた新規薄膜封止技術を開発中

Thin Film Encapsulation
Organic layers(plural layers)

CathodeInsulator
Barrier layer

開発技術のデバイス適用イメージ

Flexible substrate
Anode「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）

TFT-circuit/bass-line

Insulator

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フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）（開発成果３） 印刷技術/R2R技術 Printing & R2R
R2R方式にて形成したITO＆補助電極を用いたフレキシブル有機EL照明
Flexible OLED Lighting with TCO and assisting electrodes fabricated by R2R
 超薄板ガラス（厚さ50μm/日本電気硝子製）R2R方式のフォトリソフリー技術によって形成した「TCO&補助電極」を用いて、フレキシブル有機EL照明パネルを試作

Flexible film
Barrier layer
Barrier resin
CathodeOrganic layers(plural layers)

SERIA
FEBACS日本電気硝子

TCO
Ultra-thin glass (50mm)
Ag (printing)
Substrate size : 50mm × 50mm
Emission aria : 32mm × 32mm

Insulator (printing)(TCO: Transparent conducting oxide)

R2Rによるフレキシブル有機EL照明 Flexible OLED Lighting fabricated by R2R
 山形大学にてR2Rフォトリソフリープロセス作製したTCO付き超薄板ガラス（厚さ50μm/日本電気硝子製）を用いて、独Fraunhofer研究所にて、R2R方式でフレキシブル有機EL照明パネルを試作

印刷によるnon-ITO電極形成技術
Non-ITO transparent electrode fabricated by printing technologies 厚さ50μmの超薄板ガラス（日本電気硝子製）上に、印刷方式によってITO代替電極を形成し、この基板を用いてフレキシブル
有機EL照明パネルを試作

Metal foil

味の素ファインテクノ

Encapsulating layer
CathodeOrganic layers
FEBACS日本電気硝子

Ultra-thin glass (50mm)
Transparent
conducting polymer
Gravure off-set
Flexography
printing
printing
Ag

Insulator
Screenprinting

SERIA

Substrate size : 50mm × 50mm
Emission aria : 32mm × 32mm

R2R洗浄技術 R2R wet cleaning technologies
 R2Rウェット洗浄装置（FEBACS製）を用いて、フレキシブル基板のR2R洗浄技術を開発中R2Rウェット洗浄装置（FEBACS製）「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）

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フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）
フレキシブル有機ELパネルの応用展開
Applications of flexible OLED panels
 超薄型・超軽量照明
 曲面照明・立体照明・デザイン照明
 車載応用（テールランプなど）
 曲面サイネージ応用

メインメンバー Main members
産学連携教授 向殿 充浩（工学博士）
Dr. Mitsuhiro Koden
専門：液晶、ディスプレイ、有機ＥＬ、化学
連絡先：koden@yz.yamagata-u.ac.jp

産学連携教授 仲田 仁
Hitoshi Nakada
専門：有機エレクトロニクスデバイス
連絡先：nakada@yz.yamagata-u.ac.jp
1981年
東北大学工学部応用化学科卒業
1981～2013年 パイオニア株式会社、東北パイオニア株式会社
1988年～
有機ELディスプレイ・照明の研究開発、事業に従事
2013年～
山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）

http://www.asahi-net.or.jp/~ar3t-kudn/technology.html
1983年
大阪大学大学院工学研究科修了（工学博士）
1983～2012年 シャープ株式会社（液晶材料, 液晶ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ, 有機EL
ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲの研究開発, 等）
1998～2011年 奈良先端科学技術大学院大学客員教授
2012年～
山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）

准教授 古川 忠宏
Tadahiro Furukawa
専門：微細パターン加工技術、印刷技術
ロールtoロール技術
連絡先：ta-furukawa@yz.yamagata-u.ac.jp
1984年
埼玉大学院工業技術研究科修士課程修了
1984～2011年 共同印刷株式会社
カラーフィルター（CF）の開発・生産
フレキシブルCF、およびLCDの開発
2011年～
山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）

准教授 結城 敏尚（工学博士）
Dr. Toshinao Yuki
専門：有機EL（ディスプレイ、照明、デバイス）、高分子材料工学
連絡先：t-yuki@yz.yamagata-u.ac.jp
1993～1996年 帝人株式会社
1996～1999年 山形大学大学院工学研究科修了（工学博士）
1999～2015年 東北パイオニア株式会社(OLED事業部技術開発センター所属 / PMOLED、AMOLED、タイリングデバイス、有機EL照明等の開発)
2015年4月～ 山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）【教員との連携について】
私どもの研究グループは、有機エレクトロニクス分野において、各企業様の実用化研究に貢献すべく、共同研究、学術指導研究などの個別連携を行っております。
お気軽にお問い合わせください。
【技術分野】
有機エレクトロニクス、印刷など【連携テーマ例】
有機ＥＬ技術、フレキシブル基板技術。水分バリア膜技術、封止技術 評価・解析技術、印刷技術、透明電極技術、ロールtoロール技術、新規アプリケーション検討 など「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）

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フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）
主要装置 Equipment
４台の独自R2R装置（ロール幅：30cm）

R2Rスパッタ&CVD（神戸製鋼所）R2Rスクリーン印刷（セリア）

R2Rｸﾞﾗﾋﾞｱｵﾌｾｯﾄ&ﾌﾚｷｿ印刷（小森ﾏｼﾅﾘｰ/太陽機械）

シートタイプ印刷装置

ﾌﾚｷｿ/ｸﾞﾗﾋﾞｱｵﾌｾｯﾄ印刷

R2Rウェット洗浄（FEBACS）

デバイス作製装置

ｽｸﾘｰﾝ印刷

OLED蒸着装置

スパッタ装置真空ﾗﾐﾈｰﾀｰ

評価解析装置

粘弾性測定装置

ﾊｲﾌﾞﾘｯﾄﾞｺﾝ
ﾌｫｰｶﾙ顕微鏡

精密座標測定装置

ガス透過率価装置（Ca法）

主な展示会 Exhibition
 「G7茨城・つくば科学技術大臣会合特別展」（2016年5月15日～21日, つくば）） 「プリンタブルエレクトロニクス2016」展(2016年1月27日～29日, 東京ビッグサイト).
 「International Photonics Exhibition 2015 (2015国際光産業展示会)」 (2015年10月, 光州/韓国).
 国立科学博物館「発見！体験！先端研究＠上野の山シリーズ～山形から未来を照らすサイエンス」（2015年5月2日～6日, 上野） 「プリンタブルエレクトロニクス2015」出展 (2015年1月, 東京ビッグサイト).

「プリンタブルエレクトロニクス2016展」（2016年1月）「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）「2015国際光産業展示会」（韓国・光州）（2015年10月）

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仲田産学連携教授・向殿産学連携教授

国立科学博物館「発見！体験！先端研究＠上野の山シリーズ」 （2015年5月）

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koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
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TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

フレキシブル基板研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）
主な研究発表成果 Publications
国際会議 (International conference) M. Koden, T. Furukawa, T. Yuki, H. Kobayashi, H. Nakada, IDW/AD’16, FLX3-1 (2016). [Invited]“Substrates and Non-ITO Electrodes for Flexible OLEDs”
 T. Furukawa, M. Sakakibara, N. Kawamura, M. Koden, IDW/AD’16, FLX3-3 (2016).
“All-printed non-ITO Transparent Electrodes on Ultra-thin Glass for OLED Lighting”
 T. Furukawa, International Workshop on Flexible & Printable Electronics (IWFPE2016) (2016). (Korea) [Invited]“Flexible Substrates and Printed Transparent Electrode for OLED Lighting”
 T. Furukawa, N. Kawamura, H. Nakada, M. Koden, The International Conference on Flexible and Printed Electronics(ICFPE 2016), O15-6 (2016). ”Novel ITO fabrication processes on ultra-thin glass”
 M. Koden, 15th International Symposium on the Science and Technology of Lighting (LS15) (2016). （Kyoto） [Invited(Tutorial)]. "Substrates and non-ITO electrodes for flexible OLED Lightings"
 T. Furukawa, 2016 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2016) (2016). (Sapporo）[Invited]"Printing Technology for Electronics"
 M. Koden, The 10th Taiwan Solid State Lighting (2016 tSSL) Symposium, B-4 (2016). (Taiwan） [Invited].
"Flexible OLED Lighting" T. Furukawa, Plastic Electronics Conference (PE2015). （Germany）"New Transfer Method for Flexible Display Fabricating" T. Furukawa, N. Kawamura, M. Sakakibara, M. Koden, International Display Manufacturing Conference (IDMC), S4-4
(2015). [Invited] "Printed Transparent Electrode for OLED Lighting Devices" M. Koden, The Twenty-second International Workshop on Active-matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD 15),
2-1 (2015, Kyoto). [Invited] "Flexible Substrates and Non-ITO Transparent Electrodes for Organic Electronics"
 M. Koden, Seminar of LED & OLED Expo (KINTEX Convention, Korea) (2015). [Invited]"Development in Yamagata University Organic Thin Film Device Consortium" T. Furukawa, N. Kawamura, J. Inoue, H, Nakada, M. Koden, SID 2015, P-57 (2015).
"OLED lighting devices fabricated by flexography printing of silver nanowire and conducting polymer" T. Furukawa, S. Tokito, SID 2015, 4.4 (2015). "Dimension Control of CF Fabricated by Transfer Method“ M. Koden, H. Kobayashi, T. Moriya, N. Kawamura, T. Furukawa, H. Nakada, IDW'14, FLX6/FMC6-1 (2014).
[Invited] “Flexible Substrates and Alternative Electrodes of ITO for OLED Lighting”
 D. Kobayashi, N. Naoi, T. Suzuki, T. Sasaki, T. Furukawa, IDW'14, FLX3-1 (2014). [Invited]“Novel Roll-to-Roll Screen Printing Machine for Flexible Devices”
 T. Furukawa, K. Mitsugi, H. Itoh, D. Kobayashi, T. Suzuki, H. Kuroiwa, M. Sakakibara, K. Tanaka, N. Kawamura, M.
Koden, IDW'14, FLX3-4L (2014). “Patterned ITO Film by Roll-to-Roll Process on Ultra-thin Glass”
 N. Yamada, H. Kobayashi, S. Yamaguchi, J. Nakatsuka, K. Nose, K. Uemura, M. Koden, H. Nakada, IDW'14,
FLX6/FMC6-4L (2014). “R2R Planarized Stainless Steel Foil for OLED Substrate”
 M Koden and H. Nakada, Nanofair 2014 (2014, Dresden). [Invited]"Flexible substrate with alternative electrode of ITO for organic electronics"
 M. Koden, SID'14, Seminar (2014.6.2) "OLED Devices, Processes, Encapsulation, and Flexible Substrates " T. Furukawa, International FPD standard and technology workshop (2012.8.25) [Invited]“Flexible Display: Technology and Standardization”

著作 (Book) M. Koden, “OLED Displays and Lighting” (Wiley: IEEE Press) (2017).

「プリンタブルエレクトロニクス2017」展（2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト）

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