超小型圧電アクチュエータ（SIDM）の開発
The Development of a Smooth Impact Drive Mechanism (SIDM) Using a Piezoelectric Element

岡本泰

弘＊Okamoto, Yasuhiro

吉田龍

一＊＊Yoshida, Ryuichi

要旨

末吉浩

久＊＊

Sueyoshi, Hirohisaaスムーズインパクト駆動機構（SIDM）は圧電素子の急圧電素子をゆっくり伸ばすと、移動体は摩擦のため一緒に動く。

峻な体積変化と移動体の慣性と摩擦力を利用した新しいタイプの直進型アクチュエータである。小型で高精度駆動が可能であり、位置決め装置や精密製品への利用が有効であると考えられる。本稿では駆動原理と駆動方法および試作ユニットの特性について紹介する。

Abstract
Smooth impact drive mechanisms (SIDMs) are linear
actuators that utilize the rapid expansion or contraction ofa piezoelectric element and the friction between a rod attached to the piezoelectric element and a mobile body.
The proposed actuator, small and capable of being driven
with high precision, may find applications in micro-positioning devices and other precision products. This paper
presents the theory of operation, the results of tests per-Fig.1 Principle of SIDM

formed on the experimental unit built on this principle.
s１

圧電素子を急速に縮めると、移動体は慣性のため摩擦部が滑り、ほぼその位置にとどまる。

はじめにこのa、sを繰り返すことで、長ストローク動作をす

日常的に使用する製品の中には、多くのアクチュエー
タが使われている。携帯電話に代表されるモバイル機器

る。また圧電素子を急速に伸ばし、ゆっくり縮める動作の繰り返しで、逆方向へ動作する。の急速な普及にともない、このアクチュエータにはよりこのアクチュエータの特徴をいくつか挙げる。

小型化、高精度化が望まれている。汎用的なアクチュ・構成が簡単であり小型化が可能

エータである電磁モータを小型化した場合、トルク低・上記 a、s による粗動と、圧電素子そのものの変位下、高回転数化により大きな減速系の必要性といった問題が生じる。そこで，我々は圧電素子を駆動源とし、超小型高精度のアクチュエータであるスムーズインパクトで動かす微動の両立が可能
・摩擦による自己保持性
このアクチュエータの基本的な動きをFig.２に示す。

駆動機構（Smooth Impact Drive Mechanism : SIDM）を開発した。

２

駆動原理

SIDMの駆動原理をFig.１に示す。 圧電素子の一端に固定部材を、もう一端に駆動摩擦部材を取付け、駆動摩擦部材に移動体を摩擦保持する。
＊コニカミノルタコンポーネンツ㈱技術部 ML 生産技術課＊＊コニカミノルタテクノロジーセンター㈱デバイス技術研究所 駆動デバイス開発室

Fig.2 Displacement of piezo and moving body

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23

３Highの時間の割合がそれぞれ0.85、0.15ということ）に比SIDM の駆動方法

３．１

べ、デュティ比0.30の場合にノコギリ変位が得られ、変位

SIDM の駆動電圧波形の振幅が大きい。さらに、デュティ比を0.70とすること

Fig.２に示すようにSIDMの駆動には圧電素子の変位がノコギリ波状であることが望まれる。圧電素子がノコギで、逆方向へ動かすためのノコギリ変位が得られることもわかった。

リ波状に変位するためには、ノコギリ波状の電圧波形を入力すればよい。しかし、ノコギリ波状の電圧波形を形成する電気回路は構成が大規模なものとなる。そこで、駆動波形には回路の構成が簡素な矩形波を用い、圧電素子をノコギリ波状に変位させる試みを行った。以下に、
ノコギリ変位を得るための矩形波の最適化について説明する。

Fig.4 Transfer function of voltage for displacement

Fig.3 Mechanical model of SIDM

３．２

駆動電圧波形の最適化

Fig.３にSIDMの機械モデルを示す。このモデルから、圧電素子の電圧−変位伝達関数は、Fig.４のように考えることができる。この伝達関数の逆関数を考えることで、

Fig.5 Waveform of driving voltage for sawtooth displacement

ノコギリ変位を得るための電圧波形を求めることができる。逆関数から求めた電圧波形−ノコギリ変位波形の解析結果をFig.５に示す。
駆動周波数 fd が、圧電素子の共振周波数 fs2 より十①分低い場合、ノコギリ波形の電圧でノコギリ変位が得られる。
駆動周波数 fd が、圧電素子の共振周波数 fs2 の0.4 倍②ぐらいでは、変位の振幅は変わらないが、ノコギリ波形が崩れてくる。
駆動周波数 fd が、圧電素子の共振周波数 fs2 の0.7 倍③前後では、左右対称な波形の電圧でノコギリ変位が得られる。
駆動周波数 fd が、圧電素子の共振周波数 fs2 と等し④い場合でも、高次項の振幅を大きくした波形の電圧でノコギリ変位が得られる。
このようにノコギリ変位を得るための電圧波形は、伝Fig.6 Influence of duty of rectangular pulse voltage forsawtooth displacement

達関数の影響のため、駆動周波数によって変化する。
図からわかるようにfd =0.70fs2 の場合、小さな電圧振幅で他と同振幅のノコギリ変位を得られ、効率的である。

これらの解析の結果、矩形波の電圧からノコギリ変位が得られることがわかる。

また、Fig.６に示すようにf d =0.70 f s2 の周波数条件でFig.７に矩形波とノコギリ波の電圧で駆動したときの周は、デュティ比0.15（矩形波において電圧がLowの時間と波数−速度特性の解析結果を示す。同じ電圧振幅での比24KONICA MINOLTA TECHNOLOGY REPORT VOL.1（2004）較である。

ユニットの構成は、２群レンズをSIDMで動かし、板カ電圧波形は、fs2 の0.5倍くらいまでは、ノコギリ波では周波数に比例して速度が増す。矩形波駆動ではfs2 の0.7倍前後で最高速度が得られ、ノコギリ波駆動と比較してもムを介して１群を連動させて動かすことで、ズームを行う構成となっている。
このユニットに用いたSIDMをFig.10に示す。圧電素子の両端に駆動摩擦部材と固定部材を接着し、駆動摩擦部大きな速度が得られることがわかる。

材に移動体（図示せず）を摩擦保持する構成である。
ここで使用する圧電素子は−3 〜＋3 V の電圧印加で70nmppの変位を示した。またユニットの共振周波数 fs2 は210kHzであった。

Fig.7 Influence of driving frequency by analysis

４４．２

SIDM の応用

４．１

Fig.10 Image of SIDM

駆動回路

４．２．１

SIDM のレンズ駆動機構への応用

矩形波駆動

印加する波形が矩形波であれば、スイッチ素子だけでSIDMを携帯機器用の小型ズームカメラのレンズ駆動機回路を構成できる。Fig.11に示すＨブリッジ回路を用いる

構へ応用したユニットをFig.８に示す。このユニットの写と、さらに負の電界印加も使うことができ、電源電圧の真をFig.９に示す。

２倍の伸縮を取り出すことができる。
この回路は一般には直流モータの正逆転に用いられ、回路のスペース面、コスト面などからも非常に実用的なものである。

Fig.8 Mechanical image of driving lenses
Fig.11 Electrical circuit for driving SIDM

４．２．２

階段波駆動

速度を重視する場合、矩形波駆動が有利であるのは前述した。しかしながら、推力を得たい場合にはノコギリ波駆動が有利であることが分かっている。そこで我々はFig.12に示すようにＨブリッジ回路のスイッチの切り替えタイミングを変えることで階段波状の電圧波形を作り、擬似的にノコギリ波状の変位波形を作り出した。
この階段波形で駆動することで、矩形波形で駆動する場合に比べて、後の実験結果からもわかるように低速高Fig.9 Photography of units with mechanism of driving lenses

推力なアクチュエータ特性を得ることが出来る。この階

KONICA MINOLTA TECHNOLOGY REPORT VOL.1（2004）25段波形の駆動においてはFig.12におけるパラメータａ，ｂmm/sが適していることと（速度10mm/sの場合ズームにに関し、ａ=1/fs2 、ｂ =1.5/fs2 とすることでもっとも高いは速すぎる）、推力が矩形波駆動に比べ高いことから、性能が得られることが理論的に明らかになっている。

階段波駆動の使用が検討されている。

Fig.14 Displacement of piezo and moving body５まとめ

圧電素子を用いた駆動機構であるSIDMに関し、機械モ
Fig.12 Waveform of step driving voltage

デルを用い、矩形波による駆動波形最適化の解析結果を紹介した。

４．３

SIDM の駆動特性

さらに、実用化に際して、スペースやコストの面で有Fig.13に矩形波と階段波の負荷−速度特性の比較を示

効なＨブリッジ回路を提案し、実際、携帯機器用の小型す。なお、電源電圧は共に３Vで６Vppの電圧を印加しズームカメラのレンズ駆動機構を試作し、２つの異なるた。移動体の摩擦保持力は約100mNである。

電圧波形でSIDMを駆動させ、その特性を紹介した。

矩形波駆動の場合は、共振周波数 fs2 の約0.7倍の駆動周

SIDMの特徴としては、小型・高精度・無音駆動（人の可聴域以上の周波数で駆動）・安定した摩擦保持（電源波数150kHzでユニットを駆動した。
階段波駆動の場合は、駆動周波数56kHzで駆動した。またパラメータａおよびｂは、ａ=1/fs2（4.6μs）、ｂ=1.5/fs2

OFFで保持可能）、等が挙げられる。
SIDMの課題としては、効率が低い・耐久性・フィードバックセンサーが必要、等が挙げられる。これらをより（6.3μs）である。
矩形波駆動の場合の速度10mm/sに対し、階段波駆動の場合速度３mm/sと遅くなるが、推力は階段波駆動の方が向上させることで、様々な分野での実用化を目指していきたいと考える。

高くなる。
また、このときの移動体および駆動摩擦部材の変位を●参考文献
１）吉田龍一，岡本泰弘：圧電リニアアクチュエータの開発，電子情Fig.14にそれぞれ示す。

報通信学会論文誌 Vol.J80-A No.10（1997）pp.1751-1755
２）吉田龍一，岡本泰弘，岡田浩幸：スムーズインパクト駆動機構（SIDM）の開発（第２報）−駆動電圧波形の最適化−，精密工学会誌 Vol.68, No.4（2002）pp.536-541

Fig.13 Influence of load

階段波駆動の場合、駆動摩擦部材の変位が擬似的なノ
コギリ波状の変位波形になっていることがわかる。また、矩形波駆動に比べ立ち上がりが緩やかである。
ズーム用のレンズ駆動の場合、階段波での速度２〜３26

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