◎大分類1：応用物理学一般

Applied P hysics in
n Generall
2012 年の大分類統合を機に「応用物理学一般」に名称変更．応用物理一般・学際領域 ，教育，新技術・複合新領域，エネルギー変換・貯蔵，資源・環境，磁場応用，計測技術・計測標準，超音波の中分類で構成される．物理に関する分野を幅広く取り扱い，多彩な議論が特徴である．本学会の「懐の深さ」を象徴する知的好奇心をくすぐる大分類である．

左図

anode

cathode

光合成微細藻類を使用した太陽電池では，微生物内の光合成反応の過程で発生した電子の一部を電子伝達剤

Fe（CN）6 3Oxidation

外部回路へ供給する．
（ mediator ）を用いて取り出し，

Reduction

同時に発生するプロトンはイオン交換膜を抜け，陽極側Fe（CN）6 4-

lightOxidation

mediator

で還 元される．

Reduction─
提供：吉田 遥（東京工業高等専門学校）
推薦：黒澤忠弘 記者

algae（membranous）
carbon felt
electrodecarbon felt
electrodeion-exchange membrane

右図
入 射 するテラヘ ルツ波 の 絶 対 電 力を，
吸 収 体で生じた熱を介して直 流
電 力と比 較 精 密 測 定する双 子 型テラヘルツ絶 対 電 力 測 定 用カロリメー
タ．
等温制御方式によりサブマイクロ
ワットレベルの微小電力測定を可能とする．
─
提供：飯田仁志（産業技術総合研究所）
推薦：原田建治 記者

左図ウランバートルの小中高一2013 年 11 月 20 ~24 日に，（実
貫教育の 2 私立学校で開催されたモンゴル理科教室
験・工作）：オロンログ校（写真左上）8 ，9 年生と新モンゴル

5 年生対象の授業風景（写真下）．
初めての実験授校 4，業に子供たちも教員も非常に新鮮・積極的であった．
授
業の終わりにモンゴルの歌を歌って感謝の気持ちを表してくれる中学生もいた（写真右上）．
─
提供：岡島茂樹（中部大学）
推薦：原田建治 記者

622

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）◎ 大分類2：放射線
lonizing
g Radiattion
放射線およびその発生・利用に関する研究の推進と技術の向上を図ることを目的とし，1972 年に発足した
大分類である．対象とする研究分野は，理工学，医学，生物学，農学，地質・鉱物学，考古学，水利・探査などの広範囲にわたる．核融合・原子力からエレクロトニクス素子に至るまで，放射線に関わる全ての研究を網
羅する．

右図

PHITS が切り開く新たな放射線挙動解析：
任意
放射線挙動解析コード PH I T S は，の 3 次元体系内におけるさまざまな放射PHITS

線の振る舞いを解析できるため，加速器
設計（上），放射線医療・防護（左下），宇宙
工学，
医学，
理
線・原子核物理（右下）など，
学のさまざまな研究分野で幅広く利用されている．
─
提供：佐藤達彦（日本原子力研究開発機構）

PHITS：Particle and Heavy Ion Transport code System

推薦：河原林順 記者

下図
ここまできた RPL ガラス線量計：紫外線で照らせば，皮Radiation

膚の放射線被ばく線量分布がわかる（ラジオフォトルミ．
手袋の表面が微細なビーズ型 RPL ガ
ネセンス：RPL ）ラス線量計で覆われている．
─
提供：山本幸佳（千代田テクノル）
推薦：河原林順 記 者

Scintillator

MPPC

Scintillator

MPPC
PET：Positron Emission Tomography
MPPC：Multi-Pixel Photon Counter

上図

3 次 元とともに 1 mm の検出器分解能を達成した PE T 検出器
レーザーで分割したシンチレータ全面に半導「 X'tal cube 」は，体受光素子 MPPC が結合する構造である．放射線検出による発光を全 MPPC で受光し，信号の位置演算で検出位置を特定する．
─
提供：稲玉直子，
山谷泰賀（放射線医学総合研究所）
推薦：河原林順 記者

図解・学術講演会大分類623

◎ 大分類3：光・フォトニクス

O ptt ics an
n d Phoo tonicss
この秋の学術講演会から，「光」「量子エレクトロニクス」「光エレクトロニクス」が統合され，光に関わる科学
技術全般を扱う領域となった . 空間，時間，周波数，振幅，位相などさまざまな軸からの極限的な光物理と利用法の探求，光材料・部品，
レーザー，ミリ〜ナノに至るデバイス開発，通信，計測，画像，バイオなどへの応用まで，広範な分野を含む .

右図
モード同期レーザーはスペクトル中に縦モーくしドが規則正しく並ぶ櫛 状の形をしているため
光周波数コムと呼ばれている．
高性能の分光器で分解すると超精密吸収分光が可能となる．図は He 吸収の 実データ．
─
提供：遠藤 護，小林洋平（東京大学）
推薦：美濃島薫 記 者（旧大分類：光）absorption（＊He ）左図
超短パルスレーザ−の集光による多光子励起の発光を用いた液体体積ディスプレイ：平面表示に比べて画素数の多い
体積表示では，ビームの機械的走査に加えて計算機ホログラ
ムによるビーム分割で並 列アクセスを行う．
─
提供：早崎芳夫（宇都宮大学）
推薦：津田裕之 記者（旧大分類：光）右図
複眼撮像システム TOMBO：イメージセンサ上に微小レンズアレイを配置したコンパクトかつ高機能な撮像システム．
視野，
波長，
偏光など
の光学特性を個眼ごとに設定でき，
取得信号に対する演算処理との組み合わせにより多様な用途に応用できる．
─
提供：谷田 純，山田憲嗣（大阪大学），
香川景一郎（静岡大学）
推薦：津田裕之 記 者（旧大分類：光）

624

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）

光・フォトニクス
Nanosecond
pulsed laser

右図
フォトメカニカル波を用 い た 遺 伝 子
導 入 技 術：ナノ秒パルスレーザーを光吸収体に照射してプラズマを生成
その膨張に伴って強い圧力波
すると，（フォトメカニカル 波 ）が 誘 起される．
これを生体組織に作用させることによりさまざまな組織に in vivo においてラット皮膚への遺伝子導入（ex vivo ）Lens

安全かつ高効率に遺伝子を導入することが可能である．
─

Laser target

Laser-induced
plasmaTransparent layer

提供：佐藤俊一（防衛医科大学校）
推薦：編集部Light-absorbing material（旧大分類：光）Photomechanical wave（ PMW ）DNA ，RNA

Target tissue
フォトメカニカル波の発生法

Period
dicc

Ran
ndom
miza
ation
上図

下図

ランダム金ナノ構造体の暗視野顕微鏡写真と電子顕微鏡写真：周期に時間領域で多重化した量子もつれを用いた量子テレポーテーションに系のランダムさが増すに伴い，回折対応した回折色が発色する（上段）．

000 以上の量よる大規模量子演算の概念図．
時間領域多重により10 ，

色は消え，
プラズモン共鳴由来の赤色の発色が現れる．

子波束間での量子もつれ生成に成功．

──

提供：西島喜明（横浜国立大学）

提供：古澤 明（東京大学）

推薦：丸尾昭二 記 者

推薦：竹内繁樹 記 者（旧大分類：光）（旧大分類：量子エレクトロニクス）

図解・学術講演会大分類625

光・フォトニクス
左図

Ring gate electrode

電流励起ポラリトンレーザー：励起子
ポラリトンは量子井戸励起子とマイク
ロ共振器光子が強結合を起こして生成するボーズ準粒子である．ポラリト
ン凝 縮 体は通 常 光ポンピングによる

p-type DBR

量子井戸への励起子の注入により生成されるが，
量子井戸に p n 接合を介して電子，正孔を注入して生成するこSingle-wavelength

とも可能である．
マイクロ共振器の Q

cavity layer

値を犠牲にせず電気抵抗を下げる特
殊な不純物ドーピング法の採用によn-type DBR

り，
電流励起ポラリトン凝縮体の実現に初めて成功した．

Active layer
InGaAs QWs

─
提供：山本喜久（国立情報学研究所）
推薦：竹内繁樹 記 者（旧大分類：量子エレクトロニクス）

右図Space Craft

ひずみ

Mountain

光ファイバに加わる歪 や温度を後方
散乱光の強度や周波数により分布測

Aircraft

定する「 痛みのわかる光ファイバ神経
網 」技術を開発 ．
この「 光ファイバ神
経網 」で 21 世紀社会の安全・安心を
確保する．

Slope
Building─
提供：保立和夫（東京大学）
推薦：河本 滋 記 者

Road Surface（旧大分類：光エレクトロニクス）

TunnelRiver Levee
Air Port

BridgeFiber Optic Nerve

500 as:2.6GW

左図
レーザー 高 次 高 調 波 によって生 成されたアト秒レーザーの 2 次 元 分光スペクト
ル：高光子エネルギー側に見える連続ス
ペクトル 帯 が ，パ ルス幅 50 0 アト秒 ，瞬間 パワー 2.6 G W の 出 力をもつ 完 全コ
ヒーレントな極端紫外光となる．
─

626

e

提供：緑川克美，
高橋栄治（理化学研究所）

ene

rg y

ac

ton

sp

pho

推薦：編集部（旧大分類：量子エレクトロニクス）

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）

光・フォトニクス

左図
電 気 光 学（ E O ）ポリマーを 用 い た
マッハ ツェンダ 光 変 調 器：EO ポリ
マー は 誘 電 率 が 低く E O 効 果 が 大
きいことから，従 来 ，材 料により制 限
されてい た 高 速 化 の 壁を破り，100 GHz 以上の超 高 速光制 御を実現 する ．
─
提供：大友 明（情報通信研究機構）
推薦：菊池 宏 記者
（旧大分類：光エレクトロニクス）

ガス分析

天文

無線通信

レーダ

右図
光波と電波の境界に位置するテラヘ
ルツ（ THz ）ギャップを橋掛けする周波

THz コムとい数の物差し「 THz コム」．
う信 頼 性の 高い THz 周 波 数 標 準 技

周波数標準術を確立することにより，幅広い産業応用が可能になる．

テラヘルツ・コム─
提供：安井武史（徳島大学）

周波数の架け橋

推薦：美濃島薫 記 者

電波

光波
ギャップ

（旧大分類：量子エレクトロニクス）
マイクロ波

ミリ波

テラヘルツ波

周波数0.1THz

1THz

赤外光

10THz

可視光

100THz光出力

左図
高輝度・高出力フォトニック結晶レー

煙紙

ザー：京 都 大 学と浜 松ホトニクスのフォトニック結 晶
共 同 開 発 により，レーザーにおいて，狭放射角（＜ 3 °）を維 持したまま，光 出 力 1.5 W という↓ 1 回目成長

ワット級の室温連続動作に世界で初↓ 2 回目成長

めて成 功した．図は，デバイス構 造とレンズフリーによる紙の 燃 焼 実 験の8.5cm

様 子．光 製 造 ，光 励 起 ，バイオ，分 析などのさまざまな分野への応用可能

フォトニック結晶レーザー

200nm
上面図

図解・学術講演会大分類

25 ℃

断面図

フォトニック結晶レーザーのデバイス構造性を示す．
─
提供：野田 進（京都大学）
推薦：編集部

レンズフリーによる紙の燃焼実験の様子（旧大分類：量子エレクトロニクス）627

◎大分類6：薄膜・表面T hin Fii lmm s ann d Suu rffaces
物質・材料の外界に対する相互作用・物性発現には必ず表面が介在する. これからの産業素材の開発で必要とされるのは物質機能の制御であり，そのためには「表面」もしくは表面を被覆する「薄膜」という局所ナノ領域でのダイナミクスに関する研究が要求される. 今，最もアクティブで魅力的な研究対象が薄膜・表面である.

Oblique projection

左図

3 次元走査型力顕微鏡による脂質膜 /水界面の 3 次元計測：ストライプ状のコントラストは，表面に垂直な方向か
らやや傾きをもって分布する脂質頭部の構 造を反 映している．
ストライプ 状の分布の上に，帯状に分布するコント

z

ラストは，
界面に形成された水和層のy分布を反映している．

x─

Tilted headgroups4± 3.5（ pN ）60 ± 3.5（ pN ）Side view

提供：福間剛士（金沢大学）
推薦：久保 理 記者

100 ± 3.5（ pN ）2nd hydration layer
1st hydration layerz
Headgroupsx,y

右図
フレキシブルな圧電体膜を用いて，環境振動から発電を行う振動発電．振動センシング機能と合わせることで無電源振動モニタリングデバイスが実現可能であり，構造物の安全性確保への応用が期待される．
─
提供：舟窪 浩（東京工業大学）
推薦：宮崎誠一 記 者

628

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）

薄膜・表面右図
エレクトロニクス，
フォトニクス，バイオ分 野で応 用 が 期 待される酸 化 物 材 料 は ，
誘電磁性，
光 学 特 性など多 彩な物 性を有す
性，る．
原 子レベ ルでの 元 素 配 列 制 御や 界 面
制 御による新 機 能 創 成 研 究が 進められている．
─
提供：田畑 仁（東京大学）
推薦：久保 理 記 者

酸化物ナノロッドと低侵襲細胞センサ

ce
Sour

左図
次世代低損失パワーエレクトロニクスに向けたダイヤモンド半 導 体を用いた接 合 型 電 界効果トランジスタ：450 ℃での高温下におい

600 V を超 える耐圧て低リーク電流を保ち，

G a teを有する極 限 環 境 下で動 作するデバイスである．
─
提供：岩崎孝之，波多野睦子（東京工業大学）

G a te

推薦：宮崎誠一 記 者

D ra i

右図

STM 探針nS

スピン偏 極 走 査 型トンネル
顕 微 鏡（ SP-S TM ）による

1nm サイズの 単 一 有 機 分

N
分子

1nm

子を用いた世界最小・磁気N

抵 抗センサの 実 証 実 験．
フS

タロシアニン分 子を介する

ナノ磁石

伝導を磁性探針とナノ磁石の磁気結合（平行・反平行）で制御．

STM 探針─
提供：山田豊和（千葉大学）

Co ナノ磁石SN

分子

推薦：久保 理 記 者

S
N

ナノ磁石

Co ナノ磁石

単一有機分子・磁気抵抗センサ

図解・学術講演会大分類629

◎大分類7：ビーム応用

Beam Technnology and Na
anofabricatio
on電子，イオン，Ｘ線などの量子ビームを応用して，半導体リソグラフィ・微細加工プロセス，Ｘ線光学，電子放出から電子顕微鏡応用，量 子ビーム誘起表面反応解析，イオンビーム工学などの研究領域に貢献する. 半導体プロセス開発のみならず，量子ビームを応用した新プロセス開発・評価技術の基礎をカバーする大分類である .

右図
酸 素クラスタイオンビームを照 射したポリスチレン基板上に成長させたラットの間葉系幹細胞．
幅 50xm の照射ライン上にのみ細胞が成長している．再生医療や生体−エレクトロニ
クス分野への応用が期待される．
─
提供：竹内光明（京都大学）
推薦：瀬木利夫 記 者

100μm

左図

Al を酸性浴中で陽極酸化することにより得られるナノホールアレイ構造材料であるポーラスアルミナ．
図はこれをモールドとした光ナノインプリントプロセスにより形成されたポリマーモスアイ構造 ．
─
提供：益田秀樹（首都大学東京）
推薦：瀬木利夫 記 者

100 nm集束電極

右図
ボルケーノ構造ダブルゲート電極一体型エ
ミッタアレイ：ボ ルケーノ構 造は 電 子ビーム

Ni を用 いることで高アスペク
集束に有利で，Emittertip

ゲート電極

ト比のチップを実 現 ．超 高 感 度 撮 像 素 子や
耐 放 射 線 撮 像 素 子への 応 用 が 期 待されて

断面写真

いる．
─
提供：長尾昌善（産業技術総合研究所）
推薦：瀬木利夫 記 者

1.0μm

630

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）◎ 大分類8：プラズマエレクトロニクス

Plasma Ell ectronicss

社会の根幹を支えるエレクトロニクスデバイス製造プロセス技術の極限を目指し，プラズマの生成と制御，
診断と計測，成膜と表面処理，エッチングを取り扱う．ナノ構造材料分野，
有害物質処理などの環境分野，
殺菌などの医療分野，農水産業分野へのプラズマ応用技術開発など，
プラズマを介して多くの学際研究が発展している．

左図
パルス放電などにより生成された大気圧低温プラズマは，
熱負荷を与えないプロセスが可能である．
プラズマ医療応用はさまざ
まな活性種を人体へ照射することで消毒，止血，治癒などの新しい治療効果が期待されている．
─
提供：北野勝久（大阪大学）
推薦：関根 誠 記 者

右図
プラズマに暴露された半導体デバイス内には結晶構造の乱れた欠陥（ダメージ）が形成される．透過型電子顕微鏡観察では同定し難いこれら欠陥を，光学的手法で定量化することにより半導体デバイスの高信頼性化を目指す．
─

Si
O
Ar

提供：江利口浩二（京都大学）
推薦：関根 誠 記 者

左図
スリットに沿って広がる水中気泡内のマイクロ波励起プラズマ：液体とプラズマが関与する反応場を作るため，さまざまな新しいプラズマ生 成 法が 考案されている．
ウェットプロセスとプラ
ズマプロセスが相互に関与する異分野連携が期待される．
─
提供：石島達夫（金沢大学）
推薦：関根 誠 記 者

図解・学術講演会大分類631

◎ 大分類9：応用物性Appplied Materials Sccience2013 年春 季 学 術 講 演 会 より発足した中分類：ナノワイヤ・ナノ粒子をはじめ，誘電材料，ナノエレクトロニ
クス，熱電変換，新機能材料と，将来のグリーン・ナノエレクトロニクスの発展を目指す異分野融合研究の最先端領域．いくつもの大分類がここから巣立ち，発展している．エレクトロニクスのゆりかごともいうべき大 分類である．

右図
日本 発 の 熱 電 材 料である層 状コバ
ルト酸 化 物（ 左 ）は ，大 気 中 高 温 でCo

優 れ た 性 能 を 示 す．右 の 写 真 は 産
総 研 で 試 作 され た 酸 化 物 熱 電 モ

Cao

ジュール．
─

Cao

提供：寺崎一郎（名古屋大学），
舟橋良次（産業技術総合研究所）

Cao

推薦：編集部Co

左図
無 電 解 金メッキの自己 停 止 機 能を用いて，作 製した５nm ギャップ 長のナノギャップ 電極の 断 面 透 過 型 電 子 顕 微 鏡 像：自己 組 織化を用いてナノギャップ 間に機 能 性 分 子を導入すると，
分子デバイスが実現できる．
─
提供：真島 豊（東京工業大学）
推薦：編集部20 nm

右図

S i を塀状に加工したナノウォール（ NW ）の幅を

シリコンナノウォールを見る !
0.77nm
1.5nm

2 ~ 3 nm 以下にすると，量子サイズ効果によりバンド幅が広がり，太陽電池に適用すれば 効率 40％超が期待できる．図は幅約 2 nm の Si

NW の断面を原子模型と対比したもの．

対応する
原子配列

─
提供：市川幸美（科学技術振興機構）
推薦：増田 淳 記 者

原子模型で作った Si ナノウォール）ーー Si ウェーハ 状にナノウォールを形 成（面方位（110）632

作製された Si ナノウォール
ー断面 TEM 写真ー

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）◎ 大分類10：スピントロニクス・マグネティクス

Spinttro
onics annd Magn
netics「スピン」は電子の自転運動に対応するもので，究極の微小磁石としての性質を有している．このスピンを磁場・電場・光・熱などを用いて自在に操り，画期的な物理現象，材料，デバイスを創成する最先端の研究領域
がスピントロニクスである．従来のエレクトロニクスの限界を打破するために，ますますの発展が期待される大分類である．

左図"0"

垂 直 磁 気トンネル 接 合 素 子を配 線 間Top electrode90 n m 世代 CMO S 回路と融に形成し，合した素子数 10 0 万個を超える省エネ

"1"

Cr/Au

ルギー不 揮 発 性スピントロニクス論 理

Ru
Ta
MgO
CoFeB
CoFeB
MgO
CoFeB
Co/Pt based SyF
Ta

VRecording layer →Reference layer →V+

集 積 回 路．左 図と右 下 写 真 は 垂 直 磁気トンネ ル 接 合 素 子 ．右 上 写 真 は 性
能 実 証 チップ を 試 作 し た 3 0 0 m m
ウェー ハ 写 真 ．
─配線

Bottom electrode

Cr/Au
Ru
Ta

SiO 2 /Si sub.

提供：大野英男（東北大学）
推薦：編集部

配線

右図
磁 気トンネル接 合 素 子のトンネル磁
気抵抗効果（ T M R 効果）は ，ハード
ディスクの 磁 気 ヘッドや 不 揮 発 性メ
モリ MRAM に 用 いら れる．写 真 上はハードディスクの 記 録 媒 体と磁 気
ヘッド，写 真 下はキャッシュ向け高 速

MR AM の テストチップ．
─
提供：湯浅新治（産業技術総合研究所）
推薦：編集部

提供：東芝研究開発センター（ NEDO 委託業務の成果を含む）

図解・学術講演会大分類633

◎ 大分類12：有機分子・バイオエレクトロニクス

Organic Molleculles and Bioelecttroniics
けん

来 年 設 立 30 周 年 を 迎 え る 同 名 分 科 会 が 牽 引 す る 大 分 類．液 晶 ディスプレイ に 始 ま り，有 機 EL ，有 機 半
導 体，有 機 太 陽 電 池，フレキシブル プリンタブル デバイスと 発 展 を続 け，今 ま さ に 医 療・バイオ 分 野 との融 合 の 時 代 を 迎 え よ う と し て い る．講 演 会 で の 発 表 件 数 は 500 件 を 超 え，今 や 応 用 物 理 学 会 の 一 大 勢
力である．

右図
熱 活 性 型 遅 延 蛍 光（ TADF ）の 開 発と高効率有機 EL デバイスの実現（図右）．

TADF 材料を利用したフルカラーディスプ
（図左）．
レイ

─
提供：安達千波 矢（九州大学）
推薦：中 茂樹 記 者

左図羽のように 軽く，薄く，フレキシブルな 有 機トランジス
タ集 積 回 路：薄さがおよそ 2μm ，曲げ 半 径 が 5μm ，紙のようにくしゃくしゃに丸めても壊 れない．医 療デバイス，
ウェアラブル ヘ ルスモニタなどへの 応 用 が 期待される．
─
提供：染谷隆夫（東京大学）
推薦：横山大輔 記 者
提供：東京大学染谷研究室

右図
ドナーアクセプタ型ポリマー（ p 型有機半導体）とフラーレン誘導体（ n 型有機半導体）を塗布して得るバルクヘテロ構造の有機薄膜太陽電池 . 5 cm×5 cm モジュール電子

n 型有機半導体輸送
解離1%（世界記録でエネルギー変換効率 9 ．

提供：五反田武志（東芝）
推薦：嘉治寿彦 記者

光励起
励起子
拡散
解離

. NEDO 委託事業 .
更新）
─

光

輸送

p 型有機半導体
正孔

バルクヘテロ構造の模式図

634

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）有機分子・バイオエレクトロニクス
右図
ナノポアを 使った 1 分 子 シーケンサ の
原 理 図：ゲ ート 電 圧 により，流 路 壁 面の 電 気 浸 透 流を調 整することで，
１分 子

DN A・R N A の 流 動 速 度 を 制 御し，
ナノ
電 極 間を通 過する DN A や R N A 上 の１
塩 基 分 子を，トンネル 電 流の大きさで識別する．
─
提供：谷口正輝（大阪大学）
推薦：編集部

左図
ナノインプリント技術により作製した金ナノピラーハイブ
リッド構造：プラズモンバイオセンサとして応用する．
─
提供：民谷栄一（大阪大学）
推薦：編集部

1μm

200nm

右図
生体分子（ 受 容 体タンパク質 ）の 機 能を利 用したナノバイオデ バイスを構 築し，神 経 細 胞との 間のシナプス結 合を人 工的に形成することで，
生 体内情報伝 達を
忠 実に再 現するバイオインタフェースを実現する．
─
提供：住友弘二（日本電信電話）
推薦：編集部

図解・学術講演会大分類635

◎ 大分類11：超伝導

Supercoondu
uctivvity
電気抵抗ゼロ，磁束の量子化，ジョセフソン効果など，ほかの分野ではみられない多くの特異な現象を含む「超 伝 導 現 象」の応用を目指す大分類．基礎では物性研究や薄膜・テープなどの材料開発，応用では電力応用から極限性能を発揮するセンサ，（アナログとディジタルの両方を含む）デバイス ，システム まで，非常に幅広い領域をカバーする．

下図
超伝導ディジタル回路は，
CMOS 回路の限界をはるかに越える高速・低消費電力動作を可能にする．単一磁束量子（ SFQ ）回路では集積回路の 15 0 GH z 動作が実現されている．断熱型磁束
量子パラメトロン（ AQFP ）回路で は熱的リミットに迫るゲート消費電力が実証されている．
─
提供：日高睦夫（産業技術総合研究所）

推薦：編集部

10 -13

左図

CMOS 論理回路の限界

走査型トンネル顕微・分光（ STM/

10 -15

量 子 化 磁 束 構 造：図 中 マークは
磁 束ピ ン 止 め による 欠 陥 構 造 ．
磁 束 構 造や相 転 移，ピン 止 め 機
構をナノスケールで理 解すること
で臨 界 電 流 密 度 Jcの 制 御が 可能になる．

ビットエネルギー（ J ）STS ）法で観測した超伝導体中のクロック：150 GHz

10 -17

SFQ 論理回路

10 -19

消費電力：10 J@5GHz

10 -21

─

-20

AQFP 回路

量子リミットΔE・Δτ＜h

熱的リミット @4.2K

E b=ln2 k BT

提供：西嵜照和（九州産業大学）
10

推薦：牧瀬圭正 記 者-23

10 -1310 -11

10 -9
クロック周期（ S ）10 -7◎ 大分類13：半導体A（シリコン）

Semiconnductors A（Silii coon ）シリコンを中心に発展してきた L S （I 大規模集積回路）は，スマ ホ ，パソコンなどの心臓部として使用さ
れ ，現代の情報通信技術を支えている．半導体 A では ，この技術をさらに深化させるべく，新たな材料開発・
構造提案・作成技術・低消費電力化・新機能デバイスなどに関する最新のデータを基に，活発な議論を行っ
ている．

左図

Si プラットホーム上 III-V MOSFET 形 成 の~3.2nmInGaAsAl 2O 3~7.7nmSiO 2［ 001 ］

Si636

基 板 上 に 直 接 形 成 さ れ た 極 薄 In 0 ．53

Ga 0 ．47 As-On-Insulator 構造の断面透過型電子顕微鏡写真 .
─-

提供：横山正史 ，高木信一（東京大学）［ 110 ］5 nm

た め，
ウェーハ 貼 り 合 わ せ 技 術 により S i［ 110 ］

推薦：河本 滋 記 者

応用物理第 83 巻

第 8 号（2014）

半導体 A

左図

酸素空孔準位

Si 伝導帯Si と HfO 2 が 接 触 すると S i が HfO 2 を

0.4eV

酸素空孔からの
電子の移動

H f O 2 中に酸 素 空 孔が 形 成され
還 元し，
る．
この結果，
フェルミレベルが界面反応で決まる固 有の 位 置 にピニングされる．

フェルミレベル本概念が現在の L S I 作製の指導原理とSi 価電子帯
酸素空孔形成による界面分極

HfO2

なった．
─
提供：白石賢二（名古屋大学）

poly-Si gate

推薦：角嶋邦之 記 者

SiO 2

右図
低 電 圧 動 作 が 可 能 な 新 構 造 の SOI-

CMOS トランジスタ，原 子スイッチ，磁 性メモリ（ MRAM ），超格子抵抗変化メモリ（ TRAM ）などを開 発 ．半 導 体 集 積 化 技術を用いて低電力 L S I を実現し，IOT 時

MRAM（ MTJ ）代を支える機器や システムのさらなる低TRAM

電力化に貢 献する．
─
提供：住広直孝（超低電圧デバイス技術組合）
推薦：藤村修三 記 者

原子スイッチSOI-CMOS

シリコン半導体
集積化技術

左図
世界で初めて実現した立体構造：ダブル
ふ か ん

ゲート MOSFET（ DELTA ）の 俯 瞰 SEM
写真．
シリコンで形成したフィン型チャネル
を，
ゲート電極が乗り越え，両側から挟んでいる様子が見られる．
─
提供：久本 大（日立製作所）
推薦：角嶋邦之 記 者

図解・学術講演会大分類637

◎ 大分類13：半導体B（探索的材料・物性・デバイス）

hysical Properties, De
evices）
Semiconductors B（Explooratory Materials, Phy
主として化合物半導体を取り扱い，異なる種類の半導体を積層したヘテロ構造により出現する新たな物理現象の探索や，それを利用した実用半導体デバイスの実現を目指す．衛星放送の受信機などに使われている高電子移動度トランジスタや青色 LED など，この分野から輩出された技術は，日本発の技術として世界に認知されている．

ElectronHole

Photoluminescence intensity

Exciton

左図
量 子 ナノ材 料 の 光 物 性：カーボ ンナノ
チューブやナノ粒子からの発光を局所測定することで，
サイズ に依存した量子ナノ
材料の本質的な特性を理解し，新しい光
学現象を発見する．
─

0.90

0.95

1.00

1.05

1.10

1.15

1.20

1.25

1.30

提供：金光義彦（京都大学）

1.35

推薦：野村政宏 記 者

Photon energy（ eV ）右図
そろ半導体量子ドットにスピンの揃った電子を光注入することで，ドットを構成する格子の核スピンが揃う．
この手法によって数T に及ぶ外部磁場を相殺できる強力な「ナノマグネット」を形〈I z〉

成することが可能になる．

|g ez |μBB Z

─
提供：鍜治怜奈（北海道大学）
推薦：熊野英和 記 者

unstablebranch-4nm

760
Zeeman splitting（μeV ）

740
720

〜 3×10 4 個の原子核

700
680

Ex

c.

Po

r
we

M a g n e ti c

F ie ld

σ-pump

660
640
620

σ+pump600
Excitation Power（ a.u.）

638

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）

半導体 B
右図InGaAs チャネルのボディ幅が 15 nm の 縦型ダブルゲート〈100 〉MOSFET の 透 過 型 電 子 顕 微 鏡 像：ソース / チャネ ル は-〈 011〉

Drain electrode（Tungsten）

I n P / I n G a A s ヘテロ構造による．
─
提供：宮本恭幸（東京工業大学）

Gate dielectric（Al2O3）Channel（i-InGaAs）

推薦：関根 誠 記者

BCB

Gate electrode（Ti/Au）
15nm

N
Source（n-InP）

左図
ダイヤモンド中の単一 NV（窒素・空孔複合体）からの発光
観測：ダイヤモンド LED（ pin 型）を上から見た写真．丸は n型薄膜上の金電極．
─1μm

提供：水落憲和（大阪大学）
推薦：熊野英和 記 者

下図
位置制御 GaN ナノワイヤ量子ドットからの室温単一光子発ひら

生：量子情報処理集積回路の室温動作に道を拓くことが期待される．
─
提供：荒川泰彦，
有田宗貴（東京大学）
推薦：関根 誠 記 者

図解・学術講演会大分類639

◎ 大分類15：結晶工学

Crysttal Engineerring
結晶はあらゆるデバイスの機能の根幹である．結晶工学では，低欠陥バルク結晶の成長はもちろん，量子ドットなど高次の機能を実現するナノ構造を，環境条件の巧みな制御により自己組織化形成する．太陽電池などに求められる極限の低コスト化と結晶機能の両立も結晶工学の大きな挑戦である．シリコン・III-V 族はもちろん，窒化物，酸化物，さらに多元系と，扱う材料も幅広い．

n+-AlGaAsn-GaAs

右図

Stanski-Krastnanov 成 長 モ ー
ドにより形成された量子ドットは，
半導体レーザー，
単一光子発生素太 陽 電 池 などに応 用される．
子，

III-V 族のみなら
本成長モードは，
I-VI 族，や IIV 属など多 様な半ず，n-AlGaAs
n-GaAs

導体材料系において量子ドットの形成を可能にした．
─
提供：荒川泰彦（東京大学）
推薦：川崎雅司 記者 ，
菊池 宏 記者

MOCVD 装置

反応炉

RHEED パターン

MBE 装置4H-SiC 積層欠陥（ SF ）の透過電子顕微鏡評価
左は X 線トポグラフィで検出可能、右は不可
左図
結晶欠陥の評価法を確立し，制御すパワーデバイスの特 性およ
ることで，

4H

X 線トポグび歩留まりの向上を図る．

SF

9 層の
Si-C
単位層
からなる

12 層の
Si-C
単位層
からなる

ラフィ，
ラマン散 乱 分 光，透 過 型 電 子，反射電子顕微鏡，原顕微鏡（ TEM ）フォトルミネッ子 間 力 顕 微 鏡（ AFM ），センスなどによる評価を実施．
─4H

提供：山本秀和（千葉工業大学）
推薦：編集部

表面に抜けていく転位

エピ層 / 基板界面を伸展する転位

SiC 転位の反射 X 線トポグラフィ評価

640

GaN 研磨傷の反射 X 線トポグラフィ評価

Si ミスフィット転位の透過電子顕微鏡評価

応用物理第 83 巻

第 8 号（2014）

結晶工学
右図

2 段 階 選 択 成 長 による 加 工

Re-growth
regionSiO 2 mask

Si 基 板 上の 無 転 位 半 極 性 面
GaN ストライプの断 面 透 過 型
電 子 顕 微 鏡 写 真 ．将 来 は，
ド
ライバ 用 LS I と多 色レーザ ーの混成集積による超小型レーザーディスプレイシステムなどへの応用が期待される．
─
提供：天野 浩（名古屋大学）

1μm（113 ）
Si

推薦：川崎雅司 記 者

左図Si（110 ）基板上に低温（ 200℃）で成長させたGe 薄膜の断面図

Geおよび 平 面 図：各 結 晶の 界 面には 双 晶 境 界 が 存 在する．
低融点の Sn をin situ ドーピングすることで，{114 } 面（ 図 中 緑

Si（110 ）50nm

および青領域）は消失し，均一なヘテロエピタキシャル成長が実現する．

Inversepole figure

{111}

─
提供：財満鎭明（名古屋大学）

{114}
{001}

Ge（114 ）推薦：編集部{110}

Ge（110 ）twinboundary

Ge（114 ）50nm

Si melt

右図
約1400 ℃ で Si 融液から Si 結
晶が 成 長する様 子：成 長 速 度

Si crystalが上昇すると，固液界面の形状が平坦 – 波状 – ジグザグ状と変化する．S i 多 結 晶 基 板の 高 品
質 化には，固 液 界 面 形 状など
結晶成長の諸現象の制御が重要である．
─
提供：藤原航三（東北大学）
推薦：柳谷伸一郎 記 者

⇨
100μm

図解・学術講演会大分類

10 mm

太陽電池用 Si 多結晶基板641

◎ 大分類16：非晶質・微結晶

Ammorphoous annd Miicrrocrysttalline Materrials
アモ ルファス お よ び 微 結 晶 材 料 ，ガ ラ ス 材 料 に 関 す る 研 究 分 野 の 発 展 に 貢 献 し ，相 変 化 型 光 メ モ リ や
液 晶 ディスプレイ，薄 膜 太 陽 電 池 な ど の 産 業 を 支 え て き た 大 分 類 である．現 在 は ，バ ル ク 結 晶 シリコ ン
太 陽 電 池 関 連 の セッション も 加 わ り，シリコン 系 太 陽 電 池 全 般 に つ い て 議 論 す る 場 として の 役 割 も担っている．

右図

100μm 厚 結 晶 シリコン太 陽 電 池：
次 世 代 太 陽 電 池 実 現 の ため，結 晶
成長，パッシベーション，電 極 などに関する新技術 ，理論限界効率を目指した 新 規 デバイスの 産 学 連 携 研 究の成果 ．
─
提供：大下祥雄（豊田工業大学）
推薦：編集部◎ 大分類17：ナノカーボン

Nannocarrbonn Tecchno
ologyyカーボンナノチューブやグラフェンなどのナノカーボン材料は，非常に高いキャリヤ 移動度を有し，比表面積が大きく，フレキシブルであるなどの特性のため，さまざまな分野で応用が期待されている．この 大 分類では ，これらの材料の合成，基礎物性，応用開発について活発に議論する．近年，MoS 2 などの層状物質もこの大分類で注目されている．

原子膜スケール電子素子

原子膜積層例

左図
原子スケール厚の超薄膜を単層もし
くは少 数 層に分 離し，端 子をつけ電子 素 子とする．
さらに，金 属 的，半 導

h-BN

MoS 2

体的，絶縁体的な特性を有する異種原子膜を積み上げて積層することで，

Graphene

人工的にデザインした電子状態を有する機 能 電 子 素 子を作ることができる．図はショットキー素子の例．
─
提供：塚越一仁（物質・材料研究機構）
推薦：上野啓司 記 者

4μm

Vd

Graphene
MoS 2 or SnS 2

285-nm thick SiO 2
Heavy doped Si

V bg

642

原子膜接合素子

応用物理

第 83 巻

第 8 号（2014）

ナノカーボン
右図
銅薄膜の細い双晶領域にグラフェンが選択的に形成される様子を示す模式図：双晶領域表面でのカーボン前駆体の吸着エネルギーがほかの部分より大きいことがその一因．
ナノリボンの自己組織的形成が可能に．
─
提供：佐藤信太郎（富士通研究所，産業技術総合研究所）
推薦：前橋兼三 記 者

左図
在 宅 医 療を基 礎とした生 体 情 報 計測システムを目指して，
カーボンナノ
チューブグラフェン高 感 度 バイオセ
1cm

ン サ を 組 み 込 ん だ マイクロフロ ーチップ.
─
提供：松本和彦（大阪大学）
推薦：前橋兼三 記 者
1μm

カーボンナノチューブグラフェン
高感度バイオセンサ

右図
柔 軟 性 をもつカーボンナノチューブ（ C N T ）集 積 回 路：C N T 薄 膜 は
簡 単 な 転 写 法 により形 成されている．配 線 や 電 極を C N T で 形 成 することにより透 明 な 集 積 回 路 が 実 現
できる．
提供：大野雄高（名古屋大学）
推薦：吾郷浩樹 記 者

E
左図
原 子 層 転 写 法 により作 製したグラ
フェンデュアルゲート素子：六方晶窒化ホウ素を下地およびゲート絶縁層として利 用し，極めて高いキャリヤ移k

動 度を実 現 ．ディラックフェルミオン
の量子輸送現象が観測される．
─TGGraphene

提供：町田友樹（東京大学）
推薦：吾郷浩樹 記 者

BN

図解・学術講演会大分類643