プラズマエレクトロニクス分科会会報 No. 75

2021 年（令和 3 年）12 月発行
高橋、末次、岡田、白岩
目次
巻頭言名古屋大学 名誉教授

後藤 俊夫

1

プラズマエレクトロニクス（Plasma Electronics）
分科会 30 周年（研究会 35 周年）を記念して

大阪大学

節原 裕一

2

30 年の歴史を振り返る −どんな時代だったか−

慶應義塾大学真壁 利明

5低温プラズマバイオサイエンスの未来名古屋大学 低温プラ
ズマ科学研究センター

堀 勝

9

プラズマナノテクノロジーの学術変革

九州大学

白谷 正治

14

プラズマエレクトロニクス分科会の国際展開−プラズマプロセシング研究会・反応性プラズマ国際会議から見た流れ−

名古屋大学 工学研究
科

豊田 浩孝

16

Greeting Address for the 30th Anniversary of the Plasma
Electronics Division

Ruhr University Bochum,
Germany

Uwe
Czarnetzki

19

この 10 年間の分科会の活動を振り返って

東京大学 新領域創成科学研究科物質系専攻

寺嶋 和夫

21

プラズマエレクトロニクス分科会に学び、今思うこと

東京都立大学杤久保 文嘉

22

プラズマエレクトロニクス分科会の活動を
振り返って

名城大学

平松 美根男24

プラズマエレクトロニクスはエッチング開発にどう役立ったのか？

MAMO

中村 守孝

26

プラズマエレクトロニクス分科会 30 周年に寄せて −半導体デバイスとプラズマエレクトロニク
ス−

アイオーコア株式会社

木下 啓藏

29

非平衡プラズマ研究の過去・現在・未来東北大学 大学院工学
研究科

金子 俊郎

32

プラズマプロセシング研究会の国内会議としての変遷と高温プラズマプロセシング研究の進展

金沢大学

田中 康規

36

プラズマエレクトロニクス講習会の概要と展望

キオクシア（株）

栗原 一彰

39

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
30 周年記念シンポジウムの企画にあたって

九州大学

古閑 一憲

40

プラズマエレクトロニクス分野のさらなる発展を祈念して分科会 30 周年記念特集i

国際会議報告74th Annual Gaseous Electronics Conference(GEC2021)

滋賀県立大学酒井 道

41

8th International Conference on Plasma Medicine(ICPM-8) / 10th International Symposium on Plasma
Bioscience (ISPB-10)

名古屋大学

田中 宏昌
堀 勝

43

42nd International Symposium on Dry Process(DPS2021)

ルネサスエレクトロニ
クス株式会社丸山 隆弘

44

第 82 回応用物理学会秋季学術講演会
分科企画シンポジウム「未来デバイス製造のためのアトミックレイヤープロセス；表面反応ダイナ
ミクスの理解と制御」

産業技術総合研究所
電子光基礎技術研究部
門

金 載浩

47

第 82 回応用物理学会秋季学術講演会
分科内招待講演

防衛大学校

北嶋 武

50

第 82 回応用物理学会秋季学術講演会
分科内 English セッション

大阪大学 工学研究科
アトミックデザイン研
究センター

北野 勝久

51

第 15 回プラズマエレクトロニクスインキュベー
ションホール

九州大学
静岡大学

古閑 一憲
松井 信

52

第 36 回応用物理学会プラズマエレクトロニクス
分科会プラズマ新領域研究会「計測技術の基礎と
最新動向」

九州大学
東北大学

古閑 一憲
岡田 健

53

第 69 回応用物理学会春季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科会企画

九州大学

古閑 一憲

54

14th International Symposium on Advanced Plasma
Science and its Application for Nitrides andNanomaterials / 15th International Conference on
Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2022 /IC-PLANTS2022)

名古屋大学

石川 健治
豊田 浩孝
大野 哲靖

56

75th Annual Gaseous Electronics Conference(GEC2022) / 11th International Conference on Reactive
Plasmas (ICRP-11)

東北大学
東京都立大学金子 俊郎
杤久保 文嘉

58

国内会議報告

行事案内

ii

掲示板

第 20 回プラズマエレクトロニクス賞
受賞候補論文の募集

大阪大学

節原 裕一

59

2021 年度(令和 3 年度)
プラズマエレクトロニクス分科会幹事名簿60

2021 年度(令和 3 年度)分科会幹事役割分担

622021 年度(令和 3 年度)
分科会関連の各種世話人・委員

63

活動報告

64

プラズマエレクトロニクス関連会議日程

66

当会報への広告掲載について

67

編集後記

68

iii

巻頭言

プラズマエレクトロニクス分野のさらなる発展を祈念して名古屋大学名誉教授
この度、プラズマエレクトロニクス分科会 30 周

後藤俊夫

応性プラズマの制御」
や「フリーラジカルの科学」

年特集号の巻頭言の執筆依頼がありました。
私は、を獲得して、研究活動の幅を広げました。

約 35 年前のプラズマエレクトロニクス分野の創このような積極的な活動によって、プラズマエ

設とその後の発展に中心的立場で関わってきたこ

レクトロニクス分野は応用物理学会のなかで確固ともあり、執筆をお引き受けすることにしました。

たる基盤を築くことができ、2020 年に、研究会発

20 周年特集号の時に書いた記事の内容と若干重足から 35 周年、分科会発足から 30 周年を迎える

なる点はあるかもしれませんが、今改めて本分野ことができました。研究会発足前後の寂しい状況の歴史を振り返りつつ、今後の方向についても、と比べると、現在は分科会の会員数や講演会分科

思いつくままに述べてみたいと思います。

の発表件数も大幅に増えて見違えるような発展ぶ

1984 年以前は、応用物理学会講演会のなかにりであり、35 年前本分野の創設に関わった人間と「放電・プラズマ・核融合」という、主に放電基して大変嬉しく思っています。私が応用物理学会

礎分野の小さな中分類分科がおかれていました。

の会長や理事を務めていたときも、本分野に対す

しかし、今後は放電・プラズマの基礎よりも応用る高い評価を聞くことができました。これも本分

分野（特に半導体プロセス分野）が大きな発展を野の研究者及び歴代役員の方々の積年の努力の結遂げるであろうとの考えのもとに、当時の関連分果であり、心から敬意を表する次第です。

野の研究者に声をかけ、研究発表の場としてのプ

さて、少し前までのプラズマエレクトロニクス

ラズマプロセシング研究会を毎年開催するとともの主要な応用分野は、半導体プロセスでした。そに、1985 年に応用物理学会内に活動組織としてのの分野の重要性は今後も続くと思いますが、時代「プラズマエレクトロニクス研究会」を発足させとともに、生物、生命、医療分野などへの応用もました。また、応用物理学会講演会の中分類分科広がりつつあり、これは大変望ましい展開であろも「プラズマエレクトロニクス」に変更しました。

うと思います。

それらの努力の結果、本分野の研究者数は大幅

プラズマエレクトロニクスは応用物理学の基盤に増え、1990 年に研究会組織を発展的に解消して、 分野として不可欠であり、その主要な応用分野は「プラズマエレクトロニクス分科会」を発足させ時代とともに広がっていきますので、次世代の若ることができました。

い研究者の方々は常に科学技術全体の大きな動き

その後、活動を国際的にも展開し、ICRP（反応を見渡しつつ、次の新しい応用分野や研究課題を性プラズマ国際会議）を発足させて、1991 年に第切り開いていっていただきたいと思います。

1 回を名古屋で開催するとともに、海外の GEC、最後に、プラズマエレクトロニクス分野のさら

ICPIG、ESCAMPIG 等の国際会議との連携活動

なる発展と関係する研究者の方々の今後の一層のも進めました。

活躍を心から祈念しています。

また、大型の科学研究費である重点領域研究「反1

30 周年特集記事

プラズマエレクトロニクス(Plasma Electronics)
分科会 30 周年（研究会 35 周年）を記念して
大阪大学

節原裕一
準会員と正会員を合わせた会員数は 300 名を超え、

プラズマエレクトロニクス分科会の沿革は、1984 年に発足された「プラズマエレクトロニクス

現在は 500 名近い多数の会員を擁しています。

談話会」に遡り、翌年の 1985 年に「プラズマエ

次いで、当分科会の礎が築かれた創設期からのレクトロニクス研究会」ならびに学術講演会中分発展について、上記の「プラズマエレクトロニク

類分科「プラズマエレクトロニクス」が応用物理ス分科会会報 No.55(2011 年 12 月発行)」特集記

学会に設置され、これらの活動実績が評価されて、事から振り返ってみたいと思います。

1990 年 3 月にプラズマエレクトロニクス分科会

後藤俊夫先生は、『1985 年のＰＥ発足時に提案に昇格し、現在に至っております。こうして 2020

したプラズマプロセス分野の研究課題は、「計測技

年で、プラズマエレクトロニクス研究会の発足か術の開発、プラズマ計測（具体的には、各種粒子

ら３５周年、プラズマエレクトロニクス分科会の密度測定、電子温度及び電子エネルギー分布測定

発足から３０周年の節目を迎えました。

等）、プラズマ・固体表面相互作用、モデリング、

上述の「談話会」から応用物理学会での「研究プラズマ生成技術等」であった。
』と述懐されてお会」そして「中分類分科」の設置、さらには「分り、当該特集記事を企画された堀勝先生は、『プラ科会」への昇格をはじめとする創設期の経緯とズマエレクトロニクスは、「プラズマの内部の理解

2010 年頃までの当分科会の歩みについては、当分を深化させることによって、多様なプラズマ応用科会２０周年（研究会創設２５周年）の節目にお技術の進展を図る」ことを基軸としている』と記いて、当時の幹事長（名古屋大学・堀勝教授）のされています。

もとで取り纏められた特集記事が「プラズマエレ

当分科会の創設期に当たる 1985 年に設定されクトロニクス分科会会報 No.55(2011 年 12 月発

た上記の研究課題は、創設から３０周年を迎えた行)」に掲載されています。プラズマエレクトロニ

今日においても全く色褪せることなく、それどこクス分科会の会報については、下記の分科会ホーろか、現在においても極めて重要な骨格であり、ムページの「会報アーカイブス」からダウンロー

当分科会の活動の基軸と言えます。その意味におド可能ですので、是非ともご一読いただけました

いては、当分科会の骨格が科学的かつ普遍的アプら幸甚です。
（http://annex.jsap.or.jp/plasma/）

ローチに基づいて構築され、プラズマエレクトロ

さて、上記の「プラズマエレクトロニクス分科

ニクス分野における研究活動の発展を支えてきた

会会報 No.55(2011 年 12 月発行)」の特集記事か礎として、創設から２０周年そして３０周年へとら会員数の推移を振り返ってみると、1984 年に脈々と受け継がれてきた伝統であり、諸先輩方の30 名余りで発足された「談話会」当時から、「研深い造詣には敬服の念に堪えません。

究会」設置の 1985 年には 140 名､その後､1989 年

さらに、上述の分科会創設期から受け継がれてに 290 名､そして｢分科会｣設置後の 1991 年にはきた研究課題に加えて、分科会発足２０周年に当2

たる 2010 年頃を経て、大気圧ならびに液中での拓に資する機会を創出することに貢献しています。

非平衡プラズマ生成・制御に関する研究、プラズ

６）分科会会報の発刊

マ医療をはじめとする生物との相互作用を基軸に会報を年に 2 回発刊し、当分科会に関わる最新

おいた「プラズマライフサイエンス」、
そして環境・

情報や当分科会の活動の状況を照会しております。

エネルギー分野をはじめとする「グリーンイノベ

７）プラズマエレクトロニクス賞の授与ーション」に関する研究領域が開拓され、昨今の本分野での優れた成果（論文）を対象に、毎年、「持続可能な開発目標（SDGs）」の達成に資する賞を授与し、功績を讃えております。

研究活動が積極的に展開されていることも当分科

８）春秋応用物理学会学術講演会における行事

会の特長といえます。

応用物理学会学術講演会において、シンポジウ
ムや分科内招待講演、チュートリアルを主体的に企画し、プラズマエレクトロニクス分野の発展に

プラズマエレクトロニクス分科会の現在の活動

現在の当分科会の活動について、簡潔に紹介さ貢献しています。さらに、インフォーマルミーテ

せて戴きます。

ィングでの会員からの意見集約を図ると共に、懇

１）プラズマプロセシング研究会（SPP）

親会を毎回開催し、親睦を深めています。

プラズマプロセシング研究会［Symposium on
Plasma Processing (SPP)］は、当分科会が主催し分科会３０周年記念事業

毎年開催しており、「談話会」
発足の 1984 年以来、上述のように、プラズマエレクトロニクス分科

今年度で第 39 回目を迎え、最先端の成果発表・議会は、2020 年で発足から３０周年の節目を迎えま論の場として貢献しております。

した。当分科会の幹事会では、分科会３０周年記

２）反応性プラズマ国際会議（ICRP）

念事業として、下記を鋭意企画し、実施させて戴

反 応 性 プ ラ ズ マ 国 際 会 議 ［ International

いておりますので、簡潔に紹介させて戴きます。

Conference on Reactive Plasmas (ICRP)］は、分

[１] 第 68 回応物春季学術講演会（2021 年 3 月）

科会への昇格後の 1991 年に初回が開催されて以コロナ禍のためオンライン開催となりましたが、来、概ね 3 年毎に開催されてきました。単独開催

2021 年 3 月に開催された応用物理学会春季学術のみならず、海外の GEC、ICPIG 等との合同開

講演会において、以下を企画し実施しました。

催を通じて、国際化に貢献してきました。

・分科会３０周年記念特別セッション

プラズマエレクトロニクスインキュベーション

３）プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール

学生ならびに企業の新人研究者を対象とした若ホールでの若手教育を念頭に置いて、2021 年 3 月

手教育の場として、合宿形式のサマースクールを

16 日に、午前中のチュートリアルを実施し、午後毎年開催しております。

に、プラズマエレクトロニクス分科会 30 周年記

４）プラズマエレクトロニクス講習会

念特別セッション（キャリア体験、英語講座、若産業応用に求められるプロセスプラズマの生手セッション）を開催しました。特に、若手セッ

成・制御・診断の基礎と先端的応用に関する講習

ションでは、応用物理学会学術講演会では初めて会を毎年開催しております。

の試みとして、質疑・応答（ダイアログ）を重視

５）新領域研究会

した時間配分［講演 5 分、質疑応答 10 分］で、集中的に議論する場を通じて、戦略的な領域開

教育効果を重視したセッションを開催しました。

3

さらに、この若手セッションでは、下記の「プラして発刊することを企画しております。

ズマエレクトロニクス講演奨励賞」の選考を行い、[４]アカデミックロードマップの改訂

優秀な講演者に賞を授与して功績を讃えました。

以前に策定されたプラズマエレクトロニクス分
野のアカデミックロードマップは、2008 年 3 月

・分科会３０周年記念シンポジウム

続いて、2021 年 3 月 17 日午後に、プラズマエ

28 日に発刊された「応用物理分野のアカデミッ

レクトロニクス分科会３０周年記念シンポジウム

ク・ロードマップの作成報告書」に収録されておを『ニューノーマル時代の躍進に資するプラズマ

り、分科会３０周年を迎えた 2020 年の時点で 10

エレクトロニクス』と題して開催しました。この年以上の年月が経過しております。このため、プシンポジウムでは、冒頭で応用物理学会の波多野分科会３０周年を記念して、改訂版を策定するこ

会長からご挨拶をいただき、２部構成（第１部：とを幹事会で決定し、準備作業を進めています。

設立当時からの歩みと国際展開を俯瞰、第２部：[５]ＰＥ分科会ロゴの作成

記念講演）で、これまで当分科会の歩みを振り返分科会３０周年を記念して当分科会のロゴを作ると共に、今後を展望するご講演を戴きました。

成することを、幹事会で決定しました。当分科会[２]プラズマエレクトロニクス講演奨励賞の創設の会員に広く呼びかけて募集したデザインから選上記の応用物理学会学術講演会で開催した分科

考し、次世代に受け継がれるロゴにしたいと願っ

会３０周年記念特別セッションにおける若手セッております。

ションでの優秀な講演者の表彰を機に、プラズマ[６] 会報(2021 年 12 月)分科会３０周年特集記事

エレクトロニクス講演奨励賞を創設しました。本

プラズマエレクトロニクス分科会の歩みを記録

表彰は、プラズマエレクトロニクス分科会が企画し、後世に残すという意味合いから、２０周年かして行う講演会、研究会、シンポジウム等に於い

ら３０周年までの歩みを俯瞰して収録することをて、プラズマエレクトロニクスおよび関連学術・目的に、本会報 No. 75(2021 年 12 月)において、技術分野の発展に貢献しうる優秀な講演論文を発「分科会３０周年特集記事」を企画しました。

表した学生・若手研究者に「プラズマエレクトロ

本特集では、上述の[１] 第 68 回応物春季学術

ニクス講演奨励賞」を授与し、その功績を称える

講演会（2021 年 3 月）で開催した分科会３０周年ことを目的としており、2021 年度以降は、プラズ

記念シンポジウム『ニューノーマル時代の躍進に

マプロセシング研究会（SPP）における学生・若資するプラズマエレクトロニクス』にご登壇いた

手研究者への表彰として引き継いで参ります。

だいた先生方を中心に講演内容を纏めていただき、[３]ＰＥ３０周年記念アーカイブズの発刊

加えて、分科会２０周年以降の幹事長経験者の先当分科会の主要行事である「プラズマエレクト

生方、産業界の先生方、現副幹事長の先生方に執ロニクスインキュベーションホール」と「プラズ筆をお願いしました。

マエレクトロニクス講習会」では、第一線でご活躍の著名な先生方にご登壇いただき、講演テキス

このたびの分科会３０周年特集記事が、後世のトをご執筆いただいております。毎回、著名な先研究者への指針としても受け継がれ、プラズマエ

生方にご執筆いただいてきたテキストは、英知のレクトロニクス分科会の今後の発展に資すること宝庫であることに鑑み、集約してアーカイブズとを念願しております。

4

30 周年特集記事

30 年の歴史を振り返る―どんな時代だったかー

慶應義塾大学

真壁 利明

まえがき:

2) コンピュータが個人用(PC)化し速度・容量が

筆者は「プラズマエレクトロニクス(PE)分科会

指数関数的に増大し研究者の頭脳の一部と化した。

30 周年記念シンポジウム」(2021 年 3 月)で「研3) 論文誌は商用化し、Impact Factor、citation

究を取囲む環境の急激な変化」について講演する

数、download 数などが評価指標として流通する機会を頂いた。概要を紹介し現在を概観したい。

時代となった。

PE 分科会の科学と技術の 30 年間」は、

4) 研究は「コピー文化」の影響を直接うけた。

1) Berlin の壁崩壊に発した冷戦終結から 30 年、

5) 研究動向を把握する「検索機能」が発達し、「ど

2) 国内経済バブル崩壊に続く失われた 30 年、んな研究が何処で行われているか」がたちどころ

3) 東側諸国から西側へ研究者の流出、に把握できる時代が到来した、などであろう。

4) 教育や産業のグローバル化、

総じて現代社会は成果主義(outcome)の道を歩ん

5) インターネットに代表されるデジタル革命、
6) 国内基幹産業の構造変化、などの大きな歴史的転換点に遭遇し、我々を取り囲む社会環境も大きく変化した。

図 2：研究検索エンジンとその例でいる。PE 分科会の科学の芽の多くは戦後、2030 年間に出現している。一方で、検索エンジンのデータはほぼ 90 年代以降の研究結果であることに注意しよう。
図１．最近 30 年間における研究環境の推移
特に、デジタル革命で受けた「研究現場」の変容は大きかった。代表的なものを挙げると、設立当時の PE 分科会:

1) 70 年代、大学は企業 Telex を借用していた。

設立時、PE 分科の特徴はその多様性とその運90 年代初めに、Internet (e-mail)が大学間で運用営にあった。

され始め、欧米との距離を意識しない環境が出現

1) プラズマ物性や、粒子の素過程と輸送の解明、した。企業も大学経由で e-mail を利用する一時期

2) プラズマ機能の抽出と制御、を経験した。

3) プラズマ源とその機能のシステムデザイン、

5

4) プラズマによる物質表面プロセス開発と利用など、相互関連分野を設け、各分野あるいは合同セッションに質の高い討論の場を提供できたことにある。専門が異なる複数の分野が有機的に結合し、会員の関心にマッチした学際的研究のプラットフォームを PE 分科会に用意できた意義は大きかった。
「大学研究者」は産業界が求めるターゲッ
トを、「企業エンジニア」は何が何処まで既知かな
どを、把握する場となった。この 30 年間は、
図 4：大学院生(研究人財)の推移● 技術革新そのものがイノベーションを生む、
いわゆる線形モデルが終焉し、クを迎え、修士から博士課程に進学する大学院生● 企業から技術の目利きが減少した、の比率も減少に移り、次代を担う研究者や技術者

時代でもあった。現在、「研究の橋渡し」と「橋渡の枯渇が危惧される。国内における研究投資につし研究」を誰が担うかが問われ続けている。

いて建設的な提言が多方面から寄せられている現在、これを勘案した政策の運用が緊急の課題であろう。

研究投資 30 年の歩み:
研究への投資は「研究の原資」と「研究に携わる人財」に大別される。それぞれの財が 30 年間にグローバリゼーションのなかで：どのように推移してきたかを表示したのが図 2 と冷戦が終結し、研究活動が地球規模で行われるフ

図 3 である。しばしば指摘され論じられてきたよェーズに入ったこの時期、国内では国際共同研究や留学などを通して、多様な環境の下で研究を発展させてゆく時代であった。 コロナ・パンデミッ
クが続く現在、グローバル化は足止めを受けているが、その流れは今後も変わらないであろう。PE
分科会は 1991 年に反応性プラズマ国際会議(Int.
Conf. on Reactive Plasmas)を企画し第一回会議

図 3：大学の研究開発費の推移
うに、90 年代は右肩上がり現象が、その後の 20
年間は飽和傾向が続き、現状は憂慮すべき状況にある。この「研究の原資」と強い相関を示しているのが「大学院生数の推移」
で、「研究を担う人材」
図 5：グローバル化のなかで PE 分科会の発展の指標である。大学院生の総数も 10 年前にピー

6

を名古屋で開催している。その後、グローバル化

同時期であった国際誌 PSST (IOPP) を例に外観の一環として海外の伝統ある国際会議機関と共同しよう。

で会議を開催する方針のもと、図 4 に記載したよ

1) 総論文数は 30 年間でおよそ 4 倍に増加、

うに、
欧米の機関と 5 回の共同国際会議を開催し、

2) 国内からの寄稿数は 20%から 5%台へ減少、PE 分科会の会員に face-to-face で情報交換がで

3) 国別で見て 2019 年度の論文数は第 7 位、きるホットな場を提供してきた。共同開催が実現

4) 国内からの編集委員数は 3 名からゼロ、したのは、会員諸氏が基礎・萌芽・応用各分野でへとそれぞれ変化している。分科会の会員は研究

質の高い研究を海外に向け発進していたからに他成果を JJAP へ優先的に投稿する習慣があるなかならない。特に、低温プラズマ源とその表面プロで、中国・韓国や東欧の研究者が PSST 誌に公刊

セス分野で、国際的に研究を先導した事実は長くする論文数が急増した 30 年であった。他方、PE記憶されるだろう。

分科会諸氏の研究が歴史ある学会から高く評価さ一方で、国内産業界が半導体製造やプラズマデれ、国際的な学会賞を受賞する会員が目立ったのもこの 30 年の特徴であった。

ィスプレーなどハイテク分野から手を引いていったことが PE 分科会に与えた影響は少なくない。
30 年前と比べて現在、異文化を吸収し合う、国際的な研究環境に「個人」で参加し、国や所属を意

デジタルコピー文化と研究者社会：

識せず共同研究で海外連携を深めることがこれまで以上に重要な社会となっている。
海外出張の際、研究者の公的費用(日当や宿泊費)などの見直しも急がれる。

孤立化に向かうか、研究発進体制：

図 7：コピー文化と研究者社会
歴史上、知識人(研究者を含む)の数は、手書き情報が少人数の個人に独占された時代、印刷機の発明で印刷本が流通し専門家が出現した時代を経て、現在、デジタルコピー(コピペ)が文化の一翼を担い、研究者も一般化した時代となった。これら社
図 6：PSST 誌 30 年のあゆみ

会環境の変化に連動し、長期を要する基礎的研究

研究者集団の動向を客観的に例示することは難しが減り短期決戦の研究が増加の道をたどっている。

い。上述した研究環境の変化のもとで、研究者が象牙の塔から研究者の解放が進んだ一方、無査

陰に陽にその影響を受けながら行った研究成果の読のコピペ論文を高額で出版するハゲタカ出版社

公表の場を、分科会の設立と論文誌の創刊がほぼが出現している。この組織が論文本来の価値を脅

7

かす存在とならぬよう、研究者それぞれの自助努である。

力が強く求められている。公刊される莫大な数の先人は「とかく人生は結果より、そこへ行き着

論文を、その分野の特徴・研究倫理・ガバナンス

くまでの道中の方に魅力があるようだ」と語ってなどの視点から分析・評価し、倫理違反の疑いのいる。団塊の世代に属する筆者は 40 代から 70 代ある研究者やその所属に警告を発する部門が欧米にかけて、PE 分科会の発展・円熟期に、こころざを中心とした大学機関に出現している。

しをともにした諸先輩、諸氏と活動できた幸せに感謝している。
思い出深い PE 分科会の第一回合同国際会議

結びに代えて：PE 分科会創設当時の意図、「低温プラズマの研究を核にした学術融合組織の立ち上げ」は成功裏に
進み分科会会員はこの環境の中で、常に研究の到
達点と、そこに至るマイルストーンを自ら設定し歩み続けることができた。現在の財政支援環境や企業の運営体制の下では、PE 分科会がここまで(45stGEC/4thICRP)(1998, Maui) で の フ ォ ト を育つことは難しかったであろう。
米国ではプラズマ分野の多くの研究者が近い将紹介し、日米欧同僚諸氏の活躍を回顧したい。

来、高齢化を迎えるため、適切な数の人材確保のシニアである筆者の役割の一つは、低温プラズ

有り方が議論されその施策が提言されている。社

マや輸送理論の研究が過去にたどった道をレビュ

会環境が変化した現在、
過去 30 年の歩みの中に、ーし、次代の学生や研究者にそれを提供すること

今後の 10 年に向けた発展のカギが少しでも見出にあると考え、このレンガを一つずつ積んでゆくされ、前向きな活動に活かしていただければ幸いような作業を日々楽しんでいる。

8

30 周年特集記事

低温プラズマバイオサイエンスの未来
名古屋大学

低温プラズマ科学研究センター

堀勝

ズマの発明を起源にする[2]。その後、多くの研究

１．はじめに未来は、絶えず動くので、予測することは非常者が、プラズマを微生物や生体に照射するというに難しい。未来を展望する最も確実な方法は、過研究へと発展していくことに至った。今後、プラ

去の歴史から、求める課題とその解決法を学び、ズマバイオが、未来の学理を構築し、医療や農業

現状から未来動向を外挿することである。しかしにおいて、普通に使われる技術として残るためにながら、このような受け身的なアプローチで、低は、以下の４つの事柄が重要である。

温プラズマバイオサイエンスを発展させていくの

１）大きな産業の発展や社会的ニーズがサイエンではなくて、
今こそ、
過去から学んだ知識を基に、スを牽引する(大規模集積回路、太陽電池・・など

積極的にプラズマバイオサイエンスの「未来を創

のように）
。

る」ことが求められている。

２）他に、キラーアプリがない（プラズマしか実

低温プラズマバイオの歴史を紐解くと 1786 年

現できる技術がない）。

頃にはすでに、静電気を用いてプラズマを発生さ

３）産業からの課題を解決する「発見と発明」がせて、何らかの治療に応用した記録を見ることが連続的に起きる。

できる。さらに、静電気から高電圧を印加して発４）現象の解明による学理の創出（科学的な裏付生させたストリーマー状のプラズマを生体に照射け）。

する医療行為へと発展している[1]。しかしながら、このような観点において、その一つの未来動向

これらのプラズマを使った医療行為は、ラングミの指標として、公表された論文の推移から、そのュアが放電現象をプラズマと命名(1928 年)する

分野の発展性を評価することができる。

前の出来事であることを考えると驚くべき事実で

図 1 に示すのは、プラズマプロセスに関する論ある。すなわち、プラズマの半導体プロセスへの

文数の推移を示したものである。論文数が増加し導入の前に、プラズマの主たる応用の一つとして、ている分野は、未来に向かって発展していく分野

人体への治療が実施されており、いつの間にか、であることが多い。例えば、図において、1990 年

この技術は、フェイドアウトしたことになる。

ごろからの急速な論文数の増加は、集積回路に積その要因の一つは、当時のプラズマ技術がキラ

極的にプラズマが導入されたときに一致しており、ーアプリ（該技術でないと実現できない唯一の応集積回路の進化とともに、プラズマプロセス分野

用技術）を確保できなかったことや生物学や医学の論文が増加している。この潮流は、現在から未が、そのメカニズムを解明するまで発展していな

来へ向かって急速に発展する AI や DX の情報化社

かったことに起因すると考えている。すなわち、会とともに、プラズマ分野は今後さらに発展してサイエンスがない、怪しげな治療であったことがいくことが期待される。多くの分野で論文数の飽予想される。さて、プラズマバイオ応用の画期的

和や低下が見られる中で、プラズマ分野の未来はな出来事は、岡崎等により大気圧でのグロープラ

明るい。

9

一方で、図２に、プラズマバイオ分野の論文数

２．過去の大型科研費からプラズマバイオサイエを示す。2000 年頃から勃興したプラズマバイオのンスの未来を創る

論文数の急伸な増加は、目を見張るものがある。

日本のプラズマエレクトロニクスは、社会のニ

また、プラズマバイオ分野の発展と共に、新しいーズに応えながら、タイムリーに、組織的な大型国際会議などが創設されている。したがって、集研究を遂行してきた。このような大型研究が、我積回路を中心としたデバイス・材料分野と新たにが国のプラズマエレクトロ二クスの土台を構築し始まったバイオ分野の両輪が、プラズマ分野のエてきた。図３に、これまでの主な大型の科学研究

ンジンになっていることが分かる。このエンジン費によるプロジェクトを列挙する。これらから、の一つであるプラズマバイオの未来を我々が創らプラズマエレクトロニクス分科会を中心とするコ

なければ、プラズマ分野の発展は次第に低下する

ミュニティが、次に、どのような研究領域を構築ことが懸念される。

するのかを読み取ることができる。逆に言えば、

本稿では、プラズマバイオサイエンスの現状と次にどのような大型科研費を遂行するかで、本分

これから創造すべき未来について示す。

野を牽引するサイエンスを発展させることができる。

図１ プラズマプロセスに関する論文数。
図３ プラズマエレクトロニクス分野における過去の大型科研費
世界的な潮流を鑑みても、次の大型プロジェク
トのターゲットの一つとして、プラズマバイオを中心とした流れをさらに加速することが必要である。さらに、国連が設定した 17 の目標（SDGs）の達成に向けて、世界中の人々が取り組んでいることを鑑みると、SDGs の達成にプラズマサイエンスの発展を位置付けることは、
自然の流れであろう。
図４に、17 の SDGｓとプラズマが貢献できる 14

図２ プラズマバイオに関する論文数の推移。
10

のターゲット（＊）を示している。この中で、プな活性種が存在しており、これまでに無かった作

ラズマバイオサイエンスに関係する５つのターゲ用を生み出している。このプラズマ活性液を使うットを赤字で示す。

ことで、いくつかの SDGs のターゲットを実現することができる。
３．プラズマ活性培養液およびプラズマ活性乳酸

我々は、プラズマを照射して合成した活性液として、細胞培養液（Plasma Activated Medium:
PAM ） お よ び 点 滴 （ 乳 酸 ）（ Plasma ActivatedLactate: PAL）の医療および農水産分野への応用を研究している[3]。これらの活性液が、がんの選択死滅などの抗腫瘍効果のみならず、植物の成長促進や果実の高機能化を実現することを発見して

図４ SDGs における 17 の目標。＊は、プラズマきた。図５に、その成果の一つを示す。図の左は、に関係する目標。赤字は、プラズマバイオに関係

細胞培養液を使ってマウスの腹部を洗浄したものする目標。

で、多くのがんの発生（白い部分）が観察される。
一方、右図に示すように、PAM で腹部を洗浄する

ここでは、これらのプラズマバイオに関連するターゲットに対する具体的な研究項目を下記に示す。
１）飢餓をゼロにことによって、がんの発現を抑えることができる。
抗がん剤では、がんと正常細胞との選択比を得る
ことができないが、PAM や PAL は大きな選択比が（プラズマ農水産学：成長促進、
高付加価値作物）

あり、未来医療に適応できれば、そのインパクト２）すべての人に健康と福祉をは大きい。

（プラズマ滅菌、ウィルスの不活性化、プラズマ
がん治療、プラズマ再生医療）
３）安全な水とトイレを世界中に（プラズマ浄化、プラズマ滅菌）
４）海の豊かさを守ろう（プラズママイクロプラスティック分解、プラズ
マ漁業・・・・・）
５）陸の豊かさも守ろう（プラズマ燃焼：ゴミの焼却、豚・鶏インフルエ
ンザ防止・・・・・）
これらの研究テーマの共通な因子として、プラズマと液体との相互作用によって合成するプラズ
マ活性溶液の応用が挙げられる。すなわち、プラ
ズマを液体に照射することによって合成できるプ

図５ PAN を用いたウォッシングセラピーによるラズマ活性溶液の中には、短寿命・長寿命の様々

がんの死滅効果。

11

最も重要な視点は、プラズマと有機溶液との相

クトロニクスが培ってきた、多様なプラズマ計測

互作用で、どのような活性種が生成され、これら手段、プラズマ装置技術とその知識の集積を基盤の活性種が、細胞にどのような作用を及ぼしていにすることで、プラズマバイオの扉をあけて、発るのかを解明し、学理として体系化することにあ展させることで、プラズマ医療や農業が身近に、る。すなわち、プラズマと有機溶液と生体との相普通に存在している社会の到来が期待されている。

互作用の体系化によって、プラズマバイオサイエ
ンスを創成することができる。

４．プラズマバイオサイエンスの最前線

プラズマ活性有機溶液が拓くプラズマバイオサ

プラズマバイオサイエンスの研究は、これまでイエンスの概要を図６に示す。

プラズマエレクトロニクスが構築してきた学理の最前線での開拓と言える。図７にそのスキームを示す。すなわち、新たな発見や知識の集積は、そのまま、新たな学理の前線を拡大させているという点で、まさに、学際科学のフロンティアの開拓に値する。そこでは、プラズマ科学のみならず、
医学、生命農学、生物学、薬学などの学理が必要であり、若い研究者にとっては、本分野の推進には、他分野を修得し、プラズマ科学と融合することが必要である。これまで、プラズマ分野のバイオへの寄与は、多様な大気圧プラズマ装置の供給とそこから発生する発生種や電界等の計測技術に留まっていたが、今後は、プラズマ研究者が、医図６ プラズマ活性有機溶液が拓くシームレスな学も生物学もマスターして、他分野との協創を推プラズマバイオサイエンスの学理。

進することを期待している。

プラズマバイオサイエンスを確立するためには、
１）プラズマから生成される活性種の特定と制御
２）気相からの活性種と有機溶媒との相互作用の解明
３）プラズマ活性有機溶液中の活性種の特定と制
御４）プラズマ活性有機溶液中の活性種と細胞との相互作用（シグナル伝達、代謝、免疫、遺伝子への影響とそのダイナミクス）
を系統的に解明する。
５）最終的に、１～４）を医療や農業に資するプ
ラズマ装置の開発にフィードバックすることが必

図７ プラズマバイオは、プラズマサイエンスの要である。

最前線を開拓し、その領域を拡大している。

これまでの 40 年以上にわたってプラズマエレ

12最後に、本稿ではプラズマと有機溶液との相互

４）多様な分野とプラズマバイオサイエンスを融作用の解明と医療応用についての研究の一例を示

合して進化させる。

したが、プラズマと固体との相互作用によって製

５）プラズマ科学者が寸刻を惜しんで、バイオを造したナノデバイスや機能性部材のバイオへの応勉強する。プラズマとバイオのダブルディグリー

用についても、多くの研究者が研究に取り組んでを有したプロの人材育成が必要である。

いる。必要なところへ薬剤を注入することができるドラッグデリバリーデバイスの開発においても、 謝辞
最先端のプラズマ科学技術が必要になっている。

本稿をまとめるにあたって、名古屋大学低温プ

バイオ応用をターゲットとして、プラズマと固ラズマ科学研究センターのスタッフおよび学生に

体・液体・生体との協奏から繰り出すプラズマバ

感謝いたします。
また、
本稿の成果や図の一部は、イオサイエンスの構築が、新たな医療や農業を開文部科学省科学研究費特別推進研究「プラズマ誘

拓し、SDGs のみならず、人類の永続的な発展に寄起生体活性物質による超バイオ機能の展開」

与することを期待している。

（19H05462）の支援によって得られたものである。

５．まとめ

参考文献

プラズマバイオサイエンスは、SDGs の達成に大[1] D. Graves, IEEE Transactions on Radiation

きく貢献し、プラズマで新たな未来を創ることがand Plasma Medical Sciences, 2, (2018), 594 –可能である。本稿では、その一端を記述したに過607.

ぎない。下記に要点をまとめる。

[2] S. Kanazawa, M. Kogoma, T. Morikawa and

１）プラズマバイオサイエンスの未来は自分で創

S. Okazaki, J. Phys. D: Appl. Phys. 21 (1988),

る。

838-840.

２）地球規模のバイオの課題を解決し、人類の永[3] H. Tanaka, K. Ishikawa, M. Mizuno,

続的発展に貢献する意思をもつ。

S. Toyokuni, H. Kajiyama, F. Kikkawa,３）プラズマならではの「キラーアプリ」を確立

H. Metelmann and M. Hori, Rev. Mod. Plasma

し、他の技術と併用する。

Phys. (2017) 1:3 1-89.

13

30 周年特集記事

プラズマナノテクノロジーの学術変革
九州大学

白谷正治

プラズマナノテクノロジーの今後の研究の方向点が課題である．また，3 次元積層化も急速に進性を考える上で，いくつかの視点が考えられる．

展する．このため，アスペクトの極めて高い穴の

ここでは，プロセス圧力の視点とナノ材料の視点

中で制御性の高いプロセスを構築するための学術から記述する．

変革が重要である．従来の，ラジカルやイオンを先ず，プロセス圧力の視点で，低圧・中圧・大プラズマ中から穴に輸送して，プロセスを行う方

気圧・高圧プラズマプロセスを用いたナノテクノ

法論では限界があり，穴の中でプロセスを担う粒

ロジーを考える．

子を生成し活用するような，発想の転換が必要と

低圧プラズマは，水などの不純物を極限まで低なる．また，プラズマ・シースさらには基板に入減することが求められる半導体プロセスに多用さ射する電子とイオンのエネルギー分布の時空間分れている．
半導体の社会基盤としての重要性から，布の高精度制御により，活路が見出される可能性

今後もさらなる発展が求められている．半導体プが高い．新しい発想で新たな飛躍が求められていロセスは，従来，フロントエンドとバックエンド

る．プロセスプラズマの生成・診断・制御においに大別されてきたが，近年，これらの間にある異ても，従来の延長線上にない方法論を開拓してい種チップを積層化するパッケージ技術（ミドルエ

くことになる．

ンド）がボトルネックとして注目されている．プ

大気圧プラズマは，熱プラズマと非熱プラズマ

ラズマプロセスはフロントエンドでは 70%以上に大別でき．近年は両者の研究ともに活況を呈しを占める中心技術である．今後は，ミドルエンドている．熱プラズマは，ナノ粒子の大量合成に有やバックエンドへのプラズマ応用も開拓していく

効であることが示され，産業界でも活用されていことが望まれる．フロントエンドでは EUV リソ

る．熱プラズマプロセスにおいては，大幅な低コグラフィーの導入が本格化し微細化がさらに進展

スト化などにより，溶液プロセスなど他の手法にすることなどから，これまで以上のプロセス揺ら比べて圧倒的な優位性を確立し，産業用途の拡大ぎの抑制が必須である．ナノシートなど複雑形状と定着を計ることが重要である．このためにも，物の加工･成膜などが必要で，そこではプロセスダ

新たなプラズマの生成･輸送・制御やシミュレーシ

メージを極限まで低減することが求められる．プョンによる現象解明とその理解に基づく学術の進

ラズマプロセスは，未結合手の生成と消滅および展が求められる．非熱プラズマにおいては，過去

構造緩和が主な素過程であり．ラジカル･イオン･の知見を活かすことが先ず求められる．

光･熱などが最表面だけでなく膜中でもこれらを中圧・高圧のプラズマプロセスは，低圧と大気誘起している．このため，表面近傍領域にダメー

圧に比べて研究例・応用例が限られており，学術ジが残留しやすいプロセスである．ダメージの入的にも発展の余地が大きい．そこでは，これらのりにくいプロセス条件を選択するのが基本である

圧力領域の特長を明示して，産業化されることがが，低ダメージと高速処理は相反することが多い

中長期的に持続的発展の下支えとなる．

14

ナノ材料の視点では，ナノ材料合成とナノ材料

きな分野であり，多くの研究者が参入することがを用いた構造形成・ナノ建築がある．ナノ材料と望まれる．

しては，フラーレンなどの 0 次元ナノ材料，CNT

最後に，産業化を目指す研究は重要ではあるが，のような 1 次元ナノ材料，グラフェンのような 2産業化などに無関係に，知的好奇心を持って生涯

次元ナノ材料がある．これらは，炭素系だけでなをかけて我が道を行く研究も必要である．この観

く，様々な単一元素材料･多元系材料で合成され，点から，世の評価を意識したテーマと，意識せず

その物性を調べる研究が多くなされている．そこに自分の興味や信念に基づくテーマの 2 種類を同では，プラズマ合成の優位性を示すこと，材料の時並行で研究するのが良いのではないか．

純度を高める方法論を確立することが重要な課題

基礎学術から産業化までを一人の研究者が行うである．
単に論文を執筆するだけの研究では無く，のはかなり難しい．
また，
ナノテクノロジーでも，ナノ材料の合成・物性評価・応用と実用化を本気

異分野の研究者の協力が研究を加速することが多で指向する継続的な研究が極めて大切である．こい．これらの観点から，共同研究を行うことを強の点は，研究者としてのビジョンが問われている

く推奨する．若い世代の研究者には，若木から巨ともいえる．

木になる学術研究を推進して欲しい．若手の活躍

一方，ナノ材料を用いた構造形成・ナノ建築をが分野の将来を左右する．

自在に行うための基本要素技術は，サイズ・構造
制御，凝集・分散制御，輸送・付着制御であり，参考文献

初歩的な研究成果は既に報告されている[1]．しか[1] M Shiratani, K Koga, S Iwashita, G Uchida,

しながら研究例はまだまだ少ないのが現状である． N Itagaki, K Kamataki; J. Phys. D, 44, (2011),
Non-classical crystallisation をプラズマ中で研

174038.

究するのは興味ある方向性である．ナノ材料を用[2] J. Cookman, V. Hamilton, S. R. Hall & U.

いた構造形成・ナノ建築を自在に行う分野は，学

Bangert; Sci. Rep. 10, (2020), 19156.

術としても魅力的であり，産業的インパクトも大15

30 周年特集記事

プラズマエレクトロニクス分科会の国際展開―プラズマプロセシング研究会・反応性プラズマ国際会議から見た流れ―
名古屋大学工学研究科

豊田浩孝

はじめに

プラズマエレクトロニクス分科会は設立以来積極的に国際展開を進めてきた。本稿では、現在に至るまでの分科会の国際展開活動の流れを、分科会が開催する国際会議である反応性プラズマ国際会議を通して俯瞰する。なお、１９８０年代当初
は著者がまだ学生の時代である。したがって、十分に内容を把握できていない部分も多々あり、この点については読者のご容赦をいただきたい。
国際展開への基盤としてのプラズマプロセシン
グ研究会

プラズマエレクトロニクス分科会はその発足前（プラズマエレクトロニクス研究会）から関係分
野の研究者が議論を進めるための研究会としてプ
ラズマプロセシング研究会を立ち上げ、活動を進めてきた。図１は 1984 年 1 月 18 日から 3 日間

表 1 プラズマプロセシング研究会と反応性
プラズマ国際会議の流れの日程にて名古屋市愛知会館で開催された第 1 回
プラズマプロセシング研究会の表紙・目次である。

図1

第 1 回プラズマプロセシング
研究会資料

図２

16

第６回プラズマプロセシング
研究会資料和英目次

この目次からみても参加者はプラズマ基礎・計測と応用分野の多岐にわたっており、学際的な研究会としてプラズマエレクトロニクス研究会が立ち上げられていることがわかる。また、プラズマプ
ロセシング研究会は当初から 1 月開催であり、現在に至るまで原則として毎年 1 月に開催されている。さらに、当初は目次からわかるように和文 4
図４

ページの資料集であった。

反応性プラズマ国際会議ロゴ

表１にプラズマプロセシング研究会、反応性プ向上する点では大きな役割を果たしたが、さらにラズマ国際会議の開催年表を示す。プラズマプロ

積極的に海外研究者との交流を深め、分科会を国

セシング研究会資料は 1988 年第 6 回開催時頃に際展開するため、海外からも研究者を招聘して第は徐々に英文化が進められている（図２）。これは1 回反応性プラズマ国際セミナー(International

プラズマエレクトロニクス分科会の活動を日本国

Seminar on Reactive Plasmas)が 1991 年に名古内だけでなく海外にも認知してもらうために重要

屋市愛知厚生年金会館にて開催された。図３にセな転換といえる。この時点で国内会議であるプラ

ミナープロシーディング集表紙を示す。なお、第ズマプロセシング研究会を中心とした分科会活動

1 回の会議名称は反応性プラズマ国際”セミナー”

を海外に展開するための素地を用意したものといであり、第 2 回より名称を反応性プラズマ国際会

えよう。

議 (International

プラズマプロセシング研究会の国際化となる反Plasmas：略称 ICRP)としている。

Conferenceon

Reactive

第 1 回反応性プラズマ国際セミナー開催当初、

応性プラズマ国際会議

このように、プラズマプロセシング研究会の資プラズマプロセシング研究会は国際セミナーとは料集英文化は分科会活動の海外への Visibility を別に同年 1 月に開催されていたが、第 2 回反応性
プラズマ国際会議（パシフィコ横浜）以降は、プ
ラズマプロセシング研究会を国際会議として開催する、という形式をとるようになった。会議名称も正式には反応性プラズマ国際会議とプロセシン
グ研究会を併記している。また、会議ロゴもこの頃に制定されている（図４）。プラズマプロセシン
グ研究会を基礎とした分科会の国際会議開催の基礎がこの時期に整ったといえる。
反応性プラズマ国際会議の海外会議との共同開
催

このような歩みを着実に進めたうえで、次の大きな転換は反応性プラズマ国際会議の海外会議との共同開催であった。その先駆けとなったのが

図３ 第１回反応性プラズマ
国際セミナー表紙

1998 年にアメリカの American Physical Society

17

の開催する会議のひとつである気体電子会議

開催は日米から多数の参加者を得て大成功を収め(Gaseous Electronics Conference: 略称 GEC）とた。また、この合同会議は GEC 側からも高い評の合同にてハワイ マウイ島で開催された第 4 回

価を得て、反応性プラズマ国際会議の国際的評価

反応性プラズマ国際会議である。GEC は 1948 年を大いに高めるものとなった。成功裡に終わったから毎年開催されているアメリカの国内会議では本合同会議以降、GEC Committee にはプラズマあるが、毎年海外からも多数の研究者が参加する

エレクトロニクス分科会から継続的に日本代表委会議であり、実質的には国際会議として位置づけ

員として加わっており、今日に至っている。
その後も、反応性プラズマ国際会議は GEC とることができる。講演分野としてはプラズマの物

理や衝突素過程などプラズマ物理を基礎としつつ、 の共同開催を続けており、第 7 回反応性プラズマ
応用分野の講演も多く、反応性プラズマ国際会議

国際会議(2010 年)はパリにて（図６）、
第 9 回(2015との親和性が非常に高い会議といえる。この合同年)はふたたびハワイにて開催されており、GECとの共同開催は継続性をもって進められている。
特に第 7 回は GEC そのものが海外となるパリで開催する会議となることから、日米欧 3 極が一堂に会する会議として非常に盛大なものとなった。
さらに反応性プラズマ国際会議は GEC だけでなく他の国際会議との連携も進めている。2002 年には第 5 回反応性プラズマ国際会議をEurophysics

Conferenceon

AtomicandMolecular Physics of Ionized Gases （ 略 称

図５ 1998 年ハワイでの GEC との合同会議。GEC Bulletin と ICRP アブスト
ラクト集の表紙。

ESCAMPIG）との合同会議としてグルノーブル
にて、また 2019 年には第 10 回反応性プラズマ国
際 会 議 をInternational

ConferenceonPhenomena in Ionized Gases （略称 ICPIG）との合同会議として北海道にて開催しており、GECとの合同会議を合わせると、これでの 10 回にわたる反応性プラズマ国際会議の半数は海外会議との合同会議での開催ということになる。
最後に2022 年は第 11 回反応性プラズマ国際会議がGEC との共同開催で仙台にて開催される。GEC
がアジアで開催されるのは GEC の長い歴史の中でもこれが初めてであり、1998 年から継続的に進められてきた GEC と反応性プラズマ国際会議の図６ 第７回反応性プラズマ国際会議プログ

連携が実を結ぶ Epoch Making なものとなる。こラムブックとアブストラクト CDの合同会議への多くの方々の参加を期待します。

18

30 周年特集記事

Greeting Address for the 30th Anniversaryof the Plasma Electronics Division
Ruhr University Bochum, Germany

Prof. Dr. Uwe Czarnetzki

Dear JSAP President Hatano, Executive Director of theminds and unbiased spirits, so does international

Division of Plasma Electronics Setsuhara, Prof. Toyoda,

collaboration.

Colleagues and Friends,

Sustainability is not only the keyword for theenvironment. Stability, continuity, and steady growth

It is a great pleasure having the opportunity to addressin science means dynamics and liveliness. Goethe’sa few words to you on the occasion of the 68th JSAP

Faust is doomed once he makes the devastating

Spring Meeting 2021. The meeting takes place online

statement that all things should just stay as they are

only and this message has been recorded in advance inright now (‘Zum Augenblicke möcht’ ich sagen,order to cope with the time shift between Japan andverbleibe doch, du bist so schön.’). Science is neverGermany. Nevertheless, we do meet in a sense despite

static, not as a whole and not on the level of theall odds.

individual researcher either. Even the single genius in

A common truth in life is that we realize the real

his/her lonely office needs an environment thatvalue of things only when they are suddenly absent.

stimulates the deep thinking mind. This is the real

Then we painfully miss what has been taken as granted

power of international exchange and collaboration.

before. If there is anything good to find in the pandemic,

Nothing else is more effective in bringing us out of ourit is maybe that it teaches us how valuable andlocal potential minimum, where far too often ourimportant international exchange and collaboration

thoughts tend up to be trapped.

really is. It ensures a constant flow of knowledge,

The Division of Plasma Electronics has been

information, and skills. It brings with it the stimulus andespecially successful in establishing international links

the positive restlessness, which is the nutrition of theand providing opportunities for free exchange of ideas

creative spirit. It keeps and establishes friendshipand concepts. On the long list of lab-to-lab

between individuals and nations. In science, we

collaborations,establish a network of bridges across wild sees ofparticularly the collaboration with the GEC sticks out.

cultural and political diversity. These bridges have been

Twice, in 2010 in Paris and 2015 in Honolulu, this APS

abandoned for a year now.

conference was held together with JSAP’s ICRP andworkshops,

andconferences,

No doubt, once save travel is reestablished, it will

SPP meetings. Indeed, both meetings have been the

be of key importance to reactivate, repair, and evenbiggest events in the now over 70 years of history of theextend this network. I want to see particularly the young

GEC. The event on Hawaii has a special place in mygeneration frequently crossing them in both directions.

memory not only for being organized by Prof. Toyoda

As much as science needs a constant renewal by freshand Prof. Bartschat but also for being the meeting19directly prior to the 2016 GEC at Bochum/Germany,a recognition of my past activities but more I do see it

which I had the pleasure to organize. I am still very

as an obligation to work even harder on the future

grateful for the very valuable advice provided to me bycollaboration between Germany and Japan. However,Prof. Toyoda on how to organize such a major event.

today it is my great pleasure to congratulate YOU to the

Remarkably, after naturally Germany and the US,

30th anniversary of the Division of Plasma Electronics.

indeed Japan was the biggest contributor to this meeting,

May the glorious past be the inspiration, the challenges

demonstrating probably both, the close relation of theof the present the motivation, and the future be the goal!

Japanese community to the GEC and to Germany too, I

Science means constant learning. There is still so muchbelieve. So the GEC goes international from time to

we can learn, so much we can learn together, and wetime. Would it not be wonderful to attend one day the

can learn from each other! In this sense I am wishing

GEC in Japan – of course again together with the ICRP

you all a successful, stimulating, and fruitful meetingand the SPP? Music of the future of course – but one

and I am looking very much forward to seeing many ofshould have dreams. In 2019 I was honored by JSAP by

you soon again in person.

becoming a JSAP Fellow International. I am very
grateful for this highly prestigious award. It is certainly

Bochum, March 14, 2021, Prof. Dr. Uwe Czarnetzki20

30 周年特集記事

この 10 年間の分科会の活動を振り返って
東京大学・新領域創成科学研究科・物質系専攻

寺嶋和夫

2011 年 10 月、名古屋大学野依記念学術交流館のプラズマエレクトロニクス学術技術分野の世界

にて、プラズマエレクトロニクス分科会 20 周年

でのプレゼンスは一段と高められました。また、（研究会創設 25 周年）の記念特別シンポジウム

国内においても、他学会など（物理学会、プラズが開催されました。分科会、研究会創設時の懐か

マ核融合学会、日本学術振興会第 153 プラズマ材

しいレガシーの先生方を始めとして、分科会を主

料科学委員会など）との連携も積極的に進め、導する会員の皆様、次代を担う若い技術者、研究

Plasma Conference の共同開催などを進めました。

者、学生さん達で会場が埋め尽くされ、活気に溢

さらにまた、文部科学省科学研究費の細目分野

れた、まさに今後の分科会の発展を期待させられとしての”プラズマエレクトロニクス分野”の採択、る盛大な会でした。それから丁度 10 年。この 10

２件の新学術領域研究の採択、さらには、我が国年の最初の 2 年間（2012、2013 年度）の分科会幹

の科学技術政策の最重要課題としての日本学術会事長を務めさせて戴きました立場から、
この 10 年

議大型研究プランに関するマスタープランへの採間の分科会の活動を振り返させて戴きます。

択など、堀先生（名古屋大学）、白谷先生（九州大

21 世紀に入り、本分科会が扱う内容も大きく変学）を始めとする分科会の先生方の分科会内外で化しましたが、その流れが一気に加速し定着したのご尽力により、直接的、間接的に、”プラズマエのがこの 10 年でした。分科会で扱うプラズマ源

レクトロニクス分科会”、”低温プラズマ科学”の存は、従来の低圧プラズマから、
マイクロプラズマ、在感が飛躍的に向上した 10 年でした。

大気圧非平衡プラズマ、液中プラズマなどにそのまた、300 名ほどの会員数で 30 年前に始まっ

比重が移り、また、その対象とする学術・技術領た本分科会は、この 10 年間の初期の頃には 530

域は、最重要かつ伝統的な微細加工を主とする半名程（最大 570 名程）に達し、日本社会の深刻な導体工学分野、薄膜材料成膜・表面処理を主とす

高齢化・少子化の逆風にも拘わらず、現在も 500

る材料工学分野から、医療、農業などの生命科学

名程で定常的に推移しています。
これからの 10 年間、プラズマ分科会はどのよ

分野へと革新的な大展開が生じました。
また、分科会としての大きな戦略的な柱である

うな領域を扱うようになるのでしょうか？IoT 時

国際化の流れも加速度的に進められました。本分

代、AI 時代を反映して、半導体デバイス工学分野

科会が主催する ICRP(International Conferenceや材料工学分野に回帰するのでしょうか？プラズ

on Reactive Plasmas)の、低温プラズマ分野でのマ生命科学分野が、SDGs 時代の切り札として時

世界的な学会である GEC(Gaseous Electronics

代の寵児となるのでしょうか？あるいは、新領域

Conference)や ICPIG(International Conferenceを求めてプラズマの故郷たる宇宙（宇宙の 99%はon Phenomena in Ionized Gases)との共同開催、

プラズマ！）へ、プラズマ宇宙材料科学、プラズ

MRS(Material Research Society)での合同プラズ

マ宇宙生命科学の創成へと向かうのでしょうか？

マセッションの開催などが進められました。日本

新たな 10 年、新時代の分科会の飛躍に乾杯！

21

30 周年特集記事

プラズマエレクトロニクス分科会に学び、今思うこと
東京都立大学杤久保文嘉

1985 年創設のプラズマエレクトロニクス（PE）

都工繊大・橘先生の LIF によるラジカル計測を含研究会を前身とし、1990 年に分科会へと昇格した

む SiH4 や CH4 プラズマの総合的研究、北大・田PE 分科会の発足以降、30 年強が経ちました。
2021

頭先生のモンテカルロ法による RF-CCP のシミ

年 3 月の応用物理学会春季学術講演会では PE 分ュレーション解析など、当時の私には面白くてた

科会 30 周年記念シンポジウムが開催されました

まらず、自然と真剣に聞き、質問をし、好奇心をが、コロナ禍故に皆様方と顔を合わせて盛大に祝満たしておりました。当時は世界的にもプロセス

うことはできませんでした。近い将来、皆様方とを目的とした低温プラズマの研究が活発であり、改めてこれを祝える日を楽しみにしております。

プラズマ診断やシミュレーションの論文を多く読

私自身は PE 分科会に育てて頂いたと言っても過み、学び、刺激を受けていました。私は 1992 年 3

言ではなく、この分科会が大好きです。私事を含月に博士課程を修了しましたが、研究者として基みますが、本稿では私と PE 分科会の関わりを振礎体力が養成される時期がこの活気ある時期と重り返り、全く洗練されていませんが、勝手ながら、なったことは幸運でした。当時を振り返れば、と考える所を述べさせて頂きます。

にかく面白かった、という一言に尽きます。同様

私は 1986 年、学部 4 年生として慶応大学の真の体験をされた方も多いのではないでしょうか。

壁利明先生の研究室で非平衡プラズマに携わるよ2016、2017 年度の２年間、PE 分科会の幹事長

うになりました。1987 年 1 月に慶応大学で開催を務めさせて頂きました。これ以前にも幹事を務された第 4 回プラズマプロセシング研究会（SPP）

め、個別の担当には力を入れたつもりですが、分の会場手伝いをしましたが、これが初めての研究

科会全体のことを真に考え始めたのは幹事長を務会の体験であり、内容を十分に理解していたわけ

めることになって以降かも知れません。まず、PEではありませんが、とても熱い議論が交わされ、分科会会報 No. 55 掲載の 25 周年特集記事[1]を研究者による真剣勝負の場と感じました。以降、読み直し、PE 分科会発足の経緯、“プラズマエレ

SPP は発表と情報収集を通じた、とても重要な勉

クトロニクス”に描いた理念、これを具現化する強の場の一つでした。1988 年は板谷良平先生を代ための分科会の設計などを振り返りました。改め表とする重点領域研究「反応性プラズマの制御」て思いましたのは、理念を実現するための研究発が始まった年でもあり、プラズマ生成、各種のプ

表の場、特定のトピックを議論する場、人材育成

ラズマ診断、モデリング、CVD やエッチングなどの場、会員交流の場などがとても良く設計されての研究が集中的に実施され、その成果が SPP や春いるということです。まだ読まれたことのない皆秋の応用物理学会で発表されておりました。例示

様には是非一読されることをお薦めします。

すれば、名大・後藤先生の赤外半導体レーザー吸幹事長就任にあたり、活気ある研究発表の場で収分光によるラジカル計測、名大・菅井先生のしあり続ける、ということを強く意識しました。即きい値イオン化質量分析によるラジカル計測、京ち、SPP や春秋の応用物理学会学術講演会で多く22

の魅力的な研究発表がなされ、活発な議論が展開において、重点領域研究、特定領域研究、新学術され、更に展望が広がることで人も増えて多様化

領域研究などの大型プロジェクトが果たした役割

し活発になるという好循環を描き、現状把握のたは極めて大きなものがありました。ビジョンを描めにデータを調べました。SPP や春秋の応物学術くことから始まり、集中的な研究費により研究が講演会における発表件数や分野毎の割合、会員数

進展し、他分野を含む多くの人が関与することでの推移や年齢構成などがこれにあたり、既に菅井

多様性が増します。残念ながら採択に至らなかっ秀郎先生が PE 分科会会報 No.55[2]でまとめられたプロジェクトもありましょうが、提案を可能とたものに新たなデータを付け加えました。これらする土壌が PE 分科会にはあり、このような雰囲データの一部（会員数や発表件数の推移など）
は、気や環境を維持していくことも重要です。

PE 分科会会報 No. 68 の幹事長退任の挨拶[3]に2017 年 11 月に開催された PLASMA2017 の懇も載せました。現在、応用物理学会の会員数減少

親会において、名大の堀勝先生が“Plasma Love”が問題となっていますが、PE 分科会の会員数もの名言を残されました。プラズマの研究を始めて2021 年 10 月末時点で 484 名（内、学生会員が 7から今に至る私自身の根底は、まさにこの言葉が名）と、ピーク時からはやや減少傾向のように見端的に表しているように思います。今年、ノーベ

えます。図 1 は 2016 年時点での PE 分科会会員

ル物理学賞を受賞された真鍋淑郎先生がインタビ

数の所属別の推移です。これを見ると、現時点でューで、「最も面白い研究とは、好奇心が原動力にの会員数減少の主要因は院生・学生の減少によるなった研究だ」、「はやりの研究に走らず、好奇心

ところが大きいと推測されます。一方、企業所属に基づいた研究をしてほしい」といった主旨の発の会員の減少傾向に加え、大学・高専所属の会員

言をされています。自身を顧みたとき、現在も好も減少に転じている点は気掛かりです。会員数は

奇心を原動力に研究していることに間違いはない

一例ですが、思い付きの議論はしばしば前提が正のですが、若い頃に比べると純粋さに欠け、結果

しくないこともあるので、PE 分科会の現状につとして深みに欠けてきている、故に面白さを学生いて定量的データを共有し、分析しておくことはに伝えきれていないのではないかと反省しており必要と思います。

ます。今一度、初心に帰り、“Plasma Love”の精

PE 分科会が直接に関与しているわけではあり神で、面白い研究をしていきたいと考えておりまませんが、プラズマエレクトロニクス研究の発展

す。

参考文献

[1] 堀勝，他；プラズマエレクトロニクス分科会会
報 No.55 (2011).
[2] 菅井秀郎；プラズマエレクトロニクス分科会
会報 No.55 (2011) p. 18.
[3] 杤久保文嘉；プラズマエレクトロニクス分科
会会報 No.68 (2018) p. 1.

図１ PE 分科会会員数の所属別の推移

23

30 周年特集記事

プラズマエレクトロニクス分科会の活動を振り返って
名城大学

平松 美根男

プラズマエレクトロニクス分科会創設 30 周年した。当時は年に何度も類似の学会が開かれるこおめでとうございます。分科会創設に尽力されたとはなく、じっくりと準備をして発表し、論文に名古屋大学・後藤俊夫先生のもとで学位取得した

繋げるという位置付けが多かった気がします。予こともあり、プラズマエレクトロニクス分科会創稿も当時は 4 ページもので、カメラレディの紙原設時から諸行事に関わってきました。プラズマエ

稿を郵送で受け付け、そこにページ番号を貼り付

レクトロニクス分科会の前身であるプラズマエレ

け原本を作り、印刷業者に出していました。最近

クトロニクス研究会が 1985 年に発足し、1990 年の SPP はどちらかと言えば学生の研究発表の場

よりプラズマエレクトロニクス分科会に改組されのような位置付けになっていますが、若手に発表ましたが、奇しくも研究会最終年に加藤勇幹事長

してきなさいというだけではなく、若手を指導すのもとで、そして分科会初年に橘邦英初代幹事長

る立場であっても時間を作ってご自身でも発表しのもとで最初の幹事（1989-90 年度）を務めましていただき、世代間の交流を積極的にはかっていた。その後、2003-04, 2011-12, 2016-17, 2018-19

ただければと願っています（自分は恥ずかしなが年度と合わせて 10 年間に亘り幹事ならびに副幹ら、なかなかできていませんが）。
もう 1 つの International Seminar on Reactive

事長・幹事長を務めました。
当時のことで思い出されるのは、1991 年に現地

Plasmas では、豊田浩孝先生と二人で現地を担当

取り纏めを担当した第 8 回プラズマプロセシングしました。会場となった愛知厚生年金会館も今は

研 究 会 (SPP-8) と International Seminar on

なく、跡地には超高層マンションが建っています。

Reactive Plasmas です。SPP-8 は名古屋市郊外の後藤俊夫先生が組織委員長となったこの国際会議

名古屋サンプラザという公共施設を使って開催しでは、板谷良平先生によるオープニングレクチャ

ました。名古屋サンプラザは既にありませんが、ーから始まって、海外からは G. S. Oehrlein (米),結婚式場、宿泊施設、文化センターなどを備えた

J. E. Lawler (米), D. Graves (米), D. Ernie (米),文化施設で、当時の研究集会は現地担当者が参加

D. N. Ruzic (米), R. Boswell (豪), G. Hancock (英),者の宿泊も取り纏めており、会場との交渉、宿泊

J. P. Boeuf (仏), A. Bouchoule (仏) ら、当時この者の部屋割り、参加費徴収、予稿集の製本・印刷分野を牽引していた面々の招待講演がありました。

まで全部やった気がします。公共施設の客室はほこの国際会議はプラズマエレクトロニクス分科会

とんどがツインか大部屋で、参加者（宿泊者）はが主催する反応性プラズマ国際会議

相部屋となるため勝手に部屋割りをしましたが、(International Conference on Reactive Plasmas,

特に大きなクレームが出たことはありませんでし

ICRP)の記念すべき第 1 回に数えられています。

た。大御所と言われた先生も当時は時間に余裕がその後継続的に開催されてきた ICRP は、アメリあり、最初から最後まで参加して議論を楽しんで

カ GEC との共同開催をパリ（堀先生、2010 年）いたようですし、研究会自体にも緊張感がありまとホノルル（豊田先生、2015 年）で、ICPIG との24

共同開催を札幌（佐々木先生、2019 年）で果たし参入した研究者を対象に、プラズマエレクトロニ

ました。そして次の 2022 年の ICRP11 では、仙クスの基礎や現状について実習を含めて研修して台において GEC と対等の立場での共同開催が実貰うことを目的とした講習会が企画され、現在の現すること、それを我々の次の世代にあたる金子

プラズマエレクトロニクス講習会やインキュベー

先生、杤久保先生、酒井先生が牽引しているといションホールへと引き継がれています。さらに、

う事実は感慨深いものがあります。

異分野の研究者を交えた討論を行い、新学術領域分科会創設 20 周年特集の記事の中で、後藤先の創成を目指すべく新領域研究会が 2008 年より

生が分野の開拓において異分野間の融合と世代間継続的に実施されています。そんな中、応物学会の融合の必要性に触れておられます。分科会設立の会員数減少のために将来の資金繰りが怪しくな

時の「プラズマエレクトロニクス」が包含する分って、健全財政に向けて 2018 年には分科会に事野は、(1)気体放電現象、プラズマ中の電子原子分

務経費の見直しや経費節減・収入増の要請が出ま

子過程、光過程やそれらの診断技術、(2)光・プラした。下世話な話ですが、企業からの幹事ならび

ズマプロセス、気体レーザ、光源、その他のプラに副幹事長のご尽力のお陰で、プラズマエレクト

ズマの応用技術の基礎などでしたが、これまでプ

ロニクス講習会の収入は分科会の財政を支えていラズマ・光分野と半導体・材料分野の交流が春・ます。プラズマエレクトロニクス分科会は十いく

秋の応物学会学術講演会やプラズマプロセシング

つある分科会の中で健全な財政を維持できている研究会・新領域研究会等において積極的に行われ、として、理事会において推奨すべき分科会のモデ複合的あるいは融合的な分野や研究テーマが生まルとして取り上げられました。今後もこの状態をれました。現在は、大気圧プラズマを使った研究維持できるためには、分科会において相当数の企が大変盛んになり、プラズマと医療・生命・農業業会員が必要であり、会員にとって役に立つ分科

分野の研究者との交流や連携的な研究も行われ、会でなければなりません。分科会の目的は「プラプラズマエレクトロニクスが扱う応用範囲もエネ

ズマエレクトロニクスに関する研究の推進及び技

ルギー・環境・生体・農業へと拡がっています。

術の向上をはかること」であり、より広く応用物

若い世代には是非広い視野を持ってどんどん新し理学会会員の参加を得て、組織的な体制の下に先い課題にチャレンジしていただければと思います。 見的な活動を展開し、かつきめ細かく会員の要望とは言っても、新しさばかりに囚われて流行に流に応えうる会の運営を行っていくという設立時のされず、「どうして？」という疑問を大切にして、趣旨を忘れず、会員側は何を知りたいかを積極的

地に足を付けた研究を行っていただければ幸いでに発信し、運営側は要請に広く耳を傾け、異分野

す。

間および世代間の交流の場を効果的に提供できる

プラズマエレクトロニクス分科会昇格後は、人材

よう、持続的な努力を続けていただくことを願っ育成も重要視し、若手研究者やこの分野に新しく

ています。

25

30 周年特集記事

プラズマエレクトロニクスはエッチング開発にどう役立ったのか？
MAMO

中村守孝

プラズマエレクトロニクス分科会 30 周年おめンバーの周辺にラジカルが多いのかと、ウェハをでとうございます。ここでは、プラズマよりも表寝かせてみたところ、たまたまコイル型電極の上面反応が好きなエッチング屋の個人的な立場から、 の部分でアルミがなくなったことが始まりでした。
プラズマエレクトロニクスとのかかわりを振り返

ウェハ全面をエッチングするには電極をコイルかってみたいと思います。

らキャパシタに変えて、電極面積を拡げるのがよ

30 周年といいますが、プレズマエレクトロニク

いだろうと考えて、今の平行平板型 RIE 装置の構ス分科会の前身となるプラズマエレクトロニクス

成になりました。

研究会が生まれたのは、1985 年と伺いました。

その後は量産用装置の設計製造から量産工場で1985 年は私にとってもエッチング技術開発の節の立ち上げ、トラブル対策に奔走される中、さら目となるタイミングでした。

に性能向上するには何をしなければならないかを考え続けました。

1. プラズマエレクトロニクス研究会発足以前

こ の 頃 大 き な 貢 献 を し た の が 、 Coburn ・1970 年代後半に今でいう RIE 技術が生まれま

Winters のビーム実験です。それまでプラズマのした。それまではレジストのアッシングや多結晶

中では渾然一体となっていた、反応種の表面へのシリコンの等方エッチングしかできなかったもの

供給とイオン衝撃による表面反応促進を、きれいが、SiO2 や Al なども選択的に垂直に加工できるに二つに分けてエッチングのメカニズムを明らかようになり、エッチング技術が広く半導体製造ににした実験でした。

用いられるようになりました。しかし市販のエッ

私自身は、ビーム実験により確実になったメカ

チング装置にはそもそも RIE 型のカソードカッニズムから、反応種の吸着した表面状態の制御をプルの構成を取ったものすらなく、量産装置は自重視しようと考え、静電チャックの高精度化と表分で開発するほかありませんでした。

面温度制御にいたりました。それまではレジスト

その頃の開発の経由を 2021 年春季応物の分化が焦げるのを防ぐために冷却するという目的だけ

内招待講演でお話しさせていただきました。
（＊応だったのが、ウェハ温度を測定し細かく制御する

用物理学会誌にも掲載予定です。
）
まさに試行錯誤

ことで一歩進んだと思います。さらに、壁面の制の連続で、私自身がアルミのエッチングに成功し御や装置やガスからくる不純物の影響などを見つた頃を振り返ってみても、イオンを照射するといけ、オゾン問題からのガス規制に対応しつつ加工う意識すらありませんでした。

精度を上げていきました。

円筒型のプラズマエッチャーに塩素系ガスを入では、この 85 年ごろまでの時期にプラズマエ

れて Al をエッチしようとしたところ、ウェハのレクトロニクスはエッチング開発に役立ったでし

周辺のみうっすらと色が変わったのでした。チャょうか。残念ながら、私はほとんどゼロだったと26

思います。例えば、当時プラズマ解析にもっぱらハード面でも多くの提案ができました。

使われていたラングミュア・プローブはハロゲン

また別に菅井先生から提案を受けた ICP 型装系プラズマに対してはまともな測定結果を示めさ置が、磁場を用いないため予想外に簡単に作れ、ず、汚染もあってエッチングに利用することはでこれなら我々でも使えると思いました。しかし、きませんでした。イオン衝撃の制御を目指して、

その頃はすでに、サービスやマーケティングを含

rf 周波数を変えてみたり、電極形状を変えてみた

めた総合力で装置メーカーに太刀打ちできなくな

りもしましたが、エッチング特性にはあまり大きっていたのでした。

な効果はありませんでした。

続いて問題になったのが、電子遮蔽効果による

一方、このころ他社から多く報告されていたのチャージングダメージです。それ以前にもチャーが、ECR をはじめとする高密度プラズマのエッチ

ジングダメージは報告されていましたが、プラズングへの利用です。
しかし、私の会社富士通では、

マ分布の不均一性によるもので、装置を適切に設

少人数低予算で量産現場のトラブル処理なども抱計すれば解決しました。しかしゲート絶縁膜の薄えているなか、プラズマの経験者もおらず、新規膜化によりトンネル電流が流れやすくなり、プラのプラズマ源に手を出す余裕は全くありませんでズマ分布とは関係なく絶縁膜の劣化を起こしましした。それでも、上記の表面反応制御に集中したた。

技術開発により、十分世の中に報告されているもこの問題を解決するには、プラズマの理解がかのよりも優れた性能を得ることができていました。 かせませんでした。真壁先生のプラズマシミュレーションの助けを得つつ、プラズマのパルス化に
2. プラズマエレクトロニクス研究会発足後よりあと一歩で解決できるというところまで漕ぎ

こういったプラズマを重視しない開発方針が破着けました。これで、問題が解決していたら、ま綻し始めたのが 85 年頃です。そして、この頃からさにプラズマエレクトロニクスの勝利と言えたの大学などプラズマエレクトロニクス研究者との交でしょう。
しかし実際はそうはなりませんでした。

流も深くなって行きました。

当時、すでに自社工場のキャパシティを超える

まず、高密度プラズマ源がエッチングに真価を需要があった場合の生産調整に TSMC などの外発揮し始めます。それは微細化によりゲート電極部ファウンドリーに製造を依頼していました。
「自の加工寸法が厳しくなってきたためです。従来の社工場だけエッチング装置を改良してダメージが平行平板 RIE 型では、プラズマ密度が下がること出なくなっても、社外で製造したときにダメージから低圧で動作することができませんでした。そが出るのは困る。この問題はデバイスの設計側での結果、イオンの入射角ばらつきが大きいことか対処するから、プロセス側は何もするな。
」と言わら、パターンの粗密によって電極幅にばらつきがれてしまいました。幸いダメージの理解が進んで出てきたのでした。その頃やっとまともに動き始おり、アンテナ比を小さくするという設計側の対めた ECR 装置ではこのばらつきを抑えることが処だけで問題を解決することができたのでした。

できました。そこで、ECR 装置をもつ装置メーカ

90 年代も終わりになって、社内でエッチング技ーと共同開発をはじめました。意外なことに、そ術を開発することに限界を感じ、新たに勃興したれまで社内で作ってきたマイクロ波を用いたダウ

FeRAM の開発にエッチング部隊ごと転身しましンストリーム型装置の経験から、ECR プラズマのた。強誘電体膜の堆積に rf スパッタを用いたので

27

すが、エッチング装置開発の経験が非常に役に立だければと思います。

ち、短期間に装置を安定稼働するよう改造するこ

最後に一つお詫びしておかなければいけないことができました。FeRAM 開発成功後は ASET なとがあります。昔のことですが、春秋の応用物理

どコンソーシアム活動に移って行きました。

学会学術講演会のセッション構成です。2003 年以
前はエッチング関係の報告は、ビーム応用分科の3. 今後へ中でプラズマ・イオン・光プロセスというセッシ

エッチング屋の目からプラズマエレクトロニク

ョンで行っていました。企業のエッチング研究者

スがどこで役に立ったかを見てきましたが、ご覧を中心にして、（大学に邪魔されることなく）よりの様にあまり多くはありません。

実用的なエッチングの議論をしたいという考えか

反応壁に埋め込んだプローブなどのプラズマらこの様にセッションを編成しました。プラズマ解析技術がもう少し量産装置に使えるようになれ

エレクトロニクスの発展のためには良くなかった

ばと思っています。技術的には完成していると思と思っています。
その後、2004 年からのプラズマエレクトロニク

いますが、ここでの最大の障壁は量産現場の保守ス分科との合同セッションを経て、2006 年にはプ性です。
私も装置メーカーの依頼を受けて、静電チャッ

ラズマエレクトロニクスの中でエッチングのセッ

クの寿命改善に取り組んだことがありますが、提ションを持つ様に変わりました。基礎と応用が近案がことごとく日本最大の量産工場に受け入れらい場所で活動できるのは良いことだと思っていまれなかったのには苦労しました。面白いことに丁す。

度その頃リーマンショックの大不況が半導体業界

エッチング屋もプラズマエレクトロニクスの一を襲い、量産工場が静電チャックを早めに交換す員として、活動できていることはありがたいことる安心安全志向から、寿命ぎりぎりまで延長してです。できれば、プラズマダメージの解決に取り使うコスト志向に切り替えてくれたため、チャッ

組んだ時の様に、もう少しデバイス屋も取り入れ

ク寿命が一挙に 2 倍に延び、何もしていないのにられたらと思っています。

装置メーカーから感謝されるという予想外の展開

これからもプラズマエレクトロニクスの発展をを見たことがあります。諦めずに取り組んでいた願って、本稿を閉じたいと思います。

28

30 周年特集記事

プラズマエレクトロニクス分科会 30 周年に寄せて― 半導体デバイスとプラズマエレクトロニクス ―アイオーコア株式会社

木下 啓藏

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会ました。好奇心から始まる実験で見出された新しがその創設から 30 周年の節目の年を迎えられた

い反応や現象が、多くの人の手による計測・分析

こと、おめでとうございます。その分野に関わっによる物理量で表現され、それらが定量的に整理た者の一人として大変喜ばしく思います。今後もされたということです。このようなメカニズム解

プラズマエレクトロニクス技術分野が発展するこ明に対するアプローチは将来に渡っても重要であとを祈っています。

ることは間違いなく、今後はそれら計測データを迅速に厚みを持って取得することと、データ分析の自動化が求められます。機械学習の導入は急がプラズマ研究における知の集積と連携

応用物理学分野では、エレクトロニクスを代表れる点の一つでしょう。
たゆまぬ知の集積作業と、とする「デバイス」が最終製品であることが多い

その効率化の追求が期待されます。

ことから、デバイス単位のコミュニティーや業界

このような知の集積の加速において興味を同じが多く存在します。その中でプラズマ技術のようくするメンバーが連携できることのインパクトはな、「プロセス」のコミュニティーが独立して存在疑う余地がありません。少し異なる視点や知識背していることは、実は珍しいことと思います。そ景からのコメント、素朴な質問が新しい実験を始

れだけ、簡単には実現できないものを形にしてき

めるきっかけになり、そこから課題解決につながた歴史を持っているということと思います。

ったり、理解の風通しが変わったりすることは良くあります。プラズマエレクトロニクス分野では核融合の学術研究対象であったプラズマは、細これまで、分科会活動への産業界メンバーの積極

川直吉氏らの反応性ガスを用いたプラズマによる的な参加や、クローズで密な議論を行う研究会、材料の高速エッチング現象の発見[1]をきっかけ

同業の研究者が実際に集まるコンソーシアム運営に反応性イオンエッチング(RIE)技術が生まれ、などが行われ、産学官のシナジー効果を産んできデバイス製造プロセスの本流に躍り出ました。そました。今後は、プラズマを用いる領域の広がりの頃から、日本と海外の技術者・研究者の交流はと、昨今の時間軸を重視する研究開発を取り巻く密に行われています。そして、その後の技術の高環境から、連携活動についても学際領域を越えた度化・精密化と学術的な体系化によって、今日の広がりと、加速のための積極的なセッティングが数 nm デザインルールの微細デバイスを実現する必要になったと感じます。もちろん、十分な知のプラズマエレクトロニクス技術に至っています。

集積のための研究の厚みも同時に期待されます。

特に学術的な体系化には、核融合研究やその後

プラズマエレクトロニクス分科会のようなコミュに発明されたプラズマの計測・分析技術が、プラニティーは、出会いの機会を増やしこのような連ズマ中での反応メカニズムの理解に大きく貢献し携を進めやすくするきっかけを提供する場になる
29

ことが求められていると思います。

れまでどちらかというと大人しかった日本でも、今年に入ってから具体的な政府支援がニュースを賑わすようになりました[3]。最終的な製品実現の産業の米としての半導体デバイス

さて、特に私自身が身を置いてきた半導体デバ上で必須の「産業の米」半導体デバイスを安価にイス業界に注目してみますと、ここしばらくの日

安定的に供給することは、それを利用する産業も本の勢いはあまり芳しくありません。一方、製造含めて経済圏の未来を左右します。

装置や半導体向け材料など半導体デバイス製造の基盤技術は世界的な強みを持っています。世界と半導体デバイス向けのプラズマエレクトロニクの情報距離が小さくなったとは言うものの、これス研究の今後は少し不思議である（もったいない）ことは間違

前述のような世界の状況の中で、プラズマエレ

いありません。製造装置や材料の強みは強みとしクトロニクス技術への要請が、多層化・多様化して持ちつつも、マーケット規模を考えると日本がていることをここで指摘しておきたいと思います。

今よりも半導体デバイスで勢いを取り戻すことは先端の高集積半導体デバイス製造では、高精度求められると考えます。

な製造装置と高度に設計された材料をインテグレ

昨今、半導体デバイスの欠品によりそれを利用ーションすることが必要です。こちらはある意味する製品の製造遅延を生じることが良く報道されこれまでの技術の延長上にある分野で、製造装置

ます。振り返ると約 30 年前の 1988 年、国内デバや材料の業界ではそれら高集積化の究極のデバイ

イスメーカーは半導体デバイス製品の世界シェア

スへの対応が必要とされています。一方、自動車50%を占めていました。その頃「半導体は産業の用半導体やイメージセンサー制御チップなどの今米」と言われ、多くの技術者・研究者がその分野の日本で安定供給が必要なデバイスでは、信頼性に流れ込みました。しかしその頃からの社会状況

や構造・寸法で一般的な LSI とは異なる切り口、を見ると、まだその頃は半導体が真の意味で産業新しい材料への迅速な対応が求められています。

の米にはなりきれていなかったのだろうと思いま

さらに、これから大きく伸びると考えられていす。ここへ来てデジタル社会への加速による大規

るネットワーク用デバイスのように、コンポーネ

模な半導体需要は、半導体が本当に「産業の米」ント部品をプリント基板上で組み立てて作られてになったことを示しています。

きたものをウェハープロセスで製造する新しい集「産業の米」としての現代の半導体デバイス製

積デバイス[4]の出現や、主に製造コストの観点か造に参画するポイントは規模です。今の半導体産

ら新旧のデザインルールの半導体チップや異なる業は、個別の企業が単独で事業展開を計画する投機能と材料のチップを別の基板上に集積し直して資レベルでは十分ではない規模での活動が必要に

ウェハープロセスを実施するなどの MEMS/後工なっています。豊かな社会を目指して世界の経済

程系の集積デバイスでは、まだまだ経験知とその圏は互いに切磋琢磨して経済発展しており、自ら体系化が十分でない分野もあります。先端半導体の経済圏の発展のために政府が半導体とその周辺

が過去に通り過ぎたサイズの加工では、従来技術産業の育成を競って進め、域内連携を強化していとコンパチビリティーがあると語られることが多ます。米国では、大統領自らが半導体チップを手いものの、実際にはデバイスの用途が異なればプに持ってスピーチするくらいです[2]。そして、こロセス技術にも異なる要請が発生し、これまでの30

常識が通用しない状況が生じます。プラズマエレ

うという気持ちが波及効果を生み、課題解決の糸クトロニクスはこれらを含め、全ての半導体デバ口になり、プラズマエレクトロニクス技術の発展

イス製造の基盤技術であり、研究ターゲットはこに繋がると思います。半導体デバイス製造技術にれまでよりも広がりを見せています。これはプラ

限らず、次の時代に向けてプラズマエレクトロニ

ズマエレクトロニクスの発展に大きなチャンスがクス分科会での連携が新しい波になることを期待到来していると言えます。

していますし、自身も微力ながら貢献できればとさらに、デジタル社会というキーワード以外に思っています。

も、SDGs に代表される地球環境問題も大きく取り上げられています。後世の人類のための環境を参考文献

守ること、今よりも良くすることは重要です。現[1] 織田善次郎, "ドライエッチング装置", 半導体

在強みとして持っている部分を減衰させず、さらシ ニ ア 協 会 ニ ュ ー ズ レ タ ー , 53, 12 (2007),に新しい時代への提案が期待されます。

https://www.shmj.or.jp/dev_story/pdf/develop27.
pdf.
[2] 朝日新聞 Web 記事, "「製造工場を再興せよ」

最後に一人の人が一生の間に経験できる情報量はそれ

米 国 が 抱 え る 「 危 険 な 弱 点 」 ", 2021/4/1,

ほど多くありません。現象を物理量で把握するこhttps://www.asahi.com/articles/ASP3Z72DPP32と、学術的な体系化によって多くの人の経験知を

ULFA02S.html.

集積することは、続く世代が次の一歩を踏み出し、[3] 経済産業省商務情報政策局情報産業課編, "技術分野が発展するために不可欠です。良くわか「半導体・デジタル産業戦略」を取りまとめましらない事象があるときに原点に立ち戻って考える

た", 2021/6/4,

こと、あるいは温故知新という言葉は、これまで

https://www.meti.go.jp/press/2021/06/20210604の先人の努力で築かれた体系がものを言います。

008/20210604008.html.

プラズマエレクトロニクス分野で何か発表するこ[4] 電子情報通信学会編, "知識ベース「知識の森」,とは、どんな内容であれこの知の集積に貢献してS2 群 3 編 ナノ光エレクトロニクス, 4 章 シリコ

います。
まずは発表して聴衆の反応を見てみよう、

ンフォトニクス", 2019/5/20, https://www.ieice-

自分とは違うものを持っている人と繋がってみよhbkb.org/portal/doc_667.html.

31

30 周年特集記事

非平衡プラズマ研究の過去・現在・未来
東北大学大学院工学研究科

金子俊郎

はじめに
非平衡プラズマを用いたプロセスは，新物質創製等の材料科学分野において必要不可欠な技術となっており，また医学・植物学等の生命科学分野においても，大気圧及び気液界面非平衡プラズマと生体組織・細胞との相互作用の研究が，この 10年で急激に進展してきている．
図 2：電解質プラズマ中の電場制御による DNA
内包カーボンナノチューブの創製．

本稿では，プラズマエレクトロニクス分科会が30 周年を迎えるにあたり，非平衡プラズマを用いた研究の過去・現在・未来，すなわち，これまで性に注目し，プラズマとナノ・バイオが融合するの 10 年の成果を著者らのこれまでの研究を題材

新しい材料・生命関連科学研究を展開してきたととして紹介し，これからの 10 年の展望を著者のいえる．
第一に，気相・液相・気液界面のプラズマ「物視点で述べさせていただく．

理学」を原点とした，荷電粒子媒質中の電位構造を制御することによる革新的なプロセス技術[1]非平衡プラズマ研究のこれまでの 10 年
著者らの研究グループでの「非平衡プラズマ研

により，種々の原子を内包するフラーレン（図 1）

究のこれまでの 10 年」を振り返ると，新機能材料[2]，カーボンナノチューブとナノ粒子の複合物質としてナノカーボンならびに金属ナノ粒子の潜在[3]，生体高分子である DNA を内包するカーボン
ナノチューブ（図 2）[4]等を創製し，量子コンピ
ューティングデバイス素子や高効率太陽電池等の省エネルギー・創エネルギーのグリーンデバイス
創成を目指した研究を進めてきた．
第二には，気液界面プラズマの非平衡性の制御

図 1：非平衡プラズマ中のイオン照射エネルギー制御による窒素原子内包フラーレンの合成．

図 3：イオン液体への非平衡プラズマ構造制御
照射による金属ナノ粒子の位置制御合成．
32

に立脚して，プラズマ照射された液体中での局所非平衡プラズマ研究の現在的な「化学」反応を駆使した位置制御ナノ粒子の上述したような，プラズマ科学と物理学・化学・

合成（図 3）[5]，DNA とナノ粒子の複合物質の創生物学等との異分野融合研究を進めて行く中で，製[6]に成功しており，遺伝子・薬剤デリバリーシ

非平衡プラズマ研究者が新しい学理として構築すステムや高感度バイオセンサー等のバイオテクノ

べきテーマが「プラズマ気液界面科学」ではない

ロジー分野への応用を目指した研究を推進してきかと考えている（図 6）．

た．
第三として，非平衡気液界面プラズマ中で生成される短寿命の励起活性粒子による細胞機能制御（図 4）[7]を活用した，低侵襲・高効率遺伝子導入システムの開発[8]，さらには大気圧非平衡空気
プラズマ照射による植物病害防除と植物応答解明（図 5）[9][10]等も手掛けており，プラズマ科学と「生物学」との異分野融合研究を推進してきた．

図 6：新しい界面科学としての「プラズマ気液界面」．
これまでの研究において，位置制御ナノ粒子合成，DNA 等の生体高分子との複合物質創製，さらには細胞やタンパク質等の生体分子へのプラズマ作用を扱う場合には，ナノ粒子の原料や生体分子等を含んだ液体にプラズマを照射することで生成
図 4：非平衡気液界面プラズマによる短寿命
活性種生成・輸送と細胞機能制御．

される前駆体や活性種を用いており，特に寿命が1 秒以下の短寿命活性種・前駆体が重要であることが世界中で報告されている．しかしながら，多種多様の活性種・前駆体が混在するプラズマが照射された液体は，プラズマ生成条件・外部環境等の作用因子の変動や未知の反応過程等の未知因子

図 5：大気圧非平衡空気プラズマによる植物病害防除と植物応答解明．

図 7：プラズマ照射液体中の反応生成物完全制御のための気液界面層でのダイナミクス解明．
33

の影響が計り知れず，必要な活性種・前駆体を完
全には生成・制御できていないのが現状である．
その理由として，気相（プラズマ相）
・液相バル
ク域間に存在する μm スケールの気液界面層での現象が，実験的にも理論的にもほとんど解明されておらず「ミッシングリンク」となっていることが挙げられる（図 7）．
従って筆者らは，この未解明のプラズマ気液界面層でのダイナミクスを理解すべく，気相および液相での活性酸素窒素種の時空間分解計測を通して，気相での生成，気液界面での輸送，液相での反応を詳細に調べている[11][12]．その結果とし
図 8：空気のみを原料ガスとした非平衡プラズマによる活性酸素窒素種の選択合成．

て，液相での反応生成物としての活性種・前駆体の完全制御合成が実現でき，必要とする活性種・前駆体のみを選択的に使えるようにすることで，窒素種（図 8）[15]が，重要な役割を果たすと確信

医療科学，植物科学，環境科学，材料科学等の多している．このような生物作用や物質合成に有用

くの分野での応用展開を可能とすべく，研究を進な効果をもたらす窒素を含む活性種を「機能性窒めているところである．

素」と定義した（図 9）．
筆者らは，この機能性窒素の合成と作用機序を

非平衡プラズマ研究のこれからの 10 年学問する「プラズマ機能性窒素科学」の構築[16]これまではプラズマ科学と物理学，化学，生物を目標として，「プラズマ科学に芽生えている窒素学との融合領域の研究を進めてきているが，非平研究のシーズ」を一つの学際融合領域にまとめ，

衡プラズマ研究のこれからの 10 年を考えると，『持続可能な機能性窒素未来社会』の実現へ貢献「地学」すなわち「地球環境科学」との融合研究したいと考えている．

が重要になると筆者は考えている．
現在，世界的に地球温暖化に関わる地球規模リ
スク，窒素による土壌・環境汚染，パンデミック
等の課題を解決することを目的として，非平衡プ
ラズマを用いた脱炭素技術（二酸化炭素固定，二酸化炭素を排出しないアンモニア合成等），
窒素ニュートラル（高効率窒素固定等）[13]，ウイルス・菌制御（化学薬品を使わない不活化・殺菌等）[14]が求められている．
これらを実現するためには，化学薬品を使わずに，どこにでも存在する空気のみを原料ガスとした非平衡プラズマを用いて制御合成する活性酸素

図 9：プラズマ機能性窒素科学の構築．
34

おわりに

参考文献
[1] T. Kaneko and R. Hatakeyama: Jpn. J. Appl.
Phys. 57 (2018) 0102A6.

非平衡プラズマを用いた新機能性ナノ・バイオ
複合物質創製や生体・細胞機能制御は，これまで[2] S. C. Cho, T. Kaneko, H. Ishida, and R.
Hatakeyama: Appl. Phys. Express 5 (2012)
026202.

“NATURE（自然）”が制御していた遺伝子・細胞等の生命体や光合成等のシステムを人工的に創り上げることを可能にするものであった．

[3] K. Baba, T. Kaneko, R. Hatakeyama, K
Motomiya, and K Tohji: Chem. Commun. 46(2010) 255.

これからは，未来の持続可能な社会の構築（SDGs の実現）を目指して，やはり“NATURE”[4] T. Okada, T. Kaneko, R. Hatakeyama, and K.
Tohji: Chem. Phys. Lett. 417 (2006) 288.

が行っていた地球環境保全を，これまでの非平衡プラズマの知見を最大限に活用して，“プラズマ[5] T. Kaneko, S. Takahashi, and R. Hatakeyama:
Plasma Phys. Control. Fusion 54 (2012)
124027.

SDGs サイエンス”（図 10）として実現することが重要であると考えている．

[6] Q. Chen, T. Kaneko, and R. Hatakeyama:
Chem. Phys. Lett. 521 (2012) 113.
[7] S. Sasaki, M. Kanzaki, and T. Kaneko: Sci.
Rep. 6 (2016) 25728.
[8] T. Kaneko, S. Sasaki, K. Takashima, and M.
Kanzaki: J. Clin. Biochem. Nutr. 60 (2017) 3.
[9] K. Shimada, K. Takashima, Y. Kimura, K.
Nihei, H. Konishi, and T. Kaneko: Plasma
Process. Polym. 17 (2020) e1900004.
[10] K. Takashima, N. A. Shahir Bin, S. Ando, H.
Takahashi, and T. Kaneko: Jpn. J. Appl. Phys.
60 (2021) 010504.
[11] Y. Kimura, K. Takashima, S. Sasaki, and T.
Kaneko: J. Phys. D: Appl. Phys. 52 (2019)
064003.
[12] K. Takeda, S. Sasaki, W. C. Luo, K.
Takashima, and T. Kaneko: Appl. Phys.
Express 14 (2021) 056001.

図 10：非平衡プラズマの異分野融合研究によるプラズマ SDGs サイエンスの創成．

[13] Y. Kunishima, K. Takashima, and T. Kaneko:
Jpn. J. Appl. Phys. 58 (2019) 060908.

謝辞
本稿で紹介した研究は，畠山力三先生，李永峰[14] K. Takashima, Y. Hu, T. Goto, S. Sasaki, and
T. Kaneko: J. Phys. D: Appl. Phys. 53 (2020)
354004.

先生，陳強先生，加藤俊顕先生，岡田健先生，高島圭介先生，佐々木渉太先生を始めとして，多く[15] S. Sasaki, K. Takashima, and T. Kaneko: Ind.
Eng. Chem. Res. 60 (2020) 798.

の皆様の協力のもとで行ったものであります．また「プラズマ機能性窒素科学」に関しては，プラ[16] T. Kaneko, K. Ishikawa, et al.: Jpn. J. Appl.
Phys. (2021) in press,
DOI: 10.35848/1347-4065/ac25dc

ズマエレクトロニクス分科会の皆様と議論させていただいているものであります．この場をお借りして，皆様に感謝申し上げます．

35

30 周年特集記事

プラズマプロセシング研究会の国内会議としての変遷と高温プラズマプロセシング研究の進展
金沢大学

田中康規

1. まえがき

表 1. 2010 年以降の SPP の履歴

プラズマプロセシング研究会(Symposium on
SPP No. 開催地

Plasma Processing; SPP)は 1984 年以降，毎年開催

国内会議共催/協賛/
国際会議共催 開催年月
名称維持されている応用物理学会プラズマエレクトロニク

SPP-39 名古屋(Online) SPSM34
SPP-38 金沢(Online)
SPSM33ス(PE)分科会主催の国内会議である。SPP は 1984

SPP-37 Sapporo

SPSM32

年の第 1 回(SPP-1)発足から第 6 回(SPP-6)まで単SPSM31

2019.01

独開催されているが，第 8 回(SPP-8)以降，2 年ご

SPP-36 高知
SPP-35 姫路
SPP-34 札幌

Plasma Conf. 2017
SPSM292017.112017.01との開催は国際展開として，反応性プラズマ国際

SPP-33 Honolulu

会議（ICRP）として開催することとなっている。

SPP-32 新潟
SPP-31 Fukuoka
SPP-30 浜松
SPP-29 金沢
SPP-28 横浜

その詳細は豊田先生ご執筆の「プラズマエレクト
ロニクス分科会の国際展開」をご参照頂きたい。

2022.01
2021.01
ICRP-10,ICPIG-34

ICRP-9,GEC-68Plasma Conf. 20142015.102014.11

ICRP-8Plasma Conf.2011

2019.072014.022013.01
2011.112010.02

本稿では応物 PE 分科会 30 周年特集として，このSPP のここ 10 年の「国内会議」としての変遷を述べる。さらに単独開催時に取り上げられたテーマ

学会，日本物理学会，プラズマ核融合学会の 3 学

変遷とともに，筆者が関わる高温プラズマ（熱プ

会が共同主催した最大級のプラズマ関連国内会議

ラズマ・アークプラズマ）プロセシング研究の変であり，プラズマ物理，核融合，プラズマ応用な遷を概説する。

どの研究者・技術者の交流促進を目的として開催された。Plasma conference 2011 は筆者らも現地と2．2010 年以降の SPP の国内会議としての変遷

して関わった金沢での開催であり，発表件数は2010 年以降の SPP の開催履歴を表 1 に示す。同

830 件以上，参加者は 1000 名を超えた。Plasma

表で見る通り，ここ 10 年で国内会議として単独

conference は 2014, 2017 に開催され，SPP-32, SPP-

開催されたのは SPP-27, SPP-30 のみであり，その35 がそれぞれ対応する。これら三回の開催により，ほかは国際会議あるいは他の国際会議との共催と知識変換・交流がなされたものと考えれる。さらして開催されている。これは SPP を 2 年に一度に SPP-34 から SPP-37 には日本学術振興会プラズ

ICRP として国際化するためにご尽力された賜物

マ材料科学第 153 委員会の国内会議 SPSM との共である。一方で，2 年に一度は国内会議として開催がなされている。153 委員会は産学連携を志向

催されているが，国内会議開催においても様々なした委員会であり，SPSM との共同開催とするこ共催が試行・実施されてきている。SPP-29, SPP-32,とで，企業研究者からの発表・招待講演を強化す

SPP-35 は国内会議 Plasma Conference として開催る狙いがあった。日本学術振興会が共催を禁止しされている。この Plasma Conference は応用物理たため，SPP-38 および SPP-39 では協力しなが36

表 2.国内単独開催時の SPP の重点テーマ
SPP No. 開催地

る化学活性種，光，刺激がどのように細胞や媒体に作用するのかの機序解明，生成される物質の詳

開催年月 重点テーマ

1. 持続可能な開発目標(SDGs)実現に向けた新規プラズマ材料
SPP-39 名古屋(Online) 2022.01 プロセス
2. プラズマの医療・バイオ分野・農業応用

SPP-38 金沢(Online)

2021.01

1. 持続可能社会実現に向けた新規プラズマ材料プロセス
2. プラズマバイオテクノロジー

SPP-36 高知

2019.01

1. 持続可能社会実現に向けた新規プラズマ材料プロセス
2. プラズマバイオテクノロジー

SPP-34 札幌

2017.01

1. マルチフェーズプラズマによる材料プロセス
2. 農業・水産業・食品産業へのプラズマ応用

細な計測・それによる信号伝達，それらによる作用の検討などに注力されている。このテーマに対する SPP への投稿件数は年々増加し，現在でも主要テーマとなっている。またもう一つの重点テー
マとしては，エネルギー・環境問題の観点から持特別講演・指定テーマ講演

SPP-30 浜松(特別講演)「プラズマ技術の課題と将来展望」(特別講演)「低温プラズマバイオプロセッシングの応用と影響2013.01 評価」(指定テーマ講演)「プラズマ医療科学の創成とその展望」(指定テーマ講演)「光技術による未知未踏への挑戦」

続可能社会の構築に向けたプラズマ材料プロセス
は長年のテーマである。この分野は，新規材料・(特別講演)「プラズマが拓くナノカーボン・バイオ融合科学」

ナノ材料生成，表面改質，膜生成，微細加工など，(特別講演)「CIGS太陽電池の現状と将来展望」(指定テーマ講演)「超臨界流体プラズマによる分⼦変換」
SPP-28横浜

2010.2

これまでのプラズマプロセシングも大きく関連し，(指定テーマ講演)「集積モニタリングによる低圧コンボナトリ
アルプラズマプロセス」

これまでも積極的に研究開発が行われてきた。最(指定テーマ講演)「デュアルダマシン配線プロセスにおけるUV
光誘起プラズマダメージ」(指定テーマ講演)「放電プラズマによるEUV光源」

近では特に持続可能な開発目標（SDGs：Sustainable
Development Goals）が 2015 年 9 月の国連サミッ
トの「持続可能な開発のための 2030 アジェンダ」に記載されて以降，2030 年までの持続可能でより

ら名称維持と運営協力がなされている。
今後も SPP は単独・共催いずれにも対応するとよい世界を目指すこととなっており，それに指向

ともに，時代に即したテーマを踏まえながら他分

した研究分野が大きなテーマとなっている。

野・他学会も交えて学際的なテーマを推進するこ

今後さらなる産学連携を促進し，プラズマ科学とが望まれていくであろうと考えられる。

の優位性を増進させながら他科学と組み合わせてシナジー効果の得られる学際的なテーマの提案が3．最近の単独開催 SPP での重点テーマの変遷

重要になるであろうと思われる。

最近の SPP では，SPSM との共催以降，重点テ
4．高温プラズマプロセシングの SPP での変遷

ーマを設定している。表 2 は最近の SPP の重点テーマ変遷である。参考として，SPSM 共催以前の筆者は高温プラズマ物理化学と応用をテーマに

SPP-28,SPP-30 については特別講演，
指定テーマ講取り組んでいる。ここで取り上げる高温プラズマ

演の題目を挙げた。同表から，SPP-30 からここ最は大気圧程度の高気圧で生じるアークプラズマあ

近の大きな研究テーマとして，プラズマ医療，プ

るいは熱プラズマを指す。熱プラズマは，ガス温

ラズマバイオテクノロジー・プラズマ農業分野が度自身が数万 K にも及ぶプラズマである。ガス温取り上げられていることが分かる。大気圧下でも度が数万 K にも及ぶ媒体は燃焼炎などでは達成で非平衡プラズマを簡易に生成できることが発見さ

きず熱プラズマの優位点の一つである。熱プラズ

れた後，非平衡プラズマを照射する対象は一気に

マの研究・利用は長い歴史を有するが，2021 年現

広がりを見せ，特に複雑系対象として生物細胞へ在も廃れることなく基礎物理研究と応用高度化研のプラズマ照射の研究が世界中で精力的になされ究とが混在しながら続けられている。これは熱プている。大気圧非平衡プラズマを照射した場合にラズマ・アーク現象が包含する物理現象が極めて出現する現象論だけでなく，プラズマで生成され複雑で深いものであり，かつ実用に極めて有用な37

性質を有し，さらにはそれを解明し高精度に制御

より，熱プラズマ内での原料粉体の運動，加熱，できれば，革新的なプロセスの構築に繋がるポテ

蒸発，蒸発蒸気の熱プラズマ内での輸送，急冷，ンシャルを有しているためといえる。SPP におい

核生成，ナノ粒子成長を統合した数値解析モデルても熱プラズマの電磁熱流体解析，カーボンナノ

もできてきている。
このモデルによれば，
例えば，

材料(フラーレン，CNT)生成，ダイヤモンド膜生成， 生成されるナノ粒子の粒径度数分布までも予測す球状化，機能性ナノ粒子の大量生成などへの応用ることができている[5,6]。

について多数報告されている。

さらに熱プラズマ・アーク内の流れは一般には熱プラズマ物理において近年発展している一つ乱流である。熱プラズマ内の乱流についてはこれは，熱的非平衡性(Non-TE)・反応論的非平衡性までその存在は認識されていたが，詳細に数値解(Non-CE)の導入である[1][2]。熱プラズマはこれま

析的に予測することは難しかった。それを近年精で局所熱平衡(LTE)状態の近似がある程度成立す

度良く安定に計算することが成功されており，そるプラズマとして認識されてきた。しかし LTE がの乱流が熱プラズマプロセスに与える影響も明ら成り立つのは熱プラズマの 10000 K を超える高温

かになりつつある[6]。さらに熱プラズマ・アーク

部だけであり，
その周囲では LTE は成立しにくい。

が存在することにより誘発される乱流様構造が測

それらを詳細に解くことにより，化学的な活性種

定により明らかになってきており[7]，熱プラズマの生成・輸送を求めることがなされている。これ

流の理解と共に熱プラズマ・アークの安定維持問

は材料プロセス分野において重要な役割を果たす

題・制御・ラジカル輸送の理解もさらに深まるもだけでなく，導電性の高速消滅を指向するスイッのと考えられる。これらは計算機の計算速度の発チング分野でも重要である。これらの化学種を導展とともに数値解析手法の高度化，計測技術の発入する電磁場により詳細に時空間的に制御できる達による状態把握，材料の基礎物性のデータの蓄のも優位点の一つである。温度場・化学反応場だ

積，計算機による大規模な数値解析がソフト・ハ

けでなく，流速場までも制御できることも熱プラードの両面から可能となったためである。今後もズマプロセシングの大きな利点である。

数値解析技術の発達は，熱プラズマを含む複雑系

熱プラズマはガス温度が高く熱容量が極めて大理解に対して非常に大きな力となるであろう。

きく，基本的にどのような材料も溶融・蒸発・原[1] H.Sun, et al., J.Phys. D: Appl.Phys, 52, 075202,
2019.
[2] G. Ozeki, et al, Plasma Chem. Plasma Process., 41,
85–108, 2021
[3] X. Zhang, et al., Advanced Powder Technol.,32(8),2828-2838, 2021
[4] R. Ohta, et al., Jpn. J. Appl. Physics, 60(3), 036004,
2021[5] R. Furukawa et al., J. Phys. D: Appl. Phys. 55
044001,2022[6] M. Shigeta, Plasma Chem. Plasma Process., 40(3),775-794, 2020
[7] Y. Inada, et al., 25th Int. Conf. Electricity Distr,
Paper No.1845, 3-6 June 2019, Madrid, Spain

子化できる。そのため，熱プラズマ・アーク放電の系においては固体・液体・気体との双方向性の強い相互作用（質量・運動量・エネルギー変換）を有し，これが材料大量処理・生成につながる。
特に近年，エネルギー・環境分野においては LIB電池用あるいは全固体電池用ナノ材料，光触媒ナノ材料などの大量の生成が研究されている[3,4]。
一方でこの相互作用が極めて大きく，これらを詳細に考慮できるモデルが必要となる。これらを統合した数値解析が近年なされてきている。これに38

30 周年特集記事

プラズマエレクトロニクス講習会の概要と展望
キオクシア(株)栗原一彰

プラズマエレクトロニクス講習会は今年度ので、アウトプットは加工形状や表面状態・組成な

11 月に 32 回目を開催しました。プラズマエレク

どになります。つまり、どの様なプラズマが反応

トロニクス分科会の前身の研究会の頃から始まっ現象を起こしているのかはブラックボックスとなており、プラズマプロセス業界においては草分けっています。このブラックボックスを理解するこ的な存在になります。本講習会は学生などの初心とがプラズマプロセスを制御する早道と考えプラ

者向けのプラズマエレクトロニクスインキュベー

ズマの計測技術に関して新旧技術を織り交ぜて講

ションホールに対して、一歩進んだ研究者や技術義します。その後、実際のプロセス技術としてエ者を対象としています。プラズマエレクトロニク

ッチングと成膜のためのプロセスが解説されます。

スという言葉はエレクトロニクスを生み出すため

ここでは基本的な原理に始まり、最先端の技術情のプラズマプロセス技術を意味しています。ご存報を提供することを目指しております。更にはプ知のようにプラズマ自体が製品として最終的に活ラズマに関するホットなトピックスを取り上げて躍するものは光源とか核融合発電とかに限られて新分野における展開状況も紹介しています。

しまいますが、製品を加工する段階では非常に多購入したプラズマ装置でプロセスを行う場合は鷹くのプラズマプロセスが利用されております。現揚にしてブラックボックス的な状態で使用するこ

時点において最先端のデバイスや微細部品などはとになります。限られたレシピが提供されていれこの技術無しには存在しえません。一方で最終製ばその範囲内では加工は可能になりますが、それ品にはプラズマの痕跡が残らないために最終製品以上のことは出来ません。この講習会ではそのブから加工方法を類推することは容易ではありませラックボックスとなっている部分を理解するためん。従いまして、プラズマプロセスでは学術的知に、必要な知識や情報やテクニックを提供するこ

見にまでは至らないにしてもノウハウという明示とを目的としています。プラズマプロセスは適用されない情報も非常に重要になります。この様なされる分野や製品は非常に多岐にわたります。従状況を考慮して技術者や研究者へプラズマプロセ

いまして使用するプラズマの状態も多岐に渡り非スの情報を届けるのが本講習会になります。

平衡低圧プラズマや熱プラズマなどの各種条件に講習会での講義は毎年ある程度は変更するのでより反応過程も異なり複雑です。応用物理学会プ

すが、大まかに以下の様に構成されております。

ラズマエレクトロニクス分科会といたしましては、

まず初めにプラズマ自体の基礎と言う事でプラズプラズマの専門家として新しい現象を発見し、そマの生成や特性に関して主に物理学的な見地からの現象を制御する方法を研究して、新しいプラズ

解説を行います。プロセスの現象を理解するため

マプロセス技術を最先端の研究者から提供する事にもこの基礎知識からの理解が必要です。次にプを目指しています。この観点からもこの講習会はラズマの計測技術になります。実際の現場では制

毎年受講して、最新の情報を入手して頂きたいと御するパラメータノブは電力やガス種や圧力など思っております。

39

30 周年特集記事

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
３０周年記念シンポジウムの企画にあたって
九州大学

古閑

一憲

第６８回応用物理学会春季学術講演会の２日目

た。新型コロナウィルスの影響によるリモート化

２０２１年３月１７日にプラズマエレクトロニクと、
デジタルトランスフォーメーションの成長は、ス（PE）分科会３０周年記念シンポジウムが開催

半導体デバイス研究は発展分野の一つに挙げられされた。筆者は、節原裕一 PE 分科会幹事長をはじていた。半導体デバイスプロセスとして重要な地めとする PE 分科会幹事メンバーの皆様と共にシ位を占めるプラズマは、次世代を拓く重要な科学

ンポジウム企画に関わらせていただき、クロージ技術であるとの思いを強くした。デジタルトラン

ングリマークとして、本シンポジウムをまとめる

スフォーメーションの成長による計算量・記憶量

大役を拝命した。今後の PE 分野の発展に対するの爆発的な増加が、情報処理の在り方に変革を求貴重な助言・提言は、シンポジウム発表者の皆様めており、半導体デバイスの発展だけでなく、量方から本特集記事に寄せられると思うため、本寄子コンピューティングなどの新機軸が大きなテー

稿では、今後の記念行事を担当される企画者の参マとなっていた。PE 分科会としても量子（物理学・考になればと、企画時の議論などを残しておきた工学）がプラズマとの重要な連携テーマとなり、いと考えた。

これにつながるナノテクノロジーは今後の発展にシンポジウムの構造は、①PE 分科会の歴史回顧、 も重要であると考えた。また、プラズマ科学との②最近１０年間における学術潮流の概観、③新た新しい連携テーマとして、バイオサイエンスがこな学術潮流の芽生えを議論する、２０周年記念事の１０年で大きく発展した。発行論文数も指数関業のシンポジウムの構造を踏襲するものであった

数的に増加する一方であり、これからのプラズマが、④海外連携に関する講演を追加したことは、科学の一翼を担う存在であると考えた。これらす海外研究者との連携の重要性を分科会として示す

べてを一言で言い表すキーワードとして、ニュー意図を持っていた。また、PE 分科会と縁深い GEC

ノーマルが選ばれた。その後の講演者の皆様を選との連携を講演の一つとすることは簡単に決まっ

定がスムーズであったのは、講演者の皆様の協力たのだが、海外の誰からコメントを戴くのかが議のおかげであると感謝している。

論となった。現 GEC の委員からという意見もあっ特段メッセージを持たない寄稿となり恐縮してたが、ちょうど応用物理学会の国際フェロー表彰

いるが、企画にあたっては、連携・ダイアローグを受けられ、米国外で GEC を開催された独ルール（過去とのつながり、横とのつながり、新領域と大のザネツキ教授がいらっしゃったのは幸運であのつながり）が企画当時のもう一つのキーワード

ったと思う。心のこもったコメントを戴けた。

であった。このキーワードは今後も重要になるでシンポジウムの構造について大枠が決まったのあろうと考える。
企画で多大なご協力いただいた、

ち、懸案となったのがキーワードの決定であった。

節原幹事長をはじめとする他幹事の方に最後に感作業を進めるに当たり最近 10 年の状況を検討し

謝したい。

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国際会議報告74th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2021)
滋賀県立大学酒井道

Gaseous Electronics Conference は、第 74 回

特にアラバマ州の感染状況が悪いこと、また主催目を数える、プラズマ基礎・応用ならびに衝突素団体の米国物理学会が傘下の学会に対してオンラ過程に関する歴史ある国際会議である。今年も、イン開催を強く勧奨する状態となった。それに伴2021 年 10 月 4 日から 8 日の間に開催されたが、い、Executive Committee 内で臨時のオンライン

他の国際会議と同様、新型コロナ感染症の世界的会議を７月初旬に開催し、対面開催を含むかどう

蔓延に伴い、紆余曲折を経て、オンライン開催とかについて検討した。長期間学会を対面開催形式なった。以下、その経緯と実施の様子について、で実施できていないことから、当分野のコミュニ

GEC の Executive Committee メンバーとして詳ティの維持発展への危惧が共有され、対面開催を述させていただく（なお、筆者は今回の学会で任含むべきとの意見も強く出されたが、議論の末、期満了で退任し、今後は、現地実行委員長の金子

開催期間は変えずに、完全なオンライン開催

先生と、新しく選挙で選ばれた産業技術総合研究（virtual conference）とすることに決定した。

所の清水鉄司先生が委員を務められる）。

そして、実際の開催にこぎつけたが、参加され一昨年の GEC（オンライン開催）において、今た皆様はご存じの通り、以下に説明するような形

回の GEC は米国アラバマ州ハンツビルを開催地態となった。口頭発表に関しては、ビデオ提出にとし、アラバマ大学の Gabe Xu 教授を現地実行委

よるオンデマンド型の参加も認められたものの、員長とすることが決定された。そして、昨年の大半の発表はライブ（Zoom 利用）によりオンラ

GEC において 10 月 4 日から 8 日の期間の開催とインでスライド画面を共有する形態で行われた。

なることが定まり、
GEC の Executive Committee

昨年度の GEC で頻発した種々の問題（主にサーが現地実行委員会をサポートしつつ、実施準備を

バ系・通信系の不十分な確保による）について、進めてきた。

今年度は委託業者を変更したこともあり、主催側

2021 年の春ごろから、主に米国における新型コから生じる問題はほとんど生じなかったと思われロナの感染状況に落ち着きが見られたため、当初る。ポスターに関しても、オンデマンド型とオンは予定通り、現地参加およびリモート参加を組み

ライン討論が組み合わされた形態となり、昨年度合わせたハイブリッド型での実施として準備を進に比べてより良い実施内容となった。事前にポス

め 、 例 え ば 毎 年 ワ シ ン ト ン 郊 外 に Executive

ターの電子ファイルと動画説明ファイルをアップ

Committee メンバーが集まり顔を突き合わせてロードし、聴衆は好みのポスターデータにアクセ行うプログラム編成をオンライン会議（筆者と金スできるとともに、決められた討論の時間に自由

子俊郎先生（次期現地実行委員長）は昼夜逆転しに好きなポスターのブレークアウトルームを訪ねながら米国や欧州の委員と議論）をし、現地で対ることができ、実際に筆者が行ったポスター２件

面参加する参加者からセッションチェアを選ぶなにも、数名の参加者が訪れ、対面のポスター実施

ど、努力を重ねた。しかし、夏に近づくにつれて、と同様のレベルが確保できたと思われる。

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発表内容については、今年も多くの新規の内容が発表され、大変活気のある学会となった。大阪
大学の浜口先生がプラズマと材料の相互作用について GEC Foundations Talk（基調講演相当）を行われ、また東京都立大学の杤久保先生が大気圧
プラズマとその中の液滴との間の関係を有機的に議論された他、東京工業大学の野崎先生（プラズ
マと触媒による二酸化炭素処理）・名城大学の竹田

図１．オンライン開催となった会議の様子

先生（プラズマ中原子状活性種の真空紫外レーザ（Closing セッションにおける一画面（今回の開分光）等が招待講演者として、GEC において各テ催の経緯の説明）。
発表者は Executive Committeeーマについて活発な議論が行われ、日本からの発委員長の Julian Schultz 教授）。

表においても注目の講演が相次いだ。
最終的に、参加者は 594 名、論文数は 480（口頭発表 355 件、ポスター発表 125 件）で、例年のGEC と同規模の開催となった。日本からは米国についで多くの参加者（11%）を数え、また全体として学生の割合が 42%に達したことは良いニュースであった。これは、旅費の算段が必要ないバーチャル開催の効果があったと推測される。
昨年の報告でも記した通り、そして本学会中でも閉会式で説明されたが、来年 2022 年の GEC は
仙台市にて開催されることが決まっており、現地図２．オンライン開催となった会議の様子

実行委員長として東北大学の金子先生が選出され（Closing セッションにおける一画面（来年の仙た。日本国内での GEC 開催は初めてであり、こ台開催に参加を呼びかける部分）。
発表者は今回のれも長年にわたる日本からの GEC への貢献が認

現地実行委員長の Gabe Xu 教授）。

められたものと言える。2010 年のパリ、2015 年のハワイに引き続き、プラズマエレクトロニクス分科会が母体となって主催する反応性プラズマの国際会議 International Conference on Reactive
Plasmas (ICRP)と GEC の合同国際会議として開催される。長年にわたる先輩方のご努力の成果として迎える 2022 年の開催に向け、我々として万全の準備を進める所存である。プラズマエレクト
ロニクス分科会会員の皆様におかれましても、

図３．オンライン開催となった会議の様子（筆者2022 年開催にご協力いただくとともに、多くの皆がポスター発表を行っている様子）。

様の参加を期待申し上げる。

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国際会議報告

8th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-8)/
10th International Symposium on Plasma Bioscience (ISPB-10)
名古屋大学

田中

第 8 回プラズマ医療国際会議（ICPM8）が 2021

宏昌、堀

勝

2. Plasma sources for biomedical applications

年 8 月 3 日～8 月 6 日の 4 日間にわたり韓国クァ

3. Plasma

ウン大学 Eun Ha Choi 教授を委員長として開催

liquidinteractions,plasmaactivated liquids

された。元々、2020 年 6 月 14 日～6 月 19 日に

4. Plasma-cell and plasma-tissue interactions biological and biochemical reactions

韓国インチョンで開催予定であったが、コロナ禍

5. Plasma-surfaceのため何度か延期された後にオンラインで開催さinteractions/modifications

for biomedical applications

れることとなった。
International Conference on Plasma Medicine

6. Plasma-based(ICPM)はプラズマ医療をテーマとした国際会議

sterilization

decontaminationandである。最初の 2 回は Prof. Alexander Fridman

7. Plasma for pharmaceutical applications,と Prof. Gary Friedman により 2007 年米国

biochemical and biomolecular engineering

Corpus Christi 市 お よ び 2009 年 米 国 San

8. Plasma medical applications - clinical andAntonio 市において開催された。2009 年にはanimal studies

International Society for Plasma Medicine

9. Plasma agricultural applications(ISPM)が結成された。引き続き、2010 年には10. Plasma modeling and numerical simulation

ICPM-3 がドイツ Greifswald 市、2012 年には基調講演（Plenary Lectures）は 6 件、招待講演

ICPM-4 がフランス Orleans 市で開催された。

（Invited Lectures）は 41 件、口頭発表は 80 件、2014 年には ICPM-5（委員長：浜口智志教授）がポスター発表は 176 件行われた。

奈良市にて開催された。2016 年には ICPM-6 がまた ICPM-8 に先立ち 2021 年 8 月 2 日～8 月

スロバキア Bratislava 市で開催され、2018 年に3 日にオンラインで Summer School が開催されは ICPM-7 が再び Prof. Alexander Fridman によ

10 名の著名な講師による講演が行われた。

り米国 Philadelphia 市で開催された。

次回の ICPM-9 は 2022 年 6 月 27 日～7 月 1 日

ICPM-8 においては以下の 10 のトピックが設にオランダのユトレヒトで開催される予定である。
https://www.icpm9.eu/

けられ、活発な議論が行われた。
1. Fundamentals of atmospheric plasmas

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国際会議報告42nd International Symposium on Dry Process (DPS2021)
第 42 回ドライプロセスシンポジウム国際会議
ルネサスエレクトロニクス株式会社 丸山隆弘
(DPS2021 プログラム委員長)
交流が出来なかったことには、やはり寂しさを否

１．はじめに

今回で 42 回目を迎える国際会議ドライプロセ

めない。一方で、スライドの見やすさや質疑応答

スシンポジウム(DPS2021)が日本時間の 11 月 18の聞きやすさなども含め、オンラインならではの日～19 の 2 日間、オンライン会議として開催され長所も随所に感じられた。今回、独自の取り組みた。本会議は、ドライエッチングやプラズマ成膜として、休憩時間に ZOOM のブレークアウトル

をはじめとする、ほぼ全てのドライプロセス技術

ーム機能を用いたフリーディスカッションの場がを網羅する国際会議として、40 年以上にわたり、準備された。この場で発表者を交えた活発な議論

基礎研究から応用に至るまで最先端の研究成果にが行われ、非常に有効な仕組みであったと思う。

ついて、幅広く議論するためのフォーラムを提供

ポスターセッションでは、ショートプレゼン等がしてきた。この間のドライプロセス技術の発展は事前に公開されたが、概要を前もって把握できた

目覚ましく、応用分野もエレクトロニクスのみなことで参加者の理解や質疑の活性化の助けとなっらず、材料・環境・衛生・医療・農業など、あらたであろう。またその質疑を参加者全員がはっき

ゆる産業分野に裾野を広げている。

りと確認できることもオンラインならではのメリ

昨年度は、多くの学会と同様に COVID-19 の影ットと感じた。

響を受け、残念ながら長い DPS の歴史の中で初めての開催延期を余儀なくされた。また、本年度

２．発表の概要に関しても感染状況などを鑑み、苦渋の判断では

本年は、アレンジセッションとして、あったがオンラインでの開催が選択された。初の1. Applications and Researches of Atomic

試みにあたり、多くの方々のご協力とご尽力を頂

Layer Controlled Etching and Deposition

いたことに対し、この場を借りてお礼を申し上げ(ALE/ALD /Area Selective-ALD) (以下たい。

ALE/ALD と略)、

本会議では、招待講演が 6 件、一般投稿による

2. Challenges to Limits for High Aspect Ratio

口頭講演が 22 件、ポスター講演が 51 件発表されEtching (以下 HAR Etch と略)、た。また、ドライプロセスの進展に対し多大なる

3. Rethinking of Cryogenic Etching (以下 Cryo

貢献をされた業績を記念し、名古屋大学の堀勝教

Etch と略)

授と、LTM/CNRS の Olivier Joubert 博士に西澤の３つのテーマが設定された。

賞が贈られ、その受賞記念講演も行われた。初の1 つ目のテーマ、ALE/ALD は原子層レベルのオンラインでの運営は、大きなトラブルもなく執プロセス制御に関する技術であり、特に ALEり行うことが出来たが、懇親会も含め、対面でのは、以前はエッチング機構の解明の手法として用44いられていた技術であるが、近年はデバイスの微University の Yeon Ho Im 教授より、プラズマ細化や高精度化からの要請により、再び大きな注からエッチング形状や表面反応に至る、様々なシ目を浴びている。本セッションは 1 日目と 2 日

ミュレーションについてのチャレンジが紹介さ

目の 2 部に分けられ、口頭講演だけで 2 つの招れ、特に 3D 形状シミュレーションにおいては、

待講演を含む 8 つの発表が行われた。シミュレ

ネッキング・ボウイング・ツィスティングと言っーションや HAR Etch のセッションにもた、HAR Etch に纏わる大きな課題をシミュレー

ALE/ALD の関連する講演があり、本年度も引きション上で再現できることが示された。長年エッ続きこの分野への関心は非常に高かった。初日のチングに携わってきた身としては、エッチングの招待講演である Colorado School of Mines のシミュレーションがここまで進歩したことには感Sumit Agarwal 氏からは、選択的に材料の表面嘆を覚える。もう一つの招待講演では Lam

を改質(functionalization)することで、ALE 初期

Research 社の Thorsten Lill 氏から、HAR Etch

ステップにおけるエッチングを抑制し、それによにおける先述の課題の原因として、マスク形状・り選択性を改善出来ることが報告された。2 日目

イオン散乱・リデポジション・チャージング等をの招待講演者である Univ. Grenoble Alpes の挙げ、その影響について掘り下げた紹介がなされErwine Pargon 氏からは、イオン照射による表た。また、一般講演では東京エレクトロン宮城の面の改質とリモートプラズマの組み合わせによる

熊倉氏より、HAR Etch の側壁保護に ALD を用

超高選択な SiN のサイドウォール形成や、リモいる手法が提示された。本技術は前回の DPS でートプラズマでの酸化とエッチングのサイクルにも報告があり高い評価を得ていたが、今回はセル

よる Si ナノワイヤー形成への応用が紹介されフリミットに至る前段領域の ALD を用いることた。名古屋大学の Airah Osonio 氏の報告は、シで、より洗練され、垂直に近い形状が得られるこランカップリング剤(POCS)を用い、Si 窒化膜にとが示された。エア・リキードの長谷川氏からは対し Si 酸化膜を選択的にエッチングする ALE

HAR Etch 用のガスとして、GWP が低く、かつに関するものであった。以上の 3 件は、いずれ高い対レジスト選択比が得られる新しいガスの提も Area-Selective ALD 技術の ALE への応用と示があった。2 種類のガスについて、分子構造のも考えられ、ALE の更なる性能向上を期待させ違いと絡めてエッチング特性の差異について論じられる。一方、ソニーセミコンダクタソリューシられた。シミュレーションのセッションでもョンズの平田氏からは、Si 窒化膜の ALE におけHAR Etch に関する報告があり、Yonsei

るダメージについての報告があり、ALE では

University の Junghwan Um 氏より、イオンの1st サイクルでのダメージが支配的である一方、分子量と角度分布が、アスペクト比の増大ととも

水素原子の膜中への侵入は軽微であることが示さに発生するエッチングレート低下現象改善に向けれた。さらに、SCREEN ホールディングスの中てのキーであることが示された。さらにダメージ

村氏と GREMI の Lamiae Hamraoui 氏より、のセッションにおいて、京都大学の浜野氏からはそれぞれ GaN 膜に関する ALE の報告があり、

HAR Etch 後の側壁やボトムのダメージを Micro

ALE の応用範囲の広がりを感じさせられた。

photoreflectance spectroscopy (μ-PRS)を用い

2 つ目のアレンジセッションである HAR Etchて解析した結果が報告された。

関連では、招待講演者である Jeonbuk National

3 つ目のアレンジセッションである Cryo. Etch

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に関しては、GREMI の Rémi Dussart 氏が招かの報告があり、様々な膜腫・方式について報告とデれ、低温での SiF4 の吸着を利用した高アスペクィスカッションがなされた。

ト Si エッチ技術である STiGer プロセスと、同様に低温での C4F8 ガスの吸着を利用した cryo3.

ALE 技術についての詳細な報告があった。

さいごに

今回の DPS は初のオンラインでの開催であっアレンジセッション以外では、招待講演としてたが、活発な討議が行われ、盛況の中無事に終了

IBM の BUZI 氏より、ストレージクラスメモリ等することが出来た。ご協力いただいた各委員のの 候 補 と し て 注 目 を 浴 び る Phase Change

方々や団体のみならず、発表者・参加者の方々にMemory (PCM)についてのプラズマダメージのも改めて御礼を申し上げたい。

研究結果が紹介された。また、ますます進む微細

一方で、参加者が 260 名と、前回と比較して１化と高アスペクト化がもたらす課題の一つとして、割以上減少したことは大変残念であった。コロナ

日立の佐竹氏より、微細 Fin パターンの倒壊現象がの影響のみならず、開催形式がオンラインであっ報告された。その中で環境中の湿度に起因してパタ

たことも一因と考えられるが、オンラインでの開ーン内に結露が発生し、その表面張力によりパター

催には種々のメリットがあることは初めに書いたンが屈曲するモデルが示された。名古屋大の吉江氏

とおりである。来年の DPS2022 は、2022 年 11からは、Bosch プロセスにおいてバイアス印加のタ

月 24 日～25 日に大阪府立国際会議場での開催を

イミングを調整することで、ラジカルエッチからイ予定しているが、オンラインのメリットも生かし

オンアシストエッチへの転換が可能であり、SF6 ガ

た「ハイブリット開催」を含めて開催形式を検討

ス系の Si エッチングにおける大きな課題であるアス中である。最先端の技術動向を得られるだけでな

ペクト比依存性を大幅に緩和できることが報告されく、人的ネットワークを広げる機会でもある。ぜた。

ひとも前向きに参加をお願いしたい。

ポスター講演も含めて、プラズマ発光を用いた計測技術関し、複数の報告がなされたことも注目

なお、本会議の最後には、この 7 月に逝去されされる。発光解析はプラズマプロセスの黎明期かた廣瀬全孝先生の追悼が行われた。
ご存知の通り、ら用いられている技術であるが、この分野におい廣瀬先生は、半導体工学に広く関わり、物性からても、まだまだ一層の進展が期待される。他にもプロセスに至るまで多くの先導的な研究を行われ、今回目立った技術分野としては、大気圧プラズマ

多大な業績を残されている。DPS ともかかわりがも挙げられる。表面改質、材料合成、殺菌、医療、深く、数多くの発表を行うとともに、Symposium

アッシングなど、多くの応用分野にまたがる報告

Committee Chairman として本シンポジウムをが見られた。中でも、大阪市立大の白藤教授から牽引され、それらの業績をたたえて第一回の DPS

は、He 中を伝搬するプラズマビュレットを応用

西澤賞を贈られている。大学をはじめとする研究

した「bone-regeneration scaffold」の親水化処理につ機関において、数多くの人材の育成にも携わり、いての報告があり、水の浸透速度において数桁に及

シリコンテクノロジーの発展への貢献は計り知れ

ぶ大幅な改善が示された。また、本年は ALD に加えない。心より哀悼の意を表したい。

て、CVD や PVD 等の成膜技術についても、数多く

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国内会議報告2021 年第 82 回応用物理学会秋季学術講演会
分科企画シンポジウム (8.プラズマエレクトロニクス)「未来デバイス製造のためのアトミックレイヤープロセス；表面反応ダイナミクスの理解と制御」
産業技術総合研究所 電子光基礎技術研究部門

金 載浩

標記講演会が 9 月 10 日～13 日（ポスターセッュレーションなど、材料表面での反応を理解し精

ション：9 月 21 日～23 日）に完全オンライン方密に制御する技術が求められている最近の動向、式で行われた。講演会の二日目に、本分科企画シ

及び本シンポジウム趣旨について紹介された。

ンポジウム「未来デバイス製造のためのアトミッ
クレイヤープロセス；表面反応ダイナミクスの理■「ALD/ALE プロセスの選択制の制御と応用」

解と制御」が開催された。

霜垣幸浩（東大工）

本シンポジウムは、大分類 8（プラズマエレク

ALD および ALE プロセスにおいて、下地材料

トロニクス）と大分類 11（半導体（シリコンテク

によって現れる選択性の発現、その基本的なメカノロジー分科会））の合同セッションで午前９時かニズムと制御方法、及びこれらの選択的な手法のら午後５時まで、招待講演 10 件と一般講演 2 件

応用について紹介された。ALD window についての構成で行われた。

も言及された。

近年、次世代半導体デバイスや量子デバイスな
どのプロセスでは、原子スケールでの材料プロセ■「ALD（Atomic Layer Deposition）法の基礎とスの重要性がこれまで以上に重要視されている。

半導体デバイスへの応用」浦岡行治（奈良先端大）原子スケールプロセスでは、原子スケールでの表ALD 堆積法が微細な LSI や薄膜トランジスタ、面反応ダイナミクスを精密に制御することが求め

パワーデバイスなど、特に 3 次元化の進む半導体

られている。本シンポジウムは、熱またはプラズ

デバイス形成に有力な手法となっている技術背景

マを用いた原子層プロセスの基礎から応用・展望について基礎から応用まで詳しく紹介された。基までを、デバイスおよびプロセスの研究者が一堂

板への電子親和力の効果、プリカーサの比較検討に会して議論することで、原子層プロセスの全体から炭素と界面準位の関係解明、プラズマと熱像を俯瞰しつつ、課題を明確にすることを目的と

ALD の比較実験から界面への影響考察などにつし企画された。

いても紹介頂いた。
■「次世代高信頼性配線形成を目指した Co-ALD

次に講演内容について簡単に紹介する。
■「はじめに 趣旨説明」唐橋一浩 （阪大院工）プロセスの検討」山口潤（東大院工）PALD（plasma-assisted ALD）
、原子層プロセ

一般講演として、半導体集積デバイスの新規配ス（ALD/ALE）、分子創成、表面反応計測、シミ線材料として注目を集めている Co 系材料の製膜

47における熱 ALD 法の利用検討について報告があスパッタへの低速準安定原子の利用可能性にも興った。

味が持たれていると紹介された。

■「原子層エッチングの反応素過程とその設計、■「原子層材料の構造制御合成と機械学習活用」

制御」石川 健治（名古屋大学）

加藤俊顕（東北大院工）原子層エッチング（ALE）技術における、ALD

カーボンナノチューブ（CNT）カイラリティ制と ALE の比較、ALE の細分化、歴史と現状につ御合成、及びグラフェンナノリボン（GNR）量子

いて講演があった。ALE のメカニズム、ALE

ドット開発に関する研究について紹介があった。

window 及び ALE プロセス設計と制御技術につ

機械学習による CNT カイラリティ純度評価の高

いても紹介された。プラズマエッチングの原子層速化実現、及び CNR 量子ドットの合成条件の高で生じる反応について原理的な解明を進めるため

効率最適化を実現した報告があったことは、興味に，理論－計算－実験と統合したアトミックエン

深いことである。

ジニアリングの学問体系化に向けた将来展望についても述べられた。

■「トポロジカル量子物質の開拓：原子層プロセスへの期待」笹川崇男（東工大）■「原子層プロセスにおける低エネルギーイオン

絶縁体から始まり、半金属、そして超伝導体へ照射誘起表面反応」伊藤智子（阪大院工）とするトポロジカル物質科学の進展について講演

一般講演として、プラズマ ALE/ALD におけるがあった。研究室で様々な手法を駆使し、結晶育低エネルギーイオンの効果について原子層プロセ成に成功したトポロジカル量子物質が紹介された。

ス解析装置を用いて行った研究の紹介があった。

加えて、トポロジカル量子物質を原子層化できるとどのような応用に繋がるのかなど、今後の展望■「酸化物と有機金属錯体を経由したコバルトのについて議論された。

Thermal ALE」藤崎寿美子（日立研開）
有機金属錯体による ALE 技術は、次世代のデ■「Reactive Ion Etching から Atomic Layer
Etching へ」野尻一男（ナノテクリサーチ）バイス製作プロセスに必要となる難エッチング材
に対する有望なエッチング手法として期待されてRIE から ALE に至る流れをメカニズムと応用いることが紹介された。具体的な事例として、Coの観点から解説、及び今後の展望について紹介さのサイクリエッチング実証研究が紹介された。

れた。
ALE は、
Modification Step と Removal Step
を独立に制御できること、平滑な表面が得られる■「励起原子、配向酸素分子が誘起する表面反応

こと、
超高選択比エッチング、
難エッチ材の加工、素過程の分析」倉橋光紀（物材機構）

表面クリーニングなども含め、従来の RIE の限

Fe、Ni、Co 単結晶薄膜表面への分子配向制御

界を打破する種々の特徴を持っているため、新しした O2 吸着実験と、低速準安定原子が表面で誘い応用への期待について述べられた。

起する過程について紹介された。表面での酸化過程は、エッチングの素過程としても重要になりつ■「ALE・ALD 技術を用いた微細加工プロセスのつある、原子層プロセスで求められている低損傷開発と今後の展望」本田昌伸 (東京エレクトロン

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宮城)

ついて議論された。

ALE/ALD 技術の半導体プロエスへの応用例を用いて、「ALE コンセプトを適用した高選択比エ■「クロージング」古閑一憲（九州大学）

ッチング技術」、「アトミックレイヤープロセスを

各講演内容のプラズマ材料プロセスにおける位

用 い た パ タ ー ニ ン グ 加 工 技 術 」、 及 び

置付けと気になったワードについての紹介と、ク「 “ALD+ALE”による高アスペクト比構造の垂ロージングのお言葉を頂き、無事にシンポジウム

直加工技術」について紹介いただいた。アトミッを終えた。

クレイヤープロセスに求められる技術として、高時間分解モニターと制御技術、新たな表面反応技

今回のシンポジウムは新型コロナウイルス感染術、及び要素技術の融合と時間関数の活用技術に症状況の悪化によりオンライン開催となっていた

ついても言及された。

が、それにも関わらず最大 140 名以上の聴講者が参加しており、アトミックレイヤープロセスに対■「Atomic Layer Etching の現状と今後の展望」
深沢正永（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）する熱い関心が感じられた。
最後に、シンポジウムで講師を頂いた先生方、

デバイスメーカー視点からの ALE 技術への期

活発な議論をして頂いた参加者の皆様、シンポジ

待、及び ALE で生じるデバイス特性へのダメー

ウムの開催にご協力を頂いた分科会幹事の皆様に、ジに関する研究について紹介された。低ダメージ

深い感謝の意を表します。

ALE を実現するための、プラズマ制御の重要性に

49

国内会議報告第 82 回応用物理学会秋季学術講演会
分科内招待講演
防衛大学校

北嶋 武

従来より大分類８では春秋の応用物理学会講た。はじめに、AI およびロボット研究の現状把握

演会の中で分科内招待講演を開催してきたが、新をもとに、今後の普及と発展においてはエンドポ

たな試みとして中分類単位での招待講演企画を開

イントでの計算負荷の軽いハードウェアが必要と始している。意図としては、各中分類の主要テーされている背景、音声のような時系列データの機マに関連した他の分野の研究者をお招きして研究

械学習には非線形性と短期記憶を持つ物理リザバ

分野間の相互交流と研究の展開を模索することをーに遅延時間を与えてノード更新する時間遅延型

狙っている。講演会の企画段階からプログラム編

リザーバコンピューティング[1]が効率的である

集委員の中での検討を経て、今回は中分類 8.3 プ

点などを説明された。Ag/AgS2 コアシェル型ナノラズマナノテクノロジー内で扱われるナノ粒子合粒子集合体の物理リザバー[2]は Ag フィラメント

成プロセスに関連した研究として、ナノ粒子集合の成長が電気的刺激によりに生じることから、電体をニューラルネットワークの機械学習過程に活気抵抗の変化として学習過程を内包する。実例と用した成果の紹介を九州工業大学ニューロモルフ

してモデル波形を再現する基礎動作から音声認識

ィック AI ハードウェア研究センターの田中啓文の正答率向上などの応用動作までをデータで紹介

先生のグループに依頼した。AI 関連の研究はハーいただいた。

ドウェアについても盛んに取組まれており、本講質疑応答では「出力層の活性化関数の具体的な演会でもフォーカストセッション「AI エレクトロ

設定の仕方について」や「入出力電極の多極化にニクス」やシンポジウム「AI アクセラレータ：人よる集積化の可能性について」など、活発な議論

工知能デバイスの新展開」が組まれるなど多方面が展開され、分科内研究者の関心の高さが感じらから大きな注目を集めている。今回フォーカスト

れた。田中先生、宇佐美先生とは今後も大分類をセッション内で田中先生の招待講演が組まれてい跨いでの交流をお願いしてセッションを終了した。

るご都合もあり、ご講演は研究グループ内でナノ分科会では今後も同様に他分類からの招待講

粒子集合体デバイスを主担当にされている、助教演を企画する方向で検討している。

の宇佐美雄生先生にお願いする運びになった。
ご講演の演題は「ナノ材料ネットワークの時間

参考文献

ダイナミクスが拓く物理リザバーの演算機能」と[1] E. Wlazlak et. al., ACS Appl. Mater.

して、Ag/Ag2S ナノ粒子集合体の電気特性が機械Interfaces 18, 17013 (2019).

学習を経て波形生成や音声認識機能を実現する過[2] Hadiyawarman et al., Jpn. J. Appl. Phys.

程を解説いただいた。9 月 13 日(月)午前中のオン

60, SCCF02 (2021).

ラインでの講演時には 80 名ほどの聴講者を集め50

国内会議報告2021 年第 82 回応用物理学会秋季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科内 English セッション報告
大阪大学工学研究科・アトミックデザイン研究センター

北野勝久

第 82 回応用物理学会秋季学術講演会の大会３

2 件の発表があり、いずれも大気圧プラズマに関日目となる 2021 年 9 月 12 日（日）に、English

する内容であった。Tran Trung Nguyen さんからセッションが開催されました。

は電極間の電気絶縁に用いる絶縁油により温度上一般講演が 2 件と海外招待講演が 2 件の合計 4昇を防げるという発表があり、Min Hu さんから件の発表が行われ、参加者は 30 名弱であった。招は PVA に溶解させたヨウ化カリウムを用いたプ

待講演者はチェコの Petr Lukes 先生と韓国のラズマ照射溶液中の活性種計測に関する発表があHeeyeop Chae 先生であったが、Lukes 先生と個った。
Petr Lukes 先 生 か ら は 、“ Chemical and

人的に親しいということもあり、小生が本セッシ

Physical Processes Induced by Non-Equilibriumョンの座長を務めさせて頂いた。
コロナ禍において、対面会議は国内会議でさえElectrical Discharge Plasma in Aqueous Liquids

自粛する中、国際会議はいつになったら再開できand Gas-Liquid Interfaces”というタイトルで、るのかままならぬ状況であり、多くの会議でオンプラズマを照射した溶液中における化学反応に関ラインが主体になっている。逆に、オンライン会して、緻密な分析化学的な手法に基づく実験結果

議であれば移動するコストが不要になるので、本を、活性窒素種まで含めた反応速度論に基づく科学会のような国内会議においても海外の著名な研学的な議論を基礎から詳細に紹介していただけた。

究者に発表していただく良い機会になるとも言え溶液中の成分によって放電そのものも影響を受ける。時差の問題もあるが、English セッションにるという話まで含め、化学種ベースで定量的な研おいてピンポイント的に参加していただくという究を行っている当該分野における第一人者であり、のはハードルが低く、国際交流を活発化する一つ

個人的には非常に貴重な講演であった。

の新しい手法であると思われる。そのためには海Heeyeop Chae 先 生 の 発 表 は 事 情 に よ り

外招待講演者の発表内容に関係する中分類の発表

Yongjae Kim 先生が代理で行ったが、“Atomic

を積極的に English セッションに持ってくるとい

Layer Etching Processes for Dielectric andうアレンジを検討してもよいかもしれない。

Metals”というタイトルで、様々な材料に対する

コロナ禍の前に Lukes 先生とお会いしたとき

アトミックレイヤープロセスに関して、広範囲にに、お子様が小さいこともありしばらく海外へはわたる最新の研究内容を、多くの実験結果と共に行きにくいということをおっしゃっていたのです

紹介していただけた。前日に行われた本分科会のが、分科会内では海外招待講演者の候補として何シンポジウムでも ALE が取り上げられており、度か名前が挙がっており、今回、講演をしていた

当該分野の今後の発展が期待できると実感させら

だくちょうど良い機会となった。

れた。

一般講演では、大阪府立大学の松浦研究室から51

国内会議報告

第１５回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
九州大学

古閑 一憲

静岡大学

第１５回プラズマエレクトロニクスインキュベ

松井 信

講座内容（敬称略）

ーションホールを２０２１年 9 月６日～７日の日<専門講座>

程で開催しました。今回は新型コロナ感染症が拡「プラズマ診断・計測」

大しているため Webex によるオンラインでの開稲田優貴（埼玉大学）

催となりました。

「プラズマ生成・制御」

本企画はプラズマエレクトロニクス分野の初学

玉山泰宏（長岡技術科学大学）者（学生・若手研究者・社会人技術者）を対象と「シミュレーション技術」

して、プラズマの理解を深めて頂くための講習会

小田昭紀（千葉工業大学）です。
参加者は５６名（内企業からの参加者７名）<英語講座>でした。

「英語講座 国際交流のための英語」

プラズマの基礎から応用を網羅する各分野のプ

呉準席（大阪市立大学）

ラズマエレクトロニクス研究の最前線について３<特別講演>

名の講師陣による専門講座に加え、呉準席先生に「はやぶさ２の大気圏突入」

よる英語講座、藤田和央先生による特別講演、吉藤田和央（宇宙航空研究開発機構）

沼幹朗先生によるオンラインならではの初学者で<特別専門講座>

もすぐに Python を使った数値計算ができる実践「今日からはじめる Python」

形式の特別専門講座を開講しました。

吉沼幹朗（核融合科学研究所）

初日夕刻には２部制のポスターセッションを設け、講師、幹事、ならびに受講者による評価得点

担当幹事（敬称略）

により最優秀賞１名、優秀賞５名を選出しました。

校長：古閑 一憲（九州大学）

またポスターセッション後は講師、幹事がブレー

幹事：松井 信（静岡大学）

クアウトルームを作り懇親会を行いました。

梅澤 義弘（東京エレクトロン宮城）
桑畑 周司（東海大学）

ポスター賞受賞者（敬称略）

明石 治朗（防衛大学校）

最優秀賞：市川景太（名古屋大）

奥山 由（苫小牧工業高専）

優秀賞：小野晋次郎（九州大）、井出祥太（東京大）、古里 友宏（長崎大学）

岩本祐汰（東北大）、末永光（岩手大）、福井貴大

高橋 一弘（室蘭工業大学）

（筑波大）

52

行事案内

第３６回応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科会
プラズマ新領域研究会「計測技術の基礎と最新動向」研究会案内
九州大学

古閑

一憲・東北大学

今回で 36 回目となるプラズマ新領域研究会を開岡田健

ラズマ応用研究との接点と将来展望について討論を催いたします。今回は、「計測技術の基礎と最新動向」

行う。

と題して、主にプラズマエレクトロニクス分野外の講師をお招きして研究会を開催いたします。分科会

プログラム：

HP の他、分科会員の皆様には改めてメールにて案

13:00―13:05 開催の挨拶 岡田 健 先生

内差し上げます。皆様奮ってのご参加をお願い申し

13:05―13:40 猪股 直生 先生上げます。

「マイクロ温度センサを用いた細胞の温度計測」
13:40―14:15 熊谷 明哉 先生

第３６回応用物理学会プラズマエレクトロニクス分「ナノ電気化学イメージングの応用：蓄電デバイス科会プラズマ新領域研究会「計測技術の基礎と最新から細胞の動的観察まで」動向」研究会14:15―14:50 梶本 真司 先生「細胞内の水のラマンイメージングによる細胞内温開催期日：2022 年 2 月 16 日（水）度の可視化」

開催形式：オンライン

15:00―15:35 植田 寛和 先生

担当幹事：岡田 健 先生（東北大学）「表面吸着水素分子の核スピン転換」

概要：

15:35―16:10 戸田 雅也 先生「カンチレバー磁力センサを用いた 3 次元電子スピ

近年のプラズマ応用研究は半導体やナノ材料科学分野だけでなく、バイオ、医療分野においても重要

ン共鳴イメージング」

性が広く認識されている。そのためプラズマ応用研

16:15―16:50 菅原 克明 先生

究において観るべき対象は従来の気相や固体材料に「ARPES による原子層材料の電子状態イメージン

加え、液相、気液界面、固液界面にまで拡張しておグ評価」

り、計測技術の理解が研究を大きく展開する重要な

16:50 17:25 小宮 敦樹 先生

要素になっている。そこで本研究会では、様々な状「光学手法を用いた熱物質移動現象の可視化とマイ態を探る先端計測技術の基礎と最新動向を学び、プ

クロ・ナノスケール高精度計測への挑戦」

53

行事案内
2021 年 第 69 回応用物理学会春季学術講演会

プラズマエレクトロニクス分科会企画
九州大学

古閑

■ はじめに一憲

いていましたが、新たな試みとして、他分野からの2022 年 3 月 22 日（火）〜26 日（土）に青山学院研究者との交流を深めるべく、各中分類プログラム

大学 相模原キャンパス（神奈川県淵野辺市）とオ

編集委員から他分野からの分科内招待講演者を推薦

ンラインのハイブリッドで第 69 回応用物理学会春いただき、各セッションにて招待講演を実施するこ季学術講演会が開催されます。本稿では、プラズマとにいたしました。今回は、山口大学本多謙介先生

エレクトロニクス分科会企画の概要とスケジュールをお招きして半導体ナノ粒子のプラズマ合成とそのを紹介いたします。脱稿時点で未定の部分も含まれ応用についてお話いただく予定です。皆様には是非るため、詳細につきましては応用物理学会の HP でともご参加頂きますよう、お願い申し上げます。

ご確認をお願いいたします。

日程・会場：未定
ご講演者：本多 謙介 先生（山口大学）■（第１日）チュートリアル講演

講演題目：「（仮）半導体ナノ粒子のプラズマ合成と今春季講演会も、講演会初日に、チュートリアル

水素生成光触媒への応用」

講演を開催いたします。第 11 回を迎える今回は、滋賀県立大学の酒井 道先生より、プラズマプロセス■（第２日）プラズマエレクトロニクス賞受賞式と情報工学の融合と言う観点から、プラズマプロセ

講演会２日目には，第 20 回プラズマエレクトロスの制御に ICT 技術をどの様に結びつけるのが良い

ニクス賞の受賞式を予定しています。今回の受賞候

かを現状から将来への展開としてご講義して戴きま

補論文の推薦締め切りは 2021 年 12 月 10 日（金）す。チュートリアル講演は事前予約制となっていまですので、この記事が皆様に届いた時点ではまだ募す。定員がありますので、お早めにご予約頂きます

集中かと思われます。自薦、他薦は問いませんので、ようお願い致します。

是非とも奮って推薦下さいますようお願い致します。

日程：3 月 22 日（火）9:00〜12:10（予定）

詳細は、下記の HP をご確認ください。

会場：未定(http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/pe_award.html)

講師：酒井 道 先生（滋賀県立大学）
講演題目：「（仮）プラズマプロセスと情報工学の融

日程：3 月 23 日（水）13:15〜13:30（予定）合」

場所：分科会企画シンポジウムと同一会場の予定■（第２日）分科内招待講演

n （第２日）分科会企画シンポジウム

従来 PE 分科会企画の分科内招待講演では、産業

学会2日目の23日（水）に、分科会企画シンポジウム

界もしくは大学等の研究者をお招きし講演をいただ「プラズマ・液体相互作用～基礎と応用の最新動向」を54

開催いたします。最近、液体を含むプラズマに関す■ 講演奨励賞授業記念講演

る研究が盛んに行われ、材料分野にとどまらず、医第51回（2021年秋季）学術講演会での講演奨励賞

療分野や農業分野等への応用が進展しているプラズの受賞者がまだ応物事務局から発表されていないた

マエレクトロニクス分野の共通課題です。本シンポめ、受賞者が分からない状況ですが、プラズマエレ

ジウムでは、「プラズマ・液体相互作用」をキーワ

クトロニクスの分野から受賞者が出た場合、記念講ードとして、当該分野の基礎的な理解と、それを支演会が開催されますので、プログラムをご確認のえとするような応用の発展に関する最新動向を、第上、会場まで是非とも足をお運びください。過去の一線で活躍されている各先生方にご講演いただき、講演奨励賞受賞者につきましても下記のHPよりご確

当該分野のさらなる発展に資する機会としたく考え

認頂けます。

ています。是非とも奮ってご参加ください。

(https://www.jsap.or.jp/young-scientist-presentation-award)

日程：3 月 23 日（水）13:30～18:00（予定）■ English Session

会場：未定

今回もプラズマエレクトロニクス分野を横断するトピッ

講演者案（現在調整中・順不同・タイトルは仮題）

ク ス で 「Plasma Electronics English Session 」と 題し た

１．呉先生、白藤先生（大阪市大）English Session を予定しています。留学生の方に限ら「水表面における大気圧プラズマ・液体相互作用」

ず、日本人学生の方も是非とも奮って参加頂ければと

２．鈴木先生、豊田先生（名大）思います。なお、春季には海外招待講演を予定してお「水シールド環境下での大気圧プラズマ・液体相互作用」

りません。

３．杤久保先生（東京都立大）■ おわりに「プラズマ暴露・水表面における電子挙動」

上記案内いたしました行事の他に 3 月 23 日（水）

４．廣岡先生（中部大）「液体金属ダイバータにおけるプラズマ相互作用：核の昼には、大分類意見交換会、PE 分科会のインフォ融合分野での応用」

ーマルミーティング、同日夕刻には恒例の PE 分科

５．伊藤先生、寺嶋先生（東大）

会懇親会も企画される予定です。詳細は担当幹事か「プラズマアシストインクジェットにおけるプラズマ相互作用：材料

ら改めて案内があると思いますが、是非、スケジュ分野での応用」

ールに加えておいて下さい。また、今回も 8.3.プラ６．高島先生、金子先生（東北大）

ズマナノテクノロジーは、9.2、13.6、15.3 とのコー「プラズマ液体スプレーにおけるプラズマ相互作用：

ドシェアセッションを企画しております。他分類と農業分野での応用」のよい交流の機会だと思いますので、奮ってご発表

７．石川先生、堀先生（名大）いただければ幸いです。不明な点がございましたら、「プラズマ活性媒質におけるプラズマ相互作用：医療分野での応用」

お気軽にお問合せください。
連絡先：古閑 一憲（九州大学）
koga@ed.kyushu-u.ac.jp

55

行事案内

14th International Symposium on Advanced Plasma Science andits Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th
International Conference on Plasma-Nano Technology &Science (ISPlasma2022 / IC-PLANTS2022)
名古屋大学

石川

健治，豊田

浩孝，大野

哲靖

ISPlasma は 2009 年 か ら 、 IC-PLANTS は◆ ナノ材料：ナノロッド／ナノチューブ／2 次元

2008 年から毎年開催され、この２つの国際会議

ナノ材料、ポーラス材料、複合材料／傾斜機能材

を 2014 年より合同で開催し初め、先進プラズマ料、表面改質／表面機能化、エネルギー応用／環

ナノ科学、およびナノ材料、窒化物半導体、バイ

境応用，熱電変換材料，電池材料

オ応用の研究を対象分野としている。
本会議では、◆ バイオ応用：プラズマ医療／農業、バイオイメ

世界中から優れた研究者が集い、先進プラズマ科

ージング、バイオデバイス／μTAS／ Lab-on-a-

学、窒化物半導体とナノ・バイオ材料への応用に

Chip、バイオ材料、電気化学デバイス、バイオセ

関連する最新の研究成果を発表し合い、幅広い議

ンサ、バイオデバイス作製技術論する会議し続けている。今年 3 月はコロナ禍に＜Late news 投稿募集＞： 2022 年 1 月頃〆切がよる実会場での開催を断念した｡本会議の来年 3予定されていますので、奮ってご投稿の上，会月開催も世界的なパンデミック中の状況を鑑み、議に参加をお願いいたします。

オンラインのセッションを含めて，感染予防を徹＜プレナリー講演：1 件＞

底した上で，来場できる方を集めて名古屋大学キ・天野浩 (名古屋大学)

ャンパス内での会議開催を計画している｡本分科"Frontier Electronics as “Painkillers” of Our

会員には、是非とも来場参加の上、現地での活発

Society and Environment"

な討論をいただきたい｡＜基調講演：4 件＞

会期：2022 年 3 月 6 日（日）～3 月 10 日（木）・Anthony Bruce Murphy (CSIRO, 豪)

場所：ハイブリッド開催（現地会場とオンライン）"Thermal Plasmas for Metal 3D Printing"・田辺 仁 (東京大学, Japan)＜関連分野＞

・Tim Wernicke (TU Berlin, 独)◆ プラズマ科学：プラズマ源、先進プラズマ計・一木 隆範 (東京大学, Japan)

測技術、モデリングとシミュレーション、液中プ＜受賞講演 3 件＞

ラズマ、薄膜成膜プロセス、エッチングプロセ

・Mark J Kushner (ミシガン大, U. S. A.)ス、エネルギー用途やナノプラズマテクノロジー

・名西 憓之 (立命館大学, Japan)◆ 窒化物半導体：GaN および関連材料の結晶成

・(今年度 プラズマ殿堂賞受賞者)

長、評価技術、デバイスプロセス、光デバイス、＜チュートリアル：4 件＞

電子デバイス、パワーデバイス

・真壁 利明 (慶応大学, Japan)

56

"Introduction to modeling of low-temperature
rf-plasmas
interacting
withsurface:
exploration for hidden and indiscernible
processes"
・宇佐美 徳隆(名古屋大学, Japan)"Impactofplasmatreatmentonheterostructures for silicon-based solar cells"
・高木浩一 (岩手大学, Japan)"Design of pulsed power generator and its
applications for agriculture and foodprocessing"・只友 一行(山口大学, Japan)

・Arul Kumaran (南洋理工大学, Singapore)・中西 和樹 (名古屋大学, Japan)
・Biplab Sarkar (インド工科大学, India)
Nanomaterials
・柚原 淳司 (名古屋大学, Japan)
・日比野 浩樹 (関西学院大学, Japan)
・宮内 雄平 (京都大学, Japan)
・上野 和良 (芝浦工業大学, Japan)
・Junho Choi (東京大学, Japan)
・冨岡 克広 (北海道大学, Japan)
・Feng Liang (昆明理工大学, China)
・吾郷 浩樹 (九州大学, Japan)
・Dang Feng (山東大学, China)
・喜多 隆 (神戸大学, Japan)
・宮副 裕之 (IBM Corporation, U.S.A.)・Hari Nadendla (Brunel 大, U.K)
Bio Applications
・高橋 克幸 (岩手大学, Japan)
・Pankaj Attri (九州大学, Japan)
・平原 潔 (千葉大学, Japan)
・伊藤 昌文 (名城大学, Japan)
・山下 朗 (自然科学研究機構, Japan)
・坂田 利弥 (東京大学, Japan)
・Sander Bekeschus (INP Greifswald,
Germany)
・Cristina Canal (カタルーニャ工科大学, Spain)
・笹川 清隆(奈良先端科学技術大学院大, Japan)
・Yun-Chien Cheng (国立陽明交通大学,
Taiwan)・神野 雅文 (愛媛大学, Japan)
・清水 鉄司 (産総研 (AIST), Japan)
ほか（仮）Data-driven＜アレンジセッション１：
scientific approaches on plasma sciences＞
・若林 勇希 (NTT 物性科学基礎研, Japan)
・西島 大輔(UCSD, U.S.A.)・浜口 智志 (大阪大学, Japan)
・川口 悟(成蹊大学, Japan)
・Hae June Lee (Pusan 国大, Korea)
・Min-Suk Cha (KAUST, Saudi Arabia)（仮）Building＜アレンジセッション２：
bridges btw academic and industrial
researches＞
・永田 賢吾 (名古屋大学・豊田合成, Japan)
・田中 亮 (富士電機, Japan)＜招待講演＞
Plasma Science & Technologies
・Moon Soo Bak (成均館大学, Korea)
・Wei-Hung Chiang (国立台湾科技大学,
Taiwan)・富田 健太郎 (北海道大学, Japan)
・Dingxin Liu (Xi'an Jiaotong University, China)
・R. Mohan Sankaran (イリノイ大学, U.S.A.)
・David B Go (Notre Dame 大, U.S.A.)・佐々木 浩一 (北海道大学, Japan)
・野崎 智洋 (東京工業大学, Japan)
・春山 哲也 (九州工業大, Japan)
・田中 学 (九州大学, Japan)
・安原 亮 (核融合研, Japan)
・石塚 隆弘 (芝浦工大, Japan)
・Jan Lancok (CAS, Czech Republic)
・高島 圭介 (Tohoku University, Japan)
・Miran Mozetic (Jozef Stefan 研, Slovenia)
・Sander Nijdam (TU/e, The Netherland)・Achim von Keudell (Ruhr 大, Germany)
Nitride Semiconductors
・Jared Kearns (Sony, Japan)
・藤岡 洋 (東京大学, Japan)
・上山 智 (名城大学, Japan)
・Henryk Turki (Unipress, Poland)＜メインシンポジウム参加費＞

早期登録(~2022/1/31) 事前・当日登録
一般： 45,000 円

50,000 円

学生： 15,000 円

20,000 円＜チュートリアル参加費＞

・メインシンポジウム参加者
一般： 1,000 円、学生： 1,000 円
・チュートリアルのみ参加者
一般： 10,000 円、学生： 5,000 円＜問合せ先＞

ISPlasma2022 / IC-PLANTS2022 事務局
TEL: 052-581-3241／ FAX: 052-581-5585
E-mail: isplasma2022@intergroup.co.jp
Website: http:// isplasma.jp

57

行事案内

75th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2022)
11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)
東北大学 金子俊郎 (GEC 2022 Secretary, LOC Chair)
東京都立大学 杤久保文嘉 (ICRP-11 IOC Chair)
第 75 回気体エレクトロニクス会議（GEC 2022）

GEC が ICRP との合同開催となり、さらに初と第 11 回反応性プラズマ国際会議（ICRP-11）のめて日本国内で開催されることになりましたので、合同会議が、2022 年 10 月 3 日から 10 月 7 日の両会議の良好な関係を維持しながら、当分科会が日程にて、仙台国際センターにて開催されます。

益々発展するためにも、多くの会員の皆様のご参

GEC は、アメリカ物理学会（APS）の Division

加をお願い申し上げます。新型コロナウイルス感

of Atomic, Molecular and Optical Physics の傘

染症の状況にもよりますが、現在のところは対面

下、低温プラズマの物理と化学、及び、その応用での現地開催を予定しております（感染状況が悪を主たるテーマとして毎年開催される会議で、プ化した場合には、完全オンラインへ変更します）。

ラズマ医療・農業を含むプラズマバイオテクノロ

プログラムとしても日本開催の特色となるワーク

ジー、マルチフェーズプラズマ、環境応用などのショップやイベントを企画したいと思っておりま

新分野の講演も数多く行われています。当分科会

すので、是非仙台にお越しいただき、研究とともとの親和性も高く、これまでに ICRP との合同会に皆様同士の対面での情報交換も楽しんでいただ

議が３回行われていますが、今回の 4 回目の合同

きたいと思います。

会議で、初めて日本国内で開催されることになり

なお、発表申込および予稿投稿の締め切りは、ました。GEC には、日本から毎年多くの皆様が参

まだ正式には決まっておりませんが、2022 年 6 月

加しており、ここ数年は米国に次ぐ参加人数であ上旬の予定です。

りまして、当分科会会員にとって大変有益な会議【重要日程】

であるといえます。

● 発表申込および予稿投稿の締切：

今回の合同会議では、GEC と ICRP のそれぞ

2022 年 6 月上旬予定

れの委員会から推薦された合計 60 件強の招待講● GEC Student Award for Excellence と演が予定されており、原子・分子の基礎過程からStudent Travel Grant の締切：

低温プラズマ応用まで質の高い講演が期待されま

2022 年 6 月上旬予定● GEC Student-Poster Prizes の締切：す。
GEC では、優れた研究を行う学生を奨励するた

2022 年 9 月下旬予定

めに、
GEC Student Award for Excellence と GEC● 会議会期：2022 年 10 月 3 日〜10 月 7 日

Student-Poster Prizes という賞が設けられてい【会議ホームページ】

ます。前者は口頭発表、後者はポスター発表が対[GEC]https://www.apsgec.org/gec2022/

象で、いずれも事前申請が必要となります（詳細[ICRP]https://www.ecei.tohoku.ac.jp/plasma/IC

は今後掲載予定の GEC の HP を参照して下さい）。 RP-11/58

第 20 回プラズマエレクトロニクス賞受賞候補論文の募集
大阪大学
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科

節原裕一
l

当該論文の内容が発表されたプラズマエレクトロニクス分科

会では、毎年、プラズマエレクトロニクスに関す会が主催する研究会、国際会議等の会議録（Program book やる学術的あるいは工業的に価値のある優秀な論

Abstract 集、Proceedings 等の会議に関する記載箇所[会議名、文を対象とし、その著者に「プラズマエレクトロ

日付、場所等]ならびに当該発表が記されたプログラムの箇所）

ニクス賞」を贈り表彰を行っています。候補論文のコピー、２件以内。

は自薦・他薦を問いません。下記の要領により奮lってご応募下さい。

著者全員について和文で以下を記入した書類。氏名、会員番
号、勤務先（連絡先）

l

授賞対象論文推薦書（自薦、他薦を問わず、論文の特徴、優れた点などを400 字程度でわかりやすく記述）

プラズマエレクトロニクス分科会が主催する研究会、国際会議などで発表され、かつ 2019 年、表彰

2020 年、2021 年に発行の国際的な学術刊行物

2022 年春季応用物理学関係連合講演会期間中（JJAP など）に掲載された原著論文。受賞者は、に行う予定です。受賞者には賞状および記念品を

表彰の時点においてプラズマエレクトロニクス

贈呈いたします。また、2022 年秋季応用物理学会分科会会員あるいは応用物理学会会員とする。

学術講演会期間中に記念講演を依頼する予定です。

プラズマエレクトロニクス賞はプラズマエレ
クトロニクス分野の優秀な論文の著者に授与さ書類提出期限2021 年 12 月 10 日（金）当日消印有効れる論文賞ですが、プラズマエレクトロニクス分科会が強く関与する会議等（直接に主催する会議、応物学会学術講演会の大分類 8. プラズマ

書類提出先

エレクトロニクス等）での発表や議論を通じて〒567-0047 大阪府茨木市美穂ヶ丘11-1

生み出された優れた論文を表彰したいという考大阪大学接合科学研究所

えに基づき、賞規定に「プラズマエレクトロニク

節原 裕一

ス分科会が主催する研究会、国際会議などで発（プラズマエレクトロニクス分科会幹事長）

表され」という要件が付与されています。

※ 封筒表に「プラズマエレクトロニクス賞応募書類在中」と朱書のこと

提出書類
以下の書類各１部、およびそれらの電子ファイル(PDF ファイル) 一式l

なお、プラズマエレクトロニクス賞規定他、詳細な情報については、プラズマエレクトロニクス
分科会のホームページ
http://annex.jsap.or.jp/plasma/

候補論文別刷（原著論文 1 件、コピーでも可、第１ページに候補論文と朱書する。関連論文があれば２件以内の別刷をご覧ください。

またはコピーを添付）59

2021 年度(令和 3 年度)プラズマエレクトロニクス分科会幹事名簿
任期
幹事長
留任
2020.4～2022.3

氏名
節原

古閑

裕一

一憲

栗原

一彰

明石

治朗

所属

所在地・電話電子メールアドレス

大阪大学
接合科学研究所〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘１１－１
TEL: 06-6879-8641

setsuhara@jwri.osakau.ac.jp〒８１９－０３９５
福岡県福岡市西区本岡７４４
TEL: 092-802-3716

koga@ed.kyushu-u.ac.jp〒512-8550
三重県四日市市山之一色町 800 番
地
TEL: 059-390-8733

kazuaki.kurihara@kioxia.com

九州大学
システム情報科学研究院 情報エレクト
ロニクス部門／自然科学研究機構 新分野創成センター
キオクシア(株)
メモリ技術研究所
プロセス技術研究センター
プロセス開発第一部
防衛大学校
理工学研究科 境界科学専攻

阿部知央

キオクシア株式会社
先端メモリ開発センター
先端メモリプロセス開発部

市來

龍大

大分大学
理工学部 電気電子コース

川那辺

梅澤

哲雄

義弘

(株)日立製作所
ナノプロセス研究部
東京エレクトロン宮城株式会社
APAC 設計開発部
共通要素技術 Gr

大久保 雄司大阪大学
大学院工学研究科
附属精密工学研究センター

岡田

健

東北大学
大学院工学研究科 電子工学専攻

金 載浩

産業技術総合研究所
電子光基礎技術研究部門
先進プラズマプロセスグループ

桑畑

周司

東海大学
工学部 電気電子工学科

白岩

利章

神野

雅文

中村

圭二

中部大学
工学部 電気電子システム工学科

松井

信

静岡大学
工学部 機械工学科

ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)第２研究部門 ２部
愛媛大学
大学院理工学研究科
電子情報工学専攻

60

akashi@nda.ac.jp〒512-8550
三重県四日市市山之一色町 800 番
地
TEL: 059-390-4305〒870-1192
大分市旦野原 700
TEL: 097-554-7826〒185-8601
東京都国分寺市東恋ヶ窪１－２８
０
TEL: 042-323-1111〒981-3629
宮城県黒川郡大和町テクノヒルズ 1番
TEL：022-346-3158〒565-0871
大阪府吹田市山田丘 2-1
M1 棟 423 号室
TEL: 06-6879-7294〒980-7579
宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉 66-05
TEL: 022-795-7122〒305-8568
茨城県つくば市梅園 1-1-1 中央第2
TEL: 029-861-4889〒259-1292
神奈川県平塚市北金目 4-1-1
TEL: 0463-58-1211 (内線 6242)〒243-0014
神奈川県厚木市旭町 4-14-1
TEL: 050-3141-5288〒790-8577
愛媛県松山市文京町 3
TEL: 089-927-9769〒487-8501
愛知県春日井市松本町 1200
TEL: 0568-51-9301〒432-8561
静岡県浜松市中区城北 3-5-1
総合研究棟 R503
TEL: 053-478-1064

chihiro.abe@kioxia.com

ryu-ichiki@oita-u.ac.jp

tetsuo.kawanabe.hq@hitachi.
comyoshihiro.umezawa@tel.com

okubo@upst.eng.osakau.ac.jp

takeru.okada@tohoku.ac.jp

jaeho.kim@aist.go.jp

kuwahata@tokai-u.jp

Toshiaki.Shiraiwa@sony.com

mjin@mayu.ee.ehime-u.ac.jp

nakamura@isc.chubu.ac.jp

matsui.makoto@shizuoka.ac.jp新任2021.4～2023.3

石川

健治

名古屋大学
低温プラズマ科学研究センター（工学研究科 電子工学専攻）

奥山由

苫小牧工業高等専門学校
創造工学科 電気電子系

加藤

俊顕

東北大学
大学院工学研究科
電子工学専攻熊谷慎也

名城大学理
工学部 電気電子工学科

古免

久弥

熊本大学
先進マグネシウム国際研究センター

末次

大輔

パナソニック株式会社
マニュファクチャリングソリューション
センター

高橋和生

京都工芸繊維大学
電気電子工学系

髙橋一弘

室蘭工業大学
大学院工学研究科 もの創造系領域
電気通信システムユニット

竹内希

東京工業大学
工学院電気電子系

田中 康規

金沢大学
理工研究域 電子情報通信学系

中塚 滋

ウエスタンデジタル合同会社

古里友宏

長崎大学
大学院工学研究科 電気・情報科学部門

弓削

三菱電機(株)
先端技術総合研究所
環境システム技術部 放電応用グループ

政郎

61〒464-8601
愛知県名古屋市千種区不老町
NIC４階
TEL: 052-788-6077〒059-1275
北海道苫小牧市錦岡 443 番地
TEL: 0144-67-8074〒980-8579
宮城県仙台市青葉区荒巻青葉 6-605〒468-8511
名古屋市天白区塩釜口一丁目 501 番
地
TEL: 052-832-1151（代表）〒860-8555
熊本県熊本市中央区黒髪 2-39-1
TEL: 096-342-3738〒571-8502
大阪府門真市松葉町２番７号
TEL: 080-9940-4637〒606-8585
京都市左京区松ヶ崎御所海道町
TEL: 075-724-7418〒050-8585
北海道室蘭市水元町 27-1
TEL: 0143-46-5560〒152-8552
東京都目黒区大岡山 2-12-1-S3-4
TEL: 03-5734-2566〒920-1192
石川県金沢市角間町
TEL: 076-234-4846〒512-8550
三重県四日市市山之一色町 800 番
地
TEL: 059-390-9941〒852-8521
長崎市文教町 1-14
TEL: 095-819-2560〒661-8661
尼崎市塚口本町 8-1-1
TEL: 06-6497-2745

ishikawa@plasma.engg.nagoya-u.ac.jp
yokuyama@tomakomai.kosenac.jp
kato12@ecei.tohoku.ac.jp

skumagai@meijo-u.ac.jp

komen@mech.kumamoto-u.ac.jp
suetsugu.daisuke@jp.panason
ic.comtakahash@kit.jp
ktakahashi@mmm.muroranit.ac.jp
takeuchi@ee.e.titech.ac.jp
tanaka@ec.t.kanazawau.ac.jp

shigeru.nakatsuka@wdc.com

t-furusato@nagasaki-u.ac.jp
Yuge.Seiro@ay.MitsubishiEle
ctric.co.jp

2021 年度(令和 3 年度)分科会幹事役割分担
役割分担

留任

新任

幹事長

節原

裕一

大阪大学

副幹事長

古閑

一憲

九州大学

田中

康規

金沢大学

栗原

一彰

キオクシア

1. 庶務・分科会ミーティング

市來

龍太

大分大学

竹内

希

東京工業大学2. 春秋講演会シンポジウム

古閑

一憲

九州大学

田中

康規

金沢大学

シンポジウム・海外招待講演

栗原

一彰

キオクシア

石川

健治

名古屋大学

分科内招待講演

神野

雅文

愛媛大学

中塚

滋

ウェスタンデジタル

チュートリアル講義

金

産業技術総合研究所

熊谷

慎也

名城大学

載浩

中村

圭二

中部大学

栗原

一彰

キオクシア

田中

康規

金沢大学

中村

圭二

中部大学

加藤

俊顕

東北大学

2021 年度：SPP（2022 年 1 月）

市來

龍太

大分大学

熊谷

慎也

名城大学

2022 年度：ICRP/GEC

明石

治朗

防衛大学校

石川

健治

名古屋大学

大阪大学

古免

久弥

熊本大学

3. プラズマプロセシング研究会

大久保

雄司

4. 光源物性とその応用研究会
5. プラズマ新領域研究会

6. インキュベーションホール

7. プラズマエレクトロニクス講習会

古閑

一憲

九州大学

奥山

由

苫小牧工業高等専門学校

神野

雅文

愛媛大学

古免

久弥

熊本大学

松井

信

静岡大学

高橋

一弘

室蘭工業大学

岡田

健

東北大学

古閑

一憲

九州大学

奥山

由

苫小牧工業高等専門学校

松井

信

静岡大学

古里

友宏

長崎大学

梅澤

義弘

東京エレクトロン宮城高橋一弘

室蘭工業大学

桑畑

周司

東海大学

一彰

キオクシア

髙橋

和生

京都工芸繊維大学

産業技術総合研究所

末次

大輔

パナソニック株式会社

キオクシア

中塚

滋

ウェスタンデジタル

弓削

政郎

三菱電機

石川

健治

名古屋大学

髙橋

和生

京都工芸繊維大学

末次

大輔

パナソニック株式会社

栗原
金

載浩

阿部

知央

白岩

利章

梅澤

義弘

川那辺
8. 会誌編集・書記

岡田

哲雄
健

ソニーセミコンダクタ
ソリューションズ
東京エレクトロン宮城
日立製作所
東北大学
ソニーセミコンダクタ

白岩利章

9. ホームページ

市來

龍大

大分大学

竹内

希

東京工業大学10. 会計

桑畑

周司

東海大学

古里

友宏

長崎大学

11. プラズマエレクトロニクス賞

節原

裕一

大阪大学

節原

裕一

大阪大学

12. アカデミックロードマップ

節原

裕一

大阪大学

田中

康規

金沢大学

古閑

一憲

九州大学

栗原

一彰

キオクシア

（戦略企画室）ソリューションズ

13. PE 懇親会

川那辺

哲雄

日立製作所

弓削

政郎

三菱電機

2021 年度 秋：名城大, 春：青学

大久保

雄司

大阪大学

竹内

希

東京工業大学

GEC 委員（オブザーバー）酒井道

滋賀県立大学

金子

俊郎

東北大学

62

2021 年度（令和 3 年度）分科会関連の各種世話人・委員
１．応用物理学会講演会プログラム編集委員
8

大分類代表

石島 達夫

（金沢大）

8.1

プラズマ生成・診断

富田 健太郎（北大）

8.2

プラズマ成膜・エッチング・表面処理

竹中 弘祐

（阪大）

大村 光広

（キオクシア）

8.3

プラズマナノテクノロジー

古閑 一憲

（九大）

8.4

プラズマライフサイエンス

北嶋 武

（防衛大）

8.5

プラズマ現象・新応用・融合分野

栗田 弘史（豊橋技科⼤）呉 準席（大阪市大）

8.6

Plasma Electronics English Session

林 信哉

（九大）

石島 達夫

（金沢大）

辰巳 哲也（副会長）（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）杤久保 文嘉

（都立大）

赤塚 洋

（東工大）

石島 達夫

（金沢大）

王 斗艶

（熊本大）

熊谷 慎也

（名城大）

佐々木 勇輔

（九大）

佐藤 考紀

（室蘭工大）

杤久保 文嘉

（都立大）

金子 俊郎

（東北大）

酒井 道

（滋賀県立大）江利口 浩二（京大）

久保井 信行（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）

斧 高一

（阪大）

栗原 一彰

（キオクシア）

太田 貴之

（名城大）

布村 正太

（産総研）

石島 達夫

（金沢大）

一木 隆範

（東大）

２．応用物理学会理事

３．応用物理学会代議員（分科会推薦，各支部推薦等）

４．GEC 組織委員会委員

５．応用物理学会本部委員会
機関誌企画・編集委員会
論文誌企画・編集委員会

講演会企画・運営委員会

熊谷 慎也

（名城大）

表彰委員会

辰巳 哲也

（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）学術・社会連携委員会

辰巳 哲也（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）業績賞委員会辰巳 哲也（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）６．代議員推薦委員会

木下 啓蔵（アイオーコア）

７．応用物理学会将来基金委員会

杤久保 文嘉（都立大）８．フェロー
応用物理学会フェロー名簿
https://www.jsap.or.jp/jsap-fellow/fellow-members
をご参照下さい。

63

活動報告
本幹事会は、コロナ禍のため Webex を用いたオンライン会議にて 2021 年 9 月 11 日（土）に開催され、大分類意見交換会に引き続き、インフォーマルミーティングとして実施された。議事内容を下記にまとめる。
1. 分科会 30 周年記念事業

6. プラズマプロセシング研究会

・会誌 12 月号「30 周年記念特集」

田中副幹事長（金沢大）からオンライン開催につ高橋幹事（京都工繊大）より内容の説明があった。

いて、またショートオーラルセッション（７分）

・アーカイブズ出版

が奨励賞の対象であり、プロシーディングズは２

古閑副幹事長（九大）から現状説明があった。

ページまでで１ページでも可である旨が説明され・プラズマエレクトロニクス分野のロードマップ

た。

節原幹事長（阪大）から進め方と今後のスケジュ

7. 国際会議 ICRP-11/GEC2022 準備状況報告

ールについて説明があった。

杤久保先生（都立大）から仙台誘致の経緯および・PE 分科会ロゴマーク作成

委員会構成と委員長職について説明があり、委員募集時に図案の説明を求めることと、指導教員が会構成について本会議で承認された。
金子先生（東PE 分科会員であれば学生は応募可能であること

北大）から開催日程・場所について、2022 年 10が決定された。

月 3-7 日にできれば仙台で現地開催の予定である

2. 春季応用物理学会分科会企画

旨が説明された。酒井先生（滋賀県立大）からプ

古閑副幹事長からチュートリアル、シンポジウム

ログラム委員会の構成について説明があった。

「プラズマ・液体相互作用」、招待講演の概要説明

8. PE 分科会会報の記載内容についてがあった。栗原副幹事長（キオクシア）からチュ

節原委員長からフェロー欄掲載の経緯、誤記載、

ートリアルテーマ（DX 関係、プラズマ計測）の講

会員からいただいたご意見について、またフェロ

演候補者について提案があった。

ーは分科会からの推薦ではない旨の説明があり、

3. インキュベーションホール

次号よりフェロー欄を削除する旨が説明された。

松井幹事（静岡大）から収支報告案、参加者（５9. 関連会議について

６名）、
ポスターセッション賞について報告があっ

・GEC2021 (2021.10.4-8)

た。懇親会を盛り上げる方法について意見交換が・DPS2021 (2021.11.18-19)

なされ、学生に企画してもらう等の意見が出され・ISPlasma2022/IC-PLANTS2022 (2022.3.6-10)た。

・2022 MRS Spring Meeting (2022.5.8-13)

4. プラズマ新領域研究会

杤久保先生よりハワイ開催について説明された。

計測技術（岡田幹事（東北大））が企画進行中、プ

10. 第 20 回プラズマエレクトロニクス賞の候補

ラズマアグリ（神野幹事（愛媛大））は対面で検討

論文募集

中、宇宙資源のその場利用（松井幹事）について

節原幹事長より募集要項の説明がなされた。

11. その他
分科会共通規程１２条により、６年に１度事
5. プラズマエレクトロニクス講習会
業内容を理事会に報告して継続が承認される
栗原副幹事長から企画内容について説明があった。
こととなった。そのため，HP にミーティンも企画中である旨の報告があった。

64

グの資料をアーカイブスとして残していくことが確認された。また榊田様（産総研）より，
日本学術会議の「科学夢ロードマップ」について情報提供があった。
（記：市來龍太 (大分大学））

65

プラズマエレクトロニクス関連会議日程
コロナウイルス感染症拡大の影響で、開催日程および開催形態が不確定なものも見受けられます。詳細については、各会議の web ページを参照ください。

【 国際会議 】
2022.3.6 - 10
第 14 回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム／
第 15 回プラズマナノ科学技術国際会議（ISPlasma2022 / IC-PLANTS）
名古屋大学,愛知県名古屋市
http://www.isplasma.jp/index.html
2022.6.11 - 15
XXV Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
Paris, France
https://escampig2020.sciencesconf.org/
2022.7.24 - 29
Plasma Processing Science, Gordon Research Conference
Andover, NH, USA
https://www.grc.org/plasma-processing-science-conference/2022/
2022.10.3 - 7
75th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2022) /11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)
Sendai International Center, Sendai
https://www.ecei.tohoku.ac.jp/plasma/ICRP-11/【 国内会議・会合 】
2022. 1.24 - 26
第 39 回プラズマプロセシング研究会／
第 34 回プラズマ材料科学シンポジウム（SPP-39/SPSM34）
青山学院大学 相模原キャンパス,神奈川県相模原市

https://spp39.gakkai-gran.jp/index.html
2022. 2.16
第 36 回プラズマ新領域研究会「計測技術の基礎と最新動向」
オンライン
http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/2021/shinryoiki36.pdf
2022. 3.22 - 26
第 69 回応用物理学会春季学術講演会
青山学院大学 相模原キャンパス,神奈川県相模原市
https://meeting.jsap.or.jp/
2022. 3.22 - 26
第 83 回応用物理学会秋季学術講演会
東北大学 川内キャンパス,宮城県仙台市
https://www.jsap.or.jp/jsap-meeting/future66

当会報への広告掲載について
応用物理学会 プラズマエレクトロニス分科会では、分科会会員への情報提供を旨とし、会報への広告出展を募集しております。広告の掲載にあたっては下記のような条件としておりますので、是非ご検
討の程よろしくお願い申上げます。
の場合も申し込み時点で一括請求とさせて頂き

1. 契約の種類ます。

(A) 年間契約コース

1 年間にわたる掲載。通常は 6 月、12 月(A) 年間契約(B) 単号契約に発行される 2 号にわたって掲載されま

コース

コース

5 万円

4 万円

（4 万円）（3 万円）

8 万円

5 万円（6 万円）（4 万円）

2 ページ

12 万円

8 万円

(見開き指定可)（9 万円）（6 万円）

裏表紙

12 万円

8 万円

（9 万円）（6 万円）

す。掲載号ごとに新規原稿に差替えできま

半ページ

す。
(B) 単号契約コース

1 ページ

特定の号のみの掲載。
2. 掲載位置

掲載位置は編集後記の後になります。基本五十音順の掲載になりますが、レイアウト等の都合で適宜変更になる可能性があります。何卒ご了承く※カッコ内は賛助会員企業

ださい。また裏表紙への依頼がない場合には年間契約の中からまわす場合があります。不都合があ

5. 問い合わせ先る場合にはご相談ください。

〒113-0031 東京都文区根津 1-21-5
応物会館 2 階

3. 入稿

公益社団法人 応用物理学会

原稿は A4 版ネガ、もしくは電子ファイル（pdf）

TEL: 03-3828-7723とします。これ以外の場合、かかる費用を別途請

FAX: 03-3823-1810

求させて頂く場合があります。

Email: divisions@jsap.or.jp
HP: http://annex.jsap.or.jp/plasma/

4. 広告掲載料

掲載料は下表の通りとします。なお、年間契約

67

編集後記
かつてない状況を目の当たりにしながら、2 年

集うこの分科会、この逆境の中でも 30 周年からが過ぎようとしている今日、変わらずにプラズマの意気揚々としたスタートを切ろうとでもする様エレクトロニクス分科会会報 No.75 を発行するこに見えます。いまだ先の不安を拭いきれない情勢とができましたこと、分科会会員のみなさまに厚にて、それでも前へと進もうとするみなさまを勇く御礼申し上げます。また、ご寄稿下さった著者

気づける記事です。

の皆様が、貴重なお時間を割いて下さり、大部のまた、みなさまには、次回学術講演会の分科会

お仕事を快く引き受けて下さいましたことには感

企画、および ISPlasma/IC-PLANTS、GEC/ICRP

謝の念に堪えません。

のご案内をご一読下さり、是非ご参加下さいます分科会発足 30 周年を記念し、3 月の学術講演会

ようお願いいたします。いずれも当分科会にとっのシンポジウムに続いて、分科会幹事長の企画、て、みなさまをつなぎ、学術を発展させる貴重な監修のもと、特集記事をお届けしております。

機会です。ICRP は、特集記事にて著者の方々が、学生の頃より当分科会にお世話になった身としキーワードとして掲げられている通りのものです。

て、全ての記事を万感の思いにて拝読いたしまし今回、国内開催となることは、学生さん、若手研た。一つの組織、また一つの分野の変遷と発展が究者を含めてこれまで以上に多くの人がふれあえ示されると同時に、そこで活躍されたみなさまのる格好の場をつくることでしょう。

思いが鮮烈に著されており、学生さんを含め、多本号の原稿執筆を快く引き受けてくださいまし

くの方の目にふれることを願ってやみません。

た著者のみなさま、幹事長、副幹事長をはじめ、今回、特集記事を編集するに当たり、学生のた分科会会員のみなさまに重ねて感謝申し上げます。

めのページ、研究室紹介、研究紹介の欄をお休み

分科会の活動全ては、応用物理学会事務局分科会

しております。次号以降、分科会で活発に活動さ担当の小田様よりの支援なしでは、維持できない

れるみなさまの様子をこれらの欄でお伝えいたしものです、この場にてお礼申し上げます。なお、ます。

分科会会報では、各種報告や行事案内を随時募集

会議報告からは、国外、国内共に、人の移動がしております。今後ともプラズマエレクトロニク

制限される中でも、多くの方が活発に議論された

ス分科会会報をよろしくお願い申し上げます。

様子が伝わってきます。必ずしも全ての分野、会
議がここまで盛況にはならなかったことを伝え聞く反面、当分科会のみなさまの活躍ぶりが際立っ

令和 3 年度会報編集担当：ているようにも感じます。これまでのさまざまな

末次、岡田、白岩、高橋（文責）

障壁を画期的なアイデアで乗り切ったみなさまが68プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.75
2021年 12月15日 発行
編集：公益社団法人応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科会
幹事長 節原 裕一
発行：公益社団法人応用物理学会〒113-0031 東京都文京区根津一丁目 21 番 5 号
応物会館（©2021 無断転載を禁ず）

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