走査型プローブ顕微鏡カタログ

走査型プローブ顕微鏡（SPM）関連製品ラインナップ
巴工業は、世界各国の特徴のあるSPM用関連製品を紹介しています。
主にヨーロッパ、ロシア、米国からの製品を取り扱っております。

SPM用プローブ

様々な会社の、特徴のあるプローブを取り扱っております。
現在、カタログに記載のある7社と、他に3社のプローブが販売可能です。

HOPG

高純度、高配向性の黒鉛結晶です。

Q-Control/QFMモジュール Munster大学からスピンオフして設立された、nanoAnalytics社製品を（ドイツ）取り扱っております。こちらは世界で初めてQ-ControlをSPMに応用した製品になり、既存のSPMに組み込んで使用いたします。
Q-Control/QFMモジュールはカンチレバー共振周カーブのQ値
コントロールと、CEモードでの周波数シフトイメージの取得が可能です。

SThMモジュール

米国AppNano社がご提供する、ナノメートルオーダーで熱伝導率/温度マッピングを可能にするモジュールです。こちらは既存のSPMに組み込んで使用いたします。（別カタログ）

NSOM/SPMシステム

Nanonics社製近接場光学顕微鏡は、走査型プロ-ブ顕微鏡(SPM)と近接場光学顕微鏡(NSOM/SNOM)を組み合わせたシステムです。
その独自の構造から、市販の顕微鏡を始め、各種分光システム、分析機器に組み込むことが容易です。（別カタログ）

SPM用プローブ
特徴team nanotec社製 AFMプローブ

巴工業は、世界各国の特徴のあるSPM用プローブを紹介しています。

現在はドイツ、オランダ、ブルガリア、USAにある8社の製品を取り扱っており、これらのプローブは市販されているほとんどのSPMで使用可能です。このラインナップ以外の製品も取り扱います。

プローブメーカーラインナップ
AppNano社（米国）

プライベートクリーンルームを有し、プローブ製造に必要なほとんどの工程を自社で対応できるメーカーです。標準品から特殊品の様々な種類のSiプローブをご提供いたします。特殊品は熱電対プローブ、開口型Si製NSOMプローブ、
HDC Ballプローブ等、独自のアイデアと技術で製作いたします。

team nanotec社

IBMからスピンオフして設立された、世界で唯一プラズマエッチングで（ドイツ）

プローブを製作しているメーカーです。
高精度のMEMS加工技術を持ち、電子線リソグラフィ用フォトマスク等のビジネスも展開しております。Tip形状はピラミッド形状ではなく、円錐形になります。また特注対応も可能です。

SmartTip社

Twente大学のSystems and Materials for Information Storage グループ

（オランダ）との共同開発により誕生したメーカーです。 磁気測定に特化しており、SmartCoatTMと呼ばれるコーティングを施した高性能MFMプローブを提供しています。また、長寿命、高品質の化学修飾プローブも製作しています。

Novascan社

化学修飾プローブ、コロイド（パーティクル）プローブを提供して（USA）いるメーカーです。 10年近い実績があります。

nanotools社

HDC(High Dense, Diamond Like Carbon)プローブを販売しています。

(ドイツ)

市販のSPMプローブの先端にEBDで高アスペクト比のカーボン探針を形成しており、半導体のトレンチ構造、ナノインプリント等の微細パターンの形状測定に最適です。

Adama Innovations社

高分解能、高耐久性を有する、導電性単結晶ダイヤモンドプローブです。

（アイルランド）

日本人研究者も多く在籍するダブリンのTrinity Collegeにあるベンチャー企業です。
メタルコーティングに比べ抵抗率が低く、SSRM、CAFM等の導電測定に適しております

Artech Carbon OÜ

高品質、高耐久性、低価格の単結晶ダイヤモンドプローブです。

（エストニア）

通常の形状測定に加え、ナノインデンテーションにも最適です。

Innovative Solution

BudgetSensorsのブランド名で、安価で高品質なSPMプローブを

Bulgaria 社(ブルガリア)

提供しています。また2012年11月よりMikroMaschのブランドもISB社で取り扱うことになりました。標準的なものからハイエンドまで、幅広いプローブのラインナップを誇るメーカーです。

AppNano社製SPMプローブ

https://www.appnano.com

AppNano社はほとんどの用途に対応可能なSPMプローブの開発、製造を行う数少ないメーカーで、そのラインナップは従来品から特殊用途まで多岐にわたります。
長年にわたるナノ加工とAFMプローブの研究での豊富な経験を活かし、市場の最新技術を活用した高品質のプローブをご提供します。

プローブラインナップ
プローブタイプ

各種コーティング及び特殊仕様･Non- Contact / Tapping Mode/ Soft Tappingモード用･反射コートティング(Al)

ACT/ACL/ACST シリーズ

ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONシリーズで対応可能･ Force Modulationモード用･導電コーティングプロ−ブ（Pr/Cr）

FORTシリーズ

ACT/FORT/ SICON、一部ACCESSタイプで対応可能･ Contact/Short Contactモード用
SICON/SHOCONシリーズ

・Tiplessプローブ
ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONシリーズで･シリコンナイトライドプローブ（V-Shape, Rectangular)

対応可能

HYDRAシリーズ
SiNカンチレバーにSi Tipを有する･金コ−トプロ−ブ(全面及び背面)
ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONで対応可能

プローブ。

全面コート(GG)及び背面コート(G)より選択･導電ダイヤモンドコーティング・ACCESSタイプ
Tip先端を光学的に確認できるように設計されたプローブ
ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICONで対応可能

ACT/FORT/ SICONで対応可能
・Ball Probe
EBDにてプローブ先端に以下の直径を有するHDC製Ballを形成。

・Tiplessプローブ<直径>

ACT/ACL/ACST/ FORT/ SICON/SHOCONシリーズで対応可能

20nm/35nm/50nm/100nm/150nm
ACT/FORT/ SICONで対応可能

特殊タイプ･A-FAST Series

NEW !

大気中/液中の高速イメージング用に設計されており、分解能を損ねることなく測定が可能です。

･TERS プローブ
Omni™ Tip Enhanced Raman Spectroscopy (TERS)
プローブは、試料のトポグラフィーとラマン
スペクトル情報を同時に取得するように設計･PtSiコートプローブ

NEW !

EFMアプリケーション用に両面にPtSiをコーティングを施したプローブ<特徴>:- TERSのすべての動作モードが可能- ほとんどのAFM-RAMANシステムと互換性あり。

･Plateau /Pillarプローブ
平らな先端を有するプローブ- Agコーティングされたプローブは不活性ガス
封入可能な独自のプローブボックスで先端を保護

開発品（購入可能）･COLLOIDAL Series

NEW !

表面相互作用力測定用プローブ
Tiplessカンチレバーに取り付けられたコロイド粒子にて相互作用力を測定<材質＞･BioLeverNEW !

高速AFM用に設計されたプローブ
共振周波数: 約1.5 MHz(大気中）※水中では約600 kHz
ばね定数:

0.1 N/m〜0.3 N/mBorosilicate Glass/SiO2/Polystyrene

カンチレバー寸法: 9X3X0.15um※対応可能な直径はお問い合わせください

コーティング: 背面Auコート<対応可能なプローブ＞
すべてのTiplessカンチレバー<対応可能なコーティング＞
背面: Al / Au
コロイド: 要相談

・Step Height Standard (SHS)）･AFM、SEM、光学式/機械式プロファイラの校正用に設計された多目的キャリブレーションサンプル
異なるピッチのステップハイト、ライン、グリッド、Force Modulation

倍率ボックス、スポット測定構造を有します。
本品はSiO2とSiで構成され、オプションで反射率向上、帯電防止のための金属コートが選択可能
詳細は以下のウェブサイトを参照ください:

Contact

https://www.appnano.com/step-height-standard

詳細はお問い合わせください。

プローブスペック

Silicon Probes
Non- Contact / Tapping Mode Silicon Probes
Probe Model

ACT
ACTA
ACT-SS
ACTA-SS
ACTG
ACTGG
ACL
ACLA
ACL-SS
ACLA-SS
ACLG
ACLGG
ACCESS-NC
ACCESS-NC-GG
ACCESS-NC-A
ACCESS-NC-G

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

37

300

125

30

4

58

190

225

40

7.8

78

320

150

54

5.5

Coating

QuantityNone
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Non-Contact/Soft Tapping Mode Silicon Probes
Probe Model

Force Modulation

ACST
ACSTA
ACST-SSACSTA-SSACSTG
ACSTGGACCESS-SNC
ACCESS-SNC-GG
ACCESS-SNC-A
ACCESS-SNC-G

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

7.8

150

150

28

3.0

4.45

125

150

50

2.0

Coating

QuantityNone
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Force Modulation Mode Silicon Probes
Probe Model

FORT
FORTA
FORT-SS
FORT-SS
FORTG
FORTGGACCESS-FM
ACCESS-FM-GG
ACCESS-FM-A
ACCESS-FM-G

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

1.6

61

225

27

2.7

2.7

60

245

52

2.8

k (N/m)f (kHz)Coating

QuantityNone
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating

QuantityNone
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Au both sides
Al reflex side
Au reflex side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Contact

Contact Mode Silicon Probes
Probe Model

SICON
SICON
SICON-SS
SICONSSSICONGSICONGGACCESS-C
ACCESS-C-GG
ACCESS-C-A
ACCESS-C-G

Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

0.29

15

450

49

2.5

0.3

16

450

49.5

2.5

プローブスペック

Short Contact Mode Silicon Probes
Probe Modelk (N/m)SHOCONSHOCONASHOCON-SS
SHOCON-SS
SHOCONGSHOCONGG

0.14

Probe Modelk (N/m)f (kHz)21

Length (µm)

225

Width (µm)

46

Thickness (µm)

Coating

Quantity

1.0

None
Al reflex sideNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating

QuantityNone
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides
None
Al reflex side
Au reflex side
Au both sides

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50

Force Modulation

Tipless Silicon Probe from All Modes
ACT-TLACTA-TL
ACTG-TL
ACTGG-TL
ACL-TL
ACLA-TLACLG-TLACLGG-TL
ACST-TLACSTA-TL
ACSTG-TL
ACSTGG-TL
FORT-TLFORTA-TL
FORTG-TL
FORTGG-TL
SICON-TL
SICON-TL
SICONG-TL
SICONGG-TL
SHOCON-TL
SHOCONA-TL
SHOCONG-TL
SHOCONGG-TL

f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

37

300

125

30

4.0

58

190

225

40

7.8

7.8

150

150

28

3.0

1.6

61

225

27

2.7

0.29

15

450

49

2.5

0.14

21

225

46

1.0

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

MFM Probes
Probe Model

MAGT
MAGT-HM
MAGT-LM

1.6

61

225

Probe Modelk (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

27

Thickness (µm)

Coating

Quantity

2.7

Co-Cr(50nm)
Co-Cr(150nm)
Co-Cr(15nm)

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50/410

Coating

Quantity

Contact

EFM Probes
Width (µm)

Thickness (µm)

ANSCM-PC

0.29

15

450

49

2.5

ANSCM-PT

1.6

61

225

27

2.7

ANSCM-PA

37

300

125

30

4.0

ANSCM-PA5

37

300

125

30

4.0

ACCESS-EFM

2.7

60

245

52

2.8

PtSi-ACT
PtSi-FORT
PtSi-SICON

37
1.6
0.29

300
61
15

125
225
450

30
27
49

4.0
2.7
2.5

Pt-Ir bothside(25nm)
Pt-Ir bothside(25nm)
Pt-Ir bothside(25nm)
Pt-Ir bothside(50nm)
Pt-Ir bothside(25nm)
PtSi both side
PtSi both side
PtSi both side

10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50/410
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

プローブスペック

Doped Diamond Probes
Probe Modelk (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

Coating

DD-ACTA

37

300

125

30

4.0

DD-FORTA

1.6

61

225

27

2.7

DD-SICONA

0.3

15

450

49

2.5

DD-ACCESS-NC-A

78

300

150

54

5.2

Probe Modelk (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

Coating

QuantityOMNI-TERS-NC-Au
OMNI-TERS-SNC-Au

78.00
4.45

300
125

150
150

54
50

5.2
2.0

5/10
5/10

OMNI-TERS-SNC-Ag

4.45

125

150

50

2.0

OMNI-TERS-FM-Ag

2.7

60

245

52

2.8

Ti/Au Both side
Ti/Au Both side
Ag Tip side
Ag/Au Cantilever
Ag Tip side
Ag/Au Cantilever

Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side
Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side
Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side
Doped Diamond
Tip side(100nm)
Al reflex side

Quantity

5/10/20/50/410

5/10/20/50/410

5/10/20/50/410

5/10/20/50

Contact

Force Modulation

Tip Enhanced Raman Spectroscopy (TERS) Probes

5/10
5/10

プローブスペック

Silicon Nitride Probes
Single Regtangular Cantilver
Probe ModelHYDRA6R-200N
HYDRA6R-200NG
HYDRA6R-200NGG
HYDRA6R-100N
HYDRA6R-100NGHYDRA6R-100NGG
HYDRA2R-100N
HYDRA2R-100NGHYDRA2R-100NGG
HYDRA2R-50N
HYDRA2R-50NG
HYDRA2R-50NGG

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

0.035

17.0

200.0

35.0

0.6

0.284

66

100

35

0.6

0.011

21

100

35

0.2

0.084

77

50

35

0.2

k (N/m)f (kHz)Length (µm)

Width (µm)

Thickness (µm)

0.045

17

200

40

0.6

0.081

17

200

40

0.6

0.292

66

100

18

0.6

0.405

67

100

25

0.6

0.088

42.0

100.0

18.0

0.4

Coating

Quantitynone
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides

10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating

Quantitynone
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides

10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

V-shaped Single Cantilver

Contact

Force Modulation

Probe ModelHYDRA6V-200N
HYDRA6V-200NG
HYDRA6V-200NGG
HYDRA6V-200W
HYDRA6V-200WG
HYDRA6V-200WGG
HYDRA6V-100N
HYDRA6V-100NGHYDRA6V-100NGG
HYDRA6V-100W
HYDRA6V-100WG
HYDRA6V-100WGG
HYDRA4V-100N
HYDRA4V-100NGHYDRA4V-100NGG

Tipless Single Cantilver (from All Models)
Probe ModelHYDRA6R-200N-TL
HYDRA6R-200NG-TL
HYDRA6R-200NGG-TL
HYDRA6R-100N-TL
HYDRA6R-100NG-TL
HYDRA6R-100NGG-TL
HYDRA2R-100N-TL
HYDRA2R-100NG-TL
HYDRA2R-100NGG-TL
HYDRA2R-50N-TL
HYDRA2R-50NG-TL
HYDRA2R-50NGG-TL
HYDRA6V-200N-TL
HYDRA6V-200NG-TL
HYDRA6V-200NGG-TL
HYDRA6V-200W-TL
HYDRA6V-200WG-TL
HYDRA6V-200WGG-TL
HYDRA6V-100N-TL
HYDRA6V-100NG-TL
HYDRA6V-100NGG-TL
HYDRA6V-100W-TL
HYDRA6V-100WG-TL
HYDRA6V-100WGG-TL
HYDRA4V-100N-TL
HYDRA4V-100NG-TL
HYDRA4V-100NGG-TL

k (N/m)f (kHz)Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)

0.035

17.0

200.0

35.0

0.6

0.284

66

100

35

0.6

0.011

21

100

35

0.2

0.084

77

50

35

0.2

0.045

17

200

40

0.6

0.081

17

200

40

0.6

0.292

66

100

18

0.6

0.405

67

100

25

0.6

0.088

42.0

100.0

18.0

0.4

Coatingnone
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides
none
Au reflex side
Au both sides

Quantity
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Force Modulation

プローブスペック

Special Probes
Contact

Plateau Probes
Probe Model
ACT-PTU
ACTA-PTU
FORT-PTUFORTA-PTU
SICON-PTU
SICONA-PTU

k (N/m)f (kHz)Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)

79

300

125

33

5.0

3.0

60

225

28

3.0

0.31

13

450

43

3.0

Probe Model
A-FASTACCESS-UHF

k (N/m)20
115

f (kHz)1200
1100

Probe Model
VSCAN-AIRk (N/m)100f (kHz)18

Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)
0.6
66
0.3

Probe Model
SNOM-C
SNOM-NCk (N/m)1.41
16.5

f (kHz)21
130

Length (µm)
500200Coatingnone
Au reflex sidenone
Au reflex sidenone
Au reflex side

Quantity
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50
10/20/50

Coating
Gold reflex side
31

Quantity20
10/20/50/200/410

UHF Fast Scanning Probes NEW
Length (µm) Width (µm) Thickness (µm)
28
35
0.6
55
25
2.8

Vscan-Air Probes for SCAN-ASYST mode NEW
Coatingnone

Quantity
10/20/50
Quantity
10
10

SNOM Probe
Base

Apperture size

Coating

SiO2

150±25nm

Al all side

team nanotec社 SPMプローブ

http://www.team-nanotec.de

世界で唯一プラズマエッチングにて、高品質のMEMSデバイス、リソグラフィ用フォトマスクと共にSPMプローブの製作/販
売しています。
主な仕様･Tip形状

円錐形･フルコーンアングル

10°

カンチレバー標準寸法
l =125 ( ± 15 ) μm; w = 35 ( ±3 ) μm
Typ. stiffness: 40 N/m
Typ. res. frequency: 300 kHz･アスペクト比1:5以上･Tip曲率半径10nm以下･Tip高さ15um･全品SEMによる出荷前検査を行うことにより、仕様を100%保証

I= 225 ( ± 15) μm; w = 35 ( ± 3 ) μm
Typ. stiffness: 0.7 N/m / 3 N/mTyp. res. frequency: 45 kHz / 75 kHzl = 450 ( ± 20 ) μm; w = 50 ( ± 3 ) μm
Typ.stiffness: 0.2 N/mTyp. res .frequency: 15 kHz

プローブラインナップ
SPMプローブ
ISC

標準プローブ、コーンアングルが全角で10°、アスペクト比

1:5以上

SS-ISC

先端曲率半径5nm以下の、高分解能測定用プロ−ブ
フルコーンアングル: < 5°( 先端から150 nmまでの位置で)、 Tip高さ: > 9 μm

EL-HAR5

メタルカ−バイドをコ−ティングしたプロ−ブ

HSC

メタルカ-バイドをコ−ティングした、導電測定、生体材料、ポリマ−等のナノインデンテ−ションに適した、先端が半球状のプロ−ブ(HemiSpherical Cone shaped tip）
曲率半径は20./40/60nm、ばね定数は0.2〜750N/mまで対応可

LRCH

広いスキャンレンジでの高さ測定、ナノインデンテーションに適した半球プロ−ブ
曲率半径は250.500/7500nm、ばね定数は0.2〜750N/mまで対応可

HR-MFM

Co-Alloyをコ-ティングした、高分解能MFMプロ−ブ、コ-ティング厚は25nm/40nmより選択

HR-EFM

Ptをコ-ティングした、高分解能EFMプロ−ブ、コ−ティング厚は25nm

Bio-SC

Auをコ-ティングした、生体サンプル用プロ−ブ

HR-SCCEBIDでSiカンチレバーにカーボンを成長させた、低価格な高分解能測定用カーボンプローブ
曲率半径3nm、Tip長さ>300nm

TNP 30Pt

Ptコートしたタングステンナノプローブ、先端曲率半径は30nm以下

SS-ISC

EL-HAR5LRCH

Bio-SC

HR-SCCCylindrical metrologyプローブ
溝の深さ測定に適したプローブです。同じ直径のまま摩耗していきますので、生産環境での信頼性のある測定が可能です。導電カーボンコートも可能です。
Tip径は15nmから200nmまで取りそろえております。
･角度補正対応可能

3°,10°,12°,13°･Tip曲率半径10nm以下･基本カンチレバー寸法
l =125 ( ± 15 ) μm; w = 35 ( ±3 ) μm
Typ. stiffness: 40 N/m
Typ. res. frequency: 300 kHz

Critical Dimension(CD) プローブ
形状の3次元測定に適したプローブです。Tip先端にディスクがついた形状により、垂直方向の側壁も、たとえオーバーハングがついているものでもスキャンできます。
先端径は20nmから850nmまで取りそろえております。
Tip形状はRound、 Triangular、 Rectangular/Squareの3種類になります。
･基本カンチレバー寸法
l =125 ( ± 15 ) μm; w = 35 ( ±3 ) μm
Typ. stiffness: 40 N/m
Typ. res. frequency: 300 kHz
特注プローブお客様の要望に合わせた特注プローブの制作が可能です。最小発注単位は30本〜ですが、実績のある形状であれば5本単位からの販売の可能です。一度、お問い合わせください。

製作例 1

製作例 2

Super Sharp tip
on 1000 N/m cantilever)

1.5 MHz cantilever forhigh speed scanning

Tip Characterizer
プローブのTip形状を評価するための高精度に検査するためのSi製サンプルです。6×6mmのSi Chipに、88個のCellがあります。
IVPS

ピッチ測定、側壁測定用標サンプルです。

IVPS100

1cellに5ラインある、ピッチ測定、側壁測定用サンプルです。

ISNE

鋭いnmオーダーのエッジを持った、Tip形状評価用サンプルです。

IFSR

オーバーハングしているエッジを持った、CDプローブ評価用サンプルです。

IVPS

IVPS100

ISNE

IFSR

SmartTip社 高分解能MFM用プローブ及びCIPT tool

http://smarttip.nl

磁気記録分野での学術研究・産業の両面にわたる経験に基づき，それぞれのお客様のアプリケーションに最適化したMFMプ
ローブを提供しております．

SmartCoatとはSmartCoatは、プローブTip部のピラミッドのー面のみに磁性コートを成膜する技術です。磁性コートはサンプルに対し垂直な面に施されます。

- カンチレバー部からの漏洩磁束による試料への影響を低減- 硬質磁性コーティングプローブで軟質磁性材料の測定が可能

特長- Tip部先端で明瞭で安定した磁性状態
Smart Coat

- 印加磁場中の測定に適している- 磁化方向がサンプルに対し垂直- 先端曲率半径が従来のプローブに比べシャープ-Tipからの磁気モーメントの低減

製品ラインナップ
SmartCoat スタンダードプローブ

SC-35-M/ SC-20-M /SC-10-M

市販のカンチレバーにSmartCoatを施した、標準タイプになります。
カンチレバータイプ: FMR(Nanoworld製)
コーティング材料:
Ni-Co系
コーティング厚:
35nm/20nm/10nm
空間分解能:
25nm以上High density track in MP tape

SmartCoat Lpw Momentプローブ

SC-35-LM/ SC-20-LM /SC-10-LM

軟磁性材料の観察に適したコーティングの採用した
低モーメントプローブです。
カンチレバータイプ: FMR(Nanoworld製)
コーティング材料:
Co系
コーティング厚:
35nm/20nm/10nm
空間分解能:
25nm以上300 nm dot pattern, imaged with CantiCleverhigh resolution probe

化学修飾プローブ

修飾可能な材質:

CH3 / OH / CO2H /NH2 / CF3
Custom modifications

SmartPack
CFM測定において、高い信頼性と再現性を実現させるため、化学修飾プローブに特化した専用の保管ケースを開発しました。
これにより、汚染、酸化的分解反応、プローブの物理的ダメー
ジを防ぎ、プローブの寿命を延ばします。

SmartPak

http://smarttip.nl

CIPT測定装置 SMARTPROBER
CIPT(Current In-Plane Tunneling)は、 MTJ成膜後に直接MR/RAが取得できる測定技術です。
SMARTPROBERは、垂直磁化方式、面内磁化方式のMTJサンプルに対応した、CIPT測定システムです。
主な仕様:- プローブ自動アプローチ対応- 経験に基づいた高い磁場均一性- 安全かつ容易に脱着可能な高性能12端子プローブ- ライセンスを受けたCIPT測定ルーチン- ユーザーによる独自の測定ルーチン構築可能
ラインナップ
P1

最大300㎜ウェハのマッピング測定に対応した垂直磁化方式システムです。
6kOeまで磁場を印加することができ、
X-θ自動ステージでマッピングを行います。
オプションで面内磁場マグネット(1kOe）、
小径サンプル用マニュアルステージが
あります。

T1

最大300㎜ウェハのマッピング測定に対応した面内磁化方式システムです。
1kOeまで磁場を印加することができ、
X-θ自動ステージでマッピングを行います。

TT

小径サンプルに特化した、簡易面内磁化方式システムです。
サンプルステージをマニュアルにすることにより、大幅な価格低減を実現しています。
600Oeまで磁場を印加することができます。

P1 / T1システム

TTシステム

高い磁場均一性(P1シリーズでの結果)

CIPTプローブ
CIPT測定用マイクロ12ポイントプローブ

General probe specs (all types)
CIPT装置用の低価格、長寿命、再現性の高いPin pitch distance、
Number of pins 12
取り扱いが容易なセラミックマウント等の特徴をもった
Length of pins 10 (± 1.5) μm
プローブです。
Width of pins 600-750 nm
対応機種: Capres CTPTech, SmartTip P1/T series
Pin thickness 1 μm
Coating Ti/Au(around 100nm)
Available types / pin-spacing
Coating thickness 5/100 (±10) nm
Standard Type (007)
RA Range: 1-1,000Ω・μm2(Narrow)
Pitch: 9.6, 9.3, 4.5, 3.0, 1.5, 1.5, 1.5, 1.5, 5.7, 12.4 μm
0.5-50Ω・μm2(Nano)

Narrow Type (004)

Pitch: 4.5, 3, 1.5, 1.5, 1.5, 1.5, 1.75, 2, 2.25, 2.5, 2.75 μm

Wide Type (005)

Pitch: 60, 24, 15, 6, 3, 3, 3, 3, 9, 12, 39 μm

Nano Type (005)

Pitch: 2.25, 1.5, 0.75, 0.75, 0.75, 0.75, 1.443, 1.036,
1.852, 3.124, 3.395μm

Novascan社

化学修飾/パーティクルプローブ

http://www.novascan.com

化学修飾を施したプロ−ブとカンチレバ−先端にコロイド粒子をマウントしたパーティクルプローブを製造しています。
主な仕様
化学修飾プロ-ブ
市販のAFMカンチレバーに化学修飾を施したプローブです。Novascan社製パーティクル
プローブにも修飾可能です。
修飾可能な材質:
Alkanethiols:
COOH, CH3, NH2, OH, Succinimide
PEG Linkers:
PEG/COOH, PEG/NH2, PEG/Maleimide,
PEG/Biotin
Silanes:
APTES
Others:Biotin/Streptavidin/Neutravidin
パ−ティクルプローブ
tiplessカンチレバーに、コロイド球を接着したプローブです。
材質及びサイズ:
Borosilicate
2/5/10/12/20（μm）
SiO2
0.6/1/2.5/5（μm）
Polystyrene
1/4.5/10/25/45（μm）
Polyethylene
ご確認下さいTungsten
5/10（μm）
化学修飾/パ−ティクルプローブで選択可能なプロ−ブのバネ定数及びコーティング
SiN(N/m, triangular)
0.02(rectangular),
0.01, 0.03, 0.06, 0.07, 0.1, 0.12, 0.24, 0.35, 0.6
Si (N/m, all rectangular)
0.03, 0.05, 0.09, 0.6, 1, 2, 5.4, 8.9, 16- 化学修飾はSiNのみ対応可能、パーティクルプローブはすべて選択可。
- SiNはすべて背面Auコーティングあり- Siは背面Alコートありか、コートなしの選択 (0.6, 1, 2の3種類はコートなしのみ）

Potential Applications
Inter-molecular Force Measurement / Chemical Sensing and Detection / Adhesion Forces / Surface Mapping
Hydrophilic/Hydrophobic Interaction / Attractive/Repulsive Regimes / Unbinding Forces

MicaおよびGlass基板
SPMを始めとして、 Confocal Microscopy、TIRF、Protein Binding Studies、Chemical Binding Studies、NSOMなどに用いるガラス/Mica基板です。
AFM グレードMica基板
AFM用基板として用いるMicaです。サイズは1×1cmで、1パッケージ50個入りです。
特注サイズ、Auコーティングを承っています。
化学修飾Mica/Glass基板
以下の材料を修飾したMicaおよびGlass基板です。
Amino Silanized (APTES)
Biotin terminated flexible PEG linker
Au coating with an OH surface
NH3 terminated flexible PEG linker
Au coating with a CH3 surface
Maleimide terminated flexible PEG linker
Au coating with COOH Surface
COOH terminated flexible PEG linker
Au coating with a succinimide surface

nanotools社製HDCプローブ
市販のSPMプローブの先端に、EBDで高アスペクト比のカーボンプローブを形成させたプローブです。
主な特徴･高密度ダイアモンドライクカーボン (High-Dense,
Diamond Like Carbon:)でTip部を形成しており、高い耐久性を持ち、長寿命･以下の特性を有する− 疎水性− 高い剛性/弾性係数（ヤング係数 約800)− 多くの化学物質に対する耐性−ドライエッチングの残留物（フッ素、塩素）に対するに耐性− 低熱（質）量− 耐摩耗性･高アスペクト比･ ±45°の範囲で、±1°の精度で角度補正可能･ほとんどの市販カンチレバ−に製作可能･ HDC部をSEMで検査することにより、全数100%
仕様保証･特注形状も作成可能･母材カンチレバーは標準品以外のものも選択可能

HDCプローブのアプリケーション

In-line process control in semiconductor chip manufacturing

Characterization of STI module at the 65nm node using MSS type

Tip lifetime on freshly etched poly-siliconプローブラインナップ
ベースカンチレバー

型番

ばね定数(N/m)

共振周波数
(kHz）

曲率半径
(nm)

背面コート

RTESP

40

320

7nm（<10nm)

無し

RTESPA40

320

7nm（<10nm)

Al

RFESPA

2.8

75

7nm（<10nm)

Al

High Aspect Ratioシリーズ
高アスペクト比タイプのプローブです。
･Conical形状
M1-HAR
In-line process control用AFM向けに設計された、角度補正付き高アスペクト比プローブです。
用途: Universal
標準仕様 カンチレバー: RTESPA
角度: 13°
HDC直径:
70nm@600nm from tip
先端曲率半径 : <10nm (Typ. 5nm)
アスペクト比: 1:7以上 (Typ. 1:10)
M1-ESD･Clynder形状
MC90/70

高分解能タイプSSE

anti-ESD coatingを施した、In-line process control用
AFM向けに設計された、角度補正付き高アスペクト比プローブです。
用途: Universal
標準仕様 カンチレバー: RTESPA
角度: 13°
HDC直径:
70nm@600nm from tip
先端曲率半径 : <10nm (Typ. 5nm)
アスペクト比: 1:7以上 (Typ. 1:10)

トレンチ形状の深さ及び底面の幅測定に適した、完全な円筒形状を持つプローブです。
用途: 90 / 70 nm ノードの計測
標準仕様 カンチレバー: RTESPA
角度:
3°
HDC部直径:55nm
先端曲率半径: <7nm (Typ. 5nm)
Tip部長さ:800nm

高分解能測定に特化したスーパーシャーププローブです。
用途: 長寿命、高分解能を必要とする測定標準仕様 カンチレバー: TESPA/FESPA
角度:
13°
HDC部直径:n/a
先端曲率半径: <5nm (Typ. 2-3nm)
Tip部長さ:n/a
HDC形状:
ConicalAdama Innovations社製導電性単結晶ダイヤモンドプローブ
高分解能、高耐久性を有する、導電性単結晶ダイヤモンドプローブです。

主な仕様
プローブ部
･Tip形状

四面体･Tip高さ

12.5 um±2.5um･フロント/バックアングル

55±5°･サイドバックアングル

45±5°

･TSB

15±5umAdama Tip on Bulk Tip

ダイヤモンドコート部･Boron doped diamond (7,000 - 8000 ppm Boron)･ダイヤモンド膜の抵抗率（Bulk):<5mΩ・cm(<15m Ω・cm on LC tips)･接触抵抗（Ag表面での測定）: 10-100kΩのレンジ
Bulk Tip (Front View)
プローブラインナップ
Apexシリーズ標準タイプのプローブです。SharpタイプとSuper Sharpタイプがあります。
･Tip形状

円錐形･ダイヤモンドTip高さ

300±100nm･ティルトアングル

0±1°

･材質

単結晶ダイヤモンド･フルコーンアングル
･
タイプ
型番

30±4°

Sharpタイプ

曲率半径
(nm)

ばね定数
(N/m)

共振周波数
(kHz)

Sharp

AD-2.8-AS

10±5

2.8±1.8

75±25

Sharp

AD-40-AS

10±5

40±5

200±100

Super Sharp

AD-2.8-SS<5

2.8±1.875±25Super Sharp

AD-40-SS<540±5200±100

CONE
長寿命かつナノ機械特性想定に適したプローブです。
･Tip形状
円錐形･ダイヤモンドTip高さ

175±50nm･ティルトアングル

0±1°

･材質
･フルコーンアングル

単結晶ダイヤモンド
90±20°

タイプ

型番

曲率半径
(nm)

ばね定数
(N/m)

共振周波数
(kHz)

CONE

FM-LC

20±10

10±6

100±50

CONE

NC-LC

20±10

125±75450±150

Super Sharpタイプ

プローブラインナップ
CONE NANOMECHANICS
ナノ機械特性想定に特化した高ばね定数タイプのプローブです。
･Tip形状
円錐形･ダイヤモンドTip高さ

500±50nm･ティルトアングル

0±1°

･材質
･フルコーンアングル

単結晶ダイヤモンド
TC: 95±20°
RC: 95±10°

タイプ

型番

曲率半径
(nm)

ばね定数
(N/m)

共振周波数
(kHz)

CONE

NM-TC

20±10

600±250350±250

CONE

NM-RC

10±5

600±250350±250

PILLER(HAR）
高アスペクト比タイプ（ピラー形状）のプローブです。
･Tip形状ピラー（円柱形）･ダイヤモンドTip高さ100±20nm･ティルトアングル

0±1°

･材質

単結晶ダイヤモンドタイプ

型番

ピラー部直径

(nm)

ばね定数
(N/m)

共振周波数
(kHz)

PILLER

AD-2.8-P40

20-40

2.8±1.8

75±25

PILLER

AD-2.8-P20

10-20

2.8±1.8

75±25

PILLER

AD-2.8-P10

5-10

2.8±1.8

75±25

PILLER

AD-2.8-P5<5

2.8±1.8

75±25

PILLER

AD-40-P40

20-40

40±5

200±100

PILLER

AD-40-P20

10-20

40±5

200±100

PILLER

AD-40-P10

5-10

40±5

200±100

PILLER

AD-40-P5<540±5200±100

Sharpタイプ

Super Sharpタイプ

主な用途
Imaging
Contact Mode, Tapping Mode, Amplitude Modulation, Frequency Modulation, True Non-Contact Mode, LFM,
Nanomanipulation etc.
Electrical
C-AFM, SCM, PFM, EFM, KPFM, PeakForce-KPFM™, TUNA, PeakForce-TUNA™, SSRM, STM, Lithography, SRM,
ResiScope™, Soft-ResiScope™, HD-KFM™ etc.
Nanomechanics
PeakForce-QNM™, AMFM Mode, Contact Resonance, QI™ Mode, PinPoint™ Nanomechanical Mode, HybriD Mode™,
Nanoindentation

Artech Carbon社単結晶ダイヤモンドプローブ
高品質、高耐久性、低価格の単結晶ダイヤモンドプローブです。

○ 頑強で、非常に高い耐摩耗性○ 10nm 以下の曲率半径、
1:5 以上のアスペクト比○ 材料の力学的特性マッピングに最適なHard Tip

型番

ばね定数(N/m)

共振周波数(kHz）モード

ART D300

40

300

タッピングモード、ノンコンタクトモード、
硬い表面のコンタクトモード、ナノインデンテー
ション、ART D160

5160

タッピングモード、硬い表面のコンタクトモード

ART D80

3.5

80

タッピングモード、コンタクトモード、
フォースモジュレーション

ART D100.15

10コンタクトモード

SCD Probe によるSi 基板へのナノインデンテーション

SCD probe によるporous aluminium のトポグラフィ像

65,000 回プローブの圧入を行った後、同一のプローブで圧痕像を取得※Dr. Alexei Temiriazev(IRE RAS) ご提供
AIST-NT 製AFM 使用

BudgetSensors SPMプローブ

http://www.budgetsensors.com

BudgetSensors SPMプローブは、安価で高品質なプローブです。
Contact mode用、Intermittent contact mode用(高共振周波数/鄭共振周波数/
低ばね定数）、Force Modulation用の3種類がベースになります。こちらに
各種コーティング、Alignment grooveなどのオプションが選択できます。

主な仕様

Alignment grooves･Tip形状四面体

プローブのホルダー部背面に･Tip曲率半径10nm以下アライメント用グルーブが形成･Tip高さ17um±2um

されているプローブです。

･ハーフコーンアングル

20-25°(正面)25-30°(横)･Rotated Tip

Tip前後が反転している形状で、SPMセット時に前後の角度がほぼ対称

プローブラインナップ
プローブタイプ

各種コーティング

･Contact mode用プローブ･反射コートティング(Al)Cont-G/ContAl-G

シリコンナイトライド以外のプローブで･Intermittent contact mode用プロ−ブ
Tap300G/Tap300Al-G (高共振周波数)
Tap190G/Tap190Al-G (低共振周波数)

ContG/Tap300G/Tap190G/Multi75G

Tap150G/Tap150Al-G (低ばね定数)に対応可･ Force Modulation用プロ−ブ･ MFMプロ−ブ･金コ−トプロ−ブ(全面及び背面)

Multi75G/Multi75Al-G

ContG/Tap300G/Tap190G/Multi75Gに対応可MagneticMulti75G New

全面コート(GB)及び背面コート(GD)より選択･シリコンナイトライドプロ-ブ･Special

対応可･導電コーティングプロ−ブ（Pr/Cr）

SiNi

All-In-One New･ DLCコーティング
ContG/Tap300G/Tap150G/Tap-190G/
Multi75Gに対応可New

一つのプローブに、Cont / Multi / Tap150 / Tap300 の4種類のレバーのついているプローブです。導電性
コーティング、DLC、導電性ダイヤモンドコート、Tiplessが選択可能です。

AIO All-in-One probes
キャリブレーションスタンダード
Height Calibration Standard

TipCheck

正確なナノ・ミクロンオーダーの寸法測定を

SPMプローブのTip先端の状態を評価できるサンプルです。

行うための、高品質の較正用サンプルです。
サンプルサイズ

5×5mm

ピッチサイズ:10um(角柱)5um(円形及びLine)

ステップハイト: 20nm(HS-20MG)
100nm(HS-100MG)
500nm(HS-500M)

良品

摩耗品

破損品

新製品
高分解能DLC Spikeプローブ

SHRシリーズ

GBタイプにDLC製SuperSharp Tipを成長させたプローブ
曲率半径:

>1nm

Half Cone Angle: 25-30°（カンチレバー軸方向）
20-25°（カンチレバー横方向

KPFM & EFM Sample

Contact

Force Modulation

AlとAuのラインアレイで構成された、KPFM/EFM用
テストサンプルです。
サンプルサイズ

5×5mm

ピッチサイズ:4, 8, 20, 40um

ラインハイト:おおよそ35nm

プローブスペック

Mode

Type
Min

Resonance Frequency(N/m)(kHz, typ.)

Typ.

M ax

Min

Typ.

Coating

Force Modulation
Force Modulation

Quantity

TAP300None

None

10/50/380

None

Al

10/50/380

TAP300GD

None

Au

10/50

20

40

75

200

300

400

ElectriTAP300
TAP300DLC

Au

Au

10/50

Cr/Pt

Cr/Pt

10/50

DLC

Al

10/50

SHR300Carbon Spike
Au

Au

5

TAP190None

None

10/50/380

TAP190AL

None

Al

10/50/380

None

Au

10/50

Au

Au

10/50

Cr/Pt

Cr/Pt

10/50

TAP190GD
TAP190GB

20

48

100

130

190

250

ElectriTAP190
TAP190DLC

DLC

Al

10/50

TAP150None

None

10/50/380

TAP150AL

None

Al

10/50/380

TAP150GD

None

Au

10/50

TAP150GB

Au

Au

10/50

Cr/Pt

Cr/Pt

10/50

1.5

5

15

75

150

225

TAP150DLC

Contact
Contact

Back side

DLC

Al

10/50

SHR150Carbon Spike
Au

Au

5

Multi75

None

None

10/50/380

Multi75AL

None

Al

10/50/380

Multi75GD

None

Au

10/50

Au

Au

10/50

Cr/Pt

Cr/Pt

10/50

SHR75

DLC

Al

10/50

Cont

None

None

10/50/380

ContAL

None

Al

10/50/380

None

Au

10/50

Multi75GB

1

3

7

60

75

Cantilever

M ax

ElectriTAP150

90

ElectriMulti75

1 rectangularSi

Multi75DLC

ContGD
ContGB

0.07

0.2

0.4

9

13

17

Au

Au

10/50

Cr/Pt

Cr/Pt

10/50

DLC

Al

10/50

None

Cr/Au

30/100/300

2 triangular.
SiN

Co Alloy

Al

10/50

1 rectangular,
Si

AIO

None

None

AIOAl

None

Al

AIOE

Cr/Pt

Cr/Pt

DLC

Al

DiamondAlElectriCont
ContDLC
SiNi
MFMSpecialTip side

TAP300AL

TAP300GB

Non-Contact / Intermittent Contact

Spring Constant

AIODLCAIO-DD1

0.27/0.06

30/10(Typ.)(Typ.)

3

0.2/2.7/7.4/40(Typ.)

760

75

15/80/150/350(Typ.)

90

4 rectangular
Si
10/50

HOPG(Highly-Oriented Pyrolytic Graphite : 高配向性黒鉛結晶)
HOPGは、3000℃という高温下で気相成長させることで作られた優れた性能を持つ高配向性結晶黒鉛です。
STM/AFM用標準試料、Li-Ion等2次電池用電極、薄膜成長用基板、黒鉛源、モノクロメータ等に用いられ、最近ではグラフェン形成にも用いられます。
弊社はMomentive社の世紀国内代理店なります。

ラインナップ（在庫品）
グレード

サイズ

モザイクスプレッド(°)

ZYA

12 X 12 X 1.0 mmt

0.4±0.2

ZYB

12 X 12 X 1.0 mmt

0.8±0.2

STM-1

12 X 12 X 1.0 mmt

保証なし

ZYH

12 X 12 X 2.0 mmt

3.5±1.5※1

上記は弊社在庫品になり、1 個からの販売が可能です。
上記以外のサイズも対応できる場合がございますので、お気軽にお問い合わせください。
また、HOPG の加工も承っておりますので、ご相談下さい。

※2

モザイクスプレッドは、はHOPGの配向性を示すパラメータになります。この値が小さいほど、配向性が高くなります。

HOPGについて:
静置基板発熱体上に生成させた熱分解炭素に高温、加圧処理を施して得る高配向性黒鉛です。
熱分解炭素の沈着が起こっている表面と内部の間には大きな温度差（例えば 350°C/mm）があり、大きな圧縮応力を受け、圧縮歪をともなった状態にあります。この圧縮歪は黒鉛化が進むことによって緩和する事ができるため、２段階の高温加圧処理を施すことにより、天然黒鉛を大型結晶化させたような黒鉛、すなわちHOPGが作られます。
第一段階:

2800 - 3000℃でのホットプレスで、成長錘構造を破壊。
処理後、モザイクスプレッド（ＭＳ）は 0.5°以下になり、密度は 2.226g/cm3となる。
基底界面にそって容易にへき開し、へき開面は鏡面反射するが、物性は単結晶黒鉛の値を示さない。

第二段階

3400 – 3600℃における加圧下焼鈍で、10Kg/cm3程度の圧力を加える。
この処理によりＭＳは 0.4°以下になり、物性は単結晶黒鉛の値を示す。

nanoAnalytics

QFMモジュール

http://www.nanoanalytics.com

nanoAnalytics社製QFMモジュールは市販のSPMに組み込み、FM modeでの動作とQ値制御を同時に可能とするモジュールです。
溶液中、大気中測定のどちらでも対応可能です。
概要
QFMモジュールは、AM(Amplitude Modulation) modeとFM(Frequency Modulation)でQ値制御をおこなうことのできるモジュールです。FM modeでは、大気中、溶液中での測定に適したCE(Constant Excitation) modeを採用しております。これにより、
SPM プローブがサンプルに影響を与える力を最小化し、溶液中、大気中での柔らかいサンプルのイメージングを向上させます。
動作モード:･ FM-mode with CE(constant excitation)･ FM-mode with CE and Q-Control･ AM-mode ("tapping") with Q-Control
駆動周波数範囲 : 7-25kHz/25-100kHz/100-500kHz

測定例

The top figure shows a Langmuir-Blodget film (DPPC) in
liquid scanned in CE-mode. The observed height of thelayer structure is significantly larger in case of imaging
with Q-Control.
[D. Ebeling, H. Hölscher, B. Anczykowski, Appl. Phys. Lett. 89, 203511 (2006)]

A tip–sample force curve obtained with a silicon cantileveron an untreated silicon wafer (symbols). The right part ofthe curve is fitted with a force law describing long-range
van-der-Waals forces (solid line). The repulsive part on theleft increases nearly linear with a contact stiffness of
10 N/m (dashed line)[H. Hölscher, B. Anczykowksi, Surf. Sci. 579, 21 (2005)]

In FM-mode with constant-excitation (CE-mode) conservative andand dissipative tip-sample interactions can be directly determined.
The customized analysis software which is provided with the
QFM-Module enables the user to easily quantify tip-sample forces.
[H. Hölscher, B. Gotsmann, A. Schirmeisen, Phys. Rev. B 68, 153401 (2003)]

化学品本部開発部〒141-0001 東京都品川区北品川5-5-15 大崎ブライトコア
Tel: 03-3442-5147 Fax: 03-3442-5175
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