令和5年度 学生研修プログラムリスト
高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

2023/4/1
研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

1

計測

TEMを用いた微細構
造解析の基本

東北大学

今野 豊彦
早坂 浩二

7月1日～9月6日（うち4日間）2名

研修場所

TEMについての基礎講義（オンライン開催の可能性あり）

本研修では、透過電子顕微鏡（TEM）の電子光学的原理ならびに電子線と試
電顕試料は原則としてこちら 2日目 TEM実習① TEMの構造と原理、回折および結像料との相互作用を理解したうえで回折と結像技術を習得し、材料の組織と構
高専4～5年、高専専攻で準備した試料を用います
造解析までの概略を学ぶ。
科、学部4年、修士課程、 が、すでに観察したい電顕試
初日はTEMについての基礎講義を行い、２日目にTEM装置を用いて電子線の博士課程料がある場合、事前にご連絡発生から結像までの光学系のしくみを学習する。ここでTEMの構造から回折お
3日目 TEM実習② STEM法、EDSマッピング分析
ください。研修内容と合致す
よび結像の原理について理解しつつ、電子線回折とTEM観察の実習を行った※TEMの未経験者、初心 るかを判断したうえで持ち込
のち、３日目には透過走査電子顕微鏡（STEM）による観察ならびにエネル
者向け
み試料を観察する可能性も
ギー分散型X線分光（EDS）マッピング分析の実習を行う。最終日は実習で得4日目 解析方法の実習とまとめあります。
たデータを用いて、材料組織の分析および構造解析の実習を行う。

〒980-8577
宮城県仙台市青葉区片平21-1 東北大学 金属材料研
究所 1号館1階、3号館1階※実施時期の状況によってオンライン併用の可能性もあります。

備考： 担当者の都合により日程が前後する可能性があります2

MEMSフォースセンサ
加工 とIoTモジュールの作 東北大学
製

戸津 健太郎

7月1日～9月6日（うち5日間）3名

ピエゾ抵抗形のMEMSフォースセンサ（force sensor）の試作を通して、微細加
高専4～5年、高専専攻
工プロセスの基礎を習得します。さらに、IoTの入口として、試作したセンサをプ
科、学部1～4年、修士課
リント基板に実装し、WiFi無線モジュール、インターネットを介してスマートフォ
程、博士課程ン等で測定値をモニタリングできるようにします。モジュールはFRISKの箱に入る大きさです。微細加工プロセスとしては、フォトリソグラフィ、イオン注入、※どなたでも参加いただ
CVD、ウェットエッチング、スパッタリング、シリコンDeepRIE、ダイシング、ワイ
けます。
ヤボンディングなどを行います。

1日目

イントロ、安全教育、フォトリソグラフィ、イオン注入、ランプ
アニール、施設見学

2日目

SiO2 TEOS-PECVD、フォトリソグラフィ、SiO2ウェットエッチ
ング、Alスパッタリング

フォトリソグラフィ、Alウェットエッチング、Alシンタリング、
3日目
フォトリソグラフィ〒980－0845
宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター

4日目 Si DeepRIE、ダイシング、ワイヤボンディング

5日目 プリント基板実装、マイコンプログラミング、評価、まとめ

1日目 安全教育・研修の説明、真空技術・分光に関する講義

3

計測

X線光電子分光測定
入門

筑波大学

末益 崇
岡野 彩子

8月2日～8月4日
（3日間）

2名

研修の日程や内容は調整可
本研修では、超高真空装置による分光測定の仕組みを学ぶことを目的とす
高専4～5年、高専専攻
能です。
午前：装置の説明、試料準備る。真空技術とX線分光の説明と、実際にX線光電子分光(XPS)装置を用いた 科、学部4年、修士課程、2日目
試料の持ち込みを歓迎しま
午後：測定
測定・解析を実習として行い、基礎から応用までの知見を習得する。
博士課程
す。
午前：データ解析方法の説明・実習
3日目
午後：測定結果のまとめ〒305-8577
茨城県つくば市天王台1-1-1
筑波大学 総合研究棟B 0022
室

1日目 安全教育および測定装置の概要説明

4計測

パワー半導体デバイ
スの電気特性評価

筑波大学

末益 崇
矢野 裕司

8月2日～8月4日
（3日間）

3名

本研修では、パワー半導体デバイスの電気特性について学ぶため、パワーデ
研修の日程や内容は調整可
高専4～5年、高専専攻
バイス特性評価装置を用い、市販のパッケージデバイスやチップ/ウエハー上能です。
午前：デバイスの測定科、学部4年、修士課程、2日目の自作デバイスの電流－電圧特性や容量－電圧特性などの測定を行い、パ自作デバイスを含め、測定試
午後：デバイスの測定および特性の解析
博士課程
ワー半導体デバイスの特性評価技術を習得する。
料の持ち込みも歓迎します。
午前：測定・解析結果のまとめ
3日目
午後：ディスカッション
1日目

5

6

両面からのシリコン深
豊田工業大
佐々木 実
加工 掘りエッチングで創る学
MEMSアクチュエータ

マイクロ流路デバイス
加工 の作製とデバイス内細 香川大学
胞培養

寺尾 京平

8月2日～8月4日
または
8月28日～9月1日（3日間）

7月3日～9月8日（うち3日間）2名

シリコン（Silicon On Insulator）基板の両面から、深掘りエッチングを施して、様々なMEMSデバイスを創ることができる。本研修では、ストローク10μｍ程度 高専4～5年、高専専攻の標準的な平面櫛歯型アクチュエータの製作実習を行う。製作では、サスペン 科、ションや櫛歯の微細なパターン転写に注意が必要である。パターニング、シリ 学部4年、修士課程
コンエッチング、犠牲層エッチングを実習し、技術を習得する。実際の作業で重要なポイントを示すようにする。加工時間がかかる待ち時間が多い部分は、予 ※未経験者歓迎
め用意を済ませたものを使って対応する。

2名

細胞解析マイクロデバイスについての基礎技術を習得するため、PDMSデバイスの作製と、流路デバイス内での細胞株を使用した細胞培養について実習を行う。近年、生体内の環境をマイクロ流体デバイスで再現し、細胞の計測を行う研究やマイクロ流体デバイスを用いて有用なバイオサンプルを調製する研 高専専攻科、学部3～4
究が注目を集めている。本研修では、標準的なマイクロ流体デバイスの作製 年、修士課程
法としてフォトリソグラフィーによる鋳型形成とPDMSによる型取りプロセス、作
製したデバイスへのコーティング及び流体駆動実験、細胞培養の基本操作を ※未経験者歓迎行う。製作及び評価にはマスクレス露光装置、マスクアライナー、電子顕微鏡（FE-SEM）、蛍光顕微鏡等を用いる。本研修では、細胞を対象にした一般的なマイクロ流体デバイスの設計-作製-評価の一連の基礎技術を習得する。

1/10〒305-8577
茨城県つくば市天王台1-1-1
筑波大学 総合研究棟B 0022
室

事前講習、安全教育、マスクレス直描によるフォトマスク製
作、表面パターニング〒468-8511
愛知県名古屋市天白区久方コロナウイルス感染症対策に
2-12-1
シリコン深掘りエッチング、加工の評価、裏面マスクパター
ついては、本学活動指針に 2日目
豊田工業大学
ニング（前準備）
合わせて頂きます。
マイクロメカトロニクス研究室
および共同利用クリーンルー
ム
裏面マスクパターニング、犠牲層エッチングと乾燥、特性評
3日目
価とまとめ（研修後も含む）

1日目 安全講習、座学、設計、流体解析、フォトマスク作製

2日目 マイクロ流路鋳型作製・モールディング、形状評価

3日目 流路コーティング、細胞培養、細胞導入実験、まとめ〒761-0301
香川県高松市林町2217-16
FROM香川 メカトロ研究室
および〒761-0396
香川県高松市林町2217-20
香川大学 創造工学部

革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

TEMの基礎（講義）
1日目

7

計測

初心者のためのTEM
基本操作

東京大学

押川 浩之
木村 鮎美
寺西 亮佑
森田 真理
森山 和彦

7月31日～8月3日
（4日間）

2名

高専4～5年、高専専攻科、学部1～4年、修士課
試料持込みは可能ですが、程
TEMについて基礎から応用まで習得するため、JEM-1400/JEM-2800を使用し試料作製等の制限もありまたTEM操作実習を行い、TEM/STEM操作・観察・分析技術を習得する。
すので、その際は研修担当※初心者（基礎から形態者と予めご相談下さい。
観察・分析基本操作を学びたい方）

TEMでどんなデータ（情報・信号）が得られるか？
TEM操作のための簡単なTEMの原理と構造
試料作製法

基本操作実習（試料交換～観察まで）
2日目

電子線の発生照射系軸合わせ
結像系軸合わせ

基本操作実習（試料交換～観察まで）
3日目

電子線の発生照射系軸合わせ
結像系軸合わせ〒113-8656
東京都文京区弥生二丁目
11-16
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構（工学部9号館）

種々の観察法
4日目

結晶方位合わせ/高分解能像観察法
制限視野電子回折法
STEM-EDS

1日目 X線の基礎的原理の講義・粉末回折実習

8

X線回折法の基礎（初
東京大学
計測
心者向け）

府川 和弘
飯盛 桂子
森山 和彦

8月2日～8月4日
（3日間）

3名

※応相談

高専4～5年、高専専攻
X線回折測定についての基礎知識を習得するため、X線回折測定に関する原
2日目 薄膜回折実習
科、学部1～4年、修士課
理の講義を行います。また、よく用いられる測定方法の実習等を行い、基礎的試料持込可ですが、あらかじ
程、博士課程測定技術を習得することまでが目的です。将来X線回折測定をするかもしれな
め試料の概要をお知らせくだい、基礎知識として知っておきたいという方、X線回折測定を始めたばかりといさい。
※未経験者・初心者向け
3日目 薄膜回折実習・まとめう方への講義・実習にする予定です。
になります。
備考：

9

初心者のためのSEM
計測 観察及びEDS分析実習

MOS キャパシタの作

東京大学

10 加工 製・評価とトランジスタ 広島大学
の測定実習

福川 昌宏
近藤 尭之

黒木 伸一郎
山田 真司

8月28日～8月30日
（3日間）

3名

7月24日～7月26日（3日間）
5名※オンラインも検討中

走査電子顕微鏡（SEM）及びエネルギー分散型X線分析（EDS）についての基 高専4～5年、高専専攻
礎知識や操作方法の習得、得られる情報の解釈を目的とした電子顕微鏡初 科、学部1～4年、修士課
心者向けの研修です。
程
使用する装置は日本電子製のFE-SEM（JSM-7800F）でSEM観察、撮影、EDS
分析（定性、定量）の実習を行います。
※初心者（基礎から形態
また、断面観察のためクロスセクションポリッシャ（CP）を用いた断面作製実習 観察・分析基本操作を学も併せて行う予定です。
びたい方）

参加者の理解に合わせ、日程・内容を変更する場合があります。

（講義）CPに関する基礎知識、SEMに関する基礎知識
1日目 （実習）CPを使った断面作製実習、FE-SEM観察（基本操作）
試料持込みは可能ですが、試料作製における制限もありますの（講義）EDSに関する基礎知識で研修担当者と予めご相談下さ 2日目 （実習）FE-SEM観察とEDS分析
い。

シリコンウェーハ上にMOSキャパシタを作製し、CV特性等を測定して不純物濃度やCFB、VFB、固定電荷を求める。安全講習受講後、クリーンルーム内にてMOSキャパシタの作製をおこなうことにより、ウェーハの洗浄、酸化膜の形
高専4～5年、高専専攻
ノートパソコン持参（マウスも成、Alスパッタによる表電極の形成、レジスト塗布、PMA処理などを学習する。
科、学部4年、修士課程、必須）をお願いします。
作製した電極面積と膜厚の測定およびインピーダンス・アナライザによるCV特博士課程
性の測定を行う。
また、ウェーハ上のFETトランジスタについて、半導体パラメータ・アナライザによる測定・評価方法も学習する。

〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
東京大学総合研究機構（工学部9号館3階）〒113-8656
東京都文京区弥生二丁目
11-16
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構（工学部9号
館）

3日目（実習）FE-SEM観察とEDS分析
（まとめ）

1日目

安全講習後、ｸﾘｰﾝﾙｰﾑへ。洗浄・酸化膜形成・ﾚｼﾞｽﾄ塗布・
HF洗浄・SH洗浄・Alｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ、PMA処理

2日目

クリーンルームにて作製電極のサイズ測定、膜厚測定。
測定室にてｲﾝﾋﾟｰﾀﾞﾝｽｱﾅﾗｲｻﾞによりCV測定を行う。

3日目

半導体パラメータ・アナライザを使って、トランジスタの各種 ※オンラインとなる可能性も測定評価を行う。
あります。

〒739-8527
東広島市鏡山一丁目四番二号
広島大学ナノデバイス研究所

MOSキャパシタの不純物濃度、CFB、VFB、固定電荷の計
備考： 算は、講義内容に従って持ち帰って行う。

日本原子研
吉越 章隆
11 計測 固体材料表面の光電子分光分析の実習
究開発機構

7月1日～9月6日（うち3日間）4名

・実施日程の決定には、ホストとの事
前相談が必須となります。放射光を 1日目 午後から（午前：SPring-8手続き）：実習の概要説明、大型放射光施設見学、放射光および光電子分光に関する講義
高専4～5年、高専専攻 使った実習はマシンタイムスケ
ジュールに従います。スケジュール科、学部2～4年、修士課 等の関係上、実験室光源の実習とな
固体表面の軟X線光電子分光による分析の基礎を習得する。SPring-8の日本
程、博士課程る場合があります。
原子力研究開発機構の軟X線ビームライン（BL23SU）に常設・稼働の表面反・SPring-8の実験ホール内での実習
応分析装置を主に用いて光電子分光実験（放射光軟X線または実験室X線※経験や研究分野は問 となるため、SPring-8の所定の手続源）を行う。内殻光電子分光スペクトルの測定を中心に行い、固体表面の化学
き（放射線業務）を行う、またルールいません。興味がある人 に従うことが必須となります。
2日目 光電子分光データ測定の実習
状態分析などの基礎の習得を目指す。
を歓迎します。
・装置不具合などの思わぬ事態も想
参考書：※実習の説明上、物理や 定されます。その場合は実習が実施＊X線光電子分光法、髙桑雄二編著、講談社
できないこともありますので、あらか
化学の基礎（原子や分＊X線光電子分光法、日本表面科学会編、丸善株式会社
じめご了承ください。
子、量子力学の初歩な・コロナウイルス感染拡大などの対ど）が必要となります。
策も必要となりますので、対応指示に従うことにあらかじめご了承とご協 3日目 補足実験、まとめと質疑
力をお願いいたします。

2/10〒679-5148
兵庫県佐用郡佐用町1丁目
1-1 大型放射光施設、放射光物性研究棟量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

1日目 実験概要説明、走査型電子顕微鏡(JSM-6510LA)実習

エネルギー分散型X線
坂入 正敏
分光法及びオージェ電計測
北海道大学 鈴木 啓太
12
子分光法を用いた表吉田 すずか面分析

7月1日～9月6日（うち3日間）走査型電子顕微鏡(JSM-6510LA)実習、オージェ電子分光 〒060-8628
走査型電子顕微鏡に関連する代表的な表面分析の手法であるエネルギー分
2日目
学部4年、修士課程、博士装置(JAMP-9500F)実習、試料作製
北海道札幌市北区北13条西散型X線分光法及びオージェ電子分光法の２つについて、基礎からの実習を
課程
試料持込歓迎(固体試料に限
8丁目
1～2名 行う。走査型電子顕微鏡(JSM-6510LA)、オージェ電子分光装置(JAMPる。粉体も可)北海道大学工学部フロンティ
9500F)、またイオンミリングなどの試料前処理関連装置を用いて、試料加工、※未経験者歓迎
3日目 オージェ電子分光装置(JAMP-9500F)実習、実習まとめ
ア応用科学研究棟1-03
電子像観察、表面分析に関する技術を習得する。

備考： オンライン対応可

1日目

電子ビームリソグラ

松尾 保孝
北海道大学 中村 圭佑
導体微細構造の作製
石旭

13 加工 フィを用いた金属/半電子ビーム(EB)描画・スパッタによる金属薄膜形成・ドライエッチングなどを用 学部4年、修士課程、博士
いた微細構造作製を通じ、微細加工における基本的技術を習得する。また作 課程
8月23日～8月25日
作製したいデバイスがあれば1～2名製された金属/半導体微細構造を走査電子顕微鏡(SEM)を用いて観察するこ（3日間）
相談を受け付けます。
※未経験者を歓迎しますとで、試料評価(構造解析)の基本的技術を習得する。

微細加工プロセスに関する講義、微細加工実習(クリーンルーム講習、EB描画)

微細加工実習(EB描画、スパッタ・リフトオフによる金属微細構造作製、ドライエッチングによる半導体微細構造作製) 〒001-0021
北海道札幌市北区北21条西10丁目 北海道大学 創成科
微細加工実習(金属微細構造作製・半導体微細構造作製 学研究棟
3日目の続き)、SEM観察
2日目

備考：

開始時間・終了時間等は参加者の都合に合わせて調整します。

オリエンテーションおよびALD、スパッタ装置等による加工
1日目 技術、FIB、STEMによる評価技術に関する講義、薄膜作製
実習
松尾 保孝
加工 原子層堆積装置等に
遠堂 敬史
14 + よる薄膜作製とFIB・ 北海道大学 平井 直美
計測 TEMによる構造解析
森 有子

物質・材料
15 加工 グラフェンマイクロデバ
研究機構
イスの作製

渡辺 英一郎津谷 大樹

原子層堆積装置（ALD）やスパッタ装置等を用いた薄膜作製技術の研修と、作製した薄膜についての集束イオンビーム加工装置（FIB）・透過電子顕微鏡
学部4年、修士課程、博士
薄膜作製したいデバイスがあ 2日目 薄膜作製 実習 および FIB 実習
8月28日～8月30日（STEM）を用いたナノ構造評価についての基礎的な実験を行う。また、それら 課程
1～2名
れば、実習内で対応できるか（3日間）を適用した先端研究内容についての講義学習を併せて行うことにより、薄膜作の相談を受け付けます。
製等の加工技術から透過電子顕微鏡による分析手法までの一連の基礎技術 ※未経験者を歓迎します
3日目 FIB実習、透過電子顕微鏡観察 実習の習得を行う。

7月1日～9月6日（うち４日間）2名【研修内容】二次元層状物質“グラフェン”を用いたグラフェンマイクロデバイスを作製する。フォトリソグラフィや成膜プロセス，エッチングプロセス，電気伝導測定など微細加工プロセス技術の基礎・装置操作を習得する。
高専4～5年、高専専攻【実験手順】単層・多層グラフェンは機械的剥離法によりSiO2/Si基板上に転写科、学部1～4年、修士課する。転写したグラフェンは、リソグラフィプロセスとエッチングプロセスにより任程、博士課程意の形状に加工する。その後、リソグラフィプロセス，成膜プロセス，リフトオフ
プロセスにより金属電極を形成し，作製したグラフェンデバイスの電気伝導測※未経験者歓迎定を実施する。
【使用装置】高速マスクレス露光装置，電子銃型蒸着装置，多目的ドライエッ
チング装置，RTA装置，プローバーシステムなど

備考：

開始時間・終了時間等は参加者の都合に合わせて調整し
ます。

1日目

概要説明、安全教育、施設見学、および、グラフェン転写（機械的剥離法）・観察

2日目 グラフェンの加工

3日目 グラフェンへのコンタクト電極作製〒001-0021
北海道札幌市北区北21条西10丁目 北海道大学 創成科
学研究棟〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
材料信頼性実験棟１階 ク
リーンルーム

4日目 アニール、電気伝導測定、および、まとめ

高専4～5年、高専専攻
日程調整については、一か 1日目 午後（１４時～１６時）：講義
科、学部1～4年、修士課
月程度前から余裕をもって相程、博士課程談されることを希望します。ま大島 永康
7月18日～7月20日
陽電子寿命測定法の基礎についての講義、および装置見学を行います。見学
た、スケジュール（プログラ※講義内容のレベルは、陽電子寿命測定法の 産業技術総 満汐 孝治（3日間）
については、陽電子消滅法に限らず、産総研の第二事業所 2-4棟で保有する
ム・内容）も、ホスト研究者の午前（１０時～１２時）：バルク試料測定実習、午後（１４～１
1～3名
参加者と事前に相談する
2日目
16 計測 基礎研修
合研究所
オローク・ブラ
Ｘ線や中性子等の量子ビーム装置類を含みます。また、希望者には、バルク
都合により変わることがあり６時）：講義・見学ようにいたします。
イアン※日程は応相談
測定法によるテスト試料の測定実習を行います。
ます。日程とプログラム調整※オンライン参加の方へ
は、受講者と相談しますのでは、講義のみ対応します
ご理解いただきたく思いま（実習・見学は対応不可とす。
3日目 午前（１０時～１２時）：データ解析
なります）。

3/10〒305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1
産業技術総合研究所 第二
事業所 ２－４A棟

No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

施設紹介、利用ルール説明、安全教育などの簡単なガイダ
ンス
1日目
・施設見学と走査型分光プローブ顕微鏡（SPM）実習
・走査型トンネル顕微鏡の原理

分光ナノプローブ顕微鏡（AFM、SPM、NSOM 産業技術総17 計測 等）を利用した実環境 合研究所 井藤 浩志
ナノ物性計測

8月1日～8月7日
（5日間）

８名

カンチレバーの動作と変位検出方法を理解し、原子間力顕
2日目 微鏡（AFM）の基本測定技術を習得する。また、FE-SEMを高専4～5年、高専専攻利用したEBD探針の作成実習を行う。
科、学部1～4年、修士課
走査プローブ顕微鏡（SPM）の歴史・発展の過程を理解して頂きます。カンチレ
程、博士課程バーの動作、SPM変位検出の原理を理解して、実環境（真空中、大気中、溶液中等）でのナノ材料の形状、ナノ物性測定（弾性率測定法、局所電位測定
ナノ物性計測法の習得（弾性率測定法、局所電位測定法、※高専・B1～B3の参加者
法、ナノ赤外分光法、走査型トンネル顕微鏡法から選択）の基本技術の習得
3日目
ナノ赤外分光法等から選択。計測する物性・測定モードは、 〒305-8568
は、上記と異なるプログラ 参加者人数の状況によって、を行います。実習期間の後半で、各自の研究と関連する試料を持参頂き、実茨城県つくば市梅園1-1-1
変更する場合があります。）
ムを用意致します。
2回に分けて研修を実施する
習教材として測定することもできます。
産業技術総合研究所 つくば※B4以上の参加者は、研 ことがある。
※ナノ物性測定モードの希望が無い場合には、10nm分解能の分光近接場顕中央第２事業所 本館D棟
究テーマに関連する試料
4日目 課題試料、または、持込み試料の観察
微鏡によるナノ赤外分光法の実習を行います。走査型トンネル顕微鏡の実習を持込可。（持込試料のを希望される方は、スケジュールに記載のEBD探針の代わりに導電性探針作
内容によっては、２日目以成法の実習を行います。
降のスケジュールを変更
5日目 課題試料、または、持込み試料の観察、および、まとめすることがあります。）

初日の開始時間と最終日の終了時間は、交通手段を考慮して対応します。
備考：
参加者の技術レベル（SPM機器に習熟した方、初級者等）
によっては、測定メニューを変更することがあります。

8月28日～8月31日（4日間）

Cryo SEMと超伝導X

18 計測 線検出器を用いた材
料分析実習

産業技術総
藤井 剛
合研究所

※事前相談により変更する場合があります。泊りでの研修を前提としており、参加者全員が日帰りでの参加の場合、研修期間を3日間に短縮する可能性があります。また、緊急事態宣言発令されている場合、全ての研修をオンライン（Microsoft Teams）で実施する。オンラインの場
合、3日間に短縮

1日目

シリコンドリフト検出器に匹敵する効率と波長分散型検出器に匹敵するエネル
ギー分解能を両立している超伝導体を用いたX線検出器（超伝導X線検出器） 学部3～4年、修士課程、の動作原理、作成方法、検出特性などについて講義を行う。また、超伝導X線 博士課程
2日目 講義検出器付き走査型電子顕微鏡で得られた分析結果についても紹介する。
2名 実技として、Cryo SEMと超伝導X線検出器を組み合わせた分析装置を用いて ※SEM-EDX、EPMA、
測定希望の試料の持ち込み
以下 試料のX線分光分析を行う。測定希望のサンプルがある場合はそのサンプル XRFなどのX線分光分析 は大歓迎です。
の分析を行う。その後、得られたX線分光の結果について解析を行い、データ の経験を有することが望
3日目 実技（分析）の解釈に関して議論を行う。
ましいが、未経験者も歓その他先端分析装置、超伝導X線検出器の作製現場（クリーンルーム）の見学 迎いたします。
を行う。

固体NMR計測・解析技 産業技術総
服部 峰之
術
合研究所

8月2日～8月4日（3日間）※日程は応相談〒305-8568
茨城県つくば市梅園１－１－
１ 産業技術総合研究所 つ
くば中央２－１０棟※緊急事態宣言発令されている場合、全ての研修をオンライン(Microsoft Teams)で実施致します。

4日目 実技（分析）および実技（解析）

1日目

19 計測

安全教育、施設見学（オンラインの場合、1日目の研修は実
施しない）

４名

固体NMRは、固体物質における局所構造を原子レベルで調べることのできる
高専専攻科、学部4年、修有用な手法です。講義では、固体NMRの基本原理・理論をわかりやすく解説
士課程、博士課程
し、固体NMRを用いることにより固体物質や材料についてどのような知見が得
試料持込または送付可（事られるかを理解します。測定実習では、固体NMR装置を用いて固体試料から※化学系、生化学系、物 前に相談の上判断します。）
得られるシグナルを観測し、講義をした固体NMRの基本原理・理論をより深く
理系もしくはそれに関連し理解します。同時に、講義では触れることの無い実際の測定手順とその際にた専攻に限る。
注意すべきことを理解します。

講義：NMRの基本原理、固体NMRから得られる情報、固体
高分解能NMRの測定技術、安全教育

2日目 施設の見学、実習：固体NMR測定の基本〒305-8565
茨城県つくば市東1-1-1 つくば中央第５事業所※相談により“オンライン”“実地研修”の併用で行うことが可能です。

3日目 施設の見学、実習：固体高分解能NMRの測定

時間分解分光法についてのイントロ・安全教育・施設見学、
1日目 ナノ秒時間分解蛍光測定の説明、実習 （オンライン併用
可能）

レーザー時間分解分20 計測 光産業技術総 細貝 拓也
松﨑 弘幸
合研究所

8月1日～8月4日
（4日間）
※応相談

高専4～5年、高専専攻科、学部3～4年、修士課
ポンプ・プローブ分光法や時間分解発光スペクトル、発光寿命など、超短パル 程、博士課程〒305-8568
ピコ秒時間分解蛍光測定, ナノ秒過渡吸収測定の説明、実スレーザーを用いた時間分解分光法は原子や分子、材料（例えば光触媒や発茨城県つくば市梅園1-1-1
2日目
計測したい試料の持込みを習 （オンライン併用可能）
光材料）の光反応機構や反応速度定数を調べる強力な手法である。本研究で ※現在の研究に時間分解分
中央第2可能とする。この際に計測方2～3名 は、時間分解分光について基礎から応用まで習得するため、ナノ秒とピコ秒の 光技術が役に立つと思われ
産業技術総合研究所 つくば
法に関する相談も事前に受る者に問わず、未経験者や時間分解蛍光寿命測定の説明、実習、また時間分解過渡吸収測定の説明、
中央第2事業所 2-10棟
初心者などのレーザー技術 け付ける。
フェムト秒過渡吸収測定の説明、実習 （オンライン併用可
実習、データ解析等を行い、パルスレーザーの使い方と同時に時間分解分光 や分光技術に興味を持つ者
3日目
能）法の基礎的概念と測定技術を習得する。
※オンライン併用可能も歓迎する。また、希望によりオンライン開催での研修も可能とする。

4日目 データ解析、全体のまとめ等 （オンライン併用可能）

4/10

No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

1日目 概要説明、作業安全講習、SOIの薄膜化(酸化・エッチング)

電子線描画技術によ

産業技術総

21 加工 る単一電子トランジス 合研究所
タ製作と評価

多田 哲也
木塚 優子
大塚 照久

量子効果を応用した基本素子の一つである単一電子トランジスタ(SET)製作
を通して、研究開発現場で用いられている電子線描画技術を中心とする微細5名 加工を体験するプログラムです。シリコンナノアイランドを持つSETをナノアイラ
ンドやゲート電極のパターンの設計から描画、観察、エッチング、測定用電極
8月21日～8月25日 程度
高専専攻科、学部3～4の形成迄の工程を途中に電子顕微鏡による観察などを行いながら体験しても（5日間）
年、修士課程※希望 らいます。出来上がったSETは、1.9K迄冷やせるクライオスタットを用いてクー
者が多 ロン振動等の測定を行います。電子線描画における散乱電子による近接効果※応募者が多い場 い場合※未経験者歓迎・単に電の影響やエッチングによるパターンの’鈍り’などを考慮して目的の形状にいか合は2回開催を検討 は5名×子線描画等の微細加工
2回開催 に近付けるかを体感してもらいます。
します。
技術を体験したい方も可
実習を行う共用施設内に設置されている機器(https://www.tiaを検討します。 kyoyo.jp/object.php?f=1)であれば希望が有れば見学や実習への取り入れも検討させて頂きます。
本実習は研究開発用クリーンルームを使用します。

2日目 CAD作業、電子線描画、電子顕微鏡観察
希望者が多い場合は、第2日
程(8/28〜又は、7/31〜)を設定し2回開催を検討します。
その場合は各回5名程度まで 3日目 エッチング、フォトリソグラフィ、顕微鏡観察となります。
各回共に2班に分けてグルー
プで取り組んでもらいます。

〒305-8568
茨城県つくば市梅園１－１－
１ 産業技術総合研究所
つくば中央第２事業所 ２－１
２棟
TIA推進センター プラット
フォーム運営ユニット共用施
設ステーション ナノプロセシ
ング施設

4日目 真空蒸着、リフトオフ、電子顕微鏡観察、室温・冷却測定

5日目 測定結果確認、データまとめ、発表練習・ディスカッション

電子線リソグラフィについての講義、EB露光装置の基本操
1日目 作
及びレジスト塗布・現像等の露光プロセス実習

22 加工 電子ビームリソグラ
フィ

東京工業大
宮本 恭幸
学

7月18日～8月25日（うち３日間）2名

EB露光を行いたいパターン
電子線リソグラフィについての講義や露光実習を通して電子線リソグラフィの基礎を習得する。
実習では、EB露光装置を操作して重ね合わせ露光 高専専攻科、学部4年、修 等があれば歓迎します。
内容については事前にご相を行い、SEMによる露光評価までの基本的な電子線露光プロセスを体験して 士課程
談ください。
いただきます。
2日目 EB露光実習（重ね露光及び参加者の希望する露光）
また、参加者の研究テーマに沿ったEB露光も可能です。希望の露光パターン ※未経験者・初心者向け なお、受講料2千円が必要ですのでよろしくお願いします。
があれば露光を行いその結果について議論したいと思います。
3日目 SEMによる露光評価、まとめ〒152-8552
東京都目黒区大岡山2-12-1
東京工業大学 未来産業技術研究所

1日目 イントロダクション、安全教育、講義「放射光X線回折」
8月1日～8月31日（うち3日間）23 計測 放射光X線回折入門

量子科学技
術研究開発 大和田 謙二
機構※但し、今後決定される大型放射光施
設特例区域指定時
期の中で開催する
ため、開始可能日はこれより数日遅れ
る可能性があります。

2名

放射光X線回折実験を行う際に必要となる基礎を習得します。研修は講義と実習で構成されます。講義では、X線回折の基礎から最先端のコヒーレントX線
回折イメージングまで「回折」に関係する話題を概観します。実習では、実験室のX線回折装置を利用して、講義で習得した回折現象について実際に体験し、X線回折を習得します。前半の締めくくりとして放射光施設の見学を行います。 修士課程、博士課程後半の解析実習はコヒーレントX線回折イメージング装置の設置されるビーム
ラインで行います。ここではコヒーレントX線回折イメージングで得られた典型 ※未経験者歓迎
的なデータを解析し、X線回折像から実像へ変換する際の位相回復計算の基礎を習得します。
尚、本研修は粉末構造解析や単結晶構造解析について実習を行うものではありません。また、実際の放射光を用いた研修ではありません。

午前：X線回折実験
放射線業務従事者登録は必2日目 午後前半：放射光施設見学
要ありません。
午後後半：解析実習（ビームラインにて）

3日目 解析実習（ビームラインにて）

5/10〒679-5148
兵庫県佐用郡佐用町光都11-1
放射光物性研究棟内および
大型放射光施設SPring-8実
験ホール内

マテリアルの高度循環のための技術
No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

1日目 FIBとTEMの基礎講義、オリエンテーション（オンライン）

FIBによる試料作製と24 計測 TEMによる観察・分析 物質・材料
研究機構

上杉 文彦

の研修

8月21日～8月24日
（4日間）

1名

集束イオンビーム加工装置(FIB)と透過型電子顕微鏡(TEM)の基礎を学び、FIBによる試料作製とTEM操作(HRTEM、STEM-EDSなど)を研修する。

自身の試料持ち込みは不可 2日目 安全ガイダンス、FIBの実習（オンラインの可能性あり）
高専4～5年、高専専攻としますが、研究テーマに関科、学部1～4年、修士課
するTEM利用の相談は歓迎
程、博士課程します。
3日目 FIBの実習（オンラインの可能性あり）〒305-0047
茨城県つくば市千現１－２－
１ 物質・材料研究機構 精密計測実験棟※オンライン（一部もしくは全部）

4日目 TEMの実習（オンラインの可能性あり）

細胞実験・イメージン

25 合成 グ基礎講習

物質・材料
研究機構

李 香蘭
竹村 太郎

8月23日～8月25日
（3日間）

2名

高専4～5年、高専専攻
細胞のアポトーシス実験を題材として、培養細胞の基本的な取り扱い方法や、科、学部1～4年、修士課
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡を用いた蛍光免疫染色による細胞イメー
程、博士課程ジング、卓上走査型電子顕微鏡を用いた細胞のSEM観察を実体験して、基礎的な技術を学ぶ。関連する基本知識の座学も行なう。
※未経験者も歓迎

1日目

培養細胞の基本知識、安全教育（座学）。アポトーシス実
験、細胞観察、細胞固定（実技）。

2日目

顕微鏡観察法、細胞免疫染色法（座学）。細胞免疫染色
（実技）。

3日目

卓上走査型電子顕微鏡観察、共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡観察（実技）。

〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
物質・材料研究機構 材料信
頼性実験棟

午前：電子顕微鏡の基礎（座学）〈オンライン開催〉
1日目 午後：細胞培養実習1（培養細胞の播種、計数法）細胞試
料の包埋〈オンライン対応可〉
計測
動物細胞の電子顕微 物質・材料
26 + 鏡観察
研究機構
合成

鴻田 一絵
服部 晋也

8月23日～8月25日
（3日間）

1名

高専4～5年、高専専攻
培養細胞を透過型電子顕微鏡で観察できる試料に調製する工程を実習形式
科、学部1～4年、修士課で学ぶとともに細胞培養の基礎、光学顕微鏡を用いた細胞観察についても実程、博士課程習する。待ち時間が多い工程の一部は、予め用意したサンプルを使用して対応する。
※未経験者歓迎

午前：細胞培養実習2（光学顕微鏡観察、卓上電顕観察）
2日目 〈オンライン対応可〉
午後：TEMの実習1（切片作製）〈オンライン対応可〉〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
物質・材料研究機構※オンライン研修対応可

3日目 卓TEMの実習2（TEM観察）とまとめ〈オンライン対応可〉

1日目 溶液と固体のNMRの基礎

溶液・固体NMRの理論 電気通信大
桑原 大介
27 計測 と実習
学

溶液と固体のNMRの基礎から応用までを習得するため、溶液・固体NMRの基 高専4～5年、高専専攻
礎原理の講義を行う。特に普段何気なく使用しているNMRのパルス系列が働 科、学部１～4年、修士課
8月17日～8月31日
く原理についても詳しく解説する。さらに2次元NMRについても化学シフトの相 程
2～3名（うち3日間）関等がスペクトル上に出現する基礎原理について解説する。実習としては基本的な1次元と2次元のNMR測定に加えて、標準サンプルや持ち込みのサンプ ※未経験者歓迎、初心者
ル等を使った固体NMR測定の実習も行う。
向け〒182-8585
2次元NMRの基礎、基本的な1次元・2次元のNMR測定の実 東京都調布市調布ヶ丘1-52日目
1、電気通信大学 東6号館
習115室
3日目 固体NMRの実習

学部1～4年、修士課程

28 合成

分子科学研究所 夏
の体験入学

分子科学研
江原正博
究所

8月1日～8月3日
（3日間）

1～2名

分子科学研究所教授・准教授による分子科学研究の夏の体験入学で、江原
グループを選び、量子化学計算を実習し、その方法等を習得する。
詳細は「夏の体験入学」のWebサイトを参照して下さい。
指定のWeb申込期間中に分子研宛にも必ず参加希望申込みをして下さい。

※分子研としての受け入れ承認が必要※分子研のＨＰ上から申し込みが必要

1日目 オリエンテーション
2日目 量子化学計算演習
3日目 演習のまとめ・グループ内での発表

1日目

29 合成

浅香 透
ナノカーボン材料の合 名古屋工業
本田 光裕
成と評価
大学
種村 眞幸

8月1日～8月8日（うち3日間）3名

グラフェン、カーボンナノファイバー、金属ナノ粒子分散ナノカーボンなど多様
修士課程、博士課程
なカーボン材料の合成を体験すると共に、透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、ラマン分光分析など、典型的な評価法による合成試料の評価を行う。３日※未経験者歓迎
間かけて、合成と評価の基礎を勉強しつつ、その実際を体験する。

イオンビーム手法を使ったナノカーボン材料の室温合成と走査電子顕微鏡観察について、基礎と実際を体験する。

〒466-8555
化学気相合成法によるグラフェンの合成とラマン分光分析 愛知県名古屋市昭和区御器2日目
所町 名古屋工業大学11号
評価の基礎を学び、その実際を体験する。
館、2号館
3日目

6/10

〒444-8585
愛知県岡崎市明大寺町 字西郷中38 自然科学研究機
構 計算科学研究センター

透過電子顕微鏡による精密解析の基礎と評価を体験する。

次世代バイオマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など研修スケジュール

特記事項

研修場所

自己組織化現象についての講義、機能性材料のメゾスコ
ピック構造作成実習。

自己組織化現象を利用した高分子メゾスコ 公立千歳科 オラフ カートハ 8月2日～8月4日
30 合成 ピック構造の作製とイ 学技術大学 ウス
（3日間）
メージング

Introduction to self-organization and sample preparation
1日目 (crystallizable low molecular weight compounds or polymers thatare soluble in ethyl acetate). If you want to bring your own
高専4～5年、高専専攻
compounds, please feel free; we might be able to investigate theirself-organization properties. The typical concentration is 3-10
〒066-8655
科、学部2～4年、修士課 試料持込可（高分子の溶液
mg/ml, and 1 ml is enough for the experiments.
北海道千歳市美々758番地
やナノ粒子の分散液など。溶程、博士課程4名

自己組織化現象を利用したメゾスコピック構造（サブマイクロンのドット、ライン、多孔質構造）の作成方法について基礎から応用まで習得するため、原料調製から自己組織化構造の作製まで行う。また、基板に構築したメゾスコピッ
媒は酢酸エチール、アセト
ク構造を様々なイメージング法（電子顕微鏡、蛍光顕微鏡、原子間力顕微鏡な ※自己組織化やバイオミ ン、トルエンなど。濃度はど）を用いて多角的解析を行う。
メティクスに興味がある学 1mg/ml、量は1ml程度）
生向け。

2日目

電子顕微鏡についての講義、測定ガイダンス、実習Electron microscopy / EDX on the samples

65
公立千歳科学技術大学 研
究棟・実験棟・大学院棟

実習まとめ、成果発表
3日目 Summary, discussion and preparation of a shortpresentation

1日目

電子顕微鏡の基礎（講義）（オンラインのみ）
リモート操作方法解説（講義）（オンラインのみ）

高専専攻科、学部4年、修士課程、博士課程
FE-SEMのリモート操
作実習
谷井 孝至
早稲田大学
31 加工 （自宅または自分の研究室から早稲田大学
田中 大器のFE-SEMを操作してみよう。）

8月1日～8月3日（3日間）※FE-SEMで観察したい試
2日目 リモート操作実習（オンラインのみ）料をお持ちのSEM操作の初「離れていても、ここがあなたの実験室」を実現すべく、自宅またはご自分の研 心者から中級者。
試料持ち込み可。観察したい究室から早稲田大学のFE-SEMのリモート操作を実習形式で研修する。SEM リモート操作可能なインター
試料は事前に送付をお願い
1～2名
観察の基本操作（アライメント、スティグマ、フォーカス合わせ等）技術を習得 ネット接続（なるべく有線接いたします。
続）のWindows10相当のPC
し、PCを使用したリモート操作する技術も習得する。
リモート操作実習（オンラインのみ）を準備できる方。デスクトッ
3日目
まとめと質疑応答（オンラインのみ）
プPC＋液晶モニター（なるべく大きい）＋ホイールマウス
推奨。（ノートPCだと操作しにくいです。）〒162-0041
東京都新宿区早稲田鶴巻町
513番地 早稲田大学研究開発センター121号館 216室
※リモート操作実習のため、基本はオンラインのみ。

備考： リモート操作の実習なので、すべてオンラインとなります。

1日目 電子顕微鏡講義

32 計測

超高圧電子顕微鏡に名古屋大学 山本 剛久
よる生物試料観察

8月8日～8月10日
（3日間）

3名

高専4～5年、学部4年、修
生物材料の観察技術を習得する。生物試料は光学顕微鏡、走査電子顕微鏡 士課程、博士課程（SEM）で観察するのが一般的であるが、今回は、厚い試料を観察できる超高※初めて電子顕微鏡をつ
圧走査透過電子顕微鏡（TEM）を用いての講習を行う。
かう学生も可。

2日目 TEM講習〒４６４－８６０３
愛知県名古屋市千種区不老町 名古屋大学超高圧電子顕微鏡施設

3日目 TEM講習とまとめ

1日目

フォトリソグラフィ技術
丸山 央峰
33 加工 を利用したマイクロ流 名古屋大学 加藤 剛志
体チップの試作

8月1日～8月4日
（4日間）

3名

本技術講習では，マイクロ流体チップの作製方法の基礎的な技術を学びます．
具体的には，以下の項目を学習します．
１．マイクロ流体チップの歴史，作製技術，および応用
２．フォトリソグラフィの基本原理
３．CADを使用してマイクロ流路の設計データを作成する方法
４．レーザ描画装置を使用してフォトマスクを作成する方法
５．マスクアライナを使用してマイクロ流体チップのモールドを作成する方法
６．ポリジメチルシロキサン（PDMS）へのモールド転写によるマイクロ流体チッ
プの作成方法・フォトリソグラフィ技術の講義（午前）
2日目 ・CADを用いたマイクロ流路の設計データ作成とレーザ描画装置を用いたフォトマスク作製（午後）
学部4年、修士課程※初心者を対象とした講習です．未経験者も大丈夫ですので，微細加工やマイクロ流体チップを用い
最終日には，自分で試作したマイクロ流路チップを使用して流体制御実験を行 た実験に興味がある方をいます．この実験によって，マイクロ流体チップの応用について体験することが 歓迎します．
できます。
以上のように，CADを使用したマイクロ流路の設計データ作成から，レーザ描画装置を使用したフォトマスクの作成，マスクアライナを使用したマイクロ流体
チップの作成まで，基礎的な技術を学習し，最終日には試作したチップを使用
して応用的な実験を行います．

7/10

・マイクロ流体チップの歴史・作製技術・応用の講義（午前）・装置・薬品に関する安全教育および施設見学（午後）〒464-8603
愛知県名古屋市千種区不老町 名古屋大学 東山キャンパス
先端技術共同研究施設，IB・PDMSへのモールド転写によるマイクロ流体チップの作製 電子情報館，EI創発工学館
4日目 （午前）※オンライン併用可能
・マイクロ流体チップを用いた流体制御実験（午後）・レーザ描画装置を用いたフォトマスクの作製（午前）
3日目 ・マスクアライナを用いたマイクロ流体チップのモールド作
製方法（午後）講義，安全教育，CADを用いたフォトマスクデータ作成については，Zoom等のオンライン会議システムを用いて現地・オンラインのハイブリッドで対応可能です．
備考： 施設見学，マイクロ流体チップ作製の各工程，マイクロ流体
チップを用いた実験については，Webカメラ等で作業の様子を中継することで現地・オンラインのハイブリッドで対応可
能です．

No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

ナノ量子センサを用いた細胞計測の基礎技
34 合成 術習得 (細胞染色・超 名古屋大学 馬場 嘉信
解像イメージング・量
子細胞計測)

研修期間

7月31日～8月4日
（5日間）

定員

2名

研修概要

対象学年などナノ量子センサを用いたバイオ計測の基本技術を習得する。細胞内への取り込みを促すためのセンサ表面のデザインと表面修飾に関する評価、ナノ量子 高専4～5年、高専専攻
センサによる細胞染色および超解像イメージング実験などの実習を行い、ナノ 科、学部1～4年、修士課
バイオ研究の基礎知識と実験操作を学ぶ。さらに、発展的な実験として、細胞 程内に導入したナノ量子センサを用いた量子計測技術を体験する。

特記事項

研修スケジュール

1日目

ナノ量子センサについての基礎講義・安全教育、研究室見学、使用する細胞の準備

2日目

ナノ量子センサの表面修飾と当該材料の細胞内導入、細胞毒性に関する評価

3日目

ナノ量子センサの物性評価、および超解像イメージングの基づく細胞観察、第4日目の試料準備

4日目

ナノ量子センサの細胞内導入効率の評価、および量子計
測技術の体験

研修場所〒464-8603
名古屋市千種区不老町 名
古屋大学 工学部一号館・理学部共用館〒466-8550
名古屋市昭和区鶴舞町65番
地 名古屋大学 医系研究棟
3号館

5日目 まとめ + 予備日

施設見学（ナノマテリアルテクノロジーセンター）
1日目 電子顕微鏡の原理から分析電子顕微鏡法まで、データ科学の手法について（講義）Pythonを用いた透過 北陸先端科 大島 義文
35 計測 電子顕微鏡像の原子 学技術大学 麻生 浩平
スケール定量解析
院大学
東嶺 孝一

8月28日～9月1日
（5日間）

4名

初心者を対象に、透過電子顕微鏡を利用して、原子やナノスケールレベルで材料の構造を明らかにする研修を行う。講義、実習を通して、透過電子顕微鏡
高専4～5年、高専専攻の原理を理解し、正しく操作する技術を習得し、像の解釈のしかたを学ぶ。さら科、学部4年、修士課程に、得られたデータを解析するための画像処理などといったデータ科学について学ぶ。

電子顕微鏡の簡単な操作、 照射系軸合せ、結像系軸合せ、非点補正（実習）2日目
電子顕微鏡の操作：像観察（明視野像，電子回折，暗視野
像）、高分解能観察（実習）〒923-1292
石川県能美市旭台1-1 北陸
先端科学技術大学院大学大学／ナノマテリアルテクノロ
3日目 電子顕微鏡の実習
ジーセンター
4日目 Pythonを用いたグラフや画像解析
5日目 Pythonを用いたグラフや画像解析の応用
備考：

状況によって３日間程度のオンライン開催に変更する可能性があります1日目 安全講習、電子線リソグラフィー実習
半導体基板上への金 北陸先端科
36 計測 属ナノパターンの形成 学技術大学 赤堀 誠志
とその評価
院大学

8月23日～8月25日
（3日間）

3名

半導体製造技術の基礎を習得するために、クリーンルーム施設・電子線リソグ 高専4～5年、高専専攻
ラフィー(EBL)装置・真空蒸着装置等を使用して、半導体基板上へ金属ナノパ 科、学部1～4年
ターンを形成する実習を行う。さらにナノ材料評価技術の基礎を習得するために、エネルギー分散型エックス線分光(EDX)装置および電子線後方散乱回折 ※応募者多数の場合は、(EBSD)装置付き走査型電子顕微鏡(FE-SEM)を使用して、形成した金属ナノ 高専専攻科およびB3・B4
パターンを評価する実習を行う。
を優先する。

2日目 真空蒸着実習、施設見学、リフトオフ実習

3日目 走査型電子顕微鏡実習、まとめ

8/10〒923-1292
石川県能美市旭台1-1 北陸
先端科学技術大学院大学
ナノマテリアルテクノロジーセ
ンター

次世代ナノスケールマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

X線顕微鏡による構37 合成 造、材料解析

機関名

研修先
ホスト氏名

信州大学

橋本 佳男

研修期間

8月23日～8月25日
（3日間）

定員

2名

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目 講義、施設見学
1マイクロメートル以下の分解能で3次元の非破壊構造解析を実現するX線顕微鏡を用いたデバイス、材料の分析を実習する。新素材、デバイスの分析に 高専専攻科、学部4年、修は、電子顕微鏡や各種表面分析などが用いられるが、いずれも表面の加工や 士課程、博士課程
少なくとも真空引きが必要で、非破壊あるいは合成中や動作中の解析は困難
試料持込可（材質、形状等要
2日目 X線顕微鏡による分析、データ解析である。実習では金属系の試料を用いて内部構造を断面、立体表示する分析 ※未経験者歓迎。参加者 相談）を行い、可能なら電子顕微鏡などの分析との比較を行う。なお、参加者の持込 の技術レベルに合わせて試料の分析も歓迎する。特に、X線吸収の大きい重元素の分布に特徴のある 指導します。
試料であれば、有効な分析が期待される。
電子顕微鏡分析、表面分析との比較検討、持込試料の分
3日目
析

研修場所

〒380-8553
長野県長野市若里4-17-1信州大学 長野（工学）キャンパ
ス
国際科学イノベーションセン
ター（E2棟）

施設見学（超顕微解析研究センター）
1日目 電子顕微鏡の原理から最新の分析電子顕微鏡法まで（講義）、電子顕微鏡の操作原理（講義）

九州大学超顕微解析研 村上 恭和
38 計測 透過電子顕微鏡による微細構造解析法
究センター

ナノカーボンの可溶化
39 合成 と分光分析およびナノ 九州大学
構造解析の実習

藤ヶ谷 剛彦キム チェリン
白木 智丈
田中 直樹

初心者を対象に、透過電子顕微鏡を使いこなすために必要な装置の基礎知
8月21日～8月25日
2～4名 識と操作法、電子回折の基礎と解析法を習得する。
（5日間）
講義、実習（200kV の透過電子顕微鏡を使用）、演習を行う。

4日目

電顕像のコントラスト、電子回折の基礎（講義）、電顕実習（参加者が観察を希望する試料があれば対応します）

5日目

電顕像の解釈、電子回折図形の解析（参加者の研究テー
マに関する相談に応じます）、まとめ

1日目 ナノカーボンの構造と分光化学的性質について講義

7月4日～8月31日（うち平日の連続した3日間）
3名※但し8/14〜16日
を除く、希望者との日程調整による

電顕の簡単な操作： 照射系軸合せ、結像系軸合せ、非点
2日目
補正（実習）
高専4～5年、高専専攻〒819-0395
科、学部3～4年、修士課 参加者が観察を希望する試
福岡県福岡市西区元岡744
程、博士課程料があれば対応も可能です。
参加者の研究テーマに関す 3日目 電顕の操作： 焦点合せ、像観察（明視野像 制限視野回折 九州大学超顕微解析研究セ
暗視野像）（実習）、電子回折演習問題（演習）
ンター CE21棟※未経験者歓迎、初心者 る相談にも応じます。
を対象とします。

カーボンナノチューブとグラフェンの可溶化と構造解析の基礎を習得する。
種々の可溶化剤を用いて分散したナノカーボン溶液について、紫外可視近赤 高専4～5年、高専専攻
試料持ち込み可能ですので外吸収分光、顕微ラマン分光、そして近赤外蛍光分光装置などのスペクトル 科、学部1～4年、修士課
事前にご相談ください。
測定法から、ナノ構造とスペクトルの相関を観測する。また、走査型電子顕微 程、博士課程
鏡、走査型プローブ顕微鏡によるナノカーボンの構造解析技術を習得する。

2日目 ナノカーボンの可溶化実験とスペクトル測定

3日目 顕微鏡によるナノ構造解析

9/10〒819-0395
福岡県福岡市西区元岡744番地
九州大学伊都キャンパスW3615

マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

山形大学
40 合成 高分子レオロジーの基
礎とフィルム加工

SUKUMARAN 8月21日～9月15日
Sathish K.
（うち3日間）5名

研修場所

高分子レオロジーの基礎（座学）、レオメーターの基礎１（座学と装置利用）

1日目は、高分子レオロジー
学部4年、修士課程、博士〒992-8510の基礎の座学 ２時間程度あ高分子のレオロジーについて基礎から応用までを習得するため、回転型レオ 課程
り。
レオメーターの基礎２（高分子などのせん断粘度測定（装置 山形県米沢市城南４－３－１
メーターを使用して高分子の溶融粘度の特性を理解し、その測定法を習得し粘弾性を計測してみたい試 2日目 利用））、レオメーターの基礎３（高分子などの動的粘弾性 ６ 山形大学／工学部／グます。さらに、押出装置を用いて、高分子のフィルムの加工について基礎を学 ※分野専攻は不問（初心リーンマテリアル成形加工研料等あれば相談に応じます。
測定（装置利用））
び、加工性とレオロジーとの関係について理解を深めます。
者向け）
究センター
お気軽にお問い合わせくださ※未経験者歓迎い。
押出装置による高分子フィルムの作製（成形条件などによ
3日目
る成形安定性の理解（装置利用））

1日目 電子顕微鏡の講義と施設見学
STEM-EELS/EDSによ41 計測 る構造観察と元素・状 京都大学

治田 充貴

態分析

７月24日～7月26日
（3日間）

3名

走査型透過電子顕微鏡（STEM）に電子エネルギー損失分光（EELS）やエネル
修士課程、博士課程
ギー分散型X線分光（EDS）を組み合わせた分析電子顕微鏡に関する講義と実習を行い、構造観察と分析技法の基礎と基本的なデータの解釈を習得する※未経験者歓迎ことを目的としている。

2日目 STEMの講義と実習〒611-0011
京都府宇治市五ヶ庄 京都大学／化学研究所 超高分解能分光型電子顕微鏡棟

3日目 EDSやEELSによる元素状態分析の講義と実習

グレイスケール露光と
京都大学
42 加工 熱インプリントによる高分子流体デバイスの
作製

江崎 裕子
高橋 秀樹
諫早 伸明
岸村 眞治

8月30日～9月1日
（3日間）

2名

1日目 講義、グレイスケール露光
高専4～5年、高専専攻科、学部1～4年、修士課 関連セミナーを計画中（研修〒606-8501
期間前）。研修参加者には受 2日目 エッチング、離型剤処理
程、博士課程グレイスケール露光によりSiウエハ上にレジストの3次元構造体を作製した
京都市左京区吉田本町 京講していただきます。
後、ドライエッチングによりSiモールドを作製する。熱インプリントによりモールド
都大学吉田キャンパス内 ナの形状をプラスチックプレートに転写する。各工程後に、ウエハプロファイラ等 ※グレイスケール露光、 作製デバイス、習得技術、ノテクノロジーハブ拠点施設
熱インプリントに興味のあ 等、ご希望があれば検討させ 3日目 熱インプリント、接合、評価により寸法、形状を計測し、プロセスデータの抽出をおこなう。
（総合研究6号館、等）る学生。未経験者、初心 ていただきます。
者も可能。
安全教育、施設利用説明は事前にオンライン（1時間）で実
備考：
施
1日目 SEMの基本的測定原理とその分析に関する学習

学部4年、修士課程、博士課程
多機能走査電子顕微 奈良先端科 河合 壯
43 合成 鏡（分析SEM）を用い 学技術大学 清水 洋
た観察・分析技術
院大学
小池 徳貴

8月29日～8月31日
（3日間）

2名

電子顕微鏡でできる様々な観察・※分析を基礎から習得するため、原理の理解や装置を用いた実習を行い、電子顕微鏡を用いた発展的な分析技術の習 ※大学等における理工系 試料持込可。事前打合せを得を目指す。
学科（卒研開始の学生） 行う。
（※分析：EDS、EBSD、及びCL分析、事前打合せを行います。）
並びに大学院専攻の学生（未経験者、初心者向け）

2日目 SEMの操作と分析の実習

3日目 SEMの操作と分析の実習

1日目
透過電子顕微鏡法に
44 計測 よる材料微細構造解 大阪大学
析

7月～9月初旬（うち3日間）山﨑 順

2名※受け入れ決定後に個別に調整する

透過電子顕微鏡法について基礎から応用までを習得するため、講義と透過電子顕微鏡装置を使用した操作実習を行い、データの解析法を理解する。

修士課程、博士課程※大学院生に限る

透過電子顕微鏡法についてのイントロ・安全教育・施設見
学、透過電子顕微鏡法概要、高分解能電子顕微鏡法

透過電子顕微鏡観察試料を持参し、その試料の観察法の実習を行うことも可能であ 2日目 透過電子顕微鏡法についての実習る。
3日目 透過電子顕微鏡法についての実習、データ解析

10/10〒630-0192
奈良県生駒市高山町8916-5
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学領域棟〒567-0047
茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター