洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に
ULTRA-CLEAN ULTRASONIC FLOWMETER

UCUF-02M/
SFC-010L

UCUF 液体微小流量用超音波流量計

RoHS

概要
UCUF-02M/SFC-010L は液体用超音波流量計です。
純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。
測定管路の口径は 2.5 mm で、従来の UCUF 形超音波流量計では測定が難しかった微小流量域を広くカバーします。
接液部はすべて半導体産業向け PFA で構成され、可動部が全くなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造で、半導体製造装置などのクリーン度が要求されるプロセスに最適です。
流量計の入口、出口部は規格寸法のチューブになっており、各種 PFA 継手への接続が可能です。

特長❑ 小口径化
この超音波流量計は、超音波の伝播計測が難しかった内径φ2.5 mm の管路で超音波の伝搬計測に成功しました。
❑ 微小流量
最小フルスケール設定範囲 ： 0 〜 10 mL/min❑ EMC 適合規格 ：EN61326-1❑ RoHS 対応❑ 動粘度 40 mm2/s までの高粘度流体の測定が可能❑ 理想的なクリーン構造の検出器❑ 腐食に強く、取付けが容易❑ 精度：指示値の ±1% 以内（流量 25 mL/min 以上において）

主要用途❑ 半導体製造プロセスの純水・超純水の流量測定❑ 各種薬液注入プロセスの流量測定❑ 高腐食性液体の流量測定❑ CMP スラリー流量測定❑ その他、小〜中口径プロセス液体流量測定❑ 洗浄装置、CMP 装置の流量計測・制御に最適

動作原理
図 1 のように検出部の流路は U 字状で、入口から流入した液体は 90° 曲げられて測定管を通り、再び 90° 曲げられて出口から流出します。
測定管の両端には超音波の発信、受信を行う圧電素子 A、B が装着されており、これにより A → B、B → A 間の液中を超音波が伝播する時間 tA、tB を測定します。液が静止している時は tA = tBですが、液が流れていると、tA は流速とともに短くなり、tB は逆に長くなるので、tB - tA から流速を知ることができます。tA、tB と流量の関係は管路の寸法、形状、液の粘度などによって異なるので、あらかじめ実流試験を行い、変換器に内蔵されたリニアライザに試験データを記憶させることにより高精度を得ています。

INOUT

圧電素子A

圧電素子B
伝播時間tA

伝播時間tB

図1

動作原理図

TG-F2263-J00
初版 2022 06 K

UCUF-02M ／ SFC-010L

UCUF 液体微小流量用超音波流量計

標準仕様
検出器仕様

変換器仕様

・測定対象

・出力

：液体全般（気泡を含まない液体および PFA を透過または侵食しないこと）
・流体温度：10 〜 90°C
・周囲温度：0 〜 60°C
・流体圧力: 0 〜 0.5 MPa
・流体の音速 ：1000 〜 2200 m/s
・流体の動粘度 ：0.8 〜 40 mm2/s
・プロセス接続 ：1/4 PFA チューブエンド
・接液部材質 ：PFA
・構造：IP65（屋内仕様）
・流量範囲：最大 0 〜 100 mL/min
最小 0 〜 10 mL/min
フルスケール設定は、10 mL/min STEP となります。
・測定精度：±1 % RD（25 mL/min 以上）±0.25 mL/min（25 mL/min 未満）
ただし 20℃の水を流した場合・圧力損失：水の場合の圧力損失 (kPa) ＝Ｃ × Ｑ２
ただし Ｃ：圧力損失係数 16.8
Ｑ：流量（Ｌ/min）
・質量：約 250g
・専用ケーブル ：同軸ケーブル２本付属
・ケーブル長 ：5m（標準）
・コネクタ
：SMB
検出器材質

部
ボディ
接液部
チューブ
センサカバー
ケーブルフィッティング
ケーブルシース

品

材
PFA
PFA
PPPPPVC

質1) 電流出力
DC4-20 mA( 負荷抵抗 500Ω 以下 )2) 周波数出力
オープンコレクタパルス
負荷定格：DC 30 V,10 mA
0 〜 1000 Hz3) 警報出力
オープンコレクタ（2 点）負荷定格：DC 30 V, 10 mA
・時定数： 0.5 〜 25 秒
・ローカットオフ ： 0 〜 25 %F.S.
・表示器： 4 桁 LED・表示内容
： 瞬時流量（mL/min）・パラメータ設定 ： RS485 通信による設定（Modbus プロトコル）
・リニアライズ機能 ： 動粘度設定による自動補正
手動リニアライザも付加可能（最大 15 点、折れ線近似方式）
・アドレススイッチ ： 1 〜 32 まで設定可能
・電源電圧： DC 24 V ±10 %・消費電流： 約 155 mA（スタート時約 350 mA）
・突入電流： 約 2A/2ms
・周囲温度： 単独設置0 〜 50℃
10 mm 間隔 0 〜 30℃
密着設置はできません。
※ 複数台設置する場合は 10 mm 以上間隔を空けてください。密閉環境を避け、排気または強制空冷を考慮してください。
・周囲湿度： 30 〜 80 %RH（結露なきこと）
・取付： DIN レール取付
・構造： IP20（屋内仕様）
・材質： ABS・質量： 約 150 g

形式コード

UCUF— □□ M □ □ □口 径02
コネクタタイプ
D-U形 状-Z
5
ケーブル長
特殊仕様

2TOKYO KEISO CO., LTD.

□

空欄/Z

内 容
2.5 mmSMBコネクタ
U字型（標準）Z字型
5m（標準）なしあり

形式コード

SFC-010Lアナログ出力
特殊仕様

□01

内 容

□

空欄
/Z

4〜20 mA
0〜20 mAなしあり

TG-F2263-J00

UCUF-02M ／ SFC-010L

UCUF 液体微小流量用超音波流量計■ 検出器形式コード検出器
UCUF-02MD-U□
INOUT

Ø6.35(17.5)

(100)

Ø4.35

∅20

∅
4.2

80±196±1

Fitting hole
(Revolving-adjustable)(134)

UCUF-02MD-Z□
Ø6.35
Ø4.35(100)(17.5)

OUT

∅

4.

2

∅

2096±1(134)
Fitting hole(Revolving-adjustable)
IN

設置上の注意事項❑ 高精度および安定計測のため本体接続チューブに曲がりが無いように設置してください。
❑ 高精度および安定計測のため流体温度が一定（±5℃推奨）になるようにしてください。
❑ 検出器は、配管中に気泡を含まない場所に設置してください。
❑ 検出器は、測定管内が常に液体で満たされているようにしてください。水平、垂直、斜め配管のいずれにでも取付できますが、液抜きを行いやすい取り付け姿勢をお勧めします。
❑ 流量調整バルブは、検出器の下流側に設置してください。
❑ 検出器および変換器は、パワーリレーやソレノイドバルブなどのノイズ源から離して設置してください。
❑ 信号ケーブルは、高電圧・大流量のパワーケーブル等から離して設置してください。
❑ 複数台設置する場合は 10mm 以上間隔を空けてください。密閉環境を避け、排気または強制空冷を考慮してください。

TG-F2263-J00

TOKYO KEISO CO., LTD.

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UCUF-02M ／ SFC-010L

UCUF 液体微小流量用超音波流量計

変換器

複数台の密着設置はできません。

端子台

SMBコネクタ4

端子台番号と内容番 号
名 称
1＋2−3FG
4＋5−6＋7＋8COM9＋10−11＋12−

SMBコネクタの内容
端 子
極 性
OUT
流出側
IN
流入側

名称

電源電圧入力DC 24 V
FG
アナログ電流出力（4〜20 mA）
警報出力1
警報出力2
コモン
（警報1、2用）
パルス出力（0〜1000 Hz）
RS485通信出力

内 容
センサ信号入力

TG-F2263-J00