走査型プローブ顕微鏡
SPM/AFM用 プローブ · カンチレバー
製品カタログNANOSENSORSTM

走査型プローブ顕微鏡用プローブ

NANOSENSORSTMのSPM/AFMプローブは高分解能測定から特殊アプリケーションに至るまで、世界中の SPM/AFM ユー
ザーに愛用されています。
SPM/AFM で高分解能かつ信頼性・再現性の高いデータを収集するためには、SPM/AFM システムの性能以上に、原子間力や電気力・磁気力・吸着力などを検出するセンサーの役割を果たすプローブの性能が重要となります。
徹底した品質管理を行い、世界で唯一歩留まりを保証しています。ユーザーからデファクト・スタンダードとしての信頼を受ける高性能・高品質プローブをぜひご利用下さい。

NANOSENSORSTMプローブの特長■ 世界唯一の歩留まり保証■ 高分解能測定から、特殊アプリケーションに対応する 80 種類にもおよぶ多彩なラインナップ● フォースモジュレーション● 位相イメージング● 磁気力顕微鏡● 電流イメージング● フォースカーブ測定● 摩擦力顕微鏡（水平力顕微鏡）● 電気力・表面電位顕微鏡● キャパシタンス顕微鏡■ 市販されているほぼ全ての SPM で使用可能■ 高感度測定を可能にする高い Q ファクター■ 探針側のカンチレバー幅を小さくし、AC モード（加振モード）でのエアダンピングを低減■ ドライプロセスを使用せず、表面粗れのない滑らかな探針形状を実現■ 静電気による帯電を防止するドーピング処理■ 抵抗値は 0.01 ～ 0.025 Ω･cm
■ ストレスに強く、直線性に優れたカンチレバー■ カンチレバー背面の幅が広く、レーザーの位置合わせが容易

探針形状のラインナップ
表面形状観察・位相イメージ用● シリコン標準プローブ● スーパーシャープ・シリコンプローブ● 高アスペクト比プローブ● 探針反転プローブ● アドバンスドテック プローブ
● 自己検知型 アキヤマプローブ (A-Probe)● ユニーク・プローブ

コーティングプローブ● PtIr5 コート● Au コート● 磁性膜コート● ダイヤモンド・導電ダイヤモンドコート
シリサイドプローブ● 白金シリサイド(PtSi) 導電性プローブ
特殊探針形状● 探針レス● プラトー探針スペシャル開発品● Sphere 探針● Rounded 探針「NANOSENSORSJapan」
日本語による製品紹介ビデオ
是非ともご覧ください

https://www.youtube.com/channel/UC1Bj4WC2iExCAvBNE9DpyGA

2

NANOSENSORSTM プローブ ラインナップ一覧
シリコン標準プローブ

スーパーシャープ・シリコン プローブ

高アスペクト比（AR）プローブ

PointProbe®Plusシリーズ。最もポピュラーな ”NCH”
タイプをはじめ、様々なアプリケーションをカバーする豊富なラインナップをそろえた標準プローブ。
→ 5 ページ

高分解能観察用プローブ。
マイクロラフネス、ナノ粒子、狭ピッチのパターン
等のナノ構造観察に最適。
→ 6 ページ

パターン形状測定用プローブ。
半導体パターン、光ディスクなどサイドウォールの角度が 90°に近いサンプルの形状測定に最適。
→ 6 ページ

アドバンスドテック プローブ

自己検知型 アキヤマプローブ

高 Q 値プローブ

探針先端がカンチレバー先端より突出し、直上から探針の先端を観察可能。探針先端を視認する必要があるアプリケーション（マニピュレー
ション等）に利用可能。
→ 7 ページ

自己励振・自己検出可能な水晶振動子とバネ定
数の小さなカンチレバーを組み合わせたプローブ

ユニーク・プローブ

探針レスプローブ水晶のような材料で製造され、本質的にストレスのない材料と新しい加工法との組み合わせによって殆ど真っ直ぐなカンチレバー。ドリフトが小さく液中測定に最適。
→ 8 ページ

探針が形成されず、ユーザー自身で粒子などを修飾することが可能。サンプル表面と修飾した物質との間の相互作用を測定する場合などに最適。

→ 7 ページ

超高真空環境下で Q 値が 30000 以上となるよう設計されたプローブ。
→ 7 ページ

プラトー探針プローブ→ 13 ページ

探針先端が円形の平面に加工されたプロー
ブ。接触面積の計算が容易。
→ 13 ページ3

ダイヤモンド/導電ダイヤモンドコート

白金シリサイド導電性プローブ

磁気力顕微鏡用プローブ

探針先端部にダイヤモンド膜をコートしたプローブ。耐摩耗性が高く、導電性を持たせることでμAレベルの電流が流せる。
→ 10 ページ白金コートのもつ導電性とダイヤモンドコートのもつ耐摩耗性を両立させた新しい電気測定用プローブ。先端
曲率半径が小さいので、より高分解能なイメージングが可能。
→ 11 ページ

磁性膜をコートしたプローブ。磁気の感度や空間分解能の異なるラインナップが用意されている。

PtIr5 コートプローブ

Au コートプローブ

標準サンプル

探針先端部に Au をコートしたプローブ。バイオ
アプリケーションなどに使用。

AFM の X-Y, Z のキャリブレーションを行なうた
めの標準片。

探針先端部に PtIr5 をコートしたプローブ。
表面電位顕微鏡や電流イメージングに使用。
→ 10 ページ

スフィア探針プローブ

スペシャル開発品（要お問い合わせ）探針先端部に SiO2 をコートし、ミクロンレベルの曲率を持つ球状にしたプローブ。
→ 13 ページ4→ 10 ページ

ラウンド探針プローブ

スペシャル開発品（要お問い合わせ）探針先端部を曲面に加工したプローブ。

→ 13 ページ→ 12 ページ→ 14 ページ

形状測定用プローブ
シリコン標準プローブ PointProbe®Plus シリーズ
PointProbe®Plus シリーズは、世界中で最も多くのユーザーに使用される“NCH”タ
イプをはじめ、様々なアプリーションに対応する豊富なラインナップをそろえた世界ス
タンダードのプローブです。 品質向上を計り、探針先端のバラツキを抑え、データの再現性を向上させるニュースタンダード・プローブです。

特長■ 高分解能観察を実現する先鋭な探針
先端曲率半径： 7nm 以下（10nm 以下を保証）■ 様々なアプリケーションに対応する豊富なラインナップ
AC モード用（高共振周波数タイプ／低共振周波数タイプ／ソフトタップタイプ）
フォースモジュレーション用
コンタクトモード用
摩擦力顕微鏡用

PointProbe®Plus の探針部SEMイメージ

コーティングプローブ（p.10 を参照）
■ 探針部の仕様
材質
探針長さ：単結晶 Si：10 ～ 15µm

ハーフコーンアングル ： 20 ～ 25°（正面から見た場合）
25 ～ 30°（サイドから見た場合）
探針先端から 200nm までのハーフコーンアングルは 10°以下

探針正面（左）と探針サイド（右）から見たSEMイメージ■ 反射コーティング■ 探針反転プローブ

反射の大きなサンプルを測定する場合、プローブ背面から反射されるレーザー
光とサンプル表面から反射されるレーザー光が干渉を起こし、観察イメージに干渉縞が現れるケースがあります。
このような場合、背面に反射コーティングを施したプローブを使用することで、光干渉を軽減できます。

PointProbe®Plus シリーズには、探針を前後反転させたプローブが用意されています。探針反転プローブは、AFM にセットした時に、前後の角度がほぼ対象となるよう設計されています。

・Al コート ：反射率が約 2.5 倍に向上
・PtIr5 コート ：反射率が約 2 倍に向上
・Au コート ：反射率が約 2 倍に向上

探針反転プローブの探針部SEM イ
メージ

X-Y アライメントシリーズ
X-Y アライメントに対応したプローブは、アライメントチップ (ALIGN) と同時に使用することで、長さの異なるプローブを AFM にセットした場合でも、探針部先端の位置がほぼ同じ位置にセットされます。プ
ローブ交換後も、レーザー位置調整に費やす時間を大幅に短縮させることができます。対応したプ
ローブのホルダー部には、アライメント用のグルーブが形成されています。
アライメント精度
・同一プローブ取り付け時 ：± 2µm・全対応プローブ取り付け時：± 8µm

アライメントチップ（ALIGN） （左）とアライメントチッ
プ対応プローブのホルダー部の SEM イメージ

X-Y アライメント対応プローブ 主要スペックシート（P.15 ～ 17）の XY アライメント対応製品をご参照下さい。

890µm

XYCONTRFM, NCL, SEIH, ZEIH, LFM, EFM, MFMR

450µm

225µm

XYNCHR

125µm

XY アライメント対応プ
ローブをアライメントチップ（ALIGN）に取り付
け、AFM に セ ッ ト し た
顕微鏡写真。長さの異なるプローブをセットしても、プローブ先端は、ほぼ同じに位置になり、プ
ローブ交換後のレーザーアライメント作業を容易に行なえる5

スーパーシャープ・シリコン(SuperSharpTM）プローブ
特長■ 超高分解能観察用 Si プローブ
■ 先端曲率半径：2nm 以下（5nm 以下を80%の歩留まりで保証）■ 探針先端から 150nm までのハーフコーンアングルは 7°以下、アスペクト比は 4：1 以上
マイクロラフネス、ナノ粒子形状、微細パターン形状測定などに対応■ 様々なアプリケーションに対応する豊富なラインナップ
AC モード用（高共振周波数タイプ／低共振周波数タイプ）
フォースモジュレーション用
MFM モード用プローブ（p.12 を参照）
■ 探針部の仕様
材質：単結晶 Si
探針長さ：10 ～ 15µm
ハーフコーンアングル ：20 ～ 25°（正面から見た場合）
25 ～ 30°（サイドから見た場合）

スーパーシャープ・シリコン（SSS）プローブの探針
先端の SEM イメージ

左図はスーパーシャープ・シリコン（SSS）
プローブと一般的なプローブを使用したポリ Si の表面形状イメージ。SSSプローブでは、ポリ Si の粒子形状がクリアに観察されている。
右図は 2 つの表面形状イメージの断面プ
ロファイル。SSS プローブは、探針先端部がより先鋭であり、より小さな凹凸を検出していることが示される。

一般的なプローブ高アスペクト比 プロ-ブ（AR シリーズ）
特長■ 探針先端部を高アスペクト形状に加工■ 半導体パターン形状、光学部品など急峻な傾斜を持つサンプルに対応■ カンチレバーのラインナップ
AC モード用（高共振周波数タイプ／低共振周波数タイプ）■ 探針部の仕様
材質：単結晶 Si
探針長さ ：10 ～ 15µm
探針部の仕様は下表を参照■ AFM にセット時、探針が垂直に向く 13°の傾斜補正タイプも用意
高アスペクト比プローブ (AR10) の探針先端の SEM イメージ

高アスペクト比探針の主な仕様
AR5

AR5T

AR10

AR10T

高アスペクト部分の長さ>2.0µm

>2.0µm

>1.5µm

>1.5µm

アスペクト比高アスペクト部分のハーフコーンアングル
傾斜角度>5 : 1>5 : 1>10 : 1

>10 : 1

<5°

<5°

<2.8°

<2.8°

0 ± 1°

13 ± 1°

0 ± 1°

13 ± 1°AR5（左）と AR10（右）の探針先端部の SEM イメージと主な寸法（正面）

傾斜補正高アスペクト比プローブ (AR10T) の SEM イメージと、各種プローブで測定した傾斜の急峻な側壁をもつホール形状イメージと断面プロファイル。PointProbe®Plus はコーンアングルが大き
いため、ホールの側壁をトレースすることができない。AR5はプロー
ブ取り付け時の探針の傾斜により、片側の側壁をトレ ースできな
いが、AR5T は両側の側壁をトレースできる。
ホールのような前後左右対称な形状のサンプルでは、傾斜補正された AR5T/AR10T でなければ、側壁を正確にトレースできない。

6

アドバンストテック (AdvancedTECTM) プローブ特長
■ 探針はプローブ先端から突出して形成され、AFM にセットした場合でも直上から探針先端と測定位置を視認可能■ ナノマニピュレーションやナノリソグラフィー、光励起を利用するアプリケーションなどに利用可能
材質：単結晶 Si■ 探針部の仕様：15 ～ 20µm
探針長さ
ハーフコーンアングル ：12°以下（正面から見た場合）8°以下（サイドから見た場合）：10nm 以下
探針先端曲率■ ラインナップ

AC モード用（高共振周波数タイプ）
フォースモジュレーションモード用
コンタクトモード用
PtIr5 コートタイプ
Au コートタイプ

AdvancedTECTM プローブの SEM イメージ。探針先端部はカンチレバーから突出しており、直上から探針の先端を視認できる。

（a）

AdvancedTECTM（b）

カンチレバー先端位置（c）

探針先端位置

自己検知型 アキヤマプローブ (A-Probe)
自己検知型 Akiyama-Probe（A-Probe）は、音さ型水晶振動子とシリコンカンチレバーを組み合わせた新しいタイプの AC モード用自己検知型プローブです。
水晶振動子がもつ優れた周波数安定性とシリコンカンチレバーがもつ柔軟性、それに高分解能測定を可能にする探針を組み合わせ、これまでにない高性能な自己検知型プローブを実現しました。この A-Probe は、ヌーシャテル大学マイクロテクノロジー研究所の秋山照伸氏によって開発されました。詳細はこちらから http：//www.akiyamaprobe.com

特長■ 音さ型水晶振動子による自己励振・自己検知型プローブ■ 探針に AdvancedTECTM シリーズと同等の形状を採用■ 動作周波数：約 50kHz■ カンチレバーのバネ定数：約 5N/m
■ 超高真空（UHV）、光てこを使用できない測定、AFM の簡素化

高Ｑ値プローブ （Q30K-Plus シリーズ）
超 高 真 空 (UHV) 環 境 下 に お いて、30000 以 上（ 最 大50000 ま で ） の Q値と高い反射率（波長が800nm を超える場合でも）を有しています。高感度と良好な S/N 比を実現しました。
ラインナップ：・高共振周波数タイプ
・フォースモジュレーション用・磁気力顕微鏡用
CeO2(111) の AFM イメージ。
原子分解能が示されている

7

ユニーク・プローブ uniqprobe シリーズ
ユニーク・プローブ はカンチレバーの共振周波数やバネ定数のバラツキが他のプローブに比べて格段に小さいという特長をもっています。そのため、繰り返し実験を行う際には非常に有効です。
またカンチレバーの自然なそりやたわみが小さく、ドリフトによるカンチレバーの曲がりが非常に小さいため液中測定に最適なプローブです。
■ 標準のシリコンプローブと比較してバネ定数・共振周波数のバラツキが著しく減少■ カンチレバーと探針は水晶のような材質で製作■ 探針は双曲線の側面形状をもち、曲率半径は 10nm 未満（保証値 15nm）で高さはティピカル約 7μm■ カンチレバーの曲がりが非常に小さく、ドリフトも小さいので液中測定に最適

uniqprobe の探針側面

uniqprobe CONT

uniqprobe の SCONT ではカンチレバーの自由端のみ、 Au のコーティングが施されています。

【1】uniqprobe CONT / uniqprobe SCONT

コンタクトモード用の uniqprobe CONT とソフトコンタクト用の uniqprobe SCONT は、長方形の単一のカンチレバーを持つ SPM プローブで、大気中あるいは液中環境でのコンタクトモード測定用に最適です。
タイプ

コンタクト

ソフトコンタクト型 番

qp-CONT

qp-SCONT

厚 さ

750 nm

350 nm

長 さ

125 µm

125 µm

幅

35 µm

34 µm

バネ定数

0.1 N/m

0.01 N/m

共振周波数

30 kHz

11 kHzuniqprobe CONT【2】uniqprobe BioAC
uniqprobe BioAC プローブは、ホルダーチップの片側に形状が異なる 3 つの長方形のカンチレバーを持ち比較的高い共振周波数と低いバネ定数を兼ね備えています。これらの特長によって、より小さな探針-試料間フォースで、安定かつ低ノイズの高速測定が実現できます。
型 番
カンチレバー番号

qp-BioAC
1

2

厚 さ

3

400 nm

長 さ

80 µm

60 µm

幅

30 µm

25 µm

40 µm
20 µm

バネ定数

0.06 N/m

0.1 N/m

0.3 N/m

共振周波数

30 kHz

50 kHz90 kHzuniqprobe BioAC【3】uniqprobe BioT
uniqprobe BioT プローブは、ホルダーチップの片側に形状が異なる 2 つの三角形のカンチレ
バーを持っています。シリコンナイトライド・プローブの置き換え用として用いることができ、背の高い探針、より小さい開放角、ドリフトの少なさという優位性を持っています。
型 番
カンチレバー番号

qp-BioT
1

厚 さ

8

2
900 nm

長 さ100 µm200 µm

幅

2×14 µm

2×28 µm

バネ定数0.3 N/m

0.08 N/m

共振周波数

50 kHz

20 kHzuniqprobe BioT

【4】uniqprobe BioAC_Cl セルイメージング用ラウンド探針
uniqprobe BioAC _ Clはセルイメージングのために開発されたプローブです。qp-BioAC _ Clはqp-BioAC のカンチレバーをベースに、探針先端が半径30 nm（代表値）に加工されています。

ソフトなライフサイエンスサンプル測定に特化したプローブです。
qp-BioAC_Cl

型 番
カンチレバー番号1

2

3

400 nm

厚 さ
長 さ

80 µm

60 µm

幅

30 µm

25 µm

40 µm
20 µm

バネ定数

0.06 N/m

0.1 N/m

0.3 N/m

共振周波数

30 kHz

50 kHz90 kHzuniqprobe BioAC-Cl【5】uniqprobe fast 高共振周波数
uniqprobe fastはソフト/スタンダード/高速のノンコンタクトやタッピング モードAFMイメージングに最適なプローブです。空気中のみならず液中においても優れた安定性、高い感度、高速スキャン対応の高性能を示します。カンチレバー背面の全面にAuの反射コートがなされています。
qp-fast型 番
カンチレバー番号

1

長 さ

2

3

2500 nm

厚 さ
80 µm

60 µm

40 µm

幅

32 µm

27 µm

22 µm

バネ定数

15 N/m30 N/m80 N/m

共振周波数

250 kHz420 kHz800 kHz

uniqprobe fast【6】uniqprobe HBC: ScanAsyst®* PeakForce Tapping®*用プローブ
uniqprobe HeartBeatCantilever (HBC)は、ScanAsyst®*およびPeakForce Tapping®*用にデザインされたプローブです。qp-HBCはコンタクトモード、ノンコンタクトおよびソフトタッピング
モードにもご利用頂けます。ソフトなバネ定数と中程度の共振周波数をもち、小さな探針-試料間のインターアクションフォースで安定した高速スキャンを可能にします。
型 番

qp-HBC厚 さ1000 nm

長 さ

115 µm

幅

2×25 µm

バネ定数0.5 N/m

共振周波数

60 kHz* ScanAsyst®およびPeakForce Tapping®はBruker Corporationの登録商標です。

uniqprobe HBC

9コーティングプローブ
コーティングNANOSENSORSTMでは、特殊なアプリケーションに応じて、コーティングを施したプローブを提供しています。
● PtIr5 コート：PtIr5 (25nm)*

用途：電気測定（電気力顕微鏡，電流測定等）● Au コート：Au (70nm)*

用途：化学修飾を利用した測定・バイオアプリケーション● 磁性膜コート：硬質磁性および軟磁性膜をコート。

用途：磁気力顕微鏡● ダイヤモンドコート：100nm の多結晶ダイヤモンド。

用途：耐磨耗性が要求される測定● 導電ダイヤモンドコート ：100nm の多結晶ダイヤモンドに不純物ドープ。

用途：耐磨耗性が要求される電気測定および µA 以上の電流測定*異なった厚みをご希望の場合はお問い合わせください。

電気測定用プローブ（電気力顕微鏡 , 表面電位顕微鏡 , 電流イメージング）
NANOSENSORSTMでは、様々な用途に応じて下記のラインナップを提供しています。

■ PtIr5 コート
プローブ全体に約 25nm の PtIr5 をコーティングし、導電性を持たせています。
金属をコーティングすることで、抵抗率を低減させています。
主な仕様： PtIr5 膜コート
主な用途： 電気力顕微鏡 (EFM)・表面電位顕微鏡・電流マッピング・圧電応答イメー
ジ・キャパシタンス顕微鏡■ 導電ダイヤモンドコート

ダイヤモンドコート探針の SEM イメージ

導電性を持たせたダイヤモンドをコーティングし、スキャンによる磨耗と高電流による膜破壊を低減させています。
強い接触力や µA レベルの電流を流す必要があるアプリケーションに対応します。
主な仕様： ・多結晶ダイヤモンド 100nm コート
・抵抗率：3 ～ 5mΩcm (Au または Pt 表面との接触時のプローブ全体の抵抗10kΩ以下 )主な用途： 拡散抵抗イメージ・キャパシタンス顕微鏡・圧電変位測定

多結晶構造のダイヤモンドコート探針先端のSEM イメージ

酸素でアニール後の Hf-Si-O 誘電層のトンネリン
グAFM イメージ。小さな暗いスポットは誘電率が低下したポイントを示す。トンネル電流：20pA。
データ提供：FHG-IISB，Erlangen

窒素でアニール後の Hf-Si-O 誘電層のトンネ
リング AFM イメージ。暗いコントラストのスポット
は誘電率が低下したポイントを示す。トンネル電流：
20pA。データ提供：FHG-IISB，Erlangen

走査キャパシタンス顕微鏡 (SCM) イメージ。
イオン注入による高ドーズ量のエリアは濃いグリーン、
中間量のエリアは薄いグリーンで現れている。ｄ C/dV
スケールは 0.8V
データ提供：FHG-IISB，Erlangen10

ダイヤモンドコートのラマンスペクトル

Au を蒸着させたサンプルと接触させたCDT-NCHR の I-V 特性

白金シリサイド（PtSi）導電性プローブ
白金シリサイド（PtSi）は低効率が低く、またシリコンとのコンタクト抵抗も低く化学的に安定なのでシリコンの電極材料としてしばしば用いられている素材です。白金シリサイド導電性プローブは従来のプローブのようにベースとなる Si 製プローブに導電性コーティング処理をするだけでなく、プローブ先端 を“シリサイド化”処理することにより下記の 3つの改善に成功しました。
① 曲率半径が従来比 25％減
② 最表面材質の硬化により、寿命が従来比の 5-10 倍に向上
③ Pt の拡散により、導電性が 10 倍に向上
PtSi プローブは PtIr5 コートのもつ導電性とダイヤモンドコートの持つ耐摩耗性を両立させた新時代の電気測定用プローブです。先端曲率は PtIr5
コートより小さく抑えられ、より高分解能なイメージングが可能となります。
型 番

タイプ

アプリケーション

バネ定数 (N/m)

共振周波数 (kHz)PtSi-NCH

高共振周波数タイプ

C-AFM、TUNA

42

330

C-AFM、TUNA、SCM、EFM、KPFM

2.8

75

C-AFM、TUNA、SCM

0.2

13

PtSi-FMPtSi-CONT

フォースモジュレーション
コンタクトタイプ

導電性
ダイヤモンドコートプローブ

白金シリサイド
導電性プローブ

PtIr コートプローブ

先端径（Typical 値）△（130nm）◎(20nm)○(25nm)

導電性△○
導電性ダイヤモンドプローブの 10 倍

○

耐摩耗性

○

○
電気測定に関して PtIr コートプ
ローブの 5-10 倍の寿命

△

名 称

先端部
SEM 写真

【高耐久性評価結果例】
Current-AFM 測定結果：白金コートプローブと白金シリサイドプローブの比較

電流イメージの断面データ ：左図 白金コートプローブ使用 右図 白金シリサイドプローブ使用
使用装置：Bruker 社製 Icon TUNA モード
サンプルバイアス：- 0.25V、フォース：1μN
積算探針走査距離：13mm
各探針による初回（緑）と最後（赤）のスキャン結果を示した。

11

磁気力顕微鏡 (MFM)プローブ
MFM プローブの選択のポイント【検出感度の向上】 磁気モーメントの大きなプローブを使用。ただし、磁気モーメントを大きくすることで、サンプルの磁気ドメインに影響を与えるケースがある。
【面分解能の向上】 先端曲率の小さく高アスペクト形状の探針に薄い磁性膜をコートしたプローブが必要。ただし、プローブの磁気モーメントが小さくなり、
磁気力の検出感度が低下する。
【磁性の変動低減】 保磁力の小さいサンプルに対して、保持力の小さなプローブを使用。プローブまたはサンプルの保磁力の大きさに差がある場合、保磁力の小さい方の磁性が変動する。

主な仕様
長 さ
バネ定数
磁性膜
保磁力※1
磁化度※1
探針部モーメント※2
探針曲率半径※3
水平分解能※4

PPP-MFMR
225µm
2.8 N/m
硬質磁性
300Oe
300emu/cm3
10-13emu
<50nm
<50nm

※1 平面基板でコートした膜の特性値

MFM プローブのラインナップ
PointProbe®Plus
PPP-LM-MFMR PPP-LC-MFMR / PPP-QLC-MFMR
225 µm225 µm
2.8 N/m
2.8N/m
軟磁性
硬質磁性
250Oe
0.75Oe150emu/cm3
225emu/cm3
x0.5
x0.75
<30nm
<30nm
<35nm
<35nm

※ 2 探針先端の実効的な磁気ボリュームを仮定して推測

スーパーシャープ
SSS-MFMR / SSS-QMFMR
225µm
2.8 N/m
硬質磁性
125Oe
80emu/cm3
x0.25
<15nm
<25nm

※ 3 磁性膜を含む曲率半径※ 4 最適な測定条件下での達成可能な分解能

PPP-MFMR プローブ（硬質磁性膜コート）

PPP-LM-MFMR プローブ（低モーメントタイプ）

硬質磁性膜をコーティングし、検出感度と面分解能、保持力のバランスを取った標準タイプ MFM プローブ。磁性材料のMFM 観察に幅広く対応します。

探針部のモーメントを小さくした MFM プローブ。PPP-MFMR と比べ検出感度は低下しますが、サンプルの磁性乱れを低減させ、面分解能を向上させます。

20nm 厚の NiCo 膜の円形パターンの MFM 観察例

PPP-MFMR を使用した DAT の表面形状イメージと MFM イメージ左）PPP-LM-MFM プローブで測定した MFM イメージでは、蝶ネクタイ状の磁気ドメイン構造が観察される。
中）ズームしたイメージでも蝶ネクタイ状の磁気ドメイン構造は確認される。
右）標準の PPP-MFMR を使用した MFM イメージでは、探針側の磁力の影響を受け、サンプルの磁気ドメイン構造が変動している。

PPP-LC-MFMR プローブ（軟磁性膜コート）

SSS-QMFMR/PPP-QLC-MFMR プローブ

軟磁性膜をコーティングし、探針部の保持力を小さくした MFM プローブ。保磁力の小さなサンプルの磁気ドメイン観察に対応。一方、非常に強い硬質磁性材のサンプルの観察では、低保磁力のプローブの磁化が常に反転する（標準 MFM プローブではランダムに反転）ことを利用する場合があります。

超高真空下で Q 値が 30,000 以上となるよう設計されています。

254nm ピッチのハードディスクを PPP-LC-MFM（左）と PPP-MFMR（右）で観察した例。左はビットの半ピッチで磁化の反転が見られる。

左）探針側のコーティング中）背面側のコーティングの光学顕微鏡像。部分的にコーティングを行なうことで、超高真空下で高い Q 値を得ている。
右）典型的な高 Q 値プローブの共振特性カーブ。

SSS-MFMR プローブ
スーパーシャープ･シリコン探針をベースに極薄い硬質磁性膜をコートした超高分解能観察用 MFM プローブ。小さな曲率半径と高アスペクト比を実現し、 25nm 以下の面分解能で MFM イメージを収集可能。

254nm
127nm

28nm

85nm
64nm

25nm

51nm
42nm

23nm

36nm
32nm

12

22nm

高密度記録ハードディスクの MFM イメージ。
254nm から 22nm までビット長の記録トラックを持つハードディスクを SSS-MFMRにて観察。ビット長：23nm の記録トラックの平均プロファイルをフーリエ解析した結果、 48nm の波長に明瞭なピークが現れる。これはビット長：24nm に相当する。
SSS-MFMR プローブは高分解能な MFM イメージを収集可能なことが示される。

特殊探針形状プローブ
探針レス (Tipless) プローブ
特長
■ カンチレバー先端に粒子などを修飾可能■ 様々なバネ定数のカンチレバー、アレイタイプも用意
ラインナップ・Si シングルプローブ

探針レスプローブ

プラトー探針 (Plateau Tip) プローブ特長
■ 探針先端部を平坦状に加工■ サンプルと一定面積で接触
主な仕様【スタンダード：PL2】・先端部直径： 1.8 ± 0.5µm
・ロッド長さ：2µm 以上

直径 1.8µm のプラトー
探針の SEM イメージ

【カスタム：PLC】
ご要望に応じてより大きな直径のプラトー探針を特注製作致します。
・先端部直径： 1.8 ～ 8.0 ± 0.5µm
・ロッド長さ：2µm 以上ラインナップ：・AC モード AFM（高共振周波数タイプ・低共振周波数タイプ）
・コンタクトモード AFM・フォースモジュレーション用
スペシャル開発品（要お問い合わせ）スフィア探針(Sphere Tip)プローブ
特長■ 探針先端部を SiO2 でコーティングし、球面形状にしたプローブ■ シランカップリング等を利用した表面化学修飾が可能■ 3 サイズの先端曲率と 3 種のカンチレバーを用意■ スペシャル・デベロップメント・リストをご覧ください

Sphere Tip
Type ： Small
曲率半径：0.4µm

Sphere Tip
Type ： Medium
曲率半径：1.0µm

Sphere Tip
Type ： Large
曲率半径：2.0µm

カンチレバー：
NCH タイプ （L = 125µm、W = 30µm、T = 4.0µm、C = 42N/m、F0 = 320kHz）
FM タイプ（L = 225µm、W = 28µm、T = 3.0µm、C = 2.8N/m、F0 = 75kHz）
CONT タイプ （L = 450µm、W = 50µm、T = 2.0µm、C = 0.2N/m、F0 = 13kHz）

スペシャル開発品（要お問い合わせ）ラウンド （Rounded Tip）プローブ
特長■ 探針先端部を曲面に加工■ R150タイプ 探針先端曲率は 90nm（正面）、160nm（サイド）■ R30、その他はスペシャル・デベロップメント・リストをご覧ください
カンチレバーは 3 タイプが試作されています。
NCL タイプ （L = 225µm、W = 37.5µm、T = 7.0µm、C = 48N/m、F0 = 190kHz）
FM タイプ （L = 225µm、W = 27.5µm、T = 3.0µm、C = 2.8N/m、F0 = 75kHz）
Specialタイプ （L = 450µm、W = 52.5µm、T = 3.0µm、C = 0.7N/m、F0 = 20kHz）

正面のイメージ

側面のイメージ

13標準サンプル
製品ラインナップ【X-Y リファレンス】
・ピッチ：200nm【ステップハイトリファレンス】
・段差：8nm【フラットリファレンス】
・平坦度：100µm 角で 10nmp-v
・材 質： 水晶上に Cr コート

X-Y リファレンスの表
面形状イメージ

ステップハイトリファレンスの解析画面

Type

アプリケーション、用途

寸法

アクティブエリア

2D200

X-Y リファレンス

ピッチ：200nm

100×100 µm2

H8

ステップハイトリファレンス

段差：8nm

2200×2200 µm2 （5パターン）

FLAT

フラットリファレンス

フラットリファレンスの表面形状イメージ。SPM スキャナの湾曲を確認できる。

平坦度：100×100 µm角で10nmp-v

スペシャル開発品
スペシャル開発品（要お問い合わせ）14

スペシャル・デベロップメント・リスト （開発状況に応じて随時更新）
http://www.nanosensors.com/pdf/SpecialDevelopmentsList.pdf

主要スペックシート
探針形状

形状測定用

PointProbe®Plus（探針反転タイプ）

スーパー シャープ

高アスペクト比AdvancedTECTM

反射
コート
PPP-NCH
無高共振周波数タイプ
PPP-NCHRAl
PPP-XYNCHRAl
PPP-NCL
無低共振周波数タイプ
PPP-NCLRAl
PPP-NCST無AC モードソフトタップタイプ
PPP-NCSTRAl
PPP-XYNCSTR
Al
日立ハイテクサイエンス
PPP-SEIH
無(旧SII） 社製 SPM 用PPP-SEIHR
Al
PPP-FM無フォースモジュレーション
PPP-FMRAl
PPP-CONT無PPP-CONTR
Al
ロングレバー
PPP-XYCONTRAl
PPP-ZEILR
Al
コンタクト モード
PPP-CONTSC
無
ショートレバー／ LFM 用
PPP-CONTSCRAl
PPP-LFMR
Al
高共振周波数タイプ
PPP-RT-NCHR
Al
AC モードフォースモジュレーション
PPP-RT-FMR
Al
低共振周波数タイプ
PPP-RT-CONTRAl
SSS-NCH
無高共振周波数タイプ
SSS-NCHRAl
SSS-NCL
無低共振周波数タイプ
SSS-NCLRAl
AC モード
日立ハイテクサイエンス
SSS-SEIH
無(旧SII） 社製 SPM 用SSS-SEIHR
Al
SSS-FM無フォースモジュレーション
SSS-FMRAl
AR5-NCHR
Al
高共振周波数 （5：1）
Al
高共振周波数 （5：1）傾斜補正 AR5T-NCHR
AR10-NCHR
Al
高共振周波数 （10：1）
AC モードAl
高共振周波数 （10：1）傾斜補正 AR10T-NCHR
AR5-NCLR
Al
低共振周波数 （5：1）
無AR5-NCH
高共振周波数 （5：1）
高共振周波数タイプ
ATEC-NC無AC モードフォースモジュレーション
ATEC-FM無ATEC-CONT
無コンタクト モード ロングレバー
測定モード

スペシャル

測定モード

※

高Q値タイプ（超高真空中測定用）

カンチレバーの種類

カンチレバーの種類
高共振周波数タイプ
フォースモジュレーション
低保磁力膜コートスーパー シャープ MFM

型 番

型 番

反射
コート

PPP-QNCHR
PPP-QFMR
PPP-QLC-MFMR
SSS-QMFMR

Al
Al
Al
Al

長さ [µm]カンチレバーの特性※
バネ定数 [N/m]共振周波数 [kHz]X-Y アライン
チップ対応

125

(115 ～ 135)42

(10 ～ 130)330(204 ～ 497)

225

(215 ～ 235)48

(21 ～ 98)

190

(146 ～ 236)150

(140 ～ 160)

7.4

(1.2 ～ 29)

160(75 ～ 265)

225

(215 ～ 235)15

(5 ～ 37)130(96 ～ 175)

225

(215 ～ 235)2.8

(0.5 ～ 9.5)

75

(45 ～ 115)450

(440 ～ 460)

0.2

(0.02 ～ 0.77)

13(6 ～ 21)450(440 ～ 460)

1.6

(0.6 ～ 3.9)27

(19 ～ 35)

225

(215 ～ 235)

0.2

(0.01 ～ 1.87)

25(1 ～ 57)

○
○
○

125
225
450

(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(440 ～ 460)

42
2.8
0.2

(10 ～ 130) 330(0.5 ～ 9.5)
75
(0.02 ～ 0.77) 13(204 ～ 497)
(45 ～ 115)
(6 ～ 21)○125(115 ～ 135)42

(10 ～ 130)330(204 ～ 497)

225

(215 ～ 235)48

(21 ～ 98)

190

(146 ～ 236)

225

(215 ～ 235)15

(5 ～ 37)130(96 ～ 175)

225

(215 ～ 235)2.8

(0.5 ～ 9.5)

75

(45 ～ 115)

125

(115 ～ 135)42

(10 ～ 130)330(204 ～ 497)

225
125
160
240
450

(215 ～ 235)
(115 ～ 135)
(150 ～ 170)
(230 ～ 250)
(440 ～ 460)

48
42
45
2.8
0.2

(21 ～ 98)
(10 ～ 130)
(12 ～ 110)

190
330
335
85
15

(146 ～ 236)
(204 ～ 497)
(210 ～ 490)
(50 ～ 130)
(7 ～ 25)

長さ [µm]カンチレバーの特性※
バネ定数 [N/m]共振周波数 [kHz]

125
225
225

(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(215 ～ 235)

42
2.8
2.8

(10 ～ 130)(0.5 ～ 9.5)
(0.5 ～ 9.5)

330
75
75

(204 ～ 497)
(45 ～ 115)
(45 ～ 115)

225

(215 ～ 235)2.8

(0.5 ～ 9.5)

75

(45 ～ 115)

○
○
○

○
○
○
○
○

○

(0.7 ～ 9)(0.02 ～ 0.75)

○
○
○
○
○
○

○

X-Y アライン
チップ対応
○
○
○

ティピカル値。カッコ内はばらつき範囲

15

PtIr5コート

磁性膜コート

コートの
種類

探針形状
PointProbe®Plus
スーパーシャープ

PointProbe®Plus

導電ダイヤ ダイヤモンド
モンドコートコート

PointProbe®Plus

PointProbe®Plus

AdvancedTECTM

備 考

Si プローブ

探針先端形状： フラット

スフィア

先端部直径 1.8μｍ

SiO2 コーティング

ラウンド
R150

プラトー

探針レス

探針形状

特殊探針形状プローブ

PointProbe®Plus

スペシャル開発品（要お問い合わせ）※PointProbe®Plus

Auコート（反射コートのみ）

Auコート （両面）

コーティングプローブ

AdvancedTECTM

探針曲率半径：90nm（正面）、160nm（サイド）ティピカル値。カッコ内はばらつき範囲

16

カンチレバーの種類

型 番

反射
コート

硬質磁性膜コート
軟磁性膜コート
低モーメント磁性膜コート
硬質磁性膜コート
電気力顕微鏡 (EFM)
高共振周波数タイプ
低共振周波数タイプ
ソフトタップタイプ
コンタクトモード（ロングレバー）
コンタクトモード（ショートレバー）
高共振周波数タイプ
フォースモジュレーション
コンタクトモード（ロングレバー）
高共振周波数タイプ
低共振周波数タイプ
フォースモジュレーション
コンタクトモード（ロングレバー）
高共振周波数タイプ
低共振周波数タイプ
フォースモジュレーション
コンタクトモード（ロングレバー）
高共振周波数タイプ
低共振周波数タイプ
ソフトタップタイプ
フォースモジュレーション
コンタクトモード（ロングレバー）
コンタクトモード（ショートレバー）
高共振周波数タイプ
フォースモジュレーション
コンタクトモード（ロングレバー）
高共振周波数タイプ
低共振周波数タイプ
ソフトタップタイプ
フォースモジュレーション
コンタクトモード（ロングレバー）
コンタクトモード（ショートレバー）

PPP-MFMR
PPP-LC-MFMR
PPP-LM-MFMR
SSS-MFMR
PPP-EFMPPP-NCHPt
PPP-NCLPt
PPP-NCSTPt
PPP-CONTPt
PPP-CONTSCPt
ATEC-NCPt
ATEC-EFM
ATEC-CONTPt
DT-NCHR
DT-NCLR
DT-FMR
DT-CONTR
CDT-NCHR
CDT-NCLR
CDT-FMR
CDT-CONTR
PPP-NCHAu
PPP-NCLAu
PPP-NCSTAu
PPP-FMAu
PPP-CONTAu
PPP-CONTSCAu
ATEC-NCAu
ATEC-FMAu
ATEC-CONTAu
PPP-NCHAuD
PPP-NCLAuD
PPP-NCSTAuD
PPP-FMAuD
PPP-CONTAuD
PPP-CONTSCAuD

Al
Al
Al
Al
PtIr5
PtIr5
PtIr5
PtIr5
PtIr5
PtIr5
PtIr5
PtIr5
PtIr5
Al
Al
Al
Al
Al
Al
Al
Al
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au
Au

カンチレバーの特性型 番

高共振周波数タイプ
低共振周波数タイプ
フォースモジュレーション
コンタクトモード（ロングレバー）

TL-NCH
TL-NCL
TL-FM
TL-CONT
PL2-NCH
高共振周波数タイプ
PL2-NCHR
PL2-NCL
低共振周波数タイプ
PL2-NCLR
PL2-FM
フォースモジュレーション
PL2-FMR
PL2-CONT
コンタクトモード（ロングレバー）
PL2-CONTR
高共振周波数 NCHタイプ
要お問い合わせフォースモジュレーションFMタイプ 要お問い合わせコンタクトモード CONTタイプ
要お問い合わせ低共振周波数 NCLタイプ
要お問い合わせフォースモジュレーションFMタイプ 要お問い合わせコンタクトモード スペシャルタイプ 要お問い合わせ

反射
コート
無
無
無
無
無
Al
無
Al
無
Al
無
Al
無
無
無
無
無
無

長さ [µm]カンチレバーの特性※
バネ定数 [ N/m]
共振周波数 [kHz]225(215 ～ 235)2.8

(0.5 ～ 9.5)

75

(45 ～ 115)

225
225
125
225
150
450
225
160
240
450
125
225
225
450
125
225
225
450
125
225
150
225
450
225
160
240
450
125
225
150
225
450
225

(215 ～ 235)
(215 ～ 235)
(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(140 ～ 160)
(440 ～ 460)
(215 ～ 235)
(150 ～ 170)
(230 ～ 250)
(440 ～ 460)
(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(215 ～ 235)
(440 ～ 460)
(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(215 ～ 235)
(440 ～ 460)
(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(140 ～ 160)
(215 ～ 235)
(440 ～ 460)
(215 ～ 235)
(150 ～ 170)
(230 ～ 250)
(440 ～ 460)
(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(140 ～ 160)
(215 ～ 235)
(440 ～ 460)
(215 ～ 235)

2.8
2.8
42
48
7.4
0.2
0.2
45
2.8
0.2
80
72
6.2
0.5
80
72
6.2
0.5
42
48
7.4
2.8
0.2
0.2
45
2.8
0.2
42
48
7.4
2.8
0.2
0.2

(0.5 ～ 9.5)
(0.5 ～ 9.5)
(10 ～ 130)
(21 ～ 98)
(1.2 ～ 29)(0.02 ～ 0.77)(0.01 ～ 1.87)(12 ～ 110)(0.7 ～ 9)(0.02 ～ 0.75)(23 ～ 225)
(34 ～ 142)
(1.5 ～ 18.3)(0.1 ～ 1.7)
(23 ～ 225)
(34 ～ 142)
(1.5 ～ 18.3)(0.1 ～ 1.7)
(10 ～ 130)
(21 ～ 98)
(1.2 ～ 29)(0.5 ～ 9.5)
(0.02 ～ 0.77)(0.01 ～ 1.87)(12 ～ 110)(0.7 ～ 9)(0.02 ～ 0.75)(10 ～ 130)
(21 ～ 98)
(1.2 ～ 29)(0.5 ～ 9.5)
(0.02 ～ 0.77)(0.01 ～ 1.87)

75
75
330
190
160
13
23
335
85
15
400
210
105
20
400
210
105
20
330
190
160
75
13
23
335
85
15
330
190
160
75
13
23

(45 ～ 115)
(45 ～ 115)
(204 ～ 497)
(146 ～ 236)
(75 ～ 265)
(6 ～ 21)(1 ～ 57)(210 ～ 490)
(50 ～ 130)
(7 ～ 25)(225 ～ 610)
(155 ～ 275)
(65 ～ 155)
(11 ～ 29)(225 ～ 610)
(155 ～ 275)
(65 ～ 155)
(11 ～ 29)(204 ～ 497)
(146 ～ 236)
(75 ～ 265)(45 ～ 115)
(6 ～ 21)(1 ～ 57)(210 ～ 490)
(50 ～ 130)
(7 ～ 25)(204 ～ 497)
(146 ～ 236)
(75 ～ 265)(45 ～ 115)
(6 ～ 21)(1 ～ 57)

長さ [µm]カンチレバーの特性※
バネ定数 [N/m]共振周波数 [kHz]

125
225
225
450

(115 ～ 135)
(215 ～ 235)
(215 ～ 235)
(440 ～ 460)

42
48
2.8
0.2

(10 ～ 130)
(21 ～ 98)
(0.5 ～ 9.5)
(0.02 ～ 0.77)

330
190
75
13

(204 ～ 497)
(146 ～ 236)
(45 ～ 115)
(6 ～ 21)125(115 ～ 135)42

(10 ～ 130)330(204 ～ 497)

225

(215 ～ 235)48

(21 ～ 98)

190

(146 ～ 236)

225

(215 ～ 235)2.8

(0.5 ～ 9.5)

75

(45 ～ 115)450

(440 ～ 460)

0.2

(0.02 ～ 0.77)

13(6 ～ 21)

125
225
450
225
225
450

42
2.8
0.2
48
2.8
0.7

320
75
13
190
75
20

X-Y アライン
チップ対応
○
○
○
○
○
○

○

○
○

○
○

○
○
○

○
○
○

X-Y アライン
チップ対応
○
○

○
○
○
○

PtSi
quartz like

ユニーク・プローブ

白金シリサイドプローブ

探針形状

備 考

PtSi プローブ

ユニーク・プローブシリーズ

カンチレバーの特性

型 番

反射コート

カンチレバー
長さ [µm]カンチレバー
バネ定数 [N/m]

X-Y アライン
共振周波数 [kHz] チップ対応

高共振周波数タイプ

PtSi-NCH

PtSi

125 （115-135）

42 （10-130）

330 （204-497）

フォースモジュレーション

PtSi-FMPtSi

225 （215-235）

2.8 （0.5-9.5）

75 （45-115）

コンタクトタイプ

PtSi-CONT

PtSi

450 （440-460）

0.2 （0.02-0.77）

13 （6-21）

コンタクトタイプ
コンタクトタイプ

qp-CONT
qp-SCONT

Au（一部分）Au（一部分）（コンタクト）、タッピングモード

qp-BioT

125 （120-130）
125 （120-130）
100 （95-105）
200 （195-205）
80 （75-85）

0.1 （0.08-0.15）
0.01 （0.01-0.02）
0.3 （0.15-0.45）
0.08 （0.06-0.12）
0.06 （0.03-0.09）

30 （26-34）
11 （8-13）
50 （42-58）（コンタクト）、タッピングモード

qp-BioAC

Au（一部分）Au（一部分）CB1 Au（一部分）

60 （55-65）
40 （35-45）
80 （75-85）

0.1 （0.06-0.18）
0.3 （0.15-0.55）
0.06 （0.03-0.09）

50 （35-65）
90 （65-115）
30 （24-36）

qp-BioAC-Cl CB2 Au（一部分）
CB3 Au（一部分）
CB1
Au
qp-fastCB2
Au

60 （55-65）
40 （35-45）
80 （75-85）

0.1 （0.06-0.18）
0.3 （0.15-0.55）
15 （10-20）

50 （35-65）
90 （65-115）
250 （200-300）

60 （55-65）
40 （35-45）
115 （110-120）

30 （20-45）
80 （50-140）
0.5 （0.35-0.8）○
420 （340-500）
800 （600-1000） CB2のみ○
60 （45-75）

Au（一部分）Au（一部分）CB1 Au（一部分）
CB1
CB2

CB2
CB3

（コンタクト）、タッピングモード

ノンコンタクト、タッピングモード

CB3

ScanAsyst®* PeakForce Tapping®*用 qp-HBC

Au
Al

○

○
○

20 （16-24）
30 （24-36）
○
CB2のみ

○
CB2のみ

* ScanAsyst®およびPeakForce Tapping®はBruker Corporationの登録商標です。

プローブ・セレクション
お客様のご希望に応じてバネ定数、共振周波数等を有償にて選別してご提供しております。選別可能な項目・仕様につきましてはご連絡下さい。

17

NANOSENSORS™
Rue des Saars 10
CH-2000 Neuchâtel
Switzerland （スイス）

TEL. +41 325 521 521 FAX. +41 325 521 522
E-mail: info@nanosensors.com（電子メールは日本語対応可）
Web: http://www.nanosensors.jp
http://www.nanosensors.com

NANOSENSORS™は NanoWorld AG 社のトレードマークです。すべての著作権はNanoWorld社に帰属します
本カタログに記載された商品の機能・性能は断りなく変更されることがあります。

18

NSTM Catalog-JP, April 2019 v1.3