SE50-ECO 半導体工場ライン用 FT-IR
半導体材料の特性評価

SE50A-ECO 300SF/SFE

システムズエンジニアリングは、 半導体工場ライン向け評価用 FT-IR として、 サーモフィッシャー社の FT-IR 測定技術と JEL 社のウェーハ搬送システムの技術を取り入れた次世代型の "FT-IR SE50-ECO シリーズ
" を紹介します。

アプリケーション仕様
エピ膜厚測定測定範囲▶ 0.3 - 750 μm

再現性▶ ± 0.01 μm※ SiC エピ膜厚測定可

シリコン中の炭素 ・ 酸素濃度測定
炭素
測定範囲
再現性

▶ 0.1 to 10ppmA▶ STD 0.05 ppmA酸素*

▶ 0.3 to 35 ppmA
▶ STD0.08 ppmA

* 炭素 ・ 酸素値は ASTM 1979 に基づく。

BPSG 中のリン ・ ボロン濃度測定
ボロン
測定範囲
再現性

▶ 1 - 10 Wt%▶ ± 0.05 Wt%

リン▶ 2 - 12 Wt%▶ ± 0.05 Wt%

SiN 膜中の水素濃度測定
Si-H

測定範囲
再現性

▶ 3 - 30 Atom%▶ ± 0.3 Atom%N-H▶ 3 - 30 Atom%▶ ± 0.3 Atom%

シリコン酸化膜中のフッ素濃度測定
膜厚範囲
フッ素濃度

▶ 3000 - 10000Å
▶ STD< 0.2 Fwt%

SiXx 膜定量ソフトウェア
注目ピークを定義し、 定量可能なソフトウェアスペクトルの演算や補正処理を自動化可能

非拡散層厚測定
計測範囲
再現性▶ 10 - 700 μm▶ STD ≦ 0.08 μm

SE50A-THz 150SiS 新商品

SE50S-ECO Stage System

非拡散層膜厚測定器【特長】
・ N/N+ タイプウェーハおよび P/P+ タイプウェーハの非拡散層膜厚を再現良く測定・ 4, 5, 6 インチウェーハカセットを最大 6 カセット設置
・ 非拡散層の厚みによりソーティング【Size mm】
1500w x 1150d x 1800h【寸法 mm】
1000w x 1165d x 1590h

SE50A-ECO 200SS 1 open Casette System【寸法 mm】
1183w x 893d x 1830h

SE50A-ECO 200SMIF/200DSMIF System【寸法 mm】
1470w x 1530d x 1830h【寸法 mm】
1985w x 1500d x 1830h

SE50A-ECO 200DS 2~4 open Cassettes System【寸法 mm】
1400w x 1150d x 1710h

SE50A-ECO 300SS/300SF/300SFE/300DF/300DFE System
Open Cassette

SE50A-ECO 300SF【寸法 mm】
1470w x 1486d x 1830h【寸法 mm】
1470w x 1530d x 1830h

SE50A-ECO 300DF【寸法 mm】
1985w x 1500d x 1830h

SE50A-OIP Ingot Oi prof iler

【寸法 mm】
4800w x 1515d x 1822h【PC ラック寸法 mm】
660w x 600d x 480h

仕様
信頼性

コンピュータ

MTBF> 6 months

MTTR

48 hours

Windows 10 64bit
Memory 32GB

MTTS

4 hours

Hard Disk SSD RAID1

Uptime> 97%

オペレーティングシステム

ユーティリティ

分光部
波長範囲7800 - 350cm-1

最高分解能

0.5cm-1

ビーム径

標準 8mm ( 可変可能 )

入射角

15°

電源

100 - 240V (50/60Hz)

真空-61±10kPa (G)
30L/min (ANG)

高圧ガス

CDA
N2

0.6MPa (G)0.2MPa (G)
15L/min (ANR)

SE50 シリーズ 品番
Hardware

SoftwareProduct#

Model

Wafer size

StationHandring

Product#Model

ECO-02S

SE50S-ECO

2-12 inch

Stage

Edge Grip

ECO-1EP

Epitaxial Thickness

ECO-031SE50A-ECO_150SS

2-6 inchSingleVacuum

ECO-1CO

Carbon & Oxygen in Silicon

ECO-032

SE50A-ECO_150DS

2-6 inchDoubleVacuum

ECO-1BP

Boron & Phosphorus in BPSG or PSG
Films

ECO-041

SE50A-ECO_200SS

4-8 inchSingleVacuum

ECO-1SN

Hydrogen in Silicon Nitride

ECO-042

SE50A-ECO_200DS

4-8 inchDoubleVacuum

ECO-1SF

Fluorine in Silicon Oxside Films

ECO-043D

SE50A-ECO_200DSMIF 8 inch

Double SMIF

Vacuum

ECO-1MB

Multi Background Option

ECO-044

SE50A-ECO_200FS

Four

Vacuum

ECO-1GM

GEM/SECS Host Communication

ECO-1SH

Share File Host Communication

ECO-1DS

Double Station Sorting Support

ECO-1FS

Four Station Sorting Support

ECO-1SSSix Station Sorting Support

ECO-1OH

Hydrogen in Silicon Software

ECO-1SCSiC Epitaxial Thickness Support

ECO-1SU

Shuttle Background Software

ECO-1CH

Carbon-doped Films

ECO-1SO

Silicon Oxiside Film Analysis (SiXx)

4-8 inch

ECO-051

SE50A-ECO_300SS

8-12 inch

SingleVacuum

ECO-052

SE50A-ECO_300DS

8-12 inch

DoubleVacuum

ECO-051F

SE50A-ECO_300SF

8-12 inch

Single Foup

Vacuum

ECO-052F

SE50A-ECO_300DF

8-12 inch

Double Foup

VacuumECO-051E

SE50A-ECO_300SSE

12 inchSingleEdge Grip

ECO-052E

SE50A-ECO_300DSE

12 inchDoubleEdge Grip

ECO-051FE

SE50A-ECO_300SFE

12 inchSingle Foup

Edge Grip

ECO-052FE

SE50A-ECO_300DFE

12 inchDouble Foup

Edge Grip

THZ-02

SE50A-THz_150DS

4-6 inchDoubleVacuum

THZ-04

SE50A-THz_150FS

4-6 inch

Four

VacuumProduct#Model

THZ-06

SE50A-THz_150SiS

4-6 inchSix

VacuumECO-FA1

200mm wafer adapter for FOUP system

ECO-FA2

Tag Reader for FOUP & SMIF system
・Keyence : BL600
・Omron : V640

ECO-FA3

E84 OHT Support for OHT COM module

ECO-FA4

Safety Light Curtain for OHT

ECO-FA5

Sensing lonizer System

ECO-FA6

Water ID Reader Module

ECO-FA7

Optical FFU (Fan Filter Unit)

ECO-FA8

Share File Host Communication

Option※ 本パンフレットに記載されている外観及び仕様は、改善の為予告なく変更することがあります

半導体用FT-IR
専用ページ

本社

：東京都文京区小石川1-4-12-801

TEL:03-3868-2634

西日本営業所 ：大阪府大阪市淀川区宮原2-14-4-3 TEL:06-6868-9790
ものづくり技術ｾﾝﾀｰ：東京都板橋区舟渡3-5-8 MIC1 303 TEL:03-6279-8908
https://www.systems-eng.co.jp

E-mail: info@systems-eng.co.jp

240806KM