㻡㻜㻝◒⢏ຍᕤᏛ఍ㄅ岥મ৶峘ளয岦峘崡崡嵉ᇴਆଞ੪㻌‫؝‬峙峂峫峕䜛䛾䛛䜢᝿ᐃ䛩䜛䛯䜑䛻䠈ᅗ᭩㤋䛷㛵㐃ㄽᩥ䜔ᑓ㛛⚾䛿 1957 ᖺ䛻௝ྎ㏆㑹䛷⏕䜎䜜䠈ᑠᏛᰯ䛛䜙኱᭩䜢ㄪ䜉䜛䛸ඹ䛻䠈⺯ගX⥺ศᯒ⿦⨨䜢౑䛳䛶⾲㠃Ꮫ䜎䛷䛪䛳䛸௝ྎ䛷⫱䛳䛯䠊䛭䛾䛖䛘䠈ᑵ⫋ඛ䜒ฟ㌟ඖ⣲䛾ኚ໬䜢ㄪ䜉䛯䠊䛭䛾⤖ᯝ䠈ᚤ⣽䛺ษ䜚䛟䛪䛜෌኱Ꮫ䛰䛳䛯䛾䛷䠈2022 ᖺ䛻㏥⫋䛩䜛䜎䛷䜋䛸䜣䛹௝ᗘຍᕤ⾲㠃䛻ᇙ䜑㎸䜎䜜䛶䛔䜛䛣䛸䛜䜟䛛䜚䠈䛣䜜䜢ྎ䛷㐣䛤䛧䛯䛣䛸䛻䛺䜛䠊ᮾ໭኱Ꮫ䛻䛿䠈Ꮫ⏕᫬௦䜢㜵Ṇ䛩䜜䜀䝷䝑䝥↝䛡䛜㜵Ṇ䛷䛝䜛䛰䜝䛖䛸⪃䛘䛯䠊ྵ䜑 47 ᖺ㛫䠈䜋䜌༙ୡ⣖䛚ୡヰ䛻䛺䜚䠈⌧ᅾ䛿䠈ḟ䛻䛭䛾㜵Ṇ⟇䛷䛒䜛䛜䠈༢⣧䛺Ⓨ᝿䛛䜙㣗ჾ⏝䠄ᰴ䠅∾㔝䝣䝷䜲䝇〇సᡤ䛾≉ู㢳ၥ䞉䝣䜵䝻䞊䛸䛧䛶Ὑ๣䜢䝷䝑䝥ᾮ䛻ΰྜ䛩䜛䛣䛸䜢ヨ䜏䛯䠊䝎䝯ඖ䛷⾜䛳ཌᮌ䛻༢㌟㉱௵୰䛷䛒䜛䠊㏥⫋ᚋ䛿⏕䜎䜜ᨾ㒓䛻ᡠ䛯ຍᕤᐇ㦂䛰䛳䛯䛜䠈䛣䜜䛜ᛮ䛔䛾䜋䛛䛖䜎䛟䛔䛝䠈䛭䜛䛸䛔䛖䛾䛜୍⯡ⓗ䛛䛸ᛮ䛳䛶䛔䛯䛜䠈䛭䜜䛸඲䛟㏫䛾䛾ᚋ䠈␗䛺䛳䛯ᴟᛶ䜢䜒䛴20✀㢮௨ୖ䛾⏺㠃άᛶ๣≧ἣ䛻䛺䛳䛶䛔䜛䠊᪂䛧䛔⫋ሙ䛷䛿䠈ᑗ᮶䛾〇ရ㛤䜢⏝䛔䛶ㄽᩥ⏝䛾䝕䞊䝍䜢䛸䛳䛯䠊䛣䛾ᡂᯝ䛿༞ᴗㄽⓎ䛻ᚲせ䛺ᇶᮏᢏ⾡㛤Ⓨ䛸ேᮦ⫱ᡂ䛻ᦠ䜟䛳䛶䛔䜛䠊ᩥⓎ⾲䛾䜏䛺䜙䛪䠈◊✲ᡤෆ䛾◊✲Ⓨ⾲఍䛷Ⓨ⾲⫋ົෆᐜ䛿䜋䛸䜣䛹኱Ꮫ᫬௦䛸ྠ䛨䛷䛒䜛䛜䠈ㅮ⩏䜢䛩䜛ᶵ఍䜢ᚓ䛯䠊䛧䛺䛟䛶䜘䛟䛺䛳䛯ศ䠈䛔䛟䜙䛛Ẽᴦ䛷䛒䜛䠊ᮏ✏䛷䛿䛣䜜䜎䛷⾜䛳䛶䛝䛯◊✲䜢䛹䛾䜘䛖䛻ᒎ㛤䛧䛶䛔䛳䛯‫؝‬ৈચ૨ਸੵ‫ق‬প৾੹‫ع‬ஃুৎ৻‫ك‬䛾䛛䠈᪂䛧䛔䝔䞊䝬䜢䛹䛾䜘䛖䛻ぢ䛴䛡䛶䛝䛯䛛䛺䛹䜢኱Ꮫ㝔䛻㐍Ꮫ䛩䜛䛸䠈ᯇ஭ᩍᤵ䛛䜙᪂䛧䛔䝔䞊䝬⤂௓䛧䠈䛭䛾᫬䚻䛻ឤ䛨䛯䛣䛸䜢㏙䜉䜛䛣䛸䛻䛧䛯䛔䠊䜢୚䛘䜙䜜䛯䠊䇾䜽䝸䞊䝥䝣䜱䞊䝗◊๐䛻㛵䛩䜛◊✲䇿䛷䛒䜛䠊䛭䛾ᙜ᫬䠈䛣䛾᪉ἲ䛿䛒䜎䜚▱䜙䜜䛶䛔䛺䛔‫؝‬ଢ଼༿ਸੵ‫৾ق‬৖ৎ৻‫ك‬᪂䛧䛔㧗⬟⋡◊๐ἲ䛷䛒䛳䛯䠊䛧䛯䛜䛳䛶䇾䜽䝸䞊䝥䝣◊✲ᡤ≉Ṧ䜱䞊䝗◊๐䛳䛶ఱ䠛䇿䛸䛔䛖䛣䛸䜢ㄪ䜉䜛䛣䛸䛛䜙ጞ䜎䛳⢭ᐦᕤస᪋タ䛾✄ᇉ⪔ྖඛ⏕䠄ᙜ᫬ຓᩍᤵ䠅Ꮿ䛷䛒䛯䠊䛹䛖䜒㏻ᖖ◊๐䛾ᩘ100ಸ䛾◒▼༙ᚄษ㎸䜏㔞⚾䛾⮬Ꮿ䛾㞄䛿䠈ᮾ໭኱Ꮫ⛉Ꮫィ䛳䛯䠊ᑠ䛥䛔㡭䛛䜙ඛ⏕䛻኱ኚ䛛䜟䛔䛜䛳䛶㡬䛝䠈䛤䠄䛭䛾௦䜟䜚ᕤస≀㏿ᗘ䛿1/ᩘ100䠅䛷୍Ẽ䛻ᕤస≀⮬Ꮿ䛻䛚㑧㨱䛧䛶䛿䠈䜒䛾䛵䛟䜚䛾ヰ䜢ඛ⏕䛛䜙ఛ䛖䜢㝖ཤ䛩䜛䜙䛧䛔䛸䛔䛖䛣䛸䛜䜟䛛䛳䛯䠊䛧䛛䛧◊✲ᐊᶵ఍䛜ᗘ䚻䛒䛳䛯䠊Ꮚ౪䛺䛜䜙䛻ඛ⏕䛾䛚ヰ䛿䛺䛬䛻䛿ỗ⏝◊๐┙䛧䛛䛺䛟䠈䜽䝸䞊䝥䝣䜱䞊䝗䠄䛔䜟䜖䜛䛛䛸䛶䜒㨩ຊⓗ䛷䠈䛣䜜䛜⚾䛾ᕤᏛ㒊ᶵᲔ⣔ᚿᮃ䛻㐜㏦䜚䠅䛜䛷䛝䛺䛔䠊䛭䛣䛷䜽䝸䞊䝥䝣䜱䞊䝗䛜ྍ⬟䛺䛴䛺䛜䛳䛯୍せᅉ䛷䛒䜛஦䛿☜䛛䛰䛸ᛮ䛖䠊኱ᏛධᏛ䝃䝤䝔䞊䝤䝹䜢స〇䛩䜛䛣䛸䛻䛺䛳䛯䠊䛣䛣䛷䛿〇ᅗᚋ䛿䠈ᑓ㛛ⓗ䛺ຍᕤ䛻䛴䛔䛶䜒䛔䜝䛔䜝䛸䛚⪺䛛䛫䜔〇స⌧ሙ䛸䛾䜔䜚䛸䜚䛺䛹䠈ᗉྖඞ㞝ඛ⏕䠄ᙜ᫬ຓ㡬䛔䛯䠊䇾௒᪥䛿䠍mm䛻2000ᮏ䜒⥺䜢ᘬ䛡䛯䠊䛩䛤䛔ᡭ䠅䛻䛔䜝䛔䜝䛤ᣦᑟ㡬䛔䛯䠊䜎䛯◊๐䝅䝭䝳䝺䞊䝅䝵䛰䜝䛖䠊䠄䝹䞊䝸䞁䜾䜶䞁䝆䞁䠅䇿䠈䇾1ȝm䛾Ꮝ䜢䛒䛡䛯䜣䞁䛻㛵䛧䛶䛿⏣∾⣧୍ඛ⏕䠄ᙜ᫬ຓᡭ䠅䛻䜒ᩍ䛘䛶䛔䛰䛡䛹䠈ᮦᩱ䛾ṧ␃ᛂຊ䛾䛫䛔䛷ሰ䛜䛳䛱䜓䛳䛯䠊䛯䛰䛔䛯䠊䛥䜙䛻䛿◊๐୰䛾◊๐᢬ᢠ䠈◒⢏1ಶ䛻స䠄ᚤ⣽ᨺ㟁ຍᕤ䠅䇿䛺䛹䠈䛯䛸䛘ⱞປヰ䛷䛒䛳䛶䜒ᴦ䛧⏝䛩䜛ษ๐ຊ䠈◊๐䛭䛖䛻䛚ヰ䛧䛥䜜䛶䛔䛯ඛ⏕䛾⾲᝟䜔䠈㛤Ⓨ䛣䜌䜜ヰ◊๐Ἔ๣䛾⭷ཌ䠈◒▼ᦶ⪖䛺䛹䜢䜲䞁䝥䝻䝉䝇ィ䜢⯆ዧ䛧䛺䛜䜙ᣏ⫈䛧䛶䛔䛯グ᠈䛜䛒䜛䠊䛣䜜䛿⚾䛾䛩䜛䝉䞁䝃䜒⮬స䛧䠈◊๐⌧㇟䛾ゎ᫂䛻ບ䜣䛰䠊䛣䜜㈗㔜䛺㈈⏘䠄䛄▱㆑䛾ᘬฟ䛅䛸ྡ௜䛡䜛䠅䛸䛺䛳䛯䠊䜙䛾ከ䛟䛾⤒㦂䜔▱㆑䛻䜘䜚䠈⚾䛿䛄▱㆑䛾ᘬฟ䛅䛾኱Ꮫ4ᖺ⏕䛻䛺䜛䛸◊✲ᐊ䜢㑅䜆䛣䛸䛻䛺䜛䛜䠈⚾㻞㻠ᗘ䠈◒▼䞉ᕤస≀᥋ゐᘼෆ䛾ᩘ䜢ቑ䜔䛩䛣䛸䛜䛷䛝䛯䠊䛿⢭ᐦຍᕤ䛾◊✲ᐊ䜢㑅䜣䛰䠊ඛ⏕䛿ᯇ஭ṇᕫᩍᏛ఩ྲྀᚓᚋ䠈⡿ᅜ䝁䝛䝏䜹䝑䝖ᕞ❧኱Ꮫ䛾◊๐◊ᤵ䠄ᙜ᫬䠅䛷䛒䜛䠊䛧䛛䛧༞ᴗ◊✲䛿ඛ䜋䛹䛾✄ᇉඛ✲ᡤ䛻␃Ꮫ䛩䜛ᶵ఍䜢ᚓ䛯䠊䛣䛾◊✲ᡤ䛿䠈ᕞᨻᗓ⏕䛾◊✲ᐊ䛻ὴ㐵䛥䜜䜛䛣䛸䛻䛺䛳䛯䠊䝔䞊䝬䛿䇾㯤䛸䝥䝷䝑䝖䠃䝩䜲䝑䝖䝙䞊♫䛺䛹䠈㛵㐃௻ᴗᩘ♫䛜䝇䝫㖡䛾䝷䝑䝥↝䛡䛻㛵䛩䜛◊✲䇿䛷䛒䜛䠊㯤㖡䛺䛹䛾㌾䞁䝃䞊䛻䛺䜚タ❧䛧䛯䜒䛾䛷䠈䝆䜵䝑䝖䜶䞁䝆䞁䞉䝍䞊䝡㉁㔠ᒓ䜢䝷䝑䝥ຍᕤ䛩䜛䛸㙾㠃䛻䛺䜛䜋䛹㯮ග䜚䛧䠈䞁䝤䝺䞊䝗䛾䜽䝸䞊䝥䝣䜱䞊䝗◊๐䜢ᑓ㛛䛻◊✲䛧䛶㔠ᒓᮏ᮶䛾Ⰽ䛸␗䛺䛳䛶䛧䜎䛖䠊䛣䜜䜢⌧ሙ䛷䛿䝷䝑䝥䛔䛯䠊䛭䛣䛷䛿◊๐ᐇ㦂䜢⾜䛖䛸ඹ䛻䠈䛷䛝䜛䛰䛡ከ䛟↝䛡䛸䛔䛳䛶䛔䜛䜟䛡䛷䛒䜛䛜䠈䛣䛾⌧㇟ゎ᫂䛸ᑐ⟇䛾◊✲⪅䜔௻ᴗ䛾᪉䚻䛸䛾ேⓗ䝛䝑䝖䝽䞊䜽స䜚䛻ດ䜢⪃䛘䜛䛾䛜ㄢ㢟䛷䛒䛳䛯䠊䛹䜣䛺⌧㇟䛜㉳䛣䛳䛶䛔䜑䛯䠊ྠ᫬䛻䠈ᖐᅜᚋ䛻ྲྀ䜚⤌䜑䜛᪂䛧䛔◊✲䝔䞊䝬㻶㼛㼡㼞㼚㼍㼘㻌㼛㼒㻌㼠㼔㼑㻌㻶㼍㼜㼍㼚㻌㻿㼛㼏㼕㼑㼠㼥㻌㼒㼛㼞㻌㻭㼎㼞㼍㼟㼕㼢㼑㻌㼀㼑㼏㼔㼚㼛㼘㼛㼓㼥㻌㻌㼂㼛㼘㻚㻢㻣㻌㻌㻺㼛㻚㻥㻌㻌㻞㻜㻞㻟㻌㻌㻿㻱㻼㻚㻌㻌㻡㻜㻝㻙㻡㻜㻞◒⢏ຍᕤᏛ఍ㄅ䜒ᶍ⣴䛧䛯䠊ᖐᅜᚋ䛿◊๐䝔䞊䝬䛷ᘬ䛝⥆䛝ㄽᩥ䜢䛿ᇶᯈ䛻⾪✺ᚋ䠈1䡚10 ns⛬ᗘ䛾▷᫬㛫ෆ䛷10 nm᭩䛝䛺䛜䜙䠈ྠ᫬୪⾜ⓗ䛻᪂䝔䞊䝬䛾◊✲䛻䜒ᣮᡓ䜸䞊䝎䛾ᚤ⣽⢏Ꮚ䛻⢊○䛥䜜䠈ḟ䛾▐㛫䛣䜜䜙䛜෌䛧䛯䛔䛸⪃䛘䛯䛛䜙䛷䛒䜛䠊⤖ྜ䛧䠈⭷ᙧᡂ䛻⮳䜛䛣䛸䛜᫂䜙䛛䛻䛺䛳䛯䠊‫؝‬தಖഡਸੵ‫ق‬ஃઇ౸ৎ৻‫ك‬‫؝‬ୢຓੵ৴௚ଢ଼஢‫ق‬ઇ౸ৎ৻‫ك‬⡿ᅜ␃Ꮫ䛛䜙ᖐᅜᚋ䠈◊๐䛾䝔䞊䝬䛸䛧䛶䠈ᗉྖ⚾䛜ᩍᤵ䛻᪼௵䛧䛯2003ᖺ䠈బ䚻ᮌၨ୍ඛ⏕䠄ᙜඛ⏕䛜䛭䛾ᙜ᫬◊✲䛧䛶䛔䛯㉸◒⢏◒▼䛾䝒䝹䞊䜲᫬䠈ᮾ໭኱ᏛṑᏛ◊✲⛉ᩍᤵ䠈㧗ᰯྠ⣭⏕䠅䛸2ே䛷䞁䜾ᢏ⾡䜢〇ရ〇㐀䛻ᛂ⏝ᒎ㛤䛧䜘䛖䛸⪃䛘䛯䠊䛩䛺㣧䜐ᶵ఍䛜䛒䛳䛯䠊◊✲ᐊ㐠Ⴀ䛾ヰ䜔ហ⑵䜢䛚஫䛔䜟䛱ᴟᚤ⢏䝎䜲䝲䝰䞁䝗◒▼䜢⏝䛔䛯㠀⌫㠃◊๐䛾ㄒ䜚䛺䛜䜙䠈䛚㓇䛜㐍䜣䛷䛔䛟䛖䛱䛻◊✲䛾ヰ㢟䛻䛺◊✲䛷䛒䜛䠊䛒䜛䛸䛝䠈ᚑ᮶䛾㠀⌫㠃ຍᕤᶵ䛷ຍᕤ䛧䜚䠈䛭䛾ᙜ᫬ጞ䜑䛯䜀䛛䜚䛾PJD䛻䛴䛔䛶⤂௓䛧䛯䠊䛥䛶䛔䜛䛾䜢䜏䛶䛔䛶䠈䛒䜛␲ၥ䛜ᾋ䛛䜣䛰䠊䇾䛺䛬ᖹ䜙䛻䇾ṑ⛉἞⒪䛿⹸ṑ䛾䛸䛣䜝䜢๐䛳䛶ᇙ䜑䜛᪉ἲ䛧㠃◊๐䛾᫬䛻䛿◒⢏䛾⛣ື᪉ྥ䛸ᕤస≀䛾㏦䜚᪉䛛䛺䛔䛾䛛䠛䇿䛸䛔䛖ヰ㢟䛻䛺䜚䠈䛭䛾ḟ䛻䛿䇾䛺䜣䛛ྥ䛜ྠ䛨ᖹ⾜䠄䛣䜜䜢䝟䝷䝺䝹◊๐䛸࿨ྡ䠅䛺䛾䛻䠈㠀᪂䛧䛔᪉ἲ䛜㛤Ⓨ䛷䛝䜛䛸㠃ⓑ䛔䜘䛽䠊䇿㻌 䊻㻌 䇾๐䛳⌫㠃◊๐ຍᕤ䛷䛿䛭䜜䜙䛜┤஺䠄䛣䜜䜢䜽䝻䝇◊๐䛸䛯䛸䛣䜝䠈 ṑ ㉁ 䛸ྠ 䛨ᮦ ᩱ 䛷ᇙ 䜑ᡠ 䛥䜜䜜䜀䛔䛔䜘࿨ྡ䠅䛧䛶䛔䜛䛾䛰䜝䛖䠛䇿㻌 䊻㻌 䇾㠀⌫㠃◊๐䛾ሙྜ䛽䠊䇿䛸ヰ䛜㐍䜣䛷䛔䛳䛯䠊䇾䝝䜲䝗䝻䜻䝅䜰䝟䝍䜲䝖䠄䜶䜒ᖹ⾜䛻䛩䜜䜀䠈䜒䛳䛸⢒䛥䛜ྥୖ䛩䜛䛾䛷䛿䠛䇿䝘䝯䝹㉁䛾୺ᡂศ䠅䛾⢏Ꮚ䜒PJD䛷䛟䛳䛴䛛䛺䛔䛛䠛䇿䛣䜜䜢ド᫂䛩䜛䛯䜑䛻䠈᭱ึ䛻⤫ィⓗ◊๐⌮ㄽ䛻䛸䛔䛖Ⓨ᝿䛜⏕䜎䜜䠈䛒䛳䛸䛔䛖㛫䛻䛂ᖖ㻡㻜㻞ᖖᅽୗ䛻䛚䜘䜛⢒䛥䛾⌮ㄽィ⟬䜢⾜䛔䠈ẚ㍑䛧䛯䠊䛭䛾⤖ᯝ䠈䝟䛡䜛䝝䜲䝗䝻䜻䝅䜰䝟䝍䜲䝖ཌ⭷ᙧᡂἲ䛾㛤Ⓨ䛸᪂䛧䛔䝷䝺䝹◊๐䛷䛿䛹䜣䛺◊๐᮲௳䛷䜒䜽䝻䝇◊๐䜘䜚⢒⹸ṑ἞⒪䜈䛾ᛂ⏝䛃䛾◊✲ィ⏬䛾኱➽䛜Ỵᐃ䛧䛯䠊䛥䛜ྥୖ䛩䜛䛣䛸䛜᫂䜙䛛䛻䛺䛳䛯䠊䛣䛾⤖ᯝ䛻ᇶ䛵䛣䜜䛜ṑᕤ㐃ᦠ◊✲䛾ጞ䜎䜚䛷䛒䜛䠊␗ศ㔝䛾ඛ⏕䛸䛝䠈䝟䝷䝺䝹◊๐᪉ᘧ䛷㠀⌫㠃◊๐䜢⾜䛖䛣䛸䛾䛷䛝㆟ㄽ䛩䜛㔜せ䛥䛸㠃ⓑ䛥䜢ᐇឤ䛧䛯䠊䜛ຍᕤ⿦⨨䜢௻ᴗ䛸ඹྠ䛷ヨస䛧䛯䠊䛥䜙䛻ᕤල䛸䛧䛣䛾䝔䞊䝬䛿䠈JST䠈ᩥ㒊⛉Ꮫ┬䠈NEDO䠈AMED䛶䛾◒▼䜢〇㐀䛩䜛௻ᴗ䠈䜎䛯䛣䜜䜙䜢౑䛳䛶〇ရ䛾◊✲䝥䝻䝆䜵䜽䝖䛻᥇ᢥ䛥䜜䠈Ẹ㛫௻ᴗ䛸䛾ඹྠ㛤䠄㠀⌫㠃䝺䞁䝈䜔㠀⌫㠃㔠ᆺ➼䠅䜢〇㐀䛩䜛௻ᴗ䛾3Ⓨ◊✲䛻Ⓨᒎ䛧䛯䠊⮫ᗋヨ㦂䜢⤒䛶䠈2022ᖺ་⒪ᶵ✀㢮䛾௻ᴗ䜢㞟䜑䛶䝁䞁䝋䞊䝅䜰䝮䜢స䜚䠈ၟရ〇㐀ჾᢎㄆ䜢ᚓ䜛䛣䛸䛜䛷䛝䛯䠊ṑ⛉἞⒪䜈䛾㐺⏝䛾௚䠈䜎䛷⾜䛳䛯䠊䛣䜜䜙䛾ඹྠ◊✲䛷ᚓ䜙䜜䛯▱ぢ䛸ே⬦ᑂ⨾ṑ⛉䠈ண㜵ṑ⛉➼䜈䛾ᛂ⏝䛜ᮇᚅ䛥䜜䛶䛔䜛䠊䜒䠈䜎䛯⚾䛾䛄▱㆑䛾ᘬฟ䛅䛻཰ⶶ䛥䜜䜛䛣䛸䛻䛺䜛䠊㻌‫ྱ؝‬ೝਸੵ‫ق‬ஃઇ౸‫ع‬ઇ౸ৎ৻‫ك‬‫؝‬峪峃峝峕䛣䜜䜎䛷䠈⚾䛾◊✲䝔䞊䝬䛾ኚ㑄䛾୍㒊䜢⤂௓䛧␃Ꮫ୰䛻⪃䛘䛯䜒䛖1䛴䛾◊✲䝔䞊䝬䛿䠈ᄇᑕຍᕤ䛯䠊ⱝ䛔䛖䛱䛿䠈ᐇ㊶䛻⿬௜䛡䛥䜜䛯䛄▱㆑䛾ᘬฟ䛅䛾䛷䛒䜛䠊⡿ᅜ䛾ၟᴗㄅ䜢ぢ䛶䛔䛯䛸䛝䛻Abrasive Jetᩘ䜢ቑ䜔䛩䛣䛸䛜⫢せ䛷䛒䜛䠊䛧䛛䛧ᘬฟ䛾ᩘ䛜ከ䛡Machining䠄AJM䠅䛸䛔䛖༢ㄒ䛻┠䛜䛸䜎䜚䠈ጁ䛻Ẽ䛻䜜䜀Ⰻ䛔䛸䛔䛖䜒䛾䛷䜒䛺䛔䠊⫢ᚰ䛺䛾䛿䛭䜜䜙ከ䛟䛾䛺䛳䛯䠊ෆᚄ0.5mm䛾䝜䝈䝹䛛䜙◒⢏䜢ᄇᑕ䛧䠈ᚤ⣽ᘬฟ䛛䜙ᚲせ䛺▱㆑䜢ྲྀ䜚ฟ䛧䠈ㄪྜ䛧䠈᪂䛧䛔ᢏ⾡㝖ཤຍᕤ䜢⾜䛖䜒䛾䛷䛒䜛䠊ᖐᅜᚋ䠈┤䛱䛻AJM⿦⨨䛸䛧䛶๰ฟ䛩䜛䛣䛸䛜䛷䛝䜛䛛䛹䛖䛛䛷䛒䜛䠊䛣䛾Ⅼ䛷䜢⮬స䛩䜛䛸ඹ䛻䠈ᄇᑕᐇ㦂䜢⾜䛳䛯䠊䛭䛾ᚋ䠈ගᏛ䛿䠈◊✲⪅䛿ᩱ⌮ே 䠄ᩱ⌮ 䛾㕲ே䠅䛻ఝ 䛶䛔䜛䛸ᛮ䝯䞊䜹䛸ඹྠ䛷ᄇᑕ᫬㛫䠈ᄇᑕ㔞䜢⢭ᐦ䛻ไᚚ䛩䜛䛣䛖䠊䛸䛜䛷䛝䜛䜰䝤䝺䜲䝅䝤䝆䜵䝑䝖䝥䝸䞁䝍䜢㛤Ⓨ䛧䛯䠊䜎䛯ⱝᡭ◊✲⪅䛻せồ䛥䜜䜛⬟ຊ䛸䛧䛶䠈䇾ෆⓎⓗ୍᪉䛷䠈䛣䛾AJM䜢౑䛳䛶㠀⌫㠃◊๐㠃䜢◊☻ຍືᶵ௜䛡䇿䠈䇾ၥ㢟ゎỴ⬟ຊ䇿䠈䇾୙☜ᐇᛶ䜈䛾⪏ᛶ䇿ᕤ䛩䜛䛣䛸䜢ヨ䜏䛯䠊◊๐㠃䛾⢒䛥䛿ᩘ10nmRy⛬ᗘ䛾3䛴䛜ᚲせ୙ྍḞ䛷䛒䜛䛣䛸䜒௜䛡ຍ䛘䛯䛔䠊䛩䛺䛷䛒䛳䛯䛾䛷䠈⢏ᚄ䛜1ȝm௨ୗ䛾䜰䝹䝭䝘◒⢏䜢䜺䝷䜟䛱䠈䇾⮬䜙ၥ㢟䜢Ⓨぢ䛧䠈ゎỴ䛩䜛⬟ຊ䇿䠈䇾䝝䞁䜾䝸䝇䝺䞁䝈⾲㠃䛻ᄇᑕ䛥䛫䜜䜀䠈◊๐᮲⑞䜢㝖ཤ䛩䜛䛣䞊⢭⚄䇿䠈䇾ᢏ⾡䛻ᑐ䛩䜛ክ䇿䠈䇾䜒䛾䛵䛟䜚❧ᅜ᪥ᮏ䜢䛸䛜䛷䛝䜛䛰䜝䛖䛸ண᝿䛧䛯䠊䛧䛛䛧䛣䜜䛿඲䛟䛖䜎䛟䛔ᨭ䛘䜛䛸䛔䛖Ẽᴫ䇿䛾㔊ᡂ䛷䛒䜛䠊䛛䛺䛛䛳䛯䠊㝖ཤ䛥䜜䜛䛹䛣䜝䛛䠈┒䜚ୖ䛜䜛䠄௜╔䠅䜎䛯䛄▱㆑䛾ᘬฟ䛅䛻䛧䜎䛳䛯䝅䞊䝈䛜䠈䝙䞊䝈䛸䛖⤖ᯝ䛸䛺䛳䛯䠊䛣䜜䜢Powder Jet Deposition䠄PJD䠅䛸䜎䛟䝬䝑䝏䞁䜾䛩䜛䛻䛿ከ䛟䛾᫬㛫䛜䛛䛛䜛䠊䛭䜜䜘䜚ྡ௜䛡䛯䠊䛣䛾௜╔䝯䜹䝙䝈䝮䛾ゎ᫂䛾䛯䜑䛻䠈ᇶᯈ䜒ᑗ᮶䛾䝙䞊䝈䜢ぢᴟ䜑䠈䛭䜜䛻ྥ䛛䛳䛶䠈௒䠈ఱ䜢⾪✺᫬䛾⢏Ꮚ䛾◚○ᣲື䛻㛵䛧䛶䛿ᖹ⁥໬⢏Ꮚ䝅䝭䛩䜜䜀䜘䛔䛾䛛䜢䝞䝑䜽䜻䝱䝇䝔䜱䞁䜾䛻䜘䜚᳨ウ䛩䜛䝳䝺䞊䝅䝵䞁䛻䜘䜚䠈䜎䛯⾪✺๓ᚋ䛷䛾⭷䛸ᇶᯈ⏺㠃䛾䛜ຠ⋡ⓗ䛷䛒䜛䠊䛭䛧䛶᭱⤊ⓗ䛻䠈 䇾৶૛૮岷ૼ䛷䛾ศᏊ⤖ྜ≧ែ䛾ኚ໬䛻㛵䛧䛶䛿㔞ᏊศᏊືຊ୒峙ᆟ৯‫ૢ؜‬৷૮岷৶૛峙૬༘峑岬峵䇿䛸䛔䛖ゝⴥ䜢Ꮫ䝅䝭䝳䝺䞊䝅䝵䞁䛻䜘䜚ྍど໬䛧䛯䠊䛭䛾⤖ᯝ䠈⢏Ꮚ⫢䛻㖭䛨䛺䛜䜙䠈♫఍ᐇ⿦䜢┠ᣦ䛩䜉䛝䛷䛒䜛䠊䛟䜚䜔䛜䜟䞉䛴䛽䜒䛸䠖ᮾ໭኱Ꮫྡ㄃ᩍᤵ㻌㻶㼛㼡㼞㼚㼍㼘㻌㼛㼒㻌㼠㼔㼑㻌㻶㼍㼜㼍㼚㻌㻿㼛㼏㼕㼑㼠㼥㻌㼒㼛㼞㻌㻭㼎㼞㼍㼟㼕㼢㼑㻌㼀㼑㼏㼔㼚㼛㼘㼛㼓㼥㻌㻌㼂㼛㼘㻚㻢㻣㻌㻌㻺㼛㻚㻥㻌㻌㻞㻜㻞㻟㻌㻌㻿㻱㻼㻚㻌㻌㻡㻜㻝㻙㻡㻜㻞㻞㻡