プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.48
2008年（平成20年） 6月発行

目次

幹事長退任挨拶 幹事長退任のご挨拶
幹事長就任挨拶 幹事長就任にあたって

東北大学
九州大学

畠山 力三
白谷 正治

1
3

寄稿
「電離ガスに関するダイナミクスと静電流体力学の構築に向けて」
第6回プラズマエレクトロニクス賞
受賞者の紹介「プラズマエレクトロニクス賞を受賞して」

愛知工業大学

高村 秀一

5

名古屋大学
東京大学

河野 明廣
寺嶋 和夫

7
8

研究室紹介（その４２）佐賀大学 プラズマサイエンス研究室研究室

佐賀大学

林 信哉

10

東京工業大学
東北大学

野崎 智洋
佐藤 岳彦

13

名古屋大学

佐々木 浩一 15

名古屋大学
大阪大学

佐々木 浩一 23
浜口 智志
24

名古屋大学
京都大学

豊田 浩孝
斧 高一

25
26

山口大学
名古屋大学
防衛大学
室蘭工業大学
京都大学
名古屋大学
武蔵工業大学福政 修
佐々木 浩一明石 治朗
佐藤 孝紀
江利口 浩二
豊田 浩孝
平田 孝道

28
30

京都大学
九州大学
名古屋大学
名古屋大学

江利口 浩二佐藤 浩之助上坂 裕之
堀 勝

関連学会における研究活動の紹介
大気圧プラズマ流による人間環境保全技術に関する研究分科会【新連載！】学生のためのページ すぐに役立つプラズマエレクトロニクス
プラズマ発光分光計測法の基礎

国際会議報告1st International Conference on
Plasma Nanotechnology & Science (IC-PLANTS2008)
6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
International Workshop on Merging State of
the Art Plasma Science into New Technologies
Gaseous Electronics Conference 2007 (GEC2007)

国内会議報告第25回プラズマプロセシング研究会 (SPP-25)
第１回名古屋大学プラズマナノ工学スクール
第22回光源物性とその応用研究会
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会シンポジウム報告
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会合同セッションD
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会合同セッションF
2008年度（平成20年度）プラズマエレクトロニクス分科会幹事名簿
2008年度（平成20年度）プラズマエレクトロニクス分科会幹事役割分担
2008年度（平成20年度）プラズマエレクトロニクス分科会関連の各種世話人
平成19年度後期および平成20年度前期活動報告

行事案内
2008年秋季大69回応用物理学会学術講演会シンポジウム
International Congress on Plasma Physics (ICPP2008)
第2回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
61st Gaseous Electronics Conference 2008 (GEC2008)

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37
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54

IUMRS International Conference in Asia 2008

産業技術総合研究所 布村 正太
名古屋大学
関根 誠
名古屋大学
高井 治

56
57
58

プラズマ科学シンポジウム2009（PSS-2009）／第26回プラズマプロセシング研究会（SPP-26）

名古屋大学

61

第19回 プラズマエレクトロニクス講習会
30th International Symposium on Dry Process （DPS 2008）

掲示板
第７回プラズマエレクトロニクス賞公募会告プラズマエレクトロニクス関連会議日程
編集後記

高井 治

62
63
66

ii

幹事長退任のご挨拶
東北大学大学院工学研究科

畠山 力三

2006 年 4 月に河野明廣前幹事長の後任として委員長の下に幹事が中心となり検討を行い、計測就任し本年 2008 年 3 月までの 2 年間の、基礎・技術、制御技術、シミュレーション・モデリング

応用の有機的連携を重視するプラズマエレクト

技術、Si・無機系製膜技術、有機・C系製膜技術、

ロニクス分科会幹事長の大任を何とか終え、無事

微細加工技術の6テーマについて、横軸に2030年

退任させて戴きました。これも偏に、節原裕一・までの年代、縦軸にはシーズ等基礎研究・生産応

大岩徳久両副幹事長、及び幹事各位の献身的なご用技術開発・製品応用アウトプットから成るサブ

尽力、並びに分科会会員の皆様方、学会事務局の及びマインマップを作成しました。第三には、伊丹様のご協力の賜物でございます。この場を借2006年に第13回を迎えた主に大学院生を対象にりて厚く御礼申し上げます。

した「プラズマエレクトロニクスサマースクー

この2年間の大きなトピックスとしては先ず、応ル」に幕を閉じ、我が国古来の寺子屋講座と受用物理学会講演会におけるプラズマエレクトロ

講者参加型の人材育成プログラムの構築、及びニクス分野の講演はこれまで「放射線・プラズマ

更なるプラズマプロセス研究ネットワーキン

エレクトロニクス」大分類の一部として行われてグの進展を目的に、学生並びに若手研究者を対参りましたが、2008年春季応用物理学関係連合講象として「第1回プラズマエレクトロニクスイ

演会よりプラズマエレクトロニクス分野が新し

ンキュベーションホール」を2007年に新たにスい大分類として独立し、大分類番号8「プラズマタートしました。これにより、企業の中堅技術

エレクトロニクス」が発足したことであります。

者を主対象とした「プラズマエレクトロニクス

大分類への昇格は、当分科会の前身であるプラズ講習会」との相補性が更に明確化されました。

マエレクトロニクス研究会が発足した1985年か

一方、当分科会の中核事業「プラズマプロセシ

ら数えて23年を経てのことであり、長年にわたる

ング研究会」につきましては、2006 年度大阪開大先輩諸氏並びに本分科会会員の皆様の地道な催では、前年の松島での国際会議との合同会議のご努力の積み重ねの賜物と感謝申し上げます。ま勢いに乗り、参加者・講演件数において過去最大

た、2007年「応用物理」創刊75周年記念事業の一規模となりました。また、続く山口での 2007 年

環として、アカデミックロードマップ（ARM）「（プ

度開催では第 25 回の節目に相応しい発足当初か

ラズマ・）プロセス技術」の作成に２年近くに亘らの歴史的経緯を含む内容の特別講演も成され、り取り組み、それを一先ず完成させたことであり

これも地方開催としては最大規模の盛会となります。当分科会におけるこの活動は、2005年までました。2010 年には米国の気体放電現象とその応実施してきました「プラズマ応用技術の将来ビジ用に関わる基礎研究に主眼を置く会議(Gaseous

ョン研究会」を発展的に解消し、ARMを通してプ

Electronics Conference, GEC)との共同開催を予定

ラズマエレクトロニクス分野が目指すべき領域、しており（日本側組織委員長・堀勝名大教授）、果たす役割を明確化し、独自の「将来ビジョン」

当研究会における近年の一連の上昇気運の流れを創成し広く発信していくという観点で企画さで臨み大盛会を期待しております。

れたものであります。実際には、関根誠ARM作成

さて、2 年前の幹事長就任時に、第３期科学技
1

術基本計画で唱えられている“産学官連携の深い所存であります。また、会員の増員を強く意識化”、すなわち、産業界の参画による先端融合イ

しつつプラズマエレクトロニクス分科会活動のノベーション創出拠点の形成について、産業界と挑戦的課題を皆様と共に模索していきたい所存

密接な協働のもとに運営・活動が成されています

でございます、とも述べさせて戴きましたが言う

プラズマエレクトロニクス分科会関連研究活動

は易しで、幾ばくかの工夫をしつつも実際の会員が、これに関わるほどに深化しているかどうか非数は現状維持というところで心残りの感がござ

常に気になるところであります、と述べさせて戴います。

きました。現状では確かな答えを提示する状況に最後になりましたが、益々の応用の拡がりを見至っておりませんが、前述の ARM 報告書の内容せつつある当該分野の基礎及び応用に携わる研はこれに呼応するポテンシャルを有しているこ

究者・技術者に、研究推進に必須の交流の場を提とを強くアピールしており、例えば大気圧やマイ供すべくプラズマエレクトロニクス分科会が、新クロプラズマ、アトム・ナノ、バイオ、自己組織

進気鋭の白谷正治新幹事長のもと今後一層発展化等のキーワードに代表される領域におけるプ

されますことを祈念致しまして、幹事長退任のごラズマプロセス技術には今後に多いに期待した挨拶とさせて戴きます。

2

幹事長就任にあたって
九州大学大学院システム情報科学研究院

白谷 正治

この度，大変光栄にも平成２０，２１年度のプ

また，畠山前幹事長のもとで名古屋大学の関根

ラズマエレクトロニクス分科会の幹事長を仰せ

先 生を 中心に かな りの労 力を 費やし てプ ラズ

つかりました。分科会と分科会会員の皆様のため

マ・プロセス関連のアカデミックロードマップがに全力を尽くしますので，よろしくお願い申し上まとめられ，http://www.jsap.or.jp/jsap75/academic_

げます。

roadmap.html に公表されています。今後の研究展分科会の運営につきましてはこれまでの良き開を考えるうえで参考になるものと思います。

伝統を受け継ぎつつ，さらなる活性化を進め，産さて本年度より，会員へのサービス充実を目指

業を念頭においたプラズマの基礎と応用に関すして，次の３つの新しい試みを開始しました。こる研究の世界的中心でありつづけるように努力

れらを積極的に御活用いただきますようにお願いたします。

いいたします。

春季及び秋季応用物理学会は、プラズマ応用に

１）春・秋の学術講演会において，少し以前の重関する研究発表が行われる国内最大の学会であ要な仕事を御講演いただく，分科内総合講演を継り、プラズマの発生・制御・計測及び応用技術に続的に企画いたします。関連分野の日本の重要論

関する 6 つのセッションの他、薄膜・表面、非晶

文がきちんと引用される一助になることも期待

質、ビーム応用などの他の分科会との 3 つの合同

しております。

セッションと特定テーマに絞ったシンポジウム

２）深い議論を行う場を提供するプラズマ新領域が開催されます。応用物理学会の講演分類の 15

研究会を年３回程度開催いたします。本企画は，中 13 までがデバイスや材料等の出口を中心に構①プラズマに関連する新しい研究領域の創成，②成されており，唯一プラズマのみが作製技術でま若手研究者の育成，③地方での議論の場の提供をとめられています。さらに，プラズマ応用技術は，意図して企画しております。出来るだけ，異分野

プラズマ以外の 14 大分類のほぼ全てに使用されの研究者を招待して十分な議論が行える場を提ており，極めて広範なデバイスと材料に関わる分

供いたします。

野横断技術として発展しています。特に，当分科

３）学生および初学者へのサービスとして，分科会に貢献されてきた京都大学の橘先生が代表と会会報に「すぐに役立つプラズマエレクトロニク

なり推進された特定領域『プラズマを用いたミクス」の連載を行います。分科会ではインキュベー

ロ反応場の創成とその応用』で，橘先生を初めとションホールや講習会で教育・講習の場を提供しする関係者が様々な新しい試みを行った結果，新ておりますが，これらに参加できない会員の方々

しいプラズマ応用が創成されたり，マイクロプラにも役立つものと期待しております。

ズマの発生と応用に関する講演数が大幅に増え

さらに，2010 年 10 月 4 日から 10 月８日までるなど，当分科会にも非常に良い効果が現れていICRP と GEC の共催の国際会議をパリの Maison deます。春の応用物理学会のシンポジウムで世界に

La Chimie で開催する準備を開始しました。多く

先駆けて得られた素晴らしい成果の一端が紹介の会員の方々が参加することが成功の必要条件

されたのは記憶に新しいところです。

ですので，少し先のこととなりますが，よろしく3

お願い申し上げます。

会の運営に御提供いただいていることも御理解

白藤副幹事長，藤原副幹事長，幹事の方々，学いただけたらと存じます。

会事務局（特にプラズマエレクトロニクス分科会最後になりますが，活力ある分科会でありつづ担当の伊丹様）の御協力のもとに，会員の皆様にけるためには，個々の会員の優れた研究と学会等

十分なサービスを提供すべく努力していきます。

での活発な議論が基本です。会員の皆様と協力し御提案やコメント等は，私をはじめ幹事の方々にながら，分科会の発展に尽力しますので，よろしお知らせ頂ければ幸いです。一方では，幹事のくお願い申し上げます。

方々は貴重な個人の時間と労力を自発的に分科

4

寄稿

電離ガスに関するダイナミクスと静電流体力学の構築に向けて
愛知工業大学工学部電気学科

高村 秀一

編集担当の方々より寄稿文を書きなさいといれていたようである。そのような環境の下、プラ

うご要請に対して、簡単に「はい」と答えてしま

ズマ波動研究が一段落した後、境界領域プラズマった後、期限が迫ってきて苦しんでいるところでや周辺プラズマの将来的重要性を直感的に強くす。昨年３月に定年を迎えたこともあり、これま予感した。これが国際熱核融合実験炉計画（ITER）
関連活動に参画する契機となった。ダイバータ・でのプラズマ・放電科学を振り返ると共に、定年SOL 物理やプラズマ熱・粒子制御に関する課題は後愛工大に奉職したのを機に、今後の展望につい学術的にも研究者の知的好奇心を強く刺激した。
て勝手な私見を述べることによって、本責務を果ITER の概念設計活動（CDA）に際しては間接的たしたい。
に、そして工学設計活動（EDA）では物理 R&D
金沢大学工学部在学中に固体物性に興味を抱活動には可能な限りその会合に出席した。国際トき、関連の解説書など読みあさっている中で、久カマク物理活動（ITPA）となってからも微力なが
保亮五、永宮健夫両先生編集の「固体物理の歩み」
ら ITER Physics Basis （1999）や昨年完成した（岩波書店、１９６２年）の中で永宮先生が、将Progress in the ITER Physics Basis （2007）にも寄来的に多体問題の重要性を指摘されていたこと
与させてもらった。昨年１０月に ITER 機構が正が、以後の小生の科学に対する考え方に大きく影式に発足したことは私にとっても大変うれしい響を与えた。縁あって名古屋大学工学研究科に修ことであった。
士課程の院生として入ることができ、これがプラプラズマ－壁相互作用（PWI）が大学の講座規ズマ理工学研究の出発点となった。プラズマ物理
模での研究でも核融合に関わることを可能ならの学術体系の美しい光の影で、名大で研究者の多しめたのではと思う。そこでは低温反応性プラズ
かった「放電」の分野を横目で見ながらここに深マにおけるプラズマ－表面相互作用（PSI）と学
くはいることはなかった。浅学のため、経験的で問的に共通の側面が多くあることも強く認識し、現象論のみが放電の姿として見えてしまったた
両者の連携を訴えた。この状況は今も変わらないめである。
のではないかと考えているが如何であろうか。
イオン波や低域混成波などのプラズマ波動にさて、プラズマ物理のめざましい発展は高温炉
のめり込んでいったが、一方で所属する山本賢
心プラズマや宇宙プラズマを舞台に花咲いてい
三・奥田孝美両先生の合同研究室における主要課
った。もちろん反応性プラズマにおいても然りで題である核融合プラズマに次第に強く惹かれてあろう。そういう中で将来に向けてもう少し別のいった。エネルギー問題に対する意識が背景にあ舞台がないであろうかと思案していた。折しも名ることは今もって変わらない。電子が主体となる
大工学研究科複合専攻として小生の所属するエ
プラズマより、イオンが絡む波動を対象にしたのネルギー理工学専攻の将来像を議論する中で、化も、核融合から近い位置にいたいという思いの反学工学との接点・異分野融合という視点から「プ映であった。早くより奥田先生は磁気ダイバータ
ラズマ支援燃焼」に注目し、調査すると共に一部の重要性に気づき、いろいろなアイデアを考えら
5

研究が開始された。これはプラズマ理工学の新して新しい放電物理の構築を掲げられ、研究会やシいフロンティアの一つとして育っていって欲し

ンポジウムを精力的に企画され、議論を発展させいと期待している。一方で大気圧高周波誘導熱プつつある。ここにいたって「放電」は新しい息吹

ラズマの生成において、点火に至るダイナミクスを吹き込まれつつあり、実に新鮮な響きを与えてとして、ストリーマの生成・合体が高速カメラでいると感ずるのは私だけであろうか。

捉えられ、放電現象として興味深い話題を提供す

最近大気圧グロー放電がその非平衡性と反応ることができた。上層大気圏におけるスプライト

性から関連特集が応用物理学会誌やプラズマ・核

放電の下部でも同様の現象が見い出されており、融合学会誌で取りあげられている。しかしプラズ

この方面の分野との関わりという展開も生まれ

マ生成の手法や応用面に力点が置かれているのてきている。これらにおける共通点は大気圧あるは世の要請なのであろう。理論やモデリングに関いはそれに近い環境下の現象である。大学院で放わる面が少ないのは残念ことである。山本賢三先電の横を通り過ぎてしまった小生にはここへ回

生にそのような話を申し上げたところ、後日、管帰する定めにあったのかもしれない。

内低気圧グロー放電陽光柱と自由空間のアーク

愛知工業大学に移ってからは、静大の神藤先生

柱の中間に位置する大気中のグロー放電（陽光のご協力を得て、大気圧マイクロ波放電プラズ柱）に関する先生単名の論文「器壁のない放電陽マ・ジェットの生成に取り組み始めて今に至って

光柱の理論Ｉ，II」電気工学論文集（1951）、pp.87-98いる。多くの卒研生と共に高速カメラでジェットのコピーが送られてきた。モデリングによる統一の動きを撮像し、図らずも彼らはアルゴンプラズ理論の提案であった。十分理解はできていないが、

マ・ジェットにおいて螺旋状の構造を見いだし、

このような力強い解析は最近少なくなってしま

動作ガスがヘリウムでは脈動現象を発見した。こったのではないか。大気圧放電が応用面のみなられらは私にとっては学生教育の冥利に尽きるこず学問体系として発展していくことを切に願うとであった。螺旋構造の伝搬については流体力学

ばかりである。このような原稿をいったん書き終の専門家との共同研究により、速度剪断層に現れわった土曜日に東北大学理学部福西研出身で、岸る乱流の発展結果であることがわかってきた。ヘ

本研にてポスドクをやり、４月から名大の STE 研

リウムの場合の挙動については未解明である。まのポスドクをやっている平木さんが愛工大の小た、ヘリウム放電点火の際には放電構造分岐や遷生の研究室を訪れてくれて、ストリーマやリーダ移過程も見いだされ、これらが、「電離ガスの静の要素シミュレーションを開始した様子を話し

電流体力学」として発展していく出発点になるのてもらったときには因縁めいた喜びを感じてしではないかと希望を持っている。

まった。

期を同じくして、京大の岸本泰明先生が放電に誤解を顧みず、勝手な私見を披露して大変恐縮

おける爆発現象に注目され、雷放電や前述のスプですが、プラズマエレクトロニクス分科会の特にライトそしてエンジンの着火過程等において共若い会員諸君に少しでも参考になれば望外の喜通に観測される放電ダイナミクスを素過程からびです。

数値シミュレーションで再現すること等を通し

6

第 6 回プラズマエレクトロニクス賞

受賞者の紹介名古屋大学 河野 明廣
第 6 回プラズマエレクトロニクス賞に関しまして、応募論文 4 編につき、同賞選考委員会にて、プラズマエレクトロニクス分野における研究の独
創性、学術的あるいは工業的価値、およびその発展性につきまして慎重に審議をいたしました。その結果、下記のとおり、１編の研究論文を対象に表彰を行うことを決定いたしました。また，本表彰において，2008 年春季第 55 回応用物理学関係
連合講演会期間中の 3 月 29 日に表彰式が行われました。なお、本年度のプラズマエレクトロニク
ス賞選考委員会は、下記の委員をもって構成され
ました。

委員長
副委員長
委員
委員

プラズマエレクトロニクス分科会が主催する研究会・国際会議等での発表
会議名： 第 6 回 反 応 性 プ ラ ズ マ 国 際 会 議 ／第 23 回プラズマプロセシング研究会
論文名： Deposition of carbon system by using
non-equilibrium plasmas generated in supercritical fluid
著者名： Takaaki Tomai, Hirotake Kubo, Ken Katahira, Yoshiki Shimizu, Takeshi Sasaki,
Naoto Koshizaki and Kazuo Terashima
受賞者 (受賞対象論文の著者)
寺嶋和夫（東京大学），笘居高明（東京大学）
片平 研（東京大学），久保宏丈（東京大学）
清水禎樹（産業技術総合研究所）
佐々木毅（産業技術総合研究所）
越崎直人（産業技術総合研究所）

河野明廣（名古屋大学）
畠山力三（東北大学）
節原裕一（大阪大学）
大岩徳久（東芝セミコンダクター社）

受賞理由
受賞者らは、気体と液体の中間状態である超臨界流体における放電現象に着目し、その環境下でのマイクロプラズマの生成と物性の研究を世界に先駆けて推進してきた。本論文では、超臨界流体
CO2 マイクロプラズマを誘電体バリア放電によって発生し、新材料プロセシングを意図して、放電
環境の高圧力化と低温化により、分子の密度増大と揺動増強並びにクラスター化が促進される CO2の臨界点近傍において、優先的にナノカーボンが合成されることを初めて見出した。これらは、圧力領域、温度領域、空間領域における新たなプラズマ応用の方向性を切り拓く意欲的・独創的な試みであり、プラズマエレクトロニクス分野の発展に貢献するところが大きいと期待される。

記
受賞対象論文
論文名： Carbon materials syntheses using dielectricbarrier discharge microplasma in supercritical carbon dioxide environments
雑誌名： The Journal of Supercritical Fluids 41(2007) 404-411
著者名： Takaaki Tomai, Ken Katahira, Hirotake
Kubo, Yoshiki Shimizu, Takeshi Sasaki,
Naoto Koshizaki, Kazuo Terashima7プラズマエレクトロニクス賞を受賞して
東京大学

新領域創成科学研究科

寺嶋 和夫

このたびは第６回プラズマエレクトロニクス賞

中のミクロな流体構造、分子クラスタリングに起を賜り、共同研究者（受賞者）である東京大学・因しており、さらに臨界点付近においては、分子寺嶋研究室の笘居高明博士（現；カリフォルニア

間力と熱運動の拮抗により、ピコ秒のタイムスケ

大バークレー校）、片平研氏（現；ソニー九州）、ールで分子同士が集合・離散を繰り返すことで、

久保裕丈氏（現；AT カー二―）、産業技術総合研

密度揺らぎが生じるため、プロセス反応速度や反究所・越崎グループの清水禎樹博士、佐々木毅博

応選択率の増大といったプロセス反応の特異性が士、越崎直人博士ともども、たいへんな栄誉なこ現れることが知られています。

とと心から喜ぶとともに、本賞の運営に関わられこのように、微視的には、液相的なクラスター

た関係の先生方に感謝する次第です。また、歴代

構造と気相的な単分子構造とが局所的に共存する、の本賞を受賞されたご高名の先生方のお名前のリ“ナノ空間での気液混合相”ともいえる超臨界流

ストを見るにつけ、たいへん身が引きしまる思い

体中でのプラズマは、まさに、近年、東北大学のであり、今後のさらなる飛躍を目指し、一層の努

畠山力三先生、名古屋大学の高井治先生らが精力力の覚悟を新たにしております。

的に研究を進められている液相プラズマ（ソリュ

この研究は、16 年前、寺嶋がスイス・バーゼル

ーションプラズマ）の空間的な極限状態であり、大学固体物理研究所でのサバテイカル中に構想し２１世紀ナノテク時代にふさわしい“新規の液相ました“微小空間（ナノスペース）でのプラズマ

プラズマ”と位置づけられています。

科学技術の創成”（図１をご参考に）の一環として進めてきました“超臨界流体プラズマ科学技術の創成“の研究のなかの、臨界点近傍での物質合成の特異性について議論したものです。超臨界流体のように数百気圧にも達する高気圧環境下で、一般に数百℃以下の臨界温度程度の温度の非平衡プラズマを発生するためには、”
微小空間プラズマ技
術“が欠かすことのできない基盤技術になっています。この技術を駆使し、１時間以上もの安定的なプラズマの発生を行い、臨界点近傍で、カーボ
ンナノチューブなどのカーボンナノ物質を難反応
図１

微小空間（ナノスペース）プラズマの研究は、バー性物質である二酸化炭素 CO２を原料にして室温ゼル大学 Guentherod 先生の研究室、とりわけ、共同研究

合成に成功し、その密度揺らぎと関連付けたもの者である L.Howald 博士（現；Nanosurf AG）の有する走査が本論文であります。
トンネル顕微鏡（SPM）技術を駆使してのスタートでした。

超臨界流体とは、物質固有の臨界点以上の温写真は右から SPM の発明者の一人である Ch.Gerber 博

度・圧力状態にある物質状態であり、巨視的には士（元 IBM チューリッヒ；現バーゼル大学客員教授）、寺

液相と気相の中間状態を示し、
高密度、
高拡散性、
嶋研究室・博士３年生・野間由里さん、宮副裕之さん。

高溶解度を有することから、抽出、廃棄物処理、
野間さんの手には、本研究のもとになった世界で最初にナノ物質・構造作製など、多岐の渡る分野におい原子像を観察した SPM 装置（撮影；バーゼル大学にて）。

て、その応用研究・実用化が進められてきました。
これらの優れた反応プロセス特性は、超臨界流体
8また、上智大学の岡崎幸子先生、小駒益弘先生が並んで、精力的に研究を進めている新規のプラズ

世界に先駆けて新しい道を切り開かれた我が国がマを僭越ながらご紹介し、結びとさせていただき

誇る大気圧非平衡プラズマを端緒にして発展を続ます。

ける、高密度媒質プラズマの新たな局面を開くも従来より、極低温下におけるイオンや電子、活のとしても、プラズマ科学技術の立場から皆様方

性種の振る舞いを調べるため、極低温雰囲気でのに期待していただいています。

プラズマの発生・診断に関する研究がなされてきさらにまた、物質科学一般の立場からも、ました。しかしながら、それらは液体窒素や液体①イオン性の固体の科学である“固体イオニクス”、
ヘリウム温度(77K,4K)付近のみに焦点を当てたも②イオン性の液体の科学である“液体イオニクス”、のであり、室温から連続的に極低温まで温度を変③イオン性の気体の科学である“気体イオニクス”、
化・制御させている研究、また、プロセスなどへ（まさにプラズマ！）に続く、の応用研究は殆ど皆無でありました。このような④第 4 の物質相である超臨界流体（釈明！プラズ

背景のもと、私どもの研究室では従来の、①熱プマのご専門の皆様の前で恐縮ですが、物質科学的
ラズマ(数千～数万 K)、②低温プラズマ（室温～には固体、液体、気体に続く物質の相図に載って数千 K）に続く、ガス温度を室温から室温以下（現いる第 4 の状態はプラズマではなく超臨界流体と在は５K まで）まで連続的に変化・制御させた第なっています）のイオン科学として位置づけられ、３のガス温度領域のプラズマである、クライオプ
現在、”超臨界流体プラズマ“と私どもが名付けてラズマ研究に着手しております。今後、従来のプいる本状態が、”超臨界流体イオニクス“として広ラズマとは異なるクライオプラズマ特有の物性発く認知され、広義の意味でのイオン科学（あるい現（図２をご参照）と、熱的損傷が鍵となるバイ
は電気化学）の４大分野の中の一つとして物質科
オマテリアルなどへの新規プロセス応用を期待し学の一般的な教科書に記述される日を目指して、ております。このプラズマの発生にもまた、超臨
微力ではございますが貢献できれば幸いです。
界流体プラズマと同様に、比表面積の大きさから2 年間ものスイスでのサバテイカル生活をお許
環境適合性（親和性）が非常に高いという特長をし戴き、わけもわからない研究に耳を傾け、貴重有する微小空間プラズマの技術が十二分に駆使さなご助言を戴きました東京大学の吉田豊信先生にれております。今後の展開が楽しみです。
深く感謝いたします。また、Father of Microplasmaと呼ばれ、長年にわたり、ご指導いただいてきま
これからも、一層の、ご指導、ご鞭撻のほど、した京都大学の橘邦英先生には、ただただ感謝す
宜しくお願い申し上げます。
るばかりでお礼の言葉も尽きません。その他、応用物理学会をはじめとする各種の学会、研究会を通じて多くの先生方、会社の皆様のご教授、ご援助を戴きましたこと心より感謝いたします。さらにまた、伊藤剛仁博士（現；大阪大学）をはじめとする本研究の礎を築いてくださった歴代の寺嶋研究室の学生の皆さんにもお礼申し上げます。
さて、東京大学の工学系研究科から現在の新領域創成科学研究科に移り、寺嶋研究室を本格的に立ち上げてから早くも 10 年が過ぎようとしています。さらなるプラズマ科学技術の“新領域”の開拓を研究室の使命として研究に励んでおります。
その新しい研究領域の一つとして、私どもが“ク
図２クライオ DBD プラズマの放電形態のガス温度依存性

ライオプラズマ”と呼ぶ、超臨界流体プラズマと9

研究室紹介佐賀大学・大学院工学系研究科
プラズマサイエンス研究室 林 信哉
1. はじめに

極放電チェンバーもあります．直線性の良いきれ研究室紹介の原稿依頼をお受けして記事を書き

いなラングミュアプローブ特性と 0.5eV 程度のつつあるのですが，私の研究室は正式な研究室で低電子温度は熱陰極放電ならではのものです．こはなく，2, 3 の研究室から構成される講座内かられらの放電およびプラズマを研究テーマに応じてプラズマに興味がある学生が集まり研究している

使い分けています．これらの装置は殆ど全てデスといった状態です．よって，研究室と言うよりもクトップサイズで，言わばテーブルマジック的な研究グループとご理解下さい．

雰囲気です．必要に応じて企業やフィールドへ装置一式をトランクに入れて出かけることも可能で

2. 研究グループの様子

す．現在はプラズマの応用研究がメインになって

平成 20 年度の本研究グループの構成は，
教員 1

おり，プラズマ源や診断装置と同時に FTIR やタ

名，修士課程学生 3 名，学部生 5 名です．年々グ

ンパク質分析器といった分析機器も充実させるよ

ループ内の学生数が増加してしまい賑やかなのはうにしております．実験室については，学科内の良いのですが，少人数の頃のフットワークが失わ

手狭な実験室に加えて，本学医学部のプラズマ滅れないよう気を付けております．筆者が九州大学

菌用研究室および共同研究企業にも真空容器その大学院総合理工学研究科（河合研究室）に在籍中

他の実験機器を設置して実験を行っております．

していた間，研究内容だけでなく研究のスタイル
4. 研究テーマについてや研究室の運営についても多くのことを見て参り
以下に簡単に研究テーマについて説明いたしま
ました．その雰囲気を本研究グループでも醸し出す．現在の研究は，医療応用，環境応用，およびせるよう心掛けております．学生には常々自由に宇宙利用といった応用研究が主になっています．
研究しなさいと言い聞かせています．そのため筆者は，学生の実験装置等の要求に右往左往しなが【医療応用】

ら日々多くの時間を割いて研究環境の整備を行っ・酸素高周波プラズマを用いた医療器材の滅菌ているのですが，学生にはどうも七人の小人が夜従来の医療用滅菌器は主に高温高圧水蒸気やエ中にやってくれている程度にしか思われていない

チレンオキサイドガスを用いたものであり，材料

ようです．
3. 研究設備について主力の実験装置として，内径 6～8 インチ程度の小型の真空チェンバーが数台と，プラズマ生成用電源として RF 電源，マイクロ波電源等を使用
しております（殆どがネット通販の中古品です）．
一人もしくは二人程度で扱うには丁度良い大きさです．また，大気圧放電用に高電圧電源や各種電極系を揃えています．加えて，私の学生時代からFig. 1 医療器材滅菌器用水プラズマの様子．

のテーマであるプラズマ波動実験用として，熱陰10適合性や健康被害等の安全性の点で難点がありま困難です．本研究では，細管内にプラズマを生成した．このような滅菌法に替わり，通電中のみ活することにより，イオンもしくはラジカルにより性酸素種による滅菌能力を発揮する酸素/水プラ滅菌を行うことを目的としています．Fig.2 は，ズマ滅菌器を開発しています（Fig.1）．本研究は内径 2mm，長さ 1m のシリコンチューブ内に生成プラズマと言うよりも医療機器の開発であり，最した空気プラズマです．細管内のプラズマと言え終的には薬事法申請なるものが控えており，生物

ばネオン管があるのですが，カテーテルは大変柔学から医療機器学および電磁波適合性の知識も必

軟性がありネオン管と同じようには行きません．

要となる非常に学際的な研究です．研究するほど何かしらの柔軟な発想でカテーテル内部の滅菌をに，様々な知識が広く浅くついていきます．本滅成功させたいと思っています．

菌法で特許を取得し，大学 TLO を通して企業へ
・酸素プラズマ・ラジカルとタンパク質・アミノ酸・多糖

技術移転しております．

類との相互作用．
・マイクロ波トーチプラズマによる高速滅菌法．
近年，狂牛病や羊スクレイピーといった恐ろし高温高圧水蒸気滅菌器やエチレンオキサイドガ
い病気が人間にも現れ始めています．その原因物
ス滅菌器，加えて開発中のプラズマ滅菌器でさえ質である異常型プリオンタンパク質は焼却以外にも滅菌時間が数時間から 1 日と大変長いのです
効果的な滅菌方法が存在しないのが現状です．そが，病院の手術室等では医療器材の緊急な滅菌がのためプリオン不活化が不十分な医療器材が使用必要な場合があります．このような医療器材の高されること，もしくはプリオン病の診断・治療が速滅菌に対応するために，高密度でラジカルを生
後手にまわることで，将来的にプリオン病が医原
成可能なトーチプラズマを用いた滅菌方法を開発
病として蔓延する可能性が指摘されています．こしています．また本方法の食品産業への応用も検のような事態を防止するために，プラズマやラジ討しており，琉球大学の米須先生と共同で研究をカルを用いたプリオンの分解除去法を模索してお進めています．
ります．実験では，プリオン代替物質として同様
・細管内放電によるカテーテル内滅菌の試み．

な二次構造を持つアルブミンを用いて，ベータシ

医療器材の中でも，狭空構造を持つカテーテルートの分解を観測します．一方，点滴の輸液等に等のチューブは，現在でも効果的な滅菌法が開発混入し高い生物活性のためショック症状を引き起されていないのが実状です．本来プラズマも，狭こすエンドトキシンもプリオンと同様に不活化が空物へ進入するもしくは狭空内で発生させるのは困難な物質です．グラム陰性桿菌の細胞壁に存在するリポ多糖類であり滅菌過程等で細胞が破壊されることにより放出されるエンドトキシンは，耐熱性・耐薬性が高く，現在のところフィルタリン
グが除去法として用いられていますが，数 ppm で生物活性を発現させるエンドトキシンの完全な除去は困難です．そこで，プラズマを用いてエンド
トキシンを不活化する方法の開発を試みています．
ちなみに，エンドトキシンの測定にはカブトガニの血液（リムルス試験）を用います．放電・プラズマの研究でカブトガニを使うことになるとは全く予想外でした．本研究は医学部の中央材料部や農学部と共同で行っています．

Fig. 2 内径 2mm のシリコンチューブ内放電．
11

【環境応用】

システムの構築を行っています．マイクロ波を用・大気圧放電による二酸化炭素や炭化水素の分解．

いることにより，高効率かつ耐久性の高いシステ

急速に地球温暖化が全世界の問題となりました．

ムが可能です．また，温室効果ガスの分解だけで我々は，温室効果ガスである二酸化炭素とメタン，なく再資源化可能な物質への変換を試みています．

フロンをターゲットとして沿面放電による分解・本研究も琉球大学と共同で実施しています．

再資源化を試みています（Fig.3）．その際に分解率の目標値は 25%程度として消費エネルギー効率【宇宙関係】も考慮することにより，実質的にも温室効果が低・高電圧交流電源イオンエンジンの開発および航跡減可能なシステムの構築を行っております．実用

場の観測化を考慮に入れて，外的環境の変化に対して常に

最近では，各地域で独自の小型衛星を開発する

安定した放電が得られやすい沿面放電を採用しまプロジェクトが盛んになりました．九州でも大学した．本研究は，経済産業省のエコ・イノベーシ

間で Q-SAT という計画が進んでおります．近いョン創出事業の一環として進めています．

将来には数十 cm 立方程度のピギーバック衛星ならぬピギーバック宇宙往還機が実現されるでしょう．そのためには小型の推進装置が必要となります．現在我々は主推進用ではなく姿勢制御用として，瞬時に点火・噴射可能なイオンスラスタを開発しています．同時に，イオンの中和過程および推進性能に関わると考えられる航跡場のプラズマの様子（揺動等）を実験的に調べております．

Fig.3 大気圧ストリーマコロナ放電の様子．
5. おわりに・マイクロ波トーチプラズマによる温室効果ガス分解

大変こじんまりとした研究環境ですので，少々および再資源化．

不便を感じることも度々ありますが，小回りの効

大ガス流量での放電に適したトーチプラズマをく研究・教育環境は大変魅力的です．今後も，刻々用いて，例えば低濃度メタンの排出源である畜舎

変化する時流を見据えて，プラズマエレクトロニ

等の固定排出源に対応可能な温室効果ガス分解

クス分野に貢献できる研究を行いたいと思います．

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関連学会における研究活動の紹介
日本機械学会環境工学部門

大気圧プラズマ流による人間環境保全技術に関する研究分科会
東京工業大学大学院工学研究科 野崎 智洋
東北大学流体科学研究所 佐藤 岳彦
１．はじめに
日本機械学会環境工学部門の分科会として，平３．これまでの主な活動報告
平成 19 年度は，7 月 6 日，7 日両日に第１回分

成 19 年度，20 年度の２年間にわたり「大気圧プ
ラズマ流による人間環境保全技術に関する研究分

科会を東北大学流体科学研究所で開催したのを皮切りに，合計 3 回の分科会を企画した。第１回分科会」を発足させた。現在，主査・佐藤岳彦（東北大学），幹事・滝田（東北大学）を代表として，

科会では，東北大学・寒川誠二教授による「高精度プラズマプロセスが拓く先端ナノデバイス」を50 名の委員（企業 9 名，大学・研究所 41 名）か

はじめ 6 件の特別講演を企画した。第２回分科会

ら構成されており，年３回の研究会および分科会

は 11 月 15 日，16 日大阪府立大学で，第３回分科をとおして人事交流と情報交換の場を提供している。ここでは紙面を借りてこれまでの活動の報告

会は平成 20 年 3 月 14 日，15 日東北大学流体科学研究所で行われ，有害物質の分解をはじめとすると今後の活動を紹介する。

環境浄化技術や医療応用など幅広いテーマで講演が企画された。なお，講演プログラムの詳細はイ

２．分科会趣旨
ンターネットに公開しているので参照されたい[1]。また，日本機械学会流体力学部門ニューズレ

本分科会は，大気圧プラズマ流を利用して，人間を取り巻く環境の保全に関する技術を，機械，
電気，化学，材料，バイオなどの工学領域を横断

ターに「大気圧プラズマ流」と題して特集号を企画し[2]，低温プラズマ応用 5 件，熱プラズマ応用的に融合し，学術分野から産業分野までを包括することで飛躍的に発展させることを目的としてい4 件について研究紹介記事を掲載した。

る。これにより，自動車，船舶，燃焼機器，ごみ４．今後の活動報告
焼却などによる大気汚染物質や海・河川・湖の汚平成 20 年度も３回の分科会を企画している。
ま

染物質の浄化，温室効果ガスや VOC の排出削減
処理，病原微生物の殺菌，プラズマ医療，各種プ

ず第４回目となる分科会は，日本機械学会 2008
年度年次大会（於 横浜国立大学）の先端技術フォ

ロセスのエネルギー効率の向上，廃棄物からの資源回収，半導体や金型などの表面処理やクリーニーラム「大気圧プラズマ流による人間環境保全技術」として実施する[3]。プログラム（案）は次のングの乾式化，プラズマ溶射，アーク溶融，材料
プロセス，
プラズマ燃焼促進，
液中プラズマなど，

通りである。興味をもたれる皆様には是非会場まで足を運んでいただきたい。なお，第５回，第６

学術分野のシーズと産業分野のニーズ，そして横断的な各分野間の情報交換により，大気圧プラズ

回分科会は，それぞれ東京工業大学（大岡山キャンパス：11 月 7 日，8 日），東北大学（流体科学研

マ流の応用技術を積極的に社会へ還元することを究所：1 月～3 月頃）にて開催される予定である。
目指している。

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日本機械学会 2008 年度年次大会

５．おわりに本研究分科会は，
平成 21 年 3 月に開催される分

先端技術フォーラムプログラム（案）科会をもって終了する予定である。分科会の活動
日時：2008 年 8 月 4 日（月）13:00～17:20に興味を持たれた方は，佐藤岳彦（東北大学・流

場所：横浜国立大学（神奈川県横浜市保土ヶ谷区常盤台 79-1）

体科学研究所：sato@ifs.tohoku.ac.jp），または滝田謙一（同・大学院工学研究科：takita@cc.mech.tohoku.
ac.jp）までお問い合わせ下さい。

13:00-13:40 野崎 智洋（東京工業大学）「反応性大気圧プラズマ流が拓く先進ナノテクノロジー」

文献[1] 分科会ホームページ

13:40-14:20 安藤 康高（足利工業大学）「大気アー

http://www.ifs.tohoku.ac.jp/nishiyama-lab/PSCD360_
new.html

クジェット放電プラズマジェット CVD による機能性材料の創成」[2] 日本機械学会流体力学部門ニューズレター
http://www.jsme-fed.org/newsletters/

14:30-15:10 中谷 達行（トーヨーエイテック㈱）「プラズマ表面処理技術の冠動脈ステントへの応用」[3] 日本機械学会 2008 年度年次大会

15:10-15:50 田原 充（大阪府立産業技術総合研究所）「プラズマ CVD 法による高分子表面への DLC 膜の形成」
16:00-16:40 浦山 卓也（㈱アドテックプラズマテクノロジー）「大気圧マイクロ波プラズマシステムの医療応用」
16:40-17:20 佐伯 登（㈱パール工業），大久保 雅
章（大阪府立大学）「大気圧低温プラズマによるテフ
ロン表面処理と新材料創成」

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【新連載！】学生のためのページ
すぐに役立つプラズマエレクトロニクス

プラズマ発光分光計測法の基礎
名古屋大学 佐々木 浩一

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国際会議報告

1st International Conference on
Plasma Nanotechnology & Science (IC-PLANTS2008)報告
名古屋大学 佐々木 浩一
名古屋大学プラズマナノ工学研究センターでは，
2008 年 3 月 13 日および 14 日に，名古屋大学 IB
大講義室において，第１回プラズマナノ科学技術に関する国際会議（1st International Conference on
Plasma Nanotechnology & Science; IC-PLANTS2008（主催：名古屋大学工学研究科附属プラズマナノ
工学研究センターおよび名古屋産業科学研究所，
共催：日比科学技術振興財団，協賛：応用物理学会東海支部））を開催しました。本稿では，本国際会議の概要に関して報告させていただきます。
プラズマナノ工学研究センターは，プラズマナ
ノ工学の世界的研究拠点を形成すること，ナノテ
クノロジー・材料分野の戦略的基幹技術であるプ
ラズマ技術の研究開発を行うこと，および，産学連携・人材養成並びに国際連携を推進することを目的に，名古屋大学工学研究科附属として 2006
年 10 月に発足した新しい研究センターです。
本研究センターの設立に関しては，既に，本誌 45 号
（2006 年 12 月発行）に紹介させていただきました。本国際会議は，プラズマナノ工学研究センターの目的に沿い，プラズマを用いたナノテクノロ
ジーとその基礎科学に関する最新の研究成果や将来動向に関して議論すること，および，国内外の主要研究者間および組織間の連携を強めることを目的に，2008 年から新しく組織されました。
当日は，国内外の著名な研究者による 17 件の招待講演に加え，一般講演として 49 件のポスター発表が行われ，韓，独，仏，中，蘭，日の６国より
総勢 129 名の参加者との間で活発な議論がなされました。また，今回は特に，大規模集積回路のナ
ノ製造プロセスにおける「揺らぎ」（プロセス結果のばらつき）の問題に焦点をあてた特別セッションが企画されました。本国際会議の詳細なプログ
ラムは http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/IC2008/）に掲載されていますので，是非ご覧ください。

図１ IC-PLANTS2008 の様子

IC-PLANTS2008 では，学生の研究発表を奨励したことにより，我が国はもちろん韓国などの学生からも多数の発表があり，若手研究者育成の観点からも大変有意義な国際会議となりました。
また，
3 月 13 日の夜には，名古屋大学内において懇親会が開催され，国際間および産学間の連携強化がなされました。
IC-PLANTS は，今後も毎年，名古屋大学プラズ
マナノ工学研究センターを中心に企画・運営されていく予定であり，次回は 2009 年 1 月 22 日および 23 日に名古屋大学において開催されます。
皆様のご参加をお待ちしております。

23

国際会議報告

6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing 報告大阪大学 浜口 智志
表記の会議（第６回日欧プラズマプロセス共同
シンポジウム：JSPP2008）が、去る 2008 年４月
21 日（月）から 23 日（水）の３日間、沖縄県宜野湾市にある沖縄コンベンションセンターで開催された。本会議は、プラズマによる各種化学反応
プロセスに関する物理・化学の基礎を学術的に解明することを目的とする国際会議で、今回は特に、
大気圧プラズマによるプラズマプロセスの基礎過程の研究を特別テーマとして取り上げた。特別テーマ以外では、例年同様、プラズマの基礎・応用に関する幅広い分野の講演が行われた。
この会議は、第一回が 2003 年 7 月にストックホルム大学で開催され、その後、東京(2004 年)、

睦を深める機会が多く提供された。
会議の学術プログラムは、橘邦英・京都大学教授の特別講演に始まり、その後、シミュレーショ
ン、プラズマ診断、大気圧プラズマ、半導体プロ
セス、プラズマのナノ・バイオテクノロジーや核融合応用、原子分子基礎過程など各種のテーマに関して口頭・ポスター発表が行われた。最後のセッションでは、本学術分野の発展に研究者コミュ
ニティーがどう貢献できるかなど、研究協力の将来像について話し合い、全日程の幕を閉じた。
今回の会議は、慶応大学グローバル COE プロ
グラム「アクセス空間支援基盤技術の高度国際連携」および大阪大学工学研究科附属原子分子イオ
ン制御理工学センターの主催、また、（社）応用物理学会、（社）日本物理学会、（社）プラズマ・核融合学会の協賛で開催され、さらに、Air Force
Office of Scientific Research, Asian Office ofAerospace
ResearchandDevelopment(AFOSR/AOARD), カシオ科学振興財団、東京エレクトロン（株）(以上、五十音順)から財政的援助も得た。会議の詳細は今でもホームページ
http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/EU-JAPAN/に掲載されている。

Podbanske（スロベニア、2005 年）、富士吉田（2006て今日に至っている。例年参加者数を 50-60 名程
度に限り、参加者の間の議論や交流を積極的に奨励している。今回の出席者も約 70 名で、そのうち海外からの参加者が約 20 名程度であった。
会議開
催日前日の 20 日（日）夕方にはレセプション、また 21、22 日の両日は夕食会、最終日 23 日の午後には、首里城と沖縄県立博物館・美術館を訪ねる観光も開催され、会議場外でも、出席者同士の親年）、ベオグラード(セルビア、2007 年)と開催され

図 1: 会議中の風景。

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国際会議報告International Workshop on Merging State of
the Art Plasma Science into New Technologies 報告
名古屋大学

豊田 浩孝

International workshop on merging state-of- the-art
plasma science into novel technologies が 5 月 14～16 日の 3 日間の日程でオランダのアイントホーヘン市内
にて開催された。本会議の報告の前に、本会議の開催母体である International Plasma COE Network について説明をさせていただく。International Plasma COE
Network は 2004 年 4 月、名古屋大学において進められていた Plasma-Nano COE の拠点リーダー、菅井秀郎教授(現：中部大学)のご尽力により、世界のプラズマ応用に関する 6 研究機関等 (CAPST (Korea),
CPS (The Netherlands), CPST, SFB 591 (Germany), INP(Germany), LPCM (France), PlasMAC (Ireland),Plasma-Nano (Japan)が設立に合意してスタートしたものである。その後、本 Plasma COE Network には2006 年に HTPL(USA), IMIP(Italy), NPN(UK)が、本年2008 年は APCoE(Australia) が新たに加わり現在のネットワーク組織を形成している。また、本 Plasma
COE Network が開催するワークショップの第 1 回は2004 年に名古屋大学において開催され、その後第 2回ワークショップを 2006 年にドイツ、ポツダム市にて開催し、今回に至っている。本 Plasma COE Network は隔年で国際ワークショップを開催するほか、ホームページを開設し研究情報交換やポスドクポス
トの情報交換等をおこなっている。なお、本 COE
Network に つ い て は ホ ー ム ペ ー ジ
http://www.plasma-coe.org/も参照されたい。
今回のワークショップは、各ネットワークメンバ
ー機関等から 2~3 名程度が講演をおこない、研究のトピックや各機関の活動状況の報告がおこなわれた。
日本からは、名古屋大学 河野明廣先生、関根誠先
生、佐々木浩一先生および豊田が、また九州大学から白谷正治先生が出席した。河野先生は研究トピッ
ク講演とともに、一昨年に名古屋大学に設立された

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プラズマナノ工学研究センターの概要について説明をおこなった。また、本年度から名古屋大学プラズ
マナノ工学研究センターにおいて実施される日本学術振興会「若手研究者インターナショナルトレーニ
ングプログラム」の紹介をおこなった。他の参加各機関からもそれぞれ数名程度の参加者があり、30~40 名程度のコンパクトな規模で自由な雰囲気の中で研究討論をおこなうとともに、さらなる活性化に向けた各機関の活動状況に耳を傾けていた。
なお、
アイントホーヘングループの大御所 Schram 先生も本会議に出席しており、会議を楽しんでおられた。
アイントホーヘン工科大学にはヨーロッパにおけるプラズマ応用の一大研究グループがあり国際会議
等もしばしば開催されていることから、本稿をご覧の中にも訪問された方も多数おみえになると思われる。市内や大学の雰囲気については割愛をさせていただくが、最近(?)の情報としてアイントホーヘン工科大学 CPS のグループは新しい建屋への一部装置の移設も終えている。本ワークショップでは研究室見学もおこなったが、非常に整った環境で研究を進めているように見受けられた。
なお、今会議では Chairman として本 Plasma COE
Network を 2 年間運営してきたルール大学ボッフム
校 Uwe Czarnetzki 教授は退任し、Open University の
Nick Braithwaite 教授が新 Chairman として、今後 2年間運営に携わることが合意された。また、2 年後のワークショップは成均館大学 Han 先生を中心としたグループにより韓国で開催されることとなっている。
最後に、本ワークショップ開催の一部は日本学術振興会 日本学術振興会「若手研究者インターナシ
ョナルトレーニングプログラム」の支援を得たものであり、関係各位に感謝申し上げます。

国際会議報告60st Gaseous Electronics Conference 2007 報告
第 60 回気体エレクトロニクス会議(GEC2007)
名古屋大学 斧 高一
Micro and Dielectric Barrier Discharge
Lightning Plasmas
Capacitively Coupled Plasmas
Electronegative Plasmas
Plasma-Surface Interactions
Materials Processing in Low Pressure
Plasmas I, II
Plasma Applications for Nanotechnology
Biological and Emerging Applications of Plasmas
Electron-Atom Collisions
Electron-Molecule Collisions
Electron Impact Ionization
Electron Attachment and Recombination
Electrons and Positrons: Transport and Anihilation
さらに 3 つのポスターセッション、1 つの GEC
Foundation talk を含め、全体で 26 件の招待講演と 230
件を超える一般講演 (口頭発表 103 件、ポスター発表
133 件) が行われた。
GEC Foundation talk は、Allis Prize Lecture と交互に(隔年で) 設けられている。いずれも、気体エレクトロニクス分野のある 1 つテーマを奥深くまた斬新な切り口でレビューすることによって、前者は、該分野の基礎的背景を思い起こさせ、さらに新しいアイデアを誘発させること、一方後者は、GEC の創始者でもある
Prof. Will Allis の該分野への卓越した貢献を記念する
こと、を目的としている。2007 年の GEC Foundation
talk は、Don Madison 教授 (University of Missouri-Rolla) により、“Why would anyone be interested incharged particles ionizing atoms and molecules ?”と題して行われた。電子・イオンとガス原子・分子衝突によるイオン化について、ビーム実験および量子論に基づく衝突理論によってこれまで理解が進んできた事項について、放電現象との関連にも言及してレビューされた。
Arranged session の構成はほぼ例年どおりであった。
2005 年から設けられた Plasma Aerodynamics and Pro-

第 60 回気体エレクトロニクス会議 (60th Gaseous
Electronics Conference、略称 GEC) が、昨年秋、2007
年 10 月 2 日～5 日にわたり、米国バージニア州・アーリントン (Arlington) において開催された。GEC は、
米国物理学会 (APS) の原子分子光学物理分科(DAMOP) と関係して毎年開催される会議であり、原則として米国内で開催される (米国外開催はこれまで
カナダとアイルランドの 2 回)。応用物理学会は、1998
年秋に、第 4 回反応性プラズマ国際会議／ICRP-4 を
GEC と合同で米国ハワイ州で開催した。米国内会議とはいえ参加国は多彩で、実質的な国際会議といえる(例年 4 割程度が米国外からの参加者)。会議の実質的な運営にあたる GEC Executive Committee (ExComm)
は、現在 12 名で構成され、米国 8 名、欧州 2 名、アジ
ア・オセアニア 2 名 (うち日本から 1 名／2005～2007
年 斧, 2007 年～2009 年 名大・堀先生) である。GECのトッピクスは、気体放電現象およびその応用にかかわる基礎研究に主眼が置かれている。とはいえ、近年は、高気圧非平衡プラズマや、環境・ナノテクノロジ
ー・バイオテクノロジーにかかわるプラズマの基礎・応用研究もクローズアップされ、基礎と応用、新と旧の研究テーマを調和した運営がなされている。
2007 年の GEC は、参加者数 260 名 (米国外から 106
名、うち日本から 25 名) で、Arranged session とよばれる下記の21の重点領域が設けられて2セッション並行で進行された。(参加者数はこれまで、2006 年／コ
ロンバス 261 名、2005 年／サンノゼ 248 名、2004 年／アイルランド265名、2003年／サンフランシスコ349
名。)
Plasma Sources
Plasma Combustion and Chemistry
Plasma Propulsion
Laser and Air Plasmas
Plasma Diagnostics I, II
High Pressure Arcs
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pulsion に関するセッションは、今回、Plasma Combustion and Chemistry および Plasma Propulsion の 2 セッションに分割され、Aerospace 分野のプラズマ・放電応用に関して 12 件の講演 (うち招待講演 2 件) がなされた。高電圧パルス放電による超音速スクラムジェ
ットエンジンの燃焼制御、誘電体バリア放電による流れの制御 (プラズマアクチュエータ) に関する講演が増えている。
プラズマプロセス (薄膜形成、表面改質、微細加工、微粒子など) にかかわる分野は、プラズマ源・プラズ
マ診断やプラズマ表面相互作用の基礎から、CVD、エッチング、ナノ粒子・チューブ・ウォール形成などの応用も含めて、例年どおり活発で、多くの講演発表が行われた。プラズマのナノテクノロジーへの応用に関する招待講演では、プラズマ CVD によるカーボンナ
ノウォールの形成とその次世代電子デバイスへの応用(名大・堀先生) が取り上げられた。低圧プラズマプロ
セシングでは、フルオロカーボンプラズマによるSiO2/Si 高選択性エッチングが取り上げられ、ビーム実
験 (Ar+イオンビーム／C5F8, C4F8, CF2) による基礎過程研究 (名大・豊田先生) に関する招待講演があった。また、プラズマ診断のセッションでは、レーザ診
断 (LIF や LAS) によるシース電場、ラジカルの空間 2次元分布、電子温度・密度の計測 (名大・佐々木先生)
について招待講演があった。
低気圧非平衡プラズマに関する招待講演では、そのほか、クライオジェニック深掘り RIE、次世代ナノパ
ターニングのためのプラズマ・ポリマー相互作用、プ
ラズマを用いた低エネルギーイオン打ち込み、などが取り上げられた。
大気圧／高気圧プラズマに関する招待講演では、レーザ誘導大気圧放電チャネルの形成、揮発性有機化合物 (VOC) 除去のためのプラズマ・触媒相互作用、DC
非平衡大気圧放電のためのマイクロカソード放電、大気圧非平衡プラズマと生体材料表面との相互作用、バイオテクノロジー応用のための大気圧放電プラズマのモデリング、が取り上げられた。
なお、GEC では、上に述べたような応用分野の基礎研
究だけでなく、例年、電子と原子分子との衝突の物理なども含めて、気体放電の基礎にかかわる講演発表も多く行われ、会議の基盤となっている。今回、プラズ
マ基礎に関しては、2 周波励起 CCP の電子加熱機構、
DC-AC ハイブリッドプラズマリアクタ、非平衡プラズ
マ計測におけるラングミューアプローブの多様なバリ
エーション、一方、原子分子衝突に関しては、電子と原子分子衝突による励起・電離のダイナミックス、陽27

電子輸送・消滅過程、低エネルギー電子と巨大分子／
DNA との相互作用、などに関する招待講演があった。
また、期間中 10 月 3 日夜には、特別セッシン“Excessive Broadening of Hydrogen Balmer Lines” が開かれ、当日のポスターセッションが終了した後、19:00～22:00 まで、10 件の講演と議論が行われた。この特別セッションは、講演アブストラクトもなく、GEC
Special Session として、会議ホームページと registration
に際しての 1 枚のビラで案内されたものであるが、プラズマ中での水素原子線の拡がりについて、基礎から応用まで最近の研究の最前線が議論された。
なお、2007 年の 60th GEC の全講演のアブストラクト
は、APS の Bull. Am. Phys. Soc. Vol. 52, No. 8 (October,2007) に掲載されている。また毎年恒例の Student
award には、9 件の候補の中から、Scott Baalrud (University of Wisconsin-Madison), "Double layers at anodespots in low-pressure plasma" が選定された。
今秋の 61st GEC は、2008 年 10 月 14 日～17 日に、テキサス州・ダラスで開催されます (また 2009 年秋の62nd GEC はニューユーク州アルバーニの予定です)。
GEC は、過去 (1998 年) に ICRP と合同で会議開催したこともあり、プラズマエレクトロニクス分科会との縁も密接です。研究内容／範囲や研究に対する考え方
も、GEC とプラズマエレクトロニクス分科会では共通点も多く、色々参考になる点も多々あると考えますので、分科会会員皆様の2008, 2009年のGEC、そして2010年にフランス・パリで開催予定の GEC2010/ICRP-7 へのご参加を是非お願いいたします。
<追記> GEC の海外開催に関しては、ほぼ毎年候補があり (会議開催要請があり)、GEC の委員会 (GEC
General Committee, Executive Committee) において多くの議論がなされてきましたが、基本的に GEC が米国の国内会議であることから、なかなか実現しませんでした。2007 年の 60th GEC 会期中に開催された委員会
では、フランスから GEC のフランス開催が、日本から GEC/ICRP 合同会議の米国 (ハワイ、西海岸) 開催
が 提 案 さ れ 、 両 者 あ わ せ た 形 で 、 2010 年 のGEC2010/ICRP-7 パリ開催が内諾に至りました。今回の日本からの GEC/ICRP 合同会議開催提案に関しましては、プラズマエレクトロニクス分科会幹事会の了解を得て、GEC2007 の 3, 4 カ月前から GEC 委員会委
員に根回しをしましたが、その段階から GEC/ICRP 合
同会議に関しては好印象の感触を得ていました。
GEC2010/ICRP-7 開催の内諾は、ひとえに、1998 年の合同会議 GEC1998/ICRP-4 の成功と、それに引き続く
ICRP の活発な活動の賜といえます。

国内会議報告第 25 回プラズマプロセシング研究会（SPP-25）報告
山口大学

福政 修

第 25 回プラズマプロセシング研究会（25thSymposium on Plasma Processing）は，2008 年 1 月
23 日(水) ~ 1 月 25 日(金)の 3 日間にわたって，山口市の山口県教育会館 (講演会場)とゆ～あいプ
ラザ山口県社会福祉会館（ポスター会場）において開催されました。ISPC（2007 年 8 月）
，AEPSE（2007 年 9 月）等の，内容的には本シンポジウムと密接に関連する国際会議が国内にて開催された後でもあり，
今回 25 回目という節目の年の本シンポジウムの盛り上がりはどうかと，多少心配しておりました。ところが，結果は総参加者数 234 名（一般：137 名，学生：97 名），講演総数 170 件（特別講演，指定テーマ講演 各 2 件，口頭発表及びポスター発表 166 件）ということで，地方都市での SPP 単独開催としては講演件数，参加者とも多く，懇親会にも 80 名以上の方々のご参加をいただ
き，盛会にて無事終了の運びとなりました。この分野の底力・層の厚さを実感させられた次第です。
本シンポジウムは，プラズマ物理・プラズマ化学の研究者をはじめ，原子・分子物理，薄膜・表面の物理・化学，電子工学など多分野の研究者が一堂に会して，プロセシングプラズマの基礎科学の解明・その制御と応用技術の開発等，プラズマを接点とする境界分野の成果発表・討論を行うと共に，新たな問題点の発掘や，新しいプロセシン
グの可能性を追求することが目的です。我が国で開催されているプラズマプロセシングに関するシンポジウムでは最も伝統ある会議の一つとなっています。
シンポジウムでは，プラズマ応用技術に関わる基礎的研究は勿論のこと，次世代の応用技術と目されているナノテクノロジー分野（ナノ粒子，ナノ構造物質，
ナノ加工），
バイオテクノロジー分野，
環境応用分野もスコープに加え，総合的な議論ができるように企画しました。また、次世代を担う
大学院生等の人材育成の観点より，第一線で活躍する著名な研究者を招待して，今回も「特別講演」と「指定テーマ講演」が開催されました。

今回の特別講演では，初日に「プラズマ研究の基礎から応用への 40 年～次世代に託す夢」と題して京都大学の橘 邦英先生，2 日目には「カーボン
ナノチューブの気相合成と応用研究における最近のトピックス」と題して大阪大学の中山 喜萬先生に御講演をいただきました。さらに，指定テーマ
講演では，「非平衡プラズマ化学反応による水素合成とエネルギーシステムへの応用」と題して東京工業大学の岡崎 健先生，そして「ソリューショ
ンプラズマ・プロセシング」と題して名古屋大学の高井 治先生に御講演をいただきました。
一般講演では，以下のテーマを設定して，口頭発表ならびにポスター講演を合せて 166 件の御講演をいただきました。各セッションにおいて，プ
ラズマプロセシングを接点とした議論が活発に行われました。また，学際領域のシンポジウムである
特徴から，プラズマ分野を専門としない研究者による研究発表・討論も行われたことも大きな成果であったといえます。
1) プロセシングプラズマの発生・制御
2) プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング3) プロセシングプラズマにおける素過程・モ
デリング4) プラズマによるエッチング（ゲートスタッ
ク，ダマシン，MEMS など）
5) プラズマによる薄膜形成（絶縁体，導電体，半導体，金属，Low-k，High-k，配線材料，
透明導電膜など）
6) プラズマによる表面改質（酸化，窒化，イ
オン注入，クリーニングなど）
7) 大気圧・マイクロプラズマの基礎と応用
8) プラズマ応用技術
8-1) ナノテクノロジー（ナノ構造物質 [炭素系，窒化物系]，ナノ粒子など）
8-2) バイオテクノロジー（バイオチップ，殺菌・滅菌など）8-3) 環境応用
288-4) 光応用・発行デバイス用プラズマ8-5) フラットパネルディスプレー・ジャイア
ントエレクトロニクス
9) 上記以外のプラズマプロセシング
今回のシンポジウム開催にあたりまして，山口大学教育研究後援財団，山口大学工学部，応用物理学会中国四国支部，（財）
中国電力技術研究財団，（財）中部電力基礎技術研究所より開催助成金を賜り，さらに予稿集への企業広告として計 8 社，
寄付金として計 1 社にご協力いただきました。上記の財団，企業各社等の大いなる御好意によって本シンポジウムを開催することができましたことについて，厚く御礼申し上げます。
最後に，本シンポジウムを滞りなく開催できましたのは，企画立案から広報，講演・参加募集，プログラム作成，各種出版，さらには当日の運営に携わっていただいた現地実行委員の先生方，分科会担当幹事の先生方，ならびに学生アルバイト
の諸氏の献身的な御尽力の賜物です。此処に深甚なる感謝の意を申し上げます。

29

国内会議報告

第 1 回名古屋大学プラズマナノ工学スクール「先端プラズマ計測の基礎と応用」報告名古屋大学

佐々木 浩一名古屋大学プラズマナノ工学研究センターでは，
2008 年 1 月 17 日に，名古屋大学野依記念学術交流館において，先端プラズマ計測の基礎と応用をテーマとする第１回プラズマナノ工学スクールを開催しました。本稿では，このスクールの概要に関して報告させていただきます。
プラズマナノ工学研究センターは，プラズマナ
ノ工学の世界的研究拠点を形成すること，ナノテ
クノロジー・材料分野の戦略的基幹技術であるプ
ラズマ技術の研究開発を行うこと，および，産学連携・人材養成並びに国際連携を推進することを目的に，名古屋大学工学研究科附属として 2006
年 10 月に発足した新しい研究センターです。
本研究センターの設立に関しては，既に，本誌 45 号
（2006 年 12 月発行）に紹介させていただきました。若手研究者養成および社会人教育は本研究センターの重要なミッションの一つであり，プラズ
マナノ工学スクールは，この目的に沿って今後も毎年開催の予定です。
プラズマプロセス技術はブラックボックス的であると言われますが，その一因はプラズマの計測が容易でないことにあります。名古屋大学では，
これまで，プラズマ計測技術に関する先駆的な研究が行われてきており，第１回プラズマナノ工学
スクールでは，プラズマ計測技術をテーマに取り上げました。スクールのプログラムは表のとおりです。プラズマに関して最も基本的な電子パラメータの計測技術，プラズマプロセスで最も重要なラジカル密度の計測技術，および，プラズマと相互作用する表面の分析技術まで，多岐にわたる計測技術を網羅的に取り上げました。また，ラング
ミュアプローブ法や発光分光法のような基盤的計測技術からレーザー応用技術のような先端的計測技術までを解説し，これからプラズマ計測を始めようとする学生等にとってはもちろん，これまで用いていた計測技術を更新してより高い精度や分
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第１回プラズマナノ工学スクール「先端プラズマ計測の基礎と応用」
プログラム
題
目
講 師
発光分光計測技術および LIF
佐々木浩一
計測技術
プローブ計測・質量分析技術
豊田浩孝
光散乱によるプラズマ診断
河野明廣
吸収分光計測技術
堀 勝
表面入射正負イオンの計測評
林 俊雄
価技術
機能性薄膜・表面評価技術
高井 治

解能を求めたり，これまで計測できなかった量を計測したいと希望する研究者・技術者にも役立つ
内容としました。
当日は，一般：42 名および学生：49 名の参加者が得られ，講師等を含んで合計 100 名が参加する盛会となり，質疑応答も活発に行われました。また，スクール終了後は名古屋大学内において懇親会を開催し，特に，これからプラズマ技術を導入されようとしている企業の方と講師との間で有意
義な産学交流がなされました。
本スクールのテキスト（118 ページ）の残部は有償にてお分けしておりますので，ご希望の方は
http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/school2008/
をご覧の上お申し込みください。なお，次回のプ
ラズマナノ工学スクールは 2008 年 11 月 21 日に名古屋大学において開催の予定です。たくさんの方のご参加をお待ちしております。

国内会議報告第22回光源物性とその応用研究会報告
防衛大学校 明石 治朗
室蘭工業大学 佐藤 孝紀
光源物性とその応用研究会は、第20回（愛媛大学）
および第21回（神奈川大学）と地方と首都圏との間で交互の開催となり、第22回は名古屋工業大学（共通23号館 4階 共10教室）での開催となった。
開催日は当初、平成19年12月6日(木)、7日(金)の2日間と案内されたが、募集テーマ「新光源、一般
光源および放電プラズマ光源の基礎・応用」への講演申込が1日の日程に収まる件数であったため、12月7日（金)のみの開催となった。

ど応用面での講演を増やすことが重要ではないかと考えられる。
最後になるが、今回の研究会実施に当たって、会場提供・準備について名古屋工業大学の小田昭紀先生と同研究室の学生諸氏より、そして資料集印刷の手配については電気学会事業サービス課より、多大なるご協力をいただいたことに関して謹んで御礼申し上げたい。

第22回光源物性とその応用研究会講演題目・著者
同研究会は昨年より、応用物理学会プラズマエ
レクトロニクス分科会（PE分科会）と、照明学会
光の発生・関連システム研究専門部会（LS部会）
ならびに光放射の応用・関連計測研究専門部会（AR部会）、電気学会光応用・視覚技術委員会（LAV委員会）の３学会４組織による共催で開催されており、今後もこの４組織による共催が続く見通しである。
本研究会は、汗ばむ陽気の中お昼過ぎから講演者・参加者が集い始め、13時より開催された。今
回は本稿末に示した５件の発表と件数ではさびしいものとなった。発表の主な内容は「PDP放電およびMgO薄膜」、「プラズマ光源」、「大気圧グロー放電」に関するもので、実験とモデリングの両面から熱心な議論がなされた。なお、参加人数は講演者を含め、計11名であった。
事後の資料請求・問合せ先は、「第22回光源物性とその応用研究会資料」が照明学会事務局、「光応
用・視覚研究会資料（2007年12月7日）」が電気学会事務局である。
なお、本研究会の発表は科学技術振興機構（JST）のデータベースに登録されることとなっており、発表毎の要旨の提供を求められている。
また、今後の研究会開催については、年々講演者、参加者が減少しているため、光源の研究そのものに限らず、光源を用いた計測に関する研究な

PE-07-01/LS-07-01/AR-07-06/LAV-07-07「無水銀蛍光ランプの開発」
神野雅文、戸田幸伸、竹田征史、平碆三明、
海部真司、本村英樹（愛媛大学大学院理工学研究科電子情報工学専攻）
PE-07-02/LS-07-02/AR-07-07/ LAV-07-08「MgO薄膜の二次電子放出係数の検討」
鈴木進、伊藤晴雄（千葉工業大学）
PE-07-03/LS-07-03/ AR-07-08/ LAV-07-09「プラズマディスプレイ放電特性に及ぼす
O2添加の影響」
平野芳邦、村上由紀夫（ＮＨＫ放送技術研究所）
小田昭紀（名古屋工業大学）
PE-07-04/LS-07-04/AR-07-09/LAV-07-10「DBDXeエキシマランプ放電における均一放電の可能性について」
明石治朗（防衛大学校）
小田昭紀（名古屋工業大学）
酒井洋輔（北海道大学）
PE-07-05/LS-07-05/AR-07-10/ LAV-07-11「大気圧・直流Ｈｅグロー放電の流体モデリング」
小田昭紀、木村高志（名古屋工業大学）

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国内会議報告2008 年 春季第 55 回応用物理学関係連合講演会シンポジウム「液相プラズマ科学の研究課題と応用への展望」報告

京都大学
近年、液相、気相及びその境界でのプラズマ応
用が、さらに活発になっている。しかしながら、新材料創製などへの技術的応用は加速的に進展しているが、そのような場におけるプラズマの生成・反応メカニズムの科学的理解は未だ十分でない。そこで今回、プラズマエレクトロニクス分科
会では、液相を中心とする反応場でのプラズマ生
成過程、気相の発生、また、気相・液相界面の反応、生成種の振る舞いなどの原理・研究課題について議論するとともに、液相プラズマの応用技術についてその展望を議論する機会を提供することを目的として、本シンポジウムを開催した。各応用分野で活躍されている先生方に、液相プラズマの基礎（様々なプラズマ源に関する生成過程、反応過程など）、
気相－液相界面を反応場とする種々のプラズマ源による材料合成、加工・改質など、幅広い分野への様々な液相プラズマの応用例を講演いただき、その課題などを参加者とともに概観・共有した。参加者はおおよそ 150 名程度であった。
液相プラズマ科学のニーズ（今回の企画の趣旨）についての江利口からのイントロダクトリートー
クに続き、７名の講演者から、基礎から応用について最前線での研究内容について興味深い話題が示された。
まず、京都大学の橘邦英先生から、種々の液相
プラズマ反応場の構成についての説明が示された
後、十分に解明されていない液相プラズマの科学的理解には、制御された系（単純化された系）での実験、モデリングが重要である、との話があった。また、一例として、メッシュ構造を用いたプ
ラズマ発生例とその機構について示された後、実はそこには未だ理解できていない部分が多く、プラズマ発生機構の解明・理解が今後重要である、との話があった。続いて、東北大学の畠山力三先生から、正負完全電離状態のイオン液体を用いた

江利口 浩二プラズマ反応場の取り組みを中心に、シース構造の重要性、電荷移動の機構解明が、今後の重要な研究テーマであるとの話があった。会場からはシース構造について質問があり、液相プラズマ科学の基礎に対する興味の深さが伺えた。続いて、名古屋大学の石島達夫先生からは、電極を必要としないスロットアンテナを、通常のプロセス装置とは違って鉛直方向にアンテナ面を配置した構成での実験例が示された。液中でのバブルの発生とバブルの運動、プラズマの形成については、会場からの質問と同様、当該装置の構成がもたらす、それらの物理（プラズマ発生、成長過程など）は興
味深いものであった。その後、休憩を挟み、液相プラズマの応用例についての講演が続いた。名古屋大学の高井治先生からは、ソリューションプラ
ズマという先駆的コンセプトのもとで研究を推進されてきた多くのテーマの中で、ソリューション
プラズマの場における金ナノ粒子合成についての話があった。また、液相での反応粒子数の多さの利点を活かしたソリューションプラズマの多くの応用例を概観いただいた。続いて、東京大学の寺嶋和夫先生からは、超臨界状態＋プラズマという切り口で、新しい材料創製についての話があった。
超臨界状態でのプラズマによる反応を利用すれば、カーボンナノワイヤが半ば自己整合的にある方向に成長する機構の例が示された。会場からは、同様のナノ構造をつくることが簡単ではなく、その理由を尋ねる質問もあり、液相プラズマプロセスの科学的理解の必要性が議論された。続いて、熊
本大学の秋山秀典先生からは、水中でのパルスパワーによるプラズマ放電メカニズムについての話の後、引き続き、液相プラズマプロセスの応用例の１つとして、“アオコ”の処理（湖沼浄化）の説
明があった。さらに実際に利用されている本処理装置の変遷（小型化）についての話があった。消費電力についての質問もあったが、システムが太32

陽電池を用いている点からも、外部電力供給は不要である、という点を強調されていた。最後に、愛媛大学の野村信福先生からは、ダイアモンド生
成から発展した先生自身のプラズマの研究経歴を元にユーモアを交え、環境を考慮しながらのプラ
ズマとの取り組みが示された。また、トルエンを例に、液相プラズマを利用した反応例が示された。
会場からは、CO2 削減の可能性や水素の取り出し、などについての質問もあった。
今回のシンポジウムの狙いは、できるだけ多くの研究者にプラズマに親しんでもらう（興味を持ってもらう）ことも１つの目的とした。例えば、最後にお話しいただいた愛媛大学の野村信福先生
は、日本応用物理学会以外の分野でも大変活躍されており、本シンポジウムに参加・講演いただいた。プラズマが幅広い分野で活躍していることも再認識できた。また、プラズマ分野外の筆者の知人からは、“プラズマがこんな分野にも積極的に応用されているとは知らなかった。面白かった。”という評価をもらうこともできた。
しかしながら一方で、プラズマに携わってきた研究者にとっては、現状、液相プラズマの理解が未だ不十分であること、多くの応用例があるが何故そのような現象が起きるのか？についてはわかっていないこと、など、多くの未解決の課題が再認識された場であったと思われる。多くの研究者
が、（１）液相プラズマの応用例を概観でき、（２）未だ液相プラズマの科学的理解が十分でないことを再認識でき、
そして（３）何がわかっていて何がわかっていないのか？何が問題点なのか？など研究開発課題を整理でき、さらに、結果として、本シンポジウムが課題解決への方向付けの場となる機会となったのであれ
ば、企画者の一人として幸いである。

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国内会議報告2008 年 春季第 55 回応用物理学関係連合講演会

合同セッション D「プラズマ CVD の基礎と応用」報告
名古屋大学
合同セッション D はプラズマエレクトロニクス
分科「１．４プラズマ応用プロセス」、薄膜・表面分科の「６．２カーボン系薄膜」および非晶質・微結晶分科の「14.2 プロセス技術」の共同企画によるものであり、それぞれの分科の研究成果に関する情報を交換し合い、違った視点から議論を交わすことのできる場として機能している。また、
本セッション講演からは、講演奨励賞を受賞する
若手研究者の発表もあり質の高い講演がおこなわれている。今回の合同セッションは講演会初日(27日)午後に開催された。
セッションは８件の講演からなり、最初に前回の講演会において講演奨励賞を受賞した岸本和也
氏の発表がおこなわれた。大気圧プラズマを利用して、Si 固体原料から薄膜を形成する APECT 法を用いることにより、高結晶性の Si 薄膜を形成する
ことに成功しており、今回は太陽電池 Si 基板の裏面に形成されるポイントコンタクト BSF 層への応用を目的として、SiO2/Si の選択エピタキシャル
成長を試みた結果についての報告があった。製膜
時間に対する Si 成長速度を下地基板に対して比較した結果、SiO2 上においては、初期製膜速度がSi のそれに比べて遅くなり、これによる Si 上への選択エピタキシャル成長の可能性が示されていた。また、B ドープ特性についても検討がおこなわれていた。九州大学からは、SiH4 有磁場マルチホロー放電における発光分光測定をもとに、電子エネルギー分布関数における高エネルギー部の変化に関する議論をおこなっていた。特に磁場の引火により電子エネルギー分布が変化し高エネルギ
ー電子が減少し SiH3 ラジカル生成が増加するという結果を示した。また、同じグループからマルチホロー放電プラズマにおけるクラスタ取り込み
量のガス流速依存性に関する報告がなされた。ガス流に流される最小クラスタサイズは流速増加にともない小さくなるという事実をもとに、クラス

豊田 浩孝
タサイズ分布と流速による取り込みクリティカル
サイズの変化から、膜中へのクラスタ取り込みの流量依存性と製膜速度依存性に関する議論がなされた。
次に、微結晶シリコン膜堆積に関連する 2 件の発表があった。産総研のグループからは、微結晶シリコン高速製膜用の VHF プラズマ CVD 装置について、放電開始後の経時変化を質量分析、発光分
析により測定した結果が示された。ラジカル量、
電子温度、ナノ粒子量などを総合的に詳細に調べており、今後の研究の発展が期待される。また、名古屋大学のグループからは、２ｍｘ１ｍのマイ
クロ波大面積プラズマ CVD 装置の開発について報告があった。導波管列を 3 列とすることにより、メートルサイズでの均一プラズマ生成を可能とし、また微結晶 Si 膜の高速かつ均一な製膜が可能であることを報告した。
最後にカーボン膜 CVD に関連する 3 件の発表があった。九州大学のグループからは、コンビナト
リアル手法をプラズマプロセスへ適用するという発想をもとに、要素技術としてトレンチへの有機材料薄膜のコンフォーマル堆積に関する実験結果が示された。また、長崎大学からは中赤外領域における多重内部反射赤外分光法を用い、アモルフ
ァス炭素膜への水素ラジカル照射による水素引き抜き効果に関する実験結果が報告され、吸収スペ
クトル変化の解析結果について、議論がおこなわれた。東大のグループからは、ダイアモンド CVDにおけるバイアス処理に関する発表があった。イ
オンエネルギー評価のための、シース構造に関するシミュレーション計算結果も報告されており、興味深い結果が得られていた。
なお、
本合同セッション D は 10 年程度継続されてきたが、合同セッションの長期開催が基本的には認められていない中、次回をもって一旦休止が予定されている。
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国内会議報告2008 年 春季第 55 回応用物理学関係連合講演会

合同セッション F「カーボンナノチューブの基礎と応用」報告
武蔵工業大学去る平成 20 年 3 月 27 日～30 日に、日本大学理工学部 船橋キャンパス（千葉県船橋市習志野台
7-24-1）で開催された第 55 回応用物理学関係連合講演会において、合同セッション F「カーボンナノチュー
ブの基礎と応用」が開催された。本セッションは５分科の合同企画として 2003 年春季講演会から実施され、満 5 年を迎えた今回も、その諸特性の解明及び応用に関する研究が盛んに行われている。
今回の発表件数は、102 件（講演取り消しも含む）
であり、傍聴者も連日 100 名前後であった。内容の分類は以下の通りである。• 合成・成長・配向 32 件（合成には、プラズマ CVD 法、熱 CVD 法、レーザーアブ
レーション法、アーク放電法等、並びに形成機構解明を含む。）、• ナノカーボン類（ナノコイル・ナノウオ
ール・アークスート）：10 件、• 複合構造：5 件、• 内包
ナノチューブ：7 件、• 分離・分散・修飾：4 件、• 機械
的・光学的・磁性的物性評価：10 件、• 電界放出特性 ： 3 件 、 • SEM/AFM/TEM 観 察 ： 4 件 、 •CNT-FET：9 件、• バイオデバイス（センサ）：5 件、•グラフェン関連：5 件、• その他：8 件。
CNT の光学的評価については、垂直配向 SWNTの異常ラマン・スペクトと偏光ラマン分光（東大）やその場ラマン観察（NTT、東理大、明大）などの成長メカ
ニズム解明に関する重要な興味深い報告があった。
さらに、PL の空間分布測定によるカイラリティ分布評
価（名大）などの CNT 特性制御に寄与が期待される報告もあった。また、CNT からの蛍光発光測定や近赤外蛍光スペクトルに関する報告もあり、光学測定の重要性と着実な発展が見受けられた。
SWNT の金属・半導体分離については、ゲル電気泳動による報告（産総研）が非常に興味深かった。比較的簡便な方法により、半導体比率を 95%まで高められるという報告がなされた。また、ナノチューブインク（産総研）と題した密度勾配遠心分離法を基本原理とする、分子内包単層 CNT の金属、半導体の高純度

平田 孝道
分離が注目された。
FET 応用に関しては、SWNT の電気伝導特性制御に関する報告が多く、イオン照射、中性子ビーム照射、
有機分子修飾、電極構造の工夫、保護膜の堆積など、様々な手法とその効果について議論が交わされた。
センサ応用では、CNT 分散 PMMA 薄膜を用いた水素ガスセンサ、CNT による光学的ガスセンシング（産総研）、微小流体制御された CNT 電極多項目免疫センサ（阪大、北陸先端大）が注目を集めた。
非チューブ状ナノカーボン材料の分野では、グラフ
ェンへの関心の高まりもあり、関連講演が比較的多く件行われたのが特徴的であった。高温（95 ）無電解
メッキ中での成長（北大、寿産業、SEP）、多層グラフ
ェンと配向 CNT の複合構造形成（富士通研）が注目を集めた。また、グラフェンシートからの電界放出（北大、産総研）やナノグラフェン素子における量子輸送
シミュレーション（神戸大、東理大）などの報告もあった。さらに、ナノウォールでは、メタルコンタクト、電極間架橋などの電子デバイス応用に向けた進展が見られた（名大、名城大、他）。
CNT 成長メカニズムに関して、講演奨励賞受賞記
念講演の高分解能 TEM その場観察（阪大）により、多層 CNT 成長中の触媒は結晶化しており、その相がFe3C であることが明らかにされた。また、成長速度（豊田中研）や反応ガス種（MIRAI-Selete）のその場測定に関する報告があった。さらに、分子動力学による計算機シミュレーション（東大）により CNT 内部での触媒
金属による単層 CNT 成長について興味深い情報が提供された。いずれの講演も成長メカニズムに関する興味深い内容であった。また、アルコール CVD による
SWNT の合成において、アセチレンを添加することで成長速度が格段に向上する（東大）、MgO 基板を用いることにより 2 層 CNT の収率が向上する（京工繊大）などの講演が注目を引いた。
新しい試みとして、ナノカプセル輸送に関する講演35

（阪大・阪府大）があり、今後の展開が期待される。ナ
ノ加工の進歩も見られ、先端が 1 nm まで先鋭化したCNT の作製に関する講演（阪大）があった。CNT、CNF の SPM 応用関連では磁性材料を含む CNF の磁気力顕微鏡探針への応用が興味深かった。また、
高配向 CNT を高密度化した基板を用いた MEMS デ
バイスへの応用（産総研）など CNT の機械的な特徴を生かした発表があり、新たな展開に期待がもてた。

最後に、この分野に携わる様々な研究者が切磋琢磨しながら活発な研究活動を持続し、カーボンナノチ
ューブを含むナノカーボン分野が更なる発展を遂げることを願っています。本報告を行なうにあたり、秋田成司（大阪府立大）、佐藤信太郎（富士通研）、種村眞幸（名工大）、本多信一（阪大）のご協力に深謝い
たします。

36

2008（2008（平成20平成20）20）年度 プラズマエレクトロニクス分科会幹事名簿
プラズマエレクトロニクス分科会幹事名簿
氏名

幹事長

住所・電話
〒 812-8581
福岡市西区元岡744
白谷 正治 TEL: 092-802-3733
FAX: 092-802-3734

所属
九州大学
システム情報科学研究院
電子デバイス工学専攻

siratani@ed.kyushu-u.ac.jp

副幹事長

白藤 立

〒606-8520
京都市西京区桂TEL: 075-383-3052
FAX: 075-383-3031

京都大学
国際融合創造センター

shira@icc.kyoto-u.ac.jp

副幹事長〒 664-0005
兵庫県伊丹市瑞原4-1
藤原 伸夫 TEL: 072-787-2467
FAX: 072-789-3023

株式会社ルネサステクノロジ
生産本部 技術開発統括部
プロセス開発部
ドライエッチング開発グループ

fujiwara.nobuo@renesas.com〒432-8561

静岡大学
工学部 電気電子工学科

浜松市城北3-5-1
編集委員

永津雅章 TEL: 053-478-1081
FAX: 053-478-1082

tmnagat@ipc.shizuoka.ac.jp〒229-1198
相模原市下九沢1120
幹事
任期
秋元 健司 TEL: 042-779-9925
2009年3月
FAX: 042-771-0896
takeshi.akimoto@necel.com〒606-8501
京都市左京区吉田本町〃
江利口 浩二 TEL: 075-753-5983/0774-38-3966
FAX: 075-753-5980/0774-31-8811
eriguchi@kuaero.kyoto-u.ac.jp〒640-8510
和歌山市栄谷930〃
太田 貴之 TEL/FAX: 073-457-8184
ohta@sys.wakayama-u.ac.jp

〃

〃

〃

NECエレクトロニクス
プロセス技術事業部
ドライエッチ技術グループ

京都大学
大学院工学研究科
航空宇宙工学専攻

和歌山大学
システム工学部
光メカトロニクス学科〒571-8502
大阪府門真市松葉町2-7
奥村 智洋 TEL: 06-6905-4772
FAX: 06-6905-2600
okumura.tomohiro@jp.panasonic.com〒464-8603
名古屋市千種区不老町
上坂 裕之 TEL/FAX: 052-789-2787
kousaka@mech.nagoya-u.ac.jp

松下電器産業株式会社
生産革新本部
生産技術研究所〒050-8585
室蘭市水元町27-1
佐藤 孝紀 TEL/FAX: 0143-46-5506
ksatoh@mmm.muroran-it.ac.jp

室蘭工業大学
工学部
電気電子工学科37

名古屋大学大学院
工学研究科
機械理工学専攻

〃

〃

〃

幹事
任期
2010年3月〃〒305-8568
つくば市梅園1-1-1中央第2布村 正太 TEL: 029-861-5075
FAX: 029-861-3367
s.nunomura@aist.go.jp〒511-0192
桑名市多度町御衣野1500
長谷川 明広 TEL: 0594-24-9164
FAX: 0594-24-9143

産業技術総合研究所
太陽光発電研究センター

富士通マイクロエレクトロニクス株式会社
三重工場
デバイス開発統括部
第二プロセス開発部〒857-1193
佐世保市沖新町1-1
柳生 義人 TEL: 0956-34-8528
FAX: 0956-34-8476
yyagyu@post.cc.sasebo.ac.jp〒 980-8577
仙台市青葉区片平2-1-1
大竹 浩人 TEL/FAX: 022-217-5284

佐世保工業高等専門学校
電気電子工学科

ohtake@sammy.ifs.tohoku.ac.jp〒 432-8561
静岡県浜松市中区城北3‐5‐1
荻野 明久 TEL/FAX: 053-478-1616

東北大学
流体科学研究所
流体融合研究センター
知的ナノプロセス研究分野
静岡大学創造科学技術大学院
ナノビジョンサイエンス部門

taogino@ipc.shizuoka.ac.jp〃〃〒599-8531
大阪府堺市中区学園町1-1
川田 博昭 TEL: 072-254-9270
kawata@pe.osakafu-u.ac.jp

北嶋 武

大阪府立大学大学院
工学研究科
電子物理工学分野〒 239-8686
神奈川県横須賀市走水1-10-20
TEL: 046-841-3810
FAX: 046-844-5903

防衛大学校
電気情報学群
電気電子工学科

kitajima@nda.ac.jp〃〃〒 185-8601
東京都国分寺市東恋ヶ窪1-280
小林 浩之 TEL: 042-323-1111 (ext. 2141)
FAX: 042-327-7708
hiroyuki.kobayashi.sy@hitachi.com〒 243-0198
神奈川県厚木市森の里若宮3-1
神 好人 TEL: 046-240-2024
FAX: 046-240-4328

日立製作所中央研究所
先端技術研究部
６０１ユニット

NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
企画部

milabskt@aecl.ntt.co.jp〒 235-8522
横浜市磯子区新杉田町８（横浜事業所）

〃

林 久貴

TEL: 045-776-5543
FAX: 045-776-4101

hi-hayashi@amc.toshiba.co.jp〃〒 739-8530
東広島市鏡山一丁目3-1
東 清一郎 TEL: 082-424-7655
FAX: 082-422-7038

sehiga@hiroshima-u.ac.jp
38

株式会社東芝セミコンダクター社
プロセス技術推進センター
半導体プロセス開発第五部
バックエンドプロセス技術開発
第二担当
広島大学大学院
先端物質科学研究科
量子半導体工学研究室

〃〒 157-8510
東京都世田谷区砧1-10-11
平野 芳邦 TEL: 03-5494-3246
FAX: 03-5494-3278

NHK放送技術研究所

hirano.y-cq@nhk.or.jp〃〒243-0014
神奈川県厚木市旭町4-14-1
深沢 正永 TEL: 046-202-2756
FAX: 046-202-6034

ソニー株式会社
半導体事業本部
セミコンダクタテクノロジー開発部門
プロセス技術部

masanaga.fukasawa@jp.sony.com;〃〒 660-0891
兵庫県尼崎市扶桑町1-8
松本 直樹 TEL: 06-6487-4766
FAX: 06-6487-2897

東京エレクトロン技術研究所
RLSAエッチャー開発部

naoki.matsumoto@tel.com〃

株式会社アルバック
半導体技術研究所〒 410-1231
静岡県裾野市須山1220-1
村山 貴英 TEL: 0559-98-1564
FAX: 0559-98-1767

takahide_murayama@ulvac.com

39

平成20）
2008（
（平成
）年度

プラズマエレクトロニクス分科会幹事役割分担
プラズマエレクトロニクス分科会幹事役割分担
新任

役割分担
幹事長(USBキー保持者）

白谷正治
白藤 立
副幹事長
藤原伸夫
1. 分科会ミーティング
小林浩之
○白藤 立
2 .シンポジウム総合講演合同セッショ 神 好人
ン
松本直樹
東 清一郎
○白谷正治
荻野明久
3. プラズマ科学シンポジウム2009/
川田博昭
プラズマプロセシング研究会
深沢正永
SPP26
林 久貴
村山貴英
4. 光源物性とその応用研究会
平野芳邦
○藤原伸夫
平野芳邦
5. ミニ研究会
東 清一郎
大竹浩人
神 好人
○白藤 立
6. インキュベーションホール
北嶋 武
村山貴英
○藤原伸夫
小林浩之
林 久貴
7. プラズマエレクトロニクス講習会
北嶋 武
松本直樹
深沢正永
○村山貴英
8. 会誌編集・書記
大竹浩人
9. ホームページ (USBキー保持者）
荻野明久
10. 会員名簿
北嶋 武
11. 庶務大竹浩人
12. 会計荻野明久
13. プラズマエレクトロニクス賞
白谷正治
14. PE懇親会 2008秋 中部大
2009春 筑波大
○北嶋 武

留任

九州大
京都大
ルネサステクノロジ
日立製作所
太田貴之
和歌山大
京都大
上坂裕之
名古屋大
NTT
奥村智洋
松下電器
東京エレクトロン○江利口浩二京都大
広島大
柳生義人
佐世保高専
九州大
長谷川明広 富士通
静岡大
奥村智洋
松下電器
大阪府立大
江利口浩二 京都大ソニー
東芝セミコンダクター
アルバック
NHK
佐藤孝紀
室蘭工大
ルネサステクノロジ 秋元健司
NECエレクトロニクスNHK長谷川明広 富士通
広島大
○太田貴之 和歌山大
東北大
NTT
京都大
上坂裕之
名古屋大
防衛大
秋元健司
NECエレクトロニクス
アルバック
布村正太
産総研
ルネサステクノロジ 秋元健司
NECエレクトロニクス
日立製作所
長谷川明広 富士通
東芝セミコンダクター 奥村智洋
松下電器
防衛大
布村正太
産総研
東京エレクトロン
ソニー
アルバック○布村正太 産総研
東北大
柳生義人
佐世保高専
静岡大
柳生義人
佐世保高専
防衛大
佐藤孝紀
室蘭工大
東北大
静岡大
太田貴之
和歌山大
九州大
○上坂裕之 名古屋大
防衛大○：取りまとめ役

40

2008（2008（平成20平成20）20）年度 プラズマエレクトロニクス分科会関連
プラズマエレクトロニクス分科会関連の分科会関連の各種世話人・各種世話人・委員
１．応用物理学会講演分科の世話人（任期：1期2年）
8.1 プラズマ生成・制御
8.2 プラズマ診断・計測
8.3 プラズマ成膜・表面処理

八田章光
松田良信
一木隆範
豊田浩孝
板橋直志
明石治朗
平田孝道
明石治朗
平田孝道
豊田浩孝
平田孝道

（日立）
（防衛大）
（武蔵工大）（防衛大）（武蔵工大）（名古屋大）（武蔵工大）

２．「応用物理」編集委員 (2008.4～2010.3)

永津雅章

（静岡大）

３．応用物理学会代議員（１期２年）

節原裕一
永津雅章
八田章光
豊田浩孝
白藤 立

（大阪大）
（静岡大）
（高知工科大）（名古屋大）（京都大）：支部推薦

４．GEC組織委員会委員 ( 2007.10～2009.10 )堀 勝（名古屋大）

５．その他：本部理事

河野明廣（名古屋大）

６．評議員

斧 高一
橘 邦英
中山喜萬
堀 勝
真壁利明

（京都大）
（京都大）
（大阪大）
（名古屋大）（慶應大）７．フェロー

菅井 秀郎
橘 邦英
真壁 利明
渡辺 征夫

（中部大）
（京都大）
（慶應大）
（九州電気専門学校）

８．名誉会員後藤 俊夫

8.4 プラズマエッチング
8.5 プラズマナノテクノロジー

8.6 プラズマ現象・新応用・融合分野

合同セッションD:プラズマCVD
合同セッションF:CNT

41（高知工科大）（長崎大）（東京大）（名古屋大）：代表世話人

平成 19 年度後期,平成 20 年度前期プラズマエレクトロニクス分科会活動報告
発表件数 170 件程度であり、盛況に催されていることが紹介された。

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
平成 19 年度（2007 年度）第 4 回幹事会
日時：平成 20 年 1 月 24 日（木）12:00～14:00
場所：山口県教育会館３Ｆ 会議室Ⅰ

６．PSS-2009/SPP-26 の準備状況
畠山幹事長（東北大）より、PSS-2009/SPP-26の準備状況について報告がなされた。学振１５３委員会、プラズマ核融合学会及び本分科会の共同開催で、今回は学振１５３委員会が持ち回り式でイニシアティブを取っている。
共同開催に当たり、総合講演及び指定テーマ講演等のプログラム編集作業を主に担当する PSS 側代表を選出する必要があり、次年度（2008 年度）早期の幹事会にて決定することを確認した（申し送り事項）。応用物理学会会誌及びプラズマ物理学会会誌に広告を載せることも確認した。

１．平成 20-21 年度幹事選挙結果報告、他諸報告
畠山幹事長（東北大）より、平成 20-21 年度幹
事長及び幹事に関する選挙結果報告が行われた。
候補者全てが信任され、九大白谷委員が次期幹事長、京大白藤委員及び（株）ルネサスの藤原委員が次期副幹事長に着任することを決定した。
２．名簿作成報告
佐藤幹事（室蘭工大）より、2007 年度版名簿作成についての報告が行われた。応用物理学会事務局からの要望で名簿発行の継続（次回以降）について審議を行った。応用物理学会の会員名簿発行は例外的に取り扱われているが、他の分科会では
個人情報保護の観点から廃止されている現状が紹介された。審議の結果、本分科会では会員相互の交流の為、名簿情報を少なくとも幹事会で保有することを原則とすることにしたが、本件に関しては次回名簿発行時期に再審議することとした（申し送り事項）。
３．PE インキュベーションホールの準備状況
上坂幹事（名大）より、PE インキュベーショ
ンホールの準備状況について報告が行われた。９月下旬もしくは８月下旬での開催を予定しており、
原則夏休み期間中に開催することを確認した。研究活性化資金を応用物理学会に一月末に申請することを承認した。現在、講師の先生方を調整中である。

４．アカデミックロードマップについて
畠山幹事長（東北大）より、アカデミックロー
ドマップの作成（完成）について簡単な紹介があった。見直しの際、今回同様積極的に取り組むことを確認した。

５．SPP-25 の開催状況について
畠山幹事長（東北大）より、SPP-25 の開催状
況について簡単な説明があった。
参加人数 250 名、７．PE 分科会会報･会誌の新規内容吟味について(例えば学生用のページ新設等)
節原副幹事長（阪大）より、PE 分科会会報･会誌の新規内容開設について提案が行われた。本分
科会会誌をより良い雑誌にするため、例えばダイ
ヤモンドフォーラム等の雑誌を参考にして分析・解析手法の解説に関するページを含めることや、
電気学会会誌等を参考にして学生用のページを新設することが紹介された。また、PE 会誌担当を代表して柳生幹事（佐世保高専）から、インキュベーションホールや PE 講習会のテキストを一部抜粋し掲載する案も提案された（申し送り事項）。
８．GEC との比較における American Vacuum
Society (AVS)との関りについて
AVS・PSTD（Plasma Science & Technology
Division）との交流強化について AVS Executive
Committee の浜口先生（阪大） から提案を受けていることが、畠山幹事長（東北大）より紹介された。本会組織として継続的に連携できるかどうかを慎重に審議する必要があり、次回の幹事会以降で浜口委員（阪大）を含め継続的に審議することが必要であるとの合意に達した（申し送り事項）。
９．その他
応物学会論文賞及びプラズマエレクトロニクス
賞の紹介が行われた。

42

５． 会報 No.47（2007 年 12 月発行）報告
布村幹事（産総研）の代理として柳生幹事（佐世保高専）より，2007 年 12 月に発行した会報 No.47の報告と感謝の意が伝えられた。

プラズマエレクトロニクス分科会ミーティング（兼 平成 19 年度（2007 年度）第 5 回幹事会）
日時：平成 20 年 3 月 29 日（土）12:00～13:00
場所：日本大学理工学部船橋キャンパス
6 号館 2F-624

６． 第 25 回プラズマプロセシング研究会報告
八田先生（高知工科大）より第 25 回プラズマプ
ロセシング研究会の開催状況について説明があった。畠山幹事長（東北大）より，地方都市での開催では過去最多の研究会であったことが述べられた。

１． 平成 19 年度活動報告，収支決算報告
畠山幹事長（東北大）より，平成 19 年度活動の特筆すべきものとして，アカデミックロードマッ
プ，応物 75 周年事業，インキュベーションホール
などが挙げられた。また，佐野幹事（兵庫県立大）より，2007 年 1-12 月までの収支決算報告が円滑に行われた。

７． 第 6 回プラズマエレクトロニクス賞報告
畠山幹事長（東北大学）より，第 6 回プラズマエレクトロニクス賞に寺島和夫先生（東大）を始め共著者 6 名が受賞されたことが報告され，その受賞理由が述べられた。

２．平成 20-21 年度，幹事選挙結果報告，新幹事紹介
平成 20-21 年度幹事長および幹事に関する選挙結果報告が行われた後，新幹事より簡単な自己紹介が行われた。

８．2008 年春季応物関連連合講演会シンポジウム，
合同セッションについて
江利口幹事（京大）より，本講演会（2008 年春
季第 55 回応用物理学関係連合講演会）
においてプ
ラズマエレクトロニクス賞授賞式およびシンポジ
ウムが開催されることが報告された。

３．第 22 回光源物性とその応用研究会報告明石幹事（防大）より第 21 回光源物性とその応
用研究会について滞りなく開催されたことが報告
され，来年度は 10 月初旬に室蘭工大にて開催する予定であることが周知された。
本研究会にて発表すると科学技術振興機構（JST）のデータベースに登録されることが通知された。
今回は発表件数が少し少なかったため，次回研究会での発表件数の増加にむけた要請があった。畠山幹事長（東北大）より光が関係するプラズマの重要な研究会なのでぜひ継続して盛り上げて行きたいとのコメントがあった。

９． 会報 No.48（2008 年 6 月発行）について
柳生幹事（佐世保高専）より，会報 No.48（2008
年 6 月発行予定）の目次案が提示された。新しい取り組みとして，プラズマエレクトロニクスに関する学生のための記事の掲載について述べられ，次回の会議にてそのタイトルおよび内容を決定することが確認された。また，会報に取り入れるべき会議報告や行事案内についても提案があった。

４．
第 18 回プラズマエレクトロニクス講習会報告
大岩副幹事長（東芝セミコン）より，第 18 回プ
ラズマエレクトロニクス講習会の開催状況について説明があった。参加者が前年に比べて若干減少したことが懸念されたが，講習会に参加した方はその内容に満足している様子であることが報告された。参加者減には宣伝不足も一理あると思われるが，内容も多岐に渡っており産業構造の変化から参加対象の枠をもっと広げて積極的に宣伝していくことが大切であることが次年度からの課題として示された。来年度は東工大にて開催される予定であることが周知された。

１０．第２回プラズマエレクトロニクスインキュ
ベーションホールについて
上坂幹事（名大）より，9 月 24-26 日に開催される第 2 回プラズマエレクトロニクスインキュベ
ーションホールの開催案が報告された。専門講座
および特別講座の講師候補者として下記の 6 名の先生方が提案され，承認を得た。会告を応用物理学会誌 7 月号に掲載するために 5 月 15 日までに事務局に提出しなければならないため，次回幹事会での会告案の審議が提案された。また，応用物理学会に申請した活性化支援金は，一部減額された
43

ものの 16 万円の援助を受けられることが報告された（昨年度実績は 20 万円の援助であったが，本年は一律カットの影響を受け減額となった）。

１３．GEC2010／ICRP-7 合同開催について
GEC2010／ICRP-7 合同開催の日本組織委員長である堀先生（名大）より，ハワイで行われた GECと ICRP が合同国際会議から 10 年の節目を迎えた
ため，2010 年に GEC および ICRP の合同国際会議をフランス パリで開催することが周知された。
本
会議は日本のプラズマに関するポテンシャルを披露する絶好の機会であるとともに新しい潮流を生
むきっかけになって欲しいとの挨拶があった。

第 2 回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール講師（案）１）専門講座(1) プラズマ生成の基礎
小田昭紀 先生（名工大）(2) プラズマ計測の基礎佐々木浩一 先生（名大）(3) プラズマエッチングの基礎
江利口浩二 先生（京大）(4) プラズマ CVD の基礎
白藤立 先生（京大）
２）特別講座(1)プラズマ研究者を志す若者へ
佐藤徳芳 様（東北大名誉教授）(2)プラズマエレクトロニクス最前線
西村栄一 様（東京エレクトロンＡＴ株式会社
技術担当チーフエンジニア）

１４．その他（１）プラズマ科学シンポジウム PSS2009／
SPP-26 について
プラズマ科学シンポジウムの進行状況について，
節原副幹事長（阪大）が分科会の窓口という立場から簡潔に説明された。2 月 2-4 日にかけて名古屋大学にてプラズマ科学シンポジウム PSS2009／
SPP-26 が開催される予定であることが報告された。詳細は 6 月の応用物理学会誌およびプラズ
マ・核融合学会誌に掲載する予定であるため，次回幹事会にて次期委員を決定する際にセッションや招待講演について審議し，6 月までに大枠を決めるという流れであることが説明された。

１１．2008 年秋季講演会のシンポジウム，合同
セッションについて2008 年秋季講演会に開催されるシンポジウムの題目について，江利口幹事（京大）より，現在検討中の 3 つの候補案が紹介された。新たなテーマの提案が促され，次回の幹事会にてシンポジウ
ムのテーマを審議・決定することが提案された。
その後は，5 月中旬までに日程調整および事務局に原稿の提出（締め切り 5 月 12 日）を行い，講演者には 6 月 15 日の締め切りに間に合うよう依頼する予定である。会報 No.48（2008 年 6 月発行予定）にも掲載する予定であることが説明された。合同セッションの講演者に関しては，候補者に内諾を得ている旨が報告された。

（２）合同セッションについて
プラズマエレクトロニクスの大分類化に伴い
170 件を超える講演件数があったことが豊田幹事（名大）より報告された。本講演会では「プラズマ生成・制御」がポスターセッションとなり，次回は「プラズマ計測」がポスターセッションに当たることが報告された。
合同セッションについて，
合同セッション D は約 10 年間に渡り開催されており，短期で行われるのが通例である合同セッシ
ョンの規定から外れてしまうため，今年の秋までは開催し，それ以後は別の形で企画していくことが告げられた。引き続き幹事会で審議していくことが提案された。

（３）20 年度の年間スケジュールについて
白谷次期幹事長（九大）より，20 年度の年間ス
ケジュールの確認やその修正が行われた。

１２．アカデミックロードマップ作成について
アカデミックロードマップ作成について関根委
員長（名大）より，完成の報告と関係委員の方々への感謝が述べられた。畠山幹事長（東北大学）
より，アカデミックロードマップの重要性や関根先生を始めとする委員の方々に労いの言葉が述べられた。

（４）IUMRS-ICA2008 について
節原副幹事長（阪大）より，高井先生（名大）主催の MRS のアジアにおける国際会議である
44

IUMRS-ICA2008 にて，堀先生（名大）が代表を務めているセッションの内容が PE 分科会と関わりが深いため協賛にして頂きたいとの審議がなされ可決された。

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
平成 20 年度（2008 年度）第 1 回幹事会
日時：2008 年 4 月 5 日（土）12:00～17:00
場所：東京工業大学田町キャンパス 8 階 812 号室（５）退任の挨拶
平成 18-19 年度幹事長および幹事による退任の挨拶が行われた。

１．幹事自己紹介
幹事長，副幹事長，二期目の幹事，一期目の幹事の順で簡単な自己紹介が行われた。

２．分科会運営の概要：会員数，会計状況，関連
年間スケジュール
白谷幹事長（九大）より，PE 分科会に所属する
会員数が 460 名（2008 年 2 月末日）であることが報告された。会員数は分科会の活力を示すバロメータにもなるので会員増に向けた積極的な取り組みの重要性が周知された。また，会員数によって応用物理学会代議員の議席が決定されており，会員数の多い分科会（約 600 名以上）では毎年 1 名の議席，会員数の少ない分科会は隔年の議席が与えられている。現在，PE 分科会の代議員は隔年であるため，毎年の議席を確保して行きたい。会員
増への具体的な方策は，議案７において述べられた。会計状況は議題４にて太田幹事（和歌山大）
より説明される。また，年間スケジュールについて昨年度のものと対比しながら説明があった。

３．幹事役割分担
白谷幹事長（九大）より，平成 20 年度の分科会
幹事の役割が確認された。新たに PE 懇親会の担当が決められ，2008 年秋の中部大での講演会では上坂幹事（名大），2009 年春の筑波大での講演会
では北島幹事（防大）が担当する。また，名簿の管理など応物のサーバにアクセスする際に必須である USB キー（事務局から配布）の機能が説明され，その保持者は白谷幹事長（九大）および荻野
幹事（静大）であることが確認された。会員に対するメールは幹事長名で送信するため，白谷幹事長（九大）に依頼することが周知された。その他，
平成 20 年度分科会関連の各種世話人・委員が確認された。堀先生（名大）より，その他の部分で本部理事以外にも応物評議員もまとめたほうが協力
体制が明確になるとの意見が出され承認された。

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４．プラズマエレクトロニクス分科会決算書，予算書の内訳
太田幹事（和歌山大）より，2008 年 1-12 月の決算・予算書が簡潔に報告された。上坂幹事（名大）より，HP 作成費の使途に関する質問に対して，SPP の大会 HP 作成に使用されたもので分科
会 HP 運営に使われたものでないとの回答があった。また，応物事務局からの通達として，会計処理について領収書およびアルバイト代に関する留意点が説明された。特に注意する点として，(1)領収書には自宅住所を記載すること，(2)講演料と旅費が発生する場合は旅費を含めた額を手取り金とし源泉税を明記すること，(3)アルバイト代は従事した日数を示すこと，(4)飛行機を利用した場合は半券を応物事務局に送付すること，(5)日本人は10％課税となり日本人も含め外国に居住している
人は 20％の課税となること，(6)不明な点は応物事
務局に問い合わせることが挙げられた。

ング研究会を立ち上げた経緯を「SPP-0 からの四半世紀（仮）」という題目で当事者の先生方に執筆して頂く案が白谷幹事長（九大）より出された。

５．分科会幹事長会議（3/28 開催）の報告
白谷幹事長（九大）より，分科会幹事長会議において 4 月 1 日付けで APEX と JJAP の刊行組織が一つになり物理学会と応用物理学会内に取り込
まれることが決まったことが報告された（詳細は
現在進行中）。APEX が 1 月 1 日より刊行されているが，プラズマ関連の論文が少ないため，投稿数の増加および質の高い論文の投稿が促された（現在の投稿料は 1 ページあたり 5000 円）。国際会議の経理に関して，応物が財務を負う会議と負わない会議に分類することが決まったことが報告された。
６．会報 No.48（2008 年 6 月発行）について
柳生幹事（佐世保高専）より，会報 No.48 の目
次案が示された。今号より新連載が決まった学生のためのページのタイトル候補が審議され，「すぐに役立つプラズマエレクトロニクス」に議決された。内容は，インキュベーションホール（以下，IH と記す）の専門講座・特別講座およびプラズマ
エレクトロニクス講習会より選ぶことが決められ，掲載記事は過去の講座より選ぶことが決定した。
また，読者の意見や掲載記事に対する要望などを受け付け，反映できるように編者の連絡先などを掲載することになった。また，会報を更に充実させるための試みとして，第 0 回プラズマプロセシ
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７．第 2 回プラズマエレクトロニクスインキュ
ベーションホールについて
上坂幹事（名大）より，第 2 回プラズマエレク
トロニクス IH について，専門講座および特別講
座共に講演者が決定していることが報告された。
応物 6 月号に IH 開催の通知を掲載するには応物
事務局への原稿の入稿は 4 月 15 日までである。6月号に掲載するとその後の会合一覧に掲載される
ためなるべく早く掲載することが望ましい。分科
会会員への IH の周知はメールおよびチラシで行う。申し込みの際は通例 Fax もしくはメールで行われていたが，CGI 入力フォームを使用することも可能であることが確認された。ただし，過度なアクセスの集中によりエラーが発生しやすいことは留意するべきである。
ここで，白谷幹事長（九大）より，会員数増加のための思索として，非会員の IH 参加費には分科
会年会費分の 3000 円が加算されていることを受け，IH 参加申し込みの際に非会員の IH 参加者を対象にした分科会登録欄を設けることが提案された。分科会会員になるメリットとして「分科会主催の行事へ割引料金で参加可，
年二回会報の送付」が挙げられ，それを基軸に勧誘を行っていく。昨年の IH 参加者で，事前に会員登録をしていたのは 56 人中 15 人であったため，会員増への貢献が期待される。なお，分科会入会への選択は自由とする。また，入会費が参加費で補われるということになるため，団体で IH に参加する場合の分科会での名義について議論されたが，これまで通り
個人での登録とすることが確認された。会員増に向けた本提案は，PE 分科会が主催する講習会や学術講演会に適用していく。
８．
第 25 回プラズマプロセシング研究会開催の改善点について白谷幹事長（九大）より，第 25 回プラズマプロ
セシング研究会について(1)質問者が偏る，(2)いつも参加している人の参加が少ない，(3)プラズマ分
野外の参加者が少ない，(4)講演会場での滞在時間が短いという改善点が述べられた。分科会の重要行事である研究会の運営には随時これらを考慮していくこと確認された。堀先生（名大）より，研究に対する興味のシフトは各分野の投稿論文数より推測できるのではないかという意見が出された。
９．プラズマ科学シンポジウム兼第 26 回プラズマ
プロセシング研究会について
白谷幹事長（九大）より，2 月 2-4 日にかけて高井先生（名大）を委員長として開催されるプラ
ズマ科学シンポジウム兼第 26 回プラズマプロセ
シング研究会（PSS2009/SPP-26）について簡単な説明があった。5 月初旬に第一回組織委員会が開催されるときに提出するテーマについて議論された（申し送り事項）。白谷幹事長（九大）より，高井先生（名大）と連絡を取り合いセッション内容
や招待講演などの概要が決定したらメールにて幹事に案内することが連絡された。

12．2008 年秋季（第 69 回）講演会の分科会ミー
ティングについて
太田幹事（和歌山大）より，2008 年秋季（第 69回）講演会の分科会ミーティングは例年通りシンポジウム開催日の 12-13 時に開催されることが報告された。
13．2008 年秋季講演会のシンポジウム等について
江利口幹事（京都大）より，2008 年秋季講演会（2008 年 9 月 2-5 日）のシンポジウム日程およびテーマ案，講演者案が挙げられ審議された。パル
スプラズマとバイオを合わせたテーマが発案されたが，シンポジウムの際の議論がパルスプラズマのバイオへの応用に偏ってしまい広がりが見られない可能性が高いため分類したほうが良いという意見が堀先生（名大）よりが出された。いくつかの候補の中からパルスプラズマを中心に据えたテーマが決定した。日程は，第一優先日を 9 月 3 日，
第二優先日を 9 月 4 日とし，講演者との調整のうえ決定する。また，セッション内招待講演（講演時間 30 分～60 分）を開催することが決定し，白藤副幹事長（京都大）が 2008 年秋季講演会の担当であることが確認された。講演候補者には，引用率の高い論文を執筆していることや興味深い研究をされていることが条件に挙げられた。
応物でのシンポジウム数は増加傾向にあるため，
今後は「プラズマエレクトロニクス分科会企画シンポジウム」というタイトルをつけることが提案された。また，白谷幹事長（九大）より，シンポ
ジウムのテーマ立案の際に重要な視点として，学術的，分科会会員，異分野の研究者，企業の研究者，他のシンポジウムと比較して集客できるテー
マ（勝てる企画）が挙げられ，キーワードの提案が各幹事に促された。以下にシンポジウムのテーマ立案に関するキーワードを示す。

10．2010 年およびそれ以降のプラズマプロセシン
グ研究会について
白谷幹事長（九大）より，SPP-28 は 2010 年秋に開催されることが確認された。また，近年の SPP
は地方開催が多く東京・関東での開催が少ない。
SPP-27（2010 年）は関東での開催が提案され議決された。
11．ミニ研究会の企画について
白谷幹事長（九大）より，企画者の興味に沿って開催できる自由度の高い研究会として今年度よりミニ研究会の開催が提案され議決された。学会
ではディスカッションが少なくなりがちなため，
ミニ研究会ではディスカッションを重要視して進めていく。名称は「プラズマエレクトロニクス分
科会 第 N 回研究会」（N: 回数）とし，それに付随する研究会の小題は自由に設定できる。参加費は無料とし，開催資金は活性化支援金（年三回申請書提出；1 月，6 月，9 月）および分科会予算より捻出する。各幹事からの意見として，プラズマの研究分野からは離れている異分野の研究者との関わりができてよい（白藤副幹事長（京都大）），
若手が何でも聞けるような研究会を目指すとよい（東幹事（広島大）），良い試み。学会での講演を掘り下げた研究会を目指すと良い（大竹幹事（東北大）），産業も含めて PE が包括している分野や役立っている分野をトピックスとして挙げていくと良い（神幹事（NTT））が挙げられた。

キーワード：パルス，バイオ，環境，洗浄（水，ガスなど），プラズマの歴史，シリコンプロセス（High-K・Metal Etching，Low-K ダメージ回復），医療，マイクロプラズマ，パーティクル，プラズ
マパラメータのモニタリング技術，光源，トライ
ボマイクロプラズマ，プラズマアクチュエータ，樹脂の表面改質（機械特性（ダイヤモンド，DLC，
CNT，フラーレン）），基礎（断面積），再現性，バラツキ，装置問題，CNT 応用，滅菌，デバイス
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17．会員名簿作成について
佐藤幹事（室蘭大）より，分科会会員名簿を作成しているのは PE 分科会だけであり，個人情報の観点から廃止すべきではないかとの提案を事務局より受けていることが報告された。本件に関して，幹事会に参加している幹事（22 名）の意向が調査され，名簿を使用したことがある：4 名，名簿があっても良い：14 名という結果を得た。（申し送り事項）

ダメージ，ナノテク，微粒子，MEMS，テープエ
ッチング，プラズマ-表面相互作用，ナノ粒子，ナノ薄膜，クリーン化技術，低汚染，低パーティク
ル，低損傷（低ダメージ），基礎，成膜応用（CVD
スパッタ），エッチング応用，アプリケーション，
20nm ノード，450mm，境界現象，界面の相互作
用，3D デバイス，農業，生活プラズマ
14．第 23 回光源物性とその応用研究会について
佐藤幹事（室蘭大）より，光源物性とその応用研究会の活性化に向けて照明学会より大幅修正が行われるため，第 23 回光源物性とその応用研究会の開催日および開催会場の変更が報告された。講演者と参加者の減少を受け，研究会スタイルからシンポジウム（1-3 件）および一般講演という形へ変更していく方針である。現在，10 月開催の予定であり，照明学会との協議のうえ詳細が決まり次第，幹事長へ通知することが周知された。

18．2009 年応物スクールについて
白谷幹事長（九大）より，2009 年応物スクール
について人集めが出来る企画でタイムリーに開催する方針が確認された。随時，考えられるテーマを検討していかなくてならない。
（申し送り事項）
19．第 7 回プラズマエレクトニクス賞について
白谷幹事長（九大）より，第 7 回プラズマエレ
クトニクス賞の通知を PE 分科会会報 6 月号および分科会 HP に掲載することが報告された。参加
幹事に対してプラズマエレクトニクス賞論文の推薦依頼があった。

15．
第 19 回プラズマエレクトロニクス講習会について奥村幹事（松下電器）より，2008 年 10 月 30-31に東工大 100 年記念館にて第 19 回プラズマエレク
トロニクス講習会が開催予定であることが報告された。聴講者の増加および対象を広げるために多岐に渡るテーマ・誰もが関心を持つテーマを取り上げていく方針であることが報告された。白谷幹事長（九大）より，従来と違う企業を勧誘していくことが大切であるため，応物 HP のキーワード
検索などを利用してプラズマ関連講演を検索し，今まで声をかけてこなかった企業をリストアップ
しておくという案が出された。学術講演会に参加しているプラズマ関連企業およびその連絡先（メールアドレス）のリストアップは白谷幹事長（九大）が担当するので，それ以外の方法でプラズマを使っている企業を発掘していくことが奥村幹事（松下電器）に促された。

20．プラズマ分野の学会連携活動の依頼
特になし
21．ICRP 開催準備状況報告と ICRP 実行委員会
設置についてGEC 委員および本分科会オブザーバの堀先生（名大）より，GEC2010/ICRP-7 の合同開催の経緯・準備状況が説明された。開催地をフランス パ
リに決定したことで，アメリカからは GEC を中心として，アジア諸国からは ICRP を中心として，
ヨーロッパ周辺諸国からは開催地域諸国からのプラズマ研究者の参加が見込めることが強調された。
日本側の組織は ICRP 委員長の堀先生（名大），PE
分科会幹事長の白谷先生（九大），前 GEC 委員の斧先生（京大），前 ICRP 委員長の畠山先生（東北大）を主要構成メンバーとして討議された骨格を
PE 分科会で検討した後，GEC 側に提案していく方針であることが報告された。なお，GEC 側の組織委員長はまだ不明である（おそらく 2010 年の
GEC チェアパーソンが就任すると思われる）。今
後も継続して ICRP と GEC の合同開催を行っていくため，組織委員にはできれば若手の分科会幹事

16．ホームページについて
柳生幹事（佐世保高専）より，分科会ホームページについて吉村前幹事（大阪大学）より引継ぎがあったことが報告された。しかし，現時点において不具合から応物のサーバに接続できていないため，早急に原因を解明し情報をアップロードすることが伝えられた。
48

を選ぶ方針であることが報告された。
また， 10 月 13-17 日にかけて米国ダラスで開催される GEC2008 の開催日やアブストラクト締め
切り（6 月 13 日）について分科会会員への案内が依頼された。なお，GEC の招待講演者として相応
しい人の推薦が幹事へ促された。
19．その他（１）PE 分科会の会員増へ向けて（議題７参照）（２）第１４回プラズマ理工学国際会議（ICPP2008：International Congress on Plasma
Physics）のアブストラクトの締め切りが 4 月 25
日であることが報告された。ICPP は，ICPIG に並ぶ大きな国際会議で特集号（約 300 編）がプラズ
マ核融合学会が発行している英文論文誌 PFR に掲載される。

（３）応物フェローの一般推薦があれば白谷幹事長（九大）へ連絡することが報告された。今後は一般推薦が廃止されフェローがフェローを推薦する（年に 2 名）ことになる。
（４）IUMRS-ICA2008 への協賛（依頼側は会員に案内のメールを流すことができる）が確認された。

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行事案内
2008 年秋季

第 69 回応用物理学会学術講演会シンポジウム

パルスプラズマが拓く新しい技術～プロセスから環境・バイオまで
京都大学

江利口 浩二現代社会において、プラズマは、学術的・産業的側面からも重要な役割を担っていると言えます。
プラズマを記述する物理量としては、密度（正イオン、負イオン、電子、中性粒子、活性種など）と温度（電子、イオン、中性粒子など）があります。
“プラズマを応用する視点”に立てば、それらパラメータを最適化・安定化・制御することが重要です。さらには、例えば高性能微細デバイスの製造工程や、機械部品の加工においては、空間的・時間的にも物理量が制御されていることが、良好でかつ安定したプラズマプロセスの実現には重要とされています。一方、プラズマを記述する物理量は、前述したガス系やシステムなどの装置に起因する要素やプラズマ形成のためのエネルギー投入の方式にかかわる要素など、インプットするパ
ラメータによって決定されます。
しかしながら、プラズマプロセスへの要求が多様化しています。そこで、近年、所望のプラズマを形成するため、プラズマパラメータの時間的変化（過渡応答）の違いに注目し、最適化するイン
プットパラメータ（パワー）をパルス化したプラ
ズマ技術が注目されています。パルスプラズマ技
術は、物理量の定常（平衡）状態ではなく、非定常的な過渡現象、すなわち、物理量に“陽”に現れない過渡応答係数を積極的に最適化するものです。これら過渡現象に注目することで、低温化、大気圧形成などにメリットを活かしつつ、反応場での広義の温度や反応粒子密度のバランスを最適化する道が拓けてきました。
現在、パルスプラズマは、プロセスプラズマから環境・バイオ・医療へ広く応用されています。
そこで、今回、パルスプラズマの生成・反応メカ
ニズムの理解を深め、今後の展望・新たな課題な

50

どを整理し議論する機会を企画しました。シンポジウムでは、各分野で活躍されている先生方をお招きし、メカニズムから応用までの幅広い議論が行われます。皆様におかれましては、奮ってご参
加いただき、パルスプラズマ技術のさらなる応用展開を議論する有意義な場にしていただきたく、
何卒お願い申し上げます。
なお、本シンポジウムに先立ち、プラズマエレ
クトロニクス賞の表彰式(13:15～13:45)が行われます。
開催予定日時：2008 年 9 月 3 日（水）13:45～17:20
プログラム：
1.「イントロダクトリートーク」（10 分）
京都大 江利口浩二
2.「マイクロプラズマにおける大気圧ナノ秒パルス放電」（30 分）東工大 石井彰三
3.「大気圧パルス放電における物理・化学と環境浄化技術への応用」（30 分）
首都大学東京 栃久保文嘉
4.「パルス高電界の生体作用とその応用」（30 分）
熊本大 勝木淳― 休憩（15 分）―
5.「パルスパワーを用いた大気圧プラズマの生成とその応用」（30 分）岩手大 高木浩一
6.「ハイパワーパルススパッタ（HPPS）の特徴と成膜への応用」（30 分）同志社大 行村建(株)神戸製鋼所 玉垣浩、宗政淳、沖本忠雄
7.「パルス時間変調プラズマによる超低損傷微細加工プロセス～LSI プロセスからバイオとナノの融合プロセスに向けて～」（30 分）東北大 寒川誠二
8.「総括」（10 分）
九州大 白谷正治

行事案内International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008)
第 14 回プラズマ理工学国際会議
九州大学

佐藤 浩之助基礎プラズマ、核融合プラズマ、宇宙プラズマ、プラズマ応用等の幅広い分野に関するプラズマ理工学の現状と将来の方向性について議論する第１４回プラズマ理工学国際会議を 2008 年 9 月 8 日～
9 月 12 日の日程で福岡国際会議場(福岡市）にて開催する運びとなりました。2008 年はプラズマ物理
や宇宙・核融合プラズマの研究活動が開始されてから 50 年目に当たる記念すべき年ですので、積極的な ICPP2008 へのご参加をよろしくお願いいたします。
F. Sprouting Approaches and New Trends■開催日
2008 年 9 月 8 日～9 月 12 日

<Focused Topics>
Focused topics are organized to encourage the wide
scope, interdisciplinary discussion in the following
fields on ICPP2008.
After reviewing all of the submitted abstracts, a sequence of correlative presentations among them isgrouped and clustered together, forming a focusedsession (see the related explanation in the heading of
Abstracts).
F-A . Advanced Plasma Physics in Linear Devices
F-B . Advance in Turbulence and Structure Formation
Physics
F-C . Laboratory-Space-Astrophysical Plasma Interrelation
F-D . Frontiers of Dust Plasmas
F-E . ITER-Driven Plasma Physics
F-F . Edge Plasma Physics and Materials Interaction
F-G . Plasma Optics and Photonics
F-H . Bio/Nanotechnology Frontiers - Plasmas with
Gas/Liquid Interfaces■会 場
福岡国際会議場（〒812-0032 福岡市博多区石城町 2-1）
http://www.marinemesse.or.jp/congress/■アブストラクト締切
2008 年 4 月 25 日
■投稿論文受付
アブストラクト受理日（2008 年 6 月予定）～
9月1日■早期登録： 2008 年 7 月 31 日
■ホテル予約： 2008 年 7 月 31 日
■会議中登録： 2008 年 9 月 7 日～9 月 12 日
■参加登録料2008年7月31日まで
一般
50,000円
学生
15,000円
同伴者
3,000円2008年8月1日以降
一般
55,000円
学生
17,000円
同伴者
3,000円■シンポジウムタイトル一覧<Generally-Classified Topics>
A. Fundamental Problems of Plasma Physics
B. Magnetically Confined Plasmas
C. High Energy Density Plasmas
D. Space and Astrophysical Plasmas
E. Plasma Applications■その他
詳細は web サイトにてご確認ください。
http://www.triam.kyushu-u.ac.jp/ICPP/

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行事案内

第 2 回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 案内
名古屋大学

上坂 裕之

第２回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール
日時：2008 年 9 月 24 日(水)15：00～9 月 26 日(金)12：00
場所：マキノパークホテル＆セミナーハウス（〒520-1813 滋賀県高島郡マキノ町高木浜サニービーチ前 ）Tel: 0740-28-1231，Fax: 0740-28-0806（http://www.hachikougen.co.jp/）
このたび，第 2 回プラズマエレクトロニクスイ 【専門講座】 (講義名は仮題，各 1 時間 40 分)
ンキュベーションホールを企画致しましたので会 ① 「プラズマ生成の基礎」
員の皆様に案内させて頂きます。御指導の学生様
小田 昭紀 先生 (名工大)などに振るってご参加いただけます様お勧め頂け ② 「プラズマ計測の基礎」
れば幸いです。
佐々木 浩一 先生 (名大)③ 「プラズマエッチングの基礎と研究開発
内容：
・量産現場での課題」
プラズマプロセス研究を始めたばかりの初学者
江利口 浩二 先生 （京大）
（学生・若手研究者・社会人技術者）を対象とし ④ 「プラズマ CVD の基礎」て，一流の講師陣を招きプラズマプロセスへの理
白藤 立 先生 （京大）
解を深めてもらうための４つの専門講座を開講し 【特別講座】 （各１時間）
ます。この専門講座では，従来形式の単なる受身 ① ｢プラズマの魅力，その応用への道｣の講義ではなく，ディベート的要素（問答）をも
佐藤 徳芳 先生 (東北大学 名誉教授)
加味した受講者参加型の人材育成プログラムの構 ② ｢企業におけるプラズマ研究･応用の最前線｣築を目指しています。講述内容そのものは，初学
西村 栄一 先生 （東京エレクトロンＡＴ
者が基礎学理をしっかりと理解したうえで，当該
株式会社技術担当チーフエンジニア)
分野における最新科学の話題にも触れられるように構成されています。そのうえで，海外経験，企 【ポスターセッション】 （２時間）
業経験，産学連携経験などの豊富な講師陣からは， 参加者間の交流が深まるよう、ポスターセッションを
留学･在外研究経験，企業で必要とされる資質，産 中心とする談話会を行います。参加者自身のバックグ
学連携のエピソードなどを適時交えた講義を頂き，ランドに関連したもの、たとえば．．．．．
受講者のプラズマプロセス研究への興味を喚起し  学生の場合：現在の研究テーマにまつわるもの、ます。さらにこの専門講座に加えて，２つの特別学部での卒業研究など（4 年生の場合これから行
講座，ポスターセッション，レクレーションを行う研究など）
います。特別講座では，大学・企業の一流研究"指  社会人の場合：企業の仕事にまつわるもの、企導者"を招き，当該分野の最新動向や指導者に必要
業・自社製品のＰＲ，入学前の大学での研究などとされる資質について学ぶ機会を提供します。ポ であれば、内容・分量は一切問いません。幅 0.9ｍｘ縦スターセッションやレクレーションでは，受講者 １ｍ程度のボードが用意されますので、あらかじめポスと講師の全員がお互いに垣根なく議論することで，ターのご準備をお願いします。また，参加申込書にポ参加者間の人脈形成が促されます。
スター内容を示すキーワードを３つまでご記入ください。

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キーワードを元にポスター掲示場所をアレンジ致しま 学生会員への交通費補助：す。本ポスターセッションは全員の方の発表を原則とし下記の交通費補助の条件を満たした場合，交通
ますが、発表に支障がある場合は参加申込書のポス 費補助金をサマースクール終了後に振り込みます
ターセッションキーワード欄にその旨をご記入ください。 ので，対象となる方は、参加申込書に必要事項をなお、優秀はポスター発表者には表彰を行います。
記入ください。
＜交通費補助の条件＞【その他】 懇親会，レクレーション（バスフィッシ
学生会員若しくは今回学生会員(大学院生を含
ング，マウンテンバイクツーリングなど）を予定 む)になられた方で，大学所在地が関西（京阪神をしています。本企画 HP に当日の詳細スケジュール 含む）以遠又は関東（神奈川，東京は除く）以遠を記載しておりますので参考にして下さい。
の方を対象とします。ただし，大学院生について
はポスターセッションでの発表を必須条件としま
参加申込：す。
【申込方法】
イ ン キ ュ ベ ー シ ョ ン ホ ー ル ウ ェ ブ サ イ ト 本企画の詳細情報（ホームページ）：(http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/PE_SS_2008/in http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/PE_SS_2008/index.htm
dex.htm)か ら 参 加 申 込書を ダ ウ ン ロ ー ドいた だ き ，e-mail，FAX あるいは郵送の何れかの方法で上坂まで 担当幹事：
校長：
白藤 立（京都大学）
お申し込みください。申込を受け次第，参加登録確認を通知します。その後に参加費（下表参照）を振り込ん幹事：
布村 正太（産総研）上坂 裕之（名古屋大学）
でください。なお，参加費の振り込みには必ず個人名
秋元 健司（NEC エレクトロニクス）と「PEIH」という 4 文字のアルファベットを記載してください（例：木村さんの場合“キムラ PEIH”）。一旦振り込北嶋 武（防衛大学）
村山 貴英（アルバック）
まれた参加費は，原則として返却いたしません。
【定員】 60 名【申込締切】 8 月 31 日（日）交通案内：
【振込先】 三井住友銀行 本店営業部(本店でも可) 東京→（JR のぞみ新幹線，2 時間 24 分）→京都（JR
口座(普通)3339808 (社)応用物理学会プラズマエレ 湖西線，1 時間 9 分）→近江今津（JR 湖西線，8 分
クトロニクス分科会 （入金締め切り 9 月 12 日）[1 駅]）→マキノ→（徒歩，5 分）→会場【問合せ・申込先】〒464-8603 愛知県名古屋市千種区不老町＊米原から北陸本線で，米原→長浜→近江塩津→
名古屋大学大学院工学研究科 機械理工学専攻 マキノと至る方法もありますが，電車の接続が悪生産プロセス工学グループ 上坂 裕之
い場合もありますので十分ご注意下さい。
TEL(052)789-2787，FAX(052)789-2787，
E-mail：pe-ih2008@ume.mech.nagoya-u.ac.jp

参加費
協賛学協会個人会員およびプラズマエレクトロニクス分科 応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科
会と応用物理学会の個人会員 個人会員
会の個人会員その他

一般

40,000円

43,000円

48,000円

53,000円

学生

14,000円

17,000円

22,000円

27,000円*応用物理学会賛助会社およびプラズマエレクトロニクス分科会賛助会社所属の方はそれぞれの個人会員扱いとさせていただきます．**遠方からの会員学生(含大学院生)に対して交通費の一部を補助する予定．詳細はＨＰをご覧ください．***本分科会会員（年会費３０００円）に同時入会いただくと，今回から会員価格で参加出来ます．入会
者には，年２回の会報（非売品）や会員名簿（非売品）入手，各種スクールへの会員価格での参加などのメリットがあります．入会手続きは https://www.jsap.or.jp/jsapweb/system/do/signInSelect より行ってください．

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行事案内

61st Gaseous Electronics Conference 2008
第 61 回気体エレクトロニクス会議(GEC2008)
名古屋大学

堀 勝

第 61 回 GEC（Gaseous Electronics Conference）が米国 ダラスにて、１０月１３日～１７日に渡り開催されます（http://www.utdallas.edu/gec）。
同会議は、プラズマの基礎を重視し、科学に基づいた先端プロセスとその応用まで世界最高水準の発表がなされる国際会議であり、プラズマエレクトロニクス分科会とも密接な関係を長年維持して参りました。今回は、日本からもトップレベルの研究者が招待講演を行い、プラズマの気相と固体、液体表面の相互反応現象からその先端応用に至るまで興味深いセッションがアレンジされています。昨年度は、米国についで日本からの多数の参加者があり、同分野の日本の高いレベルの発表に対して多くの参加者が高い評価をするとともに、最終日まで会場の熱気が続きました。
また、２０１０年１０月４日～８日には、日本がアジアを代表して創設したＩＣＲＰ（International
conference on reactive plasmas）とＧＥＣとの合同国際会議（GEC2010/ICRP-7）がパリの中心で開催されることになりました。本会議は、アジア、米国、欧州が初めて一同に会して開催する画期的な国際会議になることが期待され、現在プラズマエレクトロ二クス分科会が中心となって準備を始めております。２年後のパリでの会議の成功に向けて、本年度のＧＥＣに日本から多くの参加者と発表がある
ことが非常に重要になっております。つきましては、分科会の会員の皆様が奮って参加していただきますよう、心からお願い申し上げます。アブストラクトおよび Student Award の締め切りは、６月１３日です。多くの方々が申し込んでいただきますよう、何卒よろしくお願い致します。ご不明な点等ご
ざいましたら、分科会ＧＥＣ世話人（堀：hori@nuee.nagoya-u.ac.jp）までご連絡していただきますようお願い致します。

■開催日2008 年 10 月 13 日～17 日■参加登録料■会場
The Marriott Dallas/Addison Quorum by the Galleria in
Dallas, Texas(14901 Dallas Parkway Dallas, Texas 75254 USA)

General Registration■アブストラクト締切
2008 年 6 月 13 日
■GEC Student Award 締切2008 年 6 月 13 日

Early※3

After 8/15
and Onsite

$350

$450

$160

$225

Single Day Registration

$200

$250

Banquet$50$65

Student/Retiree※1※2※1 Student/Retiree conference registration also includes thebanquet on October 16, 2008.
※2 Presenters may NOT register using "Single Day Registration."※3 The early registration deadline is August 15, 2008

■ホームページ
http://www.utdallas.edu/gec

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■シンポジウムタイトル一覧
1.1 Electron and photon collisions with atoms andmolecules
1.2 Heavy
particleinteractions:
ion-atom,
ion-molecule, neutral-neutral, other
1.3 Dissociation, recombination and attachment
1.4 Molecular clusters and many-body problems
1.5 Computational methods for atomic and molecular
processes
1.6 Distribution functions and transport coefficients:
electrons, ions
1.7 Near-threshold collision processes
1.8 Slow collisions
1.9 Collisions with complex targets
1.10 Ionization of atoms and molecules
1.11 Other atomic and molecular collision phenomena
2.1 Glows: DC pulsed, RF, microwave, inductive,
others
2.2 Coronas, breakdown, and sparks
2.3 Capacitively coupled plasmas
2.4 Inductively coupled plasmas
2.5 Magnetically-enhanced plasmas: ECR, helicon,
magnetron, others
2.6 Dielectric barrier discharges, displays

2.7 High pressure glow discharges
2.8 Thermal plasmas: arcs, jets, switches, others
2.9 Laser media, kinetics, and processes
2.10 Lighting plasmas: glows, arcs, flat panels, novel
sources, others
2.11 Plasma diagnostics: optical, electrical, others
2.12 Plasma chemistry: atmospheric, gas phase, surface
2.13 Plasma boundaries: sheaths, boundary layers,others2.14 Dusty plasmas
2.15 Negative ion plasmas
2.16 Plasma instabilities
2.17 Computational methods for plasmas
2.18 Plasma-surface interactions
2.19 Materials processing in low pressure plasmas:
etching, deposition, new materials
2.20 Environmental applications
2.21 Treatment of textiles
2.22 Biological and emerging applications of plasmas
2.23 Plasma propulsion and Aerodynamics
2.24 Plasma applications for nanotechnology
2.25 Innovative plasma applications
2.26 Other plasma topics

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行事案内

第 19 回プラズマエレクトロニクス講習会「プラズマプロセスの基礎と応用最前線」‐多様化するプラズマ応用プロセスとその制御‐

主催：応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
日時：2008 年 10 月 30 日(木)－31 日(金)場所：東京工業大学（大岡山キャンパス）百年記念館 3F フェライト会議室

参加費：テキスト代を含む。括弧内は学生。
●応物・PE 分科会個人会員 30,000 円（8,000 円）●応物個人会員
33,000 円（11,000 円）●分科会のみの個人会員
42,000 円（15,000 円）●協賛学協会・応物法人賛助会員
42,000 円（15,000 円）●その他
45,000 円（18,000 円）〒152-8552 東京都目黒区大岡山 2-12-1
TEL：03-5734-2098 (代表)

会場へのアクセスおよびキャンパスマップ：
http://www.titech.ac.jp/home-j.html

なお、非会員の方でも参加申込時に PE 分科会（年
会費 3,000 円）に入会頂ければ、会員扱いとさせて頂きます。

内容／プログラム：プラズマプロセス技術は、低圧下における微細加工、薄膜堆積、表面改質をはじめ、大気圧及び液相中での洗浄・滅菌等に欠かすことの出来ない
産業基盤技術です。近年、プラズマプロセスは多様化・複雑化しており、所望のプラズマ生成とその制御が益々重要になってきております。このような背景を踏まえ、本講習会では、各分野をリードする一流の先生を招き、プラズマプロセスの基
礎と応用に関する講義を行います。プラズマの基礎を勉強したい学生からプラズマ技術の最新応用に関心のある技術者や研究者を対象として，本講習会を企画しました。

定員：100 名（定員になり次第締切り）
申込締切：10 月 17 日（金）（但し、余裕のある場
合には期日後も受付けます）
申込方法：
プラズマエレクトロニクス分科会ホームページに用意した参加申込みファイルに必要事項をご記入のうえ、下記の申込み担当者宛に電子メール添付
ファイルとしてお送り下さい。
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
参加費振込先：三井住友銀行 本店営業部 普通預金 口座番号
３３３９８０８(社) 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会（参加費振込期限：10 月 22 日）

１0 月 30 日（木） 10：00－17：30
１．プラズマの生成・制御
菅井 秀郎（中部大学）
２．プラズマ計測
赤塚 洋（東京工業大学）
３．プラズマシミュレーション
田中 正明（ペガサスソフトウェア）

問合せ先：〒305-8568 つくば市梅園１－１－１（独）産業技術総合研究所 太陽光発電研究セン
ター シリコン新材料チーム 布村 正太
TEL: 029-861-5080 (内線 45075)
FAX: 029-861-3367
plasma_electronics@m.aist.go.jp

ポスター・ショートプレゼンテーション
１0 月 31 日（金） 10：00－17：00
４．プラズマによる薄膜形成技術
佐々木 敏明（カネカ）
５．プラズマによるエッチング技術
林 俊雄（名古屋大学）
６．大気圧プラズマの応用
湯浅 基和（積水化学工業）
７．液相プラズマの応用
秋山 秀典（熊本大学）

担当幹事：
藤原信夫（ルネサステクノロジ）、奥村智洋（松下電器）、秋元健司（NEC エレクトロニクス）、長谷
川明広（富士通）、小林浩之（日立製作所）、林久貴（東芝）、北嶋武（防衛大）、松本直樹（東京エレクトロン）、深沢正永（ソニー）、布村正太（産業技術総合研究所）

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30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008)
第 30 回ドライプロセス国際シンポジウム 案内
名古屋大学

関根 誠

機能性材料を基盤とする電子デバイス、バイオ、エネルギー及びナノテクノロジー分野の発展にドライプロ
セスの役割は益々大きくなってきています。特にその物理的化学的現象の解明は、先端技術産業の発展と新たな応用の開拓に大きく寄与します。この分野で世界トップの技術レベルにある日本において、DPS は 30 年に亘り、先端的成果の発表、討論と相互理解を深める場を提供してきました。今年は 30 回開催を記念して、会期を 3 日間とし、当該分野に大きな貢献をされた先生方による記念講演や、ドライプロセス技術と DPS の発展を振り返る歴史展示、さらに DPS の将来を展望する行事を企画しています。もちろん、当該分野での功績者から若手研究者まで一堂に会し、旧交を温め、研究の芽になる交流を育むバンケットも行います。また、例年通り
先端プロセス技術についての特別セッション、最もホットな研究成果を上げられている各国の研究者によるキーノートスピーチや招待講演、厳選された各トピックスへの投稿論文の発表と討論、充実した討論が可能な余裕のあるポスターセッションを企画しています。投稿論文は、JJAP 特集号の出版を企画しています。詳細は次の URL をご覧ください。http://www.dps2008.org/

主要テーマ：

講演申込方法：①「プラズマ、ビーム誘起表面反応」

所定の書式に従った pdf ファイル（アブストラクト②「気相及び表面の計測技術」

A4 判 2 ページ）を次の URL から投稿ください。論③「成膜、エッチング、表面処理プロセス」

文委員会で審査の上、9/1 までに受諾を連絡します。

④「照射損傷」
JJAP 特集号：⑤「MEMS、センサー、FPD、フレキシブル材料の
11/28(金)までに JJAP の Website から投稿してくださ
プロセス技術」
い。特集号の編集委員会により通常の JJAP 審査手⑥「バイオ応用技術」
順を経て、掲載を判断します。
(http://www.ipap.jp/jjap/)⑦「新しいドライプロセス技術」⑧「装置技術」

早期参加申込締切：

特別セッション「プロセスの揺らぎ、ばらつき、均

2007 年 10 月 12 日(日)一性」
主催：応用物理学会
プログラム：

協賛：電子情報通信学会，電気化学会，ECS 日本支

11/26(水) DPS30 周年記念事業、バンケット

部，韓国表面工学会，韓国真空協会

11/27(木) DPS30 技術セッション

日時：2008 年 11 月 26 日(水)～28 日(金)11/28(金) DPS30 技術セッション

場所：東京品川の「コクヨホール」(東京都港区江南 1-8-35）

講演申込締切：http://www.kokuyo.co.jp/showroom/hall/

2007 年 7 月 13 日(日)今年度は記念事業開催のため、例年よりも拡充された会期、会場になっております。

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IUMRS International Conference in Asia 2008IUMRS アジア国際会議 2008
名古屋大学

高井 治

■学会概要：本 IUMRS-ICA 2008 (IUMRS: International Union of Material Research Societies) は、材料研究の最先端で活躍する研究者や技術者を世界中から広く募集・招聘し、横断的研究交流を図る。さらに、あらゆる材料研究分野に焦点を当て、アジアの材料研究を世界に向けて強く発信する。なお、本会議は 40 のシンポジウムからなり、全参加者数は 1500 人以上となる見込みである。
L. New Analytical and Assessment Methods in Material and Environmental Technologies
M. Innovative Material Technologies Utilizing Ion
Beams
N. Fullereren Nano Materials
O. Non-equilibrium Plasma Processing in HighDensity MediaP. Advanced Ferroic Materials: Processing, Characterization and Device Application
Q. Frontier of Nano-Materials Based on Advanced
Plasma Technologies
R. Carbon Nanotubes: Synthesis, Characterization
and Application
S. Nature Technology
T. Bio-inorganic devices
U. Thermoelectric Energy Conversion
V. Ceramic materials for biomedical applications
W. Liquid Phase Processing and Self-assembly of
Inorganic Nano Materials
X. Applications of Synchrotron Radiation and Neutron Beam to Soft Matter Science
Y. Frontier of Polymeric Nano-Soft-Materials - Precision Polymer Synthesis, Self-assembling and
Their Functionalization
Z. Material Science and Process Technologies for
Advanced Nano-Electronic Devices
AA. Rare-Earth Related Material Processing andFunctions
BB. Advanced Superconducting Materials -Frombasic Physics to Processing TechnologiesCC. Innovation in Metal Forming■会合名： IUMRS アジア国際会議 2008
英語名： IUMRS-ICA 2008（The IUMRS International Conference in Asia 2008））■ホームページ：
http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html■会期： 2008 年 12 月 9 日(火)～13 日(土)■開催場所：名古屋市国際会議場（名古屋市熱田区西熱田町１番１号）■問合せ先：
Secretariat for IUMRS-ICA2008 Inter Group Corporation 2-38-2, Meieki, Nakamuraku, Nagoya
450-0002, JAPAN
Phone: +81-52-581-3240 Fax: +81-52-581-5585
E-mail: iumrsica2008@intergroup.co.jp■シンポジウムタイトル一覧
A. Reactivity of Solids
B. Development of Oxide Nanocomposites - Bulks,Thin Films and Nano-structures
C. Design of green energy materials
D. Liquid Crystals and Ordered Soft Materials
E. Materials for Living – Environment, Energy andMedicine –F. Science and Technology of Smart Hydrogels
G. Self-Assembled Materials
H. Advances in the Application of Biomass
I. Structure Induced Giant Nature
J. Joining Technology for New Metallic Glasses andInorganic Materials
K. Frontier of Biointerfaces

58DD. Electrochemical Processing of Tailored Materials
EE. Mesoscale Design of Materials
FF. Preparation, Characterization and Application of
DLC Films
GG. Chromic Materials and Applications
HH. Synthesis of Nano Porous Ceramics for Thermal Insulation/Barrier Techniques
II. Frontiers of Surface Technology
JJ. Smart Processing Technology
KK. Nano-Biotechnologies on Interfaces
LL. Special Symposium -Japanese Advanced Industries to Lead the World MM. Special Symposium -Surface- Tokai WideArea Nano-Technology Manufacturing Cluster
NN. Special Symposium -Materials Education -[海外参加者]
学生：各 MRS・協賛学会会員 20,000 円
非会員 23,000 円
一般：各 MRS・協賛学会会員 50,000 円
非会員 55,000 円
事後登録（締切以降は当日会場にて支払い）[国内参加者]
学生：MRS-J・協賛学会会員 23,000 円
非会員 25,000 円
一般：MRS-J・協賛学会会員 55,000 円
非会員 65,000 円[海外参加者]
学生：各 MRS・協賛学会会員 23,000 円
非会員 25,000 円
一般：各 MRS・協賛学会会員 55,000 円
非会員 60,000 円
バンケット
バンケット料：10,000 円
会
場：名古屋港水族館■アブストラクト提出：web からの提出となります(http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html)。
■アブストラクト締切：6 月 30 日（月）■参加費：
事前登録（11 月 17 日（月）締切）[国内参加者]
学生：MRS-J・協賛学会会員 20,000 円
非会員 23,000 円
一般：MRS-J・協賛学会会員 50,000 円
非会員 60,000 円■主催団体名：日本 MRS (Materials ResearchSociety of Japan (MRS-J))■共催団体名：International Union of Materials Research Society(IUMRS)
Chinese Materials Research Society (C-MRS),
Materials Research Society of India (MRS-I),
Materials Research Society of Korea (MRS-K),
Materials Research Society of Singapore (MRS-S)
Materials Research Society of Taiwan (MRS-T)

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IUMRS アジア国際会議 2008
セッション K Frontier of Biointerfaces
平成 20 年 12 月 10 日（水）－ 11 日（木）（予定）
開催会場：名古屋国際会議場（〒456-0036 愛知県名古屋市熱田区熱田西町１番１号）＜セッション開催趣旨＞
バイオインターフェイス（バイオ分子とマテリアルの界面）は、再生医療用材料、手術用機器、人工臓器、薬物送達用担体、センサー材料、DNA・プロテインチップなどのあらゆる医療デバイスで存在する。このインターフェイスこそがデバイスの機能性発現に大きな役割を果たしている。現在、バイオイ
ンターフェイスをナノ・マイクロレベルで理解・制御し、新たな機能を開発することが最重要課題である。しかし、生体の機能は複雑であり、物理、化学、生物といった分野融合型研究の推進が不可欠である。本セッションにおいては、バイオインターフェイスに関する先導的な研究を、物理、化学、生物等
様々な観点からの研究発表を公募し、深遠な議論をおこないたい。
研究発表申込＆アブストラクト提出締切 ６月３０日(月)
お 申 し 込 み 方 法 は 次 の 通 り に な り ま す 。 ま ず 、 IUMRS-ICA2008 の 公 式 HP
（http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html）にあります『Abstract Submission』をクリックして下さい。ページ内の template をダウンロードし、このフォームに沿って Abstract を作成ください。次に、『Online
Submission』の文字をクリックして頂くと、お申込方法のご案内ページが開きますので、その内容に沿ってお申し込み下さい。

○代表チェア☆連絡チェア＜セッションチェア一覧＞
渡慶次学（名大） tokeshi@apchem.nagoya-u.ac.jp
齋藤永宏（名大） hiro@eco-t.esi.nagoya-u.ac.jp
高井まどか（東大）takai@bmw.t.u-tokyo.ac.jp
一木隆範（東大） ichiki@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
石崎貴裕（産総研）t.ishizaki@aist.go.jp
問い合わせ連絡先：
連絡チェア：石崎貴裕
産業技術総合研究所サステナブルマテリアル研究部門〒463-8560 名古屋市守山区下志段味穴ヶ洞 2266-98
E-mail: t.ishizaki@aist.go.jp

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行事案内

プラズマ科学シンポジウム 2009／
第 26 回プラズマプロセシング研究会（PSS-2009/SPP-26）
名古屋大学

高井

治

プラズマ科学シンポジウム（Plasma Science Symposium 2009: PSS-2009）は，各学協会等において分散して展開されているプラズマ科学の研究活動を総合的に把握する場を提供し，広範な情報交換を通じて研究の一層の活性化を促すことをめざしており，2001 年，2004 年に次ぐ第 3 回目の開催となります。一方，プラズマプロセシング研究会（The 26th Symposium on Plasma Processing: SPP-26）は応用物
理学会プラズマエレクトロニクス分科会が母体となり，薄膜材料加工等の広いプラズマ応用研究の発表・討論の場として毎年開催され，今回は第 26 回目を迎えます。プラズマの科学と応用に関する最も包括的な国内会議として，標記 2 つのシンポジウムを合同で開催します．プラズマ科学の基礎から，核融合等のエネルギー分野，電子デバイスプロセス・バイオ技術等の産業応用分野，さらに環境・宇宙分野に至るまで幅広いプラズマ研究・応用に関して，一層の発展と新たな展開を探ります．
【 開 催 期 日 】 2009 年 2 月 2 日(月) ～ 4 日(水)【 開 催 場 所 】 名古屋大学（〒464-8603

名古屋市千種区不老町）【 会 議 形 式 】 総合講演，指定テーマ講演シンポジウム講演，一般講演（ポスター発表）【 申 込 締 切 】 未定
【論文原稿締切】 未定（英文，A4 版 2 ページ）
【参加費 （仮）】 一般 12000 円（関連する学協会会員），学生 3000 円，その他 18000 円（10 月 25 日以降は一般 3000 円増，学生 1000 円増）【 連 絡 先 】 〒464-8603 名古屋市千種区不老町
名古屋大学 PSS2009/SPP26 事務局
TEL: 052-789-3259
FAX: 052-789-3260
E-mail: pss2009@eco-t.esi.nagoya-u.ac.jp【

主催】 日本学術振興会プラズマ材料科学第 153 委員会，応用物理学会，
プラズマ･核融合学会，核融合科学研究所，名古屋大学プラズマ
ナノ工学研究センター

61

掲示板

第 7 回プラズマエレクトロニクス賞受賞候補論文の募集“プラズマエレクトロニクス賞の受賞候補論文募集要項”

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科
会では，毎年，プラズマエレクトロニクスに関する学術的あるいは工業的に価値のある優秀な論文を対象とし，その著作者に「プラズマエレクト
ロニクス賞」を贈り表彰を行っています。候補論
文は自薦・他薦を問いません。下記の要領により，奮ってご応募下さい。

記
授賞対象論文プラズマエレクトロニクス分科会が主催する研究会，国際会議などで発表され，かつ 2006 年，
2007 年，2008 年の発行の国際的な学術刊行物（JJAP など）に掲載された原著論文。受賞者は，表彰の時点においてプラズマエレクトロニクス分科会会員あるいは応用物理学会会員とする。

提出書類
以下の書類各１部，およびそれらの電子ファイル(PDF ファイル)一式● 候補論文別刷（コピーでも可，第１ページに候補論文と朱書する。関連論文があれば２件以内の別刷またはコピーを添付）●当該論文の内容が発表されたプラズマエレク
トロニクス分科会が主催する研究会，国際会議などの会議録などのコピー。２件以内。
●著者全員について和文で以下を記入した書類
氏名，会員番号，勤務先（連絡先）● 推薦書（自薦，他薦を問わず，論文の特徴，
優れた点などを 400 字程度でわかりやすく記
述）表彰2009 年春季応用物理学関係連合講演会期間中に行います。受賞者には賞状および記念品を贈呈いたします。また 2009 年秋季応用物理学会学術
講演会期間中に記念講演を依頼する予定です。

書類提出期限2008 年 12 月 25 日（木）必着
書類提出先〒102-0073
東京都千代田区九段北 1-12-3 井門九段北ビル５階
社団法人応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会幹事長（封筒表に「プラズマエレクトロニクス賞応募」と朱書）

なお，プラズマエレクトロニクス賞規定については，プラズマエレクトロニクス分科会のホーム
ページ http://annex.jsap.or.jp/plasma/ を ご覧くだ
さい。

62

掲示板
プラズマエレクトロニクス関連会議日程

国内会議
2008 年 8 月 22 日
フロンティアプロセス 2008
産業技術総合研究所つくば
http://rdecw.nifs.ac.jp/frontier/2008 年 9 月 2 日－9 月 5 日
2008 年秋季 第 69 回応用物理学会学術講演会
中部大学
http://www.jsap.or.jp/index.html
2008 年 9 月 24 日－9 月 26 日
第 2 回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
マキノパークホテル＆セミナーハウス
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/PE_files/PE_SS_2008/index.htm
2008 年 9 月 20 日－23 日
日本物理学会
山形大学小白川キャンパス（素核宇領域）
岩手大学上田キャンパス（物性領域）
http://wwwsoc.nii.ac.jp/jps/
2008 年 10 月 30 日－10 月 31 日
第 19 回プラズマエレクトロニクス講習会
東京工業大学（大岡山キャンパス）百年記念館 3F フェライト会議室
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/2008 年 12 月 3 日－12 月 4 日
第 25 回 プラズマ・核融合学会
栃木県総合文化センター
http://www.jspf.or.jp/jspf_annual08/

年会

2009 年 2 月 2 日－2 月 4 日
プラズマ科学シンポジウム 2009／第 26 回プラズマプロセシング研究会（PSS-2009/SPP-26）
名大豊田講堂およびシンポジオン
2009 年 3 月 30 日－4 月 2 日
2009 年度（平成 21 年）春季第 56 回応用物理学関係連合講演会
筑波大学
http://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/regularmeeting.html
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国際会議
2008 年 7 月 22 日－7 月 25 日
ITER International Summer School(IISS-2008 & 第 47 回プラズマ若手夏の学校
九州大学筑紫キャンパス
http://www.efda.org/usercases/iter_iss.htm
2008 年 9 月 5 日－9 月 6 日
The International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas (ISGLP 2008)
仙台市ホテルクレセント
http://www.plasma.ecei.tohoku.ac.jp/ISGLP/
2008 年 9 月 7 日－9 月 12 日
11th International Symposium Pressure, Low Temperature Plasma Chemistry (HAKONE XI),
Oléron Island, France
http://www.hakone11.univ-tlse.fr/
2008 年 9 月 8 日－9 月 12 日
International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008)
福岡国際会議場
http://www.triam.kyushu-u.ac.jp/ICPP/index.html
2008 年 9 月 15 日－9 月 19 日
11th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2008)
Garmisch-Partenkirchen, Germany.
http://www.pse2008.net/
2008 年 10 月 8 日－10 月 11 日
9th Asia-Pasific Conference on Plasma Science and Technology and 21st Symposium on Plasma
Science for Materials
黄山(Huangshan)，中国
http://www.ipp.ac.cn/APCPST/2008APCPST.htm
2008 年 10 月 13 日－10 月 17 日
61st Gaseous Electronics Conference 2008 (GEC2008)
Dallas, Texas USA
http://www.utdallas.edu/gec
2008 年 10 月 19 日－10 月 24 日
AVS 55th International Symposium
Boston, Massachusetts USA
http://www.avs.org/

64

2008 年 11 月 26 日－11 月 28 日
30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008)
コクヨホール
http://www.dps2008.org/
2008 年 12 月 9 日－12 月 12 日
IUMRS International Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
名古屋国際会議場
http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html

65

編集後記
基礎的な技術を中心に応用までを連載していく所存です。
第一回目は，佐々木 浩一 教授（名古屋大学）に「プラズマ発光分光計測法の基礎」について解説して頂きました。ご愛読どうぞよろしくお願いいたします。
ここ数年，プラズマエレクトロニクスを取り巻くうねりは，環境をはじめとしてバイオ応用，CNT，境界領域でのプラズマ化学現象やマイクロプラズマなど研究
分野を超えて多様化しており，我々の生活の根底を成すプラズマ技術として発展してきています。それに関連して，本号では，プラズマ技術の社会への還元を目指す関連学会による研究活動の紹介として，「大気圧プラズマ流による人間環境保全技術に関する研究分科会」の活動を野崎 智洋 助教（東京工業大学），
佐藤 岳彦 准教授（東北大学）にご執筆頂きました。
また，会議報告や行事案内に目を通すと，広い分野に展開されたプラズマエレクトロニクスに関する研究活動を包括・融合し，更なる進展に結びつける試みが見られます。このように大きな可能性を持つプラズマエレクトロニクス分野の情報源として，また，ハンドブックとして本誌を更に活用して頂けるよう分科会幹事
一同，向上心を持ち努力して参りますので，今後とも，ご協力よろしくお願い申し上げます。

平成20年度4月より，プラズマエレクトロニクス分科会
幹事長が畠山 力三 教授（東北大学）から白谷 正治
教授（九州大学）へと引き継がれ，副幹事長には藤原伸夫 氏（（株）ルネサステクノロジ）および白藤 立
教授（京都大学）が就任いたしました。幹事も約半数が入れ替わり新しいスタートを切ることが出来ました。
ここにプラズマエレクトロニクス分科会会報No.48をお届けいたします。本誌の発行にあたり，ご協力を頂いた皆様には，分科会幹事一同，心より御礼申し上げます。
本号の巻頭言を執筆して頂いた高村 秀一先生（愛知工業大学）には，「電離ガスに関するダイナミクスと静電流体力学の構築に向けて」と題して，ご自身の研究活動を通じて得た研究の醍醐味をプラズマ分野に対する期待や展望を織り交ぜながらお伝え頂きました。特に若手研究者の皆様にとって転機における研究の方向性など今後の研究活動の指針として興味を持って頂けると確信しております。
また，分科会会報No.48では新しい試みとして，学生のためのページ「すぐに役立つプラズマエレクトロニクス」の連載を新設いたしました。タイトルにも表現されている通り，プラズマエレクトロニクスに関する分析・解析手法の解説など実験を手がける際にすぐに役立つ（平成20年度会報編集担当：村山，大竹，布村，柳生）（文責：柳生）プラズマエレクトロニクス分科会会報
プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.48
No.48
2008 年

6 月

30 日

編集・発行：社団法人

発行

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
幹事長〒102-0073

白谷

正治

東京都千代田区九段北
井門九段北ビル（©2008

5 階

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