プラズマエレクトロニクス分科会会報 No. 69
2018 年（平成 30 年）12 月発行
内藤、山家、大島、向笠
目次

巻頭言アレックスとの出会い

名古屋大学

堀 勝

1

名古屋大学

大野 哲靖

5

名古屋大学

堀 勝

7

東京工業大学

野崎 智洋

8

東京大学

神原 淳

11

大阪大学

浜口 智志

18

首都大学東京中川 雄介

20

室蘭工業大学佐藤 孝紀

21

金沢工業大学

大澤 直樹

23

コンソーシアム紹介
プラズマバイオコンソーシアムの紹介
センター紹介文部科学省共同利用・共同研究拠点としての「低温プラズマ科学研究センター」の創設と共同研究の公募
研究室紹介
機械工学におけるプラズマ研究
学生のためのページ
プラズマスプレーを用いたリチウムイオン電池材料
開発
国際会議報告7th International Conference on Plasma Medicine(ICPM-7)24th Europhysics Conference on the Atomic andMolecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG
2018)
22nd International Conference on Gas Discharges
and their Applications (GD2018)
The 16th International

Symposium

on

High

Pressure Low Temperature Plasma Chemistry(HAKONE XVI)iAVS 第 65 回国際シンポジウム＆展示会(AVS 65)報告

九州大学

古閑 一憲

24

71st Annual Gaseous Electronics Conference (GEC

首都大学東京杤久保 文嘉

25

金沢大学

上杉 喜彦

26

40th International Symposium on Dry Process (DPS

ソニーセミコンダ

深沢 正永

27

2018)

クタソリューショ

東京工業大学赤塚 洋

29

豊橋技術科学大学

針谷 達

2018 年 第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
特別シンポジウム「最先端プラズマ科学技術が創る未来社会」報告

九州大学

古閑 一憲

30

2018 年 第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科企画シンポジウム「プラズマ・インフォマティクス 〜 ビッグデータ解析の活用によるプラズマ科学の発展 〜」

大阪大学

浜口 智志

31

2018 年 第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
第 18 回分科内招待講演報告

東京工業大学赤塚 洋

322018 年 第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科内 海外招待講演報告

名古屋大学

近藤 博基

33

佐世保工業高等専

柳生 義人

2018)
第 2 回アジア太平洋プラズマ物理学国際会議(AAPPS-DPP 2018)開催報告

ンズ（株）
国内会議報告第 12 回プラズマエレクトロニクスインキュベーショ
ンホール

門学校
行事案内
2019 年 第 66 回応用物理学会春季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科会企画

東京工業大学赤塚 洋

34

11th International Symposium on Advanced Plasma
Science and its Applications for Nitrides andNanomaterials / 12th International Conference on
Plasma-Nano
Technology&
Science(ISPlasma2019/IC-PLANTS2019)

名古屋大学

宮﨑 誠一

36

24th International
Chemistry (ISPC24)

東京工業大学

野崎 智洋

38

Symposiumon

Plasmaii

XXXVI International Conference on Phenomena in
Ionized Gases (XXXVI ICPIG) / 10th International
Conference on Reactive Plasmas (ICRP10)

北海道大学

佐々木 浩一39

名城大学

平松 美根男40

掲示板
第 17 回プラズマエレクトロニクス賞
受賞候補論文の募集
平成 30 年度プラズマエレクトロニクス分科会

42

幹事名簿
平成 30 年度分科会幹事役割分担44

平成 30 年度分科会関連の各種世話人・委員

45

活動報告

47

プラズマエレクトロニクス関連会議日程

49

当会報への広告掲載について

51

編集後記

52

iii

巻頭言

アレックスとの出会い
名古屋大学
はじめに

未来社会創造機構

堀勝～大学教授の教育とは？～て睡眠の毎日を繰り返していました。ところが、21 世紀 COE における高度人材育成拠点形成プ

奇妙なことに、就眠するや否や、ゲーム機でおな

ログラムを皮切りに、これまでに、いくつかの大じみのスーパーマリオ（参考図１）が出てきて、型教育プログラムが継続的に実施されてきました。 実験を始めるのです。夢の中で、私とスーパーマ
本年度は、企業を導入した新たなスキームの大リオが「ああでもない、こうでもない」といろい型教育プログラム「卓越大学院」の採択結果が公ろ議論しながら研究を進めました。実際は、自己表されました。この大型教育拠点形成プログラムの頭脳の中で、何らかのバーチャルな実験を遂行の公募において、プラズマエレクトロニクス分野しているのですが、非常に厳しい議論を戦わせなで活躍する金子俊郎教授（東北大学）が大学の代がら、マリオが実験を遂行し、自分が指示してい表者として採択されているのを見つけ、次世代をるという構図になっていました。
残念ながら、
朝、

切り拓く人材が、本分野から輩出されていること目を覚ますとその内容はほとんど忘失しているのを大変嬉しく思いました。

ですが、ほぼ毎晩楽しむことができ、僅かですが、

名古屋大学においても、「卓越大学院」の申請に

現実の実験等にフィードバックすることができた

おいては、長い時間をかけて喧々諤々の教育論がことを覚えています。

議論され、大型教育プログラムにおける学生、特教授昇進後の 5 年間は、研究員と秘書と学生とに博士後期課程の学生教育のための、盛り沢山ので研究室を運営し、教育研究のスタッフを置きま画期的なプログラムが準備されています。その議せんでしたが、毎晩マリオとの議論は欠かさずに論の中で、私は「大学教授の教育」の策定の必要過ごしました。5 年後、研究室に初めてスタッフ

性について強く発言すると同時に、自己の過去をを迎えると、研究現場での教育は、スタッフと共回顧しながら、「大学教授の教育とは何か？」につ有することになり、マリオは急に姿を見せなくな

いて、思案することがあります。

りました。また、私も研究の現場から次第に距離をおき、デスクワークが多くなっていきました。

マリオの登場
大学の教育研究者にとって、教授になる前後は、

マリオ≒アレックスとの再会？

非常に重要な人生の節目の時期に当たります。私

さて、2010 年ごろの国際会議で、当時プラズマも教授に昇進する 5 年前と昇進後の 5 年の 10 年

医療を推進している第一人者のアレキサンダー・

間は、一心不乱に研究に没頭できたときとして、

フリッドマン教授（Alexander Fridman、Drexel

これまでの記憶の中に強く残っています。46 歳で大学、米国）（参考図２）を招聘しました。私は、教授にしていただきましたが、その前後 10 年間

これまで面識がなかったのですが、組織委員長では、毎晩帰宅が 2 時 30 分過ぎ、帰宅すると食卓したので、挨拶をするために会場で待っていましに置かれた冷めた夕飯を腹に入れて、風呂、そした。彼に出会うと同時に、とても初対面とは思え1

ないくらい、大きな親近感を覚えました。フリッ

何度かの国際会議での激戦を経て、次第に世界

ドマン教授（呼称：アレックス）は、マリオの生の他機関でも、プラズマ活性培養液 （Plasma

き写しで、風貌が酷似しているのみならず、夢でActivated Medium: PAM）を使った結果が公表さ議論したときのキャラクターまでが似ていたかられるようになり、現在では普遍的な現象であるこです。当時、アレックスのプラズマ医療の講演をとが認知されるに至っています。また、アレック

聞いて、大きな興味を抱きましたが、自分がプラスには、PAM の良き理解者となって、応援していズマ医療の研究を開始するとは、夢にも思いませただいています。

んでした。
その後、世界の潮流を鑑み、我が国でもプラズ

アレックスとの協創活動

マ医療研究の推進が重要であると決断し、2013 年

現在、プラズマ国際がん学会（IWPCT、毎年開に文部科学省新学術領域研究「プラズマ医療科学

催）で、PAM に関する発表件数は、全件数の 40%の創成」を申請し、採択に至りました。2013~2017

弱にまで増加し、その生理的活性の機序の解明へ

年まで、代表者として、プラズマ医療科学研究にの研究や多様な応用を開拓する研究など、プラズ没頭するようになると、アレックスとは国際会議

マ医療の最重要分野になっています。名古屋大学

で頻繁に議論する機会が増え、夢の中で出没してでは、絶えず最新の研究の成果を公表し、国際会いたマリオとの会話を再現することになりました。 議での建設的な議論を通して、アレックスから多
当然ながら、先方には分かりませんが、個人的にくのヒントをいただいています。彼が発明したプは、非常に親しみを覚え、楽しみながら議論を交

ラズマ誘起免疫効果とともに PAM は未来医療をわすことができました。

拓く可能性を秘めており、アレックスとは、本分野を協創する良きパートナシップを築いています。

アレックスとの戦い

さて、このような学会活動を通して、アレック

2013 年に、プラズマ医療分野では、新参者の名スの研究への姿勢や情熱、学会での議論を大いに

古屋大学チームが、「プラズマ活性培養液によるが盛り上げることができる独特のキャラクター、若んの選択死滅」を公表したとき[1]、学会では、集手研究者への激励や会議開催等の貢献者の労に対中砲火を受けて、辛辣な質問を浴びました。そのするねぎらいの言葉の表明、懇親会では、にぎや

先鋒は、アレックスです。数々の難質問をいただ

かな会にするための献身的なアクションなど、他

き、時間を延長して質疑応答を繰り返すことが頻の研究者にはない、人間的な資質や魅力などに接繁に行われました。当時のアレックスは、我々のし、多くの事柄を学ぶことができました。

結果には、否定的であったために、その実験のノ

本年 度のゴー ドンコンファ レンス （ Gordon

ウハウを明らかにするよう、大いに会場をアジテ

Conference 8/5-8/10）では、彼の座長の下で、招ートし、会場からの議論も活発になるように鼓舞

待講演を行いましたが、講演後の質疑と議論では、しました。言い換えれば、我々の成果が革新的で「大気圧プラズマにおける Dose とは？」というあり、予想を超えたものであることを、大いにア

難質問をいただきました。幸いに、日ごろから同ピールしていただいたわけで、今となっては、学じことを考えていたので、鋭く応答することがで会での戦というよりも、そのオリジナリティを強きました。珍しく、反論されませんでしたが、そ烈に宣伝していただけたことに、感謝しています。

の時の、アレックスの表情は、まさに、昔のマリ
2

オを彷彿させるものでした。同じような問題意識

このような素晴らしい環境の中で、各々が懸命にを共有しながら学理を協創していることを実感す

学会活動に専心することが、人材育成に繋がるのることができました。

ではないかと思います。

学会こそが、大学教授の教育の場である！

結言

本年 6 月に開催された、プラズマ医療国際会議

プラズマエレクトロニクス分科会は、
設立 30 年

（ICPM 6/17-6/22、Philadelphia USA、隔年開催）を迎えようとしています。その歴史の中で、多くで 2018 Plasma Medicine Award の受賞者が公表の会員が、その活動を発展させるとともに、持論され、栄えある賞を受賞することができました。

である「大学教授の教育」も含めて、多様な人材

その授賞式には、出席することができませんでしの育成にも多大な貢献を果たしてきました。

たが、実行委員長のアレックスから賞の盾と記念

また、世界の冠たる国際会議と共催することで、の品が贈呈されました。この授賞式に出席できな

我が国が世界を先導するような戦略を講じて、日かったことや好敵手であったアレックスから賞を本のプラズマコミュニティのプレゼンスを広めて直接いただくことができなかったことは悔いに残きました。来年には、分科会が主催する国際会議

りますが、記念の品が手元に届いたときはびっく（ICRP）と欧州を中心として開催されてきた国りしました。凧で雷が電気であることを実証した

際会議（ICPIG） が、札幌で共同開催されます。

（とても勇気ある実験を遂行した）
ベンジャミン・プラズマエレクトロニクス分科会は、最先端のフランクリン（1706-1790）の人形でした。おそら

研究成果を基に、プラズマ現象に真摯に対峙して、く、その品は、ウイットに富むアレックスの発案

その学理に基づいて徹底的に議論を重ね、人類のであると推察されますが、その風貌は、現在の初永続的発展に貢献しつづける場のポテンシャルを老のアレックスの将来の姿を想像させるものでし

確保するという、大きな使命を有しています。

た（参考図３および図４）。
私の中のアレックスは、

これからも、世代を超えてその活動を継続し、マリオからフランクリンへと年を重ねていきます

さらに進化させることで、多様な人材の教育が行が、「アレックス＝学会」からは、多くの薫陶を受われている素晴らしい時空間を提供し続けること

け、それが、日々の自己研鑽を重ねる力となり、を期待しています。

自己の成長に結びついたことは間違いありません。
平常通り、いつも何もなかったように、学会が参考文献開催されますが、多くの方々の途轍もない大きな[1] F. Utsumi, H. Kajiyama, K. Nakamura, H.

努力があってこそ、その開催が実現されます。まTanaka, M. Mizuno, K. Ishikawa, H. Kondo, H.

た、学会を通じたコミュニティの活動の中で、学

Kano, M. Hori, and F. Kikkawa

生、若手研究者、教授が、年齢、ポジション、分Effect of Indirect Nonequilibrium Atmospheric

野の壁を越えて平等に意見を交わすことができる

Pressure Plasma on Anti-Proliferative Activity

場が与えられています（参考図５）。学会こそが、againstグローバルな競争や友情を育み、参加者の成長、Cancer Cells In Vitro and In Vivo

そして、教育に司る教授という指導者の真の教育

PLoS ONE 8 (12) (Dec. 18, 2013) e81576, DOI:につながっていくのではないかと考えています。

10.1371/journal.pone.0081576.
3

Chronic

Chemo-ResistantOvarian

参考図

図１ スーパーマリオ（Google より）。
図３ 最近のアレックス（2018 年 3 月）。

図２ 最初に出会ったころのアレックス（Drexel 大学、ホームページより）。

図４ 受賞の記念品としてアレックスより授与されたベンジャミン・フランクリンの人形。

図５ 2018 プラズマ農業国際会議の開催（3 月、高山市）。
左から、伊藤昌文教授（名城大）、筆者、フリッドマン教授夫妻、朽津和幸教授（東京理科大）。
4コンソーシアム紹介

プラズマバイオコンソーシアムの紹介
名古屋大学工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター長

大野哲靖

近年、大気圧環境下でプラズマを熱化させることなく，非平衡状態の低温高密度プラズマを生成する技術が開発され、プラズマを動植物に直接照射したり、プラズマを照射した培養液に細胞を浸したりする研究が行われるようになっている。その結果、稲の成長の促進[1]やがん細胞の数の大幅な減少[2]のような新たな現象が見出されている。
これらの発見を契機に、医療農水産業等をターゲットに大気圧プラズマを利用して治療や増産等に役立てようとする研究が国内外で開始されている。しかし、プラズマが動植物にどのように作用するのか、分子生物学と呼ばれる細胞レベルの基礎過程の研究はあまり進んでおらず、今後、医療農水産業にプラズマを広く応用するためには、

図１プラズマバイオコンソーシアムの概要

その機序の解明が必要不可欠であり、緊急の課題
当する。これまでも，波長可変レーザーを用いたとなっている。
また、世界的にもプラズマを用いた医療農水産

大気圧プラズマ中の電子や活性種の挙動の時空間

業の研究が盛んになってきていることから、国内

分解計測やプラズマ照射した液体（プラズマ活性の当該分野の研究体制を充実させ，基礎研究と応溶液）中の化学種の実時間計測を行い，それらを用研究を強力に推進し、世界をリードする立場を応用して，卵巣癌や胃癌などによる腹膜播種性転確保する必要がある。

移の治療や眼科系疾患である加齢黄斑変性治療の今回新たに設立されたプラズマバイオコンソー研究を行ってきた。また，九州大学プラズマ界面

シアムでは，プラズマ科学，基礎生物学・生理学，

工学センターでは，主に植物系プラズマバイオ研

医学，農学分野の研究者を繋ぐ，新たな「プラズ究を担当し，種子へのプラズマ照射による稲の成マバイオサイエンス」分野と研究コミュニティー

長促進効果などの研究が行われている。
一方，自然科学研究機構は宇宙，物質，エネルの構築を目指している。
プラズマバイオコンソーシアムは，
名古屋大学，

ギー，生命の自然科学分野研究を担う 5 つの大学

九州大学，
自然科学研究機構で構成される（図１）。

共同利用機関で構成されており，岡崎地区の基礎名古屋大学では，プラズマナノ工学研究センター

生物学研究所，生理学研究所では最先端のバイオ/プラズマ医療科学国際イノベーションセンター

研究が行われている。自然科学研究機構の新分野において，主に動物系のプラズマバイオ研究を担

創成センター内に設置されたプラズマバイオ分野
5において，分子生物学をベースとした動物系・植物系双方のプラズマバイオに関する基礎研究が実施される。また，プラズマバイオコンソーシアム
では，他大学・他研究機関との共同研究も積極的に実施し，全国の研究者と連携して，分野の垣根を越えたプラズマバイオ研究を全日本体制で推進する。
図 2 プラズマバイオコンソーシアムのロゴ

プラズマバイオコンソーシアムの設立構想は，
小森彰夫自然科学研究機構長（当時：核融合科学
研究所長）と堀 勝教授（名古屋大学プラズマ医療科学国際イノベーションセンター長）との議論に端を発している。その後，井本敬二教授（自然科学研究機構・新分野創成センター長）のご尽力
により，プラズマ研究者とバイオ研究者との合同勉強会が継続的に開催され，相互理解が深まり，さらに参加機関の事務関係者の継続的な努力により，平成 30 年 6 月 1 日に自然科学研究機構において協定書の署名式が行われ，井本敬二教授を運
営委員会議長とするプラズマバイオコンソーシア

写真１ 発足記念式典での記者会見の様子（左かムが発足した（図２）。

ら，井本敬二教授（プラズマバイオコンソーシア

7 月 23 日に名古屋大学東山キャンパスにて，松尾ム運営委員長），堀 勝教授，大野哲靖，白谷正

清一総長，佐々木裕之九州大学副学長，小森治教授）

彰夫自然科学研究機構長の来席のもと，発足記念式典が開催された（写真１）。さらに 9 月 14 日に

参考文献

は，第 1 回プラズマバイオコンソーシアムワーク[1] K. Koga, et al. “Simple method of improving

ショップが開催され，堀勝教授，白谷正治教授（九harvest by nonthermal air plasma irradiation of

州大学プラズマナノ界面工学センター長），西谷基

seeds of Arabidopsis thaliana (L.)”, Appl. Phys.

宏教授（自然科学研究機構生理学研究所）などに

Exp. 9 (2015) 016201.

よる基調講演が行われた。

[2] S. Iseki, et al. “Selective killing of ovarian今後，
プラズマバイオコンソーシアムにおけるcancer cells through induction of apoptosis by

プラズマ科学と生命科学の融合研究により，新しnonequilibrium atmospheric pressure plasma”

い学術分野の創成と安心安全な未来社会構築に貢Appl. Phys. Lett. 100 (11) (Mar 15, 2012) 113702,

献したいと考えている。プラズマ研究者各位のごDOI: 10.1063/1.3694928

支援，ご協力を切に御願いいたします。

6

センター紹介

文部科学省共同利用・共同研究拠点としての「低温プラズマ科学研究センター」の創設と共同研究の公募
名古屋大学

未来社会創造機構

堀勝（ http://www.mext.go.jp/a_menu/kyoten/139

低温プラズマ科学は、我が国のものづくりの生

7836.htm）。

命線を担う最重要科学技術を牽引し、超低消費電力大規模集積回路に代表される最先端電子デバ

共同利用・共同研究拠点の目的は、名古屋大

イスや新機能素材、太陽電池、燃料電池などへの学が誇る半世紀に及ぶプラズマ研究の英知と人領域において、世界最高峰の基礎および応用研究

的・物的資源を基盤として、学内外・国内外の研を推進しています。最近では医療、農水産分野に究者との低温プラズマ科学に関する共同利用・共

おいても新しいプラズマバイオテクノロジーが同研究を推進し、有機的連携の司令塔として、多勃興し、新たなライフイノベーションを起こして様な学際領域の境界を破り融合することによっいます。

て「プラズマ科学」を発展させ、産業を通じて人

名古屋大学では、2006 年に設立し、プラズマ科類の永続的発展に貢献することにあります。

学を基盤とて、ナノテクノロジーを牽引している

具体的には、共同研究を推進するために国から工学研究科附属「プラズマナノ工学研究センター」

センターに配布される補助金を基に、共同研究のと 2013 年に、文部科学省新学術領域研究「プラズ公募を行います。共同研究の提案に対して、セン

マ医療科学の創成」を推進するために設立し、プターにおける委員会で審査行い、共同研究先を決

ラズマ医療科学分野を担っている、「プラズマ医

定し、採択された共同研究について、共同研究費

療科学グローバルイノベーションセンター」の２を配り、有機的な共同研究を行うことになります。

つが両輪となって活動を推進してきました。

公募案内は、本年度中にプラズマエレクトロニ

この度、名古屋大学における低温プラズマに関クス分科会のネットワークを通じてもご案内しする研究者を集結し、高精度なプラズマ計測装置、

ますので、是非とも多くの研究者が研究チームを多様なプラズマ発生装置を有し、2015 年に創設し作って、上記共同研究に参画していただきたいとた「プラズマ科学プラットフォーム」を基盤とす思います。

ることで、さらなる研究の深化と新領域の開拓を新センターにおいては、平成 31 年度からの認進め、上記の「プラズマナノ工学研究センター」

定を受けた共同利用・共同研究組織として、学内と「プラズマ医療科学国際イノベーションセンタ

資源を集約して整備した「プラズマ科学プラットー」の２つの低温プラズマの研究センターを発展フォーム」の低温プラズマ装置を提供して、低温的に統合し，平成 31 年 4 月に「低温プラズマ科

プラズマに関する多様な領域における国際研究

学研究センター」を設立することになりました。

拠点としての場の提供と知の集約を推進し、それさらに、このセンターが、平成 31 年文部科学により新たな分野の開拓を含めプラズマ科学を省の国立大学共同利用・共同研究拠点の認定を受

深化し未来産業を創造したいと思います。

けることになりました

皆様方の一層のご協力をお願い申し上げます。
7

研究室紹介機械工学におけるプラズマ研究
東京工業大学工学院機械系

野崎 智洋

東京工業大学では 2016 年に教育改革が行われ，悔しさを感じ，また自身の浅学さを恥じた経験だ

自身の所属が工学院機械系になった。一般に，機った。このことを契機に「機械工学に貢献するた

械工学は４力学（または３力学）が大きな柱になめのプラズマ研究」ではなく，「プラズマ化学分野っており，機械力学，材料力学，流体力学，熱力の発展に貢献できるプラズマ研究」を強く意識す

学分野に大別されることが多い。私は熱工学分野

るようになり，材料科学，分光計測などはじめてに属しており，熱力学というより伝熱工学が私のの挑戦であったが大きく研究の舵を切る契機を得

Discipline である。学問としては成熟度が高く泥た。さらに，1999 年に東京工業大学機械科学科に臭い側面を多分に有するため学生には敬遠されが転任することとなり，多くの先生方の協力を頂き

ちな分野である。他方，成熟度が高いため新規分ながら，恵まれた環境で大気圧プラズマに関する

野開拓が盛んで，機械工学分野の垣根を越えて活研究に専念する機会を得た。
現在，博士 4 名を含む 14 名の学生に恵まれ研動している研究者は比較的多いように思う。
私自身，岐阜大学機械工学科において，衝突噴究室を運営している（写真１：2018 年 10 月入学

流のよどみ点における熱伝達係数の測定，および者は含まれていない）。職員は野崎と主に経理をサ

無次元数を使った相関式の導出というやや伝統的ポートしてくれる補佐員の 2 名である。研究テーな研究を「大気圧非平衡プラズマ伝熱に応用する」

マは大きく３つに分かれ，プラズマを使ってガスという観点で研究をスタートさせた。その研究成改質を行う「プラズマ触媒グループ」，シリコンナ

果をもとに，はじめて国際会議に出席したのがノ粒子合成と応用探索を行う「シリコングループ」，

1999 年にプラハで開催された ISPC-14 であった。

さらに水素燃焼による大規模火力発電のプラント

口頭発表として採択されたものの，私の発表は大解析を行う「水素グループ」である。プラズマケ

気圧プラズマのセッションではなく，熱プラズマ

ミストリーに主眼を置きつつも，エネルギー環境のセッションであった（大気圧プラズマセッショ

問題を背景にテーマ設定し研究を行っている。水ンに申し込んだにもかかわらず）。つまり，非平衡

素グループの研究はプラズマ研究と一線を画してプラズマ分野でプラズマ伝熱はほとんど認知されいるが，そもそもプラズマ研究の基盤であるエネておらず，Nu 数，Re 数，Pr 数などをふんだんに

ルギー工学に関する素養をメンバー全体で共有す使ったプラズマ伝熱に関する研究は，熱プラズマ

るうえでも重量な役割を担っている。なお，東京の範疇で取り扱うものなのだと理解した。プラズ

工業大学機械系学部講義群で，講義名に「プラズマを専門とする研究者（Program Committee）がマ」を冠する講義，またはそれに類する講義は無アブストラクトをレビューした結果，そのようにいため，当研究室に配属される卒論・修論学生は判断したわけである。つまり，私が行っていた研少々戸惑いを感じるようであるが，配属後はすぐ究が相当に的外れだったのだという事実に驚きとに環境に慣れ研究に取り組んでいる。
8

プラズマ応用研究の特徴は，「プラズマを使っての改質を行う研究である。メタンはプラズマ分野

何をするか」
によって常に二つ（またはそれ以上）でもよく用いられるプロセスガスである。安定なの課題を研究しなければならないことである。例

化学種であるためプラズマを使って低温で効率よ

えば，プラズマと材料科学，プラズマと医療，プ

く分解する研究は工学的価値が高い。エネルギー

ラズマと触媒，プラズマと半導体デバイス，etc で利用の面から，バイオガスのように再生可能エネある。二つのテーマをタイムリーに同時進行で研ルギーとしての側面も有するし，一次エネルギー

究するのは，学生にとっては大変な労力を要するであるためエネルギー利用効率も高くなりやすい。

ことがある。いずれか一方に特化して専門性を高一般に，メタンを改質する過程で炭素析出（コー

めてもよいが，いずれのテーマも中途半端なままキング）が問題になるが，大気圧プラズマを活用

では何でも屋（Discipline がないという意味で。

することで炭素析出を抑制できる。他方，炭化水

オールマイティーに何でも熟せるという意味では

素 を 原 料 とし て カー ボン ナ ノ チ ュー ブ を触 媒

ない）になってしまう。機械工学が「成熟度が高CVD で成長制御する研究は能動的コーキングとく新分野開拓に旺盛」と述べた。つまり，プラズ

考えることもできる。過去にカーボンナノチュー

マ研究にかかわらず，機械工学における研究は必ブ合成に関する研究を行っていたが，ナノチュー

然的に多面性を有することになり，二足以上のわ

ブ合成とメタン改質は共通点が多く，共通のアイ

らじを器用に履きこなすことができなければ，大デアのもと研究を進めることができた。

学を卒業するまでに広く浅くしか学ぶことができ2018 年はゴードン会議でも Plasma Catalysis

ない。学生にはこのことを肝に銘じて研究に取りに関するセッションが立ち上がり，欧米を中心に組んでもらいたい半面，卒業生を何でも屋として研究が活性化している。
そもそもプラズマ CVD は，社会に送り出さないための責任も感じており，研目的分子の吸着－表面反応－不要な分子の脱離を究はもちろん，教育の難しさを常に痛感している

繰り返すことで成立する。最近注目を集めている次第である。

原子層プロセスも同様で，プラズマ触媒とは共通点が多い。一方，プラズマメディスンや気液界面プラズマのように，
自然発生的に分野融合が進み，研究者人口が爆発的に増えている分野ではない。
欧米中と比べて研究者は少なく，日本からも多くの皆様に参画頂ければ幸いである。
②シリコンナノ粒子
2003 年にミネソタ大学に在外研究として 10 カ
月間滞在する機会を得た。当時，東京工業大学，
大竹尚登教授が故 Joachim Heberlein 教授を東工

写真１ 2018 年 6 月集合写真

大に招聘していたことがきっかけで，ミネソタ大学の研究グループを深く知ることができた。大竹教授は 1995 年頃ミネソタ大学に滞在していたこ① プラズマ触媒
誘電体バリア放電と触媒を組み合わせて CH4と，さらに渡辺隆行教授（現・九州大学）もほぼ
9

同時期にミネソタ大に滞在していたことから，東水素酸素燃焼を基盤とする大規模火力発電のサイ

工大とミネソタ大の間にはすでに強い協力関係がクルシミュレーションを行っている。純酸素純水

できあがっていた（遡れば東工大・神沢淳名誉教

素燃焼を用いれば，ガスタービンサイクルと蒸気授，同・鈴木正昭名誉教授）。私がミネソタ大で研タービンサイクルを統合することができ（作動流究する機会を頂いたのは，先駆者のおかげである

体が同じ），
既存の天然ガス炊きコンバインドサイ

ことは言うまでもない。幸いなことに，大学が独クルよりも高いサイクル効率を実現できる可能性

法化する直前だったため，最後の文科省在外研究がある（グラーツサイクル，セミクローズド・ト

員制度の支援を得て 10 カ月間の外遊を許された。

ッピング再生サイクルなどと称する）。ただし，

さて，シリコンの研究を始めたのは，在外研究

CO2 フリー水素のコストや純酸素製造を考慮した

当時，ミネソタ大の Uwe Kortshagen 教授（当時

送電端効率がいかほどになるか，決して容易な課は准教授）がシリコン微粒子の研究をスタートさ

題ではない。

せたことがきっかけである。プラズマ材料研究と化石燃料の場合，発電所の効率が高くなればそ

言えば炭素系，シリコン系材料が適材と考えていれに対応して燃料使用量が減るため CO2 削減にたことに加え，大気圧プラズマのように圧力の高直接的に貢献する。しかし，”CO2 フリー水素”がいプラズマで微粒子を合成できる点に魅力を感じ， 前提であるならば，発電所の効率向上は CO2 削減
帰国後研究をスタートさせた。C-H，Si-H などのには直接的に貢献しないことになる。一方，発電結合を励起，または解離させるために必要なエネ

効率は電力コストに直結することとなり，工学だ

ルギーが，プラズマ中の電子エネルギーと相性がけでは解決困難な課題を提起する。また，制度ついい（よく一致している）と考えているが，説得くりも重要で，「何を原料にしてどのような方法で力のある理由を説明するのは難しい。さらに，シ作った水素」かによって経済的な評価が全く異な

リコンナノ粒子を有機無機ハイブリッド太陽電池

る。このような制度作りは欧州では進んでいるがに応用する研究に的を絞り研究を進めた。幸い，

日本ではやや遅れている。技術力は高いがそれだ

研究費に恵まれたが，投機性の高い分野であり，

けではもうからない，と言う誰でも知っているの

多くの設備と人材の投入を避けられない分野であに実践できない難しい課題がここにもある。

る。材料研究を超えてデバイス開発まで学びたいという個人的な理由もあったが，現在の陣容で継「研究事例の紹介」ではなく「研究室紹介」で続的に研究を進め成果を得るにはやや負担の大きあること，さらに過去の記事とは趣向を変えるこい研究テーマである。現在は高分子とのハイブリとを意識して記事をかいた。皆様には興味を持っッド材料開発，および熱輸送制御と言う観点で規ていただければ幸いです。本項でも述べましたが模を縮小して研究を継続している。

多くの皆様の支援により研究室を運営することができています。関係各位には，この場を借りて深③水素燃焼発電く御礼申し上げます。

将来の水素サプライチェーンの実現を前提に，研究室 HP：http://www.nano-silicon.com/ats/

大量の輸入水素を効率よく利用する技術として，

10

学生のためのページ

プラズマスプレーを用いたリチウムイオン電池材料開発
東京大学
1.はじめに神原 淳て注目されている。スピネル系材料は安全性と比リチウムイオン電池（LiB）は，携帯機器の蓄電較的高い安定性を示すものの，容量が小さいこと

池から各種移動体の車載向け大型蓄電池への導入が課題であり，Ni 添加により平均電位が高められに向けて精力的に研究開発が進められている。特ることから 5V 級正極として期待されている。しに自動車用蓄電池には，現行ガソリン車に匹敵す

かし，何れの正極材料も負極材料に比べてまだまる巡航距離を実現するための高エネルギーを限らだ電池容量が小さいことが課題であり，新たな材れた車内の搭載スペースで得る高密度化とともに， 料系の探索が精力的に進められている。
車両と同等の 10 年程度の長寿命も期待される。

一方，負極材料に注目すると，現行電池構成で加えてハイブリッド車には，加速制動時のエネル

は 炭 素 （ 黒 鉛 ， 非 晶 質 炭 素 ）， チ タ ン 酸 化 物

ギー利用，回収貯蔵を可能とする高出力特性も求（Li4Ti5O12）が利用されている。後者は電極電位められる。これらの電池性能を実現するには，新が炭素系に比べて高いため Li のデンドライト化

たな電池設計や新材料探索と共に，電極材料の構が無く，リチウムイオンの挿入脱離でも体積変化

造･組織化も重要な役割を担っており，特に巨大なが小さく良好なサイクル安定性が期待できるが，電池市場での導入が見通しうる高スループット手

両材料とも電池容量は同程度であり，コスト含む法での実現が求められている。

総合的な観点から炭素系が主要負極材として選択

そこで本稿では，特にリチウムイオン電池材料

されている。しかし次世代 LiB の高密度化に向けの負極に焦点を当てて，その組織･構造を制御するては炭素の理論容量 372 mAh/g を既にフルに利用製造技術として注目されるプラズマスプレー法にしている現状，より高密度の材料の検討が進めらついて紹介する。

れる。図 1 に LiB 負極として検討しうる元素の重量比容量と体積比容量を比較した[1]。

2. 次世代 LiB 電極材料の要件
高エネルギー密度と高出力を実現するために，
電池容量の大きな材料かつ平均電位が大きくなる
正負極材料の組み合わせが検討され，現在，正極材料には，層状酸化物系（LiCoO2），スピネル系（LiMn2O4），リン酸塩系（LiFePO4）が主要な正極として利用されている。次世代 LiB に向けては，
層状酸化物系では Ni や Mn, Al 添加による高容量化が期待でき，特に Ni 添加量の増加が大きな高容量化に繋がることから，高価な Co を置換して

図１ 次世代 LiB 負極材の重量比/体積比電池容

価格を抑えながら高容量化も実現する材料系とし量の比較（図中赤字：充電に伴う体積増加率%）11種々元素が Li と合金を形成して負極として動作維持して電池のサイクル維持性の向上にも繋がるすることが期待されるが，現行 C が左下に位置すことから，導電助剤としての炭素材料や金属の添るのに対して，多くの金属元素が大きな体積比容加が検討されている。また，活物質材料表面への量を示し，軽量電池に適していることが推察されカーボンコーティングは電気化学的に安定な界面る。中でも Si は重量比容量も大きく，C 系に比べ形成に有効に働くことも報告されている[5]。更に，て体積比，重量比容量共に 10 倍程度高く，次世代

体積膨張に伴う電極内部での応力集中を緩和する

高密度電池の主要な元素として期待される。

電極のポーラス構造化もサイクル維持性の向上に

これら材料を電極活物質として構成する場合，活極めて効果的である[6]。以上の通り，次世代 LiB

物質サイズを小さくすることは，負極正極ともにの高容量電極材料には，ナノサイズで複合体を形

リチウムイオンの挿入脱離反応の高速化につなが成する電極構造化が求められる要件とできる。

り，電池の高速充放電特性の実現に有効である。
特に図１に示す高容量が得られる次世代負極材料

3. プラズマスプレー法の場合には，高いサイクル安定性で高電池容量を前項で紹介した次世代 LiB に求められるナノ複維持するためには材料をナノスケールで組織化す合構造電極を形成する手法の多くは，高価な気相る重要性は極めて高い。具体的には，これら材料原料を利用する，低速プロセスを複数回繰り返すの高い電池容量は，リチウム合金相が元材料に比長時間を要する手法であり，LiB の巨大市場の生べて極めて大きい体積となることに起因するもの

産技術として実用を検討するには未だ大きなハーであり，体積比は図１中に示す数字の通り，炭素ドルがあると見受けられる[7]。ここでプラズマス

系の場合 110%程度であるが，Al や Sn では 350%

プレー法に注目すると，生産現場における基盤技

程度，Si に至っては 400%に迫る。すなわち，充放術として，各種ナノ粒子が実際に生産されており，

電時のリチウム合金化/脱リチウム反応の繰り返

LiB の電極材料に資するだけのナノ構造化と結果しと共に，Si は 400%近い体積膨張収縮を繰り返としての電池特性を示すことが出来れば，極めてすことを意味しており，これに起因して，数回の有望な手法になるといえる。

充放電で材料が粉砕，負極内部での活物質間の電プラズマスプレー法は，流れを有するプラズマ

気伝導性が失われて，数回の充放電サイクルで電中に各種原料を投入し，プラズマ内部での化学的池として機能しなくなる問題が確認されている。

物理的現象を利用して，高速度で所望の材料を生

しかし，
活物質材料をナノサイズに組織化すると，み出す手法の総称である[8]。一般的な熱プラズマ

材料の耐割れ性は向上し，粉砕が抑制され，充放中に平均粒径が数 10µm 程度の粗大粉末を投入す

電サイクル性が改善される傾向が確認されている

れば，原料が加熱溶融，液滴が形成され，基材を[2,3]。具体的には，150nm 程度の Si 粒子サイズで置けば溶射となり，基材を設置しなければフレー

あれば，少なくとも初回の充放電に伴う割れは抑ム端部での冷却凝固により球状粒子が生成される。

制される効果がその場 TEM 観察で確認されていこれに対して微細粉末原料の場合には，原料粉末

る[4]。ナノサイズ化に加えて，電極材料の電気伝の完全蒸発も可能となり，混合高温ガスの形成と導性を高めることも電池内部抵抗を低下させるこ

続く凝縮によってナノ粒子の生成が可能となる。

とに繋がり出力増加が期待できるだけで無く，意

気体/液体原料の場合と対比して，投入原料粉末濃図しない活物質の粉砕に対しても，電気的導通を

度のまま凝縮しナノ粒子を形成しうる過程が，物12理蒸着と類似していることから，フラッシュプラ

すれば，第 2 元素ナノ粒子を直接担持した Si-NP

ズマ蒸発或いは基板堆積と同一過程としてプラズ複合構造を創り出す事が出来る。単なる 2 種類のマスプレー物理蒸着（PS-PVD）と称される。

ナノ粒子の混合と比べて，第 2 相粒子が直接担持した構造体によって，より良好な導電性や機械的強度など機能付加が期待される [11]。
4. ナノ粒子構造形成過程
PS-PVD によるナノ粒子生成は，高温蒸気の核生成と続くナノ粒子成長による。特に多元系の場
合の相選択或いは複合構造化の検討において，核生成温度の見積りは有効である。すなわち，特定の安定合金ガス相が知られていない場合には，検討する多元系元素の中で，蒸気圧が高く核生成温度が 1 番高くなる条件の元素が冷却時に 1 番早く
凝縮し，2 番目に核生成する原子が 1 番目の凝縮

図２

PS-PVD による Si-NP 生成素過程

体に付着し，その冷却条件によって複合構造化あるいは合金化が決まる。安定な合金ガス分子が存

この PS-PVD を負極材料として Si ナノ粒子

在する場合にも，他のガス分子との共存が無視で（Si-NP）を生成する場合，数ドル/kg 程度の冶金きる程度であれば，単一のガスと見なして原子と級粉末を原料に数 1kg/h の速度でナノ粒子を製造， 同様に取り扱っても大凡の凝縮過程が説明される。
負極材料としての特性改善にも十分期待できるこ

古典的核生成によれば，均質核生成の駆動力はとが確認されている [9]。Si 原料と同時に，例え結晶核の体積自由エネルギー Gv の安定化と表面

ば CH4 ガスを添加すれば，Si の核生成，成長後の自由エネルギー  の不安定化のバランスで記述

Si-NP 表面に数 nm のカーボンコートが形成されされる。気相からの液体核生成の場合，体積エネ

たコアシェルナノ粒子を形成する事ができる[10]。 ルギー変化は単位面積当たりの気液間の自由エネ
後者の過程は，プラズマ中に Si と C の凝縮性

ルギー差として，液滴上の蒸気圧 p と温度での飽元素が共存する状態からの凝縮過程を経て Si:C-

和蒸気圧 p0 により次式で表される。

NP の生成となることから，多元系の共凝縮過程
における核生成，成長と反応の競合が重要となる。

kT  p 
44
G   r 3Gv  4r 2   r 3
ln    4r 2 (1)v  p0 33

検討する系において複数の高温安定相が存在すれ

ただし，r は結晶核の半径，v は液体分子体積であば，それぞれの相の生成の競合の仕方次第で，所る。ここで p p0 は過飽和度 S であり，未飽和（S<1）

望の相とは異なる相が生成する可能性もあるが，の場合には，式(1)の右辺の二つの項ともに正とな

逆に，適切な競合過程の制御次第で，高速ナノ粒り結晶核の自由エネルギー G は常に正になる事

子形成と同時に複合構造化も可能になる。すなわ

から核は不安定で蒸発し消滅する事となる。他方，

ち，第 2 添加元素を Si ナノ粒子の核生成・成長後過飽和（S>1）の場合には，式(1)右辺の第一項は負の粒子表面に直接不均質核生成を促す条件に設定になる事から G が最大値を持ち，r の増加と共に13減少する。即ち，最大値を与える半径 r*が臨界核

一般に核生成頻度は図３のサイズ依存と同様に（エンブリオ）として r* = 2sv kT ln S で与えられる。 温度の低下に対して急激に変化する。その閾値とこの時の核生成頻度 I は，
I=

a(Sp0 )2
(kT )2 r

して経験的に 1022 を境に有意な核生成が生じてい

æ 4ps
ö
2
2sm
exp ç r * f (q,b) ÷
p
è 3
ø

( )

るか否かの判断をする。従って，ある温度 T にお

(2)ける飽和蒸気圧で決まる過飽和度 S に対して，で与えられる[12]。ただし，α吸着係数，ρ液体密

I=1022 を適用する事で核生成の臨界過飽和度を導度，m 分子質量である。また f (q,b) は形態係数で，出できる。一方で実験条件から過飽和度を温度の均質核生成の場合には１，平板への不均質核生成関数として導出できる事から，臨界過飽和度とのの場合には f (q,b) = (cos q - 3cosq + 2) / 4 ，球形のナノ粒交点で検討する実験条件での核生成温度を見積も子状への不均質核生成の場合には，ナノ粒子半径ることが出来る。

R との関係 b = r * R として，幾何学的な関係から，一方，安定なガス分子が平衡化学種で複数予測さ( ) 12 (1+ c (b - cosq ) ) + b2 c (1- bcosq ) (c (1- bcosq ) -1) (3)´ (c (1+ 2bcosq ) - 2) (c (1- bcosq ) -1)

れる場合には，それぞれの安定存在温度以下では

3

f b,q =

3

3

-3

2

2

分圧と粒子サイズにより決まる衝突頻度で反応，付着混合が進行することとなる。

と与えられる[13]。例えば，Si ナノ粒子状への Cuの不均質核生成の場合， f (q,b) は Si-NP のサイズ

5. PS-PVD による電極材料生成例

が 10nm よりも小さくなると急激に大きくなり不負極材料：次世代 LiB 負極材料として Si-NP を均質核生成の自由エネルギーに近づく。
逆に 10nm

PS-PVD で生成する場合，前述の通り，コスト的以上のサイズの粒子が存在する場合には，平滑基にも有意となる冶金級 Si 粉末（硅石をカーボン坩

板上への不均質核生成と同程度の自由エネルギー

堝で溶解精製した 99.5%程度で平均粒径 20µm の低下の効果が期待され，ナノ粒子状への直接付着破砕粉）を原料に利用しても十分に LiB 特性を向も期待できる。この形態係数を加味した Si-NP 上

上しうることが確認された（図 4）。典型的には 20-

への Cu の核生成頻度を図３に示す通り，10nm よ40nm の一次 Si 粒子が数 100nm の凝集体を形成すりも大きくなると急激に核生成頻度も増加する。

るコンポジット構造が得られ，これを負極とした
電池は数 µｍの Si を活物質とした場合に比して明確なサイクル安定性改善が確認される。

図３ Si-NP 上への Cu 不均質核生成頻度の SiNP サイズ依存

図 4 PS-PVD による Si-NP を負極とした電池の放電容量のサイクル依存性 [10]14同時に CH4 ガスを Si/C=1 程度で同時投入すると，第 2 元素として Ni を添加した場合にも同様に Si-

図１に示す通り Si-NP 表面に 2-3nm 厚のアモルフ

NP 上に直接 Ni が担持する構造が核生成温度推算ァスカーボンのコーティングが可能となり，電池からの予測通り STEM でも確認された。特徴的なのサイクル維持性も向上する。Si/C 比が 3 程度の点は，SiNi2 相が Si と同一の結晶構造を有する事

場合，SiC-NP も生成混入し，SiC は Li に対して反から数 10msec 程度のナノ粒子形成過程であるに応性が極めて低く重量損となる事から電池重量比

も拘わらず Si-Ni 間にエピタキシャル界面を形成

容量は著しく低下する。

することが確認され，その電気的かつ機械的な耐一方，Cu を第 2 元素として 1at%添加する場合，割れ性向上の効果により電池サイクル性は更に向Si の均質核生成温度は Cu 添加に伴う Si 分圧変化

上している。また，凝縮過程における冷却速度のによって核生成温度も変化すると予想されるが，調整によって，アモルファス Si も PS-PVD により無添加で 2187K，1%添加でも 2185K と影響は限可能となり，連続的に a-Si-NP 粒子を生成する他定的である。Cu の均質核生成温度は 1300K と算手法には無い特徴も報告されている[15]。一方で，出されることから，Si が始めに核生成成長するこ

Si に代えて SiO を原料とする場合には，プラズマとが予想できる。前述の形態係数を考慮すると，の高温ガスの特徴から効果的に還元を進めることもし Si が平坦基板であれば，Cu の不均質核生成が可能となると共に，SiO ナノ粒子のプロセス後

温度は 1522K で，プラズマ中での Si-NP 成長を加段の低温度での熱処理効果によって SiO の不均化

味した場合には凡そ 25nm の Si-NP 上に 1508K で反応が生じて c-Si/a-SiOx のコアシェルナノ粒子の核生成すると計算される。従って，Cu が 30nm 以形成も可能となる[16,17]。その結果，サイクル安

上の Si-NP 粒子上で複合体を形成する可能性はあ

定性を維持しつつ容量が改善される SiO の課題をると言える。実際，PS-PVD 後の STEM 明視野像

解決する興味深い構造化も可能である。

を図 5 に示す通り，コントラストの濃い Cu が直正極材料：前項で述べた通り，正極材料候補は

接 Si-NP に担持する様子が確認される。その結果，多元系酸化物であり，単相の正極材料を PS-PVD

Si のみの電池に比べて Cu を 1%程度ではあるがで生成するためには，系内で共存しうる安定相と添加した場合にはサイクル維持性が改善される様の競合を制御する必要がある。様々な Li 金属酸化子も確認され，負極内部での導電性向上が貢献し物（LiMOx）の生成について報告されているが[18]，ているものと考えられている[14]。

例えば，M=Mn の場合， LiMn2O4 の加えて Mn3O4相の混在が確認され，M=Cr の場合，LiCrO2 に加えて Cr2O3 が，M=Co の場合には LiCoO2 と同時に
Li0.21Co0.79O 相が，M=Ni の場合には Li0.4Ni1.6O2 と原料由来の Li2CO3 と共存している。いずれも原料に Li2CO3 と MOx の混合粉末を投入しているが，原料粉末或いは Li を含まない相が共存する結果となっている。構成金属元素の核生成温度と酸化物相の融点との対比から，より高温となる酸化物

図5

Si:Cu-NP を利用した電池のサイクル特性と相が先に核生成し冷却する凝縮過程が考えらるが，

STEM 像

興味深い点は，各系における金属酸化物の最低融15

点と Li 反応量間に線形の関係があることが見出

めには高温安定な立方晶とする必要があり，またされ，この結果から，溶融状態の粒子が低温まで

Al や Nb，Ta の添加で更にイオン伝導性が向上す存在する程，Li との実質的な反応時間が長くなるることが知られている[21,22]。加えて LLZ 相の安過程が提案されている。従って，検討する材料系

定温度領域など基本的な高温物性も不明な点が多の安定相の溶融状態を踏まえて，反応を促進しう

く，多元系共凝縮を利用した単相 LLZ ナノ粒子生る様にプラズマ内部での滞留時間を長くするなど成に向けた研究の展開に期待される。

条件の調整が必要と言える。また， LiOH，FePO4，

シュウ酸を溶解させた溶液を原料としてオリビ

6. まとめン型リン酸塩系（LiFePO4）のナノ粒子の合成もプラズマスプレー(PS-PVD)法とそのリチウム報告されている[19]。

イオン電池（LiB）材料開発への展開について簡単

固体電解質：近年，液体電解質のイオン伝導率にまとめた。PS-PVD は，粉末を原料にワンステに匹敵する高イオン伝導性を示す硫化物や酸化物

ップで LiB に求められる正極，負極，電解質材料が見出されており，有機電解液を用いる電池の課のナノ粒子を高速で生成しうる有望な産業技術で題である低温や高温でも優れた充放電特性を示すあり，プラズマ内部での素過程の理解を踏まえた電池構成も報告されはじめている。固体電池は薄条件設定によっては，ナノ粒子の構造も変調させ膜系とバルク系に大別されるが，車載向け電池にることが可能である。とりわけ次世代 LiB では多必要な十分なエネルギー密度を確保するためにバ

元系材料が主流となることから，共凝縮過程の理

ルク型が対象となり，大量かつ大型の電池製造に解が更に深化して，所望の材料組成，構造に制御も対応しうる電解質の粉体製造が求められる。としうるプロセスとして進化することが期待される。

りわけ，高イオン伝導性を維持する電解質層とするためには高緻密化が必要であり，典型的に粉末

参考文献

焼結による電解質層作製においてはナノ粒子が有[1] D. Larcher, et al, J. Mater. Chem.,17 (2007)3759.

効となる。加えて，バルク全固体電池の正負極で[2] J. Graetz, et al., Electrochem Solid-State Lett., 6

は，電解液系では検討の必要の無かったイオン伝(2003) A194.

導性を正負電極中で実現する必要があり，高イオ[3] K. Zhao, et al., J. Appl. Phys. 108 (2010) 073517.

ン伝導性電解質を分散させた複合体化のためにも[4]A X. H. Liu, et al., ACS Nano 6 (2012) 1522.

電解質ナノ粒子が求められる。

[5] S.H. Ng, et al., J. Phys. Chem. C, 111 (2007) 11131.

イオン伝導性の点では硫化物系が酸化物系より[6] A. Magasinski et al., Nature Mater., 9 (2010) 353.

も優位であるが，製造時の簡便性，電池利用時の[7] C. Martin, Nature Nanotechnol. 9 (2014) 327.

安全性の点から酸化物電解質材料もひき続き研究[8] T. Yoshida, Pure Appl. Chem. 78 (2006) 1093.

開発が進められている。ケイ酸リチウム粉体を原[9] R. Ohta, et al., J. Phys. D: Appl. Phys. 51 (2018)

料とした PS-PVD によってアモルファス Li4SiO4105501.

ナノ粒子の合成の報告があるが[20]，高イオン伝[10] M. Kambara, et al., J. Appl. Phys. 115 (2014)

導性を示す Li7La3Zr2O10（LLZ 系）酸化物電解質の143302.

ナノ粒子生成に関する報告は筆者が調べる限り確[11] M. Kamabra, et al., Ency. Plasma Technol. (2017)

認出来ない。LLZ 系では，高イオン伝導を示すた

1076.
16

[12] F. F. Abraham, Homogeneous Nucleation Theory[18] M. Tanaka, et al., Nanomaterials, 6 (2016) 60.

(Academic Press, New York, 1974).

[19] K. Major, et al., J. Therm. Spray Technol., 25,[13] S. Kotake et al.; Prog. Aerospace Sc. 19 (1981) 129.

(2016) 357.

[14] M. Kambara, et al., Earozoru Kenkyu 29 (2014) 93.

[20] S. Choi, et al.,, Proc. 21st Inter. Symp. Plasma[15] D. Okamoto et al., GEC (2015) LW1.082.

Chem., (2013) 419.

[16] T. Tashiro, et al., Sci. Technol. Adv. Mater. 17[21] R. Murugan, et al, Angew. Chem. Int. Ed. 46(2016) 744.

(2007) 7778.

[17] K. Homma, et al., Sci. Technol. Adv. Mater. 15[22] T. Kato, et al, J. Power Sources, 260 (2014) 292.

(2014) 025006.

17

国際会議報告

7th International Conference on Plasma Medicine (ICPM-7)
第 7 回プラズマ医療国際会議
大阪大学工学研究科「第 7 回プラズマ医療国際会議」（以下、ICPM-

6.

7 と略記）が、2018 年 6 月 17 日（日）から 22 日

浜口智志
Plasma-based decontamination andsterilization

7.

（金）までの６日間、米国ペンシルバニア州フィPlasma for pharmaceutical applications,

ラデルフィア市内のドレクセル大学構内で開催さand biochemical and biomolecular

れた。主催は、プラズマ医療国際学会

engineering(International Society for Plasma Medicine)、現

8.

地実行委員長は、ドレクセル大学の Alexander

Plasma medical applications in clinicaland animal studies

Fridman 教授である。27 か国から 287 名の参加

9.

があり、大変盛況であった。

10. Plasma modeling and numerical

また、同会議に先立つ 6 月 15 日（金）から 16

Plasma agricultural applications
simulation

日の 2 日間にわたり、「第２回プラズマ医療夏の開催期間中、毎朝１件の基調講演がドレクセル学校（2nd Summer School on Plasma Medicine）」 大学 Main Building の Auditorium で執り行わが開催された。こちらは、前回スロバキアのブラれた。また、招待講演 23 件のほか、87 件の口頭

ティスラバで開かれた第６回プラズマ医療国際会

発表は、２つのパラレルセッションとして、同大議（ICPM-6）に併設された夏の学校に続く２回目

学 Creese Student Center の Behrakis Grandのスクールで、今回の校長は筆者が務めた。参加

Hall にて行われた。また、ポスターセッションは、者は 10 人の講師を含めて、全体で 40 名であった。

３回にわけて開催され、合計 149 件のポスター発

今回の ICPM のプログラムも、例年同様、プラ表が行われた。上記 5 件の基調講演のうち、2 件

ズマの医療や生物学への幅広い応用と、その基礎が日本からの発表で、名城大学の伊藤昌文教授が的な学術を研究対象とする発表からなり、具体的“Activation Control of Microorganisms Usingには、次の 10 テーマを中心に発表が行われた。

Neutral Radical Irradiations,”

1.

Fundamentals of atmospheric plasmas

敏 郎 教 授 が2.

Plasma sources for biomedical applications

Activated by Gas-Liquid Interfacial Plasmas for3.

Plasma liquid interactions, plasma

Future-Oriented Gen/Drug Transfer Device” のactivated liquids

題目で講演した。

4.

5.

東北大学の金子

“Cell Membrane Transport

今回の ICPM では、プラズマ医療の研究が、プ

Plasma–cell and plasma–tissue
interactions, including biological andラズマの専門家のみによる物理学・工学寄りの研biochemical reactions

究から、医学・生物学の専門家による本格的な医Plasma-surface interactions/modifications

療の研究へ、大きく広がりつつあることが強く感

for biomedical applications

じられた。また、これまでの研究では、大気圧プ
18ラズマの生成する反応活性種が生体に直接作用す

今回のスクールのプログラムは、前回のものにることにより、滅菌や細胞の活性化を誘起すると比べて、生物学系の科目を増やし、プラズマ研究

い う 考 え 方が 主 流で あっ た と 思 うが 、 今回 のを専門とする学生が、医学・生物学の基礎を学び

ICPM では、大気圧プラズマによる刺激が生体のやすいカリキュラムにしたつもりであった。
ただ、免疫系に何らかの影響を与え、生体内の複雑な反講義中に挙手で尋ねた聴講生の専門分野は、物理・

応パスを通して生体内で生成される反応活性種の化学・工学系と生物・医学系を専門とする聴講生

効果により、プラズマが間接的に疾病の抑制に寄の割合が約同数であった。これも、プラズマ医療

与するという考え方に基づく研究発表が増えていが、工学的研究から医療研究へと、研究の対象をるという印象を受けた。一方、プラズマ医療の研大きく広げつつあることを反映していると考えら

究以外にも、プラズマの生物応用に関する幅広いれる。

テーマの研究発表も多く、特に、プラズマの農業

次回の第８回 ICPM（ICPM-8）は、2020 年 6

応用に関する研究は、多くの参加者の関心を集め

月 14 日(日)から 19 日（金）の６日間、韓国の仁た。

川のコンベンションセンター ConvensiA で、第ICPM-7 の開催に先立って行われた「第２回プ

10 回 プ ラ ズ マ バ イ オ 科 学 国 際 会 議 （ 10th

ラズマ医療夏の学校」の講義内容は、以下のとおInternational Symposium on Plasma Bioscience）

りである。カッコ内に講師名を示す。

と共同開催される。それに先立ち、「第３回プラズ

1.
2.
3.

Basic

plasmaphysics

andマ医療夏の学校」は 2018 年 6 月 12 日（金）からchemistry(Deborah O'Connell)

13 日（土）に ICPM-8 の会場の近くで開催される

Microbiology for plasma medicine (Fred予定である。現地実行委員長は、韓国光云大学校

Krebs)（Kwangwoon University）の Eun Ha Choi 教授

Atmospheric-pressureplasmasourcesである。

(Alexander Fridman )4.

Agronomyforplasmaagriculture(Gyungsoon Park )5.

Cell biology and immunology for plasma
medicine (Sander Bekeschus)

6.

Plasma modeling and simulation (Satoshi
Hamaguchi)

7.

Cancerbiologyforplasmamedicine(Theresa Freeman)
8.

Plasma diagnostics (Eric Robert)

9.

Pathology for plasma medicine (Yuzuru

ICPM-7 の集合写真。ドレクセル大学 Main
Building の Great Court（ホワイエ）にて。隣Ikehara)接する Auditorium で毎朝基調講演が行われた。

10. Free radicals in plasma medicine and（現地実行委員会より許可を得て転載）

plasma agriculture (David Graves)19

国際会議報告24th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular
Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2018)
首都大学東京Europhysics Conference on the Atomic and

中川雄介
ルビア)

Molecular Physics of Ionized Gases (E S C A M

・応用(プラズマ支援燃焼)…N. Aleksandrov 教

P I G) は隔年で開催される欧州系国際会議であ授 (ロシア)り、低温プラズマの基礎から応用まで広い分野で口頭講演やポスター講演では、半導体プロセス

講演がなされています。第 24 回となる 2018 年度

やライフサイエンス等の応用に関する発表はその ESCAMPIG は、7 月 17 日から 21 日にかけれほど多くなく、分光計測や数値解析等の基礎的て、イギリスのグラスゴー大学にて開催されまし現象に関する発表が多いように感じました。また、た。グラスゴー大学は 1451 年に設立された英語

欧州内の複数大学で連携している研究発表が多圏最古の大学の一つであり、Adam Smith やかった点も印象的でした。各大学の強みを活かしJames Watt, William Thomson 等、名だたる研て研究のシナジーを図るというのは、近年の細分究者を輩出した歴史ある大学として知られてい化した研究においては特に重要のように思われます。Main Entrance のすぐ近くにあるゴシックます。

様式の壮麗な講堂にて、会議が開催されました。

2019 年度は、ESCAMPIG と隔年交代となる

講演プログラムは招待講演 17 件、一般口頭講

International Conference on Phenomena in

演 8 件、ポスター講演 198 件で構成され、200 名

Ionized Gases (ICPIG) が 7/14-19 の期間で北海を超える参加者の間で活発な議論が交わされま

道大学において開催される予定です。低温プラズした。欧州系国際会議ということもあり、大半はマ分野で最も権威ある国際会議である ICPIG は、

イギリス、フランス、ドイツを始めとする欧州各

プラズマエレクトロニクス分科会員の皆様にと国からの参加でしたが、日本からも 15 名以上がって非常に有意義な会議であると思いますので、参加されていました。

積極的なご参加をお願い致します。

招待講演では、日本から小野亮准教授 (東大)が大気圧プラズマのレーザ分光診断について講演されたほか、数値解析、計測診断、プラズマ応用に関して下記の著名な研究者による講演が行
われ、基礎的事項から最先端の研究まで幅広く紹介されました。
・数値解析とモデリング…A. Bourdon 教授 (フランス) 、R. Brinkmann 教授 (ドイツ)・レーザ分光診断…G. Dilecce 教授 (イタリア)
図 1. 会議が開催されたグラスゴー大学講堂

・衝突断面積等の基礎課程…Z. Petrovic 教授 (セ20国際会議報告第 22 回気体放電とその応用に関する国際会議
22nd International Conference on Gas Discharges
and their Applications (GD2018)室蘭工業大学大学院工学研究科

佐藤 孝紀

標記国際会議が、2018 年 9 月 2 日～7 日の期間
で Master Congress Center、Novi Sad、Serbiaで開催された。この会議は連合王国リバープール
大学 M. Meek 教授が中心となって 1962 年にスタートさせたものであり、2～3 年毎にヨーロッパの各国を中心に開催されてきた。昨今の国際会議
ではポスター発表が増える傾向にあるが、この会議ではすべての発表がオーラルプレゼンテーショ
ンという伝統も守り続けられ、今回の第 22 回開催を迎えた。
参加者統計

Novi Sad, Serbia
9 月 2 日午前、Chair の Prof. Z. Petrović とCardiff 大 学 の Dr. J. E. Jones の Welcome
address があり、GD2018 が正式にスタートした。
参加者は約 200 名であり、右に示す通り、日本からの参加者が最多であった。
今回は 10 件の招待講演(45 分)と 125 件の発表が行われるとともに、３つのワークショップも開催された。プレナリーとして実施された招待講演は以下の 10 件であり、日本人では名古屋大学の石川先生が火曜日に講演をされた。

21

Invited lectures
1. Controlling plasma surface interactions
whenchallenged
bystatistics
andequilibrium
M. J. Kushner, MIPSE University ofMichigan, USA
2. Nonequilibrium kinetics in CO2 plasmas
V. Guerra, IST Universidade de Lisboa,
Portugal
3. Lowtemperatureplasmasurfaceinteractions for their future basic researches
and applications
K. Ishikawa, Department of Electronic andElectric Engineering Nagoya University,Japan
4. Laser spectroscopy on plasma liquid systems
S. Reuter, INP Greifswald, Germany
5. Numerical and experimental study of arc
fault in aeronautical conditions
Prof.
Jean-Marc
Bauchire,
GREMI
Universite d’Orleans, France
6. The verification of a computational model ofarc motion using an arc imaging system
J.W. McBride, Faculty of Engineering andthe Environment University of Southampton,

UK
7. Simulation of subnanosecond discharges inhigh-pressure gases
G. V. Naidis, Joint Institute for High
Temperatures, Russian Academy of Sciences,
Russian Federation
8. Low temperature plasmas: fundamental andbiological applications
M. Yousfi, LAPLACE Université Paul
Sabatier of Toulouse, France
9. Basic data calculation and fundamental
experiment for SF6-alternative gases
Li, State key laboratory of electricalinsulation and power equipment Xi’an
Jiaotong University, China
10.Electric breakdown in high voltage gas
circuit breakers
M. Seeger, ABB Schweiz AG, Switzerland

A
B
C
D

ワークショップのテーマは、以下の3つであり、発表論文数、参加者数などの報告があり、GD2018

15件の招待講演があった。
WS1 Swarm Physics and Gaseous Dielectrics: Future
Challenges in Theory and Practice
WS2 Advanced Plasma Technologies in medicine,
biotechnology and agriculture
WS3 Modeling of plasma-materials interactions
一般もすべて口頭発表となるのがこの学会のが成功裏に終了したことが報告され、会議終了と

E
F
G
J
K
L
M
N

Arcs
44
Corona, Barrier & Surface Discharges 13
Glows and Breakdown
13
High Pressure Plasma and13
Applications
Low Pressure Plasma and Applications 6
Environmental and Medical
11
Applications
Pulsed-Power Applications
6
Lightning
4
Test Techniques and Diagnostics
4
Fundamental Processes and4
Cross-Section
Emerging and Topical Applications
6of Gas Discharges
Measurement Techniques
9

9 月 7 日午後に Closing Ceremony が行われ、なった。

特徴であり、125 件の発表が A～M のカテゴリーに分けられ、パラレルセッションで発表が進められた。アーク放電に関する発表件数が多いこともこの会議の特徴であるが、今回も 44 件の講演があり、開催期間の全てアーク放電の講演があった。以下に各セッションの名称と論文数を示す。

LOC member

GD2018 参加者
22

国際会議報告

The 16th International Symposium on High Pressure Low
Temperature Plasma Chemistry (HAKONE XVI)
金沢工業大学International Symposium on High Pressure

大澤直樹
用など）について紹介があった。会期中は，適切

Low Temperature Plasma Chemistry は箱根でなタイミングで 5 件の招待講演も行われた。

初回が開催されたので通称 HAKONE と呼ばれて Barrier Discharge and Pulsed Discharge
Modelling (Anne Bourdon)

いる国際会議である[1]。少規模の学会でありパラ Laser Induced Fluorescence in Nanosecond

レルセッションが無いため，参加者はすべての発表に参加できる特徴がある。今年度は 9 月 2 日かPulsed Discharges (Giorgio Dilecce)

ら 7 日の間，Tsinghua University（北京，中国）

 Pattern Formation in Dielectric Barrier
Discharge (Lifang Dong)で開催された。中国での開催は初めてである。会議には，16 か国から約 90 名の参加者（会場運営 Chemical Probes and Plasma Synthesis(Felipe Iza)のボランティア含む）が出席し，次のトピックについて研究成果の発表と質疑応答が行われた。(1)Fundamental

problemsofhigh Processing of Solid and Liquid Materials bypressure

Atmospheric-Pressure Surface DBD-Baseddischarges, (2) Modelling and diagnostics, (3)Jet (Milan Simek)

Molecular synthesis and decomposition, (4)次回は，TU/e メンバー主催のもと，2020 年 8

Ozone

generation

andapplications,月 24 日 か ら 28 日 の 間 ， Kerkrade ， the(5)Netherlands で開催される予定である。

Generation of radiation in high pressure
discharges, (6) Depollution and environmental
applications,(7)

Surfaceprocessing

andtechnology (cleaning, coating, etching andmodification,equipment),(8)

Biologicalapplications, (9) Miscellaneous
ISC chair と LOC chair からの開催挨拶のあと，
Ulrich Kogelschatz Lecture Award を受賞された
水野彰先生（豊橋技術科学大学）から“Electrostatics and Non-Thermal Plasma for
Health and Environment”という演題で講演をい

参考文献

ただいた。大気圧低温プラズマの応用（ESP，排[1] 小駒益弘; “プラズマエレクトロニクス分科会

ガス処理，プラズマと触媒の組合せ，生体への応

会報”, No.65, pp.41-42 (2016)23

国際会議報告

AVS 第 65 回国際シンポジウム＆展示会(AVS 65)報告
九州大学

古閑

一憲

AVS 第 65 回国際シンポジウム＆展示会（以下ある。加えて AVS における国別の学生参加者割合

AVS シンポジウムと呼ぶ）が、2018 年 10 月 21が報告されたが、米国を筆頭にほぼ同数で韓国、日（日）から 10 月 26 日（金）までの 6 日間、アフランス、日本、ベルギーの順であった。昨年度

メリカ合衆国カリフォルニア州ロングビーチのロは日本が 2 位であったので、来年はぜひ学生の参

ングビーチコンベンションセンターで開催された。 加も多く期待したい。
AVS シンポジウムでは、12 のトピックの他に

PSTD では学生に対して、Coburn and Winters

Focus Topic と呼ばれる臨時のトピックが設けら

student award（C&W award）表彰や旅費サポー

れて真空技術からバイオ技術まで幅広い分野の成トなどが行われている。今回の C&W Award では

果が議論される、日本の応用物理学会に相当する

6 名の学生が Finalist といて選出されその中から

会 議 で あ る 。 以 前 は 米 国 真 空 学 会 (American

Winner を選出する。Finalist を選出するために

Vacuum Society)と学会名を名乗っていたが、大は、特別セッションがクローズドで行われる。セ気圧プラズマを筆頭に真空とは程遠い技術に関し

ッションは通常のセッションで発表されるプレゼても議論されることが多くなり、単に AVS と名乗ンと同じものをプレゼンすればいいのであるが、っているようである。１２のトピックの中で本プ

今年は人数が多いため、時間を短縮されてしまい、

ラズマエレクトロニクス分科会に相当するのが、

苦 労 し た 学 生 も い た よ う で あ る 。 も し C&W

Plasmaaward に挑戦したいという素晴らしい日本人学

ScienceandTechnology

Division(PSTD)である。

生がいれば、コミッティからの連絡には注意して

AVS 全体的な参加者数は減少傾向にあるなか、いただきたい。Finalist は 500 ドル、Winner は

PSTD のみ参加者数にほぼ変動はなく、今回は、1000 ドル貰え、別途旅費サポートを受ける権利もセッションあたりの参加者数が８１名であり、近貰える。日本人学生も積極的な申請を期待したい。

年にない高い参加者数であった。４９回からの平PSTD はパラレルセッションが立つためすべて均をみても、PSTD 以外のセッションでの最大数のセッションを網羅できたわけではないが、製膜は 45 名であるのに対して、PSTD は 59 名程度の関連、エッチング関連ともにアトミックレイヤー

参加を得ており、多くの参加者を得ている分科でデポジション（エッチング）一色のセッション内
容であった。ナノ粒子の研究発表では、液相へのプラズマ照射などによるナノ粒子の生成が多いようであった。加えて金属ナノ粒子や触媒性の物質のナノ粒子作製が多かった。
次回 AVS66 は 2019 年 10 月 20 日から 25 日までオハイオ州コロンバスで開催される。日本から

ロングビーチコンベンションセンター遠景の積極的な参加をお願いしたい。
24

国際会議報告

71st Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2018)
第 71 回気体エレクトロニクス会議
首都大学東京杤久保文嘉2018 年の GEC は、11 月 5 日から 9 日にかけ、

Performance Computing for Plasma 、 Plasma

米国オレゴン州ポートランド市のオレゴン・コン

Diagnostics Workshop の 3 テーマであり、診断

ベンションセンターで開催されました。今回は、では午前中にチュートリアル、午後は先端プラズ

米国物理学会プラズマ物理分科会（APS-DPP）とマ計測の講演がされました。私自身は聴講してい同会場開催であり、GEC と DPP のジョイントセ

ませんが、チュートリアルでは、光学診断、質量ッション、女性研究者のための Women in Plasma

分析、プラズマ表面相互作用、プローブ計測につPhysics Luncheon などが企画されました。また、

いて、それぞれの権威が 1 時間の講演をするなど、

ポスターセッションは同会場で開催され、GEC ととても有意義であったかと思います。The Will

DPP のポスターを見られる環境が整えられ、相互Allis Prize は Leanne Pitchford 先生が受賞され、交流を後押ししました。この同会場開催の効果か“Solving the Boltzmann equation for electrons

定かではありませんが、Abstract 件数は、前回ピ

in weakly ionized gases”という演題の受賞記念

ッツバーグの 370 件に対し、今回は 504 件とのこ講演が行われました。一般講演の傾向についてはとでした。プログラム上で数えた所によれば、日昨年と同様であり、大気圧プラズマの現象解明や本からの発表件数は、ワークショップ 2 件、口頭応用に関する講演が多くなっています。具体的な発表 29 件（4 件の招待講演を含む）、ポスター発プログラムやアブストラクトは GEC2018 のウェ

表 25 件であり、前回よりは増えており、件数ではブサイトから探せますが、日本に比べ、基礎寄り

米国に次ぐ数になるのではと推測します。しかしの研究も充実しているように思います。シミュレながら、韓国からの発表は 31 件（口頭 9 件、ポーションは投稿件数が多いため、カテゴリーの修

スター22 件）、中国からの発表は 27 件（口頭 8

正が検討されることになりました。

件、ポスター19 件）であり、アジアの中でも決し

次回の GEC ですが、2019 年はテキサス州カレッて盤石ではありません。また、ドイツ、フランス

ジステーション市のテキサス A&M 大学において、も口頭発表を中心にそれぞれ 40 件以上を発表し10 月 28 日から 11 月 1 日の予定で開催されます。

ており、日本の相対的な位置は低下しています。

カレッジステーションへは、ヒューストンからPE 分科会は GEC と ICRP の合同会議を過去に 3

One and half hour drive との説明があり、また、回行うなど GEC との関係性に加えて対象分野のヒューストンとダラスから航空便もあるようです。

親和性も高く、質の高い発表も多いので、今年以また、次々回の 2020 年はカリフォルニア州サン

上に皆様の御参加をお願い致します。

ディエゴ市にて、10 月 5 日から 10 月 9 日に開催される予定です。是非、今からスケジュール帳に

本題の会議ですが、例年同様に初日はワークシ
ョップが開催されました。今回は Multi-Physics

記載ください。

Object Oriented Simulation Environment、High
25

国際会議報告

第 2 回アジア太平洋プラズマ物理学国際会議(AAPPS-DPP 2018)
開催報告
金沢大学理工研究域電子情報学系

上杉喜彦

中国成都市で開催された第 1 回アジア太平洋プ

参加者の皆さんにいろいろご不便をおかけしましラズマ物理学国際会議(AAPPS-DPP 2107)に引きた。会議が進むにつれて、現地実行委員やアルバ

続いて、平成 30 年 11 月 12 日（月）から 16 日

イト学生の皆さんも落ち着いて対応出来るように（金）にかけて、金沢市の石川県文教会館と金沢なり、参加者の皆さんも 2 会場分散開催という不市商工会議所会館の２会場において AAPPS-DPP

便さにも慣れて、会場にある空きスペースを使っ2018 を開催いたしました。

て議論の場に使うなど、会場を有効に使われておAAPPS-DPP は、アジア太平洋物理学会連合プ

りました。

ラズマ分科会が主催する新しい国際会議で、国外研究室で現地実行部隊を組織するに当たり、富からプラズマ物理に関する主要学会である米国物山大学、金沢工業大学の関連分野の先生方にも多理学会プラズマ分科会(APS-DPP)、中国物理学会

くの助力をいただき、ここに感謝申し上げます。

プラズマ分科会(CPS-DPP)、韓国物理学会プラズ

今回、中国、韓国、インドなどアジアの国々から

マ 分 科 会 (KPS-DPP) 、 イ ン ド プ ラ ズ マ 科 学 会

多くの参加者があるということで、金沢大学の留(PSSI)、国内から日本物理学会に加えて応用物理

学生から英語と日本語で十分コミュニケーション

学会プラズマエレクトロニクス分科会、
プラズマ・を取ることの出来る学生さんに現地受付を担当し核融合学会、レーザ学会、日本天文学会、地球電てもらい、非常に機能的に受付作業をやってもら

磁気・地球惑星圏学会など、プラズマ物理に関すいました。

る基礎から応用分野にわたる多くの学協会の共催

最後に、石川県および金沢市からコンベンショのもとに開催されました。前回成都大会の参加者

ン誘致推進事業補助金を通して会議開催の多大なを 200 人以上越える 700 人余りの参加者を得て、支援をしていただき、感謝申し上げます。

成功裏に会議を終えることが出来ました。参加国
としては、参加者数が多い順に中国、韓国、インド、アメリカ、フランス、ドイツ、台湾など国外
26 カ国からアジア・太平洋地域だけでは無く、ヨーロッパからも多く参加いただきました。
今回の AAPPS-DPP 2108 は、第 2 回目という新しい国際会議であり、国内に開催母体となる組
織も無く大学の一研究室が現地実行部隊を買って出たために（私が独断で決めて残りメンバーにお願いして引き受けてもらいました）、
準備不足もあ会議初日オープニング時の集合写真って会議初日の参加登録から会場が大変混雑し、（石川県文教会館ホールにて）26

国際会議報告40th International Symposium on Dry Process (DPS 2018)
第 40 回ドライプロセス国際シンポジウム
ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ株式会社

深沢

正永

第 40 回ドライプロセス国際シンポジウム（DPS） 催の記念イベントが盛大に開催された。まず、サが 2018 年 11 月 13～15 日の三日間にわたり、名ンディスク/ウェスタン・デジタルの小池氏より未古屋大学の豊田講堂にて開催された。今年は 40 回

来の半導体工場を予見した Intelligent Fab に関記念講演会が初日に開催され、例年より一日長いする講演があった。発表では、スマートフォンを会期となった。

活用したリアルタイムでのアンケート等、聴衆を本シンポジウムはドライエッチングを中心とし飽きさせない工夫が随所に見られた。引き続き、たプラズマプロセスの分野において 40 年の長い

Eindhoven University of Technology の Richard

歴史を持ち、産官学から最先端の研究成果が報告

van de Sanden 氏より、再生可能エネルギー開発

され、積極的な意見交換がなされる重要な学会でのご講演、東工大の若林氏より、将来の LSI の予ある。今年も、半導体デバイスを中心とした最先測に関するご講演、東大の原田氏より、バイオニ

端のプラズマプロセスの内容が多く報告された。

ックヒューマノイドに関するご講演、名古屋大の講演件数では、招待講演 8 件、口頭発表 20 件、森川氏より自動運転を活用した Mobility services

ポスター発表 114 件が採択され、10 のセッショに関するご講演があり、幅広い分野における将来ンを通じて活発な議論が交わされた。そして国内

Vision を共有する事で、プラズマプロセスとの融外の大学や企業等から例年比大幅増の 487 名の参合を考える貴重な機会となった。又、若手を代表加者を迎えて、盛況のうちに幕を閉じたので概況

して、日立の岩瀬氏、名古屋大の鈴木氏、堤氏かを報告する。

ら、DPS の 40 年を振り返ると共に、それらをままず、本シンポジウムを創始された西澤潤一先

とめたポスターに関する講演があった。常設され生が、本年 10 月 21 日に、御逝去された事は、関たポスターの前では、過去の成果を懐かしむ諸先係者にとってもあまりに突然で、信じられない気輩方の姿も見られ、新旧エンジニアの交流の機会持ちであった。冒頭に、堀池先生より、西澤先生

として、すばらしい試みになった。
2、3 日目は、従来の DPS とほぼ同様の形で講の数々の御貢献が紹介され、参加者全員で黙祷を演が行われた。本年は Keynote として、Lam

捧げ、謹んで哀悼の意を表した。

DPS の最高位の賞である Nishizawa Award は、 Research Corp.の Richard Gottscho 氏をお招き
辻本和則氏(元（株）日立製作所)、早坂伸夫氏（東し、近年検討が活発化している Atomic Layer

芝メモリ（株））、中村守孝氏（MAMO）、斧 高一

Etching (ALE)のコンセプト、メカニズム、材料に先生（大阪大学教授）の 4 名が受賞され、受賞記応じたイオンエネルギー制御の重要性等について

念講演が行われた。

ご講演頂いた。

初日の午後には、主に若手から構成される Ad

また、本年は二つのアレンジセッションを企画

Hoc Committee for 40th Anniversary Project 主し た 。 一 つ 目 は 、 近 年 ALE や Atomic layer
27deposition (ALD)を始めとする原子層レベルの微の村山氏よりスマートフォンのパッケージに応用

細加工技術が注目されているのを受けて、される実装工程向けプラズマ加工技術が報告され「 Control of surface reactions in atomic-

た。今後も幅広い応用が期待される。又、プラズ

precision plasma processing」と題して、講演を

マ計測のセッションでは、広島大の水川氏より大募集した。二つ目として、メモリデバイスを中心

気圧熱プラズマジェットに関連した温度計測の報に更なる高アスペクト加工技術が要求されている

告が行われ、名古屋大の中根氏からは、最先端ののを受けて、「Etching challenges in extremely

上部電極 DC 重畳型 CCP 装置の活性種計測に関

high-aspect-ratio (HAR) features (AR > 100)」とする報告がなされた。今後の最先端プロセスの実

題して講演募集を行った。

現には、産官学連携がますます重要になる。

まず ALE 関連のアレンジセッションでは、

又、IBM の Nathan Marchack 氏より MRAM 加工

Univ. of Maryland の Gottlieb S. Oehrlein 氏か

時の Hard Mask に用いられる TiN や TaN についてら SiO2 ALE 時の対 Si、SiN、SiGe 膜に対するALE 加工の報告がなされた。ALE 技術のデバイス

選択比生成メカニズムに関する報告があった。又、応用の広がりを感じさせる報告であった。

Univ. of Grenoble の E. Despiau-Pujo 氏からは Si や

半導体デバイスの三次元化に伴いプラズマプロ

SiN の ALE 時の原子レベルの表面反応についてシセスの重要性がますます高まっており、特にメモミュレーション解析された結果が報告された。
又、

リ分野では、加工技術がその進展を決めている状

東京エレクトロン宮城の熊倉氏からは、H+による況である。更に、先端 LSI の微細化に伴いまさに変質層を用いた SiN 及び SiC の高選択比 ALE に

原子レベルの制御が必要となっている。今後も本関して報告された。又、ALD 関連では、近年注目

シンポジウムがこれらの発展に貢献できることをを集めている Area selective ALE を中心に、imec

期待している。又、LSI 応用以外にも、バイオ、の Silvia Armini 氏、及び東京エレクトロン US

センサー応用の発表等も見られ、ドライプロセスの Gert Leusink 氏より最先端 LSI 向けの研究開

技術の新しい展開も、大いに期待させられる内容

発状況についての議論がなされた。

であった。

次に HAR etch のアレンジセッションでは、

又、本シンポジウム開催にあたり、名古屋大学、Samsung の Sangwuk Park 氏から、VNAND の

応用物理学会を始め、多くの方々からのご支援、発展を決定づけるといっても過言では無い、超高ご協力を頂きました。ここに感謝申し上げます。

アスペクト比構造の絶縁膜加工の課題について、来年も多くの皆様のご参加をお待ち致します。

その全体像が示された。続いて、東芝の大村氏よ

末筆ではございますが、ご生前の西澤潤一先生のり、側壁の Striation（縦筋）生成メカニズムに対ご厚情にドライプロセス関係者一同、深く感謝す

する報告がされたと共に、日立の岩瀬氏より、高ると共に、故人のご功績を偲び、心よりご冥福をアスペクト比構造中の NH4Br の輸送と CFx とのお祈り申し上げます。

比較に関する報告がなされた。これまで、HAR
etch の重要技術に関する報告はなされてこなかった。今回、各社から発表が行われた事で、非常に活発な議論が交わされたことは特筆に値する。
プラズマプロセスの新しい応用では、ULVAC
28

国内会議報告

第１２回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
東京工業大学赤塚洋

豊橋技術科学大学

国立中央青少年交流の家（静岡県御殿場市）に

針谷達

秋山秀典（熊本大）

おいて、平成３０年９月３日（月）～５日（水）＜専門講座＞にプラズマエレクトロニクスインキュベーション「プラズマ生成と制御~低圧プラズマを中心に~」ホールを開催しました。本企画は、プラズマを利布村正太（産総研）

用した研究開発に取り組もうとしているプラズマ「プラズマ成膜の基礎と応用」

エレクトロニクス分野の初学者（学生、若手研究上坂裕之（岐阜大）

者、社会人技術者）を対象とし、プラズマプロセ「プラズマ診断・計測」

スに関する入門から最先端の動向までの理解を深北嶋武（防衛大）めていただくために一流の講師陣を招いて実施す「ドライエッチング技術」

る講習会で、「プラズマエレクトロニクスインキ

辰巳哲也（ソニーセミコンダクタソリューショ

ュベーションホール」となってから１２回目の開ンズ）

催となりました。今回の受講者は５６名で、うち「大気圧プラズマの水処理応用の基礎」

女性４名、企業からの参加は１１名でした。

竹内希（産総研）

秋山秀典先生による特別講座、ならびに５名の＜英語講座＞

講師によるプラズマの基礎からプラズマエレクト「科学技術英語の基礎」

ロニクスの最前線までの講座に加え、廣岡慶彦先

廣岡慶彦（中部大）

生による英語講座も実施しました。初日夕刻にはポスターセッションを設け、講師、幹事、ならびに受講者による評価得点により４名が優秀ポスタ
ー賞に選出されました。また、２日目には参加者間の交流が深まるようレクリエーション（雨天のため、室内でドッジボール大会）を実施しました。
ポスター賞受賞者（敬称略）
アハマド シャヒール ビン アハマド ノール（東担当幹事（敬称略）

北大）、岩田直幸（名城大）、新田魁洲（東京大）、

校長：赤塚洋（東工大）

前田昌吾（名古屋大）

幹事：針谷達（豊橋技科大）、高橋克幸（岩手大）、
太田貴之（名城大）、篠原正典（佐世保高専）、内

講座内容（講師名敬称略）

田諭（首都大）、近藤博基（名大）、高島圭介（東＜特別講座＞北大）、鈴木歩太（東京エレクトロンテクノロジー「プラズマの新学術分野創成を目指したあがき」

ソリューションズ）29

国内会議報告2018 年 第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
特別シンポジウム「最先端プラズマ科学技術が創る未来社会」報告
九州大学

古閑 一憲

2018 年 第 79 回応用物理学会秋季学術講演会

来を支えるプラズマプロセス技術」という題目で、特別シンポジウム「最先端プラズマ科学技術が創

IoT をベースにした Society5.0 やアンビエント

る未来社会～半導体から医療・農業・宇宙探査ま

情報化社会等の様々な未来像の中で、今以上に重で～」が、2018 年 9 月 18 日、名古屋国際会議場、要となって半導体デバイス技術の中のプラズマ技

国際会議室で開催された。本シンポジウムは、プ術の進化の歴史を振り返り、将来の発展に向けて

ラズマエレクトロニクス分科会を中心として、応議論を広げていただいた。４番目は、名古屋大学

用物理学会 東海支部、第 79 回応用物理学会秋医学部教授の豊國伸哉先生から「新たながん治療

季学術講演会 現地実行委員会による企画であり、 法に向けたプラズマ生物学の進展」という題目で、第 1 次産業から第 3 次産業までが情報技術により近年新しいがん治療法として注目を集めているプ

有機的・総合的に結合した未来社会において、プ

ラズマの医療応用の最近の進展と可能性について

ラズマ科学技術が示す大きな可能性について、半解説していただいた。５番目には、JAXA 宇宙探

導体から医療・農業・宇宙探査まで様々な面から査イノベーションハブ長の久保田孝先生から、「宇議論することを目的とした。

宙探査からみた未来の科学技術」という題目で、シンポジウムでは、７名の講師の先生方に講演

未来社会における人類社会の縮図とも考えられる、していただいた。初めに宮城大学理事長兼学長で月・火星探査で検討されている科学技術（ロボッあり、前文部科学省科学技術・学術研究所長でもト、 ICT、材料技術、植物工場など）について解ある川上伸昭先生から「Society5.0, この政策はな説していただいた。６番目には、著者である古閑ぜ生まれ, 何を求めるのか」という題目で、日本が、「プラズマ農業の挑戦」という題目で、農業生政府が提唱している Society5.0 について、その立産性の向上に寄与できると期待されているプラズ

ち上げからの議論について、当時考えられていた

マの農業応用の現状について解説した。最後に名ことなどのお話をいただきつつ、未来社会に向け

古屋大学教授の堀勝先生から「プラズマ工学の過て科学技術研究者が進むべきことについてお話し

去・現在・未来」という題目で、プラズマの半導いただいた。2 番目に自然科学研究機構長の小森

体プロセスから生体プロセスへの展開について、彰夫先生からは、「未来の科学技術を生み出す新しそして、未来社会の創製に貢献するプラズマの重い学術研究分野の創成に向けて」という題目で、要性について解説していただいた。

自然科学に関する日本の最先端学術研究機関であシンポジウムでは、立ち見が出るほどの盛況ぶる自然科学研究機構における新分野融合の動きのりであり、200 名程度の参加者を得て、プラズマ紹介から、この重要性について講演していただい

技術が未来社会における重要技術として期待された。3 番目に、ソニーセミコンダクタソリューシていることを示す良い機会となった。

ョンズの辰巳哲也先生から「半導体デバイスの未30

国内会議報告2018 年第 79 回応用物理学会秋季学術講演会 プラズマエレクトロニクス分科企画シンポジウム「プラズマ・インフォマティクス〜 ビッグデータ解析の活用によるプラズマ科学の発展 〜」
大阪大学工学研究科
表記のプラズマエレクトロニクス分科会企画シ

浜口智志

構成された。

ンポジウムが、第 79 回応用物理学会秋季学術講

当日のプログラムは以下のとおりである。筆者

演会会期中の 2018 年 9 月 19 日(水)13:30-17:15の趣旨説明の後、東京大学の福島孝治氏による基に、同会議場である名古屋国際会議場 141 会場で調講演「データ駆動科学の物質科学への展開」が開催された。世話人は、太田貴之（名城大）、古閑

行われ、その後、核融合科学研究所の村上泉氏に一憲（九大）、酒井道（滋賀県立大）の各氏と筆者よる「原子分子データベースとデータ評価」
、物質

であった。

材料機構の木野日織氏による「マテリアルズ・イ

本シンポジウムの題目にある「プラズマ・イン

ンフォマティクスにおける記述問題、予測問題、

フォマティクス」は、広く使われている言葉でな

提案問題」、日立製作所の大森建史氏による「プラいが、よく知られた「マテリアルズ・インフォマ

ズマエッチング形状最適化への機械学習応用」、核ティクス」の類推から大方の意味は想像されよう。

融合科学研究所の横山雅之氏による「統計手法に「マテリアルズ・インフォマティクス」とは、材よる核融合プラズマの熱輸送モデリングの試み」

料の理解を深め、かつ、既存の材料の活用や新規の４件の招待講演が行われた。また、愛媛大学の材料の開発・発見を促進することを目的に、材料研究グループによる一般講演、「プラズマ遺伝子導科学分野への応用に特化した「データ駆動科学」

入におけるプラズマ照射条件のインフォマティッ

のことである。ここで、「データ駆動科学」とは、

クス的最適化」、も行われた。本部の集計によると従来の統計学や情報学に基づくデータ解析を含む、 約 130 名の聴講者数があり、大変盛況であった。
確率的推論、データマイニング、機械学習、人工本シンポジウムの前日の 9 月 18 日には、応用知能など、広範なデータ処理に関する科学の他、物理学会全体の「特別シンポジウム：インフォマ

GPU コンピューティング等データ解析に有効なティクスへの招待 機械学習・インフォマティク

新規の数値計算技術を指す。
「プラズマ・インフォスは応用物理をどう変えるか？」 が開催され、マティクス」も同様に、プラズマ科学の発展を目

応用物理学会全体としてインフォマティクスへの的に、プラズマ科学への応用に特化した「データ関心が高まる中で、本分科会企画シンポジウムも駆動科学」を指す。

大変タイムリーな企画となった。筆者らは、関連

本シンポジウムは、「プラズマ・インフォマティする国際会議「第２回データ駆動プラズマ科学国クス」の概念をより多くの人に知ってもらうこと

際会議」（ https://icddps2019.sciencesconf.org/ ）を目的に、「データ駆動科学」一般の紹介も含めて、も企画しており、こちらへも多くの方が参加・発プラズマに関係する幅広い観点の関連講演により表されることを期待したい。

31

国内会議報告2018 年第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
第 18 回分科内招待講演報告
東京工業大学 赤塚 洋
第 79 回応用物理学会秋季学術講演会（2018 年 9Layer Deposition 法（原子層堆積）
」です。
一層一層、

月 18 日〜21 日、名古屋、名古屋国際会議場）の２原子層が堆積されるような超微細化技術が応用され日目に、分科内招待講演が開催されました。第 18 回ています。高密度化に従い積層数が増えるので、45.5を迎える今回は、東芝メモリ株式会社

ものアスペクト比が要求されるとのことでした。

研究所

センター

まとめとして、このような状況での課題とイノベ

林 久貴 博士をお招きして、「半導体デバイスーションへの期待が説明されました。高アスペクト

製造用プラズマエッチング技術とイノベーションへ

比微細加工(HARC)には、プラズマエッチングがキの期待」と題してご講演をいただきました。

ーテクノロジーとなります。結局はエッチングとデ

長附

プロセス技術研究開発センター

メモリ技術

最初に、フラッシュメモリへのニーズに対する東ポジションという、旧来からのプラズマエレクトロ

芝メモリ社の長年の貢献の歴史が紹介されました。

ニクス特有の微細加工技術に、さらに磨きをかける

1987 年 NAND 型フラッシュメモリの開発、1991 年のが、次世代を開くためのイノベーションとなりま

量産化に成功、以降、素子配線幅の着実な微細化にす。問題点は開発現場でも様々に山積しており、マより 2014 年には 15 nm の NAND メモリを市場に

スク変形、選択比の不足、穴底のエッチング速度の提供されるなど、輝かしい歴史です。生産の一大拠低下、などです。それらを克服するため、最適なマ点である四日市工場の活況も紹介頂きました。

スク材料開発、孔内反応の MD シミュレーション、

次に、情報量の爆発的な増大への解決技術として、

高効率エッチャントの探索、非破壊 3D 検査装置開NAND フラッシュメモリ微細化の従来技術が紹介

発、HARC のための新技術の開発が必要であることされました。同時に 2 次元メモリの限界に気づき、が示されました。高アスペクト比孔内での表面化学

開発の方向を「３次元化」と早くから設定されまし

現象を理解し、その反応を実現するためのプラズマた。東芝メモリ社は 2007 年に世界に先駆けて学会の生成・計測・制御が必須という結論を下さいまし発表実績を残されました。それにより 3D 化によるた。プラズマエレクトロニクス分野の長年の研究開

新たなブレークスルーが提示され、市場開拓が推進

発〜エッチングとデポジション〜を更に展開していされたことが説明されました。

くことが、今後のメモリ技術のイノベーションをも引き続いて、3D メモリの特徴が技術的な観点からたらす、とまとめられ、本稿の筆者には、PE 分科会

紹介されました。3D フラッシュメモリは、シリコンへの力強い激励の言葉と理解することができました。

平面から垂直方向に素子が積み上がった構造です。

改めまして、大変興味深いご講演、なおかつ激励「直径 100nm、深さ 4.5um の孔を 300mm ウエハの言葉とも取れるお言葉をくださいました林 博士

上に 1.7 兆個」という途方も無いスペックが、当たに心より御礼申し上げると共に、多くの聴講者にごり前のように実現されていることが説明されました。 参集いただきましたことを、感謝申し上げます。
そ こ で キ ー テ ク ノ ロ ジ ー と な る の が 、「 Atomic

32

国内会議報告2018 年 第 79 回応用物理学会秋季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科内 海外招待講演報告
名古屋大学

近藤 博基

佐世保高専

柳生 義人

本分科会企画の海外招待講演は，9 月 18 日

生 に 「 Low temperature plasma synthesis of

10:30~12:00 に開 催され た 。今 回は ， English

novel nanomaterials」の題目でご講演頂いた。本Session を前半と後半に分け，その間に海外招待

研究では，Ar に TiCl4 と NH3 を原料とした低温

講演を配置するよう工夫されたプログラムで実プ ラズマを 用いて ，ほぼ 化学量論 量と等 しい施された。

10nm 以下の TiN ナノ粒子の合成に成功したこと

招待講演 1 件目（10:30~11:15）は，Universityが紹介された。貴金属以外の金属ナノ粒子は，酸of South Australia の Endre Szili 先 生 よ り

化されることで元来の機能が抑制されることが「Tissue models in plasma medicine research」

ある。作製した TiN ナノ粒子においても，光学特の題目でご講演頂いた。大気圧プラズマにより生性が酸化に大きく影響されることが明らかとな成される活性酸素・窒素種（RONS: Reactive

ったため，2 段階のプラズマプロセス（Two-steps

oxygen and nitrogen species）の生体組織内でのplasma process）により，TiN ナノ粒子を SiN で輸送やその制御について，細胞組織を模擬した 3覆うことで酸化を効果的に防止する方法が紹介

次元モデルを用いた実験結果について報告されされた。TiN ナノ粒子は，近赤外域でプラズモン

た。実験系は，水を入れた石英セルの上部にゼラ

共鳴を示すことから，太陽光を吸収して熱に変えチンやアガロースが主成分の生体膜モデルを配る光熱変換や光触媒作用などのアプリケーショ

置するというシンプルな構成になるよう工夫さンへの期待が示された。

れたものである。He プラズマジェットを厚さ数

両講演ともに大変興味深い内容で，ご講演後

ミリの生体膜モデルに照射したときに，生体膜モの質疑応答でも活発な議論が交わされ充実した

デルを介して水中に輸送される活性種の同定や招待講演であった。

濃度の定量などを紫外可視分光光度計により測定した結果，H2O2，NO2-，NO3-が検出され，生体膜モデルを介して輸送されることを示された。3次元モデルを使った本研究により，生体膜を介して反応性分子を生体組織内に輸送できる可能性が潜在的に示されたことは，皮膚の上から照射したプラズマにより RONS を皮下組織に届けることで感染を予防したり，薬剤の経皮吸収を助ける働きも期待できることに言及された。
招待講演 2 件目（11:15〜12:00）は，Universityof California, Riverside の Lorenzo Mangolini 先
33

行事案内

2019 年 第 66 回応用物理学会春季学術講演会
プラズマエレクトロニクス分科会企画
東京工業大学◼ はじめに赤塚 洋

日程：3 月 10 日（日）11:00〜11:30（予定）2019 年 3 月 9 日（土）〜12 日（火）に東京工

会場：未定

業大学 大岡山キャンパス（東京都目黒区）にて、

ご講演者：本田 昌伸 様（東京エレクトロン宮城

第 66 回応用物理学会春季学術講演会が開催され(株) 先端プロセス開発室 室長）

ます。本稿では、プラズマエレクトロニクス分科

講演題目：「半導体製造における微細加工技術の最会企画の概要とスケジュールを紹介いたします。

前線（仮）
」

脱稿時点で未定の部分も含まれるため、詳細につ◼ （第２日）プラズマエレクトロニクス賞授賞式

きましては応用物理学会の HP でご確認をお願い

講演会 2 日目には、第 17 回プラズマエレクト

いたします。

ロニクス賞の授賞式を予定しています。今回の受◼ （第１日）チュートリアル講演

賞候補論文の推薦締め切りは 2018 年 12 月 21 日

今春季講演会も、講演会初日に、チュートリア

（金）ですので、この記事が皆様に届いた時点でル講演を企画いたしました。第８回を迎える今回はまだ募集中の可能性が高いです。自薦、他薦はは、大阪市立大学の白藤 立 先生より、プラズマ

問いませんので、是非ともふるって推薦ください

成膜、CVD に関して基礎から最先端技術までをごますようお願いいたします。詳細は、下記の HP

講義賜ります。チュートリアル講演は事前予約制

にてご確認ください。

となっています。定員がありますので、お早めに(http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/pe_awa

ご予約頂きますようお願いいたします。

rd.html)

日程：3 月 9 日（土）9:00〜12:00（予定）
会場：未定

日程：3 月 10 日（日）11:30〜11:45（予定）

講師：白藤 立 先生（大阪市立大学）

場所：分科内招待講演と同一会場の予定

講演題目：「気相からの薄膜形成の基礎～プラズマ◼ （第２日）分科会企画シンポジウム屋の視点から～」学会２日目の 10 日（日）に、分科会企画シンポ◼ （第２日）分科内招待講演

ジウム「カーボン系材料プラズマプロセスの現状

第 22 回目となる次回の分科内招待講演では、と課題」を開催いたします。アモルファスからダ

東京エレクトロン宮城(株)の本田 昌伸 様よりごイヤモンドなど多様な同素体を持つ炭素材料は、講演を賜ることとなりました。是非とも会場まで

機械的用途からエレクトロニクスまで幅広い活躍

足をお運び頂きますよう、お願い申し上げます。

が期待されています。これらの炭素材料の機能を最大化して利用するためにプラズマプロセスが活34

用されております。本シンポジウムでは、第一線(https://www.jsap.or.jp/young-scientist-

で活躍されている研究者をお招きして、カーボン

presentation-award)

系材料プロセス分野における現状と課題を共有し、 ☐ 講演奨励賞 受賞記念講演
さらなる研究開発の加速を期待すべく議論を展開

日程・会場：未定（プログラムをご確認ください）

します。皆様奮ってご参加ください。

受賞者：宮原 奈乃華 氏（九州大学）
選考対象発表：スパッタエピタキシーによるサフ

日程：3 月 10 日（日）13:30〜18:00（予定）ァイア基板直上への In-rich (ZnO)x(InN)1-x 膜の作

会場：未定

製

1. はじめに

山田英明
（産総研）

2．３D メモリデバイスを指向したカーボン膜エ受賞者：福島 諒 氏（愛媛大学）

ッチング

選考対象発表：プラズマによる養殖魚の成長促進

渡邉 桂（東芝メモリ）

3．DLC 成膜技術の最新事情と今後の展望
平塚傑工（ナノテック）
4. 炭素材料のプラズマ反応素過程◼ English Session
今回もプラズマエレクトロニクス分野を横断す伊藤篤史（NIFS）
5. グラフェンプロセスの最新事情

るトピックスで「8.6 Plasma Electronics English
Session」と題した English Session を予定してい

加藤俊顕
（東北大）

ます。留学生の方に限らず、日本人学生の方も是

6. ダイヤモンドエレクトロニクス／量子デバイ

非とも奮って参加いただければと思います。
なお、

スにおけるプラズマプロセス課題

今回は海外招待講演を予定しておりません。

波多野睦子
（東工大）
7. おわりに

山田英明（産総研） ◼ おわりに(上記タイトルは全て予定)

本案内作成の時点では、プログラムの詳細は未このシンポジウムには、
上記の招待講演に加えて、定ですが、学会初日の 3 月 9 日（土）には、チュ２件程度一般講演も含められ、議論が深められる

ートリアル講演、学会 2 日目には分科内招待講演、予定です。

とシンポジウムを始めとする分科会企画を実施予定です。最終プログラムを確認の上で会場までお◼ 講演奨励賞受賞記念講演

越しください。また、3 月 10 日（日）の昼には PE

第 45 回（2018 年秋季）学術講演会での講演奨分科会のインフォーマルミーティング、同日夕刻

励賞の受賞者が応物 HP にて発表され、宮原 奈には恒例の PE 分科会懇親会も企画される予定で乃華氏（九州大学）と福島 諒氏（愛媛大学）が受す。詳細は担当幹事から改めて案内があると存じ賞されました。栄誉ある本賞を受賞されました皆ますが、是非、スケジュールに加えておいてくだ

様には、この紙面を借りてお祝い申し上げます。

さい。ご不明な点がありましたら、お気軽にお問

受賞記念講演の日程／会場は未定ですが、プログ

い合わせください。

ラムをご確認の上、会場まで是非とも足をお運びください。過去の講演奨励賞受賞者につきまして

連絡先： 赤塚 洋 （東京工業大学）

も、下記の HP よりご確認頂けます。

hakatsuk@lane.iir.titech.ac.jp
35

行事案内

11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its
Applications for Nitrides and Nanomaterials / 12th International
Conference on Plasma-Nano Technology & Science(ISPlasma2019 / IC-PLANTS2019)名古屋大学

大学院工学研究科

ISPlasma は、東海広域ナノテクものづくりクラ宮﨑誠一

医療／農業用プラズマ、クリーンエネルギー用スター事業の一環として、当地域に国際競争力をプラズマ、ナノテクノロジープラズマ有する先進プラズマナノ科学研究拠点を形成する◆ 窒化物半導体：GaN および関連材料の結晶成ために 2009 年から毎年開催されている国際会議

長、窒化物 MBE 成長、評価技術、デバイスプ

で、今回は 11 回目となる。

ロセス、光デバイス、電子デバイス、パワーデ

一方、IC-PLANTS は、本邦唯一の産業応用プラ

バイス

ズマセンターである名古屋大学大学院工学研究科◆ ナノ材料：ナノパーティクル／ナノチューブ／附属プラズマナノ工学研究センターの主催する国

ナノワイア／ナノロッド／2 次元ナノ材料、ポ際会議として 2008 年から毎年開催されている。

ーラス材料／メンブレン、コンポジット／傾斜2014 年より、この２つの国際会議を合同し、先機能材料、ソフトナノ材料、表面改質／表面機

進プラズマナノ科学、およびナノ材料、窒化物半能化、エネルギー応用／環境応用／ナノメディ

導体研究に加え、振興著しいプラズマバイオ分野

シン／センシング応用までも包括的に対象分野として開催している。本◆ バイオ応用：プラズマ農業、バイオイメージン

会議では、プラズマ分野で長い歴史と研究実績を

グ、電気化学デバイス、バイオセンサ、バイオ有する東海地域に世界中から優れた研究者が集い、マーカ、バイオ材料、バイオデバイス／μTAS／

先進プラズマ科学、窒化物半導体とナノ・バイオ

Lab-on-a-Chip

材料への応用について広く議論するとともに、最新の研究成果を発表および討議する。

＜プレナリー講演：1 件＞
川合 眞紀 (分子科学研究所)

会期：2019 年 3 月 17 日（日）～3 月 21 日（木）＜基調講演：4 件＞
Davide Mariotti (Ulster Univ., UK)

場所：名古屋工業大学

Kevin J Chen (Hong Kong Univ. of Sci. and（愛知県名古屋市昭和区御器所町）

Tech., Hong Kong)＜関連分野＞

Gyeong S. Hwang (Univ. of Texas, USA)◆ プラズマ科学：プラズマ源、先進プラズマ計測

Hans-Robert Metelmann (Univ. Medicine
Greifswald, Germany)

技術、モデリングとシミュレーション、液中プ＜チュートリアル講演：4 件＞

ラズマ、エッチングプロセス、薄膜成膜プロセ

渡辺 隆行 (九州大学)ス、フレキシブルエレクトロニクス、バイオ／36

橋詰 保 (北海道大学)

守屋 剛 (東京エレクトロン㈱)Uroš Cvelbar (Jožef Stefan Inst., Slovenia)

加藤 俊顕 (東北大学)

Alexander Fridman (Drexel Univ., USA)

佐々木 毅 (産業技術総合研究所)＜招待講演：40 件＞

Hyunjoo J Lee (KAIST, Korea)

小室 淳史 (東北大学)

Gregory Fridman (Drexel Univ., USA)茂田 正哉 (大阪大学)

Jong-Shinn Wu (国立交通大学, 台湾)

Young-Hoon Song (Korea Inst. of Machinery

山西 陽子 (九州大学)
池田 純一郎 (千葉大学)

and Materials, Korea)
竹田 圭吾 (名城大学)

Robert Short (Lancaster Univ., UK)

Yeon Ho Im (Chonbuk National University,

Gianluca De Masi (Consorzio RFX, Italy)
Korea)

Emilio Martines (Consorzio RFX, Italy)

Stefano Sanguinetti (Universita' degli Studi

Eun Ha Choi (Kwangwoon Univ., Korea)

di Milano-Bicocca, Italy)

Jean-Michel Pouvesle (CNRS/Univ. d'Orleans,

成田 哲生 (㈱豊田中央研究所)

France)上山 智 (名城大学)

Michael Keider (The George Washington Univ.,

Jan Kuzmik (Inst. of Elec. Eng., Slovak Academy ofUSA)- Riccardo d'Agostino 教授追悼記念講演-

Sci., Slobakia)
定昌史 (理化学研究所)

Pietro Favia (Univ. of Bari, Italy)

秩父 重英 (東北大学)

Ta-chin Wei (中原大学, 台湾)

Agata Kaminska (Inst. of Phys., Polish Academy of＜メインシンポジウム参加費＞

Sci., Poland)
柴田 智彦 (DOWA エレクトロニクス㈱)早期登録(~2019/1/31) 前・当日登録(~2018/3/21)

土肥 俊郎 (㈱Doi Laboratory)

一般： 45,000 円

50,000 円

佐野 泰久 (大阪大学)

学生： 15,000 円

20,000 円

西川※ バンケット＞一般： 6,000 円、学生：3,000 円

敦(ALLOS Semiconductors GmbH,＜チュートリアル参加費＞

Germany)
Debaleen Biswas (名古屋工業大)・メインシンポジウム参加者

Qian Sun (SINANO, Chinese Academy of Sci.,

一般： 1,000 円、学生： 1,000 円
・チュートリアルのみ参加者

China)
Yang Liu (中山大学, 中国)

一般： 10,000 円、学生： 5,000 円

尾辻 泰一 (東北大学)＜問合せ先＞

櫻庭 政夫 (東北大学)

ISPlasma2019 / IC-PLANTS2019 事務局

中村 芳明 (大阪大学)

株式会社インターグループ

Yanli Pei (中山大学, 中国)

TEL: 052-581-3241／ FAX: 052-581-5585

Magdaleno Jr. Rigodon Vasquez (Univ. of theE-mail: isplasma2019@intergroup.co.jp

Philippines, Philippines)

Website: http://www.isplasma.jp/index.html
37

行事案内

24th International Symposium on Plasma Chemistry（ISPC24）
東京工業大学工学院機械系

野崎 智洋

2019 年 6 月 9 日－14 日の日程で，ISPC24electronics, and new materials to water treatment,(International Symposium on Plasma Chemistry) がイタ

agriculture and medicine?）。Plasma Chemistry Award 受

リア・ナポリの Conference Center Terminal on the

賞者，基調講演，招待講演を対象にした論文特集号

Naples waterfront district で開催される。実行委員長

が Plasma Chemistry and Plasma Processing（Springer,

は，Prof. Vittorio Colombo (Università di Bologna, Italy)

IF 2.658）から出版される。

である。シンポジウムに先だち，6 月 7－8 日の日程

口頭，ポスター発表を対象に Oral presentation

でサマースクールが開催される。著名な研究者によAwards, 3-min Poster Pitch Awards, Poster Presentation

る初学者向けの講義を聴講できるほか，サマースク

Awards が表彰される。さらに，博士学生，ポスドク

ールでしか得られない講義資料を入手できるためを対象に，Young Investigator Award（おそらく 1 名）

毎回好評を得ている。また，各国から優秀な大学院の表彰，さらに IPCS Scholarship など若手研究者を生やポスドクが多数参加しており，日本人学生・若エンカレッジする企画も多数用意されている。審査

手研究者にとって海外ネットークを作り，コミュニ対象となる若手研究者は First Author であることがーケーション力を高める場としても大変有意義な

明 記 さ れ て い る の で 注 意 さ れ た い 。 Young企画である。

Investigator Award 受賞者として勝ち残るためには，

本 会 は ， International Plasma Chemistry Society

JSPS 特別研究員（PD）の採択に相当する論文数，(IPCS) が 母 体 と な り 運営 さ れ る 国際 会 議 で ，各種受賞歴，海外滞在経験など豊富な研究実績を有

Gordon Research Conference と交互に隔年で開催さしていることが望まれる。過去の ISPC でも多くのれている。プラズマケミストリーに関連した研究を日本人若手研究者が受賞対象となっているので積広くカバーしているのが特徴で，この分野では最大

極的にチャレンジしてほしい。詳細は学会の HP を規模の国際会議の１つである。
基調講演は全5 件で，参照されたい（https://www.ispc24.com/）。

そのうち日本から杤久保文嘉教授（首都大学東京）

プラズマケミストリーの黎明期から多くの日本が招聘されている。招待講演は 21 件のうち日本か人研究者がこの分野に参画し，研究の発展に貢献しら 4 名の研究者が招聘されており，日本人研究者のてきた。ISPC24 においても多くの皆様に成果発表

存在感の高さをうかがわせる（白谷正治・教授（九を頂き，参加者数だけでなく研究の質において我が州大学），白藤立・教授（大阪市立大学），池原譲・

国の存在感をいっそう高められるよう，多くの皆様

教授（千葉大学），茂田正哉・准教授（大阪大学））。

に貢献頂ければ幸いである。
10 年後のプラズマ研究

2019 年の Plasma Chemistry Award 受賞者は Prof

および国内外の組織運営を考えると，若手研究者のAlexander Fridman (Drexel University) で Award

育成は急務である。

Lecture が執り行われる。Fridman 先生らしい野心的

なお，ISPC24 の国際組織委員として，日本から堀な講演タイトルで，講演を拝聴するのが今から楽し勝教授（名古屋大学），浜口智志教授（大阪大），渡みである（Why Plasma Chemistry is so often a key to

辺隆行教授（九州大），金賢夏（AIST）小職が参画

breakthrough

していることを付記します。

innovations

fromenergysystems,

38

行事案内

第 34 回電離気体現象国際会議／第 10 回反応性プラズマ国際会議
XXXVI International Conference on Phenomena in Ionized
Gases (XXXVI ICPIG) / 10th International Conference on
Reactive Plasmas (ICRP10)
北海道大学

佐々木 浩一第 34 回電離気体現象国際会議と第 10 回反応性

19 日の日程で，札幌市教育文化会館(札幌市中心

プラズマ国際会議の合同会議の投稿締切が目前に部)にて開催されます。Abstract の投稿締切は迫ってきました。本稿をご覧になった皆様には，2019 年 2 月 25 日です。今回の合同会議では，通早速，投稿 abstract の準備を開始いただければと常の ICPIG と異なり，一般口頭発表のスロットを思います。学生の皆さんは，この会議への参加希90 程度準備しています。若手研究者の皆様にとっ望を指導教員の方に表明し，旅費および参加費のては，ご自身の研究成果を世界に向かって発信すサポートをお願いしてください。

る絶好の機会になります。積極的な投稿をお願い

皆様ご承知のように，反応性プラズマ国際会議

いたします。また，本会議開催前の 7 月 14 日と，(ICRP)はプラズマエレクトロニクス分科会が運本会議終了後の 7 月 20 日には，衝突／断面積，

営する国際会議で，3 年に 1 度の頻度を目安とし

大気圧プラズマ計測，ナノ材料，薄膜プロセス，て開催されています。直近の ICRP9 は，2015 年

プラズマシミュレーションに関するサテライトワにホノルルにおいて，米国の気体エレクトロニク

ークショップを企画しています。まさに，7 月 14ス会議との合同会議として開催され，本分科会か日からの一週間を札幌で過ごせば，低温プラズマらも多くの皆様に出席いただきました。毎年開催

研究の最前線がすべてわかるという会議になるもの国内会議であるプラズマプロセシング研究会とのと思います。

並び，ICRP は本分科会にとって最も重要な行事

本会議の会議録は，招待講演論文については
PSST (Plasma Sources Science and Technology)に位置づけられると思います。
一方，電離気体現象国際会議(ICPIG)は，低温プ

お よ び JJAP (Japanese Journal of Applied

ラズマ関連の国際会議としては最も長い歴史と伝

Physics)に分かれての掲載となり，一般投稿論文

統を持ち，2 年に 1 度の頻度で主として欧州にてについては，これまでの ICRP と同様に，JJAP に開催されています。これまでの 70 年近い歴史のて特集号を発刊する予定です。

中で欧州外での開催は 3 回しか無く，そのうちの本合同会議に関わる情報は，ホームページ

1 回は 2001 年に名古屋で開催された ICPIG でしhttp://icpig2019.qe.eng.hokudai.ac.jp/

た。このたび，第 34 回の気体エレクトロニクス会

にてお知らせしますので，是非ご覧ください。ま議が ICRP との合同会議として我が国で開催された，本件に関するお問い合わせは，電子メールにることは，大変に画期的なことだと思います。

て第 34 回電離気体現象国際会議と第 10 回反応性

icpig2019@qe.eng.hokudai.ac.jp

プラズマ国際会議の合同会議は，2019 年 7 月 14-までお願いいたします。
39

第 17 回プラズマエレクトロニクス賞受賞候補論文の募集
名城大学

平松 美根男

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

 候補論文別刷（コピーでも可、第１ページに候では、毎年、プラズマエレクトロニクスに関する補論文と朱書すること。関連論文があれば２件学術的あるいは工業的に価値のある優秀な論文を以内の別刷またはコピーを添付。）

対象とし、その著作者に「プラズマエレクトロニ

 当該論文の内容が発表されたプラズマエレク

クス賞」を贈り表彰を行っています。候補論文はトロニクス分科会が主催する研究会、国際会議

自薦・他薦を問いません。下記の要領により、奮等の会議録等のコピー（2 件以内）
 著者全員について和文で以下を記入した書類。

ってご応募下さい。
http://annex.jsap.or.jp/plasma/

氏名、会員番号、勤務先（連絡先）
 推薦書（自薦、他薦を問わず、論文の特徴、優れた点などを 400 字程度わかりやすく記すこ 授賞対象論文
プラズマエレクトロニクス分科会が主催する研と。）

究会、国際会議等で発表され、かつ 2016、2017、2018 年の発行の国際的な学術刊行物（JJAP など）

 表彰に掲載された原著論文。受賞者は、表彰の時点に2019 年応用物理学会春季学術講演会期間中においてプラズマエレクトロニクス分科会会員ある行います。受賞者には賞状および記念品を贈呈い

いは応用物理学会会員とする。

たします。また 2019 年秋季学術講演会期間中（例年では会期 2 日目）での記念講演を依頼する予定

プラズマエレクトロニクス賞はプラズマエレク
トロニクス分野の優秀な論文の著者に授与されるです。

論文賞ですが、プラズマエレクトロニクス分科会
 書類提出期限が強く関与する会議等（直接に主催する会議、応物学会学術講演会の大分類 8. プラズマエレクト2018 年 12 月 21 日（金）ロニクス等）での発表や議論を通じて生み出され 書類提出先た優れた論文を表彰したいという考えに基づき、賞規定に“プラズマエレクトロニクス分科会が主〒113-0031 東京都文京区根津 1-21-5

催する研究会、国際会議等で発表され”という要

応物会館件が付与されています。

公益社団法人応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科会幹事長

 提出書類（封筒表に「プラズマエレクトロニクス賞応募」

以下の書類各１部、および、それらの電子ファと朱書のこと。）

イル（PDF ファイル）一式

なお以下の賞規定もご参照下さい。

40プラズマエレクトロニクス賞規定
1.

この規定はプラズマエレクトロニクスに関て行う。

する学術的あるいは工業的に価値のある優10. プラズマエレクトロニクス分科会幹事会は、秀な論文を表彰の対象論文とし、その著作者

毎年 11 月までに授賞候補者募集要項を「プにたいして公益社団法人応用物理学会プラ

ラズマエレクトロニクス分科会会報」および

ズマエレクトロニクス分科会（以後プラズマ

応用物理学会機関誌「応用物理」誌上に公表

エレクトロニクス分科会と言う）が行う表彰

し、広く募集する。
11. 受賞者の選考はプラズマエレクトロニクスについて定める。
2.
3.

この表彰を「プラズマエレクトロニクス賞」

分科会幹事長が委嘱した「プラズマエレクトという。

ロニクス賞」選考委員会が行う。

表彰の対象論文は、原則として、プラズマエ

12. 受賞者が決定したときは、「プラズマエレク

レクトロニクス分科会が主催する研究会、国トロニクス賞」選考委員会委員長が、プラズ

際会議等で発表され、且つ募集期間から過去

マエレクトロニクス分科会幹事会に選考の３年の間に国際的な学術刊行物に掲載され経過および結果を報告する。
13. プラズマエレクトロニクス分科会幹事長は、た原著論文とする。
4.
5.
6.

受賞者はプラズマエレクトロニクス分科会

選考の経過および結果を応用物理学会理事

会員あるいは応用物理学会会員とする。

会に報告する。
14. この賞の実施に関する必要な事項の審議お受賞者は公募に応じた自薦および他薦候補者から選考する。

よび決定はプラズマエレクトロニクス分科

すでに公に顕著な賞を受けた論文は、プラズ

会幹事会が行う。

マエレクトロニクス賞の対象論文としない。

15. 本規定は、理事会の承認を経て改訂すること

7.

表彰は原則として毎年２件以内とする。

8.

表彰は賞状授与および記念品贈呈とする。

付則：この規定は、平成 14 年 4 月 1 日より施行

9.

表彰は毎年応用物理学会春季講演会におい

する。

ができる。

41

2018(平成 30)年度プラズマエレクトロニクス分科会幹事名簿
氏名

所属

幹事長

平松 美根男

名城大学
理工学部
電気電子工学科

住所・電話

副幹事長

赤塚 洋

東京工業大学
科学技術創成研究院 先導原子力研究所

副幹事長

古閑 一憲

九州大学大学院
システム情報科学研究院
電子デバイス工学部門

副幹事長

友久 伸吾

三菱電機(株)
先端技術総合研究所
SiC パワーデバイス技術部

幹事
任期2019 年 3 月

大澤 直樹

金沢工業大学工学部 電気電子工学科

〃

太田 貴之

名城大学
理工学部 電気電子工学科

〃

黒木 智之

大阪府立大学
大学院工学研究科 機械系専攻

〃

篠原 正典

佐世保工業高等専門学校
電気電子工学科〃

白井 直機

北海道大学大学院
工学研究院 量子理工学部門

〃

高橋 克幸

岩手大学理工学部
システム創成工学科
電気電子通信コース〃

田中 学

九州大学大学院
工学研究院 化学工学部門

〃

内藤 皓貴

三菱電機(株)
先端技術総合研究所
環境システム技術部〃

針谷 達

豊橋技術科学大学
電気・電子情報工学系
プラズマエネルギーシステム研究室

〃

柳生 義人

佐世保工業高等専門学校
電気電子工学科〃

山家 清之

新潟大学大学院
自然科学研究科

吉元 諒

サンディスク株式会社〒468-8502
名古屋市天白区塩釜口 1-501
TEL: 052-838-2298
FAX: 052-832-1235〒152-8550
東京都目黒区大岡山2-12-1-N1-10
TEL: 03-5734-3379
FAX: 03-5734-3379〒819-0395
福岡県福岡市西区元岡 744
TEL：092-802-3734〒661-8661
尼崎市塚口本町8-1-1
TEL: 06-6497-7082
FAX: 06-6497-7285〒921-8501
石川県野々市市扇が丘7-1
TEL: 076-248-9907
FAX: 076-294-6798〒468-850
愛知県名古屋市天白区塩釜口1-501
TEL: 052-838-2565

42〒599-8531
堺市中区学園町1-1
TEL: 072-254-9233
FAX: 072-254-9233〒857-1193
長崎県佐世保市沖新町1-1
TEL: 0956-34-8478
FAX: 0956-34-8478〒060-8628
札幌市北区北13条西8TEL: 011-706-6659
FAX: 011-706-7128〒020-8551
岩手県盛岡市上田4-3-5
TEL: 019-621-6460
FAX: 019-621-6941〒819-0395
福岡市西区元岡744
TEL: 092-802-2765
FAX: 092-802-2765〒661-8661
尼崎市塚口本町8-1-1
TEL: 06-6497-7069
FAX: 06-6497-7285〒441-8580
愛知県豊橋市天伯町雲雀ヶ丘1-1
TEL: 0532-44-6728
FAX: 0532-44-6728〒857-1193
長崎県佐世保市沖新町1-1
TEL: 0956-34-8478
FAX: 0956-34-8478〒950-2181
新潟市西区五十嵐二の町8050
TEL: 025-262-6140
FAX: 025-262-6730〒512-8550
三重県四日市市山之一色町800
TEL: 059-330-3816 ext.8817
FAX: 059-330-1117

メールアドレスmnhrmt@meijo-u.ac.jp

hakatsuk@nr.titech.ac.jp

koga@ed.kyushu-u.ac.jp

Tomohisa.Shingo@cw.Mitsubishi
Electric.co.jp

n.osawa@neptune.kanazawait.ac.jp

tohta@meijo-u.ac.jp

kuroki@me.osakafu-u.ac.jp

sinohara@sasebo.ac.jp

nshirai@qe.eng.hokudai.ac.jp

ktaka@iwate-u.ac.jp

mtanaka@chem-eng.kyushuu.ac.jp

Naito.Teruki@bc.mitsubishielectr
ic.co.jp

harigai@ee.tut.ac.jp

yyagyu@sasebo.ac.jp

yambe@eng.niigata-u.ac.jp

ryo.yoshimoto@sandisk.com

〒235-0017
神奈川県横浜市磯子区新磯子町
33
TEL: 050-3175-6200〒277-8561
千葉県柏市柏の葉 5-1-5-504
TEL:04-7136-3797
FAX 04-7136-3798〒192-0397
東京都八王子市南大沢１－１
TEL: 04-2677-2749
FAX 04-2677-2756〒185-8601
東京都国分寺市東恋ヶ窪１－２
８０
TEL: 050-3159-9219

幹事
任期2020 年 3 月

飯野 大輝

東芝メモリ株式会社

〃

伊藤 剛仁

東京大学大学院
新領域創成科学研究科

〃

内田 諭

首都大学東京システムデザイン研究科〃

江藤 宗一郎（株）日立製作所
研究開発グループ〃

呉 準席

大阪市立大学

工学研究科〒545-8585
大阪市阿倍野区旭町1-4-3

jsoh@osaka-cu.ac.jp

〃

大島 啓示

ソニーセミコンダクタソリューションズ（株）第2研究部門〒243-0014
神奈川県厚木市旭町 4-14-1

Keiji.Ohshima@sony.com

〃

近藤 博基

名古屋大学 大学院 工学研究科 電子
情報システム専攻 堀・関根研究室〒464-8603
愛知県名古屋市千種区不老町

hkondo@nagoya-u.jp

〃

清水 一男

静岡大学イノベーション社会連携推進機
構〒432-8561
静岡県浜松市中区城北 3-5-1
TEL: 05-3478-1443
FAX: 05-3478-1443

shimizu@cjr.shizuoka.ac.jp

〃

鈴木 歩太

東京エレクトロンテクノロジーソリュー
ションズ（株）〒407-0192
山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢 650
TEL: 05-5123-4228

ayuta.suzuki@tel.com

〃

高島 圭介

東北大学電子工学専攻・金子加藤研究室〒980-8579
宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉
6-6-05takashima@ecei.tohoku.ac.jp

〃

光木 文秋

熊本大学 大学院自然科学研究科環境エレクトロニクス研究室〒860-8555
熊本県熊本市黒髪 2 丁目 39-1
黒髪南キャンパス総合研究棟
TEL: 096-342-3572
FAX: 096-342-3572

mitsugi@cs.kumamoto-u.ac.jp

〃

向笠 忍

愛媛大学 理工学研究科・生産環境工学
専攻・熱及び物質移動学研究室〒790-8577
愛媛県松山市文京町3

mukasa.shinobu.me@ehime-u.ac.jp

産業技術総合研究所〒563-8577
大阪府池田市緑丘 1 丁目 8 番 31
号
TEL: 072-751-9631
FAX: 072-751-9631

yamada-diamond@aist.go.jp

〃

山田 英明

関西センター43

daiki.iino@toshiba.co.jp

tsuyohito@plasma.k.u-tokyo.ac.jp

s-uchida@tmu.ac.jp

soichiro.eto.tm@hitachi.com

2018(平成 30)年度分科会幹事役割分担
役割分担

新任

留任

幹事長

平松

美根男

名城大学

副幹事長

赤塚

洋

東京工業大学

古閑

一憲

九州大学

友久

伸吾

三菱電機

1. 庶務・分科会ミーティング内田諭

首都大学東京2. 春秋講演会シンポジウム

古閑

一憲

九州大学

シンポジウム・海外招待講演

山田英明

分科内招待講演呉チュートリアル講義

近藤飯野

3. プラズマプロセシング研究会

高橋

克幸

岩手大学

産業技術総合研究所

赤塚洋

東京工業大学

大阪市立大学

太田

貴之

名城大学

博基

名古屋大学

柳生

義人

佐世保工業高等専門学校

大輝

東芝メモリ

吉元

諒

SanDisk

赤塚

洋

東京工業大学針谷達

豊橋技術科学大学

伊藤

剛仁

東京大学

大澤

直樹

金沢工業大学

大阪市立大学黒木智之

大阪府立大学呉準席

準席

H30 年度：SPP

清水

一男

静岡大学

篠原

正典

長崎大学

H31 年度：ICRP/ICPIG

向笠

忍

愛媛大学

白井

直樹

北海道大学

田中

学

九州大学

4. 光源物性とその応用研究会
5. プラズマ新領域研究会

6. インキュベーションホール

古閑

一憲

九州大学

光木

文秋

熊本大学

白井

直樹

北海道大学

伊藤

剛仁

東京大学

柳生

義人

佐世保工業高等専門学校

清水

一男

静岡大学

山家

清之

新潟大学

赤塚

洋

東京工業大学内田諭

首都大学東京

太田

貴之

名城大学

鈴木

歩太

東京エレクトロン テクノ

篠原

正典

長崎大学

ロジーソリューションズ

7. プラズマエレクトロニクス講習会

高橋

圭介

東北大学

高橋

克幸

岩手大学

近藤

博基

名古屋大学

針谷

達

豊橋技術科学大学

友久

真吾

三菱電機

山田

英明

産業技術総合研究所

赤塚洋

東京工業大学

飯野

大輝

東芝メモリ

大澤

直樹

金沢工業大学大島啓示

ソニーセミコンダ クタソ

内藤

皓貴

三菱電機

吉元

諒

SanDisk

リューションズ鈴木歩太

東京エレクトロン テクノ
ロジーソリューションズ

8. 会誌編集・書記

江藤

宗一郎

日立製作所

向笠

忍

愛媛大学

内藤

皓貴

三菱電機

大島

啓示

ソニーセミコンダ クタソ

山家

清之

新潟大学

リューションズ
9. ホームページ

高島

圭介

東北大学

白井

直樹

北海道大学

10. 会計

光木

文秋

熊本大学

黒木

智之

大阪府立大学11. プラズマエレクトロニクス賞

平松

美根男

名城大学

12. アカデミックロードマップ

古閑

一憲

九州大学

平松

美根男

名城大学

13. PE 懇親会

江藤

宗一郎

日立製作所

田中

学

九州大学

秋：名古屋, 春：東京

呉大阪市立大学針谷達

豊橋技術科学大学

GEC 委員（オブザーバー）杤久保（戦略企画室）準席
文嘉

首都大学東京44

2018（平成 30）年度分科会関連の各種世話人・委員
１．応用物理学会講演会プログラム編集委員
8

大分類代表

酒井 道

（滋賀県立大）8.1

プラズマ生成・診断

富田 健太郎（九大）

8.2

プラズマ成膜・エッチング・表面処理

竹中 弘祐

（阪大）

木村 光広

（東芝メモリ）

8.3

プラズマナノテクノロジー

古閑 一憲

（九大）

8.4

プラズマライフサイエンス

神野 雅文

（愛媛大）

8.5

プラズマ現象・新応用・融合分野

白井 直機

（北大）

8.6

Plasma Electronics English Session

酒井 道（滋賀県立大）２．応用物理学会理事

辰巳 哲也（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）３．応用物理学会代議員

板垣 奈穂

（九大）

伊藤 昌文

（名城大）

古閑 一憲

（九大）

霜垣 幸浩

（東大）

辰巳 哲也

（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）

本村 英樹

（愛媛大）

（分科会推薦，各支部推薦等）

４．GEC 組織委員会委員

杤久保 文嘉（11 月より） （首都大）５．応用物理学会本部委員会
会員サービス委員会

高井 まどか（東大）

機関誌企画・編集委員会

伊藤 剛仁

（東大）

論文誌企画・編集委員会

木下 啓藏

（PETRA）

栗原 一彰（東芝研究開発センター）

伊藤 剛仁

（東大）

講演会企画・運営委員会

酒井 道（滋賀県立大）

倫理委員会

辰巳 哲也

（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）大森 達夫（三菱電機）

岡本 幸雄

（東洋大）

小田 俊理

（東工大）

斧 高一

（京大）

河野 明廣

（名大）

近藤 道雄

（産総研）

寒川 誠二

（東北大）

白谷 正治

（九大）

菅井 秀郎

（名大）

橘 邦英

（京大）

辰巳 哲也

（ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ）

寺嶋 和夫

（東大）

永津 雅章

（静大）

中山 喜萬

（阪大）

庭野 道夫

（東北大）

畠山 力三

（東北大）

藤山 寬

（長崎大）

堀 勝

（名大）

６．フェロー（受賞時の所属で記載。元分科会会員を含む。）

45

真壁 利明

（慶大）

渡辺 征夫

（九州電気専門学校）

平松 美根男

（名城大）

木下 啓藏

（PETRA）

本リストは、応用物理学会の各種委員会等で活躍されている PE 分科会会員を記したものですが、一部を除き、分科会が直接に委員推薦等に関与しているわけではないため、記載漏れがあるかもしれません。記載漏れにお気付きの場合は、会誌担当幹事までお知らせ頂けますと幸いです。

46

活動報告
2018 年度 第 2 回プラズマエレクトロニクス分科

クス講習会の進捗状況の報告があり、現況につ会幹事会 議事録

いて承認された。

開催日時：2018 年 9 月 19 日(水) 12:15～13:15
開催場所：名古屋国際会議場 141 会場

6. 12 月分科会会報の編集状況
向笠幹事から 12 月分科会会誌の編集状況に

進行：平松幹事長（名城大）

ついての報告があり、国際会議報告を一件
本幹事会は、分科内招待講演に引き続き、インフ（AVS 65th International Symposium andォーマルミーティングとして実施された。

Exhibition）追加することになった。

1. 応用物理学会（東京工業大学・2019.3）シンポ7. 研究会などの報告
針谷幹事から 2018 年 9 月 3-5 日に開催されジウムなどた第 12 回 PE インキュベーションホールの実

古閑副幹事長から春季講演会シンポジウムの申請状況の報告があった。
申請内容について施報告があった。

承認された。タイトルに「プラズマ」という語
8. 関連会議について句を入れるという意見があった。

DPS2018、GEC2018、AAPPS-DPP2018、
2. プラズマ新領域研究会の進捗状況

ISPlasma2018/IC-PLANTS2019 、 ICPIG34/

古閑副幹事長から第 29-31 回プラズマ新領

ICRP10 の各会議の紹介があった。

域研究会の進捗状況の報告があり、現況につい
9. 名古屋大学低温プラズマ科学研究センターのて承認された。平松幹事長より、長期的な視点
での研究会の再検討が必要ではという意見が共同利用・共同研究の募集についてあった。

堀先生から名古屋大学低温プラズマ科学研究センターの紹介があり、共同利用・共同研究

3. チュートリアルの進捗状況の募集がなされた。

古閑副幹事長からチュートリアルの進捗状
10. 分科会事務費見直しに関して

況の報告があり、現況について承認された。

平松幹事長から、当分科会は黒字であるが、4. プラズマプロセシング研究会の進捗状況

応物学会全体では赤字であるため今後、節約

八田先生からプラズマプロセシング研究会＆収益事業に力を入れるとの報告があり承認の進捗状況の報告があり、現況について承認さ

された。

れた。
11. 第 17 回プラズマエレクトロニクス賞の候補論
5. プラズマエレクトロニクス講習会の進捗状況

文募集

友久幹事から第 29 回プラズマエレクトロニ

平松幹事長から PE 賞の候補論文の募集が47

なされた。

て実施のインフォーマルミーティング内で執り行う。

2018 年度第 3 回目の幹事会は、3 月の応用物理学会（於：2019.3.9-12、東京工業大学）会期中に（記：向笠 忍（愛媛大学））

48

プラズマエレクトロニクス関連会議日程（国際会議）
2019. 2. 3-8
European Winter Conference on Plasma Spectrochemistry 2019
Pau, France
https://winterplasma19.sciencesconf.org/index.php
2019. 3. 17-21
11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides andNanomaterials / 12th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
Nagoya, Japan
http://www.isplasma.jp/
2019. 5. 6-10
3rd European Conference on Plasma Diagnostics (ECPD 2019)
Lisbon, Portugal
https://www.ipfn.tecnico.ulisboa.pt/ECPD2019/2019. 5. 20-24
17th International Conference on Plasma-Facing Materials and Components for Fusion Applications
Eindhoven, Netherlands
https://www.differ.nl/news/PFMC_17_will_be_organized_at_DIFFER
2019. 6. 9-14
24th International Symposium on Plasma Chemistry
Naples, Italy
https://www.ispc24.com/
2019. 6. 23-28
The 2019 IEEE Pulsed Power and Plasma Science Conference (PPPS 2019)
Orlando, USA
http://www.ppps2019.org/
2019. 7. 8-12
46th European Physical Society Conference on Plasma Physics
Milano, Italy
https://www.ifp.cnr.it/top-stories/eps-conference-2019-in-milan?&set_language=en
2019. 7. 14-19
XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and 10th International
Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
Sapporo, Japan
http://icpig2019.qe.eng.hokudai.ac.jp/
2019. 9. 2-5
12th International Conference on Plasma Assisted Technologies (ICPAT)
Yalta, Crimea, Russian Federation
http://www.plasmacombustion.com/iwepac.html
2020. 6. 12-13

49

8th International Conference on Plasma Medicine / 10th International Symposium on Plasma Bioscience
Incheon, Korea
http://icpm7.plasmainstitute.org/wp-content/uploads/2018/06/Introduction-of-ICPM-8th-ver.6.pdf
2020. 6. 15-18
29th Symposium on Plasma Physics and Technology
Prague, Czech Republic
https://www.plasmaconference.cz/（国内会議・会合）
2019. 3. 9-12
第 66 回応用物理学会春季学術講演会
東京工業大学 大岡山キャンパス，東京都
https://www.jsap.or.jp/jsap-meeting/future
2019. 3. 12-14
平成 31 年電気学会全国大会
http://www.iee.jp/?post_type=custom_event&p=18615
2019. 3. 14-17
日本物理学会第 74 回年次大会
九州大学 伊都キャンパス，福岡県
https://www.jps.or.jp/activities/meetings/future.php
2019. 9. 10-13
日本物理学会第 74 回秋季大会
岐阜大学，岐阜県
https://www.jps.or.jp/activities/meetings/future.php
2019. 9. 18-21
第 80 回応用物理学会秋季学術講演会
北海道大学 札幌キャンパス，北海道
https://www.jsap.or.jp/jsap-meeting/future50

当会報への広告掲載について
応用物理学会 プラズマエレクトロニス分科会求させて頂く場合があります。

では、分科会会員への情報提供を旨とし、会報への広告出展を募集しております。広告の掲載にあ

4. 広告掲載料

たっては下記のような条件としておりますので、掲載料は下表の通りとします。なお、年間契約是非ご検討の程よろしくお願い申上げます。

の場合も申し込み時点で一括請求とさせて頂きます。
(A) 年間契約(B) 単号契約

コース

コース

5 万円

4 万円

（4 万円）（3 万円）

8 万円

5 万円（6 万円）（4 万円）

2 ページ

12 万円

8 万円

(見開き指定可)（9 万円）（6 万円）

裏表紙

12 万円

8 万円

（9 万円）（6 万円）

1. 契約の種類(A) 年間契約コース
1 年間にわたる掲載。通常は 6 月、12 月

半ページに発行される 2 号にわたって掲載されます。掲載号ごとに新規原稿に差替えできま

1 ページ

す。
(B) 単号契約コース
特定の号のみの掲載。
2. 掲載位置
掲載位置は編集後記の後になります。基本五十※カッコ内は賛助会員企業

音順の掲載になりますが、レイアウト等の都合で適宜変更になる可能性があります。何卒ご了承く

5. 問い合わせ先ださい。また裏表紙への依頼がない場合には年間〒113-0031 東京都文区根津 1-21-5

契約の中からまわす場合があります。不都合があ

応物会館 2 階る場合にはご相談ください。

公益社団法人 応用物理学会
TEL: 03-3828-7723

3. 入稿

FAX: 03-3823-1810

原稿は A4 版ネガ、もしくは電子ファイル（pdf）とします。これ以外の場合、かかる費用を別途請

Email: divisions@jsap.or.jp
HP: https://annex.jsap.or.jp/plasma/

51

編集後記
この度、プラズマエレクトロニクス分科会会報

熱工学を専門とする私（向笠）にとって個人的に

No. 69 を発行することができました。ご多忙の中、 深く同意するところであります。
原稿をご執筆いただいた方々にこの場を借りて厚学生のためのページとして、東京大学の神原先く御礼申し上げます。

生より「プラズマスプレーを用いたリチウムイオ

本誌の巻頭言では応用物理学会フェローの堀勝

ン電池材料開発」という題目で寄稿いただきまし先生より「アレックスとの出会い」という題目でた。昨今注目される蓄電技術の一翼を担う LiB の

寄稿いただきました。プラズマバイオコンソーシ

正負極材料とその製造方法について大変わかりやアムや低温プラズマ科学研究センターの設立にごすく解説していただいております。

尽力され、そのようなお話を期待された方も多か

本号では「海外の研究事情」を掲載できません

ったことと思いますが、然にあらず、先生のお人でした。編集者としての力不足で大変申し訳なく柄がわかるようなユニークなお話から始まり、最ここに深くお詫び申し上げます。

後に展開される「学会こそが、大学教授の教育の最後に、本号の原稿執筆を快く引き受けてくだ場である」というお言葉に大変身の引き締まる思さいました著者の皆様、幹事長、副幹事長をはじいがしました。

めとする分科会会員の皆様および応用物理学会事次に、今年度設立されたプラズマバイオコンソ

務局分科会担当の小田様にこの場をお借りして感ーシアムと、来年度設立される低温プラズマ科学

謝の意を表します。本号を発行することができま

研究センターの紹介をしております。これらはプ

したのも、ひとえに皆様のお力添えがあってのこ

ラズマエレクトロニクス研究に対する現在の社会とと存じます。心より御礼申し上げます。分科会的な期待を負うものであり、今後ますます重要な

会報では、各種報告や行事案内を随時募集してお存在になるのではないでしょうか。

ります。今後ともプラズマエレクトロニクス分科

研究室紹介として、東京工業大学の野崎先生よ

会会報をどうぞよろしくお願いいたします。

り「機械工学におけるプラズマ研究」という題目（平成 30 年度会報編集担当：

で寄稿いただきました。学生に対する「何でも屋として社会に出さないための責任」は、同じく伝内藤、山家、大島、向笠）

52

プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.69
2018年12月15日 発行
編集：公益社団法人応用物理学会
プラズマエレクトロニクス分科会
幹事長 平松 美根男
発行：公益社団法人応用物理学会〒113-0031 東京都文京区根津一丁目 21 番 5 号
応物会館（©2018 無断転載を禁ず）

53