光ＭＥＭＳスキャナ
Micro Opto Electro Mechanical System Scanner
ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）は、ＯＡ機器ではインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、カーエレクトロニクスでは圧カセンサ、加速度センサ、流量センサなどに採用されており、最先端の技術として急激に実用化が広がっています。
この中で光に関するものを、光ＭＥＭＳ/ＭＯＥＭＳ（Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems）と呼びます。
光ＭＥＭＳの応用としては、通信分野で光スイッチやアッテネータとして使用されるほかに、レーザをスキャンするアプリケーションに使用されます。光ＭＥＭＳスキャナは、従来のスキャナと比較して、小型、高速、長寿命、省電力、低騒音の特徴を持ち、レーザディスプレイ、レーザプリンタ、レーザセンサなどの応用で、実用化されつつあります。
当社は、光ＭＥＭＳスキャナ開発に必須の評価･計測システムの提供及び光ＭＥＭＳスキャナの幅広い応用実績から応用システムの受託、共同開発を行い、ＭＥＭＳスキャナの市場の熟成を目指しています。
Micro Electro Mechanical System(MEMS) is a cutting-edge technology and being rapidly used in a variety of applications; fine nozzles inkjet printer‘s head of
office automation equipment, pressure sensors, acceleration sensors, And flow sensors in car electronics.
What involves optical signals is called Micro Opto Electro Mechanical System (MOEMS), and being applied in telecommunication such as optical switches andattenuators, and other applications that scan the laser. MOEMS scanners have compact, high speed long-life, power saving, and low noise features, and widelyused in various applications of laser displays laser printers, and laser sensors.
We can provide assessment and measurement system that is required to the development of MOEMS scanners. We also take advantages of our experiences
gained by the wide applications of the MOEMS scanner to contract application system or conduct joint development for the maturity of MEMS Scanner market.

光ＭＥＭＳスキャナ応用製品例
Examples of MOEMS Applications

光ＭＥＭＳスキャナ計測 基本計測システム(ALT-9A44)
The basic measurement system of MOEMS Scanner, ALT-9A44■概要
光ＭＥＭＳスキャナの光学･電気特性を測定します。ウォブル及びジッタとともに共振周波数や外乱によるドリフトも測定可能です。
最大振り角の測定に新時間計測方式を採用しており、周波数特性を高速に測定できます。電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式いずれのＭＥＭＳにも対応可能です。コンパクト設計、高速測定対応でインライン検査にも最適です。
■Introduction
The basic measurement system, ALT-9A44 measures optical and electric properties of MOEMS scanners. It can also measure resonance frequency and driftcaused by disturbance as well as wobble and jitter. It adopts new time measurement method for max swing angle that enables speedy measurement of frequency
properties. It is compatible with any MEMS by electromagnetic drive, electrostatic drive, or piezo method. It features high speed and compact design that isoptimal for in-line inspection.

■仕様■Specifications

基本計測方式

ウォ

ジ
測定対象

ブル

３角スリット時間変化検出方式

タ

２点間タイムインターバル検出方式

品種り

角

１軸 MEMS（２軸 MEMS オプション対応）±１１°～±５０°（その他角度要相談）
１．０×１．０ｍｍ以上
３０ｋHz 以下
（３０ｋHz 以上要相談）
ALT-9561
１０，０００ｍ／ｓ以下±１．５ｍｍ
１μm
２分割ＰＩＮフォトダイオード ２個

ッ対象

光学

振

ミ ラ ー サ イ ズ
駆 動 周 波 数
ウォブル測定ジ ッ タ 測 定

最大振り角測定
共振周波数測定
測定ユニット本体セン
サ
測 定 可 能ビ ーム 速 度
受
光範
囲測 定 分 解 能セン
サ

測 定 分 解 能０．１ｎｓセン
サ
ジッタ測定用センサを使用
測 定 分 解 能０．１°セン
サ
ジッタ測定用センサを使用
測 定 分 解 能
０．１Ｈｚ
650（Ｗ）×315（Ｈ）×550（Ｄ）ｍｍ

Basic measurement method

JitterSubject of measurement

Mirror size
Drive frequency
Wobble measurement

Jitter measurement

Max swing angle measurement
Resonance frequency measurement
Measurement unit

■System Configuration

機

Configuration

構

成

■外形図
■Full view

測定ユニット本体
工業用コンピュータ（モニタ、キーボード、マウス）
TIA（タイムインターバルアナライザー）ボード
電源ユニット
波形変換ユニット
任意波形発生機Type
Optical swing angle■システム構成器

WobbleSensor
Measurable beam velocity
Allowance scanning beam
Measurement resolution
SensorMeasurement resolution
SensorMeasurement Resolution
SensorMeasurement resolutionTriangle slit time change detection
methodTime interval detection system
between 2 points
1 axis MEMS
(2 axes MEMS option is available)±11°～±50°(Other swing angle is negotiable)
1.0×1.0 mm or more
30kHz or lower(30kHz or higher is negotiable)
ALT-9561
10,000m/s or lower±1.5mm1μm
Divided two sensor jitter(PIN photo diode)
0.1ns
Using jitter measurement sensors
0.1°
Using jitter measurement sensors
0.1Hz

650（Ｗ）×315（Ｈ）×550（Ｄ）ｍｍ

Measurement unit
Industrial computers (monitor, keyboard, mouse)
TIA (Time Interval Analyzer) board
Power supply unit
Waveform conversion unit
Arbitrary waveform generator

光ＭＥＭＳスキャナ計測 拡張システム
Extended System of MOEMS Scanner Measurement■全自動測定システム
ジッタセンサ､ウォブルセンサを像面方向､深度方向に自動移動し､任意のポイントで測定■位相計測システム
駆動信号、ミラースキャン、モニタセンサ、３点の相互間の位相計測■非共振型 MEMS 検査システム
リニアリティ計測、寄生振動計測■２次元スキャンダイナミック検査システム
照射画面形状評価、走査線ピッチ、水平走査リニアリティ計測■温度・圧力環境測定システム
特殊小型チャンバー
Special mini chamber

強制対流を行わずミラーに影響を与えない特殊小型チャンバー採用【広範囲温度試験用チャンバー】
温度制御：－４０℃～１３０℃【真空対応チャンバー】
温度制御：室温～80℃
真空制御：10～100Pa■耐久試験システム
センサ信号の演算結果で周波数､電圧を可変する事により振幅を一定にし､耐久試験を行う■簡易バーンインシステム

簡易バーンインユニット

デバイス単体温調用発熱体使用。加熱温度 150℃Special mini chamber■ピエゾ素子ポーリングシステム
温度印加も可能なポーリングシステム。直流、交流印加が可能■ミラー反射率測定
ＲＧＢ各波長における反射率を測定。入射角､偏光方向可変可能■ミラー面傷、異物検査
画像処理システムで傷､異物の検出を行う
２次元高速度ＰＳＤセンサ■２次元ポインタビリティー測定

2-Dimensional high speed PSD sensor

1 次元２次元高速度ＰＳＤセンサによる位置測定■Full automatic measurement system
Measures at any point by the automatic movement of jitter sensors or wobble sensors toward the direction of image or direction of depth.
■Phase measurement system
Measurement of phase between the three points (Drive signal, Mirror scanning, monitor sensor)■Non-resonant MEMS inspection system
Linearity measurement, parasitic oscillation measurement.
■2-Dimensional scanning dynamic inspection system
Irradiation screen shape evaluation, scanning line pitch, horizontal scan linearity measurement.
■Temperature and pressure environment measurement system
Adopts a special mini chamber that does not conduct forced circulation with less subject to mirror.
[Wide range temperature test chamber]
Temperature control: -40℃～130℃.
[Corresponding to a vacuum chamber]
Temperature control: From room temperature to 80℃.
Vacuum control: 10～100Pa.
■Proof test system
Conducts proof test with certain amplitude by varying frequencies and voltages resulting from sensor signal operations.
■Simplified burn-in system
Using electric heating element for single device for temperature adjustment. Heating temperature is 150℃.
■Piezo element polling system
Polling system that can be applied temperature. DC, AC application is possible.
■Mirror reflectance measurement
Measures reflectance of each RGB length. Angle of incident and polarization can be changed.
■Check for mirror surface for foreign objects
Detection of any scars or foreign objects by the image processing system.
■2-Dimensional point ability measurement
Position measurement by 1-Dimensional or 2-Dimensional high-speed PSD sensors.

光ＭＥＭＳスキャナ応用製品 調整検査システム
MOEMS scanner application products adjustment test system■コリメータ調整システム■ヘッドアップディスプレー検査システム
ＲＧＢレーザのビーム調整､アライメント調整､パワー調整■プロジェクタエンジン検査システム
プロジェクタエンジンのビーム検査､ポインタビリティー検査､パワー検査■Collimator adjustment system
Beam adjustment, alignment adjustment, and power adjustment of RGB lasers.
■Projector engine inspection system
Beam inspection, point ability inspection, and power inspection of projectors.

ＨＵＤのビーム検査､ポインタビリティー検査､パワー検査■レーザプリンタ LSU 検査システム
ＬＳＵのビーム検査､ジッタ検査､パワー検査■Head Up display inspection system
Beam inspection, point ability inspection, and power inspection of HUD.
■Laser printer’s LSU inspection system
Beam inspection, jitter inspection, and power inspection of LSU.

光ＭＥＭＳスキャナ応用 (共同開発、開発委託案件)
Application of MOEMS Scanner (Joint Development and Commission of Development)■レーザレンジファインダー
レーザパルスを目標物に照射、その反射の時間を測定し、目標物までの距離を計測する。
１次元や２次元の光ＭＥＭＳスキャナでスキャンし目的に応じたエリアセンサとし構成します。
１２０°を超える広範囲なスキャンを行い、５ｍの距離を持つユニットは走行ロボットのセンサとして使用されます。
■Laser Scan Type Range Finder
Illuminates laser pulse to an object and measure the reflex time to calculate the distance to the object.
Being composed as an area sensor and conduct scanning with 1-Dimensional or 2-Dimensional MEMS scanner for any purpose.
Scanning by more than 120°range. The unit has a feature of 5m measurement range that is used as a sensor for running robots.
The unit has a feature of 5m measurement range that is used as a sensor for running robots.

■３Ｄセンサ光ＭＥＭＳスキャナでレーザライン光を対象物にスキャン照射し、空間コード化法(対象物に２値パターン光を投影し、それを２次元カメラで撮影することで３次元形状を認識する手法)を用いて距離を認識する。
ロボットの目として使用され、開発例では３０ｃｍ離れたねじを０.６ｍｍの精度で０.１５秒の短時間で認識できます。
■3-Dimensional Sensor
Scans an object by laser line beam of the MOEMS scanner that 3-Dimensional sensor recognizes the distance of the object with theuse of space encoding method (a method to recognize 3-Dimensional configuration by binary pattern projection to an object andphotograph by 2-Dimensional camera) .3D sensor is used as eyes of a robot. One example of our development is that it is possible
recognize ａ screw at a distance of 30cm within 0.15second with an accuracy of 0.6mm.

ＭＥＭＳスキャナミラー（ＯＰＵＳ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ社製）
MEMS Scanning Mirror (Manufacturer is OPUS Microsystems in Taiwan)
当社はＯＰＵＳ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ社（台湾）の販売代理店で、ＭＥＭＳスキャナミラー、プロジェクタエンジンを販売しています。
Our company is OPUS Microsystems Corporation (Taiwan) a distributor. We sells OPUS‘s MEMS scanning mirror, and the projector engine.

■１次元ＭＥＭＳスキャナミラー

■1-Dimensional MEMS Scanning Mirror

BA0050500Hz±26°
2.5×3.0mm

ス キ ャ ン 速 度
スキャン角度（光学）ミ ラ ー サ イ ズ■２次元ＭＥＭＳスキャナミラー
ス キ ャ ン 速 度
スキャン角度（光学）ミ ラ ー サ イ ズ■2-Dimensional MEMS Scanning Mirror

OP-611122.0kHz（高速軸）／1.4kHz（低速軸）±25°（高速軸）／±18°（低速軸）φ1mm■ＭＥＭＳスキャナミラー評価キット
付属ＭＥＭＳデバイス
制御インターフェース
ＭＥＭＳ駆動周波数
ＭＥＭＳ駆動電圧
電源

1D EVK（1 次元用）
BA0050

像影

距る

源度
離さ
形

Scanning speed
Optical scan angle
Mirror plate size

OP-611122.0kHz (Fast axis) / 1.4kHz (Slow axis)±25°(Fast axis) / ±18°(Slow axis)
φ1mm■MEMS Scanning Mirror Evaluation Kit
2D EVK（2 次元用）OP-6111

RS-232C
320Hz～50kHz
AC 90V±5V
USB 電源ケーブル又は 5V/1A 電源■ＭＥＭＳピコプロジェクター
光解
投明
外BA0050500Hz±26°
2.5×3.0mm

Scanning speed
Optical scan angle
Mirror plate size

ePro-2000
RGB レーザ(638nm, 515nm, 450nm)
VGA(640×480), WVGA(848×480)
10～30cm（フォーカスフリー）最大 20 ルーメン
30.8(W)×18.0(D)×7.0(H)mm

Attached MEMS device
Control interface
MEMS drive frequency
MEMS drive voltage
Power

1D EVK
2D EVK(For 1-Dimensional)(For 2-Dimensional)
BA0050OP-6111
RS-232C
320Hz～50kHz
AC 90V±5V
USB power cable or 5V/1A power cable■MEMS Pico-Projector
Light source
Resolution
Projection distance
Brightness
VolumeePro-2000
RGB lasers(638nm, 515nm, 450nm)
VGA(640×480), WVGA(848×480)
10～30cm(Focus free)
Up to 20 lumens
30.8(W)×18.0(D)×7.0(H)mm

仕様は予告なく変更する場合があります。

Specifications are subject to change without notice.

〒１７６－００１４ 東京都練馬区豊玉南１－２１－１０
ＴＥＬ: ０３（５９４６）７３３６ ＦＡＸ: ０３（５９４６）７３１６
E-mail: info@alt.co.jp Website： http://www.alt.co.jp
明日を拓く、光MEMSスキャナ(特設サイト)： http://www.alt.jp

ALT INC.
1-21-10, Toyotamaminami, Nerima-ku, Tokyo, 176-0014, JAPANTEL: +81-3-5946-7336 FAX: +81-3-5946-7316 E-mail: info@alt.co.jp Website: http://www.alt.co.jp
Opening up tomorrow optical MEMS scanner(Special site) : http://www.alt.jp

CAT#MEMS-1510TS