小型、表示・流量調整バルブ一体

TF-600D/600V シリーズ
ミニサーマルマスフローメータ
概要

本器は、コストパフォーマンスを最優先に開発された TF-600 形
ミニサーマルマスフローメータに視認性に優れたデジタル表示器を搭載し、アナログ / デジタル出力（オプション）も装備したマスフローメータです。現場で指示値を確認することも遠隔地で指示値を管理することも可能です。また、流量調整バルブ一体タイプもラインナップしており、省スペースでの装置組み込み用に最適です。

特長❑ 熱式質量流量計測方式
運転圧力、温度変化にほとんど影響されない質量流量の計測。
❑ 流量調整バルブ一体
弊社パージメータのニードル式流量調整バルブを組込んだバルブ一体タイプをラインナップ。
❑ 全量通過検出方式
メンテナンスが容易な全量通過方式のシンプルな構造。
❑ 高信頼性高信頼性の汎用温度センサを採用。
❑ デジタル表示付き
視認性にすぐれた LED タイプの自発光表示。
❑ アナログ出力、積算パルス出力、流量警報出力付
容易な遠隔監視、バッチ運転及びセーフティ運転が可能。
❑ ユーザーフレンドリー
表示パネル設定キーによる各種設定。
❑ CE マーキング対応

動作原理
TF-600 形 MINI THERMAL はガス流路に感温抵抗体 Rw を置き、電流で加熱してその温度 Tw とガス温度 Ta との差 Tw-Ta が一定となるように電流 I を制御します。感温抵抗体からガスに熱伝達さ2れる熱量 Rw・I は通過するガスの質量流量の関数となり、電流 Iから質量流量が測定できます。流量検出のための電気回路は、ガスの温度変化に対する物性値変化によるわずかな特性の変化も補正するユニークな構成となっており、広い温度範囲にわたり、質量流量を高精度に計測することができます。電流 I はリニアライズされ所定の流量に比例した電気信号に変換されて出力されます。

IRw

FlowTwRaTa

形式コード表
形式コード－0－－
流量 2
範囲 3－4－電源
1－D－構成  ※1V－
表示部
0 －050100200500
101151
スケールレンジ
201[L/min(nor)]
301401501601
801
102
TF-6

接続規格

流体－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－
P －
S －
R －

内

容  100L/min(nor) まで 接続口径 1/4B  200L/min(nor) まで 接続口径 3/8B  500L/min(nor) まで 接続口径 1/2B
1000L/min(nor) まで 接続口径 3/4B
DC24V、0 ～ 5V 出力表示付表示、バルブ付表示一体
0 ～       50 ～     100 ～     20 TF-601D
TF-601V
0 ～     500 ～   1000 ～   150TF-621D
TF-621V
0 ～   2000 ～   300TF-631V
0 ～   400 TF-631D
0 ～   500  － ※10 ～   6000 ～   800 TF-641D  － ※1   0 ～ 1000
Rc ネジスウェージロック継手
VCR 継手  ※2A Air
N N2□ その他  ※3

※1 TF-631V は 400L/min (nor) まで。TF-641D は表示付のみ。
※2 VCR 接続は口径 1/2B まで。TF-641D は製作不可。
※3 空気、窒素以外のガスにつきましては、お問い合わせ下さい。

TG-F2094-J01
２版 2024 01 K
初版 2021 04 K

TF-600D/600V シリーズ

ミニサーマルマスフローメータ

仕様
形式

測定対象
流量レンジ
※3、6

TF-601D
TF-601V

TF-621D
TF-621V

TF-631D
TF-631V※1TF-641D

最小空気、窒素 ※2
0～ 5 L/min(nor)0～150 L/min(nor)0～300 L/min(nor)0～ 600 L/min(nor)

最大0～100 L/min(nor)0～200 L/min(nor)0～500 L/min(nor)0～1000 L/min(nor)

レンジアビリティ

1：10

温度範囲

0～50 ℃（結露なきこと）

圧力範囲-0.05～0.75 MPa

温度影響±0.2 %F.S./℃以内（23±10 ℃）

圧力影響±3 %F.S.以内（at -0.05～0.75 MPa）

応答性

2秒（90 %応答）
（キー操作、通信で可変）接ガス部材質本体、流路：SCS14、SUS316 センサ：POM、Ni、ポリイミド、エポキシ シール：フッ素ゴム

表

流量、積算をパネルキーにより切替表示

示

表示精度

4 桁、赤色 7 segment LED

アナログ出力DC 0～5 V

アナログ 出力精度±3 %F.S.
（23 ℃基準）

積算パルス出力 ※4

オープンコレクタ：DC 30 V/50 mA パルス幅：50 ms

流量警報出力 ※4

オープンコレクタ：DC 30 V/50 mA
動作時に赤色LED点灯

デジタル出力RS485（専用ケーブル付属）

ハウジング/構造

ABS樹脂/ 非防水（IP20）

取付方向

水平または垂直電気接続

コネクタ接続（専用ケーブル付属）

電DC 24 V±10 %

源

文字高さ 7 mm

流量：±3 %F.S.±1dig（23 ℃基準） 積算：±3 %F.S.±1 dig（23 ℃基準）

積算乗数：×0.01、0.1、
1、10、100

上限、下限、上下限警報※5

設定範囲：0～100 %F.S.

消費電流約120 mA

データバックアップ

電源断時に積算値を EEPROM に保存

プロセス接続

Rc1/4
1/4SWL、 1/4VCR

Rc3/8、 3/8SWL
3/8VCR 相当品

Rc1/2、 1/2SWL
1/2VCR 相当品

Rc3/4、 3/4SWL

質

TF-601D ： 約 260 g
TF-601V ： 約 420 g

TF-621D ： 約 360 g
TF-621V ： 約 620 g

TF-631D ： 約 670 g
TF-631V ： 約 980 g

TF-641D ： 約 1230 g

量※1 TF-631Vは最大流量レンジ0～400 L/min(nor)まで。
※2 空気、窒素以外のガスにつきましては、お問い合わせ下さい。
※3 ローカットオフ 5.0%F.S.（流量表示、アナログ出力、積算表示、積算パルス出力すべてに適用）※4 積算パルス出力、流量警報出力は2系列を選択し出力。
※5 積算率は最大600 c/minまでとなります。積算率（c/min）＝流量表示値÷積算乗数（L（nor））。
※6 流量レンジの約110％以上の流量が流れた場合、流量表示は『‒O.L.‒』と表示されます。

表示パネル●アップキー
測定モード時●上限警報LED

流量表示－積算表示を切替える（2秒以上押す）。

測定、設定 モード時

設定モード時上限警報発生時に点灯する。

設定値を変更する。

●下限警報LED●SETキー

測定、設定 モード時

下限警報発生時に点灯する。

測定モード時●表示器
測定モード時流量または積算値を表示する。
設定モード時パラメータコードと設定値を表示する。
●ダウンキー+SETキー同時押し
積算表示時

積算値をリセットする（2秒以上押す）。

2TOKYO KEISO CO., LTD.

設定モードに切替える（2秒以上押す）。
設定モード時・設定項目を切替える。
・設定値を保存し、測定モードに戻る（2秒以上押す）。
●ダウンキー
設定モード時設定値を変更する。

TG-F2094-J01

TF-600D/600V シリーズ

ミニサーマルマスフローメータ

外形寸法（単位：mm）
TF-601D

TF-601V

TF-621D

TF-621V

TF-631D

TF-631V

TF-641D

TG-F2094-J01

TOKYO KEISO CO., LTD.

3

ミニサーマルマスフローメータ

TF-600D/600V シリーズ

コネクタ配置図
信号・電源コネクタ
RS485コネクタ

6123543211. DC 24 V（電源（+））

2. GND（電源（-）、アナログ出力（-））

3. Data +3. オープンコレクタ1

2. Data -4. オープンコレクタ2

1. シールド

5. COM
6. アナログ出力（+）

コネクタ付ケーブル（付属品）
RS485ケーブル
1000±20
赤 Data+

赤③
黒②
黒太 ①

黒 Data-黒太 シールド

信号・電源ケーブル
2000±50
赤①
緑②
黄③
白④
黒⑤
青⑥4

赤 DC 24 V
緑 GND
黄 オープンコレクタ1
白 オープンコレクタ2
黒 COM
青 アナログ出力
黒太 シールド

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