フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿 研究グループ）

研究活動のご紹介
企業ニーズに徹底的にこだわった「ニーズファースト型」産学連携により、企業における実用技術開発をサポート致します。
私どもの研究グループでは、2013年度より、企業ニーズを最優先した「二ーズファースト（事業貢献第一主義）型産学連携研究」に取り組んでおります。
この取り組みは、大学発の独自技術を核とした従来の「シーズファースト型産学連携」とは異なり、企業が必要とする技術開発にこだわった新しい産学連携のスタイルです。2017年度には、この取り組みを評価いただいて「内閣府第１５回産学官連携功労者表彰」にて、「科学技術政策担当大臣賞」を受賞致しました。
企業保有技術

デバイスメーカー, セットメーカーなど
成果
成果

成果

成果

C社
（部材）

B社
（材料）

山形大との共同研究

成果

D社
（装置）

E社
（ﾃﾞﾊﾞｲｽ）成果

山形大学
フレキシブル基盤
技術研究グループ

A社
（基板）

F社
（解析）

活動の特徴

✓量産技術まで理解・経験したエキスパート✓デバイス視点での評価・技術改良✓30cm角基板での実証試作
試作品は事業推進に利用可能✓評価結果はすべてフィードバック✓知財：不実施補償なし

支援サービス内容

主な保有スキル・新製品開発サポート
・デバイス実証データ取得
・開発技術の課題抽出/課題解決
・デバイス適用/デモサンプル作製・共同研究/受託研究/学術指導・フレキシブル基板技術
・有機ELデバイス・プロセス技術
・バリア膜技術・封止技術
・バリア性評価・解析
・印刷技術・R2R技術・装置技術

1.0E+03
1.0E+02
1.0E+01
1.0E+00
1.0E-01
1.0E-02
1.0E-03
1.0E-04
1.0E-05
1.0E-06

Luminance (normalized)

Current density (mA/cm2)・ “事業貢献第一主義 （ニーズファースト!）”
企業ニーズに徹底的にこだわった産学連携による実用技術開発サポート・ 不実施補償なし
・ 独立採算運営
民間企業との連携を基軸にした従来の大学にない運営モデル
・ 個別共同研究/産学連携コンソーシアム

有機EL試作

実用化（デバイスメーカーでの採用）02

46Voltage (V)

8

10

0

500

1000 1500 2000
Time (hour)

2500

3000

100%
80%
60%

40%
20%
0%

有機ELﾃﾞｰﾀ実証「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）

受託評価
（MA法）

ﾊﾞﾘｱ性能評価

R2R装置/ﾌﾟﾛｾｽ

屈曲試験【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

1

フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

ニーズファースト型産学連携
産学連携コンソーシアム Academia-Industry Cooperation Consortium➢ 私どもの研究グループでは、2013年度より、「山形大学有機薄膜デバイスコンソーシアム（2013～2015年度）」、「山形大学フレキシブル有機エレクトロニクス実用化基盤技術コンソーシアム（YU-FOC/2016～2018年度）」を推進して参りました。
➢ 今年度は、さらに新たに２つのコンソーシアムを立ち上げ、企業ニーズに立脚した「ニーズファースト型（事業貢献第一主義）」産学連携をさらに発展させて参ります。
2013年度

2014年度

2015年度

2016年度

2017年度内閣府 (2017年)
第15回産学官連携功労者表彰「科学技術政策担当大臣賞」

ITO代替透明電極
バリア膜/平坦化膜
フレキシブル基板

ITO代替透明電極付
きフレキシブル基板

2019年度

2020年度
実用化（デバイスメーカーでの採用）企業保有技術✓ 日独連携✓ 技術垂直統合型
コンソーシアム
古川准教授

山形大との共同研究

山形大学ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ日独国
際共同実用化ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FIC）

経産省より
サポート
山形大学有機薄膜ﾃﾞﾊﾞｲｽｺﾝｿｰｼｱﾑ

2018年度山形大学ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機ｴﾚｸ
ﾄﾛﾆｸｽ実用化基盤技術ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FOC）
フレキシブル基板
封止膜
陰極

結城准教授

山形大学ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
産学連携ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FLEC）

有機層（複数）ITO代替透明電極
バリア膜/平坦化膜
フレキシブル基板

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機
ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽﾃﾞﾊﾞｲｽ
YU-FOC参加企業（10社)
ＮＥＣライティング、カネカ、信越化学工業、新日鐵住金、
新日鉄住金マテリアルズ、セリアエンジニアリング、
帝人、東洋インキSCホールディングス、日本製鋼所、日本電気硝子、FEBACS✓ 事業貢献第一主義（Needs First!）✓ 不実施補償なし✓ 新たな共同研究、新たな産学連携の創出✓ 継続的な情報共有の場

特徴
・参加各社の希望、要望に基づく「ニーズファースト型」産学連携研究を推進。
・参加各社と大学の間で、１対１の契約を締結。契約に基づき、産学連携研究を推進。
・知財：不実施補償なし（規約、契約書に明記）

個別共同研究 Individual Collaboration➢ 私どもの研究グループは、有機エレクトロニクス分野において、各企業様の実用化研究に貢献すべく、共同研究、学術指導研究などの個別連携を行っております。
【技術分野】 有機エレクトロニクス、印刷など【連携テーマなど】
有機ＥＬ技術 フレキシブル基板技術 水分バリア膜技術 封止技術 評価・解析技術
印刷技術 透明電極技術 ロールtoロール技術 新規アプリケーション検討 など

受託評価➢ フレキシブル有機エレクトロニクス技術において重要な「ガス・水分透過率測定（WVTR測定）」の受託評価を行っております。お気軽にお問い合わせください。
使用装置：株式会社MORESCO社製「ガス・水蒸気透過率測定装置（スーパーディテクト）」

プロジェクト参画 National Projects➢ 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」：「次世代高効率有機ELディスプレイ用材料の開発」 (2017年8月～2020年3月).
➢ 科学技術振興機構（JST）「研究成果展開事業 産学共創プラットフォーム共同研究推進プログラム（OPERA）：「山形大学・有機材料の極限機能創出と社会システム化をする基盤技術の構築及びソフトマターロボティクスへの展開」（2016年秋～2021年3月予定）.
➢ 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO） 「戦略的省エネルギー技術革新プログラム調査事業」：「有機EL方式電子写真式プリンターヘッドの実用化に係る検討調査」 （2015年度）➢ 経済産業省「産学連携イノベーション促進事業」：「山形大学・有機デバイス産学コンソーシアム形成事業」（2013年年度～2014年度）.
➢ 文部科学省「地域イノベーション戦略支援プログラム」 （2011年度～2015年度）.

「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

2

フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

研究成果１：ステンレス基板/薄膜封止高機能ステンレス箔を用いた フレキシブル有機ELパネル（連携企業：新日鐵住金株式会社, 新日鉄住金マテリアルズ株式会社）➢ 高機能ステンレス箔を用いたフレキシブル有機EL
・厚さ50mm・優れた表面平坦性（Ra～0.6nm）
・優れた耐熱性、プロセス耐性
・高いガスバリア性

Flexible film
Barrier layer
AEF barrier resin
Semi-transparent cathodeOrganic layers(plural layers)
ITO
Ag alloy
ITO
Planarization layer (~3mm)
Stainless steel foil (50mm)

味の素ファインテクノ

新日鉄住金グループ

Y. Hagiwara, T. Furukawa, T. Yuki, S. Yamaguchi, N. Yamada, J.
Nakatsuka, M. Koden, H. Nakada, IDW’17, FLXp1-9L (2017).
（新日鉄住金グループ）

R2R高機能ス
テンレス箔

R2Rプロセスによる電極形成（フォトリソフリー）

R2R真空成膜装置（神戸製鋼所）

洗浄

Ag alloy/ ITO
スパッタリング

R2Rスクリーン印刷装置（セリアエンジニアリング）

洗浄

エッチング
ペースト印刷洗浄

カッティング/
有機ELデバイス化

R2R洗浄装置（FEBACS）

シート封止を用いたフレキシブル有機EL照明パネル（連携企業：NECライティング株式会社）
Flexible substrate➢ シート封止を用いてフレキシブル有機EL照明パネル
を試作（NECライティング）

Barrier resin
CathodeOrganic layers(plural Layers)
ITO
Barrier film
Panel fabrication：NEC Lighting➢Substrate size : 92mm × 92mm
➢Emission aria : 75mm × 75mm

*UniversalPHOLEDⓇ Phosphorescent OLED Technology andMaterials from Universal Display Corporation

Stainless steel foil (50mm)
Fill material
CathodeOrganic layers(plural Layers)
ITO
SiNx (CVD)
500nm
Al
O
(ALD)
2
3
以下
SiNx (CVD)
PEN

Sealant➢ CVD/ALD/CVD積層バリア膜（日本製鋼所）をPENフィルム（帝人製）上に形成し、フレキシブル有機EL照明パネルを試作（パネル作製：NECライティング）

Sealant

ALDを用いた薄膜封止（連携企業：株式会社日本製鋼所）
新日鉄住金
グループ
日本製鋼所
帝人

パネル作製：NECライティング*UniversalPHOLEDⓇ Phosphorescent OLED Technology and Materials from Universal Display Corporation「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
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仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

3フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

研究成果２：ラミネート封止/屈曲試験/WVTR評価
ラミネート封止（連携企業：株式会社カネカ）➢ フィルムラミネート方式によるフレキシブル有機ＥＬ封止技術を開発中。
Barrier film

カネカ

Barrier resin
CathodeOrganic layers(plural layers)
ITO
Barrier film

リンテック

本研究の一部は、科学技術振興機（JST）「 産学共創プラットフォーム共同研究推進プログラム（OPERA） の「山形大学・有機材料の極限機
能創出と社会システム化をする基盤技術の構築及びソフトマターロボティクスへの展開」（2016年秋～2021年3月予定）によるものです。

屈曲試験（連携企業：株式会社カネカ）➢ フレキシブル有機ＥＬ開発に必須の屈曲試験器を導入し、信頼性評価

U字折り返し試験機

U字伸縮試験機

屈曲試験機

本研究の一部は、科学技術振興機（JST）「 産学共創プラットフォーム共同研究推進プログラム（OPERA） の「山形大学・有機材料の極限機
能創出と社会システム化をする基盤技術の構築及びソフトマターロボティクスへの展開」（2016年秋～2021年3月予定）によるものです。

ガス・水蒸気透過率（WVTR: Water Vapor Transmission Rate）受託評価（連携企業：株式会社MORESCO）➢ 株式会社MORESCO社製のガス・水蒸気透過率測定装置（スーパーディテクト）を用いて、サンプル（フィルム）のガス・水蒸気透過率測定の受託分析をスタート➢ 本装置は、株式会社MORESCOと国立研究開発法人 産業技術総合研究所にて共同開発した支持体層を用いた測定法（MA法：Modified differential pressure methodwith an Attached support）を採用しております。MA法は、フレキシブルな太陽電池やディスプレイで必要となる10-4 g/(m2 day)より優れた水蒸気透過率を持つバリアフィルムの測定時間を短縮することができます。例えば、従来法で測定時間に100時間を要した
10-5 g/(m2 day)相当のバリアフィルムの水蒸気透過率を、本装置では、約20時間で測定でき、従来比で約1/5に測定時間を短縮できます。
➢ さらに、本装置は10+1～10-7 g/(m2 day)レベルの水蒸気透過率も測定する能力を有しています。
➢ 本装置には、産業技術総合研究所が開発した校正器が搭載されており、得られる透過率の測定値を保証することができます。
➢ 水蒸気のみならず、各種ガスの透過率を測定することも可能です。

「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
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山形大学
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4フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

研究成果３：フレキシブル封止
薄膜封止 TFE (Thin Film Encapsulation)（連携企業：東洋インキSCホールディングス株式会社）➢ 薄膜封止TFE（Thin Film Encapsulation）における無機バリア膜間に形成する東洋インキ製樹脂膜の評価、フレキシブル有機ELデバイス化を進めております。
・封止性能評価（Ca腐食法、有機ELデバイス）＜本技術の特長＞
・屈曲試験評価
・SiN無機膜のバリア性を保護
・フレキシブル有機ELデバイス試作
・UV硬化タイプ（無溶剤）
・インクジェット印刷適性
Inorganic barrier layer (SiN)
Organic resin (Toyo Ink)
Inorganic barrier layer (SiN)
CathodeTFE (Thin Film
Encapsulation)

バリア性評価例（Ca腐食法 40℃90％RH 1,000時間後）

Organic layers(plural layers)
Insulator

Barrier layer

Flexible PI substrate
Anode

TFT-circuit/bass-line

Insulator

比較用封止樹脂を用いたTFEバリア性

新規開発した封止樹脂を用いたTFEバリア性

デバイス応用イメージ

高バリア性封止材料 AEF (Ajinomoto Encapsulation Film)（連携企業：味の素ファインテクノ株式会社）➢ 味の素ファインテクノ製有機EL用封止フィルム”AEF (Ajinomoto Encapsulation Film)のバリア性評
価、フレキシブル有機ELデバイス化などを推進しております。
・封止性能評価（Ca腐食法、有機ELデバイス）
・屈強試験評価・フレキシブル有機ELデバイス試作

Flexible substrate
AEF barrier resin

CathodeOrganic layers(plural layers)
Transparent electrodeFlexible substrate

日本電気硝子製超薄ガラス/
帝人保護フィルム使用

新日鉄住金グループ製
高機能ステンレス箔使用＜本技術の特長＞
・シンプルなデバイス構成、簡便なプロセス
・デバイス側面からの水分侵入（サイドリーク）をAEF封止材料で阻止・AEF封止材料による応力緩和効果によりフレキ
シブル有機EL屈曲時の欠陥発生を抑止
AEFを用いた試作品例「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
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5フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

研究成果４：超薄板ガラス/バリアフィルム/印刷/R2R
超薄板ガラスを用いたフレキシブル有機EL照明パネル（連携企業：日本電気硝子株式会社, 株式会社セリアエンジニアリング）➢ 厚さ50μmの超薄板ガラス（日本電気硝子製）上に、ロー
ルtoロール（R2R）方式で透明電極を形成し、その基板を用いてフレキシブル有機EL照明パネルを作製しました。
➢ 本検討において以下の知見を得ました。
1) 透明導電膜としてITOを用いるとストレスによって超薄板ガラスの機械的強度が低下する現象が見られた。対策として、IZOを適用。
2) スクリーン印刷で形成する銀の補助電極中に散乱粒子を入れることにより、補助電極が目立たなくなる。

味の素ﾌｧｲﾝﾃｸﾉ

Flexible film
Barrier layer
AEF barrier resin
CathodeOrganic layers

Insulator (with particle)
Ag(plural layers)

IZO
Ultra-thin glass (50mm)

日本電気硝子(IZO: Indium Zinc Oxide)

R2Rプロセスによる電極形成（フォトリソフリー）
R2R洗浄装置（FEBACS）
R2R超薄板ガラス

洗浄（日本電気硝子）

IZOスパッタ
リング

洗浄

エッチング
ペースト印刷R2R真空成膜装置（神戸製鋼所）

洗浄

銀電極印刷

絶縁膜印刷
（微粒子含有）カッティング/
有機ELデバイス化

R2Rスクリーン印刷装置（セリアエンジニアリング）

T. Furukawa, N. Kawamura, T. Noda, Y. Hasegawa, D. Kobayashi, M. Koden, IDW’17, FLX6-2 (2017).

フィルムのバリア性に対する洗浄の効果（連携企業：株式会社FEBACS, 帝人株式会社）➢ ロールtoロール（R2R）洗浄装置（FEBACS製）を用いて、フィルム基板のバリア性に対する洗浄の効果について検討し、フィルム基板の洗浄がバリア性に有効であることを検証しました。
R2R cleaning equipment

Cleaning
2

CVD(600nm)Ca corrosion test
WVTR (g/m2/day) Cleaning method

1.8

Defect Area (%)

Brush Cleaning(PVA sponge + Detergent))↓
Atomizing spray cleaning↓
Pure water↓
Air knife
↓
IR
↓
(UV)

1.6

1×10-4

1.4

7.8×10-5 Atmizing spray cleaning

1.2

4.7×10-5 Brush + Atmizing spraycleaning

1

No cleaning

4.4×10-5 Atmizing spray cleaning

0.8

3×10-5

0.6

Brush +Atmizing spraycleaning + UV

2×10-5 Atmizing spray cleaning(Barrier thickness: 1200nm)

0.4
0.2
0

0

200
400
600
Storage Time(hr) under 40℃/90%RH

800

T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, H. Itoh, H. Kuroiwa, K. Nagai, LOPEC (2017).

「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

6フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

研究成果５：バリアフィルム/バリア性評価/R2R
フィルム基板のバリア性向上技術（連携企業：帝人株式会社）K. Taira, T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, T. Takahashi, IDW’17, FLXp1-8L (2017).
➢ ロールtoロール（R2R）成膜装置を用いてフィルム基板（帝人製PEN）のバリア性について検討し、バリア性向上に有効な以下の知見を得ました。
1) バリアフィルムに透明導電膜を形成すると、バリア性が低下することがある。透明導電膜によるメカニカルストレ
ス原因と思われる。対策として、透明導電膜の膜厚を薄くすることが有効。
2) バリアフィルムの表面に平坦化膜を形成するとバリア性が向上する。
3) 高温高湿試験によるCa腐食法劣化挙動と有機ELデバイス劣化挙動には相関がある。

検討プロセス

R2Rプロセスによる電極形成（フォトリソフリー）

R2R真空成膜装置（神戸製鋼所）（帝人）

R2Rスクリーン印刷装置（セリアエンジニアリング）
Caテスト

R2R
PENフィルム

洗浄

SiO系バリア層CVD

IZOスパッタリング

エッチング
ペースト印刷洗浄

カッティング
有機ELデバイス

R2R洗浄装置（FEBACS）

IZO層形成によるバリア性低下
Only barrier layer

Barrier layer and IZO Barrier layer and IZO
with patterning
without patterning

1

2

1 cm

1 cm

2

IZO層薄膜化によるバリア性向上

1 cm

IZO:100nm

IZO:30nm

5.7×10-4g/m2/day

1.3×10-4g/m2/day

1
1.6×10-4g/m2/day 2.2×10-4g/m2/day※Barrier layer:800nm
Barrier property was reduced.
IZO layer:100nm<Ca corrosion images after 595 hrs under 40 ℃ and 90 %RH>
1.5×10-5g/m2/day※Barrier layer:600nm, IZO: patterned<Ca corrosion images after 666 hrs under 40 ℃ and 90 %RH>

PENフィルム表面平坦化によるバリア性向上
Conventional PEN

Caテストと有機ELデバイスの相関

Planarized PEN

2

50 µm

50 µm

1 cm

1 cm

(after 595 hrs)
Ca defects(after 560 hrs)
Dark spots of OLED

(after 640 hrs)
Ca defects(after 640 hrs)
Dark spots of OLED

【Conventional PEN】

2

4

(after 595hrs)

4(after 640hrs)

5.1×10-5g/m2/day (600nm)※IZO:100nm (with patterning)<Ca corrosion images under 40 ℃ and 90 %RH>

2.2×10-4g/m2/day (800nm)【Planarized PEN】
<Storage tests under 40 ℃ and 90 %RH>

本研究の一部は、科学技術振興機（JST）「 産学共創プラットフォーム共同研究推進プログラム（OPERA） の「山形大学・有機材料の極限機
能創出と社会システム化をする基盤技術の構築及びソフトマターロボティクスへの展開」（2016年秋～2021年3月予定）によるものです。

「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
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7フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

産学連携コンソーシアム：YU-FOC
山形大学フレキシブル有機エレクトロニクス
実用化基盤技術コンソーシアム
Yamagata University Flexible Organic Electronics Practical Key
Technology Consortium (YU-FOC)【ご挨拶】
フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）におきましては、2013年度より、企業ニーズを最優先したニーズファースト（事業貢献第一主義）型産学連携研究に取り組んで参りました。
この活動におきましては、山形大学有機薄膜デバイスコンソーシアム（2013～2015年度）を発展させる形で、2015年4月より、山形大学フレキシブル有機エレクトロニクス実用化基盤技術コンソーシアム（YU-FOC/2016～2018年度）を立ち上げ、推進しております。
YU-FOCでは、さまざまな技術を保有する企業が結集し、技術垂直統合的に研究機開発を進めつつ、それぞれの企業の事業に貢献すべく、「ニーズファースト型」産学連携研究を進めております。

開発期間

2016年4月1日～2019年3月31日（３年間）

開発テーマ

フレキシブル有機エレクトロニクス実用化基盤技術の開発

ホームページ http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/YU-FOC.html
代表

参加企業

NECライティング
カネカ
信越化学工業
新日鐵住金/新日鉄住金マテリアルズ
仲田 仁（産学連携教授） セリアエンジニアリング
帝人
東洋インキSCホールディングス
日本製鋼所
日本電気硝子
向殿 充浩
FEBACS（産学連携教授）（2018/1現在 10社）

特徴
✓ 企業の事業への貢献を第一優先（ニーズファースト）✓ 不実施保証なし

産学連携スキーム（イメージ）
コンソ外メーカーへの技術紹介・技術提供※各参加企業のビジネス推進に貢献
事業活用

事業活用
C社
（部材）
参加
成果
成果

事業活用

B社
（材料）
事業活用

事業活用

成果

参加
成果

A社
（基板）

D社
（装置）
参加
成果

E社
（ﾌﾟﾛｾｽ）

参加

山形大学

事業活用

成果

参加 山形大学コンソーシアム 参加

F社（ﾃﾞﾊﾞｲｽ）

取り組み技術領域
フレキシブル基板
フレキシブル封止
超薄板ガラス

Non-ITO 透明電極
高機能ステンレス箔

印刷技術/R2R技術

バリアフィルム「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

8フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

産学連携コンソーシアム：YU-FIC
山形大学フレキシブルエレクトロニクス
日独国際共同実用化コンソーシアム
Yamagata University Flexible Electronics Japan-Germany International
Collaborative Practical Utilization Consortium (YU-FIC)【ご挨拶】

プロジェクト期間

山形大学におきましては、山形県・米沢市など地元地域とも連携して、ザクセン・ドレスデンを中心としたドイツとの産官学に渡るさまざまな連携を推進して参りました。
この度、この連携をさらに発展拡大させるべく、新たな産学連
携コンソーシアム「山形大学フレキシブルエレクトロニクス日独国
際共同実用化コンソーシアム（略称：YU-FIC）を立ち上げました。
本コンソーシアムにおきましては、新たなフレキシブルエレクト
ロニクス製品を創出すべく、山形大学が核となって、日本企業とドイツ企業との共同研究を進めて参ります。
2013年度

2014年度

2015年度

2016年度

2017年度

2018年度

2017年10月1日～2021年3月31日（3.5年間）
開発テーマ
1. 超薄板ガラスを用いたRoll to Roll法大面積有機EL
照明製造の革新的トータル技術開発
2. 有機エレクトロニクス技術を用いた広告用製品開発
3. 3DPCBの製造プロセスおよび用途開発
2019年度

2020年度✓ 日独連携✓ 技術垂直統合型
コンソーシアム内閣府 (2017年)
第15回産学官連携功労者表彰「科学技術政策担当大臣賞」

古川准教授

山形大学ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ日独国
際共同実用化ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FIC）

経産省より
サポート
山形大学有機薄膜ﾃﾞﾊﾞｲｽｺﾝｿｰｼｱﾑ

ITO代替透明電極
バリア膜/平坦化膜
フレキシブル基板

山形大学ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機ｴﾚｸ
ﾄﾛﾆｸｽ実用化基盤技術ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FOC）

2017年11月
フラウンホーファー（ドイツ）訪問

フレキシブル基板
封止膜
陰極

ITO代替透明電極付
きフレキシブル基板

有機層（複数）ITO代替透明電極
バリア膜/平坦化膜
フレキシブル基板

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機
ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽﾃﾞﾊﾞｲｽ

YU-FIC運営統括

YU-FIC代表

YU-FIC幹事

准教授

高橋 辰宏

古川 忠宏

産学連携教授Dr. Tatsuhiro Takahashi

Tadahiro Furukawa

Dr. Mitsuhiro Koden

教授

effort@yz.yamagata-u.ac.jp

ta-furukawa@yz.yamagata-u.ac.jp

向殿 充浩

koden@yz.yamagata-u.ac.jp

（専門）
（専門）
（専門）
高分子化学・複合材料・管理運営・国際連携 微細パターン加工技術、印刷技術、ロールto 液晶、ディスプレイ、有機ＥＬ、化学
（経歴）
ロール技術
（経歴）
1988年 早稲田大学 理工学研究科 応用化 （経歴）
1983年
大阪大学大学院工学研究科
学専攻修士課程修了
1984年 埼玉大学院工業技術研究科修士
博士課程終了（工学博士）
1988年～1998年 DuPont 株式会社 研究員
課程修了
1983～2012年 シャープ株式会社
1996年 山形大学 工学研究科 物質生産工 1984～2011年 共同印刷株式会社（カラーフィ（液晶, 有機EL）学専攻 博士課程（工学博士）
ルター（CF）の開発・生産、フレキシ 1998～2011年 奈良先端科学技術大学院大学
2002年～ 山形大学 助手・助教授・准教授
ブルCF、およびLCDの開発、等）
客員教授
2008年～ 山形大学 教授
2011年～ 山形大学有機INOEL（現職）2012年12月～ 山形大学INOEL（現職）2016年～ 山形大学INOEL センター長【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html「プリンタブルエレクトロニクス2018展」
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）

9フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

産学連携コンソーシアム：YU-FLEC
山形大学フレキシブルエレクトロニクス産学連携コンソーシアム
Yamagata University Flexible Electronics Consortium for
Academia-Industry Cooperation （YU-FLEC）【ご挨拶】
フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）におきましては、2013年度より、企業ニーズを最優先したニーズファースト（事業貢献第一主義）型産学連携研究に取り組んで参りました。
この活動におきましては、山形大学有機薄膜デバイスコンソーシアム（2013～2015年度）、山形大学フレキシブル有機エレクトロニクス実用化基盤技術コンソーシアム（YU-FOC/2016～2018年度）を立ち上げ、推進して参りましたが、2018
年1月より、新たなコンソーシアムとして「山形大学フレキシブルエレクトロニクス産学連携コンソーシアム（YU-FLEC）を立ち上げます。
YU-FLECでは、各企業との一対一の連携を軸に、「ニーズファースト型」産学連携研究を進めて参ります。知財権における「不実施補償なし」などとメリットもありますので、是非参加をご検討ください。
2013年度

2014年度

2015年度

2016年度

2017年度

2018年度

2019年度

2020年度
実用化（デバイスメーカーでの採用）企業保
有技術

内閣府 (2017年)
第15回産学官連携功労者表彰「科学技術政策担当大臣賞」✓量産技術まで理解・経験したエキ
スパート✓デバイス視点での評価・技術改良✓30cm角基板での実証試作
試作品は事業推進に利用可能✓評価結果はすべてフィードバック✓知財：不実施補償なし

経産省より
サポート
山形大学ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機ｴﾚｸ
ﾄﾛﾆｸｽ実用化基盤技術ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FOC）

山形大学有機薄膜ﾃﾞﾊﾞｲｽｺﾝｿｰｼｱﾑ

ITO代替透明電極
バリア膜/平坦化膜
フレキシブル基板

フレキシブル基板
封止膜
陰極

ITO代替透明電極付
きフレキシブル基板

有機層（複数）ITO代替透明電極
バリア膜/平坦化膜
フレキシブル基板

結城准教授

山形大学ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
産学連携ｺﾝｿｰｼｱﾑ（YU-FLEC）(2018年1月～2023年3月)

ﾌﾚｷｼﾌﾞﾙ有機
ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽﾃﾞﾊﾞｲｽ

YU-FLEC代表

YU-FLEC運営統括✓事業貢献第一主義（Need First!）✓新たな共同研究、
新たな産学連携の創出✓継続的な情報共有の場

YU-FLEC幹事

准教授

産学連携教授

産学連携教授Dr. Yoshinao Yuki

Hitoshi Nakada

Dr. Mitsuhiro Koden

結城 敏尚

仲田 仁

向殿 充浩

t-yuki@yz.yamagata-u.ac.jp

nakada@yz.yamagata-u.ac.jp

koden@yz.yamagata-u.ac.jp（専門）
有機EL（ディスプレイ、照明）、高分子材料（経歴）
1993～1996年 帝人株式会社
1996～1999年 山形大学大学院工学研究科（工学博士）
1999～2015年 東北パイオニア株式会社（PMOLED、AMOLED、タイリングデ
バイス、有機EL照明等の開発、等）
2015年4月～ 山形大学INOEL（現職）（専門）有機エレクトロニクスデバイス（経歴）
1981年 東北大学工学部応用化学科卒業
1981～2013年 パイオニア株式会社、東北パイ
オニア株式会社（有機ELディスプレイ・照明の研究開発）
2013年4月～
山形大学INOELセンター長代理（現職）（専門）
液晶、ディスプレイ、有機ＥＬ、化学（経歴）
1983年 大阪大学大学院工学研究科終了（工学博士）
1983～2012年 シャープ株式会社（液晶, 有機EL）
1998～2011年 奈良先端科学技術大学院大学客員教授
2012年12月～ 山形大学INOEL（現職）「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

10フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

成果リスト
表彰
➢ 仲田仁, 向殿充浩, 内閣府第15回産学官連携功労者表彰ー「科学技術政策担当大臣賞」 (2017).

著書➢ M. Koden, “OLED Displays and Lighting” (Wiley, IEEE Press) (2017).

主な論文・刊行物➢ T. Furukawa, M. Koden, IEICE Trans. Electron, E100-C, 949-954 (2017).
“Novel roll-to-roll deposition and patterning of ITO on ultra-thin glass for flexible OLEDs”

主な国際会議発表➢ T. Furukawa, N. Kawamura, T. Noda, Y. Hasegawa, D. Kobayashi, M. Koden, IDW’17, FLX6-2 (2017).
“Novel Roll-to-Roll Fabrication Processes of Transparent Electrodes on Ultra-Thin Glass”➢ K. Taira, T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, T. Takahashi, IDW’17, FLXp1-8L (2017).
”High gas barrier film for OLED”➢ T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, H. Itoh, H. Kuroiwa, K. Nagai, LOPEC (Large-area, Organic & Printed
Electronics Convention) (2017). “Gas barrier film for OLED devices”➢ M. Koden, T. Furukawa, T. Yuki, H. Kobayashi, H. Nakada, IDW/AD’16, FLX3-1 (2016). [招待講演]“Substrates and Non-ITO Electrodes for Flexible OLEDs”➢ T. Furukawa, M. Sakakibara, N. Kawamura, M. Koden, IDW/AD’16, FLX3-3 (2016).
“All-printed non-ITO Transparent Electrodes on Ultra-thin Glass for OLED Lighting”➢ T. Furukawa, International Workshop on Flexible & Printable Electronics (IWFPE2016) (2016). [招待講演]“Flexible Substrates and Printed Transparent Electrode for OLED Lighting”➢ T. Furukawa, N. Kawamura, H. Nakada, M. Koden, The International Conference on Flexible and Printed Electronics(ICFPE 2016), O15-6 (2016). ”Novel ITO fabrication processes on ultra-thin glass”➢ M. Koden, 15th International Symposium on the Science and Technology of Lighting (LS15) (2016). [招待講演]"Substrates and non-ITO electrodes for flexible OLED Lightings"➢ T. Furukawa, 2016 International Conference on Electronics Packaging (ICEP2016) (2016). [招待講演]"Printing Technology for Electronics“➢ M. Koden, The 10th Taiwan Solid State Lighting (2016 tSSL) Symposium, B-4 (2016). [招待講演]"Flexible OLED Lighting"

主な展示会 Exhibitions➢ 「プリンタブルエレクトロニクス2017」展(2017年2月15日～17日, 東京ビッグサイト). 「独創性部門賞」受賞➢ 「G7茨城・つくば科学技術大臣会合特別展」（2016年5月15日～21日, つくば））➢ 「プリンタブルエレクトロニクス2016」展(2016年1月27日～29日, 東京ビッグサイト).
➢ 「International Photonics Exhibition 2015 (2015国際光産業展示会)」 (2015年10月, 光州/韓国).
➢ 国立科学博物館「発見！体験！先端研究＠上野の山シリーズ～山形から未来を照らすサイエンス」（2015年5月2日～6日, 上野）➢ 「プリンタブルエレクトロニクス2015」出展 (2015年1月, 東京ビッグサイト).

「プリンタブルエレクトロニクス2017展」（2017年2月）（「独創性部門賞」受賞）「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）「プリンタブルエレクトロニクス2016展」（2016年1月） 「2015国際光産業展示会」（韓国・光州）（2015年10月）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

11フレキシブル基盤技術研究グループ（仲田/古川/結城/向殿研究グループ）

装置・メンバー
主要装置 Equipment
４台の独自R2R装置（ロール幅：30cm / 対応基板：超薄板ガラス, ステンレス箔, フィルム）

R2Rスパッタ&CVD（神戸製鋼所）R2Rｽｸﾘｰﾝ印刷＆ｽﾘｯﾄｺｰﾀｰ（セリア）

R2Rｸﾞﾗﾋﾞｱｵﾌｾｯﾄ&ﾌﾚｷｿ印刷（小森ﾏｼﾅﾘｰ/太陽機械）

デバイス作製装置

有機EL蒸着（基板：30cm角）

有機EL蒸着R2Rウェット洗浄（FEBACS）

シートタイプ印刷装置

スパッタ

ラミネータ

フレキソ/グラビアオ
フセット印刷スクリーン印刷

インクジェット

評価解析装置

ガス透過率評価（Ca法）

WVTR評価
（差圧法）

粘弾性測定
屈曲試験

メインメンバー Members
産学連携教授 仲田 仁
Hitoshi Nakada
専門：有機エレクトロニクスデバイス
連絡先：nakada@yz.yamagata-u.ac.jp
1981年
1981～2013年
1988年～
2013年～

東北大学工学部応用化学科卒業
パイオニア株式会社、東北パイオニア株式会社
有機ELディスプレイ・照明の研究開発、事業に従事
山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）

准教授 古川 忠宏
Tadahiro Furukawa
専門：微細パターン加工技術、印刷技術
ロールtoロール技術
連絡先：ta-furukawa@yz.yamagata-u.ac.jp
1984年
埼玉大学院工業技術研究科修士課程修了
1984～2011年 共同印刷株式会社
カラーフィルター（CF）の開発・生産
フレキシブルCF、およびLCDの開発
2011年～
山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）「プリンタブルエレクトロニクス2018展」（2018.2.14-16, 東京ビッグサイト）

ﾊｲﾌﾞﾘｯﾄﾞ
ｺﾝﾌｫｰｶﾙ
顕微鏡

精密座標測定産学連携教授 向殿 充浩（工学博士）
Dr. Mitsuhiro Koden
専門：液晶、ディスプレイ、有機ＥＬ、化学
連絡先：koden@yz.yamagata-u.ac.jp
http://www.asahi-net.or.jp/~ar3t-kudn/technology.html
1983年
大阪大学大学院工学研究科修了（工学博士）
1983～2012年 シャープ株式会社（液晶材料, 液晶ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ, 有機ELﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲの研究開発, 等）
1998～2011年 奈良先端科学技術大学院大学客員教授
2012年～
山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）

准教授 結城 敏尚（工学博士）
Dr. Toshinao Yuki
専門：有機EL（ディスプレイ、照明、デバイス）、高分子材料工学
連絡先：t-yuki@yz.yamagata-u.ac.jp
1993～1996年 帝人株式会社
1996～1999年 山形大学大学院工学研究科修了（工学博士）
1999～2015年 東北パイオニア株式会社(OLED事業部技術開発センター所属 / PMOLED、AMOLED、タイリングデバイス、有機EL照明等の開発)
2015年4月～ 山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター（現職）【お問い合わせ先】
E-mail ： nakada@yz.yamagata-u.ac.jp （仲田産学連携教授）
山形大学
koden@yz.yamagata-u.ac.jp （向殿産学連携教授）
有機ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝｾﾝﾀｰ
URL ： http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/home.html
仲田産学連携教授・向殿産学連携教授 TEL ： 0238-29-0575 FAX ： 0238-29-0569

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