データシート

SE50A-ECO 200DS 半導体工場ライン用 FT-IR
半導体材料の特性評価
システムズエンジニアリングは、 半導体工場ライン向け評価用 FT-IR として、 サーモフィッシャー社のFT-IR 測定技術と JEL 社の自動移載システムの技術を取り入れた次世代型の "FT-IR SE50-ECO シリー
ズ " を紹介します。
アプリケーション仕様
エピ膜厚測定▶ 0.3 - 750 μm▶ ± 0.01 μm

測定範囲
再現性

※ SiC エピ膜厚測定可

シリコン中の炭素 ・ 酸素濃度測定*炭素酸素
測定範囲 ▶ 0.1 to 10ppmA ▶ 0.3 to 35 ppmA
再現性 ▶ STD 0.05 ppmA ▶ STD0.08 ppmA
* 炭素 ・ 酸素値は ASTM 1979 に基づく。

制御ソフトウェア

BPSG 中のリン ・ ボロン濃度測定
ボロン
測定範囲 ▶ 1 - 10 Wt%▶ ± 0.05 Wt%
再現性リン▶ 2 - 12 Wt%▶ ± 0.05 Wt%

SiN 膜中の水素濃度測定
Si-H
N-H
測定範囲 ▶ 3 - 30 Atom% ▶ 3 - 30 Atom%▶ ± 0.3 Atom% ▶ ± 0.3 Atom%
再現性

シリコン酸化膜中のフッ素濃度測定
膜厚範囲
フッ素濃度

▶ 3000 - 10000Å
▶ STD< 0.2 Fwt%

カーボンドープフィルム
窒化シリコン
酸化シリコン▪ 直感的な操作が可能なソフトウェア▪ オペレータを選ばない操作性▪ 効率良い測定を実現▪ 測定結果表示、 データ保存

仕様
信頼性

分光部

MTBF

> 6 months

波長範囲7800 - 350cm-1

MTTR

48 hours

最高分解能

0.5cm-1MTTS

4 hours

ビーム径

標準 8mm ( 変更可能 )Uptime> 97%

入射角15°

コンピュータユーティリティ

オペレーティング Windows 10 64bit
Memory 32GB
システム

電源100 - 240V (50/60Hz)

真空-61±10kPa (G)Hard Disk SSD RAID1

30L/min (ANG)
高圧ガス

CDA none
N20.2MPa (G)
15L/min (ANR)

SE50 シリーズ 品番Hardware

SoftwareProduct#Model

Wafer size

StationHandring

Product#Model

ECO-02S

SE50S-ECO

2-12 inch

Stage

Edge Grip

ECO-1EP

Epitaxial Thickness

ECO-031

SE50A-ECO_150SS

2-6 inchSingleVacuum

ECO-1CO

Carbon & Oxygen in Silicon

ECO-032

SE50A-ECO_150DS

2-6 inchDoubleVacuum

ECO-1BP

Boron & Phosphorus in BPSG or PSG
Films

ECO-041

SE50A-ECO_200SS

4-8 inchSingleVacuum

ECO-1SN

Hydrogen in Silicon Nitride

ECO-042

SE50A-ECO_200DS

4-8 inchDoubleVacuum

ECO-1SF

Fluorine in Silicon Oxside Films

ECO-043D

SE50A-ECO_200DSMIF 8 inch

Double SMIFVacuum

ECO-1MB

Multi Background Option

Vacuum

ECO-1GM

GEM/SECS Host Communication

ECO-1SH

Share File Host Communication

ECO-1DS

Double Station Sorting Support

ECO-1FS

Four Station Sorting Support

ECO-1SSSix Station Sorting Support

ECO-1OH

Hydrogen in Silicon Software

ECO-1SCSiC Epitaxial Thickness Support

ECO-1SU

Shuttle Background Software

ECO-1CH

Carbon-doped Films

ECO-1SO

Silicon Oxiside Film Analysis (SiXx)

ECO-044

SE50A-ECO_200FS4-8 inch

Four

ECO-051

SE50A-ECO_300SS

8-12 inch

SingleVacuum

ECO-052

SE50A-ECO_300DS

8-12 inch

DoubleVacuum

ECO-051F

SE50A-ECO_300SF

8-12 inch

Single Foup

Vacuum

ECO-052F

SE50A-ECO_300DF

8-12 inch

Double Foup

Vacuum

ECO-051E

SE50A-ECO_300SSE

12 inchSingleEdge Grip

ECO-052E

SE50A-ECO_300DSE

12 inchDoubleEdge Grip

ECO-051FE

SE50A-ECO_300SFE

12 inchSingle Foup

Edge Grip

ECO-052FE

SE50A-ECO_300DFE

12 inchDouble Foup

Edge Grip

THZ-02

SE50A-THz_150DS

4-6 inchDoubleVacuum

THZ-04

SE50A-THz_150FS

4-6 inch

FourVacuum

Product#Model

VacuumECO-FA1200mm wafer adapter for FOUP system

ECO-FA2

Tag Reader for FOUP & SMIF system
・Keyence : BL600
・Omron : V640

ECO-FA3

E84 OHT Support for OHT COM module

ECO-FA4

Safety Light Curtain for OHT

ECO-FA5

Sensing lonizer System

ECO-FA6

Water ID Reader Module

ECO-FA7

Optical FFU (Fan Filter Unit)

ECO-FA8

Share File Host Communication

THZ-06

SE50A-THz_150SiS

4-6 inchSix: 東京都文京区小石川 1-4-12 文京ｶﾞｰﾃﾞﾝｻﾞｳｴｽﾄ 801
本社		
ものづくり技術ｾﾝﾀｰ : 東京都板橋区舟渡 3-5-8 MIC1 303
西日本営業所 : 大阪府大阪市淀川区宮原 2-14-4 MF 宮原ビル 3F

OptionTEL 03-3868-2634 FAX 03-3868-2633
TEL 03-6279-8908 FAX 03-6279-8907
TEL 06-6868-9790 FAX 06-6868-9796

Made in Japan※本パンフレットに記載されている外観および仕様は、 改善のため予告なく変更することがあります。 20240807