合成石英 AQシリーズ

AQ2

Synthetic Fused Silica Glass AQ Series

AQ2はAGC合成石英ラインナップの中でも最も広範囲な波長において使用することが可能であり、200nmを切るような真空紫外域から近赤外域の範囲で高透過率を誇っております。良好な均質性・複屈折も兼ね備えております。深紫外（主に172nm対応）
向け光学部品・窓材・プリズム材として、また近赤外用途としてご使用いただけます。
AQ2 can be utilized over the broadest wavelength range among AGCʼs synthetic fused silica lines: it
presents high transmittance for light ranging from vacuum ultraviolet (under 200 nm) to near infraredrays, along with high uniformity and low birefringence. This grade is suitable for optical components,
windows, and prisms for deep ultraviolet rays (principally 172 nm) as well as for near-infraredapplications.

* 全てのデータは参考値であり、保証値ではありません。
* All data is for reference, not guaranteed.

透過率 Transmittance

透過率（%）

External Transmission

100806040
200150波長（nm）

Wavelength200

AQ2250

波長

300

1,000

1,500

Wavelength（nm）

波長（nm）

Wavelength

AQ2

2,000

2,500

波長（nm）

Wavelength

3,000

AQ2

波長（nm）

Wavelength

AQ2

3,00089.7

2,10094.3

1,10093.9

26092.2

2,90090.5

2,00094.3

1,00093.8

240

91.9

2,800

90.3

1,90094.290093.8

22091.7

2,72087.4

1,80094.1

80093.9

20091.02,70089.3

1,70094.1

40093.0190

90.5

2,60093.3

1,60094.0

38093.0180

89.8

2,50094.2

1,50094.0

360

92.9

170

88.8

160

77.6

2,40094.2

1,40094.0

340

92.8

2,30094.2

1,38094.0

320

92.7

2,21094.2

1,30093.930092.6

2,20094.2

1,20093.9

28092.4

表面反射によるロスを含む 厚み：10mmincluded surface reflection loss

thickness : 10mm1合成石英 AQシリーズ Synthetic Fused Silica Glass AQ Series

AQ2

屈折率

Refractive Index

波長（nm）

波長（nm）

AQ2Wavelength

Wavelength

AQ2

波長（nm）

Wavelength

波長（nm）AQ2

AQ2

Wavelength

2,326.05

1.43300s 852.11

1.45250g 435.83

1.46674214.51

1.53374

2,058.65

1.43728

r 706.52

1.45518h 404.66

1.46966

206.271.54268

1,970.63

1.43857

c 656.27

1.45640i 365.01

1.47459

194.23

1.55893

1,813.57

1.44075cʼ 643.85

1.45674

334.241.47980

ArF 193.40

1.56022

1,530.00

1.44431

He-Ne 632.80

1.45706

312.661.48452

193.001.56086

1,128.95

1.44891

D 589.29

1.45844253.731.505 55

184.951.57504

1,064.00

1.44967

d 587.56

1.45850

KrF 248.30

1.50846

1,060.00

1.44972e 546.07

1.46012248.001.50863

t 1,013.98

1.45028

F 486.13

1.46317228.87

1.52118

20ʼC, Nitrogen 1atm +/-0.00001

諸特性

General Properties
Grade

AQ2

泡・内部欠陥 Bubbles and inclusions
金属不純物

wtppb

<10

歪点 Strain Pont
(Viscosity=10^14.5dPa*s)

°C

1100

熱膨張係数

ppm/K (50-200°C)

0.5-0.7g/cm3

2.20

GPa72

密度

Metalic Impurity

なし FreeCTEDensity

ヤング率

Youngʼs modulus

熱伝導率

Heat conductivity

比熱Speciﬁc heat

体積低効率
誘電率

Bulk resistivity

Dielectric Constant

耐酸・耐アルカリ性
Chemical resistance

光学特性K(W/m-°C) at 25°C

1.46

J/(g·K) at 25℃

0.75Log(Ω*cm) at 200°C

12.5

at 1MHz, 25°C

4.0

Acid resistance<0.05μg/cm2/hr by HCl 1mol/L at 90°C

Alkali resistance<30μg/cm2/hr by NaOH 0.1mol/L at 90°C

Optical Properties
Grade

初期内部透過率
脈理

Initial transmission, internalStriae

屈折率 Refractive Index(at 589nm)
蛍光Fluorescence

レーザー耐久性 感光変化 Solarization
Laser durability 透過率劣化Degradation of Transmission

AQ2>99.9%/cm, at 172nm
3方向フリー 3-direction Free

1.46
なし noneなし noneNo degradation detectedby 365nm irradiation

均質性 Homogeneity
removed tilt and power components,
measured at 632.8nm<2ppm

複屈折 Birefringence,measured at 632.8nm, stress induced<1nm/cm2